JP2555031B2 - Magnetic head - Google Patents
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- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気ヘッドに係り、特に垂直磁気記録に好適
な磁気ヘッドに関する。The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head suitable for perpendicular magnetic recording.
［従来の技術］ 磁気記録媒体を厚さ方向に磁化する垂直磁気記録方式
は短波長記録特性の優れた磁気記録方式として注目され
ている。垂直磁気記録を好良に行なうには、膜面に垂直
方向に強い磁気異方性を有する強磁性膜からなる磁気記
録媒体と該記録媒体に対して急峻で強い垂直成分磁界を
発生する磁気ヘッドが必要となる。さらに、実用化に際
しては、記録媒体と接触走行した時に耐摺動性の高い、
磁気ヘッド構造とすることが重要となる。[Prior Art] A perpendicular magnetic recording method in which a magnetic recording medium is magnetized in the thickness direction is drawing attention as a magnetic recording method having excellent short wavelength recording characteristics. In order to favorably perform perpendicular magnetic recording, a magnetic recording medium composed of a ferromagnetic film having strong magnetic anisotropy in the direction perpendicular to the film surface and a magnetic head generating a steep and strong perpendicular component magnetic field with respect to the recording medium. Is required. Furthermore, in practical use, it has high sliding resistance when traveling in contact with a recording medium,
It is important to have a magnetic head structure.
従来、この種の磁気ヘッドとしては、主磁極と補肪磁
極を同一面上に配置した片側アクセス型の垂直磁気記録
用磁気ヘッドが提案されている。（特開昭56−3422公
報、特開昭57−1113407号公報、特開昭58−153216号公
報） これらの磁気ヘッドは、主磁極を高飽和磁束密度の金
属磁性薄膜とし、磁束リターンパス部となる補助磁極を
耐摩耗性の優れたフェライトのバルク材で構成してあ
る。Conventionally, as this type of magnetic head, a single-sided access type magnetic head for perpendicular magnetic recording in which a main magnetic pole and a complementary magnetic pole are arranged on the same surface has been proposed. (JP-A-56-3422, JP-A-57-1113407, JP-A-58-153216) In these magnetic heads, a main magnetic pole is a metal magnetic thin film having a high saturation magnetic flux density, and a magnetic flux return path portion is provided. The auxiliary magnetic pole is made of a bulk ferrite material having excellent wear resistance.
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来の技術は、第10図、第11図に示すような構成
となっている。磁気記録媒体11は非磁性基体17の上に膜
面内に磁化容易軸を有するパーマロイ等の強磁性膜16を
介して膜面に垂直方向に磁化容易軸を有するCo−Cr等か
らなる垂直磁化膜13が形成されたものである。磁気ヘッ
ド10は断面矩形の主磁極12および補助磁極13,13′から
なり、主磁極12に巻かれた励磁コイル14に流れる信号電
流により主磁極12を磁化し、その先端部に発生する垂直
磁界によって隔直磁化膜15へ記録を行なう、したがっ
て、急峻な分布をなす垂直成分磁界を得るために主磁極
12の先端部の厚さは薄く絞ってある。この部分では磁束
密度が高くなるので、センダスト、パーマロイあるいは
非晶質磁性合金のような高飽和磁束密度であり、かつ高
透磁率の磁性薄膜が用いられる。一方、補助磁極13,1
3′は主磁極12の先端部端面から発生した磁束（点線矢
印で示す）が垂直磁化膜15を貫通して、高透磁率膜16の
内部および空中に減衰拡散する磁束を能率よく収束し、
再び主磁極12に戻すための磁束収束用磁極となる。その
ため、磁気ヘッド10において磁気記録媒体に対向する補
助磁極13の先端部は主磁極12の先端部より十分大きくな
っている。また、磁気記録媒体と接触して走行する場
合、ヘッドの耐摩耗性は補助磁極部で確保される。その
ため、補助磁極はMn−Znフェライトのような耐摩耗性の
優れた材料が用いられている。[Problems to be Solved by the Invention] The above conventional technique has a configuration as shown in FIG. 10 and FIG. The magnetic recording medium 11 has a non-magnetic substrate 17 and a perpendicular magnetization of Co--Cr or the like having an easy axis in the direction perpendicular to the film surface through a ferromagnetic film 16 such as Permalloy having the easy axis in the film surface. The film 13 is formed. The magnetic head 10 is composed of a main magnetic pole 12 and auxiliary magnetic poles 13 and 13 'each having a rectangular cross section, and magnetizes the main magnetic pole 12 by a signal current flowing in an exciting coil 14 wound around the main magnetic pole 12 to generate a vertical magnetic field at its tip. Recording is performed on the direct magnetization film 15 by means of the main magnetic pole in order to obtain a vertical component magnetic field having a steep distribution.
The thickness of the tip of 12 is narrowed down. Since the magnetic flux density is high in this portion, a magnetic thin film having a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability such as sendust, permalloy or amorphous magnetic alloy is used. On the other hand, the auxiliary magnetic poles 13,1
In 3 ', the magnetic flux (indicated by a dotted arrow) generated from the end face of the main magnetic pole 12 penetrates the perpendicular magnetization film 15, and efficiently converges the magnetic flux that is attenuated and diffused in the high permeability film 16 and in the air.
It becomes a magnetic flux converging magnetic pole for returning to the main magnetic pole 12 again. Therefore, in the magnetic head 10 , the tip of the auxiliary magnetic pole 13 facing the magnetic recording medium is sufficiently larger than the tip of the main magnetic pole 12. Further, when traveling while contacting with the magnetic recording medium, the wear resistance of the head is ensured by the auxiliary magnetic pole portion. Therefore, a material having excellent wear resistance such as Mn-Zn ferrite is used for the auxiliary magnetic pole.
このような磁気ヘッド構造において問題となること
は、補助磁極13,13′がフェライトであること、しかも
その体積が磁気ヘッドの大部分を占めていることであ
る。すなわち、記録媒体との摺動により発生する雑
音、摺接面積および体積が大きいことから雑音の影響
を受け易い、高透磁率膜16からのスパイク雑音の影
響、主磁極12以外の補助磁極13、13′の端部18、18′
における記録および再生作用が主磁極の記録および再生
作用、等の問題により記録再生特性を劣化させている。A problem in such a magnetic head structure is that the auxiliary magnetic poles 13 and 13 'are ferrite, and the volume thereof occupies most of the magnetic head. That is, noise generated by sliding on the recording medium, susceptible to noise due to large sliding contact area and volume, effect of spike noise from the high permeability film 16, auxiliary magnetic poles 13 other than the main magnetic pole 12, 13 'end 18,18'
The recording / reproducing action in (1) deteriorates the recording / reproducing characteristics due to problems such as the recording / reproducing action of the main magnetic pole.
上記、のような問題を回避するために、第11図に示
すような構造の磁気ヘッドが提案されている。すなわ
ち、補助磁極コア13,13′の磁気記録媒体11に対向する
面に非磁性体層19を形成し、磁極端面18、18′での記録
および再生作用が干渉しない程度に離間させる方法であ
る。In order to avoid the above problems, a magnetic head having a structure as shown in FIG. 11 has been proposed. That is, this is a method in which the nonmagnetic layer 19 is formed on the surface of the auxiliary magnetic pole cores 13 and 13 'facing the magnetic recording medium 11 and the auxiliary magnetic pole cores 13 and 13' are separated from each other to such an extent that the recording and reproducing operations at the magnetic pole end surfaces 18 and 18 'do not interfere with each other. .
しかし、上記問題の，，にはあまり効果がみら
れない。したがって、主磁極、補助磁極ともの必要以外
の記録および再生作用を除去し、雑音の少ない磁気ヘッ
ド構造が必要となる。However, the above problem ,, is not so effective. Therefore, there is a need for a magnetic head structure that eliminates unnecessary recording and reproducing operations for both the main magnetic pole and the auxiliary magnetic pole and that produces less noise.
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解消し、記録
および再生効率がよく、雑音の少ない構造を有する垂直
記録用磁気ヘッドを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to provide a perpendicular recording magnetic head having a structure of high recording and reproducing efficiency and low noise.
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上記の目的を達成するために、主磁極と補
助磁極が、一対の非磁性保護基体に形成されており、一
方の非磁性保護基板の溝い充填された軟磁性材と、さら
に該軟磁性材の表面に高飽和磁束密度で高透磁率の薄膜
を有する主磁極コアと、もう一方の非磁性保護基体の溝
の内壁に軟磁性膜を有する補助磁極コアとからなり、前
記主磁極コアと補助磁極コアが接合一体化された構造と
することに特徴がある。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, the present invention has a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole formed on a pair of non-magnetic protective substrates, and a groove of one non-magnetic protective substrate. A soft magnetic material filled therein, a main magnetic pole core having a thin film having a high saturation magnetic flux density and a high magnetic permeability on the surface of the soft magnetic material, and a soft magnetic film on the inner wall of the groove of the other non-magnetic protective substrate. The main magnetic pole core and the auxiliary magnetic pole core are joined and integrated with each other.
上記において、一対の非磁性保護基体はジルコニヤ、
アルミナチタン酸カーバイト、チタン酸カルシウム等の
セラミック材料、サファイヤのような硬度の高い単結晶
材料あるいは結晶化ガラスを用い記録媒体との摺動走行
において耐摺動特性、耐摩耗特性を確保し、さらに磁気
ヘッドコアの機械的強度を確保する。一対の非磁性保護
基体は互いに接合されて用いられる。したがって、主磁
極および補助磁極は、前記一対の非磁性保護基体の対向
面内に形成させ、主磁極のみが記録媒体対向面に露出す
るように構成される。In the above, the pair of non-magnetic protective substrates is zirconia,
Alumina titanate carbide, a ceramic material such as calcium titanate, a high hardness single crystal material such as sapphire or a crystallized glass is used to ensure sliding resistance and abrasion resistance in sliding running with a recording medium, Furthermore, the mechanical strength of the magnetic head core is secured. The pair of non-magnetic protective substrates are used by being bonded to each other. Therefore, the main magnetic pole and the auxiliary magnetic pole are formed in the facing surfaces of the pair of non-magnetic protective substrates, and only the main magnetic pole is exposed to the recording medium facing surface.
次に、主磁極および補助磁極は、金属磁性材料で構成
する。これによって、フェライトで構成した磁気ヘッド
で発生する摺動雑音の問題が解決される。主磁極は、一
方の非磁性保護基体に溝を設け、これに軟磁性金属をス
パッタリング、蒸着等によって充填する。この時、非磁
性保護基体の溝以外の形成された不要の軟磁性金属を除
去する。その後、高飽和磁束密度の主磁極薄膜層を形成
する。前記において、溝に充填された軟磁性金属は主磁
極薄膜層のみでは磁気抵抗が高くなるため、これを補う
役目をする。補助磁極は、もう一方の非磁性保護基体に
溝を設け、この溝の内壁に軟磁性金属をスパッタリン
グ、蒸着等によって形成する。この溝は励磁用のコイル
巻線用の窓にするため軟磁性金属は溝の内壁に形成し、
完全に溝を埋めないようにしておく。Next, the main magnetic pole and the auxiliary magnetic pole are made of a magnetic metal material. This solves the problem of sliding noise generated in the magnetic head made of ferrite. The main pole has a groove formed in one of the non-magnetic protective bases, and the soft magnetic metal is filled in the groove by sputtering, vapor deposition or the like. At this time, unnecessary unnecessary soft magnetic metal other than the groove of the non-magnetic protective substrate is removed. After that, a main magnetic pole thin film layer having a high saturation magnetic flux density is formed. In the above description, the soft magnetic metal filled in the groove has a high magnetic resistance only in the main magnetic pole thin film layer, and thus serves to supplement this. The auxiliary magnetic pole has a groove formed in the other non-magnetic protective substrate, and a soft magnetic metal is formed on the inner wall of the groove by sputtering, vapor deposition, or the like. Since this groove serves as a window for the coil winding for excitation, soft magnetic metal is formed on the inner wall of the groove,
Do not completely fill the groove.
この時、補助磁極とする軟磁性金属の膜厚は10〜100
μｍとしておくことが好ましい。10μｍ以下にすると磁
束のリターンパスとしての効率が低下し、100μｍ以上
にすると記録媒体からの雑音の影響が大きくなるため好
ましくない。このように、必要以上の磁性材料で磁気ヘ
ッドコアを形成しないようにして、記録媒体もしくは外
部からの雑音を再生しないように構成するとよい。At this time, the thickness of the soft magnetic metal used as the auxiliary magnetic pole is 10 to 100.
It is preferable to set it as μm. When the thickness is 10 μm or less, the efficiency of the magnetic flux as a return path is lowered, and when the thickness is 100 μm or more, the influence of noise from the recording medium increases, which is not preferable. As described above, it is preferable that the magnetic head core is not formed of an excessive magnetic material so that noise from the recording medium or the outside is not reproduced.
主磁極および補助磁極に用いられる軟磁性材料はパー
マロイ（Ni−Fe合金）、センダスト（Fe−Al−Si合
金）、非晶質磁性合金等の高飽和磁束密度で高透磁率の
ものが用いられる。特に、主磁極は高密度記録の場合、
磁極の厚みが１μｍ以下とする必要があり、磁気飽和を
起さないようにするため飽和磁束密度が8kG以上の磁性
材料を用いることが好ましい。なお、主磁極は磁気抵抗
を低減する目的で必要とする磁極深さを残して、主磁極
補助磁路となる軟磁性材料に連結する構成とする。一
方、補助磁極とする軟磁性材料は特に高飽和磁束密度と
する必要がなく、磁束の回収効率を高めるため高透磁率
のもの金属磁性材料が用いられる。As the soft magnetic material used for the main pole and the auxiliary pole, those having high saturation magnetic flux density and high magnetic permeability such as permalloy (Ni-Fe alloy), sendust (Fe-Al-Si alloy), and amorphous magnetic alloy are used. . Especially in the case of high density recording,
The thickness of the magnetic pole must be 1 μm or less, and it is preferable to use a magnetic material having a saturation magnetic flux density of 8 kG or more in order to prevent magnetic saturation. The main magnetic pole is configured to be connected to the soft magnetic material that will be the main magnetic pole auxiliary magnetic path, leaving the magnetic pole depth required for the purpose of reducing the magnetic resistance. On the other hand, the soft magnetic material for the auxiliary magnetic pole does not need to have a particularly high saturation magnetic flux density, and a metal magnetic material having a high magnetic permeability is used in order to enhance the efficiency of collecting the magnetic flux.
［作用］ 本発明の磁気ヘッドは、従来フェライトで構成されて
いた補助磁極を金属磁性材料とすることによって摺動雑
音がほとんどない。さらに、補助磁極の占める体積を小
さくすることによって、記録媒体を介して再生される雑
音ならびに外部から受ける雑音の影響が少ない。[Operation] The magnetic head of the present invention has almost no sliding noise because the auxiliary magnetic pole, which is conventionally made of ferrite, is made of a metal magnetic material. Furthermore, by reducing the volume occupied by the auxiliary magnetic pole, the influence of noise reproduced through the recording medium and noise received from the outside is small.
なお、従来フェライトで形成されていた、磁気コア基
体部を非磁性保護基体とすることによってフェライトよ
り耐摺動性の優れた材料を選択できるため、信頼性の高
い磁気ヘッドとなっている。さらに、記録媒体との対向
する面のほとんどを耐摺動性の優れた非磁性基体で構成
するヘッド構造となっているため、摩耗特性の異なる構
成材料が摺動面に表わされることなく、段差摩耗、偏摩
耗の問題が起らない。By using a nonmagnetic protective substrate for the magnetic core substrate, which has been conventionally formed of ferrite, a material having a better sliding resistance than ferrite can be selected, resulting in a highly reliable magnetic head. Furthermore, since the head structure is composed of most of the surface facing the recording medium with a non-magnetic base material having excellent sliding resistance, the sliding surface does not show constituent materials with different wear characteristics and The problem of wear and uneven wear does not occur.
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図から第９図によって
説明する。先づ、第１図および第２図はそれぞれ本発明
による磁気ヘッドの斜視図、および主磁極コア、補助磁
極コアの分解図である。第１図において、31,31′はそ
れぞれ磁極が配置された非磁性保護基体である。非磁性
保護基体31,31′は記録媒体との耐摺動特性の良いジル
コニヤ、サファイヤ、アルミナチタン酸カーバイト等の
材料が用いられる。主磁極33が形成される非磁性保護基
体31に溝を形成し、軟磁性材料32が充填されており、こ
の軟磁性材料32の上に高飽和磁束密度を有する主磁極33
を形成し、主磁極コアとする。前記軟磁性材料32はパー
マロイ、センダストあるいは非晶質磁性合金からなり、
スパッタリング、蒸着法の薄膜形成技術によって形成さ
れる。その後、非磁性保護基体に形成された不要の軟磁
性材料を研削、研磨等の手段によって除去する。主磁極
33は、その膜厚が線記録密度に影響するため、高密度記
録に対しては１μｍ以下の膜厚となり、飽和磁束密度の
高い磁性材料が用いられる。磁性材料としてはパーマロ
イ、センダストあるいは非晶質磁性合金が用いられる
が、いづれも8KG以上の飽和磁束密度で、しかも高透磁
率の軟磁性材料とすることが好ましい。しかし、１μｍ
以下の膜厚で主磁極を構成した場合、磁路としての磁気
抵抗が高くなり、効率が低下してしまうため、前述の軟
磁性材料32が補助磁路としての役目をする。補助磁路と
して十分な膜厚は５μｍ〜500μｍが好ましい。５μｍ
以下にすると補助磁路としての効果が低下し、500μｍ
以上にすると、記録媒体からの不要の雑音をひろい易く
なる。磁路としては５μｍ〜100μｍで十分である。100
μｍ以上にすると、これを薄膜形成技術で行なった場
合、形成に長時間要し、コスト高となる。軟磁性材料32
を非磁性保護基板31の溝の中に充填する理由は、比較的
高い磁性膜とすることによって起るはく離などの問題を
なくすためであり、製造歩止り向上に効果がある。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 9. First, FIGS. 1 and 2 are a perspective view of a magnetic head according to the present invention and an exploded view of a main magnetic pole core and an auxiliary magnetic pole core, respectively. In FIG. 1, reference numerals 31 and 31 'are non-magnetic protective substrates on which magnetic poles are arranged. The non-magnetic protective substrates 31, 31 'are made of a material such as zirconia, sapphire, or alumina titanate carbide, which has excellent sliding resistance with respect to the recording medium. A groove is formed in the non-magnetic protective substrate 31 on which the main magnetic pole 33 is formed and is filled with a soft magnetic material 32. The main magnetic pole 33 having a high saturation magnetic flux density is formed on the soft magnetic material 32.
To form a main magnetic pole core. The soft magnetic material 32 is made of permalloy, sendust or an amorphous magnetic alloy,
It is formed by a thin film forming technique such as sputtering or vapor deposition. After that, the unnecessary soft magnetic material formed on the non-magnetic protective substrate is removed by means such as grinding and polishing. Main pole
Since the film thickness of 33 affects the linear recording density, the film thickness is 1 μm or less for high density recording, and a magnetic material having a high saturation magnetic flux density is used. As the magnetic material, permalloy, sendust, or an amorphous magnetic alloy is used, and it is preferable to use a soft magnetic material having a saturation magnetic flux density of 8 KG or more and a high magnetic permeability. However, 1 μm
When the main magnetic pole is formed with the following film thickness, the magnetic resistance as a magnetic path increases and the efficiency decreases, so the soft magnetic material 32 described above functions as an auxiliary magnetic path. The film thickness sufficient for the auxiliary magnetic path is preferably 5 μm to 500 μm. 5 μm
If it is less than the following, the effect as an auxiliary magnetic path decreases,
With the above, it becomes easier to pick up unnecessary noise from the recording medium. A magnetic path of 5 μm to 100 μm is sufficient. 100
If the thickness is more than μm, when this is performed by the thin film forming technique, it takes a long time to form and the cost becomes high. Soft magnetic material 32
Is filled in the groove of the non-magnetic protective substrate 31 in order to eliminate problems such as delamination caused by using a relatively high magnetic film, and is effective in improving manufacturing yield.
次に、補助磁極30′は、もう一方の非磁性基体31′に
コイル巻線用の溝35を形成し、この溝の円壁に補助磁極
となる軟磁性膜34を形成する。軟磁性膜34は、前述と同
様にパーマロイ、センダストあるいは非晶質磁性合金を
スパッタリングあるいは蒸着等の薄膜形成技術によって
形成さられる。この工程においても不要の部分に形成さ
れた軟磁性膜は研削、研磨等の手段によって除去され
る。補助磁極（軟磁性膜）34の厚さは10μｍ〜500μｍ
とするのが好ましい。10μｍ以下にすると磁束のリター
ンパスとしての効果が悪くなり、500μｍ以上にする
と、記録媒体および外部からの雑音の影響が大きくなる
のが好ましくない。Next, in the auxiliary magnetic pole 30 ', a groove 35 for coil winding is formed in the other non-magnetic substrate 31', and a soft magnetic film 34 serving as an auxiliary magnetic pole is formed on the circular wall of this groove. The soft magnetic film 34 is formed by a thin film forming technique such as sputtering or vapor deposition of permalloy, sendust or an amorphous magnetic alloy as described above. Also in this step, the soft magnetic film formed on the unnecessary portion is removed by means such as grinding and polishing. The thickness of the auxiliary magnetic pole (soft magnetic film) 34 is 10 μm to 500 μm.
Is preferred. If the thickness is 10 μm or less, the effect of the magnetic flux as a return path is deteriorated.
第２回の磁気ヘッドの分解図に示すように、主磁極33
はパターニング法によってトラック幅TWのようにコア幅
Ｔより狭く形成することができる。As shown in the exploded view of the second magnetic head, the main magnetic pole 33
Can be formed narrower than the core width T like the track width T W by the patterning method.
以上のように形成した、主磁極コア30と補助磁極コア
30′は互いに突き合され、樹脂、あるいはガラスによっ
て接合一体化され磁気ヘッドコアとなる。この磁気ヘッ
ドコアは場合によってはスライダとの組み合せて用いら
れ、励磁用コイルは主磁極側あるいは補助磁極側に巻装
される。The main magnetic pole core 30 and the auxiliary magnetic pole core formed as described above
30 ' are butted against each other and joined together by resin or glass to form a magnetic head core. This magnetic head core is used in combination with a slider in some cases, and the exciting coil is wound around the main magnetic pole side or the auxiliary magnetic pole side.
第３図は本発明の磁気ヘッドとテープ状の垂直磁気記
録媒体の組み合せた図を示す。垂直磁気記録媒体36はベ
ースフィルム37の上に高透磁率膜（パーマロイ）38を形
成し、垂直磁化膜（Co−Cr）39を形成した２層膜媒体と
本発明の磁気ヘッドを主磁極励磁型コイル40を巻装して
測定した結果を第４図に示す。第４図は周波数に対して
の信号レベルを従来のフェライトを補助磁極とした磁気
ヘッドと比較した一例である。41は従来の磁気ヘッドで
記録再生したものであり、ａは媒体36の高透磁率膜38か
ら発生する雑音、b,b′はフェライトによる摺動およ
び、補助磁極のエッジ部によって記録、再生される雑音
である。これに対して、42は本発明の磁気ヘッドによる
特性を示したものであり、雑音レベルが低く、記録再生
特性が優れている。FIG. 3 shows a combination of the magnetic head of the present invention and a tape-shaped perpendicular magnetic recording medium. In the perpendicular magnetic recording medium 36, a high-permeability film (permalloy) 38 is formed on a base film 37, and a two-layer film medium in which a perpendicular magnetization film (Co-Cr) 39 is formed and a magnetic head of the present invention are excited by a main magnetic pole. FIG. 4 shows the result of measurement by winding the mold coil 40. FIG. 4 shows an example in which the signal level with respect to frequency is compared with that of a conventional magnetic head using ferrite as an auxiliary magnetic pole. Reference numeral 41 denotes information recorded / reproduced by a conventional magnetic head. A is noise generated from the high-permeability film 38 of the medium 36, b and b'are recorded / reproduced by sliding by the ferrite and the edge portion of the auxiliary magnetic pole. Noise. On the other hand, reference numeral 42 indicates the characteristics of the magnetic head of the present invention, which has a low noise level and excellent recording / reproducing characteristics.
第５図〜第９図は本発明の磁気ヘッドの他構造を示す
平面図である。なお、第１図と同一構成材料、同一機能
を持つ部分は同一符号としてある。5 to 9 are plan views showing another structure of the magnetic head of the present invention. It should be noted that the same constituent materials and parts having the same functions as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.
第５図は主磁極33と補助磁極34の距離ｌを適当に調節
するために、補助磁極34を媒体対向面に向けて主磁極33
に近づく構造としたものである。ｌは20μｍ〜100μｍ
が適当である。20μｍより近づけると磁束の分流損が大
きくなり好ましくない。一方、100μｍ以上にすると磁
束のリターン効率が減少するため好ましくない。FIG. 5 shows the main magnetic pole 33 with the auxiliary magnetic pole 34 facing the medium facing surface in order to adjust the distance 1 between the main magnetic pole 33 and the auxiliary magnetic pole 34 appropriately.
The structure is close to. l is 20 μm to 100 μm
Is appropriate. If the distance is closer than 20 μm, the shunt loss of the magnetic flux becomes large, which is not preferable. On the other hand, if the thickness is 100 μm or more, the return efficiency of the magnetic flux decreases, which is not preferable.
第６図は主磁極33と補助磁極34の距離ｌを近づけ磁束
のリターン効率を上げ、かつ、分流損を少なくしたヘッ
ド構造を示すものである。すなわち、主磁極33と補助磁
極34の間に磁気しゃへい用の高導電薄膜43を配置する。
高導電材料としては、例えばCu,Al等を用いる。そうす
ることによって両磁極間距離ｌは５μｍ〜10μｍとする
ことが可能である。FIG. 6 shows a head structure in which the main magnetic pole 33 and the auxiliary magnetic pole 34 are brought closer to each other to increase the return efficiency of the magnetic flux and reduce the shunt loss. That is, the highly conductive thin film 43 for magnetic shielding is arranged between the main magnetic pole 33 and the auxiliary magnetic pole 34.
Cu, Al or the like is used as the highly conductive material. By doing so, the distance 1 between both magnetic poles can be set to 5 μm to 10 μm.
第７図は主磁極33の補助磁路となる軟磁性材料32を形
成する前にAl2O3、フォルステライト、ジルコニヤ、等
の高硬度材料よりなる膜44を形成しておくことによっ
て、主磁極深さｄの測定を可能にすることができる。FIG. 7 shows that by forming a film 44 made of a high hardness material such as Al 2 O 3 , forsterite, zirconia, etc. before forming the soft magnetic material 32 which becomes the auxiliary magnetic path of the main magnetic pole 33, It is possible to enable the measurement of the magnetic pole depth d.
第８図は主磁極コア31の幅を細くし、コイル巻線距離
を短かくすることによって、コイルの浮遊容量を少なく
する構造を示す。この場合、磁気ヘッドコアの補強用と
して新たに非磁性保護基板45を設ける。これによって、
耐摺動強度が確保できる。切り欠き溝35′はコイル巻線
のための溝である。FIG. 8 shows a structure in which the stray capacitance of the coil is reduced by reducing the width of the main magnetic pole core 31 and shortening the coil winding distance. In this case, a non-magnetic protective substrate 45 is newly provided to reinforce the magnetic head core. by this,
The sliding strength can be secured. The notch groove 35 'is a groove for coil winding.
第９図はリジッドディスク用に用いられる浮動スライ
ダ47を有する磁気ヘッドの一例を示す。この場合、主磁
極コアの非磁性保護基体を延長して用いることができ
る。なお、コイル巻線窓の補助磁極34の内側に保護膜46
を形成しておくことによって、コイル40の巻線において
磁極材料34に損傷を与えないようにすることができる。FIG. 9 shows an example of a magnetic head having a floating slider 47 used for a rigid disk. In this case, the non-magnetic protective base of the main magnetic pole core can be extended and used. A protective film 46 is formed inside the auxiliary magnetic pole 34 of the coil winding window.
By forming the above, it is possible to prevent the magnetic pole material 34 from being damaged in the winding of the coil 40.
上記、第５図〜第９図の実施例は本発明の磁気ヘッド
を構成する上で、性能向上、信頼性向上に効果があり、
それぞれの例はそれぞれ必要に応じて組合せることがで
きる。The above-described embodiments of FIGS. 5 to 9 are effective in improving performance and reliability in constructing the magnetic head of the present invention.
Each example can be combined as needed.
［発明の効果］ 本発明は垂直磁気記録用磁気ヘッドとして、主磁極と
補助磁極を有する磁気ヘッドにおいて、下記のような効
果がある。EFFECTS OF THE INVENTION The present invention has the following effects in a magnetic head having a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole as a magnetic head for perpendicular magnetic recording.
（１）従来、フェライトで構成されていた磁極部を金属
磁性材料とすることによって摺動雑音を低減できる。(1) Sliding noise can be reduced by using a metal magnetic material for the magnetic pole portion which has been conventionally made of ferrite.
（２）さらに、補助磁極の占める体積を小さくすること
によって、記録媒体を介して再生される雑音ならびに外
部からの雑音を低減できる。(2) Further, by reducing the volume occupied by the auxiliary magnetic pole, it is possible to reduce the noise reproduced through the recording medium and the noise from the outside.
（３）磁気ヘッド構造として、非磁性保護基体に溝を設
け、この溝を有効に利用することによって、機械強度の
優れたものとなる。(3) As a magnetic head structure, a groove is formed in the non-magnetic protective substrate and the groove is effectively used, so that the mechanical strength becomes excellent.
（４）かつ、記録媒体の対向面のほとんどを耐摺動性の
優れた非磁性基体で構成することによって、複合材料に
よって起る段差摩耗、偏摩耗の問題を回避できる。(4) In addition, since most of the facing surfaces of the recording medium are made of a non-magnetic substrate having excellent sliding resistance, the problems of step wear and uneven wear caused by the composite material can be avoided.
以上、本発明によれば、記録再生特性に優れ、かつ信
頼性の高い磁気ヘッドが得られる。As described above, according to the present invention, a magnetic head having excellent recording / reproducing characteristics and high reliability can be obtained.
第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの斜視図、第２
図はその分解図、第３図は本発明の磁気ヘッドと記録媒
体を組み合せた磁気ヘッドの平面図、第４図は従来の磁
気ヘッドと本発明の磁気ヘッドの出力レベルの周波数特
性を比較した図、第５図，第６図，第７図，第８図，第
９図は本発明の他の実施例を説明する説明図、第10,第1
1図は従来の磁気ヘッド／媒体系を説明するための磁気
ヘッド／媒体系の説明図である。 30……主磁極コア、30′……補助磁極コア、 31,31′……非磁極保護基体、32……主磁極補助用軟磁
性材料、33……主磁極、34……補助磁極。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic head according to an embodiment of the present invention, and FIG.
FIG. 4 is an exploded view thereof, FIG. 3 is a plan view of a magnetic head in which the magnetic head of the present invention and a recording medium are combined, and FIG. 4 is a comparison of output level frequency characteristics of the conventional magnetic head and the magnetic head of the present invention. FIG. 5, FIG. 6, FIG. 6, FIG. 7, FIG. 8, and FIG. 9 are explanatory views for explaining another embodiment of the present invention.
FIG. 1 is an explanatory diagram of a magnetic head / medium system for explaining a conventional magnetic head / medium system. 30 ... Main magnetic pole core, 30 '... Auxiliary magnetic pole core, 31,31' ... Non-polar protective body, 32 ... Main magnetic pole auxiliary soft magnetic material, 33 ... Main magnetic pole, 34 ... Auxiliary magnetic pole.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 法利 東京都国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭60−15806（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−115614（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Houri Saito 1-280, Higashi Koigakubo, Kokubunji, Tokyo (56) References JP-A-60-15806 (JP, A) JP-A-SHO 58-115614 (JP, A)
Claims (1)
極を有する磁気ヘッドであって、該主磁極と補助磁極が
一対の非磁性保護基体に形成されてなり、一方の非磁性
保護基体の溝に充填された軟磁性材と、さらに該軟磁性
材の表面に高飽和磁束密度で高透磁率の薄膜を有する主
磁極コアと、もう一方の非磁性保護基体の溝の内壁に軟
磁性膜を有する補助磁極コアとからなり、前記主磁極コ
アと補助磁極コアが接合一体化されることにより、主磁
極および補助磁極が前記一対の非磁性保護基体の対向面
内に形成され、主磁極のみが記録媒体対向面に露出する
ように構成されることを特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head having a main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole on one surface of a magnetization recording medium, wherein the main magnetic pole and the auxiliary magnetic pole are formed on a pair of non-magnetic protective substrates, and one of the non-magnetic protective media is protected. A soft magnetic material filled in the groove of the base, a main magnetic pole core having a thin film of high saturation magnetic flux density and high permeability on the surface of the soft magnetic material, and a soft magnetic material on the inner wall of the groove of the other non-magnetic protective base. A main magnetic pole and an auxiliary magnetic pole are formed in the facing surfaces of the pair of non-magnetic protective bases by joining and integrating the main magnetic pole core and the auxiliary magnetic pole core. A magnetic head characterized in that only magnetic poles are exposed to a surface facing a recording medium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61154015A JP2555031B2 (en) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61154015A JP2555031B2 (en) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | Magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310306A JPS6310306A (en) | 1988-01-16 |
| JP2555031B2 true JP2555031B2 (en) | 1996-11-20 |
Family
ID=15575043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61154015A Expired - Fee Related JP2555031B2 (en) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2555031B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58115614A (en) * | 1981-12-28 | 1983-07-09 | Seiko Epson Corp | Magnetic head |
| JPS6015806A (en) * | 1983-07-08 | 1985-01-26 | Hitachi Ltd | Magnetic head and its production |
-
1986
- 1986-07-02 JP JP61154015A patent/JP2555031B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6310306A (en) | 1988-01-16 |
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