JP2550215Y2 - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valveInfo
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- JP2550215Y2 JP2550215Y2 JP11159490U JP11159490U JP2550215Y2 JP 2550215 Y2 JP2550215 Y2 JP 2550215Y2 JP 11159490 U JP11159490 U JP 11159490U JP 11159490 U JP11159490 U JP 11159490U JP 2550215 Y2 JP2550215 Y2 JP 2550215Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、真空室を真空状態にする際に、真空室と真
空ポンプとの間に介装して用いられる真空バルブに関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a vacuum valve used between a vacuum chamber and a vacuum pump when the vacuum chamber is evacuated.
従来、半導体製造等に用いられる真空室を真空に近づ
けるには、第４図に示すように、真空室（01）と真空ポ
ンプ（02）を導管（03）で接続し、真空ポンプ（02）で
吸引していたが、単一の真空バルブ（04）を介している
ため、真空バルブ（04）を開放すると、急激な真空排気
により、真空室（01）および導管（03）内が高排気速度
で乱流となり、パーティクルが舞い上がる。Conventionally, in order to make a vacuum chamber used for semiconductor manufacturing and the like close to a vacuum, as shown in FIG. 4, a vacuum chamber (01) and a vacuum pump (02) are connected by a conduit (03), and a vacuum pump (02) is formed. However, when the vacuum valve (04) is opened, the vacuum chamber (01) and the inside of the conduit (03) are highly evacuated due to rapid evacuation when the vacuum valve (04) is opened. Turbulence occurs at the speed, and the particles soar.
それを防止するために、近年、第５図に示すように、
大口径の真空バルブ（04）をバイパスするように、バイ
パス路（06）を設け、バイパス路（06）に小口径の真空
バルブ（05）を取り付け、両真空バルブを併用し、段階
的に真空引きを行なっている。すなわち、真空室（01）
の真空引きに際して、初め小口径の真空バルブ（05）を
開放し、真空ポンプ（02）で徐々に導管（03）及び真空
室（01）を数トール程度まで排気する。数トールの真空
状態では、パーティクルを舞い上げる程の分子量は存在
せず、その後、大口径の真空バルブ（04）を全開にし、
真空排気を安定して実施できる。In order to prevent this, recently, as shown in FIG.
A bypass passage (06) is provided to bypass the large-diameter vacuum valve (04), and a small-diameter vacuum valve (05) is attached to the bypass passage (06). I'm pulling. That is, the vacuum chamber (01)
At first, the small-diameter vacuum valve (05) is opened, and the conduit (03) and the vacuum chamber (01) are gradually evacuated by the vacuum pump (02) to about several torr. In a vacuum of several torr, there is no molecular weight enough to soar particles, and then the large-diameter vacuum valve (04) is fully opened,
Evacuation can be performed stably.
ところが、小口系の真空バルブ（05）、大口径の真空
バルブ（04）との両方を、コントローラ（07）を用いて
経時的に制御することは、操作・調整が複雑なばかり
か、コスト的にも高価なものになる。さらに手動で操作
すると、誤動作の発生原因ともなる。However, controlling both the small-system vacuum valve (05) and the large-diameter vacuum valve (04) over time using the controller (07) is not only complicated in operation and adjustment, but also cost-effective. Will also be expensive. Further manual operation may cause malfunction.
本考案は、１個の真空バルブのアクチュエータに電磁
弁を開放して圧さくガスを導入するだけで、スロー排気
から大口径排気へと、自動的に切換えるように真空バル
ブを作動させて、従来技術の問題点を解決する。The present invention operates the vacuum valve to automatically switch from slow exhaust to large-diameter exhaust simply by opening the solenoid valve to one vacuum valve actuator and introducing pressurized gas. Solve technical problems.
真空室と真空ポンプとの間に配設される真空バルブに
おいて、主電磁弁の開放により、圧さくガスを徐々にシ
リンダ筐体に導入して、ピストンを上昇させる絞り手段
と、絞り手段によるピストンの移動により、真空室と真
空ポンプとを連通する小口径の副弁装置と、主電磁弁の
開放に連動して始動するタイマー手段と、タイマーによ
る所定時間経過後、圧さくガスをシリンダ筐体内に導入
する副電磁弁と、ピストンの設定上昇位置で開口して、
圧さくガスを大量にシリンダ筐体に導入する開口手段
と、開口手段によるピストンの移動により、真空室と真
空ポンプとを連通する大口径の主弁装置とを備えるよう
にしたことを特徴とする真空バルブ。A vacuum valve disposed between the vacuum chamber and the vacuum pump, a throttle means for gradually introducing a pressurizing gas into the cylinder housing by opening the main solenoid valve to raise the piston, and a piston by the throttle means Moving the vacuum chamber and the vacuum pump, a small-diameter auxiliary valve device, a timer means that starts in conjunction with the opening of the main solenoid valve, and after a predetermined time elapses by the timer, pressurized gas is discharged into the cylinder housing. The auxiliary solenoid valve to be introduced into
An opening means for introducing a large amount of pressurized gas into the cylinder housing, and a large-diameter main valve device for communicating the vacuum chamber and the vacuum pump by movement of the piston by the opening means are provided. Vacuum valve.
主電磁弁を開放して真空バルブのシリンダ筐体に圧さ
くガスの導入を開始すると、圧さくガスは、絞り手段を
介して、ピストンの受圧面に作用し始める。ピストンは
徐々に上昇し初め、この移動時、小口径の副弁装置が開
口する。真空ポンプは作動状態にあり、まず小口径の開
口部を介して、真空室内の空気が徐々に吸引され、所定
時間後パーティクルの舞い上がらない数トール程度の気
圧まで吸引される。When the main solenoid valve is opened and the introduction of the pressurizing gas into the cylinder housing of the vacuum valve is started, the pressurizing gas starts to act on the pressure receiving surface of the piston via the throttle means. The piston begins to rise gradually, and during this movement, the small-diameter auxiliary valve device opens. The vacuum pump is in an operating state. First, air in the vacuum chamber is gradually sucked through a small-diameter opening, and after a predetermined time, is suctioned to a pressure of about several torr, at which particles do not fly.
タイマー手段は主電磁弁と連動しており、所定時間を
セットされたタイマー手段がONとなり、副電磁弁が開放
されると、圧さくガスがシリンダ筐体内に導入される。The timer means is interlocked with the main solenoid valve, and when the timer means for which a predetermined time has been set is turned on and the sub solenoid valve is opened, pressurized gas is introduced into the cylinder housing.
ピストンが定められた上昇位置に達すると、シリンダ
筐体内に大量に圧さくガスを導入する開口手段が開口し
て、ピストンの受圧面に圧さくガスが急激に作用し、ピ
ストンの強力な移動により、真空室と真空ポンプとを連
通している大口径の主弁装置が開き、真空室内の残りの
空気を排気する。When the piston reaches the predetermined ascending position, the opening means for introducing a large amount of pressurized gas into the cylinder housing is opened, and the pressurized gas rapidly acts on the pressure receiving surface of the piston, and due to the strong movement of the piston, The large-diameter main valve device communicating the vacuum chamber and the vacuum pump opens to exhaust the remaining air in the vacuum chamber.
第１図及び第２図は、本考案の第１実施例を示すもの
で、真空バルブは中間プレート（２）を挾んで、上方の
シリンダ筐体（３）と下方の弁筐体（１）とから構成さ
れている。FIGS. 1 and 2 show a first embodiment of the present invention, in which a vacuum valve sandwiches an intermediate plate (2) and an upper cylinder housing (3) and a lower valve housing (1). It is composed of
シリンダ筐体（３）は、アクチュエータとしてのシリ
ンダであり、シールパッキン（４）で密封されたピスト
ン（５）を内装している。The cylinder housing (3) is a cylinder as an actuator, and houses a piston (5) sealed with a seal packing (4).
シリンダ筐体（３）の上部には、大気連通孔（６）が
穿設され、ピストン（５）の上部を大気圧に保つととも
に、ピストン（５）は第１付勢バネ（７）で下方に付勢
されている。An air communication hole (6) is formed in the upper part of the cylinder housing (3) to keep the upper part of the piston (5) at atmospheric pressure, and the piston (5) is lowered by a first urging spring (7). Has been energized.
ピストン（５）の下部は、圧さくガスが導入される圧
力室（８）であり、ピストン（５）は、圧力室（８）に
面する受圧段部（９）と、その中心下方向に設けられる
第１胴部（10）、第１テーパ段部（11）、第２胴部（1
2）、そして第２テーパ段部（13）からなっている。The lower part of the piston (5) is a pressure chamber (8) into which pressurized gas is introduced, and the piston (5) has a pressure receiving step (9) facing the pressure chamber (8) and a downward center thereof. The first body (10), the first tapered step (11), and the second body (1
2) and a second tapered step (13).
また、ピストン（５）の中心を下方から上方に貫通す
るように、雄ネジ部を有するステム（14）が延び、上方
のナット（15）でピストンに締着されている。A stem (14) having a male thread extends so as to penetrate the center of the piston (5) from below to above, and is fastened to the piston with an upper nut (15).
中間プレート（２）には、ステム（14）と同心の圧溜
室（16）が形成され、ピストン（５）の第１胴部（10）
の径よりも大きい開口（17）を介して、上部の圧力室と
連通可能になっている。In the intermediate plate (2), a pressure chamber (16) concentric with the stem (14) is formed, and the first body (10) of the piston (5) is formed.
It can communicate with the upper pressure chamber through an opening (17) larger than the diameter of the pressure chamber.
圧溜室（16）は、図示しない圧さくガス供給装置と主
電磁弁（18）を介して連通する圧力導入孔（19）に連通
するとともに、副電磁弁（20）を介して圧力室（８）と
連通するバイパス孔（21）に連通している。The pressure reservoir (16) communicates with a pressure introducing hole (19) that communicates via a main electromagnetic valve (18) with a pressurizing gas supply device (not shown), and a pressure chamber (20) through an auxiliary electromagnetic valve (20). It communicates with the bypass hole (21) communicating with 8).
副電磁弁（20）は、その制御部にタイマー（47）が接
続され、タイマー（47）は信号線（49）によって主電磁
弁（18）の制御部に連絡されている。A timer (47) is connected to the control unit of the sub solenoid valve (20), and the timer (47) is connected to the control unit of the main solenoid valve (18) by a signal line (49).
さらに、圧溜室（16）内に位置するピストン（５）の
第１テーパ部（11）には、上部の弁座（25）に対応する
環状シール材（22）と、第２胴部（12）に当接するリッ
プ状の逆止パッキン（23）を備え、かつ絞り手段をなす
シール支持台（24）が、圧溜室（16）の内周面と間隙を
残して移動可能に、下方から第３付勢バネ（26）で押圧
されている。シール支持台（24）と第１テーパ段部（1
1）との当接面には、切欠溝が形成されており、当接面
での流体の流れが自由になっている。Further, the first tapered portion (11) of the piston (5) located in the compression chamber (16) has an annular sealing material (22) corresponding to the upper valve seat (25) and a second body ( A seal support (24) having a lip-shaped non-return packing (23) abutting against the 12) and serving as a throttling means is provided so as to be movable while leaving a gap with the inner peripheral surface of the compression chamber (16). From the third urging spring (26). Seal support (24) and first tapered step (1
A cutout groove is formed in the contact surface with 1), and the flow of fluid on the contact surface is free.
弁筐体（１）内に延びるステム（14）の先端は、副弁
装置を形成する副弁体（27）になっており、ステム（1
4）の上方部は副弁体（27）の上部の台座（28）と上方
に延びるベローズ（29）で密封され、ベローズ（29）内
は、大気連通孔（30）で大気圧に保持されている。The distal end of the stem (14) extending into the valve housing (1) is a sub-valve element (27) forming a sub-valve device.
The upper part of 4) is sealed with a pedestal (28) on the upper part of the sub-valve (27) and a bellows (29) extending upward, and the inside of the bellows (29) is held at atmospheric pressure by an atmosphere communication hole (30). ing.
副弁体（27）には、環状シール（31）が形成され、主
弁体（32）に穿設される小口径の副弁座（33）をシール
している。An annular seal (31) is formed in the sub-valve (27) to seal a small-diameter sub-valve seat (33) drilled in the main valve (32).
また、主弁体（32）の側面には、複数の水平ポート
（34）が穿設されている。主弁体（32）の上部の凹部
（35）には、下方に突片（36）を有する台座（28）が挿
入され、凹部（35）の上部にストッパー片（37）が取り
付けられることによって、主弁体（32）と副弁体（27）
とを、内部の第２付勢バネ（38）の押圧力に抗して相対
移動可能にしている。In addition, a plurality of horizontal ports (34) are formed in the side surface of the main valve body (32). A pedestal (28) having a protruding piece (36) is inserted into the concave part (35) at the upper part of the main valve body (32), and a stopper piece (37) is attached to the upper part of the concave part (35). , Main valve body (32) and auxiliary valve body (27)
And are relatively movable against the pressing force of the internal second biasing spring (38).
主弁体（32）と共働する主弁座（39）の下方部の第１
ポート（41）は、真空ポンプ（40）と連通し、主弁座
（39）の上方に位置する第２ポート（42）は、真空室
（43）と連通している。The first lower part of the main valve seat (39) cooperating with the main valve body (32)
The port (41) communicates with the vacuum pump (40), and the second port (42) located above the main valve seat (39) communicates with the vacuum chamber (43).
本実施例では、主電磁弁（18）から圧さくガスを供給
しない時、一番強力な第１付勢バネ（７）によってピス
トン（５）は押し下げられ、各部は第１図に示す位置を
維持する。この時、中間プレート（２）内の弁座（25）
と環状シール材（22）との距離（h1）を約1m/mとし、弁
筐体（１）の台座（28）の突片（36）とストッパー片
（37）との距離（h2）を約2m/mとして、位置調整してい
る。In this embodiment, when the pressurizing gas is not supplied from the main solenoid valve (18), the piston (5) is pushed down by the strongest first biasing spring (7), and each part moves to the position shown in FIG. maintain. At this time, the valve seat (25) in the intermediate plate (2)
The distance (h 1 ) between the ring and the annular sealing material (22) is about 1 m / m, and the distance (h 2 ) between the projection (36) of the pedestal (28) of the valve housing (1) and the stopper (37). ) Is adjusted to about 2m / m.
主電磁弁（18）を切換えて、圧さくガスを圧力導入孔
に導入すると、第２図（イ）に示されるように、ガスは
中間プレート（２）と逆止めパッキン（23）との間の間
隙、および開口（17）を通り圧力室（８）へと流れる。When the main solenoid valve (18) is switched to introduce the pressurized gas into the pressure introducing hole, the gas is transferred between the intermediate plate (2) and the non-return packing (23) as shown in FIG. Through the gap and the opening (17) to the pressure chamber (8).
ピストン（５）は、圧力が徐々に上昇し、環状シール
材（22）が弁座（25）に当接すると、第２図（ロ）のよ
うに、圧力室（８）への圧さくガス供給が止まる。When the pressure of the piston (5) gradually increases and the annular sealing material (22) comes into contact with the valve seat (25), the pressure gas (8) is supplied to the pressure chamber (8) as shown in FIG. Supply stops.
主電磁弁（18）の開放に伴って、主電磁弁（18）から
信号線（49）を伝ってタイマー（47）に信号が流れ、そ
の信号を受けてタイマー（47）が始動する。With the opening of the main solenoid valve (18), a signal flows from the main solenoid valve (18) to the timer (47) via the signal line (49), and the timer (47) starts upon receiving the signal.
タイマー（47）に予めセットされた時間が経過する
と、タイマー（47）から副電磁弁（20）に信号が流れ、
副電磁弁（20）が開放されるので、バイパス孔（21）を
通過して圧力室（８）へ圧さくガスが供給される。When the time set in the timer (47) elapses, a signal flows from the timer (47) to the auxiliary solenoid valve (20),
Since the sub solenoid valve (20) is opened, the compressed gas is supplied to the pressure chamber (8) through the bypass hole (21).
さらにピストン（５）が上昇して、第２図（ハ）の位
置にくると、逆止パッキン（23）が第２胴部（12）から
離れ、第２テーパ段部（13）と逆止パッキン（23）の間
から、圧溜室（16）内の圧さくガスを大量に圧力室
（８）に流す。When the piston (5) further rises and reaches the position shown in FIG. 2 (c), the check packing (23) separates from the second body (12) and checks with the second taper step (13). From the space between the packings (23), a large amount of compressed gas in the pressure chamber (16) flows into the pressure chamber (8).
第２図（イ）の位置から第２図（ロ）の位置まで、
（h1）＝約1m/m上昇する間は、弁筐体内の台座（28）の
突片（36）とストッパー片（37）との距離（h1）＝約2m
/mあるので、副弁体（27）のみが上昇し、副弁座（33）
と副弁体（27）の環状シール材（31）とが離間し、真空
室（42）および弁筐体（１）内の空気は、少量ずつ水平
ポート（34）、副弁を介して真空ポンプ（40）に吸引さ
れていく。From the position in FIG. 2 (A) to the position in FIG. 2 (B),
(H 1 ) = About 1 m / m while the ascending piece (36) of the pedestal (28) and the stopper piece (37) in the valve housing (h 1 ) = about 2 m
/ m, so only the secondary valve body (27) rises and the secondary valve seat (33)
And the annular sealing material (31) of the sub-valve (27) are separated from each other, and the air in the vacuum chamber (42) and the valve housing (1) is gradually reduced by a small amount through the horizontal port (34) and the sub-valve. It is sucked by the pump (40).
第２図（ロ）の位置から第２図（ハ）の位置に到達す
る時間は、真空室の大きさや真空ポンプの容量に応じて
タイマー（47）で予めセットされており、副弁のみで真
空室（42）の空気圧を数トールまで下げる。The time required to reach the position shown in FIG. 2 (c) from the position shown in FIG. 2 (b) is preset by a timer (47) in accordance with the size of the vacuum chamber and the capacity of the vacuum pump. Reduce the air pressure in the vacuum chamber (42) to a few torr.
第２図（ハ）の位置に到達すると、圧さくガスは逆止
パッキン（23）とピストン（５）の間を通り、急速に圧
力室（８）へと流れ、主弁体（32）が開口し、残りの空
気を急速に排気する。When reaching the position shown in FIG. 2 (c), the pressurized gas passes between the check packing (23) and the piston (5), rapidly flows into the pressure chamber (8), and the main valve body (32) is moved. Open and quickly exhaust remaining air.
その後、主電磁弁（18）を切換えて圧さくガスを排出
すると、圧さくガスは、逆止パッキン（23）を押し開く
ように、圧力室（８）から排気される。Thereafter, when the main solenoid valve (18) is switched to discharge the pressurizing gas, the pressurizing gas is exhausted from the pressure chamber (8) so as to push and open the check packing (23).
第３図は、本考案の第２実施例を示すもので、タイマ
ー（47）を始動させる機構が相違するのみで、他は前記
実施例と同じである。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention, which is the same as the previous embodiment except for the mechanism for starting the timer (47).
バイパス孔（21）から分岐しているバイパスライン
（48）は、タイマー（47）に連絡されるとともに、タイ
マー（47）内には、圧力センサー（図示せず）が内蔵さ
れており、所定の圧力を検知するとタイマーが始動する
ようになっている。A bypass line (48) branched from the bypass hole (21) is connected to a timer (47), and a pressure sensor (not shown) is built in the timer (47). When the pressure is detected, a timer is started.
そのため、主電磁弁（18）を開放すると、圧さくガス
が圧溜室（16）からバイパス孔（21）を通り、バイパス
ライン（48）へと流れるので、主電磁弁（18）の開放
時、タイマー（47）が正確に動き出す。Therefore, when the main solenoid valve (18) is opened, the compressed gas flows from the pressure storage chamber (16) through the bypass hole (21) to the bypass line (48). , The timer (47) starts to move accurately.
なお、実施例では、副電磁弁（20）を真空バルブ外に
設けているが、真空バルブに埋め込んでもよい。In the embodiment, the auxiliary solenoid valve (20) is provided outside the vacuum valve, but may be embedded in the vacuum valve.
本実施例１、２のものは、いずれも副弁体（27）と主
弁体（32）とが第２付勢バネ（38）で上下方向に付勢さ
れ、突片（36）がストッパー片（37）に当接した状態
で、主弁は開弁しており、排気終了後、ピストン（５）
が急激に下方に降下しても、主弁体（32）、主弁座（3
9）およびステム（14）に破損を生じることはない。In each of the first and second embodiments, the auxiliary valve element (27) and the main valve element (32) are vertically urged by the second urging spring (38), and the protruding piece (36) is a stopper. The main valve is open with the piece (37) in contact with it.
The main valve body (32) and main valve seat (3
No damage to 9) and stem (14).
本考案は、次の効果を奏する。 The present invention has the following effects.
（イ）小口径の副弁装置と、大口径の主弁装置の２段階
による真空バルブの開放によって、大気圧から一気に排
気されることがなく、乱流によるパーティクルの舞い上
がりを防止できる。(A) By opening the vacuum valve in two stages, a small-diameter sub-valve device and a large-diameter main valve device, it is possible to prevent particles from rising due to turbulence without being exhausted at once from the atmospheric pressure.
（ロ）真空ポンプの容量、真空室の容積、また求められ
る真空度合等に応じて、絞り弁を適宜調整して乱流によ
るパーティクルの舞い上がりを防止できる。(B) According to the capacity of the vacuum pump, the capacity of the vacuum chamber, the required degree of vacuum, and the like, the throttle valve can be appropriately adjusted to prevent particles from rising due to turbulence.
（ハ）１個の真空バルブのアクチュエータに圧さく空気
を導入するだけで、２段階の排気が出来、部品点数を減
少できるばかりか、操作を単純なものにできる。(C) By introducing compressed air to the actuator of one vacuum valve, exhaust can be performed in two stages, and the number of parts can be reduced, and the operation can be simplified.
第１図は、本考案の第１実施例の断面図、 第２図は、第１図の一部拡大作動説明図、 第３図は、本考案の第２実施例の断面図、 第４図および第５図は、ともに従来技術を示す概略図で
ある。 （１）弁筐体体、（２）中間プレート （３）シリンダ筐体、（４）シールパッキン （５）ピストン、（６）大気連通孔 （７）第１付勢バネ、（８）圧力室 （９）受圧段部、（10）第１胴部 （11）第１テーパ段部、（12）第２胴部 （13）第２テーパ段部、（14）ステム （15）ナット、（16）圧溜室 （17）開口、（18）主電磁弁 （19）圧力導入孔、（20）副電磁弁 （21）バイパス孔、（22）環状シール材 （23）逆止パッキン、（24）シール支持台 （25）弁座、（26）第３付勢バネ （27）副弁体、（28）台座 （29）ベローズ、（30）大気連通孔 （31）環状シール材、（32）主弁体 （33）副弁座、（34）水平ポート （35）凹部、（36）突片 （37）ストッパー片、（38）第２付勢バネ （39）主弁座、（40）真空ポンプ （41）第１ポート、（24）第２ポート （43）真空室、（44）テーパ段部 （45）胴部、（46）環状切欠部 （47）タイマー、（48）バイパスライン （49）信号線FIG. 1 is a sectional view of a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged explanatory view of FIG. 1, FIG. 3 is a sectional view of a second embodiment of the present invention, FIG. FIG. 5 and FIG. 5 are schematic diagrams showing the prior art. (1) valve housing, (2) intermediate plate (3) cylinder housing, (4) seal packing (5) piston, (6) atmosphere communication hole (7) first biasing spring, (8) pressure chamber (9) Pressure receiving step, (10) First body (11) First taper step, (12) Second body (13) Second taper step, (14) Stem (15) Nut, (16) ) Compression chamber (17) Opening, (18) Main solenoid valve (19) Pressure introduction hole, (20) Sub solenoid valve (21) Bypass hole, (22) Annular sealing material (23) Non-return packing, (24) Seal support (25) Valve seat, (26) Third biasing spring (27) Sub-valve, (28) Pedestal (29) Bellows, (30) Atmospheric communication hole (31) Annular sealing material, (32) Main Valve body (33) Secondary valve seat, (34) Horizontal port (35) Recess, (36) Projection piece (37) Stopper piece, (38) Second biasing spring (39) Main valve seat, (40) Vacuum pump (41) 1st port, (24) 2nd port (43) Check, (44) a tapered step portion (45) torso (46) annular notch (47) a timer, (48) a bypass line (49) signal lines
Claims (3)
空バルブにおいて、 主電磁弁の開放により、圧さくガスを徐々にシリンダ筐
体に導入して、ピストンを上昇させる絞り手段と、 絞り手段によるピストンの移動により、真空室と真空ポ
ンプとを連通する小口径の副弁装置と、 主電磁弁の開放に連動して始動するタイマー手段と、 タイマーによる所定時間経過後、圧さくガスをシリンダ
筐体内に導入する副電磁弁と、 ピストンの設定上昇位置で開口して、圧さくガスを大量
にシリンダ筐体に導入する開口手段と、 開口手段によるピストンの移動により、真空室と真空ポ
ンプとを連通する大口径の主弁装置 とを備えるようにしたことを特徴とする真空バルブ。1. A vacuum valve disposed between a vacuum chamber and a vacuum pump, comprising a throttle means for gradually introducing a pressurizing gas into a cylinder housing by opening a main solenoid valve to raise a piston. A small-diameter auxiliary valve device for communicating the vacuum chamber with the vacuum pump by movement of the piston by the throttle means, timer means for starting in conjunction with opening of the main solenoid valve, A sub solenoid valve for introducing gas into the cylinder housing; opening means for opening the piston at the set ascending position to introduce a large amount of pressurized gas into the cylinder housing; and movement of the piston by the opening means to move the vacuum chamber to the vacuum chamber. A large-diameter main valve device that communicates with a vacuum pump.
させるようにした請求項（１）記載の真空バルブ。2. The vacuum valve according to claim 1, wherein the timer means is operated by an open signal of the main solenoid valve.
を検知してタイマー手段を作動させるようにした請求項
（１）記載の真空バルブ。3. The vacuum valve according to claim 1, wherein the timer means is operated by detecting the pressure of the compressed gas supplied from the main solenoid valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11159490U JP2550215Y2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11159490U JP2550215Y2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Vacuum valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0468274U JPH0468274U (en) | 1992-06-17 |
| JP2550215Y2 true JP2550215Y2 (en) | 1997-10-08 |
Family
ID=31859061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11159490U Expired - Lifetime JP2550215Y2 (en) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | Vacuum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2550215Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1026001B1 (en) * | 2018-02-09 | 2019-09-09 | Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap | Discharger for a compressor and maintenance thereof and compressor equipped with a discharger |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP11159490U patent/JP2550215Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0468274U (en) | 1992-06-17 |
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