JP2533708Y2 - Processing tube opening and closing device - Google Patents
Processing tube opening and closing deviceInfo
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- JP2533708Y2 JP2533708Y2 JP1987181406U JP18140687U JP2533708Y2 JP 2533708 Y2 JP2533708 Y2 JP 2533708Y2 JP 1987181406 U JP1987181406 U JP 1987181406U JP 18140687 U JP18140687 U JP 18140687U JP 2533708 Y2 JP2533708 Y2 JP 2533708Y2
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- processing tube
- cap
- opening
- arm
- wafer boat
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、処理チューブの開閉状態を改善した処理
チューブの開閉装置に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The invention relates to a processing tube opening and closing device in which the processing tube opening and closing state is improved.
従来、処理チューブの開口部には、それを開閉するた
めのキャップが設けられている。このキャップは、平板
状を成しており、その中心の一点で支えられるととも
に、処理チューブの開口部方向に押し付けられることに
より、処理チューブの開口部を閉じるものである。Conventionally, an opening of a processing tube is provided with a cap for opening and closing the processing tube. The cap has a flat plate shape, is supported at a central point thereof, and is pressed toward the opening of the processing tube to close the opening of the processing tube.
このような処理チューブの開閉装置では、処理チュー
ブの開口部とキャップとを密着させて処理チューブの開
口部を閉じるためには、両者を確実に平行状態に維持す
ることが必要であるが、処理チューブの開口部とキャッ
プとが平行していない場合、石英で形成されたキャップ
を破損したり、あるいは、処理チューブなどの交換時の
調整に時間を要するなどの不都合がある。In such a processing tube opening and closing device, in order to close the opening of the processing tube by bringing the opening of the processing tube into close contact with the cap, it is necessary to surely maintain both of them in a parallel state. If the opening of the tube and the cap are not parallel, there are inconveniences such as damage to the cap formed of quartz, and time required for adjustment when replacing the processing tube and the like.
そこで、この考案は、処理チューブの開口部に対して
キャップの平行度を補償し、処理チューブの開口部に対
応してキャップを密着させるようにしたものである。Therefore, in the present invention, the parallelism of the cap with respect to the opening of the processing tube is compensated, and the cap is brought into close contact with the opening of the processing tube.
この考案の処理チューブの開閉装置は、第１図に例示
するように、熱処理を施す処理チューブ２を開閉するキ
ャップ８と、熱処理すべきウエハを載せるウエハボート
を前記処理チューブに対して搬入又は搬出するウエハボ
ート搬送装置４と、このウエハボート搬送装置に設けら
れ、前記キャップに設け貫通孔（貫通窓10）を通して前
記処理チューブ内に挿入されて前記ウエハボートの搬出
入に用いられる搬出入アーム６と、前記キャップに取り
付けられた第１のアームバー（アームバー16A）と、こ
の第１のアームバーに対応して前記ウエハボート搬送装
置に取り付けられた第２のアームバー（アームバー16
B）と、螺旋状の切込み24によって可撓性を持ち、前記
第１及び第２のアームバーを連結する連結部材（連結リ
ング20）と、この連結部材とウエハボート搬送装置との
間の前記第２のアームバーに装着されたスプリング26と
を備えたものである。As shown in FIG. 1, the processing tube opening / closing apparatus of the present invention includes a cap 8 for opening and closing the processing tube 2 to be subjected to heat treatment, and a wafer boat on which a wafer to be subjected to heat treatment is loaded or unloaded from the processing tube. And a loading / unloading arm 6 provided in the wafer boat transport device and inserted into the processing tube through a through hole (through window 10) provided in the cap and used for loading / unloading of the wafer boat. A first arm bar (arm bar 16A) attached to the cap; and a second arm bar (arm bar 16A) attached to the wafer boat transfer device corresponding to the first arm bar.
B), a connecting member (connecting ring 20) having flexibility by a spiral cut 24 and connecting the first and second arm bars, and the second member between the connecting member and the wafer boat transfer device. And a spring 26 mounted on the second arm bar.
キャップ８は、操作アーム16により処理チューブ２の
開口部に向かって平行移動し、処理チューブ２の開口部
を閉じる。The cap 8 is moved in parallel toward the opening of the processing tube 2 by the operation arm 16 and closes the opening of the processing tube 2.
そして、キャップ８と処理チューブ２の開口部との間
が平行状態にない場合、処理チューブ２の開口部に対し
てキャップ８は、特定の角度を以て傾いて接触するが、
その場合、螺旋状の切込み24を持った連結部材（連結リ
ング20）によって操作アーム16に可撓性が付与されてい
るため、キャップ８と処理チューブ２との不平行度に応
じて撓み、その撓みによってキャップ８が処理チューブ
２の開口部に対応して平行状態となることにより、処理
チューブ２とキャップ８との平行度が補償され、処理チ
ューブ２の開口部にキャップ８が密着することになる。When the gap between the cap 8 and the opening of the processing tube 2 is not in a parallel state, the cap 8 comes into contact with the opening of the processing tube 2 while being inclined at a specific angle.
In this case, since the operating arm 16 is provided with flexibility by the connecting member (the connecting ring 20) having the spiral cut 24, the operating arm 16 bends in accordance with the degree of non-parallelism between the cap 8 and the processing tube 2. Since the cap 8 is brought into a parallel state corresponding to the opening of the processing tube 2 due to the bending, the parallelism between the processing tube 2 and the cap 8 is compensated, and the cap 8 comes into close contact with the opening of the processing tube 2. Become.
そして、この考案の処理チューブの開閉装置におい
て、連結部材の後部に弾性部材（コイルスプリング26）
を設置し、前記キャップを加圧するようにすれば、処理
チューブ２とキャップ８とを必要な圧力で密着させるこ
とができる。In the processing tube opening and closing device of the present invention, an elastic member (coil spring 26) is provided at the rear of the connecting member.
If the cap is pressurized and the cap is pressurized, the processing tube 2 and the cap 8 can be brought into close contact with a required pressure.
第１図は、この考案の処理チューブの開閉装置の実施
例を示す。FIG. 1 shows an embodiment of the processing tube opening and closing device of the present invention.
処理チューブ２は、ウェハボートに載せられて収容さ
れる半導体ウェハに対し、所要の処理を行うものであ
る。The processing tube 2 performs a required process on the semiconductor wafer placed and accommodated on the wafer boat.
この処理チューブ２に対する半導体ウェハの搬出入
は、ウェハボート搬送装置４によって行われ、６はウェ
ハボートを搬出入させるための搬出入アームである。The loading / unloading of semiconductor wafers into / from the processing tube 2 is performed by a wafer boat transfer device 4, and a loading / unloading arm 6 for loading / unloading a wafer boat.
処理チューブ２の開口部の開閉は、キャップ８を以て
行われ、搬出入アーム６はキャップ８の貫通窓10を貫
き、キャップ８は、ウェハボート搬送装置４に操作可能
に取り付けられている。すなわち、ウェハボート搬送装
置４の上に直立させた支柱12にベアリング14を介して回
転および摺動可能に支持させた操作アーム16の先端部に
処理チューブ２の開口径より大きい、たとえば、処理チ
ューブ２と同様に石英などの耐熱性材料で形成された円
形の平板状のキャップ８が取り付けられている。The opening and closing of the opening of the processing tube 2 is performed with a cap 8, the carry-in / out arm 6 penetrates through the through window 10 of the cap 8, and the cap 8 is operably attached to the wafer boat transfer device 4. That is, the distal end of an operation arm 16 rotatably and slidably supported by a support 12 erected on a wafer boat transfer device 4 via a bearing 14 is larger than the opening diameter of the processing tube 2, for example, a processing tube. A circular flat cap 8 made of a heat-resistant material such as quartz is attached similarly to 2.
操作アーム16は、第１及び第２のアームバー16A、16B
が両者間に間隙18を設けて設置され、各アームバー16
A、16Bを可撓性を持つ連結部材としての連結リング20を
以て結合し、可撓性を持たせたものである。連結リング
20は、第２図に示すように、中央に操作アーム16を通す
孔22を持ち、螺旋状（ヘリカル）の切込み24を形成した
可撓性を持つコイルスプリング状のものである。各アー
ムバー16A、16Bの間に設けられた間隙18は、矢印ａ、ｂ
で示すように、操作アーム16の連結リング20による自由
な折り曲げを可能にするためである。The operation arm 16 includes first and second arm bars 16A and 16B.
Are installed with a gap 18 between them, and each arm bar 16
A and 16B are connected with a connecting ring 20 as a connecting member having flexibility, thereby providing flexibility. Connecting ring
As shown in FIG. 2, reference numeral 20 denotes a flexible coil spring having a hole 22 for passing the operation arm 16 at the center and having a spiral (helical) cut 24 formed therein. The gap 18 provided between each arm bar 16A, 16B is indicated by arrows a, b
This is because the operation arm 16 can be freely bent by the connecting ring 20 as shown by.
また、連結リング20の前端部にはキャップ８が固着さ
れ、連結リング20の後方部と支柱12との間には、弾性部
材としてコイルスプリング26が装着されている。A cap 8 is fixed to the front end of the connection ring 20, and a coil spring 26 is mounted as an elastic member between the rear portion of the connection ring 20 and the column 12.
以上のように構成したので、ウェハボート搬送装置４
を停止させて置き、操作アーム16を第２図の矢印X1の方
向に移動させると、キャップ８は、処理チューブ２の開
口部に向かって移動する。その場合、第３図の（Ａ）に
示すように、キャップ８と処理チューブ２の開口部とが
平行状態に無い場合、第３図の（Ｂ）に一点鎖線で示す
ように、キャップ８の一部が処理チューブ２の開口部の
縁に当たって停止する。この状態から、操作アーム16を
矢印X1で示す方向に押すと、操作アーム16が連結リング
20の可撓性によって撓み、第３図の（Ｂ）に実線で示す
ように、キャップ８が処理チューブ２の開口部に密着す
る。With the above configuration, the wafer boat transfer device 4
Was placed is stopped, moving the operating arm 16 in the direction of arrow X 1 in FIG. 2, the cap 8 is moved toward the opening of the process tube 2. In this case, as shown in FIG. 3A, when the cap 8 and the opening of the processing tube 2 are not in a parallel state, as shown by a dashed line in FIG. A part thereof hits the edge of the opening of the processing tube 2 and stops. From this state, by pressing in the direction indicated the operating arm 16 by the arrow X 1, the operation arm 16 coupling ring
As shown by the solid line in FIG. 3 (B), the cap 8 comes into close contact with the opening of the processing tube 2 as shown by the solid line in FIG.
次に、操作アーム16を支持しているウェハボート搬送
装置４を矢印X2で示す方向に移動すると、操作アーム16
に装着されているコイルスプリング26が圧縮されて、そ
の圧縮力によって連結リング20およびアームバー16Aを
通してキャップ８が処理チューブ２側に付勢され、処理
チューブ２の開口部に対するキャップ８の密着性が高め
られる。Next, when moved in the direction indicated the wafer boat conveyor 4 supporting the operating arm 16 by an arrow X 2, the operating arm 16
Is compressed, the cap 8 is urged toward the processing tube 2 through the connecting ring 20 and the arm bar 16A by the compression force, and the tightness of the cap 8 to the opening of the processing tube 2 is increased. Can be
そして、キャップ８を開く場合には、ウェハボート搬
送装置４を矢印X2とは反対方向に移動させた後、操作ア
ーム16を矢印X1とは反対方向に移動させる。When opening the cap 8, after moving the wafer boat transporting device 4 in the direction opposite to the arrow X 2, moves the operating arm 16 in a direction opposite to the arrow X 1.
以上説明したように、この考案によれば、キャップを
操作する操作アームに可撓性を持たせ、ウエハボート搬
送装置の操作によって弾力的に処理チューブを開閉させ
ることができ、しかも、処理チューブの開口部とキャッ
プとが平行状態にない場合にも、処理チューブに対して
キャップを確実に密着させることができ、処理チューブ
とキャップとの密着性が改善できるとともに、キャップ
の破損を防止でき、さらに、処理チューブなどの開閉構
成部分についての調整を容易化できる。As described above, according to the present invention, the operating arm for operating the cap has flexibility, and the processing tube can be opened and closed elastically by operating the wafer boat transfer device. Even when the opening and the cap are not in a parallel state, the cap can be securely brought into close contact with the processing tube, and the adhesion between the processing tube and the cap can be improved, and the cap can be prevented from being damaged. The adjustment of the opening and closing components such as the processing tube can be facilitated.
第１図および第２図はこの考案の処理チューブの開閉装
置の実施例を示す図、第３図は第１図および第２図に示
した処理チューブの開閉装置の開閉動作を示す図であ
る。 ２……処理チューブ ４……ウエハボート搬送装置 ６……搬出入アーム ８……キャップ 10……貫通窓（貫通孔） 16……操作アーム 16A……第１のアームバー 16B……第２のアームバー 20……連結リング（連結部材） 24……切込み 26……コイルスプリング1 and 2 show an embodiment of the processing tube opening and closing device of the present invention, and FIG. 3 shows an opening and closing operation of the processing tube opening and closing device shown in FIGS. 1 and 2. . 2 Processing tube 4 Wafer boat transfer device 6 Loading / unloading arm 8 Cap 10 Through window (through hole) 16 Operation arm 16A First arm bar 16B Second arm bar 20 ... Connecting ring (connecting member) 24 ... Cut 26 ... Coil spring
Claims (1)
ップと、 熱処理すべきウエハを載せるウエハボートを前記処理チ
ューブに対して搬入又は搬出するウエハボート搬送装置
と、 このウエハボート搬送装置に設けられ、前記キャップに
設けた貫通孔を通して前記処理チューブ内に挿入されて
前記ウエハボートの搬出入に用いられる搬出入アーム
と、 前記キャップに取り付けられた第１のアームバーと、 この第１のアームバーに対応して前記ウエハボート搬送
装置に取り付けられた第２のアームバーと、 螺旋状の切込みによって可撓性を持ち、前記第１及び第
２のアームバーを連結する連結部材と、 この連結部材とウエハボート搬送装置との間の前記第２
のアームバーに装着されたスプリングと、 を備えたことを特徴とする処理チューブの開閉装置。1. A cap for opening and closing a processing tube for performing heat treatment, a wafer boat transfer device for loading or unloading a wafer boat on which a wafer to be heat-treated is loaded from or to the processing tube, and provided in the wafer boat transfer device. A loading / unloading arm inserted into the processing tube through the through hole provided in the cap and used for loading / unloading of the wafer boat; a first arm bar attached to the cap; A second arm bar attached to the wafer boat transfer device, a connecting member having flexibility by a spiral cut, and connecting the first and second arm bars; and a connecting member and the wafer boat transfer device. The second between
And a spring mounted on the arm bar.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181406U JP2533708Y2 (en) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | Processing tube opening and closing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181406U JP2533708Y2 (en) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | Processing tube opening and closing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0186231U JPH0186231U (en) | 1989-06-07 |
| JP2533708Y2 true JP2533708Y2 (en) | 1997-04-23 |
Family
ID=31472890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987181406U Expired - Lifetime JP2533708Y2 (en) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | Processing tube opening and closing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533708Y2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4911137U (en) * | 1972-05-09 | 1974-01-30 | ||
| JPS54141257U (en) * | 1978-03-27 | 1979-10-01 | ||
| JPS5917970B2 (en) * | 1978-07-28 | 1984-04-24 | 三菱電機株式会社 | heat treatment equipment |
-
1987
- 1987-11-28 JP JP1987181406U patent/JP2533708Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0186231U (en) | 1989-06-07 |
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