JP2528657B2 - Self-propelled linear motor - Google Patents

Self-propelled linear motor

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JP2528657B2
JP2528657B2 JP62140248A JP14024887A JP2528657B2 JP 2528657 B2 JP2528657 B2 JP 2528657B2 JP 62140248 A JP62140248 A JP 62140248A JP 14024887 A JP14024887 A JP 14024887A JP 2528657 B2 JP2528657 B2 JP 2528657B2
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実 黒澤
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/023Inchworm motors

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、リニアレールに沿って移動して搬送物を移
送するものであって、NC工作機器の工具,工作物等の位
置決め、顕微鏡の標本類の微送り、工学系反射鏡の微角
度調整等に適用される自走式リニアモータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial field of application> The present invention is to move a linear object by moving along a linear rail, and is used for positioning tools such as NC machine tools, workpieces, and microscopes. The present invention relates to a self-propelled linear motor applied to fine feed of specimens, fine angle adjustment of an engineering mirror, and the like.

〈従来技術〉 搬送物を移動して、精密な位置調整に供し得るように
するには、微小な歩進量を可能とする駆動体が必要とな
る。
<Prior Art> In order to move a conveyed object so that it can be used for precise position adjustment, a driving body that enables a minute step amount is required.

そこで、これに対応し得るものとして、特願昭54-832
2で開示されているように、直進用の圧電積層体と、ク
ランプ用の積層体を備えたリニアステップモータが提案
された。
Then, as a thing which can respond to this, Japanese Patent Application No. 54-832
As disclosed in 2, a linear step motor having a piezoelectric laminate for straight movement and a laminate for clamping has been proposed.

〈発明が解決しようとする問題点〉 ところが、かかる構成は、直進通路の対応壁に、前記
クランプ用圧電積層体を接触させて移送するものである
から、直進道路の構造が筒状等の複雑な構成となるとと
もに、対応壁に高い平行度及び平滑度を要することとな
って、加工が困難である。そしてまた、該通路が長くな
ると、誤差の発生を避けることができないから、結局、
長い走行距離を要する場合には不向きとなる等の欠点が
あった。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in such a structure, since the clamp piezoelectric laminate is brought into contact with the corresponding wall of the straight passage and is transferred, the structure of the straight road is complicated such as a cylinder. In addition, the corresponding wall requires high parallelism and smoothness, which makes machining difficult. Also, when the passage becomes long, the occurrence of error cannot be avoided, so in the end,
There is a defect that it is not suitable when a long traveling distance is required.

本発明は、上記の各欠点のない自走式リニアモータの
提供を目的とするものである。
It is an object of the present invention to provide a self-propelled linear motor that does not have the above-mentioned drawbacks.

〈問題点を解決するための手段〉 本発明は、 断面多角状のリニアレールの一側摺動面に、縦方向に
振動する振動体と、その両端方の略最大振巾位置に配設
されて該リニアレールの一側摺動面に圧接する圧電積層
体とを備え、両圧電積層体は、振動体の振動と同期して
積層方向に伸縮作動を生じ、かつ両圧電積層体相互は逆
伸縮タイミングとなる電圧制御を施してなるリニア走行
体を配設するとともに、 リニアレールの他側摺動面に移送体を配設し、 リニア走行体を振動体の略中央部のノード位置で、引
きバネを介して移送体と連結した ことを特徴とするものである。
<Means for Solving Problems> According to the present invention, a vibrating body that vibrates in the longitudinal direction is arranged on one sliding surface of a linear rail having a polygonal cross-section, and the vibrating body is disposed at both ends of the vibrating body at substantially the maximum swing position. And a piezoelectric laminate that is pressed against one sliding surface of the linear rail, both piezoelectric laminates expand and contract in the laminating direction in synchronization with the vibration of the vibrating body, and the two piezoelectric laminates are opposite to each other. A linear traveling body that is subjected to voltage control at expansion and contraction timing is arranged, and a transfer body is arranged on the other sliding surface of the linear rail, and the linear traveling body is arranged at the node position in the substantially central portion of the vibrating body. It is characterized in that it is connected to the transfer body via a pulling spring.

〈作用〉 リニア走行体は、引きバネを介して移送体と連結する
ことにより、リニアレールに保持される。
<Operation> The linear traveling body is held by the linear rail by being connected to the transfer body via a pulling spring.

そして振動体が伸張すると、振動体の中央部はノード
位置となっているから、両端部が外方へ微伸縮する。
Then, when the vibrating body extends, the central portion of the vibrating body is at the node position, so that both ends slightly expand and contract outward.

このとき、例えば左端の圧電積層体が伸張して、リニ
アレールの一側摺動面に圧接するとともに、右端の圧電
積層体が収縮したときに振動体が伸張すると、左端の伸
張側の圧電積層体を介して振動体がリニアレール側に連
結しているから、その圧接部を支点として振動体が伸張
し、右端が延びることとなる。
At this time, for example, when the piezoelectric laminate at the left end extends and comes into pressure contact with one sliding surface of the linear rail, and when the vibrating body expands when the piezoelectric laminate at the right end contracts, the piezoelectric laminate at the left end expands. Since the vibrating body is connected to the linear rail side through the body, the vibrating body extends with the pressure contact portion as a fulcrum, and the right end extends.

次に、該左端の圧電積層体が収縮し、右端の圧電積層
体が伸張してリニアレールの一側摺動面に圧接したとき
に、振動体が収縮すると、右端の伸張側の圧電積層体を
介して振動体がリニアレール側に連結しているから、そ
の圧接部を支点として、振動体が収縮し、左端が引寄せ
られることとなる。
Next, when the piezoelectric laminated body at the left end contracts and the piezoelectric laminated body at the right end expands and comes into pressure contact with one sliding surface of the linear rail, when the vibrating body contracts, the piezoelectric laminated body at the right end expands. Since the vibrating body is connected to the linear rail side via the, the vibrating body contracts with the pressure contact portion as a fulcrum, and the left end is drawn.

従って、この連続により、リニアレールに沿って、リ
ニアモータは走行することとなる。
Therefore, this continuation causes the linear motor to travel along the linear rail.

リニアモータを逆走させる場合には、左右の圧電積層
体の伸縮タイミングを振動体の伸縮タイミングに対応し
て反転させればよい。
When the linear motor is run in the reverse direction, the expansion / contraction timing of the left and right piezoelectric laminates may be reversed corresponding to the expansion / contraction timing of the vibrating body.

〈実施例〉 第1,2図において、1は、断面矩形状のリニアレール
xに組付られた本考案の自走式リニアモータ1であっ
て、前記リニアレールxの対向する摺動面yの下面側に
リニア走行体2を、上面側に搬送物wを支持する移送体
15を配設している。
<Embodiment> In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a self-propelled linear motor 1 of the present invention, which is mounted on a linear rail x having a rectangular cross section. Transporting body that supports the linear traveling body 2 on the lower surface side of the
15 are arranged.

リニア走行体2は、リニアレールxに沿った杆状をし
ており、その構成について説明する。
The linear traveling body 2 has a rod shape along the linear rail x, and its configuration will be described.

第1図について、3は振動体であって、相互に分極方
向を異ならせた二枚の環状圧出素子からなる縦振動素子
4,4の積層体の両側に、ジュラルミン製の金属ブロック5
a,5bを配設し、さらに各部材の中心にボルト7を挿入し
て、その上下端の螺子8a,8bを夫々金属ブロック5a,5bの
内面に周設した螺子に螺合して、振動素子4,4を金属ブ
ロック5a,5bで挟持することにより構成される。
Referring to FIG. 1, reference numeral 3 denotes a vibrating body, which is a longitudinal vibrating element composed of two annular pressure elements whose polarization directions are different from each other.
Duralumin metal blocks 5 on both sides of the 4,4 stack
a, 5b are arranged, and further, the bolt 7 is inserted in the center of each member, and the screws 8a, 8b at the upper and lower ends thereof are respectively screwed into the screws provided around the inner surfaces of the metal blocks 5a, 5b to vibrate. It is configured by sandwiching the elements 4, 4 between metal blocks 5a, 5b.

かかる構成にあって、第5図に示すように、振動素子
4,4の両側に、その端方を縮径したホーン状金属ブロッ
ク6a,6bを配設して、その振動を増幅するようにしても
よい。
In such a structure, as shown in FIG.
Horn-shaped metal blocks 6a, 6b whose ends are reduced in diameter may be arranged on both sides of 4, 4 to amplify the vibration.

前記金属ブロック5a,5b,6a,6bの長さは、その両端部
が、振動素子4,4の中心位置(ノード位置)から1/4波長
となるようにする。
The length of each of the metal blocks 5a, 5b, 6a, 6b is such that both ends of the metal blocks 5a, 5b, 6a, 6b are 1/4 wavelength from the center position (node position) of the vibrating elements 4, 4.

また前記振動体2の両端には、厚み方向に分極された
複数の圧電素子板を積層し、各圧電素子板を電気的並列
に配電してなる圧電積層体10a,10bが、その積層方向を
リニアレールxの摺動面yに直交する方向に一致して固
定されている。
At both ends of the vibrating body 2, a plurality of piezoelectric element plates polarized in the thickness direction are laminated, and piezoelectric laminates 10a and 10b in which the respective piezoelectric element plates are electrically distributed in parallel are arranged in the laminating direction. The linear rails x are fixed in conformity with the direction orthogonal to the sliding surface y.

次に移送体15について説明する。 Next, the transfer body 15 will be described.

前記移送体15は、摺動面y上に載置される前後二個の
車輪16,16と、該車輪16,16を回転可能に連結する側板1
7,17とからなり、リニア走行体2の振動素子4,4のノー
ド位置(中央部)と、前記側板17,17には、バネ掛け片1
1,18が突設され、該バネ掛け片11,18に引バネ19,19が掛
け渡される。そして、かかる引バネ19,19により、リニ
ア走行体2と移送体15とは上下の摺動面y,y側に付勢さ
れることとなり、前記圧電積層体10a,10bは該摺動面y
に圧接する。
The transfer body 15 includes two front and rear wheels 16 and 16 placed on a sliding surface y, and a side plate 1 that rotatably connects the wheels 16 and 16.
7 and 17, the node position (central portion) of the vibration elements 4, 4 of the linear traveling body 2 and the side plates 17, 17 are attached to the spring hook piece 1.
1, 18 are provided in a protruding manner, and extension springs 19, 19 are stretched over the spring hooking pieces 11, 18. Then, the linear traveling body 2 and the transfer body 15 are urged by the pulling springs 19 and 19 toward the upper and lower sliding surfaces y and y, and the piezoelectric laminated bodies 10a and 10b are slid on the sliding surface y.
Press against.

前記構成にあって、自走式リニアモータ1をリニアレ
ールxに沿って、第1図矢線のように右方向に移動する
ためには、第3図に示すように、縦振動素子4,4にE1 si
n ωtの交番電圧を印加したとすると、右端の圧電積層
体10aは0<t<T/2のときf(t)=−1,T/2<t<T
のときf(t)=1となるタイミング波形の矩形パルス
電圧を、左端の圧電積層体10bは−f(t)となるタイ
ミング波形の矩形パルス電圧を夫々印加する。または、
圧電積層体10aにはE2 cos ωt、圧電積層体10bにはE2
sin ωtの電圧を印加してもよい。
In the above configuration, in order to move the self-propelled linear motor 1 along the linear rail x in the right direction as shown by the arrow in FIG. 1, in order to move the longitudinal vibration element 4, as shown in FIG. 4 to E 1 si
Assuming that an alternating voltage of nωt is applied, the piezoelectric laminate 10a at the right end has f (t) = − 1, T / 2 <t <T when 0 <t <T / 2.
Then, the rectangular pulse voltage having the timing waveform of f (t) = 1 is applied to the leftmost piezoelectric laminate 10b, and the rectangular pulse voltage having the timing waveform of −f (t) is applied to the leftmost piezoelectric laminate 10b. Or
E 2 cos .omega.t the piezoelectric stack 10a, the piezoelectric laminate 10b E 2
A voltage of sin ωt may be applied.

これにより、前記縦振動素子4,4によって振動体3が
伸張するのと同期して、圧電積層体10aが収縮し、圧電
積層体10bが伸張するから、摺動面yと圧電積層体10bが
圧接し、前記リニア走行体2は圧電積層体10bを支点と
して、圧電積層体10aが右方向に進行する(第4図イ〜
ハ)。
As a result, the piezoelectric laminate 10a contracts and the piezoelectric laminate 10b expands in synchronization with the extension of the vibrating body 3 by the longitudinal vibrating elements 4, 4, so that the sliding surface y and the piezoelectric laminate 10b are separated from each other. When pressed, the linear traveling body 2 advances in the right direction with the piezoelectric laminated body 10a using the piezoelectric laminated body 10b as a fulcrum (see FIG.
C).

次に、振動体3が収縮するのと同期して、圧電積層体
10aが伸張し、圧電積層体10bが収縮するから、摺動面y
と圧電積層体10aが圧接し、前記リニア走行体2は圧電
積層体10aを支点として、圧電積層体10bが右方向に引寄
せられる。(第4図ハ〜ホ) そして、かかる作動の連続によりリニア走行体2は、
歩進的に振動体3の伸縮に伴って移動し、これととも
に、リニアレールx上の移送体15は、その車輪16,16を
回動しながら右側へ走行する。このため、前記移送体15
に搬送物wを乗載したり、または連継することにより、
該搬送物wの移送が可能となる。
Next, in synchronization with the contraction of the vibrating body 3, the piezoelectric laminate
Since 10a expands and the piezoelectric laminate 10b contracts, the sliding surface y
The piezoelectric laminated body 10a is pressed against the piezoelectric laminated body 10a, and the linear traveling body 2 pulls the piezoelectric laminated body 10b rightward with the piezoelectric laminated body 10a as a fulcrum. (FIG. 4 c) The linear traveling body 2 is
It moves in a stepwise manner as the vibrating body 3 expands and contracts, and along with this, the transfer body 15 on the linear rail x travels to the right while rotating its wheels 16,16. Therefore, the transfer body 15
By loading or transporting the transported object w on the
It becomes possible to transfer the conveyed product w.

尚、自走式リニアモータ1を左側に走行させる場合に
は、振動体3に対する、圧電積層体10a,10bの伸縮タイ
ミングを逆にすればよい。
When the self-propelled linear motor 1 travels to the left, the expansion / contraction timing of the piezoelectric laminates 10a and 10b with respect to the vibrating body 3 may be reversed.

第6図は、前記移送体15に換えて、リニア走行体2と
同様構成のリニア走行体20を適用し、該リニア走行体20
自体を移送体としたものである。かかる構成にあって
は、駆動力が増大する。また、搬送物は、該リニア走行
体20上に乗載するか、連継すればよい。
In FIG. 6, a linear traveling body 20 having the same structure as the linear traveling body 2 is applied in place of the transfer body 15, and the linear traveling body 20 is used.
It is a transporter itself. With this configuration, the driving force increases. Further, the conveyed object may be placed on the linear traveling body 20 or may be continuously connected.

第7図は、リニアレールxを断面正三角状とし、各摺
動面yにリニア走行体30を配設したものである。かかる
構成にあっては、バネ掛け片31を夫々縦振動素子4,4の
中心位置から外方へ二股状に突出し、リニアレールx周
囲で、隣接するバネ掛け片31相互に引バネ32を掛け渡す
ことにより、圧電積層体10a,10bの摺動面yへの圧接
と、自走式リニアモータ1自体の保持を達成している。
In FIG. 7, the linear rail x has a regular triangular cross section, and the linear traveling body 30 is arranged on each sliding surface y. In such a configuration, the spring hooking pieces 31 project outward in a bifurcated manner from the central positions of the vertical vibrating elements 4, 4 respectively, and the springs 32 are hooked on the adjacent spring hooking pieces 31 around the linear rail x. By passing, the piezoelectric laminates 10a, 10b are pressed against the sliding surface y and the self-propelled linear motor 1 itself is held.

前記した縦振動素子4,4と圧電積層体10a,10bとの電圧
制御にあっては、交流電源を使用するほか、直流電源を
スイッチング機構を介して交番電圧を発生させることが
できる。
In the voltage control of the longitudinal vibration elements 4 and 4 and the piezoelectric laminated bodies 10a and 10b, an alternating current power source may be used and an alternating voltage may be generated from the direct current power source through a switching mechanism.

〈発明の効果〉 本発明は、上述のように、振動体3の両側に圧電積層
体10a,10bを設けて、振動体3と圧電積層体10a,10bの伸
縮タイミングを調整することによりリニアレールxに対
して走行可能とするようにしたものであるから、タイミ
ング変換により、リニアレールxの回動方向を調整で
き、電圧制御により駆動力を調整できて、その制御が容
易であるとともに、リニアレールxは、断面多面体であ
ることを要するだけで、構造が極めて簡単であり、しか
も圧電積層体10a,10bは引バネ19、32により弾接するも
のであるから、摺動面yは高い平滑度を要せず、成形が
簡単である。またこのため、微小な移動制御のみならず
長い走行距離を要する場合にも適用可能となる等の優れ
た効果がある。
<Effect of the Invention> As described above, the present invention provides the linear rails by providing the piezoelectric laminates 10a and 10b on both sides of the vibrating body 3 and adjusting the expansion / contraction timing of the vibrating body 3 and the piezoelectric laminates 10a and 10b. Since the vehicle can be driven with respect to x, the rotation direction of the linear rail x can be adjusted by timing conversion, and the driving force can be adjusted by voltage control, which is easy to control and linear. The rail x has a very simple structure because it only needs to have a polyhedron cross section, and since the piezoelectric laminates 10a and 10b are elastically contacted by the extension springs 19 and 32, the sliding surface y has a high smoothness. It is easy to mold without requiring. Therefore, there is an excellent effect that it can be applied not only to minute movement control but also when a long traveling distance is required.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

添付図面は本考案の実施例を示し、第1図は自走式リニ
アモータ1の一部切欠側面図、第2図は同正面図、第3
図は電圧印加タイミングを示すチャート図、第4図は作
動タイミングを示す説明図、第5図は第二実施例の側面
図、第6図は第三実施例の側面図、第7図は第四実施例
の正面図である。 x;リニアレール、y;摺動面、1;自走式リニアモータ、2;
リニア走行体、3;振動体、4,4;縦振動素子、5a,5b,6a,6
b;金属ブロック、10a,10b;圧電積層体、15;移送体、19,
32;引バネ、20,30;リニア走行体
FIG. 1 is a partially cutaway side view of a self-propelled linear motor 1, FIG. 2 is a front view of the same, and FIG.
FIG. 4 is a chart showing the voltage application timing, FIG. 4 is an explanatory view showing the operation timing, FIG. 5 is a side view of the second embodiment, FIG. 6 is a side view of the third embodiment, and FIG. It is a front view of 4th Example. x; linear rail, y; sliding surface, 1; self-propelled linear motor, 2;
Linear traveling body, 3; Vibration body, 4, 4; Longitudinal vibration element, 5a, 5b, 6a, 6
b; metal block, 10a, 10b; piezoelectric laminate, 15; transfer body, 19,
32; Spring, 20, 30; Linear traveling body

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 増田 道幸 名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日本特 殊陶業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−15680(JP,A) 特開 昭62−2546620(JP,A) 特開 昭61−180583(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Michiyuki Masuda, 14-18 Takatsuji-cho, Mizuho-ku, Nagoya City, Japan Special Ceramics Co., Ltd. (56) Reference JP 63-15680 (JP, A) JP Sho 62-2546620 (JP, A) JP 61-180583 (JP, A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】断面多角状のリニアレールの一側摺動面
に、縦方向に振動する振動体と、その両端方の略最大振
巾位置に配設されて該リニアレールの一側摺動面に圧接
する圧電積層体とを備え、両圧電積層体は、振動体の振
動と同期して積層方向に伸縮作動を生じ、かつ両圧電積
層体相互は逆伸縮タイミングとなる電圧制御を施してな
るリニア走行体を配設するとともに、 リニアレールの他側摺動面に移送体を配設し、リニア走
行体を振動体の略中央部のノード位置で、引きバネを介
して移送体と連結した ことを特徴とする自走式リニアモータ。
1. A linear rail having a polygonal cross section, and a vibrating body vibrating in a longitudinal direction on one sliding surface of the linear rail. The piezoelectric laminates are in pressure contact with the surfaces, both piezoelectric laminates perform an expansion / contraction operation in the laminating direction in synchronization with the vibration of the vibrating body, and both piezoelectric laminates are subjected to voltage control with reverse expansion / contraction timing. In addition to arranging the linear traveling body, the transfer body is disposed on the other sliding surface of the linear rail, and the linear traveling body is connected to the transfer body via the pulling spring at the node position in the approximate center of the vibrating body. A self-propelled linear motor that is characterized by
【請求項2】前記移送体が前記リニア走行体であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の自走式リニア
モータ。
2. The self-propelled linear motor according to claim 1, wherein the transfer body is the linear traveling body.
【請求項3】リニアレールを断面三角状とし、各側面に
前記リニア走行体を配設し、夫々を振動体のノード位置
で連結したことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載
の自走式リニアモータ。
3. A linear rail having a triangular cross section, the linear traveling bodies being arranged on each side surface, and the linear traveling bodies being connected at node positions of the vibrating body. Traveling linear motor.
JP62140248A 1987-06-03 1987-06-03 Self-propelled linear motor Expired - Lifetime JP2528657B2 (en)

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