JP2524275B2 - Optical component-optical fiber alignment method and optical component - Google Patents

Optical component-optical fiber alignment method and optical component

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JP2524275B2 JP4014422A JP1442292A JP2524275B2 JP 2524275 B2 JP2524275 B2 JP 2524275B2 JP 4014422 A JP4014422 A JP 4014422A JP 1442292 A JP1442292 A JP 1442292A JP 2524275 B2 JP2524275 B2 JP 2524275B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は例えば光ICなどの光
部品と光ファイバとの接続において、それらの光軸を位
置合わせする調芯方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alignment method for aligning the optical axes of an optical component such as an optical IC and an optical fiber when they are connected.

【0002】[0002]

【従来の技術】光部品と光ファイバとの接続において
は、それらの光軸の位置合わせを高精度に行う必要があ
り、その方法としてこれら光部品及び光ファイバに直列
に光を通過させ、一方からの出射光の光軸が他方の光軸
に合致した状態を、他方からの光パワーの最大値を探索
することによって求めるという方法が用いられている。
このような光パワーの測定による精密調芯を行うために
は、一般にこれに先立って光パワーが得られる状態にす
るための粗調芯が行われる。
2. Description of the Related Art In connecting an optical component and an optical fiber, it is necessary to align the optical axes of these components with high precision. A method is used in which a state in which the optical axis of the light emitted from the optical axis coincides with the optical axis of the other is obtained by searching the maximum value of the optical power from the other.
In order to perform such precise alignment by measuring the optical power, generally, coarse alignment is performed prior to this so as to obtain the optical power.

【0003】図5により、従来の粗調芯方法を説明す
る。なお、図5は光IC11と光ファイバ12との各接
続部分を示したものである。光IC11の表面にはその
一端面11aに一端を有する微細な光導波路13が形成
されており、この光導波路13の位置を容易に認識でき
るようにその位置を示す一対の平行マーカ14が光導波
路13を中心として、即ち一対の平行マーカ14の中心
軸が光導波路13と一致されて光IC11の表面の端部
に設けられている。光ファイバ12の端部はキャリア1
5に挿通保持され、キャリア15の端面15aに光ファ
イバ12の端面が露出されている。光IC11のマーカ
14及び光ファイバ12の端面をX軸方向、Y軸方向か
らそれぞれ観察して例えば光IC11及びキャリア15
がそれぞれ設置されているステージ(図示せず) を移動
させ、光IC11とキャリア15とを相対的に移動させ
て、一対のマーカ14の中心軸と光ファイバ12の中心
との位置を合致させることにより、光IC11の光導波
路13の端面と光ファイバ12の端面との光軸の粗調芯
が行われる。
A conventional coarse alignment method will be described with reference to FIG. Note that FIG. 5 shows each connection portion between the optical IC 11 and the optical fiber 12. A fine optical waveguide 13 having one end on one end face 11a is formed on the surface of the optical IC 11, and a pair of parallel markers 14 indicating the position of the optical waveguide 13 are provided so that the position of the optical waveguide 13 can be easily recognized. The center axis of the parallel marker 14, that is, the center axis of the pair of parallel markers 14 is aligned with the optical waveguide 13, and is provided at the end of the surface of the optical IC 11. The end of the optical fiber 12 is the carrier 1
5, the end face of the optical fiber 12 is exposed at the end face 15 a of the carrier 15. The end faces of the marker 14 and the optical fiber 12 of the optical IC 11 are observed from the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively.
To move the optical IC 11 and the carrier 15 relative to each other by moving the stage (not shown) respectively installed therein to align the positions of the center axes of the pair of markers 14 and the center of the optical fiber 12. Thus, the optical axes of the end face of the optical waveguide 13 of the optical IC 11 and the end face of the optical fiber 12 are roughly aligned.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図5(A)
に示すように光IC11の端面11aは反射光防止のた
め光導波路13の伸長方向に対して傾斜された面とされ
ており、同様に光ファイバ12の端部を保持するキャリ
ア15の端面15aも光ファイバ12の伸長方向に対し
て傾斜された面とされている。このため、例えば光ファ
イバ12から出射された出射光の光路16は図5(A)
に示すように屈折し、X軸方向においてマーカ14の中
心軸と光ファイバ12の中心との位置を合致させても、
光路16は光導波路13の端面とずれた状態となってし
まう。
By the way, FIG. 5 (A)
As shown in FIG. 6, the end surface 11a of the optical IC 11 is a surface inclined with respect to the extending direction of the optical waveguide 13 to prevent reflected light. Similarly, the end surface 15a of the carrier 15 that holds the end portion of the optical fiber 12 is also formed. The surface is inclined with respect to the extending direction of the optical fiber 12. Therefore, for example, the optical path 16 of the emitted light emitted from the optical fiber 12 is shown in FIG.
Even if the position of the center axis of the marker 14 is aligned with the center of the optical fiber 12 in the X-axis direction,
The optical path 16 is displaced from the end face of the optical waveguide 13.

【0005】従って、光パワーの測定による精密調芯を
行うべく、光パワーが得られる状態とするための光IC
11と光ファイバ12との粗調芯においては、光IC1
1のマーカ14は大まかな目安にすぎず、光IC11と
光ファイバ12とを広範囲にわたって相対的に移動させ
て光パワーが得られる位置を探索しなければならず、困
難かつ極めて作業性の悪いものとなっていた。
Therefore, in order to perform precise alignment by measuring the optical power, an optical IC for making the optical power available
In the coarse alignment between the optical fiber 11 and the optical fiber 12, the optical IC 1
The marker 14 of No. 1 is only a rough guide, and the optical IC 11 and the optical fiber 12 must be relatively moved over a wide range to search for a position where the optical power can be obtained, which is difficult and extremely poor in workability. It was.

【0006】この発明の目的は従来の欠点を除去し、極
めて容易に行うことのできる調芯方法を提供することに
ある。
An object of the present invention is to provide a centering method which eliminates the conventional drawbacks and can be performed extremely easily.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】この発明はほぼ同一XZ
面内で光導波路とマーカとを有する光部品と光ファイバ
の端部とをXZ面内で相対的に移動させ、これらをZ軸
方向に配列した状態で、それら光部品の光導波路の端面
と光ファイバの端面との光軸を位置合わせする光部品−
光ファイバ調芯方法において、光部品と光ファイバとの
Z軸方向の距離dを下記の値とし、 d=W{tan(π/2−α+β) −tanβ} W:光部品のマーカとその光導波路中心との間の垂直間
隔、α:光部品に対する光入射角、β:その屈折角、そ
の後、光ファイバ中心と光部品のマーカとの位置を合致
させることにより調芯を行うものであり、この調芯方向
に用いる光部品はその一端における一本の光導波路につ
いてこれより離れたマーカが1つのみ設けられたもので
ある。
The present invention has substantially the same XZ.
The optical component having the optical waveguide and the marker in the plane and the end portion of the optical fiber are relatively moved in the XZ plane, and in the state where they are arranged in the Z-axis direction, the optical component and the end face of the optical waveguide are arranged. Optical component that aligns the optical axis with the end face of the optical fiber −
In the optical fiber alignment method, the distance d in the Z-axis direction between the optical component and the optical fiber is set to the following value, and d = W {tan (π / 2−α + β) −tanβ} W: marker of the optical component and its light guide Vertical spacing between the center of the waveguide, α: incident angle of light with respect to the optical component, β: its refraction angle, and then aligning by aligning the position of the optical fiber center with the marker of the optical component, The optical component used in this alignment direction is provided with only one marker which is separated from this one optical waveguide at one end thereof.

【0008】[0008]

【作用】上記のように構成されたこの発明では、光部品
と光ファイバとのZ軸方向の距離を所定の値dとして光
ファイバ中心と光部品のマーカとの位置を合致させるこ
とにより、光部品と光ファイバとの光軸の位置合わせが
行われる。
According to the present invention having the above-described structure, the distance between the optical component and the optical fiber in the Z-axis direction is set to a predetermined value d, and the positions of the optical fiber center and the marker of the optical component are matched with each other, thereby The optical axes of the component and the optical fiber are aligned.

【0009】[0009]

【実施例】この発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。図1に示すように、光IC21の表面にはその一端
面21aに一端を有する光導波路22が形成され、この
発明ではこの光導波路22と離れた位置にマーカ23が
形成される。マーカ23はこの実施例では光IC21の
端面21aから光導波路22と平行に描かれた線とされ
ている。なお、図1において光導波路22の伸長方向が
Z軸とされ、Z軸と傾斜する光IC21の端面21aの
長辺方向がX軸とされる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, an optical waveguide 22 having one end on one end face 21a thereof is formed on the surface of the optical IC 21, and a marker 23 is formed at a position apart from the optical waveguide 22 in the present invention. In this embodiment, the marker 23 is a line drawn from the end face 21a of the optical IC 21 in parallel with the optical waveguide 22. In FIG. 1, the extension direction of the optical waveguide 22 is the Z axis, and the long side direction of the end face 21a of the optical IC 21 that is inclined with respect to the Z axis is the X axis.

【0010】光IC21の光導波路22の端面と光ファ
イバ12の端面との光軸の位置合わせを行うために、ま
ず光IC21と光ファイバ12の端部を保持するキャリ
ア15とが、例えばそれらがそれぞれ設置されているス
テージ(図示せず) を移動させることによってXZ面内
で相対的に移動され、Z軸方向に配列される。光パワー
の測定による精密調芯に先立つ粗調芯では光パワーが得
られる状態とすべく、光IC21及び光ファイバ12の
一方からの出射光が他方に入射するような位置関係とす
る必要がある。今、図1においてキャリア端面15aに
露出した光ファイバ12の中心とマーカ23とがZ軸に
平行な同一直線上に位置し、かつ光ファイバ12からの
出射光が光導波路22の端面に入射し、その入射光の光
路が光導波路22の伸長方向と一致するような位置関係
に光IC21と光ファイバ12とが配置されているとす
る。この時、光IC21と光ファイバ12とのZ軸方向
の距離をd、光IC21のマーカ23と光導波路22の
中心との間の垂直間隔をW、光導波路22及びマーカ2
3の光IC21の端面21aにそれぞれ位置する両端部
間のZ軸方向の間隔をm、光IC21に対する光の入射
角をα、その光IC21に入射した光の屈折角をβとす
ると、図1(B) に詳細に示したように、 tanβ=m/W … tan(π/2−α+β) =(d+m) /W … と表わされ、これら、式より d=W{tan(π/2−α+β) −tanβ} … と表わされる。
In order to align the optical axes of the end face of the optical waveguide 22 of the optical IC 21 and the end face of the optical fiber 12, first, the optical IC 21 and the carrier 15 holding the end portion of the optical fiber 12, for example, By moving the respective stages (not shown) installed, they are relatively moved in the XZ plane and arranged in the Z-axis direction. In the rough alignment prior to the precision alignment by measuring the optical power, it is necessary to have a positional relationship such that the light emitted from one of the optical IC 21 and the optical fiber 12 enters the other in order to obtain the optical power. . Now, in FIG. 1, the center of the optical fiber 12 exposed on the carrier end face 15a and the marker 23 are located on the same straight line parallel to the Z axis, and the light emitted from the optical fiber 12 enters the end face of the optical waveguide 22. It is assumed that the optical IC 21 and the optical fiber 12 are arranged in such a positional relationship that the optical path of the incident light coincides with the extension direction of the optical waveguide 22. At this time, the distance in the Z-axis direction between the optical IC 21 and the optical fiber 12 is d, the vertical distance between the marker 23 of the optical IC 21 and the center of the optical waveguide 22 is W, the optical waveguide 22 and the marker 2 are
Assuming that the distance in the Z-axis direction between the two ends located on the end face 21a of the optical IC 21 of No. 3 is m, the incident angle of light on the optical IC 21 is α, and the refraction angle of the light incident on the optical IC 21 is β, As shown in detail in (B), it is expressed as tan β = m / W ... tan (π / 2−α + β) = (d + m) / W ... From these equations, d = W {tan (π / 2 -[Alpha] + [beta])-tan [beta]} is represented.

【0011】つまり、光IC21と光ファイバ12との
Z軸方向の距離dを式で表わされる値とし、その後キ
ャリア端面15aの光ファイバ12の中心と光IC21
のマーカ23とのZ軸方向から見た位置を合致させるこ
とにより、光IC21の光導波路22の端面と光ファイ
バ12の端面との光軸の粗調芯を行うことができるので
ある。
That is, the distance d in the Z-axis direction between the optical IC 21 and the optical fiber 12 is set to a value represented by the equation, and then the center of the optical fiber 12 on the carrier end face 15a and the optical IC 21.
By matching the position of the marker 23 viewed from the Z-axis direction, the optical axes of the end surface of the optical waveguide 22 of the optical IC 21 and the end surface of the optical fiber 12 can be roughly aligned.

【0012】図2は上述した粗調芯を行うための調芯装
置の一例を示したものであり、光IC21の光導波路2
2の入出力両端に、キャリア15に端部が保持された光
ファイバ12をそれぞれ調芯するものである。光IC2
1は固定台24上に位置決め固定される。固定台24の
両側にはX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の3方向に高
精度の移動が可能な調芯ステージ25及び26が配置さ
れ、それらの上にそれぞれ光ファイバ12のキャリア1
5が設置される。
FIG. 2 shows an example of an aligning device for performing the above-described coarse alignment, which is the optical waveguide 2 of the optical IC 21.
The optical fibers 12 whose ends are held by the carrier 15 are aligned at both the input and output ends of the optical fiber 2. Optical IC2
1 is positioned and fixed on the fixed base 24. On both sides of the fixed base 24, aligning stages 25 and 26 that can move with high precision in three directions of the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction are arranged, and the carrier 1 of the optical fiber 12 is placed thereon.
5 is installed.

【0013】この調芯装置を用いた、光IC21の一方
の端面21a側における調芯について具体的に説明す
る。顕微鏡27を図3に示すように光IC21とキャリ
ア15とのY軸方向の直上の位置28に位置させてこれ
らを観察し、光IC21と光ファイバ12とのZ軸方向
の距離を調芯ステージ25をZ軸方向に移動させること
により式で表わされる距離dに設定する。
Alignment on the one end face 21a side of the optical IC 21 using this aligning device will be specifically described. As shown in FIG. 3, the microscope 27 is positioned at a position 28 immediately above the optical IC 21 and the carrier 15 in the Y-axis direction to observe them, and the distance between the optical IC 21 and the optical fiber 12 in the Z-axis direction is adjusted. 25 is moved in the Z-axis direction to set the distance d represented by the equation.

【0014】次に、顕微鏡27が設置されているステー
ジ29を移動させて顕微鏡27をZ軸方向に移動させ、
図3に示すようにキャリア端面15aを斜めから観察で
きるように設置されている反射鏡30の直上の位置31
に位置させ、光ファイバ12の端面と光IC21の表面
の端部とを同時に観察して、調芯ステージ25をX軸方
向に移動させることにより、光ファイバ12の中心とマ
ーカ23との位置をZ軸に平行な同一直線上に位置させ
る。図4はビデオカメラ32を介して顕微鏡27に接続
されたモニタ33に映し出されたこの時の画像を示した
ものであり、モニタ上に映し出されたカーソル線34を
用いることによって光ファイバ12の中心とマーカ23
との位置合わせが行われている。図4に示した画像上の
各部には被写体と同じ符号を付してある。
Next, the stage 29 on which the microscope 27 is installed is moved to move the microscope 27 in the Z-axis direction,
As shown in FIG. 3, a position 31 directly above the reflecting mirror 30 installed so that the carrier end surface 15a can be observed obliquely.
The optical fiber 12 and the end of the surface of the optical IC 21 are observed at the same time, and the aligning stage 25 is moved in the X-axis direction, so that the position of the center of the optical fiber 12 and the marker 23 is adjusted. Position on the same straight line parallel to the Z-axis. FIG. 4 shows an image at this time projected on the monitor 33 connected to the microscope 27 via the video camera 32. By using the cursor line 34 projected on the monitor, the center of the optical fiber 12 is shown. And marker 23
Is being aligned with. Each part on the image shown in FIG. 4 has the same reference numeral as the subject.

【0015】なお、この位置合わせにおいて、調芯ステ
ージ25はX軸方向、即ち光IC端面21aと平行方向
に移動するため、その移動により光IC21と光ファイ
バ12との先に設定されたZ軸方向の距離dは変化する
ことはない。このように調芯ステージ25をZ軸方向及
びX軸方向に移動させて、それら方向の光IC21と光
ファイバ12との位置合わせが完了した状態で、調芯ス
テージ25をY軸方向に移動させることにより光IC2
1及び光ファイバ12の一方からの出射光が他方に入射
する位置を容易に求めることができる。
In this alignment, the aligning stage 25 moves in the X-axis direction, that is, in the direction parallel to the optical IC end face 21a, so that the Z-axis set ahead of the optical IC 21 and the optical fiber 12 is caused by the movement. The directional distance d does not change. In this way, the alignment stage 25 is moved in the Z-axis direction and the X-axis direction, and the alignment stage 25 is moved in the Y-axis direction in a state where the alignment of the optical IC 21 and the optical fiber 12 in those directions is completed. Optical IC2
The position where the light emitted from one of the optical fiber 12 and the optical fiber 12 enters the other can be easily obtained.

【0016】光導波路22の他端、即ち光IC21の一
方の端面21aと対向する他方の端面21b側における
調芯も同様に行うことができ、その際には光導波路22
の他端に対して、その中心と所定の間隔を隔ててマーカ
が設けられる。
Alignment on the other end of the optical waveguide 22, that is, on the other end face 21b side facing the one end face 21a of the optical IC 21 can be performed in the same manner.
A marker is provided on the other end of the marker at a predetermined distance from the center thereof.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
光部品にその光導波路より離れてマーカを設け、それら
の間隔W、光部品に対する光入射角α及びその屈折角β
により、距離dを下式によって計算し、 d=W{tan(π/2−α+β) −tanβ} 光部品と光ファイバとが配列されたZ軸方向のそれらの
距離の値をdとして、光ファイバ中心と光部品のマーカ
との位置を合致させることにより、光部品の光導波路の
端面と光ファイバの端面との光軸の位置合わせを行うこ
とができ、光パワーの測定による精密調芯に先立つ粗調
芯を極めて容易に行うことができる。
As described above, according to the present invention,
The optical component is provided with a marker apart from the optical waveguide, and the distance W between them, the light incident angle α to the optical component and the refraction angle β thereof
Then, the distance d is calculated by the following formula: d = W {tan (π / 2−α + β) −tanβ} The optical component and the optical fiber are arranged in the Z-axis direction, and the value of the distance between them is defined as d. By aligning the position of the fiber center with the marker of the optical component, it is possible to align the optical axis between the end face of the optical waveguide of the optical component and the end face of the optical fiber, and perform precise alignment by measuring the optical power. The preceding rough alignment can be performed extremely easily.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(A) はこの発明による光部品−光ファイバ調
芯方法の一実施例を説明するための図。(B) は(A)
の要部詳細図。
FIG. 1A is a diagram for explaining an embodiment of an optical component-optical fiber alignment method according to the present invention. (B) is (A)
Detailed view of the main part of.

【図2】この発明による調芯方法を用いた調芯装置の一
例を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing an example of an aligning device using the aligning method according to the present invention.

【図3】顕微鏡による光部品及び光ファイバの観察方法
を説明するための図。
FIG. 3 is a diagram for explaining a method of observing an optical component and an optical fiber with a microscope.

【図4】光ファイバ端面と光部品の端部とが観察された
時のモニタ画像を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a monitor image when an end face of an optical fiber and an end portion of an optical component are observed.

【図5】(A) は従来の調芯方法を説明するための平面
図。(B) は(A) の側面図。
FIG. 5A is a plan view for explaining a conventional centering method. (B) is a side view of (A).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12 光ファイバ 15 キャリア 21 光IC 22 光導波路 23 マーカ 12 optical fiber 15 carrier 21 optical IC 22 optical waveguide 23 marker

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 ほぼ同一XZ面内で光導波路とマーカと
を有する光部品と光ファイバの端部とをXZ面内で相対
的に移動させ、これらをZ軸方向に配列した状態で、そ
れら光部品の光導波路の端面と光ファイバの端面との光
軸を位置合わせする光部品−光ファイバ調芯方法におい
て、 上記光部品と上記光ファイバとのZ軸方向の距離dを下
記の値とし、 d=W{tan(π/2−α+β) −tanβ} W:上記光部品の上記マーカとその光導波路中心との間
の垂直間隔、α:上記光部品に対する光入射角、β:そ
の屈折角、 その後、上記光ファイバ中心と上記光部品の上記マーカ
との位置を合致させることを特徴とする光部品−光ファ
イバ調芯方法。
1. An optical component having an optical waveguide and a marker and an end portion of an optical fiber are relatively moved in the XZ plane in substantially the same XZ plane, and they are arranged in the Z-axis direction. In the optical component-optical fiber alignment method for aligning the optical axes of the end face of the optical waveguide of the optical component and the end face of the optical fiber, the distance d in the Z-axis direction between the optical component and the optical fiber is set to the following value. , D = W {tan (π / 2−α + β) −tanβ} W: vertical distance between the marker of the optical component and the center of the optical waveguide, α: incident angle of light with respect to the optical component, β: refraction thereof Angle, and then aligning the position of the center of the optical fiber with the position of the marker of the optical component-optical component-optical fiber alignment method.
【請求項2】 請求項1に記載した調芯方法に用いる光
部品であって、その一端における一本の光導波路につい
てこれより離れたマーカが1つのみ設けられていること
を特徴とする光部品。
2. An optical component used in the aligning method according to claim 1, wherein one optical waveguide at one end of the optical component is provided with only one marker distant from the optical waveguide. parts.
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