JP2512459Y2 - Fan filter unit - Google Patents
Fan filter unitInfo
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- JP2512459Y2 JP2512459Y2 JP1990024437U JP2443790U JP2512459Y2 JP 2512459 Y2 JP2512459 Y2 JP 2512459Y2 JP 1990024437 U JP1990024437 U JP 1990024437U JP 2443790 U JP2443790 U JP 2443790U JP 2512459 Y2 JP2512459 Y2 JP 2512459Y2
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- filter unit
- fan
- prevention plate
- backflow prevention
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- Air-Conditioning Room Units, And Self-Contained Units In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 半導体工場、薬品および食品工場などのクリーンルー
ムで使用されるファンフィルタユニットに関し、 送風機の能力低下を抑えながら逆流風を抑止し、逆流
風による雰囲気の汚染を防止することを目的とし、 プロペラファンと、その風下側に設けられたエアフィ
ルタを持つケーシングとからなるファンフィルタユニッ
トにおいて、上記プロペラファンの吸気口に開口をもつ
逆流風防止板を取り付けるように構成する。[Detailed Description of the Invention] [Outline] Regarding a fan filter unit used in a clean room such as a semiconductor factory, a chemical factory, or a food factory, it suppresses the backflow air while suppressing the deterioration of the capacity of the blower, and prevents the atmosphere from being contaminated by the backflow air. In order to achieve the above, in a fan filter unit including a propeller fan and a casing having an air filter provided on the leeward side thereof, a backflow prevention plate having an opening is attached to the intake port of the propeller fan. .
本考案は、半導体工場、薬品および食品工場などのク
リーンルームで使用されるファンフィルタユニットに関
し、特にクリーンルームなどで使用される各種製造装
置、測定装置などの冷却、排気用および発塵防止対策用
のファンフィルタユニットに関する。The present invention relates to a fan filter unit used in a clean room such as a semiconductor factory, a chemical factory, and a food factory, and in particular, a fan for cooling, exhausting, and dust-preventing measures of various manufacturing devices and measuring devices used in the clean room. Regarding the filter unit.
第3図は従来のファンフィルタユニットを使用した装
置を示す図、第4図はファンフィルタユニットを示す図
である。第3図において、1はクリーンルーム内で使用
される例えば半導体製造装置を収容した部屋であり、2
はその上部に接続されたダクト、3はファンフィルタユ
ニットである。このファンフィルタユニットは第4図
(a)及び(b)に示すように、ケーシング4と、該ケ
ーシング4内に設けられたプロペラファン5と、該プロ
ペラファン5の風下側に設けられたエアフィルタ6とか
らなる。クリーンルーム用に使用されるファンフィルタ
ユニットに用いられるエアフィルタは0.3μm以上の大
きさの塵埃に対して99.97%以上の除去効率をもつHEPA
フィルタが用いられる。FIG. 3 is a diagram showing an apparatus using a conventional fan filter unit, and FIG. 4 is a diagram showing a fan filter unit. In FIG. 3, reference numeral 1 denotes a room used for example in a clean room, which accommodates semiconductor manufacturing equipment.
Is a duct connected to the upper part thereof and 3 is a fan filter unit. As shown in FIGS. 4A and 4B, the fan filter unit includes a casing 4, a propeller fan 5 provided in the casing 4, and an air filter provided on the leeward side of the propeller fan 5. It consists of 6 and 6. The air filter used in the fan filter unit used for clean rooms has a removal efficiency of 99.97% or more for dust of 0.3 μm or more.
A filter is used.
駆動用モータ7により運転される送風機5によって吸
気口8からケーシング4内に吸い込まれた空気はエアフ
ィルタ6に送られ、そこで濾過されて清浄な空気になっ
て排出または供給される。The air sucked into the casing 4 from the intake port 8 by the blower 5 driven by the drive motor 7 is sent to the air filter 6, where it is filtered to be clean air and discharged or supplied.
上記従来のファンフィルタユニットでは、送風機5の
風下側に高い抵抗を有するエアフィルタ6が設置されて
いるため、送風機ケーシング9の内側面と送風機の羽根
10との隙間から逆流風11が発生し、清浄度の低い空気を
高速で送風機風上側へ飛散させるため塵埃を広範囲に拡
散させるので、2次的な汚染源となり、製品やその設置
されている雰囲気を汚染し、製品の品質低下、歩留り低
下を引き起こすという問題がある。In the above conventional fan filter unit, since the air filter 6 having high resistance is installed on the leeward side of the blower 5, the inner surface of the blower casing 9 and the blades of the blower.
Reverse air flow 11 is generated from the gap between the air gap 10 and the air, which has low cleanliness and is scattered at high speed to the windward side of the blower, so that dust is diffused over a wide range, which is a secondary source of pollution and the product and its installed atmosphere. However, there is a problem in that the product quality is degraded and the yield is reduced.
本考案は上記従来の問題点に鑑み、送風機の能力低下
を抑えながら逆流風を抑止し、逆流風による雰囲気の汚
染を防止可能としたファンフィルタユニットを提供する
ことを目的とする。In view of the above conventional problems, an object of the present invention is to provide a fan filter unit capable of suppressing backflow while suppressing a decrease in the capacity of a blower and preventing contamination of the atmosphere by the backflow.
上記目的を達成するために、本考案のファンフィルタ
ユニットでは、プロペラファン5と、その風下側に設け
られたエアフィルタ6を持つケーシング4とからなるフ
ァンフィルタユニットにおいて、上記プロペラファン5
の吸気口8に開口12をもつ逆流風防止板13を取り付け、
該逆流風防止板13の絞り比を0.68乃至0.84としたことを
特徴とする。To achieve the above object, in the fan filter unit of the present invention, a propeller fan 5 and a casing 4 having an air filter 6 provided on the leeward side of the propeller fan 5 are provided.
Attach a backflow prevention plate 13 having an opening 12 to the intake port 8 of
It is characterized in that the backflow prevention plate 13 has a throttle ratio of 0.68 to 0.84.
プロペラファン5の吸気口8に、該吸気口より直径の
小さい開口12をもつ逆流風防止板13を設けて吸気口を挾
め、逆流風と吸込風との圧力をバランスさせることによ
り逆流風を防止することが可能となる。A backflow prevention plate 13 having an opening 12 having a diameter smaller than that of the intake is provided in the intake 8 of the propeller fan 5, and the intake is sandwiched to balance the pressure between the backflow and the suction to generate the backflow. It becomes possible to prevent it.
第1図は本考案の実施例を示す図であり、(a)は正
面図、(b)はa図のb−b線における断面図である。FIG. 1 is a view showing an embodiment of the present invention, (a) is a front view and (b) is a sectional view taken along line bb in FIG.
本実施例のファンフィルタユニットは、ケーシング4
と、該ケーシング4内に設けられたプロペラファン5
と、該プロペラファン5の風下側に設けられたエアフィ
ルタ6とを具備することは第4図の従来例と同様であ
り、本実施例の要点は、プロペラファン5の吸気口8に
該吸気口8よりも直径の小さい開口12をもつ逆流風防止
板13を取り付けたことである。この逆流風防止板13の材
質は金属板、プラスチック板、ゴム板などの自己保形性
のものが適当であるが、これに限定するものではない。
また防振、騒音防止のために逆流風防止板に制振材を裏
打ちしたものも使用できる。The fan filter unit of the present embodiment has a casing 4
And a propeller fan 5 provided in the casing 4.
And the air filter 6 provided on the leeward side of the propeller fan 5 are the same as in the conventional example of FIG. 4, and the main point of the present embodiment is that the intake port 8 of the propeller fan 5 is provided with the intake air. That is, the backflow prevention plate 13 having the opening 12 having a diameter smaller than the mouth 8 is attached. The material for the backflow prevention plate 13 is preferably a metal plate, a plastic plate, a rubber plate, or the like, which is self-shaped, but is not limited to this.
In addition, a backflow prevention plate lined with a damping material can be used for vibration prevention and noise prevention.
次に逆流風防止板13の開口12の大きさは次のようにし
て求めることができる。Next, the size of the opening 12 of the backflow prevention plate 13 can be obtained as follows.
試験装置としては第2図に示すように、中間に風量測
定用ノズル14及びU字管15を有する筒16の一方の端部に
補助ブロワ17が設けられ、他端にファンフィルタユニッ
ト3及び静圧測定用のU字管18が取り付けられた装置を
用い、送風機の吸気口に種々の開口をもつ逆流風防止板
13を取り付けられるようになっており、逆流風の有無は
煙により確認する。As shown in FIG. 2, the test apparatus is provided with an auxiliary blower 17 at one end of a tube 16 having an air flow measuring nozzle 14 and a U-shaped tube 15 in the middle, and a fan filter unit 3 and a static filter at the other end. Backflow prevention plate that uses a device with a U-shaped tube 18 for pressure measurement and has various openings at the inlet of the blower
13 can be attached, and the presence or absence of backflow is confirmed by smoke.
第1表は上記装置を用い、吸気口の直径が132mm、駆
動用モータの直径が70mmの送風機の吸気口8に、それぞ
れ開口12の直径が80,85,90,95,100mmの逆流風防止板13
を取り付けた場合の風量及び逆流風の有無を測定した結
果である。Table 1 shows the use of the above-mentioned device, and the backflow prevention plate with the diameter of the inlet port is 132 mm and the diameter of the opening 12 is 80,85,90,95,100 mm in the inlet port 8 of the blower with the driving motor diameter of 70 mm. 13
It is the result of measuring the air volume and the presence / absence of backflow air when the is installed.
この場合、開口直径が90mm以上では逆流風防止効果が
なく、また開口直径が80mmでは風量が逆流風防止板のな
い場合の約10%減となる。従って風量の減少が少なく且
つ逆流風防止ができる範囲としてこの場合は(吸気口の
直径が132mmの場合)開口直径が80〜90mmが好ましい。 In this case, when the opening diameter is 90 mm or more, there is no backflow prevention effect, and when the opening diameter is 80 mm, the air volume is reduced by about 10% compared to the case without the backflow prevention plate. Therefore, in this case (when the diameter of the intake port is 132 mm), the opening diameter is preferably 80 to 90 mm as the range in which the reduction of the air volume is small and the backflow can be prevented.
この場合、送風機吸気口の直径をD、逆流風防止板の
開口直径をd、送風機駆動用モータの外径をMとし、絞
り比を とした場合、本実施例ではD=132mm、M=70mmである
ので、逆流風防止板の開口直径が80mmの場合の絞り比は
0.84となり、開口直径が90mmの場合の絞り比は0.68とな
る。従って送風機の大きさが変ってもこの程度の絞り
比、即ち0.68乃至0.84程度(風量を多少犠牲にすれば1.
0程度)までが適当である。In this case, the diameter of the blower intake port is D, the opening diameter of the backflow prevention plate is d, the outer diameter of the blower drive motor is M, and the throttle ratio is In this example, since D = 132 mm and M = 70 mm in this embodiment, the throttle ratio when the backflow prevention plate has an opening diameter of 80 mm
This is 0.84, and the aperture ratio is 0.68 when the aperture diameter is 90 mm. Therefore, even if the size of the blower changes, this reduction ratio is about 0.68 to 0.84 (1.
Up to about 0) is appropriate.
以上説明した様に、本考案によれば、送風機の吸気口
より直径の小さい開口を持つ逆流風防止板を送風機の吸
気口に設けることにより、ファンフィルタユニットの逆
流風を防止できる。これにより逆流風による塵埃の飛散
を防止でき、雰囲気の清浄度の向上に寄与することがで
きる。As described above, according to the present invention, by providing the backflow prevention plate having the opening having a smaller diameter than the intake port of the blower at the intake port of the blower, the backflow of the fan filter unit can be prevented. As a result, it is possible to prevent the dust from scattering due to the backflow air and contribute to the improvement of the cleanliness of the atmosphere.
第1図は本考案の実施例を示す図、 第2図は逆流風防止板試験装置を示す図、 第3図は従来のファンフィルタユニットを使用した装置
を示す図、 第4図は従来のファンフィルタユニットを示す図であ
る。 図において、 4はケーシング、5はプロペラファン、6はエアフィル
タ、7は送風機駆動用モータ、8は送風機吸気口、9は
送風機ケーシング、10は羽根、12は逆流風防止板の開
口、13は逆流風防止板 を示す。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a backflow prevention plate testing device, FIG. 3 is a diagram showing a device using a conventional fan filter unit, and FIG. It is a figure which shows a fan filter unit. In the figure, 4 is a casing, 5 is a propeller fan, 6 is an air filter, 7 is a blower drive motor, 8 is a blower intake port, 9 is a blower casing, 10 is a blade, 12 is a backflow prevention plate opening, and 13 is A backflow prevention plate is shown.
フロントページの続き (72)考案者 芳村 恵司 奈良県大和郡山市池沢町172 ニッタ株 式会社内 (56)参考文献 実開 昭63−129129(JP,U) 実開 昭59−126199(JP,U)Front Page Continuation (72) Inventor Keiji Yoshimura 172 Ikezawa-cho, Yamatokoriyama City, Nara Nitta Stock Company (56) References 63-129129 (JP, U) 59-126199 (JP, U) )
Claims (1)
けられたエアフィルタ(6)を持つケーシング(4)と
からなるファンフィルタユニットにおいて、 上記プロペラファン(5)の吸気口(8)に開口(12)
をもつ逆流風防止板(13)を取り付け、該逆流風防止板
(13)の絞り比を0.68乃至0.84としたことを特徴とする
ファンフィルタユニット。1. A fan filter unit comprising a propeller fan (5) and a casing (4) having an air filter (6) provided on the leeward side thereof, wherein an intake port (8) of the propeller fan (5). Opening (12)
A fan filter unit characterized in that a backflow prevention plate (13) having the above is attached, and the throttle ratio of the backflow prevention plate (13) is set to 0.68 to 0.84.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1990024437U JP2512459Y2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Fan filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990024437U JP2512459Y2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Fan filter unit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03116799U JPH03116799U (en) | 1991-12-03 |
JP2512459Y2 true JP2512459Y2 (en) | 1996-10-02 |
Family
ID=31527399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1990024437U Expired - Lifetime JP2512459Y2 (en) | 1990-03-13 | 1990-03-13 | Fan filter unit |
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JP (1) | JP2512459Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5361878B2 (en) * | 2008-05-15 | 2013-12-04 | パナソニック株式会社 | Fan and electronic device having the same |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0541288Y2 (en) * | 1987-02-18 | 1993-10-19 |
-
1990
- 1990-03-13 JP JP1990024437U patent/JP2512459Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH03116799U (en) | 1991-12-03 |
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