JP2501259B2 - Thin film magnetic head - Google Patents

Thin film magnetic head

Info

Publication number
JP2501259B2
JP2501259B2 JP3226528A JP22652891A JP2501259B2 JP 2501259 B2 JP2501259 B2 JP 2501259B2 JP 3226528 A JP3226528 A JP 3226528A JP 22652891 A JP22652891 A JP 22652891A JP 2501259 B2 JP2501259 B2 JP 2501259B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
magnetic
insulating film
magnetic head
coil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP3226528A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0546932A (en
Inventor
幹男 松崎
敦夫 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP3226528A priority Critical patent/JP2501259B2/en
Publication of JPH0546932A publication Critical patent/JPH0546932A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2501259B2 publication Critical patent/JP2501259B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、薄膜磁気ヘッドに関
し、上部磁性膜を支持する上部絶縁膜は、上部磁性膜の
面内に備えられていて、上部磁性膜の面外の大部分には
設けない構造とすることにより、ポップコーンノイズま
たはライト後ノイズを劇的に減少させた薄膜磁気ヘッド
を提供できるようにしたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film magnetic head, in which an upper insulating film for supporting an upper magnetic film is provided in a plane of the upper magnetic film, and most of the upper magnetic film is out of the plane. By not providing the structure, it is possible to provide a thin film magnetic head in which popcorn noise or noise after writing is dramatically reduced.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6は特開昭55ー84019号公報等
により知られた面内記録再生用薄膜磁気ヘッドの要部の
斜視図、図7は同じく要部の断面図である。1は基体、
2は下部の磁性膜、3はアルミナ等でなるギャップ膜、
4は上部の磁性膜、5はコイル膜、6はノボラック樹脂
等の有機絶縁樹脂で構成された絶縁膜、7、8は引出リ
ード部、9は絶縁膜、10はアルミナ等の保護膜であ
る。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is a perspective view of an essential part of an in-plane recording / reproducing thin-film magnetic head known from JP-A-55-84019, and FIG. 7 is a sectional view of the same part. 1 is a substrate,
2 is a lower magnetic film, 3 is a gap film made of alumina or the like,
4 is an upper magnetic film, 5 is a coil film, 6 is an insulating film made of an organic insulating resin such as novolac resin, 7 and 8 are lead-out lead portions, 9 is an insulating film, and 10 is a protective film such as alumina. .

【0003】基体1は、Al2O3・TiC 等のセラミック構造
体101の上にAl2O3 等の絶縁膜102を被着させた構
造となっている。基体1はスライダの大部分を構成す
る。スライダとしての基体1は図示しないレールによる
空気ベアリング面またはレールのない平面状の空気ベア
リング面を有する。
[0003] substrate 1 has a structure obtained by depositing an insulating film 102 of Al 2 O 3 or the like on the ceramic structure 101, for example, Al 2 O 3 · TiC. The base 1 constitutes most of the slider. The base 1 as a slider has an air bearing surface by a rail (not shown) or a planar air bearing surface without a rail.

【0004】磁性膜2及び磁性膜4の先端部はアルミナ
等でなるギャップ膜3を隔てて対向するポール部21、
41となっており、このポール部21、41において磁
気変換動作を行なう。
The tip portions of the magnetic films 2 and 4 are pole portions 21 facing each other with a gap film 3 made of alumina or the like interposed therebetween.
41, and the magnetic conversion operation is performed in the pole portions 21 and 41.

【0005】コイル膜5は2層のコイル膜51、52を
含んでおり、磁性膜2、4及びギャップ膜3と共に薄膜
磁気回路を構成している。このコイル膜5は、Cu/Ti
のスパッタ膜でなる下地導体膜の上にCu メッキでなる
導体膜を積層して設けた構造となっており、ポール部2
1、41の後方に連なる磁性膜2、4のヨーク部の結合
部のまわりに渦巻状に形成されている。
The coil film 5 includes two layers of coil films 51 and 52, and together with the magnetic films 2 and 4 and the gap film 3 constitutes a thin film magnetic circuit. This coil film 5 is Cu / Ti
The structure is such that the conductor film made of Cu plating is laminated on the base conductor film made of the sputtered film of
A spiral shape is formed around the coupling portion of the yoke portions of the magnetic films 2 and 4 connected to the rear of the first and the first portions 41.

【0006】絶縁膜6は、コイル膜51、52よりも下
側にあって、コイル膜51を支持する下部絶縁膜61
と、コイル膜52の上側にあってコイル膜52を被覆す
ると共に、上部磁性膜4を支持する上部絶縁膜63とを
含んでいる。絶縁膜62はコイル膜51−52間に位置
する中間絶縁膜である。コイル膜5が単層構造のときは
中間絶縁膜62は省略される。
The insulating film 6 is below the coil films 51 and 52 and is a lower insulating film 61 that supports the coil film 51.
And an upper insulating film 63 that covers the coil film 52 and that supports the upper magnetic film 4 above the coil film 52. The insulating film 62 is an intermediate insulating film located between the coil films 51 and 52. When the coil film 5 has a single layer structure, the intermediate insulating film 62 is omitted.

【0007】保護膜10は、磁性膜2、4、ギャップ膜
3、コイル膜5及び層間絶縁膜6によって構成される薄
膜磁気ヘッド素子を保護するために設けられたもので、
アルミナ等のスパッタ膜として形成される。図6の斜視
図はこの保護膜10を設ける前の状態を示している。
The protective film 10 is provided to protect the thin film magnetic head element composed of the magnetic films 2 and 4, the gap film 3, the coil film 5 and the interlayer insulating film 6.
It is formed as a sputtered film of alumina or the like. The perspective view of FIG. 6 shows a state before the protective film 10 is provided.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の薄膜
磁気ヘッドにおいては、書込信号を与えた後に、例えば
10μs〜20μs程度の時間をおいて、読出動作を行
なった場合、読出信号に、通常のホワイトノイズより
も、著しく高いピーク値を持つパルス状のノイズが発生
する。図8はホワイトノイズ中のパルス状ノイズを示す
オシロスコープ波形図で、横軸に単位目盛当り0.5μ
sで表される時間目盛を取り、縦軸に単位目盛当り30
μVで表される電圧目盛を取ってある。波形図の下に
は、書込動作と読出動作とのタイムチャートを、時間軸
を合せて表示してある。書込動作を停止した後、t0 時
に読出動作を開始した場合、t0 時を基準にして、1.
5μs〜2.5μsを経過したときに、ホワイトノイズ
PW のレベルよりも著しくピーク値の高いパルス状のノ
イズPP が生じている。このようなノイズPP は当業者
間ではポップコーンノイズまたはイクセスノイズもしく
はライト後ノイズと呼ばれている。
However, in the conventional thin-film magnetic head, when a read operation is performed after a write signal is applied and a time of, for example, about 10 μs to 20 μs has elapsed, the read signal is usually Pulsed noise having a peak value significantly higher than that of the white noise of is generated. Fig. 8 is an oscilloscope waveform diagram showing pulse noise in white noise, with 0.5 µ per unit scale on the horizontal axis.
Take the time scale represented by s, and the vertical axis is 30 per unit scale
The voltage scale is expressed in μV. Below the waveform diagram, a time chart of the write operation and the read operation is displayed along the time axis. When the read operation is started at t0 after the write operation is stopped, the time of t0 is used as a reference.
When 5 μs to 2.5 μs has passed, pulse-like noise PP having a peak value significantly higher than the level of the white noise PW is generated. Such noise PP is called popcorn noise, access noise or post-write noise by those skilled in the art.

【0009】ポップコーンノイズPP の発生メカニズム
は、必ずしも明確ではないけれども、書込動作状態から
静止状態に移る際の磁性膜2、4における磁区形成の遅
れがその主要な原因ではないかと推測される。磁性膜
2、4は磁気的異方性を有しており、書込動作時に、図
9に示すように、磁化困難軸方向HH を向いている磁区
が、静止状態では、図10に示すように、磁化困難軸方
向HH から90度回転した磁化容易軸方向HE に向きを
変える。ポップコーンノイズPP は、磁性膜2、4の磁
区の方向が磁化困難軸方向HH から容易軸方向HE に回
転するときの時間的な遅れに起因して発生するというも
のである。
The generation mechanism of the popcorn noise PP is not always clear, but it is presumed that the main cause is the delay in the formation of the magnetic domains in the magnetic films 2 and 4 when the write operation state shifts to the stationary state. The magnetic films 2 and 4 have magnetic anisotropy, and the magnetic domains facing the hard axis direction HH as shown in FIG. 9 at the time of writing operation are as shown in FIG. 10 in the static state. Then, the direction is changed from the hard axis direction HH to the easy axis direction HE rotated by 90 degrees. The popcorn noise PP is generated due to a time delay when the magnetic domains of the magnetic films 2 and 4 rotate from the hard axis direction HH to the easy axis direction HE.

【0010】ポップコーンノイズPP は、ピーク値V0-
p が大きなものでは100μV0-pにも達し、正常な読
出信号との区別ができず、磁気ディスクドライブでは読
出しエラーとなる。このことは、薄膜磁気ヘッドの実用
性を否定することにもなりかねない極めて重要な問題で
ある。しかしながら、現状では、その有効な解決手段が
ない。例えば、書込動作後、読出動作を行なうまでの時
間(ポスト.ライト.リカバリ.タイム)を長くとる等
の手段が考えられるが、その適用に当っては、磁気ディ
スクドライブ装置のシステム変更が不可欠であり、実際
には不可能に近い。しかも、ポスト.ライト.リカバ
リ.タイムを長くとることは、高密度記録の要請に反す
る。
The popcorn noise PP has a peak value V0-
When p is large, it reaches 100 .mu.V0-p and cannot be distinguished from a normal read signal, resulting in a read error in the magnetic disk drive. This is a very important problem that may deny the practicality of the thin film magnetic head. However, at present, there is no effective solution. For example, it is conceivable to increase the time (post.write.recovery.time) from the write operation to the read operation, but in applying this, it is essential to change the system of the magnetic disk drive device. And, in reality, it's almost impossible. And post. Light. recovery. Taking a long time runs counter to the demand for high-density recording.

【0011】そこで、本発明の課題は、上述する従来の
問題点を解決し、ポップコーンノイズを劇的に減少させ
得る薄膜磁気ヘッドを提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide a thin film magnetic head capable of dramatically reducing popcorn noise.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上述する課題を解決する
ため、本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、基体上に下部磁
性膜、絶縁膜に埋設されたコイル膜及び前記絶縁膜の上
に形成された上部磁性膜を順次積層した薄膜磁気ヘッド
であって、前記絶縁膜は、前記上部磁性膜を支持する上
部絶縁膜を含んでおり、前記上部絶縁膜は、前記上部磁
性膜の面内に備えられていて、前記上部磁性膜の面外の
大部分には設けられておらず、 前記上部磁性膜及び前記
上部磁性膜の外部に位置する前記コイル膜は、セラミッ
クを主成分とする保護膜によって覆われていることを特
徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a thin film magnetic head according to the present invention is formed on a substrate with a lower magnetic film, a coil film embedded in an insulating film, and the insulating film. A thin film magnetic head in which upper magnetic films are sequentially stacked, the insulating film includes an upper insulating film that supports the upper magnetic film, and the upper insulating film is provided in a plane of the upper magnetic film. The upper magnetic film and the upper magnetic film are not provided on most of the surface outside the upper magnetic film.
The coil film positioned outside the upper magnetic film is a ceramic film.
It is characterized in that it is covered with a protective film containing ku as a main component .

【0013】[0013]

【作用】上部絶縁膜は、上部磁性膜の面内に備えられて
いて、上部磁性膜の面外の大部分には設けない構造であ
ると、ポップコーンノイズが著しく減少することが分っ
た。その理由は明確ではないが、上部磁性膜の面外に上
部絶縁膜がないために、上部絶縁膜の硬化収縮等に伴う
応力が、上部磁性膜の外部から加わることがなくなるた
めではないかと推測される。上部磁性膜の外部に位置す
るコイル膜は保護膜によって覆う。
It has been found that if the upper insulating film is provided in the surface of the upper magnetic film and is not provided in the most part outside the surface of the upper magnetic film, popcorn noise is significantly reduced. Although the reason is not clear, it is presumed that there is no upper insulating film outside the surface of the upper magnetic film, so that the stress due to curing shrinkage of the upper magnetic film will not be applied from outside the upper magnetic film. To be done. The coil film located outside the upper magnetic film is covered with a protective film.

【0014】[0014]

【実施例】図1は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部の
平面部分破断面図、図2は同じく要部の断面図である。
図において、図6〜図7と同一の参照符号は同一性ある
構成部分を示している。絶縁膜6は、コイル膜5よりも
下側にあってコイル膜51を支持する下部絶縁膜61
と、上部磁性膜4を支持する上部絶縁膜63とを含んで
いる。実施例は2層のコイル膜51、52を有する例を
示しているので、下部絶縁膜61と上部絶縁膜63との
間に中間絶縁膜62を有している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a fragmentary plan sectional view of a main part of a thin film magnetic head according to the present invention, and FIG.
In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 6 to 7 denote the same components. The insulating film 6 is located below the coil film 5 and supports the coil film 51.
And an upper insulating film 63 that supports the upper magnetic film 4. Since the embodiment shows an example having two layers of coil films 51 and 52, an intermediate insulating film 62 is provided between the lower insulating film 61 and the upper insulating film 63.

【0015】上部絶縁膜63は、上部磁性膜4の面内に
備えられているが、上部磁性膜4の面外の大部分には設
けられていない。上部磁性膜4の外部に位置するコイル
膜52は保護膜10によって覆う。上述のような絶縁膜
構造は、上部磁性膜4を形成する領域の内外に上部絶縁
膜63を形成した後、上部磁性膜4を形成すべき領域内
の上部絶縁膜63を残して、残りをイオーンミーリング
等の手段によって除去するか、または上部絶縁膜63を
作るときのマスククパターンを、必要とするパターンに
合せることによって形成できる。実施例では、コイル膜
51、52の2層構造を示してあるが、コイル膜の層数
は任意である。単層であってもよいし、3層以上の多層
のコイル膜を有する構造であってもよい。何れの場合
も、上部磁性膜4を支持している上部絶縁膜が、上部磁
性膜4の面内にはあるが、面外の大部分には存在しない
ような絶縁膜構造とする。
The upper insulating film 63 is provided on the surface of the upper magnetic film 4, but is not provided on most of the surface of the upper magnetic film 4. The coil film 52 located outside the upper magnetic film 4 is covered with the protective film 10. In the insulating film structure as described above, after the upper insulating film 63 is formed inside and outside the region where the upper magnetic film 4 is formed, the upper insulating film 63 in the region where the upper magnetic film 4 is to be formed is left and the rest is left. It can be formed by removing it by means such as ion milling, or by matching the mask pattern when forming the upper insulating film 63 with a required pattern. In the embodiment, the two-layer structure of the coil films 51 and 52 is shown, but the number of layers of the coil film is arbitrary. The structure may be a single layer or a structure having three or more layers of coil films. In any case, the upper insulating film supporting the upper magnetic film 4 has an insulating film structure in which the upper insulating film is in the surface of the upper magnetic film 4 but is not present in most of the outside of the surface.

【0016】図3は図1及び図2に示した本発明に係る
薄膜磁気磁気ヘッド(本発明品)と、図6及び図7に示
した従来の薄膜磁気ヘッド(従来品)とのポップコーン
ノイズ数をグラフ化して示す図である。図示するよう
に、従来品では130個前後あったポップコーンノイズ
が、本発明品では0〜数個に劇的に減少している。次
に、図3のデータを得るために設定された条件について
説明する。
FIG. 3 shows popcorn noise between the thin film magnetic head according to the present invention shown in FIGS. 1 and 2 (invention product) and the conventional thin film magnetic head shown in FIGS. 6 and 7 (conventional product). It is a figure which graphs and shows a number. As shown in the figure, the popcorn noise, which was around 130 in the conventional product, is dramatically reduced to 0 to several in the product of the present invention. Next, the conditions set to obtain the data of FIG. 3 will be described.

【0017】図4は図3のデータを得るための書込及び
読出動作のタイムチャートである。書込動作は、書込電
流40mA0-p 、書込時間1msとした。書込動作終了
後、10μsのポスト.ライト.リカバリ.タイムを取
り、読出動作を行なった。読出時間は16msである。上
述を1サイクルとして2分間の試験を行なった。ホワイ
トノイズのレベルを30μV0-p と仮定し、ポップコー
ンノイズ検出のためのノイズしきい値電圧を40μV0-
p、50μV0-p にそれぞれ設定して試験を行なった。
FIG. 4 is a time chart of write and read operations for obtaining the data of FIG. The write operation was performed with a write current of 40 mA0-p and a write time of 1 ms. After completion of the writing operation, post for 10 μs. Light. recovery. Time was taken and the read operation was performed. The read time is 16 ms. A test for 2 minutes was performed with the above as one cycle. Assuming that the white noise level is 30μV0-p, the noise threshold voltage for popcorn noise detection is 40μV0-p.
The test was conducted by setting p and 50 μV 0-p respectively.

【0018】図5は図3のデータを得るために供された
測定回路のブロック図である。図において、12は薄膜
磁気ヘッド、13、14は増幅器、15はフィルタ、1
6はオペアンプ、17は比較器、18は論理ゲート、1
9は読出/書込の切替制御器、20はゲート制御器、2
1はゲート.タイマー、22は論理ゲート、23はポッ
プコーンカウンタである。
FIG. 5 is a block diagram of the measurement circuit provided to obtain the data of FIG. In the figure, 12 is a thin film magnetic head, 13 and 14 are amplifiers, 15 is a filter, 1
6 is an operational amplifier, 17 is a comparator, 18 is a logic gate, 1
9 is a read / write switching controller, 20 is a gate controller, 2
1 is a gate. A timer, 22 is a logic gate, and 23 is a popcorn counter.

【0019】切替制御器19から増幅器13に与えられ
る切替信号により、図4に示すタイムチャートに従って
読出/書込の切替えを行なう。読出動作において、薄膜
磁気ヘッド12から出力される信号を増幅器13、14
で増幅し、フィルタ15により必要な周波数成分を抽出
し、オペアンプ16を通して比較器17に入力する。比
較器17は、オペアンプ16より供給される信号を、ツ
ェナーダイオード24によって設定されたポップコーン
ノイズ検出のためのノイズしきい値と比較し、前者が後
者よりも大きいときに、論理1の出力を生じる。この論
理1の比較出力を、論理ゲート18を通してポップコー
ンノイズ.カウンタ23に与えて計数する。ポップコー
ンノイズ.カウンタ23における計数タイミングは、ゲ
ート制御器20及びゲートタイマ21から論理ゲート2
2を通して与えられるタイミング信号によって定められ
る。
A switching signal supplied from the switching controller 19 to the amplifier 13 switches between reading and writing according to the time chart shown in FIG. In the read operation, the signals output from the thin film magnetic head 12 are transmitted to the amplifiers 13 and 14
Amplified by, the necessary frequency component is extracted by the filter 15, and input to the comparator 17 through the operational amplifier 16. The comparator 17 compares the signal supplied from the operational amplifier 16 with a noise threshold for popcorn noise detection set by the Zener diode 24, and produces an output of logic 1 when the former is larger than the latter. . The comparison output of the logic 1 is passed through the logic gate 18 and popcorn noise. It is given to the counter 23 to count. Popcorn noise. The counting timing in the counter 23 is determined by the gate controller 20 and the gate timer 21 from the logic gate 2
2 through the timing signal provided.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上述べたように、本発明に係る薄膜磁
気ヘッドは、上部磁性膜を支持する上部絶縁膜が、上部
磁性膜の面内に備えられていて、上部磁性膜の面外の大
部分には設けられていないから、ポップコーンノイズを
著しく減少させた薄膜磁気ヘッドを提供することができ
る。
As described above, in the thin film magnetic head according to the present invention, the upper insulating film for supporting the upper magnetic film is provided in the surface of the upper magnetic film, and the upper insulating film is provided outside the surface of the upper magnetic film. Since most of them are not provided, it is possible to provide a thin film magnetic head with significantly reduced popcorn noise.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部の平面部分
破断面図である。
FIG. 1 is a partial plan sectional view of a main part of a thin film magnetic head according to the present invention.

【図2】本発明に係る薄膜磁気ヘッドの要部の断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view of a main part of a thin film magnetic head according to the present invention.

【図3】本発明に係る薄膜磁気磁気ヘッド(本発明品)
と、従来の薄膜磁気ヘッド(従来品)とのポップコーン
ノイズ数をグラフ化して示す図である。
FIG. 3 is a thin-film magnetic head according to the present invention (present invention product).
FIG. 6 is a graph showing the number of popcorn noises of a conventional thin film magnetic head (conventional product).

【図4】図3のデータを得るための書込及び読出動作の
タイムチャートである。
FIG. 4 is a time chart of write and read operations for obtaining the data of FIG.

【図5】図3のデータを得るために供された測定回路の
ブロック図である。
5 is a block diagram of a measurement circuit provided to obtain the data of FIG.

【図6】従来の薄膜磁気ヘッドの要部の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a main part of a conventional thin film magnetic head.

【図7】従来の薄膜磁気ヘッドの要部の断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a main part of a conventional thin film magnetic head.

【図8】ホワイトノイズ中のパルス状ノイズを示すオシ
ロスコープ波形図である。
FIG. 8 is an oscilloscope waveform diagram showing pulsed noise in white noise.

【図9】書き込み動作時の磁区の構造をモデル化して示
す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a model of a magnetic domain structure during a write operation.

【図10】読み出し動作時の磁区の構造をモデル化して
示す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a model of a magnetic domain structure during a read operation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基体 2 下部磁性膜 4 上部磁性膜 51、52 コイル膜 61 下部絶縁膜 63 上部絶縁膜 1 Base 2 Lower Magnetic Film 4 Upper Magnetic Film 51, 52 Coil Film 61 Lower Insulating Film 63 Upper Insulating Film

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 基体上に下部磁性膜、絶縁膜に埋設され
たコイル膜及び前記絶縁膜の上に形成された上部磁性膜
を順次積層した薄膜磁気ヘッドであって、 前記絶縁膜は、前記上部磁性膜を支持する上部絶縁膜を
含んでおり、 前記上部絶縁膜は、前記上部磁性膜の面内に備えられて
いて、前記上部磁性膜の面外の大部分には設けられて
らず、 前記上部磁性膜及び前記上部磁性膜の外部に位置する前
記コイル膜は、セラミックを主成分とする保護膜によっ
て覆われている ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
1. A lower magnetic film and an insulating film embedded on a substrate.
Coil film and upper magnetic film formed on the insulating film
A thin film magnetic head in which the insulating film is an upper insulating film supporting the upper magnetic film.
And the upper insulating film is provided in a plane of the upper magnetic film.
And is provided on most of the surface of the upper magnetic film.Oh
Without Before being located outside the upper magnetic film and the upper magnetic film
The coil film is made of a ceramic-based protective film.
Covered A thin film magnetic head characterized in that
JP3226528A 1991-08-12 1991-08-12 Thin film magnetic head Expired - Fee Related JP2501259B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3226528A JP2501259B2 (en) 1991-08-12 1991-08-12 Thin film magnetic head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3226528A JP2501259B2 (en) 1991-08-12 1991-08-12 Thin film magnetic head

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0546932A JPH0546932A (en) 1993-02-26
JP2501259B2 true JP2501259B2 (en) 1996-05-29

Family

ID=16846549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3226528A Expired - Fee Related JP2501259B2 (en) 1991-08-12 1991-08-12 Thin film magnetic head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2501259B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61210507A (en) * 1985-03-15 1986-09-18 Olympus Optical Co Ltd Thin-film magnetic head
JPH01178114A (en) * 1988-01-09 1989-07-14 Hitachi Ltd Thin film magnetic head

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0546932A (en) 1993-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5111352A (en) Three-pole magnetic head with reduced flux leakage
EP0301823A2 (en) Three-pole magnetic recording head
JP2000315302A (en) Composite thin film magnetic head
US5103553A (en) Method of making a magnetic recording head
JP4084008B2 (en) Thin film magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic disk device
US6487042B2 (en) Thin-film magnetic head and magnetic storage apparatus using the same
JP2501259B2 (en) Thin film magnetic head
JPS62172515A (en) Thin film magnetic head for varied servo system
JPH0546931A (en) Thin film magnetic head
JPH063644B2 (en) Pulse noise prevention method for thin film magnetic head
US5236735A (en) Method of producing a thin film magnetic head
JPH0546937A (en) Thin film magnetic head
EP0585930A2 (en) Thin film magnetic head
JPS62121917A (en) Buried servo type thin film magnetic head
JPH02246017A (en) Magnetic recording medium
US6851179B2 (en) Magnetic head producing method
JPH04137208A (en) Production of thin-film magnetic head
JPH10334422A (en) Magnetic recorder
JPH0546943A (en) Thin film magnetic head
JPH1131311A (en) Shield type magneto-resistive effect thin film magnetic head and its manufacture
JPH0887721A (en) Magnetic conversion element and thin-film magnetic head
JPH0830928A (en) Magnetic head for measuring head characteristic
JPH07105510A (en) Magnetic transducing element, thin film magnetic head, and production of magnetic transducer element
JPH05182146A (en) Thin-film magnetic head
JPH1011718A (en) Magneto-resistive head

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19960206

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees