JP2024096302A - 液晶層をパターン化するための方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
【課題】液晶層をパターン化するための方法およびシステムの提供。
【解決手段】いくつかの実装では、光学マスタが、ナノインプリント整合層を使用して、液晶層をパターン化することによって、作成される。ナノインプリント整合層および液晶層は、光学マスタを構成する。光学マスタは、光整合層の上方に位置付けられる。光学マスタは、照明され、ナノインプリントされた整合層および液晶層を通して伝搬する、光は、回折され、続いて、光整合層に衝打する。入射回折光は、液晶層内のパターンを光整合層に転写させる。第2の液晶層が、パターン化された光整合層上に堆積され、これは、続いて、第2の液晶層の分子を整合させるために使用される。
【選択図】図3b
【解決手段】いくつかの実装では、光学マスタが、ナノインプリント整合層を使用して、液晶層をパターン化することによって、作成される。ナノインプリント整合層および液晶層は、光学マスタを構成する。光学マスタは、光整合層の上方に位置付けられる。光学マスタは、照明され、ナノインプリントされた整合層および液晶層を通して伝搬する、光は、回折され、続いて、光整合層に衝打する。入射回折光は、液晶層内のパターンを光整合層に転写させる。第2の液晶層が、パターン化された光整合層上に堆積され、これは、続いて、第2の液晶層の分子を整合させるために使用される。
【選択図】図3b
Description
(優先権の主張)
本願は、35 U.S.C. §119(e)(米国特許法第119条(e))下、2019年11月22日に出願された、米国仮出願第62/939,514号の優先権の利益を主張する。本優先権書類の開示全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる。
(参照による組み込み)
本願は、35 U.S.C. §119(e)(米国特許法第119条(e))下、2019年11月22日に出願された、米国仮出願第62/939,514号の優先権の利益を主張する。本優先権書類の開示全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる。
(参照による組み込み)
本願は、2018年10月25日に出願され、2019年7月25日に米国特許公開第2019/0227375号として公開された、米国特許出願第16/171,290号の全体を参照することによって組み込む。本願はまた、2017年12月7日に出願され、2018年6月14日に米国特許公開第2018/0164627号として公開された、米国特許出願第15/835,108号の全体を参照することによって組み込む。
本開示は、液晶層をパターン化するための方法およびシステムに関する。
液晶は、種々のパターンを形成するように操作され得、これは、有利なこととして、例えば、光学デバイスを形成するために適用され得る。例えば、液晶層内の液晶分子は、規則的間隔および配向を伴うパターンを形成するように配向されてもよく、これは、回折光学特徴として利用されてもよい。液晶層の機能性は、液晶分子によって形成される、パターンに依存するため、所望の配向およびパターンを有する液晶分子を伴う、液晶層を確実かつ効率的に形成するための方法およびシステムの継続的必要性が存在する。
いくつかの実装によると、方法が、パターン化された液晶層を形成するために提供される。本方法は、表面レリーフ特徴を含む、整合層と、表面レリーフ特徴上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層とを備える、光学マスタを提供することを含む。本方法はさらに、基板上に配置される、光整合層を提供することと、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することとを含む。
いくつかの他の実装によると、方法が、光学マスタを形成するために提供される。本方法は、表面レリーフ特徴を含む、整合層と、表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層とを備える、第1の光学マスタを提供することを含む。本方法はさらに、基板上に配置される、光整合層を提供することと、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、こととによって、第2の光学マスタを形成することを含む。第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える。
さらに他の実装によると、方法が、複製光学マスタを使用して、パターン化された液晶層を形成するために提供される。本方法は、表面レリーフ特徴を含む、整合層と、表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層とを備える、第1の光学マスタを提供することを含む。本方法はさらに、基板上に配置される、光整合層を提供することと、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、こととによって、第2の光学マスタを形成することとを含む。第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える。本方法はさらに、第2の光整合層を第2の基板上に提供することと、第2の光学マスタを第2の光整合層にわたって位置付けることと、光を第2の光学マスタを通して第2の光整合層に伝搬させることによって、液晶パターンを第2の光整合層内に複製することとを含む。
いくつかの他の実装によると、方法が、パターン化された液晶層を形成するために提供される。本方法は、整合層と、整合層上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層とを備える、光学マスタを提供することを含む。本方法はさらに、基板上に配置される、光整合層を提供することと、コリメート型光源を光学マスタを横断して移動させることによって、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させ、液晶パターンを光整合層内に複製することとを含む。
種々の実装の付加的実施例は、下記に提供される。
(実施例1)
パターン化された液晶層を形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と、
を備える、光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
を含む、方法。
パターン化された液晶層を形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と、
を備える、光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
を含む、方法。
(実施例2)
整合層は、インプリント層を備える、請求項1に記載の方法。
整合層は、インプリント層を備える、請求項1に記載の方法。
(実施例3)
液晶層は、ネマチック液晶層を備える、請求項1に記載の方法。
液晶層は、ネマチック液晶層を備える、請求項1に記載の方法。
(実施例4)
表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、液晶層は、液晶分子がナノ構造と整合するように、整合層上に配置される、請求項1に記載の方法。
表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、液晶層は、液晶分子がナノ構造と整合するように、整合層上に配置される、請求項1に記載の方法。
(実施例5)
ナノ構造は、インプリントされたナノ構造を備える、請求項4に記載の方法。
ナノ構造は、インプリントされたナノ構造を備える、請求項4に記載の方法。
(実施例6)
ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、液晶分子は、ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、請求項4に記載の方法。
ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、液晶分子は、ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、請求項4に記載の方法。
(実施例7)
液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であって、式中、λは、光学マスタを通して光整合層に伝搬される、光の波長であって、Δnは、液晶層の複屈折である、請求項1に記載の方法。
液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であって、式中、λは、光学マスタを通して光整合層に伝搬される、光の波長であって、Δnは、液晶層の複屈折である、請求項1に記載の方法。
(実施例8)
液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、液晶パターンを複製後、光整合層は、液晶層の光位相の約2倍の光位相と、液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、請求項7に記載の方法。
液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、液晶パターンを複製後、光整合層は、液晶層の光位相の約2倍の光位相と、液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、請求項7に記載の方法。
(実施例9)
光は、直線偏光を備える、請求項7に記載の方法。
光は、直線偏光を備える、請求項7に記載の方法。
(実施例10)
液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、円偏光の一方は、-1回折次数光であって、円偏光の他方は、+1回折次数光である、請求項9に記載の方法。
液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、円偏光の一方は、-1回折次数光であって、円偏光の他方は、+1回折次数光である、請求項9に記載の方法。
(実施例11)
液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に、半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項10に記載の方法。
液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に、半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項10に記載の方法。
(実施例12)
液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であって、式中、λは、光学マスタを通して伝搬される、光の波長であって、Δnは、液晶層の複屈折である、請求項1に記載の方法。
液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であって、式中、λは、光学マスタを通して伝搬される、光の波長であって、Δnは、液晶層の複屈折である、請求項1に記載の方法。
(実施例13)
液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、液晶パターンを複製後、光整合層は、液晶層のものに等しい、光位相と、格子周期とを有する、請求項12に記載の方法。
液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、液晶パターンを複製後、光整合層は、液晶層のものに等しい、光位相と、格子周期とを有する、請求項12に記載の方法。
(実施例14)
光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備える、請求項12に記載の方法。
光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備える、請求項12に記載の方法。
(実施例15)
液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、左旋円偏光および右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であって、左旋円偏光および右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、請求項14に記載の方法。
液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、左旋円偏光および右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であって、左旋円偏光および右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、請求項14に記載の方法。
(実施例16)
液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に回折し、液晶層は、約半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項15に記載の方法。
液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に回折し、液晶層は、約半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項15に記載の方法。
(実施例17)
液晶層を直接光整合層上に堆積させることをさらに含み、光整合層上の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、請求項1に記載の方法。
液晶層を直接光整合層上に堆積させることをさらに含み、光整合層上の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、請求項1に記載の方法。
(実施例18)
光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の方法。
光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、請求項1に記載の方法。
(実施例19)
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項1に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項1に記載の方法。
(実施例20)
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項19に記載の方法。
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項19に記載の方法。
(実施例21)
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項19に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項19に記載の方法。
(実施例22)
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項19に記載の方法。
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項19に記載の方法。
(実施例23)
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項22に記載の方法。
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項22に記載の方法。
(実施例24)
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項23に記載の方法。
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項23に記載の方法。
(実施例25)
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項22に記載の方法。
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項22に記載の方法。
(実施例26)
光学マスタを形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層と、
を備える、第1の光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、ことと、
によって、第2の光学マスタを形成することと、
を含み、第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える、方法。
光学マスタを形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層と、
を備える、第1の光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、ことと、
によって、第2の光学マスタを形成することと、
を含み、第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える、方法。
(実施例27)
整合層は、インプリント層を備える、請求項26に記載の方法。
整合層は、インプリント層を備える、請求項26に記載の方法。
(実施例28)
液晶層は、ネマチック液晶層を備える、請求項26に記載の方法。
液晶層は、ネマチック液晶層を備える、請求項26に記載の方法。
(実施例29)
表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、第1の液晶層は、第1の液晶層の液晶分子がナノ構造と整合するように、整合層上に配置される、請求項26に記載の方法。
表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、第1の液晶層は、第1の液晶層の液晶分子がナノ構造と整合するように、整合層上に配置される、請求項26に記載の方法。
(実施例30)
ナノ構造は、インプリントされたナノ構造を備える、請求項29に記載の方法。
ナノ構造は、インプリントされたナノ構造を備える、請求項29に記載の方法。
(実施例31)
ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、第1の液晶層の液晶分子は、ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、請求項29に記載の方法。
ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、第1の液晶層の液晶分子は、ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、請求項29に記載の方法。
(実施例32)
第1の液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であって、式中、λは、第1の光学マスタを通して光整合層に伝搬される、光の波長であって、Δnは、第1の液晶層の複屈折である、請求項26に記載の方法。
第1の液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であって、式中、λは、第1の光学マスタを通して光整合層に伝搬される、光の波長であって、Δnは、第1の液晶層の複屈折である、請求項26に記載の方法。
(実施例33)
第1の液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、液晶パターンを複製後、光整合層は、第1の液晶層の光位相の約2倍の光位相と、第1の液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、請求項32に記載の方法。
第1の液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、液晶パターンを複製後、光整合層は、第1の液晶層の光位相の約2倍の光位相と、第1の液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、請求項32に記載の方法。
(実施例34)
光は、直線偏光を備える、請求項32に記載の方法。
光は、直線偏光を備える、請求項32に記載の方法。
(実施例35)
第1の液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、円偏光の一方は、-1回折次数光であって、円偏光の他方は、+1回折次数光である、請求項34に記載の方法。
第1の液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、円偏光の一方は、-1回折次数光であって、円偏光の他方は、+1回折次数光である、請求項34に記載の方法。
(実施例36)
第1の液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に、半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項35に記載の方法。
第1の液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に、半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項35に記載の方法。
(実施例37)
第1の液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であって、式中、λは、第1の光学マスタを通して伝搬される、光の波長であって、Δnは、第1の液晶層の複屈折である、請求項26に記載の方法。
第1の液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であって、式中、λは、第1の光学マスタを通して伝搬される、光の波長であって、Δnは、第1の液晶層の複屈折である、請求項26に記載の方法。
(実施例38)
第1の液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、液晶パターンを複製後、光整合層は、第1の液晶層のものに等しい、光位相と、格子周期とを有する、請求項37に記載の方法。
第1の液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、液晶パターンを複製後、光整合層は、第1の液晶層のものに等しい、光位相と、格子周期とを有する、請求項37に記載の方法。
(実施例39)
光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備える、請求項37に記載の方法。
光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備える、請求項37に記載の方法。
(実施例40)
第1の液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、左旋円偏光および右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であって、左旋円偏光および右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、請求項39に記載の方法。
第1の液晶層は、光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、左旋円偏光および右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であって、左旋円偏光および右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、請求項39に記載の方法。
(実施例41)
第1の液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に回折し、液晶層は、約半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項40に記載の方法。
第1の液晶層は、約半分の光を左旋円偏光に回折し、液晶層は、約半分の光を右旋円偏光に回折する、請求項40に記載の方法。
(実施例42)
光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、請求項26に記載の方法。
光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、請求項26に記載の方法。
(実施例43)
光を第1の光学マスタを通して伝搬させることは、第1の光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を第1の光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項26に記載の方法。
光を第1の光学マスタを通して伝搬させることは、第1の光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を第1の光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項26に記載の方法。
(実施例44)
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項43に記載の方法。
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項43に記載の方法。
(実施例45)
光を第1の光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を第1の光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項43に記載の方法。
光を第1の光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を第1の光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項43に記載の方法。
(実施例46)
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項43に記載の方法。
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項43に記載の方法。
(実施例47)
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項46に記載の方法。
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項46に記載の方法。
(実施例48)
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項47に記載の方法。
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項47に記載の方法。
(実施例49)
走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項47に記載の方法。
走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項47に記載の方法。
(実施例50)
複製光学マスタを使用して、パターン化された液晶層を形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層と、
を備える、第1の光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、ことと、
によって、第2の光学マスタを形成することであって、第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える、ことと、
第2の光整合層を第2の基板上に提供することと、
第2の光学マスタを第2の光整合層にわたって位置付けることと、
光を第2の光学マスタを通して第2の光整合層に伝搬させることによって、液晶パターンを第2の光整合層内に複製することと、
を含む、方法。
複製光学マスタを使用して、パターン化された液晶層を形成する方法であって、
表面レリーフ特徴を含む、整合層と、
表面レリーフ特徴上の第1の液晶層であって、第1の液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、第1の液晶層と、
を備える、第1の光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させることによって、光整合層内の液晶パターンを複製することと、
第2の液晶層を光整合層上に堆積させることであって、第2の液晶層の分子は、光整合層によって整合される、ことと、
によって、第2の光学マスタを形成することであって、第2の光学マスタは、第2の液晶層と、光整合層と、基板とを備える、ことと、
第2の光整合層を第2の基板上に提供することと、
第2の光学マスタを第2の光整合層にわたって位置付けることと、
光を第2の光学マスタを通して第2の光整合層に伝搬させることによって、液晶パターンを第2の光整合層内に複製することと、
を含む、方法。
(実施例51)
第3の液晶層を第2の光整合層上に堆積させることをさらに含み、第3の液晶層の分子は、第2の光整合層によって整合される、請求項50に記載の方法。
第3の液晶層を第2の光整合層上に堆積させることをさらに含み、第3の液晶層の分子は、第2の光整合層によって整合される、請求項50に記載の方法。
(実施例52)
パターン化された液晶層を形成する方法であって、
整合層と、
整合層上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と、を備える、光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
コリメート型光源を光学マスタを横断して移動させることによって、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させ、液晶パターンを光整合層内に複製することと、
を含む、方法。
パターン化された液晶層を形成する方法であって、
整合層と、
整合層上の液晶層であって、液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と、を備える、光学マスタを提供することと、
基板上に配置される、光整合層を提供することと、
コリメート型光源を光学マスタを横断して移動させることによって、光を光学マスタを通して光整合層に伝搬させ、液晶パターンを光整合層内に複製することと、
を含む、方法。
(実施例53)
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項52に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの少なくとも一部を照明する、コリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項52に記載の方法。
(実施例54)
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項53に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、コリメート型光源を光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、請求項53に記載の方法。
(実施例55)
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項52に記載の方法。
コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項52に記載の方法。
(実施例56)
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項52に記載の方法。
コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備える、請求項52に記載の方法。
(実施例57)
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項56に記載の方法。
コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、請求項56に記載の方法。
(実施例58)
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項57に記載の方法。
線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、請求項57に記載の方法。
(実施例59)
走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項57に記載の方法。
走査速度は、光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、請求項57に記載の方法。
(実施例60)
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの一部を照明する、複数のコリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項52に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることは、光学マスタの一部を照明する、複数のコリメート型光源を光学マスタにわたって位置付けることを含む、請求項52に記載の方法。
(実施例61)
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、複数のコリメート型光源を移動させ、光学マスタの異なる部分を照明することを含む、請求項60に記載の方法。
光を光学マスタを通して伝搬させることはさらに、複数のコリメート型光源を移動させ、光学マスタの異なる部分を照明することを含む、請求項60に記載の方法。
(実施例62)
複数のコリメート型光源はそれぞれ、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項60に記載の方法。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
パターン化された液晶層を形成する方法であって、前記方法は、
光学マスタを提供することであって、前記光学マスタは、
表面レリーフ特徴を含む整合層と、
前記表面レリーフ特徴上の液晶層であって、前記液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と
を備える、ことと、
基板上に配置される光整合層を提供することと、
光を前記光学マスタを通して前記光整合層に伝搬させることによって、前記光整合層内の前記液晶パターンを複製することと
を含む、方法。
(項目2)
前記整合層は、前記表面レリーフ特徴を前記整合層内にインプリントすることによって形成される、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、前記液晶層は、前記液晶分子が前記ナノ構造と整合するように、前記整合層上に配置され、前記ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、前記液晶分子は、前記ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、項目1に記載の方法。
(項目4)
前記液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であり、式中、λは、前記光学マスタを通して前記光整合層に伝搬される光の波長であり、Δnは、前記液晶層の複屈折である、項目1に記載の方法。
(項目5)
前記液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、前記液晶パターンを複製後、前記光整合層は、前記液晶層の光位相の約2倍の光位相と、前記液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、項目4に記載の方法。
(項目6)
前記光は、直線偏光を備え、前記液晶層は、前記光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、前記円偏光の一方は、-1回折次数光であり、前記円偏光の他方は、+1回折次数光である、項目4に記載の方法。
(項目7)
前記液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であり、式中、λは、前記光学マスタを通して伝搬される光の波長であり、Δnは、前記液晶層の複屈折であり、前記液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、前記液晶パターンを複製後、前記光整合層は、前記液晶層のものに等しい光位相と、格子周期とを有する、項目1に記載の方法。
(項目8)
前記光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備え、前記液晶層は、前記光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、前記左旋円偏光および前記右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であり、前記左旋円偏光および前記右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、項目7に記載の方法。
(項目9)
前記光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、項目1に記載の方法。
(項目10)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることは、コリメート型光源からのコリメートされた光を前記光学マスタを横断して指向させることを含む、項目1に記載の方法。
(項目11)
前記コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、項目10に記載の方法。
(項目12)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることはさらに、前記コリメート型光源を前記光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、項目10に記載の方法。
(項目13)
前記コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備え、前記コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、前記線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、項目10に記載の方法。
(項目14)
前記線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、項目13に記載の方法。
(項目15)
前記コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、前記走査速度は、前記光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、項目13に記載の方法。
(項目16)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることは、複数のコリメート型光源を前記光学マスタにわたって位置付けることを含む、項目10に記載の方法。
(項目17)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることはさらに、前記複数のコリメート型光源を移動させ、前記光学マスタの異なる部分を照明することを含む、項目16に記載の方法。
(項目18)
前記複数のコリメート型光源はそれぞれ、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、項目16に記載の方法。
(項目19)
第2の光学マスタを形成することをさらに含み、前記第2の光学マスタを形成することは、
第2の液晶層を前記光整合層上に堆積させることを含み、前記第2の液晶層の分子は、前記光整合層によって整合され、
前記第2の光学マスタは、前記第2の液晶層と、前記光整合層と、前記基板とを備える、項目1に記載の方法。
(項目20)
第2の光整合層を第2の基板上に提供することと、
前記第2の光学マスタを前記第2の光整合層にわたって位置付けることと、
光を前記第2の光学マスタを通して前記第2の光整合層に伝搬させることによって、前記液晶パターンを前記第2の光整合層内に複製することと
をさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目21)
第3の液晶層を前記第2の光整合層上に堆積させることをさらに含み、前記第3の液晶層の分子は、前記第2の光整合層によって整合される、項目20に記載の方法。
複数のコリメート型光源はそれぞれ、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、請求項60に記載の方法。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
パターン化された液晶層を形成する方法であって、前記方法は、
光学マスタを提供することであって、前記光学マスタは、
表面レリーフ特徴を含む整合層と、
前記表面レリーフ特徴上の液晶層であって、前記液晶層の液晶分子は、液晶パターンを画定する、液晶層と
を備える、ことと、
基板上に配置される光整合層を提供することと、
光を前記光学マスタを通して前記光整合層に伝搬させることによって、前記光整合層内の前記液晶パターンを複製することと
を含む、方法。
(項目2)
前記整合層は、前記表面レリーフ特徴を前記整合層内にインプリントすることによって形成される、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記表面レリーフ特徴は、ナノ構造を備え、前記液晶層は、前記液晶分子が前記ナノ構造と整合するように、前記整合層上に配置され、前記ナノ構造は、光位相と、格子周期とを備え、前記液晶分子は、前記ナノ構造によって、実質的に同一光位相および格子周期を含むように整合される、項目1に記載の方法。
(項目4)
前記液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(2Δn)であり、式中、λは、前記光学マスタを通して前記光整合層に伝搬される光の波長であり、Δnは、前記液晶層の複屈折である、項目1に記載の方法。
(項目5)
前記液晶層は、光位相と、格子周期とを有し、前記液晶パターンを複製後、前記光整合層は、前記液晶層の光位相の約2倍の光位相と、前記液晶層の格子周期の約半分の格子周期とを有する、項目4に記載の方法。
(項目6)
前記光は、直線偏光を備え、前記液晶層は、前記光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、前記円偏光の一方は、-1回折次数光であり、前記円偏光の他方は、+1回折次数光である、項目4に記載の方法。
(項目7)
前記液晶層は、約dの厚さを有し、d=λ/(4Δn)であり、式中、λは、前記光学マスタを通して伝搬される光の波長であり、Δnは、前記液晶層の複屈折であり、前記液晶層は、光位相と、格子周期とを備え、前記液晶パターンを複製後、前記光整合層は、前記液晶層のものに等しい光位相と、格子周期とを有する、項目1に記載の方法。
(項目8)
前記光は、左旋円偏光および右旋円偏光のうちの1つを備え、前記液晶層は、前記光を左旋円偏光および右旋円偏光に回折し、前記左旋円偏光および前記右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であり、前記左旋円偏光および前記右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である、項目7に記載の方法。
(項目9)
前記光整合層は、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの少なくとも1つを備える、項目1に記載の方法。
(項目10)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることは、コリメート型光源からのコリメートされた光を前記光学マスタを横断して指向させることを含む、項目1に記載の方法。
(項目11)
前記コリメート型光源は、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、項目10に記載の方法。
(項目12)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることはさらに、前記コリメート型光源を前記光学マスタの異なる部分に移動させることを含む、項目10に記載の方法。
(項目13)
前記コリメート型光源は、ビーム出力(P)と、ビーム幅(W)とを備え、前記コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、線量は、P*W/Sに等しく、前記線量は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2である、項目10に記載の方法。
(項目14)
前記線量は、0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である、項目13に記載の方法。
(項目15)
前記コリメート型光源は、走査速度(S)で移動され、前記走査速度は、前記光整合層の任意の部分にわたって、1/6秒未満の総露光時間を提供する、項目13に記載の方法。
(項目16)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることは、複数のコリメート型光源を前記光学マスタにわたって位置付けることを含む、項目10に記載の方法。
(項目17)
光を前記光学マスタを通して伝搬させることはさらに、前記複数のコリメート型光源を移動させ、前記光学マスタの異なる部分を照明することを含む、項目16に記載の方法。
(項目18)
前記複数のコリメート型光源はそれぞれ、レーザ、発光ダイオード、またはランプを備える、項目16に記載の方法。
(項目19)
第2の光学マスタを形成することをさらに含み、前記第2の光学マスタを形成することは、
第2の液晶層を前記光整合層上に堆積させることを含み、前記第2の液晶層の分子は、前記光整合層によって整合され、
前記第2の光学マスタは、前記第2の液晶層と、前記光整合層と、前記基板とを備える、項目1に記載の方法。
(項目20)
第2の光整合層を第2の基板上に提供することと、
前記第2の光学マスタを前記第2の光整合層にわたって位置付けることと、
光を前記第2の光学マスタを通して前記第2の光整合層に伝搬させることによって、前記液晶パターンを前記第2の光整合層内に複製することと
をさらに含む、項目1に記載の方法。
(項目21)
第3の液晶層を前記第2の光整合層上に堆積させることをさらに含み、前記第3の液晶層の分子は、前記第2の光整合層によって整合される、項目20に記載の方法。
詳細な説明
幾何学的位相ホログラム(GPH)が、レンズおよび偏光変換システム等の種々の用途のために使用されてもよい。GPHは、液晶分子の3次元パターンによって形成されてもよい。GPHの実施例は、米国特許公開第2019/0227375号(その開示全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に開示される。
幾何学的位相ホログラム(GPH)が、レンズおよび偏光変換システム等の種々の用途のために使用されてもよい。GPHは、液晶分子の3次元パターンによって形成されてもよい。GPHの実施例は、米国特許公開第2019/0227375号(その開示全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に開示される。
GPHを作製するための1つのアプローチは、光学的にパターン化される、光整合材料の使用を伴う。液晶層が、パターン化された光整合材料上に堆積され、これは、液晶分子と光整合材料内のパターンとの間の相互作用に基づいて、液晶層内の液晶分子を整合させる。光整合材料をパターン化することは、コリメートされた光の2つのビームと、複雑な光学系と、高度にコヒーレントな光源と、厳密な機械的安定性(例えば、高レベルの振動隔離)との使用を伴い得る。結果として、GPH、特に、大面積を横断して延在するGPHの形成は、望ましくないことに、複雑かつ高度に制約されたシステムを要求し得、低スループットを伴って生じ得る。
有利なこととして、いくつかの実装では、方法およびシステムが、緩和された製造制約および高スループットを伴って、GPHを形成するために提供される。加えて、本方法およびシステムは、容易に作成される光学マスタを利用してもよく、これは、高精度を伴って形成され得、複製の「サブ」マスタを促進する。マスタおよびサブマスタは両方とも、光整合層をパターン化するために利用されてもよく、これは、ひいては、液晶分子を整合させるために利用されてもよい。したがって、いくつかの実装では、容易に形成および容易に複製される光学マスタが、本システムを使用して、緩和された製造制約および大面積にわたる高スループットを伴って、GPHを形成するために利用されてもよい。
いくつかの実装では、光学マスタは、表面レリーフ特徴と、好ましくは、表面レリーフ特徴と接触する、上層液晶層とを含む。表面レリーフ特徴は、液晶層内の液晶分子をそれらの表面レリーフ特徴と整合させるようにサイズ決めされ、成形され、かつそのための適切な材料から形成されてもよい。いくつかの実装では、表面レリーフ特徴は、インプリントされたナノ構造であってもよい。いくつかの実装では、表面レリーフ特徴は、パターンを形成し、液晶分子は、同一パターンをとるように整合し得る。有利なこととして、インプリントすることによって、表面レリーフ特徴を形成することは、複数の光のビームを使用して光学マスタを形成することと比較して、高精度および高再現性をより容易に提供し得る。
特定のパターンを形成するように整合された後、液晶分子は、重合化され得る(例えば、熱の印加および/またはUV照明等による光を用いた照射によって)ことを理解されたい。重合化されることに応じて、個々の液晶分子は、その配向を相互に対して保定するが、それらは、重合化されることに応じて、連結(例えば、共有結合)される。本明細書では、説明を容易にするために、文脈から明白であろうように、用語「液晶分子」は、離散した連結されていない液晶分子と、また、連結された後のそれらの同一液晶分子との両方を指し得る。すなわち、用語「液晶分子」は、以前は連結されていなかった液晶分子によって形成される、より大きい連結された液晶材料網の対応する部分を指し得る。
いくつかの実装では、光整合材料から形成される、光整合層を光学的にパターン化することは、光が、光学マスタを通して光整合材料に伝搬し、光整合材料をパターン化するように、光学マスタを照明することを伴う。光学マスタを通して通過する、光は、回折され、2つの光のビームを形成し、これは、次いで、光整合層上に衝突する。理論によって限定されるわけではないが、光整合層内の2つの光のビーム間の干渉は、パターンをその光整合層内に形成し、これが、液晶分子が所望のパターンをとるように、液晶分子の上層の整合を引き起こすと考えられる。本所望のパターンは、好ましくは、光学マスタ内の液晶分子のパターンを実質的に複製する。
光学マスタの液晶層の厚さは、光学マスタを照明する、光の回折に影響を及ぼし得ることが見出されている。有利なこととして、液晶層の厚さを適切に選択することによって、複製される液晶パターンの特徴のピッチは、修正され得る。いくつかの実装では、これは、容易に形成される大ピッチ特徴を伴う、光学マスタが、光学マスタ液晶パターンの半分のピッチを有する、複製される液晶パターンを提供することを可能にする。いくつかの他の実装では、光学マスタ液晶層の厚さは、複製される液晶パターンおよび光学マスタ液晶パターンが、実質的に同一ピッチを有するように選択されてもよく、これは、本明細書に議論されるように、有意な量のゼロ回折次数光を伴う、パターンを複製するときに有利であり得る。
いくつかの実装では、光を光学マスタを通して伝搬させ、標的光整合層をパターン化することは、光が、光学マスタを通して伝搬し、同時に、標的光整合層の全体上に衝突するように、標的光整合層の全体に対応する、光学マスタの全てを照明することを含んでもよい。しかしながら、そのようなスキームは、望ましくないことに、光の大規模なコリメートされたビームを要求し、これは、複雑な光学系および高レベルの振動隔離を伴い得る。いくつかの実装では、標的光整合層の全体を照明するのではなく、光のビームは、光整合層の1つまたはそれを上回る部分のみが、任意の所与の時間において、入射光を受光するように、光整合層に対して移動される。例えば、入射光は、光整合層を横断して、走査および/または段階化されてもよく、および/または光整合層は、入射光に対して移動されてもよい。有利なこととして、光の狭ビームを使用することは、入射ビームに関する要件を緩和させ、入射光と光整合層との間の相対的移動は、振動に対するパターン形成プロセスの感受性を低減させる。例えば、光移動の速度(例えば、入射光のビームが光整合層を横断して移動される、速度)は、好ましくは、製造システムに対して予期される振動の速度を上回り、任意のそのような振動の影響を低減させる。
パターン化された光整合層と、光学マスタの液晶パターンを複製するパターンを有する、液晶層とを有する、結果として生じる構造は、いくつかの実装では、サブマスタとして利用され、他のGPHを形成してもよい。いくつかの他の実装では、結果として生じる構造は、ディスプレイ等の光学デバイス内に統合され得る、光学構造を形成してもよい。例えば、結果として生じる構造は、頭部搭載型ディスプレイのための接眼レンズを形成する1つまたはそれを上回る導波管内の内部結合光学要素および/または外部結合光学要素と関連付けられる、光学系の一部として利用されてもよい。代替として、結果として生じる構造は、眼追跡システムの一部として、眼またはその中の一部を結像するために使用される、全体的に別個の層であってもよい。例えば、GPHは、ミラーとして使用され、眼追跡カメラに、眼のビューを提供してもよい。眼追跡システムの実施例は、米国特許公開第US2018/0164627号(その開示全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に開示される。
ここで、同様の参照番号が全体を通して同様の部分を指す、図面を参照する。
図1aは、いくつかの実装による、光学マスタを形成するための表面レリーフ特徴の実施例の断面側面図である。
図1aの中間構造3000Aを参照すると、光学的に透過性の(例えば、透明)基板1312が、提供される。インプリントレジスト(例えば、ポリマー層)の層が、基板1312上に堆積され、次いで、あるパターンでインプリントされ、中間構造3000Aのインプリント層3004を形成し得る。
層3004は、その層3004を、層3004のための所望のパターンのネガ型を有する、ナノインプリントテンプレート(図示せず)と接触させることによって、あるパターンでインプリントされ得ることを理解されたい。ナノインプリントテンプレートは、続いて形成されるLC層2704(図1b)内にLC分子のための、例えば、少なくとも、基板1312に最も近いLC層2704内の最下LC分子のための、整合パターンを形成するように構成される、所定のトポロジ特徴を有してもよい。続いて、テンプレートは、インプリントレジスト層の中に押下されてもよい。いくつかの実装では、インプリントレジスト層は、ある温度下で、例えば、ポリマーのガラス遷移温度を上回ると、熱可塑性であるポリマーを含んでもよく、それによって、テンプレートのパターンを軟化されたレジスト層の中に転写し、インプリント層3004を形成する。冷却された後、テンプレートは、インプリント層3004から分離され、これは、次いで、LC分子を続いて形成されるLC層2704(図1b)内で整合させるように構成される、表面レリーフ特徴を含む、所定のトポロジパターンを有する、整合パターンを有する。いくつかの他の実装では、基部ポリマー層の中に押下された後、整合層3004は、UV光下で架橋結合することによって固化される。
いくつかの他の実装では、インプリントレジストは、所望のパターンのネガ型を有する、ナノインプリント金型(図示せず)上に堆積されてもよい。インプリントレジストは、続いて、固化されてもよく、金型は、インプリントレジストを固化させた後、除去されてもよい。基板1312は、金型を除去する前に、インプリント層3004に取り付けられてもよい。
いくつかの実装では、インプリントレジストは、ジェット堆積によって、例えば、インプリントレジストを1つまたはそれを上回るノズルから外に分注することによって、堆積されてもよい。そのようなジェット堆積は、異なるレジスト組成を異なる場所に有する、インプリント層の形成を可能にし、これは、異なる表面レリーフパターンを異なる面積内に形成するための、および/または異なる材料性質を伴うインプリント層を異なる場所に提供するための、利点を有し得る。
整合層3004は、1つまたはそれを上回る寸法におけるサブ波長の特徴を含んでもよい(例えば、1つまたはそれを上回る寸法は、特徴上に入射することが予期される、光の波長未満である)。例えば、整合層3004は、約数ナノメートル、数百ナノメートル、および/または数ミクロンの寸法(例えば、長さ、幅、および/または深度)を有する、特徴を含んでもよい。別の実施例として、整合層3004は、約20nmを上回るまたはそれに等しく、かつ約100nm未満またはそれに等しい、長さを有する、特徴を含んでもよい。さらに別の実施例として、整合層3004は、約20nmを上回るまたはそれに等しく、かつ約100nm未満またはそれに等しい、幅を有する、特徴を含んでもよい。さらに別の実施例として、整合層3004は、約10nmを上回るまたはそれに等しく、かつ約100nm未満またはそれに等しい、深度を有する、特徴を含んでもよい。種々の実装では、特徴の長さおよび/または幅は、特徴の深度を上回ってもよい。しかしながら、いくつかの実装では、深度は、特徴の長さおよび/または幅とほぼ等しくてもよい。整合層3004の各ドメインの特徴は、その中で連続特徴間の方向および/または周期が、約数ナノメートル、数百ナノメートル、および/または数ミクロンの長さスケールに沿って変化する、複雑な幾何学的パターンを各ドメイン内に形成するように配列されてもよい。
ナノインプリントの例示的プロセスが、図1aに関して、整合層3004を形成するために説明されたが、実装は、そのように限定されない。いくつかの他の実装では、整合層3004は、リソグラフィおよびエッチングを含む、他のパターン化技法を使用して、加工されてもよい。加えて、整合層3004は、ポリマー材料から形成されるように説明されたが、実装は、そのように限定されず、種々の他の実装では、整合層3004は、誘電材料、例えば、シリコンまたはガラス材料を備えてもよい。
ここで図1bを参照すると、いくつかの実装による、光学マスタの実施例の断面側面図が、図示される。整合層3004を形成後、重合化されていないLC層2704、例えば、反応性メソゲンの層が、その上に堆積される。任意の理論に拘束されるわけではないが、整合層3004は、LC層2704のLC分子を整合層3004のパターンに従って整合させる、整合層としての役割を果たす。例えば、あるドメイン内のLC分子の伸長方向は、概して、整合層3004内のナノ構造の局所伸長方向と平行方向に整合し得る。任意の理論に拘束されるわけではないが、LC分子と整合層3004のパターンの整合は、液晶分子との立体相互作用および/または整合層3004によって堆積されるLC分子上に付与される係留エネルギーに起因し得る。依然として、図1bの中間構造3000Bを参照すると、LC層2704は、異なる実装に従って、さらに処理されてもよい。例えば、LC層2704の液晶分子は、重合化されてもよく、および/または複数のLC層は、LC層2704が複数の構成LCサブ層を有するように、スタックされてもよい。結果として生じる構造は、光学マスタと理解され得る。
いくつかの実装では、光学マスタは、光整合層をパターン化するために使用されてもよい。これらの実装では、光学マスタは、液晶パターンを含み、これは、光を回折し得る。光学マスタは、光整合層の正面に設置されてもよく、これは、基板上に支持されてもよい。光学マスタは、光学マスタを通して伝搬する入射光がパターンによって回折されるように、照明されてもよい。回折された光は、光整合層を照明し、したがって、光整合層を露光およびパターン化するために使用されてもよい。これはさらに、図3bおよび4bに関して議論されるであろう。
ここで図2aおよび2bを参照すると、それぞれ、図1aおよび1bの表面レリーフ特徴および光学マスタの斜視図が、図示される。基板202(図1aおよび1bの基板1312に対応する)が、整合層204(図1aおよび1bの整合層3004に対応する)を含み、これは、表面レリーフパターン205を含む。図示されるように、表面レリーフパターン205は、ある格子周期Λ(x,y)と、光位相φ(x,y)とを伴い、これが、ある回折パターンを作成し得る、表面レリーフ特徴205aを含んでもよい。さらに図示されるように、液晶層206(図1aおよび1bの液晶層2704に対応する)が、表面レリーフ特徴205aが、液晶層206の液晶分子を整合させ、パターン208を液晶層206内に形成するように、表面レリーフパターン205上に配置される。パターン208は、表面レリーフ特徴205aによって整合される、液晶分子208aの整合に基づく。パターン208は、表面レリーフパターン205のものと同一格子周期Λ(x,y)と、光位相φ(x,y)とを含む。
いくつかの実装では、液晶層206内のパターン208は、GPHを作成する。いくつかの実装では、液晶層206は、ネマチック液晶層であってもよい。
ここで図3aを参照すると、光学マスタ200aの実施例の断面側面図が、図示される。光学マスタ200aは、基板202と、整合層204とを含む。図2aおよび2bからの共有特徴の詳細は、詳細に繰り返されないであろう。図3aはさらに、液晶層206aを含み、これは、層206に類似し、パターン208(図2b)に類似する液晶パターン(図示せず)を有すると理解される。液晶層は、複屈折Δnと、光学マスタ200aを照明する光に応じて変動し得る、近似厚dとを有する。光学マスタを照明する光308は、波長λを有する。方程式1が、液晶複屈折Δnおよび光学マスタ200aを照明する光の波長λに依存する、液晶層206bの近似厚dを決定するために使用され得る。好ましくは、いくつかの実装では、液晶層206aの厚さは、方程式1によって提供される、dの値の±5%以内である。
方程式1:d=λ/(2Δn)
方程式1が、満たされ、光308が、波長λを有するとき、液晶層206a内のパターン208は、直線偏光308を左旋円偏光および右旋円偏光に回折する。光学マスタ200aを照明する光308の偏光に応じて、円偏光の一方は、-1回折次数光306bであって、円偏光の他方は、+1回折次数光306aである。光308が、直線偏光であるとき、-1回折次数光306bは、右旋円偏光であり得、+1回折次数光306aは、左旋円偏光であり得る。代替として、これは、-1回折次数光306bが、左旋円偏光であり得、+1回折次数光306aが、右旋円偏光であり得るように、パターン208の配向に応じて、切り替えられ得る。
図3bは、図3aの光学マスタ200aおよび複製光整合構造300aの断面図を図示する。複製構造300aは、光整合層304aを含み、これは、基板302上に配置される。光整合層304aは、光学マスタ200aと基板302との間にある。図3aの議論において、上記に議論されるように、光学マスタ200aが、波長λの光308で照明されると、光は、-1回折次数光306bである、左旋円偏光または右旋円偏光の一方に、および+1回折次数光306aである、右または左旋円偏光の一方に回折する。約半分の光は、-1回折次数光306bに回折され、約半分の光は、+1回折次数光306aに回折されることを理解されたい。液晶層206aは、パターン208を含み、-1回折次数光306bおよび+1回折次数光306aはまた、パターン208を光整合層304a内に複製させるであろう。本明細書に議論されるように、パターン208は、格子周期Λ(x,y)と、光位相φ(x,y)とを含む。光が、-1回折次数光306bおよび+1回折次数光306aに回折されると、格子周期は、パターン208のものの半分となり、光位相は、パターン208のものの2倍となることが見出されている。換言すると、光整合層304a内に複製されるパターンの格子周期は、0.5*Λ(x,y)に等しく、光整合層304a内に複製されるパターンの光位相は、2φ(x,y)に等しい。有利なこととして、光整合層304aの格子周期またはピッチは、パターン208の格子周期またはピッチの半分のサイズであるため、パターン208の特徴サイズは、光整合層304a内に複製される特徴のサイズの2倍となり得る。表面レリーフ特徴内に含まれる、より小さいナノ構造は、達成することがより困難であり得、したがって、より大きい表面レリーフ特徴を利用して、比較的に小さい複製特徴を光整合層304a内に形成することが有益であり得ることを理解されたい。
いくつかの実装では、光整合層304aは、アゾ、ケイ皮酸、および/またはクマリンベースの材料のうちの1つを含んでもよい。いくつかの実装では、光308は、1つまたはそれを上回るレーザ、発光ダイオード(LED)、またはランプ等のコリメート型光源によって生産される、実質的にコリメートされた光であってもよい。液晶層206aと光整合層304aとの間の分離距離は、短くてもよい(例えば、約数十μm~数百μmかつ1mm未満)。好ましくは、光源は、液晶層206aと光整合層304aとの間の分離を上回る、空間コヒーレンス長を提供する。したがって、光学マスタの液晶層206aおよび光整合層304aを近接して離間させる能力は、長空間コヒーレンス長を有する必要性を低減させ、これは、有利なこととして、光源に関する需要を低減させる。
ここで図4aを参照すると、いくつかの他の実装による、光学マスタ200bの実施例の断面側面図が、図示される。光学マスタ200bは、図2bおよび3a-3bの光学マスタ200、200aと種々の特徴を共有し、これらの特徴は、詳細に繰り返されないであろう。図4aを継続して参照すると、光学マスタ200bは、液晶層206bを含み、これは、パターン208(図2b)に対応する、パターン(図示せず)を有する。液晶層206bは、複屈折Δnと、光学マスタ200bを照明する光に依存する、近似厚dとを有する。液晶層206bは、液晶層206aに類似するが、液晶層206bの近似厚は、方程式1ではなく、方程式2に依存する。好ましくは、いくつかの実装では、液晶層206bの厚さは、方程式2によって提供される、dの値の±5%以内である。
方程式2:d=λ/(4Δn)
方程式2が、満たされ、円偏光308が、波長λを有するとき、光は、液晶層206b内のパターン208によって、左旋円偏光および右旋円偏光に回折される。左旋円偏光および右旋円偏光の一方は、+1または-1回折次数光であって、左旋円偏光および右旋円偏光の他方は、ゼロ回折次数光である。入射光208は、左旋円偏光または右旋円偏光のいずれかであってもよい。光208が、左旋円偏光であるとき、+1または-1回折次数光310aは、右旋円偏光であって、ゼロ回折次数光は、左旋円偏光である。光208が、右旋円偏光であるとき、+1または-1回折次数光310は、左旋円偏光され、ゼロ回折次数光は、右旋円偏光される。さらに、約半分の光は、+1または-1回折次数光310aに回折され、約半分の光は、ゼロ回折次数光310bに回折されることを理解されたい。
図4bは、図4aの光学マスタ200bおよび複製光整合構造300bの断面図を図示する。複製構造300bは、光整合層304bを含み、これは、基板302上に配置される。光整合層304aは、光学マスタ200aと基板302との間にある。図4aに関して上記に説明されるように、光学マスタ200aが、波長λの光308で照明されると、光は、-1または+1回折次数光310aである、左旋円偏光または右旋円偏光の一方に、およびゼロ回折次数光310bである、右または左旋円偏光の一方に回折する。約半分の光は、-1または+1回折次数光310aに回折され、約半分の光は、ゼロ回折次数光310bに回折されることを理解されたい。液晶層206bは、パターン208を含み、-1または+1回折次数光310aおよびゼロ回折次数光310bは、パターン208を光整合層304b内に複製するであろう。したがって、-1または+1回折次数光310aおよびゼロ回折次数光310bは、パターン208を光整合層304b内に複製するであろう。
上記に議論されるように、パターン208は、格子周期Λ(x,y)と、光位相φ(x,y)とを伴う、特徴を含む。光が、-1または+1回折次数光310aおよびゼロ回折次数光310bに回折されると、パターン308の格子周期および光位相は、パターン208のものと同一となることが見出されている。換言すると、光整合層304b上に複製されるパターンの格子周期は、Λ(x,y)に等しく、光整合層304b上に複製されるパターンの光位相は、φ(x,y)に等しいであろう。パターン208の特徴サイズは、光整合層304b内に複製される特徴とほぼ等しいであろう。したがって、光整合層304b上に複製されるパターンの特徴のピッチにおける低減が存在しない。しかしながら、図3bにおける光学マスタ200aは、ゼロ回折次数光の漏出を有し得、そのような漏出は、特徴サイズが小さいときに顕著であり得ることが見出されている。したがって、小特徴サイズに関して、ゼロ回折次数光310bの存在をすでに仮定している、光学マスタ200bを使用することが有利であり得る。
ここで図5を参照すると、複製液晶パターンを伴う、構造の実施例の断面側面図が、図示される。複製構造500は、液晶層502と、光整合層304と、基板302とを含む。複製構造500は、図4aおよび4bの複製構造300a、300bと種々の特徴を共有し、これらの重複特徴は、詳細に繰り返されないであろう。光整合層304は、図3bの光整合層304aまたは図4bの光整合層304bであってもよい。液晶層502は、光整合層304上に堆積されてもよく、これは、光整合層304内のパターンに基づいて、液晶層502内の液晶分子を整合させる。いくつかの実装では、液晶層502は、ネマチック液晶またはコレステリック液晶から形成されてもよい。
いくつかの実装では、複製構造500は、複製光学マスタ、すなわち、その液晶層のパターンを他の光整合層内に複製するための「サブ」マスタとして使用されてもよい。複製構造500が、複製光学マスタとして使用されるとき、液晶層502は、本明細書に説明されるように、光整合層304によって整合されてもよい。
複製構造500は、その光整合層304のパターンを第2の光整合層(図示せず)内に複製するために利用されてもよく、これは、第2の基板上に配置されてもよい。複製光学マスタ500は、第2の光整合層(図示せず)が、複製光学マスタ500と第2の基板との間にあるように位置付けられてもよい。第2の光学マスタ500は、光で照明され、液晶層502内のパターンを第2の光整合層内に複製する。さらに、別の液晶層が、第2の光整合層上に堆積され、他の液晶層の分子と第2の光整合層を整合させてもよい。
ここで図6を参照すると、複製液晶パターンを形成するためのシステムの実施例の斜視図が、図示される。いくつかの実装では、光学マスタ200は、上記の図2a-4に説明される、光学マスタ200a、200bに対応し得る。いくつかの実装では、複製構造300は、図3bおよび4bに説明される、複製構造300a、300bに対応し得る、すなわち、複製構造300は、基板上に支持される、光整合層を含んでもよく、その中で光学マスタ200の液晶パターンが光学マスタ200から光整合層への光の伝搬によって複製される、構造である。照明システムはまた、光源602を含み、これは、図3a、3b、4a、および4bに関して説明される、コリメート型光源であってもよい。光源602は、光604を出力し得、これは、図3a、3b、4a、および4bの光308であってもよい。いくつかの実装では、光源602は、光源600の光出力開口を光学マスタ200に対して移動させるように構成される、アクチュエータを含んでもよい。いくつかの他の実装では、光学マスタ200および複製構造300は、光学マスタ200および複製構造300を光源602の光出力開口に対して移動させる、アクチュエータに結合されてもよい(例えば、アクチュエータに取り付けられる表面上に静止してもよい)。いくつかの他の実装では、光源602と光学マスタ200および複製構造300とは両方とも、光学マスタ200および複製構造300に伴う光源602の相対的移動を提供するように構成される、関連付けられるアクチュエータを有してもよい。
光源602は、複製構造300の光整合層を光学マスタ200によって回折される光に露光するために、光学マスタ200の表面を走査してもよい。光源602は、光学マスタ200の表面全体を走査してもよい、あるいはまた、パターン208が位置する、光学マスタ200の表面を選択的に走査してもよい。より小さい光源602が、走査せずに、光学マスタ200の表面全体を照明する、大光源とは対照的に、光源が走査するとき、使用され得ることを理解されたい。有利なこととして、より小さい光源は、より大きい光源よりもコストおよびエネルギー使用量がより低くあり得、より大きい光源よりコヒーレンスおよび最高点等の光学性質の需要が低くあり得る。図6に示されるように、光源602は、光学マスタ200の表面を垂直および水平方向の両方において走査してもよい。さらに、光源602は、複数の光源であってもよく、これはそれぞれ、光学マスタ300の異なる部分を照明してもよい。複数の光源は、光学マスタの異なる部分を走査および照明してもよい。
図6を継続して参照すると、いくつかの実装では、走査は、線走査またはビーム走査であってもよい。いくつかの実装では、光源602は、複製構造300の光整合層の幅または長さを実質的に横断して延在し、線走査を提供する、光の線を提供してもよい。いくつかの他の実装では、光源602は、複製構造300の光整合層の幅または長さ全体未満である、面積にわたって延在する、光の離散ビームを提供してもよい。
いくつかの実装では、光源602は、複製構造300に対して持続的に移動する。例えば、いくつかの実装では、光源602は、一定速度で平滑に移動し、光学マスタ300の異なる部分をラスタ走査してもよい。代替として、光源602および複製構造300の相対的移動は、段階的であって、したがって、光学マスタ300の異なる部分に移動しながら、オフおよびオンにされてもよい。
ここで図7aを参照すると、図6のシステムの概略側面図が、図示される。図7aおよび図6の重複特徴は、詳細に繰り返されないであろう。図7aはさらに、光源602からの光604が、ビーム幅Wを有することを図示する。さらに、光学マスタ200および複製構造300は、距離Dによって分離される。光604は、ビーム出力Pを有する。いくつかの実装では、本システムは、複製構造300を横断して、走査速度Sで移動されながら、光604を走査する。故に、複製構造300の一部上の光線量は、P*W/Sに等しく、露光時間は、W/Sに等しいと理解され得る。
露光の間に生じ得る、振動等の環境雑音の影響を低減させるために、走査速度は、好ましくは、高速であって、露光時間は、好ましくは、短い、すなわち、走査速度は、依然として、適正な線量を維持し、複製構造300を適切に露光しながら、高速である。いくつかの実装では、P*W/S(線量)は、0.5ジュール/cm2~10ジュール/cm2または0.5ジュール/cm2~1ジュール/cm2である。線量は、光学マスタ200の液晶層206(図2b)内のパターン208、光604の露光波長、および光学マスタ200の液晶層206および複製構造300の光整合層304の材料性質等の種々の要因に基づいて、選択されてもよい。
ここで図7bを参照すると、ビーム幅Wを伴う、光604の第1のビーム位置604aおよび第2のビーム位置604bの概略図の実施例が、図示される。図示されるように、第1のビーム位置604aおよび第2のビーム位置604bは、重複Oを有する。光ビーム604が、光整合層を横断して、離散ステップで移動されるとき、重複は、光源602によって生産された光604の非均一性を補償するために含まれ得ることを理解されたい。光源602は、ガウス分布または非方形ビーム形状を伴う、光604を生産し得、これは、ビームの縁とは対照的に、中央に関する非均一強度につながり得る。重複Oは、非均一強度の影響を軽減させ得る。
例示的拡張現実システム
例示的拡張現実システム
本明細書に議論されるように、本明細書に開示される、複製されるGPHは、仮想現実または拡張現実(AR)ディスプレイシステム等のディスプレイシステムのための接眼レンズの一部として利用され得ることを理解されたい。
ARシステムは、依然として、ユーザに彼らの周囲の世界が見えることを可能にしながら、仮想コンテンツをユーザまたは視認者に表示し得る。好ましくは、本コンテンツは、例えば、画像情報をユーザの眼に投影する、アイウェアの一部としての頭部搭載型ディスプレイ上に表示される。加えて、ディスプレイはまた、周囲環境からの光をユーザの眼に透過させ、その周囲環境のビューを可能にしてもよい。本明細書で使用されるように、「頭部搭載型」または「頭部搭載可能」ディスプレイは、視認者またはユーザの頭部上に搭載され得る、ディスプレイであることを理解されたい。
いくつかのARシステムでは、複数の導波管は、仮想画像を複数の仮想深度面(単に、本明細書では、「深度面」とも称される)に形成するように構成されてもよい。複数の導波管の異なる導波管は、異なる屈折力を有してもよく、ユーザの眼から異なる距離に形成されてもよい。ディスプレイシステムはまた、屈折力を提供する、または加えて提供する、複数のレンズを含んでもよい。導波管および/またはレンズの屈折力は、異なる量の波面発散を伴う、光を出力し、画像を異なる仮想深度面に提供し得る。いくつかの実装では、本明細書に開示される、複製されるGPHは、有利なこととして、導波管に、または別個の独立型層として適用され、レンズとして機能してもよい。代替として、あるタイプの複製されるGPHは、本明細書に議論されるように、眼追跡システムの一部として、眼上または内の一部を結像するために使用され得る、波長選択的ミラーとして形成されてもよい。
ここで図8aを参照すると、いくつかの実施形態では、導波管に衝突する光は、その光を導波管の中に内部結合するために再指向される必要があり得る。内部結合光学要素が、光をその対応する導波管の中に再指向および内部結合するために使用されてもよい。図8aは、それぞれ、内部結合光学要素を含む、複数またはセット660のスタックされた導波管の実施例の断面側面図を図示する。導波管はそれぞれ、1つまたはそれを上回る異なる波長または1つまたはそれを上回る異なる波長範囲の光を出力するように構成されてもよい。
スタックされた導波管の図示されるセット660は、導波管670、680、および690を含む。各導波管は、関連付けられる内部結合光学要素(導波管上の光入力面積とも称され得る)を含み、例えば、内部結合光学要素700は、導波管670の主要表面(例えば、上側主要表面)上に配置され、内部結合光学要素710は、導波管680の主要表面(例えば、上側主要表面)上に配置され、内部結合光学要素720は、導波管690の主要表面(例えば、上側主要表面)上に配置される。いくつかの実装では、内部結合光学要素700、710、720のうちの1つまたはそれを上回るものは、個別の導波管670、680、690の底部主要表面上に配置されてもよい(特に、1つまたはそれを上回る内部結合光学要素は、反射性偏向光学要素である)。図示されるように、内部結合光学要素700、710、720は、その個別の導波管670、680、690の上側主要表面(または次の下側導波管の上部)上に配置されてもよく、特に、それらの内部結合光学要素は、透過性偏向光学要素である。いくつかの実装では、内部結合光学要素700、710、720は、個別の導波管670、680、690の本体内に配置されてもよい。いくつかの実装では、本明細書に議論されるように、内部結合光学要素700、710、720は、他の光の波長を透過しながら、1つまたはそれを上回る光の波長を選択的に再指向するような波長選択的である。その個別の導波管670、680、690の片側または角に図示されるが、内部結合光学要素700、710、720は、いくつかの実装では、その個別の導波管670、680、690の他の面積内に配置され得ることを理解されたい。
図示されるように、内部結合光学要素700、710、720は、相互から側方にオフセットされてもよい。いくつかの実装では、各内部結合光学要素は、その光が別の内部結合光学要素を通して通過せずに、光を受光するようにオフセットされてもよい。
各導波管はまた、関連付けられる光分散要素を含み、例えば、光分散要素730は、導波管670の主要表面(例えば、上部主要表面)上に配置され、光分散要素740は、導波管680の主要表面(例えば、上部主要表面)上に配置され、光分散要素750は、導波管690の主要表面(例えば、上部主要表面)上に配置される。いくつかの他の実装では、光分散要素730、740、750は、それぞれ、関連付けられる導波管670、680、690の底部主要表面上に配置されてもよい。いくつかの他の実装では、光分散要素730、740、750は、それぞれ、関連付けられる導波管670、680、690の上部および底部両方の主要表面上に配置されてもよい、または光分散要素730、740、750は、それぞれ、異なる関連付けられる導波管670、680、690内の上部および底部主要表面の異なるもの上に配置されてもよい。
導波管670、680、690は、例えば、材料のガス、液体、および/または固体層によって離間および分離されてもよい。例えば、図示されるように、層760aは、導波管670および680を分離してもよく、層760bは、導波管680および690を分離してもよい。いくつかの実装では、層760aおよび760bは、低屈折率材料(すなわち、導波管670、680、690の直近のものを形成する材料より低い屈折率を有する材料)から形成される。好ましくは、層760a、760bを形成する材料の屈折率は、導波管670、680、690を形成する材料の屈折率に対して0.05よりも多くまたは0.10下回る。有利なこととして、より低い屈折率層760a、760bは、導波管670、680、690を通して光の全内部反射(TIR)(例えば、各導波管の上部および底部主要表面間のTIR)を促進する、クラッディング層として機能してもよい。いくつかの実装では、層760a、760bは、空気から形成される。図示されないが、導波管の図示されるセット660の上部および底部は、直近クラッディング層を含み得ることを理解されたい。
好ましくは、製造および他の考慮点を容易にするために、導波管670、680、690を形成する材料は、類似または同一であって、層760a、760bを形成する材料は、類似または同一である。いくつかの実装では、導波管670、680、690を形成する材料は、1つまたはそれを上回る導波管間で異なってもよい、および/または層760a、760bを形成する材料は、依然として、前述の種々の屈折率関係を保持しながら、異なってもよい。
図8aを継続して参照すると、光線770、780、790が、導波管のセット660に入射する。光線770、780、790は、導波管670、680、690の中に投入され得ることを理解されたい。
いくつかの実装では、光線770、780、790は、異なる色に対応し得る、異なる性質、例えば、異なる波長または異なる波長範囲を有する。内部結合光学要素700、710、720はそれぞれ、光が、TIRによって、導波管670、680、690のうちの個別の1つを通して伝搬するように、入射光を偏向させる。いくつかの実装では、内部結合光学要素700、710、720はそれぞれ、他の波長を下層導波管および関連付けられる内部結合光学要素に透過させながら、1つまたはそれを上回る特定の光の波長を選択的に偏向させる。
例えば、内部結合光学要素700は、それぞれ、異なる第2および第3の波長または波長範囲を有する、光線780および790を透過させながら、第1の波長または波長範囲を有する、光線770を選択的に偏向させるように構成されてもよい。透過された光線780は、第2の波長または波長範囲の光を選択的に偏向させるように構成される、内部結合光学要素710に衝突し、それによって偏向される。光線790は、第3の波長または波長範囲の光を選択的に偏向させるように構成される、内部結合光学要素720によって偏向される。
図8aを継続して参照すると、偏向された光線770、780、790は、対応する導波管670、680、690を通して伝搬するように偏向される。すなわち、各導波管の内部結合光学要素700、710、720は、光をその対応する導波管670、680、690の中に偏向させ、光を対応する導波管の中に内部結合する。光線770、780、790は、光をTIRによって個別の導波管670、680、690を通して伝搬させる角度で偏向される。光線770、780、790は、導波管の対応する光分散要素730、740、750に衝突するまで、TIRによって個別の導波管670、680、690を通して伝搬する。
ここで図8bを参照すると、図8aの複数のスタックされた導波管の実施例の斜視図が、図示される。上記に記載されるように、内部結合された光線770、780、790は、それぞれ、内部結合光学要素700、710、720によって偏向され、次いで、それぞれ、導波管670、680、690内でTIRによって伝搬する。光線770、780、790は、次いで、それぞれ、光分散要素730、740、750に衝突する。光分散要素730、740、750は、それぞれ、外部結合光学要素800、810、820に向かって伝搬するように、光線770、780、790を偏向させる。
いくつかの実装では、光分散要素730、740、750は、直交瞳エクスパンダ(OPE)である。いくつかの実装では、OPEは、光を外部結合光学要素800、810、820に偏向または分散し、いくつかの実装では、また、外部結合光学要素に伝搬するにつれて、本光のビームまたはスポットサイズを増加させ得る。いくつかの実装では、光分散要素730、740、750は、省略されてもよく、内部結合光学要素700、710、720は、光を直接外部結合光学要素800、810、820に偏向させるように構成されてもよい。例えば、図8Bを参照すると、光分散要素730、740、750は、それぞれ、外部結合光学要素800、810、820と置換されてもよい。いくつかの実装では、外部結合光学要素800、810、820は、光を視認者の眼に指向させる、射出瞳(EP)または射出瞳エクスパンダ(EPE)である。OPEは、少なくとも1つの軸においてアイボックスの寸法を増加させるように構成されてもよく、EPEは、OPEの軸と交差する、例えば、直交する軸においてアイボックスを増加させ得ることを理解されたい。例えば、各OPEは、光の残りの部分が導波管を辿って伝搬し続けることを可能にしながら、OPEに衝打する光の一部を同一導波管のEPEに再指向するように構成されてもよい。OPEへの衝突に応じて、再び、残りの光の別の部分は、EPEに再指向され、その部分の残りの部分は、導波管等を辿ってさらに伝搬し続ける。同様に、EPEへの衝打に応じて、衝突光の一部は、導波管からユーザに向かって指向され、その光の残りの部分は、EPに再び衝打するまで、導波管を通して伝搬し続け、その時点で、衝突する光の別の部分は、導波管から指向される等となる。その結果、内部結合された光の単一ビームは、その光の一部がOPEまたはEPEによって再指向される度に、「複製」され、それによって、クローン化された光のビーム野を形成し得る。いくつかの実装では、OPEおよび/またはEPEは、光のビームのサイズを修正するように構成されてもよい。
故に、図8aおよび8bを参照すると、いくつかの実装では、導波管のセット660は、原色毎に、導波管670、680、690と、内部結合光学要素700、710、720と、光分散要素(例えば、OPE)730、740、750と、外部結合光学要素(例えば、EP)800、810、820とを含む。導波管670、680、690は、各1つの間に空隙/クラッディング層を伴ってスタックされてもよい。内部結合光学要素700、710、720は、(異なる波長の光を受光する異なる内部結合光学要素を用いて)入射光をその導波管の中に再指向または偏向させる。光は、次いで、個別の導波管670、680、690内にTIRをもたらすであろう角度で伝搬する。示される実施例では、光線770(例えば、青色光)は、前述の様式において、第1の内部結合光学要素700によって偏光され、次いで、導波管を辿ってバウンスし続け、光分散要素(例えば、OPE)730、次いで、外部結合光学要素(例えば、EP)800と相互作用する。光線780および790(例えば、それぞれ、緑色および赤色光)は、導波管670を通して通過し、光線780は、内部結合光学要素710上に衝突し、それによって偏向される。光線780は、次いで、TIRを介して、導波管680を辿ってバウンスし、その光分散要素(例えば、OPE)740、次いで、外部結合光学要素(例えば、EP)810に進むであろう。最後に、光線790(例えば、赤色光)は、導波管690を通して通過し、導波管690の光内部結合光学要素720に衝突する。光内部結合光学要素720は、光線が、TIRによって、光分散要素(例えば、OPE)750、次いで、TIRによって、外部結合光学要素(例えば、EP)820に伝搬するように、光線790を偏向させる。外部結合光学要素820は、次いで、最後に、光線790を視認者に外部結合し、視認者はまた、他の導波管670、680からの外部結合した光も受光する。
図8cは、図8aおよび8bの複数のスタックされた導波管の実施例の上下平面図を図示する。図示されるように、導波管670、680、690は、各導波管の関連付けられる光分散要素730、740、750および関連付けられる外部結合光学要素800、810、820とともに、垂直に整合されてもよい。しかしながら、本明細書に議論されるように、内部結合光学要素700、710、720は、垂直に整合されない。むしろ、内部結合光学要素は、好ましくは、非重複する(例えば、上下図に見られるように、側方に離間される)。本明細書でさらに議論されるように、本非重複空間配列は、1対1ベースで異なるリソースから異なる導波管の中への光の投入を促進し、それによって、具体的光源が具体的導波管に一意に結合されることを可能にする。いくつかの実装では、非重複の空間的に分離される内部結合光学要素を含む、配列は、偏移瞳システムと称され得、これらの配列内の内部結合光学要素は、サブ瞳に対応し得る。
有利なこととして、本明細書に開示される、GPHは、上記の種々の光学要素(例えば、内部結合光学要素700、710、720、光分散要素730、740、750、および/または外部結合光学要素800、810、820)の一部として、またはそれに加えて利用され、所望の光学機能性を提供してもよい。例えば、GPHは、レンズとして機能してもよく、外部結合光学要素800、810、820にオーバーレイし、所望の屈折力を提供してもよい。
ここで図8dを参照すると、本明細書に開示される種々の導波管および関連システムが統合され得る、ウェアラブルディスプレイシステム60の実施例を図示する。ディスプレイシステム60は、ディスプレイ70と、そのディスプレイ70の機能をサポートするための種々の機械的および電子的モジュールおよびシステムとを含む。ディスプレイ70は、フレーム80に結合されてもよく、これは、ディスプレイシステムユーザまたは視認者90によって装着可能であって、ディスプレイ70をユーザ90の眼の正面に位置付けるように構成される。ディスプレイ70は、いくつかの実装では、接眼レンズと見なされ得る。いくつかの実装では、スピーカ100が、フレーム80に結合され、ユーザ90の外耳道に隣接して位置付けられるように構成される(いくつかの実装では、示されない別のスピーカも、随意に、ユーザの他方の外耳道に隣接して位置付けられ、ステレオ/成形可能音制御を提供してもよい)。ディスプレイシステム60はまた、1つまたはそれを上回るマイクロホン110または他のデバイスを含み、音を検出してもよい。いくつかの実装では、マイクロホンは、ユーザが入力またはコマンドをシステム60に提供することを可能にするように構成され(例えば、音声メニューコマンドの選択、自然言語質問等)、および/または他の人物(例えば、類似ディスプレイシステムの他のユーザ)とのオーディオ通信を可能にしてもよい。マイクロホンはさらに、周辺センサとして構成され、オーディオデータ(例えば、ユーザおよび/または環境からの音)を収集してもよい。いくつかの実装では、ディスプレイシステムはまた、周辺センサ120aを含んでもよく、これは、フレーム80と別個であって、ユーザ90の身体(例えば、ユーザ90の頭部、胴体、四肢等)上に取り付けられてもよい。周辺センサ120aは、いくつかの実装では、ユーザ90の生理学的状態を特徴付けるデータを入手するように構成されてもよい。例えば、センサ120aは、電極であってもよい。
図8dを継続して参照すると、ディスプレイ70は、有線導線または無線コネクティビティ等の通信リンク130によって、ローカルデータ処理モジュール140に動作可能に結合され、これは、フレーム80に固定して取り付けられる、ユーザによって装着されるヘルメットまたは帽子を固定して取り付けられる、ヘッドホン内に埋設される、または別様にユーザ90に除去可能に取り付けられる(例えば、リュック式構成において、ベルト結合式構成において)等、種々の構成で搭載されてもよい。同様に、センサ120aは、通信リンク120b、例えば、有線導線または無線コネクティビティによって、ローカルプロセッサおよびデータモジュール140に動作可能に結合されてもよい。ローカル処理およびデータモジュール140は、ハードウェアプロセッサおよび不揮発性メモリ(例えば、フラッシュメモリまたはハードディスクドライブ)等のデジタルメモリを備えてもよく、その両方とも、データの処理、キャッシュ、および記憶を補助するために利用されてもよい。随意に、ローカル処理およびデータモジュール140は、1つまたはそれを上回る中央処理ユニット(CPU)、グラフィック処理ユニット(GPU)、専用処理ハードウェア等を含んでもよい。データは、a)センサ(画像捕捉デバイス(カメラ等)、マイクロホン、慣性測定ユニット、加速度計、コンパス、GPSユニット、無線デバイス、ジャイロスコープ、および/または本明細書に開示される他のセンサ(例えば、フレーム80に動作可能に結合される、または別様にユーザ90に取り付けられ得る))から捕捉されたデータ、および/またはb)可能性として処理または読出後にディスプレイ70への通過のための遠隔処理モジュール150および/または遠隔データリポジトリ160(仮想コンテンツに関連するデータを含む)を使用して取得および/または処理されたデータを含んでもよい。ローカル処理およびデータモジュール140は、これらの遠隔モジュール150、160が相互に動作可能に結合され、ローカル処理およびデータモジュール140に対するリソースとして利用可能であるように、有線または無線通信リンクを介して等、通信リンク170、180によって、遠隔処理モジュール150および遠隔データリポジトリ160に動作可能に結合されてもよい。いくつかの実装では、ローカル処理およびデータモジュール140は、画像捕捉デバイス、マイクロホン、慣性測定ユニット、加速度計、コンパス、GPSユニット、無線デバイス、および/またはジャイロスコープのうちの1つまたはそれを上回るものを含んでもよい。いくつかの他の実装では、これらのセンサのうちの1つまたはそれを上回るものは、フレーム80に取り付けられてもよい、または有線または無線通信経路によってローカル処理およびデータモジュール140と通信する、独立構造であってもよい。
図8dを継続して参照すると、いくつかの実装では、遠隔処理モジュール150は、データおよび/または画像情報を分析および処理するように構成される、1つまたはそれを上回るプロセッサを備えてもよく、例えば、1つまたはそれを上回る中央処理ユニット(CPU)、グラフィック処理ユニット(GPU)、専用処理ハードウェア等を含んでもよい。いくつかの実装では、遠隔データリポジトリ160は、デジタルデータ記憶設備を備えてもよく、これは、インターネットまたは「クラウド」リソース構成における他のネットワーキング構成を通して利用可能であってもよい。いくつかの実装では、遠隔データリポジトリ160は、1つまたはそれを上回る遠隔サーバを含んでもよく、これは、情報、例えば、拡張現実コンテンツをローカル処理およびデータモジュール140および/または遠隔処理モジュール150に生成するための情報を提供する。いくつかの実装では、全てのデータが、記憶され、全ての計算は、ローカル処理およびデータモジュールにおいて実施され、遠隔モジュールからの完全に自律的使用を可能にする。随意に、CPU、GPU等を含む、外部システム(例えば、1つまたはそれを上回るプロセッサ、1つまたはそれを上回るコンピュータのシステム)が、処理(例えば、画像情報を生成する、データを処理する)の少なくとも一部を実施し、例えば、無線または有線接続を介して、情報をモジュール140、150、160に提供し、情報をそこから受信してもよい。
例示的眼追跡システム
例示的眼追跡システム
図9は、液晶反射体(LCR)、例えば、コレステリック液晶反射体を採用する、眼追跡システム2300の実施例を図示する。好ましくは、液晶反射体は、種々の実装に従って、視認者の眼1302を結像するように構成される、波長選択的LCR1150である。いくつかの実装では、LCR1150は、導波管(例えば、図8a-8bの導波管670、680、690のうちの1つ)の表面上に配置されてもよい。眼追跡は、用途の中でもとりわけ、仮想/拡張/複合現実ディスプレイ用途のための、ウェアラブルディスプレイ、例えば、図8dのウェアラブルディスプレイシステム60を含む、双方向視覚または制御システム内の重要な特徴であり得る。良好な眼追跡を達成するために、眼1302の画像を低目線角度で取得することが望ましくあり得、それに関して、ひいては、眼追跡カメラ702bを視認者の眼の中心位置の近くに配置することが望ましくあり得る。しかしながら、カメラ702bのそのような位置は、ユーザのビューに干渉し得る。代替として、眼追跡カメラ702bは、より低い位置または側面に配置されてもよい。しかしながら、カメラのそのような位置は、眼画像がより急峻な角度において捕捉されるため、ロバストかつ正確な眼追跡を取得することの困難度を増加させ得る。世界からの可視光2304を透過させながら、赤外線(IR)光2308(例えば、850nmの波長を有する)を眼302から選択的に反射させるように、LCR1150を構成することによって、カメラ702bは、眼画像を正常または低目線角度で捕捉しながら、ユーザのビューから離れるように設置され得る。そのような構成は、可視光が反射されないため、ユーザのビューに干渉しない。同一LCR1150はまた、図示されるように、IR照明源2320として構成されてもよい。IR照明器の低目線角度は、例えば、睫毛からのより少ないオクルージョンをもたらし得、その構成は、鏡面反射のよりロバストな検出を可能にする。
図9を継続して参照すると、種々の実装に従って、LCR1150は、それぞれ、複数のキラル構造を備える、1つまたはそれを上回るコレステリック液晶(CLC)層を備えてもよく、各キラル構造は、米国特許公開第2018/0164627号(その全体は、参照することによって本明細書に組み込まれる)に説明されるように、層深度方向(例えば、z-方向)に延在し、第1の回転方向に連続的に回転される、複数の液晶分子を備える。キラル構造の液晶分子の配列は、1つまたはそれを上回るCLC層が、第1の波長(λ1)を有する、第1の入射光を実質的にブラッグ反射させながら、第2の波長(λ2)を有する、第2の入射光を実質的に透過させるように構成されるように、層深度方向と垂直な側方方向に、周期的に変動する。1つまたはそれを上回るCLC層はそれぞれ、層深度方向において視認されるとき、第1の回転方向に合致される偏光の掌性を有する、楕円または円偏光された第1および第2の入射光を実質的にブラッグ反射させるように構成される一方、層深度方向において視認されるとき、第1の回転方向と反対の偏光の掌性を有する、楕円または円偏光された第1および第2の入射光を実質的に透過させるように構成され得る。いくつかの実装によると、側方方向に周期的に変動する、液晶分子の配列は、側方方向に、第1の波長と周期との間の比率が、約0.5~約2.0であるような周期を有するように配列される。いくつかの実装によると、第1の波長は、約600nm~約1.4μmの近赤外線範囲内、例えば、約850nmであって、第2の波長は、1つまたはそれを上回る色を有する、可視範囲内にある。いくつかの実装によると、キラル構造の液晶分子は、層深度方向に対して法線の方向に対して事前に傾斜される。1つまたはそれを上回るCLC層は、第1の入射光が、層深度方向に対して約50o、約60o、約70o、または約80o度を超える、層深度方向(z-方向)に対する角度(θR)で反射されるように構成されてもよい。
図9を継続して参照すると、頭部搭載型ディスプレイ(HMD)の装着者の眼1302は、反射性軸外液晶反射体1150を使用して結像されてもよく、これは、カメラ702Bに、眼1302のビューを提供し得、これはまた、光源2320からの眼照明光を反射させ得る。結果として生じる画像は、片眼または両眼を追跡する、網膜を結像する、眼形状を3次元で再構築する、バイオメトリック情報(例えば、虹彩識別)を眼から抽出する等のために使用されてもよい。
別個の実装の文脈において本明細書に説明されるある特徴はまた、単一の実装における組み合わせにおいて実装されてもよい。逆に、単一の実装の文脈において説明される種々の特徴もまた、複数の実装において別個に、または任意の好適な副次的組み合わせにおいて実装されてもよい。さらに、特徴がある組み合わせにおいて作用するものとして上記に説明され、さらに、そのようなものとして最初に請求され得るが、請求される組み合わせからの1つまたはそれを上回る特徴は、いくつかの場合では、組み合わせから削除されてもよく、請求される組み合わせは、副次的組み合わせまたは副次的組み合わせの変形例を対象とし得る。いかなる単一の特徴または特徴のグループも、あらゆる実装に必要または必須ではない。
とりわけ、「~できる(can)」、「~し得る(could)」、「~し得る(might)」、「~し得る(may)」、「例えば(e.g.)」、および同等物等、本明細書で使用される条件文は、別様に具体的に記載されない限り、または使用されるような文脈内で別様に理解されない限り、概して、ある実装がある特徴、要素、および/またはステップを含む一方、他の実装がそれらを含まないことを伝えることが意図されることを理解されたい。したがって、そのような条件文は、概して、特徴、要素、および/またはステップが、1つまたはそれを上回る実装に対していかようにも要求されること、または1つまたはそれを上回る実施形態実装が、著者の入力または促しの有無を問わず、これらの特徴、要素、および/またはステップが任意の特定の実装において含まれる、または実施されるべきかどうかを決定するための論理を必然的に含むことを含意することを意図されない。用語「~を備える(comprising)」、「~を含む(including)」、「~を有する(having)」、および同等物は、同義語であり、非限定的方式で包括的に使用され、付加的要素、特徴、行為、動作等を除外しない。また、用語「または」は、その包括的意味において使用され(およびその排他的意味において使用されず)、したがって、例えば、要素のリストを接続するために使用されると、用語「または」は、リスト内の要素のうちの1つ、いくつか、または全てを意味する。加えて、本願および添付される請求項で使用されるような冠詞「a」、「an」、および「the」は、別様に規定されない限り、「1つまたはそれを上回る」または「少なくとも1つ」を意味するように解釈されるべきである。同様に、動作は、特定の順序で図面に描写され得るが、これは、望ましい結果を達成するために、そのような動作が示される特定の順序で、または連続的順序で実施される、または全ての図示される動作が実施される必要はないと認識されるべきである。さらに、図面は、フローチャートの形態で1つまたはそれを上回る例示的プロセスを図式的に描写し得る。しかしながら、描写されない他の動作も、図式的に図示される例示的方法およびプロセス内に組み込まれ得る。例えば、1つまたはそれを上回る付加的動作が、図示される動作のいずれかの前に、その後に、それと同時に、またはその間に実施され得る。加えて、動作は、他の実装において再配列される、または再順序付けられ得る。ある状況では、マルチタスクおよび並列処理が、有利であり得る。さらに、上記に説明される実装における種々のシステムコンポーネントの分離は、全ての実装におけるそのような分離を要求するものとして理解されるべきではなく、説明されるプログラムコンポーネントおよびシステムは、概して、単一のソフトウェア製品においてともに統合される、または複数のソフトウェア製品にパッケージ化され得ることを理解されたい。加えて、他の実装も、以下の請求項の範囲内である。いくつかの場合では、請求項に列挙されるアクションは、異なる順序で実施され、依然として、望ましい結果を達成することができる。
故に、請求項は、本明細書に示される実装に限定されることを意図されず、本明細書に開示される本開示、原理、および新規の特徴と一貫する最も広い範囲を与えられるべきである。
Claims (1)
- 本明細書に記載の発明。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US62/939,514 | 2019-11-22 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2022526367A Division JP7494297B2 (ja) | 2019-11-22 | 2020-11-19 | 液晶層をパターン化するための方法およびシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024096302A true JP2024096302A (ja) | 2024-07-12 |
Family
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