JP2024085030A

JP2024085030A - Substrate storage container

Info

Publication number: JP2024085030A
Application number: JP2022199346A
Authority: JP
Inventors: 壮紀五十嵐; 晃裕長谷川; 紗代田鹿
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Filing date: 2022-12-14
Publication date: 2024-06-26

Abstract

A substrate storage container that can be stably fixed to an external device is provided.
[Solution] The substrate storage container comprises a container body having a bottom plate 22, a structure 7 which is an integrally molded product provided on the container body, and a holding member 6 which is joined to the bottom plate 22 and holds the structure 7 removably to the container body, the holding member 6 comprising regulating portions 62, 63 which regulate movement of the structure 7 in the front-to-rear direction, a protruding piece 64 provided on the regulating portion 62 which is spaced apart from the bottom surface 22a of the bottom plate 22 and protrudes towards the regulating portion 63, and a protruding piece 65 provided on the regulating portion 63 which is spaced apart from the bottom surface 22a and protrudes towards the regulating portion 62, the structure 7 comprising a fixing portion 72 for fixing the substrate storage container to an external device, a detection portion 73 which enables the external device to detect the substrate storage container, and an attachment portion 77 which attaches the structure 7 to the holding member 6 by engaging with the protruding piece 64 and the protruding piece 65.
[Selected figure] Figure 3

Description

本開示は、基板収納容器に関する。 This disclosure relates to a substrate storage container.

半導体ウエハなどの基板を収納する基板収納容器が知られている。例えば、特許文献１には、容器本体と、容器本体の底面部に設けられたボトムプレートと、を備えるウエハ搬送容器が記載されている。 Substrate storage containers that store substrates such as semiconductor wafers are known. For example, Patent Document 1 describes a wafer transport container that includes a container body and a bottom plate provided on the bottom surface of the container body.

特開２００８－１０５７４号公報JP 2008-10574 A

このような基板収納容器は、基板収納容器が有するドアが開閉されるときに外部装置に固定されることがあるので、基板収納容器の底部には、基板収納容器を外部装置に固定するためのクランプ構造（センタークランプ）が設けられることがある。さらに、基板収納容器の底部には、基板収納容器を検知するための検知パッドが設けられることがある。センタークランプの機能を有する部品と、検知パッドが設けられた部品とが、容器本体の底部に設けられた部品に嵌め合わされることによって、基板収納容器にこれらの機能が付加され得る。 Since such substrate storage containers may be fixed to an external device when the door of the substrate storage container is opened or closed, a clamp structure (center clamp) for fixing the substrate storage container to an external device may be provided at the bottom of the substrate storage container. Furthermore, a detection pad for detecting the substrate storage container may be provided at the bottom of the substrate storage container. These functions can be added to the substrate storage container by fitting a part having the function of a center clamp and a part provided with a detection pad into a part provided at the bottom of the container body.

各部品の寸法公差などに起因して、嵌め合わされた部品間にクリアランスが生じることがある。このクリアランスによってセンタークランプの厳密な位置決めができないおそれがあるので、外部装置に基板収納容器が一層安定して固定されることが望まれる。 Due to the dimensional tolerances of each part, clearances may occur between mated parts. This clearance may make it impossible to precisely position the center clamp, so it is desirable to fix the substrate storage container to the external device more stably.

本開示は、外部装置に安定して固定されることが可能な基板収納容器を説明する。 This disclosure describes a substrate storage container that can be stably fixed to an external device.

本開示の一側面に係る基板収納容器は、基板を収納する収容空間を画定する底板を有する容器本体と、容器本体に設けられる一体成形品である構造体と、底板に接合され、構造体を容器本体に着脱可能に保持する保持部材と、を備える。底板は、基板収納容器の外部に面する底面を有する。保持部材は、底面に沿った第１方向において互いに向かい合い、構造体の第１方向における移動を規制する第１規制部及び第２規制部と、第１規制部に設けられ、底面と交差する第２方向において底面から離間するとともに第１方向において第２規制部に向かって突出する第１突出片と、第２規制部に設けられ、第２方向において底面から離間するとともに第１方向において第１規制部に向かって突出する第２突出片と、を備える。構造体は、基板収納容器を外部装置に固定するための固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、第１突出片及び第２突出片に係合することにより構造体を保持部材に取り付ける取付部と、を備える。 A substrate storage container according to one aspect of the present disclosure includes a container body having a bottom plate that defines a storage space for storing substrates, a structure that is an integrally molded product provided on the container body, and a holding member that is joined to the bottom plate and holds the structure detachably to the container body. The bottom plate has a bottom surface that faces the outside of the substrate storage container. The holding member includes a first restricting portion and a second restricting portion that face each other in a first direction along the bottom surface and restrict movement of the structure in the first direction, a first protruding piece that is provided on the first restricting portion and is spaced from the bottom surface in a second direction that intersects the bottom surface and protrudes toward the second restricting portion in the first direction, and a second protruding piece that is provided on the second restricting portion and is spaced from the bottom surface in the second direction and protrudes toward the first restricting portion in the first direction. The structure includes a fixing portion for fixing the substrate storage container to an external device, a detection portion for the external device to detect the substrate storage container, and an attachment portion that engages with the first protruding piece and the second protruding piece to attach the structure to the holding member.

この基板収納容器においては、基板収納容器を外部装置に固定するための固定部と、外部装置が基板収納容器を検知するための検知部と、保持部材に取り付けるための取付部とを備える構造体が一体成形品として構成されている。容器本体の底板に接合された保持部材の第１突出片及び第２突出片に取付部が係合することによって、構造体が保持部材に取り付けられる。したがって、構造体と保持部材との２つの部品が係合するので、３つの部品が係合する構成と比較して、固定部の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器を外部装置に安定して固定することが可能となる。 In this substrate storage container, a structure including a fixing portion for fixing the substrate storage container to an external device, a detection portion for the external device to detect the substrate storage container, and an attachment portion for attaching to a holding member is configured as an integrally molded product. The structure is attached to the holding member by engaging the attachment portion with a first protruding piece and a second protruding piece of the holding member joined to the bottom plate of the container body. Therefore, since two parts, the structure and the holding member, engage with each other, the position of the fixing portion can be stabilized compared to a configuration in which three parts are engaged. As a result, it is possible to stably fix the substrate storage container to an external device.

いくつかの実施形態において、構造体は、第１方向において互いに向かい合い、固定部を支持する第１壁部及び第２壁部を更に備えてもよい。固定部は、底面と向かい合う板状の部材であって、第１方向における両端である第１端及び第２端を有してもよい。第１壁部は、第１方向において第２壁部に向かって突出するとともに第１端に接続される第１突出部を備えてもよい。第２壁部は、第１方向において第１壁部に向かって突出するとともに第２端に接続される第２突出部を備えてもよい。取付部は、第１突出部に設けられ、第１方向及び第２方向と交差する第３方向において第１突出片を挟むとともに、第２方向において第１突出片に係止される一対の第１係止片と、第２突出部に設けられ、第３方向において第２突出片を挟むとともに、第２方向において第２突出片に係止される一対の第２係止片と、を備えてもよい。この場合、第１壁部の第１突出部に設けられた一対の第１係止片が第３方向において第１突出片を挟むとともに、第２方向において第１突出片に係止され、第２壁部の第２突出部に設けられた一対の第２係止片が第３方向において第２突出片を挟むとともに、第２方向において第２突出片に係止される。この構成により、構造体を保持部材に取り付けることができる。その結果、基板収納容器の製造を簡易化することができる。 In some embodiments, the structure may further include a first wall portion and a second wall portion that face each other in the first direction and support the fixing portion. The fixing portion may be a plate-like member that faces the bottom surface and has a first end and a second end that are both ends in the first direction. The first wall portion may include a first protruding portion that protrudes toward the second wall portion in the first direction and is connected to the first end. The second wall portion may include a second protruding portion that protrudes toward the first wall portion in the first direction and is connected to the second end. The mounting portion may include a pair of first locking pieces that are provided on the first protruding portion, sandwich the first protruding piece in a third direction that intersects the first direction and the second direction, and are engaged with the first protruding piece in the second direction, and a pair of second locking pieces that are provided on the second protruding portion, sandwich the second protruding piece in the third direction, and are engaged with the second protruding piece in the second direction. In this case, a pair of first locking pieces provided on the first protruding portion of the first wall sandwich the first protruding piece in the third direction and are locked to the first protruding piece in the second direction, and a pair of second locking pieces provided on the second protruding portion of the second wall sandwich the second protruding piece in the third direction and are locked to the second protruding piece in the second direction. With this configuration, the structure can be attached to the holding member. As a result, the manufacture of the substrate storage container can be simplified.

いくつかの実施形態において、固定部は、第２方向に延びる筒状部を備えてもよい。取付部は、筒状部の外周面に設けられ、第１突出片と底面との間に嵌り込む第１突起部と、筒状部の外周面に設けられ、第２突出片と底面との間に嵌り込む第２突起部と、を備えてもよい。この場合、筒状部の外周面に設けられた第１突起部を、保持部材の第１突出片と容器本体の底板の底面との間に嵌り込ませ、筒状部の外周面に設けられた第２突起部を、保持部材の第２突出片と容器本体の底板の底面との間に嵌り込ませるだけで、構造体を保持部材に取り付けることができる。その結果、基板収納容器の製造を簡易化することができる。 In some embodiments, the fixing portion may include a cylindrical portion extending in the second direction. The mounting portion may include a first protrusion provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion and fitted between the first protrusion and the bottom surface, and a second protrusion provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion and fitted between the second protrusion and the bottom surface. In this case, the structure can be attached to the holding member simply by fitting the first protrusion provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion between the first protrusion of the holding member and the bottom surface of the bottom plate of the container body, and fitting the second protrusion provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion between the second protrusion of the holding member and the bottom surface of the bottom plate of the container body. As a result, the manufacture of the substrate storage container can be simplified.

本開示によれば、基板収納容器を外部装置に安定して固定することができる。 According to the present disclosure, the substrate storage container can be stably fixed to an external device.

図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of a substrate storage container according to one embodiment. 図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。FIG. 2 is a bottom view of the substrate storage container shown in FIG. 図３は、図２に示される基板収納容器の底部の分解斜視図である。3 is an exploded perspective view of the bottom of the substrate storage container shown in FIG. 2. FIG. 図４は、図２に示される構造体の斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of the structure shown in FIG. 図５は、図４に示される構造体を後方から見た斜視図である。FIG. 5 is a rear perspective view of the structure shown in FIG. 図６は、図２のＶI－ＶI線に沿った断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in FIG. 図７は、比較例の基板収納容器の底部の分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the bottom of a substrate storage container of a comparative example. 図８は、構造体の別例の斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of another example of a structure. 図９は、図８に示される構造体を保持部材に取り付ける手順を説明するための図である。9A to 9C are diagrams for explaining a procedure for attaching the structure shown in FIG. 8 to a holding member. 図１０は、図８に示される構造体が保持部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the structure shown in FIG. 8 is attached to a holding member.

以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向（第１方向）は、Ｘ軸方向（第３方向）及びＺ軸方向（第２方向）と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。 Hereinafter, an embodiment of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are given the same reference numerals, and duplicated descriptions are omitted. Each figure shows an XYZ coordinate system. The Y-axis direction (first direction) is a direction that intersects (here, perpendicular to) the X-axis direction (third direction) and the Z-axis direction (second direction). The Z-axis direction is a direction that intersects (here, perpendicular to) the X-axis direction and the Y-axis direction. As an example, the X-axis direction is the left-right direction (width direction), the Y-axis direction is the front-back direction (depth direction), and the Z-axis direction is the up-down direction (height direction). For convenience of description, the terms "front", "rear", "up", "down", "left", and "right" are used, but are not limited to these directions.

図１を参照しながら、一実施形態に係る基板収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係る基板収納容器の分解斜視図である。図１に示される基板収納容器１は、複数の基板を収納するための容器である。基板収納容器１は、例えば、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）と称され、工場間で基板を輸送するために用いられる。基板収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格を参考にして構成されている。基板の例としては、半導体ウエハが挙げられる。基板は、例えば、３００ｍｍの直径及び７７５μｍの厚さを有する円板形状を有する。基板収納容器１に収納可能な基板の枚数は、任意に定められており、例えば、２５枚である。 A substrate storage container according to one embodiment will be described with reference to FIG. 1. FIG. 1 is an exploded perspective view of a substrate storage container according to one embodiment. The substrate storage container 1 shown in FIG. 1 is a container for storing a plurality of substrates. The substrate storage container 1 is, for example, called a FOSB (Front Opening Shipping Box) and is used to transport substrates between factories. The substrate storage container 1 is configured, for example, with reference to the SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) standard. An example of a substrate is a semiconductor wafer. The substrate has, for example, a disk shape with a diameter of 300 mm and a thickness of 775 μm. The number of substrates that can be stored in the substrate storage container 1 is determined arbitrarily, for example, 25 substrates.

基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、一対の支持体４と、を含む。 The substrate storage container 1 includes a container body 2, a lid body 3, and a pair of supports 4.

容器本体２は、正面（前面）に開口２ａが設けられたフロントオープン型の容器である。容器本体２は、複数の基板を収納する。具体的には、容器本体２は、複数の基板を上下方向に配列した状態で収納する。開口２ａを介して基板が容器本体２に出し入れされる。 The container body 2 is a front-open type container with an opening 2a on the front (front face). The container body 2 stores multiple substrates. Specifically, the container body 2 stores multiple substrates arranged in a vertical direction. The substrates are inserted into and removed from the container body 2 via the opening 2a.

容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、枠体２５と、を含む。天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４によって、複数の基板を収納するための収容空間２０が画定される。底板２２は、容器本体２の外部に面する底面２２ａ（図２参照）を有する。枠体２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端にわたって設けられている。枠体２５によって、開口２ａが画定される。枠体２５は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成されており、その段差部の面が、ガスケットなどの封止部材が接触するシール面として機能する。 The container body 2 includes a top plate 21, a bottom plate 22, a pair of side walls 23, a rear wall 24, and a frame 25. The top plate 21, the bottom plate 22, the pair of side walls 23, and the rear wall 24 define a storage space 20 for storing a plurality of substrates. The bottom plate 22 has a bottom surface 22a (see FIG. 2) that faces the outside of the container body 2. The frame 25 is a rectangular frame that is provided across the front end of the top plate 21, the front end of the bottom plate 22, and the front ends of the pair of side walls 23. The frame 25 defines an opening 2a. The frame 25 is bent with a step so that it spreads outward, and the surface of the step functions as a sealing surface with which a sealing member such as a gasket comes into contact.

蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、枠体２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、ガスケットなどの封止部材を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を含む。 The lid body 3 is a member for closing the opening 2a of the container body 2. The lid body 3 is attached to the frame body 25 so as to be freely attached and detached. The lid body 3 airtightly closes the opening 2a of the container body 2 via a sealing member such as a gasket. The lid body 3 includes a lid body 31 and a locking mechanism 32.

蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材である。蓋本体３１の前面には、鍵穴３１ｈが設けられている。鍵穴３１ｈには、不図示の鍵が挿入される。施錠機構３２は、鍵穴３１ｈに挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを含む。蓋体３が容器本体２の開口２ａを塞いでいる状態で、鍵の操作によりラッチが枠体２５に設けられた施錠穴（不図示）に嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴から引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。 The lid body 31 is the main body of the lid body 3. The lid body 31 is a rectangular plate material. A keyhole 31h is provided on the front surface of the lid body 31. A key (not shown) is inserted into the keyhole 31h. The locking mechanism 32 locks or unlocks the lid body 3 by operating the key inserted into the keyhole 31h. The locking mechanism 32 includes a latch (not shown). When the lid body 3 is covering the opening 2a of the container body 2, the latch is inserted into a locking hole (not shown) provided in the frame body 25 by operating the key, thereby locking the lid body 3. When the lid body 3 is locked, the latch is pulled out of the locking hole by operating the key, thereby unlocking the lid body 3.

容器本体２及び蓋体３の材料の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、及び液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂には、導電材、各種の帯電防止材、及び紫外線吸収材などが適宜添加されてもよい。導電材の例としては、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、及び導電性高分子が挙げられる。 Examples of materials for the container body 2 and the lid 3 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, and liquid crystal polymer. Conductive materials, various antistatic materials, and ultraviolet absorbing materials may be added to the thermoplastic resins as appropriate. Examples of conductive materials include conductive carbon, conductive fibers, metal fibers, and conductive polymers.

一対の支持体４は、基板を支持する部材である。各支持体４は、側壁２３の内面に設けられ、側壁２３の内面から収容空間２０に突出している。各支持体４には、前後方向に延びる複数の溝が設けられている。複数の溝は、側壁２３に向かって窪む形状を有してもよい。複数の溝は、上下方向に並設されている。一対の支持体４に設けられた同じ高さに位置する溝に、基板の左右方向の両端部が挿入されることによって、基板が支持される。各支持体４は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各支持体４の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。 The pair of supports 4 are members that support the substrate. Each support 4 is provided on the inner surface of the side wall 23 and protrudes from the inner surface of the side wall 23 into the storage space 20. Each support 4 is provided with a plurality of grooves extending in the front-rear direction. The grooves may have a shape that is recessed toward the side wall 23. The grooves are arranged in parallel in the vertical direction. The substrate is supported by inserting both ends in the left-right direction of the substrate into the grooves located at the same height provided in the pair of supports 4. Each support 4 may be integrally formed with the container body 2 by insert molding, or may be assembled to the container body 2 in an assembly manner. Examples of materials that constitute each support 4 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polybutylene terephthalate, and polyether ether ketone.

次に、図２を参照しながら、容器本体２の底部に設けられる部材を説明する。図２は、図１に示される基板収納容器の底面図である。図２に示されるように、基板収納容器１は、位置決め部材５と、保持部材６と、構造体７と、を更に含む。 Next, the members provided at the bottom of the container body 2 will be described with reference to FIG. 2. FIG. 2 is a bottom view of the substrate storage container shown in FIG. 1. As shown in FIG. 2, the substrate storage container 1 further includes a positioning member 5, a holding member 6, and a structure 7.

位置決め部材５は、ロードポートなどの外部装置が基板収納容器１（容器本体２）の位置決めを行うために用いられる部材である。位置決め部材５は、底面２２ａから下方に突出するように、底板２２に設けられる。位置決め部材５は、底板２２に向かって（上方に）Ｖ字状に窪むＶ字面を有している。Ｖ字面には、必要に応じて、耐摩耗性、及び摺動性を向上させる表面処理が施され得る。本実施形態では、基板収納容器１は、３つの位置決め部材５を含む。各位置決め部材５は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。各位置決め部材５の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。 The positioning member 5 is a member used by an external device such as a load port to position the substrate storage container 1 (container body 2). The positioning member 5 is provided on the bottom plate 22 so as to protrude downward from the bottom surface 22a. The positioning member 5 has a V-shaped surface that is recessed (upward) toward the bottom plate 22. If necessary, the V-shaped surface may be subjected to a surface treatment to improve wear resistance and sliding properties. In this embodiment, the substrate storage container 1 includes three positioning members 5. Each positioning member 5 may be integrally formed with the container body 2 by insert molding, or may be assembled to the container body 2 in an assembled manner. Examples of materials for the positioning members 5 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polybutylene terephthalate, and polyether ether ketone.

保持部材６は、構造体７を容器本体２に着脱可能に保持する部材である。保持部材６は、底板２２に接合されている。保持部材６は、インサート成形によって容器本体２に一体的に形成されてもよく、組み立て式で容器本体２に組付けられてもよい。保持部材６の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。 The holding member 6 is a member that holds the structure 7 removably to the container body 2. The holding member 6 is joined to the bottom plate 22. The holding member 6 may be integrally formed with the container body 2 by insert molding, or may be assembled to the container body 2 in an assembled manner. Examples of materials that may be used to form the holding member 6 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polybutylene terephthalate, and polyether ether ketone.

構造体７は、基板収納容器１に各種機能を付加するための部材である。構造体７は、一体成形品であって、容器本体２に設けられる。構造体７の構成材料の例として、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエーテルエーテルケトンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。保持部材６及び構造体７の詳細は後述する。 The structure 7 is a member for adding various functions to the substrate storage container 1. The structure 7 is an integrally molded product and is provided on the container body 2. Examples of materials for the structure 7 include thermoplastic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polybutylene terephthalate, and polyether ether ketone. Details of the holding member 6 and the structure 7 will be described later.

次に、図３～図６を参照しながら、保持部材６及び構造体７を詳細に説明する。図３は、図２に示される基板収納容器の底部の分解斜視図である。図４は、図２に示される構造体の斜視図である。図５は、図４に示される構造体を後方から見た斜視図である。図６は、図２のＶI－ＶI線に沿った断面図である。図３に示されるように、保持部材６は、基部６１と、規制部６２（第１規制部）と、規制部６３（第２規制部）と、突出片６４（第１突出片）と、突出片６５（第２突出片）と、を含む。 Next, the holding member 6 and the structure 7 will be described in detail with reference to Figures 3 to 6. Figure 3 is an exploded perspective view of the bottom of the substrate storage container shown in Figure 2. Figure 4 is a perspective view of the structure shown in Figure 2. Figure 5 is a perspective view of the structure shown in Figure 4 from the rear. Figure 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI in Figure 2. As shown in Figure 3, the holding member 6 includes a base 61, a restricting portion 62 (first restricting portion), a restricting portion 63 (second restricting portion), a protruding piece 64 (first protruding piece), and a protruding piece 65 (second protruding piece).

基部６１は、底板２２に接合される板状の部分である。基部６１は、底板２２に埋設されている。基部６１は、平面視でＴ字状の形状を有している。基部６１は、第１部分６１ａと、第２部分６１ｂと、連結部分６１ｃと、を含む。第１部分６１ａは、規制部６２が設けられる部分であり、平面視で規制部６２よりもひと回り大きい形状を有する。第２部分６１ｂは、規制部６３が設けられる部分であり、平面視で規制部６３よりもひと回り大きい形状を有する。連結部分６１ｃは、第１部分６１ａと第２部分６１ｂとを連結する部分である。連結部分６１ｃには、上下方向に連結部分６１ｃを貫通する矩形状の貫通孔６１ｈが設けられている。 The base 61 is a plate-like portion joined to the bottom plate 22. The base 61 is embedded in the bottom plate 22. The base 61 has a T-shape in plan view. The base 61 includes a first portion 61a, a second portion 61b, and a connecting portion 61c. The first portion 61a is a portion where the restricting portion 62 is provided, and has a shape that is slightly larger than the restricting portion 62 in plan view. The second portion 61b is a portion where the restricting portion 63 is provided, and has a shape that is slightly larger than the restricting portion 63 in plan view. The connecting portion 61c is a portion that connects the first portion 61a and the second portion 61b. The connecting portion 61c has a rectangular through hole 61h that penetrates the connecting portion 61c in the vertical direction.

規制部６２及び規制部６３は、構造体７の前後方向における移動を規制する部材である。規制部６２は、構造体７の前方への移動を規制する。規制部６３は、構造体７の後方への移動を規制する。規制部６２と規制部６３とは、前後方向において互いに向かい合うように設けられる。 The restricting portion 62 and the restricting portion 63 are members that restrict movement of the structure 7 in the front-rear direction. The restricting portion 62 restricts the forward movement of the structure 7. The restricting portion 63 restricts the rearward movement of the structure 7. The restricting portion 62 and the restricting portion 63 are arranged to face each other in the front-rear direction.

規制部６２は、左右方向に延びる直方体形状を有する。規制部６２は、基板収納容器１を外部装置に固定するフロントリテーナとしても機能する。規制部６２の下面の左右方向における両端部には、溝６２ａが設けられている。溝６２ａは、規制部６２の前端の近傍から規制部６２の後端まで前後方向に延びている。 The restricting portion 62 has a rectangular parallelepiped shape extending in the left-right direction. The restricting portion 62 also functions as a front retainer that fixes the substrate storage container 1 to an external device. A groove 62a is provided at both ends in the left-right direction of the lower surface of the restricting portion 62. The groove 62a extends in the front-rear direction from near the front end of the restricting portion 62 to the rear end of the restricting portion 62.

規制部６３は、前後方向と実質的に直交する主面を有する板状の形状を有する。規制部６３は、検知面６３ａを有する。検知面６３ａは、規制部６３の先端に位置し、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態で下方を向く面である。検知面６３ａは、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。 The restricting portion 63 has a plate-like shape with a main surface that is substantially perpendicular to the front-rear direction. The restricting portion 63 has a detection surface 63a. The detection surface 63a is located at the tip of the restricting portion 63 and faces downward when the structure 7 is attached to the holding member 6. The detection surface 63a functions as a sensing pad that is detected by an external device.

突出片６４及び突出片６５は、構造体７を取り付けるために用いられる部分である。突出片６４は、規制部６２の後面に設けられ、前後方向において規制部６３に向かって（後方に）規制部６２の後面から突出している。突出片６４は、上下方向において底面２２ａから離間している。突出片６４の先端は、円弧状に窪んでいる。突出片６５は、規制部６３の前面に設けられ、前後方向において規制部６２に向かって（前方に）規制部６３の前面から突出している。突出片６５は、上下方向において底面２２ａから離間している。突出片６５の先端は、円弧状に窪んでいる。 The protruding piece 64 and the protruding piece 65 are parts used to attach the structure 7. The protruding piece 64 is provided on the rear surface of the regulating part 62 and protrudes from the rear surface of the regulating part 62 toward the regulating part 63 in the front-rear direction (rearward). The protruding piece 64 is spaced apart from the bottom surface 22a in the up-down direction. The tip of the protruding piece 64 is recessed in an arc shape. The protruding piece 65 is provided on the front surface of the regulating part 63 and protrudes from the front surface of the regulating part 63 toward the regulating part 62 in the front-rear direction (forward). The protruding piece 65 is spaced apart from the bottom surface 22a in the up-down direction. The tip of the protruding piece 65 is recessed in an arc shape.

図３～図６に示されるように、構造体７は、基部７１と、固定部７２と、検知部７３と、壁部７４（第１壁部）と、壁部７５（第２壁部）と、一対の側壁部７６と、取付部７７と、を含む。ここでは、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態における構造体７を説明する。 As shown in Figures 3 to 6, the structure 7 includes a base 71, a fixing portion 72, a detection portion 73, a wall portion 74 (first wall portion), a wall portion 75 (second wall portion), a pair of side wall portions 76, and an attachment portion 77. Here, the structure 7 is described in a state in which the structure 7 is attached to the holding member 6.

基部７１は、基部６１上に載置される板状の部分である。構造体７が保持部材６に取り付けられる際に、基部７１が突出片６４と干渉しないように、基部７１の前縁は突出片６４の形状に沿って窪んでいる。構造体７が保持部材６に取り付けられる際に、基部７１が突出片６５と干渉しないように、基部７１の後縁は突出片６５の形状に沿って窪んでいる。基部７１は、面７１ａと、面７１ｂと、を有する。面７１ａは、基部６１と向かい合う面である。面７１ｂは、面７１ａとは反対側の面であり、固定部７２と向かい合う面である。 The base 71 is a plate-like portion that is placed on the base 61. The front edge of the base 71 is recessed along the shape of the protruding piece 64 so that the base 71 does not interfere with the protruding piece 64 when the structure 7 is attached to the holding member 6. The rear edge of the base 71 is recessed along the shape of the protruding piece 65 so that the base 71 does not interfere with the protruding piece 65 when the structure 7 is attached to the holding member 6. The base 71 has a surface 71a and a surface 71b. The surface 71a is the surface that faces the base 61. The surface 71b is the surface opposite the surface 71a and faces the fixing portion 72.

固定部７２は、基板収納容器１を外部装置に固定するための部分である。固定部７２は、上下方向において底面２２ａ（基部７１）と向かい合う板状の形状を有する。固定部７２は、後方に向かうにつれて底面２２ａから離れるようにわずかに傾斜している。固定部７２は、前後方向における両端である前端７２ａ（第１端）及び後端７２ｂ（第２端）を有している。固定部７２には、固定部７２を上下方向に貫通する貫通孔７２ｈが設けられている。貫通孔７２ｈは、前後方向に延びる長孔である。 The fixing portion 72 is a portion for fixing the substrate storage container 1 to an external device. The fixing portion 72 has a plate-like shape that faces the bottom surface 22a (base portion 71) in the vertical direction. The fixing portion 72 is slightly inclined so as to move away from the bottom surface 22a as it moves rearward. The fixing portion 72 has a front end 72a (first end) and a rear end 72b (second end), which are both ends in the front-to-rear direction. The fixing portion 72 is provided with a through hole 72h that passes through the fixing portion 72 in the vertical direction. The through hole 72h is a long hole that extends in the front-to-rear direction.

検知部７３は、外部装置が基板収納容器１を検知するための部分である。検知部７３は、一対の検知体７３ａを含む。各検知体７３ａは、前後方向に延びる板状の形状を有する。一対の検知体７３ａは、左右方向において固定部７２を挟むように設けられている。各検知体７３ａは、検知面７３ｂを有する。検知面７３ｂは、構造体７が保持部材６に取り付けられている状態で、下方を向く面である。検知面７３ｂは、固定部７２の上面（底面２２ａと向かい合う面）と実質的に平行である。検知面６３ａ及び一対の検知体７３ａの検知面７３ｂは、略同一平面上に位置する。検知面７３ｂは、検知面６３ａと同様、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。 The detection unit 73 is a portion for an external device to detect the substrate storage container 1. The detection unit 73 includes a pair of detection bodies 73a. Each detection body 73a has a plate-like shape extending in the front-rear direction. The pair of detection bodies 73a are arranged to sandwich the fixed part 72 in the left-right direction. Each detection body 73a has a detection surface 73b. The detection surface 73b is a surface that faces downward when the structure 7 is attached to the holding member 6. The detection surface 73b is substantially parallel to the upper surface of the fixed part 72 (the surface facing the bottom surface 22a). The detection surface 63a and the detection surfaces 73b of the pair of detection bodies 73a are located on approximately the same plane. The detection surface 73b functions as a sensing pad that is detected by an external device, similar to the detection surface 63a.

壁部７４及び壁部７５は、固定部７２を支持する部分である。壁部７４及び壁部７５は、前後方向において固定部７２を挟むように基部７１に設けられている。壁部７４と壁部７５とは、前後方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。壁部７４は、基部７１の前縁に沿って面７１ｂに立設されている。壁部７５は、基部７１の後縁に沿って面７１ｂに立設されている。 The wall portion 74 and the wall portion 75 are portions that support the fixed portion 72. The wall portion 74 and the wall portion 75 are provided on the base portion 71 so as to sandwich the fixed portion 72 in the front-rear direction. The wall portion 74 and the wall portion 75 face each other in the front-rear direction and are disposed substantially parallel to each other. The wall portion 74 is erected on the surface 71b along the front edge of the base portion 71. The wall portion 75 is erected on the surface 71b along the rear edge of the base portion 71.

壁部７４は、本体部７４ａと、突出部７４ｂ（第１突出部）と、を含む。本体部７４ａは、板状の部分である。本体部７４ａには、開口部７４ｃが設けられている。開口部７４ｃは、構造体７が保持部材６に取り付けられる際に壁部７４が突出片６４と干渉しないように、本体部７４ａのうちの突出片６４が通過する部分に設けられている。突出部７４ｂは、本体部７４ａの後面に設けられ、前後方向において壁部７５に向かって本体部７４ａの後面から突出している。突出部７４ｂは、固定部７２の前端７２ａに接続されている。突出部７４ｂは、平面視で突出片６４と実質的に同じ形状を有する。 The wall portion 74 includes a main body portion 74a and a protruding portion 74b (first protruding portion). The main body portion 74a is a plate-shaped portion. An opening portion 74c is provided in the main body portion 74a. The opening portion 74c is provided in a portion of the main body portion 74a through which the protruding piece 64 passes so that the wall portion 74 does not interfere with the protruding piece 64 when the structure 7 is attached to the holding member 6. The protruding portion 74b is provided on the rear surface of the main body portion 74a and protrudes from the rear surface of the main body portion 74a toward the wall portion 75 in the front-rear direction. The protruding portion 74b is connected to the front end 72a of the fixing portion 72. The protruding portion 74b has substantially the same shape as the protruding piece 64 in a plan view.

壁部７５は、本体部７５ａと、突出部７５ｂ（第２突出部）と、を含む。本体部７５ａは、板状の部分である。本体部７５ａには、開口部７５ｃが設けられている。開口部７５ｃは、構造体７が保持部材６に取り付けられる際に壁部７５が突出片６５と干渉しないように、本体部７５ａのうちの突出片６５が通過する部分に設けられている。突出部７５ｂは、本体部７５ａの前面に設けられ、前後方向において壁部７４に向かって本体部７５ａの前面から突出している。突出部７５ｂは、固定部７２の後端７２ｂに接続されている。突出部７５ｂは、平面視で突出片６５と実質的に同じ形状を有する。 The wall portion 75 includes a main body portion 75a and a protruding portion 75b (second protruding portion). The main body portion 75a is a plate-shaped portion. An opening portion 75c is provided in the main body portion 75a. The opening portion 75c is provided in a portion of the main body portion 75a through which the protruding piece 65 passes so that the wall portion 75 does not interfere with the protruding piece 65 when the structure 7 is attached to the holding member 6. The protruding portion 75b is provided on the front surface of the main body portion 75a and protrudes from the front surface of the main body portion 75a toward the wall portion 74 in the front-rear direction. The protruding portion 75b is connected to the rear end 72b of the fixing portion 72. The protruding portion 75b has substantially the same shape as the protruding piece 65 in a plan view.

一対の側壁部７６は、検知部７３を支持する部分である。一対の側壁部７６は、左右方向において固定部７２を挟むように基部７１に設けられている。一対の側壁部７６は、左右方向において互いに向かい合っており、実質的に平行に配置されている。一対の側壁部７６は、基部７１の左右の縁に沿って面７１ｂに立設されている。右側の側壁部７６の下端は右側の検知体７３ａの左端に接続されており、左側の側壁部７６の下端は左側の検知体７３ａの右端に接続されている。つまり、一対の検知体７３ａは、左右方向に互いに離れるように各側壁部７６の下端から延びている。 The pair of side walls 76 are portions that support the detection unit 73. The pair of side walls 76 are provided on the base 71 so as to sandwich the fixed portion 72 in the left-right direction. The pair of side walls 76 face each other in the left-right direction and are arranged substantially parallel. The pair of side walls 76 are erected on the surface 71b along the left and right edges of the base 71. The lower end of the right side wall 76 is connected to the left end of the right detection body 73a, and the lower end of the left side wall 76 is connected to the right end of the left detection body 73a. In other words, the pair of detection bodies 73a extend from the lower ends of the side walls 76 so as to be separated from each other in the left-right direction.

基部７１、固定部７２、壁部７４、壁部７５、及び一対の側壁部７６によって、空間Ｖが画定されている。空間Ｖは、ロードポートなどの外部装置が基板収納容器１を固定するために用いられ、空間Ｖには外部装置のＴ字状の固定具が挿入される。 A space V is defined by the base 71, the fixing portion 72, the wall portion 74, the wall portion 75, and a pair of side wall portions 76. The space V is used by an external device such as a load port to fix the substrate storage container 1, and a T-shaped fixing device of the external device is inserted into the space V.

各側壁部７６には、空間Ｖと外部とを連通する開口部７６ａが設けられている。開口部７６ａは、左右方向から見て、空間Ｖと同じ大きさを有する。つまり、開口部７６ａは、上下方向において、側壁部７６の下端から基部７１の面７１ｂにわたって広がっており、前後方向において、壁部７４の後面から壁部７５の前面にわたって広がっている。 Each side wall portion 76 has an opening 76a that connects the space V to the outside. When viewed from the left-right direction, the opening 76a has the same size as the space V. In other words, the opening 76a extends from the lower end of the side wall portion 76 to the surface 71b of the base portion 71 in the up-down direction, and extends from the rear surface of the wall portion 74 to the front surface of the wall portion 75 in the front-rear direction.

取付部７７は、突出片６４及び突出片６５に係合することにより構造体７を保持部材６に取り付ける部分である。取付部７７は、スナップフィット構造により、構造体７を保持部材６に取り付ける。取付部７７は、一対の係止片７８（第１係止片）と、一対の係止片７９（第２係止片）と、を含む。 The mounting portion 77 is a portion that mounts the structure 7 to the holding member 6 by engaging with the protruding pieces 64 and 65. The mounting portion 77 mounts the structure 7 to the holding member 6 by a snap-fit structure. The mounting portion 77 includes a pair of locking pieces 78 (first locking pieces) and a pair of locking pieces 79 (second locking pieces).

一対の係止片７８は、左右方向において互いに離間して設けられている。一対の係止片７８は、突出部７４ｂの左右両端に設けられ、突出部７４ｂから底面２２ａ（面７１ｂ）に向かって延びている。一対の係止片７８は、前後方向において開口部７４ｃ及び開口部７５ｃと重なる位置に設けられ、左右方向において開口部７６ａと重なる位置に設けられている。各係止片７８は、フック状の形状を有している。具体的には、各係止片７８は、柱部７８ａと、爪部７８ｂと、を含む。 The pair of locking pieces 78 are spaced apart from each other in the left-right direction. The pair of locking pieces 78 are provided on both the left and right ends of the protruding portion 74b, and extend from the protruding portion 74b toward the bottom surface 22a (surface 71b). The pair of locking pieces 78 are provided at positions overlapping with the openings 74c and 75c in the front-rear direction, and at positions overlapping with the openings 76a in the left-right direction. Each locking piece 78 has a hook-like shape. Specifically, each locking piece 78 includes a pillar portion 78a and a claw portion 78b.

柱部７８ａは可撓性を有する。柱部７８ａの上下方向における長さは、突出片６４の上下方向における長さ（厚さ）と実質的に同じである。柱部７８ａの基端は突出部７４ｂに接続されている。柱部７８ａの先端には爪部７８ｂが設けられている。爪部７８ｂは、他方の爪部７８ｂに向かって突出している。爪部７８ｂは、傾斜面７８ｃを有する。傾斜面７８ｃは、上下方向において柱部７８ａに近づくにつれて、左右方向において他方の爪部７８ｂに近づくように傾斜している。 The pillar portion 78a is flexible. The vertical length of the pillar portion 78a is substantially the same as the vertical length (thickness) of the protruding piece 64. The base end of the pillar portion 78a is connected to the protruding portion 74b. A claw portion 78b is provided at the tip of the pillar portion 78a. The claw portion 78b protrudes toward the other claw portion 78b. The claw portion 78b has an inclined surface 78c. The inclined surface 78c is inclined so as to approach the pillar portion 78a in the vertical direction and approach the other claw portion 78b in the left-right direction.

構造体７が保持部材６に取り付けられている状態において、一対の係止片７８は、左右方向において突出片６４を挟むとともに、上下方向において突出片６４に係止される。具体的には、一対の係止片７８の柱部７８ａが左右方向において突出片６４を挟み、一対の係止片７８の爪部７８ｂが突出片６４の面７１ｂと向かい合う面によって係止される。 When the structure 7 is attached to the holding member 6, the pair of locking pieces 78 sandwich the protruding piece 64 in the left-right direction and are locked to the protruding piece 64 in the up-down direction. Specifically, the pillar portions 78a of the pair of locking pieces 78 sandwich the protruding piece 64 in the left-right direction, and the claw portions 78b of the pair of locking pieces 78 are locked by the surfaces facing the surfaces 71b of the protruding piece 64.

一対の係止片７９は、左右方向において互いに離間して設けられている。一対の係止片７９は、突出部７５ｂの左右両端に設けられ、突出部７５ｂから底面２２ａ（面７１ｂ）に向かって延びている。一対の係止片７９は、前後方向において開口部７４ｃ及び開口部７５ｃと重なる位置に設けられ、左右方向において開口部７６ａと重なる位置に設けられている。各係止片７９は、柱部７９ａと、爪部７９ｂと、を含む。 The pair of locking pieces 79 are spaced apart from each other in the left-right direction. The pair of locking pieces 79 are provided on both the left and right ends of the protruding portion 75b, and extend from the protruding portion 75b toward the bottom surface 22a (surface 71b). The pair of locking pieces 79 are provided at positions overlapping with the openings 74c and 75c in the front-rear direction, and at positions overlapping with the opening 76a in the left-right direction. Each locking piece 79 includes a pillar portion 79a and a claw portion 79b.

柱部７９ａは可撓性を有する。柱部７９ａの上下方向における長さは、突出片６５の上下方向における長さ（厚さ）と実質的に同じである。柱部７９ａの基端は突出部７５ｂに接続されている。柱部７９ａの先端には爪部７９ｂが設けられている。爪部７９ｂは、他方の爪部７９ｂに向かって突出している。爪部７９ｂは、傾斜面７９ｃを有する。傾斜面７９ｃは、上下方向において柱部７９ａに近づくにつれて、左右方向において他方の爪部７９ｂに近づくように傾斜している。 The pillar portion 79a is flexible. The vertical length of the pillar portion 79a is substantially the same as the vertical length (thickness) of the protruding piece 65. The base end of the pillar portion 79a is connected to the protruding portion 75b. A claw portion 79b is provided at the tip of the pillar portion 79a. The claw portion 79b protrudes toward the other claw portion 79b. The claw portion 79b has an inclined surface 79c. The inclined surface 79c is inclined so as to approach the pillar portion 79a in the vertical direction and approach the other claw portion 79b in the left-right direction.

構造体７が保持部材６に取り付けられている状態において、一対の係止片７９は、左右方向において突出片６５を挟むとともに、上下方向において突出片６５に係止される。具体的には、一対の係止片７９の柱部７９ａが左右方向において突出片６５を挟み、一対の係止片７９の爪部７９ｂが突出片６５の面７１ｂと向かい合う面によって係止される。 When the structure 7 is attached to the holding member 6, the pair of locking pieces 79 sandwich the protruding piece 65 in the left-right direction and are locked to the protruding piece 65 in the up-down direction. Specifically, the pillar portions 79a of the pair of locking pieces 79 sandwich the protruding piece 65 in the left-right direction, and the claw portions 79b of the pair of locking pieces 79 are locked by the surfaces facing the surfaces 71b of the protruding piece 65.

次に、図７を更に参照して比較例の基板収納容器と比較しながら、基板収納容器１の底部の組立方法を説明する。図７は、比較例の基板収納容器の底部の分解斜視図である。図７に示される基板収納容器１００は、構造体７に代えて検知部材１０７及び固定部材１０８を含む点において、基板収納容器１と主に相違する。 Next, with further reference to FIG. 7, a method for assembling the bottom of the substrate storage container 1 will be described in comparison with a substrate storage container of a comparative example. FIG. 7 is an exploded perspective view of the bottom of the substrate storage container of the comparative example. The substrate storage container 100 shown in FIG. 7 differs from the substrate storage container 1 mainly in that it includes a detection member 107 and a fixing member 108 instead of the structure 7.

検知部材１０７は、一対の側壁部７６に代えて一対の壁部１７６を含む点、並びに、固定部７２及び取付部７７を含まない点において、構造体７と主に相違する。一対の壁部１７６は、開口部７６ａが設けられていない点において一対の側壁部７６と主に相違する。 The detection member 107 differs from the structure 7 mainly in that it includes a pair of walls 176 instead of the pair of side walls 76, and does not include the fixing portion 72 and the mounting portion 77. The pair of walls 176 differ mainly from the pair of side walls 76 in that they do not include the openings 76a.

固定部材１０８は、円筒形状を有する部材である。固定部材１０８の一端は、開放されており、固定部材１０８の他端には、貫通孔１０８ｈが設けられている。固定部材１０８の一端には、固定部材１０８を保持部材６に取り付けるための突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂが設けられている。突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂは、固定部材１０８の一端において筒状部分の外周面に設けられている。突起部１０８ａと突起部１０８ｂとは、筒状部分の中心軸に対して実質的に点対称に設けられており、筒状部分の外周面から互いに反対方向に突出している。 The fixing member 108 is a member having a cylindrical shape. One end of the fixing member 108 is open, and a through hole 108h is provided at the other end of the fixing member 108. One end of the fixing member 108 is provided with protrusions 108a and 108b for attaching the fixing member 108 to the holding member 6. The protrusions 108a and 108b are provided on the outer circumferential surface of the cylindrical portion at one end of the fixing member 108. The protrusions 108a and 108b are provided substantially point symmetrically with respect to the central axis of the cylindrical portion, and protrude in opposite directions from the outer circumferential surface of the cylindrical portion.

基板収納容器１００では、まず、壁部７４の突出部７４ｂが開口部７４ｃを介して突出片６４に重ね合わせられ、壁部７５の突出部７５ｂが開口部７５ｃを介して突出片６５に重ね合わせられるように、検知部材１０７が保持部材６に載置される。これにより、一対の検知体７３ａの一端部が規制部６２上に載置されるとともに、一対の側壁部７６の上端が底面２２ａに当接する。このとき、検知部材１０７は保持部材６に固定されていない。 In the substrate storage container 100, the detection member 107 is first placed on the holding member 6 so that the protruding portion 74b of the wall portion 74 is overlapped with the protruding piece 64 through the opening 74c, and the protruding portion 75b of the wall portion 75 is overlapped with the protruding piece 65 through the opening 75c. As a result, one end of the pair of detection bodies 73a is placed on the regulating portion 62, and the upper ends of the pair of side wall portions 76 abut against the bottom surface 22a. At this time, the detection member 107 is not fixed to the holding member 6.

続いて、突起部１０８ａ及び突起部１０８ｂが突出部７４ｂ及び突出部７５ｂと干渉しないように固定部材１０８の中心軸回りに固定部材１０８の向きが調整されて、固定部材１０８の一端が基部７１に載置される。そして、固定部材１０８がその中心軸回りに回転されることで、突起部１０８ａが突出片６４と基部７１との間に嵌り込み、突起部１０８ｂが突出片６５と基部７１との間に嵌り込む。 Then, the orientation of the fixing member 108 is adjusted around the central axis of the fixing member 108 so that the protrusions 108a and 108b do not interfere with the protrusions 74b and 75b, and one end of the fixing member 108 is placed on the base 71. Then, the fixing member 108 is rotated around its central axis, so that the protrusion 108a fits between the protruding piece 64 and the base 71, and the protrusion 108b fits between the protruding piece 65 and the base 71.

以上により、検知部材１０７及び固定部材１０８が保持部材６に取り付けられる。 As a result, the detection member 107 and the fixing member 108 are attached to the holding member 6.

一方、基板収納容器１では、壁部７４の突出部７４ｂが開口部７４ｃを介して突出片６４に重ね合わせられ、壁部７５の突出部７５ｂが開口部７５ｃを介して突出片６５に重ね合わせられるように、構造体７が保持部材６に向けて押し込まれる。このとき、突出片６４の左右両端が一対の係止片７８の爪部７８ｂの傾斜面７８ｃに沿って摺動するので、一対の係止片７８が左右方向に互いに離れるような押圧力が各係止片７８に加わる。これにより、柱部７８ａが弾性変形して一対の係止片７８が左右方向に押し広げられる。そして、突出片６４が爪部７８ｂ間を通過すると、突出片６４によって各係止片７８に加えられていた押圧力が解除され、柱部７８ａの弾性力により柱部７８ａの形状が元の形状に戻る。その結果、一対の柱部７８ａによって突出片６４が左右方向に挟まれ、爪部７８ｂが突出片６４の上面に当接する。 On the other hand, in the substrate storage container 1, the structure 7 is pushed toward the holding member 6 so that the protruding portion 74b of the wall portion 74 is overlapped with the protruding piece 64 through the opening 74c, and the protruding portion 75b of the wall portion 75 is overlapped with the protruding piece 65 through the opening 75c. At this time, the left and right ends of the protruding piece 64 slide along the inclined surfaces 78c of the claw portions 78b of the pair of locking pieces 78, so that a pressing force is applied to each locking piece 78 so that the pair of locking pieces 78 move apart in the left and right direction. As a result, the pillar portion 78a is elastically deformed, and the pair of locking pieces 78 are pushed apart in the left and right direction. Then, when the protruding piece 64 passes between the claw portions 78b, the pressing force applied to each locking piece 78 by the protruding piece 64 is released, and the shape of the pillar portion 78a returns to its original shape due to the elastic force of the pillar portion 78a. As a result, the protruding piece 64 is sandwiched in the left and right direction by the pair of pillar portions 78a, and the claw portion 78b abuts against the upper surface of the protruding piece 64.

一対の係止片７９についても同様に、突出片６５の左右両端が一対の係止片７９の爪部７９ｂの傾斜面７９ｃに沿って摺動するので、一対の係止片７９が左右方向に押し広げられる。そして、突出片６５が爪部７９ｂ間を通過すると、突出片６５によって各係止片７９に加えられていた押圧力が解除され、柱部７９ａの弾性力により柱部７９ａの形状が元の形状に戻る。その結果、一対の柱部７９ａによって突出片６５が左右方向に挟まれ、爪部７９ｂが突出片６５の上面に当接する。 Similarly, for the pair of locking pieces 79, the left and right ends of the protruding piece 65 slide along the inclined surfaces 79c of the claw portions 79b of the pair of locking pieces 79, so that the pair of locking pieces 79 are pushed apart in the left and right direction. Then, when the protruding piece 65 passes between the claw portions 79b, the pressing force applied to each locking piece 79 by the protruding piece 65 is released, and the shape of the pillar portion 79a returns to its original shape due to the elastic force of the pillar portion 79a. As a result, the protruding piece 65 is sandwiched in the left and right direction by the pair of pillar portions 79a, and the claw portion 79b abuts against the upper surface of the protruding piece 65.

以上により、構造体７が保持部材６に取り付けられる。 The above procedure attaches the structure 7 to the holding member 6.

基板収納容器１００では、保持部材６に検知部材１０７を載置した上で、固定部材１０８が取り付けられる。固定部材１０８の突起部１０８ａが突出片６４と基部７１との間に嵌り込み、固定部材１０８の突起部１０８ｂが突出片６５と基部７１との間に嵌り込むことで、固定部材１０８の貫通孔１０８ｈの位置が固定される。しかしながら、寸法公差などに起因して、突出片６４の上下方向における長さ、壁部７４の開口部７４ｃの上下方向における長さ、及び突起部１０８ａの上下方向における長さが、設計値からずれることがある。この場合、突出片６４と基部７１との間に突起部１０８ａが嵌るもののわずかに隙間が生じ、固定部材１０８の厳密な位置決めができないおそれがある。 In the substrate storage container 100, the detection member 107 is placed on the holding member 6, and then the fixing member 108 is attached. The protrusion 108a of the fixing member 108 fits between the protruding piece 64 and the base 71, and the protrusion 108b of the fixing member 108 fits between the protruding piece 65 and the base 71, thereby fixing the position of the through hole 108h of the fixing member 108. However, due to dimensional tolerances, the vertical length of the protruding piece 64, the vertical length of the opening 74c of the wall 74, and the vertical length of the protrusion 108a may deviate from the design values. In this case, although the protrusion 108a fits between the protruding piece 64 and the base 71, a small gap may occur, and the fixing member 108 may not be accurately positioned.

同様に、突出片６５の上下方向における長さ、壁部７５の開口部７５ｃの上下方向における長さ、及び突起部１０８ｂの上下方向における長さが、設計値からずれることがある。この場合、突出片６５と基部７１との間に突起部１０８ｂが嵌るもののわずかに隙間が生じ、固定部材１０８の厳密な位置決めができないおそれがある。したがって、固定部材１０８の貫通孔１０８ｈの位置が厳密に定まらないおそれがある。 Similarly, the vertical length of the protruding piece 65, the vertical length of the opening 75c of the wall portion 75, and the vertical length of the protrusion 108b may deviate from the design values. In this case, although the protrusion 108b fits between the protruding piece 65 and the base 71, a small gap may be created, and the fixing member 108 may not be precisely positioned. Therefore, the position of the through hole 108h of the fixing member 108 may not be precisely determined.

一方、基板収納容器１においては、固定部７２と検知部７３と取付部７７とを含む構造体７が一体成形品として構成されている。容器本体２の底板２２に接合された保持部材６の突出片６４及び突出片６５に取付部７７が係合することによって、構造体７が保持部材６に取り付けられる。したがって、構造体７と保持部材６との２つの部品が係合するので、３つの部品が係合する基板収納容器１００と比較して、クリアランスが生じ得る箇所が減り、固定部７２（貫通孔７２ｈ）の位置を安定化することができる。その結果、基板収納容器１を外部装置に一層安定して固定することが可能となる。 On the other hand, in the substrate storage container 1, the structure 7 including the fixing portion 72, the detection portion 73, and the mounting portion 77 is configured as an integrally molded product. The mounting portion 77 engages with the protruding pieces 64 and 65 of the holding member 6 joined to the bottom plate 22 of the container body 2, thereby attaching the structure 7 to the holding member 6. Therefore, since two parts, the structure 7 and the holding member 6, are engaged, compared to the substrate storage container 100 in which three parts are engaged, the number of places where clearance can occur is reduced, and the position of the fixing portion 72 (through hole 72h) can be stabilized. As a result, it is possible to fix the substrate storage container 1 to an external device more stably.

基板収納容器１では、検知部材１０７及び固定部材１０８に代えて、構造体７が用いられる。したがって、部品点数を削減することができ、部品の員数管理の負担を軽減することができる。基板収納容器１では、保持部材６の突出片６４及び突出片６５に構造体７の取付部７７を係合させるだけで、構造体７を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。 In the substrate storage container 1, the structure 7 is used instead of the detection member 107 and the fixing member 108. Therefore, the number of parts can be reduced, and the burden of managing the number of parts can be alleviated. In the substrate storage container 1, the structure 7 can be attached to the holding member 6 simply by engaging the mounting portion 77 of the structure 7 with the protruding pieces 64 and 65 of the holding member 6. As a result, the manufacture of the substrate storage container 1 can be simplified.

具体的には、壁部７４の突出部７４ｂに設けられた一対の係止片７８が左右方向において突出片６４を挟むとともに、上下方向において突出片６４に係止され、壁部７５の突出部７５ｂに設けられた一対の係止片７９が左右方向において突出片６５を挟むとともに、上下方向において突出片６５に係止される。この構成により、構造体７を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。 Specifically, a pair of locking pieces 78 provided on the protruding portion 74b of the wall portion 74 sandwich the protruding piece 64 in the left-right direction and are locked to the protruding piece 64 in the up-down direction, and a pair of locking pieces 79 provided on the protruding portion 75b of the wall portion 75 sandwich the protruding piece 65 in the left-right direction and are locked to the protruding piece 65 in the up-down direction. With this configuration, the structure 7 can be attached to the holding member 6. As a result, the manufacture of the substrate storage container 1 can be simplified.

検知部材１０７及び固定部材１０８は、アンダーカット形状を有しない簡易な構造を有しているので、それぞれの部材に対応した固定型板と可動型板とを用いて射出成形により形成することができる。一方、構造体７においては、基部７１と固定部７２とが上下方向に重なっており、突出部７４ｂと一対の係止片７８とが上下方向に重なっており、突出部７５ｂと一対の係止片７９とが上下方向に重なっている。したがって、構造体７はアンダーカット形状を有している。 The detection member 107 and the fixed member 108 have a simple structure without an undercut shape, and can be formed by injection molding using a fixed mold plate and a movable mold plate corresponding to each member. On the other hand, in the structure 7, the base 71 and the fixed portion 72 overlap in the vertical direction, the protrusion 74b and a pair of locking pieces 78 overlap in the vertical direction, and the protrusion 75b and a pair of locking pieces 79 overlap in the vertical direction. Therefore, the structure 7 has an undercut shape.

この問題に対し、開口部７４ｃ及び開口部７５ｃのそれぞれが、上下方向において固定部７２の上面から基部７１の面７１ｂまで広がっており、左右方向において固定部７２、一対の係止片７８及び一対の係止片７９を含む範囲にわたって広がっている。さらに、開口部７６ａが上下方向において検知体７３ａの上面から基部７１の面７１ｂまで広がっており、前後方向において固定部７２、一対の係止片７８及び一対の係止片７９を含む範囲にわたって広がっている。したがって、固定型板及び可動型板に加えて、開口部７４ｃ、開口部７５ｃ、及び一対の開口部７６ａを介して固定型板と可動型板との間に挿入されるスライド機構を用いることにより、構造体７を射出成形により形成することができる。 To address this issue, each of the openings 74c and 75c extends from the top surface of the fixed portion 72 to the surface 71b of the base portion 71 in the vertical direction, and extends in the left-right direction over a range that includes the fixed portion 72, the pair of locking pieces 78, and the pair of locking pieces 79. Furthermore, the opening 76a extends from the top surface of the detector 73a to the surface 71b of the base portion 71 in the vertical direction, and extends in the front-rear direction over a range that includes the fixed portion 72, the pair of locking pieces 78, and the pair of locking pieces 79. Therefore, in addition to the fixed and movable mold plates, the structure 7 can be formed by injection molding using a slide mechanism that is inserted between the fixed and movable mold plates via the openings 74c, 75c, and the pair of openings 76a.

なお、本開示に係る基板収納容器は上記実施形態に限定されない。 Note that the substrate storage container according to this disclosure is not limited to the above embodiment.

図８～図１０を参照しながら、構造体の別例を説明する。図８は、構造体の別例の斜視図である。図９は、図８に示される構造体を保持部材に取り付ける手順を説明するための図である。図１０は、図８に示される構造体が保持部材に取り付けられた状態を示す斜視図である。図８～図１０に示される構造体８は、構造体７と同様、一体成形品であって、容器本体２に設けられる。構造体８は、保持部材６に着脱可能に構成されている。構造体８は、平板部８１と、筒状部８２と、取付部８３と、を含む。 Another example of the structure will be described with reference to Figures 8 to 10. Figure 8 is a perspective view of another example of the structure. Figure 9 is a view for explaining the procedure for attaching the structure shown in Figure 8 to the holding member. Figure 10 is a perspective view showing the state in which the structure shown in Figure 8 is attached to the holding member. Like the structure 7, the structure 8 shown in Figures 8 to 10 is an integrally molded product and is provided on the container body 2. The structure 8 is configured to be detachable from the holding member 6. The structure 8 includes a flat plate portion 81, a cylindrical portion 82, and an attachment portion 83.

平板部８１は、平面視でＨ字形状を有する板状の部分である。平板部８１は、面８１ａと、面８１ｂと、を有する。面８１ａは、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で基部６１と向かい合う面である。面８１ｂは、面８１ａと反対側の面である。面８１ｂは、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で下方を向く面である。平板部８１は、本体部８４と、検知部８５と、を含む。本体部８４は、矩形状の部分である。本体部８４の左右両端縁に沿って検知部８５が設けられている。本体部８４には、面８１ａから面８１ｂに本体部８４を貫通する貫通孔８４ｈが設けられている。貫通孔８４ｈは、前後方向に延びる長孔である。貫通孔８４ｈは、本体部８４の中心付近に設けられている。 The flat plate portion 81 is a plate-like portion having an H-shape in a plan view. The flat plate portion 81 has a surface 81a and a surface 81b. The surface 81a faces the base portion 61 when the structure 8 is attached to the holding member 6. The surface 81b is the surface opposite the surface 81a. The surface 81b faces downward when the structure 8 is attached to the holding member 6. The flat plate portion 81 includes a main body portion 84 and a detection portion 85. The main body portion 84 is a rectangular portion. The detection portion 85 is provided along both left and right end edges of the main body portion 84. The main body portion 84 is provided with a through hole 84h that penetrates the main body portion 84 from the surface 81a to the surface 81b. The through hole 84h is a long hole that extends in the front-rear direction. The through hole 84h is provided near the center of the main body portion 84.

検知部８５は、外部装置が基板収納容器１を検知するための部分である。検知部８５は、一対の検知体８５ａと、凸部８５ｂと、を含む。一対の検知体８５ａは、前後方向に延びる板状の形状を有する。一対の検知体８５ａは、左右方向において本体部８４を挟むように設けられている。各検知体８５ａは、検知面８５ｃを有する。検知面８５ｃは、面８１ｂのうちの検知体８５ａに含まれる部分であり、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、下方を向く面である。検知面８５ｃは、検知面７３ｂと同様、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。凸部８５ｂは、構造体８の位置決めをするための部分である。凸部８５ｂは、一方の検知体８５ａの検知面８５ｃとは反対の面（面８１ａ）に設けられた隆起部分である。凸部８５ｂは、溝６２ａに嵌り合う形状を有する。 The detection unit 85 is a portion for an external device to detect the substrate storage container 1. The detection unit 85 includes a pair of detection bodies 85a and a protrusion 85b. The pair of detection bodies 85a has a plate-like shape extending in the front-rear direction. The pair of detection bodies 85a are arranged to sandwich the main body 84 in the left-right direction. Each detection body 85a has a detection surface 85c. The detection surface 85c is a portion of the surface 81b included in the detection body 85a, and is a surface that faces downward when the structure 8 is attached to the holding member 6. The detection surface 85c functions as a sensing pad detected by an external device, similar to the detection surface 73b. The protrusion 85b is a portion for positioning the structure 8. The protrusion 85b is a raised portion provided on the surface (surface 81a) opposite the detection surface 85c of one of the detection bodies 85a. The protrusion 85b has a shape that fits into the groove 62a.

筒状部８２は、筒状の形状を有している。この例では、筒状部８２は、円筒形状を有している。構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、筒状部８２の中心軸は、上下方向に延びている。筒状部８２は、第１端８２ａと、第２端８２ｂと、を有している。第１端８２ａ及び第２端８２ｂは、筒状部８２の中心軸が延びる方向における両端である。第１端８２ａは、開放されている。第２端８２ｂは、貫通孔８４ｈを囲むように、平板部８１の面８１ａに設けられている。筒状部８２は、空間Ｖを画定する。空間Ｖは、貫通孔８４ｈを介して外部と連通している。筒状部８２と、筒状部８２の第２端８２ｂを覆う平板部８１の部分と、によって基板収納容器１を外部装置に固定するための固定部が構成されている。 The tubular portion 82 has a tubular shape. In this example, the tubular portion 82 has a cylindrical shape. When the structure 8 is attached to the holding member 6, the central axis of the tubular portion 82 extends in the vertical direction. The tubular portion 82 has a first end 82a and a second end 82b. The first end 82a and the second end 82b are both ends in the direction in which the central axis of the tubular portion 82 extends. The first end 82a is open. The second end 82b is provided on the surface 81a of the flat portion 81 so as to surround the through hole 84h. The tubular portion 82 defines a space V. The space V is connected to the outside through the through hole 84h. The tubular portion 82 and a portion of the flat portion 81 covering the second end 82b of the tubular portion 82 form a fixing portion for fixing the substrate storage container 1 to an external device.

取付部８３は、突出片６４及び突出片６５に係合することにより構造体８を保持部材６に取り付ける部分である。取付部８３は、突起部８３ａ（第１突起部）と突起部８３ｂ（第２突起部）とを含む。突起部８３ａ及び突起部８３ｂは、第１端８２ａにおいて筒状部８２の外周面に設けられている。突起部８３ａと突起部８３ｂとは、筒状部８２の中心軸に対して実質的に点対称に設けられており、筒状部８２の外周面から互いに反対方向に突出している。突起部８３ａは、突出片６４と底板２２（基部６１）との間に嵌り込む。突起部８３ｂは、突出片６５と底板２２（基部６１）との間に嵌り込む。 The mounting portion 83 is a portion that mounts the structure 8 to the holding member 6 by engaging with the protruding piece 64 and the protruding piece 65. The mounting portion 83 includes a protrusion 83a (first protrusion) and a protrusion 83b (second protrusion). The protrusions 83a and 83b are provided on the outer circumferential surface of the cylindrical portion 82 at the first end 82a. The protrusions 83a and 83b are provided substantially point symmetrically with respect to the central axis of the cylindrical portion 82, and protrude in opposite directions from the outer circumferential surface of the cylindrical portion 82. The protrusion 83a fits between the protruding piece 64 and the bottom plate 22 (base 61). The protrusion 83b fits between the protruding piece 65 and the bottom plate 22 (base 61).

なお、構造体８が保持部材６に取り付けられている状態で、検知面６３ａは本体部８４によって覆われる。したがって、本体部８４における面８１ｂのうち、検知面６３ａと上下方向において重なる部分が、外部装置によって検知されるセンシングパッドとして機能する。 When the structure 8 is attached to the holding member 6, the detection surface 63a is covered by the main body 84. Therefore, the portion of the surface 81b of the main body 84 that overlaps with the detection surface 63a in the vertical direction functions as a sensing pad that is detected by an external device.

次に、構造体８を保持部材６に取り付ける方法について説明する。まず、突起部８３ａ及び突起部８３ｂが突出片６４及び突出片６５と干渉しないように筒状部８２の中心軸回りに構造体８の向きが調整されて、突起部８３ａ及び突起部８３ｂが連結部分６１ｃに載置される。そして、凸部８５ｂが溝６２ａに嵌るまで構造体８が筒状部８２の中心軸回りに回転される。これにより、突起部８３ａが突出片６４と底面２２ａ（基部６１）との間に嵌り込み、突起部８３ｂが突出片６５と底面２２ａ（基部６１）との間に嵌り込む。以上により、構造体８が保持部材６に取り付けられる。 Next, a method for attaching the structure 8 to the holding member 6 will be described. First, the orientation of the structure 8 is adjusted around the central axis of the cylindrical portion 82 so that the protrusions 83a and 83b do not interfere with the protrusions 64 and 65, and the protrusions 83a and 83b are placed on the connecting portion 61c. Then, the structure 8 is rotated around the central axis of the cylindrical portion 82 until the convex portion 85b fits into the groove 62a. As a result, the protrusion 83a fits between the protrusions 64 and the bottom surface 22a (base 61), and the protrusion 83b fits between the protrusions 65 and the bottom surface 22a (base 61). In this way, the structure 8 is attached to the holding member 6.

構造体８を含む基板収納容器１においても、構造体７を含む基板収納容器１と共通の構成については、構造体７を含む基板収納容器１と同様の作用効果が奏される。さらに、構造体８を含む基板収納容器１においては、筒状部８２の外周面に設けられた突起部８３ａを、保持部材６の突出片６４と底板２２の底面２２ａとの間に嵌り込ませ、筒状部８２の外周面に設けられた突起部８３ｂを、保持部材６の突出片６５と底板２２の底面２２ａとの間に嵌り込ませるだけで、構造体８を保持部材６に取り付けることができる。その結果、基板収納容器１の製造を簡易化することができる。係止片７８の爪部７８ｂよりも突起部８３ａの方が、突出片６４と広い面積で接触する。同様に、係止片７９の爪部７９ｂよりも突起部８３ｂの方が、突出片６５と広い面積で接触する。したがって、構造体７と比較して、構造体８と保持部材６との取付強度が高くなるので、構造体８が保持部材６から意図せずに外れる可能性を低減することができる。 In the substrate storage container 1 including the structure 8, the same effect as that of the substrate storage container 1 including the structure 7 is achieved with respect to the configuration common to the substrate storage container 1 including the structure 7. Furthermore, in the substrate storage container 1 including the structure 8, the structure 8 can be attached to the holding member 6 simply by fitting the protrusion 83a provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 82 between the protruding piece 64 of the holding member 6 and the bottom surface 22a of the bottom plate 22, and fitting the protrusion 83b provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 82 between the protruding piece 65 of the holding member 6 and the bottom surface 22a of the bottom plate 22. As a result, the manufacture of the substrate storage container 1 can be simplified. The protrusion 83a contacts the protruding piece 64 over a larger area than the claw portion 78b of the locking piece 78. Similarly, the protrusion 83b contacts the protruding piece 65 over a larger area than the claw portion 79b of the locking piece 79. Therefore, compared to structure 7, the attachment strength between structure 8 and holding member 6 is higher, reducing the possibility of structure 8 unintentionally coming off holding member 6.

１…基板収納容器、２…容器本体、６…保持部材、７，８…構造体、２０…収容空間、２２…底板、２２ａ…底面、６２…規制部（第１規制部）、６２ａ…溝、６３…規制部（第２規制部）、６４…突出片（第１突出片）、６５…突出片（第２突出片）、７２…固定部、７２ａ…前端（第１端）、７２ｂ…後端（第２端）、７３…検知部、７３ａ…検知体、７４…壁部（第１壁部）、７４ｂ…突出部（第１突出部）、７５…壁部（第２壁部）、７５ｂ…突出部（第２突出部）、７６…側壁部、７７，８３…取付部、７８…係止片（第１係止片）、７９…係止片（第２係止片）、８２…筒状部、８３ａ…突起部（第１突起部）、８３ｂ…突起部（第２突起部）、８５…検知部、８５ａ…検知体、８５ｂ…凸部。 1...Substrate storage container, 2...Container body, 6...Holding member, 7, 8...Structure, 20...Storage space, 22...Bottom plate, 22a...Bottom surface, 62...Regulating portion (first restricting portion), 62a...Groove, 63...Regulating portion (second restricting portion), 64...Protruding piece (first protruding piece), 65...Protruding piece (second protruding piece), 72...Fixing portion, 72a...Front end (first end), 72b...Rear end (second end), 73...Detecting portion, 73a...Detecting body , 74...wall portion (first wall portion), 74b...projection portion (first projection portion), 75...wall portion (second wall portion), 75b...projection portion (second projection portion), 76...side wall portion, 77, 83...mounting portion, 78...locking piece (first locking piece), 79...locking piece (second locking piece), 82...tubular portion, 83a...projection portion (first projection portion), 83b...projection portion (second projection portion), 85...detection portion, 85a...detection body, 85b...convex portion.

Claims

A substrate storage container,
a container body having a bottom plate defining an accommodation space for accommodating a substrate;
A structure that is an integrally molded product provided on the container body;
a holding member joined to the bottom plate and configured to detachably hold the structure to the container body;
Equipped with
the bottom plate has a bottom surface facing the outside of the substrate storage container,
The holding member is
a first restricting portion and a second restricting portion that face each other in a first direction along the bottom surface and restrict movement of the structure in the first direction;
a first protruding piece provided on the first restricting portion, the first protruding piece being spaced apart from the bottom surface in a second direction intersecting with the bottom surface and protruding toward the second restricting portion in the first direction;
a second protruding piece provided on the second restricting portion, spaced apart from the bottom surface in the second direction and protruding toward the first restricting portion in the first direction;
The structure comprises:
a fixing portion for fixing the substrate storage container to an external device;
a detection unit for detecting the substrate storage container by the external device;
a mounting portion that mounts the structure to the holding member by engaging with the first protruding piece and the second protruding piece.

The structure further includes a first wall portion and a second wall portion that face each other in the first direction and support the fixing portion,
the fixing portion is a plate-like member facing the bottom surface, and has a first end and a second end which are opposite ends in the first direction,
the first wall portion includes a first protruding portion protruding toward the second wall portion in the first direction and connected to the first end,
the second wall portion includes a second protruding portion protruding toward the first wall portion in the first direction and connected to the second end,
The mounting portion is
a pair of first locking pieces provided on the first protruding portion, sandwiching the first protruding piece in a third direction intersecting the first direction and the second direction, and being locked to the first protruding piece in the second direction;
The substrate storage container of claim 1 , further comprising: a pair of second engaging pieces provided on the second protruding portion, sandwiching the second protruding piece in the third direction and engaging with the second protruding piece in the second direction.

The fixing portion includes a cylindrical portion extending in the second direction,
The mounting portion is
a first protrusion provided on an outer circumferential surface of the cylindrical portion and fitted between the first protruding piece and the bottom surface;
The substrate storage container according to claim 1 , further comprising: a second protrusion provided on an outer circumferential surface of the cylindrical portion and fitted between the second protruding piece and the bottom surface.