JP2024070178A - Multilayer dry film manufacturing method and manufacturing device - Google Patents

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学 秋山
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Abstract

【課題】層間の混ざりがなく、異物混入や傷の発生を防止できる多層ドライフィルムの製造方法及び製造装置を提供すること。【解決手段】本発明の第1の態様に係る多層ドライフィルムの製造方法は、土台となる第1のフィルム上に第1膜を形成する工程と;前記第1膜の表面に保護膜を形成する工程と;前記保護膜を除去する工程と;前記保護膜が除去された前記第1膜の表面に第2膜を形成する工程と;を含む構成とする。【選択図】図1[Problem] To provide a method and an apparatus for manufacturing a multilayer dry film that can prevent intermixing between layers and prevent the inclusion of foreign matter or the occurrence of scratches. [Solution] The method and apparatus for manufacturing a multilayer dry film according to a first aspect of the present invention includes the steps of forming a first film on a first film that serves as a base, forming a protective film on the surface of the first film, removing the protective film, and forming a second film on the surface of the first film from which the protective film has been removed. [Selected Figure] Figure 1

Description

本発明は、プリント配線板等に使用されるドライフィルムに関し、特に、多層構造のドライフィルムの製造方法及び製造装置に関する。 The present invention relates to a dry film used for printed wiring boards, etc., and in particular to a manufacturing method and manufacturing apparatus for a multi-layered dry film.

ドライフィルムは、少なくとも土台となる第1のフィルムと、液状物を乾燥して形成される樹脂組成物層を備える。このようなドライフィルムは、電子機器等に用いられるプリント配線板のソルダーレジストや層間絶縁層等の形式に採用される。 The dry film comprises at least a first film that serves as a base, and a resin composition layer formed by drying a liquid. Such dry films are used in the form of solder resists and interlayer insulating layers for printed wiring boards used in electronic devices, etc.

ドライフィルムには、複数の層を積層した多層構造のものがある。多層構造のドライフィルムを製造するには、例えば、特許文献1に示すように複数層を同時に塗工形成する方法があるが、各層が界面で混ざり合ってしまう可能性がある。 Some dry films have a multi-layer structure in which multiple layers are laminated. To manufacture a multi-layer dry film, for example, there is a method in which multiple layers are simultaneously coated and formed, as shown in Patent Document 1, but there is a possibility that the layers may mix together at the interfaces.

一方、特許文献2に記載のように、第1のフィルムの上に1層目を塗工し、乾燥させた後に2層目を塗工する方法が提案されている。この方法では、層同士が混ざり合う心配はないが、1層目を形成した後、2層目を形成する搬送途中で1層目の膜表面に異物が付着したり、傷ついたりする恐れがある。 On the other hand, as described in Patent Document 2, a method has been proposed in which a first layer is applied onto a first film, dried, and then a second layer is applied. With this method, there is no risk of the layers mixing together, but after the first layer is formed, there is a risk that foreign matter may adhere to or damage the surface of the first layer during transport to form the second layer.

特開平9-223499号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-223499 特開2000-153597号公報JP 2000-153597 A

本発明は、上記のような状況に鑑みてなされたものであり、層間の混ざりがなく、異物混入や傷の発生を防止できる多層ドライフィルムの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of the above-mentioned circumstances, and aims to provide a method and apparatus for manufacturing a multilayer dry film that is free of intermixing between layers and prevents the inclusion of foreign matter and the occurrence of scratches.

上記課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る多層ドライフィルムの製造方法は、土台となる第1のフィルム上に第1膜を形成する工程と;前記第1膜の表面に保護膜を形成する工程と;前記保護膜を除去する工程と;前記保護膜が除去された前記第1膜の表面に第2膜を形成する工程と;を含むことを特徴とする。 In order to solve the above problem, the method for manufacturing a multilayer dry film according to the first aspect of the present invention is characterized by including the steps of: forming a first film on a first film serving as a base; forming a protective film on the surface of the first film; removing the protective film; and forming a second film on the surface of the first film from which the protective film has been removed.

ここで、「第1のフィルム」は多層ドライフィルムを製造する土台、基材となるものであり、「キャリアフィルム」と言うこともある。 Here, the "first film" is the base or substrate for producing the multilayer dry film, and is sometimes called the "carrier film."

本発明においては、第1膜を形成した後に、その表面に保護膜を形成しているため、第2膜を形成するまでの搬送途中で搬送ローラ等に接触しても第1膜の表面に異物が付着したり、傷が付いたりすることがない。 In the present invention, after the first film is formed, a protective film is formed on its surface, so that even if the first film comes into contact with a transport roller or the like during transport before the second film is formed, foreign matter will not adhere to the surface of the first film or the surface will not be scratched.

なお、本発明に係る多層ドライフィルムは、3層以上の構造とすることができ、その場合には、上述した工程を繰り返すことになる。例えば、3層構造の多層ドライフィルムを製造する場合には、前記第2膜の表面に保護膜を形成し、第3膜を形成する直前に当該保護膜を除去する工程を加える。 The multilayer dry film according to the present invention can have a structure of three or more layers, in which case the above-mentioned steps are repeated. For example, when manufacturing a multilayer dry film with a three-layer structure, a step is added in which a protective film is formed on the surface of the second film, and the protective film is removed immediately before the formation of the third film.

前記保護膜は固体フィルムからなり、前記保護膜を除去する工程は、当該保護膜を物理的に剥離する工程を含むことができる。なお、保護膜を除去する方法は、物理的な剥離の他に、液体で固体フィルムを溶解させる方法を適用することも可能である。 The protective film is made of a solid film, and the step of removing the protective film can include a step of physically peeling off the protective film. In addition to physical peeling, the method of removing the protective film can also be a method of dissolving the solid film with a liquid.

前記保護膜を形成する固体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。 Examples of solid films that can be used to form the protective film include polyethylene films, polytetrafluoroethylene films, polypropylene films, and surface-treated paper.

保護膜として固体フィルムを使用することにより、固体フィルムを除去(剥離)するまでは、当該固体フィルムによって第1膜の表面が完全に覆われるため、第1膜が形成されたドライフィルムを一端ロール状に巻き取って格納することができる。そして、別の設備(ライン)で第2膜を形成する直前に保護膜用の固体フィルムを剥離することで、第1膜の上に第2膜を形成することができる。なお、一つのラインの中で第1膜及び第2膜を連続的に形成することも可能である。 By using a solid film as a protective film, the surface of the first film is completely covered by the solid film until it is removed (peeled off), so the dry film on which the first film is formed can be wound up in a roll and stored. Then, by peeling off the solid film for the protective film just before forming the second film in another facility (line), the second film can be formed on the first film. It is also possible to continuously form the first film and the second film in one line.

前記保護膜を形成する工程において、前記第1のフィルムよりも前記第1膜に対する接着力が弱くなるように当該保護膜を形成することが好ましい。保護膜の接着力を第1のフィルムよりも弱くすることにより、保護膜の除去作業をスムーズ且つ確実に行うことができる。 In the step of forming the protective film, it is preferable to form the protective film so that its adhesive strength to the first film is weaker than that of the first film. By making the adhesive strength of the protective film weaker than that of the first film, the protective film can be removed smoothly and reliably.

前記保護膜の接着力は、前記第1膜の残留溶剤量や組成によって調整することができる。第1膜の残留溶剤量は、例えば、第1膜を乾燥する際の温度や速度等の乾燥条件を変えることによって調整することができる。また、保護膜自体の組成を変えることにより、第1膜の表面におけるタック性能(粘着力)を調整することができる。 The adhesive strength of the protective film can be adjusted by the amount of residual solvent and the composition of the first film. The amount of residual solvent in the first film can be adjusted, for example, by changing the drying conditions, such as the temperature and speed, when drying the first film. In addition, the tack performance (adhesive strength) on the surface of the first film can be adjusted by changing the composition of the protective film itself.

前記保護膜は液体を塗布又は吹き付けることによって形成でき、前記保護膜を除去する工程は、当該保護膜を乾燥させる工程を含むことができる。 The protective film can be formed by applying or spraying a liquid, and the step of removing the protective film can include the step of drying the protective film.

ここで、「乾燥させる工程」には、熱を加える乾燥機を使用する他、自然乾燥を採用することもできる。 Here, the "drying process" can be carried out using a dryer that applies heat, or it can be done by natural drying.

液体を保護膜に使用することにより、固体フィルムを使用する場合に比べて、製造コスト及び製造効率の向上が期待される。なお、液体であるため、乾燥したり流れ落ちたりするため、第1膜の表面を長時間保護するのは容易ではないものの、第1膜を形成する装置(コーター、ドライヤー等)と第2膜を形成する装置との間隔が比較的小さいときに有用となる。 By using a liquid as a protective film, it is expected that manufacturing costs and efficiency will be improved compared to using a solid film. Since it is a liquid, it dries and flows away, so it is not easy to protect the surface of the first film for a long period of time, but it is useful when the distance between the device that forms the first film (coater, dryer, etc.) and the device that forms the second film is relatively small.

前記保護膜を形成する液体は、水又は有機溶剤を使用することができる。 The liquid that forms the protective film can be water or an organic solvent.

前記第1膜及び前記第2膜は、同一の組成を有するものを使用することができる。同一組成の膜を重ねて形成することにより、同一の層を形成し、かかる層の膜厚の調整が容易となる。例えば、多層ドライフィルムがソルダーレジスト形成用の場合、第1膜及び第2膜を合わせて形成した層全体としての膜厚を厚めにすることができる。例えば、全体としての膜厚を20~500μmに設定することができる。 The first film and the second film can have the same composition. By stacking films of the same composition, the same layer is formed, making it easier to adjust the thickness of the layer. For example, when the multi-layer dry film is used for forming a solder resist, the overall thickness of the layer formed by combining the first film and the second film can be made thicker. For example, the overall thickness can be set to 20 to 500 μm.

前記第1膜及び前記第2膜は、異なる組成を有するものを使用することができる。第1膜と第2膜を異なる組成とすることにより、それぞれの膜より異なる層を形成し、それぞれに異なる機能を持たせることができる。 The first film and the second film may have different compositions. By making the first film and the second film have different compositions, different layers are formed from each film, and each film can have a different function.

前記第2膜の上に保護用の第2のフィルムを貼り付ける工程を更に含むことができる。ここで、「第2のフィルム」は、例えば、「カバーフィルム」等と言うことができ、多層ドライフィルムの出荷から客先(例えば、基板メーカー)での使用までの間、第1のフィルムの反対面を被覆して保護するものである。 The method may further include a step of attaching a protective second film onto the second membrane. Here, the "second film" may be referred to as, for example, a "cover film" or the like, and covers and protects the opposite side of the first film from the time the multilayer dry film is shipped until it is used by the customer (e.g., a circuit board manufacturer).

本発明の第2の態様に係る多層ドライフィルムの製造装置は、土台となる第1のフィルムの表面に第1膜を形成する第1の膜形成部と;前記第1膜上に保護膜を形成する保護膜形成部と;前記保護膜を除去する膜除去部と;前記保護膜が除去された前記第1膜の表面に第2膜を形成する第2の膜形成部と;を含むことを特徴とする。 The multilayer dry film manufacturing apparatus according to the second aspect of the present invention is characterized by including a first film forming unit that forms a first film on the surface of a first film that serves as a base; a protective film forming unit that forms a protective film on the first film; a film removing unit that removes the protective film; and a second film forming unit that forms a second film on the surface of the first film from which the protective film has been removed.

図1は、本発明の第1実施例に係る多層ドライフィルムの製造装置の構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a multilayer dry film manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flow chart showing a process for manufacturing the multi-layer dry film according to the first embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第1実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程の各段階におけるフィルムの状態を示す断面図である。3A to 3C are cross-sectional views showing the state of the film at each stage of the manufacturing process of the multilayer dry film according to the first embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第2実施例に係る多層ドライフィルムの製造装置の構成を示す概略図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of a multilayer dry film manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention. 図5は、本発明の第2実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flow chart showing a process for manufacturing a multi-layer dry film according to a second embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第2実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程の各段階におけるフィルムの状態を示す断面図である。6A to 6C are cross-sectional views showing the state of a multi-layer dry film at each stage of a manufacturing process according to a second embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。 The following describes in detail the embodiments of the present invention with reference to the drawings.

本発明が適用可能な多層ドライフィルムとしては、層間絶縁層、感光性カバーレイ、ソルダーレジスト等の形成用や、フラットパネルディスプレイ用導電フィルム等を含むことができる。ただし、これに限ることはない。 Multilayer dry films to which the present invention can be applied include those for forming interlayer insulating layers, photosensitive coverlays, solder resists, etc., and conductive films for flat panel displays. However, they are not limited to these.

図1は、本発明の第1実施例に係る多層ドライフィルム50の製造装置の構成を示す概略図である。図2は、本実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程を示すフローチャートである。図3は、本実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程の各段階におけるフィルムの状態を示す断面図である。なお、図中のアルファベットA~Fは、図1~図3に共通であり、製造工程の各段階を示す。 Figure 1 is a schematic diagram showing the configuration of a manufacturing apparatus for a multilayer dry film 50 according to a first embodiment of the present invention. Figure 2 is a flowchart showing the manufacturing process of the multilayer dry film according to this embodiment. Figure 3 is a cross-sectional view showing the state of the film at each stage of the manufacturing process of the multilayer dry film according to this embodiment. Note that the letters A to F in the figures are common to Figures 1 to 3 and indicate each stage of the manufacturing process.

本実施例に係る多層ドライフィルム50(図3)の製造装置において、第1膜13を形成する製造ラインは、土台となる第1のフィルム11を供給する第1のフィルムロール10と、第1のフィルム11上に第1膜13を形成する溶液13’を塗布するコーター12と、乾燥機14と、保護フィルム18を供給する保護フィルムロール16と、保護フィルム18がラミネートされたフィルムを巻き取る格納ロール22とを備えている。 In the manufacturing apparatus for the multilayer dry film 50 (FIG. 3) according to this embodiment, the manufacturing line for forming the first film 13 includes a first film roll 10 for supplying the first film 11 that serves as a base, a coater 12 for applying a solution 13' that forms the first film 13 onto the first film 11, a dryer 14, a protective film roll 16 for supplying a protective film 18, and a storage roll 22 for winding up the film laminated with the protective film 18.

第1膜13の上に第2膜25を形成する製造ラインは、格納ロール22に巻き付けられたフィルムから保護フィルム18を剥がすための巻き取りロール23と、第1膜13の表面に第2膜25を形成するための溶液25’を塗布するコーター24と、乾燥機26と、第2のフィルム30を供給する第2のフィルムロール28と、最終形態の多層ドライフィルムを巻き取る格納ロール34とを備えている。 The manufacturing line for forming the second film 25 on the first film 13 includes a take-up roll 23 for peeling off the protective film 18 from the film wound around the storage roll 22, a coater 24 for applying a solution 25' for forming the second film 25 on the surface of the first film 13, a dryer 26, a second film roll 28 for supplying the second film 30, and a storage roll 34 for winding up the multilayer dry film in its final form.

第1膜13及び第2膜25を形成するコーターは、樹脂組成物溶液を塗布するものであり、例えば、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スロットダイコーター、スプレーコーター等が挙げられる。特に、グラビアコーター、スロットダイコーターを使用することが好ましい。 The coater that forms the first film 13 and the second film 25 applies a resin composition solution, and examples of such coaters include a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater, gravure coater, slot die coater, and spray coater. In particular, it is preferable to use a gravure coater or a slot die coater.

第1膜13及び第2膜25の形成に使用される溶液に含まれる樹脂組成物の塗布量は、第1膜13及び第2膜25の用途にもよるが、乾燥後の膜厚で、0.1~500μm、好ましくは1~250μmの範囲とすることができる。 The amount of resin composition contained in the solution used to form the first film 13 and the second film 25 to be applied depends on the application of the first film 13 and the second film 25, but can be in the range of 0.1 to 500 μm, preferably 1 to 250 μm, in terms of film thickness after drying.

また、乾燥機14,26としては、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等を用いることができる。なお、コンベクションオーブンとは、蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより基材に吹き付ける方式である。乾燥条件としては、例えば、乾燥温度50~200℃、乾燥時間10秒~15分とすることができる。 As the dryers 14 and 26, a hot air circulation drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, etc. can be used. Note that a convection oven is a method in which hot air inside the dryer is brought into countercurrent contact using a heat source that uses steam for air heating, and is blown onto the substrate from a nozzle. Drying conditions can be, for example, a drying temperature of 50 to 200°C and a drying time of 10 seconds to 15 minutes.

なお、上述した第1実施例においては、第1膜13を形成する製造ライン(図1の上側)と第2膜25を形成する製造ライン(図1の下側)とが分離しているが、これらのラインを1つの連続したラインとすることもできる。 In the first embodiment described above, the manufacturing line for forming the first film 13 (upper side of FIG. 1) and the manufacturing line for forming the second film 25 (lower side of FIG. 1) are separate, but these lines can also be made into one continuous line.

次に、本発明の第1実施例に係る多層ドライフィルムの製造方法について説明する。図1に示すように、第1のフィルムロール10から引き出された第1のフィルム11は、コーター12に送りこまれ、第1膜13を形成する溶液13’が第1のフィルム11上に塗布される。第1のフィルム11としては、2~150μmの厚みのポリエステルフィルム等の熱可塑性フィルムを用いる。また、溶液13’は、硬化性樹脂組成物を溶剤量により粘度調整したものであり、乾燥後の膜厚が、例えば、10μmになるように塗布する。 Next, a method for manufacturing a multilayer dry film according to a first embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, a first film 11 drawn from a first film roll 10 is fed into a coater 12, and a solution 13' for forming a first film 13 is applied onto the first film 11. A thermoplastic film such as a polyester film having a thickness of 2 to 150 μm is used as the first film 11. The solution 13' is a curable resin composition whose viscosity is adjusted by the amount of solvent, and is applied so that the film thickness after drying is, for example, 10 μm.

溶液13’が塗布された第1のフィルム11は、熱風循環式の乾燥機14において、例えば、90℃/30分で乾燥し、溶剤を気化させて樹脂組成の第1膜13を形成する。なお、乾燥条件としては、上記以外に、乾燥温度50~200℃、乾燥時間10秒~15分とすることができる。 The first film 11 coated with the solution 13' is dried in a hot air circulation dryer 14 at, for example, 90°C for 30 minutes to evaporate the solvent and form the first film 13 of the resin composition. In addition to the above, the drying conditions can also be a drying temperature of 50 to 200°C and a drying time of 10 seconds to 15 minutes.

その後、ラミネート用の一対のローラ20の間を通過させることで、第1膜13の表面に保護フィルム18を貼りつけ、格納ロール22に巻き取る。なお、保護フィルム18をラミネートする際の条件としては、例えば、温度が20~80℃、圧力が0~1.0MPaとすることが好ましい。 Then, the protective film 18 is attached to the surface of the first film 13 by passing it between a pair of laminating rollers 20, and the protective film 18 is wound up on a storage roll 22. Note that the conditions for laminating the protective film 18 are preferably, for example, a temperature of 20 to 80°C and a pressure of 0 to 1.0 MPa.

保護フィルム18としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。第1膜と第1のフィルム11との接着力よりも第1膜13と保護フィルム18との接着力がより小さいものとすることで、保護フィルム18を良好に剥離することができる。 For example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, etc. can be used as the protective film 18. By making the adhesive strength between the first film 13 and the protective film 18 smaller than the adhesive strength between the first film 13 and the first film 11, the protective film 18 can be peeled off easily.

その後、巻き取りロール23によって格納ロール22から保護フィルム18を引き剥がし、露出した第1膜13の表面に第2膜25を形成するための溶液25’をコーター24によって均一に塗布する。例えば、第2膜25の乾燥後の膜厚が25μmになるように溶液25’を塗布する。その後、熱風循環式乾燥機26において、例えば、90℃/30分で乾燥し、溶剤を気化させて樹脂組成の第2膜25を形成する。なお、乾燥条件としては、上記以外に、乾燥温度50~200℃、乾燥時間10秒~15分とすることができる。 Then, the protective film 18 is peeled off from the storage roll 22 by the winding roll 23, and a solution 25' for forming the second film 25 is uniformly applied to the exposed surface of the first film 13 by the coater 24. For example, the solution 25' is applied so that the film thickness of the second film 25 after drying is 25 μm. Then, in a hot air circulation dryer 26, it is dried, for example, at 90°C for 30 minutes, and the solvent is vaporized to form the second film 25 of a resin composition. In addition to the above, the drying conditions can be a drying temperature of 50 to 200°C and a drying time of 10 seconds to 15 minutes.

第2膜25の組成は、第1膜13と同じとすることもできるが、異なる組成を採用することもできる。 The composition of the second film 25 can be the same as that of the first film 13, but a different composition can also be used.

第1膜13、第2膜25が積層形成された第1のフィルム11は、ラミネート用の一対のローラ32の間を通過させることで、第2膜25の表面に第2のフィルム30を貼りつける。なお、第2のフィルム30をラミネートする際の条件としては、例えば、温度が20~80℃、圧力が0~1.0MPaとすることが好ましい。 The first film 11, in which the first film 13 and the second film 25 are laminated, is passed between a pair of laminating rollers 32, so that the second film 30 is attached to the surface of the second film 25. Note that the conditions for laminating the second film 30 are preferably, for example, a temperature of 20 to 80°C and a pressure of 0 to 1.0 MPa.

以上のような工程によって、多層ドライフィルム50の製造が完了する。なお、第2のフィルム30としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等を使用することができるが、乾燥塗膜(13,25)との接着力が、第1のフィルム11よりも小さいものが好ましい。製造された多層ドライフィルム50は、格納ロール34に巻き取られ、出荷可能な状態で保管される。 The above steps complete the production of the multilayer dry film 50. The second film 30 can be a polyethylene film, a polypropylene film, or the like, but it is preferable that the adhesive strength with the dry coating film (13, 25) is weaker than that of the first film 11. The manufactured multilayer dry film 50 is wound on a storage roll 34 and stored in a state ready for shipment.

以下、本発明で使用される第1のフィルム11、保護フィルム18、第2のフィルム30の機能及び組成について更に詳細に説明する。 The functions and compositions of the first film 11, protective film 18, and second film 30 used in the present invention are described in further detail below.

第1のフィルム11は、樹脂組成物である第1膜13を塗布する基材であり、塗布された樹脂組成物(塗布膜)を支持するものである。多層フィルムが完成した後は、第1のフィルム11は樹脂層(13,25)から剥離してもよい。 The first film 11 is a substrate onto which the first film 13, which is a resin composition, is applied, and supports the applied resin composition (coating film). After the multilayer film is completed, the first film 11 may be peeled off from the resin layer (13, 25).

第1のフィルム11としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン(ABS)樹脂、ポリスチレン、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリフェニルスルホン、ポリフェニレンエーテル、ポリ(メタ)アクリル酸メチル等のアクリル樹脂、ポリフッ化ビニリデン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ウレタン樹脂、シリコン、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、サファイア、セラミックス、ガラス、ガラスエポキシ樹脂、ガラスポリイミド、紙フェノール、ダイアモンドライクカーボン、アルミナ、ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、ポリアラミド繊維等の合成繊維、カーボンファイバー等の無機繊維、セルロースナノファイバー等の天然繊維等が挙げられる。これらの第1のフィルム11は、絶縁性のものが好ましく、多孔質のものを用いることができる。また、第1のフィルム11は単一材料からなるものであってもよく、複数材料を積層したものであってもよい。 Examples of the first film 11 include polyimide resin, polyamideimide resin, polyamide resin, polyethylene terephthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, polycarbonate resin, acrylonitrile-butadiene-styrene (ABS) resin, polystyrene, cycloolefin polymer, liquid crystal polymer, polyether ether ketone, polyphenylene sulfide resin, polyphenylsulfone, polyphenylene ether, acrylic resin such as poly(methyl meth)acrylate, polyvinylidene fluoride resin, polyvinyl chloride resin, polyvinylidene chloride resin, polyvinyl alcohol resin, polyethylene resin, polypropylene resin, urethane resin, silicon, silicon carbide, gallium nitride, sapphire, ceramics, glass, glass epoxy resin, glass polyimide, paper phenol, diamond-like carbon, alumina, polyester fiber, polyamide fiber, synthetic fiber such as polyaramid fiber, inorganic fiber such as carbon fiber, natural fiber such as cellulose nanofiber, etc. These first films 11 are preferably insulating, and porous ones can be used. The first film 11 may be made of a single material or may be a laminate of multiple materials.

また、第1のフィルム11としては、例えば、ポリエステル繊維、ポリアミド繊維、アラミド繊維等の合成繊維、綿、麻等の天然繊維等からなる基材を用いることもできる。前記繊維には、予め加工が施されていてもよい。 The first film 11 may be made of a base material made of synthetic fibers such as polyester fibers, polyamide fibers, and aramid fibers, or natural fibers such as cotton and hemp. The fibers may be pre-processed.

第1のフィルム11としては、特に、電気回路等の導電性パターンを形成する際のキャリアフィルムとして使用されることの多い、ポリイミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ガラス、セルロースナノファイバー等を使用することができる。 The first film 11 may be made of a material that is often used as a carrier film when forming conductive patterns such as electrical circuits, such as polyimide resin, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, glass, or cellulose nanofiber.

第1のフィルム11は、上記のなかでも、積層体に柔軟性を付与し、折り曲げ可能な最終製品を得るうえで可撓性樹脂材料からなることが好ましい。具体的には、一軸または二軸延伸等することによって形成されたフィルム状またはシート状の形態であることが好ましい。フィルム状またはシート状の第1のフィルム11としては、例えば、ポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム等が挙げられる。 Among the above, the first film 11 is preferably made of a flexible resin material in order to impart flexibility to the laminate and obtain a foldable final product. Specifically, it is preferably in the form of a film or sheet formed by uniaxial or biaxial stretching or the like. Examples of the film or sheet-like first film 11 include a polyimide film, a polyethylene terephthalate film, a polyethylene naphthalate film, and a polybutylene terephthalate film.

第1のフィルム11の厚さは、柔軟性や折り曲げ性を考慮すると、通常、1~1000μm程度であり、5~500μmであることが好ましく、10~200μmであることがより好ましい。 Considering flexibility and bendability, the thickness of the first film 11 is usually about 1 to 1000 μm, preferably 5 to 500 μm, and more preferably 10 to 200 μm.

第1のフィルム11は、第1膜13と接する側の表面に所定の表面形態を賦形する役割を有していてもよい。第1のフィルム11の表面形態を適宜調整することにより、所望の表面形態を有する樹脂層を得ることができる。例えば、第1のフィルム11に使用する可撓性樹脂材料を成膜する際の樹脂中にフィラーを添加(練り込み処理)したり、マットコーティング(コーティング処理)したり、フィルム表面をサンドブラスト処理のようなブラスト処理をしたり、あるいはヘアライン加工、またはケミカルエッチング等の処理を施したものを使用することができる。特に、コーティング処理したものを好適に使用することができる。例えば、支持フィルム上に粒子を含有する中間層を備えた第1のフィルム11を使用することができる。粒子を含有する中間層は、単層に限られず、2層以上の複数層として積層されていてもよい。 The first film 11 may have a role of forming a predetermined surface form on the surface on the side in contact with the first membrane 13. By appropriately adjusting the surface form of the first film 11, a resin layer having a desired surface form can be obtained. For example, a film can be used in which a filler is added to the resin when forming a film from the flexible resin material used for the first film 11 (kneading process), a matte coating (coating process), a blasting process such as sandblasting on the film surface, or a process such as hairline processing or chemical etching is performed. In particular, a film that has been subjected to a coating process can be preferably used. For example, a first film 11 having an intermediate layer containing particles on a support film can be used. The intermediate layer containing particles is not limited to a single layer, and may be laminated as a multiple layer of two or more layers.

また、第1のフィルム11は、第1膜13と接する面に、離型処理を施すことができる。離型処理としては、例えば、ワックス類、シリコーンワックス、シリコン系樹脂等の離型剤を適当な溶剤に溶解または分散して調製した塗工液を、公知の塗布手段により、第1のフィルム11の表面に塗布、乾燥する工程を含むことができる。 The first film 11 may be subjected to a release treatment on the surface that contacts the first membrane 13. The release treatment may include, for example, a process of applying a coating liquid prepared by dissolving or dispersing a release agent such as wax, silicone wax, or silicon-based resin in an appropriate solvent to the surface of the first film 11 by a known coating means, and drying the coating liquid.

樹脂層としては、エポキシアクリレート樹脂等の樹脂の他に、光硬化する場合は例えば、光重合モノマーや光重合開始剤を添加することができる。一方、熱硬化する場合は、例えば、熱硬化性化合物や熱硬化性触媒等を添加することができる。その他、必要に応じ、フィラー、添加剤等を添加しても良い。 In addition to resins such as epoxy acrylate resin, the resin layer may contain, for example, a photopolymerization monomer or a photopolymerization initiator if the resin is to be photocured. On the other hand, for example, a thermosetting compound or a thermosetting catalyst may be added if the resin is to be heat cured. In addition, fillers, additives, etc. may be added as necessary.

上述したように、樹脂層(第2膜25)の表面に塵が付着するのを防ぐなどの目的で、樹脂層の表面に剥離可能な第2のフィルム30を設けることができる。第2のフィルム30は、客先において基材等の被着体にドライフィルムをラミネートして一体成形する前に樹脂層(第2膜25)から剥離される。 As described above, a peelable second film 30 can be provided on the surface of the resin layer (second film 25) for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. The second film 30 is peeled off from the resin layer (second film 25) before the dry film is laminated to an adherend such as a substrate at the customer's site to form an integral structure.

第2のフィルム30及び保護膜18としては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。また、第2のフィルム30及び保護膜18の厚さは、例えば、10μm~150μmとすることができる。 The second film 30 and the protective film 18 can be, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, etc. The thickness of the second film 30 and the protective film 18 can be, for example, 10 μm to 150 μm.

以下、本発明の第2実施例について説明する。図4は、本発明の第2実施例に係る多層ドライフィルム150(図6)の製造装置の構成を示す概略図である。図5は、本実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程を示すフローチャートである。図6は、本実施例に係る多層ドライフィルムの製造工程の各段階におけるフィルムの状態を示す断面図である。なお、図中のアルファベットa~fは、図4~図6に共通であり、製造工程の各段階を示す。 The second embodiment of the present invention will now be described. FIG. 4 is a schematic diagram showing the configuration of a manufacturing apparatus for a multilayer dry film 150 (FIG. 6) according to the second embodiment of the present invention. FIG. 5 is a flowchart showing the manufacturing process of the multilayer dry film according to this embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the state of the film at each stage of the manufacturing process of the multilayer dry film according to this embodiment. Note that the letters a to f in the figures are common to FIGS. 4 to 6 and indicate each stage of the manufacturing process.

本実施例に係る多層ドライフィルム150の製造装置は、第1のフィルム11を供給する第1のフィルムロール10と、第1のフィルム11上に第1膜13を形成する溶液13’を塗布するコーター12と、乾燥機14と、保護液103を供給する保護液供給装置102と、保護液103を気化させる乾燥機104と、第1膜13の表面に第2膜125用の溶液125’を塗布するコーター124と、乾燥機126と、第2のフィルム30を供給する第2のフィルムロール28と、最終形態の多層ドライフィルム150を巻き取る格納ロール134とを備えている。 The manufacturing apparatus for the multilayer dry film 150 according to this embodiment includes a first film roll 10 for supplying the first film 11, a coater 12 for applying a solution 13' for forming the first film 13 on the first film 11, a dryer 14, a protective liquid supplying device 102 for supplying the protective liquid 103, a dryer 104 for vaporizing the protective liquid 103, a coater 124 for applying a solution 125' for the second film 125 to the surface of the first film 13, a dryer 126, a second film roll 28 for supplying the second film 30, and a storage roll 134 for winding up the multilayer dry film 150 in its final form.

図4に示すように、第1のフィルムロール10から引き出された第1のフィルム11は、コーター12に送りこまれ、第1膜13を形成する溶液13’が第1のフィルム11上に塗布される。 As shown in FIG. 4, the first film 11 pulled out from the first film roll 10 is fed into a coater 12, and a solution 13' that forms a first film 13 is applied onto the first film 11.

溶液13’が塗布された第1のフィルム11は、熱風循環式の乾燥機14において、例えば、90℃/30分で乾燥し、溶剤を気化させて樹脂組成の第1膜13を形成する。その後、第1膜13の表面に保護液103を塗布又は吹き付け、コーター124の直前で乾燥機104によって保護液103を乾燥、除去する。 The first film 11 coated with the solution 13' is dried in a hot air circulation dryer 14 at, for example, 90°C for 30 minutes to evaporate the solvent and form a first film 13 of a resin composition. After that, a protective liquid 103 is applied or sprayed onto the surface of the first film 13, and the protective liquid 103 is dried and removed by the dryer 104 just before the coater 124.

保護液103としては、水又は有機溶剤を使用することができる。 The protective liquid 103 can be water or an organic solvent.

その後、露出した第1膜13の表面に第2膜125を形成するための溶液125’をコーター124によって均一に塗布する。例えば、第2膜125の乾燥後の膜厚が25μmになるように溶液125’を塗布する。その後、熱風循環式乾燥機126において、例えば、90℃/30分で乾燥し、溶剤を気化させて樹脂組成の第2膜125を形成する。 Then, a solution 125' for forming a second film 125 is uniformly applied to the exposed surface of the first film 13 by a coater 124. For example, the solution 125' is applied so that the film thickness of the second film 125 after drying is 25 μm. Then, in a hot air circulation dryer 126, the film is dried, for example, at 90°C for 30 minutes, and the solvent is evaporated to form a second film 125 of a resin composition.

第1実施例と同様に、第2膜125の組成は、第1膜13と同じとすることもできるが、異なる組成とすることもできる。 As in the first embodiment, the composition of the second film 125 can be the same as that of the first film 13, or it can be a different composition.

第1膜13、第2膜125が積層された第1のフィルム11は、ラミネート用の一対のローラ32の間を通過させることで、第2膜125の表面に第2のフィルム30を貼りつける。これによって、多層ドライフィルム150の製造が完了する。製造された多層ドライフィルム150は、格納ロール134に巻き取られ、出荷可能な状態で保管される。 The first film 11, in which the first film 13 and the second film 125 are laminated, is passed between a pair of laminating rollers 32, so that the second film 30 is attached to the surface of the second film 125. This completes the manufacture of the multilayer dry film 150. The manufactured multilayer dry film 150 is wound onto a storage roll 134 and stored in a state ready for shipment.

上記第1実施例、第2実施例に係る方法、装置で製造された多層ドライフィルムは、各層の界面での傷や、汚染、異物の混入等が確認されなかった。また、第1膜と第2膜の界面での混ざりも確認されなかった。なお、界面での混ざりに関しては、倍率が1000倍のSEM(走査型電子顕微鏡)で断面を観察すし、両層の塗膜を判別できない領域が存在するか否かで判別を行った。その結果、両層の塗膜を判別できない領域は観察されなかった。 In the multilayer dry film manufactured by the method and apparatus according to the first and second examples, no scratches, contamination, or foreign matter was found at the interface between the layers. Furthermore, no mixing was found at the interface between the first and second films. Regarding mixing at the interface, the cross section was observed with a scanning electron microscope (SEM) at a magnification of 1000 times, and a determination was made as to whether or not there were any areas where the two coating layers could not be distinguished. As a result, no areas were observed where the two coating layers could not be distinguished.

以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではなく、特許請求の範囲に表現された技術思想の範囲内で適宜変更可能なものである。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is in no way limited to the above embodiments, and can be modified as appropriate within the scope of the technical ideas expressed in the claims.

10:第1のフィルムロール
11:第1のフィルム
12,24,124:コーター
14,26,104,126:乾燥機
13:第1膜
16:保護フィルムロール
18:保護フィルム
22:格納ロール
23:巻き取りロール(剥離用)
25,125:第2膜
28:第2のフィルムロール
30:第2のフィルム
32:ラミネート用ローラ
102:保護液供給装置
103:保護液
34,134:格納ロール
50,150:多層ドライフィルム
10: First film roll 11: First film 12, 24, 124: Coaters 14, 26, 104, 126: Dryer 13: First film 16: Protective film roll 18: Protective film 22: Storage roll 23: Take-up roll (for peeling)
25, 125: second film 28: second film roll 30: second film 32: lamination roller 102: protective liquid supply device 103: protective liquid 34, 134: storage roll 50, 150: multi-layer dry film

Claims (10)

多層ドライフィルムの製造方法であって、
土台となる第1のフィルム上に第1膜を形成する工程と;
前記第1膜の表面に保護膜を形成する工程と;
前記保護膜を除去する工程と;
前記保護膜が除去された前記第1膜の表面に第2膜を形成する工程と;を含むことを特徴とする多層ドライフィルムの製造方法。
A method for manufacturing a multilayer dry film, comprising:
forming a first membrane on a base first film;
forming a protective film on a surface of the first film;
removing the protective film;
and forming a second film on the surface of the first film from which the protective film has been removed.
前記保護膜は固体フィルムからなり、
前記保護膜を除去する工程は、当該保護膜を物理的に剥離する工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の多層ドライフィルムの製造方法。
The protective film is made of a solid film,
2 . The method for producing a multilayer dry film according to claim 1 , wherein the step of removing the protective film includes a step of physically peeling off the protective film.
前記保護膜を形成する工程において、前記第1のフィルムよりも前記第1膜に対する接着力が弱くなるように当該保護膜を形成することを特徴とする請求項2に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to claim 2, characterized in that in the step of forming the protective film, the protective film is formed so that its adhesive strength to the first film is weaker than that of the first film. 前記保護膜の接着力は、前記第1膜の残留溶剤量及び組成の少なくとも一方によって調整することを特徴とする請求項3に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to claim 3, characterized in that the adhesive strength of the protective film is adjusted by at least one of the amount of residual solvent and the composition of the first film. 前記保護膜は液体を塗布又は吹き付けることによって形成され、
前記保護膜を除去する工程は、当該保護膜を乾燥させる工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の多層ドライフィルムの製造方法。
The protective film is formed by applying or spraying a liquid,
The method for producing a multilayer dry film according to claim 1 , wherein the step of removing the protective film includes a step of drying the protective film.
前記保護膜を形成する液体は、水又は有機溶剤であることを特徴とする請求項5に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to claim 5, characterized in that the liquid forming the protective film is water or an organic solvent. 前記第1膜及び前記第2膜は、同一の組成を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the first film and the second film have the same composition. 前記第1膜及び前記第2膜は、異なる組成を有することを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the first film and the second film have different compositions. 前記第2膜の上に保護用の第2のフィルムを貼り付ける工程を更に含むことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の多層ドライフィルムの製造方法。 The method for manufacturing a multilayer dry film according to any one of claims 1 to 6, further comprising a step of attaching a second protective film onto the second film. 多層ドライフィルムの製造装置であって、
土台となる第1のフィルムの表面に第1膜を形成する第1の膜形成部と;
前記第1膜上に保護膜を形成する保護膜形成部と;
前記保護膜を除去する膜除去部と;
前記保護膜が除去された前記第1膜の表面に第2膜を形成する第2の膜形成部と;を含むことを特徴とする多層ドライフィルムの製造装置。
An apparatus for manufacturing a multi-layer dry film, comprising:
a first film forming unit that forms a first film on a surface of a first film serving as a base;
a protective film forming unit that forms a protective film on the first film;
a film removing unit that removes the protective film;
a second film forming section that forms a second film on the surface of the first film from which the protective film has been removed.
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