JP2024007999A

JP2024007999A - Piezoelectric motor and driving device

Info

Publication number: JP2024007999A
Application number: JP2022109472A
Authority: JP
Inventors: 興平多田; Kohei Tada
Original assignee: Piezo Sonic Corp
Current assignee: Piezo Sonic Corp
Priority date: 2022-07-07
Filing date: 2022-07-07
Publication date: 2024-01-19

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To mount shafts of various shapes or sizes on a piezoelectric motor.

SOLUTION: In a piezoelectric motor 100 including a stator 111 and a rotor 121, the rotor 121 has an annular member 120 having a dish spring portion 123 and a base body portion 122 in contact with the stator 111; and a fixation part 125 to which the annular member 120 is fixed. The fixation part 125 has: a hollow cylindrical portion 125A; and a mounting portion MP1 on which a shaft 236 is mounted.

SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、圧電モータ、及び圧電モータを有する駆動装置に関する。 The present invention relates to a piezoelectric motor and a drive device having the piezoelectric motor.

特許文献１には、ステータと、ロータと、ロータと共に回転するシャフトとを備える圧電モータが記載されている。このステータは、弾性体と、弾性体に貼り付けられた圧電素子及び摺動材とを有している。また、ロータは、環状部材と、環状部材が固定される固定部とを有している。そして、環状部材は、摺動材と当接する基体部分と、皿バネ部分とを有している。この皿バネ部分は、シャフトに固定された固定部に固定されている。 Patent Document 1 describes a piezoelectric motor that includes a stator, a rotor, and a shaft that rotates together with the rotor. This stator includes an elastic body, a piezoelectric element and a sliding member attached to the elastic body. Further, the rotor includes an annular member and a fixing portion to which the annular member is fixed. The annular member has a base portion that comes into contact with the sliding member and a disc spring portion. This disc spring portion is fixed to a fixed part fixed to the shaft.

国際公開第２０２０／０３１９１０号International Publication No. 2020/031910

圧電モータにおいては、ステータの圧電素子に高周波電圧が印可されると、圧電素子の伸縮によって弾性体にたわみ振動が生じ、円周方向に進行波が発生する。そして、ロータは、摺動材を介して弾性体と接触しているので、進行波が発生すると進行波とは反対の方向に回転する。この回転に伴い、シャフトがロータと同じ方向に回転する。 In a piezoelectric motor, when a high frequency voltage is applied to the piezoelectric element of the stator, the elastic body undergoes flexural vibration due to expansion and contraction of the piezoelectric element, and a traveling wave is generated in the circumferential direction. Since the rotor is in contact with the elastic body via the sliding material, when a traveling wave is generated, the rotor rotates in the opposite direction to the traveling wave. Along with this rotation, the shaft rotates in the same direction as the rotor.

圧電モータのロータの回転を圧電モータによって駆動される被駆動部材に伝達するためには、シャフトには被駆動部材の回転入力部が接続される。この回転入力部は、機能及び用途に応じて、様々な形状又はサイズの部材を有する。そのため、シャフトの形状は、回転入力部の形状又はサイズに応じて変更する必要がある。そこで、様々な形状又はサイズのシャフトを取り付けることができる圧電モータが望まれている。 In order to transmit the rotation of the rotor of the piezoelectric motor to a driven member driven by the piezoelectric motor, a rotation input portion of the driven member is connected to the shaft. This rotation input section has members of various shapes or sizes depending on the function and use. Therefore, the shape of the shaft needs to be changed depending on the shape or size of the rotation input section. Therefore, a piezoelectric motor that can be fitted with shafts of various shapes or sizes is desired.

上記課題を解決するため、本発明の一例としての圧電モータは、ステータ及びロータを備える圧電モータであって、前記ロータは、前記ステータと当接する基体部分と皿バネ部分とを有する環状部材と、前記環状部材が固定される固定部とを有し、前記固定部は、中空の円筒部分と、シャフトを取り付けるための取付部とを有している。 In order to solve the above problems, a piezoelectric motor as an example of the present invention is a piezoelectric motor including a stator and a rotor, wherein the rotor includes an annular member having a base portion that comes into contact with the stator and a disc spring portion; It has a fixing part to which the annular member is fixed, and the fixing part has a hollow cylindrical part and a mounting part for attaching the shaft.

また、本発明の他の例としての駆動装置は、ステータ及びロータを備える圧電モータと、前記圧電モータに取り付けられるシャフトとを含む駆動装置であって、前記ロータは、前記ステータと当接する基体部分と皿バネ部分とを有する環状部材と、前記環状部材が固定される固定部とを有し、前記固定部は、中空の円筒部分と、前記シャフトを取り付けるための取付部とを有している。 Further, a drive device as another example of the present invention is a drive device including a piezoelectric motor having a stator and a rotor, and a shaft attached to the piezoelectric motor, wherein the rotor is a base portion that comes into contact with the stator. and a fixing part to which the annular member is fixed, the fixing part having a hollow cylindrical part and a mounting part for attaching the shaft. .

本発明のさらなる特徴は、添付図面を参照して例示的に示した以下の実施例の説明から明らかになる。 Further features of the invention will become apparent from the following description of an exemplary embodiment, shown by way of example with reference to the accompanying drawings, in which: FIG.

ベース側から見た圧電モータの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a piezoelectric motor seen from the base side. ケース側から見た圧電モータの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a piezoelectric motor seen from the case side. 圧電モータの概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a piezoelectric motor. スタビライザーの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a stabilizer. 大径シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor equipped with a large diameter shaft. 小径シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor equipped with a small diameter shaft. 歯車シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor with a gear shaft attached thereto; FIG. 筒状シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor equipped with a cylindrical shaft. 遊星歯車シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor with a planetary gear shaft attached thereto; FIG. アウターカバーを外した圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of the piezoelectric motor with an outer cover removed. 遊星歯車部を外した圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor with a planetary gear section removed. 貫通シャフトを取り付けた圧電モータの概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view of a piezoelectric motor with a through shaft attached thereto. 貫通シャフトの概略斜視図である。It is a schematic perspective view of a penetration shaft.

以下、本発明を実施するための例示的な実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。ただし、以下の実施形態において説明する寸法、材料、形状及び構成要素の相対的な位置は任意に設定でき、本発明が適用される装置の構成又は様々な条件に応じて変更できる。また、特別な記載がない限り、本発明の範囲は、以下に具体的に記載された実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, exemplary embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, and relative positions of components described in the following embodiments can be set arbitrarily, and can be changed depending on the configuration of the device to which the present invention is applied or various conditions. Further, unless otherwise specified, the scope of the present invention is not limited to the embodiments specifically described below.

［第一実施形態］
図１から図４を用いて第一実施形態の圧電モータ１００について説明する。図１は、圧電モータ１００の概略斜視図であり、ベース１４１側から見た外観を示している。図２は、圧電モータ１００の概略斜視図であり、ケース１３４側から見た外観を示している。図３は、固定部であるスタビライザー１２５の長手方向に沿った圧電モータ１００の概略断面図であり、スタビライザー１２５の回転軸を通る断面を示している。図４は、スタビライザー１２５の概略斜視図である。 [First embodiment]
A piezoelectric motor 100 according to the first embodiment will be described using FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is a schematic perspective view of the piezoelectric motor 100, showing the appearance viewed from the base 141 side. FIG. 2 is a schematic perspective view of the piezoelectric motor 100, showing the appearance viewed from the case 134 side. FIG. 3 is a schematic sectional view of the piezoelectric motor 100 along the longitudinal direction of the stabilizer 125, which is a fixed portion, and shows a cross section passing through the rotation axis of the stabilizer 125. FIG. 4 is a schematic perspective view of the stabilizer 125.

図１及び図２に示すように、圧電モータ１００は、ベース１４１と、ベース１４１にねじ止めされているケース１３４を備えている。さらに、圧電モータ１００は、ベース１４１及びケース１３４を貫通する中空のスタビライザー１２５（図３）を備えている。また、略板状のベース１４１の側面には、外部と接続するためのコネクタ１４４が、端子支持板を介して取り付けられている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the piezoelectric motor 100 includes a base 141 and a case 134 screwed to the base 141. Furthermore, the piezoelectric motor 100 includes a hollow stabilizer 125 (FIG. 3) that penetrates the base 141 and the case 134. Further, a connector 144 for connecting to the outside is attached to the side surface of the substantially plate-shaped base 141 via a terminal support plate.

また、図３に示すように、圧電モータ１００は、ステータ１１１及びロータ１２１を備えている。このロータ１２１は、ステータ１１１に対向している。また、ロータ１２１は、環状部材１２０を有している。そして、環状部材１２０は、ステータ１１１と当接する基体部分１２２と、皿バネ部分１２３とを有している。さらに、ロータ１２１は、環状部材１２０が固定される固定部の一例としてのスタビライザー１２５を有している。そして、スタビライザー１２５は、中空の円筒部分１２５Ａと、シャフトを取り付けるための第一取付部ＭＰ１及び第二取付部ＭＰ２とを有している。 Further, as shown in FIG. 3, the piezoelectric motor 100 includes a stator 111 and a rotor 121. This rotor 121 faces the stator 111. Further, the rotor 121 has an annular member 120. The annular member 120 has a base portion 122 that comes into contact with the stator 111, and a disc spring portion 123. Furthermore, the rotor 121 has a stabilizer 125 as an example of a fixed part to which the annular member 120 is fixed. The stabilizer 125 has a hollow cylindrical portion 125A, and a first attachment portion MP1 and a second attachment portion MP2 for attaching a shaft.

第一取付部ＭＰ１及び第二取付部ＭＰ２は、円筒部分１２５Ａの両端部の少なくとも一方に設けられている。具体的には、円筒部分１２５Ａのベース１４１側には、一端部である第一取付端部１２５Ｂが設けられている。そして、第一取付端部１２５Ｂには、開口としての第一開口ＯＰＢが形成されている。さらに、第一取付部ＭＰ１が、第一開口ＯＰＢの周囲に設けられている。また、円筒部分１２５Ａのケース１３４側には、他端部である第二取付端部１２５Ｃが設けられている。そして、第二取付端部１２５Ｃには、開口としての第二開口ＯＰＣが形成されている。さらに、第二取付部ＭＰ２が、第二開口ＯＰＣの周囲に設けられている。 The first attachment portion MP1 and the second attachment portion MP2 are provided on at least one of both ends of the cylindrical portion 125A. Specifically, a first attachment end 125B, which is one end, is provided on the base 141 side of the cylindrical portion 125A. A first opening OPB as an opening is formed in the first attachment end 125B. Furthermore, a first mounting portion MP1 is provided around the first opening OPB. Furthermore, a second attachment end 125C, which is the other end, is provided on the case 134 side of the cylindrical portion 125A. A second opening OPC as an opening is formed in the second mounting end 125C. Furthermore, a second mounting portion MP2 is provided around the second opening OPC.

一例として、第一取付部ＭＰ１は、第一取付端部１２５Ｂの端面において第一開口ＯＰＢの周囲に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１（図１）を有している。図１の例では、第一取付端部１２５Ｂの端面に、例えば六個の第一ネジ穴ＳＨ１が形成されている。そして、後述する各シャフトのネジは、第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、各シャフトが、圧電モータ１００に取り付けられる。なお、第一ネジ穴ＳＨ１の数は六個には限定されず、五個以下又は七個以上であってもよい。また、第二取付部ＭＰ２は、第二取付端部１２５Ｃの端面において第二開口ＯＰＣの周囲に形成されている第二ネジ穴ＳＨ２（図２）を有している。図２の例では、第二取付端部１２５Ｃの端面に、例えば三個の第二ネジ穴ＳＨ２が形成されている。そして、後述する貫通シャフト７３６のネジＳ７は、第二ネジ穴ＳＨ２にねじ込まれる。これにより、貫通シャフト７３６が、圧電モータ１００に取り付けられる。なお、第二ネジ穴ＳＨ２の数は三個には限定されず、二個以下又は四個以上であってもよい。 As an example, the first mounting portion MP1 has a first screw hole SH1 (FIG. 1) formed around the first opening OPB in the end surface of the first mounting end portion 125B. In the example of FIG. 1, for example, six first screw holes SH1 are formed in the end surface of the first attachment end portion 125B. Then, the screws of each shaft, which will be described later, are screwed into the first screw holes SH1. Thereby, each shaft is attached to the piezoelectric motor 100. Note that the number of first screw holes SH1 is not limited to six, and may be five or less or seven or more. Further, the second mounting portion MP2 has a second screw hole SH2 (FIG. 2) formed around the second opening OPC in the end surface of the second mounting end portion 125C. In the example of FIG. 2, for example, three second screw holes SH2 are formed in the end surface of the second attachment end 125C. Then, a screw S7 of a through shaft 736, which will be described later, is screwed into the second screw hole SH2. Thereby, the through shaft 736 is attached to the piezoelectric motor 100. Note that the number of second screw holes SH2 is not limited to three, and may be two or less or four or more.

このように、スタビライザー１２５には、第一ネジ穴ＳＨ１及び第二ネジ穴ＳＨ２が形成されている。そして、各シャフトがスタビライザー１２５にねじ止めされるので、各シャフトのスタビライザー１２５に対する接続部分が回転負荷によって変形することを抑制できる。つまり、接続部分が変形してしまうと、シャフトをスタビライザー１２５から取り外せなくなってしまうが、その事態を防止できる。さらに、シャフトが変形した場合には、シャフトをスタビライザー１２５から取り外して交換できる。一例として、各シャフトの先端にはキー溝を設けることができる。これによって、被駆動部材が回り止めされるので、各シャフトから被駆動部材に回転を伝達できる。 In this way, the stabilizer 125 is formed with the first screw hole SH1 and the second screw hole SH2. Since each shaft is screwed to the stabilizer 125, deformation of the connecting portion of each shaft to the stabilizer 125 due to rotational load can be suppressed. In other words, if the connecting portion is deformed, the shaft cannot be removed from the stabilizer 125, but this can be prevented. Furthermore, if the shaft is deformed, it can be removed from the stabilizer 125 and replaced. As an example, a keyway can be provided at the tip of each shaft. This prevents the driven member from rotating, so rotation can be transmitted from each shaft to the driven member.

また、シャフトを取り付けるための取付部は、圧電モータ１００の外部に露出している。そのため、中空の円筒部分１２５Ａの中空の空間を残した状態で様々な形状又はサイズを有するシャフトを取り付けることができる。代替的に、第一取付部ＭＰ１及び第二取付部ＭＰ２は、いずれか一方のみが設けられていてもよい。さらに、第一取付部ＭＰ１及び第二取付部ＭＰ２に代えて、シャフトを取り付けるための取付部として、第一取付端部１２５Ｂ又は第二取付端部１２５Ｃの内面に雌ネジ部が形成されていてもよい。例えば、雌ネジ部は、第一開口ＯＰＢ又は第二開口ＯＰＣの周囲の内周面に形成される。この場合、シャフトの外面に形成されている雄ネジ部が雌ネジ部にねじ込まれる。これにより、シャフトが、圧電モータ１００に取り付けられる。 Further, a mounting portion for mounting the shaft is exposed to the outside of the piezoelectric motor 100. Therefore, shafts having various shapes or sizes can be attached while leaving a hollow space in the hollow cylindrical portion 125A. Alternatively, only one of the first attachment part MP1 and the second attachment part MP2 may be provided. Furthermore, instead of the first attachment part MP1 and the second attachment part MP2, a female threaded part is formed on the inner surface of the first attachment end 125B or the second attachment end 125C as an attachment part for attaching the shaft. Good too. For example, the female screw portion is formed on the inner peripheral surface around the first opening OPB or the second opening OPC. In this case, the male threaded portion formed on the outer surface of the shaft is screwed into the female threaded portion. Thereby, the shaft is attached to the piezoelectric motor 100.

さらに、第一取付部ＭＰ１及び第二取付部ＭＰ２に代えて、シャフトを取り付けるための取付部として、第一取付端部１２５Ｂ又は第二取付端部１２５Ｃに取付凹部又は取付凸部が形成されていてもよい。例えば、取付凹部又は取付凸部は、第一開口ＯＰＢ又は第二開口ＯＰＣの周囲の内周面に形成される。この場合、シャフトには、取付凹部又は取付凸部と係合するように、取付凹部又は取付凸部と相補的な形状を有する凸部又は凹部が形成される。また、取付部として、ケース１３４から突出する第一取付端部１２５Ｂが雄ネジ部を構成し、当該雄ネジ部と相補的な形状を有する雌ネジ部を有するシャフトが取り付けられてもよい。同様に取付部として、ベース１４１から突出する第二取付端部１２５Ｃが雄ネジ部を構成し、当該雄ネジ部と相補的な形状を有する雌ネジ部を有するシャフトが取り付けられてもよい。例えば、雄ネジ部は、第一開口ＯＰＢ又は第二開口ＯＰＣの周囲の外周面に形成される。 Furthermore, instead of the first mounting part MP1 and the second mounting part MP2, a mounting recess or a mounting convex part is formed in the first mounting end 125B or the second mounting end 125C as a mounting part for mounting the shaft. You can. For example, the mounting recess or the mounting protrusion is formed on the inner peripheral surface around the first opening OPB or the second opening OPC. In this case, the shaft is formed with a protrusion or a recess having a complementary shape to the mounting recess or the mounting protrusion so as to engage with the mounting recess or the mounting protrusion. Further, as the attachment portion, the first attachment end portion 125B protruding from the case 134 constitutes a male threaded portion, and a shaft having a female threaded portion having a complementary shape to the male threaded portion may be attached. Similarly, as the attachment portion, a shaft may be attached, in which the second attachment end portion 125C protruding from the base 141 constitutes a male threaded portion, and has a female threaded portion having a shape complementary to the male threaded portion. For example, the male threaded portion is formed on the outer peripheral surface around the first opening OPB or the second opening OPC.

さらに、ケース１３４から突出する第一取付端部１２５Ｂの外周面にネジ穴を形成してもよい。この場合、当該ネジ穴と対向するように、各シャフトにネジ穴が形成される。そして、両ネジ穴にネジをねじ込むことによって、各シャフトをスタビライザー１２５に取り付ける。同様に、ベース１４１から突出する第二取付端部１２５Ｃの外周面にネジ穴を形成してもよい。この場合、当該ネジ穴と対向するように、各シャフトにネジ穴が形成される。これらの場合、第一取付端部１２５Ｂ及び第二取付端部１２５Ｃが、シャフトを取り付けるための取付部として機能する。 Furthermore, a screw hole may be formed in the outer peripheral surface of the first attachment end 125B protruding from the case 134. In this case, a screw hole is formed in each shaft so as to face the screw hole. Then, each shaft is attached to the stabilizer 125 by screwing screws into both screw holes. Similarly, a screw hole may be formed in the outer circumferential surface of the second attachment end 125C protruding from the base 141. In this case, a screw hole is formed in each shaft so as to face the screw hole. In these cases, the first attachment end 125B and the second attachment end 125C function as attachment parts for attaching the shaft.

図３に示すように、圧電モータ１００は、スタビライザー１２５の回転軸を中心に略回転対称の構成を備えている。この圧電モータ１００は、ベース１４１に固定されたステータ１１１と、ステータ１１１に対向するロータ１２１とを備えている。そして、ステータ１１１及びロータ１２１は、ケース１３４内の略円柱状のスペースに格納されている。このステータ１１１は、弾性体１１３と、弾性体１１３に貼り付けられた圧電素子１１２及び摺動材１１４とを有している。また、ロータ１２１は、環状部材１２０を備えている。そして、環状部材１２０は、摺動材１１４と当接する基体部分１２２と、当該基体部分１２２と一体的に形成されている皿バネ部分１２３とを有している。また、スタビライザー１２５の円筒部分１２５Ａは、それぞれ略リング状のステータ１１１及びロータ１２１を貫通しており、ステータ１１１とロータ１２１はスタビライザー１２５の回転軸と同軸である。 As shown in FIG. 3, the piezoelectric motor 100 has a configuration that is substantially rotationally symmetrical about the rotation axis of the stabilizer 125. This piezoelectric motor 100 includes a stator 111 fixed to a base 141 and a rotor 121 facing the stator 111. The stator 111 and the rotor 121 are housed in a substantially cylindrical space within the case 134. The stator 111 includes an elastic body 113, a piezoelectric element 112 attached to the elastic body 113, and a sliding member 114. Further, the rotor 121 includes an annular member 120. The annular member 120 has a base portion 122 that comes into contact with the sliding member 114, and a disc spring portion 123 that is integrally formed with the base portion 122. Further, the cylindrical portion 125A of the stabilizer 125 passes through the substantially ring-shaped stator 111 and the rotor 121, respectively, and the stator 111 and the rotor 121 are coaxial with the rotation axis of the stabilizer 125.

また、圧電モータ１００は、圧電素子１１２と電気的に接続されているフレキシブル基板１１５を備えている。このフレキシブル基板１１５は、コネクタ１４４と電気的に接続されている。そして、圧電素子１１２には、コネクタ１４４及びフレキシブル基板１１５を介して、外部電源から高周波電圧が印可される。高周波電圧が印可されると、圧電素子１１２の伸縮によって弾性体１１３にたわみ振動が生じ、円周方向に進行波が発生する。この進行波の各頂点において、ロータ１２１は、摺動材１１４を介して弾性体１１３と接触している。そして、各頂点は楕円運動しており、当該楕円運動の軌跡は、進行波の進む方向とは逆方向である。そのため、ロータ１２１は、進行波とは反対の方向に回転する。 Furthermore, the piezoelectric motor 100 includes a flexible substrate 115 that is electrically connected to the piezoelectric element 112. This flexible substrate 115 is electrically connected to the connector 144. A high frequency voltage is applied to the piezoelectric element 112 from an external power source via the connector 144 and the flexible substrate 115. When a high frequency voltage is applied, the elastic body 113 undergoes flexural vibration due to the expansion and contraction of the piezoelectric element 112, and a traveling wave is generated in the circumferential direction. At each peak of this traveling wave, the rotor 121 is in contact with the elastic body 113 via the sliding material 114. Each vertex moves in an elliptical motion, and the locus of the elliptical motion is opposite to the direction in which the traveling wave travels. Therefore, the rotor 121 rotates in the direction opposite to the traveling wave.

ベース１４１からロータ１２１に向かって、ピエゾ素子等の圧電素子１１２と、圧電素子１１２が貼り付けられた弾性体１１３と、弾性体１１３に貼り付けられた摺動材１１４とが、この順に配置されている。この摺動材１１４は、基体部分１２２を強く押し付けても変形を抑制できるように構成してもよい。一例として、摺動材１１４は、強化繊維を含む架橋フッ素樹脂により形成できる。フッ素樹脂としては、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、又はＦＥＰを用いることができ、２種以上のフッ素樹脂を用いることもできる。また強化繊維としては、例えば炭素繊維、ガラス繊維、金属繊維、炭化ケイ素繊維、窒化ケイ素繊維、アラミド繊維、アルミナ繊維、ポリアミド繊維、ポリエチレン繊維、ポリエステル繊維、セラミック繊維、ＰＴＦＥ繊維、又はボロン繊維を用いることができる。強化繊維を含む架橋フッ素樹脂を用いることによって、ロータ１２１の基体部分１２２が摺動材１１４に押し付けられた際に、強化繊維が摺動材１１４の変形を抑制する。これにより、ロータ１２１がステータ１１１に押し付けられる際の押し付け力（すなわち、ロータ１２１とステータ１１１の間の摩擦力）をより強くして、圧電モータ１００を高トルク化できる。 A piezoelectric element 112 such as a piezo element, an elastic body 113 to which the piezoelectric element 112 is attached, and a sliding material 114 attached to the elastic body 113 are arranged in this order from the base 141 toward the rotor 121. ing. The sliding member 114 may be configured to suppress deformation even if the base portion 122 is strongly pressed. As an example, the sliding material 114 can be formed from a crosslinked fluororesin containing reinforcing fibers. As the fluororesin, PTFE, PFA, or FEP can be used, and two or more types of fluororesins can also be used. Further, as reinforcing fibers, for example, carbon fibers, glass fibers, metal fibers, silicon carbide fibers, silicon nitride fibers, aramid fibers, alumina fibers, polyamide fibers, polyethylene fibers, polyester fibers, ceramic fibers, PTFE fibers, or boron fibers are used. be able to. By using a crosslinked fluororesin containing reinforcing fibers, the reinforcing fibers suppress deformation of the sliding material 114 when the base portion 122 of the rotor 121 is pressed against the sliding material 114. Thereby, the pressing force when the rotor 121 is pressed against the stator 111 (that is, the frictional force between the rotor 121 and the stator 111) can be made stronger, and the piezoelectric motor 100 can have a higher torque.

摺動材１１４は、架橋フッ素樹脂（上記強化繊維を含む架橋フッ素樹脂を含む）として、ＪＩＳＫ７２１８Ａ法（リング対ディスク）に準拠した滑り摩耗試験によって測定した場合の比摩耗量が、１×１０^－６ｍｍ^３／Ｎ・ｍ未満である架橋フッ素樹脂によって形成できる。より望ましくは、摺動材１１４は、比摩耗量が、１×１０^－７ｍｍ^３／Ｎ・ｍ未満である架橋フッ素樹脂によって形成できる。ここで、試験条件は、相手材：算術平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍのＡＤＣ１２、速度：１２８ｍ／ｍｉｎ、時間：５０時間、荷重：０．４ＭＰａである。比較例として、未架橋のＰＴＦＥを同条件で測定した場合の比摩耗量は、１×１０^－３ｍｍ^３／Ｎ・ｍであった。この架橋フッ素樹脂を用いることにより、耐摩耗性を向上させて、摺動材１１４の寿命、ひいては圧電モータ１００の寿命を長くできる。 The sliding material 114 is a crosslinked fluororesin (including the crosslinked fluororesin containing the above-mentioned reinforcing fibers), and has a specific wear amount of 1×10 ⁻ It can be formed from a crosslinked fluororesin having a density of less than ⁶ mm ³ /N·m. More preferably, the sliding material 114 can be formed of a crosslinked fluororesin having a specific wear amount of less than 1×10 ⁻⁷ mm ³ /N·m. Here, the test conditions were: counterpart material: ADC12 with an arithmetic mean roughness (Ra) of 0.2 μm, speed: 128 m/min, time: 50 hours, load: 0.4 MPa. As a comparative example, the specific wear amount of uncrosslinked PTFE measured under the same conditions was 1×10 ⁻³ mm ³ /N·m. By using this crosslinked fluororesin, wear resistance can be improved, and the life of the sliding material 114 and, by extension, the life of the piezoelectric motor 100 can be extended.

弾性体１１３は、複数の櫛歯を備えている。そして、当該櫛歯同士の間には、弾性体１１３の中心から弾性体１１３の外周に向かって放射状に延在する矩形状の溝が形成されている。一例として、弾性体１１３は、鉄、鋼、ジュラルミン、銅合金及びチタン合金等の金属によって形成できる。 The elastic body 113 includes a plurality of comb teeth. A rectangular groove extending radially from the center of the elastic body 113 toward the outer periphery of the elastic body 113 is formed between the comb teeth. For example, the elastic body 113 can be made of metal such as iron, steel, duralumin, copper alloy, titanium alloy, or the like.

スタビライザー１２５は、ロータ１２１の回転に伴い、ロータ１２１と同じ方向に回転する。また、ベース１４１にはスタビライザー１２５の第一取付端部１２５Ｂが貫通する穴が形成されている。この穴に対応する位置にはベアリング１３８が取り付けられている。さらに、ケース１３４にもスタビライザー１２５の第二取付端部１２５Ｃが貫通する穴が形成されており、この穴に対応する位置にはベアリング１３８が取り付けられている。スタビライザー１２５の円筒部分１２５Ａは、ベアリング１３８を貫通している。代替的に、ベアリング１３８に代えて樹脂等からなるブッシュを用いてもよい。 Stabilizer 125 rotates in the same direction as rotor 121 as rotor 121 rotates. Furthermore, a hole is formed in the base 141, through which the first attachment end 125B of the stabilizer 125 passes. A bearing 138 is attached at a position corresponding to this hole. Furthermore, a hole is formed in the case 134 as well, through which the second attachment end 125C of the stabilizer 125 passes, and a bearing 138 is attached at a position corresponding to this hole. The cylindrical portion 125A of the stabilizer 125 passes through the bearing 138. Alternatively, the bearing 138 may be replaced with a bush made of resin or the like.

ステータ１１１は、複数のステータネジ１１６によってベース１４１に固定されている。具体的に、弾性体１１３のスタビライザー１２５側の縁部はネジ穴を有している。また、ベース１４１は、弾性体１１３のネジ穴に対応するネジ穴を有している。そして、ステータネジ１１６が両ネジ穴と螺合することにより、ステータ１１１がベース１４１に固定されている。 Stator 111 is fixed to base 141 with a plurality of stator screws 116. Specifically, the edge of the elastic body 113 on the stabilizer 125 side has a screw hole. Further, the base 141 has a screw hole corresponding to the screw hole of the elastic body 113. The stator 111 is fixed to the base 141 by screwing the stator screws 116 into both screw holes.

ロータ１２１は、環状部材１２０の皿バネ部分１２３が固定されるスタビライザー１２５を有している。この環状部材１２０の中央には穴が形成されており、環状部材１２０とスタビライザー１２５とは別体である。そして、ロータ１２１は、複数のロータネジ１２４を介して、スタビライザー１２５のフランジ１３６に固定されている。具体的に、環状部材１２０の皿バネ部分１２３のスタビライザー１２５側に位置する内縁部は、ネジ穴を有している。また、スタビライザー１２５のフランジ１３６は、当該ネジ穴に対応するネジ穴を有している。そして、ロータネジ１２４が両ネジ穴と螺合することにより、皿バネ部分１２３がスタビライザー１２５に固定されている。 The rotor 121 has a stabilizer 125 to which the disc spring portion 123 of the annular member 120 is fixed. A hole is formed in the center of this annular member 120, and the annular member 120 and the stabilizer 125 are separate bodies. The rotor 121 is fixed to a flange 136 of the stabilizer 125 via a plurality of rotor screws 124. Specifically, the inner edge of the disc spring portion 123 of the annular member 120 located on the stabilizer 125 side has a screw hole. Further, the flange 136 of the stabilizer 125 has a screw hole corresponding to the screw hole. The disc spring portion 123 is fixed to the stabilizer 125 by screwing the rotor screw 124 into both screw holes.

皿バネ部分１２３は、ロータ１２１をステータ１１１に対して付勢するためのスプリングとして機能する。これにより、基体部分１２２が、ステータ１１１の摺動材１１４に押し付けられている。すなわち、皿バネ部分１２３が基体部分１２２をステータ１１１に対して付勢することにより、ロータ１２１が摺動材１１４に密着する。皿バネ部分１２３がスプリングとして機能することにより、圧電モータ１００のサイズを小さくできる。また、皿バネ部分１２３は、圧電モータ１００の半径方向において、基体部分１２２とスタビライザー１２５との間に設けられている。換言すると、スタビライザー１２５は、皿バネ部分１２３よりも圧電モータ１００の回転中心側に配置されている。 The disc spring portion 123 functions as a spring for biasing the rotor 121 against the stator 111. Thereby, the base portion 122 is pressed against the sliding material 114 of the stator 111. That is, the disc spring portion 123 urges the base portion 122 against the stator 111, so that the rotor 121 comes into close contact with the sliding member 114. Since the disc spring portion 123 functions as a spring, the size of the piezoelectric motor 100 can be reduced. Further, the disc spring portion 123 is provided between the base portion 122 and the stabilizer 125 in the radial direction of the piezoelectric motor 100. In other words, the stabilizer 125 is arranged closer to the rotation center of the piezoelectric motor 100 than the disc spring portion 123 is.

スタビライザー１２５のフランジ１３６は、皿バネ部分１２３の湾曲した薄肉部よりも厚く形成されている。すなわち、スタビライザー１２５の回転軸方向において、フランジ１３６は、皿バネ部分１２３の薄肉部よりも厚い。そして、フランジ１３６は、皿バネ部分１２３の振動が伝搬されるように構成されている。これにより、皿バネ部分１２３の振動を抑制し、異音を低減できる。また、振動が抑制される結果、圧電モータ１００の寿命をより長くできる。なお、フランジ１３６は厚いため、皿バネ部分１２３から振動が伝搬されても損傷する可能性は低い。また、スタビライザー１２５は、環状部材１２０よりも質量が大きくなるように形成してもよい。なお、スタビライザー１２５には、アルマイト処理、又はアニール処理を施してもよい。 The flange 136 of the stabilizer 125 is formed thicker than the curved thin wall portion of the disc spring portion 123. That is, in the direction of the rotation axis of the stabilizer 125, the flange 136 is thicker than the thin portion of the disc spring portion 123. The flange 136 is configured so that vibrations of the disc spring portion 123 are transmitted. Thereby, vibration of the disc spring portion 123 can be suppressed and abnormal noise can be reduced. Moreover, as a result of vibration being suppressed, the life of the piezoelectric motor 100 can be made longer. Note that since the flange 136 is thick, there is a low possibility that it will be damaged even if vibrations are propagated from the disc spring portion 123. Further, the stabilizer 125 may be formed to have a larger mass than the annular member 120. Note that the stabilizer 125 may be subjected to alumite treatment or annealing treatment.

一例として、スタビライザー１２５は、５０００系アルミニウム合金（例えばＡ５０５２）によって形成できる。これにより、ケース１３４をベース１４１に取り付ける際に、スタビライザー１２５の変形量を低く抑えることができる。そのため、ロータ１２１がステータ１１１に押し付けられる際の押し付け力をより強くして、圧電モータ１００を高トルク化できる。さらに、両者の間の押し付け力がばらつくことも抑制できる。すなわち、ケース１３４を取り付ける際に、スタビライザー１２５は、ベース１４１（ステータ１１１）側に押し付けられる。これにより、ロータ１２１がステータ１１１に押し付けられるが、その際にスタビライザー１２５の大きな変形に起因して、押し付け力がばらつくことを抑制できる。なお、環状部材１２０は、一例として、７０００系アルミニウム合金（例えばＡ７０７５）によって形成できる。 As an example, the stabilizer 125 can be formed from a 5000 series aluminum alloy (eg, A5052). Thereby, when attaching the case 134 to the base 141, the amount of deformation of the stabilizer 125 can be suppressed to a low level. Therefore, the pressing force when the rotor 121 is pressed against the stator 111 can be increased, and the piezoelectric motor 100 can have a high torque. Furthermore, it is possible to suppress variations in the pressing force between the two. That is, when attaching the case 134, the stabilizer 125 is pressed against the base 141 (stator 111) side. Thereby, although the rotor 121 is pressed against the stator 111, it is possible to suppress variations in the pressing force due to large deformation of the stabilizer 125 at that time. Note that the annular member 120 can be formed of, for example, a 7000 series aluminum alloy (eg, A7075).

また、スタビライザー１２５は、環状部材１２０よりも低剛性となるように（縦弾性係数が低くなるように）構成してもよい。これにより、スタビライザー１２５が振動を吸収して、皿バネ部分１２３の振動をより抑制できる。そのために、スタビライザー１２５は、スタビライザー１２５の回転軸を中心とする環状溝１２９を有している。この環状溝１２９は、断面略Ｕ字状の形状を有している。そして、環状溝１２９の底は、スタビライザー１２５の他の部分よりも薄い。このようにスタビライザー１２５を構成することにより、ロータ１２１をステータ１１１に押し付ける際にスタビライザー１２５がわずかに変形する。その結果、ロータ１２１をステータ１１１に押し付ける力を均等に分散させることができる。なお、スタビライザー１２５は、環状部材１２０と同じ剛性、または環状部材１２０よりも高剛性となるように構成してもよい。また、二つ以上の環状溝１２９を形成してもよい。 Further, the stabilizer 125 may be configured to have lower rigidity (lower longitudinal elastic modulus) than the annular member 120. Thereby, the stabilizer 125 absorbs vibrations, and the vibrations of the disc spring portion 123 can be further suppressed. To this end, the stabilizer 125 has an annular groove 129 centered on the rotation axis of the stabilizer 125. This annular groove 129 has a substantially U-shaped cross section. The bottom of the annular groove 129 is thinner than other parts of the stabilizer 125. By configuring the stabilizer 125 in this way, the stabilizer 125 is slightly deformed when the rotor 121 is pressed against the stator 111. As a result, the force pressing the rotor 121 against the stator 111 can be evenly distributed. Note that the stabilizer 125 may be configured to have the same rigidity as the annular member 120 or a higher rigidity than the annular member 120. Furthermore, two or more annular grooves 129 may be formed.

圧電モータ１００の半径方向において、略リング状のフランジ１３６の幅は、同じく略リング状の皿バネ部分１２３の半径方向における幅よりも長く設定されている。これにより、皿バネ部分１２３の全周に渡って、スタビライザー１２５の質量を、皿バネ部分１２３の対応する部分よりも大きくできる。そのため、皿バネ部分１２３の全周に渡って、スタビライザー１２５の剛性を、皿バネ部分１２３よりも低くできる。ただし、一変形例として、スタビライザー１２５のフランジ１３６の形状はリング状には限定されず、多角形等の他の形状であってもよい。 In the radial direction of the piezoelectric motor 100, the width of the substantially ring-shaped flange 136 is set to be longer than the width in the radial direction of the disc spring portion 123, which also has a substantially ring shape. Thereby, the mass of the stabilizer 125 can be made larger than the corresponding portion of the disc spring part 123 over the entire circumference of the disc spring part 123. Therefore, the rigidity of the stabilizer 125 can be made lower than that of the disc spring part 123 over the entire circumference of the disc spring part 123. However, as a modified example, the shape of the flange 136 of the stabilizer 125 is not limited to a ring shape, but may be other shapes such as a polygon.

図４に示すように、スタビライザー１２５は、円筒部分１２５Ａとフランジ１３６とを有している。そして、円筒部分１２５Ａとフランジ１３６とは、一体的に構成されているすなわち、フランジ１３６は、円筒部分１２５Ａから延在している。そして、円筒部分１２５Ａとフランジ１３６の周縁部との間には、環状溝１２９が形成されている。 As shown in FIG. 4, the stabilizer 125 has a cylindrical portion 125A and a flange 136. The cylindrical portion 125A and the flange 136 are integrally formed, that is, the flange 136 extends from the cylindrical portion 125A. An annular groove 129 is formed between the cylindrical portion 125A and the peripheral edge of the flange 136.

このように、円筒部分１２５Ａとフランジ１３６が一体的に構成されているため、両部が別体である場合と比較すると、両部の間に隙間が発生することを防止できる。両部が別体であって隙間が発生すると、円筒部分１２５Ａがフランジ１３６に対して僅かに変位してしまう。その結果、円筒部分１２５Ａが回転時にブレて、シャフトの軸ブレが発生してしまう。しかし、両部が一体的に構成されていれば、隙間に起因する回転時の軸ブレの発生を防止できる。 In this way, since the cylindrical portion 125A and the flange 136 are integrally constituted, it is possible to prevent a gap from occurring between the two portions, compared to a case where the two portions are separate bodies. If both parts are separate bodies and a gap occurs, the cylindrical part 125A will be slightly displaced with respect to the flange 136. As a result, the cylindrical portion 125A wobbles during rotation, resulting in axial wobbling of the shaft. However, if both parts are integrally constructed, it is possible to prevent shaft wobbling during rotation due to gaps.

以上説明した第一実施形態に係る圧電モータ１００によれば、スタビライザー１２５にシャフトの取付部を設けることによって様々な形状又はサイズのシャフトを取り付けることができる。そのため、シャフトの外寸を容易に変更できる。さらに、スタビライザー１２５が中空の円筒部分１２５Ａを備えている。そのため、第一開口ＯＰＢ及び第二開口ＯＰＣを通るように部材を配置できる。例えば、ケーブル又は配線等を中空の円筒部分１２５Ａを通るように配置できる。 According to the piezoelectric motor 100 according to the first embodiment described above, by providing the shaft attachment portion on the stabilizer 125, shafts of various shapes or sizes can be attached. Therefore, the outer dimensions of the shaft can be easily changed. Further, the stabilizer 125 includes a hollow cylindrical portion 125A. Therefore, the member can be arranged so as to pass through the first opening OPB and the second opening OPC. For example, cables, wiring, etc. can be placed through the hollow cylindrical portion 125A.

［第二実施形態］
続いて、図５を参照して、第二実施形態に係る駆動装置２００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図５は、大径シャフト２３６を備える駆動装置２００の概略斜視図であり、ベース１４１側から見た外観を示している。 [Second embodiment]
Next, with reference to FIG. 5, a drive device 200 according to a second embodiment will be described. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 5 is a schematic perspective view of the drive device 200 including the large-diameter shaft 236, showing the external appearance seen from the base 141 side.

駆動装置２００は、シャフトの一例として、大径シャフト２３６を備えている。大径シャフト２３６は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。そして、大径シャフト２３６の少なくとも一部の外寸は、スタビライザー１２５の円筒部分１２５Ａの外寸よりも大きい。すなわち、大径シャフト２３６は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に取り付けられる端部と、当該端部とは反対側の端部とを有している。そして、この反対側の端部の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きい。また、大径シャフト２３６は、その一端部から他端部まで連通する中空部分を有する。すなわち、大径シャフト２３６は、中空の円筒状部材である。なお、大径シャフト２３６の一部の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも小さいか又は同じであってもよい。 The drive device 200 includes a large diameter shaft 236 as an example of a shaft. The large diameter shaft 236 rotates as the stabilizer 125 rotates. The outer size of at least a portion of the large diameter shaft 236 is larger than the outer size of the cylindrical portion 125A of the stabilizer 125. That is, the large diameter shaft 236 has an end that is attached to the first attachment part MP1 of the stabilizer 125, and an end that is opposite to the end. The outer size of this opposite end is larger than the outer size of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A. Further, the large diameter shaft 236 has a hollow portion that communicates from one end to the other end. That is, the large diameter shaft 236 is a hollow cylindrical member. Note that the outer dimensions of a portion of the large diameter shaft 236 may be smaller than or the same as the outer dimensions of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A.

大径シャフト２３６を貫通するネジＳ２は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、大径シャフト２３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。また、大径シャフト２３６の両端の開口は、第一開口ＯＰＢと連通している。ただし、円筒部分１２５Ａの内部に通す部材がない場合には、大径シャフト２３６が中実であってもよい。なお、大径シャフト２３６の両端部は円形の外径を有しているが、扇形、半円形、楕円形、矩形若しくは多角形、又は涙形等の他の形状を有していてもよい。 A screw S2 passing through the large diameter shaft 236 is screwed into a first screw hole SH1 formed in the first mounting portion MP1 of the stabilizer 125. Thereby, the large diameter shaft 236 is attached to the piezoelectric motor 100. Furthermore, openings at both ends of the large diameter shaft 236 communicate with the first opening OPB. However, if there is no member to pass inside the cylindrical portion 125A, the large diameter shaft 236 may be solid. Although both ends of the large diameter shaft 236 have a circular outer diameter, they may have other shapes such as a fan shape, a semicircle, an ellipse, a rectangle, a polygon, or a teardrop shape.

［第三実施形態］
続いて、図６を参照して、第三実施形態に係る駆動装置３００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図６は、小径シャフト３３６を備える駆動装置３００の概略斜視図であり、ベース１４１側から見た外観を示している。 [Third embodiment]
Next, with reference to FIG. 6, a drive device 300 according to a third embodiment will be described. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 6 is a schematic perspective view of the drive device 300 including the small-diameter shaft 336, showing the external appearance as seen from the base 141 side.

駆動装置３００は、シャフトの一例として、小径シャフト３３６を備えている。小径シャフト３３６は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。そして、小径シャフト３３６の少なくとも一部の外寸は、スタビライザー１２５の円筒部分１２５Ａの外寸よりも小さい。すなわち、小径シャフト３３６は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に取り付けられる端部３３６Ａを有している。また、小径シャフト３３６は、当該端部３３６Ａとは反対側の端部３３６Ｂを有している。そして、この反対側の端部３３６Ｂの外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも小さい。また、小径シャフト３３６は、その一端部から他端部まで連通する中空部分を有する。すなわち、小径シャフト３３６の端部３３６Ｂは、中空の円筒状部材である。なお、小径シャフト３３６の一部の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きいか又は同じであってもよい。 The drive device 300 includes a small diameter shaft 336 as an example of a shaft. The small diameter shaft 336 rotates as the stabilizer 125 rotates. The outer size of at least a portion of the small diameter shaft 336 is smaller than the outer size of the cylindrical portion 125A of the stabilizer 125. That is, the small diameter shaft 336 has an end portion 336A that is attached to the first attachment portion MP1 of the stabilizer 125. Further, the small diameter shaft 336 has an end 336B opposite to the end 336A. The outer size of the opposite end 336B is smaller than the outer size of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A. Further, the small diameter shaft 336 has a hollow portion that communicates from one end to the other end. That is, the end portion 336B of the small diameter shaft 336 is a hollow cylindrical member. Note that the outer dimensions of a part of the small diameter shaft 336 may be larger than or the same as the outer dimensions of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A.

小径シャフト３３６の端部３３６Ａを貫通するネジＳ３は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、小径シャフト３３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。そして、端部３３６Ｂの開口と端部３３６Ａは、第一開口ＯＰＢと連通している。ただし、円筒部分１２５Ａの内部に通す部材がない場合には、小径シャフト３３６が中実であってもよい。なお、端部３３６Ｂは円形の外径を有しているが、扇形、半円形、楕円形、矩形若しくは多角形、又は涙形等の他の形状を有していてもよい。 A screw S3 passing through the end portion 336A of the small diameter shaft 336 is screwed into a first screw hole SH1 formed in the first mounting portion MP1 of the stabilizer 125. Thereby, the small diameter shaft 336 is attached to the piezoelectric motor 100. The opening of the end portion 336B and the end portion 336A communicate with the first opening OPB. However, if there is no member to pass inside the cylindrical portion 125A, the small diameter shaft 336 may be solid. Note that although the end portion 336B has a circular outer diameter, it may have other shapes such as a fan shape, a semicircle, an ellipse, a rectangle, a polygon, or a teardrop shape.

［第四実施形態］
続いて、図７を参照して、第四実施形態に係る駆動装置４００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図７は、歯車シャフト４３６を備える駆動装置４００の概略斜視図であり、ベース１４１側から見た外観を示している。 [Fourth embodiment]
Next, with reference to FIG. 7, a drive device 400 according to a fourth embodiment will be described. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 7 is a schematic perspective view of the drive device 400 including the gear shaft 436, showing the external appearance seen from the base 141 side.

駆動装置４００は、シャフトの一例として、歯車シャフト４３６を備えている。歯車シャフト４３６は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。そして、歯車シャフト４３６は、外周にギア歯が形成されている歯車部４３６Ａを有する。すなわち、歯車シャフト４３６は、略円盤状の歯車部４３６Ａを有している。なお、歯車部４３６Ａの外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きくともよく、又は第一取付部ＭＰ１の外寸よりも小さくともよい。そして、歯車部４３６Ａの外寸が第一取付部ＭＰ１の外寸よりも小さい場合には、歯車シャフト４３６が、歯車部４３６Ａから延在して第一取付部ＭＰ１に取り付けられる大径軸部を有していてもよい。 The drive device 400 includes a gear shaft 436 as an example of a shaft. Gear shaft 436 rotates as stabilizer 125 rotates. The gear shaft 436 has a gear portion 436A in which gear teeth are formed on the outer periphery. That is, the gear shaft 436 has a substantially disc-shaped gear portion 436A. Note that the outer size of the gear portion 436A may be larger than the outer size of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A, or may be smaller than the outer size of the first mounting portion MP1. When the outer dimension of the gear portion 436A is smaller than the outer dimension of the first attachment portion MP1, the gear shaft 436 extends from the gear portion 436A and has a large diameter shaft portion attached to the first attachment portion MP1. may have.

歯車部４３６Ａを貫通するネジＳ４は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、歯車シャフト４３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。また、シャフト内部が中空になるように、歯車部４３６Ａは、中央に第一開口ＯＰＢと連通している開口が形成されている。ただし、円筒部分１２５Ａの内部に通す部材がない場合には、歯車部４３６Ａに開口が形成されていなくともよい。 A screw S4 passing through the gear portion 436A is screwed into a first screw hole SH1 formed in the first mounting portion MP1 of the stabilizer 125. Thereby, the gear shaft 436 is attached to the piezoelectric motor 100. Furthermore, the gear portion 436A has an opening communicating with the first opening OPB formed in the center so that the shaft is hollow. However, if there is no member to pass through the inside of the cylindrical portion 125A, the opening may not be formed in the gear portion 436A.

［第五実施形態］
続いて、図８を参照して、第五実施形態に係る駆動装置５００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図８は、筒状シャフト５３６を備える駆動装置５００の概略斜視図であり、ベース１４１側から見た外観を示している。 [Fifth embodiment]
Next, with reference to FIG. 8, a drive device 500 according to a fifth embodiment will be described. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 8 is a schematic perspective view of the drive device 500 including the cylindrical shaft 536, showing the external appearance seen from the base 141 side.

駆動装置５００は、シャフトの一例として、筒状シャフト５３６を備えている。筒状シャフト５３６は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。そして、筒状シャフト５３６は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に取り付けられる底部を有している。また、筒状シャフト５３６は、その一端部から他端部まで連通する中空部分を有する。すなわち、筒状シャフト５３６の内部には空間が形成されている。そして、底部と反対側の端部の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きい。なお、筒状シャフト５３６の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きくともよく、又は第一取付部ＭＰ１の外寸よりも小さくともよい。 The drive device 500 includes a cylindrical shaft 536 as an example of a shaft. The cylindrical shaft 536 rotates as the stabilizer 125 rotates. The cylindrical shaft 536 has a bottom portion that is attached to the first attachment portion MP1 of the stabilizer 125. Further, the cylindrical shaft 536 has a hollow portion that communicates from one end to the other end. That is, a space is formed inside the cylindrical shaft 536. The outer size of the end opposite to the bottom is larger than the outer size of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A. Note that the outer size of the cylindrical shaft 536 may be larger than the outer size of the first mounting portion MP1 of the cylindrical portion 125A, or may be smaller than the outer size of the first mounting portion MP1.

筒状シャフト５３６の底部を貫通するネジＳ５は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、筒状シャフト５３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。また、筒状シャフト５３６の底部は、中央に第一開口ＯＰＢと連通している開口が形成されている。ただし、円筒部分１２５Ａの内部に通す部材がない場合には、筒状シャフト５３６の底部に開口が形成されていなくともよい。 A screw S5 passing through the bottom of the cylindrical shaft 536 is screwed into a first screw hole SH1 formed in the first mounting portion MP1 of the stabilizer 125. Thereby, the cylindrical shaft 536 is attached to the piezoelectric motor 100. Further, the bottom of the cylindrical shaft 536 has an opening in the center that communicates with the first opening OPB. However, if there is no member to pass through the inside of the cylindrical portion 125A, the opening may not be formed at the bottom of the cylindrical shaft 536.

［第六実施形態］
続いて、図９から１１を参照して、第六実施形態に係る駆動装置６００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図９は、遊星歯車シャフト６３６を備える駆動装置６００の概略斜視図であり、アウターカバー６３６Ａが設けられている状態を示している。また、図１０は、遊星歯車シャフト６３６（図１０）を備える駆動装置６００の概略斜視図であり、アウターカバー６３６Ａを外した状態を示している。さらに、図１１は、遊星歯車シャフト６３６を備える駆動装置６００の概略斜視図であり、遊星歯車部６３６Ｃを外した状態を示している。 [Sixth embodiment]
Next, a driving device 600 according to a sixth embodiment will be described with reference to FIGS. 9 to 11. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 9 is a schematic perspective view of the drive device 600 including the planetary gear shaft 636, and shows a state in which an outer cover 636A is provided. Moreover, FIG. 10 is a schematic perspective view of the drive device 600 provided with the planetary gear shaft 636 (FIG. 10), and shows the state with the outer cover 636A removed. Furthermore, FIG. 11 is a schematic perspective view of the drive device 600 including the planetary gear shaft 636, showing a state in which the planetary gear portion 636C is removed.

駆動装置６００は、シャフトの一例として、遊星歯車シャフト６３６を備えている。この遊星歯車シャフト６３６は、遊星歯車機構の遊星キャリア部６３６Ｅ（図１１）を有している。そして、遊星キャリア部６３６Ｅは、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に取り付けられる。また、遊星キャリア部６３６Ｅには、遊星歯車部６３６Ｃが取り付けられている。さらに、遊星歯車部６３６Ｃは、太陽歯車部６３６Ｂの外周面に形成されてるギア歯に噛み合っている。 The drive device 600 includes a planetary gear shaft 636 as an example of a shaft. This planetary gear shaft 636 has a planetary carrier portion 636E (FIG. 11) of a planetary gear mechanism. The planet carrier portion 636E is then attached to the first attachment portion MP1 of the stabilizer 125. Further, a planetary gear part 636C is attached to the planetary carrier part 636E. Further, the planetary gear portion 636C meshes with gear teeth formed on the outer peripheral surface of the sun gear portion 636B.

また、遊星歯車部６３６Ｃは、その周囲に配置されている内歯車部６３６Ｄの内周面に形成されているギア歯に噛み合っている。この内歯車部６３６Ｄは、ベース１４１に固定されている。そして、太陽歯車部６３６Ｂ、遊星歯車部６３６Ｃ、内歯車部６３６Ｄ、及び遊星キャリア部６３６Ｅは、アウターカバー６３６Ａ内に収容されている。なお、太陽歯車部６３６Ｂの先端の外寸は、円筒部分１２５Ａの第一取付部ＭＰ１の外寸よりも大きくともよく又は小さくともよい。 Further, the planetary gear portion 636C meshes with gear teeth formed on the inner peripheral surface of an internal gear portion 636D disposed around the planetary gear portion 636C. This internal gear portion 636D is fixed to the base 141. The sun gear part 636B, the planet gear part 636C, the internal gear part 636D, and the planet carrier part 636E are housed within the outer cover 636A. Note that the outer size of the tip of the sun gear portion 636B may be larger or smaller than the outer size of the first attachment portion MP1 of the cylindrical portion 125A.

圧電モータ１００から出力された回転力は、遊星キャリア部６３６Ｅから遊星歯車部６３６Ｃを介して太陽歯車部６３６Ｂに伝達される。すなわち、遊星キャリア部６３６Ｅは、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。また、遊星キャリア部６３６Ｅを貫通するネジＳ６は、スタビライザー１２５の第一取付部ＭＰ１に形成されている第一ネジ穴ＳＨ１にねじ込まれる。これにより、遊星歯車シャフト６３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。 The rotational force output from the piezoelectric motor 100 is transmitted from the planetary carrier section 636E to the sun gear section 636B via the planetary gear section 636C. That is, the planet carrier portion 636E rotates as the stabilizer 125 rotates. Further, the screw S6 passing through the planet carrier portion 636E is screwed into the first screw hole SH1 formed in the first mounting portion MP1 of the stabilizer 125. Thereby, the planetary gear shaft 636 is attached to the piezoelectric motor 100.

なお、シャフト内部が中空になるように、太陽歯車部６３６Ｂ及び遊星キャリア部６３６Ｅを貫通し且つ第一開口ＯＰＢと連通する開口が形成されていてもよい。さらに、遊星歯車シャフト６３６は、遊星歯車シャフト６３６から、圧電モータ１００の反対側の第二開口ＯＰＣを通って露出する軸部を有していてもよ。当該軸部は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。これにより、軸部から出力される回転数と、太陽歯車部６３６Ｂから出力される回転数とを異ならせることができる。 Note that an opening may be formed that passes through the sun gear part 636B and the planetary carrier part 636E and communicates with the first opening OPB so that the inside of the shaft is hollow. Further, the planetary gear shaft 636 may have an axial portion exposed from the planetary gear shaft 636 through the second opening OPC on the opposite side of the piezoelectric motor 100. The shaft portion rotates as the stabilizer 125 rotates. Thereby, the number of rotations output from the shaft portion and the number of rotations output from the sun gear portion 636B can be made different.

［第七実施形態］
続いて、図１２及び１３を参照して、第七実施形態に係る駆動装置７００について説明する。なお、圧電モータ１００の構成は上述しているため、その説明は省略する。図１２は、貫通シャフト７３６を備える駆動装置７００の概略斜視図であり、ケース１３４側から見た外観を示している。また、図１３は、貫通シャフト７３６の概略斜視図である。 [Seventh embodiment]
Next, a drive device 700 according to a seventh embodiment will be described with reference to FIGS. 12 and 13. Note that since the configuration of the piezoelectric motor 100 has been described above, its explanation will be omitted. FIG. 12 is a schematic perspective view of the drive device 700 including the through shaft 736, showing the external appearance seen from the case 134 side. Further, FIG. 13 is a schematic perspective view of the penetrating shaft 736.

駆動装置７００は、シャフトの一例として、貫通シャフト７３６を備えている。貫通シャフト７３６は、スタビライザー１２５の回転に伴って回転する。図１３に示すように、貫通シャフト７３６は、円筒部分１２５Ａに挿入される挿入部分７３６Ａと、挿入部分７３６Ａから延在して円筒部分１２５Ａから露出する露出部分７３６Ｂとを有する。挿入部分７３６Ａは略円盤状の形状を有しており、挿入部分７３６Ａの端部にねじ止めされている。そして、露出部分７３６Ｂは、第二開口ＯＰＣの周囲において、挿入部分７３６Ａの外周方向に向かって張り出したフランジ部を構成している。 The drive device 700 includes a through shaft 736 as an example of a shaft. The penetrating shaft 736 rotates as the stabilizer 125 rotates. As shown in FIG. 13, the penetrating shaft 736 has an insertion portion 736A that is inserted into the cylindrical portion 125A, and an exposed portion 736B that extends from the insertion portion 736A and is exposed from the cylindrical portion 125A. The insertion portion 736A has a substantially disk shape and is screwed to the end of the insertion portion 736A. The exposed portion 736B constitutes a flange portion extending toward the outer circumferential direction of the insertion portion 736A around the second opening OPC.

そして、図１２に示すように、露出部分７３６Ｂが、第二取付部ＭＰ２に取り付けられる。すなわち、露出部分７３６Ｂを貫通するネジＳ７は、スタビライザー１２５の第二取付部ＭＰ２に形成されている第二ネジ穴ＳＨ２にねじ込まれる。これにより、貫通シャフト７３６は、圧電モータ１００に取り付けられる。 Then, as shown in FIG. 12, the exposed portion 736B is attached to the second attachment portion MP2. That is, the screw S7 passing through the exposed portion 736B is screwed into the second screw hole SH2 formed in the second mounting portion MP2 of the stabilizer 125. Thereby, the through shaft 736 is attached to the piezoelectric motor 100.

また、貫通シャフト７３６は、第一開口ＯＰＢから突出する突出部７３６Ｃを備えている。そして、挿入部分７３６Ａ及び突出部７３６Ｃは、中空の円筒状部材である。また、挿入部分７３６Ａ及び突出部７３６Ｃの開口は、第一開口ＯＰＢと連通している。さらに、シャフト内部が中空になるように、露出部分７３６Ｂには、中央に第二開口ＯＰＣと連通している開口が形成されている。ただし、貫通シャフト７３６の内部に通す部材がない場合には、挿入部分７３６Ａ及び突出部７３６Ｃが中実であり、露出部分７３６Ｂに開口が形成されていなくともよい。なお、突出部７３６Ｃは円形の外径を有しているが、扇形、半円形、楕円形、矩形若しくは多角形、又は涙形等の他の形状を有していてもよい。 The penetrating shaft 736 also includes a protrusion 736C that protrudes from the first opening OPB. The insertion portion 736A and the protruding portion 736C are hollow cylindrical members. Further, the openings of the insertion portion 736A and the protruding portion 736C communicate with the first opening OPB. Further, an opening communicating with the second opening OPC is formed at the center of the exposed portion 736B so that the shaft is hollow. However, if there is no member to pass through the inside of the through shaft 736, the insertion portion 736A and the protrusion portion 736C may be solid, and the exposed portion 736B may not have an opening. Note that although the protruding portion 736C has a circular outer diameter, it may have other shapes such as a fan shape, a semicircle, an ellipse, a rectangle, a polygon, or a teardrop shape.

さらに、貫通シャフト７３６は、露出部分７３６Ｂから突出部７３６Ｃとは反対方向に突出する反対突出部を有していてもよい。当該反対突出部に被駆動部材を接続することによって、圧電モータ１００の両側から回転を出力できる。代替的に、貫通シャフト７３６は、突出部７３６Ｃを省略して、反対突出部のみを有していてもよい。 Furthermore, the penetrating shaft 736 may have an opposite protrusion that protrudes from the exposed portion 736B in a direction opposite to the protrusion 736C. By connecting driven members to the opposite protrusions, rotation can be output from both sides of the piezoelectric motor 100. Alternatively, the through shaft 736 may omit the protrusion 736C and have only a counterprotrusion.

以上、各実施形態を参照して本発明について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明に反しない範囲で変更された発明、及び本発明と均等な発明も本発明に含まれる。また、各実施形態及び各変形形態は、本発明に反しない範囲で適宜組み合わせることができる。 Although the present invention has been described above with reference to each embodiment, the present invention is not limited to the above embodiments. The present invention includes inventions modified within the scope of the present invention and inventions equivalent to the present invention. Moreover, each embodiment and each modification can be combined as appropriate within a range that does not contradict the present invention.

例えば、スタビライザー１２５には、基体部分１２２と皿バネ部分１２３とを有する複数のロータ１２１が固定されてもよい。この場合、圧電素子１１２と、弾性体１１３と、摺動材１１４とを有する複数のステータ１１１を、複数のロータ１２１の数に対応して設けることができる。また、スタビライザー１２５には、ロータ１２１の数に対応する数のフランジ１３６を形成できる。例えば、三つのロータ１２１を設ける場合、三つのステータ１１１を設けると共に、スタビライザー１２５には三つのフランジ１３６を形成する。なお、四つ以上又は二つのロータ１２１及びステータ１１１を設けてもよい。 For example, a plurality of rotors 121 having a base portion 122 and a disc spring portion 123 may be fixed to the stabilizer 125. In this case, a plurality of stators 111 having piezoelectric elements 112, elastic bodies 113, and sliding members 114 can be provided corresponding to the number of rotors 121. Further, the number of flanges 136 corresponding to the number of rotors 121 can be formed on the stabilizer 125. For example, when three rotors 121 are provided, three stators 111 are provided and three flanges 136 are formed on the stabilizer 125. Note that four or more rotors 121 or two rotors 121 and stators 111 may be provided.

また、スタビライザー１２５に対する皿バネ部分１２３又は各シャフトの固定は、ねじ止めには限定されず、溶接等の他の固定方法を用いることもできる。また、上記実施形態では、基体部分１２２と皿バネ部分１２３とが一体的に形成されている。ただし、基体部分１２２と皿バネ部分１２３とをそれぞれ形成した後に、両者を溶接等の方法によって一体化させてもよい。また、環状溝１２９に代えて、格子状、放射状、又は同心円状に配列されるように、複数の穴又は凹部をスタビライザー１２５に形成してもよい。さらに、多数の穴又は凹部を等間隔で形成してもよく、スタビライザー１２５内に多数の中空の空間又はリング状の空間を形成してもよい。この場合、金属材料を使用した三次元造形によってスタビライザー１２５を形成できる。 Further, fixing of the disc spring portion 123 or each shaft to the stabilizer 125 is not limited to screwing, and other fixing methods such as welding can also be used. Further, in the embodiment described above, the base portion 122 and the disc spring portion 123 are integrally formed. However, after forming the base portion 122 and the disc spring portion 123, they may be integrated by a method such as welding. Further, instead of the annular groove 129, a plurality of holes or recesses may be formed in the stabilizer 125 so as to be arranged in a grid pattern, radial pattern, or concentric pattern. Further, a large number of holes or recesses may be formed at regular intervals, and a large number of hollow spaces or ring-shaped spaces may be formed within the stabilizer 125. In this case, the stabilizer 125 can be formed by three-dimensional modeling using a metal material.

また、圧電モータ１００は、薬液を注入するための注入機器に使用できる。この注入機器は、圧電モータ１００と、圧電モータ１００によって駆動される駆動機構と、圧電モータ１００を制御する制御装置とを備えている。そして。駆動機構は、圧電モータ１００が正転するときに薬液を送り出すように駆動される。また、駆動機構及び圧電モータ１００は、注入機器の注入ヘッドのフレーム内に格納される。 Furthermore, the piezoelectric motor 100 can be used in an injection device for injecting a medical solution. This injection device includes a piezoelectric motor 100, a drive mechanism driven by the piezoelectric motor 100, and a control device that controls the piezoelectric motor 100. and. The drive mechanism is driven to send out the chemical liquid when the piezoelectric motor 100 rotates normally. The drive mechanism and piezoelectric motor 100 are also housed within the frame of the injection head of the injection device.

さらに、シャフトの形状は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、歯車シャフト４３６は外歯車を有する歯車部４３６Ａを備えているが、歯車シャフト４３６は、内歯車を有する歯車部４３６Ａを備えていてもよい。また、球状の先端部を有するシャフトが圧電モータ１００に取り付けられてもよい。例えば、球状の先端部の表面に溝をつけることによって、当該シャフトを球状歯車として機能させることができる。さらに、カム形状の先端部を有するシャフトが圧電モータ１００に取り付けられてもよい。また、遊星歯車シャフト６３６は、遊星歯車機構に代えて遊星ローラ機構を備えていてもよい。さらに、シャフトは、十字型の形状、断面漏斗状の形状、又は断面台形状の形状等のその他の形状を有していてもよい。 Furthermore, the shape of the shaft is not limited to the above embodiment. For example, although the gear shaft 436 includes a gear portion 436A having an external gear, the gear shaft 436 may include a gear portion 436A having an internal gear. Further, a shaft having a spherical tip may be attached to the piezoelectric motor 100. For example, by providing grooves on the surface of the spherical tip, the shaft can function as a spherical gear. Additionally, a shaft with a cam-shaped tip may be attached to the piezoelectric motor 100. Further, the planetary gear shaft 636 may include a planetary roller mechanism instead of the planetary gear mechanism. Furthermore, the shaft may have other shapes, such as a cross-shaped shape, a funnel-like cross-section, or a trapezoidal cross-section.

また、シャフトは、当該シャフトの回転軸に対して任意の角度で傾斜するような先端部（例えば歯車）を有していてもよい。さらに、各シャフト（例えば大径シャフト２３６等）の中空の内部には、ボールネジを配置してもよい。この場合、シャフトが回転することによって、ボールネジのネジ軸が直線移動する。さらに、スタビライザー１２５の内側にボールネジ用のネジ溝を形成してもよい。この場合、スタビライザー１２５には、ボールネジシャフトを取り付けることができる。 Further, the shaft may have a tip (for example, a gear) that is inclined at an arbitrary angle with respect to the rotation axis of the shaft. Furthermore, a ball screw may be disposed inside the hollow of each shaft (for example, the large diameter shaft 236, etc.). In this case, as the shaft rotates, the screw shaft of the ball screw moves linearly. Furthermore, a thread groove for a ball screw may be formed inside the stabilizer 125. In this case, a ball screw shaft can be attached to the stabilizer 125.

１００：圧電モータ、１１１：ステータ、１２１：ロータ、１２２：基体部分、１２３：皿バネ部分、１２５：固定部、１２５Ａ：円筒部分、２００：駆動装置、２３６：シャフト、３００：駆動装置、３３６：シャフト、４００：駆動装置、４３６：シャフト、４３６Ａ：歯車部、５００：駆動装置、５３６：シャフト、６００：駆動装置、６３６：シャフト、６３６Ｅ：遊星キャリア部、７００：駆動装置、７３６：シャフト、７３６Ａ：挿入部分、７３６Ｂ：露出部分、ＭＰ１：取付部、ＭＰ２：取付部、ＯＰＢ：開口、ＯＰＣ：開口 100: Piezoelectric motor, 111: Stator, 121: Rotor, 122: Base portion, 123: Belleville spring portion, 125: Fixed portion, 125A: Cylindrical portion, 200: Drive device, 236: Shaft, 300: Drive device, 336: Shaft, 400: Drive device, 436: Shaft, 436A: Gear section, 500: Drive device, 536: Shaft, 600: Drive device, 636: Shaft, 636E: Planet carrier section, 700: Drive device, 736: Shaft, 736A : insertion part, 736B: exposed part, MP1: mounting part, MP2: mounting part, OPB: opening, OPC: opening

Claims

A piezoelectric motor comprising a stator and a rotor,
The rotor includes an annular member having a base portion that contacts the stator and a disc spring portion, and a fixing portion to which the annular member is fixed,
A piezoelectric motor, wherein the fixed part has a hollow cylindrical part and a mounting part for mounting a shaft.

The piezoelectric motor according to claim 1, wherein the attachment portion is provided on at least one of both ends of the cylindrical portion.

Openings are formed at both ends of the cylindrical portion, respectively;
The piezoelectric motor according to claim 2, wherein the attachment portion is provided around an opening at at least one of the both ends.

A drive device including a piezoelectric motor having a stator and a rotor, and a shaft attached to the piezoelectric motor,
The rotor includes an annular member having a base portion that contacts the stator and a disc spring portion, and a fixing portion to which the annular member is fixed,
The fixing part includes a hollow cylindrical part and a mounting part for mounting the shaft.

The drive device according to claim 4, wherein an outer dimension of at least a portion of the shaft is larger than an outer dimension of the cylindrical portion.

The drive device according to claim 4, wherein an outer dimension of at least a portion of the shaft is smaller than an outer dimension of the cylindrical portion.

The drive device according to claim 4, wherein the shaft has a gear portion.

5. The drive device according to claim 4, wherein the shaft has a planetary carrier part of a planetary gear mechanism.

The shaft has an insertion portion inserted into the cylindrical portion, and an exposed portion extending from the insertion portion and exposed from the cylindrical portion,
The drive device according to claim 4, wherein the exposed portion is attached to the attachment portion.

The drive device according to any one of claims 4 to 9, wherein the shaft has a hollow portion that communicates from one end to the other end.