JP2024007483A - Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern - Google Patents
Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024007483A JP2024007483A JP2023107417A JP2023107417A JP2024007483A JP 2024007483 A JP2024007483 A JP 2024007483A JP 2023107417 A JP2023107417 A JP 2023107417A JP 2023107417 A JP2023107417 A JP 2023107417A JP 2024007483 A JP2024007483 A JP 2024007483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- carbon atoms
- hydrocarbon group
- formula
- contained
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 158
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 158
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 113
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 title abstract description 403
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 title abstract 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 356
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims abstract description 161
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 151
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims abstract 67
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 1220
- -1 alicyclic hydrocarbon Chemical class 0.000 claims description 915
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 352
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 218
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 172
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims description 162
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 159
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 156
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 150
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 120
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 106
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 95
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 86
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 80
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 80
- 125000005196 alkyl carbonyloxy group Chemical group 0.000 claims description 71
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 claims description 68
- 125000004448 alkyl carbonyl group Chemical group 0.000 claims description 63
- 150000001734 carboxylic acid salts Chemical class 0.000 claims description 55
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 claims description 50
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 49
- 125000004029 hydroxymethyl group Chemical group [H]OC([H])([H])* 0.000 claims description 47
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 46
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 43
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 39
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 claims description 37
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 34
- 125000001188 haloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 34
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 34
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims description 30
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 28
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 24
- 125000005083 alkoxyalkoxy group Chemical group 0.000 claims description 22
- 125000004183 alkoxy alkyl group Chemical group 0.000 claims description 19
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 17
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 16
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 12
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 4
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 504
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 64
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 60
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 60
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 58
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 57
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 53
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 46
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical group 0.000 description 43
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 42
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 37
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 34
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 30
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 29
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 28
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 27
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 27
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 26
- 125000002868 norbornyl group Chemical group C12(CCC(CC1)C2)* 0.000 description 25
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 24
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 22
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 22
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 21
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 21
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 20
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 20
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 20
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 20
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 20
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 17
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 16
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 16
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 16
- 125000003258 trimethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 16
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 13
- 125000005194 alkoxycarbonyloxy group Chemical group 0.000 description 13
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 13
- 125000000000 cycloalkoxy group Chemical group 0.000 description 13
- 125000005112 cycloalkylalkoxy group Chemical group 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 13
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 13
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 12
- 125000004063 butyryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 12
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 12
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 12
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 12
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 12
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 12
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 12
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 11
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 150000008053 sultones Chemical group 0.000 description 11
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 10
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 10
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 10
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 10
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 10
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 10
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 10
- 125000005003 perfluorobutyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 10
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 description 10
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 10
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 10
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 9
- 125000006612 decyloxy group Chemical group 0.000 description 9
- 125000001160 methoxycarbonyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC(*)=O 0.000 description 9
- 125000005447 octyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 9
- 125000005008 perfluoropentyl group Chemical group FC(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 9
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 9
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 125000003754 ethoxycarbonyl group Chemical group C(=O)(OCC)* 0.000 description 8
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 8
- 125000005004 perfluoroethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 8
- 125000005009 perfluoropropyl group Chemical group FC(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 8
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 8
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000004744 butyloxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 7
- 125000005708 carbonyloxy group Chemical group [*:2]OC([*:1])=O 0.000 description 7
- 125000002592 cumenyl group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)C(C)C 0.000 description 7
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 7
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 7
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 7
- 125000005005 perfluorohexyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 7
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 7
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 6
- 125000000094 2-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000000590 4-methylphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N Methyl tert-butyl ether Chemical compound COC(C)(C)C BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 6
- 125000004210 cyclohexylmethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 6
- 125000001028 difluoromethyl group Chemical group [H]C(F)(F)* 0.000 description 6
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000006611 nonyloxy group Chemical group 0.000 description 6
- NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N silver oxide Chemical compound [O-2].[Ag+].[Ag+] NDVLTYZPCACLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 6
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical group O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N Adamantane Natural products C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000005074 adamantylmethyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 5
- 125000006125 ethylsulfonyl group Chemical group 0.000 description 5
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 150000002596 lactones Chemical group 0.000 description 5
- 125000004170 methylsulfonyl group Chemical group [H]C([H])([H])S(*)(=O)=O 0.000 description 5
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 5
- 150000002891 organic anions Chemical class 0.000 description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 5
- 125000001820 oxy group Chemical group [*:1]O[*:2] 0.000 description 5
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 5
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 5
- 125000004149 thio group Chemical group *S* 0.000 description 5
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 5
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 4
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 description 4
- 125000001231 benzoyloxy group Chemical group C(C1=CC=CC=C1)(=O)O* 0.000 description 4
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 4
- 125000000062 cyclohexylmethoxy group Chemical group [H]C([H])(O*)C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 4
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 4
- 125000004705 ethylthio group Chemical group C(C)S* 0.000 description 4
- 125000004216 fluoromethyl group Chemical group [H]C([H])(F)* 0.000 description 4
- 125000000555 isopropenyl group Chemical group [H]\C([H])=C(\*)C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- 125000006357 methylene carbonyl group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([*:2])=O 0.000 description 4
- 125000006366 methylene oxy carbonyl group Chemical group [H]C([H])([*:1])OC([*:2])=O 0.000 description 4
- 125000005699 methyleneoxy group Chemical group [H]C([H])([*:1])O[*:2] 0.000 description 4
- 125000002816 methylsulfanyl group Chemical group [H]C([H])([H])S[*] 0.000 description 4
- 125000004351 phenylcyclohexyl group Chemical group C1(=CC=CC=C1)C1(CCCCC1)* 0.000 description 4
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000004368 propenyl group Chemical group C(=CC)* 0.000 description 4
- 125000001273 sulfonato group Chemical group [O-]S(*)(=O)=O 0.000 description 4
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 4
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 2,6-di(propan-2-yl)aniline Chemical compound CC(C)C1=CC=CC(C(C)C)=C1N WKBALTUBRZPIPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical group C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical group C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 3
- 125000004653 anthracenylene group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004350 aryl cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 3
- ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N binaphthyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C1=CC=CC2=CC=CC=C12 ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 3
- 125000005997 bromomethyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004218 chloromethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)* 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 125000001316 cycloalkyl alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical group O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000006547 cyclononyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- 125000004438 haloalkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004993 haloalkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004692 haloalkylcarbonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005203 haloalkylcarbonyloxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005446 heptyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 125000006038 hexenyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 3
- 125000002960 margaryl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000004998 naphthylethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)CC* 0.000 description 3
- 125000004923 naphthylmethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C* 0.000 description 3
- 125000005187 nonenyl group Chemical group C(=CCCCCCCC)* 0.000 description 3
- 125000004365 octenyl group Chemical group C(=CCCCCCC)* 0.000 description 3
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002958 pentadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002255 pentenyl group Chemical group C(=CCCC)* 0.000 description 3
- 125000005562 phenanthrylene group Chemical group 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004344 phenylpropyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005767 propoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[#8]C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000005920 sec-butoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 229910001923 silver oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 3
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 1-naphthylamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1 RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 4-methylimidazole Chemical compound CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC=C1 FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N N,N-dimethylaniline Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1 JLTDJTHDQAWBAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N N-methylaniline Chemical compound CNC1=CC=CC=C1 AFBPFSWMIHJQDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004702 alkoxy alkyl carbonyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005119 alkyl cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 2
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 2
- 150000001793 charged compounds Chemical class 0.000 description 2
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 2
- 125000004186 cyclopropylmethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C1([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- JQVDAXLFBXTEQA-UHFFFAOYSA-N dibutylamine Chemical compound CCCCNCCCC JQVDAXLFBXTEQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical class OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N diphenylamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1NC1=CC=CC=C1 DMBHHRLKUKUOEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium Chemical class C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 2
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 description 2
- 125000006343 heptafluoro propyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical group 0.000 description 2
- 238000004811 liquid chromatography Methods 0.000 description 2
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 2
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 2
- 125000005246 nonafluorobutyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 2
- RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N ortho-methyl aniline Natural products CC1=CC=CC=C1N RNVCVTLRINQCPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N p-toluidine Chemical compound CC1=CC=C(N)C=C1 RZXMPPFPUUCRFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000006340 pentafluoro ethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 2
- 125000005460 perfluorocycloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005459 perfluorocyclohexyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005804 perfluoroheptyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 2
- 125000005007 perfluorooctyl group Chemical group FC(C(C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N putrescine Chemical compound NCCCCN KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000005931 tert-butyloxycarbonyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(OC(*)=O)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- OQZAQBGJENJMHT-UHFFFAOYSA-N 1,3-dibromo-5-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC(Br)=CC(Br)=C1 OQZAQBGJENJMHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBYHSSAVUBIJMK-UHFFFAOYSA-N 1,4-oxathiane Chemical group C1CSCCO1 JBYHSSAVUBIJMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBFHILNBYXCJKD-UHFFFAOYSA-N 1-(6-methylpyridin-3-yl)-2-(4-methylsulfonylphenyl)ethanone Chemical compound C1=NC(C)=CC=C1C(=O)CC1=CC=C(S(C)(=O)=O)C=C1 YBFHILNBYXCJKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 1-benzofuran Chemical group C1=CC=C2OC=CC2=C1 IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical group C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMVXCPBXGZKUPN-UHFFFAOYSA-N 1-hexanamine Chemical compound CCCCCCN BMVXCPBXGZKUPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- 125000004345 1-phenyl-2-propyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004343 1-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- KXZQYLBVMZGIKC-UHFFFAOYSA-N 1-pyridin-2-yl-n-(pyridin-2-ylmethyl)methanamine Chemical compound C=1C=CC=NC=1CNCC1=CC=CC=N1 KXZQYLBVMZGIKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OLPZCIDHOZATMA-UHFFFAOYSA-N 2,2-dioxooxathiiran-3-one Chemical compound O=C1OS1(=O)=O OLPZCIDHOZATMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XGLVDUUYFKXKPL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)-n,n-bis[2-(2-methoxyethoxy)ethyl]ethanamine Chemical compound COCCOCCN(CCOCCOC)CCOCCOC XGLVDUUYFKXKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBIBUCGCVLAPQG-UHFFFAOYSA-N 2-(2-pyridin-2-ylethyl)pyridine Chemical compound C=1C=CC=NC=1CCC1=CC=CC=N1 WBIBUCGCVLAPQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHKOAJUTRVTYSW-UHFFFAOYSA-N 2-[(2-aminophenyl)methyl]aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1CC1=CC=CC=C1N OHKOAJUTRVTYSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HKEOCEQLCZEBMK-BQYQJAHWSA-N 2-[(e)-2-pyridin-2-ylethenyl]pyridine Chemical compound C=1C=CC=NC=1/C=C/C1=CC=CC=N1 HKEOCEQLCZEBMK-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- ZWRWGKGPUFESNE-UHFFFAOYSA-M 2-carboxyphenolate;tetrabutylazanium Chemical compound OC1=CC=CC=C1C([O-])=O.CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC ZWRWGKGPUFESNE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 2-hydroxyethyl(trimethyl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CCO KIZQNNOULOCVDM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000001622 2-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C(*)C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 1
- JBIJLHTVPXGSAM-UHFFFAOYSA-N 2-naphthylamine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N)=CC=C21 JBIJLHTVPXGSAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=CC1=CC=CC=C1 FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRKPCXYPIHAOFI-UHFFFAOYSA-N 3-methylaniline Chemical compound [CH2]C1=CC=CC(N)=C1 FRKPCXYPIHAOFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WECDUOXQLAIPQW-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Methylene bis(2-methylaniline) Chemical compound C1=C(N)C(C)=CC(CC=2C=C(C)C(N)=CC=2)=C1 WECDUOXQLAIPQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHBAPGWWRFVTFS-UHFFFAOYSA-N 4,4'-dipyridyl disulfide Chemical compound C=1C=NC=CC=1SSC1=CC=NC=C1 UHBAPGWWRFVTFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGFJDEHFNMWYBD-UHFFFAOYSA-N 4-(2-pyridin-4-ylethenyl)pyridine Chemical compound C=1C=NC=CC=1C=CC1=CC=NC=C1 MGFJDEHFNMWYBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQRKTVIJNCVZAX-UHFFFAOYSA-N 4-(2-pyridin-4-ylethyl)pyridine Chemical compound C=1C=NC=CC=1CCC1=CC=NC=C1 DQRKTVIJNCVZAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGNCVVRIKNGJHQ-UHFFFAOYSA-N 4-(3-pyridin-4-ylpropyl)pyridine Chemical compound C=1C=NC=CC=1CCCC1=CC=NC=C1 OGNCVVRIKNGJHQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBEVWPCAHIAUOD-UHFFFAOYSA-N 4-[(4-amino-3-ethylphenyl)methyl]-2-ethylaniline Chemical compound C1=C(N)C(CC)=CC(CC=2C=C(CC)C(N)=CC=2)=C1 CBEVWPCAHIAUOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHNUHZHQLCGZDA-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-aminophenyl)ethyl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1CCC1=CC=C(N)C=C1 UHNUHZHQLCGZDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004860 4-ethylphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004861 4-isopropyl phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004172 4-methoxyphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(OC([H])([H])[H])=C([H])C([H])=C1* 0.000 description 1
- TYMLOMAKGOJONV-UHFFFAOYSA-N 4-nitroaniline Chemical compound NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 TYMLOMAKGOJONV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XGJOFCCBFCHEHK-UHFFFAOYSA-N 4-pyridin-4-ylsulfanylpyridine Chemical compound C=1C=NC=CC=1SC1=CC=NC=C1 XGJOFCCBFCHEHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 5-valerolactone Chemical group O=C1CCCCO1 OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N Bipyridyl Chemical compound N1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 ROFVEXUMMXZLPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N Decylamine Chemical compound CCCCCCCCCCN MHZGKXUYDGKKIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJYIASZWHGOTOU-UHFFFAOYSA-N Heptylamine Chemical compound CCCCCCCN WJYIASZWHGOTOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSCCALZHGUWNJW-UHFFFAOYSA-N N-Cyclohexyl-N-methylcyclohexanamine Chemical compound C1CCCCC1N(C)C1CCCCC1 GSCCALZHGUWNJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJLYANLCNIKXMG-UHFFFAOYSA-N N-Methyldioctylamine Chemical compound CCCCCCCCN(C)CCCCCCCC YJLYANLCNIKXMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N Thiane Chemical group C1CCSCC1 YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002008 alkyl bromide group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001930 alkyl chloride group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002538 alkyl iodide group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 1
- VEZXCJBBBCKRPI-UHFFFAOYSA-N beta-propiolactone Chemical group O=C1CCO1 VEZXCJBBBCKRPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940043232 butyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000000480 butynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- FGNLEIGUMSBZQP-UHFFFAOYSA-N cadaverine dihydrochloride Chemical compound Cl.Cl.NCCCCCN FGNLEIGUMSBZQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 125000006364 carbonyl oxy methylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])OC([*:1])=O 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 125000004850 cyclobutylmethyl group Chemical group C1(CCC1)C* 0.000 description 1
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 1
- CSYSRRCOBYEGPI-UHFFFAOYSA-N diazo(sulfonyl)methane Chemical compound [N-]=[N+]=C=S(=O)=O CSYSRRCOBYEGPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N diazonaphthoquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=[N]=[N])C=CC2=C1 URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- QVQGTNFYPJQJNM-UHFFFAOYSA-N dicyclohexylmethanamine Chemical compound C1CCCCC1C(N)C1CCCCC1 QVQGTNFYPJQJNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- LAWOZCWGWDVVSG-UHFFFAOYSA-N dioctylamine Chemical compound CCCCCCCCNCCCCCCCC LAWOZCWGWDVVSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPOWUYJWCJRLEE-UHFFFAOYSA-N dipyridin-2-ylmethanone Chemical compound C=1C=CC=NC=1C(=O)C1=CC=CC=N1 QPOWUYJWCJRLEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 239000003480 eluent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005745 ethoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000003682 fluorination reaction Methods 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000005980 hexynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 229940102253 isopropanolamine Drugs 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- 125000000040 m-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N meta-toluidine Natural products CC1=CC=CC(N)=C1 JJYPMNFTHPTTDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQJAONQEOXOVNR-UHFFFAOYSA-N n,n-di(nonyl)nonan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCN(CCCCCCCCC)CCCCCCCCC ZQJAONQEOXOVNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLZGJKHEVKJLLS-UHFFFAOYSA-N n,n-diheptylheptan-1-amine Chemical compound CCCCCCCN(CCCCCCC)CCCCCCC CLZGJKHEVKJLLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIAIBWNEUYXDNL-UHFFFAOYSA-N n,n-dihexylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCN(CCCCCC)CCCCCC DIAIBWNEUYXDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTAZYLNFDRKIHJ-UHFFFAOYSA-N n,n-dioctyloctan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN(CCCCCCCC)CCCCCCCC XTAZYLNFDRKIHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N n,n-dipentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCN(CCCCC)CCCCC OOHAUGDGCWURIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBDGYADAMYMJNO-UHFFFAOYSA-N n-butyl-n-ethylbutan-1-amine Chemical compound CCCCN(CC)CCCC BBDGYADAMYMJNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTHFROHDIWGWFD-UHFFFAOYSA-N n-butyl-n-methylbutan-1-amine Chemical compound CCCCN(C)CCCC MTHFROHDIWGWFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGNSGUIRANPPSW-UHFFFAOYSA-N n-decyl-n-ethyldecan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCCN(CC)CCCCCCCCCC YGNSGUIRANPPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATBNMWWDBWBAHM-UHFFFAOYSA-N n-decyl-n-methyldecan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCCN(C)CCCCCCCCCC ATBNMWWDBWBAHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMTCPFCMAHMEMT-UHFFFAOYSA-N n-decyldecan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCCNCCCCCCCCCC GMTCPFCMAHMEMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZAHTXZMBSBSFM-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-heptylheptan-1-amine Chemical compound CCCCCCCN(CC)CCCCCCC PZAHTXZMBSBSFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBZSKMOKRUBBGC-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-hexylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCN(CC)CCCCCC ZBZSKMOKRUBBGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GESMBXUFPAHBOJ-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-nonylnonan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCN(CC)CCCCCCCCC GESMBXUFPAHBOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYSDFVPIAZIJAW-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-octyloctan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN(CC)CCCCCCCC KYSDFVPIAZIJAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXAVTVNEDPAYJP-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-pentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCN(CC)CCCCC PXAVTVNEDPAYJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003136 n-heptyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- BXYHQXUPLKMYDE-UHFFFAOYSA-N n-heptyl-n-methylheptan-1-amine Chemical compound CCCCCCCN(C)CCCCCCC BXYHQXUPLKMYDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJWMENBYMFZACG-UHFFFAOYSA-N n-heptylheptan-1-amine Chemical compound CCCCCCCNCCCCCCC NJWMENBYMFZACG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POMGZMHIXYRARC-UHFFFAOYSA-N n-hexyl-n-methylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCN(C)CCCCCC POMGZMHIXYRARC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXSXRABJBXYMFT-UHFFFAOYSA-N n-hexylhexan-1-amine Chemical compound CCCCCCNCCCCCC PXSXRABJBXYMFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IITLRKXIQJEWFI-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-nonylnonan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCN(C)CCCCCCCCC IITLRKXIQJEWFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJRDPNRWFSHHKJ-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-pentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCN(C)CCCCC JJRDPNRWFSHHKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFHKEJIIHDNPQE-UHFFFAOYSA-N n-nonylnonan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCNCCCCCCCCC MFHKEJIIHDNPQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N n-pentylpentan-1-amine Chemical compound CCCCCNCCCCC JACMPVXHEARCBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMMPCBAWTWYFLR-UHFFFAOYSA-N n-pyridin-2-ylpyridin-2-amine Chemical compound C=1C=CC=NC=1NC1=CC=CC=N1 HMMPCBAWTWYFLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- FJDUDHYHRVPMJZ-UHFFFAOYSA-N nonan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCN FJDUDHYHRVPMJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005071 nonynyl group Chemical group C(#CCCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000003261 o-tolyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(*)=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N octan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN IOQPZZOEVPZRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005069 octynyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C#C* 0.000 description 1
- 125000005981 pentynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000001325 propanoyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002568 propynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])[H] 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003871 sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- CPOUUWYFNYIYLQ-UHFFFAOYSA-M tetra(propan-2-yl)azanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC(C)[N+](C(C)C)(C(C)C)C(C)C CPOUUWYFNYIYLQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N tetrahydrothiophene Chemical group C1CCSC1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCFYRBLFVWYBIJ-UHFFFAOYSA-M tetraoctylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CCCCCCCC[N+](CCCCCCCC)(CCCCCCCC)CCCCCCCC DCFYRBLFVWYBIJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-O thiolan-1-ium Chemical group C1CC[SH+]C1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ABVVEAHYODGCLZ-UHFFFAOYSA-N tridecan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCN ABVVEAHYODGCLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- HADKRTWCOYPCPH-UHFFFAOYSA-M trimethylphenylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C1=CC=CC=C1 HADKRTWCOYPCPH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002221 trityl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1C([*])(C1=C(C(=C(C(=C1[H])[H])[H])[H])[H])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
Description
本発明は、カルボン酸塩、カルボン酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。 The present invention relates to a carboxylic acid salt, a carboxylic acid generator, a resin, a resist composition, and a method for producing a resist pattern.
特許文献１には、下記式で表されるカルボン酸塩に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物が記載されている。
本発明は、上記カルボン酸塩に由来する構造単位を含む樹脂を含有するレジスト組成物によって形成されたレジストパターンよりも、パターン倒れ耐性（ＰＣＭ）が良好なレジストパターンを形成するカルボン酸塩を提供する。 The present invention provides a carboxylate salt that forms a resist pattern with better pattern collapse resistance (PCM) than a resist pattern formed with a resist composition containing a resin containing a structural unit derived from the carboxylate salt. do.
本発明は、以下の発明を含む。
［１］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩又は式（ＩＰ）で表される構造単位を含有するカルボン酸発生剤。
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０を表す。
Ｌ１は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｒ１０は、１以上の置換基を有する炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表し、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１又は－Ｉ基である。
Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｘ０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～７２の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊及び＊＊は、結合部位を表し、＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
［２］Ａ１が、＊＊＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊＊＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、
Ａ２が、＊＊＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊＊＊－Ｌ０２－Ｘ０２－であり、
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表し、
Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す［１］に記載のカルボン酸発生剤。
［３］Ｘ０１及びＸ０２が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［２］に記載のカルボン酸発生剤。
［４］Ｌ０１及びＬ０２が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［２］又は［３］に記載のカルボン酸発生剤。
［５］Ｒ１０が、－ＯＲ１１基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｒ１１が、酸不安定基であり、Ｒ１１の酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である［１］～［４］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合部位を表す。］
［６］Ｒ１０が、１以上の置換基を有するアダマンチル基であり、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１（Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。）又は－Ｉ基である［１］～［５］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。
［７］Ｘ０が、単結合であるか、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を含む［１］～［６］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。
［８］Ｘ０が、単結合であるか、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、又は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該芳香族炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）を含む［７］に記載のカルボン酸発生剤。
［９］Ｘ０が、炭素数１～６のアルカンジイル基、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、フェニレン基、炭素数１～６のアルカンジイル基と、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基もしくはフェニレン基とを組み合わせた基、又は、アダマンタンジイル基と炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基とを組み合わせた基（該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基及び該ノルボルナンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基、該ノルボルナンジイル基、該アダマンタンラクトンジイル基、該ノルボルナンラクトンジイル基及び該フェニレン基に含まれる１以上の水素原子は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基に置換されていてもよい。）を含む［７］に記載のカルボン酸発生剤。
［１０］Ｘ１０が、単結合又は式（Ｘ１０－１）～式（Ｘ１０－１０）のいずれかで表される基である［１］～［９］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］
［１１］Ｘ１０が、単結合又は式（Ｘ１０－１）、式（Ｘ１０－５’）及び式（Ｘ１０－６’）のいずれかで表される基である［１０］に記載のカルボン酸発生剤。
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。］ ［１２］Ｌ１０が、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である［１］～［１１］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤。
［１３］［１］～［１２］のいずれかに記載のカルボン酸発生剤を含有するレジスト組成物。
［１４］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩と、
酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂とを含有する［１３］に記載のレジスト組成物。
［１５］式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂を含有し、
式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂が、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）をさらに含む［１３］又は［１４］に記載のレジスト組成物。
［１６］式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩をさらに含有する［１５］に記載のレジスト組成物。
［１７］酸不安定基を有する構造単位（ａ１）が、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む［１４］～［１６］のいずれかに記載のレジスト組成物。
Ｌａ０１、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒａ０１、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒａ０２、Ｒａ０３及びＲａ０４は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
［１８］酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂が、式（ａ２－Ａ）で表される構造単位をさらに含む［１４］～［１７］のいずれかに記載のレジスト組成物。
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［１９］式（Ｂ１）で表される塩又は式（Ｂ２）で表される塩をさらに含有する［１３］～［１８］のいずれかに記載のレジスト組成物。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
ｍ２１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ２１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｒ21は、炭素数３～１８の環状炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ2２は、ハロゲン原子又は炭素数１～６のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ｍ２２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２２が２以上のとき、複数のＲ2２は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
［２０］（１）［１３］～［１９］のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
［２１］上述した式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩。
［２２］Ａ１が、＊＊＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊＊＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、
Ａ２が、＊＊＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊＊＊－Ｌ０２－Ｘ０２－であり、
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表し、
Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す［２１］に記載のカルボン酸塩。
［２３］Ｘ０１及びＸ０２が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［２２］に記載のカルボン酸塩。
［２４］Ｌ０１及びＬ０２が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［２２］又は［２３］に記載のカルボン酸塩。
［２５］Ｒ１０が、－ＯＲ１１基を有する脂環式炭化水素基であり、Ｒ１１が、酸不安定基であり、Ｒ１１の酸不安定基が、上述した式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である［２１］～［２４］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［２６］Ｒ１０が、１以上の置換基を有するアダマンチル基であり、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１（Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。）又は－Ｉ基である［２１］～［２５］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［２７］Ｘ０が、単結合であるか、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を含む［２１］～［２６］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［２８］Ｘ０が、単結合であるか、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、又は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該芳香族炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）を含む［２７］に記載のカルボン酸塩。
［２９］Ｘ０が、炭素数１～６のアルカンジイル基、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、フェニレン基、炭素数１～６のアルカンジイル基と、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基もしくはフェニレン基とを組み合わせた基、又は、アダマンタンジイル基と炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基とを組み合わせた基（該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基及び該ノルボルナンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基、該ノルボルナンジイル基、該アダマンタンラクトンジイル基、該ノルボルナンラクトンジイル基及び該フェニレン基に含まれる１以上の水素原子は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基に置換されていてもよい。）を含む［２７］に記載のカルボン酸塩。
［３０］Ｘ１０が、単結合又は上述した式（Ｘ１０－１）～式（Ｘ１０－１０）のいずれかで表される基である［２１］～［２９］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［３１］Ｘ１０が、単結合又は上述した式（Ｘ１０－１）、式（Ｘ１０－５’）及び式（Ｘ１０－６’）のいずれかで表される基である［３０］に記載のカルボン酸塩。
［３２］Ｌ１０が、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である［２１］～［３１］のいずれかに記載のカルボン酸塩。
［３３］上述した式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂。
The present invention includes the following inventions.
[1] A carboxylic acid generator containing a carboxylic acid salt represented by formula (I) or a structural unit represented by formula (IP).
R 1 and R 2 each independently represent -O-R 10 , -O-CO-R 10 , -O-CO-O-R 10 or -O-L 1 -CO-O-R 10 .
L 1 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R 10 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 or -I group.
R 11 represents a hydrogen atom or an acid-labile group.
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group has a substituent. -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is , -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
m1 represents any integer from 1 to 5, and when m1 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m2 represents any integer from 0 to 5, and when m2 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m4 represents any integer from 0 to 4, and when m4 is 2 or more, a plurality of R 4s may be the same or different.
m5 represents any integer from 0 to 4, and when m5 is 2 or more, a plurality of R 5 may be the same or different.
m7 represents any integer from 0 to 4, and when m7 is 2 or more, a plurality of R 7s may be the same or different.
m8 represents any integer from 0 to 5, and when m8 is 2 or more, a plurality of R 8s may be the same or different from each other.
However, 1≦m1+m7≦5 and 0≦m2+m8≦5.
X 0 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 - may be substituted.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group which may have a substituent.
Ax represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Ay represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
* and ** represent a bonding site, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
L 10 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- may be substituted. ]
[2] A 1 is ****-X 01 -L 01 - or ****-L 01 -X 01 -,
A 2 is ****-X 02 -L 02 - or ****-L 02 -X 02 -,
X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH contained in the hydrocarbon group 2 - may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
*** represents the bonding site with the benzene ring to which R 1 or R 2 is bonded. The carboxylic acid generator according to [1].
[3] The carboxylic acid generator according to [2], wherein X 01 and X 02 are each independently -O- or -S-.
[4] L 01 and L 02 are each independently a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group is replaced with -O- or -CO-) ) The carboxylic acid generator according to [2] or [3].
[5] R 10 is an alicyclic hydrocarbon group having -OR 11 group, R 11 is an acid-labile group, and the acid-labile group of R 11 is represented by formula (1a) The carboxylic acid generator according to any one of [1] to [4], which is a group or a group represented by formula (2a).
naa represents 0 or 1.
* represents a binding site. ]
X a represents an oxygen atom or a sulfur atom.
* represents a binding site. ]
[6] R 10 is an adamantyl group having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 (R 11 represents a hydrogen atom or an acid labile group) or -I The carboxylic acid generator according to any one of [1] to [5], which is a group.
[7] X 0 is a single bond or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent (-CH 2 - contained in the aliphatic hydrocarbon group is -O -, -S-, -CO- or -SO 2 -) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent [1] to [6] ] The carboxylic acid generator according to any one of the above.
[8] X 0 is a single bond, or a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms which may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group ( -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group. an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms which may have (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or -SO 2 ), a group that combines an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (contained in the alicyclic hydrocarbon group), -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is -O- or -CO The alicyclic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group. ), a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a hydroxy group or a hydroxymethyl group, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms A group that combines a hydrogen group and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, The aromatic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group. Acid generator.
[9] X 0 is an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, an adamantanelactonediyl group, a norbornanelactonediyl group, a phenylene group, carbon A group combining a number 1 to 6 alkanediyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, or a phenylene group, or an adamantanediyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms. A group combining an alkanediyl group (-CH 2 - contained in the alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group, and the norbornanediyl group may be replaced with -O- or -CO-) Often, one or more hydrogen atoms contained in the alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group, the norbornanediyl group, the adamantanelactonediyl group, the norbornanelactonediyl group, and the phenylene group are fluorine atoms. , which may be substituted with a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group.
[10] The carboxylic acid according to any one of [1] to [9], wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 10 -1) to (X 10 -10) Generating agent.
*, ** are bonding sites, and * represents the bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4. ]
[11] As described in [10], wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formula (X 10 -1), formula (X 10 -5') and formula (X 10 -6') carboxylic acid generator.
*, ** are bonding sites, and * represents the bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded. ] [12] L 10 is a single bond, an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-). ), a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is -O-, - S-, -SO 2 - or -CO-) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, The cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, and the -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.) The carboxylic acid generator according to any one of [1] to [11].
[13] A resist composition containing the carboxylic acid generator according to any one of [1] to [12].
[14] A carboxylic acid salt represented by formula (I),
The resist composition according to [13], further comprising a resin containing a structural unit (a1) having an acid-labile group.
[15] Contains a resin containing a structural unit represented by formula (IP),
The resist composition according to [13] or [14], wherein the resin containing the structural unit represented by formula (IP) further contains a structural unit (a1) having an acid-labile group.
[16] The resist composition according to [15], further containing a carboxylic acid salt represented by formula (I).
[17] The structural unit (a1) having an acid-labile group is a structural unit represented by formula (a1-0), a structural unit represented by formula (a1-1), and a structural unit represented by formula (a1-2). The resist composition according to any one of [14] to [16], comprising at least one structural unit selected from the group consisting of structural units.
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent -O- or *-O-(CH 2 ) k1 -CO-O-, k1 represents any integer from 1 to 7, and * Represents a binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or any of these. Represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these.
m1' represents any integer from 0 to 14.
n1 represents any integer from 0 to 10.
n1' represents any integer from 0 to 3. ]
[18] The resist composition according to any one of [14] to [17], wherein the resin containing the structural unit (a1) having an acid-labile group further contains a structural unit represented by formula (a2-A). .
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may contain a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, a carbon number Represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 --(A a52 --X a52 ) nb --, and * represents a bonding site with the carbon atom to which --R a50 is bonded.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1.
mb represents any integer from 0 to 4. When mb is any integer of 2 or more, a plurality of R a51 's may be the same or different. ]
[19] The resist composition according to any one of [13] to [18], further containing a salt represented by formula (B1) or a salt represented by formula (B2).
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. , the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y represents a methyl group which may have a substituent or a cyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is , -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
Z + represents an organic cation. ]
m21 represents any integer from 1 to 5, and when m21 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
R 21 represents a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms, including a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
R 22 represents a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-.
m22 represents any integer from 0 to 4, and when m22 is 2 or more, a plurality of R 22s may be the same or different.
Z + represents an organic cation. ]
[20] (1) Applying the resist composition according to any one of [13] to [19] onto a substrate,
(2) drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer to light;
(4) a step of heating the composition layer after exposure; and (5) a step of developing the composition layer after heating.
A method for manufacturing a resist pattern including:
[21] A carboxylic acid salt represented by the above formula (I).
[22] A 1 is ****-X 01 -L 01 - or ****-L 01 -X 01 -,
A 2 is ****-X 02 -L 02 - or ****-L 02 -X 02 -,
X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH contained in the hydrocarbon group 2 - may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
*** represents the bonding site with the benzene ring to which R 1 or R 2 is bonded; the carboxylic acid salt according to [21].
[23] The carboxylic acid salt according to [22], wherein X 01 and X 02 are each independently -O- or -S-.
[24] L 01 and L 02 are each independently a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group is replaced with -O- or -CO-) ) is the carboxylic acid salt according to [22] or [23].
[25] R 10 is an alicyclic hydrocarbon group having -OR 11 groups, R 11 is an acid-labile group, and the acid-labile group of R 11 is represented by the above formula (1a). or a group represented by formula (2a), the carboxylic acid salt according to any one of [21] to [24].
[26] R 10 is an adamantyl group having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 (R 11 represents a hydrogen atom or an acid labile group) or -I The carboxylic acid salt according to any one of [21] to [25], which is a group.
[27] X 0 is a single bond or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent (-CH 2 - contained in the aliphatic hydrocarbon group is -O -, -S-, -CO- or -SO 2 -) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent [21] to [26] ] The carboxylic acid salt according to any one of.
[28] X 0 is a single bond, or a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms which may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group ( -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group. an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms which may have (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or -SO 2 ), a group that combines an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (contained in the alicyclic hydrocarbon group), -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is -O- or -CO The alicyclic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group. ), a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a hydroxy group or a hydroxymethyl group, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms A group that combines a hydrogen group and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, The aromatic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group. acid salt.
[ 29 ] A group combining a number 1 to 6 alkanediyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, or a phenylene group, or an adamantanediyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms. A group combining an alkanediyl group (-CH 2 - contained in the alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group, and the norbornanediyl group may be replaced with -O- or -CO-) Often, one or more hydrogen atoms contained in the alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group, the norbornanediyl group, the adamantanelactonediyl group, the norbornanelactonediyl group, and the phenylene group are fluorine atoms. , which may be substituted with a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group.
[30] The compound according to any one of [21] to [29], wherein X 10 is a single bond or a group represented by any of the above formulas (X 10 -1) to (X 10 -10) Carboxylate.
[31] X 10 is a single bond or a group represented by any of the above formulas (X 10 -1), (X 10 -5') and (X 10 -6') [30] carboxylic acid salts described in .
[32] L 10 is a single bond, an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-). , a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is -O-, -S -, -SO 2 - or -CO-) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, the cyclic hydrocarbon group may be substituted with The hydrocarbon group may have a substituent, and the -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, and the -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.) The carboxylic acid salt according to any one of [21] to [31].
[33] A resin containing a structural unit represented by the above formula (IP).
本発明のカルボン酸塩を使用したレジスト組成物を用いることにより、良好なパターン倒れ耐性（ＰＣＭ）でレジストパターンを製造することができる。 By using a resist composition using the carboxylate salt of the present invention, a resist pattern can be manufactured with good pattern collapse resistance (PCM).
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及びメタクリル系モノマーの少なくとも１種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「（メタ）アクリル酸」等の表記も同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素基等に含まれる－ＣＨ2－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わる場合、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を２種以上結合させた基を意味し、それら基の価数は結合形態によって適宜変更してもよい。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合により－Ｃ－Ｃ－基（単結合）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。
As used herein, "(meth)acrylic monomer" means "at least one of an acrylic monomer and a methacrylic monomer." Notations such as "(meth)acrylate" and "(meth)acrylic acid" also represent the same meaning. Groups described in this specification that can have both a linear structure and a branched structure may have either one. When -CH 2 - contained in a hydrocarbon group etc. is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, the same examples apply to each group. A "combined group" means a group in which two or more of the exemplified groups are bonded together, and the valency of these groups may be changed as appropriate depending on the bonding form. "Derived from" or "derived from" refers to a polymerizable C=C bond contained in the molecule becoming a -C-C- group (single bond) through polymerization. If stereoisomers exist, all stereoisomers are included.
As used herein, "solid content of the resist composition" refers to the total amount of components excluding the solvent (E) described below from the total amount of the resist composition.
＜式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩＞
本発明は、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩（以下「塩（Ｉ）」又は「カルボン酸塩（Ｉ）」という場合がある）に関する。
塩（Ｉ）のうち、正電荷を有する側を「カチオン（Ｉ）」、負電荷を有する側を「アニオン（Ｉ）」と称することがある。
<Carboxylic acid salt represented by formula (I)>
The present invention relates to a carboxylate salt represented by formula (I) (hereinafter sometimes referred to as "salt (I)" or "carboxylate (I)").
Of the salt (I), the side having a positive charge may be referred to as a "cation (I)", and the side having a negative charge may be referred to as an "anion (I)".
〔カチオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表される塩のカチオン（Ｉ）は、式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオンである。
The cation (I) of the salt represented by formula (I) is a cation represented by formula (IC).
Ｒ１及びＲ２に含まれるＬ１におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ｌ１は、炭素数１～３のアルカンジイル基であることが好ましく、メチレン基であることがより好ましい。
The alkanediyl group in L 1 included in R 1 and R 2 includes a methylene group, an ethylene group, a propane-1,3-diyl group, a butane-1,4-diyl group, a pentane-1,5-diyl group, Linear alkanediyl groups such as hexane-1,6-diyl groups; and ethane-1,1-diyl groups, propane-1,1-diyl groups, propane-1,2-diyl groups, propane-2,2 -diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane- Branched alkanediyl groups such as 1,4-diyl groups are mentioned.
L 1 is preferably an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms, and more preferably a methylene group.
Ｒ１及びＲ２に含まれるＲ１０の炭素数３～３６の脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。
具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
Specifically, examples of the alicyclic hydrocarbon group include the groups shown below. The binding site can be at any position.
Ｒ１１の酸不安定基とは、酸（例えばトリフルオロメタンスルホン酸）と接触するとＲ１１で表される基が脱離して、カルボキシ基又はヒドロキシ基を形成する基を意味する。
酸不安定基としては、式（１ａ）で表される基（以下、場合により「酸不安定基（１ａ）」という。）、式（２ａ）で表される基（以下、場合により「酸不安定基（２ａ）」という。）が好ましい。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合部位を表す。］
The acid-labile group of R 11 means a group from which the group represented by R 11 is eliminated to form a carboxy group or a hydroxy group upon contact with an acid (for example, trifluoromethanesulfonic acid).
Examples of the acid-labile group include a group represented by formula (1a) (hereinafter referred to as "acid-labile group (1a)" in some cases), a group represented by formula (2a) (hereinafter referred to as "acid-labile group (1a)" in some cases), An unstable group (2a) is preferred.
naa represents 0 or 1.
* represents a binding site. ]
X a represents an oxygen atom or a sulfur atom.
* represents a binding site. ]
Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ｎ－ブチル基、ｎ－ペンチル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基等が挙げられる。Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3のアルキル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３である。
Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3のアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3の脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６であり、より好ましくは３～１２である。
The alkenyl groups of R aa1 , R aa2 and R aa3 include ethenyl group, propenyl group, isopropenyl group, butenyl group, isobutenyl group, tert-butenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, octenyl group, isooctenyl group, Examples include nonenyl group.
The alicyclic hydrocarbon groups of R aa1 , R aa2 and R aa3 may be either monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic hydrocarbon group include cycloalkyl groups such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. Examples of the polycyclic alicyclic hydrocarbon group include a decahydronaphthyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and the following groups (* represents a bonding site). The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group of R aa1 , R aa2 and R aa3 is preferably 3 to 16, more preferably 3 to 12.
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。
ｎａａは、好ましくは１である。
Examples of combined groups include groups that combine the above-mentioned alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups (for example, methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyl group). dimethyl group, norbornylethyl group, etc.), aralkyl group such as benzyl group, aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group) group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), aromatic hydrocarbon group having alicyclic hydrocarbon group (p- cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.), aryl-cycloalkyl groups such as phenylcyclohexyl group, and the like.
naa is preferably 1.
Ｒaa1及びＲaa2が互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成する場合の－Ｃ（Ｒaa1）（Ｒaa2）（Ｒaa3）としては、下記の基が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６であり、より好ましくは３～１２である。＊は結合部位を表す。
式（１ａ）で表される基としては、１，１，１－トリアルキル基、１，１，１－トリアルキルアルコキシカルボニル基（式（１ａ）中においてＲaa1、Ｒaa2及びＲaa3がアルキル基である基、好ましくはｔｅｒｔ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基）、２－アルキルアダマンタン－２－イル基、２－アルキルアダマンタン－２－イルオキシカルボニル基（式（１ａ）中、Ｒaa1、Ｒaa2及びこれらが結合する炭素原子がアダマンチル基を形成し、Ｒaa3がアルキル基である基）及び１－（アダマンタン－１－イル）－１，１－ジアルキル基、１－（アダマンタン－１－イル）－１，１－ジアルキルアルコキシカルボニル基（式（１ａ）中、Ｒaa1及びＲaa2がアルキル基であり、Ｒaa3がアダマンチル基である基）等が挙げられる。 Examples of the group represented by formula (1a) include a 1,1,1-trialkyl group and a 1,1,1-trialkylalkoxycarbonyl group (in formula (1a), R aa1 , R aa2 and R aa3 are alkyl (preferably tert-butyl group, tert-butoxycarbonyl group), 2-alkyladamantane-2-yl group, 2-alkyladamantane-2-yloxycarbonyl group (in formula (1a), R aa1 , R aa2 and the carbon atoms to which they are bonded form an adamantyl group, and R aa3 is an alkyl group) and 1-(adamantan-1-yl)-1,1-dialkyl group, 1-(adamantane-1- yl)-1,1-dialkylalkoxycarbonyl group (in formula (1a), R aa1 and R aa2 are alkyl groups and R aa3 is an adamantyl group), and the like.
Ｒaa1'、Ｒaa2'及びＲaa3'の炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Ｒaa1、Ｒaa2及びＲaa3で挙げた基と同じものが挙げられる。
Ｒaa2'及びＲaa3'が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸaとともに複素環基を形成する場合、－Ｃ（Ｒaa1'）（Ｒaa2'）－Ｘa－（Ｒaa3'）としては、下記の基が挙げられる。＊は、結合部位を表す。
Examples of the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and combined groups include the same groups as those listed for R aa1 , R aa2 , and R aa3 .
When R aa2' and R aa3' combine with each other to form a heterocyclic group together with the carbon atom to which they are bonded and X a , -C(R aa1' )(R aa2' )-X a -(R aa3' ) include the following groups. * represents a binding site.
酸不安定基（１ａ）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
酸不安定基（２ａ）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
Ｒ１０の脂環式炭化水素基が有する－ＯＲ１１又はヨウ素原子の数は、少なくとも１以上であり、中でも、１又は２であることが好ましい。また、Ｒ１０の脂環式炭化水素基は、－ＯＲ１１及びヨウ素原子の両方の置換基を有してもよい。Ｒ１０の脂環式炭化水素基は、－ＯＲ１１又はヨウ素原子以外にも置換基を有していてもよく、例えば、炭素数１～３のアルキル基、フッ素原子、炭素数１～３のフッ化アルキル基等が挙げられる。
Ｒ１０で表される基としては、１もしくは２つの－ＯＲ１１を有する炭素数３～１２の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、－ＯＲ１１以外に置換基を有していてもよい。）、１もしくは２つのヨウ素原子を有する炭素数３～１２の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、ヨウ素原子以外に置換基を有していてもよい。）であることが好ましく、１もしくは２つの－ＯＲ１１を有する炭素数６～１２の多環式脂環式炭化水素基（該多環式脂環式炭化水素基は、－ＯＲ１１以外に置換基を有していてもよい。）又は１もしくは２つのヨウ素原子を有する炭素数６～１２の多環式脂環式炭化水素基（該多環式脂環式炭化水素基は、ヨウ素原子以外に置換基を有していてもよい。）であることがより好ましく、１もしくは２つの－ＯＲ１１を有するアダマンチル基又は１もしくは２つのヨウ素原子を有するアダマンチル基であることがさらに好ましく、１もしくは２つのヒドロキシ基を有するアダマンチル基、１つの－ＯＲ１１Ａ（Ｒ１１Ａは、式（１ａ）又は式（２ａ）で表される酸不安定基を表す。）を有するアダマンチル基又は１もしくは２つのヨウ素原子を有するアダマンチル基であることがより一層好ましく、１もしくは２つのヒドロキシ基を有するアダマンチル基、１つの－ＯＲ１１Ｂ（Ｒ１１Ｂは、式（２ａ）で表される酸不安定基を表す。）を有するアダマンチル基又は１もしくは２つのヨウ素原子を有するアダマンチル基であることがさらに一層好ましい。
Ｒ１及びＲ２のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、ｐ位又はｏ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０であることが好ましく、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０であることがより好ましい。
Specific examples of the acid-labile group (2a) include the following groups. * represents a binding site.
The number of -OR 11 or iodine atoms possessed by the alicyclic hydrocarbon group of R 10 is at least 1 or more, and preferably 1 or 2. Further, the alicyclic hydrocarbon group of R 10 may have both substituents of -OR 11 and an iodine atom. The alicyclic hydrocarbon group of R 10 may have a substituent other than -OR 11 or an iodine atom, for example, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, a fluorine atom, a fluorine atom, or a substituent other than -OR 11 or an iodine atom. Examples include fluorinated alkyl groups.
The group represented by R 10 is an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and having one or two -OR 11 (the alicyclic hydrocarbon group has a substituent other than -OR 11 ). ), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and having one or two iodine atoms (the alicyclic hydrocarbon group may have a substituent other than the iodine atom), ) is preferably a polycyclic alicyclic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms having one or two -OR 11 (the polycyclic alicyclic hydrocarbon group is preferably a polycyclic alicyclic hydrocarbon group other than -OR 11 ) or a polycyclic alicyclic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms having 1 or 2 iodine atoms (the polycyclic alicyclic hydrocarbon group may have a substituent on ), more preferably an adamantyl group having one or two -OR 11 or an adamantyl group having one or two iodine atoms, an adamantyl group having one or two hydroxy groups, an adamantyl group having one -OR 11A (R 11A represents an acid labile group represented by formula (1a) or formula (2a)), or one or two adamantyl groups; An adamantyl group having two iodine atoms is even more preferable, an adamantyl group having one or two hydroxy groups, and one -OR 11B (R 11B represents an acid labile group represented by formula (2a)). ) or an adamantyl group having one or two iodine atoms is even more preferred.
The bonding positions of R 1 and R 2 to the benzene ring may be any of the о, m, and p positions with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , respectively. Among them, R 1 and R 2 are preferably bonded to the p-position or o-position, and more preferably the p-position, with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , respectively. preferable.
R 1 and R 2 are each independently preferably -O-R 10 , -O-CO-R 10 or -O-L 1 -CO-O-R 10 , and -O-CO-R 10 or -OL 1 -CO-O-R 10 is more preferable.
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８における炭素数１～１２のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、炭素数１～１２のフッ化アルキル基、炭素数１～１２の塩化アルキル基、炭素数１～１２の臭化アルキル基、炭素数１～１２のヨウ化アルキル基等が挙げられる。ハロアルキル基としては、炭素数１～１２のペルフルオロアルキル基（トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等）、２，２，２－トリフルオロエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、４，４，４－トリフルオロブチル基、３，３，４，４，４－ペンタフルオロブチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基等が挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８の炭素数１～１８の炭化水素基としては、アルキル基、アルカンジイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
アルキル基としては、直鎖又は分岐のアルキル基であり、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等のアルキル基が挙げられる。
アルカンジイル基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基であり、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～９であり、さらに好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基のうち、２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－芳香族炭化水素基－＊、アルキル基－芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊、該アルカンジイル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。）、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－脂環式炭化水素基－＊、アルキル基－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊、該脂環式炭化水素基、該アルカンジイル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。）、芳香族炭化水素基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。）が挙げられる。＊は結合部位を表す。
芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基－芳香族炭化水素基－＊としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、１－（アダマンタン－１－イル）メチル基、１－（アダマンタン－１－イル）－１－メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基－脂環式炭化水素基－＊としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、２－アルキルアダマンタン－２－イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊としては、フェニルシクロヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、組み合わせた基は、いずれの基がベンゼン環に結合していてもよい。
Examples of the halogen atom for R 4 , R 5 , R 7 and R 8 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
The haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms in R 4 , R 5 , R 7 and R 8 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms having a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a carbon Examples include an alkyl chloride group having 1 to 12 carbon atoms, an alkyl bromide group having 1 to 12 carbon atoms, and an alkyl iodide group having 1 to 12 carbon atoms. Examples of haloalkyl groups include perfluoroalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms (trifluoromethyl group, pentafluoroethyl group, heptafluoropropyl group, nonafluorobutyl group, etc.), 2,2,2-trifluoroethyl group, 3, Examples include 3,3-trifluoropropyl group, 4,4,4-trifluorobutyl group, 3,3,4,4,4-pentafluorobutyl group, chloromethyl group, bromomethyl group, and iodomethyl group. The haloalkyl group preferably has 1 to 9 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms for R 4 , R 5 , R 7 and R 8 include chain hydrocarbon groups such as alkyl groups and alkanediyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, and aromatic hydrocarbon groups. and groups formed by combining these.
The alkyl group is a linear or branched alkyl group, such as a methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, Examples include alkyl groups such as heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group and dodecyl group.
The alkanediyl group is a linear or branched alkanediyl group, such as a methylene group, an ethylene group, a propane-1,3-diyl group, a butane-1,4-diyl group, a pentane-1,5-diyl group, Linear alkanediyl groups such as hexane-1,6-diyl groups; and ethane-1,1-diyl groups, propane-1,1-diyl groups, propane-1,2-diyl groups, propane-2,2 -diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane- Branched alkanediyl groups such as 1,4-diyl groups are mentioned.
The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 12, more preferably 1 to 9, still more preferably 1 to 6, even more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic, and examples include the groups shown below. The binding site can be at any position.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenyl group, a naphthyl group, a biphenyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, a binaphthyl group, and the like. The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 18 carbon atoms, more preferably 6 to 14 carbon atoms, and still more preferably 6 to 10 carbon atoms.
Groups formed by combining two or more types of chain hydrocarbon groups, alicyclic hydrocarbon groups, and aromatic hydrocarbon groups include aromatic hydrocarbon groups and chain hydrocarbon groups. combined groups (for example, aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, alkyl group-aromatic hydrocarbon group-*, alkyl group-aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, the alkanediyl group and the -CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -), a combination of an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group groups (for example, alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, alkyl group-alicyclic hydrocarbon group-*, alkyl group-alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, alicyclic -CH 2 - contained in the hydrocarbon group, the alkanediyl group and the alkyl group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -), aromatic hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group (for example, aromatic hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - *, alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - *, alicyclic hydrocarbon group - -CH 2 - contained in the hydrogen group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. * represents a binding site.
Examples of the aromatic hydrocarbon group -alkanediyl group-* include aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group.
Examples of the alkyl group - aromatic hydrocarbon group - * include tolyl group, xylyl group, cumenyl group and the like.
Alicyclic hydrocarbon group - alkanediyl group - * includes cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 1-(adamantan-1-yl)methyl group, 1-(adamantan-1-yl)-1-methylethyl group Examples include cycloalkylalkyl groups such as.
Examples of the alkyl group-alicyclic hydrocarbon group-* include cycloalkyl groups having an alkyl group such as methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, and 2-alkyladamantane-2-yl group.
Examples of the aromatic hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group -* include phenylcyclohexyl group and the like.
Examples of the alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - * include cyclohexylphenyl group and the like.
In addition, in the combination, two or more types of each of the alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and chain hydrocarbon group may be combined. Furthermore, any group in the combined group may be bonded to the benzene ring.
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８で表されるハロアルキル基又は炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該ハロアルキル基又は該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよい。
ハロアルキル基及び炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、ハロアルコキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、ハロアルコキシカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニルオキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、２－エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２－エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
ハロアルコキシ基、ハロアルコキシカルボニル基、ハロアルキルカルボニル基、ハロアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のハロアルコキシ基、炭素数２～１１のハロアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のハロアルキルカルボニル基、炭素数２～１１のハロアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上記に例示した基の１以上の水素原子をハロゲン原子に置き換えた基が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
置換基として、アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。置き換わった基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のアルコキシ基、炭素数２～１１のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のアルキルカルボニル基及び炭素数２～１１のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
-CH 2 - contained in the haloalkyl group or hydrocarbon group represented by R 4 , R 5 , R 7 and R 8 is replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - In this case, the number of carbon atoms before substitution is the total number of carbon atoms of the haloalkyl group or the hydrocarbon group. Further, the number may be one, or two or more.
As a group in which -CH 2 - contained in a haloalkyl group or a hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-, a hydroxy group (-CH 2 - contained in a methyl group) - is replaced with -O-), thiol group (-CH 2 - contained in the methyl group is replaced with -S-), carboxy group (-CH 2 -CH contained in the ethyl group) 2 - is replaced with -O-CO-), alkoxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -O-), alkoxycarbonyl group (a group in which -O- is substituted for -CH 2 - contained in an alkyl group), -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced with -O-CO-), alkylcarbonyl group (-CH 2 - contained at any position contained in the alkyl group is replaced with -CO- ), alkylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), alkylthio group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), an alkylthio group (a group contained in an alkyl group) (a group in which -CH 2 - at any position is replaced by -S-), an alkylsulfonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced by -SO 2 -), oxy group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -O-), a carbonyl group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced by -CO-), a thio group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -S-), sulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -SO 2 -), alkanediyloxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkanediyl group is replaced with -O-), an alkanediyloxycarbonyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 at any position contained in an alkanediyl group) - is replaced with -O-CO-), alkanediylcarbonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -CO-), alkanediylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position contained in an alkanediyl group is replaced with -CO-O-), an alkanediylthio group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position contained in an alkanediyl group is replaced with -CO-O-), 2 - is replaced with -S-), alkanediylsulfonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -SO 2 -), cycloalkoxy group, cyclo Alkylalkoxy group, alkoxycarbonyloxy group, aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, aromatic hydrocarbon group-oxy group, haloalkoxy group (any position contained in haloalkyl group) -CH 2 - is replaced with -O-), haloalkoxycarbonyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the haloalkyl group is replaced with -O-CO-) , haloalkylcarbonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the haloalkyl group is replaced with -CO-), haloalkylcarbonyloxy group (-CH 2 -CH at any position contained in the haloalkyl group) Examples include a group in which - is replaced with -CO-O-), a group in which two or more of these groups are combined, and the like.
Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, and nonyloxy group. group, decyloxy group, undecyloxy group, etc. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include alkoxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and the like. Examples of the alkylcarbonyl group include alkylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. Examples of the alkylcarbonyloxy group include alkylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3.
Examples of the alkylthio group include alkylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylthio group, ethylthio group, propylthio group, butylthio group, pentylthio group, hexylthio group, octylthio group, 2-ethylhexylthio group, nonylthio group, and decylthio group. group, undecylthio group, etc. The alkylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkylsulfonyl group include alkylsulfonyl groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, butylsulfonyl group, pentylsulfonyl group, hexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, -Ethylhexylsulfonyl group, nonylsulfonyl group, decylsulfonyl group, undecylsulfonyl group, etc. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
Examples of the alkanediyloxy group include alkanediyloxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxy group, ethyleneoxy group, propanediyloxy group, butanediyloxy group, pentanediyloxy group, and the like. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediyloxycarbonyl group include alkanediyloxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxycarbonyl group, ethyleneoxycarbonyl group, propanediyloxycarbonyl group, butanediyloxycarbonyl group, etc. . Examples of the alkanediylcarbonyl group include alkanediylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as methylenecarbonyl group, ethylenecarbonyl group, propanediylcarbonyl group, butanediylcarbonyl group, pentanediylcarbonyl group, and the like. Examples of the alkanediylcarbonyloxy group include alkanediylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methylenecarbonyloxy group, ethylenecarbonyloxy group, propanediylcarbonyloxy group, butanediylcarbonyloxy group, etc. . The alkanediyloxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylthio group include an alkanediylthio group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenethio group, an ethylenethio group, a propylenethio group, and the like. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylsulfonyl group include an alkanediylsulfonyl group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group, and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the cycloalkoxy group include cycloalkoxy groups having 3 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. Examples of the cycloalkylalkoxy group include a cycloalkylalkoxy group having 4 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. Examples of the alkoxycarbonyloxy group include alkoxycarbonyloxy groups having 2 to 16 carbon atoms, such as butoxycarbonyloxy groups. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group include aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy groups having 7 to 17 carbon atoms, such as benzoyloxy group. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyl group include aromatic hydrocarbon group-carbonyl groups having 7 to 18 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 17 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
Examples of the haloalkoxy group, haloalkoxycarbonyl group, haloalkylcarbonyl group, and haloalkylcarbonyloxy group include a haloalkoxy group having 1 to 11 carbon atoms, a haloalkoxycarbonyl group having 2 to 11 carbon atoms, and a haloalkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms. , a haloalkylcarbonyloxy group having 2 to 11 carbon atoms, and for example, a group in which one or more hydrogen atoms of the groups exemplified above are replaced with a halogen atom.
In addition, examples of groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group are replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - include the groups shown below. . -O- or -CO- in the groups shown below may be replaced with -S- or -SO 2 -. The binding site can be at any position.
Examples of the halogen atom include the same groups as those described above.
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include the same groups as mentioned above.
When -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -O- or -CO- as a substituent, the number of carbon atoms before being replaced is the total number of carbon atoms in the alkyl group. Examples of the substituted group include a hydroxy group, a carboxy group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group, an alkylcarbonyloxy group, and the like.
Examples of the alkoxy group, alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group and alkylcarbonyloxy group include an alkoxy group having 1 to 11 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 11 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, and an alkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms. -11 alkylcarbonyloxy groups, including the same groups as mentioned above.
The hydrocarbon group may have one substituent or multiple substituents.
Ａ１及びＡ２の炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基（例えば、アルカンジイル基等）、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせたものでもよい。炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１９であり、より好ましくは１～１８であり、さらに好ましくは１～１６であり、より一層好ましくは１～１４であり、さらに一層好ましくは１～１２である。
鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、さらにより好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基、スピロシクロヘキサン－１，２’－シクロペンタン基、スピロアダマンタン－２，３’－シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２であり、さらにより好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
The hydrocarbon groups of A 1 and A 2 include linear or branched chain hydrocarbon groups (for example, alkanediyl groups, etc.), monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon groups, aromatic Examples include hydrocarbon groups, and combinations of two or more of these groups may be used. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 1 to 19, more preferably 1 to 18, still more preferably 1 to 16, even more preferably 1 to 14, even more preferably 1 to 18. It is 12.
Examples of chain hydrocarbon groups include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, Heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12 -diyl group, tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group, heptadecane-1,17-diyl group, etc. Linear alkanediyl group and ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group branched alkanes such as 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group Diyl group is mentioned.
The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 18, more preferably 1 to 12, still more preferably 1 to 9, even more preferably 1 to 6, even more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic, and examples include the groups shown below. The binding site can be at any position.
The alicyclic hydrocarbon group preferably has 3 to 18 carbon atoms, more preferably 3 to 16 carbon atoms, still more preferably 3 to 12 carbon atoms, and even more preferably 3 to 10 carbon atoms.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include aromatic hydrocarbon groups such as arylene groups such as phenylene group, naphthylene group, anthrylene group, biphenylene group, and phenanthrylene group. The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 18 carbon atoms, more preferably 6 to 14 carbon atoms, and still more preferably 6 to 10 carbon atoms.
２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基及び脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基が挙げられる。組み合わせにおいて、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がベンゼン環に結合していてもよい。
脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－等が挙げられる。
芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－等が挙げられる。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－等が挙げられる。
Groups formed by combining two or more types of groups include groups that combine an alicyclic hydrocarbon group and an alkanediyl group, groups that combine an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group, and alicyclic groups. Examples include groups that are a combination of a hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group. In combination, two or more types of chain hydrocarbon groups, alicyclic hydrocarbon groups, and aromatic hydrocarbon groups may be combined. Further, any group may be bonded to the benzene ring.
Examples of groups combining an alicyclic hydrocarbon group and an alkanediyl group include -divalent alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent alicyclic hydrocarbon group -alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent alicyclic hydrocarbon group, and the like.
Examples of groups combining an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group include -divalent aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent aromatic hydrocarbon group-alkanediyl - group, -alkanediyl group -divalent aromatic hydrocarbon group, and the like.
Groups combining an alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group include -aromatic hydrocarbon group-alicyclic hydrocarbon group-, -alicyclic hydrocarbon group-aromatic hydrocarbon group-, Examples include -alicyclic hydrocarbon group -aromatic hydrocarbon group -alicyclic hydrocarbon group.
Ａ１及びＡ２の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つ又は２つ以上であってもよいが、１つ～３つであることが好ましい。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１９のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１９のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～２０のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１９のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１９のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１９のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１９のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１９のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～２０のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１９のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１９のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１９のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１９のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１９のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１８のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１９の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～２０の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１９の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
When -CH 2 - contained in the hydrocarbon group of A 1 and A 2 is replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -, the number of carbon atoms before substitution is the same as that of the hydrocarbon group. The total number of carbon atoms is Further, the number may be one or more, but preferably one to three.
Groups in which -CH 2 - contained in a hydrocarbon group is replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - include a hydroxy group (-CH 2 - contained in a methyl group, -O-), carboxy group (-CH 2 -CH 2 - contained in the ethyl group replaced with -O-CO-), thiol group (-CH 2 contained in the methyl group) - is replaced with -S-), alkoxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -O-), alkoxycarbonyl group (a group contained in an alkyl group) -CH 2 -CH 2 - at any position is replaced with -O-CO-), alkylcarbonyl group (-CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced with -CO-) group), alkylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), alkylthio group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained at any position contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), -CH 2 - is replaced with -S-), alkylsulfonyl group (a group in which -CH 2 - at any position in the alkyl group is replaced with -SO 2 -), oxy group (methylene (a group in which -CH 2 - contained in the group is replaced with -O-), a carbonyl group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), a thio group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -S-), sulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -SO 2 -), alkanediyloxy group (alkanediyl -CH 2 - at any position contained in the group is replaced with -O-), alkanediyloxycarbonyl group (-CH 2 -CH 2 - contained at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -O-, -O-CO-), alkanediylcarbonyl group (group in which -CH 2 - at any position in the alkanediyl group is replaced with -CO-), alkanediylcarbonyloxy group (alkanediyl -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the group is replaced with -CO-O-), an alkanediylsulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -CO-O-) , -SO 2 -), alkanediylthio group (group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -S-), cycloalkoxy group, cycloalkylalkoxy group , an alkoxycarbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, an aromatic hydrocarbon group-oxy group, and a group combining two or more of these groups. .
Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 19 carbon atoms, such as methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, and nonyloxy group. group, decyloxy group, undecyloxy group, etc. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include alkoxycarbonyl groups having 2 to 19 carbon atoms, such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and the like. Examples of the alkylcarbonyl group include alkylcarbonyl groups having 2 to 20 carbon atoms, such as an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. Examples of the alkylcarbonyloxy group include alkylcarbonyloxy groups having 2 to 19 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3.
Examples of the alkylthio group include alkylthio groups having 1 to 19 carbon atoms, such as methylthio group, ethylthio group, propylthio group, butylthio group, and the like. The alkylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkylsulfonyl group include alkylsulfonyl groups having 1 to 19 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, and the like. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
Examples of the alkanediyloxy group include alkanediyloxy groups having 1 to 19 carbon atoms, such as methyleneoxy group, ethyleneoxy group, propanediyloxy group, butanediyloxy group, pentanediyloxy group, and the like. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediyloxycarbonyl group include alkanediyloxycarbonyl groups having 2 to 19 carbon atoms, such as methyleneoxycarbonyl group, ethyleneoxycarbonyl group, propanediyloxycarbonyl group, butanediyloxycarbonyl group, etc. . Examples of the alkanediylcarbonyl group include alkanediylcarbonyl groups having 2 to 20 carbon atoms, such as methylenecarbonyl group, ethylenecarbonyl group, propanediylcarbonyl group, butanediylcarbonyl group, pentanediylcarbonyl group, and the like. Examples of the alkanediylcarbonyloxy group include alkanediylcarbonyloxy groups having 2 to 19 carbon atoms, such as methylenecarbonyloxy group, ethylenecarbonyloxy group, propanediylcarbonyloxy group, butanediylcarbonyloxy group, etc. . The alkanediyloxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylsulfonyl group include an alkanediylsulfonyl group having 1 to 19 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group, and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylthio group include alkanediylthio groups having 1 to 19 carbon atoms, such as methylenethio group, ethylenethio group, propylenethio group, and the like. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the cycloalkoxy group include cycloalkoxy groups having 3 to 19 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. Examples of the cycloalkylalkoxy group include a cycloalkylalkoxy group having 4 to 19 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. Examples of the alkoxycarbonyloxy group include alkoxycarbonyloxy groups having 2 to 18 carbon atoms, such as butoxycarbonyloxy groups. The aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group having 7 to 19 carbon atoms, such as a benzoyloxy group. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyl group include an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 19 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。また、以下に表される基のうち、－Ｏ－が－Ｓ－、－ＣＯ－が－ＳＯ２－にそれぞれ置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。但し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－の少なくとも１つは、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっている。）であることが好ましい。具体的には、Ａ１は、＊＊＊－Ｌ０１１－Ｘ０１－Ｌ０１２－であり、Ａ２は、＊＊＊－Ｌ０２１－Ｘ０２－Ｌ０２２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１及びＬ０２２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。但し、Ｌ０１１とＬ０１２との炭素数合計は、０～１９であり、Ｌ０２１とＬ０２２との炭素数合計は、０～１９である。＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す。）ことがより好ましく、Ａ１は、＊＊＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊＊＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、Ａ２は、＊＊＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊＊＊－Ｌ０２－Ｘ０２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す。）ことがさらに好ましい。Ａ１及びＡ２は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－での置き換わり以外に、置換基を有さないものが好ましい。
Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１、Ｌ０２２、Ｌ０１及びＬ０２の炭素数１～１９の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）としては、炭素数が１～１９の範囲で、Ａ１及びＡ２で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１、Ｌ０２２、Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～１２の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合又は炭素数１～９の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基又はカルボニル基であることがより好ましい。
Ａ１及びＡ２のＩ＋が結合するベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、Ｉ＋の結合位置に対して、それぞれ独立に、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。より具体的には、ｍ１及びｍ２が１の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が２の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがо位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が３の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が４の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがо位に結合しており、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。
ｍ１は、１、２、３又は４であることが好ましく、１、２又は３であることがより好ましく、１又は２であることがさらに好ましく、１であることがさらにより好ましい。
ｍ２は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがさらにより好ましい。
ｍ４は、０、１、２又は４であることが好ましく、０、１又は２であることがより好ましく、０又は１であることがさらに好ましい。
ｍ５は、０、１、２又は４であることが好ましく、０、１又は２であることがより好ましく、０又は１であることがさらに好ましい。
ｍ７は、０、１、２又は３であることが好ましく、０、１又は２であることがより好ましく、０又は１であることがさらに好ましい。
ｍ８は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがさらにより好ましい。
Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のハロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基、炭素数１～３のアルコキシ基又は炭素数１～４のアルキル基であることがより一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～３のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又は炭素数１～３のアルコキシ基であることがさらに一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、メトキシ基、エトキシ基又はヒドロキシ基であることがさらにより好ましい。
また、別の実施形態では、１以上のＲ４及びＲ５のうち少なくとも一つが、Ｒ１０で表される脂環式炭化水素基を含んでいてもよく、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、Ｒ１及びＲ２と同様の基であってもよく、Ｒ１が－Ｏ－Ｒ１０の場合、１又は２つのＲ４がＲ１と同じ－Ｏ－Ｒ１０であることが好ましく、Ｒ１が－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０の場合、１又は２つのＲ４がＲ１と同じ－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０であることが好ましく、Ｒ１が－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０の場合、１又は２つのＲ４がＲ１と同じ－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０の場合であることが好ましく、Ｒ１が－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０の場合、１又は２つのＲ４がＲ１と同じ－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０であることが好ましい。Ｒ２とＲ５の組み合わせについても、それぞれＲ１とＲ４の組み合わせと同様である。
Ｒ４及びＲ５のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、ｍ４及びｍ５が１の場合、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、ｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、ｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ４及びｍ５が２の場合、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ４及びｍ５が３の場合、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、１つがо位に結合しており、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ４及びｍ５が４の場合、Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、Ａ１及びＡ２の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがо位に結合しており、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。
Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のハロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、ヒドロキシ基、メトキシ基、メチル基又はｔ－ブチル基であることがより一層好ましい。
Ｒ７及びＲ８のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、ｍ７及びｍ８が１の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位又はｐ位に結合していることが好ましい。ｍ７及びｍ８が２の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、１つがｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ７及びｍ８が３の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ７及びｍ８が４の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがо位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。
ｍ１及びｍ２がそれぞれ１又はｍ１及びｍ２がそれぞれ２であることが好ましい。
ｍ２＝０の場合に係る実施形態では、ｍ８が１であり、Ｒ８が分枝状の炭素数３又は４のアルキル基であることが好ましい。
ｍ４が２の場合に係る実施形態では、２つのＲ４の一方がヨウ素原子又はフッ素原子であり、他方がヒドロキシ基であることが好ましく、ヒドロキシ基がＩ＋の結合位置に対してｐ位に結合していることがより好ましい。
A 1 and A 2 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms (the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is - It may be substituted with O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.However, at least one of -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is replaced by -O-, -CO-, - (substituted with S- or -SO 2 -) is preferable. Specifically, A 1 is ****-L 011 -X 01 -L 012 -, and A 2 is ****-L 021 -X 02 -L 022 - (X 01 and X 02 each independently represents -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. L 011 , L 012 , L 021 and L 022 each independently represent a single bond or a carbon number of 1 to 19 represents a hydrocarbon group, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - may be replaced. However, the total carbon number of L 011 and L 012 is 0 to 19, and the total carbon number of L 021 and L 022 is 0 to 19. *** is , represents a bonding site with a benzene ring to which R 1 or R 2 is bonded), and A 1 is ****-X 01 -L 01 - or ****-L 01 -X 01 - and A 2 is ****-X 02 -L 02 - or ****-L 02 -X 02 - (X 01 and X 02 are each independently -O-, -CO-, - Represents S- or -SO 2 -. L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent. , -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. *** indicates R 1 or R 2 is bonded (represents a bonding site with a benzene ring) is more preferable. A 1 and A 2 preferably have no substituent other than -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
Hydrocarbon groups having 1 to 19 carbon atoms in L 011 , L 012 , L 021 , L 022 , L 01 and L 02 (the hydrocarbon group may have a substituent, which is included in the hydrocarbon group) -CH 2 - may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - . Examples include groups similar to those mentioned above.
X 01 and X 02 are each independently preferably -O- or -S-, more preferably -O-.
L 011 , L 012 , L 021 , L 022 , L 01 and L 02 are each independently a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the hydrocarbon group is - (may be substituted with O-, -CO-, -S- or -SO 2 -), preferably a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms (- CH 2 - may be substituted with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -), and is more preferably a single bond or a chain hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms. (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -), and is more preferably a single bond or More preferably, it is an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-), and a single bond or carbon It is even more preferable to be an alkanediyl group of number 1 to 4 (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-), and a single bond or a carbon number Even more preferably it is an alkanediyl group of 1 to 3 (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-). Among them, single bond, methylene group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-2,2-diyl group, carbonyl group, carbonyloxy group, carbonyloxymethylene group, ethyleneoxy group , methylenecarbonyloxymethylene group or ethyleneoxycarbonyl group, and more preferably a single bond, methylene group or carbonyl group.
The bonding position of A 1 and A 2 to the benzene ring to which I + is bonded may be any of the о-position, m-position, and p-position with respect to the bonding position of I + . Among these, it is preferable to bond to the p-position or the m-position, and more preferably to the p-position, each independently with respect to the bonding position of I + . More specifically, when m1 and m2 are 1, it is preferable that A 1 and A 2 are each independently bonded to the p-position or the m-position with respect to the binding position of I + , and the p-position More preferably, it is bonded to. When m1 and m2 are 2, one of A1 and A2 is independently bonded to the о position or m position, and one is bonded to the о position or m position with respect to the bonding position of I + . It is preferable that the two be bonded at the m-position, and it is more preferable that the two be bonded at the m-position. When m1 and m2 are 3, A 1 and A 2 are each independently bonded to the о or m position, and one is bonded to the p or m position relative to the bonding position of I + . Preferably, two are bonded to the m-position and one is bonded to the p-position. When m1 and m2 are 4, A 1 and A 2 are each independently bonded to the о position or m position, and the two are bonded to the p position or m position, respectively. It is preferable that two of them be bonded to the о position, and it is more preferable that two of them be bonded to the m position.
m1 is preferably 1, 2, 3 or 4, more preferably 1, 2 or 3, even more preferably 1 or 2, even more preferably 1.
m2 is preferably 0, 1, 2, 3 or 4, more preferably 0, 1, 2 or 3, even more preferably 0, 1 or 2, and 0 or 1. is even more preferred.
m4 is preferably 0, 1, 2 or 4, more preferably 0, 1 or 2, even more preferably 0 or 1.
m5 is preferably 0, 1, 2 or 4, more preferably 0, 1 or 2, even more preferably 0 or 1.
m7 is preferably 0, 1, 2 or 3, more preferably 0, 1 or 2, even more preferably 0 or 1.
m8 is preferably 0, 1, 2, 3 or 4, more preferably 0, 1, 2 or 3, even more preferably 0, 1 or 2, and 0 or 1. is even more preferred.
R 4 and R 5 each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (the haloalkyl group and the -CH 2 - contained in the alkyl group are -O - or -CO-), preferably a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH contained in the alkyl group). 2 - may be replaced with -O- or -CO-), and is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-) is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, or a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms. , a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 3 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxy group having 1 to 3 carbon atoms. It is even more preferably a 1 to 3 alkoxy group, and even more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a trifluoromethyl group, a methoxy group, an ethoxy group, or a hydroxy group.
In another embodiment, at least one of one or more R 4 and R 5 may include an alicyclic hydrocarbon group represented by R 10 , and R 4 and R 5 are each independently In addition, it may be the same group as R 1 and R 2 , and when R 1 is -O-R 10 , it is preferable that one or two R 4 are -O-R 10 , which is the same as R 1 , When R 1 is -O-CO-R 10 , one or two R 4 are preferably -O-CO-R 10 , which is the same as R 1 , and R 1 is -O-CO-O-R 10 . In this case, it is preferable that 1 or 2 R 4 is -O-CO-O-R 10 , which is the same as R 1 , and when R 1 is -O-L 1 -CO-O-R 10 , 1 or It is preferred that the two R 4s are -OL 1 -CO-O-R 10 , which is the same as R 1 . The combination of R 2 and R 5 is also the same as the combination of R 1 and R 4 , respectively.
The bonding positions of R 4 and R 5 to the benzene ring may be any of the о, m, and p positions with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , respectively. In particular, when m4 and m5 are 1, it is preferable that R 4 and R 5 are each independently bonded to the p-position or the m-position with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , and the m-position More preferably, it is bonded to. When m4 and m5 are 2, one of R 4 and R 5 is independently bonded to the о position or m position, and one is bonded to the p position or m position with respect to the bonding position of A 1 and A 2 . Preferably, the two are bonded at the m-position, and more preferably two are bonded at the m-position. When m4 and m5 are 3, R 4 and R 5 are each independently bonded to the о or m position with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , and one is bonded to the p or m position. Preferably, one is bonded to the о position, and more preferably two are bonded to the m position. When m4 and m5 are 4, R 4 and R 5 are each independently bonded to the о or m position with respect to the bonding positions of A 1 and A 2 , and two are bonded to the p or m position. Preferably, two are bonded to the о position, and two are bonded to the m position, and more preferably two are bonded to the m position.
R 7 and R 8 are each independently a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 -- contained in the haloalkyl group and the alkyl group is -O - or -CO-), preferably a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH contained in the alkyl group). 2 - may be replaced with -O- or -CO-), and is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-) is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a trifluoromethyl group, a hydroxy group, a methoxy even more preferably a methyl group or a t-butyl group.
The bonding positions of R 7 and R 8 to the benzene ring may be independently any of the о, m, and p positions with respect to the bonding position of I + . Among these, when m7 and m8 are 1, it is preferable that R 7 and R 8 are each independently bonded to the о position or the p position with respect to the bonding position of I + . When m7 and m8 are 2, one of R7 and R8 is independently bonded to the о or m position, and one is bonded to the p or m position relative to the bonding position of I + . Preferably, one is bonded to the m-position and one is bonded to the p-position or the m-position. When m7 and m8 are 3, two of R7 and R8 are independently bonded to the о or m position, and one is bonded to the p or m position relative to the bonding position of I + . Preferably, two are bonded to the m-position and one is bonded to the p-position. When m7 and m8 are 4, two of R7 and R8 are independently bonded to the о position or m position, and two are bonded to the p position or m position with respect to the bonding position of I + . Preferably, two are bonded to the m-position, one is bonded to the о-position, and one is bonded to the p-position.
Preferably, m1 and m2 are each 1 or m1 and m2 are each 2.
In embodiments where m2=0, it is preferred that m8 is 1 and R8 is a branched alkyl group having 3 or 4 carbon atoms.
In an embodiment in which m4 is 2, one of the two R4 is preferably an iodine atom or a fluorine atom, and the other is a hydroxy group, and the hydroxy group is at the p position with respect to the bonding position of I + . More preferably, they are bonded.
式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオン（Ｉ）としては、式（Ｉ－Ｃ－１）で表されるカチオン（以下「カチオン（Ｉ－Ｃ－１）」という場合がある）が挙げられる。
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８、ｍ１、ｍ２、ｍ４、ｍ５、ｍ７及びｍ８は、式（Ｉ）と同じ意味を表す。Ｌ０１、Ｌ０２、Ｘ０１及びＸ０２は、前記と同じ意味を表す。］
Examples of the cation (I) represented by the formula (IC) include the cation represented by the formula (IC-1) (hereinafter sometimes referred to as "cation (IC-1)"). .
R 1 , R 2 , R 4 , R 5 , R 7 , R 8 , m1, m2, m4, m5, m7 and m8 have the same meaning as in formula (I). L 01 , L 02 , X 01 and X 02 have the same meanings as above. ]
Ｘ０１及びＸ０２は、－Ｏ－であることが好ましい。
Ｘ０１及びＸ０２のベンゼン環への結合位置は、それぞれＡ１及びＡ２のベンゼン環への結合位置と同様である。
X 01 and X 02 are preferably -O-.
The bonding positions of X 01 and X 02 to the benzene ring are the same as the bonding positions of A 1 and A 2 to the benzene ring, respectively.
塩（Ｉ）のカチオンとしては、以下の式（Ｉ－ｃ－１）～式（Ｉ－ｃ－１５６）で表されるカチオン等が挙げられる。
〔アニオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表される塩のアニオン（Ｉ）は、式（Ｉ－Ａ）で表されるアニオンである。
式（Ｉ－Ａ）において、Ｘ０で表される炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基（アルカンジイル基、アルケンジイル基、アルキンジイル基等の鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基）、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせた基等が挙げられる。炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。炭化水素基において、ＣＯ２
－に隣接する原子は炭素原子であることが好ましく、脂肪族炭化水素基において、ＣＯ２
－に隣接する原子は炭素原子であることがより好ましい。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
アルケンジイル基としては、エテンジイル基、プロペンジイル基、イソプロペンジイル基、ブテンジイル基、イソブテンジイル基、ｔｅｒｔ－ブテンジイル基、ペンテンジイル基、ヘキセンジイル基、ヘプテンジイル基、オクテンジイル基、イソオクテンジイル基、ノネンジイル基が挙げられる。
アルキンジイル基としては、エチンジイル基、プロピンジイル基、イソプロピンジイル基、ブチンジイル基、イソブチンジイル基、ｔｅｒｔ－ブチンジイル基、ペンチンジイル基、ヘキシンジイル基、オクチンジイル基、ノニンジイル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４である。
鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）等が挙げられる。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルスルホニル基としては、上記と同様の基が挙げられる。アルカンジイルオキシ基、アルカンジイルオキシカルボニル基、アルカンジイルカルボニル基、アルカンジイルカルボニルオキシ基、アルカンジイルスルホニル基、アルカンジイルチオ基としては、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルチオ基、アルキルスルホニル基の任意の位置の１つの水素原子を結合部位に置き換えた基が挙げられる。
なお、アルケンジイル基、アルキンジイル基における置き換わりは、上述したアルキル基における置き換わりの例示において、任意の位置に炭素－炭素二重結合又は炭素－炭素三重結合を含むものであればよい。
[Anion (I)]
The anion (I) of the salt represented by formula (I) is an anion represented by formula (IA).
In formula ( IA ), the hydrocarbon group represented by , an aromatic hydrocarbon group, a group combining these, and the like. -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. In a hydrocarbon group, the atom adjacent to CO 2 - is preferably a carbon atom, and in an aliphatic hydrocarbon group, the atom adjacent to CO 2 - is more preferably a carbon atom.
Examples of alkanediyl groups include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, and heptane-1,6-diyl group. 1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group Linear alkanediyl groups such as groups;
Ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group are mentioned.
Examples of the alkenediyl group include ethenediyl group, propenediyl group, isopropendiyl group, butenediyl group, isobutenediyl group, tert-butenediyl group, pentenediyl group, hexenediyl group, heptenediyl group, octenediyl group, isooctenediyl group, and nonenediyl group. .
Examples of the alkynediyl group include ethynediyl group, propynediyl group, isopropylenediyl group, butynediyl group, isobutynediyl group, tert-butynediyl group, pentyndiyl group, hexynediyl group, octyndiyl group, nonynediyl group, and the like.
The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 18, more preferably 1 to 12, still more preferably 1 to 9, even more preferably 1 to 6, and even more preferably 1 to 4.
Examples of groups in which -CH 2 - contained in a chain hydrocarbon group are replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - include a hydroxy group (-CH 2 - contained in a methyl group); is replaced with -O-), carboxy group (-CH 2 -CH 2 - contained in the ethyl group is replaced with -O-CO-), thiol group (- contained in the methyl group) (a group in which CH 2 - is replaced with -S-), an alkoxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced by -O-), an alkoxycarbonyl group (a group in which -O- is substituted for -CH 2 - in an alkyl group), -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced with -O-CO-), alkylcarbonyl group (-CH 2 - contained at any position contained in the alkyl group is replaced with -CO-) a substituted group), an alkylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group at any position is replaced with -CO-O-), an alkylthio group (an arbitrary group contained in an alkyl group) (a group in which -CH2- at the position of -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -O-), carbonyl group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), thio group (methylene group -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -S-), sulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -SO 2 -), alkanediyloxy group (alkanediyloxy group) A group in which -CH 2 - contained in any position in the diyl group is replaced with -O-), an alkanediyloxycarbonyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in any position in the alkanediyl group is replaced with -O-), , -O-CO-), alkanediylcarbonyl group (group in which -CH 2 - at any position in the alkanediyl group is replaced with -CO-), alkanediylcarbonyloxy group (alkanediylcarbonyloxy group) -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the diyl group is replaced with -CO-O-), alkanediylsulfonyl group (-CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group) is replaced with -SO 2 -), an alkanediylthio group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -S-), and the like.
Examples of the alkoxy group, alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, alkylcarbonyloxy group, alkylthio group, and alkylsulfonyl group include the same groups as mentioned above. Examples of the alkanediyloxy group, alkanediyloxycarbonyl group, alkanediylcarbonyl group, alkanediylcarbonyloxy group, alkanediylsulfonyl group, and alkanediylthio group include alkoxy group, alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, alkylcarbonyloxy group, Examples include an alkylthio group and an alkylsulfonyl group in which one hydrogen atom at any position is replaced with a bonding site.
Note that the substitution in the alkenediyl group and the alkynediyl group may be any one containing a carbon-carbon double bond or carbon-carbon triple bond at any position in the above-mentioned examples of substitution in the alkyl group.
脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。２価の脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～３６であり、より好ましくは３～２４であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６であり、さらに一層好ましくは３～１２である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、エーテル環構造、ケトン環構造、ラクトン環構造、スルトン環構造、アセタール環構造等を形成するものであってもよく、具体的に、下記の基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、式（ｙ１２）～式（ｙ２０）、式（ｙ２６）、式（ｙ２７）、式（ｙ３０）、式（ｙ３１）、式（ｙ３９）～式（ｙ４３）、式（ｙ４９）～式（ｙ７１）、式（ｙ８８）、式（ｙ８９）のいずれかで表される基が好ましく、式（ｙ１４）、式（ｙ１５）、式（ｙ１６）、式（ｙ２０）、式（ｙ２６）、式（ｙ２７）、式（ｙ３０）、式（ｙ３１）、式（ｙ３９）、式（ｙ４０）、式（ｙ４２）、式（ｙ４３）、式（ｙ４９）～式（ｙ５８）、式（ｙ６２）～式（ｙ７１）のいずれかで表される基がより好ましい。
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic, polycyclic, or spirocyclic, and may be saturated or unsaturated. Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group include the groups shown below. The binding site can be at any position.
The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group is preferably 3 to 36, more preferably 3 to 24, still more preferably 3 to 18, even more preferably 3 to 16, and even more preferably is 3 to 12.
Groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - include ether ring structure, ketone ring structure, lactone ring structure, It may form a sultone ring structure, an acetal ring structure, etc., and specific examples include the following groups. The binding site can be at any position.
Groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - include formulas (y12) to (y20), formula ( y26), formula (y27), formula (y30), formula (y31), formula (y39) to formula (y43), formula (y49) to formula (y71), formula (y88), or formula (y89) Groups represented by formula (y14), formula (y15), formula (y16), formula (y20), formula (y26), formula (y27), formula (y30), formula (y31), formula ( y39), formula (y40), formula (y42), formula (y43), formula (y49) to formula (y58), and formula (y62) to formula (y71) are more preferred.
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～３６であり、より好ましくは６～２４であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。
２種以上を組み合わせた炭化水素基としては、アルカンジイル基と脂環式炭化水素基及び／又は芳香族炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられ、－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－芳香族炭化水素基－、－芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－等が挙げられる。
Ｘ０で表される炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、Ｘ０で表される炭化水素基に置換基が結合する場合、置換する前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。
Examples of the aromatic hydrocarbon group include a phenylene group, a naphthylene group, an anthrylene group, a biphenylene group, and a phenanthrylene group. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6 to 36, more preferably 6 to 24, still more preferably 6 to 18, even more preferably 6 to 14, and even more preferably It is 6-10.
Examples of hydrocarbon groups that are a combination of two or more types include groups that combine an alkanediyl group and an alicyclic hydrocarbon group and/or an aromatic hydrocarbon group, such as -alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group. Group-, -Alkanediyl group-Alicyclic hydrocarbon group-, -Alkanediyl group-Alicyclic hydrocarbon group-Alkanediyl group-, -Alkanediyl group-Aromatic hydrocarbon group-, -Aromatic hydrocarbon Examples include groups such as alkanediyl groups.
When -CH 2 - contained in the hydrocarbon group represented by X 0 is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, the number of carbon atoms before being replaced is The total number of carbon atoms is Furthermore, when a substituent is bonded to the hydrocarbon group represented by X 0 , the number of carbon atoms before substitution is the total number of carbon atoms of the hydrocarbon group.
Ｘ０で表される炭化水素基は、１又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基としては、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基、炭素数６～１０の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基、ドデシルオキシ基等が挙げられる。
炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基及び炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
炭素数２～１３のアルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、炭素数２～１３のアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。
炭素数３～１２の脂環式炭化水素基としては、下記に示す基が挙げられる。＊＊はＸ０との結合部位を表す。
組み合わせた基としては、ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基、ハロゲン原子と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基、炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、炭素数１～１２のアルキル基と炭素数３～１２の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられる。
ヒドロキシ基と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等の炭素数１～１２のヒドロキシアルキル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、ベンジル基等の炭素数７～２２のアラルキル基、トリル基、キシリル基等の炭素数７～２２のアルキルアリール基が挙げられる。
炭素数３～１２の脂環式炭化水素基と炭素数６～１０の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基と炭素数３～１２の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基としては、シクロヘキシルメチル基等の炭素数４～２４のシクロアルキルアルキル基、メチルシクロヘキシル基等の炭素数４～２４のアルキルシクロアルキル基等が挙げられる。
ハロゲン原子と炭素数１～１２のアルキル基とを組み合わせた基としては、フッ化アルキル基、塩化アルキル基、臭化アルキル基、ヨウ化アルキル基等が挙げられ、フッ化アルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等の炭素数１～１２のペルフルオロアルキル基等が挙げられる。
The hydrocarbon group represented by X 0 may have one or more substituents.
Examples of substituents include hydroxy group, halogen atom, cyano group, alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms, alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms. group, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, or a combination thereof.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, nonyl group, and the like.
Examples of the alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, nonyloxy group, decyloxy group, undecyloxy group group, dodecyloxy group, etc.
The alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms, the alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms, and the alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms are groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group. represents.
Examples of the alkoxycarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and examples of the alkylcarbonyl group having 2 to 13 carbon atoms include acetyl group, propionyl group, butyryl group, etc. Examples of the alkylcarbonyloxy group having 2 to 13 carbon atoms include an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like.
Examples of the alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms include the groups shown below. ** represents the binding site with X 0 .
Examples of combined groups include groups combining a hydroxy group and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, groups combining a halogen atom and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and groups combining an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and carbon atoms. A group combining an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, a group combining an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms, and a group having 1 to 10 carbon atoms. Examples include a group in which a 12 alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms are combined.
Examples of the group combining a hydroxy group and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include hydroxyalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms such as hydroxymethyl group and hydroxyethyl group.
Groups that combine an alkyl group with 1 to 12 carbon atoms and an aromatic hydrocarbon group with 6 to 10 carbon atoms include aralkyl groups with 7 to 22 carbon atoms such as benzyl group, tolyl group, xylyl group, etc. Examples include 7 to 22 alkylaryl groups.
Examples of the group combining an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 10 carbon atoms include a cyclohexylphenyl group.
Groups that combine an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms include cycloalkylalkyl groups having 4 to 24 carbon atoms such as cyclohexylmethyl group, methylcyclohexyl group, etc. Examples include alkylcycloalkyl groups having 4 to 24 carbon atoms.
Examples of groups that combine a halogen atom and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include fluorinated alkyl groups, chlorinated alkyl groups, bromated alkyl groups, and iodized alkyl groups. Examples include perfluoroalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms such as fluoromethyl group, pentafluoroethyl group, heptafluoropropyl group, and nonafluorobutyl group.
Ｘ０で表される炭化水素基としては、好ましくは、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を含み、
より好ましくは、置換基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と置換基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基又は置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基と置換基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）を含み、
さらに好ましくは、＊－鎖式炭化水素基－、＊－脂環式炭化水素基－、＊－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－、＊－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－、＊－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－鎖式炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－、＊－芳香族炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－、＊－芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－、＊－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－、＊－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－鎖式炭化水素基－、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－、又は、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基、該芳香族炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、置換基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）であり、
より一層好ましくは、＊－脂環式炭化水素基－（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシ基又はフッ素原子を有していてもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－芳香族炭化水素基－（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）又は＊－鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）であり、
さらに一層好ましくは、＊－単環式の脂環式炭化水素基－（該単環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該単環式の脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシ基又はフッ素原子を有していてもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－多環式の脂環式炭化水素基－（該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシ基又はフッ素原子を有していてもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－多環式の脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－（該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－鎖式炭化水素基－多環式の脂環式炭化水素基－（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該多環式の脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該多環式の脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）、＊－芳香族炭化水素基－（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）又は＊－鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシメチル基、フッ素原子又はヒドロキシ基を有してもよい。＊は－ＣＯＯ－の炭素原子との結合部位を表す。）である。
上記の基において、脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～３６であり、より好ましくは３～２４であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６であり、さらに一層好ましくは３～１２である。鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４である。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～３６であり、より好ましくは６～２４であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。
上記の基において、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－２８）のいずれかで表される基であることがより好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－６）及び式（ｗ１－１２）～式（ｗ１－２６）のいずれかで表される基であることがさらに好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－３）、式（ｗ１－６）、式（ｗ１－１５）～式（ｗ１－１７）、式（ｗ１－２２）及び式（ｗ１－２５）のいずれかで表される基であることがさらにより好ましい。
該基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置である。］
より具体的に、上記の単環式の脂環式炭化水素基は、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基（該シクロアルカンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、上記の多環式の脂環式炭化水素基は、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、又は、アダマンタンジイル基と該アダマンタンジイル基とスピロで結合した炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基（該アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基及びシクロアルカンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、上記の芳香族炭化水素基は、フェニレン基であることが好ましい。ここで、該アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基に含まれる－ＣＨ２－ＣＨ２－は、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該シクロアルカンジイル基は、アセタール環であってもよい。
上記の基において、鎖式炭化水素基は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、炭素数１～８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましい。また、フッ素原子を有することも好ましい。
上記の基において、置換基は、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数３～１０の脂環式炭化水素基又はこれらを組み合わせた基であることが好ましく、フッ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基もしくはヒドロキシメチル基であることがより好ましく、フッ素原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～４のペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましい。
より具体的には、Ｘ０は、好ましくは、単結合であるか、置換基を有してもよい炭素数１～７２の脂肪族炭化水素基（該脂肪族炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は置換基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を含むものであり、
より好ましくは、単結合であるか、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数１～１８の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数３～３６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数６～３６の芳香族炭化水素基、又は、炭素数６～３６の芳香族炭化水素基と炭素数１～１８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該芳香族炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）を含むものであり、
さらに好ましくは、単結合であるか、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数１～１２の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基と炭素数１～８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよく、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基もしくはヒドロキシメチル基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基と炭素数１～８の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該芳香族炭化水素基及び該鎖式炭化水素基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）を含むものであり、
より一層好ましくは、単結合であるか、炭素数１～６のアルカンジイル基、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、フェニレン基、炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基もしくはフェニレン基とを組み合わせた基、又は、アダマンタンジイル基と炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基とを組み合わせた基（該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基及び該ノルボルナンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルカンジイル基、該シクロアルカンジイル基、該アダマンタンジイル基、該ノルボルナンジイル基、該アダマンタンラクトンジイル基、該ノルボルナンラクトンジイル基及び該フェニレン基は、フッ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基、ヒドロキシ基又はヒドロキシメチル基を有してもよい。）を含むものであり、
さらに一層好ましくは、シクロヘキサンジイル基、アダマンタンジイル基、ヒドロキシアダマンタンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、炭素数１～６のアルカンジイル基とアダマンタンジイル基とを組み合わせた基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、フェニレン基、又は、ヒドロキシフェニレン基である。
また、Ｘ０は、脂環式炭化水素基を含み、該脂環式炭化水素基は、炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基、ノルボルナンラクトンジイル基、又は、アダマンタンジイル基と該アダマンタンジイル基とスピロで結合した炭素数５もしくは６のシクロアルカンジイル基（該アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基及びシクロアルカンジイル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）を含むものであることも好ましい。ここで、該アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基に含まれる－ＣＨ２－ＣＨ２－は、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該シクロアルカンジイル基は、アセタール環であってもよい。
The hydrocarbon group represented by X 0 is preferably an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent (-CH 2 - contained in the aliphatic hydrocarbon group -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent,
More preferably, a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms which may have a substituent (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-) ), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms which may have a substituent (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and an alicyclic hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent A group combining 18 chain hydrocarbon groups (even if -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -) -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), an aromatic carbon having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent. A group combining a hydrogen group or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms which may have a substituent (the chain -CH 2 - contained in the formula hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-),
More preferably, *-chain hydrocarbon group, *-alicyclic hydrocarbon group, *-group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group, and *-alicyclic hydrocarbon group. Hydrogen group - chain hydrocarbon group -, * - chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group, * - group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group - chain hydrocarbon group -, *-chain hydrocarbon group - group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group -, *-aromatic hydrocarbon group -, *-chain hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group Hydrogen group-, *-aromatic hydrocarbon group-chain hydrocarbon group-, *-alicyclic hydrocarbon group-chain hydrocarbon group-alicyclic hydrocarbon group-, *-chain hydrocarbon group- Alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group -, *- group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group -, *- Chain hydrocarbon group - a group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group - chain hydrocarbon group -, *-chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon Group - alicyclic hydrocarbon group - or * - chain hydrocarbon group - group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group -(-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group) -CH 2 - may be replaced with -O- or -CO-, and the alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group and chain hydrocarbon group may have a substituent. Good. * represents the bonding site with the carbon atom of -COO - ),
Even more preferably, *-alicyclic hydrocarbon group- (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -). The alicyclic hydrocarbon group may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a hydroxy group, or a fluorine atom.* represents the bonding site of -COO - with the carbon atom), *-alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group represents -O -, -S-, -CO- or -SO 2 - may be substituted, and -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, The alicyclic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group. * represents the bonding site with the carbon atom of -COO - ), *-chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is - -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. Often, the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group. (* represents the bonding site with the carbon atom of -COO - ), *-Aromatic hydrocarbon group- (The aromatic hydrocarbon group is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, 1 to 4 carbon atoms, It may have a perfluoroalkyl group, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group (* represents a bonding site with a carbon atom of -COO- ) or *-chain hydrocarbon group-aromatic carbonization. Hydrogen group - (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and the chain hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group have a carbon number of It may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom or a hydroxy group. * represents the bonding site with the carbon atom of -COO - .) can be,
Even more preferably, *-monocyclic alicyclic hydrocarbon group- (-CH 2 - contained in the monocyclic alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and the monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a hydroxy group. or may have a fluorine atom.* represents a bonding site with a carbon atom of -COO- ), *-polycyclic alicyclic hydrocarbon group- -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and the polycyclic alicyclic hydrocarbon group has a carbon number of It may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a hydroxy group, or a fluorine atom. * represents the bonding site with the carbon atom of -COO 2 - .) , *-Polycyclic alicyclic hydrocarbon group-chain hydrocarbon group- (-CH 2 - contained in the polycyclic alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, - -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and the polycyclic alicyclic The formula hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group. -COO - represents the bonding site with the carbon atom.), *-chain hydrocarbon group - polycyclic alicyclic hydrocarbon group - (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group, -CH 2 - contained in the polycyclic alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - The chain hydrocarbon group and the polycyclic alicyclic hydrocarbon group may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, It may have a fluorine atom or a hydroxyl group. * represents a bonding site with a carbon atom of -COO - ), *- aromatic hydrocarbon group - (the aromatic hydrocarbon group has 1 to 1 carbon atoms) 4 alkyl group, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group. * represents the bonding site with the carbon atom of -COO - ) or *- Chain hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and the chain hydrocarbon group and the The aromatic hydrocarbon group may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxymethyl group, a fluorine atom, or a hydroxy group. * represents a bonding site of -COO - with a carbon atom. ).
In the above group, the alicyclic hydrocarbon group preferably has 3 to 36 carbon atoms, more preferably 3 to 24 carbon atoms, still more preferably 3 to 18 carbon atoms, and even more preferably 3 to 16 carbon atoms. Yes, and even more preferably from 3 to 12. The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 18, more preferably 1 to 12, still more preferably 1 to 9, even more preferably 1 to 6, and even more preferably 1 to 4. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6 to 36, more preferably 6 to 24, still more preferably 6 to 18, even more preferably 6 to 14, and even more preferably It is 6-10.
In the above group, the alicyclic hydrocarbon group or aromatic hydrocarbon group is an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (contained in the group - CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -.), and any of formulas (w1-1) to (w1-28) It is more preferable to be a group represented by the following, and a group represented by any one of formula (w1-1) to formula (w1-6) and formula (w1-12) to formula (w1-26). More preferably, formula (w1-1) to formula (w1-3), formula (w1-6), formula (w1-15) to formula (w1-17), formula (w1-22) and formula (w1 -25) is even more preferred.
-CH 2 - contained in the group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. The binding site can be at any position. ]
More specifically, the above monocyclic alicyclic hydrocarbon group is a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the cycloalkanediyl group is -O- or -CO ), and the above polycyclic alicyclic hydrocarbon group is preferably an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, an adamantanelactonediyl group, a norbornanelactonediyl group, or an adamantanediyl group. A diyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms bonded to the adamantanediyl group through a spiro bond (-CH 2 - contained in the adamantanediyl group, norbornanediyl group, and cycloalkanediyl group is -O- or - ), and the aromatic hydrocarbon group is preferably a phenylene group. Here, -CH 2 -CH 2 - contained in the adamantanediyl group and norbornanediyl group may be replaced with -O-CO-, and the cycloalkanediyl group may be an acetal ring.
In the above group, the chain hydrocarbon group is a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-). ), preferably a chain hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-). ), and more preferably an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-). is even more preferable. Moreover, it is also preferable to have a fluorine atom.
In the above groups, the substituent is preferably a fluorine atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, or a combination thereof; , a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a hydroxymethyl group, more preferably a fluorine atom, a hydroxy group, or a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms. It is even more preferable.
More specifically, X 0 is preferably a single bond or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent (-CH contained in the aliphatic hydrocarbon group) 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a substituent. It is a thing,
More preferably, a group having 1 to 18 carbon atoms which is a single bond or which may have a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group. Chain hydrocarbon group (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), fluorine atom, alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, carbon An alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms that may have 1 to 4 perfluoroalkyl groups, hydroxy groups, or hydroxymethyl groups (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group) -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - may be substituted), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms. (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and the chain hydrocarbon group -CH 2 - contained in may be replaced with -O- or -CO-, and the alicyclic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group include a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, , a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group), a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group. or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms which may have a hydroxymethyl group, or a combination of an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms. (The -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and the aromatic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group include a fluorine atom, may have an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group),
More preferably, a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms (the chain type -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group. an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -) ), a group that combines an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms (-CH 2 contained in the alicyclic hydrocarbon group), - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, and -CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-. (The alicyclic hydrocarbon group and the chain hydrocarbon group may have a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, or a hydroxymethyl group.), fluorine an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, which may have an atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms; A group combining a chain hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-, and the aromatic carbon The hydrogen group and the chain hydrocarbon group may contain a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group or a hydroxymethyl group,
Even more preferably, a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, an adamantanelactonediyl group, a norbornanelactonediyl group, Phenylene group, a group combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, or a phenylene group, or an adamantanediyl group and a group having 5 or 6 carbon atoms A group combining 6 with a cycloalkanediyl group (-CH 2 - contained in the alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group and the norbornanediyl group is replaced with -O- or -CO-) The alkanediyl group, the cycloalkanediyl group, the adamantanediyl group, the norbornanediyl group, the adamantanelactonediyl group, the norbornanelactonediyl group, and the phenylene group have a fluorine atom, a carbon number of 1 to 4) may have a perfluoroalkyl group, hydroxy group or hydroxymethyl group,
Even more preferably, a cyclohexanediyl group, an adamantanediyl group, a hydroxyadamantanediyl group, a norbornanelactonediyl group, a group combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and an adamantanediyl group (contained in the alkanediyl group - CH 2 -- may be replaced by --O- or --CO-), a phenylene group, or a hydroxyphenylene group.
Furthermore, X 0 includes an alicyclic hydrocarbon group, and the alicyclic hydrocarbon group is a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms, an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, an adamantanelactonediyl group, or a norbornanelactone group. A diyl group, or an adamantanediyl group and a cycloalkanediyl group having 5 or 6 carbon atoms bonded to the adamantanediyl group via spiro (-CH 2 - contained in the adamantanediyl group, norbornanediyl group, and cycloalkanediyl group) , -O- or -CO-). Here, -CH 2 -CH 2 - contained in the adamantanediyl group and norbornanediyl group may be replaced with -O-CO-, and the cycloalkanediyl group may be an acetal ring.
Ｒｂｂ１のハロゲン原子は、Ｒ４～Ｒ９で挙げられたハロゲン原子と同じものが挙げられる。Ｒｂｂ１のハロゲン原子を有してもよいアルキル基は、炭素数の上限が許す限り、Ｒ４～Ｒ９で挙げられたアルキル基及びハロアルキル基と同じものが挙げられる。
Ｒｂｂ１は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基であり、さらにより好ましくはメチル基である。
Ｘ１０が、＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊で表される基の場合、以下の式（Ｘ１０）で表される連結基であることが好ましい。
Ａｘは、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子と結合する結合種を表し、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、Ｌ１０と結合する結合種を表し、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表し、ｍｘが２以上の整数の場合、複数のＲｘは互いに同じでも異なっていてもよい。］
Ａｘ及びＡｙのどちらかの一方が、単結合である場合、他方は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種であることが好ましい。
フェニレン基におけるＡｙの結合位置は、Ａｘの結合位置に対して、ｍ位又はｐ位であることが好ましく、ｐ位であることがより好ましい。
Ｒｘは、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、メチル基又はエチル基が好ましい。
ｍｘは、０、１又は２が好ましい。
Ｘ１０としては、例えば、以下の式（Ｘ１０－１）～式（Ｘ１０－１０）で表される基が挙げられる。＊及び＊＊は、結合部位を表し、＊は－Ｒｂｂ１が結合する炭素原子との結合部位を表す。
R bb1 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, even more preferably a hydrogen atom or a methyl group, and even more preferably Preferably it is a methyl group.
When X 10 is a group represented by *-Ax-Ph-Ay-**, it is preferably a linking group represented by the following formula (X10).
Ax represents a bond type that is bonded to the carbon atom to which R bb1 is bonded, and represents one bond type selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Ay represents a bond species that binds to L 10 , and represents one type of bond species selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4, and when mx is an integer of 2 or more, the plurality of Rx may be the same or different from each other. ]
When either Ax or Ay is a single bond, the other is preferably one selected from the group consisting of an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
The bonding position of Ay in the phenylene group is preferably m-position or p-position with respect to the bonding position of Ax, and more preferably p-position.
Rx is preferably a fluorine atom, an iodine atom, a trifluoromethyl group, a methyl group, or an ethyl group.
mx is preferably 0, 1 or 2.
Examples of X 10 include groups represented by the following formulas (X 10 -1) to (X 10 -10). * and ** represent a bonding site, and * represents a bonding site with a carbon atom to which -R bb1 is bonded.
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基としては、２価の脂肪族炭化水素基（アルカンジイル基、アルケンジイル基、アルキンジイル基等の２価の鎖式炭化水素基及び２価の脂環式炭化水素基）、２価の芳香族炭化水素基等が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせた２価の炭化水素基であってもよい。 The hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms in L10 is a divalent aliphatic hydrocarbon group (a divalent chain hydrocarbon group such as an alkanediyl group, an alkenediyl group, an alkynediyl group, and a divalent alicyclic group). (hydrocarbon group), divalent aromatic hydrocarbon group, etc., and a divalent hydrocarbon group that is a combination of two or more of these groups may be used.
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
アルケンジイル基としては、エテンジイル基、プロペンジイル基、イソプロペンジイル基、ブテンジイル基、イソブテンジイル基、ｔｅｒｔ－ブテンジイル基、ペンテンジイル基、ヘキセンジイル基、ヘプテンジイル基、オクテンジイル基、イソオクテンジイル基、ノネンジイル基が挙げられる。
アルキンジイル基としては、エチンジイル基、プロピンジイル基、イソプロピンジイル基、ブチンジイル基、イソブチンジイル基、ｔｅｒｔ－ブチンジイル基、ペンチンジイル基、ヘキシンジイル基、オクチンジイル基、ノニンジイル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～９であり、さらに好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
２価の脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよい。２価の脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２である。
２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
２種以上を組み合わせた炭化水素基としては、アルカンジイル基と脂環式炭化水素基及び／又は芳香族炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられ、－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－芳香族炭化水素基－、－芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－等が挙げられる。
Examples of alkanediyl groups include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, and heptane-1,6-diyl group. 1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group Linear alkanediyl groups such as groups;
Ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group are mentioned.
Examples of the alkenediyl group include ethenediyl group, propenediyl group, isopropendiyl group, butenediyl group, isobutenediyl group, tert-butenediyl group, pentenediyl group, hexenediyl group, heptenediyl group, octenediyl group, isooctenediyl group, and nonenediyl group. .
Examples of the alkynediyl group include ethynediyl group, propynediyl group, isopropylenediyl group, butynediyl group, isobutynediyl group, tert-butynediyl group, pentyndiyl group, hexynediyl group, octyndiyl group, nonynediyl group, and the like.
The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 12, more preferably 1 to 9, still more preferably 1 to 6, even more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The divalent alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic, polycyclic, or spirocyclic. Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group include the groups shown below. The binding site can be at any position.
The alicyclic hydrocarbon group preferably has 3 to 18 carbon atoms, more preferably 3 to 16 carbon atoms, and still more preferably 3 to 12 carbon atoms.
Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group include a phenylene group, a naphthylene group, an anthrylene group, a biphenylene group, and a phenanthrylene group. The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 18 carbon atoms, more preferably 6 to 14 carbon atoms, and still more preferably 6 to 10 carbon atoms.
Examples of hydrocarbon groups that are a combination of two or more types include groups that combine an alkanediyl group and an alicyclic hydrocarbon group and/or an aromatic hydrocarbon group, such as -alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group. group -, -alkanediyl group -alicyclic hydrocarbon group -, -alkanediyl group -alicyclic hydrocarbon group -alkanediyl group -, -alkanediyl group -aromatic hydrocarbon group -, -aromatic hydrocarbon Examples include groups such as alkanediyl groups.
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基が置換基を有する場合又は該炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の炭素数とする。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～３５のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～３５のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～３６のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～３５のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～３５のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～３５のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～３６のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～３５のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基、アルカンジイルカルボニル基、アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～３５のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～３５のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～３５のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～３５のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～３５のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～３５のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～３４のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基の炭素数は、好ましくは３～１１であり、より好ましくは３～６である。アルコキシカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～３５の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～３６の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～３５の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
When the hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms in L 10 has a substituent, or -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. If so, the number of carbon atoms before substitution is defined as the number of carbon atoms in the hydrocarbon group.
Groups in which -CH 2 - contained in a hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- include a hydroxy group (-CH 2 - contained in a methyl group, -O-), carboxy group (-CH 2 -CH 2 - contained in the ethyl group replaced with -O-CO-), thiol group (-CH 2 contained in the methyl group) - is replaced with -S-), alkoxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -O-), alkoxycarbonyl group (a group contained in an alkyl group) -CH 2 -CH 2 - at any position is replaced with -O-CO-), alkylcarbonyl group (-CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced with -CO-) group), alkylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), oxy group (-CH 2 contained in a methylene group) - is replaced with -O-), carbonyl group (-CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -CO-), thio group (-CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -CO-), , -S-), sulfonyl group (-CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -SO 2 -), alkanediyloxy group (any position contained in the alkanediyl group) -CH 2 - is replaced with -O-), alkanediyloxycarbonyl group (-CH 2 -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -O-CO-) group), alkanediylcarbonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -CO-), alkanediylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 - contained at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -CO-), -CH 2 -CH 2 - is replaced with -CO-O-), alkylthio group (a group in which -CH 2 - at any position in the alkyl group is replaced with -S-), alkyl A sulfonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -SO 2 -), an alkanediylthio group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkanediyl group is replaced with -SO 2 -), , -S-), alkanediylsulfonyl group (group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -SO 2 -), cycloalkoxy group, cycloalkylalkoxy group , an alkoxycarbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, an aromatic hydrocarbon group-oxy group, and a group combining two or more of these groups. .
Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 35 carbon atoms, such as methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, and nonyloxy group. group, decyloxy group, undecyloxy group, etc. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
The alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include alkoxycarbonyl groups having 2 to 35 carbon atoms, such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and the like. Examples of the alkylcarbonyl group include alkylcarbonyl groups having 2 to 36 carbon atoms, such as an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. Examples of the alkylcarbonyloxy group include alkylcarbonyloxy groups having 2 to 35 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 to 3. It is.
Examples of the alkanediyloxy group include alkanediyloxy groups having 1 to 35 carbon atoms, such as methyleneoxy group, ethyleneoxy group, propanediyloxy group, butanediyloxy group, pentanediyloxy group, and the like. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediyloxycarbonyl group include alkanediyloxycarbonyl groups having 2 to 35 carbon atoms, such as methyleneoxycarbonyl group, ethyleneoxycarbonyl group, propanediyloxycarbonyl group, butanediyloxycarbonyl group, etc. . Examples of the alkanediylcarbonyl group include alkanediylcarbonyl groups having 2 to 36 carbon atoms, such as methylenecarbonyl group, ethylenecarbonyl group, propanediylcarbonyl group, butanediylcarbonyl group, pentanediylcarbonyl group, and the like. Examples of the alkanediylcarbonyloxy group include alkanediylcarbonyloxy groups having 2 to 35 carbon atoms, such as methylenecarbonyloxy group, ethylenecarbonyloxy group, propanediylcarbonyloxy group, butanediylcarbonyloxy group, etc. . The number of carbon atoms in the alkanediyloxycarbonyl group, alkanediylcarbonyl group, and alkanediylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably is 2-3.
Examples of the alkylthio group include alkylthio groups having 1 to 35 carbon atoms, such as methylthio group, ethylthio group, propylthio group, and the like. The alkylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkylsulfonyl group include alkylsulfonyl groups having 1 to 35 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, and the like. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
Examples of the alkanediylthio group include an alkanediylthio group having 1 to 35 carbon atoms, such as a methylenethio group, an ethylenethio group, a propylenethio group, and the like. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylsulfonyl group include an alkanediylsulfonyl group having 1 to 35 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group, and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the cycloalkoxy group include cycloalkoxy groups having 3 to 35 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. Examples of the cycloalkylalkoxy group include a cycloalkylalkoxy group having 4 to 35 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. Examples of the alkoxycarbonyloxy group include alkoxycarbonyloxy groups having 2 to 34 carbon atoms, such as a butoxycarbonyloxy group. The number of carbon atoms in the cycloalkoxy group and cycloalkylalkoxy group is preferably 3 to 11, more preferably 3 to 6. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 to 3. The aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group having 7 to 35 carbon atoms, such as a benzoyloxy group. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyl group include aromatic hydrocarbon group-carbonyl groups having 7 to 36 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 35 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
In addition, examples of groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group are replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - include the groups shown below. . -O- or -CO- in the groups shown below may be replaced with -S- or -SO 2 -. The binding site can be at any position.
Ｌ１０の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられる。
Ｌ１０の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わった基により、Ｌ１０は、実質的に、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等の置換基を有することができる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
Examples of the substituent that the hydrocarbon group of L 10 may have include a halogen atom, a cyano group, and the like.
Due to the group in which -CH 2 - contained in the hydrocarbon group of L 10 is replaced with -O- or -CO-, L 10 is substantially a hydroxy group, a carboxy group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group. It can have a substituent such as a group or an alkylcarbonyloxy group.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
The hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms in L 10 may have one or more substituents.
Ｌ１０は、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合、炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（但し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数１～４のアルカンジイル基と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～４のアルカンジイル基と置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合、炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（但し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよいフェニレン基、炭素数１～４のアルカンジイル基と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～４のアルカンジイル基と置換基を有してもよいフェニレン基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。 L 10 is a single bond, an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-), a carbon number 3 to 18 cyclic hydrocarbon groups (However, the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and the -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, - ) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however , the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), and is preferably a single bond, an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (however, the alkanediyl -CH 2 - contained in the group may be replaced with -O- or -CO-), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-), -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), an aromatic hydrocarbon having 6 to 18 carbon atoms which may have a substituent. group, a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group is -O- or -CO- may be substituted, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms which may have a substituent (provided that -CH 2 - contained in the alkanediyl group) is more preferably a single bond, an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-). may be replaced with -O- or -CO-), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with - ), a phenylene group which may have a substituent, an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms, and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms. A group formed by combining (However, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group, It may be replaced with -O- or -CO-. ) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenylene group which may have a substituent (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group is -O- or -CO - may be substituted with ), and is more preferably a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (however, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced by -O- or -CO - may be replaced.) is even more preferred.
アニオン（Ｉ）としては、例えば、以下のアニオンが挙げられる。
カルボン酸塩（Ｉ）の具体例として、上記したカチオンとアニオンとを任意に組み合わせた塩が挙げられる。カルボン酸塩（Ｉ）の具体例を下記表に示す。
下記表において、各符号は、上述のアニオン及びカチオンを表す構造に付した符号を表し、「～」は、カルボン酸塩（Ｉ）とアニオン（Ｉ）とのそれぞれが対応することを示す。たとえば、カルボン酸塩（Ｉ－１）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩であり、以下に示す塩である。また、カルボン酸塩（Ｉ－２）は、式（Ｉ－ａ－２）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩、カルボン酸塩（Ｉ－２８）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－２）で示されるカチオンとからなる塩を示す。
In the table below, each code represents the code attached to the structure representing the above-mentioned anion and cation, and "~" indicates that carboxylate (I) and anion (I) correspond to each other. For example, carboxylate (I-1) is a salt consisting of an anion represented by formula (I-a-1) and a cation represented by formula (I-c-1), and is a salt shown below. . In addition, carboxylate (I-2) is a salt consisting of an anion represented by formula (I-a-2) and a cation represented by formula (I-c-1), carboxylate (I-28) represents a salt consisting of an anion represented by formula (I-a-1) and a cation represented by formula (I-c-2).
なかでも、カルボン酸塩（Ｉ）としては、カルボン酸塩（Ｉ－１）～カルボン酸塩（Ｉ－１２）、カルボン酸塩（Ｉ－２８）～カルボン酸塩（Ｉ－３９）、カルボン酸塩（Ｉ－５５）～カルボン酸塩（Ｉ－６６）、カルボン酸塩（Ｉ－８２）～カルボン酸塩（Ｉ－９３）、カルボン酸塩（Ｉ－１０９）～カルボン酸塩（Ｉ－１２０）、カルボン酸塩（Ｉ－１３６）～カルボン酸塩（Ｉ－１４７）、カルボン酸塩（Ｉ－１６３）～カルボン酸塩（Ｉ－１７４）、カルボン酸塩（Ｉ－１９０）～カルボン酸塩（Ｉ－２０１）、カルボン酸塩（Ｉ－２１７）～カルボン酸塩（Ｉ－２２８）、カルボン酸塩（Ｉ－２４４）～カルボン酸塩（Ｉ－２５５）、カルボン酸塩（Ｉ－２７１）～カルボン酸塩（Ｉ－２８２）、カルボン酸塩（Ｉ－２９８）～カルボン酸塩（Ｉ－３０９）、カルボン酸塩（Ｉ－３２５）～カルボン酸塩（Ｉ－３３６）、カルボン酸塩（Ｉ－３５２）～カルボン酸塩（Ｉ－３６３）、カルボン酸塩（Ｉ－３７９）～カルボン酸塩（Ｉ－３９０）、カルボン酸塩（Ｉ－４０６）～カルボン酸塩（Ｉ－４１７）、カルボン酸塩（Ｉ－４３３）～カルボン酸塩（Ｉ－４４４）、カルボン酸塩（Ｉ－４６０）～カルボン酸塩（Ｉ－４７１）、カルボン酸塩（Ｉ－４８７）～カルボン酸塩（Ｉ－４９８）、カルボン酸塩（Ｉ－５１４）～カルボン酸塩（Ｉ－５２５）、カルボン酸塩（Ｉ－５４１）～カルボン酸塩（Ｉ－５５２）、カルボン酸塩（Ｉ－５６８）～カルボン酸塩（Ｉ－５７９）、カルボン酸塩（Ｉ－５９５）～カルボン酸塩（Ｉ－６０６）、カルボン酸塩（Ｉ－６２２）～カルボン酸塩（Ｉ－６３３）、カルボン酸塩（Ｉ－６４９）～カルボン酸塩（Ｉ－６６０）、カルボン酸塩（Ｉ－６７６）～カルボン酸塩（Ｉ－６８７）、カルボン酸塩（Ｉ－７０３）～カルボン酸塩（Ｉ－７１４）、カルボン酸塩（Ｉ－７３０）～カルボン酸塩（Ｉ－７４１）、カルボン酸塩（Ｉ－７５７）～カルボン酸塩（Ｉ－７６８）、カルボン酸塩（Ｉ－７８４）～カルボン酸塩（Ｉ－７９５）、カルボン酸塩（Ｉ－８１１）～カルボン酸塩（Ｉ－８２２）、カルボン酸塩（Ｉ－８３８）～カルボン酸塩（Ｉ－８４９）、カルボン酸塩（Ｉ－８６５）～カルボン酸塩（Ｉ－８７６）、カルボン酸塩（Ｉ－８９２）～カルボン酸塩（Ｉ－９０３）、カルボン酸塩（Ｉ－９１９）～カルボン酸塩（Ｉ－９３０）、カルボン酸塩（Ｉ－９４６）～カルボン酸塩（Ｉ－９５７）、カルボン酸塩（Ｉ－９７３）～カルボン酸塩（Ｉ－９８４）、カルボン酸塩（Ｉ－１０００）～カルボン酸塩（Ｉ－１０１１）、カルボン酸塩（Ｉ－１０２７）～カルボン酸塩（Ｉ－１０３８）、カルボン酸塩（Ｉ－１０５４）～カルボン酸塩（Ｉ－１０６５）、カルボン酸塩（Ｉ－１０８１）～カルボン酸塩（Ｉ－１０９２）、カルボン酸塩（Ｉ－１１０８）～カルボン酸塩（Ｉ－１１１９）、カルボン酸塩（Ｉ－１１３５）～カルボン酸塩（Ｉ－１１４６）、カルボン酸塩（Ｉ－１１６２）～カルボン酸塩（Ｉ－１１７３）、カルボン酸塩（Ｉ－１１８９）～カルボン酸塩（Ｉ－１２００）、カルボン酸塩（Ｉ－１２１６）～カルボン酸塩（Ｉ－１２２７）、カルボン酸塩（Ｉ－１２４３）～カルボン酸塩（Ｉ－１２５４）、カルボン酸塩（Ｉ－１２７０）～カルボン酸塩（Ｉ－１２８１）、カルボン酸塩（Ｉ－１２９７）～カルボン酸塩（Ｉ－１３０８）、カルボン酸塩（Ｉ－１３２４）～カルボン酸塩（Ｉ－１３３５）、カルボン酸塩（Ｉ－１３５１）～カルボン酸塩（Ｉ－１３６２）、カルボン酸塩（Ｉ－１３７８）～カルボン酸塩（Ｉ－１３８９）、カルボン酸塩（Ｉ－１４０５）～カルボン酸塩（Ｉ－１４１６）、カルボン酸塩（Ｉ－１４３２）～カルボン酸塩（Ｉ－１４４３）、カルボン酸塩（Ｉ－１４５９）～カルボン酸塩（Ｉ－１４７０）、カルボン酸塩（Ｉ－１４８６）～カルボン酸塩（Ｉ－１４９７）、カルボン酸塩（Ｉ－１５１３）～カルボン酸塩（Ｉ－１５２４）、カルボン酸塩（Ｉ－１５４０）～カルボン酸塩（Ｉ－１５５１）、カルボン酸塩（Ｉ－１５６７）～カルボン酸塩（Ｉ－１５７８）、カルボン酸塩（Ｉ－１５９４）～カルボン酸塩（Ｉ－１６０５）、カルボン酸塩（Ｉ－１６２１）～カルボン酸塩（Ｉ－１６３２）、カルボン酸塩（Ｉ－１６４８）～カルボン酸塩（Ｉ－１６５９）、カルボン酸塩（Ｉ－１６７５）～カルボン酸塩（Ｉ－１６８６）、カルボン酸塩（Ｉ－１７０２）～カルボン酸塩（Ｉ－１７１３）、カルボン酸塩（Ｉ－１７２９）～カルボン酸塩（Ｉ－１７４０）、カルボン酸塩（Ｉ－１７５６）～カルボン酸塩（Ｉ－１７６７）、カルボン酸塩（Ｉ－１７８３）～カルボン酸塩（Ｉ－１７９４）、カルボン酸塩（Ｉ－１８１０）～カルボン酸塩（Ｉ－１８２１）、カルボン酸塩（Ｉ－１８３７）～カルボン酸塩（Ｉ－１８４８）、カルボン酸塩（Ｉ－１８６４）～カルボン酸塩（Ｉ－１８７５）、カルボン酸塩（Ｉ－１８９１）～カルボン酸塩（Ｉ－１９０２）、カルボン酸塩（Ｉ－１９１８）～カルボン酸塩（Ｉ－１９２９）、カルボン酸塩（Ｉ－１９４５）～カルボン酸塩（Ｉ－１９５６）、カルボン酸塩（Ｉ－１９７２）～カルボン酸塩（Ｉ－１９８３）、カルボン酸塩（Ｉ－１９９９）～カルボン酸塩（Ｉ－２０１０）、カルボン酸塩（Ｉ－２０２６）～カルボン酸塩（Ｉ－２０３７）、カルボン酸塩（Ｉ－２０５３）～カルボン酸塩（Ｉ－２０６４）、カルボン酸塩（Ｉ－２０８０）～カルボン酸塩（Ｉ－２０９１）、カルボン酸塩（Ｉ－２１０７）～カルボン酸塩（Ｉ－２１１８）、カルボン酸塩（Ｉ－２１３４）～カルボン酸塩（Ｉ－２１４５）、カルボン酸塩（Ｉ－２１６１）～カルボン酸塩（Ｉ－２１７２）、カルボン酸塩（Ｉ－２１８８）～カルボン酸塩（Ｉ－２１９９）、カルボン酸塩（Ｉ－２２１５）～カルボン酸塩（Ｉ－２２２６）、カルボン酸塩（Ｉ－２２４２）～カルボン酸塩（Ｉ－２２５３）、カルボン酸塩（Ｉ－２２６９）～カルボン酸塩（Ｉ－２２８０）、カルボン酸塩（Ｉ－２２９６）～カルボン酸塩（Ｉ－２３０７）、カルボン酸塩（Ｉ－２３２３）～カルボン酸塩（Ｉ－２３３４）、カルボン酸塩（Ｉ－２３５０）～カルボン酸塩（Ｉ－２３６１）、カルボン酸塩（Ｉ－２３７７）～カルボン酸塩（Ｉ－２３８８）、カルボン酸塩（Ｉ－２４０４）～カルボン酸塩（Ｉ－２４１５）、カルボン酸塩（Ｉ－２４３１）～カルボン酸塩（Ｉ－２４４２）、カルボン酸塩（Ｉ－２４５８）～カルボン酸塩（Ｉ－２４６９）、カルボン酸塩（Ｉ－２４８５）～カルボン酸塩（Ｉ－２４９６）、カルボン酸塩（Ｉ－２５１２）～カルボン酸塩（Ｉ－２５２３）、カルボン酸塩（Ｉ－２５３９）～カルボン酸塩（Ｉ－２５５０）、カルボン酸塩（Ｉ－２５６６）～カルボン酸塩（Ｉ－２５７７）、カルボン酸塩（Ｉ－２５９３）～カルボン酸塩（Ｉ－２６０４）、カルボン酸塩（Ｉ－２６２０）～カルボン酸塩（Ｉ－２６３１）、カルボン酸塩（Ｉ－２６４７）～カルボン酸塩（Ｉ－２６５８）、カルボン酸塩（Ｉ－２６７４）～カルボン酸塩（Ｉ－２６８５）、カルボン酸塩（Ｉ－２７０１）～カルボン酸塩（Ｉ－２７１２）、カルボン酸塩（Ｉ－２７２８）～カルボン酸塩（Ｉ－２７３９）、カルボン酸塩（Ｉ－２７５５）～カルボン酸塩（Ｉ－２７６６）、カルボン酸塩（Ｉ－２７８２）～カルボン酸塩（Ｉ－２７９３）、カルボン酸塩（Ｉ－２８０９）～カルボン酸塩（Ｉ－２８２０）、カルボン酸塩（Ｉ－２８３６）～カルボン酸塩（Ｉ－２８４７）、カルボン酸塩（Ｉ－２８６３）～カルボン酸塩（Ｉ－２８７４）、カルボン酸塩（Ｉ－２８９０）～カルボン酸塩（Ｉ－２９０１）、カルボン酸塩（Ｉ－２９１７）～カルボン酸塩（Ｉ－２９２８）、カルボン酸塩（Ｉ－２９４４）～カルボン酸塩（Ｉ－２９５５）、カルボン酸塩（Ｉ－２９７１）～カルボン酸塩（Ｉ－２９８２）、カルボン酸塩（Ｉ－２９９８）～カルボン酸塩（Ｉ－３００９）、カルボン酸塩（Ｉ－３０２５）～カルボン酸塩（Ｉ－３０３６）、カルボン酸塩（Ｉ－３０５２）～カルボン酸塩（Ｉ－３０６３）、カルボン酸塩（Ｉ－３０７９）～カルボン酸塩（Ｉ－３０９０）、カルボン酸塩（Ｉ－３１０６）～カルボン酸塩（Ｉ－３１１７）、カルボン酸塩（Ｉ－３１３３）～カルボン酸塩（Ｉ－３１４４）、カルボン酸塩（Ｉ－３１６０）～カルボン酸塩（Ｉ－３１７１）、カルボン酸塩（Ｉ－３１８７）～カルボン酸塩（Ｉ－３１９８）、カルボン酸塩（Ｉ－３２１４）～カルボン酸塩（Ｉ－３２２５）、カルボン酸塩（Ｉ－３２４１）～カルボン酸塩（Ｉ－３２５２）、カルボン酸塩（Ｉ－３２６８）～カルボン酸塩（Ｉ－３２７９）、カルボン酸塩（Ｉ－３２９５）～カルボン酸塩（Ｉ－３３０６）、カルボン酸塩（Ｉ－３３２２）～カルボン酸塩（Ｉ－３３３３）、カルボン酸塩（Ｉ－３３４９）～カルボン酸塩（Ｉ－３３６０）、カルボン酸塩（Ｉ－３３７６）～カルボン酸塩（Ｉ－３３８７）、カルボン酸塩（Ｉ－３４０３）～カルボン酸塩（Ｉ－３４１４）、カルボン酸塩（Ｉ－３４３０）～カルボン酸塩（Ｉ－３４４１）、カルボン酸塩（Ｉ－３４５７）～カルボン酸塩（Ｉ－３４６８）、カルボン酸塩（Ｉ－３４８４）～カルボン酸塩（Ｉ－３４９５）、カルボン酸塩（Ｉ－３５１１）～カルボン酸塩（Ｉ－３５２２）、カルボン酸塩（Ｉ－３５３８）～カルボン酸塩（Ｉ－３５４９）、カルボン酸塩（Ｉ－３５６５）～カルボン酸塩（Ｉ－３５７６）、カルボン酸塩（Ｉ－３５９２）～カルボン酸塩（Ｉ－３６０３）、カルボン酸塩（Ｉ－３６１９）～カルボン酸塩（Ｉ－３６３０）、カルボン酸塩（Ｉ－３６４６）～カルボン酸塩（Ｉ－３６５７）、カルボン酸塩（Ｉ－３６７３）～カルボン酸塩（Ｉ－３６８４）、カルボン酸塩（Ｉ－３７００）～カルボン酸塩（Ｉ－３７１１）、カルボン酸塩（Ｉ－３７２７）～カルボン酸塩（Ｉ－３７３８）、カルボン酸塩（Ｉ－３７５４）～カルボン酸塩（Ｉ－３７６５）、カルボン酸塩（Ｉ－３７８１）～カルボン酸塩（Ｉ－３７９２）、カルボン酸塩（Ｉ－３８０８）～カルボン酸塩（Ｉ－３８１９）、カルボン酸塩（Ｉ－３８３５）～カルボン酸塩（Ｉ－３８４６）、カルボン酸塩（Ｉ－３８６２）～カルボン酸塩（Ｉ－３８７３）、カルボン酸塩（Ｉ－３８８９）～カルボン酸塩（Ｉ－３９００）、カルボン酸塩（Ｉ－３９１６）～カルボン酸塩（Ｉ－３９２７）、カルボン酸塩（Ｉ－３９４３）～カルボン酸塩（Ｉ－３９５４）、カルボン酸塩（Ｉ－３９７０）～カルボン酸塩（Ｉ－３９８１）、カルボン酸塩（Ｉ－３９９７）～カルボン酸塩（Ｉ－４００８）、カルボン酸塩（Ｉ－４０２４）～カルボン酸塩（Ｉ－４０３５）、カルボン酸塩（Ｉ－４０５１）～カルボン酸塩（Ｉ－４０６２）、カルボン酸塩（Ｉ－４０７８）～カルボン酸塩（Ｉ－４０８９）、カルボン酸塩（Ｉ－４１０５）～カルボン酸塩（Ｉ－４１１６）、カルボン酸塩（Ｉ－４１３２）～カルボン酸塩（Ｉ－４１４３）、カルボン酸塩（Ｉ－４１５９）～カルボン酸塩（Ｉ－４１７０）、カルボン酸塩（Ｉ－４１８６）～カルボン酸塩（Ｉ－４１９７）が好ましい。 Among them, carboxylates (I) include carboxylates (I-1) to carboxylates (I-12), carboxylates (I-28) to carboxylates (I-39), and carboxylates Salt (I-55) ~ Carboxylate (I-66), Carboxylate (I-82) ~ Carboxylate (I-93), Carboxylate (I-109) ~ Carboxylate (I-120) ), carboxylate (I-136) to carboxylate (I-147), carboxylate (I-163) to carboxylate (I-174), carboxylate (I-190) to carboxylate (I-201), carboxylate (I-217) to carboxylate (I-228), carboxylate (I-244) to carboxylate (I-255), carboxylate (I-271) ~ Carboxylate (I-282), Carboxylate (I-298) ~ Carboxylate (I-309), Carboxylate (I-325) ~ Carboxylate (I-336), Carboxylate ( I-352) to carboxylate (I-363), carboxylate (I-379) to carboxylate (I-390), carboxylate (I-406) to carboxylate (I-417), Carboxylate (I-433) ~ Carboxylate (I-444), Carboxylate (I-460) ~ Carboxylate (I-471), Carboxylate (I-487) ~ Carboxylate (I -498), carboxylate (I-514) to carboxylate (I-525), carboxylate (I-541) to carboxylate (I-552), carboxylate (I-568) to carboxylate Acid salt (I-579), carboxylate (I-595) to carboxylate (I-606), carboxylate (I-622) to carboxylate (I-633), carboxylate (I- 649) ~ Carboxylate (I-660), Carboxylate (I-676) ~ Carboxylate (I-687), Carboxylate (I-703) ~ Carboxylate (I-714), Carboxylic acid Salt (I-730) ~ Carboxylate (I-741), Carboxylate (I-757) ~ Carboxylate (I-768), Carboxylate (I-784) ~ Carboxylate (I-795) ), carboxylate (I-811) to carboxylate (I-822), carboxylate (I-838) to carboxylate (I-849), carboxylate (I-865) to carboxylate (I-876), carboxylate (I-892) to carboxylate (I-903), carboxylate (I-919) to carboxylate (I-930), carboxylate (I-946) ~ Carboxylate (I-957), Carboxylate (I-973) ~ Carboxylate (I-984), Carboxylate (I-1000) ~ Carboxylate (I-1011), Carboxylate ( I-1027) to carboxylate (I-1038), carboxylate (I-1054) to carboxylate (I-1065), carboxylate (I-1081) to carboxylate (I-1092), Carboxylate (I-1108) ~ Carboxylate (I-1119), Carboxylate (I-1135) ~ Carboxylate (I-1146), Carboxylate (I-1162) ~ Carboxylate (I -1173), carboxylate (I-1189) to carboxylate (I-1200), carboxylate (I-1216) to carboxylate (I-1227), carboxylate (I-1243) to carboxylate Acid salt (I-1254), Carboxylate (I-1270) ~ Carboxylate (I-1281), Carboxylate (I-1297) ~ Carboxylate (I-1308), Carboxylate (I- 1324) ~ Carboxylate (I-1335), Carboxylate (I-1351) ~ Carboxylate (I-1362), Carboxylate (I-1378) ~ Carboxylate (I-1389), Carboxylic acid Salt (I-1405) ~ Carboxylate (I-1416), Carboxylate (I-1432) ~ Carboxylate (I-1443), Carboxylate (I-1459) ~ Carboxylate (I-1470) ), carboxylate (I-1486) to carboxylate (I-1497), carboxylate (I-1513) to carboxylate (I-1524), carboxylate (I-1540) to carboxylate (I-1551), carboxylate (I-1567) to carboxylate (I-1578), carboxylate (I-1594) to carboxylate (I-1605), carboxylate (I-1621) ~ Carboxylate (I-1632), Carboxylate (I-1648) ~ Carboxylate (I-1659), Carboxylate (I-1675) ~ Carboxylate (I-1686), Carboxylate ( I-1702) to carboxylate (I-1713), carboxylate (I-1729) to carboxylate (I-1740), carboxylate (I-1756) to carboxylate (I-1767), Carboxylate (I-1783) ~ Carboxylate (I-1794), Carboxylate (I-1810) ~ Carboxylate (I-1821), Carboxylate (I-1837) ~ Carboxylate (I -1848), carboxylate (I-1864) to carboxylate (I-1875), carboxylate (I-1891) to carboxylate (I-1902), carboxylate (I-1918) to carboxylate Acid salt (I-1929), Carboxylate (I-1945) ~ Carboxylate (I-1956), Carboxylate (I-1972) ~ Carboxylate (I-1983), Carboxylate (I- 1999) ~ Carboxylate (I-2010), Carboxylate (I-2026) ~ Carboxylate (I-2037), Carboxylate (I-2053) ~ Carboxylate (I-2064), Carboxylic acid Salt (I-2080) ~ Carboxylate (I-2091), Carboxylate (I-2107) ~ Carboxylate (I-2118), Carboxylate (I-2134) ~ Carboxylate (I-2145) ), carboxylate (I-2161) to carboxylate (I-2172), carboxylate (I-2188) to carboxylate (I-2199), carboxylate (I-2215) to carboxylate (I-2226), carboxylate (I-2242) to carboxylate (I-2253), carboxylate (I-2269) to carboxylate (I-2280), carboxylate (I-2296) ~ Carboxylate (I-2307), Carboxylate (I-2323) ~ Carboxylate (I-2334), Carboxylate (I-2350) ~ Carboxylate (I-2361), Carboxylate ( I-2377) to carboxylate (I-2388), carboxylate (I-2404) to carboxylate (I-2415), carboxylate (I-2431) to carboxylate (I-2442), Carboxylate (I-2458) ~ Carboxylate (I-2469), Carboxylate (I-2485) ~ Carboxylate (I-2496), Carboxylate (I-2512) ~ Carboxylate (I -2523), carboxylate (I-2539) to carboxylate (I-2550), carboxylate (I-2566) to carboxylate (I-2577), carboxylate (I-2593) to carboxylate Acid salt (I-2604), Carboxylate (I-2620) ~ Carboxylate (I-2631), Carboxylate (I-2647) ~ Carboxylate (I-2658), Carboxylate (I- 2674) ~ Carboxylate (I-2685), Carboxylate (I-2701) ~ Carboxylate (I-2712), Carboxylate (I-2728) ~ Carboxylate (I-2739), Carboxylic acid Salt (I-2755) ~ Carboxylate (I-2766), Carboxylate (I-2782) ~ Carboxylate (I-2793), Carboxylate (I-2809) ~ Carboxylate (I-2820) ), carboxylate (I-2836) to carboxylate (I-2847), carboxylate (I-2863) to carboxylate (I-2874), carboxylate (I-2890) to carboxylate (I-2901), carboxylate (I-2917) to carboxylate (I-2928), carboxylate (I-2944) to carboxylate (I-2955), carboxylate (I-2971) ~ Carboxylate (I-2982), Carboxylate (I-2998) ~ Carboxylate (I-3009), Carboxylate (I-3025) ~ Carboxylate (I-3036), Carboxylate ( I-3052) to carboxylate (I-3063), carboxylate (I-3079) to carboxylate (I-3090), carboxylate (I-3106) to carboxylate (I-3117), Carboxylate (I-3133) ~ Carboxylate (I-3144), Carboxylate (I-3160) ~ Carboxylate (I-3171), Carboxylate (I-3187) ~ Carboxylate (I -3198), carboxylate (I-3214) to carboxylate (I-3225), carboxylate (I-3241) to carboxylate (I-3252), carboxylate (I-3268) to carboxylate Acid salt (I-3279), Carboxylate (I-3295) ~ Carboxylate (I-3306), Carboxylate (I-3322) ~ Carboxylate (I-3333), Carboxylate (I- 3349) ~ Carboxylate (I-3360), Carboxylate (I-3376) ~ Carboxylate (I-3387), Carboxylate (I-3403) ~ Carboxylate (I-3414), Carboxylic acid Salt (I-3430) ~ Carboxylate (I-3441), Carboxylate (I-3457) ~ Carboxylate (I-3468), Carboxylate (I-3484) ~ Carboxylate (I-3495) ), carboxylate (I-3511) to carboxylate (I-3522), carboxylate (I-3538) to carboxylate (I-3549), carboxylate (I-3565) to carboxylate (I-3576), carboxylate (I-3592) to carboxylate (I-3603), carboxylate (I-3619) to carboxylate (I-3630), carboxylate (I-3646) ~ Carboxylate (I-3657), Carboxylate (I-3673) ~ Carboxylate (I-3684), Carboxylate (I-3700) ~ Carboxylate (I-3711), Carboxylate ( I-3727) to carboxylate (I-3738), carboxylate (I-3754) to carboxylate (I-3765), carboxylate (I-3781) to carboxylate (I-3792), Carboxylate (I-3808) ~ Carboxylate (I-3819), Carboxylate (I-3835) ~ Carboxylate (I-3846), Carboxylate (I-3862) ~ Carboxylate (I -3873), carboxylate (I-3889) to carboxylate (I-3900), carboxylate (I-3916) to carboxylate (I-3927), carboxylate (I-3943) to carboxylate Acid salt (I-3954), Carboxylate (I-3970) ~ Carboxylate (I-3981), Carboxylate (I-3997) ~ Carboxylate (I-4008), Carboxylate (I- 4024) ~ Carboxylate (I-4035), Carboxylate (I-4051) ~ Carboxylate (I-4062), Carboxylate (I-4078) ~ Carboxylate (I-4089), Carboxylic acid Salt (I-4105) ~ Carboxylate (I-4116), Carboxylate (I-4132) ~ Carboxylate (I-4143), Carboxylate (I-4159) ~ Carboxylate (I-4170) ), carboxylic acid salts (I-4186) to carboxylic acid salts (I-4197) are preferred.
＜カルボン酸塩（Ｉ）の製造方法＞
カルボン酸塩（Ｉ）は、式（Ｉ－ａ）で表される塩と、式（Ｉ－ｂ）で表される塩とを、溶剤中で反応させることにより製造することができる。
この反応における溶媒としては、クロロホルム、アセトニトリル、イオン交換水等が挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～８０℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。
<Method for producing carboxylic acid salt (I)>
Carboxylate (I) can be produced by reacting a salt represented by formula (I-a) and a salt represented by formula (I-b) in a solvent.
Examples of the solvent in this reaction include chloroform, acetonitrile, ion-exchanged water, and the like.
The reaction temperature is usually 15°C to 80°C, and the reaction time is usually 0.5 to 24 hours.
式（Ｉ－ａ）で表される塩としては、下記式で表される塩等が挙げられる。これらの塩は、公知の製法により容易に製造することができる。
式（Ｉ－ｂ）で表される塩は、式（Ｉ－ｃ）で表される化合物と、酸化銀とを、溶剤中で反応させることにより製造することができる。
この反応における溶媒としては、クロロホルム、アセトニトリル等が挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～８０℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。
The salt represented by formula (I-b) can be produced by reacting the compound represented by formula (I-c) with silver oxide in a solvent.
Examples of the solvent in this reaction include chloroform and acetonitrile.
The reaction temperature is usually 15°C to 80°C, and the reaction time is usually 0.5 to 24 hours.
式（Ｉ－ｃ）で表される化合物としては、下記式で表される化合物等が挙げられる。これらの化合物は、市場より容易に入手することができ、又は、公知の製法により容易に製造することができる。
〔式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩に由来する構造単位〕
式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩に由来する構造単位は、式（ＩＰ）で表される構造単位（以下「構造単位（ＩＰ）」という場合がある。）である。
このような構造単位（ＩＰ）は、カルボン酸塩（Ｉ）と同様にカルボン酸発生剤としても機能するとともに、化合物又は樹脂を構成する構造単位としても機能する。
[Structural unit derived from carboxylate represented by formula (I)]
The structural unit derived from the carboxylic acid salt represented by formula (I) is a structural unit represented by formula (IP) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (IP)").
Such a structural unit (IP) functions not only as a carboxylic acid generator similarly to the carboxylate (I), but also as a structural unit constituting a compound or resin.
〔式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩に由来する構造単位（ＩＰ）を含む樹脂〕
本発明の樹脂は、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩に由来する構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（以下「樹脂（Ａｐ）」という場合がある。）である。
構造単位（ＩＰ）は、カルボン酸塩（Ｉ）に含まれるＣＨ２＝Ｃ－Ｒｂｂ１の２重結合が開裂した状態を示す。
樹脂（Ａｐ）は、１種の構造単位（ＩＰ）を含む単独重合体でもよいし、２種以上の構造単位（ＩＰ）を含む共重合体でもよい。
また、樹脂（Ａｐ）は、構造単位（ＩＰ）以外の構造単位を含んでいてもよい。構造単位（ＩＰ）以外の構造単位としては、後述するように、酸不安定基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ１）」という場合がある）、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、その他の構造単位（以下「構造単位（ｔ）」という場合がある）及び当該分野で公知の構造単位等が挙げられる。ここで、「酸不安定基」は、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、構成単位が親水性基（例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基）を有する構成単位に変換する基を意味する。
構造単位（ＩＰ）の含有率は、樹脂（Ａｐ）の全構造単位に対して、０．１モル％以上が挙げられ、好ましくは０．５モル％以上であり、より好ましくは０．８モル％以上であり、さらに好ましくは１モル％以上である。また、１００モル％以下が挙げられ、好ましくは５０モル％以下であり、より好ましくは３０モル％以下であり、さらに好ましくは１０モル％以下である。具体的には、０．１～１００モル％が挙げられ、好ましくは０．５～５０モル％であり、より好ましくは０．８～３０モル％であり、さらに好ましくは１～１０モル％である。
[Resin containing structural unit (IP) derived from carboxylate represented by formula (I)]
The resin of the present invention is a resin (hereinafter sometimes referred to as "resin (Ap)") containing a structural unit (IP) derived from a carboxylate salt represented by formula (I).
The structural unit (IP) shows a state in which the double bond of CH 2 ═C—R bb1 contained in the carboxylate salt (I) is cleaved.
The resin (Ap) may be a homopolymer containing one type of structural unit (IP) or a copolymer containing two or more types of structural units (IP).
Further, the resin (Ap) may contain a structural unit other than the structural unit (IP). Structural units other than the structural unit (IP) include, as described below, a structural unit having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a1)"), and a structural unit having no acid-labile group. (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (s)"), other structural units (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (t)"), and structural units known in the art. Here, "acid-labile group" is a structural unit that has a leaving group, the leaving group is removed by contact with an acid, and the structural unit has a hydrophilic group (for example, a hydroxy group or a carboxy group). means a group that converts into
The content of the structural unit (IP) is 0.1 mol% or more, preferably 0.5 mol% or more, and more preferably 0.8 mol%, based on the total structural units of the resin (Ap). % or more, more preferably 1 mol% or more. Furthermore, the amount is 100 mol% or less, preferably 50 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and still more preferably 10 mol% or less. Specifically, it is 0.1 to 100 mol%, preferably 0.5 to 50 mol%, more preferably 0.8 to 30 mol%, and still more preferably 1 to 10 mol%. be.
特に、樹脂（Ａｐ）は、後述するように、レジスト組成物に使用される場合には、構造単位（ＩＰ）に加えて、構造単位（ａ１）をさらに含んでいてもよい。
また、樹脂（Ａｐ）は、後述するように、レジスト組成物に使用される場合には、構造単位（ａ１）を含むか否かにかかわらず、構造単位（ａ１）を含む樹脂（「以下「樹脂（Ａ）」という場合がある。）及び／又は樹脂（Ａ）以外の樹脂等と併用してもよい。以下、樹脂（Ａｐ）及び／又は樹脂（Ａ）を「樹脂（Ａ）等」という場合がある。
樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）は、それぞれ、構造単位（ａ１）以外の構造単位をさらに含んでいることが好ましい。
構造単位（ａ１）以外の構造単位としては、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、その他の構造単位（以下「構造単位（ｔ）」という場合がある）及び当該分野で公知の構造単位等が挙げられる。
In particular, as described below, when used in a resist composition, the resin (Ap) may further contain a structural unit (a1) in addition to the structural unit (IP).
In addition, as described later, when used in a resist composition, the resin (Ap) is a resin containing the structural unit (a1) (hereinafter referred to as It may also be referred to as "resin (A)") and/or a resin other than resin (A). Hereinafter, resin (Ap) and/or resin (A) may be referred to as "resin (A), etc.".
It is preferable that the resin (Ap) and the resin (A) each further contain a structural unit other than the structural unit (a1).
Structural units other than structural unit (a1) include structural units that do not have an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (s)"), other structural units (hereinafter referred to as "structural unit (t)") ) and structural units known in the art.
〈構造単位（ａ１）〉
構造単位（ａ１）は、酸不安定基を有するモノマー（以下「モノマー（ａ１）」という場合がある）から導かれる。
樹脂（Ａ）等に含まれる酸不安定基は、式（１）で表される基（以下、基（１）とも記す）及び／又は式（２）で表される基（以下、基（２）とも記す）が好ましい。
ｍａ及びｎａは、それぞれ独立して、０又は１を表し、ｍａ及びｎａの少なくとも一方は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎａ’は、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
<Structural unit (a1)>
The structural unit (a1) is derived from a monomer having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (a1)").
The acid labile group contained in the resin (A) etc. is a group represented by formula (1) (hereinafter also referred to as group (1)) and/or a group represented by formula (2) (hereinafter referred to as group ( (also referred to as 2)) is preferred.
ma and na each independently represent 0 or 1, and at least one of ma and na represents 1.
* represents a binding site. ]
X represents an oxygen atom or a sulfur atom.
na' represents 0 or 1.
* represents a binding site. ]
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３におけるアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６である。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。
好ましくは、ｍａは０であり、ｎａは１である。
Ｒa1及びＲa2が互いに結合して非芳香族炭化水素環を形成する場合の－Ｃ（Ｒa1）（Ｒa2）（Ｒa3）としては、下記の環が挙げられる。非芳香族炭化水素環は、好ましくは炭素数３～１２である。＊は－Ｏ－との結合部位を表す。
Examples of the alkenyl group in R a1 , R a2 and R a3 include ethenyl group, propenyl group, isopropenyl group, butenyl group, isobutenyl group, tert-butenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, octenyl group, isooctenyl group, Examples include nonenyl group.
The alicyclic hydrocarbon group in R a1 , R a2 and R a3 may be either monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic hydrocarbon group include cycloalkyl groups such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. Examples of the polycyclic alicyclic hydrocarbon group include a decahydronaphthyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and the following groups (* represents a bonding site). The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon groups R a1 , R a2 and R a3 is preferably 3 to 16.
Examples of combined groups include groups that combine the above-mentioned alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups (for example, methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyl group). dimethyl group, norbornylethyl group, etc.), aralkyl group such as benzyl group, aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group) group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), aromatic hydrocarbon group having alicyclic hydrocarbon group (p- Examples include aryl-cycloalkyl groups such as cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, phenylcyclohexyl group, etc.
Preferably ma is 0 and na is 1.
Examples of --C(R a1 )(R a2 )(R a3 ) when R a1 and R a2 combine with each other to form a non-aromatic hydrocarbon ring include the following rings. The non-aromatic hydrocarbon ring preferably has 3 to 12 carbon atoms. * represents a bonding site with -O-.
Ｒａ１’、Ｒａ２’及びＲａ３’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基は、Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３で挙げた基と同様のものが挙げられる。
Ｒａ２’及びＲａ３’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに複素環を形成する場合、－Ｃ（Ｒa1’）（Ｒa2’）－Ｘ－Ｒa3’としては、下記の環が挙げられる。＊は、結合部位を表す。
ｎａ’は、好ましくは０である。
Examples of the hydrocarbon group for R a1' , R a2' and R a3' include an alkyl group, an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a group formed by combining these.
Examples of the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and the group formed by combining these groups include the same groups as those listed for R a1 , R a2 and R a3 .
When R a2' and R a3' combine with each other to form a heterocycle together with the carbon atom to which they are bonded and X, -C(R a1' ) (R a2' ) -X-R a3' is as follows. An example is the ring. * represents a binding site.
na' is preferably 0.
基（１）としては、以下の基が挙げられる。
式（１）においてＲａ１、Ｒａ２及びＲａ３がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。当該基としては、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基が好ましい。
式（１）において、Ｒa1、Ｒa2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ｒa3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
式（１）において、Ｒa1及びＲa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ｒa3がアダマンチル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
基（１）としては、具体的には以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
A group in which R a1 , R a2 and R a3 are alkyl groups, ma=0, and na=1 in formula (1). The group is preferably a tert-butoxycarbonyl group.
In formula (1), R a1 and R a2 form an adamantyl group together with the carbon atom to which they are bonded, R a3 is an alkyl group, ma = 0, and na = 1. .
In formula (1), R a1 and R a2 are each independently an alkyl group, R a3 is an adamantyl group, ma=0, and na=1.
Specific examples of the group (1) include the following groups. * represents a binding site.
基（２）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
モノマー（ａ１）は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーである。 The monomer (a1) is preferably a monomer having an acid-labile group and an ethylenically unsaturated bond, more preferably a (meth)acrylic monomer having an acid-labile group.
酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数５～２０の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー（ａ１）に由来する構造単位を有する樹脂（Ａ）等をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。 Among the (meth)acrylic monomers having an acid-labile group, those having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms are preferred. If a resin (A) having a structural unit derived from a monomer (a1) having a bulky structure such as an alicyclic hydrocarbon group is used in the resist composition, the resolution of the resist pattern can be improved.
基（１）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として、式（ａ１－０）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－０）という場合がある。）、式（ａ１－１）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－１）という場合がある。）又は式（ａ１－２）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－２）という場合がある。）が挙げられる。好ましくは、構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位であり、より好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位である。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
As a structural unit derived from a (meth)acrylic monomer having group (1), a structural unit represented by formula (a1-0) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-0)), a formula ( a1-1) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-1)) or the structural unit represented by formula (a1-2) (hereinafter referred to as structural unit (a1-2)) ) may be mentioned. Preferably, it is at least one type of structural unit selected from the group consisting of structural unit (a1-0), structural unit (a1-1), and structural unit (a1-2), and more preferably structural unit (a1- 1) and structural units (a1-2). These may be used alone or in combination of two or more.
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent -O- or *-O-(CH 2 ) k1 -CO-O-, k1 represents any integer from 1 to 7, and * Represents a binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or any of these. Represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these.
m1' represents any integer from 0 to 14.
n1 represents any integer from 0 to 10.
n1' represents any integer from 0 to 3. ]
Ｒa01、Ｒa4及びＲa5は、好ましくは水素原子又はメチル基であり、より好ましくはメチル基である。
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、好ましくは酸素原子又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ０１－ＣＯ－Ｏ－であり（但し、ｋ０１は、好ましくは１～４のいずれかの整数、より好ましくは１である。）、より好ましくは酸素原子である。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04におけるアルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、基（１）のＲａ１、Ｒa2及びＲａ３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基、アルケニル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式（１）のＲa1、Ｒa２及びＲa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒa02、Ｒa03、及びＲa04におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルケニル基は、好ましくは炭素数２～６のアルケニル基であり、より好ましくはエテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基又はブテニル基である。
Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは５～１２であり、より好ましくは５～１０である。
Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７の芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１２であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
アルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
Ｒa02及びＲa03は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基又はナフチル基である。
Ｒa04は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数５～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基、フェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基又はフェニル基である。
ｍ１’は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は、好ましくは０又は１である。
R a01 , R a4 and R a5 are preferably a hydrogen atom or a methyl group, more preferably a methyl group.
L a01 , L a1 and L a2 are preferably an oxygen atom or *-O-(CH 2 ) k01 -CO-O- (however, k01 is preferably an integer of 1 to 4, more preferably is 1), more preferably an oxygen atom.
Examples of the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and a combination thereof in R a02 , R a03 and R a04 include the groups listed for R a1 , R a2 and R a3 in group (1). Examples include groups similar to .
Examples of the alkyl group, alkenyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and a combination thereof in R a6 and R a7 include the groups listed for R a1 , R a2 and R a3 in formula (1). Examples include groups similar to .
The alkyl group in R a02 , R a03 , and R a04 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and still more preferably a methyl group.
The alkyl group in R a6 and R a7 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group, or a t-butyl group, and even more preferably an ethyl group or an isopropyl group. Or a t-butyl group.
The alkenyl group in R a6 and R a7 is preferably an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, more preferably an ethenyl group, a propenyl group, an isopropenyl group or a butenyl group.
The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon groups of R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 is preferably 5 to 12, more preferably 5 to 10.
The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon groups R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 is preferably 6 to 12, more preferably 6 to 10.
In the group that is a combination of an alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group, it is preferable that the total carbon number of the alkyl group and alicyclic hydrocarbon group is 18 or less.
In the group that is a combination of an alkyl group and an aromatic hydrocarbon group, it is preferable that the total number of carbon atoms in the combination of these alkyl groups and aromatic hydrocarbon groups is 18 or less.
R a02 and R a03 are preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, and more preferably a methyl group, ethyl group, phenyl group or naphthyl group.
R a04 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group, ethyl group, cyclohexyl group or adamantyl group.
R a6 and R a7 are each independently preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, and more preferably a methyl group. , ethyl group, isopropyl group, t-butyl group, ethenyl group, phenyl group or naphthyl group, and more preferably ethyl group, isopropyl group, t-butyl group, ethenyl group or phenyl group.
m1' is preferably an integer of 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1' is preferably 0 or 1.
構造単位（ａ１－０）としては、例えば、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１８）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－０）におけるＲａ０１に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１０）、式（ａ１－０－１３）、式（ａ１－０－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。
As the structural unit (a1-0), for example, a structural unit represented by any one of formulas (a1-0-1) to (a1-0-18) and R a01 in the structural unit (a1-0) Structural units in which the corresponding methyl group is replaced with a hydrogen atom, halogen atom, haloalkyl group or other alkyl group are mentioned, and include formulas (a1-0-1) to formula (a1-0-10), formula (a1-0) -13) or the structural unit represented by formula (a1-0-14) is preferable.
構造単位（ａ１－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－７）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－１）におけるＲａ４に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が好ましく、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましい。
構造単位（ａ１－２）としては、式（ａ１－２－１）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－２）におけるＲａ５に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－２－２）、式（ａ１－２－５）、式（ａ１－２－６）及び式（ａ１－２－１０）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ１－０）及び／又は構造単位（ａ１－１）及び／又は構造単位（ａ１－２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１０モル％以上が挙げられ、好ましくは１５モル％以上であり、より好ましくは２０モル％以上であり、さらに好ましくは２５モル％以上であり、さらにより好ましくは３０モル％以上である。また、９５モル％以下が挙げられ、好ましくは９０モル％以下であり、より好ましくは８５モル％以下であり、さらに好ましくは７０モル％以下である。具体的には、１０～９５モル％が挙げられ、好ましくは１５～９０モル％であり、より好ましくは２０～８５モル％であり、さらに好ましくは２５～７０モル％であり、さらにより好ましくは３０～７０モル％である。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ１－０）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、５モル％以上が挙げられ、好ましくは１０モル％以上である。また、８０モル％以下が挙げられ、好ましくは７５モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下である。具体的には、５～８０モル％が挙げられ、好ましくは５～７５モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％である。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ１－１）及び／又は構造単位（ａ１－２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１０モル％以上が挙げられ、好ましくは１５モル％以上であり、より好ましくは２０モル％以上であり、さらに好ましくは２５モル％以上であり、さらにより好ましくは３０モル％以上である。また、９０モル％以下が挙げられ、好ましくは８５モル％以下であり、より好ましくは８０モル％以下であり、さらに好ましくは７５モル％以下であり、より一層好ましくは７０モル％以下である。具体的には、１０～９０モル％が挙げられ、好ましくは１５～８５モル％であり、より好ましくは１５～８０モル％であり、さらに好ましくは２０～８０モル％であり、より一層好ましくは２０～７５モル％であり、さらに一層好ましくは２０～７０モル％である。
When the resin (A) etc. contains a structural unit (a1-0) and/or a structural unit (a1-1) and/or a structural unit (a1-2), the total content of these is the Based on the total structural units, the amount is 10 mol% or more, preferably 15 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, still more preferably 25 mol% or more, and even more preferably 30 mol%. % or more. Further, it may be 95 mol% or less, preferably 90 mol% or less, more preferably 85 mol% or less, and still more preferably 70 mol% or less. Specifically, it is 10 to 95 mol%, preferably 15 to 90 mol%, more preferably 20 to 85 mol%, still more preferably 25 to 70 mol%, and even more preferably It is 30 to 70 mol%.
When the resin (A) etc. contains a structural unit (a1-0), the content thereof is 5 mol% or more, preferably 10 mol% or more, based on the total structural units of the resin (A) etc. be. Further, it may be 80 mol% or less, preferably 75 mol% or less, and more preferably 70 mol% or less. Specifically, it is 5 to 80 mol%, preferably 5 to 75 mol%, and more preferably 10 to 70 mol%.
When the resin (A) etc. contains a structural unit (a1-1) and/or a structural unit (a1-2), the total content of these is 10 mol% with respect to the total structural units of the resin (A) etc. The content is preferably 15 mol% or more, more preferably 20 mol% or more, still more preferably 25 mol% or more, and even more preferably 30 mol% or more. Further, it may be 90 mol% or less, preferably 85 mol% or less, more preferably 80 mol% or less, still more preferably 75 mol% or less, even more preferably 70 mol% or less. Specifically, it is 10 to 90 mol%, preferably 15 to 85 mol%, more preferably 15 to 80 mol%, still more preferably 20 to 80 mol%, even more preferably It is 20 to 75 mol%, and even more preferably 20 to 70 mol%.
構造単位（ａ１）において基（２）を有する構造単位としては、式（ａ１－４）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１－４）」という場合がある。）が挙げられる。
Ｒa32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa30は、単結合又は＊－Ｘa31－（Ａa32－Ｘa32）nc－を表し、＊は－Ｒa32が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa32は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘa31及びＸa32は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｃは、０又は１を表す。
ｌａは、０～４のいずれかの整数を表す。ｌａが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa33は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ｒa34及びＲa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒa36は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒa35及びＲa36は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｏ－とともに炭素数２～２０の２価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該２価の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。］
Examples of the structural unit having a group (2) in the structural unit (a1) include a structural unit represented by formula (a1-4) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a1-4)"). .
R a32 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a33 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, a carbon number Represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group.
A a30 represents a single bond or *-X a31 -(A a32 -X a32 ) nc -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a32 is bonded.
A a32 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms.
X a31 and X a32 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nc represents 0 or 1.
la represents any integer from 0 to 4. When la is any integer greater than or equal to 2, a plurality of R a33 's may be the same or different.
R a34 and R a35 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, and R a36 represents a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or R a35 and R a36 are bonded to each other. to form a divalent hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms together with the -C-O- to which they are bonded, and the -CH 2 - contained in the hydrocarbon group and the divalent hydrocarbon group is - May be replaced with O- or -S-. ]
Ｒa32及びＲa33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa32におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒa32は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒa33におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒa33におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Examples of the halogen atom for R a32 and R a33 include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom in R a32 include trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2, 3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group and perfluoro Examples include hexyl group.
R a32 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Examples of the alkyl group for R a33 include a methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl group. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.
Examples of the alkoxy group for R a33 include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, isopropoxy group, butoxy group, sec-butoxy group, tert-butoxy group, pentyloxy group, and hexyloxy group. The alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and even more preferably a methoxy group.
Examples of the alkoxyalkyl group for R a33 include a methoxymethyl group, an ethoxyethyl group, a propoxymethyl group, an isopropoxymethyl group, a butoxymethyl group, a sec-butoxymethyl group, and a tert-butoxymethyl group. The alkoxyalkyl group is preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxymethyl group or an ethoxyethyl group, and even more preferably a methoxymethyl group.
Examples of the alkoxyalkoxy group in R a33 include methoxymethoxy group, methoxyethoxy group, ethoxymethoxy group, ethoxyethoxy group, propoxymethoxy group, isopropoxymethoxy group, butoxymethoxy group, sec-butoxymethoxy group, and tert-butoxymethoxy group. Can be mentioned. The alkoxyalkoxy group is preferably an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxyethoxy group or an ethoxyethoxy group.
Examples of the alkylcarbonyl group for R a33 include an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. The alkylcarbonyl group is preferably an alkylcarbonyl group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyl group.
Examples of the alkylcarbonyloxy group for R a33 include an acetyloxy group, a propionyloxy group, and a butyryloxy group. The alkylcarbonyloxy group is preferably an alkylcarbonyloxy group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyloxy group.
R a33 is preferably a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, and includes a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, and a methyl group. A methoxy group, an ethoxy group, an ethoxyethoxy group or an ethoxymethoxy group are more preferable, and a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, a methyl group, a methoxy group or an ethoxyethoxy group are even more preferable.
＊－Ｘa31－（Ａa32－Ｘa32）nc－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa32－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa32－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａa32は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
Ａa30は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。
ｌａは、０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。
Ｒa34、Ｒa35及びＲa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。特に、Ｒa36としては、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
*-X a31 -(A a32 -X a32 ) nc - includes *-O-, *-CO-O-, *-O-CO-, *-CO-O-A a32 -CO-O-, *-O-CO-A a32 -O-, *-O-A a32 -CO-O-, *-CO-O-A a32 -O-CO-, *-O-CO-A a32 -O-CO -. Among these, *-CO-O-, *-CO-O-A a32 -CO-O-, or *-O-A a32 -CO-O- is preferred.
Examples of alkanediyl groups include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, and hexane-1,5-diyl group. 1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group and -methylbutane-1,4-diyl group and the like.
A a32 is preferably a methylene group or an ethylene group.
A a30 is preferably a single bond, *-CO-O- or *-CO-O-A a32 -CO-O-, and is preferably a single bond, *-CO-O- or *-CO-O-CH 2 -CO-O- is more preferable, and a single bond or *-CO-O- is even more preferable.
la is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1, and even more preferably 0.
Examples of the hydrocarbon group for R a34 , R a35 and R a36 include an alkyl group, an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a combination thereof.
Examples of the alkyl group include a methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, and octyl group.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic hydrocarbon group include cycloalkyl groups such as a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, and a cyclooctyl group. Examples of the polycyclic alicyclic hydrocarbon group include a decahydronaphthyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and the following groups (* represents a bonding site).
Examples of combined groups include groups that combine the above-mentioned alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups (for example, methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyl group). dimethyl group, norbornylethyl group, etc.), aralkyl group such as benzyl group, aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group) group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), aromatic hydrocarbon group having alicyclic hydrocarbon group (p- Examples include aryl-cycloalkyl groups such as cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, phenylcyclohexyl group, etc. In particular, R a36 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group formed by a combination thereof. can be mentioned.
Ｒa34は、好ましくは、水素原子である。
Ｒa35は、好ましくは、水素原子、炭素数１～１２のアルキル基又は炭素数３～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒa36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数７～１８のアラルキル基である。Ｒa36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ｒa36における芳香族炭化水素基は、炭素数６～１０のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位（ａ１－４）における－ＯＣ（Ｒa34）（Ｒa35）－Ｏ－Ｒa36は、酸（例えばｐ－トルエンスルホン酸）と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
－ＯＣ（Ｒa34）（Ｒa35）－Ｏ－Ｒa36は、ベンゼン環のｍ－位又はｐ－位に結合することが好ましく、ｐ－位に結合することがより好ましい。
R a34 is preferably a hydrogen atom.
R a35 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and more preferably a methyl group or an ethyl group.
The hydrocarbon group of R a36 is preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a combination thereof. More preferably, it is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aralkyl group having 7 to 18 carbon atoms. The alkyl group and alicyclic hydrocarbon group in R a36 are preferably unsubstituted. The aromatic hydrocarbon group for R a36 is preferably an aromatic ring having an aryloxy group having 6 to 10 carbon atoms.
--OC(R a34 )(R a35 )-O-R a36 in structural unit (a1-4) comes into contact with an acid (for example, p-toluenesulfonic acid) and is eliminated to form a hydroxy group.
--OC(R a34 )(R a35 )-O-R a36 is preferably bonded to the m-position or p-position of the benzene ring, and more preferably to the p-position.
構造単位（ａ１－４）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－２４）でそれぞれ表される構造単位及び構造単位（ａ１－４）におけるＲａ３２に相当する水素原子がハロゲン原子、ハロアルキル基又はアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－５）、式（ａ１－４－１０）、式（ａ１－４－１３）、式（ａ１－４－１４）、式（ａ１－４－１９）、式（ａ１－４－２０）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ１－４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位の合計に対して、３～８０モル％であることが好ましく、５～７５モル％であることがより好ましく、７～７０モル％であることがさらに好ましく、７～６５モル％であることがより一層好ましく、１０～６０モル％であることがさらに一層好ましい。 When the resin (A) etc. contains the structural unit (a1-4), the content thereof is preferably 3 to 80 mol% based on the total of all structural units of the resin (A) etc. It is more preferably from 75 mol% to 75 mol%, even more preferably from 7 to 70 mol%, even more preferably from 7 to 65 mol%, and even more preferably from 10 to 60 mol%.
基（２）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式（ａ１－５）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ１－５）」という場合がある）も挙げられる。
Ｒa8は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｚa1は、単結合又は＊－（ＣＨ2）h3－ＣＯ－Ｌ54－を表し、ｈ３は１～４のいずれかの整数を表し、＊は、Ｌ51との結合部位を表す。
Ｌ51、Ｌ52、Ｌ53及びＬ54は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｓ１は、１～３のいずれかの整数を表す。
ｓ１’は、０～３のいずれかの整数を表す。］
Examples of the structural unit derived from the (meth)acrylic monomer having group (2) include the structural unit represented by formula (a1-5) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a1-5)"). It will be done.
R a8 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
Z a1 represents a single bond or *-(CH 2 ) h3 --CO-L 54 --, h3 represents an integer of 1 to 4, and * represents a binding site with L 51 .
L 51 , L 52 , L 53 and L 54 each independently represent -O- or -S-.
s1 represents an integer of 1 to 3.
s1' represents any integer from 0 to 3. ]
ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式（ａ１－５）においては、Ｒa8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
Ｌ51は、酸素原子が好ましい。
Ｌ52及びＬ53のうち、一方が－Ｏ－であり、他方が－Ｓ－であることが好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０～２のいずれかの整数が好ましい。
Ｚa1は、単結合又は＊－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
Examples of the halogen atom include a fluorine atom and a chlorine atom, with a fluorine atom being preferred.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, fluoromethyl group and trifluoro Examples include methyl group.
In formula (a1-5), R a8 is preferably a hydrogen atom, a methyl group or a trifluoromethyl group.
L 51 is preferably an oxygen atom.
It is preferable that one of L 52 and L 53 is -O- and the other is -S-.
s1 is preferably 1.
s1' is preferably an integer of 0 to 2.
Z a1 is preferably a single bond or *-CH 2 -CO-O-.
構造単位（ａ１－５）としては、例えば、特開２０１０－６１１１７号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－５－１）～式（ａ１－５－４）でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式（ａ１－５－１）又は式（ａ１－５－２）で表される構造単位がより好ましい。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ１－５）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、３～４５モル％がより好ましく、５～４０モル％がさらに好ましく、５～３０モル％がさらにより好ましい。 When the resin (A) etc. contains the structural unit (a1-5), its content is preferably 1 to 50 mol%, and 3 to 45 mol% based on the total structural units of the resin (A) etc. It is more preferably 5 to 40 mol%, even more preferably 5 to 30 mol%.
また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、（ａ１－３－１）～（ａ１－３－７）のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１０～９５モル％が好ましく、１５～９０モル％がより好ましく、２０～８５モル％がさらに好ましく、２０～７０モル％がさらにより好ましく、２０～６０モル％が特に好ましい。 When the resin (A) etc. contains structural units such as (a1-3-1) to (a1-3-7), the content rate is 10% of the total structural units of the resin (A) etc. It is preferably from 95 mol%, more preferably from 15 to 90 mol%, even more preferably from 20 to 85 mol%, even more preferably from 20 to 70 mol%, and particularly preferably from 20 to 60 mol%.
また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。
〈構造単位（ｓ）〉
構造単位（ｓ）は、酸不安定基を有さないモノマー（以下「モノマー（ｓ）」という場合がある）から導かれる。構造単位（ｓ）を導くモノマーは、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さないモノマーを使用できる。
構造単位（ｓ）としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有するのが好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ２）」という場合がある）及び／又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ３）」という場合がある）を含む樹脂を本発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
<Structural unit (s)>
The structural unit (s) is derived from a monomer that does not have an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (s)"). As the monomer leading to the structural unit (s), monomers having no acid-labile groups known in the field of resists can be used.
The structural unit (s) preferably has a hydroxy group or a lactone ring. A structural unit having a hydroxy group and not having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2)") and/or a structure having a lactone ring and not having an acid-labile group If a resin containing the unit (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a3)") is used in the resist composition of the present invention, the resolution of the resist pattern and the adhesion to the substrate can be improved.
〈構造単位（ａ２）〉
構造単位（ａ２）は、式（ａ２）で表される構造単位であり、アルコール性ヒドロキシ基又はフェノール性ヒドロキシ基を有する。
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
Ｗａ５０は、置換基を有してもよい炭素数５～１２の環状炭化水素基を表す。
Ｌａ５０は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数１～１２の鎖状炭化水素基を表す。
ｍａ５０は、１～５のいずれかの整数を表す。］
Ｒa50におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～４であり、より好ましくは１～３であり、さらに好ましくは１又は２である。
Ｒa50は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
<Structural unit (a2)>
Structural unit (a2) is a structural unit represented by formula (a2), and has an alcoholic hydroxy group or a phenolic hydroxy group.
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may contain a halogen atom.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 is bonded.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1.
W a50 represents a cyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms which may have a substituent.
L a50 represents a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms which may have a single bond or a fluorine atom.
ma50 represents any integer from 1 to 5. ]
Examples of the halogen atom for R a50 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and the like.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom in R a50 include trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2, 3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group and perfluoro Examples include hexyl group. The alkyl group preferably has 1 to 4 carbon atoms, more preferably 1 to 3 carbon atoms, and even more preferably 1 or 2 carbon atoms.
R a50 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Ａa50におけるＡa52のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、へプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３であり、さらにより好ましくは１又は２である。
Ａa52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nb－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
Ａa50は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。
The alkanediyl group of A a52 in A a50 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5 -diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3- Examples include diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group. The alkanediyl group preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms, still more preferably 1 to 3 carbon atoms, and even more preferably 1 or 2 carbon atoms.
A a52 is preferably a methylene group or an ethylene group.
*-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb - includes *-O-, *-CO-O-, *-O-CO-, *-CO-O-A a52 -CO-O-, *-O-CO-A a52 -O-, *-O-A a52 -CO-O-, *-CO-O-A a52 -O-CO-, *-O-CO-A a52 -O-CO -. Among these, *-CO-O-, *-CO-O-A a52 -CO-O-, or *-O-A a52 -CO-O- is preferred.
A a50 is preferably a single bond, *-CO-O- or *-CO-O-A a52 -CO-O-, and is preferably a single bond, *-CO-O- or *-CO-O-CH 2 -CO-O- is more preferred, and a single bond or *-CO-O- is even more preferred.
Ｗa50の環状炭化水素基は、例えば、２価の脂環式炭化水素基及び２価の芳香族炭化水素基が挙げられる。
Ｗa50における単環式の２価の脂環式炭化水素基としては、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式炭化水素基としては、ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１２であり、より好ましくは６～１０である。
Ｗa50における２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基が挙げられる。
芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１２であり、より好ましくは６～１０である。
Ｗａ５０の炭素数５～１２の環状炭化水素基が有してもよい置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のハロアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基等が挙げられる。Ｗａ５０が有する置換基の数は、１つであっても、２つ以上であってもよい。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３である。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
ハロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基などが挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３である。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３である。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
アルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
アルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｗａ５０の環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Examples of the cyclic hydrocarbon group of W a50 include a divalent alicyclic hydrocarbon group and a divalent aromatic hydrocarbon group.
Examples of the monocyclic divalent alicyclic hydrocarbon group in W a50 include monocyclic divalent alicyclic hydrocarbon groups such as cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1,4-diyl group, and cyclooctane-1,5-diyl group. Examples include cyclic cycloalkanediyl groups. Examples of polycyclic divalent alicyclic hydrocarbon groups include norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group. Examples include polycyclic cycloalkanediyl groups such as groups.
The alicyclic hydrocarbon group preferably has 6 to 12 carbon atoms, more preferably 6 to 10 carbon atoms.
Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group in W a50 include a phenylene group and a naphthylene group.
The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 12 carbon atoms, more preferably 6 to 10 carbon atoms.
Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms in W a50 may include halogen atoms, hydroxy groups, alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, haloalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms, and Alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, acryloyloxy group or methacryloyloxy group. The number of substituents that W a50 has may be one or two or more.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom.
Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl group. The alkyl group preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.
Examples of haloalkyl groups include trifluoromethyl group, difluoromethyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, perfluoropropyl group, 2,2, 3,3,3-pentafluoropropyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4, Examples include 4,5,5,5-nonafluoropentyl group, perfluorohexyl group, chloromethyl group, bromomethyl group, and iodomethyl group. The haloalkyl group preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, isopropoxy group, butoxy group, sec-butoxy group, and tert-butoxy group. The alkoxy group preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms. The alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and even more preferably a methoxy group.
Examples of the alkoxyalkyl group include a methoxymethyl group, an ethoxyethyl group, a propoxymethyl group, an isopropoxymethyl group, a butoxymethyl group, a sec-butoxymethyl group, and a tert-butoxymethyl group. The alkoxyalkyl group is preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxymethyl group or an ethoxyethyl group, and even more preferably a methoxymethyl group.
Examples of the alkoxyalkoxy group include a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, an ethoxyethoxy group, a propoxymethoxy group, an isopropoxymethoxy group, a butoxymethoxy group, a sec-butoxymethoxy group, and a tert-butoxymethoxy group. The alkoxyalkoxy group is preferably an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxyethoxy group or an ethoxyethoxy group.
Examples of the alkylcarbonyl group include an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. The alkylcarbonyl group is preferably an alkylcarbonyl group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyl group.
Examples of the alkylcarbonyloxy group include an acetyloxy group, a propionyloxy group, and a butyryloxy group. The alkylcarbonyloxy group is preferably an alkylcarbonyloxy group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyloxy group.
As the substituent for the cyclic hydrocarbon group of W a50 , a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms are preferable, and fluorine Atom, iodine atom, hydroxy group, methyl group, methoxy group, ethoxy group, ethoxyethoxy group or ethoxymethoxy group are more preferred, and fluorine atom, iodine atom, hydroxy group, methyl group, methoxy group or ethoxyethoxy group is even more preferred.
Ｌａ５０の炭素数１～１２の鎖状炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－ジメチルプロパン－１，３－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１０であり、より好ましくは１～８であり、さらに好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４である。
Ｌａ５０が有するフッ素原子は、１つであっても、２つ以上であってもよい。
ｍａ５０は、１～４のいずれかの整数であることが好ましく、１～３のいずれかの整数であることがより好ましい。
Examples of the chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms in L a50 include a methylene group, an ethylene group, a propane-1,3-diyl group, a propane-1,2-diyl group, a butane-1,4-diyl group, Pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10 -Diyl group, undecane-1,11-diyl group, linear alkanediyl group such as dodecane-1,12-diyl group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane- 1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, 1-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group group, 1-dimethylpropane-1,3-diyl group, pentane-2,4-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group, pentane-2,4-diyl group and branched alkanediyl groups such as pentane-1,4-diyl group and 2-methylbutane-1,4-diyl group.
The chain hydrocarbon group preferably has 1 to 10 carbon atoms, more preferably 1 to 8 carbon atoms, still more preferably 1 to 6 carbon atoms, and even more preferably 1 to 4 carbon atoms.
The number of fluorine atoms that L a50 has may be one or two or more.
ma50 is preferably an integer of 1 to 4, more preferably an integer of 1 to 3.
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、電子線又はＥＵＶ（超紫外光）等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－Ａ）を用いることがより好ましい。また、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）等を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－１）を用いることがより好ましい。構造単位（ａ２）としては、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。 When producing a resist pattern from the resist composition of the present invention, when a high-energy beam such as a KrF excimer laser (248 nm), an electron beam, or EUV (ultra-ultraviolet light) is used as an exposure light source, the structural unit (a2) is , a structural unit (a2) having a phenolic hydroxy group is preferable, and it is more preferable to use a structural unit (a2-A) described below. Furthermore, when using an ArF excimer laser (193 nm), etc., the structural unit (a2) is preferably a structural unit (a2) having an alcoholic hydroxy group, and it is more preferable to use the structural unit (a2-1) described below. preferable. The structural unit (a2) may contain one type alone or two or more types.
構造単位（ａ２）においてフェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては式（ａ２－Ａ）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ）」という場合がある）が挙げられる。
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nb－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
Examples of the structural unit having a phenolic hydroxy group in the structural unit (a2) include a structural unit represented by formula (a2-A) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-A)").
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, a carbon number Represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 --(A a52 --X a52 ) nb --, and * represents a bonding site with the carbon atom to which --R a50 is bonded.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1.
mb represents any integer from 0 to 4. When mb is any integer of 2 or more, a plurality of R a51 's may be the same or different. ]
Ｒa50及びＡa50は、それぞれ式（ａ２）で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｒa51におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒa51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒa51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Examples of R a50 and A a50 include the same groups as those exemplified in formula (a2).
Examples of the halogen atom for R a51 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and the like.
Examples of the alkyl group for R a51 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl group. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.
Examples of the alkoxy group for R a51 include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, isopropoxy group, butoxy group, sec-butoxy group, and tert-butoxy group. The alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and even more preferably a methoxy group.
Examples of the alkoxyalkyl group for R a51 include a methoxymethyl group, an ethoxyethyl group, a propoxymethyl group, an isopropoxymethyl group, a butoxymethyl group, a sec-butoxymethyl group, and a tert-butoxymethyl group. The alkoxyalkyl group is preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxymethyl group or an ethoxyethyl group, and even more preferably a methoxymethyl group.
Examples of the alkoxyalkoxy group in R a51 include methoxymethoxy group, methoxyethoxy group, ethoxymethoxy group, ethoxyethoxy group, propoxymethoxy group, isopropoxymethoxy group, butoxymethoxy group, sec-butoxymethoxy group, and tert-butoxymethoxy group. Can be mentioned. The alkoxyalkoxy group is preferably an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxyethoxy group or an ethoxyethoxy group.
Examples of the alkylcarbonyl group for R a51 include an acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, and the like. The alkylcarbonyl group is preferably an alkylcarbonyl group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyl group.
Examples of the alkylcarbonyloxy group for R a51 include an acetyloxy group, a propionyloxy group, and a butyryloxy group. The alkylcarbonyloxy group is preferably an alkylcarbonyloxy group having 2 to 3 carbon atoms, and more preferably an acetyloxy group.
R a51 is preferably a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, and includes a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, and a methyl group. A methoxy group, an ethoxy group, an ethoxyethoxy group or an ethoxymethoxy group are more preferable, and a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, a methyl group, a methoxy group or an ethoxyethoxy group are even more preferable.
ｍｂは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましい。
ヒドロキシ基は、少なくとも１つが、ベンゼン環のｍ－位又はｐ－位に結合することが好ましい。２つ以上のヒドロキシ基を含む場合、２つのヒドロキシ基は、ｍ－位とｐ－位にそれぞれ結合していることが好ましい。
mb is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1.
At least one hydroxy group is preferably bonded to the m-position or p-position of the benzene ring. When two or more hydroxy groups are included, the two hydroxy groups are preferably bonded to the m-position and the p-position, respectively.
構造単位（ａ２－Ａ）としては、特開２０１０－２０４６３４号公報、特開２０１２－１２５７７号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ２－Ａ）としては、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位及び、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位において構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位（ａ２－Ａ）は、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがより好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがさらに好ましい。
Structural units (a2-A) include structural units represented by formulas (a2-2-1) to (a2-2-24) and formulas (a2-2-1) to (a2-2- Examples of the structural unit represented by 24) include a structural unit in which the methyl group corresponding to R a50 in structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom, a halogen atom, a haloalkyl group, or another alkyl group. Structural unit (a2-A) is a structural unit represented by formula (a2-2-1) to formula (a2-2-4), a structural unit represented by formula (a2-2-6), or a structural unit represented by formula (a2-2-6). a2-2-8), structural units represented by formula (a2-2-12) to formula (a2-2-18), and formula (a2-2-1) to formula (a2- 2-4) Structural unit represented by formula (a2-2-6), structural unit represented by formula (a2-2-8), formula (a2-2-12) ~ In the structural unit represented by the formula (a2-2-18), it is preferable that the methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom, and the structural unit represented by the formula (a2-2 -3) Structural unit represented by formula (a2-2-4), structural unit represented by formula (a2-2-8), formula (a2-2-12) to formula The structural unit represented by (a2-2-14), the structural unit represented by formula (a2-2-18) and the structural unit represented by formula (a2-2-3), the structural unit represented by formula (a2-2- 4) Structural unit represented by formula (a2-2-8), structural unit represented by formula (a2-2-12) to formula (a2-2-14), formula ( In the structural unit represented by formula (a2-2-18), it is more preferable that the methyl group corresponding to R a50 in structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom, and the structural unit represented by formula (a2-2- 3), a structural unit represented by formula (a2-2-4), a structural unit represented by formula (a2-2-8), and a structural unit represented by formula (a2-2-3). In the structural unit represented by the formula (a2-2-4), the structural unit represented by the formula (a2-2-8), a methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) It is more preferable that it is a structural unit in which is replaced with a hydrogen atom.
樹脂（Ａ）等中に構造単位（ａ２－Ａ）が含まれる場合の構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、全構造単位に対して、好ましくは５モル％以上であり、より好ましくは１０モル％以上であり、さらに好ましくは１５モル％以上であり、より一層好ましくは２０モル％以上である。また、好ましくは８０モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下であり、さらに好ましくは６５モル％以下である。具体的には、好ましくは５～８０モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％であり、さらに好ましくは１５～６５モル％であり、さらにより好ましくは２０～６５モル％である。
構造単位（ａ２－Ａ）は、例えば構造単位（ａ１－４）を用いて重合した後、ｐ－トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂（Ａ）等に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位（ａ２－Ａ）を樹脂（Ａ）等に含ませることができる。
When the structural unit (a2-A) is contained in the resin (A), etc., the content of the structural unit (a2-A) is preferably 5 mol% or more, more preferably 5 mol% or more based on the total structural units. The content is 10 mol% or more, more preferably 15 mol% or more, even more preferably 20 mol% or more. Moreover, it is preferably 80 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, and still more preferably 65 mol% or less. Specifically, it is preferably 5 to 80 mol%, more preferably 10 to 70 mol%, even more preferably 15 to 65 mol%, and even more preferably 20 to 65 mol%.
The structural unit (a2-A) can be incorporated into the resin (A) by, for example, polymerizing the structural unit (a1-4) and then treating it with an acid such as p-toluenesulfonic acid. Further, the structural unit (a2-A) can be incorporated into the resin (A) by polymerizing with acetoxystyrene or the like and then treating with an alkali such as tetramethylammonium hydroxide.
構造単位（ａ２－Ａ）としては、以下の式（ａ２－Ａ１）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ１）」という場合がある。）及び式（ａ２－Ａ２）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ２）」という場合がある。）も挙げられる。
Ｒa50及びＡa50は、それぞれ式（ａ２）と同じ意味を表す。
ｍｂ１は、０～４のいずれかの整数を表す。
Ｒａ５２は、ハロゲン原子を表す。
Ｒａ５３は、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
ｍｂ２及びｍｂ３は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表し、ｍｂ２が２以上の場合、複数のＲａ５２は互いに同一であっても異なってもよく、ｍｂ３が２以上の場合、複数のＲａ５３は互いに同一であっても異なってもよく、１≦ｍｂ２＋ｍｂ３≦４を満たす。］
Ｒａ５２のハロゲン原子は、Ｗａ５０の環状炭化水素基の置換基及びＲａ５１におけるハロゲン原子と同じものが挙げられる。Ｒａ５２のハロゲン原子としては、フッ素原子又はヨウ素原子が好ましい。
Ｒａ５３の炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基としては、それぞれ、Ｗａ５０の環状炭化水素基の置換基及びＲａ５１におけるアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アクロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基と同じものが挙げられ、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
ｍｂ１は、０～３のいずれかの整数が好ましく、０～２のいずれかの整数がより好ましく、０又は１がさらに好ましい。
ｍｂ２は、０～３のいずれかの整数が好ましく、１～３のいずれかの整数がより好ましく、１又は２がさらに好ましい。
ｍｂ３は、０～３のいずれかの整数が好ましく、０～２のいずれかの整数がより好ましく、０又は１がさらに好ましい。
The structural unit (a2-A) is a structural unit represented by the following formula (a2-A1) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-A1)") and a structural unit represented by the formula (a2-A2). (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-A2)").
R a50 and A a50 each represent the same meaning as in formula (a2).
mb1 represents any integer from 0 to 4.
R a52 represents a halogen atom.
R a53 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, or an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms. group, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group.
mb2 and mb3 each independently represent any integer from 0 to 4; when mb2 is 2 or more, the plurality of R a52s may be the same or different; when mb3 is 2 or more, The plurality of R a53s may be the same or different from each other, and satisfy 1≦mb2+mb3≦4. ]
Examples of the halogen atom in R a52 include the same halogen atom as the substituent of the cyclic hydrocarbon group in W a50 and the halogen atom in R a51 . The halogen atom for R a52 is preferably a fluorine atom or an iodine atom.
R a53 alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms , an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group, respectively, a substituent of a cyclic hydrocarbon group in W a50 and an alkyl group, an alkoxy group, an alkoxyalkyl group, an alkoxyalkoxy group in R a51 . group, alkylcarbonyl group, alkylcarbonyloxy group, acroyloxy group, methacryloyloxy group, and methyl group, methoxy group, ethoxy group, ethoxyethoxy group or ethoxymethoxy group are more preferred, and methoxy group or ethoxy Ethoxy group is more preferred.
mb1 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and even more preferably 0 or 1.
mb2 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably 1 to 3, and even more preferably 1 or 2.
mb3 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, and even more preferably 0 or 1.
構造単位（ａ２）においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式（ａ２－１）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－１）」という場合がある。）が挙げられる。
Ｌa3は、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ2）k2－ＣＯ－Ｏ－を表し、
ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa15及びＲa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］
Examples of the structural unit having an alcoholic hydroxy group in the structural unit (a2) include a structural unit represented by formula (a2-1) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-1)").
L a3 represents -O- or *-O-(CH 2 ) k2 -CO-O-,
k2 represents any integer from 1 to 7. * represents a binding site with -CO-.
R a14 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a15 and R a16 each independently represent a hydrogen atom, a methyl group, or a hydroxy group.
o1 represents any integer from 0 to 10. ]
式（ａ２－１）では、Ｌa3は、好ましくは、－Ｏ－、－Ｏ－（ＣＨ2）f1－ＣＯ－Ｏ－であり（前記ｆ１は、１～４のいずれかの整数を表す）、より好ましくは－Ｏ－である。
Ｒa14は、好ましくはメチル基である。
Ｒa15は、好ましくは水素原子である。
Ｒa16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数、より好ましくは０又は１である。
In formula (a2-1), L a3 is preferably -O-, -O-(CH 2 ) f1 -CO-O- (the f1 represents any integer from 1 to 4) , more preferably -O-.
R a14 is preferably a methyl group.
R a15 is preferably a hydrogen atom.
R a16 is preferably a hydrogen atom or a hydroxy group.
o1 is preferably an integer of 0 to 3, more preferably 0 or 1.
構造単位（ａ２－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－６）のいずれかで表される構造単位が好ましく、式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式（ａ２－１－１）又は式（ａ２－１－３）で表される構造単位がさらに好ましい。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ２－１）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１モル％以上が挙げられ、２モル％以上が好ましい。また、４５モル％以下が挙げられ、好ましくは４０モル％以下であり、より好ましくは３５モル％以下であり、さらに好ましくは２０モル％以下であり、より一層好ましくは１０モル％以下である。具体的には、１～４５モル％が挙げられ、好ましくは１～４０モル％であり、より好ましくは１～３５モル％であり、さらに好ましくは１～２０モル％であり、さらにより好ましくは１～１０モル％である。 When the resin (A) etc. contains the structural unit (a2-1), the content thereof is 1 mol% or more, preferably 2 mol% or more, based on the total structural units of the resin (A) etc. Furthermore, the amount is 45 mol% or less, preferably 40 mol% or less, more preferably 35 mol% or less, still more preferably 20 mol% or less, and even more preferably 10 mol% or less. Specifically, it is 1 to 45 mol%, preferably 1 to 40 mol%, more preferably 1 to 35 mol%, even more preferably 1 to 20 mol%, and even more preferably It is 1 to 10 mol%.
構造単位（ａ２）においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式（ａ２－Ｂ）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ２－Ｂ）」という場合がある）が挙げられる。
Ｒa50及びＡa50は、それぞれ式（ａ２）と同じ意味を表す。
Ｒａ５４及びＲａ５５は、それぞれ独立に、炭素数１～４のフッ化アルキル基を表す。
Ｌａ５１は、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ｒａ５６は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
ｍｂ４は、１～３のいずれかの整数を表し、ｍｂ４が２以上のとき、複数のＲａ５４、Ｒａ５５及びＬａ５１は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
ｍｂ５は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍｂ５が２以上のとき、複数のＲａ５６は互いに同一であっても異なってもよい。但し、１≦ｍｂ４＋ｍｂ５≦５である。］
Examples of the structural unit having an alcoholic hydroxy group in the structural unit (a2) include a structural unit represented by formula (a2-B) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-B)").
R a50 and A a50 each represent the same meaning as in formula (a2).
R a54 and R a55 each independently represent a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
L a51 represents a single bond or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms, and the alkanediyl group may be substituted with a fluorine atom.
R a56 represents a halogen atom, a hydroxy group, a haloalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the alkyl group is -O- or -CO-. May be replaced.
mb4 represents any integer from 1 to 3, and when mb4 is 2 or more, the plurality of R a54 , R a55 and L a51 may be the same or different from each other.
mb5 represents any integer from 0 to 4, and when mb5 is 2 or more, a plurality of R a56 may be the same or different. However, 1≦mb4+mb5≦5. ]
Ｒａ５４及びＲａ５５の炭素数１～４のフッ化アルキル基としては、それぞれ独立に、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、４，４，４－トリフルオロブチル基等が挙げられる。Ｒａ５４及びＲａ５５としては、トリフルオロメチル基が好ましい。
Ｌａ５１の炭素数１～３のアルカンジイル基としては、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基等が挙げられる。Ｌａ５１としては、単結合又はメチレン基が好ましい。
Ｒａ５６のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒａ５６における炭素数１～４のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数１～４のアルキル基を表し、クロロメチル基、ブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル等が挙げられである。
Ｒａ５６における炭素数１～１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
Ｒａ５６で表されるアルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。また、Ｒａ５６は、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシル基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、炭素数１～１１のアルコキシ基（炭素数２～１２のアルキル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、炭素数２～１１のアルコキシカルボニル基（炭素数３～１２のアルキル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、炭素数２～１２のアルキルカルボニル基（炭素数２～１２のアルキル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、炭素数２～１１のアルキルカルボニルオキシ基（炭素数３～１２のアルキル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）を有していてもよい。
Ｒａ５６としては、なかでも、ハロゲン原子、炭素数１～４のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましい。
ｍｂ４は、好ましくは、１又は２であり、より好ましくは１である。さらに好ましくは、ｍｂ４が１であり、かつ括弧内の基がパラ位に結合するものである。
ｍｂ５は、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１であり、さらに好ましくは０である。
The fluorinated alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms in R a54 and R a55 each independently include a trifluoromethyl group, a 2,2,2-trifluoroethyl group, a 3,3,3-trifluoropropyl group, Examples include 4,4,4-trifluorobutyl group. As R a54 and R a55 , a trifluoromethyl group is preferred.
Examples of the alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms for L a51 include a methylene group, an ethane-1,1-diyl group, a propane-1,1-diyl group, a propane-2,2-diyl group, and the like. L a51 is preferably a single bond or a methylene group.
Examples of the halogen atom for R a56 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
The haloalkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R a56 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms having a halogen atom, and includes chloromethyl group, bromomethyl group, fluoromethyl group, difluoromethyl group, trifluoromethyl group, perfluoromethyl group, Examples include butyl.
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms in R a56 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, nonyl group, etc. Examples include alkyl groups. The alkyl group preferably has 1 to 9 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, and still more preferably 1 to 4 carbon atoms.
When the -CH 2 - contained in the alkyl group represented by R a56 is replaced with -O- or -CO-, the number of carbon atoms before being replaced is the total number of carbon atoms in the alkyl group. In addition, R a56 is a hydroxy group (a group in which -CH 2 - contained in a methyl group is replaced with -O-), a carboxyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an ethyl group is replaced with -O-), a carboxyl group (a group in which -CH 2 - contained in an ethyl group is replaced with -O-) -CO-), alkoxy group having 1 to 11 carbon atoms (a group in which -CH 2 - contained in an alkyl group having 2 to 12 carbon atoms has been replaced with -O-), and a group having 2 to 11 carbon atoms alkoxycarbonyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms is replaced with -O-CO-), an alkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms (a group in which -O-CO- is substituted for -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms), A group in which -CH 2 - contained in an alkyl group having ~12 carbon atoms is replaced with -CO-), an alkylcarbonyloxy group having 2 to 11 carbon atoms (a group in which -CH 2 - contained in an alkyl group having 3 to 12 carbon atoms) -CH 2 - may have a group in which -CO-O- is replaced with -CO-O-.
R a56 is, among others, a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is replaced with -O- or -CO-). ) is preferable.
mb4 is preferably 1 or 2, more preferably 1. More preferably, mb4 is 1 and the group in parentheses is bonded to the para position.
mb5 is preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1, and even more preferably 0.
構造単位（ａ２－Ｂ）としては、以下の式（ａ２－Ｂ１）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ２－Ｂ１）」という場合がある。）であることがより好ましい。
Ｒａ５７は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａａ５３は、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表し、＊は－Ｒａ５７が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ｒａ５６、ｍｂ４及びｍｂ５は、それぞれ式（ａ２－Ｂ）と同じ意味を表す。］
式（ａ２－Ｂ１）において、Ｒａ５７は、好ましくは水素原子である。
Ａａ５３は、好ましくは単結合である。
The structural unit (a2-B) is more preferably a structural unit represented by the following formula (a2-B1) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-B1)").
R a57 represents a hydrogen atom or a methyl group.
A a53 represents a single bond or *-CO-O-, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a57 is bonded.
R a56 , mb4 and mb5 each represent the same meaning as in formula (a2-B). ]
In formula (a2-B1), R a57 is preferably a hydrogen atom.
A a53 is preferably a single bond.
構造単位（ａ２－Ｂ）としては、以下に記載の構造単位が挙げられる。
式（ａ２－Ｂ－１）～式（ａ２－Ｂ－８）で表される構造単位において、Ｒａ５７に相当する水素原子がメチル基に置き換わった構造単位も、式（ａ２－Ｂ－９）～式（ａ２－Ｂ－１６）で表される構造単位において、Ｒａ５７に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も、構造単位（ａ２－Ｂ）の具体例として挙げることができる。なかでも、式（ａ２－Ｂ－１）～式（ａ２－Ｂ－８）で表される構造単位が好ましく、式（ａ２－Ｂ－１）～式（ａ２－Ｂ－４）で表される構造単位がより好ましく、式（ａ２－Ｂ－１）で表される構造単位がさらに好ましい。 In the structural units represented by formulas (a2-B-1) to (a2-B-8), the structural unit in which the hydrogen atom corresponding to R a57 is replaced with a methyl group also has the formula (a2-B-9). A structural unit in which the methyl group corresponding to R a57 in the structural unit represented by formula (a2-B-16) is replaced with a hydrogen atom can also be cited as a specific example of the structural unit (a2-B). Among these, structural units represented by formulas (a2-B-1) to (a2-B-8) are preferred, and structural units represented by formulas (a2-B-1) to (a2-B-4) are preferred. A structural unit is more preferable, and a structural unit represented by formula (a2-B-1) is even more preferable.
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ２－Ｂ）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、好ましくは３モル％以上であり、より好ましくは５モル％以上であり、さらに好ましくは１０モル％以上である。また、好ましくは８０モル％以下であり、より好ましくは７５モル％以下であり、さらに好ましくは７０モル％以下であり、より一層好ましくは６５モル％以下である。具体的には、好ましくは３～８０モル％であり、より好ましくは５～７５モル％であり、さらに好ましくは１０～７０モル％、より一層好ましくは１０～６５モル％である。 When the resin (A) etc. contains a structural unit (a2-B), its content is preferably 3 mol% or more, more preferably 5 mol%, based on the total structural units of the resin (A) etc. or more, and more preferably 10 mol% or more. Moreover, it is preferably 80 mol% or less, more preferably 75 mol% or less, still more preferably 70 mol% or less, and even more preferably 65 mol% or less. Specifically, it is preferably 3 to 80 mol%, more preferably 5 to 75 mol%, still more preferably 10 to 70 mol%, even more preferably 10 to 65 mol%.
〈構造単位（ａ３）〉
構造単位（ａ３）が有するラクトン環は、β－プロピオラクトン環、γ－ブチロラクトン環、δ－バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ－ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ－ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環（例えば下式（ａ３－２）で表される構造単位）が挙げられる。
<Structural unit (a3)>
The lactone ring possessed by the structural unit (a3) may be a monocyclic ring such as a β-propiolactone ring, a γ-butyrolactone ring, or a δ-valerolactone ring, or may be a fused ring of a monocyclic lactone ring and another ring. But that's fine. Preferred examples include a γ-butyrolactone ring, an adamantane lactone ring, or a bridged ring containing a γ-butyrolactone ring structure (for example, a structural unit represented by the following formula (a3-2)).
構造単位（ａ３）は、好ましくは、式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）又は式（ａ３－４）で表される構造単位である。これらの１種を単独で含有してもよく、２種以上を含有していてもよい。
Ｌａ４、Ｌａ５及びＬａ６は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）k3－ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
Ｌａ７は、－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－Ｌａ９－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－ＣＯ－Ｌａ９－Ｏ－を表す。
Ｌａ８及びＬａ９は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｘａ３は、－ＣＨ２－又は酸素原子を表す。
Ｒａ２１は、炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｐ１は、０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及び／又はＲａ２５は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
Structural unit (a3) is preferably a structural unit represented by formula (a3-1), formula (a3-2), formula (a3-3) or formula (a3-4). One type of these may be contained alone, or two or more types may be contained.
L a4 , L a5 and L a6 are each independently represented by -O- or *-O-(CH 2 ) k3 -CO-O- (k3 represents any integer from 1 to 7); represents a group.
L a7 is -O-, *-OL a8 -O-, *-OL a8 -CO-O-, *-OL a8 -CO-OL a9 -CO-O-, or * -O-L a8 -O-CO-L a9 -O-.
L a8 and L a9 each independently represent an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* represents a bonding site with a carbonyl group.
R a18 , R a19 , R a20 and R a24 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
X a3 represents -CH 2 - or an oxygen atom.
R a21 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
R a22 , R a23 and R a25 each independently represent a carboxy group, a cyano group or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
p1 represents any integer from 0 to 5.
q1 represents any integer from 0 to 3.
r1 represents any integer from 0 to 3.
w1 represents any integer from 0 to 8.
When p1, q1, r1 and/or w1 is 2 or more, the plurality of R a21 , R a22 , R a23 and/or R a25 may be the same or different. ]
Ｒａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基及びｔｅｒｔ－ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Ｌａ８及びＬａ９におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
式（ａ３－１）～式（ａ３－３）において、Ｌａ４～Ｌａ６は、それぞれ独立に、好ましくは－Ｏ－又は、＊－Ｏ－（ＣＨ２）k3－ＣＯ－Ｏ－において、ｋ３が１～４のいずれかの整数である基、より好ましくは－Ｏ－及び、＊－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－、さらに好ましくは酸素原子である。
Ｒａ１８～Ｒａ２１は、好ましくはメチル基である。
Ｒａ２２及びＲａ２３は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
式（ａ３－４）において、Ｒａ２４は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ｒａ２５は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
Ｌａ７は、好ましくは－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－であり、より好ましくは－Ｏ－、－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－Ｃ２Ｈ４－ＣＯ－Ｏ－である。
ｗ１は、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
特に、式（ａ３－４）は、式（ａ３－４）’が好ましい。
Examples of the halogen atom in R a18 , R a19 , R a20 and R a24 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
Examples of the alkyl group in R a18 , R a19 , R a20 and R a24 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group. and preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
Examples of the alkyl group having a halogen atom in R a18 , R a19 , R a20 and R a24 include trifluoromethyl group, perfluoroethyl group, perfluoropropyl group, perfluoroisopropyl group, perfluorobutyl group, perfluorosec-butyl group, perfluorotert group. -butyl group, perfluoropentyl group, perfluorohexyl group, trichloromethyl group, tribromomethyl group, triiodomethyl group, etc.
Examples of the alkanediyl group in L a8 and L a9 include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5 -diyl group, hexane-1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1, Examples include 4-diyl group and 2-methylbutane-1,4-diyl group.
In formulas (a3-1) to (a3-3), L a4 to L a6 are each independently preferably -O- or *-O-(CH 2 ) k3 -CO-O-, k3 is an integer of 1 to 4, more preferably -O- and *-O-CH 2 -CO-O-, even more preferably an oxygen atom.
R a18 to R a21 are preferably methyl groups.
R a22 and R a23 are each independently preferably a carboxy group, a cyano group, or a methyl group.
p1, q1 and r1 are each independently preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1.
In formula (a3-4), R a24 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group, and even more preferably a hydrogen atom or a methyl group. It is.
R a25 is preferably a carboxy group, a cyano group or a methyl group.
L a7 is preferably -O- or *-O-L a8 -CO-O-, more preferably -O-, -O-CH 2 -CO-O- or -O-C 2 H 4 - CO-O-.
w1 is preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1.
In particular, formula (a3-4) is preferably formula (a3-4)'.
構造単位（ａ３）としては、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー、特開２０００－１２２２９４号公報に記載されたモノマー、特開２０１２－４１２７４号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位（ａ３）としては、式（ａ３－１－１）、式（ａ３－１－２）、式（ａ３－２－１）、式（ａ３－２－２）、式（ａ３－３－１）、式（ａ３－３－２）及び式（ａ３－４－１）～式（ａ３－４－１２）のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式（ａ３－１）～式（ａ３－４）におけるＲａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ３）を含む場合、その合計含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１モル％以上が挙げられ、好ましくは３モル％以上であり、より好ましくは５モル％以上であり、さらに好ましくは１０モル％以上である。また、７０モル％以下が挙げられ、好ましくは６５モル％以下であり、より好ましくは６０モル％以下である。具体的には、１～７０モル％が挙げられ、好ましくは３～７０モル％であり、より好ましくは３～６５モル％であり、さらに好ましくは５～６５モル％であり、より一層好ましくは５～６０モル％であり、さらに一層好ましくは１０～６０モル％である。
また、構造単位（ａ３－１）、構造単位（ａ３－２）、構造単位（ａ３－３）又は構造単位（ａ３－４）の含有率は、それぞれ、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、好ましくは１モル％以上であり、より好ましくは３モル％以上であり、さらに好ましくは５モル％以上である。また、好ましくは６０モル％以下であり、より好ましくは５５モル％以下であり、さらに好ましくは５０モル％以下である。具体的には、１～６０モル％が好ましく、３～６０モル％がより好ましく、３～５５モル％がさらに好ましく、５～５５モル％がさらにより好ましく、５～５０モル％がより一層好ましく、１０～５０モル％がさらに一層好ましい。
When the resin (A) etc. contains the structural unit (a3), the total content thereof is 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, based on the total structural units of the resin (A) etc. , more preferably 5 mol% or more, still more preferably 10 mol% or more. Further, it may be 70 mol% or less, preferably 65 mol% or less, and more preferably 60 mol% or less. Specifically, it is 1 to 70 mol%, preferably 3 to 70 mol%, more preferably 3 to 65 mol%, still more preferably 5 to 65 mol%, and even more preferably The amount is 5 to 60 mol%, and even more preferably 10 to 60 mol%.
In addition, the content of the structural unit (a3-1), the structural unit (a3-2), the structural unit (a3-3), or the structural unit (a3-4) is calculated based on the total structural units of the resin (A), etc. On the other hand, it is preferably 1 mol% or more, more preferably 3 mol% or more, and still more preferably 5 mol% or more. Moreover, it is preferably 60 mol% or less, more preferably 55 mol% or less, and still more preferably 50 mol% or less. Specifically, it is preferably 1 to 60 mol%, more preferably 3 to 60 mol%, even more preferably 3 to 55 mol%, even more preferably 5 to 55 mol%, and even more preferably 5 to 50 mol%. , 10 to 50 mol% is even more preferred.
〈構造単位（ａ４）〉
構造単位（ａ４）としては、以下の構造単位が挙げられる。
Ｒ41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ42は、炭素数１～２４のハロゲン原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
Ｒ42で表される飽和炭化水素基は、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
<Structural unit (a4)>
Examples of the structural unit (a4) include the following structural units.
R 41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 42 represents a saturated hydrocarbon group having a halogen atom having 1 to 24 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. ]
Examples of the saturated hydrocarbon group represented by R 42 include a chain saturated hydrocarbon group, a monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon group, and a group formed by combining these.
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
Examples of monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups include cycloalkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, and cyclooctyl group; decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group, and the following. Examples include polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as groups (* represents a bonding site).
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－０）で表される構造単位、式（ａ４－１）で表される構造単位、及び式（ａ４－４）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒ54は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ4ａは、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基を表す。
Ｌ3ａは、炭素数１～８のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数３～１２のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
Ｒ64は、水素原子又はフッ素原子を表す。］
Examples of the structural unit (a4) include a structural unit represented by formula (a4-0), a structural unit represented by formula (a4-1), and a structural unit represented by formula (a4-4). .
R 54 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 4a represents a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms.
L 3a represents a perfluoroalkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms or a perfluorocycloalkanediyl group having 3 to 12 carbon atoms.
R 64 represents a hydrogen atom or a fluorine atom. ]
Ｌ4ａにおけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基及び２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。 Examples of the alkanediyl group in L 4a include linear alkanediyl groups such as methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, ethane-1,1-diyl group, Branched alkanediyl groups such as propane-1,2-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group and 2-methylpropane-1,2-diyl group are mentioned. It will be done.
Ｌ3ａにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロエチルフルオロメチレン基、ペルフルオロプロパン－１，３－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，２－ジイル基、ペルフルオロプロパン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，４－ジイル基、ペルフルオロブタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－１，５－ジイル基、ペルフルオロペンタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－１，６－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－１，７－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－３，４－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－４，４－ジイル基、ペルフルオロオクタン－１，８－ジイル基、ペルフルオロオクタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロオクタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロオクタン－４，４－ジイル基等が挙げられる。
Ｌ3ａにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Examples of the perfluoroalkanediyl group in L 3a include difluoromethylene group, perfluoroethylene group, perfluoroethylfluoromethylene group, perfluoropropane-1,3-diyl group, perfluoropropane-1,2-diyl group, perfluoropropane-2,2 -diyl group, perfluorobutane-1,4-diyl group, perfluorobutane-2,2-diyl group, perfluorobutane-1,2-diyl group, perfluoropentane-1,5-diyl group, perfluoropentane-2,2 -diyl group, perfluoropentane-3,3-diyl group, perfluorohexane-1,6-diyl group, perfluorohexane-2,2-diyl group, perfluorohexane-3,3-diyl group, perfluoroheptane-1,7 -diyl group, perfluoroheptane-2,2-diyl group, perfluoroheptane-3,4-diyl group, perfluoroheptane-4,4-diyl group, perfluorooctane-1,8-diyl group, perfluorooctane-2,2 -diyl group, perfluorooctane-3,3-diyl group, perfluorooctane-4,4-diyl group, and the like.
Examples of the perfluorocycloalkanediyl group for L 3a include a perfluorocyclohexanediyl group, a perfluorocyclopentanediyl group, a perfluorocycloheptanediyl group, a perfluoroadamantanediyl group, and the like.
Ｌ4ａは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
Ｌ3ａは、好ましくは炭素数１～６のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルカンジイル基である。
L 4a is preferably a single bond, a methylene group or an ethylene group, more preferably a single bond or a methylene group.
L 3a is preferably a perfluoroalkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a perfluoroalkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms.
構造単位（ａ４－０）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ４－０）におけるＲ54に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
Ｒa41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa42は、置換基を有していてもよい炭素数１～２０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ａa41は、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又は式（ａ－ｇ１）で表される基を表す。ただし、Ａａ４１及びＲａ４２のうち少なくとも１つは、置換基としてハロゲン原子（好ましくはフッ素原子）を有する。
ｓは０又は１を表す。
Ａa42及びＡa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ａa43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘa41及びＸa42は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ただし、Ａa42、Ａa43、Ａa44、Ｘa41及びＸa42の炭素数の合計は７以下である。〕
＊は結合部位であり、右側の＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合部位である。］
R a41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a42 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-. You can.
A a41 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent or a group represented by formula (a-g1). However, at least one of A a41 and R a42 has a halogen atom (preferably a fluorine atom) as a substituent.
s represents 0 or 1.
A a42 and A a44 each independently represent a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms which may have a substituent.
A a43 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms which may have a substituent.
X a41 and X a42 each independently represent -O-, -CO-, -CO-O- or -O-CO-.
However, the total number of carbon atoms of A a42 , A a43 , A a44 , X a41 and X a42 is 7 or less. ]
* is a binding site, and the * on the right side is a binding site with -O-CO-R a42 . ]
Ｒa42における飽和炭化水素基としては、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。 Examples of the saturated hydrocarbon group for R a42 include a chain saturated hydrocarbon group, a monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon group, and a group formed by combining these.
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
Examples of monocyclic or polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups include cycloalkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, and cyclooctyl group; decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group, and the following. Examples include polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as groups (* represents a bonding site).
Ｒa42が有する置換基として、ハロゲン原子及び式（ａ－ｇ３）で表される基からなる群より選択される少なくとも１種が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。
Ｘa43は、酸素原子、カルボニル基、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す。
Ａa45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
＊はＲa42との結合部位を表す。］
ただし、Ｒa42－Ｘa43－Ａa45において、Ｒa42がハロゲン原子を有しない場合は、Ａa45は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
Examples of the substituent that R a42 has include at least one selected from the group consisting of halogen atoms and groups represented by formulas (ag3). Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, with a fluorine atom being preferred.
X a43 represents an oxygen atom, a carbonyl group, *-O-CO- or *-CO-O-.
A a45 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
* represents the binding site with R a42 . ]
However, in R a42 -X a43 -A a45 , when R a42 does not have a halogen atom, A a45 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms and having at least one halogen atom.
Ａa45における飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基；
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基；並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
Monocyclic alicyclic hydrocarbon groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group; and decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups (* represents the bonding site) ) and other polycyclic alicyclic hydrocarbon groups.
Ｒa42は、ハロゲン原子を有していてもよい飽和炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び／又は式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基がより好ましい。
Ｒa42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が１～６のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒa42が、式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式（ａ－ｇ３）で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ｒa42の総炭素数は、１５以下が好ましく、１２以下がより好ましい。式（ａ－ｇ３）で表される基を置換基として有する場合、その数は１個が好ましい。
R a42 is preferably a saturated hydrocarbon group which may have a halogen atom, more preferably a saturated hydrocarbon group having an alkyl group having a halogen atom and/or a group represented by formula (a-g3).
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a halogen atom, it is preferably a saturated hydrocarbon group having a fluorine atom, more preferably a perfluoroalkyl group or a perfluorocycloalkyl group, and even more preferably a group having 1 to 1 carbon atoms. 6 perfluoroalkyl group, particularly preferably a perfluoroalkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Examples of the perfluoroalkyl group include a perfluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluoropentyl group, a perfluorohexyl group, a perfluoroheptyl group, and a perfluorooctyl group. Examples of the perfluorocycloalkyl group include a perfluorocyclohexyl group.
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), the total carbon number of R a42 including the number of carbon atoms contained in the group represented by formula (a-g3) The number is preferably 15 or less, more preferably 12 or less. When having a group represented by formula (a-g3) as a substituent, the number thereof is preferably one.
Ｒa42が式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、Ｒa42は、さらに好ましくは式（ａ－ｇ２）で表される基である。
Ａa46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘa44は、＊＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊＊はＡa46との結合部位を表す。）。
Ａa47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ａa46、Ａa47及びＸa44の炭素数の合計は１８以下であり、Ａa46及びＡa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。］
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), R a42 is more preferably a group represented by formula (a-g2).
A a46 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
X a44 represents **-O-CO- or **-CO-O- (** represents the binding site with A a46 ).
A a47 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
However, the total number of carbon atoms of A a46 , A a47 and X a44 is 18 or less, and at least one of A a46 and A a47 has at least one halogen atom.
* represents a bonding site with a carbonyl group. ]
Ａa46の飽和炭化水素基の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。
Ａa47の飽和炭化水素基の炭素数は４～１５が好ましく、５～１２がより好ましく、Ａa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
The saturated hydrocarbon group of A a46 preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The number of carbon atoms in the saturated hydrocarbon group of A a47 is preferably 4 to 15, more preferably 5 to 12, and A 47 is even more preferably a cyclohexyl group or an adamantyl group.
式（ａ－ｇ２）で表される基の好ましい構造は、以下の構造である（＊はカルボニル基との結合部位である）。
Ａa41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－メチルブタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ａa41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
Ａa41は、好ましくは炭素数１～４のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数２～４のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
As the alkanediyl group in A a41 , methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group Linear alkanediyl groups such as; propane-1,2-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, 1-methylbutane-1,4-diyl group, Examples include branched alkanediyl groups such as 2-methylbutane-1,4-diyl group.
Examples of the substituent on the alkanediyl group represented by A a41 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
A a41 is preferably an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably an ethylene group.
式（ａ－ｇ１）で表される基におけるＡa42、Ａa43及びＡa44の表す２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環又は多環の２価の脂環式飽和炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び２価の脂環式飽和炭化水素基を組合せることにより形成される２価の飽和炭化水素基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等が挙げられる。
Ａa42、Ａa43及びＡa44の表す２価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
ｓは、０であることが好ましい。
The divalent saturated hydrocarbon groups represented by A a42 , A a43 and A a44 in the group represented by formula (a-g1) include linear or branched alkanediyl groups and monocyclic or polycyclic divalent hydrocarbon groups. Examples thereof include an alicyclic saturated hydrocarbon group, and a divalent saturated hydrocarbon group formed by combining an alkanediyl group and a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group. Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, 1-methylpropane-1,3-diyl group, Examples include 2-methylpropane-1,3-diyl group and 2-methylpropane-1,2-diyl group.
Examples of the substituent for the divalent saturated hydrocarbon group represented by A a42 , A a43 and A a44 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
Preferably, s is 0.
式（ａ－ｇ１）で表される基において、Ｘa42が－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、＊及び＊＊はそれぞれ結合部位を表し、＊＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合部位である。
式（ａ４－１）で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式（ａ４－１）で表される構造単位におけるＲa41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
式（ａ４－１）で表される構造単位としては、式（ａ４－２）で表される構造単位及び式（ａ４－３）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒf5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ44は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒf6は、炭素数１～２０のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ44及びＲf6の合計炭素数の上限は２１である。］
Examples of the structural unit represented by formula (a4-1) include the structural unit represented by formula (a4-2) and the structural unit represented by formula (a4-3).
R f5 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 44 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-.
R f6 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and having a fluorine atom.
However, the upper limit of the total number of carbon atoms in L 44 and R f6 is 21. ]
Ｌ44の炭素数１～６のアルカンジイル基は、Ａa41で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｒf6の飽和炭化水素基は、Ｒ42で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｌ44におけるアルカンジイル基としては、炭素数２～４のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
Examples of the alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms for L 44 include the same groups as exemplified for A a41 .
Examples of the saturated hydrocarbon group for R f6 include the same groups as exemplified for R 42 .
The alkanediyl group in L 44 is preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, and more preferably an ethylene group.
式（ａ４－２）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１－１）～式（ａ４－１－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－２）におけるＲf５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－２）で表される構造単位として挙げられる。 Examples of the structural unit represented by formula (a4-2) include structural units represented by formulas (a4-1-1) to (a4-1-11), respectively. A structural unit in which the methyl group corresponding to R f5 in structural unit (a4-2) is replaced with a hydrogen atom is also included as a structural unit represented by formula (a4-2).
Ｒf7は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ5は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ａf13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘf12は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＡf13との結合部位を表す。）。
Ａf14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
但し、Ａf13及びＡf14の少なくとも１つは、フッ素原子を有し、Ｌ5、Ａf13及びＡf14の合計炭素数の上限は２０である。］
R f7 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 5 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
A f13 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms which may have a fluorine atom.
X f12 represents *-O-CO- or *-CO-O- (* represents a binding site with A f13 ).
A f14 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a fluorine atom.
However, at least one of A f13 and A f14 has a fluorine atom, and the upper limit of the total number of carbon atoms in L 5 , A f13 and A f14 is 20. ]
Ｌ5におけるアルカンジイル基としては、Ａa41のアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。 Examples of the alkanediyl group for L 5 include the same groups as exemplified for the alkanediyl group for A a41 .
Ａf13におけるフッ素原子を有していてもよい２価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基；ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom in A f13 is preferably a divalent chain saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom and a divalent saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom. A divalent alicyclic saturated hydrocarbon group is preferable, and a perfluoroalkanediyl group is more preferable.
Examples of the divalent chain saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom include alkanediyl groups such as methylene group, ethylene group, propanediyl group, butanediyl group and pentanediyl group; difluoromethylene group, perfluoroethylene group, Examples include perfluoroalkanediyl groups such as perfluoropropanediyl group, perfluorobutanediyl group, and perfluoropentanediyl group.
The divalent alicyclic saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom may be either monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic group include a cyclohexanediyl group and a perfluorocyclohexanediyl group. Examples of the polycyclic group include an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, and a perfluoroadamantanediyl group.
Ａf14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ｒa42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。 Examples of the saturated hydrocarbon group of A f14 and the saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom include the same groups as those exemplified for R a42 . Among them, trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, Fluorination of 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group, perfluorohexyl group, heptyl group, perfluoroheptyl group, octyl group, perfluorooctyl group, etc. Alkyl group, cyclopropylmethyl group, cyclopropyl group, cyclobutylmethyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, perfluorocyclohexyl group, adamantyl group, adamantylmethyl group, adamantyldimethyl group, norbornyl group, norbornylmethyl group, perfluoroadamantyl group , perfluoroadamantylmethyl group, etc. are preferred.
式（ａ４－３）において、Ｌ5は、エチレン基が好ましい。
Ａf13の２価の飽和炭化水素基は、炭素数１～６の２価の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の２価の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数２～３の２価の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
Ａf14の飽和炭化水素基は、炭素数３～１２の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数３～１０の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１０の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Ａf14は、好ましくは炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
In formula (a4-3), L 5 is preferably an ethylene group.
The divalent saturated hydrocarbon group of A f13 is preferably a group containing a divalent chain-type saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, A divalent chain-type saturated hydrocarbon group having 2 to 3 carbon atoms is more preferred.
The saturated hydrocarbon group of A f14 is preferably a group containing a chain saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and a chain saturated hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms. More preferred are groups containing a hydrocarbon group and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms. Among these, A f14 is preferably a group containing an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and more preferably a cyclopropylmethyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a norbornyl group, and an adamantyl group. .
式（ａ４－３）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１’－１）～式（ａ４－１’－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－３）におけるＲf７に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－３）で表される構造単位として挙げられる。 Examples of the structural unit represented by formula (a4-3) include structural units represented by formulas (a4-1'-1) to (a4-1'-11), respectively. A structural unit in which the methyl group corresponding to R f7 in structural unit (a4-3) is replaced with a hydrogen atom is also included as the structural unit represented by formula (a4-3).
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－４）で表される構造単位も挙げられる。
Ｒf21は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａf21は、－（ＣＨ2）j1－、－（ＣＨ2）j2－Ｏ－（ＣＨ2）j3－又は－（ＣＨ2）j4－ＣＯ－Ｏ－（ＣＨ2）j5－を表す。
ｊ１～ｊ５は、それぞれ独立に、１～６のいずれかの整数を表す。
Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０の飽和炭化水素基を表す。］
The structural unit (a4) also includes a structural unit represented by formula (a4-4).
R f21 represents a hydrogen atom or a methyl group.
A f21 represents -(CH 2 ) j1 -, -(CH 2 ) j2 -O-(CH 2 ) j3 - or -(CH 2 ) j4 -CO-O-(CH 2 ) j5 -.
j1 to j5 each independently represent an integer of 1 to 6.
R f22 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms and having a fluorine atom. ]
Ｒf22の飽和炭化水素基は、Ｒa42で表される飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数１～１０の脂環式飽和炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～６のアルキル基がさらに好ましい。 Examples of the saturated hydrocarbon group for R f22 include those similar to the saturated hydrocarbon group represented by R a42 . R f22 is preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom or an alicyclic saturated hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom; More preferred is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and having a fluorine atom.
式（ａ４－４）においては、Ａf21としては、－（ＣＨ2）ｊ1－が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。 In formula (a4-4), A f21 is preferably -(CH 2 ) j1 -, more preferably an ethylene group or a methylene group, and even more preferably a methylene group.
式（ａ４－４）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位（ａ４－４）におけるＲf21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～２０モル％が好ましく、２～１５モル％がより好ましく、３～１０モル％がさらに好ましい。 When the resin (A) etc. contains the structural unit (a4), its content is preferably 1 to 20 mol%, more preferably 2 to 15 mol%, based on the total structural units of the resin (A) etc. , 3 to 10 mol% is more preferable.
〈構造単位（ａ５）〉
構造単位（ａ５）が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位（ａ５）は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位（ａ５）としては、例えば、式（ａ５－１）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒ51は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ52は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数１～８の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
Ｌ55は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
<Structural unit (a5)>
Examples of the non-eliminating hydrocarbon group possessed by the structural unit (a5) include groups having a linear, branched or cyclic hydrocarbon group. Among these, the structural unit (a5) is preferably a group having an alicyclic hydrocarbon group.
Examples of the structural unit (a5) include a structural unit represented by formula (a5-1).
R 51 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 52 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group may be substituted with an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .
L 55 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. . ]
Ｒ52における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数１～８の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、３－メチルアダマンチル基などが挙げられる。
Ｒ52は、好ましくは、無置換の炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
The alicyclic hydrocarbon group for R 52 may be either monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic hydrocarbon group include a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic hydrocarbon group include an adamantyl group and a norbornyl group.
Examples of aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, and - Alkyl groups such as ethylhexyl group.
Examples of the alicyclic hydrocarbon group having a substituent include a 3-methyladamantyl group.
R 52 is preferably an unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, more preferably an adamantyl group, norbornyl group or cyclohexyl group.
Ｌ55における２価の飽和炭化水素基としては、２価の鎖式飽和炭化水素基及び２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは２価の鎖式飽和炭化水素基である。
２価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group in L 55 include a divalent chain saturated hydrocarbon group and a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group, and preferably a divalent chain saturated hydrocarbon group. .
Examples of the divalent chain saturated hydrocarbon group include alkanediyl groups such as methylene group, ethylene group, propanediyl group, butanediyl group, and pentanediyl group.
The divalent alicyclic saturated hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic saturated hydrocarbon group include cycloalkanediyl groups such as cyclopentanediyl group and cyclohexanediyl group. Examples of the polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group include an adamantanediyl group and a norbornanediyl group.
Ｌ55の表す２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（Ｌ１－１）～式（Ｌ１－４）で表される基が挙げられる。下記式中、＊及び＊＊は各々結合部位を表し、＊は酸素原子との結合部位を表す。
Ｘx1は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＬx1との結合部位を表す。）。
Ｌx1は、炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx2は、単結合又は炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx1及びＬx2の合計炭素数は、１６以下である。
式（Ｌ１－２）中、
Ｌx3は、炭素数１～１７の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx4は、単結合又は炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx3及びＬx4の合計炭素数は、１７以下である。
式（Ｌ１－３）中、
Ｌx5は、炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx6及びＬx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１４の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx5、Ｌx6及びＬx7の合計炭素数は、１５以下である。
式（Ｌ１－４）中、
Ｌx8及びＬx9は、単結合又は炭素数１～１２の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｗx1は、炭素数３～１５の２価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx8、Ｌx9及びＷx1の合計炭素数は、１５以下である。］
Examples of groups in which -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L 55 are replaced with -O- or -CO- include formulas (L1-1) to (L1-4). The groups represented can be mentioned. In the following formula, * and ** each represent a bonding site, and * represents a bonding site with an oxygen atom.
X x1 represents *-O-CO- or *-CO-O- (* represents a binding site with L x1 ).
L x1 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
L x2 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x1 and L x2 is 16 or less.
In formula (L1-2),
L x3 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms.
L x4 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x3 and L x4 is 17 or less.
In formula (L1-3),
L x5 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
L x6 and L x7 each independently represent a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x5 , L x6 and L x7 is 15 or less.
In formula (L1-4),
L x8 and L x9 represent a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
W x1 represents a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x8 , L x9 and W x1 is 15 or less. ]
Ｌx1は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx2は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Ｌx3は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx4は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx5は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx6は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx7は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx8は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｌx9は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｗx1は、好ましくは、炭素数３～１０の２価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
L x1 is preferably a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x2 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond.
L x3 is preferably a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x4 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x5 is preferably a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x6 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x7 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x8 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
L x9 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
W x1 is preferably a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, more preferably a cyclohexanediyl group or an adamantanediyl group.
式（Ｌ１－１）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
構造単位（ａ５－１）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ５－１）におけるＲ51に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
〈構造単位（ａ６）〉
構造単位（ａ６）は、－ＳＯ２－基を有する構造単位であり、－ＳＯ２－基を側鎖に有することが好ましい。
－ＳＯ２－基を有する構造単位は、－ＳＯ２－基を有する直鎖状構造を有していてもよいし、－ＳＯ２－基を有する分岐状構造を有していてもよいし、－ＳＯ２－基を有する環状構造（単環及び多環構造）を有していてもよい。好ましくは、－ＳＯ２－基を有する環状構造を有する構造単位であり、より好ましくは、－ＳＯ２－Ｏ－を含む環状構造（スルトン環）を有する構造単位である。
<Structural unit (a6)>
The structural unit (a6) is a structural unit having an -SO 2 - group, and preferably has an -SO 2 - group in its side chain.
The structural unit having a -SO 2 - group may have a linear structure having an -SO 2 - group, a branched structure having a -SO 2 - group, It may have a cyclic structure (monocyclic or polycyclic structure) having a -SO 2 - group. Preferably, it is a structural unit having a cyclic structure having an -SO 2 - group, and more preferably a structural unit having a cyclic structure (sultone ring) containing -SO 2 -O-.
スルトン環としては、下記式（Ｔ１－１）、式（Ｔ１－２）、式（Ｔ１－３）及び式（Ｔ１－４）で表される環が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。スルトン環は、単環式であってもよいが、多環式であることが好ましい。多環式のスルトン環とは、環を構成する原子団として－ＳＯ２－Ｏ－を含む橋かけ環を意味し、式（Ｔ１－１）及び式（Ｔ１－２）で表される環が挙げられる。スルトン環は、式（Ｔ１－２）で表される環のように、環を構成する原子団として、－ＳＯ２－Ｏ－以外に、さらにヘテロ原子を含んでいてもよい。ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子又は窒素原子が挙げられ、好ましくは酸素原子である。
スルトン環は置換基を有してもよく、置換基としては、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基及び炭素数２～４のアルキルカルボニル基等が挙げられる。 The sultone ring may have a substituent, and examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen atom or a hydroxy group, a halogen atom, a hydroxy group, a cyano group, and a cyano group having 1 carbon atom. Examples include alkoxy groups having ~12 carbon atoms, aryl groups having 6 to 12 carbon atoms, aralkyl groups having 7 to 12 carbon atoms, glycidyloxy groups, alkoxycarbonyl groups having 2 to 12 carbon atoms, and alkylcarbonyl groups having 2 to 4 carbon atoms. It will be done.
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及びデシル基が挙げられ、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。
ハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基が挙げられ、好ましくはトリフルオロメチル基が挙げられる。
ヒドロキシ基を有するアルキル基としては、ヒドロキシメチル基及び２－ヒドロキシエチル基のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基が挙げられる。
アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クミル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基及び２－メチル－６－エチルフェニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシ基とカルボニル基とが結合した基が挙げられ、好ましくは炭素数６以下のアルコキシカルボニル基が挙げられ、より好ましくはメトキシカルボニル基が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alkyl group include a methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, and decyl group, preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and more preferably a methyl group. It is.
Examples of the alkyl group having a halogen atom include trifluoromethyl group, perfluoroethyl group, perfluoropropyl group, perfluoroisopropyl group, perfluorobutyl group, perfluorosec-butyl group, perfluorotert-butyl group, perfluoropentyl group, perfluorohexyl group, Examples include trichloromethyl group, tribromomethyl group and triiodomethyl group, preferably trifluoromethyl group.
Examples of the alkyl group having a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a 2-hydroxyethyl group.
Examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, octyloxy group, decyloxy group and dodecyloxy group.
Aryl groups include phenyl group, naphthyl group, anthryl group, p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, p-adamantylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumyl group, mesityl group, biphenyl group, phenanthryl group. 2,6-diethylphenyl group and 2-methyl-6-ethylphenyl group.
Examples of the aralkyl group include benzyl group, phenethyl group, phenylpropyl group, naphthylmethyl group and naphthylethyl group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include groups in which an alkoxy group and a carbonyl group are bonded, such as a methoxycarbonyl group and an ethoxycarbonyl group, preferably an alkoxycarbonyl group having 6 or less carbon atoms, and more preferably a methoxycarbonyl group. Can be mentioned.
Examples of the alkylcarbonyl group include an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group.
構造単位（ａ６）を導くモノマーの製造が容易であるという観点から、置換基を有さないスルトン環が好ましい。
スルトン環としては、以下の式（Ｔ１’）で表される環が好ましい。
Ｘ１１は、酸素原子、硫黄原子又はメチレン基を表す。
Ｒ４１は、ハロゲン原子もしくはヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基又は炭素数２～４のアルキルカルボニル基を表す。
ｍａは、０～９のいずれかの整数を表す。ｍａが２以上のとき、複数のＲ４１は同一であっても異なってもよい。
結合部位は任意の位置である。］
Ｘ１１は、好ましくは酸素原子又はメチレン基であり、より好ましくはメチレン基である。
Ｒ４１としては、スルトン環の置換基と同様のものが挙げられ、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基が好ましい。
ｍａは、好ましくは０又は１であり、より好ましくは０である。
From the viewpoint of easy production of a monomer leading to the structural unit (a6), a sultone ring having no substituents is preferred.
As the sultone ring, a ring represented by the following formula (T1') is preferable.
X 11 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or a methylene group.
R 41 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen atom or a hydroxy group, a halogen atom, a hydroxy group, a cyano group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms; group, an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms, a glycidyloxy group, an alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms, or an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms.
ma represents any integer from 0 to 9. When ma is 2 or more, a plurality of R 41s may be the same or different.
The binding site can be at any position. ]
X 11 is preferably an oxygen atom or a methylene group, more preferably a methylene group.
Examples of R 41 include the same substituents as those of the sultone ring, and preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen atom or a hydroxy group.
ma is preferably 0 or 1, more preferably 0.
式（Ｔ１’）で表される環としては、以下の環が挙げられる。結合部位は任意の位置である。なかでも、結合部位は１位又は３位であるものが好ましい。
－ＳＯ２－基を有する構造単位は、さらに、重合性基に由来する基を有することが好ましい。重合性基としては、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイルアミノ基、メタクリロイルアミノ基、アクリロイルチオ基、メタクリロイルチオ基等が挙げられる。
中でも、構造単位（ａ６）を導くモノマーは、好ましくはエチレン性不飽和結合を有するモノマーであり、より好ましくは（メタ）アクリル系モノマーである。
The structural unit having the -SO 2 - group preferably further has a group derived from a polymerizable group. Examples of the polymerizable group include a vinyl group, an acryloyl group, a methacryloyl group, an acryloyloxy group, a methacryloyloxy group, an acryloylamino group, a methacryloylamino group, an acryloylthio group, a methacryloylthio group, and the like.
Among these, the monomer leading to the structural unit (a6) is preferably a monomer having an ethylenically unsaturated bond, more preferably a (meth)acrylic monomer.
構造単位（ａ６）は、好ましくは、式（ａ６－０）で表される構造単位である。
Ｒｘは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ａｘｘは、酸素原子、－Ｎ（Ｒｃ）－又は硫黄原子を表す。
Ａｘは、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－又は－Ｎ（Ｒｄ）－に置き換わっていてもよい。
Ｘ１１、Ｒ４１及びｍａは、上記と同じ意味を表す。
Ｒｃ及びＲｄは、互いに独立に、水素原子又は炭素数１～６のアルキル基を表す。］
Structural unit (a6) is preferably a structural unit represented by formula (a6-0).
R x represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a halogen atom, a hydrogen atom, or a halogen atom.
A xx represents an oxygen atom, -N(R c )- or a sulfur atom.
A x represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group is -O-, -CO- or -N(R d )- may be replaced.
X 11 , R 41 and ma represent the same meanings as above.
R c and R d each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
Ｒｘのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒｘのアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基及びｎ－ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒｘのハロゲン原子を有するアルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などが挙げられる。
Ｒｘは、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Examples of the halogen atom for R x include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alkyl group for R x include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, and n-hexyl group. preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
R , perfluorohexyl group, trichloromethyl group, tribromomethyl group, and triiodomethyl group.
R x is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group, and still more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Ａｘの２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基、ヘプタデカン－１，１７－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基及びプロパン－２，２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Ａｘのスルトン環への結合位置は、任意の位置とすることができるが、１位であるものが好ましい。
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group of A x include a linear alkanediyl group, a branched alkanediyl group, and a monocyclic or polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group. A combination of two or more of these groups may also be used.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1 ,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group , dodecane-1,12-diyl group, tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group, heptadecane-1, Straight chain alkanediyl groups such as 17-diyl group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group and propane-2,2-diyl group;
Butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4- Branched alkanediyl groups such as diyl groups;
A monocyclic cycloalkanediyl group such as a cyclobutane-1,3-diyl group, a cyclopentane-1,3-diyl group, a cyclohexane-1,4-diyl group, or a cyclooctane-1,5-diyl group. alicyclic saturated hydrocarbon group;
Polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbons such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group Examples include groups.
The bonding position of A x to the sultone ring can be any position, but the 1st position is preferable.
構造単位（ａ６－０）としては、以下の構造単位が挙げられる。
Examples of the structural unit (a6-0) include the following structural units.
なかでも、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－６）、式（ａ６－７）、式（ａ６－８）及び式（ａ６－１２）で表される構造単位が好ましく、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－７）及び（ａ６－８）で表される構造単位がより好ましい。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ６）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、２～４０モル％がより好ましく、３～３０モル％がさらに好ましい。
Among them, structural units represented by formula (a6-1), formula (a6-2), formula (a6-6), formula (a6-7), formula (a6-8) and formula (a6-12) is preferable, and structural units represented by formula (a6-1), formula (a6-2), formula (a6-7) and (a6-8) are more preferable.
When the resin (A) etc. contains the structural unit (a6), its content is preferably 1 to 50 mol%, more preferably 2 to 40 mol%, based on the total structural units of the resin (A) etc. , 3 to 30 mol% is more preferable.
＜構造単位（ＩＩ）＞
樹脂（Ａ）等は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位（以下、「構造単位（ＩＩ）」という場合がある）を含有してもよい。構造単位（ＩＩ）としては、具体的には特開２０１６－７９２３５号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。
<Structural unit (II)>
The resin (A) and the like may further contain a structural unit (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (II)") that decomposes upon exposure to generate an acid. Specific examples of the structural unit (II) include the structural unit described in JP-A-2016-79235, which includes a structural unit having a sulfonate group or a carboxylate group and an organic cation in the side chain, or a structural unit having a sulfonate group or a carboxylate group in the side chain. A structural unit having a group and an organic anion is preferable.
側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位であることが好ましい。
ＸＩＩＩ３は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
Ａｘ１は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
ＲＡ－は、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
ＲＩＩＩ３は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
ＺＡ＋は、有機カチオンを表す。］
The structural unit having a sulfonate group or carboxylate group and an organic cation in its side chain is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A').
X III3 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S- or -CO-. Often, the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with a halogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may contain a halogen atom, or a hydroxy group.
A x1 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the alkanediyl group may be substituted with a fluorine atom or a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
RA − represents a sulfonate group or a carboxylate group.
R III3 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
ZA + represents an organic cation. ]
ＲＩＩＩ３で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
ＲＩＩＩ３で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ａｘ１で表される炭素数１～８のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
ＡX1において置換されていてもよい炭素数１～６のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
ＸＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基；ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の２価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わったものとしては、例えば式（Ｘ１）～式（Ｘ５３）で表される２価の基が挙げられる。ただし、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わる前の炭素数はそれぞれ１７以下である。下記式において、＊及び＊＊は結合部位を表し、＊はＡｘ１との結合部位を表す。
The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and optionally having a halogen atom represented by R III3 includes the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms optionally having a halogen atom represented by R a8 ; The same thing can be mentioned.
The alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms represented by A x1 includes a methylene group, an ethylene group, a propane-1,3-diyl group, a butane-1,4-diyl group, and a pentane-1,5-diyl group. , hexane-1,6-diyl group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2, 4-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group, etc. Can be mentioned.
The optionally substituted perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms in A -butyl group, perfluoropentyl group, perfluorohexyl group, etc.
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms represented by XIII3 include a linear or branched alkanediyl group, and a monocyclic or polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group. or a combination of these may be used.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1 ,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group , linear alkanediyl groups such as dodecane-1,12-diyl group; butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group , pentane-1,4-diyl group, branched alkanediyl group such as 2-methylbutane-1,4-diyl group; cyclobutane-1,3-diyl group, cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1 ,4-diyl group, cycloalkanediyl group such as cyclooctane-1,5-diyl group; norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, adamantane Examples include divalent polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as -2,6-diyl group.
Examples of saturated hydrocarbon groups in which -CH 2 - is replaced with -O-, -S- or -CO- include divalent groups represented by formulas (X1) to (X53). Can be mentioned. However, the number of carbon atoms in each of the saturated hydrocarbon groups before --CH 2 -- is replaced with --O-, --S-, or --CO- is 17 or less. In the formula below, * and ** represent a binding site, and * represents a binding site with A x1 .
Ｘ3は、２価の炭素数１～１６の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ4は、２価の炭素数１～１５の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ5は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ6は、２価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ7は、３価の炭素数１～１４の飽和炭化水素基を表す。
Ｘ8は、２価の炭素数１～１３の飽和炭化水素基を表す。
X 3 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
X 4 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
X 5 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 13 carbon atoms.
X 6 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
X 7 represents a trivalent saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
X 8 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 13 carbon atoms.
式（ＩＩ－２－Ａ’）中のＺＡ＋は、式（Ｂ１）で表される塩におけるカチオンＺ＋と同様のものが挙げられる。 Examples of ZA + in formula (II-2-A') include the same cation Z + in the salt represented by formula (B1).
式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位であることが好ましい。
ＲＩＩＩ３、ＸＩＩＩ３及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
ｚ２Ａは、０～６のいずれかの整数を表す。
ＲＩＩＩ２及びＲＩＩＩ４は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表し、ｚ２Ａが２以上のとき、複数のＲＩＩＩ２及びＲＩＩＩ４は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
Ｑａ及びＱｂは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。］
ＲＩＩＩ２、ＲＩＩＩ４、Ｑａ及びＱｂで表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基としては、前述のＱｂ１で表される炭素数１～６のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。
The structural unit represented by formula (II-2-A') is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A).
R III3 , X III3 and ZA + represent the same meanings as above.
z2A represents any integer from 0 to 6.
R III2 and R III4 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, or a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and when z2A is 2 or more, a plurality of R III2 and R III4 are the same as each other; It may be different or it may be different.
Q a and Q b each independently represent a fluorine atom or a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
Examples of the perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by R III2 , R III4 , Q a and Q b include the same perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms represented by Q b1 described above. .
式（ＩＩ－２－Ａ）で表される構造単位は、式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位であることが好ましい。
ＲＩＩＩ２、ＲＩＩＩ３、ＲＩＩＩ４、Ｑa、Ｑb及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
ＲＩＩＩ５は、炭素数１～１２の飽和炭化水素基を表す。
ｚ２Ａ１は、０～６のいずれかの整数を表す。
ＸＩ2は、炭素数１～１１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。］
ＲＩＩＩ５で表される炭素数１～１２の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
ＸＩ２で表される２価の飽和炭化水素基としては、ＸＩＩＩ３で表される２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
The structural unit represented by formula (II-2-A) is preferably a structural unit represented by formula (II-2-A-1).
R III2 , R III3 , R III4 , Q a , Q b and ZA + represent the same meanings as above.
R III5 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
z2A1 represents any integer from 0 to 6.
X I2 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 11 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S- or -CO-. Often, the hydrogen atoms contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom or a hydroxy group. ]
The saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms represented by R III5 includes methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, Straight chain or branched alkyl groups such as heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group and dodecyl group are mentioned.
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group represented by X I2 include those similar to the divalent saturated hydrocarbon group represented by X III3 .
式（ＩＩ－２－Ａ－１）で表される構造単位としては、式（ＩＩ－２－Ａ－２）で表される構造単位がさらに好ましい。
ＲＩＩＩ３、ＲＩＩＩ５及びＺＡ＋は、上記と同じ意味を表す。
ｍ及びｎＡは、互いに独立に、１又は２を表す。］
As the structural unit represented by formula (II-2-A-1), a structural unit represented by formula (II-2-A-2) is more preferable.
R III3 , R III5 and ZA + represent the same meanings as above.
m and nA each independently represent 1 or 2. ]
式（ＩＩ－２－Ａ’）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位、ＲIII3のメチル基に相当する基が水素原子、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子）又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基（例えば、トリフルオロメチル基等）に置き換わった構造単位及び国際公開第２０１２／０５００１５号記載の構造単位が挙げられる。ＺＡ＋は、有機カチオンを表す。
側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位は、式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位であることが好ましい。
ＡＩＩ１は、単結合又は２価の連結基を表す。
ＲＩＩ１は、炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基を表す。
ＲＩＩ２及びＲＩＩ３は、それぞれ独立して、炭素数１～１８の炭化水素基を表し、ＲＩＩ２及びＲＩＩ３は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
ＲII4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ａ－は、有機アニオンを表す。］
ＲＩＩ１で表される炭素数６～１８の２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
ＲＩＩ２及びＲＩＩ３で表される炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等は、上記と同様のものが挙げられる。
ＲＩＩ４で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
ＲＩＩ４で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、Ｒａ８で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と同じものが挙げられる。
ＡＩＩ１で表される２価の連結基としては、例えば、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基が挙げられ、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。具体的には、ＸＩＩＩ３で表される炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。
The structural unit having a sulfonio group and an organic anion in its side chain is preferably a structural unit represented by formula (II-1-1).
A II1 represents a single bond or a divalent linking group.
R II1 represents a divalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
R II2 and R II3 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and R II2 and R II3 may be bonded to each other to form a ring with the sulfur atom to which they are bonded.
R II4 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
A − represents an organic anion. ]
Examples of the divalent aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms represented by R II1 include a phenylene group and a naphthylene group.
Examples of the hydrocarbon group represented by R II2 and R II3 include an alkyl group, an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, and a group formed by combining these.
Examples of the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and groups formed by combining these groups are the same as those mentioned above.
Examples of the halogen atom represented by R II4 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
The alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and optionally having a halogen atom represented by R II4 includes the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms optionally having a halogen atom represented by R a8 ; The same thing can be mentioned.
Examples of the divalent linking group represented by A II1 include a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group is It may be replaced with -O-, -S- or -CO-. Specifically, the same divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms as represented by XIII3 can be mentioned.
式（ＩＩ－１－１）中のカチオンを含む構造単位としては、以下で表される構造単位及びＲII4のメチル基に相当する基が、水素原子、フッ素原子、トリフルオロメチル基等に置き換わった構造単位などが挙げられる。
As the structural unit containing a cation in formula (II-1-1), the structural unit represented below and the group corresponding to the methyl group of R II4 are replaced with a hydrogen atom, a fluorine atom, a trifluoromethyl group, etc. Examples include structural units.
Ａ－で表される有機アニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。Ａ－で表される有機アニオンは、スルホン酸アニオンが好ましく、スルホン酸アニオンとしては、後述の式（Ｂ１）で表される塩に含まれるアニオンであることがより好ましい。
スルホニルイミドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Examples of sulfonylimide anions include the following.
式（ＩＩ－１－１）で表される構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。
樹脂（Ａ）等中に、構造単位（ＩＩ）を含有する場合の構造単位（ＩＩ）の含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、好ましくは１～２０モル％であり、より好ましくは２～１５モル％であり、さらに好ましくは３～１０モル％である。 When the structural unit (II) is contained in the resin (A), etc., the content of the structural unit (II) is preferably 1 to 20 mol% based on the total structural units of the resin (A), etc. , more preferably 2 to 15 mol %, still more preferably 3 to 10 mol %.
樹脂（Ａ）等は、好ましくは、構造単位（ａ１）を含む樹脂である。特に、樹脂（Ａｐ）は、より好ましくは、構造単位（ＩＰ）と構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、すなわち、塩（Ｉ）とモノマー（ａ１）とモノマー（ｓ）との共重合体である。構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂（Ａ）は、好ましくは構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、すなわち、モノマー（ａ１）とモノマー（ｓ）との共重合体である。
構造単位（ａ１）は、好ましくは構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）（好ましくはシクロヘキシル基、又はシクロペンチル基を有する該構造単位）からなる群から選ばれる少なくとも一種であり、より好ましくは少なくとも二種であり、さらに好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも二種である。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）からなる群から選ばれる少なくとも一種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは構造単位（ａ２－１）又は構造単位（ａ２－Ａ）である。構造単位（ａ３）は、好ましくは式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。
The resin (A) etc. is preferably a resin containing the structural unit (a1). In particular, the resin (Ap) is more preferably a resin consisting of a structural unit (IP), a structural unit (a1), and a structural unit (s), that is, a salt (I), a monomer (a1), and a monomer (s). It is a copolymer with The resin (A) not containing the structural unit (IP) is preferably a resin consisting of the structural unit (a1) and the structural unit (s), that is, a copolymer of the monomer (a1) and the monomer (s). .
The structural unit (a1) is preferably a group consisting of the structural unit (a1-0), the structural unit (a1-1) and the structural unit (a1-2) (preferably the structural unit having a cyclohexyl group or a cyclopentyl group). At least one kind selected from, more preferably at least two kinds, still more preferably at least two kinds selected from the group consisting of structural unit (a1-1) and structural unit (a1-2).
The structural unit (s) is preferably at least one selected from the group consisting of the structural unit (a2) and the structural unit (a3). Structural unit (a2) is preferably structural unit (a2-1) or structural unit (a2-A). Structural unit (a3) is preferably a group consisting of a structural unit represented by formula (a3-1), a structural unit represented by formula (a3-2), and a structural unit represented by formula (a3-4). At least one type selected from
樹脂（Ａ）等を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組み合わせて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ａ）等が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは、２，０００以上（より好ましくは２，５００以上、さらに好ましくは３，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３０，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）であるが、重量平均分子量が２，０００未満のオリゴマーが含まれていてもよい。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。なお、構造単位（ＩＰ）は、二量体、三量体、重量平均分子量が２，０００未満の化合物を構成してもよい。
Each structural unit constituting the resin (A) etc. may be used alone or in combination of two or more, and can be produced by a known polymerization method (e.g. radical polymerization method) using a monomer that leads to these structural units. can do. The content of each structural unit contained in the resin (A) etc. can be adjusted by adjusting the amount of monomer used for polymerization.
The weight average molecular weight of the resin (Ap) and the resin (A) is preferably 2,000 or more (more preferably 2,500 or more, even more preferably 3,000 or more) and 50,000 or less (more preferably 30,000 or more), 000 or less, more preferably 15,000 or less), but oligomers with a weight average molecular weight of less than 2,000 may be included. In this specification, the weight average molecular weight is a value determined by gel permeation chromatography under the conditions described in Examples. Note that the structural unit (IP) may constitute a dimer, a trimer, or a compound having a weight average molecular weight of less than 2,000.
〔カルボン酸発生剤〕
本発明のカルボン酸発生剤は、カルボン酸塩（Ｉ）又は構造単位（ＩＰ）を含有するカルボン酸発生剤である。構造単位（ＩＰ）は、複数が重合した化合物又は樹脂として含有することができる。本発明のカルボン酸塩（Ｉ）又は構造単位（ＩＰ）は、レジスト組成物中において、カルボン酸発生剤として作用させることができる。カルボン酸塩（Ｉ）をレジスト組成物中のカルボン酸発生剤として用いる場合、カルボン酸発生剤は１種のみ又は２種類以上のカルボン酸塩（Ｉ）を含有してもよい。また、構造単位（ＩＰ）をレジスト組成物中のカルボン酸発生剤として用いる場合、構造単位（ＩＰ）を含む化合物又は樹脂を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせてもよい。本発明のカルボン酸発生剤は、カルボン酸塩（Ｉ）及び構造単位（ＩＰ）の両方を含有してもよい。
本発明のカルボン酸発生剤は、後述するように、カルボン酸塩（Ｉ）以外のレジスト分野で公知の酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ）」という場合がある。）及び／又はカルボン酸塩（Ｉ）以外のレジスト分野で公知のカルボン酸発生剤をさらに含有してもよい。酸発生剤（Ｂ）は、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明のカルボン酸発生剤が、酸発生剤（Ｂ）等を含有する場合、カルボン酸塩（Ｉ）と酸発生剤（Ｂ）等との含有量の比（質量比；カルボン酸塩（Ｉ）：酸発生剤（Ｂ））等は、通常、１：９９～１００：０であり、好ましくは１：９９～９９：１であり、より好ましくは２：９８～９８：２であり、さらに好ましくは５：９５～９５：５であり、より一層好ましくは１０：９０～９０：１０であり、さらに一層好ましくは１５：８５～８５：１５であり、特に好ましくは４０：６０～６０：４０である。
[Carboxylic acid generator]
The carboxylic acid generator of the present invention is a carboxylic acid generator containing a carboxylic acid salt (I) or a structural unit (IP). The structural unit (IP) can be contained as a compound or resin in which a plurality of structural units are polymerized. The carboxylic acid salt (I) or structural unit (IP) of the present invention can act as a carboxylic acid generator in a resist composition. When using carboxylic acid salt (I) as a carboxylic acid generator in a resist composition, the carboxylic acid generator may contain only one type or two or more types of carboxylic acid salt (I). Further, when the structural unit (IP) is used as a carboxylic acid generator in a resist composition, a compound or resin containing the structural unit (IP) may be used alone, or two or more types may be used in combination. The carboxylic acid generator of the present invention may contain both the carboxylate (I) and the structural unit (IP).
As described below, the carboxylic acid generator of the present invention includes acid generators known in the resist field other than carboxylate (I) (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B)") and/or carboxylic acid generators. It may further contain a carboxylic acid generator known in the resist field other than the acid salt (I). The acid generator (B) may be used alone or in combination of two or more.
When the carboxylic acid generator of the present invention contains an acid generator (B), etc., the content ratio (mass ratio; ): acid generator (B)) etc. is usually 1:99 to 100:0, preferably 1:99 to 99:1, more preferably 2:98 to 98:2, and The ratio is preferably 5:95 to 95:5, even more preferably 10:90 to 90:10, even more preferably 15:85 to 85:15, particularly preferably 40:60 to 60:40. It is.
〔レジスト組成物〕
本発明のレジスト組成物は、本発明のカルボン酸発生剤を含有する。ここでの本発明のカルボン酸発生剤は、構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（Ａｐ）であってもよい。本発明のレジスト組成物は、本発明のカルボン酸発生剤を含まない、酸発生剤（Ｂ）を含んでいてもよく、構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂を含んでいてもよい。ここで、構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂は、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂であってもよいし、構造単位（ａ１）を含まない樹脂であってもよい。ただし、本発明のレジスト組成物は、カルボン酸塩（Ｉ）及び構造単位（ＩＰ）の少なくとも一方を含むものであり、双方を含むものであってもよい。すなわち、本発明のレジスト組成物は、本発明の構造単位（ＩＰ）又は本発明のカルボン酸塩（Ｉ）を含有するカルボン酸発生剤を含んでいればよい。構造単位（ＩＰ）は、化合物又は樹脂等のいずれの形態でもよい。言い換えると、本発明のレジスト組成物は、カルボン酸発生剤として、樹脂（Ａｐ）及び／又は樹脂（Ａ）と、カルボン酸塩（Ｉ）とを含有していてもよい。本発明のレジスト組成物は、樹脂を含んでいてもよく、なかでも、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂を含んでいることが好ましい。すなわち、少なくとも
（ａ）カルボン酸塩（Ｉ）と、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂（Ａ）とを含むか、
（ｂ）構造単位（ＩＰ）及び酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂（Ａｐ）を含むか、
（ｃ）構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（Ａｐ）と、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂（Ａ）とを含むことが好ましい。
中でも、構造単位（ＩＰ）及び酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂（Ａｐ）を含むレジスト組成物であることが好ましい。２種以上の樹脂（Ａ）及び／又は樹脂（Ａｐ）を含んでいてもよい。
本発明のレジスト組成物は、レジスト分野で公知の酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ）」という場合がある）、クエンチャー（以下「クエンチャー（Ｃ）」という場合がある）及び／又は溶剤（以下「溶剤（Ｅ）」という場合がある）をさらに含有することが好ましい。また、本発明のレジスト組成物は、上述した樹脂（Ａ）等以外の樹脂をさらに含んでいてもよい。
[Resist composition]
The resist composition of the present invention contains the carboxylic acid generator of the present invention. The carboxylic acid generator of the present invention may be a resin (Ap) containing a structural unit (IP). The resist composition of the present invention may contain an acid generator (B) that does not contain the carboxylic acid generator of the present invention, or may contain a resin that does not contain a structural unit (IP). Here, the resin that does not contain the structural unit (IP) may be a resin that contains the structural unit (a1) having an acid-labile group, or may be a resin that does not contain the structural unit (a1). However, the resist composition of the present invention contains at least one of the carboxylic acid salt (I) and the structural unit (IP), and may contain both. That is, the resist composition of the present invention only needs to contain a carboxylic acid generator containing the structural unit (IP) of the present invention or the carboxylic acid salt (I) of the present invention. The structural unit (IP) may be in any form such as a compound or a resin. In other words, the resist composition of the present invention may contain resin (Ap) and/or resin (A) and carboxylic acid salt (I) as a carboxylic acid generator. The resist composition of the present invention may contain a resin, and preferably contains a resin containing a structural unit (a1) having an acid-labile group. That is, it contains at least (a) a carboxylic acid salt (I) and a resin (A) containing a structural unit (a1) having an acid-labile group;
(b) contains a resin (Ap) containing a structural unit (IP) and a structural unit (a1) having an acid-labile group;
(c) It is preferable to include a resin (Ap) containing a structural unit (IP) and a resin (A) containing a structural unit (a1) having an acid-labile group.
Among these, a resist composition containing a resin (Ap) containing a structural unit (IP) and a structural unit (a1) having an acid-labile group is preferable. It may contain two or more types of resin (A) and/or resin (Ap).
The resist composition of the present invention includes an acid generator (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B)"), a quencher (hereinafter sometimes referred to as "quencher (C)"), and/or an acid generator known in the resist field. Alternatively, it is preferable to further contain a solvent (hereinafter sometimes referred to as "solvent (E)"). Moreover, the resist composition of the present invention may further contain resins other than the resin (A) and the like mentioned above.
＜カルボン酸発生剤＞
本発明のカルボン酸塩（Ｉ）の含有率は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．００１～１５質量％程度であることが好ましく、０．００１～１０質量％程度であることがより好ましく、０．００１～８質量％程度であることがさらに好ましく、０．００５～７質量％程度であることがさらにより好ましい。
本発明の樹脂（Ａｐ）の含有量は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。
<Carboxylic acid generator>
The content of the carboxylic acid salt (I) of the present invention is preferably about 0.001 to 15% by mass, and preferably about 0.001 to 10% by mass, based on the solid content of the resist composition. It is more preferably about 0.001 to 8% by mass, even more preferably about 0.005 to 7% by mass.
The content of the resin (Ap) of the present invention is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less, based on the solid content of the resist composition.
＜樹脂（Ａ）等以外の樹脂＞
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）以外の樹脂を併用してもよい。
樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）以外の樹脂としては、上述した樹脂（Ａ）において、構造単位（ａ１）を含まない以外樹脂（Ａ）と同様の構造単位を有する樹脂（ＡＸ）、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）を含む樹脂（ただし、構造単位（ＩＰ）及び構造単位（ａ１）を含まない。以下「樹脂（Ｘ）」という場合がある。）等が挙げられる。
<Resin other than resin (A) etc.>
The resist composition of the present invention may contain resins other than resin (Ap) and resin (A) in combination.
Resins other than the resin (Ap) and the resin (A) include a resin (AX) having the same structural unit as the resin (A) except that it does not contain the structural unit (a1) in the resin (A) described above; Examples include resins containing (a4) and/or structural unit (a5) (but not containing structural unit (IP) and structural unit (a1); hereinafter sometimes referred to as "resin (X)").
樹脂（ＡＸ）としては、構造単位（ａ２）を含む樹脂が挙げられ、構造単位（ａ２－Ａ）を含む樹脂が好ましい。
樹脂（ＡＸ）において、構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、樹脂（ＡＸ）の全構造単位の合計に対して、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることがさらに好ましい。また、８０モル％以下であることが好ましく、７０モル％以下であることがより好ましい。
樹脂（Ｘ）がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位（ａ２）、構造単位（ａ３）及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂（Ｘ）は、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）のみからなる樹脂であることが好ましく、構造単位（ａ４）のみからなる樹脂であることがより好ましい。
樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）を含む場合、樹脂（Ｘ）において、構造単位（ａ４）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ５）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。また、樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）の合計含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、４０モル％以上が挙げられ、６０モル％以上が好ましく、７０モル％以上がより好ましく、８０モル％以上がさらに好ましい。さらに、１００モル％以下が挙げられる。具体的には、４０～１００モル％が挙げられ、６０～１００モル％が好ましく、７０～１００モル％がより好ましく、８０～１００モル％がさらに好ましい。
樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量は、好ましくは６，０００以上（より好ましくは７，０００以上）、８０，０００以下（より好ましくは６０，０００以下）であるが、重量平均分子量が６，０００未満のオリゴマー等を含んでいてもよい。樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量の測定手段は、樹脂（Ａ）等の場合と同様である。
Examples of the resin (AX) include resins containing the structural unit (a2), and preferably resins containing the structural unit (a2-A).
In the resin (AX), the content of the structural unit (a2-A) is preferably 5 mol% or more, and preferably 10 mol% or more, based on the total of all structural units of the resin (AX). More preferably, it is 15 mol% or more. Moreover, it is preferably 80 mol% or less, and more preferably 70 mol% or less.
Examples of structural units that the resin (X) may further include include structural units (a2), structural units (a3), and structural units derived from other known monomers. Among these, the resin (X) is preferably a resin consisting only of the structural unit (a4) and/or the structural unit (a5), and more preferably a resin consisting only of the structural unit (a4).
When the resin (X) contains a structural unit (a4), the content of the structural unit (a4) in the resin (X) is 20 mol% or more based on the total of all structural units of the resin (X). The content is preferably 30 mol% or more, more preferably 40 mol% or more, and even more preferably 45 mol% or more. Furthermore, the content may be 100 mol% or less, preferably 80 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, even more preferably 60 mol% or less, and even more preferably 55 mol% or less. Specifically, it is 20 to 100 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70 mol%, even more preferably 40 to 60 mol%, and even more preferably 45 to 55 mol%. When the resin (X) contains a structural unit (a5), the content of the structural unit (a5) is 20 mol% or more, and 30 mol% or more, based on the total of all structural units of the resin (X). is preferable, 40 mol% or more is more preferable, and even more preferably 45 mol% or more. Furthermore, the content may be 100 mol% or less, preferably 80 mol% or less, more preferably 70 mol% or less, even more preferably 60 mol% or less, and even more preferably 55 mol% or less. Specifically, it is 20 to 100 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70 mol%, even more preferably 40 to 60 mol%, and even more preferably 45 to 55 mol%. In addition, when the resin (X) contains the structural unit (a4) and the structural unit (a5), the total content of the structural unit (a4) and the structural unit (a5) is the sum of all the structural units of the resin (X). On the other hand, it is 40 mol% or more, preferably 60 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, and even more preferably 80 mol% or more. Further examples include 100 mol% or less. Specifically, the amount is 40 to 100 mol%, preferably 60 to 100 mol%, more preferably 70 to 100 mol%, and even more preferably 80 to 100 mol%.
Resin (AX) and each structural unit constituting resin (X) may be used alone or in combination of two or more, and monomers that induce these structural units may be used by known polymerization methods (for example, radical polymerization method). The content of each structural unit in resin (AX) and resin (X) can be adjusted by adjusting the amount of monomer used for polymerization.
The weight average molecular weight of the resin (AX) and the resin (X) is preferably 6,000 or more (more preferably 7,000 or more) and 80,000 or less (more preferably 60,000 or less), but the weight average It may also contain oligomers with a molecular weight of less than 6,000. The means for measuring the weight average molecular weight of resin (AX) and resin (X) is the same as in the case of resin (A) and the like.
本発明のレジスト組成物が、樹脂（Ｘ）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）等の合計１００質量部に対して、好ましくは１～６０質量部であり、より好ましくは１～５０質量部であり、さらに好ましくは１～４０質量部であり、より一層好ましくは１～３０質量部であり、さらに一層好ましくは１～８質量部である。 When the resist composition of the present invention contains resin (X), the content thereof is preferably 1 to 60 parts by mass, more preferably 1 to 60 parts by mass, based on a total of 100 parts by mass of resin (A), etc. The amount is 50 parts by weight, more preferably 1 to 40 parts by weight, even more preferably 1 to 30 parts by weight, and even more preferably 1 to 8 parts by weight.
レジスト組成物における樹脂（Ａ）等の合計の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下であることがより好ましい。樹脂（Ａｐ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下であることがより好ましい。また、樹脂（Ａ）等以外の樹脂を含む場合は、樹脂（Ａ）等と樹脂（Ａ）等以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下であることがより好ましい。本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。 The total content of the resin (A), etc. in the resist composition is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, and 90% by mass or more and 99% by mass or less, based on the solid content of the resist composition. It is more preferable. The content of the resin (Ap) is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less, based on the solid content of the resist composition. In addition, when a resin other than resin (A) etc. is included, the total content of resin (A) etc. and resin other than resin (A) etc. is 80% by mass or more based on the solid content of the resist composition. It is preferably 99% by mass or less, and more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less. As used herein, "solid content of the resist composition" refers to the total amount of components excluding the solvent (E) described below from the total amount of the resist composition. The solid content of the resist composition and the resin content relative to the solid content can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.
＜酸発生剤（Ｂ）＞
酸発生剤（Ｂ）は、非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類（例えば２－ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、Ｎ－スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン ４－スルホネート）、スルホン類（例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン）等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩（例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩）が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。
<Acid generator (B)>
The acid generator (B) may be either nonionic or ionic. Examples of nonionic acid generators include sulfonate esters (for example, 2-nitrobenzyl ester, aromatic sulfonate, oxime sulfonate, N-sulfonyloxyimide, sulfonyloxyketone, diazonaphthoquinone 4-sulfonate), sulfones (for example, disulfone, ketosulfone, sulfonyldiazomethane), etc. Typical ionic acid generators include onium salts containing onium cations (eg, diazonium salts, phosphonium salts, sulfonium salts, and iodonium salts). Examples of the anion of the onium salt include sulfonic acid anion, sulfonylimide anion, sulfonylmethide anion, and carboxylic acid anion.
酸発生剤（Ｂ）としては、特開昭６３－２６６５３号、特開昭５５－１６４８２４号、特開昭６２－６９２６３号、特開昭６３－１４６０３８号、特開昭６３－１６３４５２号、特開昭６２－１５３８５３号、特開昭６３－１４６０２９号、米国特許第３，７７９，７７８号、米国特許第３，８４９，１３７号、独国特許第３９１４４０７号、欧州特許第１２６，７１２号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。酸発生剤（Ｂ）は、２種以上を組み合わせて用いてもよい。 As the acid generator (B), JP-A-63-26653, JP-A-55-164824, JP-A-62-69263, JP-A-63-146038, JP-A-63-163452, JP-A-62-153853, JP-A-63-146029, U.S. Patent No. 3,779,778, U.S. Patent No. 3,849,137, German Patent No. 3914407, European Patent No. 126,712, etc. It is possible to use compounds that generate acids upon radiation as described in . Moreover, you may use the compound manufactured by the well-known method. The acid generator (B) may be used in combination of two or more types.
酸発生剤（Ｂ）は、好ましくは式（Ｂ１）で表される塩（以下「酸発生剤（Ｂ１）」という場合がある。）又は式（Ｂ２）で表される塩（以下「酸発生剤（Ｂ２）」という場合がある。）である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
The acid generator (B) is preferably a salt represented by formula (B1) (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B1)") or a salt represented by formula (B2) (hereinafter referred to as "acid generator"). agent (B2).)
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. , the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y represents a methyl group which may have a substituent or a cyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is , -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
Z + represents an organic cation. ]
Ｑｂ１及びＱｂ２のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｑｂ１及びＱｂ２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
酸発生剤（Ｂ）は、フッ素含有酸発生剤であることが好ましく、Ｑｂ１及びＱｂ２は、少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことがより好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがさらに好ましく、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがより一層好ましく、ともにフッ素原子であることがさらに一層好ましい。
The perfluoroalkyl groups of Q b1 and Q b2 include trifluoromethyl group, perfluoroethyl group, perfluoropropyl group, perfluoroisopropyl group, perfluorobutyl group, perfluorosec-butyl group, perfluorotert-butyl group, perfluoropentyl group, and perfluorobutyl group. Examples include hexyl group.
Examples of the alkyl group for Q b1 and Q b2 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl group.
The acid generator (B) is preferably a fluorine-containing acid generator, and it is more preferable that at least one of Q b1 and Q b2 contains a fluorine atom or a perfluoroalkyl group, and each independently contains a fluorine atom or a perfluoroalkyl group. A perfluoroalkyl group is more preferable, a fluorine atom or a trifluoromethyl group is even more preferable, and both are even more preferably a fluorine atom.
Ｌｂ１における２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group in L b1 include a linear alkanediyl group, a branched alkanediyl group, and a monocyclic or polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group. It may also be a group formed by combining two or more of the groups.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1 ,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group , tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group, and heptadecane-1,17-diyl group. Alkanediyl group;
Ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group;
A monocyclic cycloalkanediyl group such as a cyclobutane-1,3-diyl group, a cyclopentane-1,3-diyl group, a cyclohexane-1,4-diyl group, or a cyclooctane-1,5-diyl group. alicyclic saturated hydrocarbon group;
Polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbons such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group Examples include groups.
Ｌｂ１で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基及びそれらの具体例である式（ｂ１－４）～式（ｂ１－１１）で表される基において、＊及び＊＊は結合部位を表し、＊は－Ｙとの結合部位を表す。 Examples of groups in which -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L b1 are replaced with -O- or -CO- include formulas (b1-1) to (b1-3) Examples include groups represented by any of the following. In addition, in the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3) and the groups represented by formulas (b1-4) to (b1-11), which are specific examples thereof, * and * * represents a binding site; * represents a binding site with -Y.
Ｌｂ２は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ３は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ２とＬｂ３との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－２）中、
Ｌｂ４は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ５は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ４とＬｂ５との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－３）中、
Ｌｂ６は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ６とＬｂ７との炭素数合計は、２３以下である。］
L b2 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b3 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
However, the total carbon number of L b2 and L b3 is 22 or less.
In formula (b1-2),
L b4 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b5 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
However, the total carbon number of L b4 and L b5 is 22 or less.
In formula (b1-3),
L b6 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
L b7 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
However, the total carbon number of L b6 and L b7 is 23 or less. ]
式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
２価の飽和炭化水素基としては、Ｌｂ１の２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
In the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3), when -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-, the carbon before being replaced The number is the number of carbon atoms in the saturated hydrocarbon group.
Examples of the divalent saturated hydrocarbon group include those similar to the divalent saturated hydrocarbon group of L b1 .
Ｌｂ２は、好ましくは単結合、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ３）－、－Ｃ（ＣＦ３）２－である。
Ｌｂ３は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ４は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基であり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよく、より好ましくは、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ３）－、－Ｃ（ＣＦ３）２－である。
Ｌｂ５は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ６は、好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
L b2 is preferably a single bond, a methylene group, -CH(CF 3 )-, -C(CF 3 ) 2 -.
L b3 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b4 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom, more preferably, methylene group, -CH(CF 3 )-, -C(CF 3 ) 2 -.
L b5 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b6 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b7 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group; -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
Ｌｂ１で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、式（ｂ１－１）又は式（ｂ１－３）で表される基が好ましい。
式（ｂ１－１）で表される基としては、式（ｂ１－４）～式（ｂ１－８）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Ｌｂ８は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式（ｂ１－５）中、
Ｌｂ９は、炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１０は、単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ９及びＬｂ１０の合計炭素数は２０以下である。
式（ｂ１－６）中、
Ｌｂ１１は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１２は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１１及びＬｂ１２の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－７）中、
Ｌｂ１３は、炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１４は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１５は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１３～Ｌｂ１５の合計炭素数は１９以下である。
式（ｂ１－８）中、
Ｌｂ１６は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１７は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１８は、単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１６～Ｌｂ１８の合計炭素数は１９以下である。］
The group in which -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L b1 is replaced with -O- or -CO- is represented by formula (b1-1) or formula (b1-3). Preferred groups are
Examples of the group represented by formula (b1-1) include groups represented by formulas (b1-4) to (b1-8), respectively.
L b8 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
In formula (b1-5),
L b9 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
L b10 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b9 and L b10 is 20 or less.
In formula (b1-6),
L b11 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b12 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b11 and L b12 is 21 or less.
In formula (b1-7),
L b13 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms.
L b14 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group is replaced with -O- or -CO-. Good too.
L b15 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b13 to L b15 is 19 or less.
In formula (b1-8),
L b16 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-.
L b17 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms.
L b18 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b16 to L b18 is 19 or less. ]
Ｌｂ８は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ９は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１０は、好ましくは単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１１は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１２は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１３は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１４は、好ましくは単結合又は炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１５は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１６は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１７は、好ましくは炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１８は、好ましくは単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
L b8 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b9 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b10 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, and more preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b11 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b12 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b13 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b14 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b15 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and more preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b16 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b17 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b18 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms, more preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
式（ｂ１－３）で表される基としては、式（ｂ１－９）～式（ｂ１－１１）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Ｌb19は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb20は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb19及びＬb20の合計炭素数は２３以下である。
式（ｂ１－１０）中、
Ｌb21は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb22は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb23は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb21、Ｌb22及びＬb23の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－１１）中、
Ｌb24は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb25は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb26は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb24、Ｌb25及びＬb26の合計炭素数は２１以下である。］
Examples of the group represented by formula (b1-3) include groups represented by formulas (b1-9) to (b1-11), respectively.
L b19 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b20 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group, or an alkylcarbonyloxy group. Good too. -CH 2 - contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with -O- or -CO-, and the hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b19 and L b20 is 23 or less.
In formula (b1-10),
L b21 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b22 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b23 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group, or an alkylcarbonyloxy group. Good too. -CH 2 - contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with -O- or -CO-, and the hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b21 , L b22 and L b23 is 21 or less.
In formula (b1-11),
L b24 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b25 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b26 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group, or an alkylcarbonyloxy group. Good too. -CH 2 - contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with -O- or -CO-, and the hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b24 , L b25 and L b26 is 21 or less. ]
なお、式（ｂ１－９）で表される基から式（ｂ１－１１）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
In addition, in the group represented by formula (b1-9) to the group represented by formula (b1-11), when the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with an alkylcarbonyloxy group, the substituted Let the previous carbon number be the carbon number of the saturated hydrocarbon group.
Examples of the alkylcarbonyloxy group include an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, a cyclohexylcarbonyloxy group, and an adamantylcarbonyloxy group.
式（ｂ１－４）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－５）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－６）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－７）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－８）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－２）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－９）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－１０）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－１１）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Ｙで表される環状炭化水素基としては、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、式（Ｙ１）～式（Ｙ１１）、式（Ｙ３６）～式（Ｙ３８）で表される基が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－で置き換わる場合、その数は１つでもよいし、２以上でもよい。そのような基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。＊はＬb1との結合部位を表す。
Ｙで表される脂環式炭化水素基が式（Ｙ２８）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）、式（Ｙ４２）、式（Ｙ４３）等の酸素原子を有するスピロ環である場合には、２つの酸素原子間のアルカンジイル基は、１以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～２４であり、より好ましくは３～２０であり、さらに好ましくは３～１８であり、より一層好ましくは３～１６である。
Examples of the cyclic hydrocarbon group represented by Y include an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group, a heterocyclic aromatic hydrocarbon group, or a combination thereof.
The alicyclic hydrocarbon group represented by Y in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is not replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- is represented by the formula ( Examples include groups represented by Y1) to formula (Y11) and formula (Y36) to formula (Y38).
When -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y is replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-, the number may be one, or two or more. But that's fine. Examples of such groups include groups represented by formulas (Y12) to (Y35) and formulas (Y39) to (Y43). -O- or -CO- in the groups represented by formulas (Y12) to (Y35) and formulas (Y39) to (Y43) may be replaced with -S- or -SO 2 -. * represents the binding site with L b1 .
The alicyclic hydrocarbon group represented by Y is a spiro ring having an oxygen atom such as formulas (Y28) to (Y35), formula (Y39), formula (Y40), formula (Y42), formula (Y43), etc. In some cases it is preferred that the alkanediyl group between two oxygen atoms has one or more fluorine atoms. Moreover, among the alkanediyl groups included in the ketal structure, it is preferable that the methylene group adjacent to the oxygen atom is not substituted with a fluorine atom.
The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group is preferably 3 to 24, more preferably 3 to 20, still more preferably 3 to 18, even more preferably 3 to 16.
Ｙで表される芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～２４であり、より好ましくは６～２０であり、さらに好ましくは６～１８であり、より一層好ましくは６～１４であり、さらに一層好ましくは６～１０である。
Ｙで表される複素環式芳香族炭化水素基としては、フラン環、チオフェン環、ベンゾフラン環又はベンゾチオフェン環等に由来する基が挙げられる。複素環式芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは４～９であり、より好ましくは４～８である。
Ｙで表される芳香族炭化水素基又は複素環式芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、フラン環又はチオフェン環に由来する基であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。
Examples of the aromatic hydrocarbon group represented by Y include phenyl group, naphthyl group, biphenyl group, anthryl group, phenanthryl group, and binaphthyl group. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6 to 24, more preferably 6 to 20, still more preferably 6 to 18, even more preferably 6 to 14, and even more preferably It is 6-10.
Examples of the heterocyclic aromatic hydrocarbon group represented by Y include groups derived from a furan ring, a thiophene ring, a benzofuran ring, a benzothiophene ring, and the like. The heterocyclic aromatic hydrocarbon group preferably has 4 to 9 carbon atoms, more preferably 4 to 8 carbon atoms.
The aromatic hydrocarbon group or heterocyclic aromatic hydrocarbon group represented by Y is preferably a group derived from a phenyl group, a naphthyl group, a furan ring or a thiophene ring, and more preferably a phenyl group. preferable.
Ｙで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ２）ｊａ－ＣＯ－Ｏ－Ｒｂ１基又は－（ＣＨ２）ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒｂ１基（式中、Ｒｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。）等が挙げられる。
Ｙで表される環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数７～２１のアラルキル基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ２）ja－ＣＯ－Ｏ－Ｒb1基又は－（ＣＨ２）ja－Ｏ－ＣＯ－Ｒb1基（式中、Ｒb1は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。）等が挙げられる。
Substituents for the methyl group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a glycidyloxy group, -( CH 2 ) ja -CO-O-R b1 group or -(CH 2 ) ja -O-CO-R b1 group (wherein R b1 is an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, Represents an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a combination thereof, and -CH 2 - contained in the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group is -O- , -SO 2 - or -CO-, and the hydrogen atom contained in the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group is replaced with a hydroxy group or a fluorine atom. ja represents any integer from 0 to 4).
Substituents for the cyclic hydrocarbon group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, and an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms which may be substituted with a hydroxy group (-CH 2 - contained in the alkyl group) , -O- or -CO-), alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, aralkyl group having 7 to 21 carbon atoms , glycidyloxy group, -(CH 2 ) ja -CO-O-R b1 group or -(CH 2 ) ja -O-CO-R b1 group (wherein R b1 is an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms) , represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, and -CH contained in the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group 2 - may be replaced with -O-, -SO 2 - or -CO-, and the hydrogen atom contained in the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group is a hydroxy group. or may be replaced with a fluorine atom (ja represents any integer from 0 to 4).
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は、鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１２であり、より好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－アダマンチルフェニル基、ｐ－シクロへキシルフェニル基等）が好ましい。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１４であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルキルスルホニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alicyclic hydrocarbon group include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a methylcyclohexyl group, a dimethylcyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, a norbornyl group, and an adamantyl group. The alicyclic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group, and examples thereof include a methylcyclohexyl group and a dimethylcyclohexyl group. The alicyclic hydrocarbon group preferably has 3 to 12 carbon atoms, more preferably 3 to 10 carbon atoms.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include aryl groups such as phenyl group, naphthyl group, anthryl group, biphenyl group, and phenanthryl group. The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, group, cumenyl group, mesityl group, p-methylphenyl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group), and carbon An aromatic hydrocarbon group having 3 to 18 alicyclic hydrocarbon groups (p-adamantylphenyl group, p-cyclohexylphenyl group, etc.) is preferred. The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 14 carbon atoms, more preferably 6 to 10 carbon atoms.
Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group, and nonyl group. group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, etc. The alkyl group preferably has 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, and even more preferably 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the alkyl group substituted with a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a hydroxyethyl group.
Examples of the aralkyl group include benzyl group, phenethyl group, phenylpropyl group, naphthylmethyl group, and naphthylethyl group.
Groups in which -CH 2 - contained in the alkyl group is replaced with -O-, -SO 2 -, -CO-, etc. include an alkoxy group, an alkylsulfonyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group, an alkylcarbonyloxy group, or Examples include groups that combine these.
Examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, octyloxy group, decyloxy group, and dodecyloxy group. The alkoxy group preferably has 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, and still more preferably 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the alkylsulfonyl group include a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, and a propylsulfonyl group. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1 to 12, more preferably 1 to 6, and still more preferably 1 to 4.
Examples of the alkoxycarbonyl group include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, and a butoxycarbonyl group. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Examples of the alkylcarbonyl group include an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Examples of the alkylcarbonyloxy group include an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 12, more preferably 2 to 6, and still more preferably 2 to 4.
Examples of combined groups include a group that combines an alkoxy group and an alkyl group, a group that combines an alkoxy group and an alkoxy group, a group that combines an alkoxy group and an alkylcarbonyl group, and a group that combines an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group. Examples include groups that combine these.
Examples of the group combining an alkoxy group and an alkyl group include alkoxyalkyl groups such as a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group, and an ethoxymethyl group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkyl group is preferably 2 to 12, more preferably 2 to 6, and still more preferably 2 to 4.
Examples of the group combining an alkoxy group and an alkoxy group include alkoxyalkoxy groups such as a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, and an ethoxyethoxy group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkoxy group is preferably 2 to 12, more preferably 2 to 6, and still more preferably 2 to 4.
Examples of the group combining an alkoxy group and an alkylcarbonyl group include alkoxyalkylcarbonyl groups such as a methoxyacetyl group, a methoxypropionyl group, an ethoxyacetyl group, and an ethoxypropionyl group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyl group is preferably 3 to 13, more preferably 3 to 7, and still more preferably 3 to 5.
Examples of the group combining an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group include alkoxyalkylcarbonyloxy groups such as a methoxyacetyloxy group, a methoxypropionyloxy group, an ethoxyacetyloxy group, and an ethoxypropionyloxy group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyloxy group is preferably 3 to 13, more preferably 3 to 7, and still more preferably 3 to 5.
Groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -SO 2 -, -CO-, etc. include formulas (Y12) to (Y35), formulas (Y39) to Examples include a group represented by (Y43).
Ｙにおける環状炭化水素基（該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）は、なかでも、炭素数３～２４の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数６～２４の芳香族炭化水素基であることが好ましく、炭素数３～２０の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数６～２０の芳香族炭化水素基であることがより好ましく、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。具体的には、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－３２）のいずれかで表される基であることが好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－６）及び式（ｗ１－１２）～式（ｗ１－３０）のいずれかで表される基であることがより好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－３）、式（ｗ１－１５）～式（ｗ１－１７）、式（ｗ１－２２）、式（ｗ１－２５）及び式（ｗ１－２７）～式（ｗ１－２９）のいずれかで表される基であることがさらに好ましい。ここで、該環状炭化水素基は、置換基を有していてもよい。
該基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置である。］
The cyclic hydrocarbon group in Y (-CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -) is, among others, An alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms (even if -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -) ) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 24 carbon atoms, preferably an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 20 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -) or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 20 carbon atoms, more preferably an aromatic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms. Cyclic hydrocarbon group (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -) or carbon number 6 More preferably, it is an aromatic hydrocarbon group of ˜18. Specifically, a group represented by any one of formulas (w1-1) to (w1-32) is preferable, and groups represented by formulas (w1-1) to (w1-6) and formula (w1-32) are preferable. 12) ~Formula (w1-30) It is more preferable to be a group represented by any one of formula (w1-1) ~ formula (w1-3), formula (w1-15) ~ formula (w1-17) ), formula (w1-22), formula (w1-25), and any one of formulas (w1-27) to (w1-29) are more preferable. Here, the cyclic hydrocarbon group may have a substituent.
-CH 2 - contained in the group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -. The binding site can be at any position. ]
Ｙは、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数６～２４の芳香族炭化水素基であり、より好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数６～２０の芳香族炭化水素基であり、さらに好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基であり、より一層好ましくは、炭素数５もしくは６のシクロアルキル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、ノルボルナンラクトン基、アダマンタンラクトン基、炭素数５もしくは６のシクロアルキル基と炭素数５～８のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、ノルボルニル基と炭素数５～８のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、アダマンチル基と炭素数５～８のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、又は、フェニル基である。ここで、該脂環式炭化水素基、該シクロアルキル基、該ノルボルニル基、該アダマンチル基、該ノルボルナンラクトン基、該アダマンタンラクトン基及び該フェニル基は、それぞれ、置換基を有していてもよく、該脂環式炭化水素基、該シクロアルキル基、該ノルボルニル基及び該アダマンチル基に含まれる－ＣＨ２－は、それぞれ、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。具体的には、以下のものが挙げられる。
なかでも、Ｙは、好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、ノルボルナンラクトン基、フェニル基、これらを含む基又は式（Ｙ４２）、式（Ｙ１００）～式（Ｙ１１４）、式（Ｙ１３４）～式（Ｙ１３９）で表される基であり、特に好ましくは、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、これらを含む基又は式（Ｙ４２）、式（Ｙ１００）～式（Ｙ１１４）、式（Ｙ１３４）～式（Ｙ１３９）で表される基である。 Among these, Y is preferably an adamantyl group, a hydroxyadamantyl group, an oxoadamantyl group, a norbornane lactone group, a phenyl group, a group containing these, or a group containing these, or a formula (Y42), a formula (Y100) to a formula (Y114), or a formula (Y134). - A group represented by the formula (Y139), particularly preferably a hydroxyadamantyl group, an oxoadamantyl group, a group containing these, or a group containing these, or the formula (Y42), the formula (Y100) - the formula (Y114), the formula (Y134) - It is a group represented by formula (Y139).
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－８５）で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン（Ｂ１－Ａ－１）」等という場合がある。〕が好ましく、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－４）、式（Ｂ１－Ａ－９）、式（Ｂ１－Ａ－１０）、式（Ｂ１－Ａ－２４）～式（Ｂ１－Ａ－３３）、式（Ｂ１－Ａ－３６）～式（Ｂ１－Ａ－４０）、式（Ｂ１－Ａ－４７）～式（Ｂ１－Ａ－８５）のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、具体的には、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
Specific examples of the anion in the salt represented by formula (B1) include the anions described in JP-A No. 2010-204646.
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとして好ましくは、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－６８）でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。
Preferred anions in the salt represented by formula (B1) include anions represented by formulas (B1a-1) to (B1a-68), respectively.
なかでも、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－６８）のいずれかで表されるアニオンが好ましい。 Among them, formula (B1a-1) to formula (B1a-4), formula (B1a-7) to formula (B1a-11), formula (B1a-14) to formula (B1a-30), and formula (B1a-35) ) to (B1a-68) are preferred.
ｍ２１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ２１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｒ21は、炭素数３～１８の環状炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ2２は、ハロゲン原子又は炭素数１～６のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ｍ２２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２２が２以上のとき、複数のＲ2２は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
m21 represents any integer from 1 to 5, and when m21 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
R 21 represents a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms, including a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
R 22 represents a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-.
m22 represents any integer from 0 to 4, and when m22 is 2 or more, a plurality of R 22s may be the same or different.
Z + represents an organic cation. ]
Ｒ２１における環状炭化水素基を含む炭化水素基としては、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基もしくはこれらを組み合わせた基、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基と鎖式炭化水素基（アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等）とを任意に組み合わせた基等が挙げられる。Ｒ２１における環状炭化水素基の炭素数は、例えば、３～２４が挙げられ、３～２０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１６がさらに好ましく、５～１６がさらにより好ましい。Ｒ２１における環状炭化水素基を含む炭化水素基の合計炭素数は、例えば、３～４８が挙げられ、３～４０が好ましく、３～３６がより好ましく、３～３０がさらに好ましく、３～２４がより一層好ましく、３～１８がさらに一層好ましく、３～１６がさらにより好ましい。 The hydrocarbon group containing a cyclic hydrocarbon group in R 21 is a cyclic hydrocarbon group such as a monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group, or a group combining these, a monocyclic A group in which a cyclic hydrocarbon group such as a formula or a polycyclic alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group is arbitrarily combined with a chain hydrocarbon group (alkyl group, alkenyl group, alkynyl group, etc.) Can be mentioned. The number of carbon atoms in the cyclic hydrocarbon group in R 21 is, for example, 3 to 24, preferably 3 to 20, more preferably 3 to 18, even more preferably 3 to 16, and even more preferably 5 to 16. The total carbon number of the hydrocarbon groups including the cyclic hydrocarbon group in R 21 is, for example, 3 to 48, preferably 3 to 40, more preferably 3 to 36, even more preferably 3 to 30, and 3 to 24. is even more preferred, 3 to 18 is even more preferred, and 3 to 16 is even more preferred.
脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基、デカヒドロナフチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～２４であり、より好ましくは６～１８であり、さらに好ましくは６～１４であり、さらにより好ましくは６～１０である。
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic, polycyclic, or spirocyclic, and may be saturated or unsaturated. Examples of alicyclic hydrocarbon groups include monocyclic cycloalkyl groups such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclooctyl group, cyclononyl group, cyclodecyl group, and cyclododecyl group; Examples include polycyclic cycloalkyl groups such as decahydronaphthyl, norbornyl, and adamantyl groups.
Specifically, examples of the alicyclic hydrocarbon group include the groups shown below. The binding site can be at any position.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include aryl groups such as phenyl group, naphthyl group, biphenyl group, anthryl group, phenanthryl group, and binaphthyl group. The aromatic hydrocarbon group preferably has 6 to 24 carbon atoms, more preferably 6 to 18 carbon atoms, still more preferably 6 to 14 carbon atoms, and even more preferably 6 to 10 carbon atoms.
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基が挙げられる。
アルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
アルキニル基としては、エチニル基、プロピニル基、イソプロピニル基、ブチニル基、イソブチニル基、ｔｅｒｔ－ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基、ノニニル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～２４であり、より好ましくは１～１８であり、さらに好ましくは１～１２であり、より一層好ましくは１～８であり、さらに一層好ましくは１～６であり、さらにより好ましくは１～４であり、さらにより一層好ましくは１～３である。
Examples of alkyl groups include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, and dodecyl group. Examples include alkyl groups such as groups.
Examples of the alkenyl group include an ethenyl group, a propenyl group, an isopropenyl group, a butenyl group, an isobutenyl group, a tert-butenyl group, a pentenyl group, a hexenyl group, a heptenyl group, an octenyl group, an isooctenyl group, and a nonenyl group.
Examples of the alkynyl group include ethynyl group, propynyl group, isopropynyl group, butynyl group, isobutynyl group, tert-butynyl group, pentynyl group, hexynyl group, octynyl group, nonynyl group, and the like.
The number of carbon atoms in the chain hydrocarbon group is preferably 1 to 24, more preferably 1 to 18, even more preferably 1 to 12, even more preferably 1 to 8, and even more preferably The number is 1 to 6, even more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
組み合わせた基としては、
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられる。ここで、組み合わせた基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖状炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基が酸素原子に結合していてもよい。また、上述の基において価数の異なる基（アルカンジイル基、アルカントリイル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカントリイル基等）が含まれていてもよい。
As a combined group,
A group that combines an alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group, a group that combines an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group, a group that combines an aromatic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group Examples include a group that combines alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and chain hydrocarbon group. Here, -CH 2 - contained in the combined group may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -.
In addition, in the combination, two or more types of alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, and chain hydrocarbon groups may be combined. Further, any group may be bonded to an oxygen atom. Further, the above-mentioned groups may contain groups having different valences (alkanediyl group, alkanetriyl group, cycloalkanediyl group, cycloalkanetriyl group, etc.).
組み合わせた基の具体例としては、
アダマンチルメチル基、アダマンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基等の、脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
メチルアダマンチル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
トリル基、キシリル基等の、鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
メチルシクロヘキシルメチル基等の、鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
ベンジル基、フェネチル基等の、芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
トリルメチル基等の、鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
フェニルアダマンチル基等の、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
シクロヘキシルフェニル基、アダマンチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
メチルシクロヘキシルフェニル基、ジメチルシクロヘキシルフェニル基等の、鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
メチルフェニルシクロヘキシル基、ジメチルフェニルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
シクロヘキシルメチルフェニル基、シクロヘキシルエチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
フェニルメチルシクロヘキシル基、フェニルエチルシクロヘキシル基等の、芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
シクロヘキシルフェニルメチル基、シクロヘキシルフェニルエチル基等の、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
フェニルシクロヘキシルメチル基、フェニルシクロヘキシルエチル基等の、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－鎖式炭化水素基－＊（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）、
等が挙げられる。ここで、＊は酸素原子との結合部位を表す。
Specific examples of combined groups include:
Alicyclic hydrocarbon groups - chain hydrocarbon groups - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as adamantylmethyl group, adamantylethyl group, cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, etc. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - * (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as methyladamantyl group, methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, etc. may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -.)
Chain hydrocarbon groups such as tolyl group and xylyl group - aromatic hydrocarbon group -* (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or - may be replaced with SO 2 -),
Chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - *(-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as methylcyclohexylmethyl group , -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -).
Aromatic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - such as benzyl group, phenethyl group -* (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or - may be replaced with SO 2 -),
Chain hydrocarbon group such as tolylmethyl group - aromatic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group -* (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 - may be substituted.),
An aromatic hydrocarbon group such as a phenyladamantyl group - an alicyclic hydrocarbon group -* (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO- or - may be replaced with SO 2 -),
Alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - such as cyclohexylphenyl group, adamantyl phenyl group -* (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, - may be replaced with CO- or -SO 2 -),
Chain hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as methylcyclohexylphenyl group and dimethylcyclohexylphenyl group -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Chain hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as methylphenylcyclohexyl group and dimethylphenylcyclohexyl group -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as cyclohexylmethylphenyl group and cyclohexylethylphenyl group -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Aromatic hydrocarbon group - Chain hydrocarbon group - Alicyclic hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as phenylmethylcyclohexyl group and phenylethylcyclohexyl group -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as cyclohexyl phenylmethyl group, cyclohexyl phenylethyl group, etc. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
Aromatic hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - chain hydrocarbon group - * (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group) such as phenylcyclohexylmethyl group and phenylcyclohexylethyl group -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -),
etc. Here, * represents a bonding site with an oxygen atom.
Ｒ２１で表される炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよい。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、２－エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２－エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
As a group in which -CH 2 - contained in a hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -, a hydroxy group (-CH 2 - contained in a methyl group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 -) (a group in which -CH 2 - contained in a methyl group is replaced with -S-), a thiol group (a group in which -CH 2 - contained in a methyl group is replaced with -S-), a carboxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an ethyl group is , -O-CO-), alkoxy groups (groups in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced with -O-), alkylthio groups (any group contained in an alkyl group), (a group in which -CH 2 - at the position is replaced with -S-), an alkoxycarbonyl group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced by -O-CO-) ), alkylcarbonyl group (a group in which -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -CO-), an alkylsulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained in an arbitrary position in an alkyl group is replaced with -CO-), , -SO 2 -), alkylcarbonyloxy group (group in which -CH 2 -CH 2 - at any position in the alkyl group is replaced with -CO-O-), oxy group (methylene (a group in which -CH 2 - contained in the group is replaced with -O-), a carbonyl group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), a thio group (a group in which -CH 2 - contained in a methylene group is replaced with -CO-), -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -S-), sulfonyl group (a group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced with -SO 2 -), alkanediyloxy group (alkanediyl -CH 2 - at any position contained in the group is replaced with -O-), alkanediyloxycarbonyl group (-CH 2 -CH 2 - contained at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -O-, -O-CO-), alkanediylcarbonyl group (group in which -CH 2 - at any position in the alkanediyl group is replaced with -CO-), alkanediylcarbonyloxy group (alkanediyl -CH 2 -CH 2 - at any position contained in the group is replaced with -CO-O-), an alkanediylthio group (a group in which -CH 2 - contained at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -CO-O-) , -S-), alkanediylsulfonyl group (group in which -CH 2 - at any position contained in the alkanediyl group is replaced with -SO 2 -), cycloalkoxy group, cycloalkylalkoxy group , an alkoxycarbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, an aromatic hydrocarbon group-oxy group, and a group combining two or more of these groups. .
Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, and nonyloxy group. group, decyloxy group, undecyloxy group, etc. The number of carbon atoms in the alkoxy group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
Examples of the alkylthio group include alkylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylthio group, ethylthio group, propylthio group, butylthio group, pentylthio group, hexylthio group, octylthio group, 2-ethylhexylthio group, nonylthio group, and decylthio group. group, undecylthio group, etc. The alkylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include alkoxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and the like. Examples of the alkylcarbonyl group include alkylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group. Examples of the alkylcarbonyloxy group include alkylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, and the like. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, and even more preferably 2 or 3.
Examples of the alkylsulfonyl group include alkylsulfonyl groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylsulfonyl group, ethylsulfonyl group, propylsulfonyl group, butylsulfonyl group, pentylsulfonyl group, hexylsulfonyl group, octylsulfonyl group, -Ethylhexylsulfonyl group, nonylsulfonyl group, decylsulfonyl group, undecylsulfonyl group, etc. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1 to 11, more preferably 1 to 6, still more preferably 1 to 4, and even more preferably 1 to 3.
Examples of the alkanediyloxy group include alkanediyloxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxy group, ethyleneoxy group, propanediyloxy group, butanediyloxy group, pentanediyloxy group, and the like. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediyloxycarbonyl group include alkanediyloxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxycarbonyl group, ethyleneoxycarbonyl group, propanediyloxycarbonyl group, butanediyloxycarbonyl group, etc. . Examples of the alkanediylcarbonyl group include alkanediylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as methylenecarbonyl group, ethylenecarbonyl group, propanediylcarbonyl group, butanediylcarbonyl group, pentanediylcarbonyl group, and the like. Examples of the alkanediylcarbonyloxy group include alkanediylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methylenecarbonyloxy group, ethylenecarbonyloxy group, propanediylcarbonyloxy group, butanediylcarbonyloxy group, etc. . The alkanediyloxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and even more preferably 2 or 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylthio group include an alkanediylthio group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenethio group, an ethylenethio group, a propylenethio group, and the like. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the alkanediylsulfonyl group include an alkanediylsulfonyl group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group, and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the cycloalkoxy group include cycloalkoxy groups having 3 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. Examples of the cycloalkylalkoxy group include a cycloalkylalkoxy group having 4 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. Examples of the alkoxycarbonyloxy group include alkoxycarbonyloxy groups having 2 to 16 carbon atoms, such as butoxycarbonyloxy groups. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group include aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy groups having 7 to 17 carbon atoms, such as benzoyloxy group. Examples of the aromatic hydrocarbon group-carbonyl group include aromatic hydrocarbon group-carbonyl groups having 7 to 18 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 17 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
In addition, examples of groups in which -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group are replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - include the groups shown below. . -O- or -CO- in the groups shown below may be replaced with -S- or -SO 2 -. The binding site can be at any position.
環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）が挙げられる。環状炭化水素基が置換基を有する場合、置換基は、Ｒ21における環状炭化水素基を含む炭化水素基の合計炭素数に含まれない。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１０であり、より好ましくは１～９であり、さらに好ましくは１～８であり、より一層好ましくは１～６であり、さらに一層好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
置換基として、アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１１のアルコキシ基が挙げられ。例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～６であり、より好ましくは１～４であり、さらに好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１１のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１２のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１１のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～６であり、より好ましくは２～４であり、さらに好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～６であり、より好ましくは２～４であり、さらに好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～６であり、より好ましくは２～４であり、さらに好ましくは２又は３である。
環状炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数１～３のアルコキシ基又は炭素数１～４のアルキル基がさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基又は炭素数１～４のアルキル基がより一層好ましい。
Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group may have include a halogen atom, a cyano group, and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is -O-, -S- , -CO- or -SO 2 -). When the cyclic hydrocarbon group has a substituent, the substituent is not included in the total carbon number of the hydrocarbon group including the cyclic hydrocarbon group in R 21 .
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, nonyl group, and the like. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1 to 10, more preferably 1 to 9, still more preferably 1 to 8, even more preferably 1 to 6, and even more preferably 1 to 4. and even more preferably 1 to 3.
When -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -O-, -S-, -CO- or -SO 2 - as a substituent, the number of carbon atoms before substitution is the total number of carbon atoms in the alkyl group. shall be. Substituted groups include a hydroxy group (a group in which -CH 2 - contained in a methyl group is replaced with -O-), a carboxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - contained in an ethyl group is replaced with -O-), and a carboxy group (a group in which -CH 2 - contained in an ethyl group is replaced with -O-) (a group in which -CO- is replaced with -CO-), an alkoxy group (a group in which -CH 2 - at any position contained in an alkyl group is replaced by -O-), an alkoxycarbonyl group (a group in which -O- is substituted for -CH 2 - at any position contained in an alkyl group) (a group in which -CH 2 -CH 2 - is replaced with -O-CO-), an alkylcarbonyl group (a group in which -CH 2 - at any position contained in the alkyl group is replaced with -CO-), Examples include alkylcarbonyloxy groups (groups in which -CH 2 -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -CO-O-), groups that combine two or more of these groups, etc. It will be done.
Examples of the alkoxy group include alkoxy groups having 1 to 11 carbon atoms. Examples include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, nonyloxy group, decyloxy group, undecyloxy group and the like. The alkoxy group preferably has 1 to 6 carbon atoms, more preferably 1 to 4 carbon atoms, and even more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group, and alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or carbonyloxy group is bonded to the above-mentioned alkyl group or alkoxy group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include alkoxycarbonyl groups having 2 to 11 carbon atoms, such as methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, butoxycarbonyl group, and examples of the alkylcarbonyl group include alkyl groups having 2 to 12 carbon atoms. Carbonyl groups include, for example, acetyl, propionyl and butyryl groups, and alkylcarbonyloxy groups include alkylcarbonyloxy groups having 2 to 11 carbon atoms, such as acetyloxy, propionyloxy, etc. group, butyryloxy group, etc. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 6 carbon atoms, more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyl group is preferably 2 to 6, more preferably 2 to 4, and still more preferably 2 or 3. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 6, more preferably 2 to 4, and still more preferably 2 or 3.
The cyclic hydrocarbon group may have one substituent or multiple substituents.
Examples of substituents that the cyclic hydrocarbon group may have include a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 -) is preferable, and a fluorine atom, an iodine atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is substituted with -O-, -S -, -CO- or -SO 2 -) is more preferable, and a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is more preferable. Preferably, a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is even more preferable.
環状炭化水素基（該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）は、
炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。）であることが好ましく、
炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよい。）であることがより好ましく、
炭素数５～１６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましい。
Cyclic hydrocarbon group (The cyclic hydrocarbon group may have a substituent, -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- ) may be replaced by
An alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O- , -S-, -SO 2 - or -CO-), or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group may be substituted with a substituent) ) is preferable,
An alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group has one or more atoms selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), or a group with 6 carbon atoms. -18 aromatic hydrocarbon group (The aromatic hydrocarbon group may have one or more selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom.) It is more preferable that
An alicyclic hydrocarbon group having 5 to 16 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group has one or more atoms selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-) is more preferable. .
Ｒ２１で表される環状炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基（該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）としては、
好ましくは、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を含む炭素数６～４８の炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であり、
より好ましくは、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を含む炭素数６～４８の炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であり、
さらに好ましくは、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基と炭素数１～６の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基と炭素数１～６の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であり、
さらにより好ましくは、炭素数５～１６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数５～１６の脂環式炭化水素基と炭素数１～４の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である。
また、Ｒ２１で表される環状炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基（該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）としては、
Ｗ２１－Ｌ２１－＊（Ｗ２１は、置換基を有してもよい炭素数３～１８の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。Ｌ２１は、単結合又は炭素数１～６の鎖式炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。＊は、＊は酸素原子との結合部位を表す。）であることも好ましい。
Ｗ２１の環状炭化水素基、Ｗ２１が有してもよい置換基、Ｌ２１の鎖式炭化水素基としては、上述した基と同様のものが挙げられる。
Ｗ２１は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。）であることが好ましく、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、又は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基（該芳香族炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよい。）であることがより好ましく、炭素数５～１６の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基は、炭素数１～４のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる１以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましい。
Ｌ２１は、単結合又は炭素数１～６の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～４の鎖式炭化水素基（該鎖式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合又は炭素数１～３の鎖式炭化水素基であることがさらに好ましい。
ｍ２１は、１～５のいずれかの整数であり、１～４のいずれかの整数が好ましく、１～３のいずれかの整数がより好ましく、１又は２がさらに好ましく、２がさらにより好ましい。ｍ２１が１又は２である場合、ＳＯ３
－に対して、ｍ置換である下記の構造であることが好ましい。
Preferably, a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms including an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group may have a substituent; -CH 2 - contained may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), or a carbon number containing an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms. 6 to 48 hydrocarbon groups (the aromatic hydrocarbon group may have a substituent, -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or may be replaced with -CO-),
More preferably, a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms including an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group includes an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine group) It may have one or more atoms selected from the group consisting of atoms and fluorine atoms, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-. ), or a hydrocarbon group having 6 to 48 carbon atoms including an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxyl group having 1 to 4 carbon atoms, -CH 2 - contained in the hydrocarbon group may contain -O-, -S-, -SO 2 - or -CO - may be replaced.),
More preferably, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group is one selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), carbon A group consisting of a combination of an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, It may have one or more selected from the group consisting of iodine atoms and fluorine atoms, and -CH 2 - contained in the combined group is replaced by -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-. ), an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group is selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) ), or a group combining an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group may have one or more , an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom, and the -CH 2 - contained in the combined group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- may be substituted),
Even more preferably, an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 16 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group is selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), Or, a group consisting of a combination of an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 16 carbon atoms and a chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, It may have one or more selected from the group consisting of a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom, and the -CH 2 - contained in the combined group is -O-, -S-, -SO 2 - or - may be replaced with CO-).
In addition, a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms including a cyclic hydrocarbon group represented by R 21 (the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group) may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.)
W 21 -L 21 -* (W 21 represents a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is -O- , -S-, -SO 2 - or -CO-. L 21 represents a single bond or a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and -CH 2 - may be replaced by -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-. * is also preferably a bonding site with an oxygen atom).
Examples of the cyclic hydrocarbon group of W 21 , the substituent that W 21 may have, and the chain hydrocarbon group of L 21 include the same groups as mentioned above.
W 21 is an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is , -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group may be substituted with a substituent ), preferably an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group may include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom and fluorine atoms, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- ), or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms (the aromatic hydrocarbon group consists of an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, an iodine atom, and a fluorine atom) It is more preferable that it is an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 16 carbon atoms (the alicyclic hydrocarbon group may include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms). -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may have one or more selected from the group consisting of a group consisting of a hydroxyl group, an iodine atom, and a fluorine atom, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -S-, - (may be replaced with SO 2 - or -CO-) is more preferable.
L 21 is a single bond or a chain hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-). Preferably, a single bond or a chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms (-CH 2 - contained in the chain hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-). More preferably, it is a single bond or a chain hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms.
m21 is an integer of 1 to 5, preferably an integer of 1 to 4, more preferably an integer of 1 to 3, even more preferably 1 or 2, and even more preferably 2. When m21 is 1 or 2, it is preferable to have the following structure in which m is substituted for SO 3 - .
Ｒ２２の炭素数１～６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～４であり、より好ましくは１～３である。
Ｒ２２のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ２２は、それぞれ独立に、ハロゲン原子又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数１～３のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メトキシ基又はメチル基であることがさらに好ましい。
ｍ２２は、０～４のいずれかの整数であり、０～３のいずれかの整数であることが好ましく、０～２のいずれかの整数であることがより好ましい。一実施形態では、ｍ２２は０であるものが好ましい。また、別の実施形態では、ｍ２２が１又は２であるものが好ましい。ｍ２２が１である場合、Ｒ２２がハロゲン原子であることが好ましく、Ｒ２２がフッ素原子又ヨウ素原子であることがより好ましい。ｍ２２が２である場合、Ｒ２２の一方がハロゲン原子であり、他方がハロゲン原子又は炭素数１～４のアルキル基であることが好ましく、Ｒ２２の一方がフッ素原子又ヨウ素原子であり、他方がフッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数１～３のアルキル基であることがより好ましい。
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms for R 22 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl group. The alkyl group preferably has 1 to 4 carbon atoms, more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the halogen atom for R22 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
R 22 is each independently a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-); is preferable, and more preferably a fluorine atom, an iodine atom, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-). Preferably, a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, a methoxy group, or a methyl group is more preferable.
m22 is an integer of 0 to 4, preferably an integer of 0 to 3, and more preferably an integer of 0 to 2. In one embodiment, m22 is preferably zero. In another embodiment, m22 is preferably 1 or 2. When m22 is 1, R22 is preferably a halogen atom, and more preferably R22 is a fluorine atom or an iodine atom. When m22 is 2, one of R22 is a halogen atom, the other is preferably a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, one of R22 is a fluorine atom or an iodine atom, and the other is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.
式（Ｂ２）で表される塩におけるアニオンとしては、例えば、以下のアニオンが挙げられる。なかでも、式（Ｂ２－Ｂ－１）～式（Ｂ２－Ｂ－２０）で表されるアニオンが好ましく、式（Ｂ２－Ｂ－１）～式（Ｂ２－Ｂ－１１）、式（Ｂ２－Ｂ－１６）～式（Ｂ２－Ｂ－２０）で表されるアニオンがより好ましい。
また、酸発生剤（Ｂ）の別の形態では、式（Ｂ１）等で表される塩におけるアニオンを、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン、カルボン酸アニオン等に置き替えた塩も、酸発生剤（Ｂ）として好適に用いられる。スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオンは、上述したものと同様のものが挙げられる。ただし、カルボン酸アニオンを有する酸発生剤は、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩を含まない。 In addition, other forms of the acid generator (B) include salts in which the anion in the salt represented by formula (B1) etc. is replaced with a sulfonylimide anion, a sulfonylmethide anion, a carboxylic acid anion, etc. It is suitably used as agent (B). Examples of the sulfonylimide anion, sulfonylmethide anion, and carboxylic acid anion include those mentioned above. However, the acid generator having a carboxylic acid anion does not contain the carboxylic acid salt represented by formula (I).
Ｚ＋の有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。具体的には、式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）のいずれかで表されるカチオン（以下、式番号に応じて「カチオン（ｂ２－１）」等という場合がある。）が挙げられる。
Ｒb4～Ｒb6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb4とＲb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。
ｍ２が２以上のとき、複数のＲb7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲb8は同一でも異なってもよい。
Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒb9とＲb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒb12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb11とＲb12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb13～Ｒb18は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
Ｒb13とＲb14とは、互いに結合してそれらが結合するベンゼン環と一緒になって硫黄原子を含む環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｌb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２、及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲb13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲb14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲb15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲb16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲb17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲb18は同一又は相異なる。］
ｕ２が０のとき、ｏ２、ｐ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒb13～Ｒb1６のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましく、ｕ２が１のとき、ｏ２、ｐ２、ｓ２、ｔ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒb13～Ｒb18のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましい。
さらに、ｕ２が０のとき、ｒ２は１以上であることが好ましく、１であることがさらに好ましい。また、ｕ２が０、かつ、ｒ２が１以上のとき、Ｒｂ１６がハロゲン原子であることが好ましい。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Ｒb9～Ｒb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数１～１２である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、２－メチルアダマンタン－２－イル基、２－エチルアダマンタン－２－イル基、２－イソプロピルアダマンタン－２－イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは２０以下である。
フッ化アルキル基とは、フッ素原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル基等が挙げられる。フッ化アルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロへキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）等が挙げられる。なお、芳香族炭化水素基が、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有する場合は、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、ｐ－メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び２－エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Ｒb4とＲb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数３～１８の環が挙げられ、好ましくは炭素数４～１８の環である。また、硫黄原子を含む環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環であり、例えば下記の環が挙げられる。＊は結合部位を表す。
Ｒb11とＲb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
Examples of the organic cation of Z + include organic onium cations, organic sulfonium cations, organic iodonium cations, organic ammonium cations, benzothiazolium cations, and organic phosphonium cations. Among these, organic sulfonium cations and organic iodonium cations are preferred, and arylsulfonium cations are more preferred. Specifically, a cation represented by any of formulas (b2-1) to (b2-4) (hereinafter sometimes referred to as "cation (b2-1)" etc. depending on the formula number) is Can be mentioned.
R b4 to R b6 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms, The hydrogen atom contained in the chain hydrocarbon group is a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms. The hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group may be substituted with a halogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, or a glycidyloxy group. The hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group may be substituted, such as a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. It may be substituted with 1 to 12 alkoxy groups.
R b4 and R b5 may bond to each other and form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the ring may be -O-, -S- or -CO- may be substituted.
R b7 and R b8 each independently represent a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. .
m2 and n2 each independently represent any integer from 0 to 5.
When m2 is 2 or more, multiple R b7s may be the same or different; when n2 is 2 or more, multiple R b8s may be the same or different.
R b9 and R b10 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms.
R b9 and R b10 may bond to each other and form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the ring may be -O-, -S- or -CO- may be substituted.
R b11 represents a hydrogen atom, a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
R b12 represents a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms; The hydrogen atom contained may be substituted with an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group may be substituted with an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. Optionally substituted with ~12 alkylcarbonyloxy groups.
R b11 and R b12 may be bonded to each other to form a ring including -CH-CO- to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the ring is -O-, -S - or -CO- may be substituted.
R b13 to R b18 each independently represent a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. .
R b13 and R b14 may be bonded to each other to form a ring containing a sulfur atom together with the benzene ring to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the ring is -O-, It may be replaced with -S- or -CO-.
L b31 represents a sulfur atom or an oxygen atom.
o2, p2, s2, and t2 each independently represent any integer from 0 to 5.
q2 and r2 each independently represent an integer of 0 to 4.
u2 represents 0 or 1.
When o2 is 2 or more, multiple R b13s are the same or different; when p2 is 2 or more, multiple R b14s are the same or different; when q2 is 2 or more, multiple R b15s are the same or different. , when r2 is 2 or more, multiple R b16s are the same or different; when s2 is 2 or more, multiple R b17s are the same or different; when t2 is 2 or more, multiple R b18s are the same or different; different. ]
When u2 is 0, any one of o2, p2, q2 and r2 is 1 or more, at least one of R b13 to R b16 is preferably a halogen atom, and when u2 is 1, It is preferable that any one of o2, p2, s2, t2, q2 and r2 is 1 or more, and at least one of R b13 to R b18 is a halogen atom.
Further, when u2 is 0, r2 is preferably 1 or more, and more preferably 1. Further, when u2 is 0 and r2 is 1 or more, R b16 is preferably a halogen atom.
The aliphatic hydrocarbon group refers to a chain hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group.
Examples of chain hydrocarbon groups include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, and 2-ethylhexyl group. Can be mentioned.
In particular, the chain hydrocarbon groups R b9 to R b12 preferably have 1 to 12 carbon atoms.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic, and examples of the monocyclic alicyclic hydrocarbon group include cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cyclo Examples include cycloalkyl groups such as heptyl group, cyclooctyl group, and cyclodecyl group. Examples of the polycyclic alicyclic hydrocarbon group include a decahydronaphthyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, and the following groups.
Examples of alicyclic hydrocarbon groups in which hydrogen atoms are substituted with aliphatic hydrocarbon groups include methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, 2-methyladamantan-2-yl group, and 2-ethyladamantan-2-yl group. , 2-isopropyladamantane-2-yl group, methylnorbornyl group, isobornyl group, and the like. In an alicyclic hydrocarbon group in which a hydrogen atom is substituted with an aliphatic hydrocarbon group, the total carbon number of the alicyclic hydrocarbon group and the aliphatic hydrocarbon group is preferably 20 or less.
The fluorinated alkyl group refers to an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and having a fluorine atom, and includes a fluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a perfluorobutyl group, and the like. The number of carbon atoms in the fluorinated alkyl group is preferably 1 to 9, more preferably 1 to 6, and still more preferably 1 to 4.
Examples of the aromatic hydrocarbon group include aryl groups such as phenyl group, biphenyl group, naphthyl group, and phenanthryl group. The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, group, cumenyl group, mesityl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.) and alicyclic groups having 3 to 18 carbon atoms. Examples include aromatic hydrocarbon groups having the formula hydrocarbon group (p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.). In addition, when the aromatic hydrocarbon group has a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms. is preferred.
Examples of the aromatic hydrocarbon group in which a hydrogen atom is substituted with an alkoxy group include p-methoxyphenyl group.
Examples of the chain hydrocarbon group in which a hydrogen atom is substituted with an aromatic hydrocarbon group include aralkyl groups such as benzyl group, phenethyl group, phenylpropyl group, trityl group, naphthylmethyl group, and naphthylethyl group.
Examples of the alkoxy group include methoxy group, ethoxy group, propoxy group, butoxy group, pentyloxy group, hexyloxy group, heptyloxy group, octyloxy group, decyloxy group, and dodecyloxy group.
Examples of the alkylcarbonyl group include an acetyl group, a propionyl group, and a butyryl group.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
Examples of the alkylcarbonyloxy group include methylcarbonyloxy group, ethylcarbonyloxy group, propylcarbonyloxy group, isopropylcarbonyloxy group, butylcarbonyloxy group, sec-butylcarbonyloxy group, tert-butylcarbonyloxy group, and pentylcarbonyloxy group. , hexylcarbonyloxy group, octylcarbonyloxy group, and 2-ethylhexylcarbonyloxy group.
The ring formed by R b4 and R b5 combined with each other and the sulfur atom to which they are bonded may be monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated. It may be a ring. Examples of this ring include a ring having 3 to 18 carbon atoms, preferably a ring having 4 to 18 carbon atoms. Further, examples of the ring containing a sulfur atom include a 3-membered ring to a 12-membered ring, preferably a 3-membered ring to a 7-membered ring, such as the following rings. * represents a binding site.
The ring formed by R b11 and R b12 together may be monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated. Examples of this ring include a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring. Examples include an oxocycloheptane ring, an oxocyclohexane ring, an oxonorbornane ring, and an oxoadamantane ring.
カチオン（ｂ２－１）～カチオン（ｂ２－４）の中でも、好ましくは、カチオン（ｂ２－１）である。
カチオン（ｂ２－１）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Examples of the cation (b2-1) include the following cations.
酸発生剤（Ｂ）は、上述のアニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－６８）並びに式（Ｂ２－Ｂ－１）～式（Ｂ２－Ｂ－２０）のいずれかで表されるアニオンと、カチオン（ｂ２－１）、カチオン（ｂ２－２）、カチオン（ｂ２－３）又はカチオン（ｂ２－４）との組合せが挙げられる。 The acid generator (B) is a combination of the above-mentioned anion and the above-mentioned organic cation, and these can be arbitrarily combined. As the acid generator (B), preferably formulas (B1a-1) to (B1a-4), formulas (B1a-7) to (B1a-11), and formulas (B1a-14) to (B1a- 30) and an anion represented by any of formulas (B1a-35) to (B1a-68) and formulas (B2-B-1) to (B2-B-20), and a cation (b2-1) , cation (b2-2), cation (b2-3) or cation (b2-4).
酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－１０５）及び式（Ｂ２－１）～式（Ｂ２－２０）でそれぞれ表されるものが挙げられる。中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－３）、式（Ｂ１－５）～式（Ｂ１－７）、式（Ｂ１－１１）～式（Ｂ１－１４）、式（Ｂ１－２０）～式（Ｂ１－２６）、式（Ｂ１－２９）、式（Ｂ１－３１）～式（Ｂ１－１０５）及び式（Ｂ２－１）～式（Ｂ２－２０）で表されるものがとりわけ好ましい。
Preferred examples of the acid generator (B) include those represented by formulas (B1-1) to (B1-105) and formulas (B2-1) to (B2-20), respectively. Among them, those containing an arylsulfonium cation are preferable, and formulas (B1-1) to (B1-3), formulas (B1-5) to (B1-7), and formulas (B1-11) to (B1-14) are preferred. ), formula (B1-20) to formula (B1-26), formula (B1-29), formula (B1-31) to formula (B1-105), and formula (B2-1) to formula (B2-20) Those represented by are particularly preferred.
本発明のレジスト組成物においては、酸発生剤の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、好ましくは０．１質量％以上９９．９質量％以下であり、より好ましくは１質量％以上４５質量％以下であり、さらに好ましくは１質量％以上４０質量％以下であり、より一層好ましくは３質量％以上４０質量％以下である。樹脂（Ａ）等を含む場合、酸発生剤の含有率は、樹脂（Ａ）等１００質量部に対して、好ましくは１質量部以上４５質量部以下であり、より好ましくは１質量部以上４０質量部以下であり、さらに好ましくは３質量部以上３５質量部以下である。 In the resist composition of the present invention, the content of the acid generator is preferably 0.1% by mass or more and 99.9% by mass or less, more preferably 1% by mass, based on the solid content of the resist composition. It is 45% by mass or less, more preferably 1% by mass or more and 40% by mass or less, even more preferably 3% by mass or more and 40% by mass or less. When containing resin (A) etc., the content of the acid generator is preferably 1 part by mass or more and 45 parts by mass or less, more preferably 1 part by mass or more and 40 parts by mass or less, per 100 parts by mass of resin (A) etc. It is not more than 3 parts by mass, more preferably not less than 3 parts by mass and not more than 35 parts by mass.
＜溶剤（Ｅ）＞
溶剤（Ｅ）の含有率は、レジスト組成物中、通常９０質量％以上９９．９質量％以下であり、好ましくは９２質量％以上９９質量％以下であり、より好ましくは９４質量％以上９９質量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
<Solvent (E)>
The content of the solvent (E) in the resist composition is usually 90% by mass or more and 99.9% by mass or less, preferably 92% by mass or more and 99% by mass or less, and more preferably 94% by mass or more and 99% by mass. % or less. The content of the solvent (E) can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.
溶剤（Ｅ）としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチルケトン、２－ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ－ブチロラクトン等の環状エステル類；等を挙げることができる。溶剤（Ｅ）の１種を単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。 Examples of the solvent (E) include glycol ether esters such as ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate; glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether; ethyl lactate, butyl acetate, amyl acetate, ethyl pyruvate, etc. Ketones such as acetone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone and cyclohexanone; Cyclic esters such as γ-butyrolactone; and the like. One type of solvent (E) may be used alone, or two or more types may be used.
＜クエンチャー（Ｃ）＞
クエンチャー（Ｃ）としては、酸発生剤（酸発生剤（Ｂ））から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩、及び塩基性の含窒素有機化合物が挙げられる。本発明のカルボン酸塩（Ｉ）とクエンチャー（Ｃ）の合計の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．０１～１５質量％程度であることが好ましく、０．０１～１０質量％程度であることがより好ましく、０．１～８質量％程度であることがさらに好ましく、０．１～７質量％程度であることがさらにより好ましい。
<Quencher (C)>
Examples of the quencher (C) include a salt that generates an acid that is weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (acid generator (B)), and a basic nitrogen-containing organic compound. The total content of carboxylate (I) and quencher (C) of the present invention is preferably about 0.01 to 15% by mass, and 0.01 to 15% by mass, based on the solid content of the resist composition. It is more preferably about 10% by mass, even more preferably about 0.1 to 8% by mass, and even more preferably about 0.1 to 7% by mass.
＜酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩＞
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数（ｐＫａ）で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常－３＜ｐＫａの塩であり、好ましくは－１＜ｐＫａ＜７の塩であり、より好ましくは０＜ｐＫａ＜５の塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開２０１５－１４７９２６号公報記載の式（Ｄ）で表される塩（以下、「弱酸分子内塩（Ｄ）」という場合がある。）、並びに特開２０１２－２２９２０６号公報、特開２０１２－６９０８号公報、特開２０１２－７２１０９号公報、特開２０１１－３９５０２号公報及び特開２０１１－１９１７４５号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として、好ましくは、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩（カルボン酸アニオンを有する塩）であり、より好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）であり、さらに好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）のうち、カルボン酸アニオンが置換されたフェニル基を含むジフェニルヨードニウム塩である。
The acidity of a salt that generates an acid less acidic than the acid generated from the acid generator is indicated by the acid dissociation constant (pKa). The salt that generates an acid with weaker acidity than the acid generated from the acid generator is a salt in which the acid dissociation constant of the acid generated from the salt is usually -3<pKa, preferably -1<pKa<7. , more preferably a salt with a pKa of 0<pKa<5.
Examples of the salt that generates an acid with weaker acidity than the acid generated from the acid generator include a salt represented by the following formula, a salt represented by the formula (D) described in JP-A-2015-147926 (hereinafter referred to as ), as well as JP2012-229206A, JP2012-6908A, JP2012-72109A, JP2011-39502A, and Examples include salts described in JP-A No. 2011-191745. As a salt that generates an acid that is weaker in acidity than the acid generated from an acid generator, preferably a salt that generates a carboxylic acid that is weaker in acidity than the acid generated from the acid generator (a salt having a carboxylic acid anion). More preferably, it is a weak acid inner salt (D), and even more preferably a diphenyliodonium salt containing a phenyl group substituted with a carboxylic acid anion among the weak acid inner salts (D).
弱酸分子内塩（Ｄ）としては、２つのフェニル基が結合したヨードニウムカチオンと、ヨードニウムカチオンに結合した２つのフェニル基のうち少なくとも一方のフェニル基に置換されたカルボン酸アニオンと、を有するジフェニルヨードニウム塩であることが好ましく、以下の式で表される塩が挙げられる。
ＲD1及びＲD2は、それぞれ独立に、炭素数１～１２の炭化水素基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～７のアシル基、炭素数２～７のアシルオキシ基、炭素数２～７のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ’が２以上の場合、複数のＲD1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲD2は同一であっても異なってもよい。］
ＲD1及びＲD2の炭化水素基としては、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、１－ナフチル基、２－ナフチル基、２－メチルフェニル基、３－メチルフェニル基、４－メチルフェニル基、４－エチルフェニル基、４－プロピルフェニル基、４－イソプロピルフェニル基、４－ブチルフェニル基、４－ｔ－ブチルフェニル基、４－ヘキシルフェニル基、４－シクロヘキシルフェニル基、アントリル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル－シクロアルキル基、シクロアルキル－アルキル基、アラルキル基（例えば、フェニルメチル基、１－フェニルエチル基、２－フェニルエチル基、１－フェニル－１－プロピル基、１－フェニル－２－プロピル基、２－フェニル－２－プロピル基、３－フェニル－１－プロピル基、４－フェニル－１－ブチル基、５－フェニル－１－ペンチル基、６－フェニル－１－ヘキシル基等）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカルボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基（－Ｏ－）が結合した基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基（－ＣＯ－）が結合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
ＲD1及びＲD2は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアシル基、炭素数２～４のアシルオキシ基、炭素数２～４のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子が好ましい。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～２のいずれかの整数であることが好ましく、０であることがより好ましい。ｍ’が２以上の場合、複数のＲD1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲD2は同一であっても異なってもよい。
より具体的には、以下の塩が挙げられる。
R D1 and R D2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, or Represents 2 to 7 alkoxycarbonyl groups, nitro groups, or halogen atoms.
m' and n' each independently represent any integer from 0 to 4, and when m' is 2 or more, the plurality of R D1s may be the same or different, and n' is 2 or more. In the case of , the plurality of R D2 may be the same or different. ]
Examples of the hydrocarbon groups R D1 and R D2 include chain hydrocarbon groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, and groups formed by combining these.
Examples of the chain hydrocarbon group include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, and nonyl group.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic, and may be saturated or unsaturated. Examples include cycloalkyl groups such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cyclononyl group, and cyclododecyl group, norbornyl group, and adamantyl group.
Examples of aromatic hydrocarbon groups include phenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, 2-methylphenyl group, 3-methylphenyl group, 4-methylphenyl group, 4-ethylphenyl group, 4-propylphenyl group. , 4-isopropylphenyl group, 4-butylphenyl group, 4-t-butylphenyl group, 4-hexylphenyl group, 4-cyclohexylphenyl group, anthryl group, p-adamantylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group , mesityl group, biphenyl group, phenanthryl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, and other aryl groups.
Groups formed by combining these groups include alkyl-cycloalkyl groups, cycloalkyl-alkyl groups, aralkyl groups (for example, phenylmethyl groups, 1-phenylethyl groups, 2-phenylethyl groups, 1-phenyl-1 -propyl group, 1-phenyl-2-propyl group, 2-phenyl-2-propyl group, 3-phenyl-1-propyl group, 4-phenyl-1-butyl group, 5-phenyl-1-pentyl group, 6 -phenyl-1-hexyl group, etc.).
Examples of the alkoxy group include a methoxy group and an ethoxy group.
Examples of the acyl group include an acetyl group, a propanoyl group, a benzoyl group, and a cyclohexanecarbonyl group.
Examples of the acyloxy group include a group in which an oxy group (-O-) is bonded to the above-mentioned acyl group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include a group in which a carbonyl group (-CO-) is bonded to the above-mentioned alkoxy group.
Examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and the like.
R D1 and R D2 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 4 carbon atoms, or an acyl group having 2 to 4 carbon atoms; An acyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, a nitro group, or a halogen atom is preferred.
m' and n' are each independently preferably an integer of 0 to 2, and more preferably 0. When m' is 2 or more, multiple R D1s may be the same or different; when n' is 2 or more, multiple R D2s may be the same or different.
More specifically, the following salts may be mentioned.
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、１－ナフチルアミン、２－ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、２－，３－又は４－メチルアニリン、４－ニトロアニリン、Ｎ－メチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２－（２－メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’－ジアミノ－１，２－ジフェニルエタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチルジフェニルメタン、２，２’－メチレンビスアニリン、イミダゾール、４－メチルイミダゾール、ピリジン、４－メチルピリジン、１，２－ジ（２－ピリジル）エタン、１，２－ジ（４－ピリジル）エタン、１，２－ジ（２－ピリジル）エテン、１，２－ジ（４－ピリジル）エテン、１，３－ジ（４－ピリジル）プロパン、１，２－ジ（４－ピリジルオキシ）エタン、ジ（２－ピリジル）ケトン、４，４’－ジピリジルスルフィド、４，４’－ジピリジルジスルフィド、２，２’－ジピリジルアミン、２，２’－ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは２，６－ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３－（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ－ｎ－ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
Basic nitrogen-containing organic compounds include amines and ammonium salts. Amines include aliphatic amines and aromatic amines. Aliphatic amines include primary amines, secondary amines and tertiary amines.
Examples of amines include 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, aniline, diisopropylaniline, 2-, 3- or 4-methylaniline, 4-nitroaniline, N-methylaniline, N,N-dimethylaniline, diphenylamine, hexylamine, Heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, dibutylamine, dipentylamine, dihexylamine, diheptylamine, dioctylamine, dinonylamine, didecylamine, triethylamine, trimethylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine, trihexylamine, tri- Heptylamine, trioctylamine, trinonylamine, tridecylamine, methyldibutylamine, methyldipentylamine, methyldihexylamine, methyldicyclohexylamine, methyldiheptylamine, methyldioctylamine, methyldinonylamine, methyldidecylamine, Ethyldibutylamine, ethyldipentylamine, ethyldihexylamine, ethyldiheptylamine, ethyldioctylamine, ethyldinonylamine, ethyldidecylamine, dicyclohexylmethylamine, tris[2-(2-methoxyethoxy)ethyl]amine, Isopropanolamine, ethylenediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, 4,4'-diamino-1,2-diphenylethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3 , 3'-diethyldiphenylmethane, 2,2'-methylenebisaniline, imidazole, 4-methylimidazole, pyridine, 4-methylpyridine, 1,2-di(2-pyridyl)ethane, 1,2-di(4- pyridyl)ethane, 1,2-di(2-pyridyl)ethene, 1,2-di(4-pyridyl)ethene, 1,3-di(4-pyridyl)propane, 1,2-di(4-pyridyloxy) ) Ethane, di(2-pyridyl)ketone, 4,4'-dipyridyl sulfide, 4,4'-dipyridyl disulfide, 2,2'-dipyridylamine, 2,2'-dipicolylamine, bipyridine, etc. Preferably, aromatic amines such as diisopropylaniline are used, and 2,6-diisopropylaniline is more preferable.
Examples of ammonium salts include tetramethylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, tetrahexylammonium hydroxide, tetraoctylammonium hydroxide, phenyltrimethylammonium hydroxide, 3-(trifluoromethyl)phenyltrimethyl Examples include ammonium hydroxide, tetra-n-butylammonium salicylate, and choline.
〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分（以下「その他の成分（Ｆ）」という場合がある。）を含有していてもよい。その他の成分（Ｆ）に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
<Other ingredients>
The resist composition of the present invention may contain components other than the above-mentioned components (hereinafter sometimes referred to as "other components (F)"), if necessary. Other components (F) are not particularly limited, and additives known in the resist field, such as sensitizers, dissolution inhibitors, surfactants, stabilizers, dyes, etc. can be used.
〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、式（Ｉ）で表されるカルボン酸塩又は式（ＩＰ）で表される構造単位を含む化合物もしくは樹脂、任意に、樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ）、樹脂（Ａ）以外の樹脂、溶剤（Ｅ）、クエンチャー（Ｃ）及びその他の成分（Ｆ）等を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０～４０℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤（Ｅ）に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、０．５～２４時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径０．００３～０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
<Preparation of resist composition>
The resist composition of the present invention comprises a carboxylic acid salt represented by formula (I) or a compound or resin containing a structural unit represented by formula (IP), optionally a resin (A), and an acid generator (B). , a resin other than the resin (A), a solvent (E), a quencher (C), and other components (F). The mixing order is arbitrary and is not particularly limited. An appropriate temperature for mixing can be selected from 10 to 40° C. depending on the type of resin and the solubility of the resin in the solvent (E). An appropriate mixing time can be selected from 0.5 to 24 hours depending on the mixing temperature. Note that the mixing means is not particularly limited, and stirring and mixing can be used.
After mixing each component, it is preferable to filter it using a filter with a pore size of about 0.003 to 0.2 μm.
〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板、表面にレジスト膜等が形成された有機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること（いわゆるプリベーク）により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、５０～２００℃であることが好ましく、加熱時間は、１０～１８０秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、１～１．０×１０5Ｐａ程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光（ＥＵＶ）を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理（いわゆるポストエキスポジャーベーク）を行う。加熱温度は、通常５０～２００℃程度、好ましくは７０～１５０℃程度である。加熱後の組成物の表面側にある樹脂の親水性又は疎水性を調整する化学処理（シリル化）を行ってもよい。また、現像を行う前に、露光後の組成物層上に、レジスト組成物の塗布、乾燥、露光、加熱の工程を繰り返し行ってもよい。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、５～６０℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、５～３００秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２－ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液（以下「有機系現像液」という場合がある）を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、２－ヘキサノン、２－ヘプタノン等のケトン溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤；酢酸ブチル等のエステル溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤；Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤；アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、９０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９５質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び２－ヘプタノンの合計含有率は、５０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
<Resist pattern manufacturing method>
The method for manufacturing a resist pattern of the present invention includes:
(1) Applying the resist composition of the present invention onto a substrate,
(2) drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer to light;
(4) a step of heating the composition layer after exposure; and (5) a step of developing the composition layer after heating.
The resist composition can be applied onto the substrate using a commonly used device such as a spin coater. Examples of the substrate include an inorganic substrate such as a silicon wafer, and an organic substrate on which a resist film or the like is formed on the surface. Before applying the resist composition, the substrate may be cleaned, or an antireflection film or the like may be formed on the substrate.
By drying the applied composition, the solvent is removed and a composition layer is formed. Drying is performed, for example, by evaporating the solvent using a heating device such as a hot plate (so-called pre-baking), or by using a pressure reduction device. The heating temperature is preferably 50 to 200°C, and the heating time is preferably 10 to 180 seconds. Further, the pressure during reduced pressure drying is preferably about 1 to 1.0×10 5 Pa.
The obtained composition layer is usually exposed using an exposure machine. The exposure machine may be an immersion exposure machine. Exposure light sources include those that emit laser light in the ultraviolet region such as KrF excimer laser (wavelength 248 nm), ArF excimer laser (wavelength 193 nm), F 2 excimer laser (wavelength 157 nm), solid state laser light source (YAG or semiconductor laser). etc.) that converts the wavelength of laser light and emits harmonic laser light in the far ultraviolet or vacuum ultraviolet range, and uses various methods such as those that emit electron beams and ultraviolet light (EUV). I can do it. Note that in this specification, irradiation with these radiations may be collectively referred to as "exposure." During exposure, the exposure is usually performed through a mask corresponding to the desired pattern. When the exposure light source is an electron beam, exposure may be performed by direct writing without using a mask.
The exposed composition layer is subjected to a heat treatment (so-called post-exposure bake) in order to promote the deprotection reaction in acid-labile groups. The heating temperature is usually about 50 to 200°C, preferably about 70 to 150°C. A chemical treatment (silylation) may be performed to adjust the hydrophilicity or hydrophobicity of the resin on the surface side of the heated composition. Furthermore, before development, the steps of applying a resist composition, drying, exposing, and heating may be repeated on the exposed composition layer.
The heated composition layer is usually developed using a developer using a developing device. Examples of the developing method include a dip method, a paddle method, a spray method, and a dynamic dispensing method. The development temperature is preferably, for example, 5 to 60°C, and the development time is, for example, preferably 5 to 300 seconds. By selecting the type of developer as described below, a positive resist pattern or a negative resist pattern can be manufactured.
When producing a positive resist pattern from the resist composition of the present invention, an alkaline developer is used as the developer. The alkaline developer may be any of the various alkaline aqueous solutions used in this field. Examples include aqueous solutions of tetramethylammonium hydroxide and (2-hydroxyethyl)trimethylammonium hydroxide (commonly known as choline). The alkaline developer may contain a surfactant.
It is preferable to wash the resist pattern with ultrapure water after development, and then remove water remaining on the substrate and pattern.
When producing a negative resist pattern from the resist composition of the present invention, a developer containing an organic solvent (hereinafter sometimes referred to as "organic developer") is used as the developer.
Examples of organic solvents contained in organic developers include ketone solvents such as 2-hexanone and 2-heptanone; glycol ether ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate; ester solvents such as butyl acetate; glycols such as propylene glycol monomethyl ether. Examples include ether solvents; amide solvents such as N,N-dimethylacetamide; and aromatic hydrocarbon solvents such as anisole.
The content of the organic solvent in the organic developer is preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 95% by mass or more and 100% by mass or less, and even more preferably substantially only the organic solvent.
Among these, as the organic developer, a developer containing butyl acetate and/or 2-heptanone is preferred. The total content of butyl acetate and 2-heptanone in the organic developer is preferably 50% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, and substantially contains butyl acetate and/or 2-heptanone. - More preferably only heptanone.
The organic developer may contain a surfactant. Further, the organic developer may contain a trace amount of water.
During development, development may be stopped by replacing the organic developer with a different type of solvent.
It is preferable to wash the resist pattern after development with a rinsing liquid. The rinsing liquid is not particularly limited as long as it does not dissolve the resist pattern, and solutions containing common organic solvents can be used, and alcohol solvents or ester solvents are preferable.
After cleaning, it is preferable to remove the rinsing liquid remaining on the substrate and pattern.
〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物、特に電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。
<Application>
The resist composition of the present invention is a resist composition for KrF excimer laser exposure, a resist composition for ArF excimer laser exposure, a resist composition for electron beam (EB) exposure, or a resist composition for EUV exposure, particularly for electron beam (EB) exposure. It is suitable as a resist composition for line (EB) exposure or a resist composition for EUV exposure, and is useful for microfabrication of semiconductors.
実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム：TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：1.0mL／min
検出器：RI検出器
カラム温度：40℃
注入量：100μl
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。
The present invention will be explained in more detail with reference to Examples. In the examples, "%" and "part" representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.
The weight average molecular weight is a value determined by gel permeation chromatography. The analysis conditions for gel permeation chromatography are as follows.
Column: TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn (manufactured by Tosoh Corporation)
Eluent: Tetrahydrofuran Flow rate: 1.0mL/min
Detector: RI detector Column temperature: 40℃
Injection volume: 100μl
Molecular weight standard: Standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation)
The structure of the compound was confirmed by measuring the molecular ion peak using mass spectrometry (LC: Model 1100 manufactured by Agilent; MASS: Model LC/MSD manufactured by Agilent). In the following examples, the value of this molecular ion peak is indicated by "MASS".
実施例１：式（Ｉ－１１３５）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ９１９．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ２６３．１
Example 1: Synthesis of salt represented by formula (I-1135)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 919.0
MASS (ESI(-)Spectrum): M - 263.1
実施例２：式（Ｉ－３０７９）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ９９１．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ２６３．１
Example 2: Synthesis of salt represented by formula (I-3079)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 991.0
MASS (ESI(-)Spectrum): M - 263.1
実施例３：式（Ｉ－３１００）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ９９１．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ８５．０
Example 3: Synthesis of salt represented by formula (I-3100)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 991.0
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 85.0
実施例４：式（Ｉ－３６１９）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ １０４２．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ２６３．１
Example 4: Synthesis of salt represented by formula (I-3619)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 1042.9
MASS (ESI(-)Spectrum): M - 263.1
実施例５：式（Ｉ－３７８１）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ９３３．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ２６３．１
Example 5: Synthesis of salt represented by formula (I-3781)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 933.0
MASS (ESI(-)Spectrum): M - 263.1
実施例６：式（Ｉ－３９４３）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ １０５８．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ２６３．１
Example 6: Synthesis of salt represented by formula (I-3943)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 1058.9
MASS (ESI(-)Spectrum): M - 263.1
樹脂の合成
樹脂（Ａ）の合成に使用した化合物（モノマー）を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー（ａ１－１－３）」等という。
実施例７〔樹脂Ａ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－１１３５）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－１１３５）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ１を収率６３％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene and monomer (I-1135) using the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer ( I-1135)] were mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and 1.5 times the mass of methyl was added to this monomer mixture based on the total mass of all monomers. Isobutyl ketone was mixed. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added to 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin A1 with a weight average molecular weight of approximately 5.5×10 3 in a yield of 63%. This resin A1 has the following structural units.
実施例８〔樹脂Ａ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３０７９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３０７９）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．４×１０３である樹脂Ａ２を収率６５％で得た。この樹脂Ａ２は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene and monomer (I-3079) using the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer ( I-3079)] were mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and 1.5 times the mass of methyl was added to this monomer mixture based on the total mass of all monomers. Isobutyl ketone was mixed. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added at 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin A2 with a weight average molecular weight of approximately 5.4×10 3 in a yield of 65%. This resin A2 has the following structural units.
実施例９〔樹脂Ａ３の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３１００）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３１００）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ３を収率６０％で得た。この樹脂Ａ３は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene and monomer (I-3100) using the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer ( I-3100)] in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further added 1.5 times the mass of methyl to this monomer mixture based on the total mass of all monomers. Isobutyl ketone was mixed. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added to 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin A3 with a weight average molecular weight of approximately 5.5×10 3 in a yield of 60%. This resin A3 has the following structural units.
実施例１０〔樹脂Ａ４の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３６１９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３６１９）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．６×１０３である樹脂Ａ４を収率６１％で得た。この樹脂Ａ４は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene and monomer (I-3619) using the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer ( I-3619)] were mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and 1.5 times the mass of methyl was added to this monomer mixture based on the total mass of all monomers. Isobutyl ketone was mixed. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added at 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin A4 with a weight average molecular weight of approximately 5.6×10 3 in a yield of 61%. This resin A4 has the following structural units.
実施例１１〔樹脂Ａ５の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３０７９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３０７９）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．６×１０３である樹脂Ａ５を収率８５％で得た。この樹脂Ａ５は、以下の構造単位を有するものである。
Monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene, and monomer (I-3079) were used as monomers, and their molar ratio [monomer ( a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):4-acetoxystyrene:monomer (I-3079)] in a ratio of 55:3:12:25:5 The monomer mixture was further mixed with methyl isobutyl ketone in an amount of 1.5 times the total mass of all monomers. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added to 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was filtered and collected to obtain resin A5 with a weight average molecular weight of approximately 5.6×10 3 in a yield of 85%. This resin A5 has the following structural units.
実施例１２〔樹脂Ａ６の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３７８１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３７８１）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ６を収率８８％で得た。この樹脂Ａ６は、以下の構造単位を有するものである。
Monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene, and monomer (I-3781) were used as monomers, and their molar ratio [monomer ( a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):4-acetoxystyrene:monomer (I-3781)] in a ratio of 55:3:12:25:5 The monomer mixture was further mixed with methyl isobutyl ketone in an amount of 1.5 times the total mass of all monomers. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added to 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was filtered and collected to obtain resin A6 with a weight average molecular weight of approximately 5.5×10 3 in a yield of 88%. This resin A6 has the following structural units.
実施例１３〔樹脂Ａ７の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（Ｉ－３９４３）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（Ｉ－３９４３）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．７×１０３である樹脂Ａ７を収率７９％で得た。この樹脂Ａ７は、以下の構造単位を有するものである。
Monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene, and monomer (I-3943) were used as monomers, and their molar ratio [monomer ( a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer (I-3943)] in a ratio of 55:3:12:25:5 The monomer mixture was further mixed with methyl isobutyl ketone in an amount of 1.5 times the total mass of all monomers. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added at 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was filtered and collected to obtain resin A7 with a weight average molecular weight of approximately 5.7×10 3 in a yield of 79%. This resin A7 has the following structural units.
合成例１〔樹脂ＡＸ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、４－アセトキシスチレン及びモノマー（ＩＸ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン：モノマー（ＩＸ－１）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂ＡＸ１を収率６８％で得た。この樹脂ＡＸ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), 4-acetoxystyrene, and monomer (IX-1) using the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene: monomer ( IX-1)] in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further added 1.5 times the mass of methyl to this monomer mixture based on the total mass of all monomers. Isobutyl ketone was mixed. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added at 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin AX1 with a weight average molecular weight of approximately 5.5×10 3 in a yield of 68%. This resin AX1 has the following structural units.
合成例２〔樹脂ＡＡ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）及び４－アセトキシスチレンを用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：４－アセトキシスチレン〕が、２０：３５：３：１５：２７の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、２５％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂ＡＡ１を収率６８％で得た。この樹脂ＡＡ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2) and 4-acetoxystyrene were used, and their molar ratio [ Monomer (a1-1-3): Monomer (a1-2-6): Monomer (a2-1-3): Monomer (a3-4-2): 4-acetoxystyrene] is 20:35:3:15 :27, and methyl isobutyl ketone was added to this monomer mixture in an amount of 1.5 times the total weight of all monomers. To the obtained mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total monomer amount, and these were added to 73 mol%. It was heated at ℃ for about 5 hours. Thereafter, a 25% aqueous tetramethylammonium hydroxide solution was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, which was then filtered and collected to obtain resin AA1 with a weight average molecular weight of approximately 5.5×10 3 in a yield of 68%. This resin AA1 has the following structural units.
＜レジスト組成物の調製＞
表２に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。
As shown in Table 2, a resist composition was prepared by mixing the following components and filtering the resulting mixture through a fluororesin filter with a pore size of 0.2 μm.
＜樹脂＞
Ａ１～Ａ７、ＡＸ１、ＡＡ１：樹脂Ａ１～樹脂Ａ７、樹脂ＡＸ１、樹脂ＡＡ１
＜酸発生剤（Ｂ）＞
Ｂ１－２５：式（Ｂ１－２５）で表される塩；特開２０１１－１２６８６９号公報記載の方法で合成
Ｉ－１１３５：式（Ｉ－１１３５）で表される塩
Ｉ－３０７９：式（Ｉ－３０７９）で表される塩
Ｉ－３１００：式（Ｉ－３１００）で表される塩
Ｉ－３６１９：式（Ｉ－３６１９）で表される塩
Ｉ－３７８１：式（Ｉ－３７８１）で表される塩
Ｉ－３９４３：式（Ｉ－３９４３）で表される塩
＜クエンチャー（Ｃ）＞
Ｃ１：特開２０１１－３９５０２号公報記載の方法で合成
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００部
プロピレングリコールモノメチルエーテル １００部
γ－ブチロラクトン ５部
<Resin>
A1 to A7, AX1, AA1: Resin A1 to Resin A7, Resin AX1, Resin AA1
<Acid generator (B)>
B1-25: Salt represented by formula (B1-25); synthesized by the method described in JP-A-2011-126869
I-1135: Salt represented by formula (I-1135) I-3079: Salt represented by formula (I-3079) I-3100: Salt represented by formula (I-3100) I-3619: Formula Salt represented by (I-3619) I-3781: Salt represented by formula (I-3781) I-3943: Salt represented by formula (I-3943) <Quencher (C)>
C1: Synthesized by the method described in JP-A-2011-39502
Propylene glycol monomethyl ether acetate 400 parts Propylene glycol monomethyl ether 100 parts γ-butyrolactone 5 parts
（レジスト組成物の電子線露光評価：有機溶剤現像）
６インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて９０℃で６０秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が０．０４μｍとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表２の「PB」欄に示す温度で６０秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔（株）エリオニクス製の「ＥＬＳ－Ｆ１２５ １２５ｋｅＶ」〕を用い、露光量を段階的に変化させて、現像後にラインアンドスペースパターン（ピッチ６０ｎｍ／ライン幅３０ｎｍ）になるように直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表２の「PEB」欄に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として酢酸ブチル（東京化成工業（株）製）を用いて、２３℃で２０秒間ダイナミックディスペンス法によって現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
得られたレジストパターン（ラインアンドスペースパターン）を走査型電子顕微鏡で観察し、ピッチ６０ｎｍのラインアンドスペースパターンのライン幅とスペース幅とが１：１となる露光量を実効感度とした。
(Electron beam exposure evaluation of resist composition: organic solvent development)
A 6-inch silicon wafer was treated with hexamethyldisilazane at 90° C. for 60 seconds on a direct hot plate. A resist composition was spin-coated onto this silicon wafer so that the thickness of the composition layer was 0.04 μm. Thereafter, it was prebaked for 60 seconds on a direct hot plate at the temperature shown in the "PB" column of Table 2 to form a composition layer. The composition layer formed on the wafer is coated with a line-and-space pattern (pitch 60 nm/line width 30 nm).
After exposure, post-exposure baking was performed on a hot plate for 60 seconds at the temperature shown in the "PEB" column of Table 2. Next, the composition layer on the silicon wafer was developed by a dynamic dispensing method at 23° C. for 20 seconds using butyl acetate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a developer to obtain a resist pattern. .
The obtained resist pattern (line and space pattern) was observed with a scanning electron microscope, and the exposure amount at which the line width and space width of the line and space pattern with a pitch of 60 nm was 1:1 was defined as the effective sensitivity.
＜パターン倒れ耐性（ＰＣＭ）評価＞
ラインパターンの線幅は露光量が少ないほど細くなり、パターン消失は起こりやすくなる。数字は、実効感度以下の露光量で形成されたラインパターンに倒れ又は剥がれによるパターン消失が観察されないレジストパターンの最小線幅（ｎｍ）を示す。その結果を表３に示す。
比較組成物１～４と比較して、組成物１～２５でのパターン消失が観察されないレジストパターンの最小線幅が小さく、パターン倒れ耐性評価が良好であった。
<Pattern collapse resistance (PCM) evaluation>
The line width of the line pattern becomes thinner as the exposure amount decreases, and pattern disappearance becomes more likely. The number indicates the minimum line width (nm) of a resist pattern in which pattern disappearance due to collapse or peeling is not observed in a line pattern formed with an exposure dose below the effective sensitivity. The results are shown in Table 3.
Compared to Comparative Compositions 1 to 4, the minimum line width of the resist pattern in which pattern disappearance was not observed in Compositions 1 to 25 was small, and the pattern collapse resistance evaluation was good.
本発明のカルボン酸塩を含有するレジスト組成物は、良好なパターン倒れ耐性（ＰＣＭ）を有するレジストパターンを得られるため、半導体の微細加工に好適であり、産業上極めて有用である。 A resist composition containing a carboxylic acid salt of the present invention can obtain a resist pattern having good pattern collapse resistance (PCM), and is therefore suitable for microfabrication of semiconductors and is extremely useful industrially.
Claims (33)
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０を表す。
Ｌ１は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｒ１０は、１以上の置換基を有する炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表し、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１又は－Ｉ基である。
Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｘ０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～７２の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊及び＊＊は、結合部位を表し、＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ A carboxylic acid generator containing a carboxylic acid salt represented by formula (I) or a structural unit represented by formula (IP).
R 1 and R 2 each independently represent -O-R 10 , -O-CO-R 10 , -O-CO-O-R 10 or -O-L 1 -CO-O-R 10 .
L 1 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R 10 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 or -I group.
R 11 represents a hydrogen atom or an acid-labile group.
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group has a substituent. -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is , -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
m1 represents any integer from 1 to 5, and when m1 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m2 represents any integer from 0 to 5, and when m2 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m4 represents any integer from 0 to 4, and when m4 is 2 or more, a plurality of R 4s may be the same or different.
m5 represents any integer from 0 to 4, and when m5 is 2 or more, a plurality of R 5 may be the same or different.
m7 represents any integer from 0 to 4, and when m7 is 2 or more, a plurality of R 7s may be the same or different.
m8 represents any integer from 0 to 5, and when m8 is 2 or more, a plurality of R 8s may be the same or different from each other.
However, 1≦m1+m7≦5 and 0≦m2+m8≦5.
X 0 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 - may be substituted.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group which may have a substituent.
Ax represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Ay represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
* and ** represent a bonding site, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
L 10 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- may be substituted. ]
Ａ２が、＊＊＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊＊＊－Ｌ０２－Ｘ０２－であり、
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表し、
Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す請求項１に記載のカルボン酸発生剤。 A 1 is ****-X 01 -L 01 - or ****-L 01 -X 01 -,
A 2 is ****-X 02 -L 02 - or ****-L 02 -X 02 -,
X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH contained in the hydrocarbon group 2 - may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
The carboxylic acid generator according to claim 1, wherein *** represents a bonding site with a benzene ring to which R 1 or R 2 is bonded.
Ｒ１１が、酸不安定基であり、
Ｒ１１の酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である請求項１に記載のカルボン酸発生剤。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合部位を表す。］ R 10 is an alicyclic hydrocarbon group having -OR 11 groups,
R 11 is an acid-labile group,
The carboxylic acid generator according to claim 1, wherein the acid labile group of R 11 is a group represented by formula (1a) or a group represented by formula (2a).
naa represents 0 or 1.
* represents a binding site. ]
X a represents an oxygen atom or a sulfur atom.
* represents a binding site. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］ The carboxylic acid generator according to claim 1, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 10 -1) to (X 10 -10).
* and ** are bonding sites, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。］ The carboxylic acid according to claim 10, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formula (X 10 -1), formula (X 10 -5') and formula (X 10 -6') Generating agent.
* and ** are bonding sites, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded. ]
酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂とを含有する請求項１３に記載のレジスト組成物。 A carboxylic acid salt represented by formula (I),
14. The resist composition according to claim 13, further comprising a resin containing a structural unit (a1) having an acid-labile group.
式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂が、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）をさらに含む請求項１３に記載のレジスト組成物。 Contains a resin containing a structural unit represented by formula (IP),
14. The resist composition according to claim 13, wherein the resin containing the structural unit represented by formula (IP) further contains a structural unit (a1) having an acid-labile group.
Ｌａ０１、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒａ０１、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒａ０２、Ｒａ０３及びＲａ０４は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］ The structural unit (a1) having an acid-labile group is a structural unit represented by formula (a1-0), a structural unit represented by formula (a1-1), and a structure represented by formula (a1-2). 15. The resist composition according to claim 14, comprising at least one type selected from the group consisting of units.
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent -O- or *-O-(CH 2 ) k1 -CO-O-, k1 represents any integer from 1 to 7, and * Represents a binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or any of these. Represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these.
m1' represents any integer from 0 to 14.
n1 represents any integer from 0 to 10.
n1' represents any integer from 0 to 3. ]
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］ 15. The resist composition according to claim 14, wherein the resin containing the structural unit (a1) having an acid-labile group further contains a structural unit represented by formula (a2-A).
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, a carbon number Represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group, or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 is bonded.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1.
mb represents any integer from 0 to 4. When mb is any integer of 2 or more, a plurality of R a51 's may be the same or different. ]
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
ｍ２１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ２１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｒ21は、炭素数３～１８の環状炭化水素基を含む炭素数３～４８の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ2２は、ハロゲン原子又は炭素数１～６のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ｍ２２は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ２２が２以上のとき、複数のＲ2２は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］ The resist composition according to claim 13, further comprising a salt represented by formula (B1) or a salt represented by formula (B2).
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. , the hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y represents a methyl group which may have a substituent or a cyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group is , -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
Z + represents an organic cation. ]
m21 represents any integer from 1 to 5, and when m21 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
R 21 represents a hydrocarbon group having 3 to 48 carbon atoms, including a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and the cyclic hydrocarbon group may have a substituent. -CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.
R 22 represents a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and -CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-.
m22 represents any integer from 0 to 4, and when m22 is 2 or more, a plurality of R 22s may be the same or different.
Z + represents an organic cation. ]
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。 (1) Applying the resist composition according to claim 13 onto a substrate,
(2) drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer to light;
(4) a step of heating the composition layer after exposure; and (5) a step of developing the composition layer after heating.
A method for manufacturing a resist pattern including:
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０を表す。
Ｌ１は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｒ１０は、１以上の置換基を有する炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表し、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１又は－Ｉ基である。
Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｘ０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～７２の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊及び＊＊は、結合部位を表し、＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ A carboxylic acid salt represented by formula (I).
R 1 and R 2 each independently represent -O-R 10 , -O-CO-R 10 , -O-CO-O-R 10 or -O-L 1 -CO-O-R 10 .
L 1 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R 10 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 or -I group.
R 11 represents a hydrogen atom or an acid-labile group.
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group has a substituent. -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is , -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
m1 represents any integer from 1 to 5, and when m1 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m2 represents any integer from 0 to 5, and when m2 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m4 represents any integer from 0 to 4, and when m4 is 2 or more, a plurality of R 4s may be the same or different.
m5 represents any integer from 0 to 4, and when m5 is 2 or more, a plurality of R 5 may be the same or different.
m7 represents any integer from 0 to 4, and when m7 is 2 or more, a plurality of R 7s may be the same or different.
m8 represents any integer from 0 to 5, and when m8 is 2 or more, a plurality of R 8s may be the same or different from each other.
However, 1≦m1+m7≦5 and 0≦m2+m8≦5.
X 0 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 - may be substituted.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group which may have a substituent.
Ax represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Ay represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
* and ** represent a bonding site, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
L 10 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- may be substituted. ]
Ａ２が、＊＊＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊＊＊－Ｌ０２－Ｘ０２－であり、
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表し、
Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよく、
＊＊＊は、Ｒ１又はＲ２が結合するベンゼン環との結合部位を表す請求項２１に記載のカルボン酸塩。 A 1 is ****-X 01 -L 01 - or ****-L 01 -X 01 -,
A 2 is ****-X 02 -L 02 - or ****-L 02 -X 02 -,
X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH contained in the hydrocarbon group 2 - may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -,
22. The carboxylic acid salt according to claim 21, wherein *** represents a bonding site with a benzene ring to which R 1 or R 2 is bonded.
Ｒ１１が、酸不安定基であり、
Ｒ１１の酸不安定基が、式（１ａ）で表される基又は式（２ａ）で表される基である請求項２１又は２２に記載のカルボン酸塩。
ｎａａは、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
＊は結合部位を表す。］ R 10 is an alicyclic hydrocarbon group having -OR 11 groups,
R 11 is an acid-labile group,
The carboxylic acid salt according to claim 21 or 22, wherein the acid labile group of R 11 is a group represented by formula (1a) or a group represented by formula (2a).
naa represents 0 or 1.
* represents a binding site. ]
X a represents an oxygen atom or a sulfur atom.
* represents a binding site. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］ The carboxylic acid salt according to claim 21 or 22, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 10 -1) to (X 10 -10).
*, ** are bonding sites, and * represents the bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊はＲｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。］ The carboxylic acid according to claim 30, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formula (X 10 -1), formula (X 10 -5') and formula (X 10 -6') salt.
*, ** are bonding sites, and * represents the bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded. ]
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｒ１０、－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０又は－Ｏ－Ｌ１－ＣＯ－Ｏ－Ｒ１０を表す。
Ｌ１は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｒ１０は、１以上の置換基を有する炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表し、該置換基の少なくとも１つは、－ＯＲ１１又は－Ｉ基である。
Ｒ１１は、水素原子又は酸不安定基を表す。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｘ０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～７２の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊及び＊＊は、結合部位を表し、＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ A resin containing a structural unit represented by formula (IP).
R 1 and R 2 each independently represent -O-R 10 , -O-CO-R 10 , -O-CO-O-R 10 or -O-L 1 -CO-O-R 10 .
L 1 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R 10 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms and having one or more substituents, and at least one of the substituents is -OR 11 or -I group.
R 11 represents a hydrogen atom or an acid-labile group.
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the hydrocarbon group has a substituent. -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is , -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
m1 represents any integer from 1 to 5, and when m1 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m2 represents any integer from 0 to 5, and when m2 is 2 or more, the groups within the parentheses may be the same or different.
m4 represents any integer from 0 to 4, and when m4 is 2 or more, a plurality of R 4s may be the same or different.
m5 represents any integer from 0 to 4, and when m5 is 2 or more, a plurality of R 5 may be the same or different.
m7 represents any integer from 0 to 4, and when m7 is 2 or more, a plurality of R 7s may be the same or different.
m8 represents any integer from 0 to 5, and when m8 is 2 or more, a plurality of R 8s may be the same or different from each other.
However, 1≦m1+m7≦5 and 0≦m2+m8≦5.
X 0 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 72 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -CO - or -SO 2 - may be substituted.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms that may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group which may have a substituent.
Ax represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
Ay represents one type of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, and a carbonate bond.
* and ** represent a bonding site, and * represents a bonding site with the carbon atom to which R bb1 is bonded.
L 10 represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms which may have a substituent, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -S-, -SO 2 - or -CO- may be substituted. ]
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022107090 | 2022-07-01 | ||
| JP2022107090 | 2022-07-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2024007483A true JP2024007483A (en) | 2024-01-18 |
Family
ID=89543533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023107417A Pending JP2024007483A (en) | 2022-07-01 | 2023-06-29 | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2024007483A (en) |
-
2023
- 2023-06-29 JP JP2023107417A patent/JP2024007483A/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2024007483A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031897A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024022556A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024007479A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031936A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024022558A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024002972A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031939A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031894A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024041077A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024002969A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024041071A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024007482A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024002974A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023171328A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023165664A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031935A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024022557A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023171324A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024031903A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2024041068A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023147265A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023171326A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023165659A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern | |
| JP2023147264A (en) | Carboxylate, carboxylic acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern |