JP2023554569A - トリアルキルアルミニウム化合物及びトリアルキルアルミニウムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
アルミニウムの溶液をアルキル化剤に曝露させることによってトリアルキルアルミニウム化合物及びそれによって得られるトリアルキルアルミニウムを製造する新規な方法。
Description
トリアルキルアルミニウム化合物は、触媒、有機及び無機合成、並びに化学蒸着及び原子層堆積の用途、すなわち電子機器向けなどの半導体材料の製造に有用である。このようなトリアルキルアルミニウム化合物はいくつかの方法で得ることができる。
Ｇ．Ｂ．Ｂｕｃｋｔｏｎ，Ｗ．Ｏｄｌｉｎｇ，Ａｎｎ．Ｃｈｅｍ．Ｓｕｐｐｌ．，４（１８６５）１０９は、８０～１２０℃の温度での適当なアルキル水銀化合物と過剰のアルミニウム金属との反応（トランスメタル化）によるトリアルキルアルミニウム化合物の調製について示している。この合成は、トリアルキルアルミニウム化合物を製造するための方法としてはおそらく最も古いものである。
Ｎｉｅｓｍｅｙａｎｏｖ及びＳｏｋｏｌｉｋ（Ｔｈｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ ｏｆ Ｂｏｒｏｎ，Ａｌｕｍｉｎｕｍ，Ｇａｌｌｉｕｍ，Ｉｎｄｉｕｍ ａｎｄ Ｔｈａｌｌｉｕｍ，Ｎｏｒｔｈ－Ｈｏｌｌａｎｄ，Ａｍｓｔｅｒｄａｍ １９６７）は、この方法では、高級アルキル水銀誘導体が反応条件下で十分に安定でないので、低級トリアルキルアルミニウム化合物のみが十分な収率で得られることを示している。しかしながら、両方法とも、非常に毒性のアルキル水銀化合物の使用を必要とする。
Ｔ．Ｍｏｌｅ，Ｅ．Ａ．Ｊｅｆｆｒｅｙ，Ｏｒｇａｎｏａｌｕｍｉｎｉｕｍ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ，Ｅｌｓｅｖｉｅｒ，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，１９７２は、エチルアルミニウム化合物及びイソブチルアルミニウム化合物が、アルミニウム、水素及び対応するアルケンから、対応するトリアルキルアルミニウムの存在下で、２段階反応で工業的に得られることを示している。第１段階において、ジアルキルヒドロアルミニウムが、約２００気圧の圧力及び約１２０℃の温度で生成される。第２段階は、より穏やかな条件下で行われる。アルケンをＡｌ－Ｈ結合に結合させてトリアルキルアルミニウムを得るためには、わずか約２０気圧の圧力と６０℃までの温度が必要である。しかしながら、この方法は、低級アルキルアルミニウム化合物にはあまり適しておらず、必要なアルケンが存在しないので、最小のトリアルキルアルミニウム（トリメチルアルミニウム）をこの方法によって調製することはできない。
Ｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅ Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ｅｄｓ．Ｇ．Ｗｉｌｋｉｎｓｏｎ，ＦＧＡ Ｓｔｏｎｅ ａｎｄ ＥＷ Ａｂｅｌ，Ｐｅｒｇａｍｏｎ Ｐｒｅｓｓ，Ｏｘｆｏｒｄ ＪＪ Ｅｉｓｃｈ，Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ，Ｖｏｌ．１，（１９８２），ｐ．５５５では、金属アルミニウムとアルキル、アルケニル及びアリールの塩化物、臭化物及びヨウ化物との反応により、トリアルキルアルミニウムなどの対応する有機アルミニウム化合物が形成されることが教示されている。第１段階において、アルキルアルミニウムセスキハライド（Ｒ２ＡｌＸ及びＲ２ＡｌＸの等モル混合物（式中、Ｒはアルキル基であり、Ｘはハライド基である））が形成される。第２段階は、ＮａＣｌで錯化されたＲＡｌＸ２からＲ２ＡｌＸを蒸留分離するものであり、この化合物を適切な量のナトリウム及びカリウム合金で第３の還元を行うと、トリアルキルアルミニウムが形成される。収率は低く、アルミニウムに対して３３％未満であり、これは以下の反応式にしたがって多量のアルミニウムが浪費されるためである。
１）６Ａｌ＋９ＭｅＣｌ→３Ｍｅ３Ａｌ２Ｃｌ３
２）３Ｍｅ３Ａｌ２Ｃｌ３＋３ＮａＣｌ→３Ｍｅ２ＡｌＣｌ↑＋３Ｎａ［ＭｅＡｌＣｌ３］
３）３Ｍｅ２ＡｌＣｌ＋３Ｎａ／Ｋ→２Ｍｅ３Ａｌ＋Ａｌ＋３Ｎａ／ＫＣｌ
１）６Ａｌ＋９ＭｅＣｌ→３Ｍｅ３Ａｌ２Ｃｌ３
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ＰＬ１９２８５５は、アルミニウム金属粉末とトリメチルガリウムとのトランスメタル化反応によるトリメチルアルミニウムの調製のためのバッチプロセスについて教示している。この方法では、かなり高い温度が使用されるため、その温度感受性のために反応生成物に悪影響が及ぼされる。
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Ｔ．Ｍｏｌｅ，Ｅ．Ａ．Ｊｅｆｆｒｅｙ，Ｏｒｇａｎｏａｌｕｍｉｎｉｕｍ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ，Ｅｌｓｅｖｉｅｒ，Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ，１９７２
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これらすべての方法において、有毒な抽出物、不十分な収率、及び最終生成物中で数ｐｐｍの酸素が含まれる高酸素含有量など、種々の欠点が観察される可能性がある。この問題は、本特許出願の方法によって解決される。
本発明は、金属ガリウムの存在下でトリアルキルガリウムを金属アルミニウムと反応させることによってトリアルキルアルミニウムを製造する方法であって、アルミニウムが、ガリウム中に少なくとも部分的に溶解し、これにより固体アルミニウムを含む、かつ２５℃～１００℃の温度で行われる反応全体を通して液体のままであるアルミニウム／ガリウム合金がもたらされる、方法に関する。
発明の簡単な説明
１． 金属ガリウムの存在下でトリアルキルガリウムを金属アルミニウムと反応させることによってトリアルキルアルミニウムを製造する方法であって、アルミニウムが、ガリウム中に少なくとも部分的に溶解し、これにより固体アルミニウムを含む、かつ２５℃～１００℃の温度で行われる反応全体を通して液体のままであるアルミニウム／ガリウム合金がもたらされる、方法。
１． 金属ガリウムの存在下でトリアルキルガリウムを金属アルミニウムと反応させることによってトリアルキルアルミニウムを製造する方法であって、アルミニウムが、ガリウム中に少なくとも部分的に溶解し、これにより固体アルミニウムを含む、かつ２５℃～１００℃の温度で行われる反応全体を通して液体のままであるアルミニウム／ガリウム合金がもたらされる、方法。
２． アルキルがメチル又はエチルである、項目１に記載の方法。
３． アルミニウム／ガリウム合金が、ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を含む、項目１又は２に記載の方法。
４． 反応中の圧力が、５００ｈＰａ～１５００ｈＰａ、７００ｈＰａ～１３００ｈＰａ又は１０００ｈＰａ～１０５０ｈＰａである、項目１～３のいずれか一項に記載の方法。
５． 反応中の温度が、３０～９５℃又は４０～９０℃又は５０～８５℃、特に６５～８５℃である、項目１～４のいずれか一項に記載の方法。
６． トリアルキルガリウムが気体形態である、項目１～５のいずれか一項に記載の方法。
７． トリアルキルガリウムが反応混合物に連続的に添加される、項目１～６のいずれか一項に記載の方法。
８． トリアルキルガリウムが、少なくとも１種の不活性ガス、特に窒素又はアルゴンと混合して添加される、項目１～７のいずれか一項に記載の方法。
９． トリアルキルアルミニウムが蒸留によって単離される、項目１～８のいずれか一項に記載の方法。
１０． トリアルキルガリウムが１ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、項目１～９のいずれか一項に記載の方法。
１１． トリアルキルアルミニウムが１ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、項目１～１０のいずれか一項に記載の方法。
１２． 以下の工程、すなわち、
ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を提供する工程と、
固体アルミニウムを添加して反応混合物を形成する工程と、
トリアルキルガリウムを含むガス流を、２５～１００℃の温度及び５００～１５００ｈＰａの圧力で反応混合物に連続的に通過させる工程と、
同時に、生成されたトリアルキルアルミニウムを蒸留分離する（distilling off）工程と、
を含む、項目１～１１のいずれか一項に記載の方法。
ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を提供する工程と、
固体アルミニウムを添加して反応混合物を形成する工程と、
トリアルキルガリウムを含むガス流を、２５～１００℃の温度及び５００～１５００ｈＰａの圧力で反応混合物に連続的に通過させる工程と、
同時に、生成されたトリアルキルアルミニウムを蒸留分離する（distilling off）工程と、
を含む、項目１～１１のいずれか一項に記載の方法。
１３． １ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、トリアルキルアルミニウム。
１４． トリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムである、項目１３に記載のトリアルキルアルミニウム。
１５． ガリウム含有量が５０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が５０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が３０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が３０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が１０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が１０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が１０００ｐｐｂ未満及び／若しくはケイ素含有量が１０００ｐｐｂ未満を示す、項目１３及び１４に記載のトリアルキルアルミニウム。
アルキルは、原則として、任意の種類のアルキル又はシクロアルキル、特に、１～８個、特に１～６個又は１～５個の炭素原子を有するアルキルであり得る。通常、エチル、メチル、ｎ－プロピル、イソプロピル、ｎ－ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ－ブチル、ｎ－ペンチル、特にエチル、メチル、ｎ－プロピル、イソプロピル、より具体的にはメチル又はエチルなどの１～４個の炭素原子又は１～３個の炭素原子のアルキルを用いて、非常に良好な結果を得ることができる。
特定の実施形態では、アルミニウム／ガリウム合金は、５～１０重量パーセントのアルミニウム及び９０～９５重量パーセントのガリウム、より具体的には約１０重量パーセントのアルミニウム及び約９０重量パーセントのガリウムを含む。より具体的には、アルミニウム／ガリウム合金は、ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を含む。更により具体的には、アルミニウム／ガリウム合金は、ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液である。飽和溶液は、アルミニウム濃度が低い場合よりもトリアルキルガリウムとの反応に利用できるアルミニウムの量が多くなる。
一方では、実質的に、顆粒又は粉末などの粒子のような分散形態で存在し得る金属アルミニウムが存在することにより、確実にアルミニウム／ガリウム合金が多量のアルミニウムを含有し続けること、特に、反応全体を通してガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液であり続けることとなる。他方では、ガリウムは、アルミニウム粒子の表面を活性化し、アルミニウム粒子の表面が反応に関与することを可能にする。
一般に、反応は、アルミニウム／ガリウム合金が確実に液体である温度、例えば、約２５℃～約１００℃、より具体的には３０～９５℃、又は４０～９０℃、又は４０～９０℃、特に６５～８５℃の温度で行われ得る。
反応中の圧力は、一般に、５００ｈＰａ～１５００ｈＰａ、例えば７００ｈＰａ～１３００ｈＰａ又は１０００ｈＰａ～１０５０ｈＰａであり得る。
別の特定の実施形態では、トリアルキルガリウムが連続的に添加される。より具体的には、トリアルキルガリウムは気体形態で添加される。特に、トリアルキルガリウムは、気体形態で、１つ以上の不活性ガス、より具体的には窒素、アルゴン又はそれらの組み合わせと混合して添加される。トリアルキルガリウムを含むガスは、例えば、液体アルミニウム／ガリウム合金を通過してもよく、又はアルミニウム／ガリウム合金の表面に提供されてもよく、又はその両方であってもよい。
より具体的には、トリアルキルガリウムはトリメチルガリウム又はトリエチルガリウムであることができ、その結果、トリアルキルアルミニウムはトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムとなる。
使用されるトリアルキルガリウムは、低酸素含有量、特に５ｐｐｍ未満、特に１ｐｐｍ未満の酸素含有量を有し得る。したがって、トリアルキルアルミニウムの酸素含有量は１ｐｐｍ未満である。
このようにして生成されたトリアルキルアルミニウム、特にトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムは、蒸留によって単離することができる。一般に、反応は、アルミニウム／ガリウム合金、好ましくは金属アルミニウムも含むアルミニウム／ガリウム合金を含有する反応器中で、ほぼ所望の反応温度、例えば約６５℃～８５℃で、本質的に酸素及び水を含まない条件下で行われる。そのような酸素及び水を含まない条件は、酸素及び水のレベルを５ｐｐｍ未満に、特に３ｐｐｍ未満のレベルに、より具体的には１ｐｐｍ未満に維持する。トリメチルガリウム又はトリエチルガリウムなどのトリアルキルガリウムが提供され、５ｐｐｍ未満、特に３ｐｐｍ未満、より具体的には１ｐｐｍ未満の酸素及び水を含有する窒素などの不活性ガスとの気体混合物の形態で、液体アルミニウム／ガリウム合金を通過させることができる。
こうして生成されたトリアルキルアルミニウムは蒸発し、不活性ガスと共に反応器から出て冷却トラップを通過することができ、そこでトリアルキルアルミニウムが凝縮し、反応中に収集される。これは、蒸留によりトリアルキルアルミニウムを単離する可能な方法である。当然のことながら、反応生成物を更に精製するために、追加の蒸留工程を行ってもよい。
本明細書で特許請求される方法によって得られるトリアルキルアルミニウムは、通常、５０ｐｐｍ未満、特に３０ｐｐｍ未満、より具体的には１０ｐｐｍ未満又は１０００ｐｐｂ未満のガリウムの低ガリウム含有量で高純度のものを示す。それはまた、５０ｐｐｍ未満、特に３０ｐｐｍ、より具体的には１０ｐｐｍ未満、又は１０００ｐｐｂ未満のケイ素のケイ素含有量を示す。酸素含有量は、一般に、１ｐｐｍ未満、有利には０．５ｐｐｍ未満、特に０．１ｐｐｍ未満である。
したがって、本発明は、１ｐｐｍ以下の酸素含有量を示すトリアルキルアルミニウム、特にトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムにも関する。
したがって、本発明は、５０ｐｐｍ以下又は３０ｐｐｍ以下のガリウム含有量を示すトリアルキルアルミニウム、特にトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムにも関する。
したがって、本発明は、５０ｐｐｍ以下又は３０ｐｐｍ以下のケイ素含有量を示すトリアルキルアルミニウム、特にトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムにも関する。
したがって、本発明は、１ｐｐｍ以下の酸素含有量、５０ｐｐｍ以下若しくは３０ｐｐｍ以下のガリウム含有量及び／又は５０ｐｐｍ以下若しくは３０ｐｐｍ以下のケイ素含有量を示すトリアルキルアルミニウム、特にトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムにも関する。
一般に、本発明の方法は、有利には、不活性条件下で、すなわち本質的に水及び酸素を含まず、例えば窒素又はアルゴンなどの不活性ガスの保護雰囲気下で行われる。
別の実施形態は、上記の方法であって、以下の工程、すなわち、
ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を提供する工程と、
固体アルミニウムを添加して反応混合物を形成する工程と、
トリアルキルガリウムを含むガス流を、２５～１００℃の温度及び５００～１５００ｈＰａの圧力で反応混合物に連続的に通過させる工程と、
同時に、生成されたトリアルキルアルミニウムを蒸留分離する工程と、
を含む、方法に関する。
ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を提供する工程と、
固体アルミニウムを添加して反応混合物を形成する工程と、
トリアルキルガリウムを含むガス流を、２５～１００℃の温度及び５００～１５００ｈＰａの圧力で反応混合物に連続的に通過させる工程と、
同時に、生成されたトリアルキルアルミニウムを蒸留分離する工程と、
を含む、方法に関する。
出発合金を調製する：
７００ｇのガリウムを６０℃で溶融した。ガリウムが完全に溶融した後、７ｇのアルミニウム顆粒を添加し、混合物を室温で撹拌した。アルミニウム顆粒が完全に溶解した後、３ｇのアルミニウム顆粒を少量ずつ加え、撹拌しながら溶解させた。完全に溶解した後、相分離を行った。下相をデカンテーションにより分離した。この光沢のある溶融物をトリアルキルガリウムとの反応に使用し、これは必要になるまで１００℃で保存することができる。
製造プラント：
製造プラントは、ソースバブラーと、１つの反応バブラーと、１つの回収バブラーからなる。不活性ガス流がディップチューブを通ってバブラー及び収容された液体に入ることができるように、ソースバブラーを反応バブラーに接続した。ガス流がソースバブラーのガス出口から反応バブラーにそのディップチューブを介して導かれ、トリメチルガリウムで飽和したガス流が液体合金を通過してバブリングされるようにした。ガス流をガス出口から回収バブラーのディップチューブに導入し、そこで生成物が凝縮され、不活性ガスがガス出口を通って系から排出された。
製造プラントは、ソースバブラーと、１つの反応バブラーと、１つの回収バブラーからなる。不活性ガス流がディップチューブを通ってバブラー及び収容された液体に入ることができるように、ソースバブラーを反応バブラーに接続した。ガス流がソースバブラーのガス出口から反応バブラーにそのディップチューブを介して導かれ、トリメチルガリウムで飽和したガス流が液体合金を通過してバブリングされるようにした。ガス流をガス出口から回収バブラーのディップチューブに導入し、そこで生成物が凝縮され、不活性ガスがガス出口を通って系から排出された。
酸素及び水分不含状態の維持を可能にするために、すべてのバブラーを真空／不活性ガスマニホールドに取り付けた。
ソースバブラーはアルキル化試薬、この場合はトリメチルガリウムを含み、これはプロセス中－３℃に冷却した。
反応バブラーはアルミニウム／ガリウム合金を含み、合金を液体に保ち、反応に反応するように７５±１０℃に加熱した。
回収バブラーは１０℃に冷却し、反応生成物、この場合はトリメチルアルミニウムが収集される受容容器として使用した。
不活性ガス流量は２０００（±１０）ｓｃｃｍに設定した。ｓｃｃｍは、質量流量の標準単位であり、ドイツＤＩＮ １３４３にしたがって定義される。
使用された不活性ガスは、標準的な方法（例えば、酸素ゲッター）によって精製され、酸素含有量は、標準的な酸素センサー（例えば、電位差ジルコニア酸素ガスセンサー）によって監視される。
第１のラン：
９５０ｇのトリメチルガリウム（８．２８モル）を含有するバブラーをプラントに取り付けた。反応バブラーに、１１ｋｇの出発合金及び７２５ｇのアルミニウムペレットを不活性条件下で充填した。その後、バブラーを脱酸素化するために、系を窒素でパージした。高純度窒素からなる低速ガス流がトリメチルガリウムバブラーを通過し、この窒素流（トリメチルガリウムで飽和）は反応バブラー内の液体ガリウムアルミニウム合金を通過した。トリメチルアルミニウムを窒素ガス流と共に回収バブラーに送達した。５００ｇのトリメチルアルミニウム（アルミニウムに対して６．９３モル、８４％）を回収バブラーから単離した。
９５０ｇのトリメチルガリウム（８．２８モル）を含有するバブラーをプラントに取り付けた。反応バブラーに、１１ｋｇの出発合金及び７２５ｇのアルミニウムペレットを不活性条件下で充填した。その後、バブラーを脱酸素化するために、系を窒素でパージした。高純度窒素からなる低速ガス流がトリメチルガリウムバブラーを通過し、この窒素流（トリメチルガリウムで飽和）は反応バブラー内の液体ガリウムアルミニウム合金を通過した。トリメチルアルミニウムを窒素ガス流と共に回収バブラーに送達した。５００ｇのトリメチルアルミニウム（アルミニウムに対して６．９３モル、８４％）を回収バブラーから単離した。
真空／不活性ガスマニホールドの使用下で空のソースバブラーを取り外し、９５０ｇのトリメチルガリウムを含有する新たなソースバブラーと交換した。高純度窒素からなる低速ガス流がトリメチルガリウムバブラーを通過し、この窒素流（トリメチルガリウムで飽和）は液体ガリウムアルミニウム合金を通過した。トリメチルアルミニウムを窒素ガス流と共に回収バブラーに送達した。５００ｇのトリメチルアルミニウム（アルミニウムに対して６．９３モル、８４％）を回収バブラーから単離した。
２回目のランが終わるごとに（すなわち、２回目のソースバブラーが空になるごとに）、真空／不活性ガスマニホールドの使用下で反応バブラーを開いた。５００ｇのアルミニウムペレットを合金に添加し、合金の上部をスキムし、反応バブラーから１ｋｇの合金を取り出した。その後、反応バブラーを再び閉じた。系の不活性化後、手順は、上記の「第１のラン」の時点から開始して進行することができる。
得られたトリメチルアルミニウムを酸素について分析したところ、１ｐｐｍ未満の酸素含有量を示した。
トリメチルアルミニウムの同定は、そのプロトンＮＭＲスペクトル及びＩＣＰによって確認した。
微量金属不純物をＩＣＰ－ＭＳによって測定したところ、合計で１０００ｐｐｂ未満であった。
酸素含有量は、プロトンＮＭＲ分光法により、純粋な生成物と酸素含有不純物に起因し得るシグナルを比較することによって測定した。シグナル強度から、不純物と純粋な生成物のモル質量を用いてモル比を計算することができる。
Claims (13)
- 金属ガリウムの存在下でトリアルキルガリウムを金属アルミニウムと反応させることによってトリアルキルアルミニウムを製造する方法であって、
ガリウム中に溶解したアルミニウムの飽和溶液を提供する工程と、
固体アルミニウムを添加して反応混合物を形成する工程と、
トリアルキルガリウムを含むガス流を、２５～１００℃の温度及び５００～１５００ｈＰａの圧力で前記反応混合物に連続的に通過させる工程と、
同時に、生成された前記トリアルキルアルミニウムを蒸留分離する工程と、
を含む、方法。 - 前記アルキルがメチル又はエチルである、請求項１に記載の方法。
- 前記反応中の圧力が、７００ｈＰａ～１３００ｈＰａ又は１０００ｈＰａ～１０５０ｈＰａである、請求項１又は２に記載の方法。
- 前記反応中の温度が、３０～９５℃又は４０～９０℃又は５０～８５℃、特に６５～８５℃である、請求項１～３のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルガリウムが気体形態である、請求項１～４のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルガリウムが前記反応混合物に連続的に添加される、請求項１～５のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルガリウムが、少なくとも１種の不活性ガス、特に窒素又はアルゴンと混合して添加される、請求項１～６のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルアルミニウムが蒸留によって単離される、請求項１～７のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルガリウムが１ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、請求項１～８のいずれか一項に記載の方法。
- 前記トリアルキルアルミニウムが１ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、請求項１～９のいずれか一項に記載の方法。
- １ｐｐｍ未満の酸素含有量を示す、トリアルキルアルミニウム。
- トリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウムである、請求項１１に記載のトリアルキルアルミニウム。
- ガリウム含有量が５０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が５０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が３０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が３０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が１０ｐｐｍ未満及び／若しくはケイ素含有量が１０ｐｐｍ未満を示すか、又はガリウム含有量が１０００ｐｐｂ未満及び／若しくはケイ素含有量が１０００ｐｐｂ未満を示す、請求項１１又は１２に記載のトリアルキルアルミニウム。
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