JP2023547382A - スループットの向上と移送時間の短縮を実現する半導体処理チャンバ - Google Patents
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Abstract
例示的な基板処理システムが、移送領域を画定するチャンバ本体を含んでよい。該システムは、リッドプレートの第1の表面に沿ってチャンバ本体上に載置されたリッドプレートを含んでよい。リッドプレートは、リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定してよい。リッドプレートは、リッドプレートの第1の表面内の複数の開孔の各開孔の周りに凹部を更に画定してよい。各凹部は、リッドプレートの厚みを部分的に通って延在してよい。該システムは、複数の開孔のうちの開孔の数に等しい複数のリッドスタックを含んでよい。各凹部は、複数のリッドスタックのうちのリッドスタックの1つの少なくとも一部分を受け入れてよい。複数の蓋スタックは、移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定してよい。【選択図】図4
Description
関連出願の相互参照
[0001] 本出願は、2020年10月22日に出願された「SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER ARCHITECTURE FOR HIGHER THROUGHPUT AND FASTER TRANSITION TIME」という題目の米国非仮特許出願第17/077,934号の利益及び優先権を主張し、当該出願の内容全体をあらゆる目的のために本明細書に援用する。
[0001] 本出願は、2020年10月22日に出願された「SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER ARCHITECTURE FOR HIGHER THROUGHPUT AND FASTER TRANSITION TIME」という題目の米国非仮特許出願第17/077,934号の利益及び優先権を主張し、当該出願の内容全体をあらゆる目的のために本明細書に援用する。
[0002] 本技術は、半導体プロセス及び装備に関する。特に、本技術は、基板処理システム及び構成要素に関する。
[0003] 半導体処理システムは、しばしば、幾つかのプロセスチャンバを一体化するためにクラスタツールを利用する。この構成は、制御された処理環境から基板を取り出すことなく、幾つかの連続的な処理動作の実行を容易にしてよく、又は、同様のプロセスが、異なるチャンバ内で複数の基板に対して一度に実行されることを可能にする。これらのチャンバは、例えば、ガス抜きチャンバ、前処理チャンバ、移送チャンバ、化学気相堆積チャンバ、物理的気相堆積チャンバ、エッチングチャンバ、計測チャンバ、及び他のチャンバを含んでよい。クラスタツールにおけるチャンバの組み合わせ、ならびにこれらのチャンバが実行される動作条件及びパラメータは、特定のプロセスレシピ及びプロセスフローを使用して特定の構造を製造するために選択される。
[0004] クラスタツールは、基板に一連のチャンバ及びプロセス動作を連続的に通過させることによって、幾つかの基板を処理することが多い。プロセスレシピ及びシーケンスが、典型的には、クラスタツールを通る各基板の処理を指示、制御、及びモニタすることになるマイクロプロセッサコントローラの中にプログラムされる。ウエハのカセット全体がクラスタツールを通して正常に処理されると、カセットは、更なる処理のために更に別のクラスタツール又は化学機械研磨器などのスタンドアロンツールに渡されてよい。
[0005] 様々な処理及び保持チャンバを通してウエハを移送するために、典型的にはロボットが使用される。各プロセス及びハンドリング動作用に必要とされる時間量は、単位時間当たりの基板のスループットに直接影響する。クラスタツールにおける基板のスループットは、移送チャンバ内に配置された基板ハンドリングロボットのスピードに直接関連する場合がある。処理チャンバの構成が更に開発されると、従来のウエハ移送システムは不十分なことがある。更に、クラスタツールの規模が大きくなると、構成要素の構成が、処理又は保守動作を適切に支持しなくなる可能性がある。
[0006] したがって、クラスタツール環境内の基板を効率的に誘導するために使用され得る改善されたシステム及び方法が必要とされている。これらの必要性及びその他の必要性は、本技術によって対処される。
[0007] 例示的な基板処理システムは、移送領域を画定するチャンバ本体を含んでよい。該システムは、リッドプレートの第1の表面に沿ってチャンバ本体上に載置されたリッドプレートを含んでよい。リッドプレートは、リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定してよい。リッドプレートは、リッドプレートの第1の表面内の複数の開孔の各開孔の周りに凹部を更に画定してよい。各凹部は、リッドプレートの厚みを部分的に通って延在してよい。該システムは、複数の開孔のうちの開孔の数に等しい複数のリッドスタックを含んでよい。各凹部は、複数のリッドスタックのうちのリッドスタックの1つの少なくとも一部分を受け入れてよい。複数のリッドスタックは、移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定してよい。
[0008] 幾つかの実施形態では、該システムが、移送領域の周りに配置される複数の基板支持体を含んでよい。複数の基板支持体の各基板支持体は、基板支持体の中心軸に沿って鉛直方向に、第1の位置と第2の位置との間で平行移動可能であってよい。複数の基板支持体の各基板支持体は、複数のリッドスタックのうちの1つのリッドスタックと整列してよい。複数の処理領域の各処理領域は、第2の位置における関連付けられた1つの基板支持体によって下方から画定されてよい。複数の処理領域の各処理領域は、移送領域と流体結合されてよく、複数の処理領域の各他の処理領域から上方から流体隔離されてよい。移送領域は、中心軸の周りで回転可能な移送装置であって、移送領域内で、基板と係合し複数の基板支持体の間で基板を移送するように構成された移送装置を含んでよい。複数のリッドスタックの各リッドスタックは、チャンバ本体の上に配置された排気プレナムを画定するポンピングライナを含んでよい。各リッドスタックは、面板であって、ポンピングライナ上に載置され、関連付けられた処理領域を上方から少なくとも部分的に画定する面板を含んでよい。各リッドスタックは、面板上に載置されたヒータを含んでよい。各リッドスタックは、面板によって画定された中央凹部内に載置されたディフューザプレートを含んでよい。該システムは、チャンバ本体上に載置されたアダプタプレートも含んでよい。該システムは、リッドプレート上に載置された出力マニホールドを含んでよい。該システムは、出力マニホールドによって画定された開孔と流体結合された遠隔プラズマユニットを含んでよい。
[0009] 本技術の幾つかの実施形態はまた、基板処理システムも包含してよい。該システムは、移送領域を画定するチャンバ本体を含んでよい。該システムは、チャンバ本体内の移送領域の周りに分散された複数の基板支持体を含んでよい。該システムは、チャンバ本体上に載置されたリッドプレートを含んでよい。リッドプレートは、複数の基板支持体のうちの基板支持体の数と等しい、リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定してよい。リッドプレートは、リッドプレートの第1の表面内の複数の開孔の各開孔の周りに凹部を更に画定してよい。各凹部は、リッドプレートの厚さを部分的に通って延在してよい。複数の開孔の各開孔は、複数の基板支持体のうちの1つの基板支持体と軸方向に整列してよい。複数の開孔の各開孔は、複数の基板支持体のうちの関連付けられた1つの基板支持体の直径よりも大きい直径によって特徴付けられてよい。該システムは、複数の開孔のうちの開孔の数に等しい複数のリッドスタックを含んでよい。複数のリッドスタックの各リッドスタックは、リッドプレートの凹部のうちの1つの範囲内に少なくとも部分的に受け入れられてよい。
[0010] 幾つかの実施形態では、複数のリッドスタックが、移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定してよい。各リッドスタックは、複数の処理領域のうちの関連付けられた処理領域を上方から少なくとも部分的に画定する面板を含んでよい。各面板は、面板の凹部を画定してよい。各リッドスタックは、面板の凹部内に載置されたディフューザプレートを更に含んでよい。各リッドスタックは、面板上に載置されたヒータを更に含んでよい。各リッドスタックは、排気プレナムを画定するポンピングライナを含んでよい。ポンピングライナは、チャンバ本体の上に配置されてよい。該システムは、移送装置であって、移送領域内に配置され、中心軸の周りで回転可能な移送装置を含んでよい。移送装置は、移送領域内で、基板と係合し複数の基板支持体の間で基板を移送するように構成されてよい。
[0011] 本技術の幾つかの実施形態はまた、基板処理システムも包含してよい。該システムは、移送領域を画定するチャンバ本体を含んでよい。該システムは、チャンバ本体上に載置されたアダプタプレート含んでよい。該システムは、リッドプレートの第1の表面に沿ってアダプタプレート上に載置されたリッドプレートを含んでよい。リッドプレートは、リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定してよい。該システムは、複数の面板を含んでよい。複数の面板の各面板は、アダプタプレートの上に配置されてよい。複数の面板は、移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定してよい。
[0012] このような技術は、従来のシステム及び技法を超えた多数の利点を提供してよい。例えば、処理システムは、従来の設計をはるかに超える規模に拡張されてよいマルチ基板処理能力を提供してよい。これらの実施形態及びその他の実施形態は、その多くの利点や特徴と共に、後述の記載及び添付の図面により詳細に説明されている。
[0013] 開示された技術の性質及び利点は、本明細書の残りの部分と図面を参照することによって更に理解を深めることができる。
[0018] 図面のうちの幾つかは、概略図として含まれている。図面は、例示目的であり、縮尺又は比率が具体的に記載されていない限り、その縮尺又は比率であると見なされるべきではないことを理解されたい。更に、概略図として、図面は、理解を助けるために提供されており、現実的な描写に比べて全ての態様又は情報を含まない場合があり、例示を目的として強調された素材を含むことがある。
[0019] 添付図面では、類似の構成要素及び/又は特徴は、同一の参照符号を有し得る。更に、同じ種類の様々な構成要素は、類似の構成要素間を区別する文字により、参照符号に従って区別することができる。本明細書において第1の参照符号のみが使用される場合、その記載は、文字に関わりなく、同じ第1の参照符号を有する類似の構成要素のうちの何れにも適用可能である。
[0020] 基板処理は、ウエハ又は半導体基板上に材料を追加、除去、又はさもなければ修正するための時間がかかる動作を含み得る。基板の効率的な移動は、待ち行列時間を短縮し、基板スループットを改善してよい。クラスタツール内で処理される基板の数を増やすために、更なるチャンバをメインフレーム上に組み込んでよい。ツールを長くすることにより、移送ロボット及び処理チャンバを継続的に追加することができるが、クラスタツールの設置面積が拡大するにつれて、これは空間的に非効率になる可能性がある。したがって、本技術は、画定された設置面積内で処理チャンバの数が増加したクラスタツールを含んでよい。移送ロボットの周りの制限された設置面積に対応するために、本技術は、ロボットから横方向外側に処理チャンバの数を増加させてよい。例えば、幾つかの従来のクラスタツールは、ロボットの周りで半径方向にチャンバの数を最大化するために、中央に位置付けられた移送ロボットのセクションの周囲に配置された1つ又は2つの処理チャンバを含むことがある。本技術は、チャンバの別の列又は群として横方向外側に更なるチャンバを組み込むことによって、この概念を拡張してよい。例えば、本技術は、1以上のロボットアクセス位置の各々においてアクセス可能な3つ、4つ、5つ、6つ、又はそれより多い処理チャンバを含むクラスタツールに適用されてよい。
[0021] しかし、更なるプロセス位置が追加されるので、中央ロボットからこれらの位置にアクセスすることは、もはや、各位置における更なる移送能力なしには実行可能でないだろう。従来の技術は、移行中に基板が着座したままであるウエハキャリアを含むことがある。しかし、ウエハキャリアは、基板上の熱的不均一性及び粒子汚染に寄与する可能性がある。本技術は、処理チャンバ領域と鉛直方向に整列した移送セクション、及び、更なるウエハ位置にアクセスするために、中央ロボットと協働して動作してよいカルーセル又は移送装置を組み込むことによって、これらの問題を克服する。本技術は、幾つかの実施形態では、従来のウエハキャリアを使用せず、移送領域内で、ある基板支持体から異なる基板支持体に特定のウエハを移送してよい。
[0022] 残りの開示は、本構造及び方法が採用されてよい、四位置チャンバシステムなどの特定の構造を規定通りに確認することとなるが、システム及び方法が、説明される構造的機能から利益を得てよい任意の数の構造及びデバイスに等しく採用され得ることは容易に理解されるだろう。したがって、本技術は、任意の特定の構造単独での使用に限定されるものと見なされるべきではない。更に、本技術の基礎を提供するために、例示的なツールシステムが説明されることとなるが、本技術は、説明される動作及びシステムの一部又は全部から利益を得る可能性のある任意の数の半導体処理チャンバ及びツールに組み込まれてよいことを理解されたい。
[0023] 図1は、本技術の幾つかの実施形態による、堆積、エッチング、ベーキング、及び硬化チャンバの基板処理ツール又は処理システム100の一実施形態の上面図を示している。図面では、一組の前面開口統一ポッド102が、ロボットアーム104a及び104bによってファクトリインターフェース103内に受け取られ、ロードロック又は低圧保持エリア106の中に配置される、様々なサイズの基板を供給する。その後で、基板は基板処理領域108のうちの1つに送達され、チャンバシステム又はクワッドセクション109a~c内に配置される。チャンバシステム又はクワッドセクション109a~cは、各々、複数の処理領域108に流体結合された移送領域を有する基板処理システムであってよい。クワッドシステムが図示されているが、スタンドアロンチャンバ、ツインチャンバ、及び他の複数のチャンバシステムを組み込んだプラットフォームが、本技術によって等しく包含されることは、理解されるべきである。移送チャンバ112内に収容された第2のロボットアーム110を使用して、保持エリア106からクワッドセクション109へ及びその逆に、基板ウエハを移送してよい。第2のロボットアーム110は、移送チャンバ内に収容されてよい。移送チャンバには、クワッドセクション又は処理システムの各々が接続されてよい。各基板処理領域108は、周期的層堆積、原子層堆積、化学気相堆積、物理的気相堆積、ならびにエッチング、予洗浄、アニール、プラズマ処理、ガス抜き、配向、及び他の基板プロセスを含む、任意の数の堆積プロセスを含む、幾つかの基板処理動作を実行するために設けられ得る。
[0024] 各クワッドセクション109は、第2のロボットアーム110から基板を受け取ってよい、及び第2のロボットアーム110に基板を送達してよい、移送領域を含んでよい。チャンバシステムの移送領域は、第2のロボットアーム110を有する移送チャンバと位置合わせされてよい。幾つかの実施形態では、移送領域が、ロボットにとって横方向にアクセス可能であってよい。その後の動作では、移送セクションの構成要素が、重なっている処理領域108の中に、基板を鉛直方向に平行移動させてよい。同様に、移送領域はまた、各移送領域内の位置の間で基板を回転させるように動作可能であってよい。基板処理領域108は、基板又はウエハ上の材料膜を、堆積、アニール、硬化、及び/又はエッチングするための、任意の数のシステム構成要素を含んでよい。1つの構成では、クワッドセクション109a及び109b内の処理領域などの処理領域の2つの組を使用して、基板上に材料を堆積させてよく、クワッドセクション109c内の処理チャンバ又は領域などの処理チャンバの第3の組を使用して、堆積した膜を硬化、アニール、又は処理してよい。別の1つの構成では、図示されている12個全てのチャンバなどの、3組全てのチャンバが、基板上に膜を堆積及び/又は硬化させるように構成されてもよい。
[0025] 図面で示されているように、第2のロボットアーム110は、複数の基板を同時に送達及び/又は回収するための2つのアームを含んでもよい。例えば、各クワッドセクション109は、移送領域ハウジングの表面に沿った2つのアクセス107を含んでもよく、これらは、第2のロボットアームと横方向に位置合わせされてよい。アクセスは、移送チャンバ112に隣接する表面に沿って画定されてよい。図示されているような幾つかの実施形態では、第1のアクセスが、クワッドセクションの複数の基板支持体のうちの第1の基板支持体と位置合わせされてよい。更に、第2のアクセスは、クワッドセクションの複数の基板支持体のうちの第2の基板支持体と位置合わせされてよい。幾つかの実施形態では、第1の基板支持体が、第2の基板支持体に隣接してもよく、2つの基板支持体は、基板支持体の第1の列を画定してよい。図示されている構成で示されているように、基板支持体の第2の列が、移送チャンバ112から横方向外側で、基板支持体の第1の列の後方に配置されてもよい。第2のロボットアーム110の2つのアームは、移送領域内の基板支持体に1つ又は2つの基板を送達又は回収するために、2つのアームがクワッドセクション又はチャンバシステムに同時に入ることを可能とするように、離隔されてよい。
[0026] 説明される移送領域のうちの任意の1以上は、種々の実施形態で図示される製造システムから分離した更なるチャンバに組み込まれてもよい。材料膜用の堆積、エッチング、アニール、及び硬化チャンバの更なる構成が、処理システム100によって考慮されることを理解されたい。加えて、任意の数の他の処理システムが、本技術と共に利用されてよい。それは、基板移動などの特定の動作のうちのいずれかを実行するための移送システムを組み込んでよい。幾つかの実施形態では、上述された保持及び移送エリアなどの様々なセクション内の減圧環境を維持しながら、複数の処理チャンバ領域にアクセスを提供してよい処理システムが、離散的なプロセス間の特定の減圧環境を維持しながら、複数のチャンバ内で動作が実行されることを可能にしてよい。
[0027] 上述されたように、処理システム100は、より具体的には、処理システム100又は他の処理システムに組み込まれたクワッドセクション又はチャンバシステムが、図示されている処理チャンバ領域の下方に配置された移送セクションを含んでよい。図2は、本技術の幾つかの実施形態による、例示的なチャンバシステム200の移送セクションの概略等角図を示している。図2は、上述された移送領域の更なる態様又は態様の変形例を示してよく、上述された構成要素又は特性のいずれかを含んでよい。図示されているシステムは、移送領域ハウジング205を含んでよい。移送領域ハウジング205は、以下で更に説明されるようにチャンバ本体であってよく、幾つかの構成要素が含まれてよい移送領域を画定する。移送領域は、更に、図1のクワッドセクション109において示された処理チャンバ領域108などの、移送領域と流体結合された処理チャンバ又は処理領域によって、上方から少なくとも部分的に画定されてよい。移送領域ハウジングの側壁は、1以上のアクセス位置207を画定してよい。上述されたように、1以上のアクセス位置207を通して、第2のロボットアーム110などによって、基板が送達及び回収されてよい。アクセス位置207は、スリット弁又は他の密封可能なアクセス位置であってよく、これは、幾つかの実施形態において、移送領域ハウジング205内に気密環境を提供するためのドア又は他の密封機構を含む。2つのそのようなアクセス位置207を有するように図示されているが、幾つかの実施形態では、単一のアクセス位置207だけ、ならびに移送領域ハウジングの複数の側面上の複数のアクセス位置が、同様に含まれてよいことを理解されたい。また、図示されている移送セクションは、任意の数の寸法又は形状によって特徴付けられる基板を含む、200mm、300mm、450mm、又はそれよりも大きい若しくはそれよりも小さい基板を含む、任意の基板サイズを受け入れるようにサイズ決定されてよいことを理解されたい。
[0028] 移送領域ハウジング205内には、移送領域の空間の周りに配置された複数の基板支持体210があってよい。4つの基板支持体が図示されているが、任意の数の基板支持体が、本技術の実施形態によって同様に包含されることを理解されたい。例えば、本技術の実施形態によれば、3つ以上、4つ以上、5つ以上、6つ以上、8つ以上、又はそれより多い基板支持体210が、移送領域内に収容されてよい。第2のロボットアーム110は、アクセス207を通して、基板支持体210a又は210bの一方又は両方に基板を送達してよい。同様に、第2のロボットアーム110は、これらの位置から基板を回収してよい。リフトピン212が、基板支持体210から突出してよく、ロボットが基板の下方にアクセスできるようにしてよい。幾つかの実施形態では、リフトピンが基板支持体上に固定されてもよく、又は基板支持体が下方に後退してもよく、或いはリフトピンが基板支持体を通して更に上昇又は下降してもよい。基板支持体210は、鉛直方向に平行移動可能であってよく、幾つかの実施形態では、移送領域ハウジング205の上方に配置された、処理チャンバ領域108などの、基板処理システムの処理チャンバ領域まで延伸してよい。
[0029] 移送領域ハウジング205は、位置合わせシステム用のアクセス215を提供してよい。これは、アライナであって、図示されるように移送領域ハウジングの開口部を通って延在することができ、隣接する開口部を通って突出若しくは送信するレーザ、カメラ、又は監視デバイスと併せて動作してよく、平行移動している基板が適切に位置合わせされているかどうかを判定してよい、アライナを含んでよい。移送領域ハウジング205はまた、基板を配置し、様々な基板支持体の間で基板を移動させるために、幾つかのやり方で動作されてよい移送装置220も含んでよい。一実施例では、移送装置220が、基板支持体210a及び210b上の基板を、基板支持体210c及び210dに移動させてよい。これによって、更なる基板が移送チャンバの中に送達されることが可能になってよい。更なる移送動作は、重なっている処理領域における更なる処理のために基板支持体間で基板を回転させることを含んでよい。
[0030] 移送装置220は、移送チャンバの中に延在する1以上のシャフトを含んでよい中央ハブ225を含んでよい。エンドエフェクタ235が、シャフトと結合されてよい。エンドエフェクタ235は、中央ハブから半径方向又は横方向外向きに延在する複数のアーム237を含んでよい。アームがそこから延在する中央本体を有するように図示されているが、様々な実施形態では、エンドエフェクタが、それぞれシャフト又は中央ハブと結合される別個のアームを更に含んでよい。任意の数のアームが、本技術の実施形態に含まれてよい。幾つかの実施形態では、アーム237の数が、チャンバ内に含まれる基板支持体210の数と同様であるか又はそれと等しくてもよい。したがって、図示されているように、4つの基板支持体では、移送装置220が、エンドエフェクタから延在する4つのアームを含んでよい。アームは、直線プロファイル又は弓形プロファイルなどの任意の数の形状及びプロファイルによって特徴付けられてよく、同様に、例えば、位置合わせ又は係合などのために、基板を支持し且つ/又は基板へのアクセスを提供するためのフック、リング、フォーク、又は他の設計を含む任意の数の遠位プロファイルを含む。
[0031] エンドエフェクタ235又はエンドエフェクタの構成要素若しくは部分を使用して、移送又は移動中に基板と接触することができる。これらの構成要素ならびにエンドエフェクタは、導電性及び/又は絶縁性材料を含む幾つか材料から作製されてよく又はそれらを含んでよい。材料は、幾つかの実施形態では、重なっている処理チャンバから移送チャンバの中へ移動してよい前駆体又は他の化学物質との接触に耐えるように、コーティング又はめっきされてよい。
[0032] 加えて、材料は、温度などの他の環境特性に耐えるように提供又は選択されてよい。幾つかの実施形態では、基板支持体が、支持体上に配置された基板を加熱するように動作可能であってよい。基板支持体は、表面又は基板の温度を、約100℃以上、約200℃以上、約300℃以上、約400℃以上、約500℃以上、約600℃以上、約700℃以上、約800℃以上、又はそれより上の温度に上昇させるように構成されてよい。これらの温度のいずれかが、動作中に維持されてよく、したがって、移送装置220の構成要素は、これらの記載された温度又は包含された温度のいずれかに曝露されることがある。その結果、幾つかの実施形態では、材料のいずれも、これらの温度レジームに適応するように選択されてよく、比較的低い熱膨張係数又は他の有益な特性によって特徴付けられてよいセラミック及び金属などの材料を含んでよい。
[0033] 構成要素の継ぎ手がまた、高温及び/又は腐食性環境での動作向けに適合されてもよい。例えば、エンドエフェクタ及び端部がそれぞれセラミックである場合、継ぎ手は、プレス継ぎ手、スナップ継ぎ手、又は、温度に伴って膨張及び収縮し、セラミックに亀裂を生じさせることがあるボルトなどの更なる材料を含まなくてもよい他の継ぎ手を含んでよい。幾つかの実施形態では、端部が、エンドエフェクタと連続してもよく、エンドエフェクタとモノリシックに形成されてもよい。動作又は動作中の抵抗を容易にしてよい任意の数の他の材料が、利用されてよく、同様に本技術に包含される。移送装置220は、エンドエフェクタを複数の方向に移動させることを容易にしてよい幾つかの構成要素及び構成を含んでよく、それにより、回転運動、ならびに鉛直方向の移動、又は横方向の移動を、エンドエフェクタが結合されてよい駆動システム構成要素を用いた1以上のやり方で容易にする。
[0034] 図3は、本技術の幾つかの実施形態による例示的なチャンバシステム300の移送領域の概略等角図を示している。チャンバシステム300は、上述されたチャンバシステム200の移送領域と同様であってよく、上述された構成要素、特性、又は構成のうちのいずれかを含む同様な構成要素を含んでよい。図3はまた、以下の図面と共に本技術によって包含される特定の構成要素カップリングも示してよい。
[0035] チャンバ300は、移送領域を画定するチャンバ本体305又はハウジングを含んでよい。画定された空間内には、前述されたように、チャンバ本体の周りに分散された複数の基板支持体310があってよい。以下で更に説明されることとなるように、各基板支持体310は、図面で示された第1の位置と、基板処理が実行されてよい第2の位置との間で、基板支持体の中心軸に沿って鉛直方向に平行移動可能であってよい。チャンバ本体305はまた、チャンバ本体を貫通する1以上のアクセス307も画定してよい。移送装置335は、移送領域内に配置されてよく、前述されたように、移送領域内で、基板と係合し基板支持体310の間で基板を回転させるように構成されてよい。例えば、移送装置335は、基板を再配置するために、移送装置の中心軸の周りで回転可能であってよい。移送装置335はまた、幾つかの実施形態では、基板を各基板支持体に再配置することを更に容易にするために、横方向に平行移動可能であってもよい。
[0036] チャンバ本体305は、上面306を含んでよい。上面306は、システムの構成要素を重ねるための支持体を提供してよい。上面306は、ガスケット溝308を画定してよい。ガスケット溝308は、減圧処理のために重ねられた構成要素の気密密封を提供するようにガスケット用の台座を提供してよい。幾つかの従来のシステムとは異なり、本技術の幾つかの実施形態によるチャンバシステム300及び他のチャンバシステムは、処理チャンバ内に開放移送領域を含んでよく、処理領域が、移送領域に重なって形成されてよい。移送装置335が掃引エリアを生成するので、処理領域を分離するための支持体又は構造体が利用可能でなくてもよい。その結果、本技術は、後述されるように、開放移送領域に重なっている分離された処理領域を形成するために、重ねられたリッド構造を利用してよい。したがって、幾つかの実施形態では、チャンバ本体と重なっている構成要素との間の密封が、移送領域を画定する外側チャンバ本体の周りでのみ行われてよく、幾つかの実施形態では、内部カップリングが存在しなくてよい。チャンバ本体305はまた、開孔315も画定してよい。開孔315は、重なっている構造の処理領域からの排気流を促進してよい。チャンバ本体305の上面306はまた、重なっている構成要素との密封のために開孔315の周りに1以上のガスケット溝を画定してもよい。更に、開孔は、幾つかの実施形態では、構成要素の積み重ねを容易にしてよい位置特定フィーチャを提供してよい。
[0037] 図4は、本技術の幾つかの実施形態による、チャンバシステム300の一実施形態の概略断面立面図を示している。該図面は、以前に図示され説明されたシステムのいずれかの構成要素を含んでよく、また、前述されたシステムのいずれかの更なる態様を示してよい。例示はまた、上述された任意のクワッドセクション109内の2つの隣接する処理領域108を通して見られるような例示的な構成要素も示してよいことを理解されたい。リッドプレート405が、チャンバ本体305上に載置されてよい。リッドプレート405は、第1の表面407及び第1の表面の反対側の第2の表面409によって特徴付けられてよい。第1のリッドプレート405の第1の表面407は、チャンバ本体305と接触してよく、構成要素間のガスケットチャネルを生成するように、上述された溝308と協働するコンパニオン溝(companion groove)を画定してよい。リッドプレート405はまた、開孔410も画定してよい。これは、基板処理のための処理領域を形成するために、移送チャンバの重なっている領域の分離を提供してよい。
[0038] 開孔410は、第1のリッドプレート405を貫通して画定されてよく、移送領域412内の基板支持体と少なくとも部分的に整列してよい。幾つかの実施形態では、開孔410の数が、移送領域412内の基板支持体の数と等しくてよく、各開孔410は、複数の基板支持体のうちの1つの基板支持体と軸方向に整列してよい。以下で更に説明されることとなるように、処理領域は、基板支持体がチャンバシステム内で第2の位置に鉛直方向へ持ち上げられたときに、基板支持体によって少なくとも部分的に画定されてよい。基板支持体は、第1のリッドプレート405の開孔410を通って延在してよい。したがって、幾つかの実施形態では、第1のリッドプレート405の開孔410が、関連付けられた基板支持体の直径よりも大きい直径によって特徴付けられてよい。隙間の量に応じて、この直径は、基板支持体の直径よりも約25%以下だけ大きくてよく、幾つかの実施形態では、基板支持体の直径よりも約20%以下だけ大きくてよく、約15%だけ大きくてよく、約10%以下だけ大きくてよく、約9%以下だけ大きくてよく、約8%以下だけ大きくてよく、約7%以下だけ大きくてよく、、約6%以下だけ大きくてよく、約5%以下だけ大きくてよく、約4%以下だけ大きくてよく、約3%以下だけ大きくてよく、約2%以下だけ大きくてよく、約1%以下だけ大きくてよく、それは、基板支持体と開孔410との間の最小間隙距離を提供してよい。
[0039] リッドプレート405はまた、リッドプレート405の各開孔410の周りでリッドプレート405の第1の表面407内に凹部415を画定してもよい。各凹部415は、リッドプレート405の厚みを部分的に通って延在してよく、リッドプレート405の側壁は、凹部415の最外周縁部を画定する。各凹部415は、幾つかの実施形態では、凹部415の深さにわたり一定の幅を有してよいが、一方、他の実施形態では、凹部415が、幅が変化するエリアを含んでよい。例えば、凹部415は、上側セクション及び下側セクションを有してよい。下側セクションは、上側セクションよりも大きい直径を有してよい。それによって、上側セクションの半径方向外向きに、肩部が下側セクションの上方で形成される。
[0040] リッドプレート405は、幾つかの実施形態では、チャンバ本体305の上面上に直接載置されてよい。他の実施形態では、アダプタプレート420が、リッドプレート405とチャンバ本体305との間に配置されてよい。例えば、アダプタプレート420は、チャンバ本体305の上面上に載置されてよく、リッドプレート405の第1の表面407が、アダプタプレート420の上に載置される。アダプタプレート420は、幾つかの開孔を画定してよく、各開孔の外側境界を画定する外壁が、処理領域422を少なくとも部分的に画定する。アダプタプレート420は、重なっている構造の処理領域からの排気流を促進するために、チャンバ本体305の開孔315と整列してよい更なる一組の開孔を画定してよい。
[0041] チャンバシステム300は、複数の開孔の開孔410の数と等しい数のリッドスタックを含む、複数のリッドスタック425を含んでよい。例えば、リッドスタック425は、各開孔410の下方に且つ少なくとも部分的に各凹部415の範囲内に載置されてよい。各リッドスタック425は、アダプタプレート420及び/又はチャンバ本体305上に載置されてよい。例えば、各リッドスタック425の最下部構成要素は、アダプタプレート420の上面上に載置されてよい。アダプタプレート425がない複数の実施形態では、各リッドスタック425の最下部構成要素が、チャンバ本体305の上面上に載置されてよい。リッドスタック425は、チャンバシステム300の処理領域422を少なくとも部分的に画定してよい。
[0042] 図示されているように、処理領域422は、移送領域412から鉛直方向にオフセットされてよいが、移送領域と流体結合されてよい。更に、各処理領域は、他の処理領域から分離されてよい。処理領域は、下方から移送領域を介して他の処理領域と流体結合されてよいが、処理領域は、他の処理領域の各々から上方から流体隔離されてよい。各リッドスタック425はまた、幾つかの実施形態では、基板支持体と整列してもよい。例えば、図示されているように、リッドスタック425aは、基板支持体310aの上に整列してよく、リッドスタック425bは、基板支持体310bの上に整列してよい。第2の位置などの動作位置まで持ち上げられたときに、基板は、個別の処理領域内での個別の処理用に送達されてよい。この位置にあるときに、以下で更に説明されることとなるように、各処理領域422は、第2の位置にある関連付けられた基板支持体によって下方から少なくとも部分的に画定されてよい。
[0043] 立面図は、1以上の処理領域422の構成又は1以上の処理領域422の移送領域412との流体結合を示してよい。例えば、連続的な移送領域412が、チャンバ本体305によって画定されてよい。ハウジングは、幾つかの基板支持体310が配置されてよい開放内部空間を画定してよい。例えば、図1で示されているように、例示的な処理システムは、移送領域412の周りのチャンバ本体305内に分散された(4つ以上を含む)複数の基板支持体310を含んでよい。基板支持体は、図示されているようにペデスタルであってもよいが、幾つかの他の構成が使用されてもよい。幾つかの実施形態では、ペデスタルが、移送領域412と移送領域に重なっている処理領域422との間で鉛直方向に平行移動可能であってよい。基板支持体は、チャンバシステム内の第1の位置と第2の位置との間の経路に沿って、基板支持体の中心軸に沿って鉛直方向に平行移動可能であってよい。したがって、幾つかの実施形態では、各基板支持体310が、1以上のチャンバ構成要素によって画定される重なっている処理領域422と軸方向に整列してよい。
[0044] 開放移送領域は、様々な基板支持体の間で回転させるなど、基板と係合し基板を移動させるための移送装置(移送装置220と同様であってよい)の能力を与えてよい。移送装置は、中心軸の周りで回転可能であってよい。これは、処理システム内の処理領域422のいずれかの中で処理するために基板が配置されることを可能にする。移送装置は、基板支持体の周りで移動させるために、基板の上方、下方から基板と係合してよく、又は基板の外縁と係合してよい1以上のエンドエフェクタを含んでよい。移送装置は、前述されたロボット110などのような移送チャンバロボットから基板を受け取ってよい。次いで、移送装置430は、更なる基板の送達を容易にするために、基板を替わりの基板支持体に回転させてよい。
[0045] 一旦配置され、処理を待つと、移送装置は、エンドエフェクタ又はアームを基板支持体の間に配置してよい。これによって、基板支持体が、移送装置を通過して持ち上げられ、基板を処理領域422の中に送達することが可能になる。処理領域422は、移送領域412から鉛直方向にオフセットされていてよい。例えば、図示されているように、基板支持体310aが、基板を処理領域422aの中に送達してよい一方で、基板支持体310bは、基板を処理領域422bの中に送達してよい。これは、他の2つの基板支持体及び処理領域、ならびに更なる処理領域が含まれる実施形態では更なる基板支持体及び処理領域の存在下で行われてよい。この構成では、第2の位置などで基板を処理するために動作可能に係合されたときに、基板支持体が、処理領域422を下方から少なくとも部分的に画定してよく、処理領域は、関連付けられた基板支持体と軸方向に整列してよい。処理領域は、リッドスタック425の構成要素によって上方から画定されてよい。リッドスタック425は、各々、図示されている構成要素のうちの1以上を含んでよい。幾つかの実施形態では、各処理領域が、個々のリッドスタックの構成要素を有してよいが、幾つかの実施形態では、複数の構成要素が、複数の処理領域422を収容してよい。この構成に基づいて、幾つかの実施形態では、各処理領域422が、チャンバシステム又はクワッドセクション内の互いの処理領域から上方から流体隔離されながら、移送領域412と流体結合されてよい。
[0046] リッドスタック425は、幾つかの構成要素を含んでよい。それらは、チャンバシステムを通る前駆体の流れを促進してよく、リッドプレート405とチャンバ本体305(及びアダプタプレート420を含む複数の実施形態ではアダプタプレート420)との間に少なくとも部分的に包含されてよい。ポンピングライナ435が、チャンバ本体305又はアダプタプレート420上に載置されてよい。ポンピングライナ435は、環状の構成要素であってよく、処理領域422を半径方向に又は空間の寸法形状に応じて横方向に少なくとも部分的に画定してよい。ポンピングライナ435は、ライナ内の排気プレナムを画定してよい。それは、排気プレナムへのアクセスを提供するポンピングライナの内側環状面上に複数の開孔を画定してよい。排気プレナムの複数の開孔は、チャンバ本体305内の開孔315(及びもし存在するならばアダプタプレート420内に形成された開孔)と鉛直方向に整列してよい。これにより、前述されたように、アダプタプレート420及び/又はチャンバ本体305を貫通して形成された排気チャネルを通して排気される材料を送り出すことが容易になる。ポンピングライナ435は、リッドプレート405の凹部415内に少なくとも部分的に受け入れられてよい。例えば、ポンピングライナ435は、凹部415の下側部分内に受け入れられてよく、リッドプレート405の第1の表面407は、ポンピングライナ435の半径方向外向きに配置され、アダプタプレート420及び/又はチャンバ本体305の上面と接触する。リッドプレート405の第1の表面407は、アダプタプレート420及び/又はチャンバ本体305の内面の半径方向外向きであってよい。
[0047] 面板440は、ポンピングライナ435上に載置されてよく、前駆体を処理領域422の中に供給するための面板440を貫通する複数の開孔を画定してよい。面板440は、関連付けられた処理領域422を上方から少なくとも部分的に画定してよい。面板440は、処理領域422を概して画定するために、ポンピングライナ435と持ち上げられた位置にある基板支持体310と少なくとも部分的に協働してよい。面板440は、処理領域422内に局所的なプラズマを生成するためのシステムの電極として動作してよく、したがって、幾つかの実施形態では、面板440が、電源に結合されてよく又は接地されてよい。幾つかの実施形態では、基板支持体310が、面板と基板支持体との間に容量結合プラズマを生成するためのコンパニオン電極(companion electrode)として動作してよい。面板440は、第1の表面442及び第1の表面442の反対側である第2の表面444によって特徴付けられてよい。第1の表面442は、処理領域422と対向してよい。第2の表面444は、面板440の厚みを通って少なくとも部分的に延在する凹部445を画定してよい。凹部445は、第1の部分及び第2の部分を有してよく、第1の部分は、第2の表面444の近傍にあり、第2の部分よりも大きい直径を有し、それによって、凹部445内に棚446を形成する。
[0048] ディフューザプレート450が、面板440上又は面板440内に載置されてよい。例えば、ディフューザプレート450は、凹部445の第1の部分内に適合するようにサイズ決定されてよく、ディフューザプレート450の周縁部は、棚446上に支持されている。ディフューザプレート450は、面板440にプロセスガス及び洗浄ガスを供給するディフューザプレート450を貫通する幾つかの開孔を画定してよい。ディフューザプレート450は、面板440の裏に背圧を構築する助けとなってよく、面板440上に及び面板440を通るより均一な流れを生成する助けとなってよい。
[0049] ヒータ455が、面板440上に載置されてよく、ヒータ455の下面が、ディフューザプレート450と接触してよい。ヒータ455は、AC電源に接続されたAC加熱コイルなどの、少なくとも1つの加熱要素458を含んでよい。加熱要素458は、ディフューザプレート450を加熱してよい。次いで、ディフューザプレート450が、面板440を加熱する。ヒータ455は、特定の堆積動作の必要性を満たすために、ディフューザプレート450及び面板440を様々な温度に加熱してよい。例えば、ヒータ455は、ディフューザプレート450及び面板440を、約250℃以上、約275℃以上、約300℃以上、約325℃以上、約350℃以上、約375℃以上、約400℃以上、又はそれより上の温度に加熱してよい。ヒータ455は、第1の部分及び第2の部分を含んでよく、第1の部分は、第2の部分よりも小さい直径を有する。例えば、第2の部分は、リッドプレート405の凹部415の上側セクション内に受け入れられてよく、一方、ヒータ455の第1の部分は、リッドプレート405の開孔410を貫通して延在してよい。間隙456が、ヒータ455の側面とリッドプレート405との間に形成されてよく、これは、ヒータ455の側面に沿ってパージガス源から面板440に向かって、パージガスが下向きに流れるためのチャネルを形成してよい。このパージガスは、面板440の上流のリッドスタック425の様々な構成要素上に任意の膜が堆積することを防止してよい。ヒータ455は、ヒータ455の厚みを通って延在する中央開孔458を画定してよい。中央開孔458は、ディフューザプレート450及び面板440と中心が同じであり及び/又はさもなければそれらと整列してよく、処理領域422への供給のために面板440に前駆体、プラズマ放出物、及び/又はパージガスを供給するガス供給チャネルの一部分として働いてよい。
[0050] 幾つかの出力マニホールド460が、リッドプレート405の上に載置されてよい。例えば、出力マニホールド460は、各開孔410の周りに配置されてよく、出力マニホールド460の中央開孔462は、ヒータ455の中央開孔458と整列している。中央開孔462は、処理領域420への供給のために面板440に前駆体、プラズマ放出物、及び/又はパージガスを供給するためのガス供給チャネルの更なる一部分を形成してよい。出力マニホールド460は、面板440にプロセスガス及び/又はパージガスを供給するために使用されてよい幾つかの他の開孔及び/又はチャネルを画定してよい。
[0051] 幾つかの実施形態では、出力マニホールド460が、3ピースマニホールドであってよい。例えば、固定されたマニホールドセクション465は、リッドプレート405の第2の表面409の上に載置されてよく、第2の表面409と結合されてよい。固定されたマニホールドセクション465は、リッドプレート405の開孔410を越えて半径方向に延在してよい。固定されたマニホールドセクション465の下面は、レベリングプレート470を受け入れる凹部を画定してよい。レベリングプレート470の下面は、アイソレータプレート475を受け入れる凹部を画定してよい。レベリングプレート470は、リッドプレート405の開孔410の半径方向外向きにリッドプレート405の第2の表面409に対して載置されてよい。アイソレータプレート475は、レベリングプレート470の下面に結合されてよく、リッドプレート405の開孔410の直径と実質的に一致する直径を有してよい。それによって、アイソレータプレート475は、アイソレータプレート475の下方から支持されない。レベリングプレート470は、1以上のレベリング機構477を含んでよい。1以上のレベリング機構477を使用して、レベリングプレート470及びアイソレータプレート475を、リッドプレート405及び/又はポンピングライナ435などのリッドスタック425の構成要素に対して、水平に及び/又は整列するようにできる。例えば、各レベリング機構477は、バネで付勢されたネジを含んでよい。バネで付勢されたネジは、締結されたときに、レベリングプレート470及びアイソレータプレート475の各々の一部分を、リッドプレート405に向けて下方へ引っ張り、緩められたときに、レベリングプレート470及びアイソレータプレート475の各々の一部分を、リッドプレート405から上方へ離れるように押す。リッドプレート405の開孔410の周縁の周りに配置された幾つかのレベリング機構477を設けることによって、レベリングプレート470及びアイソレータプレート475は、精密に水平化されてよい。
[0052] アイソレータプレート475は、冷却チャネル476を画定してよい。冷却チャネル476は、冷却流体がアイソレータプレート475の周りで流れることを可能にしてよい。それにより、更なる温度制御が可能になってよい。図示されているように、冷却チャネル476は、アイソレータプレート475の上面内で画定されてよく、レベリングプレート470は、冷却チャネル476の周りで延在してよく、気密密封を生成してよい。冷却チャネル476は、環形状を有してよく、中央開孔462の周りで延在してよい。幾つかの実施形態では、冷却チャネル476が、中央開孔462と同心であってよい。
[0053] 上述されたように、出力マニホールド460は、幾つかの開孔を画定してよい。これらの開孔は、3ピースマニホールドのピースの各々を通って延在する。例えば、中央開口462は、固定されたマニホールドセクション465、レベリングプレート470、及びアイソレータプレート475の各々を貫通して延在してよい。更なる開孔が、ピースの各々を通して形成されてよい。例えば、加熱要素458用のAC電源が出力マニホールド460を貫通して延在することを可能にする開孔478が画定されてよい。更に、出力マニホールド460の各ピースは、パージ開孔480を画定してよい。パージ開孔480の上端部は、パージガス源と結合されてよい。パージ開孔480の下端部は、パージガス源から下向きに面板440までパージガスを誘導するために、間隙456と流体結合されてよい。幾つかの実施形態では、開孔480が、パージガス用のチョークとして働く狭い部分を含んでよい。それは、ヒータ455の側面の周りで間隙456内により均一なパージガス流を提供してよい。例えば、アイソレータプレート475内の開孔480の一部分は、間隙456に到達する前に、より大きい下流のセクションに拡大する、アイソレータプレート475内の狭いチョークポイントを画定してよい。
[0054] 幾つかの実施形態では、遠隔プラズマユニット485が、任意選択的に、チャンバシステム300内に含まれてよく、リッドプレート405及び/又は出力マニホールド460上に支持されてよい。幾つかの実施形態では、遠隔プラズマユニット485が、各出力マニホールド460の中央開孔462と流体結合されてよい。例えば、幾つかの流体ライン490が、遠隔プラズマユニット485から延在してよく、各出力マニホールド460の中央開孔462と結合されてよく、遠隔プラズマユニット485を出力マニホールド460に流体結合する。遠隔プラズマユニット485は、膜堆積、チャンバ洗浄、及び/又は他の処理動作のために、前駆体、プラズマ放出物、及び/又はパージガスを提供してよい。例えば、面板440を介した処理領域422の中への供給のために、ガスが、流体ライン490並びに出力マニホールド460及びヒータ455の中央開孔を通して供給されてよい。遮断弁495が、各個別の処理領域422への流体制御を提供するために、各流体ラインに沿って含まれてよい。
[0055] Oリング又はガスケットが、リッドスタック425の各構成要素間で密封されてよい。これは、幾つかの実施形態において、チャンバシステム300内の減圧処理を容易にしてよい。リッドプレート405とチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420との間の特定の構成要素カップリングが、任意の数のやり方で行われてよい。これは、システム構成要素へのアクセスを容易にしてよい。例えば、第1の組のカップリングが、リッドプレート405とチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420との間に組み込まれてよい。これは、リッドプレート405と各リッドスタック425の両方の除去を容易にしてよい。これは、チャンバシステムの移送領域内の基板支持体又は移送装置へのアクセスを提供してよい。これらのカップリングは、2つのリッドプレートの間で延在する任意の数の物理的且つ除去可能なカップリングを含んでよい。これは、それらが、全体としてチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420から分離されることを可能にしてよい。例えば、チャンバシステム300を包含するメインフレーム上の駆動モータが、リッドプレート405と着脱可能に結合されてよい。これは、構成要素をチャンバ本体305から離れるように持ち上げてよい。
[0056] リッドプレート405とチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420との間のカップリングが係合解除されたときに、リッドプレート405は除去されてよい。これは、リッドスタック425の1以上の構成要素へのアクセスを容易にしてよい。リッドスタック425内のブレークが、前述された任意の2つの構成要素間で生じてよい。それらのうちの幾つかは、リッドプレート405と結合していてよい。それらのうちの幾つかは、チャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420と結合していてよい。機械的なカップリングが含まれてよいが、構成要素は、分離されて、チャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420上で浮いた状態にあってもよい。例えば、位置特定フィーチャが、構成要素の適正な位置合わせを維持する。その実施例は、非限定的であることを意図し、リッドプレート405がチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420から分離されたときの、リッドスタック425の任意の2つの構成要素間の任意の数のブレーク構成の例示であることを理解されたい。その結果、リッドプレートとチャンバ本体305及び/又はアダプタプレート420との間のカップリングに応じて、リッドスタック及びリッドプレートの全体が取り外されてよく、移送領域へのアクセスを提供するか、又はリッドプレートが取り外されてよく、リッドスタック構成要素へのアクセスを提供する。
[0057] 本技術は、移送領域と結合された複数の処理領域を提供する、チャンバシステム内に分散された複数の基板支持体を受け入れてよい、基板処理システムを含む。更に、本技術の幾つかの実施形態は、各処理領域のリッドスタック構成要素へのアクセスを提供してよい、2つのリッドの共同除去又は第2のリッドプレートの別個の除去を提供する、二重リッド構成を組み込む。
[0058] 前述の記載では、説明を目的として、本技術の様々な実施形態の理解を促すために、数々の詳細が提示されている。しかし、当業者には、これらの詳細のうちの一部がなくても、或いは、追加の詳細があれば、特定の実施形態を実施することができることは明らかであろう。
[0059] 幾つかの実施形態を開示したが、当業者は、実施形態の精神から逸脱することなく、様々な修正例、代替構造物、及び均等物を使用できることを認識されよう。更に、幾つかの周知の処理及び要素は、本技術を不必要に不明瞭にすることを避けるために説明されていない。したがって、上記の説明は、本技術の範囲を限定するものと解釈すべきでない。更に、方法又は処理は、連続的又は段階的に説明され得るが、工程は、同時に行われてもよく、又は、記載よりも異なる順序で行われてもよいことを理解するべきである。
[0060] 値の範囲が提供されている場合、文脈上そうでないと明示されていない限り、当然ながら、その範囲の上限値と下限値との間の各介在値は、下限値の最も小さい単位まで具体的に開示されている。記載された範囲の任意の記載値又は記載されていない介在値の間の任意の小さい範囲、そしてその記載範囲のその他の任意の記載された値又は介在する値も含まれる。これら小さい範囲の上限及び下限は、その範囲に個々に含まれ、又はその範囲から除外される場合があり、小さい範囲に限界値の何れかが含まれる、どちらも含まれない、又は両方が含まれる各範囲もまた、記載された範囲における明確に除外される任意の限界値を条件として、この技術範囲に包含される。記載された範囲が、限界値の片方又は両方を含む場合、これらの含められた限界値のいずれか又は両方を除外する範囲も含まれる。
[0061] 本明細書及び特許請求の範囲で使用される単数形「a」、「an」、及び「the」は、文脈が他のことを明らかに示していない限り、複数の参照対象を含む。したがって、例えば、「基板」への言及は、複数のそのような基板を含み、「アーム」への言及は、当業者に知られている1以上のアーム及びその均等物などへの言及を含む。
[0062] また、「備える(comprise(s))」、「備えている(comprising)」、「含有する(contain(s))」、「含有している(containing)」、「含む(include(s))」、及び「含んでいる(including)」という用語は、本明細書及び特許請求の範囲で使用された場合、記載された特徴、整数、構成要素、又はステップの存在を特定することを意図しているが、1以上のその他の特徴、整数、構成要素、工程、動作、又は群の存在若しくは追加を除外するものではない。
Claims (20)
- 基板処理システムであって、
移送領域を画定するチャンバ本体、
リッドプレートの第1の表面に沿って前記チャンバ本体上に載置されたリッドプレートであって、
前記リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定し、
前記リッドプレートの前記第1の表面内の前記複数の開孔の各開孔の周りに凹部を更に画定し、各凹部は、前記リッドプレートの厚みを部分的に通って延在する、リッドプレート、及び
前記複数の開孔のうちの開孔の数に等しい複数のリッドスタックであって、
各凹部は、前記複数のリッドスタックのうちの前記リッドスタックの1つの少なくとも一部分を受け入れ、
前記移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定する複数のリッドスタックを備える、基板処理システム。 - 前記移送領域の周りに配置された複数の基板支持体を更に備え、前記複数の基板支持体の各基板支持体は、前記基板支持体の中心軸に沿って鉛直方向に、第1の位置と第2の位置との間で平行移動可能である、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記複数の基板支持体の各基板支持体は、前記複数のリッドスタックのうちの1つのリッドスタックと整列している、請求項2に記載の基板処理システム。
- 前記複数の処理領域の各処理領域は、前記移送領域と流体結合され、前記複数の処理領域の各他の処理領域から上方から流体隔離されている、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記移送領域は、中心軸の周りで回転可能な移送装置であって、前記移送領域内で、基板と係合し複数の基板支持体の間で基板を移送するように構成された移送装置を備える、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記複数のリッドスタックの各リッドスタックは、前記チャンバ本体の上に沿って配置された排気プレナムを画定するポンピングライナを備える、請求項1に記載の基板処理システム。
- 各リッドスタックは、面板であって、前記ポンピングライナ上に載置され、関連付けられた処理領域を上方から少なくとも部分的に画定する面板を更に備える、請求項6に記載の基板処理システム。
- 各リッドスタックは、前記面板上に載置されたヒータを更に備える、請求項7に記載の基板処理システム。
- 各リッドスタックは、前記面板によって画定された中央凹部内に載置されたディフューザプレートを更に備える、請求項7に記載の基板処理システム。
- 前記チャンバ本体上に載置されたアダプタプレートを更に備える、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記リッドプレート上に載置された出力マニホールドを更に備える、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記出力マニホールドによって画定された開孔と流体結合された遠隔プラズマユニットを更に備える、請求項11に記載の基板処理システム。
- 基板処理システムであって、
移送領域を画定するチャンバ本体、
前記チャンバ本体内の前記移送領域の周りに分散された複数の基板支持体、
前記チャンバ本体上に載置されたリッドプレートであって、
前記複数の基板支持体のうちの基板支持体の数と等しい、前記リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定し、
前記リッドプレートの第1の表面内の前記複数の開孔の各開孔の周りに凹部を更に画定し、各凹部は、前記リッドプレートの厚みを部分的に通って延在し、
前記複数の開孔の各開孔は、前記複数の基板支持体のうちの1つの基板支持体と軸方向に整列し、
前記複数の開孔の各開孔は、前記複数の基板支持体のうちの関連付けられた1つの基板支持体の直径よりも大きい直径によって特徴付けられている、リッドプレート、及び
前記複数の開孔のうちの開孔の数に等しい複数のリッドスタックであって、前記複数のリッドスタックの各リッドスタックは、前記リッドプレートの前記凹部のうちの1つの範囲内に少なくとも部分的に受け入れられている、複数のリッドスタックを備える、基板処理システム。 - 前記複数のリッドスタックは、前記移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定する、請求項13に記載の基板処理システム。
- 各リッドスタックは、前記複数の処理領域のうちの関連付けられた1つの処理領域を上方から少なくとも部分的に画定する面板を備える、請求項14に記載の基板処理システム。
- 各面板は、面板凹部を画定し、
各リッドスタックは、前記面板凹部内に載置されたディフューザプレートを更に備える、請求項15に記載の基板処理システム。 - 各リッドスタックは、前記面板上に載置されたヒータを更に備える、請求項15に記載の基板処理システム。
- 各リッドスタックは、排気プレナムを画定するポンピングライナを更に備え、前記ポンピングライナは、前記チャンバ本体の上に配置されている、請求項13に記載の基板処理システム。
- 前記移送領域内に配置され、中心軸の周りで回転可能な移送装置を更に備え、前記移送装置は、前記移送領域内で、基板と係合し前記複数の基板支持体の間で基板を移送するように構成されている、請求項18に記載の基板処理システム。
- 基板処理システムであって、
移送領域を画定するチャンバ本体、
前記チャンバ本体上に載置されたアダプタプレート、
リッドプレートの第1の表面に沿って前記アダプタプレート上に載置されたリッドプレートであって、前記リッドプレートを貫通する複数の開孔を画定するリッドプレート、及び
複数の面板であって、前記複数の面板の各面板は前記アダプタプレートの上に配置され、前記移送領域から鉛直方向にオフセットされた複数の処理領域を少なくとも部分的に画定する複数の面板を備える、基板処理システム。
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