JP2023533412A - 切断刃及び脱毛装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は、第1の面(2)と、第1の面に対向し、且つ第1の面とは異なる第2の面(3)と、刃先とを含む、非対称断面形状を有する切断刃(1)に関し、ここで、第1の面は、表面を含み、第2の面は、第1の斜面(5)、第2の斜面(6)及び第3の斜面(7)を含み、第1のくさび角度(θ1)は、第1の面の表面と第1の斜面との間にあり、第2のくさび角度(θ2)は、第1の面の表面と第2の斜面との間にあり、第3のくさび角度(θ3)は、第1の面の表面と第3の斜面との間にある。更に、本発明は、この切断刃を含む脱毛装置に関する。

Description

本発明は、第1の面と、第1の面に対向し、且つ第1の面とは異なる第2の面と、刃先とを含む、非対称断面形状を有する切断刃に関し、ここで、第1の面は、表面を含み、第2の面は、第1の斜面、第2の斜面及び第3の斜面を含み、第1のくさび角度θは、第1の面の表面と第1の斜面との間にあり、第2のくさび角度θは、第1の面の表面と第2の斜面との間にあり、第3のくさび角度θは、第1の面の表面と第3の斜面との間にある。更に、本発明は、この切断刃を含む脱毛装置に関する。
本出願において以下の定義が使用される。
・すくい面は、切断刃の表面であり、切断プロセスで除去される切断毛がその上を滑る。
・クリアランス面は、皮膚の上を通過する切断工具の表面であり、クリアランス面と皮膚への接触面との間の角度はクリアランス角度αである。
・切断刃の切断斜面は、すくい面とクリアランス面で囲まれ、斜面角度θで表される。
・刃先はすくい面とクリアランス面の交差線である。
切断刃、特にカミソリ刃は、通常、ステンレス鋼のような適切な基板材料から作られ、その中には対称的な楔形の刃先が形成されている。
カミソリ刃に関しては、刃の切れ味と機械的強度、ひいては刃先の耐久性との間の最良の妥協点を見つけるために、切断刃の設計を最適化する必要がある。従来のステンレス鋼カミソリ刃の製造では、鋼基板の硬化処理を行ってから、通常は硬化した鋼基板を研削することによって刃を両側から研ぎ、対称的な刃先を形成する。
刃の機械的特性を最適化するために、研いだ後に鋼刃に更なるコーティングを施すことができる。ダイヤモンド、アモルファス ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン (DLC)、窒化物、炭化物、又は酸化物などの硬質コーティング材料は、刃先の機械的強度を向上させるのに適している。
したがって、刃先材料が硬いほど、刃持性が長くなり、結果として摩耗が少なくなることが期待される。耐食性を向上させ、又は刃の摩擦を低減させるために、他のコーティングを施すことができる。
従来技術におけるほとんどの刃は、対称的な刃体を有する刃を中心としている。しかしながら、非対称な刃を有する刃が教示されるいくつかのアプローチが存在する。
米国特許第3,606,682号には、切断しやすさと剃り心地が改善されたカミソリ刃が記載されている。この刃は、刃先に隣接する凹部を有し、この凹部は、剃り心地を向上させる。この効果は、対称及び非対称な刃体で示されている。
米国特許第3,292,478号には、織物、皮革、及び類似のシート材料用の抜き型ナイフが記載されており、このナイフは、両側に適切に傾斜した表面を有し、その結果、刃先は側面間の中央に位置せず、ナイフは非対称形状を有する。
米国特許第3,514,856号は、証明された切断しやすさ及び剃り心地から、刃先及びそれに直接隣接する有効な凹部からの変換面の規定された角度及び寸法限界を有するカミソリ刃構造に言及している。
物体を切断するのに必要な力を低減することが引き続き望まれており、これは、必要なエネルギーが少なくなり、刃先の摩耗が少なくなるためである。ひげ剃りの状況で、より低い力で毛を切断すると、毛を引っ張ることが少なくなり、したがって不快感が少なくなる。
切断力の低減は、楔形切断工具の角度を小さくすることによって達成される。しかし、エッジを鋭くすると壊れやすくなり、硬質コーティングが施されているにもかかわらず、従来の鋼製カミソリ刃の耐久性は、現在でもまだ限られている。
米国特許第3,606,682号 米国特許第3,292,478号 米国特許第3,514,856号
したがって、本発明は、従来技術における前述の欠点に対処し、切断プロセス中の高い快適性、即ち低い切断力、及び高い耐久性、即ち刃の脆弱性の低下を同時に可能にする設計を有する切断刃を提供する。
この問題は、請求項1の特徴を有する切断刃及び請求項16の特徴を有する脱毛装置によって解決される。更なる従属請求項は、そのような刃の好ましい実施形態を定義する。
特許請求の範囲及び本出願の説明における「含む(comprising)」という用語は、更なる構成要素が除外されないという意味を有する。本発明の範囲内で、「からなる(consisting of)」という用語は、「含む(comprising)」という用語の好ましい実施形態として理解されるべきである。ある群が少なくとも特定の数の構成要素を「含む」と定義される場合、これもまた、好ましくはこれらの構成要素「からなる」群が開示されるように理解されるべきである。
以下では、断面図という用語は、刃先に垂直(刃先が直線である場合)又は刃先の接線に垂直(刃先が湾曲している場合)であり、且つ切断要素の基板の表面に垂直な切断要素を通るスライスの図を指す。
交差線という用語は、(図1のような)斜視図に関する異なる斜面間の(図3のような断面図による)交点の直線延長として理解する必要がある。一例として、直線斜面が直線斜面に隣接している場合、断面図の交点は、斜視図の交差線まで延長される。
本発明によれば、第1の面と、第1の面に対向し、且つ第1の面とは異なる第2の面と、刃先とを有する切断刃が提供され、ここで、
・第1の面は、第1の表面を含み、
・第2の面は、第1の斜面、第2の斜面及び第3の斜面を含み、
・第1の斜面は、刃先から第2の斜面まで延在し、
・第2の斜面は、第1の斜面から第3の斜面まで延在し、
・第1の交差線は、第1の斜面と第2の斜面とを接続し、
・第2の交差線は、第2の斜面と第3の斜面とを接続し、
・第1のくさび角度θは、第1の表面と第1の斜面との間にあり、
・第2のくさび角度θは、第1の表面と第2の斜面との間にあり、
・第3のくさび角度θは、第1の表面と第3の斜面との間にあり、
・第1の斜面は、第1の表面(9)に投影された寸法及び/又は刃先(4)から第1の交差線(10)までの第1の表面の仮想延長(9’)である長さdを有し、この長さが0.1~7μmであり、
・第1の表面に投影された刃先から第2の交差線までの寸法である長さdは、1~75μmである。
驚くべきことに、くさび角度が次の条件を満たしている場合、非常に優れた切断性能とともに非常に安定した刃先を有する切断刃を提供できることがわかった。
θ>θ且つθ<θである。
本発明による切断刃は、低いくさび角度を有する薄い第2の斜面により、低い切断力を有する。
本発明による切断刃は、第2のくさび角度より大きい第1のくさび角度を有する第1の斜面を追加することによって強化される。したがって、第1のくさび角度θを有する第1の斜面は、切断操作による損傷に対して刃先を機械的に安定させる機能を有し、これにより、刃の切断性能に影響を与えることなく、第2の斜面の領域で刃体をスリムにすることができる。
本発明による切断刃は、薄い第2の斜面の長さを切断対象物の厚さの数分の1に短縮し、切断対象物を貫通する第2のくさびを使用して切断刃の切断力を低減することを可能にすることによって、更に機械的に強力である。したがって、第2のくさび角度θを有する第2の斜面は、切断対象物を貫通する機能を有する。くさび角度θを有する第1の斜面を使用して刃先を安定させることにより、第2のくさび角度θを小さくすることができる。
本発明による切断刃は、第2のくさび角度より大きい第3のくさび角度を有する厚くて頑丈な第3の斜面を追加し、この第3の斜面を使用して切断対象物を分割し、したがって薄い第2の斜面に作用する力を低減することによって更に強化される。この機能のために、第3のくさび角度θは、第2のくさび角度θよりも大きくなければならない。第3のくさび角度θ3は、分割角度、即ち切断対象物を分割するのに必要な角度を表す。この機能のために、第3のくさび角度θは、第2のくさび角度θよりも大きくなければならない。
好ましい実施形態によれば、切断刃は非対称断面形状を有する。非対称断面形状とは、第2のくさび角度θの二等分線であり、且つ刃先に固定された軸に対して対称であることを指す。
本発明の好ましい実施形態では、第1及び第2の斜面は、それらの機械的強度を更に高めるために硬質コーティング材料内に形成され、第3の斜面は基板材料から形成される。このような非対称な刃先は、第2の面と毛との間の接触面積の減少により、斜面側(円錐形)での摩擦を低下させる可能性がある。
第1の好ましい実施形態によれば、第1のくさび角度θは、5°~75°、好ましくは10°~60°、より好ましくは15°~46°、更に好ましくは20°~45°であり、及び/又は第2のくさび角度θは、-5°~40°、好ましくは0°~30°、より好ましくは5°~25°であり、更に好ましくは10°~15°であり、及び/又は第3のくさび角度θは、1°~60°、好ましくは10°~55°、より好ましくは19°~46°であり、最も好ましくは45°である。
更に好ましい実施形態によれば、第1の斜面は、第1の表面に投影された寸法及び/又は刃先から第1の交差線までの第1の表面の仮想延長である長さdを有し、この長さは0.5~5μm、好ましくは1~3μmである。長さd<0.1μmは製造が困難であり、これは、そのような長さのエッジが非常に脆弱であり、切断刃を安定して使用できないためである。驚くべきことに、第1の斜面は、第2の斜面及び第3の斜面と共に刃体を安定させ、これにより、低い切断力を提供する第2の斜面の領域で刃をスリムにすることができることがわかった。一方、長さdが7μm以下であれば、第1の斜面は切断性能に影響を与えない。
好ましくは、第1の表面に投影された寸法及び/又は刃先から第2の交差線までの第1の表面の仮想延長である長さdは、5~100μm、より好ましくは10~75μm、更に好ましくは15~50μmである。長さdは、切断対象物への切断刃の侵入深さに相当する。一般に、dは、切断対象物の直径の少なくとも30%に相当し、即ち対象物が通常約100μmの直径を有する人間の髪の毛である場合、長さdは約30μmである。
切断刃は、好ましくは、第1の材料及び第1の材料に接合された第2の材料を含むか又はそれらからなる刃体によって画定される。第2の材料は、少なくとも第1の材料の領域にコーティングとして堆積することができ、即ち、第2の材料は、第1の材料の被覆コーティング、又は第1の面上の第1の材料上に堆積されたコーティングであってもよい。
第1の材料の材料は、一般に、この材料を面取りすることが可能である限り、特定の材料に限定されない。
しかしながら、代替的な実施形態によれば、刃体は、第1の材料、即ちコーティングされていない第1の材料のみを含むか、又はそれのみからなる。この場合、第1の材料は、好ましくは、等方性構造を有する材料、即ち、すべての方向で同一の特性値を有する材料である。このような等方性材料は、多くの場合、成形技術とは関係なく、成形により適している。
第1の材料は、好ましくは、
・金属、好ましくはチタン、ニッケル、クロム、ニオブ、タングステン、タンタル、モリブデン、バナジウム、白金、ゲルマニウム、鉄、及びこれらの合金、特に鋼、
・炭素、窒素、ホウ素、酸素又はそれらの組み合わせからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含むセラミック、好ましくは炭化ケイ素、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化タンタル、AlTiN、TiCN、TiAlSiN、TiN、及び/又はTiB
・ガラスセラミック、好ましくはアルミニウム含有ガラスセラミック、
・ 金属マトリックス内のセラミック材料で作られた複合材料(サーメット)、
・硬質金属、好ましくは、コバルト又はニッケルと結合した炭化タングステン又は炭化チタンなどの焼結炭化物硬質金属、
・シリコン又はゲルマニウム、好ましくは第2の面に平行な結晶面、及びウェハ配向<100>、<110>、<111>又は<211>を有するもの、
・単結晶材料、
・ガラス又はサファイア、
・多結晶又はアモルファスシリコン又はゲルマニウム、
・単結晶又は多結晶ダイヤモンド、ナノ結晶及び/又は超ナノ結晶ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、アダマンティンカーボン、及び
・それらの組み合わせからなる群から選択される材料を含むか、又はそれらからなる。
第1の材料に使用される鋼は、好ましくは、1095、12C27、14C28N、154CM、3Crl3MoV、4034、40X10C2M、4116、420、440A、440B、440C、5160、5Crl5MoV、8Crl3MoV、95X18、9Crl8MoV、Acuto+、ATS-34、AUS-4、AUS-6(=6A)、AUS-8(=8A)、C75、CPM-10V、CPM-3V、CPM-D2、CPM-M4、CPM-S-30V、CPM-S-35VN、CPM-S-60V、CPM-154、Cronidur-30、CTS 204 P、CTS 20CP、CTS 40CP、CTS B52、CTS B75P、CTS BD-1、CTS BD-30P、CTS XHP、D2、Elmax、GIN-1、HI、N690、N695、Niolox(1.4153)、Nitro-B、S70、SGPS、SK-5、Sleipner、T6M0V、VG-10、VG-2、X-15T.N.、X50CrMoV15、ZDP-189からなる群から選択される。
第2の材料は、
・酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、好ましくは窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化チタン、窒化チタン炭素、窒化チタンアルミニウム、立方晶窒化ホウ素、
・ホウ素アルミニウムマグネシウム、
・炭素、好ましくはダイヤモンド、多結晶ダイヤモンド、ナノ結晶ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン(diamond like carbon、DLC)、及び
・それらの組み合わせからなる群から選択される材料を含むか、又はそれらからなることが好ましい。
第2の材料は、好ましくは、TiB、AlTiN、TiAlN、TiAlSiN、TiSiN、CrAl、CrAlN、AlCrN、CrN、TiN、TiCN、及びそれらの組み合わせからなる群から選択されてもよい。
更に、VDIガイドライン2840で引用されているすべての材料を第2の材料として選択することができる。
ナノ結晶ダイヤモンドの第2の材料及び/又はナノ結晶及び多結晶ダイヤモンドの多層を第2の材料として使用することが特に好ましい。単結晶ダイヤモンドに対して、ナノ結晶ダイヤモンドの製造は、単結晶ダイヤモンドの製造と比較して、実質的により簡単且つ経済的に達成できることが示されている。更に、粒径分布に関しては、ナノ結晶ダイヤモンド層は多結晶ダイヤモンド層よりも均質であり、材料の固有応力も小さい。その結果、刃先の巨視的な変形が発生する可能性は低くなる。
第2の材料は、0.15~20μm、好ましくは2~15μm、より好ましくは3~12μmの厚さを有することが好ましい。
第2の材料は、1200GPa未満、好ましくは900GPa未満、より好ましくは750GPa未満、更に好ましくは500GPa未満の弾性率(ヤング率)を有することが好ましい。弾性率が低いため、硬質コーティングはより柔軟でより弾力性があり、切断対象の物体又は輪郭によりよく適合する可能性がある。ヤング率は、Markus Mohr et al.,「Youngs modulus,fracture strength,and Poisson’s ratio of nanocrystal line diamond films」,J.Appl.Phys.116,124308 (2014)、特に段落III.B.Static measurement of Young’s modulusに開示されている方法に従って決定される。
第2の材料は、好ましくは少なくとも1GPa、より好ましくは少なくとも2.5GPa、更に好ましくは少なくとも5GPaの横破断応力σを有する。
横破断応力σの定義に関しては、以下の参考文献を参照する:
・R.Morrell et al.,Int.Journal of Refractory Metals&Hard Materials,28(2010),p.508-515;
・R.Danzer et al.「Technische keramische Werkstoffe」,J.Kriegesmann,HvB Press発行,Ellerau,ISBN 978-3-938595-00-8,章6.2.3.1「Der 4-Kugelversuch zur Ermittlung der biaxialen Biegefestigkeit sproder Werkstoffe」。
したがって、横破断応力σは、例えば、上記の文献の詳細に従って、B3B負荷試験などの破断試験の統計的評価によって決定される。したがって、これは、破断確率が63%になる破断応力として定義される。
第2の材料の非常に高い横破断応力により、硬質コーティング、特に刃先からの個々の微結晶の分離はほぼ完全に抑制される。したがって、長期間使用しても切断刃は本来の切れ味を維持する。
第2の材料は、少なくとも20GPaの硬度を有することが好ましい。硬度は、ナノインデンテーションによって決定される(Yeon-Gil Jung et.al.,J.Mater.Res.,Vol.19,No.10,p.3076)。
第2の材料は、好ましくは100nm未満、より好ましくは50nm未満、更に好ましくは20nm未満の表面粗さRRMSを有し、この表面粗さは、以下に従って計算される。
Figure 2023533412000002
A=評価エリア
Z(x,y)=局所粗さ分布
表面粗さRRMSは、DIN EN ISO 25178に従って決定される。上述の表面粗さは、成長した第2の材料の追加の機械的研磨を不要にする。
好ましい実施形態では、第2の材料は、1~100nm、好ましくは5~90nm、より好ましくは7~30nm、更に好ましくは10~20nmのナノ結晶ダイヤモンドの平均粒径d50を有する。平均粒径d50は、第2の材料の50%がより小さな粒子で構成される直径である。平均粒径d50は、X線回折又は透過型電子顕微鏡及び粒子の計数を用いて決定することができる。
第1の材料及び/又は第2の材料は、少なくとも領域において、好ましくはフルオロポリマー(PTFEなど)、パリレン、ポリビニルピロリドン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、グラファイト、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)及びそれらの組み合わせからなる群から選択される低摩擦材料でコーティングされることが好ましい。
第1の斜面と第2の斜面とを接続する交差線は、好ましくは、第2の材料内に成形される。
第2の斜面と第3の斜面との交差線は、第1の材料と第2の材料との境界面に配置されることが更に好ましく、これにより、製造プロセスが取り扱いやすくなり、より経済的になり、例えば、図7のプロセスに従って刃を製造することができる。
刃先は、理想的には、刃の安定性を向上させる円形形状を有する。刃先は、例えば図8に示される方法を使用して断面SEMによって測定した場合、好ましくは200nm未満、より好ましくは100nm未満、更に好ましくは50nm未満の先端半径を有する。
刃先の先端半径rは、硬質コーティングの平均粒径d50と相関することが好ましい。ここで、刃先における第2の材料の丸められた半径rとナノ結晶ダイヤモンド硬質コーティングの平均粒径d50との比r/d50が0.03~20、好ましくは0.05~15、特に好ましくは0.5~10であれば有利である。
第1の面は、好ましくは、刃先から第1の表面まで延在する第4の斜面を更に含む。第1の面がクリアランス面に対応する場合、この第4の斜面は、切断の快適性、即ち剃り心地を向上させる。
好ましい実施形態では、第1の面はクリアランス面に対応し、第2の面は切断刃のすくい面に対応する。ただし、第1の面をすくい面として、第2の面をクリアランス面として使用することも可能である。
特に、切断刃は、ナイフ刃、カミソリ刃、外科用メス、ナイフ、スリットカッティング、バーストカッティング及びクラッシュカッティングシステムにおけるマシンナイフ、はさみ又はシャアカッティングシステムとして構成することができ、又はそのようなものとして使用することができる。同様に、切断刃をシェービングシステムとして、即ち複数のカミソリ刃を有するヘッドとして構成することができ、又はそのようなものとして使用することができる。したがって、すべてのカミソリ刃は、本発明による切断刃として構成される。
したがって、本発明によれば、上記の切断刃を含む脱毛装置も提供される。
本発明は、本発明による特定の実施形態を示す以下の図によって更に説明される。しかしながら、これらの特定の実施形態は、明細書の一般的な部分における特許請求の範囲に記載されているように、本発明に関していかなる限定的な方法でも解釈されるべきではない。
本発明による第1の切断刃の斜視図である。 図1による切断刃の断面図である。 本発明による更なる切断刃の断面図である。 第2の材料を有する、本発明による更なる切断刃の断面図である。 第1の面に追加の斜面を有する、本発明による更なる切断刃の断面図である。 湾曲したセグメントからなる非直線刃先を有する、本発明による更なる切断刃の斜視図である。 切断刃の製造プロセスのフローチャートである。 先端半径の決定を示す丸い先端の概略断面図である。 本発明による切断刃の顕微鏡画像である。
本出願の図において以下の参照符号が使用される。
参照符号リスト
1 刃
2 第1の面
3 第2の面
4 刃先
5 第1の斜面
6 第2の斜面
7 第3の斜面
9 第1の表面
9’ 第1の表面の仮想延長
10 第1の交差線
11 第2の交差線
15 刃体
18 第1の材料
19 第2の材料
20 境界面
60 二等分線
61 垂線
62 円
65 構築点
66 構築点
67 構築点
260 二等分線
図1は、本発明による切断刃の斜視図である。この切断刃1は、第1の面2と、第1の面2に対向する第2の面3とを含む刃体15を有する。第1の面2と第2の面3との交点に、刃先4が配置されている。刃先4は、直線状又は略直線状に形成されている。第1の面2は平坦な第1の表面9を含み、第2の面3は異なる斜面にセグメント化されている。第2の面3は、第1の斜面5、第2の斜面6、及び第3の斜面7を含む。第1の斜面5は、第1の交差線10を介して第2の斜面6に接続され、第2の斜面6は、他方の端で、第2の交差線11を介して第3の斜面7に接続されている。図2には、図1の切断刃の断面図が示されている。
図3には、本発明による切断刃の更なる断面図が示されている。この切断刃1は、第1の面2と、第1の面2に対向する第2の面3とを含む刃体を有する。第1の面2と第2の面3との交点に、刃先4が配置されている。第1の面2は平坦な第1の表面9を含み、第2の面3は異なる斜面にセグメント化されている。切断刃1の第2の面3は、第1の斜面5を有し、第1のくさび角度θは第1の表面9と第1の斜面5との間にある。第2の斜面6は、第1の表面9と第2の斜面6との間に第2のくさび角度θを有し、第2のくさび角度θの二等分線260が刃先4に固定されている。θはθよりも小さい。第3の斜面7は、θよりも大きい第3のくさび角度θを有する。第1の斜面5は、第1の表面9に投影された寸法である長さdを有し、この長さは0.5~5μmである。第1の斜面5及び第2の斜面6は合わせて、第1の表面9に投影された寸法である長さdを有し、この長さは1~150μm、好ましくは5~100μmである。
図4には、本発明の切断刃の更なる断面図が示されており、ここで刃体15は、第1の材料18、例えばシリコンを含み、第2の材料19、例えば第1の材料18上のダイヤモンド層が第1の面2にある。第1の斜面5及び第2の斜面6は第2の材料19内に位置し、第3の斜面7は第1の材料18内に位置する。第1の材料18及び第2の材料19は、境界面20に沿って接合されている。
図5は、第1の面2及び第2の面3を有する切断刃1の本発明による実施形態を示す。第2の面3は、第1の斜面5、第2の斜面6、及び第3の斜面7を有する。表面9と刃先4との間の第1の面2には、更に第4の斜面8が配置されている。第4の斜面8と表面9との間の角度はθである。第1の斜面5と表面9との間のくさび角度θは、第2の斜面6と表面9との間のくさび角度θよりも小さい。更に、第3の斜面7と表面9との間のくさび角度θは、θよりも大きい。
図6には、本発明による更なる切断刃の斜視図が示されている。この切断刃1は、第1の面2と、第1の面2に対向する第2の面3とを含む刃体15を有する。刃先4は、第1の面2と第2の面3との交点に位置し、直線状ではなく湾曲したセグメントからなる形状である。第1の面2は平面9を含み、第2の面3は、第1の斜面5、第2の斜面6、及び第3の斜面7にセグメント化されている。第1の斜面5は、交差線10を介して第2の斜面6に接続され、第2の斜面6は、他方の端で、交差線11を介して第3の斜面7に接続されている。交差線10及び11は、刃先4の形状に従い、したがって、直線状ではなく、同様に湾曲したセグメントからなる形状である。
図7には、本発明のプロセスのフローチャートが示されている。第1の工程1において、PE-CVD又は熱処理(低圧CVD)によって、シリコンウェハ101をシリコンの保護層としての窒化シリコン(Si)層102でコーティングする。層の厚さ及び堆積手順は、後続のエッチング工程に耐えるのに十分な化学的安定性を確保するために慎重に選択する必要がある。工程2において、フォトレジスト103をSi被覆基板上に堆積させ、続いてフォトリソグラフィによってパターン化する。次に、パターン化されたフォトレジストをマスクとして使用して、(Si)層を、例えばCFプラズマ反応性イオンエッチング(reactive ion etching、RIE)によって構造化する。パターン化した後、工程3において、フォトレジスト103を有機溶剤によって剥離する。残りのパターン化されたSi層102は、例えば、KOH中での異方性湿式化学エッチングによるシリコンウェハ101の後続の事前構造化工程4用のマスクとして機能する。エッチングプロセスは、第2の面3上の構造が所定の深さに達し、連続したシリコンの第1の面2が残るときに終了する。他の湿式化学及び乾式化学プロセス、例えば、HF/HNO溶液中での等方性湿式化学エッチング又はフッ素含有プラズマの適用が適している場合がある。後続の工程5において、例えばフッ化水素酸(hydrofluoric acid、HF)又はフッ素プラズマ処理により残りのSiを除去する。工程6において、事前に構造化されたSi基板を、約10μmの薄いダイヤモンド層104、例えばナノ結晶ダイヤモンドでコーティングする。ダイヤモンド層104は、Siウェハ101の事前に構造化された第2の表面3及び連続した第1の表面2上に(工程6に示されるように)、又はSiウェハの連続した第1の表面2のみに堆積することができる(ここでは図示せず)。両面コーティングの場合、切断刃の後続のエッジ形成工程9~11の前に、構造化された第2の表面3上のダイヤモンド層104を更なる工程7において除去しなければならない。ダイヤモンド層104の選択的除去は、例えば、シリコン基板に対して高い選択性を示すAr/θプラズマ(例えば、RIE又はICPモード)を使用することによって行われる。工程8において、ダイヤモンド層104が基板材料なしで部分的に自立し、残りの領域で所望の基板厚さが達成されるように、シリコンウェハ101を薄くする。この工程は、KOH又はHF/HNOエッチャント中での湿式化学エッチングによって、又は好ましくは、RIE又はICPモードでCF、SF、又はCHF含有プラズマ中でのプラズマエッチングによって行うことができる。プラズマプロセスにOを追加すると、ダイヤモンド膜の刃先が形成される(工程9に示されるように)。プロセスの詳細は、例えば独国特許第19859905号(A1)に開示されている。
図8には、先端半径を決定する方法が示されている。先端半径は、最初に、刃先1の第1の斜面の断面画像を二等分する線60を引くことによって決定される。線60が二等分するところで、第1の傾斜点65が描かれる。第2の線61は、点65から110nmの距離で線60に対して垂直に描かれる。線61が第1の斜面を二等分するところで、2つの追加の点66及び67が描かれる。次に、点65、66、及び67から円62が構成される。円62の半径は、刃先4の先端半径である。

Claims (16)

  1. 第1の面(2)と、前記第1の面(2)に対向し、且つ前記第1の面(2)とは異なる第2の面(3)と、前記第1の面(2)と前記第2の面(3)との交点にある刃先(4)とを有する切断刃(1)であって、
    ・前記第1の面(2)は、第1の表面(9)を含み、
    ・前記第2の面(3)は、第1の斜面(5)、第2の斜面(6)及び第3の斜面(7)を含み、
    ・前記第1の斜面(5)は、前記刃先(4)から前記第2の斜面(6)まで延在し、
    ・前記第2の斜面(6)は、前記第1の斜面(5)から前記第3の斜面(7)まで延在し、
    ・第1の交差線(10)は、前記第1の斜面(5)と前記第2の斜面(6)とを接続し、
    ・第2の交差線(11)は、前記第2の斜面(6)と前記第3の斜面(7)とを接続し、
    ・第1のくさび角度θが、前記第1の表面(9)と前記第1の斜面(5)との間にあり、
    ・第2のくさび角度θが、前記第1の表面(9)と前記第2の斜面(6)との間にあり、
    ・第3のくさび角度θが、前記第1の表面(9)と前記第3の斜面(7)との間にあり、
    ・前記第1の斜面は、前記第1の表面(9)に投影された寸法及び/又は前記刃先(4)から前記第1の交差線(10)までの前記第1の表面の仮想延長(9’)である長さdを有し、この長さが0.1~7μmであり、
    ・前記第1の表面(9)に投影された前記刃先(4)から前記第2の交差線(11)までの寸法である長さdが、1~150μmであり、
    ここで、θ>θ且つθ<θである、切断刃(1)。
  2. 前記第1のくさび角度θが、5°~75°、好ましくは10°~60°、より好ましくは15°~46°、更に好ましくは20°~45°であり、及び/又は前記第2のくさび角度θが、-5°~40°、好ましくは0°~30°、より好ましくは5°~25°であり、及び/又は前記第3のくさび角度θが、1°~60°、好ましくは10°~55°、より好ましくは19°~46°、最も好ましくは45°であることを特徴とする、請求項1に記載の切断刃。
  3. 前記第1の斜面(5)は、前記第1の表面(9)に投影された寸法及び/又は前記刃先(4)から前記第1の交差線(10)までの前記第1の表面の仮想延長(9’)である長さdを有し、この長さが0.5~5μm、好ましくは1~3μmであることを特徴とする、請求項1又は2のいずれか一項に記載の切断刃。
  4. 前記第1の表面(9)に投影された前記寸法及び/又は前記刃先(4)から前記第2の交差線(11)までの前記第1の表面の前記仮想延長(9’)が、5~100μm、より好ましくは10~75μm、更に好ましくは15~50μmの長さdを有することを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の切断刃。
  5. 前記切断刃(1)は、第1の材料(18)からなる刃体(15)を含むか若しくはそれからなり、又は第1の材料(18)及び前記第1の材料(18)に接合された第2の材料(19)を含むか若しくはそれらからなる刃体(15)を含むか若しくはそれからなることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の切断刃。
  6. 前記第1の材料(18)が、
    ・金属、好ましくはチタン、ニッケル、クロム、ニオブ、タングステン、タンタル、モリブデン、バナジウム、白金、ゲルマニウム、鉄、及びこれらの合金、特に鋼、
    ・炭素、窒素、ホウ素、酸素及びそれらの組み合わせからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含むセラミック、好ましくは炭化ケイ素、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化タンタル、TiAlN、TiCN、及び/又はTiB
    ・ガラスセラミック、好ましくはアルミニウム含有ガラスセラミック、
    ・金属マトリックス内のセラミック材料で作られた複合材料(サーメット)、
    ・硬質金属、好ましくは、コバルト又はニッケルと結合した炭化タングステン又は炭化チタンなどの焼結炭化物硬質金属、
    ・シリコン又はゲルマニウム、好ましくは第2の面(2)に平行な結晶面、及びウェハ配向<100>、<110>、<111>又は<211>を有するもの、
    ・単結晶材料、
    ・ガラス又はサファイア、
    ・多結晶又はアモルファスシリコン又はゲルマニウム、
    ・単結晶又は多結晶ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、アダマンティンカーボン、及び
    ・それらの組み合わせからなる群から選択される材料を含むか、又はそれらからなることを特徴とする、請求項5に記載の切断刃。
  7. 前記第2の材料(19)が、
    ・酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、好ましくは窒化アルミニウム、窒化クロム、窒化チタン、窒化チタン炭素、窒化チタンアルミニウム、立方晶窒化ホウ素、
    ・ホウ素アルミニウムマグネシウム、
    ・炭素、好ましくはダイヤモンド、多結晶ダイヤモンド、ナノ結晶ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)、及び
    ・それらの組み合わせからなる群から選択される材料を含むか、又はそれらからなることを特徴とする、請求項5又は6のいずれか一項に記載の切断刃。
  8. 前記第2の材料(19)が、
    ・0.15~20μm、好ましくは2~15μm、より好ましくは3~12μmの厚さ、
    ・1200GPa未満、好ましくは900GPa未満、より好ましくは750GPa未満、更に好ましくは500GPa未満の弾性率、
    ・1GPa以上、好ましくは少なくとも2.5GPa、より好ましくは少なくとも5GPaの横破断応力σ
    ・少なくとも20GPaの硬度のうちの少なくとも1つを満たすことを特徴とする、請求項5~7のいずれか一項に記載の切断刃。
  9. 前記第2の材料(19)が、ナノ結晶ダイヤモンドを含むか、又はそれからなり、また、
    ・100nm未満、50nm未満、より好ましくは20nm未満の平均表面粗さRRMS
    ・1~100nm、好ましくは5~90nm、より好ましくは7~30nm、更に好ましくは10~20nmのナノ結晶ダイヤモンドの平均粒径d50のうちの少なくとも1つを満たすことを特徴とする、請求項5~8のいずれか一項に記載の切断刃。
  10. 前記第1の材料(18)及び/又は前記第2の材料(19)が、少なくとも領域において、好ましくはフルオロポリマー、パリレン、ポリビニルピロリドン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルメタアクリレート、グラファイト、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)及びそれらの組み合わせからなる群から選択される低摩擦材料でコーティングされていることを特徴とする、請求項5~9のいずれか一項に記載の切断刃。
  11. 前記第1の交差線(10)は、前記第2の材料(19)に成形されていることを特徴とする、請求項5~10のいずれか一項に記載の切断刃。
  12. 前記第2の交差線(11)は、前記第1の材料(18)と前記第2の材料(19)との境界面(20)に配置されていることを特徴とする、請求項5~11のいずれか一項に記載の切断刃。
  13. 前記刃先(4)が、200nm未満、好ましくは100nm未満、より好ましくは50nm未満の先端半径を有することを特徴とする、請求項1~12のいずれか一項に記載の切断刃。
  14. 前記第1の面(2)が、平面である第1の表面(9)を含むことを特徴とする、請求項1~13のいずれか一項に記載の切断刃。
  15. 前記第1の面(2)が、前記刃先(4)から前記第1の表面(9)まで延在する第4の斜面(8)を更に含むことを特徴とする、請求項1~14のいずれか一項に記載の切断刃。
  16. 請求項1~15のいずれか一項に記載の切断刃を含む脱毛装置。
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