JP2023527552A - 人工器官上でのモノリシックナノ構造の形成 - Google Patents

Abstract

本開示は、埋込装置上でモノリシックナノ構造を形成するための方法に関し、方法は下記を含む：ａ．金属フィルムを埋込装置の表面に堆積させること；ｂ．金属フィルムを、金属フィルムが複数の別個のナノ粒子に変換するような期間の間加熱することであって、よって、複数のナノ粒子が、埋込装置の前記表面上でエッチマスクを形成する、こと；ｃ．埋込装置を、埋込装置の前記表面がエッチマスクを通してエッチングされるようにエッチングすることであって、よって、埋込装置の前記表面内にモノリシックナノ構造が形成される、こと；ならびにｄ．（任意で）例えば、王水溶液での浸漬により、エッチマスクを除去すること。
【選択図】図１

Description

本開示は、人工器官上でモノリシックナノ構造を形成するための方法、および、モノリシックナノ構造を有する表面を含む人工器官に関する。

インプラントは、欠損した生物学的構造にとって代わり、損傷した生物学的構造を支持し、または、既存の生物学的構造を増強させるように製造された医療装置である。医療用インプラントは、移植された生物医学組織である移植片と対照的に、人間が作り出した装置である。身体に接触するインプラントの表面は、何が最も機能的であるかによってチタン、シリコーン、またはアパタイトなど生物医学材料から製造される可能性がある。場合によっては、インプラントは、例えば、人工ペースメーカーおよび蝸牛インプラントの場合、電子機器を含み得る。

いくつかの型の医療用インプラント、例えば整形外科インプラントが存在し、これらは、身体の骨および関節に関する問題を軽減するために使用される。それらは典型的には、骨折、変形性関節症、脊柱側弯症、脊柱管狭窄、および慢性疼痛を治療するために使用される。例としては、多種多様のピン、ロッド、ねじ、およびプレートが挙げられ、それらは、骨折した骨に、それらが治癒する間、固定することができる。

インプラントの別の例は歯科インプラントであり、これは、顎または頭蓋の骨とインターフェースし、クラウン、ブリッジ、デンチャー、顔面プロステーシスなどの歯科プロステーシスを支持する、または、歯科矯正用アンカーとして作用する外科用構成要素である。歯科インプラントは骨結合と呼ばれる生物学的プロセスに依存し、この場合、チタンなどの材料が骨への密接な結合を形成する。

歯科インプラントの埋め込みは典型的には、歯科インプラントを、骨結合することができるように配置することを含む。様々な量の治癒時間が、骨結合のために必要とされ、その後、歯科プロステーシス（典型的には歯、ブリッジまたはデンチャー）がインプラントに取り付けられ、または、歯科プロステーシスを保持するアバットメントが配置される。

歯科インプラントの大半は、その生体適合性および機械的特性のために、商業的に純粋なチタンから製造される。しかしながら、一般に医療用インプラント、特定的には歯科インプラントについての重要な課題は細菌感染およびインプラントのその後の劣化である。

実のところ、全ての歯科インプラントの５％が埋め込み直後に失敗に終わっており、全ての歯科インプラントの約半分が細菌感染に苦しんでいることが推定される。そのため、長期のインプラントの成功のためには、インプラント学、とりわけ歯科インプラント学における大きな課題は、インプラントの骨結合を改善する一方、同時に細菌感染を防止することである。

インプラントの骨結合または細菌防止を増加させるための方法は存在し、典型的には、機械的、化学的または物理的方法、例えばプラズマスプレーコーティング、またはサンドブラスチングおよび酸エッチングに依存する。方法は典型的にはインプラントの表面の粗面化に依存し、これにより、総表面積が増加し、ひいては、インプラントへの改善された細胞移動および付着が促進され、骨結合プロセスが増強される。

インプラント表面の細菌防止のために、一般的な方法は、例えば、チタン表面を酸化ジルコニウム粒子でブラスチングすることによる、ジルコニウムの使用である。この方法は、少なくとも、いくつかの細菌種について、インプラント表面への細菌接着の減少の可能性を示している。しかしながら、そのようなインプラントの表面は複数の元素を含むので、長期安定性は疑わしい可能性があり、さらに、副作用のリスクが存在する可能性がある。

本発明者らは、モノリシックナノ構造を含む表面を有する埋込装置は改善された骨結合および増加した細菌防止につながる可能性があることに気づいた。

そのため、本開示は、第１の態様では、埋込装置上でモノリシックナノ構造を形成するための方法に関し、方法は下記を含む：
●金属フィルムを埋込装置の表面に堆積させること；
●金属フィルムを、金属フィルムが複数のナノ粒子に変換するような期間の間加熱することであって、よって、複数のナノ粒子が埋込装置の前記表面上でエッチマスクを形成すること；
●埋込装置を、埋込装置の前記表面がエッチマスクを通してエッチングされるようにエッチングすることであって、よって、前記埋込装置の表面内にモノリシックナノ構造が形成されること；ならびに
●（任意で）エッチマスクを除去すること。

埋込装置は身体の多くの異なる領域内で使用され、さらにさまざまな理由で、治癒をサポートするため、または、プロステーシスを固定するために、使用され得る。埋込装置のための最も困難な環境は、口内ミクロフローラ（それは広範な数の細菌種を含み得る）のために口である可能性がある。口内に存在する微生物の集合体は歯上で、歯垢として知られているコーティングを形成する可能性がある。しかしながら、歯科インプラントが口内に存在する場合、同じ細菌はインプラント周囲疾患を引き起こす可能性があり、歯科インプラント周りの歯肉組織に影響し、典型的には骨量減少を伴わないインプラント周囲粘膜炎、または、歯科インプラントを支持する骨の劣化を含むインプラント周囲炎が含まれる。インプラント周囲粘膜炎は典型的には可逆性であるが、インプラント周囲炎は外科的介入を必要とする。よって、インプラント装置の細菌防止特性は、とりわけ歯科インプラントでは、長期インプラント成功に不可欠である。

そのため、埋込装置の表面上に形成されたナノ構造は骨結合および細菌増殖の防止のために構成されることが好ましい。本開示の一実施形態では、ナノ構造は、そのため、典型的にはインプラント周囲炎に関連する細菌、例えばポルフィロモナス・ジンジバリス、トレポネーマ・デンティコラ、およびフソバクテリウム・ヌクレアタムの接着の減少のために構成される。好ましくは、モノリシックナノ構造のサイズは細菌のサイズよりも小さい。よって、ナノ構造の平均サイズは０．５μｍより小さいことが好ましい可能性がある。

改善された骨結合および細菌防止のためのナノ構造の形成に加えて、本開示はさらに、同じく非平面上でのナノ構造の形成を可能にする。これにより、現在開示される方法は、インプラント表面、例えば歯科インプラント表面（典型的には非平面である）上でのナノ構造の形成に高度に好適なものとなる。現在開示される方法は、インプラント表面の処理のための厚い酸化物層の形成（先行技術の表面改質法における一般的なステップである）に依存しない。代わりに、現在開示される方法は、酸化物層がない場合、または、自然に形成された酸化物層のみ（すなわち、自然酸化物層、典型的には１０ｎｍ未満の厚さ）の存在下において、有利な特性、例えば、本明細書の他の箇所で開示される改善された骨結合および増加した細菌防止を有するモノリシックナノ構造を形成することができる。

好ましくは、金属フィルムは、埋込装置の表面が、金属、例えば、金、銀、アルミニウム、ニッケルまたはそれらの組み合わせにより均一に被覆されるように堆積される。堆積された金属フィルムは典型的には、１ｎｍ～２５ｎｍの厚さを有し、任意の薄膜堆積法、例えば、原子層堆積、ｅ－ビーム堆積またはスパッタリングにより堆積させることができる。

熱の適用により、加熱ステップ中、金属フィルムのディウェッティングが起こる可能性があり、そのため、金属フィルムは複数のナノ粒子に変換される。このステップは、金属フィルムの急速熱アニーリングを含むことができ、またはこれから構成することができ、金属フィルムは典型的には、およそ７０℃～９００℃の温度に、少なくとも１分、例えば、少なくとも２分供せられる。

表面は任意のドライエッチングまたはウェットエッチングプロセスによりエッチングされ得る。好ましくは、インプラント装置の表面はナノ粒子により形成されるエッチマスクを通してエッチングされる。ナノ粒子かエッチングステップのいずれかの特性を調整することにより、ナノ構造の特性が調整され得る。ナノ構造は、例えば、形状、高さ、チップ幅（チップ先端直径）、側壁角、間隔、先端直径、表面密度およびアスペクト比の観点から調整され得る。インプラント、例えば、歯科インプラントについては、前記特性は改善された骨結合および細菌防止のために選択され得る。

ナノ粒子の立体配置により決定されるナノ構造の特性は、例えば、密度、間隔およびチップ幅を含み得る。エッチングステップは加えて、ナノ構造の多くの特性を決定し得る。エッチングステップはウェットエッチングまたはドライエッチングを含み得る。これらの方法の典型的な等方性および異方性はナノ構造の特性に影響を与え得る。

エッチングステップはドライエッチングを含むことができ、埋込装置の曝露表面は、曝露表面からの材料の除去部分についてイオンの衝撃に供せられる。ドライエッチング法は誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、およびイオンビームエッチング（ＩＢＥ）を含み、典型的には異方性である。その代わりに、または加えて、エッチングステップはウェットエッチングを含むことができ、埋込装置の曝露表面はエッチング溶液に供せられる。典型的には、ウェットエッチングは等方性であるが、しかしながら、これは、エッチ溶液に依存し得る。

本開示の特定の実施形態では、例えば、エッチマスクを好適な溶液に浸漬することにより、エッチマスクを除去することが好ましい可能性がある。溶液は好ましくは、それがナノ粒子を選択的にエッチングするように選択され、例えば、金のエッチングのためには王水溶液としてもよい。

本開示はさらに、本明細書の他の箇所で開示される、埋込装置上でモノリシックナノ構造を形成するための方法により形成された、骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置に関する。

本開示はさらに、骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置に関し、ナノ構造は、
●基材と接触したベースを有する、実質的に円すい形であり；または
●表面の多くの実質的に凹状のくぼみ間で形成される、実質的に隆線形である。

実質的に円錐であるナノ構造は、異方性エッチング、典型的にはドライエッチングの結果であり得る。同様に、隆線形ナノ構造は、等方性エッチング、典型的にはウェットエッチングの結果であり得る。

本開示の一実施形態によるモノリシックナノ構造を形成するための方法の概要を示す。 本開示の一実施形態による、堆積金属フィルムの加熱により形成された様々な型のナノ粒子を示す。 本開示の一実施形態による円錐モノリシックナノ構造を示す。 本開示の一実施形態による、表面の多くの実質的に凹状のへこみ間で形成された隆線形モノリシックナノ構造を示す。 本開示の一実施形態により生成された例示的な円錐モノリシックナノ構造を示す。 本開示の実施形態による、モノリシックナノ構造の略図を示す。 本開示の実施形態によるエッチングステップの略図を示す。 本開示の一実施形態により処理された表面の抗菌特性を示す。

定義
生体適合性は、本明細書では、特定の適用において適切な宿主応答で遂行する材料、装置または装置の一部の能力を示す。細菌防止は、本明細書では、非構造化表面と比べた、例えば、ナノ構造化表面などの構造化表面の細菌接着およびバイオフィルム形成の減少を示す。

本明細書で使用される埋込装置は、欠損した生物学的構造にとって代わり、損傷した生物学的構造またはプロステーシスを支持し、または、既存の生物学的構造を増強させるように製造された医療装置を示す。身体に接触する埋込装置の表面は生物医学材料、例えば、何が最も機能的であるかによってチタン、シリコーン、またはアパタイトから製造され得る。

歯科インプラントは、本明細書では、顎または頭蓋の骨とインターフェースし、クラウン、ブリッジ、デンチャー、顔面プロステーシスなどの歯科プロステーシスを支持し、または、歯科矯正用アンカーとして作用する医療装置を示す。歯科インプラントは埋込装置の１つの型である。

骨結合は、本明細書では、機能的強直を示し、この場合、新しい骨がインプラント表面上に直接沈着し、インプラントは機械的安定性（すなわち、機械的かくはんまたはせん断力による不安定化に対する抵抗性）を示す。

本明細書で使用される真空は実質的に大気圧（７６０Ｔｏｒｒ）未満の圧力を示す。本明細書で使用される中真空は２５～１０^－３Ｔｏｒｒの圧力を示す。本明細書で使用される高真空は１０^－３～１０^－９Ｔｏｒｒの圧力を示す。

本開示は、第１の態様では、埋込装置上でナノ構造を形成するための方法に関する。ナノ構造は好ましくは、例えば、単一基材材料から形成されたモノリシックである。好ましくは、前記方法は薄層、例えば、金属フィルムの、埋込装置の表面への堆積を含む。表面は埋込装置の選択された表面または選択された表面の選択された部分であってもよい。典型的には、表面は機能的強直のため、例えば、新しい骨および／または歯肉組織との接触を形成するためのものである。堆積は、薄膜、好ましくは金属薄膜の形成のためには、物理的または化学的薄膜堆積により実施され得る。フィルムの厚さはナノメートル範囲にあり、例えば、数ナノメートルの厚さ、好ましくはおよそ約１ナノメートル～約５０ナノメートルの厚さであってもよい。方法は好ましくは、加熱ステップをさらに含み、熱が前記フィルムおよび／または表面に、前記フィルムがナノ粒子に変換するように適用される。前記ナノ粒子は好ましくはナノメートル範囲にある平均サイズ、例えば、直径を有する粒子である。加熱ステップは、急速熱処理、例えば、急速熱アニーリングを含み得る。好ましくは、埋込装置の表面は、ナノ粒子を含むエッチマスクによりエッチングされる。よって、表面は、前記エッチマスクを介して、ナノ構造が形成されるようにエッチングされ得る。ナノ粒子は好ましくは、表面がエッチマスクを介してエッチングされ得るように距離が置かれる。埋込装置のエッチングは、異方性および／または等方性エッチングを含むことができ、またはこれから構成され得る。典型的には、ウェットエッチングは、等方性エッチングという結果になり、一方、ドライエッチングは、異方性エッチングという結果になる。よって、ナノ構造の最終特性は、エッチング法の選択により影響される。異方性エッチングは円すい形のナノ構造を生成させることができ、一方、等方性エッチングは隆線形構造を生成させることができる。ナノ構造が埋込装置の表面内で形成されることが好ましく、例えば、よって、ナノ構造間のネガティブスペースは、エッチングステップが材料を埋込装置から除去した場所となる可能性がある。本開示の特定の実施形態では、例えば、ナノ粒子の少なくとも一部が、エッチングステップ後、埋込装置の表面上に残っている場合、エッチマスクを除去することが好ましい可能性がある。エッチングマスクは例えば、好適な溶液、例えば、王水溶液中での浸漬により除去され得る。本開示の他の実施形態では、例えば、ナノ粒子がエッチングステップにより実質的にまたは完全にエッチングされる場合、エッチングマスクの除去のステップは好ましくない可能性がある。好ましくは、ナノ構造は骨結合および抗菌効果を促進する。

インプラント材料
本開示の１つの実施形態では、埋込装置（例えば、埋込装置全体または埋込装置の表面、好ましくは現在開示されるモノリシックナノ構造が形成されることになっている少なくとも一部）の材料は生体適合性、耐腐食性および／または耐破砕性である。埋込装置（例えば、埋込装置全体または埋込装置の表面）の材料は、例えば、金属またはセラミックを含む、またはこれから構成される。埋込装置の材料は例えば、チタン、ジルコニウム、ジルコニア（二酸化ジルコニウム）またはそれらの合金であってもよい。好ましくは、合金はチタンを、例えば表面上での酸化チタンの形成に十分な量で、好ましくは８５％超のチタンを含む。あるいは、埋込装置の材料はポリエチレンなどのポリマー、例えば分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）または架橋ポリエチレン（ＸＬＰＥ）であってもよい。純チタンは一般に、その優れた生体適合性および機械的特性のために、埋込装置、例えば、歯科インプラントに好ましい材料である。チタンインプラントの生体適合性は一般に、その表面上での安定な酸化物層の形成のおかげである。チタンの天然酸化物層は典型的には、１０ｎｍ未満の厚さ、例えば４－６ｎｍであり、よって典型的には、酸化物層の厚さが増加されている、化学修飾されたチタン表面とは、著しく異なる。先行技術のある一定のプロセスは、所望の特性を有する構造、例えば、特定の側壁角を有する側壁を備えた溝のために、ある一定の厚さ、例えば少なくとも１００ｎｍの酸化物層の形成に依存する可能性がある。これとは異なり、現在開示される方法は、厚い酸化物層、すなわち自然に形成された酸化物（典型的には１０ｎｍ未満、より典型的には２０ｎｍ未満）より厚い酸化物層の形成に依存しない。様々なジルコニア材料が当業者に、例えば、Ａｐｒａｔｉｍ ｅｔ ａｌ．， Ｊ． Ｉｎｔ． Ｓｏｃ． Ｐｒｅｖ． Ｃｏｍｍｕｎｉｔｙ Ｄｅｎｔ． ２０１５ Ｍａｙ－Ｊｕｎ； ５（３）： １４７－１５６において知られている。

商業的に純粋なチタン（ｃｐＴｉ）は４つのグレードに分類され、それらはそれらの酸素含量が異なっている。グレード４は典型的には、最も多くの（およそ０．４％）、グレード１は最も少ない（およそ０．１８％）酸素含量を有する。ｃｐＴｉの異なるグレード間に存在する機械的な違いは主に、微量に存在する汚染物質による。鉄は、耐食性のために添加され、アルミニウムは、強度の増加および密度の減少のために添加されるが、一方、バナジウムはアルミニウムスカベンジャーとして作用し、腐食を防止する。Ｔｉの六方最密充填結晶格子はα－Ｔｉ（α－相）と呼ばれ、一方、体心立方格子はβ－相と呼ばれる。８８３℃を超える加熱でα－相からβ－相への変態が存在する。同様に、多形ジルコニウムの結晶形は単斜晶系、立方晶系および正方晶系である。相は、ＣａＯ、ＭｇＯおよびＹ２Ｏ３により安定化され得、それは多相の部分的に安定化されたジルコニア（ＰＳＺ）という結果になり得る。本開示の好ましい実施形態では、埋込装置の材料はグレード４チタンおよび／またはグレード５チタンを含み、または、これから構成される。

チタンはインプラント装置に好適なものにする多くの特性を有し、例えば、生体適合性、高い不動態性、制御された厚さ、迅速形成、損傷した場合、即座にそれ自体を修復する能力、化学的攻撃に対する抵抗性、多くの化学反応についての触媒活性、および骨のそれと適合可能な弾性率である。

チタンジルコニウム合金は、純チタンと比べて、改善された機械的属性、例えば、増加した伸長および疲労強度を有し得る。チタンおよびジルコニウムの一般的な合金は１３－１７％ジルコニウムを含むＳｔｒａｕｍａｎｎ Ｒｏｘｏｌｉｄである。

本開示の一実施形態では、埋込装置は歯科インプラントである。よって、埋込装置は顎または頭蓋の骨とインターフェースし、クラウン、ブリッジ、デンチャー、顔面プロステーシスなどの歯科プロステーシスを支持する、または、歯科矯正用アンカーとして作用する外科用構成要素であってもよい。例えば、アバットメントが、歯科インプラントに取り付けられ、その後、歯科プロステーシスを保持してもよい。例えば、１本歯インプラント修復において。あるいは、歯科インプラントが、インプラント保持固定ブリッジのために使用され得、この場合、典型的には複数の歯科インプラントが骨に取り付けられ、歯科ブリッジを支持する。

細菌
埋め込み部位での細菌感染は埋め込みの成功には重大な問題であり、埋込装置にとって潜在的に最も困難な環境は、口内ミクロフローラのため口である可能性があり、これは広範な数の細菌種を含み得る。口内に存在する微生物の集合体は歯上で、歯垢として知られているコーティングを形成する可能性がある。しかしながら、歯科インプラントが口内に存在する場合、同じ細菌がインプラント周囲疾患を引き起こす可能性があり、歯科インプラント周りの歯肉組織に影響し、典型的には骨量減少を伴わないインプラント周囲粘膜炎、または、歯科インプラントを支持する骨の劣化を含むインプラント周囲炎が含まれる。インプラント周囲粘膜炎は典型的には可逆性であるが、インプラント周囲炎は外科的介入を必要とする。よって、インプラント装置の細菌防止特性が、とりわけ歯科インプラントでは、長期インプラント成功に不可欠である。

そのため、埋込装置の表面上に形成されたナノ構造は、細菌増殖を防止するように、好ましくは、骨結合が増加され、同時に細菌増殖が防止されるように構成されることが好ましい。本開示の一実施形態では、ナノ構造はそのため、インプラント周囲炎に典型的に関連する細菌、例えば、ポルフィロモナス・ジンジバリス、トレポネーマ・デンティコラ、およびフソバクテリウム・ヌクレアタムの接着を減少させるように構成される。好ましくは、モノリシックナノ構造のサイズは細菌のサイズよりも小さい。よって、平均サイズ、例えば、平均チップ幅、ナノ構造間の平均距離、および／またはナノ構造の平均高さは０．５μｍより小さいことが好ましい可能性がある。インプラント周囲炎に関連する一般的な細菌の典型的なサイズは表１において提供される。

埋込装置は任意の型のインプラント、好ましくは、骨結合および／または細菌防止が望ましい埋込装置であってもよい。埋込装置は例えば、整形外科インプラントであってもよい。本開示の一実施形態では、埋込装置は、人工股関節、人工膝関節、外傷爪、膝インプラント、ラグスクリュー、脊椎ケージ、関節窩インプラント、足首融合インプラント、足／足指インプラント、長骨骨切りプレートまたは骨インプラント、仙腸関節インプラント、頭蓋プレート、および／または顎顔面プレートであり、またはその一部である。

ナノ構造のサイズ
ナノ構造は、溶菌のために構成することができ、細菌は、細菌細胞壁を横切って十分高い局所応力を生成させるトポグラフィーに曝露される。よって、ナノ構造は、ナノ構造の表面上の細菌細胞壁間の接触点のために構成することができ、それは細菌よりずっと小さい。好ましくは、ナノ構造と細菌の間の接触点は溶菌のために十分高い局所応力が可能になるように、十分な距離、引き離される。よって、先端直径（チップ幅とも呼ばれる）、例えば、ナノ構造のチップ、またはチップ幅（チップ先端直径）は細菌のサイズの半分より小さい、例えば、細菌の最長寸法の半分より小さいことが好ましい可能性がある。好ましくは、チップ幅は平均して０．２５μｍより小さく、または間隔、例えば、ナノ構造の壁間の表面は平均して、０．５μｍ未満のサイズを有する。本開示の特定の実施形態によるナノ構造では、ナノ構造は同心円状ではない可能性があり、そのような場合、上記応力誘導表面をチップ幅として示すことがより正確である可能性があり、そのような場合、チップ幅／先端直径は典型的には、非同心円形状ナノ構造の最低チップ幅を示す。チップ幅は関連細菌の最長寸法の半分より小さいことが好ましく、例えば、チップ幅は典型的には好ましくは０．５μｍより低いが、本開示の方法は、より小さな先端直径を有することにより、より高い抗菌特性を有するナノ構造を実現することができる。そのため、ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満、より好ましくは５０ｎｍ未満、さらにより好ましくは２０ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは１０ｎｍ未満、最も好ましくは７ｎｍ未満であることが好ましい。

本開示の一実施形態では、ナノ構造のチップ幅は３０未満、より好ましくは２０ｎｍ未満、さらにより好ましくは１０ｎｍ未満、最も好ましくは６ｎｍ未満である。

本開示の一実施形態では、表面上のナノ構造の形成は、堆積ステップ、加熱ステップ、エッチングステップおよび好ましくはエッチマスク除去ステップを含む。表２は、方法の典型的なパラメータの概要を示す。金属フィルムの材料は金、銀、アルミニウムおよびニッケルにより例示される。

堆積
金属フィルムの材料は、例えば、急速熱アニーリングにより、熱が適用されると、ナノ粒子が表面上で形成され得るように選択されることが好ましい。本開示の特定の実施形態では、金属フィルムの材料は、それがエッチングステップにおいて少なくとも部分的にエッチングされるように選択される。本開示の１つの実施形態では、金属フィルムの材料は、下記の群から選択される：金、銀、アルミニウム、ニッケル、それらの合金、またはそれらの組み合わせ。好ましくは、金属フィルムは、埋込装置の表面が、金属、例えば、金、銀、アルミニウム、ニッケルまたはそれらの組み合わせにより均一に被覆されるように堆積される。堆積された金属フィルムはナノメートル範囲にある厚さを有することがさらに好ましい。より厚い金属フィルムは、熱の適用で、より大きなナノ粒子の形成を可能にする場合がある。そのため、金属フィルムの厚さは１ナノメートル～５０ナノメートル、より好ましくは１ナノメートル～２５ナノメートルであることが好ましい。よって、金属フィルムは、薄膜と考えることができ、堆積は薄膜堆積法により実施され得る。そのため、堆積は、薄膜コーティングを基材材料、例えば、埋込装置の表面上に作製および／または堆積させるための方法を含み、または、これから構成される。

よって、堆積は、薄膜の形成に好適な方法、例えば、物理的堆積、化学的堆積および／またはエピタキシーを含み得る。物理的堆積は、物理蒸着（ＰＶＤ）を含み、この場合、固体材料が真空で蒸発され、基材上に堆積される。様々な物理蒸着方法が存在し、例えば、蒸発方法、例えば、Ｅ－ビーム蒸発、イオンアシスト堆積、および熱蒸発が挙げられる。物理蒸着法は、標的の表面、例えば埋込装置の表面付近での磁気閉込めプラズマの形成に依存するマグネトロンスパッタリング、標的材料を基材上にスパッタするイオン源に依存するイオンビームスパッタリング、さらに、標的材料を蒸発させるためのレーザーパルスに依存するパルスレーザー堆積をさらに含む。薄膜堆積の別のカテゴリは化学的堆積であり、この場合、流体前駆体が固体表面で化学変化を受け、固体層が残る。化学的堆積法は、コンフォーマル薄膜を一度に一つの層で堆積させるための気相前駆体の使用に依存する原子層堆積（ＡＬＤ）を含む。好ましくは、堆積法は、平面および／または非平面上での金属フィルムの堆積を可能にする。

堆積速度は典型的には最終結果には重要ではない。しかしながら、特定の状況では、堆積プロセスに対してより多くの制御を実行することが望まれることがある。例えば、プロセスが実時間でモニタされる場合である。例えば、これらの場合などでは、金属を０．１Å／ｓ～１０Å／ｓ、より好ましくは０．３Å／ｓ～７Å／ｓ、最も好ましくはおよそ１Å／ｓの速度で堆積させることが有利となる可能性がある。

加熱
ナノ構造の形成は金属フィルムへの熱の適用を含むことができ、そのため、前記フィルムがナノ粒子に変換される。加熱ステップは、金属フィルムの急速熱処理、例えば、急速熱アニーリングを含むことができ、またはこれから構成され得る。本開示の一実施形態では、金属フィルムは、およそ７０℃～９００℃、好ましくは３００℃～７００℃の温度に供せられる。金属フィルムの加熱は好ましくは、金属フィルムがナノ粒子に変換される、好ましくはナノ粒子に完全に変換されるまで実施される。金属フィルムは少なくとも１分、例えば、少なくとも２分間加熱され得る。好ましくは、金属フィルムは少なくとも１分、例えば、少なくとも２分間加熱される。

熱の適用により、金属フィルムのディウェッティングが起こる可能性があり、そのため、金属フィルムは複数のナノ粒子に変換される。よって、加熱中、金属フィルムの表面エネルギーの増加により、金属フィルムの凝集が駆動され得る。金属フィルムの表面エネルギーがインプラントの表面エネルギーと２層間の界面エネルギーの合計より大きくなると、フィルムは凝集し始めることができ、よって、最小エネルギー状態および均一な接触角を有するナノ粒子が形成される。

様々な条件が、前記金属フィルムがナノ粒子に変換するような金属フィルムへの熱の適用に好適である。しかしながら、それは好ましくは、加熱が、窒素雰囲気などの不活性雰囲気において実施される特定の状況下であってもよい。さらに、本開示のさらなる実施形態では、加熱は大気圧未満、好ましくは中真空以上、より好ましくは高真空以上で実施される。本開示の好ましい実施形態では、熱の適用、例えば急速熱アニーリングは１００ｍＴｏｒｒより低い圧力で実施される。

ナノ粒子
本明細書における他の箇所で論じられるように、金属フィルムの厚さ、加熱条件、ならびに金属フィルムおよび表面の材料などのパラメータは、ナノ粒子の結果として得られる特徴および特性に影響する。現在開示される方法の大きな調整性は、特定の所望の特性を有するナノ粒子の形成を可能にする。例えば、本開示の一実施形態では、ナノ粒子の密度、単位面積あたりの数（量）は、１μｍ^－２～２０００μｍ^－２、より好ましくは１．７～１９５０μｍ^－２である。よって、ナノ粒子の特性、例えば、サイズ、密度、および形状の調整は、所望の特性を有するエッチマスクの形成を可能にする。エッチマスクの立体配置は、その後のエッチングは、改善された骨結合および細菌防止のためのナノ構造の形成を可能にするようなものとされることが好ましい。例えば、ナノ粒子は、エッチング溶液がエッチマスクを通して表面をエッチングすることができるように、十分な距離、引き離されることが好ましい。表面上のナノ粒子のパターンは典型的にはナノ構造のパターンとして複製されることに注意すべきであり、これは、どのようにナノ粒子が表面の部分をエッチングから遮蔽するかによる可能性がある。典型的には、ナノ粒子の材料は金属フィルムの材料と同一であるが、しかしながら、化学的プロセスは金属フィルムのナノ粒子への変換中、材料を改質するように作用する可能性があり、例えば、材料を酸化する。

ナノ粒子のサイズ可変性は、処理パラメータ、例えば加熱ステップの時間を調整することにより制御することができる。本開示の一実施形態では、ナノ粒子は低いサイズ変動を有し、そのため、同じようなサイズのナノ構造が形成され得る。ナノ粒子の変動係数は好ましくは５０％未満である。本明細書で使用される変動係数は、平均で割った標準偏差を示す。よって、表面上のナノ粒子のサイズ、例えば、直径、好ましくは表面に垂直な突出部の直径は５０％未満の係数を有する。ナノ粒子の直径は、好ましくは、表面に垂直に獲得した画像における楕円フィットの最大および最小寸法の平均として規定される。そのため、直径は非球形ナノ粒子に対しても評価することができる。本開示の一実施形態では、ナノ粒子の平均直径は１０ｎｍ～３５０ｎｍである。好ましくは、ナノ粒子のｄ９０サイズ値（直径）は１０ｎｍ～３５０ｎｍである。以上で言及したように、ナノ粒子の平均サイズは、さらに、異なる厚さのチタン表面上の金属（金）フィルムの急速熱アニーリング後の測定した平均サイズおよび標準偏差を列挙する下記表でわかるように、堆積された金属フィルムの厚さに依存する。

エッチング
本開示の一実施形態では、エッチングステップは等方性および／または異方性エッチング法による表面のエッチングを含む。好ましくは、インプラント装置の表面が、モノリシックナノ構造の形成のために、例えばナノ粒子により形成されたエッチマスクを通してエッチングされる。エッチングステップの構成と組み合わせたナノ粒子の立体配置は得られるナノ構造の立体配置を決定することができる。ナノ粒子かエッチングステップのいずれかの特性を調整することにより、ナノ構造の特性が調整され得る。ナノ構造は、例えば、形状、高さ、チップ幅、側壁角、間隔、先端直径、表面密度およびアスペクト比の観点から調整され得る。インプラント、例えば、歯科インプラントでは、前記特性は、埋込装置の骨結合および細菌防止が最大化されるように選択することができる。

本開示の多くの実施形態では、エッチング法のエッチング特性は、得られる（モノリシック）ナノ構造に重大な影響を有するであろう。実のところ、本開示の特定の実施形態では、エッチングステップは、エッチマスク（例えばエッチマスクのナノ粒子）および埋込装置の表面が異なってエッチングされるように構成され得、例えば異なる方向性および／またはエッチング速度である。本開示の特定の実施形態では、エッチングステップは、マスク材料（すなわち、ナノ粒子の材料、例えば金）のエッチング速度が埋込装置の材料（例えば、ナノ構造が形成されることになっている、埋込装置の表面の材料）より、好ましくは少なくとも横方向（すなわち埋込装置の表面と平行）で、低くなるように配列され得、そのような条件は典型的には縦柱の形状においてナノ構造を生成させる。

本開示の好ましい実施形態では、マスク材料のエッチング速度は標的材料のエッチング速度の０．０１～１倍、より好ましくは標的材料のエッチング速度の０．０２～０．８倍、さらにより好ましくは標的材料のエッチング速度の０．０５～０．５倍である。

本開示の一実施形態では、標的材料のエッチング速度はおよそ１００ｎｍ／分であり、マスク材料のエッチング速度は１ｎｍ／分～１００ｎｍ／分、より好ましくは５ｎｍ／分～５０ｎｍ／分、さらにより好ましくは１０ｎｍ／分～５０ｎｍ／分、最も好ましくは２０ｎｍ／分～４０ｎｍ／分である。

本開示の一実施形態では、標的材料のエッチング速度は１ｎｍ／分～２０００ｎｍ／分、好ましくは２０ｎｍ／分～２００ｎｍ／分の範囲である。

エッチングの高い制御を確立するために、エッチング速度は、ナノ構造が２－１５分、より好ましくは４－１０分で形成されるように選択されることが、典型的には望ましい。例えば、２００ｎｍの高さを有するナノ構造では、２０－５０ｎｍ／分のエッチング速度が、エッチングステップに対する高い制御のために好ましい場合がある。同様に、１０００ｎｍの高さを有するナノ構造では、１００－２００ｎｍ／分のエッチング速度が、エッチングステップに対する高い制御のために好ましい場合がある。

ナノ粒子により決定される特性としては、例えば、密度、間隔およびチップ幅が挙げられる。加えて、エッチングステップはナノ構造の多くの特性を決定することができる。エッチングステップはウェットエッチングまたはドライエッチングを含み得る。これらの方法の典型的な等方性および異方性は埋込装置の表面のナノ構造の特性に影響を与え得る。

本開示の一実施形態では、エッチングステップはウェットエッチングを含み、または、これから構成される。前記ウェットエッチングは表面の一部をエッチング溶液に供することを含み得る。ウェットエッチングは典型的には実質的に異方性、例えば、異方性である。いくつかのウェットエッチング液は結晶材料を、どの結晶面が曝露されるかによって非常に異なる速度でエッチングする。単結晶材料では、この効果により、非常に高い異方性という結果になり得る。好ましくは、エッチマスクは、エッチングによるナノ構造の形成のために、表面の一部をエッチング溶液から遮蔽する。エッチング溶液は、フッ化水素酸（ＨＦ）溶液、硝酸（ＨＮＯ_３）溶液、水酸化アンモニウム溶液、過酸化水素（Ｈ_２Ｏ_２）溶液、またはそれらの混合物、例えば、フッ化水素酸および過酸化水素水溶液を含むことができ、またはこれから構成され得る。好ましい実施形態では、エッチング溶液は、フッ化水素酸、硝酸および過酸化水素を含む。本開示の同様に好ましい実施形態では、エッチング溶液は、過酸化水素および水酸化アンモニウムを含む。好ましくは、エッチング溶液は緩衝溶液である。好ましくは、エッチング溶液は、埋込装置の表面および／またはナノ粒子の材料をエッチングできる溶液である。好ましくは、エッチング溶液は、ナノ粒子よりも埋込装置の表面に対してより高いエッチング速度を有するように選択される。

本開示の一実施形態では、エッチングステップはドライエッチングを含み、または、これから構成される。前記ドライエッチングは、材料の一部を曝露表面から除去するために、埋込装置の曝露表面を反応種の衝撃に供することを含み得る。ドライエッチング法は典型的には実質的に異方性、例えば、異方性であり、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、およびイオンビームエッチング（ＩＢＥ）を含む。ドライエッチングはまた、プラズマエッチングと呼ばれることがあり、マイクロ波プラズマエッチングおよび水素プラズマエッチングを含み得る。本開示の一実施形態では、原料ガスはＣｌ_２、Ａｒ、ＣＦ_４／ＳＦ_６、およびＯ_２またはそれらの混合物である。エッチング後、特定の実施形態では、エッチマスクが除去されることが好ましい可能性がある。例えば、エッチマスクを選択的にエッチングする溶液、例えば、王水溶液に浸漬することによる。しかしながら、エッチマスクの除去は、エッチマスク、例えば、ナノ粒子の除去のための任意の好適な方法を含み得る。エッチマスクの除去は、物理的プロセスまたは化学的プロセス、例えば、ドライエッチングまたはウェットエッチングにより実施され得る。好ましくは、エッチマスクの除去はエッチマスクのエッチングに選択的である。例えば、王水溶液の使用は好ましくは、埋込装置の他の表面よりも金ナノ粒子をエッチングすることができる。よって、本開示の１つの実施形態では、エッチングマスクの除去は、エッチング溶液、好ましくは選択的エッチング溶液、例えば、金粒子のための王水中での浸漬により実施される。方法は、最終ナノ構造の複数の特性が、例えば、金属フィルムの厚さ、金属フィルムの材料、加熱条件、エッチング溶液、およびエッチング時間により調整され得るという点で、非常に万能である。マスク材料（例えば、ナノ粒子）を除去するために使用することができる別の溶液としては、ヨウ素系溶液、例えば、１００ｇ：２５ｇ：５００ｍｌの比率を有するＫＩ：Ｉ_２：Ｈ_２Ｏが挙げられる。

本開示の一実施形態では、ナノ構造の側壁角は、平均して、１８°～９０°（９０°は垂直側壁を示す）である。よって、ナノ構造は円すい形、実質的に柱状、および／または隆線形であってもよい。側壁角は、エッチングステップの構成、例えば、処理パラメータにより、かなりの程度まで決定され得る。実質的に柱状の構造は、実質的に異方性のエッチングプロセス、例えば反応性イオンエッチングの結果であり得る。そのようなプロセスでは、加速イオンによる衝撃により、基材および／またはナノ粒子の方向性の、典型的には垂直または少なくとも実質的に垂直のエッチングにつながる可能性がある。ナノ粒子のエッチングの程度は側壁角において反映され得る。例えば、ナノ粒子が最小限にエッチングされるように構成された異方性エッチングプロセスは、典型的には、形成されたナノ構造の実質的に９０°の側壁という結果になる。他方、ナノ粒子が実質的にエッチングされるように構成された異方性エッチングプロセスでは、形成されたナノ構造の側壁角は典型的には実質的に９０°未満、例えば７０°未満、さらに５０°未満、さらにいっそう３０°未満である。よって、ナノ粒子のエッチングの程度は典型的には、ナノ構造の側壁角に影響する。本開示の好ましい実施形態では、側壁角は１８°～９０°、より好ましくは１８°～８５°、さらにより好ましくは２５°～７５°であり、形成されたナノ構造の高い抗菌特性につながる。ナノ構造の比較的鋭いチップを有することが典型的には重要である。その結果として、９０°の側壁角を有するナノ構造は典型的には、好ましさがより低い。代わりに、ナノ構造、例えば、９０°未満、例えば、１８°～８５°の側壁角を有する円すいおよび／または隆線形が好ましい。エッチングプロセスは、ナノ構造の所望の側壁角、例えば、インプラント表面に最適化細菌防止および骨結合特性を提供する側壁角を達成するように構成され得る。さらに、ドライエッチングなどのエッチングプロセス、例えばＲＩＥおよびＩＣＰは典型的には、等方性および異方性エッチング、例えば物理および化学エッチングの組み合わせである。ナノ粒子のエッチングは化学エッチングの程度により影響を受け得る。化学エッチングのより大きな程度はまた、ナノ粒子の横方向エッチングのより大きな程度という結果になる可能性がある。よって、ナノ構造の横方向エッチングは、基材のより大きな部分がエッチングマスクにより曝露されるように、エッチングマスクを改変することができる。エッチングステップ中に徐々に小さくなるナノ粒子は円錐ナノ構造という結果になる可能性がある。さらに、ナノ粒子のエッチング速度、例えば、ナノ粒子の横方向エッチング速度は、埋込装置の表面のエッチング速度との関連で、典型的にはナノ構造の側壁角に影響する。エッチングステップ中、埋込装置の表面のエッチング速度とナノ粒子のエッチング速度の間の比率が高いほど、典型的には、ナノ構造のより高い側壁角という結果になる（すなわち、例えば、ナノ粒子がエッチング後実質的に無傷である場合、少なくとも、エッチング後ナノ粒子の被覆率が実質的に無傷である場合、側壁角は高く、例えば９０°である）。同様に、エッチングステップ中、埋込装置の表面のエッチング速度とナノ粒子のエッチング速度の間の比率が低いほど、典型的には、ナノ構造のより低い側壁角という結果になる。ナノ粒子のエッチング速度はエッチング構成により影響され得、処理パラメータ、例えば、ガス源およびチャンバ圧を含み得る。

ドライエッチングに曝露された試料は典型的には円すい形または柱状ナノ構造という結果になる。ドライエッチングプロセスは２つの部分から構成される：物理エッチング（加速イオン衝撃）および化学エッチング（エッチングチャンバ内の反応性ガスのプラズマ）。物理エッチングは１つの方向で働き、異方性エッチングプロファイルを与える。化学エッチングは全ての方向で作用し、等方性エッチングプロファイルを与える。最終エッチングプロファイルは、図７において示され、かつ、以下でさらに記載されるように、両方の組み合わせである。

エッチング全体が、マスク材料（例えば、ナノ粒子）上、横方向で低いエッチング速度を有する場合、マスク材料のサイズはプロセスにおいてそれほど大きく減少せず、これは、標的材料の柱状ナノ構造につながるであろう。対照的に、エッチング全体がマスク材料上横方向で高いエッチング速度を有する場合、マスク材料のサイズは減少し、曝露面積のサイズがプロセスにおいて増加するであろう。これは、標的材料の円すい形状ナノ構造につながるであろう。埋込装置の表面の抗菌特性については、円すい形状ナノ構造が好ましい。

エッチングされたナノ構造のサイズはマスク材料のサイズ（すなわち、ナノ粒子のサイズおよびそれらの間の距離）により決定される。エッチングされたナノ構造の高さは適用されたエッチング時間により決定される。より長いエッチング時間は、増加した高さを有する構造につながる。ドライエッチングされたチタンナノ構造のＳＥＭ画像例が図３に示される。

ウェットエッチングされた試料は、ウェットエッチング法の等方性エッチングプロファイルのために確率的形状を示す。エッチングされた構造の高さは適用されたエッチング時間により決定される。ドライエッチングと同様に、ウェットエッチングプロセスの全体のエッチングプロファイルはマスク材料および標的材料上での横方向および垂直方向の両方でのエッチングの併用効果である。エッチング液のタイプ、各エッチング液の濃度、エッチング温度、マスク材料の選択、などを含む因子が最終エッチングプロファイルに影響する。これらの因子を改変することにより、異なる形状のナノ構造が形成され得、隆線形ナノ構造、例えば、多くの実質的に凹状のへこみの間に形成されたもの、および円すい形ナノ構造が含まれる。圧痕形状を有する、ウェットエッチングされたチタンナノ構造のＳＥＭ画像例が図４Ａに示される。高アスペクト比の円すい形状を有するウェットエッチングされたチタンナノ構造のＳＥＭ画像例が図４に示される。低アスペクト比の円すい形状を有するウェットエッチングされたチタンナノ構造のＳＥＭ画像例が図５Ｂに示される。

ナノ構造
ナノ構造が好ましくは埋込装置の表面上に、それらが平均して表面に垂直な配向を有するように形成される。ナノ構造の密度は、典型的には、ナノ粒子の密度と類似し、１μｍ^－２～２０００μｍ^－２の範囲とすることができる。ナノ構造間の平均間隔はインプラント周囲炎に関連する細菌の最小寸法より小さいことが好ましい可能性がある。そのため、本開示のさらなる実施形態では、２つの隣り合うナノ構造間の平均距離、例えば、２つの隣り合うナノ構造のチップ間の平均距離は、平均して、１０ｎｍ～３００ｎｍである。さらに、ナノ構造の高さ、すなわち表面の平面からの、表面に垂直な、ナノ構造のチップまでの距離は好ましくは、インプラント周囲炎に関連する細菌のサイズ、例えば、最小寸法未満である。そのため、本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造の平均高さは５０ｎｍ～５００ｎｍである。本開示のさらなる一実施形態では、ナノ構造の平均高さは１０ｎｍ～５００ｎｍ、より好ましくは２０ｎｍ～４００ｎｍ、さらにより好ましくは３０ｎｍ～３００ｎｍ、最も好ましくは３５ｎｍ～１００ｎｍである。

本開示のさらに別の実施形態では、ナノ構造の平均アスペクト比は、０．１４～５０である。本明細書で使用されるアスペクト比は、ナノ構造の幅、例えば、ナノ構造のベース幅で割った、例えば、ベースからチップまでのナノ構造の高さを示す。よって、ナノ構造は高アスペクト比ナノ構造であり得る。本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造のチップは湾曲を有し、前記湾曲はチップ幅（チップ先端直径）により記載され得る。チップ幅（チップ先端直径）は１０ｎｍ～３５０ｎｍであることが好ましい可能性がある。本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満である。よって、チップ幅はインプラント周囲炎に関連する細菌のサイズ未満であることが好ましい可能性がある。ナノ構造は実質的に垂直であってもよく、すなわち、表面に垂直であり、あるいは、ナノ構造は平均して９０°未満の側壁角を有し得る。本開示の一実施形態では、側壁角は１８°～９０°である。ナノ構造はよって実質的に円すい形であってもよく、例えば、埋込装置の表面から延在する。

本開示の一実施形態では、ナノ構造のベース幅は１μｍ未満、より好ましくは６００ｎｍ未満、さらにより好ましくは４００ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは２００ｎｍ未満、いったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは５０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満である。

本開示はさらに、本明細書の他の箇所で開示されるモノリシックナノ構造を形成するための方法により形成された、骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置に関する。

本開示はさらに、骨結合および細菌膜防止のためのナノ構造を有する表面を含む埋込装置に関する。ナノ構造はモノリシックであることが好ましく、例えば、それらは埋込装置の表面からの材料の除去により形成され、それらは埋込装置と同じ材料で形成される。埋込装置は、埋込装置の表面から延在する、実質的に円錐であるナノ構造を有し得る。好ましくは、ナノ構造は埋込装置の表面から実質的に外へ延在し、例えば、ナノ構造が接触する埋込装置の表面に実質的に垂直である。ナノ構造の周囲および／または幅は基材から外に向かって減少する、例えば、ナノ構造が、端にチップを有することが、さらに好ましい可能性がある。本開示の別の実施形態では、ナノ構造の側壁は実質的に垂直な側壁、例えば、垂直である。よって、ナノ構造はさらに実質的に柱状であってもよい。本開示の別の実施形態では、ナノ構造は隆線形である。隆線形ナノ構造は表面の多くの実質的に凹状のへこみ間で形成されることが好ましい。

ナノ構造が好ましくは埋込装置の表面上で、それらが平均して、表面に垂直な配向を有するように形成される。ナノ構造の密度は、典型的には、ナノ粒子の密度と類似し、１μｍ^－２～２０００μｍ^－２の範囲とすることができる。ナノ構造間の平均間隔はインプラント周囲炎に関連する細菌の最小寸法より小さいことが好ましい可能性がある。そのため、本開示のさらなる実施形態では、２つの隣り合うナノ構造間の平均距離、例えば、２つの隣り合うナノ構造のチップ間の平均距離は、平均して、１０ｎｍ～３００ｎｍである。さらに、ナノ構造の高さ、すなわち、表面に垂直な、表面の平面からの、ナノ構造のチップまでの距離は好ましくは、インプラント周囲炎に関連する細菌のサイズ、例えば、最小寸法未満である。そのため、本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造の平均高さは５０ｎｍ～５００ｎｍである。

本開示のさらに別の実施形態では、ナノ構造の平均アスペクト比は０．１４～５０である。本明細書で使用されるアスペクト比は、ナノ構造の幅、例えば、ナノ構造のベース幅で割った、例えば、ベースからチップまでのナノ構造の高さを示す。よって、ナノ構造は高アスペクト比ナノ構造であり得る。本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造のチップは湾曲を有し、前記湾曲はチップ幅により記載され得る。チップ幅は３５０ｎｍ未満、例えば１０ｎｍ～３５０ｎｍであることが好ましい可能性があり、好ましくは、チップ幅は３５０ｎｍ未満、より好ましくは１００ｎｍ未満、さらにより好ましくは５０ｎｍ未満、なおさらにいっそう好ましくは３０ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは２０ｎｍ未満、もう一度さらにいっそうより好ましくは１０ｎｍ未満、最も好ましくは７ｎｍ未満である。より低いチップ幅を有するナノ構造を含む表面は典型的には、細菌に対してより大きな応力を誘導することができ、よって、より高い抗菌特性につながる。上記チップ幅は現在開示される方法の結果である。本開示のさらなる実施形態では、ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満、より好ましくは３００ｎｍ未満、さらにより好ましくは２００ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは１００ｎｍ未満、最も好ましくは５０ｎｍ未満である。現在開示される実施形態の多くの場合、チップ幅はチップ幅と同一である。よって、チップ幅はインプラント周囲炎に関連する細菌のサイズ未満であることが好ましい可能性がある。ナノ構造は実質的に垂直であってもよく、すなわち、表面に垂直であり、あるいは、ナノ構造は、平均して、９０°未満の側壁角を有し得る。本開示の一実施形態では、側壁角は１８°～９０°である。ナノ構造はよって、例えば埋込装置の表面から延在する、実質的に円すい形であってもよい。

図面の詳細な説明
本発明は、以下において、添付の図面を参照してより詳細に記載される。図面は例示であり、人工器官上でモノリシックナノ構造を形成するための、現在開示される方法、モノリシックナノ構造を有する表面を含む人工器官の特徴のいくつかを説明することが意図され、現在開示される発明に制限するものと解釈されるべきではない。

図１はモノリシックナノ構造（９）を形成するための方法の概要を示し、ナノ構造が、埋込装置（１）の表面上での金属フィルム（３）の堆積（２）、ならびに、前記金属フィルムの、加熱（４）による、ナノ粒子（５）を含むエッチマスクへのその後の変換を含む方法により形成される。表面はその後、任意の等方性および／または異方性エッチング法、例えば、ドライエッチングまたはウェットエッチングプロセスによりエッチングされ得る（６）。図は典型的な実質的に異方性のエッチングを例示し、円柱または円すい形ナノ構造が形成され得る。ナノ粒子はまた、ある程度、エッチングステップにより影響され、結果として、等方性エッチングと組み合わせると、円すい形ナノ構造の形成という結果になり得ることがわかる。方法は、エッチマスクの除去（８）をさらに含むことができ、よって埋込装置の表面上にモノリシックナノ構造（９）が形成される。エッチマスクの除去は、前記表面をナノ構造からナノ粒子を除去するのに好適な溶液、例えば、王水溶液に浸漬させることを含み得る。方法は、最終ナノ構造の複数の特性は、例えば、金属フィルムの厚さ、金属フィルムの材料、加熱条件、エッチング溶液、およびエッチング時間により調整することができるという点で、非常に万能である。よって、所望の特性を有するモノリシックナノ構造、例えば、骨結合および細菌防止のためのモノリシックナノ構造が形成され得る。

本開示の特定の実施形態では、方法は、骨結合および抗菌特性を増加させるためにミクロ構造およびナノ構造を含む埋込装置の表面を実現するために使用され得る。例えば、方法は繰り返すことができ、異なる特性を有する構造が形成される。具体例では、インプラントの表面は最初に本開示方法にしたがって処理され、ミクロ構造が達成され、第２のステップでは、方法がナノ構造を形成するために改良処理パラメータで繰り返され、よって骨結合および抗菌特性を増加させるためにミクロ構造およびナノ構造を含む埋込装置が実現される。あるいは、ミクロ構造が、現在開示される方法を使用してナノ構造を形成する前に、例えば、Ｊｅｍａｔ ｅｔ ａｌ． Ｂｉｏｍｅｄ Ｒｅｓ Ｉｎｔ． ２０１５； ２０１５： ７９１７２５において、当業者に知られている方法に従い形成され得る。例えば、グリットブラスチングまたは酸エッチングは、今日の歯科インプラントにおいて、より良好な骨結合のために表面上にミクロ構造を作製するために一般的に使用される方法である。これらの公知の方法は、本明細書の他の箇所で開示されるナノ構造の形成前に、ミクロ構造を形成するために使用され得る。埋込装置の表面はそこで、例えば、グリットブラスチングおよび／または酸エッチングまたは、埋込装置（例えば歯科インプラント）の表面上でのミクロ構造の形成のための、当業者に知られている任意の他の方法により形成されたミクロ構造を含むことができる。

図５は、本開示の一実施形態による、ＨＦ、Ｈ_２Ｏ_２およびＨ_２Ｏの混合物を使用する化学ウェットエッチングにより生成された例示的な円錐モノリシックナノ構造を示す。図５Ａはより高いアスペクト比を有するナノ構造を示す。チップ幅は平均しておよそ５ｎｍであり、ベース幅は平均して約１５－２５ｎｍであり、高さは約５０－７５ｎｍである。よって、アスペクト比は約２－５である。図５Ｂ－５Ｄは、より低いアスペクト比を有するナノ構造の例を示す。チップ幅は約３－５ｎｍであり、ベース幅は約４０－６５ｎｍであり、高さは約４０－６０ｎｍである。その結果として、これらのナノ構造のアスペクト比はおよそ１である。

図６は円錐形状を有するモノリシックナノ構造の略図を示す。見てわかるように、円錐形状は、チップ幅（８）、ベース幅（９）、高さ（１０）、２つの隣り合うナノ構造間の距離（１１、すなわち２つの隣り合うナノ構造のチップ間の距離）、および側壁とナノ構造に垂直な面（例えば、ナノ構造の底面）との間の角度により規定される側壁角により規定され、ベース幅の半分で割ったナノ構造の高さの結果の逆正接により得ることができる。同様に、ナノ構造のアスペクト比は典型的には、ベース幅で割ったナノ構造の高さとして規定される。よって、チップ幅はチップの鋭さを規定するパラメータと考えることができ、チップ幅はナノ構造のチップの幅として規定される。

図６は、本開示の一実施形態による、標的表面（７８）、例えば埋込装置の表面のエッチングの略図を示す。見てわかるように、前記表面の少なくとも一部はマスク（７７）により被覆されている。埋込装置のエッチングにより形成される構造はマスクのエッチング速度および標的のエッチング速度に依存する。一般に、標的材料のエッチング速度に対してマスク材料の低いエッチング速度を有するエッチングプロセスは、典型的には、７１－７３に示されるプロセスにつながる。ここで、標的材料がエッチングされる間、マスク材料はほとんど無傷であり、深い溝が形成されることがわかる。得られるナノ構造は円すい形よりも柱状である可能性があり、垂直またはほとんど垂直な側壁を有する。これとは反対に、７４－７５はマスク（例えばナノ粒子）が標的材料と比べてかなりの程度までエッチングされるプロセスを示す。見てわかるように、マスク材料がエッチングされて除去される（ここでは、等方性エッチングとして示されており、マスク、例えばナノ粒子はより薄く、かつ、より狭くなる）。より小さなマスク材料は、標的表面、例えば埋込装置の表面のより大きな部分の曝露につながり、そのため、傾斜側壁を有するナノ構造が形成される。理解され得るように、得られる側壁角は、マスク材料と標的材料の間の相対エッチング速度、特にナノ粒子のサイズが減少する速度（すなわち、標的材料の面、例えば埋込装置の表面内のナノ粒子のエッチング）に依存する。マスク材料が、水平方向で（すなわちマスクの面内で）、エッチングされて除去されるのが速いほど、側壁角が低くなる。そのため、以上で概説されるプロセスに従い、所望の側壁角、およびナノ構造の他の特性、例えば、ナノ構造の高さを有するナノ構造を生成するために、エッチングプロセスは便宜的に、マスク材料の水平エッチングの速度が、標的材料の垂直エッチングの速度（すなわち、標的材料の垂直エッチングとマスク材料の水平エッチングの間の相対速度／比率）に基づいて選択されるように構成される。

現在開示される実施形態の実施例
実施例１：ウェットエッチングおよびドライエッチングによるチタン試料上でのモノリシックナノ構造の作製
材料および方法
１．薄い金属フィルム堆積
およそ５ｎｍの厚さを有するＡｕ（金）の薄い金属フィルムを複数のチタン試料上に、原子層堆積を使用し、１Å／ｓの堆積速度を用いて堆積させた。

２．急速熱アニーリング
チタン試料を３分間６５０℃で、真空条件で熱的にアニールした。その後、金ナノ粒子をチタン試料の表面上で形成させ、その後のエッチングプロセスにおいてマスクパターンとして使用した。

３．ドライエッチングまたはウェットエッチング
３．１ドライエッチング
ドライエッチングが指定された試料を、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ＩＣＰ－ＲＩＥ）により、ＣＦ_４／ＳＦ_６のガス源混合物を用いてエッチングした。

３．２ウェットエッチング
ウェットエッチングが指定された試料を、フッ化水素酸（ＨＦ）系溶液での浸漬によりエッチングした。試料をウェットエッチングプロセス後すすいできれいにした。

４．残留マスク材料の除去
エッチング後、マスク材料を、王水溶液（硝酸と塩酸の混合物）での浸漬により除去した。

結果
形成されたＡｕナノ粒子（ステップ２後）、および、エッチマスクなしの形成されたモノリシックナノ構造（ステップ４後）を走査電子顕微鏡法により特徴付けた。

形成された金属フィルムの厚さによって、ナノ粒子のサイズは、比較的小さいもの（図２Ａ）から比較的大きなナノ粒子（図２Ｃ）まで、調整することができる。図２Ｂにおいて示されるナノ粒子は４２．２ｎｍの平均サイズ（適合直径）を有し、密度はおよそ２００／μｍ^２であった。

さらに、モノリシックナノ構造の走査電子顕微鏡写真により、試料の表面上に実質的にランダムなパターンで配置された円すい形ナノ構造が明らかになった、図３。平均チップ幅は１０ｎｍ未満であり、一方、ナノ構造のベースでの直径は平均しておよそ８０ｎｍであった。同時に、ナノ構造の平均高さはおよそ１５０ｎｍであった。

ウェットエッチングされたナノ構造は、図４Ａおよび４Ｂにおいて示されるように、隆線形構造を有した。隆線は、図４Ａでは、チタン試料の表面の実質的に凹状のへこみ間で形成された。ウェットエッチングプロセスの等方性は、へこみのサイズ変化、その後、ウェットエッチングされたナノ構造という結果になった。

実施例２：ウェットエッチングおよびドライエッチングによるモノリシックナノ構造の作製およびキャラクタリゼーション
材料および方法
１．薄い金属フィルム堆積
５ｎｍの厚さを有するＡｕ（金）の薄い金属フィルムをチタン試料上に、ｅ－ビーム堆積を使用し、１Å／ｓの堆積速度を用いて堆積させる。

２．急速熱アニーリング
チタン試料を３分間６５０℃で真空の条件で熱的にアニールさせる。標的基材の表面上で形成された、得られたナノ粒子は図２Ｄにおいて示される。

３．ドライエッチングまたはウェットエッチング
３．１ドライエッチング
チタン試料の半分をドライエッチングし、他の半分をウェットエッチングした。ドライエッチングされた試料は、ＩＣＰ－ＲＩＥ機械を下記条件下で使用することによりドライエッチングした：Ｃｌ_２：３０ｓｃｃｍ、Ａｒ：２ｓｃｃｍ、圧力：３ｍＴｏｒｒ、コイル電力：４００Ｗ、プレート電力：１００Ｗ、Ｔｅｍｐ．：２０℃、９０秒間エッチング。

得られた、ドライエッチングされたナノ構造は図３において示される。

３．２ウェットエッチング
試料の一部を緩衝フッ化水素酸（ＢＨＦ）溶液に６分間浸漬させ、次いでＤＩ水により５分間すすぎ、Ｎ_２ガンにより乾燥させた。エッチングされたナノ構造は図４Ａにおいて示される。

試料の別の一部分をＨＦ：Ｈ_２Ｏ_２：Ｈ_２Ｏ（２：１：１０）の溶液に４分間浸漬させ、次いでＤＩ水により５分間すすぎ、Ｎ_２ガンにより乾燥させた。エッチングされたナノ構造は図５Ａにおいて示される。

試料のさらに別の一部分をＨＦ：Ｈ_２Ｏ_２：Ｈ_２Ｏ（２：１：１０）の溶液に３分間浸漬させ、次いでＤＩ水により５分間すすぎ、Ｎ_２ガンにより乾燥させた。エッチングされたナノ構造は図５Ｃにおいて示される。

４．残留マスク材料の除去
各試料の残留マスク材料を王水溶液（３：１の比率を有するＨＣｌ：ＨＮＯ_３）により除去した。試料を前記王水溶液に３分間浸漬させ、次いでＤＩ水により５分間すすぎ、Ｎ_２ガンにより乾燥させた。

キャラクタリゼーションおよび結果
ステップ２で生成された、形成されたＡｕナノ粒子を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を使用して特徴付けた。ナノ粒子の測定した平均サイズ（直径）は４２．２ｎｍであり、ナノ粒子密度は２００／μｍ^２であった。ナノ粒子のサイズおよび密度はステップ１で堆積させた金属フィルムの厚さに依存すると特定した。より厚い金属フィルムは、より大きなナノ粒子サイズおよびより低い構造密度につながる。形成されたＡｕナノ粒子の例示的なＳＥＭ画像は図２Ａ－Ｄにおいて示され、下記表においてさらに定量化される。

実施例３：インビトロ細菌実験
１．目的および原理
この研究の目的は、表面ナノ構造を有するチタン試料の抗菌効果が存在するかどうかを証明することである。平らな表面を有するチタン試料が試験に標準試料として含まれる。

概念は、バイオフィルムを試験ユニット上に導入し、次いで、処理済み試験ユニット上の微生物数を標準ユニットと比較するものである。

ナノ構造を有する、および有さない試験ユニットに細菌懸濁液を接種する。ナノ構造を含む試料は、実施例２に従い、緩衝フッ化水素酸（ＢＨＦ）によるウェットエッチングを用いて処理されており、図４Ａにおいて示される。微生物の量を、試験ユニットを接種材料中、室温で４日間保存した後測定した。試験ユニットを滅菌水ですすぎ、残った微生物をＭＲＤに溶出させた。ＭＲＤ中の細菌の濃度を測定し、最後に、試験ユニットを拭き取り、スワブ上の細菌の量を測定した。

２．手順
２．１試料
チタン試験ユニットは１×１ｃｍの表面積を有した。すでに述べたように、ナノ構造を含む試験ユニットは、実施例２に従い、緩衝フッ化水素酸（ＢＨＦ）によるウェットエッチングを用いて処理されており、図４Ａにおいて示される。

２．２接種材料
試験生物はスタフィロコッカス・アウレウスＡＴＣＣ２９５２３である。接種レベルはおよそ１０^８ＣＦＵ／ｍＬ接種材料を標的とした。

試験生物を濃縮ステップならびに純度および濃度のための制御を含む標準手順に従い調製した。

２．３機器
●ポリカーボネートチューブ９９×Φ１６ｍｍ、ねじ蓋あり、無菌
●ポリエステルチップを有するＴＳ／５－４２乾燥スワブ、１０ｍＬ中和緩衝液
●滅菌水
●マキシマムリカバリー希釈液（ＭＲＤ）
●微生物増殖培地：血液寒天
●インキュベーター、３７℃

２．４方法および培地
血液寒天での総微生物数の分析、スプレッドプレート技術、３７℃で１日間インキュベーションおよび全ての微生物の計数。

２．５調製、試験ユニットの接種および分析
試験ユニットをチューブ中１ｍＬ接種材料に入れ、周囲温度で、ＬＡＦベンチにおいて４日間保存する。接種材料中の微生物の量を分析する。

試験ユニットを接種材料から無菌鉗子により取り出し、１０ｍＬの滅菌水ですすぎ、過剰の接種材料を除去する。その後９ｍＬの無菌ＭＲＤに入れ、微生物を３×３ｓｅｃ間、５００ｒｐｍの回転速度で回転させることにより溶出させる。ＭＲＤ中の微生物の量を分析する。

試験ユニットを無菌鉗子によりＭＲＤリンス液から無菌ペトリ皿に移す。試験ユニットを完全に両側で拭き取り、スワブ上の微生物の量を分析する。

３．結果
図８に示されるように、ナノ構造化表面を有するＴｉ試料（８２）は、平らな表面を有するＴｉ試料と比べて（８１）（４．３ｌｏｇ_１０ＣＦＵ／ｍｌ）、細菌数の著しい低減（１．５ｌｏｇ_１０ＣＦＵ／ｍｌ）を示した。

４．結論
インビトロ細菌試験結果により、表面ナノ構造を有するＴｉは、平らな表面を有するＴｉと比べて、効率的な抗菌性能を有することが示される。

アイテム
１．埋込装置上でモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、
ａ．金属フィルムを埋込装置の表面に堆積させること；
ｂ．金属フィルムを、金属フィルムが複数の別個のナノ粒子に変換するような期間の間加熱することであって、よって、複数のナノ粒子が埋込装置の前記表面上にエッチマスクを形成すること；
ｃ．埋込装置を、埋込装置の前記表面がエッチマスクを通してエッチングされるようにエッチングすることであって、よって、前記埋込装置の表面内にモノリシックナノ構造が形成されること；ならびに
ｄ．（任意で）エッチマスクを除去すること
を含む、方法。

２．アイテム１によるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチングステップは、埋込装置の表面およびナノ粒子の両方がエッチングされるように構成され、例えば、円すい形ナノ構造を形成するように構成される、方法。

３．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、埋込装置の材料はチタン、例えば、グレード４もしくはグレード５チタン、チタン合金、ジルコニウム、またはポリエチレン、例えば、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）もしくは架橋ポリエチレン（ＸＬＰＥ）である、方法。

４．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、埋込装置は歯科プロステーシスに支持および安定性を提供するための歯科インプラントである、方法。

５．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、埋込装置は人工股関節、人工膝関節、外傷爪、膝インプラント、ラグスクリュー、脊椎ケージ、関節窩インプラント、足首融合インプラント、足／足指インプラント、長骨骨切りプレートまたは骨インプラント、仙腸関節インプラント、頭蓋プレート、または顎顔面プレートである、方法。

６．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造は、埋込装置の骨結合および細菌増殖防止を改善するように構成される、方法。

７．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、金属フィルムの材料は、金、銀、アルミニウム、ニッケル、またはそれらの組み合わせの群から選択される、方法。

８．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、金属フィルムの厚さは１ｎｍ～２５ｎｍである、方法。

９．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、金属フィルムは薄膜堆積、例えば、原子層堆積、ｅ－ビーム堆積、またはスパッタリングにより堆積される、方法。

１０．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、加熱ステップは金属フィルムの急速熱アニーリングを含み、または、これから構成される、方法。

１１．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、金属フィルムは少なくとも１分間加熱される、方法。

１２．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、金属フィルムは７０℃～９００℃の温度まで加熱される、方法。

１３．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、加熱ステップは不活性雰囲気、例えば、窒素雰囲気で実施される、方法。

１４．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、加熱ステップは大気圧未満、例えば、真空条件で実施される、方法。

１５．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ粒子の平均密度は１μｍ^－２～２０００μｍ^－２である、方法。

１６．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ粒子の平均サイズ、例えば、直径は１０ｎｍ～３５０ｎｍである、方法。

１７．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ粒子、例えば、サイズの変動係数は５０％未満である、方法。

１８．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチングはウェットエッチングにより、例えば、エッチング溶液により実施される、方法。

１９．アイテム１８によるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチング溶液はフッ化水素酸（ＨＦ）溶液、過酸化水素（Ｈ_２Ｏ_２）溶液、またはそれらの混合物である、方法。

２０．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチングはドライエッチング、例えば、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ＩＣＰ－ＲＩＥ）および／またはイオンビームエッチング（ＩＢＥ）により実施される、方法。

２１．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチングは、Ｃｌ_２、Ａｒ、ＣＦ_４／ＳＦ_６、およびＯ_２またはそれらの混合物からなる原料ガスを用いて実施される、方法。

２２．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、エッチマスクは溶液、例えば、王水溶液での浸漬により除去される、方法。

２３．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造の密度は１μｍ^－２～２０００μｍ^－２である、方法。

２４．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造の平均高さは５０ｎｍ～５００ｎｍである、方法。

２５．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造間の平均間隔は１０ｎｍ～３００ｎｍである、方法。

２６．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造のアスペクト比は０．１４～５０である、方法。

２７．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造のチップ幅は１０ｎｍ～３５０ｎｍである、方法。

２８．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満、より好ましくは１００ｎｍ未満、さらにより好ましくは５０ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは２０ｎｍ未満、いったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは８ｎｍ未満である、方法。

２９．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造の側壁角は１８°～９０°である、方法。

３０．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造は、埋込装置の表面から延在する実質的に円すい形である、方法。

３１．前記アイテムのいずれか一つによるモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、ナノ構造は、埋込装置の表面の実質的に凹状のへこみ間で形成された多くの隆線として提供される、方法。

３２．前記アイテムのいずれか一つにより形成された、骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置。

３３．骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置であって、ナノ構造は、
ａ．埋込装置の表面から延在する、実質的に円すい形であり；または
ｂ．表面の多くの実質的に凹状のへこみ間で形成された、実質的に隆線形である、埋込装置。

３４．アイテム３３の埋込装置であって、モノリシックナノ構造の密度は１μｍ^－１～２０００μｍ^－１である、埋込装置。

３５．アイテム３３－３４のいずれか一つによる埋込装置であって、ナノ構造の平均高さは３０ｎｍ～５００ｎｍ、例えば、５０ｎｍ～５００ｎｍである、埋込装置。

３６．アイテム３３－３５のいずれか一つによる埋込装置であって、凹状のへこみは実質的に半球状である、埋込装置。

３７．アイテム３３－３６のいずれか一つによる埋込装置であって、凹状のへこみは５０ｎｍ～５００ｎｍの平均半径を有する、埋込装置。

３８．アイテム３３－３７のいずれか一つによる埋込装置であって、ナノ構造間の平均間隔は１０～３００ｎｍである、埋込装置。

３９．アイテム３３－３８のいずれか一つによる埋込装置であって、ナノ構造のアスペクト比は０．１４～５０である、埋込装置。

４０．アイテム３３－３９のいずれか一つによる埋込装置であって、ナノ構造のチップ幅は１０ｎｍ～３５０ｎｍである、埋込装置。

４１．アイテム３３－４０のいずれか一つによる埋込装置であって、ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満である、埋込装置。

４２．アイテム３３－４１のいずれかによる埋込装置であって、ナノ構造の側壁角は１８°～９０°である、埋込装置。

Claims (26)

1. 埋込装置上でモノリシックナノ構造を形成するための方法であって、
   ａ．金属フィルムを前記埋込装置の表面に堆積させること；
   ｂ．前記金属フィルムを、前記金属フィルムが複数の別個のナノ粒子に変換するような期間の間加熱することであって、よって、前記複数のナノ粒子が前記埋込装置の前記表面上でエッチマスクを形成する、こと；
   ｃ．前記埋込装置を、前記埋込装置の前記表面が前記エッチマスクを通してエッチングされるようにエッチングすることであって、前記埋込装置の前記表面は前記エッチマスクがエッチングされるのと同時にエッチングされ、よって、前記埋込装置の前記表面上でモノリシックナノ構造が形成される、こと；ならびに
   ｄ．任意で前記エッチマスクを除去すること
   を含む方法。
2. 前記エッチングステップにおいて、前記埋込装置の前記表面は、前記エッチマスクの前記ナノ粒子がエッチングされるのと同時にエッチングされる、請求項１に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
3. 前記埋込装置、例えば、前記埋込装置の前記表面は、前記エッチマスクのエッチング速度の０．０１－１倍のエッチング速度でエッチングされる、請求項２に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
4. 前記ナノ構造は、前記埋込装置の骨結合および細菌増殖防止のために構成される、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
5. 前記金属フィルムは少なくとも１分間、７０℃～９００℃の温度まで加熱される、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
6. 前記ナノ粒子の平均直径は１０ｎｍ～３５０ｎｍである、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
7. エッチングはウェットエッチングにより、例えば、エッチング溶液により実施される、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
8. エッチングはドライエッチングにより、例えば、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）、誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（ＩＣＰ－ＲＩＥ）および／またはイオンビームエッチング（ＩＢＥ）により実施される、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
9. 前記ナノ構造の密度は１μｍ^－２～２０００μｍ^－２である、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
10. 前記ナノ構造の平均高さは１０ｎｍ～５００ｎｍ、より好ましくは２０ｎｍ～４００ｎｍ、さらにより好ましくは３０ｎｍ～３００ｎｍ、最も好ましくは３５ｎｍ～１００ｎｍである、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
11. 前記ナノ構造間の平均間隔は１０ｎｍ～３００ｎｍである、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
12. 前記ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満、より好ましくは３００ｎｍ未満、さらにより好ましくは２００ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは１００ｎｍ未満、いったんさらにより好ましくは３０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは２０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満、最も好ましくは６ｎｍ未満である、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
13. 前記ナノ構造の側壁角は、４５°～９０°である、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
14. 前記ナノ構造は、前記埋込装置の前記表面から延在する、実質的に円すい形である、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
15. 前記ナノ構造は、前記埋込装置の前記表面の実質的に凹状のへこみ間で形成された多くの隆線として提供される、前記請求項のいずれか一項に記載のモノリシックナノ構造を形成するための方法。
16. 骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置であって、前記ナノ構造は、前記埋込装置の前記表面から延在する、実質的に円すい形である、埋込装置。
17. 骨結合および細菌膜防止のためのモノリシックナノ構造を有する表面を含む埋込装置であって、前記ナノ構造は、前記表面の多くの実質的に凹状のへこみ間で形成された、実質的に隆線形である、埋込装置。
18. 前記ナノ構造は、請求項１－１５のいずれか一項に記載の方法に従い形成される、請求項１６－１７のいずれか一項に記載の埋込装置。
19. 前記ナノ構造の側壁角は１８°～８５°、より好ましくは２５°～７５°である、請求項１６－１８のいずれか一項に記載の埋込装置。
20. 前記ナノ構造間の平均間隔は１０ｎｍ～３００ｎｍである、請求項１６－１９のいずれか一項に記載の埋込装置。
21. 前記ナノ構造のアスペクト比は０．１４～５０である、請求項１６－２０のいずれか一項に記載の埋込装置。
22. 前記ナノ構造の平均高さは１０ｎｍ～５００ｎｍ、より好ましくは２０ｎｍ～４００ｎｍ、さらにより好ましくは３０ｎｍ～３００ｎｍ、最も好ましくは３５ｎｍ～１００ｎｍである、請求項１６－２１のいずれか一項に記載の埋込装置。
23. 前記ナノ粒子の平均サイズは１０ｎｍ～３５０ｎｍである、請求項１６－２２のいずれか一項に記載の埋込装置。
24. 前記ナノ構造の前記表面での密度は１μｍ^－２～２０００μｍ^－２である、請求項１６－２３のいずれか一項に記載の埋込装置。
25. 前記ナノ構造のチップ幅は０．５μｍ未満、より好ましくは３００ｎｍ未満、さらにより好ましくは２００ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは１００ｎｍ未満、いったんさらにより好ましくは３０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは２０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満、最も好ましくは６ｎｍ未満である、請求項１６－２４のいずれか一項に記載の埋込装置。
26. 前記ナノ構造のベース幅は１μｍ未満、より好ましくは６００ｎｍ未満、さらにより好ましくは４００ｎｍ未満、さらにいっそうより好ましくは２００ｎｍ未満、いったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは５０ｎｍ未満、さらにいったんさらにより好ましくは１０ｎｍ未満である、請求項１６－２５のいずれか一項に記載の埋込装置。

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