JP2023183285A - Photosensitive resin composition, photocured product of photosensitive resin composition, and printed wiring board with photocured film of photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition, photocured product of photosensitive resin composition, and printed wiring board with photocured film of photosensitive resin composition Download PDF

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茉莉花 林
Marika Hayashi
紘樹 津留
Koki Tsuru
孝博 鶴巻
Takahiro Tsurumaki
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Abstract

To provide a photosensitive resin composition that yields a photocured product with superior resolution and also exhibits high hiding power.SOLUTION: A photosensitive resin composition includes (A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, (E) a filler, and (F) a colorant, where the (F) colorant includes (F1) zirconium nitride.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、優れた解像性と高い隠蔽力を有する感光性樹脂組成物に関するものであり、例えば、プリント配線板のソルダーレジストとして使用した場合に、電極のファインピッチ化と微細化に対応でき、プリント配線板に対する高い隠蔽力を有する感光性樹脂組成物に関するものである。 The present invention relates to a photosensitive resin composition having excellent resolution and high hiding power, and for example, when used as a solder resist for printed wiring boards, it can cope with fine pitch and miniaturization of electrodes. , relates to a photosensitive resin composition having high hiding power for printed wiring boards.

プリント配線板は、基板の上に導体回路パターンが形成された部材であり、導体回路パターンのはんだ付けランドに電子部品を搭載するために使用される。導体回路パターンのはんだ付けランドを除く回路部分は、絶縁保護膜(例えば、ソルダーレジスト膜)で被覆される。これにより、プリント配線板に電子部品をはんだ付けする際に、はんだが不必要な部分に付着するのを防止すると共に、回路(導体)が空気に直接曝されて酸化や湿度により腐食するのを防止する。 A printed wiring board is a member having a conductor circuit pattern formed on a substrate, and is used to mount electronic components on the soldering lands of the conductor circuit pattern. The circuit portion of the conductor circuit pattern excluding the soldering lands is covered with an insulating protective film (for example, a solder resist film). This prevents solder from adhering to unnecessary parts when soldering electronic components to printed wiring boards, and also prevents circuits (conductors) from being directly exposed to air and corroding due to oxidation and humidity. To prevent.

また、近年、技術進歩に伴い、エレクトロニクス分野では、小型化、軽量化への要求がさらに高まり、これに伴い、より小型化された電子部品をプリント配線板に高密度に搭載するために、プリント配線板の導体回路パターンのファインピッチ化、微細化、高精度性が求められている。これに応じて、絶縁保護膜についても、解像性について、より高性能なものが要求されている。また、絶縁保護膜には高い隠蔽力が要求されることがある。絶縁保護膜に高い隠蔽力を付与するために、絶縁保護膜を黒色等に着色する場合がある。 In addition, in recent years, with technological advances, there has been an increasing demand for miniaturization and weight reduction in the electronics field. Fine pitch, miniaturization, and high precision of conductor circuit patterns on wiring boards are required. Accordingly, there is a demand for insulating protective films with higher performance in terms of resolution. Further, the insulating protective film may be required to have high hiding power. In order to impart high hiding power to the insulating protective film, the insulating protective film is sometimes colored black or the like.

黒色の絶縁保護膜を形成する材料として、カルボキシル基含有樹脂に配合される着色剤が、黒色着色剤と、黒色着色剤以外の1種以上の着色剤であるソルダーレジスト組成物が提案されている(特許文献1)。 As a material for forming a black insulating protective film, a solder resist composition has been proposed in which the colorant added to the carboxyl group-containing resin is a black colorant and one or more colorants other than the black colorant. (Patent Document 1).

しかし、特許文献1の黒色ソルダーレジスト組成物は、高い隠蔽力を付与する黒色着色剤として、カーボンブラックを好ましく使用している。しかし、カーボンブラックは紫外線の波長域の光透過率も低いので、露光時に紫外線を多く吸収してしまい、ソルダーレジスト塗膜の深部にまで紫外線が届きにくい傾向がある。従って、特許文献1では、ソルダーレジスト塗膜の深部における光硬化が十分ではなく、現像後にソルダーレジスト塗膜深部の寸法が小さくなりすぎて、プリント配線板から硬化塗膜が剥離等するので、絶縁保護膜の解像性に改善の余地があった。 However, the black solder resist composition of Patent Document 1 preferably uses carbon black as a black colorant that imparts high hiding power. However, carbon black has a low light transmittance in the ultraviolet wavelength range, so it absorbs a lot of ultraviolet rays during exposure, making it difficult for ultraviolet rays to reach deep into the solder resist coating. Therefore, in Patent Document 1, the photocuring in the deep part of the solder resist coating film is not sufficient, and the dimension of the deep part of the solder resist coating film becomes too small after development, and the cured coating film peels off from the printed wiring board. There was room for improvement in the resolution of the protective film.

特開2008―257045号公報Japanese Patent Application Publication No. 2008-257045

上記事情に鑑み、本発明は、優れた解像性を有する光硬化物を得ることができ、また、高い隠蔽力を有する感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can obtain a photocured product having excellent resolution and also has high hiding power.

本発明の構成の要旨は、以下の通りである。
[1](A)感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)フィラーと、(F)着色剤と、を含有し、
前記(F)着色剤が、(F1)窒化ジルコニウムを含有する感光性樹脂組成物。
[2]前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、18.0%以上である[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3]前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、25.0%以上である[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[4]前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、3.0以上である[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[5]前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、4.5以上である[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[6]前記(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、前記(F1)窒化ジルコニウムを4.0質量部以上20質量部以下含有する[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[7]前記(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、前記(F1)窒化ジルコニウムを7.0質量部以上15質量部以下含有する[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[8]前記(F1)窒化ジルコニウムのL値が、8以上18以下である[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[9]カーボンブラックを含有しない[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[10]前記(B)光重合開始剤が、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びオキシムエステル系光重合開始剤からなる群から選択された少なくとも1種を含む[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[11]前記(A)感光性樹脂が、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させて得られる構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂であり、前記(D)エポキシ化合物が、前記多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の骨格を形成している前記多官能エポキシ樹脂と同種のエポキシ樹脂を含有する[1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物。
[12][1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物の光硬化物。
[13][1]乃至[3]のいずれか1つに記載の感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板。
The gist of the configuration of the present invention is as follows.
[1] (A) photosensitive resin, (B) photopolymerization initiator, (C) reactive diluent, (D) epoxy compound, (E) filler, and (F) colorant. Contains
A photosensitive resin composition in which the colorant (F) contains (F1) zirconium nitride.
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) has a transmittance of 18.0% or more for light at a wavelength of 365 nm.
[3] The photosensitive resin composition according to [1], wherein the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) has a transmittance of 25.0% or more for light at a wavelength of 365 nm.
[4] Any one of [1] to [3], wherein the ratio of the transmittance of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) to the transmittance of light with a wavelength of 365 nm to the transmittance of light with a wavelength of 550 nm is 3.0 or more. 1. The photosensitive resin composition according to item 1.
[5] Any one of [1] to [3], wherein the ratio of the transmittance of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) to the transmittance of light with a wavelength of 365 nm to the transmittance of light with a wavelength of 550 nm is 4.5 or more. 1. The photosensitive resin composition according to item 1.
[6] Any one of [1] to [3] containing 4.0 parts by mass or more and 20 parts by mass or less of zirconium nitride (F1) based on 100 parts by mass (solid content) of the photosensitive resin (A). 1. The photosensitive resin composition according to item 1.
[7] Any one of [1] to [3] containing 7.0 parts by mass or more and 15 parts by mass or less of the (F1) zirconium nitride based on 100 parts by mass (solid content) of the photosensitive resin (A). 1. The photosensitive resin composition according to item 1.
[8] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the L value of the zirconium nitride (F1) is 8 or more and 18 or less.
[9] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3], which does not contain carbon black.
[10] The photopolymerization initiator (B) contains at least one selected from the group consisting of α-aminoalkylphenone photopolymerization initiators and oxime ester photopolymerization initiators [1] to [3] The photosensitive resin composition according to any one of the above.
[11] The photosensitive resin (A) is radically polymerizable by reacting a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid with at least a portion of the epoxy groups of a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin having a structure obtained by obtaining an unsaturated monocarboxylated epoxy resin and reacting the generated hydroxyl groups with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride. and the epoxy compound (D) contains an epoxy resin of the same type as the polyfunctional epoxy resin forming the skeleton of the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin [1] to [ 3]. The photosensitive resin composition according to any one of [3].
[12] A photocured product of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3].
[13] A printed wiring board having a photocured film of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [3].

(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の光の透過率は、セル厚が10mmの測定用セルに前記分散体を注入して測定した光の透過率である。 (F1) The light transmittance of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride is the light transmittance measured by injecting the dispersion into a measurement cell with a cell thickness of 10 mm.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(F)着色剤が(F1)窒化ジルコニウムを含有することにより、窒化ジルコニウムは紫外線の波長域の光の透過率が高いので、塗工した感光性樹脂組成物の深部まで光硬化が十分に進行して優れた解像性を有し、また、窒化ジルコニウムは可視光線の波長域の光の透過率が低いので、隠蔽力を有する硬化物を得ることができる。また、(F)着色剤が(F1)窒化ジルコニウムを含有することにより、現像後における塗膜深部の幅寸法の減少を防止できるので、塗膜深部の幅寸法は塗膜表層部の幅寸法に近づき、硬化塗膜の寸法精度が向上する。 According to the aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the coloring agent (F) contains (F1) zirconium nitride, and since zirconium nitride has a high transmittance of light in the ultraviolet wavelength range, Photocuring progresses sufficiently deep into the photosensitive resin composition, resulting in excellent resolution. Zirconium nitride has low light transmittance in the visible wavelength range, so it is a cured product with hiding power. can be obtained. In addition, since the (F) colorant contains (F1) zirconium nitride, it is possible to prevent the width dimension of the deep part of the coating film from decreasing after development, so the width dimension of the deep part of the coating film is equal to the width dimension of the surface layer part of the coating film. This will improve the dimensional accuracy of the cured coating.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、18.0%以上であることにより、塗工した感光性樹脂組成物の深部まで光硬化がより確実に進行して、より優れた解像性を有する硬化物を得ることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the transmittance of the 50 ppm dispersion of (F1) zirconium nitride to light at a wavelength of 365 nm is 18.0% or more, so that the coated photosensitive resin Photocuring progresses more reliably to the deep part of the composition, and a cured product having better resolution can be obtained.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、25.0%以上であることにより、塗工した感光性樹脂組成物の深部における光硬化性がさらに向上して、さらに優れた解像性を有する硬化物を得ることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the transmittance of the 50 ppm dispersion of (F1) zirconium nitride to light at a wavelength of 365 nm is 25.0% or more, so that the coated photosensitive resin The photocurability in the deep part of the composition is further improved, and a cured product having even better resolution can be obtained.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、3.0以上であることにより、優れた解像性を確実に得ることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the ratio of the transmittance of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) to the transmittance of light with a wavelength of 365 nm to the transmittance of light with a wavelength of 550 nm is 3.0 or more. By doing so, excellent resolution can be reliably obtained.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、4.5以上であることにより、解像性がさらに向上する。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, the ratio of the transmittance of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) to the transmittance of light with a wavelength of 365 nm to the transmittance of light with a wavelength of 550 nm is 4.5 or more. This further improves resolution.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、(F1)窒化ジルコニウムを4.0質量部以上20質量部以下含有することにより、優れた解像性と高い隠蔽力をバランスよく向上させることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, (F1) zirconium nitride is contained in 4.0 parts by mass or more and 20 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass (solid content) of (A) photosensitive resin. As a result, excellent resolution and high hiding power can be improved in a well-balanced manner.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、(F1)窒化ジルコニウムを7.0質量部以上15質量部以下含有することにより、優れた解像性と高い隠蔽力をバランスよく向上させつつ、隠蔽力をさらに向上させることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, (F1) zirconium nitride is contained in 7.0 parts by mass or more and 15 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass (solid content) of (A) photosensitive resin. Accordingly, it is possible to further improve the hiding power while improving excellent resolution and high hiding power in a well-balanced manner.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(B)光重合開始剤が、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びオキシムエステル系光重合開始剤からなる群から選択された少なくとも1種を含むことにより、感光性樹脂組成物の光硬化性が向上して、硬化物に優れた硬度と耐久性を付与することができる。 According to an embodiment of the photosensitive resin composition of the present invention, the photopolymerization initiator (B) is at least one selected from the group consisting of an α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator and an oxime ester photopolymerization initiator. By including the seeds, the photocurability of the photosensitive resin composition is improved, and excellent hardness and durability can be imparted to the cured product.

本発明の感光性樹脂組成物の態様によれば、(A)感光性樹脂が、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させて得られる構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂であり、(D)エポキシ化合物が、前記多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の骨格を形成している前記多官能エポキシ樹脂と同種のエポキシ樹脂を含有することにより、感光性樹脂組成物の硬化物の強度を向上させることができる。 According to an aspect of the photosensitive resin composition of the present invention, (A) the photosensitive resin has radical polymerizable unsaturation in at least a portion of the epoxy groups of the polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. A polybasic acid-modified radical having a structure obtained by reacting a monocarboxylic acid to obtain a radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin and reacting the generated hydroxyl group with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride. A polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin, in which the epoxy compound (D) is the same type of epoxy as the polyfunctional epoxy resin forming the skeleton of the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin. By containing the resin, the strength of the cured product of the photosensitive resin composition can be improved.

次に、本発明の感光性樹脂組成物の各成分について詳細を説明する。本発明の感光性樹脂組成物は、(A)感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)フィラーと、(F)着色剤と、を含有し、前記(F)着色剤が、(F1)窒化ジルコニウムを含有する。 Next, each component of the photosensitive resin composition of the present invention will be explained in detail. The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, (E) a filler, ( F) a colorant, and the colorant (F) contains (F1) zirconium nitride.

本発明の感光性樹脂組成物では、(F)着色剤が(F1)窒化ジルコニウムを含有することにより、窒化ジルコニウムは、紫外線の波長域の光の透過率が高く、可視光線の波長域の光の透過率が低いので、塗工した感光性樹脂組成物の深部まで光硬化が十分に進行して優れた解像性を有しつつ、高い隠蔽力を有する硬化物を得ることができる。また、(F)着色剤が(F1)窒化ジルコニウムを含有することにより、現像後における塗膜深部の幅寸法の減少を防止できるので、塗膜深部の幅寸法は塗膜表層部の幅寸法に近づき、硬化塗膜の寸法精度が向上する。 In the photosensitive resin composition of the present invention, since the colorant (F) contains (F1) zirconium nitride, zirconium nitride has high transmittance for light in the ultraviolet wavelength range and light in the visible light wavelength range. Since the transmittance of the photosensitive resin composition is low, photocuring proceeds sufficiently deep into the coated photosensitive resin composition, and a cured product having excellent resolution and high hiding power can be obtained. In addition, since the (F) colorant contains (F1) zirconium nitride, it is possible to prevent the width dimension of the deep part of the coating film from decreasing after development, so the width dimension of the deep part of the coating film is equal to the width dimension of the surface layer part of the coating film. This will improve the dimensional accuracy of the cured coating.

<(A)感光性樹脂>
(A)成分である感光性樹脂は、感光性樹脂組成物のベース樹脂である。感光性樹脂の構造は、特に限定されず、例えば、感光性の不飽和二重結合を1個以上と遊離のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有感光性樹脂が挙げられる。カルボキシル基含有感光性樹脂としては、例えば、(A1)1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させて得られる構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)、(A2)ラジカル重合性不飽和基がさらに導入されている多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A2樹脂)、(A3)1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基にポリイソシアネート化合物を付加反応させ、さらに付加反応したポリイソシアネート化合物のイソシアネート基に、水酸基とカルボキシル基を有する化合物を付加反応させて得られる構造を有する酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A3樹脂)等が挙げられる。
<(A) Photosensitive resin>
The photosensitive resin which is the component (A) is the base resin of the photosensitive resin composition. The structure of the photosensitive resin is not particularly limited, and examples include carboxyl group-containing photosensitive resins having one or more photosensitive unsaturated double bonds and a free carboxyl group. As the carboxyl group-containing photosensitive resin, for example, (A1) a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule, at least a portion of the epoxy groups is reacted with a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid to form a radical. A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy having a structure obtained by obtaining a polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin and reacting the generated hydroxyl group with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride. resin (A1 resin), (A2) a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A2 resin) into which a radically polymerizable unsaturated group is further introduced, (A3) an epoxy group in one molecule. A radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is reacted with at least a portion of the epoxy groups of a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups to obtain a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxidized epoxy resin, and a polyisocyanate compound is added to the generated hydroxyl groups. An acid-modified urethanized unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A3 resin) having a structure obtained by addition reaction and addition reaction of a compound having a hydroxyl group and a carboxyl group to the isocyanate group of the polyisocyanate compound subjected to the addition reaction. Can be mentioned.

(A1)多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂
多官能エポキシ樹脂
多官能エポキシ樹脂のエポキシ当量は、特に限定されず、例えば、その上限値は、3000g/eqが好ましく、2000g/eqがより好ましく、1000g/eqがさらに好ましく、500g/eqが特に好ましい。一方で、多官能エポキシ樹脂のエポキシ当量の下限値は、100g/eqが好ましく、200g/eqが特に好ましい。多官能エポキシ樹脂の化学構造は、特に限定されず、多官能エポキシ樹脂としては、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂等のゴム変性エポキシ樹脂、ε-カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、オルト-クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらの多官能エポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(A1) Polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin Polyfunctional epoxy resin The epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, and for example, the upper limit thereof is preferably 3000 g/eq and 2000 g/eq. eq is more preferred, 1000 g/eq is even more preferred, and 500 g/eq is particularly preferred. On the other hand, the lower limit of the epoxy equivalent of the polyfunctional epoxy resin is preferably 100 g/eq, particularly preferably 200 g/eq. The chemical structure of the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, and examples of the polyfunctional epoxy resin include biphenylaralkyl epoxy resin, phenylaralkyl epoxy resin, biphenyl epoxy resin, naphthalene epoxy resin, and dicyclopentadiene epoxy resin. Resin, rubber modified epoxy resin such as silicone modified epoxy resin, ε-caprolactone modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin such as ortho-cresol novolak type, bisphenol novolac type epoxy resin , cycloaliphatic polyfunctional epoxy resin, glycidyl ester type polyfunctional epoxy resin, glycidylamine type polyfunctional epoxy resin, heterocyclic polyfunctional epoxy resin, bisphenol modified novolac type epoxy resin, polyfunctional modified novolac type epoxy resin, etc. be able to. These polyfunctional epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸
ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸のカルボキシル基が、多官能エポキシ樹脂のエポキシ基と反応してエステル結合を形成することで、エポキシ樹脂に感光性の不飽和二重結合が導入され、多官能エポキシ樹脂骨格に感光特性が付与される。ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸(アクリル酸及び/またはメタクリル酸を「(メタ)アクリル酸」ということがある。)、クロトン酸、チグリン酸、アンゲリカ酸、桂皮酸等を挙げることができる。これらのうち、反応性、入手容易性、取り扱い性の点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。これらのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid The carboxyl group of the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid reacts with the epoxy group of the polyfunctional epoxy resin to form an ester bond, resulting in a photosensitive unsaturated double Bonds are introduced to impart photosensitive properties to the multifunctional epoxy resin backbone. Examples of radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid (acrylic acid and/or methacrylic acid is sometimes referred to as "(meth)acrylic acid"), crotonic acid, tiglic acid, angelic acid, Cinnamic acid and the like can be mentioned. Among these, (meth)acrylic acid is preferred in terms of reactivity, ease of availability, and ease of handling. These radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

多官能エポキシ樹脂にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させる方法は、特に限定されず、例えば、多官能エポキシ樹脂とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とを適当な分散媒(例えば、不活性な有機溶媒)中で加熱しながら撹拌する方法が挙げられる。 The method of reacting the radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid with the polyfunctional epoxy resin is not particularly limited. An example is a method of stirring while heating in an organic solvent).

多塩基酸及び/または多塩基酸無水物
多塩基酸及び/または多塩基酸無水物が、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の水酸基に付加反応することで、感光性樹脂に遊離のカルボキシル基が導入されて、A1樹脂を得ることができる。多塩基酸及び/または多塩基酸無水物は、特に限定されず、飽和、不飽和のいずれも使用することができる。多塩基酸には、例えば、マロン酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、アジピン酸、クエン酸、フタル酸、テレフタル酸、テトラヒドロフタル酸、3-メチルテトラヒドロフタル酸、4-メチルテトラヒドロフタル酸、3-エチルテトラヒドロフタル酸、4-エチルテトラヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸等のテトラヒドロフタル酸類、ヘキサヒドロフタル酸、3-メチルヘキサヒドロフタル酸、4-メチルヘキサヒドロフタル酸、3-エチルヘキサヒドロフタル酸、4-エチルヘキサヒドロフタル酸等のヘキサヒドロフタル酸類、ジグリコール酸等の2官能のカルボン酸、トリメリット酸等の3官能のカルボン酸、ピロメリット酸等の4官能のカルボン酸等が挙げられる。多塩基酸無水物としては、上記した多塩基酸の無水物が挙げられる。これらの多塩基酸及び多塩基酸無水物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Polybasic acid and/or polybasic acid anhydride The polybasic acid and/or polybasic acid anhydride reacts with the hydroxyl groups of the radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin to form free carboxyl groups in the photosensitive resin. groups can be introduced to obtain A1 resin. The polybasic acid and/or polybasic acid anhydride is not particularly limited, and either saturated or unsaturated polybasic acids can be used. Examples of polybasic acids include malonic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, adipic acid, citric acid, phthalic acid, terephthalic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid, 4-methyltetrahydrophthalic acid, Tetrahydrophthalic acids such as 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, endomethylenetetrahydrophthalic acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, 3-methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydro Phthalic acid, hexahydrophthalic acids such as 3-ethylhexahydrophthalic acid and 4-ethylhexahydrophthalic acid, bifunctional carboxylic acids such as diglycolic acid, trifunctional carboxylic acids such as trimellitic acid, and pyromellitic acid. Examples include tetrafunctional carboxylic acids such as. Examples of the polybasic acid anhydride include the anhydrides of the polybasic acids described above. These polybasic acids and polybasic acid anhydrides may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させる方法は、特に限定されず、例えば、ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と多塩基酸及び/または多塩基酸無水物とを適当な分散媒(例えば、不活性な有機溶媒)中で加熱しながら撹拌する方法が挙げられる。 The method of reacting a radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride is not particularly limited. For example, the method of reacting a radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin with a polybasic acid and A method of stirring the mixture and/or polybasic acid anhydride in an appropriate dispersion medium (for example, an inert organic solvent) while heating the mixture can be mentioned.

(A2)ラジカル重合性不飽和基がさらに導入されている多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂
A2樹脂は、上記多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂のカルボキシル基の一部に、さらに、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物(例えば、グリシジル化合物)を反応させた化学構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂である。ラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物をさらに反応させたカルボキシル基含有感光性樹脂では、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の側鎖にラジカル重合性不飽和基がさらに導入されている化学構造を有している。従って、ラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物を反応させた化学構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂は、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)よりも、光重合反応性に優れ、感光特性がさらに向上する。
(A2) A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin into which a radically polymerizable unsaturated group has been further introduced. A2 resin is a carboxyl epoxy resin of the above polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin. It is a carboxyl group-containing photosensitive resin having a chemical structure in which a part of the group is further reacted with a compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group (for example, a glycidyl compound). In the carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by further reacting a compound having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group, a radically polymerizable unsaturated group is added to the side chain of the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin. It has a chemical structure that has been further introduced. Therefore, a carboxyl group-containing photosensitive resin having a chemical structure obtained by reacting a compound having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group is better than a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A1 resin). It also has excellent photopolymerization reactivity and further improves photosensitivity.

ラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物としては、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート(アクリレート及び/またはメタクリレートを「(メタ)アクリレート」ということがある。)、アリルグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートモノグリシジルエーテル等が挙げられる。これらのラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂にラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物を反応させる方法は、特に限定されず、例えば、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂と、ラジカル重合性不飽和基とエポキシ基を有する化合物と、を適当な分散媒(例えば、不活性な有機溶媒)中で加熱しながら撹拌する方法が挙げられる。 Examples of compounds having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate (acrylate and/or methacrylate are sometimes referred to as "(meth)acrylate"), allyl glycidyl ether, and pentaerythritol trichloride. Examples include (meth)acrylate monoglycidyl ether. These compounds having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group may be used alone or in combination of two or more. The method of reacting a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin with a compound having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group is not particularly limited. Examples include a method in which a monocarboxylated epoxy resin and a compound having a radically polymerizable unsaturated group and an epoxy group are stirred while being heated in a suitable dispersion medium (for example, an inert organic solvent).

(A3)酸変性ウレタン化不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂
多官能エポキシ樹脂
多官能エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)と同じく、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂等のゴム変性エポキシ樹脂、ε-カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、オルト-クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらの多官能エポキシ樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
(A3) Acid-modified urethanized unsaturated monocarboxylated epoxy resin Polyfunctional epoxy resin The polyfunctional epoxy resin is not particularly limited, but is the same as the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A1 resin). For example, rubber-modified epoxy resins such as biphenylaralkyl-type epoxy resins, phenylaralkyl-type epoxy resins, biphenyl-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, silicone-modified epoxy resins, ε-caprolactone-modified epoxy resins, Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin such as ortho-cresol novolak type, bisphenol novolac type epoxy resin, cycloaliphatic polyfunctional epoxy resin, glycidyl ester type polyfunctional epoxy resin, glycidyl amine type Examples include polyfunctional epoxy resins, heterocyclic polyfunctional epoxy resins, bisphenol-modified novolac epoxy resins, and polyfunctional modified novolak epoxy resins. These polyfunctional epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸
ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸としては、特に限定されないが、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)と同じく、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、チグリン酸、アンゲリカ酸、桂皮酸などを挙げることができる。これらのうち、反応性、入手容易性、取り扱い性の点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。これらのラジカル重合性不飽和モノカルボン酸は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid The radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid is not particularly limited, but as with the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A1 resin), for example, (meth) Examples include acrylic acid, crotonic acid, tiglic acid, angelic acid, and cinnamic acid. Among these, (meth)acrylic acid is preferred in terms of reactivity, ease of availability, and ease of handling. These radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more.

ポリイソシアネート化合物
ポリイソシアネート化合物は、特に限定されず、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネアート(HDI)、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、メチレンジイソシアネート(MDI)、メチレンビスシクロヘキシルイソシアネート、トリメチルヘキサメチルジイソシアネート、ヘキサンジイソシアネート、ヘキサメチルアミンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、1,2-ジフェニルエタンジイソシアネート、1,3-ジフェニルプロパンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメチルジイソシアネート等のジイソシアネート化合物が挙げられる。これらのポリイソシアネート化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Polyisocyanate Compound The polyisocyanate compound is not particularly limited, and includes, for example, hexamethylene diisocyanate (HDI), isophorone diisocyanate (IPDI), methylene diisocyanate (MDI), methylene biscyclohexyl isocyanate, trimethylhexamethyl diisocyanate, hexane diisocyanate, Examples include diisocyanate compounds such as hexamethylamine diisocyanate, toluene diisocyanate, tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, 1,2-diphenylethane diisocyanate, 1,3-diphenylpropane diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, and dicyclohexylmethyl diisocyanate. These polyisocyanate compounds may be used alone or in combination of two or more.

水酸基とカルボキシル基を有する化合物
水酸基とカルボキシル基を有する化合物は、特に限定されず、例えば、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸、ジメチロールペンタン酸、ジメチロールヘプタン酸等のジメチロールアルカン酸といったジアルカノールアルカン酸を挙げることができる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
Compounds having a hydroxyl group and a carboxyl group Compounds having a hydroxyl group and a carboxyl group are not particularly limited. Mention may be made of alkanol alkanoic acids. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

A1樹脂、A2樹脂、A3樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 A1 resin, A2 resin, and A3 resin may be used alone or in combination of two or more.

カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価は、特に限定されないが、例えば、その下限値は、感光性樹脂組成物の光硬化物にアルカリ現像性を確実に付与する点から、30mgKOH/gが好ましく、40mgKOH/gが特に好ましい。一方で、カルボキシル基含有感光性樹脂の酸価の上限値は、アルカリ現像液による露光部(光硬化部)の溶解を確実に防止する点から、200mgKOH/gが好ましく、光硬化物の絶縁信頼性を確実に向上させる点から、150mgKOH/gが特に好ましい。 The acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is not particularly limited, but for example, the lower limit thereof is preferably 30 mgKOH/g from the viewpoint of reliably imparting alkali developability to the photocured product of the photosensitive resin composition. 40 mgKOH/g is particularly preferred. On the other hand, the upper limit of the acid value of the carboxyl group-containing photosensitive resin is preferably 200 mgKOH/g from the viewpoint of reliably preventing dissolution of the exposed area (photocured area) by an alkaline developer, and the insulation reliability of the photocured product. From the viewpoint of reliably improving properties, 150 mgKOH/g is particularly preferable.

カルボキシル基含有感光性樹脂は、上記各成分を用いて上記反応工程にて調製してもよく、上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂を使用してもよい。上市されているカルボキシル基含有感光性樹脂として、例えば、「リポキシSP-4621」、「リポキシSP-4785L」(以上、昭和電工株式会社)、「ZAR-2000」、「ZFR-1122」、「ZFR-1887」、「FLX-2089」、「ZCR-1569H」、「ZCR-1601H」(以上、日本化薬株式会社)、「サイクロマーP(ACA)Z-250」(株式会社ダイセル)等を挙げることができる。 The carboxyl group-containing photosensitive resin may be prepared in the reaction step using the above components, or a commercially available carboxyl group-containing photosensitive resin may be used. Examples of commercially available carboxyl group-containing photosensitive resins include "Lipoxy SP-4621", "Lipoxy SP-4785L" (Showa Denko K.K.), "ZAR-2000", "ZFR-1122", and "ZFR". -1887'', ``FLX-2089'', ``ZCR-1569H'', ``ZCR-1601H'' (Nippon Kayaku Co., Ltd.), ``Cyclomer P (ACA) Z-250'' (Daicel Co., Ltd.), etc. be able to.

また、感光性樹脂組成物に対してアルカリ現像処理を実施しない場合には、カルボキシル基を有さない感光性樹脂を使用してもよい。 Further, when the photosensitive resin composition is not subjected to alkaline development treatment, a photosensitive resin having no carboxyl group may be used.

カルボキシル基を有さない感光性樹脂としては、例えば、(A4)(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸のエステルからなるモノマーの重合体(A4樹脂)、(A5)(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸のエステルと他の重合性モノマーからなる共重合体(A5樹脂)、(A6)(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸のエステルと、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物と、の共重合体のエポキシ基の少なくとも一部に、(メタ)アクリル酸等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させた樹脂(A6樹脂)、(A7)(メタ)アクリル酸等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸の重合体のカルボキシル基の少なくとも一部または(メタ)アクリル酸等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸と(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸のエステルとを反応させて得られる共重合体のカルボキシル基の少なくとも一部に、1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物を反応させた樹脂(A7樹脂)、(A8)エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させて得ることができるエポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A8樹脂)等を挙げることができる。 Examples of photosensitive resins without carboxyl groups include (A4) polymers of monomers consisting of esters of radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acids such as (meth)acrylate (A4 resin), (A5) (meth) A copolymer (A5 resin) consisting of an ester of a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as acrylate and another polymerizable monomer, an ester of a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as (A6) (meth)acrylate, A radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as (meth)acrylic acid is reacted with at least a portion of the epoxy group of a copolymer of a compound having one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group. (A6 resin), (A7) at least a part of the carboxyl group of a polymer of radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as (meth)acrylic acid, or radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as (meth)acrylic acid At least a portion of the carboxyl groups of the copolymer obtained by reacting an acid with an ester of a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid such as (meth)acrylate has one or more radically polymerizable unsaturated groups and an epoxy group. Resin (A7 resin) obtained by reacting a compound having Examples include radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A8 resin).

上記したカルボキシル基を有さない感光性樹脂の調製には、カルボキシル基含有感光性樹脂の調製に使用できる上記ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸及び上記1つ以上のラジカル重合性不飽和基とエポキシ基とを有する化合物と同じ化合物を使用することができる。また、エポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂としては、例えば、上記したカルボキシル基含有感光性樹脂の調製過程で得られるエポキシ(メタ)アクリレート等のラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂が挙げられる。 In order to prepare the above-mentioned photosensitive resin having no carboxyl group, the above-mentioned radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid and the above-mentioned one or more radically polymerizable unsaturated groups and epoxy It is possible to use the same compounds as those having groups. In addition, as the radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin such as epoxy (meth)acrylate, for example, the radically polymerizable unsaturated monocarboxylate epoxy resin such as epoxy (meth)acrylate obtained in the process of preparing the above-mentioned carboxyl group-containing photosensitive resin. Examples include monocarboxylic oxidized epoxy resins.

A4樹脂、A5樹脂、A6樹脂、A7樹脂、A8樹脂は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 A4 resin, A5 resin, A6 resin, A7 resin, and A8 resin may be used alone or in combination of two or more.

感光性樹脂の質量平均分子量は、特に限定されず、使用条件等により適宜選択可能であり、例えば、その下限値は、光硬化物の強靭性及びタック性の向上に寄与する点から、6000が好ましく、7000がより好ましく、8000が特に好ましい。一方で、感光性樹脂の質量平均分子量の上限値は、アルカリ現像性の向上に寄与する点から、200000が好ましく、100000がより好ましく、50000が特に好ましい。なお、上記「質量平均分子量」とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて、常温で測定し、ポリスチレン換算にて算出される質量平均分子量を意味する。 The mass average molecular weight of the photosensitive resin is not particularly limited and can be selected as appropriate depending on the conditions of use. It is preferably 7,000, more preferably 8,000. On the other hand, the upper limit of the mass average molecular weight of the photosensitive resin is preferably 200,000, more preferably 100,000, and particularly preferably 50,000, from the viewpoint of contributing to improving alkali developability. In addition, the above-mentioned "mass average molecular weight" means a mass average molecular weight measured at room temperature using gel permeation chromatography (GPC) and calculated in terms of polystyrene.

<(B)光重合開始剤>
光重合開始剤は、一般的に使用されるものであれば、特に限定されない。具体的には、例えば、1,2-オクタンジオン,1-〔4-(フェニルチオ)-2-(O-ベンゾイルオキシム)〕、エタノン1-〔9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-1-(0-アセチルオキシム)、(Z) -(9-エチル-6-ニトロ-9H-カルバゾール-3-イル)(4-((1-メトキシプロパン-2-イル)オキシ) -2-メチルフェニル)メタノン O-アセチルオキシム、2-(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン-9-オン、1,8-オクタンジオン,1,8-ビス[9-エチル-6-ニトロ-9H-カルバゾール-3-イル]-,1,8-ビス(O-アセチルオキシム)、1,8-オクタンジオン,1,8-ビス[9-(2-エチルヘキシル)-6-ニトロ-9H-カルバゾール-3-イル]-,1,8-ビス(O-アセチルオキシム)、(Z)-(9-エチル-6-ニトロ-9H-カルバゾール-3-イル)(4-((1-メトキシプロパン-2-イル)オキシ) -2-メチルフェニル)メタノン O-アセチルオキシム等のオキシムエステル系化合物が挙げられる。また、1-(4-モルホリノフェニル)-2-(ジメチルアミノ)-2-(4-メチルベンジル)-1-ブタノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルホリノプロパン-1-オン等のα-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤が挙げられる。
<(B) Photopolymerization initiator>
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it is commonly used. Specifically, for example, 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-2-(O-benzoyloxime)], ethanone 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)- 9H-carbazol-3-yl]-1-(0-acetyloxime), (Z) -(9-ethyl-6-nitro-9H-carbazol-3-yl)(4-((1-methoxypropane-2 -yl)oxy) -2-methylphenyl)methanone O-acetyloxime, 2-(acetyloxyiminomethyl)thioxanthene-9-one, 1,8-octanedione, 1,8-bis[9-ethyl-6 -Nitro-9H-carbazol-3-yl]-, 1,8-bis(O-acetyloxime), 1,8-octanedione, 1,8-bis[9-(2-ethylhexyl)-6-nitro- 9H-carbazol-3-yl]-,1,8-bis(O-acetyloxime), (Z)-(9-ethyl-6-nitro-9H-carbazol-3-yl)(4-((1- Examples include oxime ester compounds such as methoxypropan-2-yl)oxy)-2-methylphenyl)methanone and O-acetyloxime. Also, 1-(4-morpholinophenyl)-2-(dimethylamino)-2-(4-methylbenzyl)-1-butanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone Examples include α-aminoalkylphenone photopolymerization initiators such as -1,2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one.

また、上記以外の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン系、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル-2-(ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン、ベンゾフェノン、p-フェニルベンゾフェノン、4,4′-ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロルベンゾフェノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-ターシャリーブチルアントラキノン、2-アミノアントラキノン、2-メチルチオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-クロルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、P‐ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 In addition, photopolymerization initiators other than those mentioned above include, for example, acetophenone type such as acetophenone, dimethylaminoacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 2,4, 6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1 -Hydroxycyclohexylphenylketone, 4-(2-hydroxyethoxy)phenyl-2-(hydroxy-2-propyl)ketone, benzophenone, p-phenylbenzophenone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, dichlorobenzophenone, 2-methylanthraquinone , 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, benzyl dimethyl ketal , acetophenone dimethyl ketal, P-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, and the like. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

これらのうち、感光性樹脂組成物の光硬化性が向上して、硬化物に優れた硬度と耐久性を付与することができる点から、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。 Among these, α-aminoalkylphenone-based photopolymerization initiators, oxime ester-based photopolymerization initiators, and oxime ester-based Photoinitiators are preferred.

光重合開始剤の配合量は、特に限定されず、感光性樹脂100質量部(固形分、以下同じ)に対して、0.5質量部以上20質量部以下が好ましく、1.0質量部以上10質量部以下が特に好ましい。 The amount of the photopolymerization initiator is not particularly limited, and is preferably 0.5 parts by mass or more and 20 parts by mass or less, and 1.0 parts by mass or more, based on 100 parts by mass (solid content, same hereinafter) of the photosensitive resin. Particularly preferably 10 parts by mass or less.

<(C)反応性希釈剤>
反応性希釈剤は、例えば、光重合性モノマーであり、1分子当たり少なくとも1つ、好ましくは1分子当たり2つ以上の重合性二重結合を有する化合物である。反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の光硬化を補強して、感光性樹脂組成物の硬化物に十分な強度、耐熱性、耐酸性、耐アルカリ性等を付与することに寄与する。
<(C) Reactive diluent>
The reactive diluent is, for example, a photopolymerizable monomer, and is a compound having at least one polymerizable double bond per molecule, preferably two or more per molecule. The reactive diluent contributes to reinforcing photocuring of the photosensitive resin composition and imparting sufficient strength, heat resistance, acid resistance, alkali resistance, etc. to the cured product of the photosensitive resin composition.

反応性希釈剤としては、例えば、単官能の(メタ)アクリレート化合物、2官能の(メタ)アクリレート化合物、3官能の(メタ)アクリレート化合物、4官能以上の(メタ)アクリレート化合物等、単官能または多官能の(メタ)アクリレート化合物のモノマーを挙げることができる。(メタ)アクリレート化合物のモノマーとしては、例えば、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングルコールモノ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピル(メタ)アクリルレート等の単官能(メタ)アクリレート化合物;1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールアジペートジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルジ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性燐酸ジ(メタ)アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ(メタ)アクリレート、イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート等の2官能(メタ)アクリレート化合物;トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート等の3官能(メタ)アクリレート化合物;ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、プロピオン酸変性ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の4官能以上の(メタ)アクリレート化合物が挙げられる。これらの(メタ)アクリレート化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the reactive diluent include monofunctional or Examples include monomers of polyfunctional (meth)acrylate compounds. Examples of monomers of (meth)acrylate compounds include hydroxymethyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, diethylene glycol mono(meth)acrylate, 2-hydroxy-3- Monofunctional (meth)acrylate compounds such as phenoxypropyl (meth)acrylate; 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, Diethylene glycol di(meth)acrylate, neopentyl glycol adipate di(meth)acrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di(meth)acrylate, dicyclopentanyl di(meth)acrylate, ethylene oxide modified phosphoric acid di(meth)acrylate, Allyl Bifunctional (meth)acrylate compounds such as cyclohexyl di(meth)acrylate, isocyanurate di(meth)acrylate; trimethylolpropane tri(meth)acrylate, dipentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate , trifunctional (meth)acrylate compounds such as propylene oxide-modified trimethylolpropane tri(meth)acrylate, tris(acryloxyethyl)isocyanurate; ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, propionic acid-modified dipentaerythritol penta(meth) Examples include tetrafunctional or higher functional (meth)acrylate compounds such as acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate. These (meth)acrylate compounds may be used alone or in combination of two or more.

反応性希釈剤の配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂100質量部に対して、5.0質量部以上50質量部以下が好ましく、15質量部以上35質量部以下が特に好ましい。 The amount of the reactive diluent is not particularly limited, but is preferably 5.0 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, particularly preferably 15 parts by mass or more and 35 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the photosensitive resin.

<(D)エポキシ化合物>
エポキシ化合物は、感光性樹脂組成物の硬化物の架橋密度を上げて十分な硬度を硬化物に付与するためのものである。エポキシ化合物としては、例えば、エポキシ樹脂を挙げることができる。エポキシ樹脂としては、特に限定されず、例えば、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂等のゴム変性エポキシ樹脂、ε-カプロラクトン変性エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、オルト-クレゾールノボラック型等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールノボラック型エポキシ樹脂、環状脂肪族多官能エポキシ樹脂、グリシジルエステル型多官能エポキシ樹脂、グリシジルアミン型多官能エポキシ樹脂、複素環式多官能エポキシ樹脂、ビスフェノール変性ノボラック型エポキシ樹脂、多官能変性ノボラック型エポキシ樹脂等を挙げることができる。これらのエポキシ化合物は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
<(D) Epoxy compound>
The epoxy compound is for increasing the crosslinking density of the cured product of the photosensitive resin composition and imparting sufficient hardness to the cured product. Examples of epoxy compounds include epoxy resins. Epoxy resins are not particularly limited, and include rubber-modified epoxy resins such as biphenylaralkyl epoxy resins, phenylaralkyl epoxy resins, biphenyl epoxy resins, naphthalene epoxy resins, dicyclopentadiene epoxy resins, and silicone-modified epoxy resins. Resin, ε-caprolactone modified epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin such as ortho-cresol novolac type, bisphenol novolac type epoxy resin, cycloaliphatic polyfunctional epoxy resin, glycidyl ester Examples include polyfunctional epoxy resins of type polyfunctional epoxy resins, polyfunctional epoxy resins of glycidylamine type, polyfunctional heterocyclic epoxy resins, polyfunctional epoxy resins of bisphenol modification, and polyfunctional modified novolac type epoxy resins. These epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more.

感光性樹脂が、上記したA1樹脂、A2樹脂、A3樹脂またはA8樹脂の場合には、感光性樹脂組成物の硬化物の強度を向上させることができる点から、エポキシ化合物が、A1樹脂、A2樹脂、A3樹脂またはA8樹脂の骨格を形成している上記多官能エポキシ樹脂と同種のエポキシ樹脂を含有することが好ましい。すなわち、エポキシ化合物として、上記した感光性樹脂の調製に使用した多官能エポキシ樹脂の種類と同じ種類のエポキシ樹脂を使用することができる。例えば、感光性樹脂が、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させて得られる構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)である場合には、(D)成分のエポキシ化合物として、多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂(A1樹脂)の骨格を形成している多官能エポキシ樹脂と同種のエポキシ樹脂を含有することができる。 When the photosensitive resin is the above-mentioned A1 resin, A2 resin, A3 resin, or A8 resin, the epoxy compound is A1 resin, A2 resin, etc., since the strength of the cured product of the photosensitive resin composition can be improved. It is preferable to contain an epoxy resin of the same type as the above polyfunctional epoxy resin forming the skeleton of the resin, A3 resin or A8 resin. That is, as the epoxy compound, the same type of epoxy resin as the polyfunctional epoxy resin used for preparing the photosensitive resin described above can be used. For example, the photosensitive resin is oxidized by radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid by reacting a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid with at least a portion of the epoxy groups of a multifunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. It is a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxidized epoxy resin (A1 resin) having a structure obtained by obtaining an epoxy resin and reacting the generated hydroxyl group with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride. In this case, the epoxy compound of component (D) contains an epoxy resin of the same type as the polyfunctional epoxy resin forming the skeleton of the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin (A1 resin). be able to.

エポキシ化合物の配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂100質量部に対して、5.0質量部以上50質量部以下が好ましく、15質量部以上35質量部以下が特に好ましい。 The amount of the epoxy compound is not particularly limited, but is preferably 5.0 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, particularly preferably 15 parts by mass or more and 35 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the photosensitive resin.

<(E)フィラー>
フィラーは、感光性樹脂組成物の塗膜の物理的強度を上げることに寄与する成分である。フィラーとしては、無機フィラー、有機フィラーが挙げられる。無機フィラーとしては、例えば、タルク、硫酸バリウム、シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、マイカ等を挙げることができる。有機フィラーとしては、例えば、ウレタン樹脂(イソシアネートとポリオールの重合体)、アクリル樹脂、ポリエチレン、スチレン・ブタジエンゴム等のスチレンとブタジエンとの共重合体、シリコーンゴム等のシリコーン樹脂等の重合体を挙げることができる。
<(E) Filler>
The filler is a component that contributes to increasing the physical strength of the coating film of the photosensitive resin composition. Examples of fillers include inorganic fillers and organic fillers. Examples of the inorganic filler include talc, barium sulfate, silica, alumina, aluminum hydroxide, and mica. Examples of organic fillers include polymers such as urethane resins (polymer of isocyanate and polyol), acrylic resins, polyethylene, copolymers of styrene and butadiene such as styrene-butadiene rubber, and silicone resins such as silicone rubber. be able to.

フィラーの形状は、特に限定されないが、粒子状が好ましい。フィラーの平均粒子径は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物中における均一分散性と感光性樹脂組成物の塗工性の点から、0.1μm以上20μm以下が好ましく、0.5μm以上10μm以下が特に好ましい。 The shape of the filler is not particularly limited, but is preferably particulate. The average particle diameter of the filler is not particularly limited, but from the viewpoint of uniform dispersibility in the photosensitive resin composition and coatability of the photosensitive resin composition, it is preferably 0.1 μm or more and 20 μm or less, and 0.5 μm or more and 10 μm or less. The following are particularly preferred.

フィラーの配合量は、特に限定されないが、感光性樹脂100質量部に対して、5.0質量部以上50質量部以下が好ましく、10質量部以上30質量部以下が特に好ましい。 The blending amount of the filler is not particularly limited, but is preferably 5.0 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, particularly preferably 10 parts by mass or more and 30 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the photosensitive resin.

<(F)着色剤>
本発明の感光性樹脂組成物では、着色剤として(F1)窒化ジルコニウムを含有する。窒化ジルコニウムは黒色着色剤として機能し、着色剤として窒化ジルコニウムを含有することにより、感光性樹脂組成物は黒色の色彩を有している。窒化ジルコニウムは、紫外線の波長域である波長300nm~400nmの光の透過率が高く、一方で、可視光線の波長域(波長400nm~800nm程度)の光の透過率が低い。従って、塗工した本発明の感光性樹脂組成物は、露光処理による光硬化が塗膜深部まで十分に進行して優れた解像性を有し、また、高い隠蔽力を有する硬化物となる。また、着色剤が窒化ジルコニウムを含有することにより、現像後における塗膜深部の幅寸法の減少を防止できるので、塗膜深部の幅寸法は塗膜表層部の幅寸法に近づき、硬化塗膜の寸法精度が向上する。
<(F) Colorant>
The photosensitive resin composition of the present invention contains (F1) zirconium nitride as a colorant. Zirconium nitride functions as a black colorant, and by containing zirconium nitride as a colorant, the photosensitive resin composition has a black color. Zirconium nitride has a high transmittance for light in the ultraviolet wavelength range of 300 nm to 400 nm, but has a low transmittance for light in the visible light wavelength range (wavelengths of about 400 nm to 800 nm). Therefore, in the coated photosensitive resin composition of the present invention, photocuring due to exposure treatment sufficiently progresses to the deep part of the coating film, resulting in a cured product having excellent resolution and high hiding power. . In addition, since the colorant contains zirconium nitride, it is possible to prevent the width dimension of the deep part of the coating film from decreasing after development, so the width dimension of the deep part of the coating film approaches the width dimension of the surface layer part of the coating film, and the width of the cured coating film increases. Improves dimensional accuracy.

本発明の感光性樹脂組成物では、カーボンブラック等の他の黒色着色剤を含有する必要はないので、波長300~400nmの光の透過率が向上して、感光性樹脂組成物の塗膜深部までの光硬化性が確実に向上する。また、本発明の感光性樹脂組成物では、カーボンブラックを含有する必要はないので、硬化物の絶縁特性が向上する。上記から、本発明の感光性樹脂組成物は、カーボンブラックを含有しないことが好ましい。 Since the photosensitive resin composition of the present invention does not need to contain other black colorants such as carbon black, the transmittance of light in the wavelength range of 300 to 400 nm is improved, and the photosensitive resin composition can be used deep in the coating film. The photocurability up to 100% is reliably improved. Furthermore, since the photosensitive resin composition of the present invention does not need to contain carbon black, the insulating properties of the cured product are improved. From the above, it is preferable that the photosensitive resin composition of the present invention does not contain carbon black.

窒化ジルコニウムの波長365nmの光の透過率は、カーボンブラックの波長365nmの光の透過率よりも高い。塗工した感光性樹脂組成物の深部まで光硬化がより確実に進行して、より優れた解像性を有する硬化物を得ることができる点から、窒化ジルコニウムの50ppm分散体における波長365nmの光の透過率(T365)は、18.0%以上であることが好ましく、20.0%以上であることがより好ましく、塗工した感光性樹脂組成物の深部における光硬化性がさらに向上して、さらに優れた解像性を有する硬化物を得ることができる点から、25.0%以上であることが特に好ましい。窒化ジルコニウムの50ppm分散体における波長365nmの光の透過率(T365)の上限値としては、例えば、波長365nmの光の透過率が高すぎることによる過剰な光硬化の進行を防止して、現像処理後の塗膜開口部が設定よりも狭くなることを防止して、優れた寸法精度を確実に得る点から、35.0%が好ましい。 The transmittance of zirconium nitride for light at a wavelength of 365 nm is higher than the transmittance of carbon black for light at a wavelength of 365 nm. Light at a wavelength of 365 nm in a 50 ppm dispersion of zirconium nitride is used because photocuring can proceed more reliably deep into the applied photosensitive resin composition and a cured product with better resolution can be obtained. The transmittance (T 365 ) of is preferably 18.0% or more, more preferably 20.0% or more, and the photocurability in the deep part of the coated photosensitive resin composition is further improved. The content is particularly preferably 25.0% or more, since it is possible to obtain a cured product with even better resolution. The upper limit of the transmittance (T 365 ) of light at a wavelength of 365 nm in a 50 ppm dispersion of zirconium nitride is, for example, to prevent excessive photocuring due to the transmittance of light at a wavelength of 365 nm being too high, and to 35.0% is preferable from the viewpoint of preventing the coating film opening after treatment from becoming narrower than the setting and ensuring excellent dimensional accuracy.

また、窒化ジルコニウムの50ppm分散体の波長550nmの光の透過率(T550)に対する窒化ジルコニウムの50ppm分散体の波長365nmの光の透過率(T365)の比(T365/T550)は、優れた解像性を確実に得ることができる点から、3.0以上が好ましく、3.5以上がより好ましく、解像性がさらに向上する点から、4.5以上が特に好ましい。窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率(T550)に対する波長365nmの光の透過率(T365)の比(T365/T550)の上限値としては、例えば、光透過率の比(T365/T550)が高すぎることによる塗膜表面の光硬化の優先的な進行と塗膜底部の硬化不足を防止して、塗膜開口部がオーバーハング状になることを防止する点から、7.0が好ましい。 Further, the ratio (T 365 /T 550 ) of the transmittance (T 365 ) of the 50 ppm zirconium nitride dispersion to the light at the wavelength 365 nm (T 550 ) of the 50 ppm zirconium nitride dispersion is as follows: From the standpoint of reliably obtaining excellent resolution, it is preferably 3.0 or more, more preferably 3.5 or more, and particularly preferably 4.5 or more from the standpoint of further improving resolution. The upper limit of the ratio (T 365 /T 550 ) of the transmittance of light at a wavelength of 365 nm (T 365 ) to the transmittance of light at a wavelength of 550 nm (T 550 ) of a 50 ppm dispersion of zirconium nitride is, for example, This prevents the preferential progress of photocuring on the surface of the coating film and insufficient curing of the bottom of the coating film due to the rate ratio (T 365 /T 550 ) being too high, thereby preventing the openings of the coating film from becoming overhang-like. From the viewpoint of prevention, 7.0 is preferable.

窒化ジルコニウムの50ppm分散体の波長550nmの光の透過率(T550)としては、優れた隠蔽力を有する硬化物を得ることができる点から、8.0%以下が好ましく、6.0%以下が特に好ましい。 The transmittance (T 550 ) of the 50 ppm dispersion of zirconium nitride for light at a wavelength of 550 nm is preferably 8.0% or less, and 6.0% or less, from the viewpoint of obtaining a cured product with excellent hiding power. is particularly preferred.

窒化ジルコニウムのL値(明度)は、例えば、8以上18以下であり、8以上16以下が好ましい。 The L value (lightness) of zirconium nitride is, for example, 8 or more and 18 or less, preferably 8 or more and 16 or less.

窒化ジルコニウムは粒子形状であり、平均一次粒子径は、例えば、20nm以上50nm以下である。 Zirconium nitride has a particle shape, and the average primary particle diameter is, for example, 20 nm or more and 50 nm or less.

窒化ジルコニウムの配合量は、特に限定されないが、その下限値は、感光性樹脂100質量部に対して、優れた解像性とともに高い隠蔽力を確実に得る点から、4.0質量部が好ましく、5.0質量部がより好ましく、隠蔽力をさらに向上させることができる点から、7.0質量部がさらに好ましく、8.0質量部が特に好ましい。一方で、窒化ジルコニウムの配合量の上限値は、高い隠蔽力とともに優れた解像性を確実に得る点から、20質量部が好ましく、解像性をさらに向上させる点から、15質量部がより好ましく、12質量部が特に好ましい。 The amount of zirconium nitride to be blended is not particularly limited, but the lower limit is preferably 4.0 parts by mass based on 100 parts by mass of the photosensitive resin to ensure excellent resolution and high hiding power. , 5.0 parts by mass is more preferable, 7.0 parts by weight is even more preferable, and 8.0 parts by weight is particularly preferable from the viewpoint of further improving the hiding power. On the other hand, the upper limit of the amount of zirconium nitride is preferably 20 parts by mass in order to ensure high hiding power and excellent resolution, and more preferably 15 parts by mass in order to further improve resolution. Preferably, 12 parts by mass is particularly preferred.

本発明の感光性樹脂組成物では、上記各成分の他に、必要に応じて、種々の添加成分、例えば、消泡剤、硬化促進剤等の各種添加剤、(F1)成分である窒化ジルコニウム以外のさらなる着色剤、難燃剤、非反応性希釈剤等を適宜配合することができる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, in addition to the above-mentioned components, various additive components such as antifoaming agents, curing accelerators, etc., and zirconium nitride as component (F1) may be added as necessary. Other colorants, flame retardants, non-reactive diluents, etc. may be added as appropriate.

消泡剤には、公知のものを使用でき、例えば、シリコーン系、炭化水素系、アクリル系等を挙げることができる。硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド(DICY)及びその誘導体、有機酸ヒドラジド、ジアミノマレオニトリル(DAMN)及びその誘導体、グアナミン及びその誘導体、メラミン及びその誘導体、アミンイミド(AI)等が挙げられる。 Known antifoaming agents can be used, such as silicone-based, hydrocarbon-based, acrylic-based, and the like. Examples of the curing accelerator include dicyandiamide (DICY) and its derivatives, organic acid hydrazide, diaminomaleonitrile (DAMN) and its derivatives, guanamine and its derivatives, melamine and its derivatives, and amine imide (AI).

(F1)成分である窒化ジルコニウム以外のさらなる着色剤としては、顔料、色素等、特に限定されず、また、白色着色剤、黒色着色剤、青色着色剤、緑色着色剤、黄色着色剤、紫色着色剤、橙色着色剤、赤色着色剤等、所望の色彩に応じて、いずれも使用可能である。さらなる着色剤を含有することで、本発明の感光性樹脂組成物の硬化物の意匠性に寄与することがある。さらなる着色剤には、例えば、白色着色剤である二酸化チタン等の無機系着色剤、緑色着色剤であるフタロシアニングリーン及び青色着色剤であるフタロシアニンブルーやリオノールブルー等のフタロシアニン系、橙色着色剤であるクロモフタルオレンジ等のジケトピロロピロール系等の有機系着色剤を挙げることができる。これらのさらなる着色剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Further coloring agents other than the zirconium nitride component (F1) include pigments, dyes, etc., but are not particularly limited, and include white coloring agents, black coloring agents, blue coloring agents, green coloring agents, yellow coloring agents, and purple coloring agents. Depending on the desired color, any of them can be used, such as a coloring agent, an orange coloring agent, a red coloring agent, etc. Containing an additional colorant may contribute to the design of the cured product of the photosensitive resin composition of the present invention. Additional colorants include, for example, inorganic colorants such as titanium dioxide which is a white colorant, phthalocyanine-based colorants such as phthalocyanine green which is a green colorant and phthalocyanine blue and Lionol blue which are blue colorants, and orange colorants. Examples include organic colorants such as diketopyrrolopyrrole, such as certain chromophthalo orange. These additional colorants may be used alone or in combination of two or more.

難燃剤は、感光性樹脂組成物の硬化物に難燃性を付与する成分である。難燃剤としては、リン系難燃剤を挙げることができ、このうち、有機リン酸塩系の難燃剤が好ましい。リン系難燃剤としては、例えば、トリス(クロロエチル)ホスフェート、トリス(2,3-ジクロロプロピル)ホスフェート、トリス(2-クロロプロピル)ホスフェート、トリス(2,3-ブロモプロピル)ホスフェート、トリス(ブロモクロロプロピル)ホスフェート、2,3-ジブロモプロピル-2,3-クロロプロピルホスフェート、トリス(トリブロモフェニル)ホスフェート、トリス(ジブロモフェニル)ホスフェート、トリス(トリブロモネオペンチル)ホスフェートなどの含ハロゲン系リン酸エステル;トリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリブチルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリブトキシエチルホスフェートなどのノンハロゲン系脂肪族リン酸エステル;トリフェニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、ジクレジルフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、トリス(イソプロピルフェニル)ホスフェート、イソプロピルフェニルジフェニルホスフェート、ジイソプロピルフェニルフェニルホスフェート、トリス(トリメチルフェニル)ホスフェート、トリス(t-ブチルフェニル)ホスフェート、ヒドロキシフェニルジフェニルホスフェート、オクチルジフェニルホスフェートなどのノンハロゲン系芳香族リン酸エステル;トリスジエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスメチルエチルホスフィン酸アルミニウム、トリスジフェニルホスフィン酸アルミニウム、ビスジエチルホスフィン酸亜鉛、ビスメチルエチルホスフィン酸亜鉛、ビスジフェニルホスフィン酸亜鉛、ビスジエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスジエチルホスフィン酸チタン、ビスメチルエチルホスフィン酸チタニル、テトラキスメチルエチルホスフィン酸チタン、ビスジフェニルホスフィン酸チタニル、テトラキスジフェニルホスフィン酸チタンなどのホスフィン酸の金属塩、9,10-ジヒドロ-9-オキサ-10-ホスファフェナントレン-10-オキサイド(以下HCA)、HCAとアクリル酸エステルの付加反応生成物、HCAとエポキシ樹脂の付加反応生成物、HCAとハイドロキノンの付加反応生成物等のHCA変性型化合物、ジフェニルビニルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイド、トリアルキルホスフィンオキサイド、トリス(ヒドロキシアルキル)ホスフィンオキサイド等のホスフィンオキサイド系化合物等が挙げられる。 The flame retardant is a component that imparts flame retardancy to the cured product of the photosensitive resin composition. Examples of the flame retardant include phosphorus-based flame retardants, and among these, organic phosphate-based flame retardants are preferred. Examples of phosphorus flame retardants include tris(chloroethyl)phosphate, tris(2,3-dichloropropyl)phosphate, tris(2-chloropropyl)phosphate, tris(2,3-bromopropyl)phosphate, and tris(bromochloropropyl)phosphate. Halogen-containing phosphate esters such as propyl) phosphate, 2,3-dibromopropyl-2,3-chloropropyl phosphate, tris(tribromophenyl) phosphate, tris(dibromophenyl) phosphate, and tris(tribromoneopentyl) phosphate Non-halogenated aliphatic phosphate esters such as trimethyl phosphate, triethyl phosphate, tributyl phosphate, trioctyl phosphate, tributoxyethyl phosphate; Triphenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, dicresyl phenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl Phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, tris (isopropylphenyl) phosphate, isopropylphenyl diphenyl phosphate, diisopropylphenyl phenyl phosphate, tris (trimethylphenyl) phosphate, tris (t-butylphenyl) phosphate, hydroxyphenyl diphenyl phosphate, octyldiphenyl phosphate, etc. Non-halogenated aromatic phosphoric acid ester; aluminum tris-diethyl phosphinate, aluminum tris-methylethyl phosphinate, aluminum tris-diphenyl phosphinate, zinc bis-diethyl phosphinate, zinc bismethylethyl phosphinate, zinc bis-diphenyl phosphinate, bis-diethyl phosphine. Metal salts of phosphinic acids such as titanyl tetrakis diethyl phosphinate, titanium tetrakis diethyl phosphinate, titanyl bismethylethyl phosphinate, titanium tetrakis methyl ethyl phosphinate, titanium bis diphenyl phosphinate, titanium tetrakis diphenyl phosphinate, 9,10-dihydro-9- HCA modified types such as oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide (hereinafter referred to as HCA), addition reaction products of HCA and acrylic acid ester, addition reaction products of HCA and epoxy resin, addition reaction products of HCA and hydroquinone, etc. and phosphine oxide compounds such as diphenylvinylphosphine oxide, triphenylphosphine oxide, trialkylphosphine oxide, and tris(hydroxyalkyl)phosphine oxide.

非反応性希釈剤は、感光性樹脂組成物の、粘度、塗工性及び指触乾燥性等を調整するための成分である。非反応性希釈剤としては、例えば、感光性樹脂組成物に配合されている各成分に対して不活性である有機溶剤を挙げることができる。上記有機溶剤には、例えば、メチルエチルケトン等のケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、シクロヘキサノール等のアルコール類、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂環式炭化水素類、石油エーテル、石油ナフサ等の石油系溶剤、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、エチレングリコールアセテート、エチレンジグリコールアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類等を挙げることができる。これらの有機溶剤は、単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 The non-reactive diluent is a component for adjusting the viscosity, coating properties, dryness to touch, etc. of the photosensitive resin composition. Examples of non-reactive diluents include organic solvents that are inert to each component contained in the photosensitive resin composition. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, and xylene, alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, and cyclohexanol, and cyclohexane and methylcyclohexane. Alicyclic hydrocarbons, petroleum solvents such as petroleum ether and petroleum naphtha, cellosolves, cellosolves such as butyl cellosolve, carbitol, carbitols such as butyl carbitol, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, Examples include esters such as carbitol acetate, butyl carbitol acetate, ethylene glycol acetate, ethylene diglycol acetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

次に、本発明の感光性樹脂組成物の製造方法について説明する。本発明の感光性樹脂組成物の製造方法は、特定の方法に限定されず、例えば、上記各成分を所定割合で配合後、常温(例えば、25℃)にて、三本ロール、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ニーダー等の混練手段、またはスーパーミキサー、プラネタリーミキサー、トリミックス等の攪拌、混合手段により、配合成分を混練または混合して製造することができる。また、前記した混練または混合工程の前に、必要に応じて、予備混練、予備混合の工程を実施してもよい。 Next, a method for producing the photosensitive resin composition of the present invention will be explained. The method for producing the photosensitive resin composition of the present invention is not limited to a specific method, and for example, after blending each of the above components in a predetermined ratio, at room temperature (e.g., 25°C), using a three-roll mill, a ball mill, or a sand mill. The composition can be produced by kneading or mixing the ingredients using a kneading means such as a bead mill, a kneader, or a stirring or mixing means such as a super mixer, a planetary mixer, or a trimix. Further, before the above-described kneading or mixing step, a pre-kneading or pre-mixing step may be carried out as necessary.

次に、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法例について説明する。ここでは、本発明の感光性樹脂組成物を用いてプリント配線板の絶縁保護膜(例えば、ソルダーレジスト膜等)を形成する方法、すなわち、感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板を得る方法を例にとって説明する。 Next, an example of how to use the photosensitive resin composition of the present invention will be explained. Here, a method for forming an insulating protective film (for example, a solder resist film, etc.) for a printed wiring board using the photosensitive resin composition of the present invention, that is, a printed wiring board having a photocured film of the photosensitive resin composition. We will explain how to obtain this using an example.

上記のようにして調製した本発明の感光性樹脂組成物を、例えば、銅箔をエッチングして形成した回路パターンを有するプリント配線板上に、スクリーン印刷法、バーコータ法、ブレードコータ法、ナイフコータ法、ロールコータ法、グラビアコータ法、スプレーコータ法等、公知の塗工方法にて、所望の厚さ(例えば、5.0μm~50μmの厚さ)で塗布して塗膜を形成する。次に、感光性樹脂組成物に非反応性希釈剤が含まれている場合には、非反応性希釈剤を揮散させるために、60℃~90℃程度の温度で10分間~60分間程度、加熱する予備乾燥を行って、タックフリーの塗膜を形成する。 The photosensitive resin composition of the present invention prepared as described above is coated on a printed wiring board having a circuit pattern formed by etching copper foil, for example, by a screen printing method, a bar coater method, a blade coater method, or a knife coater method. A coating film is formed by coating to a desired thickness (for example, a thickness of 5.0 μm to 50 μm) using a known coating method such as a roll coater method, a gravure coater method, or a spray coater method. Next, if the photosensitive resin composition contains a non-reactive diluent, in order to volatilize the non-reactive diluent, the photosensitive resin composition is heated at a temperature of about 60° C. to 90° C. for about 10 minutes to 60 minutes. A tack-free coating is formed by pre-drying using heat.

次に、塗膜上に、回路パターンのランド以外を透光性にしたパターンを有するネガフィルム(フォトマスク)を密着させ、その上から活性エネルギー線(例えば、波長300~400nmの範囲の紫外線)を照射して塗膜を光硬化させる。光硬化後、前記ランドに対応する非露光領域を希アルカリ水溶液で除去することにより、塗膜が現像される。現像方法には、スプレー法、シャワー法等が用いられ、使用する希アルカリ水溶液としては、例えば、0.5質量%~5質量%の炭酸ナトリウム水溶液が挙げられる。次いで、130℃~170℃程度の熱風循環式の乾燥機等で20分間~80分間ポストキュア(本熱硬化処理)を行うことにより、プリント配線板上に目的のパターンを有する、光硬化物である絶縁保護膜を形成することができる。なお、プリント配線板の基板としては、例えば、リジッド基板、フレキシブル基板が挙げられる。 Next, a negative film (photomask) having a pattern in which areas other than the lands of the circuit pattern are made translucent is closely adhered to the coating film, and active energy rays (for example, ultraviolet rays in the wavelength range of 300 to 400 nm) are applied onto the film. The coating film is photocured by irradiation with After photocuring, the coating film is developed by removing the non-exposed areas corresponding to the lands with a dilute alkaline aqueous solution. As the developing method, a spray method, a shower method, etc. are used, and the dilute alkali aqueous solution used is, for example, a 0.5% by mass to 5% by mass sodium carbonate aqueous solution. Next, by performing post-curing (main heat curing treatment) for 20 to 80 minutes in a hot air circulation type dryer at about 130 to 170 degrees Celsius, a photocured material with the desired pattern is formed on the printed wiring board. A certain insulating protective film can be formed. Note that examples of the substrate of the printed wiring board include a rigid substrate and a flexible substrate.

次に、本発明の実施例を説明するが、本発明はその趣旨を超えない限り、これらの例に限定されるものではない。 Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to these examples unless it exceeds the spirit thereof.

実施例1~4、比較例1~3
下記表1に示す各成分を下記表1に示す割合にて配合し、3本ロールを用いて室温(約25℃)にて混合分散させて、実施例1~4、比較例1~3にて使用する黒色の感光性樹脂組成物を調製した。なお、特に断りのない限り、下記表1中の数字は質量部を示す。また、下記表1中の空欄は配合なしを意味する。
Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 3
The components shown in Table 1 below were blended in the proportions shown in Table 1 below, mixed and dispersed at room temperature (approximately 25°C) using three rolls, and then prepared in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3. A black photosensitive resin composition was prepared. Note that unless otherwise specified, the numbers in Table 1 below indicate parts by mass. In addition, a blank column in Table 1 below means no compounding.

なお、表1中の各成分についての詳細は以下の通りである。
(A)感光性樹脂
・リポキシSP-4621:クレゾールノボラック構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂、固形分(樹脂分)65質量%、昭和電工株式会社
The details of each component in Table 1 are as follows.
(A) Photosensitive resin/Lipoxy SP-4621: Polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylic oxidized epoxy resin with cresol novolac structure, solid content (resin content) 65% by mass, Showa Denko K.K.

(B)光重合開始剤
・Omnirad 369:α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、IGM Resins B.V.社
・NCI-831:オキシムエステル系光重合開始剤、株式会社ADEKA
(B) Photopolymerization initiator/Omnirad 369: α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator, IGM Resins B. V. NCI-831: Oxime ester photopolymerization initiator, ADEKA Co., Ltd.

(C)反応性希釈剤
・DPHA:東亞合成株式会社
(C) Reactive diluent/DPHA: Toagosei Co., Ltd.

(D)エポキシ化合物
・EPICLON N-695:DIC株式会社
・YX-4000K:三菱ケミカル株式会社
(D) Epoxy compound・EPICLON N-695: DIC Corporation・YX-4000K: Mitsubishi Chemical Corporation

フィラー
・硫酸バリウムB-30:堺化学工業株式会社
Filler/barium sulfate B-30: Sakai Chemical Industry Co., Ltd.

(F)着色剤
・NITBLACK UB-1:窒化ジルコニウム(黒色着色剤)、波長365nmの光の透過率(T365)20.1%、波長550nmの光の透過率(T550)5.4%、T365/T550=3.7、L値10~12、粉末状、平均一次粒子径20nm~50nm、三菱マテリアル電子化成株式会社
・NITBLACK UB-2:窒化ジルコニウム(黒色着色剤)、波長365nmの光の透過率(T365)28.7%、波長550nmの光の透過率(T550)5.6%、T365/T550=5.1、L値11~16、粉末状、平均一次粒子径20nm~50nm、三菱マテリアル電子化成株式会社
(F) Colorant/NITBLACK UB-1: Zirconium nitride (black colorant), transmittance of light with a wavelength of 365 nm (T 365 ) 20.1%, transmittance of light with a wavelength of 550 nm (T 550 ) 5.4% , T 365 / T 550 = 3.7, L value 10 to 12, powder, average primary particle size 20 nm to 50 nm, Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd./NITBLACK UB-2: Zirconium nitride (black colorant), wavelength 365 nm Light transmittance (T 365 ) 28.7%, light transmittance (T 550 ) 5.6% at a wavelength of 550 nm, T 365 /T 550 = 5.1, L value 11-16, powder form, average Primary particle size 20nm to 50nm, Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd.

添加剤
・メラミン:硬化促進剤、日産化学工業株式会社
・DICY-7:硬化促進剤、ジャパンエポキシレジン株式会社
・X-50-1095C:消泡剤、信越化学工業株式会社
非反応性希釈剤
・EDGAC:三洋化成品株式会社
Additives/Melamine: Curing accelerator, Nissan Chemical Co., Ltd./DICY-7: Curing accelerator, Japan Epoxy Resin Co., Ltd./X-50-1095C: Antifoaming agent, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Non-reactive diluent/ EDGAC: Sanyo Chemicals Co., Ltd.

(F)成分以外の着色剤
・MA14:カーボンブラック(黒色着色剤)、三菱ケミカル株式会社
・リオノールブルー FG-7351:フタロシアニン化合物(青色着色剤)、東洋インキ製造株式会社
Colorants other than component (F) MA14: Carbon black (black colorant), Mitsubishi Chemical Corporation, Lionol Blue FG-7351: Phthalocyanine compound (blue colorant), Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.

試験基板作製工程
基板:ガラスエポキシ基板(FR-4、厚さ1.6mm)、導体(Cu箔)厚22μm
基板の表面処理:バフ研磨
塗膜塗工方法:スクリーン印刷、DRY膜厚10μm
予備乾燥:75℃、20分
露光:塗膜上60mJ/cm、オーク株式会社製直描露光機(波長300~500nm)
現像:1質量%炭酸ナトリウム水溶液、30℃、90秒、噴霧圧力:0.2MPa
ポストキュア:150℃、60分
Test board production process Board: Glass epoxy board (FR-4, thickness 1.6 mm), conductor (Cu foil) thickness 22 μm
Substrate surface treatment: Buffing Coating method: Screen printing, DRY film thickness 10 μm
Pre-drying: 75°C, 20 minutes Exposure: 60 mJ/cm 2 on the coating film, direct exposure machine manufactured by Oak Co., Ltd. (wavelength 300-500 nm)
Development: 1% by mass sodium carbonate aqueous solution, 30°C, 90 seconds, spray pressure: 0.2MPa
Post cure: 150℃, 60 minutes

評価
(1)解像性
所定のフォトマスク(ライン幅10μm/スペース10μmごとに、ライン幅30μm~120μmの範囲/スペース30μm~120μmの範囲のフォトマスク)を介して形成した露光部の残存ラインと抜けたスペースを目視にて確認し、以下の基準にて評価した。△評価以上を合格とした。
◎:30μm
○:40μm
△:50μm
×:60μm以上
Evaluation (1) Resolution The remaining lines of the exposed area formed through a predetermined photomask (line width 10 μm/space 10 μm, line width range 30 μm to 120 μm/space 30 μm to 120 μm range photomask) The missing space was visually confirmed and evaluated based on the following criteria. A rating of △ or higher was considered a pass.
◎: 30μm
○: 40μm
△: 50μm
×: 60 μm or more

(2)色調
上記のように調製した試験基板について、JIS-8722に準拠して、明度(L*値)、クロマネティクス指数(a*値)、クロマネティクス指数(b*値)を測定した。測定機器として、色差計CM-700d(コニカミノルタ株式会社)を用いた。L*=25、a*値=0、b*=-1を基準として、下記式から、色差を表すΔEを算出し、以下の基準にて色調を評価し、○評価以上を合格とした。

Figure 2023183285000001
◎:ΔE=3.2未満
○:ΔE=3.2以上6.5未満
△:ΔE=6.5以上10未満
×:ΔE=10以上 (2) Color Tone Regarding the test substrate prepared as described above, the lightness (L* value), chromatic index (a* value), and chromatic index (b* value) were measured in accordance with JIS-8722. A color difference meter CM-700d (Konica Minolta, Inc.) was used as a measuring instrument. Based on L*=25, a* value=0, and b*=-1, ΔE representing the color difference was calculated from the following formula, and the color tone was evaluated based on the following criteria, and a rating of ○ or higher was considered to be a pass.
Figure 2023183285000001
◎: ΔE = less than 3.2 ○: ΔE = 3.2 or more and less than 6.5 △: ΔE = 6.5 or more and less than 10 ×: ΔE = 10 or more

実施例1~4及び比較例1~3の評価結果を下記表1に示す。 The evaluation results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1 below.

Figure 2023183285000002
Figure 2023183285000002

上記表1から、着色剤として、カーボンブラックではなく、黒色着色剤である窒化ジルコニウムを配合した実施例1~4では、ライン幅が50μm以下と、優れた解像性を有し、また、色調がΔE=6.5未満と、黒色度に優れた高い隠蔽力を有する光硬化物を得ることができた。特に、波長365nmの光の透過率(T365)28.7%、波長550nmの光の透過率(T550)5.6%、T365/T550=5.1である窒化ジルコニウムを配合した実施例1、2では、波長365nmの光の透過率(T365)20.1%、波長550nmの光の透過率(T550)5.4%、T365/T550=3.7である実施例3、4と比較して解像性がさらに向上した。また、感光性樹脂100質量部に対して窒化ジルコニウムを約8.7質量部配合した実施例1、3は、感光性樹脂100質量部に対して窒化ジルコニウムを約6.4質量部配合した実施例2、4と比較してΔE値がより低減して隠蔽力がさらに向上した光硬化物を得ることができた。 From Table 1 above, Examples 1 to 4, in which zirconium nitride, which is a black colorant, instead of carbon black, was blended as a colorant had excellent resolution with a line width of 50 μm or less, and color tone. was less than ΔE=6.5, and a photocured product with excellent blackness and high hiding power could be obtained. In particular, zirconium nitride was blended with a transmittance (T 365 ) of 28.7% for light at a wavelength of 365 nm, a transmittance (T 550 ) for light at a wavelength of 550 nm of 5.6%, and T 365 /T 550 = 5.1. In Examples 1 and 2, the transmittance (T 365 ) of light with a wavelength of 365 nm is 20.1%, the transmittance (T 550 ) of light with a wavelength of 550 nm is 5.4%, and T 365 /T 550 = 3.7. The resolution was further improved compared to Examples 3 and 4. In addition, Examples 1 and 3 in which approximately 8.7 parts by mass of zirconium nitride was blended with respect to 100 parts by mass of photosensitive resin were compared with Examples 1 and 3 in which approximately 6.4 parts by mass of zirconium nitride was blended with respect to 100 parts by mass of photosensitive resin. Compared to Examples 2 and 4, a photocured product with a further reduced ΔE value and further improved hiding power could be obtained.

なお、実施例1~4では、感光性樹脂は、クレゾールノボラック骨格を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂であり、エポキシ化合物として、同種のエポキシ樹脂であるクレゾールノボラック型エポキシ樹脂を含有していた。 In Examples 1 to 4, the photosensitive resin is a polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin having a cresol novolac skeleton, and the epoxy compound is a cresol novolac type epoxy resin that is the same type of epoxy resin. Contains resin.

一方で、黒色着色剤としてカーボンブラックを配合した比較例1~3では、解像性を得ることができなかった。また、感光性樹脂100質量部に対してカーボンブラックを約6.4質量部配合した比較例3では、高い隠蔽力も得ることができなかった。 On the other hand, in Comparative Examples 1 to 3 in which carbon black was blended as a black colorant, resolution could not be obtained. Further, in Comparative Example 3, in which approximately 6.4 parts by mass of carbon black was blended with 100 parts by mass of the photosensitive resin, high hiding power could not be obtained.

本発明の感光性樹脂組成物は、優れた解像性と隠蔽力を有する光硬化物を得ることができるので、例えば、プリント配線板に塗工される絶縁被膜(例えば、ソルダーレジスト膜)の分野で利用価値が高い。
The photosensitive resin composition of the present invention can provide a photocured product having excellent resolution and hiding power, so it can be used, for example, as an insulating coating (for example, a solder resist film) applied to a printed wiring board. Highly useful in the field.

Claims (13)

(A)感光性樹脂と、(B)光重合開始剤と、(C)反応性希釈剤と、(D)エポキシ化合物と、(E)フィラーと、(F)着色剤と、を含有し、
前記(F)着色剤が、(F1)窒化ジルコニウムを含有する感光性樹脂組成物。
Contains (A) a photosensitive resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a reactive diluent, (D) an epoxy compound, (E) a filler, and (F) a colorant,
A photosensitive resin composition in which the colorant (F) contains (F1) zirconium nitride.
前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、18.0%以上である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (F1) 50 ppm dispersion of zirconium nitride has a transmittance of light at a wavelength of 365 nm of 18.0% or more. 前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長365nmの光の透過率が、25.0%以上である請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (F1) 50 ppm dispersion of zirconium nitride has a transmittance of light at a wavelength of 365 nm of 25.0% or more. 前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、3.0以上である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) has a ratio of transmittance of light with a wavelength of 365 nm to transmittance of light with a wavelength of 550 nm of 3.0 or more. Photosensitive resin composition. 前記(F1)窒化ジルコニウムの50ppm分散体の、波長550nmの光の透過率に対する波長365nmの光の透過率の比が、4.5以上である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The 50 ppm dispersion of zirconium nitride (F1) has a ratio of transmittance of light with a wavelength of 365 nm to transmittance of light with a wavelength of 550 nm of 4.5 or more. Photosensitive resin composition. 前記(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、前記(F1)窒化ジルコニウムを4.0質量部以上20質量部以下含有する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin according to claim 1, wherein the (F1) zirconium nitride is contained in an amount of 4.0 parts by mass or more and 20 parts by mass or less based on 100 parts by mass (solid content) of the photosensitive resin (A). Photosensitive resin composition. 前記(A)感光性樹脂100質量部(固形分)に対して、前記(F1)窒化ジルコニウムを7.0質量部以上15質量部以下含有する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin according to claim 1, wherein the (F1) zirconium nitride is contained in 7.0 parts by mass or more and 15 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass (solid content) of the photosensitive resin (A). Photosensitive resin composition. 前記(F1)窒化ジルコニウムのL値が、8以上18以下である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the (F1) zirconium nitride has an L value of 8 or more and 18 or less. カーボンブラックを含有しない請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, which does not contain carbon black. 前記(B)光重合開始剤が、α-アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びオキシムエステル系光重合開始剤からなる群から選択された少なくとも1種を含む請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The photopolymerization initiator (B) includes at least one selected from the group consisting of an α-aminoalkylphenone photopolymerization initiator and an oxime ester photopolymerization initiator. The photosensitive resin composition described in . 前記(A)感光性樹脂が、1分子中にエポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂のエポキシ基の少なくとも一部にラジカル重合性不飽和モノカルボン酸を反応させてラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂を得て、生成した水酸基に多塩基酸及び/または多塩基酸無水物を反応させて得られる構造を有する多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂であり、前記(D)エポキシ化合物が、前記多塩基酸変性ラジカル重合性不飽和モノカルボン酸化エポキシ樹脂の骨格を形成している前記多官能エポキシ樹脂と同種のエポキシ樹脂を含有する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin (A) is prepared by reacting a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid with at least a portion of the epoxy groups of a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule to form a radically polymerizable unsaturated monocarboxylic acid. A polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin having a structure obtained by obtaining a carboxylated epoxy resin and reacting the generated hydroxyl group with a polybasic acid and/or a polybasic acid anhydride; (D) Any one of claims 1 to 3, wherein the epoxy compound contains an epoxy resin of the same type as the polyfunctional epoxy resin forming the skeleton of the polybasic acid-modified radically polymerizable unsaturated monocarboxylated epoxy resin. The photosensitive resin composition according to item 1. 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の光硬化物。 A photocured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3. 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の光硬化膜を有するプリント配線板。
A printed wiring board comprising a photocured film of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2024122478A1 (en) * 2022-12-09 2024-06-13 信越化学工業株式会社 Uv-curable silicone composition and cured product thereof

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