JP2023179384A - レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 3882
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 42
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 42
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 841
- -1 alicyclic hydrocarbon Chemical class 0.000 claims description 669
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 claims description 376
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 238
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 222
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 119
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 claims description 115
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 109
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 107
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 99
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 97
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 87
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 82
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 79
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 70
- 125000005196 alkyl carbonyloxy group Chemical group 0.000 claims description 55
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 49
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims description 48
- 125000004448 alkyl carbonyl group Chemical group 0.000 claims description 46
- 229910052740 iodine Chemical group 0.000 claims description 46
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 125000001188 haloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 33
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 28
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 22
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 22
- 125000005083 alkoxyalkoxy group Chemical group 0.000 claims description 20
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 19
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 claims description 19
- 125000004183 alkoxy alkyl group Chemical group 0.000 claims description 18
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 claims description 18
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 claims description 15
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 10
- 150000002891 organic anions Chemical class 0.000 claims description 9
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 7
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical group C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 17
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 claims 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 196
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 59
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 51
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 39
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 38
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 description 35
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical group 0.000 description 30
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 29
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 28
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 25
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 24
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 22
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 20
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 20
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 20
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 19
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 19
- 125000002868 norbornyl group Chemical group C12(CCC(CC1)C2)* 0.000 description 18
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 17
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 16
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 15
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 15
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 15
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 15
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 14
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 14
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 14
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 125000004414 alkyl thio group Chemical group 0.000 description 13
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 13
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 13
- 125000000383 tetramethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 13
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 12
- 125000003258 trimethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 description 12
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 11
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 11
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 11
- 150000008053 sultones Chemical group 0.000 description 10
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 9
- 125000005194 alkoxycarbonyloxy group Chemical group 0.000 description 9
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 9
- 125000004063 butyryl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 125000000000 cycloalkoxy group Chemical group 0.000 description 9
- 125000005112 cycloalkylalkoxy group Chemical group 0.000 description 9
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 9
- 125000005003 perfluorobutyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 9
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 9
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 8
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 8
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 8
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 8
- 125000005004 perfluoroethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 8
- 125000005005 perfluorohexyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 8
- 125000005008 perfluoropentyl group Chemical group FC(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 8
- 125000005009 perfluoropropyl group Chemical group FC(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 8
- 125000006267 biphenyl group Chemical group 0.000 description 7
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 7
- 125000006612 decyloxy group Chemical group 0.000 description 7
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 7
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 7
- 125000001160 methoxycarbonyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC(*)=O 0.000 description 7
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 7
- 125000005447 octyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 7
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 7
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 description 7
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 7
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 7
- 125000005428 anthryl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C([H])=C3C(*)=C([H])C([H])=C([H])C3=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 6
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000003754 ethoxycarbonyl group Chemical group C(=O)(OCC)* 0.000 description 6
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 6
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 6
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 5
- 125000000094 2-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 5
- 125000004744 butyloxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000005708 carbonyloxy group Chemical group [*:2]OC([*:1])=O 0.000 description 5
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 5
- 125000001028 difluoromethyl group Chemical group [H]C(F)(F)* 0.000 description 5
- 125000005448 ethoxyethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 5
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N Adamantane Natural products C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000007942 carboxylates Chemical group 0.000 description 4
- 125000002592 cumenyl group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)C(C)C 0.000 description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 4
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 4
- 125000006125 ethylsulfonyl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 150000002596 lactones Chemical group 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 125000004170 methylsulfonyl group Chemical group [H]C([H])([H])S(*)(=O)=O 0.000 description 4
- 125000006611 nonyloxy group Chemical group 0.000 description 4
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000001273 sulfonato group Chemical group [O-]S(*)(=O)=O 0.000 description 4
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- 125000004400 (C1-C12) alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical group O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000590 4-methylphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(=C([H])C([H])=C1*)C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005074 adamantylmethyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003236 benzoyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C(*)=O 0.000 description 3
- 125000001231 benzoyloxy group Chemical group C(C1=CC=CC=C1)(=O)O* 0.000 description 3
- ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N binaphthyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C1=CC=CC2=CC=CC=C12 ZDZHCHYQNPQSGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005997 bromomethyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004218 chloromethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)* 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 125000000062 cyclohexylmethoxy group Chemical group [H]C([H])(O*)C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000004210 cyclohexylmethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002933 cyclohexyloxy group Chemical group C1(CCCCC1)O* 0.000 description 3
- 125000004705 ethylthio group Chemical group C(C)S* 0.000 description 3
- 125000004438 haloalkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004993 haloalkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004692 haloalkylcarbonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005203 haloalkylcarbonyloxy group Chemical group 0.000 description 3
- 125000005446 heptyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 3
- 125000002960 margaryl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000006357 methylene carbonyl group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([*:2])=O 0.000 description 3
- 125000006366 methylene oxy carbonyl group Chemical group [H]C([H])([*:1])OC([*:2])=O 0.000 description 3
- 125000005699 methyleneoxy group Chemical group [H]C([H])([*:1])O[*:2] 0.000 description 3
- 125000002816 methylsulfanyl group Chemical group [H]C([H])([H])S[*] 0.000 description 3
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 3
- 125000004998 naphthylethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)CC* 0.000 description 3
- 125000004923 naphthylmethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)C* 0.000 description 3
- 125000001820 oxy group Chemical group [*:1]O[*:2] 0.000 description 3
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000002958 pentadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 3
- 125000004344 phenylpropyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 3
- 125000004149 thio group Chemical group *S* 0.000 description 3
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 3
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 3
- BPHPUYQFMNQIOC-YQXWHEHVSA-N (3r,4r,6s)-2-(hydroxymethyl)-6-propan-2-ylsulfanyloxane-3,4,5-triol Chemical compound CC(C)S[C@@H]1OC(CO)[C@H](O)[C@@H](O)C1O BPHPUYQFMNQIOC-YQXWHEHVSA-N 0.000 description 2
- PLVPPLCLBIEYEA-AATRIKPKSA-N (E)-3-(indol-3-yl)acrylic acid Chemical compound C1=CC=C2C(/C=C/C(=O)O)=CNC2=C1 PLVPPLCLBIEYEA-AATRIKPKSA-N 0.000 description 2
- IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 1-benzofuran Chemical group C1=CC=C2OC=CC2=C1 IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical group C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004702 alkoxy alkyl carbonyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 2
- 125000006547 cyclononyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- 125000004186 cyclopropylmethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C1([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- 125000004216 fluoromethyl group Chemical group [H]C([H])(F)* 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- 125000006038 hexenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004029 hydroxymethyl group Chemical group [H]OC([H])([H])* 0.000 description 2
- SEOVTRFCIGRIMH-UHFFFAOYSA-N indole-3-acetic acid Chemical compound C1=CC=C2C(CC(=O)O)=CNC2=C1 SEOVTRFCIGRIMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JXDYKVIHCLTXOP-UHFFFAOYSA-N isatin Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)NC2=C1 JXDYKVIHCLTXOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000555 isopropenyl group Chemical group [H]\C([H])=C(\*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 2
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000005187 nonenyl group Chemical group C(=CCCCCCCC)* 0.000 description 2
- 125000004365 octenyl group Chemical group C(=CCCCCCC)* 0.000 description 2
- 125000002255 pentenyl group Chemical group C(=CCCC)* 0.000 description 2
- 125000005460 perfluorocycloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005459 perfluorocyclohexyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005804 perfluoroheptyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 2
- 125000005007 perfluorooctyl group Chemical group FC(C(C(C(C(C(C(C(F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)F)(F)* 0.000 description 2
- 125000004351 phenylcyclohexyl group Chemical group C1(=CC=CC=C1)C1(CCCCC1)* 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 125000004368 propenyl group Chemical group C(=CC)* 0.000 description 2
- 125000005767 propoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[#8]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000005920 sec-butoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 2
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 1
- QNRXNRGSOJZINA-QMMMGPOBSA-N (2s)-2,3-dihydro-1h-indole-2-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2N[C@H](C(=O)O)CC2=C1 QNRXNRGSOJZINA-QMMMGPOBSA-N 0.000 description 1
- RNZFOWZVRUMXDQ-INIZCTEOSA-N (2s)-2-azaniumyl-3-[2-(1h-indol-3-ylmethyl)-1h-indol-3-yl]propanoate Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(C[C@H](N)C(O)=O)=C1CC1=CNC2=CC=CC=C12 RNZFOWZVRUMXDQ-INIZCTEOSA-N 0.000 description 1
- JBYHSSAVUBIJMK-UHFFFAOYSA-N 1,4-oxathiane Chemical group C1CSCCO1 JBYHSSAVUBIJMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBFHILNBYXCJKD-UHFFFAOYSA-N 1-(6-methylpyridin-3-yl)-2-(4-methylsulfonylphenyl)ethanone Chemical compound C1=NC(C)=CC=C1C(=O)CC1=CC=C(S(C)(=O)=O)C=C1 YBFHILNBYXCJKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OLPZCIDHOZATMA-UHFFFAOYSA-N 2,2-dioxooxathiiran-3-one Chemical compound O=C1OS1(=O)=O OLPZCIDHOZATMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LBOPECYONBDFEM-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid;4-[1-hydroxy-2-(propan-2-ylamino)ethyl]benzene-1,2-diol Chemical compound OC(=O)C(O)C(O)C(O)=O.CC(C)NCC(O)C1=CC=C(O)C(O)=C1 LBOPECYONBDFEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=CC1=CC=CC=C1 FMFHUEMLVAIBFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004172 4-methoxyphenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(OC([H])([H])[H])=C([H])C([H])=C1* 0.000 description 1
- OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 5-valerolactone Chemical group O=C1CCCCO1 OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGPKZVBTJJNPAG-UHFFFAOYSA-N Isoleucine Chemical compound CCC(C)C(N)C(O)=O AGPKZVBTJJNPAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N Thiane Chemical group C1CCSCC1 YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 125000004653 anthracenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004350 aryl cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- VEZXCJBBBCKRPI-UHFFFAOYSA-N beta-propiolactone Chemical group O=C1CCO1 VEZXCJBBBCKRPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- 125000000480 butynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- FGNLEIGUMSBZQP-UHFFFAOYSA-N cadaverine dihydrochloride Chemical compound Cl.Cl.NCCCCCN FGNLEIGUMSBZQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006364 carbonyl oxy methylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])OC([*:1])=O 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 125000001316 cycloalkyl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004850 cyclobutylmethyl group Chemical group C1(CCC1)C* 0.000 description 1
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical group O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSYSRRCOBYEGPI-UHFFFAOYSA-N diazo(sulfonyl)methane Chemical compound [N-]=[N+]=C=S(=O)=O CSYSRRCOBYEGPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N diazonaphthoquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=[N]=[N])C=CC2=C1 URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000000118 dimethyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 125000005745 ethoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000003682 fluorination reaction Methods 0.000 description 1
- 125000006343 heptafluoro propyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005980 hexynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- KDDALCDYHZIZMH-UHFFFAOYSA-N hydron;1-(5-iodonaphthalen-1-yl)sulfonyl-1,4-diazepane;chloride Chemical compound Cl.C1=CC=C2C(I)=CC=CC2=C1S(=O)(=O)N1CCCNCC1 KDDALCDYHZIZMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- JORABGDXCIBAFL-UHFFFAOYSA-M iodonitrotetrazolium chloride Chemical compound [Cl-].C1=CC([N+](=O)[O-])=CC=C1N1[N+](C=2C=CC(I)=CC=2)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 JORABGDXCIBAFL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000013847 iso-butane Nutrition 0.000 description 1
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003136 n-heptyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 125000005246 nonafluorobutyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000005071 nonynyl group Chemical group C(#CCCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000005069 octynyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C#C* 0.000 description 1
- 125000006340 pentafluoro ethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 125000005981 pentynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005562 phenanthrylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- KTWDHJYSJOSTSJ-UHFFFAOYSA-M potassium;4-(1h-indol-3-yl)butanoate Chemical compound [K+].C1=CC=C2C(CCCC(=O)[O-])=CNC2=C1 KTWDHJYSJOSTSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 125000002568 propynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003871 sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N tetrahydrothiophene Chemical group C1CCSC1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-O thiolan-1-ium Chemical group C1CC[SH+]C1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 125000002221 trityl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1C([*])(C1=C(C(=C(C(=C1[H])[H])[H])[H])[H])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
【課題】良好なCD均一性を有するレジストパターンを製造することができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(I)の塩を含有する酸発生剤と、特定の構造単位を含む樹脂とを含有するレジスト組成物。TIFF2023179384000230.tif62151【選択図】なし
Description
本発明は、半導体の微細加工に用いられるレジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。
本発明は、上記の塩を含有するレジスト組成物によって形成されたレジストパターンよりも、CD均一性(CDU)が良好なレジストパターンを形成する塩を提供する。
本発明は、以下の発明を含む。
[1]式(I)で表される塩を含有する酸発生剤と、
1以上の式(a2)で表される構造単位を含む樹脂と、を含有するレジスト組成物。
[式(I)中、
Xは、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。
m10は、0又は1を表し、Xが硫黄原子の場合、m10は1であり、Xがヨウ素原子の場合、m10は0である。
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~12のハロアルキル基、炭素数1~18の炭化水素基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。また、R8及びR9が結合して、S+を含む環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
R10は、酸不安定基を表す。
L10は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
Ar1、Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、炭素数6~10の芳香族炭化水素基又は炭素数4~9の複素環式芳香族炭化水素基を表す。
m1は、0~5のいずれかの整数を表し、m1が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m2は、0~5のいずれかの整数を表し、m2が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m3は、0~5のいずれかの整数を表し、m3が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m4は、0~4のいずれかの整数を表し、m4が2以上のとき、複数のR4は互いに同一であっても異なってもよい。
m5は、0~4のいずれかの整数を表し、m5が2以上のとき、複数のR5は互いに同一であっても異なってもよい。
m6は、0~4のいずれかの整数を表し、m6が2以上のとき、複数のR6は互いに同一であっても異なってもよい。
m7は、0~5のいずれかの整数を表し、m7が2以上のとき、複数のR7は互いに同一であっても異なってもよい。
m8は、0~5のいずれかの整数を表し、m8が2以上のとき、複数のR8は互いに同一であっても異なってもよい。
m9は、0~5のいずれかの整数を表し、m9が2以上のとき、複数のR9は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、0≦m1+m7≦5、0≦m2+m8≦5、0≦m3+m9≦5であり、m1、m2、m3、m7、m8、m9の少なくとも一つは、1以上の整数を表し、m1、m2、m3=0の時、1以上のR7、R8、R9のうち少なくとも1つは、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
AI-は、有機アニオンを表す。]
[式(a2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Wa50は、置換基を有してもよい炭素数5~12の環状炭化水素基を表す。
La50は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数1~12の鎖状炭化水素基を表す。
ma50は、1~5のいずれかの整数を表す。]
[2]A1が、***-X01-L01-又は***-L01-X01-であり、
A2が、***-X02-L02-又は***-L02-X02-であり、
A3が、***-X03-L03-又は***-L03-X03-であり、
X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-を表し、
L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)を表し、
***は、Ar1、Ar2又はAr3との結合部位を表す[1]に記載のレジスト組成物。
[3]X01、X02及びX03が、それぞれ独立に、-O-又は-S-である[2]に記載のレジスト組成物。
[4]L01、L02及びL03が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)である[2]又は[3]に記載のレジスト組成物。
[5]R10の酸不安定基が、式(1a)で表される基又は式(2a)で表される基である[1]~[4]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(1a)中、Raa1、Raa2及びRaa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、又はRaa1及びRaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の脂環式炭化水素基を形成する。
*は結合部位を表す。]
[式(2a)中、Raa1’及びRaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Raa3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、又はRaa2’及びRaa3’は互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
*は結合部位を表す。]
[6]式(2a)で表される基が、以下のいずれかで表される基である[5]に記載のレジスト組成物。
[7]Xが、硫黄原子である[1]~[6]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[8]Ar1、Ar2及びAr3が、それぞれ独立に、ベンゼン環、ナフタレン環、フラン環又はチオフェン環に由来する基である[1]~[7]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[9]AI-はスルホン酸アニオンであり、スルホン酸アニオンは式(I-A)で表されるアニオン又は式(I-B)で表されるアニオンである[1]~[8]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(I-A)中、
Q1及びQ2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
L1は、炭素数1~24の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Y1は、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
[式(I-B)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。]
[10]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
1以上の式(a2-A)で表される構造単位を含む[1]~[9]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(a2-A)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは、0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
[11]1以上の式(a2-A)で表される構造単位が、
式(a2-A1)で表される構造単位と、
式(a2-A2)で表される構造単位と、を含む[10]に記載のレジスト組成物。
[式(a2-A1)及び式(a2-A2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mb1は、0~4のいずれかの整数を表す。
Ra52は、ハロゲン原子を表す。
Ra53は、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
mb2及びmb3は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、mb2が2以上の場合、複数のRa52は互いに同一であっても異なってもよく、mb3が2以上の場合、複数のRa53は互いに同一であっても異なってもよく、1≦mb2+mb3≦4を満たす。]
[12]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
式(a2-B)で表される構造単位を含む[1]~[11]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(a2-B)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。]
[13]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
上述した式(a2-A)で表される構造単位と、
上述した式(a2-B)で表される構造単位と、を含む[1]~[12]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[14]式(I)で表される塩を含有する酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する[1]~[13]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[15](1)[1]~[14]のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程、を含むレジストパターンの製造方法。
[1]式(I)で表される塩を含有する酸発生剤と、
1以上の式(a2)で表される構造単位を含む樹脂と、を含有するレジスト組成物。
[式(I)中、
Xは、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。
m10は、0又は1を表し、Xが硫黄原子の場合、m10は1であり、Xがヨウ素原子の場合、m10は0である。
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~12のハロアルキル基、炭素数1~18の炭化水素基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。また、R8及びR9が結合して、S+を含む環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
R10は、酸不安定基を表す。
L10は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
Ar1、Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、炭素数6~10の芳香族炭化水素基又は炭素数4~9の複素環式芳香族炭化水素基を表す。
m1は、0~5のいずれかの整数を表し、m1が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m2は、0~5のいずれかの整数を表し、m2が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m3は、0~5のいずれかの整数を表し、m3が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m4は、0~4のいずれかの整数を表し、m4が2以上のとき、複数のR4は互いに同一であっても異なってもよい。
m5は、0~4のいずれかの整数を表し、m5が2以上のとき、複数のR5は互いに同一であっても異なってもよい。
m6は、0~4のいずれかの整数を表し、m6が2以上のとき、複数のR6は互いに同一であっても異なってもよい。
m7は、0~5のいずれかの整数を表し、m7が2以上のとき、複数のR7は互いに同一であっても異なってもよい。
m8は、0~5のいずれかの整数を表し、m8が2以上のとき、複数のR8は互いに同一であっても異なってもよい。
m9は、0~5のいずれかの整数を表し、m9が2以上のとき、複数のR9は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、0≦m1+m7≦5、0≦m2+m8≦5、0≦m3+m9≦5であり、m1、m2、m3、m7、m8、m9の少なくとも一つは、1以上の整数を表し、m1、m2、m3=0の時、1以上のR7、R8、R9のうち少なくとも1つは、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
AI-は、有機アニオンを表す。]
[式(a2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Wa50は、置換基を有してもよい炭素数5~12の環状炭化水素基を表す。
La50は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数1~12の鎖状炭化水素基を表す。
ma50は、1~5のいずれかの整数を表す。]
[2]A1が、***-X01-L01-又は***-L01-X01-であり、
A2が、***-X02-L02-又は***-L02-X02-であり、
A3が、***-X03-L03-又は***-L03-X03-であり、
X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-を表し、
L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)を表し、
***は、Ar1、Ar2又はAr3との結合部位を表す[1]に記載のレジスト組成物。
[3]X01、X02及びX03が、それぞれ独立に、-O-又は-S-である[2]に記載のレジスト組成物。
[4]L01、L02及びL03が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)である[2]又は[3]に記載のレジスト組成物。
[5]R10の酸不安定基が、式(1a)で表される基又は式(2a)で表される基である[1]~[4]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(1a)中、Raa1、Raa2及びRaa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、又はRaa1及びRaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の脂環式炭化水素基を形成する。
*は結合部位を表す。]
[式(2a)中、Raa1’及びRaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Raa3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、又はRaa2’及びRaa3’は互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
*は結合部位を表す。]
[6]式(2a)で表される基が、以下のいずれかで表される基である[5]に記載のレジスト組成物。
[7]Xが、硫黄原子である[1]~[6]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[8]Ar1、Ar2及びAr3が、それぞれ独立に、ベンゼン環、ナフタレン環、フラン環又はチオフェン環に由来する基である[1]~[7]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[9]AI-はスルホン酸アニオンであり、スルホン酸アニオンは式(I-A)で表されるアニオン又は式(I-B)で表されるアニオンである[1]~[8]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(I-A)中、
Q1及びQ2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
L1は、炭素数1~24の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Y1は、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
[式(I-B)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。]
[10]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
1以上の式(a2-A)で表される構造単位を含む[1]~[9]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(a2-A)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは、0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
[11]1以上の式(a2-A)で表される構造単位が、
式(a2-A1)で表される構造単位と、
式(a2-A2)で表される構造単位と、を含む[10]に記載のレジスト組成物。
[式(a2-A1)及び式(a2-A2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mb1は、0~4のいずれかの整数を表す。
Ra52は、ハロゲン原子を表す。
Ra53は、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
mb2及びmb3は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、mb2が2以上の場合、複数のRa52は互いに同一であっても異なってもよく、mb3が2以上の場合、複数のRa53は互いに同一であっても異なってもよく、1≦mb2+mb3≦4を満たす。]
[12]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
式(a2-B)で表される構造単位を含む[1]~[11]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[式(a2-B)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。]
[13]1以上の式(a2)で表される構造単位が、
上述した式(a2-A)で表される構造単位と、
上述した式(a2-B)で表される構造単位と、を含む[1]~[12]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[14]式(I)で表される塩を含有する酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する[1]~[13]のいずれかに記載のレジスト組成物。
[15](1)[1]~[14]のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程、を含むレジストパターンの製造方法。
本発明の塩を使用したレジスト組成物を用いることにより、良好なCD均一性(CDU)でレジストパターンを製造することができる。
本明細書において、「(メタ)アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及びメタクリル系モノマーの少なくとも1種」を意味する。「(メタ)アクリレート」及び「(メタ)アクリル酸」等の記載も同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。「組み合わせた基」とは、例示した基を2種以上、それらの価数、結合形態等を適宜変更して結合させた基を意味する。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性C=C結合が重合により-C-C-基(単結合)となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤(E)を除いた成分の合計を意味する。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤(E)を除いた成分の合計を意味する。
〔レジスト組成物〕
本発明のレジスト組成物は、式(I)で表される塩を含有する酸発生剤(以下「塩(I)」という場合がある)と、1以上の式(a2)で表される構造単位を含む樹脂(以下「樹脂(AX)」という場合がある)とを含有する。式(a2)で表される構造単位を含む樹脂は、酸安定樹脂である。酸安定樹脂とは、主として酸安定基を有する構造単位を含む樹脂であり、ここでの「酸安定基」とは、酸と接触しても親水性基、例えば、カルボキシ基又はヒドロキシ基等に変換されない基を意味する。
本発明のレジスト組成物は、さらに、酸発生剤(以下、「酸発生剤(B)」という場合がある。)、樹脂(AX)以外の樹脂を含有していてもよい。
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩等のクエンチャー(以下「クエンチャー(C)」という場合がある)をさらに含有することが好ましく、溶剤(以下「溶剤(E)」という場合がある)を含有することがより好ましい。
本発明のレジスト組成物は、式(I)で表される塩を含有する酸発生剤(以下「塩(I)」という場合がある)と、1以上の式(a2)で表される構造単位を含む樹脂(以下「樹脂(AX)」という場合がある)とを含有する。式(a2)で表される構造単位を含む樹脂は、酸安定樹脂である。酸安定樹脂とは、主として酸安定基を有する構造単位を含む樹脂であり、ここでの「酸安定基」とは、酸と接触しても親水性基、例えば、カルボキシ基又はヒドロキシ基等に変換されない基を意味する。
本発明のレジスト組成物は、さらに、酸発生剤(以下、「酸発生剤(B)」という場合がある。)、樹脂(AX)以外の樹脂を含有していてもよい。
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩等のクエンチャー(以下「クエンチャー(C)」という場合がある)をさらに含有することが好ましく、溶剤(以下「溶剤(E)」という場合がある)を含有することがより好ましい。
〔酸発生剤〕
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤として式(I)で表される塩を含む。
<式(I)で表される塩>
本発明は、式(I)で表される塩(以下「塩(I)」という場合がある)に関する。
塩(I)のうち、正電荷を有する側を「カチオン(I)」と、負電荷を有する側を「アニオン(I)」と称することがある。
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤として式(I)で表される塩を含む。
<式(I)で表される塩>
本発明は、式(I)で表される塩(以下「塩(I)」という場合がある)に関する。
塩(I)のうち、正電荷を有する側を「カチオン(I)」と、負電荷を有する側を「アニオン(I)」と称することがある。
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8及びR9に含まれるL10におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;及び
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは1~4であり、より好ましくは1~3である。
L10は、炭素数1~3のアルカンジイル基であることが好ましく、メチレン基であることがより好ましい。
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは1~4であり、より好ましくは1~3である。
L10は、炭素数1~3のアルカンジイル基であることが好ましく、メチレン基であることがより好ましい。
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8及びR9に含まれるR10の酸不安定基とは、酸(例えばトリフルオロメタンスルホン酸)と接触すると、R10で表される基を含む脱離基が脱離して、カルボキシ基又はヒドロキシ基を形成する基を意味する。
酸不安定基としては、式(1a)で表される基(以下、場合により「酸不安定基(1a)」という。)、式(2a)で表される基(以下、場合により「酸不安定基(2a)」という。)が好ましい。
[式(1a)中、Raa1、Raa2及びRaa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、又はRaa1及びRaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の脂環式炭化水素基を形成する。
*は結合部位を表す。]
[式(2a)中、Raa1’及びRaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Raa3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、又はRaa2’及びRaa3’は互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
*は結合部位を表す。]
酸不安定基としては、式(1a)で表される基(以下、場合により「酸不安定基(1a)」という。)、式(2a)で表される基(以下、場合により「酸不安定基(2a)」という。)が好ましい。
[式(1a)中、Raa1、Raa2及びRaa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、又はRaa1及びRaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の脂環式炭化水素基を形成する。
*は結合部位を表す。]
[式(2a)中、Raa1’及びRaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Raa3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、又はRaa2’及びRaa3’は互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
*は結合部位を表す。]
Raa1、Raa2及びRaa3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、n-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基等が挙げられる。Raa1、Raa2及びRaa3のアルキル基の炭素数は、1~8が挙げられ、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。
Raa1、Raa2及びRaa3のアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Raa1、Raa2及びRaa3の脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。Raa1、Raa2及びRaa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、3~20が挙げられ、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
Raa1、Raa2及びRaa3の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。Raa1、Raa2及びRaa3の芳香族炭化水素基の炭素数は、6~18が挙げられ、好ましくは6~14であり、より好ましくは6~10である。
Raa1、Raa2及びRaa3のアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Raa1、Raa2及びRaa3の脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。Raa1、Raa2及びRaa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、3~20が挙げられ、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
Raa1、Raa2及びRaa3の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。Raa1、Raa2及びRaa3の芳香族炭化水素基の炭素数は、6~18が挙げられ、好ましくは6~14であり、より好ましくは6~10である。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。
Raa1及びRaa2が互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに脂環式炭化水素基を形成する場合の-C(Raa1)(Raa2)(Raa3)としては、下記の基が挙げられる。脂環式炭化水素基は、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは炭素数3~12である。*は-O-との結合部位を表す。
式(1a)で表される基としては、1,1,1-トリアルキル基(式(1a)中においてRaa1、Raa2及びRaa3がアルキル基である基、好ましくはtert-ブチル基)、2-アルキルアダマンタン-2-イル基(式(1a)中、Raa1、Raa2及びこれらが結合する炭素原子がアダマンチル基を形成し、Raa3がアルキル基である基)及び1-(アダマンタン-1-イル)-1,1-ジアルキル基(式(1a)中、Raa1及びRaa2がアルキル基であり、Raa3がアダマンチル基である基)等が挙げられる。
Raa1'、Raa2'及びRaa3'の炭化水素基としては、アルキル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Raa1、Raa2及びRaa3で挙げた基と同じものが挙げられる。
Raa2'及びRaa3'が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXaとともに複素環基を形成する場合、-C(Raa1')(Raa2')-Xa-(Raa3')としては、下記の基が挙げられる。*は、結合部位を表す。複素環基の炭素数は、3~20が挙げられ、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
Raa1'及びRaa2'のうち、少なくとも1つは水素原子であることが好ましい。
酸不安定基(2a)は、Raa1’及びRaa2’が、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基であり、Raa3’が、環状炭化水素基を含む炭素数3~20の炭化水素基(Raa3’の合計炭素数が3~20)であるか、Raa2’及びRaa3’が互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成しているものが好ましい。ここでの炭化水素基及び複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Raa1、Raa2及びRaa3で挙げた基と同じものが挙げられる。
Raa2'及びRaa3'が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXaとともに複素環基を形成する場合、-C(Raa1')(Raa2')-Xa-(Raa3')としては、下記の基が挙げられる。*は、結合部位を表す。複素環基の炭素数は、3~20が挙げられ、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
Raa1'及びRaa2'のうち、少なくとも1つは水素原子であることが好ましい。
酸不安定基(2a)は、Raa1’及びRaa2’が、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基であり、Raa3’が、環状炭化水素基を含む炭素数3~20の炭化水素基(Raa3’の合計炭素数が3~20)であるか、Raa2’及びRaa3’が互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成しているものが好ましい。ここでの炭化水素基及び複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
酸不安定基(2a)の具体例としては、以下の基が挙げられる。*は結合部位を表す。
Ar1、Ar2及びAr3がベンゼン環に由来する基である場合、R1、R2及びR3のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、A1、A2及びA3の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。
m1、m2、m3が0であり、R7、R8及びR9が-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10である場合、R7、R8及びR9のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、それぞれ独立に、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましい。
また、一実施形態では、R4、R5、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、それぞれ独立に、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましい。
Ar1、Ar2及びAr3がベンゼン環に由来する基である場合、R1、R2及びR3のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、A1、A2及びA3の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。
m1、m2、m3が0であり、R7、R8及びR9が-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10である場合、R7、R8及びR9のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、それぞれ独立に、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましい。
また、一実施形態では、R4、R5、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、それぞれ独立に、-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましい。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9の炭素数1~12のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数1~12のアルキル基を表し、炭素数1~12のフッ化アルキル基、炭素数1~12の塩化アルキル基、炭素数1~12の臭化アルキル基、炭素数1~12のヨウ化アルキル基等が挙げられる。ハロアルキル基としては、炭素数1~12のペルフルオロアルキル基(トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等)、2,2,2-トリフルオロエチル基、3,3,3-トリフルオロプロピル基、4,4,4-トリフルオロブチル基、3,3,4,4,4-ペンタフルオロブチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基等が挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9の炭素数1~18の炭化水素基としては、アルキル基、アルカンジイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
アルキル基としては、直鎖状又は分岐状のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等が挙げられる。
アルカンジイル基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基であり、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;及び
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~9であり、さらに好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4であり、さらに一層好ましくは1~3である。
脂環式炭化水素基は、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
具体的には、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基等の多環式シクロアルキル基、スピロシクロヘキサン-1,2’-シクロペンタン基、スピロアダマンタン-2,3’-シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~18であり、より好ましくは6~14であり、さらに好ましくは6~10である。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9の炭素数1~12のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数1~12のアルキル基を表し、炭素数1~12のフッ化アルキル基、炭素数1~12の塩化アルキル基、炭素数1~12の臭化アルキル基、炭素数1~12のヨウ化アルキル基等が挙げられる。ハロアルキル基としては、炭素数1~12のペルフルオロアルキル基(トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等)、2,2,2-トリフルオロエチル基、3,3,3-トリフルオロプロピル基、4,4,4-トリフルオロブチル基、3,3,4,4,4-ペンタフルオロブチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基等が挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9の炭素数1~18の炭化水素基としては、アルキル基、アルカンジイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
アルキル基としては、直鎖状又は分岐状のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等が挙げられる。
アルカンジイル基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基であり、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;及び
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~9であり、さらに好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4であり、さらに一層好ましくは1~3である。
脂環式炭化水素基は、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
具体的には、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基等の多環式シクロアルキル基、スピロシクロヘキサン-1,2’-シクロペンタン基、スピロアダマンタン-2,3’-シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~18であり、より好ましくは6~14であり、さらに好ましくは6~10である。
鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基のうち、2種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-*、アルキル基-芳香族炭化水素基-*、アルキル基-芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-*、該アルカンジイル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わってもよい。)、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-*、アルキル基-脂環式炭化水素基-*、アルキル基-脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-*、該脂環式炭化水素基、該アルカンジイル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わってもよい。)、芳香族炭化水素基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*、脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わってもよい。)が挙げられる。*は結合部位を表す。
芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-*としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基-芳香族炭化水素基-*としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-*としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、1-(アダマンタン-1-イル)メチル基、1-(アダマンタン-1-イル)-1-メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基-脂環式炭化水素基-*としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、2-アルキルアダマンタン-2-イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*としては、フェニルシクロヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ2種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がAr1、Ar2、Ar3又はベンゼン環に結合していてもよい。
芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-*としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基-芳香族炭化水素基-*としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-*としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、1-(アダマンタン-1-イル)メチル基、1-(アダマンタン-1-イル)-1-メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基-脂環式炭化水素基-*としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、2-アルキルアダマンタン-2-イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*としては、フェニルシクロヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ2種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がAr1、Ar2、Ar3又はベンゼン環に結合していてもよい。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9で表されるハロアルキル基又は炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該ハロアルキル基又は該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、1つでもよいし、2以上でもよい。
ハロアルキル基及び炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、ハロアルコキシ基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、ハロアルコキシカルボニル基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、ハロアルキルカルボニル基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、ハロアルキルカルボニルオキシ基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~17のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~17のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~17のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~17のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~16のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~17の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~18の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~17の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
ハロアルコキシ基、ハロアルコキシカルボニル基、ハロアルキルカルボニル基、ハロアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数1~11のハロアルコキシ基、炭素数2~11のハロアルコキシカルボニル基、炭素数2~12のハロアルキルカルボニル基、炭素数2~11のハロアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上記に例示した基の1以上の水素原子をハロゲン原子に置き換えた基が挙げられる。
ハロアルキル基及び炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、ハロアルコキシ基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、ハロアルコキシカルボニル基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、ハロアルキルカルボニル基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、ハロアルキルカルボニルオキシ基(ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~17のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~17のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~17のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~17のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~16のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~17の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~18の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~17の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
ハロアルコキシ基、ハロアルコキシカルボニル基、ハロアルキルカルボニル基、ハロアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数1~11のハロアルコキシ基、炭素数2~11のハロアルコキシカルボニル基、炭素数2~12のハロアルキルカルボニル基、炭素数2~11のハロアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上記に例示した基の1以上の水素原子をハロゲン原子に置き換えた基が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の-O-又は-CO-は、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基が挙げられる。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭化水素基は、1つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭化水素基は、1つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
Ar1、Ar2及びAr3の炭素数6~10の芳香族炭化水素基としては、ベンゼン環又はナフタレン環等に由来する基が挙げられ、例えば、フェニレン基又はナフチレン基が挙げられる。また、Ar1、Ar2及びAr3の炭素数4~9の複素環式芳香族炭化水素基としては、フラン環、チオフェン環、ベンゾフラン環又はベンゾチオフェン環等に由来する基などが挙げられる。
Ar1、Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、ベンゼン環、ナフタレン環、フラン環又はチオフェン環に由来する基であることが好ましく、ベンゼン環に由来する基であることがより好ましい。
Ar1、Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、ベンゼン環、ナフタレン環、フラン環又はチオフェン環に由来する基であることが好ましく、ベンゼン環に由来する基であることがより好ましい。
A1、A2及びA3の炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基(例えば、アルカンジイル基等)、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組み合わせたものでもよい。炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~19であり、より好ましくは1~18であり、さらに好ましくは1~16であり、より一層好ましくは1~14であり、さらに一層好ましくは1~12である。
鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基及びヘプタデカン-1,17-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基及び
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~18であり、より好ましくは1~12であり、さらに好ましくは1~9であり、さらにより好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4であり、さらに一層好ましくは1~3である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
具体的には、シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の脂環式炭化水素基及び
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基、スピロシクロヘキサン-1,2’-シクロペンタン基、スピロアダマンタン-2,3’-シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12であり、さらにより好ましくは3~10である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~18であり、より好ましくは6~14であり、さらに好ましくは6~10である。
鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基及びヘプタデカン-1,17-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基及び
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~18であり、より好ましくは1~12であり、さらに好ましくは1~9であり、さらにより好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4であり、さらに一層好ましくは1~3である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
具体的には、シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の脂環式炭化水素基及び
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基、スピロシクロヘキサン-1,2’-シクロペンタン基、スピロアダマンタン-2,3’-シクロペンタン基等のシクロアルキル基、ノルボニル基もしくはアダマンチル基とそれぞれにスピロで結合したシクロアルキル基を有するスピロ環等が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~18であり、より好ましくは3~16であり、さらに好ましくは3~12であり、さらにより好ましくは3~10である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~18であり、より好ましくは6~14であり、さらに好ましくは6~10である。
組み合わせることにより形成される基としては、脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基及び脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基が挙げられる。組み合わせにおいて、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基は、それぞれ2種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がベンゼン環に結合していてもよい。
脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、-2価の脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の脂環式炭化水素基-等が挙げられる。
芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、-2価の芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の芳香族炭化水素基-等が挙げられる。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-、-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-、-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-等が挙げられる。
脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、-2価の脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の脂環式炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の脂環式炭化水素基-等が挙げられる。
芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、-2価の芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の芳香族炭化水素基-アルカンジイル基-、-アルカンジイル基-2価の芳香族炭化水素基-等が挙げられる。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-、-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-、-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-等が挙げられる。
A1、A2及びA3では、炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、1つ又は2以上であってもよいが、1つ又は2つであることが好ましい。
炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~19のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~19のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~20のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~19のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~19のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~19のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~19のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~19のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~20のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~19のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~19のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~19のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~19のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~19のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~18のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~19の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~20の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~19の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~19のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~19のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~20のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~19のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~19のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~19のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~19のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~19のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~20のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~19のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~19のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~19のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~19のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~19のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~18のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~19の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~20の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~19の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。また、以下に表される基のうち、-O-が-S-、-CO-が-SO2-にそれぞれ置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
A1、A2及びA3の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、R4~R9の炭化水素基が有してもよい置換基で挙げた基と同様の基が挙げられる。
A1、A2及びA3の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、R4~R9の炭化水素基が有してもよい置換基で挙げた基と同様の基が挙げられる。
A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。但し、該炭化水素基に含まれる-CH2-の少なくとも1つは、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっている。)であることが好ましい。具体的には、A1は、***-L011-X01-L012-であり、A2は、***-L021-X02-L022-であり、A3は、***-L031-X03-L032-である(X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-を表す。L011、L012、L021、L022、L031及びL032は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。但し、L011とL012との炭素数合計は、0~18であり、L021とL022との炭素数合計は、0~18であり、L031とL032との炭素数合計は、0~18である。***は、Ar1、Ar2又はAr3との結合部位を表す。)ことがより好ましく、A1は、***-X01-L01-又は***-L01-X01-であり、A2は、***-X02-L02-又は***-L02-X02-であり、A3は、***-X03-L03-又は***-L03-X03-である(X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-を表す。L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。***は、Ar1、Ar2又はAr3との結合部位を表す。)ことがさらに好ましい。A1、A2及びA3は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-での置き換わり以外に、置換基を有さないものが好ましい。
L011、L012、L021、L022、L031、L032、L01、L02及びL03の炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)としては、炭素数が1~18の範囲で、A1、A2及びA3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-又は-S-であることが好ましく、-O-であることがより好ましい。
L011、L012、L021、L022、L031、L032、L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、単結合又は炭素数1~12の炭化水素基(該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、単結合、炭素数1~9の鎖式炭化水素基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基又は炭素数1~4の鎖式炭化水素基と炭素数3~10の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、エチレンオキシメチレン基、メチレンカルボニルオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基又はカルボニル基であることがより好ましい。但し、L011とL012との炭素数合計は、0~18であり、L021とL022との炭素数合計は、0~18であり、L031とL032との炭素数合計は、0~18である。
A1、A2及びA3のX+が結合するベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましい。より具体的には、m1、m2及びm3が1の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が2の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがо位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が3の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が4の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。
m1は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m2は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m3は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m4は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m5は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m6は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m7は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m8は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m9は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~6のハロアルキル基、炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~6のハロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~3のアルコキシ基であることがより一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~3のアルコキシ基であることがさらに一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基又はヒドロキシ基であることがさらにより好ましい。
また、別の実施形態では、1以上のR4、R5及びR6のうち少なくとも一つが、酸不安定基を含んでいてもよく、R4、R5、R6は、それぞれ独立に、R1、R2、R3と同様の基であってもよい。R1が-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-R10であることが好ましく、R1が-O-CO-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-CO-O-R10であることが好ましく、R1が-O-L10-CO-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-L10-CO-O-R10であることが好ましい。R2とR5の組み合わせ及びR3とR6の組み合わせについても、それぞれR1とR4の組み合わせと同様である。
R4、R5及びR6のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、特に限定されないが、Ar1、Ar2及びAr3がベンゼン環に由来する基である場合、R4、R5及びR6のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、m4、m5及びm6が1の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、m位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が2の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が3の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、1つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が4の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。
R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~6のハロアルキル基、炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数1~4のフッ化アルキル基、炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~4のペルフルオロアルキル基、炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、ヒドロキシ基、メトキシ基、メチル基、t-ブチル基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより一層好ましい。
R7、R8及びR9のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、m7、m8及びm9が1の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が2の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、1つがm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が3の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が4の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがо位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。
また、XがS+、かつ、m10=1の場合、R8及びR9が結合して、S+を含む環を形成してもよい。また、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。R8及びR9が結合してS+を含む環を形成している場合、式(I-C’)で表されるカチオンであることが好ましい。
[式(I-C’)中、
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、m1、m2、m3、m4、m5、m6、m7、m8、m9、A1、A2、A3、Ar1、Ar2、Ar3の符号は、前記と同じ意味を表す。
X7は、単結合、-CH2-、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-を表す。]
X7は、単結合、-CH2-又は-O-であることが好ましい。
L011、L012、L021、L022、L031、L032、L01、L02及びL03の炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)としては、炭素数が1~18の範囲で、A1、A2及びA3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-又は-S-であることが好ましく、-O-であることがより好ましい。
L011、L012、L021、L022、L031、L032、L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、単結合又は炭素数1~12の炭化水素基(該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、単結合、炭素数1~9の鎖式炭化水素基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基又は炭素数1~4の鎖式炭化水素基と炭素数3~10の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、エチレンオキシメチレン基、メチレンカルボニルオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基又はカルボニル基であることがより好ましい。但し、L011とL012との炭素数合計は、0~18であり、L021とL022との炭素数合計は、0~18であり、L031とL032との炭素数合計は、0~18である。
A1、A2及びA3のX+が結合するベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましい。より具体的には、m1、m2及びm3が1の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が2の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがо位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が3の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。m1、m2及びm3が4の場合、A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。
m1は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m2は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m3は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m4は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m5は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m6は、0、1、2又は4であることが好ましく、0、1又は2であることがより好ましい。
m7は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m8は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
m9は、0、1、2、3又は4であることが好ましく、0、1、2又は3であることがより好ましく、0、1又は2であることがさらに好ましく、0又は1であることがさらにより好ましい。
R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~6のハロアルキル基、炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~6のハロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~3のアルコキシ基であることがより一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~3のアルコキシ基であることがさらに一層好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基又はヒドロキシ基であることがさらにより好ましい。
また、別の実施形態では、1以上のR4、R5及びR6のうち少なくとも一つが、酸不安定基を含んでいてもよく、R4、R5、R6は、それぞれ独立に、R1、R2、R3と同様の基であってもよい。R1が-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-R10であることが好ましく、R1が-O-CO-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-CO-O-R10であることが好ましく、R1が-O-L10-CO-O-R10の場合、1又は2つのR4がR1と同じ-O-L10-CO-O-R10であることが好ましい。R2とR5の組み合わせ及びR3とR6の組み合わせについても、それぞれR1とR4の組み合わせと同様である。
R4、R5及びR6のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、特に限定されないが、Ar1、Ar2及びAr3がベンゼン環に由来する基である場合、R4、R5及びR6のAr1、Ar2及びAr3への結合位置は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、m4、m5及びm6が1の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、m位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が2の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が3の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、1つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。m4、m5及びm6が4の場合、R4、R5及びR6は、それぞれ独立に、A1、A2及びA3の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがо位に結合しており、2つがm位に結合していることがより好ましい。
R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~6のハロアルキル基、炭素数1~6のアルキル基(該ハロアルキル基及び該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数1~4のフッ化アルキル基、炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数1~4のペルフルオロアルキル基、炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、ヒドロキシ基、メトキシ基、メチル基、t-ブチル基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10であることがより一層好ましい。
R7、R8及びR9のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、о位、m位、p位のいずれでもよい。なかでも、m7、m8及びm9が1の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、p位又はm位に結合していることが好ましく、p位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が2の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、1つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、1つがm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が3の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、1つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。m7、m8及びm9が4の場合、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、X+の結合位置に対して、2つがо位又はm位に結合しており、2つがp位又はm位に結合していることが好ましく、2つがm位に結合しており、1つがо位に結合しており、1つがp位に結合していることがより好ましい。
また、XがS+、かつ、m10=1の場合、R8及びR9が結合して、S+を含む環を形成してもよい。また、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。R8及びR9が結合してS+を含む環を形成している場合、式(I-C’)で表されるカチオンであることが好ましい。
[式(I-C’)中、
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、m1、m2、m3、m4、m5、m6、m7、m8、m9、A1、A2、A3、Ar1、Ar2、Ar3の符号は、前記と同じ意味を表す。
X7は、単結合、-CH2-、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-を表す。]
X7は、単結合、-CH2-又は-O-であることが好ましい。
式(I-C)で表されるカチオン(I)としては、式(I-C-1)又は式(I-C-2)で表されるカチオン(以下、それぞれを「カチオン(I-C-1)」及び「カチオン(I-C-2)」という場合がある)が挙げられる。また、式(I-C’)で表されるカチオンとしては、式(I-C’-1)で表されるカチオン(以下、「カチオン(I-C’-1)」という場合がある)が挙げられる。
[式(I-C-1)、式(I-C-2)及び式(I-C’-1)中、
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、m1、m2、m3、m4、m5、m6、m7、m8、m9、L01、L02、L03、X01、X02、X03及びX7の符号は、前記と同じ意味を表す。]
[式(I-C-1)、式(I-C-2)及び式(I-C’-1)中、
R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、m1、m2、m3、m4、m5、m6、m7、m8、m9、L01、L02、L03、X01、X02、X03及びX7の符号は、前記と同じ意味を表す。]
X01、X02及びX03のベンゼン環への結合位置は、それぞれ、A1、A2及びA3のベンゼン環への結合位置と同様である。
〔アニオン(I)〕
式(I)で表される塩のアニオン(I)は、AI-で表される有機アニオンである。
式(I)で表される塩に含まれる有機アニオンAI-としては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオンが挙げられる。
AI-で表される有機アニオンが、スルホン酸アニオンの場合、式(I-A)で表されるアニオン又は式(I-B)で表されるアニオンであることが好ましい。
[式(I-A)中、
Q1及びQ2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
L1は、炭素数1~24の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Y1は、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
[式(I-B)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。]
式(I)で表される塩のアニオン(I)は、AI-で表される有機アニオンである。
式(I)で表される塩に含まれる有機アニオンAI-としては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオンが挙げられる。
AI-で表される有機アニオンが、スルホン酸アニオンの場合、式(I-A)で表されるアニオン又は式(I-B)で表されるアニオンであることが好ましい。
[式(I-A)中、
Q1及びQ2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
L1は、炭素数1~24の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Y1は、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
[式(I-B)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。]
式(I-A)において、飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。また、環状炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該環状炭化水素基の炭素数とする。
Q1及びQ2の炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Q1及びQ2の炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。
Q1及びQ2は、少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことが好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがさらに好ましく、ともにフッ素原子であることがよりさらに好ましい。
Q1及びQ2の炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。
Q1及びQ2は、少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことが好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがさらに好ましく、ともにフッ素原子であることがよりさらに好ましい。
L1における飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基及びヘプタデカン-1,17-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の2価の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基及びヘプタデカン-1,17-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の2価の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
L1で表される飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-又は-CO-で置き換わった基としては、例えば、式(b1-1)~式(b1-3)のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式(b1-1)~式(b1-3)で表される基及びそれらの具体例である式(b1-4)~式(b1-11)で表される基において、*及び**は結合部位を表し、*は-Y1との結合部位を表す。
[式(b1-1)中、
Lb2は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb3は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb2とLb3との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-2)中、
Lb4は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb5は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb4とLb5との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-3)中、
Lb6は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Lb7は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb6とLb7との炭素数合計は、23以下である。]
Lb2は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb3は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb2とLb3との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-2)中、
Lb4は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb5は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb4とLb5との炭素数合計は、22以下である。
式(b1-3)中、
Lb6は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Lb7は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
ただし、Lb6とLb7との炭素数合計は、23以下である。]
式(b1-1)~式(b1-3)で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
2価の飽和炭化水素基としては、L1の2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
Lb2は、好ましくは単結合、メチレン基、-CH(CF3)-、-C(CF3)2-である。
Lb3は、好ましくは炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
Lb4は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基であり、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよく、メチレン基、-CH(CF3)-、-C(CF3)2-であることが好ましい。
Lb5は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb6は、好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Lb7は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
2価の飽和炭化水素基としては、L1の2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
Lb2は、好ましくは単結合、メチレン基、-CH(CF3)-、-C(CF3)2-である。
Lb3は、好ましくは炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
Lb4は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基であり、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよく、メチレン基、-CH(CF3)-、-C(CF3)2-であることが好ましい。
Lb5は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb6は、好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Lb7は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
L1で表される2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-又は-CO-で置き換わった基としては、式(b1-1)又は式(b1-3)で表される基が好ましい。
式(b1-1)で表される基としては、式(b1-4)~式(b1-8)でそれぞれ表される基が挙げられる。
[式(b1-4)中、
Lb8は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式(b1-5)中、
Lb9は、炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb10は、単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb9及びLb10の合計炭素数は20以下である。
式(b1-6)中、
Lb11は、炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb12は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb11及びLb12の合計炭素数は21以下である。
式(b1-7)中、
Lb13は、炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb14は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb15は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb13~Lb15の合計炭素数は19以下である。
式(b1-8)中、
Lb16は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb17は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb18は、単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb16~Lb18の合計炭素数は19以下である。]
[式(b1-4)中、
Lb8は、単結合又は炭素数1~22の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式(b1-5)中、
Lb9は、炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb10は、単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb9及びLb10の合計炭素数は20以下である。
式(b1-6)中、
Lb11は、炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb12は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb11及びLb12の合計炭素数は21以下である。
式(b1-7)中、
Lb13は、炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb14は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb15は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb13~Lb15の合計炭素数は19以下である。
式(b1-8)中、
Lb16は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Lb17は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb18は、単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb16~Lb18の合計炭素数は19以下である。]
Lb8は、好ましくは炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
Lb9は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb10は、好ましくは単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb11は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb12は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb13は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
Lb14は、好ましくは単結合又は炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
Lb15は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb16は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
Lb17は、好ましくは炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
Lb18は、好ましくは単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
Lb9は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb10は、好ましくは単結合又は炭素数1~19の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb11は、好ましくは炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb12は、好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb13は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
Lb14は、好ましくは単結合又は炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
Lb15は、好ましくは単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~8の2価の飽和炭化水素基である。
Lb16は、好ましくは炭素数1~12の2価の飽和炭化水素基である。
Lb17は、好ましくは炭素数1~6の2価の飽和炭化水素基である。
Lb18は、好ましくは単結合又は炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数1~4の2価の飽和炭化水素基である。
式(b1-3)で表される基としては、式(b1-9)~式(b1-11)でそれぞれ表される基が挙げられる。
[式(b1-9)中、
Lb19は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb20は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb19及びLb20の合計炭素数は23以下である。
式(b1-10)中、
Lb21は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb22は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb23は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb21、Lb22及びLb23の合計炭素数は21以下である。
式(b1-11)中、
Lb24は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb25は、炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb26は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb24、Lb25及びLb26の合計炭素数は21以下である。]
[式(b1-9)中、
Lb19は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb20は、単結合又は炭素数1~23の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb19及びLb20の合計炭素数は23以下である。
式(b1-10)中、
Lb21は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb22は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb23は、単結合又は炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb21、Lb22及びLb23の合計炭素数は21以下である。
式(b1-11)中、
Lb24は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Lb25は、炭素数1~21の2価の飽和炭化水素基を表す。
Lb26は、単結合又は炭素数1~20の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Lb24、Lb25及びLb26の合計炭素数は21以下である。]
なお、式(b1-9)で表される基から式(b1-11)で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Y1で表される環状炭化水素基としては、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環式芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基が挙げられる。
Y1で表される脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、式(Y1)~式(Y11)、式(Y36)~式(Y38)で表される基が挙げられる。
Y1で表される脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-S-、-SO2-又は-CO-で置き換わる場合、その数は1つでもよいし、2以上でもよい。そのような基としては、式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基が挙げられる。式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基の-O-又は-CO-は、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。*はL1との結合部位を表す。以下に挙げられた基の-O-は、-S-に置き換わっていてもよい。
Y1で表される脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、式(Y1)~式(Y11)、式(Y36)~式(Y38)で表される基が挙げられる。
Y1で表される脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-S-、-SO2-又は-CO-で置き換わる場合、その数は1つでもよいし、2以上でもよい。そのような基としては、式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基が挙げられる。式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基の-O-又は-CO-は、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。*はL1との結合部位を表す。以下に挙げられた基の-O-は、-S-に置き換わっていてもよい。
Y1で表される脂環式炭化水素基としては、好ましくは式(Y1)~式(Y20)、式(Y26)、式(Y27)、式(Y30)、式(Y31)、式(Y39)~式(Y43)のいずれかで表される基であり、より好ましくは式(Y11)、式(Y15)、式(Y16)、式(Y20)、式(Y26)、式(Y27)、式(Y30)、式(Y31)、式(Y39)、式(Y40)、式(Y42)又は式(Y43)で表される基であり、さらに好ましくは式(Y11)、式(Y15)、式(Y20)、式(Y26)、式(Y27)、式(Y30)、式(Y31)、式(Y39)、式(Y40)、式(Y42)又は式(Y43)で表される基である。
Y1で表される脂環式炭化水素基が式(Y28)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y40)、式(Y42)又は式(Y43)等の酸素原子を含むスピロ環である場合には、2つの酸素原子間のアルカンジイル基は、1以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~24であり、より好ましくは3~20であり、さらに好ましくは3~18であり、より一層好ましくは3~16である。
Y1で表される脂環式炭化水素基が式(Y28)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y40)、式(Y42)又は式(Y43)等の酸素原子を含むスピロ環である場合には、2つの酸素原子間のアルカンジイル基は、1以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~24であり、より好ましくは3~20であり、さらに好ましくは3~18であり、より一層好ましくは3~16である。
Y1で表される芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~24であり、より好ましくは6~20であり、さらに好ましくは6~18であり、より一層好ましくは6~14であり、さらに一層好ましくは6~10である。
Y1で表される複素環式芳香族炭化水素基としては、フラン環、チオフェン環、ベンゾフラン環又はベンゾチオフェン環等に由来する基が挙げられる。複素環式芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは4~9であり、より好ましくは4~8である。
Y1で表される芳香族炭化水素基又は複素環式芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、フラン環又はチオフェン環に由来する基であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。
Y1で表される複素環式芳香族炭化水素基としては、フラン環、チオフェン環、ベンゾフラン環又はベンゾチオフェン環等に由来する基が挙げられる。複素環式芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは4~9であり、より好ましくは4~8である。
Y1で表される芳香族炭化水素基又は複素環式芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、フラン環又はチオフェン環に由来する基であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。
Y1で表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基、-(CH2)ja-CO-O-Rb1基又は-(CH2)ja-O-CO-Rb1基(式中、Rb1は、炭素数1~16のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。jaは、0~4のいずれかの整数を表す。)等が挙げられる。
Y1で表される環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数1~16のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、炭素数7~21のアラルキル基、グリシジルオキシ基、-(CH2)ja-CO-O-Rb1基又は-(CH2)ja-O-CO-Rb1基(式中、Rb1は、炭素数1~16のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。jaは、0~4のいずれかの整数を表す。)等が挙げられる。
Y1で表される環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数1~16のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基、炭素数7~21のアラルキル基、グリシジルオキシ基、-(CH2)ja-CO-O-Rb1基又は-(CH2)ja-O-CO-Rb1基(式中、Rb1は、炭素数1~16のアルキル基、炭素数3~16の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。jaは、0~4のいずれかの整数を表す。)等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~12であり、より好ましくは3~10である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としてトリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-メチルフェニル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等が挙げられ、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としてp-シクロへキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~14であり、より好ましくは6~10である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる-CH2-が-O-、-SO2-又は-CO-等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルスルホニル基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルスルホニル基としては、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは3~13であり、より好ましくは3~7であり、さらに好ましくは3~5である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは3~13であり、より好ましくは3~7であり、さらに好ましくは3~5である。
脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-SO2-又は-CO-等で置き換わった基としては、式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~12であり、より好ましくは3~10である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としてトリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-メチルフェニル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等が挙げられ、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基としてp-シクロへキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~14であり、より好ましくは6~10である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、2-エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる-CH2-が-O-、-SO2-又は-CO-等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アルキルスルホニル基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルキルスルホニル基としては、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~12であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは3~13であり、より好ましくは3~7であり、さらに好ましくは3~5である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは3~13であり、より好ましくは3~7であり、さらに好ましくは3~5である。
脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が-O-、-SO2-又は-CO-等で置き換わった基としては、式(Y12)~式(Y35)、式(Y39)~式(Y43)で表される基等が挙げられる。
Y1における環状炭化水素基(該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)は、なかでも、炭素数3~24の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)又は炭素数6~24の芳香族炭化水素基であることが好ましく、炭素数3~20の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)又は炭素数6~20の芳香族炭化水素基であることがより好ましく、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。具体的には、式(w1-1)~式(w1-32)のいずれかで表される基であることが好ましく、式(w1-1)~式(w1-6)及び式(w1-12)~式(w1-30)のいずれかで表される基であることがより好ましく、式(w1-1)~式(w1-3)、式(w1-15)~式(w1-17)、式(w1-22)、式(w1-25)及び式(w1-27)~式(w1-29)のいずれかで表される基であることがさらに好ましい。ここで、該環状炭化水素基は、置換基を有していてもよい。
[式(w1-1)~式(w1-32)中、
該基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置である。]
[式(w1-1)~式(w1-32)中、
該基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置である。]
Y1は、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数3~24の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数6~24の芳香族炭化水素基であり、より好ましくは置換基を有していてもよい炭素数3~20の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数6~20の芳香族炭化水素基であり、さらに好ましくは置換基を有していてもよい炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は置換基を有していてもよい炭素数6~18の芳香族炭化水素基であり、一層好ましくは、炭素数5もしくは6のシクロアルキル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、ノルボルナンラクトン基、アダマンタンラクトン基、炭素数5もしくは6のシクロアルキル基と炭素数5~8のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、ノルボルニル基と炭素数5~8のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、アダマンチル基と炭素数5~8のシクロアルキル基がスピロで結合した脂環式炭化水素基、又は、フェニル基である。ここで、該脂環式炭化水素基、該シクロアルキル基、該ノルボルニル基、該アダマンチル基、該ノルボルナンラクトン基及び該アダマンタンラクトン基は、それぞれ、置換基を有していてもよく、該脂環式炭化水素基、該シクロアルキル基、該ノルボルニル基及び該アダマンチル基に含まれる-CH2-は、それぞれ、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Y1としては、具体的には、以下のものが挙げられる。
Y1としては、具体的には、以下のものが挙げられる。
Y1は、好ましくはアダマンチル基、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、ノルボルナンラクトン基、フェニル基、これらを含む基又は式(Y42)、式(Y100)~式(Y114)、式(Y134)~式(Y139)、式(Y141)~式(Y156)で表される基であり、特に好ましくは、ヒドロキシアダマンチル基、オキソアダマンチル基、これらを含む基又は式(Y42)、式(Y100)~式(Y114)、式(Y134)~式(Y139)、式(Y141)~式(Y156)で表される基である。
式(I-A)で表されるアニオンとしては、式(I-A-1)~式(I-A-85)で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン(I-A-1)」等という場合がある。〕が好ましく、式(I-A-1)~式(I-A-4)、式(I-A-9)、式(I-A-10)、式(I-A-24)~式(I-A-33)、式(I-A-36)~式(I-A-40)、式(I-A-47)~式(I-A-85)のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。
ここでRi2~Ri7は、それぞれ独立に、例えば、炭素数1~4のアルキル基、好ましくはメチル基又はエチル基である。Ri8は、例えば、炭素数1~12の鎖式炭化水素基、好ましくは炭素数1~4のアルキル基、炭素数5~12の脂環式炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。LA41は、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基である。Q1及びQ2は、上記と同じ意味を表す。
式(I-A)で表されるアニオンとしては、具体的には、特開2010-204646号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
式(I-A)で表されるアニオンとしては、具体的には、特開2010-204646号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
なかでも、式(I-a-1)~式(I-a-4)、式(I-a-7)~式(I-a-11)、式(I-a-14)~式(I-a-30)及び式(I-a-35)~式(I-a-65)のいずれかで表されるアニオンが好ましい。
式(I-B)において、R21における環状炭化水素基を含む炭化水素基としては、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基もしくはこれらを組み合わせた基、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基等の環状炭化水素基と鎖式炭化水素基(アルキル基、アルケニル基、アルキニル基等)とを任意に組み合わせた基等が挙げられる。R21における環状炭化水素基の炭素数は、例えば、3~24が挙げられ、3~20が好ましく、3~18がより好ましく、3~16がさらに好ましく、5~16がさらにより好ましい。R21における環状炭化水素基を含む炭化水素基の合計炭素数は、例えば、3~48が挙げられ、3~40が好ましく、3~36がより好ましく、3~30がさらに好ましく、3~24がより一層好ましく、3~18がさらに一層好ましく、3~16がさらにより好ましい。
脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロドデシル基等の単環式シクロアルキル基、デカヒドロナフチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等の多環式シクロアルキル基が挙げられる。
具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
より具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。*は結合部位を表す。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~24であり、より好ましくは3~18であり、さらに好ましくは3~16であり、さらにより好ましくは5~16である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~24であり、より好ましくは6~18であり、さらに好ましくは6~14であり、さらにより好ましくは6~10である。
具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
より具体的に、脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。*は結合部位を表す。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~24であり、より好ましくは3~18であり、さらに好ましくは3~16であり、さらにより好ましくは5~16である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~24であり、より好ましくは6~18であり、さらに好ましくは6~14であり、さらにより好ましくは6~10である。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基が挙げられる。
アルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
アルキニル基としては、エチニル基、プロピニル基、イソプロピニル基、ブチニル基、イソブチニル基、tert-ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基、ノニニル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~24であり、より好ましくは1~18であり、さらに好ましくは1~12であり、より一層好ましくは1~8であり、さらに一層好ましくは1~6であり、さらにより好ましくは1~4であり、さらにより一層好ましくは1~3である。
アルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
アルキニル基としては、エチニル基、プロピニル基、イソプロピニル基、ブチニル基、イソブチニル基、tert-ブチニル基、ペンチニル基、ヘキシニル基、オクチニル基、ノニニル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~24であり、より好ましくは1~18であり、さらに好ましくは1~12であり、より一層好ましくは1~8であり、さらに一層好ましくは1~6であり、さらにより好ましくは1~4であり、さらにより一層好ましくは1~3である。
組み合わせた基としては、
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられる。ここで、組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖状炭化水素基は、それぞれ2種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基が酸素原子に結合していてもよい。また、上述の基において価数の異なる基(アルカンジイル基、アルカントリイル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカントリイル基等)が含まれていてもよい。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基、脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられる。ここで、組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖状炭化水素基は、それぞれ2種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基が酸素原子に結合していてもよい。また、上述の基において価数の異なる基(アルカンジイル基、アルカントリイル基、シクロアルカンジイル基、シクロアルカントリイル基等)が含まれていてもよい。
組み合わせた基の具体例としては、
アダマンチルメチル基、アダマンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基等の、脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルアダマンチル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
トリル基、キシリル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルシクロヘキシルメチル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
ベンジル基、フェネチル基等の、芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
トリルメチル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルアダマンチル基等の、芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルフェニル基、アダマンチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルシクロヘキシルフェニル基、ジメチルシクロヘキシルフェニル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルフェニルシクロヘキシル基、ジメチルフェニルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルメチルフェニル基、シクロヘキシルエチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルメチルシクロヘキシル基、フェニルエチルシクロヘキシル基等の、芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルフェニルメチル基、シクロヘキシルフェニルエチル基等の、脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルシクロヘキシルメチル基、フェニルシクロヘキシルエチル基等の、芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
等が挙げられる。ここで、*は酸素原子との結合部位を表す。
アダマンチルメチル基、アダマンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基等の、脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルアダマンチル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
トリル基、キシリル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルシクロヘキシルメチル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
ベンジル基、フェネチル基等の、芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
トリルメチル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルアダマンチル基等の、芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルフェニル基、アダマンチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルシクロヘキシルフェニル基、ジメチルシクロヘキシルフェニル基等の、鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
メチルフェニルシクロヘキシル基、ジメチルフェニルシクロヘキシル基等の、鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルメチルフェニル基、シクロヘキシルエチルフェニル基等の、脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-芳香族炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルメチルシクロヘキシル基、フェニルエチルシクロヘキシル基等の、芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-脂環式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
シクロヘキシルフェニルメチル基、シクロヘキシルフェニルエチル基等の、脂環式炭化水素基-芳香族炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
フェニルシクロヘキシルメチル基、フェニルシクロヘキシルエチル基等の、芳香族炭化水素基-脂環式炭化水素基-鎖式炭化水素基-*(該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)、
等が挙げられる。ここで、*は酸素原子との結合部位を表す。
R21で表される炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、1つでもよいし、2以上でもよい。
炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~17のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~17のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~17のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~17のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~16のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~17の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~18の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~17の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の-O-又は-CO-は、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
より具体的に、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。*は結合部位を表す。
炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、チオール基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルキルチオ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルスルホニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、オキシ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、チオ基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-S-に置き換わった基)、スルホニル基(メチレン基中に含まれる-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルカンジイルオキシカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルカンジイルカルボニルオキシ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、アルカンジイルチオ基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-S-に置き換わった基)、アルカンジイルスルホニル基(アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-SO2-に置き換わった基)、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基-カルボニル基、芳香族炭化水素基-オキシ基、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~17のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルキルチオ基としては、炭素数1~17のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、2-エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、2-エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数2~17のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数2~18のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~17のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~12であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~11であり、より好ましくは2~6であり、さらに好ましくは2~4であり、さらにより好ましくは2又は3である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数1~17のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数1~17のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは1~11であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数3~17のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数4~17のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数2~16のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基としては、炭素数7~17の芳香族炭化水素基-カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-カルボニル基としては、炭素数7~18の芳香族炭化水素基-カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基-オキシ基としては、炭素数6~17の芳香族炭化水素基-オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の-O-又は-CO-は、-S-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
より具体的に、脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。*は結合部位を表す。
環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1~12のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)が挙げられる。環状炭化水素基が置換基を有する場合、置換基は、R21における環状炭化水素基を含む炭化水素基の合計炭素数に含まれない。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数1~12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~10であり、より好ましくは1~9であり、さらに好ましくは1~8であり、より一層好ましくは1~6であり、さらに一層好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
置換基として、アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~11のアルコキシ基が挙げられ。例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~11のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、アルキルカルボニル基としては、炭素数2~12のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~11のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。
環状炭化水素基は、1つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~4のアルキル基がさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基又は炭素数1~4のアルキル基がより一層好ましい。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
炭素数1~12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~10であり、より好ましくは1~9であり、さらに好ましくは1~8であり、より一層好ましくは1~6であり、さらに一層好ましくは1~4であり、さらにより好ましくは1~3である。
置換基として、アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。置き換わった基としては、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシ基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルコキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-O-に置き換わった基)、アルコキシカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニル基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、アルキルカルボニルオキシ基(アルキル基中に含まれる任意の位置の-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)、これらの基のうち2種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数1~11のアルコキシ基が挙げられ。例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数2~11のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられ、アルキルカルボニル基としては、炭素数2~12のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられ、アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数2~11のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは2~6であり、より好ましくは2~4であり、さらに好ましくは2又は3である。
環状炭化水素基は、1つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-又は-SO2-に置き換わっていてもよい。)がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~4のアルキル基がさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基又は炭素数1~4のアルキル基がより一層好ましい。
環状炭化水素基(該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)は、
炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。)であることが好ましく、
炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)であることがより好ましく、
炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましい。
炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。)であることが好ましく、
炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)であることがより好ましく、
炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましい。
R21で表される環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)としては、
好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基を含む炭素数6~48の炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
より好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基を含む炭素数6~48の炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
さらに好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、炭素数3~18の脂環式炭化水素基と炭素数1~6の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基と炭素数1~6の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
さらにより好ましくは、炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数5~16の脂環式炭化水素基と炭素数1~4の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)である。
また、R21で表される環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)としては、
W21-L21-*(W21は、置換基を有してもよい炭素数3~18の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。L21は、単結合又は炭素数1~6の鎖式炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。*は、*は酸素原子との結合部位を表す。)であることも好ましい。
W21の環状炭化水素基、W21が有してもよい置換基、L21の鎖式炭化水素基としては、上述した基と同様のものが挙げられる。
W21は、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。)であることが好ましく、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)であることがより好ましく、炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましい。
L21は、単結合又は炭素数1~6の鎖式炭化水素基(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、単結合又は炭素数1~4の鎖式炭化水素基(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、単結合又は炭素数1~3の鎖式炭化水素基であることがさらに好ましい。
m21は、1~5のいずれかの整数であり、1~4のいずれかの整数が好ましく、1~3のいずれかの整数がより好ましく、1又は2がさらに好ましく、2がさらにより好ましい。m21が1又は2である場合、SO3 -に対して、m置換である下記の構造であることが好ましい。
上記式において、R21’は、上述したR21と同じ定義であり、R21と同じであってもよいし異なっていてもよい。
好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基を含む炭素数6~48の炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
より好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基を含む炭素数6~48の炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
さらに好ましくは、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、炭素数3~18の脂環式炭化水素基と炭素数1~6の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基と炭素数1~6の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であり、
さらにより好ましくは、炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数5~16の脂環式炭化水素基と炭素数1~4の鎖式炭化水素基とを組み合わせた基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該組み合わせた基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)である。
また、R21で表される環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基(該環状炭化水素基は置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)としては、
W21-L21-*(W21は、置換基を有してもよい炭素数3~18の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。L21は、単結合又は炭素数1~6の鎖式炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。*は、*は酸素原子との結合部位を表す。)であることも好ましい。
W21の環状炭化水素基、W21が有してもよい置換基、L21の鎖式炭化水素基としては、上述した基と同様のものが挙げられる。
W21は、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、置換基を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、置換基を有してもよい。)であることが好ましく、炭素数3~18の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)、又は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基(該芳香族炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよい。)であることがより好ましく、炭素数5~16の脂環式炭化水素基(該脂環式炭化水素基は、炭素数1~4のアルキル基、ヒドロキシ基、ヨウ素原子及びフッ素原子からなる群より選ばれる1以上を有してもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがさらに好ましい。
L21は、単結合又は炭素数1~6の鎖式炭化水素基(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、単結合又は炭素数1~4の鎖式炭化水素基(該鎖式炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、単結合又は炭素数1~3の鎖式炭化水素基であることがさらに好ましい。
m21は、1~5のいずれかの整数であり、1~4のいずれかの整数が好ましく、1~3のいずれかの整数がより好ましく、1又は2がさらに好ましく、2がさらにより好ましい。m21が1又は2である場合、SO3 -に対して、m置換である下記の構造であることが好ましい。
上記式において、R21’は、上述したR21と同じ定義であり、R21と同じであってもよいし異なっていてもよい。
R22の炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~4であり、より好ましくは1~3である。
R22のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
R22は、それぞれ独立に、ハロゲン原子又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~3のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メトキシ基又はメチル基であることがさらに好ましい。
m22は、0~4のいずれかの整数であり、0~3のいずれかの整数であることが好ましく、0~2のいずれかの整数であることがより好ましい。一実施形態では、m22は0であるものが好ましい。また、別の実施形態では、m22が1又は2であるものが好ましい。m22が1である場合、R22がハロゲン原子であることが好ましく、R22がフッ素原子又ヨウ素原子であることがより好ましい。m22が2である場合、R22の一方がハロゲン原子であり、他方がハロゲン原子又は炭素数1~4のアルキル基であることが好ましく、R22の一方がフッ素原子又ヨウ素原子であり、他方がフッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~3のアルキル基であることがより好ましい。
R22のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
R22は、それぞれ独立に、ハロゲン原子又は炭素数1~4のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~3のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メトキシ基又はメチル基であることがさらに好ましい。
m22は、0~4のいずれかの整数であり、0~3のいずれかの整数であることが好ましく、0~2のいずれかの整数であることがより好ましい。一実施形態では、m22は0であるものが好ましい。また、別の実施形態では、m22が1又は2であるものが好ましい。m22が1である場合、R22がハロゲン原子であることが好ましく、R22がフッ素原子又ヨウ素原子であることがより好ましい。m22が2である場合、R22の一方がハロゲン原子であり、他方がハロゲン原子又は炭素数1~4のアルキル基であることが好ましく、R22の一方がフッ素原子又ヨウ素原子であり、他方がフッ素原子、ヨウ素原子又は炭素数1~3のアルキル基であることがより好ましい。
アニオン(I-B)としては、例えば、以下のアニオンが挙げられる。なかでも、式(I-B-1)~式(I-B-20)で表されるアニオンが好ましく、式(I-B-1)~式(I-B-11)、式(I-B-16)~式(I-B-20)で表されるアニオンがより好ましい。
塩(I)の具体例として、上記したカチオンとアニオンとを任意に組み合わせた塩が挙げられる。塩(I)の具体例を下記表に示す。
下記表において、各符号は、上述のアニオンやカチオンを表す構造に付した符号を表し、「~」は、塩(I)とアニオン(I)又はカチオン(I)とのそれぞれが対応することを示す。たとえば、塩(I-1)は、式(I-a-1)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-2)は、式(I-a-2)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-41)は、式(I-a-1)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩を示す。また、塩(I-13441)は、式(I-a-41)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-13442)は、式(I-a-41)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-13777)は、式(I-a-42)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩を示す。また、塩(I-14449)は、式(I-B-1)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-14450)は、式(I-B-2)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-14469)は、式(I-B-1)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩を示す。これらの塩(I)は従来公知の合成方法、例えば、特開2021-175722号公報に記載の合成方法により入手することができる。
下記表において、各符号は、上述のアニオンやカチオンを表す構造に付した符号を表し、「~」は、塩(I)とアニオン(I)又はカチオン(I)とのそれぞれが対応することを示す。たとえば、塩(I-1)は、式(I-a-1)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-2)は、式(I-a-2)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-41)は、式(I-a-1)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩を示す。また、塩(I-13441)は、式(I-a-41)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-13442)は、式(I-a-41)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-13777)は、式(I-a-42)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩を示す。また、塩(I-14449)は、式(I-B-1)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-14450)は、式(I-B-2)で示されるアニオンと式(I-c-1)で示されるカチオンとからなる塩、塩(I-14469)は、式(I-B-1)で示されるアニオンと式(I-c-2)で示されるカチオンとからなる塩を示す。これらの塩(I)は従来公知の合成方法、例えば、特開2021-175722号公報に記載の合成方法により入手することができる。
中でも、塩(I)は、式(I-a-1)~式(I-a-4)、式(I-a-7)~式(I-a-11)、式(I-a-14)~式(I-a-30)、式(I-a-35)~式(I-a-65)及び式(I-B-1)~式(I-B-20)のいずれかで表されるアニオンと式(I-c-1)~式(I-c-348)のいずれかで表されるカチオンとを組み合わせた塩が好ましく、具体的には、塩(I-1)~塩(I-4)、塩(I-7)~塩(I-11)、塩(I-14)~塩(I-30)、塩(I-35)~塩(I-40)、塩(I-41)~塩(I-44)、塩(I-47)~塩(I-51)、塩(I-54)~塩(I-70)、塩(I-75)~塩(I-80)、塩(I-81)~塩(I-84)、塩(I-87)~塩(I-91)、塩(I-94)~塩(I-110)、塩(I-115)~塩(I-120)、塩(I-121)~塩(I-124)、塩(I-127)~塩(I-131)、塩(I-134)~塩(I-150)、塩(I-155)~塩(I-160)、塩(I-161)~塩(I-164)、塩(I-167)~塩(I-171)、塩(I-174)~塩(I-190)、塩(I-195)~塩(I-200)、塩(I-201)~塩(I-204)、塩(I-207)~塩(I-211)、塩(I-214)~塩(I-230)、塩(I-235)~塩(I-240)、塩(I-241)~塩(I-244)、塩(I-247)~塩(I-251)、塩(I-254)~塩(I-270)、塩(I-275)~塩(I-280)、塩(I-281)~塩(I-284)、塩(I-287)~塩(I-291)、塩(I-294)~塩(I-310)、塩(I-315)~塩(I-320)、塩(I-321)~塩(I-324)、塩(I-327)~塩(I-331)、塩(I-334)~塩(I-350)、塩(I-355)~塩(I-360)、塩(I-361)~塩(I-364)、塩(I-367)~塩(I-371)、塩(I-374)~塩(I-390)、塩(I-395)~塩(I-400)、塩(I-401)~塩(I-404)、塩(I-407)~塩(I-411)、塩(I-414)~塩(I-430)、塩(I-435)~塩(I-440)、塩(I-441)~塩(I-444)、塩(I-447)~塩(I-451)、塩(I-454)~塩(I-470)、塩(I-475)~塩(I-480)、塩(I-481)~塩(I-484)、塩(I-487)~塩(I-491)、塩(I-494)~塩(I-510)、塩(I-515)~塩(I-520)、塩(I-521)~塩(I-524)、塩(I-527)~塩(I-531)、塩(I-534)~塩(I-550)、塩(I-555)~塩(I-560)、塩(I-561)~塩(I-564)、塩(I-567)~塩(I-571)、塩(I-574)~塩(I-590)、塩(I-595)~塩(I-600)、塩(I-601)~塩(I-604)、塩(I-607)~塩(I-611)、塩(I-614)~塩(I-630)、塩(I-635)~塩(I-640)、塩(I-641)~塩(I-644)、塩(I-647)~塩(I-651)、塩(I-654)~塩(I-670)、塩(I-675)~塩(I-680)、塩(I-681)~塩(I-684)、塩(I-687)~塩(I-691)、塩(I-694)~塩(I-710)、塩(I-715)~塩(I-720)、塩(I-721)~塩(I-724)、塩(I-727)~塩(I-731)、塩(I-734)~塩(I-750)、塩(I-755)~塩(I-760)、塩(I-761)~塩(I-764)、塩(I-767)~塩(I-771)、塩(I-774)~塩(I-790)、塩(I-795)~塩(I-800)、塩(I-801)~塩(I-804)、塩(I-807)~塩(I-811)、塩(I-814)~塩(I-830)、塩(I-835)~塩(I-840)、塩(I-841)~塩(I-844)、塩(I-847)~塩(I-851)、塩(I-854)~塩(I-870)、塩(I-875)~塩(I-880)、塩(I-881)~塩(I-884)、塩(I-887)~塩(I-891)、塩(I-894)~塩(I-910)、塩(I-915)~塩(I-920)、塩(I-921)~塩(I-924)、塩(I-927)~塩(I-931)、塩(I-934)~塩(I-950)、塩(I-955)~塩(I-960)、塩(I-961)~塩(I-964)、塩(I-967)~塩(I-971)、塩(I-974)~塩(I-990)、塩(I-995)~塩(I-1000)、塩(I-1001)~塩(I-1004)、塩(I-1007)~塩(I-1011)、塩(I-1014)~塩(I-1030)、塩(I-1035)~塩(I-1040)、塩(I-1041)~塩(I-1044)、塩(I-1047)~塩(I-1051)、塩(I-1054)~塩(I-1070)、塩(I-1075)~塩(I-1080)、塩(I-1081)~塩(I-1084)、塩(I-1087)~塩(I-1091)、塩(I-1094)~塩(I-1110)、塩(I-1115)~塩(I-1120)、塩(I-1121)~塩(I-1124)、塩(I-1127)~塩(I-1131)、塩(I-1134)~塩(I-1150)、塩(I-1155)~塩(I-1160)、塩(I-1161)~塩(I-1164)、塩(I-1167)~塩(I-1171)、塩(I-1174)~塩(I-1190)、塩(I-1195)~塩(I-1200)、塩(I-1201)~塩(I-1204)、塩(I-1207)~塩(I-1211)、塩(I-1214)~塩(I-1230)、塩(I-1235)~塩(I-1240)、塩(I-1241)~塩(I-1244)、塩(I-1247)~塩(I-1251)、塩(I-1254)~塩(I-1270)、塩(I-1275)~塩(I-1280)、塩(I-1281)~塩(I-1284)、塩(I-1287)~塩(I-1291)、塩(I-1294)~塩(I-1310)、塩(I-1315)~塩(I-1320)、塩(I-1321)~塩(I-1324)、塩(I-1327)~塩(I-1331)、塩(I-1334)~塩(I-1350)、塩(I-1355)~塩(I-1360)、塩(I-1361)~塩(I-1364)、塩(I-1367)~塩(I-1371)、塩(I-1374)~塩(I-1390)、塩(I-1395)~塩(I-1400)、塩(I-1401)~塩(I-1404)、塩(I-1407)~塩(I-1411)、塩(I-1414)~塩(I-1430)、塩(I-1435)~塩(I-1440)、塩(I-1441)~塩(I-1444)、塩(I-1447)~塩(I-1451)、塩(I-1454)~塩(I-1470)、塩(I-1475)~塩(I-1480)、塩(I-1481)~塩(I-1484)、塩(I-1487)~塩(I-1491)、塩(I-1494)~塩(I-1510)、塩(I-1515)~塩(I-1520)、塩(I-1521)~塩(I-1524)、塩(I-1527)~塩(I-1531)、塩(I-1534)~塩(I-1550)、塩(I-1555)~塩(I-1560)、塩(I-1561)~塩(I-1564)、塩(I-1567)~塩(I-1571)、塩(I-1574)~塩(I-1590)、塩(I-1595)~塩(I-1600)、塩(I-1601)~塩(I-1604)、塩(I-1607)~塩(I-1611)、塩(I-1614)~塩(I-1630)、塩(I-1635)~塩(I-1640)、塩(I-1641)~塩(I-1644)、塩(I-1647)~塩(I-1651)、塩(I-1654)~塩(I-1670)、塩(I-1675)~塩(I-1680)、塩(I-1681)~塩(I-1684)、塩(I-1687)~塩(I-1691)、塩(I-1694)~塩(I-1710)、塩(I-1715)~塩(I-1720)、塩(I-1721)~塩(I-1724)、塩(I-1727)~塩(I-1731)、塩(I-1734)~塩(I-1750)、塩(I-1755)~塩(I-1760)、塩(I-1761)~塩(I-1764)、塩(I-1767)~塩(I-1771)、塩(I-1774)~塩(I-1790)、塩(I-1795)~塩(I-1800)、塩(I-1801)~塩(I-1804)、塩(I-1807)~塩(I-1811)、塩(I-1814)~塩(I-1830)、塩(I-1835)~塩(I-1840)、塩(I-1841)~塩(I-1844)、塩(I-1847)~塩(I-1851)、塩(I-1854)~塩(I-1870)、塩(I-1875)~塩(I-1880)、塩(I-1881)~塩(I-1884)、塩(I-1887)~塩(I-1891)、塩(I-1894)~塩(I-1910)、塩(I-1915)~塩(I-1920)、塩(I-1921)~塩(I-1924)、塩(I-1927)~塩(I-1931)、塩(I-1934)~塩(I-1950)、塩(I-1955)~塩(I-1960)、塩(I-1961)~塩(I-1964)、塩(I-1967)~塩(I-1971)、塩(I-1974)~塩(I-1990)、塩(I-1995)~塩(I-2000)、塩(I-2001)~塩(I-2004)、塩(I-2007)~塩(I-2011)、塩(I-2014)~塩(I-2030)、塩(I-2035)~塩(I-2040)、塩(I-2041)~塩(I-2044)、塩(I-2047)~塩(I-2051)、塩(I-2054)~塩(I-2070)、塩(I-2075)~塩(I-2080)、塩(I-2081)~塩(I-2084)、塩(I-2087)~塩(I-2091)、塩(I-2094)~塩(I-2110)、塩(I-2115)~塩(I-2120)、塩(I-2121)~塩(I-2124)、塩(I-2127)~塩(I-2131)、塩(I-2134)~塩(I-2150)、塩(I-2155)~塩(I-2160)、塩(I-2161)~塩(I-2164)、塩(I-2167)~塩(I-2171)、塩(I-2174)~塩(I-2190)、塩(I-2195)~塩(I-2200)、塩(I-2201)~塩(I-2204)、塩(I-2207)~塩(I-2211)、塩(I-2214)~塩(I-2230)、塩(I-2235)~塩(I-2240)、塩(I-2241)~塩(I-2244)、塩(I-2247)~塩(I-2251)、塩(I-2254)~塩(I-2270)、塩(I-2275)~塩(I-2280)、塩(I-2281)~塩(I-2284)、塩(I-2287)~塩(I-2291)、塩(I-2294)~塩(I-2310)、塩(I-2315)~塩(I-2320)、塩(I-2321)~塩(I-2324)、塩(I-2327)~塩(I-2331)、塩(I-2334)~塩(I-2350)、塩(I-2355)~塩(I-2360)、塩(I-2361)~塩(I-2364)、塩(I-2367)~塩(I-2371)、塩(I-2374)~塩(I-2390)、塩(I-2395)~塩(I-2400)、塩(I-2401)~塩(I-2404)、塩(I-2407)~塩(I-2411)、塩(I-2414)~塩(I-2430)、塩(I-2435)~塩(I-2440)、塩(I-2441)~塩(I-2444)、塩(I-2447)~塩(I-2451)、塩(I-2454)~塩(I-2470)、塩(I-2475)~塩(I-2480)、塩(I-2481)~塩(I-2484)、塩(I-2487)~塩(I-2491)、塩(I-2494)~塩(I-2510)、塩(I-2515)~塩(I-2520)、塩(I-2521)~塩(I-2524)、塩(I-2527)~塩(I-2531)、塩(I-2534)~塩(I-2550)、塩(I-2555)~塩(I-2560)、塩(I-2561)~塩(I-2564)、塩(I-2567)~塩(I-2571)、塩(I-2574
)~塩(I-2590)、塩(I-2595)~塩(I-2600)、塩(I-2601)~塩(I-2604)、塩(I-2607)~塩(I-2611)、塩(I-2614)~塩(I-2630)、塩(I-2635)~塩(I-2640)、塩(I-2641)~塩(I-2644)、塩(I-2647)~塩(I-2651)、塩(I-2654)~塩(I-2670)、塩(I-2675)~塩(I-2680)、塩(I-2681)~塩(I-2684)、塩(I-2687)~塩(I-2691)、塩(I-2694)~塩(I-2710)、塩(I-2715)~塩(I-2720)、塩(I-2721)~塩(I-2724)、塩(I-2727)~塩(I-2731)、塩(I-2734)~塩(I-2750)、塩(I-2755)~塩(I-2760)、塩(I-2761)~塩(I-2764)、塩(I-2767)~塩(I-2771)、塩(I-2774)~塩(I-2790)、塩(I-2795)~塩(I-2800)、塩(I-2801)~塩(I-2804)、塩(I-2807)~塩(I-2811)、塩(I-2814)~塩(I-2830)、塩(I-2835)~塩(I-2840)、塩(I-2841)~塩(I-2844)、塩(I-2847)~塩(I-2851)、塩(I-2881)~塩(I-2884)、塩(I-2887)~塩(I-2891)、塩(I-2894)~塩(I-2910)、塩(I-2915)~塩(I-2920)、塩(I-2921)~塩(I-2924)、塩(I-2927)~塩(I-2931)、塩(I-2934)~塩(I-2950)、塩(I-2955)~塩(I-2960)、塩(I-2961)~塩(I-2964)、塩(I-2967)~塩(I-2971)、塩(I-2974)~塩(I-2990)、塩(I-2995)~塩(I-3000)、塩(I-3001)~塩(I-3004)、塩(I-3007)~塩(I-3011)、塩(I-3014)~塩(I-3030)、塩(I-3035)~塩(I-3040)、塩(I-3041)~塩(I-3044)、塩(I-3047)~塩(I-3051)、塩(I-3054)~塩(I-3070)、塩(I-3075)~塩(I-3080)、塩(I-3081)~塩(I-3084)、塩(I-3087)~塩(I-3091)、塩(I-3094)~塩(I-3110)、塩(I-3115)~塩(I-3120)、塩(I-3121)~塩(I-3124)、塩(I-3127)~塩(I-3131)、塩(I-3134)~塩(I-3150)、塩(I-3155)~塩(I-3160)、塩(I-3161)~塩(I-3164)、塩(I-3167)~塩(I-3171)、塩(I-3174)~塩(I-3190)、塩(I-3195)~塩(I-3200)、塩(I-3201)~塩(I-3204)、塩(I-3207)~塩(I-3211)、塩(I-3214)~塩(I-3230)、塩(I-3235)~塩(I-3240)、塩(I-3241)~塩(I-3244)、塩(I-3247)~塩(I-3251)、塩(I-3254)~塩(I-3270)、塩(I-3275)~塩(I-3280)、塩(I-3281)~塩(I-3284)、塩(I-3287)~塩(I-3291)、塩(I-3294)~塩(I-3310)、塩(I-3315)~塩(I-3320)、塩(I-3321)~塩(I-3324)、塩(I-3327)~塩(I-3331)、塩(I-3334)~塩(I-3350)、塩(I-3355)~塩(I-3360)、塩(I-3361)~塩(I-3364)、塩(I-3367)~塩(I-3371)、塩(I-3374)~塩(I-3390)、塩(I-3395)~塩(I-3400)、塩(I-3401)~塩(I-3404)、塩(I-3407)~塩(I-3411)、塩(I-3414)~塩(I-3430)、塩(I-3435)~塩(I-3440)、塩(I-3441)~塩(I-3444)、塩(I-3447)~塩(I-3451)、塩(I-3454)~塩(I-3470)、塩(I-3475)~塩(I-3480)、塩(I-3481)~塩(I-3484)、塩(I-3487)~塩(I-3491)、塩(I-3494)~塩(I-3510)、塩(I-3515)~塩(I-3520)、塩(I-3521)~塩(I-3524)、塩(I-3527)~塩(I-3531)、塩(I-3534)~塩(I-3550)、塩(I-3555)~塩(I-3560)、塩(I-3561)~塩(I-3564)、塩(I-3567)~塩(I-3571)、塩(I-3574)~塩(I-3590)、塩(I-3595)~塩(I-3600)、塩(I-3601)~塩(I-3604)、塩(I-3607)~塩(I-3611)、塩(I-3614)~塩(I-3630)、塩(I-3635)~塩(I-3640)、塩(I-3641)~塩(I-3644)、塩(I-3647)~塩(I-3651)、塩(I-3654)~塩(I-3670)、塩(I-3675)~塩(I-3680)、塩(I-3681)~塩(I-3684)、塩(I-3687)~塩(I-3691)、塩(I-3694)~塩(I-3710)、塩(I-3715)~塩(I-3720)、塩(I-3721)~塩(I-3724)、塩(I-3727)~塩(I-3731)、塩(I-3734)~塩(I-3750)、塩(I-3755)~塩(I-3760)、塩(I-3761)~塩(I-3764)、塩(I-3767)~塩(I-3771)、塩(I-3774)~塩(I-3790)、塩(I-3795)~塩(I-3800)、塩(I-3801)~塩(I-3804)、塩(I-3807)~塩(I-3811)、塩(I-3814)~塩(I-3830)、塩(I-3835)~塩(I-3840)、塩(I-3841)~塩(I-3844)、塩(I-3847)~塩(I-3851)、塩(I-3881)~塩(I-3884)、塩(I-3887)~塩(I-3891)、塩(I-3894)~塩(I-3910)、塩(I-3915)~塩(I-3920)、塩(I-3921)~塩(I-2324)、塩(I-3927)~塩(I-3931)、塩(I-3934)~塩(I-3950)、塩(I-3955)~塩(I-3960)、塩(I-3961)~塩(I-3964)、塩(I-3967)~塩(I-3971)、塩(I-3974)~塩(I-3990)、塩(I-3995)~塩(I-4000)、塩(I-4001)~塩(I-4004)、塩(I-4007)~塩(I-4011)、塩(I-4014)~塩(I-4030)、塩(I-4035)~塩(I-4040)、塩(I-4041)~塩(I-4044)、塩(I-4047)~塩(I-4051)、塩(I-4054)~塩(I-4070)、塩(I-4075)~塩(I-4080)、塩(I-4081)~塩(I-4084)、塩(I-4087)~塩(I-4091)、塩(I-4094)~塩(I-4110)、塩(I-4115)~塩(I-4120)、塩(I-4121)~塩(I-4124)、塩(I-4127)~塩(I-4131)、塩(I-4134)~塩(I-4150)、塩(I-4155)~塩(I-4160)、塩(I-4161)~塩(I-4164)、塩(I-4167)~塩(I-4171)、塩(I-4174)~塩(I-4190)、塩(I-4195)~塩(I-4200)、塩(I-4201)~塩(I-4204)、塩(I-4207)~塩(I-4211)、塩(I-4214)~塩(I-4230)、塩(I-4235)~塩(I-4240)、塩(I-4241)~塩(I-4244)、塩(I-4247)~塩(I-4251)、塩(I-4254)~塩(I-4270)、塩(I-4275)~塩(I-4280)、塩(I-4281)~塩(I-4284)、塩(I-4287)~塩(I-4291)、塩(I-4294)~塩(I-4310)、塩(I-4315)~塩(I-4320)、塩(I-4321)~塩(I-4324)、塩(I-4327)~塩(I-4331)、塩(I-4334)~塩(I-4350)、塩(I-4355)~塩(I-4360)、塩(I-4361)~塩(I-4364)、塩(I-4367)~塩(I-4371)、塩(I-4374)~塩(I-4390)、塩(I-4395)~塩(I-4400)、塩(I-4401)~塩(I-4404)、塩(I-4407)~塩(I-4411)、塩(I-4414)~塩(I-4430)、塩(I-4435)~塩(I-4440)、塩(I-4441)~塩(I-4444)、塩(I-4447)~塩(I-4451)、塩(I-4454)~塩(I-4470)、塩(I-4475)~塩(I-4480)、塩(I-4481)~塩(I-4484)、塩(I-4487)~塩(I-4491)、塩(I-4494)~塩(I-4510)、塩(I-4515)~塩(I-4520)、塩(I-4521)~塩(I-4524)、塩(I-4527)~塩(I-4531)、塩(I-4534)~塩(I-4550)、塩(I-4555)~塩(I-4560)、塩(I-4561)~塩(I-4564)、塩(I-4567)~塩(I-4571)、塩(I-4574)~塩(I-4590)、塩(I-4595)~塩(I-4600)、塩(I-4601)~塩(I-4604)、塩(I-4607)~塩(I-4611)、塩(I-4614)~塩(I-4630)、塩(I-4635)~塩(I-4640)、塩(I-4641)~塩(I-4644)、塩(I-4647)~塩(I-4651)、塩(I-4654)~塩(I-4670)、塩(I-4675)~塩(I-4680)、塩(I-4681)~塩(I-4684)、塩(I-4687)~塩(I-4691)、塩(I-4694)~塩(I-4710)、塩(I-4715)~塩(I-4720)、塩(I-4721)~塩(I-4724)、塩(I-4727)~塩(I-4731)、塩(I-4734)~塩(I-4750)、塩(I-4755)~塩(I-4760)、塩(I-4761)~塩(I-4764)、塩(I-4767)~塩(I-4771)、塩(I-4774)~塩(I-4790)、塩(I-4795)~塩(I-4800)、塩(I-4801)~塩(I-4804)、塩(I-4807)~塩(I-4811)、塩(I-4814)~塩(I-4830)、塩(I-4835)~塩(I-4840)、塩(I-4841)~塩(I-4844)、塩(I-4847)~塩(I-4851)、塩(I-4854)~塩(I-4870)、塩(I-4875)~塩(I-4880)、塩(I-4881)~塩(I-4884)、塩(I-4887)~塩(I-4891)、塩(I-4894)~塩(I-4910)、塩(I-4915)~塩(I-4920)、塩(I-4921)~塩(I-4924)、塩(I-4927)~塩(I-4931)、塩(I-4934)~塩(I-4950)、塩(I-4955)~塩(I-4960)、塩(I-4961)~塩(I-4964)、塩(I-4967)~塩(I-4971)、塩(I-4974)~塩(I-4990)、塩(I-4995)~塩(I-5000)、塩(I-5001)~塩(I-5004)、塩(I-5007)~塩(I-5011)、塩(I-5014)~塩(I-5030)、塩(I-5035)~塩(I-5040)、塩(I-5041)~塩(I-5044)、塩(I-5047)~塩(I-5051)、塩(I-5054)~塩(I-5070)、塩(I-5075)~塩(I-5080)、塩(I-5081)~塩(I-5084)、塩(I-5087)~塩(I-5091)、塩(I-5094)~塩(I-5110)、塩(I-5115)~塩(I-5120)、塩(I-5121)~塩(I-5124)、塩(I-5127)~塩(I-5131)、塩(I-5134)~塩(I-5150)、塩(I-5155)~塩(I-5160)、塩(I-5161)~塩(I-5164)、塩(I-5167)~塩(I-5171)、塩(I-5174)
~塩(I-5190)、塩(I-5195)~塩(I-5200)、塩(I-5201)~塩(I-5204)、塩(I-5207)~塩(I-5211)、塩(I-5214)~塩(I-5230)、塩(I-5235)~塩(I-5240)、塩(I-5241)~塩(I-5244)、塩(I-5247)~塩(I-5251)、塩(I-5254)~塩(I-5270)、塩(I-5275)~塩(I-5280)、塩(I-5281)~塩(I-5284)、塩(I-5287)~塩(I-5291)、塩(I-5294)~塩(I-5310)、塩(I-5315)~塩(I-5320)、塩(I-5321)~塩(I-5324)、塩(I-5327)~塩(I-5331)、塩(I-5334)~塩(I-5350)、塩(I-5355)~塩(I-5360)、塩(I-5361)~塩(I-5364)、塩(I-5367)~塩(I-5371)、塩(I-5374)~塩(I-5390)、塩(I-5395)~塩(I-5400)、塩(I-5401)~塩(I-5404)、塩(I-5407)~塩(I-5411)、塩(I-5414)~塩(I-5430)、塩(I-5435)~塩(I-5440)、塩(I-5441)~塩(I-5444)、塩(I-5447)~塩(I-5451)、塩(I-5454)~塩(I-5470)、塩(I-5475)~塩(I-5480)、塩(I-5481)~塩(I-5484)、塩(I-5487)~塩(I-5491)、塩(I-5494)~塩(I-5510)、塩(I-5515)~塩(I-5520)、塩(I-5521)~塩(I-5524)、塩(I-5527)~塩(I-5531)、塩(I-5534)~塩(I-5550)、塩(I-5555)~塩(I-5560)、塩(I-5561)~塩(I-5564)、塩(I-5567)~塩(I-5571)、塩(I-5574)~塩(I-5590)、塩(I-5595)~塩(I-5600)、塩(I-5601)~塩(I-5604)、塩(I-5607)~塩(I-5611)、塩(I-5614)~塩(I-5630)、塩(I-5635)~塩(I-5640)、塩(I-5641)~塩(I-5644)、塩(I-5647)~塩(I-5651)、塩(I-5654)~塩(I-5670)、塩(I-5675)~塩(I-5680)、塩(I-5681)~塩(I-5684)、塩(I-5687)~塩(I-5691)、塩(I-5694)~塩(I-5710)、塩(I-5715)~塩(I-5720)、塩(I-5721)~塩(I-5724)、塩(I-5727)~塩(I-5731)、塩(I-5734)~塩(I-5750)、塩(I-5755)~塩(I-5760)、塩(I-5761)~塩(I-5764)、塩(I-5767)~塩(I-5771)、塩(I-5774)~塩(I-5790)、塩(I-5795)~塩(I-5800)、塩(I-5801)~塩(I-5804)、塩(I-5807)~塩(I-5811)、塩(I-5814)~塩(I-5830)、塩(I-5835)~塩(I-5840)、塩(I-5841)~塩(I-5844)、塩(I-5847)~塩(I-5851)、塩(I-5854)~塩(I-5870)、塩(I-5875)~塩(I-5880)、塩(I-5881)~塩(I-5884)、塩(I-5887)~塩(I-5891)、塩(I-5894)~塩(I-5910)、塩(I-5915)~塩(I-5920)、塩(I-5921)~塩(I-5924)、塩(I-5927)~塩(I-5931)、塩(I-5934)~塩(I-5950)、塩(I-5955)~塩(I-5960)、塩(I-5961)~塩(I-5964)、塩(I-5967)~塩(I-5971)、塩(I-5974)~塩(I-5990)、塩(I-5995)~塩(I-6000)、塩(I-6001)~塩(I-6004)、塩(I-6007)~塩(I-6011)、塩(I-6014)~塩(I-6030)、塩(I-6035)~塩(I-6040)、塩(I-6041)~塩(I-6044)、塩(I-6047)~塩(I-6051)、塩(I-6054)~塩(I-6070)、塩(I-6075)~塩(I-6080)、塩(I-6081)~塩(I-6084)、塩(I-6087)~塩(I-6091)、塩(I-6094)~塩(I-6110)、塩(I-6115)~塩(I-6120)、塩(I-6121)~塩(I-6124)、塩(I-6127)~塩(I-6131)、塩(I-6134)~塩(I-6150)、塩(I-6155)~塩(I-6160)、塩(I-6161)~塩(I-6164)、塩(I-6167)~塩(I-6171)、塩(I-6174)~塩(I-6190)、塩(I-6195)~塩(I-6200)、塩(I-6201)~塩(I-6204)、塩(I-6207)~塩(I-6211)、塩(I-6214)~塩(I-6230)、塩(I-6235)~塩(I-6240)、塩(I-6241)~塩(I-6244)、塩(I-6247)~塩(I-6251)、塩(I-6254)~塩(I-6270)、塩(I-6275)~塩(I-6280)、塩(I-6281)~塩(I-6284)、塩(I-6287)~塩(I-6291)、塩(I-6294)~塩(I-6310)、塩(I-6315)~塩(I-6320)、塩(I-6321)~塩(I-6324)、塩(I-6327)~塩(I-6331)、塩(I-6334)~塩(I-6350)、塩(I-6355)~塩(I-6360)、塩(I-6361)~塩(I-6364)、塩(I-6367)~塩(I-6371)、塩(I-6374)~塩(I-6390)、塩(I-6395)~塩(I-6400)、塩(I-6401)~塩(I-6404)、塩(I-6407)~塩(I-6411)、塩(I-6414)~塩(I-6430)、塩(I-6435)~塩(I-6440)、塩(I-6441)~塩(I-6444)、塩(I-6447)~塩(I-6451)、塩(I-6454)~塩(I-6470)、塩(I-6475)~塩(I-6480)、塩(I-6481)~塩(I-6484)、塩(I-6487)~塩(I-6491)、塩(I-6494)~塩(I-6510)、塩(I-6515)~塩(I-6520)、塩(I-6521)~塩(I-6524)、塩(I-6527)~塩(I-6531)、塩(I-6534)~塩(I-6550)、塩(I-6555)~塩(I-6560)、塩(I-6561)~塩(I-6564)、塩(I-6567)~塩(I-6571)、塩(I-6574)~塩(I-6590)、塩(I-6595)~塩(I-6600)、塩(I-6601)~塩(I-6604)、塩(I-6607)~塩(I-6611)、塩(I-6614)~塩(I-6630)、塩(I-6635)~塩(I-6640)、塩(I-6641)~塩(I-6644)、塩(I-6647)~塩(I-6651)、塩(I-6654)~塩(I-6670)、塩(I-6675)~塩(I-6680)、塩(I-6681)~塩(I-6684)、塩(I-6687)~塩(I-6691)、塩(I-6694)~塩(I-6710)、塩(I-6715)~塩(I-6720)、塩(I-6721)~塩(I-6724)、塩(I-6727)~塩(I-6731)、塩(I-6734)~塩(I-6750)、塩(I-6755)~塩(I-6760)、塩(I-6761)~塩(I-6764)、塩(I-6767)~塩(I-6771)、塩(I-6774)~塩(I-6790)、塩(I-6795)~塩(I-6800)、塩(I-6801)~塩(I-6804)、塩(I-6807)~塩(I-6811)、塩(I-6814)~塩(I-6830)、塩(I-6835)~塩(I-6840)、塩(I-6841)~塩(I-6844)、塩(I-6847)~塩(I-6851)、塩(I-6854)~塩(I-6870)、塩(I-6875)~塩(I-6880)、塩(I-6881)~塩(I-6884)、塩(I-6887)~塩(I-6891)、塩(I-6894)~塩(I-6910)、塩(I-6915)~塩(I-6920)、塩(I-6921)~塩(I-6924)、塩(I-6927)~塩(I-6931)、塩(I-6934)~塩(I-6950)、塩(I-6955)~塩(I-6960)、塩(I-6961)~塩(I-6964)、塩(I-6967)~塩(I-6971)、塩(I-6974)~塩(I-6990)、塩(I-6995)~塩(I-7000)、塩(I-7001)~塩(I-7004)、塩(I-7007)~塩(I-7011)、塩(I-7014)~塩(I-7030)、塩(I-7035)~塩(I-7040)、塩(I-7041)~塩(I-7044)、塩(I-7047)~塩(I-7051)、塩(I-7054)~塩(I-7070)、塩(I-7075)~塩(I-7080)、塩(I-7081)~塩(I-7084)、塩(I-7087)~塩(I-7091)、塩(I-7094)~塩(I-7110)、塩(I-7115)~塩(I-7120)、塩(I-7121)~塩(I-7124)、塩(I-7127)~塩(I-7131)、塩(I-7134)~塩(I-7150)、塩(I-7155)~塩(I-7160)、塩(I-7161)~塩(I-7164)、塩(I-7167)~塩(I-7171)、塩(I-7174)~塩(I-7190)、塩(I-7195)~塩(I-7200)、塩(I-7201)~塩(I-7204)、塩(I-7207)~塩(I-7211)、塩(I-7214)~塩(I-7230)、塩(I-7235)~塩(I-7240)、塩(I-7241)~塩(I-7244)、塩(I-7247)~塩(I-7251)、塩(I-7254)~塩(I-7270)、塩(I-7275)~塩(I-7280)、塩(I-7281)~塩(I-7284)、塩(I-7287)~塩(I-7291)、塩(I-7294)~塩(I-7310)、塩(I-7315)~塩(I-7320)、塩(I-7321)~塩(I-7324)、塩(I-7327)~塩(I-7331)、塩(I-7334)~塩(I-7350)、塩(I-7355)~塩(I-7360)、塩(I-7361)~塩(I-7364)、塩(I-7367)~塩(I-7371)、塩(I-7374)~塩(I-7390)、塩(I-7395)~塩(I-7400)、塩(I-7401)~塩(I-7404)、塩(I-7407)~塩(I-7411)、塩(I-7414)~塩(I-7430)、塩(I-7435)~塩(I-7440)、塩(I-7441)~塩(I-7444)、塩(I-7447)~塩(I-7451)、塩(I-7454)~塩(I-7470)、塩(I-7475)~塩(I-7480)、塩(I-7481)~塩(I-7484)、塩(I-7487)~塩(I-7491)、塩(I-7494)~塩(I-7510)、塩(I-7515)~塩(I-7520)、塩(I-7521)~塩(I-7524)、塩(I-7527)~塩(I-7531)、塩(I-7534)~塩(I-7550)、塩(I-7555)~塩(I-7560)、塩(I-7561)~塩(I-7564)、塩(I-7567)~塩(I-7571)、塩(I-7574)~塩(I-7590)、塩(I-7595)~塩(I-7600)、塩(I-7601)~塩(I-7604)、塩(I-7607)~塩(I-7611)、塩(I-7614)~塩(I-7630)、塩(I-7635)~塩(I-7640)、塩(I-7641)~塩(I-7644)、塩(I-7647)~塩(I-7651)、塩(I-7654)~塩(I-7670)、塩(I-7675)~塩(I-7680)、塩(I-7681)~塩(I-7684)、塩(I-7687)~塩(I-7691)、塩(I-7694)~塩(I-7710)、塩(I-7715)~塩(I-7720)、塩(I-7721)~塩(I-7724)、塩(I-7727)~塩(I-7731)、塩(I-7734)~
塩(I-7750)、塩(I-7755)~塩(I-7760)、塩(I-7761)~塩(I-7764)、塩(I-7767)~塩(I-7771)、塩(I-7774)~塩(I-7790)、塩(I-7795)~塩(I-7800)、塩(I-7801)~塩(I-7804)、塩(I-7807)~塩(I-7811)、塩(I-7814)~塩(I-7830)、塩(I-7835)~塩(I-7840)、塩(I-7841)~塩(I-7844)、塩(I-7847)~塩(I-7851)、塩(I-7854)~塩(I-7870)、塩(I-7875)~塩(I-7880)、塩(I-7881)~塩(I-7884)、塩(I-7887)~塩(I-7891)、塩(I-7894)~塩(I-7910)、塩(I-7915)~塩(I-7920)、塩(I-7921)~塩(I-7924)、塩(I-7927)~塩(I-7931)、塩(I-7934)~塩(I-7950)、塩(I-7955)~塩(I-7960)、塩(I-7961)~塩(I-7964)、塩(I-7967)~塩(I-7971)、塩(I-7974)~塩(I-7990)、塩(I-7995)~塩(I-8000)、塩(I-8001)~塩(I-8004)、塩(I-8007)~塩(I-8011)、塩(I-8014)~塩(I-8030)、塩(I-8035)~塩(I-8040)、塩(I-8041)~塩(I-8044)、塩(I-8047)~塩(I-8051)、塩(I-8054)~塩(I-8070)、塩(I-8075)~塩(I-8080)、塩(I-8081)~塩(I-8084)、塩(I-8087)~塩(I-8091)、塩(I-8094)~塩(I-8110)、塩(I-8115)~塩(I-8120)、塩(I-8121)~塩(I-8124)、塩(I-8127)~塩(I-8131)、塩(I-8134)~塩(I-8150)、塩(I-8155)~塩(I-8160)、塩(I-8161)~塩(I-8164)、塩(I-8167)~塩(I-8171)、塩(I-8174)~塩(I-8190)、塩(I-8195)~塩(I-8200)、塩(I-8201)~塩(I-8204)、塩(I-8207)~塩(I-8211)、塩(I-8214)~塩(I-8230)、塩(I-8235)~塩(I-8240)、塩(I-8241)~塩(I-8244)、塩(I-8247)~塩(I-8251)、塩(I-8254)~塩(I-8270)、塩(I-8275)~塩(I-8280)、塩(I-8281)~塩(I-8284)、塩(I-8287)~塩(I-8291)、塩(I-8294)~塩(I-8310)、塩(I-8315)~塩(I-8320)、塩(I-8321)~塩(I-8324)、塩(I-8327)~塩(I-8331)、塩(I-8334)~塩(I-8350)、塩(I-8355)~塩(I-8360)、塩(I-8361)~塩(I-8364)、塩(I-8367)~塩(I-8371)、塩(I-8374)~塩(I-8390)、塩(I-8395)~塩(I-8400)、塩(I-8401)~塩(I-8404)、塩(I-8407)~塩(I-8411)、塩(I-8414)~塩(I-8430)、塩(I-8435)~塩(I-8440)、塩(I-8441)~塩(I-8444)、塩(I-8447)~塩(I-8451)、塩(I-8454)~塩(I-8470)、塩(I-8475)~塩(I-8480)、塩(I-8481)~塩(I-8484)、塩(I-8487)~塩(I-8491)、塩(I-8494)~塩(I-8510)、塩(I-8515)~塩(I-8520)、塩(I-8521)~塩(I-8524)、塩(I-8527)~塩(I-8531)、塩(I-8534)~塩(I-8550)、塩(I-8555)~塩(I-8560)、塩(I-8561)~塩(I-8564)、塩(I-8567)~塩(I-8571)、塩(I-8574)~塩(I-8590)、塩(I-8595)~塩(I-8600)、塩(I-8601)~塩(I-8604)、塩(I-8607)~塩(I-8611)、塩(I-8614)~塩(I-8630)、塩(I-8635)~塩(I-8640)、塩(I-8641)~塩(I-8644)、塩(I-8647)~塩(I-8651)、塩(I-8654)~塩(I-8670)、塩(I-8675)~塩(I-8680)、塩(I-8681)~塩(I-8684)、塩(I-8687)~塩(I-8691)、塩(I-8694)~塩(I-8710)、塩(I-8715)~塩(I-8720)、塩(I-8721)~塩(I-8724)、塩(I-8727)~塩(I-8731)、塩(I-8734)~塩(I-8750)、塩(I-8755)~塩(I-8760)、塩(I-8761)~塩(I-8764)、塩(I-8767)~塩(I-8771)、塩(I-8774)~塩(I-8790)、塩(I-8795)~塩(I-8800)、塩(I-8801)~塩(I-8804)、塩(I-8807)~塩(I-8811)、塩(I-8814)~塩(I-8830)、塩(I-8835)~塩(I-8840)、塩(I-8841)~塩(I-8844)、塩(I-8847)~塩(I-8851)、塩(I-8854)~塩(I-8870)、塩(I-8875)~塩(I-8880)、塩(I-8881)~塩(I-8884)、塩(I-8887)~塩(I-8891)、塩(I-8894)~塩(I-8910)、塩(I-8915)~塩(I-8920)、塩(I-8921)~塩(I-8924)、塩(I-8927)~塩(I-8931)、塩(I-8934)~塩(I-8950)、塩(I-8955)~塩(I-8960)、塩(I-8961)~塩(I-8964)、塩(I-8967)~塩(I-8971)、塩(I-8974)~塩(I-8990)、塩(I-8995)~塩(I-9000)、塩(I-9001)~塩(I-9004)、塩(I-9007)~塩(I-9011)、塩(I-9014)~塩(I-9030)、塩(I-9035)~塩(I-9040)、塩(I-9041)~塩(I-9044)、塩(I-9047)~塩(I-9051)、塩(I-9054)~塩(I-9070)、塩(I-9075)~塩(I-9080)、塩(I-9081)~塩(I-9084)、塩(I-9087)~塩(I-9091)、塩(I-9094)~塩(I-9110)、塩(I-9115)~塩(I-9120)、塩(I-9121)~塩(I-9124)、塩(I-9127)~塩(I-9131)、塩(I-9134)~塩(I-9150)、塩(I-9155)~塩(I-9160)、塩(I-9161)~塩(I-9164)、塩(I-9167)~塩(I-9171)、塩(I-9174)~塩(I-9190)、塩(I-9195)~塩(I-9200)、塩(I-9201)~塩(I-9204)、塩(I-9207)~塩(I-9211)、塩(I-9214)~塩(I-9230)、塩(I-9235)~塩(I-9240)、塩(I-9241)~塩(I-9244)、塩(I-9247)~塩(I-9251)、塩(I-9254)~塩(I-9270)、塩(I-9275)~塩(I-9280)、塩(I-9281)~塩(I-9284)、塩(I-9287)~塩(I-9291)、塩(I-9294)~塩(I-9310)、塩(I-9315)~塩(I-9320)、塩(I-9321)~塩(I-9324)、塩(I-9327)~塩(I-9331)、塩(I-9334)~塩(I-9350)、塩(I-9355)~塩(I-9360)、塩(I-9361)~塩(I-9364)、塩(I-9367)~塩(I-9371)、塩(I-9374)~塩(I-9390)、塩(I-9395)~塩(I-9400)、塩(I-9401)~塩(I-9404)、塩(I-9407)~塩(I-9411)、塩(I-9414)~塩(I-9430)、塩(I-9435)~塩(I-9440)、塩(I-9441)~塩(I-9444)、塩(I-9447)~塩(I-9451)、塩(I-9454)~塩(I-9470)、塩(I-9475)~塩(I-9480)、塩(I-9481)~塩(I-9484)、塩(I-9487)~塩(I-9491)、塩(I-9494)~塩(I-9510)、塩(I-9515)~塩(I-9520)、塩(I-9521)~塩(I-9524)、塩(I-9527)~塩(I-9531)、塩(I-9534)~塩(I-9550)、塩(I-9555)~塩(I-9560)、塩(I-9561)~塩(I-9564)、塩(I-9567)~塩(I-9571)、塩(I-9574)~塩(I-9590)、塩(I-9595)~塩(I-9600)、塩(I-9601)~塩(I-9604)、塩(I-9607)~塩(I-9611)、塩(I-9614)~塩(I-9630)、塩(I-9635)~塩(I-9640)、塩(I-9641)~塩(I-9644)、塩(I-9647)~塩(I-9651)、塩(I-9654)~塩(I-9670)、塩(I-9675)~塩(I-9680)、塩(I-9681)~塩(I-9684)、塩(I-9687)~塩(I-9691)、塩(I-9694)~塩(I-9710)、塩(I-9715)~塩(I-9720)、塩(I-9721)~塩(I-9724)、塩(I-9727)~塩(I-9731)、塩(I-9734)~塩(I-9750)、塩(I-9755)~塩(I-9760)、塩(I-9761)~塩(I-9764)、塩(I-9767)~塩(I-9771)、塩(I-9774)~塩(I-9790)、塩(I-9795)~塩(I-9800)、塩(I-9801)~塩(I-9804)、塩(I-9807)~塩(I-9811)、塩(I-9814)~塩(I-9830)、塩(I-9835)~塩(I-9840)、塩(I-9841)~塩(I-9844)、塩(I-9847)~塩(I-9851)、塩(I-9854)~塩(I-9870)、塩(I-9875)~塩(I-9880)、塩(I-9881)~塩(I-9884)、塩(I-9887)~塩(I-9891)、塩(I-9894)~塩(I-9910)、塩(I-9915)~塩(I-9920)、塩(I-9921)~塩(I-9924)、塩(I-9927)~塩(I-9931)、塩(I-9934)~塩(I-9950)、塩(I-9955)~塩(I-9960)、塩(I-9961)~塩(I-9964)、塩(I-9967)~塩(I-9971)、塩(I-9974)~塩(I-9990)、塩(I-9995)~塩(I-10000)、塩(I-10001)~塩(I-10004)、塩(I-10007)~塩(I-10011)、塩(I-10014)~塩(I-10030)、塩(I-10035)~塩(I-10040)、塩(I-10041)~塩(I-10044)、塩(I-10047)~塩(I-10051)、塩(I-10054)~塩(I-10070)、塩(I-10075)~塩(I-10080)、塩(I-10081)~塩(I-10084)、塩(I-10087)~塩(I-10091)、塩(I-10094)~塩(I-10110)、塩(I-10115)~塩(I-10120)、塩(I-10121)~塩(I-10124)、塩(I-10127)~塩(I-10131)、塩(I-10134)~塩(I-10150)、塩(I-10155)~塩(I-10160)、塩(I-10161)~塩(I-10164)、塩(I-10167)~塩(I-10171)、塩(I-10174)~塩(I-10190)、塩(I-10195)~塩(I-10200)、塩(I-10201)~塩(I-10204)、塩(I-10207)~塩(I-10211)、塩(I-10214)~塩(I-10230)、塩(I-10235)~塩(I-10240)、塩(I-10241)~塩(I-10244)、塩(I-10247)~塩(I-10251)、塩(I-10254)~塩(I-10270)、塩(I-10275)~塩(I-1
0280)、塩(I-10281)~塩(I-10284)、塩(I-10287)~塩(I-10291)、塩(I-10294)~塩(I-10310)、塩(I-10315)~塩(I-10320)、塩(I-10321)~塩(I-10324)、塩(I-10327)~塩(I-10331)、塩(I-10334)~塩(I-10350)、塩(I-10355)~塩(I-10360)、塩(I-10361)~塩(I-10364)、塩(I-10367)~塩(I-10371)、塩(I-10374)~塩(I-10390)、塩(I-10395)~塩(I-10400)、塩(I-10401)~塩(I-10404)、塩(I-10407)~塩(I-10411)、塩(I-10414)~塩(I-10430)、塩(I-10435)~塩(I-10440)、塩(I-10441)~塩(I-10444)、塩(I-10447)~塩(I-10451)、塩(I-10454)~塩(I-10470)、塩(I-10475)~塩(I-10480)、塩(I-10481)~塩(I-10484)、塩(I-10487)~塩(I-10491)、塩(I-10494)~塩(I-10510)、塩(I-10515)~塩(I-10520)、塩(I-10521)~塩(I-10524)、塩(I-10527)~塩(I-10531)、塩(I-10534)~塩(I-10550)、塩(I-10555)~塩(I-10560)、塩(I-10561)~塩(I-10564)、塩(I-10567)~塩(I-10571)、塩(I-10574)~塩(I-10590)、塩(I-10595)~塩(I-10600)、塩(I-10601)~塩(I-10604)、塩(I-10607)~塩(I-10611)、塩(I-10614)~塩(I-10630)、塩(I-10635)~塩(I-10640)、塩(I-10641)~塩(I-10644)、塩(I-10647)~塩(I-10651)、塩(I-10654)~塩(I-10670)、塩(I-10675)~塩(I-10680)、塩(I-10681)~塩(I-10684)、塩(I-10687)~塩(I-10691)、塩(I-10694)~塩(I-10710)、塩(I-10715)~塩(I-10720)、塩(I-10721)~塩(I-10724)、塩(I-10727)~塩(I-10731)、塩(I-10734)~塩(I-10750)、塩(I-10755)~塩(I-10760)、塩(I-10761)~塩(I-10764)、塩(I-10767)~塩(I-10771)、塩(I-10774)~塩(I-10790)、塩(I-10795)~塩(I-10800)、塩(I-10801)~塩(I-10804)、塩(I-10807)~塩(I-10811)、塩(I-10814)~塩(I-10830)、塩(I-10835)~塩(I-10840)、塩(I-10841)~塩(I-10844)、塩(I-10847)~塩(I-10851)、塩(I-10854)~塩(I-10870)、塩(I-10875)~塩(I-10880)、塩(I-10881)~塩(I-10884)、塩(I-10887)~塩(I-10891)、塩(I-10894)~塩(I-10910)、塩(I-10915)~塩(I-10920)、塩(I-10921)~塩(I-10924)、塩(I-10927)~塩(I-10931)、塩(I-10934)~塩(I-10950)、塩(I-10955)~塩(I-10960)、塩(I-10961)~塩(I-10964)、塩(I-10967)~塩(I-10971)、塩(I-10974)~塩(I-10990)、塩(I-10995)~塩(I-11000)、塩(I-11001)~塩(I-11004)、塩(I-11007)~塩(I-11011)、塩(I-11014)~塩(I-11030)、塩(I-11035)~塩(I-11040)、塩(I-11041)~塩(I-11044)、塩(I-11047)~塩(I-11051)、塩(I-11054)~塩(I-11070)、塩(I-11075)~塩(I-11080)、塩(I-11081)~塩(I-11084)、塩(I-11087)~塩(I-11091)、塩(I-11094)~塩(I-11110)、塩(I-11115)~塩(I-11120)、塩(I-11121)~塩(I-11124)、塩(I-11127)~塩(I-11131)、塩(I-11134)~塩(I-11150)、塩(I-11155)~塩(I-11160)、塩(I-11161)~塩(I-11164)、塩(I-11167)~塩(I-11171)、塩(I-11174)~塩(I-11190)、塩(I-11195)~塩(I-11200)、塩(I-11201)~塩(I-11204)、塩(I-11207)~塩(I-11211)、塩(I-11214)~塩(I-11230)、塩(I-11235)~塩(I-11240)、塩(I-11241)~塩(I-11244)、塩(I-11247)~塩(I-11251)、塩(I-11254)~塩(I-11270)、塩(I-11275)~塩(I-11280)、塩(I-11281)~塩(I-11284)、塩(I-11287)~塩(I-11291)、塩(I-11294)~塩(I-11310)、塩(I-11315)~塩(I-11320)、塩(I-11321)~塩(I-11324)、塩(I-11327)~塩(I-11331)、塩(I-11334)~塩(I-11350)、塩(I-11355)~塩(I-11360)、塩(I-11361)~塩(I-11364)、塩(I-11367)~塩(I-11371)、塩(I-11374)~塩(I-11390)、塩(I-11395)~塩(I-11400)、塩(I-11401)~塩(I-11404)、塩(I-11407)~塩(I-11411)、塩(I-11414)~塩(I-11430)、塩(I-11435)~塩(I-11440)、塩(I-11441)~塩(I-11444)、塩(I-11447)~塩(I-11451)、塩(I-11454)~塩(I-11470)、塩(I-11475)~塩(I-11480)、塩(I-11481)~塩(I-11484)、塩(I-11487)~塩(I-11491)、塩(I-11494)~塩(I-11510)、塩(I-11515)~塩(I-11520)、塩(I-11521)~塩(I-11524)、塩(I-11527)~塩(I-11531)、塩(I-11534)~塩(I-11550)、塩(I-11555)~塩(I-11560)、塩(I-11561)~塩(I-11564)、塩(I-11567)~塩(I-11571)、塩(I-11574)~塩(I-11590)、塩(I-11595)~塩(I-11600)、塩(I-11601)~塩(I-11604)、塩(I-11607)~塩(I-11611)、塩(I-11614)~塩(I-11630)、塩(I-11635)~塩(I-11640)、塩(I-11641)~塩(I-11644)、塩(I-11647)~塩(I-11651)、塩(I-11654)~塩(I-11670)、塩(I-11675)~塩(I-11680)、塩(I-11681)~塩(I-11684)、塩(I-11687)~塩(I-11691)、塩(I-11694)~塩(I-11710)、塩(I-11715)~塩(I-11720)、塩(I-11721)~塩(I-11724)、塩(I-11727)~塩(I-11731)、塩(I-11734)~塩(I-11750)、塩(I-11755)~塩(I-11760)、塩(I-11761)~塩(I-11764)、塩(I-11767)~塩(I-11771)、塩(I-11774)~塩(I-11790)、塩(I-11795)~塩(I-11800)、塩(I-11801)~塩(I-11804)、塩(I-11807)~塩(I-11811)、塩(I-11814)~塩(I-11830)、塩(I-11835)~塩(I-11840)、塩(I-11841)~塩(I-11844)、塩(I-11847)~塩(I-11851)、塩(I-11854)~塩(I-11870)、塩(I-11875)~塩(I-11880)、塩(I-11881)~塩(I-11884)、塩(I-11887)~塩(I-11891)、塩(I-11894)~塩(I-11910)、塩(I-11915)~塩(I-11920)、塩(I-11921)~塩(I-11924)、塩(I-11927)~塩(I-11931)、塩(I-11934)~塩(I-11950)、塩(I-11955)~塩(I-11960)、塩(I-11961)~塩(I-11964)、塩(I-19167)~塩(I-11971)、塩(I-11974)~塩(I-11990)、塩(I-11995)~塩(I-12000)、塩(I-12001)~塩(I-12004)、塩(I-12007)~塩(I-12011)、塩(I-12014)~塩(I-12030)、塩(I-12035)~塩(I-12040)、塩(I-12041)~塩(I-12044)、塩(I-12047)~塩(I-12051)、塩(I-12054)~塩(I-12070)、塩(I-12075)~塩(I-12080)、塩(I-12081)~塩(I-12084)、塩(I-12087)~塩(I-12091)、塩(I-12094)~塩(I-12110)、塩(I-12115)~塩(I-12120)、塩(I-12121)~塩(I-12124)、塩(I-12127)~塩(I-12131)、塩(I-12134)~塩(I-12150)、塩(I-12155)~塩(I-12160)、塩(I-12161)~塩(I-12164)、塩(I-12167)~塩(I-12171)、塩(I-12174)~塩(I-12190)、塩(I-12195)~塩(I-12200)、塩(I-12201)~塩(I-12204)、塩(I-12207)~塩(I-12211)、塩(I-12214)~塩(I-12230)、塩(I-12235)~塩(I-12240)、塩(I-12241)~塩(I-12244)、塩(I-12247)~塩(I-12251)、塩(I-12254)~塩(I-12270)、塩(I-12275)~塩(I-12280)、塩(I-12281)~塩(I-12284)、塩(I-12287)~塩(I-12291)、塩(I-12294)~塩(I-12310)、塩(I-12315)~塩(I-12320)、塩(I-12321)~塩(I-12324)、塩(I-12327)~塩(I-12331)、塩(I-12334)~塩(I-12350)、塩(I-12355)~塩(I-12360)、塩(I-12361)~塩(I-12364)、塩(I-12367)~塩(I-12371)、塩(I-12374)~塩(I-12390)、塩(I-12395)~塩(I-12400)、塩(I-12401)~塩(I-12404)、塩(I-12407)~塩(I-12411)、塩(I-12414)~塩(I-12430)、塩(I-12435)~塩(I-12440)、塩(I-12441)~塩(I-12444)、塩(I-12447)~塩(I-12451)、塩(I-12454)~塩(I-12470)、塩(I-12475)~塩(I-12480)、塩(I-12481)~塩(I-12484)、塩(I-12487)~塩(I-12491)、塩(I-12494)~塩(I-12510)、塩(I-12515)~塩(I-12520)、塩(I-12521)~塩(I-12524)、塩(I-12527)~塩(I-12531)、塩(I-12534)~塩(I-12550)、塩(I-12555)~塩(I-12560)、塩(I-12561)~塩(I-12564)、塩(I-12567)~塩(I-12571)、塩(I-12574)~塩(I-12590)、塩(I-12595)~塩(I-12600)、塩(I-12601)~
塩(I-12604)、塩(I-12607)~塩(I-12611)、塩(I-12614)~塩(I-12630)、塩(I-12635)~塩(I-12640)、塩(I-12641)~塩(I-12644)、塩(I-12647)~塩(I-12651)、塩(I-12654)~塩(I-12670)、塩(I-12675)~塩(I-12680)、塩(I-12681)~塩(I-12684)、塩(I-12687)~塩(I-12691)、塩(I-12694)~塩(I-12710)、塩(I-12715)~塩(I-12720)、塩(I-12721)~塩(I-12724)、塩(I-12727)~塩(I-12731)、塩(I-12734)~塩(I-12750)、塩(I-12755)~塩(I-12760)、塩(I-12761)~塩(I-12764)、塩(I-12767)~塩(I-12771)、塩(I-12774)~塩(I-12790)、塩(I-12795)~塩(I-12800)、塩(I-12801)~塩(I-12804)、塩(I-12807)~塩(I-12811)、塩(I-12814)~塩(I-12830)、塩(I-12835)~塩(I-12840)、塩(I-12841)~塩(I-12844)、塩(I-12847)~塩(I-12851)、塩(I-12854)~塩(I-12870)、塩(I-12875)~塩(I-12880)、塩(I-12881)~塩(I-12884)、塩(I-12887)~塩(I-12891)、塩(I-12894)~塩(I-12910)、塩(I-12915)~塩(I-12920)、塩(I-12921)~塩(I-12924)、塩(I-12927)~塩(I-12931)、塩(I-12934)~塩(I-12950)、塩(I-12955)~塩(I-12960)、塩(I-12961)~塩(I-12964)、塩(I-12967)~塩(I-12971)、塩(I-12974)~塩(I-12990)、塩(I-12995)~塩(I-13000)、塩(I-13001)~塩(I-13004)、塩(I-13007)~塩(I-13011)、塩(I-13014)~塩(I-13030)、塩(I-13035)~塩(I-13040)、塩(I-13041)~塩(I-13044)、塩(I-13047)~塩(I-13051)、塩(I-13054)~塩(I-13070)、塩(I-13075)~塩(I-13080)、塩(I-13081)~塩(I-13084)、塩(I-13087)~塩(I-13091)、塩(I-13094)~塩(I-13110)、塩(I-13115)~塩(I-13120)、塩(I-13121)~塩(I-13124)、塩(I-13127)~塩(I-13131)、塩(I-13134)~塩(I-13150)、塩(I-13155)~塩(I-13160)、塩(I-13161)~塩(I-13164)、塩(I-13167)~塩(I-13171)、塩(I-13174)~塩(I-13190)、塩(I-13195)~塩(I-13200)、塩(I-13201)~塩(I-13204)、塩(I-13207)~塩(I-13211)、塩(I-13214)~塩(I-13230)、塩(I-13235)~塩(I-13240)、塩(I-13241)~塩(I-13244)、塩(I-13247)~塩(I-13251)、塩(I-13254)~塩(I-13270)、塩(I-13275)~塩(I-13280)、塩(I-13281)~塩(I-13284)、塩(I-13287)~塩(I-13291)、塩(I-13294)~塩(I-13310)、塩(I-13315)~塩(I-13320)、塩(I-13321)~塩(I-13324)、塩(I-13327)~塩(I-13331)、塩(I-13334)~塩(I-13350)、塩(I-13355)~塩(I-13360)、塩(I-13361)~塩(I-13364)、塩(I-13367)~塩(I-13371)、塩(I-13374)~塩(I-13390)、塩(I-13395)~塩(I-13400)、塩(I-13401)~塩(I-13404)、塩(I-13407)~塩(I-13411)、塩(I-13414)~塩(I-13430)、塩(I-13435)~塩(I-13440)、塩(I-13441)~塩(I-13772)、塩(I-13777)~塩(I-14108)、塩(I-14113)~塩(I-14444)、塩(I-14449)~塩(I-29580)であることが好ましい。
これらの塩は、公知の方法によって製造することができる。また、市販品を用いてもよい。
)~塩(I-2590)、塩(I-2595)~塩(I-2600)、塩(I-2601)~塩(I-2604)、塩(I-2607)~塩(I-2611)、塩(I-2614)~塩(I-2630)、塩(I-2635)~塩(I-2640)、塩(I-2641)~塩(I-2644)、塩(I-2647)~塩(I-2651)、塩(I-2654)~塩(I-2670)、塩(I-2675)~塩(I-2680)、塩(I-2681)~塩(I-2684)、塩(I-2687)~塩(I-2691)、塩(I-2694)~塩(I-2710)、塩(I-2715)~塩(I-2720)、塩(I-2721)~塩(I-2724)、塩(I-2727)~塩(I-2731)、塩(I-2734)~塩(I-2750)、塩(I-2755)~塩(I-2760)、塩(I-2761)~塩(I-2764)、塩(I-2767)~塩(I-2771)、塩(I-2774)~塩(I-2790)、塩(I-2795)~塩(I-2800)、塩(I-2801)~塩(I-2804)、塩(I-2807)~塩(I-2811)、塩(I-2814)~塩(I-2830)、塩(I-2835)~塩(I-2840)、塩(I-2841)~塩(I-2844)、塩(I-2847)~塩(I-2851)、塩(I-2881)~塩(I-2884)、塩(I-2887)~塩(I-2891)、塩(I-2894)~塩(I-2910)、塩(I-2915)~塩(I-2920)、塩(I-2921)~塩(I-2924)、塩(I-2927)~塩(I-2931)、塩(I-2934)~塩(I-2950)、塩(I-2955)~塩(I-2960)、塩(I-2961)~塩(I-2964)、塩(I-2967)~塩(I-2971)、塩(I-2974)~塩(I-2990)、塩(I-2995)~塩(I-3000)、塩(I-3001)~塩(I-3004)、塩(I-3007)~塩(I-3011)、塩(I-3014)~塩(I-3030)、塩(I-3035)~塩(I-3040)、塩(I-3041)~塩(I-3044)、塩(I-3047)~塩(I-3051)、塩(I-3054)~塩(I-3070)、塩(I-3075)~塩(I-3080)、塩(I-3081)~塩(I-3084)、塩(I-3087)~塩(I-3091)、塩(I-3094)~塩(I-3110)、塩(I-3115)~塩(I-3120)、塩(I-3121)~塩(I-3124)、塩(I-3127)~塩(I-3131)、塩(I-3134)~塩(I-3150)、塩(I-3155)~塩(I-3160)、塩(I-3161)~塩(I-3164)、塩(I-3167)~塩(I-3171)、塩(I-3174)~塩(I-3190)、塩(I-3195)~塩(I-3200)、塩(I-3201)~塩(I-3204)、塩(I-3207)~塩(I-3211)、塩(I-3214)~塩(I-3230)、塩(I-3235)~塩(I-3240)、塩(I-3241)~塩(I-3244)、塩(I-3247)~塩(I-3251)、塩(I-3254)~塩(I-3270)、塩(I-3275)~塩(I-3280)、塩(I-3281)~塩(I-3284)、塩(I-3287)~塩(I-3291)、塩(I-3294)~塩(I-3310)、塩(I-3315)~塩(I-3320)、塩(I-3321)~塩(I-3324)、塩(I-3327)~塩(I-3331)、塩(I-3334)~塩(I-3350)、塩(I-3355)~塩(I-3360)、塩(I-3361)~塩(I-3364)、塩(I-3367)~塩(I-3371)、塩(I-3374)~塩(I-3390)、塩(I-3395)~塩(I-3400)、塩(I-3401)~塩(I-3404)、塩(I-3407)~塩(I-3411)、塩(I-3414)~塩(I-3430)、塩(I-3435)~塩(I-3440)、塩(I-3441)~塩(I-3444)、塩(I-3447)~塩(I-3451)、塩(I-3454)~塩(I-3470)、塩(I-3475)~塩(I-3480)、塩(I-3481)~塩(I-3484)、塩(I-3487)~塩(I-3491)、塩(I-3494)~塩(I-3510)、塩(I-3515)~塩(I-3520)、塩(I-3521)~塩(I-3524)、塩(I-3527)~塩(I-3531)、塩(I-3534)~塩(I-3550)、塩(I-3555)~塩(I-3560)、塩(I-3561)~塩(I-3564)、塩(I-3567)~塩(I-3571)、塩(I-3574)~塩(I-3590)、塩(I-3595)~塩(I-3600)、塩(I-3601)~塩(I-3604)、塩(I-3607)~塩(I-3611)、塩(I-3614)~塩(I-3630)、塩(I-3635)~塩(I-3640)、塩(I-3641)~塩(I-3644)、塩(I-3647)~塩(I-3651)、塩(I-3654)~塩(I-3670)、塩(I-3675)~塩(I-3680)、塩(I-3681)~塩(I-3684)、塩(I-3687)~塩(I-3691)、塩(I-3694)~塩(I-3710)、塩(I-3715)~塩(I-3720)、塩(I-3721)~塩(I-3724)、塩(I-3727)~塩(I-3731)、塩(I-3734)~塩(I-3750)、塩(I-3755)~塩(I-3760)、塩(I-3761)~塩(I-3764)、塩(I-3767)~塩(I-3771)、塩(I-3774)~塩(I-3790)、塩(I-3795)~塩(I-3800)、塩(I-3801)~塩(I-3804)、塩(I-3807)~塩(I-3811)、塩(I-3814)~塩(I-3830)、塩(I-3835)~塩(I-3840)、塩(I-3841)~塩(I-3844)、塩(I-3847)~塩(I-3851)、塩(I-3881)~塩(I-3884)、塩(I-3887)~塩(I-3891)、塩(I-3894)~塩(I-3910)、塩(I-3915)~塩(I-3920)、塩(I-3921)~塩(I-2324)、塩(I-3927)~塩(I-3931)、塩(I-3934)~塩(I-3950)、塩(I-3955)~塩(I-3960)、塩(I-3961)~塩(I-3964)、塩(I-3967)~塩(I-3971)、塩(I-3974)~塩(I-3990)、塩(I-3995)~塩(I-4000)、塩(I-4001)~塩(I-4004)、塩(I-4007)~塩(I-4011)、塩(I-4014)~塩(I-4030)、塩(I-4035)~塩(I-4040)、塩(I-4041)~塩(I-4044)、塩(I-4047)~塩(I-4051)、塩(I-4054)~塩(I-4070)、塩(I-4075)~塩(I-4080)、塩(I-4081)~塩(I-4084)、塩(I-4087)~塩(I-4091)、塩(I-4094)~塩(I-4110)、塩(I-4115)~塩(I-4120)、塩(I-4121)~塩(I-4124)、塩(I-4127)~塩(I-4131)、塩(I-4134)~塩(I-4150)、塩(I-4155)~塩(I-4160)、塩(I-4161)~塩(I-4164)、塩(I-4167)~塩(I-4171)、塩(I-4174)~塩(I-4190)、塩(I-4195)~塩(I-4200)、塩(I-4201)~塩(I-4204)、塩(I-4207)~塩(I-4211)、塩(I-4214)~塩(I-4230)、塩(I-4235)~塩(I-4240)、塩(I-4241)~塩(I-4244)、塩(I-4247)~塩(I-4251)、塩(I-4254)~塩(I-4270)、塩(I-4275)~塩(I-4280)、塩(I-4281)~塩(I-4284)、塩(I-4287)~塩(I-4291)、塩(I-4294)~塩(I-4310)、塩(I-4315)~塩(I-4320)、塩(I-4321)~塩(I-4324)、塩(I-4327)~塩(I-4331)、塩(I-4334)~塩(I-4350)、塩(I-4355)~塩(I-4360)、塩(I-4361)~塩(I-4364)、塩(I-4367)~塩(I-4371)、塩(I-4374)~塩(I-4390)、塩(I-4395)~塩(I-4400)、塩(I-4401)~塩(I-4404)、塩(I-4407)~塩(I-4411)、塩(I-4414)~塩(I-4430)、塩(I-4435)~塩(I-4440)、塩(I-4441)~塩(I-4444)、塩(I-4447)~塩(I-4451)、塩(I-4454)~塩(I-4470)、塩(I-4475)~塩(I-4480)、塩(I-4481)~塩(I-4484)、塩(I-4487)~塩(I-4491)、塩(I-4494)~塩(I-4510)、塩(I-4515)~塩(I-4520)、塩(I-4521)~塩(I-4524)、塩(I-4527)~塩(I-4531)、塩(I-4534)~塩(I-4550)、塩(I-4555)~塩(I-4560)、塩(I-4561)~塩(I-4564)、塩(I-4567)~塩(I-4571)、塩(I-4574)~塩(I-4590)、塩(I-4595)~塩(I-4600)、塩(I-4601)~塩(I-4604)、塩(I-4607)~塩(I-4611)、塩(I-4614)~塩(I-4630)、塩(I-4635)~塩(I-4640)、塩(I-4641)~塩(I-4644)、塩(I-4647)~塩(I-4651)、塩(I-4654)~塩(I-4670)、塩(I-4675)~塩(I-4680)、塩(I-4681)~塩(I-4684)、塩(I-4687)~塩(I-4691)、塩(I-4694)~塩(I-4710)、塩(I-4715)~塩(I-4720)、塩(I-4721)~塩(I-4724)、塩(I-4727)~塩(I-4731)、塩(I-4734)~塩(I-4750)、塩(I-4755)~塩(I-4760)、塩(I-4761)~塩(I-4764)、塩(I-4767)~塩(I-4771)、塩(I-4774)~塩(I-4790)、塩(I-4795)~塩(I-4800)、塩(I-4801)~塩(I-4804)、塩(I-4807)~塩(I-4811)、塩(I-4814)~塩(I-4830)、塩(I-4835)~塩(I-4840)、塩(I-4841)~塩(I-4844)、塩(I-4847)~塩(I-4851)、塩(I-4854)~塩(I-4870)、塩(I-4875)~塩(I-4880)、塩(I-4881)~塩(I-4884)、塩(I-4887)~塩(I-4891)、塩(I-4894)~塩(I-4910)、塩(I-4915)~塩(I-4920)、塩(I-4921)~塩(I-4924)、塩(I-4927)~塩(I-4931)、塩(I-4934)~塩(I-4950)、塩(I-4955)~塩(I-4960)、塩(I-4961)~塩(I-4964)、塩(I-4967)~塩(I-4971)、塩(I-4974)~塩(I-4990)、塩(I-4995)~塩(I-5000)、塩(I-5001)~塩(I-5004)、塩(I-5007)~塩(I-5011)、塩(I-5014)~塩(I-5030)、塩(I-5035)~塩(I-5040)、塩(I-5041)~塩(I-5044)、塩(I-5047)~塩(I-5051)、塩(I-5054)~塩(I-5070)、塩(I-5075)~塩(I-5080)、塩(I-5081)~塩(I-5084)、塩(I-5087)~塩(I-5091)、塩(I-5094)~塩(I-5110)、塩(I-5115)~塩(I-5120)、塩(I-5121)~塩(I-5124)、塩(I-5127)~塩(I-5131)、塩(I-5134)~塩(I-5150)、塩(I-5155)~塩(I-5160)、塩(I-5161)~塩(I-5164)、塩(I-5167)~塩(I-5171)、塩(I-5174)
~塩(I-5190)、塩(I-5195)~塩(I-5200)、塩(I-5201)~塩(I-5204)、塩(I-5207)~塩(I-5211)、塩(I-5214)~塩(I-5230)、塩(I-5235)~塩(I-5240)、塩(I-5241)~塩(I-5244)、塩(I-5247)~塩(I-5251)、塩(I-5254)~塩(I-5270)、塩(I-5275)~塩(I-5280)、塩(I-5281)~塩(I-5284)、塩(I-5287)~塩(I-5291)、塩(I-5294)~塩(I-5310)、塩(I-5315)~塩(I-5320)、塩(I-5321)~塩(I-5324)、塩(I-5327)~塩(I-5331)、塩(I-5334)~塩(I-5350)、塩(I-5355)~塩(I-5360)、塩(I-5361)~塩(I-5364)、塩(I-5367)~塩(I-5371)、塩(I-5374)~塩(I-5390)、塩(I-5395)~塩(I-5400)、塩(I-5401)~塩(I-5404)、塩(I-5407)~塩(I-5411)、塩(I-5414)~塩(I-5430)、塩(I-5435)~塩(I-5440)、塩(I-5441)~塩(I-5444)、塩(I-5447)~塩(I-5451)、塩(I-5454)~塩(I-5470)、塩(I-5475)~塩(I-5480)、塩(I-5481)~塩(I-5484)、塩(I-5487)~塩(I-5491)、塩(I-5494)~塩(I-5510)、塩(I-5515)~塩(I-5520)、塩(I-5521)~塩(I-5524)、塩(I-5527)~塩(I-5531)、塩(I-5534)~塩(I-5550)、塩(I-5555)~塩(I-5560)、塩(I-5561)~塩(I-5564)、塩(I-5567)~塩(I-5571)、塩(I-5574)~塩(I-5590)、塩(I-5595)~塩(I-5600)、塩(I-5601)~塩(I-5604)、塩(I-5607)~塩(I-5611)、塩(I-5614)~塩(I-5630)、塩(I-5635)~塩(I-5640)、塩(I-5641)~塩(I-5644)、塩(I-5647)~塩(I-5651)、塩(I-5654)~塩(I-5670)、塩(I-5675)~塩(I-5680)、塩(I-5681)~塩(I-5684)、塩(I-5687)~塩(I-5691)、塩(I-5694)~塩(I-5710)、塩(I-5715)~塩(I-5720)、塩(I-5721)~塩(I-5724)、塩(I-5727)~塩(I-5731)、塩(I-5734)~塩(I-5750)、塩(I-5755)~塩(I-5760)、塩(I-5761)~塩(I-5764)、塩(I-5767)~塩(I-5771)、塩(I-5774)~塩(I-5790)、塩(I-5795)~塩(I-5800)、塩(I-5801)~塩(I-5804)、塩(I-5807)~塩(I-5811)、塩(I-5814)~塩(I-5830)、塩(I-5835)~塩(I-5840)、塩(I-5841)~塩(I-5844)、塩(I-5847)~塩(I-5851)、塩(I-5854)~塩(I-5870)、塩(I-5875)~塩(I-5880)、塩(I-5881)~塩(I-5884)、塩(I-5887)~塩(I-5891)、塩(I-5894)~塩(I-5910)、塩(I-5915)~塩(I-5920)、塩(I-5921)~塩(I-5924)、塩(I-5927)~塩(I-5931)、塩(I-5934)~塩(I-5950)、塩(I-5955)~塩(I-5960)、塩(I-5961)~塩(I-5964)、塩(I-5967)~塩(I-5971)、塩(I-5974)~塩(I-5990)、塩(I-5995)~塩(I-6000)、塩(I-6001)~塩(I-6004)、塩(I-6007)~塩(I-6011)、塩(I-6014)~塩(I-6030)、塩(I-6035)~塩(I-6040)、塩(I-6041)~塩(I-6044)、塩(I-6047)~塩(I-6051)、塩(I-6054)~塩(I-6070)、塩(I-6075)~塩(I-6080)、塩(I-6081)~塩(I-6084)、塩(I-6087)~塩(I-6091)、塩(I-6094)~塩(I-6110)、塩(I-6115)~塩(I-6120)、塩(I-6121)~塩(I-6124)、塩(I-6127)~塩(I-6131)、塩(I-6134)~塩(I-6150)、塩(I-6155)~塩(I-6160)、塩(I-6161)~塩(I-6164)、塩(I-6167)~塩(I-6171)、塩(I-6174)~塩(I-6190)、塩(I-6195)~塩(I-6200)、塩(I-6201)~塩(I-6204)、塩(I-6207)~塩(I-6211)、塩(I-6214)~塩(I-6230)、塩(I-6235)~塩(I-6240)、塩(I-6241)~塩(I-6244)、塩(I-6247)~塩(I-6251)、塩(I-6254)~塩(I-6270)、塩(I-6275)~塩(I-6280)、塩(I-6281)~塩(I-6284)、塩(I-6287)~塩(I-6291)、塩(I-6294)~塩(I-6310)、塩(I-6315)~塩(I-6320)、塩(I-6321)~塩(I-6324)、塩(I-6327)~塩(I-6331)、塩(I-6334)~塩(I-6350)、塩(I-6355)~塩(I-6360)、塩(I-6361)~塩(I-6364)、塩(I-6367)~塩(I-6371)、塩(I-6374)~塩(I-6390)、塩(I-6395)~塩(I-6400)、塩(I-6401)~塩(I-6404)、塩(I-6407)~塩(I-6411)、塩(I-6414)~塩(I-6430)、塩(I-6435)~塩(I-6440)、塩(I-6441)~塩(I-6444)、塩(I-6447)~塩(I-6451)、塩(I-6454)~塩(I-6470)、塩(I-6475)~塩(I-6480)、塩(I-6481)~塩(I-6484)、塩(I-6487)~塩(I-6491)、塩(I-6494)~塩(I-6510)、塩(I-6515)~塩(I-6520)、塩(I-6521)~塩(I-6524)、塩(I-6527)~塩(I-6531)、塩(I-6534)~塩(I-6550)、塩(I-6555)~塩(I-6560)、塩(I-6561)~塩(I-6564)、塩(I-6567)~塩(I-6571)、塩(I-6574)~塩(I-6590)、塩(I-6595)~塩(I-6600)、塩(I-6601)~塩(I-6604)、塩(I-6607)~塩(I-6611)、塩(I-6614)~塩(I-6630)、塩(I-6635)~塩(I-6640)、塩(I-6641)~塩(I-6644)、塩(I-6647)~塩(I-6651)、塩(I-6654)~塩(I-6670)、塩(I-6675)~塩(I-6680)、塩(I-6681)~塩(I-6684)、塩(I-6687)~塩(I-6691)、塩(I-6694)~塩(I-6710)、塩(I-6715)~塩(I-6720)、塩(I-6721)~塩(I-6724)、塩(I-6727)~塩(I-6731)、塩(I-6734)~塩(I-6750)、塩(I-6755)~塩(I-6760)、塩(I-6761)~塩(I-6764)、塩(I-6767)~塩(I-6771)、塩(I-6774)~塩(I-6790)、塩(I-6795)~塩(I-6800)、塩(I-6801)~塩(I-6804)、塩(I-6807)~塩(I-6811)、塩(I-6814)~塩(I-6830)、塩(I-6835)~塩(I-6840)、塩(I-6841)~塩(I-6844)、塩(I-6847)~塩(I-6851)、塩(I-6854)~塩(I-6870)、塩(I-6875)~塩(I-6880)、塩(I-6881)~塩(I-6884)、塩(I-6887)~塩(I-6891)、塩(I-6894)~塩(I-6910)、塩(I-6915)~塩(I-6920)、塩(I-6921)~塩(I-6924)、塩(I-6927)~塩(I-6931)、塩(I-6934)~塩(I-6950)、塩(I-6955)~塩(I-6960)、塩(I-6961)~塩(I-6964)、塩(I-6967)~塩(I-6971)、塩(I-6974)~塩(I-6990)、塩(I-6995)~塩(I-7000)、塩(I-7001)~塩(I-7004)、塩(I-7007)~塩(I-7011)、塩(I-7014)~塩(I-7030)、塩(I-7035)~塩(I-7040)、塩(I-7041)~塩(I-7044)、塩(I-7047)~塩(I-7051)、塩(I-7054)~塩(I-7070)、塩(I-7075)~塩(I-7080)、塩(I-7081)~塩(I-7084)、塩(I-7087)~塩(I-7091)、塩(I-7094)~塩(I-7110)、塩(I-7115)~塩(I-7120)、塩(I-7121)~塩(I-7124)、塩(I-7127)~塩(I-7131)、塩(I-7134)~塩(I-7150)、塩(I-7155)~塩(I-7160)、塩(I-7161)~塩(I-7164)、塩(I-7167)~塩(I-7171)、塩(I-7174)~塩(I-7190)、塩(I-7195)~塩(I-7200)、塩(I-7201)~塩(I-7204)、塩(I-7207)~塩(I-7211)、塩(I-7214)~塩(I-7230)、塩(I-7235)~塩(I-7240)、塩(I-7241)~塩(I-7244)、塩(I-7247)~塩(I-7251)、塩(I-7254)~塩(I-7270)、塩(I-7275)~塩(I-7280)、塩(I-7281)~塩(I-7284)、塩(I-7287)~塩(I-7291)、塩(I-7294)~塩(I-7310)、塩(I-7315)~塩(I-7320)、塩(I-7321)~塩(I-7324)、塩(I-7327)~塩(I-7331)、塩(I-7334)~塩(I-7350)、塩(I-7355)~塩(I-7360)、塩(I-7361)~塩(I-7364)、塩(I-7367)~塩(I-7371)、塩(I-7374)~塩(I-7390)、塩(I-7395)~塩(I-7400)、塩(I-7401)~塩(I-7404)、塩(I-7407)~塩(I-7411)、塩(I-7414)~塩(I-7430)、塩(I-7435)~塩(I-7440)、塩(I-7441)~塩(I-7444)、塩(I-7447)~塩(I-7451)、塩(I-7454)~塩(I-7470)、塩(I-7475)~塩(I-7480)、塩(I-7481)~塩(I-7484)、塩(I-7487)~塩(I-7491)、塩(I-7494)~塩(I-7510)、塩(I-7515)~塩(I-7520)、塩(I-7521)~塩(I-7524)、塩(I-7527)~塩(I-7531)、塩(I-7534)~塩(I-7550)、塩(I-7555)~塩(I-7560)、塩(I-7561)~塩(I-7564)、塩(I-7567)~塩(I-7571)、塩(I-7574)~塩(I-7590)、塩(I-7595)~塩(I-7600)、塩(I-7601)~塩(I-7604)、塩(I-7607)~塩(I-7611)、塩(I-7614)~塩(I-7630)、塩(I-7635)~塩(I-7640)、塩(I-7641)~塩(I-7644)、塩(I-7647)~塩(I-7651)、塩(I-7654)~塩(I-7670)、塩(I-7675)~塩(I-7680)、塩(I-7681)~塩(I-7684)、塩(I-7687)~塩(I-7691)、塩(I-7694)~塩(I-7710)、塩(I-7715)~塩(I-7720)、塩(I-7721)~塩(I-7724)、塩(I-7727)~塩(I-7731)、塩(I-7734)~
塩(I-7750)、塩(I-7755)~塩(I-7760)、塩(I-7761)~塩(I-7764)、塩(I-7767)~塩(I-7771)、塩(I-7774)~塩(I-7790)、塩(I-7795)~塩(I-7800)、塩(I-7801)~塩(I-7804)、塩(I-7807)~塩(I-7811)、塩(I-7814)~塩(I-7830)、塩(I-7835)~塩(I-7840)、塩(I-7841)~塩(I-7844)、塩(I-7847)~塩(I-7851)、塩(I-7854)~塩(I-7870)、塩(I-7875)~塩(I-7880)、塩(I-7881)~塩(I-7884)、塩(I-7887)~塩(I-7891)、塩(I-7894)~塩(I-7910)、塩(I-7915)~塩(I-7920)、塩(I-7921)~塩(I-7924)、塩(I-7927)~塩(I-7931)、塩(I-7934)~塩(I-7950)、塩(I-7955)~塩(I-7960)、塩(I-7961)~塩(I-7964)、塩(I-7967)~塩(I-7971)、塩(I-7974)~塩(I-7990)、塩(I-7995)~塩(I-8000)、塩(I-8001)~塩(I-8004)、塩(I-8007)~塩(I-8011)、塩(I-8014)~塩(I-8030)、塩(I-8035)~塩(I-8040)、塩(I-8041)~塩(I-8044)、塩(I-8047)~塩(I-8051)、塩(I-8054)~塩(I-8070)、塩(I-8075)~塩(I-8080)、塩(I-8081)~塩(I-8084)、塩(I-8087)~塩(I-8091)、塩(I-8094)~塩(I-8110)、塩(I-8115)~塩(I-8120)、塩(I-8121)~塩(I-8124)、塩(I-8127)~塩(I-8131)、塩(I-8134)~塩(I-8150)、塩(I-8155)~塩(I-8160)、塩(I-8161)~塩(I-8164)、塩(I-8167)~塩(I-8171)、塩(I-8174)~塩(I-8190)、塩(I-8195)~塩(I-8200)、塩(I-8201)~塩(I-8204)、塩(I-8207)~塩(I-8211)、塩(I-8214)~塩(I-8230)、塩(I-8235)~塩(I-8240)、塩(I-8241)~塩(I-8244)、塩(I-8247)~塩(I-8251)、塩(I-8254)~塩(I-8270)、塩(I-8275)~塩(I-8280)、塩(I-8281)~塩(I-8284)、塩(I-8287)~塩(I-8291)、塩(I-8294)~塩(I-8310)、塩(I-8315)~塩(I-8320)、塩(I-8321)~塩(I-8324)、塩(I-8327)~塩(I-8331)、塩(I-8334)~塩(I-8350)、塩(I-8355)~塩(I-8360)、塩(I-8361)~塩(I-8364)、塩(I-8367)~塩(I-8371)、塩(I-8374)~塩(I-8390)、塩(I-8395)~塩(I-8400)、塩(I-8401)~塩(I-8404)、塩(I-8407)~塩(I-8411)、塩(I-8414)~塩(I-8430)、塩(I-8435)~塩(I-8440)、塩(I-8441)~塩(I-8444)、塩(I-8447)~塩(I-8451)、塩(I-8454)~塩(I-8470)、塩(I-8475)~塩(I-8480)、塩(I-8481)~塩(I-8484)、塩(I-8487)~塩(I-8491)、塩(I-8494)~塩(I-8510)、塩(I-8515)~塩(I-8520)、塩(I-8521)~塩(I-8524)、塩(I-8527)~塩(I-8531)、塩(I-8534)~塩(I-8550)、塩(I-8555)~塩(I-8560)、塩(I-8561)~塩(I-8564)、塩(I-8567)~塩(I-8571)、塩(I-8574)~塩(I-8590)、塩(I-8595)~塩(I-8600)、塩(I-8601)~塩(I-8604)、塩(I-8607)~塩(I-8611)、塩(I-8614)~塩(I-8630)、塩(I-8635)~塩(I-8640)、塩(I-8641)~塩(I-8644)、塩(I-8647)~塩(I-8651)、塩(I-8654)~塩(I-8670)、塩(I-8675)~塩(I-8680)、塩(I-8681)~塩(I-8684)、塩(I-8687)~塩(I-8691)、塩(I-8694)~塩(I-8710)、塩(I-8715)~塩(I-8720)、塩(I-8721)~塩(I-8724)、塩(I-8727)~塩(I-8731)、塩(I-8734)~塩(I-8750)、塩(I-8755)~塩(I-8760)、塩(I-8761)~塩(I-8764)、塩(I-8767)~塩(I-8771)、塩(I-8774)~塩(I-8790)、塩(I-8795)~塩(I-8800)、塩(I-8801)~塩(I-8804)、塩(I-8807)~塩(I-8811)、塩(I-8814)~塩(I-8830)、塩(I-8835)~塩(I-8840)、塩(I-8841)~塩(I-8844)、塩(I-8847)~塩(I-8851)、塩(I-8854)~塩(I-8870)、塩(I-8875)~塩(I-8880)、塩(I-8881)~塩(I-8884)、塩(I-8887)~塩(I-8891)、塩(I-8894)~塩(I-8910)、塩(I-8915)~塩(I-8920)、塩(I-8921)~塩(I-8924)、塩(I-8927)~塩(I-8931)、塩(I-8934)~塩(I-8950)、塩(I-8955)~塩(I-8960)、塩(I-8961)~塩(I-8964)、塩(I-8967)~塩(I-8971)、塩(I-8974)~塩(I-8990)、塩(I-8995)~塩(I-9000)、塩(I-9001)~塩(I-9004)、塩(I-9007)~塩(I-9011)、塩(I-9014)~塩(I-9030)、塩(I-9035)~塩(I-9040)、塩(I-9041)~塩(I-9044)、塩(I-9047)~塩(I-9051)、塩(I-9054)~塩(I-9070)、塩(I-9075)~塩(I-9080)、塩(I-9081)~塩(I-9084)、塩(I-9087)~塩(I-9091)、塩(I-9094)~塩(I-9110)、塩(I-9115)~塩(I-9120)、塩(I-9121)~塩(I-9124)、塩(I-9127)~塩(I-9131)、塩(I-9134)~塩(I-9150)、塩(I-9155)~塩(I-9160)、塩(I-9161)~塩(I-9164)、塩(I-9167)~塩(I-9171)、塩(I-9174)~塩(I-9190)、塩(I-9195)~塩(I-9200)、塩(I-9201)~塩(I-9204)、塩(I-9207)~塩(I-9211)、塩(I-9214)~塩(I-9230)、塩(I-9235)~塩(I-9240)、塩(I-9241)~塩(I-9244)、塩(I-9247)~塩(I-9251)、塩(I-9254)~塩(I-9270)、塩(I-9275)~塩(I-9280)、塩(I-9281)~塩(I-9284)、塩(I-9287)~塩(I-9291)、塩(I-9294)~塩(I-9310)、塩(I-9315)~塩(I-9320)、塩(I-9321)~塩(I-9324)、塩(I-9327)~塩(I-9331)、塩(I-9334)~塩(I-9350)、塩(I-9355)~塩(I-9360)、塩(I-9361)~塩(I-9364)、塩(I-9367)~塩(I-9371)、塩(I-9374)~塩(I-9390)、塩(I-9395)~塩(I-9400)、塩(I-9401)~塩(I-9404)、塩(I-9407)~塩(I-9411)、塩(I-9414)~塩(I-9430)、塩(I-9435)~塩(I-9440)、塩(I-9441)~塩(I-9444)、塩(I-9447)~塩(I-9451)、塩(I-9454)~塩(I-9470)、塩(I-9475)~塩(I-9480)、塩(I-9481)~塩(I-9484)、塩(I-9487)~塩(I-9491)、塩(I-9494)~塩(I-9510)、塩(I-9515)~塩(I-9520)、塩(I-9521)~塩(I-9524)、塩(I-9527)~塩(I-9531)、塩(I-9534)~塩(I-9550)、塩(I-9555)~塩(I-9560)、塩(I-9561)~塩(I-9564)、塩(I-9567)~塩(I-9571)、塩(I-9574)~塩(I-9590)、塩(I-9595)~塩(I-9600)、塩(I-9601)~塩(I-9604)、塩(I-9607)~塩(I-9611)、塩(I-9614)~塩(I-9630)、塩(I-9635)~塩(I-9640)、塩(I-9641)~塩(I-9644)、塩(I-9647)~塩(I-9651)、塩(I-9654)~塩(I-9670)、塩(I-9675)~塩(I-9680)、塩(I-9681)~塩(I-9684)、塩(I-9687)~塩(I-9691)、塩(I-9694)~塩(I-9710)、塩(I-9715)~塩(I-9720)、塩(I-9721)~塩(I-9724)、塩(I-9727)~塩(I-9731)、塩(I-9734)~塩(I-9750)、塩(I-9755)~塩(I-9760)、塩(I-9761)~塩(I-9764)、塩(I-9767)~塩(I-9771)、塩(I-9774)~塩(I-9790)、塩(I-9795)~塩(I-9800)、塩(I-9801)~塩(I-9804)、塩(I-9807)~塩(I-9811)、塩(I-9814)~塩(I-9830)、塩(I-9835)~塩(I-9840)、塩(I-9841)~塩(I-9844)、塩(I-9847)~塩(I-9851)、塩(I-9854)~塩(I-9870)、塩(I-9875)~塩(I-9880)、塩(I-9881)~塩(I-9884)、塩(I-9887)~塩(I-9891)、塩(I-9894)~塩(I-9910)、塩(I-9915)~塩(I-9920)、塩(I-9921)~塩(I-9924)、塩(I-9927)~塩(I-9931)、塩(I-9934)~塩(I-9950)、塩(I-9955)~塩(I-9960)、塩(I-9961)~塩(I-9964)、塩(I-9967)~塩(I-9971)、塩(I-9974)~塩(I-9990)、塩(I-9995)~塩(I-10000)、塩(I-10001)~塩(I-10004)、塩(I-10007)~塩(I-10011)、塩(I-10014)~塩(I-10030)、塩(I-10035)~塩(I-10040)、塩(I-10041)~塩(I-10044)、塩(I-10047)~塩(I-10051)、塩(I-10054)~塩(I-10070)、塩(I-10075)~塩(I-10080)、塩(I-10081)~塩(I-10084)、塩(I-10087)~塩(I-10091)、塩(I-10094)~塩(I-10110)、塩(I-10115)~塩(I-10120)、塩(I-10121)~塩(I-10124)、塩(I-10127)~塩(I-10131)、塩(I-10134)~塩(I-10150)、塩(I-10155)~塩(I-10160)、塩(I-10161)~塩(I-10164)、塩(I-10167)~塩(I-10171)、塩(I-10174)~塩(I-10190)、塩(I-10195)~塩(I-10200)、塩(I-10201)~塩(I-10204)、塩(I-10207)~塩(I-10211)、塩(I-10214)~塩(I-10230)、塩(I-10235)~塩(I-10240)、塩(I-10241)~塩(I-10244)、塩(I-10247)~塩(I-10251)、塩(I-10254)~塩(I-10270)、塩(I-10275)~塩(I-1
0280)、塩(I-10281)~塩(I-10284)、塩(I-10287)~塩(I-10291)、塩(I-10294)~塩(I-10310)、塩(I-10315)~塩(I-10320)、塩(I-10321)~塩(I-10324)、塩(I-10327)~塩(I-10331)、塩(I-10334)~塩(I-10350)、塩(I-10355)~塩(I-10360)、塩(I-10361)~塩(I-10364)、塩(I-10367)~塩(I-10371)、塩(I-10374)~塩(I-10390)、塩(I-10395)~塩(I-10400)、塩(I-10401)~塩(I-10404)、塩(I-10407)~塩(I-10411)、塩(I-10414)~塩(I-10430)、塩(I-10435)~塩(I-10440)、塩(I-10441)~塩(I-10444)、塩(I-10447)~塩(I-10451)、塩(I-10454)~塩(I-10470)、塩(I-10475)~塩(I-10480)、塩(I-10481)~塩(I-10484)、塩(I-10487)~塩(I-10491)、塩(I-10494)~塩(I-10510)、塩(I-10515)~塩(I-10520)、塩(I-10521)~塩(I-10524)、塩(I-10527)~塩(I-10531)、塩(I-10534)~塩(I-10550)、塩(I-10555)~塩(I-10560)、塩(I-10561)~塩(I-10564)、塩(I-10567)~塩(I-10571)、塩(I-10574)~塩(I-10590)、塩(I-10595)~塩(I-10600)、塩(I-10601)~塩(I-10604)、塩(I-10607)~塩(I-10611)、塩(I-10614)~塩(I-10630)、塩(I-10635)~塩(I-10640)、塩(I-10641)~塩(I-10644)、塩(I-10647)~塩(I-10651)、塩(I-10654)~塩(I-10670)、塩(I-10675)~塩(I-10680)、塩(I-10681)~塩(I-10684)、塩(I-10687)~塩(I-10691)、塩(I-10694)~塩(I-10710)、塩(I-10715)~塩(I-10720)、塩(I-10721)~塩(I-10724)、塩(I-10727)~塩(I-10731)、塩(I-10734)~塩(I-10750)、塩(I-10755)~塩(I-10760)、塩(I-10761)~塩(I-10764)、塩(I-10767)~塩(I-10771)、塩(I-10774)~塩(I-10790)、塩(I-10795)~塩(I-10800)、塩(I-10801)~塩(I-10804)、塩(I-10807)~塩(I-10811)、塩(I-10814)~塩(I-10830)、塩(I-10835)~塩(I-10840)、塩(I-10841)~塩(I-10844)、塩(I-10847)~塩(I-10851)、塩(I-10854)~塩(I-10870)、塩(I-10875)~塩(I-10880)、塩(I-10881)~塩(I-10884)、塩(I-10887)~塩(I-10891)、塩(I-10894)~塩(I-10910)、塩(I-10915)~塩(I-10920)、塩(I-10921)~塩(I-10924)、塩(I-10927)~塩(I-10931)、塩(I-10934)~塩(I-10950)、塩(I-10955)~塩(I-10960)、塩(I-10961)~塩(I-10964)、塩(I-10967)~塩(I-10971)、塩(I-10974)~塩(I-10990)、塩(I-10995)~塩(I-11000)、塩(I-11001)~塩(I-11004)、塩(I-11007)~塩(I-11011)、塩(I-11014)~塩(I-11030)、塩(I-11035)~塩(I-11040)、塩(I-11041)~塩(I-11044)、塩(I-11047)~塩(I-11051)、塩(I-11054)~塩(I-11070)、塩(I-11075)~塩(I-11080)、塩(I-11081)~塩(I-11084)、塩(I-11087)~塩(I-11091)、塩(I-11094)~塩(I-11110)、塩(I-11115)~塩(I-11120)、塩(I-11121)~塩(I-11124)、塩(I-11127)~塩(I-11131)、塩(I-11134)~塩(I-11150)、塩(I-11155)~塩(I-11160)、塩(I-11161)~塩(I-11164)、塩(I-11167)~塩(I-11171)、塩(I-11174)~塩(I-11190)、塩(I-11195)~塩(I-11200)、塩(I-11201)~塩(I-11204)、塩(I-11207)~塩(I-11211)、塩(I-11214)~塩(I-11230)、塩(I-11235)~塩(I-11240)、塩(I-11241)~塩(I-11244)、塩(I-11247)~塩(I-11251)、塩(I-11254)~塩(I-11270)、塩(I-11275)~塩(I-11280)、塩(I-11281)~塩(I-11284)、塩(I-11287)~塩(I-11291)、塩(I-11294)~塩(I-11310)、塩(I-11315)~塩(I-11320)、塩(I-11321)~塩(I-11324)、塩(I-11327)~塩(I-11331)、塩(I-11334)~塩(I-11350)、塩(I-11355)~塩(I-11360)、塩(I-11361)~塩(I-11364)、塩(I-11367)~塩(I-11371)、塩(I-11374)~塩(I-11390)、塩(I-11395)~塩(I-11400)、塩(I-11401)~塩(I-11404)、塩(I-11407)~塩(I-11411)、塩(I-11414)~塩(I-11430)、塩(I-11435)~塩(I-11440)、塩(I-11441)~塩(I-11444)、塩(I-11447)~塩(I-11451)、塩(I-11454)~塩(I-11470)、塩(I-11475)~塩(I-11480)、塩(I-11481)~塩(I-11484)、塩(I-11487)~塩(I-11491)、塩(I-11494)~塩(I-11510)、塩(I-11515)~塩(I-11520)、塩(I-11521)~塩(I-11524)、塩(I-11527)~塩(I-11531)、塩(I-11534)~塩(I-11550)、塩(I-11555)~塩(I-11560)、塩(I-11561)~塩(I-11564)、塩(I-11567)~塩(I-11571)、塩(I-11574)~塩(I-11590)、塩(I-11595)~塩(I-11600)、塩(I-11601)~塩(I-11604)、塩(I-11607)~塩(I-11611)、塩(I-11614)~塩(I-11630)、塩(I-11635)~塩(I-11640)、塩(I-11641)~塩(I-11644)、塩(I-11647)~塩(I-11651)、塩(I-11654)~塩(I-11670)、塩(I-11675)~塩(I-11680)、塩(I-11681)~塩(I-11684)、塩(I-11687)~塩(I-11691)、塩(I-11694)~塩(I-11710)、塩(I-11715)~塩(I-11720)、塩(I-11721)~塩(I-11724)、塩(I-11727)~塩(I-11731)、塩(I-11734)~塩(I-11750)、塩(I-11755)~塩(I-11760)、塩(I-11761)~塩(I-11764)、塩(I-11767)~塩(I-11771)、塩(I-11774)~塩(I-11790)、塩(I-11795)~塩(I-11800)、塩(I-11801)~塩(I-11804)、塩(I-11807)~塩(I-11811)、塩(I-11814)~塩(I-11830)、塩(I-11835)~塩(I-11840)、塩(I-11841)~塩(I-11844)、塩(I-11847)~塩(I-11851)、塩(I-11854)~塩(I-11870)、塩(I-11875)~塩(I-11880)、塩(I-11881)~塩(I-11884)、塩(I-11887)~塩(I-11891)、塩(I-11894)~塩(I-11910)、塩(I-11915)~塩(I-11920)、塩(I-11921)~塩(I-11924)、塩(I-11927)~塩(I-11931)、塩(I-11934)~塩(I-11950)、塩(I-11955)~塩(I-11960)、塩(I-11961)~塩(I-11964)、塩(I-19167)~塩(I-11971)、塩(I-11974)~塩(I-11990)、塩(I-11995)~塩(I-12000)、塩(I-12001)~塩(I-12004)、塩(I-12007)~塩(I-12011)、塩(I-12014)~塩(I-12030)、塩(I-12035)~塩(I-12040)、塩(I-12041)~塩(I-12044)、塩(I-12047)~塩(I-12051)、塩(I-12054)~塩(I-12070)、塩(I-12075)~塩(I-12080)、塩(I-12081)~塩(I-12084)、塩(I-12087)~塩(I-12091)、塩(I-12094)~塩(I-12110)、塩(I-12115)~塩(I-12120)、塩(I-12121)~塩(I-12124)、塩(I-12127)~塩(I-12131)、塩(I-12134)~塩(I-12150)、塩(I-12155)~塩(I-12160)、塩(I-12161)~塩(I-12164)、塩(I-12167)~塩(I-12171)、塩(I-12174)~塩(I-12190)、塩(I-12195)~塩(I-12200)、塩(I-12201)~塩(I-12204)、塩(I-12207)~塩(I-12211)、塩(I-12214)~塩(I-12230)、塩(I-12235)~塩(I-12240)、塩(I-12241)~塩(I-12244)、塩(I-12247)~塩(I-12251)、塩(I-12254)~塩(I-12270)、塩(I-12275)~塩(I-12280)、塩(I-12281)~塩(I-12284)、塩(I-12287)~塩(I-12291)、塩(I-12294)~塩(I-12310)、塩(I-12315)~塩(I-12320)、塩(I-12321)~塩(I-12324)、塩(I-12327)~塩(I-12331)、塩(I-12334)~塩(I-12350)、塩(I-12355)~塩(I-12360)、塩(I-12361)~塩(I-12364)、塩(I-12367)~塩(I-12371)、塩(I-12374)~塩(I-12390)、塩(I-12395)~塩(I-12400)、塩(I-12401)~塩(I-12404)、塩(I-12407)~塩(I-12411)、塩(I-12414)~塩(I-12430)、塩(I-12435)~塩(I-12440)、塩(I-12441)~塩(I-12444)、塩(I-12447)~塩(I-12451)、塩(I-12454)~塩(I-12470)、塩(I-12475)~塩(I-12480)、塩(I-12481)~塩(I-12484)、塩(I-12487)~塩(I-12491)、塩(I-12494)~塩(I-12510)、塩(I-12515)~塩(I-12520)、塩(I-12521)~塩(I-12524)、塩(I-12527)~塩(I-12531)、塩(I-12534)~塩(I-12550)、塩(I-12555)~塩(I-12560)、塩(I-12561)~塩(I-12564)、塩(I-12567)~塩(I-12571)、塩(I-12574)~塩(I-12590)、塩(I-12595)~塩(I-12600)、塩(I-12601)~
塩(I-12604)、塩(I-12607)~塩(I-12611)、塩(I-12614)~塩(I-12630)、塩(I-12635)~塩(I-12640)、塩(I-12641)~塩(I-12644)、塩(I-12647)~塩(I-12651)、塩(I-12654)~塩(I-12670)、塩(I-12675)~塩(I-12680)、塩(I-12681)~塩(I-12684)、塩(I-12687)~塩(I-12691)、塩(I-12694)~塩(I-12710)、塩(I-12715)~塩(I-12720)、塩(I-12721)~塩(I-12724)、塩(I-12727)~塩(I-12731)、塩(I-12734)~塩(I-12750)、塩(I-12755)~塩(I-12760)、塩(I-12761)~塩(I-12764)、塩(I-12767)~塩(I-12771)、塩(I-12774)~塩(I-12790)、塩(I-12795)~塩(I-12800)、塩(I-12801)~塩(I-12804)、塩(I-12807)~塩(I-12811)、塩(I-12814)~塩(I-12830)、塩(I-12835)~塩(I-12840)、塩(I-12841)~塩(I-12844)、塩(I-12847)~塩(I-12851)、塩(I-12854)~塩(I-12870)、塩(I-12875)~塩(I-12880)、塩(I-12881)~塩(I-12884)、塩(I-12887)~塩(I-12891)、塩(I-12894)~塩(I-12910)、塩(I-12915)~塩(I-12920)、塩(I-12921)~塩(I-12924)、塩(I-12927)~塩(I-12931)、塩(I-12934)~塩(I-12950)、塩(I-12955)~塩(I-12960)、塩(I-12961)~塩(I-12964)、塩(I-12967)~塩(I-12971)、塩(I-12974)~塩(I-12990)、塩(I-12995)~塩(I-13000)、塩(I-13001)~塩(I-13004)、塩(I-13007)~塩(I-13011)、塩(I-13014)~塩(I-13030)、塩(I-13035)~塩(I-13040)、塩(I-13041)~塩(I-13044)、塩(I-13047)~塩(I-13051)、塩(I-13054)~塩(I-13070)、塩(I-13075)~塩(I-13080)、塩(I-13081)~塩(I-13084)、塩(I-13087)~塩(I-13091)、塩(I-13094)~塩(I-13110)、塩(I-13115)~塩(I-13120)、塩(I-13121)~塩(I-13124)、塩(I-13127)~塩(I-13131)、塩(I-13134)~塩(I-13150)、塩(I-13155)~塩(I-13160)、塩(I-13161)~塩(I-13164)、塩(I-13167)~塩(I-13171)、塩(I-13174)~塩(I-13190)、塩(I-13195)~塩(I-13200)、塩(I-13201)~塩(I-13204)、塩(I-13207)~塩(I-13211)、塩(I-13214)~塩(I-13230)、塩(I-13235)~塩(I-13240)、塩(I-13241)~塩(I-13244)、塩(I-13247)~塩(I-13251)、塩(I-13254)~塩(I-13270)、塩(I-13275)~塩(I-13280)、塩(I-13281)~塩(I-13284)、塩(I-13287)~塩(I-13291)、塩(I-13294)~塩(I-13310)、塩(I-13315)~塩(I-13320)、塩(I-13321)~塩(I-13324)、塩(I-13327)~塩(I-13331)、塩(I-13334)~塩(I-13350)、塩(I-13355)~塩(I-13360)、塩(I-13361)~塩(I-13364)、塩(I-13367)~塩(I-13371)、塩(I-13374)~塩(I-13390)、塩(I-13395)~塩(I-13400)、塩(I-13401)~塩(I-13404)、塩(I-13407)~塩(I-13411)、塩(I-13414)~塩(I-13430)、塩(I-13435)~塩(I-13440)、塩(I-13441)~塩(I-13772)、塩(I-13777)~塩(I-14108)、塩(I-14113)~塩(I-14444)、塩(I-14449)~塩(I-29580)であることが好ましい。
これらの塩は、公知の方法によって製造することができる。また、市販品を用いてもよい。
本発明のレジスト組成物は、塩(I)を1種含んでいてもよいし、塩(I)を2種以上含んでいてもよい。
本発明のレジスト組成物においては、塩(I)の合計の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、20質量%以上95質量%以下であることが好ましく、35質量%以上90質量%以下であることがより好ましく、35質量モル%以上80質量モル%以下であることがさらに好ましい。
本発明のレジスト組成物においては、塩(I)の合計の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、20質量%以上95質量%以下であることが好ましく、35質量%以上90質量%以下であることがより好ましく、35質量モル%以上80質量モル%以下であることがさらに好ましい。
<酸発生剤(B)>
本発明のレジスト組成物は、塩(I)に加えて、レジスト分野で公知の酸発生剤(以下「酸発生剤(B)」という場合がある)を含有していてもよい。酸発生剤(B)は、単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
酸発生剤(B)は、非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類(例えば2-ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、N-スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン 4-スルホネート)、スルホン類(例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン)等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩(例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩)が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン、カルボン酸アニオン等が挙げられる。
本発明のレジスト組成物は、塩(I)に加えて、レジスト分野で公知の酸発生剤(以下「酸発生剤(B)」という場合がある)を含有していてもよい。酸発生剤(B)は、単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
酸発生剤(B)は、非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類(例えば2-ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、N-スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン 4-スルホネート)、スルホン類(例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン)等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩(例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩)が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン、カルボン酸アニオン等が挙げられる。
酸発生剤(B)としては、特開昭63-26653号、特開昭55-164824号、特開昭62-69263号、特開昭63-146038号、特開昭63-163452号、特開昭62-153853号、特開昭63-146029号、米国特許第3,779,778号、米国特許第3,849,137号、独国特許第3914407号、欧州特許第126,712号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。酸発生剤(B)は、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
酸発生剤(B)は、より好ましくは式(B1)で表される塩(以下「酸発生剤(B1)」という場合がある。但し、塩(I)を除く。)及び式(B2)で表される塩(以下「酸発生剤(B2)」という場合がある。但し、塩(I)を除く。)である。
[式(B1)中、
Qb1及びQb2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
Lb1は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Yは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Z+は、有機カチオンを表す。]
[式(B2)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。
Z+は、有機カチオンを表す。]
[式(B1)中、
Qb1及びQb2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
Lb1は、炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該2価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Yは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Z+は、有機カチオンを表す。]
[式(B2)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。
Z+は、有機カチオンを表す。]
式(B1)におけるQb1、Qb2、Lb1及びYは、それぞれ上述した式(I-A)におけるQ1、Q2、L1及びY1と、同様のものが挙げられる。
式(B1)におけるスルホン酸アニオンとしては、式(I-A)で表されるアニオンと同様のものが挙げられる。
式(B2)におけるm21、m22、R21及びR22は、それぞれ上述した式(I-B)におけるm21、m22、R21及びR22と、同様のものが挙げられる。
式(B2)におけるスルホン酸アニオンとしては、式(I-B)で表されるアニオンと同様のものが挙げられる。
また、酸発生剤(B)の別の形態では、式(B1)等で表される塩におけるアニオンを、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン、カルボン酸アニオン等に置き替えた塩も、酸発生剤(B)として好適に用いられる。スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオンは、上述したものと同様のものが挙げられる。この場合、式(I)で表される塩を含まない。
カルボン酸アニオンとしては、以下のものが挙げられる。
式(B1)におけるスルホン酸アニオンとしては、式(I-A)で表されるアニオンと同様のものが挙げられる。
式(B2)におけるm21、m22、R21及びR22は、それぞれ上述した式(I-B)におけるm21、m22、R21及びR22と、同様のものが挙げられる。
式(B2)におけるスルホン酸アニオンとしては、式(I-B)で表されるアニオンと同様のものが挙げられる。
また、酸発生剤(B)の別の形態では、式(B1)等で表される塩におけるアニオンを、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン、カルボン酸アニオン等に置き替えた塩も、酸発生剤(B)として好適に用いられる。スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオンは、上述したものと同様のものが挙げられる。この場合、式(I)で表される塩を含まない。
カルボン酸アニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Z+の有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。具体的には、式(b2-1)~式(b2-4)のいずれかで表されるカチオン(以下、式番号に応じて「カチオン(b2-1)」等という場合がある。)が挙げられる。
[式(b2-1)~式(b2-4)中、
Rb4~Rb6は、それぞれ独立に、炭素数1~30の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~36の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Rb4とRb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb7及びRb8は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
m2及びn2は、それぞれ独立に0~5のいずれかの整数を表す。
m2が2以上のとき、複数のRb7は同一でも異なってもよく、n2が2以上のとき、複数のRb8は同一でも異なってもよい。
Rb9及びRb10は、それぞれ独立に、炭素数1~36の鎖式炭化水素基又は炭素数3~36の脂環式炭化水素基を表す。
Rb9とRb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb11は、水素原子、炭素数1~36の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表す。
Rb12は、炭素数1~12の鎖式炭化水素基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数1~12のアルコキシ基又は炭素数1~12のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Rb11とRb12とは、互いに結合してそれらが結合する-CH-CO-を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb13~Rb18は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
Rb13とRb14とは、互いに結合してそれらが結合するベンゼン環と一緒になって硫黄原子を含む環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Lb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
o2、p2、s2、及びt2は、それぞれ独立に、0~5のいずれかの整数を表す。
q2及びr2は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表す。
u2は0又は1を表す。
o2が2以上のとき、複数のRb13は同一又は相異なり、p2が2以上のとき、複数のRb14は同一又は相異なり、q2が2以上のとき、複数のRb15は同一又は相異なり、r2が2以上のとき、複数のRb16は同一又は相異なり、s2が2以上のとき、複数のRb17は同一又は相異なり、t2が2以上のとき、複数のRb18は同一又は相異なる。]
u2が0のとき、o2、p2、q2及びr2のうちいずれか1つは1以上であり、Rb13~Rb16のうち少なくとも1つはハロゲン原子であることが好ましく、u2が1のとき、o2、p2、s2、t2、q2及びr2のうちいずれか1つは1以上であり、Rb13~Rb18のうち少なくとも1つはハロゲン原子であることが好ましい。
さらに、u2が0のとき、r2は1以上であることが好ましく、1であることがさらに好ましい。また、u2が0、かつ、r2が1以上のとき、Rb16がハロゲン原子であることが好ましい。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Rb9~Rb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数1~12である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
特に、Rb9~Rb12の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数3~18、より好ましくは炭素数4~12である。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、2-メチルアダマンタン-2-イル基、2-エチルアダマンタン-2-イル基、2-イソプロピルアダマンタン-2-イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは20以下である。
フッ化アルキル基とは、フッ素原子を有する炭素数1~12のアルキル基を表し、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル基等が挙げられる。フッ化アルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロへキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)等が挙げられる。なお、芳香族炭化水素基が、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有する場合は、炭素数1~18の鎖式炭化水素基及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、p-メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、sec-ブチルカルボニルオキシ基、tert-ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び2-エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Rb4とRb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数3~18の環が挙げられ、好ましくは炭素数4~18の環である。また、硫黄原子を含む環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環であり、例えば下記の環が挙げられる。*は結合部位を表す。
Rb9とRb10とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。例えば、チオラン-1-イウム環(テトラヒドロチオフェニウム環)、チアン-1-イウム環、1,4-オキサチアン-4-イウム環等が挙げられる。
Rb11とRb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
[式(b2-1)~式(b2-4)中、
Rb4~Rb6は、それぞれ独立に、炭素数1~30の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~36の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~18の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Rb4とRb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb7及びRb8は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
m2及びn2は、それぞれ独立に0~5のいずれかの整数を表す。
m2が2以上のとき、複数のRb7は同一でも異なってもよく、n2が2以上のとき、複数のRb8は同一でも異なってもよい。
Rb9及びRb10は、それぞれ独立に、炭素数1~36の鎖式炭化水素基又は炭素数3~36の脂環式炭化水素基を表す。
Rb9とRb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb11は、水素原子、炭素数1~36の鎖式炭化水素基、炭素数3~36の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表す。
Rb12は、炭素数1~12の鎖式炭化水素基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は炭素数6~18の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数6~18の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数1~12のアルコキシ基又は炭素数1~12のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Rb11とRb12とは、互いに結合してそれらが結合する-CH-CO-を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Rb13~Rb18は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12の脂肪族炭化水素基、炭素数1~12のフッ化アルキル基又は炭素数1~12のアルコキシ基を表す。
Rb13とRb14とは、互いに結合してそれらが結合するベンゼン環と一緒になって硫黄原子を含む環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わってもよい。
Lb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
o2、p2、s2、及びt2は、それぞれ独立に、0~5のいずれかの整数を表す。
q2及びr2は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表す。
u2は0又は1を表す。
o2が2以上のとき、複数のRb13は同一又は相異なり、p2が2以上のとき、複数のRb14は同一又は相異なり、q2が2以上のとき、複数のRb15は同一又は相異なり、r2が2以上のとき、複数のRb16は同一又は相異なり、s2が2以上のとき、複数のRb17は同一又は相異なり、t2が2以上のとき、複数のRb18は同一又は相異なる。]
u2が0のとき、o2、p2、q2及びr2のうちいずれか1つは1以上であり、Rb13~Rb16のうち少なくとも1つはハロゲン原子であることが好ましく、u2が1のとき、o2、p2、s2、t2、q2及びr2のうちいずれか1つは1以上であり、Rb13~Rb18のうち少なくとも1つはハロゲン原子であることが好ましい。
さらに、u2が0のとき、r2は1以上であることが好ましく、1であることがさらに好ましい。また、u2が0、かつ、r2が1以上のとき、Rb16がハロゲン原子であることが好ましい。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Rb9~Rb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数1~12である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
特に、Rb9~Rb12の脂環式炭化水素基は、好ましくは炭素数3~18、より好ましくは炭素数4~12である。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、2-メチルアダマンタン-2-イル基、2-エチルアダマンタン-2-イル基、2-イソプロピルアダマンタン-2-イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは20以下である。
フッ化アルキル基とは、フッ素原子を有する炭素数1~12のアルキル基を表し、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル基等が挙げられる。フッ化アルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数1~18の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、p-エチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロへキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)等が挙げられる。なお、芳香族炭化水素基が、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有する場合は、炭素数1~18の鎖式炭化水素基及び炭素数3~18の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、p-メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、sec-ブチルカルボニルオキシ基、tert-ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び2-エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Rb4とRb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数3~18の環が挙げられ、好ましくは炭素数4~18の環である。また、硫黄原子を含む環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環であり、例えば下記の環が挙げられる。*は結合部位を表す。
Rb9とRb10とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。例えば、チオラン-1-イウム環(テトラヒドロチオフェニウム環)、チアン-1-イウム環、1,4-オキサチアン-4-イウム環等が挙げられる。
Rb11とRb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、3員環~12員環が挙げられ、好ましくは3員環~7員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
カチオン(b2-1)~カチオン(b2-4)の中でも、好ましくは、カチオン(b2-1)である。
カチオン(b2-1)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-2)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-3)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-4)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-1)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-2)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-3)としては、以下のカチオンが挙げられる。
カチオン(b2-4)としては、以下のカチオンが挙げられる。
酸発生剤(B)は、上述のアニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤(B)としては、好ましくは式(I-a-1)~式(I-a-4)、式(I-a-7)~式(I-a-11)、式(I-a-14)~式(I-a-30)及び式(I-a-35)~式(I-a-65)並びに式(I-B-1)~式(I-B-20)のいずれかで表されるアニオンと、カチオン(b2-1)、カチオン(b2-2)、カチオン(b2-3)又はカチオン(b2-4)との組合せが挙げられる。
酸発生剤(B)としては、好ましくは式(B1-1)~式(B1-105)及び式(B2-1)~式(B2-20)でそれぞれ表されるものが挙げられる、中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式(B1-1)~式(B1-3)、式(B1-5)~式(B1-7)、式(B1-11)~式(B1-14)、式(B1-20)~式(B1-26)、式(B1-29)、式(B1-31)~式(B1-105)及び式(B2-1)~式(B2-20)で表されるものがとりわけ好ましい。
酸発生剤として塩(I)及び酸発生剤(B)を含有する場合、塩(I)と酸発生剤(B)との含有量の比(質量比;塩(I):酸発生剤(B))は、通常、1:99~99:1であり、好ましくは2:98~98:2であり、より好ましくは5:95~95:5であり、さらに好ましくは10:90~90:10であり、特に好ましくは15:85~85:15である。
本発明のレジスト組成物においては、好ましくは、酸発生剤(B)を含まないことである。
本発明のレジスト組成物においては、好ましくは、酸発生剤(B)を含まないことである。
<樹脂(AX)>
樹脂(AX)は、アルコール性ヒドロキシ基又はフェノール性ヒドロキシ基を有する式(a2)で表される構造単位(a2)を含む樹脂である。樹脂(AX)は、酸安定樹脂である。樹脂(AX)は、酸不安定基を有する構造単位(a1)をわずかに含んでいてもよいが、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、5モル%未満であることが好ましく、1モル%未満であることがより好ましく、酸不安定基を有する構造単位(a1)を含まないことがさらに好ましい。樹脂(AX)は、構造単位(a2)以外の構造単位を含んでいてもよい。構造単位(a2)以外の構造単位としては、例えば、後述するラクトン環を有する構造単位(以下「構造単位(a3)」という場合がある)、後述するハロゲン原子を有する構造単位(以下「構造単位(a4)」という場合がある)、後述する非脱離炭化水素基を有する構造単位(以下「構造単位(a5)」という場合がある)、後述するスルトン環を有する構造単位(以下「構造単位(a6)」という場合がある)、後述する露光により分解して酸を発生する構造単位(以下「構造単位(II)」という場合がある)及びその他の当該分野で公知のモノマーに由来する構造単位等が挙げられる。樹脂(AX)における各構造単位の含有率は、NMR(Nuclear Magnetic Resonance)装置を用いて測定することができる。
樹脂(AX)は、アルコール性ヒドロキシ基又はフェノール性ヒドロキシ基を有する式(a2)で表される構造単位(a2)を含む樹脂である。樹脂(AX)は、酸安定樹脂である。樹脂(AX)は、酸不安定基を有する構造単位(a1)をわずかに含んでいてもよいが、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、5モル%未満であることが好ましく、1モル%未満であることがより好ましく、酸不安定基を有する構造単位(a1)を含まないことがさらに好ましい。樹脂(AX)は、構造単位(a2)以外の構造単位を含んでいてもよい。構造単位(a2)以外の構造単位としては、例えば、後述するラクトン環を有する構造単位(以下「構造単位(a3)」という場合がある)、後述するハロゲン原子を有する構造単位(以下「構造単位(a4)」という場合がある)、後述する非脱離炭化水素基を有する構造単位(以下「構造単位(a5)」という場合がある)、後述するスルトン環を有する構造単位(以下「構造単位(a6)」という場合がある)、後述する露光により分解して酸を発生する構造単位(以下「構造単位(II)」という場合がある)及びその他の当該分野で公知のモノマーに由来する構造単位等が挙げられる。樹脂(AX)における各構造単位の含有率は、NMR(Nuclear Magnetic Resonance)装置を用いて測定することができる。
〈構造単位(a2)〉
構造単位(a2)は、式(a2)で表される構造単位であり、アルコール性ヒドロキシ基又はフェノール性ヒドロキシ基を有する。
[式(a2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Wa50は、置換基を有してもよい炭素数5~12の環状炭化水素基を表す。
La50は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数1~12の鎖状炭化水素基を表す。
ma50は、1~5のいずれかの整数を表す。]
Ra50におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ra50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~4であり、より好ましくは1~3であり、さらに好ましくは1又は2である。
Ra50は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
構造単位(a2)は、式(a2)で表される構造単位であり、アルコール性ヒドロキシ基又はフェノール性ヒドロキシ基を有する。
[式(a2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Wa50は、置換基を有してもよい炭素数5~12の環状炭化水素基を表す。
La50は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数1~12の鎖状炭化水素基を表す。
ma50は、1~5のいずれかの整数を表す。]
Ra50におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ra50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~4であり、より好ましくは1~3であり、さらに好ましくは1又は2である。
Ra50は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Aa50におけるAa52のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、へプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基及び2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。アルカンジイル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3であり、さらにより好ましくは1又は2である。
Aa52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-としては、*-O-、*-CO-O-、*-O-CO-、*-CO-O-Aa52-CO-O-、*-O-CO-Aa52-O-、*-O-Aa52-CO-O-、*-CO-O-Aa52-O-CO-、*-O-CO-Aa52-O-CO-、が挙げられる。なかでも、*-CO-O-、*-CO-O-Aa52-CO-O-又は*-O-Aa52-CO-O-が好ましい。
Aa50は、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-Aa52-CO-O-であることが好ましく、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-CH2-CO-O-であることがより好ましく、単結合又は*-CO-O-であることがさらに好ましい。
Aa52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-としては、*-O-、*-CO-O-、*-O-CO-、*-CO-O-Aa52-CO-O-、*-O-CO-Aa52-O-、*-O-Aa52-CO-O-、*-CO-O-Aa52-O-CO-、*-O-CO-Aa52-O-CO-、が挙げられる。なかでも、*-CO-O-、*-CO-O-Aa52-CO-O-又は*-O-Aa52-CO-O-が好ましい。
Aa50は、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-Aa52-CO-O-であることが好ましく、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-CH2-CO-O-であることがより好ましく、単結合又は*-CO-O-であることがさらに好ましい。
Wa50の環状炭化水素基は、例えば、2価の脂環式炭化水素基及び2価の芳香族炭化水素基が挙げられる。
Wa50における2価の単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。2価の多環式の脂環式炭化水素基としては、ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
Wa50における2価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基が挙げられる。
芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
Wa50の炭素数5~12の環状炭化水素基が有してもよい置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルキル基、炭素数1~12のハロアルキル基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基等が挙げられる。Wa50が有する置換基の数は、1つであっても、2つ以上であってもよい。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
ハロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基などが挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
アルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
アルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Wa50の環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Wa50における2価の単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。2価の多環式の脂環式炭化水素基としては、ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
Wa50における2価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基が挙げられる。
芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
Wa50の炭素数5~12の環状炭化水素基が有してもよい置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルキル基、炭素数1~12のハロアルキル基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基等が挙げられる。Wa50が有する置換基の数は、1つであっても、2つ以上であってもよい。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
ハロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基などが挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは1~6であり、より好ましくは1~4であり、さらに好ましくは1~3である。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
アルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
アルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Wa50の環状炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
La50の炭素数1~12の鎖状炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、1-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、1-ジメチルプロパン-1,3-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~10であり、より好ましくは1~8であり、さらに好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4である。
La50が有するフッ素原子は、1つであっても、2つ以上であってもよい。
ma50は、1~4のいずれかの整数であることが好ましく、1~3のいずれかの整数であることがより好ましい。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは1~10であり、より好ましくは1~8であり、さらに好ましくは1~6であり、より一層好ましくは1~4である。
La50が有するフッ素原子は、1つであっても、2つ以上であってもよい。
ma50は、1~4のいずれかの整数であることが好ましく、1~3のいずれかの整数であることがより好ましい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてKrFエキシマレーザ(248nm)、電子線又はEUV(超紫外光)等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位(a2)として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位(a2)が好ましく、後述する構造単位(a2-A)を用いることがより好ましい。また、ArFエキシマレーザ(193nm)等を用いる場合には、構造単位(a2)として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位(a2)が好ましく、後述する構造単位(a2-1)を用いることがより好ましい。構造単位(a2)としては、1種を単独で含んでいてもよく、2種以上を含んでいてもよい。
構造単位(a2)においてフェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式(a2-A)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-A)」という場合がある)が挙げられる。
[式(a2-A)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
[式(a2-A)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
Ra50及びAa50は、それぞれ式(a2)で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ra51におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ra51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ra51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ra51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Ra51におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ra51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ra51におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ra51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ra51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
mbは0、1又は2が好ましく、0又は1がより好ましい。
ヒドロキシ基は、少なくとも1つが、ベンゼン環のm-位又はp-位に結合することが好ましい。2以上のヒドロキシ基を含む場合、2つのヒドロキシ基は、m-位とp-位にそれぞれ結合していることが好ましい。
ヒドロキシ基は、少なくとも1つが、ベンゼン環のm-位又はp-位に結合することが好ましい。2以上のヒドロキシ基を含む場合、2つのヒドロキシ基は、m-位とp-位にそれぞれ結合していることが好ましい。
構造単位(a2-A)としては、特開2010-204634号公報、特開2012-12577号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。
構造単位(a2-A)としては、式(a2-2-1)~式(a2-2-24)で表される構造単位及び式(a2-2-1)~式(a2-2-24)で表される構造単位において構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位(a2-A)は、式(a2-2-1)~式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-6)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-18)で表される構造単位及び式(a2-2-1)~式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-6)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-18)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましく、式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-14)で表される構造単位、式(a2-2-18)で表される構造単位及び式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-14)で表される構造単位、式(a2-2-18)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがより好ましく、式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位及び式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがさらに好ましい。
樹脂(AX)中に構造単位(a2-A)が含まれる場合の構造単位(a2-A)の含有率は、全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられ、好ましくは5モル%以上であり、より好ましくは10モル%以上であり、さらに好ましくは15モル%以上であり、より一層好ましくは20モル%以上である。また、100モル%以下が挙げられ、好ましくは80モル%以下であり、より好ましくは70モル%以下であり、さらに好ましくは65モル%以下である。具体的には、1~100モル%が挙げられ、好ましくは5~80モル%であり、より好ましくは10~70モル%であり、さらに好ましくは15~65モル%であり、さらにより好ましくは20~65モル%である。
構造単位(a2-A)は、例えば後述の構造単位(a1-4)を用いて重合した後、p-トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂(A)に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位(a2-A)を樹脂(AX)に含ませることができる。
構造単位(a2-A)としては、式(a2-2-1)~式(a2-2-24)で表される構造単位及び式(a2-2-1)~式(a2-2-24)で表される構造単位において構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位(a2-A)は、式(a2-2-1)~式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-6)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-18)で表される構造単位及び式(a2-2-1)~式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-6)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-18)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましく、式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-14)で表される構造単位、式(a2-2-18)で表される構造単位及び式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位、式(a2-2-12)~式(a2-2-14)で表される構造単位、式(a2-2-18)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがより好ましく、式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位及び式(a2-2-3)で表される構造単位、式(a2-2-4)で表される構造単位、式(a2-2-8)で表される構造単位において、構造単位(a2-A)におけるRa50に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがさらに好ましい。
樹脂(AX)中に構造単位(a2-A)が含まれる場合の構造単位(a2-A)の含有率は、全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられ、好ましくは5モル%以上であり、より好ましくは10モル%以上であり、さらに好ましくは15モル%以上であり、より一層好ましくは20モル%以上である。また、100モル%以下が挙げられ、好ましくは80モル%以下であり、より好ましくは70モル%以下であり、さらに好ましくは65モル%以下である。具体的には、1~100モル%が挙げられ、好ましくは5~80モル%であり、より好ましくは10~70モル%であり、さらに好ましくは15~65モル%であり、さらにより好ましくは20~65モル%である。
構造単位(a2-A)は、例えば後述の構造単位(a1-4)を用いて重合した後、p-トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂(A)に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位(a2-A)を樹脂(AX)に含ませることができる。
樹脂(AX)中に、構造単位(a2-A)が含まれる場合、2種以上の構造単位(a2-A)を含むことが好ましく、例えば、式(a2-A1)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-A1)」という場合がある。)及び式(a2-A2)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-A2)」という場合がある。)を併用して用いることが好ましい。
[式(a2-A1)及び式(a2-A2)中、
Ra50及びAa50は、それぞれ式(a2)と同じ意味を表す。
mb1は、0~4のいずれかの整数を表す。
Ra52は、ハロゲン原子を表す。
Ra53は、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
mb2及びmb3は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、mb2が2以上の場合、複数のRa52は互いに同一であっても異なってもよく、mb3が2以上の場合、複数のRa53は互いに同一であっても異なってもよく、1≦mb2+mb3≦4を満たす。]
Ra52のハロゲン原子は、Wa50の環状炭化水素基の置換基及びRa51におけるハロゲン原子と同じものが挙げられる。Ra52のハロゲン原子としては、フッ素原子又はヨウ素原子が好ましい。
Ra53の炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基としては、それぞれ、Wa50の環状炭化水素基の置換基及びRa51におけるアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アクロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基と同じものが挙げられ、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
mb1は、0~3のいずれかの整数が好ましく、0~2のいずれかの整数がより好ましく、0又は1がさらに好ましい。
mb2は、0~3のいずれかの整数が好ましく、1~3のいずれかの整数がより好ましく、1又は2がさらに好ましい。
mb3は、0~3のいずれかの整数が好ましく、0~2のいずれかの整数がより好ましく、0又は1がさらに好ましい。
樹脂(AX)における、構造単位(a2-A1)及び構造単位(a2-A2)の含有比は、特に限定さないが、1:10~10:1が好ましく、5:5~3:7であることがより好ましい。
[式(a2-A1)及び式(a2-A2)中、
Ra50及びAa50は、それぞれ式(a2)と同じ意味を表す。
mb1は、0~4のいずれかの整数を表す。
Ra52は、ハロゲン原子を表す。
Ra53は、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
mb2及びmb3は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、mb2が2以上の場合、複数のRa52は互いに同一であっても異なってもよく、mb3が2以上の場合、複数のRa53は互いに同一であっても異なってもよく、1≦mb2+mb3≦4を満たす。]
Ra52のハロゲン原子は、Wa50の環状炭化水素基の置換基及びRa51におけるハロゲン原子と同じものが挙げられる。Ra52のハロゲン原子としては、フッ素原子又はヨウ素原子が好ましい。
Ra53の炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基としては、それぞれ、Wa50の環状炭化水素基の置換基及びRa51におけるアルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシ基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基、アクロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基と同じものが挙げられ、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
mb1は、0~3のいずれかの整数が好ましく、0~2のいずれかの整数がより好ましく、0又は1がさらに好ましい。
mb2は、0~3のいずれかの整数が好ましく、1~3のいずれかの整数がより好ましく、1又は2がさらに好ましい。
mb3は、0~3のいずれかの整数が好ましく、0~2のいずれかの整数がより好ましく、0又は1がさらに好ましい。
樹脂(AX)における、構造単位(a2-A1)及び構造単位(a2-A2)の含有比は、特に限定さないが、1:10~10:1が好ましく、5:5~3:7であることがより好ましい。
構造単位(a2)においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式(a2-1)で表される構造単位(以下「構造単位(a2-1)」という場合がある。)が挙げられる。
[式(a2-1)中、
La3は、-O-又は*-O-(CH2)k2-CO-O-を表し、
k2は1~7のいずれかの整数を表す。*は-CO-との結合部位を表す。
Ra14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra15及びRa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
o1は、0~10のいずれかの整数を表す。]
[式(a2-1)中、
La3は、-O-又は*-O-(CH2)k2-CO-O-を表し、
k2は1~7のいずれかの整数を表す。*は-CO-との結合部位を表す。
Ra14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra15及びRa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
o1は、0~10のいずれかの整数を表す。]
式(a2-1)では、La3は、好ましくは、-O-、-O-(CH2)f1-CO-O-であり(前記f1は、1~4のいずれかの整数を表す)、より好ましくは-O-である。
Ra14は、好ましくはメチル基である。
Ra15は、好ましくは水素原子である。
Ra16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
o1は、好ましくは0~3のいずれかの整数、より好ましくは0又は1である。
Ra14は、好ましくはメチル基である。
Ra15は、好ましくは水素原子である。
Ra16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
o1は、好ましくは0~3のいずれかの整数、より好ましくは0又は1である。
構造単位(a2-1)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式(a2-1-1)~式(a2-1-6)のいずれかで表される構造単位が好ましく、式(a2-1-1)~式(a2-1-4)のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式(a2-1-1)又は式(a2-1-3)で表される構造単位がさらに好ましい。
樹脂(AX)が構造単位(a2-1)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられる。また、100モル%以下が挙げられ、好ましくは45モル%以下であり、より好ましくは40モル%以下であり、さらに好ましくは35モル%以下であり、より一層好ましくは20モル%以下であり、さらに一層好ましくは10モル%以下である。具体的には、1~100モル%が挙げられ、好ましくは1~45モル%であり、より好ましくは1~40モル%であり、さらに好ましくは1~35モル%であり、より一層好ましくは1~20モル%であり、さらに一層好ましくは1~10モル%である。
樹脂(AX)が構造単位(a2-1)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられる。また、100モル%以下が挙げられ、好ましくは45モル%以下であり、より好ましくは40モル%以下であり、さらに好ましくは35モル%以下であり、より一層好ましくは20モル%以下であり、さらに一層好ましくは10モル%以下である。具体的には、1~100モル%が挙げられ、好ましくは1~45モル%であり、より好ましくは1~40モル%であり、さらに好ましくは1~35モル%であり、より一層好ましくは1~20モル%であり、さらに一層好ましくは1~10モル%である。
構造単位(a2)においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式(a2-B)で表される構造単位(以下、「構造単位(a2-B)」という場合がある)が挙げられる。
[式(a2-B)中、
Ra50及びAa50は、それぞれ式(a2)と同じ意味を表す。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。]
Ra54及びRa55の炭素数1~4のフッ化アルキル基としては、それぞれ独立に、トリフルオロメチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、3,3,3-トリフルオロプロピル基、4,4,4-トリフルオロブチル基等が挙げられる。Ra54及びRa55としては、トリフルオロメチル基が好ましい。
La51の炭素数1~3のアルカンジイル基としては、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基等が挙げられる。La51としては、単結合又はメチレン基が好ましい。
Ra56のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ra56における炭素数1~4のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数1~4のアルキル基を表し、クロロメチル基、ブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル等が挙げられである。
Ra56における炭素数1~12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
Ra56で表されるアルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。また、Ra56は、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシル基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数1~11のアルコキシ基(炭素数2~12のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、炭素数2~11のアルコキシカルボニル基(炭素数3~12のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数2~12のアルキルカルボニル基(炭素数2~12のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、炭素数2~11のアルキルカルボニルオキシ基(炭素数3~12のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)を有していてもよい。
Ra56としては、なかでも、ハロゲン原子、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましい。
mb4は、好ましくは、1又は2であり、より好ましくは1である。さらに好ましくは、mb4が1であり、かつ括弧内の基がパラ位に結合するものである。
mb5は、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1であり、さらに好ましくは0である。
[式(a2-B)中、
Ra50及びAa50は、それぞれ式(a2)と同じ意味を表す。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。]
Ra54及びRa55の炭素数1~4のフッ化アルキル基としては、それぞれ独立に、トリフルオロメチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、3,3,3-トリフルオロプロピル基、4,4,4-トリフルオロブチル基等が挙げられる。Ra54及びRa55としては、トリフルオロメチル基が好ましい。
La51の炭素数1~3のアルカンジイル基としては、メチレン基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基等が挙げられる。La51としては、単結合又はメチレン基が好ましい。
Ra56のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ra56における炭素数1~4のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数1~4のアルキル基を表し、クロロメチル基、ブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル等が挙げられである。
Ra56における炭素数1~12のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは1~9であり、より好ましくは1~6であり、さらに好ましくは1~4である。
Ra56で表されるアルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。また、Ra56は、ヒドロキシ基(メチル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、カルボキシル基(エチル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数1~11のアルコキシ基(炭素数2~12のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-O-に置き換わった基)、炭素数2~11のアルコキシカルボニル基(炭素数3~12のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-O-CO-に置き換わった基)、炭素数2~12のアルキルカルボニル基(炭素数2~12のアルキル基中に含まれる-CH2-が、-CO-に置き換わった基)、炭素数2~11のアルキルカルボニルオキシ基(炭素数3~12のアルキル基中に含まれる-CH2-CH2-が、-CO-O-に置き換わった基)を有していてもよい。
Ra56としては、なかでも、ハロゲン原子、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基(該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)であることが好ましい。
mb4は、好ましくは、1又は2であり、より好ましくは1である。さらに好ましくは、mb4が1であり、かつ括弧内の基がパラ位に結合するものである。
mb5は、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1であり、さらに好ましくは0である。
構造単位(a2-B)としては、以下の式(a2-B1)で表される構造単位(以下、「構造単位(a2-B1)」という場合がある。)であることがより好ましい。
[式(a2-B1)中、
Ra57は、水素原子又はメチル基を表す。
Aa53は、単結合又は*-CO-O-を表し、*は-Ra57が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ra56、mb4及びmb5は、それぞれ式(a2-B)と同じ意味を表す。]
[式(a2-B1)中、
Ra57は、水素原子又はメチル基を表す。
Aa53は、単結合又は*-CO-O-を表し、*は-Ra57が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ra56、mb4及びmb5は、それぞれ式(a2-B)と同じ意味を表す。]
式(a2-B1)において、Ra57は、好ましくは水素原子である。
Aa53は、好ましくは単結合である。
Aa53は、好ましくは単結合である。
式(a2-B-1)~式(a2-B-8)で表される構造単位において、Ra57に相当する水素原子がメチル基に置き換わった構造単位も、式(a2-B-9)~式(a2-B-16)で表される構造単位において、Ra57に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も、構造単位(a2-B)の具体例として挙げることができる。なかでも、式(a2-B-1)~式(a2-B-8)で表される構造単位が好ましく、式(a2-B-1)~式(a2-B-4)で表される構造単位がより好ましく、式(a2-B-1)で表される構造単位がさらに好ましい。
樹脂(AX)が構造単位(a2-B)を含む場合、樹脂(AX)中の構造単位(a2-B)の含有率は、全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられ、好ましくは3モル%以上であり、より好ましくは5モル%以上であり、さらに好ましくは10モル%以上である。また、100モル%以下が挙げられ、好ましくは80モル%以下であり、より好ましくは75モル%以下であり、さらに好ましくは70モル%以下であり、より一層好ましくは65モル%以下である。具体的に、1~100モル%が挙げられ、好ましくは3~80モル%であり、より好ましくは5~75モル%であり、さらに好ましくは10~70モル%であり、より一層好ましくは10~65モル%である。
樹脂(AX)中、構造単位(a2-B)が含まれる場合、構造単位(a2-A)と構造単位(a2-B)を併用して用いることが好ましく、構造単位(a2-A1)と構造単位(a2-B)を併用して用いることがさらに好ましい。構造単位(a2-A)と構造単位(a2-B)を併用した場合、樹脂(AX)における、構造単位(a2-A)及び構造単位(a2-B)の含有比は、特に限定さないが、1:10~10:1が好ましく、5:5~3:7であることがより好ましい。
樹脂(AX)中、構造単位(a2-B)が含まれる場合、構造単位(a2-A)と構造単位(a2-B)を併用して用いることが好ましく、構造単位(a2-A1)と構造単位(a2-B)を併用して用いることがさらに好ましい。構造単位(a2-A)と構造単位(a2-B)を併用した場合、樹脂(AX)における、構造単位(a2-A)及び構造単位(a2-B)の含有比は、特に限定さないが、1:10~10:1が好ましく、5:5~3:7であることがより好ましい。
〈構造単位(a3)〉
構造単位(a3)はラクトン環を有し、酸不安定基を有さない構造単位である。構造単位(a3)が有するラクトン環は、β-プロピオラクトン環、γ-ブチロラクトン環、δ-バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ-ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ-ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環(例えば下式(a3-2)で表される構造単位)が挙げられる。
構造単位(a3)はラクトン環を有し、酸不安定基を有さない構造単位である。構造単位(a3)が有するラクトン環は、β-プロピオラクトン環、γ-ブチロラクトン環、δ-バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ-ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ-ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環(例えば下式(a3-2)で表される構造単位)が挙げられる。
構造単位(a3)は、好ましくは、式(a3-1)、式(a3-2)、式(a3-3)又は式(a3-4)で表される構造単位である。これらの1種を単独で含有してもよく、2種以上を含有していてもよい。
[式(a3-1)、式(a3-2)、式(a3-3)及び式(a3-4)中、
La4、La5及びLa6は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CH2)k3-CO-O-(k3は1~7のいずれかの整数を表す。)で表される基を表す。
La7は、-O-、*-O-La8-O-、*-O-La8-CO-O-、*-O-La8-CO-O-La9-CO-O-又は*-O-La8-O-CO-La9-O-を表す。
La8及びLa9は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
*はカルボニル基との結合部位を表す。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Xa3は、-CH2-又は酸素原子を表す。
Ra21は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
Ra22、Ra23及びRa25は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
p1は0~5のいずれかの整数を表す。
q1は、0~3のいずれかの整数を表す。
r1は、0~3のいずれかの整数を表す。
w1は、0~8のいずれかの整数を表す。
p1、q1、r1及び/又はw1が2以上のとき、複数のRa21、Ra22、Ra23及び/又はRa25は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
[式(a3-1)、式(a3-2)、式(a3-3)及び式(a3-4)中、
La4、La5及びLa6は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CH2)k3-CO-O-(k3は1~7のいずれかの整数を表す。)で表される基を表す。
La7は、-O-、*-O-La8-O-、*-O-La8-CO-O-、*-O-La8-CO-O-La9-CO-O-又は*-O-La8-O-CO-La9-O-を表す。
La8及びLa9は、それぞれ独立に、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
*はカルボニル基との結合部位を表す。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Xa3は、-CH2-又は酸素原子を表す。
Ra21は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
Ra22、Ra23及びRa25は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数1~4の脂肪族炭化水素基を表す。
p1は0~5のいずれかの整数を表す。
q1は、0~3のいずれかの整数を表す。
r1は、0~3のいずれかの整数を表す。
w1は、0~8のいずれかの整数を表す。
p1、q1、r1及び/又はw1が2以上のとき、複数のRa21、Ra22、Ra23及び/又はRa25は互いに同一であっても異なっていてもよい。]
Ra21、Ra22、Ra23及びRa25における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基及びtert-ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1~4のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1~4のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ra18、Ra19、Ra20及びRa24におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
La8及びLa9におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基及び2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
式(a3-1)~式(a3-3)において、La4~La6は、それぞれ独立に、好ましくは-O-又は、*-O-(CH2)k3-CO-O-において、k3が1~4のいずれかの整数である基、より好ましくは-O-及び、*-O-CH2-CO-O-、さらに好ましくは酸素原子である。
Ra18~Ra21は、好ましくはメチル基である。
Ra22及びRa23は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
p1、q1及びr1は、それぞれ独立に、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
Ra18~Ra21は、好ましくはメチル基である。
Ra22及びRa23は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
p1、q1及びr1は、それぞれ独立に、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
式(a3-4)において、Ra24は、好ましくは水素原子又は炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ra25は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
La7は、好ましくは-O-又は*-O-La8-CO-O-であり、より好ましくは-O-、-O-CH2-CO-O-又は-O-C2H4-CO-O-である。
w1は、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
特に、式(a3-4)は、式(a3-4)’が好ましい。
(式中、Ra24、La7は、上記と同じ意味を表す。)
Ra25は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
La7は、好ましくは-O-又は*-O-La8-CO-O-であり、より好ましくは-O-、-O-CH2-CO-O-又は-O-C2H4-CO-O-である。
w1は、好ましくは0~2のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
特に、式(a3-4)は、式(a3-4)’が好ましい。
(式中、Ra24、La7は、上記と同じ意味を表す。)
構造単位(a3)としては、特開2010-204646号公報に記載されたモノマー、特開2000-122294号公報に記載されたモノマー、特開2012-41274号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位(a3)としては、式(a3-1-1)、式(a3-1-2)、式(a3-2-1)、式(a3-2-2)、式(a3-3-1)、式(a3-3-2)及び式(a3-4-1)~式(a3-4-12)のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式(a3-1)~式(a3-4)におけるRa18、Ra19、Ra20及びRa24に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。
樹脂(AX)が構造単位(a3)を含む場合、その合計含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられ、好ましくは3モル%以上であり、より好ましくは5モル%以上であり、さらに好ましくは10モル%以上である。また、70モル%以下が挙げられ、好ましくは65モル%以下であり、より好ましくは60モル%以下であり、さらに好ましくは55モル以下である。具体的には、1~70モル%が挙げられ、好ましくは3~70モル%であり、より好ましくは3~65モル%であり、さらに好ましくは3~55モル%であり、より一層好ましくは5~60モル%であり、さらに一層好ましくは5~55モル%である。
また、構造単位(a3-1)、構造単位(a3-2)、構造単位(a3-3)又は構造単位(a3-4)の含有率は、それぞれ、樹脂(AX)の全構造単位に対して、好ましくは1モル%以上であり、より好ましくは3モル%以上であり、さらに好ましくは5モル%以上である。また、好ましくは60モル%以下であり、より好ましくは55モル%以下であり、さらに好ましくは50モル%以下である。具体的には、1~60モル%が好ましく、3~60モル%がより好ましく、3~55モル%がさらに好ましく、5~55モル%がより一層好ましく、10~50モル%がさらに一層好ましい。
樹脂(AX)が構造単位(a3)を含む場合、その合計含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1モル%以上が挙げられ、好ましくは3モル%以上であり、より好ましくは5モル%以上であり、さらに好ましくは10モル%以上である。また、70モル%以下が挙げられ、好ましくは65モル%以下であり、より好ましくは60モル%以下であり、さらに好ましくは55モル以下である。具体的には、1~70モル%が挙げられ、好ましくは3~70モル%であり、より好ましくは3~65モル%であり、さらに好ましくは3~55モル%であり、より一層好ましくは5~60モル%であり、さらに一層好ましくは5~55モル%である。
また、構造単位(a3-1)、構造単位(a3-2)、構造単位(a3-3)又は構造単位(a3-4)の含有率は、それぞれ、樹脂(AX)の全構造単位に対して、好ましくは1モル%以上であり、より好ましくは3モル%以上であり、さらに好ましくは5モル%以上である。また、好ましくは60モル%以下であり、より好ましくは55モル%以下であり、さらに好ましくは50モル%以下である。具体的には、1~60モル%が好ましく、3~60モル%がより好ましく、3~55モル%がさらに好ましく、5~55モル%がより一層好ましく、10~50モル%がさらに一層好ましい。
〈構造単位(a4)〉
構造単位(a4)としては、以下の構造単位が挙げられる。
[式(a4)中、
R41は、水素原子又はメチル基を表す。
R42は、炭素数1~24のハロゲン原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
R42で表される飽和炭化水素基は、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
構造単位(a4)としては、以下の構造単位が挙げられる。
[式(a4)中、
R41は、水素原子又はメチル基を表す。
R42は、炭素数1~24のハロゲン原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
R42で表される飽和炭化水素基は、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
構造単位(a4)としては、フッ素原子を有する構造単位を含むことが好ましく、式(a4-0)で表される構造単位、式(a4-1)で表される構造単位、及び式(a4-4)で表される構造単位が挙げられる。
[式(a4-0)中、
R54は、水素原子又はメチル基を表す。
L4aは、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基を表す。
L3aは、炭素数1~8のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数3~12のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
R64は、水素原子又はフッ素原子を表す。]
[式(a4-0)中、
R54は、水素原子又はメチル基を表す。
L4aは、単結合又は炭素数1~4のアルカンジイル基を表す。
L3aは、炭素数1~8のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数3~12のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
R64は、水素原子又はフッ素原子を表す。]
L4aにおけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基及び2-メチルプロパン-1,2-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
L3aにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロエチルフルオロメチレン基、ペルフルオロプロパン-1,3-ジイル基、ペルフルオロプロパン-1,2-ジイル基、ペルフルオロプロパン-2,2-ジイル基、ペルフルオロブタン-1,4-ジイル基、ペルフルオロブタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロブタン-1,2-ジイル基、ペルフルオロペンタン-1,5-ジイル基、ペルフルオロペンタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロペンタン-3,3-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-1,6-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-2,2-ジイル基、ペルフルオロヘキサン-3,3-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-1,7-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-3,4-ジイル基、ペルフルオロヘプタン-4,4-ジイル基、ペルフルオロオクタン-1,8-ジイル基、ペルフルオロオクタン-2,2-ジイル基、ペルフルオロオクタン-3,3-ジイル基、ペルフルオロオクタン-4,4-ジイル基等が挙げられる。
L3aにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
L3aにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
L4aは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
L3aは、好ましくは炭素数1~6のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルカンジイル基である。
L3aは、好ましくは炭素数1~6のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルカンジイル基である。
[式(a4-1)中、
Ra41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra42は、置換基を有していてもよい炭素数1~20の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Aa41は、置換基を有していてもよい炭素数1~6のアルカンジイル基又は式(a-g1)で表される基を表す。ただし、Aa41及びRa42のうち少なくとも1つは、置換基としてハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)を有する。
〔式(a-g1)中、
sは0又は1を表す。
Aa42及びAa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
Aa43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xa41及びXa42は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
ただし、Aa42、Aa43、Aa44、Xa41及びXa42の炭素数の合計は7以下である。〕
*は結合部位であり、右側の*が-O-CO-Ra42との結合部位である。]
Ra41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ra42は、置換基を有していてもよい炭素数1~20の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Aa41は、置換基を有していてもよい炭素数1~6のアルカンジイル基又は式(a-g1)で表される基を表す。ただし、Aa41及びRa42のうち少なくとも1つは、置換基としてハロゲン原子(好ましくはフッ素原子)を有する。
〔式(a-g1)中、
sは0又は1を表す。
Aa42及びAa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
Aa43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数1~5の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xa41及びXa42は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
ただし、Aa42、Aa43、Aa44、Xa41及びXa42の炭素数の合計は7以下である。〕
*は結合部位であり、右側の*が-O-CO-Ra42との結合部位である。]
Ra42における飽和炭化水素基としては、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基;デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式飽和炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基、-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式飽和炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
Ra42が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子及び式(a-g3)で表される基からなる群より選択される少なくとも1種が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。
[式(a-g3)中、
Xa43は、酸素原子、カルボニル基、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す。
Aa45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
*はRa42との結合部位を表す。]
ただし、Ra42-Xa43-Aa45において、Ra42がハロゲン原子を有しない場合は、Aa45は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
[式(a-g3)中、
Xa43は、酸素原子、カルボニル基、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す。
Aa45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
*はRa42との結合部位を表す。]
ただし、Ra42-Xa43-Aa45において、Ra42がハロゲン原子を有しない場合は、Aa45は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
Aa45における飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基;
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基;並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基、-脂環式炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基;並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
組み合わせにより形成される基としては、1以上のアルキル基又は1以上のアルカンジイル基と、1以上の脂環式炭化水素基とを組み合わせることにより形成される基が挙げられ、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基、-脂環式炭化水素基-アルキル基、-アルカンジイル基-脂環式炭化水素基-アルキル基等が挙げられる。
Ra42は、ハロゲン原子を有していてもよい飽和炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び/又は式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基がより好ましい。
Ra42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が1~6のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ra42が、式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式(a-g3)で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ra42の総炭素数は、15以下が好ましく、12以下がより好ましい。式(a-g3)で表される基を置換基として有する場合、その数は1個が好ましい。
Ra42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が1~6のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数1~3のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ra42が、式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式(a-g3)で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ra42の総炭素数は、15以下が好ましく、12以下がより好ましい。式(a-g3)で表される基を置換基として有する場合、その数は1個が好ましい。
Ra42が式(a-g3)で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、Ra42は、さらに好ましくは式(a-g2)で表される基である。
[式(a-g2)中、
Aa46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xa44は、**-O-CO-又は**-CO-O-を表す(**はAa46との結合部位を表す。)。
Aa47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
ただし、Aa46、Aa47及びXa44の炭素数の合計は18以下であり、Aa46及びAa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する。
*はカルボニル基との結合部位を表す。]
[式(a-g2)中、
Aa46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xa44は、**-O-CO-又は**-CO-O-を表す(**はAa46との結合部位を表す。)。
Aa47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
ただし、Aa46、Aa47及びXa44の炭素数の合計は18以下であり、Aa46及びAa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも1つのハロゲン原子を有する。
*はカルボニル基との結合部位を表す。]
Aa46の飽和炭化水素基の炭素数は1~6が好ましく、1~3がより好ましい。
Aa47の飽和炭化水素基の炭素数は4~15が好ましく、5~12がより好ましく、Aa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
Aa47の飽和炭化水素基の炭素数は4~15が好ましく、5~12がより好ましく、Aa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
Aa41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、1-メチルブタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Aa41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
Aa41は、好ましくは炭素数1~4のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数2~4のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
Aa41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
Aa41は、好ましくは炭素数1~4のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数2~4のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
式(a-g1)で表される基におけるAa42、Aa43及びAa44の表す2価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環又は多環の2価の脂環式飽和炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び2価の脂環式飽和炭化水素基を組合せることにより形成される2価の飽和炭化水素基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、1-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基等が挙げられる。
Aa42、Aa43及びAa44の表す2価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
sは、0であることが好ましい。
Aa42、Aa43及びAa44の表す2価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数1~6のアルコキシ基等が挙げられる。
sは、0であることが好ましい。
式(a-g1)で表される基において、Xa42が-O-、-CO-、-CO-O-又は-O-CO-である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、*及び**はそれぞれ結合部位を表し、**が-O-CO-Ra42との結合部位である。
式(a4-1)で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式(a4-1)で表される構造単位におけるRa41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
式(a4-1)で表される構造単位としては、式(a4-2)で表される構造単位及び式(a4-3)で表される構造単位が挙げられる。
[式(a4-2)中、
Rf5は、水素原子又はメチル基を表す。
L44は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Rf6は、炭素数1~20のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、L44及びRf6の合計炭素数の上限は21である。]
[式(a4-2)中、
Rf5は、水素原子又はメチル基を表す。
L44は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
Rf6は、炭素数1~20のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、L44及びRf6の合計炭素数の上限は21である。]
L44の炭素数1~6のアルカンジイル基は、Aa41で例示したものと同様の基が挙げられる。
Rf6の飽和炭化水素基は、R42で例示したものと同様の基が挙げられる。
L44におけるアルカンジイル基としては、炭素数2~4のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
Rf6の飽和炭化水素基は、R42で例示したものと同様の基が挙げられる。
L44におけるアルカンジイル基としては、炭素数2~4のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
式(a4-2)で表される構造単位としては、例えば、式(a4-1-1)~式(a4-1-11)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位(a4-2)におけるRf5に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式(a4-2)で表される構造単位として挙げられる。
[式(a4-3)中、
Rf7は、水素原子又はメチル基を表す。
L5は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
Af13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xf12は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はAf13との結合部位を表す。)。
Af14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
但し、Af13及びAf14の少なくとも1つは、フッ素原子を有し、L5、Af13及びAf14の合計炭素数の上限は20である。]
Rf7は、水素原子又はメチル基を表す。
L5は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
Af13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表す。
Xf12は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はAf13との結合部位を表す。)。
Af14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数1~17の飽和炭化水素基を表す。
但し、Af13及びAf14の少なくとも1つは、フッ素原子を有し、L5、Af13及びAf14の合計炭素数の上限は20である。]
L5におけるアルカンジイル基としては、Aa41の2価の飽和炭化水素基におけるアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。
Af13におけるフッ素原子を有していてもよい2価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基;ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Af14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ra42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。
Af13におけるフッ素原子を有していてもよい2価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい2価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基;ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
Af14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ra42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。
式(a4-3)において、L5は、エチレン基が好ましい。
Af13の2価の飽和炭化水素基は、炭素数1~6の2価の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の2価の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数2~3の2価の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
Af14の飽和炭化水素基は、炭素数3~12の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数3~10の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~10の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Af14は、好ましくは炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
Af13の2価の飽和炭化水素基は、炭素数1~6の2価の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の2価の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数2~3の2価の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
Af14の飽和炭化水素基は、炭素数3~12の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数3~10の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数3~10の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Af14は、好ましくは炭素数3~12の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
式(a4-3)で表される構造単位としては、例えば、式(a4-1’-1)~式(a4-1’-11)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位(a4-3)におけるRf7に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式(a4-3)で表される構造単位として挙げられる。
構造単位(a4)としては、式(a4-4)で表される構造単位も挙げられる。
[式(a4-4)中、
Rf21は、水素原子又はメチル基を表す。
Af21は、-(CH2)j1-、-(CH2)j2-O-(CH2)j3-又は-(CH2)j4-CO-O-(CH2)j5-を表す。
j1~j5は、それぞれ独立に、1~6のいずれかの整数を表す。
Rf22は、フッ素原子を有する炭素数1~10の飽和炭化水素基を表す。]
[式(a4-4)中、
Rf21は、水素原子又はメチル基を表す。
Af21は、-(CH2)j1-、-(CH2)j2-O-(CH2)j3-又は-(CH2)j4-CO-O-(CH2)j5-を表す。
j1~j5は、それぞれ独立に、1~6のいずれかの整数を表す。
Rf22は、フッ素原子を有する炭素数1~10の飽和炭化水素基を表す。]
Rf22の飽和炭化水素基は、Ra42で表される飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。Rf22は、フッ素原子を有する炭素数1~10のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数1~10の脂環式飽和炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数1~10のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数1~6のアルキル基がさらに好ましい。
式(a4-4)においては、Af21としては、-(CH2)j1-が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。
式(a4-4)で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位(a4-4)におけるRf21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
樹脂(AX)が、構造単位(a4)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~20モル%が好ましく、2~15モル%がより好ましく、3~10モル%がさらに好ましい。
樹脂(AX)が、構造単位(a4)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~20モル%が好ましく、2~15モル%がより好ましく、3~10モル%がさらに好ましい。
〈構造単位(a5)〉
構造単位(a5)が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位(a5)は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位(a5)としては、例えば、式(a5-1)で表される構造単位が挙げられる。
[式(a5-1)中、
R51は、水素原子又はメチル基を表す。
R52は、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数1~8の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
L55は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
構造単位(a5)が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位(a5)は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位(a5)としては、例えば、式(a5-1)で表される構造単位が挙げられる。
[式(a5-1)中、
R51は、水素原子又はメチル基を表す。
R52は、炭素数3~18の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数1~8の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
L55は、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
R52における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数1~8の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、3-メチルアダマンチル基などが挙げられる。
R52は、好ましくは、無置換の炭素数3~18の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
炭素数1~8の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び2-エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、3-メチルアダマンチル基などが挙げられる。
R52は、好ましくは、無置換の炭素数3~18の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
L55における2価の飽和炭化水素基としては、2価の鎖式飽和炭化水素基及び2価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは2価の鎖式飽和炭化水素基である。
2価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
2価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
2価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
L55の表す2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-又は-CO-で置き換わった基としては、例えば、式(L1-1)~式(L1-4)で表される基が挙げられる。下記式中、*及び**は各々結合部位を表し、*は酸素原子との結合部位を表す。
[式(L1-1)中、
Xx1は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はLx1との結合部位を表す。)。
Lx1は、炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx2は、単結合又は炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx1及びLx2の合計炭素数は、16以下である。
式(L1-2)中、
Lx3は、炭素数1~17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx4は、単結合又は炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx3及びLx4の合計炭素数は、17以下である。
式(L1-3)中、
Lx5は、炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx6及びLx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~14の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx5、Lx6及びLx7の合計炭素数は、15以下である。
式(L1-4)中、
Lx8及びLx9は、単結合又は炭素数1~12の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Wx1は、炭素数3~15の2価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx8、Lx9及びWx1の合計炭素数は、15以下である。]
[式(L1-1)中、
Xx1は、*-O-CO-又は*-CO-O-を表す(*はLx1との結合部位を表す。)。
Lx1は、炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx2は、単結合又は炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx1及びLx2の合計炭素数は、16以下である。
式(L1-2)中、
Lx3は、炭素数1~17の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx4は、単結合又は炭素数1~16の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx3及びLx4の合計炭素数は、17以下である。
式(L1-3)中、
Lx5は、炭素数1~15の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Lx6及びLx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~14の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx5、Lx6及びLx7の合計炭素数は、15以下である。
式(L1-4)中、
Lx8及びLx9は、単結合又は炭素数1~12の2価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Wx1は、炭素数3~15の2価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Lx8、Lx9及びWx1の合計炭素数は、15以下である。]
Lx1は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Lx2は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Lx3は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx4は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx5は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Lx6は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Lx7は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx8は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Lx9は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Wx1は、好ましくは、炭素数3~10の2価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
Lx2は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Lx3は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx4は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx5は、好ましくは、炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Lx6は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Lx7は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Lx8は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Lx9は、好ましくは、単結合又は炭素数1~8の2価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Wx1は、好ましくは、炭素数3~10の2価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
式(L1-1)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
式(L1-2)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
式(L1-3)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
式(L1-4)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
L55は、好ましくは、単結合又は式(L1-1)で表される基である。
式(L1-2)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
式(L1-3)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
式(L1-4)で表される基としては、例えば、以下に示す2価の基が挙げられる。
L55は、好ましくは、単結合又は式(L1-1)で表される基である。
構造単位(a5-1)としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位(a5-1)におけるR51に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
樹脂(AX)が、構造単位(a5)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~30モル%が好ましく、2~20モル%がより好ましく、3~15モル%がさらに好ましい。
樹脂(AX)が、構造単位(a5)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~30モル%が好ましく、2~20モル%がより好ましく、3~15モル%がさらに好ましい。
〈構造単位(a6)〉
構造単位(a6)は、-SO2-基を有する構造単位であり、-SO2-基を側鎖に有することが好ましい。
-SO2-基を有する構造単位は、-SO2-基を有する直鎖状構造を有していてもよいし、-SO2-基を有する分岐状構造を有していてもよいし、-SO2-基を有する環状構造(単環及び多環構造)を有していてもよい。好ましくは、-SO2-基を有する環状構造を有する構造単位であり、より好ましくは、-SO2-O-を含む環状構造(スルトン環)を有する構造単位である。
構造単位(a6)は、-SO2-基を有する構造単位であり、-SO2-基を側鎖に有することが好ましい。
-SO2-基を有する構造単位は、-SO2-基を有する直鎖状構造を有していてもよいし、-SO2-基を有する分岐状構造を有していてもよいし、-SO2-基を有する環状構造(単環及び多環構造)を有していてもよい。好ましくは、-SO2-基を有する環状構造を有する構造単位であり、より好ましくは、-SO2-O-を含む環状構造(スルトン環)を有する構造単位である。
スルトン環としては、下記式(T1-1)、式(T1-2)、式(T1-3)及び式(T1-4)で表される環が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。スルトン環は、単環式であってもよいが、多環式であることが好ましい。多環式のスルトン環とは、環を構成する原子団として-SO2-O-を含む橋かけ環を意味し、式(T1-1)及び式(T1-2)で表される環が挙げられる。スルトン環は、式(T1-2)で表される環のように、環を構成する原子団として、-SO2-O-以外に、さらにヘテロ原子を含んでいてもよい。ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子又は窒素原子が挙げられ、好ましくは酸素原子である。
スルトン環は置換基を有してもよく、置換基としては、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1~12のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数6~12のアリール基、炭素数7~12のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数2~12のアルコキシカルボニル基及び炭素数2~4のアルキルカルボニル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及びデシル基が挙げられ、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。
ハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基が挙げられ、好ましくはトリフルオロメチル基が挙げられる。
ヒドロキシ基を有するアルキル基としては、ヒドロキシメチル基及び2-ヒドロキシエチル基のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基が挙げられる。
アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クミル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、2,6-ジエチルフェニル基及び2-メチル-6-エチルフェニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシ基とカルボニル基とが結合した基が挙げられ、好ましくは炭素数6以下のアルコキシカルボニル基が挙げられ、より好ましくはメトキシカルボニル基が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
構造単位(a6)を導くモノマーの製造が容易であるという観点から、置換基を有さないスルトン環が好ましい。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及びデシル基が挙げられ、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。
ハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基が挙げられ、好ましくはトリフルオロメチル基が挙げられる。
ヒドロキシ基を有するアルキル基としては、ヒドロキシメチル基及び2-ヒドロキシエチル基のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基が挙げられる。
アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クミル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、2,6-ジエチルフェニル基及び2-メチル-6-エチルフェニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシ基とカルボニル基とが結合した基が挙げられ、好ましくは炭素数6以下のアルコキシカルボニル基が挙げられ、より好ましくはメトキシカルボニル基が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
構造単位(a6)を導くモノマーの製造が容易であるという観点から、置換基を有さないスルトン環が好ましい。
スルトン環としては、以下の式(T1’)で表される環が好ましい。
[式(T1’)中、
X11は、酸素原子、硫黄原子又はメチレン基を表す。
R41は、ハロゲン原子もしくはヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1~12のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数6~12のアリール基、炭素数7~12のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数2~12のアルコキシカルボニル基又は炭素数2~4のアルキルカルボニル基を表す。
maは、0~9のいずれかの整数を表す。maが2以上のとき、複数のR41は同一であっても異なってもよい。
結合部位は任意の位置である。]
X11は、好ましくは酸素原子又はメチレン基であり、より好ましくはメチレン基である。
R41としては、上述したスルトン環の置換基と同様のものが挙げられ、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1~12のアルキル基が好ましい。
maは、好ましくは0又は1であり、より好ましくは0である。
[式(T1’)中、
X11は、酸素原子、硫黄原子又はメチレン基を表す。
R41は、ハロゲン原子もしくはヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1~12のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数6~12のアリール基、炭素数7~12のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数2~12のアルコキシカルボニル基又は炭素数2~4のアルキルカルボニル基を表す。
maは、0~9のいずれかの整数を表す。maが2以上のとき、複数のR41は同一であっても異なってもよい。
結合部位は任意の位置である。]
X11は、好ましくは酸素原子又はメチレン基であり、より好ましくはメチレン基である。
R41としては、上述したスルトン環の置換基と同様のものが挙げられ、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数1~12のアルキル基が好ましい。
maは、好ましくは0又は1であり、より好ましくは0である。
式(T1’)で表される環としては、以下の環が挙げられる。結合部位は任意の位置である。なかでも、結合部位は1位又は3位であるものが好ましい。
-SO2-基を有する構造単位は、さらに、重合性基に由来する基を有することが好ましい。重合性基としては、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイルアミノ基、メタクリロイルアミノ基、アクリロイルチオ基、メタクリロイルチオ基等が挙げられる。
中でも、構造単位(a6)を導くモノマーは、好ましくはエチレン性不飽和結合を有するモノマーであり、より好ましくは(メタ)アクリル系モノマーである。
-SO2-基を有する構造単位は、さらに、重合性基に由来する基を有することが好ましい。重合性基としては、ビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、アクリロイルアミノ基、メタクリロイルアミノ基、アクリロイルチオ基、メタクリロイルチオ基等が挙げられる。
中でも、構造単位(a6)を導くモノマーは、好ましくはエチレン性不飽和結合を有するモノマーであり、より好ましくは(メタ)アクリル系モノマーである。
構造単位(a6)は、好ましくは、式(a6-0)で表される構造単位である。
[式(a6-0)中、
Rxは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Axxは、酸素原子、-N(Rc)-又は硫黄原子を表す。
Axは、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-又は-N(Rd)-に置き換わっていてもよい。
X11、R41及びmaは、上記と同じ意味を表す。
Rc及びRdは、互いに独立に、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。]
Rxのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Rxのアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基及びn-ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Rxのハロゲン原子を有するアルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などが挙げられる。
Rxは、好ましくは水素原子又は炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Axの2価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組合せたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基、ヘプタデカン-1,17-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基及びプロパン-2,2-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の2価の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Axのスルトン環への結合位置は、任意の位置とすることができるが、1位であるものが好ましい。
[式(a6-0)中、
Rxは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Axxは、酸素原子、-N(Rc)-又は硫黄原子を表す。
Axは、単結合又は炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-又は-N(Rd)-に置き換わっていてもよい。
X11、R41及びmaは、上記と同じ意味を表す。
Rc及びRdは、互いに独立に、水素原子又は炭素数1~6のアルキル基を表す。]
Rxのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Rxのアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基及びn-ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Rxのハロゲン原子を有するアルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などが挙げられる。
Rxは、好ましくは水素原子又は炭素数1~4のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Axの2価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち2種以上を組合せたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基、トリデカン-1,13-ジイル基、テトラデカン-1,14-ジイル基、ペンタデカン-1,15-ジイル基、ヘキサデカン-1,16-ジイル基、ヘプタデカン-1,17-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基及びプロパン-2,2-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;
ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;
シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の2価の脂環式飽和炭化水素基;
ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の多環式の2価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Axのスルトン環への結合位置は、任意の位置とすることができるが、1位であるものが好ましい。
構造単位(a6-0)としては、以下の構造単位が挙げられる。なかでも、式(a6-1)、式(a6-2)、式(a6-6)、式(a6-7)、式(a6-8)及び式(a6-12)で表される構造単位が好ましく、式(a6-1)、式(a6-2)、式(a6-7)及び(a6-8)で表される構造単位がより好ましい。
樹脂(AX)が、構造単位(a6)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~50モル%が好ましく、2~40モル%がより好ましく、3~30モル%がさらに好ましい。
樹脂(AX)が、構造単位(a6)を含む場合、その含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、1~50モル%が好ましく、2~40モル%がより好ましく、3~30モル%がさらに好ましい。
<構造単位(II)>
樹脂(AX)は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位(以下、「構造単位(II)」という場合がある)を含有していてもよい。構造単位(II)としては、具体的には特開2016-79235号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。
樹脂(AX)は、さらに、露光により分解して酸を発生する構造単位(以下、「構造単位(II)」という場合がある)を含有していてもよい。構造単位(II)としては、具体的には特開2016-79235号公報に記載の構造単位が挙げられ、側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位又は側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位であることが好ましい。
側鎖にスルホナート基若しくはカルボキシレート基と有機カチオンとを有する構造単位は、式(II-2-A’)で表される構造単位であることが好ましい。
[式(II-2-A’)中、
XIII3は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
Ax1は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
RA-は、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
RIII3は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
ZA+は、有機カチオンを表す。]
[式(II-2-A’)中、
XIII3は、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基又はヒドロキシ基で置き換わっていてもよい。
Ax1は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる水素原子は、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基で置換されていてもよい。
RA-は、スルホナート基又はカルボキシレート基を表す。
RIII3は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
ZA+は、有機カチオンを表す。]
RIII3で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
RIII3で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ax1で表される炭素数1~8のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
Ax1に置換されていてもよい炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
XIII3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の2価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基等の2価の単環式脂環式飽和炭化水素基;ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の2価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
RIII3で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。
Ax1で表される炭素数1~8のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-2,2-ジイル基、ペンタン-2,4-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
Ax1に置換されていてもよい炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロsec-ブチル基、ペルフルオロtert-ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
XIII3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の2価の脂環飽和炭化水素基が挙げられ、これらの組み合わせてあってもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ヘプタン-1,7-ジイル基、オクタン-1,8-ジイル基、ノナン-1,9-ジイル基、デカン-1,10-ジイル基、ウンデカン-1,11-ジイル基、ドデカン-1,12-ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基;ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基、2-メチルブタン-1,4-ジイル基等の分岐状アルカンジイル基;シクロブタン-1,3-ジイル基、シクロペンタン-1,3-ジイル基、シクロヘキサン-1,4-ジイル基、シクロオクタン-1,5-ジイル基等のシクロアルカンジイル基等の2価の単環式脂環式飽和炭化水素基;ノルボルナン-1,4-ジイル基、ノルボルナン-2,5-ジイル基、アダマンタン-1,5-ジイル基、アダマンタン-2,6-ジイル基等の2価の多環式脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-又は-CO-で置き換わったものとしては、例えば式(X1)~式(X53)で表される2価の基が挙げられる。ただし、飽和炭化水素基に含まれる-CH2-が、-O-、-S-又は-CO-で置き換わる前の炭素数はそれぞれ17以下である。下記式において、*及び**は結合部位を表し、*はAx1との結合部位を表す。
X3は、炭素数1~16の2価の飽和炭化水素基を表す。
X4は、炭素数1~15の2価の飽和炭化水素基を表す。
X5は、炭素数1~13の2価の飽和炭化水素基を表す。
X6は、炭素数1~14の2価の飽和炭化水素基を表す。
X7は、炭素数1~14の3価の飽和炭化水素基を表す。
X8は、炭素数1~13の2価の飽和炭化水素基を表す。
X4は、炭素数1~15の2価の飽和炭化水素基を表す。
X5は、炭素数1~13の2価の飽和炭化水素基を表す。
X6は、炭素数1~14の2価の飽和炭化水素基を表す。
X7は、炭素数1~14の3価の飽和炭化水素基を表す。
X8は、炭素数1~13の2価の飽和炭化水素基を表す。
ZA+で表される有機カチオンは、式(B1)で表される塩におけるカチオンZ+と同様のものが挙げられる。
式(II-2-A’)で表される構造単位は、式(II-2-A)で表される構造単位であることが好ましい。
[式(II-2-A)中、
RIII3、XIII3及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
zは、0~6のいずれかの整数を表す。
RIII2及びRIII4は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表し、zが2以上のとき、複数のRIII2及びRIII4は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
Qa及びQbは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。]
RIII2、RIII4、Qa及びQbで表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、前述のQb1で表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。
[式(II-2-A)中、
RIII3、XIII3及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
zは、0~6のいずれかの整数を表す。
RIII2及びRIII4は、それぞれ独立して、水素原子、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表し、zが2以上のとき、複数のRIII2及びRIII4は互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。
Qa及びQbは、それぞれ独立して、フッ素原子又は炭素数1~6のペルフルオロアルキル基を表す。]
RIII2、RIII4、Qa及びQbで表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基としては、前述のQb1で表される炭素数1~6のペルフルオロアルキル基と同じものが挙げられる。
式(II-2-A)で表される構造単位は、式(II-2-A-1)で表される構造単位であることが好ましい。
[式(II-2-A-1)中、
RIII2、RIII3、RIII4、z、Qa、Qb及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
RIII5は、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
XI2は、炭素数1~11の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。]
RIII5で表される炭素数1~12の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
XI2で表される2価の飽和炭化水素基としては、XIII3で表される2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
[式(II-2-A-1)中、
RIII2、RIII3、RIII4、z、Qa、Qb及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
RIII5は、炭素数1~12の飽和炭化水素基を表す。
XI2は、炭素数1~11の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。]
RIII5で表される炭素数1~12の飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等の直鎖又は分岐のアルキル基が挙げられる。
XI2で表される2価の飽和炭化水素基としては、XIII3で表される2価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
式(II-2-A-1)で表される構造単位としては、式(II-2-A-2)で表される構造単位がさらに好ましい。
[式(II-2-A-2)中、
RIII3、RIII5及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
m及びnは、それぞれ独立に、1又は2を表す。]
[式(II-2-A-2)中、
RIII3、RIII5及びZA+は、上記と同じ意味を表す。
m及びnは、それぞれ独立に、1又は2を表す。]
式(II-2-A’)で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位、RIII3のメチル基に相当する基が、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子)又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基(例えば、トリフルオロメチル基等)等に置き換わった構造単位及び国際公開第2012/050015号記載の構造単位が挙げられる。ZA+は、有機カチオンを表す。
側鎖にスルホニオ基と有機アニオンとを有する構造単位は、式(II-1-1)で表される構造単位であることが好ましい。
[式(II-1-1)中、
AII1は、単結合又は2価の連結基を表す。
RII1は、炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基を表す。
RII2及びRII3は、それぞれ独立して、炭素数1~18の炭化水素基を表し、RII2及びRII3は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
RII4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
A-は、有機アニオンを表す。]
RII1で表される炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
RII2及びRII3で表される炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等は、上記と同様のものが挙げられる。
RII4で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
RII4で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。
AII1で表される2価の連結基としては、例えば、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基が挙げられ、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-で置き換わっていてもよい。具体的には、XIII3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。
[式(II-1-1)中、
AII1は、単結合又は2価の連結基を表す。
RII1は、炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基を表す。
RII2及びRII3は、それぞれ独立して、炭素数1~18の炭化水素基を表し、RII2及びRII3は互いに結合してそれらが結合する硫黄原子とともに環を形成していてもよい。
RII4は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
A-は、有機アニオンを表す。]
RII1で表される炭素数6~18の2価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基及びナフチレン基等が挙げられる。
RII2及びRII3で表される炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等は、上記と同様のものが挙げられる。
RII4で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
RII4で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、Ra8で表されるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基と同じものが挙げられる。
AII1で表される2価の連結基としては、例えば、炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基が挙げられ、該2価の飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-又は-CO-で置き換わっていてもよい。具体的には、XIII3で表される炭素数1~18の2価の飽和炭化水素基と同じものが挙げられる。
式(II-1-1)中のカチオンを含む構造単位としては、以下で表される構造単位及びRII4のメチル基に相当する基が、水素原子、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子)又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基(例えば、トリフルオロメチル基等)等に置き換わった構造単位などが挙げられる。
A-で表される有機アニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン及びカルボン酸アニオン等が挙げられる。A-で表される有機アニオンは、スルホン酸アニオンが好ましく、スルホン酸アニオンとしては、前述の式(I)で表される塩に含まれるアニオンAI-と同様のものが挙げられる。スルホニルイミドアニオン及びスルホニルメチドアニオンとしては、前述の式(I)で表される塩に含まれるアニオンAI-と同様のものが挙げられる。カルボン酸アニオンとしては、前述の酸発生剤(B)で例示したアニオンと同様のものが挙げられる。
式(II-1-1)で表される構造単位としては、以下で表される構造単位などが挙げられる。
樹脂(AX)中に、構造単位(II)を含有する場合の構造単位(II)の含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、好ましくは1~20モル%であり、より好ましくは2~15モル%であり、さらに好ましくは3~10モル%である。
樹脂(AX)中に、構造単位(II)を含有する場合の構造単位(II)の含有率は、樹脂(AX)の全構造単位に対して、好ましくは1~20モル%であり、より好ましくは2~15モル%であり、さらに好ましくは3~10モル%である。
樹脂(AX)は、好ましくは、構造単位(a2)を含む樹脂、又は、構造単位(a2)と構造単位(a3)とを含む樹脂である。構造単位(a2)は、好ましくは構造単位(a2-A)、構造単位(a2-1)又は構造単位(a2-B)である。構造単位(a3)は、好ましくは式(a3-1)で表される構造単位、式(a3-2)で表される構造単位及び式(a3-4)で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。さらに、樹脂(AX)は、好ましくは、構造単位(a2-A)又は構造単位(a2-B)を含む樹脂であり、より好ましくは、構造単位(a2-A1)、構造単位(a2-A2)及び構造単位(a2-B1)のいずれかを含む樹脂であり、さらに好ましくは、構造単位(a2-A1)と構造単位(a2-A2)を併用する樹脂、構造単位(a2-A1)と構造単位(a2-B1)を併用する樹脂である。
樹脂(AX)として、構造単位(a2)に加えて、ラクトン環を有する構造単位(a3)等を有する樹脂を本発明のレジスト組成物に使用することにより、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
樹脂(AX)として、構造単位(a2)に加えて、ラクトン環を有する構造単位(a3)等を有する樹脂を本発明のレジスト組成物に使用することにより、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
樹脂(AX)を構成する各構造単位は、1種のみ又は2種以上を組み合わせて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法(例えばラジカル重合法)によって製造することができる。樹脂(AX)が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂(AX)の重量平均分子量は、好ましくは、2,000以上(より好ましくは2,500以上、さらに好ましくは3,000以上)、50,000以下(より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは15,000以下)であるが、重量平均分子量が2,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。
本発明のレジスト組成物において、樹脂(AX)の合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、1質量%以上80質量%以下であることが好ましく、5質量%以上60質量%以下であることがより好ましく、5質量%以上50質量%以下であることがさらに好ましい。
本発明のレジスト組成物においては、樹脂(AX)の合計の含有率は、塩(I)100質量部に対して、1質量部以上300質量部以下であることが好ましく、1質量部以上150質量部以下であることがより好ましく、1質量部以上100質量部以下であることがさらに好ましい。
樹脂(AX)の重量平均分子量は、好ましくは、2,000以上(より好ましくは2,500以上、さらに好ましくは3,000以上)、50,000以下(より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは15,000以下)であるが、重量平均分子量が2,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。
本発明のレジスト組成物において、樹脂(AX)の合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、1質量%以上80質量%以下であることが好ましく、5質量%以上60質量%以下であることがより好ましく、5質量%以上50質量%以下であることがさらに好ましい。
本発明のレジスト組成物においては、樹脂(AX)の合計の含有率は、塩(I)100質量部に対して、1質量部以上300質量部以下であることが好ましく、1質量部以上150質量部以下であることがより好ましく、1質量部以上100質量部以下であることがさらに好ましい。
<樹脂(AX)以外の樹脂>
本発明のレジスト組成物は、樹脂(AX)以外の樹脂をさらに含んでいてもよい。
樹脂(AX)以外の樹脂としては、例えば、構造単位(a1)を含有する樹脂(以下、樹脂(A)という場合がある)、構造単位(a4)及び/又は構造単位(a5)を含有する樹脂(以下、樹脂(X)という場合がある)等が挙げられる。
樹脂(A)は、構造単位(a1)以外に、構造単位(a3)、構造単位(a4)、構造単位(a5)、構造単位(a6)、構造単位(II)等を含んでいてもよい。
本発明のレジスト組成物は、樹脂(AX)以外の樹脂をさらに含んでいてもよい。
樹脂(AX)以外の樹脂としては、例えば、構造単位(a1)を含有する樹脂(以下、樹脂(A)という場合がある)、構造単位(a4)及び/又は構造単位(a5)を含有する樹脂(以下、樹脂(X)という場合がある)等が挙げられる。
樹脂(A)は、構造単位(a1)以外に、構造単位(a3)、構造単位(a4)、構造単位(a5)、構造単位(a6)、構造単位(II)等を含んでいてもよい。
〈構造単位(a1)〉
構造単位(a1)は、酸不安定基を有するモノマー(以下「モノマー(a1)」という場合がある)から導かれる。
樹脂(A)に含まれる酸不安定基は、式(I)におけるR10の酸不安定基と同様、式(1)で表される基又は式(2)で表される基が挙げられる。式(1)で表される基(以下、基(1)とも記す)及び/又は式(2)で表される基(以下、基(2)とも記す)が好ましい。
[式(1)中、Ra1、Ra2及びRa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ra1及びRa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の非芳香族炭化水素環を形成する。
ma及びnaは、それぞれ独立して、0又は1を表し、ma及びnaの少なくとも一方は1を表す。
*は結合部位を表す。]
[式(2)中、Ra1’及びRa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra2’及びRa3’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに炭素数3~20の複素環を形成し、該炭化水素基及び該複素環に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
na’は、0又は1を表す。
*は結合部位を表す。]
構造単位(a1)は、酸不安定基を有するモノマー(以下「モノマー(a1)」という場合がある)から導かれる。
樹脂(A)に含まれる酸不安定基は、式(I)におけるR10の酸不安定基と同様、式(1)で表される基又は式(2)で表される基が挙げられる。式(1)で表される基(以下、基(1)とも記す)及び/又は式(2)で表される基(以下、基(2)とも記す)が好ましい。
[式(1)中、Ra1、Ra2及びRa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、Ra1及びRa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の非芳香族炭化水素環を形成する。
ma及びnaは、それぞれ独立して、0又は1を表し、ma及びnaの少なくとも一方は1を表す。
*は結合部位を表す。]
[式(2)中、Ra1’及びRa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra2’及びRa3’は互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに炭素数3~20の複素環を形成し、該炭化水素基及び該複素環に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
na’は、0又は1を表す。
*は結合部位を表す。]
Ra1、Ra2及びRa3におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
Ra1、Ra2及びRa3におけるアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ra1、Ra2及びRa3における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。Ra1、Ra2及びRa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~16である。
Ra1、Ra2及びRa3における芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。
好ましくは、maは0であり、naは1である。
Ra1及びRa2が互いに結合して非芳香族炭化水素環を形成する場合の-C(Ra1)(Ra2)(Ra3)としては、下記の環が挙げられる。非芳香族炭化水素環は、好ましくは炭素数3~12である。*は-O-との結合部位を表す。
Ra1、Ra2及びRa3におけるアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、tert-ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ra1、Ra2及びRa3における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。Ra1、Ra2及びRa3の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは3~16である。
Ra1、Ra2及びRa3における芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。
好ましくは、maは0であり、naは1である。
Ra1及びRa2が互いに結合して非芳香族炭化水素環を形成する場合の-C(Ra1)(Ra2)(Ra3)としては、下記の環が挙げられる。非芳香族炭化水素環は、好ましくは炭素数3~12である。*は-O-との結合部位を表す。
Ra1’、Ra2’及びRa3’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Ra1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様のものが挙げられる。
Ra2’及びRa3’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに複素環を形成する場合、-C(Ra1’)(Ra2’)-X-Ra3’としては、下記の環が挙げられる。*は、結合部位を表す。
Ra1’及びRa2’のうち、少なくとも1つは水素原子であることが好ましい。
na’は、好ましくは0である。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及び組み合わせた基は、Ra1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様のものが挙げられる。
Ra2’及びRa3’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びXとともに複素環を形成する場合、-C(Ra1’)(Ra2’)-X-Ra3’としては、下記の環が挙げられる。*は、結合部位を表す。
Ra1’及びRa2’のうち、少なくとも1つは水素原子であることが好ましい。
na’は、好ましくは0である。
基(1)としては、以下の基が挙げられる。
式(1)においてRa1、Ra2及びRa3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。当該基としては、tert-ブトキシカルボニル基が好ましい。
式(1)において、Ra1、Ra2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ra3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。
式(1)において、Ra1及びRa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ra3がアダマンチル基であり、ma=0であり、na=1である基。
基(1)としては、具体的には以下の基が挙げられる。*は結合部位を表す。
式(1)においてRa1、Ra2及びRa3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。当該基としては、tert-ブトキシカルボニル基が好ましい。
式(1)において、Ra1、Ra2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ra3がアルキル基であり、ma=0であり、na=1である基。
式(1)において、Ra1及びRa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ra3がアダマンチル基であり、ma=0であり、na=1である基。
基(1)としては、具体的には以下の基が挙げられる。*は結合部位を表す。
モノマー(a1)は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する(メタ)アクリル系モノマーである。
酸不安定基を有する(メタ)アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数5~20の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー(a1)に由来する構造単位を有する樹脂(A)をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。
酸不安定基を有する(メタ)アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数5~20の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー(a1)に由来する構造単位を有する樹脂(A)をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。
基(1)を有する(メタ)アクリル系モノマーに由来する構造単位として、式(a1-0)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-0)という場合がある。)、式(a1-1)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-1)という場合がある。)又は式(a1-2)で表される構造単位(以下、構造単位(a1-2)という場合がある。)が挙げられる。好ましくは、構造単位(a1-0)、構造単位(a1-1)及び構造単位(a1-2)からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造単位であり、より好ましくは、構造単位(a1-1)及び構造単位(a1-2)からなる群から選ばれる少なくとも1種の構造単位である。これらは単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
[式(a1-0)、式(a1-1)及び式(a1-2)中、
La01、La1及びLa2は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CH2)k1-CO-O-を表し、k1は1~7のいずれかの整数を表し、*は-CO-との結合部位を表す。
Ra01、Ra4及びRa5は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra02、Ra03及びRa04は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ra6及びRa7は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
m1’は0~14のいずれかの整数を表す。
n1は0~10のいずれかの整数を表す。
n1’は0~3のいずれかの整数を表す。]
[式(a1-0)、式(a1-1)及び式(a1-2)中、
La01、La1及びLa2は、それぞれ独立に、-O-又は*-O-(CH2)k1-CO-O-を表し、k1は1~7のいずれかの整数を表し、*は-CO-との結合部位を表す。
Ra01、Ra4及びRa5は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra02、Ra03及びRa04は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ra6及びRa7は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
m1’は0~14のいずれかの整数を表す。
n1は0~10のいずれかの整数を表す。
n1’は0~3のいずれかの整数を表す。]
Ra01、Ra4及びRa5は、好ましくは水素原子又はメチル基であり、より好ましくはメチル基である。
La01、La1及びLa2は、好ましくは酸素原子又は*-O-(CH2)k01-CO-O-であり(但し、k01は、好ましくは1~4のいずれかの整数、より好ましくは1である。)、より好ましくは酸素原子である。
Ra02、Ra03及びRa04におけるアルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、基(1)のRa1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ra6及びRa7におけるアルキル基、アルケニル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式(1)のRa1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ra02、Ra03、及びRa04におけるアルキル基は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ra6及びRa7におけるアルキル基は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基又はt-ブチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基又はt-ブチル基である。
Ra6及びRa7におけるアルケニル基は、好ましくは炭素数2~6のアルケニル基であり、より好ましくはエテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基又はブテニル基である。
Ra02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは5~12であり、より好ましくは5~10である。
Ra02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7の芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、18以下であることが好ましい。
アルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、18以下であることが好ましい。
Ra02及びRa03は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基又は炭素数6~12の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基又はナフチル基である。
Ra04は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基又は炭素数5~12の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ra6及びRa7は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数1~6のアルキル基、炭素数2~6のアルケニル基又は炭素数6~12の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基、t-ブチル基、エテニル基、フェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基、t-ブチル基、エテニル基又はフェニル基である。
m1’は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1’は、好ましくは0又は1である。
La01、La1及びLa2は、好ましくは酸素原子又は*-O-(CH2)k01-CO-O-であり(但し、k01は、好ましくは1~4のいずれかの整数、より好ましくは1である。)、より好ましくは酸素原子である。
Ra02、Ra03及びRa04におけるアルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、基(1)のRa1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ra6及びRa7におけるアルキル基、アルケニル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式(1)のRa1、Ra2及びRa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ra02、Ra03、及びRa04におけるアルキル基は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ra6及びRa7におけるアルキル基は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基又はt-ブチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基又はt-ブチル基である。
Ra6及びRa7におけるアルケニル基は、好ましくは炭素数2~6のアルケニル基であり、より好ましくはエテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基又はブテニル基である。
Ra02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは5~12であり、より好ましくは5~10である。
Ra02、Ra03、Ra04、Ra6及びRa7の芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは6~12であり、より好ましくは6~10である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、18以下であることが好ましい。
アルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、18以下であることが好ましい。
Ra02及びRa03は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基又は炭素数6~12の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基又はナフチル基である。
Ra04は、好ましくは炭素数1~6のアルキル基又は炭素数5~12の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ra6及びRa7は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数1~6のアルキル基、炭素数2~6のアルケニル基又は炭素数6~12の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基、t-ブチル基、エテニル基、フェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基、t-ブチル基、エテニル基又はフェニル基である。
m1’は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1は、好ましくは0~3のいずれかの整数であり、より好ましくは0又は1である。
n1’は、好ましくは0又は1である。
構造単位(a1-0)としては、例えば、式(a1-0-1)~式(a1-0-18)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-0)におけるRa01に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式(a1-0-1)~式(a1-0-10)、式(a1-0-13)、式(a1-0-14)のいずれかで表される構造単位が好ましい。
構造単位(a1-1)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式(a1-1-1)~式(a1-1-7)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-1)におけるRa4に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が好ましく、式(a1-1-1)~式(a1-1-4)のいずれかで表される構造単位がより好ましい。
構造単位(a1-2)としては、式(a1-2-1)~式(a1-2-14)のいずれかで表される構造単位及び構造単位(a1-2)におけるRa5に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式(a1-2-2)、式(a1-2-5)、式(a1-2-6)及び式(a1-2-10)~式(a1-2-14)のいずれかで表される構造単位が好ましい。
樹脂(A)が構造単位(a1-0)及び/又は構造単位(a1-1)及び/又は構造単位(a1-2)を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10モル%以上が挙げられ、好ましくは15モル%以上であり、より好ましくは20モル%以上であり、さらに好ましくは25モル%以上であり、さらにより好ましくは30モル%以上である。また、95モル%以下が挙げられ、好ましくは90モル%以下であり、より好ましくは85モル%以下であり、さらに好ましくは70モル%以下である。具体的には、10~95モル%が挙げられ、好ましくは15~90モル%であり、より好ましくは20~85モル%であり、さらに好ましくは25~70モル%であり、さらにより好ましくは30~70モル%である。
樹脂(A)が構造単位(a1-0)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、5モル%以上が挙げられ、好ましくは10モル%以上である。また、80モル%以下が挙げられ、好ましくは75モル%以下であり、より好ましくは70モル%以下である。具体的には、5~80モル%が挙げられ、好ましくは5~75モル%であり、より好ましくは10~70モル%である。
樹脂(A)が構造単位(a1-1)及び/又は構造単位(a1-2)を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10モル%以上が挙げられ、好ましくは15モル%以上であり、より好ましくは20モル%以上であり、さらに好ましくは25モル%以上であり、さらにより好ましくは30モル%以上である。また、95モル%以下が挙げられ、好ましくは90モル%以下であり、より好ましくは85モル%以下であり、さらに好ましくは80モル%以下であり、より一層好ましくは75モル%以下であり、さらに一層好ましくは70モル%以下である。具体的には、10~90モル%が挙げられ、好ましくは15~85モル%であり、より好ましくは20~80モル%であり、さらに好ましくは20~75モル%であり、さらにより好ましくは20~70モル%である。
樹脂(A)が構造単位(a1-0)及び/又は構造単位(a1-1)及び/又は構造単位(a1-2)を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10モル%以上が挙げられ、好ましくは15モル%以上であり、より好ましくは20モル%以上であり、さらに好ましくは25モル%以上であり、さらにより好ましくは30モル%以上である。また、95モル%以下が挙げられ、好ましくは90モル%以下であり、より好ましくは85モル%以下であり、さらに好ましくは70モル%以下である。具体的には、10~95モル%が挙げられ、好ましくは15~90モル%であり、より好ましくは20~85モル%であり、さらに好ましくは25~70モル%であり、さらにより好ましくは30~70モル%である。
樹脂(A)が構造単位(a1-0)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、5モル%以上が挙げられ、好ましくは10モル%以上である。また、80モル%以下が挙げられ、好ましくは75モル%以下であり、より好ましくは70モル%以下である。具体的には、5~80モル%が挙げられ、好ましくは5~75モル%であり、より好ましくは10~70モル%である。
樹脂(A)が構造単位(a1-1)及び/又は構造単位(a1-2)を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10モル%以上が挙げられ、好ましくは15モル%以上であり、より好ましくは20モル%以上であり、さらに好ましくは25モル%以上であり、さらにより好ましくは30モル%以上である。また、95モル%以下が挙げられ、好ましくは90モル%以下であり、より好ましくは85モル%以下であり、さらに好ましくは80モル%以下であり、より一層好ましくは75モル%以下であり、さらに一層好ましくは70モル%以下である。具体的には、10~90モル%が挙げられ、好ましくは15~85モル%であり、より好ましくは20~80モル%であり、さらに好ましくは20~75モル%であり、さらにより好ましくは20~70モル%である。
構造単位(a1)において基(2)を有する構造単位としては、式(a1-4)で表される構造単位(以下、「構造単位(a1-4)」という場合がある。)が挙げられる。
[式(a1-4)中、
Ra32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa30は、単結合又は*-Xa31-(Aa32-Xa32)nc-を表し、*は-Ra32が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa32は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa31及びXa32は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
ncは、0又は1を表す。
laは、0~4のいずれかの整数を表す。laが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa33は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ra34及びRa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra36は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra35及びRa36は互いに結合してそれらが結合する-C-O-とともに炭素数2~20の2価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該2価の炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。]
[式(a1-4)中、
Ra32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa30は、単結合又は*-Xa31-(Aa32-Xa32)nc-を表し、*は-Ra32が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa32は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa31及びXa32は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
ncは、0又は1を表す。
laは、0~4のいずれかの整数を表す。laが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa33は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ra34及びRa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Ra36は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、Ra35及びRa36は互いに結合してそれらが結合する-C-O-とともに炭素数2~20の2価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該2価の炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。]
Ra32及びRa33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ra32におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ra32は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ra33におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ra33におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ra33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Ra32におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、1,1,2,2-テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、2,2,3,3,3-ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、2,2,3,3,4,4,5,5,5-ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ra32は、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数1~4のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、sec-ブトキシ基、tert-ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数1~4のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、sec-ブトキシメチル基、tert-ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数2~8のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ra33におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、sec-ブトキシメトキシ基、tert-ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ra33におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数2~3のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ra33におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数2~3のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ra33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のアルキル基、炭素数1~4のアルコキシ基又は炭素数2~8のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
*-Xa31-(Aa32-Xa32)nc-としては、*-O-、*-CO-O-、*-O-CO-、*-CO-O-Aa32-CO-O-、*-O-CO-Aa32-O-、*-O-Aa32-CO-O-、*-CO-O-Aa32-O-CO-、*-O-CO-Aa32-O-CO-、が挙げられる。なかでも、*-CO-O-、*-CO-O-Aa32-CO-O-又は*-O-Aa32-CO-O-が好ましい。
Aa32におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、ヘキサン-1,6-ジイル基、ブタン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,3-ジイル基、2-メチルプロパン-1,2-ジイル基、ペンタン-1,4-ジイル基及び2-メチルブタン-1,4-ジイル基等が挙げられる。
Aa32は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
Aa32は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
Aa30は、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-Aa32-CO-O-であることが好ましく、単結合、*-CO-O-又は*-CO-O-CH2-CO-O-であることがより好ましく、単結合又は*-CO-O-であることがさらに好ましい。
laは、0、1又は2が好ましく、0又は1がより好ましく、0がさらに好ましい。
Ra34、Ra35及びRa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。特に、Ra36としては、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
Ra34、Ra35及びRa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基(*は結合部位を表す。)等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基(例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基)、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基(p-メチルフェニル基、p-tert-ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等)、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基(p-シクロヘキシルフェニル基、p-アダマンチルフェニル基等)、フェニルシクロヘキシル基等のアリール-シクロアルキル基等が挙げられる。特に、Ra36としては、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
Ra34は、好ましくは、水素原子である。
Ra35は、好ましくは、水素原子、炭素数1~12のアルキル基又は炭素数3~12の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ra36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は炭素数7~18のアラルキル基である。Ra36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ra36における芳香族炭化水素基は、炭素数6~10のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位(a1-4)における-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra36は、酸(例えばp-トルエンスルホン酸)と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra36は、ベンゼン環のo-位又はp-位に結合することが好ましく、p-位に結合することがより好ましい。
Ra35は、好ましくは、水素原子、炭素数1~12のアルキル基又は炭素数3~12の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ra36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数1~18のアルキル基、炭素数3~18の脂環式炭化水素基又は炭素数7~18のアラルキル基である。Ra36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ra36における芳香族炭化水素基は、炭素数6~10のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位(a1-4)における-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra36は、酸(例えばp-トルエンスルホン酸)と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
-OC(Ra34)(Ra35)-O-Ra36は、ベンゼン環のo-位又はp-位に結合することが好ましく、p-位に結合することがより好ましい。
構造単位(a1-4)としては、例えば、特開2010-204646号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式(a1-4-1)~式(a1-4-24)でそれぞれ表される構造単位及び構造単位(a1-4)におけるRa32に相当する水素原子が、ハロゲン原子、ハロアルキル基又はアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式(a1-4-1)~式(a1-4-5)、式(a1-4-10)、式(a1-4-13)、式(a1-4-14)、式(a1-4-19)、式(a1-4-20)でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。
樹脂(A)が、構造単位(a1-4)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位の合計に対して、3~80モル%であることが好ましく、5~75モル%であることがより好ましく、7~70モル%であることがさらに好ましく、7~65モル%であることがさらにより一層好ましく、10~60モル%であることがさらに一層好ましい。
樹脂(A)が、構造単位(a1-4)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位の合計に対して、3~80モル%であることが好ましく、5~75モル%であることがより好ましく、7~70モル%であることがさらに好ましく、7~65モル%であることがさらにより一層好ましく、10~60モル%であることがさらに一層好ましい。
基(2)を有する(メタ)アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式(a1-5)で表される構造単位(以下「構造単位(a1-5)」という場合がある)も挙げられる。
[式(a1-5)中、
Ra8は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Za1は、単結合又は*-(CH2)h3-CO-L54-を表し、h3は1~4のいずれかの整数を表し、*は、L51との結合部位を表す。
L51、L52、L53及びL54は、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
s1は、1~3のいずれかの整数を表す。
s1’は、0~3のいずれかの整数を表す。]
[式(a1-5)中、
Ra8は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Za1は、単結合又は*-(CH2)h3-CO-L54-を表し、h3は1~4のいずれかの整数を表し、*は、L51との結合部位を表す。
L51、L52、L53及びL54は、それぞれ独立に、-O-又は-S-を表す。
s1は、1~3のいずれかの整数を表す。
s1’は、0~3のいずれかの整数を表す。]
ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式(a1-5)においては、Ra8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
L51は、酸素原子が好ましい。
L52及びL53のうち、一方が-O-であり、他方が-S-であることが好ましい。
s1は、1が好ましい。
s1’は、0~2のいずれかの整数が好ましい。
Za1は、単結合又は*-CH2-CO-O-が好ましい。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式(a1-5)においては、Ra8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
L51は、酸素原子が好ましい。
L52及びL53のうち、一方が-O-であり、他方が-S-であることが好ましい。
s1は、1が好ましい。
s1’は、0~2のいずれかの整数が好ましい。
Za1は、単結合又は*-CH2-CO-O-が好ましい。
構造単位(a1-5)としては、例えば、特開2010-61117号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式(a1-5-1)~式(a1-5-4)でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式(a1-5-1)又は式(a1-5-2)で表される構造単位がより好ましい。
樹脂(A)が、構造単位(a1-5)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、1~50モル%が好ましく、3~45モル%がより好ましく、5~40モル%がさらに好ましく、5~30モル%がさらにより好ましい。
樹脂(A)が、構造単位(a1-5)を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、1~50モル%が好ましく、3~45モル%がより好ましく、5~40モル%がさらに好ましく、5~30モル%がさらにより好ましい。
また、構造単位(a1)としては、以下の構造単位も挙げられる。
樹脂(A)が、(a1-3-1)~(a1-3-7)のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10~95モル%が好ましく、15~90モル%がより好ましく、20~85モル%がさらに好ましく、20~70モル%がさらにより好ましく、20~60モル%が特に好ましい。
樹脂(A)が、(a1-3-1)~(a1-3-7)のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10~95モル%が好ましく、15~90モル%がより好ましく、20~85モル%がさらに好ましく、20~70モル%がさらにより好ましく、20~60モル%が特に好ましい。
また、構造単位(a1)としては、以下の構造単位も挙げられる。
樹脂(A)が、(a1-6-1)~(a1-6-3)のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10~60モル%が好ましく、15~55モル%がより好ましく、20~50モル%がさらに好ましく、20~45モル%がさらにより好ましく、20~40モル%が特に好ましい。
また、樹脂(A)が、構造単位(a3)、構造単位(a4)、構造単位(a5)、構造単位(a6)及び/又は構造単位(II)を含む場合、それらの含有率は、上述した樹脂(AX)の全構造単位に対する含有率と同様の含有率が挙げられる。
樹脂(A)が、(a1-6-1)~(a1-6-3)のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂(A)の全構造単位に対して、10~60モル%が好ましく、15~55モル%がより好ましく、20~50モル%がさらに好ましく、20~45モル%がさらにより好ましく、20~40モル%が特に好ましい。
また、樹脂(A)が、構造単位(a3)、構造単位(a4)、構造単位(a5)、構造単位(a6)及び/又は構造単位(II)を含む場合、それらの含有率は、上述した樹脂(AX)の全構造単位に対する含有率と同様の含有率が挙げられる。
樹脂(X)としては、なかでも、構造単位(a4)を含む樹脂が好ましい。つまり、フッ素原子を有する構造単位を含む樹脂であることが好ましい。
樹脂(X)がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位(a3)、構造単位(a6)、構造単位(II)及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂(X)は、構造単位(a4)及び/又は構造単位(a5)のみからなる樹脂であることが好ましく、構造単位(a4)のみからなる樹脂であることがより好ましい。
樹脂(X)が構造単位(a4)を含む場合、樹脂(X)において、構造単位(a4)の含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、20モル%以上が挙げられ、30モル%以上が好ましく、40モル%以上がより好ましく、45モル%以上がさらに好ましい。また、100モル%以下が挙げられ、80モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下がさらに好ましく、55モル%以下がより一層好ましい。具体的には、20~100モル%が挙げられ、20~80モル%が好ましく、30~70モル%がより好ましく、40~60モル%がさらに好ましく、45~55モル%がより一層好ましい。樹脂(X)が構造単位(a5)を含む場合、構造単位(a5)の含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、20モル%以上が挙げられ、30モル%以上が好ましく、40モル%以上がより好ましく、45モル%以上がさらに好ましい。また、100モル%以下が挙げられ、80モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下がさらに好ましく、55モル%以下がより一層好ましい。具体的には、20~100モル%が挙げられ、20~80モル%が好ましく、30~70モル%がより好ましく、40~60モル%がさらに好ましく、45~55モル%がより一層好ましい。また、樹脂(X)が構造単位(a4)及び構造単位(a5)を含む場合、構造単位(a4)及び構造単位(a5)の合計含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、40モル%以上が挙げられ、60モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、80モル%以上がさらに好ましい。さらに、100モル%以下が挙げられる。具体的には、40~100モル%が挙げられ、60~100モル%が好ましく、70~100モル%がより好ましく、80~100モル%がさらに好ましい。
樹脂(X)がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位(a3)、構造単位(a6)、構造単位(II)及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂(X)は、構造単位(a4)及び/又は構造単位(a5)のみからなる樹脂であることが好ましく、構造単位(a4)のみからなる樹脂であることがより好ましい。
樹脂(X)が構造単位(a4)を含む場合、樹脂(X)において、構造単位(a4)の含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、20モル%以上が挙げられ、30モル%以上が好ましく、40モル%以上がより好ましく、45モル%以上がさらに好ましい。また、100モル%以下が挙げられ、80モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下がさらに好ましく、55モル%以下がより一層好ましい。具体的には、20~100モル%が挙げられ、20~80モル%が好ましく、30~70モル%がより好ましく、40~60モル%がさらに好ましく、45~55モル%がより一層好ましい。樹脂(X)が構造単位(a5)を含む場合、構造単位(a5)の含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、20モル%以上が挙げられ、30モル%以上が好ましく、40モル%以上がより好ましく、45モル%以上がさらに好ましい。また、100モル%以下が挙げられ、80モル%以下が好ましく、70モル%以下がより好ましく、60モル%以下がさらに好ましく、55モル%以下がより一層好ましい。具体的には、20~100モル%が挙げられ、20~80モル%が好ましく、30~70モル%がより好ましく、40~60モル%がさらに好ましく、45~55モル%がより一層好ましい。また、樹脂(X)が構造単位(a4)及び構造単位(a5)を含む場合、構造単位(a4)及び構造単位(a5)の合計含有率は、樹脂(X)の全構造単位の合計に対して、40モル%以上が挙げられ、60モル%以上が好ましく、70モル%以上がより好ましく、80モル%以上がさらに好ましい。さらに、100モル%以下が挙げられる。具体的には、40~100モル%が挙げられ、60~100モル%が好ましく、70~100モル%がより好ましく、80~100モル%がさらに好ましい。
樹脂(A)及び樹脂(X)を構成する各構造単位は、1種のみ又は2種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法(例えばラジカル重合法)によって製造することができる。樹脂(A)及び樹脂(X)が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂(A)の重量平均分子量は、好ましくは、2,000以上(より好ましくは2,500以上、さらに好ましくは3,000以上)、50,000以下(より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは15,000以下)であるが、重量平均分子量が2,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。樹脂(X)の重量平均分子量は、好ましくは6,000以上(より好ましくは7,000以上)、80,000以下(より好ましくは60,000以下)であるが、重量平均分子量が6,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。樹脂(A)及び樹脂(X)の重量平均分子量の測定手段は、樹脂(AX)の場合と同様である。
また、レジスト組成物が樹脂(A)及び/又は樹脂(X)を含む場合、その含有量は、それぞれ、樹脂(AX)100質量部に対して、好ましくは1~60質量部であり、より好ましくは1~50質量部であり、さらに好ましくは1~40質量部であり、より一層好ましくは2~30質量部であり、さらに一層好ましくは2~8質量部である。
樹脂(A)の重量平均分子量は、好ましくは、2,000以上(より好ましくは2,500以上、さらに好ましくは3,000以上)、50,000以下(より好ましくは30,000以下、さらに好ましくは15,000以下)であるが、重量平均分子量が2,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。樹脂(X)の重量平均分子量は、好ましくは6,000以上(より好ましくは7,000以上)、80,000以下(より好ましくは60,000以下)であるが、重量平均分子量が6,000未満のオリゴマーが含まれていてもよい。樹脂(A)及び樹脂(X)の重量平均分子量の測定手段は、樹脂(AX)の場合と同様である。
また、レジスト組成物が樹脂(A)及び/又は樹脂(X)を含む場合、その含有量は、それぞれ、樹脂(AX)100質量部に対して、好ましくは1~60質量部であり、より好ましくは1~50質量部であり、さらに好ましくは1~40質量部であり、より一層好ましくは2~30質量部であり、さらに一層好ましくは2~8質量部である。
レジスト組成物における樹脂(AX)の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、1質量%以上99質量%以下であることが好ましく、5質量%以上99質量%以下がより好ましい。また、樹脂(AX)以外の樹脂を含む場合は、樹脂(AX)と樹脂(AX)以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、1質量%以上99質量%以下であることが好ましく、5質量%以上99質量%以下がより好ましい。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。
<溶剤(E)>
溶剤(E)の含有率は、レジスト組成物中、通常90質量%以上99.9質量%以下であり、好ましくは92質量%以上99質量%以下であり、より好ましくは94質量%以上99質量%以下である。溶剤(E)の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
溶剤(E)としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類;アセトン、メチルイソブチルケトン、2-ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類;γ-ブチロラクトン等の環状エステル類;等を挙げることができる。溶剤(E)の1種を単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
溶剤(E)の含有率は、レジスト組成物中、通常90質量%以上99.9質量%以下であり、好ましくは92質量%以上99質量%以下であり、より好ましくは94質量%以上99質量%以下である。溶剤(E)の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
溶剤(E)としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類;アセトン、メチルイソブチルケトン、2-ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類;γ-ブチロラクトン等の環状エステル類;等を挙げることができる。溶剤(E)の1種を単独で使用してもよく、2種以上を使用してもよい。
<クエンチャー(C)>
クエンチャー(C)としては、酸発生剤(塩(I)又は酸発生剤(B))から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩、及び塩基性の含窒素有機化合物が挙げられる。レジスト組成物がクエンチャー(C)を含有する場合、クエンチャー(C)の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、0.01~15質量%程度であることが好ましく、0.01~10質量%程度であることがより好ましく、0.1~8質量%程度であることがさらに好ましく、0.1~7質量%程度であることがさらにより好ましい。
クエンチャー(C)としては、酸発生剤(塩(I)又は酸発生剤(B))から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩、及び塩基性の含窒素有機化合物が挙げられる。レジスト組成物がクエンチャー(C)を含有する場合、クエンチャー(C)の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、0.01~15質量%程度であることが好ましく、0.01~10質量%程度であることがより好ましく、0.1~8質量%程度であることがさらに好ましく、0.1~7質量%程度であることがさらにより好ましい。
<酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩>
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数(pKa)で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常-3<pKaの塩であり、好ましくは-1<pKa<7の塩であり、より好ましくは0<pKa<5の塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開2015-147926号公報記載の式(D)で表される塩(以下、「弱酸分子内塩(D)」という場合がある。)、並びに特開2012-229206号公報、特開2012-6908号公報、特開2012-72109号公報、特開2011-39502号公報及び特開2011-191745号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として、好ましくは、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩(カルボン酸アニオンを有する塩)であり、より好ましくは、弱酸分子内塩(D)であり、さらに好ましくは、弱酸分子内塩(D)のうち、カルボン酸アニオンが置換されたフェニル基を含むジフェニルヨードニウム塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数(pKa)で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常-3<pKaの塩であり、好ましくは-1<pKa<7の塩であり、より好ましくは0<pKa<5の塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開2015-147926号公報記載の式(D)で表される塩(以下、「弱酸分子内塩(D)」という場合がある。)、並びに特開2012-229206号公報、特開2012-6908号公報、特開2012-72109号公報、特開2011-39502号公報及び特開2011-191745号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として、好ましくは、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩(カルボン酸アニオンを有する塩)であり、より好ましくは、弱酸分子内塩(D)であり、さらに好ましくは、弱酸分子内塩(D)のうち、カルボン酸アニオンが置換されたフェニル基を含むジフェニルヨードニウム塩である。
弱酸分子内塩(D)としては、2つのフェニル基が結合したヨードニウムカチオンと、ヨードニウムカチオンに結合した2つのフェニル基のうち少なくとも一方のフェニル基に置換されたカルボン酸アニオンと、を有するジフェニルヨードニウム塩であることが好ましく、以下の式で表される塩が挙げられる。
[式(D)中、
RD1及びRD2は、それぞれ独立に、炭素数1~12の炭化水素基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~7のアシル基、炭素数2~7のアシルオキシ基、炭素数2~7のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
m’及びn’は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、m’が2以上の場合、複数のRD1は同一であっても異なってもよく、n’が2以上の場合、複数のRD2は同一であっても異なってもよい。]
RD1及びRD2の炭化水素基としては、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基、2-メチルフェニル基、3-メチルフェニル基、4-メチルフェニル基、4-エチルフェニル基、4-プロピルフェニル基、4-イソプロピルフェニル基、4-ブチルフェニル基、4-t-ブチルフェニル基、4-ヘキシルフェニル基、4-シクロヘキシルフェニル基、アントリル基、p-アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル-シクロアルキル基、シクロアルキル-アルキル基、アラルキル基(例えば、フェニルメチル基、1-フェニルエチル基、2-フェニルエチル基、1-フェニル-1-プロピル基、1-フェニル-2-プロピル基、2-フェニル-2-プロピル基、3-フェニル-1-プロピル基、4-フェニル-1-ブチル基、5-フェニル-1-ペンチル基、6-フェニル-1-ヘキシル基等)等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカルボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基(-O-)が結合した基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基(-CO-)が結合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
RD1及びRD2は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~4のアシル基、炭素数2~4のアシルオキシ基、炭素数2~4のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子が好ましい。
m’及びn’は、それぞれ独立に、0~2のいずれかの整数であることが好ましく、0であることがより好ましい。m’が2以上の場合、複数のRD1は同一であっても異なってもよく、n’が2以上の場合、複数のRD2は同一であっても異なってもよい。
より具体的には、以下の塩が挙げられる。
[式(D)中、
RD1及びRD2は、それぞれ独立に、炭素数1~12の炭化水素基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~7のアシル基、炭素数2~7のアシルオキシ基、炭素数2~7のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
m’及びn’は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、m’が2以上の場合、複数のRD1は同一であっても異なってもよく、n’が2以上の場合、複数のRD2は同一であっても異なってもよい。]
RD1及びRD2の炭化水素基としては、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基、2-メチルフェニル基、3-メチルフェニル基、4-メチルフェニル基、4-エチルフェニル基、4-プロピルフェニル基、4-イソプロピルフェニル基、4-ブチルフェニル基、4-t-ブチルフェニル基、4-ヘキシルフェニル基、4-シクロヘキシルフェニル基、アントリル基、p-アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、2,6-ジエチルフェニル基、2-メチル-6-エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル-シクロアルキル基、シクロアルキル-アルキル基、アラルキル基(例えば、フェニルメチル基、1-フェニルエチル基、2-フェニルエチル基、1-フェニル-1-プロピル基、1-フェニル-2-プロピル基、2-フェニル-2-プロピル基、3-フェニル-1-プロピル基、4-フェニル-1-ブチル基、5-フェニル-1-ペンチル基、6-フェニル-1-ヘキシル基等)等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカルボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基(-O-)が結合した基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基(-CO-)が結合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
RD1及びRD2は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~4のアシル基、炭素数2~4のアシルオキシ基、炭素数2~4のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子が好ましい。
m’及びn’は、それぞれ独立に、0~2のいずれかの整数であることが好ましく、0であることがより好ましい。m’が2以上の場合、複数のRD1は同一であっても異なってもよく、n’が2以上の場合、複数のRD2は同一であっても異なってもよい。
より具体的には、以下の塩が挙げられる。
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、1-ナフチルアミン、2-ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、2-,3-又は4-メチルアニリン、4-ニトロアニリン、N-メチルアニリン、N,N-ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔2-(2-メトキシエトキシ)エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’-ジアミノ-1,2-ジフェニルエタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジフェニルメタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジエチルジフェニルメタン、2,2’-メチレンビスアニリン、イミダゾール、4-メチルイミダゾール、ピリジン、4-メチルピリジン、1,2-ジ(2-ピリジル)エタン、1,2-ジ(4-ピリジル)エタン、1,2-ジ(2-ピリジル)エテン、1,2-ジ(4-ピリジル)エテン、1,3-ジ(4-ピリジル)プロパン、1,2-ジ(4-ピリジルオキシ)エタン、ジ(2-ピリジル)ケトン、4,4’-ジピリジルスルフィド、4,4’-ジピリジルジスルフィド、2,2’-ジピリジルアミン、2,2’-ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは2,6-ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、3-(トリフルオロメチル)フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ-n-ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
アミンとしては、1-ナフチルアミン、2-ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、2-,3-又は4-メチルアニリン、4-ニトロアニリン、N-メチルアニリン、N,N-ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔2-(2-メトキシエトキシ)エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、4,4’-ジアミノ-1,2-ジフェニルエタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジメチルジフェニルメタン、4,4’-ジアミノ-3,3’-ジエチルジフェニルメタン、2,2’-メチレンビスアニリン、イミダゾール、4-メチルイミダゾール、ピリジン、4-メチルピリジン、1,2-ジ(2-ピリジル)エタン、1,2-ジ(4-ピリジル)エタン、1,2-ジ(2-ピリジル)エテン、1,2-ジ(4-ピリジル)エテン、1,3-ジ(4-ピリジル)プロパン、1,2-ジ(4-ピリジルオキシ)エタン、ジ(2-ピリジル)ケトン、4,4’-ジピリジルスルフィド、4,4’-ジピリジルジスルフィド、2,2’-ジピリジルアミン、2,2’-ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは2,6-ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、3-(トリフルオロメチル)フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ-n-ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分(以下「その他の成分(F)」という場合がある。)を含有していてもよい。その他の成分(F)に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分(以下「その他の成分(F)」という場合がある。)を含有していてもよい。その他の成分(F)に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、塩(I)及び樹脂(AX)、並びに、必要に応じて、酸発生剤(B)、樹脂(AX)以外の樹脂、溶剤(E)、クエンチャー(C)及びその他の成分(F)を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、10~40℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤(E)に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、0.5~24時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径0.003~0.2μm程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
本発明のレジスト組成物は、塩(I)及び樹脂(AX)、並びに、必要に応じて、酸発生剤(B)、樹脂(AX)以外の樹脂、溶剤(E)、クエンチャー(C)及びその他の成分(F)を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、10~40℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤(E)に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、0.5~24時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径0.003~0.2μm程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
(1)本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板、表面にレジスト膜が形成された有機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること(いわゆるプリベーク)により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、50~200℃であることが好ましく、加熱時間は、10~180秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、1~1.0×105Pa程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、KrFエキシマレーザ(波長248nm)、ArFエキシマレーザ(波長193nm)、F2エキシマレーザ(波長157nm)のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源(YAG又は半導体レーザ等)からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光(EUV)を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理(いわゆるポストエキスポジャーベーク)を行う。加熱温度は、通常50~200℃程度、好ましくは70~150℃程度である。加熱後の組成物の表面側にある樹脂の親水性又は疎水性を調整する化学処理(シリル化)を行ってもよい。また、現像を行う前に、露光後の組成物層上に、レジスト組成物の塗布、乾燥、露光、加熱の工程を繰り返し行ってもよい。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、5~60℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、5~300秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや(2-ヒドロキシエチル)トリメチルアンモニウムヒドロキシド(通称コリン)の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液(以下「有機系現像液」という場合がある)を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、2-ヘキサノン、2-ヘプタノン等のケトン溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤;酢酸ブチル等のエステル溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤;N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤;アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、90質量%以上100質量%以下が好ましく、95質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び2-ヘプタノンの合計含有率は、50質量%以上100質量%以下が好ましく、90質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
本発明のレジストパターンの製造方法は、
(1)本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板、表面にレジスト膜が形成された有機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること(いわゆるプリベーク)により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、50~200℃であることが好ましく、加熱時間は、10~180秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、1~1.0×105Pa程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、KrFエキシマレーザ(波長248nm)、ArFエキシマレーザ(波長193nm)、F2エキシマレーザ(波長157nm)のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源(YAG又は半導体レーザ等)からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光(EUV)を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理(いわゆるポストエキスポジャーベーク)を行う。加熱温度は、通常50~200℃程度、好ましくは70~150℃程度である。加熱後の組成物の表面側にある樹脂の親水性又は疎水性を調整する化学処理(シリル化)を行ってもよい。また、現像を行う前に、露光後の組成物層上に、レジスト組成物の塗布、乾燥、露光、加熱の工程を繰り返し行ってもよい。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、5~60℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、5~300秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや(2-ヒドロキシエチル)トリメチルアンモニウムヒドロキシド(通称コリン)の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液(以下「有機系現像液」という場合がある)を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、2-ヘキサノン、2-ヘプタノン等のケトン溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤;酢酸ブチル等のエステル溶剤;プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤;N,N-ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤;アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、90質量%以上100質量%以下が好ましく、95質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び2-ヘプタノンの合計含有率は、50質量%以上100質量%以下が好ましく、90質量%以上100質量%以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び/又は2-ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、KrFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ArFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線(EB)露光用のレジスト組成物又はEUV露光用のレジスト組成物、特に電子線(EB)露光用のレジスト組成物又はEUV露光用のレジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。
本発明のレジスト組成物は、KrFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ArFエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線(EB)露光用のレジスト組成物又はEUV露光用のレジスト組成物、特に電子線(EB)露光用のレジスト組成物又はEUV露光用のレジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。
実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「%」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム:TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn(東ソー社製)
溶離液:テトラヒドロフラン
流量:1.0mL/min
検出器:RI検出器
カラム温度:40℃
注入量:100μl
分子量標準:標準ポリスチレン(東ソー社製)
化合物の構造は、質量分析(LCはAgilent製1100型、MASSはAgilent製LC/MSD型)を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「MASS」で示す。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム:TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn(東ソー社製)
溶離液:テトラヒドロフラン
流量:1.0mL/min
検出器:RI検出器
カラム温度:40℃
注入量:100μl
分子量標準:標準ポリスチレン(東ソー社製)
化合物の構造は、質量分析(LCはAgilent製1100型、MASSはAgilent製LC/MSD型)を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「MASS」で示す。
また、樹脂は、NMR(EX-270型;日本電子(株)製)を用いて、残存モノマー及びアセタール脱保護を確認した。
合成例1:式(I-1048)で表される塩の合成
式(I-1048-a)で表される塩6.70部、炭酸カリウム5.52部及びジメチルホルムアミド60部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、70℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1048-b)で表される化合物7.77部を添加し、70℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル1部及びtert-ブチルメチルエーテル50部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1048-c)で表される塩11.69部を得た。
式(I-1048-c)で表される塩3.42部、式(I-8-d)で表される塩3.20部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1048)で表される塩5.18部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 647.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 517.1
式(I-1048-a)で表される塩6.70部、炭酸カリウム5.52部及びジメチルホルムアミド60部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、70℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1048-b)で表される化合物7.77部を添加し、70℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル1部及びtert-ブチルメチルエーテル50部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1048-c)で表される塩11.69部を得た。
式(I-1048-c)で表される塩3.42部、式(I-8-d)で表される塩3.20部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1048)で表される塩5.18部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 647.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 517.1
合成例2:式(I-1056)で表される塩の合成
式(I-1048-c)で表される塩6.83部、式(I-16-d)で表される塩5.69部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水40部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1056)で表される塩9.34部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 647.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-1048-c)で表される塩6.83部、式(I-16-d)で表される塩5.69部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水40部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1056)で表される塩9.34部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 647.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例3:式(I-1128)で表される塩の合成
式(I-1128-a)で表される塩7.06部、炭酸カリウム8.29部及びジメチルホルムアミド80部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、70℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1048-b)で表される化合物11.65部を添加し、70℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル1部及びtert-ブチルメチルエーテル50部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1128-c)で表される塩14.32部を得た。
式(I-1128-c)で表される塩4.38部、式(I-8-d)で表される塩3.20部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1128)で表される塩12.18部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 517.1
式(I-1128-a)で表される塩7.06部、炭酸カリウム8.29部及びジメチルホルムアミド80部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、70℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1048-b)で表される化合物11.65部を添加し、70℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル1部及びtert-ブチルメチルエーテル50部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1128-c)で表される塩14.32部を得た。
式(I-1128-c)で表される塩4.38部、式(I-8-d)で表される塩3.20部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1128)で表される塩12.18部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 517.1
合成例4:式(I-1136)で表される塩の合成
式(I-1128-c)で表される塩8.75部、式(I-16-d)で表される塩5.69部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水40部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1136)で表される塩11.34部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-1128-c)で表される塩8.75部、式(I-16-d)で表される塩5.69部、クロロホルム60部及び酢酸エチル30部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水40部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1136)で表される塩11.34部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例5:式(I-1416)で表される塩の合成
式(I-1416-a)で表される塩13.97部、式(I-1048-b)で表される化合物10.12部及びジメチルホルムアミド90部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、90℃まで昇温した。得られた混合物に、炭酸カリウム14.41部を添加し、90℃で3時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル10部及びtert-ブチルメチルエーテル210部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1416-c)で表される塩24.45部を得た。
式(I-1416-c)で表される塩0.78部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1416)で表される塩1.21部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 455.2
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-1416-a)で表される塩13.97部、式(I-1048-b)で表される化合物10.12部及びジメチルホルムアミド90部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、90℃まで昇温した。得られた混合物に、炭酸カリウム14.41部を添加し、90℃で3時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム200部及びイオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水150部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を3回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、アセトニトリル10部及びtert-ブチルメチルエーテル210部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-1416-c)で表される塩24.45部を得た。
式(I-1416-c)で表される塩0.78部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1416)で表される塩1.21部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 455.2
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例6:式(I-1096)で表される塩の合成
式(I-1096-a)で表される塩1.24部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.32部及びヨウ化カリウム0.10部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物2.26部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-1096-c)で表される塩1.92部を得た。
式(I-1096-c)で表される塩1.49部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1096)で表される塩1.88部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 891.4
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-1096-a)で表される塩1.24部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.32部及びヨウ化カリウム0.10部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物2.26部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-1096-c)で表される塩1.92部を得た。
式(I-1096-c)で表される塩1.49部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1096)で表される塩1.88部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 891.4
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例7:式(I-1176)で表される塩の合成
式(I-1176-a)で表される塩1.50部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.48部及びヨウ化カリウム0.15部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物3.39部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-1176-c)で表される塩2.18部を得た。
式(I-1176-c)で表される塩2.01部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1176)で表される塩1.98部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1205.5
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-1176-a)で表される塩1.50部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.48部及びヨウ化カリウム0.15部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物3.39部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-1176-c)で表される塩2.18部を得た。
式(I-1176-c)で表される塩2.01部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-1176)で表される塩1.98部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1205.5
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例8:式(I-6376)で表される塩の合成
式(I-6376-a)で表される塩0.83部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.48部及びヨウ化カリウム0.15部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物3.39部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-6376-c)で表される塩1.62部を得た。
式(I-6376-c)で表される塩1.57部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-6376)で表される塩1.61部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 929.5
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
式(I-6376-a)で表される塩0.83部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した後、炭酸カリウム0.48部及びヨウ化カリウム0.15部を添加し、75℃まで昇温した。得られた混合物に、式(I-1096-b)で表される化合物3.39部を添加し、75℃で5時間撹拌した後、23℃まで冷却した。得られた混合物に、クロロホルム50部及び5%シュウ酸水溶液20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。得られた有機層に、イオン交換水20部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮することにより、式(I-6376-c)で表される塩1.62部を得た。
式(I-6376-c)で表される塩1.57部、式(I-16-d)で表される塩0.91部、クロロホルム30部及び酢酸エチル15部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-6376)で表される塩1.61部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 929.5
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 467.1
合成例9:式(I-15009)で表される塩の合成
式(I-1128-c)で表される塩4.28部、式(I-15009-d)で表される塩2.76部及びクロロホルム60部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-15009)で表される塩4.69部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
式(I-1128-c)で表される塩4.28部、式(I-15009-d)で表される塩2.76部及びクロロホルム60部を混合し、23℃で2時間攪拌した。得られた混合物に、イオン交換水20部を加えて23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を5回繰り返した。得られた有機層を濃縮し、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて23℃で30分間攪拌した後、ろ過することにより、式(I-15009)で表される塩4.69部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 839.3
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
合成例10:式(I-29361)で表される塩の合成
式(I-29361-b)で表される化合物13.80部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-1128-a)で表される塩3.53部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29361-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29361)で表される塩14.51部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1636.8
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
式(I-29361-b)で表される化合物13.80部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-1128-a)で表される塩3.53部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29361-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29361)で表される塩14.51部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1636.8
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
合成例11:式(I-29381)で表される塩の合成
式(I-29381-b)で表される化合物13.02部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-1128-a)で表される塩3.53部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29381-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29381)で表される塩14.39部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1558.7
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
式(I-29381-b)で表される化合物13.02部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-1128-a)で表される塩3.53部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29381-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29381)で表される塩14.39部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1558.7
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
合成例12:式(I-29441)で表される塩の合成
式(I-29381-b)で表される化合物13.02部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-29441-a)で表される塩3.51部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29381-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29441)で表される塩14.48部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1556.7
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
式(I-29381-b)で表される化合物13.02部及びジメチルホルムアミド50部を混合し、23℃で30分間攪拌した。得られた混合物を0℃に冷却した後、水素化ナトリウム0.90部を混合し、0℃で4時間攪拌した。得られた混合物に、0℃で、式(I-29441-a)で表される塩3.51部を添加し、0℃で3時間攪拌することにより、式(I-29381-c)で表される塩を含む混合物を得た。得られた混合物を23℃まで昇温した後、5%シュウ酸水溶液11部を加えて23℃で30分間攪拌した後、式(I-15009-d)で表される塩5.65部を添加し、23℃で7時間攪拌した。得られた反応物に、クロロホルム100部及びイオン交換水50部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。回収された有機層に、イオン交換水30部を添加し、23℃で30分間攪拌した後、分液して有機層を取り出した。この水洗操作を7回繰り返した。得られた有機層を濃縮した後、濃縮残渣に、tert-ブチルメチルエーテル30部を加えて、23℃で30分間攪拌した後、上澄み液を除去し、濃縮することにより、式(I-29441)で表される塩14.48部を得た。
MASS(ESI(+)Spectrum):M+ 1556.7
MASS(ESI(-)Spectrum):M- 541.2
樹脂の合成
樹脂(AX)の合成に使用した化合物(モノマー)を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー(a1-2-6)」等という。また、これらのモノマーを重合することにより得られる構造単位をその式番号に応じて、「構造単位(a1-2-6)」等という。
樹脂(AX)の合成に使用した化合物(モノマー)を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー(a1-2-6)」等という。また、これらのモノマーを重合することにより得られる構造単位をその式番号に応じて、「構造単位(a1-2-6)」等という。
合成例13〔樹脂AX1の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-1)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-1)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.3×103である樹脂AX1(共重合体)を収率92%で得た。この樹脂AX1は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX1における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX1の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-1)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-1)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.3×103である樹脂AX1(共重合体)を収率92%で得た。この樹脂AX1は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX1における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX1の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
合成例14〔樹脂AX2の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-3)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-3)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.5×103である樹脂AX2(共重合体)を収率84%で得た。この樹脂AX2は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX2における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX2の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-3)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-3)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.5×103である樹脂AX2(共重合体)を収率84%で得た。この樹脂AX2は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX2における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX2の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
合成例15〔樹脂AX3の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-2-12)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-2-12)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.5×103である樹脂AX3(共重合体)を収率80%で得た。この樹脂AX3は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX3における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX3の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-2-12)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-2-12)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.5×103である樹脂AX3(共重合体)を収率80%で得た。この樹脂AX3は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX3における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX3の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
合成例16〔樹脂AX4の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-2-13)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-2-13)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.6×103である樹脂AX4(共重合体)を収率75%で得た。この樹脂AX4は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX4における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX4の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-2-13)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-2-13)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、9mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約3.6×103である樹脂AX4(共重合体)を収率75%で得た。この樹脂AX4は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX4における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX4の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
合成例17〔樹脂AX5の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-1)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-1)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、2.6質量倍のプロピレングリコールモノメチルエーテルを混合した。得られた混合物に、開始剤として2,2´-アゾビス(イソ酪酸)ジメチルを全モノマーの合計モル数に対して、15mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約5.7×103である樹脂AX5(共重合体)を収率89%で得た。この樹脂AX5は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX5における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX5の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a2-B-1)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a2-B-1)〕が、45:55の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、2.6質量倍のプロピレングリコールモノメチルエーテルを混合した。得られた混合物に、開始剤として2,2´-アゾビス(イソ酪酸)ジメチルを全モノマーの合計モル数に対して、15mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた後、分液した。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約5.7×103である樹脂AX5(共重合体)を収率89%で得た。この樹脂AX5は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂AX5における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂AX5の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
合成例18〔樹脂A1の合成〕
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a1-2-6)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a1-2-6)〕が、38:62の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、7mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌した後、分液し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約5.7×103である樹脂A1(共重合体)を収率86%で得た。この樹脂A1は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂A1における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂A1の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
モノマーとして、モノマー(a1-4-2)及びモノマー(a1-2-6)を用い、そのモル比〔モノマー(a1-4-2):モノマー(a1-2-6)〕が、38:62の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、1.5質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを全モノマーの合計モル数に対して、それぞれ、7mol%となるように添加し、これを85℃で約5時間加熱することで重合を行った。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して2.0質量倍のp-トルエンスルホン酸水溶液(2.5重量%)を加え、6時間攪拌した後、分液し、重合反応液に含まれる構造単位(a1-4-2)に含まれる酸不安定基をヒドロキシ基に変換させた。得られた有機層を、大量のn-ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約5.7×103である樹脂A1(共重合体)を収率86%で得た。この樹脂A1は、以下の構造単位を有するものであり、樹脂A1における構造単位(a1-4-2)の含有率は、樹脂A1の全構造単位に対して検出限界以下(1モル%未満)であった。
<レジスト組成物の調製>
表2に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径0.2μmのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。
表2に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径0.2μmのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。
<樹脂>
AX1~AX5、A1:樹脂AX1~樹脂AX5、樹脂A1
<塩(I)>
I-1048:式(I-1048)で表される塩
I-1056:式(I-1056)で表される塩
I-1096:式(I-1096)で表される塩
I-1128:式(I-1128)で表される塩
I-1136:式(I-1136)で表される塩
I-1176:式(I-1176)で表される塩
I-1416:式(I-1416)で表される塩
I-6376:式(I-6376)で表される塩
I-15009:式(I-15009)で表される塩
I-29361:式(I-29361)で表される塩
I-29381:式(I-29381)で表される塩
I-29441:式(I-29441)で表される塩
<クエンチャー(C)>
C1:特開2021-175721号公報記載の方法で合成
<溶剤>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 600部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 300部
γ-ブチロラクトン 20部
AX1~AX5、A1:樹脂AX1~樹脂AX5、樹脂A1
<塩(I)>
I-1048:式(I-1048)で表される塩
I-1056:式(I-1056)で表される塩
I-1096:式(I-1096)で表される塩
I-1128:式(I-1128)で表される塩
I-1136:式(I-1136)で表される塩
I-1176:式(I-1176)で表される塩
I-1416:式(I-1416)で表される塩
I-6376:式(I-6376)で表される塩
I-15009:式(I-15009)で表される塩
I-29361:式(I-29361)で表される塩
I-29381:式(I-29381)で表される塩
I-29441:式(I-29441)で表される塩
<クエンチャー(C)>
C1:特開2021-175721号公報記載の方法で合成
<溶剤>
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 600部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 300部
γ-ブチロラクトン 20部
(レジスト組成物の電子線露光評価:アルカリ現像)
6インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて90℃で60秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が0.04μmとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表2の「PB」欄に示す温度で60秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔(株)エリオニクス製の「ELS-F125 125keV」〕を用い、露光量を段階的に変化させてコンタクトホールパターン(ホールピッチ40nm/ホール径17nm)を直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表2の「PEB」欄に示す温度で60秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて、23℃で60秒間のパドル現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
6インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて90℃で60秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が0.04μmとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表2の「PB」欄に示す温度で60秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔(株)エリオニクス製の「ELS-F125 125keV」〕を用い、露光量を段階的に変化させてコンタクトホールパターン(ホールピッチ40nm/ホール径17nm)を直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表2の「PEB」欄に示す温度で60秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として2.38質量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて、23℃で60秒間のパドル現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
現像後に得られたレジストパターンにおいて、形成したホール径が17nmとなる露光量を実効感度とした。
<CD均一性(CDU)評価>
実効感度において、ホール径17nmで形成したパターンのホール径を、一つのホールにつき24回測定し、その平均値を一つのホールの平均ホール径とした。同一ウェハ内の、ホール径17nmで形成したパターンの平均ホール径を400箇所測定したものを母集団として標準偏差を求めた。
その結果を表3に示す。表内の数値は標準偏差(nm)を示す。
比較組成物1と比較して、組成物1~18での標準偏差が小さく、CD均一性(CDU)評価が良好であった。
実効感度において、ホール径17nmで形成したパターンのホール径を、一つのホールにつき24回測定し、その平均値を一つのホールの平均ホール径とした。同一ウェハ内の、ホール径17nmで形成したパターンの平均ホール径を400箇所測定したものを母集団として標準偏差を求めた。
その結果を表3に示す。表内の数値は標準偏差(nm)を示す。
比較組成物1と比較して、組成物1~18での標準偏差が小さく、CD均一性(CDU)評価が良好であった。
本発明のレジスト組成物は、良好なCD均一性(CDU)を有するレジストパターンを得られるため、半導体の微細加工に好適であり、産業上極めて有用である。
Claims (15)
- 式(I)で表される塩を含有する酸発生剤と、
1以上の式(a2)で表される構造単位を含む樹脂と、を含有するレジスト組成物。
[式(I)中、
Xは、硫黄原子又はヨウ素原子を表す。
m10は、0又は1を表し、Xが硫黄原子の場合、m10は1であり、Xがヨウ素原子の場合、m10は0である。
R1、R2及びR3は、それぞれ独立に、ヒドロキシ基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
R4、R5、R6、R7、R8及びR9は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数1~12のハロアルキル基、炭素数1~18の炭化水素基、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。また、R8及びR9が結合して、S+を含む環を形成してもよく、該環に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-CO-、-SO-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
R10は、酸不安定基を表す。
L10は、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。
A1、A2及びA3は、それぞれ独立に、炭素数1~20の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。
Ar1、Ar2及びAr3は、それぞれ独立に、炭素数6~10の芳香族炭化水素基又は炭素数4~9の複素環式芳香族炭化水素基を表す。
m1は、0~5のいずれかの整数を表し、m1が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m2は、0~5のいずれかの整数を表し、m2が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m3は、0~5のいずれかの整数を表し、m3が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
m4は、0~4のいずれかの整数を表し、m4が2以上のとき、複数のR4は互いに同一であっても異なってもよい。
m5は、0~4のいずれかの整数を表し、m5が2以上のとき、複数のR5は互いに同一であっても異なってもよい。
m6は、0~4のいずれかの整数を表し、m6が2以上のとき、複数のR6は互いに同一であっても異なってもよい。
m7は、0~5のいずれかの整数を表し、m7が2以上のとき、複数のR7は互いに同一であっても異なってもよい。
m8は、0~5のいずれかの整数を表し、m8が2以上のとき、複数のR8は互いに同一であっても異なってもよい。
m9は、0~5のいずれかの整数を表し、m9が2以上のとき、複数のR9は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、0≦m1+m7≦5、0≦m2+m8≦5、0≦m3+m9≦5であり、m1、m2、m3、m7、m8、m9の少なくとも一つは、1以上の整数を表し、m1、m2、m3=0の時、1以上のR7、R8、R9のうち少なくとも1つは、-O-R10、-O-CO-O-R10又は-O-L10-CO-O-R10を表す。
AI-は、有機アニオンを表す。]
[式(a2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Wa50は、置換基を有してもよい炭素数5~12の環状炭化水素基を表す。
La50は、単結合又はフッ素原子を有してもよい炭素数1~12の鎖状炭化水素基を表す。
ma50は、1~5のいずれかの整数を表す。] - A1が、***-X01-L01-又は***-L01-X01-であり、
A2が、***-X02-L02-又は***-L02-X02-であり、
A3が、***-X03-L03-又は***-L03-X03-であり、
X01、X02及びX03は、それぞれ独立に、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-を表し、
L01、L02及びL03は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~18の炭化水素基(該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-CO-、-S-又は-SO2-で置き換わっていてもよい。)を表し、
***は、Ar1、Ar2又はAr3との結合部位を表す請求項1に記載のレジスト組成物。 - X01、X02及びX03が、それぞれ独立に、-O-又は-S-である請求項2に記載のレジスト組成物。
- L01、L02及びL03が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基(該アルカンジイル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。)である請求項2又は3に記載のレジスト組成物。
- R10の酸不安定基が、式(1a)で表される基又は式(2a)で表される基である請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
[式(1a)中、Raa1、Raa2及びRaa3は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルキル基、炭素数2~8のアルケニル基、炭素数3~20の脂環式炭化水素基、炭素数6~18の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表すか、又はRaa1及びRaa2は互いに結合してそれらが結合する炭素原子とともに炭素数3~20の脂環式炭化水素基を形成する。
*は結合部位を表す。]
[式(2a)中、Raa1’及びRaa2’は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~12の炭化水素基を表し、Raa3’は、炭素数1~20の炭化水素基を表すか、又はRaa2’及びRaa3’は互いに結合してそれらが結合する-C-Xa-とともに炭素数3~20の複素環基を形成し、該炭化水素基及び該複素環基に含まれる-CH2-は、-O-又は-S-で置き換わってもよい。
Xaは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
*は結合部位を表す。] - Xが、硫黄原子である請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
- Ar1、Ar2及びAr3が、それぞれ独立に、ベンゼン環、ナフタレン環、フラン環又はチオフェン環に由来する基である請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
- AI-はスルホン酸アニオンであり、スルホン酸アニオンは式(I-A)で表されるアニオン又は式(I-B)で表されるアニオンである請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
[式(I-A)中、
Q1及びQ2は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数1~6のペルフルオロアルキル基又は炭素数1~6のアルキル基を表す。
L1は、炭素数1~24の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Y1は、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数3~24の環状炭化水素基を表し、該環状炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。]
[式(I-B)中、
m21は、1~5のいずれかの整数を表し、m21が2以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
R21は、炭素数3~18の環状炭化水素基を含む炭素数3~48の炭化水素基を表し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-、-S-、-SO2-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
R22は、ハロゲン原子又は炭素数1~6のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。
m22は、0~4のいずれかの整数を表し、m22が2以上のとき、複数のR22は互いに同一であっても異なってもよい。] - 1以上の式(a2)で表される構造単位が、
1以上の式(a2-A)で表される構造単位を含む請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
[式(a2-A)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは、0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。] - 1以上の式(a2-A)で表される構造単位が、
式(a2-A1)で表される構造単位と、
式(a2-A2)で表される構造単位と、を含む請求項10に記載のレジスト組成物。
[式(a2-A1)及び式(a2-A2)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mb1は、0~4のいずれかの整数を表す。
Ra52は、ハロゲン原子を表す。
Ra53は、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
mb2及びmb3は、それぞれ独立に、0~4のいずれかの整数を表し、mb2が2以上の場合、複数のRa52は互いに同一であっても異なってもよく、mb3が2以上の場合、複数のRa53は互いに同一であっても異なってもよく、1≦mb2+mb3≦4を満たす。] - 1以上の式(a2)で表される構造単位が、
式(a2-B)で表される構造単位を含む請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
[式(a2-B)中、
Ra50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Aa50は、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。] - 1以上の式(a2)で表される構造単位が、
式(a2-A)で表される構造単位と、
式(a2-B)で表される構造単位と、を含む請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
[式(a2-A)及び式(a2-B)中、
Ra50は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数1~6のアルキル基を表す。
Ra51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~6のアルキル基、炭素数1~6のアルコキシ基、炭素数2~12のアルコキシアルキル基、炭素数2~12のアルコキシアルコキシ基、炭素数2~4のアルキルカルボニル基、炭素数2~4のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Aa50は、それぞれ独立に、単結合又は*-Xa51-(Aa52-Xa52)nb-を表し、*は-Ra50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Aa52は、それぞれ独立に、炭素数1~8のアルカンジイル基を表す。
Xa51及びXa52は、それぞれ独立に、-O-、-CO-O-又は-O-CO-を表す。
nbは、0又は1を表す。
mbは0~4のいずれかの整数を表す。mbが2以上のいずれかの整数である場合、複数のRa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ra54及びRa55は、それぞれ独立に、炭素数1~4のフッ化アルキル基を表す。
La51は、単結合又は炭素数1~3のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基はフッ素原子が置換されていてもよい。
Ra56は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1~4のハロアルキル基又は炭素数1~12のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-で置き換わっていてもよい。
mb4は、1~3のいずれかの整数を表し、mb4が2以上のとき、複数のRa54、Ra55及びLa51は、それぞれ互いに同一であっても異なってもよい。
mb5は、0~4のいずれかの整数を表し、mb5が2以上のとき、複数のRa56は互いに同一であっても異なってもよい。但し、1≦mb4+mb5≦5である。] - 式(I)で表される塩を含有する酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する請求項1又は2に記載のレジスト組成物。
- (1)請求項1又は2に記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
(2)塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
(3)組成物層に露光する工程、
(4)露光後の組成物層を加熱する工程、及び
(5)加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022092507 | 2022-06-07 | ||
JP2022092507 | 2022-06-07 | ||
JP2022186768 | 2022-11-22 | ||
JP2022186768 | 2022-11-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2023179384A true JP2023179384A (ja) | 2023-12-19 |
Family
ID=89199482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2023092700A Pending JP2023179384A (ja) | 2022-06-07 | 2023-06-05 | レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2023179384A (ja) |
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- 2023-06-05 JP JP2023092700A patent/JP2023179384A/ja active Pending
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