JP2023179019A - Control device for vibration type driving device, and apparatus including vibration type driving device - Google Patents

Control device for vibration type driving device, and apparatus including vibration type driving device Download PDF

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Abstract

To stably drive a to-be-driven body with good responsiveness even if the attitude of the to-be-driven body changes.SOLUTION: A control device 500 controls a vibration type driving device 300 that moves to-be-driven bodies 200, 201 by applying frequency signals of multiple phases having a phase difference thereamong to an electricity-machine energy conversion element 311, so as to excite vibration of a vibrator 301. The control device includes detection means 700 for detecting the attitude of a to-be-driven body, storage means 506 for storing information about a first control amount with respect to the frequency signals of multiple phases at a first time point when movement of the to-be-driven body is started or stopped, and about an attitude detected at the first time point, and processing means 500 for defining a second control amount with respect to the frequency signals of multiple phases for starting movement of the to-be-driven body at a second time point after the first time point, by using the stored information and an attitude detected at the second time point.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、振動型駆動装置の制御に関する。 The present invention relates to control of a vibration type drive device.

電気-機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動体とこれに接触する接触体とを相対駆動する振動型駆動装置は、光学機器におけるレンズその他の被駆動体の駆動に用いられている。このような振動型駆動装置には、電気-機械エネルギ変換素子への入力としての複数相の周波信号の位相差等の制御量をある程度大きくしないと駆動が開始されない不感帯領域がある。不感帯領域の存在は、駆動開始の遅れや位置制御の精度低下につながる。 A vibration-type drive device that relatively drives a vibrating body whose vibration is excited by an electro-mechanical energy conversion element and a contact body that comes into contact with the vibrating body is used for driving lenses and other driven bodies in optical equipment. Such a vibration type drive device has a dead zone region in which the drive does not start unless the control amount, such as the phase difference between the multiple phase frequency signals input to the electro-mechanical energy conversion element, is increased to a certain extent. The existence of the dead zone area leads to a delay in starting driving and a decrease in the accuracy of position control.

特許文献1には、前回の被駆動体の駆動が開始されたときの制御量を記憶し、今回の駆動開始時の制御量に前回の制御量をオフセット量として加算することで、駆動開始の遅れ等を改善する制御方法が開示されている。 Patent Document 1 discloses that the control amount when the drive of the driven object was started last time is stored, and the previous control amount is added as an offset amount to the control amount when the current drive is started. A control method for improving delays and the like is disclosed.

特開2011-176967号公報Japanese Patent Application Publication No. 2011-176967

しかしながら、特許文献1の制御方法において、前回の制御量の記憶時に対して被駆動物の姿勢の変化により被駆動体の駆動負荷が増加すると、記憶されたオフセット量を今回の制御量に加算しても、今回の駆動開始の遅れ等を改善することができなくなる。 However, in the control method of Patent Document 1, when the drive load on the driven object increases due to a change in the posture of the driven object compared to when the previous controlled amount was stored, the stored offset amount is added to the current controlled amount. However, it will not be possible to improve the current delay in starting the drive.

本発明は、被駆動体の姿勢が変化しても被駆動体を良好な応答性で安定的に駆動できるようにした振動型駆動装置の制御方法を提供する。 The present invention provides a control method for a vibration type drive device that allows a driven body to be stably driven with good responsiveness even if the posture of the driven body changes.

本発明の一側面としての制御装置は、互いに位相差を有する複数相の周波信号を電気-機械エネルギ変換素子に印加して振動体に振動を励起することにより被駆動体を移動させる振動型駆動装置を制御する。該制御装置は、被駆動体の姿勢を検出する検出手段と、第1の時点において被駆動体が移動を開始したとき又は停止したときの複数相の周波信号に対する第1の制御量と第1の時点で検出された姿勢とに関する情報を記憶する記憶手段と、第1の時点より後の第2の時点において被駆動体の移動を開始させるための複数相の周波信号に対する第2の制御量を、記憶された情報と第2の時点で検出された姿勢と用いて設定する処理手段とを有することを特徴とする。なお、上記制御装置と、被駆動体を駆動する振動型駆動装置とを有する装置または光学機器も、本発明の他の一側面を構成する。 A control device according to one aspect of the present invention is a vibration-type drive that moves a driven object by applying multi-phase frequency signals having phase differences to an electro-mechanical energy conversion element to excite vibration in a vibrating object. Control the device. The control device includes a detection means for detecting the posture of the driven object, a first control amount for a plurality of phase frequency signals when the driven object starts or stops moving at a first point in time, and a first a storage means for storing information regarding the posture detected at the time point; and a second control amount for the multi-phase frequency signal for starting the movement of the driven body at a second time point after the first time point. The apparatus is characterized in that it has a processing means for setting using the stored information and the posture detected at the second time point. Note that a device or optical device having the above-mentioned control device and a vibration-type drive device that drives a driven body also constitutes another aspect of the present invention.

また本発明の他の一側面としての制御方法は、互いに位相差を有する複数相の周波信号を電気-機械エネルギ変換素子に印加して振動体に振動を励起することにより被駆動体を移動させる振動型駆動装置を制御する方法である。該制御方法は、被駆動体の姿勢を検出するステップと、第1の時点において前記被駆動体が移動を開始したとき又は停止したときの複数相の周波信号に対する第1の制御量と第1の時点で検出された姿勢とに関する情報を記憶するステップと、第1の時点より後の第2の時点において被駆動体の移動を開始させるための複数相の周波信号に対する第2の制御量を、記憶された情報と第2の時点で検出された姿勢と用いて設定するステップとを有することを特徴とする。なお、上記制御方法に従う処理をコンピュータに実行させるプログラムも、本発明の他の一側面を構成する。 Further, in a control method according to another aspect of the present invention, a driven object is moved by applying a plurality of phase frequency signals having mutual phase differences to an electro-mechanical energy conversion element to excite vibration in a vibrating object. This is a method of controlling a vibration type drive device. The control method includes the steps of: detecting the posture of the driven body; a first control amount for a plurality of phase frequency signals when the driven body starts moving or stops moving at a first time point; a second control amount for a multi-phase frequency signal for starting movement of the driven body at a second time point after the first time point; , and a step of setting using the stored information and the posture detected at the second time point. Note that a program that causes a computer to execute processing according to the above control method also constitutes another aspect of the present invention.

本発明によれば、被駆動体を駆動する振動型駆動装置において、被駆動体の姿勢が変化しても被駆動体を良好な応答性で安定的に駆動することができる。 According to the present invention, in a vibration type drive device that drives a driven body, the driven body can be stably driven with good responsiveness even if the posture of the driven body changes.

実施例におけるレンズ装置の構成を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a lens device in an example. 実施例におけるフォーカスレンズ駆動機構の構成を示す図。The figure which shows the structure of the focus lens drive mechanism in an Example. 実施例における振動型アクチュエータの構成および動作を示す図。FIG. 3 is a diagram showing the configuration and operation of a vibration type actuator in an example. 実施例におけるフォーカスレンズユニットの姿勢角に応じた外力を示す図。FIG. 7 is a diagram showing external force depending on the attitude angle of the focus lens unit in the example. 実施例における位置制御処理を示すフローチャート。5 is a flowchart showing position control processing in the embodiment. 実施例における前回の動き出し制御量と姿勢を記憶する処理と今回のオフセット制御量を演算する処理を示すフローチャート。5 is a flowchart showing a process of storing the previous movement start control amount and posture and a process of calculating the current offset control amount in the embodiment.

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

<振動型アクチュエータについて>
図3(a)は、振動型駆動装置としての振動型アクチュエータ300の概略構成を示している。振動型アクチュエータ300は、振動体301と接触体302により構成されている。振動体301は、圧電素子(電気-機械エネルギ変換素子)311と、これが接着固定された弾性体312とにより構成されている。弾性体312は、ステンレス等の金属により薄板状の部材として形成されている。弾性体312の移動体側の面には、2つの突起部312aが設けられている。接触体302は、不図示の加圧手段が発生する加圧力によって、2つの突起部312aの先端(上面)に加圧接触している。
<About vibration type actuator>
FIG. 3(a) shows a schematic configuration of a vibration type actuator 300 as a vibration type drive device. The vibration type actuator 300 is composed of a vibrating body 301 and a contact body 302. The vibrating body 301 is composed of a piezoelectric element (electro-mechanical energy conversion element) 311 and an elastic body 312 to which the piezoelectric element (electrical-mechanical energy conversion element) is fixed with adhesive. The elastic body 312 is formed as a thin plate-like member from metal such as stainless steel. Two protrusions 312a are provided on the surface of the elastic body 312 on the movable body side. The contact body 302 is pressed into contact with the tips (upper surfaces) of the two projections 312a by a pressing force generated by a pressing means (not shown).

図3(b)に示すように、圧電素子311には、2つの電極領域が形成されており、各電極領域における分極方向は互いに同じ+方向となっている。これら2つの電極領域のうち一方には周波信号としての交流電圧VBが印加され、他方には周波信号としての交流電圧VAが印加される。交流電圧VB,VAを第1の振動モードの共振周波数付近の周波数で、かつ同位相の交流電圧とすると、図3(c)に示すように振動体301に第1の振動モードの振動が発生する。この第1の振動モードの振動は、突起部312aが接触体302に接触している方向であるZ方向の振動であり、以下の説明では「突き上げ振動」という。 As shown in FIG. 3(b), two electrode regions are formed in the piezoelectric element 311, and the polarization direction in each electrode region is the same + direction. An alternating current voltage VB as a frequency signal is applied to one of these two electrode regions, and an alternating current voltage VA as a frequency signal is applied to the other. When AC voltages VB and VA have frequencies near the resonance frequency of the first vibration mode and have the same phase, vibration of the first vibration mode occurs in the vibrating body 301 as shown in FIG. 3(c). do. The vibration in the first vibration mode is vibration in the Z direction, which is the direction in which the protrusion 312a is in contact with the contact body 302, and will be referred to as "up-up vibration" in the following description.

また、交流電圧VB,VAを第2の振動モードの共振周波数付近の周波数で、かつ互いに位相が180°ずれた交流電圧とすると、図3(d)に示すように振動体301に第2の振動モードの振動が発生する。この第2の振動モードの振動は、2つの突起部312aの先端をこれら突起部312aが並ぶ方向であるX方向に振動させてX方向への駆動力を発生させる。以下の説明では、第2の振動モードの振動を「送り振動」という。 Furthermore, if the AC voltages VB and VA are AC voltages with frequencies near the resonance frequency of the second vibration mode and whose phases are shifted from each other by 180°, the second vibration voltage is applied to the vibrating body 301 as shown in FIG. Vibration mode vibration occurs. The vibration in the second vibration mode causes the tips of the two protrusions 312a to vibrate in the X direction, which is the direction in which these protrusions 312a are lined up, thereby generating a driving force in the X direction. In the following description, the vibration in the second vibration mode will be referred to as "feeding vibration."

第1振動モードと第2の振動モードの各共振周波数に近い周波数の交流電圧VB,VAを圧電素子311に印加することにより、突き上げ振動と送り振動とが合成されて突起部312aの先端がZX面内で楕円運動する。突起部312aの先端の楕円運動は、突起部312aの先端と接触体302との間の摩擦を介して振動体301と接触体302とをX方向に連続的に相対移動させる駆動力を発生させる。振動体301と接触体302のうち一方を固定し、他方を移動可能に保持することで、これらを図3(a)に示す移動方向に相対移動させることができる。 By applying AC voltages VB and VA with frequencies close to the respective resonance frequencies of the first vibration mode and the second vibration mode to the piezoelectric element 311, the thrust vibration and the feed vibration are combined, and the tip of the protrusion 312a moves to ZX. Moves in an elliptical plane. The elliptical movement of the tip of the protrusion 312a generates a driving force that continuously moves the vibrating body 301 and the contact body 302 relative to each other in the X direction through friction between the tip of the protrusion 312a and the contact body 302. . By fixing one of the vibrating body 301 and the contact body 302 and holding the other movably, these can be relatively moved in the moving direction shown in FIG. 3(a).

圧電素子311に印加される交流電圧VB,VAの周波数や振幅を変化させることで、突き上げ振動と送り振動の振幅の大きさを変えることができ、これにより接触体302の移動速度を制御することができる。また、交流電圧VB,VAの位相差を変化させることで、突き上げ振動と送り振動の振幅比を変えることができ、これによっても接触体302の移動速度を制御することができる。交流電圧VB,VAの周波数、振幅および位相差のうちいずれかのパラメータは後述する制御量によって制御される。本実施例では、交流電圧VB,VAの位相差を制御量により制御する場合について説明する。
<レンズ装置について>
図1は、上述した振動型アクチュエータを用いて光学部材としてのフォーカスレンズユニットを駆動する光学機器としてのレンズ装置100の構成を示している。図2は、レンズ装置100内に設けられたフォーカスレンズ駆動機構の構成を示している。なお、レンズ装置100は、不図示のカメラに着脱可能に装着される交換レンズであってもよいし、カメラ(光学機器)に一体に設けられてもよい。
By changing the frequency and amplitude of the alternating current voltages VB and VA applied to the piezoelectric element 311, the amplitudes of the thrust vibration and the feed vibration can be changed, thereby controlling the moving speed of the contact body 302. I can do it. Further, by changing the phase difference between the AC voltages VB and VA, the amplitude ratio of the thrust vibration and the feed vibration can be changed, and the moving speed of the contact body 302 can also be controlled by this. Any parameter among the frequency, amplitude, and phase difference of AC voltages VB and VA is controlled by a control amount described later. In this embodiment, a case will be described in which the phase difference between AC voltages VB and VA is controlled by a control amount.
<About the lens device>
FIG. 1 shows the configuration of a lens device 100 as an optical device that drives a focus lens unit as an optical member using the vibration type actuator described above. FIG. 2 shows the configuration of a focus lens drive mechanism provided within the lens device 100. Note that the lens device 100 may be an interchangeable lens that is detachably attached to a camera (not shown), or may be provided integrally with the camera (optical device).

レンズ装置100は、フォーカス鏡筒200、固定鏡筒102、振動型アクチュエータ300、駆動回路400、レンズマイコン(処理手段)500、位置検出部600および姿勢検出部(検出手段)700を有する。フォーカス鏡筒200は、フォーカスレンズ201を保持する。フォーカスレンズ201は1つ又は複数のレンズにより構成されている。フォーカス鏡筒200とフォーカスレンズ201によりフォーカスレンズユニットが構成される。フォーカス鏡筒200は被ガイド部202を有する。被ガイド部202は、固定鏡筒102に固定されたガイド軸(ガイド部材)204に摺動可能に係合している。これにより、フォーカス鏡筒200が光軸Оが延びる方向である光軸方向に直進ガイドされる。 The lens device 100 includes a focus lens barrel 200, a fixed lens barrel 102, a vibration type actuator 300, a drive circuit 400, a lens microcomputer (processing means) 500, a position detecting section 600, and an attitude detecting section (detecting means) 700. A focus lens barrel 200 holds a focus lens 201. The focus lens 201 is composed of one or more lenses. The focus lens barrel 200 and the focus lens 201 constitute a focus lens unit. The focus lens barrel 200 has a guided portion 202 . The guided portion 202 is slidably engaged with a guide shaft (guide member) 204 fixed to the fixed lens barrel 102 . As a result, the focus lens barrel 200 is guided straight in the optical axis direction, which is the direction in which the optical axis O extends.

なお、レンズ装置100は、フォーカスレンズ201以外にもズームレンズや絞り等の光学部材を有するが、図1および図2への図示は省略している。 Note that the lens device 100 includes optical members such as a zoom lens and a diaphragm in addition to the focus lens 201, but these are not shown in FIGS. 1 and 2.

振動型アクチュエータ300の振動体301は、不図示の加圧手段を含む固定部材203を介してフォーカス鏡筒200に固定されている。振動型アクチュエータ300の接触体302は、固定鏡筒102に固定されている。このため、振動体301に前述した振動を励起することで、被駆動体としてのフォーカスレンズユニット(200,201)を固定鏡筒102に対して光軸方向に移動させることができる。 The vibrating body 301 of the vibrating actuator 300 is fixed to the focus lens barrel 200 via a fixing member 203 including a pressurizing means (not shown). The contact body 302 of the vibration type actuator 300 is fixed to the fixed lens barrel 102. Therefore, by exciting the vibration described above in the vibrating body 301, the focus lens unit (200, 201) as a driven body can be moved in the optical axis direction with respect to the fixed lens barrel 102.

駆動回路400は、レンズマイコン500内の駆動信号生成部509からの2相のパルス信号の出力タイミングでスイッチング動作を行うとともに不図示の電源から供給されるDC電圧を所定電圧に昇圧して、2相の正弦波状の交流電圧VA,VBを生成する。これら2相の交流電圧VA,VBは、前述したように振動体301(圧電素子311)に印加される。 The drive circuit 400 performs a switching operation at the output timing of a two-phase pulse signal from a drive signal generation unit 509 in the lens microcomputer 500, and boosts a DC voltage supplied from a power source (not shown) to a predetermined voltage. Phase sinusoidal AC voltages VA and VB are generated. These two-phase AC voltages VA and VB are applied to the vibrating body 301 (piezoelectric element 311) as described above.

位置検出部600は、フォーカスレンズユニットの光軸方向での位置を検出するセンサであり、位置に応じた信号をレンズマイコン500に出力する。位置検出部600は、例えば、フォーカス鏡筒200に固定された反射式スケールと固定鏡筒102に固定された発光部と受光部からなるフォトセンサとにより構成され、スケールからの反射光を読み取ることで位置を検出する光学式エンコーダより構成される。位置検出部600として、複数のスリットを有するスリット板からの透過光を読み取る光学式エンコーダや磁気式エンコーダを用いてもよい。 The position detection unit 600 is a sensor that detects the position of the focus lens unit in the optical axis direction, and outputs a signal according to the position to the lens microcomputer 500. The position detection unit 600 includes, for example, a reflective scale fixed to the focus barrel 200 and a photosensor consisting of a light emitting unit and a light receiving unit fixed to the fixed barrel 102, and is capable of reading reflected light from the scale. It consists of an optical encoder that detects the position. As the position detection unit 600, an optical encoder or a magnetic encoder that reads transmitted light from a slit plate having a plurality of slits may be used.

姿勢検出部700は、フォーカスレンズユニットの姿勢を検出するセンサであり、例えば3軸加速度センサにより構成されて3軸方向の加速度に応じた信号をレンズマイコン500に出力する。加速度センサは固定鏡筒102上に固定されており、振動型アクチュエータ300によるフォーカスレンズユニットの駆動により発生する慣性力の影響は受けない。 The attitude detection section 700 is a sensor that detects the attitude of the focus lens unit, and is configured with, for example, a 3-axis acceleration sensor, and outputs a signal corresponding to acceleration in the 3-axis directions to the lens microcomputer 500. The acceleration sensor is fixed on the fixed lens barrel 102 and is not affected by the inertial force generated by driving the focus lens unit by the vibration actuator 300.

レンズマイコン500は、レンズ装置100全体を制御するマイクロコンピュータである。レンズマイコン500は、目標位置生成部501、減算器503、位置演算部502、制御量演算部504、加算器505、記憶部(記憶手段)506、補正部508、位相差変換部507、前述した駆動信号生成部509および姿勢演算部510を含む。 Lens microcomputer 500 is a microcomputer that controls the entire lens device 100. The lens microcomputer 500 includes a target position generation section 501, a subtracter 503, a position calculation section 502, a control amount calculation section 504, an adder 505, a storage section (storage means) 506, a correction section 508, a phase difference conversion section 507, and the above-described components. It includes a drive signal generation section 509 and an attitude calculation section 510.

目標位置生成部501は、カメラから又はレンズ装置100に設けられた操作部から受けた位置指令信号に基づいてフォーカスレンズユニットを移動させる目標位置を示す目標位置信号を生成する。位置演算部502は、位置検出部600から出力された信号をフォーカスレンズユニットの位置を示す位置信号に変換する。 The target position generation unit 501 generates a target position signal indicating a target position to which the focus lens unit is to be moved based on a position command signal received from the camera or from an operation unit provided in the lens device 100. The position calculation unit 502 converts the signal output from the position detection unit 600 into a position signal indicating the position of the focus lens unit.

減算器503は、目標位置生成部501で生成された目標位置信号と位置演算部502で演算された位置信号との差である位置偏差を演算する。制御量演算部504は、PID制御器等により構成され、減算器503で演算された位置偏差を小さくするような制御量MVを演算する。 The subtracter 503 calculates a positional deviation that is the difference between the target position signal generated by the target position generation unit 501 and the position signal calculated by the position calculation unit 502. The control amount calculation unit 504 is configured with a PID controller or the like, and calculates a control amount MV that reduces the positional deviation calculated by the subtracter 503.

姿勢演算部510は、姿勢検出部700から出力される3軸方向の加速度に基づいてフォーカスレンズユニットの姿勢を示す姿勢角θを演算する。姿勢角θは、図4に示すように、水平軸とフォーカスレンズユニット(200,201)の駆動方向(光軸方向)とがなす角度である。図4は、フォーカスレンズユニットの駆動方向が斜め上向きとなるようにレンズ装置100が傾いた状態を示している。 The attitude calculation unit 510 calculates an attitude angle θ indicating the attitude of the focus lens unit based on the acceleration in the three-axis directions output from the attitude detection unit 700. As shown in FIG. 4, the attitude angle θ is an angle between the horizontal axis and the driving direction (optical axis direction) of the focus lens unit (200, 201). FIG. 4 shows a state in which the lens device 100 is tilted so that the driving direction of the focus lens unit is diagonally upward.

記憶部506は、前回(第1の時点)のフォーカスレンズユニットの移動開始時に後述する加算器505から出力された制御量(第1の制御量:以下、前回の動き出し制御量という)MVmemと姿勢演算部510で演算された姿勢角θmemとを互いに関連付けた情報を記憶している。この情報は、前回の動き出し制御量MVmemと姿勢角θmemを直接示す情報やこれらに変換可能な情報等、前回の動き出し制御量MVmemと姿勢角θmemに関する情報であればよい。 The storage unit 506 stores the control amount (first control amount: hereinafter referred to as the previous movement start control amount) MVmem and attitude output from the adder 505, which will be described later, when the focus lens unit started moving last time (first time point). Information that associates the attitude angle θmem calculated by the calculation unit 510 with each other is stored. This information may be any information regarding the previous movement start control amount MVmem and attitude angle θmem, such as information directly indicating the previous movement start control amount MVmem and attitude angle θmem, or information that can be converted into these.

補正部508は、記憶部506に記憶された情報における前回の姿勢角θmemと今回(第2の時点)のフォーカスレンズユニットの移動開始時の姿勢角θとを用いて、前回の動き出し制御量MVmemを補正したオフセット制御量MVpreを以下の式(1)によって算出する。このオフセット制御量MVpreは、今回の制御量を補正するための補正量である。 The correction unit 508 uses the previous attitude angle θmem in the information stored in the storage unit 506 and the attitude angle θ at the start of movement of the focus lens unit this time (second time point) to calculate the previous movement start control amount MVmem. The offset control amount MVpre corrected is calculated using the following equation (1). This offset control amount MVpre is a correction amount for correcting the current control amount.

式(1)において、gは重力加速度、mはフォーカスレンズユニットの質量、μは被ガイド部202とガイド軸204との摩擦係数である。また、αは力を制御量に相当する値に変換するための変換係数である。本実施例では制御量が位相差に変換されるため、2相の交流電圧VA,VBの位相差と振動型アクチュエータ300の駆動力との関係を事前に把握することで、変換係数αを設定することができる。 In equation (1), g is the gravitational acceleration, m is the mass of the focus lens unit, and μ is the friction coefficient between the guided portion 202 and the guide shaft 204. Further, α is a conversion coefficient for converting the force into a value corresponding to the control amount. In this embodiment, since the control amount is converted into a phase difference, the conversion coefficient α is set by understanding in advance the relationship between the phase difference between the two-phase AC voltages VA and VB and the driving force of the vibration type actuator 300. can do.

式(1)の第1項のMVmemは記憶部506に記憶された前回の動き出し制御量であり、従来はこれを姿勢によって補正することなく今回の駆動に利用する。式(1)のうち大括弧で括られた4項のうちマイナスで括られた2項は、記憶された姿勢角θmemでフォーカスレンズユニットの駆動方向とは反対方向に作用する外力である。また、プラスで括られた2項は、今回(現在)の姿勢角θで駆動方向とは反対方向に作用する外力である。それぞれの2項のうち一方の外力は、図4に示すように、フォーカスレンズユニットに作用する重力における駆動方向に平行な分力(重力成分)であり、他方の外力は被ガイド部202とこれに接触(摺動)するガイド軸204との間に作用する摩擦力である。式(1)は、記憶された制御量MVmemから記憶時における外力に相当する制御量を差し引いて、現在の外力に相当する制御量を加算するものである。式(1)を用いることで、記憶された制御量MVmemから現在の姿勢に応じたオフセット制御量を算出することができる。 MVmem in the first term of equation (1) is the previous movement start control amount stored in the storage unit 506, and conventionally this is used for the current drive without being corrected based on the attitude. Of the four terms enclosed in square brackets in equation (1), the second term enclosed in minus signs is an external force that acts in the direction opposite to the driving direction of the focus lens unit at the stored attitude angle θmem. Furthermore, the two terms enclosed in plus signs are external forces that act in the direction opposite to the driving direction at the current (current) attitude angle θ. As shown in FIG. 4, one of the two external forces is the component force (gravitational component) parallel to the driving direction of the gravity acting on the focus lens unit, and the other external force is the force that acts on the focus lens unit and the guided part 202. This is the frictional force that acts between the guide shaft 204 and the guide shaft 204 that contacts (slides). Equation (1) subtracts the control amount corresponding to the external force at the time of storage from the stored control amount MVmem, and adds the control amount corresponding to the current external force. By using equation (1), it is possible to calculate the offset control amount according to the current attitude from the stored control amount MVmem.

本実施例では、フォーカスレンズユニットの駆動ごとにオフセット制御量MVpreを式(1)を用いて逐次演算する。ただし、姿勢角θmemごとの制御量MVmemに対して姿勢角θごとに予め算出されたオフセット制御量をルックアップテーブル(LUT)に格納しておいてもよい。この場合、フォーカスレンズユニットの駆動ごとに前回記憶された姿勢角θmemと動き出し制御量MVmemと今回の姿勢角θに応じたオフセット制御量をLUTから読み出せばよい。 In this embodiment, the offset control amount MVpre is sequentially calculated using equation (1) each time the focus lens unit is driven. However, an offset control amount calculated in advance for each attitude angle θ may be stored in a look-up table (LUT) with respect to the control amount MVmem for each attitude angle θmem. In this case, each time the focus lens unit is driven, the previously stored attitude angle θmem, the movement start control amount MVmem, and the offset control amount corresponding to the current attitude angle θ may be read from the LUT.

加算器505は、制御量演算部504で演算された今回の制御量MVに、補正部508からのオフセット制御量MVpreを加算して、補正後の制御量(MV+MVpre:第2の制御量:以下、補正制御量という)を設定する。位相差変換部507は、加算器505から出力された補正制御量を、振動体301に印加する交流電圧VB,VAの位相差に変換する。駆動信号生成部509は、位相差変換部507で変換された位相差を有する2相のパルス信号を生成し、これらパルス信号を駆動回路400に出力する。 The adder 505 adds the offset control amount MVpre from the correction section 508 to the current control amount MV calculated by the control amount calculation section 504, and calculates the corrected control amount (MV+MVpre: second control amount: , correction control amount). The phase difference conversion unit 507 converts the corrected control amount output from the adder 505 into a phase difference between AC voltages VB and VA applied to the vibrating body 301. The drive signal generation section 509 generates two-phase pulse signals having the phase difference converted by the phase difference conversion section 507 and outputs these pulse signals to the drive circuit 400.

このようにフォーカスレンズユニットの姿勢に応じた補正制御量を設定することで、姿勢に応じて変化する外力が作用するフォーカスレンズユニットの移動開始の遅れを少なくすることができる。
<レンズマイコン500が実行する処理>
図5のフローチャートは、レンズマイコン500がプログラムに従って実行する、フォーカスレンズユニットを目標位置に移動させる処理(制御方法)を示している。
By setting the correction control amount according to the attitude of the focus lens unit in this way, it is possible to reduce the delay in the start of movement of the focus lens unit, which is affected by an external force that changes depending on the attitude.
<Processing executed by lens microcomputer 500>
The flowchart in FIG. 5 shows a process (control method) for moving the focus lens unit to the target position, which is executed by the lens microcomputer 500 according to a program.

ステップS100では、レンズマイコン500は、カメラから又はレンズ装置100の操作部から位置指令(駆動指令)信号が入力されたか否かを判定する。位置指令信号が入力された場合はステップS101に進み、位置指令信号が入力されていない場合はステップS100の判定を繰り返す。 In step S100, the lens microcomputer 500 determines whether a position command (drive command) signal has been input from the camera or from the operation unit of the lens device 100. If the position command signal has been input, the process advances to step S101, and if the position command signal has not been input, the determination in step S100 is repeated.

ステップS101では、レンズマイコン500(目標位置生成部501)は、カメラやレンズ装置100の操作部から受けた位置指令信号に基づいてフォーカスレンズユニットを移動させる目標位置を生成する。このとき、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットが目標位置に到達するための所要時間も同時に演算する。 In step S101, the lens microcomputer 500 (target position generation unit 501) generates a target position for moving the focus lens unit based on a position command signal received from the camera or the operation unit of the lens device 100. At this time, the lens microcomputer 500 also calculates the time required for the focus lens unit to reach the target position.

次にステップS102では、レンズマイコン500は、記憶部506にて記憶されている前回の動き出し制御量を補正してオフセット制御量を取得する処理を行う。この補正処理については後述する。 Next, in step S102, the lens microcomputer 500 performs a process of correcting the previous movement start control amount stored in the storage unit 506 to obtain an offset control amount. This correction process will be described later.

次にステップS103では、レンズマイコン500(位置演算部502)は、位置検出部600を通じてフォーカスレンズユニットの現在位置を取得する。 Next, in step S103, the lens microcomputer 500 (position calculation section 502) acquires the current position of the focus lens unit through the position detection section 600.

次にステップS104では、レンズマイコン500(制御量演算部504)は、ステップS101で生成された目標位置とステップS103で取得された現在位置との位置偏差に基づいて今回の制御量を演算する。 Next, in step S104, the lens microcomputer 500 (control amount calculation unit 504) calculates the current control amount based on the positional deviation between the target position generated in step S101 and the current position acquired in step S103.

次にステップS105では、レンズマイコン500(加算器505)は、ステップS102での補正処理により得られたオフセット制御量をステップS103にて演算された今回の制御量に加算して補正制御量を算出し、位相差への変換用の制御量として設定する。 Next, in step S105, the lens microcomputer 500 (adder 505) calculates a correction control amount by adding the offset control amount obtained by the correction process in step S102 to the current control amount calculated in step S103. and set as the control amount for conversion to phase difference.

次にステップS106では、レンズマイコン500(位相差変換部507)は、ステップS105にて設定された制御量(補正制御量)を位相差に変換する。 Next, in step S106, the lens microcomputer 500 (phase difference converter 507) converts the control amount (correction control amount) set in step S105 into a phase difference.

次にステップS107では、レンズマイコン500(駆動信号生成部509)がステップS106で制御量から変換された位相差を有する2相のパルス信号を生成し、これらを駆動回路400に出力する。これにより、今回の振動型アクチュエータ300の駆動が少ない遅れで開始される。 Next, in step S107, the lens microcomputer 500 (drive signal generation unit 509) generates two-phase pulse signals having a phase difference converted from the control amount in step S106, and outputs these to the drive circuit 400. As a result, the current drive of the vibration type actuator 300 is started with a small delay.

その後ステップS108では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットが今回の位置指令信号の受信後にて初めて目標位置の方向へ動き出した(移動を開始した)か否かを判定する。動き出した場合はステップS109へ進み、まだ動き出していない場合またはすでに動き出している場合はステップS110へ進む。 Thereafter, in step S108, the lens microcomputer 500 determines whether the focus lens unit has started moving toward the target position (has started moving) for the first time after receiving the current position command signal. If it has started moving, the process advances to step S109, and if it has not started moving yet or has already started, the process advances to step S110.

ステップS109では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの動き出し時(移動開始時)の制御量である動き出し制御量を記憶部506に記憶させる処理を行う。この記憶処理についての詳細は後述する。 In step S109, the lens microcomputer 500 performs processing to store in the storage unit 506 a movement start control amount, which is a control amount when the focus lens unit starts moving (movement start time). Details of this storage processing will be described later.

ステップS110では、レンズマイコン500は、ステップS101で演算した所要時間が経過したか否かを判定し、所要時間が経過した場合はステップS111へ進み、まだ所要時間が経過していない場合はステップS103に戻る。 In step S110, the lens microcomputer 500 determines whether or not the required time calculated in step S101 has elapsed. If the required time has elapsed, the process proceeds to step S111; if the required time has not yet elapsed, step S103 Return to

ステップS111では、レンズマイコン500は、駆動信号生成部509での2相のパルス信号の生成を停止し、振動型アクチュエータ300の駆動を停止させる。そして本処理を終了する。 In step S111, the lens microcomputer 500 stops the drive signal generation unit 509 from generating two-phase pulse signals, and stops the vibration actuator 300 from driving. Then, this process ends.

図6(a)のフローチャートは、レンズマイコン500が図5のステップS109で行うフォーカスレンズユニットの動き出し制御量を記憶する処理を示している。 The flowchart in FIG. 6A shows the process of storing the movement start control amount of the focus lens unit, which is performed by the lens microcomputer 500 in step S109 in FIG.

ステップS200では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの駆動方向を判定する。駆動方向が図4に示すように外力とは反対方向である順方向の場合はステップS201へ進み、外力と同じ方向である逆方向の場合はステップS202へ進む。 In step S200, the lens microcomputer 500 determines the driving direction of the focus lens unit. As shown in FIG. 4, if the driving direction is the forward direction opposite to the external force, the process proceeds to step S201, and if the driving direction is the same direction as the external force, the process proceeds to step S202.

ステップS201では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの順方向への動き出し制御量とその時の姿勢角を記憶部506に記憶させる。そして本処理を終了する。 In step S201, the lens microcomputer 500 causes the storage unit 506 to store the control amount for starting to move the focus lens unit in the forward direction and the attitude angle at that time. Then, this process ends.

ステップS202では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの逆方向への動き出し制御量とその時の姿勢角を記憶部506に記憶させる。そして本処理を終了する。 In step S202, the lens microcomputer 500 causes the storage unit 506 to store the control amount for starting to move the focus lens unit in the opposite direction and the attitude angle at that time. Then, this process ends.

このように、本実施例では、順方向と逆方向での動き出し制御量と姿勢角とがそれぞれ区別されて記憶部506に記憶される。 In this manner, in this embodiment, the movement start control amount and attitude angle in the forward direction and in the reverse direction are stored in the storage unit 506 separately.

図6(b)のフローチャートは、レンズマイコン500が図5のステップS102で行う、記憶部506に記憶された前回の動き出し制御量を補正してオフセット制御量を演算(取得)する処理を示している。 The flowchart in FIG. 6(b) shows the process performed by the lens microcomputer 500 in step S102 in FIG. 5 to calculate (obtain) the offset control amount by correcting the previous movement start control amount stored in the storage unit 506. There is.

ステップS300では、レンズマイコン500は、ステップS101で生成された目標位置へのフォーカスレンズユニットの駆動方向を判定する。駆動方向が順方向である場合、はステップS301へ進み、駆動方向が逆方向である場合はステップS302へ進む。 In step S300, the lens microcomputer 500 determines the driving direction of the focus lens unit toward the target position generated in step S101. If the drive direction is the forward direction, the process proceeds to step S301, and if the drive direction is the reverse direction, the process proceeds to step S302.

ステップS301では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの前回の順方向への動き出し制御量と姿勢角を記憶部506から取得してステップS303へ進む。 In step S301, the lens microcomputer 500 acquires the previous forward movement control amount and attitude angle of the focus lens unit from the storage unit 506, and proceeds to step S303.

ステップS302では、レンズマイコン500は、フォーカスレンズユニットの前回の逆方向への動き出し制御量と姿勢角を記憶部506から取得してステップS303へ進む。 In step S302, the lens microcomputer 500 acquires the previous movement start control amount and attitude angle of the focus lens unit in the opposite direction from the storage unit 506, and proceeds to step S303.

ステップS303では、レンズマイコン500(姿勢演算部510)は、姿勢検出部700を通じてフォーカスレンズユニットの現在の姿勢角を取得する。 In step S303, the lens microcomputer 500 (attitude calculation section 510) obtains the current attitude angle of the focus lens unit through the attitude detection section 700.

そしてステップS304では、レンズマイコン500は、ステップS301またはステップS302で取得した前回の動き出し制御量とその時の姿勢角およびステップS303にて取得された現在の姿勢角を前述した式(1)に代入する。これにより、前回の動き出し制御量を補正したオフセット制御量MVpreを算出する。そして本処理を終了する。 In step S304, the lens microcomputer 500 substitutes the previous movement start control amount and attitude angle obtained in step S301 or step S302, and the current attitude angle obtained in step S303 into the above-mentioned equation (1). . Thereby, the offset control amount MVpre is calculated by correcting the previous movement start control amount. Then, this process ends.

以上説明したように、本実施例では、フォーカスレンズユニットの前回の移動開始時と今回の移動開始時とでフォーカスレンズユニットの姿勢が異なる場合に、今回の姿勢に応じた補正制御量で振動型アクチュエータ300の駆動を開始させる。このため、フォーカスレンズユニットの移動開始の遅れや位置精度の低下が抑制された良好な応答性と位置制御性能が得られる。
<変形例>
上述した実施例1では接触体302が固定され、振動体301が被駆動体であるフォーカスレンズユニットと一体で移動する構成について説明したが、振動体301が固定され、接触体302をフォーカスレンズユニットと一体で移動させる構成を採用してもよい。
As explained above, in this embodiment, when the orientation of the focus lens unit differs between when the focus lens unit started moving last time and when it starts moving this time, the vibration type Driving of the actuator 300 is started. Therefore, it is possible to obtain good responsiveness and position control performance in which delays in the start of movement of the focus lens unit and deterioration in position accuracy are suppressed.
<Modified example>
In the first embodiment described above, a configuration was described in which the contact body 302 is fixed and the vibrating body 301 moves together with the focus lens unit that is the driven body. It is also possible to adopt a configuration in which the device is moved integrally with the device.

また実施例1では、交流電圧VA,VBの位相差を制御量で制御する場合について説明したが、交流電圧VA,VBの周波数や振幅を制御量で制御してもよい。 Further, in the first embodiment, a case has been described in which the phase difference between the AC voltages VA and VB is controlled by a control amount, but the frequency and amplitude of the AC voltages VA and VB may be controlled by a control amount.

また実施例1では、フォーカスレンズユニットの前回の動き出し制御量を記憶してこれを今回の姿勢に応じて補正する場合について説明したが、前回の移動終了時(停止時)の制御量を記憶してこれを補正してもよい。 Furthermore, in Embodiment 1, a case has been described in which the control amount for the previous movement of the focus lens unit is stored and corrected according to the current attitude. This may be corrected.

また実施例1では、姿勢に応じたオフセット制御量を今回算出された制御量に加算して補正制御量を算出する場合について説明したが、今回の姿勢と前回の姿勢とに応じた係数を前回の動き出し制御量に乗じる等の他の方法で補正制御量を算出してもよい。 In addition, in Example 1, a case was explained in which the correction control amount was calculated by adding the offset control amount depending on the attitude to the control amount calculated this time. The correction control amount may be calculated by other methods such as multiplying the movement start control amount.

また実施例1にいうフォーカスレンズユニットの前回(第1の時点)の移動は、今回(第2の時点)の移動に対して1回前の移動に限らず、複数回前の移動であってもよい。 Further, the previous movement (first time point) of the focus lens unit in Example 1 is not limited to one movement before the current movement (second time point), but may be movement several times before the current movement (second time point). Good too.

また実施例1では、被駆動体が光軸方向に移動するフォーカスレンズユニットである場合について説明したが、被駆動体は光軸方向以外の方向に移動するレンズや撮像素子等、振動型アクチュエータにより移動されるものであればよい。 Furthermore, in the first embodiment, the case where the driven object is a focus lens unit that moves in the optical axis direction is explained, but the driven object is a vibration type actuator such as a lens or an image sensor that moves in a direction other than the optical axis direction. Any item that can be moved is fine.

さらに実施例1では振動型アクチュエータを有する光学機器について説明したが、振動型アクチュエータによって被駆動体を移動させる光学機器以外の各種装置も本発明の実施例に含まれる。 Further, in the first embodiment, an optical device having a vibration type actuator has been described, but various devices other than optical devices in which a driven body is moved by a vibration type actuator are also included in the embodiments of the present invention.

また実施例1では、振動型アクチュエータ300の位置フィードバックによる位置制御を行う場合について説明したが、速度フィードバックによる速度制御を行ってもよい。 Furthermore, in the first embodiment, a case has been described in which position control is performed using position feedback of the vibration type actuator 300, but speed control may be performed using speed feedback.

また実施例1では、振動型アクチュエータ300に2相の周波信号を印加する場合について説明したが、互いに位相差を有する3相以上の複数相の周波信号を振動型アクチュエータに印加してもよい。 Further, in the first embodiment, a case has been described in which two-phase frequency signals are applied to the vibration-type actuator 300, but frequency signals of three or more phases having mutual phase differences may be applied to the vibration-type actuator.

以上の実施の形態には、以下の構成が含まれる。
(構成1)
互いに位相差を有する複数相の周波信号を電気-機械エネルギ変換素子に印加して振動体に振動を励起することにより被駆動体を移動させる振動型駆動装置を制御する制御装置であって、
前記被駆動体の姿勢を検出する検出手段と、
第1の時点において前記被駆動体が移動を開始したとき又は停止したときの前記複数相の周波信号に対する第1の制御量と前記第1の時点で検出された前記姿勢とに関する情報を記憶する記憶手段と、
前記第1の時点より後の第2の時点において前記被駆動体の移動を開始させるための前記複数相の周波信号に対する第2の制御量を、記憶された前記情報と前記第2の時点で検出された前記姿勢と用いて設定する処理手段とを有することを特徴とする制御装置。
(構成2)
前記処理手段は、記憶された前記情報と前記第2の時点で検出された前記姿勢とを用いて補正量を算出し、該補正量を前記被駆動体の目標位置と現在位置の偏差を用いて演算される制御量に加算して前記第2の制御量を設定することを特徴とする構成1に記載の制御装置。
(構成3)
前記処理手段は、前記第1の時点で検出された前記姿勢と前記第2の時点で検出された前記姿勢とに応じた係数を前記第1の制御量に乗じることで前記第2の制御量を設定することを特徴とする構成1に記載の制御装置。
(構成4)
前記第1および第2の制御量は、前記姿勢に応じて変化する外力が作用する前記被駆動体の移動を開始させるための前記複数相の周波信号に対する制御量であることを特徴とする構成1から3のいずれか1つに記載の制御装置。
(構成5)
前記外力は、重力成分と、前記被駆動体とこれに接触する部材との間の摩擦力であることを特徴とする構成4に記載の制御装置。
(構成6)
前記第1および第2の制御量は、前記複数相の周波信号の周波数、振幅および位相差のうち少なくとも1つを制御するための制御量であることを特徴とする構成1から5のいずれか1つに記載の制御装置。
(構成7)
構成1から6のいずれか1つに記載の制御装置と、
前記被駆動体を駆動する前記振動型駆動装置とを有することを特徴とする装置。
(構成8)
構成1から6のいずれか1つに記載の制御装置と、
前記被駆動体としての光学部材を駆動する前記振動型駆動装置とを有することを特徴とする光学機器。
(その他の実施例)
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
The above embodiment includes the following configurations.
(Configuration 1)
A control device that controls a vibration-type drive device that moves a driven body by applying a plurality of phase frequency signals having mutual phase differences to an electro-mechanical energy conversion element to excite vibration in a vibrating body, the control device comprising:
detection means for detecting the posture of the driven body;
Store information regarding a first control amount for the multi-phase frequency signal when the driven body starts or stops moving at a first time and the attitude detected at the first time. storage means,
A second control amount for the multi-phase frequency signal for starting movement of the driven body at a second time point after the first time point is determined based on the stored information and the second time point. A control device comprising processing means that uses the detected posture to perform a setting.
(Configuration 2)
The processing means calculates a correction amount using the stored information and the attitude detected at the second time point, and calculates the correction amount using a deviation between a target position and a current position of the driven body. 2. The control device according to configuration 1, wherein the second control amount is set by adding the second control amount to the control amount calculated.
(Configuration 3)
The processing means calculates the second control amount by multiplying the first control amount by a coefficient corresponding to the attitude detected at the first time point and the attitude detected at the second time point. The control device according to configuration 1, wherein the control device sets:
(Configuration 4)
The first and second control amounts are control amounts for the plurality of phase frequency signals for starting movement of the driven body on which an external force that changes depending on the posture acts. 4. The control device according to any one of 1 to 3.
(Configuration 5)
The control device according to configuration 4, wherein the external force is a gravitational component and a frictional force between the driven body and a member in contact with the driven body.
(Configuration 6)
Any one of configurations 1 to 5, wherein the first and second control amounts are control amounts for controlling at least one of the frequency, amplitude, and phase difference of the plurality of phase frequency signals. The control device according to one.
(Configuration 7)
The control device according to any one of configurations 1 to 6,
An apparatus comprising: the vibration type drive device that drives the driven body.
(Configuration 8)
The control device according to any one of configurations 1 to 6,
An optical device comprising: the vibration type drive device that drives the optical member as the driven body.
(Other examples)
The present invention provides a system or device with a program that implements one or more of the functions of the embodiments described above via a network or a storage medium, and one or more processors in the computer of the system or device reads and executes the program. This can also be achieved by processing. It can also be realized by a circuit (for example, ASIC) that realizes one or more functions.

以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。 The embodiments described above are merely representative examples, and various modifications and changes can be made to each embodiment when implementing the present invention.

300 振動型アクチュエータ
301 振動体
302 接触体
500 レンズマイコン
506 記憶部
700 姿勢検出部
300 Vibration type actuator 301 Vibrating body 302 Contact body 500 Lens microcomputer 506 Storage unit 700 Posture detection unit

Claims (10)

互いに位相差を有する複数相の周波信号を電気-機械エネルギ変換素子に印加して振動体に振動を励起することにより被駆動体を移動させる振動型駆動装置を制御する制御装置であって、
前記被駆動体の姿勢を検出する検出手段と、
第1の時点において前記被駆動体が移動を開始したとき又は停止したときの前記複数相の周波信号に対する第1の制御量と前記第1の時点で検出された前記姿勢とに関する情報を記憶する記憶手段と、
前記第1の時点より後の第2の時点において前記被駆動体の移動を開始させるための前記複数相の周波信号に対する第2の制御量を、記憶された前記情報と前記第2の時点で検出された前記姿勢と用いて設定する処理手段とを有することを特徴とする制御装置。
A control device that controls a vibration-type drive device that moves a driven body by applying a plurality of phase frequency signals having mutual phase differences to an electro-mechanical energy conversion element to excite vibration in a vibrating body, the control device comprising:
detection means for detecting the posture of the driven body;
Store information regarding a first control amount for the multi-phase frequency signal when the driven body starts or stops moving at a first time and the attitude detected at the first time. storage means,
A second control amount for the multi-phase frequency signal for starting movement of the driven body at a second time point after the first time point is determined based on the stored information and the second time point. A control device comprising processing means that uses the detected posture to perform a setting.
前記処理手段は、記憶された前記情報と前記第2の時点で検出された前記姿勢とを用いて補正量を算出し、該補正量を前記被駆動体の目標位置と現在位置の偏差を用いて演算される制御量に加算して前記第2の制御量を設定することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 The processing means calculates a correction amount using the stored information and the attitude detected at the second time point, and calculates the correction amount using a deviation between a target position and a current position of the driven body. 2. The control device according to claim 1, wherein the second control amount is set by adding the second control amount to the control amount calculated by the calculation. 前記処理手段は、前記第1の時点で検出された前記姿勢と前記第2の時点で検出された前記姿勢とに応じた係数を前記第1の制御量に乗じることで前記第2の制御量を設定することを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 The processing means calculates the second control amount by multiplying the first control amount by a coefficient corresponding to the attitude detected at the first time point and the attitude detected at the second time point. The control device according to claim 1, wherein the control device sets: 前記第1および第2の制御量は、前記姿勢に応じて変化する外力が作用する前記被駆動体の移動を開始させるための前記複数相の周波信号に対する制御量であることを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 The first and second control amounts are control amounts for the plurality of phase frequency signals for starting movement of the driven body on which an external force that changes depending on the posture acts. The control device according to item 1. 前記外力は、重力成分と、前記被駆動体とこれに接触する部材との間の摩擦力であることを特徴とする請求項4に記載の制御装置。 5. The control device according to claim 4, wherein the external force is a gravitational component and a frictional force between the driven body and a member in contact with the driven body. 前記第1および第2の制御量は、前記複数相の周波信号の周波数、振幅および位相差のうち少なくとも1つを制御するための制御量であることを特徴とする請求項1に記載の制御装置。 The control according to claim 1, wherein the first and second control amounts are control amounts for controlling at least one of the frequency, amplitude, and phase difference of the plurality of phase frequency signals. Device. 請求項1から6のいずれか一項に記載の制御装置と、
前記被駆動体を駆動する前記振動型駆動装置とを有することを特徴とする装置。
A control device according to any one of claims 1 to 6,
An apparatus comprising: the vibration type drive device that drives the driven body.
請求項1から6のいずれか一項に記載の制御装置と、
前記被駆動体としての光学部材を駆動する前記振動型駆動装置とを有することを特徴とする光学機器。
A control device according to any one of claims 1 to 6,
An optical device comprising: the vibration type drive device that drives the optical member as the driven body.
互いに位相差を有する複数相の周波信号を電気-機械エネルギ変換素子に印加して振動体に振動を励起することにより被駆動体を移動させる振動型駆動装置を制御する制御方法であって、
前記被駆動体の姿勢を検出するステップと、
第1の時点において前記被駆動体が移動を開始したとき又は停止したときの前記複数相の周波信号に対する第1の制御量と前記第1の時点で検出された前記姿勢とに関する情報を記憶するステップと、
前記第1の時点より後の第2の時点において前記被駆動体の移動を開始させるための前記複数相の周波信号に対する第2の制御量を、記憶された前記情報と前記第2の時点で検出された前記姿勢と用いて設定するステップとを有することを特徴とする制御方法。
A control method for controlling a vibration-type drive device that moves a driven body by applying a plurality of phase frequency signals having mutual phase differences to an electro-mechanical energy conversion element to excite vibration in a vibrating body, the method comprising:
detecting the posture of the driven body;
Store information regarding a first control amount for the multi-phase frequency signal when the driven body starts or stops moving at a first time and the attitude detected at the first time. step and
A second control amount for the multi-phase frequency signal for starting movement of the driven body at a second time point after the first time point is determined based on the stored information and the second time point. A control method comprising the step of setting using the detected posture.
請求項9に記載の制御方法に従う処理をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 A program that causes a computer to execute processing according to the control method according to claim 9.
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