JP2023178021A - Printed wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents

Printed wiring board and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP2023178021A
JP2023178021A JP2022091047A JP2022091047A JP2023178021A JP 2023178021 A JP2023178021 A JP 2023178021A JP 2022091047 A JP2022091047 A JP 2022091047A JP 2022091047 A JP2022091047 A JP 2022091047A JP 2023178021 A JP2023178021 A JP 2023178021A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plating
base material
printed wiring
wiring board
exposed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022091047A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
健二 佐野
Kenji Sano
淳 須賀
Atsushi Suga
信哉 清水
Shinya Shimizu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elephantech Inc
Original Assignee
Elephantech Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Elephantech Inc filed Critical Elephantech Inc
Priority to JP2022091047A priority Critical patent/JP2023178021A/en
Publication of JP2023178021A publication Critical patent/JP2023178021A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

To provide a printed wiring board that has a higher-definition conductive pattern, and a manufacturing method thereof.SOLUTION: A printed wiring board includes an insulating base material 11, a plating seed layer 13 formed of a photocurable resin and metal nanoparticles on the base material 11, and a plating layer 15 formed on the plating seed layer 13, and the plating seed layer 13 has a first region 13a that is a non-exposed region and a second region 13b that is an exposed region, and the plating layer 15 is not formed in the second region 13b but in the first region 13a.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高精細な導電パターンを形成可能なプリント配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board capable of forming a high-definition conductive pattern and a method for manufacturing the same.

従来、プリント配線板は、樹脂などの絶縁性基材(ベース材料)の上に金属層を形成した後、この金属層の不要な部分をエッチングにより除去することによって配線パターンを形成する、という方法で製造されてきた。この方法では大量の水と、エッチングで捨てられる余分な金属を使用し、多くの工程を経ねばならなかった。 Conventionally, printed wiring boards are produced by forming a metal layer on an insulating substrate (base material) such as resin, and then removing unnecessary parts of this metal layer by etching to form a wiring pattern. has been manufactured in. This method required many steps, using large amounts of water and excess metal that was discarded during etching.

これに対し、本出願人は、インクジェット法などで金属ナノ粒子を含む導電性インクを必要な部分にのみ塗布し、さらに抵抗値を下げるためめっき処理で金属層を増膜するという手法を提案している(特許文献1)。この手法は基板製造工程の大幅な簡略化を可能とし、特に使用する水の量を大幅に削減すること、さらにCO2の排出量削減に成功した。インクジェット法は、オンデマンドで少量のプリント配線板を最小の時間とコストで作れる信頼できる方法である。 In response, the applicant has proposed a method in which a conductive ink containing metal nanoparticles is applied only to the necessary areas using an inkjet method or the like, and a metal layer is increased by plating to further lower the resistance value. (Patent Document 1). This method has enabled a significant simplification of the substrate manufacturing process, and in particular has succeeded in significantly reducing the amount of water used and CO2 emissions. The inkjet method is a reliable method for producing printed wiring boards on demand in small quantities with minimal time and cost.

特許第6300213号公報Patent No. 6300213

しかしながら、インクジェット法で達成できるラインアンドスペースで表現される精密さは、200~200μmが限界で、これより高精細な導電パターンを作製することは困難であった。 However, the precision expressed in lines and spaces that can be achieved with the inkjet method is limited to 200 to 200 μm, and it has been difficult to produce conductive patterns with higher definition than this.

本発明はこのような背景においてなされたものであり、その目的は、より高精細な導電パターンを有するプリント配線板およびその製造方法を提供することにある。 The present invention was made against this background, and an object thereof is to provide a printed wiring board having a more precise conductive pattern and a method for manufacturing the same.

上記課題を解決するため、本開示によるプリント配線板は、絶縁性の基材と、前記基材上に光硬化樹脂および金属ナノ粒子で形成されためっき種層と、前記めっき種層上に形成されためっき層とを備え、前記めっき種層は非露光領域である第1の領域と、露光領域である第2の領域とを有し、前記めっき層は前記第2の領域には形成されず前記第1の領域に形成されている。 In order to solve the above problems, a printed wiring board according to the present disclosure includes an insulating base material, a plating seed layer formed of a photocurable resin and metal nanoparticles on the base material, and a plating seed layer formed on the plating seed layer. a plating layer, the plating seed layer has a first region that is a non-exposed region and a second region that is an exposed region, and the plating layer is not formed on the second region. The first region is formed in the first region.

このプリント配線板では、光硬化樹脂および金属ナノ粒子で形成されためっき種層は露光領域と非露光領域とでめっきの可否が分かれる。これにより、パターン状の露光に基いて形成されたパターン状のめっき層は、高精細な導電パターンとなりうる。 In this printed wiring board, the plating seed layer formed of a photocurable resin and metal nanoparticles can be plated on exposed areas and non-exposed areas. Thereby, a patterned plating layer formed based on patterned exposure can become a high-definition conductive pattern.

本開示によるプリント配線板の一態様では、前記めっき種層は前記基材の全面に形成されている。 In one aspect of the printed wiring board according to the present disclosure, the plating seed layer is formed on the entire surface of the base material.

本開示によるプリント配線板の他の態様では、前記めっき種層は前記基材上にパターン状に形成されている。 In another aspect of the printed wiring board according to the present disclosure, the plating seed layer is formed in a pattern on the base material.

本開示によるプリント配線板の製造方法は、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだ溶液を基材の表面に塗布する塗布工程と、前記溶液が塗布された基材をパターン状に露光する露光工程と、前記露光された基材を焼成する焼成工程と、前記焼成された基材をめっきするめっき工程とを備え、前記めっき工程において、露光部にはめっき金属が析出せず、非露光部にめっき金属が析出する。 A method for manufacturing a printed wiring board according to the present disclosure includes a coating step of applying a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles to the surface of a base material, and an exposure step of exposing the base material coated with the solution to light in a pattern. and a firing step of firing the exposed base material, and a plating step of plating the fired base material, wherein in the plating step, no plating metal is deposited on the exposed areas and no plating metal is deposited on the non-exposed areas. Plating metal is deposited.

このプリント配線板の製造方法では、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだ溶液を基材の表面に塗布し、これをパターン状に露光し、焼成することにより、後続のめっき工程においては、露光部にはめっき金属が析出せず、非露光部にめっき金属が析出する。その結果、パターン状の露光を通して、高精細な導電パターンを形成することができる。 In this printed wiring board manufacturing method, a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles is applied to the surface of the base material, exposed in a pattern, and baked. The plating metal does not precipitate in the exposed areas, but the plating metal precipitates in the non-exposed areas. As a result, a high-definition conductive pattern can be formed through patterned exposure.

前記プリント配線板の製造方法の一態様では、前記露光工程で、目的の配線パターンのネガイメージで露光を行う。 In one aspect of the printed wiring board manufacturing method, in the exposure step, exposure is performed using a negative image of a target wiring pattern.

前記プリント配線板の製造方法の他の態様では、前記塗布工程で、目的の配線パターンを包含するよう前記基材上にパターン状に前記溶液を塗布し、前記露光工程で、前記塗布されたパターンに対して、前記配線パターンのネガイメージで露光を行う。 In another aspect of the method for manufacturing a printed wiring board, in the coating step, the solution is applied in a pattern on the base material so as to cover the intended wiring pattern, and in the exposure step, the applied pattern is On the other hand, exposure is performed using a negative image of the wiring pattern.

前記プリント配線板の製造方法の他の態様では、前記基材の表面に塗布する方法がインクジェット印刷方法である。 In another aspect of the method for manufacturing the printed wiring board, the method for coating the surface of the base material is an inkjet printing method.

前記プリント配線板の製造方法の他の態様では、前記金属ナノ粒子として銀ナノ粒子を用い、前記光硬化樹脂は光重合開始剤を含み、前記光重合開始剤はその成分としてイオウまたはヨウ素を含有する。 In another embodiment of the method for manufacturing a printed wiring board, silver nanoparticles are used as the metal nanoparticles, the photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator contains sulfur or iodine as a component. do.

前記プリント配線板の製造方法の他の態様では、前記金属ナノ粒子として銅ナノ粒子を用い、前記光硬化樹脂は光重合開始剤を含み、前記光重合開始剤はその成分としてヨウ素を含有する。 In another embodiment of the method for manufacturing a printed wiring board, copper nanoparticles are used as the metal nanoparticles, the photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator contains iodine as a component.

本発明によれば、より高精細な導電パターンを有するプリント配線板およびその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a printed wiring board having a more precise conductive pattern and a method for manufacturing the same.

本発明の実施形態によるプリント配線板の概略構成を模式的に表した断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a schematic configuration of a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるプリント配線板の第1の製造方法の概略の工程を模式的に示した図である。1 is a diagram schematically showing the outline steps of a first manufacturing method of a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるプリント配線板の第2の製造方法の概略の工程を模式的に示した図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing the steps of a second method for manufacturing a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態によるプリント配線板の第2の製造方法の具体的な応用例としてプリント配線板の表面の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the surface of a printed wiring board as a specific application example of the second method for manufacturing a printed wiring board according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態におけるめっき処理前後のサンプルの写真を示す図である。It is a figure which shows the photograph of the sample before and after plating processing in embodiment of this invention.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本実施形態では、光硬化樹脂のインクを用い、この中に金属ナノ粒子を含ませるというアプローチを採用する。光硬化樹脂には光重合開始剤が含まれており、ここに所定の光が当たると反応が起こる。本発明者らは、光重合開始剤等の成分等により、場合によっては金属ナノ粒子によるめっきの触媒に影響を与えるものがあることに気づき、これに基づいて高精細な導電パターンが形成できることに想到した。以下、本実施形態のプリント配線板の構成およびその製造方法について具体的に説明する。
Embodiments of the present invention will be described in detail below.
In this embodiment, an approach is adopted in which a photocurable resin ink is used and metal nanoparticles are contained therein. The photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and when it is exposed to a certain amount of light, a reaction occurs. The present inventors noticed that some components such as photopolymerization initiators may affect the plating catalyst using metal nanoparticles, and based on this, they realized that high-definition conductive patterns can be formed. I came up with the idea. Hereinafter, the structure of the printed wiring board of this embodiment and its manufacturing method will be specifically explained.

<プリント配線板の構成>
図1に本実施形態によるプリント配線板の基本構成を模式的に表した断面図を示す。図1(a)は概略の構成を示し、図1(b)は具体的な構成例を示している。
<Configuration of printed wiring board>
FIG. 1 shows a cross-sectional view schematically showing the basic configuration of a printed wiring board according to this embodiment. FIG. 1(a) shows a schematic configuration, and FIG. 1(b) shows a specific configuration example.

図1(a)に示すように、プリント配線板10は、基本的に、絶縁性の基材11と、この基材11上に光硬化樹脂および金属ナノ粒子で形成されためっき種層13と、このめっき種層13上に形成されためっき層15とを備えて構成される。めっき種層13は、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含有する溶液(インク)の層であるインク層に基いて形成される。めっき層15は導電層を構成する。 As shown in FIG. 1(a), the printed wiring board 10 basically includes an insulating base material 11 and a plating seed layer 13 formed of a photocurable resin and metal nanoparticles on the base material 11. , and a plating layer 15 formed on the plating seed layer 13. The plating seed layer 13 is formed based on an ink layer that is a layer of a solution (ink) containing a photocurable resin and metal nanoparticles. The plating layer 15 constitutes a conductive layer.

図1(b)は簡略化したプリント配線板10の概略構成を示している。めっき種層13の元となるインク層が基材11上に塗布され、このインク層はパターン状に露光される。その結果、めっき種層13には、非露光領域である第1の領域13aと、露光領域である第2の領域13bが形成される。めっき種層13では、非露光領域である第1の領域13aにある金属ナノ粒子のみがめっき種として機能し、露光領域である第2の領域13bにある金属ナノ粒子はめっき種として機能しない。その結果、非露光領域である第1の領域13aの上にのみめっき金属が析出して導電パターンとしてのめっき層15が形成される。 FIG. 1(b) shows a schematic configuration of a simplified printed wiring board 10. As shown in FIG. An ink layer that is the source of the plating seed layer 13 is applied onto the base material 11, and this ink layer is exposed in a pattern. As a result, the plating seed layer 13 is formed with a first region 13a that is a non-exposed region and a second region 13b that is an exposed region. In the plating seed layer 13, only the metal nanoparticles in the first region 13a, which is a non-exposed region, function as a plating seed, and the metal nanoparticles in the second region 13b, which is an exposed region, do not function as a plating seed. As a result, the plating metal is deposited only on the first region 13a, which is the non-exposed region, to form the plating layer 15 as a conductive pattern.

プリント配線板10の構成要素の具体的な構成は次のとおりである。 The specific configuration of the components of the printed wiring board 10 is as follows.

(絶縁性基材11)
絶縁性の基材(絶縁性基材)11は、典型的には樹脂で構成することができる。その樹脂としては、例えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステル、ナイロン6-10、ナイロン46などのナイロン、ポリエーテルエーテルケトン、ABS、PMMA、ポリ塩化ビニルなどの樹脂が挙げられる。
(Insulating base material 11)
The insulating base material (insulating base material) 11 can typically be made of resin. Examples of the resin include polyimide, polyamide, polyester such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), nylon such as nylon 6-10 and nylon 46, polyether ether ketone, ABS, PMMA, and polyvinyl chloride. Examples include resins such as.

本実施形態において使用する絶縁性基材11は特に限定するものではないが、フィルム状の基材としてのベースフィルムを例として説明する。 Although the insulating base material 11 used in this embodiment is not particularly limited, a base film as a film-like base material will be described as an example.

ベースフィルムの厚みは、5μmから3mmが好ましく、12μmから1mmがより好ましく、25μmから200μmが最も好ましい。ベースフィルムの厚みが薄すぎる場合、強度が不十分になると共に、めっき工程時にベースフィルムの歪みが顕著になるおそれがある。ベースフィルムが厚すぎる場合、性能上特に問題はないが、その材料費が増大してしまうとともに、完成した基板の体積および重量が不必要に大きくなってしまうおそれがある。但し、これは絶縁性基材がフィルム状の基材である場合の条件であり、本発明が適用される絶縁性基材はフィルム状の基材に限定されないことは上述したとおりである。 The thickness of the base film is preferably from 5 μm to 3 mm, more preferably from 12 μm to 1 mm, and most preferably from 25 μm to 200 μm. If the thickness of the base film is too thin, the strength will be insufficient and there is a risk that the base film will be significantly distorted during the plating process. If the base film is too thick, there is no particular problem in terms of performance, but there is a risk that the material cost will increase and the volume and weight of the completed substrate will become unnecessarily large. However, this is a condition when the insulating base material is a film-like base material, and as described above, the insulating base material to which the present invention is applied is not limited to a film-like base material.

ベースフィルムの表面には、後述するインクを均一に塗るために、易接着処理を施すことが好ましい。易接着処理としては、例えばコロナ処理、プラズマ処理、溶剤処理、プライマー処理を用いることができる。このような易接着処理を実行する代わりに、市販の易接着処理済のベースフィルムを利用してもよい。 The surface of the base film is preferably subjected to adhesion-facilitating treatment in order to uniformly apply the ink described below. As the adhesion-facilitating treatment, for example, corona treatment, plasma treatment, solvent treatment, and primer treatment can be used. Instead of performing such an adhesion treatment, a commercially available base film that has been subjected to an adhesion treatment may be used.

(めっき種層13;インク層;金属ナノ粒子を含む層)
めっき種層13は、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含有する溶液としての光硬化樹脂インク(以下、「UV硬化インク」または「UVインク」「ナノインク」ともいう)の塗布に基いて形成される層である。光硬化樹脂インクは、プリント配線板10を製造するために絶縁性の基材の表面に塗布される溶液であって、光により硬化される光硬化樹脂と、めっき種として機能する金属ナノ粒子とが混合された溶液である。本実施の形態では、インク層は部分的に露光する。露光した領域は金属ナノ粒子の触媒活性が消滅し、その領域には後続のめっき処理においてめっきが付かない。光硬化樹脂には光重合開始剤が含まれており、その種類によって、めっきを阻害(妨害)するものがある。中でも露光によって阻害成分を放出するものをここに使用する。
(Plating seed layer 13; ink layer; layer containing metal nanoparticles)
The plating seed layer 13 is formed based on application of a photocurable resin ink (hereinafter also referred to as "UV curing ink" or "UV ink" or "nano ink") as a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles. It is a layer. The photocurable resin ink is a solution applied to the surface of an insulating base material to manufacture the printed wiring board 10, and is composed of a photocurable resin that is cured by light, and metal nanoparticles that function as plating seeds. is a mixed solution. In this embodiment, the ink layer is partially exposed. The catalytic activity of the metal nanoparticles disappears in the exposed area, and no plating is applied to that area in the subsequent plating process. The photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and depending on the type, some may inhibit (obstruct) plating. Among these, those that release inhibitory components upon exposure to light are used here.

本実施形態における光硬化のための光は紫外線(UV:ultraviolet)であり、以下、光硬化樹脂をUV硬化樹脂という。 The light for photocuring in this embodiment is ultraviolet (UV) light, and hereinafter the photocuring resin will be referred to as UV curing resin.

めっき種層13の厚みは、100nmから20μmが好ましく、200nmから5μmがさらに好ましく、500nmから2μmが最も好ましい。この層が薄すぎると、機械的強度が低下するおそれがある。逆に、インク塗布層が厚すぎると、一般に金属ナノ粒子の方が通常の金属よりも高価であるため、製造コストが大きくなってしまうおそれがある。 The thickness of the plating seed layer 13 is preferably from 100 nm to 20 μm, more preferably from 200 nm to 5 μm, and most preferably from 500 nm to 2 μm. If this layer is too thin, the mechanical strength may be reduced. On the other hand, if the ink coating layer is too thick, the manufacturing cost may increase because metal nanoparticles are generally more expensive than ordinary metals.

金属ナノ粒子の素材としては、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、ニッケル(Ni)などが用いられ、一種または複数の金属を含んでもよいが、導電性の観点から金、銀、銅が好ましく、銅に比べて酸化されにくく金に比べて安価な銀がよいが、さらに安価な銅を利用可能ならばなおよい。 Materials for metal nanoparticles include gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), palladium (Pd), nickel (Ni), etc., and may contain one or more metals; From this point of view, gold, silver, and copper are preferable, and silver, which is less likely to oxidize than copper and is cheaper than gold, is preferable, but it is even better if copper, which is even cheaper, can be used.

金属ナノ粒子の平均粒子径は1nmから200nmが好ましく、10nmから100nmがより好ましい。粒子径が小さすぎる場合、粒子の反応性が高くなりインクの保存性・安定性に悪影響を与えるおそれがある。粒子径が大きすぎる場合、薄膜の均一形成が困難になると共に、インクの粒子の沈殿が起こりやすくなるおそれがある。 The average particle diameter of the metal nanoparticles is preferably from 1 nm to 200 nm, more preferably from 10 nm to 100 nm. If the particle size is too small, the reactivity of the particles may increase, which may adversely affect the storage life and stability of the ink. If the particle size is too large, it may be difficult to form a thin film uniformly, and the ink particles may be more likely to precipitate.

金属ナノ粒子を含んだUV硬化樹脂インクの粘度については1cpsから50cpsが好ましい。塗布工程にインクジェット法を用いる場合には2cpsから20cpsが好ましい。 The viscosity of the UV curable resin ink containing metal nanoparticles is preferably 1 cps to 50 cps. When an inkjet method is used in the coating process, the speed is preferably 2 cps to 20 cps.

通常のインクでは、金属ナノ粒子を混合しても、ポリイミドのような樹脂基材に金属ナノ粒子を強く定着する理由が無く、多数の金属ナノ粒子が焼結されて初めて樹脂基材に密着することができる。また、バインダーを用いたインクでは、ある程度の強度で金属粒子を定着することが可能であるが、金属ナノ粒子の濃度を低減した場合はこの限りでは無い。金属ナノ粒子が焼結していない場合、金属ナノ粒子が脱落・流出してしまい、密着性が得られないばかりか、めっき槽にも悪影響を与えるおそれがある。一方、UVインクや熱硬化可能なバインダーを用いた場合には、次の工程での金属ナノ粒子の流失を防止することが可能と考えられ、この結果として、金属ナノ粒子の焼結層が無くても密着性が得られると推定した。 With normal ink, even if metal nanoparticles are mixed, there is no reason for the metal nanoparticles to strongly adhere to a resin base material such as polyimide, and it only adheres to the resin base material after a large number of metal nanoparticles are sintered. be able to. Further, with ink using a binder, it is possible to fix metal particles with a certain degree of strength, but this is not the case when the concentration of metal nanoparticles is reduced. If the metal nanoparticles are not sintered, the metal nanoparticles will fall off or flow out, and not only will adhesion not be obtained, but there is a risk that it will have an adverse effect on the plating bath. On the other hand, when UV ink or a thermosetting binder is used, it is thought that it is possible to prevent the metal nanoparticles from being washed away in the next process, and as a result, there is no sintered layer of metal nanoparticles. It was estimated that adhesion could be obtained even if

めっき種層にめっきが付くにはその表面の近傍に金属ナノ粒子が位置する必要がある。インク層の表面またはその近傍にある金属ナノ粒子の表面に被覆材による保護膜があっても、焼成によりこの保護膜が除去される。しかし、金属ナノ粒子の上に完全に硬化した樹脂が乗りすぎると、当該金属ナノ粒子はインク層の表面から深い場所に位置することになりめっきが付かない。これが光硬化樹脂の硬化率が高すぎるとめっきが付かない理由と考えられる。 In order for plating to adhere to the plating seed layer, metal nanoparticles must be located near the surface of the plating seed layer. Even if there is a protective film made of a coating material on the surface of the ink layer or the surface of the metal nanoparticles in the vicinity thereof, this protective film is removed by baking. However, if too much completely cured resin is placed on the metal nanoparticles, the metal nanoparticles will be located deep from the surface of the ink layer and will not be plated. This is thought to be the reason why plating does not adhere if the curing rate of the photocurable resin is too high.

UVインクの金属ナノ粒子の濃度に関しては、めっき工程では、めっき種(めっき触媒)としての金属ナノ粒子が多いほうがよいが、UV光を過度に遮蔽しないという観点およびコストの観点からインクに投入できる金属ナノ粒子は少ないほうがよい。 Regarding the concentration of metal nanoparticles in UV ink, it is better to have more metal nanoparticles as a plating species (plating catalyst) in the plating process, but from the viewpoint of not blocking UV light excessively and from the viewpoint of cost, it is possible to add more metal nanoparticles to the ink. The fewer metal nanoparticles the better.

このような観点から、種々の実験を繰り返し、UVインクに対する適正な金属ナノ粒子の投入量(重量濃度)の範囲を求めた。 From this point of view, various experiments were repeated to determine the appropriate range of the amount (weight concentration) of metal nanoparticles to be added to the UV ink.

例えば、ビスフェノールAジアルキジルエーテル(53wt%),信越化学社製の4官能エポキシモノマーKR-470(5wt%),オキセタン(40wt%),光重合開始剤(2wt%)を混合した系に銀ナノインクを銀ナノ粒子が5wt%の濃度になるように混合した系では、UV硬化するが、無電解めっき1時間で、めっきはつかなかった。 For example, silver nano ink is mixed into a system containing bisphenol A dialkydyl ether (53 wt%), Shin-Etsu Chemical's tetrafunctional epoxy monomer KR-470 (5 wt%), oxetane (40 wt%), and a photopolymerization initiator (2 wt%). In a system in which silver nanoparticles were mixed at a concentration of 5 wt %, UV curing occurred, but the plating did not adhere after 1 hour of electroless plating.

この無電解めっきはホルムアルデヒドを還元剤とした硫酸銅溶液をpH10以上にした標準的なものである。同じ組成で銀ナノ粒子が5wt%では、同じめっき液で、顕微鏡で観察するとわずかにめっきが付き始めているのが観測された。さらに8wt%では、めっきに成功し、同じめっき液で3時間すると十分なめっきが付くことが分かった。ここから実用的にめっきが付く下限を8wt%と判定した。一方で20wt%以上にするとUVインクが硬化しなくなるため、ここを限度とした。より好ましくは10wt%前後がよいと言える。 This electroless plating is a standard method in which a copper sulfate solution using formaldehyde as a reducing agent has a pH of 10 or more. When using the same plating solution with the same composition but containing 5 wt% of silver nanoparticles, it was observed that plating had begun to form slightly when observed under a microscope. Further, at 8 wt%, plating was successful, and it was found that sufficient plating was obtained after 3 hours using the same plating solution. From this, the lower limit for practical plating was determined to be 8 wt%. On the other hand, if the content exceeds 20 wt%, the UV ink will not be cured, so this is the limit. More preferably, it is around 10 wt%.

このような実験の結果、インク中の金属ナノ粒子の含有割合については、必要最低限の範囲として、重量濃度(wt%)で、8%~20%であることが好ましいことが判明した。この重量濃度の低下は高価な金属ナノ粒子のコストを低減につながる。但し、重量濃度がこの範囲の下限を下回ると、めっき層が導電層として機能しなくなるおそれがある。 As a result of such experiments, it was found that the content ratio of metal nanoparticles in the ink is preferably 8% to 20% in terms of weight concentration (wt%) as the minimum necessary range. This reduction in weight concentration leads to a reduction in the cost of expensive metal nanoparticles. However, if the weight concentration is below the lower limit of this range, the plating layer may not function as a conductive layer.

なお、本実施形態において、当該重量濃度範囲のインクで形成されためっき種層13(露光および焼成後)自体は導電層として機能しなくてもよく、最終的に生成されためっき層15が導電層として機能すれば足りる。 Note that in this embodiment, the plating seed layer 13 (after exposure and baking) formed with the ink in the weight concentration range itself does not have to function as a conductive layer, and the plating layer 15 finally generated is conductive. It is sufficient if it functions as a layer.

(めっき層15)
導電層としてのめっき層15は、めっき種層13の上にめっき処理(電解めっきまたは無電解めっき)により形成される。
(Plating layer 15)
The plating layer 15 as a conductive layer is formed on the plating seed layer 13 by a plating process (electrolytic plating or electroless plating).

めっき金属としては、銅、ニッケル、錫、銀、金などを用いることができるが、経済性および導電性の観点から銅を用いることが最も好ましい。 As the plating metal, copper, nickel, tin, silver, gold, etc. can be used, but copper is most preferably used from the viewpoint of economy and conductivity.

めっき層15の厚さは、3μmから100μmが好ましく、3μmから35μmがより好ましい。めっき層15が薄すぎると、機械的強度が不足すると共に、導電性が実用上十分に得られないおそれがある。逆に、めっき層15が厚すぎると、めっき処理に必要な時間が長くなり、製造コストが増大するおそれがある。一般に電解めっきの方が無電解めっきに比べてめっきに必要な時間が短いため、電解めっきの場合のほうがより厚いめっき層に現実的なコストで対応できる。ただし、無電解めっきは、つながった電極ラインだけでなく、島として浮いた領域にめっきができる利点を有する。 The thickness of the plating layer 15 is preferably from 3 μm to 100 μm, more preferably from 3 μm to 35 μm. If the plating layer 15 is too thin, it may lack mechanical strength and may not have sufficient electrical conductivity for practical use. On the other hand, if the plating layer 15 is too thick, the time required for the plating process will be longer, which may increase manufacturing costs. Generally, electrolytic plating requires less time for plating than electroless plating, so electrolytic plating can accommodate thicker plating layers at a more realistic cost. However, electroless plating has the advantage that it can plate not only connected electrode lines but also floating areas as islands.

<プリント配線板の製造方法>
本実施形態によるプリント配線板の製造方法は、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだ溶液を基材の表面に塗布する塗布工程と、前記溶液が塗布された基材をパターン状に露光する露光工程と、前記露光された基材を焼成する焼成工程と、前記焼成された基材をめっきするめっき工程とを備え、前記めっき工程において、露光部にはめっき金属が析出せず、非露光部にめっき金属が析出する。
<Manufacturing method of printed wiring board>
The method for manufacturing a printed wiring board according to the present embodiment includes a coating step of applying a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles to the surface of a base material, and an exposure step of exposing the base material coated with the solution to light in a pattern. a firing step of firing the exposed base material, and a plating step of plating the fired base material, wherein in the plating step, the plating metal does not precipitate on the exposed area and the non-exposed area Plating metal is deposited on the surface.

より具体的には、露光工程では、目的の導電パターンのネガイメージで露光を行う。 More specifically, in the exposure step, exposure is performed using a negative image of the target conductive pattern.

(インクの塗布工程)
基材の表面への金属ナノ粒子を含むUV硬化インクの塗布は、後述するように、基材上に全面塗布する場合とパターン状に塗布する場合とがある。パターン状に塗布する場合には、印刷による方法が採用でき、典型的にはインクジェット法を用いる。但し、必ずしもインクジェット法に限るものではなく、これ以外の塗布方法を用いてもよい。また、後述する実験では、バーコーターによる塗布も行っている。
(Ink application process)
The application of the UV curable ink containing metal nanoparticles to the surface of the base material may be applied over the entire surface of the base material or in a pattern, as described below. When applying in a pattern, a printing method can be used, and typically an inkjet method is used. However, the coating method is not necessarily limited to the inkjet method, and other coating methods may be used. Furthermore, in the experiments described below, coating was also performed using a bar coater.

金属ナノ粒子を含んだUV硬化インクを基材としてのベースフィルムに塗布した後、溶媒がある場合はこれを除去する乾燥工程を行う。この工程は公知の金属ナノ粒子インクの乾燥工程と同様である。金属ナノ粒子を含んだUV硬化インクの乾燥方法としては、オーブンなどによる加熱、温風乾燥等を採用することができる。 After applying a UV-curable ink containing metal nanoparticles to a base film as a substrate, a drying process is performed to remove any solvent. This step is similar to the known drying step of metal nanoparticle ink. As a method for drying the UV-curable ink containing metal nanoparticles, heating using an oven or the like, hot air drying, or the like can be employed.

(UV露光工程)
金属ナノ粒子を含んだUV硬化インクのUV露光工程では、パターン状の露光を行う。その際、UV硬化樹脂に含まれる光重合開始剤の感度波長によって露光手段を選択する。パターン状の露光はマスクを用いてもよいし、後述する光描画装置による光描画を行ってもよい。また、その露光パターンとしては目的の導電パターンのネガイメージで露光を行う。このUV露光工程では、UV硬化樹脂が硬化し過ぎず不完全硬化状態とする。
(UV exposure process)
In the UV exposure process of UV curable ink containing metal nanoparticles, patterned exposure is performed. At that time, the exposure means is selected depending on the sensitivity wavelength of the photopolymerization initiator contained in the UV curing resin. A mask may be used for the patterned exposure, or optical drawing may be performed using an optical drawing device described later. Further, as the exposure pattern, exposure is performed using a negative image of the target conductive pattern. In this UV exposure step, the UV curable resin is not cured too much and is in an incompletely cured state.

(UV硬化樹脂の焼成工程)
UV露光工程に続く焼成工程ではUV硬化樹脂の追加的な硬化が行われるとともに、インク層表面において樹脂に裂け目を生じさせる。金属ナノ粒子はこの裂け目を通して表面につながり、後続のめっき工程ではこの裂け目を通してめっき種層の表面に金属が析出すると推測される。この裂け目を生じさせる作用については、焼成前のUV硬化樹脂が硬化し過ぎず不完全硬化状態となっていることがその作用を助けていると推測される。但し、本実施形態においては、露光部でのめっき阻害効果により露光部ではめっき金属が析出しない。
(Baking process of UV cured resin)
In the baking step that follows the UV exposure step, the UV-curable resin is additionally cured and cracks are created in the resin on the surface of the ink layer. It is assumed that the metal nanoparticles are connected to the surface through these cracks, and in the subsequent plating process, metal is deposited on the surface of the plating seed layer through these cracks. It is presumed that the effect of causing this tear is aided by the fact that the UV-cured resin before firing is not over-cured and is in an incompletely cured state. However, in this embodiment, the plating metal does not precipitate in the exposed areas due to the plating inhibiting effect in the exposed areas.

また、この焼成工程では、めっき種層と基材との密着性の向上も期待される。上述したように、例えば銅ナノ粒子のように金属ナノ粒子によってはその表面に被覆材による保護膜が形成されている場合がある。被覆材は例えば有機酸類等を含む。焼成工程では、このような金属ナノ粒子についてはめっき種として機能させるために、UV露光後めっき前に焼成によりこのような保護膜が除去される。 In addition, this firing step is expected to improve the adhesion between the plating seed layer and the base material. As described above, some metal nanoparticles, such as copper nanoparticles, may have a protective film formed with a coating material on their surfaces. The coating material includes, for example, organic acids. In the baking process, such a protective film is removed by baking after UV exposure and before plating, in order to make these metal nanoparticles function as plating seeds.

焼成温度は160℃から260℃程度で焼成時間は10分から1時間である。UV硬化インクの場合には焼成温度は160℃では不十分で260℃以上が好ましい。この焼成工程では、めっき種層と基材との密着性の向上も期待される。この工程を経て後続のめっき工程へ移行する。 The firing temperature is about 160°C to 260°C, and the firing time is 10 minutes to 1 hour. In the case of UV-curable ink, a firing temperature of 160°C is insufficient and a firing temperature of 260°C or higher is preferable. This firing step is also expected to improve the adhesion between the plating seed layer and the base material. After this step, the process moves to the subsequent plating step.

(めっき工程)
上記インク塗布工程およびUV露光工程の後、ベースフィルム上に形成されためっき種層に対し、めっき処理(電解めっきまたは無電解めっき)を行う。これにより、めっき種層の表面および内部にめっき金属を析出させる。
(Plating process)
After the ink application step and UV exposure step, a plating treatment (electrolytic plating or electroless plating) is performed on the plating seed layer formed on the base film. Thereby, plating metal is deposited on the surface and inside of the plating seed layer.

めっき方法は公知のめっき液を用いた公知のめっき処理と同様であり、具体的には無電解銅めっき、電解銅めっき、電解ニッケルめっき等を含みうる。 The plating method is similar to a known plating process using a known plating solution, and specifically may include electroless copper plating, electrolytic copper plating, electrolytic nickel plating, etc.

UV硬化樹脂には光重合開始剤が含まれており、ここにUV光が当たると反応が起こり、基本的には樹脂の硬化が始まる。しかし、上述したように、光重合開始剤は、場合によっては金属ナノ粒子によるめっきの触媒に影響を与える。これは金属と光重合開始剤の組み合わせにより決まる。これによって、めっき種層の光が当たった部分(露光領域)には無電解めっき液に漬けてもめっきが付かず、光が当たらなかった部分(非露光領域)にはめっきが付く。すなわち、この方法によれば露光領域と非露光領域でめっきの可否が分かれるため、これによって導電パターンを作製することができる。UV光はビームを絞り込むことができるので、このような手法を利用すれば、より高精細な導電パターン、例えば現状では、1μm以下のパターンを作ることも可能である。ただし、この場合は露光部にめっきが付かず、非露光部にめっきが付くので、露光パターンは、いわゆるポジネガ逆転のパターン(ネガイメージ)となる。このパターンは、目的の導電パターンに対応するマスクを用いた露光により形成することもできるし、描画装置を用いてUV光のLEDで描画してオンデマンドで形成することもできる。このような描画装置としては、例えば英国製の小型LED直接描画装置、マイクロライターMLが挙げられる。 UV-curable resins contain photopolymerization initiators, and when exposed to UV light, a reaction occurs and basically the resin begins to harden. However, as mentioned above, the photopolymerization initiator may affect the plating catalyst by metal nanoparticles in some cases. This is determined by the combination of metal and photoinitiator. As a result, the portions of the plating seed layer that are exposed to light (exposed areas) will not be plated even if immersed in an electroless plating solution, and the areas that are not exposed to light (non-exposed areas) will be plated. That is, according to this method, it is determined whether or not plating is possible in the exposed area and the non-exposed area, so that a conductive pattern can be produced. Since the beam of UV light can be narrowed down, by using such a technique, it is possible to create conductive patterns with higher definition, for example, patterns with a diameter of 1 μm or less at present. However, in this case, the exposed areas are not plated and the non-exposed areas are plated, so the exposure pattern becomes a so-called positive-negative reversal pattern (negative image). This pattern can be formed by exposure using a mask corresponding to the desired conductive pattern, or can be formed on demand by drawing with a UV light LED using a drawing device. An example of such a drawing device is Microlighter ML, a small LED direct drawing device manufactured in the UK.

(プリント配線板の第1の製造方法)
図2に本実施形態によるプリント配線板の第1の製造方法の概略の工程を模式的に示す。
(First manufacturing method of printed wiring board)
FIG. 2 schematically shows the steps of the first method of manufacturing a printed wiring board according to this embodiment.

このプリント配線板は、絶縁性基材(ベースフィルム)11と、この絶縁性基材11上に金属ナノ粒子を含むUV硬化インクを塗布することによりインク層13を形成する。この例では、スピンコート等によりポリイミド等のベースフィルム上にUV硬化インクを全面塗布する。次いで、UV光で目的の導電パターンのネガイメージのパターンを描画することによりパターン状に露光を行う。これにより露光した部分である露光領域13bのめっき触媒が失活する。その後、焼成により熱硬化してすべての部分を硬化させる。このようにしてめっき種層13が形成される。ついで、めっき(ここでは無電解めっき)を施すことにより、非露光領域13aにめっき金属が析出することにより配線パターン15aとしてのめっき層15が形成される。UV硬化インクの非露光部は、熱硬化したものと考えられる。このようにしてプリント配線板が完成する。 This printed wiring board includes an insulating base material (base film) 11 and an ink layer 13 formed by applying a UV curable ink containing metal nanoparticles onto the insulating base material 11. In this example, UV curable ink is applied over the entire surface of a base film such as polyimide by spin coating or the like. Next, exposure is performed in a pattern by drawing a negative image of the desired conductive pattern with UV light. As a result, the plating catalyst in the exposed region 13b, which is the exposed portion, is deactivated. After that, all parts are hardened by thermosetting by firing. In this way, the plating seed layer 13 is formed. Next, by performing plating (here, electroless plating), plating metal is deposited in the non-exposed region 13a, thereby forming a plating layer 15 as a wiring pattern 15a. The non-exposed portions of the UV-curable ink are considered to have been thermally cured. In this way, the printed wiring board is completed.

なお、図2において示した各層の厚さの比率はあくまで例示であり、本発明は図示の比率に限定されるものではない。また、導電ラインの幅やライン間隔も例示にすぎない。 Note that the ratio of the thickness of each layer shown in FIG. 2 is just an example, and the present invention is not limited to the ratio shown. Furthermore, the width of the conductive lines and the line spacing are merely examples.

この方法によれば、現状、0.6μm~1μmの分解能で配線パターンを形成することができる。図ではラインの幅は3μmの例を示している。 According to this method, it is currently possible to form wiring patterns with a resolution of 0.6 μm to 1 μm. The figure shows an example in which the line width is 3 μm.

(プリント配線板の第2の製造方法)
図3に、本実施形態によるプリント配線板の第2の製造方法の概略の工程を模式的に示す。
(Second manufacturing method of printed wiring board)
FIG. 3 schematically shows the steps of the second manufacturing method of the printed wiring board according to the present embodiment.

図2に示した第1の製造方法の場合には基板全面に金属ナノ粒子を含んだUV硬化インクを塗布したが、図3に示す第2の製造方法ではインクジェット法などの印刷方法で可能なラインアンドスペースで、必要な部分のみに金属ナノ粒子を含んだUV硬化インクをパターン状に塗布することによりインクパターン13cを形成する。 In the case of the first manufacturing method shown in Figure 2, UV-curable ink containing metal nanoparticles was applied to the entire surface of the substrate, but in the second manufacturing method shown in Figure 3, printing methods such as inkjet methods can be used. The ink pattern 13c is formed by applying UV curable ink containing metal nanoparticles in a line-and-space pattern only to necessary portions.

より具体的には、目的の導電パターンを包含するインクパターン13cに基いてパターン状にUV硬化インクを塗布する。このインクパターンの印刷は低解像度のものでよい。この方法によれば、UV硬化インクを全面塗布ではなく、低解像度で必要最小限の部分にのみ塗布を行えばよい。これにより、第1の製造方法に比べて、金属ナノ粒子の含まれるUV硬化インクの無駄を無くすことができる。続く露光工程ではこの低解像度のインクパターンに対して高精細な配線パターン(導電パターン)のネガイメージで露光を行う。これにより、インクパターン13cに、非露光部13aと露光部13bとが生じる。その結果、次のめっき工程で当該ラインの中で目的のより高解像度の導電パターン15aからなるめっき層15を形成することができる。 More specifically, UV curable ink is applied in a pattern based on the ink pattern 13c that includes the intended conductive pattern. This ink pattern may be printed at low resolution. According to this method, the UV-curable ink is not applied to the entire surface, but only to the minimum necessary area with low resolution. Thereby, compared to the first manufacturing method, it is possible to eliminate waste of UV-curable ink containing metal nanoparticles. In the subsequent exposure step, this low-resolution ink pattern is exposed using a negative image of a high-definition wiring pattern (conductive pattern). As a result, a non-exposed portion 13a and an exposed portion 13b are generated in the ink pattern 13c. As a result, in the next plating process, the plating layer 15 consisting of the desired conductive pattern 15a with higher resolution can be formed in the line.

図4に、第2の製造方法の具体的な応用例としてのプリント配線板の表面の斜視図を示す。これは、インクジェット法で基材11の表面にインクパターン13cを描画後に、そのインク層13に対して、目的の導電パターンのネガイメージでLED露光(UVLED描画)したものである。すなわち、目的の導電パターン(線状部分)13aを残してその周りの部分13bを露光した。インク層13のインクパターン13cのラインアンドスペースは200~200μmであるが、導電パターンに対応する非露光領域13aのライン幅はこれより十分に狭い幅、例えば約3μmである。後続のめっき工程ではこの導電パターンに対応する非露光領域13aの上にめっき金属が析出するので、得られる配線パターンンのライン幅も約3μmとなる。 FIG. 4 shows a perspective view of the surface of a printed wiring board as a specific application example of the second manufacturing method. This is obtained by drawing an ink pattern 13c on the surface of the base material 11 by an inkjet method, and then exposing the ink layer 13 to LED light (UVLED drawing) with a negative image of the desired conductive pattern. That is, the target conductive pattern (linear portion) 13a was left and the surrounding portion 13b was exposed. Although the line and space of the ink pattern 13c of the ink layer 13 is 200 to 200 μm, the line width of the non-exposed region 13a corresponding to the conductive pattern is much narrower than this, for example, about 3 μm. In the subsequent plating step, plating metal is deposited on the non-exposed region 13a corresponding to this conductive pattern, so the line width of the resulting wiring pattern is also about 3 μm.

次に、本実施形態のUV硬化インクを用いてめっきを行う実験例を示す。 Next, an experimental example in which plating is performed using the UV curable ink of this embodiment will be shown.

(実験例1)
この実験例は、ラジカル重合のUV硬化インクを用いた例である。PI(ポリイミド)フィルムをベースフィルムとし、UV硬化インクとして以下のものを使用した(組成1)。銀または銅のナノ粒子の市販インクを用いた(1~17wt%)。UV硬化ベース樹脂としてはアクリル樹脂ベースのUV硬化インクを調整した。二官能アクリル酸エステル(40wt%)とクレゾールノボラック系エポキシ樹脂(2.5wt%)、3官能アクリル酸エステル(1wt%)、1官能アクリル酸エステル(15wt%)を配合し、ここに光重合開始剤:リンを含むリン系光重合開始剤A(5wt%)を入れたものを調整した。これらの比率は一例であり本発明を限定するものではない。このインクには金属ナノ粒子のために分散剤を入れてもよい。このようにして調整したインクを10番手(OSP-10:osp社製)のバーコーターでベースフィルム上に塗布し、Hgランプで露光し、260℃のオーブンで60分焼成し、未硬化部分のUV硬化樹脂を硬化させた。このとき、インク層の表面またはその近傍にある金属ナノ粒子の表面に被覆材による保護膜があっても、焼成によりこの保護膜が除去される。
(Experiment example 1)
This experimental example is an example using a radically polymerized UV curing ink. A PI (polyimide) film was used as the base film, and the following UV-curable ink was used (composition 1). Commercially available inks of silver or copper nanoparticles were used (1-17 wt%). As the UV curing base resin, an acrylic resin-based UV curing ink was prepared. Bifunctional acrylic ester (40wt%), cresol novolak epoxy resin (2.5wt%), trifunctional acrylic ester (1wt%), and monofunctional acrylic ester (15wt%) are blended to initiate photopolymerization. Agent: A product containing phosphorus-based photopolymerization initiator A (5 wt%) containing phosphorus was prepared. These ratios are examples and do not limit the invention. The ink may also include a dispersant for the metal nanoparticles. The ink prepared in this way was applied onto the base film using a No. 10 bar coater (OSP-10: manufactured by OSP), exposed to light using an Hg lamp, and baked in an oven at 260°C for 60 minutes to remove the uncured portion. The UV cured resin was cured. At this time, even if there is a protective film made of a coating material on the surface of the ink layer or the surface of the metal nanoparticles in the vicinity thereof, this protective film is removed by baking.

金属ナノ粒子を含むめっき種層を形成したベースフィルムに対し、流水で1分間のクリーニングを行った。その後、無電解銅めっき液のプレディップを行い、銅、アルカリ、ホルムアルデヒドを主成分とする無電解銅めっき液を用いて、液温65℃で180分間の無電解銅めっきを行った。その後、変色防止剤に常温で1分間浸けたあと、乾燥させた。 The base film on which the plating seed layer containing metal nanoparticles was formed was cleaned with running water for 1 minute. Thereafter, pre-dipping with an electroless copper plating solution was performed, and electroless copper plating was performed at a solution temperature of 65° C. for 180 minutes using an electroless copper plating solution containing copper, alkali, and formaldehyde as main components. Thereafter, it was immersed in a discoloration inhibitor for 1 minute at room temperature, and then dried.

この場合には、光硬化剤との組み合わせもよく、めっきが付き、導電性も確保された。 In this case, the combination with the photocuring agent was good, the plating was adhered, and the conductivity was also ensured.

(実験例2)
この実験例2も、ラジカル重合のUV硬化インクを用いた例である。PIフィルムをベースフィルムとし、UV硬化インクとして以下のものを使用した(組成3~4)。金属ナノ粒子の素材としてヒドラジンで還元した銅のナノ粒子か銀のナノ粒子を用いた(4.5~25wt%)。UV硬化ベース樹脂としてはアクリル樹脂ベースのUV硬化インクを調整した。二官能アクリル酸エステル(40wt%)とクレゾールノボラック系エポキシ樹脂(2.5wt%)、3官能アクリル酸エステル(1wt%)、1官能アクリル酸エステル(15wt%)を配合し、ここにイオウを含むイオウ系光重合開始剤C(5wt%)を入れたものを調整した。これらの比率は一例であり本発明はこれに限定されるものではない。このUV硬化インクにはナノ粒子のために分散剤を入れてもよい。このようにして調整したUV硬化インクを10番手のバーコーターでベースフィルム上に塗布し、Hgランプで露光し、260℃のオーブンで60分,未硬化部分のUV硬化樹脂を硬化させた。
(Experiment example 2)
This Experimental Example 2 is also an example using a radically polymerized UV-curable ink. A PI film was used as the base film, and the following UV-curable inks were used (compositions 3 to 4). Copper nanoparticles or silver nanoparticles reduced with hydrazine were used as the material for the metal nanoparticles (4.5 to 25 wt%). As the UV curing base resin, an acrylic resin-based UV curing ink was prepared. A mixture of bifunctional acrylic ester (40wt%), cresol novolac epoxy resin (2.5wt%), trifunctional acrylic ester (1wt%), and monofunctional acrylic ester (15wt%), which contains sulfur. A sample containing sulfur-based photopolymerization initiator C (5 wt%) was prepared. These ratios are merely examples, and the present invention is not limited thereto. This UV-curable ink may include a dispersant for the nanoparticles. The UV curable ink thus prepared was applied onto the base film using a No. 10 bar coater, exposed to light using an Hg lamp, and the uncured portion of the UV curable resin was cured in an oven at 260° C. for 60 minutes.

金属ナノ粒子を含むめっき種層を形成したベースフィルムに対し、流水で1分間のクリーニングを行った。その後、無電解銅めっき液のプレディップを行い、銅、アルカリ、ホルムアルデヒドを主成分とする無電解銅めっき液を用いて、液温65℃で180分間の無電解銅めっきを行った。その後、変色防止剤に常温で1分間浸けたあと、乾燥させた。 The base film on which the plating seed layer containing metal nanoparticles was formed was cleaned with running water for 1 minute. Thereafter, pre-dipping with an electroless copper plating solution was performed, and electroless copper plating was performed at a solution temperature of 65° C. for 180 minutes using an electroless copper plating solution containing copper, alkali, and formaldehyde as main components. Thereafter, it was immersed in a discoloration inhibitor for 1 minute at room temperature, and then dried.

この場合には、光硬化剤との組み合わせもよく、めっきが付き、導電性も確保された。 In this case, the combination with the photocuring agent was good, the plating was adhered, and the conductivity was also ensured.

(実験例3)
この実験例3ではカチオン重合系の光重合開始剤を用いた(組成2)。UV硬化インクベースは、オキセタン(40wt%),ビスフェノールA-ジアルキジルエーテル(53wt%)、信越化学社製の4官能エポキシモノマーKR-470(5wt%)、ヨウ素系光重合開始剤B(2wt%)を用いて樹脂ベースを作製した。なおこれらの比率は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。この樹脂ベースに、銅または銀ナノインクを2~10wt%の割合で混ぜ、UV硬化インクとした。
(Experiment example 3)
In Experimental Example 3, a cationic polymerization type photopolymerization initiator was used (composition 2). The UV curing ink base contains oxetane (40 wt%), bisphenol A-dialkidyl ether (53 wt%), Shin-Etsu Chemical's tetrafunctional epoxy monomer KR-470 (5 wt%), and iodine photoinitiator B (2 wt%). ) was used to prepare a resin base. Note that these ratios are merely examples, and the present invention is not limited thereto. Copper or silver nano ink was mixed into this resin base at a ratio of 2 to 10 wt% to form a UV-curable ink.

このようにして調整したUV硬化インクを10番手のバーコーターでベースフィルム上に塗布し、254nmのUVランプで部分的に露光し、260℃のオーブンで60分、未硬化部分のUV硬化樹脂を硬化させた。 The UV curable ink prepared in this way was applied onto the base film using a No. 10 bar coater, partially exposed to a 254 nm UV lamp, and placed in an oven at 260°C for 60 minutes to remove the uncured portion of the UV curable resin. hardened.

金属ナノ粒子を含むめっき種層を形成したベースフィルムに対し、流水で1分間のクリーニングを行った。その後、無電解銅めっき液のプレディップを行い、銅、アルカリ、ホルムアルデヒドを主成分とする無電解銅めっき液を用いて、液温60℃で180分間の無電解銅めっきを行った。その後、変色防止剤に常温で1分間浸けたあと、乾燥させた。 The base film on which the plating seed layer containing metal nanoparticles was formed was cleaned with running water for 1 minute. Thereafter, pre-dipping with an electroless copper plating solution was performed, and electroless copper plating was performed for 180 minutes at a solution temperature of 60° C. using an electroless copper plating solution containing copper, alkali, and formaldehyde as main components. Thereafter, it was immersed in a discoloration inhibitor for 1 minute at room temperature, and then dried.

この実験により、インク塗布領域の非露光部にのみめっきが付き露光部にはめっきが付かないことを確認した。露光部では光重合開始剤が光反応し、放出された成分(この例ではヨウ素)がめっきに対して阻害したものと推測される。すなわち、露光部では光重合開始剤が反応して、当該成分が放出され、金属ナノ粒子の表面に結合し、電位を変えることでめっきが阻害されると考えられる。これに対して、非露光部については、この反応が起こらないのでめっきの阻害作用が生じない。 Through this experiment, it was confirmed that plating was applied only to the non-exposed areas of the ink application area and no plating was applied to the exposed areas. It is presumed that the photopolymerization initiator photoreacted in the exposed area, and the released component (iodine in this example) inhibited plating. That is, it is thought that the photopolymerization initiator reacts in the exposed area, and the component is released, bonds to the surface of the metal nanoparticle, and changes the potential, thereby inhibiting plating. On the other hand, in the non-exposed area, this reaction does not occur, and therefore no plating inhibition effect occurs.

ここで用いたヨウ素系光重合開始剤Bは、実験例1のUV硬化インク(すでにラジカル重合開始剤を含むが)に混ぜても露光部にはめっきが付かず、非露光部にはめっきが付くことを確認した。このことは、重合方法にかかわらず、露光して放出された成分がめっきを阻害していることを示唆している。 Even when the iodine-based photoinitiator B used here was mixed with the UV-curable ink of Experimental Example 1 (which already contains a radical polymerization initiator), no plating was attached to the exposed areas, and no plating was attached to the non-exposed areas. I confirmed that it is attached. This suggests that components released upon exposure inhibit plating, regardless of the polymerization method.

(実験例4)
実験例4として、露光工程でマスク露光を行う場合の原理を示す。4官能エポキシモノマーKR-470(信越化学)1gと、2官能エポキシモノマーX40-2669 9gにイオウ系光重合開始剤C0.2gを混ぜて樹脂ベースを作り0.6g秤取り、市販の銀ナノインク0.4gと混合し、UV硬化インクとした。バーコーターを用いて、10μmの膜厚にポリイミドフィルム上に塗布し、マスクして一部だけUV露光したサンプルと、露光無しのサンプルを作った。これらは260℃で1時間焼成し、無電解めっきを3時間行った。この結果を図5に示す。
(Experiment example 4)
As Experimental Example 4, the principle of performing mask exposure in the exposure process will be shown. A resin base was made by mixing 1 g of tetrafunctional epoxy monomer KR-470 (Shin-Etsu Chemical) and 9 g of bifunctional epoxy monomer .4g to prepare a UV-curable ink. Using a bar coater, a sample was coated onto a polyimide film to a thickness of 10 μm, masked and only a portion was exposed to UV light, and a sample without exposure was prepared. These were fired at 260° C. for 1 hour and electroless plated for 3 hours. The results are shown in FIG.

図5(a)はめっき処理前のサンプル、図5(b)はめっき処理後サンプルの写真を示している。それぞれの左のサンプルは一部をマスクしてUV露光を行ったもの、右のサンプルはマスクをせずにUV露光を行ったものである。 FIG. 5(a) shows a photograph of the sample before plating treatment, and FIG. 5(b) shows a photograph of the sample after plating treatment. The samples on the left were partially masked and exposed to UV light, and the samples on the right were exposed to UV light without masking.

図5(b)に示すように、UV露光無し(右)のサンプルではめっきがインク塗布領域全体に付き、部分的にUV露光したサンプル(左)には、非露光部(中央部51)にのみめっきが付いた。すなわち、インク塗布領域の露光部では光重合開始剤が光反応し、放出された成分(この例ではイオウ)がめっきに対して阻害したものと推測される。 As shown in FIG. 5(b), the sample without UV exposure (right) has plating on the entire ink application area, and the sample with partial UV exposure (left) has plating on the unexposed area (center area 51). Comes with plating. That is, it is presumed that the photopolymerization initiator photoreacted in the exposed area of the ink application area, and the released component (sulfur in this example) inhibited plating.

(実験例5)
実験例5は、カチオン重合系の光重合開始剤を用いた例である(組成2)。UV硬化インクベースには、オキセタン(30~40wt%),ビスフェノールA-ジアルキジルエーテル(40~55wt%)、4官能エポキシモノマーKR-470(信越化学)(2~5wt%)、ヨウ素系光重合開始剤B(1~2wt%)を用いた。なおこれらの比率は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。この樹脂ベースに、銀ナノインクを2~10wt%の割合で混ぜ、UV硬化インクとした。
(Experiment example 5)
Experimental example 5 is an example using a cationic polymerization type photopolymerization initiator (composition 2). The UV curing ink base contains oxetane (30-40 wt%), bisphenol A-dialkidyl ether (40-55 wt%), tetrafunctional epoxy monomer KR-470 (Shin-Etsu Chemical) (2-5 wt%), and iodine-based photopolymerization. Initiator B (1-2 wt%) was used. Note that these ratios are merely examples, and the present invention is not limited thereto. Silver nano ink was mixed into this resin base at a ratio of 2 to 10 wt% to form a UV curable ink.

このようにして調整したUV硬化インクを10番手のバーコーターでベースフィルム上に塗布し、254nmのUVランプで部分的に露光し、160℃のオーブンで60分、未硬化部分のUV硬化樹脂を硬化させた。 The UV curable ink prepared in this manner was applied onto the base film using a No. 10 bar coater, partially exposed to a 254 nm UV lamp, and left in an oven at 160°C for 60 minutes to coat the uncured portion of the UV curable resin. hardened.

このようにして金属ナノ粒子を含むめっき種層を形成したベースフィルムに対し、流水で1分間のクリーニングを行った。その後、無電解銅めっき液のプレディップを行い、銅、アルカリ、ホルムアルデヒドを主成分とする無電解銅めっき液を用いて、液温60℃で60分間の無電解銅めっきを行った。その後、変色防止剤に常温で1分間浸けたあと、乾燥させた。 The base film on which the plating seed layer containing metal nanoparticles was formed in this manner was cleaned with running water for 1 minute. Thereafter, pre-dipping with an electroless copper plating solution was performed, and electroless copper plating was performed at a solution temperature of 60° C. for 60 minutes using an electroless copper plating solution containing copper, alkali, and formaldehyde as main components. Thereafter, it was immersed in a discoloration inhibitor for 1 minute at room temperature, and then dried.

この実験により、インク塗布領域の非露光部にのみめっきが付き露光部にはめっきが付かないことを確認した。この場合も、露光部では光重合開始剤が光反応し、放出された成分(この例ではヨウ素)がめっきに対して阻害したものと推測される。この原理に従って、配線パターンを作ることができることを確認した。また同時に、異なるUV硬化の手法で同じ効果が得られることを確認した。 Through this experiment, it was confirmed that plating was applied only to the non-exposed areas of the ink application area, and no plating was applied to the exposed areas. In this case as well, it is presumed that the photopolymerization initiator photoreacted in the exposed area, and the released component (iodine in this example) inhibited plating. We confirmed that it is possible to create wiring patterns according to this principle. At the same time, it was confirmed that the same effect could be obtained using different UV curing methods.

ここで用いたヨウ素系光重合開始剤Bは、実験例1のUV硬化インク(すでにラジカル重合開始剤を含むが)に混ぜても露光部にはめっきが付かず、非露光部にはめっきが付くことを確認した。 Even when the iodine-based photoinitiator B used here was mixed with the UV-curable ink of Experimental Example 1 (which already contains a radical polymerization initiator), no plating was attached to the exposed areas, and no plating was attached to the non-exposed areas. I confirmed that it is attached.

以上の組成や組み合わせでのほかの実験結果も含めて表1にまとめた(上記実験例は必ずしも表1の「実験番号」に対応していない)。光硬化剤が二種類入っている系もあるが、露光する光は別々にしてある。光重合開始剤:「A」はリン系光重合開始剤で、波長365mでラジカル発生し、「B」はヨウ素を含むヨウ素系光重合開始剤で、254nmでラジカルとカチオンが発生する。また「C」はイオウ系光重合開始剤で波長365mでラジカルとカチオンが発生する。表1からわかるように、めっきの可否は、それぞれの試薬と露光波長の組み合わせに依存している。 Other experimental results with the above compositions and combinations are also summarized in Table 1 (the above experimental examples do not necessarily correspond to the "experiment numbers" in Table 1). Some systems contain two types of photocuring agents, but the exposure light is different. Photopolymerization initiator: "A" is a phosphorus-based photopolymerization initiator that generates radicals at a wavelength of 365 m, and "B" is an iodine-based photopolymerization initiator containing iodine that generates radicals and cations at 254 nm. Further, "C" is a sulfur-based photopolymerization initiator that generates radicals and cations at a wavelength of 365 m. As can be seen from Table 1, whether or not plating is possible depends on the combination of each reagent and exposure wavelength.

(各種実験条件における露光部でのめっきの可否)
(Possibility of plating on exposed areas under various experimental conditions)

この実験結果から分かるように、めっき可否を含めて各種実験条件の組み合わせにより、適正なプリント配線板を実現することができる。 As can be seen from this experimental result, an appropriate printed wiring board can be realized by combining various experimental conditions, including whether or not plating is possible.

(他の実施形態)
上述した実施形態では、UVインクを用いたプリント配線板およびその製造方法であって、ネガイメージを用いた非露光部のめっきによる高精細の導電パターンの形成について説明した。これに対して、さらに別の実施形態として、露光部へのめっき金属の析出を良好とするナノ粒子金属と光重合開始剤(光硬化剤)の成分の組み合わせについて説明する。
(Other embodiments)
In the above-described embodiment, a printed wiring board using UV ink and a method for manufacturing the same have been described, and the formation of a high-definition conductive pattern by plating non-exposed areas using a negative image has been described. On the other hand, as yet another embodiment, a combination of nanoparticle metal and photopolymerization initiator (photocuring agent) components that improves the deposition of plating metal on exposed areas will be described.

この実施形態では、インクの塗布工程で、目的の導電パターンに合致したポジイメージのパターン状のインク層の塗布(印刷)を行う。上記の実施形態と異なり、露光工程におけるUV照射は必ずしもパターン状に行う必要はなく、全面照射(全面露光)であってよい。 In this embodiment, in the ink application step, an ink layer is applied (printed) in the form of a positive image pattern that matches the intended conductive pattern. Unlike the above embodiments, UV irradiation in the exposure step does not necessarily have to be performed in a pattern, and may be performed over the entire surface (full surface exposure).

この実施形態は、光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだインク(溶液)を用いためっき種層による良好なめっきを実現することを意図したものである。より具体的には、上述した実験例1,実験例2、表1の実験番号1,2,6~9に現れているように、特定のナノ粒子金属と光重合開始剤(光硬化剤)の成分の組み合わせにめっき触媒の増進効果を見出したものである。 This embodiment is intended to realize good plating with a plating seed layer using an ink (solution) containing a photocurable resin and metal nanoparticles. More specifically, as shown in Experimental Example 1, Experimental Example 2, and Experimental Numbers 1, 2, and 6 to 9 in Table 1, specific nanoparticle metals and photopolymerization initiators (photocuring agents) It was discovered that the effect of enhancing the plating catalyst was found in the combination of the following components.

そのようなインク内の光硬化樹脂として、金属ナノ粒子が銀ナノ粒子である場合にリンを含み、金属ナノ粒子が銅ナノ粒子である場合にリンまたはイオウを含むものである。これにより形成された基板(プリント配線板)のめっき種層は、銀ナノ粒子とリンとを含む第1の組成物、または、銅ナノ粒子とリンまたはイオウとを含む第2の組成物を有することになる。 The photocurable resin in such an ink contains phosphorus when the metal nanoparticles are silver nanoparticles, and contains phosphorus or sulfur when the metal nanoparticles are copper nanoparticles. The plating seed layer of the substrate (printed wiring board) thus formed has a first composition containing silver nanoparticles and phosphorus, or a second composition containing copper nanoparticles and phosphorus or sulfur. It turns out.

ナノインクの濃度については、好ましくは、上記実施形態と同じく金属ナノ粒子の成分が重量濃度で8%~20%である。 Regarding the concentration of the nanoink, preferably, the weight concentration of the metal nanoparticle component is 8% to 20% as in the above embodiment.

実施例1、実施例2等に記載のように、ナノインクのUV硬化樹脂はUV露光工程によりある程度硬化された後、未硬化部分が後続の焼成工程で硬化される。 As described in Examples 1 and 2, the UV curable resin of the nano ink is cured to some extent by the UV exposure process, and then the uncured portions are cured in the subsequent baking process.

本実施形態での焼成工程では、UV硬化の後に追加的な硬化を行うとともに、後続のめっき処理を助けるためにめっき種層の表面に裂け目を生じさせる。 In the firing step in this embodiment, additional curing is performed after UV curing, and fissures are created in the surface of the plating seed layer to aid the subsequent plating process.

本実施の形態は以下のような態様を取りうる。
(1) 絶縁性の基材と、
前記基材上に光硬化樹脂および金属ナノ粒子で形成されためっき種層と、
前記めっき種層上に形成されためっき層とを備え、
前記めっき種層は、銀ナノ粒子とリンとを含む第1の組成物、または、銅ナノ粒子とリンまたはイオウとを含む第2の組成物を有する
基板。
(2) 光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだ溶液を、絶縁性の基材の表面に塗布する塗布工程と、
前記溶液が塗布された基材を露光する露光工程と、
前記露光された基材を焼成する焼成工程と、
前記焼成された基材をめっきするめっき工程とを備え、
前記光硬化樹脂は、前記金属ナノ粒子が銀ナノ粒子である場合にリンを含み、前記金属ナノ粒子が銅ナノ粒子である場合にリンまたはイオウを含む
基板の製造方法。
(3) 前記溶液中の前記金属ナノ粒子の成分が重量濃度で8%~20%である(2)に記載の基板の製造方法。
(4) 前記塗布工程では前記溶液をパターン状に塗布する(2)に記載の基板の製造方法。
(5) 前記基材の表面に塗布する方法がインクジェット印刷方法である(2)または(4)に記載の基板の製造方法。
(6) 基板を製造するために基材の表面に塗布される溶液であって、
光により硬化される光硬化樹脂と、めっき種として機能する金属ナノ粒子とが混合され、
前記光硬化樹脂は、前記金属ナノ粒子が銀ナノ粒子である場合にリンを含み、前記金属ナノ粒子が銅ナノ粒子である場合にリンまたはイオウを含む
溶液。
(7) 前記金属ナノ粒子の成分が重量濃度で8%~20%である(6)に記載の溶液。
(8)(1)に記載の基板を用いて形成されたプリント配線板。
This embodiment can take the following aspects.
(1) An insulating base material,
a plating seed layer formed of a photocurable resin and metal nanoparticles on the base material;
a plating layer formed on the plating seed layer,
The plating seed layer has a first composition containing silver nanoparticles and phosphorus, or a second composition containing copper nanoparticles and phosphorus or sulfur.
(2) a coating step of applying a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles to the surface of an insulating base material;
an exposure step of exposing the substrate coated with the solution;
a firing step of firing the exposed base material;
a plating step of plating the fired base material,
The photocurable resin contains phosphorus when the metal nanoparticles are silver nanoparticles, and contains phosphorus or sulfur when the metal nanoparticles are copper nanoparticles. The method for manufacturing a substrate.
(3) The method for manufacturing a substrate according to (2), wherein the metal nanoparticle component in the solution has a weight concentration of 8% to 20%.
(4) The method for manufacturing a substrate according to (2), wherein in the coating step, the solution is applied in a pattern.
(5) The method for manufacturing a substrate according to (2) or (4), wherein the method of applying the coating onto the surface of the base material is an inkjet printing method.
(6) A solution applied to the surface of a substrate for manufacturing the substrate,
A photocurable resin that is cured by light and metal nanoparticles that function as a plating species are mixed,
The photocurable resin contains phosphorus when the metal nanoparticles are silver nanoparticles, and contains phosphorus or sulfur when the metal nanoparticles are copper nanoparticles. Solution.
(7) The solution according to (6), wherein the component of the metal nanoparticles has a weight concentration of 8% to 20%.
(8) A printed wiring board formed using the substrate according to (1).

(変形例)
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、上記で言及した以外にも種々の変形・変更を行うことが可能である。使用した材料、長さ、比率、温度、時間等は例示であり、必ずしもこれらに限定されるものではない。
(Modified example)
Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, various modifications and changes can be made in addition to those mentioned above. The materials, lengths, ratios, temperatures, times, etc. used are examples, and are not necessarily limited to these.

10 プリント配線板
11 基材(絶縁性基材)
13 めっき種層(インク層)
13a 第1の領域(非露光領域,非露光部)
13b 第2の領域(露光領域,露光部)
13c インクパターン
15 めっき層
15a 配線パターン(導電パターン)
10 Printed wiring board 11 Base material (insulating base material)
13 Plating seed layer (ink layer)
13a First area (non-exposed area, non-exposed part)
13b Second area (exposure area, exposure part)
13c Ink pattern 15 Plating layer 15a Wiring pattern (conductive pattern)

Claims (9)

絶縁性の基材と、
前記基材上に光硬化樹脂および金属ナノ粒子で形成されためっき種層と、
前記めっき種層上に形成されためっき層とを備え、
前記めっき種層は非露光領域である第1の領域と、露光領域である第2の領域とを有し、前記めっき層は前記第2の領域には形成されず前記第1の領域に形成されている
プリント配線板。
an insulating base material,
a plating seed layer formed of a photocurable resin and metal nanoparticles on the base material;
a plating layer formed on the plating seed layer,
The plating seed layer has a first region that is a non-exposed region and a second region that is an exposed region, and the plating layer is not formed on the second region but on the first region. Printed wiring board.
前記めっき種層は前記基材の全面に形成されている請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the plating seed layer is formed on the entire surface of the base material. 前記めっき種層は前記基材上にパターン状に形成されている請求項1に記載のプリント配線板。 The printed wiring board according to claim 1, wherein the plating seed layer is formed in a pattern on the base material. 光硬化樹脂および金属ナノ粒子を含んだ溶液を基材の表面に塗布する塗布工程と、
前記溶液が塗布された基材をパターン状に露光する露光工程と、
前記露光された基材を焼成する焼成工程と、
前記焼成された基材をめっきするめっき工程とを備え、
前記めっき工程において、露光部にはめっき金属が析出せず、非露光部にめっき金属が析出するプリント配線板の製造方法。
a coating step of applying a solution containing a photocurable resin and metal nanoparticles to the surface of the base material;
an exposure step of exposing the substrate coated with the solution in a pattern;
a firing step of firing the exposed base material;
a plating step of plating the fired base material,
A method for producing a printed wiring board in which, in the plating step, plating metal does not precipitate in exposed areas, but plating metal precipitates in non-exposed areas.
前記露光工程で、目的の配線パターンのネガイメージで露光を行う請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。 5. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein in the exposure step, exposure is performed using a negative image of a target wiring pattern. 前記塗布工程で、目的の配線パターンを包含するよう前記基材上にパターン状に前記溶液を塗布し、
前記露光工程で、前記塗布されたパターンに対して、前記配線パターンのネガイメージで露光を行う請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。
In the coating step, the solution is coated on the base material in a pattern so as to cover the desired wiring pattern,
5. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein in the exposure step, the applied pattern is exposed with a negative image of the wiring pattern.
前記基材の表面に塗布する方法がインクジェット印刷方法である請求項4に記載の積層体の製造方法。 5. The method for producing a laminate according to claim 4, wherein the method for applying the coating onto the surface of the base material is an inkjet printing method. 前記金属ナノ粒子として銀ナノ粒子を用い、前記光硬化樹脂は光重合開始剤を含み、前記光重合開始剤はその成分としてイオウまたはヨウ素を含有する請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 4, wherein silver nanoparticles are used as the metal nanoparticles, the photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator contains sulfur or iodine as a component thereof. . 前記金属ナノ粒子として銅ナノ粒子を用い、前記光硬化樹脂は光重合開始剤を含み、前記光重合開始剤はその成分としてヨウ素を含有する請求項4に記載のプリント配線板の製造方法。 5. The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 4, wherein copper nanoparticles are used as the metal nanoparticles, the photocurable resin contains a photopolymerization initiator, and the photopolymerization initiator contains iodine as a component thereof.
JP2022091047A 2022-06-03 2022-06-03 Printed wiring board and manufacturing method thereof Pending JP2023178021A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022091047A JP2023178021A (en) 2022-06-03 2022-06-03 Printed wiring board and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022091047A JP2023178021A (en) 2022-06-03 2022-06-03 Printed wiring board and manufacturing method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023178021A true JP2023178021A (en) 2023-12-14

Family

ID=89124249

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022091047A Pending JP2023178021A (en) 2022-06-03 2022-06-03 Printed wiring board and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023178021A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2643099B2 (en) Method of attaching conductive metal to substrate
KR100887251B1 (en) Method for manufacturing conductive pattern material
JPH021912B2 (en)
JP5241304B2 (en) Method for producing surface metal film material, surface metal film material, method for producing metal pattern material, and metal pattern material
KR930004136B1 (en) Process for manufacturing multi-layer printed circuit
JP2010532429A (en) Substrate patterning method
JP2013037272A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive film
CN101151307A (en) Surface graft material and producing method thereof, conductive material and producing method thereof, and conductive pattern material
JP2011094192A (en) Composition for forming layer to be plated, method for producing metal pattern material, and metal pattern material
JPH01503101A (en) Additive manufacturing method for printed wiring boards using a photoresist that can be developed and peeled off with aqueous alkali
TW201026908A (en) Catalyst solution for plating, method for plating and method for manufacturing laminate having metal film
JP6667119B1 (en) Laminated body for printed wiring board and printed wiring board using the same
JPS58502079A (en) Manufacturing circuit boards that increase capacity
JP2023178021A (en) Printed wiring board and manufacturing method thereof
JPH10317153A (en) Photosetting primer composition for electroless plating and electroless plating method using the same
JPH0454399B2 (en)
JP7093156B2 (en) Transparent conductive film
JPH048958B2 (en)
JP4023873B2 (en) Composition for resin insulating layer capable of electroless plating and method for producing wiring board using the same
JPH07336022A (en) Electric circuit board and manufacture thereof
WO2012133032A1 (en) Production method for laminate having patterned metal films, and plating layer-forming composition
JP6352059B2 (en) Composition for forming electroless plating underlayer
JP2023173689A (en) Laminate, method for manufacturing laminate, solution, and printed wiring board
JP5918873B2 (en) Chemical milling
TWI309336B (en) Integral plated resistor and method for the manufacture of printed circuit boards comprising the same