JP2023174012A - Liquid discharge head, and liquid discharge device having the same - Google Patents

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Abstract

To accurately detect an average temperature of liquid in a whole flow channel.SOLUTION: A printer includes a head 1 that has a flow channel member 21 formed with a manifold flow channel 11 extending in a first direction D1 and communicated with a plurality of individual flow channels 19, a piezoelectric actuator 22 fixed to a top face 21a of the flow channel member 21, and two temperature sensors 81, 82. The piezoelectric actuator 22 includes a high potential electrode having a plurality of individual parts, a plurality of branch parts and stem parts, and a low potential electrode having a plurality of individual parts, a plurality of branch parts and stem parts. The stem parts of the high potential electrode are positioned opposite to the stem parts of the low potential electrode relative to at least a part of the manifold flow channel in the first direction D1. The temperature sensors 81, 82 are arranged in the first direction D1 between the stem parts of the high potential electrode and the stem parts of the low potential electrode.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド及びこれを有する液体吐出装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejection head that ejects liquid, and a liquid ejection apparatus having the same.

特許文献1には、複数の圧力室及び複数の圧力室に連通する複数のマニホールド流路(共通流路)が形成された流路形成部材(流路部材)と、流路形成部材の表面に固定された圧電アクチュエータ(アクチュエータ部材)とを備えたインクジェットヘッド(液体吐出ヘッド)が示されている。各マニホールド流路は一方向に延びている。圧電アクチュエータは、2つの導電パターン(共通電極)を有している。2つの導電パターン(共通電極)は、それぞれ複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の重なり部(個別部)と、一方向に延び複数の重なり部を連結する複数の接続部(枝部)と、一方向と直交する方向に延び複数の接続部を連結する別の接続部(幹部)とを含む。各導電パターンの別の接続部の端部は一方向に折れ曲がり、当該折れ曲がった部分には、電源から給電される接点が設けられている。また、一方の導電パターンの別の接続部は、一方向において、マニホールド流路の一部に対し、他方の導電パターンの別の接続部の反対に位置する。 Patent Document 1 describes a flow path forming member (flow path member) in which a plurality of pressure chambers and a plurality of manifold flow paths (common flow paths) communicating with the plurality of pressure chambers are formed, and a flow path forming member on the surface of the flow path forming member. An inkjet head (liquid ejection head) is shown that includes a fixed piezoelectric actuator (actuator member). Each manifold flow path extends in one direction. The piezoelectric actuator has two conductive patterns (common electrodes). The two conductive patterns (common electrodes) each include a plurality of overlapping parts (individual parts) corresponding to the plurality of pressure chambers, and a plurality of connecting parts (branch parts) extending in one direction and connecting the plurality of overlapping parts. Another connecting portion (trunk) extending in a direction orthogonal to one direction and connecting a plurality of connecting portions. The end of the other connection portion of each conductive pattern is bent in one direction, and a contact point to which power is supplied from the power source is provided at the bent portion. Further, another connection portion of one conductive pattern is located opposite, in one direction, to a portion of the manifold flow path from another connection portion of the other conductive pattern.

特開2016-137641号公報JP2016-137641A

各導電パターンの別の接続部は、給電により電荷を複数の接続部を介して複数の重なり部に供給する部分であり、接続部や重なり部に比べ、多くの電荷が流れ、発熱量が大きくなり易い。このため、流路形成部材のマニホールド流路の一部を挟んだ両側部分が比較的高温になりやすく、マニホールド流路内のインクは下流ほど温度が低くならず、比較的安定した状態となる。 Another connection part of each conductive pattern is a part where electric charge is supplied via multiple connection parts to multiple overlapping parts by power supply, and compared to the connection parts and overlap parts, more charge flows and the amount of heat generated is large. It's easy. Therefore, both side portions of the flow path forming member sandwiching a part of the manifold flow path tend to become relatively high temperature, and the temperature of the ink in the manifold flow path does not become lower as it goes downstream, and is in a relatively stable state.

このようなインク温度環境において、記録品質を維持するため、流路全体における液体の平均温度を温度センサによって検出し、検出結果に基づいて液体の吐出波形を適宜選択することが考えられる。しかしながら、温度センサの位置によっては、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出できず、記録品質の維持が困難になり得る。 In order to maintain printing quality in such an ink temperature environment, it is conceivable to detect the average temperature of the liquid in the entire flow path using a temperature sensor, and to appropriately select the ejection waveform of the liquid based on the detection result. However, depending on the position of the temperature sensor, it may not be possible to accurately detect the average temperature of the liquid in the entire flow path, making it difficult to maintain recording quality.

そこで、本発明の目的は、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出することが可能な液体吐出ヘッド及びこれを有する液体吐出装置を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid ejection head that can accurately detect the average temperature of liquid in the entire flow path, and a liquid ejection apparatus having the same.

本発明の液体吐出ヘッドAは、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含み、第1方向に配列された複数の個別流路と、前記第1方向に延び、前記複数の個別流路に連通する共通流路とが形成された流路部材と、前記流路部材の表面に固定され、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記表面及び前記第1方向と直交する第2方向に重なる複数のアクチュエータ部を有するアクチュエータ部材と、温度センサと、を備えている。そして、前記アクチュエータ部材は、前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の第1個別部と、前記複数の第1個別部を連結する複数の第1枝部と、前記複数の第1枝部を連結しかつ第1給電部との接点が設けられた第1幹部とを有する第1共通電極と、前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の第2個別部と、前記複数の第2個別部を連結する複数の第2枝部と、前記複数の第2枝部を連結しかつ第2給電部との接点が設けられた第2幹部とを有する第2共通電極と、を含み、前記第1幹部は、前記第1方向において、前記共通流路の少なくとも一部に対し、前記第2幹部の反対に位置し、前記温度センサは、前記第1方向において、前記第1幹部と前記第2幹部との間に配置されている。 The liquid ejection head A of the present invention includes a nozzle and a pressure chamber communicating with the nozzle, and includes a plurality of individual channels arranged in a first direction, and a plurality of individual channels extending in the first direction. a flow path member in which a communicating common flow path is formed; and a second pressure chamber fixed to the surface of the flow path member and perpendicular to each of the pressure chambers of the plurality of individual flow paths, the surface, and the first direction. The apparatus includes an actuator member having a plurality of actuator parts overlapping in the direction, and a temperature sensor. The actuator member connects the plurality of first individual parts that constitute the plurality of actuator parts, the plurality of first branch parts that connect the plurality of first individual parts, and the plurality of first branch parts. A first common electrode having a first trunk provided with a contact point with a first power feeding part, a plurality of second individual parts constituting the plurality of actuator parts, and a plurality of second individual parts are connected. a second common electrode having a plurality of second branch parts that connect the plurality of second branch parts and a second trunk part that connects the plurality of second branch parts and is provided with a contact point with a second power feeding part; is located opposite the second trunk with respect to at least a portion of the common flow path in the first direction, and the temperature sensor is located between the first trunk and the second trunk in the first direction. is placed between.

本発明の液体吐出装置は、第1の観点では、記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、前記液体吐出ヘッドAと、を備え、前記温度センサは、前記流路部材の表面上であって、前記アクチュエータ部材よりも前記搬送方向の上流又は下流に配置されている。 In a first aspect, the liquid ejection apparatus of the present invention includes a transport mechanism that transports a recording medium in a transport direction, and the liquid ejection head A, and the temperature sensor is located on the surface of the flow path member. The actuator member is disposed upstream or downstream of the actuator member in the transport direction.

本発明の液体吐出装置は、第2の観点では、記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、前記液体吐出ヘッドAと、を備え、前記温度センサは、前記流路部材の表面上であって、前記アクチュエータ部材よりも前記搬送方向の上流及び下流にそれぞれ配置されており、上流及び下流に配置された2つの前記温度センサによって検出された検出温度の平均値を導出する制御部をさらに備えている。 In a second aspect, the liquid ejection apparatus of the present invention includes a transport mechanism that transports a recording medium in a transport direction, and the liquid ejection head A, and the temperature sensor is located on the surface of the flow path member. The control unit is arranged upstream and downstream of the actuator member in the conveyance direction, respectively, and further includes a control unit that derives an average value of the detected temperatures detected by the two temperature sensors arranged upstream and downstream. ing.

本発明の液体吐出装置は、第3の観点では、記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、前記液体吐出ヘッドAと、前記温度センサによって検出された検出温度を補正するための補正係数を記憶する記憶部と、前記補正係数に基づいて前記検出温度を補正する制御部と、を備えている。 In a third aspect, the liquid ejection apparatus of the present invention includes a transport mechanism that transports a recording medium in the transport direction, the liquid ejection head A, and a correction coefficient for correcting the detected temperature detected by the temperature sensor. It includes a storage section for storing information, and a control section for correcting the detected temperature based on the correction coefficient.

本発明の液体吐出ヘッドAによると、温度センサが、比較的、発熱の大きい第1及び第2幹部間に配置される。このため、温度センサが第1方向において第1及び第2幹部の外側に配置されているよりも、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出することが可能となる。
本発明の液体吐出装置の第1の観点によると、温度センサが、比較的、発熱の大きい第1及び第2幹部間に配置される。このため、温度センサが第1方向において第1及び第2幹部の外側に配置されているよりも、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出することが可能となる。また、搬送方向の上流又は下流に配置された1つの温度センサで検出した検出温度により、流路全体における液体の平均温度を検出することが可能となる。このため、構成が簡単になる。また、温度センサがアクチュエータ部材よりも下流に配置されている場合、記録媒体の搬送気流による冷却の影響の少ない箇所で温度を検出することが可能となる。
本発明の液体吐出装置の第2の観点によると、温度センサが、比較的、発熱の大きい第1及び第2幹部間に配置される。このため、温度センサが第1方向において第1及び第2幹部の外側に配置されているよりも、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出することが可能となる。また、記録媒体の搬送気流による冷却の影響を小さくすることが可能となり、流路全体における液体の平均温度をより精度よく検出することが可能となる。
本発明の液体吐出装置の第3の観点によると、温度センサが、比較的、発熱の大きい第1及び第2幹部間に配置される。このため、温度センサが第1方向において第1及び第2幹部の外側に配置されているよりも、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出することが可能となる。また、温度センサによって検出された検出温度を補正することが可能となる。このため、流路全体における液体の平均温度をより精度よく検出することが可能となる。
According to the liquid ejection head A of the present invention, the temperature sensor is disposed between the first and second trunks, which generate a relatively large amount of heat. Therefore, the average temperature of the liquid in the entire flow path can be detected with higher accuracy than when the temperature sensor is disposed outside the first and second trunks in the first direction.
According to the first aspect of the liquid ejecting device of the present invention, the temperature sensor is disposed between the first and second trunks, which generate a relatively large amount of heat. Therefore, the average temperature of the liquid in the entire flow path can be detected with higher accuracy than when the temperature sensor is disposed outside the first and second trunks in the first direction. Furthermore, it is possible to detect the average temperature of the liquid in the entire flow path based on the detected temperature detected by one temperature sensor disposed upstream or downstream in the transport direction. This simplifies the configuration. Furthermore, when the temperature sensor is disposed downstream of the actuator member, it is possible to detect the temperature at a location where the influence of cooling by the conveying airflow on the recording medium is small.
According to the second aspect of the liquid ejecting device of the present invention, the temperature sensor is disposed between the first and second trunks, which generate a relatively large amount of heat. Therefore, the average temperature of the liquid in the entire flow path can be detected with higher accuracy than when the temperature sensor is disposed outside the first and second trunks in the first direction. Furthermore, it is possible to reduce the influence of cooling caused by the conveying airflow on the recording medium, and it is possible to detect the average temperature of the liquid in the entire flow path with higher accuracy.
According to the third aspect of the liquid ejection device of the present invention, the temperature sensor is disposed between the first and second trunks, which generate relatively large amounts of heat. Therefore, the average temperature of the liquid in the entire flow path can be detected with higher accuracy than when the temperature sensor is disposed outside the first and second trunks in the first direction. Moreover, it becomes possible to correct the detected temperature detected by the temperature sensor. Therefore, it becomes possible to detect the average temperature of the liquid in the entire flow path with higher accuracy.

本発明の一実施形態に係るヘッドを含むプリンタの全体構成図である。1 is an overall configuration diagram of a printer including a head according to an embodiment of the present invention. 図1に示すヘッドの平面図である。2 is a plan view of the head shown in FIG. 1. FIG. 図2の領域IIIの拡大図である。3 is an enlarged view of region III in FIG. 2. FIG. 図3のIV-IV線に沿った断面図である。4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3. FIG. 図2の圧電アクチュエータを構成する3つの圧電層のうち、最も上方の圧電層の上面を示す平面図である。3 is a plan view showing the top surface of the uppermost piezoelectric layer among the three piezoelectric layers constituting the piezoelectric actuator of FIG. 2. FIG. 図2の圧電アクチュエータを構成する3つの圧電層のうち、中間の圧電層の上面を示す平面図である。3 is a plan view showing the upper surface of an intermediate piezoelectric layer among the three piezoelectric layers constituting the piezoelectric actuator of FIG. 2. FIG. 図2の圧電アクチュエータを構成する3つの圧電層のうち、最も下方の圧電層の上面を示す平面図である。3 is a plan view showing the top surface of the lowermost piezoelectric layer among the three piezoelectric layers that constitute the piezoelectric actuator of FIG. 2. FIG. 図3のVIII-VIII線に沿った断面図である。4 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 3. FIG. 図8の断面におけるアクチュエータ部の動作を示す図である。9 is a diagram showing the operation of the actuator section in the cross section of FIG. 8. FIG.

以下、本発明の好適な実施形態に係るヘッド1を含むプリンタ100の全体構成について説明する。 The overall configuration of a printer 100 including a head 1 according to a preferred embodiment of the present invention will be described below.

なお、以下の説明において、第1方向D1は水平方向である。第2方向D2は鉛直方向であり、第1方向D1と直交する。第3方向D3は、水平方向であり、第1方向D1及び第2方向D2と直交する。 Note that in the following description, the first direction D1 is the horizontal direction. The second direction D2 is a vertical direction and is orthogonal to the first direction D1. The third direction D3 is a horizontal direction, and is perpendicular to the first direction D1 and the second direction D2.

プリンタ100(本発明の「液体吐出装置」)は、4つのヘッド1を含むヘッドユニット1xと、プラテン3と、搬送機構4と、制御部5とを備えている。ヘッドユニット1xは、第1方向D1に長尺であり、位置が固定された状態でノズル15(図3及び図4参照)から用紙9(本発明の「記録媒体」)に対してインクを吐出するライン式である。4つのヘッド1(本発明の「液体吐出ヘッド」)は、それぞれ第1方向D1に長尺であり、第1方向D1に千鳥状に配列されている。各ヘッド1から吐出されるインクは、互いに同じ色のインク(例えばブラックインク)である。 The printer 100 (the "liquid ejection apparatus" of the present invention) includes a head unit 1x including four heads 1, a platen 3, a transport mechanism 4, and a control section 5. The head unit 1x is elongated in the first direction D1, and ejects ink from the nozzle 15 (see FIGS. 3 and 4) onto the paper 9 (the "recording medium" of the present invention) in a fixed position. It is a line type. The four heads 1 ("liquid ejection heads" of the present invention) are each elongated in the first direction D1, and are arranged in a staggered manner in the first direction D1. The ink ejected from each head 1 is of the same color (for example, black ink).

プラテン3は、ヘッドユニット1xの下方に配置された平板部材であり、プラテン3の上面に用紙9が載置される。 The platen 3 is a flat plate member placed below the head unit 1x, and the paper 9 is placed on the upper surface of the platen 3.

搬送機構4は、第3方向D3にプラテン3を挟んで配置された2つのローラ対4a,4bを有する。制御部5の制御により搬送モータ(図示略)が駆動されると、ローラ対4a,4bが用紙9を挟持した状態で回転し、用紙9が第3方向D3に沿った搬送方向に搬送される。 The conveyance mechanism 4 includes two roller pairs 4a and 4b arranged with the platen 3 in between in the third direction D3. When the conveyance motor (not shown) is driven under the control of the control unit 5, the pair of rollers 4a and 4b rotate while sandwiching the paper 9, and the paper 9 is conveyed in the conveyance direction along the third direction D3. .

制御部5は、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)及びASIC(Application Specific Integrated Circuit)を有する。ASICは、ROMに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部5は、PC等の外部装置から入力された記録指令(画像データを含む。)に基づき、搬送モータ及びドライバIC(共に図示略)を制御することで、搬送機構4による用紙9の搬送と、ヘッド1による用紙9へのインクの吐出とを行わせ、用紙9上に画像を記録する。 The control unit 5 includes a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and an ASIC (Application Specific Integrated Circuit). The ASIC executes recording processing and the like according to a program stored in the ROM. In the recording process, the control unit 5 controls the conveyance motor and driver IC (both not shown) based on recording commands (including image data) input from an external device such as a PC, thereby allowing the conveyance mechanism 4 to An image is recorded on the paper 9 by transporting the paper 9 and ejecting ink onto the paper 9 by the head 1.

また、制御部5は、フラッシュメモリなどから構成された記憶部5aを有する。記憶部5aには、後述の温度センサ81,82によって検出された検出温度を補正するための補正係数を記憶している。制御部5は、補正係数に基づいて検出温度を補正する。 Further, the control unit 5 has a storage unit 5a configured from a flash memory or the like. The storage unit 5a stores correction coefficients for correcting detected temperatures detected by temperature sensors 81 and 82, which will be described later. The control unit 5 corrects the detected temperature based on the correction coefficient.

次いで、ヘッド1の構成について説明する。 Next, the configuration of the head 1 will be explained.

ヘッド1は、図2に示すように、流路部材21及び圧電アクチュエータ22を有する。流路部材21及び圧電アクチュエータ22は、共に、第2方向D2と直交する平面において、第1方向D1の長さが第3方向D3の長さよりも長い、矩形状である。 The head 1 includes a flow path member 21 and a piezoelectric actuator 22, as shown in FIG. Both the flow path member 21 and the piezoelectric actuator 22 have a rectangular shape in which the length in the first direction D1 is longer than the length in the third direction D3 in a plane orthogonal to the second direction D2.

流路部材21は、図4に示すように、第2方向D2に積層された4枚のプレート31~34で構成されている。各プレート31~34には、流路を構成する孔が形成されている。当該流路は、複数の個別流路19、複数のマニホールド流路11(本発明の「共通流路」)を含む。また、これらプレート31~34は、熱伝導率の高い材料(金属、シリコン、カーボン等)で構成されている。 As shown in FIG. 4, the flow path member 21 is composed of four plates 31 to 34 stacked in the second direction D2. Each of the plates 31 to 34 has holes formed therein that constitute flow paths. The flow path includes a plurality of individual flow paths 19 and a plurality of manifold flow paths 11 ("common flow path" in the present invention). Further, these plates 31 to 34 are made of a material with high thermal conductivity (metal, silicon, carbon, etc.).

プレート31には、複数の圧力室10が形成されている。プレート32には、圧力室10毎に、連通孔12,13が形成されている。連通孔12,13は、それぞれ、対応する圧力室10の第3方向D3の一端及び他端と第2方向D2に重なっている。プレート33には、連通孔13毎に、連通孔14が形成されている。連通孔14は、対応する連通孔13と第2方向D2に重なっている。プレート33には、さらに、12本のマニホールド流路11が形成されている。マニホールド流路11は、第1方向D1に配列された複数の圧力室10からなる圧力室列10R(図2参照)毎に設けられている。各マニホールド流路11は、第1方向D1方向に延び、対応する圧力室列10Rに属する複数の圧力室10と連通孔12を介して連通している。プレート34には、複数のノズル15が形成されている。各ノズル15は、連通孔14と第2方向D2に重なっている。 A plurality of pressure chambers 10 are formed in the plate 31. Communication holes 12 and 13 are formed in the plate 32 for each pressure chamber 10. The communication holes 12 and 13 respectively overlap one end and the other end of the corresponding pressure chamber 10 in the third direction D3 in the second direction D2. A communication hole 14 is formed in the plate 33 for each communication hole 13 . The communication holes 14 overlap the corresponding communication holes 13 in the second direction D2. Twelve manifold channels 11 are further formed in the plate 33. The manifold channel 11 is provided for each pressure chamber row 10R (see FIG. 2), which is composed of a plurality of pressure chambers 10 arranged in the first direction D1. Each manifold flow path 11 extends in the first direction D1 and communicates with a plurality of pressure chambers 10 belonging to the corresponding pressure chamber row 10R via a communication hole 12. A plurality of nozzles 15 are formed on the plate 34. Each nozzle 15 overlaps the communication hole 14 in the second direction D2.

個別流路19は、圧力室10、当該圧力室10に連通する連通孔12~14及びノズル15により構成されている。つまり、複数の個別流路19も、複数の圧力室10と同様に、第1方向D1に配列されている。 The individual flow path 19 is composed of a pressure chamber 10, communication holes 12 to 14 communicating with the pressure chamber 10, and a nozzle 15. That is, like the plurality of pressure chambers 10, the plurality of individual flow paths 19 are also arranged in the first direction D1.

また、流路部材21には、図2に示すように、その上面21aにおいて、圧電アクチュエータ22が配置されない領域に、2つのインク供給孔8が形成されている(図2参照)。各インク供給孔8は、チューブを介してインクカートリッジ(図示略)と連通している。また、各インク供給孔8は、プレート31,32を貫通する2つの孔により構成されており、6本のマニホールド流路11と連通している。インクカートリッジからチューブを介して各インク供給孔8に供給されたインクは、6本のマニホールド流路11にそれぞれ供給される。各マニホールド流路11から、各圧力室列10Rに属する複数の圧力室10に、連通孔12を介してインクが供給される。そして後述のように圧電アクチュエータ22が駆動することで、圧力室10内のインクに圧力が付与され、連通孔13,14を通ってノズル15からインクが吐出される。 Further, as shown in FIG. 2, in the channel member 21, two ink supply holes 8 are formed in an area on the upper surface 21a where the piezoelectric actuator 22 is not arranged (see FIG. 2). Each ink supply hole 8 communicates with an ink cartridge (not shown) via a tube. Further, each ink supply hole 8 is constituted by two holes penetrating the plates 31 and 32, and communicates with the six manifold channels 11. Ink supplied from the ink cartridge to each ink supply hole 8 via a tube is supplied to six manifold channels 11, respectively. Ink is supplied from each manifold channel 11 to the plurality of pressure chambers 10 belonging to each pressure chamber row 10R via communication holes 12. As described later, the piezoelectric actuator 22 is driven to apply pressure to the ink within the pressure chamber 10, and the ink is ejected from the nozzle 15 through the communication holes 13 and 14.

圧電アクチュエータ22(本発明の「アクチュエータ部材」)は、図4に示すように、流路部材21の上面21a(本発明の「表面」)に配置されている。圧電アクチュエータ22は、3つの圧電層41~43と、複数の駆動電極51と、高電位電極52と、低電位電極53とを有する。 The piezoelectric actuator 22 (the "actuator member" of the present invention) is arranged on the upper surface 21a (the "surface" of the present invention) of the channel member 21, as shown in FIG. The piezoelectric actuator 22 includes three piezoelectric layers 41 to 43, a plurality of drive electrodes 51, a high potential electrode 52, and a low potential electrode 53.

3つの圧電層41~43は、それぞれチタン酸ジルコン酸鉛等を主成分とする圧電材料からなり、第2方向D2に積層されている。圧電層42は、圧電層41に対して第2方向D2に積層されている。圧電層43は、圧電層41及び圧電層42に対して第2方向D2に積層され、圧電層41との間に圧電層42を挟む。なお、圧電層41が本発明の「第1圧電層」に該当し、圧電層42が本発明の「第2圧電層」に該当する。圧電層43は、プレート31の上面21aに配置され、プレート31に形成された全ての圧力室10を覆っている。 The three piezoelectric layers 41 to 43 are each made of a piezoelectric material whose main component is lead zirconate titanate or the like, and are laminated in the second direction D2. The piezoelectric layer 42 is stacked on the piezoelectric layer 41 in the second direction D2. The piezoelectric layer 43 is laminated in the second direction D2 with respect to the piezoelectric layer 41 and the piezoelectric layer 42, and the piezoelectric layer 42 is sandwiched between the piezoelectric layer 43 and the piezoelectric layer 41. Note that the piezoelectric layer 41 corresponds to the "first piezoelectric layer" of the present invention, and the piezoelectric layer 42 corresponds to the "second piezoelectric layer" of the present invention. The piezoelectric layer 43 is arranged on the upper surface 21a of the plate 31 and covers all the pressure chambers 10 formed in the plate 31.

複数の駆動電極51(本発明の「第1電極」)は、図3に示すように、圧電層41の上面に、圧力室10のそれぞれに対応して配置されている。各駆動電極51は、主部51aと、突出部51bとを有する。主部51aは、対応する圧力室10の略全域と第2方向D2に重なっている。突出部51bは、主部51aから第3方向D3に突出し、対応する圧力室10と第2方向D2に重なっていない。突出部51bには、COF(Chip On Film)(図示略)と電気的に接続される接点が設けられている。COFに実装されたドライバIC(図示略)は、制御部5の制御により、COFの配線を介して各駆動電極51に対して個別に、高電位(VDD電位)及び低電位(GND電位)のいずれかを選択的に付与する。 As shown in FIG. 3, the plurality of drive electrodes 51 ("first electrodes" of the present invention) are arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 41, corresponding to each of the pressure chambers 10. Each drive electrode 51 has a main portion 51a and a protruding portion 51b. The main portion 51a overlaps substantially the entire area of the corresponding pressure chamber 10 in the second direction D2. The protruding portion 51b protrudes from the main portion 51a in the third direction D3, and does not overlap the corresponding pressure chamber 10 in the second direction D2. The protruding portion 51b is provided with a contact that is electrically connected to a COF (Chip On Film) (not shown). A driver IC (not shown) mounted on the COF individually applies a high potential (VDD potential) and a low potential (GND potential) to each drive electrode 51 via the wiring of the COF under the control of the control unit 5. Selectively give one of them.

複数の駆動電極51は、図5に示すように、第1方向D1に配列されており、圧力室列10R(図2参照)のそれぞれに対応する複数の駆動電極列51Rを形成している。複数の駆動電極列51Rは、第3方向D3に並んでいる。 As shown in FIG. 5, the plurality of drive electrodes 51 are arranged in the first direction D1, forming a plurality of drive electrode rows 51R corresponding to each of the pressure chamber rows 10R (see FIG. 2). The plurality of drive electrode rows 51R are lined up in the third direction D3.

各駆動電極列51Rに対し、第1方向D1の一方(図7の上方)及び他方(図7の下方)のそれぞれに、ダミー電極59が設けられている。ダミー電極59は、平面におけるサイズ及び形状が駆動電極51と同じであり、当該駆動電極51と共に第1方向D1に等間隔に配置されている。ダミー電極59は、COFと電気的に接続されず、電位が付与されない。 For each drive electrode row 51R, dummy electrodes 59 are provided on one side (upper side in FIG. 7) and the other side (lower side in FIG. 7) in the first direction D1. The dummy electrodes 59 have the same planar size and shape as the drive electrodes 51, and are arranged at equal intervals in the first direction D1 together with the drive electrodes 51. The dummy electrode 59 is not electrically connected to the COF and no potential is applied to it.

圧電層41の上面には、駆動電極51及びダミー電極59に加え、2つの高電位接続電極部54と、2つの低電位接続電極部55とが設けられている。 In addition to the drive electrode 51 and the dummy electrode 59, two high potential connection electrode sections 54 and two low potential connection electrode sections 55 are provided on the upper surface of the piezoelectric layer 41.

2つの高電位接続電極部54(本発明の「第1給電部」)は、それぞれ、圧電層41の第3方向D3の一端(図5の左端)及び他端(図5の右端)において、圧電層41における第1方向D1の一方側(図5の上側)に配置されている。2つの低電位接続電極部55(本発明の「第2給電部」)は、それぞれ、圧電層41の第3方向D3の一端(図5の左端)及び他端(図5の右端)において、圧電層41における第1方向D1の他方側(図5の下側)に配置されている。 The two high-potential connection electrode parts 54 (the "first power feeding part" of the present invention) are located at one end (the left end in FIG. 5) and the other end (the right end in FIG. 5) of the piezoelectric layer 41 in the third direction D3, respectively. It is arranged on one side (upper side in FIG. 5) of the piezoelectric layer 41 in the first direction D1. The two low-potential connection electrode parts 55 (the "second power supply part" of the present invention) are located at one end (the left end in FIG. 5) and the other end (the right end in FIG. 5) of the piezoelectric layer 41 in the third direction D3, respectively. It is arranged on the other side of the piezoelectric layer 41 in the first direction D1 (lower side in FIG. 5).

高電位接続電極部54及び低電位接続電極部55は、それぞれ、第1方向D1に互いに離隔して配置された複数の接続電極54a,55aで構成されている。接続電極54a,55aは、平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じである。ドライバICは、制御部5の制御により、COFの配線を介して、接続電極54aに高電位(VDD電位)を付与し、接続電極55aに低電位(GND電位)を付与する。接続電極54aは高電位に保持され、接続電極55aは低電位に保持される。 The high potential connection electrode section 54 and the low potential connection electrode section 55 each include a plurality of connection electrodes 54a and 55a arranged apart from each other in the first direction D1. The connection electrodes 54a and 55a have substantially the same size and shape in a plane. Under the control of the control unit 5, the driver IC applies a high potential (VDD potential) to the connection electrode 54a and a low potential (GND potential) to the connection electrode 55a via the COF wiring. The connection electrode 54a is held at a high potential, and the connection electrode 55a is held at a low potential.

高電位電極52(本発明の「第1共通電極」)は、図6に示すように、圧電層42の上面に配置されており、幹部521と、幹部521から分岐した複数の枝部523と、各枝部523から分岐した複数の個別部52a(本発明の「第1個別部及び別の第1個別部」)とを含む。 As shown in FIG. 6, the high potential electrode 52 (the "first common electrode" of the present invention) is arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 42, and includes a trunk 521 and a plurality of branches 523 branching from the trunk 521. , a plurality of individual parts 52a ("first individual part and another first individual part" of the present invention) branched from each branch part 523.

幹部521(本発明の「第1幹部」)は、圧電層42の第1方向D1の一端(図6の上端)において、第3方向D3に延びる延在部521a(本発明の「第1延在部」)と、延在部521aの第3方向D3の両端に接続された2つの高電位受容部521b(本発明の「接点及び第1接点部」)とを含む。2つの高電位受容部521bは、それぞれ、圧電層42の第3方向D3の一端(図6の左端)及び他端(図6の右端)において、第1方向D1に延びている。 The trunk 521 (the "first trunk" of the present invention) has an extending portion 521a (the "first trunk" of the present invention) extending in the third direction D3 at one end (upper end in FIG. 6) of the piezoelectric layer 42 in the first direction D1. and two high potential receiving portions 521b (“contact and first contact portion” of the present invention) connected to both ends of the extension portion 521a in the third direction D3. The two high potential receptors 521b extend in the first direction D1 at one end (left end in FIG. 6) and the other end (right end in FIG. 6) of the piezoelectric layer 42 in the third direction D3, respectively.

2つの高電位受容部521bは、それぞれ、高電位接続電極部54を構成するいくつかの接続電極54aと第2方向D2に重なっている。2つの高電位受容部521bは、それぞれ、圧電層41に形成された貫通孔を介して当該接続電極54aと電気的に接続されており、当該接続電極54aから高電位を受ける。 The two high potential receiving parts 521b each overlap with several connection electrodes 54a that constitute the high potential connection electrode part 54 in the second direction D2. The two high potential receptors 521b are each electrically connected to the connection electrode 54a through a through hole formed in the piezoelectric layer 41, and receive a high potential from the connection electrode 54a.

複数の枝部523(本発明の「第1枝部」)は、第3方向D3に並び、それぞれ延在部521aから第1方向D1の他方側(図6の下側)に延びている。各個別部52aは、各圧力室10の第1方向D1の中央部分と第2方向D2に重なり、各駆動電極51と第2方向D2に重なる部分を有する(図8参照)。 The plurality of branch portions 523 (“first branch portions” of the present invention) are arranged in the third direction D3 and each extend from the extension portion 521a to the other side (lower side in FIG. 6) in the first direction D1. Each individual portion 52a has a portion that overlaps a central portion of each pressure chamber 10 in the first direction D1 in the second direction D2, and a portion that overlaps each drive electrode 51 in the second direction D2 (see FIG. 8).

複数の個別部52aは、図6に示すように、第1方向D1に配列されており、圧力室列10R(図2参照)のそれぞれに対応する複数の個別部列52aR(本発明の「第1個別部列」)を形成している。複数の個別部列52aRは、第3方向D3に並んでいる。 The plurality of individual parts 52a are arranged in the first direction D1 as shown in FIG. 1 individual part sequence"). The plurality of individual part rows 52aR are lined up in the third direction D3.

幹部521の延在部521a及び高電位受容部521bは、図6に示すように、枝部523及び個別部52aよりも平面サイズが幅広に形成されている。このため、高電位電極52においては、電荷と抵抗との積の値が、幹部521が最も高くなる。したがって、接続電極54aから高電位を受けたときに、幹部521が枝部523及び個別部52aよりも発熱する。 As shown in FIG. 6, the extending portion 521a and the high potential receiving portion 521b of the trunk portion 521 are formed to have a wider planar size than the branch portions 523 and the individual portions 52a. Therefore, in the high potential electrode 52, the value of the product of charge and resistance is highest at the trunk 521. Therefore, when receiving a high potential from the connection electrode 54a, the trunk 521 generates more heat than the branch portions 523 and the individual portions 52a.

圧電層42の上面には、高電位電極52に加え、2つの低電位接続電極部56と、2つの浮き電極部64と、浮き電極部65とが設けられている。 In addition to the high potential electrode 52, two low potential connection electrode sections 56, two floating electrode sections 64, and a floating electrode section 65 are provided on the upper surface of the piezoelectric layer 42.

2つの低電位接続電極部56(本発明の「第2給電部」)は、それぞれ、圧電層42の第3方向D3の一端(図6の左端)及び他端(図6の右端)において、圧電層42における第1方向D1の他方側(図6の下側)に配置されている。2つの低電位接続電極部56は、それぞれ、第1方向D1に互いに離隔して配置された2つの接続電極56aと1つの接続電極56bとで構成されている。 The two low potential connection electrode parts 56 (the "second power supply part" of the present invention) are located at one end (the left end in FIG. 6) and the other end (the right end in FIG. 6) of the third direction D3 of the piezoelectric layer 42, respectively. It is arranged on the other side (lower side in FIG. 6) of the piezoelectric layer 42 in the first direction D1. The two low-potential connection electrode sections 56 each include two connection electrodes 56a and one connection electrode 56b that are spaced apart from each other in the first direction D1.

2つの浮き電極部64は、それぞれ、圧電層42の第3方向D3の一端(図6の左端)及び他端(図6の右端)において、第1方向D1において高電位受容部521bと低電位接続電極部56との間に配置されている。2つの浮き電極部64は、それぞれ、第1方向D1に互いに離隔して配置された複数の浮き電極64aで構成されている。 The two floating electrode parts 64 are connected to the high potential receiving part 521b and the low potential in the first direction D1 at one end (left end in FIG. 6) and the other end (right end in FIG. 6) of the third direction D3 of the piezoelectric layer 42, respectively. It is arranged between the connecting electrode section 56 and the connecting electrode section 56 . The two floating electrode sections 64 each include a plurality of floating electrodes 64a that are spaced apart from each other in the first direction D1.

浮き電極部65は、圧電層42の第1方向D1の他端(図6の下端)に配置されている。浮き電極部65は、第3方向D3に互いに離隔して配置された複数の浮き電極65aで構成されている。浮き電極65aは、平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、第3方向D3に等間隔に配置されている。 The floating electrode portion 65 is arranged at the other end of the piezoelectric layer 42 in the first direction D1 (lower end in FIG. 6). The floating electrode section 65 includes a plurality of floating electrodes 65a arranged apart from each other in the third direction D3. The floating electrodes 65a have substantially the same size and shape in a plane, and are arranged at equal intervals in the third direction D3.

低電位接続電極部56の接続電極56aと、浮き電極部64の浮き電極64aとは、平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、第1方向D1に等間隔に配置されている。接続電極56bは、接続電極56aよりも第1方向D1の長さが長い。接続電極56a,56bは、圧電層41に形成された貫通孔を介して当該接続電極55aと電気的に接続されている。一方、浮き電極部64,65の各浮き電極64a,65aは、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない。 The connection electrode 56a of the low potential connection electrode section 56 and the floating electrode 64a of the floating electrode section 64 have substantially the same size and shape in a plane, and are arranged at equal intervals in the first direction D1. The connection electrode 56b has a longer length in the first direction D1 than the connection electrode 56a. The connection electrodes 56a and 56b are electrically connected to the connection electrode 55a through a through hole formed in the piezoelectric layer 41. On the other hand, each floating electrode 64a, 65a of the floating electrode parts 64, 65 is not electrically connected to any electrode, and no potential is applied thereto.

低電位電極53(本発明の「第2共通電極」)は、図7に示すように、圧電層43の上面に配置されており、幹部531と、幹部531から分岐した複数の枝部533と、各枝部533から分岐した複数の個別部53a(本発明の「第2個別部及び別の第2個別部」)とを含む。 As shown in FIG. 7, the low potential electrode 53 (the "second common electrode" of the present invention) is arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 43, and includes a trunk 531 and a plurality of branches 533 branching from the trunk 531. , a plurality of individual parts 53a ("second individual part and another second individual part" of the present invention) branched from each branch part 533.

幹部531(本発明の「第2幹部」)は、圧電層43の第1方向D1の他端(図7の下端)において、第3方向D3に延びる延在部531a(本発明の「第2延在部」)と、延在部531aの第3方向D3の両端に接続された2つの低電位受容部531b(本発明の「接点及び第2接点部」)とを含む。また、幹部531は、第1方向D1において、マニホールド流路11の一部に対し、幹部521の反藍に位置している(図2、図6及び図7参照)。2つの低電位受容部531bは、それぞれ、圧電層43の第3方向D3の一端(図7の左端)及び他端(図7の右端)において、第1方向D1に延びている。 The trunk 531 (the "second trunk" of the present invention) has an extending portion 531a (the "second trunk" of the present invention) extending in the third direction D3 at the other end of the piezoelectric layer 43 in the first direction D1 (lower end in FIG. 7). and two low potential receiving portions 531b (“contact point and second contact portion” of the present invention) connected to both ends of the extending portion 531a in the third direction D3. In addition, the trunk 531 is located opposite to the trunk 521 with respect to a part of the manifold flow path 11 in the first direction D1 (see FIGS. 2, 6, and 7). The two low potential receptors 531b extend in the first direction D1 at one end (left end in FIG. 7) and the other end (right end in FIG. 7) of the piezoelectric layer 43 in the third direction D3, respectively.

2つの低電位受容部531bは、それぞれ、低電位接続電極部55を構成するいくつかの接続電極55a(図5参照)及び低電位接続電極部56を構成するいくつかの接続電極56a,56b(図6参照)と第2方向D2に重なっている。2つの低電位受容部531bは、それぞれ、圧電層42に形成された貫通孔を介して当該接続電極56a,56bと電気的に接続されている。したがって、各低電位受容部531bは、低電位接続電極部56(図6参照)を介して低電位接続電極部55(図5参照)と電気的に接続されており、低電位接続電極部55から低電位を受ける。 The two low potential receptors 531b each include several connection electrodes 55a (see FIG. 5) that constitute the low potential connection electrode section 55 and several connection electrodes 56a, 56b (see FIG. 5) that constitute the low potential connection electrode section 56. (see FIG. 6) in the second direction D2. The two low potential receptors 531b are electrically connected to the connection electrodes 56a and 56b through through holes formed in the piezoelectric layer 42, respectively. Therefore, each low potential receiving section 531b is electrically connected to the low potential connecting electrode section 55 (see FIG. 5) via the low potential connecting electrode section 56 (see FIG. 6), and the low potential connecting electrode section 55 receives a low potential from

複数の枝部533(本発明の「第2枝部」)は、第3方向D3に並び、それぞれ延在部531aから第1方向D1の一方側(図7の上側)に延びている。複数の個別部53aのうち、第1方向D1の一端及び他端に位置する個別部53aを除き、各個別部53aは、第1方向D1に互いに隣接する2つの圧力室10に跨り、上記2つの圧力室10と第2方向D2に重なる部分を有する(図8参照)。上記第1方向D1の一端及び他端に位置する個別部53aは、1つの圧力室10と第1方向D1に重なる部分を有する。また、各個別部53aは、各駆動電極51と第2方向D2に重なる部分を有する。 The plurality of branch portions 533 (“second branch portions” of the present invention) are arranged in the third direction D3 and each extend from the extension portion 531a to one side (upper side in FIG. 7) in the first direction D1. Among the plurality of individual parts 53a, each individual part 53a, except for the individual parts 53a located at one end and the other end in the first direction D1, straddles two pressure chambers 10 that are adjacent to each other in the first direction D1. The pressure chamber 10 has a portion that overlaps with the two pressure chambers 10 in the second direction D2 (see FIG. 8). The individual portions 53a located at one end and the other end in the first direction D1 have portions that overlap with one pressure chamber 10 in the first direction D1. Further, each individual portion 53a has a portion that overlaps each drive electrode 51 in the second direction D2.

複数の個別部53aは、図7に示すように、第1方向D1に配列されており、圧力室列10R(図2参照)のそれぞれに対応する複数の個別部列53aR(本発明の「第2個別部列」)を形成している。複数の個別部列53aRは、第3方向D3に並んでいる。 The plurality of individual parts 53a are arranged in the first direction D1 as shown in FIG. 2 separate parts). The plurality of individual part rows 53aR are lined up in the third direction D3.

幹部531の延在部531a及び低電位受容部531bは、図7に示すように、枝部533及び個別部53aよりも平面サイズが幅広に形成されている。このため、低電位電極53においては、電荷と抵抗との積の値が、幹部531が最も高くなる。したがって、低電位接続電極部55から低電位を受けたときに、幹部531が枝部533及び個別部53aよりも発熱する。 As shown in FIG. 7, the extending portion 531a and the low potential receiving portion 531b of the trunk portion 531 are formed to have a wider planar size than the branch portion 533 and the individual portion 53a. Therefore, in the low potential electrode 53, the value of the product of charge and resistance is highest at the trunk 531. Therefore, when receiving a low potential from the low potential connection electrode portion 55, the trunk 531 generates more heat than the branch portions 533 and the individual portions 53a.

圧電層43の上面には、低電位電極53に加え、高電位接続電極部57と、2つの浮き電極部66とが設けられている。 In addition to the low potential electrode 53, a high potential connection electrode section 57 and two floating electrode sections 66 are provided on the upper surface of the piezoelectric layer 43.

高電位接続電極部57は、圧電層43の第1方向D1の一端(図7の上端)において、第3方向D3に延びる部分57aと、部分57aの第3方向D3の両端に接続された2つの部分57bとを有する。2つの部分57bは、それぞれ、圧電層43の第3方向D3の一端(図7の左端)及び他端(図7の右端)において、第1方向D1に延びている。 The high potential connection electrode section 57 includes a portion 57a extending in the third direction D3 at one end of the piezoelectric layer 43 in the first direction D1 (upper end in FIG. 7), and two electrodes connected to both ends of the portion 57a in the third direction D3. It has two portions 57b. The two portions 57b extend in the first direction D1 at one end (left end in FIG. 7) and the other end (right end in FIG. 7) of the piezoelectric layer 43 in the third direction D3, respectively.

2つの部分57bは、それぞれ、高電位電極52の各高電位受容部521b(図6参照)と第2方向D2に重なっている。2つの部分57bは、それぞれ、圧電層42に形成された貫通孔を介して各高電位受容部521bと電気的に接続されている。したがって、各部分57bは、高電位受容部521b(図6参照)を介して高電位接続電極部54(図5参照)と電気的に接続されており、高電位接続電極部54から高電位を受ける。なお、高電位接続電極部57は、高電位受容部521bと接続されていなくてもよい。この場合、高電位接続電極部57には電位が付与されない。 The two portions 57b overlap each high potential receiving portion 521b (see FIG. 6) of the high potential electrode 52 in the second direction D2. The two portions 57b are electrically connected to each high potential receiving portion 521b via a through hole formed in the piezoelectric layer 42, respectively. Therefore, each portion 57b is electrically connected to the high potential connecting electrode section 54 (see FIG. 5) via the high potential receiving section 521b (see FIG. 6), and receives a high potential from the high potential connecting electrode section 54. receive. Note that the high potential connection electrode section 57 does not need to be connected to the high potential receiving section 521b. In this case, no potential is applied to the high potential connection electrode section 57.

2つの浮き電極部66は、それぞれ、圧電層43の第3方向D3の一端(図7の左端)及び他端(図7の右端)において、第1方向D1において部分57bと低電位受容部531bとの間に配置されている。2つの浮き電極部66は、それぞれ、第1方向D1に互いに離隔して配置された複数の浮き電極66aで構成されている。浮き電極66aは、平面におけるサイズ及び形状が互いに略同じであり、第1方向D1に等間隔に配置されている。各浮き電極66aは、いずれの電極とも電気的に接続されず、電位が付与されない。 The two floating electrode portions 66 have a portion 57b and a low potential receiving portion 531b in the first direction D1 at one end (left end in FIG. 7) and the other end (right end in FIG. 7) of the piezoelectric layer 43 in the third direction D3, respectively. is located between. The two floating electrode sections 66 each include a plurality of floating electrodes 66a that are spaced apart from each other in the first direction D1. The floating electrodes 66a have substantially the same size and shape in a plane, and are arranged at equal intervals in the first direction D1. Each floating electrode 66a is not electrically connected to any electrode and no potential is applied to it.

図8に示すように、圧電層41のうち、第2方向D2において駆動電極51と高電位電極52の個別部52aとに挟まれた部分を、第1活性部91という。圧電層42,43のうち、第2方向D2において駆動電極51と低電位電極53の個別部53aとに挟まれた部分を、第2活性部92という。第1活性部91は主に上向きに分極され、第2活性部92は主に下向きに分極されている。圧電アクチュエータ22は、圧力室10毎に、1つの第1活性部91と、第1方向D1に第1活性部91を挟む2つの第2活性部92とから構成される、アクチュエータ部90を有する。 As shown in FIG. 8, a portion of the piezoelectric layer 41 sandwiched between the drive electrode 51 and the individual portion 52a of the high potential electrode 52 in the second direction D2 is referred to as a first active portion 91. A portion of the piezoelectric layers 42 and 43 that is sandwiched between the drive electrode 51 and the individual portion 53a of the low potential electrode 53 in the second direction D2 is referred to as a second active portion 92. The first active part 91 is mainly polarized upward, and the second active part 92 is mainly polarized downward. The piezoelectric actuator 22 has an actuator section 90 for each pressure chamber 10, including one first active section 91 and two second active sections 92 that sandwich the first active section 91 in the first direction D1. .

ここで、図9を参照し、あるノズル15からインクを吐出させる際の、当該ノズル15に対応するアクチュエータ部90の動作について説明する。 Here, with reference to FIG. 9, the operation of the actuator section 90 corresponding to a certain nozzle 15 when ink is ejected from the nozzle 15 will be described.

プリンタ100が記録動作を開始する前は、図9(a)に示すように、各駆動電極51に低電位(GND電位)が付与されている。このとき、駆動電極51と高電位電極52との電位差によって、第1活性部91にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第1活性部91が面方向に収縮している。これにより、圧電層41~43における圧力室10と第2方向D2に重なる部分が、圧力室10に向かって(下向きに)凸となるように撓んでいる。このとき圧力室10は、圧電層41~43がフラットな場合と比べ、容積が小さくなっている。 Before the printer 100 starts the recording operation, a low potential (GND potential) is applied to each drive electrode 51, as shown in FIG. 9(a). At this time, due to the potential difference between the drive electrode 51 and the high potential electrode 52, an upward electric field equal to the polarization direction is generated in the first active part 91, causing the first active part 91 to contract in the plane direction. As a result, the portions of the piezoelectric layers 41 to 43 that overlap the pressure chamber 10 in the second direction D2 are bent so as to be convex toward the pressure chamber 10 (downward). At this time, the pressure chamber 10 has a smaller volume than when the piezoelectric layers 41 to 43 are flat.

プリンタ100が記録動作を開始し、あるノズル15からインクを吐出させる際には、先ず、図9(b)に示すように、当該ノズル15に対応する駆動電極51の電位が低電位(GND電位)から高電位(VDD電位)に切り替えられる。このとき、駆動電極51と高電位電極52との電位差がなくなることで、第1活性部91の収縮が解消される。一方、駆動電極51と低電位電極53との電位差が生じることで、第2活性部92にその分極方向に等しい下向きの電界が生じ、第2活性部92が面方向に収縮する。ただし、第2活性部92は、クロストーク(ある圧力室10におけるアクチュエータ部90の変形に伴う圧力変動が、当該圧力室10に隣接する別の圧力室10に伝わる現象)を抑制する機能を有するものであり、アクチュエータ部90の変形にほとんど寄与しない。つまり、このとき圧電層41~43は、圧力室10と第2方向D2に重なる部分が圧力室10から離れる方向に(上向きに)凸となるように撓まず、フラットな状態となる。これにより、圧力室10の容積は、図9(a)に比べて大きくなる。 When the printer 100 starts a recording operation and ejects ink from a certain nozzle 15, first, as shown in FIG. ) to a high potential (VDD potential). At this time, the potential difference between the drive electrode 51 and the high potential electrode 52 is eliminated, so that the contraction of the first active portion 91 is eliminated. On the other hand, due to the potential difference between the drive electrode 51 and the low potential electrode 53, a downward electric field equal to the polarization direction is generated in the second active part 92, causing the second active part 92 to contract in the planar direction. However, the second active section 92 has a function of suppressing crosstalk (a phenomenon in which pressure fluctuations accompanying deformation of the actuator section 90 in a certain pressure chamber 10 are transmitted to another pressure chamber 10 adjacent to the pressure chamber 10). Therefore, it hardly contributes to the deformation of the actuator section 90. That is, at this time, the piezoelectric layers 41 to 43 do not bend so that the portions overlapping with the pressure chamber 10 in the second direction D2 are convex in a direction away from the pressure chamber 10 (upward), but are in a flat state. As a result, the volume of the pressure chamber 10 becomes larger than that in FIG. 9(a).

その後、図9(a)に示すように、当該ノズル15に対応する駆動電極51の電位が高電位(VDD電位)から低電位(GND電位)に切り替えられる。このとき、駆動電極51と低電位電極53との電位差がなくなることで、第2活性部92の収縮が解消される。一方、駆動電極51と高電位電極52との電位差が生じることで、第1活性部91にその分極方向に等しい上向きの電界が生じ、第1活性部91が面方向に収縮する。これにより、圧電層41~43における圧力室10と第1方向D1に重なる部分が、圧力室10に向かって(下向きに)凸となるように撓む。このとき、圧力室10の容積が大きく減少することで、圧力室10内のインクに大きな圧力が付与され、ノズル15からインクが吐出される。 Thereafter, as shown in FIG. 9A, the potential of the drive electrode 51 corresponding to the nozzle 15 is switched from a high potential (VDD potential) to a low potential (GND potential). At this time, the potential difference between the drive electrode 51 and the low potential electrode 53 disappears, so that the contraction of the second active part 92 is eliminated. On the other hand, due to the potential difference between the drive electrode 51 and the high potential electrode 52, an upward electric field equal to the polarization direction is generated in the first active part 91, and the first active part 91 contracts in the planar direction. As a result, the portions of the piezoelectric layers 41 to 43 that overlap with the pressure chamber 10 in the first direction D1 are bent so as to be convex (downward) toward the pressure chamber 10. At this time, since the volume of the pressure chamber 10 is greatly reduced, a large pressure is applied to the ink within the pressure chamber 10, and the ink is ejected from the nozzle 15.

ここで、圧電層41の上面に配置された、駆動電極51、ダミー電極59、高電位接続電極部54及び低電位接続電極部55が、第1電極層71を構成する(図5参照)。圧電層42の上面に配置された、高電位電極52、低電位接続電極部56、浮き電極部64,65が、第2電極層72を構成する(図6参照)。圧電層43の上面に配置された、低電位電極53、高電位接続電極部57、及び、浮き電極部66が、第3電極層73を構成する(図7参照)。また、高電位が本発明の「第1電位」に該当し、低電位が本発明の「第2電位」に該当する。 Here, the drive electrode 51, dummy electrode 59, high potential connection electrode section 54, and low potential connection electrode section 55 arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 41 constitute the first electrode layer 71 (see FIG. 5). The high potential electrode 52, the low potential connection electrode section 56, and the floating electrode sections 64 and 65 arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 42 constitute the second electrode layer 72 (see FIG. 6). The low potential electrode 53, the high potential connection electrode section 57, and the floating electrode section 66 arranged on the upper surface of the piezoelectric layer 43 constitute the third electrode layer 73 (see FIG. 7). Further, a high potential corresponds to the "first potential" of the present invention, and a low potential corresponds to the "second potential" of the present invention.

また、各ヘッド1は、図2に示すように、2つの温度センサ81,82を有する。2つの温度センサ81,82は、流路部材21の上面21aに配置されている。温度センサ81は、搬送方向において、流路部材21の上流側端部であって圧電アクチュエータ22よりも上流に配置されている。また、温度センサ82は、搬送方向において、流路部材の下流側端部であって圧電アクチュエータ22よりも下流に配置されている。 Furthermore, each head 1 has two temperature sensors 81 and 82, as shown in FIG. Two temperature sensors 81 and 82 are arranged on the upper surface 21a of the flow path member 21. The temperature sensor 81 is disposed at the upstream end of the channel member 21 and upstream of the piezoelectric actuator 22 in the conveyance direction. Further, the temperature sensor 82 is disposed at the downstream end of the flow path member and downstream of the piezoelectric actuator 22 in the conveyance direction.

また、2つの温度センサ81,82は、図6及び図7に示すように、第1方向D1において、高電位電極52の幹部521と低電位電極53の幹部531との間に配置されている。より詳細には、2つの温度センサ81,82は、第1方向D1において、幹部521の延在部521aと幹部531の延在部531aとの間の中央に配置されている。 Further, as shown in FIGS. 6 and 7, the two temperature sensors 81 and 82 are arranged between the trunk 521 of the high potential electrode 52 and the trunk 531 of the low potential electrode 53 in the first direction D1. . More specifically, the two temperature sensors 81 and 82 are arranged at the center between the extending portion 521a of the trunk 521 and the extending portion 531a of the trunk 531 in the first direction D1.

本実施形態における温度センサ81,82は、例えば、温度によって電気抵抗が変化する材料(Mn,Ni,Co等の複合金属酸化物)からなるNTCサーミスタ(Negative Temperature Coefficient Thermistor)からなるが、温度を検出可能なセンサであれば、特に限定するものではない。これら温度センサ81,82によって検出された検出温度は、制御部5に出力される。 The temperature sensors 81 and 82 in this embodiment are, for example, NTC thermistors (Negative Temperature Coefficient Thermistors) made of a material (composite metal oxide such as Mn, Ni, Co, etc.) whose electrical resistance changes depending on the temperature. There are no particular limitations on the sensor as long as it is a detectable sensor. The detected temperatures detected by these temperature sensors 81 and 82 are output to the control section 5.

制御部5は、温度センサ81,82で検出された検出温度を補正係数に基づいて補正する。搬送機構4によって用紙9が所定の搬送速度で搬送されることで搬送方向に沿った気流がプリンタ100内に生じる。このときの気流により、流路部材21の底面は、搬送方向上流側が下流側よりも冷やされる。つまり、流路部材21の底面の搬送方向上流側の温度が、下流側の温度よりも低くなる。このため、搬送方向の上流側にある温度センサ81の方が、下流側にある温度センサ82よりも検出温度が低くなる傾向がある。本実施形態における補正係数は、温度センサ81,82の少なくとも一方により検出された検出温度に乗じることで、所定搬送速度の用紙搬送によって生じる2つの温度センサ81,82間の検出温度の差を小さくし、実際の流路部材21内のインクの平均温度に近い温度となるように予め実験で導出されたものである。また、補正係数は、温度センサ81,82の設置位置のバラツキによって生じる検出温度の誤差を補正するものでもある。つまり、補正係数は、各温度センサ81,82の検出温度に補正係数を乗じることで、実際の流路部材21内のインクの平均温度に近い温度となるように予め実験で導出されたものである。制御部5は、補正係数に基づいて補正した各温度センサ81,82の検出温度の平均値を導出する。こうして、制御部5によって導出されたヘッド1毎の平均値(温度)が、ヘッド1毎の吐出制御(アクチュエータ部90に印加される駆動電圧、駆動パルス幅、パルス数の決定等)に用いられる。 The control unit 5 corrects the detected temperatures detected by the temperature sensors 81 and 82 based on the correction coefficient. By conveying the paper 9 at a predetermined conveyance speed by the conveyance mechanism 4, an airflow along the conveyance direction is generated within the printer 100. Due to the air flow at this time, the bottom surface of the flow path member 21 is cooled on the upstream side in the conveyance direction than on the downstream side. In other words, the temperature on the upstream side of the bottom surface of the flow path member 21 in the conveying direction is lower than the temperature on the downstream side. Therefore, the detected temperature of the temperature sensor 81 located on the upstream side in the transport direction tends to be lower than that of the temperature sensor 82 located on the downstream side. The correction coefficient in this embodiment reduces the difference in detected temperature between the two temperature sensors 81 and 82 caused by paper conveyance at a predetermined conveyance speed by multiplying the detected temperature detected by at least one of the temperature sensors 81 and 82. However, the temperature is determined in advance through experiments so that the temperature is close to the actual average temperature of the ink inside the flow path member 21. Further, the correction coefficient is used to correct errors in detected temperatures caused by variations in the installation positions of the temperature sensors 81 and 82. In other words, the correction coefficient is derived in advance through experiments so that the temperature detected by each temperature sensor 81, 82 is multiplied by the correction coefficient so that the temperature is close to the actual average temperature of the ink in the flow path member 21. be. The control unit 5 derives the average value of the detected temperatures of the temperature sensors 81 and 82 corrected based on the correction coefficient. In this way, the average value (temperature) for each head 1 derived by the control unit 5 is used for ejection control for each head 1 (determining the drive voltage, drive pulse width, number of pulses, etc. applied to the actuator unit 90). .

以上に述べたように、本実施形態のプリンタ100のヘッド1によると、温度センサ81,82が、第1方向D1において、比較的、発熱の大きい2つの幹部521,531間に配置される。仮に温度センサ81,82が第1方向D1において2つの幹部521,531の外側に配置されている場合、2つの幹部521,531の発熱により影響を受けた流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度を精度よく検出しにくくなる。しかしながら、本実施形態におけるヘッド1では、温度センサ81,82が、第1方向D1において、2つの幹部521,531間に配置されているため、温度センサ81,82が第1方向D1において2つの幹部521,531の外側に配置されているよりも、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度を精度よく検出することが可能となる。 As described above, according to the head 1 of the printer 100 of this embodiment, the temperature sensors 81 and 82 are arranged between the two trunks 521 and 531 that generate relatively large amounts of heat in the first direction D1. If the temperature sensors 81 and 82 are arranged outside the two trunks 521 and 531 in the first direction D1, the ink in the entire flow path of the flow path member 21 affected by the heat generated by the two trunks 521 and 531 It becomes difficult to accurately detect the average temperature of However, in the head 1 in this embodiment, the temperature sensors 81 and 82 are arranged between the two trunks 521 and 531 in the first direction D1, so the temperature sensors 81 and 82 are arranged between the two trunks 521 and 531 in the first direction D1. It becomes possible to detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21 with higher accuracy than when the main body 521, 531 is disposed outside.

また、温度センサ81,82は、第1方向D1において、幹部521と幹部531との間の中央に配置されている。これにより、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度をより精度よく検出することが可能となる。 Furthermore, the temperature sensors 81 and 82 are arranged at the center between the trunk 521 and the trunk 531 in the first direction D1. This makes it possible to detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21 with higher accuracy.

また、温度センサ81,82は、第1方向D1において、延在部521a及び延在部531aの間に配置されている。これにより、複数の個別部52a及び個別部53aの配列に対応して配置された、延在部521aと延在部531aとの間に温度センサ81,82を配置することが可能となる。延在部521aと延在部531aは比較的発熱の高い部分である。このため、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度を精度よく検出することが可能となる。 Furthermore, the temperature sensors 81 and 82 are arranged between the extending portion 521a and the extending portion 531a in the first direction D1. This makes it possible to arrange the temperature sensors 81 and 82 between the extending portions 521a and 531a, which are arranged in correspondence with the arrangement of the plurality of individual portions 52a and individual portions 53a. The extending portion 521a and the extending portion 531a are portions that generate relatively high heat. Therefore, it is possible to accurately detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21.

また、ヘッド1は、圧力室10毎に1つの第1活性部91と2つの第2活性部92とからなるアクチュエータ部90が形成された、3層構成の圧電アクチュエータ22を有する。このような3層構成の圧電アクチュエータ22では、第1活性部91の変形に伴う圧力変動が、隣接する圧力室10に伝達される際に、第2活性部92の変形によってキャンセルされることで、クロストークを効果的に抑制できる。 The head 1 also includes a three-layer piezoelectric actuator 22 in which an actuator section 90 consisting of one first active section 91 and two second active sections 92 is formed for each pressure chamber 10 . In the piezoelectric actuator 22 having such a three-layer structure, pressure fluctuations caused by the deformation of the first active part 91 are canceled by the deformation of the second active part 92 when transmitted to the adjacent pressure chamber 10. , crosstalk can be effectively suppressed.

また、プリンタ100の制御部5が、搬送方向の上流及び下流に配置された2つの温度センサ81,82によって検出された検出温度の平均値を導出する。これにより、用紙9の搬送気流による流路部材21の冷却の影響を小さくすることが可能となり、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度をより精度よく検出することが可能となる。 Further, the control unit 5 of the printer 100 derives the average value of the detected temperatures detected by the two temperature sensors 81 and 82 arranged upstream and downstream in the transport direction. This makes it possible to reduce the influence of cooling of the flow path member 21 due to the airflow conveying the paper 9, and it becomes possible to detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21 with higher accuracy.

また、プリンタ100の制御部5が、温度センサ81,82によって検出された検出温度を補正係数に基づいて補正する。これにより、温度センサ81,82によって検出された検出温度を補正することが可能となる。このため、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度をより精度よく検出することが可能となる。 Further, the control unit 5 of the printer 100 corrects the detected temperatures detected by the temperature sensors 81 and 82 based on the correction coefficient. This makes it possible to correct the detected temperatures detected by the temperature sensors 81 and 82. Therefore, it becomes possible to detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21 with higher accuracy.

上述の実施形態においては、プリンタ100のヘッド1に、搬送方向上流側の温度センサ81と、搬送方向下流側の温度センサ82とが設けられていたが、温度センサはいずれか一方だけが設けられていてもよい。これにより、搬送方向の上流又は下流に配置された1つの温度センサ81(又は82)で検出した検出温度により、流路部材21の流路全体におけるインクの平均温度を検出することが可能となる。また、圧電アクチュエータ22よりも下流に配置された温度センサ82だけを採用した場合、用紙9の搬送気流による冷却の影響の少ない箇所で温度を検出することが可能となる。 In the embodiment described above, the head 1 of the printer 100 is provided with the temperature sensor 81 on the upstream side in the transport direction and the temperature sensor 82 on the downstream side in the transport direction, but only one of the temperature sensors is provided. You can leave it there. This makes it possible to detect the average temperature of the ink in the entire flow path of the flow path member 21 based on the detected temperature detected by one temperature sensor 81 (or 82) placed upstream or downstream in the conveyance direction. . Furthermore, when only the temperature sensor 82 disposed downstream of the piezoelectric actuator 22 is employed, it is possible to detect the temperature at a location where the influence of cooling by the conveying airflow on the paper 9 is small.

また、記憶部5aに複数の補正係数が記憶されていてもよい。例えば、用紙9の搬送速度に応じた複数の補正係数を記憶していてもよい。この場合、第1搬送速度で用紙9が搬送される場合、温度センサ81,82で検出された検出温度を第1補正係数に基づいて補正し、第1搬送速度と異なる第2搬送速度で用紙9が搬送される場合、温度センサ81,82で検出された検出温度を第1補正係数とは異なる第2補正係数に基づいて補正してもよい。 Further, a plurality of correction coefficients may be stored in the storage unit 5a. For example, a plurality of correction coefficients depending on the transport speed of the paper 9 may be stored. In this case, when the paper 9 is transported at the first transport speed, the detected temperature detected by the temperature sensors 81 and 82 is corrected based on the first correction coefficient, and the paper is transported at a second transport speed different from the first transport speed. 9 is transported, the detected temperatures detected by the temperature sensors 81 and 82 may be corrected based on a second correction coefficient different from the first correction coefficient.

上述の実施形態におけるプリンタ100には、ヘッド1が固定されたラインヘッド(ヘッドユニット1x)が採用されていたが、ヘッド1が搬送方向と交差する方向に移動しながら、用紙Pにノズル15からインクを吐出して画像を形成するシリアルタイプのヘッドが採用されてもよい。このようなシリアルプリンタの場合、ヘッド1は、第1方向D1が搬送方向と平行となるように配置され、図示しないキャリッジによって第3方向D3に移動しながら用紙9にインクを吐出し画像を形成する。 The printer 100 in the above-described embodiment employs a line head (head unit 1x) in which the head 1 is fixed, but while the head 1 moves in a direction intersecting the conveyance direction, the paper P is moved from the nozzle 15 to the paper P. A serial type head may be used that forms an image by ejecting ink. In the case of such a serial printer, the head 1 is arranged so that the first direction D1 is parallel to the conveyance direction, and is moved by a carriage (not shown) in the third direction D3 to eject ink onto the paper 9 to form an image. do.

このようなシリアルプリンタであっても、温度センサ81,82が、第1方向D1において、2つの幹部521,531間に配置される。このため、上述の実施形態と同様な効果を得ることができる。なお、上述と同様な構成においては、同じ効果を得ることができる。 Even in such a serial printer, the temperature sensors 81 and 82 are arranged between the two trunks 521 and 531 in the first direction D1. Therefore, effects similar to those of the above-described embodiment can be obtained. In addition, in the structure similar to the above-mentioned, the same effect can be obtained.

また、本変形例におけるシリアルプリンタにおいては、ヘッド1が第3方向D3に沿って往復移動する。このため、温度センサ81,82によって検出された検出温度は、用紙Pの搬送気流の影響による温度差が生じにくい。しかしながら、温度センサ81,82の設置位置おける検出温度のバラツキを補正するための補正係数を設定し、制御部5が当該補正係数を検出温度に乗じることで、上述の実施形態と同様な効果を得ることができる。 Furthermore, in the serial printer according to this modification, the head 1 moves back and forth along the third direction D3. Therefore, the detected temperatures detected by the temperature sensors 81 and 82 are unlikely to have a temperature difference due to the influence of the conveying airflow of the paper P. However, by setting a correction coefficient for correcting the variation in detected temperature between the installation positions of the temperature sensors 81 and 82, and by having the control unit 5 multiply the detected temperature by the correction coefficient, the same effect as in the above-described embodiment can be achieved. Obtainable.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、温度センサ81,82は、第1方向D1において、2つの幹部521,531間に配置されておればよく、延在部521a及び延在部531aの中央よりも一方の延在部側に寄っていてもよい。また、温度センサ81,82は、流路部材21の上面21aに設置されているが、第1方向D1において2つの幹部521,531間に配置されておれば、流路部材21の他の表面に配置されていてもよい。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the claims. For example, the temperature sensors 81, 82 may be disposed between the two trunks 521, 531 in the first direction D1, and may be located closer to one of the extending portions than the center of the extending portions 521a and 531a. You can stop by. Further, although the temperature sensors 81 and 82 are installed on the upper surface 21a of the flow path member 21, if they are placed between the two trunks 521 and 531 in the first direction D1, they can be placed on other surfaces of the flow path member 21. It may be placed in

制御部5は、補正係数に基づいて検出温度を補正しなくてもよい。この場合、記憶部5aに補正係数が記憶されていなくてもよい。また、制御部5は、2つの温度センサ81,82のうちのいずれか一方の温度センサによる検出温度を採用して、ヘッド1毎の吐出制御に用いてもよい。 The control unit 5 does not need to correct the detected temperature based on the correction coefficient. In this case, the correction coefficient does not need to be stored in the storage unit 5a. Further, the control unit 5 may employ the temperature detected by one of the two temperature sensors 81 and 82 and use it for ejection control for each head 1.

第1電位が高電位、第2電位が低電位であることに限定されず、第1電位が低電位、第2電位が高電位であってもよい。 The first potential is not limited to a high potential and the second potential is a low potential, but the first potential may be a low potential and the second potential may be a high potential.

圧電アクチュエータ22を構成する圧電層の数は、上述の実施形態では3つであるが、2つ、又は、4つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態(図4等参照)において、圧電層43の代わりに、ステンレス鋼等からなる振動板を設けてもよい。或いは、上述の実施形態(図4等参照)において、圧電アクチュエータ22の圧電層43と流路部材21のプレート31との間に、別の圧電層を配置してもよい。 The number of piezoelectric layers constituting the piezoelectric actuator 22 is three in the above embodiment, but may be two, four or more. For example, in the embodiment described above (see FIG. 4, etc.), a diaphragm made of stainless steel or the like may be provided instead of the piezoelectric layer 43. Alternatively, in the embodiment described above (see FIG. 4, etc.), another piezoelectric layer may be arranged between the piezoelectric layer 43 of the piezoelectric actuator 22 and the plate 31 of the flow path member 21.

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出ヘッド及びこれを有する液体吐出装置(例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出ヘッド及びこれを有する装置)にも適用可能である。吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体(例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等)であってよい。 The present invention is not limited to printers, but can also be applied to facsimiles, copy machines, multifunction devices, and the like. The present invention also relates to a liquid ejection head used for purposes other than image recording, and a liquid ejection device having the same (for example, a liquid ejection head that ejects a conductive liquid onto a substrate to form a conductive pattern, and a liquid ejection head using the same). It is also applicable to devices with The target of ejection is not limited to paper, and may be, for example, cloth, a substrate, or the like. The liquid ejected from the nozzle is not limited to ink, and may be any liquid (for example, a processing liquid that aggregates or precipitates components in the ink).

1 ヘッド(液体吐出ヘッド)
4 搬送機構
5 制御部
5a 記憶部
10 圧力室
11 マニホールド流路(共通流路)
15 ノズル
19 個別流路
21 流路部材
21a 上面(表面)
22 圧電アクチュエータ(アクチュエータ部材)
81,82 温度センサ
41 圧電層(第1圧電層)
42 圧電層(第2圧電層)
51 駆動電極(第1電極)
52 高電位電極(第1共通電極)
52a 個別部(第1個別部)
52aR 個別部列(第1個別部列)
53 低電位電極(第2共通電極)
53a 個別部(第2個別部)
53aR 個別部列(第2個別部列)
54 高電位接続電極部(第1給電部)
55,56 低電位接続電極部(第2給電部)
71 第1電極層
72 第2電極層
73 第3電極層
90 アクチュエータ部
100 プリンタ(液体吐出装置)
521 幹部(第1幹部)
521a 延在部(第1延在部)
521b 高電位受容部(接点、第1接点)
523 枝部(第1枝部)
531 幹部(第2幹部)
531a 延在部(第2延在部)
531b 低電位受容部(接点、第2接点)
533 枝部(第2枝部)
D1 第1方向
D2 第2方向
D3 第3方向
1 head (liquid ejection head)
4 Transport mechanism 5 Control unit 5a Storage unit 10 Pressure chamber 11 Manifold channel (common channel)
15 Nozzle 19 Individual channel 21 Channel member 21a Top surface (surface)
22 Piezoelectric actuator (actuator member)
81, 82 Temperature sensor 41 Piezoelectric layer (first piezoelectric layer)
42 Piezoelectric layer (second piezoelectric layer)
51 Drive electrode (first electrode)
52 High potential electrode (first common electrode)
52a Individual part (1st individual part)
52aR Individual part row (first individual part row)
53 Low potential electrode (second common electrode)
53a Individual Division (Second Individual Division)
53aR Individual part row (second individual part row)
54 High potential connection electrode part (first power supply part)
55, 56 Low potential connection electrode part (second power supply part)
71 First electrode layer 72 Second electrode layer 73 Third electrode layer 90 Actuator section 100 Printer (liquid ejection device)
521 Executive (1st executive)
521a Extension part (first extension part)
521b High potential receptor (contact, first contact)
523 Branch (first branch)
531 Executive (Second Executive)
531a Extension part (second extension part)
531b Low potential receptor (contact, second contact)
533 Branch (second branch)
D1 First direction D2 Second direction D3 Third direction

Claims (7)

ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含み、第1方向に配列された複数の個別流路と、前記第1方向に延び、前記複数の個別流路に連通する共通流路とが形成された流路部材と、
前記流路部材の表面に固定され、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記表面及び前記第1方向と直交する第2方向に重なる複数のアクチュエータ部を有するアクチュエータ部材と、
温度センサと、を備え、
前記アクチュエータ部材は、
前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の第1個別部と、前記複数の第1個別部を連結する複数の第1枝部と、前記複数の第1枝部を連結しかつ第1給電部との接点が設けられた第1幹部とを有する第1共通電極と、
前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の第2個別部と、前記複数の第2個別部を連結する複数の第2枝部と、前記複数の第2枝部を連結しかつ第2給電部との接点が設けられた第2幹部とを有する第2共通電極と、を含み、
前記第1幹部は、前記第1方向において、前記共通流路の少なくとも一部に対し、前記第2幹部の反対に位置し、
前記温度センサは、前記第1方向において、前記第1幹部と前記第2幹部との間に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A plurality of individual channels each including a nozzle and a pressure chamber communicating with the nozzle and arranged in a first direction, and a common channel extending in the first direction and communicating with the plurality of individual channels are formed. a flow path member;
an actuator member fixed to a surface of the flow path member and having a plurality of actuator parts overlapping each of the pressure chambers of the plurality of individual flow paths in a second direction perpendicular to the surface and the first direction;
Equipped with a temperature sensor,
The actuator member is
A plurality of first individual parts that constitute the plurality of actuator parts, a plurality of first branch parts that connect the plurality of first individual parts, and a first power feeding part that connects the plurality of first branch parts. a first common electrode having a first trunk provided with a contact;
a plurality of second individual parts that constitute the plurality of actuator parts; a plurality of second branch parts that connect the plurality of second individual parts; and a second power feeding part that connects the plurality of second branch parts; a second common electrode having a second trunk provided with a contact;
The first trunk is located opposite the second trunk with respect to at least a portion of the common flow path in the first direction,
The liquid ejection head is characterized in that the temperature sensor is disposed between the first trunk and the second trunk in the first direction.
前記温度センサは、前記第1方向において、前記第1幹部と前記第2幹部との間の中央に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 1, wherein the temperature sensor is disposed in the center between the first trunk and the second trunk in the first direction. 前記第1共通電極は、前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の別の第1個別部を有し、
前記複数の第1個別部は、前記第1方向に配列され、
前記複数の別の第1個別部は、前記第1方向に配列され、
前記複数の第1個別部と前記複数の別の第1個別部とは、前記第2方向と直交しかつ前記第1方向と交差する第3方向に並ぶ複数の第1個別部列を形成し、
前記第2共通電極は、前記複数のアクチュエータ部を構成する複数の別の第2個別部を有し、
前記複数の第2個別部は、前記第1方向に配列され、
前記複数の別の第2個別部は、前記第1方向に配列され、
前記複数の第2個別部と前記複数の別の第2個別部とは、前記第2方向と直交しかつ前記第1方向と交差する第3方向に並ぶ複数の第2個別部列を形成し、
前記複数の第1枝部及び前記複数の第2枝部は、前記第1方向にそれぞれ延び、前記第3方向に並び、
前記第1幹部は、前記第3方向に延び、前記複数の第1枝部と連結された第1延在部と、前記接点が設けられた第1接点部と、を有し、
前記第2幹部は、前記第3方向に延び、前記複数の第2枝部と連結された第2延在部と、前記接点が設けられた第2接点部と、を有し、
前記温度センサは、前記第1方向において、前記第1延在部及び前記第2延在部の間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The first common electrode has a plurality of other first individual parts that constitute the plurality of actuator parts,
the plurality of first individual parts are arranged in the first direction;
the plurality of other first individual parts are arranged in the first direction,
The plurality of first individual parts and the plurality of other first individual parts form a plurality of first individual part rows arranged in a third direction perpendicular to the second direction and intersecting the first direction. ,
The second common electrode has a plurality of separate second individual parts that constitute the plurality of actuator parts,
the plurality of second individual parts are arranged in the first direction;
the plurality of other second individual parts are arranged in the first direction,
The plurality of second individual parts and the plurality of other second individual parts form a plurality of second individual part rows arranged in a third direction perpendicular to the second direction and intersecting the first direction. ,
The plurality of first branch parts and the plurality of second branch parts each extend in the first direction and are arranged in the third direction,
The first trunk has a first extension part extending in the third direction and connected to the plurality of first branch parts, and a first contact part provided with the contact point,
The second trunk has a second extension part extending in the third direction and connected to the plurality of second branch parts, and a second contact part provided with the contact point,
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the temperature sensor is disposed between the first extending portion and the second extending portion in the first direction.
前記アクチュエータ部材は、
第1圧電層と、
前記第1圧電層に対して前記第2方向に積層された第2圧電層と、
前記第2方向において前記第1圧電層の前記第2圧電層と反対側の面に配置された第1電極層と、
前記第2方向において前記第1圧電層と前記第2圧電層との間に配置された第2電極層と、
前記第2方向において前記第2圧電層の前記第1圧電層と反対側の面に配置された第3電極層と、を含み、
前記第1電極層は、それぞれ第1電位及び前記第1電位と異なる第2電位のいずれかが選択的に付与される複数の第1電極であって、前記複数の個別流路の前記圧力室のそれぞれと前記第2方向に重なる複数の第1電極を含み、
前記第2電極層は、前記第1電位に保持される前記第1共通電極を含み、
前記第3電極層は、前記第2電位に保持される前記第2共通電極を含むことを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The actuator member is
a first piezoelectric layer;
a second piezoelectric layer laminated in the second direction with respect to the first piezoelectric layer;
a first electrode layer disposed on a surface of the first piezoelectric layer opposite to the second piezoelectric layer in the second direction;
a second electrode layer disposed between the first piezoelectric layer and the second piezoelectric layer in the second direction;
a third electrode layer disposed on a surface of the second piezoelectric layer opposite to the first piezoelectric layer in the second direction;
The first electrode layer is a plurality of first electrodes to which either a first potential or a second potential different from the first potential is selectively applied, respectively, and the first electrode layer is a plurality of first electrodes to which either a first potential or a second potential different from the first potential is selectively applied, and the first electrode layer a plurality of first electrodes overlapping in the second direction with each of the
The second electrode layer includes the first common electrode held at the first potential,
The liquid ejection head according to claim 1, wherein the third electrode layer includes the second common electrode held at the second potential.
記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、
請求項1に記載の液体吐出ヘッドと、を備え、
前記温度センサは、前記流路部材の表面上であって、前記アクチュエータ部材よりも前記搬送方向の上流又は下流に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
a transport mechanism that transports the recording medium in the transport direction;
The liquid ejection head according to claim 1,
The liquid ejection device is characterized in that the temperature sensor is disposed on the surface of the flow path member, upstream or downstream of the actuator member in the transport direction.
記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、
請求項1に記載の液体吐出ヘッドと、を備え、
前記温度センサは、前記流路部材の表面上であって、前記アクチュエータ部材よりも前記搬送方向の上流及び下流にそれぞれ配置されており、
上流及び下流に配置された2つの前記温度センサによって検出された検出温度の平均値を導出する制御部をさらに備えていることを特徴とする液体吐出装置。
a transport mechanism that transports the recording medium in the transport direction;
The liquid ejection head according to claim 1,
The temperature sensor is disposed on the surface of the flow path member, upstream and downstream of the actuator member in the transport direction, respectively,
A liquid ejecting device further comprising a control unit that derives an average value of detected temperatures detected by the two temperature sensors arranged upstream and downstream.
記録媒体を搬送方向に搬送する搬送機構と、
請求項1~6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記温度センサによって検出された検出温度を補正するための補正係数を記憶する記憶部と、
前記補正係数に基づいて前記検出温度を補正する制御部と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
a transport mechanism that transports the recording medium in the transport direction;
The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 6,
a storage unit that stores a correction coefficient for correcting the detected temperature detected by the temperature sensor;
A liquid ejection device comprising: a control section that corrects the detected temperature based on the correction coefficient.
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