JP2023168161A - Power source and test board - Google Patents

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Abstract

To provide a power source and a test board which supply stable electric power to keep a voltage drop within an allowable range even when the current consumption of a load increases rapidly.SOLUTION: A power source 600 is provided with: a switching element 105 connected between a positive potential and a power supply output terminal 102; a control circuit 420 for controlling the switching element so that an output voltage of the power supply output terminal approaches a target voltage; a capacitor 150 connected in parallel with a device under test (DUT) 145 which is a load to the power supply output terminal; and a current source 660 connected in parallel with a capacitor to the power supply output terminal and allowing current to flow from the power supply output terminal regardless of an on/off state of the switching element.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、電源を有する装置および試験ボードに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a device with a power supply and a test board.

電源は、負荷に接続されて負荷に電源電力を供給する。安定した電源電力を負荷に供給するために、電源には、負荷の消費電流が急激に増加した場合においても、電圧降下を許容範囲内に抑えることが求められる。 A power supply is connected to the load and supplies power to the load. In order to supply stable power supply to the load, the power supply is required to suppress the voltage drop within an allowable range even when the current consumption of the load increases rapidly.

本発明の第1の態様においては、正電位と電源出力端子との間に接続されたスイッチング素子と、電源出力端子の出力電圧を目標電圧に近付けるようにスイッチング素子を制御する制御回路と、電源出力端子に対して負荷と並列に接続されたキャパシタと、電源出力端子に対してキャパシタと並列に接続され、スイッチング素子のオンオフの状態に依存せず電源出力端子から電流を流出させる電流源とを備える装置を提供する。 In a first aspect of the present invention, a switching element connected between a positive potential and a power supply output terminal, a control circuit that controls the switching element so as to bring an output voltage of the power supply output terminal close to a target voltage, and a power supply A capacitor is connected in parallel with the load to the output terminal, and a current source is connected in parallel with the capacitor to the power supply output terminal and causes current to flow out from the power supply output terminal regardless of the on/off state of the switching element. Provides a device that includes:

上記の装置において、電流源は、負荷に電流が流れていない状態において、スイッチング素子を飽和領域に維持する電流を電源出力端子から流出させてもよい。 In the above device, the current source may cause current to maintain the switching element in the saturation region to flow out from the power supply output terminal in a state where no current flows through the load.

上記のいずれかの装置において、電流源は、電源出力端子および接地電位の間に接続された抵抗を有してよい。 In any of the above devices, the current source may include a resistor connected between the power supply output terminal and ground potential.

上記のいずれかの装置において、電流源は、電源出力端子から予め定められた大きさの電流を流出させる定電流源であってよい。 In any of the above devices, the current source may be a constant current source that causes a current of a predetermined magnitude to flow out from the power output terminal.

上記のいずれかの装置において、電流源は、電源出力端子から負荷へと供給する最大電流の10%以下または5%以下の電流を電源出力端子から流出させてよい。 In any of the above devices, the current source may drain from the power output terminal no more than 10%, or no more than 5% of the maximum current supplied from the power output terminal to the load.

上記のいずれかの装置において、電流源は、電源出力端子から負荷へと供給する最大電流の0,0275%以上または0.055%以上の電流を電源出力端子から流出させてよい。 In any of the above devices, the current source may drain a current from the power output terminal that is 0.0275% or more or 0.055% or more of the maximum current that is supplied from the power supply output terminal to the load.

上記のいずれかの装置は、スイッチング素子、および制御回路を有し、電源出力端子から電源電力を出力する電源ユニットと、電源ユニットに着脱可能に接続され、キャパシタ、および負荷となる被試験デバイスを搭載するデバイス搭載部を有する試験ボードとを備えてよい。 Any of the above devices includes a power supply unit that includes a switching element and a control circuit and outputs power from a power output terminal, and a capacitor and a device under test that is removably connected to the power supply unit. The test board may include a test board having a device mounting section to be mounted.

本発明の第2の態様においては、正電位と電源出力端子との間に接続されたスイッチング素子と、電源出力端子の出力電圧を目標電圧に近付けるようにスイッチング素子を制御する制御回路とを有する電源ユニットに着脱可能に接続され、被試験デバイスを搭載するデバイス搭載部と、電源出力端子に対して被試験デバイスと並列に接続されたキャパシタと、電源出力端子に対してキャパシタと並列に接続され、スイッチング素子のオンオフの状態に依存せず電源出力端子から電流を流出させる電流源とを備える試験ボードを提供する。 A second aspect of the present invention includes a switching element connected between a positive potential and a power supply output terminal, and a control circuit that controls the switching element so that the output voltage of the power supply output terminal approaches a target voltage. A device mounting part that is detachably connected to the power supply unit and has a device under test mounted thereon, a capacitor connected in parallel with the device under test to the power output terminal, and a capacitor connected in parallel to the power output terminal with the device under test. To provide a test board including a current source that causes current to flow out from a power output terminal regardless of the on/off state of a switching element.

上記の試験ボードにおいて、電流源は、被試験デバイスに電流が流れていない状態において、スイッチング素子を飽和領域に維持する電流を電源出力端子から流出させてもよい。 In the above test board, the current source may cause current to maintain the switching element in the saturation region to flow out from the power output terminal in a state where no current flows through the device under test.

上記のいずれかの試験ボードにおいて、電流源は、電源出力端子および接地電位の間に接続された抵抗を有してよい。 In any of the test boards described above, the current source may include a resistor connected between the power supply output terminal and ground potential.

上記のいずれかの試験ボードにおいて、電流源は、電源出力端子から予め定められた大きさの電流を流出させる定電流源であってよい。 In any of the above test boards, the current source may be a constant current source that causes a predetermined amount of current to flow out from the power output terminal.

上記のいずれかの試験ボードにおいて、電流源は、電源出力端子から被試験デバイスへと供給する最大電流の10%以下または5%以下の電流を電源出力端子から流出させてよい。 In any of the test boards described above, the current source may drain from the power output terminal no more than 10% or no more than 5% of the maximum current supplied from the power output terminal to the device under test.

上記のいずれかの試験ボードにおいて、電流源は、電源出力端子から被試験デバイスへと供給する最大電流の0.0275%以上または0.055%以上の電流を電源出力端子から流出させてよい。 In any of the above test boards, the current source may cause a current to flow from the power output terminal that is 0.0275% or more or 0.055% or more of the maximum current supplied from the power output terminal to the device under test.

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 Note that the above summary of the invention does not list all the features of the invention. Furthermore, subcombinations of these features may also constitute inventions.

第1比較例に係る装置10の構成を示す。The configuration of a device 10 according to a first comparative example is shown. 電源電圧の変動を測定するために用いる擬似負荷回路200の構成を示す。The configuration of a pseudo load circuit 200 used to measure fluctuations in power supply voltage is shown. 第1比較例に係る装置10における電源電圧の変動を示すグラフである。7 is a graph showing fluctuations in power supply voltage in the device 10 according to the first comparative example. 第2比較例に係る装置400の構成を示す。The configuration of a device 400 according to a second comparative example is shown. 第2比較例に係る装置400における電源電圧の変動を示すグラフである。7 is a graph showing fluctuations in power supply voltage in a device 400 according to a second comparative example. 本実施形態に係る装置600の構成を示す。The configuration of a device 600 according to this embodiment is shown. 本実施形態に係る装置600における電源電圧の変動を示すグラフである。It is a graph showing fluctuations in power supply voltage in the device 600 according to the present embodiment. 本実施形態に係る装置600におけるバイパスコンデンサ容量と電圧降下との関係を示すグラフである。It is a graph showing the relationship between bypass capacitor capacity and voltage drop in the device 600 according to the present embodiment. 本実施形態に係る装置600における、電流源660として用いる抵抗の大きさと電圧降下との関係を示すグラフである。It is a graph showing the relationship between the magnitude of the resistance used as the current source 660 and the voltage drop in the device 600 according to the present embodiment. 本実施形態に係る装置600における、電源ユニット402の出力電圧が3.3Vである場合の電源電圧の変動を示すグラフである。It is a graph showing the fluctuation of the power supply voltage when the output voltage of the power supply unit 402 is 3.3V in the device 600 according to the present embodiment. 本実施形態に係る電流源660の一例としての定電流源1100の構成を示す。The configuration of a constant current source 1100 as an example of the current source 660 according to this embodiment is shown.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. Furthermore, not all combinations of features described in the embodiments are essential to the solution of the invention.

図1は、第1比較例に係る装置10の構成を示す。装置10は、電源を有する装置の一例としての試験装置である。装置10は、電源ユニット20と、試験ボード30と、試験ユニット40とを備える。 FIG. 1 shows the configuration of an apparatus 10 according to a first comparative example. The device 10 is a test device as an example of a device having a power source. The apparatus 10 includes a power supply unit 20, a test board 30, and a test unit 40.

電源ユニット20は、電源出力端子102から電源電力を出力する。電源ユニット20は、例えばAC-DCコンバータ等のより上流の電源に接続され、上流の電源からの電力を用いて予め定められた大きさの出力電圧を電源出力端子102から出力する。 The power supply unit 20 outputs power from the power output terminal 102 . The power supply unit 20 is connected to an upstream power supply such as an AC-DC converter, and outputs an output voltage of a predetermined magnitude from the power supply output terminal 102 using power from the upstream power supply.

電源ユニット20は、スイッチング素子105と、スイッチング素子110と、制御回路120とを有する。スイッチング素子105は、MOSFET(金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ)等の半導体スイッチング素子である。スイッチング素子105は、第1主端子および第2主端子(例えばドレインおよびソース)と、第1主端子および第2主端子の間の接続状態を制御する制御端子(例えばゲート)とを有する。スイッチング素子105は、より上流の電源の正電位と電源出力端子102との間に主端子間が接続される。 Power supply unit 20 includes switching element 105, switching element 110, and control circuit 120. The switching element 105 is a semiconductor switching element such as a MOSFET (metal oxide semiconductor field effect transistor). The switching element 105 has a first main terminal, a second main terminal (for example, a drain and a source), and a control terminal (for example, a gate) that controls the connection state between the first main terminal and the second main terminal. The main terminals of the switching element 105 are connected between the positive potential of a more upstream power supply and the power supply output terminal 102 .

スイッチング素子110は、スイッチング素子105と同様に、MOSFET等の半導体スイッチング素子である。スイッチング素子105は、より上流の電源の負電位(「接地電位」とも示す。)と電源出力端子102との間に主端子間が接続される。 The switching element 110, like the switching element 105, is a semiconductor switching element such as a MOSFET. The main terminals of the switching element 105 are connected between the negative potential (also referred to as "ground potential") of a power supply located further upstream and the power supply output terminal 102 .

制御回路120は、電源出力端子102の出力電圧を目標電圧に近付けるようにスイッチング素子105およびスイッチング素子110を制御する。制御回路120は、電圧源125と、オペアンプ130と、バイアス制御回路135とを含む。電圧源125は、目標電圧を出力する定電圧源である。 Control circuit 120 controls switching element 105 and switching element 110 so that the output voltage of power supply output terminal 102 approaches the target voltage. Control circuit 120 includes a voltage source 125, an operational amplifier 130, and a bias control circuit 135. Voltage source 125 is a constant voltage source that outputs a target voltage.

オペアンプ130は、試験ボード30からフィードバックされる電源出力端子102の出力電圧と、電圧源125が出力する目標電圧との差に応じた信号を出力する。オペアンプ130は、目標電圧から電源出力端子102の出力電圧を減じた差に比例する信号を出力してよい。 The operational amplifier 130 outputs a signal according to the difference between the output voltage of the power output terminal 102 fed back from the test board 30 and the target voltage output by the voltage source 125. The operational amplifier 130 may output a signal proportional to the difference obtained by subtracting the output voltage of the power supply output terminal 102 from the target voltage.

バイアス制御回路135は、オペアンプ130からの信号に応じてスイッチング素子105およびスイッチング素子110を制御する。バイアス制御回路135は、目標電圧から電源出力端子102の出力電圧を減じた差が正の場合にスイッチング素子105をオンとし(あるいはスイッチング素子105の主端子間に流れる電流を増加させ)、スイッチング素子110をオフとして(あるいはスイッチング素子110の主端子間に流れる電流を減少させて)、正電位から電源出力端子102へと電流を流入させ、電源出力端子102の出力電圧を上昇させる。バイアス制御回路135は、目標電圧から電源出力端子102の出力電圧を減じた差が負の場合にスイッチング素子105をオフ(あるいはスイッチング素子105の主端子間に流れる電流を減少させ)、スイッチング素子110をオンとして(あるいはスイッチング素子110の主端子間に流れる電流を増加させて)、電源出力端子102から負電位へと電流を流出させ、電源出力端子102の出力電圧を下降させる。これにより、制御回路120は、電源出力端子102の出力電圧を目標電圧に近付けていき、出力電圧を目標電圧から予め定められた誤差の範囲内とする。 Bias control circuit 135 controls switching element 105 and switching element 110 according to a signal from operational amplifier 130. The bias control circuit 135 turns on the switching element 105 (or increases the current flowing between the main terminals of the switching element 105) when the difference obtained by subtracting the output voltage of the power supply output terminal 102 from the target voltage is positive. 110 is turned off (or the current flowing between the main terminals of the switching element 110 is reduced), a current flows from the positive potential to the power supply output terminal 102, and the output voltage of the power supply output terminal 102 is increased. The bias control circuit 135 turns off the switching element 105 (or reduces the current flowing between the main terminals of the switching element 105) when the difference obtained by subtracting the output voltage of the power supply output terminal 102 from the target voltage is negative, and turns off the switching element 110. is turned on (or the current flowing between the main terminals of the switching element 110 is increased), the current flows out from the power supply output terminal 102 to a negative potential, and the output voltage of the power supply output terminal 102 is lowered. Thereby, the control circuit 120 brings the output voltage of the power supply output terminal 102 closer to the target voltage, and brings the output voltage within a predetermined error range from the target voltage.

試験ボード30は、電源ユニット20および試験ユニット40に着脱可能に接続される。なお、試験ボード30は、試験ボード30に搭載する被試験デバイス(DUT)145のバーンイン試験用のバーンインボードであってよく、DUT145の機能試験用の試験ボードであってもよい。試験ボード30は、デバイス搭載部140と、キャパシタ150とを有する。 The test board 30 is detachably connected to the power supply unit 20 and the test unit 40. Note that the test board 30 may be a burn-in board for a burn-in test of a device under test (DUT) 145 mounted on the test board 30, or may be a test board for a functional test of the DUT 145. The test board 30 includes a device mounting section 140 and a capacitor 150.

デバイス搭載部140は、例えばICソケット等であり、DUT145を搭載してDUT145の各端子を試験ボード30の各配線に電気的に接続する。DUT145は、電源電力を消費する負荷の一例である。デバイス搭載部140は、DUT145の電源入力端子を、試験ボード30の電源配線を介して電源出力端子102に電気的に接続する。また、デバイス搭載部140は、DUT145の1または複数の信号入出力端子を、試験ボード30の信号配線を介して1または複数の試験端子170に電気的に接続する。 The device mounting section 140 is, for example, an IC socket or the like, and mounts the DUT 145 thereon and electrically connects each terminal of the DUT 145 to each wiring of the test board 30. DUT 145 is an example of a load that consumes power from the power source. The device mounting section 140 electrically connects the power input terminal of the DUT 145 to the power output terminal 102 via the power wiring of the test board 30. Further, the device mounting section 140 electrically connects one or more signal input/output terminals of the DUT 145 to one or more test terminals 170 via signal wiring of the test board 30.

キャパシタ150は、電源出力端子102に対してDUT145と並列に接続される。キャパシタ150は、「バイパスコンデンサ」とも示される。キャパシタ150は、電源ユニット20よりもDUT145の近傍に設けられる。キャパシタ150は、DUT145の消費電力が増加したことに応じて蓄積した電荷をDUT145へと供給する。これにより、キャパシタ150は、DUT145の消費電力の瞬時的な変動を吸収し、電源出力端子102の出力電圧を安定化させる。電源ユニット20内のスイッチング素子105、スイッチング素子110、および制御回路120と、試験ボード30内のキャパシタ150とは、DUT145に電源電力を供給する電源として機能する。 Capacitor 150 is connected in parallel with DUT 145 to power output terminal 102 . Capacitor 150 is also referred to as a "bypass capacitor." Capacitor 150 is provided closer to DUT 145 than power supply unit 20 . Capacitor 150 supplies accumulated charge to DUT 145 in response to an increase in power consumption of DUT 145. Thereby, the capacitor 150 absorbs instantaneous fluctuations in the power consumption of the DUT 145 and stabilizes the output voltage of the power supply output terminal 102. Switching element 105, switching element 110, and control circuit 120 in power supply unit 20, and capacitor 150 in test board 30 function as a power source that supplies power to DUT 145.

試験ユニット40は、試験ボード30に着脱可能に接続される。試験ボード30は、試験回路180を有する。試験回路180は、1または複数の試験端子170を介してDUT145の信号入出力端子に電気的に接続される。試験回路180は、DUT145の動作試験を行なう。試験回路180は、試験用の信号(試験信号)をDUT145に供給し、試験信号に応答してDUT145が出力する応答信号が期待値と一致するか否かを判定することによりDUT145の良否を判定してよい。 The test unit 40 is detachably connected to the test board 30. The test board 30 has a test circuit 180. Test circuit 180 is electrically connected to signal input/output terminals of DUT 145 via one or more test terminals 170. The test circuit 180 tests the operation of the DUT 145. The test circuit 180 determines the quality of the DUT 145 by supplying a test signal (test signal) to the DUT 145 and determining whether a response signal output by the DUT 145 in response to the test signal matches an expected value. You may do so.

図2は、電源電圧の変動を測定するために用いる擬似負荷回路200の構成を示す。擬似負荷回路200は、電源出力端子102と接地電位との間に電気的に直列に接続されるスイッチング素子210および抵抗220を備える。スイッチング素子210は、パルス波形が制御端子に入力されると、パルス波形の立ち上がりで主端子間をオンとし、パルス波形の立ち下がりで主端子間をオフとする。抵抗220は、スイッチング素子210がオンとなったことに応じて、電源出力端子102の電圧を抵抗220の抵抗値で割った大きさのパルス電流を流す。 FIG. 2 shows the configuration of a pseudo load circuit 200 used to measure fluctuations in power supply voltage. The pseudo load circuit 200 includes a switching element 210 and a resistor 220 that are electrically connected in series between the power supply output terminal 102 and the ground potential. When a pulse waveform is input to the control terminal, the switching element 210 turns on the main terminals at the rising edge of the pulse waveform, and turns off the main terminals at the falling edge of the pulse waveform. When the switching element 210 is turned on, the resistor 220 causes a pulse current having a magnitude equal to the voltage at the power output terminal 102 divided by the resistance value of the resistor 220 to flow.

図3は、第1比較例に係る装置10における電源電圧の変動を示すグラフである。本図のグラフにおいて、横軸は時間の経過であり、縦軸は電源電圧(電源出力端子102の出力電圧)である。本図のグラフは、負荷として擬似負荷回路200を用い、負荷電流を20Aとし、キャパシタ150の容量を500μF、800μF、および1000μFとしたときの、電源電圧変動のシミュレーション結果を示す。 FIG. 3 is a graph showing fluctuations in power supply voltage in the device 10 according to the first comparative example. In the graph of this figure, the horizontal axis represents the passage of time, and the vertical axis represents the power supply voltage (output voltage of the power supply output terminal 102). The graph in this figure shows simulation results of power supply voltage fluctuations when the pseudo load circuit 200 is used as the load, the load current is 20 A, and the capacitance of the capacitor 150 is 500 μF, 800 μF, and 1000 μF.

本図の例においては、電源ユニット20は、定格で2.7Vの出力電圧を電源出力端子102に出力する。時刻5.00msにおいて擬似負荷回路200内のスイッチング素子210がオンとなると、キャパシタ150の容量が500μFの場合には585mV、800μFの場合には526mV、1000μFの場合には496mVの電圧降下が見られる。このように、図1の電源ユニット20に示した構成の電源を用いる場合には、キャパシタ150の容量を増加させることによって瞬時的な電圧降下を抑えることができる。 In the example shown in the figure, the power supply unit 20 outputs a rated output voltage of 2.7V to the power supply output terminal 102. When the switching element 210 in the pseudo load circuit 200 is turned on at time 5.00 ms, a voltage drop of 585 mV is observed when the capacitance of the capacitor 150 is 500 μF, 526 mV when the capacitance is 800 μF, and 496 mV when the capacitance is 1000 μF. . In this way, when using the power supply having the configuration shown in the power supply unit 20 of FIG. 1, instantaneous voltage drops can be suppressed by increasing the capacity of the capacitor 150.

図4は、第2比較例に係る装置400の構成を示す。装置400は、図1に示した装置10の変形例である。装置400における、図1の装置10と同じ符号を付した構成要素は、装置10の対応する構成要素と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。 FIG. 4 shows the configuration of a device 400 according to a second comparative example. Device 400 is a modification of device 10 shown in FIG. Components in the device 400 that are given the same reference numerals as those in the device 10 in FIG. 1 have the same functions and configurations as the corresponding components in the device 10, and therefore descriptions thereof will be omitted below except for the differences.

第2比較例に係る装置400は、電源ユニット20に代えて電源ユニット402を備える。電源ユニット402は、スイッチング素子105と、制御回路420とを有する。スイッチング素子105は、図1のスイッチング素子105と同様である。第2比較例においては、図1のスイッチング素子110を有しない。これにより、電源ユニット402は、試験ボード30からフィードバックされる電源出力端子102の出力電圧と目標電圧との比較結果に応じてオンオフされ、オン時に選択的に電源出力端子102から負電位(接地電位)へと電流を流出させるスイッチング素子を有しない構成をとる。 The device 400 according to the second comparative example includes a power supply unit 402 instead of the power supply unit 20. Power supply unit 402 includes switching element 105 and control circuit 420. Switching element 105 is similar to switching element 105 in FIG. The second comparative example does not include the switching element 110 of FIG. 1. As a result, the power supply unit 402 is turned on and off according to the comparison result between the output voltage of the power output terminal 102 fed back from the test board 30 and the target voltage, and when turned on, the power supply unit 402 is selectively connected to a negative potential (ground potential). ) does not have a switching element that causes current to flow out.

制御回路420は、電源出力端子102の出力電圧を目標電圧に近付けるようにスイッチング素子105を制御する。第2比較例においては、制御回路420は、電源出力端子102の出力電圧が目標電圧よりも低下すると、スイッチング素子105をオンとして(あるいはスイッチング素子105の主端子間に流れる電流を増加させて)、電源出力端子102の出力電圧を上昇させる。その一方で、制御回路420は、電源出力端子102の出力電圧が目標電圧よりも高くなると、スイッチング素子105をオフとして、電源出力端子102の出力電圧が低下するのを待つ。これにより、制御回路420は、電源出力端子102の出力電圧を目標電圧に近付けていき、出力電圧を目標電圧から予め定められた誤差の範囲内とする。 Control circuit 420 controls switching element 105 so that the output voltage of power supply output terminal 102 approaches the target voltage. In the second comparative example, when the output voltage of the power supply output terminal 102 falls below the target voltage, the control circuit 420 turns on the switching element 105 (or increases the current flowing between the main terminals of the switching element 105). , increases the output voltage of the power output terminal 102. On the other hand, when the output voltage of the power supply output terminal 102 becomes higher than the target voltage, the control circuit 420 turns off the switching element 105 and waits for the output voltage of the power supply output terminal 102 to decrease. Thereby, the control circuit 420 brings the output voltage of the power supply output terminal 102 closer to the target voltage, and brings the output voltage within a predetermined error range from the target voltage.

制御回路420は、電圧源125と、オペアンプ130とを含む。電圧源125およびオペアンプ130は、図1の電圧源125およびオペアンプ130と同様である。 Control circuit 420 includes a voltage source 125 and an operational amplifier 130. Voltage source 125 and operational amplifier 130 are similar to voltage source 125 and operational amplifier 130 of FIG.

図5は、第2比較例に係る装置400における電源電圧の変動を示すグラフである。本図のグラフにおいて、横軸は時間の経過であり、縦軸は電源電圧(電源出力端子102の出力電圧)である。本図のグラフは、負荷として擬似負荷回路200を用い、負荷電流を20Aとし、キャパシタ150の容量を500μF、800μF、および1000μFとしたときの、電源電圧の変動のシミュレーション結果を示す。 FIG. 5 is a graph showing fluctuations in power supply voltage in the device 400 according to the second comparative example. In the graph of this figure, the horizontal axis represents the passage of time, and the vertical axis represents the power supply voltage (output voltage of the power supply output terminal 102). The graph in this figure shows simulation results of fluctuations in power supply voltage when the pseudo load circuit 200 is used as the load, the load current is 20 A, and the capacitance of the capacitor 150 is 500 μF, 800 μF, and 1000 μF.

本図の例においては、電源ユニット402は、定格で3.3Vの出力電圧を電源出力端子102に出力する。時刻6.00msにおいて擬似負荷回路200内のスイッチング素子210がオンとなると、キャパシタ150の容量が500μFの場合には670mV、800μFの場合には821mV、1000μFの場合には904mVの電圧降下が見られる。このように、図4の電源ユニット402に示した構成の電源を用いる場合には、キャパシタ150の容量を増加させても必ずしも瞬時的な電圧降下を抑えることができないことがある。 In the example shown in the figure, the power supply unit 402 outputs a rated output voltage of 3.3V to the power supply output terminal 102. When the switching element 210 in the pseudo load circuit 200 is turned on at time 6.00 ms, a voltage drop of 670 mV is seen when the capacitance of the capacitor 150 is 500 μF, 821 mV when it is 800 μF, and 904 mV when it is 1000 μF. . As described above, when using the power supply having the configuration shown in the power supply unit 402 of FIG. 4, even if the capacity of the capacitor 150 is increased, it may not always be possible to suppress the instantaneous voltage drop.

図4の電源ユニット402に示した電源は、吐出電流(正電位からスイッチング素子105を介してキャパシタ150およびDUT145へと向かう電流)を出力するが、吸込電流(キャパシタ150およびDUT145からスイッチング素子110を介して負電位へと向かう電流)を提供しない。このため、DUT145の消費電流がほぼ0となると、スイッチング素子105は長期間オフとなり、スイッチング素子105のドレイン電流が長期間0Aとなりうる。この結果、スイッチング素子105は、深い遮断領域にある状態となる。 The power supply shown in the power supply unit 402 of FIG. 4 outputs a discharge current (current flowing from a positive potential to the capacitor 150 and DUT 145 via the switching element 105), but it outputs a sink current (current flowing from the capacitor 150 and DUT 145 to the switching element 110). does not provide a current (toward a negative potential) through the Therefore, when the current consumption of the DUT 145 becomes approximately 0, the switching element 105 may be turned off for a long period of time, and the drain current of the switching element 105 may be 0 A for a long period of time. As a result, the switching element 105 is in a deep cutoff region.

その後、DUT145の消費電流が増加すると、制御回路420は、スイッチング素子105をオン状態に切り替えるために、スイッチング素子105にゲート駆動電流を供給する。この際、制御回路420は、スイッチング素子105が有するゲート-ソース間容量に電荷をチャージする必要があるので、電荷のチャージに要する時間の間スイッチング素子105のターンオンが遅延する。また、制御回路420は、電源出力端子102の出力電圧のフィードバックに応じて動作するフィードバック回路となっており、周波数帯域による応答遅れ、オペアンプ130の遅延時間等による遅延も生じる。DUT145の消費電流が0から急激に増加すると、キャパシタ150の容量が大きい場合には、初期の出力電圧変動の検出が遅れる等の要因により、制御回路420によるスイッチング素子105のゲート-ソース電圧の上昇が遅れる。この結果、スイッチング素子105を深い遮断領域から飽和領域を経て線形領域に切り替えるのに時間がかかってしまい、電圧降下が却って大きくなってしまうことがある。 Thereafter, when the current consumption of the DUT 145 increases, the control circuit 420 supplies a gate drive current to the switching element 105 in order to turn the switching element 105 on. At this time, since the control circuit 420 needs to charge the gate-source capacitance of the switching element 105, turn-on of the switching element 105 is delayed during the time required to charge the charge. Further, the control circuit 420 is a feedback circuit that operates according to the feedback of the output voltage of the power supply output terminal 102, and a delay occurs due to a response delay depending on the frequency band, a delay time of the operational amplifier 130, etc. If the current consumption of the DUT 145 suddenly increases from 0, the control circuit 420 will cause the gate-source voltage of the switching element 105 to increase due to factors such as a delay in detecting the initial output voltage fluctuation if the capacitor 150 has a large capacity. is delayed. As a result, it takes time to switch the switching element 105 from the deep cut-off region through the saturation region to the linear region, and the voltage drop may become rather large.

図6は、本実施形態に係る装置600の構成を示す。装置600は、図4に示した装置400の変形例である。装置600における、図4の装置400と同じ符号を付した構成要素は、装置400と同様の機能および構成を有するので、以下相違点を除き説明を省略する。 FIG. 6 shows the configuration of a device 600 according to this embodiment. Device 600 is a modification of device 400 shown in FIG. Components in device 600 that are given the same reference numerals as those in device 400 in FIG. 4 have the same functions and configurations as device 400, and therefore explanations will be omitted below except for the differences.

装置600は、電源ユニット402と、試験ボード602と、試験ユニット40とを備える。電源ユニット402および試験ユニット40は、図4の装置400と同様である。試験ボード602は、図4の試験ボード30に対し、電流源660を加えた構成をとる。 The apparatus 600 includes a power supply unit 402, a test board 602, and a test unit 40. Power supply unit 402 and test unit 40 are similar to apparatus 400 of FIG. The test board 602 has a configuration in which a current source 660 is added to the test board 30 in FIG.

電流源660は、電源出力端子102に対してキャパシタ150と並列に接続される。電流源660は、スイッチング素子105のオンオフの状態に依存せず電源出力端子102から電流を流出させる。電流源660は「ブリーダ抵抗」とも示され、電流源660に流れる電流は「ブリーダ電流」とも示される。 Current source 660 is connected in parallel with capacitor 150 to power output terminal 102 . Current source 660 causes current to flow out from power supply output terminal 102 regardless of the on/off state of switching element 105. Current source 660 is also referred to as a "bleeder resistor," and the current flowing through current source 660 is also referred to as a "bleeder current."

これにより、電源ユニット402は、DUT145の消費電流が0である場合においても、電流源660が流出させる電流に応じたドレイン電流を流すようにスイッチング素子105を制御することになる。この結果、スイッチング素子105は、DUT145の消費電流が0である場合においても、深い遮断領域の状態にならない。したがって、電源ユニット402は、DUT145の消費電流が急激に上昇した場合でも、短い時間でスイッチング素子105のドレイン電流を増加させることができる。 Thereby, the power supply unit 402 controls the switching element 105 to flow a drain current corresponding to the current flowing out from the current source 660 even when the current consumption of the DUT 145 is 0. As a result, the switching element 105 does not enter the deep cut-off region state even when the current consumption of the DUT 145 is zero. Therefore, even if the current consumption of DUT 145 suddenly increases, power supply unit 402 can increase the drain current of switching element 105 in a short time.

電流源660は、DUT145等の負荷に電流が流れていない状態において、スイッチング素子105を飽和領域に維持する電流を電源出力端子102から流出させるようにしてよい。また、電流源660は、スイッチング素子105のオンオフに依らず常時ブリーダ電流(>0)を電源出力端子102から流出させてよい。 The current source 660 may be configured to cause a current that maintains the switching element 105 in the saturation region to flow out from the power output terminal 102 in a state where no current flows through the load such as the DUT 145. Further, the current source 660 may constantly cause the bleeder current (>0) to flow out from the power output terminal 102 regardless of whether the switching element 105 is turned on or off.

図7は、本実施形態に係る装置600における電源電圧の変動を示すグラフである。本図のグラフは、横軸に時間の経過を示し、縦軸に電源電圧(電源出力端子102の出力電圧)を示す。本図のグラフでは、負荷として擬似負荷回路200を用いる。本図の例において、擬似負荷回路200は、スイッチング素子210がオンの場合に20Aの負荷電流を流すものとする。また、キャパシタ150の容量は、200μFとする。 FIG. 7 is a graph showing fluctuations in power supply voltage in the device 600 according to this embodiment. In the graph of this figure, the horizontal axis shows the passage of time, and the vertical axis shows the power supply voltage (output voltage of the power supply output terminal 102). In the graph of this figure, a pseudo load circuit 200 is used as a load. In the example shown in the figure, it is assumed that the pseudo load circuit 200 causes a load current of 20 A to flow when the switching element 210 is on. Further, the capacitance of the capacitor 150 is set to 200 μF.

本図は、電流源660に流れる電流IBが0の場合(「IB無」)、電流IBが小さい場合(「IB小」、IB=11mA)、電流IBが中くらいの場合(「IB中」、IB=110mA)、電流IBが大きい場合(「IB大」、IB=1.1A)の、電源電圧変動のシミュレーション結果を示す。 This diagram shows the cases when the current IB flowing through the current source 660 is 0 (“No IB”), when the current IB is small (“IB Small”, IB = 11 mA), and when the current IB is medium (“IB Medium”). , IB=110 mA), and when the current IB is large (“IB large”, IB=1.1 A), simulation results of power supply voltage fluctuation are shown.

本図の例においては、電流IBが0である場合には1.12Vもの電圧降下が生じる。これに対し、IB小、IB中、IB大と電流IBを増やすにつれて、電圧降下は、0.35V、0.29V、0.23Vと減少する。 In the example shown in the figure, when the current IB is 0, a voltage drop of 1.12V occurs. On the other hand, as the current IB increases from IB small to IB medium to IB large, the voltage drop decreases to 0.35V, 0.29V, and 0.23V.

図8は、本実施形態に係る装置600におけるバイパスコンデンサ容量と電圧降下との関係を示すグラフである。本図のグラフにおいて、横軸はキャパシタ150の容量(バイパスコンデンサの容量)であり、縦軸は電源出力端子102の出力電圧の電圧降下である。本図のグラフは、図1に示した構成の電源(「電源A」とも示す。)、図4に示した構成の電源(「電源B」とも示す。)、および電源Bにおいて電流IBを1.1Aとした電源の3種類の電源のそれぞれについて、負荷電流を10Aおよび20Aとした場合の電圧降下のシミュレーション結果を示す。 FIG. 8 is a graph showing the relationship between bypass capacitor capacity and voltage drop in the device 600 according to this embodiment. In the graph of this figure, the horizontal axis is the capacitance of the capacitor 150 (capacitance of the bypass capacitor), and the vertical axis is the voltage drop in the output voltage of the power supply output terminal 102. The graph in this figure shows the power supply with the configuration shown in Figure 1 (also indicated as "power supply A"), the power supply with the configuration shown in Figure 4 (also indicated as "power supply B"), and the current The simulation results of the voltage drop when the load current is 10A and 20A are shown for each of the three types of power supplies, including the power supply with a power supply of .1A.

本グラフに示すように、電源Bの場合にはキャパシタ150の容量を増やすと電圧降下が大きくなってしまう。しかし、試験ボード602側に電流源660を追加した電源Bにおいては、電源Aよりも電圧降下を小さくすることができる。 As shown in this graph, in the case of power supply B, increasing the capacitance of capacitor 150 increases the voltage drop. However, in the power supply B in which the current source 660 is added to the test board 602 side, the voltage drop can be made smaller than in the power supply A.

図9は、本実施形態に係る装置600における、電流源660として用いる抵抗の大きさと電圧降下との関係を示すグラフである。本図の例においては、電流源660は、電源出力端子102および接地電位の間に接続された抵抗を有する構成を採る。電流源660は、このようなブリーダ抵抗のみで構成されてよく、この場合には電流源660は、電源出力端子102の出力電圧をブリーダ抵抗の抵抗値で割った大きさのブリーダ電流を流す。本図のグラフでは、負荷として擬似負荷回路200を用いる。本図の例において、擬似負荷回路200は、スイッチング素子210がオンの場合に20Aの負荷電流を流すものとする。 FIG. 9 is a graph showing the relationship between the magnitude of the resistance used as the current source 660 and the voltage drop in the device 600 according to this embodiment. In the example shown in the figure, current source 660 has a configuration including a resistor connected between power output terminal 102 and ground potential. The current source 660 may be configured only with such a bleeder resistor, and in this case, the current source 660 flows a bleeder current having a magnitude obtained by dividing the output voltage of the power supply output terminal 102 by the resistance value of the bleeder resistor. In the graph of this figure, a pseudo load circuit 200 is used as a load. In the example shown in the figure, it is assumed that the pseudo load circuit 200 causes a load current of 20 A to flow when the switching element 210 is on.

本図は、キャパシタ150の容量を200μF、300μF、400μF、および500μFとした場合における電圧降下のシミュレーション結果を示す。本図において出力電圧の定格は3.3Vであるから、ブリーダ抵抗の大きさが3Ω、30Ω、300Ωの場合、ブリーダ電流は1.1A、110mA、11mAとなる。本図に示すように、装置600は、ブリーダ抵抗の大きさが300Ω以上の範囲では、ブリーダ抵抗の大きさが300Ω未満の範囲と比較して電圧降下を効果的に減らすことができる。装置600は、ブリーダ抵抗の大きさが300Ω以上の範囲では、抵抗値を減らしてブリーダ電流を増やしても電源変動特性が大きくは改善しない。したがって、電流源660は、電源出力端子102からDUT145へと供給する最大電流の0.055%(11mA/20A)以上または0.0275%以上の電流を電源出力端子102から流出させるようにしてよい。 This figure shows simulation results of voltage drops when the capacitance of the capacitor 150 is 200 μF, 300 μF, 400 μF, and 500 μF. In this figure, the output voltage rating is 3.3V, so when the bleeder resistances are 3Ω, 30Ω, and 300Ω, the bleeder currents are 1.1A, 110mA, and 11mA. As shown in this figure, the device 600 can effectively reduce the voltage drop in a range where the bleeder resistance is 300Ω or more compared to a range where the bleeder resistance is less than 300Ω. In the device 600, when the size of the bleeder resistance is in the range of 300Ω or more, the power supply fluctuation characteristics are not significantly improved even if the resistance value is decreased and the bleeder current is increased. Therefore, the current source 660 may be configured to cause a current of 0.055% (11 mA/20A) or more or 0.0275% or more of the maximum current supplied from the power output terminal 102 to the DUT 145 to flow out from the power output terminal 102. .

また、電流源660は、電源出力端子102からDUT145へと供給する最大電流の10%以下の電流を電源出力端子102から流出させれば十分である。電流源660は、最大電流の5%以下の電流を電源出力端子102から流出させるようにしてもよい。 Further, it is sufficient for the current source 660 to cause a current that is 10% or less of the maximum current supplied from the power output terminal 102 to the DUT 145 to flow out from the power output terminal 102. The current source 660 may cause a current of 5% or less of the maximum current to flow out of the power supply output terminal 102.

図10は、本実施形態に係る装置600における、電源ユニット402の出力電圧が3.3Vである場合の電源電圧の変動を示すグラフである。本図のグラフにおいて、横軸は時間の経過であり、縦軸は電源電圧(電源出力端子102の出力電圧)である。本図のグラフは、負荷として擬似負荷回路200を用い、負荷電流を20Aとし、キャパシタ150の容量を200μFとし、電流源660として用いるブリーダ抵抗の抵抗値を3Ω、30Ω、および300Ωとしたときの、電源電圧変動のシミュレーション結果を示す。本図に示すように、電源ユニット402の出力電圧が3.3Vである場合には、ブリーダ抵抗の抵抗値を3Ω程度とすれば電圧降下を0.3V以内に抑えることができる。 FIG. 10 is a graph showing fluctuations in the power supply voltage when the output voltage of the power supply unit 402 is 3.3V in the device 600 according to this embodiment. In the graph of this figure, the horizontal axis represents the passage of time, and the vertical axis represents the power supply voltage (output voltage of the power supply output terminal 102). The graph in this figure shows cases where the pseudo load circuit 200 is used as the load, the load current is 20A, the capacitance of the capacitor 150 is 200μF, and the resistance values of the bleeder resistor used as the current source 660 are 3Ω, 30Ω, and 300Ω. , shows the simulation results of power supply voltage fluctuation. As shown in this figure, when the output voltage of the power supply unit 402 is 3.3V, the voltage drop can be suppressed to within 0.3V by setting the resistance value of the bleeder resistor to about 3Ω.

図11は、本実施形態に係る電流源660の一例としての定電流源1100の構成を示す。電流源660は、本図に示したような、電源出力端子102から予め定められた大きさの電流を流出させる定電流源であってよい。 FIG. 11 shows the configuration of a constant current source 1100 as an example of the current source 660 according to this embodiment. The current source 660 may be a constant current source that causes a predetermined amount of current to flow out from the power output terminal 102, as shown in the figure.

定電流源1100は、ツェナーダイオード1110と、抵抗1120と、スイッチング素子1130と、抵抗1140とを含む。ツェナーダイオード1110および抵抗1120は、電源出力端子102および接地電位の間に直列に接続される。ツェナーダイオード1110は、アノード側が接地電位に、カソード側が抵抗1120に接続される。ツェナーダイオード1110は、カソード側の電圧をアノード側の電圧にツェナー電圧を加えた定電圧とする。抵抗1120は、電源出力端子102の出力電圧およびツェナーダイオード1110のカソード側の電圧の差を吸収する。 Constant current source 1100 includes a Zener diode 1110, a resistor 1120, a switching element 1130, and a resistor 1140. Zener diode 1110 and resistor 1120 are connected in series between power supply output terminal 102 and ground potential. The Zener diode 1110 has its anode side connected to the ground potential and its cathode side connected to the resistor 1120. The Zener diode 1110 makes the voltage on the cathode side a constant voltage obtained by adding the Zener voltage to the voltage on the anode side. Resistor 1120 absorbs the difference between the output voltage of power supply output terminal 102 and the voltage on the cathode side of Zener diode 1110.

スイッチング素子1130および抵抗1140は、電源出力端子102および接地電位の間に直列に接続される。スイッチング素子1130は、制御端子が抵抗1120およびツェナーダイオード1110の間に接続され、ツェナーダイオード1110のカソード側の定電圧からスイッチング素子1130の特性によって予め定められたゲート-ソース間の電圧降下分を減じたソース電圧を出力する。抵抗1140は、ソース電圧を抵抗値で割った大きさの定電流を流す。 Switching element 1130 and resistor 1140 are connected in series between power supply output terminal 102 and ground potential. The switching element 1130 has a control terminal connected between the resistor 1120 and the Zener diode 1110, and subtracts a gate-source voltage drop predetermined by the characteristics of the switching element 1130 from the constant voltage on the cathode side of the Zener diode 1110. outputs the source voltage. The resistor 1140 passes a constant current having a magnitude equal to the source voltage divided by the resistance value.

以上に示した装置600によれば、スイッチング素子105と相補的に動作して電源出力端子102から電流を流出させるスイッチング素子110を有しない電源ユニット402を用いた場合においても、出力電圧の電圧降下を十分に抑制可能な電源を実現することができる。このような電源をDUT145の試験に用いる装置600においては、試験の開始時にDUT145に電源を投入し、瞬間的に大電流の電源電力を供給し始める場合においても、出力電圧の電圧降下を十分抑制することが可能となる。 According to the device 600 described above, even when using the power supply unit 402 that does not have the switching element 110 that operates complementary to the switching element 105 and causes current to flow out from the power output terminal 102, the voltage drop in the output voltage can be reduced. It is possible to realize a power supply that can sufficiently suppress the In the apparatus 600 that uses such a power source to test the DUT 145, even when the power is turned on to the DUT 145 at the start of a test and a large current of power is instantaneously started to be supplied, the voltage drop in the output voltage can be sufficiently suppressed. It becomes possible to do so.

このような電源は、DUT145の試験以外の用途にも適用できる。装置600をDUT145の試験以外に適用した場合にも、装置600は、負荷の消費電流が急激に増加したことに応じて短い応答時間の間にスイッチング素子105に流れるドレイン電流を増加させることができ、電源出力端子102の出力電圧の電圧降下を低減することができる。 Such a power supply can be used for purposes other than testing the DUT 145. Even when the device 600 is applied to a purpose other than testing the DUT 145, the device 600 can increase the drain current flowing through the switching element 105 during a short response time in response to a sudden increase in the current consumption of the load. , the voltage drop in the output voltage of the power supply output terminal 102 can be reduced.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 Although the present invention has been described above using the embodiments, the technical scope of the present invention is not limited to the range described in the above embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or improvements can be made to the embodiments described above. It is clear from the claims that such modifications or improvements may be included within the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process, such as the operation, procedure, step, and stage in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, specification, and drawings, is specifically defined as "before" or "before". It should be noted that they can be implemented in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Even if the claims, specifications, and operational flows in the drawings are explained using "first," "next," etc. for convenience, this does not mean that it is essential to carry out the operations in this order. It's not a thing.

10 装置、20 電源ユニット、30 試験ボード、40 試験ユニット、102 電源出力端子、105 スイッチング素子、110 スイッチング素子、120 制御回路、125 電圧源、130 オペアンプ、135 バイアス制御回路、140 デバイス搭載部、145 DUT、150 キャパシタ、170 試験端子、180 試験回路、200 擬似負荷回路、210 スイッチング素子、220 抵抗、400 装置、402 電源ユニット、420 制御回路、600 装置、602 試験ボード、660 電流源、1100 定電流源、1110 ツェナーダイオード、1120 抵抗、1130 スイッチング素子、1140 抵抗 10 device, 20 power supply unit, 30 test board, 40 test unit, 102 power output terminal, 105 switching element, 110 switching element, 120 control circuit, 125 voltage source, 130 operational amplifier, 135 bias control circuit, 140 device mounting section, 145 DUT, 150 capacitor, 170 test terminal, 180 test circuit, 200 pseudo load circuit, 210 switching element, 220 resistor, 400 device, 402 power supply unit, 420 control circuit, 600 device, 602 test board, 660 current source, 1100 constant current Source, 1110 Zener diode, 1120 Resistor, 1130 Switching element, 1140 Resistor

Claims (8)

正電位と電源出力端子との間に接続されたスイッチング素子と、
前記電源出力端子の出力電圧を目標電圧に近付けるように前記スイッチング素子を制御する制御回路と、
前記電源出力端子に対して負荷と並列に接続されたキャパシタと、
前記電源出力端子に対して前記キャパシタと並列に接続され、前記スイッチング素子のオンオフの状態に依存せず前記電源出力端子から電流を流出させる電流源と
を備える装置。
a switching element connected between the positive potential and the power output terminal;
a control circuit that controls the switching element so that the output voltage of the power supply output terminal approaches a target voltage;
a capacitor connected in parallel with a load to the power output terminal;
A device comprising: a current source connected in parallel with the capacitor to the power supply output terminal and causing a current to flow out from the power supply output terminal regardless of the on/off state of the switching element.
前記電流源は、前記負荷に電流が流れていない状態において、前記スイッチング素子を飽和領域に維持する電流を前記電源出力端子から流出させる請求項1に記載の装置。 2. The device according to claim 1, wherein the current source causes a current that maintains the switching element in a saturation region to flow out from the power supply output terminal in a state where no current flows through the load. 前記電流源は、前記電源出力端子および接地電位の間に接続された抵抗を有する請求項2に記載の装置。 3. The apparatus of claim 2, wherein the current source includes a resistor connected between the power supply output terminal and ground potential. 前記電流源は、前記電源出力端子から予め定められた大きさの電流を流出させる定電流源である請求項2に記載の装置。 3. The device according to claim 2, wherein the current source is a constant current source that causes a predetermined amount of current to flow out from the power output terminal. 前記電流源は、前記電源出力端子から前記負荷へと供給する最大電流の10%以下の電流を前記電源出力端子から流出させる請求項2に記載の装置。 3. The apparatus of claim 2, wherein the current source causes a current to flow out of the power output terminal that is 10% or less of a maximum current supplied from the power output terminal to the load. 前記電流源は、前記電源出力端子から前記負荷へと供給する最大電流の0.055%以上の電流を前記電源出力端子から流出させる請求項2に記載の装置。 3. The apparatus according to claim 2, wherein the current source causes a current that is 0.055% or more of a maximum current supplied from the power output terminal to flow from the power output terminal to the load. 前記スイッチング素子、および前記制御回路を有し、前記電源出力端子から電源電力を出力する電源ユニットと、
前記電源ユニットに着脱可能に接続され、前記キャパシタ、および前記負荷となる被試験デバイスを搭載するデバイス搭載部を有する試験ボードと
を備える請求項1に記載の装置。
a power supply unit that includes the switching element and the control circuit and outputs power from the power output terminal;
The apparatus according to claim 1, further comprising: a test board that is detachably connected to the power supply unit and has a device mounting section on which the capacitor and the device under test serving as the load are mounted.
正電位と電源出力端子との間に接続されたスイッチング素子と、前記電源出力端子の出力電圧を目標電圧に近付けるように前記スイッチング素子を制御する制御回路とを有する電源ユニットに着脱可能に接続され、
被試験デバイスを搭載するデバイス搭載部と、
前記電源出力端子に対して前記被試験デバイスと並列に接続されたキャパシタと、
前記電源出力端子に対して前記キャパシタと並列に接続され、前記スイッチング素子のオンオフの状態に依存せず前記電源出力端子から電流を流出させる電流源と
を備える試験ボード。
Detachably connected to a power supply unit having a switching element connected between a positive potential and a power output terminal, and a control circuit that controls the switching element so that the output voltage of the power output terminal approaches a target voltage. ,
a device mounting section for mounting the device under test;
a capacitor connected in parallel with the device under test to the power output terminal;
A test board comprising: a current source connected in parallel with the capacitor to the power output terminal and causing a current to flow out from the power output terminal regardless of the on/off state of the switching element.
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