JP2023150086A - Film thickness estimation device and film molding apparatus - Google Patents

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Sachi Hachiwaka
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Abstract

To provide a technique for determining the thickness of a film.SOLUTION: A film thickness estimation device is used for a film molding apparatus. The film molding apparatus 10 includes a first measuring instrument 50 that measures a frost line position of a film 12 conveyed from a die 14 in a flow direction. The film thickness estimation device includes a film thickness estimation part that estimates the thickness of the film 12 on the basis of the frost line position measured by the first measuring instrument 50.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、膜厚推定装置及びフィルム成形装置に関する。 The present disclosure relates to a film thickness estimation device and a film forming device.

特許文献1は、フィルムを成形するフィルム成形装置を開示する。このフィルム成形装置は、ダイのリップ幅、冷却装置の風速、風温等を調整することで、フィルムの膜厚を目標範囲に収めている。 Patent Document 1 discloses a film forming apparatus that forms a film. This film forming apparatus keeps the film thickness within a target range by adjusting the lip width of the die, the wind speed and temperature of the cooling device, etc.

特開2020-163768号公報Japanese Patent Application Publication No. 2020-163768

フィルムの膜厚を目標範囲に収めるうえでは、フィルムの膜厚を把握することが重要となる。フィルムの膜厚は、通常、特許文献1に記載のように、計測器によって、計測位置をフィルムの横断方向に変更しつつ膜厚を逐次計測することで把握している。本願発明者は、これとは異なる手法でフィルムの膜厚を把握するための新たなアイデアを見出した。 In order to keep the film thickness within the target range, it is important to understand the film thickness. The film thickness of a film is usually ascertained by successively measuring the film thickness using a measuring device while changing the measurement position in the transverse direction of the film, as described in Patent Document 1. The inventors of the present invention have discovered a new idea for determining the thickness of a film using a different method.

本開示の目的の一つは、フィルムの膜厚を把握するための技術を提供することにある。 One of the purposes of the present disclosure is to provide a technique for determining the thickness of a film.

本開示のある態様は、フィルム成形装置に用いられる膜厚推定装置であって、ダイから流れ方向に送られるフィルムのフロストライン位置を計測する第1計測器と、前記第1計測器により計測される前記フロストライン位置に基づいて、前記フィルムの膜厚を推定する膜厚推定部と、を備える。 An aspect of the present disclosure is a film thickness estimating device used in a film forming apparatus, which includes a first measuring device that measures a frost line position of a film sent from a die in a machine direction; a film thickness estimating section that estimates the film thickness of the film based on the frost line position.

本開示によれば、フィルムの膜厚を把握することができる。 According to the present disclosure, the thickness of the film can be determined.

実施形態のフィルム成形装置を模式的に示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing a film forming apparatus according to an embodiment. 実施形態のフィルム成形装置の機能を示すブロック図である。It is a block diagram showing the function of the film forming device of an embodiment. フィルム上の膜厚計測点に関する説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram regarding film thickness measurement points on the film. フィルム上の膜厚計測点とフロストラインの存在予測位置とに関する説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram regarding film thickness measurement points on the film and predicted locations of frost lines. 関係推定処理に関する説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram regarding relationship estimation processing. フィルム上のフロストライン通過部位と到達時刻とに関する説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram regarding the frost line passing portion on the film and the arrival time.

以下、実施形態を説明する。同一の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。各図面では、説明の便宜のため、適宜、構成要素を省略、拡大、縮小する。図面は符号の向きに合わせて見るものとする。 Embodiments will be described below. Identical components are given the same reference numerals and redundant explanations will be omitted. In each drawing, constituent elements are omitted, enlarged, or reduced as appropriate for convenience of explanation. The drawings should be viewed according to the direction of the symbols.

図1を参照する。本実施形態のフィルム成形装置10はインフレーション成形装置である。このフィルム成形装置10は、押出機(不図示)から押し出される溶融樹脂をダイリップ28から出すことにより樹脂製のフィルム12を成形するダイ14と、フィルム12の流れ経路の最下流側においてフィルム12を巻き取る巻取器16と、を備える。この他に、フィルム成形装置10は、ダイ14から出されたフィルム12を一対のピンチロール18により引き取りつつ扁平に折り畳む引取機20と、引取機20に引き取られる過程でフィルム12を案内する一対の安定板22と、を備える。この他に、フィルム成形装置10は、フィルム12を冷却する冷却装置24と、フィルム成形装置10の各構成要素を制御する制御装置26と、を備える。制御装置26は、フィルム12の膜厚分布を推定するための膜厚推定装置48としても機能する。 Please refer to FIG. The film forming apparatus 10 of this embodiment is an inflation forming apparatus. This film forming apparatus 10 includes a die 14 that forms a resin film 12 by discharging molten resin extruded from an extruder (not shown) through a die lip 28, and a die 14 that forms a resin film 12 on the most downstream side of the flow path of the film 12. A winder 16 for winding the winder is provided. In addition, the film forming apparatus 10 includes a take-off machine 20 that takes up the film 12 taken out from the die 14 and folds it into a flat shape, and a pair of take-off machines that guide the film 12 in the process of being taken up by the take-off machine 20. A stabilizer plate 22 is provided. In addition, the film forming apparatus 10 includes a cooling device 24 that cools the film 12, and a control device 26 that controls each component of the film forming apparatus 10. The control device 26 also functions as a film thickness estimation device 48 for estimating the film thickness distribution of the film 12.

本実施形態のダイ14はインフレーション法に用いられる丸ダイであり、リング状のダイリップ28から溶融樹脂を出す。このダイ14は、フィルム12の内側にエア噴出口30からエアを噴出することで、膨らんだ状態のチューブ状のフィルム12(バブルともいう)を成形する。 The die 14 of this embodiment is a round die used in the inflation method, and molten resin is ejected from a ring-shaped die lip 28. The die 14 blows air out of the air outlet 30 inside the film 12 to form an expanded tube-shaped film 12 (also referred to as a bubble).

ダイ14は、複数の周方向位置でダイリップ28のリップ幅(間隔)を調整可能である。ダイ14は、ダイリップ28の周方向でのリップ幅分布を調整可能であるともいえる。これを実現するうえで、ダイ14は、例えば、ダイリップ28の構成箇所の一部を変形可能なフレキシブル部とし、駆動源を用いてフレキシブル部を変形させることで、複数の周方向位置でのリップ幅を調整可能としてもよい。この駆動源は、リニアアクチュエータ、ヒートボルト等である。 The die 14 is capable of adjusting the lip width (interval) of the die lip 28 at a plurality of circumferential positions. It can also be said that the die 14 can adjust the lip width distribution in the circumferential direction of the die lip 28. In order to achieve this, the die 14 can, for example, make a part of the die lip 28 a deformable flexible part and use a drive source to deform the flexible part, so that the lip can be formed at a plurality of circumferential positions. The width may be adjustable. This driving source is a linear actuator, heat bolt, or the like.

ダイ14は、ダイリップ28の周方向でのリップ幅分布を調整することで、フィルム12の周方向での膜厚分布を調整可能となる。例えば、ある周方向位置でのリップ幅を小さくすることで、そこから出されるフィルム12の膜厚を部分的に薄くできる。これに対して、ある周方向位置でのリップ幅を大きくすることで、そこから出されるフィルム12の膜厚を部分的に厚くできる。このように、ダイ14は、フィルム12の周方向での膜厚分布を調整可能な膜厚調整部32を構成している。 The die 14 can adjust the film thickness distribution of the film 12 in the circumferential direction by adjusting the lip width distribution of the die lip 28 in the circumferential direction. For example, by reducing the lip width at a certain circumferential position, the thickness of the film 12 taken out from there can be partially reduced. On the other hand, by increasing the lip width at a certain circumferential position, the thickness of the film 12 taken out from there can be partially increased. In this way, the die 14 constitutes a film thickness adjustment section 32 that can adjust the film thickness distribution in the circumferential direction of the film 12.

図1、図2を参照する。図2に示す各ブロックは、ハードウェア的には、コンピュータのCPU(Central Processing Unit)をはじめとする電子部品、回路、機械装置等で実現でき、ソフトウェア的にはコンピュータプログラム等によって実現される。ここでは、これらの連携によって実現される機能ブロックを描く。これらの機能ブロックは、ハードウェア、ソフトウェアの組み合わせによっていろいろな態様で実現できることは、当業者に理解されるところである。 Please refer to FIGS. 1 and 2. Each block shown in FIG. 2 can be realized in terms of hardware by electronic components such as a CPU (Central Processing Unit) of a computer, circuits, mechanical devices, etc., and can be realized in terms of software by a computer program or the like. Here, we depict the functional blocks realized by these collaborations. Those skilled in the art will understand that these functional blocks can be realized in various ways by combining hardware and software.

制御装置26は、所定の通信プロトコルに従ってフィルム成形装置10の他の構成要素(ダイ14、冷却装置24等)との間で通信処理を実行する通信部56と、ユーザによる入力操作を受け付ける入力部58と、各種情報を表示する表示部60と、を備える。この他に、制御装置26は、フィルム成形装置10の他の構成要素及び入力部58から取得したデータを用いてデータ処理を実行するデータ処理部62と、データ処理部62に用いられるデータを記憶する記憶部64と、を備える。データ処理部62は、ダイ14、冷却装置24等の動作を制御する動作制御部70と、フィルム12の膜厚分布を推定する膜厚推定部72と、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示す相関関係情報を推定する関係推定部74と、を備える。膜厚推定部72、関係推定部74の詳細は後述する。 The control device 26 includes a communication section 56 that executes communication processing with other components of the film forming apparatus 10 (die 14, cooling device 24, etc.) according to a predetermined communication protocol, and an input section that receives input operations by the user. 58, and a display section 60 that displays various information. In addition, the control device 26 includes a data processing section 62 that executes data processing using data acquired from other components of the film forming apparatus 10 and the input section 58, and a data processing section 62 that stores data used in the data processing section 62. and a storage unit 64 for storing information. The data processing unit 62 includes an operation control unit 70 that controls the operations of the die 14, the cooling device 24, etc., a film thickness estimation unit 72 that estimates the film thickness distribution of the film 12, and a correlation between the frost line position and the film thickness. and a relationship estimation unit 74 that estimates correlation information indicating . Details of the film thickness estimating section 72 and the relationship estimating section 74 will be described later.

動作制御部70は、膜厚推定部72により推定された膜厚分布に基づいて、膜厚調整部32の動作を制御する。動作制御部70は、膜厚調整部32により調整可能な操作量を操作するための制御指令を送信することで膜厚調整部32の動作を制御する。ここでの操作量とは、ダイ14でいえばリップ幅をいい、後述する冷却装置24でいえば風量及び風温をいう。膜厚調整部32は、動作制御部70から送信された制御指令に従って操作量(ここではリップ幅)を調整することで膜厚を調整する。 The operation control unit 70 controls the operation of the film thickness adjustment unit 32 based on the film thickness distribution estimated by the film thickness estimation unit 72. The operation control unit 70 controls the operation of the film thickness adjustment unit 32 by transmitting a control command for manipulating the amount of operation that can be adjusted by the film thickness adjustment unit 32. The manipulated variable here refers to the lip width in the case of the die 14, and refers to the air volume and air temperature in the case of the cooling device 24, which will be described later. The film thickness adjustment unit 32 adjusts the film thickness by adjusting the manipulated variable (rip width in this case) according to the control command transmitted from the operation control unit 70.

動作制御部70は、膜厚推定部72により推定した膜厚分布が予め設定された目標範囲内に収まるように膜厚調整部32を制御する。例えば、フィルム12上の特定の周方向位置での膜厚が目標範囲を上回る場合(つまり、過度に厚い場合)を考える。この場合、動作制御部70は、フィルム12上の特定の周方向位置に対応するダイリップ28の周方向位置におけるリップ幅を小さくするための制御指令をダイ14に送信することで、特定の周方向位置の膜厚を目標範囲内に収める。フィルム12上の特定の周方向位置での膜厚が目標範囲を下回る場合(つまり、過度に薄い場合)を考える。この場合、動作制御部70は、フィルム12上の特定の周方向位置に対応するダイリップ28の周方向位置におけるリップ幅を大きくするための制御指令をダイ14に送信することで、特定の周方向位置の膜厚を目標範囲内に収める。つまり、動作制御部70は、膜厚推定部72により推定される膜厚分布が目標範囲内に収まるように膜厚調整部32を制御するフィードバック制御を行う。 The operation control unit 70 controls the film thickness adjustment unit 32 so that the film thickness distribution estimated by the film thickness estimation unit 72 falls within a preset target range. For example, consider a case where the film thickness at a specific circumferential position on the film 12 exceeds the target range (that is, it is excessively thick). In this case, the operation control unit 70 transmits a control command to the die 14 to reduce the lip width at the circumferential position of the die lip 28 corresponding to a specific circumferential position on the film 12, thereby Keep the film thickness at the position within the target range. Consider a case where the film thickness at a specific circumferential position on the film 12 is less than the target range (that is, it is too thin). In this case, the operation control unit 70 transmits a control command to the die 14 to increase the lip width at the circumferential position of the die lip 28 corresponding to a specific circumferential position on the film 12, thereby Keep the film thickness at the position within the target range. That is, the operation control unit 70 performs feedback control to control the film thickness adjustment unit 32 so that the film thickness distribution estimated by the film thickness estimation unit 72 falls within the target range.

ここで、フィルム12の成形過程ではフロストラインFLが生じる。フロストラインFLとは、一般的には、フィルム12の溶融部分12aが冷却過程で固化することで生じる溶融部分12aと固化部分12bとの境界部をいう。本明細書でのフロストラインFLは、この一般的に知られるフィルム12の溶融部分12aと固化部分12bとの境界部をいうものとするが、これに限定されるものではない。このフロストラインFLの流れ方向Daでの位置をフロストライン位置という。ここでの流れ方向Daは、フィルム成形装置10によるフィルム12の成形時にフィルム全体が進む方向(いわゆる機械方向)をいう。このフロストライン位置は、インフレーション法を用いる場合、一例として、フィルムの流れ方向Daでのダイ14の上端面からフロストラインFLまでの高さとして特定できる。 Here, in the process of forming the film 12, frost lines FL are generated. The frost line FL generally refers to a boundary between the melted portion 12a and the solidified portion 12b that is generated when the melted portion 12a of the film 12 solidifies during the cooling process. The frost line FL in this specification refers to the generally known boundary between the melted portion 12a and the solidified portion 12b of the film 12, but is not limited thereto. The position of this frost line FL in the flow direction Da is referred to as a frost line position. The flow direction Da here refers to the direction in which the entire film moves when the film 12 is formed by the film forming apparatus 10 (so-called machine direction). When using the inflation method, the frost line position can be specified, for example, as the height from the upper end surface of the die 14 to the frost line FL in the film flow direction Da.

このフロストライン位置とフィルム12の膜厚との間には相関関係がある。この相関関係は、フロストライン位置が高くなると膜厚が厚くなり、フロストライン位置が低くなると膜厚が薄くなる関係となる(後述の図5も参照)。言い換えると、この相関関係は、フロストライン位置がダイ14から遠くなると膜厚が厚くなり、フロストライン位置がダイ14に近くなると膜厚が薄くなる関係となる。これは、冷却条件が一定となる条件下では、膜厚が厚くなるほど固化するまでに時間を要し、その分、フィルム12の固化位置がダイ14から遠くなり、それに伴いフロストライン位置がダイ14から遠くなる(高くなる)ことに起因する。この相関関係は、フィルム12の素材、ブロー比の他、フィルム成形装置10の使用環境下での温度、気圧等の成形条件によって変動する。 There is a correlation between this frost line position and the thickness of the film 12. This correlation is such that as the frost line position becomes higher, the film thickness becomes thicker, and as the frost line position becomes lower, the film thickness becomes thinner (see also FIG. 5, which will be described later). In other words, this correlation is such that the farther the frost line position is from the die 14, the thicker the film is, and the closer the frost line position is to the die 14, the thinner the film thickness is. This is because under constant cooling conditions, the thicker the film, the longer it takes to solidify, and the further the solidification position of the film 12 is from the die 14, the more the frost line position changes from the die 14. This is due to the distance (higher) from the This correlation varies depending on the material of the film 12, the blow ratio, and other molding conditions such as temperature and atmospheric pressure in the environment in which the film molding apparatus 10 is used.

本実施形態の膜厚推定装置48は、フロストライン位置と膜厚とを計測することによりフロストライン位置と膜厚との相関関係を推定する点に一つの特徴がある。これにより、フロストライン位置を把握することで、その相関関係に従うフィルム12の膜厚も把握できる。この他に、本実施形態の膜厚推定装置48は、フロストライン位置と膜厚との間の相関関係とフロストライン位置分布の計測値とを用いて膜厚分布を推定する点にも特徴がある。膜厚推定装置48は、この相関関係と、フロストライン位置の計測値とを用いて膜厚を推定する点に特徴があるともいえる。以下、その詳細を説明する。 One feature of the film thickness estimating device 48 of this embodiment is that it estimates the correlation between the frost line position and the film thickness by measuring the frost line position and the film thickness. Thereby, by understanding the frost line position, it is also possible to understand the film thickness of the film 12 according to the correlation. In addition, the film thickness estimating device 48 of this embodiment is characterized in that it estimates the film thickness distribution using the correlation between the frost line position and the film thickness and the measured value of the frost line position distribution. be. It can be said that the film thickness estimating device 48 is characterized in that it estimates the film thickness using this correlation and the measured value of the frost line position. The details will be explained below.

フィルム成形装置10は、ダイ14から流れ方向Daに送られるフィルム12のフロストライン位置分布を計測する第1計測器50を備える。フロストライン位置分布とは、フィルム12の周方向でのフロストライン位置の分布をいう。 The film forming apparatus 10 includes a first measuring device 50 that measures the frost line position distribution of the film 12 sent from the die 14 in the flow direction Da. The frost line position distribution refers to the distribution of frost line positions in the circumferential direction of the film 12.

第1計測器50は、フィルム12を撮像する少なくとも一つのカメラ52と、カメラ52の出力した画像を処理することでフロストライン位置分布を計測する計測処理部54と、を備える。カメラ52は、例えば、可視光カメラ、サーマルカメラ等である。計測処理部54は、カメラ52の出力した画像を画像処理することにより複数の周方向位置でのフロストライン位置を計測し、それをフロストライン位置分布の計測結果とする。画像処理によるフロストライン位置の計測方法は特に限定されず、公知の方法を含む種々の方法を用いて実現してもよい。計測処理部54は、例えば、複数のカメラ52の出力した画像を用いた三次元画像処理、二次元画像処理等によりフロストライン位置を計測してもよい。この他にも、カメラ52の画角内にミラーを配置し、単数のカメラ52の出力した画像と、その画像内にあるミラー内の像を擬似的な画像として用いた画像処理によりフロストライン位置を計測してもよい。このような画像を用いた画像処理により、複数の周方向位置でのフロストライン位置、つまり、フロストライン位置分布を容易に同時に計測できる。 The first measuring device 50 includes at least one camera 52 that images the film 12, and a measurement processing section 54 that measures the frost line position distribution by processing the image output by the camera 52. The camera 52 is, for example, a visible light camera, a thermal camera, or the like. The measurement processing unit 54 measures the frost line positions at a plurality of circumferential positions by image processing the image output by the camera 52, and uses it as a measurement result of the frost line position distribution. The method of measuring the frost line position by image processing is not particularly limited, and may be realized using various methods including known methods. The measurement processing unit 54 may measure the frost line position by, for example, three-dimensional image processing, two-dimensional image processing, etc. using images output by the plurality of cameras 52. In addition, a mirror is placed within the field of view of the camera 52, and the frost line position is determined by image processing using the image output from a single camera 52 and the image inside the mirror within that image as a pseudo image. may be measured. By image processing using such images, frost line positions at a plurality of circumferential positions, that is, frost line position distribution can be easily measured simultaneously.

第1計測器50は、予め定められる周方向での計測対象範囲におけるフロストライン位置分布を第1計測周期毎に同時に計測する。この計測対象範囲は、例えば、フィルム12の全周範囲となる。第1計測器50は、フロストライン位置分布の計測結果を制御装置26に逐次送信する。 The first measuring device 50 simultaneously measures the frost line position distribution in a measurement target range in a predetermined circumferential direction at each first measurement period. This measurement target range is, for example, the entire circumference of the film 12. The first measuring device 50 sequentially transmits the measurement results of the frost line position distribution to the control device 26.

記憶部64は、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示す相関関係情報を記憶する相関関係記憶部66を備える。相関関係情報は、例えば、フロストライン位置を入力とし、膜厚を出力とする関係式、テーブル等である。 The storage unit 64 includes a correlation storage unit 66 that stores correlation information indicating the correlation between the frost line position and the film thickness. The correlation information is, for example, a relational expression, a table, etc. that uses the frost line position as input and the film thickness as output.

データ処理部62は、第1計測器50により計測されるフロストライン位置分布に基づいて、フィルム12の周方向での膜厚分布を推定する膜厚推定部72を備える。この膜厚分布を推定する処理を膜厚推定処理という。膜厚推定部72は、このフロストライン位置分布と、相関関係記憶部66に記憶された相関関係情報とに基づいて膜厚推定処理を行う。この膜厚推定処理では、相関関係情報としての関係式等に対して、ある周方向位置で計測されたフロストライン位置の計測値を入力することで、その周方向位置での膜厚を算出する膜厚算出処理を行う。この膜厚推定処理では、第1計測器50により同時に計測された複数の周方向位置でのフロストライン位置の計測値毎に膜厚算出処理を行うことで、各周方向位置での膜厚である膜厚分布を算出し、これを推定結果とする。 The data processing unit 62 includes a film thickness estimating unit 72 that estimates the film thickness distribution in the circumferential direction of the film 12 based on the frost line position distribution measured by the first measuring device 50. The process of estimating this film thickness distribution is called a film thickness estimation process. The film thickness estimation section 72 performs film thickness estimation processing based on this frost line position distribution and the correlation information stored in the correlation storage section 66. In this film thickness estimation process, the film thickness at a certain circumferential position is calculated by inputting the measured value of the frost line position measured at a certain circumferential position into a relational expression etc. as correlation information. Perform film thickness calculation processing. In this film thickness estimation process, by performing a film thickness calculation process for each measured value of the frost line position at a plurality of circumferential positions simultaneously measured by the first measuring device 50, the film thickness at each circumferential position is calculated. A certain film thickness distribution is calculated and this is used as the estimation result.

以上の膜厚推定処理は、フィルム成形装置10によるフィルム12の成形時に周期的に実行してもよいし、予め定められた実行条件を満たしたときに実行してもよい。ここでの実行条件は、例えば、入力部58により所定の指令が入力されたことである。 The above film thickness estimation process may be executed periodically when the film 12 is formed by the film forming apparatus 10, or may be executed when predetermined execution conditions are satisfied. The execution condition here is, for example, that a predetermined command is input through the input unit 58.

以上の膜厚推定装置48の効果を説明する。 The effects of the above film thickness estimating device 48 will be explained.

膜厚推定装置48は、第1計測器50により計測されたフロストライン位置に基づいて膜厚を推定する膜厚推定部72を備える。よって、膜厚推定部72による膜厚の推定結果を用いて、フィルム12の膜厚を把握できるようになる。 The film thickness estimating device 48 includes a film thickness estimating section 72 that estimates the film thickness based on the frost line position measured by the first measuring device 50. Therefore, the film thickness of the film 12 can be determined using the film thickness estimation result by the film thickness estimating section 72.

フィルム12の膜厚変動は、主に、フィルム12のフロストラインFLよりも上流側にあるフィルム12の溶融部分12aにおいて生じる。フロストラインFLは、後述の第2計測器80による膜厚の計測位置よりも、フィルム12の膜厚変動箇所に近い位置にある。このようなフロストラインFLを用いて特定されるフロストライン位置に基づいて膜厚を推定することで、後述の第2計測器80による膜厚計測値を用いる場合よりも、フィルム12の膜厚変動を早期に特定できる。 The thickness variation of the film 12 mainly occurs in the melted portion 12a of the film 12 located upstream of the frost line FL of the film 12. The frost line FL is located at a position closer to the film thickness variation location of the film 12 than the film thickness measurement position by a second measuring device 80, which will be described later. By estimating the film thickness based on the frost line position specified using such a frost line FL, the variation in film thickness of the film 12 can be reduced more easily than when using the film thickness measurement value by the second measuring device 80, which will be described later. can be identified early.

仮に、後述の第2計測器80のように、計測位置を変更しながらフィルム12の膜厚を逐次計測する場合、膜厚分布を繰り返し特定するための周期が長期化してしまう。よって、ある周方向位置の膜厚を計測してから次の計測までの間に膜厚が変動した場合、その変動が計測値に反映されるまで遅れてしまう反映遅れが生じる。 If the thickness of the film 12 is sequentially measured while changing the measurement position like a second measuring device 80 described later, the period for repeatedly identifying the film thickness distribution will become long. Therefore, if the film thickness fluctuates between measuring the film thickness at a certain circumferential position and the next measurement, a reflection delay occurs in which there is a delay until the fluctuation is reflected in the measured value.

この点、本実施形態によれば、第1計測器50により同時に計測されたフィルム12のフロストライン位置分布を用いて、膜厚推定部72により膜厚分布を特定することになる。よって、計測位置を変更しながらフィルム12の膜厚を逐次計測する場合と比べ、膜厚分布を繰り返し特定するための周期を短期化することができる。このため、ある周方向位置の膜厚を推定してから膜厚が変動した場合に、その変動の影響が推定値に反映されるまでの反映遅れを抑制できる。ひいては、その反映遅れに起因する膜厚の特定精度の低下を抑制できる。 In this regard, according to the present embodiment, the film thickness estimation section 72 specifies the film thickness distribution using the frost line position distribution of the film 12 measured simultaneously by the first measuring device 50. Therefore, compared to the case where the thickness of the film 12 is sequentially measured while changing the measurement position, the period for repeatedly specifying the film thickness distribution can be shortened. Therefore, when the film thickness changes after estimating the film thickness at a certain circumferential position, a delay in reflection until the influence of the change is reflected in the estimated value can be suppressed. Furthermore, it is possible to suppress a decrease in the accuracy of specifying the film thickness due to the delay in reflection.

動作制御部70は、このような反映遅れの影響を抑制した高精度の膜厚分布の推定値が目標範囲内に収まるように膜厚調整部32を制御する。よって、膜厚調整部32の制御によりフィルム12の実際の膜厚分布を精度よく調整できる。 The operation control unit 70 controls the film thickness adjustment unit 32 so that the estimated value of the highly accurate film thickness distribution that suppresses the influence of such reflection delay falls within the target range. Therefore, the actual film thickness distribution of the film 12 can be adjusted with high precision by controlling the film thickness adjustment section 32.

膜厚推定部72は、記憶部64に記憶された相関関係情報と第1計測器50により計測されるフロストライン位置とに基づいて、フィルム12の膜厚を推定する。よって、予め記憶部64に相関関係情報を記憶しておくことで、フロストライン位置から膜厚を簡単に推定できる。 The film thickness estimating unit 72 estimates the film thickness of the film 12 based on the correlation information stored in the storage unit 64 and the frost line position measured by the first measuring device 50. Therefore, by storing the correlation information in the storage unit 64 in advance, the film thickness can be easily estimated from the frost line position.

本実施形態によれば、第1計測器50による画像を用いた画像処理によりフロストライン位置分布を同時に計測し、そのフロストライン位置分布に基づき膜厚分布を推定している。よって、後述の第2計測器80のように、フィルム12の膜厚を逐次計測することで膜厚分布を特定する場合と比べ、早期に膜厚分布を特定することができる。 According to this embodiment, the frost line position distribution is simultaneously measured by image processing using the image by the first measuring device 50, and the film thickness distribution is estimated based on the frost line position distribution. Therefore, compared to the case where the film thickness distribution is determined by sequentially measuring the film thickness of the film 12 like the second measuring device 80 described later, the film thickness distribution can be determined earlier.

次に、膜厚推定装置48の他の特徴を説明する。ここでは、膜厚推定処理に用いられる相関関係情報を推定するための特徴を説明する。 Next, other features of the film thickness estimating device 48 will be explained. Here, features for estimating correlation information used in film thickness estimation processing will be explained.

図1、図3を参照する。図3は、フィルム12の一部を平面に展開した模式図である。フィルム成形装置10は、フィルム12の周方向に計測位置Paを変更しながらフィルム12の膜厚を逐次計測する第2計測器80を備える。第2計測器80は、例えば、静電容量式膜厚計等が用いられる。本実施形態の第2計測器80は、フィルム12の周りを回りながらフィルム12の膜厚を逐次計測する。ここでの「計測位置Pa」は、フィルム12上において第2計測器80により膜厚を計測しようとする位置をいう。ここでは、第2計測器80の計測位置Paの軌跡Pbを併せて示す。また、ここでは、フィルム12上の一つの膜厚計測点Pcと計測位置Paが同じ位置にある状態を示す。ここでの「膜厚計測点Pc」は、フィルム12上において第2計測器80により膜厚が計測される位置をいう。 Please refer to FIGS. 1 and 3. FIG. 3 is a schematic diagram showing a part of the film 12 developed in a plane. The film forming apparatus 10 includes a second measuring device 80 that sequentially measures the thickness of the film 12 while changing the measurement position Pa in the circumferential direction of the film 12. As the second measuring device 80, for example, a capacitive film thickness meter or the like is used. The second measuring device 80 of this embodiment sequentially measures the thickness of the film 12 while going around the film 12 . The “measurement position Pa” here refers to a position on the film 12 at which the second measuring device 80 attempts to measure the film thickness. Here, the locus Pb of the measurement position Pa of the second measuring device 80 is also shown. Further, here, a state is shown in which one film thickness measurement point Pc on the film 12 and the measurement position Pa are at the same position. The "film thickness measurement point Pc" herein refers to a position on the film 12 where the film thickness is measured by the second measuring device 80.

第2計測器80は、フィルム12の流れ方向Daへの進行に従って、フィルム12の計測位置Paを進行方向Dbに進行させる。これにより、本実施形態のフィルム12の膜厚計測点Pcは、フィルム12の流れ経路における上流側に向かって進行方向Dbに進む螺旋状を描くように変動する。第2計測器80は、フィルム12の膜厚を逐次計測することで、第1計測周期よりも長い第2計測周期(例えば、2分)毎に、計測対象範囲における膜厚分布を計測する。第2計測器80は計測結果を制御装置26に逐次送信する。 The second measuring device 80 advances the measurement position Pa of the film 12 in the traveling direction Db as the film 12 advances in the traveling direction Da. Thereby, the film thickness measurement point Pc of the film 12 of the present embodiment fluctuates in a spiral shape that advances in the traveling direction Db toward the upstream side in the flow path of the film 12. The second measuring device 80 sequentially measures the film thickness of the film 12, thereby measuring the film thickness distribution in the measurement target range at every second measurement period (for example, 2 minutes) that is longer than the first measurement period. The second measuring device 80 sequentially transmits measurement results to the control device 26.

前述した関係推定部74(図2参照)は、第1計測器50により計測されたフロストライン位置と、第2計測器80により計測された膜厚とに基づいて、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示す相関関係情報を推定する。この相関関係情報を推定する処理を関係推定処理という。以下、関係推定処理の詳細を説明する。 The above-mentioned relationship estimation unit 74 (see FIG. 2) calculates the frost line position and film thickness based on the frost line position measured by the first measuring device 50 and the film thickness measured by the second measuring device 80. Correlation information indicating the correlation between the two is estimated. The process of estimating this correlation information is called relationship estimation process. The details of the relationship estimation process will be explained below.

図4を参照する。関係推定部74は、第2計測器80による膜厚計測値と、第1計測器50により計測されたフロストライン位置の計測値とを対応付ける対応付け処理を行う。この対応付け処理において、ある膜厚計測値と対応付けるべきフロストライン位置の計測値を目的計測値という。このフロストライン位置の目的計測値は、本実施形態では、次の二つの条件を満たす計測値が用いられる。 See FIG. 4. The relationship estimating unit 74 performs an association process of associating the film thickness measurement value obtained by the second measuring device 80 with the measured value of the frost line position measured by the first measuring device 50. In this mapping process, the measured value of the frost line position to be correlated with a certain film thickness measurement value is referred to as a target measurement value. In this embodiment, the objective measurement value of the frost line position is a measurement value that satisfies the following two conditions.

第一の条件は、膜厚計測値と同じ周方向位置で計測されたフロストライン位置の計測値であることである。ここでの「同じ」は、完全に同じである場合のほか、ほぼ同じである場合も含む。第二の条件は、膜厚計測値を計測される膜厚計測点PcがフロストラインFLの存在予測位置Pdを通過するときに計測されたフロストライン位置の計測値であることである。膜厚計測点Pcの膜厚の指標となるフロストライン位置の計測値として、膜厚計測点PcがフロストラインFLの存在予測位置Pdを通過するときに計測されるフロストライン位置の計測値を、その膜厚計測点Pcの膜厚計測値に対応付けることになる。フロストラインFLの存在予測位置Pdとは、フロストラインFLの存在することが予測される位置をいう。第2計測器80により計測時刻s1において位置Peで膜厚を計測された膜厚計測点PcがフロストラインFLの存在予測位置Pdを通過する通過時刻s0を想定する。このとき、第二の条件は、通過時刻s0の直近の時刻において計測されたフロストライン位置の計測値であることともいえる。関係推定部74は、以下の流れで、第二の条件を満たすような、膜厚計測値と対応付けるべきフロストライン位置の目的計測値を特定する。 The first condition is that the frost line position measurement value is measured at the same circumferential position as the film thickness measurement value. "Same" here includes not only completely the same but also almost the same. The second condition is that the film thickness measurement value is a measurement value of the frost line position measured when the film thickness measurement point Pc at which the film thickness measurement value is measured passes through the predicted existence position Pd of the frost line FL. As the measured value of the frost line position that is an index of the film thickness of the film thickness measurement point Pc, the measured value of the frost line position measured when the film thickness measurement point Pc passes the predicted existence position Pd of the frost line FL, This will be associated with the film thickness measurement value at the film thickness measurement point Pc. The predicted existence position Pd of the frost line FL refers to a position where the frost line FL is predicted to exist. A passage time s0 is assumed at which the film thickness measurement point Pc, whose film thickness was measured at the position Pe by the second measuring device 80 at the measurement time s1, passes through the predicted existence position Pd of the frost line FL. At this time, it can be said that the second condition is a measured value of the frost line position measured at a time immediately before the passing time s0. The relationship estimating unit 74 specifies a target measured value of the frost line position to be associated with the film thickness measured value, which satisfies the second condition, in the following flow.

まず、関係推定部74は、第2計測器80の計測位置PaからフロストラインFLの存在予測位置Pdまでの長さΔLを算出する。関係推定部74は、ダイ14から第2計測器80の計測位置Paまでの流れ方向Daでの長さL1と、ダイ14からフロストラインFLの存在予測位置Pdまでの流れ方向Daでの長さL0とに基づいて、この長さΔLを算出する。長さΔLは、例えば、長さL1から長さL0を減算することで算出できる。長さL1は、例えば、記憶部64に予め記憶される記憶値が用いられる。長さL0は、例えば、膜厚計測点Pcの膜厚が計測された計測時刻s1において、膜厚計測点Pcと同じ周方向位置において、第1計測器50により計測されたフロストライン位置の計測値が用いられる。この他にも、長さL0は、記憶部64に予め記憶される固定値が用いられてもよい。 First, the relationship estimation unit 74 calculates the length ΔL from the measurement position Pa of the second measuring device 80 to the predicted existence position Pd of the frost line FL. The relationship estimation unit 74 calculates a length L1 in the flow direction Da from the die 14 to the measurement position Pa of the second measuring device 80, and a length in the flow direction Da from the die 14 to the predicted existence position Pd of the frost line FL. This length ΔL is calculated based on L0. The length ΔL can be calculated, for example, by subtracting the length L0 from the length L1. For the length L1, for example, a stored value stored in advance in the storage unit 64 is used. The length L0 is, for example, the measurement of the frost line position measured by the first measuring device 50 at the same circumferential position as the film thickness measurement point Pc at the measurement time s1 when the film thickness at the film thickness measurement point Pc was measured. value is used. In addition to this, a fixed value stored in advance in the storage unit 64 may be used as the length L0.

次に、関係推定部74は、算出された長さΔLと、フィルム12の巻取速度vとに基づいて、フィルム12上の膜厚計測点Pcが前述の長さΔLを通過するのに要する所要時間Δsを算出する。ここでの巻取速度v[m/sec]は、巻取器16により巻き取られる速度をいう。フィルム12は、フロストラインFLから第2計測器80による計測位置Paまでの間をほぼ一定の巻取速度v[m/sec]で流れる。よって、所要時間Δsは、例えば、巻取速度vにより長さΔLを除算することで算出できる。巻取速度vは、例えば、記憶部64に記憶される設定値が用いられる。 Next, the relationship estimating unit 74 determines, based on the calculated length ΔL and the winding speed v of the film 12, the distance required for the film thickness measurement point Pc on the film 12 to pass through the aforementioned length ΔL. Calculate the required time Δs. The winding speed v [m/sec] here refers to the winding speed by the winder 16. The film 12 flows at a substantially constant winding speed v [m/sec] between the frost line FL and the measurement position Pa by the second measuring device 80. Therefore, the required time Δs can be calculated, for example, by dividing the length ΔL by the winding speed v. For the winding speed v, for example, a set value stored in the storage unit 64 is used.

次に、関係推定部74は、第2計測器80により膜厚計測点Pcの膜厚を計測した計測時刻s1と、算出された所要時間Δsとに基づいて、その膜厚計測点PcがフロストラインFLの存在予測位置Pdを通過するときの通過時刻s0を算出する。関係推定部74は、例えば、計測時刻s1に対して所要時間Δsの分だけ遡った時刻を通過時刻s0として算出する。 Next, the relationship estimation unit 74 determines whether the film thickness measurement point Pc is frost based on the measurement time s1 at which the second measuring device 80 measured the film thickness at the film thickness measurement point Pc and the calculated required time Δs. A passing time s0 when the line FL passes through the predicted existence position Pd is calculated. For example, the relationship estimating unit 74 calculates, as the passing time s0, a time that is back by the required time Δs with respect to the measurement time s1.

次に、関係推定部74は、算出された通過時刻s0の直近で第1計測器50により計測されたフロストライン位置の計測値に基づいて、膜厚計測値と対応づけるべき目的計測値を特定する。このとき、関係推定部74は、例えば、通過時刻s0の直近で第1計測器50により計測されたフロストライン位置の計測値そのものを目的計測値として特定してもよい。この他にも、関係推定部74は、誤差の影響を低減させるため、通過時刻s0を含む予め定められた時間幅内に計測された複数の計測値から算出される代表値(例えば、平均値)を目的計測値として特定してもよい。この時間幅は、例えば、第2計測周期よりも短い時間幅に設定される。この目的計測値は、前述のように、膜厚計測値と同じ周方向位置で計測された計測値が特定される。 Next, the relationship estimation unit 74 specifies a target measurement value to be associated with the film thickness measurement value based on the measurement value of the frost line position measured by the first measuring device 50 immediately before the calculated passing time s0. do. At this time, the relationship estimation unit 74 may specify, for example, the measured value of the frost line position itself measured by the first measuring device 50 immediately before the passing time s0 as the target measured value. In addition, in order to reduce the influence of errors, the relationship estimation unit 74 also uses a representative value (for example, an average value ) may be specified as the target measurement value. This time width is set to be shorter than the second measurement period, for example. As described above, this target measurement value is specified as a measurement value measured at the same circumferential position as the film thickness measurement value.

この後、関係推定部74は、フィルム12上の膜厚計測点Pcにおいて第2計測器80により計測された膜厚計測値と、特定されたフロストライン位置の目的計測値とを対応付ける対応付け処理を行う。 Thereafter, the relationship estimating unit 74 performs an association process for associating the film thickness measurement value measured by the second measuring device 80 at the film thickness measurement point Pc on the film 12 with the target measurement value at the specified frost line position. I do.

図5を参照する。関係推定部74は、前述の対応付け処理を行うことで、互いに対応付けられた膜厚計測値とフロストライン位置計測値とを組とする計測値セットを取得する。図5は、X軸を膜厚、Y軸をフロストライン位置とするグラフに取得した計測値セットをプロットしたものを示す。ここでは、通過時刻s0を含む時間幅内に計測された複数の計測値から平均値と標準偏差σを算出し、その平均値をプロットするとともに、その平均値±標準偏差σの範囲をエラーバーにより示す。 See FIG. 5. The relationship estimating unit 74 performs the above-described association process to obtain a measurement value set that includes a film thickness measurement value and a frost line position measurement value that are associated with each other. FIG. 5 shows a set of measured values plotted on a graph in which the X-axis is the film thickness and the Y-axis is the frost line position. Here, the average value and standard deviation σ are calculated from multiple measurement values measured within a time span including the passing time s0, the average value is plotted, and the range of the average value ± standard deviation σ is shown with an error bar. It is shown by

関係推定部74は、前述の対応付け処理を繰り返し行うことで、複数組の計測値セットを取得する。これを実現するうえで、第2計測器80により逐次計測された複数の周方向位置での膜厚計測値毎に前述の対応付け処理を行ってもよい。この他にも、第2計測器80により第2計測周期毎に計測される同じ周方向位置での膜厚計測値毎に前述の対応付け処理を行ってもよい。 The relationship estimation unit 74 acquires a plurality of measurement value sets by repeatedly performing the above-described association process. To achieve this, the above-described association process may be performed for each film thickness measurement value at a plurality of circumferential positions sequentially measured by the second measuring device 80. In addition to this, the above-described association process may be performed for each film thickness measurement value at the same circumferential position measured by the second measuring device 80 every second measurement cycle.

関係推定部74は、複数組の計測値セットを用いて、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示す関係式として近似式を算出し、これを相関関係の推定結果とする。ここでは、この近似式として線形近似式を用いて得られる近似線82を示す。この近似式の具体例は特に限定されず、多項式の曲線近似式等の種々の近似式を用いてもよい。この他にも、複数組の計測値セットを用いて、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示すルックアップテーブル等のテーブルを生成し、これを相関関係の推定結果としてもよい。関係推定部74は、推定した相関関係情報を相関関係記憶部66に記憶する。 The relationship estimation unit 74 calculates an approximate expression as a relational expression indicating the correlation between the frost line position and the film thickness using the plurality of measurement value sets, and uses this as an estimation result of the correlation. Here, an approximation line 82 obtained using a linear approximation equation is shown as this approximation equation. The specific example of this approximation formula is not particularly limited, and various approximation formulas such as a polynomial curve approximation formula may be used. Alternatively, a table such as a look-up table showing the correlation between the frost line position and the film thickness may be generated using a plurality of measurement value sets, and this may be used as the estimation result of the correlation. The relationship estimation unit 74 stores the estimated correlation information in the correlation storage unit 66.

以上の関係推定処理は、予め定められた実行条件を満たしたときに実行してもよいし。この実行条件とは、例えば、フィルム成形装置10によるフィルム12の成形をはじめて開始することである。この他にも、後述する更新条件を満たしたときに実行してもよい。 The above relationship estimation process may be executed when predetermined execution conditions are met. This execution condition is, for example, that the film forming apparatus 10 starts forming the film 12 for the first time. In addition to this, it may be executed when an update condition described later is satisfied.

以上のように、本実施形態の膜厚推定装置48は、第1計測器50により計測されたフロストライン位置と第2計測器80により計測された膜厚とに基づいて相関関係情報を推定する関係推定部74を備える。よって、フロストライン位置と膜厚との相関関係を示す相関関係情報を予め記憶していなくとも、第1計測器50、第2計測器80の計測結果を用いて相関関係情報を推定できる。 As described above, the film thickness estimating device 48 of this embodiment estimates correlation information based on the frost line position measured by the first measuring device 50 and the film thickness measured by the second measuring device 80. A relationship estimation section 74 is provided. Therefore, even if the correlation information indicating the correlation between the frost line position and the film thickness is not stored in advance, the correlation information can be estimated using the measurement results of the first measuring device 50 and the second measuring device 80.

この関係推定部74は、予め定められた更新条件を満たしたとき、前述の関係推定処理を行うことで新たに推定した相関関係情報により、記憶部64に記憶された相関関係情報を更新してもよい。これにより、更新条件を満たしたときに相関関係情報に更新することで、最新の成形条件を反映した相関関係情報を用いて膜厚分布を推定できるようになる。 When a predetermined update condition is satisfied, the relationship estimation unit 74 updates the correlation information stored in the storage unit 64 with the correlation information newly estimated by performing the above-mentioned relationship estimation process. Good too. Thereby, by updating the correlation information when the update conditions are satisfied, it becomes possible to estimate the film thickness distribution using the correlation information that reflects the latest molding conditions.

ここでの更新条件は、例えば、(1)成形条件を変更したこと、(2)フィルム12の成形中に前回に関係推定処理を行ってから予め定められる時間間隔が経過したこと、(3)入力部58に対して更新のための指令が入力されること、等としてもよい。 The update conditions here are, for example, (1) that the molding conditions have been changed, (2) that a predetermined time interval has elapsed since the previous relationship estimation process was performed during molding of the film 12, (3) For example, a command for updating may be input to the input unit 58.

この他にも、フィルム12の成形中に、予め定められる判定条件に従って膜厚推定部72により推定される膜厚推定値が信頼できるか否かを判定し、その膜厚推定値が信頼できないと判定することを以て更新条件としてもよい。これを実現するうえで、例えば、膜厚推定値と膜厚計測値を組とする複数組の膜厚値セットを用いて、膜厚推定処理に使用される関係式の決定係数(R)を算出してもよい。この場合、算出した決定係数が予め定められる基準値を下回ることを判定条件とし、その判定条件を満たした場合に膜厚の推定値が信頼できないと判定してもよい。この場合、膜厚計測点PcがフロストラインFLの存在予測位置Pdを通過するときに計測されたフロストライン位置の計測値から算出された膜厚推定値と、その膜厚計測点Pcで計測された膜厚計測値とを組とする膜厚値セットを用いればよい。 In addition, during the forming of the film 12, it is determined whether the estimated film thickness estimated by the film thickness estimating section 72 is reliable according to predetermined judgment conditions, and if the estimated film thickness is unreliable. The determination may be used as an update condition. To achieve this, for example, the coefficient of determination (R 2 ) of the relational equation used in the film thickness estimation process is may be calculated. In this case, the determination condition may be that the calculated coefficient of determination is less than a predetermined reference value, and if the determination condition is met, it may be determined that the estimated value of the film thickness is unreliable. In this case, the film thickness estimation value calculated from the measured value of the frost line position measured when the film thickness measurement point Pc passes the predicted existence position Pd of the frost line FL and the film thickness measurement value measured at the film thickness measurement point Pc. What is necessary is to use a film thickness value set that includes the measured film thickness values.

なお、ここまで膜厚調整部32はダイ14である例を説明したが、その具体例は特に限定されない。この膜厚調整部32は次に説明する冷却装置24でもよい。この他にも、冷却装置24とダイ14を個別の膜厚調整部32として用いてもよい。 Although an example has been described so far in which the film thickness adjustment section 32 is the die 14, the specific example is not particularly limited. This film thickness adjustment section 32 may be a cooling device 24 described below. In addition to this, the cooling device 24 and the die 14 may be used as separate film thickness adjustment sections 32.

図1を参照する。冷却装置24は、ブロワー(不図示)から通風路150を通して送られる冷却風を、リング状の吹出口152からフィルム12に向けて吹き出すエアーリング154を備える。冷却装置24は、通風路150内に配置される複数のバルブ装置156及び複数のヒータ158を備える。複数のバルブ装置156は、エアーリング154の通風路150内を上流側通風路150aと下流側通風路150bに区画するように周方向に配列される。バルブ装置156は、自身の開度を調整可能な箇所を経由して上流側通風路150aから下流側通風路150bにエアを流すことができる。バルブ装置156の開度を調整することによって、バルブ装置156を経由して吹出口152に供給される冷却風の風量を調整できる。複数のバルブ装置156それぞれの開度を調整することで、冷却風の周方向での風流分布を調整可能となる。 Please refer to FIG. The cooling device 24 includes an air ring 154 that blows cooling air sent from a blower (not shown) through an air passage 150 toward the film 12 from a ring-shaped outlet 152. The cooling device 24 includes a plurality of valve devices 156 and a plurality of heaters 158 arranged within the ventilation path 150. The plurality of valve devices 156 are arranged in the circumferential direction so as to divide the inside of the ventilation passage 150 of the air ring 154 into an upstream ventilation passage 150a and a downstream ventilation passage 150b. The valve device 156 can flow air from the upstream ventilation passage 150a to the downstream ventilation passage 150b via a portion whose opening degree can be adjusted. By adjusting the opening degree of the valve device 156, the amount of cooling air supplied to the outlet 152 via the valve device 156 can be adjusted. By adjusting the opening degree of each of the plurality of valve devices 156, it is possible to adjust the wind flow distribution in the circumferential direction of the cooling air.

複数のヒータ158は、例えば、加熱ロッド等であり、通風路150内に周方向に配列される。ヒータ158は、通風路150内を流れるエアを加熱可能である。ヒータ158の加熱温度を調整することによって、ヒータ158の周囲を経由して吹出口152に供給される冷却風の風温を調整できる。複数のヒータ158それぞれの加熱温度を調整することで、冷却風の周方向での風温分布を調整可能となる。 The plurality of heaters 158 are, for example, heating rods, and are arranged in the circumferential direction within the ventilation path 150. The heater 158 can heat the air flowing through the ventilation path 150. By adjusting the heating temperature of the heater 158, the temperature of the cooling air supplied to the outlet 152 via the periphery of the heater 158 can be adjusted. By adjusting the heating temperature of each of the plurality of heaters 158, it is possible to adjust the wind temperature distribution in the circumferential direction of the cooling air.

冷却装置24による冷却風の風量分布及び風温分布の少なくとも一方を調整することで、フィルム12の周方向での膜厚分布を調整可能となる。フィルム12の溶融部分12aは、流れ方向に進行する過程で、下流側に向けて引っ張られることで徐々に薄くなる。よって、フィルム12の溶融部分12aは、フィルム12の冷却速度が速くなるほど早くに固化することで膜厚が厚くなり、フィルムの冷却速度が遅くなるほど遅れて固化することで膜厚が薄くなる。例えば、ある周方向位置での冷却風の風量を大きくすることで、その冷却風の当たるフィルム12の冷却速度を部分的に速くし、フィルム12の膜厚を部分的に厚くできる。ある周方向位置での冷却風の風温を低くした場合(ヒータ158の加熱温度をゼロに近づけた場合)も同様である。これに対して、ある周方向位置での冷却風の風量を小さくすることで、その冷却風の当たるフィルム12の冷却速度を部分的に遅くすることで、フィルム12の膜厚を部分的に薄くできる。ある周方向位置での冷却風の風温を高くした場合(ヒータ158の加熱温度を大きくした場合)も同様である。 By adjusting at least one of the air volume distribution and the air temperature distribution of the cooling air by the cooling device 24, the film thickness distribution in the circumferential direction of the film 12 can be adjusted. The melted portion 12a of the film 12 gradually becomes thinner as it is pulled toward the downstream side in the process of progressing in the flow direction. Therefore, the faster the cooling rate of the film 12 is, the faster the melted portion 12a of the film 12 solidifies, resulting in a thicker film, and the slower the cooling rate of the film is, the slower the melted part 12a is, the slower it solidifies, and the thinner the film thickness becomes. For example, by increasing the amount of cooling air at a certain circumferential position, the cooling rate of the film 12 that is hit by the cooling air can be partially increased, and the thickness of the film 12 can be partially increased. The same applies when the temperature of the cooling air at a certain circumferential position is lowered (when the heating temperature of the heater 158 is brought closer to zero). On the other hand, by reducing the amount of cooling air at a certain circumferential position, the cooling speed of the film 12 that is hit by the cooling air is partially slowed down, and the film thickness of the film 12 is partially reduced. can. The same applies when the temperature of the cooling air at a certain circumferential position is increased (when the heating temperature of the heater 158 is increased).

次に、ここまで説明した各構成要素の変形形態を説明する。 Next, modifications of each of the constituent elements described so far will be described.

フィルム成形装置10は、第2計測器80を備えていなくともよい。膜厚推定装置48は、入力部58、表示部60、動作制御部70、関係推定部74等を備えていなくともよい。膜厚推定装置48は、第1計測器50、第2計測器80の少なくとも一方を備えていてもよい。 The film forming apparatus 10 may not include the second measuring device 80. The film thickness estimation device 48 does not need to include the input section 58, the display section 60, the operation control section 70, the relationship estimation section 74, and the like. The film thickness estimating device 48 may include at least one of a first measuring device 50 and a second measuring device 80.

第1計測器50は、フィルム12のフロストライン位置又は周方向でのフロストライン位置分布を計測できればよく、その具体例は実施形態の内容に限定されない。この一例として、第1計測器50は、フィルム12の溶融部分12aに塗布したインクを用いてフロストライン位置を計測してもよい。フィルム12の溶融部分12aにインクを塗布した場合、フロストラインFLよりも下流側において観察されるインクの流れ方向Daでの長さとフロストライン位置との間には相関関係がある。この相関関係は、インクの長さが長くなるとフロストライン位置が低くなり、インクの長さが短くなるとフロストライン位置が高くなる関係となる。よって、この相関関係を示す関係式、テーブル等を記憶しておき、その関係式等にフィルム12に塗布されたインクの長さを入力することでフロストライン位置を特定してもよい。この場合、インクの長さは、カメラ52により撮像した画像を用いた画像処理により特定すればよい。インクの流れ方向での長さは、線状に延びるインクの流れ方向長さそのものにより特定してもよいし、複数の点状のインク間の間隔により特定してもよい。 The first measuring device 50 only needs to be able to measure the frost line position or the frost line position distribution in the circumferential direction of the film 12, and its specific example is not limited to the content of the embodiment. As an example of this, the first measuring device 50 may measure the frost line position using ink applied to the melted portion 12a of the film 12. When ink is applied to the melted portion 12a of the film 12, there is a correlation between the length of the ink in the flow direction Da observed downstream of the frost line FL and the frost line position. This correlation is such that the longer the length of the ink, the lower the frost line position, and the shorter the length of the ink, the higher the frost line position. Therefore, the frost line position may be specified by storing a relational expression, table, etc. showing this correlation, and inputting the length of the ink applied to the film 12 into the relational expression. In this case, the length of the ink may be specified by image processing using an image captured by the camera 52. The length of the ink in the flow direction may be specified by the length of the linearly extending ink in the flow direction itself, or may be specified by the interval between a plurality of dots of ink.

膜厚推定部72は、第1計測器50により計測されたフロストライン位置に基づいてフィルム12の膜厚を推定できればよく、その具体的手法は実施形態の内容に限定されない。膜厚推定部72による、フロストライン位置分布の計測値に基づいたフィルム12の膜厚分布の推定手法は特に限定されないともいえる。 The film thickness estimating unit 72 only needs to be able to estimate the film thickness of the film 12 based on the frost line position measured by the first measuring device 50, and the specific method thereof is not limited to the content of the embodiment. It can be said that the method of estimating the film thickness distribution of the film 12 based on the measured value of the frost line position distribution by the film thickness estimating section 72 is not particularly limited.

関係推定部74は、相関関係記憶部66に記憶された相関関係情報を更新しなくともよい。この場合、相関関係記憶部66に複数の成形条件に個別に対応する複数の相関関係情報を予め記憶しておいてもよい。この場合、膜厚推定処理を行うときに、膜厚推定部72により複数の相関関係情報のなかから実際の成形条件に対応する相関関係情報を選択してもよい。 The relationship estimation unit 74 does not need to update the correlation information stored in the correlation storage unit 66. In this case, a plurality of pieces of correlation information that individually correspond to a plurality of molding conditions may be stored in the correlation storage unit 66 in advance. In this case, when performing the film thickness estimation process, the film thickness estimation unit 72 may select correlation information corresponding to the actual molding conditions from among the plurality of correlation information.

関係推定部74による対応付け処理において、膜厚計測値と対応付けるべきフロストライン位置の目的計測値の具体例は実施形態の内容に限定されない。例えば、計測時刻s1において膜厚計測値を計測した場合に、その計測時刻s1を含む予め定められた時間幅内で計測されたフロストライン位置の複数計測値の代表値(例えば、平均値)を目的計測値としてもよい。この場合、目的計測値としてのフロストライン位置の代表値(ここでは平均値)と、その計測時刻s1に計測した膜厚計測値とを対応付けすればよい。この他にも、同じ膜厚計測点Pcにおいて複数回に亘り膜厚計測値を計測し、個々の膜厚計測値の計測時刻において計測されたフロストライン位置の複数計測値の代表値(例えば、平均値)を目的計測値としてもよい。この場合、目的計測値としてのフロストライン位置の代表値(ここでは平均値)と、複数回に亘り計測した膜厚計測値の代表値(例えば、平均値)とを対応付けてもよい。いずれの場合も、関係推定部74による対応付け処理において、前述の第一の条件で説明したように、膜厚計測値と同じ周方向位置で計測されたフロストライン位置の計測値を用いる。 In the association processing by the relationship estimation unit 74, the specific example of the objective measurement value of the frost line position to be associated with the film thickness measurement value is not limited to the content of the embodiment. For example, when a film thickness measurement value is measured at measurement time s1, a representative value (for example, an average value) of multiple measurement values at the frost line position measured within a predetermined time period including measurement time s1 is calculated. It may also be a target measurement value. In this case, the representative value (here, the average value) of the frost line position as the target measurement value may be associated with the film thickness measurement value measured at the measurement time s1. In addition, the film thickness measurement value is measured multiple times at the same film thickness measurement point Pc, and the representative value of the multiple measurement values of the frost line position measured at the measurement time of each film thickness measurement value (for example, average value) may be used as the target measurement value. In this case, the representative value (here, the average value) of the frost line position as the target measurement value may be associated with the representative value (for example, the average value) of the film thickness measurement values measured a plurality of times. In either case, in the association processing by the relationship estimation unit 74, the measured value of the frost line position measured at the same circumferential position as the film thickness measurement value is used, as explained in the above-mentioned first condition.

この他にも、膜厚計測値と対応付けるべきフロストライン位置の目的計測値は、以下のように特定してもよい。 In addition to this, the target measurement value of the frost line position to be associated with the film thickness measurement value may be specified as follows.

図6を参照する。ある計測時刻s1においてフロストライン位置を計測したとき、そのフロストライン位置を計測した周方向位置においてフロストラインFLを通過するフィルム12の部位をフロストライン通過部位Pfという。このフロストライン通過部位Pfが第2計測器80の計測位置と同じ流れ方向位置Pgに到達する到達時刻s2を想定する。以下、フィルム12のフロストライン通過部位Pfの位置Pgへの到達時刻s2と、第2計測器80による膜厚計測値の計測時刻s3とに基づいて、膜厚計測値と対応付けるべきフロストライン位置の目的計測値を特定する手法を説明する。 See FIG. 6. When the frost line position is measured at a certain measurement time s1, the portion of the film 12 that passes through the frost line FL at the circumferential position where the frost line position was measured is referred to as a frost line passing portion Pf. An arrival time s2 at which this frost line passing portion Pf reaches the same flow direction position Pg as the measurement position of the second measuring device 80 is assumed. Hereinafter, based on the arrival time s2 of the frost line passing portion Pf of the film 12 to the position Pg and the measurement time s3 of the film thickness measurement value by the second measuring device 80, the frost line position to be associated with the film thickness measurement value will be determined. Describe a method for identifying target measurement values.

まず、関係推定部74は、ある周方向位置において計測時刻s1にフロストライン位置を計測したとき、その周方向位置でのフロストラインFLから位置Pgまでの長さΔL’を算出する。この長さΔL’は、ダイ14から第2計測器80の計測位置(位置Pg)までの流れ方向Daでの長さL1より、ダイ14からフロストラインFL(フロストライン通過部位Pf)までの長さL0’を減算することで算出する。長さL1は、前述と同様、記憶部64に予め記憶される記憶値が用いられる。長さL0’は、その長さΔL’を算出しようとする周方向位置に関して、計測時刻s1において第1計測器50により計測されたフロストライン位置の計測値が用いられる。次に、関係推定部74は、ある周方向位置に関して算出された長さΔL’と、フィルム12の巻取速度vとに基づいて、その周方向位置にあるフィルム12上のフロストライン通過部位Pfが、前述の長さΔL’を通過するのに要する所要時間Δs’を算出する。所要時間Δs’は、前述の所要時間Δsと同様、巻取速度vにより長さΔL’を除算することで算出できる。この後、関係推定部74は、計測時刻s1に対して所要時間Δs’の分だけ進んだ時刻を到達時刻s2として算出する。この到達時刻s2は、ある周方向位置で計測時刻s1にフロストラインFLを通過するフロストライン通過部位Pfが位置Pgに到達する時刻を表しており、その周方向位置で計測時刻s1に計測されたフロストライン位置の計測値と対応するものとして取り扱う。 First, when the frost line position is measured at a measurement time s1 at a certain circumferential position, the relationship estimation unit 74 calculates the length ΔL' from the frost line FL at that circumferential position to the position Pg. This length ΔL' is longer than the length L1 in the flow direction Da from the die 14 to the measurement position (position Pg) of the second measuring device 80 to the length from the die 14 to the frost line FL (frost line passing portion Pf). It is calculated by subtracting L0'. As the length L1, a stored value stored in advance in the storage unit 64 is used as described above. For the length L0', the measured value of the frost line position measured by the first measuring device 50 at the measurement time s1 is used with respect to the circumferential position for which the length ΔL' is to be calculated. Next, based on the length ΔL′ calculated for a certain circumferential position and the winding speed v of the film 12, the relationship estimating unit 74 determines the frost line passing portion Pf on the film 12 at that circumferential position. calculates the required time Δs' for passing the above-mentioned length ΔL'. The required time Δs' can be calculated by dividing the length ΔL' by the winding speed v, similar to the above-described required time Δs. Thereafter, the relationship estimation unit 74 calculates a time that is advanced by the required time Δs' with respect to the measurement time s1 as the arrival time s2. This arrival time s2 represents the time at which the frost line passing portion Pf, which passes through the frost line FL at a certain circumferential position at the measurement time s1, reaches the position Pg, and the frost line passing portion Pf, which passes through the frost line FL at a certain circumferential position at the measurement time s1, reaches the position Pg, and the frost line passing portion Pf, which is measured at the circumferential position at the measurement time s1, reaches the position Pg. Treated as corresponding to the measured value of the frost line position.

関係推定部74は、ある計測時刻s1においてフロストライン位置分布を計測したとき、そのフロストライン位置を計測した周方向位置毎に、前述の流れで、各フロストライン位置の計測値に対応する到達時刻s2を算出する。また、関係推定部74は、フロストライン位置を計測した周方向位置毎に、フロストライン位置の計測値と、その計測値と対応する到達時刻s2とを紐付けた計測値情報を生成する紐付け処理を行う。関係推定部74は、フロストライン位置分布を計測する毎に紐付け処理を行い、それにより同じ周方向位置に関して生成される複数の計測値情報を記憶部64に蓄積することで計測値情報群を生成する。計測値情報群は、フロストライン位置を計測した周方向位置毎に生成される。計測値情報群は、例えば、フロストライン位置を計測したある周方向位置での、フロストライン位置の計測時刻順で複数の計測値情報を並べた時系列データとして生成される。 When the frost line position distribution is measured at a certain measurement time s1, the relationship estimating unit 74 calculates the arrival time corresponding to the measured value of each frost line position in the above-described flow for each circumferential position at which the frost line position is measured. Calculate s2. In addition, the relationship estimation unit 74 generates measurement value information that links the measured value of the frost line position and the corresponding arrival time s2 for each circumferential position where the frost line position is measured. Perform processing. The relationship estimating unit 74 performs linking processing every time the frost line position distribution is measured, and stores a plurality of pieces of measured value information generated regarding the same circumferential position in the storage unit 64, thereby creating a group of measured value information. generate. The measurement value information group is generated for each circumferential position at which the frost line position is measured. The measurement value information group is generated, for example, as time series data in which a plurality of pieces of measurement value information are arranged in order of the measurement time of the frost line position at a certain circumferential position where the frost line position was measured.

関係推定部74は、ある周方向位置において計測時刻s3に膜厚が計測されたとき、その膜厚の計測位置と同じ周方向位置に関して生成された計測値情報群を参照する。関係推定部74は、その参照した計測値情報群において計測時刻s3の直近の到達時刻s2を持つ計測値情報を特定する。関係推定部74は、その特定した計測値情報の到達時刻s2に紐付いたフロストライン位置の計測値を、計測時刻s3において計測した膜厚計測値と対応付けるべき目的計測値として特定する。これにより、フィルム12上のフロストライン通過部位Pfの膜厚計測値と、そのフロストライン通過部位PfがフロストラインFLを通過したときに計測されたフロストライン位置の計測値とを精度よく対応付けることができる。 When the film thickness is measured at measurement time s3 at a certain circumferential position, the relationship estimating unit 74 refers to a group of measurement value information generated for the same circumferential position as the film thickness measurement position. The relationship estimation unit 74 identifies the measurement value information having the arrival time s2 nearest to the measurement time s3 in the referenced measurement value information group. The relationship estimation unit 74 specifies the measured value of the frost line position linked to the arrival time s2 of the specified measured value information as the target measured value to be associated with the film thickness measured value measured at the measurement time s3. This makes it possible to accurately correlate the film thickness measurement value of the frost line passing portion Pf on the film 12 with the measured value of the frost line position measured when the frost line passing portion Pf passes the frost line FL. can.

以上のように、対応付け処理では予め定めた条件を満たす膜厚計測値とフロストライン位置計測値とを互いに対応付ける。この対応付けの対象となる膜厚計測値は、単数の膜厚計測値でもよいし、複数の膜厚計測値の代表値でもよい。対応付けの対象となるフロストライン位置計測値も同様に、単数のフロストライン位置計測値でもよいし、複数のフロストライン位置計測値の代表値でもよい。 As described above, in the association process, the film thickness measurement value and the frost line position measurement value that satisfy predetermined conditions are associated with each other. The film thickness measurement value to be correlated may be a single film thickness measurement value or a representative value of a plurality of film thickness measurement values. Similarly, the frost line position measurement value to be associated may be a single frost line position measurement value, or may be a representative value of a plurality of frost line position measurement values.

ここまで、第1計測器50によりフィルム12の周方向でのフロストライン位置分布を計測し、その計測されたフロストライン位置分布に基づいて、膜厚推定部72によりフィルム12の周方向での膜厚分布を推定する例を説明した。これに限定されず、第1計測器50によりフィルム12の特定の周方向位置でのフロストライン位置を計測し、その計測されたフロストライン位置に基づいて、膜厚推定部72によりフィルム12の特定の周方向位置での膜厚を推定してもよい。 Up to this point, the first measuring device 50 has measured the frost line position distribution in the circumferential direction of the film 12, and based on the measured frost line position distribution, the film thickness estimation unit 72 has measured the frost line position distribution in the circumferential direction of the film 12. An example of estimating thickness distribution has been explained. However, the present invention is not limited to this, and the first measuring device 50 measures the frost line position at a specific circumferential position of the film 12, and the film thickness estimating unit 72 specifies the film 12 based on the measured frost line position. The film thickness at the circumferential position may be estimated.

ここまで、丸ダイからチューブ状のフィルム12を送るインフレーション法を用いたフィルム成形装置10に本開示内容を適用する場合を例に説明した。これに限定されず、Tダイからシート状のフィルム12を送るTダイ法を用いたフィルム成形装置10に本開示内容を適用してもよい。 Up to this point, an example has been described in which the present disclosure is applied to a film forming apparatus 10 that uses an inflation method to feed a tubular film 12 from a round die. The present disclosure is not limited thereto, and the contents of the present disclosure may be applied to a film forming apparatus 10 using a T-die method in which a sheet-like film 12 is sent from a T-die.

ここまでの開示内容をインフレーション法、Tダイ法に共通する内容として把握するうえでは、ここまでの開示内容に関して、「周方向」の文言を「横断方向」に置き換えた内容として理解すればよい。ここでの「横断方向」とは、フィルムの流れ方向Daに直交する断面におけるフィルム12の面内方向ともいえる。この「横断方向」は、インフレーション法に用いられるチューブ状のフィルムを対象とする場合は、ここまで説明したフィルム12の周方向をいう。また、この「横断方向」は、Tダイ法に用いられるシート状のフィルム12を対象とする場合はフィルム12の幅方向をいう。例えば、第1計測器50は、フィルム12の横断方向でのフロストライン位置分布を計測し、膜厚推定部72は、そのフロストライン位置分布に基づいて、フィルム12の横断方向での膜厚分布を推定してもよいということである。シート状のフィルム12を対象とする場合も、フィルム12の特定の横断方向位置でのフロストライン位置を計測し、そのフロストライン位置の計測値に基づいて、その特定の横断方向位置でのフィルム12の膜厚を推定してもよい。 In order to understand the contents disclosed up to this point as contents common to the inflation method and the T-die method, it is sufficient to understand the contents disclosed up to this point as contents in which the words "circumferential direction" are replaced with "transverse direction". The "transverse direction" here can also be said to be the in-plane direction of the film 12 in a cross section perpendicular to the flow direction Da of the film. This "transverse direction" refers to the circumferential direction of the film 12 described so far when the tube-shaped film used in the inflation method is targeted. Moreover, this "transverse direction" refers to the width direction of the film 12 when the sheet-like film 12 used in the T-die method is targeted. For example, the first measuring device 50 measures the frost line position distribution in the transverse direction of the film 12, and the film thickness estimation unit 72 calculates the film thickness distribution in the transverse direction of the film 12 based on the frost line position distribution. This means that it is possible to estimate. Even when the sheet-like film 12 is targeted, the frost line position at a specific transverse direction position of the film 12 is measured, and based on the measured value of the frost line position, the film 12 at that specific transverse direction position is measured. The film thickness may be estimated.

以上の実施形態及び変形形態は例示である。これらを抽象化した技術的思想は、実施形態及び変形形態の内容に限定的に解釈されるべきではない。実施形態及び変形形態の内容は、構成要素の変更、追加、削除等の多くの設計変更が可能である。前述の実施形態では、このような設計変更が可能な内容に関して、「実施形態」との表記を付して強調している。しかしながら、そのような表記のない内容でも設計変更が許容される。図面の断面に付したハッチングは、ハッチングを付した対象の材質を限定するものではない。実施形態及び変形形態において言及している位置関係には、製造誤差等を考慮すると同一とみなすことができるものも当然に含まれる。 The above embodiments and modifications are illustrative. These abstracted technical ideas should not be interpreted as being limited to the contents of the embodiments and modified forms. The contents of the embodiments and modified forms may be subject to many design changes such as changes, additions, and deletions of constituent elements. In the embodiments described above, the content that allows such design changes is emphasized by adding the notation "embodiment". However, design changes are allowed even if there is no such notation. The hatching added to the cross section of the drawing does not limit the material of the hatched object. Naturally, the positional relationships mentioned in the embodiments and modifications include those that can be considered to be the same when manufacturing errors and the like are taken into account.

以上の構成要素の任意の組み合わせも有効である。例えば、実施形態に対して他の実施形態の任意の説明事項を組み合わせてもよいし、変形形態に対して実施形態及び他の変形形態の任意の説明事項を組み合わせてもよい。また、本開示の構成要素及び表現のいずれかを、方法、装置、システム等の間で相互に置換したものも、本開示の態様として有効である。 Any combination of the above components is also effective. For example, an embodiment may be combined with any description of another embodiment, or a modified form may be combined with any description of the embodiment and other modified forms. Further, mutual substitution of any of the components and expressions of the present disclosure among methods, devices, systems, etc. is also effective as an aspect of the present disclosure.

10…フィルム成形装置、12…フィルム、14…ダイ、48…膜厚推定装置、64…記憶部、72…膜厚推定部、74…関係推定部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Film forming device, 12... Film, 14... Die, 48... Film thickness estimation device, 64... Storage part, 72... Film thickness estimation part, 74... Relationship estimation part.

Claims (5)

フィルム成形装置に用いられる膜厚推定装置であって、
前記フィルム成形装置は、ダイから流れ方向に送られるフィルムのフロストライン位置を計測する第1計測器を備え、
前記膜厚推定装置は、前記第1計測器により計測される前記フロストライン位置に基づいて、前記フィルムの膜厚を推定する膜厚推定部を備える膜厚推定装置。
A film thickness estimation device used in a film forming device,
The film forming apparatus includes a first measuring device that measures the frost line position of the film sent from the die in the machine direction,
The film thickness estimating device includes a film thickness estimating section that estimates the film thickness of the film based on the frost line position measured by the first measuring device.
前記フィルムのフロストライン位置と膜厚との相関関係を示す相関関係情報を記憶する相関関係記憶部を備え、
前記膜厚推定部は、前記相関関係記憶部に記憶された前記相関関係情報と前記第1計測器により計測されるフロストライン位置とに基づいて、前記膜厚を推定する請求項1に記載の膜厚推定装置。
comprising a correlation storage unit that stores correlation information indicating a correlation between the frost line position and the film thickness of the film,
The film thickness estimating unit estimates the film thickness based on the correlation information stored in the correlation storage unit and a frost line position measured by the first measuring device. Film thickness estimation device.
前記フィルム成形装置は、前記フィルムの横断方向に計測位置を変更しながら前記フィルムの膜厚を逐次計測する第2計測器を備え、
前記膜厚推定装置は、前記第1計測器により計測されたフロストライン位置と前記第2計測器により計測された膜厚とに基づいて、前記相関関係情報を推定する関係推定部を備える請求項2に記載の膜厚推定装置。
The film forming apparatus includes a second measuring device that sequentially measures the thickness of the film while changing the measurement position in the transverse direction of the film,
The film thickness estimating device includes a relationship estimation unit that estimates the correlation information based on the frost line position measured by the first measuring device and the film thickness measured by the second measuring device. 2. The film thickness estimation device according to 2.
前記関係推定部は、予め定められた更新条件を満たしたとき、新たに推定した前記相関関係情報により、前記記憶部に記憶された前記相関関係情報を更新する請求項3に記載の膜厚推定装置。 The film thickness estimation according to claim 3, wherein the relationship estimation unit updates the correlation information stored in the storage unit with the newly estimated correlation information when a predetermined update condition is satisfied. Device. 請求項1から4のいずれかに記載の膜厚推定装置を備えるフィルム成形装置。 A film forming apparatus comprising the film thickness estimating device according to any one of claims 1 to 4.
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