JP2023146779A - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component, multilayer ceramic electronic component, and circuit board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、積層セラミック電子部品の製造方法、積層セラミック電子部品、および回路基板に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component, a laminated ceramic electronic component, and a circuit board.
積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品では、焼成後の素体に、金属ペーストを塗布して焼き付けることによって外部電極を形成している。 In multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors, external electrodes are formed by applying a metal paste to a fired element body and baking it.
この焼き付け処理時に、積層セラミック電子部品と治具との融着が課題の一つとなっている。こういった融着があると、歩留まり低下を招く。したがって、融着を無くした状態で外部電極を焼き付けることが求められている。 During this baking process, one of the issues is the fusion of the laminated ceramic electronic component and the jig. Such fusion causes a decrease in yield. Therefore, it is required to bake the external electrodes in a state where no fusion is caused.
その対策として、これまでに様々な工夫がなされている。例えば、離型用のセラミック粉末をまぶして焼付処理をすることが開示されている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、そのセラミック粉末自体も外部電極と融着してしまうことがある。そこで、多種類の粒形を有する金属粉末を含む導電ペーストを作製する工程と、素体の外表面に当該導電ペーストを塗布して焼き付けることによって焼付電極層を形成することが開示されている(例えば、特許文献1参照)。また、サヤの表面に粘着材層を設け、外部電極が塗布された後の複数のセラミック電子部品を粘着材層に個々独立させて粘着保持させた状態で外部電極を焼き付けることが開示されている(例えば、特許文献2参照)。 As countermeasures against this problem, various efforts have been made so far. For example, it has been disclosed that baking treatment is performed by sprinkling ceramic powder for mold release (for example, see Patent Document 1). However, the ceramic powder itself may also be fused to the external electrode. Therefore, it has been disclosed that a process of producing a conductive paste containing metal powder having various particle shapes, and of forming a baked electrode layer by coating and baking the conductive paste on the outer surface of an element body ( For example, see Patent Document 1). Furthermore, it is disclosed that an adhesive layer is provided on the surface of the pod, and after the external electrodes are applied, a plurality of ceramic electronic components are individually and adhesively held in the adhesive layer, and then the external electrodes are baked. (For example, see Patent Document 2).
しかしながら、特許文献1,2の方法では、これから焼き付けられる金属ペースト部分が治具と接触しているため、融着を防止することは困難である。 However, in the methods of Patent Documents 1 and 2, since the metal paste portion to be baked is in contact with the jig, it is difficult to prevent fusion.
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、外部電極の融着を抑制することができる積層セラミック電子部品の製造方法、積層セラミック電子部品、および回路基板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and aims to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, a multilayer ceramic electronic component, and a circuit board that can suppress fusion of external electrodes.
本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、複数の誘電体層と、前記複数の誘電体層を介して積層された複数の内部電極層とを有し、前記複数の内部電極層のうち一部の内部電極層の端部が露出する第1端面と、前記複数の内部電極層のうち他の一部の内部電極層の端部が露出し前記第1端面と対向する第2端面とを有する素体を用意する工程と、前記第1端面に第1外部電極を焼き付けて形成する第1外部電極形成工程と、前記第2端面に、前記第1外部電極と組成が異なる第2外部電極を、前記第1外部電極形成工程より50℃以上低い温度で焼き付けて形成する第2外部電極形成工程と、を含む。 The method for manufacturing a laminated ceramic electronic component according to the present invention includes a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers laminated via the plurality of dielectric layers, and one of the plurality of internal electrode layers is a first end surface in which end portions of some of the internal electrode layers are exposed; and a second end surface that faces the first end surface and in which end portions of other internal electrode layers among the plurality of internal electrode layers are exposed; a step of forming a first external electrode by baking a first external electrode on the first end surface; a second external electrode having a composition different from that of the first external electrode on the second end surface; and a second external electrode forming step in which the electrodes are baked at a temperature lower than the first external electrode forming step by 50° C. or more.
上記製造方法において、前記第2外部電極形成工程は、前記第1外部電極形成工程より70℃以上低い温度で焼き付けを行ってもよい。 In the above manufacturing method, baking may be performed in the second external electrode forming step at a temperature lower than the first external electrode forming step by 70° C. or more.
上記製造方法において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、ホウ素を含み、前記第2外部電極は前記第1外部電極よりホウ素の含有量が多くてもよい。 In the above manufacturing method, the first external electrode and the second external electrode may contain boron, and the second external electrode may have a higher boron content than the first external electrode.
上記製造法方法において、前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりホウ素の含有量が酸化物換算で2wt%より多くてもよい。 In the above manufacturing method, the second external electrode may have a boron content greater than 2 wt% in terms of oxide than the first external electrode.
上記製造方法において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、ケイ素を含み、前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりケイ素の含有量が少なくてもよい。 In the above manufacturing method, the first external electrode and the second external electrode may contain silicon, and the second external electrode may have a lower silicon content than the first external electrode.
上記製造方法において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、銅を主成分としてもよい。 In the above manufacturing method, the first external electrode and the second external electrode may contain copper as a main component.
上記製造方法において、前記第1外部電極は、ニッケルを主成分とし、前記第2外部電極は、銅を主成分としてもよい。 In the above manufacturing method, the first external electrode may have nickel as a main component, and the second external electrode may have copper as a main component.
上記製造方法において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、添加物としてアルミニウム、カルシウム、ストロンチウム、リチウム、ナトリウム、リンの少なくとも一つを含んでいてもよい。 In the above manufacturing method, the first external electrode and the second external electrode may contain at least one of aluminum, calcium, strontium, lithium, sodium, and phosphorus as an additive.
積層セラミック電子部品の他の製造方法は、複数のセラミックグリーンシートと、前記複数のセラミックグリーンシートを介して積層された複数の内部電極パターンとを有し、前記複数の内部電極パターンのうち一部の内部電極パターンの端部が露出する第1端面と、前記複数の内部電極パターンのうち他の一部の内部電極パターンの端部が露出し前記第1端面と対向する第2端面とを有するセラミック積層体を用意する工程と、前記第1端面に、金属ペーストを塗布する工程と、前記セラミック積層体と前記金属ペーストとを同時に焼成し、前記セラミック積層体から素体を得る焼成工程と、前記素体の前記第2端面に、金属ペーストを塗布し、前記焼成工程よりも50℃以上低い温度で焼き付ける焼き付け工程と、を含む。 Another method for manufacturing a laminated ceramic electronic component includes a plurality of ceramic green sheets and a plurality of internal electrode patterns laminated via the plurality of ceramic green sheets, and a part of the plurality of internal electrode patterns. a first end surface in which ends of internal electrode patterns of the plurality of internal electrode patterns are exposed; and a second end surface that faces the first end surface and in which ends of other internal electrode patterns among the plurality of internal electrode patterns are exposed. a step of preparing a ceramic laminate; a step of applying a metal paste to the first end surface; a firing step of simultaneously firing the ceramic laminate and the metal paste to obtain an element body from the ceramic laminate; The method includes a baking step of applying a metal paste to the second end surface of the element body and baking it at a temperature 50° C. or more lower than that of the baking step.
本発明に係る積層セラミック電子部品は、複数の誘電体層と、前記複数の誘電体層を介して積層された複数の内部電極層とを有し、前記複数の内部電極層のうち一部の内部電極層の端部が露出する第1端面と、前記複数の内部電極層のうち他の一部の内部電極層の端部が露出する第2端面とを有する素体と、前記第1端面に設けられた第1外部電極と、前記第2端面に設けられ、前記第1外部電極とは組成が異なる第2外部電極と、を備える。 A multilayer ceramic electronic component according to the present invention includes a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers laminated via the plurality of dielectric layers, and a part of the plurality of internal electrode layers is provided. an element body having a first end surface in which an end portion of an internal electrode layer is exposed; a second end surface in which an end portion of another part of the internal electrode layers among the plurality of internal electrode layers is exposed; and the first end surface. and a second external electrode provided on the second end surface and having a different composition from the first external electrode.
上記積層セラミック電子部品において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、ホウ素を含み、前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりホウ素の含有量が多くてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the first external electrode and the second external electrode may contain boron, and the second external electrode may have a higher boron content than the first external electrode.
上記積層セラミック電子部品において、前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりホウ素の含有量が酸化物換算で2wt%より多くてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the second external electrode may have a boron content greater than 2 wt% in terms of oxide than the first external electrode.
上記積層セラミック電子部品において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、ケイ素を含み、前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりケイ素の含有量が少なくてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the first external electrode and the second external electrode may contain silicon, and the second external electrode may have a lower silicon content than the first external electrode.
上記積層セラミック電子部品において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、銅を主成分としてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the first external electrode and the second external electrode may have copper as a main component.
上記積層セラミック電子部品において、前記第1外部電極は、ニッケルを主成分とし、前記第2外部電極は、銅を主成分としてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the first external electrode may have nickel as a main component, and the second external electrode may have copper as a main component.
上記積層セラミック電子部品において、前記第1外部電極および前記第2外部電極は、添加物としてアルミニウム、カルシウム、ストロンチウム、リチウム、ナトリウム、リンの少なくとも一つを含んでいてもよい。 In the multilayer ceramic electronic component, the first external electrode and the second external electrode may contain at least one of aluminum, calcium, strontium, lithium, sodium, and phosphorus as an additive.
本発明に係る回路基板は、上記のいずれかの積層セラミック電子部品を設けた回路基板である。 A circuit board according to the present invention is a circuit board provided with any of the above-mentioned multilayer ceramic electronic components.
本発明によれば、外部電極の融着を抑制することができる積層セラミック電子部品の製造方法、積層セラミック電子部品、および回路基板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, a multilayer ceramic electronic component, and a circuit board that can suppress fusion of external electrodes.
以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings.
図1は、実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100の部分断面斜視図である。図2は、図1のA-A線断面図である。図3は、図1のB-B線断面図である。図1~図3で例示するように、積層セラミックコンデンサ100は、略直方体形状を有する素体10と、素体10のいずれかの対向する2端面に設けられた第1第1外部電極20aおよび第2外部電極20bとを備える。なお、素体10の当該2端面以外の4面のうち、積層方向の上面および下面以外の2面を側面と称する。第1外部電極20aおよび第2外部電極20bは、素体10の積層方向の上面、下面および2側面に延在している。ただし、第1外部電極20aと第2外部電極20bとは、互いに離間している。
FIG. 1 is a partially cross-sectional perspective view of a multilayer
素体10は、誘電体として機能するセラミック材料を含む誘電体層11と、金属を主成分とする内部電極層12とが、交互に積層された構成を有する。言い換えると、素体10は、互いに対向する複数の内部電極層12と、複数の内部電極層12の間に各々挟まれた誘電体層11と、を備えている。各内部電極層12が延伸される方向の端縁は、素体10の第1第1外部電極20aが設けられた端面と、第2外部電極20bが設けられた端面において、交互に露出している。それにより、各内部電極層12は、第1外部電極20aと第2外部電極20bとに、交互に導通している。その結果、積層セラミックコンデンサ100は、複数の誘電体層11が内部電極層12を介して積層された構成を有する。また、誘電体層11と内部電極層12との積層体において、積層方向の最外層には内部電極層12が配置され、当該積層体の上面および下面は、カバー層13によって覆われている。カバー層13は、セラミック材料を主成分とする。例えば、カバー層13は、誘電体層11と組成が同じであっても、異なっていても構わない。
The
積層セラミックコンデンサ100のサイズは、例えば、長さ0.25mm、幅0.125mm、高さ0.125mmであり、または長さ0.4mm、幅0.2mm、高さ0.2mm、または長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.3mmであり、または長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.110mmであり、または長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmであり、または長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.1mmであり、または長さ3.2mm、幅1.6mm、高さ1.6mmであり、または長さ4.5mm、幅3.2mm、高さ2.5mmであるが、これらのサイズに限定されるものではない。
The size of the multilayer
誘電体層11は、例えば、一般式ABO3で表されるペロブスカイト構造を有するセラミック材料を主相とする。なお、当該ペロブスカイト構造は、化学量論組成から外れたABO3-αを含む。例えば、当該セラミック材料として、チタン酸バリウム(BaTiO3),ジルコン酸カルシウム(CaZrO3),チタン酸カルシウム(CaTiO3),チタン酸ストロンチウム(SrTiO3),チタン酸マグネシウム(MgTiO3),ペロブスカイト構造を形成するBa1-x-yCaxSryTi1-zZrzO3(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)等のうち少なくとも1つから選択して用いることができる。Ba1-x-yCaxSryTi1-zZrzO3は、チタン酸バリウムストロンチウム、チタン酸バリウムカルシウム、ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸カルシウムおよびチタン酸ジルコン酸バリウムカルシウムなどである。
The
誘電体層11には、添加物が添加されていてもよい。誘電体層11への添加物として、マグネシウム(Mg)、マンガン(Mn)、モリブデン(Mo)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、希土類元素(イットリウム(Y)、サマリウム(Sm)、ユーロピウム(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)およびイッテルビウム(Yb))の酸化物、または、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、リチウム(Li)、ホウ素(B)、ナトリウム(Na)、カリウム(K)もしくはケイ素(Si)を含む酸化物、または、コバルト、ニッケル、リチウム、ホウ素、ナトリウム、カリウムもしくはケイ素を含むガラスが挙げられる。
An additive may be added to the
内部電極層12は、ニッケル(Ni),銅(Cu),スズ(Sn)等の卑金属を主成分とする。内部電極層12として、白金(Pt),パラジウム(Pd),銀(Ag),金(Au)などの貴金属やこれらを含む合金を用いてもよい。
The
図2で例示するように、第1外部電極20aに接続された内部電極層12と第2外部電極20bに接続された内部電極層12とが対向する領域は、積層セラミックコンデンサ100において静電容量を生じる領域である。そこで、当該静電容量を生じる領域を、容量部14と称する。すなわち、容量部14は、異なる外部電極に接続された隣接する内部電極層12同士が対向する領域である。
As illustrated in FIG. 2, the region where the
第1外部電極20aに接続された内部電極層12同士が、第2外部電極20bに接続された内部電極層12を介さずに対向する領域を、エンドマージン15と称する。また、第2外部電極20bに接続された内部電極層12同士が、第1外部電極20aに接続された内部電極層12を介さずに対向する領域も、エンドマージン15である。すなわち、エンドマージン15は、同じ外部電極に接続された内部電極層12が異なる外部電極に接続された内部電極層12を介さずに対向する領域である。エンドマージン15は、静電容量を生じない領域である。エンドマージン15は、容量部14の誘電体層11と同じ組成であってもよく、異なる組成であってもよい。
A region where the internal electrode layers 12 connected to the first
図3で例示するように、素体10において、素体10の2側面から内部電極層12に至るまでの領域をサイドマージン16と称する。すなわち、サイドマージン16は、上記積層構造において積層された複数の内部電極層12が2側面側に延びた端部を覆うように設けられた領域である。サイドマージン16も、静電容量を生じない領域である。サイドマージン16は、容量部14の誘電体層11と同じ組成であってもよく、異なる組成であってもよい。
As illustrated in FIG. 3, in the
第1外部電極20aと第2外部電極20bとは、互いに異なる組成を有している。それにより、第1外部電極20aを形成する場合の適切な温度と、第2外部電極20bを形成する場合の適切な温度とを異ならせることができる。したがって、一方の外部電極を形成する温度を他方の外部電極を形成する温度よりも低くすることができる。例えば、第2外部電極20bを形成する温度を、第1外部電極20aを形成する温度よりも低くすることができる。この場合、第1外部電極20aを形成した後に、第2外部電極20bを形成することができる。第1外部電極20aを形成する際に第1外部電極20a近傍を治具で保持しなければ、第1外部電極20aと治具との融着を抑制することができる。第2外部電極20bを形成する際に第1外部電極20a近傍を治具で保持していたとしても、第2外部電極20bを形成する場合の温度が低くなることから、治具と第1外部電極20aとの融着を抑制することができる。治具を用いず素体10を整列させないで焼成する場合でも、第1外部電極20aを焼き付けた後で第2外部電極20bを形成する温度が低くなることにより、第1外部電極20aのガラス成分と第2外部電極20bのガラス成分とが反応せず、第1外部電極20aと第2外部電極20bとの融着を抑制することができる。
The first
また、第1外部電極20aの組成と第2外部電極20bの組成とが異なることで、第1外部電極20aに生じる固有振動数と第2外部電極20bに生じる固有振動数とが異なるようになり、積層セラミックコンデンサ100の共振が抑制される。その結果、音鳴きの発生を抑制することができる。
Further, since the composition of the first
例えば、第1外部電極20aおよび第2外部電極20bの主成分金属は同一とし、ガラスなどの添加物の組成を異ならせることができる。例えば、第2外部電極20bが含むホウ素の含有量を、第1外部電極20aが含むホウ素の含有量よりも多くする。それにより、第2外部電極20bを形成する温度を、第1外部電極20aを形成する温度よりも低くすることができる。なお、ホウ素の含有量とは、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合におけるホウ素の酸化物換算のwt%と言い換えることもできる。例えば、第2外部電極20bにおけるホウ素の含有量を、第1外部電極20aにおけるホウ素の含有量よりも2wt%以上多くすることが好ましく、3wt%以上多くすることが好ましく、5wt%以上多くすることがより好ましく、8wt%以上多くすることがさらに好ましい。
For example, the first
または、第2外部電極20bが含むケイ素の含有量を、第1外部電極20aが含むケイ素の含有量よりも多くする。それにより、第2外部電極20bを形成する温度を、第1外部電極20aを形成する温度よりも低くすることができる。なお、ケイ素の含有量とは、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合におけるケイ素の酸化物換算のwt%と言い換えることもできる。例えば、第2外部電極20bにおけるケイ素の含有量を、第1外部電極20aにおけるケイ素の含有量よりも2wt%以上多くすることが好ましく、4wt%以上多くすることがより好ましく、6wt%以上多くすることがさらに好ましい。
Alternatively, the silicon content contained in the second
または、添加物のガラスに含まれる各成分の含有量を調整することで、ガラスが液相化する温度に差を設けることで、第2外部電極20bを形成する温度を、第1外部電極20aを形成する温度よりも低くしてもよい。例えば、アルミニウム、カルシウム、ストロンチウム、リチウム、ナトリウム、およびリンの少なくとも一つの含有量を調整してもよい。この場合の含有量は、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合における酸化物でのwt%と言い換えることもできる。
Alternatively, the temperature at which the second
図4は、積層セラミックコンデンサ100が回路基板201上に実装されている状態を例示する図である。図4で例示するように、積層方向の下面が回路基板201上のランド203と対向するように配置される。回路基板201上のランド203に対して、ハンダ202を介して第1外部電極20aおよび第2外部電極20bがそれぞれ独立して回路基板201に電気的に接続される。
FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which the multilayer
図5(a)および図5(b)で例示するように、第1外部電極20a上にめっき層が設けられていてもよく、第2外部電極20b上にめっき層が設けられていてもよい。めっき処理時には、第1外部電極20aおよび第2外部電極20bは、下地層として機能する。めっき層は、銅、ニッケル、アルミニウム、亜鉛、スズなどの金属またはこれらの2以上の合金を主成分とする。めっき層は、単一金属成分のめっき層でもよく、互いに異なる金属成分の複数のめっき層でもよい。例えば、めっき層は、下地層側から順に、第1めっき層21、第2めっき層22および第3めっき層23が形成された構造を有する。第1めっき層21は、例えば、銅めっき層である。第2めっき層22は、例えば、ニッケルめっき層である。第3めっき層23は、例えば、スズめっき層である。
As illustrated in FIGS. 5(a) and 5(b), a plating layer may be provided on the first
続いて、積層セラミックコンデンサ100の製造方法について説明する。図6は、積層セラミックコンデンサ100の製造方法のフローを例示する図である。
Next, a method for manufacturing the multilayer
(原料粉末作製工程)
まず、誘電体層11を形成するための誘電体材料を用意する。誘電体層11に含まれるAサイト元素およびBサイト元素は、通常はABO3の粒子の焼結体の形で誘電体層11に含まれる。例えば、BaTiO3は、ペロブスカイト構造を有する正方晶化合物であって、高い誘電率を示す。このBaTiO3は、一般的に、二酸化チタンなどのチタン原料と炭酸バリウムなどのバリウム原料とを反応させてチタン酸バリウムを合成することで得ることができる。誘電体層11の主成分セラミックの合成方法としては、従来種々の方法が知られており、例えば固相法、ゾル-ゲル法、水熱法等が知られている。本実施形態においては、これらのいずれも採用することができる。
(Raw material powder production process)
First, a dielectric material for forming the
得られたセラミック粉末に、目的に応じて所定の添加化合物を添加する。添加化合物としては、マグネシウム(Mg)、マンガン(Mn)、モリブデン(Mo)、バナジウム(V)、クロム(Cr)、希土類元素(イットリウム(Y)、サマリウム(Sm)、ユーロピウム(Eu)、ガドリニウム(Gd)、テルビウム(Tb)、ジスプロシウム(Dy)、ホルミウム(Ho)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)およびイッテルビウム(Yb))の酸化物、または、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、リチウム(Li)、ホウ素(B)、ナトリウム(Na)、カリウム(K)もしくはケイ素(Si)を含む酸化物、または、コバルト、ニッケル、リチウム、ホウ素、ナトリウム、カリウムもしくはケイ素を含むガラスが挙げられる。これらのうち、主としてSiO2が焼結助剤として機能する。 A predetermined additive compound is added to the obtained ceramic powder depending on the purpose. Additive compounds include magnesium (Mg), manganese (Mn), molybdenum (Mo), vanadium (V), chromium (Cr), rare earth elements (yttrium (Y), samarium (Sm), europium (Eu), gadolinium ( Cobalt (Co), Nickel (Ni), Lithium (Li), boron (B), sodium (Na), potassium (K), or silicon (Si), or glass containing cobalt, nickel, lithium, boron, sodium, potassium, or silicon. Among these, SiO 2 mainly functions as a sintering aid.
例えば、セラミック原料粉末に添加化合物を含む化合物を湿式混合し、乾燥および粉砕してセラミック材料を調製する。例えば、上記のようにして得られたセラミック材料について、必要に応じて粉砕処理して粒径を調節し、あるいは分級処理と組み合わせることで粒径を整えてもよい。以上の工程により、誘電体材料が得られる。 For example, a ceramic material is prepared by wet-mixing a compound containing an additive compound with a ceramic raw material powder, drying and pulverizing the mixture. For example, the ceramic material obtained as described above may be pulverized to adjust the particle size, if necessary, or may be combined with a classification process to adjust the particle size. Through the above steps, a dielectric material is obtained.
(塗工工程)
次に、得られた誘電体材料に、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂等のバインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤とを加えて湿式混合する。得られたスラリを使用して、例えばダイコータ法やドクターブレード法により、基材51上にセラミックグリーンシート52を塗工して乾燥させる。基材51は、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムである。
(Coating process)
Next, a binder such as polyvinyl butyral (PVB) resin, an organic solvent such as ethanol or toluene, and a plasticizer are added to the obtained dielectric material and wet-mixed. Using the obtained slurry, a ceramic
(内部電極形成工程)
次に、図7(a)で例示するように、セラミックグリーンシート52上に、内部電極パターン53を成膜する。図7(a)では、一例として、セラミックグリーンシート52上に4層の内部電極パターン53が所定の間隔を空けて成膜されている。内部電極パターン53が成膜されたセラミックグリーンシート52を、積層単位とする。内部電極パターン53には、内部電極層12の主成分金属の金属ペーストを用いる。成膜の手法は、印刷、スパッタ、蒸着などであってもよい。
(Internal electrode formation process)
Next, as illustrated in FIG. 7A, an
(圧着工程)
次に、セラミックグリーンシート52を基材51から剥がしつつ、図7(b)で例示するように、積層単位を積層する。次に、積層単位が積層されることで得られた積層体の上下にカバーシート54を所定数(例えば2~10層)だけ積層して熱圧着させ、所定チップ寸法(例えば1.0mm×0.5mm)にカットする。図7(b)の例では、点線に沿ってカットする。カバーシート54は、セラミックグリーンシート52と同じ成分であってもよく、添加物が異なっていてもよい。
(crimping process)
Next, while peeling off the ceramic
(焼成工程)
その後、酸素分圧10-5~10-8atmの還元雰囲気中で1100℃~1300℃で10分~2時間焼成する。このようにして、素体10を得ることができる。
(Firing process)
Thereafter, it is fired at 1100° C. to 1300° C. for 10 minutes to 2 hours in a reducing atmosphere with an oxygen partial pressure of 10 −5 to 10 −8 atm. In this way, the
(再酸化処理工程)
その後、N2ガス雰囲気中において600℃~1000℃で再酸化処理を行ってもよい。
(Re-oxidation treatment process)
Thereafter, reoxidation treatment may be performed at 600° C. to 1000° C. in an N 2 gas atmosphere.
(第1塗布工程)
次に、図8(a)で例示するように、複数の素体10を治具60で保持する。この場合において、素体10の第1端面近傍は保持せず、第2端面側を保持する。この状態で、図8(b)で例示するように、素体10の第1端面側が下になるようにした状態で、素体10の第1端面に、第1外部電極20aとなる第1金属ペースト55aをディップ法などで塗布する。
(1st coating process)
Next, as illustrated in FIG. 8(a), the plurality of
(第1外部電極形成工程)
次に、700℃~900℃程度の温度で第1金属ペースト55aを焼き付けることで、第1外部電極20aを形成する。
(First external electrode formation step)
Next, the first
(第2塗布工程)
次に、図9(a)で例示するように、第1外部電極20aが形成された複数の素体10を治具60で保持する。この場合において、素体10の第2端面近傍は保持せず、第1端面側を保持する。この場合において、治具60は、第1外部電極20aに接触していてもよい。この状態で、図9(b)で例示するように、素体10の第2端面に、第2外部電極20bとなる第2金属ペースト55bをディップ法などで塗布する。
(Second coating process)
Next, as illustrated in FIG. 9A, a
(第2外部電極形成工程)
次に、第1外部電極形成工程の温度よりも低い温度で第2金属ペースト55bを焼き付けることで、第2外部電極20bを形成する。
(Second external electrode formation process)
Next, the second
(めっき処理工程)
その後、めっき処理により、第1外部電極20aおよび第2外部電極20b上に、銅、ニッケル、スズ等の金属コーティングを行ってもよい。
(Plating process)
Thereafter, a metal coating such as copper, nickel, tin, etc. may be applied to the first
本実施形態に係る製造方法によれば、第1金属ペースト55aを焼き付ける際には第1金属ペースト55aと治具60とが接触していないため、第1外部電極20aと治具60との融着は生じない。次に、第2金属ペースト55bを焼き付ける際の温度が第1金属ペースト55aを焼き付ける際の温度よりも低くなっている。この場合において、治具60が第1外部電極20aに接触していても、温度が低いため、第1外部電極20aと治具60との融着を抑制することができる。また、治具60を用いず素体10を整列させないで焼成する場合でも、第1外部電極20aを焼き付けた後で第2外部電極20bを形成する温度が低くなることにより、第1外部電極20aのガラス成分と第2外部電極20bのガラス成分とが反応せず、第1外部電極20aと第2外部電極20bとの融着を抑制することができる。
According to the manufacturing method according to the present embodiment, since the
第2金属ペースト55bを焼き付ける温度を、第1金属ペースト55aを焼き付ける温度よりも低くする観点から、第1金属ペースト55aの組成と第2金属ペースト55bの組成とを異ならせる。
In order to make the temperature at which the
例えば、第1金属ペースト55aおよび第2金属ペースト55bの主成分金属は同一とし、ガラスなどの添加物の組成を異ならせることができる。例えば、第2金属ペースト55bが含むホウ素の含有量を、第1金属ペースト55aが含むホウ素の含有量よりも多くする。それにより、第2金属ペースト55bを焼き付ける温度を、第1金属ペースト55aを焼き付ける温度よりも低くすることができる。なお、ホウ素の含有量とは、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合におけるホウ素の酸化物換算でのwt%と言い換えることもできる。例えば、第2金属ペースト55bにおけるホウ素の含有量を、第1金属ペースト55aにおけるホウ素の含有量よりも2wt%以上多くすることが好ましく、5wt%以上多くすることがより好ましく、8wt%以上多くすることがさらに好ましい。
For example, the
または、第2金属ペースト55bが含むケイ素の含有量を、第1金属ペースト55aが含むケイ素の含有量よりも多くする。それにより、第2金属ペースト55bを焼き付ける温度を、第1金属ペースト55aを焼き付ける温度よりも低くすることができる。なお、ケイ素の含有量とは、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合におけるケイ素の酸化物換算でのwt%と言い換えることもできる。例えば、第2金属ペースト55bにおけるケイ素の含有量を、第1金属ペースト55aにおけるケイ素の含有量よりも2wt%以上多くすることが好ましく、4wt%以上多くすることがより好ましく、6wt%以上多くすることがさらに好ましい。
Alternatively, the silicon content contained in the
または、添加物のガラスに含まれる各成分の含有量を調整することで、ガラスが液相化する温度に差を設けることで、第2金属ペースト55bを焼き付ける温度を、第1金属ペースト55aを焼き付ける温度よりも低くしてもよい。例えば、アルミニウム、カルシウム、ストロンチウム、リチウム、ナトリウム、およびリンの少なくとも一つの含有量を調整してもよい。この場合の含有量は、主成分金属の酸化物換算の重量を100wt%と仮定した場合における酸化物でのwt%と言い換えることもできる。
Alternatively, by adjusting the content of each component contained in the additive glass, by creating a difference in the temperature at which the glass becomes liquid phase, the temperature at which the
第2外部電極形成工程における焼き付け温度を、第1外部電極形成における焼き付け温度よりも、できるだけ低い温度にすることで、治具60と第1外部電極20aとの融着を抑制することができる。例えば、第2外部電極形成工程における焼き付け温度を、第1外部電極形成工程における焼き付け温度よりも、50℃以上低くすることが好ましく、70℃以上低くすることが好ましく、100℃以上低くすることがさらに好ましい。
By setting the baking temperature in the second external electrode forming step to be as low as possible than the baking temperature in forming the first external electrode, it is possible to suppress fusion between the
また、第2外部電極形成工程における焼き付け温度(焼き付け処理の最高温度)は、750℃以上840℃以下の範囲にあることが好ましく、750℃以上800℃以下の範囲にあることが好ましく、750℃以上780℃以下の範囲にあることが好ましい。 Furthermore, the baking temperature (maximum temperature of the baking process) in the second external electrode forming step is preferably in the range of 750°C or more and 840°C or less, preferably in the range of 750°C or more and 800°C or less, and 750°C or more. Preferably, the temperature is in the range of 780°C or less.
次に、積層セラミックコンデンサ100の他の製造方法について説明する。図10は、積層セラミックコンデンサ100の他の製造方法のフローを例示する図である。原料粉末作成工程から圧着工程までは、図6のフロー図と同じである。それにより、セラミック積層体を得る。
Next, another method of manufacturing the multilayer
(第1塗布工程)
次に、図11(a)で例示するように、複数のセラミック積層体70を治具60で保持する。この場合において、セラミック積層体70の第1端面近傍は保持せず、第2端面側を保持する。この状態で、図11(b)で例示するように、セラミック積層体70の第1端面側が下になるようにした状態で、セラミック積層体70の第1端面に、第1外部電極20aとなる第1金属ペースト55aをディップ法などで塗布する。
(1st coating process)
Next, as illustrated in FIG. 11(a), a plurality of
(焼成工程)
その後、酸素分圧10-5~10-8atmの還元雰囲気中で1100℃~1300℃で10分~2時間焼成する。このようにして、第1外部電極20aが形成された素体10を得ることができる。
(Firing process)
Thereafter, it is fired at 1100° C. to 1300° C. for 10 minutes to 2 hours in a reducing atmosphere with an oxygen partial pressure of 10 −5 to 10 −8 atm. In this way, the
(再酸化処理工程)
その後、N2ガス雰囲気中において600℃~1000℃で再酸化処理を行ってもよい。
(Re-oxidation treatment process)
Thereafter, reoxidation treatment may be performed at 600° C. to 1000° C. in an N 2 gas atmosphere.
(第2塗布工程)
次に、図12(a)で例示するように、第1外部電極20aが形成された複数の素体10を治具60で保持する。この場合において、素体10の第2端面近傍は保持せず、第1端面側を保持する。この場合において、治具60は、第1外部電極20aに接触していてもよい。この状態で、図12(b)で例示するように、素体10の第2端面に、第2外部電極20bとなる第2金属ペースト55bをディップ法などで塗布する。
(Second coating process)
Next, as illustrated in FIG. 12A, a
(第2外部電極形成工程)
次に、焼成工程よりも低い温度で第2金属ペースト55bを焼き付けることで、第2外部電極20bを形成する。
(Second external electrode formation process)
Next, the second
(めっき処理工程)
その後、めっき処理により、第1外部電極20aおよび第2外部電極20b上に、銅、ニッケル、スズ等の金属コーティングを行ってもよい。
(Plating process)
Thereafter, a metal coating such as copper, nickel, tin, etc. may be applied to the first
本実施形態に係る製造方法によれば、第1金属ペースト55aを焼成する際には第1金属ペースト55aと治具60とが接触していないため、第1外部電極20aと治具60との融着は生じない。次に、第2金属ペースト55bを焼き付ける際の温度が第1金属ペースト55aを焼成する際の温度よりも低くなっている。この場合において、治具60が第1外部電極20aに接触していても、温度が低いため、第1外部電極20aと治具60との融着を抑制することができる。
According to the manufacturing method according to the present embodiment, since the
第2金属ペースト55bを焼き付ける温度を、第1金属ペースト55aを焼成する温度よりも低くする観点から、第1金属ペースト55aの組成と第2金属ペースト55bの組成とを異ならせる。
The composition of the
例えば、第1金属ペースト55aには、ガラスを添加せずに、セラミック粒子の共材を添加する。第2金属ペースト55bには、共材を添加せずに、ガラスを添加する。それにより、第2金属ペースト55bの焼き付け温度を、第1金属ペースト55aの焼成温度よりも低くすることができる。
For example, a co-material of ceramic particles is added to the
または、第1金属ペースト55aおよび第2金属ペースト55bにおける主成分金属を異ならせてもよい。例えば、第1金属ペースト55aの主成分をニッケルとし、第2金属ペースト55bの主成分を銅とする。それにより、第2金属ペースト55bの焼き付け温度を、第1金属ペースト55aの焼成温度よりも低くすることができる。
Alternatively, the main component metals in the
第2外部電極形成工程における焼き付け温度を、焼成工程における焼成温度よりも、できるだけ低い温度にすることで、治具60と第1外部電極20aとの融着を抑制することができる。例えば、第2外部電極形成工程における焼き付け温度を、焼成工程における焼成温度よりも、50℃以上低くすることが好ましく、70℃以上低くすることが好ましく、100℃以上低くすることがさらに好ましい。
By setting the baking temperature in the second external electrode forming step to be as low as possible than the firing temperature in the firing step, it is possible to suppress fusion between the
また、第2外部電極形成工程における焼き付け温度(焼き付け処理の最高温度)は、750℃以上840℃以下の範囲にあることが好ましく、750℃以上800℃以下の範囲にあることが好ましく、750℃以上780℃以下の範囲にあることが好ましい。 Furthermore, the baking temperature (maximum temperature of the baking process) in the second external electrode forming step is preferably in the range of 750°C or more and 840°C or less, preferably in the range of 750°C or more and 800°C or less, and 750°C or more. Preferably, the temperature is in the range of 780°C or less.
なお、上記各実施形態は、セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサについて説明したが、それに限られない。例えば、上記各実施形態の構成は、バリスタやサーミスタなどの、他の積層セラミック電子部品に適用することもできる。 Note that in each of the above embodiments, a multilayer ceramic capacitor has been described as an example of a ceramic electronic component, but the present invention is not limited thereto. For example, the configurations of the above embodiments can also be applied to other multilayer ceramic electronic components such as varistors and thermistors.
以下、実施形態に係る積層セラミックコンデンサを作製し、特性について調べた。 Hereinafter, a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment was manufactured and its characteristics were investigated.
(実施例1~3および比較例1~3)
複数の誘電体層と複数の内部電極層とが交互に積層された素体を用意した。素体において、複数の内部電極層を、第1端面と第2端面とに交互に露出させてある。
(Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3)
An element body was prepared in which a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers were alternately laminated. In the element body, a plurality of internal electrode layers are alternately exposed on the first end surface and the second end surface.
外部電極形成用の金属ペーストとして、金属ペーストA~Eの5種類を用意した。金属ペーストA~Eのいずれにおいても、銅粉末を金属の主成分としてあり、ガラスが添加してある。金属ペーストA~Eにおいて、ガラス成分の組成を異ならせてある。金属ペーストA~Eに添加したガラス成分のそれぞれの組成を表1に示す。金属ペーストAに添加したガラス成分には、酸化バリウム(BaO)を42wt%、酸化亜鉛(ZnO)を20wt%、酸化ケイ素(SiO2)を6wt%、酸化ホウ素(B2O3)を24wt%、その他の成分を8wt%含ませた。金属ペーストBに添加したガラス成分には、酸化バリウム(BaO)を42wt%、酸化亜鉛(ZnO)を20wt%、酸化ケイ素(SiO2)を8wt%、酸化ホウ素(B2O3)を20wt%、その他の成分を10wt%含ませた。金属ペーストCに添加したガラス成分には、酸化バリウム(BaO)を42wt%、酸化亜鉛(ZnO)を20wt%、酸化ケイ素(SiO2)を8wt%、酸化ホウ素(B2O3)を18wt%、その他の成分を12wt%含ませた。金属ペーストDに添加したガラス成分には、酸化バリウム(BaO)を38wt%、酸化亜鉛(ZnO)を18wt%、酸化ケイ素(SiO2)を12wt%、酸化ホウ素(B2O3)を12wt%、その他の成分を20wt%含ませた。金属ペーストEに添加したガラス成分には、酸化バリウム(BaO)を35wt%、酸化亜鉛(ZnO)を17wt%、酸化ケイ素(SiO2)を16wt%、酸化ホウ素(B2O3)を9wt%、その他の成分を23wt%含ませた。
金属ペーストA~Eのいずれにおいても、銅粉を100wt%とした場合に、ガラス成分の添加量を8wt%とした。金属ペーストAについての推奨焼き付け温度は、750℃である。金属ペーストBについての推奨焼き付け温度は、800℃である。金属ペーストCについての推奨焼き付け温度は、840℃である。金属ペーストDについての推奨焼き付け温度は、870℃である。金属ペーストEについての推奨焼き付け温度は、900℃である。 In any of the metal pastes A to E, the amount of the glass component added was 8 wt % when the copper powder was 100 wt %. The recommended baking temperature for metal paste A is 750°C. The recommended baking temperature for metal paste B is 800°C. The recommended baking temperature for metal paste C is 840°C. The recommended baking temperature for metal paste D is 870°C. The recommended baking temperature for metal paste E is 900°C.
次に、図8(a)で説明したように、治具によって、素体の第1端面近傍は治具で保持せず、第2端面側を保持し、素体の第1端面に第1金属ペーストをディップ法などで塗布し、用いた第1金属ペーストの推奨焼き付け温度で焼き付けた。実施例1では、第1金属ペーストとして、金属ペーストCを用いた。実施例2では、第1金属ペーストとして、金属ペーストDを用いた。実施例3では、第1金属ペーストとして、金属ペーストEを用いた。比較例1では、第1金属ペーストして、金属ペーストBを用いた。比較例2では、第1金属ペーストして、金属ペーストCを用いた。比較例3では、第1金属ペーストとして、金属ペーストEを用いた。 Next, as explained in FIG. 8(a), the jig does not hold the vicinity of the first end face of the element body, but holds the second end face side, and the first end face of the element body is held with the jig. A metal paste was applied by a dipping method or the like, and baked at the recommended baking temperature for the first metal paste used. In Example 1, metal paste C was used as the first metal paste. In Example 2, metal paste D was used as the first metal paste. In Example 3, metal paste E was used as the first metal paste. In Comparative Example 1, metal paste B was used as the first metal paste. In Comparative Example 2, metal paste C was used as the first metal paste. In Comparative Example 3, metal paste E was used as the first metal paste.
次に、図9(a)で説明したように、治具によって、第1外部電極が形成された素体の第2端面近傍は保持せず、第1端面側を保持し、素体の第2端面に第2金属ペーストをディップ法などで塗布し、用いた第2金属ペーストの推奨焼き付け温度で焼き付けた。実施例1では、第2金属ペーストとして、金属ペーストAを用いた。実施例2では、第2金属ペーストとして、金属ペーストBを用いた。実施例3では、第2金属ペーストとして、金属ペーストAを用いた。比較例1では、第2金属ペーストして、金属ペーストBを用いた。比較例2では、第2金属ペーストして、金属ペーストBを用いた。比較例3では、第2金属ペーストとして、金属ペーストDを用いた。 Next, as explained in FIG. 9(a), the jig is used to hold the first end surface side of the element body, without holding the vicinity of the second end face of the element body on which the first external electrode is formed. A second metal paste was applied to the two end faces by a dipping method or the like, and baked at the recommended baking temperature for the second metal paste used. In Example 1, metal paste A was used as the second metal paste. In Example 2, metal paste B was used as the second metal paste. In Example 3, metal paste A was used as the second metal paste. In Comparative Example 1, metal paste B was used as the second metal paste. In Comparative Example 2, metal paste B was used as the second metal paste. In Comparative Example 3, metal paste D was used as the second metal paste.
実施例1では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも90℃低かった。実施例2では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも70℃低かった。実施例3では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも150℃低かった。比較例1では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度と同じであった。比較例2では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも40℃低かった。比較例3では、第2金属ペーストの焼き付け温度は、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも30℃低かった。 In Example 1, the baking temperature of the second metal paste was 90° C. lower than the baking temperature of the first metal paste. In Example 2, the baking temperature of the second metal paste was 70° C. lower than the baking temperature of the first metal paste. In Example 3, the baking temperature of the second metal paste was 150° C. lower than the baking temperature of the first metal paste. In Comparative Example 1, the baking temperature of the second metal paste was the same as that of the first metal paste. In Comparative Example 2, the baking temperature of the second metal paste was 40° C. lower than the baking temperature of the first metal paste. In Comparative Example 3, the baking temperature of the second metal paste was 30° C. lower than the baking temperature of the first metal paste.
実施例1~3および比較例1~3のそれぞれについて、1000個のサンプルについて、第1外部電極と治具との間に融着が発生しているサンプルの比率(融着率)を調べた。結果を表2に示す。表2に示すように、実施例1~3のいずれにおいても、融着率が0%であった。これは、第1金属ペーストの焼き付け温度よりも第2金属ペーストの焼き付け温度を低くしたからであると考えられる。一方、比較例1では、融着率が100%となった。これは、第1金属ペーストの焼き付け温度と第2金属ペーストの焼き付け温度とが同じであって、第2金属ペーストの焼き付け温度が高くなったからであると考えられる。実施例1~3および比較例1~3の結果から、温度差が50℃以上あれば融着率は0%となると考えられる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to these specific embodiments, and various modifications and variations can be made within the scope of the gist of the present invention as described in the claims. Changes are possible.
10 素体
11 誘電体層
12 内部電極層
13 カバー層
14 容量部
15 エンドマージン
16 サイドマージン
20a 第1外部電極
20b 第2外部電極
51 基材
60 治具
70 セラミック積層体
52 セラミックグリーンシート
53 内部電極パターン
100 積層セラミックコンデンサ
10
Claims (17)
前記第1端面に第1外部電極を焼き付けて形成する第1外部電極形成工程と、
前記第2端面に、前記第1外部電極と組成が異なる第2外部電極を、前記第1外部電極形成工程より50℃以上低い温度で焼き付けて形成する第2外部電極形成工程と、を含む積層セラミック電子部品の製造方法。 A first electrode comprising a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers stacked via the plurality of dielectric layers, the ends of some of the internal electrode layers being exposed among the plurality of internal electrode layers. preparing an element body having one end surface and a second end surface facing the first end surface and exposing the ends of some of the other internal electrode layers among the plurality of internal electrode layers;
a first external electrode forming step of baking and forming a first external electrode on the first end surface;
a second external electrode forming step of forming a second external electrode having a different composition from the first external electrode on the second end surface at a temperature lower than the first external electrode forming step by 50° C. or more; Method of manufacturing ceramic electronic components.
前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりケイ素の含有量が少ない、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。 the first external electrode and the second external electrode contain silicon,
The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 4, wherein the second external electrode has a lower silicon content than the first external electrode.
前記第2外部電極は、銅を主成分とする、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。 The first external electrode mainly contains nickel,
The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 5, wherein the second external electrode contains copper as a main component.
前記第1端面に、金属ペーストを塗布する工程と、
前記セラミック積層体と前記金属ペーストとを同時に焼成し、前記セラミック積層体から素体を得る焼成工程と、
前記素体の前記第2端面に、金属ペーストを塗布し、前記焼成工程よりも50℃以上低い温度で焼き付ける焼き付け工程と、を含む、積層セラミック電子部品の製造方法。 A first electrode comprising a plurality of ceramic green sheets and a plurality of internal electrode patterns laminated via the plurality of ceramic green sheets, the ends of some of the internal electrode patterns being exposed among the plurality of internal electrode patterns. preparing a ceramic laminate having one end surface and a second end surface facing the first end surface and exposing the ends of some of the other internal electrode patterns among the plurality of internal electrode patterns;
applying a metal paste to the first end surface;
a firing step of simultaneously firing the ceramic laminate and the metal paste to obtain an element body from the ceramic laminate;
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising a baking step of applying a metal paste to the second end surface of the element body and baking at a temperature 50° C. or more lower than that of the baking step.
前記第1端面に設けられた第1外部電極と、
前記第2端面に設けられ、前記第1外部電極とは組成が異なる第2外部電極と、を備える、積層セラミック電子部品。 A first electrode comprising a plurality of dielectric layers and a plurality of internal electrode layers stacked via the plurality of dielectric layers, the ends of some of the internal electrode layers being exposed among the plurality of internal electrode layers. an element body having one end face and a second end face where ends of other part of the internal electrode layers among the plurality of internal electrode layers are exposed;
a first external electrode provided on the first end surface;
A multilayer ceramic electronic component comprising: a second external electrode provided on the second end surface and having a composition different from that of the first external electrode.
前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりホウ素の含有量が多い、請求項10に記載の積層セラミック電子部品。 The first external electrode and the second external electrode contain boron,
The multilayer ceramic electronic component according to claim 10, wherein the second external electrode has a higher boron content than the first external electrode.
前記第2外部電極は、前記第1外部電極よりケイ素の含有量が少ない、請求項10から請求項12のいずれか一項に記載の積層セラミック電子部品。 the first external electrode and the second external electrode contain silicon,
The multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 10 to 12, wherein the second external electrode has a lower silicon content than the first external electrode.
前記第2外部電極は、銅を主成分とする、請求項10から請求項13のいずれか一項に記載の積層セラミック電子部品。 The first external electrode mainly contains nickel,
The multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 10 to 13, wherein the second external electrode contains copper as a main component.
A circuit board provided with the multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 10 to 16.
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