JP2023106779A

JP2023106779A - Vacuum pump

Info

Publication number: JP2023106779A
Application number: JP2022007709A
Authority: JP
Inventors: 雅嗣眞鍋; Masatsugu Manabe
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2022-01-21
Filing date: 2022-01-21
Publication date: 2023-08-02

Abstract

To correct deviation of a gravity center position of a rotor from a rotation center.SOLUTION: A vacuum pump 1 includes a housing 2 and a rotor 4. The rotor 4 is arranged on an inner peripheral side of the housing 2 and is rotary driven and has a first cylindrical part 22, a wall part 23, and an opening 25. The first cylindrical part 22 extends in the direction of a rotation axis A1 of the rotor 4. The wall part 23 closes an end on an intake port 13 side of the first cylindrical part 22. The opening 25 is formed in the wall part 23 and communicates the intake port 13 side of the wall part 23 and an inner peripheral side of the first cylindrical part 22 with each other. A virtual gravity center position of the rotor when assuming that no opening 25 is formed is at a position deviated from the rotation center of the rotor 4. The opening 25 is formed so that the gravity center position of the rotor 4 moves from the virtual gravity center position in the direction of the rotation center.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、真空ポンプに関する。 The present invention relates to vacuum pumps.

真空ポンプには、回転駆動されるロータと、ロータと協働して気体を排気するステータと、備えるものがある。この真空ポンプには、ロータの外周面とステータの内面との間の空間に導かれた気体を排気可能であるとともに、ロータの内周側の空間にも気体を導いて排気するものがある（例えば、特許文献１、特許文献２を参照）。この真空ポンプは、ロータの外周側と内周側とで気体を排気できるので、大流量の気体を排気できる。 Some vacuum pumps include a rotor that is rotationally driven and a stator that cooperates with the rotor to exhaust gas. Some of these vacuum pumps are capable of discharging the gas introduced into the space between the outer peripheral surface of the rotor and the inner surface of the stator, and also introduce and exhaust the gas into the space on the inner peripheral side of the rotor ( For example, see Patent Document 1 and Patent Document 2). Since this vacuum pump can evacuate gas from the outer and inner peripheral sides of the rotor, it can evacuate a large amount of gas.

特許第５７３８８６９号Patent No. 5738869 特許第５７６３６６０号Patent No. 5763660

上記の真空ポンプにおいては、ロータの端部のうち、真空ポンプの吸気口に近い側の端部を閉じる壁部に複数対の開口が設けられる。真空ポンプの吸気口から吸気された気体は、この開口を通ってロータの内周側の空間に導かれる。 In the vacuum pump described above, a plurality of pairs of openings are provided in the wall that closes the end of the rotor that is closer to the suction port of the vacuum pump. The gas sucked from the suction port of the vacuum pump is led to the space on the inner peripheral side of the rotor through this opening.

ロータの外周側と内周側とで気体を排気可能な従来の真空ポンプでは、開口を設けることでロータの重心がずれないよう、一対の開口が、ロータの回転中心を対称点とする点対称となるよう配置されていた。しかしながら、ロータの形状、ロータに設けられる部材等により、開口を設ける前のロータの重心が、ロータの回転中心からずれた位置に存在することがある。この場合に、一対の開口をロータの回転中心を対称点とする点対称となるよう配置すると、開口を設けた後のロータの重心が回転中心からずれたままとなるので、真空ポンプの運転中に振動及び／又は騒音が発生する。 In a conventional vacuum pump that can exhaust gas from the outer and inner circumferences of the rotor, the pair of openings are symmetrical about the center of rotation of the rotor so that the center of gravity of the rotor does not deviate due to the openings. It was arranged to be However, depending on the shape of the rotor, the members provided on the rotor, etc., the center of gravity of the rotor before the opening may be located at a position deviated from the center of rotation of the rotor. In this case, if the pair of openings are arranged symmetrically with respect to the center of rotation of the rotor, the center of gravity of the rotor after providing the openings remains deviated from the center of rotation. vibration and/or noise.

本発明の一態様に係る真空ポンプは、排気対象気体を吸気口から吸引して外部に排出する。真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、を備える。ロータは、ハウジングの内周側に配置されて回転駆動され、第１円筒部と、壁部と、開口部と、を有する。第１円筒部は、ロータの回転軸方向に延びる。壁部は、第１円筒部の吸気口側の端部を閉じる。開口部は、壁部に形成され、壁部の吸気口側と第１円筒部の内周側とを連通させる。開口部が形成されていないと仮定した場合のロータの仮想重心位置は、ロータの回転中心からずれた位置にある。開口部は、ロータの重心位置が仮想重心位置から回転中心の方向に移動するように形成される。 A vacuum pump according to an aspect of the present invention sucks a gas to be discharged from an intake port and discharges it to the outside. A vacuum pump includes a housing and a rotor. The rotor is arranged on the inner peripheral side of the housing and driven to rotate, and has a first cylindrical portion, a wall portion, and an opening. The first cylindrical portion extends in the rotation axis direction of the rotor. The wall closes the inlet-side end of the first cylinder. The opening is formed in the wall and communicates between the inlet side of the wall and the inner peripheral side of the first cylindrical portion. The hypothetical center of gravity of the rotor, assuming that no opening is formed, is at a position deviated from the center of rotation of the rotor. The opening is formed such that the center of gravity of the rotor moves from the virtual center of gravity toward the center of rotation.

上述した本発明の一態様に係る真空ポンプでは、開口部が、ロータの仮想重心位置をロータの回転中心の方向に移動するように形成されている。これにより、開口部が形成されていないときのロータの重心位置（仮想重心位置）がロータの回転中心からずれた位置に存在していても、開口部を形成することにより、ロータの重心位置がロータの回転中心に存在するようになる。この結果、ロータの重心がロータの回転中心からずれることにより発生する振動及び／又は騒音を低減できる。 In the vacuum pump according to the aspect of the present invention described above, the opening is formed so as to move the virtual center of gravity of the rotor in the direction of the rotation center of the rotor. As a result, even if the center of gravity (virtual center of gravity) of the rotor is at a position deviated from the rotation center of the rotor when the opening is not formed, the center of gravity of the rotor can be shifted by forming the opening. It comes to exist at the center of rotation of the rotor. As a result, it is possible to reduce vibration and/or noise caused by the deviation of the center of gravity of the rotor from the center of rotation of the rotor.

実施形態に係る真空ポンプの断面図である。It is a sectional view of a vacuum pump concerning an embodiment. 従来の開口部の形成例である。It is an example of forming a conventional opening. 円形を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by making the size of a pair of circular openings different. 四角形を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by making the size of a pair of square openings different. 長穴形状を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example in which the center of gravity of the rotor is moved to the center of rotation by making the sizes of a pair of elongated openings different. 一方の開口と回転中心との間の距離と他方の開口と回転中心との間の距離とを異ならせることでロータの重心を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by making the distance between one opening and the center of rotation different from the distance between the other opening and the center of rotation;

以下、図面を参照して一実施形態に係る真空ポンプについて説明する。図１は、実施形態に係る真空ポンプの断面図である。図１に示すように、真空ポンプ１は、ハウジング２と、ベース３と、ロータ４と、ステータと、を含む。 A vacuum pump according to one embodiment will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a vacuum pump according to an embodiment. As shown in FIG. 1, the vacuum pump 1 includes a housing 2, a base 3, a rotor 4 and a stator.

ハウジング２は、第１端部１１と、第２端部１２と、第１内部空間Ｓ１と、を含む。第１端部１１には吸気口１３が設けられている。第１端部１１は、排気対象装置（図示せず）に取り付けられる。排気対象装置は、例えば、半導体製造装置のプロセスチャンバである。第１内部空間Ｓ１は、吸気口１３に連通している。第２端部１２は、ロータ４の回転軸Ａ１の方向において、第１端部１１の反対に位置している。第２端部１２は、ベース３に接続される。ベース３は、ベース端部１４を含む。ベース端部１４は、ハウジング２の第２端部１２に接続される。 The housing 2 includes a first end 11, a second end 12 and a first interior space S1. An air inlet 13 is provided at the first end 11 . The first end 11 is attached to an evacuation target device (not shown). The evacuation target apparatus is, for example, a process chamber of a semiconductor manufacturing apparatus. The first internal space S1 communicates with the intake port 13 . The second end 12 is located opposite the first end 11 in the direction of the rotation axis A1 of the rotor 4 . A second end 12 is connected to the base 3 . Base 3 includes a base end 14 . Base end 14 is connected to second end 12 of housing 2 .

ロータ４は、シャフト２１を含む。シャフト２１は、回転軸Ａ１の延長方向に延びている。シャフト２１は、ベース３に回転可能に収納されている。ロータ４は、第１円筒部２２と、壁部２３と、第２円筒部２４と、を含む。 Rotor 4 includes shaft 21 . The shaft 21 extends in the extension direction of the rotation axis A1. The shaft 21 is rotatably housed in the base 3 . Rotor 4 includes a first cylindrical portion 22 , a wall portion 23 and a second cylindrical portion 24 .

第１円筒部２２は、回転軸Ａ１の延長方向に延びる。第１円筒部２２の端部のうち、吸気口１３に近い側の端部は、壁部２３により閉じられている。この壁部２３には、開口部２５が設けられる。開口部２５は、壁部２３の吸気口１３側と第１円筒部２２の内周側とを連通させるように形成される。すなわち、開口部２５は、第１円筒部２２の外側の第２内部空間Ｓ２と、第１円筒部２２の内周側の第３内部空間Ｓ３とを連通させる。開口部２５は、任意の形状とできる。開口部２５は、例えば、円形、四角形、及び／又は長穴形状とできる。 The first cylindrical portion 22 extends in the extension direction of the rotation axis A1. Of the ends of the first cylindrical portion 22 , the end closer to the intake port 13 is closed by the wall portion 23 . An opening 25 is provided in the wall 23 . The opening 25 is formed so as to allow the air inlet 13 side of the wall portion 23 and the inner peripheral side of the first cylindrical portion 22 to communicate with each other. That is, the opening 25 allows the second internal space S2 outside the first cylindrical portion 22 and the third internal space S3 inside the first cylindrical portion 22 to communicate with each other. The opening 25 can be of any shape. Openings 25 can be, for example, circular, square, and/or slot-shaped.

第１円筒部２２の内周側には、第１ポンプ部材２６が設けられている。第１ポンプ部材２６（第１ステータ円筒部）は、円筒状に形成されており、第１円筒部２２の内周面とわずかな隙間を空けて対向するようベース３に固定されている。第１円筒部２２の内周面と対向する第１ポンプ部材２６の外周面には、らせん状溝２６ａが設けられている。 A first pump member 26 is provided on the inner peripheral side of the first cylindrical portion 22 . The first pump member 26 (first stator cylindrical portion) is formed in a cylindrical shape and is fixed to the base 3 so as to face the inner peripheral surface of the first cylindrical portion 22 with a small gap therebetween. A spiral groove 26 a is provided on the outer peripheral surface of the first pump member 26 facing the inner peripheral surface of the first cylindrical portion 22 .

第２円筒部２４は、第１円筒部２２の直径よりも小さい直径を有する。第２円筒部２４は、吸気口１３とは反対側において、壁部２３と連結される。第２円筒部２４には、複数段のロータ翼２７が設けられる。複数段のロータ翼２７は、それぞれ、第２円筒部２４の外周に接続されている。複数のロータ翼２７は、回転軸Ａ１の延長方向に互いに間隔をおいて配置されている。図示を省略するが、複数段のロータ翼２７は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼２７の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼２７の符号は省略されている。 The second cylindrical portion 24 has a smaller diameter than the diameter of the first cylindrical portion 22 . The second cylindrical portion 24 is connected to the wall portion 23 on the side opposite to the intake port 13 . A plurality of stages of rotor blades 27 are provided in the second cylindrical portion 24 . The multiple stages of rotor blades 27 are connected to the outer circumference of the second cylindrical portion 24 respectively. The plurality of rotor blades 27 are arranged at intervals in the extending direction of the rotation axis A1. Although not shown, the multiple stages of rotor blades 27 extend radially around the shaft 21 . In the drawing, only one of the multiple stages of rotor blades 27 is given a reference numeral, and the reference numerals of the other rotor blades 27 are omitted.

なお、開口部２５は、壁部２３に最も近い最下段のロータ翼２７間に配置されることが好ましい。すなわち、開口部２５は、最下段のロータ翼２７を吸気口１３側から見たときに開口部２５を視認できるように配置することが好ましい。これにより、最下段のロータ翼２７が開口部２５への排気対象気体の流入を妨げなくなるので、排気対象気体を効率よく開口部２５に流入させることができる。 It should be noted that the opening 25 is preferably arranged between the lowermost rotor blades 27 closest to the wall 23 . That is, the opening 25 is preferably arranged so that the opening 25 can be visually recognized when the lowermost rotor blade 27 is viewed from the intake port 13 side. As a result, the lowermost rotor blades 27 do not hinder the flow of the gas to be exhausted into the openings 25 , so that the gas to be exhausted can efficiently flow into the openings 25 .

ステータは、複数段のステータ翼３１と、スペーサ５と、上記第１ポンプ部材２６と、第２ポンプ部材３２と、を含む。複数段のステータ翼３１は、上下のスペーサ５によって挟持されてハウジング２の内面に配置されている。複数段のステータ翼３１は、回転軸Ａ１の延長方向において、互いに間隔をおいて配置されている。複数段のステータ翼３１は、それぞれ複数段のロータ翼２７の間に配置されている。図示を省略するが、複数段のステータ翼３１は、それぞれ、シャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のステータ翼３１の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼３１の符号は省略されている。第２ポンプ部材３２（第２ステータ円筒部）は、円筒状に形成されており、第１円筒部２２の外周面とわずかな隙間を空けて対向するよう、ベース３に固定されている。第１円筒部２２の外周面と対向する第２ポンプ部材３２の内周面には、らせん状溝３２ａが設けられている。 The stator includes multiple stages of stator blades 31 , spacers 5 , the first pump member 26 and the second pump member 32 . A plurality of stages of stator blades 31 are sandwiched between upper and lower spacers 5 and arranged on the inner surface of the housing 2 . The multiple stages of stator blades 31 are arranged at intervals in the extending direction of the rotation axis A1. The multiple stages of stator blades 31 are arranged between the multiple stages of rotor blades 27 . Although not shown, each of the multiple stages of stator blades 31 extends radially around the shaft 21 . In the drawing, only one of the multiple stages of stator blades 31 is given a reference numeral, and the reference numerals of the other stator blades 31 are omitted. The second pump member 32 (second stator cylindrical portion) is formed in a cylindrical shape and is fixed to the base 3 so as to face the outer peripheral surface of the first cylindrical portion 22 with a small gap therebetween. A spiral groove 32 a is provided in the inner peripheral surface of the second pump member 32 facing the outer peripheral surface of the first cylindrical portion 22 .

図１に示すように、第１円筒部２２、第１ポンプ部材２６、及び第２ポンプ部材３２の排気下流側の端部のさらに下流側には、第４内部空間Ｓ４が形成されている。第４内部空間Ｓ４は、排気口１５に連通している。排気口１５は、ベース３に設けられる。排気口１５には、他の真空ポンプ（図示せず）が接続される。なお、排気下流側とは、回転軸Ａ１の延長方向において、第４内部空間Ｓ４により近い側をいう。また、排気下流方向とは、第４内部空間Ｓ４に向かう方向をいう。 As shown in FIG. 1, a fourth internal space S4 is formed further downstream of the ends of the first cylindrical portion 22, the first pump member 26, and the second pump member 32 on the exhaust downstream side. The fourth internal space S4 communicates with the exhaust port 15 . The exhaust port 15 is provided in the base 3 . Another vacuum pump (not shown) is connected to the exhaust port 15 . Note that the exhaust downstream side refers to the side closer to the fourth internal space S4 in the extension direction of the rotation axis A1. Further, the exhaust downstream direction refers to the direction toward the fourth internal space S4.

真空ポンプ１は、複数の軸受４１Ａ～４１Ｅと、モータ４２と、を含む。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ベース３のシャフト２１を収納した位置に取り付けられている。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ロータ４を回転可能に支持する。軸受４１Ａ、４１Ｅは、例えば、ボールベアリングである。一方、他の軸受４１Ｂ～４１Ｄは、例えば、磁気軸受である。ただし、複数の軸受４１Ｂ～４１Ｄは、ボールベアリングなどの他の種類の軸受であってもよい。また、真空ポンプ１は、変位センサ４３Ａ、４３Ｂを含む。変位センサ４３Ａ、４３Ｂは、シャフト２１の半径方向の変位を測定する。 The vacuum pump 1 includes a plurality of bearings 41A-41E and a motor . A plurality of bearings 41A to 41E are attached to a position where the shaft 21 of the base 3 is accommodated. A plurality of bearings 41A-41E rotatably support the rotor 4. As shown in FIG. The bearings 41A, 41E are, for example, ball bearings. On the other hand, the other bearings 41B-41D are, for example, magnetic bearings. However, the plurality of bearings 41B-41D may be other types of bearings such as ball bearings. The vacuum pump 1 also includes displacement sensors 43A and 43B. Displacement sensors 43A and 43B measure radial displacement of shaft 21 .

モータ４２は、ロータ４を回転駆動する。モータ４２は、モータロータ４２Ａとモータステータ４２Ｂとを含む。モータロータ４２Ａは、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、ベース３に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、モータロータ４２Ａと向かい合って配置されている。 The motor 42 rotationally drives the rotor 4 . Motor 42 includes a motor rotor 42A and a motor stator 42B. Motor rotor 42A is attached to shaft 21 . A motor stator 42B is attached to the base 3 . The motor stator 42B is arranged to face the motor rotor 42A.

真空ポンプ１では、第２円筒部２４に設けられた複数段のロータ翼２７と複数段のステータ翼３１とは、ターボ分子ポンプ部を構成する。また、第１円筒部２２の内周面と第１ポンプ部材２６、及び、第１円筒部２２の外周面と第２ポンプ部材３２は、ネジ溝ポンプ部を構成する。真空ポンプ１では、モータ４２によってロータ４が回転駆動されることで、吸気口１３から第１内部空間Ｓ１へ排気対象気体が流入する。第１内部空間Ｓ１の排気対象気体は、ターボ分子ポンプ部により第２内部空間Ｓ２へと導かれる。第２内部空間Ｓ２に導かれた排気対象気体は、第１円筒部２２の外周面と第２ポンプ部材３２により構成されるネジ溝ポンプ部により、第４内部空間Ｓ４へと導かれる。 In the vacuum pump 1, the plurality of stages of rotor blades 27 and the plurality of stages of stator blades 31 provided in the second cylindrical portion 24 constitute a turbomolecular pump section. The inner peripheral surface of the first cylindrical portion 22 and the first pump member 26, and the outer peripheral surface of the first cylindrical portion 22 and the second pump member 32 constitute a thread groove pump portion. In the vacuum pump 1, the rotor 4 is rotationally driven by the motor 42, so that the gas to be exhausted flows from the intake port 13 into the first internal space S1. The exhaust target gas in the first internal space S1 is guided to the second internal space S2 by the turbomolecular pump section. The exhaust target gas guided to the second internal space S2 is guided to the fourth internal space S4 by the thread groove pump portion constituted by the outer peripheral surface of the first cylindrical portion 22 and the second pump member 32 .

これに加えて、第２内部空間Ｓ２に導かれた排気対象気体は、開口部２５を通過して第１円筒部２２の内周側の第３内部空間Ｓ３に導かれる。第３内部空間Ｓ３に導かれた排気対象気体は、第１円筒部２２の内周面と第１ポンプ部材２６により構成されるネジ溝ポンプ部により、第４内部空間Ｓ４へと導かれる。すなわち、第２内部空間Ｓ２に導かれた排気対象気体は、第１円筒部２２の外周面と第２ポンプ部材３２により構成されるネジ溝ポンプ部と、第１円筒部２２の内周面と第１ポンプ部材２６により構成されるネジ溝ポンプ部とにより、第４内部空間Ｓ４へと導かれる。第４内部空間Ｓ４の排気対象気体は、排気口１５から排気される。この結果、吸気口１３に取り付けられた排気対象装置の内部が、高真空状態となる。 In addition, the exhaust target gas led to the second internal space S2 passes through the opening 25 and is led to the third internal space S3 on the inner peripheral side of the first cylindrical portion 22 . The exhaust target gas guided to the third internal space S3 is guided to the fourth internal space S4 by the thread groove pump portion constituted by the inner peripheral surface of the first cylindrical portion 22 and the first pump member 26 . That is, the exhaust target gas guided to the second internal space S2 passes through the thread groove pump portion configured by the outer peripheral surface of the first cylindrical portion 22 and the second pump member 32, and the inner peripheral surface of the first cylindrical portion 22. It is guided to the fourth internal space S4 by the thread groove pump portion configured by the first pump member 26 . The exhaust target gas in the fourth internal space S4 is exhausted from the exhaust port 15 . As a result, the inside of the evacuation target device attached to the intake port 13 is brought into a high vacuum state.

上記のとおり、真空ポンプ１において、ターボ分子ポンプ部により吸気口１３から第２内部空間Ｓ２へと導かれた排気対象気体は、２つのネジ溝ポンプ部により第４内部空間Ｓ４へと導かれ、排気口１５から外部に排気される。このように、２つのネジ溝ポンプ部により排気対象気体を排気できるので、真空ポンプ１は、大流量の排気対象気体を排気できる。 As described above, in the vacuum pump 1, the exhaust target gas guided from the intake port 13 to the second internal space S2 by the turbomolecular pump section is guided to the fourth internal space S4 by the two screw groove pump sections, It is exhausted to the outside from the exhaust port 15 . In this manner, the two thread groove pump portions can exhaust the target gas, so that the vacuum pump 1 can exhaust a large flow rate of the target gas.

上記の構成を有する真空ポンプ１においては、第１円筒部２２の内周側に排気対象気体を導くために、ロータ４の壁部２３には開口部２５が設けられる。従来の真空ポンプでは、図２に示すように、開口部２５を一対の開口２５ａ’、２５ｂ’として構成し、複数の開口部２５（すなわち、複数対の開口２５ａ’、２５ｂ’）が、第１円筒部２２の円周方向に沿って等間隔に配置されていた。図２に示すように、一対の開口２５ａ’、２５ｂ’は、ロータ４の回転中心（回転軸Ａ１）を対称点とした点対称にて配置されており、同一形状かつ同一の大きさを有する。このように、同一形状かつ同一の大きさの一対の開口を、ロータ４の回転中心を対称点とする点対称に配置すると、ロータの重心位置は、開口部２５の形成前後で変わらない。図２は、従来の開口部の形成例である。 In the vacuum pump 1 having the above configuration, an opening 25 is provided in the wall portion 23 of the rotor 4 in order to guide the gas to be exhausted to the inner peripheral side of the first cylindrical portion 22 . In a conventional vacuum pump, as shown in FIG. 2, the opening 25 is configured as a pair of openings 25a', 25b', and the plurality of openings 25 (ie, the plurality of pairs of openings 25a', 25b') They were arranged at regular intervals along the circumferential direction of the cylindrical portion 22 . As shown in FIG. 2, the pair of openings 25a' and 25b' are arranged point-symmetrically with respect to the rotation center (rotational axis A1) of the rotor 4, and have the same shape and size. . In this manner, when a pair of openings having the same shape and size are arranged symmetrically with respect to the rotation center of the rotor 4, the position of the center of gravity of the rotor does not change before and after the opening 25 is formed. FIG. 2 shows an example of forming a conventional opening.

その一方で、ロータ４の形状、ロータ４に設けられる部材等により、開口部２５が形成されていないと仮定した場合のロータ４の重心位置（以後、仮想重心位置と呼ぶ）が、ロータ４の回転中心からずれた位置に存在することがある。例えば、ターボ分子ポンプ部において十分な排気性能を発揮するために、ロータ翼２７は、必ずしも点対称の形状となるとは限らない。また、複数のロータ翼２７を、必ずしもロータ４の回転中心に対して点対称に配置できるとは限らない。このように、例えば、ロータ翼２７の形状や配置を点対称とできない場合などには、仮想重心位置は、通常、ロータ４の回転中心からわずかにロータ４の径方向へずれた位置に存在する。仮想重心位置がロータ４の回転中心からずれた位置にあると、真空ポンプ１は、運転中に振動及び／又は騒音を発生する。 On the other hand, due to the shape of the rotor 4, the members provided in the rotor 4, etc., the position of the center of gravity of the rotor 4 when it is assumed that the opening 25 is not formed (hereinafter referred to as the virtual center of gravity position) It may exist at a position deviated from the rotation center. For example, in order to exhibit sufficient exhaust performance in the turbomolecular pump section, the rotor blades 27 do not necessarily have a point-symmetrical shape. Moreover, it is not always possible to arrange the plurality of rotor blades 27 point-symmetrically with respect to the rotation center of the rotor 4 . As described above, for example, when the shape and arrangement of the rotor blades 27 cannot be made point-symmetrical, the virtual center of gravity position is normally located at a position slightly displaced from the rotation center of the rotor 4 in the radial direction of the rotor 4. . If the virtual center of gravity position is shifted from the rotation center of the rotor 4, the vacuum pump 1 generates vibration and/or noise during operation.

そこで、本実施形態に係る真空ポンプ１では、仮想重心位置がロータ４の回転中心からずれた位置にある場合に、ロータ４の重心位置が仮想重心位置からロータ４の回転中心の方向に移動するよう、開口部２５が形成される。以下、ロータ４の重心位置をロータ４の回転中心に移動させる具体的な方法を説明する。以下では、ロータ４の回転中心を通る直線Ｌ（図３～図５）上において、ロータ４の回転中心を挟むように配置された一対の開口２５ａ、２５ｂにより開口部２５が構成される場合を例にとってロータの重心位置を移動させる方法を説明する。 Therefore, in the vacuum pump 1 according to the present embodiment, when the virtual center of gravity position is deviated from the rotation center of the rotor 4, the position of the center of gravity of the rotor 4 moves from the virtual center of gravity position toward the rotation center of the rotor 4. Thus, an opening 25 is formed. A specific method for moving the position of the center of gravity of the rotor 4 to the center of rotation of the rotor 4 will be described below. In the following description, it is assumed that the opening 25 is formed by a pair of openings 25a and 25b arranged to sandwich the rotation center of the rotor 4 on a straight line L (FIGS. 3 to 5) passing through the rotation center of the rotor 4. A method of moving the position of the center of gravity of the rotor will be described as an example.

ロータ４の重心位置は、いずれかの開口部２５に含まれる一対の開口２５ａ、２５ｂの大きさを互いに異ならせることで移動させることができる。例えば、図３～図５に示すように、一対の開口２５ａ、２５ｂのうち、仮想重心位置に近い位置にある開口２５ａ、２５ｂの大きさを、仮想重心位置から遠い位置にある開口２５ａ、２５ｂの大きさよりも大きくすることで、ロータ４の重心位置をロータ４の回転中心の方向に移動させることができる。図３は、円形を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。図４は、四角形を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。図５は、長穴形状を有する一対の開口の大きさを異ならせることでロータの重心位置を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。 The position of the center of gravity of the rotor 4 can be moved by making the sizes of the pair of openings 25a and 25b included in one of the openings 25 different from each other. For example, as shown in FIGS. 3 to 5, of the pair of openings 25a and 25b, the sizes of the openings 25a and 25b that are closer to the virtual center of gravity are the same as those of the openings 25a and 25b that are farther from the virtual center of gravity. , the position of the center of gravity of the rotor 4 can be moved in the direction of the center of rotation of the rotor 4 . FIG. 3 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by making the size of a pair of circular openings different. FIG. 4 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by making the size of a pair of rectangular openings different. FIG. 5 is a diagram showing an example of moving the center of gravity of the rotor to the center of rotation by varying the size of a pair of elongated openings.

仮想重心位置に近い側の開口を大きくすることで、仮想重心位置に近い側のロータ４の重量減少が、仮想重心位置から遠い側のロータ４の重量減少よりも大きくなる。この結果、ロータ４の重心位置を仮想重心位置からロータ４の回転中心の方向に移動できる。 By enlarging the opening on the side closer to the virtual center of gravity, the weight reduction of the rotor 4 closer to the virtual center of gravity becomes greater than the weight reduction of the rotor 4 farther from the virtual center of gravity. As a result, the center-of-gravity position of the rotor 4 can be moved from the virtual center-of-gravity position toward the center of rotation of the rotor 4 .

一対の開口２５ａ、２５ｂを円形とした場合には、例えば、図３に示すように、一対の開口２５ａ、２５ｂのうち仮想重心位置に近い方の開口（図３では、開口２５ａ）の半径Ｒ１を、仮想重心位置から遠い方の開口（図３では、開口２５ｂ）の半径Ｒ２よりも大きくする。 When the pair of openings 25a and 25b are circular, for example, as shown in FIG. 3, the radius R1 is larger than the radius R2 of the opening farther from the virtual center of gravity (opening 25b in FIG. 3).

一対の開口２５ａ、２５ｂを四角形とした場合には、例えば、図４に示すように、一対の開口２５ａ、２５ｂのうち仮想重心位置に近い方の開口（図４では、開口２５ａ）の１辺の長さａ１とこの１辺と垂直な辺の長さｂ１とを、それぞれ、仮想重心位置から遠い方の開口（図４では、開口２５ｂ）の対応する辺の長さａ２、ｂ２よりも大きくする。なお、開口２５ａ、２５ｂを四角形とした場合には、仮想重心位置に近い方の開口の１辺の長さを、仮想重心位置から遠い方の開口の対応する１辺の長さよりも長くすることによっても、一対の開口２５ａ、２５ｂの大きさを互いに異ならせることができる。つまり、一対の開口２５ａ、２５ｂは、相似の関係になくてもよい。 When the pair of openings 25a and 25b are rectangular, for example, as shown in FIG. The length a1 and the length b1 of the side perpendicular to this one side are larger than the lengths a2 and b2 of the corresponding sides of the opening (opening 25b in FIG. 4) farther from the imaginary center of gravity. do. When the openings 25a and 25b are rectangular, the length of one side of the opening closer to the virtual center of gravity should be longer than the length of the corresponding side of the opening farther from the virtual center of gravity. Also, the sizes of the pair of openings 25a and 25b can be made different from each other. That is, the pair of openings 25a and 25b do not have to be similar.

一対の開口２５ａ、２５ｂを長穴形状とした場合には、例えば、図５に示すように、一対の開口２５ａ、２５ｂのうち仮想重心位置に近い方の開口（図５では、開口２５ａ）の端部の半円の半径ｒ１と２つの半円を結ぶ辺の長さｃ１とを、それぞれ、仮想重心位置から遠い方の開口（図５では、開口２５ｂ）の端部の半円の半径ｒ２と２つの半円を結ぶ辺の長さｃ２よりも大きくする。なお、開口２５ａ、２５ｂを長穴形状とした場合には、仮想重心位置に近い方の開口の端部の半円の半径ｒ１のみを、仮想重心位置から遠い方の開口の端部の半円の半径ｒ２よりも大きくするだけでもよいし、仮想重心位置に近い方の開口の２つの半円を結ぶ辺の長さｃ１のみを、仮想重心位置から遠い方の開口の２つの半円を結ぶ辺の長さｃ２よりも大きくするだけでもよい。つまり、一対の開口２５ａ、２５ｂは、相似の関係になくてもよい。 When the pair of openings 25a and 25b are elongated, for example, as shown in FIG. The radius r1 of the semicircle at the end and the length c1 of the side connecting the two semicircles are respectively defined by the radius r2 of the semicircle at the end of the opening (opening 25b in FIG. and the length of the side connecting the two semicircles is made larger than c2. Note that if the openings 25a and 25b are elongated, only the radius r1 of the semicircle at the end of the opening closer to the imaginary center of gravity is used as the semicircle at the end of the opening farther from the imaginary center of gravity. or the length c1 of the side connecting the two semicircles of the opening closer to the imaginary center of gravity can be set to be larger than the radius r2 of the opening farther from the imaginary center of gravity It is also possible to simply make it larger than the side length c2. That is, the pair of openings 25a and 25b do not have to be similar.

ロータ４の重心位置は、いずれかの開口部２５に含まれる一方の開口とロータ４の回転中心との間の距離と、他方の開口とロータ４の回転中心との間の距離と、を異ならせることによって移動させることができる。例えば、図６に示すように、同一の大きさの一対の開口２５ａ、２５ｂのうち、仮想重心位置に近い位置にある開口（図６では、開口２５ａ）とロータ４の回転中心との間の距離Ｄ１を、仮想重心位置から遠い位置にある開口（図６では、開口２５ｂ）とロータ４の回転中心との間の距離Ｄ２よりも大きくする。図６は、一方の開口と回転中心との間の距離と他方の開口と回転中心との間の距離とを異ならせることでロータ重心を回転中心に移動させる場合の一例を示す図である。 The position of the center of gravity of the rotor 4 differs from the distance between one of the openings 25 and the center of rotation of the rotor 4 and the distance between the other opening and the center of rotation of the rotor 4 . You can move it by moving it. For example, as shown in FIG. 6, of the pair of openings 25a and 25b of the same size, the distance between the opening near the virtual center of gravity (opening 25a in FIG. 6) and the center of rotation of the rotor 4 is The distance D1 is made larger than the distance D2 between the opening (the opening 25b in FIG. 6) located far from the virtual center of gravity and the center of rotation of the rotor 4. FIG. 6 is a diagram showing an example in which the center of gravity of the rotor is moved to the center of rotation by varying the distance between one opening and the center of rotation and the distance between the other opening and the center of rotation.

上記のように一対の開口２５ａ、２５ｂの形成位置をずらすことにより、ロータ４の重心位置を仮想重心位置からロータ４の回転中心の方向に移動できる。 By shifting the formation positions of the pair of openings 25a and 25b as described above, the position of the center of gravity of the rotor 4 can be moved in the direction of the center of rotation of the rotor 4 from the imaginary position of the center of gravity.

なお、図６では、一対の開口２５ａ、２５ｂを円形とした場合を例として示したが、一対の開口２５ａ、２５ｂを四角形又は長穴形状とした場合であっても、一方の開口と回転中心との間の距離と他方の開口と回転中心との間の距離とを異ならせることによって、ロータ４の重心位置を上記と同様に移動できる。 In FIG. 6, the case where the pair of openings 25a and 25b are circular is shown as an example. , and the distance between the other opening and the center of rotation, the position of the center of gravity of the rotor 4 can be moved in the same manner as described above.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible without departing from the gist of the invention.

上記の実施形態では、ロータ４の壁部２３に４対の開口２５ａ、２５ｂが設けられていた。しかし、これに限られず、開口２５ａ、２５ｂの形成数は任意とできる。例えば、ロータ４の回転中心を通る直線Ｌ上に配置された一対の開口２５ａ、２５ｂのみを設けてもよいし、２対又は３対の開口２５ａ、２５ｂを設けてもよい。さらに、４対以上の開口２５ａ、２５ｂを設けてもよい。 In the above embodiment, the wall portion 23 of the rotor 4 is provided with four pairs of openings 25a and 25b. However, the number of openings 25a and 25b is not limited to this, and the number of openings 25a and 25b may be arbitrary. For example, only a pair of openings 25a and 25b arranged on a straight line L passing through the rotation center of the rotor 4 may be provided, or two or three pairs of openings 25a and 25b may be provided. Furthermore, four or more pairs of openings 25a, 25b may be provided.

また、開口部２５を奇数個の開口として構成してもよい。例えば、開口部２５を１つの開口として構成してもよいし、２ｎ－１（ｎ：２以上の整数）個の開口を壁部２３上に定義された（２ｎ－１）角形の頂点に配置して開口部２５を構成してもよい。 Alternatively, the openings 25 may be configured as an odd number of openings. For example, the opening 25 may be configured as one opening, or 2n-1 (n: an integer equal to or greater than 2) openings are arranged at the vertices of (2n-1) polygons defined on the wall 23. Alternatively, the opening 25 may be formed by

開口部２５を一対の開口２５ａ、２５ｂとする場合に、一対の開口２５ａ、２５ｂの大きさを互いに異ならせることと、一方の開口とロータ４の回転中心との間の距離と他方の開口とロータ４の回転中心との間の距離とを異ならせることと、を両方組み合わせて適用してもよい。 When the opening 25 is a pair of openings 25a and 25b, the sizes of the pair of openings 25a and 25b are made different from each other, the distance between one opening and the rotation center of the rotor 4, and the other opening. and making the distance from the center of rotation of the rotor 4 different may be applied in combination.

上記の実施形態では、２対の開口２５ａ、２５ｂの大きさを互いに異ならせるか、及び／又は、ロータ４の回転中心までの距離を互いに異ならせていた。しかし、これに限られず、大きさを互いに異ならせるか、及び／又は、ロータ４の回転中心までの距離を互いに異ならせる開口２５ａ、２５ｂの対数は、仮想重心位置の壁部２３における位置などに応じて決定される任意の数とできる。 In the above embodiment, the sizes of the two pairs of openings 25a and 25b are different from each other, and/or the distances to the rotation center of the rotor 4 are different from each other. However, not limited to this, the logarithms of the openings 25a and 25b that have different sizes and/or different distances to the center of rotation of the rotor 4 may vary depending on the position on the wall 23 at the virtual center of gravity. can be any number determined accordingly.

開口部２５を一対の開口２５ａ、２５ｂとする場合に、一対の開口２５ａ、２５ｂの形状を互いに異ならせて、一対の開口２５ａ、２５ｂの大きさを互いに異ならせてもよい。 When the opening 25 is a pair of openings 25a and 25b, the shape of the pair of openings 25a and 25b may be different from each other, and the size of the pair of openings 25a and 25b may be different from each other.

上記の実施形態に係る真空ポンプ１は、第２円筒部２４に設けられた複数段のロータ翼２７と複数段のステータ翼３１とにより構成されるターボ分子ポンプ部と、第１円筒部２２と第１ポンプ部材２６及び第２ポンプ部材３２とにより構成されるネジ溝ポンプ部とが一体化されたポンプである。しかし、これに限られず、ターボ分子ポンプ部は省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１は、ネジ溝ポンプであってもよい。 The vacuum pump 1 according to the above embodiment includes a turbo-molecular pump section configured by a plurality of stages of rotor blades 27 and a plurality of stages of stator blades 31 provided in the second cylindrical section 24, and a first cylindrical section 22. It is a pump in which a thread groove pump portion composed of the first pump member 26 and the second pump member 32 is integrated. However, the present invention is not limited to this, and the turbomolecular pump section may be omitted. That is, the vacuum pump 1 may be a thread groove pump.

上記の実施形態では、第１ポンプ部材２６にらせん状溝２６ａが設けられ、第２ポンプ部材３２にらせん状溝３２ａが設けられているが、これに限られない。第１円筒部２２の外周側と内周側にらせん状溝を形成してもよい。また、第１ポンプ部材２６及び第２ポンプ部材３２にらせん状溝を設けなくてもよい。 In the above embodiment, the first pump member 26 is provided with the spiral groove 26a and the second pump member 32 is provided with the spiral groove 32a, but this is not the only option. A spiral groove may be formed on the outer peripheral side and the inner peripheral side of the first cylindrical portion 22 . Also, the first pump member 26 and the second pump member 32 may not be provided with spiral grooves.

上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。 It will be appreciated by those skilled in the art that the multiple exemplary embodiments described above are specific examples of the following aspects.

（第１態様）真空ポンプは、排気対象気体を吸気口から吸引して外部に排出する。真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、を備える。ロータは、ハウジングの内周側に配置されて回転駆動され、第１円筒部と、壁部と、開口部と、を有する。第１円筒部は、ロータの回転軸方向に延びる。壁部は、第１円筒部の吸気口側の端部を閉じる。開口部は、壁部に形成され、壁部の吸気口側と第１円筒部の内周側とを連通させる。開口部が形成されていないと仮定した場合のロータの仮想重心位置は、ロータの回転中心からずれた位置にある。開口部は、ロータの重心位置が仮想重心位置から回転中心の方向に移動するように形成される。 (First Aspect) A vacuum pump sucks a gas to be discharged from an intake port and discharges it to the outside. A vacuum pump includes a housing and a rotor. The rotor is arranged on the inner peripheral side of the housing and driven to rotate, and has a first cylindrical portion, a wall portion, and an opening. The first cylindrical portion extends in the rotation axis direction of the rotor. The wall closes the inlet-side end of the first cylinder. The opening is formed in the wall and communicates between the inlet side of the wall and the inner peripheral side of the first cylindrical portion. The hypothetical center of gravity of the rotor, assuming that no opening is formed, is at a position deviated from the center of rotation of the rotor. The opening is formed such that the center of gravity of the rotor moves from the virtual center of gravity toward the center of rotation.

第１態様に係る真空ポンプでは、開口部が、ロータの仮想重心位置をロータの回転中心の方向に移動するように形成されている。これにより、開口部が形成されていないときのロータの重心位置（仮想重心位置）がロータの回転中心からずれた位置に存在していても、開口部を形成することにより、ロータの重心位置がロータの回転中心に存在するようになる。この結果、ロータの重心がロータの回転中心からずれることにより発生する振動及び／又は騒音を低減できる。 In the vacuum pump according to the first aspect, the opening is formed so as to move the virtual center of gravity of the rotor toward the rotation center of the rotor. As a result, even if the center of gravity (virtual center of gravity) of the rotor is at a position deviated from the rotation center of the rotor when the opening is not formed, the center of gravity of the rotor can be shifted by forming the opening. It comes to exist at the center of rotation of the rotor. As a result, it is possible to reduce vibration and/or noise caused by the deviation of the center of gravity of the rotor from the center of rotation of the rotor.

（第２態様）第１態様に係る真空ポンプにおいて、開口部は、ロータの回転中心を通る直線上において、ロータの回転中心を挟むように配置された一対の開口を有してもよい。この場合、仮想重心位置に近い位置にある開口の大きさを、他方の開口の大きさよりも大きくしてもよい。第２態様に係る真空ポンプでは、仮想重心位置に近い側の開口を大きくすることで、仮想重心位置に近い側のロータの重量減少が、仮想重心位置から遠い側のロータの重量減少よりも大きくなる。この結果、ロータの重心位置を仮想重心位置からロータの回転中心の方向に移動できる。 (Second Aspect) In the vacuum pump according to the first aspect, the opening may have a pair of openings arranged to sandwich the rotation center of the rotor on a straight line passing through the rotation center of the rotor. In this case, the size of the opening located near the virtual center of gravity may be larger than the size of the other opening. In the vacuum pump according to the second aspect, by increasing the opening on the side closer to the virtual center of gravity, the weight reduction of the rotor closer to the virtual center of gravity is greater than the weight reduction of the rotor farther from the virtual center of gravity. Become. As a result, the center-of-gravity position of the rotor can be moved from the virtual center-of-gravity position toward the center of rotation of the rotor.

（第３態様）第１態様又は第２態様に係る真空ポンプにおいて、開口部は、ロータの回転中心を通る直線上において、ロータの回転中心を挟むように配置された一対の開口を有してもよい。この場合、仮想重心位置に近い位置にある開口とロータの回転中心との間の距離を、他方の開口とロータの回転中心との間の距離よりも大きくしてもよい。第３態様に係る真空ポンプでは、一対の開口の形成位置をずらすことにより、ロータの重心位置を仮想重心位置からロータの回転中心の方向に移動できる。 (Third Aspect) In the vacuum pump according to the first aspect or the second aspect, the opening has a pair of openings arranged to sandwich the rotation center of the rotor on a straight line passing through the rotation center of the rotor. good too. In this case, the distance between the opening near the virtual center of gravity and the center of rotation of the rotor may be larger than the distance between the other opening and the center of rotation of the rotor. In the vacuum pump according to the third aspect, by shifting the formation positions of the pair of openings, the position of the center of gravity of the rotor can be moved from the imaginary position of the center of gravity toward the rotation center of the rotor.

（第４態様）第１態様～第３態様のいずれかに係る真空ポンプにおいて、開口部は円形であってもよい。第４態様に係る真空ポンプでは、容易な加工により開口部を形成できる。 (Fourth Aspect) In the vacuum pump according to any one of the first to third aspects, the opening may be circular. In the vacuum pump according to the fourth aspect, the opening can be formed by easy processing.

（第５態様）第１態様～第３態様のいずれかに係る真空ポンプにおいて、開口部は四角形であってもよい。第５態様に係る真空ポンプでは、容易な加工により開口部を形成できる。 (Fifth Aspect) In the vacuum pump according to any one of the first to third aspects, the opening may be square. In the vacuum pump according to the fifth aspect, the opening can be formed by easy processing.

（第６態様）第１態様～第３態様のいずれかに係る真空ポンプにおいて、開口部は長穴形状であってもよい。第６態様に係る真空ポンプでは、容易な加工により開口部を形成できる。 (Sixth Aspect) In the vacuum pump according to any one of the first to third aspects, the opening may be elongated. In the vacuum pump according to the sixth aspect, the opening can be formed by easy processing.

（第７態様）第１態様～第６態様のいずれかに係る真空ポンプは、第１ポンプ部材をさらに備えてもよい。第１ポンプ部材は、第１円筒部の内周面と対向して配置され、第１円筒部が回転することにより、第１円筒部の内周側に導かれた排気対象気体を外部に排出する。第７態様に係る真空ポンプでは、開口部により第１円筒部の内周側に導かれた排気対象気体を、第１円筒部の内周面と第１ポンプ部材とにより構成されるポンプ部により外部に排気できる。 (Seventh Aspect) The vacuum pump according to any one of the first to sixth aspects may further include a first pump member. The first pump member is arranged to face the inner peripheral surface of the first cylindrical portion, and the first cylindrical portion rotates to discharge to the outside the exhaust target gas guided to the inner peripheral side of the first cylindrical portion. do. In the vacuum pump according to the seventh aspect, the exhaust target gas guided to the inner peripheral side of the first cylindrical portion by the opening is discharged by the pump portion configured by the inner peripheral surface of the first cylindrical portion and the first pump member. It can be exhausted to the outside.

（第８態様）第１態様～第７態様のいずれかに係る真空ポンプは、第２ポンプ部材をさらに備えてもよい。第２ポンプ部材は、第１円筒部の外周面と対向して配置され、第１円筒部が回転することにより、第１円筒部の外周側に導かれた排気対象気体を外部に排出する。第８態様に係る真空ポンプでは、第１円筒部の外周側に導かれた排気対象気体を、第１円筒部の外周面と第２ポンプ部材とにより構成されるポンプ部により外部に排出できる。 (Eighth Aspect) The vacuum pump according to any one of the first to seventh aspects may further include a second pump member. The second pump member is arranged to face the outer peripheral surface of the first cylindrical portion, and discharges to the outside the exhaust target gas guided to the outer peripheral side of the first cylindrical portion as the first cylindrical portion rotates. In the vacuum pump according to the eighth aspect, the exhaust target gas guided to the outer peripheral side of the first cylindrical portion can be discharged to the outside by the pump portion constituted by the outer peripheral surface of the first cylindrical portion and the second pump member.

（第９態様）第１態様～第８態様のいずれかに係る真空ポンプにおいて、ロータは、第２円筒部を有してもよい。第２円筒部は、壁部に連結され、直径が第１円筒部の直径よりも小さい。この場合、真空ポンプは、ロータ翼と、ステータ翼と、をさらに備えてもよい。ロータ翼は、第２円筒部の外周に配置される。ステータ翼は、ロータ翼に対向する位置に配置される。第９態様に係る真空ポンプでは、第２円筒部に配置されたロータ翼とステータ翼とにより構成されるターボ分子ポンプ部により。排気対象気体を第１円筒部に向けて導くことができる。 (Ninth Aspect) In the vacuum pump according to any one of the first to eighth aspects, the rotor may have a second cylindrical portion. A second cylindrical portion is connected to the wall and has a diameter smaller than the diameter of the first cylindrical portion. In this case, the vacuum pump may further include rotor blades and stator blades. The rotor blades are arranged on the outer circumference of the second cylindrical portion. The stator blades are arranged at positions facing the rotor blades. In the vacuum pump according to the ninth aspect, the turbomolecular pump section configured by the rotor blades and the stator blades arranged in the second cylindrical portion. The exhaust target gas can be guided toward the first cylindrical portion.

（第１０態様）第９態様に係る真空ポンプにおいて、開口部は、壁部に最も近い位置に配置されたロータ翼の間に配置されてもよい。第１０態様に係る真空ポンプでは、壁部に最も近い位置に配置されたロータ翼が開口部への排気対象気体の流入を妨げなくなるので、排気対象気体を効率よく開口部に流入させることができる。 (Tenth Aspect) In the vacuum pump according to the ninth aspect, the opening may be arranged between the rotor blades arranged closest to the wall. In the vacuum pump according to the tenth aspect, since the rotor blades arranged closest to the wall do not block the flow of the gas to be discharged into the opening, the gas to be discharged can efficiently flow into the opening. .

１真空ポンプ
２ハウジング
３ベース
４ロータ
５スペーサ
１１第１端部
１２第２端部
１３吸気口
１４ベース端部
１５排気口
２１シャフト
２２第１円筒部
２３壁部
２４第２円筒部
２５開口部
２５ａ、２５ａ’、２５ｂ、２５ｂ’ 開口
２６第１ポンプ部材
２６ａらせん状溝
２７ロータ翼
３１ステータ翼
３２第２ポンプ部材
３２ａらせん状溝
４１Ａ～４１Ｅ軸受
４２モータ
４２Ａモータロータ
４２Ｂモータステータ
４３Ａ、４３Ｂ変位センサ
Ａ１回転軸
Ｓ１第１内部空間
Ｓ２第２内部空間
Ｓ３第３内部空間
Ｓ４第４内部空間 1 vacuum pump 2 housing 3 base 4 rotor 5 spacer 11 first end 12 second end 13 intake port 14 base end 15 exhaust port 21 shaft 22 first cylindrical portion 23 wall portion 24 second cylindrical portion 25 opening 25a , 25a′, 25b, 25b′ opening 26 first pump member 26a spiral groove 27 rotor blade 31 stator blade 32 second pump member 32a spiral grooves 41A to 41E bearing 42 motor 42A motor rotor 42B motor stator 43A, 43B displacement sensor A1 Axis of rotation S1 First internal space S2 Second internal space S3 Third internal space S4 Fourth internal space

Claims

A vacuum pump that sucks a gas to be exhausted from an intake port and discharges it to the outside,
a housing;
a rotor arranged on the inner peripheral side of the housing and driven to rotate;
with
The rotor is
a first cylindrical portion extending in the rotational axis direction of the rotor;
a wall portion that closes the end portion of the first cylindrical portion on the air inlet side;
an opening that is formed in the wall and communicates between the intake port side of the wall and the inner peripheral side of the first cylindrical portion;
has
A hypothetical center of gravity of the rotor assuming that the opening is not formed is at a position deviated from the center of rotation of the rotor,
The opening is formed such that the center of gravity of the rotor moves from the virtual center of gravity toward the center of rotation.
Vacuum pump.

the opening has a pair of openings arranged to sandwich the center of rotation on a straight line passing through the center of rotation;
2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the size of the opening located near the virtual center of gravity is made larger than the size of the other opening.

the opening has a pair of openings arranged to sandwich the center of rotation on a straight line passing through the center of rotation;
2. The vacuum pump according to claim 1, wherein the distance between the opening located near the virtual center of gravity and the center of rotation is greater than the distance between the other opening and the center of rotation.

A vacuum pump as claimed in any preceding claim, wherein the opening is circular.

The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3, wherein said opening is square.

4. The vacuum pump according to any one of claims 1 to 3, wherein the opening has an elongated hole shape.

The second exhaust gas is arranged to face the inner peripheral surface of the first cylindrical portion, and discharges the exhaust target gas guided to the inner peripheral side of the first cylindrical portion to the outside by the rotation of the first cylindrical portion. A vacuum pump according to any preceding claim, further comprising one pump member.

A second pump arranged to face the outer peripheral surface of the first cylindrical portion and discharging the target gas guided to the outer peripheral side of the first cylindrical portion by the rotation of the first cylindrical portion to the outside. A vacuum pump according to any preceding claim, further comprising a member.

the rotor having a second cylindrical section connected to the wall and having a diameter smaller than the diameter of the first cylindrical section;
The vacuum pump is
a rotor blade disposed on the outer circumference of the second cylindrical portion;
a stator blade arranged at a position facing the rotor blade;
A vacuum pump according to any preceding claim, further comprising:

10. The vacuum pump of claim 9, wherein the opening is located between rotor blades located closest to the wall.