JP2023099451A - 振動装置およびこれを含む装置 - Google Patents

Abstract

【課題】音響の音質を向上させることができ、共振制御特性を向上させることができる振動装置を提供する。【解決手段】振動装置は、振動素子を含む。振動素子は、圧電物質を含む振動部１１０ａと、振動部１１０ａの第１面または上部面にあり、複数の円形パターンで構成され、第１音波ＳＷ１を発生させる第１電極部１１０ｂと、第１電極部１１０ｂを連結するライン部１１０ｄと、振動部１１０ａの第１面の一側に設けられたパッド部１１０ｐと、振動部１１０ａの第１面と反対の第２面に配置された第２電極部１１０ｃと、を含む。第１音波は、可聴周波数であるかまたは超音波帯域の周波数を含む。第１音波は、例えば、２００Ｈｚ～１００ｋＨｚ帯域の周波数を含むかまたは２０ｋＨｚ～１０ＭＨｚ帯域の周波数を含む。ただ、第１音波の周波数帯域がこれに制限されるものではない。【選択図】図３Ａ

Description

本明細書は、振動装置およびこれを含む装置に関するものである。

装置は、音響を提供するために別途のスピーカーまたは音響装置を含む。装置にスピーカーを配置する場合、スピーカーが、空間を占めるようになるので、装置のデザインおよび空間配置に制約が伴うという問題が発生する。

装置に適用されるスピーカーは、例えば、マグネットとコイルを含むアクチュエータであり得る。しかし、アクチュエータをディスプレイ装置に適用した場合、厚さが厚いという短所がある。そのため薄い厚さを実現することができる圧電素子が注目されている。

圧電素子は、脆性特性のために、外部からの衝撃によって破損が容易に発生し、したがって、音響再生の信頼性が低いという問題点がある。そして、フレキシブル装置に圧電素子などのスピーカーを適用した場合、脆性特性により破損が発生する問題がある。

また、四角形の超音波圧電素子は、振動モードを活用するとき、共振周波数の制御が難しい欠点があり、超音波振動が振動板を介して伝達されるので、振動が相対的に弱い欠点がある。

したがって、本明細書の発明者らは、前述した問題点を認識し、音響の音質を向上することができ、音圧特性を向上することができる振動装置を実現するための多様な実験を遂行した。多くの実験によって、音響の音質を向上させることができ、共振制御特性を向上させることができる新しい振動装置、およびこれを含む装置を発明した。

本明細書の実施例による解決課題は、製造方法が簡素化され、共振制御が可能な振動装置およびこれを含む装置を提供することである。

本明細書の実施例に係る解決しようとする課題は、上で言及した課題に限定されず、言及していないその他の課題は、下記の記載から、本明細書の技術思想が属する技術分野で通常の知識を有する者（例えば、当業者）に明確に理解され得るだろう。

本明細書の追加的な特徴、利点、および実施例は、以下の説明で部分的に説明され、部分的には本明細書から明確になり、それから提供される発明の概念の実施例によって学習されることができる。発明の概念の他の特徴、利点、および実施例は、本明細書に提供されるか、それから導出され得る説明、請求範囲だけでなく、添付された図面によって実現され達成され、達成され得る。

本明細書に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部と、振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された第１電極部と、振動部の第１面にある第２電極部とを含む。

本明細書に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部、振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された超音波電極部、超音波電極部を取り囲むように構成された音響電極部、および振動部の第１面と反対の第２面にあり、単一電極で構成された第２電極部を含み、振動素子は、超音波および可聴周波数有する第２音響を発生する。

本明細書に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部、振動部の第１面にあるフィンガータイプの第１電極部、および振動部の第１面と反対の第２面にあるフィンガータイプの第２電極部を含み、第１電極部は、第１陰刻パターンを含み、第２電極部は第２陰刻パターンを含み、第１陰刻パターンおよび第２陰刻パターンは、複数の円形パターンを構成する。

本明細書に係る装置は、振動対象物、振動対象物にある振動発生装置、および振動対象物と振動発生装置との間の連結部材を含み、振動発生装置は、前述した振動装置を含む。

本明細書の実施例に係る振動装置は、単純な工程でアレイ形態に製作可能であり、大面積の共振点の制御が可能な超音波振動装置を提供することができ、大面積のディスプレイ装置、超音波発生器、またはセンサーなどに適用することができる。

他のシステム、方法、特徴、および利点は、次の図面および詳細な説明を検討すると、当業者に明らかまたは明白になるだろう。これらすべての追加システム、方法、特徴、および利点は、この説明に含まれ、本開示内容の範囲内にあり、次の請求範囲によって保護されることを意図している。このセクションのどのような内容も、これらの主張に対する制限と見なされてはならない。追加の態様および利点は、本開示の態様とともに以下で議論される。

本明細書の前述の説明および以下の詳細な説明の両方は、例示的で説明的であり、特許請求の範囲に記載された開示のさらなる説明を提供するために理解されるべきである。

本発明の追加理解を提供するために含まれ、本出願に統合され、その一部を構成する添付図面は、本発明の態様および実施態様を例示し、説明と共に本発明の原理を説明する役割をすることができる。

本明細書の実施例に係る振動装置の斜視図である。 図１に示す線Ｉ－Ｉ’についての断面図である。 本明細書の実施例による振動装置の斜視図である。 図３Ａの「Ａ」領域を示す図である。 本明細書の実施例に係る振動装置の平面図である。 本明細書の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の斜視図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の平面図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の斜視図である。 図９Ａの「Ｂ」領域を拡大して示す図である。 図９Ａの振動部の斜視図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の平面図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の斜視図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の平面図である。 図１３の振動部の斜視図である。 図１３に示す線ＩＩ－ＩＩ’についての断面図である。 本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。 本明細書の実施例に係る装置を示す図である。 図１６に示す線ＩＶ－ＩＶ’についての断面図である。 図１６に示す線ＩＶ－ＩＶ’についての他の断面図である。

図面および詳細な説明全体にわたって特別な説明がない限り、同一の図面符号は同一の構成要素、特徴および構造について指すものと理解されなければならない。これらの要素の相対的なサイズと描写は、明確性、説明、および利便性のために誇張され得る。

本明細書の実施例を詳細に参照し、その例は添付図面に例示できる。以下の説明で、よく知られた機能または構成の具体的な説明が本明細書の要旨を不必要に曇せる場合、その具体的な説明は、簡潔さのために省略することができる。説明された段階および／または動作の進行は、一例示的なものだが、段階および／または動作の順序は、本明細書に記載されたものに限定されず、特定の順序で必ず発生する段階および／または動作を除いて変更され得る。

本明細書の利点および特徴とそれらを達成する方法は添付図面に基づいて詳細に後述する多様な例を参照すると明らかになるであろう。しかし、本明細書は以下で開示する一実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態に具現可能であり、本明細書の一実施例等はただ本明細書の開示を完全にし、本明細書の技術思想が属する技術分野で通常の知識を有する者に技術思想の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本明細書の技術思想は請求範囲の範疇によって定義されるだけである。

本明細書の一実施例を説明するための図面に開示した形状、サイズ、比率、角度、個数などは例示的なものなので、本明細書が図示の事項に限定されるものではない。明細書全般にわたって同じ参照符号は同じ構成要素を示す。また、本明細書の説明において、関連した公知の技術についての具体的な説明が本明細書の要旨を不必要にあいまいにする可能性があると判断される場合、その詳細な説明は省略する。本明細書で言及する「含む」、「有する」、「なる」などを使う場合、「～のみ」を使わない限り、他の部分が付け加わることができる。構成要素を単数で表現した場合、特に明示的な記載事項がない限り、複数を含む場合を含む。

構成要素の解釈において、誤差範囲についての別途の明示的な記載がないと言っても誤差範囲を含むものと解釈する。

位置関係についての説明の場合、例えば「～上に」、「～の上部に」、「～の下部に」、「～のそばに」などのように２つ部分の位置関係を説明する場合、「直ぐ」または「直接」を使わない限り、２つ部分の間に１つ以上の他の部分が位置することもできる。実施例実を説明の場合、構造が、「上または上方に」、「上部に」、「下または下方に」などに位置していると説明されている場合、この説明は、構造物が互いに接触する場合、その間に第３構造物が配置される場合を含むものと解釈されなければならない。

時間関係についての説明の場合、例えば、「～の後に」、「～に引き続き」、「～の次に」、「～の前に」などのように時間的に先後関係を説明する場合、「直ぐ」または「直接」を使わない限り、連続的ではない場合も含み得る。

第１、第２などを多様な構成要素を敍述するために使うが、これらの構成要素はこれらの用語に制限されない。これらの用語はただ一構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。よって、以下で言及する第１構成要素は本明細書の技術的思想内で第２構成要素でもあり得る。

本明細書の構成要素の説明において、第１、第２、Ａ、Ｂ、（ａ）、（ｂ）などの用語を使うことができる。このような用語はその構成要素を他の構成要素と区別するためのものであるだけで、その用語によって当該構成要素の本質、順番、順序でまたは個数などが限定されない。ある構成要素が他の構成要素に「連結」、「結合」または「接続」されると記載する場合、その構成要素はその他の構成要素に直接的に連結されるか、または接続されることができるが、特に明示的な記載事項がない限り、間接的に連結されるか、または接続されることができる各構成要素の間に他の構成要素が「介在」されることもできると理解されなければならないであろう。

「少なくとも１つ」という用語は１つ以上のすべての組合せを含むものと理解しなければならないであろう。例えば、「第１、第２および第３構成要素のうちの少なくとも１つ」の意味は、第１、第２または第３のそれぞれだけでなく、第１、第２および第３のうちで二つ以上の全ての構成要素の組合せを含むと言える。

第１構成要素、第２構成要素「および／または」第３構成要素の表現は、第１、第２および第３の構成要素のうちの１つまたは第１、第２および第３の構成要素の任意の組み合わせまたはすべての組み合わせと理解されなければならない。例えば、Ａ、Ｂおよび／またはＣは、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ、ＢおよびＣの任意または何らかの組み合わせ、またはＡ、ＢおよびＣのすべてと見なすことができる。さらに、「構成要素Ａ／構成要素Ｂ」の表現は、構成要素Ａおよび／または構成要素Ｂと理解されなければならない。

本明細書の多くの実施例のそれぞれの特徴が部分的にまたは全体的に互いに結合または組合せ可能であり、技術的に多様な連動および駆動が可能であり、各実施例が互いに対して独立的に実施されることもでき、連関関係で一緒に実施されることもできる。

以下、添付図面および実施例に基づいて本明細書の実施例を説明する。図面に示す構成要素のスケールは説明の便宜のために実際とは違うスケールを有するので、図面に示すスケールに限定されない。

図１は、振動装置の斜視図であり、図２は、図１に示す線Ｉ－Ｉ’の断面図である。

図１および図２を参照すると、本明細書の実施例に係る振動装置１０は、振動素子１１０、振動素子１１０の第１面に配置された第１カバー部材１２０、および振動素子１１０第１面と反対の第２面に配置された第２カバー部材１３０を含み得る。

振動素子１１０は、振動構造物、振動発生器、振動モジュール、アクチュエータ、エキサイター、振動フィルム、フィルムアクチュエータ、フィルムエキサイター、または音響発生器であり得るが、本明細書の実施例はこの用語に限定されるものではない。

振動素子１１０は、圧電特性を有する圧電物質を含み得る。振動素子１１０は、第１振動駆動信号（または第１音響信号）による圧電物質の圧電効果によって収縮および膨張を交互に繰り返すことによって、変位されるか、または振動することができる。例えば、振動素子１１０は、圧電物質の変位または振動によって第１音波を出力し、または発生することができる。例えば、振動素子１１０の振動は、タッチ、例えば、使用者によるタッチに反応するハプティックフィードバックのための振動として使われることができる。

本明細書の実施例に係る振動素子１１０は、圧電物質を含む振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面に配置された第１電極部１１０ｂ、および振動部１１０ａの第１面と反対のまたは第１面と異なる第２面に配置された第２電極部１１０ｃを含み得る。

振動部（または第１振動部）１１０ａは、振動層、圧電層、圧電物質層、電気活性層、圧電振動部、圧電振動層、電気活性部、無機物質層、または無機物質部などで表現することができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

振動部１１０ａは、相対的に高い振動の実現が可能なセラミック系の物質で構成されるか、またはペロブスカイト（ｐｅｒｏｖｓｋｉｔｅ）系の結晶構造を有する圧電セラミックで構成され得る。ペロブスカイトの結晶構造は、圧電および逆圧電効果を有し、配向性を有する板状の構造であり得る。ペロブスカイトの結晶構造は、ＡＢＯ_３の化学式で表され、Ａサイトは、２価の金属元素からなり、Ｂサイトは、４価の金属元素からなることができる。本明細書の実施例として、ＡＢＯ_３の化学式で、ＡサイトおよびＢサイトは、カチオンであり得、Ｏは、アニオンであり得る。例えば、ペロブスカイトの結晶構造は、ＰｂＴｉＯ_３、ＰｂＺｒＯ_３、ＰｂＺｒＴｉＯ_３、ＢａＴｉＯ_３、およびＳｒＴｉＯ_３のうちの少なくとも１つ以上を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る振動部１１０ａは、鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、およびニオブ（Ｎｂ）のうちの１種以上を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

本明細書の他の実施例に係る振動部１１０ａは、鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、およびチタン（Ｔｉ）を含むＰＺＴ（ｌｅａｄ ｚｉｒｃｏｎａｔｅ ｔｉｔａｎａｔｅ）系物質、または鉛（Ｐｂ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、およびニオブ（Ｎｂ）を含むＰＺＮＮ（ｌｅａｄ ｚｉｒｃｏｎａｔｅ ｎｉｃｋｅｌ ｎｉｏｂａｔｅ）系物質を含み得るが、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。また、振動部１１０ａは、鉛（Ｐｂ）を含まないＣａＴｉＯ_３、ＢａＴｉＯ_３、およびＳｒＴｉＯ_３のうちの少なくとも１つ以上を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

本明細書の他の実施例に係る振動部１１０aは、厚さ方向（Ｚ）に沿った圧電変形係数（ｄ_３３）で１,０００ｐＣ／Ｎ以上を有することができる。振動部１１０aは、相対的に高い圧電変形係数（ｄ_３３）を有することにより、大きさが大きい振動対象物に適用され得るか、または十分な振動特性および／または圧電特性を有する振動装置を実現するのに適用され得る。例えば、振動部１１０aは、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）を主成分とし、Ａサイト（Ｐｂ）にドーピングされたソフトナードーパント（ｓｏｆｔｅｎｅｒ ｄｏｐａｎｔ）物質、およびBサイト（ＺｒＴｉ）にドーピングされたリラクサ（ｒｅｌａｘｏｒ）強誘電体物質を含み得る

ソフトナードーパント物質は、振動部１１０ａの圧電および誘電特性を向上させることができ、例えば、振動部１１０ａの圧電変形係数（ｄ_３３）を増加させることができる。ソフトナードーパント物質が、＋１価元素で構成されるとき、圧電特性および誘電特性が減少され得る。例えば、ソフトナードーパント物質が、カリウム（Ｋ）およびルビジウム（Ｒｂ）で構成されるとき、圧電特性および誘電特性が減少され得る。そこで、本明細書の発明者らは、いくつかの実験を通じて圧電特性および誘電特性を向上させるために、ソフトナードーパント物質が、＋２価乃至＋３価の元素で構成されなければならないことを認識した。本明細書の実施例に係るドーピングされたソフトナードーパント物質は、＋２価乃至＋３価元素を含み得る。ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）にソフトナードーパント物質を含んでモルフォトロピック相境界（Ｍｏｒｐｈｏｔｒｏｐｉｃ Ｐｈａｓｅ Ｂｏｕｎｄａｒｙ；ＭＰＢ）を構成することができるので、圧電特性および誘電特性を向上させることができる。例えば、ソフトナードーパント物質は、ストロンチウム（Ｓｒ）、バリウム（Ｂａ）、ランタン（Ｌａ）、ネオジム（Ｎｄ）、カルシウム（Ｃａ）、イットリウム（Ｙ）、エルビウム（Ｅｒ）、またはイッテルビウム（Ｙｂ）を含み得る。例えば、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）にソフトナードーパント物質のイオン（Ｓｒ^２+、Ｂａ^２+、Ｌａ^２+、Ｎｄ^３+、Ｃａ^２+、Ｙ^３+、Ｅｒ^３+、Ｙｂ^３+）は、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）において鉛（Ｐｂ）の一部を置換し、その置換量は、２乃至２0ｍｏｌ％であり得る。例えば、置換量が、２ｍｏｌ％未満であるか、２０ｍｏｌ％を超える場合には、ペロブスカイトの結晶構造が崩れるので、電気結合係数（ｋＰ）および圧電変形係数（ｄ_３３）が減少し得る。ソフトナードーパント物質を置換する場合、モルフォトロピック相境界（Ｍｏｒｐｈｏｔｒｏｐｉｃ Ｐｈａｓｅ Ｂｏｕｎｄａｒｙ）を構成することができ、モルフォトロピック相境界で高い圧電特性および誘電特性を有することができるので、高い圧電特性および誘電特性を有する振動装置を実現することができる。

本明細書の実施例によると、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）にドーピングされたリラクサ強誘電体物質は、振動部１１０ａの電気変形特性を向上させることができる。本明細書の実施例に係るリラクサ強誘電体物質は、ＰＭＮ（ｌｅａｄ ｍａｇｎｅｓｉｕｍ ｎｉｏｂａｔｅ）系物質またはＰＮＮ（ｌｅａｄ ｎｉｋｅｌ ｎｉｏｂａｔｅ）系物質を含むことができ、これに限定されるものではない。ＰＭＮ系物質は、鉛（Ｐｂ）、マグネシウム（Ｍｇ）、およびニオブ（Ｎｂ）を含むことができ、例えば、Ｐｂ（Ｍｇ,Ｎｂ）Ｏ_３であり得る。ＰＮＮ系物質は、鉛（Ｐｂ）、ニッケル（Ｎｉ）、およびニオブ（Ｎｂ）を含むことができ、例えば、Ｐｂ（Ｎｉ，Ｎｂ）Ｏ_３であり得る。例えば、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）にドーピングされたリラクサ強誘電体物質は、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）でジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）のそれぞれの一部を置換し、その置換量は、５乃至２５ｍｏｌ％であり得る。例えば、置換量が、５ｍｏｌ％未満であるか、２５ｍｏｌ％を超える場合には、ペロブスカイトの結晶構造が崩れるので、電気結合係数（ｋＰ）および圧電変形係数（ｄ_３３）が減少し得る。

本明細書の実施例によると、振動部１１０ａは、圧電係数の付加的な向上のために、ＰＺＴ系物質（ＰｂＺｒＴｉＯ_３）のＢサイト（ＺｒＴｉ）にドーピングされたドナー（ｄｏｎｏｒ）物質をさらに含み得る。例えば、Ｂサイト（ＺｒＴｉ）にドーピングされたドナー物質は、＋４価乃至＋６価の元素を含み得る。例えば、Ｂサイト（ＺｒＴｉ）にドーピングされたドナー物質は、テルル（Ｔｅ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ウラン（Ｕ）、ビスマス（Ｂｉ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、アンチモン（Ｓｂ）、またはタングステン（Ｗ）を含み得る。

本明細書の実施例によると、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面（または上面）に配置され得る。例えば、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面と電気的に連結され得る。例えば、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面と電気的に直接され得る。例えば、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａと第１カバー部材１２０との間に配置され得る。

本明細書の他の実施例によると、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面上で、互いに平行な少なくとも一対以上のフィンガー形状の電極を含み得る。フィンガー形状の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面の一側の縁部に位置するパッド部と連結され得る。

本明細書の実施例に係る第１電極部１１０ｂは、透明導電性物質、半透明導電性物質、または不透明導電性物質からなることができる。例えば、透明または半透明の導電性物質は、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）またはＩＺＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ）を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。不透明導電性物質は、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、モリブデン（Ｍｏ）、またはマグネシウム（Ｍｇ）などを含むか、またはこれらの合金からなり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第２面（または背面）に配置され、第１電極部１１０ｂと重畳され得る。例えば、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第２面と電気的に連結され得る。例えば、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第２面と電気的に直接され得る。例えば、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａと第２カバー部材１３０との間に配置され得る。例えば、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第２面の全体に配置された一体型電極形状（または単一電極形状）を有することができる。例えば、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａと同じ形状を有することができる。

本明細書の実施例に係る第２電極部１１０ｃは、透明導電性物質、半透明導電性物質、または不透明導電性物質から構成され得る。例えば、第２電極部１１０ｃは、第１電極部１１０ｂと同じ物質から構成されてもよく、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。本明細書の他の実施例では、第２電極部１１０ｃは、第１電極部１１０ｂとは異なる物質で構成され得る。

本明細書の実施例に係る振動装置１０は、第１カバー部材１２０と第２カバー部材１３０との間に配置され、振動素子１１０を取り囲む接着層１１５をさらに含み得る。

接着層１１５は、振動部１１０ａを挟んで第１カバー部材１２０と第２カバー部材１３０とを対向した状態で合着させることができる。接着層１１５は、第１カバー部材１２０と第２カバー部材１３０との間の領域のうちの振動素子１１０を除いて残った領域に配置され得る。

本明細書の実施例に係る接着層１１５は、第１カバー部材１２０の第２面（または背面）に配置された第１接着層１１５ａ、および第２カバー部材１３０の第１面（または上面）に配置された第２接着層１１５ｂを含み得る。第１接着層１１５ａおよび第２接着層１１５ｂは、第１カバー部材１２０と第２カバー部材１３０との間に互いに結合されるか、または互いに接着して単一の接着層に実現され得る。第１接着層１１５ａまたは第２接着層１１５ｂは、省略され得る。

第１および第２接着層１１５ａ、１１５ｂのそれぞれは、電気絶縁物質を含み得る。例えば、電気絶縁物質は、接着性を有しながら、圧縮と復元が可能な物質であり得る。例えば、第１および第２接着層１１５ａ、１１５ｂのうちの１つ以上は、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）樹脂、アクリル（ａｃｒｙｌｉｃ）樹脂、シリコン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）樹脂、またはウレタン（ｕｒｅｔｈａｎｅ）樹脂を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

第１カバー部材１２０は、第１接着層１１５ａを媒介とするフィルムラミネート工程により、振動素子１１０の第１面（または第１電極部１１０ｂ）に結合されるか、または 連結され得る。第２カバー部材１３０は、第２接着層１１５ｂを媒介とするフィルムラミネート工程により、振動素子１１０の第２面（または第２電極部１１０ｃ）に結合されるか、または連結され得る。

本明細書の実施例に係る振動装置１０は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）をさらに含み得る。フレキシブルケーブル（ＦＣ）は、振動素子１１０と電気的に連結されることができ、振動素子１１０のパッド部と電気的に連結され得る。これにより、フレキシブルケーブル（ＦＣ）は、振動駆動信号を該当するパッド部に供給することができる。本明細書の実施例に係るフレキシブルケーブル（ＦＣ）は、フレキシブルプリント回路ケーブルまたはフレキシブルフラットケーブルであり得るが、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

図３ａは、本明細書の実施例に係る振動装置の斜視図であり、図３ｂは、図３ａの「Ａ」領域を示す図であり、図４は、本明細書の実施例に係る振動装置の平面図である。

図３ａ、図３ｂ、および図４を参照すると、振動素子は、振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部面に位置する第１電極部１１０ｂ、第１電極部１１０ｂを連結するライン部１１０ｄ、振動部１１０ａの第１面の一側に設けられたパッド部１１０ｐ、および振動部１１０ａの第１面と反対の第２面に配置された第２電極部１１０ｃを含み得る。

本明細書の実施例に係る振動装置は、第１電極部１１０ｂから第１音波（ＳＷ１）を発生させることができ、第１音波（ＳＷ１）は、可聴周波数であるか、または超音波帯域の周波数を含み得る。例えば、第１音波（ＳＷ１）は、２００Ｈｚ～１００ｋＨｚ帯域の周波数を含むか、または２０ｋＨｚ～１０ＭＨｚ帯域の周波数を含み得る。ただ、第１音波（ＳＷ１）の周波数帯域がこれに制限されるものではない。

本明細書の実施例に係る振動装置の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に配置され得る。本明細書の実施例に係る第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に複数から構成され得る。複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターン電極であり、アレイ形態に配列され得る。また、本明細書の実施例に係る振動装置において、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターンの電極であり、アレイ形態に配列され、振動素子１１０は、１つの振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂ、および複数の第１電極部１１０ｂの間に連結されたライン部１１０ｄを含むことで、振動素子１１０は、物理的に単一（または１つ）の振動装置で構成されるが、円形パターン電極がアレイ形態に配列された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、振動部１１０ａのアクティブ領域または振動領域を複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれの円形パターン領域に制限（または定義）することで、１つの共振点を有する複数の振動素子または複数の振動発生器として認識されるように実現することができる。

ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され得る。例えば、ライン部１１０ｄは、第２方向（Ｙ）に沿って隣接した２個の第１電極部１１０ｂの間に連結されるように構成され得る。よって、第２方向（Ｙ）に沿って配列された複数の第１電極部１１０ｂは、ライン部１１０ｄを介して互いに連結され得る。

パッド部１１０ｐは、振動部１１０ａの一側および第１面に設けられ、ライン部１１０ｄを介して複数の第１電極部１１０ｂと共通して連結され得る。ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され、複数の第１電極部１１０ｂのうちの一部とパッド部１１０ｐとの間に連結され得る。

図３ｂに示すように、複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、第１電極部１１０ｂの中央部またはセンターから第１電極部１１０ｂの縁部までの距離または半径（Ｒ）が同一である円形パターンから構成されることで、振動装置（または振動素子）の共振周波数が一定に制御され得る。本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれの長さの半径（Ｒ）は、多様であることができる。例えば、複数の第１電極部１１０ｂの少なくとも一部の半径Ｒまたは長さは、一定であり得る。

また、本明細書の実施例によると、振動装置（または振動素子）の共振周波数（ｆ_１）は、第１電極部１１０ｂの半径（Ｒ）に反比例することができる。

本明細書の実施例によると、共振周波数（ｆ_１）は、下記の式（１）または式（２）によって決定され得る。

式１および式２で、「Ｌ」は、振動素子の長さであり、「ｍ」は、振動素子の単位質量であり、「Ｆ」は、振動素子の張力（ｔｅｎｓｉｏｎ）であり、および「ｋ」は、振動素子の剛性である。

本明細書の一実施例によると、円形電極パターンを有し、アレイ形態に配置された複数の第１電極部１１０ｂを含む振動素子１１０は、共振周波数を生成する１つの第１電極部１１０ｂの長さを式１での振動素子の長さとして認識されるように実現され得る。よって、式１で、共振周波数が振動素子の長さに反比例するように、本明細書の実施例に係る振動装置の共振周波数は、第１電極部１１０ｂの半径に反比例することができる。また、振動装置の共振周波数は、式１で表現したように、振動素子１１０の第１方向（Ｘ）の第１長さＬ１または第２方向（Ｙ）の第２長さＬ２に反比例することができる。本明細書の実施例に係る振動装置は、円形パターンを含む第１電極部１１０ｂの配列によって、複数の圧電セラミックまたは圧電素子を配列したものと同一または類似の効果を出すことができる。

また、本明細書の実施例に係る振動装置は、複数の第１電極部１１０ｂによって装置の前方に音波を出力することができ、行と列に配置された複数の第１電極部１１０ｂのアレイ構造によって発生された補強干渉（ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）を用いたビームフォーミング（ｂｅａｍ ｆｏａｍｉｎｇ）効果によって大面積の超音波発生器または大面積の超音波ハプティックディスプレイとして適用されることができ、大面積のディスプレイ装置、超音波発生器、またはセンサーなどに適用することができる。

図５は、本明細書の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。

図５を参照すると、本明細書の実施例に係る振動装置は、振動駆動回路１７０をさらに含み得る。

振動駆動回路１７０は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動部１１０ａと電気的に連結され得る。本明細書の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子の振動によって第１音波（ＳＷ１）を発生させるための第１振動駆動信号を生成して振動素子に供給することができる。

本明細書の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子に連結された第１アンプ１７１を含み得る。

第１アンプ（または第１信号生成回路）１７１は、音響ソースに基づいて第１極性信号と第２極性信号を有する交流型の第１振動駆動信号を生成することができる。本明細書の一実施例に係る第１アンプ１７１は、第１振動駆動信号の第１極性信号を出力する第１出力端子Ｔ１１、および第１振動駆動信号の第２極性信号を出力する第２出力端子Ｔ２２を含み得る。

振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂ側に向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。

第１アンプ１７１の第１出力端子Ｔ１１から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成されたパッド部１１０ｐに供給され、次いでパッド部１１０ｐと電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第２出力端子Ｔ２２から出力される第１振動駆動信号の第２極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第２電極部１１０ｃに供給され得る。

図５に示す振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂに向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。第１振動駆動信号の第１極性信号は、振動素子の第１電極部１１０ｂに供給され、第１振動駆動信号の第２極性信号は、振動素子の第２電極部１１０ｃに供給され得る。

図６は、本明細書の他の実施例に係る振動装置の斜視図であり、図７は、本明細書の他の実施例に係る振動装置の平面図である。

図６および図７を参照すると、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動素子は、振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部面に配置された複数の第１電極部１１０ｂ、複数の第１電極部１１０ｂを連結するライン部１１０ｄ、振動部１１０ａの第１面または上部面に設けられたパッド部１１０ｐ１～１１０ｐ４、および振動部１１０ａの第１面と反対の第２面に配置された第２電極部１１０ｃを含み得る。また、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動素子の第１電極部１１０ｂおよびパッド部１１０ｐ１～１１０ｐ４は、振動部１１０ａの第１面または上部面に配置される第１領域、第２領域、第３領域、および第４領域のそれぞれに配置され得る。例えば、第１領域～第４領域に配置された第１電極部１１０ｂのそれぞれは、電気的に分離され得る。例えば、第１領域～第４領域に配置された第１電極部１１０ｂは、互いに離隔され得る。

図６で、第１領域は、上側の角部を含む領域であり得、第２領域は、右側の角部を含む領域であり得、第３領域は、左側の角部を含む領域であり得、第４領域は、下側の角部を含む領域であり得る。

本明細書の他の実施例によると、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面上で互いに平行な少なくとも一対以上のフィンガー形状の電極を含むことができ、このようなフィンガー形状の第１電極部１１０ｂは、複数から構成され得る。例えば、振動部１１０ａの第１面または上部面に配置される第１領域、第２領域、第３領域、および第４領域にそれぞれ対応されるように配置され得る。第１電極部１１０ｂは、第１パッド部１１０ｐ１、第２パッド部１１０ｐ２、第３パッド部１１０ｐ３、および第４パッド部１１０ｐ４のそれぞれに印加された電気的信号に応じて選択された領域のみを独立的に駆動させることができる。例えば、第１パッド部１１０ｐ１、第２パッド部１１０ｐ２、第３パッド部１１０ｐ３、および第４パッド部１１０ｐ４に印加される信号は、第２電極部１１０ｃに印加される電気的信号と同期されて印加され得、この電気的信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）および第１アンプ１７１によって制御され得る。

本明細書の一実施例によると、第１領域～第４領域は、同時に動作され得、第１～第３領域がターンオン（ｔｕｒｎ－ｏｎ）（または活性化）すれば、第４領域はターンオフ（ｔｕｒｎ－ｏｆｆ）（または非活性化）され得、第１および第２領域がターンオンすれば、第３および第４領域はターンオフすることができ、第１領域がターンオンすれば、第２～第４領域はターンオフすることができる。本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、振動部１１０ａは、振動部１１０ａの上面の任意の位置に位置する少なくとも２つの領域を含み得る。そして、少なくとも２つの領域のそれぞれに配置された第１電極部１１０ｂは、互いに電気的に断絶されて独立的に駆動され得る。

本明細書の他の実施例に係る振動装置の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に配置され得る。本明細書の実施例に係る第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に複数から構成され得る。複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターン電極であり、複数のアレイ形態に配列され得る。また、本明細書の実施例に係る振動装置で、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターン電極であり、アレイ形態に配列され、振動素子１１０は、１つの振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂ、および複数の第１電極部１１０ｂの間に連結されたライン部１１０ｄを含むことで、振動素子１１０は、物理的に１つの振動装置で構成されるが、円形パターン電極がアレイ形態に配列された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、振動部１１０ａのアクティブ領域または振動領域を複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれの円形パターン領域に限定（または定義）することで、１つの共振点を有する複数の振動素子または複数の振動発生器として認識されるように実現することができる。

本明細書の実施例に係る振動装置は、円形パターンを含む複数の第１電極部１１０ｂの配列によって、複数の圧電セラミックまたは圧電素子を配列したものと同一または類似の効果を出すことができる。

また、本明細書の実施例に係る振動装置は、複数の第１電極部１１０ｂによって装置の前方に音波を出力することができ、行と列に配置された複数の第１電極部１１０ｂの複数のアレイ構造によって発生された補強干渉（ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）を用いたビームフォーミング（ｂｅａｍ ｆｏａｍｉｎｇ）効果によって大面積の超音波発生器または大面積超音波ハプティックディスプレイとして適用されることができ、大面積のディスプレイ装置、超音波発生器、またはセンサーなどに適用することができる。

本明細書の一実施例によると、円形電極パターンを有し、アレイ形態に配置された複数の第１電極部１１０ｂを含む振動素子１１０は、共振周波数を生成する１つの第１電極部１１０ｂの長さを式１での振動素子の長さとして認識されるように実現され得、式１で、共振周波数が振動素子の長さに反比例するように、振動装置の共振周波数は、第１電極部１１０ｂの半径に反比例することができる。また、振動装置の共振周波数は、式１で表現したように、振動素子１１０の第１方向（Ｘ）の第１長さ（Ｌ１）または第２方向（Ｙ）の第２長さ（Ｌ２）に反比例することができる。

本明細書の実施例によると、第１音波（ＳＷ１）は、超音波帯域の音波であるか、またはハプティックフィードバック信号（ｈａｐｔｉｃ ｆｅｅｄｂａｃｋ ｓｉｇｎａｌ）であり得る。

ライン部１１０ｄは、第１～第４領域のそれぞれに配置された複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され得る。例えば、ライン部１１０ｄは、第１～第４領域のそれぞれで、第２方向（Ｙ）に沿って隣接した２個の第１電極部１１０ｂの間に連結されるように構成され得る。よって、第１～第４領域のそれぞれで、第２方向（Ｙ）に沿って配列された複数の第１電極部１１０ｂは、ライン部１１０ｄを介して互いに連結され得る。

第１パッド部１１０ｐ１は、振動部１１０ａの第１領域に設けられ、振動部１１０ａの第１領域で、ライン部１１０ｄを介して複数の第１電極部１１０ｂと共通して連結され得る。振動部１１０ａの第１領域で、ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され、複数の第１電極部１１０ｂのうちの一部と第１パッド部１１０ｐ１との間に連結され得る。

第２パッド部１１０ｐ２は、振動部１１０ａの第２領域に設けられ、振動部１１０ａの第２領域で、ライン部１１０ｄを介して複数の第１電極部１１０ｂと共通して連結され得る。振動部１１０ａの第２領域で、ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され、複数の第１電極部１１０ｂのうちの一部と第２パッド部１１０ｐ２との間に連結され得る。

第３パッド部１１０ｐ３は、振動部１１０ａの第３領域に設けられ、振動部１１０ａの第３領域で、ライン部１１０ｄを介して複数の第１電極部１１０ｂと共通して連結され得る。振動部１１０ａの第３領域で、ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され、複数の第１電極部１１０ｂのうちの一部と第３パッド部１１０ｐ３との間に連結され得る。

第４パッド部１１０ｐ４は、振動部１１０ａの第４領域に設けられ、振動部１１０ａの第４領域で、ライン部１１０ｄを介して複数の第１電極部１１０ｂと共通して連結され得る。振動部１１０ａの第４域で、ライン部１１０ｄは、複数の第１電極部１１０ｂの間に連結され、複数の第１電極部１１０ｂのうちの一部と第４パッド部１１０ｐ４との間に連結され得る。

振動部１１０ａと第２電極部１１０ｃは、図３ａで説明した振動部１１０ａと第２電極部１１０ｃとそれぞれ同一であるので、これに対して同じ図面符号を付与し、これについての重複する説明は、省略することができる。

図８は、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。

図８を参照すると、本明細書の他の実施例に係る振動装置は振動駆動回路１７０をさらに含み得る。

振動駆動回路１７０は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動部１１０ａと電気的に連結され得る。本明細書の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子の振動によって第１音波（ＳＷ１）を発生させるための第１振動駆動信号を生成して振動素子に供給することができる。例えば、第１音波（ＳＷ１）は、超音波帯域の音波であるか、またはハプティックフィードバック信号（ｈａｐｔｉｃ ｆｅｅｄｂａｃｋ ｓｉｇｎａｌ）であり得る。

本明細書の他の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子に連結された第１アンプ１７１を含み得る。

第１アンプ（または第１信号生成回路）１７１は、音響ソースに基づいて第１極性信号と第２極性信号を有する交流型の第１振動駆動信号を生成することができる。本明細書の一実施例に係る第１アンプ１７１は、第１振動駆動信号の第１極性信号を出力する第１出力端子Ｔ１１、および第１振動駆動信号の第２極性信号を出力する第２出力端子Ｔ２２を含み得る。例えば、第１アンプ１７１の第１出力端子は、第１－１出力端子Ｔ１１、第１－２出力端子Ｔ１２、第１－３出力端子Ｔ１３、および第１－４出力端子Ｔ１４を含み得る。

振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂ側に向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。

第１アンプ１７１の第１－１出力端子Ｔ１１から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第１パッド部１１０ｐ１に供給され、次いで第１パッド部１１０ｐ１と電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第１－２出力端子Ｔ１２から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第２パッド部１１０ｐ２に供給され、次いで第２パッド部１１０ｐ２と電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第１－３出力端子Ｔ１３から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第３パッド部１１０ｐ３に供給され、次いで第３パッド部１１０ｐ３と電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第１－４出力端子Ｔ１４から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第４パッド部１１０ｐ４に供給され、次いで第４パッド部１１０ｐ４と電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第２出力端子Ｔ２２から出力される第１振動駆動信号の第２極性信号はフレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して、振動素子に構成された第２電極部１１０ｃに供給され得る。図８で、第１－３出力端子Ｔ１３は、説明のために第１パッド部１１０ｐ１に隣接した側に示したが、平面上で第３パッド部１１０ｐ３に連結されるように構成され得る。

図８に示す振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂに向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。第１振動駆動信号の第１極性信号は、振動素子の複数の第１電極部１１０ｂに供給され、第１振動駆動信号の第２極性信号は、振動素子の第２電極部１１０ｃに供給され得る。

図９Ａは、本明細書の他の実施例に係る振動装置の斜視図であり、図９Ｂは、図９Ａの「Ｂ」領域を拡大して示す図であり、図１０は、図９Ａの振動部の斜視図であり、図１１は、本明細書の他の実施例に係る振動装置の平面図である。

図９Ａ～図１１を参照すると、本明細書の他の実施例に係る振動装置は、第１電極部１１０ｂおよび第２電極部１１０ｃが共に振動部１１０ａの第１面または上部に位置するので、インプレーン（ｉｎ－ｐｌａｎｅ）振動装置と言える。

本明細書の他の実施例によると、第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面上で、互いに平行な少なくとも一対以上のフィンガー形状の電極を含むことができ、第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第１面上で、互いに平行な少なくとも一対以上のフィンガー形状の電極を含み得る。フィンガー形状の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面の一側の縁部に位置する第１パッド部１１０ｐ１と連結され得、フィンガー形状の第２電極部１１０ｃは、振動部１１０ａの第１面の他側の縁部に位置する第２パッド部１１０ｐ２と連結され得る。フィンガー形状の複数の第１電極部１１０ｂは、フィンガー形状の複数の第２電極部１１０ｃと噛み合うように構成され得る。例えば、フィンガー形状の複数の第１電極部１１０ｂとフィンガー形状の複数の第２電極部１１０ｃとは、互いに平行であり、互いに接触しないように予め設定された距離だけ離隔して噛み合うことができる。

図９Ｂを参照すると、第１電極部１１０ｂに正極性（＋）信号が印加され、第２電極部１１０ｃに負極性（－）信号が印加されるとき、第１電極部１１０ｂと第１電極部１１０ｂとの間に電界（ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｌｅｄ）が発生され得る。図９Ｂのように、電界が発生する場合、圧電物質からなる振動部１１０ａでは圧電効果によって変形が発生し、変形率（ΔＬ）は、圧電変形係数と電界との積によって計算することができる。

図１０を参照すると、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動部１１０ａは、第１方向（Ｘ）に沿って第１方向と平行な方向の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａと、他の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａが互いに交互に繰り返し配置され得る。第１方向と平行な方向の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａの第１幅（Ｗ１）および他の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａの第２幅（Ｗ２）は、互いに同じか異なる大きさを有することができる。また、図１１で後述するように、第１方向と平行な方向の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａおよび他の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａが第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａによって定義される複数の円形パターンが第１方向（Ｘ）に沿って交互に配置されるように第１幅（Ｗ１）および第２幅（Ｗ２）を設定され得る。

図９Ｂおよび図１０を一緒に参照すると、図９Ｂの電界の方向は、第１方向（Ｘ）に平行であり、図１０の分極方向（Ｐ）は、第１方向（Ｘ）に平行であるので、第１方向（Ｘ）を基準点に、第１方向（Ｘ）の圧電変形係数（または圧電定数）は、ｄ_３３と定義することができる。よって、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動部の変形率（ΔＬ）は、Ｅ×ｄ_３３によって計算することができる。

図１１を図９Ａと一緒に参照すると、互いに交互に噛み合う第１電極部１１０ｂおよび第２電極部１１０ｃ、第１方向（Ｘ）に沿って第１方向に平行な方向の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａおよび他の分極方向（Ｐ）を有する振動部１１０ａによって、本明細書の他の実施例に係る振動素子は、円形パターン電極のようなアレイが配列されたもののように認識されるように実現することができる。また、図１１を参照すると、第１電極部１１０ｂは、第１陰刻パターン１１０ｂａを含み、第２電極部１１０ｃは、第２陰刻パターン１１０ｃａを含むことができ、第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａは、複数の円形パターンを構成することができる。複数の円形パターンは、アレイ形態に配列され、振動部１１０ａのアクティブ領域または振動領域を円形パターン領域に限定（または定義）することで、１つの共振点を有する複数の振動素子または複数の振動発生器として認識できるように実現することができる。

また、第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａから構成される複数の円形パターンは、前述した図３Ｂのように、一定の半径を有することができ、振動部１１０ａの第１面または上部にアレイ形態に配列され得る。振動素子１１０は、１つの振動部１１０ａ、および振動部１１０ａの第１面または上部に配置された第１電極部１１０ｂおよび第２電極部１１０ｃを含むことによって、物理的に１つの振動装置になるが、複数の円形パターンがアレイ形態に振動部１１０ａの第１面または上部に配置された第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａは、振動部１１０ａのアクティブ領域または振動領域を第１電極部１１０ｂおよび第２電極部１１０ｃによる円形パターン領域に限定（または定義）することで、１つの共振点を有する複数の振動素子または振動発生器として認識できるように実現することができる。

本明細書の実施例によると、第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａから構成された複数の円形パターンのアレイ配列を有する第１電極部１１０ｂを含む本明細書の実施例に係る振動素子１１０は、第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａによって定義される円形パターンの長さを式１の振動素子の長さと認識されるように実現され得る。したがって、式１で、共振周波数が振動素子の長さに反比例するように、本明細書の実施例に係る振動装置の共振周波数は、第１陰刻パターン１１０ｂａおよび第２陰刻パターン１１０ｃａの円形パターンの半径に反比例することができる。また、振動装置の共振周波数は、式１で表現したように、振動素子１１０の第１方向（Ｘ）の第１長さ（Ｌ１）または第２方向（Ｙ）の第２長さ（Ｌ２）に反比例することができる。

本明細書の実施例によると、インプレーン（ｉｎ－ｐｌａｎｅ）振動装置は、変位方向と圧電変形係数（ｄ_３３）の方向とを一致させることができるので、振動装置の変位を増加させることができるという利点があり、２０ｋＨｚ～１０ＭＨｚ帯域の超音波共振の設計を実現することができる。

図１２は、本明細書の他の実施例による振動装置の斜視図であり、図１３は、本明細書の他の実施例による振動装置の平面図であり、図１４Ａは、図１３の振動部の斜視図であり、図１４Ｂは、図１３に示す線ＩＩ－ＩＩ’についての断面図である。

図１２、図１３、図１４Ａ、および図１４Ｂを参照すると、振動装置の振動素子は、振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部面に位置する超音波電極部１１０ｂ１と音響電極部１１０ｂ２、超音波電極部１１０ｂ１の超音波パッド部１１０ｐ１、音響電極部１１０ｂ２の音響パッド部１１０ｐ２、超音波電極部１１０ｂ１と超音波パッド部１１０ｐ１とを連結し、音響電極部１１０ｂと音響パッド部１１０ｐとを連結するライン部１１０ｄ、および振動部１１０ａの第１面と反対の第２面に配置された第３電極部１１０ｃを含み得る。超音波電極部１１０ｂ１は、第１電極部であり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。音響電極部１１０ｂ２は、第２の電極部であり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。超音波パッド部１１０ｐ１は、パッド部または第１パッド部であり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

本明細書の他の実施例によると、超音波電極部１１０ｂ１は、振動部１１０ａの第１面上で、互いに平行な少なくとも一対以上のフィンガー形状の電極を含み得る。フィンガー形状の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面の一側の縁部に位置する第１パッド部１１０ｐ１と連結され得る。音響電極部１１０ｂ２は振動部１１０ａの第１面上で、複数のフィンガー形状の電極を取り囲むように形成され得る。

本明細書の他の実施例に係る振動装置は、超音波電極部１１０ｂ１から第１音波（ＳＷ１）を発生させることができ、音響電極部１１０ｂ２から第２音波（ＳＷ２）を発生させることができる。例えば、第１音波（ＳＷ１）は、２００Ｈｚ～１００ｋＨｚ帯域の周波数を含むか、または２０ｋＨｚ～１０ＭＨｚ帯域の周波数を含むことができ、第２音波（ＳＷ２）は、可聴周波数帯域である２００Ｈｚ～２０ｋＨｚ帯域の周波数を含み得るが、第１音波（ＳＷ１）および第２音波（ＳＷ２）の周波数帯域がこれに限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る振動装置の第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に配置され得る。本明細書の実施例に係る第１電極部１１０ｂは、振動部１１０ａの第１面または上部に複数から構成され得る。複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターン電極であり、アレイ形態に配列され得る。また、本明細書の実施例に係る振動装置で、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、円形パターン電極であり、アレイ形態に配列され、振動素子１１０は、第１振動部１１０ａ１、第３振動部１１０ａ３、および第１振動部１１０ａ１と第３振動部１１０ａ３との間の第２振動部１１０ａ２を含む１つの振動部１１０ａ、振動部１１０ａの第１面または上部に配置された複数の第１電極部１１０ｂ、および複数の第１電極部１１０ｂの間に連結されたライン部１１０ｄを含むことで、振動素子１１０は、物理的に１つの振動装置で構成されるが、円形パターン電極がアレイ形態に配列された複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれは、振動部１１０ａのアクティブ領域または振動領域を複数の第１電極部１１０ｂのそれぞれの円形パターン領域に限定（または定義）することで、１つの共振点を有する複数の振動素子または複数の振動発生器として認識できるように実現することができる。

本明細書の実施例によると、円形電極パターンを有し、アレイ形態に配置された複数の第１電極部１１０ｂを含む振動素子１１０は、共振周波数を生成する１つの第１電極部１１０ｂの長さを式１での振動素子の長さとして認識するように実現することができる。したがって、式１で共振周波数が振動素子の長さに反比例するように、振動装置の共振周波数は第１電極部１１０ｂの半径に反比例することができる。また、振動装置の共振周波数は、式１で表現したように、振動素子１１０の第１方向（Ｘ）の第１長さ（Ｌ１）または第２方向（Ｙ）の第２長さ（Ｌ２）に反比例することができる。本明細書の実施例に係る振動装置は、円形パターンを含む複数の第１電極部１１０ｂの配列によって、複数の圧電セラミックまたは圧電素子を配列したものと同一または類似の効果を出すことができる。

また、本明細書の実施例に係る振動装置は、第１電極部１１０ｂによって装置の前方に音波を出力することができ、行と列に配置された複数の第１電極部１１０ｂのアレイ構造によって発生された補強干渉（ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｖｅ ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ）を用いたビームフォーミング（ｂｅａｍ ｆｏａｍｉｎｇ）効果によって大面積の超音波発生器または大面積超音波ハプティックディスプレイとして適用されることができ、大面積のディスプレイ装置、超音波発生器、またはセンサーなどに適用することができる。

図１４Ｂを参照すると、本明細書の実施例に係る振動素子の振動部１１０ａは、第１振動部１１０ａ１、第２振動部１１０ａ２、および第３振動部１１０ａ３を含み得る。

本明細書の実施例に係る第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３は、無機物質部で構成され得る。無機物質部は、圧電効果を含む圧電物質、複合圧電物質、または電気活性物質を含み得る。例えば、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３は、図２で説明した振動部１１０ａと同じ物質を含み得る。

本明細書の実施例に係る第２振動部１１０ａ２は、有機物質部で構成され得る。例えば、有機物質部は、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３との間に配置されることで、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３に印加される衝撃を吸収することができ、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３に集中されるストレス（ｓｔｒｅｓｓ）をリリース（ｒｅｌｅａｓｉｎｇ）して第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３または振動素子１１０の耐久性を向上させることができ、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３または振動素子１１０に柔軟性を提供することができる。

第２振動部１１０ａ２に構成される有機物質部は、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３に比べて柔軟な特性を有する有機物質または有機ポリマーであり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、第２振動部１１０ａ２は、柔軟性を有する接着部、伸縮部、ベンディング部、ダンピング部、または軟性部などで表現することができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

第２振動部１１０ａ２は、複数から構成され得る。例えば、第２振動部１１０ａ２は、複数の第１振動部１１０ａ１のそれぞれを取り囲むように複数から構成され得る。複数の第２振動部１１０ａ２のそれぞれは、第１振動部１１０ａ１および第３振動部１１０ａ３との間に配置され得る。よって、振動部１１０ａまたは振動素子は、第２振動部１１０ａ２によって第１振動部１１０ａ１の単位格子内のリンクによる振動エネルギーが増加することができるので、振動特性が増加することができ、振動素子の圧電特性および柔軟性が確保され得る。例えば、第２振動部１１０ａ２は、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）系ポリマー、アクリル（ａｃｒｙｌｉｃ）系ポリマー、およびシリコン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）系ポリマーのうちの１種以上であり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

図１４Ａおよび図１４Ｂに示すように、本明細書の他の実施例に係る振動素子１１０で、無機物質部構成された第１振動部１１０ａ１が内側に円柱のような形状に配置された後、有機物質部で構成された第２振動部１１０ａ２が第１振動部１１０ａ１を取り囲む形態に配置され、残りの空間に無機物質部で構成された第３振動部１１０ａ３が配置され得る。次に、超音波電極部１１０ｂ１が第１振動部１１０ａ１に対応されるように第１振動部１１０ａ１の第１面上に配置され、音響電極部１１０ｂ２が第３振動部１１０ａ３に対応されるように第３振動部１１０ａ３の第１面上に配置され得る。次に、第２電極部１１０ｃが振動部１１０ａの第１面と反対の第２面に配置され得る。

図１５は、本明細書の他の実施例に係る振動装置の振動駆動回路を示す図である。

図１５を参照すると、本明細書の他の実施例に係る振動装置は、振動駆動回路１７０をさらに含み得る。

振動駆動回路１７０は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動部１１０ａと電気的に連結され得る。本明細書の他の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子の振動によって第１音波（ＳＷ１）を発生させるための第１振動駆動信号を生成して振動素子に供給することができる。

本明細書の他の実施例に係る振動駆動回路１７０は、振動素子に連結された第１アンプ１７１を含み得る。

第１アンプ（または第１信号生成回路）１７１は、音響ソースに基づいて第１極性信号と第２極性信号を有する交流型の第１振動駆動信号を生成することができる。本明細書の一実施例に係る第１アンプ１７１は、第１振動駆動信号の第１極性信号を出力する第１出力端子Ｔ１１、および第１振動駆動信号の第２極性信号を出力する第２出力端子Ｔ２２を含み得る。

振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂ側に向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。

第１アンプ１７１の第１出力端子Ｔ１１から出力される第１振動駆動信号の第１極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成されたパッド部１１０ｐ１、１１０ｐ２に供給され、次いでパッド部１１０ｐ１、１１０ｐ２と電気的に連結された複数の第１電極部１１０ｂに供給され得る。第１アンプ１７１の第２出力端子Ｔ２２から出力される第１振動駆動信号の第２極性信号は、フレキシブルケーブル（ＦＣ）を介して振動素子に構成された第２電極部１１０ｃに供給され得る。

図１５に示す振動素子に構成された振動部１１０ａは、第２電極部１１０ｃから第１電極部１１０ｂに向かう分極方向（Ｐ）を有することができる。第１振動駆動信号の第１極性信号は、振動素子の第１電極部１１０ｂに供給され、第１振動駆動信号の第２極性信号は、振動素子の第２電極部１１０ｃに供給され得る。

図１６は、本明細書の実施例による装置を示す図であり、図１７は、図１６に示す線ＩＶ－ＩＶ’についての断面図である。

図１６および図１７を参照すると、本明細書の実施例による装置（または表示装置）は、映像を表示する表示パネル（または振動対象物）１１００、および表示パネル１１００の後面（または背面）で表示パネル１１００を振動させる振動発生装置１２００を含み得る。

表示パネル１１００は、映像、例えば、電子映像（ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｉｍａｇｅ）、デジタル映像（ｄｉｇｉｔａｌ ｉｍａｇｅ）、静止映像（ｓｔｉｌｌ ｉｍａｇｅ）、またはビデオ映像（ｖｉｄｅｏ ｉｍａｇｅ）を表示することができる。例えば、表示パネル１１００は、光を出力して映像を表示することができる。表示パネル１１００は、液晶表示パネル、有機発光表示パネル、量子ドット発光表示パネル、マイクロ発光ダイオード表示パネル、および電気泳動表示パネルなどのような、あらゆる形状の表示パネルまたは曲面型表示パネルであり得る。表示パネル１１００は、フレキシブル表示パネルであり得る。例えば、表示パネル１１００は、フレキシブル発光表示パネル、フレキシブル電気泳動表示パネル、フレキシブル電子湿潤表示パネル、フレキシブルマイクロ発光ダイオード表示パネル、またはフレキシブル量子ドット発光表示パネルであり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

本明細書の実施例によると、振動対象物は、映像を表示する画素を含む表示パネル、表示装置から映像が投射されるスクリーンパネル、照明パネル、サイネージパネル、運送手段の内装材、運送手段のガラス窓、運送手段の外装材、建物の天井材、建物の内装材、建物のガラス窓、航空機の内装材、航空機のガラス窓、木材、プラスチック、ガラス、金属、布、纎維、紙、ゴム、皮革、カーボン、および鏡のうちの１つ以上を含み得る。

本明細書の実施例に係る表示パネル１１００は、複数の画素の駆動によって映像を表示する表示領域（ＡＡ）を含み得る。また、表示パネル１１００は、表示領域（ＡＡ）を取り囲む非表示領域（ＩＡ）をさらに含み得るが、本明細書の実施例は必ずしもこれに限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る表示パネル１１００は、基板の表示領域（ＡＡ）上に配置された画素アレイ部を含み得る。画素アレイ部は、信号ラインに供給される信号に応じて映像を表示する複数の画素を含み得る。信号ラインは、ゲートライン、データライン、および画素駆動電源ラインなどを含み得る。

複数の画素のそれぞれは、複数のゲートラインおよび／または複数のデータラインによって構成される画素領域に設けられた駆動薄膜トランジスタを含む画素回路層、駆動薄膜トランジスタと電気的に連結された第１電極（または画素電極）、第１電極上に形成された発光素子、および発光素子と電気的に連結された第２電極（または共通電極）を含み得る。

本明細書の実施例に係る発光素子は、第１電極上に形成された有機発光素子層を含み得る。有機発光素子層は、画素別に同じ色、例として、ホワイト（ｗｈｉｔｅ）光を発光するように実現されるか、画素別に異なる色、例として、赤色、緑色、または青色の光を発光するように実現されることもできる。

本明細書の他の実施例に係る発光素子は、第１電極および第２電極のそれぞれに電気的に連結されたマイクロ発光ダイオード素子を含み得る。マイクロ発光ダイオード素子は、集積回路（ＩＣ）またはチップ（Ｃｈｉｐ）の形態に実現された発光ダイオードであり得る。マイクロ発光ダイオード素子は、第１電極と電気的に連結された第１端子、および第２電極と電気的に連結された第２端子を含み得る。

本明細書の他の実施例に係る表示パネル１１００は、第１基板、第２基板、および液晶層を含み得る。第１基板は、上部基板または薄膜トランジスタのアレイ基板であり得る。例えば、第１基板は、複数のゲートラインおよび／または複数のデータラインが交差される画素領域に形成された複数の画素を有する画素アレイ部を含み得る。複数の画素のそれぞれは、ゲートラインおよび／またはデータラインに接続された薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタに接続された画素電極、および画素電極に隣接するように形成されて共通電圧が供給される共通電極を含み得る。第２基板は、下部基板またはカラーフィルタアレイ基板であり得る。例えば、第２基板は、第１基板に形成された画素領域に重畳される開口領域を含み得る画素定義パターン、および開口領域に形成されたカラーフィルタ層を含み得る。液晶層は、第１基板および第２基板との間に配置され得る。液晶層は、各画素ごとに画素電極に印加されるデータ電圧と共通電極に印加される共通電圧によって形成される電界によって液晶分子の配列方向が変化される液晶からなることができる。

振動発生装置１２００は、表示パネル１１００の背面で表示パネル１１００を振動させることで、表示パネル１１００の振動に基づいて音響および／またはハプティックフィードバックを使用者に提供することができる。振動発生装置１２００は、表示パネル１１００を直接的に振動させることができるように、表示パネル１１００の背面に実現され得る。

本明細書の実施例として、振動発生装置１２００は、表示パネル１１００に表示される映像と同期される振動駆動信号に応じて振動して表示パネル１１００を振動させることができる。本明細書の他の実施例として、振動発生装置１２００は、表示パネル１１００上に配置されるか、または表示パネル１１００に内装されたタッチパネル（またはタッチセンサー層）に対するタッチ、例えば、使用者によるタッチに同期されるハプティックフィードバック信号（または触覚フィードバック信号）に応じて振動して表示パネル１１００を振動させることができる。したがって、表示パネル１１００は、振動発生装置１２００の振動によって振動して音響およびハプティックフィードバックのうちの少なくとも１つ以上を使用者（または視聴者）に提供することができる。

本明細書の実施例に係る振動発生装置１２００は、表示パネル１１００の表示領域ＡＡと対応する大きさに実現され得る。振動発生装置２００の大きさは、表示領域ＡＡの大きさに対して０．９倍乃至１．１倍であり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、振動発生装置１２００の大きさは、表示領域ＡＡの大きさと同じか小さいことがあり得る。例えば、振動発生装置１２００の大きさは、表示パネル１１００の表示領域ＡＡと同一、またはほぼ同一の大きさを有することができるので、表示パネル１１００の大部分の領域をカバーすることができ、振動発生装置１２００から発生される振動が表示パネル１１００の全体を振動させることができるので、音響の定位感が高く、使用者の満足度を向上され得る。また、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間の接触面積（またはパネルカバレッジ（ｐａｎｅｌ ｃｏｖｅｒａｇｅ））が増加して表示パネル１１００の振動領域が増加し得るので、表示パネル１１００の振動によって発生される中低音域帯の音響が改善され得る。そして、大型の表示装置に適用される振動発生装置１２００は、大型（または大面積）の表示パネル１１００の全体を振動させることができるので、表示パネル１１００の振動による音響の定位感がさらに向上されて向上された音響効果を実現することができる。

本明細書の実施例に係る振動発生装置１２００は、図１～図１５で説明した振動装置のうちの１つ以上を含み得るので、これについての重複する説明は、省略することができる。

本明細書の実施例に係る装置は、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間に配置された連結部材１１５０をさらに含み得る。

連結部材１１５０は、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間に配置されることで、振動発生装置１２００を表示パネル１１００の背面に連結するか、または結合させることができる。例えば、振動発生装置１２００は、連結部材１１５０を介して表示パネル１１００の背面に直接に連結されるか、または結合されることで、表示パネル１１００の背面に支持されるか、または配置され得る。

本明細書の実施例に係る連結部材１１５０は、表示パネル１１００の背面および振動発生装置１２００のそれぞれに対して密着力または接着力に優れた接着層を含む材料で構成することができる。例えば、連結部材１１５０は、フォームパッド、両面テープ、両面フォームテープ、または接着剤などを含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、連結部材１１５０の接着層は、エポキシ（ｅｐｏｘｙ）、アクリル（ａｃｒｙｌｉｃ）、シリコン（ｓｉｌｉｃｏｎｅ）、またはウレタン（ｕｒｅｔｈａｎｅ）を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、連結部材１１５０の接着層は、アクリルおよびウレタンのうちの相対的に接着力に優れ、硬度が高い特性を有するアクリル系物質（または材料）を含み得る。よって、振動発生装置１２００の振動は、表示パネル１１００にうまく伝達され得る。

本明細書の他の実施例に係る連結部材１１５０は、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間に設けられる中空部をさらに含み得る。連結部材１１５０の中空部は、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間にエアギャップを設けることができる。エアギャップは、振動発生装置１２００の振動による音波（または音圧）が連結部材１１５０によって分散せずに表示パネル１１００に集中されるようにすることにより、連結部材１１５０による振動の損失を最小化することができるので、表示パネル１１００の振動によって発生される音響の音圧特性を増加させることができる。

本明細書の実施例に係る装置は、表示パネル１１００の背面に配置された支持部材１３００をさらに含み得る。

支持部材１３００は表示パネル１１００の背面を覆うことができる。例えば、支持部材１３００は、ギャップ空間（ＧＳ）を挟んで表示パネル１１００の背面全体を覆うことができる。例えば、支持部材１３００は、ガラス材質、金属材質およびプラスチック材質のうちの少なくとも１つ以上の材質を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、支持部材１３００は、背面構造物、セット構造物、カバーボトム、またはバックカバーであり得る、この用語に限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る支持部材１３００は、第１支持部材１３１０および第２支持部材１３３０を含み得る。

第１支持部材１３１０は、表示パネル１１００の背面を覆うことができる。例えば、第１支持部材１３１０は、表示パネル１１００の背面全体を覆う部材であり得る。例えば、第１支持部材１３１０は、ガラス材、金属材およびプラスチック材のうちの少なくとも１つ以上の材質を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、第１支持部材１３１０は、インナープレートであり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。

第１支持部材１３１０は、ギャップ空間（ＧＳ）を挟んで表示パネル１１００の最後面から離隔されるか、または振動発生装置１２００から離隔され得る。例えば、ギャップ空間（ＧＳ）は、エアギャップ、振動空間、または音響箱などで表現されることができるが、この用語に限定されるものではない。

第２支持部材１３３０は、第１支持部材１３１０の背面に配置され得る。第２支持部材１３３０は、第１支持部材１３１０の背面全体を覆う部材であり得る。例えば、第２支持部材１３３０は、ガラス材質、金属材質およびプラスチック材質のうちの少なくとも１つ以上の材質を含むことができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、第２支持部材１３３０は、アウタープレート、背面プレート、バックプレート、バックカバー、またはリアカバーであり得る、本明細書の実施例はこの用語に限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る支持部材１３００は、結合部材１３５０をさらに含み得る。結合部材１３５０は、第１支持部材１３１０と第２支持部材１３３０との間に配置され得る。例えば、第１支持部材１３１０と第２支持部材１３３０は、結合部材１３５０を介して互いに結合されるか、または連結され得る。例えば、結合部材１３５０は、接着レジン、両面テープ、両面フォームテープ、または両面接着フォームパッドであり得、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、結合部材１３５０は、衝撃吸収のために弾性を有することができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。本明細書の一実施例として、結合部材１３５０は、第１支持部材１３１０と第２支持部材１３３０との間の全体領域に配置され得る。本明細書の他の実施例として、結合部材１３５０は、第１支持部材１３１０と第２支持部材１３３０との間にエアギャップを有する網構造を有するように形成され得る。

本明細書の実施例に係る装置は、ミドルフレーム１４００をさらに含み得る。

ミドルフレーム１４００は、表示パネル１１００の背面の縁部分と支持部材１３００の前面の縁部分との間に配置され得る。ミドルフレーム１４００は、表示パネル１１００の背面の縁部分および支持部材１３００の前面の縁部分のうちの１つ以上をそれぞれ支持し、表示パネル１１００および支持部材１３００のそれぞれの側面のうちの１つ以上を取り囲み得る。ミドルフレーム１４００は、表示パネル１１００と支持部材１３００との間にギャップ空間（ＧＳ）を設けることができる。

本明細書の実施例によると、ミドルフレーム１４００は、第１フレーム連結部材１４０１を介して表示パネル１１００の背面の縁部分と結合されるか、または連結され得る。ミドルフレーム１４００は、第２フレーム連結部材１４０３を介して支持部材１３００の前面の縁部分と結合されるか、または連結され得る。

本明細書の実施例に係る装置は、ミドルフレーム１４００の代わりに、パネル連結部材（または連結部材）を含み得る。パネル連結部材は、表示パネル１１００の背面の縁部分と支持部材１３００の前面の縁部分との間に配置されることで、表示パネル１１００と支持部材１３００との間にギャップ空間（ＧＳ）を設けることができる。パネル連結部材は、表示パネル１１００の背面の縁部分と支持部材１３００の前面の縁部分との間に配置されることで、表示パネル１１００と支持部材１３００とを接着させることができる。例えば、パネル連結部材（または連結部材）の接着層は、連結部材１１５０の接着層と同じか異なることができる。

本明細書の実施例に係る装置（または表示装置）は、表示パネル１１００の背面に配置された振動発生装置１２００の振動による表示パネル１１００の振動によって発生される音響を表示パネル１１００または装置の前方に出力することができ、振動発生装置１２００の振動によって発生される音響を特定の方向に集中させるか、またはフォーカシングすることで、特定方向の領域（または聴音領域）以外の周辺領域（または非聴音領域）では音響が聞けないようにする使用者の私生活保安機能を実現することができる。

図１６および図１７で、振動発生装置１２００が表示パネル１１００を振動させて音響を発生するか、または出力することを説明したが、本明細書の実施例はこれに限定されない。例えば、振動発生装置１２００は、前述した振動対象物のうちの表示パネル１１００以外の他の振動対象物を振動させて音響を発生するか、または出力することができる。

図１８は、図１６に示す線ＩＩＩ－ＩＩＩ’についての他の断面図であり、これは図１７に示す振動発生装置を変更したものである。よって、以下の説明では、振動発生装置およびこれに関連した構成を除いて残った構成についての説明は、省略するか、または簡略にすることができる。

図１６および図１８を参照すると、本明細書の他の実施例に係る装置で、表示パネル１１００は、第１背面領域（ＲＡ１）および第２背面領域（ＲＡ２）を含み得る。例えば、第１背面領域（ＲＡ１）は、表示パネル１１００の右側の背面領域であり得、第２背面領域（ＲＡ２）は、表示パネル１１００の左側の背面領域であり得る。第１および第２背面領域（ＲＡ１、ＲＡ２）は、第１方向（Ｘ）を基準とするとき、表示パネル１１００の中間ライン（ＣＬ）を中心に左右対称であり得る、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、第１および第２背面領域（ＲＡ１、ＲＡ２）のそれぞれは、表示パネル１１００の表示領域（ＡＡ）と重畳することができる。

振動発生装置１２００は、第１振動発生装置１２００－１および第２振動発生装置１２００－２を含み得る。

第１振動発生装置１２００－１は、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）に配置され得る。第１振動発生装置１２００－１は、第１音響の特性または装置に要求される音響特性によって、第１背面領域（ＲＡ１）と同じ大きさを有するか、または第１背面領域（ＲＡ１）より小さい大きさを有することができる。例えば、第１振動発生装置１２００－１は、第１方向（Ｘ）を基準とするとき、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）内で中央部または縁部側に偏るように配置され得る。

本明細書の実施例によると、第１振動発生装置１２００－１は、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）を振動させることで、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）で第１振動音響、第１指向性振動音響、および第１ハプティックフィードバックのうちの少なくとも１つの第１音響を発生させることができる。例えば、第１振動発生装置１２００－１は、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）を直接に振動させることで、表示パネル１１００の第１背面領域（ＲＡ１）で第１音響を発生させることができる。例えば、第１音響は、右側音響であり得る。

第２振動発生装置１２００－２は、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）に配置され得る。第２振動発生装置１２００－２は、第２音響の特性または装置に要求される音響特性によって、第２背面領域（ＲＡ２）と同じ大きさを有するか、または第２背面領域（ＲＡ２）より小さい大きさを有することができる。例えば、第２振動発生装置１２００－２は、第１方向（Ｘ）を基準とするとき、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）内で中央部または縁部側に偏るように配置され得る。

本明細書の実施例によると、第２振動発生装置１２００－２は、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）を振動させることで、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）で第２振動音響、第２指向性振動音響、および第２ハプティックフィードバックのうちの少なくとも１つの第２音響を発生させることができる。例えば、第２振動発生装置１２００－２は、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）を直接に振動させることで、表示パネル１１００の第２背面領域（ＲＡ２）で第２音響を発生させることができる。例えば、第２音響は、左側音響であり得る。

第１および第２振動発生装置１２００－１、１２００－２は、装置の左右側の音響特性および／または装置の音響特性によって、互いに同じ大きさを有するか、または互いに異なる大きさを有することができる。そして、第１および第２振動発生装置１２００－１、１２００－２は、表示パネル１１００の中間ライン（ＣＬ）を中心に左右対称または左右非対称の構造を有するように配置され得る。

第１振動発生装置１２００－１および第２振動発生装置１２００－２のそれぞれは、図１～図１５で説明した振動装置のうちの１つ以上を含み得るので、これについての重複する説明は、省略することができる。

第１振動発生装置１２００－１および第２振動発生装置１２００－２のそれぞれは、連結部材１１５０を介して表示パネル１１００の背面に配置され得る。連結部材１１５０は、図１７で説明した連結部材１１５０と実質的に同一であるので、これについての重複する説明は、省略することができる。

本明細書の他の実施例に係る装置（または表示装置）は、第１振動発生装置１２００－１および第２振動発生装置１２００－２を介して左側音響および右側音響を表示パネル１１００の前方に出力することができ、第１振動発生装置１２００－１および第２振動発生装置１２００－２のそれぞれの振動によって発生される音響を特定の方向に集中させるか、またはフォーカシングすることで、特定方向の領域（または聴音領域）以外の周辺領域（または非聴音領域）では音響が聞けないようにする使用者私生活保安機能を実現することができる。

本明細書の他の実施例に係る装置は、表示パネル１１００と振動発生装置１２００との間に配置されたプレート１１７０をさらに含み得る。

プレート１１７０は、表示パネル１１００の背面と同じ形状および同じ大きさを有するか、または振動発生装置１２００と同じ形状および同じ大きさを有することができる。本明細書の他の実施例で、プレート１１７０は、表示パネル１１００と異なる大きさを有することができる。例えば、プレート１１７０は、表示パネル１１００の大きさより小さいことがあり得る。本明細書の他の実施例で、プレート１１７０は、振動発生装置１２００と異なる大きさを有することができる。例えば、プレート１１７０は、振動発生装置１２００の大きさより大きいか、小さいことがあり得る。振動発生装置１２００の大きさは、表示パネル１１００の大きさと同じか、小さいことがあり得る。

プレート１１７０は、プレート結合部材１１９０（または結合部材または連結部材）を介して表示パネル１１００の背面に連結されるか、または結合され得る。よって、振動発生装置１２００は、連結部材１１５０を介してプレート１１７０の背面に連結されるか、または結合されることで、プレート１１７０の背面に支持されるか、またはぶら下がることができる。

本明細書の実施例に係るプレート１１７０は、複数の開口部を含み得る。複数の開口部は、一定の大きさおよび一定の間隔を有するように構成され得る。例えば、複数の開口部は、一定の大きさおよび一定の間隔を有するように第１方向（Ｘ）および第２方向（Ｙ）に沿って形成され得る。複数の開口部のそれぞれは、振動発生装置１２００の振動による音波（または音圧）がプレート１１７０によって分散せずに表示パネル１１００に集中されるようにすることにより、プレート１１７０による振動の損失を最小化することで、表示パネル１１００の振動によって発生される音響の音圧特性を増加させることができる。例えば、複数の開口部を含むプレート１１７０は、メッシュ形状を有することができる。例えば、複数の開口部を含むプレート１１７０は、メッシュプレートであり得る。

本明細書の実施例に係るプレート１１７０は、金属材質であり得る。例えば、プレート１１７０は、ステンレススチール(ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ)、アルミニウム（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、マグネシウム合金、マグネシウムリチウム（Ｍｇ－Ｌｉ）合金、およびアルミニウム合金のうちのいずれか１つ以上の材質からなることができ、本明細書の実施例はこれに限定されるものではない。よって、プレート１１７０は、表示パネル１１００で発生される熱を放熱させる放熱プレートの役割を果たすことができる。

本明細書の実施例によると、金属材質のプレート１１７０は、表示パネル１１００の背面に配置されるか、またはぶら下がる振動発生装置１２００の質量（ｍａｓｓ）を補強することができる。これにより、プレート１１７０は、振動発生装置１２００の質量増加による振動発生装置１２００の共振周波数を減少させることができる。よって、プレート１１７０は、振動発生装置１２００の振動に連動されて発生される低音域帯の音響特性および低音域帯の音圧特性を増加させ、音圧特性の平坦度を向上させることができる。ここで、音響特性の平坦度は、最高音圧と最低音圧との間の偏差の大きさであり得る。例えば、プレート１１７０は、重量部材、マス部材、または音響平坦化部材などで表現されることができ、この用語に限定されるものではない。

本明細書の実施例に係る振動装置は、装置に配置される振動装置に適用され得る。本明細書の実施例に係る装置（または表示装置）は、モバイルデバイス、映像電話器、スマートウォッチ（ｓｍａｒｔ ｗａｔｃｈ）、ウォッチフォン（ｗａｔｃｈ ｐｈｏｎｅ）、ウェアラブル機器（ｗｅａｒａｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、フォルダブル機器（ｆｏｌｄａｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、ローラブル機器（ｒｏｌｌａｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、ベンダブル機器（ｂｅｎｄａｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、フレキシブルデバイス（ｆｌｅｘｉｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、カーブ・ド・機器（ｃｕｒｖｅｄ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、スライディング機器（ｓｌｉｄｉｎｇ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、可変機器（ｖａｒｉａｂｌｅ ａｐｐａｒａｔｕｓ）、電子手帳、電子ブック、ＰＭＰ（ｐｏｒｔａｂｌｅ ｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ ｐｌａｙｅｒ）、ＰＤＡ（ｐｅｒｓｏｎａｌ ｄｉｇｉｔａｌ ａｓｓｉｓｔａｎｔ）、ＭＰ３プレーヤー、モバイル医療機器、デスクトップＰＣ（ｄｅｓｋｔｏｐ ＰＣ）、ラップトップＰＣ（ｌａｐｔｏｐ ＰＣ）、ネットブックコンピュータ（ｎｅｔｂｏｏｋ ｃｏｍｐｕｔｅｒ）、ワークステーション、（ｗｏｒｋｓｔａｔｉｏｎ）、ナビゲーション、車両用ナビゲーション、車両用表示装置、車両用装置、劇場用装置、劇場用表示装置、テレビ、ウオールペーパー（ｗａｌｌｐａｐｅｒ）機器、サイネージ（ｓｉｇｎａｇｅ）機器、ゲーム機器、ノートパソコン、モニター、カメラ、ビデオカメラ、および家電機器などに適用され得る。そして、本明細書の実施例に係る振動装置は、有機発光照明装置または無機発光照明装置に適用することができる。振動装置が照明装置に適用される場合、照明装置は、照明およびスピーカーの役割を果たすことができる。そして、本明細書の実施例に係る振動装置がモバイルデバイスなどに適用される場合、振動装置は、スピーカー、レシーバー、およびハプティックのうちの１つ以上であり得るが、本明細書の実施例はこれに限定されない。

本明細書の実施例に係る振動装置およびこれを含む装置は、以下のように説明することができる。

本明細書の実施例に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部、振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された第１電極部、および振動部の第１面と反対の第２面にある第２電極部を含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、超音波を発生することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、複数の円形パターンは、同じ半径を有するように構成され得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、振動部の第１面にあるライン部、および振動部の一側にあるパッド部をさらに含み、ライン部は、第１電極部とパッド部を連結することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動装置は、振動素子の第１面にある第１カバー部材、および振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材をさらに含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、独立的に駆動されるように構成された少なくとも２つの領域を含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、第１領域～第４領域、第１領域に配置された第１パッド部および第１パッド部と連結された複数の第１電極部、第２領域に配置された第２パッド部および第２パッド部と連結された複数の第１電極部、第３領域に配置された第３パッド部および第３パッド部と連結された複数の第１電極部、および第４領域に配置された第４パッド部および第４パッド部と連結された複数の第１電極部を含み、第１領域～第４領域に配置された第１電極部のそれぞれは、電気的に分離され得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、振動部の第１面にあるライン部をさらに含み、ライン部は、第１～第４パッド部のそれぞれと第１～第４領域の第１電極部を連結させることができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動装置は、振動駆動回路をさらに含み、振動駆動回路は、第１電極部に第１極性信号を供給し、第２電極部に第２極性信号を供給することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、第２電極部は、単一電極で構成され得る。

本明細書の実施例に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部、振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された超音波電極部、超音波電極部を取り囲むように構成された音響電極部、および振動部の第１面と反対の第２面にあり、単一電極で構成された第２電極部を含み、振動素子は、超音波および可聴周波数有する第２音響を発生することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、複数の円形パターンは、同じ半径を有するように構成され、振動素子の共振周波数は、１つの共振点を有することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、振動部の第１面にあるライン部、および振動部の一側にある超音波パッド部をさらに含み、ライン部は、超音波電極部と超音波パッド部を連結することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動装置は、振動素子の第１面にある第１カバー部材、および振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材をさらに含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動部は、圧電物質を含み、超音波電極部と重畳する第１振動部、第１振動部を取り囲み、有機物質部で構成された第２振動部、および圧電物質を含み、音響電極部と重畳する第３振動部を含み得る。

本明細書の実施例に係る振動装置は、振動素子を含み、振動素子は、圧電物質を含む振動部、振動部の第１面にあるフィンガータイプの第１電極部、および振動部の第１面にあるフィンガータイプの第２電極部を含み、第１電極部は、第１陰刻パターンを含み、第２電極部は、第２陰刻パターンを含み、第１陰刻パターンおよび第２陰刻パターンは、複数の円形パターンを構成することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動素子は、超音波を発生することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、複数の円形パターンは、同じ半径を有し、振動素子の共振周波数は、１つの共振点を有することができる。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動装置は、振動素子の第１面にある第１カバー部材、および振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材を含み得る。

本明細書の実施例に係る装置は、振動対象物、振動対象物にある振動発生装置、および振動対象物と振動発生装置との間の連結部材を含み、振動発生装置は、請求項１～１５のいずれか一項に記載の振動装置を含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、複数の第１電極部および複数の第２電極部は、互いに噛み合い、第1方向に沿って互いに離隔され得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、複数の第1電極部には第1極性信号が供給され、複数の第2電極部には第2極性信号が供給され、第1方向と平行な分極方向を有する振動部および異なる分極方向を有する振動部は、第1方向に沿って交互に繰り返し配列され得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動対象物は、映像を表示する画素を含む表示パネルであり、表示パネルは、第１背面領域および第２背面領域を含み、振動発生装置は、表示パネルの第１背面領域にある第１振動発生装置、および表示パネルの第２背面領域にある第２振動発生装置を含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、装置は、振動対象物と振動発生装置との間にあるプレートをさらに含み得る。

本明細書のいくつかの実施例によると、振動対象物は、映像を表示する画素を含む表示パネル、表示装置から映像が投射されるスクリーンパネル、照明パネル、サイネージパネル、運送手段の内装材、運送手段のガラス窓、運送手段の外装材、建物の天井材、建物の内装材、建物のガラス窓、航空機の内装材、航空機のガラス窓、木材、プラスチック、ガラス、金属、布、纎維、紙、ゴム、皮革、カーボン、および鏡のうちの１つ以上を含み得る。

本明細書の技術的思想または範囲から逸脱することなく、本明細書の振動装置およびそれを含む音響装置に対して様々な修正および変形がなされることは当業者に明らかである。したがって、本明細書は、添付された請求範囲およびその均等物の範囲内にある限り、本明細書の内容の修正および変形を含むように意図され得る。

１０：振動装置
１１０：振動素子
１２０：第１カバー部材
１３０：第２カバー部材
１１００：表示パネル
１２００：振動発生装置

Claims (25)

1. 振動素子を含み、
   前記振動素子は、
   圧電物質を含む振動部と、
   前記振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された第１電極部と、
   前記振動部の第１面と反対の第２面にある第２電極部とを含む、振動装置。
2. 前記振動素子は、超音波を発生する、請求項１に記載の振動装置。
3. 前記複数の円形パターンは、同じ半径を有するように構成され、
   前記振動素子の共振周波数は、１つの共振点を有する、請求項１に記載の振動装置。
4. 前記振動素子は、
   前記振動部の第１面にあるライン部と、
   前記振動部の一側にあるパッド部とをさらに含み、
   前記ライン部は、前記第１電極部および前記パッド部を連結する、請求項１に記載の振動装置。
5. 前記振動素子の第１面にある第１カバー部材と、
   前記振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材とをさらに含む、請求項１に記載の振動装置。
6. 前記振動素子は、独立的に駆動されるように構成された少なくとも２つの領域を含む、請求項１に記載の振動装置。
7. 前記振動素子は、
   第１領域～第４領域と、
   前記第１領域に配置された第１パッド部および前記第１パッド部に連結された複数の第１電極部と、
   前記第２領域に配置された第２パッド部および前記第２パッド部に連結された複数の第１電極部と、
   前記第３領域に配置された第３パッド部および前記第３パッド部に連結された複数の第１電極部と、
   前記第４領域に配置された第４パッド部および前記第４パッド部に連結された複数の第１電極部と、
   前記第１領域～第４領域に配置された前記第１電極部は、電気的に分離された、請求項６に記載の装置。
8. 前記振動素子は、前記振動部の第１面にあるライン部をさらに含み、
   前記ライン部は、前記第１～第４パッド部のそれぞれと前記第１～第４領域の前記第１電極部とを連結させる、請求項７に記載の振動装置。
9. 振動駆動回路をさらに含み、
   前記振動駆動回路は、前記第１電極部に第１極性信号を供給し、前記第２電極部に第２極性信号を供給する、請求項１に記載の振動装置。
10. 前記第２電極部は、単一電極で構成された、請求項１に記載の振動装置。
11. 振動素子を含み、
    前記振動素子は、
    圧電物質を含む振動部と、
    前記振動部の第１面にあり、複数の円形パターンで構成された超音波電極部と、
    前記超音波電極部を取り囲むように構成された音響電極部と、
    前記振動部の第１面と反対の第２面にあり、単一電極で構成された第２電極部とを含み、
    前記振動素子は、超音波および可聴周波数有する第２音響を発生する、振動装置。
12. 前記複数の円形パターンは、同じ半径を有するように構成され、
    前記振動素子の共振周波数は、１つの共振点を有する、請求項１１に記載の振動装置。
13. 前記振動素子は、
    前記振動部の第１面にあるライン部と、
    前記振動部の一側にある超音波パッド部とをさらに含み、
    前記ライン部は、前記超音波電極部と前記超音波パッド部を連結する、請求項１１に記載の振動装置。
14. 前記振動素子の第１面にある第１カバー部材と、
    前記振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材とをさらに含む、請求項１１に記載の振動装置。
15. 前記振動部は、
    圧電物質を含み、前記超音波電極部と重畳する第１振動部と、
    前記第１振動部を取り囲み、有機物質部で構成された第２振動部と、
    圧電物質を含み、前記音響電極部と重畳する第３振動部とを含む、請求項１１に記載の振動装置。
16. 振動素子を含み、
    前記振動素子は、
    圧電物質を含む振動部と、
    前記振動部の第１面にあるフィンガータイプの第１電極部と、
    前記振動部の第１面にあるフィンガータイプの第２電極部とを含み、
    前記第１電極部は、第１陰刻パターンを含み、
    前記第２電極部は、第２陰刻パターンを含み、
    前記第１陰刻パターンおよび前記第２陰刻パターンは、複数の円形パターンを構成する、振動装置。
17. 前記振動素子は、超音波を発生する、請求項１６に記載の振動装置。
18. 前記複数の円形パターンは、同じ半径を有し、
    前記振動素子の共振周波数は、１つの共振点を有する、請求項１６に記載の振動装置。
19. 前記振動素子の第１面にある第１カバー部材と、
    前記振動素子の第１面と反対の第２面にある第２カバー部材とを含む、請求項１６に記載の振動装置。
20. 前記複数の第１電極部および前記複数の第２電極部は、互いに噛み合い、第1方向に沿って互いに離隔された、請求項１６に記載の振動装置。
21. 前記複数の第1電極部には第1極性信号が供給され、前記複数の第2電極部には第2極性信号が供給され、
    前記第1方向と平行な分極方向を有する振動部および異なる分極方向を有する振動部は、第1方向に沿って交互に繰り返し配列された、請求項２０に記載の振動装置。
22. 振動対象物と、
    前記振動対象物にある振動発生装置と、
    前記振動対象物と前記振動発生装置との間の連結部材とを含み、
    前記振動発生装置は、請求項１～２１のいずれか一項に記載の振動装置とを含む、装置。
23. 前記振動対象物は、映像を表示する画素を含む表示パネルであり、
    前記表示パネルは、第１背面領域および第２背面領域を含み、
    前記振動発生装置は、
    前記表示パネルの第１背面領域にある第１振動発生装置と、
    前記表示パネルの第２背面領域にある第２振動発生装置とを含む、請求項２２に記載の装置。
24. 前記振動対象物と前記振動発生装置との間にあるプレートをさらに含む、請求項２２に記載の装置。
25. 前記振動対象物は、映像を表示する画素を含む表示パネル、表示装置から映像が投射されるスクリーンパネル、照明パネル、サイネージパネル、運送手段の内装材、運送手段のガラス窓、運送手段の外装材、建物の天井材、建物の内装材、建物のガラス窓、航空機の内装材、航空機のガラス窓、木材、プラスチック、ガラス、金属、布、纎維、紙、ゴム、皮革、カーボン、および鏡のうちの１つ以上を含む、請求項２２に記載の装置。

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