JP2023093369A - Salt, acid generator, resin, resist composition, and method for producing resist pattern - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塩、酸発生剤、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。 The present invention relates to a salt, an acid generator, a resin, a resist composition, and a method for producing a resist pattern.
特許文献１には、下記式で表される塩が記載されている。
本発明は、上記のレジスト組成物によって形成されたレジストパターンよりも、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）が良好なレジストパターンを形成する塩を提供する。 The present invention provides a salt that forms a resist pattern with better CD uniformity (CDU) than the resist pattern formed by the above resist composition.
本発明は、以下の発明を含む。
［１］式（Ｉ）で表される塩又は式（ＩＰ）で表される構造単位を含有する酸発生剤。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ３及びＸ４は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙｂ１は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表し、＊＊はＬ１０との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
［２］Ａ１が、＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、Ａ２が、＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊－Ｌ０２－Ｘ０２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。＊は、フラン環又はチオフェン環との結合部位を表す。）［１］に記載の酸発生剤。
［３］Ｘ０１及びＸ０２が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［２］に記載の酸発生剤。
［４］Ｌ０１及びＬ０２が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［２］又は［３］に記載の酸発生剤。
［５］Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８が、それぞれ独立に、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［１］～［４］のいずれかに記載の酸発生剤。
［６］Ｙｂ１が、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）である［１］～［５］のいずれかに記載の酸発生剤。
［７］Ｙｂ１が、シクロヘキサンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基又はノルボルナンラクトンジイル基である［６］に記載の酸発生剤。
［８］Ｘ１０が、単結合又は式（Ｘ１－１）、式（Ｘ１－８）及び式（Ｘ１－２’）～式（Ｘ１－７’）のいずれかで表される基である［１］～［７］のいずれかに記載の酸発生剤。
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］
［９］Ｘ１０が、単結合又は式（Ｘ１－１）～式（Ｘ１－７）のいずれかで表される基である［８］に記載の酸発生剤。
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。］
［１０］Ｌ１０が、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である［１］～［９］のいずれかに記載の酸発生剤。
［１１］［１］～［１０］のいずれかに記載の酸発生剤を含有するレジスト組成物。
［１２］式（Ｉ）で表される塩と、
酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂とを含有する［１１］に記載のレジスト組成物。
［１３］式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂を含有し、
式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂が、酸不安定基を有する構造単位をさらに含む［１１］に記載のレジスト組成物。
［１４］式（Ｉ）で表される塩をさらに含有する［１３］に記載のレジスト組成物。
［１５］酸不安定基を有する構造単位が、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む［１２］～［１４］のいずれかに記載のレジスト組成物。
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
［１６］式（ａ２－Ａ）で表される構造単位を含む樹脂を含有する［１１］～［１５］のいずれかに記載のレジスト組成物。
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
［１７］酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する［１１］～［１６］のいずれかに記載のレジスト組成物。
［１８］（１）［１１］～［１７］のいずれかに記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
［１９］上述した式（Ｉ）で表される塩。
［２０］Ａ１が、＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、Ａ２が、＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊－Ｌ０２－Ｘ０２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。＊は、フラン環又はチオフェン環との結合部位を表す。）［１９］に記載の塩。
［２１］Ｘ０１及びＸ０２が、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－である［２０］に記載の塩。
［２２］Ｌ０１及びＬ０２が、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［２０］又は［２１］に記載の塩。
［２３］Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８が、それぞれ独立に、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）である［１９］～［２２］のいずれかに記載の塩。
［２４］Ｙｂ１が、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）である［１９］～［２３］のいずれかに記載の塩。
［２５］Ｙｂ１が、シクロヘキサンジイル基、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、アダマンタンラクトンジイル基又はノルボルナンラクトンジイル基である［２４］に記載の塩。
［２６］Ｘ１０が、単結合又は上述した式（Ｘ１－１）、式（Ｘ１－８）及び式（Ｘ１－２’）～式（Ｘ１－７’）のいずれかで表される基である［１９］～［２５］のいずれかに記載の塩。
［２７］Ｘ１０が、単結合又は上述した式（Ｘ１－１）～式（Ｘ１－７）のいずれかで表される基である［２６］に記載の塩。
［２８］Ｌ１０が、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である［１９］～［２７］のいずれかに記載の塩。
［２９］上述した式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂。
The present invention includes the following inventions.
[1] An acid generator containing a salt represented by formula (I) or a structural unit represented by formula (IP).
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represents a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and the hydrocarbon group represents a substituent -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is , —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.
X 3 and X 4 each independently represent -O- or -S-.
m1 represents an integer of 1 to 5, and when m1 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m2 represents an integer of 0 to 5, and when m2 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m4 represents an integer of 0 to 3, and when m4 is 2 or more, multiple R4 's may be the same or different.
m5 represents an integer of 0 to 3, and when m5 is 2 or more, multiple R5 's may be the same or different.
m7 represents an integer of 0 to 4, and when m7 is 2 or more, multiple R 7 may be the same or different.
m8 represents an integer of 0 to 5, and when m8 is 2 or more, multiple R 8s may be the same or different.
However, 1≤m1+m7≤5 and 0≤m2+m8≤5.
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— , a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y b1 represents a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O— , —S—, —SO 2 — or —CO—.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group optionally having a substituent.
Ax represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Ay represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
* represents the bonding site with the carbon atom to which Rbb1 is bonded, and ** represents the bonding site with L10 .
L 10 represents a single bond or an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —SO 2 may be substituted with - or -CO-. ]
[2] A 1 is *-X 01 -L 01 - or *-L 01 -X 01 - and A 2 is *-X 02 -L 02 - or *-L 02 -X 02 - (X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a The hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —CO—, —S— or —SO 2 may be substituted with -.* represents a bonding site with a furan ring or a thiophene ring.) The acid generator according to [1].
[3] The acid generator according to [2], wherein X 01 and X 02 are each independently -O- or -S-.
[4] L 01 and L 02 are each independently a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group is replaced with -O- or -CO-; The acid generator according to [2] or [3], which is .
[5] R 4 , R 5 , R 7 and R 8 are each independently a fluorine atom, an iodine atom, a bromine atom, a C 1-4 perfluoroalkyl group or a C 1-4 alkyl group (the alkyl —CH 2 — contained in the group may be replaced with —O— or —CO—.).
[6] Y b1 is a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O -, -CO-, -S- or -SO 2 -).
[7] The acid generator according to [6], wherein Y b1 is a cyclohexanediyl group, adamantanediyl group, norbornanediyl group, adamantanelactonediyl group or norbornanelactonediyl group.
[8] X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 1 -1), (X 1 -8) and formulas (X1-2') to (X 1 -7') The acid generator according to any one of [1] to [7].
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 .
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4; ]
[9] The acid generator according to [8], wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 1 -1) to (X 1 -7).
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 . ]
[10] L 10 is a single bond and an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—). , a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (wherein the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the cyclic hydrocarbon group is —O—, —S —, —SO 2 — or —CO—) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (provided that the cyclic The hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, and - contained in the cyclic hydrocarbon group CH 2 — may be replaced with —O—, —S—, —SO 2 — or —CO—.).
[11] A resist composition containing the acid generator according to any one of [1] to [10].
[12] a salt represented by formula (I);
The resist composition of [11], containing a resin containing a structural unit having an acid-labile group.
[13] containing a resin containing a structural unit represented by formula (IP),
The resist composition according to [11], wherein the resin containing a structural unit represented by formula (IP) further contains a structural unit having an acid-labile group.
[14] The resist composition of [13], further containing a salt represented by formula (I).
[15] The structural unit having an acid-labile group is a structural unit represented by formula (a1-0), a structural unit represented by formula (a1-1), and a structure represented by formula (a1-2). The resist composition according to any one of [12] to [14], containing at least one selected from the group consisting of units.
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent —O— or *—O—(CH 2 ) k1 —CO—O—, k1 represents an integer of 1 to 7, * is represents the binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom or an optionally halogenated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or Represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these groups.
m1' represents any integer from 0 to 14;
n1 represents any integer from 0 to 10;
n1' represents an integer of 0 to 3; ]
[16] The resist composition according to any one of [11] to [15], containing a resin containing a structural unit represented by formula (a2-A).
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, It represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 bonds.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1;
mb represents an integer from 0 to 4; When mb is any integer of 2 or more, multiple R a51 may be the same or different. ]
[17] The resist composition according to any one of [11] to [16], further comprising a salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator.
[18] (1) a step of applying the resist composition according to any one of [11] to [17] onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) heating the composition layer after exposure; and (5) developing the composition layer after heating;
A method of manufacturing a resist pattern comprising:
[19] A salt represented by the above formula (I).
[20] A 1 is *-X 01 -L 01 - or *-L 01 -X 01 - and A 2 is *-X 02 -L 02 - or *-L 02 -X 02 - (X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. L 01 and L 02 each independently represent a single bond or a The hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —CO—, —S— or —SO 2 may be substituted with -.* represents a binding site with a furan ring or a thiophene ring.) The salt of [19].
[21] The salt of [20], wherein X 01 and X 02 are each independently -O- or -S-.
[22] L 01 and L 02 are each independently a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkanediyl group is replaced with -O- or -CO-; The salt according to [20] or [21], which is
[23] R 4 , R 5 , R 7 and R 8 are each independently a fluorine atom, an iodine atom, a bromine atom, a C 1-4 perfluoroalkyl group or a C 1-4 alkyl group (the alkyl —CH 2 — contained in the group may be replaced with —O— or —CO—.).
[24] Y b1 is a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (the —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O -, -CO-, -S- or -SO 2 -.).
[25] The salt of [24], wherein Y b1 is a cyclohexanediyl group, adamantanediyl group, norbornanediyl group, adamantanelactonediyl group, or norbornanelactonediyl group.
[26] X 10 is represented by a single bond or any of the above formulas (X 1 -1), (X 1 -8) and formulas (X1-2') to (X 1 -7'); The salt according to any one of [19] to [25], which is a group.
[27] The salt according to [26], wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of the above formulas (X 1 -1) to (X 1 -7).
[28] L 10 is a single bond and an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—). , a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (wherein the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the cyclic hydrocarbon group is —O—, —S —, —SO 2 — or —CO—) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (provided that the cyclic The hydrocarbon group may have a substituent, and -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, and - contained in the cyclic hydrocarbon group CH 2 - may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-.).
[29] A resin containing a structural unit represented by the above formula (IP).
本発明の塩を使用したレジスト組成物を用いることにより、良好なＣＤ均一性（ＣＤＵ）でレジストパターンを製造することができる。 By using resist compositions using the salts of the present invention, resist patterns can be produced with good CD uniformity (CDU).
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及びメタクリル系モノマーの少なくとも１種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「（メタ）アクリル酸」等の表記も同様の意味を表す。また、本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素基等に含まれる－ＣＨ2－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わる場合、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を２種以上、それらの価数、結合形態等を適宜変更して結合させた基を意味する。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合により－Ｃ－Ｃ－基（単結合）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。
As used herein, "(meth)acrylic monomer" means "at least one of acrylic monomer and methacrylic monomer". Notations such as "(meth)acrylate" and "(meth)acrylic acid" have the same meaning. In addition, among the groups described in this specification, any group that can have both a linear structure and a branched structure may be used. When —CH 2 — contained in a hydrocarbon group or the like is replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 —, the same examples apply to each group. A "combined group" means a group in which two or more of the exemplified groups are combined by appropriately changing their valence numbers, bonding forms, and the like. Where stereoisomers exist, all stereoisomers are included. "Derived from" or "derived from" refers to the polymerization of a polymerizable C=C bond contained in the molecule to a -C-C- group (single bond). Where stereoisomers exist, all stereoisomers are included.
As used herein, "the solid content of the resist composition" means the total amount of components excluding the solvent (E) described below from the total amount of the resist composition.
＜式（Ｉ）で表される塩＞
本発明は、式（Ｉ）で表される塩（以下「塩（Ｉ）」という場合がある）に関する。
塩（Ｉ）のうち、負電荷を有する側を「アニオン（Ｉ）」、正電荷を有する側を「カチオン（Ｉ）」と称することがある。
The present invention relates to a salt represented by formula (I) (hereinafter sometimes referred to as "salt (I)").
In the salt (I), the negatively charged side is sometimes referred to as "anion (I)" and the positively charged side is referred to as "cation (I)".
〔カチオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表される塩のカチオン（Ｉ）は、式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオンである。
The cation (I) of the salt of formula (I) is the cation of formula (IC).
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８のハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８の炭素数１～１２のハロアルキル基とは、ハロゲン原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、炭素数１～１２のフッ化アルキル基、炭素数１～１２の塩化アルキル基、炭素数１～１２の臭化アルキル基、炭素数１～１２のヨウ化アルキル基等が挙げられる。ハロアルキル基としては、炭素数１～１２のペルフルオロアルキル基（トリフルオロメチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、ノナフルオロブチル基等）、２，２，２－トリフルオロエチル基、３，３，３－トリフルオロプロピル基、４，４，４－トリフルオロブチル基、及び３，３，４，４，４－ペンタフルオロブチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、ヨードメチル基等が挙げられる。ハロアルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８の炭素数１～３６の炭化水素基としては、アルキル基、アルカンジイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～３０であり、より好ましくは１～２４であり、さらに好ましくは１～１８である。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基及びドデシル基等が挙げられる。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～２４であり、より好ましくは１～１８であり、さらに好ましくは１～１２であり、より一層好ましくは１～９であり、さらに一層好ましくは１～６であり、さらにより好ましくは１～４であり、さらにより一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、アントリル基、フェナントリル基、ビナフチル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～２４であり、より好ましくは６～１８であり、さらに好ましくは６～１４であり、より一層好ましくは６～１０である。
Halogen atoms for R 4 , R 5 , R 7 and R 8 include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms of R 4 , R 5 , R 7 and R 8 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms having a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a carbon Chlorinated alkyl groups of 1 to 12 carbon atoms, alkyl bromide groups of 1 to 12 carbon atoms, alkyl iodide groups of 1 to 12 carbon atoms, and the like. Haloalkyl groups include perfluoroalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms (trifluoromethyl group, pentafluoroethyl group, heptafluoropropyl group, nonafluorobutyl group, etc.), 2,2,2-trifluoroethyl group, 3, 3,3-trifluoropropyl group, 4,4,4-trifluorobutyl group, 3,3,4,4,4-pentafluorobutyl group, chloromethyl group, bromomethyl group, iodomethyl group and the like. The haloalkyl group preferably has 1 to 9 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
Hydrocarbon groups having 1 to 36 carbon atoms for R 4 , R 5 , R 7 and R 8 include chain hydrocarbon groups such as alkyl groups and alkanediyl groups, alicyclic hydrocarbon groups and aromatic hydrocarbon groups. and groups formed by combining these. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 1-30, more preferably 1-24, still more preferably 1-18.
Alkyl groups include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group and octyl group. , nonyl group, decyl group, undecyl group and dodecyl group.
The alkanediyl group includes straight groups such as a methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group and hexane-1,6-diyl group. chain alkanediyl group; and ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl branched alkanes such as groups, 2-methylpropane-1,3-diyl groups, 2-methylpropane-1,2-diyl groups, pentane-1,4-diyl groups, and 2-methylbutane-1,4-diyl groups A diyl group is mentioned.
The chain hydrocarbon group preferably has 1 to 24 carbon atoms, more preferably 1 to 18 carbon atoms, still more preferably 1 to 12 carbon atoms, still more preferably 1 to 9 carbon atoms, and still more preferably 1-6, even more preferably 1-4, even more preferably 1-3.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic, and includes the groups shown below. The binding site can be at any position.
Aromatic hydrocarbon groups include phenyl, naphthyl, biphenyl, anthryl, phenanthryl, and binaphthyl groups. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6-24, more preferably 6-18, even more preferably 6-14, still more preferably 6-10.
２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－芳香族炭化水素基－＊）、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊、アルキル基－脂環式炭化水素基－＊）、芳香族炭化水素基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊、脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊）が挙げられる。＊は結合部位を表す。ここで、アルカンジイル基、アルキル基等の鎖式炭化水素基、芳香族炭化水素基、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、ベンジル基、フェネチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルキル基－芳香族炭化水素基－＊としては、トリル基、キシリル基、クメニル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－＊としては、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基、１－（アダマンタン－１－イル）メチル基、１－（アダマンタン－１－イル）－１－メチルエチル基等のシクロアルキルアルキル基等が挙げられる。
アルキル基－脂環式炭化水素基－＊としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロヘキシル基、２－アルキルアダマンタン－２－イル基等のアルキル基を有するシクロアルキル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－＊としては、フェニルシクロヘキシル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－＊としては、シクロヘキシルフェニル基等が挙げられる。
なお、組み合わせにおいて、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、鎖式炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がフラン環又はチオフェン環に結合していてもよい。
Groups formed by combining two or more groups include groups in which an aromatic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group are combined (e.g., aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, alkyl group- Aromatic hydrocarbon group-*), a group combining an alicyclic hydrocarbon group and a chain hydrocarbon group (e.g., alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-*, alkyl group-alicyclic hydrocarbon group -*), a group combining an aromatic hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group (e.g., aromatic hydrocarbon group-alicyclic hydrocarbon group-*, alicyclic hydrocarbon group-aromatic hydrocarbon hydrogen group -*). * represents a binding site. Here, —CH 2 — contained in chain hydrocarbon groups such as alkanediyl groups and alkyl groups, aromatic hydrocarbon groups, and alicyclic hydrocarbon groups is —O—, —CO—, —S—, or —SO 2 — may be substituted.
The aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-* includes aralkyl groups such as benzyl group and phenethyl group.
Alkyl group-aromatic hydrocarbon group-* includes tolyl group, xylyl group, cumenyl group and the like.
Alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-* includes cyclohexylmethyl group, cyclohexylethyl group, 1-(adamantan-1-yl)methyl group, 1-(adamantan-1-yl)-1-methylethyl group cycloalkylalkyl groups such as
Alkyl group-alicyclic hydrocarbon group-* includes cycloalkyl groups having an alkyl group such as methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group and 2-alkyladamantan-2-yl group.
The aromatic hydrocarbon group-alicyclic hydrocarbon group-* includes a phenylcyclohexyl group and the like.
The alicyclic hydrocarbon group-aromatic hydrocarbon group-* includes a cyclohexylphenyl group and the like.
In combination, the alicyclic hydrocarbon group, the aromatic hydrocarbon group, and the chain hydrocarbon group may each be used in combination of two or more. Also, any group may be bonded to the furan ring or the thiophene ring.
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８で表されるハロアルキル基又は炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、ハロアルコキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、ハロアルコキシカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニル基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、ハロアルキルカルボニルオキシ基（ハロアルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、２－エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２－エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
ハロアルコキシ基、ハロアルコキシカルボニル基、ハロアルキルカルボニル基、ハロアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のハロアルコキシ基、炭素数２～１１のハロアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のハロアルキルカルボニル基、炭素数２～１１のハロアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、上記に例示した基の１以上の水素原子をハロゲン原子に置き換えた基が挙げられる。
A group in which —CH 2 — contained in the haloalkyl group or hydrocarbon group represented by R 4 , R 5 , R 7 and R 8 is replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 — Examples include a hydroxy group (a group in which —CH 2 — contained in a methyl group is replaced with —O—) and a thiol group (a group in which —CH 2 — contained in a methyl group is replaced by —S-). , a carboxy group (a group in which —CH 2 —CH 2 — contained in an ethyl group is replaced with —O—CO-), an alkoxy group (an arbitrary position of —CH 2 — contained in an alkyl group is replaced by — O—), alkylthio group (group in which —CH 2 — at any position in the alkyl group is replaced with —S—), alkoxycarbonyl group (group at any position in the alkyl group —CH 2 —CH 2 — is replaced with —O—CO—), alkylcarbonyl group (group in which —CH 2 — at any position in the alkyl group is replaced with —CO—), alkyl Sulfonyl group (group in which —CH 2 — at any position in alkyl group is replaced with —SO 2 —), alkylcarbonyloxy group ( —CH 2 —CH 2 at any position in alkyl group) - is replaced by -CO-O-), oxy group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced by -O-), carbonyl group (-CH 2 contained in the methylene group - is replaced by -CO-), thio group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced by -S-), sulfonyl group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is , a group substituted for —SO 2 —), an alkanediyloxy group (a group in which —CH 2 — at any position in the alkanediyl group is replaced by —O—), an alkanediyloxycarbonyl group (an alkanediyl a group in which —CH 2 —CH 2 — at any position contained in the group is replaced with —O—CO—), alkanediylcarbonyl group (where —CH 2 — at any position contained in the alkanediyl group , a group substituted for -CO-), an alkanediylcarbonyloxy group (a group in which -CH 2 -CH 2 - at any position in the alkanediyl group is substituted with -CO-O-), alkanediylthio group (group in which —CH 2 — at any position contained in an alkanediyl group is replaced with —S—), alkanediylsulfonyl group (where —CH 2 — at any position in an alkanediyl group —SO 2 —), cycloalkoxy group, cycloalkylalkoxy group, alkoxycarbonyloxy group, aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, aromatic hydrocarbon group-oxy group, haloalkoxy group (a group in which —CH 2 — at any position in the haloalkyl group is replaced with —O-), haloalkoxycarbonyl group ( —CH 2 — at any position in the haloalkyl group) CH 2 — is replaced with —O—CO—), haloalkylcarbonyl group (group in which —CH 2 — at any position in the haloalkyl group is replaced with —CO—), haloalkylcarbonyloxy group ( (a group in which —CH 2 —CH 2 — at any position contained in a haloalkyl group is replaced with —CO—O—), a combination of two or more of these groups, and the like.
The alkoxy group includes alkoxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, octyloxy, 2-ethylhexyloxy, nonyloxy. group, decyloxy group, undecyloxy group, and the like. The alkoxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkylthio group includes alkylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylthio, ethylthio, propylthio, butylthio, pentylthio, hexylthio, octylthio, 2-ethylhexylthio, nonylthio, decylthio. group, undecylthio group, and the like. The number of carbon atoms in the alkylthio group is preferably 1-11, more preferably 1-6, even more preferably 1-4, still more preferably 1-3.
An alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group and an alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or a carbonyloxy group is bonded to the above alkyl group or alkoxy group.
The alkoxycarbonyl group includes alkoxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl and butoxycarbonyl groups. The alkylcarbonyl group includes alkylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as acetyl group, propionyl group and butyryl group. The alkylcarbonyloxy group includes alkylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as acetyloxy, propionyloxy and butyryloxy groups. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms.
The alkylsulfonyl group includes alkylsulfonyl groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylsulfonyl, ethylsulfonyl, propylsulfonyl, butylsulfonyl, pentylsulfonyl, hexylsulfonyl, octylsulfonyl, 2 -ethylhexylsulfonyl group, nonylsulfonyl group, decylsulfonyl group, undecylsulfonyl group and the like. The alkylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediyloxy group includes alkanediyloxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxy, ethyleneoxy, propanediyloxy, butanediyloxy, and pentanediyloxy groups. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediyloxycarbonyl group includes an alkanediyloxycarbonyl group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methyleneoxycarbonyl group, an ethyleneoxycarbonyl group, a propanediyloxycarbonyl group, a butanediyloxycarbonyl group, and the like. . The alkanediylcarbonyl group includes alkanediylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as methylenecarbonyl, ethylenecarbonyl, propanediylcarbonyl, butanediylcarbonyl and pentanediylcarbonyl groups. The alkanediylcarbonyloxy group includes an alkanediylcarbonyloxy group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methylenecarbonyloxy group, an ethylenecarbonyloxy group, a propanediylcarbonyloxy group, a butanediylcarbonyloxy group, and the like. . The alkanediyloxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms.
The alkanediylthio group includes alkanediylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylenethio, ethylenethio and propylenethio groups. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediylsulfonyl group includes an alkanediylsulfonyl group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The cycloalkoxy group includes a cycloalkoxy group having 3 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. The cycloalkylalkoxy group includes a cycloalkylalkoxy group having 4 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. The alkoxycarbonyloxy group includes an alkoxycarbonyloxy group having 2 to 16 carbon atoms, such as a butoxycarbonyloxy group. The aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group having 7 to 17 carbon atoms, such as a benzoyloxy group. The aromatic hydrocarbon group-carbonyl group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group having 7 to 18 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 17 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
The haloalkoxy group, haloalkoxycarbonyl group, haloalkylcarbonyl group and haloalkylcarbonyloxy group include a haloalkoxy group having 1 to 11 carbon atoms, a haloalkoxycarbonyl group having 2 to 11 carbon atoms and a haloalkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms. , and haloalkylcarbonyloxy groups having 2 to 11 carbon atoms, such as groups in which one or more hydrogen atoms in the above-exemplified groups are replaced with halogen atoms.
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基のうち、－Ｏ－又は－ＣＯ－が、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい）が挙げられる。
ハロゲン原子としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
炭素数１～１２のアルキル基としては、上述した基と同様の基が挙げられる。
置換基として、アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該アルキル基の総炭素数とする。置き換わった基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数１～１１のアルコキシ基、炭素数２～１１のアルコキシカルボニル基、炭素数２～１２のアルキルカルボニル基及び炭素数２～１１のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、上述した基と同様の基が挙げられる。 炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
Substituents which the hydrocarbon groups of R 4 , R 5 , R 7 and R 8 may have include a halogen atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms (the —CH 2- may be replaced with -O- or -CO-).
Halogen atoms include the same groups as those described above.
Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include the same groups as those described above.
When —CH 2 — contained in an alkyl group as a substituent is replaced with —O— or —CO—, the number of carbon atoms before the replacement is taken as the total number of carbon atoms in the alkyl group. Substituted groups include hydroxy groups, carboxy groups, alkoxy groups, alkoxycarbonyl groups, alkylcarbonyl groups, alkylcarbonyloxy groups, and the like.
The alkoxy group, alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group and alkylcarbonyloxy group include an alkoxy group having 1 to 11 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 11 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms and an alkylcarbonyl group having 2 carbon atoms. to 11 alkylcarbonyloxy groups, including the same groups as those described above. The hydrocarbon group may have one substituent or multiple substituents.
Ａ１及びＡ２の炭化水素基としては、直鎖状又は分岐状の鎖式炭化水素基（例えば、アルカンジイル基等）、単環式又は多環式の脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせたものでもよい。炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１９であり、より好ましくは１～１８であり、さらに好ましくは１～１６であり、より一層好ましくは１～１４であり、さらに一層好ましくは１～１２である。
鎖式炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１８であり、より好ましくは１～１２であり、さらに好ましくは１～９であり、さらにより好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２であり、さらにより好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
Hydrocarbon groups for A 1 and A 2 include linear or branched chain hydrocarbon groups (e.g., alkanediyl groups), monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon groups, aromatic Examples include hydrocarbon groups, and combinations of two or more of these groups may also be used. The number of carbon atoms in the hydrocarbon group is preferably 1 to 19, more preferably 1 to 18, still more preferably 1 to 16, still more preferably 1 to 14, still more preferably 1 to 12.
Chain hydrocarbon groups include methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12 -diyl group, tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group and heptadecane-1,17-diyl group Linear alkanediyl group and ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group branched alkanes such as groups, 2-methylpropane-1,3-diyl groups, 2-methylpropane-1,2-diyl groups, pentane-1,4-diyl groups, and 2-methylbutane-1,4-diyl groups A diyl group is mentioned.
The chain hydrocarbon group preferably has 1 to 18 carbon atoms, more preferably 1 to 12 carbon atoms, still more preferably 1 to 9 carbon atoms, still more preferably 1 to 6 carbon atoms, and still more preferably 1-4, and even more preferably 1-3.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic, and includes the groups shown below. The binding site can be at any position.
The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group is preferably 3-18, more preferably 3-16, even more preferably 3-12, still more preferably 3-10.
Examples of aromatic hydrocarbon groups include aromatic hydrocarbon groups such as phenylene groups, naphthylene groups, anthrylene groups, biphenylene groups, and arylene groups such as phenanthrylene groups. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6-18, more preferably 6-14, still more preferably 6-10.
２種以上の基を組み合わせることにより形成される基としては、脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基、芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基及び脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基が挙げられる。ここで、脂環式炭化水素基及び／又は芳香族炭化水素基との組み合わせにおけるアルカンジイル基は、メチレン基を含んでいてもよい。組み合わせにおいて、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基は、それぞれ２種以上を組み合わせてもよい。また、いずれの基がベンゼン環に結合していてもよい。
脂環式炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の脂環式炭化水素基－等が挙げられる。
芳香族炭化水素基とアルカンジイル基とを組み合わせた基としては、例えば、－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－２価の芳香族炭化水素基－等が挙げられる。
脂環式炭化水素基と芳香族炭化水素基とを組み合わせた基としては、－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－、－脂環式炭化水素基－芳香族炭化水素基－脂環式炭化水素基－等が挙げられる。
Examples of the group formed by combining two or more groups include a group comprising a combination of an alicyclic hydrocarbon group and an alkanediyl group, a group comprising a combination of an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group, and an alicyclic group. Groups in which a hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group are combined are included. Here, the alkanediyl group in combination with the alicyclic hydrocarbon group and/or the aromatic hydrocarbon group may contain a methylene group. Combination WHEREIN: A chain|strand hydrocarbon group, an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group may each combine 2 or more types. Also, any group may be bonded to the benzene ring.
Groups in which an alicyclic hydrocarbon group and an alkanediyl group are combined include, for example, -divalent alicyclic hydrocarbon group-alkanediyl group-, -alkanediyl group-bivalent alicyclic hydrocarbon group -alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent alicyclic hydrocarbon group- and the like.
Groups in which an aromatic hydrocarbon group and an alkanediyl group are combined include, for example, -divalent aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent aromatic hydrocarbon group-alkanediyl group-, -alkanediyl group-divalent aromatic hydrocarbon group- and the like.
Groups in which an alicyclic hydrocarbon group and an aromatic hydrocarbon group are combined include -aromatic hydrocarbon group-alicyclic hydrocarbon group-, -alicyclic hydrocarbon group-aromatic hydrocarbon group-, - alicyclic hydrocarbon group - aromatic hydrocarbon group - alicyclic hydrocarbon group - and the like.
炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の総炭素数とする。また、その数は、１つでもよいし、２以上でもよいが、１つ～３つであることが好ましい。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、２－エチルヘキシルチオ基、ノニルチオ基、デシルチオ基、ウンデシルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基、ブチルスルホニル基、ペンチルスルホニル基、ヘキシルスルホニル基、オクチルスルホニル基、２－エチルヘキシルスルホニル基、ノニルスルホニル基、デシルスルホニル基、ウンデシルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２又は３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
When —CH 2 — contained in a hydrocarbon group is replaced with —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —, the number of carbon atoms before replacement is taken as the total number of carbon atoms in the hydrocarbon group. . Also, the number may be one or two or more, but preferably one to three.
The group in which —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is replaced by —O—, —S—, —SO 2 — or —CO— includes a hydroxy group (the —CH 2 — contained in the methyl group, -O-), carboxy group (group in which -CH 2 -CH 2 - contained in the ethyl group is replaced by -O-CO-), thiol group (-CH 2 contained in the methyl group - is replaced with -S-), alkoxy group (group in which any position of -CH 2 - contained in the alkyl group is replaced with -O-), alkoxycarbonyl group (contained in the alkyl group A group in which —CH 2 —CH 2 — at any position is replaced with —O—CO—), an alkylcarbonyl group (an alkyl group in which —CH 2 — at any position is replaced with —CO— group), alkylcarbonyloxy group (group in which —CH 2 —CH 2 — at any position in the alkyl group is replaced with —CO—O-), alkylthio group (any position in the alkyl group -CH 2 - is replaced with -S-), alkylsulfonyl group (group in which any position of -CH 2 - contained in an alkyl group is replaced with -SO 2 -), oxy group (methylene -CH 2 - contained in the group is replaced with -O-), carbonyl group (group in which the -CH 2 - contained in the methylene group is replaced by -CO-), thio group (in the methylene group -CH 2 - contained in is replaced by -S-), sulfonyl group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced by -SO 2 -), alkanediyloxy group (alkanediyl a group in which —CH 2 — at any position contained in the group is replaced with —O—), alkanediyloxycarbonyl group (where —CH 2 —CH 2 — at any position contained in the alkanediyl group —O—CO—), alkanediylcarbonyl group (group in which —CH 2 — at any position in the alkanediyl group is replaced with —CO—), alkanediylcarbonyloxy group (alkanediyl a group in which —CH 2 —CH 2 — at any position contained in the group is replaced with —CO—O—), alkanediylsulfonyl group (where —CH 2 — at any position contained in the alkanediyl group , a group substituted with -SO 2 -), an alkanediylthio group (a group in which -CH 2 - at any position in the alkanediyl group is substituted with -S-), a cycloalkoxy group, a cycloalkylalkoxy group , an alkoxycarbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, an aromatic hydrocarbon group-oxy group, a combination of two or more of these groups, and the like. .
The alkoxy group includes alkoxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, octyloxy, 2-ethylhexyloxy, nonyloxy. group, decyloxy group, undecyloxy group, and the like. The alkoxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
An alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group and an alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or a carbonyloxy group is bonded to the above alkyl group or alkoxy group.
The alkoxycarbonyl group includes alkoxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl and butoxycarbonyl groups. The alkylcarbonyl group includes alkylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as acetyl group, propionyl group and butyryl group. The alkylcarbonyloxy group includes alkylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as acetyloxy, propionyloxy and butyryloxy groups. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms.
The alkylthio group includes alkylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylthio, ethylthio, propylthio, butylthio, pentylthio, hexylthio, octylthio, 2-ethylhexylthio, nonylthio, decylthio. group, undecylthio group, and the like. The number of carbon atoms in the alkylthio group is preferably 1-11, more preferably 1-6, even more preferably 1-4, still more preferably 1-3.
The alkylsulfonyl group includes alkylsulfonyl groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylsulfonyl, ethylsulfonyl, propylsulfonyl, butylsulfonyl, pentylsulfonyl, hexylsulfonyl, octylsulfonyl, 2 -ethylhexylsulfonyl group, nonylsulfonyl group, decylsulfonyl group, undecylsulfonyl group and the like. The alkylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediyloxy group includes alkanediyloxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxy, ethyleneoxy, propanediyloxy, butanediyloxy, and pentanediyloxy groups. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediyloxycarbonyl group includes an alkanediyloxycarbonyl group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methyleneoxycarbonyl group, an ethyleneoxycarbonyl group, a propanediyloxycarbonyl group, a butanediyloxycarbonyl group, and the like. . The alkanediylcarbonyl group includes alkanediylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as methylenecarbonyl, ethylenecarbonyl, propanediylcarbonyl, butanediylcarbonyl and pentanediylcarbonyl groups. The alkanediylcarbonyloxy group includes an alkanediylcarbonyloxy group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methylenecarbonyloxy group, an ethylenecarbonyloxy group, a propanediylcarbonyloxy group, a butanediylcarbonyloxy group, and the like. . The alkanediyloxycarbonyl group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms. The alkanediylcarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 or 3 carbon atoms.
The alkanediylsulfonyl group includes an alkanediylsulfonyl group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediylthio group includes alkanediylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylenethio, ethylenethio and propylenethio groups. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The cycloalkoxy group includes a cycloalkoxy group having 3 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. The cycloalkylalkoxy group includes a cycloalkylalkoxy group having 4 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. The alkoxycarbonyloxy group includes an alkoxycarbonyloxy group having 2 to 16 carbon atoms, such as a butoxycarbonyloxy group. The aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group having 7 to 17 carbon atoms, such as a benzoyloxy group. The aromatic hydrocarbon group-carbonyl group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group having 7 to 18 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 17 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基のうち、－Ｏ－又は－ＣＯ－が、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わった基等も挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。但し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－の少なくとも１つは、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっている。）であることが好ましい。具体的には、Ａ１は、＊－Ｌ０１１－Ｘ０１－Ｌ０１２－であり、Ａ２は、＊－Ｌ０２１－Ｘ０２－Ｌ０２２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１及びＬ０２２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。但し、Ｌ０１１とＬ０１２との炭素数合計は、１９以下であり、Ｌ０２１とＬ０２２との炭素数合計は、１９以下である。＊は、フラン環又はチオフェン環との結合部位を表す。）ことがより好ましく、Ａ１は、＊－Ｘ０１－Ｌ０１－又は＊－Ｌ０１－Ｘ０１－であり、Ａ２は、＊－Ｘ０２－Ｌ０２－又は＊－Ｌ０２－Ｘ０２－である（Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１９の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。＊は、フラン環又はチオフェン環との結合部位を表す。）ことがさらに好ましい。
Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１、Ｌ０２２、Ｌ０１及びＬ０２の炭素数１～１９の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）としては、炭素数が１～１９の範囲で、Ａ１及びＡ２で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｘ０１及びＸ０２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｌ０１１、Ｌ０１２、Ｌ０２１及びＬ０２２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～１４の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合、炭素数１～９の鎖式炭化水素基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数１～４の鎖式炭化水素基と炭素数３～１０の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基又はカルボニル基であることがより好ましい。但し、Ｌ０１１とＬ０１２との炭素数合計は、１９以下であり、Ｌ０２１とＬ０２２との炭素数合計は、１９以下である。
Ｌ０１及びＬ０２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～１４の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合、炭素数１～９の鎖式炭化水素基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数１～４の鎖式炭化水素基と炭素数３～１０の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基又はカルボニル基であることがより好ましい。
Ａ１及びＡ２のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、ｍ１及びｍ２が１の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、ｍ位又はｐ位に結合していることが好ましく、ｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が２の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがо位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が３の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ１及びｍ２が４の場合、Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがо位に結合しており、２つがｍ位に結合していることがより好ましい。
Ａ１及びＡ２のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、それぞれ独立に、２位又は５位、３位又４位のいずれでもよいが、２位又は５位であることが好ましい。
ｍ１は、１、２、３又は４であることが好ましく、１、２又は３であることがより好ましく、１又は２であることがさらに好ましく、１であることがさらにより好ましい。
ｍ２は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがさらにより好ましい。
ｍ４は、０、１又は２であることが好ましく、０又は１であることがより好ましい。
ｍ５は、０、１又は２であることが好ましく、０又は１であることがより好ましい。
ｍ７は、０、１、２又は３であることが好ましく、０、１又は２であることがより好ましく、０又は１であることがさらに好ましい。
ｍ８は、０、１、２、３又は４であることが好ましく、０、１、２又は３であることがより好ましく、０、１又は２であることがさらに好ましく、０又は１であることがさらにより好ましい。
Ｒ４及びＲ５は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、メトキシ基、トリフルオロメチル基、炭素数１～４のアルキル基であることがより一層好ましく、ヨウ素原子であることがさらに一層好ましい。
Ｒ４及びＲ５のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、それぞれ独立に、２位又は５位、３位又４位のいずれでもよいが、２位又は５位であることが好ましい。
Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、メチル基、ｔ－ブチル基、メトキシ基、ヒドロキシ基又はトリフルオロメチル基であることがより一層好ましく、メチル基、ｔ－ブチル基又はヨウ素原子であることがさらに一層好ましい。
Ｒ７及びＲ８のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、ｍ７及びｍ８が１の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位又はｐ位に結合していることが好ましい。ｍ７及びｍ８が２の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、１つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、１つがｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることがより好ましい。ｍ７及びｍ８が３の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、１つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。ｍ７及びｍ８が４の場合、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、２つがо位又はｍ位に結合しており、２つがｐ位又はｍ位に結合していることが好ましく、２つがｍ位に結合しており、１つがо位に結合しており、１つがｐ位に結合していることがより好ましい。
ｍ２が０の場合、ｍ８が１であり、Ｒ８が分枝状の炭素数３又は４のアルキル基であることが好ましい。
ｍ４が１の場合、Ｒ４のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、２位又は５位であることが好ましい。ｍ４が２の場合、２つのＲ４のうち１つが２位又は５位であり、１つが３位又４位であることが好ましい。ｍ４が３の場合、３つのＲ４のうち１つが２位又は５位であり、２つが３位又４位であることが好ましい。
A 1 and A 2 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms (the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is — may be substituted with O--, --CO--, --S-- or --SO 2 --, provided that at least one of --CH 2 -- contained in the hydrocarbon group is --O--, --CO--, -- S— or —SO 2 —.) is preferred. Specifically, A 1 is *-L 011 -X 01 -L 012 -, and A 2 is *-L 021 -X 02 -L 022 - (X 01 and X 02 are independent represents —O—, —CO—, —S— or —SO 2 — L 011 , L 012 , L 021 and L 022 are each independently a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms and the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is replaced with —O—, —CO—, —S— or —SO 2 — However, the total number of carbon atoms of L 011 and L 012 is 19 or less, and the total number of carbon atoms of L 021 and L 022 is 19 or less. represents a binding site.) is more preferred, A 1 is *-X 01 -L 01 - or *-L 01 -X 01 -, and A 2 is *-X 02 -L 02 - or *- L 02 -X 02 - (X 01 and X 02 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. L 01 and L 02 each independently represents a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —CO— , —S—, or —SO 2 —.* represents a bonding site with a furan ring or a thiophene ring.) is more preferred.
L 011 , L 012 , L 021 , L 022 , L 01 and L 02 are hydrocarbon groups having 1 to 19 carbon atoms (the hydrocarbon group may have a —CH 2 — may be replaced with —O—, —CO—, —S—, or —SO 2 —.) has 1 to 19 carbon atoms and is listed in A 1 and A 2 and the same groups as those mentioned above.
X 01 and X 02 are each independently preferably -O- or -S-, more preferably -O-.
L 011 , L 012 , L 021 and L 022 are each independently a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -CO- , —S—, or —SO 2 —. O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.) is more preferable, and is a single bond, a chain hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms, or a chain hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms. or a combination of a chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms (the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group —CH 2 — contained in the hydrogen group may be replaced with —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.), more preferably a single bond or a (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-), a single bond or a C 1-4 An alkanediyl group (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-) is even more preferable, and is preferably a single bond or an alkane having 1 to 3 carbon atoms. A diyl group (-CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-) is even more preferred. Among them, single bond, methylene group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-2,2-diyl group, carbonyl group, carbonyloxy group, carbonyloxymethylene group, ethyleneoxy group , a methylenecarbonyloxymethylene group or an ethyleneoxycarbonyl group, a single bond, a methylene group, an ethane-1,1-diyl group, a propane-1,1-diyl group, a propane-2,2-diyl group or A carbonyl group is more preferred. However, the total carbon number of L 011 and L 012 is 19 or less, and the total carbon number of L 021 and L 022 is 19 or less.
L 01 and L 02 are each independently a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -CO-, -S- or - SO 2 — may be substituted), and a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms (—CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be —O—, —CO— , —S— or —SO 2 —.), a single bond, a chain hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms, or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms. group or a combination of a chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group- CH 2 — may be replaced with —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —), and is more preferably a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (such —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—.), a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (the alkane —CH 2 — contained in the diyl group may be replaced with —O— or —CO—.), a single bond or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms (the alkanediyl —CH 2 — contained in the group may be replaced with —O— or —CO—.) is even more preferred. Among them, single bond, methylene group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-2,2-diyl group, carbonyl group, carbonyloxy group, carbonyloxymethylene group, ethyleneoxy group , a methylenecarbonyloxymethylene group or an ethyleneoxycarbonyl group, a single bond, a methylene group, an ethane-1,1-diyl group, a propane-1,1-diyl group, a propane-2,2-diyl group or A carbonyl group is more preferred.
The bonding positions of A 1 and A 2 to the benzene ring may each independently be any of the o-position, m-position, and p-position with respect to the bonding position of I + . Among them, when m1 and m2 are 1, A 1 and A 2 are preferably each independently bonded at the m-position or p-position relative to the bonding position of I + , and are preferably bonded at the p-position. more preferably. When m1 and m2 are 2, A 1 and A 2 are each independently bound to the bonding position of I + , one at the o-position or the m-position and one at the It is preferable that the two are bonded at the m-position. When m1 and m2 are 3, A 1 and A 2 are each independently bound to the I It is preferable that two are bonded to the m-position and one is bonded to the p-position. When m1 and m2 are 4, A 1 and A 2 are each independently bound at the ortho or m-position and two at the p- or m-position relative to the binding position of I + It is preferable that two of them are bonded at the o-position and two are bonded at the m-position.
The bonding positions of A 1 and A 2 to the furan ring or thiophene ring may each independently be 2-position or 5-position, 3-position or 4-position, but preferably 2-position or 5-position.
m1 is preferably 1, 2, 3 or 4, more preferably 1, 2 or 3, even more preferably 1 or 2, even more preferably 1.
m2 is preferably 0, 1, 2, 3 or 4, more preferably 0, 1, 2 or 3, further preferably 0, 1 or 2, and 0 or 1 is even more preferred.
m4 is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1.
m5 is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1.
m7 is preferably 0, 1, 2 or 3, more preferably 0, 1 or 2, even more preferably 0 or 1.
m8 is preferably 0, 1, 2, 3 or 4, more preferably 0, 1, 2 or 3, further preferably 0, 1 or 2, and 0 or 1 is even more preferred.
Each of R 4 and R 5 is independently a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is -O- or (which may be substituted with —CO—), a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (the —CH 2 — may be substituted with —O— or —CO—.) is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a bromine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-), more preferably fluorine atom, iodine atom, bromine atom, hydroxy group, methoxy group , a trifluoromethyl group and an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms are more preferable, and an iodine atom is even more preferable.
The bonding positions of R 4 and R 5 to the furan ring or thiophene ring may each independently be either 2-position, 5-position, 3-position or 4-position, preferably 2-position or 5-position.
R 7 and R 8 are each independently a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group is -O- or (which may be substituted with —CO—), a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (the —CH 2 — may be substituted with -O- or -CO-), and is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (the —CH 2 — contained in the alkyl group may be replaced with —O— or —CO—.), fluorine atom, iodine atom, methyl group, t-butyl group, methoxy group, A hydroxy group or a trifluoromethyl group is more preferred, and a methyl group, a t-butyl group or an iodine atom is even more preferred.
The bonding positions of R 7 and R 8 to the benzene ring may each independently be any of o-position, m-position, and p-position with respect to the bonding position of I + . Among them, when m7 and m8 are 1, R 7 and R 8 are each independently preferably bonded to the ortho or p position with respect to the bonding position of I + . When m7 and m8 are 2, each of R 7 and R 8 is independently bound to the I It is preferable that one is bonded to the m-position and one is bonded to the p- or m-position. When m7 and m8 are 3, two of R 7 and R 8 are each independently bound at the o-position or m-position and one is bound at the p- or m-position relative to the binding position of I + It is preferable that two are bonded to the m-position and one is bonded to the p-position. When m7 and m8 are 4, two of R 7 and R 8 are each independently bound at the o-position or m-position and two are bound at the p- or m-position with respect to the binding position of I + Two are preferably bonded at the m-position, one is bonded at the o-position, and one is more preferably bonded at the p-position.
When m2 is 0, it is preferred that m8 is 1 and R8 is a branched C3 or C4 alkyl group.
When m4 is 1, the bonding position of R 4 to the furan ring or thiophene ring is preferably 2-position or 5-position. When m4 is 2, preferably one of the two R4 's is in the 2- or 5-position and one is in the 3- or 4-position. When m4 is 3, preferably one of the three R4 's is in the 2- or 5-position and two are in the 3- or 4-position.
式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオン（Ｉ）としては、式（Ｉ－Ｃ－Ａ）で表されるカチオン（以下「カチオン（Ｉ－Ｃ－Ａ）」という場合がある）が挙げられる。
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８、Ｘ３、Ｘ４、ｍ１、ｍ２、ｍ４、ｍ５、ｍ７及びｍ８の符号は、式（Ｉ）と同じ意味を表す。
Ｌ１及びＬ２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１８の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ１及びＸ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－を表す。］
Examples of the cation (I) represented by the formula (IC) include cations represented by the formula (ICA) (hereinafter sometimes referred to as "cation (ICA)"). .
The symbols of R 4 , R 5 , R 7 , R 8 , X 3 , X 4 , m1, m2, m4, m5, m7 and m8 have the same meanings as in formula (I).
L 1 and L 2 each independently represent a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, the hydrocarbon group optionally having a substituent, and the —CH 2- may be replaced by -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
X 1 and X 2 each independently represent -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -. ]
Ｌ１及びＬ２の炭素数１～１８の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）としては、炭素数が１～１８の範囲で、Ａ１及びＡ２で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｘ１は、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｘ２は、－Ｏ－又は－Ｓ－であることが好ましく、－Ｏ－であることがより好ましい。
Ｘ１及びＸ２のベンゼン環への結合位置は、それぞれ独立に、Ｉ＋の結合位置に対して、о位、ｍ位、ｐ位のいずれでもよい。なかでも、Ａ１及びＡ２のベンゼン環への結合位置と同様の結合位置であることが好ましい。
Ｌ１及びＬ２は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１６の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合又は炭素数１～１４の炭化水素基（該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合、炭素数１～９の鎖式炭化水素基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数１～４の鎖式炭化水素基と炭素数３～１０の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（該鎖式炭化水素基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～６のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより一層好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに一層好ましく、単結合又は炭素数１～３のアルカンジイル基（該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。中でも、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、カルボニル基、カルボニルオキシ基、カルボニルオキシメチレン基、エチレンオキシ基、メチレンカルボニルオキシメチレン基又はエチレンオキシカルボニル基であることが好ましく、単結合、メチレン基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基又はカルボニル基であることがより好ましい。
Ｌ１及びＬ２のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、それぞれ独立に、２位又は５位、３位又４位のいずれでもよいが、２位又は５位であることが好ましい。
A hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms in L 1 and L 2 (the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —CO (which may be substituted with -, -S- or -SO 2 -) includes the same groups as those listed for A 1 and A 2 having 1 to 18 carbon atoms.
X 1 is preferably -O- or -S-, more preferably -O-.
X 2 is preferably -O- or -S-, more preferably -O-.
The bonding positions of X 1 and X 2 to the benzene ring may each independently be any of the o-position, m-position, and p-position with respect to the bonding position of I + . Among others, the same bonding position as the bonding position to the benzene ring of A 1 and A 2 is preferable.
L 1 and L 2 are each independently a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms (-CH 2 - contained in the hydrocarbon group is -O-, -CO-, -S- or - SO 2 — may be substituted), and a single bond or a hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms (—CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be —O—, —CO— , —S— or —SO 2 —.), a single bond, a chain hydrocarbon group having 1 to 9 carbon atoms, or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms. group or a combination of a chain hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms (included in the chain hydrocarbon group and the alicyclic hydrocarbon group- CH 2 — may be replaced with —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —), and is more preferably a single bond or an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (such —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—.), a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (the alkane —CH 2 — contained in the diyl group may be replaced with —O— or —CO—.), a single bond or an alkanediyl group having 1 to 3 carbon atoms (the alkanediyl —CH 2 — contained in the group may be replaced with —O— or —CO—.) is even more preferred. Among them, single bond, methylene group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-2,2-diyl group, carbonyl group, carbonyloxy group, carbonyloxymethylene group, ethyleneoxy group , a methylenecarbonyloxymethylene group or an ethyleneoxycarbonyl group, a single bond, a methylene group, an ethane-1,1-diyl group, a propane-1,1-diyl group, a propane-2,2-diyl group or A carbonyl group is more preferred.
The bonding positions of L 1 and L 2 to the furan ring or thiophene ring may each independently be 2-position or 5-position, 3-position or 4-position, but preferably 2-position or 5-position.
式（Ｉ－Ｃ）で表されるカチオン（Ｉ）としては、式（Ｉ－Ｃ－Ｂ）で表されるカチオン（以下「カチオン（Ｉ－Ｃ－Ｂ）」という場合がある）も挙げられる。
Ｒ７、Ｒ８、Ａ１、Ａ２、Ｘ３、Ｘ４、ｍ１、ｍ２、ｍ７及びｍ８の符号は、式（Ｉ）と同じ意味を表す。
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基を表し、該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。
Ｒ４’ 及びＲ５’は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
ｍ４’は、０～２のいずれかの整数を表し、ｍ４’が２以上のとき、複数のＲ４’は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５’は、０～２のいずれかの整数を表し、ｍ５’が２以上のとき、複数のＲ５’は互いに同一であっても異なってもよい。］
The cation (I) represented by formula (IC) also includes a cation represented by formula (ICB) (hereinafter sometimes referred to as "cation (ICB)"). .
The symbols of R 7 , R 8 , A 1 , A 2 , X 3 , X 4 , m1, m2, m7 and m8 have the same meanings as in formula (I).
R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the alkyl group is — It may be substituted with O- or -CO-.
R 4' and R 5' each independently represent a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and the hydrocarbon group may have a substituent. Often, --CH 2 -- contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with --O--, --S--, --CO-- or --SO 2 --.
m4' represents an integer of 0 to 2, and when m4' is 2 or more, multiple R4's may be the same or different.
m5' represents an integer of 0 to 2, and when m5' is 2 or more, a plurality of R5 ' may be the same or different. ]
Ｒ１及びＲ２のハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）としては、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ４’及びＲ５’のハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基（該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。）としては、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７、Ｒ８で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒ１及びＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、水素原子、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、水素原子、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、メチル基、ヒドロキシ基、メトキシ基又はトリフルオロメチル基であることがより一層好ましく、ヨウ素原子であることがさらに一層好ましい。
Ｒ１及びＲ２のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、それぞれ独立に、２位又は５位、３位又４位のいずれでもよいが、２位又は５位であることが好ましい。
ｍ４’は、０又は１であることが好ましく、０であることがより好ましい。
ｍ５’は、０又は１であることが好ましく、０であることがより好ましい。
Ｒ４’及びＲ５’は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～６のフッ化アルキル基又は炭素数１～６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、ハロゲン原子、炭素数１～４のフッ化アルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、炭素数１～４のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～４のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、臭素原子、ヒドロキシ基、メトキシ基、トリフルオロメチル基又は炭素数１～４のアルキル基であることがより一層好ましく、ヨウ素原子であることがさらに一層好ましい。
Ｒ４’及びＲ５’のフラン環又はチオフェン環への結合位置は、それぞれ独立に、２位又は５位、３位又４位のいずれでもよいが、３位又４位であることが好ましい。
Halogen atoms of R 1 and R 2 , haloalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms or alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms (where —CH 2 — contained in the alkyl group is replaced with —O— or —CO— may also be used) includes the same groups as those exemplified for R 4 , R 5 , R 7 and R 8 .
Halogen atoms of R 4′ and R 5′ , haloalkyl groups having 1 to 12 carbon atoms or hydrocarbon groups having 1 to 36 carbon atoms (the hydrocarbon group may have a substituent, the haloalkyl group and the —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 —.) R 4 , R 5 , R 7 , R 8 The same groups as the groups mentioned above can be mentioned.
R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (the —CH 2 — contained in the alkyl group is — It may be substituted with O- or -CO-), and is preferably a hydrogen atom, a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (the alkyl group —CH 2 — contained may be replaced with —O— or —CO—.), hydrogen atom, fluorine atom, iodine atom, bromine atom, C 1-4 perfluoroalkyl or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-), hydrogen atom, fluorine atom , an iodine atom, a bromine atom, a methyl group, a hydroxy group, a methoxy group or a trifluoromethyl group, and even more preferably an iodine atom.
The bonding positions of R 1 and R 2 to the furan ring or thiophene ring may be independently either 2-position, 5-position, 3-position or 4-position, but preferably 2-position or 5-position.
m4' is preferably 0 or 1, more preferably 0.
m5' is preferably 0 or 1, more preferably 0.
R 4′ and R 5′ are each independently a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (the —CH 2 — contained in the alkyl group is —O - or -CO-) is preferably a halogen atom, a fluorinated alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms (the -CH 2- may be replaced with -O- or -CO-), and is more preferably a fluorine atom, an iodine atom, a bromine atom, a C 1-4 perfluoroalkyl group, or a C 1-4 (-CH 2 - contained in the alkyl group may be replaced with -O- or -CO-), fluorine atom, iodine atom, bromine atom, hydroxy group, A methoxy group, a trifluoromethyl group or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms is more preferable, and an iodine atom is even more preferable.
The bonding positions of R 4′ and R 5′ to the furan ring or thiophene ring may each independently be 2-position or 5-position, 3-position or 4-position, preferably 3-position or 4-position. .
塩（Ｉ）のカチオン（Ｉ）としては、以下の式（Ｉ－ｃ－１）～式（Ｉ－ｃ－８３）で表されるカチオン等が挙げられる。
〔アニオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）で表される塩のアニオン（Ｉ）としては、式（Ｉ－Ａ）で表されるアニオンが挙げられる。
The anion (I) of the salt represented by formula (I) includes an anion represented by formula (IA).
Ｑｂ１及びＱｂ２の表すペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基及びペルフルオロヘキシル基等が挙げられる。
Ｑｂ１及びＱｂ２の表すアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられる。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことが好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがさらに好ましく、ともにフッ素原子であることがよりさらに好ましい。
The perfluoroalkyl groups represented by Q b1 and Q b2 include a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group, a perfluoropentyl group and A perfluorohexyl group and the like can be mentioned.
Examples of alkyl groups represented by Q b1 and Q b2 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group.
At least one of Q b1 and Q b2 preferably contains a fluorine atom or a perfluoroalkyl group, each independently more preferably a fluorine atom or a perfluoroalkyl group, and a fluorine atom or a trifluoromethyl group is more preferable, and it is even more preferable that both are fluorine atoms.
Ｌｂ１における２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せることにより形成される基でもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group for L b1 includes a linear alkanediyl group, a branched alkanediyl group, a monocyclic or polycyclic bivalent alicyclic saturated hydrocarbon group, and these A group formed by combining two or more of the groups may also be used.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1 ,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group , tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group and heptadecane-1,17-diyl group. alkanediyl group;
ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, and 2-methylbutane-1,4-diyl group;
monocyclic 2 which is a cycloalkanediyl group such as cyclobutane-1,3-diyl group, cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1,4-diyl group, cyclooctane-1,5-diyl group; alicyclic saturated hydrocarbon group;
Polycyclic bivalent alicyclic saturated hydrocarbons such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group and the like.
Ｌｂ１で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）のいずれかで表される基が挙げられる。なお、式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基及びそれらの具体例である式（ｂ１－４）～式（ｂ１－１１）で表される基において、＊及び＊＊は結合部位を表し、＊は－Ｙｂ１との結合部位を表す。 Groups in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L b1 is replaced with —O— or —CO— include, for example, formulas (b1-1) to (b1-3) The group represented by any one of is mentioned. In addition, in the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3) and the groups represented by formulas (b1-4) to (b1-11) which are specific examples thereof, * and * * represents the binding site, * represents the binding site with -Y b1 .
Ｌｂ２は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ３は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ２とＬｂ３との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－２）中、
Ｌｂ４は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ５は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ４とＬｂ５との炭素数合計は、２２以下である。
式（ｂ１－３）中、
Ｌｂ６は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
ただし、Ｌｂ６とＬｂ７との炭素数合計は、２３以下である。］
L b2 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b3 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b2 and L b3 is 22 or less.
In formula (b1-2),
L b4 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b5 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b4 and L b5 is 22 or less.
In formula (b1-3),
L b6 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
L b7 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group, and the saturated —CH 2 — contained in the hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
However, the total number of carbon atoms of L b6 and L b7 is 23 or less. ]
式（ｂ１－１）～式（ｂ１－３）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
２価の飽和炭化水素基としては、Ｌｂ１の２価の飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。
In the groups represented by formulas (b1-1) to (b1-3), when —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO—, carbon before replacement Let the number be the number of carbon atoms of the saturated hydrocarbon group.
As the divalent saturated hydrocarbon group, the same divalent saturated hydrocarbon group as L b1 can be mentioned.
Ｌｂ２は、好ましくは単結合、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ３）－、－Ｃ（ＣＦ３）２－である。
Ｌｂ３は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ４は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基であり、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよく、メチレン基、－ＣＨ（ＣＦ３）－、－Ｃ（ＣＦ３）２－であることが好ましい。
Ｌｂ５は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ６は、好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌｂ７は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
L b2 is preferably a single bond, a methylene group, —CH(CF 3 )—, —C(CF 3 ) 2 —.
L b3 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b4 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, hydrogen atoms contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with fluorine atoms, methylene group, - CH(CF 3 )—, —C(CF 3 ) 2 — are preferred.
L b5 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b6 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b7 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group; —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
Ｌｂ１で表される２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、式（ｂ１－１）又は式（ｂ１－３）で表される基が好ましい。
式（ｂ１－１）で表される基としては、式（ｂ１－４）～式（ｂ１－８）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Ｌｂ８は、単結合又は炭素数１～２２の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
式（ｂ１－５）中、
Ｌｂ９は、炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１０は、単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ９及びＬｂ１０の合計炭素数は２０以下である。
式（ｂ１－６）中、
Ｌｂ１１は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１２は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１１及びＬｂ１２の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－７）中、
Ｌｂ１３は、炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１４は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１５は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１３～Ｌｂ１５の合計炭素数は１９以下である。
式（ｂ１－８）中、
Ｌｂ１６は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌｂ１７は、炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌｂ１８は、単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌｂ１６～Ｌｂ１８の合計炭素数は１９以下である。］
The group in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L b1 is replaced with —O— or —CO— is represented by formula (b1-1) or formula (b1-3). are preferred.
Examples of the group represented by formula (b1-1) include groups represented by formulas (b1-4) to (b1-8).
L b8 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 22 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
In formula (b1-5),
L b9 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
L b10 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b9 and L b10 is 20 or less.
In formula (b1-6),
L b11 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b12 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b11 and L b12 is 21 or less.
In formula (b1-7),
L b13 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 19 carbon atoms.
L b14 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO— good too.
L b15 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b13 to L b15 is 19 or less.
In formula (b1-8),
L b16 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO—.
L b17 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms.
L b18 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group. .
However, the total carbon number of L b16 to L b18 is 19 or less. ]
Ｌｂ８は、好ましくは炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ９は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１０は、好ましくは単結合又は炭素数１～１９の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１１は、好ましくは炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１２は、好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１３は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１４は、好ましくは単結合又は炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１５は、好ましくは単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～８の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１６は、好ましくは炭素数１～１２の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１７は、好ましくは炭素数１～６の２価の飽和炭化水素基である。
Ｌｂ１８は、好ましくは単結合又は炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は炭素数１～４の２価の飽和炭化水素基である。
L b8 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
L b9 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b10 is preferably a single bond or a C 1-19 divalent saturated hydrocarbon group, more preferably a single bond or a C 1-8 divalent saturated hydrocarbon group.
L b11 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b12 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L b13 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b14 is preferably a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b15 is preferably a single bond or a C 1-18 divalent saturated hydrocarbon group, more preferably a single bond or a C 1-8 divalent saturated hydrocarbon group.
L b16 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
L b17 is preferably a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms.
L b18 is preferably a single bond or a C 1-17 divalent saturated hydrocarbon group, more preferably a single bond or a C 1-4 divalent saturated hydrocarbon group.
式（ｂ１－３）で表される基としては、式（ｂ１－９）～式（ｂ１－１１）でそれぞれ表される基が挙げられる。
Ｌb19は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb20は、単結合又は炭素数１～２３の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb19及びＬb20の合計炭素数は２３以下である。
式（ｂ１－１０）中、
Ｌb21は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb22は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb23は、単結合又は炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb21、Ｌb22及びＬb23の合計炭素数は２１以下である。
式（ｂ１－１１）中、
Ｌb24は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子に置換されていてもよい。
Ｌb25は、炭素数１～２１の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｌb26は、単結合又は炭素数１～２０の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子、ヒドロキシ基又はアルキルカルボニルオキシ基に置換されていてもよい。該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキルカルボニルオキシ基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基に置換されていてもよい。
ただし、Ｌb24、Ｌb25及びＬb26の合計炭素数は２１以下である。］
Examples of the group represented by formula (b1-3) include groups represented by formulas (b1-9) to (b1-11).
L b19 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b20 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 23 carbon atoms, a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group being substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b19 and L b20 is 23 or less.
In formula (b1-10),
L b21 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b22 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b23 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b21 , L b22 and L b23 is 21 or less.
In formula (b1-11),
L b24 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom.
L b25 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 21 carbon atoms.
L b26 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with a fluorine atom, a hydroxy group or an alkylcarbonyloxy group; good too. --CH 2 -- contained in the alkylcarbonyloxy group may be replaced with --O-- or --CO--, and a hydrogen atom contained in the alkylcarbonyloxy group may be substituted with a hydroxy group.
However, the total carbon number of L b24 , L b25 and L b26 is 21 or less. ]
なお、式（ｂ１－９）で表される基から式（ｂ１－１１）で表される基においては、飽和炭化水素基に含まれる水素原子がアルキルカルボニルオキシ基に置換されている場合、置き換わる前の炭素数を該飽和炭化水素基の炭素数とする。
アルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アダマンチルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
In addition, in the group represented by formula (b1-9) to the group represented by formula (b1-11), when the hydrogen atom contained in the saturated hydrocarbon group is substituted with an alkylcarbonyloxy group, it is replaced Let the previous carbon number be the carbon number of this saturated hydrocarbon group.
The alkylcarbonyloxy group includes an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group, a cyclohexylcarbonyloxy group, an adamantylcarbonyloxy group and the like.
式（ｂ１－４）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－５）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－６）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－７）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－８）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－２）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－９）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－１０）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
式（ｂ１－１１）で表される基としては、以下のものが挙げられる。
Ｙｂ１で表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、例えば、式（ｙ１）～式（ｙ１１）、式（ｙ３６）～式（ｙ３８）で表される基が挙げられる。
Ｙｂ１で表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－で置き換わる場合、その数は１つでもよいし、２以上でもよい。そのような基としては、式（ｙ１２）～式（ｙ３５）、式（ｙ３９）～式（ｙ４３）で表される基が挙げられる。式（ｙ１２）～式（ｙ３５）、式（ｙ３９）～式（ｙ４３）で表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
Examples of alicyclic hydrocarbon groups in which —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y b1 is not replaced with —O—, —S—, —SO 2 — or —CO— include , groups represented by formulas (y1) to (y11) and formulas (y36) to (y38).
When —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y b1 is replaced with —O—, —S—, —SO 2 — or —CO—, the number thereof may be 1 or 2. It can be more than that. Such groups include groups represented by formulas (y12) to (y35) and formulas (y39) to (y43). —O— or —CO— in groups represented by formulas (y12) to (y35) and formulas (y39) to (y43) may be replaced with —S— or —SO 2 —. The binding site can be at any position.
Ｙｂ１で表される脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数７～２１のアラルキル基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ２）ja－ＣＯ－Ｏ－Ｒb1基又は－（ＣＨ２）ja－Ｏ－ＣＯ－Ｒb1基（式中、Ｒb1は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。）等が挙げられる。 Examples of substituents for the alicyclic hydrocarbon group represented by Y b1 include halogen atoms, hydroxy groups, cyano groups, and alkyl groups having 1 to 16 carbon atoms optionally substituted by hydroxy groups (included in the alkyl groups). —CH 2 — may be replaced with —O— or —CO—.), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, 7 to 21 aralkyl groups, glycidyloxy groups, —(CH 2 ) ja —CO—O—R b1 groups or —(CH 2 ) ja —O—CO—R b1 groups (wherein R b1 is the number of carbon atoms represents an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon —CH 2 — included in the group may be replaced with —O—, —SO 2 — or —CO— and is included in the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group. A hydrogen atom may be replaced by a hydroxy group or a fluorine atom, and ja represents an integer of 0 to 4).
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は、鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１２であり、より好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－アダマンチルフェニル基、ｐ－シクロへキシルフェニル基等）が好ましい。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１４であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルキルスルホニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, methylcyclohexyl, dimethylcyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, norbornyl and adamantyl groups. The alicyclic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group, such as a methylcyclohexyl group and a dimethylcyclohexyl group. The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group is preferably 3-12, more preferably 3-10.
Examples of aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, naphthyl, anthryl, biphenyl, and phenanthryl groups. The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, p-methylphenyl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), and carbon An aromatic hydrocarbon group having an alicyclic hydrocarbon group of number 3 to 18 (p-adamantylphenyl group, p-cyclohexylphenyl group, etc.) is preferred. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6-14, more preferably 6-10.
Examples of alkyl groups include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group and nonyl. group, decyl group, undecyl group, dodecyl group and the like. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1-12, more preferably 1-6, still more preferably 1-4.
Alkyl groups substituted with a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a hydroxyethyl group.
Aralkyl groups include benzyl, phenethyl, phenylpropyl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
The groups in which —CH 2 — contained in the alkyl group is replaced with —O—, —SO 2 —, —CO—, etc. include an alkoxy group, an alkylsulfonyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group, an alkylcarbonyloxy group, or Groups in which these are combined, and the like are included.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups. The alkoxy group preferably has 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, and still more preferably 1 to 4 carbon atoms.
The alkylsulfonyl group includes a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, a propylsulfonyl group and the like. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1-12, more preferably 1-6, still more preferably 1-4.
Examples of alkoxycarbonyl groups include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl and butoxycarbonyl groups. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Alkylcarbonyl groups include, for example, acetyl, propionyl and butyryl groups. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyl group is preferably 2-12, more preferably 2-6, still more preferably 2-4.
The alkylcarbonyloxy group includes, for example, an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group and the like. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2-12, more preferably 2-6, still more preferably 2-4.
Examples of the combined group include, for example, a group in which an alkoxy group and an alkyl group are combined, a group in which an alkoxy group and an alkoxy group are combined, a group in which an alkoxy group and an alkylcarbonyl group are combined, an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group, and and the like.
Examples of groups in which an alkoxy group and an alkyl group are combined include alkoxyalkyl groups such as a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group and an ethoxymethyl group. The alkoxyalkyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Groups in which an alkoxy group and an alkoxy group are combined include alkoxyalkoxy groups such as a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, and an ethoxyethoxy group. The alkoxyalkoxy group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Groups in which an alkoxy group and an alkylcarbonyl group are combined include alkoxyalkylcarbonyl groups such as a methoxyacetyl group, a methoxypropionyl group, an ethoxyacetyl group and an ethoxypropionyl group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyl group is preferably 3-13, more preferably 3-7, still more preferably 3-5.
Groups in which an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group are combined include alkoxyalkylcarbonyloxy groups such as a methoxyacetyloxy group, a methoxypropionyloxy group, an ethoxyacetyloxy group, and an ethoxypropionyloxy group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyloxy group is preferably 3-13, more preferably 3-7, still more preferably 3-5.
Groups in which —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with —O—, —SO 2 —, —CO—, etc. include formulas (Y12) to (Y35), formulas (Y39) to A group represented by (Y43) can be mentioned.
Ｙｂ１における脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）は、なかでも、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－２４）のいずれかで表される基であることがより好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－６）及び式（ｗ１－１２）～式（ｗ１－２４）のいずれかで表される基であることがさらに好ましく、式（ｗ１－１）～式（ｗ１－３）、式（ｗ１－１５）及び式（ｗ１－２２）のいずれかで表される基であることがさらにより好ましい。
該基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置である。］
an alicyclic hydrocarbon group for Y b1 (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -); is, among others, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (-CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O-, -CO-, -S- or -SO 2 - It may be substituted with ), more preferably a group represented by any one of formula (w1-1) ~ formula (w1-24), formula (w1-1) ~ formula (w1-6) and a group represented by any one of formulas (w1-12) to (w1-24) is more preferable, and formulas (w1-1) to (w1-3), formulas ( w1-15) and a group represented by formula (w1-22) are even more preferred.
--CH 2 -- contained in the group may be replaced with --O--, --S--, --CO-- or --SO 2 --. The binding site can be any position. ]
Ｙｂ１は、好ましくは単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基であり、さらに好ましくは単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より一層好ましくは置換基を有していてもよいシクロヘキサンジイル基、置換基を有していてもよいアダマンタンジイル基、置換基を有していてもよいノルボルナンジイル基、置換基を有していてもよいアダマンタンラクトンジイル基又は置換基を有していてもよいノルボルナンラクトンジイル基であり、該脂環式炭化水素基、シクロヘキサンジイル基、アダマンタンジイル基又はノルボルナンジイル基を構成する－ＣＨ２－は－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｙｂ１が有してもよい置換基は、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１２のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）又は炭素数３～１２の脂環式炭化水素基が好ましく、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基がより好ましい。ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、脂環式炭化水素基は、上述した基と同様の基が挙げられる。なかでも、フッ素原子、ヒドロキシ基、メチル基又はエチル基が好ましい。
Y b1 is preferably a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, more preferably a single bond or an optionally substituted carbon number 3 to 20 alicyclic hydrocarbon groups, more preferably a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, still more preferably having a substituent a cyclohexanediyl group optionally having a substituent, an adamantanediyl group optionally having a substituent, a norbornanediyl group optionally having a substituent, an adamantanelactonediyl group optionally having a substituent, or —CH 2 — which is an optionally substituted norbornane lactone diyl group and constitutes the alicyclic hydrocarbon group, cyclohexanediyl group, adamantanediyl group or norbornanediyl group, is —O—, —S— , —CO— or —SO 2 —.
The substituents that Y b1 may have include a hydroxy group, a halogen atom, a cyano group, and an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms optionally substituted by a hydroxy group (the —CH 2 — contained in the alkyl group is , —O— or —CO—.) or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms is preferable, and a hydroxy group, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, or An alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms is more preferred. Halogen atoms, alkyl groups, alkoxy groups, and alicyclic hydrocarbon groups include the same groups as those described above. Among them, a fluorine atom, a hydroxy group, a methyl group and an ethyl group are preferred.
Ｒｂｂ１のハロゲン原子は、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８で挙げられたハロゲン原子と同じものが挙げられる。Ｒｂｂ１のハロゲン原子を有してもよいアルキル基は、炭素数の上限が許す限り、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８で挙げられたアルキル基及びハロアルキル基と同じものが挙げられる。
Ｒｂｂ１は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子又は炭素数１～３のアルキル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基であり、さらにより好ましくはメチル基である。
Ｘ１０が、＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊で表される基の場合、以下の式（Ｘ１０）で表される連結基であることが好ましい。
Ａｘは、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子と結合する結合種を表し、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、Ｌ１０と結合する結合種を表し、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｘ及びＡｙのどちらかの一方が、単結合である場合、他方は、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種であることが好ましい。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。中でも、フッ素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、メチル基又はエチル基が好ましい。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表し、０、１又は２が好ましい。ｍｘが２以上の整数の場合、複数のＲｘは互いに同じでも異なっていてもよい。］
フェニレン基におけるＡｙの結合位置は、Ａｘの結合位置に対して、ｍ位又はｐ位であることが好ましく、ｐ位であることがより好ましい。
Ｘ１０としては、例えば、以下の式（Ｘ１－１）、式（Ｘ１－２’）～式（Ｘ１－７’）及び式（Ｘ１－８）で表される基が挙げられる。＊は－Ｒｂｂ１が結合する炭素原子との結合部位を表す。＊＊は、Ｌ１０との結合部位を表す。
R bb1 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, still more preferably a hydrogen atom or a methyl group, still more A methyl group is preferred.
When X 10 is a group represented by *-Ax-Ph-Ay-**, it is preferably a linking group represented by the following formula (X10).
Ax represents a bond type that bonds with the carbon atom to which Rbb1 is bonded, and represents one bond type selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Ay represents a bond type that binds to L10 , and represents one bond type selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
When one of Ax and Ay is a single bond, the other is preferably one selected from the group consisting of an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms. Among them, a fluorine atom, an iodine atom, a trifluoromethyl group, a methyl group and an ethyl group are preferred.
mx represents an integer of 0 to 4, preferably 0, 1 or 2. When mx is an integer of 2 or more, multiple Rx may be the same or different. ]
The bonding position of Ay in the phenylene group is preferably m-position or p-position, more preferably p-position, with respect to the bonding position of Ax.
Examples of X 10 include groups represented by the following formulas (X 1 -1), formulas (X 1 -2′) to (X 1 -7′) and formulas (X 1 -8). . * represents the bonding site with the carbon atom to which -R bb1 is bonded. ** represents the binding site with L10 .
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基としては、２価の脂肪族炭化水素基（アルカンジイル基、アルケンジイル基、アルキンジイル基等の２価の鎖式炭化水素基及び２価の脂環式炭化水素基）、２価の芳香族炭化水素基等が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組み合わせた２価の炭化水素基であってもよい。 The hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms of L 10 includes a divalent aliphatic hydrocarbon group (alkanediyl group, alkenediyl group, divalent chain hydrocarbon group such as alkynediyl group and divalent alicyclic hydrocarbon groups), divalent aromatic hydrocarbon groups, and the like, and divalent hydrocarbon groups in which two or more of these groups are combined may be used.
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
アルケンジイル基としては、エテンジイル基、プロペンジイル基、イソプロペンジイル基、ブテンジイル基、イソブテンジイル基、ｔｅｒｔ－ブテンジイル基、ペンテンジイル基、ヘキセンジイル基、ヘプテンジイル基、オクテンジイル基、イソオクテンジイル基、ノネンジイル基が挙げられる。
アルキンジイル基としては、エチンジイル基、プロピンジイル基、イソプロピンジイル基、ブチンジイル基、イソブチンジイル基、ｔｅｒｔ－ブチンジイル基、ペンチンジイル基、ヘキシンジイル基、オクチンジイル基、ノニンジイル基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～９であり、さらに好ましくは１～６であり、より一層好ましくは１～４であり、さらに一層好ましくは１～３である。
２価の脂環式炭化水素基としては、単環式、多環式及びスピロ環のいずれでもよい。２価の脂環式炭化水素基としては、以下に表される基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２である。
２価の芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
２種以上を組み合わせた炭化水素基としては、アルカンジイル基と脂環式炭化水素基及び／又は芳香族炭化水素基とを組み合わせた基等が挙げられ、－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－、－アルカンジイル基－脂環式炭化水素基－アルカンジイル基－、－アルカンジイル基－芳香族炭化水素基－、－芳香族炭化水素基－アルカンジイル基－等が挙げられる。
The alkanediyl groups include methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, butane-1,4-diyl, pentane-1,5-diyl, hexane-1,6-diyl, heptane- 1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group linear alkanediyl groups such as groups;
ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-2,2-diyl group, pentane-2,4-diyl group, 2-methylpropane- Branched alkanediyl groups such as 1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group and 2-methylbutane-1,4-diyl group can be mentioned.
Alkenediyl groups include ethenediyl, propenediyl, isopropenediyl, butenediyl, isobutenediyl, tert-butenediyl, pentenediyl, hexenediyl, heptenediyl, octenediyl, isooctenediyl, and nonenediyl groups. .
The alkynediyl group includes ethynediyl, propynediyl, isopropynediyl, butynediyl, isobutynediyl, tert-butynediyl, pentynediyl, hexynediyl, octynediyl, nonynediyl, and the like.
The chain hydrocarbon group preferably has 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 9 carbon atoms, still more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3.
The divalent alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic, polycyclic or spirocyclic. Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group include groups represented below. The binding site can be at any position.
The alicyclic hydrocarbon group preferably has 3 to 18 carbon atoms, more preferably 3 to 16 carbon atoms, and still more preferably 3 to 12 carbon atoms.
The divalent aromatic hydrocarbon group includes a phenylene group, naphthylene group, anthrylene group, biphenylene group, phenanthrylene group and the like. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6-18, more preferably 6-14, still more preferably 6-10.
Hydrocarbon groups in which two or more types are combined include groups in which an alkanediyl group and an alicyclic hydrocarbon group and/or an aromatic hydrocarbon group are combined, and the like, - alicyclic hydrocarbon group - alkanediyl group -, - alkanediyl group - alicyclic hydrocarbon group -, - alkanediyl group - alicyclic hydrocarbon group - alkanediyl group -, - alkanediyl group - aromatic hydrocarbon group -, - aromatic hydrocarbon group--alkanediyl group--and the like.
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基が置換基を有する場合又は該炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の炭素数とする。
炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、オキシ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、カルボニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、チオ基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、スルホニル基（メチレン基中に含まれる－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルカンジイルオキシカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルカンジイルカルボニルオキシ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－ＣＨ2－が、－ＣＯ－Ｏ－に置き換わった基）、アルキルチオ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルキルスルホニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、アルカンジイルチオ基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－Ｓ－に置き換わった基）、アルカンジイルスルホニル基（アルカンジイル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ2－が、－ＳＯ２－に置き換わった基）、シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基、アルコキシカルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基、芳香族炭化水素基－カルボニル基、芳香族炭化水素基－オキシ基、これらの基のうち２種以上を組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基としては、炭素数１～１７のアルコキシ基が挙げられ、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、オクチルオキシ基、２－エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ウンデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基は、上述したアルキル基又はアルコキシ基にカルボニル基又はカルボニルオキシ基が結合した基を表す。
アルコキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルコキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルキルカルボニル基が挙げられ、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルキルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基及びアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。
アルカンジイルオキシ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンオキシ基、エチレンオキシ基、プロパンジイルオキシ基、ブタンジイルオキシ基、ペンタンジイルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルオキシカルボニル基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルオキシカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンオキシカルボニル基、エチレンオキシカルボニル基、プロパンジイルオキシカルボニル基、ブタンジイルオキシカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニル基としては、炭素数２～１８のアルカンジイルカルボニル基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニル基、エチレンカルボニル基、プロパンジイルカルボニル基、ブタンジイルカルボニル基、ペンタンジイルカルボニル基等が挙げられる。アルカンジイルカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１７のアルカンジイルカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、メチレンカルボニルオキシ基、エチレンカルボニルオキシ基、プロパンジイルカルボニルオキシ基、ブタンジイルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルカンジイルオキシカルボニル基、アルカンジイルカルボニル基、アルカンジイルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。
アルキルチオ基としては、炭素数１～１７のアルキルチオ基が挙げられ、例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基等が挙げられる。アルキルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルキルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルキルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルチオ基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルチオ基が挙げられ、例えば、メチレンチオ基、エチレンチオ基、プロピレンチオ基等が挙げられる。アルカンジイルチオ基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
アルカンジイルスルホニル基としては、炭素数１～１７のアルカンジイルスルホニル基が挙げられ、例えば、メチレンスルホニル基、エチレンスルホニル基、プロピレンスルホニル基等が挙げられる。アルカンジイルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１１であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４であり、さらにより好ましくは１～３である。
シクロアルコキシ基としては、炭素数３～１７のシクロアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。シクロアルキルアルコキシ基としては、炭素数４～１７のシクロアルキルアルコキシ基が挙げられ、例えば、シクロヘキシルメトキシ基等が挙げられる。アルコキシカルボニルオキシ基としては、炭素数２～１６のアルコキシカルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。シクロアルコキシ基、シクロアルキルアルコキシ基の炭素数は、好ましくは３～１１であり、より好ましくは３～６である。アルコキシカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１１であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４であり、さらにより好ましくは２～３である。芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基としては、炭素数７～１７の芳香族炭化水素基－カルボニルオキシ基が挙げられ、例えば、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－カルボニル基としては、炭素数７～１８の芳香族炭化水素基－カルボニル基が挙げられ、例えば、ベンゾイル基等が挙げられる。芳香族炭化水素基－オキシ基としては、炭素数６～１７の芳香族炭化水素基－オキシ基が挙げられ、例えば、フェニルオキシ基等が挙げられる。
また、脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ２－で置き換わった基としては、以下に表される基等が挙げられる。以下に表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わっていてもよい。結合部位は任意の位置とすることができる。
When the hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms in L 10 has a substituent, or —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 — If there is, the number of carbon atoms before the substitution is the number of carbon atoms in the hydrocarbon group.
The group in which —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is replaced by —O—, —S—, —SO 2 — or —CO— includes a hydroxy group (the —CH 2 — contained in the methyl group, -O-), carboxy group (group in which -CH 2 -CH 2 - contained in the ethyl group is replaced by -O-CO-), thiol group (-CH 2 contained in the methyl group - is replaced with -S-), alkoxy group (group in which any position of -CH 2 - contained in the alkyl group is replaced with -O-), alkoxycarbonyl group (contained in the alkyl group A group in which —CH 2 —CH 2 — at any position is replaced with —O—CO—), an alkylcarbonyl group (an alkyl group in which —CH 2 — at any position is replaced with —CO— group), alkylcarbonyloxy group (a group in which —CH 2 —CH 2 — at any position in an alkyl group is replaced with —CO—O-), oxy group ( —CH 2 - is replaced by -O-), carbonyl group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is replaced by -CO-), thio group (group in which -CH 2 - contained in the methylene group is , a group substituted for -S-), a sulfonyl group (a group substituted for -SO 2 - for -CH 2 - contained in a methylene group), an alkanediyloxy group (an arbitrary position contained in an alkanediyl group -CH 2 - is replaced with -O-), alkanediyloxycarbonyl group (any position of -CH 2 -CH 2 - contained in the alkanediyl group is replaced with -O-CO- group), alkanediylcarbonyl group (a group in which —CH 2 — at any position contained in the alkanediyl group is replaced with —CO—), alkanediylcarbonyloxy group (any position contained in the alkanediyl group of —CH 2 —CH 2 — is replaced with —CO—O—), alkylthio group (group in which —CH 2 — at any position in the alkyl group is replaced with —S—), alkyl A sulfonyl group (a group in which —CH 2 — at any position in an alkyl group is replaced with —SO 2 —), an alkanediylthio group (a group in which —CH 2 — at any position in an alkanediyl group is , —S—), alkanediylsulfonyl group (group in which —CH 2 — at any position in the alkanediyl group is replaced with —SO 2 —), cycloalkoxy group, cycloalkylalkoxy group , an alkoxycarbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group, an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group, an aromatic hydrocarbon group-oxy group, a combination of two or more of these groups, and the like. .
The alkoxy group includes alkoxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, octyloxy, 2-ethylhexyloxy, nonyloxy. group, decyloxy group, undecyloxy group, and the like. The alkoxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
An alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group and an alkylcarbonyloxy group represent groups in which a carbonyl group or a carbonyloxy group is bonded to the above alkyl group or alkoxy group.
The alkoxycarbonyl group includes alkoxycarbonyl groups having 2 to 17 carbon atoms, such as methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl and butoxycarbonyl groups. The alkylcarbonyl group includes alkylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as acetyl group, propionyl group and butyryl group. The alkylcarbonyloxy group includes alkylcarbonyloxy groups having 2 to 17 carbon atoms, such as acetyloxy, propionyloxy and butyryloxy groups. The number of carbon atoms in the alkoxycarbonyl group, alkylcarbonyl group and alkylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, still more preferably 2 to 4, still more preferably 2 to 3. is.
The alkanediyloxy group includes alkanediyloxy groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methyleneoxy, ethyleneoxy, propanediyloxy, butanediyloxy, and pentanediyloxy groups. The alkanediyloxy group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediyloxycarbonyl group includes an alkanediyloxycarbonyl group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methyleneoxycarbonyl group, an ethyleneoxycarbonyl group, a propanediyloxycarbonyl group, a butanediyloxycarbonyl group, and the like. . The alkanediylcarbonyl group includes alkanediylcarbonyl groups having 2 to 18 carbon atoms, such as methylenecarbonyl, ethylenecarbonyl, propanediylcarbonyl, butanediylcarbonyl and pentanediylcarbonyl groups. The alkanediylcarbonyloxy group includes an alkanediylcarbonyloxy group having 2 to 17 carbon atoms, such as a methylenecarbonyloxy group, an ethylenecarbonyloxy group, a propanediylcarbonyloxy group, a butanediylcarbonyloxy group, and the like. . The number of carbon atoms in the alkanediyloxycarbonyl group, alkanediylcarbonyl group, and alkanediylcarbonyloxy group is preferably 2 to 11, more preferably 2 to 6, even more preferably 2 to 4, and even more preferably. is 2-3.
The alkylthio group includes alkylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylthio, ethylthio and propylthio. The number of carbon atoms in the alkylthio group is preferably 1-11, more preferably 1-6, even more preferably 1-4, still more preferably 1-3.
The alkylsulfonyl group includes alkylsulfonyl groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylsulfonyl, ethylsulfonyl and propylsulfonyl groups. The alkylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediylthio group includes alkanediylthio groups having 1 to 17 carbon atoms, such as methylenethio, ethylenethio and propylenethio groups. The alkanediylthio group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The alkanediylsulfonyl group includes an alkanediylsulfonyl group having 1 to 17 carbon atoms, such as a methylenesulfonyl group, an ethylenesulfonyl group, a propylenesulfonyl group and the like. The alkanediylsulfonyl group preferably has 1 to 11 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, still more preferably 1 to 4 carbon atoms, and still more preferably 1 to 3 carbon atoms.
The cycloalkoxy group includes a cycloalkoxy group having 3 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexyloxy group. The cycloalkylalkoxy group includes a cycloalkylalkoxy group having 4 to 17 carbon atoms, such as a cyclohexylmethoxy group. The alkoxycarbonyloxy group includes an alkoxycarbonyloxy group having 2 to 16 carbon atoms, such as a butoxycarbonyloxy group. The cycloalkoxy group and cycloalkylalkoxy group preferably have 3 to 11 carbon atoms, more preferably 3 to 6 carbon atoms. The alkoxycarbonyloxy group preferably has 2 to 11 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, still more preferably 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably 2 to 3 carbon atoms. The aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyloxy group having 7 to 17 carbon atoms, such as a benzoyloxy group. The aromatic hydrocarbon group-carbonyl group includes an aromatic hydrocarbon group-carbonyl group having 7 to 18 carbon atoms, such as a benzoyl group. The aromatic hydrocarbon group-oxy group includes an aromatic hydrocarbon group-oxy group having 6 to 17 carbon atoms, such as a phenyloxy group.
In addition, the groups in which —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with —O—, —S—, —CO— or —SO 2 — include the groups represented below. . -O- or -CO- in the groups represented below may be replaced with -S- or -SO 2 -. The binding site can be at any position.
Ｌ１０の炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基等が挙げられる。
Ｌ１０の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－が－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わった基により、Ｌ１０は、実質的に、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基等の置換基を有することができる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
Ｌ１０の炭素数１～３６の炭化水素基は、１つの置換基又は複数の置換基を有していてもよい。
A halogen atom, a cyano group, etc. are mentioned as a substituent which the hydrocarbon group of L10 may have.
L 10 is substantially a hydroxy group, a carboxy group, an alkoxy group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl can have substituents such as groups, alkylcarbonyloxy groups, and the like.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms for L 10 may have one substituent or multiple substituents.
Ｌ１０は、単結合、炭素数１～６のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の環状炭化水素基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～６のアルカンジイル基と炭素数３～１８の環状炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該環状炭化水素基は、置換基を有してもよく、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該環状炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることが好ましく、単結合、炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（但し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数１～４のアルカンジイル基と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～４のアルカンジイル基と置換基を有してもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがより好ましく、単結合、炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（但し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、置換基を有してもよいフェニレン基、炭素数１～４のアルカンジイル基と炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は炭素数１～４のアルカンジイル基と置換基を有してもよいフェニレン基とを組み合わせてなる基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらに好ましく、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基（但し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）であることがさらにより好ましい。 L 10 is a single bond, an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—); 3 to 18 cyclic hydrocarbon groups (provided that the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the cyclic hydrocarbon group is —O—, —S—, — SO 2 — or —CO—) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms and a cyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (provided that the cyclic hydrocarbon group may have a substituent, -CH 2 - contained in the alkanediyl group may be replaced with -O- or -CO-, and -CH 2 - contained in the cyclic hydrocarbon group may be substituted with —O—, —S—, —SO 2 — or —CO—), and is preferably a single bond and an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (provided that the alkanediyl —CH 2 — contained in the group may be replaced with —O— or —CO—), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (provided that the alicyclic hydrocarbon group contains (-CH 2 -) may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-), optionally substituted aromatic hydrocarbons having 6 to 18 carbon atoms. a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group is —O— or may be replaced with -CO-, and -CH 2 - contained in the alicyclic hydrocarbon group may be replaced with -O-, -S-, -SO 2 - or -CO-). or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms which may have a substituent (with the proviso that —CH 2 — may be substituted with —O— or —CO—), and is more preferably a single bond and an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is — O— or —CO—.), a phenylene group which may have a substituent, an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms. Groups to be combined (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group may be replaced with —O— or —CO—, and —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is -O- or -CO- may be substituted. ) or a group formed by combining an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms and a phenylene group which may have a substituent (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group is —O— or —CO is more preferably a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms (with the proviso that —CH 2 — contained in the alkanediyl group is —O— or —CO - may be substituted.) is even more preferable.
アニオン（Ｉ）としては、例えば、以下のアニオンが挙げられる。
式（Ｉ－ａ－１）～式（Ｉ－ａ－１４）で表されるアニオンにおいて、式（Ｉ）のＲｂｂ１に相当するメチル基が水素原子に置き換わったアニオンも、アニオン（Ｉ）の具体例として挙げることができる。なかでも、式（Ｉ－ａ－１）～式（Ｉ－ａ－６）で表されるアニオンが好ましい。 In the anions represented by formulas (Ia-1) to (Ia-14), the anion in which the methyl group corresponding to Rbb1 in formula (I) is replaced with a hydrogen atom is also anion (I). A specific example can be given. Among them, anions represented by formulas (Ia-1) to (Ia-6) are preferred.
塩（Ｉ）の具体例として、上記したカチオンとアニオンとを任意に組み合わせた塩が挙げられる。塩（Ｉ）の具体例を下記表に示す。
下記表において、各符号は、上述のアニオンやカチオンを表す構造に付した符号を表し、「～」は、塩（Ｉ）とアニオン（Ｉ）とのそれぞれが対応することを示す。たとえば、塩（Ｉ－１）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩であり、以下に示す塩である。また、塩（Ｉ－２）は、式（Ｉ－ａ－２）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－１）で示されるカチオンとからなる塩、塩（Ｉ－１５）は、式（Ｉ－ａ－１）で示されるアニオンと式（Ｉ－ｃ－２）で示されるカチオンとからなる塩を示す。
In the table below, each symbol represents the symbol attached to the structure representing the anion or cation described above, and "-" indicates that the salt (I) and the anion (I) respectively correspond. For example, salt (I-1) is a salt composed of an anion represented by formula (Ia-1) and a cation represented by formula (Ic-1), and is a salt shown below. Further, the salt (I-2) is a salt composed of the anion represented by the formula (I-a-2) and the cation represented by the formula (I-c-1), and the salt (I-15) is represented by the formula ( It represents a salt consisting of an anion represented by Ia-1) and a cation represented by formula (Ic-2).
中でも、塩（Ｉ）は、塩（Ｉ－１）～塩（Ｉ－６）、塩（Ｉ－１５）～塩（Ｉ－２０）、塩（Ｉ－２９）～塩（Ｉ－３４）、塩（Ｉ－４２）～塩（Ｉ－４８）、塩（Ｉ－５７）～塩（Ｉ－６２）、塩（Ｉ－７０）～塩（Ｉ－７６）、塩（Ｉ－８５）～塩（Ｉ－９０）、塩（Ｉ－９８）～塩（Ｉ－１０４）、塩（Ｉ－１１３）～塩（Ｉ－１１８）、塩（Ｉ－１２６）～塩（Ｉ－１３２）、塩（Ｉ－１４１）～塩（Ｉ－１４６）、塩（Ｉ－１５４）～塩（Ｉ－１６０）、塩（Ｉ－１６９）～塩（Ｉ－１７４）、塩（Ｉ－１８２）～塩（Ｉ－１８８）、塩（Ｉ－１９７）～塩（Ｉ－２０２）、塩（Ｉ－２１０）～塩（Ｉ－２１６）、塩（Ｉ－２２５）～塩（Ｉ－２３０）、塩（Ｉ－２３８）～塩（Ｉ－２４４）、塩（Ｉ－２５３）～塩（Ｉ－２５８）、塩（Ｉ－２６６）～塩（Ｉ－２７２）、塩（Ｉ－２８１）～塩（Ｉ－２８６）、塩（Ｉ－２９４）～塩（Ｉ－３００）、塩（Ｉ－３０９）～塩（Ｉ－３１４）、塩（Ｉ－３２２）～塩（Ｉ－３２８）、塩（Ｉ－３３７）～塩（Ｉ－３４２）、塩（Ｉ－３５０）～塩（Ｉ－３５６）、塩（Ｉ－３６５）～塩（Ｉ－３７０）、塩（Ｉ－３７８）～塩（Ｉ－３８４）、塩（Ｉ－３９３）～塩（Ｉ－３９８）、塩（Ｉ－４０６）～塩（Ｉ－４１２）、塩（Ｉ－４２１）～塩（Ｉ－４２６）、塩（Ｉ－４３４）～塩（Ｉ－４４０）、塩（Ｉ－４４９）～塩（Ｉ－４５４）、塩（Ｉ－４６２）～塩（Ｉ－４６８）、塩（Ｉ－４７７）～塩（Ｉ－４８２）、塩（Ｉ－４９０）～塩（Ｉ－４９６）、塩（Ｉ－５０５）～塩（Ｉ－５１０）、塩（Ｉ－５１８）～塩（Ｉ－５２４）、塩（Ｉ－５３３）～塩（Ｉ－５３８）、塩（Ｉ－５４６）～塩（Ｉ－５５２）、塩（Ｉ－５６１）～塩（Ｉ－５６６）、塩（Ｉ－５７４）～塩（Ｉ－５８０）、塩（Ｉ－５８９）～塩（Ｉ－５９４）、塩（Ｉ－６０２）～塩（Ｉ－６０８）、塩（Ｉ－６１７）～塩（Ｉ－６２２）、塩（Ｉ－６３０）～塩（Ｉ－６３６）、塩（Ｉ－６４５）～塩（Ｉ－６５０）、塩（Ｉ－６５８）～塩（Ｉ－６６４）、塩（Ｉ－６７３）～塩（Ｉ－６７８）、塩（Ｉ－６８６）～塩（Ｉ－６９２）、塩（Ｉ－７０１）～塩（Ｉ－７０６）、塩（Ｉ－７１４）～塩（Ｉ－７２０）、塩（Ｉ－７２９）～塩（Ｉ－７３４）、塩（Ｉ－７４２）～塩（Ｉ－７４８）、塩（Ｉ－７５７）～塩（Ｉ－７６２）、塩（Ｉ－７７０）～塩（Ｉ－７７６）、塩（Ｉ－７８５）～塩（Ｉ－７９０）、塩（Ｉ－７９８）～塩（Ｉ－８０４）、塩（Ｉ－８１３）～塩（Ｉ－８１８）、塩（Ｉ－８２６）～塩（Ｉ－８３２）、塩（Ｉ－８４１）～塩（Ｉ－８４６）、塩（Ｉ－８５４）～塩（Ｉ－８６０）、塩（Ｉ－８６９）～塩（Ｉ－８７４）、塩（Ｉ－８８２）～塩（Ｉ－８８８）、塩（Ｉ－８９７）～塩（Ｉ－９０２）、塩（Ｉ－９１０）～塩（Ｉ－９１６）、塩（Ｉ－９２５）～塩（Ｉ－９３０）、塩（Ｉ－９３８）～塩（Ｉ－９４４）、塩（Ｉ－９５３）～塩（Ｉ－９５８）、塩（Ｉ－９６６）～塩（Ｉ－９７２）、塩（Ｉ－９８１）～塩（Ｉ－９８６）、塩（Ｉ－９９４）～塩（Ｉ－１０００）、塩（Ｉ－１００９）～塩（Ｉ－１０１４）、塩（Ｉ－１０２２）～塩（Ｉ－１０２８）、塩（Ｉ－１０３７）～塩（Ｉ－１０４２）、塩（Ｉ－１０５０）～塩（Ｉ－１０５６）、塩（Ｉ－１０６５）～塩（Ｉ－１０７０）、塩（Ｉ－１０７８）～塩（Ｉ－１０８４）、塩（Ｉ－１０９３）～塩（Ｉ－１０９８）、塩（Ｉ－１１０６）～塩（Ｉ－１１１２）、塩（Ｉ－１１２１）～塩（Ｉ－１１２６）、塩（Ｉ－１１３４）～塩（Ｉ－１１４０）、塩（Ｉ－１１４９）～塩（Ｉ－１１５４）であることが好ましい。 Among them, salt (I) includes salt (I-1) to salt (I-6), salt (I-15) to salt (I-20), salt (I-29) to salt (I-34), Salt (I-42) ~ Salt (I-48), Salt (I-57) ~ Salt (I-62), Salt (I-70) ~ Salt (I-76), Salt (I-85) ~ Salt (I-90), salt (I-98) to salt (I-104), salt (I-113) to salt (I-118), salt (I-126) to salt (I-132), salt ( I-141) ~ Salt (I-146), Salt (I-154) ~ Salt (I-160), Salt (I-169) ~ Salt (I-174), Salt (I-182) ~ Salt (I -188), salt (I-197) to salt (I-202), salt (I-210) to salt (I-216), salt (I-225) to salt (I-230), salt (I- 238) to salt (I-244), salt (I-253) to salt (I-258), salt (I-266) to salt (I-272), salt (I-281) to salt (I-286) ), salt (I-294) to salt (I-300), salt (I-309) to salt (I-314), salt (I-322) to salt (I-328), salt (I-337) ~ Salt (I-342), Salt (I-350) ~ Salt (I-356), Salt (I-365) ~ Salt (I-370), Salt (I-378) ~ Salt (I-384), Salt (I-393) ~ Salt (I-398), Salt (I-406) ~ Salt (I-412), Salt (I-421) ~ Salt (I-426), Salt (I-434) ~ Salt (I-440), salt (I-449) to salt (I-454), salt (I-462) to salt (I-468), salt (I-477) to salt (I-482), salt ( I-490) ~ Salt (I-496), Salt (I-505) ~ Salt (I-510), Salt (I-518) ~ Salt (I-524), Salt (I-533) ~ Salt (I -538), salt (I-546) to salt (I-552), salt (I-561) to salt (I-566), salt (I-574) to salt (I-580), salt (I- 589) to salt (I-594), salt (I-602) to salt (I-608), salt (I-617) to salt (I-622), salt (I-630) to salt (I-636) ), salt (I-645) to salt (I-650), salt (I-658) to salt (I-664), salt (I-673) to salt (I-678), salt (I-686) ~ Salt (I-692), Salt (I-701) ~ Salt (I-706), Salt (I-714) ~ Salt (I-720), Salt (I-729) ~ Salt (I-734), Salt (I-742) ~ Salt (I-748), Salt (I-757) ~ Salt (I-762), Salt (I-770) ~ Salt (I-776), Salt (I-785) ~ Salt (I-790), salt (I-798) to salt (I-804), salt (I-813) to salt (I-818), salt (I-826) to salt (I-832), salt ( I-841) ~ Salt (I-846), Salt (I-854) ~ Salt (I-860), Salt (I-869) ~ Salt (I-874), Salt (I-882) ~ Salt (I -888), salt (I-897) to salt (I-902), salt (I-910) to salt (I-916), salt (I-925) to salt (I-930), salt (I- 938) to salt (I-944), salt (I-953) to salt (I-958), salt (I-966) to salt (I-972), salt (I-981) to salt (I-986) ), salt (I-994) to salt (I-1000), salt (I-1009) to salt (I-1014), salt (I-1022) to salt (I-1028), salt (I-1037) to salt (I-1042), salt (I-1050) to salt (I-1056), salt (I-1065) to salt (I-1070), salt (I-1078) to salt (I-1084), Salt (I-1093) ~ Salt (I-1098), Salt (I-1106) ~ Salt (I-1112), Salt (I-1121) ~ Salt (I-1126), Salt (I-1134) ~ Salt (I-1140), salts (I-1149) to salts (I-1154) are preferred.
＜塩（Ｉ）の製造方法＞
塩（Ｉ）は、式（Ｉ－ａ）で表される塩と、式（Ｉ－ｂ）で表される化合物とを、触媒存在下、溶剤中で反応させることにより製造することができる。
Ｌｂ２は、Ｌｂ１末端から－（ＣＯ）（１－ｎｎ）－Ｏ－を除いた基を表す。ｎｎは０又は１を表す。］
触媒としては、カルボニルジイミダゾール、塩基触媒（ジメチルアミノピリジン）などが挙げられる。
溶剤としては、クロロホルム、モノクロロベンゼン、アセトニトリルなどが挙げられる。
反応温度は、通常１５℃～８０℃であり、反応時間は、通常０．５～２４時間である。
<Method for producing salt (I)>
Salt (I) can be produced by reacting a salt represented by formula (Ia) with a compound represented by formula (Ib) in the presence of a catalyst in a solvent.
L b2 represents a group obtained by removing —(CO) (1-nn) —O— from the terminal of L b1 . nn represents 0 or 1; ]
Examples of catalysts include carbonyldiimidazole, basic catalysts (dimethylaminopyridine) and the like.
Solvents include chloroform, monochlorobenzene, acetonitrile, and the like.
The reaction temperature is generally 15° C. to 80° C., and the reaction time is generally 0.5 to 24 hours.
式（Ｉ－ａ）で表される塩としては、下記式で表される塩等が挙げられる。これらの塩は、特開２０２０－１５７１３号公報に記載の方法と同様の方法、又は、公知の製法により容易に製造することができる。
式（Ｉ－ｂ）で表される化合物としては、下記式で表される化合物等が挙げられる。これらの化合物は、市場より容易に入手することができ、又は、公知の製法により容易に製造することができる。
〔式（Ｉ）で表される塩に由来する構造単位〕
式（Ｉ）で表される塩に由来する構造単位は、式（ＩＰ）で表される構造単位（以下「構造単位（ＩＰ）」という場合がある。）である。
このような構造単位（ＩＰ）は、塩（Ｉ）と同様に酸発生剤としても機能するとともに、化合物又は樹脂を構成する構造単位としても機能する。
〔式（Ｉ）で表される塩に由来する構造単位（ＩＰ）を含む樹脂〕
本発明の樹脂は、式（Ｉ）で表される塩に由来する構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（以下「樹脂（Ａｐ）」という場合がある。）である。
構造単位（ＩＰ）は、塩（Ｉ）に含まれるＣＨ２＝Ｃ－Ｒｂｂ１の２重結合が開裂した状態を示す。
樹脂（Ａｐ）は、１種の構造単位（ＩＰ）を含む単独重合体でもよいし、２種以上の構造単位（ＩＰ）を含む共重合体でもよい。
また、樹脂（Ａｐ）は、構造単位（ＩＰ）以外の構造単位を含んでいてもよい。構造単位（ＩＰ）以外の構造単位としては、後述するように、酸不安定基を有する構造単位（以下「構造単位（ａ１）」という場合がある）、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、その他の構造単位（以下「構造単位（ｔ）」という場合がある）及び当該分野で公知の構造単位等が挙げられる。ここで、「酸不安定基」は、脱離基を有し、酸との接触により脱離基が脱離して、構成単位が親水性基（例えば、ヒドロキシ基又はカルボキシ基）を有する構成単位に変換する基を意味する。
構造単位（ＩＰ）の含有率は、樹脂（Ａｐ）の全構造単位に対して、０．１モル％以上が挙げられ、好ましくは０．５モル％以上であり、より好ましくは０．８モル％以上であり、さらに好ましくは１モル％以上である。また、１００モル％以下が挙げられ、好ましくは５０モル％以下であり、より好ましくは３０モル％以下であり、さらに好ましくは１０モル％以下である。具体的には、０．１～１００モル％が挙げられ、好ましくは０．５～５０モル％であり、より好ましくは０．８～３０モル％であり、さらに好ましくは１～１０モル％である。
[Structural Unit Derived from Salt Represented by Formula (I)]
The structural unit derived from the salt represented by formula (I) is the structural unit represented by formula (IP) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (IP)").
Such a structural unit (IP) functions not only as an acid generator like salt (I) but also as a structural unit constituting a compound or resin.
[Resin Containing Structural Unit (IP) Derived from Salt Represented by Formula (I)]
The resin of the present invention is a resin (hereinafter sometimes referred to as "resin (Ap)") containing a structural unit (IP) derived from the salt represented by formula (I).
Structural unit (IP) represents a state in which the double bond of CH 2 ═C—R bb1 contained in salt (I) is cleaved.
The resin (Ap) may be a homopolymer containing one structural unit (IP) or a copolymer containing two or more structural units (IP).
Moreover, the resin (Ap) may contain a structural unit other than the structural unit (IP). Structural units other than the structural unit (IP) include, as described later, a structural unit having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a1)") and a structural unit having no acid-labile group. (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (s)"), other structural units (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (t)"), structural units known in the art, and the like. Here, the "acid-labile group" is a structural unit having a leaving group, and the leaving group is eliminated by contact with an acid, resulting in a structural unit having a hydrophilic group (e.g., a hydroxy group or a carboxyl group). means a group that converts to
The content of the structural unit (IP) may be 0.1 mol% or more, preferably 0.5 mol% or more, more preferably 0.8 mol, based on the total structural units of the resin (Ap). % or more, more preferably 1 mol % or more. Further, it is 100 mol % or less, preferably 50 mol % or less, more preferably 30 mol % or less, and still more preferably 10 mol % or less. Specifically, it is 0.1 to 100 mol%, preferably 0.5 to 50 mol%, more preferably 0.8 to 30 mol%, still more preferably 1 to 10 mol%. be.
特に、樹脂（Ａｐ）は、後述するように、レジスト組成物に使用される場合には、構造単位（ＩＰ）に加えて、構造単位（ａ１）をさらに含んでいてもよい。
また、樹脂（Ａｐ）は、後述するように、レジスト組成物に使用される場合には、構造単位（ａ１）を含むか否かにかかわらず、構造単位（ａ１）を含む樹脂（「以下「樹脂（Ａ）」という場合がある。）及び／又は樹脂（Ａ）以外の樹脂等と併用してもよい。以下、樹脂（Ａｐ）及び／又は樹脂（Ａ）を「樹脂（Ａ）等」という場合がある。
樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）は、それぞれ、構造単位（ａ１）以外の構造単位をさらに含んでいることが好ましい。
構造単位（ａ１）以外の構造単位としては、酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ｓ）」という場合がある）、その他の構造単位（以下「構造単位（ｔ）」という場合がある）及び当該分野で公知の構造単位等が挙げられる。
In particular, the resin (Ap) may further contain a structural unit (a1) in addition to the structural unit (IP) when used in a resist composition, as will be described later.
In addition, as will be described later, the resin (Ap) is a resin containing the structural unit (a1) (hereinafter " It may be referred to as "resin (A)".) and/or may be used in combination with a resin other than resin (A). Hereinafter, resin (Ap) and/or resin (A) may be referred to as "resin (A) and the like".
It is preferable that each of the resin (Ap) and the resin (A) further contains a structural unit other than the structural unit (a1).
Structural units other than the structural unit (a1) include structural units having no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (s)"), other structural units (hereinafter referred to as "structural unit (t)" may be called) and structural units known in the art.
〈構造単位（ａ１）〉
構造単位（ａ１）は、酸不安定基を有するモノマー（以下「モノマー（ａ１）」という場合がある）から導かれる。
樹脂（Ａ）等に含まれる酸不安定基は、式（１）で表される基（以下、基（１）とも記す）及び／又は式（２）で表される基（以下、基（２）とも記す）が好ましい。
ｍａ及びｎａは、それぞれ独立して、０又は１を表し、ｍａ及びｎａの少なくとも一方は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
Ｘは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
ｎａ’は、０又は１を表す。
＊は結合部位を表す。］
<Structural unit (a1)>
The structural unit (a1) is derived from a monomer having an acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (a1)").
The acid-labile group contained in the resin (A) or the like is a group represented by formula (1) (hereinafter also referred to as group (1)) and/or a group represented by formula (2) (hereinafter referred to as group ( 2)) is preferred.
ma and na each independently represent 0 or 1, and at least one of ma and na represents 1;
* represents a binding site. ]
X represents an oxygen atom or a sulfur atom.
na' represents 0 or 1;
* represents a binding site. ]
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３におけるアルケニル基としては、エテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、イソブテニル基、ｔｅｒｔ－ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、イソオクテニル基、ノネニル基が挙げられる。
Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３における脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１６である。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。
好ましくは、ｍａは０であり、ｎａは１である。
Ｒa1及びＲa2が互いに結合して非芳香族炭化水素環を形成する場合の－Ｃ（Ｒa1）（Ｒa2）（Ｒa3）としては、下記の環が挙げられる。非芳香族炭化水素環は、好ましくは炭素数３～１２である。＊は－Ｏ－との結合部位を表す。
The alkenyl group for R a1 , R a2 and R a3 includes ethenyl, propenyl, isopropenyl, butenyl, isobutenyl, tert-butenyl, pentenyl, hexenyl, heptenyl, octenyl, isooctenyl, A nonenyl group is mentioned.
The alicyclic hydrocarbon groups for R a1 , R a2 and R a3 may be either monocyclic or polycyclic. The monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes cycloalkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group and cyclooctyl group. Examples of polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups (* represents a bonding site). The alicyclic hydrocarbon groups of R a1 , R a2 and R a3 preferably have 3 to 16 carbon atoms.
Examples of the combined group include groups obtained by combining the above alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups (e.g., methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyl a dimethyl group, an alkylcycloalkyl group such as a norbornylethyl group or a cycloalkylalkyl group), an aralkyl group such as a benzyl group, an aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), an aromatic hydrocarbon group having an alicyclic hydrocarbon group (p- cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.), aryl-cycloalkyl groups such as phenylcyclohexyl group, and the like.
Preferably, ma is 0 and na is 1.
-C(R a1 )(R a2 )(R a3 ) when R a1 and R a2 combine to form a non-aromatic hydrocarbon ring include the following rings. The non-aromatic hydrocarbon ring preferably has 3 to 12 carbon atoms. * represents a binding site with -O-.
Ｒａ１’、Ｒａ２’及びＲａ３’における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基は、Ｒａ１、Ｒａ２及びＲａ３で挙げた基と同様のものが挙げられる。
Ｒａ２’及びＲａ３’が互いに結合してそれらが結合する炭素原子及びＸとともに複素環を形成する場合、－Ｃ（Ｒa1’）（Ｒa2’）－Ｘ－Ｒa3’としては、下記の環が挙げられる。＊は、結合部位を表す。
ｎａ’は、好ましくは０である。
Examples of hydrocarbon groups for R a1′ , R a2′ and R a3′ include alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups and groups formed by combining these.
Examples of the alkyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group, and groups formed by combining these groups are the same as the groups exemplified for R a1 , R a2 and R a3 .
When R a2′ and R a3′ are bonded to each other to form a heterocyclic ring together with the carbon atom to which they are bonded and X, —C(R a1′ )(R a2′ )—X—R a3′ is represented by the following ring. * represents the binding site.
na' is preferably zero.
基（１）としては、以下の基が挙げられる。
式（１）においてＲａ１、Ｒａ２及びＲａ３がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。当該基としては、ｔｅｒｔ－ブトキシカルボニル基が好ましい。
式（１）において、Ｒa1、Ｒa2が、これらが結合する炭素原子と一緒になってアダマンチル基を形成し、Ｒa3がアルキル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
式（１）において、Ｒa1及びＲa2がそれぞれ独立してアルキル基であり、Ｒa3がアダマンチル基であり、ｍａ＝０であり、ｎａ＝１である基。
基（１）としては、具体的には以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
A group in which R a1 , R a2 and R a3 in formula (1) are alkyl groups, ma=0 and na=1. The group is preferably a tert-butoxycarbonyl group.
In formula (1), R a1 and R a2 form an adamantyl group together with the carbon atoms to which they are attached, R a3 is an alkyl group, ma = 0 and na = 1. .
A group in which R a1 and R a2 are each independently an alkyl group, R a3 is an adamantyl group, ma=0 and na=1 in formula (1).
Specific examples of the group (1) include the following groups. * represents a binding site.
基（２）の具体例としては、以下の基が挙げられる。＊は結合部位を表す。
モノマー（ａ１）は、好ましくは、酸不安定基とエチレン性不飽和結合とを有するモノマー、より好ましくは酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーである。 Monomer (a1) is preferably a monomer having an acid labile group and an ethylenically unsaturated bond, more preferably a (meth)acrylic monomer having an acid labile group.
酸不安定基を有する（メタ）アクリル系モノマーのうち、好ましくは、炭素数５～２０の脂環式炭化水素基を有するものが挙げられる。脂環式炭化水素基のような嵩高い構造を有するモノマー（ａ１）に由来する構造単位を有する樹脂（Ａ）等をレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度を向上させることができる。 Among (meth)acrylic monomers having an acid-labile group, those having an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 20 carbon atoms are preferred. The resolution of the resist pattern can be improved by using the resin (A) or the like having structural units derived from the monomer (a1) having a bulky structure such as an alicyclic hydrocarbon group in the resist composition.
基（１）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位として、式（ａ１－０）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－０）という場合がある。）、式（ａ１－１）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－１）という場合がある。）又は式（ａ１－２）で表される構造単位（以下、構造単位（ａ１－２）という場合がある。）が挙げられる。好ましくは、構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位であり、より好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも１種の構造単位である。これらは単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
As a structural unit derived from a (meth)acrylic monomer having a group (1), a structural unit represented by formula (a1-0) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-0)), formula ( a1-1) (hereinafter sometimes referred to as structural unit (a1-1)) or a structural unit represented by formula (a1-2) (hereinafter referred to as structural unit (a1-2) There is a case.) is mentioned. Preferably, it is at least one structural unit selected from the group consisting of structural unit (a1-0), structural unit (a1-1) and structural unit (a1-2), more preferably structural unit (a1- 1) and at least one structural unit selected from the group consisting of structural units (a1-2). These may be used alone or in combination of two or more.
[In formula (a1-0), formula (a1-1) and formula (a1-2),
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent —O— or *—O—(CH 2 ) k1 —CO—O—, k1 represents an integer of 1 to 7, * is represents the binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom or an optionally halogenated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or Represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these groups.
m1' represents any integer from 0 to 14;
n1 represents any integer from 0 to 10;
n1' represents an integer of 0 to 3; ]
Ｒa01、Ｒa4及びＲa5は、好ましくは水素原子又はメチル基であり、より好ましくはメチル基である。
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、好ましくは酸素原子又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ０１－ＣＯ－Ｏ－であり（但し、ｋ０１は、好ましくは１～４のいずれかの整数、より好ましくは１である。）、より好ましくは酸素原子である。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04におけるアルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、基（１）のＲａ１、Ｒa2及びＲａ３で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基、アルケニル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組合せた基としては、式（１）のＲa1、Ｒa２及びＲa3で挙げた基と同様の基が挙げられる。
Ｒa02、Ｒa03、及びＲa04におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基であり、さらに好ましくはメチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルキル基は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基又はｔ－ブチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７におけるアルケニル基は、好ましくは炭素数２～６のアルケニル基であり、より好ましくはエテニル基、プロペニル基、イソプロペニル基又はブテニル基である。
Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７の脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは５～１２であり、より好ましくは５～１０である。
Ｒa02、Ｒa03、Ｒa04、Ｒａ６及びＲａ７の芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１２であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と脂環式炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
アルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた基は、これらアルキル基と芳香族炭化水素基とを組合せた合計炭素数が、１８以下であることが好ましい。
Ｒa02及びＲa03は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基又はナフチル基である。
Ｒa04は、好ましくは炭素数１～６のアルキル基又は炭素数５～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、シクロヘキシル基又はアダマンチル基である。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、好ましくは炭素数１～６のアルキル基、炭素数２～６のアルケニル基又は炭素数６～１２の芳香族炭化水素基であり、より好ましくはメチル基、エチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基、フェニル基又はナフチル基であり、さらに好ましくはエチル基、イソプロピル基、ｔ－ブチル基、エテニル基又はフェニル基である。
ｍ１’は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
ｎ１’は好ましくは０又は１である。
R a01 , R a4 and R a5 are preferably a hydrogen atom or a methyl group, more preferably a methyl group.
L a01 , L a1 and L a2 are preferably an oxygen atom or *—O—(CH 2 ) k01 —CO—O— (provided that k01 is preferably any integer of 1 to 4, more preferably is 1.), more preferably an oxygen atom.
The alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group, the aromatic hydrocarbon group, and the groups in which these are combined for R a02 , R a03 and R a04 are the groups listed for R a1 , R a2 and R a3 in group (1). and the same groups as
The alkyl group, alkenyl group, alicyclic hydrocarbon group, aromatic hydrocarbon group and groups in which these are combined for R a6 and R a7 are the groups listed for R a1 , R a2 and R a3 in formula (1) and the same groups as
The alkyl group for R a02 , R a03 and R a04 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, still more preferably a methyl group.
The alkyl group for R a6 and R a7 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group, an isopropyl group or a t-butyl group, still more preferably an ethyl group or an isopropyl group. or a t-butyl group.
The alkenyl group for R a6 and R a7 is preferably an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms, more preferably an ethenyl group, propenyl group, isopropenyl group or butenyl group.
The alicyclic hydrocarbon groups of R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 preferably have 5 to 12 carbon atoms, more preferably 5 to 10 carbon atoms.
The aromatic hydrocarbon groups of R a02 , R a03 , R a04 , R a6 and R a7 preferably have 6 to 12 carbon atoms, more preferably 6 to 10 carbon atoms.
It is preferable that the combined group of an alkyl group and an alicyclic hydrocarbon group have a total carbon number of 18 or less.
It is preferable that the combined group of an alkyl group and an aromatic hydrocarbon group have a total carbon number of 18 or less.
R a02 and R a03 are preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, more preferably methyl group, ethyl group, phenyl group or naphthyl group.
R a04 is preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 5 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group or an adamantyl group.
R a6 and R a7 are each independently preferably an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 6 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group , ethyl, isopropyl, t-butyl, ethenyl, phenyl or naphthyl, more preferably ethyl, isopropyl, t-butyl, ethenyl or phenyl.
m1′ is preferably an integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1 is preferably an integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.
n1' is preferably 0 or 1.
構造単位（ａ１－０）としては、例えば、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１８）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－０）におけるＲａ０１に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－０－１）～式（ａ１－０－１０）、式（ａ１－０－１３）、式（ａ１－０－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。
構造単位（ａ１－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－７）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－１）におけるＲａ４に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が好ましく、式（ａ１－１－１）～式（ａ１－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましい。
構造単位（ａ１－２）としては、式（ａ１－２－１）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位及び構造単位（ａ１－２）におけるＲａ５に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、式（ａ１－２－２）、式（ａ１－２－５）、式（ａ１－２－６）及び式（ａ１－２－１０）～式（ａ１－２－１４）のいずれかで表される構造単位が好ましい。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ１－０）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、５モル％以上が挙げられ、好ましくは１０モル％以上である。また、８０モル％以下が挙げられ、好ましくは７５モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下である。具体的には、５～８０モル％が挙げられ、好ましくは５～７５モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％である。
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ１－１）及び／又は構造単位（ａ１－２）を含む場合、これらの合計含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１０モル％以上が挙げられ、好ましくは１５モル％以上であり、より好ましくは２０モル％以上である。また、９０モル％以下が挙げられ、好ましくは８５モル％以下であり、より好ましくは８０モル％以下であり、さらに好ましくは７５モル％以下であり、より一層好ましくは７０モル％以下である。具体的には、１０～９０モル％が挙げられ、好ましくは１５～８５モル％であり、より好ましくは２０～８０モル％であり、さらに好ましくは２０～７５モル％であり、さらにより好ましくは２０～７０モル％である。
When the resin (A) or the like contains the structural unit (a1-0), the content thereof may be 5 mol% or more, preferably 10 mol% or more, based on the total structural units of the resin (A). be. Also, it is 80 mol % or less, preferably 75 mol % or less, and more preferably 70 mol % or less. Specifically, it is 5 to 80 mol %, preferably 5 to 75 mol %, more preferably 10 to 70 mol %.
When the resin (A) or the like contains the structural unit (a1-1) and/or the structural unit (a1-2), the total content of these is 10 mol% with respect to the total structural units of the resin (A) or the like. It is preferably 15 mol % or more, more preferably 20 mol % or more. Also, it is 90 mol % or less, preferably 85 mol % or less, more preferably 80 mol % or less, still more preferably 75 mol % or less, and even more preferably 70 mol % or less. Specifically, it is 10 to 90 mol%, preferably 15 to 85 mol%, more preferably 20 to 80 mol%, still more preferably 20 to 75 mol%, still more preferably 20 to 70 mol %.
構造単位（ａ１）において基（２）を有する構造単位としては、式（ａ１－４）で表される構造単位（以下、「構造単位（ａ１－４）」という場合がある。）が挙げられる。
Ｒa32は、水素原子、ハロゲン原子、又は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa30は、単結合又は＊－Ｘa31－（Ａa32－Ｘa32）nc－を表し、＊は－Ｒa32が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa32は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘa31及びＸa32は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｃは、０又は１を表す。
ｌａは０～４のいずれかの整数を表す。ｌａが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa33は互いに同一であっても異なっていてもよい。
Ｒa34及びＲa35はそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数１～１２の炭化水素基を表し、Ｒa36は、炭素数１～２０の炭化水素基を表すか、Ｒa35及びＲa36は互いに結合してそれらが結合する－Ｃ－Ｏ－とともに炭素数２～２０の２価の炭化水素基を形成し、該炭化水素基及び該２価の炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－Ｓ－で置き換わってもよい。］
Structural units having group (2) in structural unit (a1) include structural units represented by formula (a1-4) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a1-4)”). .
R a32 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a33 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, and a carbon number It represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group.
A a30 represents a single bond or * -X a31 -(A a32 -X a32 ) nc -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a32 is bonded.
A a32 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
X a31 and X a32 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nc represents 0 or 1;
la represents an integer of 0 to 4; When la is any integer of 2 or more, the plurality of R a33 may be the same or different.
R a34 and R a35 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, R a36 represents a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, or R a35 and R a36 are bonded to each other to form a C2-C20 divalent hydrocarbon group together with -C-O- to which they are bonded, and -CH 2 - contained in the hydrocarbon group and the divalent hydrocarbon group is - O- or -S- may be substituted. ]
Ｒa32及びＲa33におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa32におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒa32は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒa33におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒa33におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒa33におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒa33は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Halogen atoms in R a32 and R a33 include fluorine, chlorine and bromine atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom for R a32 include a trifluoromethyl group, a difluoromethyl group, a methyl group, a perfluoroethyl group, a 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2, 3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group and perfluoro A hexyl group is mentioned.
R a32 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, even more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Examples of the alkyl group for R a33 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.
The alkoxy group for R a33 includes methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, sec-butoxy, tert-butoxy, pentyloxy and hexyloxy groups. The alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and still more preferably a methoxy group.
Alkoxyalkyl groups for R a33 include methoxymethyl, ethoxyethyl, propoxymethyl, isopropoxymethyl, butoxymethyl, sec-butoxymethyl and tert-butoxymethyl groups. The alkoxyalkyl group is preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxymethyl group or an ethoxyethyl group, even more preferably a methoxymethyl group.
The alkoxyalkoxy group for R a33 includes a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, an ethoxyethoxy group, a propoxymethoxy group, an isopropoxymethoxy group, a butoxymethoxy group, a sec-butoxymethoxy group and a tert-butoxymethoxy group. mentioned. The alkoxyalkoxy group is preferably an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxyethoxy group or an ethoxyethoxy group.
The alkylcarbonyl group for R a33 includes an acetyl group, a propionyl group and a butyryl group. The alkylcarbonyl group is preferably an alkylcarbonyl group having 2 to 3 carbon atoms, more preferably an acetyl group.
The alkylcarbonyloxy group for R a33 includes an acetyloxy group, a propionyloxy group and a butyryloxy group. The alkylcarbonyloxy group is preferably an alkylcarbonyloxy group having 2 to 3 carbon atoms, more preferably an acetyloxy group.
R a33 is preferably a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, a methyl A group, methoxy group, ethoxy group, ethoxyethoxy group or ethoxymethoxy group is more preferable, and fluorine atom, iodine atom, hydroxy group, methyl group, methoxy group or ethoxyethoxy group is more preferable.
＊－Ｘa31－（Ａa32－Ｘa32）nc－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa32－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa32－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。 *-X a31 -(A a32 -X a32 ) nc - includes *-O-, *-CO-O-, *-O-CO-, *-CO-O-A a32 -CO-O-, *-O-CO- Aa32 -O-, *-O- Aa32 -CO-O-, *-CO-O- Aa32 -O-CO-, *-O-CO- Aa32 -O-CO -, are included. Among them, *-CO-O-, *-CO-O-A a32 -CO-O- or *-O-A a32 -CO-O- is preferred.
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａa32は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
The alkanediyl group includes methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, propane-1,2-diyl, butane-1,4-diyl, pentane-1,5-diyl, hexane- 1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group and 2 -methylbutane-1,4-diyl group and the like.
A a32 is preferably a methylene group or an ethylene group.
Ａa30は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa32－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。 A a30 is preferably a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—A a32 —CO—O—, a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—CH 2 --CO--O-- is more preferred, and a single bond or *--CO--O-- is even more preferred.
ｌａは、０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。
Ｒa34、Ｒa35及びＲa36における炭化水素基としては、アルキル基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、及びこれらを組み合わせた基が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等が挙げられる。
組み合わせた基としては、上述したアルキル基と脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（例えば、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、メチルノルボルニル基、シクロヘキシルメチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニルエチル基等のアルキルシクロアルキル基又はシクロアルキルアルキル基）、ベンジル基等のアラルキル基、アルキル基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロヘキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）、フェニルシクロヘキシル基等のアリール－シクロアルキル基等が挙げられる。特に、Ｒa36としては、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基が挙げられる。
la is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1, and still more preferably 0.
The hydrocarbon groups for R a34 , R a35 and R a36 include alkyl groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, and combinations thereof.
Examples of alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, heptyl and octyl groups.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic. The monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes cycloalkyl groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group and cyclooctyl group. Examples of polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups (* represents a bonding site).
Examples of the combined group include groups obtained by combining the above alkyl groups and alicyclic hydrocarbon groups (e.g., methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, methylnorbornyl group, cyclohexylmethyl group, adamantylmethyl group, adamantyl a dimethyl group, an alkylcycloalkyl group such as a norbornylethyl group or a cycloalkylalkyl group), an aralkyl group such as a benzyl group, an aromatic hydrocarbon group having an alkyl group (p-methylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), an aromatic hydrocarbon group having an alicyclic hydrocarbon group (p- cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.), aryl-cycloalkyl groups such as phenylcyclohexyl group, and the like. In particular, R a36 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group formed by combining these groups. are mentioned.
Ｒa34は、好ましくは、水素原子である。
Ｒa35は、好ましくは、水素原子、炭素数１～１２のアルキル基又は炭素数３～１２の脂環式炭化水素基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒa36の炭化水素基は、好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせることにより形成される基であり、より好ましくは、炭素数１～１８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数７～１８のアラルキル基である。Ｒa36におけるアルキル基及び脂環式炭化水素基は、無置換であることが好ましい。Ｒa36における芳香族炭化水素基は、炭素数６～１０のアリールオキシ基を有する芳香環が好ましい。
構造単位（ａ１－４）における－ＯＣ（Ｒa34）（Ｒa35）－Ｏ－Ｒa36は、酸（例えばｐ－トルエンスルホン酸）と接触して脱離し、ヒドロキシ基を形成する。
－ＯＣ（Ｒa34）（Ｒa35）－Ｏ－Ｒa36は、ベンゼン環のｍ－位又はｐ－位に結合することが好ましい。
R a34 is preferably a hydrogen atom.
R a35 is preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
The hydrocarbon group of R a36 is preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a combination of these A group to be formed, more preferably an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 18 carbon atoms. The alkyl group and alicyclic hydrocarbon group in R a36 are preferably unsubstituted. The aromatic hydrocarbon group for R a36 is preferably an aromatic ring having an aryloxy group with 6 to 10 carbon atoms.
--OC(R a34 )(R a35 )-OR a36 in the structural unit (a1-4) is eliminated upon contact with an acid (eg, p-toluenesulfonic acid) to form a hydroxy group.
-OC(R a34 )(R a35 )-OR a36 is preferably attached to the m-position or p-position of the benzene ring.
構造単位（ａ１－４）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－２４）でそれぞれ表される構造単位及び構造単位（ａ１－４）におけるＲａ３２に相当する水素原子がハロゲン原子、ハロアルキル基又はアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられ、より好ましくは、式（ａ１－４－１）～式（ａ１－４－５）、式（ａ１－４－１０）、式（ａ１－４－１３）、式（ａ１－４－１４）、式（ａ１－４－１９）、式（ａ１－４－２０）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ１－４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位の合計に対して、３～８０モル％であることが好ましく、５～７５モル％であることがより好ましく、７～７０モル％であることがさらに好ましく、７～６５モル％であることがより一層好ましく、１０～６０モル％であることがさらに一層好ましい。 When the resin (A) or the like contains the structural unit (a1-4), the content thereof is preferably 3 to 80 mol% with respect to the total of all structural units of the resin (A) or the like. It is more preferably up to 75 mol %, even more preferably 7 to 70 mol %, even more preferably 7 to 65 mol %, even more preferably 10 to 60 mol %.
基（２）を有する（メタ）アクリル系モノマーに由来する構造単位としては、式（ａ１－５）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ１－５）」という場合がある）も挙げられる。
Ｒa8は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｚa1は、単結合又は＊－（ＣＨ2）h3－ＣＯ－Ｌ54－を表し、ｈ３は１～４のいずれかの整数を表し、＊は、Ｌ51との結合部位を表す。
Ｌ51、Ｌ52、Ｌ53及びＬ54は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｓ１は、１～３のいずれかの整数を表す。
ｓ１’は、０～３のいずれかの整数を表す。］
Structural units derived from (meth)acrylic monomers having group (2) include structural units represented by formula (a1-5) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a1-5)”). be done.
R a8 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
Z a1 represents a single bond or *—(CH 2 ) h3 —CO—L 54 —, h3 represents an integer of 1 to 4, and * represents a binding site with L 51 .
L 51 , L 52 , L 53 and L 54 each independently represent -O- or -S-.
s1 represents any integer from 1 to 3;
s1′ represents any integer from 0 to 3; ]
ハロゲン原子としては、フッ素原子及び塩素原子が挙げられ、フッ素原子が好ましい。
ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、フルオロメチル基及びトリフルオロメチル基が挙げられる。
式（ａ１－５）においては、Ｒa8は、水素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基が好ましい。
Ｌ51は、酸素原子が好ましい。
Ｌ52及びＬ53のうち、一方が－Ｏ－であり、他方が－Ｓ－であることが好ましい。
ｓ１は、１が好ましい。
ｓ１’は、０～２のいずれかの整数が好ましい。
Ｚa1は、単結合又は＊－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。
Halogen atoms include fluorine atoms and chlorine atoms, with fluorine atoms being preferred.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, fluoromethyl group and trifluoro A methyl group is mentioned.
In formula (a1-5), R a8 is preferably a hydrogen atom, a methyl group or a trifluoromethyl group.
L 51 is preferably an oxygen atom.
Preferably, one of L 52 and L 53 is —O— and the other is —S—.
As for s1, 1 is preferable.
s1' is preferably an integer of 0-2.
Z a1 is preferably a single bond or *—CH 2 —CO—O—.
構造単位（ａ１－５）としては、例えば、特開２０１０－６１１１７号公報に記載されたモノマー由来の構造単位が挙げられる。中でも、式（ａ１－５－１）～式（ａ１－５－４）でそれぞれ表される構造単位が好ましく、式（ａ１－５－１）又は式（ａ１－５－２）で表される構造単位がより好ましい。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ１－５）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、３～４５モル％がより好ましく、５～４０モル％がさらに好ましく、５～３０モル％がさらにより好ましい。 When the resin (A) or the like contains the structural unit (a1-5), the content thereof is preferably 1 to 50 mol%, more preferably 3 to 45 mol%, based on the total structural units of the resin (A) or the like. More preferably, 5 to 40 mol % is even more preferable, and 5 to 30 mol % is even more preferable.
また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、（ａ１－３－１）～（ａ１－３－７）のような構造単位を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１０～９５モル％が好ましく、１５～９０モル％がより好ましく、２０～８５モル％がさらに好ましく、２０～７０モル％がさらにより好ましく、２０～６０モル％が特に好ましい。 When the resin (A) or the like contains structural units such as (a1-3-1) to (a1-3-7), the content is 10 ~95 mol% is preferred, 15 to 90 mol% is more preferred, 20 to 85 mol% is even more preferred, 20 to 70 mol% is even more preferred, and 20 to 60 mol% is particularly preferred.
また、構造単位（ａ１）としては、以下の構造単位も挙げられる。
〈構造単位（ｓ）〉
構造単位（ｓ）は、酸不安定基を有さないモノマー（以下「モノマー（ｓ）」という場合がある）から導かれる。構造単位（ｓ）を導くモノマーは、レジスト分野で公知の酸不安定基を有さないモノマーを使用できる。
構造単位（ｓ）としては、ヒドロキシ基又はラクトン環を有するのが好ましい。ヒドロキシ基を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ２）」という場合がある）及び／又はラクトン環を有し、かつ酸不安定基を有さない構造単位（以下「構造単位（ａ３）」という場合がある）を含む樹脂を本発明のレジスト組成物に使用すれば、レジストパターンの解像度及び基板との密着性を向上させることができる。
<Structural unit (s)>
Structural unit (s) is derived from a monomer having no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "monomer (s)"). As a monomer leading to the structural unit (s), a monomer having no acid-labile group known in the field of resists can be used.
The structural unit (s) preferably has a hydroxy group or a lactone ring. A structural unit having a hydroxy group and no acid-labile group (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2)") and/or a structure having a lactone ring and no acid-labile group When a resin containing a unit (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a3)") is used in the resist composition of the present invention, the resolution of the resist pattern and adhesion to the substrate can be improved.
〈構造単位（ａ２）〉
構造単位（ａ２）が有するヒドロキシ基は、アルコール性ヒドロキシ基でも、フェノール性ヒドロキシ基でもよい。
本発明のレジスト組成物からレジストパターンを製造するとき、露光光源としてＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、電子線又はＥＵＶ（超紫外光）等の高エネルギー線を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、フェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－Ａ）を用いることがより好ましい。また、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）等を用いる場合には、構造単位（ａ２）として、アルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位（ａ２）が好ましく、後述する構造単位（ａ２－１）を用いることがより好ましい。構造単位（ａ２）としては、１種を単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。
<Structural unit (a2)>
The hydroxy group possessed by the structural unit (a2) may be an alcoholic hydroxy group or a phenolic hydroxy group.
When producing a resist pattern from the resist composition of the present invention, when using a high-energy beam such as a KrF excimer laser (248 nm), an electron beam, or EUV (extreme ultraviolet light) as an exposure light source, the structural unit (a2) , a structural unit (a2) having a phenolic hydroxy group is preferable, and it is more preferable to use a structural unit (a2-A) described later. When using an ArF excimer laser (193 nm) or the like, the structural unit (a2) is preferably a structural unit (a2) having an alcoholic hydroxy group, and more preferably a structural unit (a2-1) described later. preferable. As the structural unit (a2), one type may be contained alone, or two or more types may be contained.
構造単位（ａ２）においてフェノール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては式（ａ２－Ａ）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－Ａ）」という場合がある）が挙げられる。
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nb－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
Structural units having a phenolic hydroxy group in structural units (a2) include structural units represented by formula (a2-A) (hereinafter sometimes referred to as “structural unit (a2-A)”).
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, It represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 bonds.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1;
mb represents an integer from 0 to 4; When mb is any integer of 2 or more, multiple R a51 may be the same or different. ]
Ｒa50及びＲa51におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙げられる。
Ｒa50におけるハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基及びペルフルオロヘキシル基が挙げられる。
Ｒa50は、水素原子又は炭素数１～４のアルキル基が好ましく、水素原子、メチル基又はエチル基がより好ましく、水素原子又はメチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が挙げられる。アルキル基は、炭素数１～４のアルキル基が好ましく、メチル基又はエチル基がより好ましく、メチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基が挙げられる。アルコキシ基は、炭素数１～４のアルコキシ基が好ましく、メトキシ基又はエトキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシアルキル基としては、メトキシメチル基、エトキシエチル基、プロポキシメチル基、イソプロポキシメチル基、ブトキシメチル基、ｓｅｃ－ブトキシメチル基、ｔｅｒｔ－ブトキシメチル基が挙げられる。アルコキシアルキル基は、炭素数２～８のアルコキシアルキル基が好ましく、メトキシメチル基又はエトキシエチル基がより好ましく、メトキシメチル基がさらに好ましい。
Ｒa51におけるアルコキシアルコキシ基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基、プロポキシメトキシ基、イソプロポキシメトキシ基、ブトキシメトキシ基、ｓｅｃ－ブトキシメトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシメトキシ基が挙げられる。アルコキシアルコキシ基は、炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、メトキシエトキシ基又はエトキシエトキシ基がより好ましい。
Ｒa51におけるアルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基は、炭素数２～３のアルキルカルボニル基が好ましく、アセチル基がより好ましい。
Ｒa51におけるアルキルカルボニルオキシ基としては、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基及びブチリルオキシ基が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基は、炭素数２～３のアルキルカルボニルオキシ基が好ましく、アセチルオキシ基がより好ましい。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～４のアルキル基、炭素数１～４のアルコキシ基又は炭素数２～８のアルコキシアルコキシ基が好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エトキシ基、エトキシエトキシ基又はエトキシメトキシ基がより好ましく、フッ素原子、ヨウ素原子、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基又はエトキシエトキシ基がさらに好ましい。
Halogen atoms in R a50 and R a51 include fluorine, chlorine and bromine atoms.
Examples of the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom for R a50 include a trifluoromethyl group, a difluoromethyl group, a methyl group, a perfluoroethyl group, a 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2, 3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group and perfluoro A hexyl group is mentioned.
R a50 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, even more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
Examples of alkyl groups for R a51 include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl and hexyl groups. The alkyl group is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group, and even more preferably a methyl group.
Alkoxy groups for R a51 include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, sec-butoxy and tert-butoxy groups. The alkoxy group is preferably an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methoxy group or an ethoxy group, and still more preferably a methoxy group.
Alkoxyalkyl groups for R a51 include methoxymethyl, ethoxyethyl, propoxymethyl, isopropoxymethyl, butoxymethyl, sec-butoxymethyl and tert-butoxymethyl groups. The alkoxyalkyl group is preferably an alkoxyalkyl group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxymethyl group or an ethoxyethyl group, even more preferably a methoxymethyl group.
The alkoxyalkoxy group for R a51 includes a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, an ethoxyethoxy group, a propoxymethoxy group, an isopropoxymethoxy group, a butoxymethoxy group, a sec-butoxymethoxy group and a tert-butoxymethoxy group. mentioned. The alkoxyalkoxy group is preferably an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, more preferably a methoxyethoxy group or an ethoxyethoxy group.
The alkylcarbonyl group for R a51 includes an acetyl group, a propionyl group and a butyryl group. The alkylcarbonyl group is preferably an alkylcarbonyl group having 2 to 3 carbon atoms, more preferably an acetyl group.
The alkylcarbonyloxy group for R a51 includes an acetyloxy group, a propionyloxy group and a butyryloxy group. The alkylcarbonyloxy group is preferably an alkylcarbonyloxy group having 2 to 3 carbon atoms, more preferably an acetyloxy group.
R a51 is preferably a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxyalkoxy group having 2 to 8 carbon atoms, a fluorine atom, an iodine atom, a hydroxy group, a methyl A group, methoxy group, ethoxy group, ethoxyethoxy group or ethoxymethoxy group is more preferable, and fluorine atom, iodine atom, hydroxy group, methyl group, methoxy group or ethoxyethoxy group is more preferable.
＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nb－としては、＊－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－、＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ａa52－Ｏ－ＣＯ－、が挙げられる。なかでも、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－が好ましい。 *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb - includes *-O-, *-CO-O-, *-O-CO-, *-CO-O-A a52 -CO-O-, *-O-CO-A a52 -O-, *-O-A a52 -CO-O-, *-CO-O-A a52 -O-CO-, *-O-CO-A a52 -O-CO -, and the like. Among them, *-CO-O-, *-CO-OA a52 -CO-O- or *-OA a52 -CO-O- is preferred.
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。
Ａa52は、メチレン基又はエチレン基であることが好ましい。
The alkanediyl groups include methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, propane-1,2-diyl, butane-1,4-diyl, pentane-1,5-diyl, hexane- 1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group and 2 -methylbutane-1,4-diyl group and the like.
A a52 is preferably a methylene group or an ethylene group.
Ａa50は、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－Ａa52－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、単結合、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ2－ＣＯ－Ｏ－であることがより好ましく、単結合又は＊－ＣＯ－Ｏ－であることがさらに好ましい。 A a50 is preferably a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—A a52 —CO—O—, a single bond, *—CO—O— or *—CO—O—CH 2 --CO--O-- is more preferred, and a single bond or *--CO--O-- is even more preferred.
ｍｂは０、１又は２が好ましく、０又は１がより好ましく、０がさらに好ましい。
ヒドロキシ基は、少なくとも１つが、ベンゼン環のｍ－位又はｐ－位に結合することが好ましい。フェニル基に２つ以上のヒドロキシ基を含む場合、２つのヒドロキシ基は、ｍ－位とｐ－位にそれぞれ結合していることが好ましい。
mb is preferably 0, 1 or 2, more preferably 0 or 1, and still more preferably 0.
At least one hydroxy group is preferably attached to the m-position or p-position of the benzene ring. When the phenyl group contains two or more hydroxy groups, the two hydroxy groups are preferably bonded to the m-position and p-position, respectively.
構造単位（ａ２－Ａ）としては、特開２０１０－２０４６３４号公報、特開２０１２－１２５７７号公報に記載されているモノマー由来の構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ２－Ａ）としては、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位及び式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－２４）で表される構造単位において構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子、ハロゲン原子、ハロアルキル基又は他のアルキル基に置き換わった構造単位が挙げられる。構造単位（ａ２－Ａ）は、式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－１）～式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－６）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることが好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位、式（ａ２－２－１２）～式（ａ２－２－１４）で表される構造単位、式（ａ２－２－１８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがより好ましく、式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位及び式（ａ２－２－３）で表される構造単位、式（ａ２－２－４）で表される構造単位、式（ａ２－２－８）で表される構造単位において、構造単位（ａ２－Ａ）におけるＲａ５０に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位であることがさらに好ましい。
The structural unit (a2-A) includes structural units represented by formulas (a2-2-1) to (a2-2-24) and formulas (a2-2-1) to (a2-2-24). ) in which the methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom, a halogen atom, a haloalkyl group or another alkyl group. Structural unit (a2-A) includes structural units represented by formulas (a2-2-1) to (a2-2-4), structural units represented by formula (a2-2-6), and structural units represented by formula ( a2-2-8), structural units represented by formulas (a2-2-12) to (a2-2-18) and formulas (a2-2-1) to (a2- 2-4), a structural unit represented by formula (a2-2-6), a structural unit represented by formula (a2-2-8), and formulas (a2-2-12) to In the structural unit represented by formula (a2-2-18), it is preferably a structural unit in which the methyl group corresponding to R a50 in structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom. -3), structural unit represented by formula (a2-2-4), structural unit represented by formula (a2-2-8), formula (a2-2-12) to formula Structural unit represented by (a2-2-14), structural unit represented by formula (a2-2-18) and structural unit represented by formula (a2-2-3), formula (a2-2- 4), structural units represented by formula (a2-2-8), structural units represented by formulas (a2-2-12) to (a2-2-14), and formula ( a2-2-18), the structural unit is more preferably a structural unit in which the methyl group corresponding to R a50 in the structural unit (a2-A) is replaced with a hydrogen atom, and the structural unit represented by the formula (a2-2- 3), a structural unit represented by formula (a2-2-4), a structural unit represented by formula (a2-2-8) and a structural unit represented by formula (a2-2-3) the structural unit represented by formula (a2-2-4), the structural unit represented by formula (a2-2-8), the methyl group corresponding to R a50 in structural unit (a2-A) is more preferably a structural unit in which is replaced with a hydrogen atom.
樹脂（Ａ）等中に構造単位（ａ２－Ａ）が含まれる場合の構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、全構造単位に対して、好ましくは５モル％以上であり、より好ましくは１０モル％以上であり、さらに好ましくは１５モル％以上であり、より一層好ましくは２０モル％以上である。また、好ましくは８０モル％以下であり、より好ましくは７０モル％以下であり、さらに好ましくは６５モル％以下である。具体的には、好ましくは５～８０モル％であり、より好ましくは１０～７０モル％であり、さらに好ましくは１５～６５モル％であり、さらにより好ましくは２０～６５モル％である。
構造単位（ａ２－Ａ）は、例えば構造単位（ａ１－４）を用いて重合した後、ｐ－トルエンスルホン酸等の酸で処理することにより、樹脂（Ａ）等に含ませることができる。また、アセトキシスチレン等を用いて重合した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等のアルカリで処理することにより、構造単位（ａ２－Ａ）を樹脂（Ａ）等に含ませることができる。
When the structural unit (a2-A) is contained in the resin (A) or the like, the content of the structural unit (a2-A) is preferably 5 mol% or more, more preferably It is 10 mol % or more, more preferably 15 mol % or more, and still more preferably 20 mol % or more. Also, it is preferably 80 mol % or less, more preferably 70 mol % or less, and still more preferably 65 mol % or less. Specifically, it is preferably 5 to 80 mol %, more preferably 10 to 70 mol %, even more preferably 15 to 65 mol %, still more preferably 20 to 65 mol %.
The structural unit (a2-A) can be included in the resin (A) or the like by, for example, polymerizing the structural unit (a1-4) and then treating with an acid such as p-toluenesulfonic acid. Further, the structural unit (a2-A) can be included in the resin (A) or the like by polymerizing with acetoxystyrene or the like and then treating with an alkali such as tetramethylammonium hydroxide.
構造単位（ａ２）においてアルコール性ヒドロキシ基を有する構造単位としては、式（ａ２－１）で表される構造単位（以下「構造単位（ａ２－１）」という場合がある。）が挙げられる。
Ｌa3は、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ2）k2－ＣＯ－Ｏ－を表し、
ｋ２は１～７のいずれかの整数を表す。＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa14は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa15及びＲa16は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基又はヒドロキシ基を表す。
ｏ１は、０～１０のいずれかの整数を表す。］
A structural unit having an alcoholic hydroxy group in the structural unit (a2) includes a structural unit represented by formula (a2-1) (hereinafter sometimes referred to as "structural unit (a2-1)").
L a3 represents -O- or *-O-(CH 2 ) k2 -CO-O-,
k2 represents any integer from 1 to 7; * represents a bonding site with -CO-.
R a14 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a15 and R a16 each independently represent a hydrogen atom, a methyl group or a hydroxy group.
o1 represents any integer from 0 to 10; ]
式（ａ２－１）では、Ｌa3は、好ましくは、－Ｏ－、－Ｏ－（ＣＨ2）f1－ＣＯ－Ｏ－であり（前記ｆ１は、１～４のいずれかの整数を表す）、より好ましくは－Ｏ－である。
Ｒa14は、好ましくはメチル基である。
Ｒa15は、好ましくは水素原子である。
Ｒa16は、好ましくは水素原子又はヒドロキシ基である。
ｏ１は、好ましくは０～３のいずれかの整数、より好ましくは０又は１である。
In formula (a2-1), L a3 is preferably -O-, -O-(CH 2 ) f1 -CO-O- (f1 represents an integer of 1 to 4) , more preferably -O-.
R a14 is preferably a methyl group.
R a15 is preferably a hydrogen atom.
R a16 is preferably a hydrogen atom or a hydroxy group.
o1 is preferably any integer from 0 to 3, more preferably 0 or 1.
構造単位（ａ２－１）としては、例えば、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマーに由来する構造単位が挙げられる。式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－６）のいずれかで表される構造単位が好ましく、式（ａ２－１－１）～式（ａ２－１－４）のいずれかで表される構造単位がより好ましく、式（ａ２－１－１）又は式（ａ２－１－３）で表される構造単位がさらに好ましい。
〈構造単位（ａ３）〉
構造単位（ａ３）が有するラクトン環は、β－プロピオラクトン環、γ－ブチロラクトン環、δ－バレロラクトン環のような単環でもよく、単環式のラクトン環と他の環との縮合環でもよい。好ましくは、γ－ブチロラクトン環、アダマンタンラクトン環、又は、γ－ブチロラクトン環構造を含む橋かけ環（例えば下式（ａ３－２）で表される構造単位）が挙げられる。
<Structural unit (a3)>
The lactone ring of the structural unit (a3) may be a monocyclic ring such as a β-propiolactone ring, γ-butyrolactone ring, δ-valerolactone ring, or a condensed ring of a monocyclic lactone ring and another ring. It's okay. Preferable examples include a γ-butyrolactone ring, an adamantanelactone ring, or a bridged ring containing a γ-butyrolactone ring structure (for example, a structural unit represented by the following formula (a3-2)).
構造単位（ａ３）は、好ましくは、式（ａ３－１）、式（ａ３－２）、式（ａ３－３）又は式（ａ３－４）で表される構造単位である。これらの１種を単独で含有してもよく、２種以上を含有していてもよい。
Ｌａ４、Ｌａ５及びＬａ６は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）k3－ＣＯ－Ｏ－（ｋ３は１～７のいずれかの整数を表す。）で表される基を表す。
Ｌａ７は、－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－Ｌａ９－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－Ｏ－ＣＯ－Ｌａ９－Ｏ－を表す。
Ｌａ８及びＬａ９は、それぞれ独立に、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４は、それぞれ独立に、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ｘａ３は、－ＣＨ２－又は酸素原子を表す。
Ｒａ２１は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５は、それぞれ独立に、カルボキシ基、シアノ基又は炭素数１～４の脂肪族炭化水素基を表す。
ｐ１は０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｒ１は、０～３のいずれかの整数を表す。
ｗ１は、０～８のいずれかの整数を表す。
ｐ１、ｑ１、ｒ１及び／又はｗ１が２以上のとき、複数のＲａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及び／又はＲａ２５は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
Structural unit (a3) is preferably a structural unit represented by formula (a3-1), formula (a3-2), formula (a3-3) or formula (a3-4). One of these may be contained alone, or two or more may be contained.
L a4 , L a5 and L a6 are each independently represented by —O— or *—O—(CH 2 ) k3 —CO—O— (k3 represents an integer of 1 to 7); represents a group.
L a7 is -O-, *-OL a8 -O-, *-OL a8 -CO-O-, *-OL a8 -CO-OL a9 -CO-O- or * -OL a8 -O-CO-L a9 -O-.
L a8 and L a9 each independently represent an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
* represents a bonding site with a carbonyl group.
R a18 , R a19 , R a20 and R a24 each independently represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
X a3 represents —CH 2 — or an oxygen atom.
R a21 represents an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
R a22 , R a23 and R a25 each independently represent a carboxy group, a cyano group or an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
p1 represents any integer from 0 to 5;
q1 represents an integer of 0 to 3;
r1 represents an integer of 0 to 3;
w1 represents any integer from 0 to 8;
When p1, q1, r1 and/or w1 are 2 or more, a plurality of R a21 , R a22 , R a23 and/or R a25 may be the same or different. ]
Ｒａ２１、Ｒａ２２、Ｒａ２３及びＲａ２５における脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基及びｔｅｒｔ－ブチル基等のアルキル基が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基及びヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基が挙げられ、より好ましくはメチル基又はエチル基が挙げられる。
Ｒａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４におけるハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、トリヨードメチル基等が挙げられる。
Examples of the aliphatic hydrocarbon group for R a21 , R a22 , R a23 and R a25 include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group and tert-butyl group. be done.
Halogen atoms in R a18 , R a19 , R a20 and R a24 include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of alkyl groups for R a18 , R a19 , R a20 and R a24 include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group and hexyl group. , preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
The alkyl group having a halogen atom for R a18 , R a19 , R a20 and R a24 includes a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, and a perfluorotert -butyl group, perfluoropentyl group, perfluorohexyl group, trichloromethyl group, tribromomethyl group, triiodomethyl group and the like.
Ｌａ８及びＬａ９におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基及び２－メチルブタン－１，４－ジイル基等が挙げられる。 The alkanediyl group for L a8 and L a9 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5 -diyl group, hexane-1,6-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1, 4-diyl group, 2-methylbutane-1,4-diyl group and the like.
式（ａ３－１）～式（ａ３－３）において、Ｌａ４～Ｌａ６は、それぞれ独立に、好ましくは－Ｏ－又は、＊－Ｏ－（ＣＨ２）k3－ＣＯ－Ｏ－において、ｋ３が１～４のいずれかの整数である基、より好ましくは－Ｏ－及び、＊－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－、さらに好ましくは酸素原子である。
Ｒａ１８～Ｒａ２１は、好ましくはメチル基である。
Ｒａ２２及びＲａ２３は、それぞれ独立に、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
ｐ１、ｑ１及びｒ１は、それぞれ独立に、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
In formulas (a3-1) to (a3-3), L a4 to L a6 are each independently preferably —O— or *—O—(CH 2 ) k3 —CO—O—, k3 is an integer of 1 to 4, more preferably -O- and *-O-CH 2 -CO-O-, more preferably an oxygen atom.
R a18 to R a21 are preferably methyl groups.
R a22 and R a23 are each independently preferably a carboxy group, a cyano group or a methyl group.
p1, q1 and r1 are each independently preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0 or 1.
式（ａ３－４）において、Ｒａ２４は、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ｒａ２５は、好ましくはカルボキシ基、シアノ基又はメチル基である。
Ｌａ７は、好ましくは－Ｏ－又は＊－Ｏ－Ｌａ８－ＣＯ－Ｏ－であり、より好ましくは－Ｏ－、－Ｏ－ＣＨ２－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－Ｃ２Ｈ４－ＣＯ－Ｏ－である。
ｗ１は、好ましくは０～２のいずれかの整数であり、より好ましくは０又は１である。
特に、式（ａ３－４）は、式（ａ３－４）’が好ましい。
R a25 is preferably a carboxy group, a cyano group or a methyl group.
L a7 is preferably -O- or *-OL a8 -CO-O-, more preferably -O-, -O-CH 2 -CO-O- or -O-C 2 H 4 - It is CO—O—.
w1 is preferably an integer from 0 to 2, more preferably 0 or 1.
In particular, formula (a3-4) is preferably formula (a3-4)'.
構造単位（ａ３）としては、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたモノマー、特開２０００－１２２２９４号公報に記載されたモノマー、特開２０１２－４１２７４号公報に記載されたモノマーに由来の構造単位が挙げられる。構造単位（ａ３）としては、式（ａ３－１－１）、式（ａ３－１－２）、式（ａ３－２－１）、式（ａ３－２－２）、式（ａ３－３－１）、式（ａ３－３－２）及び式（ａ３－４－１）～式（ａ３－４－１２）のいずれかで表される構造単位及び、前記構造単位において、式（ａ３－１）～式（ａ３－４）におけるＲａ１８、Ｒａ１９、Ｒａ２０及びＲａ２４に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が好ましい。 As the structural unit (a3), the monomer described in JP-A-2010-204646, the monomer described in JP-A-2000-122294, the structure derived from the monomer described in JP-A-2012-41274 units. As the structural unit (a3), formula (a3-1-1), formula (a3-1-2), formula (a3-2-1), formula (a3-2-2), formula (a3-3- 1), a structural unit represented by any one of formulas (a3-3-2) and formulas (a3-4-1) to (a3-4-12), and in said structural unit, formula (a3-1 ) to R a19 , R a20 and R a24 in formulas ( a3-4) are preferably structural units in which methyl groups are replaced with hydrogen atoms.
樹脂（Ａ）等が構造単位（ａ３）を含む場合、その合計含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１モル％以上が挙げられ、好ましくは３モル％以上であり、より好ましくは５モル％以上であり、さらに好ましくは１０モル％以上である。また、７０モル％以下が挙げられ、好ましくは６５モル％以下であり、より好ましくは６０モル％以下である。具体的には、１～７０モル％が挙げられ、好ましくは３～７０モル％であり、より好ましくは５～６５モル％であり、さらに好ましくは５～６０モル％であり、さらにより好ましくは１０～６０モル％である。
また、構造単位（ａ３－１）、構造単位（ａ３－２）、構造単位（ａ３－３）又は構造単位（ａ３－４）の含有率は、それぞれ、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、好ましくは１モル％以上であり、より好ましくは３モル％以上であり、さらに好ましくは５モル％以上である。また、好ましくは６０モル％以下であり、より好ましくは５５モル％以下であり、さらに好ましくは５０モル％以下である。具体的には、１～６０モル％が好ましく、３～６０モル％がより好ましく、５～５５モル％がさらに好ましく、５～５０モル％がより一層好ましく、１０～５０モル％がさらに一層好ましい。
When the resin (A) or the like contains the structural unit (a3), the total content thereof may be 1 mol% or more, preferably 3 mol% or more, relative to the total structural units of the resin (A) or the like. , more preferably 5 mol % or more, and still more preferably 10 mol % or more. Also, it is 70 mol % or less, preferably 65 mol % or less, and more preferably 60 mol % or less. Specifically, it is 1 to 70 mol%, preferably 3 to 70 mol%, more preferably 5 to 65 mol%, still more preferably 5 to 60 mol%, still more preferably 10 to 60 mol %.
Further, the content of structural unit (a3-1), structural unit (a3-2), structural unit (a3-3) or structural unit (a3-4) is On the other hand, it is preferably 1 mol % or more, more preferably 3 mol % or more, and still more preferably 5 mol % or more. Also, it is preferably 60 mol % or less, more preferably 55 mol % or less, and still more preferably 50 mol % or less. Specifically, it is preferably 1 to 60 mol%, more preferably 3 to 60 mol%, even more preferably 5 to 55 mol%, even more preferably 5 to 50 mol%, and even more preferably 10 to 50 mol%. .
〈構造単位（ａ４）〉
構造単位（ａ４）としては、以下の構造単位が挙げられる。
Ｒ41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ42は、炭素数１～２４のハロゲン原子を有する飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
Ｒ42で表される飽和炭化水素基は、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
<Structural unit (a4)>
Structural units (a4) include the following structural units.
R 41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 42 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms and a halogen atom, and -CH 2 - contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with -O- or -CO-. ]
The saturated hydrocarbon group represented by R 42 includes chain saturated hydrocarbon groups, monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups, and groups formed by combining these groups.
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
Examples of monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl and other cycloalkyl groups; decahydronaphthyl, adamantyl, norbornyl and the following polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as groups (* represents a bonding site).
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－０）で表される構造単位、式（ａ４－１）で表される構造単位、及び式（ａ４－４）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒ54は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ4ａは、単結合又は炭素数１～４のアルカンジイル基を表す。
Ｌ3ａは、炭素数１～８のペルフルオロアルカンジイル基又は炭素数３～１２のペルフルオロシクロアルカンジイル基を表す。
Ｒ64は、水素原子又はフッ素原子を表す。］
The structural unit (a4) includes a structural unit represented by formula (a4-0), a structural unit represented by formula (a4-1), and a structural unit represented by formula (a4-4). .
R54 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 4a represents a single bond or an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms.
L 3a represents a perfluoroalkanediyl group having 1 to 8 carbon atoms or a perfluorocycloalkanediyl group having 3 to 12 carbon atoms.
R64 represents a hydrogen atom or a fluorine atom. ]
Ｌ4ａにおけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基及び２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。 The alkanediyl group for L 4a includes linear alkanediyl groups such as methylene, ethylene, propane-1,3-diyl, butane-1,4-diyl, ethane-1,1-diyl, branched alkanediyl groups such as propane-1,2-diyl group, butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group and 2-methylpropane-1,2-diyl group; be done.
Ｌ3ａにおけるペルフルオロアルカンジイル基としては、ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロエチルフルオロメチレン基、ペルフルオロプロパン－１，３－ジイル基、ペルフルオロプロパン－１，２－ジイル基、ペルフルオロプロパン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，４－ジイル基、ペルフルオロブタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロブタン－１，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－１，５－ジイル基、ペルフルオロペンタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロペンタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－１，６－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘキサン－３，３－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－１，７－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－３，４－ジイル基、ペルフルオロヘプタン－４，４－ジイル基、ペルフルオロオクタン－１，８－ジイル基、ペルフルオロオクタン－２，２－ジイル基、ペルフルオロオクタン－３，３－ジイル基、ペルフルオロオクタン－４，４－ジイル基等が挙げられる。
Ｌ3ａにおけるペルフルオロシクロアルカンジイル基としては、ペルフルオロシクロヘキサンジイル基、ペルフルオロシクロペンタンジイル基、ペルフルオロシクロヘプタンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
The perfluoroalkanediyl group for L 3a includes a difluoromethylene group, a perfluoroethylene group, a perfluoroethylfluoromethylene group, a perfluoropropane-1,3-diyl group, a perfluoropropane-1,2-diyl group, and a perfluoropropane-2,2 -diyl group, perfluorobutane-1,4-diyl group, perfluorobutane-2,2-diyl group, perfluorobutane-1,2-diyl group, perfluoropentane-1,5-diyl group, perfluoropentane-2,2 -diyl group, perfluoropentane-3,3-diyl group, perfluorohexane-1,6-diyl group, perfluorohexane-2,2-diyl group, perfluorohexane-3,3-diyl group, perfluoroheptane-1,7 -diyl group, perfluoroheptane-2,2-diyl group, perfluoroheptane-3,4-diyl group, perfluoroheptane-4,4-diyl group, perfluorooctane-1,8-diyl group, perfluorooctane-2,2 -diyl group, perfluorooctane-3,3-diyl group, perfluorooctane-4,4-diyl group and the like.
The perfluorocycloalkanediyl group for L 3a includes a perfluorocyclohexanediyl group, a perfluorocyclopentanediyl group, a perfluorocycloheptanediyl group, a perfluoroadamantanediyl group, and the like.
Ｌ4ａは、好ましくは単結合、メチレン基又はエチレン基であり、より好ましくは、単結合、メチレン基である。
Ｌ3ａは、好ましくは炭素数１～６のペルフルオロアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルカンジイル基である。
L 4a is preferably a single bond, a methylene group or an ethylene group, more preferably a single bond or a methylene group.
L 3a is preferably a C 1-6 perfluoroalkanediyl group, more preferably a C 1-3 perfluoroalkanediyl group.
構造単位（ａ４－０）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ４－０）におけるＲ54に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－１）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒa41は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒa42は、置換基を有していてもよい炭素数１～２０の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ａa41は、置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルカンジイル基又は式（ａ－ｇ１）で表される基を表す。ただし、Ａａ４１及びＲａ４２のうち少なくとも１つは、置換基としてハロゲン原子（好ましくはフッ素原子）を有する。
ｓは０又は１を表す。
Ａa42及びＡa44は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ａa43は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数１～５の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘa41及びＸa42は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ただし、Ａa42、Ａa43、Ａa44、Ｘa41及びＸa42の炭素数の合計は７以下である。〕
＊は結合部位であり、右側の＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合部位である。］
Structural units (a4) include structural units represented by formula (a4-1).
R a41 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R a42 represents an optionally substituted saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group is replaced with —O— or —CO— may
A a41 represents an optionally substituted alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms or a group represented by formula (a-g1). However, at least one of A a41 and R a42 has a halogen atom (preferably a fluorine atom) as a substituent.
s represents 0 or 1;
A a42 and A a44 each independently represent an optionally substituted divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 5 carbon atoms.
A a43 represents a single bond or an optionally substituted C 1-5 divalent saturated hydrocarbon group.
X a41 and X a42 each independently represent -O-, -CO-, -CO-O- or -O-CO-.
However, the total number of carbon atoms of A a42 , A a43 , A a44 , X a41 and X a42 is 7 or less. ]
* is a binding site, and * on the right side is a binding site with --O--CO--R a42 . ]
Ｒa42における飽和炭化水素基としては、鎖式飽和炭化水素基及び単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基、並びに、これらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。 Examples of saturated hydrocarbon groups for R a42 include chain saturated hydrocarbon groups, monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups, groups formed by combining these groups, and the like.
鎖式飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等が挙げられる。
単環又は多環の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等のシクロアルキル基；デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式飽和炭化水素基が挙げられる。
Examples of monocyclic or polycyclic saturated alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl and other cycloalkyl groups; decahydronaphthyl, adamantyl, norbornyl and the following polycyclic alicyclic saturated hydrocarbon groups such as groups (* represents a bonding site).
Ｒa42が有する置換基として、ハロゲン原子及び式（ａ－ｇ３）で表される基からなる群から選択される少なくとも１種が挙げられる。ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられ、好ましくはフッ素原子である。
Ｘa43は、酸素原子、カルボニル基、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す。
Ａa45は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
＊はＲa42との結合部位を表す。］
ただし、Ｒa42－Ｘa43－Ａa45において、Ｒa42がハロゲン原子を有しない場合は、Ａa45は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
Examples of substituents possessed by R a42 include at least one selected from the group consisting of halogen atoms and groups represented by formulas (a-g3). A halogen atom includes a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom, preferably a fluorine atom.
X a43 represents an oxygen atom, a carbonyl group, *--O--CO-- or *--CO--O--.
A a45 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
* represents the binding site with Ra42 . ]
However, in R a42 -X a43 -A a45 , when R a42 does not have a halogen atom, A a45 represents a C 1-17 saturated hydrocarbon group having at least one halogen atom.
Ａa45における飽和炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基及びオクタデシル基等のアルキル基；
シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基等の単環式の脂環式炭化水素基；並びにデカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基（＊は結合部位を表す。）等の多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
Monocyclic alicyclic hydrocarbon groups such as cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group and cyclooctyl group; decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups ) and other polycyclic alicyclic hydrocarbon groups.
Ｒa42は、ハロゲン原子を有していてもよい飽和炭化水素基が好ましく、ハロゲン原子を有するアルキル基及び／又は式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基がより好ましい。
Ｒa42がハロゲン原子を有する飽和炭化水素基である場合、好ましくはフッ素原子を有する飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルキル基又はペルフルオロシクロアルキル基であり、さらに好ましくは炭素数が１～６のペルフルオロアルキル基であり、特に好ましくは炭素数１～３のペルフルオロアルキル基である。ペルフルオロアルキル基としては、ペルフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、ペルフルオロヘプチル基及びペルフルオロオクチル基等が挙げられる。ペルフルオロシクロアルキル基としては、ペルフルオロシクロヘキシル基等が挙げられる。
Ｒa42が、式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、式（ａ－ｇ３）で表される基に含まれる炭素数を含めて、Ｒa42の総炭素数は、１５以下が好ましく、１２以下がより好ましい。式（ａ－ｇ３）で表される基を置換基として有する場合、その数は１個が好ましい。
R a42 is preferably a saturated hydrocarbon group which may have a halogen atom, more preferably an alkyl group having a halogen atom and/or a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3).
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a halogen atom, it is preferably a saturated hydrocarbon group having a fluorine atom, more preferably a perfluoroalkyl group or a perfluorocycloalkyl group, still more preferably having 1 to 1 carbon atoms. A perfluoroalkyl group having 6 carbon atoms, particularly preferably a perfluoroalkyl group having 1 to 3 carbon atoms. Perfluoroalkyl groups include perfluoromethyl, perfluoroethyl, perfluoropropyl, perfluorobutyl, perfluoropentyl, perfluorohexyl, perfluoroheptyl and perfluorooctyl groups. A perfluorocyclohexyl group etc. are mentioned as a perfluorocycloalkyl group.
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), the total carbon number of R a42 including the number of carbon atoms contained in the group represented by formula (a-g3) The number is preferably 15 or less, more preferably 12 or less. When it has a group represented by formula (a-g3) as a substituent, the number thereof is preferably one.
Ｒa42が式（ａ－ｇ３）で表される基を有する飽和炭化水素基である場合、Ｒa42は、さらに好ましくは式（ａ－ｇ２）で表される基である。
Ａa46は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘa44は、＊＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊＊はＡa46との結合部位を表す。）。
Ａa47は、ハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ａa46、Ａa47及びＸa44の炭素数の合計は１８以下であり、Ａa46及びＡa47のうち、少なくとも一方は、少なくとも１つのハロゲン原子を有する。
＊はカルボニル基との結合部位を表す。］
When R a42 is a saturated hydrocarbon group having a group represented by formula (a-g3), R a42 is more preferably a group represented by formula (a-g2).
A a46 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
X a44 represents **-O-CO- or **-CO-O- (** represents a binding site with A a46 ).
A a47 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms which may have a halogen atom.
However, the total number of carbon atoms of A a46 , A a47 and X a44 is 18 or less, and at least one of A a46 and A a47 has at least one halogen atom.
* represents a bonding site with a carbonyl group. ]
Ａa46の飽和炭化水素基の炭素数は１～６が好ましく、１～３がより好ましい。
Ａa47の飽和炭化水素基の炭素数は４～１５が好ましく、５～１２がより好ましく、Ａa47は、シクロヘキシル基又はアダマンチル基がさらに好ましい。
The number of carbon atoms in the saturated hydrocarbon group of A a46 is preferably 1-6, more preferably 1-3.
The saturated hydrocarbon group of A a47 preferably has 4 to 15 carbon atoms, more preferably 5 to 12 carbon atoms, and A a47 is more preferably a cyclohexyl group or an adamantyl group.
式（ａ－ｇ２）で表される基の好ましい構造は、以下の構造である（＊はカルボニル基との結合部位である）。
Ａa41におけるアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、１－メチルブタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。
Ａa41の表すアルカンジイル基における置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
Ａa41は、好ましくは炭素数１～４のアルカンジイル基であり、より好ましくは炭素数２～４のアルカンジイル基であり、さらに好ましくはエチレン基である。
Alkanediyl group for A a41 includes methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group and hexane-1,6-diyl group. straight-chain alkanediyl groups such as; A branched alkanediyl group such as a 2-methylbutane-1,4-diyl group can be mentioned.
Examples of substituents in the alkanediyl group represented by A a41 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
A a41 is preferably an alkanediyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably an ethylene group.
式（ａ－ｇ１）で表される基におけるＡa42、Ａa43及びＡa44の表す２価の飽和炭化水素基としては、直鎖又は分岐のアルカンジイル基及び単環又は多環の２価の脂環式飽和炭化水素基、並びに、アルカンジイル基及び２価の脂環式飽和炭化水素基を組合せることにより形成される２価の飽和炭化水素基等が挙げられる。具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、１－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基等が挙げられる。
Ａa42、Ａa43及びＡa44の表す２価の飽和炭化水素基の置換基としては、ヒドロキシ基及び炭素数１～６のアルコキシ基等が挙げられる。
ｓは、０であることが好ましい。
The divalent saturated hydrocarbon groups represented by A a42 , A a43 and A a44 in the group represented by formula (a-g1) include linear or branched alkanediyl groups and monocyclic or polycyclic divalent An alicyclic saturated hydrocarbon group, a divalent saturated hydrocarbon group formed by combining an alkanediyl group and a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group, and the like are included. Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, 1-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group and the like.
Substituents of the divalent saturated hydrocarbon groups represented by A a42 , A a43 and A a44 include a hydroxy group and an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
s is preferably zero.
式（ａ－ｇ１）で表される基において、Ｘa42が－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－である基としては、以下の基等が挙げられる。以下の例示において、＊及び＊＊はそれぞれ結合部位を表し、＊＊が－Ｏ－ＣＯ－Ｒa42との結合部位である。
式（ａ４－１）で表される構造単位としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の式（ａ４－１）で表される構造単位におけるＲa41に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－２）で表される構造単位及び式（ａ４－３）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒf5は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ44は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表し、該アルカンジイル基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒf6は、炭素数１～２０のフッ素原子を有する飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌ44及びＲf6の合計炭素数の上限は２１である。］
Structural units (a4) include structural units represented by formula (a4-2) and structural units represented by formula (a4-3).
R f5 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 44 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms, and --CH 2 -- contained in the alkanediyl group may be replaced with --O-- or --CO--.
R f6 represents a saturated hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms and a fluorine atom.
However, the upper limit of the total carbon number of L 44 and R f6 is 21. ]
Ｌ44の炭素数１～６のアルカンジイル基は、Ａa41で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｒf6の飽和炭化水素基は、Ｒ42で例示したものと同様の基が挙げられる。
Ｌ44におけるアルカンジイル基としては、炭素数２～４のアルカンジイル基が好ましく、エチレン基がより好ましい。
Examples of the C 1-6 alkanediyl group for L 44 include the same groups as those exemplified for A a41 .
Examples of the saturated hydrocarbon group for R f6 include the same groups as those exemplified for R 42 .
The alkanediyl group for L 44 is preferably an alkanediyl group having 2 to 4 carbon atoms, more preferably an ethylene group.
式（ａ４－２）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１－１）～式（ａ４－１－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－２）におけるＲf５に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－２）で表される構造単位として挙げられる。
Ｒf7は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｌ5は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ａf13は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表す。
Ｘf12は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＡf13との結合部位を表す。）。
Ａf14は、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～１７の飽和炭化水素基を表す。
但し、Ａf13及びＡf14の少なくとも１つは、フッ素原子を有し、Ｌ5、Ａf13及びＡf14の合計炭素数の上限は２０である。］
Examples of structural units represented by formula (a4-2) include structural units represented by formulas (a4-1-1) to (a4-1-11). A structural unit in which the methyl group corresponding to R f5 in the structural unit (a4-2) is replaced with a hydrogen atom is also included as the structural unit represented by the formula (a4-2).
R f7 represents a hydrogen atom or a methyl group.
L 5 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
A f13 represents a C 1-18 divalent saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom.
X f12 represents *--O--CO-- or *--CO--O-- (* represents a binding site with A f13 ).
A f14 represents a C 1-17 saturated hydrocarbon group which may have a fluorine atom.
However, at least one of A f13 and A f14 has a fluorine atom, and the upper limit of the total carbon number of L 5 , A f13 and A f14 is 20. ]
Ｌ5におけるアルカンジイル基としては、Ａa41のアルカンジイル基で例示したものと同様の基が挙げられる。 Examples of the alkanediyl group for L 5 include the same groups as those exemplified for the alkanediyl group for A a41 .
Ａf13におけるフッ素原子を有していてもよい２価の飽和炭化水素基としては、好ましくはフッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基であり、より好ましくはペルフルオロアルカンジイル基である。
フッ素原子を有していてもよい２価の鎖式飽和炭化水素基としては、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基；ジフルオロメチレン基、ペルフルオロエチレン基、ペルフルオロプロパンジイル基、ペルフルオロブタンジイル基及びペルフルオロペンタンジイル基等のペルフルオロアルカンジイル基等が挙げられる。
フッ素原子を有していてもよい２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の基としては、シクロヘキサンジイル基及びペルフルオロシクロヘキサンジイル基等が挙げられる。多環式の基としては、アダマンタンジイル基、ノルボルナンジイル基、ペルフルオロアダマンタンジイル基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group optionally having a fluorine atom in A f13 preferably has a divalent chain saturated hydrocarbon group optionally having a fluorine atom and a fluorine atom is a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group, more preferably a perfluoroalkanediyl group.
Examples of divalent chain saturated hydrocarbon groups which may have a fluorine atom include alkanediyl groups such as a methylene group, an ethylene group, a propanediyl group, a butanediyl group and a pentanediyl group; a difluoromethylene group, a perfluoroethylene group, perfluoroalkanediyl groups such as perfluoropropanediyl group, perfluorobutanediyl group and perfluoropentanediyl group;
The divalent saturated alicyclic hydrocarbon group which may have a fluorine atom may be either monocyclic or polycyclic. Monocyclic groups include a cyclohexanediyl group, a perfluorocyclohexanediyl group, and the like. Examples of polycyclic groups include an adamantanediyl group, a norbornanediyl group, a perfluoroadamantanediyl group, and the like.
Ａf14の飽和炭化水素基及びフッ素原子を有していてもよい飽和炭化水素基は、Ｒa42で例示したものと同様の基が挙げられる。なかでも、トリフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、メチル基、ペルフルオロエチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、１，１，２，２－テトラフルオロエチル基、エチル基、ペルフルオロプロピル基、２，２，３，３，３－ペンタフルオロプロピル基、プロピル基、ペルフルオロブチル基、１，１，２，２，３，３，４，４－オクタフルオロブチル基、ブチル基、ペルフルオロペンチル基、２，２，３，３，４，４，５，５，５－ノナフルオロペンチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペルフルオロヘキシル基、ヘプチル基、ペルフルオロヘプチル基、オクチル基及びペルフルオロオクチル基等のフッ化アルキル基、シクロプロピルメチル基、シクロプロピル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ペルフルオロシクロヘキシル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、アダマンチルジメチル基、ノルボルニル基、ノルボルニルメチル基、ペルフルオロアダマンチル基、ペルフルオロアダマンチルメチル基等が好ましい。 Examples of saturated hydrocarbon groups and optionally fluorine-containing saturated hydrocarbon groups for A f14 include groups similar to those exemplified for R a42 . Among them, trifluoromethyl group, difluoromethyl group, methyl group, perfluoroethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 1,1,2,2-tetrafluoroethyl group, ethyl group, perfluoropropyl group, 2,2,3,3,3-pentafluoropropyl group, propyl group, perfluorobutyl group, 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyl group, butyl group, perfluoropentyl group, Fluorination such as 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyl group, pentyl group, hexyl group, perfluorohexyl group, heptyl group, perfluoroheptyl group, octyl group and perfluorooctyl group Alkyl group, cyclopropylmethyl group, cyclopropyl group, cyclobutylmethyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, perfluorocyclohexyl group, adamantyl group, adamantylmethyl group, adamantyldimethyl group, norbornyl group, norbornylmethyl group, perfluoroadamantyl group , a perfluoroadamantylmethyl group, and the like.
式（ａ４－３）において、Ｌ5は、エチレン基が好ましい。
Ａf13の２価の飽和炭化水素基は、炭素数１～６の２価の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の２価の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数２～３の２価の鎖式飽和炭化水素基がさらに好ましい。
Ａf14の飽和炭化水素基は、炭素数３～１２の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基が好ましく、炭素数３～１０の鎖式飽和炭化水素基及び炭素数３～１０の脂環式飽和炭化水素基を含む基がさらに好ましい。なかでも、Ａf14は、好ましくは炭素数３～１２の脂環式飽和炭化水素基を含む基であり、より好ましくは、シクロプロピルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基及びアダマンチル基である。
In formula (a4-3), L 5 is preferably an ethylene group.
The divalent saturated hydrocarbon group of A f13 is preferably a group containing a divalent chain saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms and a divalent alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, A divalent chain saturated hydrocarbon group having 2 to 3 carbon atoms is more preferred.
The saturated hydrocarbon group of A f14 is preferably a group containing a chain saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, and a saturated chain hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms. Groups containing a hydrocarbon group and an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms are more preferred. Among them, A f14 is preferably a group containing an alicyclic saturated hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, more preferably a cyclopropylmethyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a norbornyl group and an adamantyl group. .
式（ａ４－３）で表される構造単位としては、例えば、式（ａ４－１’－１）～式（ａ４－１’－１１）でそれぞれ表される構造単位が挙げられる。構造単位（ａ４－３）におけるＲf７に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位も式（ａ４－３）で表される構造単位として挙げられる。 Examples of structural units represented by formula (a4-3) include structural units represented by formulas (a4-1′-1) to (a4-1′-11). A structural unit in which the methyl group corresponding to R f7 in the structural unit (a4-3) is replaced with a hydrogen atom is also included as the structural unit represented by the formula (a4-3).
構造単位（ａ４）としては、式（ａ４－４）で表される構造単位も挙げられる。
Ｒf21は、水素原子又はメチル基を表す。
Ａf21は、－（ＣＨ2）j1－、－（ＣＨ2）j2－Ｏ－（ＣＨ2）j3－又は－（ＣＨ2）j4－ＣＯ－Ｏ－（ＣＨ2）j5－を表す。
ｊ１～ｊ５は、それぞれ独立に、１～６のいずれかの整数を表す。
Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０の飽和炭化水素基を表す。］
Structural units (a4) also include structural units represented by formula (a4-4).
R f21 represents a hydrogen atom or a methyl group.
A f21 represents -(CH 2 ) j1 -, -(CH 2 ) j2 -O-(CH 2 ) j3 - or -(CH 2 ) j4 -CO-O-(CH 2 ) j5 -.
j1 to j5 each independently represent an integer of 1 to 6;
R f22 represents a C 1-10 saturated hydrocarbon group having a fluorine atom. ]
Ｒf22の飽和炭化水素基は、Ｒa42で表される飽和炭化水素基と同様のものが挙げられる。Ｒf22は、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基又はフッ素原子を有する炭素数１～１０の脂環式飽和炭化水素基が好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～１０のアルキル基がより好ましく、フッ素原子を有する炭素数１～６のアルキル基がさらに好ましい。 Examples of the saturated hydrocarbon group for R f22 include those similar to the saturated hydrocarbon group for R a42 . R f22 is preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom or an alicyclic saturated hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom, and an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a fluorine atom is preferably More preferred is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and having a fluorine atom.
式（ａ４－４）においては、Ａf21としては、－（ＣＨ2）ｊ1－が好ましく、エチレン基又はメチレン基がより好ましく、メチレン基がさらに好ましい。 In formula (a4-4), A f21 is preferably --(CH 2 ) j1 --, more preferably an ethylene group or a methylene group, and still more preferably a methylene group.
式（ａ４－４）で表される構造単位としては、例えば、以下の構造単位及び以下の式で表される構造単位において、構造単位（ａ４－４）におけるＲf21に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ４）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～２０モル％が好ましく、２～１５モル％がより好ましく、３～１０モル％がさらに好ましい。 When the resin (A) or the like contains the structural unit (a4), the content thereof is preferably 1 to 20 mol%, more preferably 2 to 15 mol%, based on the total structural units of the resin (A) or the like. , 3 to 10 mol % is more preferable.
〈構造単位（ａ５）〉
構造単位（ａ５）が有する非脱離炭化水素基としては、直鎖、分岐又は環状の炭化水素基を有する基が挙げられる。なかでも、構造単位（ａ５）は、脂環式炭化水素基を有する基が好ましい。
構造単位（ａ５）としては、例えば、式（ａ５－１）で表される構造単位が挙げられる。
Ｒ51は、水素原子又はメチル基を表す。
Ｒ52は、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は炭素数１～８の脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。
Ｌ55は、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］
<Structural unit (a5)>
Examples of non-leaving hydrocarbon groups possessed by the structural unit (a5) include groups having linear, branched or cyclic hydrocarbon groups. Among them, the structural unit (a5) is preferably a group having an alicyclic hydrocarbon group.
Examples of the structural unit (a5) include structural units represented by formula (a5-1).
R51 represents a hydrogen atom or a methyl group.
R 52 represents an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, and a hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group may be substituted with an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms. .
L 55 represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— . ]
Ｒ52における脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、例えば、アダマンチル基及びノルボルニル基等が挙げられる。
炭素数１～８の脂肪族炭化水素基は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基等のアルキル基が挙げられる。
置換基を有する脂環式炭化水素基としては、３－メチルアダマンチル基などが挙げられる。
Ｒ52は、好ましくは、無置換の炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは、アダマンチル基、ノルボルニル基又はシクロヘキシル基である。
The alicyclic hydrocarbon group for R 52 may be either monocyclic or polycyclic. Examples of monocyclic alicyclic hydrocarbon groups include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl and cyclohexyl groups. Examples of polycyclic alicyclic hydrocarbon groups include adamantyl groups and norbornyl groups.
Aliphatic hydrocarbon groups having 1 to 8 carbon atoms are, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group and 2 - alkyl groups such as ethylhexyl groups.
A 3-methyladamantyl group etc. are mentioned as an alicyclic hydrocarbon group which has a substituent.
R 52 is preferably an unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, more preferably an adamantyl group, a norbornyl group or a cyclohexyl group.
Ｌ55における２価の飽和炭化水素基としては、２価の鎖式飽和炭化水素基及び２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、好ましくは２価の鎖式飽和炭化水素基である。
２価の鎖式飽和炭化水素基としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロパンジイル基、ブタンジイル基及びペンタンジイル基等のアルカンジイル基が挙げられる。
２価の脂環式飽和炭化水素基は、単環式及び多環式のいずれでもよい。単環式の脂環式飽和炭化水素基としては、シクロペンタンジイル基及びシクロヘキサンジイル基等のシクロアルカンジイル基が挙げられる。多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基としては、アダマンタンジイル基及びノルボルナンジイル基等が挙げられる。
The divalent saturated hydrocarbon group for L 55 includes a divalent saturated chain hydrocarbon group and a saturated divalent alicyclic hydrocarbon group, preferably a saturated chain divalent hydrocarbon group. .
Examples of divalent chain saturated hydrocarbon groups include alkanediyl groups such as methylene, ethylene, propanediyl, butanediyl and pentanediyl groups.
The bivalent alicyclic saturated hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic. The monocyclic alicyclic saturated hydrocarbon group includes cycloalkanediyl groups such as cyclopentanediyl group and cyclohexanediyl group. Examples of the polycyclic divalent alicyclic saturated hydrocarbon group include an adamantanediyl group and a norbornanediyl group.
Ｌ55の表す２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わった基としては、例えば、式（Ｌ１－１）～式（Ｌ１－４）で表される基が挙げられる。下記式中、＊及び＊＊は各々結合部位を表し、＊は酸素原子との結合部位を表す。
Ｘx1は、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－ＣＯ－Ｏ－を表す（＊はＬx1との結合部位を表す。）。
Ｌx1は、炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx2は、単結合又は炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx1及びＬx2の合計炭素数は、１６以下である。
式（Ｌ１－２）中、
Ｌx3は、炭素数１～１７の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx4は、単結合又は炭素数１～１６の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx3及びＬx4の合計炭素数は、１７以下である。
式（Ｌ１－３）中、
Ｌx5は、炭素数１～１５の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｌx6及びＬx7は、それぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１４の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx5、Ｌx6及びＬx7の合計炭素数は、１５以下である。
式（Ｌ１－４）中、
Ｌx8及びＬx9は、単結合又は炭素数１～１２の２価の脂肪族飽和炭化水素基を表す。
Ｗx1は、炭素数３～１５の２価の脂環式飽和炭化水素基を表す。
ただし、Ｌx8、Ｌx9及びＷx1の合計炭素数は、１５以下である。］
Groups in which —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group represented by L 55 is replaced with —O— or —CO— include, for example, formulas (L1-1) to (L1-4) and the group represented by In the following formulas, * and ** each represent a bonding site, and * represents a bonding site with an oxygen atom.
X x1 represents *-O-CO- or *-CO-O- (* represents a binding site with L x1 ).
L x1 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
L x2 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x1 and L x2 is 16 or less.
In formula (L1-2),
L x3 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 17 carbon atoms.
L x4 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 16 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x3 and L x4 is 17 or less.
In formula (L1-3),
L x5 represents a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 15 carbon atoms.
L x6 and L x7 each independently represent a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 14 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x5 , L x6 and L x7 is 15 or less.
In formula (L1-4),
L x8 and L x9 each represent a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms.
W x1 represents a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group having 3 to 15 carbon atoms.
However, the total carbon number of L x8 , L x9 and W x1 is 15 or less. ]
Ｌx1は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx2は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合である。
Ｌx3は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx4は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx5は、好ましくは、炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx6は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、メチレン基又はエチレン基である。
Ｌx7は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基である。
Ｌx8は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｌx9は、好ましくは、単結合又は炭素数１～８の２価の脂肪族飽和炭化水素基、より好ましくは、単結合又はメチレン基である。
Ｗx1は、好ましくは、炭素数３～１０の２価の脂環式飽和炭化水素基、より好ましくは、シクロヘキサンジイル基又はアダマンタンジイル基である。
L x1 is preferably a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x2 is preferably a single bond or a C 1-8 divalent saturated aliphatic hydrocarbon group, more preferably a single bond.
L x3 is preferably a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x4 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x5 is preferably a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x6 is preferably a single bond or a C 1-8 divalent aliphatic saturated hydrocarbon group, more preferably a methylene group or an ethylene group.
L x7 is preferably a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms.
L x8 is preferably a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
L x9 is preferably a single bond or a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably a single bond or a methylene group.
W x1 is preferably a divalent saturated alicyclic hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, more preferably a cyclohexanediyl group or an adamantanediyl group.
式（Ｌ１－１）で表される基としては、例えば、以下に示す２価の基が挙げられる。
構造単位（ａ５－１）としては、以下に示す構造単位及び下記構造単位中の構造単位（ａ５－１）におけるＲ51に相当するメチル基が水素原子に置き換わった構造単位が挙げられる。
〈構造単位（ａ６）〉
構造単位（ａ６）は、－ＳＯ２－基を有する構造単位であり、－ＳＯ２－基を側鎖に有することが好ましい。
－ＳＯ２－基を有する構造単位は、－ＳＯ２－基を有する直鎖状構造を有していてもよいし、－ＳＯ２－基を有する分岐状構造を有していてもよいし、－ＳＯ２－基を有する環状構造（単環及び多環構造）を有していてもよい。好ましくは、－ＳＯ２－基を有する環状構造を有する構造単位であり、より好ましくは、－ＳＯ２－Ｏ－を含む環状構造（スルトン環）を有する構造単位である。
<Structural unit (a6)>
Structural unit (a6) is a structural unit having a —SO 2 — group, and preferably has a —SO 2 — group in its side chain.
A structural unit having a —SO 2 — group may have a linear structure having a —SO 2 — group, or may have a branched structure having a —SO 2 — group, It may have a cyclic structure (monocyclic and polycyclic structures) having a —SO 2 — group. A structural unit having a cyclic structure containing a —SO 2 — group is preferred, and a structural unit having a cyclic structure (sultone ring) containing —SO 2 —O— is more preferred.
スルトン環としては、下記式（Ｔ１－１）、式（Ｔ１－２）、式（Ｔ１－３）及び式（Ｔ１－４）で表される環が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。スルトン環は、単環式であってもよいが、多環式であることが好ましい。多環式のスルトン環とは、環を構成する原子団として－ＳＯ２－Ｏ－を含む橋かけ環を意味し、式（Ｔ１－１）及び式（Ｔ１－２）で表される環が挙げられる。スルトン環は、式（Ｔ１－２）で表される環のように、環を構成する原子団として、－ＳＯ２－Ｏ－以外に、さらにヘテロ原子を含んでいてもよい。ヘテロ原子としては、酸素原子、硫黄原子又は窒素原子が挙げられ、好ましくは酸素原子である。
スルトン環は置換基を有してもよく、置換基としては、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基及び炭素数２～４のアルキルカルボニル基等が挙げられる。 The sultone ring may have a substituent, and examples of the substituent include a halogen atom, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms optionally having a hydroxy group, a halogen atom, a hydroxy group, a cyano group, and 1 carbon atom. alkoxy groups of up to 12 carbon atoms, aryl groups of 6 to 12 carbon atoms, aralkyl groups of 7 to 12 carbon atoms, glycidyloxy groups, alkoxycarbonyl groups of 2 to 12 carbon atoms and alkylcarbonyl groups of 2 to 4 carbon atoms, and the like. be done.
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
アルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及びデシル基が挙げられ、好ましくは炭素数１～６のアルキル基であり、より好ましくはメチル基である。
ハロゲン原子を有するアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基が挙げられ、好ましくはトリフルオロメチル基が挙げられる。
ヒドロキシ基を有するアルキル基としては、ヒドロキシメチル基及び２－ヒドロキシエチル基のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基が挙げられる。
アリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クミル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基及び２－メチル－６－エチルフェニル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基等のアルコキシ基とカルボニル基とが結合した基が挙げられ、好ましくは炭素数６以下のアルコキシカルボニル基が挙げられ、より好ましくはメトキシカルボニル基が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基が挙げられる。
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, octyl and decyl groups, preferably alkyl groups having 1 to 6 carbon atoms, more preferably methyl groups. is.
The alkyl group having a halogen atom includes a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group, a perfluoropentyl group, a perfluorohexyl group, trichloromethyl group, tribromomethyl group and triiodomethyl group, preferably trifluoromethyl group.
Alkyl groups having a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a 2-hydroxyethyl group.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups.
Aryl groups include phenyl, naphthyl, anthryl, p-methylphenyl, p-tert-butylphenyl, p-adamantylphenyl, tolyl, xylyl, cumyl, mesityl, biphenyl, and phenanthryl groups. groups, 2,6-diethylphenyl groups and 2-methyl-6-ethylphenyl groups.
Aralkyl groups include benzyl, phenethyl, phenylpropyl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
The alkoxycarbonyl group includes groups in which an alkoxy group and a carbonyl group such as a methoxycarbonyl group and an ethoxycarbonyl group are bonded, preferably an alkoxycarbonyl group having 6 or less carbon atoms, more preferably a methoxycarbonyl group. mentioned.
Alkylcarbonyl groups include acetyl, propionyl and butyryl groups.
構造単位（ａ６）を導くモノマーの製造が容易であるという観点から、置換基を有さないスルトン環が好ましい。
スルトン環としては、以下の式（Ｔ１’）で表される環が好ましい。
Ｘ１１は、酸素原子、硫黄原子又はメチレン基を表す。
Ｒ４１は、ハロゲン原子もしくはヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、シアノ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数６～１２のアリール基、炭素数７～１２のアラルキル基、グリシジルオキシ基、炭素数２～１２のアルコキシカルボニル基又は炭素数２～４のアルキルカルボニル基を表す。
ｍａは、０～９のいずれかの整数を表す。ｍａが２以上のとき、複数のＲ４１は同一であっても異なってもよい。
結合部位は任意の位置である。］
Ｘ１１は、好ましくは酸素原子又はメチレン基であり、より好ましくはメチレン基である。
Ｒ４１としては、上述したスルトン環の置換基と同様のものが挙げられ、ハロゲン原子又はヒドロキシ基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基が好ましい。
ｍａは、好ましくは０又は１であり、より好ましくは０である。
A sultone ring having no substituent is preferred from the viewpoint of facilitating the production of a monomer leading to the structural unit (a6).
As the sultone ring, a ring represented by the following formula (T1') is preferable.
X 11 represents an oxygen atom, a sulfur atom or a methylene group.
R 41 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen atom or a hydroxy group, a halogen atom, a hydroxy group, a cyano group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms. aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms, glycidyloxy group, alkoxycarbonyl group having 2 to 12 carbon atoms or alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms.
ma represents any integer from 0 to 9; When ma is 2 or more, multiple R 41 may be the same or different.
The binding site can be any position. ]
X 11 is preferably an oxygen atom or a methylene group, more preferably a methylene group.
Examples of R 41 include the same substituents as those described above for the sultone ring, and preferably an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms which may have a halogen atom or a hydroxy group.
ma is preferably 0 or 1, more preferably 0.
式（Ｔ１’）で表される環としては、以下の環が挙げられる。結合部位は任意の位置である。なかでも、結合部位は１位又は３位であるものが好ましい。
中でも、構造単位（ａ６）を導くモノマーは、好ましくはエチレン性不飽和結合を有するモノマーであり、より好ましくは（メタ）アクリル系モノマーである。
The ring represented by formula (T1') includes the following rings. The binding site can be any position. Among them, the binding site is preferably at the 1st or 3rd position.
Among them, the monomer leading to the structural unit (a6) is preferably a monomer having an ethylenically unsaturated bond, more preferably a (meth)acrylic monomer.
構造単位（ａ６）は、好ましくは、式（ａ６－０）で表される構造単位である。
Ｒｘは、ハロゲン原子を有してもよい炭素数１～６のアルキル基、水素原子又はハロゲン原子を表す。
Ａｘｘは、酸素原子、－Ｎ（Ｒｃ）－又は硫黄原子を表す。
Ａｘは、単結合又は炭素数１～１８の２価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＣＯ－又は－Ｎ（Ｒｄ）－に置き換わっていてもよい。
Ｘ１１、Ｒ４１、ｍａは、上記と同じ意味を表す。
Ｒｃ及びＲｄは、互いに独立に、水素原子又は炭素数１～６のアルキル基を表す。］
Structural unit (a6) is preferably a structural unit represented by formula (a6-0).
R x represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom.
A xx represents an oxygen atom, -N(R c )- or a sulfur atom.
A x represents a single bond or a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the saturated hydrocarbon group is —O—, —CO— or —N(R d )- may be substituted.
X 11 , R 41 and ma have the same meanings as above.
R c and R d each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. ]
Ｒｘのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
Ｒｘのアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ｎ－ペンチル基及びｎ－ヘキシル基等が挙げられ、好ましくは炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくはメチル基又はエチル基である。
Ｒｘのハロゲン原子を有するアルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基及びトリヨードメチル基などが挙げられる。
Ｒｘは、好ましくは水素原子又は炭素数１～４のアルキル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基又はエチル基であり、さらに好ましくは水素原子又はメチル基である。
Ａｘの２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状アルカンジイル基、分岐状アルカンジイル基、単環式又は多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基が挙げられ、これらの基のうち２種以上を組合せたものでもよい。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基、ヘプタデカン－１，１７－ジイル基、エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基及びプロパン－２，２－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；
ブタン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基；
シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等のシクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式飽和炭化水素基；
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式の２価の脂環式飽和炭化水素基等が挙げられる。
Ａｘのスルトン環への結合位置は、任意の位置とすることができるが、１位であるものが好ましい。
Halogen atoms for R x include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The alkyl group for R x includes, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group and n-hexyl group. and preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a methyl group or an ethyl group.
The alkyl group having a halogen atom for R x includes, for example, a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a perfluoropropyl group, a perfluoroisopropyl group, a perfluorobutyl group, a perfluorosec-butyl group, a perfluorotert-butyl group, and a perfluoropentyl group. , perfluorohexyl group, trichloromethyl group, tribromomethyl group and triiodomethyl group.
R x is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, more preferably a hydrogen atom, a methyl group or an ethyl group, still more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
The divalent saturated hydrocarbon group for A x includes a linear alkanediyl group, a branched alkanediyl group, and a monocyclic or polycyclic bivalent alicyclic saturated hydrocarbon group. A combination of two or more of the groups may also be used.
Specifically, methylene group, ethylene group, propane-1,3-diyl group, propane-1,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, pentane-1,5-diyl group, hexane-1 ,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, nonane-1,9-diyl group, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group , dodecane-1,12-diyl group, tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group, pentadecane-1,15-diyl group, hexadecane-1,16-diyl group, heptadecane-1, linear alkanediyl groups such as 17-diyl group, ethane-1,1-diyl group, propane-1,1-diyl group and propane-2,2-diyl group;
butane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,3-diyl group, 2-methylpropane-1,2-diyl group, pentane-1,4-diyl group, 2-methylbutane-1,4- a branched alkanediyl group such as a diyl group;
monocyclic 2 which is a cycloalkanediyl group such as cyclobutane-1,3-diyl group, cyclopentane-1,3-diyl group, cyclohexane-1,4-diyl group, cyclooctane-1,5-diyl group; alicyclic saturated hydrocarbon group;
Polycyclic bivalent alicyclic saturated hydrocarbons such as norbornane-1,4-diyl group, norbornane-2,5-diyl group, adamantane-1,5-diyl group, and adamantane-2,6-diyl group and the like.
The bonding position of Ax to the sultone ring can be any position, but the 1-position is preferred.
構造単位（ａ６－０）としては、以下の構造単位が挙げられる。
なかでも、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－６）、式（ａ６－７）、式（ａ６－８）及び式（ａ６－１２）で表される構造単位が好ましく、式（ａ６－１）、式（ａ６－２）、式（ａ６－７）及び（ａ６－８）で表される構造単位がより好ましい。
樹脂（Ａ）等が、構造単位（ａ６）を含む場合、その含有率は、樹脂（Ａ）等の全構造単位に対して、１～５０モル％が好ましく、２～４０モル％がより好ましく、３～３０モル％がさらに好ましい。
Among them, structural units represented by formula (a6-1), formula (a6-2), formula (a6-6), formula (a6-7), formula (a6-8) and formula (a6-12) are preferred, and structural units represented by formulas (a6-1), (a6-2), (a6-7) and (a6-8) are more preferred.
When the resin (A) or the like contains the structural unit (a6), the content thereof is preferably 1 to 50 mol%, more preferably 2 to 40 mol%, based on the total structural units of the resin (A) or the like. , 3 to 30 mol % is more preferable.
樹脂（Ａ）等は、好ましくは構造単位（ａ１）を含む樹脂である。特に、樹脂（Ａｐ）は、より好ましくは、構造単位（ＩＰ）と構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、すなわち、塩（Ｉ）とモノマー（ａ１）とモノマー（ｓ）との共重合体である。構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂（Ａ）は、好ましくは、構造単位（ａ１）と構造単位（ｓ）とからなる樹脂、すなわち、モノマー（ａ１）とモノマー（ｓ）との共重合体である。
構造単位（ａ１）は、好ましくは構造単位（ａ１－０）、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）（好ましくはシクロヘキシル基、又はシクロペンチル基を有する該構造単位）からなる群から選ばれる少なくとも一種であり、より好ましくは少なくとも二種であり、さらに好ましくは、構造単位（ａ１－１）及び構造単位（ａ１－２）からなる群から選ばれる少なくとも二種である。
構造単位（ｓ）は、好ましくは構造単位（ａ２）及び構造単位（ａ３）からなる群から選ばれる少なくとも一種である。構造単位（ａ２）は、好ましくは構造単位（ａ２－１）又は構造単位（ａ２－Ａ）である。構造単位（ａ３）は、好ましくは式（ａ３－１）で表される構造単位、式（ａ３－２）で表される構造単位及び式（ａ３－４）で表される構造単位からなる群から選ばれる少なくとも一種である。
The resin (A) and the like are preferably resins containing the structural unit (a1). In particular, the resin (Ap) is more preferably a resin composed of a structural unit (IP), a structural unit (a1) and a structural unit (s), that is, a salt (I), a monomer (a1) and a monomer (s) It is a copolymer with The resin (A) containing no structural unit (IP) is preferably a resin composed of the structural unit (a1) and the structural unit (s), that is, a copolymer of the monomer (a1) and the monomer (s). be.
Structural unit (a1) is preferably a group consisting of structural unit (a1-0), structural unit (a1-1) and structural unit (a1-2) (preferably the structural unit having a cyclohexyl group or a cyclopentyl group) is at least one selected from, more preferably at least two, still more preferably at least two selected from the group consisting of the structural unit (a1-1) and the structural unit (a1-2).
Structural unit (s) is preferably at least one selected from the group consisting of structural unit (a2) and structural unit (a3). Structural unit (a2) is preferably structural unit (a2-1) or structural unit (a2-A). Structural unit (a3) is preferably a group consisting of a structural unit represented by formula (a3-1), a structural unit represented by formula (a3-2) and a structural unit represented by formula (a3-4) is at least one selected from
樹脂（Ａ）等を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組み合わせて用いてもよく、これら構造単位を導くモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（Ａ）等が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（Ａ）等の重量平均分子量は、好ましくは、２，０００以上（より好ましくは２，５００以上、さらに好ましくは３，０００以上）、５０，０００以下（より好ましくは３０，０００以下、さらに好ましくは１５，０００以下）である。本明細書では、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーで実施例に記載の条件により求めた値である。なお、構造単位（ＩＰ）は、二量体、三量体、重量平均分子量が２，０００未満の化合物を構成してもよい。
Each structural unit constituting the resin (A) and the like may be used alone or in combination of two or more. Using a monomer that leads to these structural units, it is produced by a known polymerization method (e.g., radical polymerization method). can do. The content of each structural unit in the resin (A) or the like can be adjusted by adjusting the amount of the monomer used for polymerization.
The weight average molecular weight of the resin (A) and the like is preferably 2,000 or more (more preferably 2,500 or more, still more preferably 3,000 or more) and 50,000 or less (more preferably 30,000 or less, further preferably preferably 15,000 or less). As used herein, the weight average molecular weight is a value obtained by gel permeation chromatography under the conditions described in Examples. In addition, the structural unit (IP) may constitute a dimer, a trimer, or a compound having a weight average molecular weight of less than 2,000.
〔酸発生剤〕
本発明の酸発生剤は、塩（Ｉ）又は構造単位（ＩＰ）を含有する酸発生剤である。構造単位（ＩＰ）は、複数が重合した化合物又は樹脂として含有することができる。酸発生剤においては、塩（Ｉ）を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。構造単位（ＩＰ）を含む化合物又は樹脂を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせてもよい。また、本発明の酸発生剤は、塩（Ｉ）及び構造単位（ＩＰ）の両方を含有してもよい。
本発明の酸発生剤は、塩（Ｉ）以外に、レジスト分野で公知の酸発生剤（以下「酸発生剤（Ｂ）」又は「第２の酸発生剤」という場合がある）を含有していてもよい。酸発生剤（Ｂ）については後述する。
酸発生剤が塩（Ｉ）及び酸発生剤（Ｂ）を含有する場合、塩（Ｉ）と酸発生剤（Ｂ）との含有量の比（質量比、塩（Ｉ）：酸発生剤（Ｂ））は、通常、１：９９～９９：１であり、好ましくは２：９８～９８：２であり、より好ましくは５：９５～９５：５であり、さらに好ましくは１０：９０～９０：１０であり、さらにより好ましくは１５：８５～８５：１５であり、特に好ましくは４０：６０～６０：４０である。
[Acid generator]
The acid generator of the present invention is an acid generator containing salt (I) or structural unit (IP). Structural units (IP) can be contained as multiple polymerized compounds or resins. In the acid generator, salt (I) may be used alone, or two or more of them may be used in combination. A compound or resin containing a structural unit (IP) may be used alone, or two or more of them may be used in combination. Also, the acid generator of the present invention may contain both salt (I) and structural unit (IP).
The acid generator of the present invention contains, in addition to the salt (I), an acid generator known in the resist field (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B)" or "second acid generator"). may be The acid generator (B) will be described later.
When the acid generator contains the salt (I) and the acid generator (B), the ratio of the contents of the salt (I) and the acid generator (B) (mass ratio, salt (I):acid generator ( B)) is generally 1:99 to 99:1, preferably 2:98 to 98:2, more preferably 5:95 to 95:5, still more preferably 10:90 to 90 :10, still more preferably 15:85 to 85:15, and particularly preferably 40:60 to 60:40.
〔レジスト組成物〕
本発明のレジスト組成物は、本発明の酸発生剤を含有する。ここでの酸発生剤は、構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（Ａｐ）であってもよい。本発明のレジスト組成物は、本発明の酸発生剤を含まない、酸発生剤（Ｂ）を含んでいてもよく、構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂を含んでいてもよい。ここで、構造単位（ＩＰ）を含まない樹脂は、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂であってもよいし、構造単位（ａ１）を含まない樹脂であってもよい。ただし、本発明のレジスト組成物は、塩（Ｉ）及び構造単位（ＩＰ）の少なくとも一方を含むものであり、双方を含むものであってもよい。すなわち、本発明のレジスト組成物は、本発明の構造単位（ＩＰ）又は本発明の塩（Ｉ）を含有する酸発生剤を含んでいればよい。構造単位（ＩＰ）は、化合物又は樹脂等のいずれの形態でもよい。言い換えると、本発明のレジスト組成物は、酸発生剤として、樹脂（Ａｐ）及び／又は樹脂（Ａ）と、塩（Ｉ）とを含有していてもよい。本発明のレジスト組成物は、酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂を含んでいることが好ましい。すなわち、
（ａ）塩（Ｉ）と、樹脂（Ａ）とを含むか、
（ｂ）構造単位（ＩＰ）及び酸不安定基を有する構造単位（ａ１）を含む樹脂（Ａｐ）を含むか、
（ｃ）構造単位（ＩＰ）を含む樹脂（Ａｐ）と、樹脂（Ａ）とを含むことが好ましい。中でも、上記（ｂ）のレジスト組成物であることが好ましい。２種以上の樹脂（Ａ）及び／又は樹脂（Ａｐ）を含んでいてもよい。
本発明のレジスト組成物は、クエンチャー（以下「クエンチャー（Ｃ）」という場合がある。）及び／又は溶剤（以下「溶剤（Ｅ）」という場合がある）をさらに含有することが好ましい。また、本発明のレジスト組成物は、上述した樹脂（Ａ）等以外の樹脂をさらに含んでいてもよい。
[Resist composition]
The resist composition of the invention contains the acid generator of the invention. The acid generator here may be a resin (Ap) containing structural units (IP). The resist composition of the present invention may contain an acid generator (B) that does not contain the acid generator of the present invention, or may contain a resin that does not contain a structural unit (IP). Here, the resin containing no structural unit (IP) may be a resin containing a structural unit (a1) having an acid-labile group, or may be a resin containing no structural unit (a1). However, the resist composition of the present invention contains at least one of salt (I) and structural unit (IP), and may contain both. That is, the resist composition of the present invention may contain an acid generator containing the structural unit (IP) of the present invention or the salt (I) of the present invention. The structural unit (IP) may be in any form such as a compound or resin. In other words, the resist composition of the present invention may contain the resin (Ap) and/or the resin (A) and the salt (I) as an acid generator. The resist composition of the present invention preferably contains a resin containing a structural unit (a1) having an acid labile group. i.e.
(a) comprising a salt (I) and a resin (A);
(b) a resin (Ap) comprising a structural unit (IP) and a structural unit (a1) having an acid-labile group;
(c) It preferably contains a resin (Ap) containing structural units (IP) and a resin (A). Among them, the resist composition (b) above is preferable. It may contain two or more resins (A) and/or resins (Ap).
The resist composition of the present invention preferably further contains a quencher (hereinafter sometimes referred to as "quencher (C)") and/or a solvent (hereinafter sometimes referred to as "solvent (E)"). Moreover, the resist composition of the present invention may further contain a resin other than the resin (A) described above.
＜樹脂（Ａ）等以外の樹脂＞
本発明のレジスト組成物は、樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）以外の樹脂を併用してもよい。樹脂（Ａｐ）及び樹脂（Ａ）以外の樹脂としては、上述した樹脂（Ａ）において構造単位（ａ１）を含まない以外樹脂（Ａ）と同様の構造単位を有する樹脂（ＡＸ）、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）を含む樹脂（ただし、構造単位（ＩＰ）及び構造単位（ａ１）を含まない。以下「樹脂（Ｘ）」という場合がある。）等が挙げられる。
樹脂（ＡＸ）としては、構造単位（ａ２）を含む樹脂が挙げられ、構造単位（ａ２－Ａ）を含む樹脂が好ましい。樹脂（ＡＸ）において、構造単位（ａ２－Ａ）の含有率は、樹脂（ＡＸ）の全構造単位の合計に対して、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることがさらに好ましい。また、８０モル％以下であることが好ましく、７０モル％以下であることがより好ましい。
樹脂（Ｘ）がさらに有していてもよい構造単位としては、構造単位（ａ２）、構造単位（ａ３）及びその他の公知のモノマーに由来する構造単位が挙げられる。中でも、樹脂（Ｘ）は、構造単位（ａ４）及び／又は構造単位（ａ５）のみからなる樹脂であることが好ましく、構造単位（ａ４）のみからなる樹脂であることがより好ましい。
樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）を含む場合、樹脂（Ｘ）において、構造単位（ａ４）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ５）の含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、２０モル％以上が挙げられ、３０モル％以上が好ましく、４０モル％以上がより好ましく、４５モル％以上がさらに好ましい。また、１００モル％以下が挙げられ、８０モル％以下が好ましく、７０モル％以下がより好ましく、６０モル％以下がさらに好ましく、５５モル％以下がより一層好ましい。具体的には、２０～１００モル％が挙げられ、２０～８０モル％が好ましく、３０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％がさらに好ましく、４５～５５モル％がより一層好ましい。また、樹脂（Ｘ）が構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）を含む場合、構造単位（ａ４）及び構造単位（ａ５）の合計含有率は、樹脂（Ｘ）の全構造単位の合計に対して、４０モル％以上が挙げられ、６０モル％以上が好ましく、７０モル％以上がより好ましく、８０モル％以上がさらに好ましい。さらに、１００モル％以下が挙げられる。具体的には、４０～１００モル％が挙げられ、６０～１００モル％が好ましく、７０～１００モル％がより好ましく、８０～１００モル％がさらに好ましい。 樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）を構成する各構造単位は、１種のみ又は２種以上を組合せて用いてもよく、これら構造単位を誘導するモノマーを用いて、公知の重合法（例えばラジカル重合法）によって製造することができる。樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）が有する各構造単位の含有率は、重合に用いるモノマーの使用量で調整できる。
樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量は、好ましくは６，０００以上（より好ましくは７，０００以上）、８０，０００以下（より好ましくは６０，０００以下）である。樹脂（ＡＸ）及び樹脂（Ｘ）の重量平均分子量の測定手段は、樹脂（Ａ）の場合と同様である。
<Resins other than resin (A), etc.>
In the resist composition of the present invention, a resin other than the resin (Ap) and the resin (A) may be used in combination. The resin (Ap) and the resin other than the resin (A) include a resin (AX) having the same structural unit as the resin (A) except that the structural unit (a1) is not included in the resin (A) described above, a structural unit ( a4) and/or a resin containing the structural unit (a5) (but not containing the structural unit (IP) and the structural unit (a1); hereinafter sometimes referred to as "resin (X)"), and the like.
Examples of the resin (AX) include resins containing the structural unit (a2), and resins containing the structural unit (a2-A) are preferred. In the resin (AX), the content of the structural unit (a2-A) is preferably 5 mol% or more, preferably 10 mol% or more, relative to the total of all structural units of the resin (AX). More preferably, it is 15 mol % or more. Moreover, it is preferably 80 mol % or less, more preferably 70 mol % or less.
Structural units that the resin (X) may further include structural units (a2), structural units (a3), and structural units derived from other known monomers. Among them, the resin (X) is preferably a resin consisting only of the structural unit (a4) and/or the structural unit (a5), more preferably a resin consisting only of the structural unit (a4).
When the resin (X) contains the structural unit (a4), the content of the structural unit (a4) in the resin (X) may be 20 mol% or more with respect to the total of all structural units in the resin (X). 30 mol % or more is preferable, 40 mol % or more is more preferable, and 45 mol % or more is even more preferable. Further, it is 100 mol % or less, preferably 80 mol % or less, more preferably 70 mol % or less, still more preferably 60 mol % or less, and even more preferably 55 mol % or less. Specifically, it is 20 to 100 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70 mol%, still more preferably 40 to 60 mol%, and even more preferably 45 to 55 mol%. When the resin (X) contains the structural unit (a5), the content of the structural unit (a5) may be 20 mol% or more, such as 30 mol% or more, based on the total of all structural units of the resin (X). is preferred, 40 mol % or more is more preferred, and 45 mol % or more is even more preferred. Further, it is 100 mol % or less, preferably 80 mol % or less, more preferably 70 mol % or less, still more preferably 60 mol % or less, and even more preferably 55 mol % or less. Specifically, it is 20 to 100 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70 mol%, still more preferably 40 to 60 mol%, and even more preferably 45 to 55 mol%. Further, when the resin (X) contains the structural unit (a4) and the structural unit (a5), the total content of the structural unit (a4) and the structural unit (a5) is the total of all structural units of the resin (X). On the other hand, it is 40 mol % or more, preferably 60 mol % or more, more preferably 70 mol % or more, and even more preferably 80 mol % or more. Furthermore, 100 mol% or less is mentioned. Specifically, it is 40 to 100 mol %, preferably 60 to 100 mol %, more preferably 70 to 100 mol %, even more preferably 80 to 100 mol %. Each structural unit constituting the resin (AX) and the resin (X) may be used alone or in combination of two or more. Using a monomer that induces these structural units, a known polymerization method (e.g., radical polymerization method). The content of each structural unit in the resin (AX) and the resin (X) can be adjusted by adjusting the amount of the monomer used for polymerization.
The weight average molecular weights of resin (AX) and resin (X) are preferably 6,000 or more (more preferably 7,000 or more) and 80,000 or less (more preferably 60,000 or less). The means for measuring the weight average molecular weights of resin (AX) and resin (X) is the same as in the case of resin (A).
本発明のレジスト組成物が、樹脂（Ｘ）を含む場合、その含有量は、樹脂（Ａ）１００質量部に対して、好ましくは１～６０質量部であり、より好ましくは１～５０質量部であり、さらに好ましくは１～４０質量部であり、より一層好ましくは１～３０質量部であり、さらに一層好ましくは１～８質量部である。 When the resist composition of the present invention contains resin (X), its content is preferably 1 to 60 parts by mass, more preferably 1 to 50 parts by mass, relative to 100 parts by mass of resin (A). , more preferably 1 to 40 parts by mass, still more preferably 1 to 30 parts by mass, and even more preferably 1 to 8 parts by mass.
レジスト組成物における樹脂（Ａ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。樹脂（Ａｐ）の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。また、樹脂（Ａ）等以外の樹脂を含む場合は、樹脂（Ａ）等と樹脂（Ａ）等以外の樹脂との合計含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、８０質量％以上９９質量％以下であることが好ましく、９０質量％以上９９質量％以下がより好ましい。レジスト組成物の固形分及びこれに対する樹脂の含有率は、液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定することができる。 The content of the resin (A) in the resist composition is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less, relative to the solid content of the resist composition. The resin (Ap) content is preferably 80% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less, relative to the solid content of the resist composition. Further, when a resin other than the resin (A) etc. is contained, the total content of the resin (A) etc. and the resin other than the resin (A) etc. is 80% by mass or more with respect to the solid content of the resist composition. It is preferably 99% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 99% by mass or less. The solid content and resin content of the resist composition can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.
＜酸発生剤＞
本発明の酸発生剤は、塩（Ｉ）及び／又は構造単位（ＩＰ）のみを含む酸発生剤、塩（Ｉ）及び／又は構造単位（ＩＰ）並びに酸発生剤（Ｂ）を含む酸発生剤のいずれであってもよい。
本発明のレジスト組成物は、酸発生剤を、それぞれ、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
<Acid generator>
The acid generator of the present invention includes an acid generator containing only salt (I) and/or structural unit (IP), an acid generator containing salt (I) and/or structural unit (IP) and acid generator (B). agent.
The resist composition of the present invention may use each of the acid generators alone or in combination of two or more thereof.
酸発生剤（Ｂ）は、非イオン系又はイオン系のいずれを用いてもよい。非イオン系酸発生剤としては、スルホネートエステル類（例えば２－ニトロベンジルエステル、芳香族スルホネート、オキシムスルホネート、Ｎ－スルホニルオキシイミド、スルホニルオキシケトン、ジアゾナフトキノン ４－スルホネート）、スルホン類（例えばジスルホン、ケトスルホン、スルホニルジアゾメタン）等が挙げられる。イオン系酸発生剤としては、オニウムカチオンを含むオニウム塩（例えばジアゾニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩）が代表的である。オニウム塩のアニオンとしては、スルホン酸アニオン、スルホニルイミドアニオン、スルホニルメチドアニオン等が挙げられる。 The acid generator (B) may be either nonionic or ionic. Nonionic acid generators include sulfonate esters (eg 2-nitrobenzyl ester, aromatic sulfonate, oxime sulfonate, N-sulfonyloxyimide, sulfonyloxyketone, diazonaphthoquinone 4-sulfonate), sulfones (eg disulfone, ketosulfone, sulfonyldiazomethane) and the like. Typical ionic acid generators are onium salts containing onium cations (eg, diazonium salts, phosphonium salts, sulfonium salts, iodonium salts). The anions of the onium salts include sulfonate anions, sulfonylimide anions, sulfonylmethide anions, and the like.
酸発生剤（Ｂ）としては、特開昭６３－２６６５３号、特開昭５５－１６４８２４号、特開昭６２－６９２６３号、特開昭６３－１４６０３８号、特開昭６３－１６３４５２号、特開昭６２－１５３８５３号、特開昭６３－１４６０２９号、米国特許第３，７７９，７７８号、米国特許第３，８４９，１３７号、独国特許第３９１４４０７号、欧州特許第１２６，７１２号等に記載の放射線によって酸を発生する化合物を使用することができる。また、公知の方法で製造した化合物を使用してもよい。酸発生剤（Ｂ）は、２種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the acid generator (B) include JP-A-63-26653, JP-A-55-164824, JP-A-62-69263, JP-A-63-146038, JP-A-63-163452, JP-A-62-153853, JP-A-63-146029, US Pat. No. 3,779,778, US Pat. A compound that generates an acid upon exposure to radiation as described in 1. above can be used. Moreover, you may use the compound manufactured by the well-known method. The acid generator (B) may be used in combination of two or more.
酸発生剤（Ｂ）は、好ましくは式（Ｂ１）で表される塩（以下「酸発生剤（Ｂ１）」という場合がある。）である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙは、置換基を有していてもよいメチル基又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ＋は、有機カチオンを表す。］
The acid generator (B) is preferably a salt represented by formula (B1) (hereinafter sometimes referred to as "acid generator (B1)").
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— , a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y represents an optionally substituted methyl group or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, included in the alicyclic hydrocarbon group- CH 2 - may be replaced by -O-, -SO 2 -, -S- or -CO-.
Z + represents an organic cation. ]
Ｑｂ１、Ｑｂ２及びＬｂ１としては、塩（Ｉ）におけるＱｂ１、Ｑｂ２及びＬｂ１の例示と同様のものが挙げられる。
酸発生剤（Ｂ）は、フッ素含有酸発生剤であることが好ましく、Ｑｂ１及びＱｂ２は、いずれか一方が、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることが好ましく、それぞれ独立に、フッ素原子又はトリフルオロメチル基であることがより好ましく、ともにフッ素原子であることがさらに好ましい。
Examples of Q b1 , Q b2 and L b1 include the same examples as those of Q b1 , Q b2 and L b1 in salt (I).
The acid generator (B) is preferably a fluorine-containing acid generator, and one of Q b1 and Q b2 is preferably a fluorine atom or a perfluoroalkyl group, and each independently represents a fluorine atom or A trifluoromethyl group is more preferred, and both are more preferably fluorine atoms.
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わっていない脂環式炭化水素基としては、式（Ｙ１）～式（Ｙ１１）、式（Ｙ３６）～式（Ｙ３８）で表される基が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－、－Ｓ－又は－ＣＯ－で置き換わる場合、その数は１つでもよいし、２以上でもよい。そのような基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基の－Ｏ－又は－ＣＯ－は、－Ｓ－又は－ＳＯ２－に置き換わってもよい。＊はＬb1との結合部位を表す。
The alicyclic hydrocarbon group in which —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y is not replaced with —O—, —SO 2 —, —S— or —CO— is represented by the formula ( Y1) to formula (Y11) and groups represented by formulas (Y36) to (Y38).
When —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group represented by Y is replaced with —O—, —SO 2 —, —S— or —CO—, the number may be 1, or 2 or more. It's okay. Such groups include groups represented by formulas (Y12) to (Y35) and formulas (Y39) to (Y43). —O— or —CO— in groups represented by formulas (Y12) to (Y35) and formulas (Y39) to (Y43) may be replaced with —S— or —SO 2 —. * represents the binding site with L b1 .
Ｙで表される脂環式炭化水素基が式（Ｙ２８）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）、式（Ｙ４０）、式（Ｙ４２）、式（Ｙ４３）等の酸素原子を有するスピロ環である場合には、２つの酸素原子間のアルカンジイル基は、１以上のフッ素原子を有することが好ましい。また、ケタール構造に含まれるアルカンジイル基のうち、酸素原子に隣接するメチレン基には、フッ素原子が置換されていないのが好ましい。
The alicyclic hydrocarbon group represented by Y is a spiro ring having an oxygen atom such as formulas (Y28) to (Y35), formula (Y39), formula (Y40), formula (Y42), and formula (Y43). In some cases it is preferred that the alkanediyl group between the two oxygen atoms has one or more fluorine atoms. Further, among the alkanediyl groups contained in the ketal structure, the methylene group adjacent to the oxygen atom is preferably not substituted with a fluorine atom.
Ｙで表されるメチル基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ２）ｊａ－ＣＯ－Ｏ－Ｒｂ１基又は－（ＣＨ２）ｊａ－Ｏ－ＣＯ－Ｒｂ１基（式中、Ｒｂ１は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。）等が挙げられる。
Ｙで表される脂環式炭化水素基の置換基としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、ヒドロキシ基で置換されていてもよい炭素数１～１６のアルキル基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－で置き換わっていてもよい。）、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、炭素数７～２１のアラルキル基、グリシジルオキシ基、－（ＣＨ２）ja－ＣＯ－Ｏ－Ｒb1基又は－（ＣＨ２）ja－Ｏ－ＣＯ－Ｒb1基（式中、Ｒb1は、炭素数１～１６のアルキル基、炭素数３～１６の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表し、該アルキル基及び該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該アルキル基、該脂環式炭化水素基及び該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基又はフッ素原子に置き換わっていてもよい。ｊａは、０～４のいずれかの整数を表す。）等が挙げられる。
Examples of substituents of the methyl group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, a glycidyloxy group, -( CH 2 ) ja —CO—O—R b1 group or —(CH 2 ) ja —O—CO—R b1 group (wherein R b1 is an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, represents an alicyclic hydrocarbon group, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, and —CH 2 — contained in the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group is —O— , —SO 2 — or —CO—, and the hydrogen atom contained in the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group is replaced with a hydroxy group or a fluorine atom ja represents any integer from 0 to 4.) and the like.
Substituents for the alicyclic hydrocarbon group represented by Y include a halogen atom, a hydroxy group, and an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms optionally substituted by a hydroxy group (-CH 2 - may be replaced with -O- or -CO-.), an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 7 to 21 carbon atoms, aralkyl group, glycidyloxy group, —(CH 2 ) ja —CO—O—R b1 group or —(CH 2 ) ja —O—CO—R b1 group (wherein R b1 is C 1-16 represents an alkyl group, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 16 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or a group combining these, and is included in the alkyl group and the alicyclic hydrocarbon group —CH 2 — may be replaced with —O—, —SO 2 — or —CO—, and hydrogen atoms contained in the alkyl group, the alicyclic hydrocarbon group and the aromatic hydrocarbon group are may be substituted with a hydroxy group or a fluorine atom, and ja represents an integer of 0 to 4).
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロへキシル基、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基は、鎖式炭化水素基を有していてもよく、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基等が挙げられる。脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１２であり、より好ましくは３～１０である。
芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、ビフェニル基、フェナントリル基等のアリール基等が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）、及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－アダマンチルフェニル基、ｐ－シクロへキシルフェニル基等）が好ましい。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１４であり、より好ましくは６～１０である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、２－エチルヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
ヒドロキシ基で置換されているアルキル基としては、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基等のヒドロキシアルキル基が挙げられる。
アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、ナフチルメチル基及びナフチルエチル基等が挙げられる。
アルキル基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、アルコキシ基、アルキルスルホニル基、アルコキシカルボニル基、アルキルカルボニル基、アルキルカルボニルオキシ基又はこれらを組み合わせた基などが挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。アルコキシ基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、プロピルスルホニル基等が挙げられる。アルキルスルホニル基の炭素数は、好ましくは１～１２であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
アルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。アルコキシカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニル基としては、例えば、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。アルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルキルカルボニルオキシ基としては、例えば、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基等が挙げられる。アルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
組み合わせた基としては、例えば、アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基、アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基等が挙げられる。
アルコキシ基とアルキル基とを組み合わせた基としては、例えば、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、エトキシメチル基等のアルコキシアルキル基等が挙げられる。アルコキシアルキル基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルコキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシメトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシメトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシアルコキシ基等が挙げられる。アルコキシアルコキシ基の炭素数は、好ましくは２～１２であり、より好ましくは２～６であり、さらに好ましくは２～４である。
アルコキシ基とアルキルカルボニル基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチル基、メトキシプロピオニル基、エトキシアセチル基、エトキシプロピオニル基等のアルコキシアルキルカルボニル基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニル基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
アルコキシ基とアルキルカルボニルオキシ基とを組み合わせた基としては、メトキシアセチルオキシ基、メトキシプロピオニルオキシ基、エトキシアセチルオキシ基、エトキシプロピオニルオキシ基等のアルコキシアルキルカルボニルオキシ基等が挙げられる。アルコキシアルキルカルボニルオキシ基の炭素数は、好ましくは３～１３であり、より好ましくは３～７であり、さらに好ましくは３～５である。
脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－が－Ｏ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－等で置き換わった基としては、式（Ｙ１２）～式（Ｙ３５）、式（Ｙ３９）～式（Ｙ４３）で表される基が挙げられる。
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
Examples of alicyclic hydrocarbon groups include cyclopentyl, cyclohexyl, methylcyclohexyl, dimethylcyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, norbornyl and adamantyl groups. The alicyclic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group, such as a methylcyclohexyl group and a dimethylcyclohexyl group. The number of carbon atoms in the alicyclic hydrocarbon group is preferably 3-12, more preferably 3-10.
Examples of aromatic hydrocarbon groups include aryl groups such as phenyl, naphthyl, anthryl, biphenyl, and phenanthryl groups. The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, p-methylphenyl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.), and carbon An aromatic hydrocarbon group having an alicyclic hydrocarbon group of number 3 to 18 (p-adamantylphenyl group, p-cyclohexylphenyl group, etc.) is preferred. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group is preferably 6-14, more preferably 6-10.
Examples of alkyl groups include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, 2-ethylhexyl group, octyl group and nonyl. group, decyl group, undecyl group, dodecyl group and the like. The number of carbon atoms in the alkyl group is preferably 1-12, more preferably 1-6, still more preferably 1-4.
Alkyl groups substituted with a hydroxy group include hydroxyalkyl groups such as a hydroxymethyl group and a hydroxyethyl group.
Aralkyl groups include benzyl, phenethyl, phenylpropyl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
The groups in which —CH 2 — contained in the alkyl group is replaced with —O—, —SO 2 —, —CO—, etc. include an alkoxy group, an alkylsulfonyl group, an alkoxycarbonyl group, an alkylcarbonyl group, an alkylcarbonyloxy group, or Groups in which these are combined, and the like are included.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups. The alkoxy group preferably has 1 to 12 carbon atoms, more preferably 1 to 6 carbon atoms, and still more preferably 1 to 4 carbon atoms.
The alkylsulfonyl group includes a methylsulfonyl group, an ethylsulfonyl group, a propylsulfonyl group and the like. The number of carbon atoms in the alkylsulfonyl group is preferably 1-12, more preferably 1-6, still more preferably 1-4.
Examples of alkoxycarbonyl groups include methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl and butoxycarbonyl groups. The alkoxycarbonyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Examples of alkylcarbonyl groups include acetyl group, propionyl group and butyryl group. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyl group is preferably 2-12, more preferably 2-6, still more preferably 2-4.
The alkylcarbonyloxy group includes, for example, an acetyloxy group, a propionyloxy group, a butyryloxy group and the like. The number of carbon atoms in the alkylcarbonyloxy group is preferably 2-12, more preferably 2-6, still more preferably 2-4.
Examples of the combined group include, for example, a group in which an alkoxy group and an alkyl group are combined, a group in which an alkoxy group and an alkoxy group are combined, a group in which an alkoxy group and an alkylcarbonyl group are combined, an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group, and and the like.
Examples of groups in which an alkoxy group and an alkyl group are combined include alkoxyalkyl groups such as a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxyethyl group and an ethoxymethyl group. The alkoxyalkyl group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Groups in which an alkoxy group and an alkoxy group are combined include alkoxyalkoxy groups such as a methoxymethoxy group, a methoxyethoxy group, an ethoxymethoxy group, and an ethoxyethoxy group. The alkoxyalkoxy group preferably has 2 to 12 carbon atoms, more preferably 2 to 6 carbon atoms, and still more preferably 2 to 4 carbon atoms.
Groups in which an alkoxy group and an alkylcarbonyl group are combined include alkoxyalkylcarbonyl groups such as a methoxyacetyl group, a methoxypropionyl group, an ethoxyacetyl group and an ethoxypropionyl group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyl group is preferably 3-13, more preferably 3-7, still more preferably 3-5.
Groups in which an alkoxy group and an alkylcarbonyloxy group are combined include alkoxyalkylcarbonyloxy groups such as a methoxyacetyloxy group, a methoxypropionyloxy group, an ethoxyacetyloxy group, and an ethoxypropionyloxy group. The number of carbon atoms in the alkoxyalkylcarbonyloxy group is preferably 3-13, more preferably 3-7, still more preferably 3-5.
Groups in which —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is replaced with —O—, —SO 2 —, —CO—, etc. include formulas (Y12) to (Y35), formulas (Y39) to A group represented by (Y43) can be mentioned.
Ｙは、好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基であり、より好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～２０の脂環式炭化水素基であり、さらに好ましくは置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基であり、より一層好ましくは置換基を有していてもよいアダマンチル基又は置換基を有していてもよいノルボルニル基であり、該脂環式炭化水素基、アダマンチル基又はノルボルニル基を構成する－ＣＨ２－は－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。具体的には、以下のものが挙げられる。
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－６５）で表されるアニオン〔以下、式番号に応じて「アニオン（Ｂ１－Ａ－１）」等という場合がある。〕が好ましく、式（Ｂ１－Ａ－１）～式（Ｂ１－Ａ－４）、式（Ｂ１－Ａ－９）、式（Ｂ１－Ａ－１０）、式（Ｂ１－Ａ－２４）～式（Ｂ１－Ａ－３３）、式（Ｂ１－Ａ－３６）～式（Ｂ１－Ａ－４０）、式（Ｂ１－Ａ－４７）～式（Ｂ１－Ａ－６５）のいずれかで表されるアニオンがより好ましい。
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとしては、具体的には、特開２０１０－２０４６４６号公報に記載されたアニオンが挙げられる。
Specific examples of the anion in the salt represented by formula (B1) include the anions described in JP-A-2010-204646.
式（Ｂ１）で表される塩におけるアニオンとして好ましくは、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４３）でそれぞれ表されるアニオンが挙げられる。
なかでも、式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－４１）のいずれかで表されるアニオンが好ましい。
また、スルホニルイミドアニオンとしては、以下のものが挙げられる。
Moreover, the following are mentioned as a sulfonylimide anion.
Ｚ＋の有機カチオンとしては、有機オニウムカチオン、有機スルホニウムカチオン、有機ヨードニウムカチオン、有機アンモニウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン及び有機ホスホニウムカチオン等が挙げられる。これらの中でも、有機スルホニウムカチオン及び有機ヨードニウムカチオンが好ましく、アリールスルホニウムカチオンがより好ましい。具体的には、式（ｂ２－１）～式（ｂ２－４）のいずれかで表されるカチオン（以下、式番号に応じて「カチオン（ｂ２－１）」等という場合がある。）が挙げられる。
Ｒb4～Ｒb6は、それぞれ独立に、炭素数１～３０の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～３６の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数１～１２のアルコキシ基、炭素数３～１２の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基又はグリシジルオキシ基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１８の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb4とＲb5とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb7及びＲb8は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
ｍ２及びｎ２は、それぞれ独立に０～５のいずれかの整数を表す。
ｍ２が２以上のとき、複数のＲb7は同一でも異なってもよく、ｎ２が２以上のとき、複数のＲb8は同一でも異なってもよい。
Ｒb9及びＲb10は、それぞれ独立に、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基又は炭素数３～３６の脂環式炭化水素基を表す。
Ｒb9とＲb10とは、互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb11は、水素原子、炭素数１～３６の鎖式炭化水素基、炭素数３～３６の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表す。
Ｒb12は、炭素数１～１２の鎖式炭化水素基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基又は炭素数６～１８の芳香族炭化水素基を表し、該鎖式炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基で置換されていてもよく、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、炭素数１～１２のアルコキシ基又は炭素数１～１２のアルキルカルボニルオキシ基で置換されていてもよい。
Ｒb11とＲb12とは、互いに結合してそれらが結合する－ＣＨ－ＣＯ－を含めて環を形成していてもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｒb13～Ｒb18は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１～１２のフッ化アルキル基又は炭素数１～１２のアルコキシ基を表す。
Ｒb13とＲb14とは、互いに結合してそれらが結合するベンゼン環と一緒になって硫黄原子を含む環を形成してもよく、該環に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－又は－ＣＯ－に置き換わってもよい。
Ｌb31は、硫黄原子又は酸素原子を表す。
ｏ２、ｐ２、ｓ２、及びｔ２は、それぞれ独立に、０～５のいずれかの整数を表す。
ｑ２及びｒ２は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表す。
ｕ２は０又は１を表す。
ｏ２が２以上のとき、複数のＲb13は同一又は相異なり、ｐ２が２以上のとき、複数のＲb14は同一又は相異なり、ｑ２が２以上のとき、複数のＲb15は同一又は相異なり、ｒ２が２以上のとき、複数のＲb16は同一又は相異なり、ｓ２が２以上のとき、複数のＲb17は同一又は相異なり、ｔ２が２以上のとき、複数のＲb18は同一又は相異なる。
ｕ２が０のとき、ｏ２、ｐ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒb13～Ｒb1６のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましく、ｕ２が１のとき、ｏ２、ｐ２、ｓ２、ｔ２、ｑ２及びｒ２のうちいずれか１つは１以上であり、Ｒb13～Ｒb18のうち少なくとも１つはハロゲン原子であることが好ましい。
さらに、ｕ２が０のとき、ｒ２は１以上であることが好ましく、１であることがさらに好ましい。また、ｕ２が０、かつ、ｒ２が１以上のとき、Ｒｂ１６がハロゲン原子であることが好ましい。
脂肪族炭化水素基とは、鎖式炭化水素基及び脂環式炭化水素基を表す。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基及び２－エチルヘキシル基のアルキル基が挙げられる。
特に、Ｒb9～Ｒb12の鎖式炭化水素基は、好ましくは炭素数１～１２である。
脂環式炭化水素基としては、単環式又は多環式のいずれでもよく、単環式の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロデシル基等のシクロアルキル基が挙げられる。多環式の脂環式炭化水素基としては、デカヒドロナフチル基、アダマンチル基、ノルボルニル基及び下記の基等が挙げられる。
水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基としては、メチルシクロヘキシル基、ジメチルシクロへキシル基、２－メチルアダマンタン－２－イル基、２－エチルアダマンタン－２－イル基、２－イソプロピルアダマンタン－２－イル基、メチルノルボルニル基、イソボルニル基等が挙げられる。水素原子が脂肪族炭化水素基で置換された脂環式炭化水素基においては、脂環式炭化水素基と脂肪族炭化水素基との合計炭素数が好ましくは２０以下である。
フッ化アルキル基とは、フッ素原子を有する炭素数１～１２のアルキル基を表し、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、ペルフルオロブチル基等が挙げられる。フッ化アルキル基の炭素数は、好ましくは１～９であり、より好ましくは１～６であり、さらに好ましくは１～４である。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、フェナントリル基等のアリール基が挙げられる。芳香族炭化水素基は、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有していてもよく、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ｐ－エチルフェニル基、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルフェニル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等）及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基を有する芳香族炭化水素基（ｐ－シクロへキシルフェニル基、ｐ－アダマンチルフェニル基等）等が挙げられる。なお、芳香族炭化水素基が、鎖式炭化水素基又は脂環式炭化水素基を有する場合は、炭素数１～１８の鎖式炭化水素基及び炭素数３～１８の脂環式炭化水素基が好ましい。
水素原子がアルコキシ基で置換された芳香族炭化水素基としては、ｐ－メトキシフェニル基等が挙げられる。
水素原子が芳香族炭化水素基で置換された鎖式炭化水素基としては、ベンジル基、フェネチル基、フェニルプロピル基、トリチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、デシルオキシ基及びドデシルオキシ基等が挙げられる。
アルキルカルボニル基としては、アセチル基、プロピオニル基及びブチリル基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子等が挙げられる。
アルキルカルボニルオキシ基としては、メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、プロピルカルボニルオキシ基、イソプロピルカルボニルオキシ基、ブチルカルボニルオキシ基、ｓｅｃ－ブチルカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ－ブチルカルボニルオキシ基、ペンチルカルボニルオキシ基、ヘキシルカルボニルオキシ基、オクチルカルボニルオキシ基及び２－エチルヘキシルカルボニルオキシ基等が挙げられる。
Ｒb4とＲb5とが互いに結合してそれらが結合する硫黄原子と一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、炭素数３～１８の環が挙げられ、好ましくは炭素数４～１８の環である。また、硫黄原子を含む環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環であり、例えば下記の環が挙げられる。＊は結合部位を表す。
Ｒb11とＲb12とが一緒になって形成する環は、単環式、多環式、芳香族性、非芳香族性、飽和及び不飽和のいずれの環であってもよい。この環は、３員環～１２員環が挙げられ、好ましくは３員環～７員環である。オキソシクロヘプタン環、オキソシクロヘキサン環、オキソノルボルナン環、オキソアダマンタン環等が挙げられる。
Organic cations of Z + include organic onium cations, organic sulfonium cations, organic iodonium cations, organic ammonium cations, benzothiazolium cations, organic phosphonium cations, and the like. Among these, organic sulfonium cations and organic iodonium cations are preferred, and arylsulfonium cations are more preferred. Specifically, a cation represented by any one of formulas (b2-1) to (b2-4) (hereinafter sometimes referred to as "cation (b2-1)" etc. depending on the formula number) is mentioned.
R b4 to R b6 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 30 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 36 carbon atoms; The hydrogen atom contained in the chain hydrocarbon group is a hydroxy group, an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 12 carbon atoms, or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms. It may be substituted, and the hydrogen atom contained in the alicyclic hydrocarbon group is a halogen atom, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, or a glycidyloxy group. It may be substituted, and the hydrogen atom contained in the aromatic hydrocarbon group is a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or a carbon It may be substituted with 1 to 12 alkoxy groups.
R b4 and R b5 may be bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S— or -CO- may be substituted.
R b7 and R b8 each independently represents a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. .
m2 and n2 each independently represent an integer of 0 to 5;
When m2 is 2 or more, multiple R b7 may be the same or different, and when n2 is 2 or more, multiple R b8 may be the same or different.
R b9 and R b10 each independently represent a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms or an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms.
R b9 and R b10 may be bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S— or -CO- may be substituted.
R b11 represents a hydrogen atom, a chain hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 36 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms.
R b12 represents a chain hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms or an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and the chain hydrocarbon group The hydrogen atoms contained may be substituted with an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, and the hydrogen atoms contained in the aromatic hydrocarbon groups are alkoxy groups having 1 to 12 carbon atoms or 1 carbon atoms. It may be optionally substituted with ˜12 alkylcarbonyloxy groups.
R b11 and R b12 may be bonded to each other to form a ring including —CH—CO— to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, —S - or -CO- may be substituted.
R b13 to R b18 each independently represents a halogen atom, a hydroxy group, an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 12 carbon atoms. .
R b13 and R b14 may combine with each other to form a sulfur atom-containing ring together with the benzene ring to which they are bonded, and —CH 2 — contained in the ring may be —O—, -S- or -CO- may be substituted.
L b31 represents a sulfur atom or an oxygen atom.
o2, p2, s2, and t2 each independently represent an integer of 0 to 5;
q2 and r2 each independently represent an integer of 0 to 4;
u2 represents 0 or 1;
When o2 is 2 or more, multiple R b13 are the same or different, when p2 is 2 or more, multiple R b14 are the same or different, and when q2 is 2 or more, multiple R b15 are the same or different. , when r2 is 2 or more, the plurality of R b16 are the same or different; when s2 is 2 or more, the plurality of R b17 are the same or different; when t2 is 2 or more, the plurality of R b18 are the same or different; different.
When u2 is 0, any one of o2, p2, q2 and r2 is 1 or more, and at least one of R b13 to R b16 is preferably a halogen atom; Any one of o2, p2, s2, t2, q2 and r2 is 1 or more, and at least one of R b13 to R b18 is preferably a halogen atom.
Furthermore, when u2 is 0, r2 is preferably 1 or more, more preferably 1. Further, when u2 is 0 and r2 is 1 or more, Rb16 is preferably a halogen atom.
An aliphatic hydrocarbon group represents a chain hydrocarbon group and an alicyclic hydrocarbon group.
Chain hydrocarbon groups include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group and 2-ethylhexyl group. mentioned.
In particular, chain hydrocarbon groups of R b9 to R b12 preferably have 1 to 12 carbon atoms.
The alicyclic hydrocarbon group may be either monocyclic or polycyclic, and the monocyclic alicyclic hydrocarbon group includes a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cyclo Cycloalkyl groups such as a heptyl group, a cyclooctyl group, and a cyclodecyl group can be mentioned. The polycyclic alicyclic hydrocarbon group includes decahydronaphthyl group, adamantyl group, norbornyl group and the following groups.
Alicyclic hydrocarbon groups in which hydrogen atoms are substituted with aliphatic hydrocarbon groups include methylcyclohexyl group, dimethylcyclohexyl group, 2-methyladamantan-2-yl group, and 2-ethyladamantan-2-yl group. , 2-isopropyladamantan-2-yl group, methylnorbornyl group, isobornyl group and the like. In the alicyclic hydrocarbon group in which a hydrogen atom is substituted with an aliphatic hydrocarbon group, the total carbon number of the alicyclic hydrocarbon group and the aliphatic hydrocarbon group is preferably 20 or less.
A fluorinated alkyl group means an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms and having a fluorine atom, and includes a fluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a perfluorobutyl group and the like. The number of carbon atoms in the fluorinated alkyl group is preferably 1-9, more preferably 1-6, still more preferably 1-4.
The aromatic hydrocarbon group includes aryl groups such as phenyl group, biphenyl group, naphthyl group and phenanthryl group. The aromatic hydrocarbon group may have a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, and an aromatic hydrocarbon group having a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms (tolyl group, xylyl group, cumenyl group, mesityl group, p-ethylphenyl group, p-tert-butylphenyl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group, etc.) and alicyclic rings having 3 to 18 carbon atoms and aromatic hydrocarbon groups having a hydrocarbon group of formula (p-cyclohexylphenyl group, p-adamantylphenyl group, etc.). In addition, when the aromatic hydrocarbon group has a chain hydrocarbon group or an alicyclic hydrocarbon group, a chain hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms and an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms is preferred.
Aromatic hydrocarbon groups in which a hydrogen atom is substituted with an alkoxy group include a p-methoxyphenyl group and the like.
Chain hydrocarbon groups in which hydrogen atoms are substituted with aromatic hydrocarbon groups include aralkyl groups such as benzyl, phenethyl, phenylpropyl, trityl, naphthylmethyl and naphthylethyl groups.
Alkoxy groups include methoxy, ethoxy, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy, heptyloxy, octyloxy, decyloxy and dodecyloxy groups.
An acetyl group, a propionyl group, a butyryl group, etc. are mentioned as an alkylcarbonyl group.
Halogen atoms include fluorine, chlorine, bromine and iodine atoms.
The alkylcarbonyloxy group includes a methylcarbonyloxy group, an ethylcarbonyloxy group, a propylcarbonyloxy group, an isopropylcarbonyloxy group, a butylcarbonyloxy group, a sec-butylcarbonyloxy group, a tert-butylcarbonyloxy group and a pentylcarbonyloxy group. , hexylcarbonyloxy group, octylcarbonyloxy group and 2-ethylhexylcarbonyloxy group.
The ring formed by R b4 and R b5 bonded together with the sulfur atom to which they are bonded may be monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated. may be a ring of This ring includes a ring having 3 to 18 carbon atoms, preferably a ring having 4 to 18 carbon atoms. Further, the ring containing a sulfur atom includes a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring, and examples thereof include the following rings. * represents a binding site.
The ring formed by R b11 and R b12 together may be a monocyclic, polycyclic, aromatic, non-aromatic, saturated or unsaturated ring. This ring includes a 3- to 12-membered ring, preferably a 3- to 7-membered ring. oxocycloheptane ring, oxocyclohexane ring, oxonorbornane ring, oxoadamantane ring and the like.
カチオン（ｂ２－１）～カチオン（ｂ２－４）の中でも、好ましくは、カチオン（ｂ２－１）である。
カチオン（ｂ２－１）としては、以下のカチオンが挙げられる。
Examples of the cation (b2-1) include the following cations.
酸発生剤（Ｂ）は、上述のアニオン及び上述の有機カチオンの組合せであり、これらは任意に組合せることができる。酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１ａ－１）～式（Ｂ１ａ－４）、式（Ｂ１ａ－７）～式（Ｂ１ａ－１１）、式（Ｂ１ａ－１４）～式（Ｂ１ａ－３０）及び式（Ｂ１ａ－３５）～式（Ｂ１ａ－４１）のいずれかで表されるアニオンと、カチオン（ｂ２－１）、カチオン（ｂ２－２）、カチオン（ｂ２－３）又はカチオン（ｂ２－４）との組合せが挙げられる。 The acid generator (B) is a combination of the aforementioned anions and the aforementioned organic cations, and these can be combined arbitrarily. As the acid generator (B), preferably formulas (B1a-1) to (B1a-4), formulas (B1a-7) to (B1a-11), formulas (B1a-14) to (B1a- 30) and an anion represented by any one of formulas (B1a-35) to (B1a-41), and cation (b2-1), cation (b2-2), cation (b2-3) or cation (b2 -4).
酸発生剤（Ｂ）としては、好ましくは式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－６０）でそれぞれ表されるものが挙げられる。中でもアリールスルホニウムカチオンを含むものが好ましく、式（Ｂ１－１）～式（Ｂ１－３）、式（Ｂ１－５）～式（Ｂ１－７）、式（Ｂ１－１１）～式（Ｂ１－１４）、式（Ｂ１－２０）～式（Ｂ１－２６）、式（Ｂ１－２９）、式（Ｂ１－３１）～式（Ｂ１－６０）で表されるものがとりわけ好ましい。
本発明のレジスト組成物においては、酸発生剤の含有率は、レジスト組成物の固形分に対して、好ましくは０．１質量％以上９９．９質量％以下であり、より好ましくは１質量％以上４５質量％以下であり、さらに好ましくは１質量％以上４０質量％以下であり、より一層好ましくは３質量％以上４０質量％以下である。樹脂（Ａ）等を含む場合、酸発生剤の含有率は、樹脂（Ａ）等１００質量部に対して、好ましくは１質量部以上４５質量部以下であり、より好ましくは１質量部以上４０質量部以下であり、さらに好ましくは３質量部以上３５質量部以下である。 In the resist composition of the present invention, the content of the acid generator is preferably 0.1% by mass or more and 99.9% by mass or less, more preferably 1% by mass, based on the solid content of the resist composition. 45 mass % or less, more preferably 1 mass % or more and 40 mass % or less, and still more preferably 3 mass % or more and 40 mass % or less. When the resin (A) or the like is included, the content of the acid generator is preferably 1 part by mass or more and 45 parts by mass or less, more preferably 1 part by mass or more and 40 parts by mass, per 100 parts by mass of the resin (A) etc. It is not more than 3 parts by mass, and more preferably 3 parts by mass or more and 35 parts by mass or less.
＜溶剤（Ｅ）＞
溶剤（Ｅ）の含有率は、レジスト組成物中、通常９０質量％以上９９．９質量％以下であり、好ましくは９２質量％以上９９質量％以下であり、より好ましくは９４質量％以上９９質量％以下である。溶剤（Ｅ）の含有率は、例えば液体クロマトグラフィー又はガスクロマトグラフィー等の公知の分析手段で測定できる。
<Solvent (E)>
The content of the solvent (E) in the resist composition is usually 90% by mass or more and 99.9% by mass or less, preferably 92% by mass or more and 99% by mass or less, more preferably 94% by mass or more and 99% by mass. % or less. The content of the solvent (E) can be measured by known analytical means such as liquid chromatography or gas chromatography.
溶剤（Ｅ）としては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル類；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類；乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチル等のエステル類；アセトン、メチルイソブチルケトン、２－ヘプタノン及びシクロヘキサノン等のケトン類；γ－ブチロラクトン等の環状エステル類；等を挙げることができる。溶剤（Ｅ）の１種を単独で使用してもよく、２種以上を使用してもよい。 Examples of the solvent (E) include glycol ether esters such as ethyl cellosolve acetate, methyl cellosolve acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; glycol ethers such as propylene glycol monomethyl ether; ethyl lactate, butyl acetate, amyl acetate and ethyl pyruvate; ketones such as acetone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone and cyclohexanone; cyclic esters such as γ-butyrolactone; One kind of the solvent (E) may be used alone, or two or more kinds may be used.
＜クエンチャー（Ｃ）＞
クエンチャー（Ｃ）としては、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩、及び塩基性の含窒素有機化合物が挙げられる。クエンチャー（Ｃ）の含有量は、レジスト組成物の固形分量を基準に、０．０１～１５質量％程度であることが好ましく、０．０１～１０質量％程度であることがより好ましく、０．１～８質量％程度であることがさらに好ましく、０．１～７質量％程度であることがさらにより好ましい。
<Quencher (C)>
Examples of the quencher (C) include salts that generate an acid that is weaker in acidity than the acid generated from the acid generator, and basic nitrogen-containing organic compounds. The content of the quencher (C) is preferably about 0.01 to 15% by mass, more preferably about 0.01 to 10% by mass, based on the solid content of the resist composition. About 0.1 to 8% by mass is more preferable, and about 0.1 to 7% by mass is even more preferable.
＜酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩＞
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩における酸性度は、酸解離定数（ｐＫａ）で示される。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩は、該塩から発生する酸の酸解離定数が、通常－３＜ｐＫａの塩であり、好ましくは－１＜ｐＫａ＜７の塩であり、より好ましくは０＜ｐＫａ＜５の塩である。
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩としては、下記式で表される塩、特開２０１５－１４７９２６号公報記載の式（Ｄ）で表される塩（以下、「弱酸分子内塩（Ｄ）」という場合がある。）、並びに特開２０１２－２２９２０６号公報、特開２０１２－６９０８号公報、特開２０１２－７２１０９号公報、特開２０１１－３９５０２号公報及び特開２０１１－１９１７４５号公報記載の塩が挙げられる。酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩として、好ましくは、酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱いカルボン酸を発生する塩（カルボン酸アニオンを有する塩）であり、より好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）であり、さらに好ましくは、弱酸分子内塩（Ｄ）のうち、カルボン酸アニオンが置換されたフェニル基を含むジフェニルヨードニウム塩である。
The acidity of a salt that generates an acid that is weaker than the acid generated from the acid generator is indicated by the acid dissociation constant (pKa). The salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated from the acid generator is a salt in which the acid dissociation constant of the acid generated from the salt is usually -3<pKa, preferably -1<pKa<7. and more preferably a salt with 0<pKa<5.
Examples of the salt that generates an acid that is weaker in acidity than the acid generated from the acid generator include salts represented by the following formula, and salts represented by the formula (D) described in JP-A-2015-147926 (hereinafter referred to as Sometimes referred to as "weak acid inner salt (D)".), and JP 2012-229206, JP 2012-6908, JP 2012-72109, JP 2011-39502 and patent Examples thereof include salts described in JP-A-2011-191745. The salt that generates an acid weaker in acidity than the acid generated by the acid generator is preferably a salt that generates a carboxylic acid that is weaker in acidity than the acid generated by the acid generator (a salt having a carboxylic acid anion). More preferably, it is the weak acid inner salt (D), and among the weak acid inner salts (D), diphenyl iodonium salts containing a phenyl group substituted with a carboxylate anion are more preferred.
弱酸分子内塩（Ｄ）としては、２つのフェニル基が結合したヨードニウムカチオンと、ヨードニウムカチオンに結合した２つのフェニル基のうち少なくとも一方のフェニル基に置換されたカルボン酸アニオンと、を有するジフェニルヨードニウム塩であることが好ましく、以下の式で表される塩が挙げられる。
ＲD1及びＲD2は、それぞれ独立に、炭素数１～１２の炭化水素基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～７のアシル基、炭素数２～７のアシルオキシ基、炭素数２～７のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子を表す。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ’が２以上の場合、複数のＲD1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲD2は同一であっても異なってもよい。］
ＲD1及びＲD2の炭化水素基としては、鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基及びこれらを組み合わせることにより形成される基等が挙げられる。
鎖式炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ノニル基等のアルキル基が挙げられる。
脂環式炭化水素基としては、単環式及び多環式のいずれでもよく、飽和及び不飽和のいずれでもよい。シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロへキシル基、シクロノニル基、シクロドデシル基等のシクロアルキル基、ノルボニル基、アダマンチル基等が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニル基、１－ナフチル基、２－ナフチル基、２－メチルフェニル基、３－メチルフェニル基、４－メチルフェニル基、４－エチルフェニル基、４－プロピルフェニル基、４－イソプロピルフェニル基、４－ブチルフェニル基、４－ｔ－ブチルフェニル基、４－ヘキシルフェニル基、４－シクロヘキシルフェニル基、アントリル基、ｐ－アダマンチルフェニル基、トリル基、キシリル基、クメニル基、メシチル基、ビフェニル基、フェナントリル基、２，６－ジエチルフェニル基、２－メチル－６－エチルフェニル基等のアリール基等が挙げられる。
これらを組み合わせることにより形成される基としては、アルキル－シクロアルキル基、シクロアルキル－アルキル基、アラルキル基（例えば、フェニルメチル基、１－フェニルエチル基、２－フェニルエチル基、１－フェニル－１－プロピル基、１－フェニル－２－プロピル基、２－フェニル－２－プロピル基、３－フェニル－１－プロピル基、４－フェニル－１－ブチル基、５－フェニル－１－ペンチル基、６－フェニル－１－ヘキシル基等）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基等が挙げられる。
アシル基としては、アセチル基、プロパノイル基、ベンゾイル基、シクロヘキサンカルボニル基等が挙げられる。
アシルオキシ基としては、上記アシル基にオキシ基（－Ｏ－）が結合した基等が挙げられる。
アルコキシカルボニル基としては、上記アルコキシ基にカルボニル基（－ＣＯ－）が結合した基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
ＲD1及びＲD2は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～４のアシル基、炭素数２～４のアシルオキシ基、炭素数２～４のアルコキシカルボニル基、ニトロ基又はハロゲン原子が好ましい。
ｍ’及びｎ’は、それぞれ独立に、０～２のいずれかの整数であることが好ましく、０であることがより好ましい。ｍ’が２以上の場合、複数のＲD1は同一であっても異なってもよく、ｎ’が２以上の場合、複数のＲD2は同一であっても異なってもよい。
より具体的には、以下の塩が挙げられる。
R D1 and R D2 are each independently a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 7 carbon atoms, an acyloxy group having 2 to 7 carbon atoms, and a carbon number represents 2 to 7 alkoxycarbonyl groups, nitro groups or halogen atoms;
m' and n' each independently represent an integer of 0 to 4, and when m' is 2 or more, the plurality of R D1 may be the same or different, and n' is 2 or more , the plurality of R D2 may be the same or different. ]
Examples of hydrocarbon groups for R D1 and R D2 include chain hydrocarbon groups, alicyclic hydrocarbon groups, aromatic hydrocarbon groups, groups formed by combining these groups, and the like.
Chain hydrocarbon groups include alkyl groups such as methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group and nonyl group.
The alicyclic hydrocarbon group may be monocyclic or polycyclic, and may be saturated or unsaturated. cycloalkyl groups such as cyclopropyl group, cyclobutyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, cyclononyl group and cyclododecyl group; norbornyl group; adamantyl group;
Aromatic hydrocarbon groups include phenyl, 1-naphthyl, 2-naphthyl, 2-methylphenyl, 3-methylphenyl, 4-methylphenyl, 4-ethylphenyl and 4-propylphenyl groups. , 4-isopropylphenyl group, 4-butylphenyl group, 4-t-butylphenyl group, 4-hexylphenyl group, 4-cyclohexylphenyl group, anthryl group, p-adamantylphenyl group, tolyl group, xylyl group, cumenyl group , mesityl group, biphenyl group, phenanthryl group, 2,6-diethylphenyl group, 2-methyl-6-ethylphenyl group and the like.
Groups formed by combining these groups include alkyl-cycloalkyl groups, cycloalkyl-alkyl groups, aralkyl groups (e.g., phenylmethyl group, 1-phenylethyl group, 2-phenylethyl group, 1-phenyl-1 -propyl group, 1-phenyl-2-propyl group, 2-phenyl-2-propyl group, 3-phenyl-1-propyl group, 4-phenyl-1-butyl group, 5-phenyl-1-pentyl group, 6 -phenyl-1-hexyl group, etc.).
The alkoxy group includes a methoxy group, an ethoxy group, and the like.
The acyl group includes acetyl group, propanoyl group, benzoyl group, cyclohexanecarbonyl group and the like.
Examples of the acyloxy group include groups in which an oxy group (--O--) is bonded to the above acyl group.
Examples of the alkoxycarbonyl group include groups in which a carbonyl group (--CO--) is bonded to the above alkoxy group.
A fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom etc. are mentioned as a halogen atom.
R D1 and R D2 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an acyl group having 2 to 4 carbon atoms, and an acyl group having 2 to 4 carbon atoms. Acyloxy groups having 2 to 4 carbon atoms, alkoxycarbonyl groups having 2 to 4 carbon atoms, nitro groups or halogen atoms are preferred.
Each of m' and n' is preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0. When m' is 2 or more, multiple R D1 may be the same or different, and when n' is 2 or more, multiple R D2 may be the same or different.
More specific examples include the following salts.
塩基性の含窒素有機化合物としては、アミン及びアンモニウム塩が挙げられる。アミンとしては、脂肪族アミン及び芳香族アミンが挙げられる。脂肪族アミンとしては、第一級アミン、第二級アミン及び第三級アミンが挙げられる。
アミンとしては、１－ナフチルアミン、２－ナフチルアミン、アニリン、ジイソプロピルアニリン、２－，３－又は４－メチルアニリン、４－ニトロアニリン、Ｎ－メチルアニリン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアニリン、ジフェニルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２－（２－メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４’－ジアミノ－１，２－ジフェニルエタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジメチルジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチルジフェニルメタン、２，２’－メチレンビスアニリン、イミダゾール、４－メチルイミダゾール、ピリジン、４－メチルピリジン、１，２－ジ（２－ピリジル）エタン、１，２－ジ（４－ピリジル）エタン、１，２－ジ（２－ピリジル）エテン、１，２－ジ（４－ピリジル）エテン、１，３－ジ（４－ピリジル）プロパン、１，２－ジ（４－ピリジルオキシ）エタン、ジ（２－ピリジル）ケトン、４，４’－ジピリジルスルフィド、４，４’－ジピリジルジスルフィド、２，２’－ジピリジルアミン、２，２’－ジピコリルアミン、ビピリジン等が挙げられ、好ましくはジイソプロピルアニリン等の芳香族アミンが挙げられ、より好ましくは２，６－ジイソプロピルアニリンが挙げられる。
アンモニウム塩としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラオクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３－（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ－ｎ－ブチルアンモニウムサリチラート及びコリン等が挙げられる。
Basic nitrogen-containing organic compounds include amines and ammonium salts. Amines include aliphatic amines and aromatic amines. Aliphatic amines include primary, secondary and tertiary amines.
Amines include 1-naphthylamine, 2-naphthylamine, aniline, diisopropylaniline, 2-, 3- or 4-methylaniline, 4-nitroaniline, N-methylaniline, N,N-dimethylaniline, diphenylamine, hexylamine, heptylamine, octylamine, nonylamine, decylamine, dibutylamine, dipentylamine, dihexylamine, diheptylamine, dioctylamine, dinonylamine, didecylamine, triethylamine, trimethylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine, trihexylamine, tri heptylamine, trioctylamine, trinonylamine, tridecylamine, methyldibutylamine, methyldipentylamine, methyldihexylamine, methyldicyclohexylamine, methyldiheptylamine, methyldioctylamine, methyldinonylamine, methyldidecylamine, ethyldibutylamine, ethyldipentylamine, ethyldihexylamine, ethyldiheptylamine, ethyldioctylamine, ethyldinonylamine, ethyldidecylamine, dicyclohexylmethylamine, tris[2-(2-methoxyethoxy)ethyl]amine, tri isopropanolamine, ethylenediamine, tetramethylenediamine, hexamethylenediamine, 4,4'-diamino-1,2-diphenylethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldiphenylmethane, 4,4'-diamino-3 , 3′-diethyldiphenylmethane, 2,2′-methylenebisaniline, imidazole, 4-methylimidazole, pyridine, 4-methylpyridine, 1,2-di(2-pyridyl)ethane, 1,2-di(4- pyridyl)ethane, 1,2-di(2-pyridyl)ethene, 1,2-di(4-pyridyl)ethene, 1,3-di(4-pyridyl)propane, 1,2-di(4-pyridyloxy ) ethane, di(2-pyridyl) ketone, 4,4′-dipyridyl sulfide, 4,4′-dipyridyl disulfide, 2,2′-dipyridylamine, 2,2′-dipicolylamine, bipyridine and the like, Aromatic amines such as diisopropylaniline are preferred, and 2,6-diisopropylaniline is more preferred.
Ammonium salts include tetramethylammonium hydroxide, tetraisopropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, tetrahexylammonium hydroxide, tetraoctylammonium hydroxide, phenyltrimethylammonium hydroxide, 3-(trifluoromethyl)phenyltrimethyl ammonium hydroxide, tetra-n-butylammonium salicylate and choline;
〈その他の成分〉
本発明のレジスト組成物は、必要に応じて、上述の成分以外の成分（以下「その他の成分（Ｆ）」という場合がある。）を含有していてもよい。その他の成分（Ｆ）に特に限定はなく、レジスト分野で公知の添加剤、例えば、増感剤、溶解抑止剤、界面活性剤、安定剤、染料等を利用できる。
<Other ingredients>
The resist composition of the present invention may optionally contain components other than the components described above (hereinafter sometimes referred to as "other components (F)"). Other components (F) are not particularly limited, and additives known in the field of resists, such as sensitizers, dissolution inhibitors, surfactants, stabilizers, dyes, etc., can be used.
〈レジスト組成物の調製〉
本発明のレジスト組成物は、式（Ｉ）で表される塩又は式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂、任意に、樹脂（Ａ）、酸発生剤（Ｂ）、樹脂（Ａ）以外の樹脂、溶剤（Ｅ）、クエンチャー（Ｃ）及びその他の成分（Ｆ）等を混合することにより調製することができる。混合順は任意であり、特に限定されるものではない。混合する際の温度は、１０～４０℃から、樹脂等の種類や樹脂等の溶剤（Ｅ）に対する溶解度等に応じて適切な温度を選ぶことができる。混合時間は、混合温度に応じて、０．５～２４時間の中から適切な時間を選ぶことができる。なお、混合手段も特に制限はなく、攪拌混合等を用いることができる。
各成分を混合した後は、孔径０．００３～０．２μｍ程度のフィルターを用いてろ過することが好ましい。
<Preparation of resist composition>
The resist composition of the present invention comprises a resin containing a salt represented by formula (I) or a structural unit represented by formula (IP), optionally resin (A), acid generator (B), resin (A ), a solvent (E), a quencher (C), other components (F), and the like. The mixing order is arbitrary and not particularly limited. The temperature during mixing can be appropriately selected from 10 to 40° C. depending on the type of resin and the solubility of the resin in the solvent (E). An appropriate mixing time can be selected from 0.5 to 24 hours depending on the mixing temperature. The mixing means is also not particularly limited, and stirring and mixing can be used.
After mixing each component, it is preferable to filter using a filter having a pore size of about 0.003 to 0.2 μm.
〈レジストパターンの製造方法〉
本発明のレジストパターンの製造方法は、
（１）本発明のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程を含む。
レジスト組成物を基板上に塗布するには、スピンコーター等、通常、用いられる装置によって行うことができる。基板としては、シリコンウェハ等の無機基板、表面にレジスト膜等が形成された有機基板が挙げられる。レジスト組成物を塗布する前に、基板を洗浄してもよく、基板上に反射防止膜等が形成されていてもよい。
塗布後の組成物を乾燥することにより、溶剤を除去し、組成物層を形成する。乾燥は、例えば、ホットプレート等の加熱装置を用いて溶剤を蒸発させること（いわゆるプリベーク）により行うか、あるいは減圧装置を用いて行う。加熱温度は、５０～２００℃であることが好ましく、加熱時間は、１０～１８０秒間であることが好ましい。また、減圧乾燥する際の圧力は、１～１．０×１０5Ｐａ程度であることが好ましい。
得られた組成物層に、通常、露光機を用いて露光する。露光機は、液浸露光機であってもよい。露光光源としては、ＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）、Ｆ2エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）のような紫外域のレーザ光を放射するもの、固体レーザ光源（ＹＡＧ又は半導体レーザ等）からのレーザ光を波長変換して遠紫外域または真空紫外域の高調波レーザ光を放射するもの、電子線や、超紫外光（ＥＵＶ）を照射するもの等、種々のものを用いることができる。尚、本明細書において、これらの放射線を照射することを総称して「露光」という場合がある。露光の際、通常、求められるパターンに相当するマスクを介して露光が行われる。露光光源が電子線の場合は、マスクを用いずに直接描画により露光してもよい。
露光後の組成物層を、酸不安定基における脱保護反応を促進するために加熱処理（いわゆるポストエキスポジャーベーク）を行う。加熱温度は、通常５０～２００℃程度、好ましくは７０～１５０℃程度である。加熱後の組成物の表面側にある樹脂の親水性又は疎水性を調整する化学処理（シリル化）を行ってもよい。また、現像を行う前に、露光後の組成物層上に、レジスト組成物の塗布、乾燥、露光、加熱の工程を繰り返し行ってもよい。
加熱後の組成物層を、通常、現像装置を用いて、現像液を利用して現像する。現像方法としては、ディップ法、パドル法、スプレー法、ダイナミックディスペンス法等が挙げられる。現像温度は、例えば、５～６０℃であることが好ましく、現像時間は、例えば、５～３００秒間であることが好ましい。現像液の種類を以下のとおりに選択することにより、ポジ型レジストパターン又はネガ型レジストパターンを製造できる。
本発明のレジスト組成物からポジ型レジストパターンを製造する場合は、現像液としてアルカリ現像液を用いる。アルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であればよい。例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２－ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液等が挙げられる。アルカリ現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。
現像後レジストパターンを超純水で洗浄し、次いで、基板及びパターン上に残った水を除去することが好ましい。
本発明のレジスト組成物からネガ型レジストパターンを製造する場合は、現像液として有機溶剤を含む現像液（以下「有機系現像液」という場合がある）を用いる。
有機系現像液に含まれる有機溶剤としては、２－ヘキサノン、２－ヘプタノン等のケトン溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のグリコールエーテルエステル溶剤；酢酸ブチル等のエステル溶剤；プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤；Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド等のアミド溶剤；アニソール等の芳香族炭化水素溶剤等が挙げられる。
有機系現像液中、有機溶剤の含有率は、９０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９５質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に有機溶剤のみであることがさらに好ましい。
中でも、有機系現像液としては、酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンを含む現像液が好ましい。有機系現像液中、酢酸ブチル及び２－ヘプタノンの合計含有率は、５０質量％以上１００質量％以下が好ましく、９０質量％以上１００質量％以下がより好ましく、実質的に酢酸ブチル及び／又は２－ヘプタノンのみであることがさらに好ましい。
有機系現像液には、界面活性剤が含まれていてもよい。また、有機系現像液には、微量の水分が含まれていてもよい。
現像の際、有機系現像液とは異なる種類の溶剤に置換することにより、現像を停止してもよい。
現像後のレジストパターンをリンス液で洗浄することが好ましい。リンス液としては、レジストパターンを溶解しないものであれば特に制限はなく、一般的な有機溶剤を含む溶液を使用することができ、好ましくはアルコール溶剤又はエステル溶剤である。
洗浄後は、基板及びパターン上に残ったリンス液を除去することが好ましい。
<Method for manufacturing resist pattern>
The method for producing a resist pattern of the present invention comprises:
(1) a step of applying the resist composition of the present invention onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) heating the exposed composition layer; and (5) developing the heated composition layer.
The coating of the resist composition on the substrate can be carried out using a commonly used device such as a spin coater. Examples of the substrate include an inorganic substrate such as a silicon wafer, and an organic substrate having a resist film or the like formed on the surface thereof. Before applying the resist composition, the substrate may be washed, and an antireflection film or the like may be formed on the substrate.
By drying the applied composition, the solvent is removed and a composition layer is formed. Drying is carried out, for example, by evaporating the solvent using a heating device such as a hot plate (so-called pre-baking), or by using a decompression device. The heating temperature is preferably 50 to 200° C., and the heating time is preferably 10 to 180 seconds. Moreover, the pressure for drying under reduced pressure is preferably about 1 to 1.0×10 5 Pa.
The resulting composition layer is usually exposed using an exposure machine. The exposure machine may be an immersion exposure machine. As the exposure light source, a KrF excimer laser (wavelength: 248 nm), an ArF excimer laser (wavelength: 193 nm), an F2 excimer laser (wavelength: 157 nm) that emits a laser beam in the ultraviolet region, a solid-state laser source (YAG or semiconductor laser etc.) and emits harmonic laser light in the far ultraviolet region or vacuum ultraviolet region by wavelength conversion, electron beam, extreme ultraviolet light (EUV), etc. can be done. In the present specification, these irradiations with radiation may be collectively referred to as "exposure". During exposure, exposure is usually performed through a mask corresponding to the desired pattern. When the exposure light source is an electron beam, exposure may be performed by direct drawing without using a mask.
The exposed composition layer is subjected to a heat treatment (so-called post-exposure bake) in order to promote the deprotection reaction at the acid-labile groups. The heating temperature is usually about 50 to 200°C, preferably about 70 to 150°C. A chemical treatment (silylation) may be performed to adjust the hydrophilicity or hydrophobicity of the resin on the surface side of the composition after heating. Moreover, before the development, the steps of applying a resist composition, drying, exposing, and heating may be repeatedly performed on the exposed composition layer.
The composition layer after heating is usually developed using a developer using a developing device. The developing method includes a dipping method, a paddle method, a spraying method, a dynamic dispensing method, and the like. The development temperature is preferably, for example, 5 to 60° C., and the development time is preferably, for example, 5 to 300 seconds. A positive resist pattern or a negative resist pattern can be produced by selecting the type of developer as follows.
When producing a positive resist pattern from the resist composition of the present invention, an alkaline developer is used as the developer. The alkaline developer may be any of various alkaline aqueous solutions used in this field. Examples thereof include aqueous solutions of tetramethylammonium hydroxide and (2-hydroxyethyl)trimethylammonium hydroxide (commonly known as choline). The alkaline developer may contain a surfactant.
It is preferable to wash the resist pattern with ultrapure water after development, and then remove water remaining on the substrate and pattern.
When producing a negative resist pattern from the resist composition of the present invention, a developer containing an organic solvent (hereinafter sometimes referred to as "organic developer") is used as the developer.
Examples of organic solvents contained in the organic developer include ketone solvents such as 2-hexanone and 2-heptanone; glycol ether ester solvents such as propylene glycol monomethyl ether acetate; ester solvents such as butyl acetate; glycols such as propylene glycol monomethyl ether. ether solvents; amide solvents such as N,N-dimethylacetamide; aromatic hydrocarbon solvents such as anisole;
The content of the organic solvent in the organic developer is preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 95% by mass or more and 100% by mass or less, and still more preferably substantially only the organic solvent.
Among them, as the organic developer, a developer containing butyl acetate and/or 2-heptanone is preferable. The total content of butyl acetate and 2-heptanone in the organic developer is preferably 50% by mass or more and 100% by mass or less, more preferably 90% by mass or more and 100% by mass or less, and substantially contains butyl acetate and/or 2-heptanone. - more preferably only heptanone.
The organic developer may contain a surfactant. In addition, the organic developer may contain a very small amount of water.
During development, the development may be stopped by replacing the organic developer with a solvent of a different type.
It is preferable to wash the resist pattern after development with a rinsing liquid. The rinse liquid is not particularly limited as long as it does not dissolve the resist pattern, and a solution containing a general organic solvent can be used, preferably an alcohol solvent or an ester solvent.
After cleaning, it is preferable to remove the rinse liquid remaining on the substrate and pattern.
〈用途〉
本発明のレジスト組成物は、ＫｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、ＡｒＦエキシマレーザ露光用のレジスト組成物、電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物、特に電子線（ＥＢ）露光用のレジスト組成物又はＥＵＶ露光用のレジスト組成物として好適であり、半導体の微細加工に有用である。
<Application>
The resist composition of the present invention is a resist composition for KrF excimer laser exposure, a resist composition for ArF excimer laser exposure, a resist composition for electron beam (EB) exposure or a resist composition for EUV exposure. It is suitable as a resist composition for line (EB) exposure or as a resist composition for EUV exposure, and is useful for microfabrication of semiconductors.
実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す「％」及び「部」は、特記しないかぎり質量基準である。
重量平均分子量は、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーにより求めた値である。なお、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーの分析条件は下記のとおりである。
カラム：TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn（東ソー社製）
溶離液：テトラヒドロフラン
流量：1.0mL／min
検出器：RI検出器
カラム温度：40℃
注入量：100μl
分子量標準：標準ポリスチレン（東ソー社製）
化合物の構造は、質量分析（ＬＣはＡｇｉｌｅｎｔ製１１００型、ＭＡＳＳはＡｇｉｌｅｎｔ製ＬＣ／ＭＳＤ型）を用い、分子イオンピークを測定することで確認した。以下の実施例ではこの分子イオンピークの値を「ＭＡＳＳ」で示す。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to examples. In the examples, "%" and "parts" representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.
A weight average molecular weight is the value calculated|required by the gel permeation chromatography. The analysis conditions for gel permeation chromatography are as follows.
Column: TSKgel Multipore HXL-M x 3+guardcolumn (manufactured by Tosoh Corporation)
Eluent: Tetrahydrofuran Flow rate: 1.0 mL/min
Detector: RI detector Column temperature: 40℃
Injection volume: 100 μl
Molecular weight standard: Standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation)
The structure of the compound was confirmed by measuring the molecular ion peak using mass spectrometry (LC: Agilent Model 1100, MASS: Agilent Model LC/MSD). In the following examples, the value of this molecular ion peak is indicated by "MASS".
実施例１：式（Ｉ－１６９）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ７５２．８
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 1: Synthesis of salt represented by formula (I-169)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 752.8
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例２：式（Ｉ－１８３）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ７２４．８
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 2: Synthesis of salt represented by formula (I-183)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 724.8
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例３：式（Ｉ－３０９）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ５８７．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 3: Synthesis of salt represented by formula (I-309)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 587.0
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例４：式（Ｉ－３１０）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ５８７．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 4: Synthesis of salt represented by formula (I-310)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 587.0
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例５：式（Ｉ－３２４）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ５７３．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 5: Synthesis of salt represented by formula (I-324)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 573.0
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例６：式（Ｉ－３５２）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ５８９．０
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 6: Synthesis of salt represented by formula (I-352)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 589.0
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
実施例７：式（Ｉ－９５４）で表される塩の合成
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（＋）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ＋ ６０２．９
ＭＡＳＳ（ＥＳＩ（－）Ｓｐｅｃｔｒｕｍ）：Ｍ－ ４０７．１
Example 7: Synthesis of salt represented by formula (I-954)
MASS (ESI (+) Spectrum): M + 602.9
MASS (ESI (-) Spectrum): M - 407.1
樹脂の合成
樹脂（Ａ）の合成に使用した化合物（モノマー）を下記に示す。以下、これらの化合物をその式番号に応じて、「モノマー（ａ１－１－３）」等という。
実施例８〔樹脂Ａ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－１６９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－１６９）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ１を収率６０％で得た。この樹脂Ａ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-169), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-169)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A1 having a weight average molecular weight of about 5.5×10 3 with a yield of 60%. This resin A1 has the following structural units.
実施例９〔樹脂Ａ２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－１８３）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－１８３）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．３×１０３である樹脂Ａ２を収率６３％で得た。この樹脂Ａ２は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-183), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-183)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A2 having a weight average molecular weight of about 5.3×10 3 with a yield of 63%. This resin A2 has the following structural units.
実施例１０〔樹脂Ａ３の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－３０９）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－３０９）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．２×１０３である樹脂Ａ３を収率６６％で得た。この樹脂Ａ３は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-309), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-309)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A3 having a weight average molecular weight of about 5.2×10 3 with a yield of 66%. This resin A3 has the following structural units.
実施例１１〔樹脂Ａ４の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．３×１０３である樹脂Ａ４を収率６８％で得た。この樹脂Ａ４は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-310), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-310)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A4 having a weight average molecular weight of about 5.3×10 3 with a yield of 68%. This resin A4 has the following structural units.
実施例１２〔樹脂Ａ５の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－１３）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－１３）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．３×１０３である樹脂Ａ５を収率６１％で得た。この樹脂Ａ５は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-13) and monomer ( I-310), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-13): Monomer (I-310)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators in an amount of 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid was added to the polymerization reaction liquid in an amount of 2.0 times the mass of the total amount of all the monomers, and the mixture was stirred for 12 hours and then separated. The recovered organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and recovered to obtain Resin A5 having a weight average molecular weight of about 5.3×10 3 with a yield of 61%. This resin A5 has the following structural units.
実施例１３〔樹脂Ａ６の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．３×１０３である樹脂Ａ６を収率８１％で得た。この樹脂Ａ６は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, using monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer (I-310), the mole The ratio [monomer (a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):monomer (a1-4-2):monomer (I-310)] is 55:3 :12:25:5, and this monomer mixture was further mixed with 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone with respect to the total mass of all the monomers. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. After that, an aqueous p-toluenesulfonic acid solution was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the mass of the total mass of all the monomers, and the mixture was stirred for 12 hours and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A6 having a weight average molecular weight of about 5.3×10 3 with a yield of 81%. This resin A6 has the following structural units.
実施例１４〔樹脂Ａ７の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－１３）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－１３）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．４×１０３である樹脂Ａ７を収率７３％で得た。この樹脂Ａ７は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, using monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-13) and monomer (I-310), the mole The ratio [monomer (a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):monomer (a1-4-13):monomer (I-310)] is 55:3 :12:25:5, and this monomer mixture was further mixed with 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone with respect to the total mass of all the monomers. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A7 having a weight average molecular weight of about 5.4×10 3 with a yield of 73%. This resin A7 has the following structural units.
実施例１５〔樹脂Ａ８の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－１９）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－１９）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して、２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ８を収率６９％で得た。この樹脂Ａ８は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, using monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-19) and monomer (I-310), the mole The ratio [monomer (a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):monomer (a1-4-19):monomer (I-310)] is 55:3 :12:25:5, and this monomer mixture was further mixed with 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone with respect to the total mass of all the monomers. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators in an amount of 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous p-toluenesulfonic acid solution (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount 2.0 times the weight of the total weight of all monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A8 having a weight average molecular weight of about 5.5×10 3 with a yield of 69%. This resin A8 has the following structural units.
実施例１６〔樹脂Ａ９の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２０）及びモノマー（Ｉ－３１０）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２０）：モノマー（Ｉ－３１０）〕が、５５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して、２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂Ａ９を収率６１％で得た。この樹脂Ａ９は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, using monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-20) and monomer (I-310), the mole The ratio [monomer (a1-2-6):monomer (a2-1-3):monomer (a3-4-2):monomer (a1-4-20):monomer (I-310)] is 55:3 :12:25:5, and this monomer mixture was further mixed with 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone with respect to the total mass of all the monomers. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) in an amount of 2.0 times the mass of all monomers was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A9 having a weight average molecular weight of about 5.5×10 3 with a yield of 61%. This resin A9 has the following structural units.
実施例１７〔樹脂Ａ１０の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－３２４）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－３２４）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．２×１０３である樹脂Ａ１０を収率７０％で得た。この樹脂Ａ１０は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-324), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-324)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators in an amount of 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) in an amount of 2.0 times the total weight of all monomers was added to the polymerization reaction solution, stirred for 12 hours, and separated. The recovered organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and recovered to obtain Resin A10 having a weight average molecular weight of about 5.2×10 3 with a yield of 70%. This resin A10 has the following structural units.
実施例１８〔樹脂Ａ１１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－３５２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－３５２）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．３×１０３である樹脂Ａ１１を収率６６％で得た。この樹脂Ａ１１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-352), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-352)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A11 having a weight average molecular weight of about 5.3×10 3 with a yield of 66%. This resin A11 has the following structural units.
実施例１９〔樹脂Ａ１２の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（Ｉ－９５４）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（Ｉ－９５４）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．６×１０３である樹脂Ａ１２を収率６１％で得た。この樹脂Ａ１２は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( I-954), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (I-954)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin A12 having a weight average molecular weight of about 5.6×10 3 with a yield of 61%. This resin A12 has the following structural units.
合成例１〔樹脂ＡＸ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）、モノマー（ａ１－４－２）及びモノマー（ＩＸ－１）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）：モノマー（ＩＸ－１）〕が、２０：３５：３：１２：２５：５の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．４×１０３である樹脂ＡＸ１を収率６３％で得た。この樹脂ＡＸ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2), monomer (a1-4-2) and monomer ( IX-1), the molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1 -4-2): Monomer (IX-1)] are mixed in a ratio of 20:35:3:12:25:5, and further, to this monomer mixture, , and 1.5 times the mass of methyl isobutyl ketone. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain resin AX1 having a weight average molecular weight of about 5.4×10 3 with a yield of 63%. This resin AX1 has the following structural units.
合成例２〔樹脂ＡＡ１の合成〕
モノマーとして、モノマー（ａ１－１－３）、モノマー（ａ１－２－６）、モノマー（ａ２－１－３）、モノマー（ａ３－４－２）及びモノマー（ａ１－４－２）を用い、そのモル比〔モノマー（ａ１－１－３）：モノマー（ａ１－２－６）：モノマー（ａ２－１－３）：モノマー（ａ３－４－２）：モノマー（ａ１－４－２）〕が、２０：３５：３：１５：２７の割合となるように混合し、さらに、このモノマー混合物に、全モノマーの合計質量に対して、１．５質量倍のメチルイソブチルケトンを混合した。得られた混合物に、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル及びアゾビス（２，４－ジメチルバレロニトリル）を全モノマー量に対して各々、１．２ｍｏｌ％及び３．６ｍｏｌ％添加し、これらを７３℃で約５時間加熱した。その後、重合反応液に、全モノマー量の合計質量に対して２．０質量倍のｐ－トルエンスルホン酸水溶液（２．５重量％）を加え、１２時間攪拌した後、分液した。回収された有機層を、大量のｎ－ヘプタンに注ぎ樹脂を析出させ、ろ過・回収することにより、重量平均分子量が約５．５×１０３である樹脂ＡＡ１を収率６８％で得た。この樹脂ＡＡ１は、以下の構造単位を有するものである。
As monomers, using monomer (a1-1-3), monomer (a1-2-6), monomer (a2-1-3), monomer (a3-4-2) and monomer (a1-4-2), The molar ratio [monomer (a1-1-3): monomer (a1-2-6): monomer (a2-1-3): monomer (a3-4-2): monomer (a1-4-2)] is , 20:35:3:15:27, and this monomer mixture was further mixed with methyl isobutyl ketone in an amount of 1.5 times the mass of the total mass of all the monomers. To the resulting mixture, azobisisobutyronitrile and azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) were added as initiators at 1.2 mol% and 3.6 mol%, respectively, based on the total amount of monomers. C. for about 5 hours. Thereafter, an aqueous solution of p-toluenesulfonic acid (2.5% by weight) was added to the polymerization reaction solution in an amount of 2.0 times the weight of the total weight of all the monomers, stirred for 12 hours, and then separated. The collected organic layer was poured into a large amount of n-heptane to precipitate the resin, filtered and collected to obtain Resin AA1 having a weight average molecular weight of about 5.5×10 3 with a yield of 68%. This resin AA1 has the following structural units.
＜レジスト組成物の調製＞
表２に示すように、以下の各成分を混合し、得られた混合物を孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過することにより、レジスト組成物を調製した。
As shown in Table 2, a resist composition was prepared by mixing the following components and filtering the resulting mixture through a fluororesin filter having a pore size of 0.2 μm.
＜樹脂＞
Ａ１～Ａ１２、ＡＸ１、ＡＡ１：樹脂Ａ１～樹脂Ａ１２、樹脂ＡＸ１、樹脂ＡＡ１
＜塩（Ｉ）＞
Ｉ－１６９：式（Ｉ－１６９）で表される塩
Ｉ－１８３：式（Ｉ－１８３）で表される塩
Ｉ－３０９：式（Ｉ－３０９）で表される塩
Ｉ－３１０：式（Ｉ－３１０）で表される塩
Ｉ－９５４：式（Ｉ－９５４）で表される塩
＜酸発生剤＞
Ｂ１－２５：式（Ｂ１－２５）で表される塩；特開２０１１－１２６８６９号公報記載の方法で合成
Ｃ１：特開２０１１－３９５０２号公報記載の方法で合成
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ４００部
プロピレングリコールモノメチルエーテル １００部
γ－ブチロラクトン ５部
<Resin>
A1 to A12, AX1, AA1: Resin A1 to Resin A12, Resin AX1, Resin AA1
<Salt (I)>
I-169: salt represented by formula (I-169) I-183: salt represented by formula (I-183) I-309: salt represented by formula (I-309) I-310: formula Salt represented by (I-310) I-954: Salt represented by formula (I-954) <Acid Generator>
B1-25: a salt represented by the formula (B1-25); synthesized by the method described in JP-A-2011-126869
C1: synthesized by the method described in JP-A-2011-39502
Propylene glycol monomethyl ether acetate 400 parts Propylene glycol monomethyl ether 100 parts γ-butyrolactone 5 parts
（レジスト組成物の電子線露光評価：有機溶剤現像）
６インチのシリコンウェハを、ダイレクトホットプレート上で、ヘキサメチルジシラザンを用いて９０℃で６０秒処理した。このシリコンウェハに、レジスト組成物を、組成物層の膜厚が０．０４μｍとなるようにスピンコートした。その後、ダイレクトホットプレート上で、表２の「PB」欄に示す温度で６０秒間プリベークして組成物層を形成した。ウェハ上に形成された組成物層に、電子線描画機〔（株）エリオニクス製の「ＥＬＳ－Ｆ１２５ １２５ｋｅＶ」〕を用い、露光量を段階的に変化させてコンタクトホールパターン（ホールピッチ４０ｎｍ／ホール径１７ｎｍ）を直接描画した。
露光後、ホットプレート上にて表２の「PEB」欄に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行った。次いで、このシリコンウェハ上の組成物層を、現像液として酢酸ブチル（東京化成工業（株）製）を用いて、２３℃で２０秒間ダイナミックディスペンス法によって現像を行うことにより、レジストパターンを得た。
(Evaluation of resist composition by electron beam exposure: organic solvent development)
A 6-inch silicon wafer was treated with hexamethyldisilazane at 90° C. for 60 seconds on a direct hotplate. This silicon wafer was spin-coated with the resist composition so that the film thickness of the composition layer was 0.04 μm. Then, it was pre-baked for 60 seconds on a direct hot plate at the temperature shown in the "PB" column of Table 2 to form a composition layer. A contact hole pattern (hole pitch 40 nm/hole diameter 17 nm) was directly written.
After the exposure, post-exposure baking was performed for 60 seconds on a hot plate at the temperature shown in the "PEB" column of Table 2. Then, the composition layer on the silicon wafer was developed using butyl acetate (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) as a developer by a dynamic dispensing method at 23° C. for 20 seconds to obtain a resist pattern. .
現像後に得られたレジストパターンにおいて、形成したホール径が１７ｎｍとなる露光量を実効感度とした。 In the resist pattern obtained after development, the effective sensitivity was defined as the amount of exposure at which the hole diameter formed was 17 nm.
＜ＣＤ均一性（ＣＤＵ）評価＞
実効感度において、ホール径１７ｎｍで形成したパターンのホール径を、一つのホールにつき２４回測定し、その平均値を一つのホールの平均ホール径とした。同一ウェハ内の、ホール径１７ｎｍで形成したパターンの平均ホール径を４００箇所測定したものを母集団として標準偏差を求めた。
その結果を表３に示す。表内の数値は標準偏差（ｎｍ）を示す。
比較組成物１～４と比較して、組成物１～２５での標準偏差が小さく、ＣＤ均一性（ＣＤＵ）評価が良好であった。
<CD uniformity (CDU) evaluation>
In the effective sensitivity, the hole diameter of a pattern formed with a hole diameter of 17 nm was measured 24 times for each hole, and the average value was taken as the average hole diameter of one hole. A standard deviation was obtained by using a population of 400 measured average hole diameters of patterns formed with a hole diameter of 17 nm in the same wafer.
Table 3 shows the results. Numerical values in the table indicate standard deviations (nm).
CD uniformity (CDU) ratings were good with smaller standard deviations for compositions 1-25 compared to comparative compositions 1-4.
本発明の塩を含有するレジスト組成物は、良好なＣＤ均一性（ＣＤＵ）を有するレジストパターンを得られるため、半導体の微細加工に好適であり、産業上極めて有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The resist composition containing the salt of the present invention is suitable for microfabrication of semiconductors and is industrially very useful because it provides a resist pattern with good CD uniformity (CDU).
Claims (29)
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ３及びＸ４は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙｂ１は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表し、＊＊はＬ１０との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ An acid generator containing a salt represented by formula (I) or a structural unit represented by formula (IP).
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represents a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and the hydrocarbon group represents a substituent -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is , —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.
X 3 and X 4 each independently represent -O- or -S-.
m1 represents an integer of 1 to 5, and when m1 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m2 represents an integer of 0 to 5, and when m2 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m4 represents an integer of 0 to 3, and when m4 is 2 or more, multiple R4 's may be the same or different.
m5 represents an integer of 0 to 3, and when m5 is 2 or more, multiple R5 's may be the same or different.
m7 represents an integer of 0 to 4, and when m7 is 2 or more, multiple R 7 may be the same or different.
m8 represents an integer of 0 to 5, and when m8 is 2 or more, multiple R 8s may be the same or different.
However, 1≤m1+m7≤5 and 0≤m2+m8≤5.
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— , a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y b1 represents a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O— , —S—, —SO 2 — or —CO—.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group optionally having a substituent.
Ax represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Ay represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
* represents the bonding site with the carbon atom to which Rbb1 is bonded, and ** represents the bonding site with L10 .
L 10 represents a single bond or an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —SO 2 may be substituted with - or -CO-. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］ Claim that X 10 is a single bond or a group represented by any one of formula (X 1 -1), formula (X 1 -8) and formulas (X1-2') to (X 1 -7') Item 2. The acid generator according to item 1.
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 .
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4; ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。］ 9. The acid generator according to claim 8, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 1 -1) to (X 1 -7).
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 . ]
酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂とを含有する請求項１１に記載のレジスト組成物。 a salt represented by formula (I);
12. The resist composition according to claim 11, further comprising a resin containing a structural unit having an acid-labile group.
式（ＩＰ）で表される構造単位を含む樹脂が、酸不安定基を有する構造単位をさらに含む請求項１１に記載のレジスト組成物。 containing a resin containing a structural unit represented by formula (IP),
12. The resist composition according to claim 11, wherein the resin containing a structural unit represented by formula (IP) further contains a structural unit having an acid-labile group.
Ｌa01、Ｌａ１及びＬａ２は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ２）ｋ１－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒa01、Ｒａ４及びＲａ５は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa02、Ｒa03及びＲa04は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒａ６及びＲａ７は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］ The structural unit having an acid-labile group consists of a structural unit represented by formula (a1-0), a structural unit represented by formula (a1-1), and a structural unit represented by formula (a1-2). 13. The resist composition according to claim 12, comprising at least one selected from the group.
L a01 , L a1 and L a2 each independently represent —O— or *—O—(CH 2 ) k1 —CO—O—, k1 represents an integer of 1 to 7, * is represents the binding site with -CO-.
R a01 , R a4 and R a5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom or an optionally halogenated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R a02 , R a03 and R a04 each independently represent an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, an aromatic hydrocarbon group having 6 to 18 carbon atoms, or represents a combined group.
R a6 and R a7 each independently represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alicyclic hydrocarbon group having 3 to 18 carbon atoms, or an aromatic group having 6 to 18 carbon atoms. It represents a hydrocarbon group or a group formed by combining these groups.
m1' represents any integer from 0 to 14;
n1 represents any integer from 0 to 10;
n1' represents an integer of 0 to 3; ]
Ｒa50は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒa51は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａa50は、単結合又は＊－Ｘa51－（Ａa52－Ｘa52）nｂ－を表し、＊は－Ｒa50が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａa52は、炭素数１～６のアルカンジイル基を表す。
Ｘa51及びＸa52は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲa51は互いに同一であっても異なっていてもよい。］ 12. The resist composition according to claim 11, containing a resin containing a structural unit represented by formula (a2-A).
R a50 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
R a51 is a halogen atom, a hydroxy group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxyalkyl group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, an alkoxyalkoxy group having 2 to 12 carbon atoms, It represents an alkylcarbonyl group having 2 to 4 carbon atoms, an alkylcarbonyloxy group having 2 to 4 carbon atoms, an acryloyloxy group or a methacryloyloxy group.
A a50 represents a single bond or *-X a51 -(A a52 -X a52 ) nb -, and * represents a bonding site with the carbon atom to which -R a50 bonds.
A a52 represents an alkanediyl group having 1 to 6 carbon atoms.
X a51 and X a52 each independently represent -O-, -CO-O- or -O-CO-.
nb represents 0 or 1;
mb represents an integer from 0 to 4; When mb is any integer of 2 or more, multiple R a51 may be the same or different. ]
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。 (1) a step of applying the resist composition according to claim 11 onto a substrate;
(2) a step of drying the applied composition to form a composition layer;
(3) exposing the composition layer;
(4) heating the composition layer after exposure; and (5) developing the composition layer after heating;
A method of manufacturing a resist pattern comprising:
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ３及びＸ４は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙｂ１は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表し、＊＊はＬ１０との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ A salt of the formula (I).
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represents a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and the hydrocarbon group represents a substituent -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is , —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.
X 3 and X 4 each independently represent -O- or -S-.
m1 represents an integer of 1 to 5, and when m1 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m2 represents an integer of 0 to 5, and when m2 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m4 represents an integer of 0 to 3, and when m4 is 2 or more, multiple R4 's may be the same or different.
m5 represents an integer of 0 to 3, and when m5 is 2 or more, multiple R5 's may be the same or different.
m7 represents an integer of 0 to 4, and when m7 is 2 or more, multiple R 7 may be the same or different.
m8 represents an integer of 0 to 5, and when m8 is 2 or more, multiple R 8s may be the same or different.
However, 1≤m1+m7≤5 and 0≤m2+m8≤5.
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— , a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y b1 represents a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O— , —S—, —SO 2 — or —CO—.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group optionally having a substituent.
Ax represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Ay represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
* represents the bonding site with the carbon atom to which Rbb1 is bonded, and ** represents the bonding site with L10 .
L 10 represents a single bond or an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —SO 2 may be substituted with - or -CO-. ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。
Ｒｘは、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のフッ化アルキル基、炭素数１～１８のアルキル基又は炭素数１～６のアルコキシ基を表す。
ｍｘは、０～４のいずれかの整数を表す。］ Claim that X 10 is a single bond or a group represented by any one of formula (X 1 -1), formula (X 1 -8) and formulas (X1-2') to (X 1 -7') Item 21. The salt according to Item 19 or 20.
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 .
Rx represents a halogen atom, a hydroxy group, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms.
mx represents any integer from 0 to 4; ]
＊、＊＊は結合部位であり、＊＊はＬ1０との結合部位を表す。］ 27. The salt according to claim 26, wherein X 10 is a single bond or a group represented by any one of formulas (X 1 -1) to (X 1 -7).
*, ** are binding sites, and ** represents binding sites with L10 . ]
Ｒ４、Ｒ５、Ｒ７及びＲ８は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、炭素数１～１２のハロアルキル基又は炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該ハロアルキル基及び該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ａ１及びＡ２は、それぞれ独立に、炭素数１～２０の炭化水素基を表し、該炭化水素基は、置換基を有してもよく、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－ＣＯ－、－Ｓ－又は－ＳＯ２－で置き換わっていてもよい。
Ｘ３及びＸ４は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は－Ｓ－を表す。
ｍ１は、１～５のいずれかの整数を表し、ｍ１が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ２は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ２が２以上のとき、複数の括弧内の基は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ４は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ４が２以上のとき、複数のＲ４は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ５は、０～３のいずれかの整数を表し、ｍ５が２以上のとき、複数のＲ５は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ７は、０～４のいずれかの整数を表し、ｍ７が２以上のとき、複数のＲ７は互いに同一であっても異なってもよい。
ｍ８は、０～５のいずれかの整数を表し、ｍ８が２以上のとき、複数のＲ８は互いに同一であっても異なってもよい。
但し、１≦ｍ１＋ｍ７≦５、０≦ｍ２＋ｍ８≦５である。
Ｑｂ１及びＱｂ２は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のペルフルオロアルキル基又は炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｌｂ１は、炭素数１～２４の２価の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、フッ素原子又はヒドロキシ基で置換されていてもよい。
Ｙｂ１は、単結合又は置換基を有していてもよい炭素数３～２４の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ２－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒｂｂ１は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｘ１０は、単結合、＊－Ｏ－＊＊、＊－ＣＯ－Ｏ－＊＊、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－＊＊又は＊－Ａｘ－Ｐｈ－Ａｙ－＊＊を表す。
Ｐｈは、置換基を有してもよいフェニレン基を表す。
Ａｘは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
Ａｙは、単結合、エーテル結合、エステル結合及び炭酸エステル結合から構成される群から選択される１種の結合種を表す。
＊は、Ｒｂｂ１が結合した炭素原子との結合部位を表し、＊＊はＬ１０との結合部位を表す。
Ｌ１０は、単結合又は置換基を有してもよい炭素数１～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ2－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ２－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。］ A resin containing a structural unit represented by the formula (IP).
R 4 , R 5 , R 7 and R 8 each independently represents a halogen atom, a haloalkyl group having 1 to 12 carbon atoms or a hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and the hydrocarbon group represents a substituent -CH 2 - contained in the haloalkyl group and the hydrocarbon group may be replaced with -O-, -CO-, -S- or -SO 2 -.
A 1 and A 2 each independently represent a hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, the hydrocarbon group may have a substituent, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is , —O—, —CO—, —S— or —SO 2 —.
X 3 and X 4 each independently represent -O- or -S-.
m1 represents an integer of 1 to 5, and when m1 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m2 represents an integer of 0 to 5, and when m2 is 2 or more, groups in parentheses may be the same or different.
m4 represents an integer of 0 to 3, and when m4 is 2 or more, multiple R4 's may be the same or different.
m5 represents an integer of 0 to 3, and when m5 is 2 or more, multiple R5 's may be the same or different.
m7 represents an integer of 0 to 4, and when m7 is 2 or more, multiple R 7 may be the same or different.
m8 represents an integer of 0 to 5, and when m8 is 2 or more, multiple R 8s may be the same or different.
However, 1≤m1+m7≤5 and 0≤m2+m8≤5.
Q b1 and Q b2 each independently represent a hydrogen atom, a fluorine atom, a perfluoroalkyl group having 1 to 6 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
L b1 represents a divalent saturated hydrocarbon group having 1 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be replaced with —O— or —CO— , a hydrogen atom contained in the divalent saturated hydrocarbon group may be substituted with a fluorine atom or a hydroxy group.
Y b1 represents a single bond or an optionally substituted alicyclic hydrocarbon group having 3 to 24 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the alicyclic hydrocarbon group is —O— , —S—, —SO 2 — or —CO—.
R bb1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a halogen atom.
X 10 represents a single bond, *-O-**, *-CO-O-**, *-O-CO-O-** or *-Ax-Ph-Ay-**.
Ph represents a phenylene group optionally having a substituent.
Ax represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
Ay represents one kind of bond selected from the group consisting of a single bond, an ether bond, an ester bond and a carbonate bond.
* represents the bonding site with the carbon atom to which Rbb1 is bonded, and ** represents the bonding site with L10 .
L 10 represents a single bond or an optionally substituted hydrocarbon group having 1 to 36 carbon atoms, and —CH 2 — contained in the hydrocarbon group is —O—, —S—, —SO 2 may be substituted with - or -CO-. ]
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