JP2023070914A

JP2023070914A - Optical member position adjusting device, and exposure apparatus

Info

Publication number: JP2023070914A
Application number: JP2021183375A
Authority: JP
Inventors: 正裕白澤; Masahiro Shirasawa; 貴中村; Takashi Nakamura; 将彦 ▲高▼津; Masahiko Takatsu
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2021-11-10
Filing date: 2021-11-10
Publication date: 2023-05-22

Abstract

To provide an optical member position adjusting device that can hold a lens having a large numerical aperture.SOLUTION: An optical member position adjusting device 60A that adjusts the position of an optical member 37A housed in a housing 50 has a cylindrical member 61A holding the optical member inside the housing, where the cylindrical member comprises: a first portion 66A attached to the housing; a second portion 67A which is provided for the first portion with a predetermined distance in a prescribed direction, and holds the optical member; and a guide part 75A which is formed in a connected state with the first portion and the second portion, and guides the second portion in a prescribed direction for the first portion by changing the predetermined distance.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、光学部材位置調整装置及び露光装置に関する。 The present invention relates to an optical member position adjusting device and an exposure device.

従来、露光装置等に備えられる光学部材位置調整装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art Conventionally, an optical member position adjusting device provided in an exposure apparatus or the like is known (see, for example, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100003).

特開２０１２－２４２７２３号公報JP 2012-242723 A

本発明の光学部材位置調整装置の態様は、筐体に収容された光学部材の位置調整を行う光学部材位置調整装置であって、前記筐体の内部で前記光学部材を保持する筒状部材を有し、前記筒状部材は、前記筐体に取り付けられる第１部分と、前記第１部分に対して所定方向に所定間隔を空けて設けられ、前記光学部材を保持する第２部分と、前記第１部分及び前記第２部分のそれぞれと接続した状態に形成され、前記所定間隔を変更することにより前記第１部分に対して前記第２部分を前記所定方向へ案内する案内部と、を備える。 An aspect of the optical member position adjusting device of the present invention is an optical member position adjusting device that adjusts the position of an optical member housed in a housing, wherein a cylindrical member that holds the optical member is provided inside the housing. The cylindrical member has a first portion attached to the housing, a second portion provided at a predetermined distance from the first portion in a predetermined direction and holding the optical member, and a guide part formed in a state of being connected to each of the first part and the second part, and guiding the second part in the predetermined direction with respect to the first part by changing the predetermined distance. .

本発明の露光装置の態様は、前記に記載の光学部材位置調整装置を備える。 An aspect of the exposure apparatus of the present invention includes the optical member position adjustment device described above.

本発明の一実施形態の露光装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of an exposure apparatus according to one embodiment of the present invention; FIG. 同露光装置の投影システムを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the projection system of the same exposure apparatus. 同投影システム中の一つの部分投影光学系を示す断面図である。2 is a cross-sectional view showing one partial projection optical system in the same projection system; FIG. 同露光装置の基準配置における光学部材位置調整装置の側面図である。It is a side view of the optical member position adjusting device in the reference arrangement of the same exposure apparatus. 同光学部材位置調整装置の斜視図である。It is a perspective view of the same optical member position adjustment apparatus. 図４中のＢ１部拡大図である。5 is an enlarged view of B1 part in FIG. 4. FIG. 伸長配置における同光学部材位置調整装置の側面図である。It is a side view of the same optical member position adjusting device in an extended configuration. 同投影システムの調整方法の一例を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing an example of an adjustment method of the projection system; 従来の光学部材位置調整装置の側面図である。FIG. 10 is a side view of a conventional optical member position adjusting device;

以下、本発明に係る光学部材位置調整装置及び露光装置の一実施形態を、図１に示すように、露光装置１が、マルチレンズ型で走査露光方式のパネル露光装置である場合を例にとって説明する。露光装置１は、フォトレジストが塗布されたパネル状の平板ガラスよりなるプレートＰＴ（感光性基板）に、マスクＭのパターンの像を露光する。この種のプレートＰＴは、液晶ディスプレイ又は有機ＥＬディスプレイ等の薄型ディスプレイパネルに使用される。
以下、プレートＰＴの合焦時の表面に垂直に、Ｚ軸を取って説明する。さらに、その表面に平行な平面内で、走査露光時のマスクＭ及びプレートＰＴの走査方向に沿ってＸ軸を、Ｘ軸に直交する方向（非走査方向）に沿ってＹ軸を取って説明する。 An embodiment of an optical member position adjusting apparatus and an exposure apparatus according to the present invention will be described below, taking as an example the case where the exposure apparatus 1 is a multi-lens type scanning exposure type panel exposure apparatus as shown in FIG. do. The exposure device 1 exposes the pattern image of the mask M onto a plate PT (photosensitive substrate) made of panel-shaped flat glass coated with a photoresist. This type of plate PT is used for thin display panels such as liquid crystal displays or organic EL displays.
In the following description, the Z-axis is taken perpendicular to the surface of the plate PT when it is in focus. Furthermore, in a plane parallel to the surface, the X-axis is taken along the scanning direction of the mask M and the plate PT during scanning exposure, and the Y-axis is taken along the direction perpendicular to the X-axis (non-scanning direction). do.

なお、本明細書で言う「接続」とは、接続対象となる複数の部材が予め連なっているこを意味する。 The term "connection" used in this specification means that a plurality of members to be connected are connected in advance.

図１において、露光装置１は、露光用の照明光ＥＬ（露光光）を発生する例えば超高圧水銀ランプからなる光源１０と、照明光ＥＬでマスクＭのパターン面の複数の台形状の照明領域ＩＲＡ等を均一な照度分布で照明する照明系ＩＳと、マスクＭをマスクホルダ（不図示）を介してＸＹ平面に平行に保持して移動するマスクステージ２１と、マスクＭのパターンの像をプレートＰＴの表面の複数の台形状の露光領域ＰＲＡ等に形成するマルチレンズ型投影光学系よりなる投影システムＰＳ（投影光学系）と、プレートＰＴを保持して移動するプレートステージ２２と、を備えている。
さらに、露光装置１は、マスクステージ２１の位置情報を計測する複数軸のレーザ干渉計２３Ａと、プレートステージ２２の位置情報を計測する複数軸のレーザ干渉計２３Ｂと、レーザ干渉計２３Ａ，２３Ｂの計測結果に基づいてマスクステージ２１及びプレートステージ２２を同期して駆動するリニアモータ等を含む駆動系（不図示）と、プレートステージ２２に設けられて投影システムＰＳの波面収差を計測する例えばシアリング干渉方式の波面収差計測装置２４と、装置全体の動作を統括的に制御する主制御装置（不図示）と、を備えている。 In FIG. 1, an exposure apparatus 1 includes a light source 10, such as an ultra-high pressure mercury lamp, which generates illumination light EL (exposure light) for exposure, and a plurality of trapezoidal illumination areas on the pattern surface of a mask M with the illumination light EL. An illumination system IS that illuminates the IRA or the like with a uniform illuminance distribution, a mask stage 21 that holds and moves the mask M parallel to the XY plane via a mask holder (not shown), and a plate that displays the pattern image of the mask M. A projection system PS (projection optical system) consisting of a multi-lens type projection optical system formed in a plurality of trapezoidal exposure areas PRA on the surface of the PT, and a plate stage 22 that holds and moves the plate PT. there is
Further, the exposure apparatus 1 includes a multi-axis laser interferometer 23A for measuring the positional information of the mask stage 21, a multi-axis laser interferometer 23B for measuring the positional information of the plate stage 22, and the laser interferometers 23A and 23B. A drive system (not shown) including linear motors and the like that synchronously drives the mask stage 21 and the plate stage 22 based on the measurement results, and a plate stage 22 that measures the wavefront aberration of the projection system PS, such as shearing interference. and a main controller (not shown) that controls the overall operation of the apparatus.

光源１０から射出された照明光ＥＬは、楕円鏡、ミラー、シャッター（不図示）、及び波長選択フィルター（不図示）を介して集光光学系１１に入射する。波長選択フィルターでは、一例としてｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、及びｈ線（波長４０５ｎｍ）から一つ又は複数の波長の光が選択される。
集光光学系１１を通過した照明光ＥＬは、分岐光学系１３の入射端１２に入射する。分岐光学系１３の射出端１４Ａ～１４Ｇから射出された照明光ＥＬは、それぞれ対応する部分照明系ＩＬＡ～ＩＬＧを介して照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧを照明する。射出端１４Ａ～１４Ｇは、投影システムＰＳを構成する部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧと同じ数（本実施形態では７つ）ある。
部分照明系ＩＬＡ～ＩＬＧは、それぞれコリメートレンズ、フライアイインテグレータ（オプティカルインテグレータ）、及びコンデンサーレンズ等を有する。集光光学系１１から部分照明系ＩＬＡ～ＩＬＧまでの光学部材を含んで、照明系ＩＳが構成されている。台形状の照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧは、図２に示すように、Ｙ方向に配列された第１列の３個の照明領域ＩＲＡ，ＩＲＢ，ＩＲＣと、それらから－Ｘ方向に離れるとともに、Ｙ方向に半周期ずれて配列された第２列の４個の照明領域ＩＲＤ，ＩＲＥ，ＩＲＦ，ＩＲＧとに分かれている。照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧは、後述の部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの配列に合わせて分かれている。 Illumination light EL emitted from the light source 10 enters the condensing optical system 11 via an elliptical mirror, a mirror, a shutter (not shown), and a wavelength selection filter (not shown). For example, the wavelength selection filter selects light of one or more wavelengths from i-line (wavelength 365 nm), g-line (wavelength 436 nm), and h-line (wavelength 405 nm).
The illumination light EL that has passed through the condensing optical system 11 is incident on the incident end 12 of the branching optical system 13 . The illumination light EL emitted from the exit ends 14A-14G of the branching optical system 13 illuminates the illumination areas IRA-IRG via the corresponding partial illumination systems ILA-ILG, respectively. The exit ends 14A-14G are the same in number (seven in this embodiment) as the partial projection optical systems PLA-PLG constituting the projection system PS.
Each of the partial illumination systems ILA-ILG has a collimator lens, a fly-eye integrator (optical integrator), a condenser lens, and the like. An illumination system IS is configured including optical members from the condensing optical system 11 to the partial illumination systems ILA to ILG. As shown in FIG. 2, the trapezoidal illumination areas IRA to IRG are composed of three illumination areas IRA, IRB, and IRC in the first row arranged in the Y direction, separated from them in the -X direction, and separated in the Y direction. It is divided into four illumination regions IRD, IRE, IRF, and IRG in a second row arranged with a half-period shift. The illumination areas IRA to IRG are divided according to the arrangement of partial projection optical systems PLA to PLG, which will be described later.

図１において、マスクＭの照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧからの照明光は、各照明領域に対応するようにＹ方向に沿って２列に配列された複数（本実施形態では７つ）の部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧからなる投影システムＰＳに入射する。部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧ中のパターンの像を対応する露光領域ＰＲＡ等に形成する。
図１では、各部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、鏡筒内部の光学系の概略構成を示している。部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、互いに同一構成で一例としてＺ方向に配列された２段の反射屈折系を有するほぼ両側にテレセントリックで高精細な結像光学系である。部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、それぞれ一例として等倍の正立正像を形成し、開口数は例えば０．１程度である。 In FIG. 1, illumination light from the illumination areas IRA to IRG of the mask M is projected onto a plurality of (seven in this embodiment) partial projection optics arrayed in two rows along the Y direction so as to correspond to each illumination area. It enters the projection system PS, which consists of the system PLA-PLG. The partial projection optical systems PLA-PLG form images of the patterns in the illumination areas IRA-IRG on the corresponding exposure areas PRA and the like.
In FIG. 1, each of the partial projection optical systems PLA to PLG shows a schematic configuration of the optical system inside the lens barrel. The partial projection optical systems PLA to PLG are telecentric and high-definition imaging optical systems having two stages of catadioptric systems arranged in the Z direction, for example, and having the same configuration as each other. As an example, the partial projection optical systems PLA to PLG each form a one-size-fits-all erect image, and have a numerical aperture of, for example, about 0.1.

この場合、Ｘ方向に向かって全部の照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧを見たときに、照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧはＹ方向に隙間なく配置されている。そこで、照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧのパターンの投影システムＰＳによる像でプレートＰＴを露光しつつ、マスクステージ２１によって照明領域ＩＲＡ～ＩＲＧに対してマスクＭを＋Ｘ方向（又は－Ｘ方向）に移動することと、プレートステージ２２によって露光領域ＰＲＡ等に対してプレートＰＴを＋Ｘ方向（又は－Ｘ方向）に移動することとを同期して行う。このようにすることで、マスクＭの全面のパターンを１回の走査露光で、プレートＰＴの一つのパターン形成領域（区画領域）に露光できる。 In this case, when all the illumination areas IRA to IRG are viewed in the X direction, the illumination areas IRA to IRG are arranged without gaps in the Y direction. Therefore, the mask stage 21 moves the mask M in the +X direction (or -X direction) with respect to the illumination areas IRA to IRG while exposing the plate PT with the image of the pattern of the illumination areas IRA to IRG by the projection system PS. and moving the plate PT in the +X direction (or -X direction) with respect to the exposure area PRA and the like by the plate stage 22 in synchronism. By doing so, the pattern of the entire surface of the mask M can be exposed to one pattern forming area (partitioned area) of the plate PT by one scanning exposure.

図２に示すように、部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、Ｙ方向に配置された第１列の３個の部分投影光学系ＰＬＡ，ＰＬＢ，ＰＬＣと、それらに対向するように－Ｘ方向に配置されるとともに、Ｙ方向に半周期ずれて配置された第２列の４個の部分投影光学系ＰＬＤ，ＰＬＥ，ＰＬＦ，ＰＬＧとに分かれている。部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧは、２点鎖線で示す、平板状で照明光を通す開口が形成された光学系フレーム２６に支持されている。光学系フレーム２６は、プレートステージ２２が移動可能に載置されたベース部材（不図示）に支持されている。
なお、投影システムＰＳを構成する部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの数及び配列は任意である。 As shown in FIG. 2, the partial projection optical systems PLA to PLG are composed of three partial projection optical systems PLA, PLB, and PLC in the first row arranged in the Y direction and -X direction to face them. It is arranged and divided into a second row of four partial projection optical systems PLD, PLE, PLF and PLG which are arranged with a half period shift in the Y direction. The partial projection optical systems PLA to PLG are supported by an optical system frame 26, indicated by a chain double-dashed line, which is flat and has an aperture through which illumination light passes. The optical system frame 26 is supported by a base member (not shown) on which the plate stage 22 is movably mounted.
The number and arrangement of the partial projection optical systems PLA to PLG constituting the projection system PS are arbitrary.

部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの構成は互いに同一であり、以下では、図３を参照して、部分投影光学系ＰＬＡの構成につき説明する。図３において、部分投影光学系ＰＬＡは、マスクＭの照明領域ＩＲＡ内のパターンの一次像Ｉ１を形成する第１反射屈折系Ｇ１Ｐと、一次像Ｉ１の近傍に配置された視野絞り（不図示）と、第１反射屈折系Ｇ１Ｐを収容する第１（上部）鏡筒（筒体）５０と、その一次像Ｉ１の二次像Ｉ２をプレートＰＴ上の露光領域ＰＲＡに形成する第２反射屈折系Ｇ２Ｐと、第２反射屈折系Ｇ２Ｐを収容する第２（下部）鏡筒（筒体）５２と、を有する。
また、第１反射屈折系Ｇ１Ｐは、マスクＭから－Ｚ方向に入射する光をシフトする像シフタ２８Ａ（例えば複数の平行平面板）等と、その光を＋Ｘ方向に反射する第１直角プリズム３０Ａと、第１直角プリズム３０Ａ側から順に＋Ｘ方向に配列されたレンズ３２Ａ、レンズ３４Ａ、レンズ３６Ａ、レンズ（光学部材）３７Ａ、レンズ３８Ａ、及びレンズ４０Ａと、直角プリズム３０Ａの第１反射面で反射されてレンズ３２Ａ～４０Ａを通過した光を－Ｘ方向に反射する第１凹面鏡４２Ａと、を備えている。
例えば、レンズ３２Ａ～４０Ａは、それぞれ円板状である。
ここで、レンズ３２Ａ～４０Ａ及び第１凹面鏡４２Ａよりなる光学系の光軸を、ＡＸ１とする。第１凹面鏡４２Ａで反射された光は、レンズ４０Ａ～３２Ａを通過し、直角プリズム３０Ａの第２反射面で－Ｚ方向に反射されて一次像Ｉ１を形成する。 The partial projection optical systems PLA to PLG have the same configuration, and the configuration of the partial projection optical system PLA will be described below with reference to FIG. In FIG. 3, the partial projection optical system PLA includes a first catadioptric system G1P that forms a primary image I1 of the pattern in the illumination area IRA of the mask M, and a field stop (not shown) arranged near the primary image I1. , a first (upper) lens barrel (cylinder) 50 that accommodates the first catadioptric system G1P, and a second catadioptric system that forms a secondary image I2 of the primary image I1 in the exposure area PRA on the plate PT. G2P, and a second (lower) lens barrel (barrel) 52 that accommodates the second catadioptric system G2P.
The first catadioptric system G1P includes an image shifter 28A (for example, a plurality of plane-parallel plates) that shifts light incident in the −Z direction from the mask M, and a first rectangular prism 30A that reflects the light in the +X direction. , the lens 32A, the lens 34A, the lens 36A, the lens (optical member) 37A, the lens 38A, and the lens 40A arranged in order from the first rectangular prism 30A side in the +X direction, and reflected by the first reflecting surface of the rectangular prism 30A. and a first concave mirror 42A that reflects the light that has passed through the lenses 32A to 40A in the -X direction.
For example, the lenses 32A-40A are each disc-shaped.
Let AX1 be the optical axis of the optical system comprising the lenses 32A to 40A and the first concave mirror 42A. The light reflected by the first concave mirror 42A passes through the lenses 40A to 32A and is reflected in the -Z direction by the second reflecting surface of the rectangular prism 30A to form the primary image I1.

また、第１鏡筒５０は、角柱状で像シフタ２８Ａ及び直角プリズム３０Ａを保持する第１鏡筒部５０ａと、円筒状でレンズ３２Ａ，３４Ａを保持する第２鏡筒部５０ｂと、円筒状でレンズ３６Ａ，３７Ａ，３８Ａ，４０Ａを収容する第３鏡筒部５０ｃと、他端部が閉じられた短い円筒状で第１凹面鏡４２Ａを保持する第４鏡筒部５０ｄと、を有する。第１鏡筒５０は、第１鏡筒部５０ａ、第２鏡筒部５０ｂ、第３鏡筒部５０ｃ、及び第４鏡筒部５０ｄが、不図示のボルト等によって連結されて構成されている。第３鏡筒部５０ｃの内周面には、環状の保持部材５０ｃ１が、第３鏡筒部５０ｃと同軸に設けられている。
第１鏡筒５０は、光学系フレーム２６の上面に固定されている。 The first lens barrel 50 includes a prism-shaped first lens-barrel portion 50a that holds the image shifter 28A and the rectangular prism 30A, a cylindrical second lens-barrel portion 50b that holds the lenses 32A and 34A, and a cylindrical lens-barrel portion 50b. and a short cylindrical fourth lens barrel portion 50d with the other end closed to hold the first concave mirror 42A. The first lens barrel 50 is configured by connecting a first lens barrel portion 50a, a second lens barrel portion 50b, a third lens barrel portion 50c, and a fourth lens barrel portion 50d with bolts or the like (not shown). . An annular holding member 50c1 is provided coaxially with the third barrel portion 50c on the inner peripheral surface of the third barrel portion 50c.
The first lens barrel 50 is fixed to the upper surface of the optical system frame 26 .

第２反射屈折系Ｇ２Ｐの構成は、第１反射屈折系Ｇ１Ｐとほぼ同様である。すなわち、第２反射屈折系Ｇ２Ｐは、一次像Ｉ１から－Ｚ方向に入射する光を＋Ｘ方向に反射する第２直角プリズム３０Ｂと、第２直角プリズム３０Ｂで反射された光の光路に配置されたレンズ３２Ｂ，３４Ｂ，３６Ｂ，３７Ｂ，３８Ｂ，４０Ｂと、レンズ４０Ｂを通過した光を－Ｘ方向に反射する第２凹面鏡４２Ｂと、第２凹面鏡４２Ｂで反射されてレンズ４０Ｂ～３２Ｂを通過し、直角プリズム３０Ｂで－Ｚ方向に反射された光をシフトする像シフタ２８Ｂ等と、を備えている。
ここで、レンズ３２Ｂ～４０Ｂ及び第２凹面鏡４２Ｂよりなる光学系の光軸を、ＡＸ２とする。像シフタ２８Ｂを通過した光によって露光領域ＰＲＡに二次像Ｉ２が形成される。第２鏡筒５２は、像シフタ２８Ｂ及び直角プリズム３０Ｂを保持する第１鏡筒部５２ａと、レンズ３２Ｂ，３４Ｂを保持する第２鏡筒部５２ｂと、レンズ３６Ｂ，３７Ｂ，３８Ｂ，４０Ｂを収容する第３鏡筒部５２ｃと、第２凹面鏡４２Ｂを保持する第４鏡筒部５２ｄとを連結したものである。第３鏡筒部５２ｃの内周面には、環状の保持部材５２ｃ１が、第３鏡筒部５２ｃと同軸に設けられている。
第２鏡筒５２は、光学系フレーム２６の底面に固定されている。 The configuration of the second catadioptric system G2P is substantially the same as that of the first catadioptric system G1P. That is, the second catadioptric system G2P is arranged in the optical path of the second rectangular prism 30B that reflects the light incident in the -Z direction from the primary image I1 in the +X direction and the light reflected by the second rectangular prism 30B. Lenses 32B, 34B, 36B, 37B, 38B, 40B, a second concave mirror 42B that reflects the light that has passed through the lens 40B in the -X direction, is reflected by the second concave mirror 42B, passes through the lenses 40B to 32B, and an image shifter 28B that shifts the light reflected in the -Z direction by the prism 30B.
Here, the optical axis of the optical system composed of the lenses 32B to 40B and the second concave mirror 42B is assumed to be AX2. A secondary image I2 is formed in the exposure area PRA by the light passing through the image shifter 28B. The second lens barrel 52 accommodates a first lens barrel portion 52a holding the image shifter 28B and the rectangular prism 30B, a second lens barrel portion 52b holding the lenses 32B and 34B, and the lenses 36B, 37B, 38B and 40B. and a fourth lens barrel portion 52d that holds the second concave mirror 42B. An annular holding member 52c1 is provided coaxially with the third barrel portion 52c on the inner peripheral surface of the third barrel portion 52c.
The second lens barrel 52 is fixed to the bottom surface of the optical system frame 26 .

また、部分投影光学系ＰＬＡは、第３鏡筒部５０ｃ，５２ｃに対するレンズ３６Ａ，３６Ｂの位置関係を調整して結像特性の粗調整を行う第１の調整装置８Ａ及び第３の調整装置８Ｃを有する。部分投影光学系ＰＬＡは、第３鏡筒部５０ｃ，５２ｃに対するレンズ４０Ａ，４０Ｂの位置関係を調整して結像特性の微調整を行う第２の調整装置８Ｂ及び第４の調整装置８Ｄを有する。
本実施形態では、互いに同じ構成の第１及び第３の調整装置８Ａ，８Ｃは、光軸ＡＸ１，ＡＸ２に垂直な平面内の直交する２つの方向の回りでレンズ３６Ａ，３６Ｂの回転角（チルト角）を調整して、偏芯コマ収差を粗調整するための装置である。同様に、互いに同じ構成の第２及び第４の調整装置８Ｂ，８Ｄは、光軸ＡＸ１，ＡＸ２に垂直な平面内の直交する２つの方向の回りでレンズ４０Ａ，４０Ｂの回転角を調整して、偏芯コマ収差を微調整するための装置である。 Further, the partial projection optical system PLA includes a first adjusting device 8A and a third adjusting device 8C that adjust the positional relationship of the lenses 36A and 36B with respect to the third lens barrel portions 50c and 52c to roughly adjust the imaging characteristics. have The partial projection optical system PLA has a second adjustment device 8B and a fourth adjustment device 8D that adjust the positional relationship of the lenses 40A and 40B with respect to the third barrel portions 50c and 52c to finely adjust the imaging characteristics. .
In this embodiment, the first and third adjusting devices 8A and 8C, which have the same configuration, rotate (tilt) the lenses 36A and 36B about two orthogonal directions in a plane perpendicular to the optical axes AX1 and AX2. This is a device for coarsely adjusting eccentric coma by adjusting the angle. Similarly, the second and fourth adjustment devices 8B and 8D having the same configuration adjust the rotation angles of the lenses 40A and 40B around two orthogonal directions within a plane perpendicular to the optical axes AX1 and AX2. , is a device for fine adjustment of eccentric coma.

露光装置１は、第１鏡筒５０の第３鏡筒部５０ｃ、第２鏡筒５２の第３鏡筒部５２ｃに固定された、本実施形態の光学部材位置調整装置６０Ａ，６０Ｂを備えている。光学部材位置調整装置６０Ａ，６０Ｂの構成は互いに同一であるため、以下では、光学部材位置調整装置６０Ａについて説明する。
光学部材位置調整装置６０Ａは、第３鏡筒部５２ｃに収容されたレンズ３７Ａの位置調整を行う。図４及び図５に示すように、光学部材位置調整装置６０Ａは、第３鏡筒部５２ｃの内部でレンズ３７Ａを保持するを有する。なお、図５では、レンズ３７Ａを二点鎖線で示している。
本実施形態では、筒状部材６１Ａは円筒状である。以下では、筒状部材６１Ａの径方向を、単に径方向と言う。筒状部材６１Ａの周方向を、単に周方向と言う。
筒状部材６１Ａの筒壁６２Ａには、筒壁６２Ａ（筒状部材６１Ａ）を、径方向に貫通する溝６３Ａが形成されている。筒壁６２Ａは、筒状部材６１Ａを構成する円筒状の壁である。本明細書で言う、「筒状部材を、径方向に貫通する溝」とは、筒状部材６１Ａの軸線Ｏ１に対して、軸線Ｏ１に直交する方向から軸線Ｏ１を挟むように、互いに連なる２つの筒壁６２Ａがあるが、溝６３Ａが、これら２つの筒壁６２Ａの少なくとも一方を径方向に貫通することを意味する。 The exposure apparatus 1 includes the optical member position adjusting devices 60A and 60B of the present embodiment fixed to the third barrel portion 50c of the first barrel 50 and the third barrel portion 52c of the second barrel 52. there is Since the configurations of the optical member position adjusting devices 60A and 60B are the same, the optical member position adjusting device 60A will be described below.
The optical member position adjusting device 60A adjusts the position of the lens 37A housed in the third barrel portion 52c. As shown in FIGS. 4 and 5, the optical member position adjusting device 60A has a lens 37A held inside the third barrel portion 52c. In addition, in FIG. 5, the lens 37A is indicated by a two-dot chain line.
In this embodiment, the cylindrical member 61A is cylindrical. Below, the radial direction of the tubular member 61A is simply referred to as the radial direction. The circumferential direction of the tubular member 61A is simply called the circumferential direction.
A groove 63A penetrating the tubular wall 62A (tubular member 61A) in the radial direction is formed in the tubular wall 62A of the tubular member 61A. The tubular wall 62A is a cylindrical wall forming the tubular member 61A. As used herein, the term “groove radially penetrating the tubular member” means two grooves that are connected to each other so as to sandwich the axis O1 from a direction orthogonal to the axis O1 of the tubular member 61A. There are two tubular walls 62A, meaning that the groove 63A extends radially through at least one of these two tubular walls 62A.

溝６３Ａにより、筒状部材６１Ａにおいて、第１部分６６Ａ、第２部分６７Ａ、及び、フレクシャ部（案内部、flexure）７５Ａが区画されている。すなわち、筒状部材６１Ａは、第１部分６６Ａと、第２部分６７Ａと、フレクシャ部７５Ａと、を備えている。
第１部分６６Ａ及び第２部分６７Ａは、フレクシャ部７５Ａによってつながった状態になっている。フレクシャ部７５Ａは、第１部分６６Ａ及び第２部分６７Ａのそれぞれと接続した状態に形成される。 The groove 63A defines a first portion 66A, a second portion 67A, and a flexure portion (guide portion, flexure) 75A in the cylindrical member 61A. That is, the tubular member 61A includes a first portion 66A, a second portion 67A, and a flexure portion 75A.
The first portion 66A and the second portion 67A are connected by the flexure portion 75A. The flexure portion 75A is formed in a state of being connected to each of the first portion 66A and the second portion 67A.

第１部分６６Ａ及び第２部分６７Ａは、それぞれ円筒状である。第１部分６６Ａは、筒状部材６１Ａにおける、筒状部材６１Ａの軸線Ｏ１方向（所定方向）の第１側Ｄ１（以下では、単に第１側Ｄ１とも言う）の第１端部に形成されている。第２部分６７Ａは、筒状部材６１Ａにおける軸線Ｏ１方向の第１側Ｄ１とは反対の第２側Ｄ２（以下では、単に第２側Ｄ２とも言う）の第２端部に形成されている。
第２部分６７Ａは、第１部分６６Ａに対して軸線Ｏ１方向に所定間隔を空けて設けられる。
図６に示すように、第１部分６６Ａにおける第２側Ｄ２の端面６６Ａａには、第２側Ｄ２に向かって突出する一対の凸部６６Ａｄが形成されている。一対の凸部６６Ａｄは、周方向に互いに離間して配置されている。以下では、一対の凸部６６Ａｄのうち、周方向における第１向きＤ３（以下では、単に第１向きＤ３とも言う）に配置された凸部６６Ａｄを、凸部６６Ａｄ１とも言う。一対の凸部６６Ａｄのうち、周方向における第１向きＤ３とは反対の第２向きＤ４（以下では、単に第２向きＤ４も言う）に配置された凸部６６Ａｄを、凸部６６Ａｄ２とも言う。 The first portion 66A and the second portion 67A are each cylindrical. The first portion 66A is formed at a first end portion of the tubular member 61A on the first side D1 (hereinafter also simply referred to as the first side D1) in the direction of the axis O1 (predetermined direction) of the tubular member 61A. there is The second portion 67A is formed at the second end of the cylindrical member 61A on the second side D2 opposite to the first side D1 in the direction of the axis O1 (hereinafter also simply referred to as the second side D2).
The second portion 67A is provided with a predetermined spacing in the direction of the axis O1 from the first portion 66A.
As shown in FIG. 6, a pair of protrusions 66Ad that protrude toward the second side D2 are formed on the end surface 66Aa of the first portion 66A on the second side D2. A pair of convex parts 66Ad are arranged so as to be spaced apart from each other in the circumferential direction. Hereinafter, of the pair of convex portions 66Ad, the convex portion 66Ad arranged in the first direction D3 in the circumferential direction (hereinafter also simply referred to as the first direction D3) is also referred to as the convex portion 66Ad1. Of the pair of protrusions 66Ad, the protrusion 66Ad arranged in the second direction D4 opposite to the first direction D3 in the circumferential direction (hereinafter also simply referred to as the second direction D4) is also referred to as the protrusion 66Ad2.

一対の凸部６６Ａｄの間には、一対の凸部６６Ａｄよりも第１側Ｄ１に向かって凹む第１凹部（凹部）６６Ａｂが形成される。第１凹部６６Ａｂは、第１部分６６Ａの筒壁６２Ａを径方向に貫通している。第１部分６６Ａには、軸線Ｏ１方向に延びて第１凹部６６Ａｂの底面に開口する貫通孔６６Ａｃが形成されている。 Between the pair of protrusions 66Ad, a first recess (recess) 66Ab that is recessed toward the first side D1 from the pair of protrusions 66Ad is formed. The first recess 66Ab radially penetrates through the cylindrical wall 62A of the first portion 66A. The first portion 66A is formed with a through hole 66Ac extending in the direction of the axis O1 and opening to the bottom surface of the first recess 66Ab.

第２部分６７Ａにおける第１側Ｄ１の端面６７Ａａには、第２側Ｄ２に向かって凹む第２凹部６７Ａｄが形成されている。第２凹部６７Ａｄは、第２部分６７Ａの筒壁６２Ａを径方向に貫通している。第２凹部６７Ａｄの底面には、第１側Ｄ１に向かって突出する一対の凸部６７Ａｅが形成されている。一対の凸部６７Ａｅは、周方向に互いに離間して配置されている。以下では、一対の凸部６７Ａｅのうち第１向きＤ３に配置された凸部６７Ａｅを、凸部６７Ａｅ１とも言う。一対の凸部６７Ａｅのうち第２向きＤ４に配置された凸部６７Ａｅを、凸部６７Ａｅ２とも言う。 A second recess 67Ad recessed toward the second side D2 is formed in the end surface 67Aa of the second portion 67A on the first side D1. The second concave portion 67Ad radially penetrates the cylinder wall 62A of the second portion 67A. A pair of protrusions 67Ae that protrude toward the first side D1 are formed on the bottom surface of the second recess 67Ad. The pair of protrusions 67Ae are arranged to be spaced apart from each other in the circumferential direction. Below, the convex portion 67Ae arranged in the first direction D3 among the pair of convex portions 67Ae is also referred to as the convex portion 67Ae1. Of the pair of protrusions 67Ae, the protrusion 67Ae arranged in the second direction D4 is also referred to as the protrusion 67Ae2.

一対の凸部６７Ａｅの間には、一対の凸部６７Ａｅよりも第２側Ｄ２に向かって凹む第１凹部（凹部）６７Ａｂが形成される。第１凹部６７Ａｂは、第１部分６６Ａの第１凹部６６Ａｂに対して軸線Ｏ１方向に対向している。図６における側面視で、第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂは、全体として長円状である。
第２部分６７Ａには、軸線Ｏ１方向に延びて第１凹部６７Ａｂの底面に開口する貫通孔６７Ａｃが形成されている。貫通孔６７Ａｃは、第１部分６６Ａの貫通孔６６Ａｃと同一直線上にある。
なお、第１凹部６６Ａｂ及び第１凹部６７Ａｂの一方は、形成されなくてもよい。 Between the pair of protrusions 67Ae, a first recess (recess) 67Ab that is recessed toward the second side D2 from the pair of protrusions 67Ae is formed. The first recessed portion 67Ab faces the first recessed portion 66Ab of the first portion 66A in the direction of the axis O1. As viewed from the side in FIG. 6, the first recesses 66Ab and 67Ab are oval as a whole.
The second portion 67A is formed with a through hole 67Ac that extends in the direction of the axis O1 and opens to the bottom surface of the first recess 67Ab. The through hole 67Ac is on the same straight line as the through hole 66Ac of the first portion 66A.
One of the first recess 66Ab and the first recess 67Ab may not be formed.

図５に示すように、第２部分６７Ａの内周面には、第１側Ｄ１に配置された小径部６７Ａｆと、小径部６７Ａｆよりも第２側Ｄ２に配置された大径部６７Ａｇとが形成されている。小径部６７Ａｆと大径部６７Ａｇとの間に形成される段部上には、第１保持部６７Ａｈが形成されている。第１保持部６７Ａｈは、段部から第２側Ｄ２に向かって突出し、第２部分６７Ａにおける第２側Ｄ２の端面６６Ａｉ近くまで延びている。
第２部分６７Ａの端面６６Ａｉには、第２保持部６９Ａが固定されている。なお、第２保持部６９Ａ及び第１保持部６７Ａｈで、保持部７０Ａを構成する。第２保持部６９Ａ及び第１保持部６７Ａｈは、それぞれ第２部分６７Ａにおける周方向の一部に設けられる。すなわち、複数の保持部７０Ａのそれぞれは、第２部分６７Ａにおける周方向の一部に設けられる。 As shown in FIG. 5, the inner peripheral surface of the second portion 67A has a small diameter portion 67Af arranged on the first side D1 and a large diameter portion 67Ag arranged on the second side D2 relative to the small diameter portion 67Af. formed. A first holding portion 67Ah is formed on a step formed between the small diameter portion 67Af and the large diameter portion 67Ag. The first holding portion 67Ah protrudes from the stepped portion toward the second side D2 and extends to near the end face 66Ai on the second side D2 of the second portion 67A.
A second holding portion 69A is fixed to the end surface 66Ai of the second portion 67A. The second holding portion 69A and the first holding portion 67Ah constitute the holding portion 70A. The second holding portion 69A and the first holding portion 67Ah are each provided in a part of the second portion 67A in the circumferential direction. That is, each of the plurality of holding portions 70A is provided in a portion of the second portion 67A in the circumferential direction.

第２保持部６９Ａは、弾性を有する金属片等で形成されている。第２保持部６９Ａは、端面６６Ａｉの内周縁よりも径方向内側に突出し、第１保持部６７Ａｈと軸線Ｏ１方向に対向している。第１保持部６７Ａｈ、第２保持部６９Ａは、レンズ３７Ａの外周縁に、この外周縁の第１側Ｄ１、第２側Ｄ２からそれぞれ接触する。第１保持部６７Ａｈ、第２保持部６９Ａは、レンズ３７Ａの外周縁を軸線Ｏ１方向に挟む。このように、保持部７０Ａは、レンズ３７Ａに接触してレンズ３７Ａを保持する。第２部分６７Ａは、レンズ３７Ａを保持する。
光学部材位置調整装置６０Ａは、保持部７０Ａを複数（本実施形態では３つ）備えている。複数の保持部７０Ａは、周方向に互いに間隔を空けて配置されている。複数の保持部７０Ａは、軸線Ｏ１回りに互いに等角度ごとに配置されていることが好ましい。
なお、光学部材位置調整装置６０Ａが備える保持部７０Ａの数は、１つでもよい。 The second holding portion 69A is made of an elastic metal piece or the like. The second holding portion 69A protrudes radially inward from the inner peripheral edge of the end surface 66Ai and faces the first holding portion 67Ah in the direction of the axis O1. The first holding portion 67Ah and the second holding portion 69A contact the outer peripheral edge of the lens 37A from the first side D1 and the second side D2 of the outer peripheral edge, respectively. The first holding portion 67Ah and the second holding portion 69A sandwich the outer peripheral edge of the lens 37A in the direction of the axis O1. Thus, the holding portion 70A holds the lens 37A in contact with the lens 37A. The second portion 67A holds the lens 37A.
The optical member position adjusting device 60A includes a plurality of (three in this embodiment) holding portions 70A. The plurality of holding portions 70A are arranged at intervals in the circumferential direction. It is preferable that the plurality of holding portions 70A be arranged at equal angles to each other around the axis O1.
Note that the number of holding portions 70A included in the optical member position adjusting device 60A may be one.

図６に示すように、フレクシャ部７５Ａは、溝６３Ａにより筒状部材６１Ａから区画される。フレクシャ部７５Ａは、第１部分６６Ａと第２部分６７Ａとを軸線Ｏ１方向に接続する第１接続片７６Ａ及び第２接続片７７Ａを備えている。
第１接続片７６Ａは、第１腕部７９Ａと、第２腕部８０Ａと、を有している。
第１腕部７９Ａは、第１部分６６Ａの凸部６６Ａｄ１（端面６６Ａａ）から第１向きＤ３に延びる。
第２腕部８０Ａは、第１腕部７９Ａの先端部から第２向きＤ４に延びる。第２腕部８０Ａは、第１腕部７９Ａよりも第２側Ｄ２に配置される。第２腕部８０Ａは、第２部分６７Ａの凸部６７Ａｅ１（端面６７Ａａ）に接続されている。
第１腕部７９Ａ及び第２腕部８０Ａは、第２凹部６７Ａｄにおける凸部６７Ａｅ１よりも第１向きＤ３の部分内に配置されている。 As shown in FIG. 6, the flexure portion 75A is separated from the tubular member 61A by a groove 63A. The flexure portion 75A includes a first connection piece 76A and a second connection piece 77A that connect the first portion 66A and the second portion 67A in the direction of the axis O1.
The first connection piece 76A has a first arm portion 79A and a second arm portion 80A.
The first arm portion 79A extends in the first direction D3 from the convex portion 66Ad1 (end surface 66Aa) of the first portion 66A.
The second arm portion 80A extends in the second direction D4 from the tip of the first arm portion 79A. The second arm portion 80A is arranged on the second side D2 relative to the first arm portion 79A. The second arm portion 80A is connected to the convex portion 67Ae1 (end surface 67Aa) of the second portion 67A.
The first arm portion 79A and the second arm portion 80A are arranged within the portion of the second recess portion 67Ad facing the first direction D3 from the protrusion portion 67Ae1.

第２接続片７７Ａは、第３腕部８２Ａと、第４腕部８３Ａと、を有している。
第３腕部８２Ａは、第１部分６６Ａの凸部６６Ａｄ２（端面６６Ａａにおける、第１腕部７９Ａが設けられた部分に対して第２向きＤ４に隣り合う部分）から、第２向きＤ４に延びる。ここで言う隣り合う部分とは、例えば、互いの腕部７９Ａ，８２Ａが第１部分６６Ａに接合されている部分間の距離が、各腕部７９Ａ，８２Ａの平均長さの２倍以下であることを意味する。
第４腕部８３Ａは、第３腕部８２Ａの先端部から第１向きＤ３に延びる。第４腕部８３Ａは、第３腕部８２Ａよりも第２側Ｄ２に配置されている。第４腕部８３Ａは、第２部分６７Ａの凸部６７Ａｅ２（端面６７Ａａにおける、第２腕部８０Ａが接合された部分に対して第２向きＤ４に隣り合う部分）に接続される。
第３腕部８２Ａ及び第４腕部８３Ａは、第２凹部６７Ａｄにおける凸部６７Ａｅ２よりも第２向きＤ４の部分内に配置されている。 The second connection piece 77A has a third arm portion 82A and a fourth arm portion 83A.
The third arm portion 82A extends in the second direction D4 from the convex portion 66Ad2 of the first portion 66A (the portion of the end face 66Aa adjacent to the portion where the first arm portion 79A is provided in the second direction D4). . Adjacent portions here mean, for example, the distance between the portions where the arms 79A and 82A are joined to the first portion 66A is less than twice the average length of the arms 79A and 82A. means that
The fourth arm portion 83A extends in the first direction D3 from the tip portion of the third arm portion 82A. The fourth arm portion 83A is arranged on the second side D2 relative to the third arm portion 82A. The fourth arm portion 83A is connected to the convex portion 67Ae2 of the second portion 67A (the portion of the end surface 67Aa adjacent to the portion to which the second arm portion 80A is joined in the second direction D4).
The third arm portion 82A and the fourth arm portion 83A are arranged within the portion of the second recess portion 67Ad facing the second direction D4 relative to the protrusion portion 67Ae2.

腕部７９Ａ，８０Ａ，８２Ａ，８３Ａの周方向の長さは、互いに等しい。腕部７９Ａ，８０Ａ，８２Ａ，８３Ａの軸線Ｏ１方向の長さは、第１部分６６Ａ及び第２部分６７Ａの軸線Ｏ１方向の長さよりも短い。フレクシャ部７５Ａは、全体として、「＜＞」字形の、いわゆるパンタグラフ形である。
以上のように構成された第１部分６６Ａ、第２部分６７Ａ、及びフレクシャ部７５Ａは、真鍮、ステンレス鋼等により一体に形成されている。フレクシャ部７５Ａは、弾性変形するとともに、弾性的に復元することができる。フレクシャ部７５Ａは、第１部分６６Ａに対して第２部分６７Ａを軸線Ｏ１方向に相対的に案内する。 Circumferential lengths of the arm portions 79A, 80A, 82A, and 83A are equal to each other. The lengths of the arm portions 79A, 80A, 82A, and 83A in the direction of the axis O1 are shorter than the lengths of the first portion 66A and the second portion 67A in the direction of the axis O1. The flexure portion 75A as a whole has a so-called pantograph shape of "<>".
The first portion 66A, the second portion 67A, and the flexure portion 75A configured as described above are integrally formed of brass, stainless steel, or the like. The flexure portion 75A can be elastically deformed and elastically restored. The flexure portion 75A guides the second portion 67A relative to the first portion 66A in the direction of the axis O1.

図５に示すように、光学部材位置調整装置６０Ａは、フレクシャ部７５Ａを複数（本実施形態では３つ）備えている。複数のフレクシャ部７５Ａは、周方向に互いに間隔を空けて配置されている。複数のフレクシャ部７５Ａは、軸線Ｏ１回りに互いに等角度ごとに配置されていることが好ましい。複数のフレクシャ部７５Ａに対応して、第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂ等もそれぞれ形成される。
複数の保持部７０Ａ及び複数のフレクシャ部７５Ａは、軸線Ｏ１方向に見たときに周方向において互いに重ならないように配置されている。なお、光学部材位置調整装置６０Ａが備えるフレクシャ部７５Ａの数は、１つでもよい。
以上のように構成された光学部材位置調整装置６０Ａは、例えば、真鍮で円筒状に形成された部材に、公知のレーザーカット、ワイヤカット等を行うこと等により製造される。フレクシャ部７５Ａは、筒状部材６１Ａに溝６３Ａを形成することにより区画されるため、フレクシャ部７５Ａを形成する際に、筒状部材６１Ａに対して新しい部材を加える必要が無い。 As shown in FIG. 5, the optical member position adjusting device 60A includes a plurality of (three in this embodiment) flexure portions 75A. The plurality of flexure portions 75A are arranged at intervals in the circumferential direction. It is preferable that the plurality of flexure portions 75A be arranged at equal angles to each other around the axis O1. First concave portions 66Ab, 67Ab, etc. are also formed corresponding to the plurality of flexure portions 75A.
The plurality of holding portions 70A and the plurality of flexure portions 75A are arranged so as not to overlap each other in the circumferential direction when viewed in the direction of the axis O1. The number of flexure portions 75A included in the optical member position adjusting device 60A may be one.
The optical member position adjusting device 60A configured as described above is manufactured, for example, by performing well-known laser cutting, wire cutting, or the like on a cylindrical member made of brass. Since the flexure portion 75A is partitioned by forming the groove 63A in the tubular member 61A, there is no need to add a new member to the tubular member 61A when forming the flexure portion 75A.

図６に示すように、第１部分６６Ａの第１凹部６６Ａｂ及び第２部分６７Ａの第１凹部６７Ａｂ内には、円環状のワッシャ８６Ａが配置される。第１部分６６Ａの貫通孔６６Ａｃ及び第２部分６７Ａの貫通孔６７Ａｃ内には、ネジ８７Ａが配置される。ネジ８７Ａにおける長手方向の中間部は、ワッシャ８６Ａの孔内に配置される。例えば、ネジ８７Ａは、ネジ８７Ａと嵌め合う図示しないナット等により、部分６６Ａ，６７Ａにそれぞれ固定される。ワッシャ８６Ａは、組となる第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂに対して、それぞれ配置される。
例えば、ワッシャ８６Ａの厚さ（軸線方向の長さ）が所定の厚さのときに、第１腕部７９Ａ及び第２腕部８０Ａは互いに平行であり、第３腕部８２Ａ及び第４腕部８３Ａは互いに平行である。以下では、図４に示す光学部材位置調整装置６０Ａの部分６６Ａ，６７Ａの配置を、基準配置と言う。 As shown in FIG. 6, an annular washer 86A is arranged in the first recess 66Ab of the first portion 66A and the first recess 67Ab of the second portion 67A. A screw 87A is arranged in the through hole 66Ac of the first portion 66A and the through hole 67Ac of the second portion 67A. The longitudinal middle portion of the screw 87A is located within the bore of the washer 86A. For example, the screw 87A is fixed to the portions 66A and 67A by a nut or the like (not shown) that fits with the screw 87A. The washers 86A are respectively arranged with respect to the pair of first recesses 66Ab and 67Ab.
For example, when the washer 86A has a predetermined thickness (axial length), the first arm 79A and the second arm 80A are parallel to each other, and the third arm 82A and the fourth arm 82A are parallel to each other. 83A are parallel to each other. Below, the arrangement of the portions 66A and 67A of the optical member position adjusting device 60A shown in FIG. 4 is referred to as a reference arrangement.

一方で、図７に示すように、第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂ内に、前記ワッシャ８６Ａよりも軸線Ｏ１方向の長さ（厚さ）が長いワッシャ８６Ａ１を配置する。このとき、第１接続片７６Ａ及び第２接続片７７Ａが軸線Ｏ１方向に伸びる。基準配置の光学部材位置調整装置６０Ａよりも第１部分６６Ａと第２部分６７Ａとの距離が広がった、光学部材位置調整装置６０Ａの伸長配置となる。フレクシャ部７５Ａは、前記所定間隔を変更することにより第１部分６６Ａに対して第２部分６７Ａを軸線Ｏ１方向へ案内する。
このように、第１部分６６Ａと第２部分６７Ａとの距離は、ワッシャ８６Ａの厚さにより、調節することができる。 On the other hand, as shown in FIG. 7, a washer 86A1 having a longer length (thickness) in the direction of the axis O1 than the washer 86A is arranged in the first concave portions 66Ab and 67Ab. At this time, the first connection piece 76A and the second connection piece 77A extend in the direction of the axis O1. The extended arrangement of the optical member position adjusting device 60A is such that the distance between the first portion 66A and the second portion 67A is wider than that of the optical member position adjusting device 60A in the standard arrangement. The flexure portion 75A guides the second portion 67A in the direction of the axis O1 with respect to the first portion 66A by changing the predetermined distance.
Thus, the distance between the first portion 66A and the second portion 67A can be adjusted by the thickness of the washer 86A.

図４に示すように、光学部材位置調整装置６０Ａは、第３鏡筒部５０ｃ内に配置されている。光学部材位置調整装置６０Ａの第１部分６６Ａは、保持部材５０ｃ１よりも第２側Ｄ２から保持部材５０ｃ１に接触するとともに、第３鏡筒部５０ｃに嵌め合うことにより、第３鏡筒部５０ｃに固定され（取り付けられ）ている。
ワッシャ８６Ａの厚さを調節することにより、第３鏡筒部５０ｃに対するレンズ３７Ａの軸線Ｏ１方向の位置が調節される。 As shown in FIG. 4, the optical member position adjusting device 60A is arranged inside the third barrel portion 50c. The first portion 66A of the optical member position adjusting device 60A contacts the holding member 50c1 from the second side D2 of the holding member 50c1, and is fitted into the third lens barrel portion 50c. fixed (mounted).
By adjusting the thickness of the washer 86A, the position of the lens 37A in the direction of the axis O1 with respect to the third barrel portion 50c is adjusted.

次に、本実施形態の投影システムＰＳの光学特性又は結像特性の調整方法の一例につき図８のフローチャートを参照して説明する。
まず、図８のステップＳ１で、投影システムＰＳの複数の部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの各部材の製造、各部材の組立調整、及び光学系フレーム２６に対する装着が行われる。
次のステップＳ３で、各部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの第１の調整装置８Ａを使用した第１鏡筒５０内の第１反射屈折系Ｇ１Ｐの粗調整、及び光学部材位置調整装置６０Ａの粗調整を行う。第３の調整装置８Ｃを使用した第２鏡筒５２内の第２反射屈折系Ｇ２Ｐの粗調整、及び光学部材位置調整装置６０Ｂの粗調整を行う。
次のステップＳ５で、例えば波面収差計測装置（不図示）等を用いて波面収差を計測しながら、各部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの第２の調整装置８Ｂを使用して第１反射屈折系Ｇ１Ｐの微調整を行い、第４の調整装置８Ｄを使用して第２反射屈折系Ｇ２Ｐの微調整を行う。 Next, an example of a method for adjusting the optical characteristics or imaging characteristics of the projection system PS of this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG.
First, in step S1 in FIG. 8, each member of the plurality of partial projection optical systems PLA to PLG of the projection system PS is manufactured, assembled and adjusted, and mounted on the optical system frame .
In the next step S3, coarse adjustment of the first catadioptric system G1P in the first lens barrel 50 using the first adjustment device 8A of each of the partial projection optical systems PLA to PLG, and coarse adjustment of the optical member position adjustment device 60A are performed. make adjustments. Coarse adjustment of the second catadioptric system G2P in the second barrel 52 using the third adjuster 8C and coarse adjustment of the optical member position adjuster 60B are performed.
In the next step S5, while measuring the wavefront aberration using, for example, a wavefront aberration measuring device (not shown), the second adjusting device 8B of each of the partial projection optical systems PLA to PLG is used to adjust the first catadioptric system. Fine adjustment of G1P is performed, and fine adjustment of the second catadioptric system G2P is performed using the fourth adjuster 8D.

その後、ステップＳ７で、単体での調整済みの投影システムＰＳが、図２に示すように、マスクステージ２１とプレートステージ２２との間に装着される。
次のステップＳ９で、各部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの第１の調整装置８Ａを使用した第１反射屈折系Ｇ１Ｐの粗調整、及び光学部材位置調整装置６０Ａの粗調整を行う。
次のステップＳ１１で、例えば図１の波面収差計測装置２４を用いてオンボディで波面収差を計測しながら、各部分投影光学系ＰＬＡ～ＰＬＧの第２の調整装置８Ｂを使用した第１反射屈折系Ｇ１Ｐの微調整、及び光学部材位置調整装置６０Ａの微調整を行う。
以上の工程を行うことにより、投影システムＰＳが調整される。 Thereafter, in step S7, the single, adjusted projection system PS is mounted between the mask stage 21 and the plate stage 22, as shown in FIG.
In the next step S9, coarse adjustment of the first catadioptric system G1P using the first adjusting device 8A of each of the partial projection optical systems PLA to PLG and coarse adjustment of the optical member position adjusting device 60A are performed.
In the next step S11, for example, while measuring the wavefront aberration on-body using the wavefront aberration measuring device 24 of FIG. Fine adjustment of the system G1P and fine adjustment of the optical member position adjusting device 60A are performed.
The projection system PS is adjusted by performing the above steps.

図９に示すように、従来の光学部材位置調整装置９５Ａは、第２保持部材９６Ａと、板ばね９７Ａと、筒状部材９８Ａと、を有する。
例えば、第２保持部材９６Ａは円筒状である。第２保持部材９６Ａは、第３鏡筒部５０ｃと同軸に配置され、第３鏡筒部５０ｃの内周面に固定される。
例えば、板ばね９７Ａは、円環状である。板ばね９７Ａの外周縁は、第２保持部材９６Ａにおける第１側Ｄ１の端面に固定される。
筒状部材９８Ａは、円筒状である。筒状部材９８Ａは、レンズ３７Ａを保持する。筒状部材９８Ａは、第２保持部材９６Ａ内に、第２保持部材９６Ａと同軸に配置されている。筒状部材９８Ａと第２保持部材９６Ａとの間には、隙間Ｓ１５が形成される。筒状部材９８Ａの第１側Ｄ１の端面には、板ばね９７Ａの内周縁が固定されている。 As shown in FIG. 9, a conventional optical member position adjusting device 95A has a second holding member 96A, a leaf spring 97A, and a tubular member 98A.
For example, the second holding member 96A is cylindrical. The second holding member 96A is arranged coaxially with the third barrel portion 50c and fixed to the inner peripheral surface of the third barrel portion 50c.
For example, leaf spring 97A is annular. The outer peripheral edge of the plate spring 97A is fixed to the end surface of the second holding member 96A on the first side D1.
The tubular member 98A is cylindrical. The cylindrical member 98A holds the lens 37A. The tubular member 98A is arranged coaxially with the second holding member 96A within the second holding member 96A. A gap S15 is formed between the tubular member 98A and the second holding member 96A. The inner peripheral edge of the leaf spring 97A is fixed to the end surface of the tubular member 98A on the first side D1.

板ばね９７Ａの内周縁が、図９中に二点鎖線Ｌ１で示すように変形することにより、第３鏡筒部５０ｃに対するレンズ３７Ａの軸線Ｏ１方向の位置が調節される。
ただし、第３鏡筒部５０ｃと筒状部材９８Ａとの間にレンズ３７Ａを保持する第２保持部材９６Ａが配置されているため、光学部材位置調整装置９５Ａでは、本実施形態の光学部材位置調整装置６０Ａにより保持可能なレンズに比べて開口数（ＮＡ）が小さいレンズしか保持できない。ＮＡは、（１）式により表される。
ＮＡ=ｎ×ｓｉｎθ ・・（１）
ここで、θは、物体からレンズに入射する光線（もしくはレンズから物体に集光する光線）の光軸に対する最大角度である。ｎは、物体とレンズとの間の媒質の屈折率である。
一般的に、レンズの分解能に対応する解像度δは、（２）式で表されるように開口数に反比例する。ただし、λは、光源の波長である。 By deforming the inner peripheral edge of the plate spring 97A as indicated by a two-dot chain line L1 in FIG. 9, the position of the lens 37A in the direction of the axis O1 with respect to the third barrel portion 50c is adjusted.
However, since the second holding member 96A that holds the lens 37A is arranged between the third lens barrel portion 50c and the cylindrical member 98A, the optical member position adjusting device 95A cannot adjust the optical member position of the present embodiment. Only lenses with smaller numerical apertures (NA) than lenses that can be held by device 60A can be held. NA is represented by the formula (1).
NA=n×sin θ (1)
Here, θ is the maximum angle with respect to the optical axis of a ray incident on the lens from the object (or a ray condensed on the object from the lens). n is the refractive index of the medium between the object and the lens.
Generally, the resolution δ corresponding to the resolution of the lens is inversely proportional to the numerical aperture as expressed by Equation (2). where λ is the wavelength of the light source.

露光装置の投影光学系においては、開口数の大きいレンズを用いる方が解像する線を細くすることができるため、高解像度化の面で有利である。もし、開口数が大きいレンズを第２保持部材９６Ａにより保持しようとすると、最大角度θが大きくなりレンズの径が大きくなる。このため、第２保持部材９６Ａの径を大きくしなければいけない。その結果、第２保持部材９６Ａの外周に設けられた第３鏡筒部５０ｃの径を、更に大きくしなければならない。 In the projection optical system of the exposure apparatus, the use of a lens with a large numerical aperture is advantageous in terms of high resolution because the line to be resolved can be narrowed. If a lens with a large numerical aperture is to be held by the second holding member 96A, the maximum angle .theta. increases and the diameter of the lens increases. Therefore, the diameter of the second holding member 96A must be increased. As a result, the diameter of the third barrel portion 50c provided on the outer circumference of the second holding member 96A must be further increased.

以上説明したように、本実施形態の光学部材位置調整装置６０Ａでは、筒状部材６１Ａは、第１部分６６Ａと、第２部分６７Ａと、フレクシャ部７５Ａと、を備える。従って、筒状部材６１Ａに対して新しい部材を加えることなく、前記所定間隔を変更することにより第１部分６６Ａに対して第２部分６７Ａを軸線Ｏ１方向に案内するフレクシャ部７５Ａを設けることができる。
筒状部材６１Ａに新しい部材を加えないため、光学部材位置調整装置６０Ａの外径が筒状部材６１Ａの外径よりも大きくならず、光学部材位置調整装置６０Ａの内径が筒状部材６１Ａの内径よりも小さくならない。従って、例えば、内径が一定の第３鏡筒部５０ｃに取付ける場合に、従来の光学部材位置調整装置９５Ａに比べて、光学部材位置調整装置６０Ａは、開口数が大きいレンズ３７Ａを保持することができる。 As described above, in the optical member position adjusting device 60A of this embodiment, the cylindrical member 61A includes the first portion 66A, the second portion 67A, and the flexure portion 75A. Therefore, the flexure portion 75A for guiding the second portion 67A in the direction of the axis O1 can be provided with respect to the first portion 66A by changing the predetermined interval without adding a new member to the cylindrical member 61A. .
Since no new member is added to the tubular member 61A, the outer diameter of the optical member position adjusting device 60A is not larger than the outer diameter of the tubular member 61A, and the inner diameter of the optical member position adjusting device 60A is equal to the inner diameter of the tubular member 61A. not smaller than Therefore, for example, when attached to the third lens barrel portion 50c having a constant inner diameter, the optical member position adjusting device 60A can hold a lens 37A having a larger numerical aperture than the conventional optical member position adjusting device 95A. can.

第１部分６６Ａは、筒状部材６１Ａにおける第１側Ｄ１の第１端部に区画され、第２部分６７Ａは、筒状部材６１Ａにおける第２側Ｄ２の第２端部に区画される。これにより、部分６６Ａ，６７Ａがそれぞれ円筒状になりやすくなり、例えば、第２部分６７Ａ内で円板状のレンズ３７Ａを容易かつ確実に保持することができる。
フレクシャ部７５Ａは第１接続片７６Ａ及び第２接続片７７Ａを備え、第１接続片７６Ａは第１腕部７９Ａと第２腕部８０Ａとを有し、第２接続片７７Ａは第３腕部８２Ａと第４腕部８３Ａとを有する。これにより、フレクシャ部７５Ａはパンタグラフ形の機構となり、第１部分６６Ａに対して第２部分６７Ａを軸線Ｏ１方向に確実に案内することができる。 The first portion 66A is defined at a first end on the first side D1 of the tubular member 61A, and the second portion 67A is defined at a second end on the second side D2 of the tubular member 61A. This makes it easier for the portions 66A and 67A to be cylindrical, respectively, and for example, the disk-shaped lens 37A can be easily and reliably held within the second portion 67A.
The flexure portion 75A has a first connection piece 76A and a second connection piece 77A, the first connection piece 76A has a first arm portion 79A and a second arm portion 80A, and the second connection piece 77A has a third arm portion. 82A and a fourth arm 83A. As a result, the flexure portion 75A becomes a pantograph-type mechanism, and can reliably guide the second portion 67A in the direction of the axis O1 with respect to the first portion 66A.

第１部分６６Ａには第１凹部６６Ａｂが形成され、第２部分６７Ａには第１凹部６７Ａｂが形成される。第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂ内で、第１部分６６Ａと第２部分６７Ａとの距離を調整するためのワッシャ８６Ａを、確実に保持することができる。
複数のフレクシャ部７５Ａは、周方向に互いに間隔を空けて配置されている。これにより、第１部分６６Ａに対する第２部分６７Ａの移動を、周方向の位置によらず安定させることができる。 A first recess 66Ab is formed in the first portion 66A, and a first recess 67Ab is formed in the second portion 67A. The washer 86A for adjusting the distance between the first portion 66A and the second portion 67A can be reliably held within the first recesses 66Ab and 67Ab.
The plurality of flexure portions 75A are arranged at intervals in the circumferential direction. Thereby, the movement of the second portion 67A with respect to the first portion 66A can be stabilized regardless of the position in the circumferential direction.

複数の保持部７０Ａ及び複数のフレクシャ部７５Ａは、軸線Ｏ１方向に見たときに周方向において互いに重ならないように配置されている。複数のフレクシャ部７５Ａによる第２部分６７Ａの変形は、第２部分６７Ａにおける、フレクシャ部７５Ａに対する第２側Ｄ２の部分に伝わりやすい。このように構成することにより、第２部分６７Ａにおける変形し難い部分でレンズ３７Ａを保持するため、第２部分６７Ａによるレンズ３７Ａの保持に与える影響を、抑制することができる。
また、本実施形態の露光装置１では、開口数が大きいレンズ３７Ａを保持できる光学部材位置調整装置６０Ａを用いて、露光装置１を構成することができる。 The plurality of holding portions 70A and the plurality of flexure portions 75A are arranged so as not to overlap each other in the circumferential direction when viewed in the direction of the axis O1. The deformation of the second portion 67A by the plurality of flexure portions 75A is likely to be transmitted to the portion of the second portion 67A on the second side D2 with respect to the flexure portion 75A. With this configuration, the lens 37A is held by the portion of the second portion 67A that is difficult to deform, so that the influence of the second portion 67A on the holding of the lens 37A can be suppressed.
Further, in the exposure apparatus 1 of the present embodiment, the exposure apparatus 1 can be configured using the optical member position adjusting device 60A capable of holding the lens 37A having a large numerical aperture.

なお、第２部分６７Ａの貫通孔６７Ａｃに雌ねじを形成し、貫通孔６６Ａｃ，６７Ａｃ内に、この雌ねじに嵌め合う、全ねじのねじ軸を配置してもよい。このねじ軸は、駆動モータにより回転し、駆動モータは、露光装置の主制御装置により制御される。
照明光ＥＬの色に基づいて、主制御装置が駆動モータによりねじ軸を回転させる。このように制御することにより、照明光ＥＬの色に基づいてレンズ３７Ａの軸線Ｏ１方向の位置を、即時に調節することができる。 A female screw may be formed in the through hole 67Ac of the second portion 67A, and a fully threaded screw shaft may be arranged in the through holes 66Ac and 67Ac to fit the female screw. This screw shaft is rotated by a drive motor, and the drive motor is controlled by the main controller of the exposure apparatus.
Based on the color of the illumination light EL, the main controller causes the drive motor to rotate the screw shaft. By controlling in this manner, the position of the lens 37A in the direction of the axis O1 can be immediately adjusted based on the color of the illumination light EL.

以上、本発明の一実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更、組み合わせ、削除等も含まれる。
例えば、前記実施形態では、部分６６Ａ，６７Ａには、第１凹部６６Ａｂ，６７Ａｂが形成されなくてもよい。 As described above, one embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, but the specific configuration is not limited to this embodiment, and the configuration can be changed, combined, or deleted without departing from the scope of the present invention. etc. are also included.
For example, in the above embodiment, the first recesses 66Ab, 67Ab may not be formed in the portions 66A, 67A.

筒状部材６１Ａに形成される溝の形状は、この溝により区画されるフレクシャ部が、第１部分に対して第２部分を軸線Ｏ１方向に相対的に案内できればよい。例えば、フレクシャ部は、全体として、「＞＜」字形であってもよい。この場合、第３腕部８２Ａは、第１部分６６Ａの端面６６Ａａにおける、第１腕部７９Ａが設けられた部分に対して第１向きＤ３の部分から、第２向きＤ４に延びる。第４腕部８３Ａは、第３腕部８２Ａの先端部から第１向きＤ３に延びる。第４腕部８３Ａは、第２部分６７Ａの端面６７Ａａにおける、第２腕部８０Ａが接合された部分に対して第１向きＤ３の部分に接続される。 The shape of the groove formed in the tubular member 61A may be such that the flexure section defined by the groove can guide the second portion relative to the first portion in the direction of the axis O1. For example, the flexure portion may be generally "><" shaped. In this case, the third arm portion 82A extends in the second direction D4 from the portion of the end face 66Aa of the first portion 66A that faces in the first direction D3 with respect to the portion where the first arm portion 79A is provided. The fourth arm portion 83A extends in the first direction D3 from the tip portion of the third arm portion 82A. The fourth arm portion 83A is connected to a portion of the end surface 67Aa of the second portion 67A that faces in the first direction D3 with respect to the portion to which the second arm portion 80A is joined.

例えば、筒状部材６１Ａを側方から見た正面視において、第１部分は、筒状部材６１Ａにおける軸線Ｏ１に対する第１側の部分であり、第２部分は、筒状部材６１Ａにおける軸線Ｏ１に対する第１側とは反対の第２側の部分であってもよい。このように、前記所定方向は、軸線Ｏ１方向に交差する方向であってもよい。
保持部７０Ａ及びフレクシャ部７５Ａは、軸線Ｏ１方向に見たときに周方向において互いに重なるように配置されていてもよい。
光学部材は、レンズ３７Ａに限定されず、反射鏡、プリズム等でもよい。 For example, in a front view of the tubular member 61A viewed from the side, the first portion is the portion on the first side with respect to the axis O1 of the tubular member 61A, and the second portion is the portion with respect to the axis O1 of the tubular member 61A. It may be part of a second side opposite the first side. Thus, the predetermined direction may be a direction intersecting the direction of the axis O1.
The holding portion 70A and the flexure portion 75A may be arranged so as to overlap each other in the circumferential direction when viewed in the direction of the axis O1.
The optical member is not limited to the lens 37A, and may be a reflecting mirror, a prism, or the like.

露光装置１で露光する際に、第３鏡筒部５０ｃに対するレンズ３７Ａの軸線Ｏ１方向の位置を調整してもよい。
その場合には、ワッシャ８６Ａを用いずに、第２部分６７Ａ側にアクチュエータを取り付ける。そして、このアクチュエータを動作させることにより、第１部分６６Ａに対して第２部分６７Ａを、光軸ＡＸ１方向（軸線Ｏ１方向）に相対移動させる。 When exposing with the exposure device 1, the position of the lens 37A in the direction of the axis O1 with respect to the third barrel portion 50c may be adjusted.
In that case, the actuator is attached to the second portion 67A without using the washer 86A. By operating this actuator, the second portion 67A is relatively moved in the direction of the optical axis AX1 (the direction of the axis O1) with respect to the first portion 66A.

１露光装置
３７Ａ，３７Ｂレンズ（光学部材）
５０第１鏡筒（筒体）
５２第２鏡筒（筒体）
６０Ａ，６０Ｂ光学部材位置調整装置
６１Ａ筒状部材
６３Ａ溝
６６Ａ第１部分
６６Ａａ，６７Ａａ端面
６６Ａｂ，６７Ａｂ第１凹部（凹部）
６７Ａ第２部分
７０Ａ保持部
７６Ａ第１接続片
７７Ａ第２接続片
７９Ａ第１腕部
８０Ａ第２腕部
８２Ａ第３腕部
８３Ａ第４腕部
Ｄ１第１側
Ｄ２第２側
Ｄ３第１向き
Ｄ４第２向き
Ｏ１軸線 1 exposure device 37A, 37B lens (optical member)
50 first lens barrel (cylinder)
52 Second barrel (cylinder)
60A, 60B Optical member position adjusting device 61A Cylindrical member 63A Groove 66A First portion 66Aa, 67Aa End face 66Ab, 67Ab First recess (recess)
67A Second part 70A Holding part 76A First connecting piece 77A Second connecting piece 79A First arm 80A Second arm 82A Third arm 83A Fourth arm D1 First side D2 Second side D3 First direction D4 Second direction O1 axis

Claims

An optical member position adjusting device for adjusting the position of an optical member housed in a housing,
a cylindrical member that holds the optical member inside the housing;
The cylindrical member is
a first portion attached to the housing;
a second portion that is provided at a predetermined distance from the first portion in a predetermined direction and holds the optical member;
a guide portion formed in a state of being connected to each of the first portion and the second portion and guiding the second portion in the predetermined direction with respect to the first portion by changing the predetermined distance; prepare
Optical member position adjustment device.

The predetermined direction is the axial direction of the tubular member,
the first portion is defined by a groove radially penetrating the tubular member at a first end on a first side of the tubular member in the axial direction;
2. The optical member position adjusting device according to claim 1, wherein the second portion is defined by the groove at a second end on a second side opposite to the first side in the axial direction.

The guide portion includes a first connection piece and a second connection piece that connect the first portion and the second portion in the axial direction,
The first connection piece is
a first arm portion extending in a first direction in the circumferential direction from an end surface of the first portion on the second side;
a second arm portion extending from a distal end portion of the first arm portion in a second direction opposite to the first direction in the circumferential direction and connected to an end surface of the second portion on the first side;
has
The second connection piece is
a third arm extending in the second direction from a portion of the end surface of the first portion adjacent to the portion provided with the first arm in the second direction;
extending in the first direction from the distal end of the third arm and connected to a portion of the end face of the second portion adjacent in the second direction to the portion to which the second arm is joined; a fourth arm;
3. The optical member position adjusting device according to claim 2, comprising:

4. The apparatus according to claim 2, wherein at least one of the end surface of the first portion on the second side and the end surface of the second portion on the first side is formed with a recess recessed in the axial direction. Optical member position adjustment device.

A plurality of the guide parts are provided,
The optical member position adjusting device according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of guide portions are arranged at intervals in the circumferential direction.

a holding portion provided in a part of the second portion in the circumferential direction and holding the optical member in contact with the optical member;
The optical member according to any one of claims 1 to 5, wherein the holding portion and the guide portion are arranged so as not to overlap each other in the circumferential direction when viewed in the axial direction of the cylindrical member. Positioning device.

An exposure apparatus comprising the optical member position adjusting device according to any one of claims 1 to 6.