JP2023070361A - rotary table device - Google Patents

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Abstract

To provide a rotary table device with a small diameter and high positioning accuracy.SOLUTION: A rotary table device includes: a housing having a cylindrical inner peripheral wall; a shaft which penetrates the housing and extends in an axial direction common to the axial direction of the inner peripheral wall; a first bearing mechanism which supports a first end side of the shaft so as to be able to move directly with respect to the housing; a motor mechanism which reciprocates the shaft in an axial direction of the shaft; and a rotary body connected to the shaft through a ball screw mechanism provided on a second end side which is an end on an opposite side of the first end side of the shaft. The rotary body is rotatably fixed to the housing via a second bearing mechanism and includes a ball screw nut and a table, which are mutually fixed.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、回転テーブル装置に関する。 The present invention relates to a rotary table device.

回転テーブル装置として、固定部であるベッドと、回転テーブルと、それらの間に配置される軸受と、を備え、リニアモータによって回転駆動される回転テーブル装置が知られている。例えば特許文献1の回転テーブル装置では、テーブルの下面にテーブルの周方向に沿って複数のマグネットが並んで配設されているとともに、ベッドの上面にマグネットに対向するように複数のコイルが並んで配設されている。特許文献1の回転テーブル装置は、マグネットの磁束とコイルに流れる電流とから得られる推力によってテーブルを回転させる、ダイレクトドライブ装置である。 2. Description of the Related Art As a rotary table device, a known rotary table device includes a bed as a fixed portion, a rotary table, and bearings arranged therebetween, and is rotationally driven by a linear motor. For example, in the rotary table device disclosed in Patent Document 1, a plurality of magnets are arranged on the lower surface of the table along the circumferential direction of the table, and a plurality of coils are arranged on the upper surface of the bed so as to face the magnets. are arranged. The rotary table device of Patent Literature 1 is a direct drive device that rotates the table by thrust obtained from the magnetic flux of the magnet and the current flowing through the coil.

一方、ボールねじとモータを組み合わせたリニアアクチュエータが知られている。特許文献2のリニアアクチュエータは、シャフトと、モータ部と、ボールねじナットと、ボールスプラインナットとを備えている。モータ部は、モータ外装に固定されたコイルを含むステータと、モータ外装に軸受を介して軸支されたロータ保持軸の外周部に設けられたロータと、から構成される。ロータ保持軸はボールねじナットであり、ボールねじナットの外周部にはマグネットと鉄心からなるロータが構成されているとともに、ボールねじナットの内周部には、ボールねじ溝が形成されており、ボールを介してシャフトを支持している。ボールスプラインナットは、モータ外装に回転不能に固定されるとともに、その内周側にボール転走溝が形成されており、ボールを介してシャフトを支持している。 On the other hand, a linear actuator is known that combines a ball screw and a motor. The linear actuator of Patent Document 2 includes a shaft, a motor section, a ball screw nut, and a ball spline nut. The motor section includes a stator including a coil fixed to the motor exterior, and a rotor provided on the outer peripheral portion of a rotor holding shaft that is supported by the motor exterior via a bearing. The rotor holding shaft is a ball screw nut, a rotor consisting of a magnet and an iron core is formed on the outer circumference of the ball screw nut, and a ball screw groove is formed on the inner circumference of the ball screw nut. The shaft is supported via balls. The ball spline nut is non-rotatably fixed to the exterior of the motor, and has ball rolling grooves formed on its inner circumference to support the shaft via balls.

特許4608238号公報Japanese Patent No. 4608238 特開平4-236158号公報JP-A-4-236158

回転テーブル装置において、より小径で、位置決め精度が高いものが望まれる。そこで、回転テーブル装置において、小径であるとともに位置決めの精度が高いものを提供することを本発明の目的の1つとする。 A rotary table device with a smaller diameter and higher positioning accuracy is desired. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a rotary table device having a small diameter and high positioning accuracy.

本開示に従う回転テーブル装置は、
円筒状の内周壁を有する筐体と、
前記筐体に貫通されるとともに、前記内周壁の軸方向と共通である軸方向に延びるシャフトと、
前記シャフトの第1端側を前記筐体に対して直動可能に支持する第1の軸受機構と、
前記シャフトを前記シャフトの軸方向に往復運動させるモータ機構と、
前記シャフトの第1端側と逆側の端部である第2端側に設けられたボールねじ機構を介して、前記シャフトに連結された回転体と、
を備え、
前記回転体は、第2の軸受機構を介して前記筐体に対して回転可能に支持されており、互いに固定されたボールねじナットと、テーブルとを含む。
A rotary table apparatus according to the present disclosure includes:
a housing having a cylindrical inner peripheral wall;
a shaft passing through the housing and extending in an axial direction common to the axial direction of the inner peripheral wall;
a first bearing mechanism that supports the first end side of the shaft so as to be directly movable with respect to the housing;
a motor mechanism that reciprocates the shaft in the axial direction of the shaft;
a rotating body connected to the shaft via a ball screw mechanism provided on a second end side opposite to the first end side of the shaft;
with
The rotating body is rotatably supported with respect to the housing via a second bearing mechanism, and includes a ball screw nut and a table fixed to each other.

上記の構成によれば、小径であるとともに位置決め精度の高い回転テーブル装置が提供される。 According to the above configuration, a rotary table device having a small diameter and high positioning accuracy is provided.

図1は、実施の形態1に係る回転テーブル装置1の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a rotary table device 1 according to Embodiment 1. FIG. 図2は、回転テーブル装置1の、図1におけるII-II断面を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing the II-II section in FIG. 1 of the rotary table device 1. As shown in FIG. 図3は、図2の断面図に一部の構成を加えて示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a partial configuration added to the cross-sectional view of FIG. 図4は、回転テーブル装置1の図1におけるII-II断面を示す断面斜視図である。FIG. 4 is a sectional perspective view showing the II-II section in FIG. 1 of the rotary table device 1. As shown in FIG. 図5は、実施の形態2に係る回転テーブル装置101の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of rotary table device 101 according to the second embodiment. 図6は、実施の形態3に係る回転テーブル装置201の断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a rotary table device 201 according to Embodiment 3. FIG. 図7は、実施の形態4に係る回転テーブル装置301の断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a rotary table device 301 according to Embodiment 4. FIG.

[実施形態の概要]
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
[Overview of embodiment]
First, the embodiments of the present disclosure are listed and described.

本開示にかかる回転テーブル装置は、円筒状の内周壁を有する筐体と、前記筐体に貫通されるとともに、前記内周壁の軸方向と共通である軸方向に延びるシャフトと、前記シャフトの第1端側を前記筐体に対して直動可能に支持する第1の軸受機構と、前記シャフトを前記シャフトの軸方向に往復運動させるモータ機構と、前記シャフトの第1端側と逆側の端部である第2端側に設けられたボールねじ機構を介して、前記シャフトに連結された回転体と、を備える。前記回転体は、第2の軸受機構を介して前記筐体に対して回転可能に支持されている。前記回転体は、互いに固定されたボールねじナットとテーブルとを含む。 A rotary table device according to the present disclosure includes a housing having a cylindrical inner peripheral wall, a shaft penetrating through the housing and extending in an axial direction common to the axial direction of the inner peripheral wall, and a second shaft of the shaft. a first bearing mechanism that supports one end side so as to be able to move directly with respect to the housing; a motor mechanism that reciprocates the shaft in the axial direction of the shaft; a rotating body connected to the shaft via a ball screw mechanism provided on the second end side, which is the end portion. The rotating body is rotatably supported with respect to the housing via a second bearing mechanism. The rotating body includes a ball screw nut and a table fixed to each other.

従来、回転テーブル装置として、回転テーブルの下面にマグネット列を備えるとともに、ベッドの上面に前記マグネット列と対向して、コイル列を備えるものが知られている(例えば特許文献1)。特許文献1の回転テーブル装置は精密な位置決めが可能である。一方で、モータを構成するマグネット列がテーブルに取り付けられているため、テーブルが小径であるほどマグネット列も小さくなり、その結果モータの出力が小さくなってしまう。このため、回転テーブル装置の小径化には限界があった。 Conventionally, as a rotary table device, there has been known one that has a magnet row on the lower surface of the rotary table and a coil row on the upper surface of the bed facing the magnet row (for example, Patent Document 1). The rotary table device of Patent Document 1 is capable of precise positioning. On the other hand, since the magnet row that constitutes the motor is attached to the table, the smaller the diameter of the table, the smaller the magnet row, and as a result, the output of the motor is reduced. Therefore, there is a limit to reducing the diameter of the rotary table device.

一方で、シャフト上を可動子が往復運動するシャフトモータが知られている。シャフトモータは、磁極を交互にして軸方向に並べられた複数の磁石を含むシャフトと、それを取り囲むようにした円筒形のコイルを含む可動子と、で構成される。シャフトモータでは、コイルに電流を流すことで推力が発生し、可動子がシャフト上で直線運動する。従来、回転テーブル装置におけるテーブルの回転にシャフトモータの直線運動を利用することは想定されていなかった。 On the other hand, a shaft motor is known in which a mover reciprocates on a shaft. A shaft motor is composed of a shaft including a plurality of magnets arranged in an axial direction with magnetic poles alternated, and a mover including a cylindrical coil surrounding the shaft. In a shaft motor, a thrust force is generated by applying current to a coil, and a mover moves linearly on the shaft. Conventionally, it has not been assumed that the linear motion of a shaft motor is used to rotate a table in a rotary table device.

また、ボールねじとボールスプラインとを組み合わせて、ボールねじナットの内部にモータを組み込んだリニアアクチュエータが知られている(例えば特許文献2)。特許文献2のリニアアクチュエータは、ボールねじナットの回転運動をシャフトの直線運動に変換する。特許文献2のリニアアクチュエータでは、さらにボールスプラインナットの内部にもモータを組み込むことによって、シャフトを回転運動あるいはスパイラル運動させることも可能である。ただし、特許文献2のリニアアクチュエータを、一定の位置に保持されたテーブルを回転させる用途に適用することはできない。 Also known is a linear actuator in which a ball screw and a ball spline are combined and a motor is incorporated inside the ball screw nut (for example, Patent Document 2). The linear actuator of Patent Document 2 converts rotary motion of a ball screw nut into linear motion of a shaft. In the linear actuator of Patent Document 2, it is also possible to rotate or spirally move the shaft by incorporating a motor inside the ball spline nut. However, the linear actuator of Patent Document 2 cannot be applied to rotating a table held at a fixed position.

本開示にかかる回転テーブル装置は、シャフトモータを応用してシャフトを軸方向に往復運動させる。また、シャフトの一端にボールねじ機構が設けられている。このボールねじ機構におけるボールねじナットは、シャフトモータの筐体に対して軸受を介して回転可能に取り付けられている。このため、ボールねじナットは軸方向には移動不能で、回転運動のみが許容される。これらの構成によって、シャフトの直動運動がボールねじナットの回転運動に変換され、ボールねじナットに固定されたテーブルが回転する。本開示の回転テーブル装置は、テーブルにモータ部品が取り付けられていないため、テーブルの小径化が容易である。また、従来の回転テーブル装置では矩形に形成されていた基台が不要となり、回転テーブル装置の平面方向の大きさをより小型化できる。また、ボールねじ機構によってシャフトの直動運動をテーブルの回転運動に変換するため、回転の制御を確実にできる。このため位置決め精度が高い。さらに、モータの出力を制御することによって回転速度を制御できる。また、ボールねじのリードとテーブルの回転角度が相関するため、ボールねじのリードを設定し形成するという汎用的で確立された手法を用いて、所望の回転角度を有する回転テーブル装置が得られる。 A rotary table device according to the present disclosure reciprocates a shaft in an axial direction by applying a shaft motor. A ball screw mechanism is provided at one end of the shaft. A ball screw nut in this ball screw mechanism is rotatably attached to the housing of the shaft motor via a bearing. Therefore, the ball screw nut is axially immovable and is only allowed to rotate. With these configurations, the linear motion of the shaft is converted into rotary motion of the ball screw nut, and the table fixed to the ball screw nut rotates. Since the rotary table device of the present disclosure does not have a motor component attached to the table, it is easy to reduce the diameter of the table. In addition, the conventional rotary table device does not require a rectangular base, and the size of the rotary table device in the plane direction can be further reduced. In addition, since the linear motion of the shaft is converted into the rotational motion of the table by the ball screw mechanism, the rotation can be reliably controlled. Therefore, the positioning accuracy is high. Furthermore, the rotational speed can be controlled by controlling the output of the motor. In addition, since the lead of the ball screw and the rotation angle of the table are correlated, a rotary table device having a desired rotation angle can be obtained by using a general-purpose and established method of setting and forming the lead of the ball screw.

前記回転テーブル装置において、前記モータ機構は、前記筐体の前記内周壁に固定されたコイルと、前記シャフトの外周面であって前記コイルと対向する位置に固定された界磁と、を含んでもよい。モータ機構としてリニアモータを備えることによって、シャフトの移動量すなわち回転テーブルの回転量の制御が、より確実かつ容易にできる。このため、位置決め精度により優れた回転テーブル装置が得られる。 In the rotary table device, the motor mechanism may include a coil fixed to the inner peripheral wall of the housing, and a magnetic field fixed to a position facing the coil on the outer peripheral surface of the shaft. good. By providing a linear motor as the motor mechanism, the amount of movement of the shaft, that is, the amount of rotation of the rotary table can be controlled more reliably and easily. Therefore, a rotary table device with excellent positioning accuracy can be obtained.

前記回転テーブル装置において、前記第1の軸受機構がボールスプライン機構であり、前記筐体にボールスプラインナットが固定されており、前記シャフトの前記第1端側の外周面にスプライン溝が形成されていてもよい。シャフトにおける、回転テーブルが備えられた側(第2端側)と逆側の端部(第1端側)をボールスプライン軸受で支持することによって、負荷に対する許容範囲をより大きくできる。 In the rotary table device, the first bearing mechanism is a ball spline mechanism, a ball spline nut is fixed to the housing, and a spline groove is formed on the outer peripheral surface of the shaft on the first end side. may By supporting the end (first end) of the shaft on the opposite side of the rotary table (second end) with a ball spline bearing, the allowable range of load can be increased.

前記回転テーブル装置において、前記第2の軸受機構がクロスローラ軸受であり、前記筐体に前記クロスローラ軸受の軸受外輪が固定されており、当該軸受外輪と、前記ボールねじナットおよび前記テーブルに固定された軸受内輪とが、ローラを介して連結されていてもよい。この回転テーブル装置では、クロスローラ軸受によってあらゆる方向からの負荷を許容可能となる。このため、物体を載置して回転させる用途に留まらず、たとえばマニピュレータの手先等に適用する等、より広い用途に好適となる。 In the rotary table device, the second bearing mechanism is a cross roller bearing, the bearing outer ring of the cross roller bearing is fixed to the housing, and the bearing outer ring, the ball screw nut, and the table are fixed. The inner ring of the bearing may be connected via a roller. In this rotary table device, the cross roller bearing allows loads from all directions. For this reason, it is suitable for a wider range of applications, such as being applied to the hand of a manipulator, in addition to being used for placing and rotating an object.

前記回転テーブル装置において、前記界磁は、前記シャフトに挿嵌されたリング状の永久磁石が軸方向に複数並べられた磁石列を含んでよい。また、前記シャフトは、前記界磁が配置される部分の一端に前記界磁と接するフランジ部が設けられており、前記界磁は前記フランジ部と前記シャフトに挿嵌されたナットとによって挟持固定されていてもよい。かかる構成によって、回転テーブル装置を構成する部品の点数を抑えつつ、組み立てが容易で、シャフトの偏心やがたつきを防止し、精度の高い回転テーブル装置を実現できる。 In the rotary table device, the magnetic field may include a magnet row in which a plurality of ring-shaped permanent magnets inserted into the shaft are aligned in the axial direction. The shaft is provided with a flange portion contacting the magnetic field at one end of the portion where the magnetic field is arranged, and the magnetic field is clamped and fixed by the flange portion and a nut fitted on the shaft. may have been With such a configuration, it is possible to reduce the number of parts constituting the rotary table device, facilitate assembly, prevent eccentricity and looseness of the shaft, and realize a highly accurate rotary table device.

前記回転テーブル装置は、さらにエンコーダを備え、前記エンコーダは、前記回転体の外周面に取り付けられたスケールと、前記筐体に取り付けられ、前記スケールと対向するエンコーダヘッドと、を含んでよい。回転体の回転を直接検知することによって、より精度の高い回転制御を実現できる。 The rotary table device may further include an encoder, and the encoder may include a scale attached to the outer peripheral surface of the rotating body, and an encoder head attached to the housing and facing the scale. By directly detecting the rotation of the rotating body, more accurate rotation control can be achieved.

[実施形態の具体例]
次に、本開示の回転テーブル装置の具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
[Specific example of embodiment]
Next, an example of specific embodiments of the rotary table device of the present disclosure will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are given the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

(実施の形態1)
図1は、本開示の一実施の形態における回転テーブル装置である回転テーブル装置1の構造を示す外観の斜視図である。図2は、回転テーブル装置1の図1におけるII-II断面を示す断面図である。図3は、図2の断面図に一部の構成を加えて示す図である。図4は、回転テーブル装置1の図1におけるII-II断面を示す断面斜視図である。なお、図1~図4はいずれも模式図であり、回転テーブル装置を構成する部品のうち一部の図示を省略し、また、各部品の詳細な構成も省略している。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an external perspective view showing the structure of a rotary table device 1, which is a rotary table device according to an embodiment of the present disclosure. FIG. 2 is a sectional view showing the II-II section in FIG. 1 of the rotary table device 1. As shown in FIG. FIG. 3 is a diagram showing the cross-sectional view of FIG. 2 with a part of the configuration added. FIG. 4 is a sectional perspective view showing the II-II section in FIG. 1 of the rotary table device 1. As shown in FIG. 1 to 4 are schematic diagrams, some of the parts constituting the rotary table device are omitted, and the detailed configuration of each part is also omitted.

図1を参照して、回転テーブル装置1は、全体に円筒状の外観を有する。回転テーブル装置1は、筐体としての外筒11と、外筒11を貫通するシャフト21と、回転テーブルであるテーブル31と、を備える。回転テーブル装置1において、シャフト21が突き出している側を第1端側、テーブル31が備えられた側を第2端側と称する。 Referring to FIG. 1, rotary table device 1 has an overall cylindrical appearance. The rotary table device 1 includes an outer cylinder 11 as a housing, a shaft 21 passing through the outer cylinder 11, and a table 31 as a rotary table. In the rotary table device 1, the side where the shaft 21 protrudes is called the first end side, and the side where the table 31 is provided is called the second end side.

外筒11は軸方向に延びる円筒形の外周面を有する。外筒11の第1端側には、ハウジング12が固定されている。ハウジング12も回転テーブル装置1における筐体を構成する。ハウジング12の外径は、外筒11と同径である。外筒11の第2端側には、軸受外輪13が固定されている。軸受外輪13の外径は、外筒11と同径である。ただし、図1に示された外筒11、ハウジング12、軸受外輪13の外形は一例であり、これに限定されない。例えば、外筒11、ハウジング12、軸受外輪13は互いに異なる外径を有していてもよい。また、外筒11、ハウジング12の外面の形状は円筒形に限られず、矩形の筒状であってもよい。また、センサや各種コード類を収容する収容部、他部材との取り付け部等が設けられていてもよい。 The outer cylinder 11 has a cylindrical outer peripheral surface extending in the axial direction. A housing 12 is fixed to the first end side of the outer cylinder 11 . The housing 12 also constitutes a housing in the rotary table device 1 . The outer diameter of the housing 12 is the same as that of the outer cylinder 11 . A bearing outer ring 13 is fixed to the second end side of the outer cylinder 11 . The outer diameter of the bearing outer ring 13 is the same as that of the outer cylinder 11 . However, the external shapes of the outer cylinder 11, housing 12, and bearing outer ring 13 shown in FIG. 1 are merely examples, and the present invention is not limited to these. For example, the outer cylinder 11, the housing 12, and the bearing outer ring 13 may have different outer diameters. Moreover, the shape of the outer surface of the outer cylinder 11 and the housing 12 is not limited to a cylindrical shape, and may be a rectangular cylindrical shape. Further, a housing section for housing sensors and various cords, a mounting section for other members, and the like may be provided.

外筒11、ハウジング12および軸受外輪13は、互いに固定されている。外筒11、ハウジング12および軸受外輪13は、回転テーブル装置1における固定部10を構成する。これに対して、シャフト21は、外筒11の内部に備えられるモータ機構40(図2)によって、軸方向に往復運動する。シャフト21は回転テーブル装置1における直動部20を構成する。テーブル31は、シャフト21の往復運動に連動して、回転運動する。テーブル31は、回転テーブル装置1における回転部30を構成する。すなわち、回転テーブル装置1は、固定部10と、直動部20と、回転部30と、を含む。 Outer cylinder 11, housing 12 and bearing outer ring 13 are fixed to each other. The outer cylinder 11 , the housing 12 and the bearing outer ring 13 constitute the fixed portion 10 in the rotary table device 1 . On the other hand, the shaft 21 is axially reciprocated by a motor mechanism 40 (FIG. 2) provided inside the outer cylinder 11 . The shaft 21 constitutes the direct acting portion 20 in the rotary table device 1 . The table 31 rotates in conjunction with the reciprocating motion of the shaft 21 . The table 31 constitutes the rotating section 30 in the rotary table device 1 . That is, the turntable device 1 includes a fixed portion 10 , a direct acting portion 20 and a rotating portion 30 .

固定部10について説明する。図2を参照して、外筒11は円筒状の内周壁11aを有する。内周壁11aに、コイル41が固定されている。コイル41は、内周壁11aに沿って螺旋状に多重に巻回され、全体として内周壁11aの軸方向に延在する。なお、コイル41は内周壁11aに対して直接固定されていてもよいし、支持部材を介して取り付けられていてもよい。 The fixed part 10 will be described. Referring to FIG. 2, outer cylinder 11 has a cylindrical inner peripheral wall 11a. A coil 41 is fixed to the inner peripheral wall 11a. The coil 41 is spirally wound in multiple layers along the inner peripheral wall 11a, and extends in the axial direction of the inner peripheral wall 11a as a whole. In addition, the coil 41 may be directly fixed to the inner peripheral wall 11a, or may be attached via a support member.

外筒11の第1端側に固定されたハウジング12の内周側に、ボールスプラインナット51が固定されている。ボールスプラインナット51は、第1の軸受機構としてのボールスプライン50(図3)を構成する。ボールスプラインナット51は、ボール53(図3)を介して、シャフト21の第1端側を軸方向に直動可能に支持する。外筒11の第2端側には、軸受外輪13が固定されている。軸受外輪13は、軸受内輪32と対向する。 A ball spline nut 51 is fixed to the inner peripheral side of the housing 12 fixed to the first end side of the outer cylinder 11 . The ball spline nut 51 constitutes a ball spline 50 (FIG. 3) as a first bearing mechanism. The ball spline nut 51 supports the first end side of the shaft 21 through balls 53 (FIG. 3) so as to be able to move in the axial direction. A bearing outer ring 13 is fixed to the second end side of the outer cylinder 11 . The bearing outer ring 13 faces the bearing inner ring 32 .

直動部20について説明する。図2を参照して、シャフト21は、外筒11の内部を貫通して延びる軸状部材である。シャフト21の軸方向は、外筒11の内周壁11aの軸方向と同一方向である。言い換えると、シャフト21は、外筒11の内周壁11aと共通である軸方向に延びる。シャフト21の軸方向における中央付近に、界磁42が固定されている。界磁42は、シャフト21に挿嵌されたリング状の永久磁石が軸方向に複数並べられてなる。周知のとおり、複数の永久磁石は、N極とS極が交互に並べられる。界磁42は、コイル41と対向する位置に備えられている。シャフト21は、鍔状に外方に突出した部分であるフランジ部22を有する。界磁42は、フランジ部22とベアリングナットであるナット23とによって、挟持固定されている。界磁42およびナット23は、シャフト21に固定されている。コイル41と界磁42は、モータ機構40を構成する。 The direct acting portion 20 will be described. Referring to FIG. 2 , shaft 21 is a shaft-like member extending through outer cylinder 11 . The axial direction of the shaft 21 is the same as the axial direction of the inner peripheral wall 11 a of the outer cylinder 11 . In other words, the shaft 21 extends in the same axial direction as the inner peripheral wall 11 a of the outer cylinder 11 . A magnetic field 42 is fixed near the center of the shaft 21 in the axial direction. The field magnet 42 is formed by arranging a plurality of ring-shaped permanent magnets fitted on the shaft 21 in the axial direction. As is well known, the plurality of permanent magnets are arranged with alternating north and south poles. A magnetic field 42 is provided at a position facing the coil 41 . The shaft 21 has a flange portion 22 which is a portion projecting outward like a collar. The field magnet 42 is clamped and fixed by the flange portion 22 and the nut 23 which is a bearing nut. Field magnet 42 and nut 23 are fixed to shaft 21 . The coil 41 and the magnetic field 42 constitute the motor mechanism 40 .

シャフト21の第2端側は、ボール63(図3)を介して、ボールねじナット61によって支持されている。シャフト21の第2端は、軸受内輪32の内周の中空部分を貫通し、テーブル31の内周の中空部分に至っている。シャフト21は軸方向に直動するところ、シャフト21が最大に第2端側に移動した状態で、テーブル31の主面31aからシャフト21が突出しないよう設計されることが好ましい。 A second end side of the shaft 21 is supported by a ball screw nut 61 via a ball 63 (FIG. 3). The second end of the shaft 21 passes through the hollow portion of the inner circumference of the bearing inner ring 32 and reaches the hollow portion of the inner circumference of the table 31 . Since the shaft 21 moves linearly in the axial direction, it is preferably designed so that the shaft 21 does not protrude from the main surface 31a of the table 31 when the shaft 21 is moved to the second end side to the maximum.

回転部30について説明する。図2を参照して、回転部30は、互いに固定された、ボールねじナット61と、軸受内輪32と、テーブル31とを含む。ボールねじナット61は、前述のとおり、ボール63(図3)を介してシャフト21と連結されている。また、軸受内輪32は、ローラ33(図3)を介して軸受外輪13に対して回動可能に連結されている。回転部30は回転可能であると同時に、固定部10を構成する軸受外輪13と連結されているため軸方向には移動不能である。 The rotating section 30 will be described. Referring to FIG. 2, rotating portion 30 includes a ball screw nut 61, a bearing inner ring 32, and a table 31, which are fixed to each other. The ball screw nut 61 is connected to the shaft 21 via the balls 63 (FIG. 3), as described above. Further, the bearing inner ring 32 is rotatably connected to the bearing outer ring 13 via rollers 33 (FIG. 3). The rotating portion 30 is rotatable, and at the same time, is axially immovable because it is connected to the bearing outer ring 13 that constitutes the fixed portion 10 .

図3を参照して、固定部10と、直動部20と、回転部30とを連結する構造について説明する。固定部10と、直動部20を構成するシャフト21との間には、第1の軸受機構としてのボールスプライン50が構成されている。シャフト21の第1端側の外周面には、軸方向に延びるスプライン溝52が形成されている。ボールスプラインナット51と、スプライン溝52との間に形成される軌道内にボール53が挿入されている。なお、図3に示されるボールスプライン50は、構成を概念的に示す模式図であり、実際の寸法や形状を必ずしも反映するものではない。また、図3に示す例では第1の軸受機構としてボールスプライン50を備えるが、所望の荷重を支持し、シャフト21の軸方向の移動を許容できる機構であればよく、ボールスプラインに限定されない。例えば、ボールスプラインに代えてすべり軸受を用いてもよい。ボールスプラインを用いる場合、回転部30から受ける回転反力を受けることが可能で、軸の空転を抑制できるという利点がある。 A structure for connecting the fixed portion 10, the direct acting portion 20, and the rotating portion 30 will be described with reference to FIG. A ball spline 50 as a first bearing mechanism is configured between the fixed portion 10 and the shaft 21 that constitutes the linear motion portion 20 . A spline groove 52 extending in the axial direction is formed in the outer peripheral surface of the shaft 21 on the first end side. A ball 53 is inserted in a raceway formed between the ball spline nut 51 and the spline groove 52 . The ball spline 50 shown in FIG. 3 is a schematic diagram conceptually showing the configuration, and does not necessarily reflect the actual dimensions and shape. In the example shown in FIG. 3, the ball spline 50 is provided as the first bearing mechanism. For example, a slide bearing may be used instead of the ball spline. When using a ball spline, there is an advantage that it is possible to receive the rotational reaction force received from the rotating part 30, and it is possible to suppress idle rotation of the shaft.

図3を参照して、直動部20を構成するシャフト21と、回転部30との間には、ボールねじ機構60が構成されている。シャフト21の第2端側の外周面には、螺旋状に延びるボールねじ溝62が形成されている。ボールねじナット61と、ボールねじ溝62との間に形成される軌道内にボール63が挿入されている。なお、図3に示されるボールねじ機構60は、構成を概念的に示す模式図であり、実際の寸法や形状を必ずしも反映するものではない。直動部20と回転部30との間をボールねじ機構で連結することによって、エネルギーロスが少なく、直動部20の直動運動を効率的に回転部30の回転運動に変換することができる。また、リードの選択によって回転部30の回転速度や回転量を設計可能である。また、ボールのサイズ選択によって高剛性化を図ること、バックラッシを低減することができる。耐久性等についてボールねじの既存の知見を利用できる可能性もある。 Referring to FIG. 3 , a ball screw mechanism 60 is provided between shaft 21 forming linear motion portion 20 and rotating portion 30 . A spirally extending ball screw groove 62 is formed on the outer peripheral surface of the shaft 21 on the second end side. A ball 63 is inserted in a raceway formed between the ball screw nut 61 and the ball screw groove 62 . The ball screw mechanism 60 shown in FIG. 3 is a schematic diagram conceptually showing the configuration, and does not necessarily reflect the actual dimensions and shape. By connecting the linear motion part 20 and the rotary part 30 with the ball screw mechanism, the energy loss is small, and the linear motion of the linear motion part 20 can be efficiently converted into the rotary motion of the rotary part 30. . Also, the rotational speed and amount of rotation of the rotating portion 30 can be designed by selecting the lead. In addition, it is possible to increase rigidity and reduce backlash by selecting the size of the ball. There is also a possibility that the existing knowledge of ball screws can be used for durability and the like.

図3を参照して、固定部10と、回転部30との間には、第2の軸受機構としてのクロスローラ軸受70が備えられている。クロスローラ軸受70は、固定部10を構成する軸受外輪13と、回転部30を構成する軸受内輪32と、軸受外輪13と軸受内輪32との間に形成される軌道内に挿入されたローラ33と、を含む。なお、図3に示されるクロスローラ軸受70は、構成を概念的に示す模式図であり、実際の寸法や形状を必ずしも反映するものではない。また、図3に示す例では第2の軸受機構としてクロスローラ軸受70を備えるが、所望の荷重を支持し、テーブル31の回転運動を支持できる機構であればよく、クロスローラ軸受に限定されない。例えば、クロスローラ軸受に代えてアンギュラ軸受や通常の玉軸受であってもよく、用途や寸法に応じてすべり軸受であってもよい。クロスローラ軸受を用いる場合、高剛性化を図ることができる。また、クロスローラ軸受70は、シャフト21から受けるアキシアル荷重とテーブル31から受けるラジアル荷重の両方を受けることができるため、好ましい。また、精度が高いクロスローラ軸受をエンコーダとともに用いることによって、位置決め精度をより向上できる。 Referring to FIG. 3, a cross roller bearing 70 as a second bearing mechanism is provided between fixed portion 10 and rotating portion 30 . The cross roller bearing 70 includes a bearing outer ring 13 that constitutes the fixed portion 10, a bearing inner ring 32 that constitutes the rotating portion 30, and rollers 33 inserted in a raceway formed between the bearing outer ring 13 and the bearing inner ring 32. and including. The cross roller bearing 70 shown in FIG. 3 is a schematic diagram conceptually showing the configuration, and does not necessarily reflect the actual dimensions and shape. In addition, although the cross roller bearing 70 is provided as the second bearing mechanism in the example shown in FIG. For example, an angular bearing or a normal ball bearing may be used in place of the cross roller bearing, or a slide bearing may be used depending on the application and dimensions. When a cross roller bearing is used, high rigidity can be achieved. Moreover, the cross roller bearing 70 is preferable because it can receive both the axial load received from the shaft 21 and the radial load received from the table 31 . Further, positioning accuracy can be further improved by using a highly accurate cross roller bearing together with an encoder.

図4を参照して、回転テーブル装置1の動作について説明する。回転テーブル装置1は、モータ機構40を備える。モータ機構40は、外筒11の内周壁11aに固定されたコイル41と、シャフト21の外周面であってコイル41と対向する位置に固定された界磁42と、を含む。界磁42はリング状の磁石がシャフト21に挿嵌され、複数軸方向に並べられてなる。モータ機構40における固定子であるコイル41に電流が流れると、軸方向への推力が生じてシャフト21が軸方向に移動する。コイル41に流れる電流の方向を切り替えることによって、シャフト21を往復運動させることができる。また、電流の量を変化させることによってモータ40の出力を制御し、シャフト21の移動速度を制御できる。 The operation of the rotary table device 1 will be described with reference to FIG. The rotary table device 1 has a motor mechanism 40 . The motor mechanism 40 includes a coil 41 fixed to the inner peripheral wall 11 a of the outer cylinder 11 and a magnetic field 42 fixed to the outer peripheral surface of the shaft 21 at a position facing the coil 41 . The field magnet 42 is formed by inserting ring-shaped magnets into the shaft 21 and arranging them in a plurality of axial directions. When a current flows through the coil 41, which is the stator of the motor mechanism 40, axial thrust is generated to move the shaft 21 in the axial direction. By switching the direction of the current flowing through the coil 41, the shaft 21 can be reciprocated. Also, by changing the amount of current, the output of the motor 40 can be controlled to control the moving speed of the shaft 21 .

シャフト21の直動運動は、ボールねじナット61に伝達される。ボールねじナット61は軸方向の動きが規制されているため、回転運動のみが生じる。テーブル31はボールねじナット61に固定されているため、テーブル31はボールねじナット61とともに回転する。テーブル31の回転量は、シャフト21の移動量と相関する。テーブル31の回転角度は、ボールねじ溝62(図3)のリードに依存する。回転テーブル装置1では、ボールねじ溝62のリードによって任意の回転角度を有する回転テーブル装置が得られる。例えば、回転角度が60°、120°、250°等の一定角度内を往復運動する回転テーブル装置であってもよく、360°以上回転する回転テーブル装置としてもよい。 Linear motion of the shaft 21 is transmitted to the ball screw nut 61 . Since the ball screw nut 61 is restricted in axial movement, only rotational movement occurs. Since the table 31 is fixed to the ball screw nut 61 , the table 31 rotates together with the ball screw nut 61 . The amount of rotation of the table 31 correlates with the amount of movement of the shaft 21 . The rotation angle of table 31 depends on the lead of ball screw groove 62 (FIG. 3). In the rotary table device 1, the lead of the ball screw groove 62 provides a rotary table device having an arbitrary rotation angle. For example, it may be a rotary table device that reciprocates within a fixed angle such as 60°, 120°, or 250°, or a rotary table device that rotates 360° or more.

回転テーブル装置1は、さらに、移動量を検出するためのエンコーダを備えていてもよい。図5は、実施の形態2に係る回転テーブル装置101の断面図である。図6は、実施の形態3に係る回転テーブル装置201の断面図である。図7は、実施の形態4に係る回転テーブル装置301である。回転テーブル装置101,201,301はそれぞれエンコーダを備えており、エンコーダを設置する位置が異なる。図5~図7において、回転テーブル装置1と同様の構成には同様の符号を付し、説明の一部を省略する。 The rotary table device 1 may further include an encoder for detecting the amount of movement. FIG. 5 is a cross-sectional view of rotary table device 101 according to the second embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view of a rotary table device 201 according to Embodiment 3. FIG. FIG. 7 shows a rotary table device 301 according to the fourth embodiment. Each of the rotary table devices 101, 201, and 301 has an encoder, and the position where the encoder is installed is different. 5 to 7, the same components as those of the rotary table device 1 are denoted by the same reference numerals, and part of the description is omitted.

図5を参照して、回転テーブル装置101は、テーブル31の軸部の外周面にロータリスケール81を備える。ロータリスケール81に対向して、エンコーダヘッド82が備えられている。エンコーダヘッド82は、ブラケット83を介して外筒11に固定されている。ロータリスケール81と、エンコーダヘッド82とが、エンコーダ80を構成する。このような配置であれば、テーブル31の回転を直接検出できるため、より正確に回転を制御し、位置決めを行うことができる。 Referring to FIG. 5, rotary table device 101 includes rotary scale 81 on the outer peripheral surface of the shaft portion of table 31 . An encoder head 82 is provided facing the rotary scale 81 . The encoder head 82 is fixed to the outer cylinder 11 via a bracket 83 . A rotary scale 81 and an encoder head 82 constitute an encoder 80 . With such an arrangement, the rotation of the table 31 can be detected directly, so that the rotation can be controlled more accurately and the positioning can be performed.

図6を参照して、回転テーブル装置201は、ボールねじナット61の軸部の外周面にロータリスケール81を備える。ロータリスケール81に対向して、エンコーダヘッド82が備えられている。エンコーダヘッド82は、外筒11に固定されている。ロータリスケール81と、エンコーダヘッド82とが、エンコーダ80を構成する。このような構成であれば、テーブル31とともに回転するボールねじナット61の回転を検出できるため、より正確に回転を制御し、位置決めを行うことができる。また、ロータリスケール81とエンコーダヘッド82の検出部が外筒11内に収容されるため、埃の付着等が防止され、耐久性と動作安定性に優れる。 Referring to FIG. 6 , rotary table device 201 includes rotary scale 81 on the outer peripheral surface of the shaft portion of ball screw nut 61 . An encoder head 82 is provided facing the rotary scale 81 . The encoder head 82 is fixed to the outer cylinder 11 . A rotary scale 81 and an encoder head 82 constitute an encoder 80 . With such a configuration, the rotation of the ball screw nut 61 that rotates together with the table 31 can be detected, so the rotation can be controlled more accurately and positioning can be performed. In addition, since the rotary scale 81 and the detection portion of the encoder head 82 are housed inside the outer cylinder 11, the adhesion of dust is prevented, resulting in excellent durability and operational stability.

図7を参照して、回転テーブル装置301は、シャフト21の外周面にロータリスケール81を備える。ロータリスケール81に対向して、エンコーダヘッド82が備えられている。エンコーダヘッド82は、ハウジング12に固定されている。ロータリスケール81と、エンコーダヘッド82とが、エンコーダ80を構成する。このような構成であれば、回転テーブル装置301の径方向に突出する部材を低減し、より小型の回転テーブル装置を構成できる。 Referring to FIG. 7, rotary table device 301 includes rotary scale 81 on the outer peripheral surface of shaft 21 . An encoder head 82 is provided facing the rotary scale 81 . Encoder head 82 is fixed to housing 12 . A rotary scale 81 and an encoder head 82 constitute an encoder 80 . With such a configuration, the members protruding in the radial direction of the rotary table device 301 can be reduced, and a smaller rotary table device can be configured.

本開示にかかる回転テーブル装置は上述の具体的な実施形態に代えて、あるいは付加して、様々な構成でありえる。例えば、モータ機構は、所望の精度と出力が得られる限りにおいて、リニアモータに限定されない。例えば、油圧シリンダ等によってシャフトを軸方向に往復運動させてもよい。また、テーブル主面の形状は中心部の開いた円環状の面に限られず、中空部のない円板状であってもよい。テーブル主面にさらに別部材が取り付けられていてもよい。テーブル主面は平面に限られず、突起や段部が設けられていてもよい。すなわち、テーブルは、物を載置して回転させる機能に代えて、あるいは物を載置して回転させる機能に加えて、他の機能を有していてもよい。例えば、本開示にかかる回転テーブル装置は、マニピュレータの手先として、テーブルに取り付けられた手先部品を回転させるために利用されうる。また、シャフトの形状について、上述の実施例では、シャフトの第1端側にスプライン溝が形成され、中央部にフランジ部が形成され、第2端側にボールねじ溝が形成されていたが、具体的な形状はこれに限定されない。 The rotary table apparatus according to the present disclosure can have various configurations in place of or in addition to the specific embodiments described above. For example, the motor mechanism is not limited to linear motors as long as the desired accuracy and output are obtained. For example, the shaft may be axially reciprocated by a hydraulic cylinder or the like. Further, the shape of the main surface of the table is not limited to an annular surface with an open center, and may be a disc shape without a hollow portion. Another member may be attached to the main surface of the table. The main surface of the table is not limited to a flat surface, and may be provided with protrusions or steps. That is, the table may have other functions instead of the function of placing and rotating an object, or in addition to the function of placing and rotating an object. For example, the rotary table device according to the present disclosure can be used as a hand of a manipulator to rotate hand parts attached to a table. Regarding the shape of the shaft, in the above embodiment, the spline groove was formed on the first end side of the shaft, the flange portion was formed on the central portion, and the ball screw groove was formed on the second end side. A specific shape is not limited to this.

本開示にかかる回転テーブル装置は、特に小径の回転テーブル装置として好適である。具体的な寸法は特に制限されるものではないが、例えば、回転テーブルの外径を30~80mm程度とすることができ、筐体(固定部)の外径も同程度にできる。 The rotary table device according to the present disclosure is particularly suitable as a small-diameter rotary table device. Specific dimensions are not particularly limited, but for example, the outer diameter of the rotary table can be set to about 30 to 80 mm, and the outer diameter of the housing (fixed portion) can be set to the same extent.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、請求の範囲によって規定され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive in any aspect. The scope of the present invention is defined by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all changes within the meaning and scope of equivalence to the scope of the claims.

1、101、201、301 回転テーブル装置、10 固定部、11 外筒、11a 内周壁、12 ハウジング、13 軸受外輪、20 直動部、21 シャフト、22 フランジ部、23 ナット、30 回転部、31 テーブル、31a 主面、32 軸受内輪、33 ローラ、40 モータ機構、41 コイル、42 界磁、50 ボールスプライン、51 ボールスプラインナット、52 スプライン溝、53、63 ボール、60 ボールねじ機構、61 ボールねじナット、62 ボールねじ溝、70 クロスローラ軸受、80 エンコーダ、81 ロータリスケール、82 エンコーダヘッド83 ブラケット。 Reference Signs List 1, 101, 201, 301 rotary table device 10 fixed portion 11 outer cylinder 11a inner peripheral wall 12 housing 13 bearing outer ring 20 direct acting portion 21 shaft 22 flange portion 23 nut 30 rotating portion 31 Table, 31a Main Surface, 32 Bearing Inner Ring, 33 Roller, 40 Motor Mechanism, 41 Coil, 42 Field, 50 Ball Spline, 51 Ball Spline Nut, 52 Spline Groove, 53, 63 Balls, 60 Ball Screw Mechanism, 61 Ball Screw Nut, 62 ball screw groove, 70 cross roller bearing, 80 encoder, 81 rotary scale, 82 encoder head 83 bracket.

Claims (6)

円筒状の内周壁を有する筐体と、
前記筐体に貫通されるとともに、前記内周壁の軸方向と共通である軸方向に延びるシャフトと、
前記シャフトの第1端側を前記筐体に対して直動可能に支持する第1の軸受機構と、
前記シャフトを前記シャフトの軸方向に往復運動させるモータ機構と、
前記シャフトの第1端側と逆側の端部である第2端側に設けられたボールねじ機構を介して、前記シャフトに連結された回転体と、
を備え、
前記回転体は、第2の軸受機構を介して前記筐体に対して回転可能に支持されており、互いに固定されたボールねじナットとテーブルとを含む、
回転テーブル装置。
a housing having a cylindrical inner peripheral wall;
a shaft passing through the housing and extending in an axial direction common to the axial direction of the inner peripheral wall;
a first bearing mechanism that supports the first end side of the shaft so as to be directly movable with respect to the housing;
a motor mechanism that reciprocates the shaft in the axial direction of the shaft;
a rotating body connected to the shaft via a ball screw mechanism provided on a second end side opposite to the first end side of the shaft;
with
the rotating body is rotatably supported with respect to the housing via a second bearing mechanism, and includes a ball screw nut and a table fixed to each other;
rotary table device.
前記モータ機構が、
前記筐体の前記内周壁に固定されたコイルと、
前記シャフトの外周面であって前記コイルと対向する位置に固定された界磁と、
を含む、
請求項1に記載の回転テーブル装置。
The motor mechanism is
a coil fixed to the inner peripheral wall of the housing;
a magnetic field fixed at a position facing the coil on the outer peripheral surface of the shaft;
including,
2. The rotary table apparatus according to claim 1.
前記第1の軸受機構がボールスプライン機構であり、
前記筐体に、ボールスプラインナットが固定されており、
前記シャフトの前記第1端側の外周面にスプライン溝が形成されている、
請求項1または請求項2に記載の回転テーブル装置。
the first bearing mechanism is a ball spline mechanism,
A ball spline nut is fixed to the housing,
A spline groove is formed on the outer peripheral surface of the shaft on the first end side,
3. The rotary table device according to claim 1 or 2.
前記第2の軸受機構がクロスローラ軸受であり、
前記筐体に、前記クロスローラ軸受の軸受外輪が固定されており、
前記軸受外輪と、前記ボールねじナットおよび前記テーブルに固定された軸受内輪とが、ローラを介して連結されている、
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の回転テーブル装置。
the second bearing mechanism is a cross roller bearing;
A bearing outer ring of the cross roller bearing is fixed to the housing,
The bearing outer ring and the bearing inner ring fixed to the ball screw nut and the table are connected via rollers.
The rotary table apparatus according to any one of claims 1 to 3.
前記界磁は、前記シャフトに挿嵌された環状の永久磁石が軸方向に複数並べられた磁石列を含み、
前記シャフトは、前記界磁が配置される部分の一端に、前記界磁と接するフランジ部が設けられており、
前記界磁は、前記フランジ部と前記シャフトに挿嵌されたナットとによって挟持固定されている、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の回転テーブル装置。
The magnetic field includes a magnet row in which a plurality of annular permanent magnets inserted into the shaft are arranged in the axial direction,
The shaft is provided with a flange portion in contact with the magnetic field at one end of the portion where the magnetic field is arranged,
The magnetic field is clamped and fixed by the flange portion and a nut fitted on the shaft,
The rotary table device according to any one of claims 1 to 4.
さらにエンコーダを備え、
前記エンコーダは、
前記回転体の外周面に取り付けられたスケールと、
前記筐体に取り付けられ、前記スケールと対向するエンコーダヘッドと、
を含む、
請求項1から請求項5のいずれか1項に請求項に記載の回転テーブル装置。
It also has an encoder,
The encoder is
a scale attached to the outer peripheral surface of the rotating body;
an encoder head attached to the housing and facing the scale;
including,
6. The rotary table apparatus according to any one of claims 1 to 5.
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