JP2023033754A - Foam leakage inspection method and vacuum box - Google Patents

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章五 川西
Shogo Kawanishi
孝之 鹿島
Takayuki Kashima
晋也 押部
Shinya Oshibe
啓介 土田
Keisuke Tsuchida
弘明 藤野
Hiroaki Fujino
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Abstract

To make it easier for an inspector to check a hole in an inspection body regardless of the size of the diameter.SOLUTION: A foam leakage inspection method according to one aspect includes: applying a foaming liquid to an inspection surface of an inspection object; placing a vacuum box having a transparent window on the inspection surface; forming an inner space with the inspection surface and the vacuum box; observing the foaming liquid on the inspection surface while reducing pressure in the inner space until a differential pressure between the pressure in the inner space and the atmospheric pressure reaches a first pressure; observing the foaming liquid on the inspection surface while maintaining the differential pressure in a state of the first pressure; observing the foaming liquid on the inspection surface while further reducing the pressure in the inner space until the differential pressure reaches a second pressure from the first pressure; and observing the foaming liquid on the inspection surface while maintaining the differential pressure in a state of the second pressure.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、発泡漏れ試験方法、および発泡漏れ試験方法に用いる真空箱に関する。 The present invention relates to a foam leak test method and a vacuum box used in the foam leak test method.

従来から、検査体の貫通欠陥の有無を検査する方法として発泡漏れ試験方法が知られている(例えば特許文献1)。発泡漏れ試験方法には、加圧法と真空法の二種類がある。発泡漏れ試験方法における真空法では、まず検査体の検査面に発泡液を塗布し、その後、透明な窓を有する真空箱を検査体の検査面に載せ、真空箱の中を真空にする。検査者は、真空箱の窓から検査面に塗布した発泡液の泡の形成を観察することによって、気体の漏れを発生する孔の有無やその位置を検知する。 Conventionally, a foaming leak test method is known as a method for inspecting the presence or absence of a penetration defect in an inspection object (for example, Patent Literature 1). There are two types of foaming leak test methods: the pressurization method and the vacuum method. In the vacuum method in the bubble leakage test method, first, a foaming liquid is applied to the test surface of the test object, then a vacuum box having a transparent window is placed on the test surface of the test object, and the inside of the vacuum box is evacuated. The inspector observes the formation of bubbles of the bubbling liquid applied to the surface to be inspected through the window of the vacuum chamber, thereby detecting the presence or absence of holes that cause gas leakage and their locations.

特開平7-27656号公報JP-A-7-27656

発泡漏れ試験では、孔の大きさによって検査者による観察のしやすさが異なる。径が小さい孔は、径が大きい孔に比べて、通過する気体の流量が小さい。このため、発泡量が少なく、検査者が孔を見つけにくい。一方、径が大きい孔では、通過する気体の流量が大きいため、孔を通過する気体により孔付近の発泡液が吹き飛ばされてしまい、孔の検知が難しくなる。 In the foam leak test, the easiness of observation by an inspector differs depending on the size of the pore. A hole with a small diameter allows a smaller flow rate of gas to pass through than a hole with a large diameter. Therefore, the amount of foaming is small, and it is difficult for an inspector to find holes. On the other hand, in a hole having a large diameter, since the flow rate of the gas passing through the hole is large, the bubbling liquid in the vicinity of the hole is blown away by the gas passing through the hole, making it difficult to detect the hole.

そこで本発明は、径の大小に関係なく検査体の孔を検査者にとって確認しやすくする発泡漏れ試験方法および真空箱を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a foam leak test method and a vacuum chamber that enable an inspector to easily confirm holes in an object to be inspected regardless of the size of the diameter.

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る発泡漏れ試験方法は、検査体の検査面に発泡液を塗布し、透明な窓を有する真空箱を前記検査面上に配置して、前記検査面と前記真空箱とにより内部空間を形成し、前記内部空間の圧力と大気圧との差圧が第1圧力に達するまで、前記内部空間を減圧しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、前記差圧が前記第1圧力にある状態を保持しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、前記差圧が前記第1圧力から第2圧力に達するまで、前記内部空間を更に減圧しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、前記差圧が前記第2圧力にある状態を保持しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察する方法である。 In order to solve the above problems, a foaming leak test method according to an aspect of the present invention comprises applying a foaming liquid to an inspection surface of an object to be inspected, and placing a vacuum box having a transparent window on the inspection surface. an internal space is formed by the inspection surface and the vacuum box, and the internal space is depressurized until the differential pressure between the pressure in the internal space and the atmospheric pressure reaches a first pressure, and the observing the bubbling liquid and observing the bubbling liquid on the inspection surface while maintaining the differential pressure at the first pressure until the differential pressure reaches the second pressure from the first pressure; A method of observing the bubbling liquid on the inspection surface while further decompressing the internal space, and observing the bubbling liquid on the inspection surface while maintaining the state where the differential pressure is the second pressure. be.

上記の方法によれば、大気圧と内部空間との差圧が第1圧力にある状態での発泡液の観察と、前記差圧が第2圧力にある状態での発泡液の観察の二段階の観察を行う。第1圧力を比較的小さく設定することで、差圧を第1圧力まで減圧および第1圧力にある状態を保持するときに、比較的大きい径の孔付近の発泡液が、当該孔を通じて真空箱に流入する気体によって吹き飛ばされることを抑制することができる。このため、差圧を第1圧力まで減圧および第1圧力にある状態を保持するときに、検査者が比較的大きい径の孔を検知しやすくなる。また、内部空間を更に減圧して前記差圧を第1圧力から第2圧力にすることにより、差圧を第1圧力に保持したままにする場合に比べて、孔を通過して内部空間に入り込む気体の合計の体積が増加する。このため、孔での発泡量が増えるため、差圧を第1圧力まで減圧および第1圧力にある状態を保持しているときには観察しにくかった比較的小さい径の孔を、検査者が検知しやすくなる。従って、上記の方法によれば、径の大小に関係なく検査体の孔を検査者にとって確認しやすくなる。 According to the above method, the observation of the bubbling liquid under the condition that the differential pressure between the atmospheric pressure and the internal space is the first pressure and the observation of the bubbling liquid under the condition that the differential pressure is the second pressure are performed in two stages. observation. By setting the first pressure to be relatively low, when the differential pressure is reduced to the first pressure and the state of the first pressure is maintained, the bubbling liquid near the holes with relatively large diameters flows through the holes into the vacuum chamber. It is possible to suppress blowing away by the gas flowing into. Therefore, when the differential pressure is reduced to the first pressure and maintained at the first pressure, it becomes easier for the inspector to detect holes with relatively large diameters. In addition, by further decompressing the internal space to change the differential pressure from the first pressure to the second pressure, the pressure difference is reduced to the internal space through the hole compared to the case where the differential pressure is maintained at the first pressure. The total volume of incoming gas increases. As a result, the amount of bubbling in the holes increases, so that the inspector can detect holes with relatively small diameters that were difficult to observe when the differential pressure was reduced to the first pressure and held at the first pressure. easier. Therefore, according to the above method, the inspector can easily confirm the hole in the object to be inspected regardless of the size of the diameter.

また、本発明の一態様に係る真空箱は、検査体の検査面に配置される発泡漏れ試験用の真空箱であって、前記検査面とともに内部空間を形成する箱体と、前記内部空間をそれぞれ大気開放するための第1大気開放路と第2大気開放路と第3大気開放路とを有する、前記箱体に接続された1以上の配管と、前記第1大気開放路に設けられた第1開閉弁と、前記第2大気開放路に設けられた第1圧力調整弁と、前記第3大気開放路に設けられた第2開閉弁と、前記第3大気開放路における大気に開放された端部と前記第2開閉弁との間に設けられた第2圧力調整弁と、を備える。 Further, a vacuum box according to an aspect of the present invention is a vacuum box for a foaming leak test that is placed on an inspection surface of an inspection object, and includes a box body that forms an internal space together with the inspection surface, and the internal space. One or more pipes connected to the box, each having a first atmosphere release path, a second atmosphere release path, and a third atmosphere release path for opening to the atmosphere, and provided in the first atmosphere release path A first on-off valve, a first pressure regulating valve provided in the second atmosphere release path, a second on-off valve provided in the third atmosphere release path, and the third atmosphere release path open to the atmosphere. a second pressure regulating valve provided between the tapered end and the second on-off valve.

上記の真空箱によれば、内部空間を大気開放するための流路において、第2開閉弁と第2圧力調整弁とが直列な配置をとっている。第1開閉弁を閉じ且つ第2開閉弁を開いた状態で前記内部空間を真空引きすると、内部空間の圧力を第1圧力調整弁と第2圧力調整弁とにより調整された第1圧力に調整できる。第1開閉弁を閉じ且つ第2開閉弁を閉じた状態で前記内部空間を真空引きすると、内部空間の圧力を第1圧力調整弁により調整された、第1圧力より低い第2圧力に調整できる。従って、上記の真空箱を用いて発泡漏れ試験を行うと、内部空間の圧力の二段階調整を容易に行うことができ、その結果、径の大小に関係なく検査体の孔を検査者が確認しやすくなる。また、第1開閉弁と第1圧力調整弁とが並列な配置をとっているため、内部空間が真空状態となっているときに第1開閉弁を開くと、内部空間を迅速に大気圧へと昇圧できる。 According to the above vacuum box, the second on-off valve and the second pressure regulating valve are arranged in series in the channel for opening the internal space to the atmosphere. When the internal space is evacuated with the first on-off valve closed and the second on-off valve open, the pressure in the internal space is regulated to the first pressure regulated by the first pressure regulating valve and the second pressure regulating valve. can. By evacuating the internal space with the first on-off valve closed and the second on-off valve closed, the pressure in the internal space can be regulated by the first pressure regulating valve to a second pressure lower than the first pressure. . Therefore, when the bubble leakage test is performed using the above-mentioned vacuum box, it is possible to easily adjust the pressure in the inner space in two stages, and as a result, the inspector can confirm the holes of the inspection object regardless of the size of the diameter. easier to do. In addition, since the first on-off valve and the first pressure regulating valve are arranged in parallel, when the first on-off valve is opened while the internal space is in a vacuum state, the internal space is quickly returned to atmospheric pressure. can be boosted.

本発明によれば、径の大小に関係なく検査体の孔を検査者にとって確認しやすくする発泡漏れ試験方法および真空箱を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a bubble leak test method and a vacuum box that make it easy for an inspector to confirm holes in an object to be inspected regardless of the size of the diameter.

本発明の一実施形態に係る発泡漏れ試験方法に使用する発泡漏れ試験装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a foaming leak test apparatus used in a foaming leak test method according to an embodiment of the present invention; FIG. 発泡漏れ試験方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of a foaming leak test method. 発泡漏れ試験方法における経過時間と、大気圧と真空箱内の空間の圧力との差圧との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the elapsed time in a foaming leak test method, and the differential pressure of the atmospheric pressure and the pressure of the space in a vacuum chamber.

以下、図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る発泡漏れ試験方法および真空箱について説明する。 Hereinafter, a foaming leak test method and a vacuum box according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施形態の発泡漏れ試験方法は、JIS Z2329の真空法に準拠している。すなわち、本実施形態の発泡漏れ試験方法は、検査体の検査面に発泡液を塗布した後、検査面上に透明な窓を有する真空箱を配置する。その後、検査面と真空箱とで形成される内部空間を真空ポンプにより真空にし、発泡液の泡の形成を観察することによって気体の漏れ箇所を検知する方法である。 The foaming leak test method of this embodiment conforms to the vacuum method of JIS Z2329. That is, in the foaming leakage test method of the present embodiment, a vacuum box having a transparent window is arranged on the inspection surface after applying the foaming liquid to the inspection surface of the inspection object. After that, the internal space formed by the inspection surface and the vacuum box is evacuated by a vacuum pump, and the formation of bubbles in the bubbling liquid is observed to detect the location of gas leakage.

図1は、本実施形態に係る発泡漏れ試験方法に使用する発泡漏れ試験装置1の概略構成図である。発泡漏れ試験装置1は、真空箱2、真空ポンプ3、当該真空ポンプ3に接続された排気配管4、および圧力計5を含む。以下の実施形態において、上下方向の概念は、図1に示すように、検査体100における検査面101が上方を向いており、検査面101に上方から真空箱2を載置したときの上下方向の概念と一致するものとする。ただし、説明する上で便宜上使用するものであって、発明の構成の向き等をその方向に限定するものではない。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a foaming leak test apparatus 1 used in the foaming leak test method according to the present embodiment. A foam leak test apparatus 1 includes a vacuum box 2 , a vacuum pump 3 , an exhaust pipe 4 connected to the vacuum pump 3 , and a pressure gauge 5 . In the following embodiments, as shown in FIG. 1, the concept of the vertical direction is the vertical direction when the inspection surface 101 of the inspection object 100 faces upward and the vacuum box 2 is placed on the inspection surface 101 from above. shall be consistent with the concept of However, it is used for the convenience of explanation, and does not limit the orientation of the configuration of the invention to that direction.

本実施形態で、発泡漏れ試験装置1により漏れ箇所の有無や位置が検査される検査体100は、例えば平底で且つ円筒竪形の貯槽における貯槽底部である。ただし、検査体100の種類は特に限定されない。例えば、検査体100は、貯槽底部でなくてもよく、貯槽の屋根部や側部であってもよい。また、検査体100は、貯槽以外の構造物であってもよい。 In the present embodiment, the test object 100 to be inspected for the presence or absence and location of leaks by the foam leak tester 1 is, for example, the bottom of a flat-bottomed cylindrical vertical storage tank. However, the type of test object 100 is not particularly limited. For example, the test object 100 may not be the bottom of the storage tank, but may be the roof or side of the storage tank. Also, the test object 100 may be a structure other than a storage tank.

[真空箱の構成]
真空箱2は、検査体100の検査面101に配置して使用される発泡漏れ試験用の真空箱である。真空箱2は、箱体10と、箱体10に接続された1以上の配管20を有する。
[Vacuum box configuration]
The vacuum box 2 is a vacuum box for a bubble leak test that is placed on the inspection surface 101 of the inspection body 100 and used. The vacuum box 2 has a box 10 and one or more pipes 20 connected to the box 10 .

箱体10は、検査体100の検査面101とともに内部空間Sを形成する。箱体10は、上壁11と周壁12を有し、下面が開口した略直方体状に形成されている。上壁11は、上面視で方形状である。上壁11は透明である。上壁11は、例えばアクリル板である。本実施形態では、上壁11全体が、検査者による内部空間S内の観察を可能にする透明な窓として構成されている。ただし、上壁11は、その一部が透明な窓を構成し、それ以外の部分が不透明な部材で構成されてもよい。上壁11には、流入出口11aおよび貫通口11bが形成されている。 The box 10 forms an internal space S together with the inspection surface 101 of the inspection object 100 . The box 10 has a top wall 11 and a peripheral wall 12, and is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape with an open bottom surface. The upper wall 11 has a square shape when viewed from above. The top wall 11 is transparent. The upper wall 11 is, for example, an acrylic plate. In this embodiment, the entire top wall 11 is configured as a transparent window that allows the inspector to observe the interior space S. However, the upper wall 11 may have a transparent window in its part and an opaque member in the other part. The upper wall 11 is formed with an inlet/outlet 11a and a through hole 11b.

周壁12は、上壁11の周縁部において垂直に設けられた4つの側壁により構成される。周壁12の下端部は、真空箱2における開口縁であり、検査面101に配置される際に検査面101に当接する部分となる。このため、周壁12の少なくとも下端部は、周壁12の下端部と検査体100の検査面101との間の気密性を高めることを可能にする部材で構成されている。本実施形態では、周壁12全体が、スポンジ状の弾性体で構成されている。 The peripheral wall 12 is composed of four side walls provided vertically on the periphery of the top wall 11 . A lower end portion of the peripheral wall 12 is an opening edge of the vacuum chamber 2, and is a portion that contacts the inspection surface 101 when the vacuum chamber 2 is arranged on the inspection surface 101. As shown in FIG. For this reason, at least the lower end portion of the peripheral wall 12 is made of a member capable of enhancing the airtightness between the lower end portion of the peripheral wall 12 and the inspection surface 101 of the inspection body 100 . In this embodiment, the entire peripheral wall 12 is made of a sponge-like elastic body.

1以上の配管20は、上壁11の流入出口11aに接続された第1配管21と、上壁11の貫通口11bに接続された第2配管22とを有する。 One or more pipes 20 have a first pipe 21 connected to the inlet/outlet 11 a of the upper wall 11 and a second pipe 22 connected to the through hole 11 b of the upper wall 11 .

第1配管21により、内部空間Sへ気体が流入したり、内部空間Sから気体が排出されたりする。第1配管21は、排気配管4に接続されている。すなわち、排気配管4の一端部が、継手4aを介して第1配管21に接続されており、排気配管4の他端部が真空ポンプ3に接続されている。第1配管21と排気配管4とにより構成された、流入出口11aから真空ポンプ3まで延びる流路を、排気流路31と称する。真空ポンプ3が稼働すると、内部空間Sは、排気流路31を通じて真空引きされる。 Gas flows into the internal space S and gas is discharged from the internal space S through the first pipe 21 . The first pipe 21 is connected to the exhaust pipe 4 . That is, one end of the exhaust pipe 4 is connected to the first pipe 21 via the joint 4 a, and the other end of the exhaust pipe 4 is connected to the vacuum pump 3 . A flow path configured by the first pipe 21 and the exhaust pipe 4 and extending from the inlet/outlet 11 a to the vacuum pump 3 is referred to as an exhaust flow path 31 . When the vacuum pump 3 operates, the internal space S is evacuated through the exhaust passage 31 .

また、第1配管21は、内部空間Sをそれぞれ大気開放するための第1大気開放路41、第2大気開放路42および第3大気開放路43を構成する。 Further, the first pipe 21 constitutes a first atmosphere opening passage 41, a second atmosphere opening passage 42, and a third atmosphere opening passage 43 for opening the internal space S to the atmosphere.

第1大気開放路41には、第1開閉弁51が設けられている。第2大気開放路42には、第1圧力調整弁61が設けられている。第3大気開放路43には、第2開閉弁52が設けられている。第3大気開放路43における大気に開放された端部43bと第2開閉弁52との間には、第2圧力調整弁62が設けられている。 A first on-off valve 51 is provided in the first atmosphere release passage 41 . A first pressure regulating valve 61 is provided in the second atmosphere release passage 42 . A second on-off valve 52 is provided in the third atmosphere release passage 43 . A second pressure regulating valve 62 is provided between the end portion 43 b of the third atmosphere release passage 43 that is open to the atmosphere and the second on-off valve 52 .

本実施形態では、第1大気開放路41が排気流路31から分岐し、第2大気開放路42が第1大気開放路41から分岐し、第3大気開放路43が排気流路31から分岐している。より詳しくは、第1大気開放路41の一端部41aが、排気流路31に接続されており、第1大気開放路41の他端部41bが、大気開放されており、第2大気開放路42の一端部42aが、第1大気開放路41における一端部41aと第1開閉弁51との間の部分に接続されており、第2大気開放路42の他端部42bが、大気開放されており、第3大気開放路43の一端部43aが、排気流路31に接続されており、第3大気開放路43の他端部43bが、大気開放されている。 In this embodiment, the first atmosphere release path 41 branches from the exhaust flow path 31, the second atmosphere release path 42 branches from the first atmosphere release path 41, and the third atmosphere release path 43 branches from the exhaust flow path 31. are doing. More specifically, one end 41a of the first open-to-air channel 41 is connected to the exhaust channel 31, the other end 41b of the first open-to-air channel 41 is open to the atmosphere, and the second open-to-air channel 42 is connected to a portion between the one end 41a of the first atmosphere release passage 41 and the first on-off valve 51, and the other end 42b of the second atmosphere release passage 42 is opened to the atmosphere. One end 43a of the third open-to-air channel 43 is connected to the exhaust channel 31, and the other end 43b of the third open-to-air channel 43 is open to the atmosphere.

従って、内部空間Sを大気開放するための流路において、第1開閉弁51と第1圧力調整弁61とは並列な配置となっており、第2開閉弁52と第2圧力調整弁62とは直列な配置となっている。 Therefore, in the flow path for opening the internal space S to the atmosphere, the first on-off valve 51 and the first pressure regulating valve 61 are arranged in parallel, and the second on-off valve 52 and the second pressure regulating valve 62 are arranged in parallel. are arranged in series.

第1開閉弁51および第2開閉弁52は、それぞれボール弁である。ただし、第1開閉弁51および第2開閉弁52は、それぞれボール弁でなくてもよく、例えばゲート弁やバタフライ弁など、別の種類の開閉弁であってもよい。また、第1開閉弁51および第2開閉弁52は、互いに同じ種類の開閉弁でもよいし、互いに異なる種類の開閉弁でもよい。 The first on-off valve 51 and the second on-off valve 52 are ball valves. However, the first on-off valve 51 and the second on-off valve 52 may not be ball valves, and may be other types of on-off valves such as gate valves and butterfly valves. Also, the first on-off valve 51 and the second on-off valve 52 may be the same kind of on-off valve, or may be different kinds of on-off valves.

第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62は、それぞれニードル弁である。ただし、第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62は、それぞれニードル弁でなくてもよく、例えばグローブ弁など、別の種類の圧力調整弁であってもよい。また、第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62は、互いに同じ種類の圧力調整弁でもよいし、互いに異なる種類の圧力調整弁でもよい。 The first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 are needle valves, respectively. However, the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 may not be needle valves, and may be other types of pressure regulating valves such as globe valves. Also, the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 may be the same type of pressure regulating valves, or may be different types of pressure regulating valves.

第2配管22の一端部が、上壁11の貫通口11bに接続されており、第2配管22の他端部が圧力計5に接続されている。このため、圧力計5により内部空間Sの圧力を計測する。圧力計5は、例えば大気圧と負圧の双方を計測可能な連成計である。 One end of the second pipe 22 is connected to the through hole 11 b of the upper wall 11 and the other end of the second pipe 22 is connected to the pressure gauge 5 . Therefore, the pressure in the internal space S is measured by the pressure gauge 5 . The pressure gauge 5 is, for example, a compound gauge capable of measuring both atmospheric pressure and negative pressure.

[発泡漏れ試験の流れ]
次に、本実施形態で説明される発泡漏れ試験方法の条件および流れについて、図2および3を参照して説明する。図2は、本実施形態の発泡漏れ試験方法の流れを示すフローチャートである。図3は、本実施形態の発泡漏れ試験方法における検査の経過時間tと、大気圧と内部空間Sの圧力との差圧Pとの関係を示すグラフである。差圧Pは、大気圧から内部空間Sの圧力を減算した値である。
[Flow of foaming leak test]
Next, the conditions and flow of the foaming leak test method described in this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a flow chart showing the flow of the foaming leak test method of this embodiment. FIG. 3 is a graph showing the relationship between the elapsed inspection time t and the pressure difference P between the atmospheric pressure and the pressure in the internal space S in the foaming leak test method of the present embodiment. The differential pressure P is a value obtained by subtracting the pressure in the internal space S from the atmospheric pressure.

(圧力調整作業)
検査者は、検査作業に先立ち、第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62の開度を以降の手順で調整しておく。第1開閉弁51を閉じ、第2開閉弁52を閉じ、第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62の双方を全開にした状態で、真空ポンプ3を稼働させる。これにより、真空ポンプ3により内部空間Sの圧力が大気圧から減圧される。検査者は内部空間Sの圧力と大気圧との差圧Pが第2圧力P2に達するように、第1圧力調整弁61の開度を調整する。続いて、第2開閉弁52を開き、内部空間Sの圧力と大気圧との差圧Pが第1圧力P1に達するように、第2圧力調整弁62の開度を調整する。その後、第1開閉弁51を開き、内部空間Sの圧力を大気圧に戻し、正規の検査作業へ移行するが、
調整済の第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62の開度は動かさない。本調整作業は連続して行う検査作業の開始時に行い、1回毎の検査の都度実施する必要はない。
(Pressure adjustment work)
Prior to the inspection work, the inspector adjusts the opening degrees of the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 according to the following procedure. With the first on-off valve 51 closed, the second on-off valve 52 closed, and both the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 fully opened, the vacuum pump 3 is operated. As a result, the pressure in the internal space S is reduced from the atmospheric pressure by the vacuum pump 3 . The inspector adjusts the opening degree of the first pressure regulating valve 61 so that the differential pressure P between the pressure in the internal space S and the atmospheric pressure reaches the second pressure P2. Subsequently, the second on-off valve 52 is opened, and the degree of opening of the second pressure regulating valve 62 is adjusted so that the differential pressure P between the pressure in the internal space S and the atmospheric pressure reaches the first pressure P1. After that, the first on-off valve 51 is opened, the pressure in the internal space S is returned to the atmospheric pressure, and the regular inspection work is started.
The opening degrees of the adjusted first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 are not changed. This adjustment work is performed at the start of continuous inspection work, and does not need to be performed for each inspection.

(塗布工程)
発泡漏れ試験方法では、まず検査体100の検査面101に発泡液Fを塗布する(ステップS1)。
(Coating process)
In the bubble leakage test method, first, the bubble liquid F is applied to the test surface 101 of the test object 100 (step S1).

(配置工程)
次に、真空箱2を検査面101上に配置して、検査面101と真空箱2とにより内部空間Sを形成する(ステップS2)。
(Placement process)
Next, the vacuum box 2 is arranged on the inspection surface 101, and the internal space S is formed by the inspection surface 101 and the vacuum box 2 (step S2).

(第1減圧工程)
真空箱2を検査面101上に配置した後、内部空間Sの圧力と大気圧との差圧Pが第1圧力P1に達するまで、内部空間Sを減圧しつつ、検査面101上の発泡液Fを観察する(ステップS3)。
(First decompression step)
After placing the vacuum box 2 on the inspection surface 101, the bubbling liquid on the inspection surface 101 is supplied while depressurizing the internal space S until the differential pressure P between the pressure in the internal space S and the atmospheric pressure reaches the first pressure P1. Observe F (step S3).

具体的には、検査者は、第1開閉弁51を閉じ、第2開閉弁52を開き、第1圧力調整弁61および第2圧力調整弁62の双方は調整された開度を保持したまま、真空ポンプ3を稼働させる。これにより、真空ポンプ3により内部空間Sの圧力が大気圧から減圧され、検査者は、内部空間Sの減圧開始の直後から発泡液Fの観察を開始する。一方で、事前に開度が調整された第1圧力調整弁61と第2圧力調整弁62が内部空間Sの圧力と大気圧との差圧Pを第1圧力P1に保持する。 Specifically, the inspector closes the first on-off valve 51, opens the second on-off valve 52, and both the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 maintain their adjusted opening degrees. , the vacuum pump 3 is activated. As a result, the pressure in the internal space S is reduced from the atmospheric pressure by the vacuum pump 3, and the inspector starts observing the bubbling liquid F immediately after the internal space S starts to be depressurized. On the other hand, the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62 whose opening degrees are adjusted in advance maintain the differential pressure P between the pressure in the internal space S and the atmospheric pressure at the first pressure P1.

例えば第1圧力P1は、20kPa以上で且つ60kPa未満の範囲内に設定される。本実施形態では、第1圧力P1は、約55kPaである。 For example, the first pressure P1 is set within a range of 20 kPa or more and less than 60 kPa. In this embodiment, the first pressure P1 is approximately 55 kPa.

(第1保持工程)
第1圧力P1に達するまで内部空間Sを減圧した後、差圧Pが第1圧力P1にある状態を保持しつつ、検査面101上の発泡液Fを観察する(ステップS4)。この工程において、検査者は、差圧Pが第1圧力P1にある状態を第1最低保持時間T1以上保持して観察する。第1最低保持時間T1は、例えば10秒である。
(First holding step)
After depressurizing the internal space S until it reaches the first pressure P1, the bubbling liquid F on the test surface 101 is observed while maintaining the differential pressure P at the first pressure P1 (step S4). In this step, the inspector maintains the state where the differential pressure P is the first pressure P1 for the first minimum retention time T1 or longer and observes it. The first minimum holding time T1 is, for example, 10 seconds.

(第2減圧工程)
第1保持工程の後に、差圧Pが第2圧力P2に達するまで、内部空間Sを更に減圧しつつ、検査面101上の発泡液Fを観察する(ステップS5)。
(Second decompression step)
After the first holding step, the bubbling liquid F on the inspection surface 101 is observed while the internal space S is further reduced in pressure until the differential pressure P reaches the second pressure P2 (step S5).

具体的には、検査者は、第1保持工程の後に、第2開閉弁52を閉じる。これにより、真空ポンプ3により内部空間Sの圧力が更に減圧され、事前に開度が調整された第1圧力調整弁61が内部空間Sの圧力と大気圧との差圧Pを第2圧力P2に保持する。 Specifically, the inspector closes the second on-off valve 52 after the first holding step. As a result, the pressure in the internal space S is further reduced by the vacuum pump 3, and the first pressure regulating valve 61, whose degree of opening is adjusted in advance, reduces the differential pressure P between the pressure in the internal space S and the atmospheric pressure to a second pressure P2. to hold.

例えば第2圧力P2は、30kPa以上で且つ80kPa以下の範囲内に設定される。ただし、第2圧力P2は、第1圧力P1より高い値に設定される。また、例えば第1圧力P1と第2圧力P2との差ΔP、つまり、第2圧力P2から第1圧力P1を減算した値ΔPは、好ましくは5kPa以上で且つ60kPa以下の範囲内に設定される。本実施形態では、第2圧力P2は、約70kPaである。 For example, the second pressure P2 is set within a range of 30 kPa or more and 80 kPa or less. However, the second pressure P2 is set to a value higher than the first pressure P1. Further, for example, the difference ΔP between the first pressure P1 and the second pressure P2, that is, the value ΔP obtained by subtracting the first pressure P1 from the second pressure P2 is preferably set within a range of 5 kPa or more and 60 kPa or less. . In this embodiment, the second pressure P2 is approximately 70 kPa.

(第2保持工程)
差圧Pが第2圧力P2にある状態を保持しつつ、検査面101上の発泡液Fを観察する(ステップS6)。この工程において、検査者は、差圧Pを第2圧力P2にある状態を第2最低保持時間T2以上保持して観察する。第2最低保持時間T2は、第1最低保持時間T1より長く設定されている。第2最低保持時間T2は、例えば20秒である。
(Second holding step)
While maintaining the differential pressure P at the second pressure P2, the bubbling liquid F on the test surface 101 is observed (step S6). In this step, the inspector maintains the differential pressure P at the second pressure P2 for the second minimum retention time T2 or longer for observation. The second minimum holding time T2 is set longer than the first minimum holding time T1. The second minimum holding time T2 is, for example, 20 seconds.

(大気開放工程)
第2保持工程の後に、内部空間Sを大気開放する(ステップS7)。具体的には、検査者は、第1開閉弁51を開く。これにより、内部空間Sの圧力が大気圧まで昇圧される。
(Atmospheric release process)
After the second holding step, the internal space S is opened to the atmosphere (step S7). Specifically, the inspector opens the first on-off valve 51 . Thereby, the pressure in the internal space S is raised to the atmospheric pressure.

検査体100に孔hが形成されている場合、検査者は、第1減圧工程、第1保持工程、第2減圧工程、第2保持工程の少なくとも1つの工程において、孔hのあたりに発泡液Fの発泡を観察することができる。検査者は、内部空間Sを大気開放した後、検査面101上における発泡が確認された箇所に目印を付ける。 When the inspection object 100 is formed with holes h, the inspector applies the bubbling liquid around the holes h in at least one step of the first decompression step, the first holding step, the second decompression step, and the second holding step. Bubbling of F can be observed. After opening the internal space S to the atmosphere, the inspector marks a portion where foaming is confirmed on the inspection surface 101 .

以上に説明したように、本実施形態に係る発泡漏れ試験方法によれば、大気圧と内部空間Sとの差圧Pが第1圧力P1にある状態での発泡液の観察と、差圧Pが第2圧力P2にある状態での発泡液の観察の二段階の観察を行う。第1圧力P1を比較的小さく設定することによって、第1減圧工程および第1保持工程において、比較的大きい径の孔h付近の発泡液Fが、当該孔h通じて真空箱2に流入する気体によって吹き飛ばされることを抑制することができる。このため、第1減圧工程および第1保持工程では、検査者が比較的大きい径の孔hを検知しやすくなる。また、内部空間Sを更に減圧して前記差圧Pを第2圧力P2にすることにより、第1減圧工程から第2保持工程に至るまでの間に孔hを通過する気体の合計の体積が増加する。このため、孔hでの発泡量が増えるため、第1減圧工程および第1保持工程では観察しにくかった比較的小さい径の孔hを、検査者が検知しやすくなる。従って、上記の方法によれば、径の大小に関係なく検査体100の孔hを検査者にとって確認しやすくなる。 As described above, according to the foaming leakage test method according to the present embodiment, the foaming liquid is observed in a state where the differential pressure P between the atmospheric pressure and the internal space S is the first pressure P1, and the differential pressure P is at the second pressure P2. By setting the first pressure P1 to a relatively small value, the bubbling liquid F in the vicinity of the hole h having a relatively large diameter is caused to flow into the vacuum chamber 2 through the hole h in the first decompression process and the first holding process. You can suppress being blown away by Therefore, in the first depressurizing step and the first holding step, the inspector can easily detect the hole h having a relatively large diameter. In addition, by further decompressing the internal space S to reduce the differential pressure P to the second pressure P2, the total volume of the gas passing through the holes h from the first decompression step to the second holding step is reduced to To increase. As a result, the amount of bubbling in the hole h increases, so that the inspector can easily detect the hole h with a relatively small diameter, which was difficult to observe in the first depressurizing step and the first holding step. Therefore, according to the above method, the inspector can easily confirm the hole h of the inspection object 100 regardless of the size of the diameter.

なお、第1保持工程の後に一旦内部空間Sを大気開放して、第1保持工程を終えるまでの間に検査面101上において発泡が確認された箇所に印をつけてから、その後に、第2減圧工程に移行することも考えられる。しかし、第1保持工程の後に一旦内部空間Sを大気開放してしまうと、大気開放により内部空間Sに流入した気体によって発泡液Fが検査体100の孔hに入り込む。孔hに入り込んだ発泡液Fが孔hを閉塞させると、その後の第2減圧工程と第2保持工程で孔hを見つけにくくなる。これに対して、本実施形態では、第1保持工程の後に内部空間Sを大気開放することなく内部空間Sを更に減圧するため、第2保持工程の前に孔hが発泡液Fにより閉塞されるのを抑制できる。 In addition, after the first holding step, the internal space S is once opened to the atmosphere, and a point where foaming is confirmed on the inspection surface 101 is marked before the first holding step is completed. It is also conceivable to shift to two decompression steps. However, once the internal space S is opened to the atmosphere after the first holding step, the bubbling liquid F enters the holes h of the test object 100 due to the gas that has flowed into the internal space S due to the opening to the atmosphere. If the bubbling liquid F that has entered the hole h clogs the hole h, it becomes difficult to find the hole h in the subsequent second pressure reduction step and second holding step. On the other hand, in the present embodiment, since the internal space S is further decompressed without opening the internal space S to the atmosphere after the first holding step, the holes h are closed with the bubbling liquid F before the second holding step. can be suppressed.

本実施形態における真空箱2では、内部空間Sを大気開放するための流路において、第2開閉弁52と第2圧力調整弁62とが直列な配置をとっている。第1開閉弁51を閉じ且つ第2開閉弁52を開いた状態で内部空間Sを真空引きすると、内部空間Sの圧力を第1圧力調整弁61と第2圧力調整弁62とにより調整された第1圧力P1に調整できる。第1開閉弁51を閉じ且つ第2開閉弁52を閉じた状態で内部空間Sを真空引きすると、内部空間Sの圧力を第1圧力調整弁61により調整された、第1圧力P1より低い第2圧力P2に調整できる。従って、上記の真空箱2を用いて発泡漏れ試験を行うと、内部空間Sの圧力の二段階調整を容易に行うことができ、その結果、径の大小に関係なく検査体100の孔hを検査者が確認しやすくなる。また、第1開閉弁51と第1圧力調整弁61とが並列な配置をとっているため、内部空間Sが真空状態となっているときに第1開閉弁51を開くと、内部空間Sを迅速に大気圧へと昇圧できる。 In the vacuum box 2 of this embodiment, the second on-off valve 52 and the second pressure regulating valve 62 are arranged in series in the channel for opening the internal space S to the atmosphere. When the internal space S is evacuated with the first on-off valve 51 closed and the second on-off valve 52 open, the pressure in the internal space S is regulated by the first pressure regulating valve 61 and the second pressure regulating valve 62. The first pressure P1 can be adjusted. When the internal space S is evacuated with the first on-off valve 51 closed and the second on-off valve 52 closed, the pressure in the internal space S is reduced to a first pressure lower than the first pressure P1 regulated by the first pressure regulating valve 61 . 2 can be adjusted to pressure P2. Therefore, when the bubble leakage test is performed using the vacuum chamber 2, the pressure in the internal space S can be easily adjusted in two stages. Easier for inspectors to check. Further, since the first on-off valve 51 and the first pressure regulating valve 61 are arranged in parallel, when the first on-off valve 51 is opened while the internal space S is in a vacuum state, the internal space S is The pressure can be rapidly increased to atmospheric pressure.

[その他の実施形態]
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
[Other embodiments]
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications are possible without departing from the gist of the present invention.

例えば、排気流路31、第1大気開放路41、第2大気開放路42および第3大気開放路43の接続関係は、上記実施形態で説明されたものに限定されない。例えば、第2大気開放路42の一端部42aが、直接排気流路31に接続されていてもよいし、第1大気開放路41および第3大気開放路43が、間接的に排気流路31に接続されていてもよい。 For example, the connection relationship among the exhaust flow path 31, the first open-to-air channel 41, the second open-to-air channel 42, and the third open-to-air channel 43 is not limited to that described in the above embodiment. For example, one end 42a of the second open-to-air channel 42 may be directly connected to the exhaust channel 31, or the first open-to-air channel 41 and the third open-to-air channel 43 may indirectly connect to the exhaust channel 31. may be connected to

ただし、第1大気開放路41における大気に開放された端部41bと第1開閉弁51との間には、別の流路が接続されておらず、第2大気開放路42における大気に開放された端部42bと第1圧力調整弁61との間には、別の流路が接続されておらず、第3大気開放路43における大気に開放された端部43bと第2開閉弁52との間には、別の流路が接続されていない。 However, another flow path is not connected between the end portion 41b of the first atmosphere opening passage 41 that is open to the atmosphere and the first on-off valve 51, and the second atmosphere opening passage 42 is open to the atmosphere. Another flow path is not connected between the closed end portion 42 b and the first pressure regulating valve 61 , and the end portion 43 b opened to the atmosphere in the third atmosphere opening passage 43 and the second on-off valve 52 No other flow path is connected between

箱体10に設けられた流入出口11aの数は、1つでなくてもよく、2以上であってもよい。例えば、箱体10には、真空ポンプ3につながる流入出口11aとは別の1以上の流入出口11aが設けられてもよく、別の1以上の流入出口11aに、第1大気開放路41、第2大気開放路42および第3大気開放路43がつながっていてもよい。例えば箱体10に、第1大気開放路41、第2大気開放路42および第3大気開放路43がそれぞれ対応して接続される3つの流入出口11aが設けられてもよい。 The number of inflow/outlet ports 11a provided in the box 10 may not be one, and may be two or more. For example, the box 10 may be provided with one or more inflow/outlet ports 11a other than the inflow/outlet port 11a connected to the vacuum pump 3, and the other one or more inflow/outlet ports 11a may be provided with a first atmosphere release path 41, The second open-to-air channel 42 and the third open-to-air channel 43 may be connected. For example, the box 10 may be provided with three inflow/outlet ports 11a to which the first atmosphere opening path 41, the second atmosphere opening path 42, and the third atmosphere opening path 43 are respectively connected.

本発明の発泡漏れ試験方法に、上記構成の真空箱2を必ずしも使用する必要はない。例えば本発明の発泡漏れ試験方法に、第3大気開放路43、第2開閉弁52、第2圧力調整弁62の一部または全部を備えない真空箱を用いてもよい。 It is not always necessary to use the vacuum chamber 2 having the above configuration for the foaming leak test method of the present invention. For example, a vacuum box that does not include part or all of the third atmosphere release path 43, the second on-off valve 52, and the second pressure regulating valve 62 may be used in the foaming leak test method of the present invention.

上記実施形態では、圧力計5が、上壁11の貫通口11bに接続された第2配管22に設けられていたが、圧力計は第1配管に設けられていてもよい。 Although the pressure gauge 5 is provided in the second pipe 22 connected to the through hole 11b of the upper wall 11 in the above embodiment, the pressure gauge may be provided in the first pipe.

第2最低保持時間T2は、第1最低保持時間T1と同じでもよい。例えば、第2最低保持時間T2は、10秒でもよい。 The second minimum holding time T2 may be the same as the first minimum holding time T1. For example, the second minimum holding time T2 may be 10 seconds.

1 :試験装置
2 :真空箱
3 :真空ポンプ
4 :排気配管
5 :圧力計
10 :箱体
11 :上壁
12 :周壁
20 :配管
31 :排気流路
41 :第1大気開放路
42 :第2大気開放路
43 :第3大気開放路
51 :第1開閉弁
52 :第2開閉弁
61 :第1圧力調整弁
62 :第2圧力調整弁
100 :検査体
101 :検査面
h :孔
F :発泡液
S :内部空間
1: Test apparatus 2: Vacuum box 3: Vacuum pump 4: Exhaust pipe 5: Pressure gauge 10: Box 11: Upper wall 12: Peripheral wall 20: Piping 31: Exhaust flow path 41: First atmospheric release path 42: Second Atmosphere release path 43 : Third atmosphere release path 51 : First on-off valve 52 : Second on-off valve 61 : First pressure regulating valve 62 : Second pressure regulating valve 100 : Inspection body 101 : Inspection surface h : Hole F : Foaming Liquid S: Internal space

Claims (3)

検査体の検査面に発泡液を塗布し、
透明な窓を有する真空箱を前記検査面上に配置して、前記検査面と前記真空箱とにより内部空間を形成し、
前記内部空間の圧力と大気圧との差圧が第1圧力に達するまで、前記内部空間を減圧しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、
前記差圧が前記第1圧力にある状態を保持しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、
前記差圧が前記第1圧力から第2圧力に達するまで、前記内部空間を更に減圧しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察し、
前記差圧が前記第2圧力にある状態を保持しつつ、前記検査面上の前記発泡液を観察する、発泡漏れ試験方法。
Apply the foaming liquid to the inspection surface of the object to be inspected,
A vacuum box having a transparent window is placed on the inspection surface, and an internal space is formed by the inspection surface and the vacuum box;
observing the bubbling liquid on the test surface while reducing the pressure in the internal space until the pressure difference between the pressure in the internal space and the atmospheric pressure reaches a first pressure;
observing the bubbling liquid on the test surface while maintaining the differential pressure at the first pressure;
observing the bubbling liquid on the inspection surface while further reducing the pressure in the internal space until the differential pressure reaches the second pressure from the first pressure;
A foaming leak test method, wherein the foaming liquid on the test surface is observed while the differential pressure is maintained at the second pressure.
前記差圧が前記第1圧力にある状態を第1最低保持時間以上保持し、
前記差圧が前記第2圧力にある状態を第2最低保持時間以上保持し、
前記第2最低保持時間は、前記第1最低保持時間より長い、請求項1に記載の発泡漏れ試験方法。
maintaining the state in which the differential pressure is at the first pressure for a first minimum holding time or longer;
maintaining the state in which the differential pressure is at the second pressure for a second minimum holding time or longer;
2. The foam leak testing method of claim 1, wherein said second minimum retention time is longer than said first minimum retention time.
検査体の検査面に配置される発泡漏れ試験用の真空箱であって、
前記検査面とともに内部空間を形成する箱体と、
前記内部空間をそれぞれ大気開放するための第1大気開放路と、第2大気開放路と、第3大気開放路と、を有する、前記箱体に接続された1以上の配管と、
前記第1大気開放路に設けられた第1開閉弁と、
前記第2大気開放路に設けられた第1圧力調整弁と、
前記第3大気開放路に設けられた第2開閉弁と、
前記第3大気開放路における大気に開放された端部と前記第2開閉弁との間に設けられた第2圧力調整弁と、を備える、真空箱。
A vacuum box for a foaming leak test placed on the inspection surface of the inspection object,
a box that forms an internal space together with the inspection surface;
one or more pipes connected to the box, each having a first atmosphere opening path, a second atmosphere opening path, and a third atmosphere opening path for opening the internal space to the atmosphere;
a first on-off valve provided in the first atmosphere open path;
a first pressure regulating valve provided in the second atmospheric release passage;
a second on-off valve provided in the third atmosphere open path;
A vacuum box, comprising: a second pressure regulating valve provided between the end portion of the third atmosphere open path that is open to the atmosphere and the second on-off valve.
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