JP2023032556A - Scanning optical device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、画像形成装置等に用いられる走査光学装置に関する。 The present invention relates to a scanning optical device used in image forming apparatuses and the like.
電子写真方式の画像形成装置に用いられる走査光学装置においては、光源から出射された光がカップリングレンズでビームに変換され、このビームは、回転する反射面を有する偏向器で主走査方向に偏向される。偏向器で偏向されたビームは、走査レンズにより感光体ドラムの表面上に結像される。光源から偏向器の反射面までの入射光学系は、ビームを副走査方向に集光して反射面上に結像し、偏向器から感光体ドラムの間の走査光学系は、反射面で反射されたビームを、主走査方向および副走査方向に集光して結像する。 In a scanning optical device used in an electrophotographic image forming apparatus, light emitted from a light source is converted into a beam by a coupling lens, and the beam is deflected in the main scanning direction by a deflector having a rotating reflecting surface. be done. The beam deflected by the deflector is imaged on the surface of the photosensitive drum by the scanning lens. The incident optical system from the light source to the reflecting surface of the deflector converges the beam in the sub-scanning direction and forms an image on the reflecting surface, and the scanning optical system between the deflector and the photosensitive drum reflects the beam from the reflecting surface. The light beams are focused in the main scanning direction and the sub-scanning direction to form an image.
ところで、従来、カップリングレンズは、ガラスレンズが用いられることが多かった。ガラスレンズは、温度変化による焦点位置の変動が少ないため、カップリングレンズに適している。 By the way, conventionally, a glass lens was often used as the coupling lens. A glass lens is suitable for a coupling lens because the focal position does not fluctuate due to temperature changes.
しかし、ガラスレンズは、生産性が悪く高コストである。そこで、レンズを樹脂製にすることで生産性とコストを改善することが考えられる。しかし、樹脂は線膨張係数が大きいため、温度上昇によって焦点距離が変化するという問題が生じる。具体的には、樹脂レンズが熱膨張すると、レンズ面の曲率半径が大きくなることと、樹脂の密度低下により屈折率が小さくなることの双方が、焦点距離を長くする要因となる。焦点距離の変化は、感光ドラムの表面での結像状態を悪化させる。 However, the glass lens has poor productivity and high cost. Therefore, it is conceivable to improve productivity and cost by making the lens made of resin. However, since resin has a large coefficient of linear expansion, there arises a problem that the focal length changes due to temperature rise. Specifically, when the resin lens thermally expands, both the increase in the radius of curvature of the lens surface and the decrease in the refractive index due to the decrease in density of the resin become factors for increasing the focal length. A change in focal length deteriorates the imaging condition on the surface of the photosensitive drum.
この問題に対し、樹脂レンズに屈折面と回折面の両方を設けて、温度変化による結像状態の変化を抑えるという技術がある(特許文献1)。光源として用いられる半導体レーザは、温度が上がると波長が長くなる一方、回折面は、波長が長くなると回折パワーが増加するという特性があるため、温度上昇時の屈折面における屈折パワーの低下を回折面の回折パワーの増加で補うことにより、温度変化時の焦点距離の変化を小さくすることが可能となる。特許文献1の技術においては、屈折面の屈折パワーφnと回折面の回折パワーφdの比φn/φdを0.6<φn/φd<0.9とすることで屈折パワーと回折パワーのバランスをとっている。 As a solution to this problem, there is a technique in which a resin lens is provided with both a refractive surface and a diffractive surface to suppress changes in imaging state due to temperature changes (Patent Document 1). The wavelength of a semiconductor laser used as a light source increases as the temperature rises, while the diffraction power increases as the wavelength increases. By compensating for the increase in the diffraction power of the surface, it becomes possible to reduce the change in the focal length when the temperature changes. In the technique of Patent Document 1, the ratio φn/φd between the refractive power φn of the refracting surface and the diffraction power φd of the diffractive surface is set to 0.6<φn/φd<0.9 to balance the refractive power and the diffraction power. I'm taking
しかしながら、半導体レーザは、温度変化によって波長が少しずつ変化するだけではく、モードホッピングという現象を起こす。具体的には、半導体レーザは、ある温度範囲では温度上昇に応じて少しずつ波長が大きくなるが、その温度範囲を超えると、不連続に急激に波長が大きくなることがある。このため、回折面の回折パワーを大きくしすぎるとモードホッピングの影響を受けやすくなるという問題がある。 However, a semiconductor laser causes a phenomenon called mode hopping as well as a gradual change in wavelength due to a change in temperature. Specifically, the wavelength of a semiconductor laser gradually increases as the temperature rises within a certain temperature range, but beyond that temperature range, the wavelength may increase discontinuously and abruptly. For this reason, if the diffraction power of the diffraction surface is increased too much, there is a problem that the effect of mode hopping is likely to occur.
そこで、本発明は、回折面を有するカップリングレンズを備える走査光学装置において、温度変化による結像状態の変化を抑えることを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to suppress changes in imaging state due to temperature changes in a scanning optical apparatus having a coupling lens having a diffractive surface.
前記した目的を達成するための本発明は、半導体レーザと、半導体レーザからの光をビームに変換するカップリングレンズと、カップリングレンズからのビームを偏向する光偏向器と、光偏向器で偏向されたビームを被走査面に結像する走査光学系と、半導体レーザおよびカップリングレンズを保持するホルダと、を備える。
カップリングレンズは、正の屈折パワーを有する屈折面と、正の回折パワーを有する回折面とを有する。カップリングレンズの、主走査方向についての屈折面の屈折パワーφnと回折面の回折パワーφdの比φn/φdは、
1.85≦φn/φd<6.0
を満たす。
また、ホルダの線膨張係数は、8.0×10-5~20×10-5[/K]である。
The present invention for achieving the above object comprises a semiconductor laser, a coupling lens for converting the light from the semiconductor laser into a beam, an optical deflector for deflecting the beam from the coupling lens, and a deflection by the optical deflector. It comprises a scanning optical system that forms an image of the emitted beam on a surface to be scanned, and a holder that holds a semiconductor laser and a coupling lens.
The coupling lens has a refractive surface with positive refractive power and a diffractive surface with positive diffraction power. The ratio φn/φd between the refractive power φn of the refracting surface and the diffraction power φd of the diffractive surface in the main scanning direction of the coupling lens is
1.85≦φn/φd<6.0
meet.
Also, the coefficient of linear expansion of the holder is 8.0×10 −5 to 20×10 −5 [/K].
このような構成の走査光学装置によれば、φn/φdが1.85より大きいことで、回折パワーφdが屈折パワーφnに比較して適度に小さいので、モードホッピングによる波長の変化があったとしても、回折パワーφdの影響を抑えることができる。そして、半導体レーザとカップリングレンズを保持することで半導体レーザとカップリングレンズの距離を規定するホルダは、その線膨張係数が8.0×10-5[/K]以上に大きく設定されているので、温度が上昇したときには、半導体レーザとカップリングレンズの距離が比較的大きく広がる。そのため、温度上昇時には、半導体レーザとカップリングレンズの距離の増大により、光学系全体として焦点距離が短くなる作用が得られる。屈折面は、温度上昇時に、カップリングレンズの焦点距離を長くする性質を有するが、温度上昇時に回折面が焦点距離を短くする作用に加えて、ホルダの熱膨張による焦点距離が短くなる作用が、屈折面の焦点距離を長くする性質と逆の作用をすることで、回折パワーφdを小さくしても、結像位置の変化を適切に抑制することができる。 According to the scanning optical apparatus having such a configuration, since φn/φd is larger than 1.85, the diffraction power φd is moderately smaller than the refraction power φn. can also suppress the influence of the diffraction power φd. The linear expansion coefficient of the holder that defines the distance between the semiconductor laser and the coupling lens by holding the semiconductor laser and the coupling lens is set to be greater than 8.0×10 −5 [/K]. Therefore, when the temperature rises, the distance between the semiconductor laser and the coupling lens increases relatively greatly. As a result, when the temperature rises, the distance between the semiconductor laser and the coupling lens increases, thereby shortening the focal length of the entire optical system. The refracting surface has the property of lengthening the focal length of the coupling lens when the temperature rises, but in addition to the action of the diffractive surface shortening the focal length when the temperature rises, the thermal expansion of the holder also shortens the focal length. , the change in the imaging position can be appropriately suppressed even if the diffraction power φd is reduced by acting opposite to the property of lengthening the focal length of the refracting surface.
走査光学装置は、ホルダ、光偏向器および走査光学系を保持する筐体をさらに備えることができる。この場合に、ホルダの線膨張係数は、筐体の線膨張係数よりも大きいことが望ましい。 The scanning optics can further comprise a housing that holds the holder, the optical deflector and the scanning optics. In this case, it is desirable that the linear expansion coefficient of the holder is larger than that of the housing.
ホルダ、光偏向器および走査光学系を保持する筐体は、線膨張係数が小さいことで、各部材の位置関係の変化を抑制して、温度変化時の結像状態の変化を抑制することができる。一方、ホルダの線膨張係数は、筐体の線膨張係数より大きいことで、温度変化時において、半導体レーザとカップリングレンズの距離の変化による光学系全体の焦点距離の変化が、屈折面の屈折パワーの変化と打ち消しあって、結像位置の変化を抑制することができる。 The case that holds the holder, the optical deflector, and the scanning optical system has a small coefficient of linear expansion, so that it is possible to suppress changes in the positional relationship of each member and to suppress changes in the imaging state when the temperature changes. can. On the other hand, since the coefficient of linear expansion of the holder is larger than that of the case, when the temperature changes, the change in the focal length of the entire optical system caused by the change in the distance between the semiconductor laser and the coupling lens is reflected by the refraction of the refracting surface. The change in the imaging position can be suppressed by canceling out the change in power.
ホルダは、例えば、樹脂からなっていてもよい。 The holder may be made of resin, for example.
屈折面は、軸対称な形状を有していてもよい。また、回折面は、軸対称な形状を有していてもよい。 The refractive surface may have an axisymmetric shape. Also, the diffractive surface may have an axially symmetrical shape.
カップリングレンズおよび走査光学系を含む半導体レーザから被走査面までの光学系全体の主走査方向についての縦倍率は、70~164倍であってもよい。 The longitudinal magnification in the main scanning direction of the entire optical system, including the coupling lens and the scanning optical system, from the semiconductor laser to the surface to be scanned may be 70 to 164 times.
縦倍率が大きいとモードホッピング時の結像位置の変化が大きくなるが、縦倍率が70~164倍であることで、モードホッピング時の結像位置の変化を抑えることができる。 When the longitudinal magnification is large, the change in the imaging position during mode hopping becomes large. However, a longitudinal magnification of 70 to 164 times can suppress the change in the imaging position during mode hopping.
走査光学系は、fθ走査光学系であり、走査光学系の主走査方向についての焦点距離は、200~260[mm]であってもよい。 The scanning optical system is an fθ scanning optical system, and the focal length of the scanning optical system in the main scanning direction may be 200 to 260 [mm].
走査光学系は、1または複数のレンズから構成することができる。 The scanning optics can consist of one or more lenses.
本発明の走査光学装置によれば、温度上昇時に、ホルダの熱膨張による焦点距離が短くなる作用が、屈折面の焦点距離を長くする性質と打ち消し合うことで、回折パワーφdを小さくしても、カップリングレンズの焦点距離の変化を適切に抑制することができる。これにより、温度変化による結像状態の変化を抑えることができる。 According to the scanning optical apparatus of the present invention, the action of shortening the focal length due to the thermal expansion of the holder when the temperature rises cancels out the effect of lengthening the focal length of the refracting surface. , the change in the focal length of the coupling lens can be suppressed appropriately. As a result, it is possible to suppress changes in imaging state due to temperature changes.
次に、本発明の一実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図1に示すように、一実施形態に係る走査光学装置10は、筐体20と、光源としての半導体レーザ1と、入射光学系30としてのカップリングレンズ2、開口絞り3およびシリンドリカルレンズ4と、光偏向器50と、走査光学系40としてのfθレンズ6および面倒れ補正レンズ7とを備える。走査光学装置10は、半導体レーザ1から出射されたレーザ光を感光体ドラム9の被走査面9Aに点状に集光し、走査するように構成されている。
Next, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.
As shown in FIG. 1, a scanning
筐体20は、入射光学系30、光偏向器50および走査光学系40を保持する部材である。入射光学系のうち、半導体レーザ1、カップリングレンズ2および開口絞り3は、ホルダHLによって保持されている。すなわち、筐体20は、ホルダHL、開口絞り3、シリンドリカルレンズ4、光偏向器50、fθレンズ6および面倒れ補正レンズ7を保持している。筐体20は、開口21を有している。走査光学系40を通ったビームは、開口21を通って被走査面9Aに到達する。なお、図1の筐体20および光学系は、模式的に示したもので、実際の装置では、適宜、ミラーが配置されることでビームが折り返され、筐体20内に各部品が収まるように配置される。
The
筐体20の線膨張係数は、ホルダHLの線膨張係数より小さい。筐体20の線膨張係数は、5.0×10-5[/K]以上、8.0×10-5[/K]未満である。筐体20は、例えば、PC/AS系ポリマーアロイなどの樹脂からなる。なお、筐体20が、ケース本体と蓋などの複数の部品を組み合わせてなる場合、上記の線膨張係数の関係は、筐体20の部品のうち、入射光学系30、光偏向器50および走査光学系40を保持する部品の線膨張係数がホルダHLの線膨張係数よりも小さいことを意味する。
The linear expansion coefficient of the
ホルダHLは、例えば、樹脂からなる。ホルダHLの線膨張係数は、筐体20の線膨張係数よりも大きい。ホルダHLの線膨張係数は、8.0×10-5[/K]以上である。ホルダHLの線膨張係数が8.0×10-5[/K]以上に大きく設定されていることで、走査光学装置10の温度が上昇したときには、半導体レーザ1とカップリングレンズ2の距離が比較的大きく広がる。そのため、温度上昇時には、半導体レーザ1とカップリングレンズ2の距離の増大により、光学系全体として、焦点距離が短くなる作用が得られる。ホルダHLの線膨張係数は、20×10-5[/K]以下である。このような線膨張係数であれば、一般的な樹脂からホルダHLの材料を選択することができる。なお、ホルダHLは、半導体レーザ1、カップリングレンズ2および開口絞り3の他、シリンドリカルレンズ4を保持していてもよい。ホルダHLは1つの部材から構成されている必要はなく、複数部材の組合せにより構成されていてもよい。例えば、金属と樹脂の組合せによりホルダHLが構成されていてもよく、この場合、光源と入射光学系の間隔を保持する各部材の線膨張係数の合成が、上記の線膨張係数Zとなる。
The holder HL is made of resin, for example. The coefficient of linear expansion of the holder HL is greater than that of the
半導体レーザ1は、やや発散性のレーザ光を発する装置である。半導体レーザ1の発光素子は、図示しない制御装置により、感光体ドラム9の被走査面9Aに露光すべき画像に対応して明滅される。
The semiconductor laser 1 is a device that emits slightly divergent laser light. The light emitting element of the semiconductor laser 1 blinks according to the image to be exposed on the scanned
カップリングレンズ2は、半導体レーザ1と光偏向器50の間に設けられ、半導体レーザ1から出射した光を、主走査方向(図1の紙面内でビームの進行方向に対して左右に振れる方向であり、光偏向器50により偏向される方向)および副走査方向(主走査方向に直交する方向で、図1の紙面奥行き方向)において平行もしくは僅かに収束するビームに変換する。シリンドリカルレンズ4は、主走査方向において屈折パワーを有さず、副走査方向において屈折パワーを有するレンズであり、カップリングレンズ2から出射された光を副走査方向において光偏向器50のミラー面5Aの近傍で結像させる。カップリングレンズ2は、正の屈折パワーを有する屈折面と、正の回折パワーを有する回折面とを有する。屈折面は、軸対称な形状を有する。また、回折面も軸対称な形状を有する。つまり、屈折面および回折面は、カップリングレンズ2の光軸周りに任意の角度で回転対称な形状を有している。カップリングレンズ2は、例えば、ビームの入射側が回折面であり、射出側が屈折面として形成されている。
The
本実施形態のカップリングレンズ2は、主走査方向についての屈折面の屈折パワーφnと回折面の回折パワーφdの比φn/φdは、
1.85≦φn/φd<6.0
を満たす。
In the
1.85≦φn/φd<6.0
meet.
開口絞り3は、カップリングレンズ2を通過したビームの副走査方向の大きさを規定する開口を有する部材である。
The aperture stop 3 is a member having an aperture that defines the size of the beam that has passed through the
光偏向器50は、複数のミラー面5Aが、回転軸5Bから等距離に配置されたポリゴンミラー5を有する。図1では、ポリゴンミラー5として、6つミラー面5Aを有するものを例示しているが、ミラー面の数は特に限定されない。ポリゴンミラー5は、回転軸5Bを中心に一定速度で回転され、開口絞り3を通過したカップリングレンズ2からのビームを主走査方向に偏向する。
The
走査光学系40は、光偏向器50で偏向されたビームを被走査面9Aに結像する。本実施形態において、走査光学系40は、fθ走査光学系である。走査光学系40は、ポリゴンミラー5により等角速度で偏向されたビームを、被走査面9A上に等速で走査するようなfθ特性を有している。本実施形態において、走査光学系40は、複数のレンズからなり、fθレンズ6と面倒れ補正レンズ7とを有する。fθレンズ6は、ポリゴンミラー5で反射されることで偏向されたビームを被走査面9A上に点状に結像させる。面倒れ補正レンズ7は、ポリゴンミラー5のミラー面5Aの面倒れを補正する。本実施形態において、走査光学系40を構成するレンズであるfθレンズ6および面倒れ補正レンズ7は、屈折面のみを有し、回折面を有さない。走査光学系40の主走査方向についての焦点距離は、200~260[mm]である。
The scanning
入射光学系30および走査光学系40を含む半導体レーザ1から被走査面9Aまでの光学系全体の主走査方向についての縦倍率は、70~164倍であることが望ましい。
The longitudinal magnification in the main scanning direction of the entire optical system from the semiconductor laser 1 including the incident
以上に説明した本実施形態の走査光学装置10によれば、φn/φdが1.85より大きいことで、回折パワーφdが屈折パワーφnに比較して適度に小さいので、モードホッピングによる波長の変化があったとしても、回折パワーφdの影響を抑えることができる。そして、半導体レーザ1とカップリングレンズ2を保持するホルダHLの線膨張係数を8.0×10-5[/K]以上とすることで、温度上昇時には、半導体レーザ1とカップリングレンズ2の距離が広がり、光学系全体として焦点距離を短くする作用が得られる。この作用が、温度上昇時のカップリングレンズ2の屈折面の、焦点距離を長くする性質と打ち消し合うことで、回折パワーφdを小さくしても、主走査方向における結像位置の変化を適切に抑制することができる。
According to the scanning
そして、ホルダHL、光偏向器50および走査光学系40を保持する筐体20が、線膨張係数がホルダHLより小さいことで、各部材の位置関係の変化を抑制して、温度変化時の結像状態の変化を抑制することができる。一方、ホルダHLの線膨張係数が、筐体20の線膨張係数より大きいことで、温度変化時において、半導体レーザ1とカップリングレンズ2の距離の変化による光学系全体の焦点距離の変化が、屈折面の屈折パワーの変化と打ち消しあうので、主走査方向における結像位置の変化を抑制することができる。
Since the
また、本実施形態の走査光学装置10は、半導体レーザ1から被走査面9Aまでの光学系全体の主走査方向についての縦倍率が70~164倍であることで、モードホッピング時の主走査方向における結像位置の変化を抑えることができる。
Further, the scanning
以上に本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記した実施形態に限定されるものではない。具体的な構成については、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments. The specific configuration can be changed as appropriate without departing from the gist of the present invention.
例えば、前記実施形態においては、カップリングレンズ2の入射側を回折面とし、出射側を屈折面としたが、これを逆にして、入射側を屈折面とし、出射側を回折面としてもよい。
For example, in the above embodiment, the incident side of the
また、前記実施形態では、走査光学系40を複数のレンズから構成していたが、1枚のレンズにより構成してもよい。
Further, although the scanning
発明者は、走査光学装置のホルダの線膨張係数を変化させた場合の主走査方向における結像位置の変化(近軸主像面シフト[mm])を計算した。主像面シフトは、25℃の主走査方向における結像位置を基準とし、-5℃の場合、55℃の場合、25℃でモードホップにより1nm波長が長くなった場合の3つの場合について計算した。φn/φdについては、他の条件を決定した状態で、主像面シフトの最大値が最も小さくなるように最適化した値を示している。 The inventor calculated the change in the imaging position in the main scanning direction (paraxial main image plane shift [mm]) when the linear expansion coefficient of the holder of the scanning optical device was changed. The main image plane shift is based on the imaging position in the main scanning direction at 25°C, and is calculated for three cases: -5°C, 55°C, and 1 nm wavelength lengthening due to mode hopping at 25°C. bottom. For φn/φd, values optimized to minimize the maximum value of the main image plane shift are shown with other conditions determined.
図2および図3に示すように、カップリングレンズにガラスレンズを用いた場合には(参考例1,2)、モードホップによる主像面シフトの大きさは小さいが、温度変化時(-5℃、55℃)の場合の像面シフトが大きい。なお、図2、図3において、光源の波長は、半導体レーザの標準波長であり、焦点距離は、波長780nmにおける値である。 As shown in FIGS. 2 and 3, when a glass lens is used as the coupling lens (reference examples 1 and 2), the magnitude of the main image plane shift due to mode hopping is small, but when the temperature changes (-5 °C, 55°C), the image plane shift is large. 2 and 3, the wavelength of the light source is the standard wavelength of the semiconductor laser, and the focal length is the value at the wavelength of 780 nm.
一方、カップリングレンズを樹脂(シクロオレフィンポリマー)により構成した場合(比較例1~5、実施例1~3)、屈折面と回折面の組み合わせにより、温度変化時の主像面シフトは、抑えられる。しかし、回折面を有しているために、モードホップによりレーザ光の波長が変化した場合の像面シフト量が、ガラス(SCHOTT社、N-SF8)によりカップリングレンズを構成した場合(参考例1,2)よりも大きい。 On the other hand, when the coupling lens is made of resin (cycloolefin polymer) (Comparative Examples 1 to 5, Examples 1 to 3), the combination of the refracting surface and the diffractive surface suppresses the shift of the main image plane when the temperature changes. be done. However, since it has a diffractive surface, the amount of image plane shift when the wavelength of the laser light changes due to mode hopping is reduced when the coupling lens is made of glass (SCHOTT, N-SF8) (reference example) 1, 2).
そこで、ホルダの線膨張係数を変化させて計算したところ、実施例1~3、比較例3,4のように、線膨張係数を8×10-5~40×10-5[/K]とした場合には、温度変化時およびモードホップ時の主像面シフトの絶対値を比較例1,2よりも小さく抑えられた。しかし、比較例3~5のように、線膨張係数を30×10-5[/K]以上とした場合には、回折面の回折パワーが負となり、この場合には、温度変化時に、回折パワーの変化が、屈折パワーの変化とキャンセルしない関係になってしまうので、望ましくないと判断した。 Therefore, when calculating by changing the linear expansion coefficient of the holder, as in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 3 and 4, the linear expansion coefficient was 8 × 10 -5 to 40 × 10 -5 [/K]. In this case, the absolute value of the main image plane shift at the time of temperature change and mode hopping was kept smaller than in Comparative Examples 1 and 2. However, when the coefficient of linear expansion is set to 30×10 −5 [/K] or more as in Comparative Examples 3 to 5, the diffraction power of the diffraction surface becomes negative. It was determined that this is not desirable because the change in power has a non-cancelling relationship with the change in refraction power.
したがって、ホルダの線膨張係数が8×10-5~20×10-5[/K]であり、カップリングレンズのφn/φdが1.85≦φn/φd<6の場合に、温度変化およびモードホップによる波長変化において、主像面シフトが抑制されることが確認された。 Therefore, when the linear expansion coefficient of the holder is 8×10 −5 to 20×10 −5 [/K] and the φn/φd of the coupling lens is 1.85≦φn/φd<6, the temperature change and It was confirmed that the main image plane shift is suppressed in the wavelength change due to mode hopping.
1 半導体レーザ
2 カップリングレンズ
5 ポリゴンミラー
6 fθレンズ
7 補正レンズ
9 感光体ドラム
9A 被走査面
10 走査光学装置
20 筐体
30 入射光学系
40 走査光学系
50 光偏向器
HL ホルダ
REFERENCE SIGNS LIST 1
Claims (7)
前記半導体レーザからの光をビームに変換するカップリングレンズと、
前記カップリングレンズからのビームを偏向する光偏向器と、
前記光偏向器で偏向されたビームを被走査面に結像する走査光学系と、
前記半導体レーザおよび前記カップリングレンズを保持するホルダと、を備え、
前記カップリングレンズは、正の屈折パワーを有する屈折面と、正の回折パワーを有する回折面とを有し、
主走査方向についての前記屈折面の屈折パワーφnと前記回折面の回折パワーφdの比φn/φdは、
1.85≦φn/φd<6.0
を満たし、
前記ホルダの線膨張係数は、8.0×10-5~20×10-5[/K]であることを特徴とする走査光学装置。 a semiconductor laser;
a coupling lens for converting light from the semiconductor laser into a beam;
an optical deflector that deflects the beam from the coupling lens;
a scanning optical system that forms an image of the beam deflected by the optical deflector on a surface to be scanned;
a holder that holds the semiconductor laser and the coupling lens,
The coupling lens has a refractive surface with positive refractive power and a diffraction surface with positive diffraction power,
The ratio φn/φd between the refracting power φn of the refracting surface and the diffraction power φd of the diffractive surface in the main scanning direction is
1.85≦φn/φd<6.0
The filling,
A scanning optical device, wherein the linear expansion coefficient of the holder is 8.0×10 −5 to 20×10 −5 [/K].
前記ホルダの線膨張係数は、前記筐体の線膨張係数よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の走査光学装置。 further comprising a housing that holds the holder, the optical deflector, and the scanning optical system;
2. A scanning optical device according to claim 1, wherein the coefficient of linear expansion of said holder is larger than that of said housing.
前記回折面は、軸対称な形状を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の走査光学装置。 the refracting surface has an axisymmetric shape,
4. A scanning optical apparatus according to claim 1, wherein said diffraction surface has an axially symmetrical shape.
Priority Applications (1)
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