JP2023020858A - Titanium alloy production method - Google Patents

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敬純 久保
Takasumi Kubo
真洋 新澤
Masahiro Niizawa
勇貴 木村
Yuki Kimura
真幸 新井
Masayuki Arai
史也 中崎
Fumiya Nakasaki
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a titanium alloy production method allowing easy control of the amount of oxygen contained in a titanium alloy.
SOLUTION: A titanium alloy production method at least comprises: a mixing step of obtaining a mixed powder by mixing a titanium powder, whose main component is titanium (Ti), and a Va group powder, whose main component is vanadium-group elements; a solidification step of obtaining a solidified body by heating and solid phase diffusion bonding of the mixed powder mixed in the mixing step; and a melting step of heating and melting the solidified body to generate a titanium alloy. In the solidification step, the solid phase diffusion bonding of the mixed powder is performed by heating and compression. In the melting step, the solidified body is melted by the vacuum arc remelting or cold crucible induction melting.
SELECTED DRAWING: Figure 1
COPYRIGHT: (C)2023,JPO&INPIT

Description

本発明は、チタン合金の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for producing titanium alloys.

従来、チタン合金の製造方法として、例えば、柱状のチタンと、ワイヤ状又は薄板状の添加金属を浮揚溶解装置のるつぼ内にセットし、これらを所定の溶解条件で溶解させて、るつぼ内で自然冷却してチタン合金を得るものがあった(例えば、特許文献1参照)。また、チタン合金の製造方法として、例えば、チタン粉末と、バナジウム族元素の粉末を混合して加熱容器内にセットし、これらを加圧・加熱して焼結されることでチタン合金を得るものがあった(例えば、特許文献2参照)。 Conventionally, as a method for producing a titanium alloy, for example, columnar titanium and a wire-shaped or thin-plate-shaped additive metal are set in a crucible of a levitation melting apparatus, melted under predetermined melting conditions, and naturally melted in the crucible. There is a technique in which a titanium alloy is obtained by cooling (see, for example, Patent Document 1). Further, as a method for producing a titanium alloy, for example, a titanium alloy is obtained by mixing titanium powder and vanadium group element powder, setting them in a heating container, and sintering them by pressurizing and heating them. There was (for example, see Patent Document 2).

特開2002-012923号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-012923 特許第3375083号公報Japanese Patent No. 3375083

ところで、チタン合金では、一般的に、不可避不純物となる酸素の含有率をできるだけ少なくすることが好ましいとされている。しかしながら、積極的にチタン合金に酸素を含有させようとする場合、上記特許文献1のチタン合金の製造方法では、溶解中において、大気中の元素がチタン合金に混入するので、チタン合金の組成を高精度に制御することが難しい。結果、特許文献1の製造方法では、そもそも酸素量のコントロールができないという問題があった。 By the way, in titanium alloys, it is generally considered preferable to reduce the content of oxygen, which is an unavoidable impurity, as much as possible. However, when it is intended to positively contain oxygen in a titanium alloy, the titanium alloy manufacturing method of Patent Document 1 described above mixes elements in the atmosphere into the titanium alloy during melting. It is difficult to control with high precision. As a result, in the production method of Patent Document 1, there was a problem that the amount of oxygen could not be controlled in the first place.

また、本発明者らの研究によると、上記特許文献2のチタン合金の製造方法では、焼結後のチタン合金において、チタンとバナジウム族元素が不均一に拡散してしまうという問題があった。結果、特許文献2の製造方法では、チタン粉末の酸化被膜に含まれる酸素も不均一に拡散してしまうという問題があった。 Further, according to the studies of the present inventors, the method for producing a titanium alloy of Patent Document 2 has a problem that titanium and vanadium group elements diffuse non-uniformly in the titanium alloy after sintering. As a result, the manufacturing method of Patent Document 2 has a problem that the oxygen contained in the oxide film of the titanium powder also diffuses unevenly.

本発明は、斯かる実情に鑑み、チタン合金に含有する組成比率を高精度に制御しつつ、全体を均質化可能なチタン合金の製造方法を提供しようとするものである。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a titanium alloy that can homogenize the whole while controlling the composition ratio of the titanium alloy with high accuracy.

本発明のチタン合金の製造方法は、少なくとも、チタン(Ti)を主成分とするチタン粉末と、バナジウム族元素を主成分とするVa族粉末とを混合して混合粉末を得る混合工程と、前記混合工程で混合された前記混合粉末を加熱して固相拡散結合させることで固化体を得る固化工程と、前記固化体を加熱溶解して、チタン合金を生成する溶解工程と、を備えることを特徴とする。 A method for producing a titanium alloy according to the present invention includes at least a mixing step of obtaining a mixed powder by mixing a titanium powder containing titanium (Ti) as a main component and a group Va powder containing a vanadium group element as a main component; A solidification step of heating the mixed powder mixed in the mixing step to cause solid phase diffusion bonding to obtain a solidified body, and a melting step of heating and melting the solidified body to produce a titanium alloy. Characterized by

前記固化工程では、900~1400℃の間のいずれかの温度で加熱することで前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする。 In the solidifying step, the mixed powder is solid phase diffusion bonded by heating at any temperature between 900 and 1400.degree.

本発明のチタン合金の製造方法において、前記固化工程では、前記混合粉末を真空下とし、加熱及び加圧によって前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする。 In the method for producing a titanium alloy according to the present invention, the solidification step is characterized in that the mixed powder is placed under a vacuum, and the mixed powder is solid-phase diffusion-bonded by heating and pressurizing.

本発明のチタン合金の製造方法において、前記溶解工程では、真空アーク再溶解法、又はコールドクルーシブル誘導溶解法によって前記固化物を溶解することを特徴とする。 The method for producing a titanium alloy according to the present invention is characterized in that, in the melting step, the solidified matter is melted by a vacuum arc remelting method or a cold crucible induction melting method.

本発明のチタン合金の製造方法において、前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、0.4~1.7at%の酸素(O)を含むことを特徴とする。 The method for producing a titanium alloy according to the present invention is characterized in that the titanium alloy contains 0.4 to 1.7 at % of oxygen (O) when the total is 100 atomic % (at %).

本発明のチタン合金の製造方法において、前記Va族粉末が、タンタル(Ta)又はニオブ(Nb)を主成分とすることを特徴とする。 The method for producing a titanium alloy according to the present invention is characterized in that the group Va powder contains tantalum (Ta) or niobium (Nb) as a main component.

本発明のチタン合金の製造方法において、前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、1~8at%のスズ(Sn)を含むことを特徴とする。 The method for producing a titanium alloy according to the present invention is characterized in that the titanium alloy contains 1 to 8 at % of tin (Sn) when the total is 100 atomic % (at %).

本発明のチタン合金の製造方法は、更に前記溶解工程で生成された前記チタン合金に対して熱処理を行う熱処理工程と、前記熱処理された前記チタン合金に対して時効処理を行う時効処理工程と、を備え、前記溶解工程を経た前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、15~27at%のタンタル(Ta)と、1~8at%のスズ(Sn)と、0.4~1.7at%の酸素(O)と、残部がチタン(Ti)と不可避不純物とからなるようにし、前記時効処理工程では、前記チタン合金に対して24時間以下の時効処理を行って、前記チタン合金にα相を析出させることを特徴とする。 The method for producing a titanium alloy of the present invention further comprises a heat treatment step of heat-treating the titanium alloy produced in the melting step, an aging treatment step of aging the heat-treated titanium alloy, wherein the titanium alloy that has undergone the melting step contains 15 to 27 at% tantalum (Ta), 1 to 8 at% tin (Sn), and 0 .4 to 1.7 atomic percent of oxygen (O), the balance being titanium (Ti) and unavoidable impurities, and in the aging treatment step, the titanium alloy is aged for 24 hours or less. , characterized in that an α phase is precipitated in the titanium alloy.

本発明のチタン合金の製造方法によれば、チタン合金に含有する組成比率を高精度に制御しつつ、チタン合金の各成分を均質化することができるという優れた効果を奏し得る。 According to the method for producing a titanium alloy of the present invention, it is possible to obtain an excellent effect that each component of the titanium alloy can be homogenized while controlling the composition ratio contained in the titanium alloy with high accuracy.

本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法の流れを示すフローチャートである。1 is a flow chart showing the flow of a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention; (A)は、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法で用いられるHIP装置の概略図である。(B)は、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法で用いられる真空アーク再溶解法(VAR)を行う装置の概略図である。(A) is a schematic diagram of a HIP apparatus used in a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention. (B) is a schematic diagram of an apparatus for performing a vacuum arc remelting method (VAR) used in a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention; (A)は、HIP処理により生成された固化体を、走査電子顕微鏡(SEM)を用いて倍率400倍で観察した際のSEM像の写真である。(B)は、(A)の範囲においてX線を用いてTiの元素分析を行った際のSEM像の写真である。(C)は、(A)の範囲においてX線を用いてTaの元素分析を行った際のSEM像の写真である。(D)は、(A)の範囲においてX線を用いてSnの元素分析を行った際のSEM像の写真である。(A) is a photograph of an SEM image of a solidified body produced by HIP treatment, observed with a scanning electron microscope (SEM) at a magnification of 400 times. (B) is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Ti was performed using X-rays in the range of (A). (C) is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Ta was performed using X-rays in the range of (A). (D) is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Sn was performed using X-rays in the range of (A). (A)は、比較例となる比較例チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.26O)の表面を、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率2000倍で観察した際のTEM像の写真である。(B)は、第一チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.75O)の表面を、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率2000倍で観察した際のTEM像の写真である。(C)は、第二チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.92O)の表面を、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率2000倍で観察した際のTEM像の写真である。なお、比較例チタン合金、及び第一,二チタン合金に対応する各括弧内のTa、Sn、Oの元素表示に付された数値は、比較例チタン合金、及び第一,二チタン合金のそれぞれの全体を100原子%(at%)とした時の、各元素(Ta、Sn、O)の原子%(at%)の数値を表す。(A) shows the surface of a comparative titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.26O), which is a comparative example, observed at a magnification of 2000 using a transmission electron microscope (TEM). It is a photograph of a TEM image. (B) is a photograph of a TEM image when the surface of the first titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.75O) was observed using a transmission electron microscope (TEM) at a magnification of 2000. is. (C) is a photograph of a TEM image when the surface of the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.92O) was observed using a transmission electron microscope (TEM) at a magnification of 2000. is. The numerical values attached to the elements of Ta, Sn, and O in parentheses corresponding to the comparative titanium alloys and the first and second titanium alloys are those of the comparative titanium alloys and the first and second titanium alloys, respectively. represents the numerical value of atomic % (at %) of each element (Ta, Sn, O) when the whole is 100 atomic % (at %). Ta-Tiの2元系状態図である。2 is a Ta—Ti binary phase diagram. FIG. 全体を100原子%(at%)とした時、Taの含有率が23at%で、Snの含有率がx(at%)で、Oの含有率が0.26at%のチタン合金(Ti-23Ta-xSn―0.26O)についての冷間加工性評価試験の結果を示したグラフである。When the total is 100 atomic % (at %), a titanium alloy (Ti-23Ta -xSn-0.26O) is a graph showing the results of a cold workability evaluation test. 全体を100原子%(at%)とした時、Taの含有率が23.4at%で、Snの含有率が3.4at%で、Oの含有率がx(at%)のチタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―xO)についての冷間加工性評価試験の結果を示した表である。When the total is 100 atomic % (at %), a titanium alloy (Ti -23.4Ta-3.4Sn-xO) is a table showing the results of a cold workability evaluation test. (A)は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片H1,T1の組成を示す表である。(B)は、試験片H1,T1のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―ひずみ線図である。(A) is a table showing the compositions of test pieces H1 and T1 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention. (B) is a stress-strain diagram showing the results of a tensile test on each of test pieces H1 and T1. (A)は、試験片H1に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。(B)は、試験片T1に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。(C)は、(A),(B)の応力-ひずみ線図を重ね合わせた図である。(A) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which a test piece H1 was subjected to repeated stress-strain. (B) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T1 was subjected to repeated stress-strain. (C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of (A) and (B) are superimposed. (A)は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片H2,T2の組成を示す表である。(B)は、試験片H2,T2のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―ひずみ線図である。(A) is a table showing compositions of test pieces H2 and T2 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention. (B) is a stress-strain diagram showing the results of a tensile test on each of test pieces H2 and T2. (A)は、試験片H2に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。(B)は、試験片T2に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。(C)は、(A),(B)の応力-ひずみ線図を重ね合わせた図である。(A) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to the test piece H2. (B) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T2 was subjected to repeated stress-strain. (C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of (A) and (B) are superimposed. (A)は、試験片T1、試験片T2のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―ひずみ線図を重ね合わせた図である。(B)は、試験片T1、試験片T2のそれぞれに対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果得られたそれぞれの応力-ひずみ線図を重ね合わせた図である。(A) is a drawing in which stress-strain diagrams, which are the results of tensile tests on test pieces T1 and T2, are superimposed. (B) is a diagram in which stress-strain diagrams obtained as a result of performing a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to each of the test piece T1 and the test piece T2 are superimposed. (A)は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片H3,T3,T4の組成を示す表である。(B)は、熱処理温度を変えた複数の試験片H3,T3,T4のそれぞれに対するビッカース硬さ試験の結果を示すグラフである。(A) is a table showing compositions of test pieces H3, T3, and T4 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention. (B) is a graph showing the results of a Vickers hardness test on each of a plurality of test pieces H3, T3, T4 with different heat treatment temperatures.

以下、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法について添付図面を参照して説明する。図1及び図2を参照して、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法について以下説明する。 Hereinafter, a method for producing a titanium alloy according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. A method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

<混合工程>
まず、図1に示すように、チタン(Ti)を主成分とするTi粉末と、タンタル(Ta)を主成分とするTa粉末と、スズ(Sn)を主成分とするSn粉末を用意して、それらを所定の混合比で混合する混合工程を行う(ステップS100)。なお、本実施形態においてTi粉末、Ta族粉末、Sn粉末は、いずれも325(メッシュ:mesh/inch)以下のいずれかの大きさの網目を有する篩で篩い分けして、その篩を通過可能な粒度(粒径)を有するものを想定している。なお、上記Ti粉末は、チタン(Ti)が90%以上含まれるものが好ましく、チタン(Ti)が95%以上含まれるものがより好ましく、チタン(Ti)が99%以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Ti粉末の残りの成分にはチタン(Ti)とは別の成分が含まれる。また、上記Ti粉末におけるチタン(Ti)には、純粋なチタン(Ti)が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するチタン(Ti)が含まれてもよい。上記Ta粉末は、タンタル(Ta)が90%以上含まれるものが好ましく、タンタル(Ta)が95%以上含まれるものがより好ましく、タンタル(Ta)が99%以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Ta粉末の残りの成分にはタンタル(Ta)とは別の成分が含まれる。また、上記Ta粉末におけるタンタル(Ta)には、純粋なタンタル(Ta)が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するタンタル(Ta)が含まれてもよい。上記Sn粉末は、スズ(Sn)が90%以上含まれるものが好ましく、スズ(Sn)が95%以上含まれるものがより好ましく、スズ(Sn)が99%以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Sn粉末の残りの成分にはスズ(Sn)とは別の成分が含まれる。また、上記Sn粉末におけるスズ(Sn)には、純粋なスズ(Sn)が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するスズ(Sn)が含まれてもよい。
<Mixing process>
First, as shown in FIG. 1, Ti powder containing titanium (Ti) as the main component, Ta powder containing tantalum (Ta) as the main component, and Sn powder containing tin (Sn) as the main component were prepared. , and a mixing step of mixing them at a predetermined mixing ratio (step S100). In the present embodiment, Ti powder, Ta group powder, and Sn powder are all sieved with a sieve having a mesh size of 325 (mesh: mesh/inch) or less, and can pass through the sieve. It is assumed that the particle size (particle diameter) is large. The Ti powder preferably contains 90% or more of titanium (Ti), more preferably contains 95% or more of titanium (Ti), and further preferably contains 99% or more of titanium (Ti). . In this case, the remaining components of the Ti powder include components other than titanium (Ti). Further, the titanium (Ti) in the Ti powder may include pure titanium (Ti) or may include titanium (Ti) having an oxide film. The Ta powder preferably contains 90% or more of tantalum (Ta), more preferably 95% or more of tantalum (Ta), and even more preferably 99% or more of tantalum (Ta). In this case, the remaining components of the Ta powder include components other than tantalum (Ta). Moreover, the tantalum (Ta) in the Ta powder may include pure tantalum (Ta), or may include tantalum (Ta) having an oxide film. The Sn powder preferably contains 90% or more of tin (Sn), more preferably 95% or more of tin (Sn), and even more preferably 99% or more of tin (Sn). In this case, the remaining components of the Sn powder include components other than tin (Sn). Further, the tin (Sn) in the Sn powder may include pure tin (Sn) or tin (Sn) having an oxide film.

同じ重量なら、粒度が小さい粉末は、粒度が大きい粉末よりも粉末を構成する粒の数が多くなる。結果、同じ重量で比較した場合、粒度が小さい粉末の方が、粒度が大きい粉末よりも酸素に反応する表面面積が大きい。チタン粉末(Ti)やタンタル粉末(Ta)は、酸化被膜によって大気中で安定状態となっている。結果、同じ重量で比較した場合、粒度が小さいチタン粉末(Ti)やタンタル粉末(Ta)を混ぜた方が、粒度が大きい粉末よりも最終生成物であるチタン合金におけるOの含有率は増える。従って、チタン粉末(Ti)やタンタル粉末(Ta)の粒度は、チタン合金におけるOの含有率に影響するものであり、チタン合金におけるOの含有率は、各粉末の粒度を適切に選択することにより調整することができる。このため、チタン合金における酸素の含有率が異なるものを複数設けるには、Ti粉末、Ta粉末のうち少なくとも1つの粒度を変更すればよい。なお、Ti粉末及び/又はTa粉末の粒径を小さくするのみでは、希望する酸素含有量が達成できない場合に、チタニア粉末は、それ自身が酸素を含有していることから、追加でチタニア粉末を混ぜてもよい。 For the same weight, a powder with a smaller particle size will have more grains that make up the powder than a powder with a larger particle size. As a result, a powder with a smaller particle size has a larger surface area that reacts to oxygen than a powder with a larger particle size when compared at the same weight. Titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) are in a stable state in the atmosphere due to an oxide film. As a result, when comparing at the same weight, mixing titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) with a small particle size increases the O content in the final product titanium alloy than powder with a large particle size. Therefore, the particle size of titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) affects the content of O in the titanium alloy, and the content of O in the titanium alloy should be determined by appropriately selecting the particle size of each powder. can be adjusted by Therefore, in order to provide a plurality of titanium alloys having different oxygen contents, the grain size of at least one of the Ti powder and the Ta powder should be changed. In addition, if the desired oxygen content cannot be achieved only by reducing the particle size of the Ti powder and/or Ta powder, the titania powder itself contains oxygen. You can mix.

例えば、全体を100原子%(at%)としたときに、15~27at%のタンタル(Ta)と、1~8at%のスズ(Sn)と、0.4~1.7at%の酸素(O)と、残部がチタン(Ti)及び不可避不純物から成るような混合比でTi粉末又はチタニア粉末、Ta粉末、Sn粉末を均一に混合する。以上を、重量%に換算すると、全体を100重量%(wt%)としたときに、Taは、40~56wt%となり、Snは、2~10wt%となり、Oは、0.1~0.3wt%のOとなり、残部がチタン(Ti)及び不可避不純物となる。例えば、Ti-23.4Ta-3.4Sn―xOのチタン合金の場合、全体を100重量%としたときに、Ta粉末が52重量%で、Sn粉末が5重量%で、残りがTi粉末又はチタニア粉末となるように混合する。そして、Oの含有率は、表面に酸化皮膜を有するTi粉末やTa粉末の粒度で調整したり、チタニア粉末を用いたりして調整する。なお、本実施形態ではSn粉末の含有量が少ないため、Sn粉末がOの含有率に与える影響は少ないと推測される。なお、at%の表示は原子%を表すものであり、以下においてat%の表示は、対応するチタン合金全体を100原子%(at%)としたとき、対応する元素の原子%を表すものとして用いるものとする。また、以下において、チタン合金の組成を表すTa、Sn、Oの元素表示に付された数値(以下におけるチタン合金の直後の括弧内を参照。)は、チタン合金全体を100原子%(at%)とした時の、各元素(Ta、Sn、O)の原子%(at%)の数値を表す。 For example, when the total is 100 atomic % (at %), 15 to 27 atomic % tantalum (Ta), 1 to 8 atomic % tin (Sn), and 0.4 to 1.7 atomic % oxygen (O ), Ti powder or titania powder, Ta powder, and Sn powder are uniformly mixed in a mixing ratio such that the balance consists of titanium (Ti) and unavoidable impurities. When the above is converted to weight %, Ta is 40 to 56 wt %, Sn is 2 to 10 wt %, and O is 0.1 to 0.1 wt % when the whole is 100 wt % (wt %). It becomes 3 wt% O, and the balance becomes titanium (Ti) and unavoidable impurities. For example, in the case of Ti-23.4Ta-3.4Sn-xO titanium alloy, when the whole is 100% by weight, Ta powder is 52% by weight, Sn powder is 5% by weight, and the rest is Ti powder or Mix to form titania powder. The O content is adjusted by adjusting the particle size of Ti powder or Ta powder having an oxide film on the surface, or by using titania powder. In addition, since the Sn powder content is small in the present embodiment, it is presumed that the Sn powder has little effect on the O content. In addition, the display of at % represents atomic %, and the display of at % below represents the atomic % of the corresponding element when the entire corresponding titanium alloy is 100 atomic % (at %). shall be used. In addition, hereinafter, the numerical values attached to the elements of Ta, Sn, and O representing the composition of the titanium alloy (see the parentheses immediately after the titanium alloy below) are 100 atomic % (at % ) represents the numerical value of atomic % (at %) of each element (Ta, Sn, O).

<固化工程>
次に、図1に示すように、上記混合工程で均一に混合されたTi粉末又はチタニア粉末、Ta粉末、及びSn粉末の混合粉末(以下、単に、混合粉末と呼ぶ。)を真空下とし、混合粉末を固相拡散結合させることで固化する固化工程を行う(ステップS101)。固化工程により上記混合粉末が固化体となる。なお、混合粉末は、真空下に配置された状態で固相拡散結合されるため、固化体に、外気から想定しない酸素(O)が入り込むことを制限することができる。また、本実施形態において固化体とは、混合粉末を固相拡散結合させて一つの塊となったものを言う。また、固化工程では、例えば、通常の加熱処理(例えば、加熱による焼結処理)、加圧と加熱を同時に行う加圧・加熱処理等が採用される。加圧・加熱処理としては、例えば、熱間等方圧加圧法(HIP:Hot Isostatic Pressing)、スパーク・アイソスタティック・プレス法(SIP:Spark Isostatic Pressing)、放電プラズマ焼結法(SPS:Spark Plasma Sintering)のいずれかが用いられ、それらのいずれかにより混合粉末が固化される。ちなみに、HIP,SIPは、等方(静水)加圧であり、SPSは、プレス機械及び金型を用いるので方向性を有する加圧(軸方向加圧)である。また、本実施形態において混合粉末が配置される真空下での圧力は、例えば、1.0×10-1(Pa)以下が好ましく、1.0×10-2~1.0×10-5(Pa)の範囲内がより好ましく、1.0×10-2~1.0×10-3(Pa)の範囲内が更に好ましい。
<Solidification process>
Next, as shown in FIG. 1, the mixed powder of Ti powder or titania powder, Ta powder, and Sn powder uniformly mixed in the mixing step (hereinafter simply referred to as mixed powder) is placed under vacuum, A solidification step is performed in which the mixed powder is solidified by solid-phase diffusion bonding (step S101). The mixed powder becomes a solidified body by the solidification step. In addition, since the mixed powder is solid-phase diffusion-bonded in a state of being placed under a vacuum, it is possible to restrict the intrusion of unexpected oxygen (O) from the outside air into the solidified body. Further, in the present embodiment, the term "solidified body" refers to a mass obtained by subjecting the mixed powder to solid-phase diffusion bonding. In addition, in the solidification step, for example, normal heat treatment (for example, sintering treatment by heating), pressure/heat treatment in which pressure and heat are applied at the same time, and the like are adopted. Examples of pressurization and heat treatment include hot isostatic pressing (HIP), spark isostatic pressing (SIP), and spark plasma sintering (SPS). Sintering) are used, and the mixed powder is solidified by either of them. Incidentally, HIP and SIP are isotropic (hydrostatic) pressurization, and SPS is directional pressurization (axial pressurization) because a press machine and a die are used. Further, in the present embodiment, the pressure under vacuum where the mixed powder is arranged is preferably 1.0×10 −1 (Pa) or less, and 1.0×10 −2 to 1.0×10 −5 (Pa), more preferably 1.0×10 −2 to 1.0×10 −3 (Pa).

ここでは、図2(A)を参照して、固化工程で熱間等方圧加圧法による処理(以下、HIP処理と呼ぶ。)を用いる場合を例にとって説明する。まず、HIP用容器2に上記混合粉末5を加圧充填する。HIP用容器2は、例えば、一方の端面側が開口し、他方の端面側が閉塞された円筒容器と、蓋とにより構成される。円筒容器に対して混合粉末5を圧縮しながら充填して、その円筒容器を電子ビーム装置(図示せず)の真空チャンバー内に設置する。そして、真空チャンバー内の圧力を、例えば、1.0×10-2~1.0×10-3(Pa)の範囲内の真空状態にして電子ビーム溶接を行い、HIP用容器2の開口に蓋を溶接してHIP用容器2を密封する。これにより、混合粉末は、HIP用容器2内で真空下に配置される。 Here, with reference to FIG. 2(A), the case of using a hot isostatic pressing method (hereinafter referred to as HIP treatment) in the solidification process will be described as an example. First, the HIP container 2 is filled with the mixed powder 5 under pressure. The HIP container 2 is composed of, for example, a cylindrical container with one end face open and the other end face closed, and a lid. The mixed powder 5 is filled into a cylindrical container while being compressed, and the cylindrical container is placed in a vacuum chamber of an electron beam device (not shown). Then, the pressure in the vacuum chamber is set to a vacuum state within a range of, for example, 1.0×10 −2 to 1.0×10 −3 (Pa), and electron beam welding is performed to the opening of the HIP container 2. The lid is welded to seal the HIP container 2 . As a result, the mixed powder is placed under vacuum in the HIP container 2 .

HIP用容器2の素材は、Ta以外の材料が採用されることが好ましいが、Taは極めて高価であり、量産で用いるには現実的ではない。このため、例えば、HIP用容器2の素材として、Tiまたは鉄を主成分とする素材が用いることが好ましく、望ましくは鉄を主成分とするものがより好ましい。ちなみに、一般的なHIP処理では、混合粉末5の中で最も融点の高い素材(ここではTa)と同一材料でHIP用容器2を製作する。 Although it is preferable to use a material other than Ta as the material for the HIP container 2, Ta is extremely expensive and not realistic for mass production. For this reason, for example, as the material of the HIP container 2, it is preferable to use a material containing Ti or iron as a main component, and more preferably a material containing iron as a main component. Incidentally, in a general HIP process, the HIP container 2 is made of the same material as the material with the highest melting point (here, Ta) in the mixed powder 5 .

そして、HIP装置1が有するHIP炉3の断熱部3Aの内側にHIP用容器2を設置する。なお、HIP装置1は、アルゴンなどの実質的に不活性なガス及びヒーター4の加熱によりHIP炉3の断熱部3Aの内側領域を高温・高圧の雰囲気にすることができるように構成される。また、ガスは、HIP炉3のガス導入通路3Bを通じて外部からHIP炉3の内部に供給される。そして、HIP用容器2に対して高温・高圧が所定時間加わると、HIP用容器2を通じて混合粉末5は加圧および加熱される。結果、混合粉末5は、固相拡散結合して固化体となる。なお、混合粉末5は、真空状態でHIP用容器2内に密封されるため、HIP用容器2を通じて混合粉末5が加圧および加熱されても、固化体に、外気から想定しない酸素(O)が入り込むことを制限することができる。ちなみに、HIP処理の直後には、HIP用容器2と固化体は、強固に結合された状態になっている。このため、HIP用容器2と固化体を分離するには、HIP用容器2、及びHIP用容器2と固化体が混合している層を工作機械により切削する。結果、固化体のみが残る。これにより、円柱形状の固化体が形成される。 Then, the HIP container 2 is installed inside the heat insulating part 3A of the HIP furnace 3 of the HIP apparatus 1 . The HIP apparatus 1 is configured so that the inner region of the heat insulating portion 3A of the HIP furnace 3 can be brought into a high-temperature, high-pressure atmosphere by heating with a substantially inert gas such as argon and the heater 4. FIG. Also, the gas is supplied to the inside of the HIP furnace 3 from the outside through the gas introduction passage 3B of the HIP furnace 3 . When high temperature and high pressure are applied to the HIP container 2 for a predetermined time, the mixed powder 5 is pressurized and heated through the HIP container 2 . As a result, the mixed powder 5 is solidified by solid-phase diffusion bonding. In addition, since the mixed powder 5 is sealed in the HIP container 2 in a vacuum state, even if the mixed powder 5 is pressurized and heated through the HIP container 2, unexpected oxygen (O) is added to the solidified body from the outside air. entry can be restricted. Incidentally, immediately after the HIP treatment, the HIP container 2 and the solidified body are in a state of being strongly bonded. Therefore, in order to separate the HIP container 2 and the solidified material, the HIP container 2 and the layer in which the HIP container 2 and the solidified material are mixed are cut by a machine tool. As a result, only the solidified body remains. Thereby, a cylindrical solidified body is formed.

HIP処理においてHIP装置のHIP炉3の内部の温度を、例えば、1000℃とし、圧力を98MPaとし、その条件下でHIP用容器を所定時間程度置くと固化体が出来上がる。なお、HIP炉3の内部の温度は、HIP用容器2が破損したり、溶解したりしない範囲なら、いずれであってもよい。そのようなHIP炉3の内部の温度として、例えば、700℃~1600℃が好ましく、900℃~1400℃がより好ましく、1000℃~1200℃が更に好ましい。また、HIP炉3の内部の圧力は、50~200(MPa)が好ましく、70~180(MPa)がより好ましく、90~120(MPa)が更に好ましい。 In the HIP process, the temperature inside the HIP furnace 3 of the HIP apparatus is set to, for example, 1000° C., the pressure is set to 98 MPa, and the HIP container is placed under these conditions for about a predetermined time to form a solidified body. Note that the temperature inside the HIP furnace 3 may be any range as long as the HIP container 2 is not damaged or melted. The temperature inside the HIP furnace 3 is, for example, preferably 700.degree. C. to 1600.degree. C., more preferably 900.degree. C. to 1400.degree. Also, the pressure inside the HIP furnace 3 is preferably 50 to 200 (MPa), more preferably 70 to 180 (MPa), and even more preferably 90 to 120 (MPa).

なお、Taの融点は、3017℃とかなり高温である。HIP炉3の内部温度を、例えば、900℃~1400℃程度にしても、本実施形態のチタン合金のように、Taの割合が15at%以上の高い含有比率の場合、各粉末が完全に均一に拡散する可能性は低い。つまり、HIP処理で生成された固化体には、Ta、Sn、Ti及びOが均一に拡散されず、Ta、Sn、Ti及びOのいずれかが偏在する領域が含まれてしまう可能性がある。そのことを確認するため、本願発明者は、HIP炉3の内部温度を1000℃とし、HIP炉3の内部圧力を98MPaとして上記のように混合粉末(Ta粉末の含有率が23.4at%で、Sn粉末の含有率が3.4at%で、残りがTi粉末で、各粉末の粒度が10~45μm)を固化体にした際、走査電子顕微鏡(SEM)及びX線を用いて、固化体においてTa、Sn、Tiがどのように分布しているのかを調べた。その結果を図3(A)~(D)に示す。図3(A)は、走査電子顕微鏡(SEM)を用いて倍率400倍で固化体を観察した際のSEM像の写真である。図3(B)~(D)に示すように、図3(A)のSEM像の範囲におけるTi、Ta、Snの分布は、一様に分布しておらず、Ti粉末、Ta粉末、及びSn粉末は、均一に拡散していないことがわかる。以上から、Ti粉末、Ta粉末、及びSn粉末は、HIP炉3の内部温度を900℃~1400程度では、Taの割合が非常に高いこの組成では各粉末同士が拡散して完全に合金化する可能性が低いことが実際に確認された。 Note that the melting point of Ta is 3017° C., which is a fairly high temperature. Even if the internal temperature of the HIP furnace 3 is, for example, about 900° C. to 1400° C., in the case of a high Ta content ratio of 15 at % or more like the titanium alloy of the present embodiment, each powder is completely uniform. less likely to spread to That is, the solidified body produced by the HIP treatment may not uniformly diffuse Ta, Sn, Ti and O, and may include a region where any one of Ta, Sn, Ti and O is unevenly distributed. . In order to confirm this, the inventor of the present application set the internal temperature of the HIP furnace 3 to 1000° C. and the internal pressure of the HIP furnace 3 to 98 MPa. , the content of Sn powder is 3.4 at%, the rest is Ti powder, and the particle size of each powder is 10 to 45 μm). It was investigated how Ta, Sn, and Ti are distributed in. The results are shown in FIGS. 3(A) to 3(D). FIG. 3(A) is a photograph of an SEM image when the solidified body is observed at a magnification of 400 using a scanning electron microscope (SEM). As shown in FIGS. 3B to 3D, the distribution of Ti, Ta, and Sn in the range of the SEM image of FIG. It can be seen that the Sn powder is not uniformly dispersed. From the above, when the internal temperature of the HIP furnace 3 is about 900° C. to 1400° C., the Ti powder, Ta powder, and Sn powder are completely alloyed by diffusing each other in this composition with a very high Ta ratio. It was actually confirmed that the probability is low.

一方で、HIP炉3の内部温度を上記温度よりも高温にすると、HIP用容器2自体の破損を招き、ひいては、HIP炉3自体の故障も生じやすい。また、1400℃よりも高温の加熱を実現するために、HIP用容器2を高温に耐え得る材料(例えば、Ta)で形成することも考えられるが、既に述べたように、HIP用容器2をTa材料にすると、極めて高額となるため、現実的ではない。 On the other hand, if the internal temperature of the HIP furnace 3 is made higher than the above temperature, damage to the HIP container 2 itself is caused, and failure of the HIP furnace 3 itself is likely to occur. Also, in order to realize heating at a temperature higher than 1400° C., it is conceivable to form the HIP container 2 from a material (for example, Ta) that can withstand high temperatures. If Ta material is used, it will be extremely expensive, so it is not realistic.

<溶解工程>
次に、図1に示すように、上記固化工程で固化された混合粉末の固化体を溶解する溶解工程を行う(ステップS102)。溶解工程により固化体が溶解され、チタン合金のインゴットとなる。上記のように、固化体は、各成分が均一に拡散していないが、溶解工程を行うことにより各成分が均一に溶融(溶解)し、各成分が均一に分散されたチタン合金のインゴットを得ることができる。なお、溶解工程では、融点が異なるTa、Sn、及びTiを同時に溶解させて均一に拡散させるために、Ta、Sn、及びTiの全てを同時に溶解することができる温度で固化体を溶解させる好ましい。溶解工程では、例えば、真空アーク再溶解法(VAR:Vacuum Arc Remelting)、エレクトロスラグ再溶解法(ESR:ElectroSlag Remelting)、真空誘導溶解法(VIM:Vacuum Induction Melting)、コールドクルーシブル誘導溶解法(CCIM:Cold Crucible Induction Melting)、プラズマアーク溶解法(PAM:Plasma Arc Melting)、電子ビーム溶解法(EBM:Electron Beam Melting)のいずれかが用いられ、それらのいずれかにより固化体が溶解される。
<Dissolution process>
Next, as shown in FIG. 1, a dissolving step of dissolving the solidified mixed powder solidified in the solidifying step is performed (step S102). The solidified body is melted by the melting process to form a titanium alloy ingot. As described above, in the solidified body, each component is not uniformly dispersed, but by performing the melting process, each component is uniformly melted (dissolved), and a titanium alloy ingot in which each component is uniformly dispersed is obtained. Obtainable. In the melting step, in order to simultaneously melt Ta, Sn, and Ti having different melting points and diffuse them uniformly, it is preferable to melt the solidified body at a temperature at which all of Ta, Sn, and Ti can be simultaneously melted. . In the melting process, for example, a vacuum arc remelting method (VAR: Vacuum Arc Remelting), an electroslag remelting method (ESR: ElectroSlag Remelting), a vacuum induction melting method (VIM: Vacuum Induction Melting), a cold crucible induction melting method (CCIM Cold Crucible Induction Melting), Plasma Arc Melting (PAM), or Electron Beam Melting (EBM) is used, and the solidified body is melted by any of them.

ここでは、図2(B)を参照して、溶解工程で真空アーク再溶解法(VAR)を用いる場合を例にとって説明する。まず、固化工程で設けられた円柱形状の固化体を消耗電極6として、アーク溶解炉8内において吊下げられるロッド9に連結する。結果、消耗電極6は、アーク溶解炉8内において真下に溶湯プール10が位置する状態で、ロッド9に吊下げ支持される。この状態において、ロッド9を経て消耗電極6に電流を流すと、消耗電極6と溶湯プール10の間にアーク放電が生じる。アーク放電により発する高熱により、消耗電極6が加熱されて溶解され、それがその下に溜まってチタン合金のインゴット11となる。 Here, with reference to FIG. 2(B), a case where the vacuum arc remelting method (VAR) is used in the melting process will be described as an example. First, the cylindrical solidified body provided in the solidification process is used as the consumable electrode 6 and connected to the rod 9 suspended in the arc melting furnace 8 . As a result, the consumable electrode 6 is suspended from the rod 9 in the arc melting furnace 8 with the molten metal pool 10 positioned directly below. In this state, when an electric current is passed through the consumable electrode 6 via the rod 9, an arc discharge occurs between the consumable electrode 6 and the molten metal pool 10. The high heat generated by the arc discharge heats and melts the consumable electrode 6, which pools underneath to form an ingot 11 of titanium alloy.

なお、上記チタン合金のインゴット11を消耗電極6として、ロッド9に連結した後に、上記のようにアーク溶解炉8内に設置して、再度、電流を流して溶解してもよい。そして、この処理は、複数回行うことにより、各成分の均一化の信頼性を高めることができるため、更に繰り返し行ってもよい。以上のようにしてチタン合金が設けられる。 After connecting the ingot 11 of the titanium alloy as the consumable electrode 6 to the rod 9, the ingot may be placed in the arc melting furnace 8 as described above and melted again by applying an electric current. This treatment can be repeated more than once, since the reliability of homogenization of each component can be improved by performing this treatment a plurality of times. A titanium alloy is provided as described above.

<冷間加工工程>
次に、図1に示すように、上記溶解工程で設けられたチタン合金のインゴットに対して冷間加工を行う(ステップS103)。チタン合金のインゴットに対する冷間加工により、線材や棒材等のチタン合金の加工物が形成される。
<Cold working process>
Next, as shown in FIG. 1, cold working is performed on the titanium alloy ingot provided in the melting step (step S103). Cold working of a titanium alloy ingot forms a titanium alloy workpiece such as a wire or bar.

<熱処理工程>
次に、図1に示すように、上記冷間加工工程で設けられたチタン合金の加工物に対して熱処理をする熱処理工程を行う(ステップS104)。熱処理温度は、例えば、600℃~1000℃が好ましく、700℃~900℃がより好ましい。
<Heat treatment process>
Next, as shown in FIG. 1, a heat treatment step is performed to heat-treat the titanium alloy workpiece provided in the cold working step (step S104). The heat treatment temperature is, for example, preferably 600°C to 1000°C, more preferably 700°C to 900°C.

<時効処理工程>
次に、図1に示すように、上記熱処理工程で熱処理を施されたチタン合金に対して時効処理をする時効処理工程を行う(ステップS105)。時効処理温度は、200℃~550℃が好ましく、300℃~500℃がより好ましい。本実施形態におけるチタン合金に所定時間、上記時効処理をすると、チタン合金に等軸α相等が析出する。なお、α相は、等軸組織化されたものに限定されるものではなく、その他の態様のものが含まれてもよい。
<Aging treatment process>
Next, as shown in FIG. 1, an aging treatment step is performed for aging the titanium alloy heat-treated in the heat treatment step (step S105). The aging treatment temperature is preferably 200°C to 550°C, more preferably 300°C to 500°C. When the titanium alloy in the present embodiment is subjected to the aging treatment for a predetermined period of time, an equiaxed α phase or the like precipitates in the titanium alloy. The α-phase is not limited to equiaxed texture, and may include other forms.

図4(B),(C)に、本実施形態における第一チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.75O)、第二チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.92O)の表面を、透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて倍率2000倍で観察した際のTEM像の写真を示す。そして、図4(A)には、比較例となる比較例チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.26O)の上記と同様の条件でのTEM像の写真を示す。第一,二チタン合金及び比較例チタン合金は、890℃で2時間熱処理を施された後に、300℃で2時間時効処理を施されている。 4(B) and (C) show the first titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.75O) and the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn- 0.92O) is observed with a transmission electron microscope (TEM) at a magnification of 2000 times. FIG. 4A shows a photograph of a TEM image of a comparative titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.26O) as a comparative example under the same conditions as above. The first and second titanium alloys and the comparative titanium alloys were heat treated at 890°C for 2 hours and then aged at 300°C for 2 hours.

図4(B),(C)に示す第一チタン合金および第二チタン合金のTEM像の写真には、白い等軸α相が析出している。そして、Oの含有率が多い図4(C)に示す写真の方が、図4(B)に示す写真の方よりも多くの等軸α相が析出している。一方、図4(A)に示す比較例チタン合金のTEM像の写真には、白い等軸α相がほとんど析出してしない。図4(B),(C)に示すようなOの含有率が高いものは、2時間程度の時効処理でも等軸α相が析出するが、図4(A)に示すようなOの含有率が低いものは、2時間程度の時効処理では等軸α相が析出しないことが確認できた。この結果から、Oの含有率と時効処理の時間でチタン合金における等軸α相の析出量をコントロールできることが確認できた。チタン合金全体を100at%としたときのOの含有率は、0.4at%以上であることが好ましく、0.6at%以上であればより好ましく、0.75at%以上であることが最も好ましいことがわかる。 In the photographs of TEM images of the first titanium alloy and the second titanium alloy shown in FIGS. 4(B) and (C), a white equiaxed α phase is precipitated. In the photograph shown in FIG. 4(C), in which the O content is high, more equiaxed α phases are precipitated than in the photograph shown in FIG. 4(B). On the other hand, in the photograph of the TEM image of the comparative titanium alloy shown in FIG. 4(A), the white equiaxed α phase is hardly precipitated. 4(B) and (C), the equiaxed α phase precipitates even after aging treatment for about 2 hours, but the O content as shown in FIG. 4(A) It was confirmed that the equiaxed α-phase was not precipitated in the case of low modulus by aging treatment for about 2 hours. From this result, it was confirmed that the precipitation amount of the equiaxed α phase in the titanium alloy can be controlled by the O content and the aging treatment time. The content of O when the entire titanium alloy is 100 at% is preferably 0.4 at% or more, more preferably 0.6 at% or more, and most preferably 0.75 at% or more. I understand.

ちなみに、図4(B),(C)に示すTEM像の写真を解析した結果、第一チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.75O)における等軸α相の平均粒径は、0.13μmであった。また、第二チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.92O)における等軸α相の平均粒径は、0.17μmであった。この結果から、Oの含有率が増えると、それに伴って、時効処理により析出する等軸α相の平均粒径は大きくなる傾向にあると推測できる。そして、本発明のチタン合金において、等軸α相の平均粒径は、0.05~1.00μmの間のいずれかであることが好ましく、0.05~0.50μmの間のいずれかであることがより好ましく、0.05~0.30μmの間のいずれかであることが更に好ましい。 By the way, as a result of analyzing the photographs of the TEM images shown in FIGS. 4(B) and (C), the average grain size of the equiaxed α phase was 0.13 μm. Also, the average grain size of the equiaxed α phase in the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.92O) was 0.17 μm. From this result, it can be inferred that as the O content increases, the average grain size of the equiaxed α phase precipitated by the aging treatment tends to increase accordingly. In the titanium alloy of the present invention, the average grain size of the equiaxed α phase is preferably anywhere between 0.05 and 1.00 μm, and any between 0.05 and 0.50 μm. more preferably 0.05 to 0.30 μm.

また、図4(B)に示す第一チタン合金のTEM像の写真を解析した結果、第一チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.75O)における等軸α相の面積率は、1.89%であった。また、図4(C)に示す第二チタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―0.92O)における等軸α相の面積率は、5.24%であった。なお、等軸α相の面積率とは、図4(B),(C)に示す断面のTEM像の写真において単位面積当たりに等軸α相が占める面積の割合(面積占有率)を指す。この結果から、Oの含有率が増えると、それに伴って、時効処理により析出する等軸α相の面積占有率は大きくなると推測できる。そして、本発明のチタン合金において、等軸α相の面積占有率は、0.1~20%の間のいずれかであることが好ましく、0.1~15%の間のいずれかであることがより好ましく、0.1~10%の間のいずれかであることが更に好ましい。 In addition, as a result of analyzing the photograph of the TEM image of the first titanium alloy shown in FIG. 4(B), the area ratio of the equiaxed α phase was 1.89%. The area ratio of the equiaxed α phase in the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.92O) shown in FIG. 4(C) was 5.24%. The area ratio of the equiaxed α phase refers to the ratio of the area occupied by the equiaxed α phase per unit area in the photographs of the cross-sectional TEM images shown in FIGS. . From this result, it can be inferred that as the O content increases, the area occupation ratio of the equiaxed α phase precipitated by the aging treatment increases accordingly. In the titanium alloy of the present invention, the area occupancy of the equiaxed α phase is preferably between 0.1 and 20%, more preferably between 0.1 and 15%. is more preferred, more preferably anywhere between 0.1 and 10%.

以上のように、時効処理時間が同じでもチタン合金におけるOの含有率が多いと、等軸α相の析出量は多くなり、チタン合金におけるOの含有率が少ないと、等軸α相の析出量は少なくなる。従って、チタン合金において等軸α相を時効処理で特定の量を析出させる場合、Oの含有率が多いチタン合金の方がOの含有率が少ないチタン合金よりも短い時効処理時間で済む。 As described above, even if the aging treatment time is the same, if the content of O in the titanium alloy is high, the amount of precipitation of the equiaxed α phase increases, and if the content of O in the titanium alloy is low, the precipitation of the equiaxed α phase increases. less quantity. Therefore, when a specific amount of equiaxed α phase is precipitated in a titanium alloy by aging treatment, a titanium alloy with a high O content requires a shorter aging treatment time than a titanium alloy with a low O content.

ただし、等軸α相は、チタン合金の強度を上げる。しかし、Oの含有率が多くなり過ぎると、Oの固溶限界を超えてしまい、TiOやTiOが生成されて加工性が低下する。このことが、後述する図7に示す冷間加工性評価試験に表れている。 However, the equiaxed α phase increases the strength of the titanium alloy. However, when the content of O is too high, the solubility limit of O is exceeded, TiO and TiO 2 are produced, and workability is lowered. This is shown in the cold workability evaluation test shown in FIG. 7, which will be described later.

なお、一般的なチタン合金にも、不可避不純物としての酸素がわずかに含有するが、その場合のチタン合金全体を100at%としたときのOの含有率は0.2at%以下となる。そのようなチタン合金では、α安定元素としてのOよりもβ安定元素としてのTaの方が機能して、時効処理を行っても等軸α相がなかなか析出せず、等軸α相の析出に数日間にも亘る時効処理が必要となる。一方で、本実施形態のチタン合金のように、積極的にOの含有率を上げ、Oの含有率が0.4at%に達すれば、α安定元素としてのOが機能して、12時間の時効処理で最低限の等軸α相が析出し、24時間の時効処理で十分な等軸α相が析出する。また、チタン合金におけるOの含有率が1.7at%に達すると、α安定元素としてのOが十分に機能して、1時間の時効処理でも十分な等軸α相が析出する。このため、時効処理時間は、1~24時間が好ましく、1~4時間がより好ましい。 Incidentally, a general titanium alloy also contains a small amount of oxygen as an unavoidable impurity. In that case, the content of O is 0.2 at % or less when the entire titanium alloy is 100 at %. In such a titanium alloy, Ta as a β-stable element functions more than O as an α-stable element, and even if aging treatment is performed, the equiaxed α phase does not precipitate easily, and the equiaxed α phase precipitates. requires aging treatment for several days. On the other hand, like the titanium alloy of the present embodiment, if the content of O is positively increased and the content of O reaches 0.4 at %, O functions as an α-stabilizing element, and 12 hours of A minimum amount of equiaxed α phase is precipitated by aging treatment, and a sufficient amount of equiaxed α phase is precipitated by aging treatment for 24 hours. Further, when the content of O in the titanium alloy reaches 1.7 at %, O functions sufficiently as an α-stabilizing element, and sufficient equiaxed α-phase is precipitated even with aging treatment for 1 hour. Therefore, the aging treatment time is preferably 1 to 24 hours, more preferably 1 to 4 hours.

<チタン合金の構成>
次に、以上のチタン合金の製造方法により製造されるチタン合金の一例について説明する。本発明の実施形態におけるチタン合金は、全体を100原子%(at%)としたときに、15~27at%のタンタル(Ta)と、1~8at%のスズ(Sn)と、0.4~1.7at%の酸素(O)と、残部がチタン(Ti)及び不可避不純物から成る。なお、残部のチタン(Ti)の含有率は特に限定されるものではなく、原子比率で考えたときに、含有元素中で最も多い元素がチタン(Ti)であればよい。
<Structure of Titanium Alloy>
Next, an example of a titanium alloy produced by the method for producing a titanium alloy described above will be described. The titanium alloy in the embodiment of the present invention contains 15 to 27 at% tantalum (Ta), 1 to 8 at% tin (Sn), and 0.4 to It consists of 1.7 atomic % of oxygen (O) and the balance of titanium (Ti) and unavoidable impurities. Note that the content of titanium (Ti) in the balance is not particularly limited, and it is sufficient that titanium (Ti) is the most abundant element among the contained elements when considered in terms of atomic ratio.

また、チタン合金は、最密六方晶(HCP)であるα相を母相とするα型チタン合金、体心立方晶(BCC)であるβ相を母相とするβ型チタン合金、最密六方晶(HCP)であるα相と体心立方晶(BCC)であるβ相とが共存するα+β型チタン合金の3種類に大きく分類されるが、本発明に係るチタン合金の種類は特に限定されない。 Further, the titanium alloy includes an α-type titanium alloy having a hexagonal close-packed (HCP) α-phase as a parent phase, a β-type titanium alloy having a body-centered cubic (BCC) β-phase as a parent phase, a close-packed It is roughly classified into three types of α + β type titanium alloys in which the α phase, which is a hexagonal crystal (HCP), and the β phase, which is a body-centered cubic crystal (BCC) coexist, but the type of titanium alloy according to the present invention is particularly limited. not.

<タンタル(Ta)>
タンタル(Ta)は、本実施形態におけるチタン合金を、熱弾性型マルテンサイト変態を起こすチタン合金にする。Taは、β相からα相への変態温度を低温側に下げ、室温においてβ相を安定化させるとともに、すべり変形(塑性変形)を起こしにくくする機能を有する。
<Tantalum (Ta)>
Tantalum (Ta) causes the titanium alloy in the present embodiment to undergo thermoelastic martensite transformation. Ta has the function of lowering the transformation temperature from the β phase to the α phase, stabilizing the β phase at room temperature, and making slip deformation (plastic deformation) less likely to occur.

Taの含有率は、チタン合金全体を100原子%(at%)としたときに、15~27at%とするのが好ましく、19~25at%であればより好ましく、22~24at%であることが最も好ましい。 The content of Ta is preferably 15 to 27 at%, more preferably 19 to 25 at%, and 22 to 24 at% when the entire titanium alloy is 100 atomic% (at%). Most preferred.

Taの含有率の上限値は、チタン合金の融点に基づいて設定される。図5は、Ta-Tiの2元系状態図である。図5に示されるように、Taの含有率が27%を超えると、チタン合金の融点が約2000K以上となる可能性があるため、特殊な溶解炉が必要となり、生産コストが増大する。また、Ta原料の溶融が不完全となる可能性が生じるため、チタン合金の品質低下を招くこととなる。 The upper limit of the Ta content is set based on the melting point of the titanium alloy. FIG. 5 is a Ta—Ti binary phase diagram. As shown in FIG. 5, if the Ta content exceeds 27%, the melting point of the titanium alloy may be about 2000K or higher, requiring a special melting furnace and increasing the production cost. In addition, since the melting of the Ta raw material may be incomplete, the quality of the titanium alloy is deteriorated.

Taの含有率の下限値は、上述のβ相安定化機能、およびチタン合金の医療機器用材料や生体用材料等としての機械的性質に基づいて設定される。すなわち、β相安定化機能は、Taの含有率が低下する程低下し、Taの含有率を15at%未満とした場合にはβ相を常温まで維持することが困難となる。このため、Taの含有率が15at%未満である場合、例えスズ(Sn)を添加したとしても医療機器用材料や生体用材料等に要求される機械的性質(ヤング率、引張強度、および弾性変形ひずみ)を得ることが難しくなる。従って、チタン合金全体を100at%としたときのTaの含有率は、15at%以上であることが好ましく、19at%以上であればより好ましく、22at%以上であることが最も好ましい。 The lower limit of the Ta content is set based on the above-described β-phase stabilizing function and the mechanical properties of the titanium alloy as a material for medical devices, a biomaterial, and the like. That is, the β-phase stabilizing function decreases as the Ta content decreases, and when the Ta content is less than 15 at %, it becomes difficult to maintain the β-phase up to room temperature. Therefore, when the Ta content is less than 15 atomic %, even if tin (Sn) is added, the mechanical properties (Young's modulus, tensile strength, and elastic It becomes difficult to obtain deformation strain). Therefore, the Ta content is preferably 15 at % or more, more preferably 19 at % or more, and most preferably 22 at % or more when the entire titanium alloy is 100 at %.

<スズ(Sn)>
スズ(Sn)は、変態温度を上昇させ、α相を安定させるα相安定化機能を有する。また、Snは、ヤング率を上昇させる要因となるω相の析出を抑制し、チタン合金の超弾性効果を高める機能を有する。
<Tin (Sn)>
Tin (Sn) has an α-phase stabilizing function of increasing the transformation temperature and stabilizing the α-phase. In addition, Sn has the function of suppressing the precipitation of the ω phase, which is a factor that increases the Young's modulus, and enhancing the superelastic effect of the titanium alloy.

Snの含有率は、チタン合金全体を100原子%(at%)としたときに、1~8at%とするのが好ましく、2~6at%であればより好ましい。 The Sn content is preferably 1 to 8 at %, more preferably 2 to 6 at %, when the entire titanium alloy is 100 atomic % (at %).

Snの含有率の上限値は、チタン合金の加工性(冷間加工性)に基づいて設定される。チタン合金全体を100at%としたときのTaの含有率が23at%のチタン合金(Ti-23Ta-xSn―0.26O)についての冷間加工性評価試験の結果を示したグラフである。なお、xはチタン合金全体を100at%としたときのSnの含有率(at%)である。本冷間加工性評価試験では、まずチタン合金全体を100at%としたときのSnの含有率xを0at%、1.5at%、3at%、6at%および9at%と変化させた複数の試験片(厚さ:1mm、熱処理なし)を用意した。そして、これらの試験片を0.1mmの厚さまで冷間圧延(加工率86%)し、冷間圧延後の各試験片における1mm以上の長さの亀裂の個数をカウントした。なお、この亀裂のカウントは、各試験片における圧延方向に140mmの範囲内で行った。 The upper limit of the Sn content is set based on the workability (cold workability) of the titanium alloy. 2 is a graph showing the results of a cold workability evaluation test for a titanium alloy (Ti-23Ta-xSn-0.26O) having a Ta content of 23 at % when the entire titanium alloy is 100 at %. Note that x is the Sn content (at %) when the entire titanium alloy is 100 at %. In this cold workability evaluation test, first, a plurality of test pieces with the Sn content x changed to 0 at%, 1.5 at%, 3 at%, 6 at% and 9 at% when the entire titanium alloy is 100 at%. (thickness: 1 mm, no heat treatment) was prepared. Then, these test pieces were cold-rolled to a thickness of 0.1 mm (reduction rate: 86%), and the number of cracks with a length of 1 mm or longer in each test piece after cold rolling was counted. The crack count was performed within a range of 140 mm in the rolling direction of each test piece.

図6に示されるように、この評価試験の結果、Snの含有率を9at%とした場合に、急激に1mm以上の亀裂の発生が増加する、すなわち加工性が急激に悪化することが確認された。また、Taの含有率が異なる場合においても、同様の傾向を示す結果となった。従って、チタン合金全体を100at%としたときのSnの含有率は、良好な加工性を得るためには、8at%以下であることが好ましく、6at%以下であればより好ましい。 As shown in FIG. 6, as a result of this evaluation test, it was confirmed that the occurrence of cracks of 1 mm or more abruptly increased when the Sn content was 9 at %, that is, the workability abruptly deteriorated. rice field. Moreover, even when the Ta content was different, the same tendency was shown. Therefore, the Sn content is preferably 8 at % or less, more preferably 6 at % or less, in order to obtain good workability when the entire titanium alloy is 100 at %.

Snの含有率の下限値は、特に限定されないが、上述のω相抑制機能を十分に発揮させるためには、チタン合金全体を100at%としたときのSnの含有率は、1at%以上であることが好ましい。 The lower limit of the Sn content is not particularly limited, but in order to sufficiently exhibit the above-described ω-phase suppressing function, the Sn content is 1 at% or more when the entire titanium alloy is 100 at%. is preferred.

<酸素(O)>
酸素(O)は、変態温度を上昇させ、α相を安定させるα相安定化機能を有する。そして、Oは、Snよりもα相安定化機能が強い。また、Oは、結晶の変形を拘束し、形状記憶性の発現や軟化を防ぐ機能を有する。
<Oxygen (O)>
Oxygen (O) has an α-phase stabilizing function of raising the transformation temperature and stabilizing the α-phase. O has a stronger α-phase stabilizing function than Sn. In addition, O has the function of restraining the deformation of the crystal and preventing the appearance of shape memory properties and softening.

Oの含有率は、チタン合金全体を100原子%(at%)としたときに、0.4~1.7at%とするのが好ましく、0.6~1.0at%であればより好ましい。そして、Oの含有率は、Ti粉末、及びTa粉末うち少なくとも1つの粒度を変えることにより変えることができる。なお、Sn粉末の粒度を変えることによりOの含有率を変えることは可能であるが、本実施形態においてSn粉末の含有量は少ないため、Sn粉末の粒度を変えてもチタン合金におけるOの含有率に影響を与えづらい。 The content of O is preferably 0.4 to 1.7 at %, more preferably 0.6 to 1.0 at %, when the entire titanium alloy is 100 atomic % (at %). The O content can be changed by changing the grain size of at least one of Ti powder and Ta powder. It is possible to change the O content by changing the grain size of the Sn powder. It is difficult to influence the rate.

<Oの含有率の上限について(冷間加工評価)>
Oの含有率の上限値は、チタン合金の加工性(冷間加工性)に基づいて設定される。Oの含有率を高くし過ぎると、Oの軟化を防ぐ機能によりチタン合金が硬くなり過ぎて、加工性が悪くなる。図3は、チタン合金全体を100at%としたときのTaの含有率が23.4at%で、Snの含有率が3.4at%のチタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―xO)についての冷間加工性評価試験の結果を示した表である。なお、xはチタン合金全体を100at%としたときのOの含有率(at%)である。
<Regarding the upper limit of the content of O (evaluation of cold working)>
The upper limit of the O content is set based on the workability (cold workability) of the titanium alloy. If the content of O is too high, the titanium alloy becomes too hard due to the function of preventing softening of O, resulting in poor workability. FIG. 3 shows a titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-xO) with a Ta content of 23.4 at% and a Sn content of 3.4 at% when the entire titanium alloy is 100 at%. It is a table showing the results of a cold workability evaluation test for. Note that x is the content of O (at %) when the entire titanium alloy is 100 at %.

本冷間加工性評価試験では、まずチタン合金(Ti-23.4Ta-3.4Sn―xO)全体を100at%としたときのOの含有率xを0.26at%、0.59at%、0.75at%、0.92at%、1.14at%、1.4at%および1.59at%に変化させた複数の試験片(直径φ10mmの丸線形状、熱処理なし)を用意した。これらの試験片に対して回転鍛造を行った。この際、どれくらいの加工率まで回転鍛造を行うことができるか否かについて、各試験片に対して評価を行った。 In this cold workability evaluation test, first, when the entire titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-xO) is 100 at%, the O content x is 0.26 at%, 0.59 at%, 0 A plurality of test pieces (round wire shape with a diameter of φ10 mm, no heat treatment) were prepared with different concentrations of 75 at %, 0.92 at %, 1.14 at %, 1.4 at % and 1.59 at %. Rotational forging was performed on these specimens. At this time, each test piece was evaluated as to how much processing rate the rotary forging could be performed.

図7に示されるように、この評価試験の結果、Oの含有率が0.26~1.14at%の試験片は、75%以上の加工率となるように回転鍛造を行っても問題ないことが確認された。Oの含有率が1.4at%の試験片は、50~75%の加工率となるように回転鍛造を行っても問題なかったが、加工率が75%を超えると亀裂が発生した。Oの含有率が1.59at%の試験片は、50%を超える加工率となるように回転鍛造を行うと亀裂が発生した。従って、良好な加工性を得るためには、チタン合金全体を100at%としたときのOの含有率は、1.7at%以下であることが好ましく、1.4at%以下であればより好ましく、1.2at%以下であれば更に好ましい。 As shown in FIG. 7, as a result of this evaluation test, test pieces with an O content of 0.26 to 1.14 at% can be rotary forged at a processing rate of 75% or more without any problem. was confirmed. A test piece with an O content of 1.4 at% was subjected to rotary forging at a processing rate of 50 to 75% without any problem, but cracks occurred when the processing rate exceeded 75%. A test piece having an O content of 1.59 at% was cracked when rotary forging was performed at a processing rate exceeding 50%. Therefore, in order to obtain good workability, the content of O is preferably 1.7 at% or less, more preferably 1.4 at% or less, when the entire titanium alloy is 100 at%. It is more preferable if it is 1.2 at % or less.

<Oの含有率の下限について(チタン合金の組織の評価)>
Oの含有率の下限値は、特に機械的性質に基づいて設定される。つまり、従来のチタン合金では、β相が多く、小さい力で変形が生じてしまうため、成形後の形状を維持できない問題があった。このため、本実施形態のチタン合金では、結晶の変形を拘束し、その合金の強度を高めて軟化を防止する機能を有する等軸α相がある程度の量を析出していることが好ましい。図4(B),(C)に示すように、本実施形態におけるチタン合金は、熱処理を行った後に、時効処理を行うと、等軸α相が析出する。しかしながら、既に説明したように、チタン合金においてOの含有率が十分でないと、α安定元素としてのOよりもβ安定元素としてのTaの方が機能して、時効処理を行っても等軸α相がなかなか析出せず、等軸α相の析出に数日間にも亘る時効処理が必要となることがある。そして、Oの含有率が0.4at%未満であると、図4(A)に示すように、時効処理を2時間程度行っても等軸α相の析出量が十分でないため、成形後の形状を維持することが困難である。従って、チタン合金全体を100at%としたときのOの含有率は、0.4at%以上であることが好ましく、0.6at%以上であればより好ましく、0.75at%以上(図4(B)参照)であることが最も好ましい。
<Lower Limit of O Content (Evaluation of Titanium Alloy Structure)>
The lower limit of the O content is set particularly based on mechanical properties. In other words, conventional titanium alloys have a large amount of β phase, and since deformation occurs with a small force, there is a problem that the shape after forming cannot be maintained. For this reason, in the titanium alloy of the present embodiment, it is preferable that a certain amount of equiaxed α-phase is precipitated, which has the function of restraining the deformation of crystals, increasing the strength of the alloy, and preventing softening. As shown in FIGS. 4(B) and 4(C), the titanium alloy according to the present embodiment precipitates an equiaxed α-phase when aging treatment is performed after heat treatment. However, as already explained, if the content of O in the titanium alloy is not sufficient, Ta as a β-stable element functions more than O as an α-stable element, and even if aging treatment is performed, equiaxed α In some cases, the phase does not precipitate easily, and an aging treatment for several days is required for the precipitation of the equiaxed α-phase. If the O content is less than 0.4 at%, as shown in FIG. 4A, even if the aging treatment is performed for about 2 hours, the precipitation amount of the equiaxed α phase is not sufficient. Difficult to maintain shape. Therefore, the content of O when the entire titanium alloy is 100 at% is preferably 0.4 at% or more, more preferably 0.6 at% or more, and more preferably 0.75 at% or more (Fig. 4 (B )) is most preferred.

本実施形態に係るチタン合金は、構成元素であるTi、Ta、Snの金属イオンの溶出量が極めて少ない上に、優れた耐食性を示し、細胞毒性が低く、生体親和性が高く、外部の磁界により磁化がされにくい非磁性体であって磁気を嫌う医療機器(MRI等)に悪影響を及ぼすおそれが極めて低く、高弾性で適度な剛性を有し、加工性の高い合金である。すなわち、本実施形態に係るチタン合金は、従来のチタン合金に比べて細胞毒性が低く、磁気特性、耐食性、機械的性質および加工性に優れたチタン合金となっている。このため、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ等のカテーテル分野、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤ等の歯科分野や人工骨等の整形分野等の医療器具に好適である。 The titanium alloy according to the present embodiment has an extremely small amount of elution of metal ions of the constituent elements Ti, Ta, and Sn, exhibits excellent corrosion resistance, has low cytotoxicity, has high biocompatibility, and can be used in an external magnetic field. It is a non-magnetic material that is difficult to be magnetized by , and has a very low risk of adversely affecting medical equipment (such as MRI) that dislikes magnetism, and has high elasticity, moderate rigidity, and high workability. That is, the titanium alloy according to the present embodiment has lower cytotoxicity than conventional titanium alloys, and is excellent in magnetic properties, corrosion resistance, mechanical properties and workability. For this reason, medical guide wires, delivery wires, stents, aneurysm embolization coils, catheters such as vein filters, dental cleansers, reamers, files, orthodontic wires, etc., and artificial bones. It is suitable for medical instruments such as orthopedic field.

なお、本発明に係るチタン合金の製造方法は、上記した実施形態に限定されるものではなく、例えば、タンタル(Ta)粉末と一緒に又はタンタル(Ta)粉末に代えて、バナジウム(Va)族の他の元素であるバナジウム(Va)またはニオブ(Nb)で構成される粉末を用いてもよい。つまり、チタン合金の組成として、タンタル(Ta)と一緒に又はタンタル(Ta)に代えて、バナジウム(Va)族の他の元素であるバナジウム(Va)またはニオブ(Nb)を含有させてもよい。本製造方法で得られるチタン合金によって、品質が極めて安定する。ちなみに、バナジウム(Va)またはニオブ(Nb)も、タンタルと同様に融点が高いため、固相拡散結合のみでは、チタン合金の内部組成が不均一になりやすく、冷間加工後の金属部品の品質保証が困難となる。 In addition, the method for producing a titanium alloy according to the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, vanadium (Va) group A powder composed of vanadium (Va) or niobium (Nb), which is another element of , may also be used. That is, the composition of the titanium alloy may contain vanadium (Va) or niobium (Nb), which is another element of the vanadium (Va) group, together with or instead of tantalum (Ta). . The titanium alloy obtained by this manufacturing method is extremely stable in quality. By the way, like tantalum, vanadium (Va) or niobium (Nb) also has a high melting point, so if only solid phase diffusion bonding is used, the internal composition of the titanium alloy tends to be uneven, and the quality of metal parts after cold working is reduced. Warranty becomes difficult.

ただし、Va、Nb、Taの比重は、それぞれ5.96(g/cm3)、8.40(g/cm3)、16.60(g/cm3)であり、チタンの比重は、4.5(g/cm3)である。つまり、Vaの比重は、チタンの比重に比べて若干大きい程度であるが、Nb,Taの比重は、チタンの比重に比べて2倍弱以上ある。このため、固化工程においてNb,Taは、均一に拡散できない度合いがVaよりも大きいと推測される。結果、Nbは、Taと同様に、固化工程において図3に示す分布に類似したものになり得る。従って、Nb,Taは、Vaに比べて溶解工程で均一化されることが特に重要であると言える。 However, the specific gravities of Va, Nb, and Ta are 5.96 (g/cm3), 8.40 (g/cm3), and 16.60 (g/cm3), respectively, and the specific gravity of titanium is 4.5 ( g/cm3). That is, the specific gravity of Va is slightly larger than that of titanium, but the specific gravity of Nb and Ta is slightly less than twice the specific gravity of titanium. For this reason, it is presumed that Nb and Ta cannot be uniformly diffused in the solidification process to a greater extent than Va. As a result, Nb, like Ta, can have a distribution similar to that shown in FIG. 3 during the solidification process. Therefore, it can be said that it is particularly important for Nb and Ta to be homogenized in the dissolution process as compared to Va.

なお、本発明に係るチタン合金は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本発明に係るチタン合金から、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、クリップ、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤなどを成形する方法は、従来公知の方法を採用することができ、例えば、伸線加工、引抜加工、鋳造、鍛造、プレス加工などが挙げられる。 The titanium alloy according to the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, from the titanium alloy according to the present invention, medical guide wires, delivery wires, stents, clips, aneurysm embolization coils or vein filters, or dental cleansers, reamers, files or orthodontic wires are formed. A conventionally known method can be adopted as a method, and examples thereof include wire drawing, drawing, casting, forging, press working, and the like.

次に、本発明に係るチタン合金の実施例について説明する。 Next, examples of titanium alloys according to the present invention will be described.

<引張試験1>
本願発明者は、Oの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例1にかかる試験片T1と、比較例1にかかる試験片H1に対して引張試験を行った。図8(A)は、引張試験を行う対象の試験片T1,H1の組成を表す表である。試験片T1,H1は、加工率が75%となるような冷間加工(伸線加工)を行った直径φ0.406mmの丸線形状である。また、比較例1にかかる試験片H1は、Ti-23Ta-3Sn―0.25Oの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、Oの含有量が少ない。実施例1にかかる試験片T1は、Ti-23Ta-3Sn―0.8Oの組成のチタン合金を用いて作成されたものである。そして、試験片T1,H1を構成するチタン合金には、890℃で熱処理を1分行い、時効処理は行っていない。以上の試験片T1,H1に対して引張試験機を用いて引張試験を実施した。測定条件としては、評点間距離を50mm、引張速度を2mm/分とした。
<Tensile test 1>
The inventors of the present application performed a tensile test on the test piece T1 according to Example 1 and the test piece H1 according to Comparative Example 1, which were prepared using the titanium alloy according to the embodiment of the present invention with a different O content. rice field. FIG. 8A is a table showing compositions of test pieces T1 and H1 to be subjected to tensile tests. The test pieces T1 and H1 are round wires with a diameter of φ0.406 mm, which are subjected to cold working (wire drawing) such that the working ratio is 75%. Moreover, the test piece H1 according to Comparative Example 1 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.25O, and the O content was small. A test piece T1 according to Example 1 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.8O. The titanium alloys constituting the test pieces T1 and H1 were heat-treated at 890° C. for 1 minute, but not aged. A tensile test was performed on the above test pieces T1 and H1 using a tensile tester. As the measurement conditions, the distance between marks was 50 mm, and the tensile speed was 2 mm/min.

試験片T1,H1に対して引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図を図8(B)に示す。応力が200MPa付近までは、試験片T1,H1は同様のひずみが生ずるように変形している。そして、応力が200MPa付近においてグラフは、変曲点K1を有する。図8(B)に示すように、試験片H1では、変曲点K1以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べてかなり緩やかになり、途中において降伏領域を有していると推測される(図8(B)の点線円領域参照)。一方、試験片T1では、図8(B)に示すように、試験片H1の場合と同様に変曲点K1以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べて緩やかになるが、グラフの傾斜は試験片H1のものと比較すると急となっている(図8(B)の点線円領域参照)。つまり、時効処理の有無に関係なく、Oの含有量が多い実施例1の試験片T1は、比較例1の試験片H1よりも硬い(降伏しにくい)材料特性を有すると言え、成形後の製品の形状を安定させることができると言える。 FIG. 8(B) shows a stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test on the test pieces T1 and H1. Until the stress reaches around 200 MPa, the test pieces T1 and H1 are deformed so that similar strain occurs. The graph has an inflection point K1 when the stress is around 200 MPa. As shown in FIG. 8(B), in the test piece H1, after the inflection point K1, the slope of the graph becomes much gentler than the slope up to that point, and it is presumed that there is a yield region in the middle. (Refer to the dotted circle area in FIG. 8B). On the other hand, in the test piece T1, as shown in FIG. 8(B), after the inflection point K1, the slope of the graph becomes gentler than the slope up to that point, as in the case of the test piece H1. is steeper than that of the test piece H1 (see the dotted circle area in FIG. 8(B)). That is, regardless of the presence or absence of aging treatment, the test piece T1 of Example 1, which has a high O content, can be said to have harder (harder to yield) material properties than the test piece H1 of Comparative Example 1. It can be said that the shape of the product can be stabilized.

<引張試験2>
図9(A)は、引張試験1と同様の測定条件で、比較例1の試験片H1に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。図9(B)は、引張試験1と同様の測定条件で、実施例1の試験片T1に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。図9(C)は、図9(A),(B)の応力-ひずみ線図を重ね合わせた図である。図9(C)から明らかなように、試験片H1に約500(MPa)弱の引張応力を加えて2%程度歪ませた後に除荷すると、約0.35%程度の永久ひずみが残る。一方、同様に試験片T1に約500(MPa)弱の引張応力を加えて2%程度歪ませた後に除荷すると、約0.2%程度の永久歪しか残らない。結果、Oの含有率を増加させた実施例1の試験片T1の方が、比較例1の試験片H1よりも弾性限が高いことが確認できた。
<Tensile test 2>
FIG. 9(A) is a stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to the test piece H1 of Comparative Example 1 under the same measurement conditions as in Tensile Test 1. be. FIG. 9(B) is a stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test in which repeated stress-strain was applied to the test piece T1 of Example 1 under the same measurement conditions as in tensile test 1. be. FIG. 9(C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of FIGS. 9(A) and (B) are superimposed. As is clear from FIG. 9(C), when a tensile stress of slightly less than about 500 (MPa) is applied to the test piece H1 to strain it by about 2% and then the load is removed, a permanent strain of about 0.35% remains. On the other hand, when a tensile stress of slightly less than about 500 (MPa) is applied to the test piece T1 to strain it by about 2% and then unload it, only about 0.2% permanent strain remains. As a result, it was confirmed that the test piece T1 of Example 1, in which the O content was increased, had a higher elastic limit than the test piece H1 of Comparative Example 1.

<引張試験3>
また、本願発明者は、Oの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例2にかかる試験片T2と、比較例2にかかる試験片H2に対して引張試験を行った。図10(A)は、引張試験を行う対象の試験片T2,H2の組成を表す表である。試験片T2,H2を構成するチタン合金の組成は、実施例1の試験片T1,比較例1の試験片H2を構成するチタン合金に対して、更に300℃で時効処理を1時間追加したものとなる。以上の試験片T2,H2に対して,引張試験機を用いて引張試験を実施した。測定条件としては、評点間距離を50mm、引張速度を2mm/分とした。
<Tensile test 3>
In addition, the inventor of the present application conducted a tensile test on the test piece T2 according to Example 2, which was created using the titanium alloy according to the embodiment of the present invention with a different O content, and the test piece H2 according to Comparative Example 2. did FIG. 10(A) is a table showing the composition of the test pieces T2 and H2 to be subjected to the tensile test. The composition of the titanium alloys constituting the test pieces T2 and H2 is obtained by adding aging treatment at 300° C. for 1 hour to the titanium alloys constituting the test piece T1 of Example 1 and the test piece H2 of Comparative Example 1. becomes. A tensile test was performed on the above test pieces T2 and H2 using a tensile tester. As the measurement conditions, the distance between marks was 50 mm, and the tensile speed was 2 mm/min.

試験片T2,H2に対して引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図を図10(B)に示す。応力が200MPa付近までは、試験片T2,H2は同様のひずみが生ずるように変形している。そして、応力が200MPa付近においてグラフは、変曲点K2を有する。図10(B)に示すように、試験片H2では、変曲点K2以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べてかなり緩やかになる(図10(B)の点線円領域参照)。一方、試験片T2では、図10(B)に示すように、試験片H2の場合と同様に変曲点K2以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べて緩やかになるが、グラフの傾斜は試験片H2のものと比較すると急となっている(図10(B)の点線円領域参照)。つまり、時効処理後でも、試験片T2は、試験片H2に比べて硬い(降伏しにくい)材料特性を有すると言え、成形後の製品の形状を安定させることができると言える。 FIG. 10(B) shows a stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test on the test pieces T2 and H2. Until the stress reaches around 200 MPa, the test pieces T2 and H2 are deformed so that similar strain occurs. The graph has an inflection point K2 when the stress is around 200 MPa. As shown in FIG. 10(B), for the test piece H2, the slope of the graph after the point of inflection K2 becomes much gentler than the slope up to that point (see the dotted circle area in FIG. 10(B)). On the other hand, in the test piece T2, as shown in FIG. 10(B), the slope of the graph after the inflection point K2 becomes gentler than the slope up to that point as in the case of the test piece H2, but the slope of the graph is steeper than that of test piece H2 (see the dotted circle area in FIG. 10(B)). In other words, it can be said that even after the aging treatment, the test piece T2 has material properties that are harder (harder to yield) than the test piece H2, and it can be said that the shape of the molded product can be stabilized.

そして、試験片T2,H2と、試験片T1,H1を比較すると、変曲点以降のグラフの傾斜度合いが試験片T2,H2の方が試験片T1,H1よりも急である。これは、時効処理を行っていないチタン合金と比較して、時効処理を行った方のチタン合金の方が、等軸α相が多く含まれてるため、硬質な金属の特性を有することに起因する。結果、時効処理を行った本実施形態のチタン合金の方が冷間加工後に成形をし易いと言える。 When the test pieces T2 and H2 are compared with the test pieces T1 and H1, the degree of inclination of the graph after the point of inflection is steeper for the test pieces T2 and H2 than for the test pieces T1 and H1. This is because the aged titanium alloy contains more equiaxed α-phase than the unaged titanium alloy, so it has the properties of a hard metal. do. As a result, it can be said that the titanium alloy of the present embodiment that has undergone aging treatment is easier to form after cold working.

更に、実施例1の試験片T1の引張試験1の結果(図8(B)参照)と、実施例2の試験片T2の引張試験3の結果(図10(B)参照)を比較すると、図12(A)に示すように、互いのグラフが交わる応力が800(MPa)弱の区間までは、同じ応力を加えても試験片T2の方が試験片T1よりも生じるひずみが小さい。また、試験片T1,T2のそれぞれの応力が最大値(引張強さ)に至った以降は、試験片T1,T2共にほぼ一定の応力(引張強さ)でひずみが増大していく。ちなみに、試験片T1の応力の最大値(引張強さ)は、略870(MPa)程度で、試験片T2の応力の最大値(引張強さ)は、略840(MPa)程度である。そして、試験片T2は、試験片T1に比べて破断に至るひずみが略1.2倍程度大きくなっている。この結果から、時効処理を行った方のチタン合金は、時効処理を行っていないチタン合金に比べて、等軸α相がより多く析出してより硬質な特性を示すと共に、より延性が向上すると言える。 Furthermore, when comparing the results of tensile test 1 of test piece T1 of Example 1 (see FIG. 8(B)) and the results of tensile test 3 of test piece T2 of Example 2 (see FIG. 10(B)), As shown in FIG. 12A, even if the same stress is applied to the test piece T2, the strain caused by the test piece T2 is smaller than that of the test piece T1 until the stress section where the graphs intersect each other is less than 800 (MPa). Moreover, after the stress of each of the test pieces T1 and T2 reaches the maximum value (tensile strength), the strain of both the test pieces T1 and T2 increases with substantially constant stress (tensile strength). Incidentally, the maximum stress value (tensile strength) of the test piece T1 is about 870 (MPa), and the maximum stress value (tensile strength) of the test piece T2 is about 840 (MPa). The test piece T2 has about 1.2 times the strain at which it breaks as compared with the test piece T1. From this result, the titanium alloy that was subjected to aging treatment, compared to the titanium alloy that was not subjected to aging treatment, precipitated more equiaxed α-phase and exhibited harder properties, and also improved ductility. I can say

<引張試験4>
図11(A)は、引張試験3と同様の測定条件で、試験片H2に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。図11(B)は、引張試験3と同様の測定条件で、試験片T2に対して繰り返し応力-歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力-ひずみ線図である。図11(C)は、図11(A),(B)の応力-ひずみ線図を重ね合わせた図である。図11(C)から明らかなように、試験片H2を0から2%程度歪ませた後に除荷すると、約0.2%程度の永久歪が残る。一方、同様に試験片T2を0から2%程度歪ませた後に除荷すると、約0.1%弱程度の永久歪しか残らない。結果、Oの含有率を増加させた試験片T2の方が試験片H2よりも弾性限が高いことが確認できた。
<Tensile test 4>
FIG. 11A is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece H2 was subjected to repeated stress-strain under the same measurement conditions as in tensile test 3. FIG. FIG. 11B is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T2 was subjected to repeated stress-strain under the same measurement conditions as in tensile test 3. FIG. FIG. 11(C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of FIGS. 11(A) and (B) are superimposed. As is clear from FIG. 11(C), when the test piece H2 is unloaded after being distorted by about 0 to 2%, a permanent strain of about 0.2% remains. On the other hand, if the test piece T2 is similarly strained by about 0 to 2% and then unloaded, only a little less than about 0.1% permanent strain remains. As a result, it was confirmed that the test piece T2, in which the O content was increased, had a higher elastic limit than the test piece H2.

更に、実施例1の試験片T1の引張試験2の結果(図9(B)参照)と、実施例2の試験片T2の引張試験4の結果(図11(B)参照)を比較すると、図12(B)に示すように、例えば、時効処理を行っていない試験片T1は、約500(MPa)程度の引張応力を加えて2%程度歪ませた後に除荷すると0.2%のひずみが生じるが、時効処理を行った試験片T2は、約600(MPa)程度の引張応力を加えて2%程度歪ませた後に除荷すると0.1%弱程度のひずみしか発生しない。つまり、時効処理を行っていないチタン合金に比べて、時効処理を行ったチタン合金の方が、弾性限が高いと言える。 Furthermore, when comparing the results of tensile test 2 of test piece T1 of Example 1 (see FIG. 9B) with the results of tensile test 4 of test piece T2 of Example 2 (see FIG. 11B), As shown in FIG. 12(B), for example, a test piece T1 that has not been subjected to aging treatment has a tensile stress of about 500 (MPa), is strained by about 2%, and then unloaded, the strain is reduced to 0.2%. Strain occurs, but when the test piece T2 subjected to aging treatment is strained by about 2% by applying a tensile stress of about 600 (MPa) and then unloaded, only a little less than 0.1% strain is generated. In other words, it can be said that the aged titanium alloy has a higher elastic limit than the unaged titanium alloy.

<ビッカース硬さ試験>
また、本願発明者は、Oの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例3-1の試験片T3、および実施例3-2の試験片T4に対してビッカース硬さ試験を行った。本ビッカース硬さ試験では、測定点を10点とし、0.1(N)の荷重を測定点に掛けた。なお、比較例3の試験片H3も用意して同様にビッカース硬さ試験を行った。
<Vickers hardness test>
In addition, the inventors of the present application have tested the test piece T3 of Example 3-1 and the test piece T4 of Example 3-2, which were prepared using the titanium alloy according to the embodiment of the present invention with a different O content. A Vickers hardness test was performed. In this Vickers hardness test, 10 measurement points were used, and a load of 0.1 (N) was applied to the measurement points. A test piece H3 of Comparative Example 3 was also prepared and subjected to the Vickers hardness test in the same manner.

図13(A)は、ビッカース硬さ試験を行う対象の試験片T3、T4、H3の組成を表す表である。試験片T3、T4、H3は、直径φ0.517mmの丸線形状である。また、試験片H3は、Ti-23Ta-3Sn―0.25Oの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、Oの含有量が少ない。試験片T3は、Ti-23Ta-3Sn―0.6Oの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、試験片T4は、Ti-23Ta-3Sn―0.8Oの組成のチタン合金を用いて作成されたものである。そして、試験片T3、T4、H3に対して熱処理を施していないもの及び、試験片T3、T4、H3に対して450℃、500℃、550℃、650℃、700℃、750℃で熱処理を30分施したものを用意した。 FIG. 13A is a table showing compositions of test pieces T3, T4, and H3 to be subjected to the Vickers hardness test. The test pieces T3, T4, and H3 are round wires with a diameter of φ0.517 mm. Also, the test piece H3 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.25O, and the O content was small. The test piece T3 was made using a titanium alloy with a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.6O, and the test piece T4 was made using a titanium alloy with a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.8O. It was created by Then, the test pieces T3, T4, and H3 were not heat-treated, and the test pieces T3, T4, and H3 were heat-treated at 450°C, 500°C, 550°C, 650°C, 700°C, and 750°C. A product after 30 minutes was prepared.

本ビッカース硬さ試験の結果を図13(B)に示す。図13(B)に示すように、熱処理温度が550℃までは、試験片T3、T4、H3は、熱処理による大きな変化はなかった。一方、650℃以上の熱処理では、Oの含有率が多いほどチタン合金の硬さが大きくなる傾向にあることが確認できた。つまり、Oの含有率を高めた場合は、熱処理温度は、例えば、600℃~1000℃が好ましく、700℃~900℃がより好ましいことがわかる。 The results of this Vickers hardness test are shown in FIG. 13(B). As shown in FIG. 13(B), the test pieces T3, T4, and H3 did not change significantly due to the heat treatment up to the heat treatment temperature of 550°C. On the other hand, it was confirmed that in the heat treatment at 650° C. or higher, the hardness of the titanium alloy tends to increase as the O content increases. That is, when the content of O is increased, the heat treatment temperature is preferably 600°C to 1000°C, more preferably 700°C to 900°C.

以上の<引張試験1>~<引張試験4>及び<ビッカース硬さ試験>により、Oの含有率を増加させることにより弾性限及び材料の強度が向上することが確認できた。結果、Oの含有率を適度に増やせば、後加工がしやすい適度な硬さと弾性限を有するチタン合金となることがわかった。 From the above <Tensile test 1> to <Tensile test 4> and <Vickers hardness test>, it was confirmed that the elastic limit and the strength of the material were improved by increasing the O content. As a result, it was found that if the content of O is moderately increased, the titanium alloy can be easily post-processed and has moderate hardness and elastic limit.

尚、本発明のチタン合金及びチタン合金の製造方法は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。 The titanium alloy and the method for producing the titanium alloy of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

本発明のチタン合金は、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、クリップ、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ等のカテーテル分野、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤ等の歯科分野や人工骨等の整形分野等に利用することができる。 The titanium alloy of the present invention is used in the field of catheters such as guide wires, delivery wires, stents, clips, aneurysm embolization coils or vein filters for medical use, or in the dental field such as cleansers, reamers, files or orthodontic wires for dental treatment. It can be used in fields such as orthopedic fields such as artificial bones.

1 HIP装置
2 HIP用容器
3 HIP炉
3A 断熱部
3B ガス導入通路
4 ヒーター
5 混合粉末
6 消耗電極
8 アーク溶解炉
9 ロッド
10 溶湯プール
11 インゴット
REFERENCE SIGNS LIST 1 HIP device 2 HIP container 3 HIP furnace 3A heat insulating part 3B gas introduction passage 4 heater 5 mixed powder 6 consumable electrode 8 arc melting furnace 9 rod 10 molten metal pool 11 ingot

Claims (8)

少なくとも、チタン(Ti)を主成分とするチタン粉末と、バナジウム(Va)族元素を主成分とするVa族粉末とを混合して混合粉末を得る混合工程と、
前記混合工程で混合された前記混合粉末を加熱して固相拡散結合させることで固化体を得る固化工程と、
前記固化体を加熱溶解して、チタン合金を生成する溶解工程と、
を備えることを特徴とする、
チタン合金の製造方法。
A mixing step of mixing at least a titanium powder containing titanium (Ti) as a main component and a group Va powder containing a vanadium (Va) group element as a main component to obtain a mixed powder;
a solidification step of obtaining a solidified body by heating the mixed powder mixed in the mixing step for solid-phase diffusion bonding;
a melting step of heating and melting the solidified body to form a titanium alloy;
characterized by comprising
A method for producing a titanium alloy.
前記固化工程では、900~1400℃の間のいずれかの温度で加熱することで前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする、
請求項1に記載のチタン合金の製造方法。
In the solidification step, the mixed powder is solid phase diffusion bonded by heating at any temperature between 900 and 1400 ° C.
A method for producing a titanium alloy according to claim 1.
前記固化工程では、前記混合粉末を真空下とし、加熱及び加圧によって前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする、
請求項1または2に記載のチタン合金の製造方法。
In the solidification step, the mixed powder is placed under a vacuum, and the mixed powder is solid phase diffusion bonded by heating and pressing,
A method for producing a titanium alloy according to claim 1 or 2.
前記溶解工程では、真空アーク再溶解法又はコールドクルーシブル誘導溶解法によって前記固化体を溶解することを特徴とする、
請求項1~3のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
In the melting step, the solidified body is melted by a vacuum arc remelting method or a cold crucible induction melting method,
A method for producing a titanium alloy according to any one of claims 1 to 3.
前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、0.4~1.7at%の酸素(O)を含むことを特徴とする、
請求項1~4のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
The titanium alloy contains 0.4 to 1.7 at% oxygen (O) when the whole is 100 atomic% (at%),
A method for producing a titanium alloy according to any one of claims 1 to 4.
前記Va族粉末が、タンタル(Ta)又はニオブ(Nb)を主成分とすることを特徴とする、
請求項1~5のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
The Va group powder is mainly composed of tantalum (Ta) or niobium (Nb),
A method for producing a titanium alloy according to any one of claims 1 to 5.
前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、1~8at%のスズ(Sn)を含むことを特徴とする、
請求項1~6のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
The titanium alloy contains 1 to 8 at% tin (Sn) when the whole is 100 atomic% (at%),
A method for producing a titanium alloy according to any one of claims 1 to 6.
前記溶解工程で生成された前記チタン合金に対して熱処理を行う熱処理工程と、
前記熱処理された前記チタン合金に対して時効処理を行う時効処理工程と、
を備え、
前記溶解工程を経た前記チタン合金が、全体を100原子%(at%)としたときに、15~27at%のタンタル(Ta)と、1~8at%のスズ(Sn)と、0.4~1.7at%の酸素(O)と、残部がチタン(Ti)と不可避不純物とからなるようにし、
前記時効処理工程では、前記チタン合金に対して24時間以下の時効処理を行って、前記チタン合金にα相を析出させることを特徴とする、
請求項1~7のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
a heat treatment step of heat-treating the titanium alloy produced in the melting step;
an aging treatment step of performing an aging treatment on the heat-treated titanium alloy;
with
The titanium alloy that has undergone the melting step contains 15 to 27 at% tantalum (Ta), 1 to 8 at% tin (Sn), and 0.4 to 1.7 atomic % of oxygen (O) and the balance consisting of titanium (Ti) and unavoidable impurities,
In the aging treatment step, the titanium alloy is subjected to aging treatment for 24 hours or less to precipitate an α phase in the titanium alloy.
A method for producing a titanium alloy according to any one of claims 1 to 7.
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