JP2023007123A - ダイアフラムポンプ - Google Patents
ダイアフラムポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023007123A JP2023007123A JP2021110166A JP2021110166A JP2023007123A JP 2023007123 A JP2023007123 A JP 2023007123A JP 2021110166 A JP2021110166 A JP 2021110166A JP 2021110166 A JP2021110166 A JP 2021110166A JP 2023007123 A JP2023007123 A JP 2023007123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- center rod
- seal member
- seal
- fluid
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
【課題】送流体効率を維持しやすくすることができるダイアフラムポンプを提供する。【解決手段】送流体室A1の内側にストッパシール7が設けられ、センターロッド3の外側に筒状シール8が設けられる。ガイド部72及び外周面811によって、第2シール部812がセンターロッド3の外周面32に押し付けられる変形が筒状シール部材8に生じることで、筒状シール部材8とセンターロッド3との間の密封性を維持しやすくすることができる。摩耗に対応して変形を生じさせて第2シール部812とセンターロッド3とを接触させることができ、ダイアフラムポンプ10における送流体効率を維持しやすくすることができる。【選択図】図3
Description
本発明は、ダイアフラムポンプに関する。
一般に、ダイアフラムによって区画された一対の作動流体室及び一対の送流体室を備え、センターロッドを往復移動させることで流体を吐出するダイアフラムポンプが知られている。このようなダイアフラムポンプでは、作動流体室及び送流体室のうち内側に配置された内側室にセンターロッドの端部が配置され、センターロッドが本体部を貫通するように配置される。このため、一対の内側室同士が連通して高圧側から低圧側に流体が移動してしまわないように、密封性を確保する必要があった。
そこで、センターロッドの外周面に嵌合する環状スリーブと、環状スリーブの両側に位置する環状ガイド部材と、を設けたシール構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載されたシール構造では、環状スリーブの内周面とセンターロッドの外周面との間に密封面を形成し、環状スリーブの側面と環状ガイド部材の側面との間に密封面を形成することにより、シール性能の維持を図っている。
しかしながら、特許文献1に記載されたシール構造では、環状スリーブがセンターロッドに対して摺動可能であるため、摩耗により環状スリーブの内径が大きくなったり、センターロッドの外径が小さくなったりすると、これらの間の隙間が大きくなり、密封面が形成されなくなってしまう可能性があった。従って、このような摩耗にも対応し、密封性を維持することでポンプの送流体効率を維持することが望まれていた。
本発明の目的は、送流体効率を維持しやすくすることができるダイアフラムポンプを提供することである。
本発明のダイアフラムポンプは、一対の作動流体室に流体を供給する供給手段と、送流体室と前記作動流体室とを区画するダイアフラム体と、一対の前記ダイアフラム体の変形とともに往復移動するセンターロッドと、を備えたダイアフラムポンプであって、前記センターロッドの軸方向の端部は、前記送流体室と前記作動流体室とのうち、前記軸方向における内側に位置する内側室に位置し、前記内側室に対して前記軸方向の内側に設けられるとともに前記センターロッドが挿通される環状シール部材と、一対の前記環状シール部材の間において前記センターロッドの外側に設けられるとともに前記軸方向に移動可能な筒状シール部材と、を備え、前記筒状シール部材は、前記軸方向の両側それぞれに、前記環状シール部材に対して全周に亘って接触してシール可能な第1シール部と、前記センターロッドの外周面に対して全周に亘って接触してシール可能な第2シール部と、を有し、前記環状シール部材及び前記筒状シール部材のうち少なくとも一方には、前記軸方向に対して傾斜することにより、前記筒状シール部材が前記軸方向の外側に移動した際に、前記第2シール部を前記センターロッドの外周面に押し付けるような変形を当該筒状シール部材に生じさせるガイド部が形成されていることを特徴とする。
以上のような本発明によれば、ガイド部によって、第2シール部がセンターロッドの外周面に押し付けられる変形が筒状シール部材に生じることで、筒状シール部材とセンターロッドとの間の密封性を維持しやすくすることができる。即ち、摩耗により第2シール部の内径が大きくなったりセンターロッドの外径が小さくなったりした場合であっても、このような摩耗に対応して変形を生じさせて第2シール部とセンターロッドとを接触させることができる。これにより、一対の内側室同士の連通を抑制し、ダイアフラムポンプにおける送流体効率を維持しやすくすることができる。
この際、本発明のダイアフラムポンプでは、前記筒状シール部材には、外周面に前記第1シール部を有するとともに先端に前記第2シール部を有するリップ部が形成され、前記リップ部は、基端部において前記センターロッドの外周面から離隔するとともに、先端側に向かうにしたがって前記センターロッドの外周面に近づくとともに肉薄になるように形成されていることが好ましい。このような構成によれば、リップ部を変形させて先端の第2シール部をセンターロッドの外周面に押し付けることができ、密封性を維持しやすくすることができる。
また、本発明のダイアフラムポンプでは、前記環状シール部材に前記ガイド部が形成されるとともに、前記第1シール部が前記筒状シール部材における前記ガイド部として機能することが好ましい。このような構成によれば、筒状シール部材と環状シール部材とを面接触させやすく、これらの間の密封性を維持しやすくすることができる。
また、本発明のダイアフラムポンプでは、前記内側室が前記送流体室であることが好ましい。このような構成によれば、吐出の対象となる流体が、高圧側の送流体室から低圧側の送流体室に流入してしまうことを抑制し、送流体効率の低下を直接的に抑制することができる。
本発明のダイアフラムポンプによれば、送流体効率を維持しやすくすることができる。
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態のダイアフラムポンプ10は、図1,2に示すように、ポンプ本体1と切換装置20と供給手段とを備え、例えば空気等の気体を作動流体として用い、液体等の流体を吐出するものである(吐出される流体を「対象流体」と呼ぶ)。本実施形態では、ポンプ本体1の上下方向をZ方向とし、後述するセンターロッド3の軸方向(延在方向)をX方向とし、X方向及びZ方向の両方に略直交する方向をY方向とする。尚、ポンプ本体1は、Z方向が鉛直方向に沿うように設置されてもよいし、多少の傾きを有して設置されてもよい。
ポンプ本体1は、一対のポンプ部2A,2Bと、センターロッド3と、検出装置4と、を備える。一対のポンプ部2A,2Bは、互いに対称に形成され、ダイアフラム体21と、入口側逆止弁22と、出口側逆止弁23と、を備える。
ダイアフラム体21は、センターロッド3の両端部に設けられたディスク31と接触することで、ダイアフラム体21が変形するとともにセンターロッド3が移動するようになっている。即ち、後述する作動流体室A2が膨張してダイアフラム体21が後述する内側に向かうように変形する際(送流体時)には、ダイアフラム体21からセンターロッド3に力が伝達されてセンターロッド3が移動し、作動流体室A2が収縮する際(吸込時)にはセンターロッド3が移動することでディスク31によってダイアフラム体21を変形させるようになっている。ポンプ本体1は、筐体5と、筐体5に収容されるとともにセンターロッド3が貫通する本体部6と、を有し、ダイアフラム体21は、筐体5と本体部6との間の空間を、送流体室(ポンプ室)A1と作動流体室A2とに区画する。即ち、筐体5には、X方向において互いに向かい合う面に凹部51が形成されており、凹部51とダイアフラム体21とによって作動流体室A2が形成される。本体部6には、ポンプ部2A,2Bのそれぞれにおいて、X方向において互いに反対側を向いた面に凹部61が形成されており、凹部61とダイアフラム体21とによって送流体室A1が形成される。
このように、X方向の一方側から他方側にかけて(図2の左側から右側にかけて)作動流体室A2、送流体室A1、送流体室A1、作動流体室A2が順に並んでおり、X方向において送流体室A1が作動流体室A2に対して内側に配置され、送流体室A1が内側室となる。
X方向を軸方向として延在するセンターロッド3がX方向に移動することによりダイアフラム体21が変形し、一方のポンプ部2Aにおいて送流体室A1が膨張する(作動流体室A2が収縮する) と、他方のポンプ部2Bにおいて送流体室A1が収縮する(作動流体室A2が膨張する)。また、一方のポンプ部2Aにおいて送流体室A1が収縮すると、他方のポンプ部2Bにおいて送流体室A1が膨張する。
送流体室A1が膨張して減圧されると、入口側逆止弁22が弁開して入口側開口10Aから送流体室A1に対象流体が導入される。一方、送流体室A1が収縮して昇圧されると、出口側逆止弁23が弁開して送流体室A1内の対象流体が出口側開口10Bから外部に排出される。
検出装置4は、筐体5に設けられるとともに先端部が作動流体室A2内に配置されている。他方のポンプ部2Bの作動流体室A2に作動流体が供給されている際、一方のポンプ部2Aにおいて作動流体室A2が収縮していくことにより、ダイアフラム体21及びディスク31が検出装置4に対して接近していき、ダイアフラム体21を介してディスク31によって検出装置4が押圧される。これにより、切換装置20が作動して供給先が切り換えられ、即ち、他方のポンプ部2Bの作動流体室A2には作動流体が供給されなくなり、一方のポンプ部2Aの作動流体室A2に作動流体が供給されるようになり、一方のポンプ部2Aの作動流体室A2が膨張していく。尚、切換装置20は従来のダイアフラムポンプと同様の構成を有するものが用いられればよく、ここでは説明を省略する。上記を繰り返すことにより、一対のポンプ部2A,2Bにおいて作動流体室A2が互い違いに膨張及び収縮を繰り返す。これにより、入口側開口10Aから導入された対象流体が出口側開口10Bから排出され、対象流体が外部に供給される。
ここで、本体部6における一対の送流体室A1同士の密封構造の詳細について、図3も参照して説明する。本体部6には、凹部61のX方向内側(即ち、内側室となる送流体室A1に対してX方向の内側)に、環状シール部材としてのストッパシール7が設けられている。ストッパシール7は、円環状に形成され、その外周面が本体部6に対して固定され、これらの間を対象流体が通過不能となっている。ストッパシール7は、円柱状のセンターロッド3を挿通可能な貫通孔(ガイド孔)71を有し、貫通孔71の内径はセンターロッド3の外径と同等又は若干大きくなっている。これにより、ストッパシール7に対してセンターロッド3が摺動可能となっている。
本体部6には、ストッパシール7が設けられる部分同士を接続するように、貫通孔62が形成されている。貫通孔62にはセンターロッド3が挿通される。ストッパシール7のうちX方向内側の面(貫通孔62側を向いた面)には、X方向に対して傾斜した傾斜面であるガイド部72が全周に亘って形成されている。ガイド部72は、X方向外側に向かう(送流体室A1に近づく)にしたがってセンターロッド3の外周面32に近づくように傾斜し、すり鉢状の面となっている。
センターロッド3の外側には、筒状シール部材8が設けられている。筒状シール部材8は、円筒状に形成されてセンターロッド3が挿通されるようになっている。筒状シール部材8の内径はセンターロッド3の外径と同等又は若干大きくなっている。これにより、センターロッド3に対して筒状シール部材8が摺動可能となっている。筒状シール部材8は、一対のストッパシール7の間に配置されるとともに、貫通孔62内に設けられる。
筒状シール部材8は、X方向の両端部にリップ部81を有する。リップ部81は、基端部81Aにおいてセンターロッド3の外周面32から離隔するとともに、先端側に向かうにしたがって外周面32に近づくとともに肉薄になるように形成されている。これにより、リップ部81は、全体として、X方向外側に向かうにしたがってセンターロッド3に近づくような形状を有している。
リップ部81の外周面811は、ストッパシール7のガイド部72に対して全周に亘って接触してシール可能な第1シール部となっている。このとき、外周面811は、ガイド部72と同様に、X方向外側に向かうにしたがってセンターロッド3の外周面32に近づくように傾斜した傾斜面(円錐状面)となっており、ガイド部としても機能するようになっている。また、外周面811の傾斜角度とガイド部72の傾斜角度とが同等に設定されており、これらは面接触するようになっている。
リップ部81の先端は、センターロッド3の外周面32に対して全周に亘って接触してシール可能な第2シール部812となっている。尚、上記のようにリップ部81は先端側において肉薄に形成されていることから、変形することで頂点だけでなくその周辺部分もセンターロッド3の外周面32に接触してもよい。
上記のように密封構造を構成し互いに摺動するセンターロッド3、ストッパシール7及び筒状シール部材8は、例えばPFAやPTFE等のフッ素樹脂(摺動部材)によって形成されればよい。尚、これらの部材のうち他の部材と摺動する部分や表面のみが摺動部材によって形成されていてもよい。
上記のような密封構造では、以下に説明するように対象流体の通過が抑制される。図3に示すようにセンターロッド3が左側に向かって移動した場合、筒状シール部材8もセンターロッド3に追従して左側に移動する。また、このとき右側の送流体室A1の方が左側の送流体室A1よりも高圧となり、この圧力差によっても筒状シール部材8が左側に向かって移動する。尚、これらのうちいずれか一方の作用のみによって筒状シール部材8が左側に移動してもよい。
筒状シール部材8の左側のリップ部81は、外周面811においてストッパシール7のガイド部72に接触し、これらの間がシールされる。さらに、外周面811及びガイド部72が上記のような傾斜を有することにより、筒状シール部材8がX方向外側に移動することで、リップ部81をセンターロッド3の外周面32に近づけるような力が発生する。この力によって、リップ部81には、第2シール部812をセンターロッド3の外周面32に押し付ける変形が生じる。これにより、筒状シール部材8とセンターロッド3との間がシールされる。
上記のように、筒状シール部材8が左側に移動することにより、筒状シール部材8とストッパシール7との間がシールされ、且つ、筒状シール部材8とセンターロッド3との間がシールされる。これにより、一対の送流体室A1同士が区画され、連通しないようになる。即ち、左側の送流体室A1の対象流体がセンターロッド3と左側のストッパシール7の貫通孔71との間を通過したとしても、筒状シール部材8によってそれ以上右側に向かうことが抑制される。また、右側の送流体室A1の対象流体がセンターロッド3と左側のストッパシール7の貫通孔71との間を通過し、貫通孔62内に流入したとしても、左側のリップ部81によって、それ以上左側に向かうことが抑制される。尚、センターロッド3及び筒状シール部材8が右側に移動した場合にも、上記と同様に一対の送流体室A1同士が区画される。
上記のような密封構造では、摺動する部分に摩耗が生じ得る。具体的には、摩耗によって、センターロッド3の外径が小さくなったり、ストッパシール7の内径が大きくなったり、筒状シール部材8の内径(特にリップ部81の内径)が大きくなったりすることがある。ストッパシール7の内径が大きくなった場合であっても、ストッパシール7と筒状シール部材8との間の密封性には影響を与えにくい。
一方、センターロッド3の外径が小さくなったり、筒状シール部材8の内径が大きくなったりすると、これらの間の隙間が大きくなる。この場合、筒状シール部材8が摩耗前よりもX方向外側にさらに移動することが可能となる。即ち、リップ部81が変形して第2シール部812が外周面32に接触するまで筒状シール部材8がX方向外側に移動することにより、センターロッド3と筒状シール部材8との間の密封性が確保されるようになっている。また、摩耗によって筒状シール部材8がセンターロッド3に対してYZ平面内で移動可能となってガタツキが生じやすくなった場合であっても、全周に亘って傾斜したガイド部72及び外周面811が設けられており、これらが接触してガイドされることにより、筒状シール部材8がセンターロッド3に対して求心される(即ち中心同士を一致させるように移動する力が生じる)。
以上の本実施形態によれば、ガイド部72及び外周面811によって、第2シール部812がセンターロッド3の外周面32に押し付けられる変形が筒状シール部材8に生じることで、筒状シール部材8とセンターロッド3との間の密封性を維持しやすくすることができる。即ち、摩耗に対応して変形を生じさせて第2シール部812とセンターロッド3とを接触させることができる。これにより、ダイアフラムポンプ10における送流体効率を維持しやすくすることができる。
また、リップ部81が、基端部81Aにおいてセンターロッド3の外周面32から離隔するとともに、先端側に向かうにしたがって外周面32に近づくように形成されていることで、リップ部81を変形させて先端の第2シール部812をセンターロッド3に押し付けることができ、密封性を維持しやすくすることができる。また、リップ部81が先端側に向かうにしたがって肉薄になっていることで、先端の第2シール部812を変形させやすくすることができる。
また、ストッパシール7にガイド部72が形成されるとともに、筒状シール部材8における第1シール部としての外周面811が前記ガイド部として機能することで、筒状シール部材8とストッパシール7とを面接触させ、これらの間の密封性を維持しやすくすることができる。
また、送流体室A1が作動流体室A2に対してX方向内側に配置されて内側室となっていることで、高圧側の送流体室A1から低圧側の送流体室A1に対象流体が流入してしまうことを抑制し、送流体効率の低下を直接的に抑制することができる。
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的が達成できる他の構成等を含み、以下に示すような変形等も本発明に含まれる。例えば、前記実施形態では、リップ部81の基端部81Aがセンターロッド3の外周面32から離隔しているものとしたが、筒状シール部材は、センターロッド3の外周面32から離隔していない(略一定の内径を有する)ものであってもよい。また、前記実施形態では、リップ部81が先端側に向かうにしたがって肉薄になっているものとしたが、例えば肉厚が略一定のリップ部が形成されていてもよい。
また、前記実施形態では、環状シール部材としてのストッパシール7と筒状シール部材8との両方にガイド部が形成されているものとしたが、環状シール部材と筒状シール部材とのうち少なくとも一方に傾斜したガイド部が形成されていればよい。例えば、環状シール部材に傾斜したガイド部が形成され、これに対して筒状シール部材の角部が線状接触して変形が生じるようになっていてもよいし、筒状シール部材に傾斜したガイド部が形成され、これに対して環状シール部材の角部が線状接触して変形が生じるようになっていてもよい。
また、前記実施形態では、送流体室A1が作動流体室A2に対してX方向内側に配置されて内側室となっているものとしたが、作動流体室が内側室となっているダイアフラムポンプにおいて、前記実施形態のようにストッパシール7及び筒状シール部材8を有する密封構造が採用されてもよい。作動流体室が内側室となる場合、送流体室同士の間で対象流体の流出入は生じないものの、高圧側の作動流体室から低圧側の作動流体室に作動流体が流入し得る構造となる。上記の密封構造を採用することで、作動流体の意図しない流入を抑制し、送流体室を正常に膨張及び収縮させることができ、送流体効率の低下を間接的に抑制することができる。
以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
10…ダイアフラムポンプ、21…ダイアフラム体、3…センターロッド、32…外周面、7…ストッパシール(環状シール部材)、72…ガイド部、8…筒状シール部材、811…外周面(ガイド部、第1シール部)、812…第2シール部、A1…送流体室、A2…作動流体室
Claims (4)
- 一対の作動流体室に流体を供給する供給手段と、送流体室と前記作動流体室とを区画するダイアフラム体と、一対の前記ダイアフラム体の変形とともに往復移動するセンターロッドと、を備えたダイアフラムポンプであって、
前記センターロッドの軸方向の端部は、前記送流体室と前記作動流体室とのうち、前記軸方向における内側に位置する内側室に位置し、
前記内側室に対して前記軸方向の内側に設けられるとともに前記センターロッドが挿通される環状シール部材と、
一対の前記環状シール部材の間において前記センターロッドの外側に設けられるとともに前記軸方向に移動可能な筒状シール部材と、を備え、
前記筒状シール部材は、前記軸方向の両側それぞれに、前記環状シール部材に対して全周に亘って接触してシール可能な第1シール部と、前記センターロッドの外周面に対して全周に亘って接触してシール可能な第2シール部と、を有し、
前記環状シール部材及び前記筒状シール部材のうち少なくとも一方には、前記軸方向に対して傾斜することにより、前記筒状シール部材が前記軸方向の外側に移動した際に、前記第2シール部を前記センターロッドの外周面に押し付けるような変形を当該筒状シール部材に生じさせるガイド部が形成されていることを特徴とするダイアフラムポンプ。 - 前記筒状シール部材には、外周面に前記第1シール部を有するとともに先端に前記第2シール部を有するリップ部が形成され、
前記リップ部は、基端部において前記センターロッドの外周面から離隔するとともに、先端側に向かうにしたがって前記センターロッドの外周面に近づくとともに肉薄になるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のダイアフラムポンプ。 - 前記環状シール部材に前記ガイド部が形成されるとともに、前記第1シール部が前記筒状シール部材における前記ガイド部として機能することを特徴とする請求項2に記載のダイアフラムポンプ。
- 前記内側室が前記送流体室であることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載のダイアフラムポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021110166A JP2023007123A (ja) | 2021-07-01 | 2021-07-01 | ダイアフラムポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021110166A JP2023007123A (ja) | 2021-07-01 | 2021-07-01 | ダイアフラムポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023007123A true JP2023007123A (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=85108141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021110166A Pending JP2023007123A (ja) | 2021-07-01 | 2021-07-01 | ダイアフラムポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023007123A (ja) |
-
2021
- 2021-07-01 JP JP2021110166A patent/JP2023007123A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102057168B (zh) | 流体伺服及应用 | |
JP6873991B2 (ja) | 流体制御弁、及び流体制御弁製造方法 | |
JP6388884B2 (ja) | 2点シール及びフローティングダイアフラムウェブを備えたダイアフラムバルブ | |
JP5774384B2 (ja) | 低温の液体のためのピストンポンプ | |
US7637508B2 (en) | High temperature high pressure seal stack having run-dry capability | |
EP3809026B1 (en) | Ball non-return valve and diaphragm pump | |
JP4962044B2 (ja) | ピストンポンプ | |
KR102307310B1 (ko) | 체크밸브 및 체크밸브를 구비한 액체공급장치 | |
JP2023007123A (ja) | ダイアフラムポンプ | |
JPWO2020021911A1 (ja) | バルブ装置、流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
JP5006619B2 (ja) | 電磁弁及び空気圧式マッサージ装置 | |
KR20170127426A (ko) | 용적 펌프 | |
WO2017141780A1 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
JP2023083160A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
KR20080010408A (ko) | 댐퍼 | |
US20210222915A1 (en) | Linear compressor | |
JP6780820B2 (ja) | エアシリンダ | |
KR102454097B1 (ko) | 밸브용 액추에이터와 이것을 구비한 다이아프램 밸브 | |
JP6534842B2 (ja) | ダイアフラムバルブ、流体制御装置およびこれらを用いた半導体製造方法 | |
US11773985B2 (en) | Valve device | |
JP7128864B2 (ja) | ボール逆止弁及びダイヤフラムポンプ | |
US11913553B2 (en) | Spool-type switching valve | |
US20240141889A1 (en) | Seal structure for reciprocating pump with cylindrical collar portion | |
US20230400102A1 (en) | Fluid control device | |
JPWO2021039984A5 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20210813 |