JP2023003139A

JP2023003139A - Cylinder device

Info

Publication number: JP2023003139A
Application number: JP2021104132A
Authority: JP
Inventors: 英明横田; Hideaki Yokota
Original assignee: Kosmek KK
Current assignee: Kosmek KK
Priority date: 2021-06-23
Filing date: 2021-06-23
Publication date: 2023-01-11

Abstract

To provide a cylinder device having a valve mechanism of a simple configuration.SOLUTION: An output member (9) is movably inserted into a storage hole (4) of a housing (1). A support member (34) is movably inserted into a gap formed between the storage hole (4) and the output member (9) in a tightly sealed state, and the support member (34) forms a part of the housing (1). A valve mechanism (61) provided in the halfway of a flow passage (60) in the housing (1) closes and opens the flow passage (60). The valve mechanism (61) has a valve seat (65) formed on a peripheral wall of the storage hole (4) and a valve surface (66) formed on the support member (34).SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

この発明は、弁機構を備えるシリンダ装置に関し、より詳しくは、倍力機構付きシリンダ装置において、押圧対象物をクランプしたことなどを検出する弁機構を備えるシリンダ装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder device having a valve mechanism, and more particularly to a cylinder device having a valve mechanism for detecting clamping of an object to be pushed in a cylinder device with a booster mechanism.

この種のシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・特開２０１４－２４０１１７号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング内にシリンダ孔が形成され、そのシリンダ孔にピストンが移動可能に挿入される。圧縮空気源から圧縮空気が供給される流路が、ハウジング内に形成される。その流路の途中部であってハウジングの上端壁に弁機構が設けられ、その弁機構が流路を閉鎖および開放する。その弁機構の弁室が上記のシリンダ孔に連通される。その弁室に弁部材が保密状で移動可能に挿入され、弁部材の下端部がシリンダ孔内に突出している。その弁室の周壁に形成される弁座に、弁部材に形成される弁面が当接可能となっている。弁室の天井面と弁体の上面との間に閉弁バネが装着されている。上記のピストンが弁部材を閉弁バネの付勢力に抗して上方の所定位置へ移動させると、弁機構は開弁される。ピストンが弁部材から下方へ離間されると、閉弁バネの付勢力によって弁機構は閉弁される。 A conventional cylinder device of this type is described in Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-240117). The prior art is configured as follows.
A cylinder hole is formed in the housing, and a piston is movably inserted into the cylinder hole. A flow path is formed in the housing through which compressed air is supplied from a compressed air source. A valve mechanism is provided on the upper end wall of the housing in the middle of the flow path, and the valve mechanism closes and opens the flow path. A valve chamber of the valve mechanism communicates with the cylinder hole. A valve member is hermetically and movably inserted into the valve chamber, and the lower end of the valve member protrudes into the cylinder bore. A valve surface formed on the valve member can come into contact with a valve seat formed on the peripheral wall of the valve chamber. A valve closing spring is mounted between the ceiling surface of the valve chamber and the upper surface of the valve body. When the piston moves the valve member upward to a predetermined position against the urging force of the valve closing spring, the valve mechanism is opened. When the piston is moved downward from the valve member, the valve mechanism is closed by the biasing force of the valve closing spring.

特開２０１４－２４０１１７号公報JP 2014-240117 A

上記の従来技術は次の課題がある。
上記シリンダ装置では、ハウジング内に形成される弁室内に弁機構の弁部材をシリンダ孔内に突出させるように備える。その弁機構の構成を簡素にする点で課題があった。
本発明の目的は、簡素な構成の弁機構を備えるシリンダ装置を提供することにある。 The above prior art has the following problems.
In the above cylinder device, the valve member of the valve mechanism is provided in the valve chamber formed in the housing so as to protrude into the cylinder hole. There was a problem in simplifying the configuration of the valve mechanism.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cylinder device having a valve mechanism with a simple configuration.

上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１および図２に示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に形成されるシリンダ孔２が、前記ハウジング１の先端面３に開口される収容孔４に接続される。前記シリンダ孔２に進退用の第１ピストン５が移動可能に挿入される。前記第１ピストン５に連結される出力部材９が、前記収容孔４を通って前記ハウジング１の外部に突設される。前記出力部材９の外周面とシリンダ孔２の内周面との間に形成される隙間に倍力用の第２ピストン３３が保密状で移動可能に挿入される。ハウジング1内に、または、前記収容孔４の内周面と前記出力部材９の外周面との間に形成される隙間に支持部材３４が保密状で移動可能に挿入される。前記シリンダ孔２内に設けられる倍力機構４７が、前記第２ピストン３３に作用させた圧力流体の力を倍力変換して前記第１ピストン５、または、前記出力部材９に伝達する。前記倍力機構４７の一部を構成する係合部材４９が、前記支持部材３４に貫通される支持孔４８に移動可能に挿入される。その係合部材４９が、前記出力部材９の外周面および前記出力部材９に形成されるカム面５１に当接可能となると共に、前記第２ピストン３３に形成される押圧面５３に当接可能となっている。前記ハウジング１または前記支持部材３４に形成される流路６０に、圧力流体が供給される。前記流路６０の途中部に設けられる弁機構６１が、前記流路６０を閉鎖および開放する。その弁機構６１が、前記収容孔４の周壁に形成される弁座６５と、前記支持部材３４に形成される弁面６６とを有する。 In order to achieve the above objects, the present invention, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, has a cylinder device configured as follows.
A cylinder hole 2 formed in the housing 1 is connected to a receiving hole 4 opened in the front end surface 3 of the housing 1 . A first piston 5 for advancing and retreating is movably inserted into the cylinder hole 2 . An output member 9 connected to the first piston 5 protrudes outside the housing 1 through the receiving hole 4 . A second piston 33 for force boosting is movably inserted into a gap formed between the outer peripheral surface of the output member 9 and the inner peripheral surface of the cylinder hole 2 in a hermetically sealed manner. A support member 34 is hermetically and movably inserted into the housing 1 or into a gap formed between the inner peripheral surface of the accommodation hole 4 and the outer peripheral surface of the output member 9 . A booster mechanism 47 provided in the cylinder hole 2 converts the force of the pressure fluid acting on the second piston 33 into a booster and transmits it to the first piston 5 or the output member 9 . An engaging member 49 forming part of the force boosting mechanism 47 is movably inserted into a support hole 48 penetrating through the support member 34 . The engaging member 49 can contact the outer peripheral surface of the output member 9 and the cam surface 51 formed on the output member 9, and can contact the pressing surface 53 formed on the second piston 33. It has become. A pressure fluid is supplied to a channel 60 formed in the housing 1 or the support member 34 . A valve mechanism 61 provided in the middle of the channel 60 closes and opens the channel 60 . The valve mechanism 61 has a valve seat 65 formed on the peripheral wall of the accommodation hole 4 and a valve surface 66 formed on the support member 34 .

本発明は、次の効果を奏する。
上記のシリンダ装置では、弁機構の弁部材を、倍力機構の係合部材を支持する支持部材によって構成することにより、弁機構を簡素に構成することができる。 The present invention has the following effects.
In the cylinder device described above, the valve mechanism can be simply constructed by forming the valve member of the valve mechanism by the supporting member that supports the engaging member of the booster mechanism.

上記発明に次の構成を追加することができる。
前記カム面５１が前記シリンダ孔２の軸心Ｃに対して傾斜するように形成される。前記押圧面５３が前記軸心Ｃに対して傾斜するように形成される。前記カム面５１が前記軸心Ｃに対してなす角度が、前記押圧面５３が前記軸心Ｃに対してなす角度よりも大きくなるように構成される。
この場合、第１ピストンに連結された出力部材が押圧対象物を押すときに、第２ピストンが係合部材を押す力のうちの前記軸心方向の成分は、出力部材が押圧対象物を押す力の反力によってカム面が係合部材を押す力のうちの前記軸心方向の成分よりも小さくなる。このため、出力部材が押圧対象物を押すと、第２ピストンが係合ボールを先端側に向けて押す力に抗して、第１ピストンが係合ボールを介して支持部材を基端側に向けて押し動かす。このとき、弁機構が閉弁または開弁される。また、出力部材が押圧対象物を強力に押していないときには、シリンダ孔内の圧力流体の圧力に応じた押圧力や第２ピストンが係合部材を介して支持部材が先端側に向けて押す。このとき、弁機構が開弁また閉弁される。その結果、出力部材によって押圧対象物が押圧されたことが弁機構によって適時に検知される。 The following configuration can be added to the above invention.
The cam surface 51 is formed so as to be inclined with respect to the axis C of the cylinder hole 2 . The pressing surface 53 is formed to be inclined with respect to the axis C. As shown in FIG. The angle formed by the cam surface 51 with respect to the axis C is configured to be larger than the angle formed with the axis C by the pressing surface 53 .
In this case, when the output member connected to the first piston pushes the object to be pushed, the axial component of the force of the second piston pushing the engaging member is such that the output member pushes the object to be pushed. Due to the reaction force of the force, the cam surface becomes smaller than the axial component of the force pushing the engaging member. Therefore, when the output member pushes the object to be pressed, the first piston pushes the support member toward the proximal side via the engaging ball against the force of the second piston pushing the engaging ball toward the distal side. push towards. At this time, the valve mechanism is closed or opened. Further, when the output member does not strongly push the object to be pushed, the pushing force corresponding to the pressure of the pressure fluid in the cylinder hole or the second piston pushes the support member toward the distal end side via the engaging member. At this time, the valve mechanism is opened and closed. As a result, the valve mechanism timely detects that the pressing object has been pressed by the output member.

図１は、本発明の一実施形態を示し、シリンダ装置のリリース状態を示す断面視の模式図である。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, and is a schematic cross-sectional view showing a released state of a cylinder device. 図２は、上記シリンダ装置の動作説明図であって、上記図１に類似する断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view similar to FIG. 1 for explaining the operation of the cylinder device.

以下、本発明の実施形態を図１および図２によって説明する。
上記の倍力機構付きシリンダ装置のハウジング１が、複数のボルト（図示せず）によって、固定台としてのテーブルＴに固定されている。そのハウジング１が上端壁（先端壁）１ａと下端壁（基端壁）１ｂと胴部１ｃとを有する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.
A housing 1 of the cylinder device with a booster mechanism is fixed to a table T as a fixed base with a plurality of bolts (not shown). The housing 1 has an upper end wall (distal end wall) 1a, a lower end wall (proximal end wall) 1b, and a trunk portion 1c.

ハウジング１内にシリンダ孔２が上下方向に形成される。そのシリンダ孔２は、ハウジング１の上端面３に開口される収容孔４を介して当該ハウジング１の外部に連通される。そのシリンダ孔２に進退用の第１ピストン５が上下方向（シリンダ孔の軸心Ｃ方向）に移動可能に挿入される。その第１ピストン５は、下側から順に形成されるピストン本体６と、そのピストン本体６から上方へ一体的に突設されたピストンロッド７とを有する。その第１ピストン５に上下方向に筒孔８が貫通される。 A cylinder hole 2 is vertically formed in the housing 1 . The cylinder hole 2 communicates with the outside of the housing 1 through a receiving hole 4 opened in the upper end surface 3 of the housing 1 . A first piston 5 for advancing and retreating is inserted into the cylinder hole 2 so as to be movable in the vertical direction (in the direction of the axis C of the cylinder hole). The first piston 5 has a piston body 6 formed in order from the bottom and a piston rod 7 integrally projecting upward from the piston body 6 . A cylindrical hole 8 extends through the first piston 5 in the vertical direction.

上記の第１ピストン５の筒孔８に出力部材９のクランプロッド１０が上下方向に移動可能で保密状に挿入される。そのクランプロッド１０が収容孔４を通ってハウジング１の外部に突出している。そのクランプロッド１０の径寸法は、ピストンロッド７の径寸法と略同じに設定されている。そのクランプロッド１０の下部から挿入部１１が突設される。その挿入部１１はクランプロッド１０よりも小径に形成されている。その挿入部１１から下方に小径部１２と中径部１３と大径部１４とが順に形成される。また、第１ピストン５の筒孔８は、上側から順に案内孔１５と小径孔１６と中径孔１７と大径孔１８とを有している。その案内孔１５にクランプロッド１０の挿入部１１が挿入されている。筒孔８の小径孔１６、中径孔１７、大径孔１８にそれぞれ第１ピストン５の小径部１２、中径部１３、大径部１４が挿入される。挿入部１１の外周壁に装着溝が周方向に形成され、その装着溝に封止部材としての０リング１９が装着されている。また、案内孔１５と小径孔１６との間に形成される段差部２０と、クランプロッド１０の挿入部１１の下面との間に圧縮バネ（付勢手段）２１が装着されている。その圧縮バネ２１がピストンロッド７に対してクランプロッド１０を上方に付勢する。また、出力部材９の下端面がハウジング１の下端壁１ｂに当接可能となっている。 A clamp rod 10 of the output member 9 is inserted into the cylindrical hole 8 of the first piston 5 so as to be vertically movable and hermetically sealed. The clamp rod 10 protrudes outside the housing 1 through the accommodation hole 4 . The diameter dimension of the clamp rod 10 is set to be substantially the same as the diameter dimension of the piston rod 7 . An insertion portion 11 protrudes from the lower portion of the clamp rod 10 . The insertion portion 11 is formed to have a diameter smaller than that of the clamp rod 10 . A small-diameter portion 12, a medium-diameter portion 13, and a large-diameter portion 14 are formed in this order downward from the insertion portion 11. As shown in FIG. The cylindrical hole 8 of the first piston 5 has a guide hole 15, a small diameter hole 16, a medium diameter hole 17 and a large diameter hole 18 in order from the top. The insertion portion 11 of the clamp rod 10 is inserted into the guide hole 15 . The small-diameter portion 12, medium-diameter portion 13, and large-diameter portion 14 of the first piston 5 are inserted into the small-diameter hole 16, medium-diameter hole 17, and large-diameter hole 18 of the cylindrical hole 8, respectively. A mounting groove is formed in the outer peripheral wall of the insertion portion 11 in the circumferential direction, and an O-ring 19 as a sealing member is mounted in the mounting groove. A compression spring (biasing means) 21 is mounted between the stepped portion 20 formed between the guide hole 15 and the small diameter hole 16 and the lower surface of the insertion portion 11 of the clamp rod 10 . The compression spring 21 urges the clamp rod 10 upward against the piston rod 7 . Further, the lower end surface of the output member 9 can abut on the lower end wall 1b of the housing 1. As shown in FIG.

上記クランプロッド１０の下面に形成される係止部２２が、ピストンロッド７の上面に形成される係合部２３に所定の間隔をあけて当接可能に対面される。そのクランプロッド１０の先端部にリンクアーム２４の一端部が回動可能にピン連結される。ハウジング１の上端壁１ａから枢支部２５が突設され、その枢支部２５にリンク部材２６の基端部が回動可能にピン連結され、そのリンク部材２６の先端部がリンクアーム２４の長手方向の途中部に回動可能に連結される。リンクアーム２４の他端部に押しボルト２７が螺合され、ナット２８によって押しボルト２７がリンクアーム２４に固定される。その押しボルト２７の下面に押圧部２９が形成され、その押圧部２９がワークＷに当接可能となっている。 A locking portion 22 formed on the lower surface of the clamp rod 10 abuts against an engaging portion 23 formed on the upper surface of the piston rod 7 with a predetermined gap therebetween. One end of a link arm 24 is rotatably connected to the distal end of the clamp rod 10 by a pin. A pivotal support portion 25 projects from the upper end wall 1a of the housing 1. A base end portion of a link member 26 is rotatably connected to the pivotal support portion 25 by a pin. is rotatably connected to the middle part of the A push bolt 27 is screwed to the other end of the link arm 24 , and the push bolt 27 is fixed to the link arm 24 with a nut 28 . A pressing portion 29 is formed on the lower surface of the pressing bolt 27 so that the pressing portion 29 can come into contact with the workpiece W. As shown in FIG.

上記の第１ピストン５の外周面とシリンダ孔２の内周面との間に第２ピストン３３が保密状で上下方向に移動移動可能に挿入される。 A second piston 33 is hermetically inserted between the outer peripheral surface of the first piston 5 and the inner peripheral surface of the cylinder hole 2 so as to be vertically movable.

上記の収容孔４の内周面とクランプロッド１０の外周面との間に筒状の支持部材３４が保密状で上下方向に移動可能に挿入される。なお、その支持部材３４がハウジング１の一部を構成している。その支持部材３４は、上側から順に形成される大径部３５と小径部３６とを有する。その大径部３５が収容孔４の大径孔３７に保密状で上下方向へ移動可能に挿入され、小径部３６が収容孔４の小径孔３８に挿入される。大径部３５と小径部３６との間に段差部３９が形成されている。その支持部材３４の段差部３９が、収容孔４の大径孔３７と小径孔３８との間に形成される段差部４０に所定の隙間をあけて当接可能に対面されている。その小径部３６の高さ方向の途中部に溝が周方向に形成され、その溝に止め輪４１が装着される。その止め輪４１が収容孔４の周壁に対して所定の距離をあけて対面している。これにより、支持部材３４が所定の距離だけ移動可能となっていると共に、その止め輪４１によって支持部材３４が収容孔４から抜けることが防止されている。 A cylindrical support member 34 is hermetically inserted between the inner peripheral surface of the accommodation hole 4 and the outer peripheral surface of the clamp rod 10 so as to be vertically movable. In addition, the support member 34 constitutes a part of the housing 1 . The support member 34 has a large diameter portion 35 and a small diameter portion 36 formed in order from the upper side. The large-diameter portion 35 is hermetically inserted into the large-diameter hole 37 of the receiving hole 4 so as to be vertically movable, and the small-diameter portion 36 is inserted into the small-diameter hole 38 of the receiving hole 4 . A stepped portion 39 is formed between the large diameter portion 35 and the small diameter portion 36 . A stepped portion 39 of the support member 34 faces a stepped portion 40 formed between the large-diameter hole 37 and the small-diameter hole 38 of the housing hole 4 so as to be in contact with a predetermined gap. A groove is formed in the circumferential direction in the middle of the small diameter portion 36 in the height direction, and a retaining ring 41 is mounted in the groove. The retaining ring 41 faces the peripheral wall of the housing hole 4 with a predetermined distance therebetween. As a result, the support member 34 can be moved by a predetermined distance, and the retaining ring 41 prevents the support member 34 from coming out of the receiving hole 4 .

上記の第１ピストン５と第２ピストン３３と出力部材９とによってシリンダ孔２が上下に２つの室に区画される。第１ピストン５、第２ピストン３３、クランプロッド１０との下端壁１ｂとの間にロック室４２が形成されると共に、第１ピストン５、第２ピストン３３、出力部材９と、ハウジング１の上端壁１ａとの間にリリース室４３が形成される。そのロック室４２に圧縮空気（圧力流体）を供給および排出する給排路４４がハウジング１の上端壁１ａおよび胴部１ｃに形成されると共に、リリース室４３に圧縮空気（圧力流体）を供給および排出する別の給排路４５がハウジング１の上端壁１ａに形成される。また、ロック室４２に保持バネ４６が装着され、その保持バネ４６が第２ピストン３３を上方へ付勢している。 The first piston 5, the second piston 33, and the output member 9 divide the cylinder hole 2 into two chambers vertically. A lock chamber 42 is formed between the first piston 5, the second piston 33, the clamp rod 10 and the lower end wall 1b. A release chamber 43 is formed between the wall 1a. A supply and discharge passage 44 for supplying and discharging compressed air (pressure fluid) to and from the lock chamber 42 is formed in the upper end wall 1a and the body portion 1c of the housing 1, and supplies and discharges compressed air (pressure fluid) to the release chamber 43. Another supply/discharge passage 45 for discharging is formed in the upper end wall 1a of the housing 1. As shown in FIG. A holding spring 46 is attached to the lock chamber 42, and the holding spring 46 biases the second piston 33 upward.

上記リリース室４３内に倍力機構４７が配置される。その倍力機構４７は、ロック室４２の圧縮空気が第２ピストン３３を上方（リリース室４３側）へ押す力を倍力変換して第１ピストン５に伝達するように構成される。 A booster mechanism 47 is arranged in the release chamber 43 . The boost mechanism 47 is configured to boost the force of the compressed air in the lock chamber 42 pushing the second piston 33 upward (toward the release chamber 43 side) and transmit the force to the first piston 5 .

上記倍力機構４７は、次のように構成される。
上記の支持部材３４の筒壁の下部に複数の支持孔４８が周方向に所定の間隔をあけて半径方向へ貫通される。その支持孔４８に係合ボール（係合部材）４９が半径方向に移動可能に挿入される。 The booster mechanism 47 is configured as follows.
A plurality of support holes 48 are radially penetrated through the lower portion of the cylindrical wall of the support member 34 at predetermined intervals in the circumferential direction. An engagement ball (engagement member) 49 is inserted into the support hole 48 so as to be radially movable.

上記の係合ボール４９に対応させるようにピストンロッド７の外周部にカム溝５０が形成される。そのカム溝５０の底壁に形成されるカム面５１が、下方へ向かうにつれて軸心に近づくように形成されている。そのカム面５１に係合ボール４９が当接可能になっている。また、第２ピストン３３の筒孔５２の上半部分に押圧面５３が下方へ向かうにつれて軸心に近づくように形成される。その押圧面５３に係合ボール４９が当接可能になっている。 A cam groove 50 is formed in the outer peripheral portion of the piston rod 7 so as to correspond to the engaging ball 49 described above. A cam surface 51 formed on the bottom wall of the cam groove 50 is formed so as to approach the axis as it goes downward. The engaging ball 49 can come into contact with the cam surface 51 . A pressing surface 53 is formed in the upper half portion of the cylindrical hole 52 of the second piston 33 so as to approach the axial center as it goes downward. The engaging ball 49 can come into contact with the pressing surface 53 .

上記の押圧面５３の上側で筒孔５２に押部５４が下方へ向かうにつれて軸心に近づくように形成される。これにより、倍力機構４７の倍力駆動の開始時に、押部５４が係合ボール４９を半径方向の内方へ押し出す。また、シリンダ装置のロック駆動の開始時から倍力機構４７の倍力駆動の開始直前までのロック駆動工程で、ピストンロッド７の外周面に形成されるガイド面５５へ向けて押部５４が係合ボール４９を半径方向の内方へ押す。なお、押部５４が係合ボール４９を半径方向の内方へ押す力は、押圧面５３が係合ボール４９を半径方向の内方へ押す力よりも小さくなるように設定されている。 A pressing portion 54 is formed in the cylindrical hole 52 above the pressing surface 53 so as to approach the axis as it goes downward. As a result, the pushing portion 54 pushes the engagement ball 49 radially inward when the force boosting drive of the force boosting mechanism 47 is started. Further, in the lock drive process from the start of the lock drive of the cylinder device to immediately before the start of the boost drive of the booster mechanism 47, the pressing portion 54 is engaged toward the guide surface 55 formed on the outer peripheral surface of the piston rod 7. The joining ball 49 is pushed radially inward. The force by which the pressing portion 54 presses the engagement ball 49 radially inward is set to be smaller than the force by which the pressing surface 53 presses the engagement ball 49 radially inward.

上記クランプ装置が倍力駆動を開始したことを検出する弁機構６１がハウジング１内に設けられ、その弁機構６１は、次のように構成される。 A valve mechanism 61 is provided in the housing 1 for detecting that the clamp device has started boosting drive, and the valve mechanism 61 is constructed as follows.

上記ハウジング１内に圧縮空気の流路６０が形成される。その流路６０の途中部に弁機構６１が設けられ、その弁機構６１が流路６０を閉鎖および開放する。そのハウジング１のフランジ部１ｄの裏面に流路６０の一部としての（図示しない）供給ポートが開口される。その供給ポートには、（図示しない）検出用圧縮空気の供給源からの通路が接続され、その通路の途中部に（図示しない）圧力スイッチ（または、圧力センサ）が設けられている。その流路６０の一部を構成する入口路６３の一端部が供給ポートに連通され、入口路６３の他端部が収容孔４の小径孔３８の内周面に開口される。その収容孔４の大径孔３７の内周面と支持部材３４の小径部３６の外周面と支持部材３４の段差部３９と収容孔４の段差部４０と収容孔４の小径孔３８の内周面とによって弁機構６１の弁室６４が区画形成される。その弁機構６１が、収容孔４の段差部４０に形成される弁座６５と支持部材３４の段差部３９に形成される弁面６６とを有する。流路６０の一部である出口路６７の一端部が収容孔４の大径孔３７の内周面に開口される。その出口路６７の他端部が、ハウジング１内に形成される（図示しない）は排出ポートから外部に排出される。 A compressed air flow path 60 is formed in the housing 1 . A valve mechanism 61 is provided in the middle of the flow path 60 , and the valve mechanism 61 closes and opens the flow path 60 . A supply port (not shown) as a part of the flow path 60 is opened on the rear surface of the flange portion 1d of the housing 1 . The supply port is connected to a passage from a supply source of compressed air for detection (not shown), and a pressure switch (or pressure sensor) (not shown) is provided in the middle of the passage. One end of an inlet channel 63 forming part of the flow channel 60 communicates with the supply port, and the other end of the inlet channel 63 opens to the inner peripheral surface of the small-diameter hole 38 of the accommodation hole 4 . The inner peripheral surface of the large-diameter hole 37 of the accommodation hole 4 , the outer peripheral surface of the small-diameter portion 36 of the support member 34 , the stepped portion 39 of the support member 34 , the stepped portion 40 of the accommodation hole 4 , and the inside of the small-diameter hole 38 of the accommodation hole 4 . A valve chamber 64 of the valve mechanism 61 is defined by the peripheral surface. The valve mechanism 61 has a valve seat 65 formed on the stepped portion 40 of the accommodation hole 4 and a valve surface 66 formed on the stepped portion 39 of the support member 34 . One end of an outlet channel 67 that is a part of the channel 60 is opened to the inner peripheral surface of the large diameter hole 37 of the accommodation hole 4 . The other end of the outlet passage 67 is discharged to the outside from a discharge port (not shown) formed in the housing 1 .

上記実施形態に示すシリンダ装置は、図１から図２に示すように、次のように作動する。
図１のリリース状態では、ロック室４２から圧縮空気が排出されると共に、リリース室４３に圧縮空気が供給されている。これにより、リリース室４３の圧縮空気が第１ピストン５および第２ピストン３３を下限位置に下降させている。このとき、リリース室４３の圧縮空気が支持部材３４を上方に押し上げて、止め輪４１が収容孔４の周壁に受け止められる。このため、支持部材３４が上限位置に移動されている。これにより、支持部材３４の弁面６６が収容孔４の周壁の弁座６５から上方へ離間され、弁機構６１が開弁されている。
上記リリース状態でクランプロッド１０の上方にワークＷが搬入され、そのワークＷがテーブルＴ上に載置される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the cylinder device shown in the above embodiment operates as follows.
In the released state of FIG. 1, compressed air is discharged from the lock chamber 42 and compressed air is supplied to the release chamber 43 . As a result, the compressed air in the release chamber 43 lowers the first piston 5 and the second piston 33 to their lower limit positions. At this time, the compressed air in the release chamber 43 pushes the support member 34 upward, and the retaining ring 41 is received by the peripheral wall of the receiving hole 4 . Therefore, the support member 34 is moved to the upper limit position. As a result, the valve surface 66 of the support member 34 is separated upward from the valve seat 65 on the peripheral wall of the accommodation hole 4, and the valve mechanism 61 is opened.
In the released state, the work W is loaded above the clamp rod 10 and placed on the table T. As shown in FIG.

上記シリンダ装置を図１のリリース状態から図２のロック状態にロック駆動するときに、リリース室４３から圧縮空気が排出されると共に、ロック室４２に圧縮空気が供給される。すると、リリース室４３の圧縮エアの圧力が低下して、支持部材３４が自重などにより下降しようとするが、支持部材３４の封止部材によるシール抵抗によって支持部材３４が上限位置に維持される。または、ロック室４２の圧縮空気の圧力および保持バネ４６の付勢力が第２ピストン３３をわずかな機械的クリアランス分だけ上方へ移動させ、その第２ピストン３３が係合ボール４９を介して支持部材３４を上方に押して上限位置に維持する。その結果、弁機構６１もまた開弁状態が維持される。このとき、その係合ボール４９がピストンロッド７のガイド面５５に受け止めれており、半径方向の内方への移動が阻止されると共に、第２ピストン３３の上記機械的クリアランスを超える上昇が阻止されている。次いで、第１ピストン５は、第２ピストン３３を下方位置に置き残して低負荷で上昇していく。引き続いて、第１ピストン５が圧縮バネ２１を介してクランプロッド１０を上昇させていく。これにより、クランプロッド１０の押圧部２９がワークＷの上面に当接される。その結果、出力部材９がリンクアーム２４を介してワークＷに受け止められるが、第１ピストン５は圧縮バネ２１の付勢力に抗して上昇されていく。 When the cylinder device is driven to lock from the released state of FIG. 1 to the locked state of FIG. 2, compressed air is discharged from the release chamber 43 and supplied to the lock chamber 42 . As a result, the pressure of the compressed air in the release chamber 43 decreases and the support member 34 tends to descend due to its own weight, but the support member 34 is maintained at the upper limit position due to the sealing resistance of the sealing member of the support member 34 . Alternatively, the pressure of the compressed air in the lock chamber 42 and the biasing force of the retaining spring 46 move the second piston 33 upward by a slight mechanical clearance, and the second piston 33 moves upward through the engagement ball 49 to the support member. 34 is pushed upward to maintain the upper limit position. As a result, the valve mechanism 61 is also kept open. At this time, the engagement ball 49 is received by the guide surface 55 of the piston rod 7, preventing radial inward movement and preventing the second piston 33 from rising beyond the mechanical clearance. It is The first piston 5 then moves upward with a low load, leaving the second piston 33 in the lower position. Subsequently, the first piston 5 raises the clamp rod 10 via the compression spring 21 . As a result, the pressing portion 29 of the clamp rod 10 is brought into contact with the upper surface of the workpiece W. As shown in FIG. As a result, the output member 9 is received by the workpiece W via the link arm 24 , but the first piston 5 is raised against the biasing force of the compression spring 21 .

引き続いて、第１ピストン５が上方に移動されて、第１ピストン５のカム面５１が係合ボール４９の高さ位置まで上昇する。すると、係合ボール４９が半径方向の内方へ移動することが許容される。次いで、ロック室４２の圧縮空気の圧力に相当する押圧力および保持バネ４６の付勢力の合力が、第２ピストン３３の押部５４を介して係合ボール４９を半径方向の内方へ移動させ、係合ボール４９がカム面５１を押圧する。これにより、倍力機構６１が倍力駆動を開始した状態となる。引き続いて、第２ピストン３３が、押圧面５３と係合ボール４９とカム面５１とを介して第１ピストン５を圧縮バネ２１の付勢力に抗して上方へ移動させる（ピストンロッド７の係合部２３がクランプロッド１０の係止部２２に当接されていない状態がロック直前状態である）。すると、図２に示すように、ピストンロッド７の係合部２３がクランプロッド１０の係止部２２に当接される（第１ピストン５と出力部材９とが連結される）。これにより、第２ピストン３３が第１ピストン５と係合ボール４９と出力部材９とリンクアーム２４とを介してワークＷを上方からテーブルＷに向けて強力に押圧する。その結果、シリンダ装置がリリース状態からロック状態に切り換えられる。 Subsequently, the first piston 5 is moved upward, and the cam surface 51 of the first piston 5 rises to the height position of the engagement ball 49 . Then, the engaging ball 49 is allowed to move radially inward. Then, the resultant force of the pressing force corresponding to the pressure of the compressed air in the lock chamber 42 and the biasing force of the retaining spring 46 moves the engaging ball 49 radially inward via the pressing portion 54 of the second piston 33. , the engaging ball 49 presses the cam surface 51 . As a result, the booster mechanism 61 starts boosting drive. Subsequently, the second piston 33 moves the first piston 5 upward against the biasing force of the compression spring 21 via the pressing surface 53, the engaging ball 49, and the cam surface 51 (engagement of the piston rod 7). The state in which the joining portion 23 is not in contact with the locking portion 22 of the clamp rod 10 is the state immediately before locking). Then, as shown in FIG. 2, the engaging portion 23 of the piston rod 7 is brought into contact with the engaging portion 22 of the clamp rod 10 (the first piston 5 and the output member 9 are connected). As a result, the second piston 33 strongly presses the workpiece W from above toward the table W via the first piston 5, the engaging ball 49, the output member 9, and the link arm 24. As shown in FIG. As a result, the cylinder device is switched from the released state to the locked state.

ここで、押圧面５３がシリンダ孔２の軸心Ｃに対して傾斜する角度βは、カム面５１がシリンダ孔２の軸心Ｃに対して傾斜する角度αに比べて小さくなるように設定されている（β＜α）。このため、シリンダ装置がリリース状態からロック状態に切り換えられるときに、第２ピストン３３が係合ボール４９を押圧する力のうちの上向き（シリンダ孔２の軸心Ｃ方向）成分は、リンクアーム２４がワークＷを押圧する力の反力が第１ピストン５のカム面５１等を介して係合ボール４９を押圧する力のうちの下向き成分に比べて小さくなる。これにより、シリンダ装置がロック直前状態からロック状態に切り換えられるとき（ピストンロッド７の係合部２３がクランプロッド１０の係止部２２に当接されたとき）に、第１ピストン５が係合ボール４９を介して支持部材３４を下限位置へ移動させる。その支持部材３４の弁面６６が収容孔８の弁座６５に受け止められて、弁機構６１が閉弁される。このため、入口路６３の圧縮空気が弁室６４および弁面６６と弁座６５との開口隙間と出口路６７を通ってハウジング１の外部へ排出される。これにより、入口路６３の圧縮空気の圧力が上昇され、その圧力上昇が（図示しない）圧力スイッチによって検出される。その結果、出力部材９がリンクアーム２４を介してワークＷを押圧したことが弁機構６１によって検出される。 Here, the angle β at which the pressing surface 53 is inclined with respect to the axis C of the cylinder hole 2 is set to be smaller than the angle α at which the cam surface 51 is inclined with respect to the axis C of the cylinder hole 2 . (β < α). Therefore, when the cylinder device is switched from the released state to the locked state, the upward component (in the direction of the axis C of the cylinder hole 2 ) of the force with which the second piston 33 presses the engagement ball 49 is The reaction force of the force that presses the workpiece W is smaller than the downward component of the force that presses the engagement ball 49 via the cam surface 51 of the first piston 5 or the like. As a result, when the cylinder device is switched from the state immediately before locking to the locked state (when the engaging portion 23 of the piston rod 7 comes into contact with the locking portion 22 of the clamp rod 10), the first piston 5 is engaged. The support member 34 is moved to the lower limit position via the ball 49 . The valve surface 66 of the support member 34 is received by the valve seat 65 of the accommodation hole 8, and the valve mechanism 61 is closed. Therefore, the compressed air in the inlet passage 63 is discharged to the outside of the housing 1 through the valve chamber 64 , the opening gap between the valve surface 66 and the valve seat 65 , and the outlet passage 67 . This causes the pressure of the compressed air in the inlet passage 63 to rise, and the pressure rise is detected by a pressure switch (not shown). As a result, the valve mechanism 61 detects that the output member 9 presses the workpiece W via the link arm 24 .

上記シリンダ装置を図２のロック状態から図１のリリース状態へ切り換えるときには、その図２のロック状態で、ロック室４２から圧縮空気が排出されると共に、リリース室４３に圧縮空気が供給される。すると、リリース室４３の圧縮空気が第２ピストン３３を下降させていき、係合ボール４９の半径方向の外方への移動が許容される。このとき、係合ボール４９がカム面５１から離間可能となるので、カム面５１が係合ボール４９を介して支持部材３４を下方へ押動させるのを止める。すると、リリース室４３の圧縮空気が支持部材３４を上方へ移動させる。このため、弁機構６１の弁面６６が弁座６５から離間され、弁機構６１が開弁される。従って、入口路６３の圧縮空気が弁室６４および弁面６６と弁座６５との開口隙間と出口路６７を通ってハウジング１の外部へ排出される。次いで、リリース室４３の圧縮空気が第１ピストン５を下降させ、その第２ピストン３３のカム面５１が係合ボール４９を半径方向の外方へ押動させていく。ついで、ピストンロッド７のガイド面５５が係合ボール４９に接触して、ピストンロッド７のガイド面５５が係合ボール４９を半径方向の内方への移動を阻止する。引き続いて、第２ピストン３３が下端壁１ｂによって下方から受け止められる。その後、上下方向への移動が係合ボール４９とガイド面５５によって阻止された第２ピストン３３に対して第１ピストン５がさらに下降される。すると、第１ピストン５が出力部材９の大径部１４を押し下げていく。すると、第１ピストン５が出力部材９の大径部１４を介してハウジング１の下端壁１ｂに受け止められる。これにより、シリンダ装置がロック状態からリリース状態に切り換えられる。 When switching the cylinder device from the locked state of FIG. 2 to the released state of FIG. 1, compressed air is discharged from the lock chamber 42 and compressed air is supplied to the release chamber 43 in the locked state of FIG. Then, the compressed air in the release chamber 43 lowers the second piston 33, allowing the engagement ball 49 to move radially outward. At this time, since the engaging ball 49 can be separated from the cam surface 51 , the cam surface 51 stops pushing the support member 34 downward via the engaging ball 49 . Then, the compressed air in the release chamber 43 moves the support member 34 upward. Therefore, the valve surface 66 of the valve mechanism 61 is separated from the valve seat 65, and the valve mechanism 61 is opened. Therefore, the compressed air in the inlet passage 63 is discharged to the outside of the housing 1 through the valve chamber 64 , the opening gap between the valve surface 66 and the valve seat 65 , and the outlet passage 67 . Next, the compressed air in the release chamber 43 lowers the first piston 5, and the cam surface 51 of the second piston 33 pushes the engagement ball 49 radially outward. Then, the guide surface 55 of the piston rod 7 comes into contact with the engagement ball 49, and the guide surface 55 of the piston rod 7 prevents the engagement ball 49 from moving radially inward. Subsequently, the second piston 33 is received from below by the lower end wall 1b. After that, the first piston 5 is further lowered with respect to the second piston 33 whose vertical movement is blocked by the engagement ball 49 and the guide surface 55 . Then, the first piston 5 pushes down the large diameter portion 14 of the output member 9 . Then, the first piston 5 is received by the lower end wall 1 b of the housing 1 via the large diameter portion 14 of the output member 9 . Thereby, the cylinder device is switched from the locked state to the released state.

上記の実施形態は次の長所を奏する。
上記の本発明のシリンダ装置では、倍力機構４７の係合ボール４９を支持する支持部材３４を弁機構６１の弁部材として構成することにより、上記の従来技術のシリンダ装置のような弁部材を別途備える必要がない。従って、シリンダ装置を簡素に構成できる。 The above embodiment has the following advantages.
In the above-described cylinder device of the present invention, the support member 34 for supporting the engagement ball 49 of the booster mechanism 47 is configured as a valve member of the valve mechanism 61, so that the valve member like the above-described prior art cylinder device can be used. No need to prepare separately. Therefore, the cylinder device can be configured simply.

また、前述した従来のシリンダ装置に備えられる弁機構は、ピストンが所定位置に移動されたときに、その第２ピストンによって弁機構の弁部材が押し上げられて開弁される。つまり、出力部材がワークを押圧したか否かに関係なく、ピストンの作動を検出したことにより、倍力機構が作動したものとして、その検知結果を基に出力部材がワークを押圧したものと推測している。
これに対して、上記の実施形態のシリンダ装置に備えられる弁機構６１は、リリース状態からロック直前状態まで開弁状態が維持されており、出力部材９を介してリンクアーム２４がワークを強力に押圧したロック状態となったときに閉弁される。このため、倍力機構４７が作動した後、シリンダ装置がワークＷを押圧したことが弁機構６１によって検知される。また、倍力機構４７が作動したときに、その倍力機構４７の係合ボール４９を支持する支持部材３４がわずかにハウジング１内に移動する。この支持部材３４の移動が作業者によってハウジング１の外部から目視確認されることにより、作業者は、倍力機構が作動したことがわかる。これにより、本実施形態のシリンダ装置では、従来のシリンダ装置のような推測ではなく、リンクアーム２４先端部がワークを押圧したことを実際にかつ適時に検知できると共に、装置内部における倍力機構の作動状態を作業者が目視でも確認できる。 Further, in the valve mechanism provided in the above-described conventional cylinder device, when the piston is moved to a predetermined position, the valve member of the valve mechanism is pushed up by the second piston to open the valve. In other words, irrespective of whether or not the output member pressed the workpiece, it is assumed that the force boosting mechanism was activated by detecting the operation of the piston, and based on the detection result, the output member pressed the workpiece. are doing.
On the other hand, the valve mechanism 61 provided in the cylinder device of the above embodiment is maintained in the open state from the released state to the state immediately before locking, and the link arm 24 strongly pushes the workpiece through the output member 9. The valve is closed when the pressed lock state is reached. Therefore, after the booster mechanism 47 is activated, the valve mechanism 61 detects that the cylinder device presses the workpiece W. As shown in FIG. Further, when the force boosting mechanism 47 is activated, the support member 34 supporting the engaging balls 49 of the force boosting mechanism 47 slightly moves into the housing 1 . When the operator visually confirms the movement of the support member 34 from the outside of the housing 1, the operator knows that the force boosting mechanism has been activated. As a result, in the cylinder device of the present embodiment, it is possible to actually and timely detect that the tip of the link arm 24 presses the workpiece, instead of guessing as in the conventional cylinder device, and the boosting mechanism inside the device can be detected. The operator can visually confirm the operating state.

上記の本実施形態において、ロック状態とは、ロック室４２の圧縮空気が第１ピストン５と出力部材９とリンクアーム２４とを介して押しボルト２７の押圧部２９がワークＷを押圧したときであって、第１ピストン５の係合部２３が出力部材９の係止部２２に当接している状態である。この状態では、ロック室４２内の圧縮空気の圧力に相当する押圧力が第１ピストン５と出力部材９等を介してワークＷに強力に作用している。また、ロック直前状態とは、倍力機構が作動しているが、第１ピストン５の係合部２３が出力部材９の係止部２２に当接されておらず、ロック室４２内の圧縮空気の圧力に相当する押圧力が第１ピストン５と圧縮バネ２１と出力部材９等を介してワークＷに作用するので十分な押圧力が作用していない状態をいう。 In this embodiment, the locked state is when the compressed air in the lock chamber 42 presses the workpiece W through the first piston 5, the output member 9 and the link arm 24 and the pressing portion 29 of the push bolt 27. The engagement portion 23 of the first piston 5 is in contact with the engagement portion 22 of the output member 9 . In this state, a pressing force corresponding to the pressure of the compressed air in the lock chamber 42 strongly acts on the workpiece W through the first piston 5, the output member 9, and the like. The state immediately before locking means that although the force boosting mechanism is operating, the engaging portion 23 of the first piston 5 is not in contact with the locking portion 22 of the output member 9, and the lock chamber 42 is compressed. A pressing force corresponding to the air pressure acts on the work W via the first piston 5, the compression spring 21, the output member 9, etc., so that a sufficient pressing force is not applied.

ここで、本実施形態において、第１ピストン５と出力部材９とが別々の部材によって構成されていることに代えて、第１ピストン５と出力部材９とが一体的に形成されていてもよい。この場合、第１ピストン５が出力部材９とリンクアーム２４等を介してワークＷを当接したときに、リリース状態からロック状態に切り換えられる。このとき、リンクアーム２４がワークＷを押圧した力の反力がカム面５１と係合ボール４９とを介して支持部材３４を下方へ移動させる。これにより、弁機構６１が閉弁される。 Here, in the present embodiment, the first piston 5 and the output member 9 may be integrally formed instead of being configured by separate members. . In this case, when the first piston 5 contacts the work W via the output member 9 and the link arm 24, the released state is switched to the locked state. At this time, the reaction force of the force with which the link arm 24 presses the workpiece W moves the support member 34 downward via the cam surface 51 and the engagement ball 49 . Thereby, the valve mechanism 61 is closed.

上記の各実施形態は次のように変更可能である。
上記シリンダ装置の設置姿勢は、例示した姿勢とは上下逆の姿勢であってもよく、また、横向き姿勢で、又は斜め向き姿勢で設置してもよい。
上記の圧力流体は、例示した圧縮空気に代えて、他の気体または圧油等の液体であってもよい。
前記ロック室４２に保持バネ４６を装着するのに代えてリリース室４３にリリースバネを装着する構成としてもよい。
また、複動式シリンダに代えて単動式のシリンダであってもよい。
上記の第１ピストン５は、ピストン本体６とピストンロッド７とによって構成されることに限らず、ピストンロッド７を省略してもよい。この場合、カム溝５０およびカム面５１がピストン本体６の外周面に形成される。
上記出力部材９は、第１ピストン５の筒孔８に上下方向に移動可能に挿入されることに代えて、第１ピストン５から一体的に連結されてもよい。この場合、圧縮バネ２１などが省略される。
上記の係合部材４９の設置数量は、３つ又は４つが好ましいが、２つ又は５つ以上であってもよい。上記の係合部材は、例示した係合ボール４９に限られず、例えば、円柱形のコロ等の他の形状の部材であってもよい。
上記の筒状の支持部材３４が、収容孔４の内周面と出力部材９の外周面との間に保密状で移動可能に挿入されることに代えて、円柱や角柱などの棒状の支持部材３４が、ハウジング１の上端壁１ａに形成される貫通孔に保密状で軸心方向に移動可能に挿入されるようにしてもよい。この場合、支持部材３４が大径部３５と小径部３６とを有し、その大径部３５と小径部３６とが貫通孔の大径孔と小径孔とに挿入される。
上記の係合部材４９が挿入される支持孔４８は、支持部材３４の周壁に水平方向へ貫通させることに代えて、斜め方向へ貫通させてもよい。
上記の付勢手段は、例示した圧縮バネ２１に代えて、ゴムや樹脂などの弾性部材や、ガススプリングであってもよい。
上記流路６０の入口路６３、出口路６７、または、その両方をハウジング１内に設けることに代えて、支持部材３４内に設けるようにしてもよく、また、ハウジング１内および支持部材３４に跨って設けるようにしてもよい。その出口路６７を、収容孔４の内周壁と支持部材３４の外周壁との間に形成される隙間によって構成するようにしてもよい。この場合、収容孔４の内周壁と支持部材３４の外周壁との間に設けられる（ハウジング１の上端面３に近い方の）封止部材を省略する。
上記の弁機構６１は、支持部材３４が上昇したときに開弁され、下降したときに閉弁されることに代えて、上昇したときに閉弁され、下降したときに開弁されるようにしてもよい。この場合、収容孔４は、上側から順に形成される小径孔と大径孔とを有する。また、支持部材３４は、上側から順に形成される小径部と大径部とを有する。その収容孔４の段差部４０に弁座６５が形成されると共に、支持部材３４の段差部３９に弁面６６が形成される。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。 Each of the above embodiments can be modified as follows.
The installation posture of the cylinder device may be a posture upside down from the posture shown as an example, or may be installed in a sideways posture or an oblique posture.
The above pressure fluid may be another gas or a liquid such as pressure oil instead of the compressed air illustrated.
Instead of mounting the holding spring 46 in the lock chamber 42, a configuration in which a release spring is mounted in the release chamber 43 may be employed.
Also, a single-acting cylinder may be used in place of the double-acting cylinder.
The above first piston 5 is not limited to being composed of the piston body 6 and the piston rod 7, and the piston rod 7 may be omitted. In this case, the cam groove 50 and the cam surface 51 are formed on the outer peripheral surface of the piston body 6 .
The output member 9 may be integrally connected to the first piston 5 instead of being vertically movably inserted into the cylindrical hole 8 of the first piston 5 . In this case, the compression spring 21 and the like are omitted.
The number of engaging members 49 to be installed is preferably three or four, but may be two or five or more. The engaging member described above is not limited to the engaging ball 49 illustrated as an example, and may be, for example, a member having another shape such as a cylindrical roller.
Instead of the cylindrical support member 34 being hermetically and movably inserted between the inner peripheral surface of the housing hole 4 and the outer peripheral surface of the output member 9, a rod-shaped support member such as a cylinder or a prism may be used. The member 34 may be hermetically inserted into a through hole formed in the upper end wall 1a of the housing 1 so as to be movable in the axial direction. In this case, the support member 34 has a large diameter portion 35 and a small diameter portion 36, and the large diameter portion 35 and the small diameter portion 36 are inserted into the large diameter hole and the small diameter hole of the through hole.
The support hole 48 into which the engaging member 49 is inserted may penetrate the peripheral wall of the support member 34 in an oblique direction instead of in a horizontal direction.
The urging means may be an elastic member such as rubber or resin, or a gas spring instead of the compression spring 21 illustrated.
Instead of providing the inlet channel 63 and the outlet channel 67 of the flow channel 60, or both, in the housing 1, they may be provided in the support member 34. You may make it straddle and provide. The exit path 67 may be constituted by a gap formed between the inner peripheral wall of the accommodation hole 4 and the outer peripheral wall of the support member 34 . In this case, the sealing member provided between the inner peripheral wall of the receiving hole 4 and the outer peripheral wall of the support member 34 (closer to the upper end surface 3 of the housing 1) is omitted.
Instead of opening the valve when the support member 34 rises and closing it when it falls, the valve mechanism 61 is designed to close when the support member 34 rises and open when it falls. may In this case, the accommodation hole 4 has a small diameter hole and a large diameter hole formed in order from the upper side. Further, the support member 34 has a small diameter portion and a large diameter portion formed in order from the upper side. A valve seat 65 is formed on the stepped portion 40 of the accommodation hole 4 and a valve surface 66 is formed on the stepped portion 39 of the support member 34 .
In addition, it is needless to say that various modifications can be made within the range that can be assumed by those skilled in the art.

１：ハウジング，３：上端面（先端面），４：収容孔，２：シリンダ孔，５：第１ピストン，９：出力部材，３３：第２ピストン，３４：支持部材，４８：支持孔，４９：係合部材，５１：カム面，５３：押圧面，６０：流路，６１：弁機構，６５：弁座，６６：弁面． 1: housing, 3: upper end surface (tip surface), 4: accommodation hole, 2: cylinder hole, 5: first piston, 9: output member, 33: second piston, 34: support member, 48: support hole, 49: engaging member, 51: cam surface, 53: pressing surface, 60: flow path, 61: valve mechanism, 65: valve seat, 66: valve surface.

Claims

a cylinder hole (2) formed in the housing (1) and connected to a receiving hole (4) opened in a front end surface (3) of the housing (1);
a forward/backward first piston (5) movably inserted into the cylinder hole (2);
an output member (9) connected to the first piston (5) and protruding outside the housing (1) through the receiving hole (4);
a second booster piston (33) hermetically and movably inserted into a gap formed between the outer peripheral surface of the output member (9) and the inner peripheral surface of the cylinder hole (2);
A support member that is hermetically and movably inserted into the housing (1) or into a gap formed between the inner peripheral surface of the accommodation hole (4) and the outer peripheral surface of the output member (9). (34) and
A force boosting mechanism (47) provided in the cylinder hole (2), which converts the force of the pressure fluid acting on the second piston (33) into force and transmits it to the first piston (5). a booster mechanism (47) to
An engaging member (49) that constitutes a part of the force boosting mechanism (47) and is movably inserted into a support hole (48) penetrating through the support member (34), the output member (9) and a cam surface (51) formed on the output member (9), and can abut on a pressing surface (53) formed on the second piston (33). and an engaging member (49) that is
a channel (60) supplied with pressure fluid and formed in the housing (1) or the support member (34);
A valve mechanism (61) provided in the middle of the flow path (60) for closing and opening the flow path (60), wherein a valve seat (65) is formed on the peripheral wall of the accommodation hole (4). ) and a valve surface (66) formed on the support member (34);
A cylinder device characterized by:

In the cylinder device of claim 1,
The cam surface (51) is formed to be inclined with respect to the axis (C) of the cylinder hole (2),
The pressing surface (53) is formed to be inclined with respect to the axis (C),
The angle formed by the cam surface (51) with respect to the axis (C) is larger than the angle formed by the pressing surface (53) with respect to the axis (C). A cylinder device characterized by: