JP2023000377A - Laminate, and copper-clad laminate - Google Patents

Laminate, and copper-clad laminate Download PDF

Info

Publication number
JP2023000377A
JP2023000377A JP2021101148A JP2021101148A JP2023000377A JP 2023000377 A JP2023000377 A JP 2023000377A JP 2021101148 A JP2021101148 A JP 2021101148A JP 2021101148 A JP2021101148 A JP 2021101148A JP 2023000377 A JP2023000377 A JP 2023000377A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
film
copper
coating film
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021101148A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
宏和 小野
Hirokazu Ono
一義 吉田
Kazuyoshi Yoshida
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority to JP2021101148A priority Critical patent/JP2023000377A/en
Publication of JP2023000377A publication Critical patent/JP2023000377A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

To provide a copper-clad laminate (CCL) that comprises polyether ether ketone (PEEK) resin as a substrate film, the copper-clad laminate (CCL) capable of reducing energy when heat-laminating the PEEK resin and a copper foil, having close adhesion between the PEEK resin and the copper foil, also having high dimensional stability, and exhibiting high solder heat resistance; and to provide a laminate containing a substrate film of a PEEK resin that can be used to make the copper-clad laminate (CCL), in order to obtain the copper-clad laminate (CCL).SOLUTION: A laminate has a coating layer containing powder composed of a high-melting-point adhesive resin, the coating layer laminated on at least one side of a substrate film composed of a polyether ether ketone (PEEK) resin.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、積層体、及び銅張積層板に関する。 The present invention relates to laminates and copper-clad laminates.

近年、スマートフォンに代表される通信機器における通信速度の高速化・大容量化に伴い、これら通信機器に使用される回路基板には、電気信号の低損失化や回路パターンのファインピッチ化、高精度で微細な回路形成が求められている。
回路基板の主材料である銅張積層板、いわゆる絶縁性樹脂からなる基材フィルムの表面に銅箔を積層させた銅張積層板(CCL)にも、上記回路基板と同様の性能が求められる。
各種の改良がなされた銅張積層板(CCL)が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
In recent years, with the increase in communication speed and capacity in communication devices such as smartphones, the circuit boards used in these communication devices are required to have lower electrical signal loss, finer pitch circuit patterns, and higher precision. Therefore, fine circuit formation is demanded.
A copper clad laminate (CCL), which is the main material of a circuit board, a copper clad laminate (CCL) in which a copper foil is laminated on the surface of a base film made of an insulating resin, is also required to have the same performance as the above circuit board. .
Various improved copper clad laminates (CCL) have been proposed (see, for example, Patent Document 1).

特開2011-14801号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-14801

ところで、次世代移動体通信システムの5Gなどの本格導入のため、低誘電材料の基板(基材フィルム)を用いた銅張積層板(CCL)の提供が望まれている。
特許文献1で記載のポリイミド樹脂の基板から、低誘電材料基板として、液晶ポリマー(LCP)樹脂や変性ポリイミド(MPI)樹脂の基板を用いた銅張積層板(CCL)が検討されている。
しかし、液晶ポリマー(LCP)樹脂は、造膜性が劣るためフィルム化が難しいという問題があり、変性ポリイミド(MPI)樹脂は、吸湿性が高く湿気で誘電率が変化するという問題がある。
By the way, for the full-scale introduction of next-generation mobile communication systems such as 5G, it is desired to provide a copper-clad laminate (CCL) using a low-dielectric substrate (base film).
Copper-clad laminates (CCLs) using substrates of liquid crystal polymer (LCP) resin or modified polyimide (MPI) resin have been studied as low dielectric material substrates from the polyimide resin substrate described in Patent Document 1.
However, the liquid crystal polymer (LCP) resin has a problem in that it is difficult to form a film because of its poor film-forming properties, and the modified polyimide (MPI) resin has a problem in that it is highly hygroscopic and its dielectric constant changes with moisture.

そこで、低誘電材料基板として、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂の基板(基材フィルム)を使用しようとする動きがある。
ところが、PEEK樹脂は融点が高いため、例えばPEEK樹脂の基材フィルムと銅箔とを張り合わせ熱ラミネートするのに、高エネルギーが必要となる。また、高温で加熱すると、PEEK樹脂が収縮するため、基材フィルムの寸法が変化し、銅張積層板(CCL)の寸法安定性は悪くなる。
一方、銅張積層板(CCL)の基材フィルムとして、融点が低すぎる材料を用いると、例えば、実装工程における電子部品が受ける熱ストレスの影響を評価するはんだ耐熱性試験を行った場合、はんだ耐熱性がない銅張積層板(CCL)となってしまう。
Therefore, there is a movement to use a polyetheretherketone (PEEK) resin substrate (base film) as a low dielectric material substrate.
However, since the PEEK resin has a high melting point, a high energy is required, for example, to laminate a PEEK resin base film and a copper foil together for thermal lamination. In addition, when heated at a high temperature, the PEEK resin shrinks, which changes the dimensions of the base film and deteriorates the dimensional stability of the copper clad laminate (CCL).
On the other hand, if a material with a too low melting point is used as the base film of the copper clad laminate (CCL), for example, when a soldering heat resistance test is conducted to evaluate the effects of thermal stress on electronic components during the mounting process, the solder The resulting copper clad laminate (CCL) lacks heat resistance.

そこで、本発明は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂を基材フィルムに用いた銅張積層板(CCL)において、PEEK樹脂と銅箔とを熱ラミネートする際のエネルギーを低減でき、かつPEEK樹脂と銅箔との密着性に優れ、さらに寸法安定性に優れ、かつ良好なはんだ耐熱性を示すことができる銅張積層板(CCL)を提供することを目的とする。また、該銅張積層板(CCL)を得るため、該銅張積層板(CCL)の作製に使用することができるPEEK樹脂の基材フィルムを含む積層体を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention provides a copper-clad laminate (CCL) using a polyetheretherketone (PEEK) resin as a base film, in which the energy required for thermal lamination of the PEEK resin and the copper foil can be reduced, and the PEEK resin is It is an object of the present invention to provide a copper clad laminate (CCL) which has excellent adhesion between a copper foil and a copper foil, has excellent dimensional stability, and exhibits good solder heat resistance. Another object of the present invention is to provide a laminate containing a PEEK resin base film that can be used to produce the copper clad laminate (CCL), in order to obtain the copper clad laminate (CCL).

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定の接着剤樹脂粉末を有する塗膜を、PEEK樹脂の基材フィルムと銅箔との間に配してなる銅張積層板(CCL)が、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that a coating film containing a specific adhesive resin powder is disposed between a PEEK resin base film and a copper foil. The inventors have found that a tension laminate (CCL) can solve the above problems, and have completed the present invention.

本発明は、以下の態様を包含するものである。
[1] ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗膜が積層されてなる積層体。
[2] 前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の融点が、180℃より高く345℃より低い、[1]に記載の積層体。
[3] 前記高融点の接着性樹脂が、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂、ポリアミドイミド(PAI)樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリスルホン(PSU)樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキル(PFA)樹脂、熱可塑性ポリイミド(TPI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、ポリアリレート樹脂(PAR)、及びこれらの樹脂から選ばれる少なくとも2種以上からなるアロイ樹脂の中から選ばれる、少なくとも1種である、[1]~[2]のいずれかに記載の積層体。
[4] 前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の平均粒径が、0.1~50μmである、[1]~[3]のいずれかに記載の積層体。
[5] 前記塗膜がさらに無機フィラーを含有する、[1]~[4]のいずれかに記載の積層体。
[6] 前記塗膜の厚みが1~50μmであり、前記基材フィルムの厚みが5~250μmである、[1]~[5]のいずれかに記載の積層体。
[7] 前記[1]~[6]のいずれかに記載の積層体の前記塗膜上に銅箔を積層してなる、銅張積層板(CCL)。
[8] 前記銅張積層板(CCL)における前記積層体の比誘電率が3.0以下で、誘電正接が0.003以下である、[7]に記載の銅張積層板(CCL)。
[9] 前記塗膜と接する前記銅箔の表面粗さ(Rz)が5μm以下である、[7]又は[8]に記載の銅張積層板(CCL)。
[10] ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗料を塗布し塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を乾燥させる工程と、
乾燥後の前記塗膜上に銅箔を配して熱圧着し、前記塗膜を介して前記基材フィルムと前記銅箔膜とを貼り合わせる工程と、を含む銅張積層板(CCL)の製造方法。
[11] 前記熱圧着する温度が、前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の融点より高く、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂の融点より低い、[10]に記載の銅張積層板(CCL)の製造方法。
The present invention includes the following aspects.
[1] A laminate in which a coating film containing a powder of a high-melting adhesive resin is laminated on at least one surface of a base film made of a polyetheretherketone (PEEK) resin.
[2] The laminate according to [1], wherein the powder made of the adhesive resin having a high melting point has a melting point higher than 180°C and lower than 345°C.
[3] The high-melting adhesive resin is polyetherketoneketone (PEKK) resin, polyamideimide (PAI) resin, polyphenylene sulfide (PPS) resin, polyethersulfone (PES) resin, polysulfone (PSU) resin, poly Tetrafluoroethylene (PTFE) resin, tetrafluoroethylene perfluoroalkyl (PFA) resin, thermoplastic polyimide (TPI) resin, polyetherimide (PEI) resin, polyarylate resin (PAR), and at least selected from these resins The laminate according to any one of [1] to [2], which is at least one kind selected from alloy resins consisting of two or more kinds.
[4] The laminate according to any one of [1] to [3], wherein the powder made of the adhesive resin having a high melting point has an average particle size of 0.1 to 50 μm.
[5] The laminate according to any one of [1] to [4], wherein the coating film further contains an inorganic filler.
[6] The laminate according to any one of [1] to [5], wherein the coating film has a thickness of 1 to 50 μm and the base film has a thickness of 5 to 250 μm.
[7] A copper clad laminate (CCL), which is obtained by laminating a copper foil on the coating film of the laminate according to any one of [1] to [6].
[8] The copper clad laminate (CCL) according to [7], wherein the copper clad laminate (CCL) has a dielectric constant of 3.0 or less and a dielectric loss tangent of 0.003 or less.
[9] The copper clad laminate (CCL) according to [7] or [8], wherein the copper foil in contact with the coating film has a surface roughness (Rz) of 5 µm or less.
[10] A step of applying a paint containing a powder made of a high-melting adhesive resin on at least one surface of a base film made of a polyetheretherketone (PEEK) resin to form a coating film;
a step of drying the coating film;
placing a copper foil on the dried coating film and thermocompression bonding the base film and the copper foil film together via the coating film; Production method.
[11] The copper-clad laminate (CCL) according to [10], wherein the thermocompression bonding temperature is higher than the melting point of the powder made of the high-melting adhesive resin and lower than the melting point of the polyetheretherketone (PEEK) resin. ) manufacturing method.

本発明によれば、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂を基材フィルムに用いた銅張積層板(CCL)において、PEEK樹脂と銅箔とを熱ラミネートする際のエネルギーを低減でき、かつPEEK樹脂と銅箔との密着性に優れ、さらに寸法安定性に優れ、かつ良好なはんだ耐熱性を示すことができる銅張積層板(CCL)を提供することができる。また、該銅張積層板(CCL)を得るため、該銅張積層板(CCL)の作製に使用することができるPEEK樹脂の基材フィルムを含む積層体を提供することができる。 According to the present invention, in a copper clad laminate (CCL) using a polyether ether ketone (PEEK) resin as a base film, the energy required for thermal lamination of the PEEK resin and the copper foil can be reduced, and the PEEK resin can be It is possible to provide a copper-clad laminate (CCL) that exhibits excellent adhesion between a copper foil and a copper foil, excellent dimensional stability, and excellent soldering heat resistance. Moreover, in order to obtain the copper clad laminate (CCL), it is possible to provide a laminate containing a base film of PEEK resin that can be used for producing the copper clad laminate (CCL).

本発明の銅張積層板の構成の一例を示す断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows an example of a structure of the copper clad laminated board of this invention. 本発明の銅張積層板の構成の他の例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another example of the configuration of the copper-clad laminate of the present invention;

以下、本発明の銅張積層板、及び該銅張積層板の作製に使用することができる積層体について詳細に説明するが、以下に記載する構成要件の説明は、本発明の一実施態様としての一例であり、これらの内容に特定されるものではない。
以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
本発明における融点とは、示差走査熱量計(DSC)にて、室温から10℃/minの昇温速度で昇温時に吸熱ピークのピークトップ温度のことをいう。なお、吸熱ピークが生じない場合、変曲点の温度を融点とする。
基材フィルム、塗膜、銅箔(銅箔膜ともいう)等の膜厚は、顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
Hereinafter, the copper-clad laminate of the present invention and the laminate that can be used to produce the copper-clad laminate will be described in detail. is an example and is not specific to these contents.
The following term definitions apply throughout the specification and claims.
The melting point in the present invention means the peak top temperature of the endothermic peak when the temperature is raised from room temperature at a rate of 10° C./min in a differential scanning calorimeter (DSC). When no endothermic peak occurs, the temperature at the inflection point is taken as the melting point.
The film thickness of the substrate film, coating film, copper foil (also referred to as copper foil film), etc. is the average value obtained by observing the cross section of the measurement target using a microscope, measuring the thickness at five locations, and averaging the thickness.

(積層体)
本発明の積層体は、銅張積層板(CCL)作製に用いることができる。
本発明の積層体は、PEEK樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗膜が積層されてなる。
また、本発明の積層体は、塗膜が基材フィルムの両側に積層されていてもよい。
(Laminate)
The laminate of the present invention can be used to make copper clad laminates (CCL).
The laminate of the present invention is obtained by laminating a coating film containing a powder made of a high-melting adhesive resin on at least one surface of a base film made of a PEEK resin.
In the laminate of the present invention, coating films may be laminated on both sides of the base film.

<基材フィルム>
本発明において、基材フィルムは、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)フィルムを使用する。
基材フィルムには、フィラーを含有させることができる。
<Base film>
In the present invention, a polyetheretherketone (PEEK) film is used as the base film.
The base film can contain a filler.

<<フィラー>>
基材フィルムは、基材の強度、絶縁性、耐熱性、熱膨張率(CTE)の調整等各種の機能を付与するため、フィラーを含むことができる。フィラーとしては、例えば、無機フィラー及び有機フィラーが挙げられ、これらを単独で又は組み合わせて使用することができる。
<<Filler>>
The base film can contain a filler in order to provide various functions such as strength, insulation, heat resistance, and adjustment of the coefficient of thermal expansion (CTE) of the base. Examples of fillers include inorganic fillers and organic fillers, which can be used alone or in combination.

無機フィラーとしては、例えば、マイカ、タルク、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、シリカ、珪藻土、酸化チタン、酸化亜鉛等が挙げられる。中でも、マイカ、タルク、窒化ホウ素、酸化マグネシウム、シリカの無機フィラーが好ましい。 Examples of inorganic fillers include mica, talc, boron nitride, magnesium oxide, silica, diatomaceous earth, titanium oxide, and zinc oxide. Among them, inorganic fillers such as mica, talc, boron nitride, magnesium oxide and silica are preferred.

有機フィラーとしては特に限定されないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリメチルメタクリレート等の有機粒子が挙げられる。 Examples of organic fillers include, but are not limited to, organic particles of polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polystyrene, polyamide, polycarbonate, polyimide, polyetherketone, polyetheretherketone, and polymethylmethacrylate.

無機フィラー及び有機フィラーは、上記のなかから1種を選択して単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。2種以上を組合せる場合は無機フィラーと有機フィラーの組合せであってもよい。 One of the inorganic fillers and organic fillers may be selected from the above and used alone, or two or more thereof may be used in combination. When two or more types are combined, a combination of an inorganic filler and an organic filler may be used.

フィラーの形状としては、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、無機フィラーは、球状無機フィラーでも非球状無機フィラーでもよいが、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点からは、非球状無機フィラーが好ましい。非球状無機フィラーの形状は、球状(略真円球状)以外の三次元形状であればよく、例えば、板状、鱗片状、柱状、鎖状、繊維状等が挙げられる。中でも、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点から、板状、鱗片状の無機フィラーが好ましく、板状の無機フィラーがより好ましい。
板状、鱗片状の無機フィラーの場合、平面方向の平均粒径は0.05μm以上20μm以下、好ましくは0.1μm以上15μm以下、望ましくは0.1μm以上10μm以下、より望ましくは0.1μm以上7μm以下であることが好ましく、また、平面方向と厚みを意味するアスペクト比(平均長軸長さ/平均短軸長さ)は、熱膨張率(CTE)、フィルム強度の観点から5以上500以下、好ましくは20以上500以下、望ましくは40以上500以下であることが好ましい。
フィラーの平均粒径が20μm以下であれば、基材フィルムの表面粗さを小さくすることができ、平滑な塗膜を形成しやすくなる。
アスペクト比が5以上であればCTEを十分に小さくしやすい。
アスペクト比が大きいほどCTEを調整しやすいが、粒子径を小さくしながらアスペクト比を大きくすることは困難で、フィラーのコストが高くなる傾向があるので500以下とすることが望ましい。
The shape of the filler is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. For example, the inorganic filler may be a spherical inorganic filler or a non-spherical inorganic filler, but a non-spherical inorganic filler is preferable from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength. The shape of the non-spherical inorganic filler may be any three-dimensional shape other than a spherical shape (substantially spherical shape), and examples thereof include plate-like, scale-like, columnar, chain-like, and fibrous shapes. Among them, from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength, plate-like and scale-like inorganic fillers are preferable, and plate-like inorganic fillers are more preferable.
In the case of a plate-like or scale-like inorganic filler, the average particle size in the plane direction is 0.05 μm or more and 20 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 15 μm or less, preferably 0.1 μm or more and 10 μm or less, more preferably 0.1 μm or more. It is preferably 7 μm or less, and the aspect ratio (average major axis length/average minor axis length), which means the plane direction and thickness, is 5 or more and 500 or less from the viewpoint of coefficient of thermal expansion (CTE) and film strength. , preferably 20 or more and 500 or less, desirably 40 or more and 500 or less.
If the average particle size of the filler is 20 µm or less, the surface roughness of the substrate film can be reduced, and a smooth coating film can be easily formed.
If the aspect ratio is 5 or more, it is easy to make the CTE sufficiently small.
The larger the aspect ratio, the easier it is to adjust the CTE.

[平均粒径、アスペクト比の測定]
無機フィラーの平均粒径及びアスペクト比は、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、3箇所以上の測定値の平均から求めることができる。なお、フィルム(層)中に存在する無機フィラーの平均粒径及びアスペクト比については、例えばフィルムをエポキシ樹脂で包埋した後、イオンミリング装置を用いてフィルム断面のイオンミリングを行って断面観察用試料を作製し、得られた試料の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、3箇所以上の測定値の平均から求めることができる。
また、有機フィラーの平均粒径は、基材フィルムの切断面を電子顕微鏡で観察し、粒子の少なくとも10個の最大径を測定したときの平均値を、溶融混練と分散により基材フィルムの樹脂中に分散したときの平均分散粒径として求めることができる。
[Measurement of average particle size and aspect ratio]
The average particle size and aspect ratio of the inorganic filler can be obtained by observing, for example, using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM) and averaging measured values at three or more locations. Regarding the average particle size and aspect ratio of the inorganic filler present in the film (layer), for example, after embedding the film in epoxy resin, ion milling of the cross section of the film is performed using an ion milling device for cross-sectional observation. A sample is prepared, a cross section of the obtained sample is observed using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM), and the average of measured values at three or more points can be obtained.
In addition, the average particle size of the organic filler is obtained by observing the cut surface of the base film with an electron microscope and measuring the maximum diameter of at least 10 particles. It can be obtained as the average dispersed particle diameter when dispersed in the inside.

基材フィルム中のフィラーの含有量は、1体積%以上30体積%以下が好ましく、3体積%以上25体積%以下がより好ましい。 The filler content in the base film is preferably 1% by volume or more and 30% by volume or less, more preferably 3% by volume or more and 25% by volume or less.

<<その他の成分>>
本発明において、基材フィルムには、必要に応じて公知の添加剤を任意に含有することができる。添加剤としては、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、結晶核剤、可塑剤、フィラーの分散剤等が挙げられる。
<<Other Ingredients>>
In the present invention, the base film may optionally contain known additives as necessary. Examples of additives include antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, crystal nucleating agents, plasticizers, filler dispersants, and the like.

<<基材フィルムの特性>>
基材フィルムの膜厚は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、5~250μmであることが好ましく、10~250μmであることがより好ましい。
<<Characteristics of base film>>
The film thickness of the substrate film is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose.

基材フィルムの表面粗さ(Rz)は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、基材フィルムに各種機能を付与するために含有させるフィラーの種類や含有量等の諸条件を考慮すると、基材フィルムの表面粗さ(Rz)は、1μm以上である。一方、基材フィルム上に形成される塗膜の表面粗さ(Rz)を所望の範囲とするには、基材フィルムの表面粗さ(Rz)は、10μm以下であることが好ましい。つまり、基材フィルムの表面粗さ(Rz)としては、1μm以上10μm以下であることが好ましい。
本明細書において、表面粗さ(Rz)とは、膜表面の十点平均粗さをいう。十点平均粗さRzは、JIS B 0601:2013(ISO 4287:1997 Amd.1:2009)に基づいて求めることができる。
The surface roughness (Rz) of the base film is not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. Considering various conditions, the surface roughness (Rz) of the base film is 1 μm or more. On the other hand, in order to keep the surface roughness (Rz) of the coating film formed on the base film within a desired range, the surface roughness (Rz) of the base film is preferably 10 μm or less. That is, the surface roughness (Rz) of the substrate film is preferably 1 μm or more and 10 μm or less.
As used herein, the surface roughness (Rz) refers to the ten-point average roughness of the film surface. The ten-point average roughness Rz can be obtained based on JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997 Amd.1:2009).

[十点平均粗さRzの測定]
シートの表面の十点平均粗さRz(μm)は、試験片についてレーザー顕微鏡を用いて粗さ曲線を測定し、この粗さ曲線から、JIS B 0601:2013(ISO 4287:1997 Amd.1:2009)に基づいて、それぞれ10サンプルずつ測定し、それらの平均値を求めることにより得る。
[Measurement of ten-point average roughness Rz]
The ten-point average roughness Rz (μm) of the surface of the sheet is obtained by measuring the roughness curve of the test piece using a laser microscope, and from this roughness curve, JIS B 0601: 2013 (ISO 4287: 1997 Amd.1: 2009), 10 samples are measured and the average value is obtained.

基材フィルムの熱膨張率(CTE)は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、張り合わせ後のカール防止の観点から、貼り合せる銅箔との熱膨張率差を小さくするとの理由から、例えば、50ppm以下であることが好ましい。
熱膨張率の測定は、熱機械分析装置〔日立ハイテクサイエンス社製 製品名:SII//SS7100〕を用いた引張モードにより、荷重:50mN、昇温速度:5℃/min.の割合で25℃から250℃まで昇温速度:5℃/minの割合で昇温し、寸法の温度変化を測定し、25℃から125℃までの範囲の傾きから線膨張係数を求めることにより、行うことができる。
The coefficient of thermal expansion (CTE) of the base film is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the purpose. For that reason, it is preferably 50 ppm or less, for example.
The coefficient of thermal expansion was measured in a tensile mode using a thermomechanical analyzer (product name: SII//SS7100 manufactured by Hitachi High-Tech Science) under a load of 50 mN and a temperature increase rate of 5°C/min. The temperature is increased from 25°C to 250°C at a rate of 5°C/min, the temperature change in dimensions is measured, and the coefficient of linear expansion is obtained from the slope in the range from 25°C to 125°C. ,It can be carried out.

基材フィルムの表面は、塗膜との密着性向上の理由により、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理により表面処理されていてもよい。 The surface of the substrate film may be surface-treated by corona treatment, plasma treatment, or ultraviolet treatment for the reason of improving adhesion to the coating film.

<塗膜>
本発明で使用する塗膜は、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む。
塗膜は、該粉末を含む塗料を塗布することにより形成される。該塗料には、該粉末の他、溶媒を含有することができる。
塗膜は、フィラーを含有してもよく、例えば、好ましい態様として、塗膜は無機フィラーを含有することができる。
<Coating film>
The coating film used in the present invention contains a powder of adhesive resin having a high melting point.
A coating film is formed by applying a paint containing the powder. The paint may contain a solvent in addition to the powder.
The coating film may contain a filler, for example, as a preferred embodiment, the coating film can contain an inorganic filler.

<<粉末>>
本発明で使用する粉末は、高融点の接着性樹脂からなる。ここで、粉末は、1種類もしくは、2種類以上の接着性樹脂を用いて形成することができる。
粉末の融点は、PEEK樹脂の融点より低いことが好ましい。一方、はんだ耐熱性試験で良好な結果を示すには、粉末の融点は、はんだ耐熱性試験で要求されるはんだ浴の温度より高いことが好ましい。
より具体的には、粉末の融点が、180℃より高く345℃より低いことが好ましく、185℃より高く345℃より低いことがより好ましく、278℃より高く330℃より低いことがさらに好ましく、288℃より高く330℃より低いことが特に好ましい。
<<powder>>
The powder used in the present invention consists of a high-melting adhesive resin. Here, the powder can be formed using one type or two or more types of adhesive resins.
The melting point of the powder is preferably lower than the melting point of the PEEK resin. On the other hand, in order to show good results in the solder heat resistance test, the melting point of the powder is preferably higher than the temperature of the solder bath required in the solder heat resistance test.
More specifically, the melting point of the powder is preferably higher than 180°C and lower than 345°C, more preferably higher than 185°C and lower than 345°C, even more preferably higher than 278°C and lower than 330°C. C. and below 330.degree. C. are particularly preferred.

本発明で使用する高融点の接着性樹脂としては、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂、ポリアミドイミド(PAI)樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリスルホン(PSU)樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキル(PFA)樹脂、熱可塑性ポリイミド(TPI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、ポリアリレート樹脂(PAR)、及びこれらの樹脂から選ばれる少なくとも2種以上からなるアロイ樹脂等が挙げられる。これらを用いることで、粉末の融点が上記好ましい範囲を示すことができる。 The high-melting adhesive resin used in the present invention includes polyetherketoneketone (PEKK) resin, polyamideimide (PAI) resin, polyphenylene sulfide (PPS) resin, polyethersulfone (PES) resin, and polysulfone (PSU) resin. , polytetrafluoroethylene (PTFE) resin, tetrafluoroethylene perfluoroalkyl (PFA) resin, thermoplastic polyimide (TPI) resin, polyetherimide (PEI) resin, polyarylate resin (PAR), and these resins and alloy resins composed of at least two or more of the above. By using these, the melting point of the powder can exhibit the above preferable range.

本発明で使用する高融点の接着性樹脂は、溶媒に溶解しにくいため、本発明では、高融点の接着性樹脂を粉砕し、粉末状にしたものを塗料に含有させることで、塗料を基材フィルム上に良好に塗布することができる。
粉末の平均粒径は、0.1~50μmであることが好ましく、均質な塗膜を形成するという観点からは、粉末の平均粒径は、0.1~20μmであることがより好ましい。
Since the high-melting-point adhesive resin used in the present invention is difficult to dissolve in solvents, in the present invention, the high-melting-point adhesive resin is pulverized and powdered to be included in the paint, so that the paint can be used as a base. It can be applied well on the material film.
The average particle size of the powder is preferably 0.1 to 50 μm, and more preferably 0.1 to 20 μm from the viewpoint of forming a uniform coating film.

[平均粒径の測定]
粉末の平均粒径は、例えば、走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、3箇所以上の測定値の平均から求めることができる。なお、塗膜中に存在する粉末の平均粒径については、例えば塗膜の切断面を走査型電子顕微鏡(SEM)又は透過型電子顕微鏡(TEM)を用いて観察し、粒子の少なくとも10個の最大径を測定したときの平均値を、溶融混練と分散により塗膜中に分散したときの平均分散粒径として求めることができる。
[Measurement of average particle size]
The average particle size of the powder can be obtained by observing, for example, using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM), and averaging measured values at three or more locations. For the average particle size of the powder present in the coating film, for example, a cut surface of the coating film is observed using a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM), and at least 10 particles The average value when the maximum diameter is measured can be obtained as the average dispersed particle diameter when dispersed in the coating film by melt-kneading and dispersion.

<<溶媒>>
溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、n-プロピルアルコール、イソブチルアルコール、n-ブチルアルコール、ベンジルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジアセトンアルコール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類;トルエン、キシレン、エチルベンゼン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテ-ト、3-メトキシブチルアセテート等のエステル類;ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素類等が挙げられる。これらの溶媒は、単独で用いてよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<<Solvent>>
Examples of solvents include alcohols such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, n-propyl alcohol, isobutyl alcohol, n-butyl alcohol, benzyl alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, and diacetone alcohol. ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl amyl ketone, cyclohexanone, and isophorone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene, and mesitylene; methyl acetate, ethyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, esters such as 3-methoxybutyl acetate; aliphatic hydrocarbons such as hexane, heptane, cyclohexane and methylcyclohexane; These solvents may be used alone or in combination of two or more.

<<無機フィラー>>
塗膜は、耐熱性向上、流動性制御等のため、フィラー、特に無機フィラーを含有することができる。
含有できるフィラーの種類としては、特に制限されず、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、上記基材フィルムに含有されるフィラーとして記載した、上記<<フィラー>>の欄に記載のフィラーを用いることができる。
塗膜に含有されるフィラーの平均粒径としては、0.01μm~20μmであることが好ましく、0.01μm~10μmであることがより好ましく、0.01~5μmであることがさらに好ましい。
<<Inorganic filler>>
The coating film may contain a filler, particularly an inorganic filler, for improving heat resistance and controlling fluidity.
The type of filler that can be contained is not particularly limited, and can be appropriately selected according to the purpose. of filler can be used.
The average particle diameter of the filler contained in the coating film is preferably 0.01 μm to 20 μm, more preferably 0.01 μm to 10 μm, and even more preferably 0.01 to 5 μm.

塗膜中のフィラーの含有量は、0.1体積%以上25体積%以下が好ましく、1体積%以上20体積%以下がより好ましい。
塗膜には基材フィルムよりも一層の表面平滑性が求められるため、用いられるフィラーの平均粒径は基材フィルムより小さいこと、含有量が少ないことが好ましい。
The content of the filler in the coating film is preferably 0.1% by volume or more and 25% by volume or less, more preferably 1% by volume or more and 20% by volume or less.
Since the coating film is required to have a higher surface smoothness than the base film, it is preferable that the average particle diameter of the filler used is smaller than that of the base film and the content thereof is small.

塗膜の厚みは、例えば、銅張積層板作製後の膜厚を測定することにより求めることができる。具体的には、銅張積層板の膜厚から銅箔膜と基材フィルムの膜厚を引くことで、塗膜の厚みを算出する。
塗膜の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、1~50μmであることが好ましく、5~30μmであることがより好ましい。
The thickness of the coating film can be obtained, for example, by measuring the film thickness after the production of the copper-clad laminate. Specifically, the thickness of the coating film is calculated by subtracting the thickness of the copper foil film and the substrate film from the thickness of the copper-clad laminate.
The thickness of the coating film is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose.

銅張積層板(CCL)における積層体の比誘電率、及び誘電正接は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択することができるが、電気信号の伝送損失の低減の理由から、比誘電率は、3.0以下で、誘電正接は0.003以下であることが好ましい。 The dielectric constant and dielectric loss tangent of the laminate in the copper clad laminate (CCL) are not particularly limited and can be appropriately selected according to the purpose. Preferably, the modulus is 3.0 or less and the dielectric loss tangent is 0.003 or less.

[比誘電率及び誘電正接]
比誘電率及び誘電正接は、ネットワークアナライザーMS46122B(Anritsu社製)と開放型共振器ファブリペローDPS-03(KEYCOM社製)とを使用し、開放型共振器法で、温度23℃、周波数28GHzの条件で測定することができる。
[Relative permittivity and dielectric loss tangent]
The dielectric constant and dielectric loss tangent were measured by the open resonator method using a network analyzer MS46122B (manufactured by Anritsu) and an open resonator Fabry-Perot DPS-03 (manufactured by KEYCOM) at a temperature of 23° C. and a frequency of 28 GHz. conditions can be measured.

本発明では、PEEK樹脂より低融点で、かつPEEK樹脂との接着性に優れ、耐熱性に優れた高融点の接着性樹脂の粉末を用いて、該粉末を含有する塗料をPEEK樹脂の基材フィルム上に塗布し、塗膜を形成していることに特徴を有している。本発明では、高融点の接着性樹脂を、微小な粒子としていることで、溶融しやすくし、かつ基材フィルム上に塗布しやすくしている。本発明の積層体を用いて、該塗膜上に銅箔膜を貼り合わせ銅張積層板(CCL)を形成しようとすると、PEEK樹脂と銅箔との熱ラミネートに要するエネルギーを低減することができる。また、PEEK樹脂の融点より低い温度でラミネートすることができるため、PEEK樹脂の寸法変動も生じず、寸法安定性に優れた銅張積層板(CCL)を得ることができる。また、耐熱性に優れた高融点の接着性樹脂粉末を含有する塗膜を用いて基材フィルムと銅箔とを接着しているため、得られた銅張積層板(CCL)に対し、はんだ耐熱性試験を行っても良好なはんだ耐熱性を示すことができる。 In the present invention, a high-melting adhesive resin powder having a lower melting point than PEEK resin, excellent adhesion to PEEK resin, and excellent heat resistance is used, and a paint containing the powder is used as a base material of PEEK resin. It is characterized in that it is applied on a film to form a coating film. In the present invention, the high-melting-point adhesive resin is made into fine particles so that it can be easily melted and easily applied onto the substrate film. When trying to form a copper clad laminate (CCL) by laminating a copper foil film on the coating film using the laminate of the present invention, it is possible to reduce the energy required for thermal lamination of the PEEK resin and the copper foil. can. In addition, since the lamination can be performed at a temperature lower than the melting point of the PEEK resin, the dimensional variation of the PEEK resin does not occur, and a copper clad laminate (CCL) excellent in dimensional stability can be obtained. In addition, since the base film and the copper foil are bonded using a coating film containing an adhesive resin powder with a high melting point and excellent heat resistance, soldering to the obtained copper clad laminate (CCL) Good solder heat resistance can be shown even when a heat resistance test is performed.

(銅張積層板(CCL))
本発明の銅張積層板は、本発明の積層体における塗膜上に銅箔の膜(銅箔膜)が張り合わされたものである。基材フィルム上に塗膜、銅箔膜がこの順で積層されてなる。
(Copper clad laminate (CCL))
The copper-clad laminate of the present invention is obtained by laminating a copper foil film (copper foil film) on the coating film of the laminate of the present invention. A coating film and a copper foil film are laminated in this order on a substrate film.

図1は、本発明の銅張積層板の構成の一例を示す断面図である。
銅張積層板1は、基材フィルム2と塗膜3からなる積層体における塗膜3上に銅箔膜4が張り合わされたものである。
このように、銅張積層板1は、基材フィルム2と、塗膜3と、銅箔膜4とを有し、これらの順で積層されてなる。
また、本発明の銅張積層板は、塗膜及び銅箔膜が基材フィルムの両側に積層されていてもよい。
図2に本発明の銅張積層板の構成の他の例を示す。
図2で示す本発明の銅張積層板1は、銅箔膜4a、塗膜3a、基材フィルム2、塗膜3b、銅箔膜4bの順で積層されてなる。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the configuration of the copper-clad laminate of the present invention.
A copper-clad laminate 1 is obtained by laminating a copper foil film 4 on a coating film 3 in a laminate comprising a substrate film 2 and a coating film 3 .
Thus, the copper-clad laminate 1 has the base film 2, the coating film 3, and the copper foil film 4, which are laminated in this order.
Further, in the copper-clad laminate of the present invention, a coating film and a copper foil film may be laminated on both sides of the substrate film.
FIG. 2 shows another example of the structure of the copper-clad laminate of the present invention.
The copper-clad laminate 1 of the present invention shown in FIG. 2 is formed by laminating a copper foil film 4a, a coating film 3a, a substrate film 2, a coating film 3b, and a copper foil film 4b in this order.

銅張積層板における、基材フィルムと塗膜については、上記(積層体)の欄で説明した上記<基材フィルム>と上記<塗膜>の欄に記載のとおりである。 The base film and the coating film in the copper-clad laminate are as described in the <Base film> and <Coating film> sections described in the above (Laminate) section.

尚、銅張積層板における積層体の比誘電率、及び誘電正接は、上記<塗膜>の欄で説明したとおり、比誘電率は、3.0以下で、誘電正接は0.003以下であることが好ましい。 In addition, the relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the laminate in the copper clad laminate are 3.0 or less and the dielectric loss tangent is 0.003 or less, as described in the section <Coating film> above. Preferably.

<銅箔膜>
銅箔の種類としては、特に限定されず、例えば、電解銅箔、圧延銅箔等を用いることができる。
塗膜と接する銅箔の表面粗さ(Rz)は、5μm以下であることが好ましく、3μm以下であることがより好ましく、1.5μm以下とすることが望ましい。銅箔の表面粗さ(Rz)が5μm以下であることにより、電気信号の伝送特性を確保することができる。
表面粗さ(Rz)の測定法は、上記<<基材フィルムの特性>>の欄で記載したとおりである。
<Copper foil film>
The type of copper foil is not particularly limited, and for example, an electrolytic copper foil, a rolled copper foil, or the like can be used.
The surface roughness (Rz) of the copper foil in contact with the coating film is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, and more preferably 1.5 μm or less. When the surface roughness (Rz) of the copper foil is 5 μm or less, it is possible to ensure the transmission characteristics of electrical signals.
The method for measuring the surface roughness (Rz) is as described in the section <<characteristics of base film>> above.

銅箔膜の膜厚は、十分な電気信号の伝送特性を確保し、かつ回路パターンの良好なファインピッチを可能とするという観点から、0.05μm~20μmであることが好ましく、0.1~15μmであることがより好ましく、0.5~10μmであることがさらに好ましい。 The film thickness of the copper foil film is preferably 0.05 μm to 20 μm from the viewpoint of ensuring sufficient electrical signal transmission characteristics and enabling a fine pitch of the circuit pattern, and preferably 0.1 to 0.1 μm. It is more preferably 15 μm, and even more preferably 0.5 to 10 μm.

<銅張積層板の膜厚>
銅張積層板の膜厚は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択できるが、例えば、10μm以上300μm以下が好ましい。銅張積層板の膜厚が上記範囲の下限値以上であれば、ハンドリング性に優れ、強度を確保できる。また、上記範囲の上限値以下であれば、軽薄短小化、フレキシブル性を付与できる。
<Film thickness of copper-clad laminate>
The film thickness of the copper-clad laminate is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably 10 μm or more and 300 μm or less, for example. When the film thickness of the copper clad laminate is at least the lower limit of the above range, the handleability is excellent and strength can be ensured. Moreover, when the thickness is equal to or less than the upper limit of the above range, lightness, thinness, shortness and flexibility can be imparted.

<銅張積層板の製造方法>
銅張積層板の製造方法は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗料を塗布し塗膜を形成する工程と、塗膜を乾燥させる工程と、乾燥後の塗膜上に銅箔を配して熱圧着し、塗膜を介して基材フィルムと銅箔膜とを貼り合わせる工程と、を含む。
以下、銅張積層板の製造方法について、より詳しく説明する。
基材フィルム上に、塗膜を形成する。
塗膜の基材フィルムとは反対側の面に、銅箔膜を張り合わせる。
塗膜を形成するより具体的な方法としては、次のとおりである。
塗膜は、粉末と溶媒と、必要に応じでフィラー等の他の成分とを混合することにより作製された塗料を用いて形成される。混合方法は特に限定されず、塗料が均一になればよい。
本発明で使用する塗料は、溶媒を含む溶液又は分散液(樹脂ワニス)であるため、基材フィルムへの塗工及び塗膜の形成を容易に行うことができる。
粉末及び溶媒を含有する樹脂ワニスを、基材フィルムの表面に塗布して樹脂ワニス層を形成する。その後、該樹脂ワニス層から溶媒を除去し、塗膜を乾燥させる。その後、塗膜上に銅箔膜を配し、基材フィルム、塗膜、銅箔膜の順で積層された積層体を熱圧着する。これにより、塗膜を介して、基材フィルムと銅箔膜とが貼り合わされる。
ここで、樹脂ワニスを塗布する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、スプレー法、スピンコート法、ディップ法、ロールコート法、ブレードコート法、ドクターロール法、ドクターブレード法、カーテンコート法、スリットコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法、ディスペンス法等が挙げられる。
<Method for producing copper-clad laminate>
A method for producing a copper-clad laminate includes applying a paint containing a powder made of a high-melting adhesive resin to at least one surface of a base film made of a polyetheretherketone (PEEK) resin to form a coating film. a step of drying the coating film; and a step of placing a copper foil on the dried coating film and thermocompression bonding it, and bonding the base film and the copper foil film together via the coating film.
The method for manufacturing the copper-clad laminate will be described in more detail below.
A coating film is formed on the base film.
A copper foil film is attached to the surface of the coating film opposite to the base film.
A more specific method for forming the coating film is as follows.
The coating film is formed using a paint prepared by mixing powder, solvent, and optionally other ingredients such as filler. The mixing method is not particularly limited as long as the paint is uniform.
Since the paint used in the present invention is a solvent-containing solution or dispersion (resin varnish), it can be easily applied to a substrate film and formed into a coating film.
A resin varnish containing powder and a solvent is applied to the surface of the substrate film to form a resin varnish layer. The solvent is then removed from the resin varnish layer and the coating is dried. After that, a copper foil film is placed on the coating film, and the laminated body in which the substrate film, the coating film, and the copper foil film are laminated in this order is thermocompression bonded. As a result, the substrate film and the copper foil film are bonded together via the coating film.
Here, the method for applying the resin varnish is not particularly limited and can be appropriately selected depending on the purpose. A roll method, a doctor blade method, a curtain coating method, a slit coating method, a screen printing method, an inkjet method, a dispensing method, and the like can be mentioned.

また、熱圧着する温度は、高融点の接着性樹脂からなる粉末の融点より高く、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂の融点より低い温度であるとよい。 The temperature for thermocompression bonding is preferably higher than the melting point of the powder made of the high-melting adhesive resin and lower than the melting point of the polyetheretherketone (PEEK) resin.

本発明の銅張積層板が、図2で示すような基材フィルムの両面に塗膜と銅箔膜がそれぞれ設けられている銅張積層板である場合には、基材フィルムの一方の面に対して、上述した方法により、塗膜、銅箔膜を形成し、その後、基材フィルムの他方の面に対して、同様方法で、塗膜、銅箔膜を形成することができる。あるいは、基材フィルムに対して両側の塗膜を一緒に形成し、次に塗膜の上に配される銅箔膜も両側一緒に形成する方法を用いてもよい。 When the copper clad laminate of the present invention is a copper clad laminate in which a coating film and a copper foil film are provided on both sides of a base film as shown in FIG. 2, one surface of the base film Alternatively, a coating film and a copper foil film can be formed by the method described above, and then a coating film and a copper foil film can be formed on the other surface of the base film by the same method. Alternatively, a method may be used in which both sides of the coating are formed together on the substrate film, and then both sides of the copper foil film placed on the coating are also formed together.

基材フィルムが、コロナ処理、プラズマ処理、又は紫外線処理等で表面処理された基材フィルム又は塗膜を用いる場合には、例えば、基材フィルムを用意した後、用意した基材フィルムの表面を表面処理し、その表面処理した基材フィルムに対して、上述した方法により、塗膜を形成すればよい。 When using a substrate film or coating film surface-treated by corona treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment, or the like, for example, after preparing the substrate film, the surface of the prepared substrate film is A coating film may be formed on the surface-treated substrate film by the method described above.

以下に実施例を挙げて本発明を更に詳述するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、下記において、部及び%は、特に断らない限り、質量基準である。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples, but the scope of the present invention is not limited to these Examples. In the following, parts and % are based on mass unless otherwise specified.

(実施例1)
<基材フィルム>
ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂(Sepla Film 信越ポリマー社製 融点345℃)のフィルム100μmを用いた。
(Example 1)
<Base film>
A 100 μm film of polyetheretherketone (PEEK) resin (Sepla Film, manufactured by Shin-Etsu Polymer Co., Ltd., melting point 345° C.) was used.

<塗料1の作製>
ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂(KEPSTAN 6002、ARKEMA社製 融点305℃)の粉砕物1(平均粒径10μm)を用いた。
該粉砕物1とトルエンとを100質量部:40質量部の割合で混合し、塗料1を作製した。
<Preparation of paint 1>
A pulverized product 1 (average particle diameter 10 μm) of polyether ketone ketone (PEKK) resin (KEPSTAN 6002, manufactured by ARKEMA, melting point 305° C.) was used.
The pulverized product 1 and toluene were mixed in a ratio of 100 parts by mass: 40 parts by mass to prepare a paint 1.

<銅張積層板の作製>
PEEKの基材フィルムの表面をコロナ処理した。該表面処理されたPEEKフィルム上に、上記で得られた塗料1を塗布した。
次に、オーブンに塗膜付き基材フィルムを入れて、120℃の60分間加熱し、塗膜を乾燥させた。塗膜の膜厚は銅張積層板作製後に15μmとなるように調整した。
乾燥した塗膜上に銅箔1(3EC-M1S-HTE、三井金属社製、電界銅箔、厚さ12μm、Rz1.8μm)の膜を配し、PEEKフィルム、塗膜、銅箔膜の順で積層された積層体をオーブンに入れて、熱プレス機で、320℃、4MPa、10分間加熱し、積層体を熱圧着させた。
<Preparation of copper-clad laminate>
The surface of the PEEK base film was corona-treated. Paint 1 obtained above was applied onto the surface-treated PEEK film.
Next, the base film with the coating film was placed in an oven and heated at 120° C. for 60 minutes to dry the coating film. The film thickness of the coating film was adjusted to 15 μm after the copper-clad laminate was produced.
A film of copper foil 1 (3EC-M1S-HTE, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., electrolytic copper foil, thickness 12 μm, Rz 1.8 μm) is placed on the dried coating film, followed by PEEK film, coating film, and copper foil film in that order. The laminated body laminated in (1) was placed in an oven and heated at 320° C. and 4 MPa for 10 minutes with a hot press to thermally compress the laminated body.

このようにして得られた実施例1の銅張積層板に対して、以下の測定、及び評価を行った。 The copper-clad laminate of Example 1 thus obtained was subjected to the following measurements and evaluations.

[密着性]
JIS K6854-3:1999に指定されている方法に従い、T型剥離試験により300mm/minの剥離速度で銅張積層板の密着性を測定した。
[Adhesion]
According to the method specified in JIS K6854-3:1999, the adhesion of the copper-clad laminate was measured by a T-peel test at a peel speed of 300 mm/min.

[比誘電率及び誘電正接]
比誘電率及び誘電正接は、銅張積層板の積層された銅箔を濃硝酸で溶かして銅箔を除去したフィルムを試験体として調製し、ネットワークアナライザーMS46122B(Anritsu社製)と開放型共振器ファブリペローDPS-03(KEYCOM社製)とを使用し、開放型共振器法で、温度23℃、周波数28GHzの条件で測定した。
[Relative permittivity and dielectric loss tangent]
The relative dielectric constant and dielectric loss tangent were measured by dissolving the copper foil laminated on the copper-clad laminate in concentrated nitric acid to remove the copper foil and preparing a film as a test sample. Fabry-Perot DPS-03 (manufactured by KEYCOM) was used, and measurement was performed by the open resonator method under conditions of a temperature of 23° C. and a frequency of 28 GHz.

[はんだ耐熱試験]
はんだ耐熱試験は、銅張積層板をカットして30mm×30mmの試験体とし、基材フィルム面を上にして、288℃のはんだ浴に10秒間×3回浮かべ、銅張積層板の膨れ、剥がれ等の外観異常を確認した。
以下の評価基準により、銅張積層板の耐熱性を評価した。
○ 異常なし(溶解もなし)。
△ 剥離はしていないが、接着剤層の軟化がみられ「シミ模様」ができている。
× 剥離している。
[Solder heat resistance test]
In the solder heat resistance test, the copper-clad laminate was cut into a 30 mm × 30 mm specimen, and the base film surface was floated in a solder bath at 288 ° C. for 10 seconds × 3 times, swelling of the copper-clad laminate, Appearance abnormality such as peeling was confirmed.
The heat resistance of the copper-clad laminate was evaluated according to the following evaluation criteria.
○ No abnormality (no dissolution).
Δ: The adhesive layer was not peeled off, but the adhesive layer was softened and a “stain pattern” was formed.
x: Peeled off.

[寸法安定性]
寸法安定性は銅張積層板の積層された銅箔を濃硝酸で溶かして銅箔を除去したフィルムを試験体として調製し、150℃×30分の条件下で加熱した前後の寸法を測定した。
具体的には、先ず、加熱前のフィルムの長さを測定し、ステンレス板の上にフィルムを置き、熱風循環式恒温槽内に、規定する時間、及び温度で処理した後、室温まで冷却し、先に測定した同じ部分についてフィルムの長さを測定した。
寸法安定性は、下記式(2)で求め、0.2%未満を〇、0.2%以上を×とした。
寸法変化率(%)=100×(Lo-L)/Lo (2)
式(2)中、Lo:試験前のフィルム長さ、L:試験後のフィルム長さである。
[Dimensional stability]
Dimensional stability was measured by measuring the dimensions before and after heating under the conditions of 150° C. for 30 minutes by preparing a film as a test piece by dissolving the copper foil laminated on the copper-clad laminate with concentrated nitric acid to remove the copper foil. .
Specifically, first, the length of the film before heating is measured, the film is placed on a stainless steel plate, treated in a hot air circulating constant temperature bath for a specified time and temperature, and then cooled to room temperature. , the length of the film was measured on the same section as previously measured.
The dimensional stability was determined by the following formula (2), and less than 0.2% was evaluated as ◯, and 0.2% or more as x.
Dimensional change rate (%) = 100 x (Lo-L)/Lo (2)
In formula (2), Lo: film length before test, L: film length after test.

実施例1の銅張積層板における、上記測定及び、評価に対する結果を下記表1に示す。 The results of the above measurements and evaluations for the copper-clad laminate of Example 1 are shown in Table 1 below.

(実施例2)
実施例1において、ポリエーテルケトンケトン樹脂の粉砕物1の平均粒径を5μmに変更し、塗膜の膜厚を10μmに変更し、銅箔の種類を銅箔2(HS1-VSP、三井金属社製、電界銅箔、厚さ18μm、Rz1.2μm)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Example 2)
In Example 1, the average particle size of the pulverized polyether ketone ketone resin 1 was changed to 5 μm, the film thickness of the coating film was changed to 10 μm, and the type of copper foil was changed to copper foil 2 (HS1-VSP, Mitsui Kinzoku A copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, except that the foil was changed to an electrolytic copper foil (thickness: 18 μm, Rz: 1.2 μm, manufactured by Co., Ltd.).

(実施例3)
実施例1において、ポリエーテルケトンケトン樹脂の粉砕物1の平均粒径を15μmに変更し、塗料に無機フィラー(合成マイカ、MS-100DS)を含有させ、塗料における粉砕物:無機フィラー:トルエンの割合を100質量部:10質量部:50質量部とし、塗膜の膜厚を20μmに変更し、銅箔の種類を銅箔2(HS1-VSP、三井金属社製、電界銅箔、厚さ18μm、Rz1.2μm)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Example 3)
In Example 1, the average particle size of the pulverized product 1 of the polyether ketone ketone resin was changed to 15 μm, and the paint contained an inorganic filler (synthetic mica, MS-100DS), and the pulverized product in the paint: inorganic filler: toluene The ratio was 100 parts by mass: 10 parts by mass: 50 parts by mass, the film thickness of the coating film was changed to 20 µm, and the type of copper foil was copper foil 2 (HS1-VSP, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., electrolytic copper foil, thickness A copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness was changed to 18 μm, Rz 1.2 μm.

(実施例4)
実施例1において、ポリエーテルケトンケトン樹脂の粉砕物1の平均粒径を15μmに変更し、塗料に無機フィラー(合成マイカ、MS-100DS)を含有させ、塗料にポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂(Flon(登録商標)PTFE L173JE、AGC株式会社製 融点330℃)の粉砕物2(平均粒径10μm)を含有させ、塗料における粉砕物1:無機フィラー:粉砕物2:トルエンの割合を100質量部:10質量部:10質量部:50質量部とし、塗膜の膜厚を20μmに変更し、銅箔の種類を銅箔2(HS1-VSP、三井金属社製、電界銅箔、厚さ18μm、Rz1.2μm)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Example 4)
In Example 1, the average particle size of the pulverized polyether ketone ketone resin 1 was changed to 15 μm, the paint contained an inorganic filler (synthetic mica, MS-100DS), and the paint was polytetrafluoroethylene (PTFE) resin. (Flon (registered trademark) PTFE L173JE, AGC Co., Ltd., melting point 330 ° C.) pulverized product 2 (average particle size 10 μm) is included, and the ratio of pulverized product 1: inorganic filler: pulverized product 2: toluene in the paint is 100 mass Parts: 10 parts by mass: 10 parts by mass: 50 parts by mass, the film thickness of the coating film was changed to 20 μm, and the type of copper foil was copper foil 2 (HS1-VSP, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., electrolytic copper foil, thickness A copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness was changed to 18 μm, Rz 1.2 μm.

(実施例5)
実施例1において、ポリエーテルケトンケトン樹脂の粉砕物1を、ポリエーテルケトンケトン樹脂とテトラフルオロエチレンパーフルオロアルキル(PFA)樹脂とのアロイ(PEEK:PFA=9:1)樹脂(信越ポリマー社製、融点304℃)の粉砕物2(平均粒径15μm)に変更し、塗膜の膜厚を10μmに変更し、銅箔の種類を銅箔2(HS1-VSP、三井金属社製、電界銅箔、厚さ18μm、Rz1.2μm)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Example 5)
In Example 1, the pulverized polyether ketone ketone resin 1 was an alloy (PEEK: PFA = 9: 1) resin (manufactured by Shin-Etsu Polymer Co., Ltd.) of polyether ketone ketone resin and tetrafluoroethylene perfluoroalkyl (PFA) resin. , melting point 304 ° C.) was changed to pulverized product 2 (average particle size 15 μm), the thickness of the coating film was changed to 10 μm, and the type of copper foil was changed to copper foil 2 (HS1-VSP, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd., electrolytic copper A copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1, except that the foil was changed to 18 μm thick and 1.2 μm Rz.

(実施例6)
実施例1において、ポリエーテルケトンケトン樹脂の粉砕物1を、熱可塑性ポリイミド(TPI)樹脂(サープリムTO65、三菱ガス化学社製、融点323℃)の粉砕物3(平均粒径を15μmに)に変更し、塗膜の膜厚を10μmに変更し、銅箔の種類を銅箔2(HS1-VSP、三井金属社製、電界銅箔、厚さ18μm、Rz1.2μm)に変更し、PEEKフィルム、塗膜、銅箔膜の順で積層された積層体をオーブンに入れて、熱プレス機で、330℃、4MPa、10分間加熱し、積層体を熱圧着させた以外は、実施例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Example 6)
In Example 1, the pulverized product 1 of polyether ketone ketone resin was added to the pulverized product 3 of thermoplastic polyimide (TPI) resin (Surprim TO65, manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., melting point 323 ° C.) (with an average particle size of 15 μm). Changed the thickness of the coating film to 10 μm, changed the type of copper foil to copper foil 2 (HS1-VSP, Mitsui Kinzoku Co., electrolytic copper foil, thickness 18 μm, Rz 1.2 μm), PEEK film , the coating film, and the copper foil film in this order were placed in an oven and heated at 330 ° C., 4 MPa, for 10 minutes with a heat press, and the laminate was thermocompression bonded. A copper-clad laminate was produced in the same manner.

実施例2~実施例6で作製した銅張積層板に対して、実施例1と同様の測定、及び評価を行った。
実施例2~実施例6の銅張積層板における、上記測定及び、評価に対する結果を下記表1に示す。
The same measurements and evaluations as in Example 1 were performed on the copper-clad laminates produced in Examples 2 to 6.
The results of the above measurements and evaluations for the copper-clad laminates of Examples 2 to 6 are shown in Table 1 below.

(比較例1)
実施例1と同様のPEEKフィルムに対して、該PEEKフィルムの表面をコロナ処理した。
該表面処理されたPEEKフィルム上に、実施例1と同様の銅箔1を配し、PEEKフィルムと銅箔膜の積層体に対し、オーブンに入れて、熱プレス機で、360℃、4MPa、10分間加熱し、積層体を熱圧着させ、銅張積層板を作製した。
(Comparative example 1)
A PEEK film similar to that of Example 1 was corona-treated on the surface of the PEEK film.
A copper foil 1 similar to that of Example 1 was placed on the surface-treated PEEK film, and the laminate of the PEEK film and the copper foil film was placed in an oven and pressed with a heat press at 360° C., 4 MPa, After heating for 10 minutes, the laminate was thermocompression bonded to produce a copper-clad laminate.

(比較例2)
比較例1において、熱圧着する温度を、実施例と同様の320℃に変更した以外は、比較例1と同様にして、銅張積層板を作製した。
(Comparative example 2)
A copper-clad laminate was produced in the same manner as in Comparative Example 1, except that the temperature for thermocompression bonding was changed to 320° C., which is the same as in Example 1.

このようにして得られた比較例1~比較例2の銅張積層板に対して、実施例1と同様の測定、及び評価を行った。
比較例1~比較例2の銅張積層板における、上記測定及び、評価に対する結果を下記表1に示す。
尚、比較例2の銅張積層板は、PEEKフィルムと銅箔1の膜とがそもそも接着しなかったため特性評価ができなかった。
The copper-clad laminates of Comparative Examples 1 and 2 thus obtained were subjected to the same measurements and evaluations as in Example 1.
Table 1 below shows the results of the above measurements and evaluations for the copper-clad laminates of Comparative Examples 1 and 2.
It should be noted that the characteristics of the copper-clad laminate of Comparative Example 2 could not be evaluated because the PEEK film and the film of the copper foil 1 did not bond in the first place.

Figure 2023000377000001

実施例で作製された本発明の銅張積層板は、PEEK樹脂と銅箔とを熱ラミネートする際のエネルギーを低減し、かつPEEK樹脂と銅箔との良好な密着性を示すものであった。また、実施例で作製された本発明の銅張積層板は、寸法安定性に優れ、かつ良好なはんだ耐熱性を示すものであった。
Figure 2023000377000001

The copper-clad laminates of the present invention produced in Examples reduced the energy required for thermal lamination of the PEEK resin and the copper foil, and exhibited good adhesion between the PEEK resin and the copper foil. . Moreover, the copper-clad laminates of the present invention produced in Examples exhibited excellent dimensional stability and good solder heat resistance.

本発明の銅張積層板は、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のFPC関連製品の製造に好適に用いられ得る。 The copper-clad laminate of the present invention can be suitably used for manufacturing FPC-related products for electronic equipment such as smart phones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game machines, laptop computers, and medical equipment.

1 銅張積層板
2 基材フィルム
3、3a、3b 塗膜
4、4a、4b 銅箔膜

1 Copper clad laminate 2 Base film 3, 3a, 3b Coating film 4, 4a, 4b Copper foil film

Claims (10)

ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗膜が積層されてなる積層体。 A laminate comprising a base film made of polyetheretherketone (PEEK) resin, and a coating film containing powder made of a high-melting adhesive resin laminated on at least one surface of the base film. 前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の融点が、180℃より高く345℃より低い、請求項1に記載の積層体。 2. The laminate according to claim 1, wherein the powder comprising the high-melting-point adhesive resin has a melting point higher than 180[deg.]C and lower than 345[deg.]C. 前記高融点の接着性樹脂が、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂、ポリアミドイミド(PAI)樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリスルホン(PSU)樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキル(PFA)樹脂、熱可塑性ポリイミド(TPI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、ポリアリレート樹脂(PAR)、及びこれらの樹脂から選ばれる少なくとも2種以上からなるアロイ樹脂の中から選ばれる、少なくとも1種である、請求項1又は2に記載の積層体。 The high melting point adhesive resin is polyether ketone ketone (PEKK) resin, polyamideimide (PAI) resin, polyphenylene sulfide (PPS) resin, polyether sulfone (PES) resin, polysulfone (PSU) resin, polytetrafluoroethylene. (PTFE) resin, tetrafluoroethylene perfluoroalkyl (PFA) resin, thermoplastic polyimide (TPI) resin, polyetherimide (PEI) resin, polyarylate resin (PAR), and at least two or more selected from these resins The laminate according to claim 1 or 2, which is at least one selected from alloy resins consisting of: 前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の平均粒径が、0.1~50μmである、請求項1~3のいずれか一項に記載の積層体。 4. The laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein the powder made of the adhesive resin having a high melting point has an average particle size of 0.1 to 50 µm. 前記塗膜の厚みが1~50μmであり、前記基材フィルムの厚みが5~250μmである、請求項1~4のいずれか一項に記載の積層体。 The laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the coating film has a thickness of 1 to 50 µm, and the base film has a thickness of 5 to 250 µm. 前記請求項1~5のいずれか一項に記載の積層体の前記塗膜上に銅箔を積層してなる、銅張積層板(CCL)。 A copper clad laminate (CCL), which is obtained by laminating a copper foil on the coating film of the laminate according to any one of claims 1 to 5. 前記銅張積層板(CCL)における前記積層体の比誘電率が3.0以下で、誘電正接が0.003以下である、請求項6に記載の銅張積層板(CCL)。 7. The copper clad laminate (CCL) according to claim 6, wherein the laminate in the copper clad laminate (CCL) has a dielectric constant of 3.0 or less and a dielectric loss tangent of 0.003 or less. 前記塗膜と接する前記銅箔の表面粗さ(Rz)が5μm以下である、請求項6又は7に記載の銅張積層板(CCL)。 8. The copper clad laminate (CCL) according to claim 6 or 7, wherein the copper foil in contact with the coating film has a surface roughness (Rz) of 5 [mu]m or less. ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂からなる基材フィルムの少なくとも一方の面上に、高融点の接着性樹脂からなる粉末を含む塗料を塗布し塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を乾燥させる工程と、
乾燥後の前記塗膜上に銅箔を配して熱圧着し、前記塗膜を介して前記基材フィルムと前記銅箔膜とを貼り合わせる工程と、を含む銅張積層板(CCL)の製造方法。
A step of applying a paint containing a powder made of an adhesive resin with a high melting point onto at least one surface of a base film made of a polyetheretherketone (PEEK) resin to form a coating film;
a step of drying the coating film;
placing a copper foil on the dried coating film and thermocompression bonding the base film and the copper foil film together via the coating film; Production method.
前記熱圧着する工程における熱圧着温度が、前記高融点の接着性樹脂からなる粉末の融点より高く、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂の融点より低い、請求項9に記載の銅張積層板(CCL)の製造方法。

The copper clad laminate according to claim 9, wherein the thermocompression bonding temperature in the thermocompression bonding step is higher than the melting point of the powder made of the high-melting adhesive resin and lower than the melting point of the polyetheretherketone (PEEK) resin ( CCL) manufacturing method.

JP2021101148A 2021-06-17 2021-06-17 Laminate, and copper-clad laminate Pending JP2023000377A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021101148A JP2023000377A (en) 2021-06-17 2021-06-17 Laminate, and copper-clad laminate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021101148A JP2023000377A (en) 2021-06-17 2021-06-17 Laminate, and copper-clad laminate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023000377A true JP2023000377A (en) 2023-01-04

Family

ID=84687537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021101148A Pending JP2023000377A (en) 2021-06-17 2021-06-17 Laminate, and copper-clad laminate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023000377A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI766021B (en) Fluorine resin film, laminate, and method for producing hot-pressed laminate
TW201821517A (en) Liquid composition, and method for manufacturing film and layered body using same
US20160243798A1 (en) Thermosetting resin sandwich prepreg, preparation method thereof and copper clad laminate therefrom
CN113227245B (en) Resin composition, metal laminate using same, printed circuit board, and method for producing metal laminate
TWI826452B (en) Method for manufacturing resin-coated metal foil, resin-coated metal foil, laminate and printed circuit board
TWI824049B (en) Dispersions
TWI821399B (en) Laminated body, printed circuit board and manufacturing method thereof
JP7243724B2 (en) metal foil with resin
WO2021075504A1 (en) Non-aqueous dispersion liquid, and method for producing laminate
CN112203844B (en) Method for producing resin-coated metal foil and resin-coated metal foil
WO2022133404A1 (en) Copper-clad laminate and method of forming the same
JP2023000377A (en) Laminate, and copper-clad laminate
WO2022196402A1 (en) Electromagnetic wave shield sheet, manufacturing method for same, shielding wiring board, and electronic device
JP2023000380A (en) Coating, laminate, and copper-clad laminate
JP2020083990A (en) Manufacturing method of composite, and composite
CN115348921A (en) Metal-clad laminated board
WO2023053620A1 (en) Metal-clad laminate, and laminate used for said metal-clad laminate
WO2023053619A1 (en) Metal-clad laminated board, and laminated body used in said metal-clad laminated board
JP2023049122A (en) Paek resin substrate for printed wiring board, and metal-clad laminate having the paek resin substrate
JP2023049254A (en) Paek resin substrate for printed wiring board, and metal-clad laminate having the paek resin substrate
JP2020093196A (en) Method of manufacturing treated metal substrate
JP2022145436A (en) Electromagnetic wave shield sheet, manufacturing method thereof, shielding wiring board, and electronic device
JP2022038937A (en) Print circuit board and electronic component
TW202010637A (en) Glass resin laminate, composite laminate, and manufacturing method thereof