JP2022510817A - 空間的に分配されるストロービングのための方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
ライダー(光検出及び測距)装置は、それぞれのエミッタ制御信号に応答して光信号を放射するように構成されている複数のエミッタ・ユニットを備えるエミッタ・アレイと、光信号のパルス間のそれぞれのストローブ窓についてアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを備える検出器アレイと、検出器ピクセルの第1のサブセットをアクティベートする一方、検出器ピクセルの第2のサブセットを非アクティブにしておくストローブ信号を提供するように構成されている制御回路とを備える。【選択図】図1A
Description
本発明は、ライダー(LIDAR(Light Detection and Ranging)又は光検出及び測距)システムに関し、より詳細には、タイム・オブ・フライトLIDARシステムにおいて電力消費を削減する方法及びデバイスに関する。
[優先権の主張]
本出願は、2018年11月20日付けで出願された「Spatially Distributed Strobing」と題する米国仮特許出願第62/769,736号からの優先権の利益を主張するものであり、この米国仮特許出願の全内容及び開示が、引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
本出願は、2018年11月20日付けで出願された「Spatially Distributed Strobing」と題する米国仮特許出願第62/769,736号からの優先権の利益を主張するものであり、この米国仮特許出願の全内容及び開示が、引用することにより本明細書の一部をなすものとする。
タイム・オブ・フライト(ToF:time of flight)ベースのイメージング(画像化)は、測距(range finding)、深さプロファイリング(depth profiling)、及び3Dイメージング(例えば、ライダー)を含む多数の用途で使用される。直接的なタイム・オブ・フライト測定は、照射光の放射と物体又は他のターゲットからの反射後の照射光の検知との間の時間の長さを直接測定することを含む。この測定から、ターゲットまでの距離を求めることができる。間接的なタイム・オブ・フライト測定は、ライダー・システムのエミッタ素子(複数の場合もある)によって放射された信号の振幅を位相変調し、ライダー・システムの検出器素子(複数の場合もある)において受信されたエコー信号の(例えば、遅延又はシフトに関する)位相を測定することによってターゲットまでの距離を求めることを含む。これらの位相は、一連の個々の測定値又はサンプルを用いて測定することができる。
エミッタ素子は、検出器素子による検出用の視野にわたって照射光を放射するように制御することができる。ToF測定用のエミッタ素子は、LED又はレーザー等のパルス光源を含むことができる。使用することができるレーザーの例は、垂直共振器面発光レーザー(VCSEL:vertical cavity surface emitting laser)を含む。光学系において使用されるレーザーを構成する方法は、Warrenに付与された「COMPACT MULTI-ZONE INFRARED LASER ILLUMINATOR」と題する特許文献1に論述されている。
特定のアプリケーションにおいて、直接的なタイム・オブ・フライトシステム又は間接的なタイム・オブ・フライトシステムのいずれかにおけるエミッタ素子からの反射された照射光の検知は、単一光子アバランシェ・ダイオード(SPAD:Single Photon Avalanche Diode)アレイ等の単一光子検出器のアレイを使用して行うことができる。SPADアレイは、高感度及び高タイミング分解能が役立つイメージング・アプリケーションにおいて固体検出器として使用することができる。
SPADは、例えば、所望のパルス幅を有するストローブ信号により又はそうしたストローブ信号に応じて、その降伏領域を超えてバイアスがかけられるp-n接合デバイスに基づいている。高い逆バイアス電圧により、デバイスの空乏層内に導入された単一の電荷キャリアが衝撃イオン化を介して自己持続型アバランシェをもたらすことができるように、十分な大きさの電界が発生する。クエンチ回路(quench circuit)により、アバランシェを、アクティブに(能動的に)又はパッシブに(受動的に)消滅させて、デバイスを更なる光子を検出するように「リセット」することができる。開始電荷キャリアは、高電界領域に突き当たる単一入射光子を用いて光電子的に生成することができる。「単一光子アバランシェ・ダイオード」という名称のもとであるのはこの特徴である。この単一光子検出動作モードは、「ガイガー(Geiger)モード」と称されることが多い。
ライダー・システムにおける電力消費は、いくつかの用途、例えば、無人航空機(UAV:unmanned aerial vehicle)、自動車、及び産業ロボット工学において特に問題となる可能性がある。例えば、自動車の用途では、増加した放射電力要件(emission power requirement)が、自動車の電源によって満たされなければならず、これは、自動車製造業者にとってかなりの重荷を付加するおそれがある。また、より高い放射電力から生成される熱は、発光アレイの光学性能を変える場合があり、及び/又は信頼性に悪影響を与える場合がある。
本開示のいくつかの実施の形態によれば、ライダー(光検出及び測距)装置は、それぞれのエミッタ制御信号に応答して光信号を放射するように構成されている複数のエミッタ・ユニットを備えるエミッタ・アレイと、前記光信号のパルス間のそれぞれのストローブ窓の間でアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを備える検出器アレイと、前記検出器ピクセルの第1のサブセットをアクティベートする一方、前記検出器ピクセルの第2のサブセットを非アクティブにしておくストローブ信号を提供するように構成されている制御回路とを備える。
いくつかの実施の形態では、前記エミッタ・アレイは、前記光信号のうちの連続したものの間にエミッタ・サイクルを有する前記光信号を放射するように更に構成され、前記制御回路は、前記第2のサブセットが非アクティブである間の前記エミッタ・サイクルの間に第1の時間遅延において前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成される。
いくつかの実施の形態では、前記ストローブ信号は第1のストローブ信号であり、前記制御回路は、前記エミッタ・サイクルの間に第2の時間遅延において前記検出器ピクセルの前記第2のサブセットをアクティベートする一方で、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットを非アクティブにしておく第2のストローブ信号を提供するように更に構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ信号は、第1の持続時間の間アクティブであるように構成され、前記第2のストローブ信号は、前記第1の持続時間と異なる第2の持続時間の間アクティブであるように構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりも大きい。
いくつかの実施の形態では、前記検出器アレイは行及び列を含み、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む。
いくつかの実施の形態では、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように更に構成される。
いくつかの実施の形態では、前記検出器アレイは、物理的にコロケート(collocate:配置する、又は配列する)された検出器ピクセルから構成されている第1のサブアレイと、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第2のサブアレイとを含み、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記第1のサブアレイの第1の検出器ピクセルと、前記第2のサブアレイの第2の検出器ピクセルとを含む。
本開示のいくつかの実施の形態によれば、ライダー(光検出及び測距)装置は、第1の光信号及び第2の光信号の間にエミッタ・サイクルを有する該第1の光信号及び該第2の光信号を放射するように構成されているエミッタと、前記エミッタ・サイクルの間のそれぞれのストローブ窓の間でアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを含む検出器アレイと、前記エミッタ・サイクル内の第1の時間遅延において前記エミッタ・サイクル内の第1のストローブ窓を前記複数の検出器ピクセルの第1のサブセットに適用するとともに、前記エミッタ・サイクル内の前記第1の時間遅延と異なる第2の時間遅延において前記エミッタ・サイクル内の第2のストローブ窓を前記複数の検出器ピクセルの第2のサブセットに適用するように構成されている制御回路とを備える。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1の部分が、前記エミッタ・サイクル内の前記第2のストローブ窓の第2の部分に重複する。
いくつかの実施の形態では、前記検出器アレイは行及び列を含み、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む。
いくつかの実施の形態では、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第1の時間遅延及び前記第2の時間遅延は、プログラムに従って制御されるように構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間と異なる。
いくつかの実施の形態では、前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりも大きく、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりも短い。
いくつかの実施の形態では、前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりも大きく、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりも長い。
いくつかの実施の形態では、前記検出器アレイは、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第1のサブアレイと、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第2のサブアレイとを含み、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記第1のサブアレイの第1の検出器ピクセルと、前記第2のサブアレイの第2の検出器ピクセルとを含む。
本開示のいくつかの実施の形態によれば、ライダー装置は、第1の光信号及び第2の光信号の間にエミッタ・サイクルを有する該第1の光信号及び該第2の光信号を放射するように構成されているエミッタと、前記エミッタ・サイクルの間のそれぞれのストローブ窓の間でアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを含む検出器アレイと、前記エミッタ・サイクル内で、前記第1の光信号に対するそれぞれの異なる時間遅延において、前記複数の検出器ピクセルの第1のサブセットと、前記複数の検出器ピクセルの第2のサブセットとをアクティベートするストローブ信号を提供するように構成されている制御回路とを備える。
いくつかの実施の形態では、前記制御回路は、前記エミッタ・サイクル内の第1のストローブ窓の間に前記第1のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成され、前記制御回路は、前記エミッタ・サイクル内の第2のストローブ窓の間に前記第2のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1の部分が、前記第2のストローブ窓の第2の部分に重複する。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間と異なる。
いくつかの実施の形態では、前記検出器アレイは行及び列を含み、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む。
いくつかの実施の形態では、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように構成される。
いくつかの実施の形態では、前記異なるそれぞれの時間遅延は、プログラムに従って制御されるように構成される。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1のそれぞれの時間遅延は、前記第2のストローブ窓の第2のそれぞれの時間遅延よりも短く、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりも短い。
いくつかの実施の形態では、前記第1のストローブ窓の第1のそれぞれの時間遅延は、前記第2のストローブ窓の第2のそれぞれの時間遅延よりも短く、前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりも長い。
ライダー・システムは、エミッタのアレイ及び検出器のアレイ、又は単一のエミッタ及び検出器のアレイを有するシステム、若しくはエミッタのアレイ及び単一の検出器を有するシステムを含むことができる。本明細書に記載するように、1つ以上のエミッタは、エミッタ・ユニットを規定することができ、1つ以上の検出器は、検出器ピクセルを規定することができる。フラッシュ・ライダー・システムは、視野(FoV:field of view)又はシーンにわたって短期間(パルス)の間、エミッタのアレイ又はこのアレイのサブセットから光を放射し、FoV内のターゲットから反射されたエコー信号を1つ以上の検出器において検出することによって1つ以上のターゲットの3次元遠近画(例えば、点群)を取得することができる。非フラッシュ・ライダー・システム又は走査ライダー・システムは、例えば、点走査又は線走査を使用して視野又はシーンにわたって発光を(連続して)ラスタ走査し、点ごとに必要な電力を放出し、順次走査して全FoVを復元することによって画像フレームを生成することができる。
本開示の実施形態によるライダー・システム又は回路100の一例が図1Aに示されている。ライダー・システム100は、制御回路105と、タイミング回路106と、複数のエミッタ115eを含むエミッタ・アレイ115と、複数の検出器110dを含む検出器アレイ110とを備える。検出器110dは、タイム・オブ・フライト・センサ(例えば、SPAD等の単一光子検出器のアレイ)を含む。エミッタ・アレイ115のエミッタ素子115eの1つ以上は、タイミング発生器又はドライバー回路116によって制御される時刻及び周波数において照射パルス又は連続波信号を(例えば、散光器又は光学フィルタ114を通じて)それぞれ放射するエミッタ・ユニットを規定することができる。特定の実施形態では、エミッタ115eは、LED又はレーザー(垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)等)等のパルス光源とすることができる。照射光は、ターゲット150から反射されて戻り、検出器アレイ110の1つ以上の検出器素子110dによって規定される検出器ピクセルによって検知される。制御回路105は、直接ToF測定技法又は間接的ToF測定技法を使用して、エミッタ・アレイ115からターゲット150に進み検出器アレイ110の検出器110dに戻る行程にわたる照射パルスのタイム・オブ・フライトを測定及び/又は計算するピクセル・プロセッサを実施する。
いくつかの実施形態では、エミッタ・モジュール又は回路115は、エミッタ素子115e(例えば、VCSEL)のアレイと、エミッタ素子のうちの1つ以上に結合された光学素子113、114(例えば、レンズ(複数の場合もある)113(マイクロ・レンズ等)及び/又は散光器114)の対応するアレイ、及び/又は、ドライバー電子機器(driver electronics)116とを含むことができる。光学素子113、114は、任意選択とすることができ、個別のエミッタ素子115e又は数群のエミッタ素子115eのいずれかの照射野が大きく重複せず、エミッタ素子115eから出力される光の十分に大きなビーム広がりを更に提供して目の安全を観測者に提供することを確保するために、エミッタ素子115eから出力される光のビーム広がりを十分に小さくするように構成することができる。
ドライバー電子機器116は、1つ以上のエミッタ素子にそれぞれ対応することができ、マスタ・クロックを基準とするタイミング制御信号及び/又はエミッタ素子115eによって出力される光のピーク電力を制御する電力制御信号に応答してそれぞれ動作させることができる。いくつかの実施形態では、エミッタ・アレイ115におけるエミッタ素子115eのそれぞれは、それぞれのドライバー回路116に接続されかつそれによって制御される。他の実施形態では、エミッタ・アレイ115におけるエミッタ素子115eのそれぞれの群(例えば、互いに空間的に近接するエミッタ素子115e)は、同じドライバー回路116に接続することができる。ドライバー回路又は回路部116は、エミッタ115eから出力される光放射信号の変調周波数、タイミング及び振幅を制御するように構成された、1つ以上のドライバー・トランジスタを含むことができる。
複数のエミッタ115eからの光信号の放射によって、フラッシュ・ライダー・システム100の単一の画像フレームが提供される。エミッタ115eの最大光電力出力は、本明細書に記載する実施形態に従って検出することができる、最も明るい背景照明条件における最も遠くの最も反射の少ないターゲットからのエコー信号の信号対雑音比を生成するように選択することができる。光の放射波長を制御する任意選択のフィルタ及びエミッタ・アレイ115の照射野を増加させる任意選択的な散光器114が例として示されている。
エミッタ115eのうちの1つ以上から出力される発光は、1つ以上のターゲット150に突き当たり、1つ以上のターゲット150によって反射され、反射光は、(例えば、受信機光学部品類112を介して)検出器110dのうちの1つ以上によって光信号(本明細書では、戻り信号、エコー信号、又はエコーとも称する)として検出され、電気信号表現(本明細書では、検出信号と称する)に変換され、視野190の3D点群表現170を規定するように(例えば、タイム・オブ・フライトに基づいて)処理される。本明細書に記載するような本開示の実施形態によるライダー・システムの動作は、図1Aの制御回路105等の1つ以上のプロセッサ又はコントローラによって実行することができる。
いくつかの実施形態では、受信機/検出器モジュール又は回路110は、検出器ピクセルのアレイ(各検出器ピクセルは、1つ以上の検出器110d、例えばSPADを備える)と、受信機光学部品類112(例えば、FoV190にわたって光を収集する1つ以上のレンズ)と、検出器アレイ110の全て又はいくつかの部分への電力供給、それらの有効化、及び無効化を行い、それらへタイミング信号を提供するように構成されている受信機電子機器(タイミング回路106を含む)とを備える。検出器ピクセルは、少なくともナノ秒精度でアクティベート又はディアクティベートすることができ、個々にアドレス指定可能であり、群単位でアドレス指定可能であり、及び/又はグローバルにアドレス指定可能であり得る。受信機光学部品類112は、ライダー・システムによって撮像することができる最大FoVからの光を収集するように構成されているマクロ・レンズ、検出ピクセルの収集効率を改善するマイクロ・レンズ、及び/又は迷光の検出を低減させるか又は阻止する反射防止コーティングを含むことができる。いくつかの実施形態では、スペクトル・フィルタ111は、「信号」光(すなわち、エミッタから出力された光信号の波長に対応する波長の光)を通すか又はその通過を可能にすることができるが、非信号光(すなわち、エミッタから出力される光信号と異なる波長の光)の通過を実質的に排除又は阻止することができる。
検出器アレイ110の検出器110dは、タイミング回路106に接続されている。タイミング回路106は、エミッタ・アレイ115のドライバー回路部116に位相ロックすることができる。検出器110dのそれぞれ又は検出器群の感度を制御することができる。例えば、検出器素子が、逆バイアス・フォトダイオード、アバランシェ・フォトダイオード(APD:avalanche photodiode)、PINダイオード、及び/又はガイガーモード・アバランシェ・ダイオード(SPAD)を含むとき、逆バイアスを調整することができ、それによって、オーバーバイアス(overbias)がより高いほど、感度が高くなる。
いくつかの実施形態では、マイクロコントローラ又はマイクロプロセッサ等の制御回路105は、異なるエミッタ制御信号を異なるエミッタ115eのドライバー回路部116に提供し、及び/又は異なる信号(例えば、ストローブ信号)を異なる検出器110dのタイミング回路部106に提供して、ターゲット150からのエコー信号を検出するために異なる検出器110dを有効化/無効化する。
エミッタ制御信号及び/又は検出器制御信号を生成する制御回路105の一例が図1Bに示されている。図1Bの制御回路は、1つ以上の制御回路、例えば、本明細書に記載するように、エミッタ制御信号をエミッタ・アレイ115に提供するように構成されているエミッタ制御回路及び/又はストローブ信号を検出器アレイ110に提供するように構成されている検出器制御回路を表すことができる。また、制御回路105は、エミッタ115e及び検出器110dの動作を協調させるように構成されているシーケンサ回路を備えることができる。より一般的には、制御回路105は、検出器110dのアクティベーションのタイミング及び/又は持続期間を制御するそれぞれの検出器信号を生成し、及び/又はエミッタ115eからの光信号の出力を制御するそれぞれのエミッタ制御信号を生成するように構成されている1つ以上の回路を備えることができる。
いくつかのライダーの実施態様では、異なるイメージング距離範囲は、異なるエミッタ115eを使用することによって達成することができる。例えば、200メートル(m)の距離範囲までのターゲット150を照明するように構成されているエミッタ115eは、100mの距離範囲までを撮像するように構成されているエミッタ115eの4倍の電力を立体角当たり放出するように動作させることができる。いくつかの実施形態では、同じエミッタ115eは、撮像される距離に応じて異なる電力レベルを利用するように構成することができる。例えば、ライダー・システム100が、例えばエミッタ・アレイ115から200メートルの距離にあるターゲット150を照明するように構成されている場合には、エミッタ115eは、第1の電力レベルで駆動することができる。ライダー・システム100が、例えばエミッタ・アレイ115から100メートルの距離にあるターゲット150を照明するように切り替わった場合又は別の方法でそのように(例えば、動的に)構成されている場合には、エミッタ115eは、第1の電力レベルよりも低い第2の電力レベルで駆動することができる。
本明細書において使用されるストロービングは、ライダー・システム100の1つ以上の検出器110dのアクティベーションのタイミング及び/又は持続期間(本明細書ではストローブ窓とも称する)を制御する検出器制御信号(本明細書ではストローブ信号又は「ストローブ」とも称する)の生成を指すことができる。すなわち、本明細書に記載するいくつかの実施形態は、レンジ・ストロービング(range strobing)(すなわち、エミッタ(例えばレーザー)の始動に対して可変の遅延において、エミッタ・サイクルにわたる持続期間又は時間窓の間アクティベート及びディアクティベートされるようにSPADをバイアスし、したがって、各窓/フレームにおいて特定の距離サブレンジに対応する反射信号光子を捕捉する)を利用して、各エミッタ・サイクルにおいて取得される周囲光子の数を制限することができる。エミッタ・サイクル(例えばレーザー・サイクル)は、エミッタ・パルス間の時間を指す。いくつかの実施形態では、エミッタ・サイクル時間は、光の放射パルスが最遠の許容されたターゲットとの間を往復するのに必要とされる時間として設定されるか又は別の方法でこの時間に基づいて設定され、すなわち、所望の距離範囲に基づいて設定される。約200メートルの所望の距離範囲内のターゲットをカバーするために、いくつかの実施形態におけるレーザーは、最大でも750kHzの周波数で動作させることができる(すなわち、約1.3マイクロ秒又はそれよりも長い時間ごとにレーザー・パルスを放射する)。
レンジ-ストロービング・フラッシュ・ライダー(例えば、それぞれの距離範囲に対応するストローブ窓を有する)は、いくつかの理由によってストロービングを使用することができる。例えば、いくつかの実施形態では、検出器素子をピクセル内に組み合わせることができ、光信号の放射後に検出器素子及び/又はピクセルを選択的にアクティベートして、特定のストローブ窓の間にターゲットからのエコー信号を検出することができる。検出されたエコー信号を使用して、このエコー信号から、検出器に入射した光子の検出「カウント」のヒストグラムを生成することができる。ヒストグラムに基づいてターゲット距離を検出する方法の例は、例えば、2019年2月12日付けで出願された「METHODS AND SYSTEMS FOR HIGH-RESOLUTION LONG-RANGE FLASH LIDAR」と題する米国特許出願第16/273,783号に論述されている。この米国特許出願の内容は、引用することによって本明細書の一部をなすものとする。
検出器(例えばSPAD)は、ライダーのエミッタの作動中及びライダー・システムの最小範囲に対応する期間中は非アクティブとなるようにバイアスすることができる。いくつかの実施態様では、検出器アレイの電荷分配及び高速充電を可能にするために、コンデンサのアレイをライダー・システムに設けることができる。
いくつかの実施形態では、検出は、エミッタ(例えばレーザー)が作動した直後にタイミング信号(例えば開始信号)とともに開始することができ、アバランシェによるトリガの早期又はアクティブ時間窓の終了(例えば終了信号)時に終了することができる。いくつかの実施形態では、検出は、アバランシェが発生した場合にはアバランシェとともに又はこれに応答して開始することができ、その後のレーザー・パルスの始動直前に終了することができる。いくつかの実施形態では、タイミング信号(例えば、開始信号及び終了信号)は、レーザー・サイクルの開始でもなく、レーザー・サイクルの終了でもなく、サイクルの開始と終了との間で時刻設定された信号である。いくつかの実施形態では、開始信号及び終了信号のタイミングは、全てのサイクルの間において同一であるとは限らず、例えば、範囲のストロービングを可能にする。
いくつかの実施態様では、充電方式は受動的であり、アバランシェが発生するとすぐに、SPADデバイスは直ちにかつ急速に充電する。いくつかの実施形態では、充電回路は能動的であり、充電時間は電気的に制御される。いくつかの実施形態では、能動的充電回路部は、レーザー・パルスの作動と相関した時間の間、絶縁破壊を越えてSPADにバイアスをかける。いくつかの実施形態では、充電回路部は、光のパルスが最遠のターゲットとの間を往復するのに必要とされる時間の一部分(例えば、「ストローブ窓」)の間、SPADにバイアスをかけ、このストローブ窓は、ライダーの範囲をストローブするために変更される。いくつかの実施形態では、アクティブ充電回路部は、トラップ電荷の十分大きな割合を解放するために十分長い時間(例えば、1ns、2ns、3ns、5ns、7ns、10ns、50ns、又は100ns)の間SPADをその充電状態に維持し、その後、SPADを急速に充電する。
SPADを利用する検出器アレイでは、アレイ全体が、同じストローブ窓を同時に受信することができる。そのような技法は、グローバル・ストローブ分配と称することができる。本明細書において使用される場合、ストローブ窓は、SPADが光子を検出したか否かを判断するためにSPADがバイアスをかけられるストローブ信号の持続時間(例えばパルス幅)とすることができる。例えば、600×300のSPADピクセルのSPADアレイでは、180Kピクセルの全てが、同じストローブ窓を受信することができる。ストローブ窓は、サブフレーム内で複数回繰り返すことができる。この期間の終わりに、サブフレームを読み出し、例えば、検出された光子の数をカウントすることができる。その後、プロセスは、次のストローブ窓を露出し動作を繰り返すことによって再度開始することができる。いくつかの実施形態では、それぞれのSPADは、ストローブ窓及び/又はサブフレーム間において「リセット」することができる。
しかしながら、そのような技法は、SPADの複数及び/又は全てを同時に充電するために、大きなSPAD静電容量へと導く場合がある。例えば、いくつかの実施形態では、各ピクセルは、2つのSPADマイクロセルを含むことができ、各SPADマイクロセルは、ほぼ10μm×10μmであり、SPADマイクロセル当たりほぼ100fFの静電容量を有する。そのような実施形態では、180kピクセルが存在し、各ピクセルが100fFの静電容量を有する場合、充電動作に関連した総静電容量は180k×100fF×2=~40nFとなり得る。
加えて、短い範囲の平面ターゲット(例えば、10m離れた白色のトラックの側面)の場合に、同時に起こる大きなピクセル・ピーク電力が存在する場合がある。例えば、そのようなターゲットは、SPADの全てをアクティベートさせる場合があり、これは、電力消費の増加を引き起こす場合がある。例えば、180kピクセル×100μA×1.1V=18Wの電力となる。
これらの問題を回避及び/又は低減することができる異なる技法は、空間ストローブ分配(spatial strobe distribution)を使用することである。空間ストローブ分配は、ピクセルのサブセットが平面ターゲットのために同時にアクティブになるように、ピクセル・アレイ全体を通じてストローブを空間的に分配することができる。空間ストローブ分配は、ピークSPAD充電電流をレーザー・サイクル内の複数のストローブ窓にわたって広げて削減することができる。空間ストローブ分配は、ピクセル・アクティビティ・ピーク電力もレーザー・サイクル内の複数のストローブ窓にわたって広げて削減することができる。
図2A及び図2Bは、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるグローバル・ストローブ分配(図2A)と空間ストローブ分配(図2B)との比較を示している。図2A及び図2Bに示すように、例示的なレーザー・サイクルは、n個のストローブ窓に分割することができる。例えば、レーザー・サイクル時間(例えば、放射されるレーザー間の時間)は、1.3μsとすることができる。レーザー・サイクルは、例えば、16個のストローブ窓等のn個のストローブ窓に分割することができる。そのような例では、ストローブ窓は、1.3μsのレーザー・サイクル内においてそれぞれ81nsにおいて分配することができる。図2A及び図2Bに関して論述するレーザー・パルス間のタイミングは単なる一例にすぎない。本発明から逸脱することなく、他のタイミングも可能であり得る。
図2Aは、グローバルなストローブ分配の一例を示している。特に、図2Aは、ライダー・システムのレーザー・パルスに関する一連のn個のストローブ窓のタイミングを示している。各ストローブ窓1~nは、それぞれのストロービング信号Strobe#0~Strobe#nに応答した、レーザー・パルスに対して異なるそれぞれの遅延においてライダー・システムの検出器(例えばSPAD)のアクティベーションの持続期間を規定する。いくつかの実施形態では、個々のストローブ窓は、図2Aに示すように、持続期間を同じにすることができる。画像サブフレームは、レーザー・パルスのそれぞれのパルス間に複数のストローブ窓を有する複数のレーザー・パルスを含むことができる。例えば、各サブフレームには約1000個のレーザー・サイクルが存在することができる。各サブフレームは、それぞれのストローブ窓について収集されたデータも表すことができる。ストローブ窓読み出し操作は、各サブフレームの終わりに実行することができ、複数のサブフレーム(それぞれのストローブ窓に対応する)は、各画像フレーム(例えば、各フレーム内に20個のサブフレーム)を構成する。
検出を目的として、いくつかのライダー・システムは、特定のレーザー・パルスに対して1回のみ所与の検出器について特定のストローブをアクティベートする。換言すれば、検出器(例えば、SPAD及び/又はSPADピクセル内のSPADの集合体)は、特定のレーザー・サイクルの単一のストローブ窓(対応する距離サブレンジを有する)についてのみアクティブであることができる。図2Aは、Strobe#0~Strobe#nのそれぞれのレーザー・パルスについてそれらのタイミングの一例を示している。例えば、図2Aは、特定のストローブ窓(例えば、特定の距離範囲に対応する検出器のアクティベーションの特定の時間)を複数のレーザー・サイクルに使用することができることを示している。例えば、第1のストローブ窓(例えば、Strobe#0)を検出器の全てについて複数のレーザー・サイクル(例えば、Laser#0~Laser#(X-1))に使用することができる。異なる距離サブレンジに対応する第2のストローブ窓(例えば、Strobe#1)は、第2の複数のレーザー・サイクル(例えば、Laser#X~Laser#(Y-1))に使用することができる。この連鎖は、複数のレーザー・サイクルが各距離サブレンジに利用されながら、距離サブレンジ(例えば、n個のストローブ窓)のそれぞれがサンプリングされるまで、異なる距離サブレンジ(distance sub-range)に対応するその後のストローブ窓を通して続けることができる。図2Aは、光エミッタとしてのレーザーの使用を記載しているが、本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく、他のタイプの光信号も使用することができることが理解されるであろう。
光信号のパルス(及び/又は対応するストローブ窓)間の時間は、距離範囲(例えば、光子がエミッタからその距離範囲にあるターゲットに進んで検出器に戻るのに要する時間)に対応することができ、それぞれのストローブ窓は、したがって、その距離範囲のサブレンジに対応することができる。例えば、200メートル(m)の距離範囲を撮像するために、1m~20m、20m~40m、40m~60m、...、及び180m~200mの距離サブレンジをカバーする10個のそれぞれのストローブ窓を定めることができる。距離サブレンジをより明確にするために10個のストローブ窓が一例として使用されるが、カバーされる距離サブレンジに対する対応する変更に伴って異なる数のストローブ窓(例えば、16個のストローブ窓)を使用することができることが理解されるであろう。
上記で論述したように、グローバル・ストローブ分配では、特定のレーザー・サイクルのそれぞれのストローブ窓は、ライダー・システムの検出器の複数及び/又は全てにグローバルに適用することができる。したがって、所与のレーザー・サイクルの間に、ライダー・システムの検出器の全てが、特定の距離サブレンジをそれぞれサンプリングしている場合がある。ライダー・システムは、検出器の検出光子のカウントの全てを収集して点群を生成することができる。
図2Bは、本明細書に記載するいくつかの実施形態による空間ストローブ分配のストローブ窓の配置を示している。図2Bに示すように、空間ストローブ分配を用いると、特定のレーザー・サイクルの間に2つ以上のストローブ窓をアクティベートすることができる。同じストローブ窓(及び関連した距離サブレンジ)をライダー・システムの検出器の全てにグローバルに提供するのではなく、使用されている空間分配方式に応じて、異なるストローブ窓を検出器アレイの異なる検出器に適用することができる。したがって、所与のレーザー・サイクルの間に、第1のストローブ窓(例えば、Strobe#0)を、レーザー・パルスの放射後に(特定の距離サブレンジに関連付けられた)第1の時間遅延において第1の検出器(例えば、SPAD及び/又はSPADピクセル)及び/又は第1の検出器サブセットに適用することができる。その同じレーザー・サイクルの間に、第2のストローブ窓(例えば、Strobe#n)を、レーザー・パルスの放射後に(第2の距離サブレンジに関連付けられた)第2の時間遅延において第2の検出器(例えば、SPAD及び/又はSPADピクセル)及び/又は第2の検出器サブセットに適用することができる。このように、検出器アレイの異なる検出器をレーザー・サイクルの間の異なる時点にアクティベートすることができる。
ピクセル・アレイ内のストローブの様々な空間配置が可能である。空間分配の1つの例は、ピクセル・アレイの中のサブアレイの配置を含むことができる。サブアレイは、物理的にコロケートされた複数の検出器(例えばピクセル)を含むことができる。例えば、ピクセル・アレイ内の検出器の正方配置(square arrangement)をサブアレイとしてグループ化することができる。サブアレイ配置は、信号ルーティングを容易にすることができる。空間分配の1つの例は、ピクセル・アレイの中の個々の列及び/又は行、又は、列及び/又は行のグループを含むことができ、これも、より容易なルーティングを同様に提供することができる。
図3は、本発明のいくつかの実施形態による、ピクセル内の16個のSPAD及び/又はピクセルの例示的なサブアレイのサブアレイ空間分配の一例を示している。本明細書において使用される場合、ピクセルは、個々の検出器(例えばSPAD)及び検出器のグループの双方を指すことができる。例えば、ピクセルは、4×4配置の検出器(例えばSPAD)を含むことができる。図3は、各ピクセルがピクセルC、Rとしてラベル付けされているライダー・システムのピクセルのサブアレイを形成する16個のピクセルの例示的なピクセル・アレイ310を示している。ここで、Cは、ピクセル・アレイ内のピクセルの列を示し、Rは、ピクセル・アレイ内のピクセルの行を示す。このライダー・システムのようなライダー・システムは、複数のそのようなピクセル・アレイ310を含むことができる。すなわち、ライダー・システム100の検出器アレイ110(図1参照)は、ピクセル・アレイ310の1つ以上を含むことができる。図3は、n個のストローブ窓の特定のストローブ窓構成320も示しており、ここで、nは整数である。ストローブ窓構成320は、所与のレーザー・サイクルの間にピクセル・アレイ310の特定のピクセル位置に適用されるストローブ窓の順序付けを示している。図3では、ストローブ窓構成320は、ストローブ窓をピクセル・アレイ310にどのように適用することができるのかを示すことを意図している。例えば、ストローブ窓構成320の特定のセル内のStrb#0指定は、ピクセル・アレイ310内の対応するピクセル(例えば、Pixel0,0)がStrobe#0の間にアクティベートされる(例えば、Strobe#0がPixel0,0に適用される)ことを示すことを意図している。ストローブ窓構成320の別のセル内のStrb#1指定は、ピクセル・アレイ310内の対応するピクセル(例えば、Pixel0,1)が、Strobe#0後の後続のストローブ窓であるStrobe#1の間にアクティベートされることを示すことを意図している。それ以外のセル内の指定についても同様である。
図3は、特定のピクセルが各ストローブ窓の間に選択されるサブアレイ空間分配を示している。図3は、サブアレイ・ストローブ分配の1つの実施形態の一例(例えばラスタ分配)にすぎず、限定することを意図するものではない。図3に示すように、サブアレイ・ストローブ分配320は、行内のピクセルの位置に基づいてピクセルを順次(例えば左から右に)処理することに基づくことができる。特定の行が完了すると、次のストローブ窓は、次の行を反対方向(例えば右から左)に続けることができる。当業者であれば、本発明の概念から逸脱することなく、サブアレイ・ベースの処理の他の構成も使用することができることを認識するであろう。
例えば、図4は、本発明のいくつかの実施形態による「スパイラル(らせん状の)」サブアレイ・ストローブ分配420を示している。図4では、スパイラル分配420が図3と同様のピクセル・アレイ310に適用される。図4に示すように、特定のレーザー・サイクルの間のストロービングは、特定の行に沿って進行し、その後、特定の列に沿って進行することができ、ピクセル・アレイ310の中心に向かってスパイラル・パターンで交互に進む。
図5は、本発明のいくつかの実施形態によるランダム・サブアレイ・ストローブ分配520の別の例を示している。図5に示すように、特定のレーザー・サイクルの間のストロービングは、ピクセル・アレイ310内でランダムに進行することができ、ピクセルは、特定のパターンを伴わずに、レーザー・サイクルの間に非繰り返し的に選択される。いくつかの実施形態では、ランダム・サブアレイ・ストローブ分配520は、異なるレーザー・サイクルにおいて異なることができる。例えば、ランダム・サブアレイ・ストローブ分配520は、レーザー・サイクルごとに再構成することができるが、本発明はこれに限定されるものではない。いくつかの実施形態では、ランダム・サブアレイ・ストローブ分配520は、特定の持続時間後に再構成することができる。本明細書に記載するサブアレイ処理の例は、例示を意図したものにすぎず、本明細書に記載する実施形態の限定を意図したものではない。
図6は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による例示的なデジタル・ピクセル構成を示している。図6は、デジタル・ピクセル・ストローブ発生器が、サブアレイ605の中心において共有される常時オンの電圧制御発振器(VCO:voltage controlled oscillator)610を使用することができるピクセル・サブアレイ605を組み込んだデジタル・ピクセル実施態様を示している。VCO610からの信号は、相関器がトリガされると、ピクセル・カウンタのそれぞれに順番に分配することができる。相関器は、それぞれの到達時刻が少なくとも1つの他の検出光子に対する所定の相関時間内にある検出器による1つ以上の光子の検出を表すそれぞれの相関信号を出力するように構成することができる。相関器回路は、例えば、2019年2月12日付けで出願された「METHODS AND SYSTEMS FOR HIGH-RESOLUTION LONG-RANGE FLASH LIDAR」と題する米国特許出願第16/273,783号に論述されている。図6の実施形態では、持続期間が数ナノ秒(例えば10ナノ秒未満)であるレーザー・パルスを用いた正確なタイムスタンプのデジタル化はそれほど強調されない場合があるので、VCO周波数は低くする(例えば2GHz未満)ことができる。いくつかの実施形態では、クロック同期信号620をVCO610に提供することができる。
図7は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による列ストローブ分配の別の例を示している。図7に示すように、各ストローブ窓の間に、ピクセル・アレイの1つ以上の列のピクセルを同時にストローブすることができる。例えば、16個のストローブ窓が規定されている場合には、列0、列16、列32等(例えば、16個ごとの列)を最初の窓の間にストローブすることができ、列1、列17、列33等を2番目の窓の間にストローブすることができる。それ以外の列についても同様にストローブすることができる。図7における列処理の例は、例示を意図したものにすぎず、本明細書に記載する実施形態の限定を意図したものではない。行処理は、図7に記載しているのと同様に実行することができるが、処理要素は、列ではなくピクセル・アレイの行である。
本明細書に論述するストローブ分配の変形形態に加えて、ストローブ窓タイミングの様々な構成を使用することによって追加の改善を得ることができる。いくつかの実施形態では、改善は、ターゲットからのレーザーの戻りが2つの隣接するストローブ窓にわたって分配されるシナリオを考慮するために、例えば、ストローブ窓幅の一部分だけ重複するストローブ窓を有することによって達成することができる。この一部分は、例えば、ストローブ窓の1/20、1/10、1/5、1/4、1/3、1/2等とすることができる。この実施形態は図8に示されている。重複ストローブは、ストローブ長の僅かな増加をもたらすことができる。重複ストローブの使用は、本明細書に論述するストローブ分配方式(例えば、ピクセル・サブアレイ、行ベース、列ベース等)と組み合わせて使用することができる。
いくつかの実施形態では、改善は、異なる持続期間のストローブを有することによって達成することができる。例えば、短い範囲のストローブ窓(例えば、より近い距離サブレンジに関連付けられたストローブ窓)が、長い範囲のストローブ窓よりも持続期間が長いか又は短いことが、信号対背景比(SBR:signal-to-background ratio)を等しくするために有利であり得る。持続期間は、ほぼ1/r2によって配分することができ、ここで、rは送信機からの距離である。図9は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による異なる持続期間のストローブ窓の例示的な使用を示している。そのような方式は、より弱いより遠方のターゲット用の取得窓がより短く、したがって、到達する周囲光子をより少なくすることを可能にし、それによって、平均到達時刻を計算するときに、一様なストローブ窓シナリオと比較してより高い信号対背景比を達成することをもたらす。図9は、より遠方のターゲットの取得がより短い一例を示しているが、他の構成も可能であることが理解されるであろう。例えば、図9の構成を逆にすることができ、短い範囲のストローブ窓(例えば、より近い距離サブレンジに関連付けられたストローブ窓)は、より長い範囲のストローブ窓よりも持続期間をより短くすることができる(例えば、距離範囲が増加すると、ストローブ窓持続期間は増加することができる)。
いくつかの実施形態では、擬似ランダム・サイクル持続期間を使用することができる。いくつかの実施態様では、複数のライダー・システム間の干渉に関連した問題が発生する場合がある。1つの解決策は、1つのライダー・システムの信号が外部(すなわち、別のライダー・システム)に可能な限りランダムに見えるが、発信元のライダーに同期しているようにすることを含むことができる。本明細書に記載する例示的な実施形態によるライダー・システムは、異なるサブフレーム・シーケンスにおいて所与のピクセル内の所与の距離サブレンジをサンプリングすることができるので、異なるサブフレームにおいて異なるピクセル内の異なる距離サブレンジを空間的にサンプリングすることは、干渉するライダー・システムに対して或るディザリング(dithering)作用を有する場合がある。図10は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による擬似ランダム・ストローブ・サイクル持続期間の一例を示している。いくつかの実施形態では、図10に示すシーケンスは繰り返さない場合がある。
いくつかの実施形態では、一定アクティビティ・ストロービングを使用することができる。図11は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による一定アクティビティ・ストロービングの一例を示している。例えば、空間分散型ストロービングの1つの手法は、一定遅延間隔だけ互いに僅かに時間オフセットされた同じ持続期間のより多くのストローブを有することである。前述した16個のストローブの例を使用すると、ストローブ・ゲートの4つの等しい遅延を使用することができる。図11に示すように、第1のストローブ(例えば、Strobe#0)を、ストローブ窓適用のそれぞれの間の対応する時間遅延とともに4つの異なる検出器に適用することができる。例えば、Strobe#0の適用は、Strobe#0D0(検出器0に適用されるStrobe#0)、Strobe#0D1(検出器1に適用されるStrobe#0)、Strobe#0D2(検出器2に適用されるStrobe#0)、及びStrobe#0D3(検出器3に適用されるStrobe#0)として示される。このパターンは、Strobe#1、Strobe#2、及びStrobe#3、及びそれ以降について繰り返される。いくつかの実施形態では、D0及びD1は、ピクセル・アレイ内の近傍の検出器とすることができ(例えば、以下で論述する図12参照)、順次有効にすることができる。例えば、Strobe#0D0、Strobe#0D1、Strobe#0D2、Strobe#0D3は、ストローブ期間の一部分(例えば、1/4)だけオフセットされた時点において近傍のピクセル・アレイ内の検出器をアクティベートすることができる。図11は、Strobe#0、Strobe#1、Strobe#2、及びStrobe#3が全て、例えば検出器0(D0)に適用されることを示しているが、異なる検出器をストローブ窓のうちの異なるものについてアクティベートすることができることが理解されるであろう。同様に、図11は、4つの検出器(例えば、D0、D1、D2、D3)しか示していないが、これは例示を目的としたものにすぎず、本明細書に記載する実施形態によるライダー・システムは追加の検出器を備えることができることが理解されるであろう。したがって、レーザー・サイクルの全て又は大部分にわたって延びる追加のストローブ窓を設けることができる。
対応するストローブ窓の間のそのような遅延は、例えば、遅延ロック・ループ(DLL:delay locked loop)を使用する回路において行うことができる。そのような例では、20.25ns(81ns/4)だけ互いにオフセットされた16個のストローブの4つのセットが存在することができる。SPAD充電電流は、その場合に、16×81ns間隔ではなく64×20.25ns間隔で分配される。これは、窓間隔の時間の中間点を分割することができる。いくつかの実施形態では、これは、誤差のより容易な外部補正をもたらすことができる。一定アクティビティ・ストロービングを使用するいくつかの実施形態では、外部システムは、空間時間オフセットを各ピクセル・レーザー戻り推定値から減算することができる。図11の例では、16個のストローブ窓のうちの4つのみが示されている。
いくつかの実施形態では、ピクセル・サブアレイ・ストローブ分配を一定アクティビティ・ストローブ分配と組み合わせることができる。図12は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるサブアレイ一定アクティビティ・ストローブ分配(ラスタ)の一例1220を示している。
いくつかの実施形態では、ピクセルの1つのサブアレイの処理は、ピクセルの別のサブアレイから僅かにオフセットされて実行することができる。例えば、図12では、4つのサブアレイ1210_a、1210_b、1210_c、及び1210_dが示されている。ストローブ窓は、これらの4つのサブアレイ1210_a、1210_b、1210_c、及び1210_dのうちの対応するものに図3の方法と同様の方法で適用することができる。しかしながら、第1のサブアレイ1210_aの第1の検出器(例えばSTRB#0D0)に適用される第1のストローブ窓(例えばStrobe#0)は、第2のサブアレイ1210_bの第1の検出器(例えばSTRB#0D1)に適用される第1のストローブ窓から時間をオフセットすることができ、この第2のサブアレイ1210_bの第1の検出器に適用される第1のストローブ窓は、第3のサブアレイ1210_cの第1の検出器(例えばSTRB#0D2)に適用される第1のストローブ窓からオフセットすることができ、その以外の第1のストローブ窓についても同様にオフセットすることができる。第2のストローブ窓(例えばStrobe#1)は、同様のオフセットを有するストローブ分配において様々なサブアレイのうちの次のサブアレイに適用することができる。遅延されたサブアレイは、図12では、隣接するサブアレイとして示されているが、これは単なる一例にすぎないことが理解されるであろう。当業者によって理解されるように、遅延されたグループの数の増加とともに他の多くのパターンが可能である。例えば、オフセットされたストローブ窓は、図4のストローブ分配420及び図5のストローブ分配520、又は本明細書に記載する他の任意のストローブ分配にも適用することができる。
いくつかの実施形態では、一定スライド・ストローブ窓方式を使用することができる。図13は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による一定スライド・ストローブ窓の一例を示している。この方式は、生成を容易にするとともに配線を削減するために列フォーマットでストローブ窓を分配する。例えば、600個の列がある場合には、600個の個別のストローブを生成することができる。例えば、600×300アレイでは、300個のSPADからなる1つの列を2nsごとに充電することができる。このメカニズムは、低い平均電流引き込み(例えば、3V超過の場合に100mA推定値)をもたらすことができる。いくつかの実施形態では、ライダーの検出器の1つの側(例えば左側)が近い範囲を見ている(例えば、より近い距離サブレンジに関連したストローブ窓を利用している)とき、検出器のもう1つの側(例えば右側)は、長い範囲を見る(例えば、より遠方の距離サブレンジに関連したストローブ窓を利用する)ことができる。一実施形態では、ストローブ距離の周期的な波が、左から右に絶えず移動することができる。いくつかの実施形態では、外部システムが、ピクセル時間推定値(例えば、2ns×列インデックス)をオフセットするように補償(例えば減算)することができる。
いくつかの実施形態では、ストローブ窓(例えば81ns持続期間)を時間遅延(例えば2ns)とともに生成して、実質的に一定のSPAD充電電力をSPADアレイにわたって提供することができる。例えば、600個の列がある場合には、ストローブ窓間の2nsシフトを600個のストローブ窓の数だけ倍数すると1.3μsとなる。そのような実施形態では、SPAD静電容量(例えば40nF)の1/600を2nsごとに3Vによって充電することができ、この結果、電流は100mAとなる。
図14は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による2nsストローブ窓遅延を生成するように構成されている回路の一実施形態の例示的な実施態様を示している。図14では、600列のそれぞれの列が遅延に基づいてアクティベートされる600×300のSPADアレイ1410が一例として提供されている。
図14を参照すると、位相ロック・ループPLLは、位相検出器1420と、チャージ・ポンプ1425と、フィルタ1427とを備えることができる。PLLは、遅延ロック・ループDLLに提供される位相クロック信号を生成することができる。DLLは、位相検出器1440と、チャージ・ポンプ1445とを備えることができる。チャージ・ポンプ1445から出力される信号は、ピクセル・アレイ1410の列のそれぞれに提供することができる遅延されたストローブ窓(列1ストローブ窓、列2ストローブ窓等として示されている)を位相クロック信号から生成するのに使用することができる一連の遅延素子1447に提供することができる。図14の構成は、列ではなく行に基づいて実施することもできることが理解されるであろう。
図15は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるストローブ・デコーダの一実施形態の非限定の例示的な実施態様を示している。ストローブ・デコーダは、ピクセルx,yをデコードするように構成することができる(ここで、xはピクセルの列であり、yはピクセルの行である)。図15内において、StrobeState<3:0><y>は列ベースの信号であり、StrobeCounter<3:0>はピクセル・アレイ全体にグローバルであり、IntState<3:0><x,y>はピクセル<x,y>における内部信号であり、SelStrobe<x,y>は、SPAD及びピクセル・アクティビティをゲート制御するためにピクセルx,yにおいて内部で使用されるストローブ信号である。
ピクセルx,yのデコードは、2段階で行うことができる。第1に、デコーダは、列信号Write<x>の制御下で、ローカル・ストローブ番号をラッチして記憶することができる。第2に、デコーダは、グローバルに分配されたStrobeCounter<3:0>から正しいパルスを選択することができる。
いくつかの実施形態では、ピクセル・アレイにおける空間ストローブ・パターンは、ハード・ワイヤードとすることができ、チップ製造後に変更することができない(又は変更することが困難であり得る)。いくつかの実施形態では、空間ストローブ・パターン形成は、外部システムがStrobeState<3:0>に関するワードを内部ピクセル状態IntState<3:0>に書き込むことによるプログラマブルな方法(例えば、プログラムに従って制御される)で確立することができる(例えば、図15参照)。例えば、センサチップの起動時に、コントローラは、StrobeState<3:0>値の初期パターンをピクセル・アレイ内にロードすることができる。これは、例えば、ピクセル・アレイの各行のローリング書き込みパルシングWrite<x>の1回の通過と、列ベースのレジスタからのStrobeState<3:0><y>のロードとによって行うことができる。IntState<3:0>は、ライダー・システムの最大距離に対応する繰り返しレート(例えば1.3μs)で0~15にサイクルすることができるグローバルに分配される(例えばグレイコード)ストローブ・カウントStrobeCounter<3:0>を選択することができる。
グレイコードは、2つの連続する値が1ビット(2進数字)のみ(例えば、任意の所与の点における信号遷移のうちの1つのみ)異なるように2進数系を順序付けたものである。図16は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるグローバル4ビット・グレイコード・ストローブ・カウンタの一例を示している。図17は、本明細書に記載するいくつかの実施形態による4ビット非線形グレイコード・ストローブ・カウンタの一例を示している。図7において、信号のうちの異なるものはコードの異なるビットを表す。図17に示すように、コードを、いくつかの実施形態では、同期クロック信号に従って遷移させることができる遷移点(図17に点線によって示す)において変化させることができる。
デコード後、非線形グレイコードは、短い範囲においてより長いストローブを生成することができ、長い範囲においてより短いストローブを生成することができる。これは、背景雑音の削減をもたらすことができ、長い範囲において質量中心を改善することができる。逆に、より長いストローブは、信号がより大きい、短い範囲においてより多くの背景雑音を許容することができる。図16及び図17に示すコードは単なる例示にすぎず、本開示の限定を意図するものでないことが理解されるであろう。グレイコードを利用しないビット構成を含む他のビット構成も、本発明から逸脱することなく利用することができる。
図21は、図15のストローブ・デコーダの動作の例示的な実施形態を示している。図21では、センサの電源投入時にストローブ窓のシーケンスをプログラミングすることができる。例えば、異なるピクセルにはIntStateの異なる値を指定することができる。図21の例では、16進値の0xAがPixel#0に指定され、16進値の0x5がPixel#1に指定され、16進値の0x8がPixel#2に指定され、Pixel#15まで同様に指定され、Pixel#15には16進値の0xDが指定される。これらの指定は単なる例示にすぎず、本明細書に記載する実施形態を限定することを意図するものではない。図21に示すように、StrobeCounterに使用されるコード(例えば、2の補数コード)は、ピクセル間にストローブ窓をプログラムに従って(例えば、回路及び/又はプロセッサの動作によって)分配するために、ストローブ・デコーダと組み合わせて使用することができる。
いくつかの実施形態では、サブフレームは、ADC又はデジタル読み出しを通じて行を走査するローリング・シャッタ方式に従って読み出すことができる。行yのピクセル・データを読み出している間、行yのIntState<3:0>も、列並列デジタル回路によってピクセルから読み出して、インクリメントし、同じピクセル内にライトバックすることができる。
ストローブ更新の方法を説明してきたが、本明細書に記載する実施形態は、この方法に限定されるものではない。本発明の概念から逸脱することなく、ストローブ更新の他のシーケンスが可能である。例えば、ターゲットがシステムに向かって来ていると、オンチップ(列ベース)コントローラ又はオフチップ・コントローラによって考えられる場合には、ピクセルのIntState<3:0>をデクリメントすることができる。別の例として、線形フィードバック・シフト・レジスタ(LFSR:linear feedback shift register)シーケンスを、不連続であるが周期的なストローブ・ホッピングに使用することができる。別の例として、ターゲットが取得されていると、オンチップ(列ベース)コントローラ又はオフチップ・コントローラによって考えられる場合には、より高いフレームレートで同じストローブ・サブフレームを読み出すために、ストローブは変更されないままとすることができる。これは、光子カウント信号を(ストローブに依存する)閾値と比較することによって行うことができる。
図18は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるストローブ・デコーダの非限定の例示的な実施態様を示している。図18に示すように、検出器(例えばSPAD)をアクティベートするためにピクセル・アレイ内で使用されるストローブ信号(例えば、SelStrobe<x,y>)は、StrobeState信号及びStrobeCounter信号に基づいて生成することができる。本明細書に論述するように、StrobeState信号は、列ベースの信号とすることができ、StrobeCounter信号は、ピクセル・アレイ全体にグローバルなものとすることができる。デコードの第1段階では、列信号Write<x>の制御下でローカル・ストローブ番号をラッチすることができる。デコードの第2段階では、第1段階の出力(例えばIntState)とStrobeCounter信号とに基づいて、SelStrobe信号をデコードすることができる。システムは、SysRst信号の制御下でリセットすることができる。いくつかの実施形態では、図18に示すd型フリップフロップ1810をラッチ又はSRAMとして実装して面積を削減することができる。
図19は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるストローブ・デコーダの非限定の例示的な実施態様を示している。図19に示すように、ストローブ・デコーダは、StrobeState<15:0>グローバル・ストローブ信号から入力を受信するIntState<3:0>によって制御される16対1マルチプレクサ1910として実施することもできる。この場合に、ストローブは、個々に生成することができ、重複ストローブを分配することが可能になる。いくつかの実施形態では、より多くのワイヤ及びマルチプレクサの使用によって、より大きなシリコン面積が占有される場合がある。マルチプレクサ1910への入力は、図18に関して論述するのと同様のd型フリップフロップ1810によって提供することができる。
図20は、本明細書に記載するいくつかの実施形態によるプログラマブル・ストローブ・ブロック2000の非限定の例示的な実施態様を示している。図20のブロック図には、空間ストローブ分配に関連するブロック(主要なライダー動作でない)のみが示されている。図20を参照すると、ピクセル・アレイ2010を準備することができる。ピクセル・アレイ2010は、M行及びN列を有することができる。ピクセル・アレイ2010によって提供されるストローブ窓の構成は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015によって調整及び/又は制御することができる。ストローブ・システム・コントローラ回路2015は、例えば、図1の制御回路105等の制御回路の一部とすることができる。図15~図19に関して本明細書に論述したように、プログラマブル・ストローブ分配は、StrobeCounter、StrobeState、及びWrite等の信号に基づくことができる。換言すれば、所与のピクセル(例えばPixel<x,y>)への特定のストローブ窓の適用は、StrobeCounter信号、StrobeState信号、及びWrite信号の所与のステータスに基づいて制御することができる。StrobeState信号は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015とStrobeStateシフト・レジスタ回路2020との間の通信に基づいてStrobeState更新制御回路2025によって提供することができる。StrobeStateシフトレジスタ回路2020は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015の更なる制御を受けることができる。
StrobeCounter信号は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015とストローブ発生器回路2035との間の通信に基づいてStrobeCounterクロック分配回路2030によって提供することができる。ストローブ発生器回路2035は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015の制御下で位相ロック・ループ2040から入力信号を受信することができる。
Write信号は、ストローブ・システム・コントローラ回路2015の制御下で行アドレス指定回路2017によって提供することができる。図20は、StrobeState信号、StrobeCounter信号、及びWrite信号を生成する例示的な実施態様を示しているが、本発明の概念から逸脱することなく他の回路構成も可能であることが理解されるであろう。図20に示すように、ストローブ状態を書き込む周辺回路を構成することができ、他の回路がグローバル・ストローブ・カウンタ信号を印加することが可能になる。その結果、検出器の空間サンプリング及び時間サンプリングのカスタマイゼーションをプログラムに従って行うことができる。このカスタマイゼーションは、デバイスの電源投入時に行うことができ、シリアル・チェーンを介して比較的ゆっくりと行うことができ及び/又は必要に応じて変更することができる。
本明細書に論述したストローブ分配方式の様々なもの(例えば、ピクセル・サブアレイ、行ベース、列ベース)は、本発明から逸脱することなく、本明細書に論述したストローブ・タイミング方式の様々なもの(例えば、重複ストローブ、非線形ストローブ、ランダム・ストローブ、一定アクティビティ・ストローブ、一定スライド・ストローブ)とともに利用することができることが理解されるであろう。
本明細書では、例示的な実施形態を示す添付図面を参照して、様々な実施形態について説明した。しかしながら、これらの実施形態は、異なる形態で具現化することができ、本明細書に示す実施形態に限定するものと解釈されるべきではない。むしろ、これらの実施形態は、本開示が徹底的かつ完全であり、当業者に本発明の概念を十分に伝えるように提供される。本明細書に記載した例示的な実施形態並びに全体的な原理及び特徴に対する様々な変更形態が容易に明らかとなるであろう。図面において、層及び領域のサイズ及び相対サイズは、正確な尺度で示されてはおらず、場合によっては、明確にするために誇張されている可能性がある。
例示的な実施形態は、主に、特定の実施態様において提供された特定の方法及びデバイスに関して記載している。しかしながら、それらの方法及びデバイスは、他の実施態様で有効に動作することができる。「例示的な実施形態」、「1つの実施形態」及び「別の実施形態」等の言い回しは、同じか又は異なる実施形態とともに複数の実施形態を指す場合がある。実施形態について、或る特定のコンポーネントを有するシステム及び/又はデバイスに関して説明する。しかしながら、そうしたシステム及び/又はデバイスは、示したものより少ないか又は追加のコンポーネントを含むことができ、本発明の概念の範囲から逸脱することなく、それらのコンポーネントの配置及びタイプの変形形態を作成することができる。例示的な実施形態について、或る特定のステップ又は動作を有する特定の方法に関してもまた記載する。しかしながら、そうした方法及びデバイスは、異なる及び/又は追加のステップ/動作、並びに、例示的な実施形態とは一貫しない異なる順序でのステップ/動作を有する、他の方法に対しても有効に動作することができる。したがって、本発明の概念は、示した実施形態に限定されるようには意図されておらず、本明細書に記載した原理及び特徴と一貫する最も広い範囲が与えられるべきである。
当業者によって理解されるように、本開示の態様は、任意の新規で有用なプロセス、機械、製造品、若しくは組成物、又はそれらの新規で有用ないずれかの改良形態を含む多くの特許可能なクラス又はコンテキストのいずれにおいても本明細書に図示及び記載することができる。したがって、本開示の態様は、全体をハードウェアで実施することもできるし、全体をソフトウェア(ファームウェア、常駐ソフトウェア、マイクロコード等を含む)で実施することもできるし、本明細書において全体を「回路」、「モジュール」、「コンポーネント」、又は「システム」と一般に称することができるソフトウェア及びハードウェアを組み合わせた実施態様で実施することもできる。さらに、本開示の態様は、コンピュータ可読プログラムコードが具現化された1つ以上のコンピュータ可読媒体に具現化されたコンピューター・プログラム製品の形態を取ることができる。
本明細書で使用した用語は、特定の実施形態を説明することのみを目的とするものであり、例示的な実施形態を限定するようには意図されていない。本明細書において使用される場合、単数形「一(a、an)」及び「その(the)」は、別段文脈に明確な指示がない限り、複数形も含むように意図される。本明細書において使用される場合、「備える(comprising、comprises)」という用語は、非限定的(open-ended)であり、1つ以上の述べられていない要素、ステップ及び/又は機能を排除することなく1つ以上の述べられている要素、ステップ及び/又は機能を含むこともまた理解されるであろう。「及び/又は」という用語は、関連する列挙された項目のうちの1つ以上のありとあらゆる組み合わせを含む。
本明細書では、第1、第2等の用語を用いて様々な要素について記載している場合があるが、これらの要素はこれらの用語によって限定されるべきではないことが理解されるであろう。これらの用語は、1つの要素を別の要素から識別するためにのみ使用される。したがって、以下に考察する第1の要素は、本発明の概念の範囲から逸脱することなく第2の要素と呼ぶことができる。
要素が別の要素に「接続されて」いるか又は「結合されて」いるものとして言及される場合、それは、他方の要素に直接接続又は結合することができ、又は介在する要素が存在する場合があることも理解されるであろう。対照的に、要素が別の要素に「直接接続されて」いるか又は「直接結合されて」いるという場合、介在する要素は存在しない。
別段の定義のない限り、本明細書で用いる全ての用語(技術用語及び科学用語を含む)は、本発明の概念が属する技術分野の当業者に一般に理解されるものと同じ意味を有する。一般に使用される辞書において定義されるもの等の用語は、関連技術に関連するそれらの意味と一貫する意味を有するものとして解釈されるべきであり、本明細書において明示的な定義のない限り、理想化された又は過度に形式的な意味で解釈されないことが更に理解されるであろう。
本明細書において、上記の説明及び図面に関連して多くの異なる実施形態が開示されてきた。これらの実施形態の全ての組み合わせ及び部分的組み合わせをそのまま説明し示すことは、過度に繰り返しが多くわかりにくいものとなることが理解されるであろう。したがって、図面を含む本明細書は、本明細書において説明される実施形態並びにそれらを作成し用いる方式及びプロセスの全ての組み合わせ及び部分的組み合わせの完全な明細書を構成すると解釈されるものとし、任意のそのような組み合わせ又は部分的組み合わせに対する特許請求を支持するものとする。
図面及び明細書において、本開示の実施形態が開示されており、具体的な用語が採用されているが、それらは、一般的かつ説明的な意味でのみ使用され、限定を目的とするものではない。添付の特許請求の範囲は、本出願が全ての管轄権における優先権出願として全ての法的要件を満たすことを確保するために提供され、本発明の範囲を規定するものとして解釈されないものとする。
Claims (26)
- それぞれのエミッタ制御信号に応答して光信号を放射するように構成されている複数のエミッタ・ユニットを備えるエミッタ・アレイと、
前記光信号のパルス間のそれぞれのストローブ窓についてアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを備える検出器アレイと、
前記検出器ピクセルの第1のサブセットをアクティベートする一方、前記検出器ピクセルの第2のサブセットを非アクティブにしておくストローブ信号を提供するように構成されている制御回路と
を備える、ライダー(光検出及び測距)装置。 - 前記エミッタ・アレイは、前記光信号のうちの連続したものの間のエミッタ・サイクルをもって前記光信号を放射するように更に構成され、
前記制御回路は、前記第2のサブセットが非アクティブである間の前記エミッタ・サイクルにおいて第1の時間遅延で前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成される、請求項1に記載のライダー装置。 - 前記ストローブ信号は第1のストローブ信号であり、
前記制御回路は、前記エミッタ・サイクルにおいて第2の時間遅延で前記検出器ピクセルの前記第2のサブセットをアクティベートする一方で、前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットを非アクティブにしておく第2のストローブ信号を提供するように更に構成される、請求項2に記載のライダー装置。 - 前記第1のストローブ信号は、第1の持続時間の間アクティブであるように構成され、
前記第2のストローブ信号は、前記第1の持続時間と異なる第2の持続時間の間アクティブであるように構成される、請求項3に記載のライダー装置。 - 前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりも大きい、請求項3又は4に記載のライダー装置。
- 前記検出器アレイは行及び列を含み、
前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む、請求項1~5のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、
前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように更に構成されている、請求項1~6のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記検出器アレイは、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第1のサブアレイと、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第2のサブアレイとを含み、
前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記第1のサブアレイの第1の検出器ピクセルと、前記第2のサブアレイの第2の検出器ピクセルとを含む、請求項1~7のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 第1の光信号及び第2の光信号の間のエミッタ・サイクルをもって該第1の光信号及び該第2の光信号を放射するように構成されているエミッタと、
前記エミッタ・サイクルにおけるそれぞれのストローブ窓についてアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを含む検出器アレイと、
前記エミッタ・サイクル内の第1の時間遅延において前記エミッタ・サイクル内の第1のストローブ窓を前記複数の検出器ピクセルの第1のサブセットに適用するとともに、前記エミッタ・サイクル内の前記第1の時間遅延と異なる第2の時間遅延において前記エミッタ・サイクル内の第2のストローブ窓を前記複数の検出器ピクセルの第2のサブセットに適用するように構成されている制御回路と
を備える、ライダー(光検出及び測距)装置。 - 前記第1のストローブ窓の第1の部分が、前記エミッタ・サイクル内の前記第2のストローブ窓の第2の部分に重複する、請求項9に記載のライダー装置。
- 前記検出器アレイは行及び列を含み、
前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む、請求項9又は10に記載のライダー装置。 - 前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、
前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように構成される、請求項9~11のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記第1の時間遅延及び前記第2の時間遅延は、プログラムに従って制御されるように構成される、請求項9~12のいずれか1項に記載のライダー装置。
- 前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間と異なる、請求項9~13のいずれか1項に記載のライダー装置。
- 前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりもより大きく、
前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりもより短い、請求項9~13のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記第2の時間遅延は前記第1の時間遅延よりもより大きく、
前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりもより長い、請求項9~13のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記検出器アレイは、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第1のサブアレイと、物理的にコロケートされた検出器ピクセルから構成されている第2のサブアレイとを含み、
前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記第1のサブアレイの第1の検出器ピクセルと、前記第2のサブアレイの第2の検出器ピクセルとを含む、請求項9~16のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 第1の光信号及び第2の光信号の間にエミッタ・サイクルをもって該第1の光信号及び該第2の光信号を放射するように構成されているエミッタと、
前記エミッタ・サイクルにおけるそれぞれのストローブ窓についてアクティベート及びディアクティベートされるように構成されている複数の検出器ピクセルを含む検出器アレイと、
前記エミッタ・サイクル内で、前記第1の光信号に対するそれぞれの異なる時間遅延において、前記複数の検出器ピクセルの第1のサブセットと、前記複数の検出器ピクセルの第2のサブセットとをアクティベートするストローブ信号を提供するように構成されている制御回路と
を備える、ライダー(光検出及び測距)装置。 - 前記制御回路は、前記エミッタ・サイクル内の第1のストローブ窓の間に前記第1のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成され、
前記制御回路は、前記エミッタ・サイクル内の第2のストローブ窓の間に前記第2のサブセットをアクティベートする前記ストローブ信号を提供するように更に構成される、請求項18に記載のライダー装置。 - 前記第1のストローブ窓の第1の部分が、前記第2のストローブ窓の第2の部分に重複する、請求項18又は19に記載のライダー装置。
- 前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間と異なる、請求項18~20のいずれか1項に記載のライダー装置。
- 前記検出器アレイは行及び列を含み、
前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、前記検出器アレイの行又は前記検出器アレイの列を含む、請求項18~21のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記検出器ピクセルの前記第1のサブセットは、第1の検出器ピクセル及び第2の検出器ピクセルを含み、
前記制御回路は、前記第1の検出器ピクセルをアクティベートした後の或る時間オフセットにおいて前記第2の検出器ピクセルをアクティベートするように構成される、請求項18~22のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記異なるそれぞれの時間遅延は、プログラムに従って制御されるように構成される、請求項18~23のいずれか1項に記載のライダー装置。
- 前記第1のストローブ窓の第1のそれぞれの時間遅延は、前記第2のストローブ窓の第2のそれぞれの時間遅延よりもより短く、
前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりもより短い、請求項18~24のいずれか1項に記載のライダー装置。 - 前記第1のストローブ窓の第1のそれぞれの時間遅延は、前記第2のストローブ窓の第2のそれぞれの時間遅延よりもより短く、
前記第1のストローブ窓の第1の持続期間は、前記第2のストローブ窓の第2の持続期間よりもより長い、請求項18~24のいずれか1項に記載のライダー装置。
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