JP2022172256A - マルチビーム装置におけるビームセパレータの分散を補償するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[001] 本出願は、2017年7月28日に出願された米国特許出願第62/538,609号の優先権を主張するものであり、該出願はその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
F(v0)=Fe+Fm=e(E2-v0×B2) (1)
F(v0+dv)=Fe+Fm=F(v0)-(e×dv×B2) (2)
条項1.ビームセパレータを備える荷電粒子ビームシステム用の分散デバイスであって、
システムの荷電粒子ビームに対する第1のビーム分散を誘発するように構成された静電偏向器及び磁気偏向器を含み、第1のビーム分散は、ビームセパレータによって引き起こされるビームの第2のビーム分散の影響を打ち消すように設定され、
静電偏向器はビームに第1の力を作用させ、磁気偏向器はビームに第2の力を作用させ、第1の力及び第2の力は互いに対して実質的に反対であり、第1のビーム分散を形成する、分散デバイス。
条項2.第1のビーム分散が第2のビーム分散に対して変更されるときに、分散デバイスに起因するビームの偏向角は変化しない、条項1に記載の分散デバイス。
条項3.偏向角はゼロである、条項2に記載の分散デバイス。
条項4.四極子場を生成して第1の力及び第2の力によって引き起こされる非点収差の影響を打ち消すことができる多極子レンズを更に含む、条項1に記載の分散デバイス。
条項5.荷電粒子ビームは電子ビームである、条項1に記載の分散デバイス。
条項6.荷電粒子ビームシステムは電子ビーム検査ツールを含む、条項1~5の何れか一項に記載の分散デバイス。
条項7.荷電粒子ビーム装置であって、
一次荷電粒子ビームを生成するための放射源と、
放射源の下にある第1の分散デバイスと、
第1の分散デバイスの下にあるビームセパレータと、
ビームセパレータの下にある対物レンズと、
サンプルを支持するためのサンプルステージと、
ビームセパレータの上にある検出器と、を含み、
一次荷電粒子ビームは、対物レンズによってサンプル上に集束し、そこに一次プローブスポットを形成し、そこからの二次荷電粒子ビームを生成し、
ビームセパレータは、一次荷電粒子ビームと二次荷電粒子ビームを分離し、その結果、二次荷電粒子ビームが検出器によって検出され、
第1の分散デバイスは、一次荷電粒子ビームに対する第1の一次ビーム分散を生成し、
ビームセパレータは、一次荷電粒子ビームに対する第2の一次ビーム分散及び二次荷電粒子ビームに対する第2の二次ビーム分散を生成し、
第1の分散デバイスは、一次荷電粒子ビームに第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、第1の力と第2の力は互いに反対であり、第1の一次ビーム分散を形成し、
第1の一次ビーム分散が一次プローブスポットに対する第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すように、第1の一次ビーム分散が調節される、荷電粒子ビーム装置。
条項8.ビームセパレータは第2の磁気偏向器を含む、条項7に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項9.第1の分散デバイスによって引き起こされる一次荷電粒子ビームの第1の偏向角は、ビームセパレータによって引き起こされる一次荷電粒子ビームの第2の偏向角と等しく且つ反対である、条項8に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項10.第1の分散デバイスによって引き起こされる一次荷電粒子ビームの第1の偏向角はゼロである、条項8に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項11.ビームセパレータはウィーンフィルタを含む、条項7に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項12.第1の分散デバイスによって引き起こされる一次荷電粒子ビームの第1の偏向角はゼロである、条項11に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項13.ビームセパレータと検出器との間にあり、検出器に入射する二次荷電粒子ビームの位置及び角度のうちの少なくとも一方を調節するように構成された、1つ又は複数の二次偏向器を更に含む、条項7に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項14.一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスにより引き起こされる非点収差の影響のうちの少なくとも1つを打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第1の多極子レンズを更に含む、条項7に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項15.第1の多極子レンズは、ビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの一方に隣接して配置される、条項14に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項16.ビームセパレータは、一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスにより引き起こされる非点収差の影響のうちの少なくとも1つを打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第2の多極子レンズを含む、条項7及び14のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項17.第1の分散デバイスは、一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスにより引き起こされる非点収差の影響のうちの少なくとも1つを打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第3の多極子レンズを含む、条項7、14、及び16のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項18.ビームセパレータと検出器との間にあり、二次荷電粒子ビームに対する第1の二次ビーム分散を生成する、第2の分散デバイスを更に含み、
第2の分散デバイスは、第3の静電偏向器及び第3の磁気偏向器を含み、それらの偏向場は、第1の二次ビーム分散が、検出器上の二次荷電粒子ビームの二次プローブスポットに対する第2の二次ビーム分散の影響を打ち消すように調節される、条項7及び13のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項19.荷電粒子ビームは電子ビームである、条項7に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項20.ビームセパレータを備える荷電粒子ビームシステムにおいて分散を制御するための方法であって、
システムの一次荷電粒子ビームの経路内に第1の分散デバイスを設けることと、
ビームセパレータの上流に第1の分散デバイスを配置することと、
第1の分散デバイスによって、一次荷電粒子ビームに対する第1の一次ビーム分散を生成することと、
第1の一次ビーム分散を調節して、ビームセパレータによって引き起こされる一次荷電粒子ビームの第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すことと、を含み、
第1の分散デバイスは、一次荷電粒子ビームに第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、第1の力と第2の力は互いに反対であり、第1の一次ビーム分散を形成する、方法。
条項21.ビームセパレータと検出器との間に二次荷電粒子ビームの経路に沿って配置される1つ又は複数の二次偏向器を設けることを更に含み、二次荷電粒子ビームは、一次荷電粒子ビームによりサンプルから生成される、条項20に記載の方法。
条項22.検出器に入射する二次荷電粒子ビームの位置及び角度のうちの少なくとも一方を調節するように、1つ又は複数の二次偏向器を動作させることを更に含む、条項21に記載の方法。
条項23.ビームセパレータ及び第1の分散デバイスによって引き起こされる非点収差のうちの少なくとも1つを打ち消すように四極子場を生成する、1つの多極子レンズを設けることを更に含む、条項20に記載の方法。
条項24.システムの二次荷電粒子ビームに対する第1の二次ビーム分散を生成する第2の分散デバイスを設けることを更に含み、二次荷電粒子ビームは一次荷電粒子ビームによってサンプルから生成され、第2の分散デバイスは二次荷電粒子ビームに第3の力及び第4の力をそれぞれ作用させる第2の静電偏向器及び第2の磁気偏向器を含み、第3の力及び第4の力は互いに反対であり、第1の二次ビーム分散を形成する、条項20に記載の方法。
条項25.第1の二次ビーム分散を調節して、ビームセパレータによって引き起こされる二次荷電粒子ビームの第2の二次ビーム分散の影響を打ち消すことを更に含む、条項24に記載の方法。
条項26.荷電粒子ビーム装置であって、
一次荷電粒子ビームを提供するように構成された放射源と、
一次荷電粒子ビームの複数のビームレットを使用して、放射源の複数の平行な像を形成するように構成された放射源変換ユニットと、
対物レンズを備える第1の投影系であって、複数の平行な像をサンプル上に投影し、従って複数のビームレットでサンプル上に複数の一次プローブスポットを形成するように構成された、第1の投影系と、
複数のビームレットと、複数の一次プローブスポットによってサンプルから生成された複数の二次荷電粒子ビームとを分離するように構成されたビームセパレータと、
複数の検出素子を備えた検出デバイスと、
複数の二次荷電粒子ビームを検出デバイス上に集束させ、そこに複数の二次プローブスポットを形成するように構成された二次投影系であって、複数の二次プローブスポットは複数の検出素子によって検出される、二次投影系と、
ビームセパレータの上流に配置され、複数のビームレットに対する複数の第1の一次ビーム分散を生成するように構成された第1の分散デバイスと、を含み、
複数の第1の一次ビーム分散は、複数の一次プローブスポットに対するビームセパレータにより生成される複数の第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すように調節され、
第1の分散デバイスは、複数のビームレットの各々に第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、第1の力と第2の力は互いに反対であり、対応する第1の一次ビーム分散を形成する、荷電粒子ビーム装置。
条項27.ビームセパレータは第2の磁気偏向器を含む、条項26に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項28.第1の分散デバイスによって引き起こされる複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角はゼロである、条項27に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項29.第1の分散デバイスによって引き起こされる複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角は、ビームセパレータによって引き起こされる複数のビームレットのうちの1つの第2の偏向角と等しく且つ反対である、条項27に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項30.ビームセパレータはウィーンフィルタを含む、条項26に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項31.第1の分散デバイスによって引き起こされる複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角はゼロである、条項30に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項32.ビームセパレータと二次投影系との間にあり、二次投影系に入射する複数の二次荷電粒子ビームの各々の位置及び角度のうちの少なくとも一方を調節するように構成された、1つ又は複数の二次偏向器を更に含む、条項26に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項33.複数の一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第1の多極子レンズを更に含む、条項26に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項34.第1の多極子レンズは、ビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの一方に隣接して配置される、条項33に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項35.ビームセパレータは、複数の一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第2の多極子レンズを含む、条項26及び33のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項36.第1の分散デバイスは、複数の一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第3の多極子レンズを含む、条項26、33、及び35のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項37.放射源変換ユニットは、対応する一次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するようにそれぞれ構成された、複数の第6の多極子レンズを含む、条項26、33、35、及び36のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項38.複数の二次プローブスポットに対するビームセパレータにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第4の多極子レンズを更に含む、条項26に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項39.ビームセパレータと検出デバイスとの間にあり、複数の二次荷電粒子ビームに対する複数の第1の二次ビーム分散を生成する、第2の分散デバイスを更に含み、
第2の分散デバイスは、複数の二次荷電粒子ビームの各々に第3の力及び第4の力をそれぞれ作用させる第3の静電偏向器及び第3の磁気偏向器を含み、第3の力と第4の力は互いに反対であり、対応する第1の二次ビーム分散を形成し、
複数の第1の二次ビーム分散は、複数の二次プローブスポットに対するビームセパレータにより生成された複数の第2の二次ビーム分散の影響を打ち消すように調節される、条項26に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項40.複数の二次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第2の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第4の多極子レンズを更に含む、条項39に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項41.第2の分散デバイスは、複数の二次プローブスポットに対するビームセパレータ及び第2の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第5の多極子レンズを含む、条項39及び40のうちの何れか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
条項42.一次荷電粒子ビームは電子ビームである、条項26に記載の荷電粒子ビームシステム。
条項43.ビームセパレータを備える荷電粒子ビームシステムにおいて分散を制御するための方法であって、
放射源変換ユニットを設けて、放射源により生成される一次荷電粒子ビームの複数のビームレットにより、放射源の複数の像を形成することと、
複数のビームレットの経路内に第1の分散デバイスを設けることと、
ビームセパレータの上流に第1の分散デバイスを配置することと、
第1の分散デバイスにより、複数のビームレットに対する複数の第1の一次ビーム分散を生成することと、
複数の第1の一次ビーム分散を調節して、複数のビームレットに対するビームセパレータにより生成された複数の第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すことと、を含み、
第1の分散デバイスは、複数のビームレットの各々に第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、第1の力と第2の力は互いに反対であり、対応する第1の一次ビーム分散を形成する、方法。
条項44.システムの複数の二次荷電粒子ビームに対する複数の第1の二次ビーム分散を生成する第2の分散デバイスを設けることを更に含み、複数の二次荷電粒子ビームは複数のビームレットによってサンプルから生成され、第2の分散デバイスは複数の二次荷電粒子ビームの各々に第3の力及び第4の力をそれぞれ作用させる第2の静電偏向器及び第2の磁気偏向器を含み、第3の力及び第4の力は互いに反対であり、対応する第1の二次ビーム分散を形成する、条項43に記載の方法。
条項45.複数の第1の二次ビーム分散を調節して、検出デバイス上に複数の二次荷電粒子ビームによって形成される複数の二次プローブスポットに対する、ビームセパレータにより生成される複数の第2の二次ビーム分散の影響を打ち消すことを更に含む、条項44に記載の方法。
条項46.荷電粒子ビームシステム用の分散フィルタであって、荷電粒子ビームシステムのビームセパレータの上流に配置され、
ビームセパレータによって引き起こされる第2のビーム分散と実質的に反対の第1のビーム分散を誘発するように構成された、静電偏向器及び磁気偏向器の組み合わせを含む、分散フィルタ。
Claims (15)
- 荷電粒子ビーム装置であって、
一次荷電粒子ビームを提供するように構成された放射源と、
前記一次荷電粒子ビームの複数のビームレットを使用して、前記放射源の複数の平行な像を形成するように構成された放射源変換ユニットと、
対物レンズを備える第1の投影系であって、前記複数の平行な像をサンプル上に投影し、従って前記複数のビームレットで前記サンプル上に複数の一次プローブスポットを形成するように構成された、第1の投影系と、
前記複数のビームレットと、前記複数の一次プローブスポットによって前記サンプルから生成された複数の二次荷電粒子ビームとを分離するように構成されたビームセパレータと、
複数の検出素子を備えた検出デバイスと、
前記複数の二次荷電粒子ビームを前記検出デバイス上に集束させ、そこに複数の二次プローブスポットを形成するように構成された二次投影系であって、前記複数の二次プローブスポットは前記複数の検出素子によって検出される、二次投影系と、
前記ビームセパレータの上流に配置され、前記複数のビームレットに対する複数の第1の一次ビーム分散を生成するように構成された第1の分散デバイスと、を備え、
前記複数の第1の一次ビーム分散は、前記複数の一次プローブスポットに対する前記ビームセパレータにより生成される複数の第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すように調節され、
前記第1の分散デバイスは、前記複数のビームレットの各々に第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、前記第1の力と前記第2の力は互いに反対であり、前記対応する第1の一次ビーム分散を形成する、荷電粒子ビーム装置。 - 前記ビームセパレータは、第2の磁気偏向器を含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の分散デバイスによって引き起こされる前記複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角は、ゼロである、請求項2に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の分散デバイスによって引き起こされる前記複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角は、前記ビームセパレータによって引き起こされる前記複数のビームレットのうちの前記1つの第2の偏向角と等しく且つ反対である、請求項2に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記ビームセパレータは、ウィーンフィルタを含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の分散デバイスによって引き起こされる前記複数のビームレットのうちの1つの第1の偏向角は、ゼロである、請求項5に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記ビームセパレータと前記二次投影系との間にあり、前記二次投影系に入射する前記複数の二次荷電粒子ビームの各々の位置及び角度のうちの少なくとも一方を調節するように構成された、1つ又は複数の二次偏向器を更に含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記複数の一次プローブスポットに対する前記ビームセパレータ及び前記第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第1の多極子レンズを更に含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の多極子レンズは、前記ビームセパレータ及び前記第1の分散デバイスのうちの一方に隣接して配置される、請求項8に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記ビームセパレータは、前記複数の一次プローブスポットに対する前記ビームセパレータ及び前記第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第2の多極子レンズを含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の分散デバイスは、前記複数の一次プローブスポットに対する前記ビームセパレータ及び前記第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第3の多極子レンズを含む、請求項1に記載の荷電粒子ビームシステム。
- 前記放射源変換ユニットは、前記対応する一次プローブスポットに対する前記ビームセパレータ及び前記第1の分散デバイスのうちの少なくとも1つにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するようにそれぞれ構成された、複数の第6の多極子レンズを含む、請求項1に記載の荷電粒子ビームシステム。
- 前記複数の二次プローブスポットに対する前記ビームセパレータにより引き起こされる非点収差の影響を打ち消すように四極子場を生成するように構成された、第4の多極子レンズを更に含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記ビームセパレータと前記検出デバイスとの間にあり、前記複数の二次荷電粒子ビームに対する複数の第1の二次ビーム分散を生成する、第2の分散デバイスを更に含み、
前記第2の分散デバイスは、前記複数の二次荷電粒子ビームの各々に第3の力及び第4の力をそれぞれ作用させる第3の静電偏向器及び第3の磁気偏向器を含み、前記第3の力と前記第4の力は互いに反対であり、前記対応する第1の二次ビーム分散を形成し、
前記複数の第1の二次ビーム分散は、前記複数の二次プローブスポットに対する前記ビームセパレータにより生成された複数の第2の二次ビーム分散の影響を打ち消すように調節される、請求項1に記載の荷電粒子ビームシステム。 - ビームセパレータを備える荷電粒子ビームシステムにおいて分散を制御するための方法であって、
放射源変換ユニットを設けて、放射源により生成される一次荷電粒子ビームの複数のビームレットにより、前記放射源の複数の像を形成することと、
前記複数のビームレットの経路内に第1の分散デバイスを設けることと、
前記ビームセパレータの上流に前記第1の分散デバイスを配置することと、
前記第1の分散デバイスにより、前記複数のビームレットに対する複数の第1の一次ビーム分散を生成することと、
前記複数の第1の一次ビーム分散を調節して、前記複数のビームレットに対する前記ビームセパレータにより生成された複数の第2の一次ビーム分散の影響を打ち消すことと、を含み
前記第1の分散デバイスは、前記複数のビームレットの各々に第1の力及び第2の力をそれぞれ作用させる第1の静電偏向器及び第1の磁気偏向器を含み、前記第1の力と前記第2の力は互いに反対であり、前記対応する第1の一次ビーム分散を形成する、方法。
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