JP2022167858A - 分光フィルタ、それを含むイメージセンサ、及び電子装置 - Google Patents
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Abstract
Description
111、112、113 ユニットフィルタ
131、132 第1及び第2金属反射層
140 共振器
140a ベース
141、142、143 第1、第2、第3キャビティ
150 帯域透過フィルタ
151、152、153 第1、第2、第3帯域フィルタ
170 下部誘電体層
180 上部誘電体層
1100 分光フィルタ
4100 画素アレイ
λ1、λ1’、λ1” 第1波長領域
λ2、λ2’、λ2” 第2波長領域
λ3、λ3’、λ3” 第3波長領域
Claims (23)
- 第1金属反射層と、
前記第1金属反射層の上部に設けられる第2金属反射層と、
前記第1及び第2金属反射層の間に設けられ、それぞれ複数の中心波長を有するように構成された複数のキャビティと、
前記第1金属反射層の下部または前記第2金属反射層の上部に設けられ、それぞれ互いに異なる波長領域の光を透過させる複数の帯域フィルタを含む帯域透過フィルタ(bandpass filter)と、を含み、
前記複数の帯域フィルタと前記複数のキャビティは、互いに対応するように設けられ、
前記各帯域フィルタは、特定波長領域の光を透過させ、
前記各帯域フィルタに対応する前記各キャビティは、前記特定波長領域内の中心波長を含む複数の中心波長を有する、分光フィルタ。 - 前記帯域透過フィルタは、カラーフィルタまたは広域フィルタを含む、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 前記複数の帯域フィルタは、前記複数のキャビティに一対一対応するように設けられる、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 前記複数の帯域フィルタは、第1波長領域の光を透過させる第1帯域フィルタ、第2波長領域の光を透過させる第2帯域フィルタ、及び第3波長領域の光を透過させる第3帯域フィルタを含む、請求項3に記載の分光フィルタ。
- 前記複数のキャビティは、前記第1帯域フィルタに対応する第1キャビティ、前記第2帯域フィルタに対応する第2キャビティ、及び前記第3帯域フィルタに対応する第3キャビティを含む、請求項4に記載の分光フィルタ。
- 前記第1キャビティは、前記第1波長領域内の中心波長を含む複数の中心波長を有し、前記第2キャビティは、前記第2波長領域内の中心波長を含む複数の中心波長を有し、前記第3キャビティは、前記第3波長領域内の中心波長を含む複数の中心波長を有する、請求項5に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティは、互いに異なる有効屈折率を有するように構成される、請求項5に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティは、互いに等しい厚さを有する、請求項7に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティそれぞれは、200nm以上1000nm以下の厚さを有する、請求項8に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティのうち、少なくとも1つは、ベースと、前記ベース内に所定形態に配置された少なくとも1つのパターンを含む、請求項7に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティそれぞれは、前記ベースがチタン酸化物を含む、請求項10に記載の分光フィルタ。
- 前記第1、第2及び第3キャビティそれぞれは、前記ベースがシリコン窒化物またはハフニウム酸化物を含む、請求項10に記載の分光フィルタ。
- 前記複数の帯域フィルタそれぞれが2個以上の前記キャビティに対応するように設けられる、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 前記第1及び第2金属反射層は、互いに等しい金属物質を含むか、または互いに異なる金属物質を含む、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 前記第1または第2金属反射層は、Al、Cu、Ag、Au、Ti、WまたはTiNを含む、請求項14に記載の分光フィルタ。
- 前記第1または第2金属反射層は、poly-Siをさらに含む、請求項15に記載の分光フィルタ。
- 前記第1及び第2金属反射層は、それぞれ10nm~80nmの厚さを有する、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 前記複数のキャビティの上部または、下部に設けられるものであり、互いに異なる有効屈折率を有する複数の誘電体層をさらに含む、請求項1に記載の分光フィルタ。
- 請求項1から請求項18のいずれかに記載の分光フィルタと、
前記分光フィルタを透過した光を受光する画素アレイと、を含む、
イメージセンサ。 - 前記画素アレイは、複数の画素を含み、前記各画素は、駆動回路が内部に設けられた配線層及び前記配線層に設けられるフォトダイオードを含む、請求項19に記載のイメージセンサ。
- タイミングコントローラ、ロウデコーダ及び出力回路をさらに含む、請求項19に記載のイメージセンサ。
- 請求項19に記載のイメージセンサを含む、電子装置。
- モバイルフォン、スマートフォン、タブレット、スマートタブレット、デジタルカメラ、カムコーダ、ノート型パソコン、テレビ、スマートテレビ、スマート冷蔵庫、保安カメラ、ロボットまたは医療用カメラを含む、請求項22に記載の電子装置。
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