JP2022144256A - 光走査装置、物体検出装置及び移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化可能な光走査装置を提供すること。【解決手段】本発明の一態様に係る光走査装置は、可動部と、前記可動部を駆動させる駆動部と、前記可動部に設けられ、光源から入射される光を導光する導光部と、前記導光部に設けられ、前記導光部の内部を導光された光を出射させる光出射部と、を有する。この構成により、導光部により導光された光を光出射部から出射させて走査させるため、導光部に光を入射させる光源の位置が制限されない。例えば、光源からの光は、導光部における主面に交差する入射端面（第１の面）から導光部に入射され、導光部から出射される光は、導光部における主面（第２の面）を通って出射される。これにより、可動部に向き合う側で可動部から離隔した位置に光源を設置するための空間を設けなくてもよいため、光走査装置を小型化できる。【選択図】図１

Description

本発明は、光走査装置、物体検出装置及び移動体に関する。

可動部と、該可動部を駆動させる駆動部と、を有し、光源からの入射光を可動部に設けられた反射面等により偏向させることで、該入射光を走査させる光走査装置が知られている。

また、光走査装置による光走査範囲を広げるために、複数の光源からの光を用いた視野のスキャンにおいて光束を変動させ得るように複数の光源を制御し、視野をスキャンするため複数の光源からの光を偏向させるように単一の光偏向器を制御する構成が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、特許文献１の構成では、光走査装置による光走査範囲を広げつつ、光走査装置を小型化する観点で改善の余地があった。

本発明は、小型化可能な光走査装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る光走査装置は、可動部と、前記可動部を駆動させる駆動部と、前記可動部に設けられ、光源から入射される光を導光する導光部と、前記導光部に設けられ、前記導光部の内部を導光された光を出射させる光出射部と、を有する。

本発明によれば、小型化可能な光走査装置を提供できる。

第１実施形態に係る光走査装置の構成例の図である。 図１のＣ－Ｃ切断線に沿う断面図である。 第２実施形態に係る光走査装置の構成例の図である。 第３実施形態に係る光走査装置の構成例の図である。 第３実施形態に係る光走査装置のＯＰＡの構成例の図であり、図５（ａ）は８分岐型を示す図、図５（ｂ）は３２分岐型を示す図である。 第４実施形態に係る物体検出装置の構成例のブロック図である。 第５実施形態に係る物体検出装置の構成例の図である。 第５実施形態に係る物体検出装置の構成例のブロック図である。 第６実施形態に係る移動体の構成例のブロック図である。

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。各図面において、同一の構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

また以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための光走査装置、物体検出装置及び移動体を例示するものであって、本発明を以下に示す実施形態に限定するものではない。以下に記載されている構成部品の形状、その相対的配置、パラメータの値等は特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、例示することを意図したものである。また図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張している場合がある。

実施形態に係る光走査装置は、可動部と、可動部を駆動させる駆動部と、を有し、光源からの入射光を走査させるものである。

ここで光走査とは、光を照射する方向を連続的に変化させることをいう。光を照射する方向を変化させるという観点では、光走査装置は、光の照射方向を連続的に変更可能な光照射装置又は照明装置ということもできる。

光走査装置は、例えば車両等の移動体に搭載される物体検出装置において、移動体の周囲に光を投射するための光投射装置として使用できる。物体検出装置は、物体の有無又は物体までの距離の少なくとも一方を検出するＬＩＤＡＲ（Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging）装置等である。

但し、光走査装置は、物体検出装置の用途に限定されるものではなく、レーザプリンタ等の画像形成装置における光走査装置、プロジェクタ又はＨＵＤ（Head Up Display）等の画像投射装置における光走査装置の他、各種の光照射装置又は照明装置等においても使用できる。

実施形態に係る光走査装置は、可動部に設けられ、光源から入射される光を導光する導光部と、導光部に設けられ、導光部の内部を導光された光を出射させる光出射部と、を有する。可動部は、駆動部により所定の軸周りに回転又は揺動可能である。

光源から導光部に入射された光は、導光部の内部を導光され、光出射部により導光部の内部から外部に出射される。可動部とともに導光部が回転又は揺動されることで、導光部から出射される光を所定の軸周りに走査させることができる。

例えば、ポリゴンミラー、ガルバノミラー又はＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラー等の可動部に設けられた反射面を駆動させて反射光を走査させる光走査装置では、反射面に光を入射させる光源の位置が、可動部に向き合う側で可動部から離隔した位置等に制限される。その結果、光走査装置において、可動部に向き合う側で可動部から離隔した位置等に光源を設置するための空間が必要になり、光走査装置が大型化する場合がある。

実施形態では、導光部により導光された光を導光部から出射させて走査させるため、導光部に光を入射させる光源の位置が制限されない。例えば光源からの光は導光部における第１の面を通って導光部に入射され、導光部から出射される光は、導光部における第１の面に交差する第２の面から出射される。これにより、可動部に向き合う側で可動部から離隔した位置に光源を設置するための空間を設けなくてもよいため、光走査装置を小型化できる。実施形態では、このようにして、光走査装置による光走査範囲を広げつつ、小型化可能な光走査装置を提供する。

以下、実施形態について詳細に説明する。

なお、以下に示す図でＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸により方向を示す場合があるが、Ｘ軸に沿うＸ方向は、実施形態に係る光走査装置に含まれる可動部の回転軸又は揺動軸を含む平面と平行な平面内で、回転軸又は揺動軸に沿う方向を示すものとする。また、Ｙ軸に沿うＹ方向は、可動部の回転軸又は揺動軸を含む平面と平行な平面内で、Ｘ軸に直交する方向を示し、Ｚ軸に沿うＺ方向は、Ｘ軸及びＹ軸の両方に直交する方向を示すものとする。

またＸ方向で矢印が向いている方向を＋Ｘ方向、＋Ｘ方向の反対方向を－Ｘ方向と表記し、Ｙ方向で矢印が向いている方向を＋Ｙ方向、＋Ｙ方向の反対方向を－Ｙ方向と表記し、Ｚ方向で矢印が向いている方向を＋Ｚ方向、＋Ｚ方向の反対方向を－Ｚ方向と表記する。但し、これらは光走査装置の向きを制限するものではなく、光走査装置の向きは任意である。

［第１実施形態］
（光走査装置１の構成例）
図１は、第１実施形態に係る光走査装置１の構成の一例を示す図である。図１に示すように、光走査装置１は、可動部１１と、駆動部１２と、導光部１３とを有する。

光源１０が発する光は、可動部１１に設けられた導光部１３の入射端面１３１を通って導光部１３の内部に入射し、導光部１３の内部を導光される。破線の矢印で示す導波光１３３は、導光部１３の内部を導光される光を示している。

導波光１３３は、光出射部１４により、導光部１３における入射端面１３１に略直交する主面１３２から取り出され、破線の矢印で示す出射光１４１として出射される。ここで、入射端面１３１は第１の面の一例であり、主面１３２は入射端面１３１に交差する第２の面の一例である。

可動部１１は、駆動部１２によりＡ軸周りに矢印Ｂの方向に回転可能である。可動部１１に設けられた導光部１３は、可動部１１の回転に伴ってＡ軸周りに回転し、導光部１３から出射される出射光１４１は、Ａ軸周りに出射方向を変え、Ａ軸周りに走査される。

可動部１１は、Ａ軸周りに回転可能な柱状部材又は中空の筒状部材である。柱状部材又は筒状部材の長手方向に沿う中心軸は、Ａ軸と略一致することが好ましい。可動部１１の材質には、特段の制限はなく、プラスチック、ガラス又は金属等の材料を含んで構成できる。回転を容易にするために軽量化する観点では、プラスチック材料を用いることが好ましく、温度等の耐環境性や剛性の観点では、ガラス又は金属材料を用いることが好ましい。

可動部１１におけるＡ軸に直交する断面形状には、特段の制限はなく、正方形、長方形、多角形又は円形等を用途に応じて選択できる。但し、導光部１３の設置のしやすさの観点では、可動部１１に平坦な面が含まれるように、正方形、長方形又は多角形の断面形状にすることが好ましい。

駆動部１２は、回転軸がＡ軸に略一致するモータであり、カップリング等を介してモータと可動部１１が結合されている。駆動部１２は、モータの回転により可動部１１を回転させることができる。モータの種類は、ＤＣ（Direct Current）モータ又はステッピングモータ等を適宜選択できる。またギア又はプーリ等の伝達部材を介して駆動部１２の駆動力が可動部１１に伝達されてもよい。

光源１０は、光走査装置１により走査される光を発する。光源１０は、可動部１１における、Ａ軸が含まれる平面と略平行な面の１つに、接着剤等により接着され、固定されている。光源１０には各種の光源を適用可能であるが、小型化の観点では、半導体レーザ又はＬＥＤ（Light Emitting Diode）を用いることが好ましい。

光走査装置１が物体検出装置等で使用される場合には、光源１０が発する光の波長は、近赤外光等の非可視光の波長であることが好ましい。一方、光走査装置１が画像投射装置又は照明装置等で使用される場合には、光源１０が発する光の波長は、可視光の波長であることが好ましい。なお、非可視光の波長は、例えば略８００［ｎｍ］以上又は４００［ｎｍ］以下であり、可視光の波長は、例えば略４００［ｎｍ］より長く略８００［ｎｍ］より短い。

導光部１３は、光源１０が発する光の波長に対して光透過性を有する半導体、ガラス又はプラスチック等の材料を含んで構成された透明な板状部材である。導光部１３は平面視が長方形状に形成され、長方形の長手方向は可動部１１の長手方向に沿っている。導光部１３は、可動部１１における光源１０が固定された面に接着剤等により接着され、固定されている。

また、導光部１３は、入射端面１３１と、入射端面１３１に略直交する主面１３２と、を有する。光源１０からの光は、入射端面１３１を通って導光部１３の内部に入射され、導光部１３の内部で全反射を繰り返しながら導波光１３３を示す矢印方向に導光される。

光源１０からの光を入射端面１３１から導光部１３の内部に入射させることで、導光部１３と光源１０を可動部１１における同一の面に近接して設置でき、光走査装置１を小型化可能になっている。

なお、光源１０は、光走査装置１の必須の構成要素ではなく、光走査装置１以外に設けられていてもよい。例えば、図１における可動部１１の－Ｘ方向側に光走査装置１以外の構成要素として光源１０を設け、光源１０から可動部１１の入射端面１３１に向けて照射された光が、入射端面１３１を通って導光部１３の内部に入射されるようにしてもよい。

但し、光源１０が発する光の利用効率を高めるには、光走査装置１は光源１０を含み、導光部１３に近接して可動部１１に設置されて、導光部１３との位置関係を保ったまま、可動部１１の回転に伴って回転されることが好ましい。

また、図１では導光部１３が板状部材である構成を例示したが、これに限定されるものではなく、導光部１３は角柱状の部材であってもよい。

光出射部１４は、導波光１３３の進行方向における導光部１３の下流側に設けられ、導光部１３の内部を導光された光を、主面１３２の一部を通して導光部１３の外部に出射させる機能を有する。

図１では、導波光１３３の進行方向における導光部１３の下流側の略半分の領域（斜線ハッチングで示した領域）に光出射部１４が設けられた構成を例示するが、これに限定されるものではなく、例えば主面１３２の全体に光出射部１４が設けられていてもよい。

（導光部１３の構成例）
次に図２を参照して、導光部１３の構成について説明する。図２は、導光部１３の構成の一例を示す図であり、図１のＣ－Ｃ切断線に沿う断面を模式的に示した図である。

図２に示すように、導光部１３は、コア１３４と、クラッド１３５と、高屈折率部１３６と、回折格子１３７とをそれぞれ導光部１３の内部に含む。コア１３４の屈折率をｎ_１、クラッド１３５の屈折率をｎ_２、高屈折率部１３６の屈折率をｎ_３とすると、ｎ_１＞ｎ_３＞ｎ_２の関係がある。

コア１３４、クラッド１３５及び高屈折率部１３６の材質は、上記の屈折率の関係を満足すれば特段に制限されず適宜選択可能である。例えばコア１３４にはシリコン、クラッド１３５には酸化シリコン等を適用できる。但し、シリコンは１０００［ｎｍ］より短い波長の光には光透過率が低いため、１０００［ｎｍ］より短い波長の光を導光させる場合にはＳｉ３Ｎ４等を含んでコア１３４を構成することが好ましい。

回折格子１３７は、導波光１３３の進行方向における導光部１３の下流側において、導光部１３の内部に設けられている。回折格子１３７は、導波光１３３の進行方向に沿って分割されたコア１３４と、高屈折率部１３６とを含む。

このような導光部１３は、半導体プロセスによりクラッド１３５の層、コア１３４の層及び高屈折率部１３６の層を積層することで製作できる。

入射端面１３１を通って導光部１３の内部に入射した光は、コア１３４とクラッド１３５との間の界面で全反射を繰り返して導光される。導光された光は回折格子１３７に光結合し、出射光１４１の方向（＋Ｚ方向側）に回折されて、光出射面１３８を通って導光部１３の外部に出射する。

換言すると、光出射部１４は回折格子１３７を含み、回折格子１３７は、導光部１３により導光された光を導光部１３の内部から外部に出射させることができる。

コア１３４及び回折格子１３７の出射光１４１の方向側（＋Ｚ方向側）に高屈折率部１３６を設けることで、出射光１４１の反対方向側（－Ｚ方向側）に回折される光の光量と比較して、出射光１４１の方向側（＋Ｚ方向側）に回折される光の光量を大きくすることができる。

また、図２ではコア１３４と回折格子１３７は分離しているが、コア１３４と回折格子１３７が全部または一部が結合している回折格子構造でも良い。図２の矢印の方向に選択的に光を放射するためにクラッド１３５の下部または内部に反射構造を形成して選択的に出射光１４１の方向に反射させる構造でも良い。

但し、光出射部１４は回折格子１３７を含むものに限定されない。例えば光出射部１４は、導波光１３３の進行方向に沿って並べられた複数のビームスプリッタを含み、導光される光の一部を各ビームスプリッタで光出射面１３８に向けて反射させることで、導光された光を導光部１３の内部から外部に出射させることもできる。

（光走査装置１の作用効果）
以上説明したように、光走査装置１は、可動部１１と、可動部１１を駆動させる駆動部１２と、可動部１１に設けられ、光源１０から入射される光を導光する導光部１３とを有する。また光走査装置１は、導光部１３に設けられ、導光部１３の内部を導光された光を出射させる光出射部１４を有する。

この構成により、導光部１３により導光された光を光出射部１４から出射させて走査させるため、導光部１３に光を入射させる光源１０の位置が制限されない。例えば、光源１０からの光は、導光部１３における主面１３２に交差する入射端面１３１（第１の面）から導光部１３に入射され、導光部１３から出射される光は、導光部１３における主面１３２（第２の面）を通って出射される。

これにより、可動部１１に向き合う側で可動部１１から離隔した位置に光源１０を設置するための空間を設けなくてもよいため、光走査装置１を小型化でき、小型化可能な光走査装置１を提供できる。

また、可動部１１に向き合う側に光源を設置すると、光走査装置１により走査された光が光源等の部材で遮られることで、光の走査角度範囲が制限される場合がある。本実施形態では、可動部１１に向き合う側に光源を設置しなくてもよいため、このような走査角度範囲の制限を抑え、広い角度範囲で光を走査できる。換言すると、光走査装置による光走査範囲を広げつつ、小型化可能な光走査装置を提供することができる。

また、本実施形態では、光出射部１４は、回折格子を含む。導光部１３及び回折格子１３７は半導体プロセスにより一体形成できるため、導光部１３と光出射部１４をそれぞれ個別に製作して接合したりしなくてよい。これにより、製造工程を短縮し、高精度かつ低コストで導光部１３を製作できる。

なお、本実施形態では、可動部１１に含まれる１つの面のみに、導光部１３が設けられた構成を例示したが、これに限定されるものではない。可動部１１に含まれる２以上の面に、導光部１３が設けられてもよい。このような構成により、光走査装置１は、Ａ軸周りのより広い範囲に並行して光を走査させることができる。

また可動部１１がＡ軸周りに回転する構成を例示したが、これに限定されるものではなく、可動部１１がＡ軸周りに揺動する構成であってもよい。但し、可動部１１をＡ軸周りに回転させると、可動部１１の駆動制御が容易になるとともに、Ａ軸周りの３６０度方向に光を走査させることができるため、より好適である。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る光走査装置１ａについて説明する。なお、上述した実施形態と同一の構成部には同一の部品番号を付し、重複した説明を適宜省略する。この点は、以降の実施形態の説明においても同様とする。

図３は、光走査装置１ａの構成の一例を示す図である。図１に示すように、光走査装置１ａは、可動部１１ａと、駆動部１２ａと、導光部１３ａと、固定支持体１６とを有する。光走査装置１ａは、半導体プロセスで製作されたＭＥＭＳデバイスである。

駆動部１２ａは、第１駆動部１２ａａと、第２駆動部１２ａｂと、を含む。第１駆動部１２ａａ及び第２駆動部１２ａｂはそれぞれ一端が固定支持体１６に接続されている。

第１駆動部１２ａａは、第１支持体１５ａと、第１支持体１５ａに設けられた圧電素子１２１ａとを有する。圧電素子１２１ａは４個の圧電素子の総称表記である。第２駆動部１２ａｂは、第２支持体１５ｂと、第２支持体１５ｂに設けられた圧電素子１２１ｂとを有する。圧電素子１２１ｂは４個の圧電素子の総称表記である。駆動部１２ａは、可動部１１ａと他端が接続されており、可動部１１ａを揺動可能にする。

固定支持体１６は、第１駆動部１２ａａ及び第２駆動部１２ａｂのそれぞれの他端に接続され、第１駆動部１２ａａ及び第２駆動部１２ａｂを支持する。

また導光部１３ａは、第１導光部１３ａａと、第２導光部１３ａｂと、を含む。第１導光部１３ａａは、第２駆動部１２ａｂ上において、光が導光される方向と略直交する方向に複数の管状の導波路をアレイ状に並べて設けられている。第２導光部１３ａｂは、可動部１１ａ上において、光が導光される方向と略直交する方向に複数の管状の導波路をアレイ状に並べて設けられている。また光出射部１４ａは、第２導光部１３ａｂに含まれる各導波路に設けられている。

光源から、第１導光部１３ａａに含まれる各導波路に入射された光は、導波路内を導光され、第２導光部１３ａｂに含まれる導波路に到達し、光出射部１４ａにより、第２導光部１３ａｂに含まれる各導波路から出射される。

第１駆動部１２ａａ及び第２駆動部１２ａｂは、圧電素子に駆動電圧が印加されて弾性変形し、この弾性変形に応じて可動部１１ａを揺動軸Ｄ周りに揺動させる。

第１駆動部１２ａａは、揺動軸Ｄに略直交する交差方向（Ｘ軸方向）に延伸する複数の梁部１５１ａが折り返し部１５２ａを介して連結された折り返し構造（ミアンダ構造）を有する。本実施形態では、第１駆動部１２ａａは４個の梁部１５１ａを含む。梁部１５１ａは４個の梁部の総称表記であり、折り返し部１５２ａは、梁部同士を連結する３個の折り返し部の総称表記である。

同様に、第２駆動部１２ａｂは、揺動軸Ｄに略直交する交差方向（Ｘ軸方向）に延伸する複数の梁部１５１ｂが折り返し部１５２ｂを介して連結された折り返し構造（ミアンダ構造）を有する。本実施形態では、第２駆動部１２ａｂは４個の梁部１５１ｂを含む。梁部１５１ｂは４個の梁部の総称表記であり、折り返し部１５２ｂは、梁部同士を連結する３個の折り返し部の総称表記である。

圧電素子１２１ａは揺動軸Ｄに沿う方向を長手方向とする矩形状の形状を有する。圧電素子１２１ａは第１支持体１５ａの＋Ｚ方向側の面上に設けられている。圧電素子１２１ｂは、揺動軸Ｄに沿う方向を長手方向とする矩形状の形状を有する。圧電素子１２１ｂは第２支持体１５ｂの＋Ｚ方向側の面上に設けられている。

なお、本実施形態では、第１駆動部１２ａａが４個の梁部１５１ａを有する折り返し構造を有し、第２駆動部１２ａｂが４個の梁部１５１ｂを有する折り返し構造を有する構成を例示するが、梁部の個数はこれに限定されるものではない。第１駆動部１２ａａ及び第２駆動部１２ａｂはそれぞれ３個以下又は５個以上の梁部を備えてもよい。

このような光走査装置１ａは、例えば、１枚のＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板にエッチング処理等を施すことにより加工し、加工された基板に、駆動部１２ａ及び導光部１３ａ等を形成することにより製造される。

導光部１３ａは基板上にあらかじめ形成された低屈折率層（ＳｉＯ２など）と高屈折率層（ＳｉまたはＳｉＮ）をリソグラフィーとドライエッチング加工により形成し、低屈折率層で全体をコートするなどで保護された状態で製造されても良い。または予め形成された導光部をＳＯＩ基板に接合する方法で製造されても良い。

ＳＯＩ基板は、単結晶シリコン（Ｓｉ）からなるシリコン支持層と、シリコン支持層上（＋Ｚ方向側）に形成された酸化シリコン層と、酸化シリコン層上に形成された単結晶シリコンからなるシリコン活性層とを含む。酸化シリコン層は、ＢＯＸ（Buried Oxide）層と称することもできる。

第１支持体１５ａ及び第２支持体１５ｂは、シリコン活性層をエッチング処理でパターニングすることにより形成される。第１支持体１５ａ及び第２支持体１５ｂは、シリコン活性層のみで構成され、剛性が低いため、弾性変形しやすくなっている。

圧電素子１２１ａ及び１２１ｂは、それぞれ下部電極、圧電部、及び上部電極を積層することにより形成されている。上部電極および下部電極は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）等からなる。圧電部は、例えば、圧電材料であるＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。圧電部は、分極方向に正又は負の電圧が印加されると印加電圧の電位に比例した変形（例えば、伸縮）が生じ、いわゆる逆圧電効果を発揮する。

第１支持体１５ａ及び第２支持体１５ｂは、圧電素子１２１ａ及び１２１ｂが変形することにより弾性変形し、この弾性変形に応じて可動部１１ａを揺動軸Ｄ周りに揺動させる。

以上のように構成された光走査装置１ａは、電極端子から駆動部１２ａに駆動電圧を印加することにより動作する。駆動電圧は、例えば、正弦波波形であり、周波数は、例えば６００Ｈｚである。

なお、本実施形態では、圧電素子によって駆動力を得る圧電方式の光走査装置１ａを例示したが、光走査装置１ａの駆動方式は如何なるものであってもよい。圧電方式以外の駆動方式としては、例えば静電方式、電磁方式等が挙げられる。

（光走査装置１ａの作用効果）
以上説明したように、光走査装置１ａでは、駆動部１２ａの一端が接続されている固定支持体１６を有し、駆動部１２ａは、可動部１１ａと他端が接続されており、可動部１１ａを揺動可能にする。

また、導光部１３ａは、第１導光部１３ａａと、第２導光部１３ａｂと、を含み、第１導光部１３ａａは、第２駆動部１２ａｂに設けられ、第２導光部１３ａｂは、可動部１１ａに設けられ、光出射部１４ａは、第２導光部１３ａｂに設けられている。

可動部１１ａの揺動に伴って可動部１１ａに設けられた第２導光部１３ａｂが揺動することで、光出射部１４ａから出射される光を揺動軸Ｄ周りに走査させることができる。

本実施形態では、半導体プロセスにより、可動部１１ａ、駆動部１２ａ、導光部１３ａ、及び固定支持体１６を形成できるため、高精度に光走査装置１ａを製造でき、且つ製造工程を短縮することで製造コストを下げることができる。

なお、本実施形態では、第２駆動部１２ａｂに第１導光部１３ａａが設けられた構成を例示したが、これに限定されるものではなく、可動部１１ａのみに導光部１３ａが設けられた構成にしてもよいし、第１駆動部１２ａａに第１導光部１３ａａが設けられた構成にしてもよい。

また光走査装置１ａは、可動部１１ａ、第２駆動部１２ａｂ又は固定支持体１６の何れか１つに光源を設けた構成にしてもよい。この構成により、光源からの光を効率よく利用できる。

また本実施形態では、第１駆動部１２ａａは、可動部１１ａの揺動軸Ｄに交差する交差方向に延伸する複数の梁部１５１ａが折り返し部１５２ａを介して連結された折り返し構造を有する。また第２駆動部１２ａｂは、可動部１１ａの揺動軸Ｄに交差する交差方向に延伸する複数の梁部１５１ｂが折り返し部１５２ｂを介して連結された折り返し構造を有する。

この構成により、光走査装置１ａは可動部１１ａの揺動角度を大きくし、光走査の角度範囲を拡大できる。但し、この構成に限定されるものではなく、光走査装置１ａは、梁部の折り返し構造に代えて、トーションバー等の捻れ梁やカンチレバーを支持体として有することもできる。

また導光部１３ａが複数の管状の導波路を含む構成を例示したが、１個又は複数の板状の導波路を含む構成であってもよい。

また、上記以外の効果は、第１実施形態で説明したものと同様である。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態に係る光走査装置１ｂについて説明する。図４は、光走査装置１ｂの構成の一例を示す図である。図４に示すように、光走査装置１ｂは、固定支持体１６ｂと、光源１０ｂと、ＯＰＡ（Optical Phased Array；光フェーズドアレイ）１７と、を有する。

固定支持体１６ｂは、固定支持体１６に対して－Ｘ方向側の固定支持部材１６１の面積を拡大したものである。光走査装置１ｂは、固定支持体１６ｂの－Ｘ方向側の固定支持部材１６１上に、光源１０ｂと、ＯＰＡ１７とを有する。

ＯＰＡ１７は光の位相を変えることで、光の伝搬角度を変える光学デバイスである。本実施形態では、ＯＰＡ１７は、コアと、クラッドとを含む光導波路を有し、半導体プロセスにより固定支持部材１６１上に形成されている。

光源１０ｂは、固定支持部材１６１上に設けられ半導体レーザ又はＬＥＤ等のオンチップ光源である。光源１０ｂは、可動部１１ａ、駆動部１２ａ、導光部１３ａ及び固定支持体１６とは別に製作されたものを、固定支持部材１６１に接着又は接合することで、固定支持部材１６１に設けられている。但し、これに限定されるものではなく、固定支持部材１６１上に光源１０ｂを構成する層を半導体プロセスにより積層することで、可動部１１ａ、駆動部１２ａ、導光部１３ａ、固定支持体１６及び光源１０ｂを一体形成してもよい。

図４では光源１０ｂは一体形成されているが、外部からの光を結合させる構造でも良い。その場合光源１０ｂにはカップリング素子が形成されており、外部から集光されたビームを効率よくＯＰＡへ結合させることができる。

光源１０ｂが発する光は、ＯＰＡ１７に入射し、ＯＰＡ１７内で位相変調され複数に分岐された後、第１導光部１３ａａに入射する。その後、第１導光部１３ａａを導光されて第２導光部１３ａｂに到達し、第２導光部１３ａｂに設けられた光出射部１４ａにより、第２導光部１３ａｂの内部から外部に出射される。第２導光部１３ａｂから出射された光は、可動部１１ａの揺動に伴い、揺動軸Ｄ周りに第１方向３０（Ｘ軸方向）に沿って走査される。

第１導光部１３ａａは、ＯＰＡ１７から出射される複数のＯＰＡ出射光１３３Ｂｏが入射する複数の管状導波路を備える。第１導光部１３ａａは、第１駆動部１２ａａ上において、光が導光される方向と略直交する方向に複数の管状の導波路をアレイ状に並べて設けられている。第２導光部１３ａｂは、可動部１１ａ上において、光が導光される方向と略直交する方向に複数の管状の導波路をアレイ状に並べて設けられている。また光出射部１４ａは、第２導光部１３ａｂに含まれる各導波路に設けられている。

図５は、ＯＰＡ１７の構成の一例を示す図である。図５（ａ）は８分岐型の場合、図５（ｂ）は３２分岐型の場合を例示している。

図５（ａ）に示すようにＯＰＡ１７は、導波路１７１と、印加電極１７２と、ヒータ１７３と、ＧＮＤ電極１７４と、を有する。

導波路１７１は、コアと、クラッドとを含み、入射されるＯＰＡ入射光１３３ｂｉをコアとクラッドとの界面で全反射させることで導光する。また導波路１７１は８本の導波路を有し、入射される光を分岐させて、８本の導波路のそれぞれで導光できる。

ヒータ１７３は印加電極１７２への電圧印加により駆動され、導波路１７１に含まれる８本の導波路をそれぞれ独立に加熱することで、各導波路の屈折率を変化させる。この屈折率変化により各導波路を導光される光の位相が変調される。

また８本の導波路は、導光される長さ（導光区間）が異なる４通りの導波路を含む。ＯＰＡ１７は、導光区間の差と、ヒータ１７３を用いた加熱による位相変調と、を利用して、各導波路から位相の変調された複数のＯＰＡ出射光１３３ｂｏを出射する。複数のＯＰＡ出射光１３３ｂｏ（図５（ａ）は８つ）は、第１導光部１３ａａの複数の管状導波路（図５（ａ）は８本）にそれぞれ入射し、第２導光部１３３ａｂに導光される。

第２導光部１３３ａｂの複数の管状導波路は、第２方向３１にピッチ（配列周期）ｄでアレイ状に配置される。複数のＯＰＡ出射光１３３ｂｏは、第２導光部１３ａｂの各管状導波路の光出射部１４ａから射出される。光出射部から射出される光の第２方向３１の走査角度αは、複数の管状導波路のＯＰＡ出射光の位相差でΔφと、管状導波路の第２方向３１のピッチ（配列周期）ｄと、光の波長λによって求まる。

この場合の走査角度αは次式で表される。
α＝ｓｉｎ^－１｛Δφ・λ／（２・π・ｄ）｝
ここで、Δφは各導波路間の位相差を表し、λは導光される光の波長を表し、ｄは導波路間隔を表す。

ＯＰＡ１７は、複数のＯＰＡ出射光の位相差Δφを調整することで、走査角度αを調整し、光出射部１４ａから射出される光を、第２方向３１に走査することができる（図４）。

なお、加熱による位相変調の他、電気光学効果を利用し、印加電圧により導波路の屈折率を変化させる方法半導体部分に電流注入による屈折率変化させる方法等も適用できる。

走査角度解像点数は導波路本数に概ね一致するため、図５の例における走査角度解像点数は８である。図５（ｂ）は、導波路の本数を３２本にし、走査角度解像点数を３２にする場合のＯＰＡの構成を例示している。

また、導光部１３ａを複数の管状の導波路を含んで構成する場合には、光出射部１４ａにおいて、各導波路の間隔を狭めることで走査角度を拡大でき、また各導波路の間隔を拡げることで走査角度を縮小できる。

（光走査装置１ｂの作用効果）
以上説明したように、本実施形態では、光走査装置１ｂは、ＯＰＡ１７を有し、光源１０ｂからの光は、ＯＰＡ１７を通って導光部１３ａに入射される。導光部１３ａから出射された光は、可動部１１ａにより第１方向３０に沿って走査され、ＯＰＡ１７により第２方向３１に沿って走査される。これにより、光走査装置１ｂは、略直交する２方向に光を走査させることができる。

また本実施形態では、光走査装置１ｂは、光源１０ｂを有し、光源１０ｂは、固定支持体１６ｂに設けられている。これにより、光源１０ｂを含む光走査装置１ｂを小型化できる。但し、光源１０ｂが設けられる部材は、固定支持体１６ｂに限定されるものではなく、可動部１１ａに設けられてもよいし、第１駆動部１２ａａ又は第２駆動部１２ａｂの何れか１つに設けられてもよい。この場合にも光源１０ｂを含む光走査装置１ｂを小型化できる。

なお、これ以外の作用効果は、上述した実施形態で説明したものと同様である。

［第４実施形態］
次に、第４実施形態に係る物体検出装置５について説明する。物体検出装置５は、光走査装置１、１ａ又は１ｂの何れか１つを有し、物体の有無又は物体までの距離の少なくとも一方をＴＯＦ（Time of Fright）方式で検出するものである。本実施形態では、物体検出装置５は光走査装置１ｂを有するものとする。

図６は、物体検出装置５の構成の一例を示すブロック図である。図６に示すように、物体検出装置５は、制御部５１と、光源駆動回路５２と、光走査装置１ｂと、レンズ５３と、受光部５４と、波形処理回路５５と、時間計測回路５６とを有する。

光源駆動回路５２は、制御部５１に含まれる光源制御部５１３からの制御信号Ｓ_Ｃに基づいて、光走査装置１ｂに含まれる光源１０ｂをパルス発光させる。光源１０ｂが発光したパルス光は光走査装置１ｂに含まれる導光部１３ａ等を導光され、略直交する２方向に走査される投射光Ｌ_Ｔとして、光出射部１４ａにより検出領域５０に向けて投射される。図６の例では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に走査される投射光Ｌ_Ｔが＋Ｚ方向側に投射される。

検出領域５０に存在する物体により、投射光Ｌ_Ｔが反射された光又は散乱された光の少なくとも１つである物体光Ｌ_Ｏは、レンズ５３により集光されて受光部５４により受光される。受光部５４は、受光した物体光Ｌ_Ｏの光強度に応じた信号を出力する。

受光部５４により出力された信号は、波形処理回路５５で増幅又はノイズ除去等の処理が施された後、時間計測回路５６に入力される。時間計測回路５６は、ＴＯＦ方式に基づく計測データＤａｔを制御部５１に出力する。制御部５１に含まれる物体情報取得部は、入力した計測データＤａｔに基づき、物体の有無又は物体検出装置５から物体までの距離の少なくとも一方を含む物体情報を、出力部５１２を介して外部装置に出力する。

制御部５１の機能は電気回路で実現される他、機能の一部をソフトウェア（ＣＰＵ；Central Processing Unit）によって実現することもできる。また複数の回路又は複数のソフトウェアによって機能が実現されてもよい。

受光部５４には、ＰＤ（Photodiode）、ＡＰＤ（Avalanche Photodiode）、又はガイガーモードＡＰＤであるＳＰＡＤ（Single Photon Avalanche Diode）、ＴＯＦ演算機能を画素毎に有するＣＭＯＳ撮像素子等を使用できる。

時間計測回路５６は、投射光Ｌ_Ｔとして投射されるパルス光の発光タイミングと、受光部５４による物体光Ｌ_Ｏの受光タイミングと、の時間差を示す計測データを出力する。なお、受光部５４がＴＯＦ演算機能を画素毎に有するＣＭＯＳ撮像素子を有する場合には、時間計測回路５６は設けなくてもよい。

物体情報取得部５１１は、計測データと光速の積に１／２を乗じた値を物体までの距離を示す情報として取得する。検出領域５０のうち、物体が存在する領域では物体までの距離情報と物体が存在することを示す情報が得られ、物体が存在しない領域では物体光Ｌ_Ｏが受光部５４により受光されないため、物体が存在しないことを示す情報が得られる。

（物体検出装置５の作用効果）
以上説明したように、物体検出装置５は、光走査装置１ｂと、導光部１３ａから出射された投射光Ｌ_Ｔ（光）の物体による反射光又は散乱光の少なくとも一方を含む物体光Ｌ_Ｏを受光する受光部５４と、を有する。また物体検出装置５は、受光部５４により出力される信号に基づいて取得される物体の有無又は前記物体までの距離の少なくとも一方を含む物体情報を出力する出力部５１２を有する。

物体検出装置５は、光走査装置１ｂを有することで、装置全体を小型化できる。なお、これ以外の作用効果は、上述した実施形態で説明したものと同様である。

［第５実施形態］
次に、第５実施形態に係る物体検出装置５ａについて説明する。物体検出装置５ａは、光走査装置１、１ａ又は１ｂの何れか１つを有し、物体の有無又は物体までの距離の少なくとも一方をＦＭＣＷ（Frequency Modulated Continuous Wave radar）方式で検出するものである。本実施形態では、物体検出装置５ａは光走査装置１ｂを有するものとする。

図７は、物体検出装置５ａの構成の一例を示す図である。図７に示すように、物体検出装置５ａは、光走査装置１ｂと、物体光入射部１８と、物体光導光部１９と、受光部５４ａと、参照光導光部２０と、を有する。

光源１０ｂが発光したCW光は、ＯＰＡ１７を介して光走査装置１ｂに含まれる導光部１３ａに入射され、導光部１３ａにより導光された後、光出射部１４ａにより、略直交する２方向に走査される投射光Ｌ_Ｔとして投射される。

物体光入射部１８は、物体光導光部１９に設けられ、物体による投射光Ｌ_Ｔの反射光又は散乱光の少なくとも１つである物体光Ｌ_Ｏを物体光導光部１９の内部に入射させる。

物体光導光部１９は、第１物体光導光部１９ａと、第２物体光導光部１９ｂと、を有し、物体光入射部１８によって物体光導光部１９の内部に入射された物体光Ｌ_Ｏを、受光部５４ａに向けて導光する。

一方、光源１０ｂが発光したＣＷ光は、ＯＰＡ１７に入射する前に２方向に分岐され、一方はＯＰＡ１７に入射され、他方は参照光導光部２０に入射される。参照光導光部２０は、入射された光を参照光Ｌ_Ｒとして受光部５４ａに向けて導光する。

受光部５４ａは、物体光Ｌ_Ｏと、参照光Ｌ_Ｒと、が合波光学素子により重ね合わされた合波光Ｌ_Ｓを受光し、合波光Ｌ_Ｓの光強度に応じた信号を出力する。

物体光入射部１８は、図２に示した光出射部１４と同様の構成を有し、光を回折させる方向が異なる。また物体光導光部１９は、図２に示した導光部１３と同様の構成を有し、光を導光する方向が異なる。つまり、導光部１３は、光源が発する光を導光し、光出射部１４により出射させるのに対し、物体光導光部１９は、物体光入射部１８により入射される物体光Ｌ_Ｏを受光部５４ａに向けて導光する点が異なる。

また、第２物体光導光部１９ｂは、可動部１１ａに、第２導光部１３ａｂに並んで設けられ、可動部１１ａの揺動に伴って、第２物体光導光部１９ｂ及び第２導光部１３ａｂはともに揺動する。この構成により、光出射部１４ａから出射される投射光Ｌ_Ｔと物体光入射部１８から入射される物体光Ｌ_Ｏの各光路が略等しくなるため、外乱光の影響を抑制できる。但し、この構成に限定されるものではなく、物体光入射部１８が含まれる第２物体光導光部１９ｂは、固定支持体１６等の物体検出装置５ａにおける他の部位に設けられてもよい。

参照光導光部２０は、コアと、クラッドと、を有し、光源１０ｂから入射された参照光Ｌ_Ｒをコアとクラッドとの界面で全反射させながら受光部５４ａに導光する。

物体光導光部１９、参照光導光部２０及び受光部５４ａは、半導体プロセスにより、光走査装置１ｂと一体形成できる。

図８は、物体検出装置５ａの構成の一例を示すブロック図である。図８に示すように、物体検出装置５ａは、ＴＩＡ回路（トランスインピーダンス増幅回路）５７と、ＡＤ（Analog／Digital）コンバータ５８と、ＤＡ（Digital／Analog）コンバータ５９と、合波光学素子６０と、制御部５１ａとを有する。また制御部５１ａは、周波数解析部５１４と、光源制御部５１３ａとを有する。

光源制御部５１３ａは、発振周波数が所定の割合で連続的に変化する掃引発振器を含み、例えば三角波状に周波数が変調された駆動波形を有する波長掃引信号Ｓ_Ｏをデジタル電圧信号としてＤＡコンバータ５９に出力する。

ＤＡコンバータ５９は入力したデジタル電圧信号をアナログ電圧信号に変換し、光走査装置１ｂに含まれる光源１０ｂに出力する。光源１０ｂは、入力したアナログ電圧信号に応じて周波数及び波形が変化する光を発光する。光源１０ｂが発する光は連続光（ＣＷ光）であってもパルス光であってもよい。光源１０ｂが発光した光の一部は、光走査装置１ｂにより検出領域５０に向けて投射光Ｌ_Ｔとして投射される。また、光源１０ｂが発光した光の他の一部は、参照光導光部２０により受光部５４ａに向けて参照光Ｌ_Ｒとして導光される。

検出領域５０に存在する物体により、投射光Ｌ_Ｔが反射された光又は散乱された光の少なくとも一方を含む物体光Ｌ_Ｏは、物体光入射部１８により物体光導光部１９の内部に入射され、物体光導光部１９の内部を受光部５４ａに向けて導光される。

合波光学素子６０は、物体光Ｌ_Ｏと参照光Ｌ_Ｒを合波する。合波光Ｌ_Ｓは受光部５４ａにより受光される。合波光Ｌ_Ｓの光強度に応じて受光部５４ａが出力する電流信号は、ＴＩＡ回路５７によってアナログ電圧信号に変換され、ＡＤコンバータ５８により、デジタル電圧信号Ｓ_ｉに変換される。

周波数解析部５１４は、光源制御部５１３ａが出力した波長掃引信号Ｓ_Ｏの周波数と、ＡＤコンバータ５８から入力したデジタル電圧信号Ｓ_ｉの周波数と、の間の周波数差を演算で取得する。そして、周波数差に基づいて波長掃引信号Ｓ_Ｏとデジタル電圧信号Ｓ_ｉの遅延時間を演算で取得し、物体の有無又は物体検出装置５ａから物体までの距離の少なくとも一方を含む物体情報を演算で取得する。出力部５１２は、周波数解析部５１４により取得された物体情報を外部装置に出力する。

物体検出装置５ａは、このようにして物体情報を検出できる。

（物体検出装置５ａの作用効果）
以上説明したように、物体検出装置５ａは、入射される物体光Ｌ_Ｏを導光する物体光導光部１９と、物体光導光部１９に設けられ、物体光Ｌ_Ｏを物体光導光部１９の内部に入射させる物体光入射部１８と、を有する。受光部５４ａは、物体光入射部１８により物体光導光部１９に入射され、物体光導光部１９により導光された物体光Ｌ_Ｏを受光する。

この構成により、光走査装置１ｂと、物体光Ｌ_Ｏを受光する構成部と、を狭小な空間に配置できるため、物体検出装置５ａを小型化できる。

また本実施形態では、受光部５４ａは、物体光Ｌ_Ｏと、光源１０ｂから入射される参照光Ｌ_Ｒと、が重ね合わされた合波光Ｌ_Ｓを受光する。出力部５１２は、合波光Ｌ_Ｓを受光した受光部５４ａにより出力される信号に基づいて取得される物体情報を出力する。この構成により、ＦＭＣＷ方式による物体検出装置５ａを提供できる。

また本実施形態では、入射される参照光Ｌ_Ｒを導光する参照光導光部２０を有し、受光部５４ａは、参照光導光部２０により導光された参照光Ｌ_Ｒを受光する。この構成により、光走査装置１ｂと、物体光Ｌ_Ｏを受光する構成部と、参照光導光部２０と、を狭小な空間に配置できるため、ＦＭＣＷ方式による物体検出装置５ａを小型化できる。

また、物体検出装置５ａに含まれる各構成部を半導体プロセスで一体形成することで、製造工程を簡略化し、高精度且つ低コストで物体検出装置５ａを製造できる。

なお、上記以外の作用効果は、上述した実施形態で説明したものと同様である。

［第６実施形態］
次に、第６実施形態に係る移動体１００について説明する。図９は、移動体１００の構成の一例を示すブロック図である。移動体１００は、例えば車両であるが、これに限定されるものではなく、フォークリフト、自動搬送車、ドローン等の飛行体等であってもよい。

図９に示すように、移動体１００は、物体検出装置５と、監視制御装置６とを有する。 監視制御装置６は、物体検出装置５から出力された物体情報に基づき、物体の形状や大きさ、物体の位置、移動体の移動情報又は物体の種類等を認識する。監視制御装置６は、認識結果に基づき、移動体の周囲における危険の有無を判断する。危険があると判断された場合には、監視制御装置６は、警告を報知したり、移動体１００の移動方向を変更したり、移動体１００を停止させたり、危険を回避するための制御を行う。

なお、監視制御装置６と、物体検出装置５は、移動体１００のどの位置に設けられてもよい。移動体１００が車両である場合は、物体検出装置５は小型であるため、ルームミラー又はバックミラーのパッケージの内部等の狭小なスペースに設けることができる。

また監視制御装置６は、移動体１００の外部に設けられ、物体検出装置５と遠隔で通信する構成にしてもよい。

また本実施形態では、移動体１００が物体検出装置５を有する構成を例示したが、移動体１００は物体検出装置５ａを有することもできる。

以上、本発明の実施形態の例について記述したが、本発明は斯かる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

また、上記で用いた序数、数量等の数字は、全て本発明の技術を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。

１ 光走査装置
１１ 可動部
１２ 駆動部
１３ 導光部
１３１ 入射端面（第１の面の一例）
１３２ 主面（第２の面の一例）
１３３ 導波光
１３４ コア
１３５ クラッド
１３６ 高屈折率部
１３７ 回折格子
１３８ 光出射面
１４ 光出射部
１５ａ 第１支持体
１５ｂ 第２支持体
１６ 固定支持体
１６１ 固定支持部材
１７ ＯＰＡ（光フェーズドアレイ）
１７１ 導波路
１７２ 印加電極
１７３ ヒータ
１７４ ＧＮＤ電極
１８ 物体光入射部
１９ 物体光導光部
２０ 参照光導光部
５ 物体検出装置
５１ 制御部
５１１ 物体情報取得部
５１２ 出力部
５１３ 光源制御部
５１４ 周波数解析部
５２ 光源駆動回路
５３ レンズ
５４ 受光部
５５ 波形処理回路
５６ 時間計測回路
５７ ＴＩＡ回路
５８ ＡＤコンバータ
５９ ＤＡコンバータ
６０ 合波光学素子
６ 監視制御装置
１０ 光源
３０ 第１方向
３１ 第２方向
Ａ 回転軸
Ｄ 揺動軸
Ｌ_Ｏ 物体光
Ｌ_Ｔ 投射光
Ｌ_Ｒ 参照光
Ｌ_Ｓ 合波光

特表２０１９－５３５０１４号公報

Claims (13)

1. 可動部と、
   前記可動部を駆動させる駆動部と、
   前記可動部に設けられ、光源から入射される光を導光する導光部と、
   前記導光部に設けられ、前記導光部の内部を導光された光を前記導光部から出射させる光出射部と、を有する光走査装置。
2. 前記光源からの光は、前記導光部における第１の面から前記導光部に入射され、
   前記導光部から出射される光は、前記導光部における前記第１の面に交差する第２の面を通って出射される請求項１に記載の光走査装置。
3. 前記光出射部は、前記導光部の内部を導光される前記光を回折させる回折格子を含む請求項１又は２に記載の光走査装置。
4. 前記駆動部の一端が接続されている固定支持体を有し、
   前記駆動部は、前記可動部と他端が接続されており、前記可動部を揺動可能にする請求項１乃至３の何れか１項に記載の光走査装置。
5. 前記導光部は、第１導光部と、第２導光部と、を含み、
   前記第１導光部は、前記駆動部に設けられ、
   前記第２導光部は、前記可動部に設けられ、
   前記光出射部は、前記第２導光部に設けられている請求項４に記載の光走査装置。
6. 前記駆動部は、前記可動部の揺動軸に交差する交差方向に延伸する複数の梁部が折り返し部を介して連結された折り返し構造を有する請求項４又は５に記載の光走査装置。
7. 前記光源を有し、
   前記光源は、前記固定支持体に設けられている請求項４乃至６の何れか１項に記載の光走査装置。
8. 光フェーズドアレイを有し、
   前記光源からの光は、前記光フェーズドアレイを通って複数の光に分岐され、
   前記複数の光は、前記導光部の複数の導波路に入射され、
   前記複数の導波路から出射された光は、前記可動部により第１方向に沿って走査され、前記光フェーズドアレイにより前記第１方向に交差する第２方向に沿って走査され、
   前記導波路は前記第２方向に沿って配列する
   請求項１乃至７の何れか１項に記載の光走査装置。
9. 請求項１乃至８の何れか１項に記載の光走査装置と、
   前記導光部から出射された光の物体による反射光又は散乱光の少なくとも一方を含む物体光を受光する受光部と、
   前記受光部により出力される信号に基づいて取得される前記物体の有無又は前記物体までの距離の少なくとも一方を含む物体情報を出力する出力部と、を有する物体検出装置。
10. 入射される前記物体光を導光する物体光導光部と、
    前記物体光導光部に設けられ、前記物体光を前記物体光導光部の内部に入射させる物体光入射部と、を有し、
    前記受光部は、前記物体光入射部により前記物体光導光部に入射され、前記物体光導光部により導光された前記物体光を受光する請求項９に記載の物体検出装置。
11. 前記受光部は、前記物体光と、前記光源から入射される参照光と、が重ね合わされた合波光を受光し、
    前記出力部は、前記合波光を受光した前記受光部により出力される信号に基づいて取得される前記物体情報を出力する請求項９又は１０に記載の物体検出装置。
12. 入射される前記参照光を導光する参照光導光部を有し、
    前記受光部は、前記参照光導光部により導光された前記参照光を受光する請求項１１に記載の物体検出装置。
13. 請求項１乃至８の何れか１項に記載の光走査装置、又は請求項９乃至１２の何れか１項に記載の物体検出装置の何れかを有する移動体。
    

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