JP2022140574A - Mems作動垂直カプラアレイに基づくビーム誘導システム - Google Patents
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Abstract
Description
本事例は、参照により本明細書に組み込まれる、2018年6月19日に出願された米国仮特許出願第62/686,848号(代理人整理番号:332-007PR1)の利益を主張する。
本発明は、先端研究プロジェクト庁-エネルギー(Advanced Research Projects Agency-Energy)(ARPA-E)によって授与された契約番号DE-AR0000849のもとで米国政府の支援によってなされた。米国政府は、本発明に一定の権利を有する。
100A ビーム誘導システム
102 レンズ
104 プログラマブル垂直カプラ配列
106 コントローラ
108 出力ビーム
108(1,1) 出力ビーム
108(3,3) 出力ビーム
110 スイッチングネットワーク
112 カプラ
112(1,1) カプラ
112(1,2) カプラ
112(1,N) カプラ
112(2,1) カプラ
112(2,2) カプラ
112(2,N) カプラ
112(M,1) カプラ
112(M,2) カプラ
112(M,N) カプラ
112(i,j) カプラ
112A カプラ
112A(1,1) カプラ
112A(2,2) カプラ
112A(3,3) カプラ
114 基板
116 行スイッチ
118 列スイッチ
120 光信号
120’ 光信号
120-1 光信号
120-L 光信号
120’(1,1) 光信号
120’(3,3) 光信号
120’(i,j) 光信号
202 バス導波路
202-1 バス導波路
202-L バス導波路
204 行導波路
204-1 行導波路
204-2 行導波路
204-M 行導波路
204(1,1) 行導波路
204(1,P) 行導波路
204(M,1) 行導波路
204(M,P) 行導波路
206 MEMS光スイッチ
206-1 MEMS光スイッチ
206-2 MEMS光スイッチ
206-M MEMS光スイッチ
208 列スイッチ配列
208-1 列スイッチ配列
208-2 列スイッチ配列
208-N 列スイッチ配列
210 MEMS光スイッチ
212 MEMS制御垂直カプラ
212A MEMS制御垂直カプラ
212B MEMS制御垂直カプラ
214 スイッチ
302 シャント導波路
304 MEMSアクチュエータ
306 端部
306-1 端部
306-2 端部
308 導波路部
308-1 導波路部
308-2 導波路部
310-1 第1の指向性カプラ
310-2 第2の指向性カプラ
402 カプラ導波路
404 MEMSアクチュエータ
406-1 可動端部
406-2 固定端部
408 垂直結合要素、格子素子
410 アンカー
412 支柱
414 電極
416 テザー
418 突出部
420 指向性カプラ
422 プラットフォーム
424 カプラ導波路
426 指向性カプラ
500 カプラ配列
502 スイッチングネットワーク
504 行スイッチ
506 列スイッチ
506-1 列スイッチ
506-2 列スイッチ
506-M 列スイッチ
600 プログラマブルカプラ配列
604 行スイッチ、スイッチングネットワーク
606 列スイッチ
606-1 列スイッチ
606-2 列スイッチ
606-M 列スイッチ
700 ビーム誘導システム
702 カプラ配列
704 垂直カプラ
704(1,1) 垂直カプラ
704(M,N) 垂直カプラ
706 光信号
708 出力ビーム
Claims (23)
- 光軸(A1)および焦点面(FP1)を有するレンズ(102)と、
プログラマブル垂直カプラ配列(104)とを含むビーム誘導システム(100)であって、前記プログラマブル垂直カプラ配列(104)が、
基板(114)と、
中心点(CP1)で特徴づけられる2次元配列でありかつ複数のカプラ行(CR)および複数のカプラ列(CC)を有するカプラ(112)の配列であって、カプラの前記配列の各カプラが、カプラ導波路(402)、および前記カプラ導波路から受信された光エネルギーを自由空間に放出するように構成された垂直結合要素(408)を含む、カプラ(112)の配列と、
前記基板上に配置され、第1の光信号(120)を受信するための第1の入力ポート(IP1)を有するバス導波路(202)と、
前記基板上に配置された複数の行導波路(204)と、
前記第1の入力ポートからカプラの前記配列のうちの任意のカプラへの第1の光信号(120)の伝搬を制御するために作動するスイッチングネットワーク(110)とを含み、
前記レンズおよびプログラマブル垂直カプラ配列が、前記レンズが、前記複数の垂直結合要素の各垂直結合要素によって放出された前記光エネルギーを受信し、前記光エネルギーを、前記プログラマブル垂直カプラ配列の中のその垂直結合要素の位置、および前記レンズと少なくとも1つの次元における前記プログラマブル垂直カプラ配列との第1の相対位置に基づく出力軸に案内するように配列される、ビーム誘導システム(100)。 - 前記スイッチングネットワーク(504)が、
複数の光信号(120-1~120-L)を前記バス導波路から受信するための複数の入力ポートを含む行スイッチ(504)であって、前記複数の光信号の各光信号を前記複数の行導波路のうちの任意の行導波路に案内するために作動する、行スイッチ(504)と、
複数の列スイッチ(506)とを含み、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、前記複数の行導波路のうちの異なる行導波路および前記複数のカプラ行のうちの異なるカプラ行と動作可能に結合され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、そのそれぞれの行導波路と前記複数のカプラ行のうちのそのそれぞれのカプラ行のうちの任意のカプラとの間の光結合を可能にするように構成される、請求項1に記載のシステム。 - 前記スイッチングネットワーク(604)が非ブロッキングであり、前記スイッチングネットワークが、
複数の光信号(120-1~120-L)を前記バス導波路から受信するための複数の入力ポートを含む行スイッチ(604)であって、前記複数の光信号の各光信号を前記複数の行導波路のうちの任意の行導波路に案内するために作動する、行スイッチ(604)と、
複数の列スイッチ(606)とを含み、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、第2の複数の導波路(204(1,1)~204(1,P))によって前記行スイッチと動作可能に結合され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、そのそれぞれの第2の複数の行導波路の各々と前記複数のカプラ行のうちのそのそれぞれのカプラ行のうちの任意のカプラとの間の光結合を可能にするように構成され、
前記第1の複数の行導波路が、各第2の複数の行導波路を含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記レンズが、単一のレンズ、複合レンズ、テレセントリックレンズ、望遠鏡、および携帯電話レンズから成るグループから選択される、請求項1に記載のシステム。
- カプラの前記配列のうちの少なくとも1つのカプラが、前記レンズの収差を少なくとも部分的に補正するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記スイッチングネットワークが、
前記第1の入力ポートおよび第1の複数のMEMS光スイッチ(206)を含む行スイッチ(116)であって、前記第1の複数のMEMS光スイッチの各MEMS光スイッチが、前記バス導波路と前記複数の行導波路のうちの1つの異なる行導波路とに動作可能に結合され、かつ(1)前記バス導波路がそのそれぞれの行導波路から光学的に切り離される第1の状態と、(2)前記バス導波路およびそのそれぞれの行導波路が光学的に結合される第2の状態とを有する、行スイッチ(116)と、
複数の列スイッチ配列(208)を含む列スイッチ(118)とを含み、前記複数の列スイッチ配列の各列スイッチ配列が、第2の複数のMEMS光スイッチ(210)を含み、前記第2の複数のMEMS光スイッチの各MEMS光スイッチが、前記複数の行導波路のうちの1つの異なる行導波路およびそのそれぞれのカプラ列のうちの1つの異なるカプラと動作可能に結合され、かつ(1)そのそれぞれの行導波路がそのそれぞれのカプラから光学的に切り離される第1の状態と、(2)そのそれぞれの行導波路およびそのそれぞれのカプラが光学的に結合される第2の状態とを有する、請求項1に記載のシステム。 - 前記複数の列スイッチ配列のうちの少なくとも1つの列スイッチ配列の前記第2の複数のMEMS光スイッチが、すべて同じ制御信号で制御されるように構成される、請求項6に記載のシステム。
- 前記第1の複数のMEMS光スイッチの各MEMS光スイッチが、
前記基板に対して可動であり、第1の端部(360-1)および第2の端部(306-2)を有するシャント導波路(302)と、
(1)前記バス導波路がそのそれぞれの行導波路から光学的に切り離される第1の位置と、(2)前記バス導波路がそのそれぞれの行導波路と光学的に結合される第2の位置との間で前記シャント導波路を動かすように構成されたMEMSアクチュエータ(304)とを含み、
前記MEMSアクチュエータが前記第2の位置にあるとき、
前記第1の端部および前記バス導波路の第1の導波路部(308-1)が、光エネルギーが前記バス導波路から前記シャント導波路に結合することを可能にする第1の指向性カプラ(310-1)を全体的に画定し、
前記第2の端部およびそのそれぞれの行導波路の第2の導波路部(308-2)が、光エネルギーが前記シャント導波路からそのそれぞれの行導波路に結合することを可能にする第2の指向性カプラ(310-2)を全体的に画定する、請求項6に記載のシステム。 - 前記第2の複数のMEMS光スイッチの各MEMS光スイッチが、
そのそれぞれのカプラの前記カプラ導波路であって、可動端部(406-1)および前記垂直結合要素を含む固定端部(406-2)を有する、前記カプラ導波路と、
(1)前記カプラ導波路がそのそれぞれの行導波路から光学的に切り離される第1の位置と、(2)前記カプラ導波路がそのそれぞれの行導波路と光学的に結合される第2の位置との間で、前記可動端部を動かすように構成されたMEMSアクチュエータ(404)とを含み、
前記MEMSアクチュエータが前記第2の位置にあるとき、前記可動端部およびそのそれぞれの行導波路が、光エネルギーがそのそれぞれの行導波路から前記カプラ導波路に結合することを可能にする指向性カプラ(420)を全体的に画定する、請求項6に記載のシステム。 - 前記第2の複数のMEMS光スイッチの各MEMS光スイッチが、
そのそれぞれのカプラの前記カプラ導波路(424)であって、前記垂直結合要素を含む、前記カプラ導波路(424)と、
(1)前記カプラ導波路が前記それぞれの行導波路から光学的に切り離される第1の位置と、(2)前記カプラ導波路が前記それぞれの行導波路と光学的に結合される第2の位置との間で、前記カプラ導波路を動かすように構成されたMEMSアクチュエータ(404)とを含み、
前記MEMSアクチュエータが前記第2の位置にあるとき、前記カプラ導波路および前記それぞれの行導波路が、光エネルギーが前記それぞれの行導波路から前記垂直結合要素に結合することを可能にする指向性カプラ(426)を全体的に画定する、請求項6に記載のシステム。 - 前記第1の相対位置を制御するために作動するコントローラをさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の垂直結合要素のうちの少なくとも1つの垂直結合要素が、回折格子を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の垂直結合要素のうちの少なくとも1つの垂直結合要素が、プリズム、ホログラム、2次元格子構造、回折レンズ、ブレーズド回折格子素子、屈折レンズ、角度エッチング導波路ファセットミラー、角度エッチング導波路、および角度付きミラーから成るグループから選択された光学素子を含む、請求項1に記載のシステム。
- 光ビームを誘導するための方法であって、
(1)光軸(A1)および焦点面(FP1)を有するレンズ(102)を提供するステップと、
(2)プログラマブル垂直カプラ配列(104)を提供するステップであって、前記プログラマブル垂直カプラ配列が、
基板(114)上に配置され、中心点(CP1)で特徴づけられる2次元配列として配列されかつ複数のカプラ行(CR)および複数のカプラ列(CC)を有するカプラ(112)の配列であって、カプラの前記配列の各カプラが、カプラ導波路(402)と、前記カプラ導波路から受信された光エネルギーを自由空間に放出するように構成された垂直結合要素(408)とを含む、カプラ(112)の配列と、
前記基板上に配置され、第1の入力ポート(IP1)を有するバス導波路(202)と、
前記基板上に配置された複数の行導波路(204)と、
前記第1の入力ポートからカプラの前記配列のうちの任意のカプラへの第1の光信号(120)の伝搬を制御するために作動するスイッチングネットワーク(110)とを含む、ステップと、
(3)前記レンズが、前記複数の垂直結合要素の各垂直結合要素によって放出された前記光エネルギーを受信し、前記光エネルギーを、前記プログラマブル垂直カプラ配列の中のその垂直結合要素の位置、および前記レンズと少なくとも1つの次元の前記プログラマブル垂直カプラ配列との第1の相対位置に基づく出力軸に案内するように、前記レンズおよびプログラマブル垂直カプラ配列を配列するステップと、
(4)前記第1のカプラが、前記レンズへの第1の光信号に基づいて第2の光信号(120’)を供給し、前記第1のカプラが第1の位置(x1、y1)に配置されるように、前記第1の光信号を前記入力ポートからカプラの前記配列のうちの第1のカプラに案内するように前記スイッチングネットワークを制御するステップと、
(5)前記第2の光信号をコリメートし、前記第1の位置に基づく出力軸(A2)に沿って案内するステップとを含む、方法。 - スイッチングネットワークが、
前記第1の光信号を前記複数の行導波路のうちの第1の行導波路に結合するために第1のMEMS光スイッチを制御する動作と、
前記第1の光信号を前記第1の行導波路から前記第1のカプラに結合するために第2のMEMS光スイッチを制御する動作と
を含む動作によって、前記第1のカプラを励起するために制御される、請求項14に記載の方法。 - 前記第1のMEMS光スイッチが、
前記基板に対して可動であり、第1の端部(360-1)および第2の端部(306-2)を有するシャント導波路(302)と、
(1)前記バス導波路が前記第1の行導波路から光学的に切り離される第1の位置と、(2)前記バス導波路が前記第1の行導波路と光学的に結合される第2の位置との間で、前記シャント導波路を動かすように構成されたMEMSアクチュエータ(304)と
を含むように提供され、
前記MEMSアクチュエータが前記第2の位置にあるとき、
前記第1の端部および前記バス導波路の第1の導波路部(308-1)が、光エネルギーが前記バス導波路から前記シャント導波路に結合することを可能にする第1の指向性カプラ(310-1)を全体的に画定し、
前記第2の端部および前記第1の行導波路部の第2の導波路部(308-2)が、光エネルギーが前記シャント導波路から前記第1の行導波路に結合することを可能にする第2の指向性カプラ(310-2)を全体的に画定する、請求項15に記載の方法。 - 前記第1のMEMS光スイッチが、第1の列スイッチ配列の中に含まれる第1の複数のMEMS光スイッチの中に含まれ、前記第1の複数のMEMS光スイッチが、そのMEMS光スイッチのすべてが同じ制御信号で制御されるように構成される、請求項15に記載の方法。
- 前記第2のMEMS光スイッチが、
前記第1のカプラの前記カプラ導波路であって、可動端部(406-1)および格子素子を含む固定端部(406-2)を有する、前記カプラ導波路と、
(1)前記カプラ導波路が前記第1の行導波路から光学的に切り離される第1の位置と、(2)前記カプラ導波路が前記第1の行導波路と光学的に結合される第2の位置との間で、前記可動端部を動かすように構成されたMEMSアクチュエータ(404)と
を含むように提供され、
前記MEMSアクチュエータが前記第2の位置にあるとき、前記可動端部および前記第1の行導波路が、光エネルギーが前記第1の行導波路から前記カプラ導波路に結合することを可能にする指向性カプラ(420)を全体的に画定する、請求項15に記載の方法。 - 前記スイッチングネットワーク(504)が、
複数の光信号(120-1~120-L)を前記バス導波路から受信するための複数の入力ポートを含む行スイッチ(504)であって、前記複数の光信号の各光信号を前記複数の行導波路のうちの任意の行導波路に案内するために作動する、行スイッチ(504)と、
複数の列スイッチ(506)と
を含むように提供され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、前記複数の行導波路のうちの1つの異なる行導波路および前記複数のカプラ行のうちの1つの異なるカプラ行と動作可能に結合され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、そのそれぞれの行導波路と前記複数のカプラ行のうちのそのそれぞれのカプラ行のうちのいずれかのカプラとの間の光結合を可能にするように構成される、請求項14に記載の方法。 - 前記レンズが、単一のレンズ、複合レンズ、テレセントリックレンズ、望遠鏡、および携帯電話レンズから成るグループから選択される、請求項14に記載の方法。
- (6)カプラの前記配列の第1のカプラにおいて前記レンズの収差を補正するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 前記スイッチングネットワーク(604)が、非ブロッキングであり、
複数の光信号(120-1~120-L)を前記バス導波路から受信するための複数の入力ポートを含む行スイッチ(604)であって、前記複数の光信号の各光信号を前記複数の行導波路のうちの任意の行導波路に案内するために作動する、行スイッチ(604)と、
複数の列スイッチ(606)と
を含むように提供され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、第2の複数の導波路(204(1,1)~204(1,P))によって前記行スイッチと動作可能に結合され、前記複数の列スイッチの各列スイッチが、そのそれぞれの第2の複数の行導波路の各々と前記複数のカプラ行のうちのそのそれぞれのカプラ行のうちの任意のカプラとの間の光結合を可能にするように構成され、
前記第1の複数の行導波路が、各第2の複数の行導波路を含む、請求項14に記載の方法。 - (6)前記第1の相対位置を制御するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
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US20210063541A1 (en) * | 2019-09-04 | 2021-03-04 | Lumentum Operations Llc | Multi-channel lidar optical sub-assembly with shared optics |
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CN111722237B (zh) * | 2020-06-02 | 2023-07-25 | 上海交通大学 | 基于透镜和集成光束收发器的激光雷达探测装置 |
US20220003842A1 (en) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | Robert Bosch Gmbh | Lidar Module With Monolithic Array |
US11754683B2 (en) | 2021-05-10 | 2023-09-12 | nEYE Systems, Inc. | Pseudo monostatic LiDAR with two-dimensional silicon photonic mems switch array |
EP4323809A1 (en) * | 2021-05-19 | 2024-02-21 | Neye Systems, Inc. | Lidar with microlens array and integrated photonic switch array |
WO2023022737A1 (en) * | 2021-08-20 | 2023-02-23 | Shifamed Holdings, Llc | Adjustable shunting systems with energy redirecting elements, and associated methods and devices |
WO2024039032A1 (ko) * | 2022-08-19 | 2024-02-22 | 삼성전자 주식회사 | 디스플레이 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10160964A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Idec Izumi Corp | 光デバイス、光導入装置および光検出装置 |
US20040228574A1 (en) * | 2003-05-14 | 2004-11-18 | Yu Chen | Switchable optical dispersion compensator using Bragg-grating |
JP2005519323A (ja) * | 2002-03-01 | 2005-06-30 | ローズマウント インコーポレイテッド | 三次元導光板を有する光学スイッチ |
US20140347733A1 (en) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | Finisar Corporation | Systems And Methods of Aberration Correction In Optical Systems |
JP2018049223A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | 株式会社豊田中央研究所 | スイッチ式光アンテナ、スイッチ式光アンテナアレイ、および光走査装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5543805A (en) | 1994-10-13 | 1996-08-06 | The Boeing Company | Phased array beam controller using integrated electro-optic circuits |
JP3386930B2 (ja) * | 1995-06-22 | 2003-03-17 | 株式会社日立製作所 | 光スイッチ装置 |
US6360036B1 (en) * | 2000-01-14 | 2002-03-19 | Corning Incorporated | MEMS optical switch and method of manufacture |
US6925218B2 (en) * | 2000-05-26 | 2005-08-02 | Vitesse Semiconductor Corporation | Control techniques and devices for an optical switch array |
US20030108274A1 (en) * | 2000-08-22 | 2003-06-12 | Dan Haronian | Mode coupled optomechanical devices |
US6944361B2 (en) * | 2001-04-13 | 2005-09-13 | Gazillion Bits, Inc. | Electrically controllable integrated optical cross-connect |
US6760512B2 (en) * | 2001-06-08 | 2004-07-06 | Hrl Laboratories, Llc | Electro-optical programmable true-time delay generator |
US6842563B2 (en) * | 2001-10-22 | 2005-01-11 | Oplux, Inc. | Waveguide grating-based wavelength selective switch actuated by micro-electromechanical system |
US6683711B2 (en) * | 2001-10-22 | 2004-01-27 | Integrated Optics Communications Corporation | Wavelength selective light source using Bragg-grating |
US7298555B2 (en) | 2001-12-07 | 2007-11-20 | The Boeing Company | Optical beam steering using small angle beam steering device |
US6608715B2 (en) * | 2001-12-10 | 2003-08-19 | Integrated Optics Communications Corporation | Wavelength converter using Bragg-grating |
US20030231821A1 (en) | 2002-06-13 | 2003-12-18 | Clarke William L. | Integrated optical crossbar switch |
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US9915850B2 (en) * | 2013-07-30 | 2018-03-13 | Nokia Technologies Oy | Optical beams |
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US9778421B2 (en) | 2015-10-14 | 2017-10-03 | Nistica, Inc. | Large scale optical switch using asymmetric 1×2 elements |
US9989831B2 (en) * | 2016-03-02 | 2018-06-05 | The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Chip-scale two-dimensional optical phased array with simplified controls |
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WO2018227007A1 (en) | 2017-06-07 | 2018-12-13 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Integrated mems switches for selectively coupling light in and out of a waveguide |
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US20140347733A1 (en) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | Finisar Corporation | Systems And Methods of Aberration Correction In Optical Systems |
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