JP2022140181A - Laser soldering apparatus - Google Patents

Laser soldering apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2022140181A
JP2022140181A JP2021074631A JP2021074631A JP2022140181A JP 2022140181 A JP2022140181 A JP 2022140181A JP 2021074631 A JP2021074631 A JP 2021074631A JP 2021074631 A JP2021074631 A JP 2021074631A JP 2022140181 A JP2022140181 A JP 2022140181A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
soldering
temperature
laser beam
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021074631A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP7473216B2 (en
Inventor
明夫 白井
Akio Shirai
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micro Edge Proess Co Ltd
Original Assignee
Micro Edge Proess Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micro Edge Proess Co Ltd filed Critical Micro Edge Proess Co Ltd
Publication of JP2022140181A publication Critical patent/JP2022140181A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7473216B2 publication Critical patent/JP7473216B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

To provide a laser soldering apparatus which can detect the temperature in a portion where the heat resistance is low in the vicinity of a soldering portion and can perform temperature control with the detection temperature as one parameter.SOLUTION: A laser soldering apparatus 1 according to the present invention comprises at least: a laser beam irradiation device 12 which emits a laser beam to a prescribed soldering portion 73; a temperature detection device 20 which detects the temperature of the soldering portion 73; an imaging device 30 which captures an image of the periphery of the soldering portion; a vicinity temperature detection device 21 which detects the temperature of an electronic component 71 in the vicinity of soldering; and a control device which controls the laser beam irradiation device 12 such that the detection temperature detected by the vicinity temperature detection device 21 does not become equal to or greater than the temperature prescribed in the electronic component 71.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、レーザビームを半田付け箇所に照射して電子部品を所定の箇所に半田付けするレーザ半田付け装置に関する。 The present invention relates to a laser soldering apparatus that irradiates a laser beam to a soldering location to solder an electronic component to a predetermined location.

特許文献1(特開2018-176247号公報)は、半田付けポイントが目標温度に加熱されるようにレーザ光の出力を精度良く制御し、それによって、品質の高い半田付けを行うことを目的とするもので、レーザ光を、予め定められた所定の制御波形に沿って出力し、放射温度計で測定される半田付けポイントの測定温度が予め定められた上限温度を上回らない場合には制御波形に沿った制御を継続し、側手インドが上限温度を上回る場合には、制御波形に沿った制御を中断してレーザ光の出力を落とすレーザ式半田付け装置を開示する。 Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-176247) aims to perform high-quality soldering by precisely controlling the output of a laser beam so that a soldering point is heated to a target temperature. A laser beam is output along a predetermined control waveform, and when the measured temperature of the soldering point measured by the radiation thermometer does not exceed the predetermined upper limit temperature, the control waveform Disclosed is a laser soldering apparatus that continues control along a control waveform and, when the temperature of the side tip exceeds the upper limit temperature, interrupts control along the control waveform and reduces the output of the laser light.

特許文献2(特開2019-130584号公報)に開示されるレーザ半田付け装置は、プリント配線板上の電子部品の左右両側で第1および第2の側面端子と第1および第2のパッドとの間に介在する半田に対して、制御部の制御の下で第1及び第2のレーザ照射部よりそれぞれのレーザ出力を独立に制御可能な第1及び第2のレーザ光を集光照射するものである。 The laser soldering apparatus disclosed in Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2019-130584) includes first and second side terminals and first and second pads on both left and right sides of an electronic component on a printed wiring board. Under the control of the control unit, the first and second laser beams, each of which can be independently controlled, are condensed and irradiated onto the solder interposed between the It is.

特許文献3(特開2020-25985号公報)に開示される半田付けシステムは、少なくとも第1のビームと第2のビームを発生し、前記第1のビームを半田付け領域の第1の要素にガイドし、前記第2のビームを前記半田付け領域の第2の要素にガイドするマルチビームスキャナ半田付けプロセス中、少なくとも前記第1の要素の第1の温度と前記第2の要素の第2の温度を同時に検出するセンサ、及び前記第1の温度と前記第2の温度が実質的に異なるという条件において、前記第1のビームと前記第2のビームのパラメータを調整する制御装置を含むシステムであることが開示される。 The soldering system disclosed in Patent Document 3 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2020-25985) generates at least a first beam and a second beam, and directs the first beam to a first element of the soldering area. During a multi-beam scanner soldering process for guiding and guiding said second beam to a second element of said soldering area, at least a first temperature of said first element and a second temperature of said second element. A system comprising a sensor for simultaneously detecting temperature and a controller for adjusting parameters of said first beam and said second beam provided that said first temperature and said second temperature are substantially different. Something is disclosed.

特許文献4(特開平11-347762号公報)は、管体の支持物への溶接に当たり、レーザビームを2つの光路に分割したツインビームを得る光学系を有する溶接ヘッドを、上記管体の端面にて管体厚さ方向の2カ所を同時に溶接するよう上記端面周囲に沿って移動させるようにしたシール溶接法を開示する。 Patent Document 4 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-347762) discloses a welding head having an optical system for obtaining twin beams obtained by splitting a laser beam into two optical paths for welding to a support of a tubular body. Discloses a seal welding method that moves along the periphery of the end face so as to weld two locations in the thickness direction of the tubular body at the same time.

特許文献5(特許第2902550号公報)は、レーザビームを伝送し、出射する光伝送系と、稜で接する複数の面を有し、複数の面に入射するレーザビームの面積比によりレーザビームを分割するビーム分割手段と、前記ビーム分割手段を可動に支持する支持手段とを有し、光伝送系から出射されるレーザビームを可変分割比で分割するビーム分割部と、ビーム分割部から出射される複数のレーザビームに対して共通の集光レンズ部であり、複数のレーザビームを異なる位置に集光させる集光レンズ部と、前記ビーム分割部と前記集光レンズ部とを一体的に同時に回転させる回転駆動機構とを有するレーザ加工機を開示する。 Patent Document 5 (Japanese Patent No. 2902550) has an optical transmission system that transmits and emits a laser beam, and has a plurality of surfaces that are in contact with each other at edges. A beam splitting section for splitting a laser beam emitted from an optical transmission system at a variable split ratio, and a beam splitting section for splitting a laser beam emitted from the beam splitting section. a collective lens unit that is common to a plurality of laser beams and that collects the plurality of laser beams at different positions; Disclosed is a laser processing machine having a rotary drive mechanism for rotating.

特開2018-176247号公報JP 2018-176247 A 特開2019-130584号公報JP 2019-130584 A 特開2020-25985号公報JP 2020-25985 A 特開平11-347762号公報JP-A-11-347762 特許第2902550号公報Japanese Patent No. 2902550

従来、放射温度計によって半田付けポイントの温度をリアルタイムで測定し、その測定温度が目標温度になるようにレーザ光の出力を制御していたが、様々な原因によって測定温度にばらつきが発生するためにレーザ光の出力を目標温度に合わせて高精度に制御することは難しく、半田付けポイントが適正な温度に加熱されず半田不良が生じるケースがあった。 In the past, the temperature of the soldering point was measured in real time using a radiation thermometer, and the output of the laser beam was controlled so that the measured temperature reached the target temperature. In addition, it is difficult to control the output of the laser beam to match the target temperature with high accuracy, and there have been cases where the soldering points are not heated to the proper temperature, resulting in solder defects.

このため、例えば特許文献1に開示されるレーザ半田付け装置においては、半田付けポイントを予熱する第1工程と、供給された半田をレーザ光により溶融させて半田付けポイントに拡散させる第2工程と、半田付けポイントに拡散した半田をレーザ光で後加熱する第3工程とを有し、半田付けポイントを目標温度に加熱するために必要なレーザ光の出力及び照射時間に基づいて、レーザ光の出力及び照射時間を制御するための制御波形を設定するとともに、目標温度より高い上限温度を設定し、前記第1、第2、第3の工程に沿って半田付けを行う際に、前記レーザ光の出力及び照射時間を前記制御波形に基づいて波形制御すると共に、半田付けポイントの温度を放射温度計により測定して前記上限温度と比較し、測定温度が上限温度より低い場合は、そのまま波形制御を行い、測定温度が上限温度を上回った場合は、前記波形制御を解除してレーザ光の出力を低下させる制御を行うものである。 For this reason, for example, in the laser soldering apparatus disclosed in Patent Document 1, a first step of preheating the soldering point and a second step of melting the supplied solder with a laser beam and diffusing it to the soldering point are performed. and a third step of post-heating the solder diffused to the soldering point with a laser beam. Setting a control waveform for controlling output and irradiation time, setting an upper limit temperature higher than a target temperature, and performing soldering along the first, second, and third steps, the laser beam The output and irradiation time are waveform controlled based on the control waveform, and the temperature of the soldering point is measured with a radiation thermometer and compared with the upper limit temperature, and if the measured temperature is lower than the upper limit temperature, the waveform is controlled as it is. When the measured temperature exceeds the upper limit temperature, the waveform control is canceled and the output of the laser light is lowered.

また、特許文献2において、温度測定工程が、第1および第2のレーザ光の照射中に第1及び第2の端子付近の半田よりそれぞれ発生する赤外線を受光して光電変換によりそれらの半田の温度を表す第1及び第2の測定温度信号を生成し、レーザ出力制御工程が、前記第1および第2の測定紫雲号を基準値と比較し、それぞれの比較結果に応じて第1及び第2のレーザ光のレーザ出力を独立に二値制御するものであり、前記第1および第2のレーザ光のレーザ出力をレーザ照射の開始から一定のレートで増大させ、前記第1の測定温度信号が前記基準温度に対応する基準値に到達した時以後はその到達時のレーザ出力値またはその付近に保持されるように前記第1のレーザ光のレーザ出力を制御し、前記第2の測定温度信号が前記基準温度に対応する基準値に到達した時以後はその到達時のレーザ出力値またはその付近に保持されるように前記第2のレーザ光のレーザ出力を制御するようにしたものである。 Further, in Patent Document 2, the temperature measurement step receives infrared rays generated respectively from solder near the first and second terminals during irradiation of the first and second laser beams, and photoelectrically converts the infrared rays into the solder. generating first and second measured temperature signals representative of temperature; a laser power control step comparing said first and second measured temperature signals to a reference value; The laser outputs of the two laser beams are independently binary controlled, the laser outputs of the first and second laser beams are increased at a constant rate from the start of laser irradiation, and the first measurement temperature signal is obtained. After reaching a reference value corresponding to the reference temperature, the laser output of the first laser light is controlled so that the laser output value at the time of arrival or its vicinity is maintained, and the second measurement temperature After the signal reaches a reference value corresponding to the reference temperature, the laser output of the second laser light is controlled so that the laser output value at the time of arrival or its vicinity is maintained. .

さらに、特許文献3において、センサは、第1のビームがガイドされる半田付け領域の第1の要素の第1の温度と、第2のビームがガイドされる半田付け領域の第2の要素の第2の温度を同時に検出し、制御装置は、前記第1の温度と前記第2の温度が実質的に異なるという条件において、前記第1のビームと前記第2のビームのパラメータを調整するものである。 Further, in US Pat. No. 5,200,000, sensors measure a first temperature of a first element of the soldering area through which the first beam is guided and a temperature of a second element of the soldering area through which the second beam is guided. A second temperature is sensed simultaneously, and the controller adjusts parameters of the first beam and the second beam provided that the first temperature and the second temperature are substantially different. is.

特許文献4では、管体の支持物への溶接に当たり、レーザビームを2つの光路に分割したツインビームを得る光学系を有する溶接ヘッドを、上記管体の端面にて管体厚さ方向の2カ所を同時に溶接するよう上記端面周囲に沿って移動させるものであり、特許文献5では、主レーザビームと補助レーザビームとからなるツインビームを出射するものであり、屋根型プリズムを左右に移動させることにより、主レーザビームと補助レーザビームの強度を調整できるものである。 In Patent Document 4, when welding a tubular body to a support, a welding head having an optical system for obtaining twin beams obtained by splitting a laser beam into two optical paths is mounted on the end surface of the tubular body in two directions in the thickness direction of the tubular body. In Patent Document 5, twin beams consisting of a main laser beam and an auxiliary laser beam are emitted, and the roof prism is moved left and right. Thus, the intensities of the main laser beam and the auxiliary laser beam can be adjusted.

以上のように、従来技術において、レーザ光が照射される箇所の温度を検出し、この検出温度にしたがってレーザ光の出力を制御する場合、半田付け箇所の熱容量に伴って温度上昇の速度が異なり、半田付け箇所の周縁が以上に高温になる場合がある。半田付け箇所が異常な高温となった場合、半田付けされる箇所に連設される基板配線の熔解による断線や、電子部品の熱による破壊などが生じる恐れがある。また、Pbフリーの半田の使用が要望される昨今では、Pbフリーの半田は、従来のSn-Pb半田の融点183℃に対して融点が200℃~220℃と高いものが多いため、電子部品への熱影響も大きくなる傾向にある。 As described above, in the prior art, when the temperature of a portion irradiated with a laser beam is detected and the output of the laser beam is controlled according to the detected temperature, the rate of temperature rise differs according to the heat capacity of the soldering portion. , the peripheral edge of the soldering point may become excessively hot. If the soldered portion reaches an abnormally high temperature, there is a risk that circuit board wiring that is connected to the soldered portion will be melted to cause disconnection, or that electronic components will be destroyed due to heat. In addition, nowadays there is a demand for the use of Pb-free solder. The thermal effect on the

さらに、通常、電子部品、特にICなどでは、急激な温度上昇による熱衝撃によって、半導体のチップ破壊が起こる可能性があり、またアルミ電解コンデンサなどでは、熱影響によって静電容量の低下、推定寿命の低下などの不具合が生じる。 Furthermore, in electronic components, especially ICs, there is a possibility that semiconductor chips may be destroyed by thermal shock due to a sudden temperature rise. problems such as a decrease in

以上のことから、本発明は、半田付け箇所の近傍にある熱耐性が低い箇所の温度を検出し、この検出温度を一つのパラメータとして温度制御を行うことができるレーザ半田付け装置を提供することにある。 In view of the above, the present invention provides a laser soldering apparatus capable of detecting the temperature of a portion having low heat resistance in the vicinity of the soldering portion and performing temperature control using this detected temperature as one parameter. It is in.

本発明は、所定の半田付け箇所にレーザ光を照射するレーザ光照射装置と、前記半田付け箇所の温度を検出する温度検出装置と、前記半付け箇所周縁の映像を撮影する撮影装置とによって少なくとも構成されるレーザ半田付け装置において、前記半田付け近傍の電子部品の温度を検出する近傍温度検出装置と、該近傍温度検出装置によって検出された検出温度が電子部品に規定される温度以上とならないように、前記レーザ光照射装置を制御する制御装置とを具備することにある。 The present invention comprises at least a laser beam irradiation device that irradiates a predetermined soldering portion with a laser beam, a temperature detection device that detects the temperature of the soldering portion, and an imaging device that captures an image of the periphery of the soldering portion. In the laser soldering apparatus configured, a proximity temperature detection device for detecting the temperature of the electronic component in the vicinity of the soldering, and a temperature detected by the proximity temperature detection device so as not to exceed a temperature specified for the electronic component and a control device for controlling the laser beam irradiation device.

また、前記レーザ光照射装置は、所定の波長のレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、該レーザ発生装置により発生した所定の波長のレーザ光を半田付け箇所に導くレーザ光ガイド機構とによって構成されることが望ましい。 The laser light irradiation device is composed of a laser generator for generating laser light of a predetermined wavelength and a laser light guide mechanism for guiding the laser light of the predetermined wavelength generated by the laser generator to a soldering position. preferably

さらに、前記レーザ光照射装置は、所定の波長のレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、該レーザ発生装置により発生した所定の波長のレーザ光を分光する分光手段と、該分光手段によって分光されたレーザ光を、所定の間隔で位置する2カ所の半田付け位置に照射するレーザ光ガイド機構とによって構成されることが望ましい。 Further, the laser light irradiation device includes a laser generator that generates a laser beam of a predetermined wavelength, spectroscopic means that disperses the laser beam of a predetermined wavelength generated by the laser generator, and It is desirable that the laser light guide mechanism irradiate two soldering positions positioned at a predetermined interval with a laser light guide mechanism.

さらにまた、前記分光手段は、前記温度検出手段によって検出される少なくとも2カ所の半田付け箇所の温度のバランスが良好となるように分光することが望ましい。また前記分光手段は、レーザ光の入射側に稜線を有するプリズムであり、前記稜線が前記レーザ光の入射側に対して左右に移動可能であることが望ましい。 Furthermore, it is desirable that the spectroscopic means disperse the light so that the temperatures of at least two soldering points detected by the temperature detecting means are well balanced. Further, it is preferable that the spectroscopic means is a prism having a ridgeline on the incident side of the laser beam, and the ridgeline is movable to the left and right with respect to the incident side of the laser beam.

尚、前記電子部品としては、半田付けされる部分からの熱伝導による熱影響を受ける電子部品、いわゆる基板に実装されるIC、抵抗、コンデンサなどであり、さらに基板配線それ自体であることが望ましい。両側に一定間隔に半田付け箇所を有する電子部品の場合、分光手段によってレーザを分光して一度に半田付けすることが効率的であるが、半田付け箇所の間に位置する電子部品が熱影響を受けないように電子部品の温度上昇を観察することが必要である。 It should be noted that the electronic component is an electronic component that is affected by heat due to heat conduction from a soldered portion, such as an IC, a resistor, a capacitor, etc. mounted on a substrate, and more preferably the substrate wiring itself. . In the case of an electronic component that has soldering points at regular intervals on both sides, it is efficient to split the laser beam by a spectroscopic means and solder it all at once. It is necessary to observe the temperature rise of the electronic components so as not to suffer.

また、電子部品、特にICなどでは、急激な温度上昇による熱衝撃によって、半導体のチップ破壊が起こる可能性があり、またアルミ電解コンデンサなどでは、熱影響によって静電容量の低下、推定寿命の低下などの不具合が生じるため、それぞれ半田付けする対象の電子部品に耐熱温度を設定し、前記温度検出装置において検出された電子部品の温度が耐熱温度を超えないように、レーザ発生装置の出力を制御するものである。 In addition, electronic components, especially ICs, may be damaged by thermal shock due to a sudden temperature rise, and in aluminum electrolytic capacitors, etc., the thermal effect will reduce the capacitance and shorten the estimated life. In order to avoid problems such as these, a heat-resistant temperature is set for each electronic component to be soldered, and the output of the laser generator is controlled so that the temperature of the electronic component detected by the temperature detection device does not exceed the heat-resistant temperature. It is something to do.

また、本発明に係る制御装置は、電子部品の温度に基づくレーザ光の出力制御を行うとともに、半田付け箇所の温度についても、半田付け箇所の温度に基づいてレーザ光の出力制御を行うことが望ましい。特にレーザ光を分光したツインレーザによる半田付けの場合、それぞれの半田付け箇所の熱容量が異なる場合など、ツインレーザのそれぞれの強度を調整する必要があるが、分光手段によって用にそれぞれの強度を調整可能となるものである。 Further, the control device according to the present invention can control the output of the laser beam based on the temperature of the electronic component, and can also control the output of the laser beam based on the temperature of the soldered portion. desirable. Especially in the case of soldering with twin lasers that split laser light, it is necessary to adjust the intensity of each of the twin lasers, such as when the heat capacity of each soldering point is different. It is possible.

本発明によれば、半田付け箇所からの熱影響を受ける電子部品の温度を掲出し、この温度に基づいてレーザ発生装置の出力を制御するようにしたことから、半田付け箇所からの熱伝導による電子部品の破損等を防止することができるものである。 According to the present invention, the temperature of the electronic component that is affected by the heat from the soldered portion is displayed, and the output of the laser generator is controlled based on this temperature. It is possible to prevent breakage of electronic parts.

図1は、本発明の実施例1に係るレーザ半田付け装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a laser soldering apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. 図2は、実施例1に係るレーザ半田付け装置の半田付け箇所近傍の撮像エリア、レーザエリア及びセンサエリアを示した説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an imaging area, a laser area, and a sensor area in the vicinity of a soldering location of the laser soldering apparatus according to the first embodiment. 図3は、本発明の実施例2に係るレーザ半田付け装置の概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a laser soldering apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. 図4(a)は、実施例2に係るレーザ半田付け装置の半田付け箇所近傍の撮像エリア、レーザエリア及びセンサエリアを示した説明図であり、図4(b)はその側面図である。FIG. 4(a) is an explanatory diagram showing an imaging area, a laser area, and a sensor area in the vicinity of a soldering position of a laser soldering apparatus according to Example 2, and FIG. 4(b) is a side view thereof. 図5(a)は、左側のレーザビームを強くした場合のプリズムによる分光を示した説明図であり、図5(b)は分光による撮像エリア、レーザエリア及びセンサエリアを示した説明図である。FIG. 5(a) is an explanatory diagram showing the spectrum by the prism when the laser beam on the left side is intensified, and FIG. 5(b) is an explanatory diagram showing the imaging area, the laser area, and the sensor area by the spectrum. . 図6(a)は、右側のレーザビームを強くした場合のプリズムによる分光を示した説明図であり、図6(b)は分光による撮像エリア、レーザエリア及びセンサエリアを示した説明図である。FIG. 6(a) is an explanatory diagram showing the spectrum by the prism when the laser beam on the right side is intensified, and FIG. 6(b) is an explanatory diagram showing the imaging area, the laser area and the sensor area by the spectrum. . 図7は、本発明の実施例3に係るレーザ半田付け装置の概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a laser soldering apparatus according to Embodiment 3 of the present invention. 図8は、本発明のレーザ半田付け装置の制御の一例を示したフローチャート図である。FIG. 8 is a flow chart showing an example of control of the laser soldering apparatus of the present invention.

以下、この発明の実施例について図面により説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

本発明の実施例に係るレーザ半田付け装置1は、所定の波長のレーザ光を発生させるレーザ発生装置10と、赤外線を受光して温度を検出する温度検出装置20と、半田付け箇所近傍の所定の範囲から生じる可視光を受光する撮影装置30と、前記レーザ発生装置10により発生した所定の波長のレーザ光をレーザエリア(半田付け箇所)70に導くレーザ光ガイド機構40と、レーザエリア(半田付け箇所)70からの映像を映像撮影装置30に導く映像ガイド機構50と、前記レーザエリア(半田付け箇所)近傍70の所望の位置(温度検出エリア)76から放出される赤外線を前記温度検出装置20まで導く赤外線ガイド機構60を具備する。 A laser soldering apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a laser generator 10 that generates a laser beam of a predetermined wavelength, a temperature detector 20 that receives infrared rays to detect the temperature, and a predetermined temperature near the soldering location. , a laser light guide mechanism 40 for guiding a laser beam of a predetermined wavelength generated by the laser generator 10 to a laser area (soldering location) 70, a laser area (solder An image guide mechanism 50 guides an image from an image pickup device 30 to an image pickup device 30, and infrared rays emitted from a desired position (temperature detection area) 76 in the vicinity of the laser area (soldering location) 70 are detected by the temperature detection device. 20 is equipped with an infrared guide mechanism 60.

前記レーザ発生装置10のレーザ軸は、波長800~1100nm帯の一般的な波長帯を使用するもので、半導体レーザ、ファイバーレーザなどが代表的である。前記レーザ軸の入力方法は、取り回しが良いファイバー伝送が、利便性が良く、光源を離れた場所に設置できる。ファイバーから放出されるレーザ光はコリメートレンズ11により平行光に光学的に変換される。 The laser axis of the laser generator 10 uses a general wavelength band of 800 to 1100 nm, and semiconductor lasers and fiber lasers are typical examples. As for the input method of the laser axis, fiber transmission with good handling is convenient and can be installed in a place away from the light source. Laser light emitted from the fiber is optically converted into parallel light by a collimating lens 11 .

レーザ光ガイド機構40は、前記コリメートレンズ11により平行光に変換されたレーザ光を90°横方向に全反射させるために45°傾斜して配置された全反射ミラー41と、該全反射ミラー41に対峙して45°傾斜して配置され、前記全反射ミラー41によって全反射されたレーザ光を半田付け箇所方向に反射させる第1のダイクロイックフィルタ42と、集光レンズ(コリメートレンズ)43とによって構成される。 The laser light guide mechanism 40 includes a total reflection mirror 41 arranged at an angle of 45° for total reflection of the laser beam converted into parallel light by the collimating lens 11 in the horizontal direction of 90°, and the total reflection mirror 41 , and a first dichroic filter 42 for reflecting the laser beam totally reflected by the total reflection mirror 41 toward the soldering part, and a condenser lens (collimate lens) 43. Configured.

前記撮影装置30は、前記レーザエリア(半田付け箇所)70からの可視光帯を受光して映像化するもので、レーザエリア(半田付け箇所)70からの可視光は、映像ガイド機構50を介して撮影装置30に入力される。映像ガイド機構50は、集光レンズ43、第2のダイクロイックフィルタ42、第2のダイクロイックフィルタ51及び全反射ミラー52及び集光レンズ53によって構成されるもので、可視光は、集光レンズ43及び第1のダイクロイックフィルタ42を透過するとともに、縦方向において第1のダイクロイックフィルタ42に対向して45°傾斜して配置された第2のダイクロイックフィルタ51において全反射され、さらに横方向において第2のダイクロイックフィルタ51に対向して45°傾斜して配置された全反射ミラー52によって全反射されて前記撮影装置30に入力される。尚、54は位置調整機構である。 The photographing device 30 receives and images the visible light band from the laser area (soldering location) 70, and the visible light from the laser area (soldering location) 70 passes through the image guide mechanism 50. is input to the photographing device 30. The image guide mechanism 50 is composed of a condenser lens 43, a second dichroic filter 42, a second dichroic filter 51, a total reflection mirror 52, and a condenser lens 53. Visible light passes through the condenser lens 43 and While being transmitted through the first dichroic filter 42, it is totally reflected in the second dichroic filter 51 arranged at an angle of 45° facing the first dichroic filter 42 in the vertical direction, and further reflected in the second dichroic filter 42 in the horizontal direction. The light is totally reflected by a total reflection mirror 52 arranged at an angle of 45° facing the dichroic filter 51 and is input to the photographing device 30 . 54 is a position adjusting mechanism.

前記温度検出装置20は、前記電子部品71の半田付け箇所71の温度を犬舎鬱するとともに、赤外線ガイド機構60を介して前記レーザエリア(半田付け箇所)70の近傍の電子部品71からその温度に対応して生じる赤外線を受光してその電子部品71の温度を検出する近傍温度検出装置21を兼ねるもので、電子部品71から発生する2~2.5μm帯の赤外線は、赤外線ガイド機構60を構成する前記集光レンズ43,第1のダイクロイックフィルタ42及び第2のダイクロイックフィルタ51を透過し、集光レンズ61で集光されて前記温度検出装置20に到達する。尚、62は位置調整装置である。尚、第1のダイクロイックフィルタ42はレーザ光のみを全反射させるものであり、第2のダイクロイックフィルタ51は可視光のみを全反射させるものである。 The temperature detection device 20 detects the temperature of the soldering portion 71 of the electronic component 71 , and detects the temperature from the electronic component 71 in the vicinity of the laser area (soldering portion) 70 via the infrared guide mechanism 60 . 2 to 2.5 .mu.m band infrared rays emitted from the electronic parts 71 are detected by the infrared guide mechanism 60. The light passes through the condensing lens 43 , first dichroic filter 42 and second dichroic filter 51 , is condensed by the condensing lens 61 , and reaches the temperature detection device 20 . 62 is a position adjusting device. The first dichroic filter 42 totally reflects only laser light, and the second dichroic filter 51 totally reflects only visible light.

図2は、撮影装置30において撮影された撮影範囲75と、電子部品71に焦点があった温度検出装置20の温度検出エリア76と、基板配線74上に仮接合された半田箇所73と電子部品71の端子72とを半田付けするためにレーザ光が照射されるレーザエリア(半田付け箇所)70を示したものである。 FIG. 2 shows a photographing range 75 photographed by the photographing device 30, a temperature detection area 76 of the temperature detection device 20 focused on the electronic component 71, a soldering portion 73 temporarily joined on the substrate wiring 74, and the electronic component. 7 shows a laser area (soldering location) 70 irradiated with a laser beam for soldering a terminal 72 of 71. FIG.

以上の構成により、撮影装置30において撮影された映像に基づいて、温度検出エリア6は、位置調整機構(煽り機構)62によって第1のダイクロイックフィルタ42への入射角を調整することにより、レーザエリア70又はレーザ光近傍の温度検出エリア76にフォーカスを移動させることができるものである。 With the above configuration, the temperature detection area 6 is adjusted to the laser area by adjusting the incident angle to the first dichroic filter 42 by the position adjustment mechanism (tilt mechanism) 62 based on the image photographed by the photographing device 30. The focus can be moved to 70 or a temperature detection area 76 in the vicinity of the laser beam.

温度検出装置30において電子部品71の温度を検出し、この検出された温度が、例えば電子部品71の耐熱温度又は設定温度を超えないように、レーザ発生装置10の出力を制御するようにして、半田付けの熱による電子部品71の破損等の不具合を防止することができるものである。 The temperature of the electronic component 71 is detected by the temperature detection device 30, and the output of the laser generator 10 is controlled so that the detected temperature does not exceed, for example, the heat resistance temperature of the electronic component 71 or the set temperature. It is possible to prevent problems such as breakage of the electronic component 71 due to soldering heat.

本発明の実施例2に係るツインレーザ半田付け装置1Aは、例えば図3に示すように、レーザ発生装置10と、コリメートレンズ11、全反射ミラー41、第1のダイクロイックフィルタ42及び集光レンズ43からなり、さらに分光用プリズム80を具備するレーザ光ガイド機構40とによって構成され、所定の間隔で位置する2カ所の半田付け位置にレーザ光を照射するレーザ光照射装置12を具備する。また、ツインレーザ半田付け装置1Aは、さらに前記半田付け箇所の温度を検出する温度検出装置20と、前記半付け箇所周縁の映像を撮影する撮影装置30とを具備する。 A twin laser soldering apparatus 1A according to Embodiment 2 of the present invention includes, for example, a laser generator 10, a collimator lens 11, a total reflection mirror 41, a first dichroic filter 42 and a condenser lens 43, as shown in FIG. and a laser light guide mechanism 40 having a spectral prism 80, and a laser light irradiation device 12 for irradiating laser light onto two soldering positions positioned at a predetermined interval. The twin-laser soldering apparatus 1A further includes a temperature detection device 20 for detecting the temperature of the soldering location, and an imaging device 30 for capturing an image of the periphery of the soldering location.

さらに本発明のツインレーザ半田付け装置1Aは、前記半田付け近傍の電子部品71の温度を検出する近傍温度検出装置21と、該近傍温度検出装置21によって検出された検出温度が、電子部品71に規定される温度以上とならないように、前記レーザ光発生装置10を制御する制御装置とを具備するものである。 Furthermore, the twin laser soldering apparatus 1A of the present invention includes a proximity temperature detection device 21 that detects the temperature of the electronic component 71 near the soldering area, and the temperature detected by the proximity temperature detection device 21 is detected by the electronic component 71. and a control device for controlling the laser light generator 10 so that the temperature does not exceed a prescribed temperature.

さらに、前記レーザ光照射装置12は、前記レーザ発生装置10により発生した所定の波長のレーザ光を分光する分光手段として、分光用プリズム80を具備する。この分光用プリズム80は、前記レーザ発生装置10と対峙する側にレーザ光を分割する稜線81を有し、この稜線81を境として前記レーザ発生装置10から出力されるレーザ光を左右に分光するものである。 Further, the laser beam irradiation device 12 includes a spectral prism 80 as a spectral means for spectrally splitting the laser beam of a predetermined wavelength generated by the laser generator 10 . The spectral prism 80 has a ridgeline 81 for splitting the laser beam on the side facing the laser generator 10, and separates the laser beam output from the laser generator 10 into left and right along the ridgeline 81. It is.

前記分光用プリズム80によって分光されたツインビームは、前記レーザ光ガイド機構40を介して、例えば図4(a)及び(b)で示すように、電子部品71の両側に突出する端子72a,72bと電子部品71の半田付け箇所73a,73bに照射される。尚、レーザ光は、それぞれレーザエリア70a,70bとして示される。 The twin beams split by the spectroscopy prism 80 pass through the laser light guide mechanism 40, for example, as shown in FIGS. and the soldering locations 73a and 73b of the electronic component 71 are irradiated. The laser beams are shown as laser areas 70a and 70b, respectively.

通常、2カ所の半田付け箇所73a,73Bの熱容量が同一の場合には、ツインビームの出力が左右均一となるように分光用プリズム80を配置する。また、左側の半田付け箇所73aの熱容量が大きい場合、半田付け箇所73aの温度上昇が右側の半田付け箇所73bに比べて遅くなるため、図5(a)で示すように、分光用プリズムを左側に移動させて左側へのレーザビームの分光割合を右側のレーザビームに比して大きくすることによって、図5(b)で示すように、右側の半田付け箇所73bへのレーザビームを抑えて左側の半田付け箇所73aのレーザビームを強くすることができるため、左右の半田付け状態を均一にすることができるものである。 Usually, when the heat capacities of the two soldering points 73a and 73B are the same, the splitting prism 80 is arranged so that the left and right twin beam outputs are uniform. Further, when the heat capacity of the left soldering portion 73a is large, the temperature rise of the soldering portion 73a is slower than that of the right soldering portion 73b. to make the spectral ratio of the laser beam to the left larger than that of the laser beam to the right, as shown in FIG. Since the laser beam at the soldered portion 73a can be strengthened, the left and right soldered states can be made uniform.

また、図6(a),(b)は、図5で示す場合と反対に、右側の半田付け箇所73bの熱容量が大きい場合、半田付け箇所73bの温度上昇が左側の半田付け箇所73aに比べて遅くなるため、分光用プリズムを右側に移動させて右側へのレーザビームの分光割合を左側のレーザビームに比して大きくすることによって、左側の半田付け箇所73aへのレーザビームを抑えて右側の半田付け箇所73bのレーザビームを強くすることができるため、左右の半田付け状態を均一にすることを示すものである。 6A and 6B show that, contrary to the case shown in FIG. 5, when the heat capacity of the soldering portion 73b on the right side is large, the temperature rise of the soldering portion 73b is greater than that of the soldering portion 73a on the left side. Therefore, by moving the light-splitting prism to the right side and increasing the spectral ratio of the laser beam to the right side as compared to the laser beam to the left side, the laser beam to the left soldering portion 73a is suppressed, and the right side laser beam is suppressed. This indicates that the soldering state on the left and right sides can be made uniform because the laser beam at the soldering point 73b can be strengthened.

本発明の実施例3に係るツインビーム半田付け装置1Bは、前記レーザビーム照射装置12において、コリメートレンズ11によって平行光に変換されたレーザビームを分光するように、コリメートレンズ11の後流側に、分光用プリズム80’を配置したことを特徴とするものである。 A twin-beam soldering apparatus 1B according to a third embodiment of the present invention is arranged on the downstream side of the collimating lens 11 so as to split the laser beam converted into parallel light by the collimating lens 11 in the laser beam irradiation device 12. , and a spectral prism 80'.

尚、実施例3においても実施例2の場合と同様に、実施例1と同一の箇所又は同一の効果を奏する箇所には同一の符号を付してその説明を省略する。したがって、実施例3に係るツインビーム半田付け装置1Bにおいても、実施例2に係るツインビーム半田付け装置1Aと同様の効果を奏するものである。 In the third embodiment, as in the case of the second embodiment, the same reference numerals are given to the same parts or the parts having the same effects as in the first embodiment, and the description thereof will be omitted. Therefore, the twin-beam soldering apparatus 1B according to the third embodiment also has the same effects as the twin-beam soldering apparatus 1A according to the second embodiment.

上述した実施例2及び3に係るツインビーム半田付け装置1A,1Bの制御は、例えば図8に示すようなフローチャートで示されるものである。 The control of the twin-beam soldering apparatuses 1A and 1B according to the second and third embodiments described above is shown, for example, by a flow chart as shown in FIG.

ステップ100から開始される制御において、ステップ110において、例えば左側の半田付け箇所73aの温度Taが検出され、ステップ120において、右側の半田付け箇所73bの温度Tbが検出され、ステップ130において、電子部品71の温度Tcが検出される。 In the control starting from step 100, for example, the temperature Ta of the left soldering point 73a is detected at step 110, the temperature Tb of the right soldering point 73b is detected at step 120, and the electronic component 71 temperature Tc is detected.

ステップ140において、左右の半田付け箇所73a,73bの温度TaとTbが比較され、温度Taが高い場合には、ステップ160に進んで分光用プリズム80(80’)を右側に移動させて右側のレーザビームの分光比を大きくして、例えば図6(a),(b)で示すように左側半田付け箇所73aへのレーザビームを小さく、右側半田付け箇所の73bへのレーザビームを大きくして左右のバランスを取るようにするものである。 In step 140, the temperatures Ta and Tb of the left and right soldering points 73a and 73b are compared. By increasing the spectral ratio of the laser beam, for example, as shown in FIGS. It is intended to balance left and right.

また、ステップ140の判定において、温度Taが高くない場合には、ステップ150に進んで温度Taが温度Tbより小さいか否かが判定される。ステップ150の判定において温度Taが温度Tbよりも小さい場合には、ステップ170に進んで分光用プリズム80(80’)を左側に移動させて左側のレーザビームの分光比を大きくして、例えば図5(a),(b)で示すように右側半田付け箇所73bへのレーザビームを小さく、左側半田付け箇所の73aへのレーザビームを大きくして左右のバランスを取るようにするものである。 If the temperature Ta is not high in step 140, the process proceeds to step 150 to determine whether the temperature Ta is lower than the temperature Tb. If the temperature Ta is lower than the temperature Tb in step 150, the process proceeds to step 170 to move the spectroscopy prism 80 (80') to the left to increase the spectral ratio of the left laser beam. As shown in 5(a) and 5(b), the laser beam directed to the right soldering portion 73b is reduced and the laser beam directed to the left soldered portion 73a is increased to balance the left and right sides.

以上の制御によって、左右のレーザビームのバランスが取れると、ステップ140及びステップ150の判定において温度Taと温度Tbが等しくなることから、ステップ180に進んで、ステップ130で検出された電子部品71の温度Tcが所定値αより大きいか否かが判定される。前記所定値αは、その電子部品71の限界温度、許容温度などから設定されることが望ましい。 When the left and right laser beams are balanced by the above control, the temperature Ta and the temperature Tb are equal in the judgments of steps 140 and 150. It is determined whether the temperature Tc is greater than a predetermined value α. The predetermined value α is desirably set based on the limit temperature, allowable temperature, etc. of the electronic component 71 .

ステップ180の判定において、電子部品71の温度Tcが所定値αよりも高い場合には、ステップ190に進んでレーザ発生装置10の出力を減少させて、電子部品71への温度影響を防止する。また電子部品71の温度Tcが所定値α以下の場合には、ステップ200に進んで電子部品71の半田付け箇所73a,73bの半田付けが完了した場合には、ステップ200で制御を完了させ、また半田付けが完了していない場合には、ステップ110に戻って温度制御を継続するものである。 If it is determined in step 180 that the temperature Tc of the electronic component 71 is higher than the predetermined value α, the process proceeds to step 190 to reduce the output of the laser generator 10 to prevent the electronic component 71 from being affected by the temperature. When the temperature Tc of the electronic component 71 is equal to or lower than the predetermined value α, the process proceeds to step 200. When the soldering of the soldering points 73a and 73b of the electronic component 71 is completed, the control is completed in step 200, If soldering has not been completed, the process returns to step 110 to continue temperature control.

以上のように、本発明によれば、実施例1のレーザ半田付け装置1、実施例2及び3のツインビームレーザ半田付け装置1A,1Bにおいて、電子部品71の温度を検出して、レーザビームの強度を調整することができるため、半田付けによって生じる電子部品71の熱影響を抑制又は防止できるものである。これによって、せっかく半田付けが完了した電子部品が熱影響によって実は不良品となったことを防止できると共に、電子部品の寿命を延ばすことができるものである。 As described above, according to the present invention, the temperature of the electronic component 71 is detected in the laser soldering apparatus 1 of the first embodiment and the twin-beam laser soldering apparatuses 1A and 1B of the second and third embodiments, can be adjusted, it is possible to suppress or prevent the thermal influence of the electronic component 71 caused by soldering. As a result, it is possible to prevent the electronic parts, which have been soldered with much effort, from actually becoming defective due to the influence of heat, and to extend the life of the electronic parts.

1 レーザ半田付け装置
1A,1B ツインレーザ半田付け装置
10 レーザ発生装置
11 コリメートレンズ
20 温度検出装置
21 近傍温度検出装置
30 撮影装置
40 レーザ光ガイド機構
41 全反射ミラー
42 第1のダイクロイックフィルタ
43 集光レンズ
50 映像ガイド機構
51 第2のダイクリイックフィルタ
52 全反射ミラー
53 集光レンズ
54 位置調整機構
60 赤外線ガイド機構
61 集光レンズ
62 位置調整機構
70,70a,70b レーザエリア
71 電子部品
72,72a,72b 端子
73,73a,73b 半田付け箇所
74,74a,74b 基板配線
75 映像エリア
76 温度検出エリア
80 分光用プリズム
Reference Signs List 1 laser soldering device 1A, 1B twin laser soldering device 10 laser generator 11 collimator lens 20 temperature detector 21 near temperature detector 30 imaging device 40 laser beam guide mechanism 41 total reflection mirror 42 first dichroic filter 43 condensing light Lens 50 Image guide mechanism 51 Second dichroic filter 52 Total reflection mirror 53 Condenser lens 54 Position adjustment mechanism 60 Infrared guide mechanism 61 Condenser lens 62 Position adjustment mechanism 70, 70a, 70b Laser area 71 Electronic parts 72, 72a , 72b terminals 73, 73a, 73b soldering points 74, 74a, 74b substrate wiring 75 image area 76 temperature detection area 80 spectral prism

Claims (5)

所定の半田付け箇所にレーザ光を照射するレーザ光照射装置と、前記半田付け箇所の温度を検出する温度検出装置と、前記半付け箇所周縁の映像を撮影する撮影装置とによって少なくとも構成されるレーザ半田付け装置において、
前記半田付け近傍の電子部品の温度を検出する近傍温度検出装置と、該近傍温度検出装置によって検出された検出温度が、電子部品に規定される温度以上とならないように、前記レーザ光照射装置を制御する制御装置とを具備することを特徴とするレーザ半田付け装置。
A laser comprising at least a laser beam irradiation device for irradiating a predetermined soldering portion with a laser beam, a temperature detecting device for detecting the temperature of the soldering portion, and a photographing device for capturing an image of the periphery of the soldering portion. In a soldering device,
A vicinity temperature detection device for detecting the temperature of the electronic component in the vicinity of the soldering; A laser soldering apparatus comprising: a controller for controlling the laser soldering apparatus;
前記レーザ光照射装置は、所定の波長のレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、該レーザ発生装置により発生した所定の波長のレーザ光を半田付け箇所に導くレーザ光ガイド機構とによって構成されることを特徴とする請求項1記載のレーザ半田付け装置。 The laser beam irradiation device is composed of a laser generator that generates a laser beam of a predetermined wavelength and a laser beam guide mechanism that guides the laser beam of the predetermined wavelength generated by the laser generator to a soldering position. 2. The laser soldering device according to claim 1, characterized by: 前記レーザ光照射装置は、所定の波長のレーザ光を発生させるレーザ発生装置と、該レーザ発生装置により発生した所定の波長のレーザ光を分光する分光手段と、該分光手段によって分光されたレーザ光を、所定の間隔で位置する2カ所の半田付け位置に照射するレーザ光ガイド機構とによって構成されることを特徴とする請求項1記載のレーザ半田付け装置。 The laser beam irradiation device includes a laser generator that generates a laser beam of a predetermined wavelength, spectroscopic means that disperses the laser beam of a predetermined wavelength generated by the laser generator, and laser beams that are separated by the spectroscopic means. 2. The laser soldering apparatus according to claim 1, further comprising a laser light guide mechanism for irradiating two soldering positions positioned at a predetermined interval. 前記分光手段は、前記温度検出手段によって検出される少なくとも2カ所の半田付け箇所の温度のバランスが良好となるように分光することを特徴とする請求項3記載のレーザ半田付け装置。 4. The laser soldering apparatus according to claim 3, wherein said spectroscopic means disperses light so that the temperatures of at least two soldering points detected by said temperature detecting means are well balanced. 前記分光手段は、レーザ光の入射側に稜線を有するプリズムであり、前記稜線が前記レーザ光の入射側に対して左右に移動可能であることを特徴とする請求個4記載のレーザ半田付け装置。 5. The laser soldering apparatus according to claim 4, wherein said spectroscopic means is a prism having a ridgeline on the laser beam incidence side, and said ridgeline is movable left and right with respect to said laser beam incidence side. .
JP2021074631A 2021-03-12 2021-04-27 Laser Soldering Equipment Active JP7473216B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021039900 2021-03-12
JP2021039900 2021-03-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022140181A true JP2022140181A (en) 2022-09-26
JP7473216B2 JP7473216B2 (en) 2024-04-23

Family

ID=83398937

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021074631A Active JP7473216B2 (en) 2021-03-12 2021-04-27 Laser Soldering Equipment

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7473216B2 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004260019A (en) 2003-02-26 2004-09-16 Sony Corp Local heating soldering method, its device, and local heating soldering/solder connection inspection device
JP2013132655A (en) 2011-12-26 2013-07-08 Miyachi Technos Corp Laser soldering system

Also Published As

Publication number Publication date
JP7473216B2 (en) 2024-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7464850B2 (en) Method and apparatus for flip-chip bonding
US5500502A (en) Bonding method and apparatus
KR20110098672A (en) Method and arrangement for a firm bonding of materials
US6998572B2 (en) Light energy processing device and method
WO2006093264A1 (en) Laser heating device and laser heating method
JPWO2016117472A1 (en) Optical axis alignment method and apparatus for optical device, and optical device manufacturing method
EP3610976A1 (en) System and method of multi-beam soldering
JP5537615B2 (en) System and method for forming a time-averaged line image
JPH0758448A (en) Device and method for laser bonding
JP2022140181A (en) Laser soldering apparatus
JP2018158361A (en) Laser processing apparatus
JP7198583B2 (en) LASER SOLDERING METHOD AND LASER SOLDERING APPARATUS
JP6546229B2 (en) Laser processing method of adjusting focus shift according to the type and level of contamination of external optical system before laser processing
KR20090013476A (en) Laser trimming apparatus and method using image processing
JPH106064A (en) Laser soldering method and its device
JPH071244B2 (en) IC lead wire joint inspection device
JP7308439B2 (en) LASER PROCESSING DEVICE AND OPTICAL ADJUSTMENT METHOD
CN213033884U (en) Four-point light spot welding head
JP2014097507A (en) Laser device
JP2018176247A (en) Laser type soldering method and laser type soldering device
US10751832B2 (en) Optical non-destructive inspection method and optical non-destructive inspection apparatus
JP2005085708A (en) Local heating device and method
KR20040104235A (en) Lens fusion apparatus for camera
JP2017189801A (en) Laser processing machine, and laser processing method
JPS62237346A (en) Soldering inspection device for surface packaging component

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221104

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230830

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230831

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231023

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20240105

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240215

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20240222

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240319

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240319

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240329

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240404