JP2022129463A - Ceramic electronic component, circuit board and manufacturing method of ceramic electronic component - Google Patents

Ceramic electronic component, circuit board and manufacturing method of ceramic electronic component Download PDF

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潤一 篠▲崎▼
Junichi Shinozaki
芳昭 関口
Yoshiaki Sekiguchi
稔己 近藤
Toshiki Kondo
貴久 福田
Takahisa Fukuda
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Abstract

To relieve stress concentrated on the ridge line of an element body via an external electrode.SOLUTION: A ceramic electronic component according to an embodiment includes: an element body comprising a dielectric and an internal electrode; and a pair of external electrodes which are connected to the internal electrode on the end faces of the element body facing in a longitudinal direction, which are respectively formed continuously on a side face facing the end face of the element body in a width direction and upper and lower faces of the element body facing in a height direction, and which each include a slit opening to an element body center side of the side face and extending in an end face direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、セラミック電子部品、回路基板およびセラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a ceramic electronic component, a circuit board, and a method for manufacturing a ceramic electronic component.

積層セラミックコンデンサは、複数の内部電極層とセラミック層が交互に積層され、各内部電極層の端部が長さ方向の両端面に交互に露出し、内部電極層の露出端部と導通するように長さ方向両端部に一対の外部電極が形成されている。この外部電極は、特許文献1に開示されているように、容量部の端部のみでなく、上面、底面および側面をキャップ状に覆っている。 A multilayer ceramic capacitor is composed of a plurality of alternately laminated internal electrode layers and ceramic layers, and the ends of each internal electrode layer are alternately exposed on both longitudinal end surfaces so as to be electrically connected to the exposed ends of the internal electrode layers. A pair of external electrodes are formed at both ends in the length direction. As disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2002-100002, the external electrodes cover not only the ends of the capacitor but also the top, bottom and side surfaces of the capacitor in a cap-like manner.

また、特許文献2には、はんだ実装する際のセルフアライメント性の向上を図りつつ、実装する際の方向性を無くして、実装の作業性の向上を図るために、素体に形成される電極部分間において、素体の第一側面と第二側面とで形成される稜部が露出した構成が開示されている。 Further, in Patent Document 2, electrodes formed on a base body are disclosed in order to improve the self-alignment property during solder mounting, eliminate the directionality during mounting, and improve the workability of mounting. A configuration is disclosed in which a ridge formed by a first side surface and a second side surface of the body is exposed between portions.

国際公開第2006/098092号WO2006/098092 特開2015-103554号公報JP 2015-103554 A

しかしながら、外部電極と素体の線膨張率の差、外部電極の下地層の焼成工程での収縮差に起因して生じる応力やその残留応力および実装後のはんだから受ける応力により、外部電極の端部付近、特に素体の稜部にクラックが生じる恐れがあった。また、素体の稜線部を露出する構造では部品の取扱中に稜線部が外部のものと接触したときに該部にクラックが生じる恐れがあった。 However, the stress caused by the difference in coefficient of linear expansion between the external electrodes and the element body, the difference in shrinkage in the firing process of the underlying layer of the external electrodes, the residual stress, and the stress received from the solder after mounting may cause the edges of the external electrodes to There is a risk that cracks may occur near the edge of the element, especially at the edge of the element. In addition, in the structure in which the ridge line of the element is exposed, there is a possibility that the ridge line may crack when it comes into contact with an external object during handling of the part.

そこで、本発明は、外部電極を介して素体の稜線に集中する応力を緩和することが可能なセラミック電子部品、回路基板およびセラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a ceramic electronic component, a circuit board, and a method of manufacturing a ceramic electronic component, which are capable of relieving the stress concentrated on the ridgeline of the element through external electrodes.

上記課題を解決するために、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、誘電体と、内部電極とを有する素体と、前記素体上の長さ方向に対向する端面で前記内部電極と接続し、前記素体の前記端面と幅方向に対向する側面と高さ方向に対向する上面および下面にそれぞれ連続して形成され、前記側面の素体中央側に開口し端面方向に伸びるスリット部を備える一対の外部電極とを備える。 In order to solve the above problems, according to a ceramic electronic component according to an aspect of the present invention, an element body having a dielectric and an internal electrode is provided, and the inner It is connected to the electrode and is formed continuously on the side surface facing the end surface of the element in the width direction and the upper surface and the lower surface facing in the height direction, respectively, opening toward the center of the element on the side surface and extending in the direction of the end surface. and a pair of external electrodes having slits.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部は、前記素体の稜線から離れた位置にある。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to the aspect of the present invention, the slit portion is located away from the ridgeline of the element body.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部の位置において、前記素体は前記外部電極から露出されている。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the element body is exposed from the external electrode at the position of the slit portion.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記外部電極の側面の高さ方向の寸法をTとすると、前記スリット部の幅は、(T/30)μm以上(T/10)μm以下である。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, where T is the dimension in the height direction of the side surface of the external electrode, the width of the slit portion is (T/30) μm or more (T/10 ) μm or less.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記外部電極の長さをLとすると、前記スリット部の深さは、(L/5)μm以上(L/1.5)μm以下である。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, when the length of the external electrode is L, the depth of the slit portion is (L/5) μm or more (L/1.5) μm. It is below.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記外部電極の側面の高さ方向の寸法をTとすると、前記スリット部は、前記素体の稜線から(T/30)μm以上(T/3)μm以下離れている。 Further, according to the ceramic electronic component according to the aspect of the present invention, where T is the dimension in the height direction of the side surface of the external electrode, the slit portion is (T/30) μm or more from the ridge line of the element body. (T/3) μm or less.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記セラミック電子部品を端面方向から透視したとき、前記スリット部と、高さ方向の最も外側にある前記内部電極が、高さ方向に重なる位置にある。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, when the ceramic electronic component is seen through from the end surface direction, the slit portion and the inner electrode located on the outermost side in the height direction are aligned in the height direction. in an overlapping position.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部は、前記素体の稜線に対して斜めの円弧状に形成されている。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to the aspect of the present invention, the slit portion is formed in an oblique arc shape with respect to the ridge line of the element body.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部は、前記素体の1つの面上に複数設けられている。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to the aspect of the present invention, a plurality of slit portions are provided on one surface of the base body.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部は、前記素体の1つの面上に等間隔で並列に設けられている。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to the aspect of the present invention, the slit portions are provided in parallel at equal intervals on one surface of the element body.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記外部電極は、前記素体の端面に垂直に接続する4つの面を周回するように形成され、前記スリット部は、前記4つの面のうち互いに対向する面に設けられている。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the external electrodes are formed so as to surround four surfaces that are perpendicularly connected to the end surfaces of the element body, and the slit portions are formed on the four surfaces. It is provided on the surfaces facing each other among the surfaces.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記導電層は、前記素体の稜線を覆うように前記素体の複数の面に形成され前記内部電極と接続し金属を含む下地層と、前記下地層上に形成されためっき層とを備える。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the conductive layers are formed on a plurality of surfaces of the element body so as to cover the ridge lines of the element body, are connected to the internal electrodes, and contain a metal. A base layer and a plated layer formed on the base layer are provided.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記下地層は、前記金属に混在された共材を備える。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the base layer includes a common material mixed with the metal.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記共材は、前記素体に含まれる前記誘電体を主成分とする。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the common material has the dielectric contained in the element body as a main component.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記下地層は、Niを主成分とする。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the base layer contains Ni as a main component.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記下地層は、Cuを主成分とする。 Moreover, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the base layer contains Cu as a main component.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記スリット部の位置において、前記めっき層は前記下地層を覆っている。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the plating layer covers the underlying layer at the position of the slit portion.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品によれば、前記内部電極は、第1内部電極層と、前記誘電体を含む誘電体層を介して前記第1内部電極層上に積層された第2内部電極層とを備え、前記外部電極は、前記第1内部電極層に接続する第1外部電極と、前記第1外部電極と分離して設けられ、前記第2内部電極層に接続する第2外部電極とを備える。 Further, according to the ceramic electronic component according to one aspect of the present invention, the internal electrode is laminated on the first internal electrode layer via the first internal electrode layer and the dielectric layer containing the dielectric. a second internal electrode layer, wherein the external electrode is provided separately from the first external electrode connected to the first internal electrode layer and connected to the second internal electrode layer; and a second external electrode.

また、本発明の一態様に係る回路基板によれば、上述したいずれかのセラミック電子部品が実装された回路基板であって、前記セラミック電子部品は、前記導電体に付着されたはんだ層を介して接続される。 Further, according to a circuit board according to an aspect of the present invention, there is provided a circuit board on which any one of the ceramic electronic components described above is mounted, wherein the ceramic electronic component is mounted via a solder layer attached to the conductor. connected.

また、本発明の一態様に係るセラミック電子部品の製造方法によれば、誘電体と内部電極が設けられ、前記内部電極が端面に引き出された素体を形成する工程と、外部電極の下地層の下地材料の付着を阻害する阻害剤を、前記端面と幅方向に対向する側面の素体中央側に開口し端面方向にスリット状に伸びるように塗布する工程と、前記素体の端面および前記端面に対して垂直な4つの面の一部に前記下地材料を塗布する工程と、前記下地材料を焼成し、前記素体の側面の素体中央側に開口し端面方向に伸びるスリット部を有する下地層を形成する工程と、前記下地層上にめっき層を形成する工程とを備える。 Further, according to the method of manufacturing a ceramic electronic component according to an aspect of the present invention, the step of forming a base body provided with a dielectric and internal electrodes, the internal electrodes being drawn out to the end faces, a step of applying an inhibitor that inhibits the adhesion of the base material to the side surface opposite to the end face in the width direction so as to open in the center of the body and extend in the direction of the end face in a slit shape; a step of applying the base material to a portion of four surfaces perpendicular to the end face; and baking the base material to form a slit portion which opens toward the center of the side face of the body and extends in the direction of the end face. The method includes a step of forming an underlying layer, and a step of forming a plated layer on the underlying layer.

本発明の一つの態様によれば、外部電極を介して素体の稜線に集中する応力を緩和することができる。 According to one aspect of the present invention, the stress concentrated on the ridgeline of the element body can be relieved via the external electrode.

第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing the configuration of a laminated ceramic capacitor according to a first embodiment; FIG. 図1の積層セラミックコンデンサを長さ方向に切断した断面図である。2 is a longitudinal sectional view of the multilayer ceramic capacitor of FIG. 1; FIG. 図1の積層セラミックコンデンサを幅方向に切断した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor of FIG. 1 cut in the width direction; 図2Aの外部電極にスリット部があるときの素体にかかる応力の一例を示す断面図である。FIG. 2B is a cross-sectional view showing an example of stress applied to the element when the external electrodes of FIG. 2A have slits; 図2Aの外部電極にスリット部がないときの素体にかかる応力の一例を示す断面図である。FIG. 2B is a cross-sectional view showing an example of stress applied to the element when the external electrodes of FIG. 2A do not have slits. 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示すフローチャートである。4 is a flow chart showing an example of a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the first embodiment; 第2実施形態に係る積層セラミックコンデンサが実装された回路基板の構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of a circuit board on which a multilayer ceramic capacitor according to a second embodiment is mounted; 図6Aの外部電極にスリット部がないときの積層セラミックコンデンサが実装された回路基板の構成を示す断面図である。FIG. 6B is a cross-sectional view showing the configuration of a circuit board on which the multilayer ceramic capacitor is mounted when the external electrodes of FIG. 6A do not have slits. 第3実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法のその他の例を示すフローチャートである。10 is a flow chart showing another example of the method for manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the third embodiment; 第4実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of a laminated ceramic capacitor according to a fourth embodiment; 第5実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of a laminated ceramic capacitor according to a fifth embodiment; 第6実施形態に係るセラミック電子部品の構成を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of a ceramic electronic component according to a sixth embodiment;

以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下の実施形態は本発明を限定するものではなく、実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の構成に必須のものとは限らない。実施形態の構成は、本発明が適用される装置の仕様や各種条件(使用条件、使用環境等)によって適宜修正または変更され得る。本発明の技術的範囲は、特許請求の範囲によって確定され、以下の個別の実施形態によって限定されない。また、以下の説明に用いる図面は、各構成を分かり易くするため、実際の構造と縮尺および形状などを異ならせることがある。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments do not limit the present invention, and not all combinations of features described in the embodiments are essential for the configuration of the present invention. The configuration of the embodiment can be appropriately modified or changed according to the specifications of the device to which the present invention is applied and various conditions (use conditions, use environment, etc.). The technical scope of the present invention is defined by the claims and is not limited by the following individual embodiments. In addition, the drawings used in the following description may differ from the actual structure in terms of scale, shape, etc., in order to make each configuration easier to understand.

(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図、図2Aは、図1の積層セラミックコンデンサを長さ方向に切断した断面図、図2Bは、図1の積層セラミックコンデンサを幅方向に切断した断面図である。なお、図2Aは、図1のA1-A1線に沿って切断し、図2Bは、図1のB1-B1線に沿って切断した。
(First embodiment)
1 is a perspective view showing the configuration of the laminated ceramic capacitor according to the first embodiment, FIG. 2A is a longitudinal sectional view of the laminated ceramic capacitor of FIG. 1, and FIG. 2B is the laminated ceramic capacitor of FIG. is a cross-sectional view taken along the width direction. 2A is cut along the A1-A1 line in FIG. 1, and FIG. 2B is cut along the B1-B1 line in FIG.

図1、図2Aおよび図2Bにおいて、積層セラミックコンデンサ1Aは、素体2および外部電極6A、6Bを備える。素体2は、積層体2A、下カバー層5Aおよび上カバー層5Bを備える。積層体2Aは、内部電極層3A、3Bおよび誘電体層4を備える。 In FIGS. 1, 2A and 2B, a multilayer ceramic capacitor 1A includes an element body 2 and external electrodes 6A and 6B. The base body 2 includes a laminate 2A, a lower cover layer 5A and an upper cover layer 5B. The laminate 2A includes internal electrode layers 3A and 3B and a dielectric layer 4. As shown in FIG.

積層体2Aの下層には下カバー層5Aが設けられ、積層体2Aの上層には上カバー層5Bが設けられている。内部電極層3A、3Bは、誘電体層4を介して交互に素体2の対向する面に引き出されて積層されている。なお、図1、図2Aおよび図2Bでは、内部電極層3A、3Bが合計で11層分だけ積層された例を示したが、内部電極層3A、3Bの積層数は、特に限定されない。このとき、素体2および積層体2Aの形状は、略直方体形状とすることができる。 A lower cover layer 5A is provided on the lower layer of the laminate 2A, and an upper cover layer 5B is provided on the upper layer of the laminate 2A. The internal electrode layers 3A and 3B are alternately led out to opposite surfaces of the element body 2 via the dielectric layers 4 and laminated. Although FIGS. 1, 2A and 2B show an example in which a total of 11 internal electrode layers 3A and 3B are laminated, the number of internal electrode layers 3A and 3B laminated is not particularly limited. At this time, the shape of the element body 2 and the laminated body 2A can be made into a substantially rectangular parallelepiped shape.

なお、以下の説明では、素体2の端面が互いに対向する方向を長さ方向DL、素体2の側面が互いに対向する方向を幅方向DW、素体2の上下面が互いに対向する方向を積層方向(高さ方向または厚み方向)DSと言うことがある。このとき、素体2の下面は、積層セラミックコンデンサ1Aが実装される回路基板の実装面と対向する位置に配置することができる。素体2は、素体2の稜線LYに沿って面取りされてもよい。このとき、素体2は、その角部が面取された曲面Rを備えることができる。 In the following description, the direction in which the end surfaces of the element 2 face each other is the length direction DL, the direction in which the side surfaces of the element 2 face each other is the width direction DW, and the direction in which the upper and lower surfaces of the element 2 face each other. The lamination direction (height direction or thickness direction) is sometimes called DS. At this time, the lower surface of the element body 2 can be arranged at a position facing the mounting surface of the circuit board on which the multilayer ceramic capacitor 1A is mounted. The element body 2 may be chamfered along the edge line LY of the element body 2 . At this time, the element body 2 can have a curved surface R with chamfered corners.

外部電極6A、6Bは、長さ方向DLに互いに分離された状態で互いに対向するように素体2に形成される。このとき、各外部電極6A、6Bは、素体2の下面側から端面を介して素体2の上面側に連続的に形成されるとともに、素体2の下面および端面の双方に垂直な互いに対向する一対の側面にも連続的に形成される。このように下地層7は、素体2の一対の端面からそれぞれ隣接する4つの周面に渡って連続して形成される。このとき、外部電極6A、6Bの境界EAは、素体2の面上に位置する。 The external electrodes 6A and 6B are formed on the element body 2 so as to face each other while being separated from each other in the length direction DL. At this time, the external electrodes 6A and 6B are formed continuously from the lower surface side of the element body 2 to the upper surface side of the element body 2 via the end surfaces, and are perpendicular to both the lower surface and the end surfaces of the element body 2. It is also continuously formed on a pair of opposing side surfaces. In this manner, the underlayer 7 is formed continuously from the pair of end faces of the base body 2 to four adjacent peripheral faces. At this time, the boundary EA between the external electrodes 6A and 6B is located on the surface of the element body 2. As shown in FIG.

ここで、外部電極6A、6Bは、スリット部8を備える。スリット部8は、外部電極6A、6Bの境界EA側の素体2の面上で素体2の中央側に開口する。また、1つのスリット部8は、外部電極6A、6Bの側面上に位置することができる。このとき、スリット部8は、素体2の稜線LYから離れた位置に設けることができる。スリット部8の位置において、素体2は外部電極6A、6Bから一定の領域で露出しており、その露出領域は高さ方向に一定の幅を持ち、前記開口から素体2のより近い端面方向に向かって一定の深さで閉口する。
例えば、スリット部8は、各外部電極6A、6Bの端部から素体2の稜線LYの方向に沿って延びる。このとき、スリット部8は、素体2の稜線LYから離れた位置に開口部KAを備える。スリット部8は、外部電極6A、6Bを介して素体2の長さ方向DLに伸びる4つの稜線LYのうち、それぞれ最も近い稜線にかかる応力を低減することができる。
Here, the external electrodes 6A and 6B are provided with slit portions 8. As shown in FIG. The slit portion 8 opens toward the center of the element body 2 on the surface of the element body 2 on the boundary EA side of the external electrodes 6A and 6B. Also, one slit portion 8 can be positioned on the side surface of the external electrodes 6A and 6B. At this time, the slit portion 8 can be provided at a position away from the edge line LY of the element body 2 . At the position of the slit portion 8, the element body 2 is exposed from the external electrodes 6A and 6B in a certain area. Closes at a constant depth in the direction.
For example, the slit portion 8 extends along the direction of the edge line LY of the element body 2 from the end portions of the external electrodes 6A and 6B. At this time, the slit portion 8 has an opening portion KA at a position away from the edge line LY of the element body 2 . The slit portion 8 can reduce the stress applied to the nearest edge line among the four edge lines LY extending in the length direction DL of the element body 2 via the external electrodes 6A and 6B.

なお、図1および図2Bでは、幅方向DWを法線とする面(素体2の一対の側面)側において、各外部電極6A、6Bにスリット部8を設けた例を示したが、さらに積層方向DSを法線とする面(素体2の下面および上面)側においても、各外部電極6A、6Bにスリット部8を設けるようにしてもよい。また、スリット部8は、素体2の1つの面上に複数設けられてもよい。スリット部8は、素体2の稜線LYに対して斜めの円弧状であってもよいし、楔状であってもよい。スリット部8は、稜線LYに平行な直線状に形成されてもよいし、スリット部8の先端は、鋭角状であってもよい。 1 and 2B show an example in which slit portions 8 are provided in each of the external electrodes 6A and 6B on the side of the plane (a pair of side surfaces of the element body 2) normal to the width direction DW. The slit portions 8 may be provided in the external electrodes 6A and 6B also on the sides of the planes normal to the stacking direction DS (the lower and upper surfaces of the element body 2). Also, a plurality of slit portions 8 may be provided on one surface of the base body 2 . The slit portion 8 may have an oblique arc shape with respect to the ridgeline LY of the base body 2, or may have a wedge shape. The slit portion 8 may be formed in a straight line parallel to the ridgeline LY, or the tip of the slit portion 8 may be sharp-angled.

ここで、スリット部8を各外部電極6A、6Bに設けることにより、積層セラミックコンデンサ1Aの実装時において、各外部電極6A、6Bを介して濡れ上がるはんだをスリット部8の位置で抑制することができる。従来の形態では、図6Bのようにはんだ13A´、13B´が外部電極6A´、6B´の側面に濡れ上がっていくが、このとき上方のはんだ13A´、13B´による応力が、下面と側面で形成される素体2の稜線と外部電極極6A、6Bが接する位置S´に集中する。 Here, by providing the slit portions 8 in the external electrodes 6A and 6B, it is possible to suppress the solder wetting through the external electrodes 6A and 6B at the positions of the slit portions 8 when the multilayer ceramic capacitor 1A is mounted. can. In the conventional form, the solders 13A' and 13B' wet the side surfaces of the external electrodes 6A' and 6B' as shown in FIG. 6B. It concentrates on the position S' where the ridgeline of the element body 2 formed by (1) and the external electrode poles 6A and 6B contact.

一方、本実施形態では、図6Aのようにはんだ13A、13Bはスリット部8で上方に濡れ上がる量が抑制されるので側面においてはんだ量が低減し、素体2の稜線LYと外部電極6A、6Bが接する位置Sに集中する応力を低減することができる。位置Sは2つの面が隣接する稜線LY上にあるので応力が集中しやすく、下面のはんだ13A、13Bからの応力と側面のはんだ13A、13Bからの応力を受け、さらに外部電極6A、6Bの長さ方向の端縁にあるので製品のなかで最も応力が集中しクラックの起点となりやすい。従って、この位置Sの応力を低減することは、クラック防止の点から製品の信頼性向上に大きく寄与する。このとき、スリット部8は素体2の近い方の稜線LYに対して、並行に形成してもよいし、斜めに角度をつけて形成してもよい。図6Aのようにスリット部8の稜線側のラインが端面の方向に切れ込んでいくに従って近接する素体2の稜線LYから離間するように形成すると、はんだ13A、13Bは側面内において端面側上方に濡れ上がりやすく、はんだ13A、13Bの滞留が生じにくい。また、スリット部8の稜線側のラインが端面の方向に切れ込んでいくに従って近接する素体2の稜線LYに近づくように形成すると、はんだ13A、13Bはスリット部8で上方への濡れ上がりをより有効に抑制できる。 On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 6A, the amount of solder 13A and 13B wetting upward is suppressed by the slit portion 8, so the amount of solder on the side surface is reduced, and the edge line LY of the element body 2 and the external electrode 6A, It is possible to reduce the stress concentrated on the position S where 6B contacts. Since the position S is on the ridge line LY where the two surfaces are adjacent to each other, the stress tends to be concentrated. Since it is located at the edge in the length direction, the stress is most concentrated in the product and it tends to be the starting point of cracks. Therefore, reducing the stress at the position S greatly contributes to the improvement of product reliability in terms of preventing cracks. At this time, the slit portion 8 may be formed in parallel with the nearer edge line LY of the base body 2, or may be formed obliquely at an angle. As shown in FIG. 6A, when the line on the ridgeline side of the slit portion 8 cuts in the direction of the end face and is formed so as to separate from the ridgeline LY of the adjacent element body 2, the solders 13A and 13B are formed upward on the end face side in the side surface. It is easy to get wet and the solders 13A and 13B are less likely to stay. Further, if the line on the ridgeline side of the slit portion 8 cuts in the direction of the end face and is formed so as to approach the ridgeline LY of the adjacent element body 2, the solders 13A and 13B are more likely to wet upward at the slit portion 8. can be effectively suppressed.

各外部電極6A、6Bの側面の高さ方向の寸法をT、長さ方向の寸法をLとする。このとき、スリット部8の幅は、(T/30)μm以上(T/10)μm以下であるのが好ましい。このようなスリット部8の幅は、スリット部の深さ方向中央の位置で素体2の露出寸法を測定すれば良い。スリット部8の深さは、(L/5)μm以上(L/1.5)μm以下であるのが好ましい。このようなスリット部8の深さは、開口部の外部電極の端部からスリットが閉口する位置までの素体2の長さ方向の成分を測定すれば良い。スリット部8は、素体2の稜線LYから高さ方向に(T/30)μm以上(T/3)μm以下離れているのが好ましい。このようなスリット部8の高さ方向位置は、スリット部8の深さ方向中央の位置におけるスリット部8の幅の中央位置で特定すれば良い。 Let T be the dimension in the height direction and L be the dimension in the length direction of the side surfaces of the external electrodes 6A and 6B. At this time, the width of the slit portion 8 is preferably between (T/30) μm and (T/10) μm. The width of the slit portion 8 can be determined by measuring the exposed dimension of the element body 2 at the central position of the slit portion in the depth direction. The depth of the slit portion 8 is preferably (L/5) μm or more and (L/1.5) μm or less. The depth of the slit portion 8 can be obtained by measuring the component in the length direction of the element body 2 from the end of the external electrode of the opening to the position where the slit closes. It is preferable that the slit portion 8 is separated from the ridgeline LY of the base body 2 by (T/30) μm or more and (T/3) μm or less in the height direction. Such a height direction position of the slit portion 8 may be specified by the width center position of the slit portion 8 at the depth direction center position of the slit portion 8 .

例えば、各外部電極6A、6Bの高さTが300μm、長さLが150μmとする。この場合、スリット部8の幅は、10μm以上30μm以下であるのが好ましい。スリット部8の深さは、30μm以上100μm以下であるのが好ましい。スリット部8は、素体2の稜線LYから10μm以上100μm以下離れているのが好ましい。 For example, it is assumed that the height T of each of the external electrodes 6A and 6B is 300 μm and the length L is 150 μm. In this case, the width of the slit portion 8 is preferably 10 μm or more and 30 μm or less. The depth of the slit portion 8 is preferably 30 μm or more and 100 μm or less. It is preferable that the slit portion 8 is separated from the edge line LY of the base body 2 by 10 μm or more and 100 μm or less.

ここで、スリット部8の幅を(W/30)μm以上とし、スリット部8の深さを(L/5)μm以上とすることにより、スリット部8で上方に濡れ上がるはんだ量を低減させ、素体2の稜線LYと外部電極6A、6Bが接する位置Sに集中する応力を低減することができる。スリット部8の幅を(W/10)μm以下とし、スリット部8の深さを(L/1.5)μm以下とすることにより、各外部電極6A、6Bの強度の低下を抑制することができる。 Here, by setting the width of the slit portion 8 to (W/30) μm or more and the depth of the slit portion 8 to (L/5) μm or more, the amount of solder that wets upward in the slit portion 8 can be reduced. , the stress concentrated at the position S where the ridgeline LY of the element body 2 and the external electrodes 6A and 6B are in contact can be reduced. By setting the width of the slit portion 8 to (W/10) μm or less and the depth of the slit portion 8 to (L/1.5) μm or less, the decrease in the strength of each of the external electrodes 6A and 6B is suppressed. can be done.

スリット部8を素体2の稜線LYから(T/30)μm以上離すことにより、積層セラミックコンデンサ1Aの実装時または搬送時などに積層セラミックコンデンサ1Aに応力が加わった場合においても、素体2の角部に衝撃が直接加わるのを防止することができ、素体2の破損を抑制することができる。スリット部8と素体2の稜線LYとの距離を(T/3)μm以下とすることにより、スリット部8で上方に濡れ上がるはんだ量を低減させ、素体2の稜線LYと外部電極6A、6Bが接する位置Sに集中する応力を低減することができる。 By separating the slit portion 8 from the ridge line LY of the element body 2 by (T/30) μm or more, even if stress is applied to the multilayer ceramic capacitor 1A during mounting or transportation of the multilayer ceramic capacitor 1A, the element body 2 It is possible to prevent direct impact from being applied to the corners of the base body 2, and to suppress damage to the base body 2. - 特許庁By setting the distance between the slit portion 8 and the ridgeline LY of the element body 2 to be (T/3) μm or less, the amount of solder that wets upward at the slit portion 8 is reduced, and the ridgeline LY of the element body 2 and the external electrode 6A are reduced. , 6B can be reduced.

スリット部8は、外部電極6A、6Bの側面内に少なくとも1つあれば有効だが、高さ方向に1対に形成すれば実装面を上下面とすることができる。製品の外部電極6A、6Bの各側面にそれぞれ2つずつのスリット部8が形成されていてもよい。 It is effective if at least one slit portion 8 is provided in the side surfaces of the external electrodes 6A and 6B. Two slit portions 8 may be formed on each side surface of the external electrodes 6A and 6B of the product.

長さ方向DLにおいて、内部電極層3A、3Bは、積層体2A内で異なる位置に交互に配置されている。このとき、内部電極層3Aは、内部電極層3Bに対して素体2の一方の端面側に配置し、内部電極層3Bは、内部電極層3Aに対して素体2の他方の端面側に配置することができる。そして、内部電極層3Aの端部は、素体2の長さ方向DLの一方の端面側で誘電体層4の端部に引き出され、外部電極6Aに接続される。内部電極層3Bの端部は、素体2の長さ方向DLの他方の端面側で誘電体層4の端部に引き出され、外部電極6Bに接続される。
一方、素体2の幅方向DWにおいて、内部電極層3A、3Bの端部は、誘電体層4にて覆われている。幅方向DWでは、内部電極層3A、3Bの端部の位置は揃っていてもよい。このとき、素体2は、幅方向DWにおいて内部電極層3A、3Bを被覆するサイドマージン部10を備えることができる。図1および図2Bの例では、サイドマージン部10の素体2の表面上にスリット部8が位置する。
また、図2Bのように部品を端面方向から透視したとき、スリット部8と、高さ方向の最も外側にある少なくとも1つの内部電極3A、3Bが高さ方向DSで重なる位置にあると、外部電極6A、6Bから内部電極3A、3Bにかかる応力が低減され、最も外側にある内部電極3A、3Bに沿うクラックが生じにくい。
In the length direction DL, the internal electrode layers 3A and 3B are alternately arranged at different positions within the laminate 2A. At this time, the internal electrode layers 3A are arranged on one end surface side of the element body 2 with respect to the internal electrode layers 3B, and the internal electrode layers 3B are arranged on the other end surface side of the element body 2 with respect to the internal electrode layers 3A. can be placed. An end portion of the internal electrode layer 3A is drawn out to an end portion of the dielectric layer 4 on one end face side in the length direction DL of the element body 2 and connected to the external electrode 6A. The end of the internal electrode layer 3B is led out to the end of the dielectric layer 4 on the other end face side in the length direction DL of the element body 2 and connected to the external electrode 6B.
On the other hand, the ends of the internal electrode layers 3A and 3B are covered with the dielectric layer 4 in the width direction DW of the element body 2 . In the width direction DW, the positions of the ends of the internal electrode layers 3A and 3B may be aligned. At this time, the element body 2 can include side margin portions 10 covering the internal electrode layers 3A and 3B in the width direction DW. In the example of FIGS. 1 and 2B, the slit portion 8 is positioned on the surface of the element body 2 of the side margin portion 10. In the example of FIG.
Further, when the component is seen through from the end surface direction as shown in FIG. The stress applied from the electrodes 6A, 6B to the internal electrodes 3A, 3B is reduced, and cracks are less likely to occur along the outermost internal electrodes 3A, 3B.

なお、内部電極層3A、3Bおよび誘電体層4の積層方向DSの厚みはそれぞれ、0.2μm~20μmの範囲内とすることができ、例えば、0.3μmである。内部電極層3A、3Bの材料は、例えば、Cu(銅)、Fe(鉄)、Zn(亜鉛)、Al(アルミニウム)、Sn(スズ)、Ni(ニッケル)、Ti(チタン)、Ag(銀)、Au(金)、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ta(タンタル)およびW(タングステン)などの金属から選択することができ、これらの金属を含む合金であってもよい。 The thicknesses of the internal electrode layers 3A and 3B and the dielectric layers 4 in the stacking direction DS can each be in the range of 0.2 μm to 20 μm, for example, 0.3 μm. Materials of the internal electrode layers 3A and 3B are, for example, Cu (copper), Fe (iron), Zn (zinc), Al (aluminum), Sn (tin), Ni (nickel), Ti (titanium), Ag (silver ), Au (gold), Pt (platinum), Pd (palladium), Ta (tantalum) and W (tungsten), and may be an alloy containing these metals.

誘電体層4の材料は、例えば、ペロブスカイト構造を有するセラミック材料を主成分とすることができる。なお、主成分は、50at%以上の割合で含まれていればよい。誘電体層4のセラミック材料は、例えば、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸バリウムストロンチウム、チタン酸バリウムカルシウム、ジルコン酸カルシウム、ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸カルシウムおよび酸化チタンなどから選択することができる。 The material of the dielectric layer 4 can be mainly composed of, for example, a ceramic material having a perovskite structure. In addition, the main component should just be contained in the ratio of 50 at% or more. The ceramic material of the dielectric layer 4 is, for example, barium titanate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, barium strontium titanate, barium calcium titanate, calcium zirconate, barium zirconate, calcium zirconate titanate. and titanium oxide.

下カバー層5Aおよび上カバー層5Bの材料は、例えば、セラミック材料を主成分とすることができる。このとき、下カバー層5Aおよび上カバー層5Bのセラミック材料の主成分は、誘電体層4のセラミック材料の主成分と同一であってもよい。下カバー層5Aおよび上カバー層5Bの厚みはそれぞれ、5μm以上100μm以下であるのが好ましい。 The material of the lower cover layer 5A and the upper cover layer 5B can be made mainly of, for example, a ceramic material. At this time, the main component of the ceramic material of the lower cover layer 5A and the upper cover layer 5B may be the same as the main component of the ceramic material of the dielectric layer 4 . The thicknesses of the lower cover layer 5A and the upper cover layer 5B are preferably 5 μm or more and 100 μm or less.

各外部電極6A、6Bは導電層として、素体2上に形成された下地層7と、下地層7上に積層されためっき層9を備える。下地層7は、長さ方向DLに互いに分離された状態で互いに対向するように素体2に形成される。このとき、下地層7は、素体2の下面側から端面を介して上面側に連続的に形成されるとともに、素体2の下面側から対向する一対の側面側に連続的に形成される。このように下地層7は、素体2の一対の端面からそれぞれ隣接する4つの周面に渡って連続して形成される。 Each of the external electrodes 6A and 6B includes a base layer 7 formed on the base body 2 and a plated layer 9 laminated on the base layer 7 as conductive layers. The underlayers 7 are formed on the element body 2 so as to face each other while being separated from each other in the length direction DL. At this time, the base layer 7 is formed continuously from the lower surface side of the element body 2 to the upper surface side through the end surfaces, and is also formed continuously from the lower surface side of the element body 2 to the pair of side surfaces facing each other. . In this manner, the underlayer 7 is formed continuously from the pair of end faces of the base body 2 to four adjacent peripheral faces.

下地層7の導電性材料として用いられる金属は、例えば、Cu、Fe、Zn、Al、Ni、Pt、Pd、Ag、AuおよびSnから選択される少なくとも1つを含む金属または合金を主成分とすることができる。下地層7は、金属が混在された共材を含んでもよい。共材は、下地層7中に島状に混在することで素体2と下地層7との間の熱膨張率の差を低減し、下地層7にかかる応力を緩和することができる。共材は、例えば、誘電体層4の主成分であるセラミック成分である。下地層7は、ガラス成分を含んでいてもよい。ガラス成分は、下地層7に混在することで下地層7を緻密化することができる。このガラス成分は、例えば、Ba(バリウム)、Sr(ストロンチウム)、Ca(カルシウム)、Zn、Al、Si(ケイ素)またはB(ホウ素)などの酸化物である。 The metal used as the conductive material of the underlying layer 7 is, for example, a metal or alloy containing at least one selected from Cu, Fe, Zn, Al, Ni, Pt, Pd, Ag, Au and Sn as a main component. can do. The underlying layer 7 may contain a common material in which metal is mixed. The common material can reduce the difference in thermal expansion coefficient between the element body 2 and the underlayer 7 by being mixed in the underlayer 7 in an island-like shape, thereby relaxing the stress applied to the underlayer 7 . The common material is, for example, a ceramic component that is the main component of the dielectric layer 4 . The underlayer 7 may contain a glass component. The glass component can make the underlayer 7 dense by being mixed in the underlayer 7 . This glass component is, for example, an oxide such as Ba (barium), Sr (strontium), Ca (calcium), Zn, Al, Si (silicon) or B (boron).

ここで、下地層7は、導電性金属ペーストの焼結体で構成するのが好ましい。これにより、素体2と下地層7との密着性を確保しつつ、下地層7の厚膜化を図ることが可能となり、各外部電極6A、6Bの強度を確保しつつ、内部電極層3A、3Bとの導通性を確保することができる。 Here, the base layer 7 is preferably composed of a sintered body of a conductive metal paste. As a result, it is possible to increase the thickness of the base layer 7 while ensuring the adhesion between the element body 2 and the base layer 7, thereby ensuring the strength of the external electrodes 6A and 6B and increasing the thickness of the internal electrode layer 3A. , 3B can be ensured.

めっき層9は、下地層7を覆うように外部電極6A、6Bごとに連続的に形成される。このとき、めっき層9は、スリット部8の位置において、下地層7を覆うことができる。めっき層9は、下地層7を介して内部電極層3A、3Bと導通する。また、めっき層9は、はんだを介して実装基板の端子と導通する。 The plated layer 9 is continuously formed for each of the external electrodes 6A and 6B so as to cover the underlying layer 7 . At this time, the plating layer 9 can cover the underlying layer 7 at the position of the slit portion 8 . The plated layer 9 is electrically connected to the internal electrode layers 3A and 3B through the underlying layer 7 . Also, the plating layer 9 is electrically connected to the terminals of the mounting substrate through solder.

めっき層9の材料は、例えば、Cu、Fe、Zn、Al、Ni、Pt、Pd、Ag、AuおよびSnから選択される少なくとも1つを含む金属または合金である。めっき層9は、単一金属成分のめっき層でもよく、互いに異なる金属成分の複数のめっき層でもよい。めっき層9は、例えば、下地層7上に形成されたCuめっき層9Aと、Cuめっき層9A上に形成されたNiめっき層9Bと、Niめっき層9B上に形成されたSnめっき層9Cの3層構造とすることができる。Cuめっき層9Aは、下地層7へのめっき層9の密着性を向上させることができる。Niめっき層9Bは、はんだ付け時の各外部電極6A、6Bの耐熱性を向上させることができる。Snめっき層9Cは、めっき層9に対するはんだの濡れ性を向上させることができる。 The material of the plating layer 9 is, for example, a metal or alloy containing at least one selected from Cu, Fe, Zn, Al, Ni, Pt, Pd, Ag, Au and Sn. The plated layer 9 may be a plated layer of a single metal component, or may be a plurality of plated layers of mutually different metal components. The plating layer 9 includes, for example, a Cu plating layer 9A formed on the base layer 7, a Ni plating layer 9B formed on the Cu plating layer 9A, and an Sn plating layer 9C formed on the Ni plating layer 9B. It can have a three-layer structure. The Cu plating layer 9A can improve the adhesion of the plating layer 9 to the base layer 7 . The Ni plating layer 9B can improve the heat resistance of the external electrodes 6A and 6B during soldering. The Sn plating layer 9C can improve the wettability of solder to the plating layer 9 .

図3Aは、図2Aの外部電極にスリット部があるときの素体にかかる応力の一例を示す断面図、図3Bは、図2Aの外部電極にスリット部がないときの素体にかかる応力の一例を示す断面図である。 3A is a cross-sectional view showing an example of the stress applied to the element body when the external electrodes in FIG. 2A have slits, and FIG. 3B is a stress applied to the element body when the external electrodes in FIG. 2A do not have slits. It is a sectional view showing an example.

図3Aにおいて、素体2に対して外部電極6Aから矢印で示したベクトルの圧縮応力が働く。このとき、素体2の稜線LYは2つの面から外部電極6Aの応力を受けるので応力が集中する。このとき、スリット部8の位置では、外部電極6Aから素体2の面方向に伝わる応力K2が分断され、素体2の稜線LYへの応力の集中が緩和される。このため、素体2の稜線LYに働く応力K1を低減することができ、素体2の稜線LYを起点として素体2にクラックが入るのを抑制することができる。 In FIG. 3A, a compressive stress of a vector indicated by an arrow acts on the element body 2 from the external electrode 6A. At this time, since the ridge line LY of the element body 2 receives the stress of the external electrode 6A from two surfaces, the stress concentrates. At this time, at the position of the slit portion 8, the stress K2 transmitted from the external electrode 6A in the surface direction of the element body 2 is divided, and the stress concentration on the edge line LY of the element body 2 is relieved. Therefore, the stress K1 acting on the edge line LY of the element body 2 can be reduced, and the occurrence of cracks in the element body 2 starting from the edge line LY of the element body 2 can be suppressed.

一方、図3Bにおいて、積層セラミックコンデンサ1A´には、スリット部8がない外部電極6A´が設けられているものとする。外部電極6A´は、素体2上に形成された下地層7´と、下地層7´上に積層されためっき層9´を備える。めっき層9´は、下地層7´上に形成されたCuめっき層9A´と、Cuめっき層9A´上に形成されたNiめっき層9B´と、Niめっき層9B´上に形成されたSnめっき層9C´の3層構造とすることができる。 On the other hand, in FIG. 3B, it is assumed that the multilayer ceramic capacitor 1A' is provided with an external electrode 6A' without the slit portion 8. As shown in FIG. The external electrode 6A' includes a base layer 7' formed on the base body 2 and a plated layer 9' laminated on the base layer 7'. The plating layer 9' includes a Cu plating layer 9A' formed on the base layer 7', a Ni plating layer 9B' formed on the Cu plating layer 9A', and a Sn plating layer 9B' formed on the Ni plating layer 9B'. A three-layer structure of the plated layer 9C' can be employed.

図3Bにおいて、スリット部8がない外部電極6A´では、素体2の面方向に応力K2´が伝わり、素体2の稜線LYの方向へ応力が集中する。このため、素体2の稜線LYに働く応力K1´が増大し、素体2の稜線LYを起点として素体2にクラックが入りやすくなる。このようにスリット部8が存在することで近接する素体2の稜線LYへの外部電極6A、6Bからの応力を低減することができ、素体2にクラックが入るのを抑制することができる。 In FIG. 3B, in the external electrode 6A' without the slit portion 8, the stress K2' is transmitted in the surface direction of the element body 2, and the stress concentrates in the direction of the edge line LY of the element body 2. FIG. Therefore, the stress K1' acting on the edge line LY of the element body 2 increases, and the element body 2 tends to crack from the edge line LY of the element body 2 as a starting point. The existence of the slit portions 8 in this way can reduce the stress from the external electrodes 6A and 6B to the ridgeline LY of the adjacent element body 2, and can suppress the occurrence of cracks in the element body 2. .

図4は、第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示すフローチャート、図5Aから図5Iは、第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法の一例を示す断面図である。なお、図5Cから図5Iでは、誘電体層4を介して内部電極層3A、3Bが交互に3層分だけ積層される場合を例にとった。 4 is a flow chart showing an example of the method for manufacturing the laminated ceramic capacitor according to the first embodiment, and FIGS. 5A to 5I are cross-sectional views showing an example of the method for manufacturing the laminated ceramic capacitor according to the first embodiment. In FIGS. 5C to 5I, the case where three layers of the internal electrode layers 3A and 3B are alternately laminated with the dielectric layer 4 interposed is taken as an example.

図4のS1において、分散剤および成形助剤としての有機バインダおよび有機溶剤を誘電体材料粉末に加え、粉砕・混合してスラリを生成する。誘電体材料粉末は、例えば、セラミック粉末を含む。誘電体材料粉末は、添加物を含んでいてもよい。添加物は、例えば、Mg(マグネシウム)、Mn(マンガン)、V(バナジウム)、Cr(クロム)、Y(イットリウム)、Sm(サマリウム)、Eu(ユウロピウム)、Gd(カドミウム)、Tb(テウビウム)、Dy(ジスプロシウム、Ho(ホロミウム)、Er(エルビウム)、Tm(ツリウム)、Yb(イッテルビウム)、Co(コバルト)、Ni、Li(リチウム)、B、Na(ナトリウム)、K(カリウム)またはSiの酸化物もしくはガラスである。有機バインダは、例えば、ポリビニルブチラール樹脂またはポリビニルアセタール樹脂である。有機溶剤、例えば、エタノールまたはトルエンである。 In S1 of FIG. 4, an organic binder and an organic solvent as a dispersant and a molding aid are added to the dielectric material powder, pulverized and mixed to form a slurry. Dielectric material powders include, for example, ceramic powders. The dielectric material powder may contain additives. Additives include, for example, Mg (magnesium), Mn (manganese), V (vanadium), Cr (chromium), Y (yttrium), Sm (samarium), Eu (europium), Gd (cadmium), Tb (teubium). , Dy (dysprosium), Ho (holmium), Er (erbium), Tm (thulium), Yb (ytterbium), Co (cobalt), Ni, Li (lithium), B, Na (sodium), K (potassium) or Si The organic binder is, for example, polyvinyl butyral resin or polyvinyl acetal resin, the organic solvent is, for example, ethanol or toluene.

次に、図4のS2および図5Aに示すように、セラミック粉末を含むスラリをキャリアフィルム上にシート状に塗布して乾燥させたグリーンシート24を作製する。キャリアフィルムは、例えば、PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルムである。スラリの塗布には、ドクターブレード法、ダイコータ法またはグラビアコータ法などを用いることができる。 Next, as shown in S2 of FIG. 4 and FIG. 5A, a green sheet 24 is produced by coating a carrier film with a slurry containing ceramic powder in the form of a sheet and drying it. A carrier film is, for example, a PET (polyethylene terephthalate) film. A doctor blade method, a die coater method, a gravure coater method, or the like can be used to apply the slurry.

次に、図4のS3および図5Bに示すように、複数枚のグリーンシートのうち内部電極層3A、3Bを形成する層のグリーンシート24に内部電極用導電ペーストを所定のパターンとなるように塗布し、内部電極パターン23を形成する。このとき、1枚のグリーンシート24には、グリーンシート24の長手方向に分離された複数の内部電極パターン23を形成することができる。内部電極用導電ペーストは、内部電極層3A、3Bの材料として用いられる金属の粉末を含む。例えば、内部電極層3A、3Bの材料として用いられる金属がNiの場合、内部電極用導電ペーストは、Niの粉末を含む。また、内部電極用導電ペーストは、バインダと、溶剤と、必要に応じて助剤とを含む。内部電極用導電ペーストは、共材として、誘電体層4の主成分であるセラミック材料を含んでいてもよい。内部電極用導電ペーストの塗布には、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができる。 Next, as shown in S3 of FIG. 4 and FIG. 5B, a conductive paste for internal electrodes is applied to the green sheets 24 of the layers forming the internal electrode layers 3A and 3B among the plurality of green sheets so as to form a predetermined pattern. By coating, the internal electrode pattern 23 is formed. At this time, a plurality of internal electrode patterns 23 separated in the longitudinal direction of the green sheet 24 can be formed on one green sheet 24 . The internal electrode conductive paste contains metal powder used as a material for the internal electrode layers 3A and 3B. For example, when the metal used as the material of the internal electrode layers 3A and 3B is Ni, the internal electrode conductive paste contains Ni powder. In addition, the internal electrode conductive paste contains a binder, a solvent, and, if necessary, an auxiliary agent. The internal electrode conductive paste may contain a ceramic material, which is the main component of the dielectric layers 4, as a common material. A screen printing method, an inkjet printing method, a gravure printing method, or the like can be used to apply the conductive paste for the internal electrodes.

次に、図4のS4および図5Cに示すように、内部電極パターン23が形成されたグリーンシート24と、内部電極パターン23が形成されていない外層用のグリーンシート25A、25Bを所定の順序で複数枚数だけ積み重ねた積層ブロックを作製する。外層用のグリーンシート25A、25Bの厚みは、内部電極パターン23が形成されたグリーンシート24の厚みより大きい。このとき、積層方向に隣接するグリーンシート24の内部電極パターン23A、23Bが、グリーンシート24の長手方向に交互にずらされるように積み重ねる。また、内部電極パターン23Aのみが積層方向に積み重ねられる部分と、内部電極パターン23A、23Bが積層方向に交互に積み重ねられる部分と、内部電極パターン23Bのみが積層方向に積み重ねられる部分とができるようにする。 Next, as shown in S4 of FIG. 4 and FIG. 5C, the green sheet 24 with the internal electrode pattern 23 formed thereon and the outer layer green sheets 25A and 25B without the internal electrode pattern 23 formed thereon are arranged in a predetermined order. A laminated block is produced by stacking a plurality of blocks. The thickness of the outer layer green sheets 25A and 25B is greater than the thickness of the green sheet 24 on which the internal electrode patterns 23 are formed. At this time, the green sheets 24 adjacent in the stacking direction are stacked so that the internal electrode patterns 23A and 23B of the green sheets 24 are alternately shifted in the longitudinal direction of the green sheets 24 . In addition, a portion where only the internal electrode patterns 23A are stacked in the stacking direction, a portion where the internal electrode patterns 23A and 23B are alternately stacked in the stacking direction, and a portion where only the internal electrode patterns 23B are stacked in the stacking direction are formed. do.

次に、図4のS5および図5Dに示すように、図4のS4の成型工程で得られた積層ブロックをプレスし、グリーンシート24、25A、25Bを圧着する。積層ブロックをプレスする方法として、例えば、積層ブロックを静水圧プレスする方法などを用いることができる。 Next, as shown in S5 of FIG. 4 and FIG. 5D, the laminated block obtained in the molding step of S4 of FIG. 4 is pressed to crimp the green sheets 24, 25A and 25B. As a method of pressing the laminated block, for example, a method of isostatically pressing the laminated block can be used.

次に、図4のS6および図5Eに示すように、プレスされた積層ブロックを切断し、直方体形状の素体に個片化する。積層ブロックの切断は、内部電極パターン23Aのみが積層方向に積み重ねられる部分と、内部電極パターン23Bのみが積層方向に積み重ねられる部分で行う。積層ブロックの切断には、例えば、ブレードダイシングなどの方法を用いることができる。 Next, as shown in S6 of FIG. 4 and FIG. 5E, the pressed laminated block is cut into individual rectangular parallelepiped bodies. The laminated block is cut at a portion where only the internal electrode patterns 23A are stacked in the stacking direction and a portion where only the internal electrode patterns 23B are stacked in the stacking direction. For cutting the laminated block, for example, a method such as blade dicing can be used.

このとき、図5Fに示すように、個片化された素体2´には、誘電体層4を介して交互に積層された内部電極層3A、3Bが形成されるとともに、最下層および最上層にカバー層5A、5Bが形成される。内部電極層3Aは、素体2´の一方の端面で誘電体層4の表面から引き出され、内部電極層3Bは、素体2´の他方の端面で誘電体層4の表面から引き出される。なお、図5Fでは、図5Eの個片化された1つの素体を長さ方向に拡大して示した。 At this time, as shown in FIG. 5F, internal electrode layers 3A and 3B alternately laminated with dielectric layers 4 interposed are formed on the individualized element body 2', and the bottom and top layers are formed. Cover layers 5A and 5B are formed as upper layers. The internal electrode layer 3A is led out from the surface of the dielectric layer 4 at one end face of the element body 2', and the internal electrode layer 3B is led out from the surface of the dielectric layer 4 at the other end face of the element body 2'. In addition, in FIG. 5F, one element body separated into pieces in FIG. 5E is shown enlarged in the length direction.

次に、図4のS7および図5Gに示すように、素体2´の面取りを行うことにより、素体2´の角部に曲面Rが設けられた素体2を形成する。素体2´の面取りは、例えば、バレル研磨を用いることができる。 Next, as shown in S7 of FIG. 4 and FIG. 5G, the element body 2' is chamfered to form the element body 2 having curved surfaces R at the corners of the element body 2'. Barrel polishing, for example, can be used for the chamfering of the element body 2'.

次に、図4のS8に示すように、図4のS7で面取りされた素体2に含まれるバインダを除去する。バインダの除去では、例えば、約350℃のN雰囲気中で素体2を加熱する。 Next, as shown in S8 of FIG. 4, the binder contained in the body 2 chamfered in S7 of FIG. 4 is removed. In removing the binder, for example, the element body 2 is heated in an N2 atmosphere at about 350.degree.

次に、図4のS9に示すように、下地層用導電ペーストの付着を阻害する阻害剤を素体2上に選択的に塗布する。このとき、阻害剤は、図1のスリット部8の形成位置に選択的に塗布する。阻害剤は、例えば、下地層用導電ペーストに濡れないシリコーンである。阻害剤を素体2上に選択的に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができる。 Next, as shown in S9 of FIG. 4, an inhibitor that inhibits adhesion of the base layer conductive paste is selectively applied onto the base body 2. Next, as shown in FIG. At this time, the inhibitor is selectively applied to the formation position of the slit portion 8 in FIG. The inhibitor is, for example, silicone that does not wet with the base layer conductive paste. As a method for selectively applying the inhibitor onto the base body 2, a screen printing method, an inkjet printing method, a gravure printing method, or the like can be used.

次に、図4のS10に示すように、図4のS9で阻害剤が塗布された素体2の両端面と、各端面の周面の4つの面(上面、下面、一対の側面)に下地層用導電ペーストを塗布して乾燥させる。下地層用導電ペーストの塗布には、例えば、ディッピング法を用いることができる。このとき、図1のスリット部8の形成位置には阻害剤が塗布されているので、スリット部8の形成位置には下地層用導電ペーストが付着しない。下地層用導電ペーストは、下地層7の導電性材料として用いられる金属の粉末またはフィラーを含む。例えば、下地層7の導電性材料として用いられる金属がNiの場合、下地層用導電ペーストは、Niの粉末またはフィラーを含む。また、下地層用導電ペーストは、共材として、例えば、誘電体層4の主成分であるセラミック成分を含む。例えば、下地層用導電ペーストには、共材として、チタン酸バリウムを主成分とする酸化物セラミックの粒子(例えば、D50粒子径で0.1μm~4μm)が混入される。また、下地層用導電ペーストは、バインダと、溶剤とを含む。 Next, as shown in S10 of FIG. 4, four surfaces (upper surface, lower surface, and a pair of side surfaces) of both end surfaces of the element body 2 coated with the inhibitor in S9 of FIG. The base layer conductive paste is applied and dried. A dipping method, for example, can be used to apply the conductive paste for the underlying layer. At this time, since the inhibitor is applied to the formation positions of the slit portions 8 in FIG. The base layer conductive paste contains metal powder or filler used as a conductive material for the base layer 7 . For example, when the metal used as the conductive material of the underlayer 7 is Ni, the underlayer conductive paste contains Ni powder or filler. In addition, the base layer conductive paste contains, for example, a ceramic component, which is the main component of the dielectric layer 4, as a common material. For example, particles of oxide ceramic containing barium titanate as a main component (for example, 0.1 μm to 4 μm in D50 particle size) are mixed as a common material in the conductive paste for the underlayer. In addition, the underlayer conductive paste contains a binder and a solvent.

次に、図4のS11および図5Hに示すように、図5のS10で下地層用導電ペーストが塗布された素体2を焼成し、内部電極層3A、3Bと誘電体層4を一体化するとともに、素体2に一体化された下地層7を形成する。このとき、スリット部8の形成位置には下地層用導電ペーストが塗布されていないので、スリット部8の形成位置には下地層7が形成されない。素体2および下地層用導電ペーストの焼成は、例えば、焼成炉にて1000~1400℃で10分~2時間だけ行う。内部電極層3A、3BにNiまたはCuなどの卑金属を使用している場合は、内部電極層3A、3Bの酸化を防止するため、焼成炉内を還元雰囲気にして焼成することができる。なお、下地層7の形成では、Nガス雰囲気中で600℃~1000℃の温度で再酸化処理を行ってもよい。 Next, as shown in S11 of FIG. 4 and FIG. 5H, in S10 of FIG. 5, the element body 2 coated with the base layer conductive paste is fired to integrate the internal electrode layers 3A and 3B and the dielectric layer 4. At the same time, the base layer 7 integrated with the base body 2 is formed. At this time, since the base layer conductive paste is not applied to the positions where the slits 8 are to be formed, the base layer 7 is not formed at the positions where the slits 8 are to be formed. The base body 2 and the base layer conductive paste are fired, for example, in a firing furnace at 1000 to 1400° C. for 10 minutes to 2 hours. When a base metal such as Ni or Cu is used for the internal electrode layers 3A and 3B, the internal electrode layers 3A and 3B can be fired in a reducing atmosphere in order to prevent oxidation of the internal electrode layers 3A and 3B. In forming the underlying layer 7, re-oxidation treatment may be performed at a temperature of 600° C. to 1000° C. in an N 2 gas atmosphere.

次に、図4のS12および図5Iに示すように、Cuめっき層9A、Niめっき層9BおよびSnめっき層9Cを下地層7上に順次形成する。ここで、下地層7が形成された素体2を、めっき液とともにバレルに収容し、バレルを回転させつつ通電することにより、めっき層9を形成することができる。このとき、スリット部8の形成位置では、下地層7を覆うようにめっき層9がスリット状に形成される。 Next, as shown in S12 of FIG. 4 and FIG. 5I, a Cu plated layer 9A, a Ni plated layer 9B and an Sn plated layer 9C are sequentially formed on the base layer 7. Next, as shown in FIG. Here, the plating layer 9 can be formed by putting the element 2 on which the base layer 7 is formed in a barrel together with the plating solution, and energizing the barrel while rotating it. At this time, the plating layer 9 is formed in a slit shape so as to cover the base layer 7 at the formation position of the slit portion 8 .

(第2実施形態) (Second embodiment)

図6Aは、第2実施形態に係る積層セラミックコンデンサが実装された回路基板の構成を示す断面図、図6Bは、図6Aの外部電極にスリット部がないときの積層セラミックコンデンサが実装された回路基板の構成を示す断面図である。なお、図6Aでは、図1の積層セラミックコンデンサ1Aを模式化して示した。 6A is a cross-sectional view showing the configuration of a circuit board on which a multilayer ceramic capacitor according to the second embodiment is mounted, and FIG. 6B is a circuit on which the multilayer ceramic capacitor is mounted when the external electrodes in FIG. 6A have no slits. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of a substrate; FIG. In addition, in FIG. 6A, the multilayer ceramic capacitor 1A of FIG. 1 is schematically shown.

図6Aにおいて、回路基板11上には、ランド電極12A、12Bが形成されている。回路基板11は、プリント基板であってもよいし、Siなどの半導体基板であってもよい。積層セラミックコンデンサ1Aは、各外部電極6A、6Bに付着された各はんだ層13A、13Bを介してランド電極12A、12Bに接続される。 In FIG. 6A, land electrodes 12A and 12B are formed on the circuit board 11. As shown in FIG. The circuit board 11 may be a printed board or a semiconductor substrate such as Si. The laminated ceramic capacitor 1A is connected to land electrodes 12A, 12B via solder layers 13A, 13B attached to the external electrodes 6A, 6B.

ここで、はんだ13A、13Bはスリット部8で上方に濡れ上がる量が抑制されるので側面においてはんだ量が低減する。このため、素体2の稜線LYと外部電極6A、6Bが接する位置Sに集中する応力を低減することができ、クラックの発生を抑制することができる。このとき、スリット部8の稜線側のラインが開口部から素体2の端面方向に切れ込んでいくに従って近接する素体2の稜線LYから離間するように形成すると、はんだ13A、13Bは側面内において端面側上方に濡れ上がりやすく、はんだ13A、13Bの滞留が生じにくい。また、スリット部8の稜線側のラインが開口部から素体2の端面方向に切れ込んでいくに従って近接する素体2の稜線LYに近づくように形成すると、はんだ13A、13Bはスリット部8で上方への濡れ上がりをより有効に抑制できる。 Here, the amount of solder 13A and 13B wetted upward is suppressed by the slit portion 8, so the amount of solder on the side surface is reduced. Therefore, the stress concentrated at the position S where the edge line LY of the base body 2 and the external electrodes 6A and 6B contact can be reduced, and the occurrence of cracks can be suppressed. At this time, if the line on the ridgeline side of the slit portion 8 is formed so as to separate from the ridgeline LY of the adjacent element body 2 as it cuts from the opening toward the end surface of the element body 2, the solders 13A and 13B are formed in the side surfaces. It is easy for the solders 13A and 13B to get wet on the upper side of the end surface, and the solders 13A and 13B are less likely to stay. Also, if the line on the ridgeline side of the slit portion 8 cuts from the opening toward the end face of the element body 2 and is formed so as to approach the ridgeline LY of the adjacent element body 2 , the solders 13A and 13B are formed upward at the slit portion 8 . It is possible to more effectively suppress the wetting up to.

一方、図6Bにおいて、積層セラミックコンデンサ1A´は、スリット部8がない外部電極6A´、6B´を備える。積層セラミックコンデンサ1A´は、各外部電極6A´、6B´に付着された各はんだ層13A´、13B´を介してランド電極12A、12Bに接続される。 On the other hand, in FIG. 6B, a multilayer ceramic capacitor 1A' has external electrodes 6A' and 6B' without slits 8. As shown in FIG. The laminated ceramic capacitor 1A' is connected to land electrodes 12A and 12B via solder layers 13A' and 13B' attached to the external electrodes 6A' and 6B'.

ここで、はんだ13A´、13B´は外部電極6A´、6B´の側面に濡れ上がっていくが、このとき上方のはんだ13A´、13B´による応力が、下面と側面で形成される素体2の稜線LYと外部電極極6A、6Bが接する位置S´に集中し、クラックが発生しやすい。 Here, the solders 13A' and 13B' wet the side surfaces of the external electrodes 6A' and 6B'. Cracks are likely to occur at a position S' where the ridgeline LY of the edge line 1 and the external electrode poles 6A and 6B are in contact with each other.

(第3実施形態)
図7は、第3実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法のその他の例を示すフローチャートである。
図7のS21からS28において、図4のS1からS8と同様の工程により、バインダが除去された素体2を作製する。
(Third embodiment)
FIG. 7 is a flow chart showing another example of the manufacturing method of the laminated ceramic capacitor according to the third embodiment.
In steps S21 to S28 of FIG. 7, the body 2 from which the binder has been removed is manufactured by the same steps as steps S1 to S8 of FIG.

次に、図7のS29に示すように、図7のS28でバインダが除去された素体2を焼成し、内部電極層3A、3Bと誘電体層4を一体化する。素体2の焼成は、例えば、焼成炉にて1000~1350℃で10分~2時間だけ行う。内部電極層3A、3BにNiまたはCuなどの卑金属を使用している場合は、内部電極層3A、3Bの酸化を防止するため、焼成炉内を還元雰囲気にして焼成することができる。 Next, as shown in S29 of FIG. 7, the element body 2 from which the binder has been removed in S28 of FIG. Firing of the body 2 is performed, for example, in a firing furnace at 1000 to 1350° C. for 10 minutes to 2 hours. When a base metal such as Ni or Cu is used for the internal electrode layers 3A and 3B, the internal electrode layers 3A and 3B can be fired in a reducing atmosphere in order to prevent oxidation of the internal electrode layers 3A and 3B.

次に、図7のS30に示すように、下地層用導電ペーストの付着を阻害する阻害剤を素体2上に選択的に塗布する。このとき、阻害剤は、図1のスリット部8の形成位置に選択的に塗布する。阻害剤は、例えば、下地層用導電ペーストに濡れないシリコーンである。阻害剤を素体2上に選択的に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、インクジェット印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができる。 Next, as shown in S30 of FIG. 7, an inhibitor that inhibits adhesion of the base layer conductive paste is selectively applied onto the base body 2. Next, as shown in FIG. At this time, the inhibitor is selectively applied to the formation position of the slit portion 8 in FIG. The inhibitor is, for example, silicone that does not wet with the base layer conductive paste. As a method for selectively applying the inhibitor onto the base body 2, a screen printing method, an inkjet printing method, a gravure printing method, or the like can be used.

次に、図7のS31に示すように、図7のS30で阻害剤が塗布された素体2の両端面と、各端面の周面の4つの面に下地層用導電ペーストを塗布して乾燥させる。下地層用導電ペーストは、下地層7の導電性材料として用いられる金属の粉末またはフィラーを含む。例えば、下地層7の導電性材料として用いられる金属がCuの場合、下地層用導電ペーストは、Cuの粉末またはフィラーを含む。また、下地層用導電ペーストは、ガラス焼結助剤(例えば、SiOなど)を含む。 Next, as shown in S31 in FIG. 7, the base layer conductive paste is applied to four surfaces, ie, both end surfaces of the element body 2 to which the inhibitor was applied in S30 of FIG. 7 and the peripheral surface of each end surface. dry. The base layer conductive paste contains metal powder or filler used as a conductive material for the base layer 7 . For example, when the metal used as the conductive material of the underlayer 7 is Cu, the underlayer conductive paste contains Cu powder or filler. In addition, the conductive paste for the underlayer contains a glass sintering aid (for example, SiO 2 or the like).

次に、スリット部8の形成位置を避けるように素体2に塗布された下地層用導電ペーストを焼成し、素体2に一体化された下地層7を形成する。下地層用導電ペーストの焼成は、例えば、焼成炉にて600~900℃の温度で10分~2時間だけ行う。 Next, the base layer conductive paste applied to the base body 2 is fired so as to avoid the formation position of the slit portion 8 , thereby forming the base layer 7 integrated with the base body 2 . The underlayer conductive paste is fired, for example, in a firing furnace at a temperature of 600 to 900° C. for 10 minutes to 2 hours.

次に、図7のS32に示すように、図4のS12と同様の工程により、めっき処理を行う。 Next, as shown in S32 of FIG. 7, plating is performed by the same process as S12 of FIG.

(第4実施形態)
図8Aは、第4実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。
図8Aにおいて、積層セラミックコンデンサ1Bは、図1の積層セラミックコンデンサ1Aの外部電極6A、6Bの代わりに外部電極36A、36Bを備える。
(Fourth embodiment)
FIG. 8A is a perspective view showing the configuration of a laminated ceramic capacitor according to the fourth embodiment.
In FIG. 8A, a laminated ceramic capacitor 1B includes external electrodes 36A and 36B in place of the external electrodes 6A and 6B of the laminated ceramic capacitor 1A of FIG.

外部電極36A、36Bは、図1のスリット部8の代わりにスリット部38を備える。スリット部38は、外部電極36A、36Bの境界側の素体2の面上で素体2の中央側に開口する。このとき、スリット部38は、各外部電極36A、36Bを介して素体2の稜線LYにかかる応力を低減することができる。図1のスリット部8の代わりにスリット部38を備える点以外は、各外部電極36A、36Bは、図1の外部電極6A、6Bと同様に構成することができる。このとき、各外部電極36A、36Bは、素体2上に形成された下地層37と、下地層37上に積層されためっき層39を備える。めっき層39は、例えば、下地層37上に形成されたCuめっき層39Aと、Cuめっき層39A上に形成されたNiめっき層39Bと、Niめっき層39B上に形成されたSnめっき層39Cの3層構造とすることができる。 The external electrodes 36A and 36B have slit portions 38 instead of the slit portions 8 in FIG. The slit portion 38 opens toward the center of the element body 2 on the surface of the element body 2 on the boundary side of the external electrodes 36A and 36B. At this time, the slit portion 38 can reduce the stress applied to the edge line LY of the element body 2 via the external electrodes 36A and 36B. Each of the external electrodes 36A and 36B can be configured in the same manner as the external electrodes 6A and 6B in FIG. 1 except that a slit portion 38 is provided instead of the slit portion 8 in FIG. At this time, each of the external electrodes 36A and 36B includes a foundation layer 37 formed on the base body 2 and a plated layer 39 laminated on the foundation layer 37 . The plating layer 39 includes, for example, a Cu plating layer 39A formed on the underlying layer 37, a Ni plating layer 39B formed on the Cu plating layer 39A, and an Sn plating layer 39C formed on the Ni plating layer 39B. It can have a three-layer structure.

スリット部38は、各外部電極36A、36Bの端部から素体2の稜線LYの方向に沿って延びる。このとき、スリット部38は、素体2の稜線LYから離れた位置で開口する。スリット部38は、図1のスリット部8と配置位置および個数が異なる点以外は、図1のスリット部8と同様に構成することができる。例えば、スリット部38は、素体2の1つの面上に等間隔で並列に設けることができる。なお、図8Aでは、幅方向DWを法線とする面(素体2の一対の側面)側において、各外部電極36A、36Bにスリット部38を設けた例を示した。スリット部38は、素体2の稜線LYに対して斜めの円弧状であってもよいし、楔状であってもよい。スリット部38は、稜線LYに平行な直線状に形成されてもよいし、スリット部38の先端は、鋭角状であってもよい。外部電極36A、36Bのスリット部38の幅、深さおよび稜線LYからの距離は、図1の外部電極6A、6Bのスリット部8の幅、深さおよび稜線LYからの距離と同様に設定することができる。 The slit portion 38 extends along the direction of the edge line LY of the element body 2 from the end portions of the external electrodes 36A and 36B. At this time, the slit portion 38 is opened at a position away from the edge line LY of the element body 2 . The slit portion 38 can be configured in the same manner as the slit portion 8 in FIG. 1 except that the arrangement position and the number of slit portions are different from those of the slit portion 8 in FIG. For example, the slit portions 38 can be provided in parallel on one surface of the element body 2 at regular intervals. Note that FIG. 8A shows an example in which the slit portions 38 are provided in each of the external electrodes 36A and 36B on the side of the plane (the pair of side surfaces of the element body 2) normal to the width direction DW. The slit portion 38 may have an oblique arc shape with respect to the ridgeline LY of the base body 2, or may have a wedge shape. The slit portion 38 may be formed in a straight line parallel to the ridgeline LY, or the tip of the slit portion 38 may be sharp-angled. The width and depth of the slit portion 38 of the external electrodes 36A and 36B and the distance from the edge line LY are set in the same manner as the width and depth of the slit portion 8 of the external electrodes 6A and 6B and the distance from the edge line LY in FIG. be able to.

ここで、各外部電極36A、36Bに設けられるスリット部38の個数を増大させることにより、外部電極36A、36Bを介して素体2の稜線LYに加わる応力をより効果的に低減することができ、素体2にクラックが入るのを抑制することができる。
また、第1実施形態、第2実施形態で説明した実装時のはんだ挙動による応力低減の効果を同様に得ることができるので、素体2にクラックが入るのを抑制することができる。
Here, by increasing the number of slit portions 38 provided in each of the external electrodes 36A and 36B, the stress applied to the edge line LY of the element body 2 via the external electrodes 36A and 36B can be reduced more effectively. , the formation of cracks in the element body 2 can be suppressed.
In addition, since the effect of stress reduction due to the behavior of solder during mounting as described in the first and second embodiments can be similarly obtained, cracks in the element body 2 can be suppressed.

(第5実施形態)
図8Bは、第5実施形態に係る積層セラミックコンデンサの構成を示す斜視図である。
図8Bにおいて、積層セラミックコンデンサ1Cは、図1の積層セラミックコンデンサ1Aの外部電極6A、6Bの代わりに外部電極46A、46Bを備える。
(Fifth embodiment)
FIG. 8B is a perspective view showing the structure of the laminated ceramic capacitor according to the fifth embodiment.
In FIG. 8B, a laminated ceramic capacitor 1C includes external electrodes 46A and 46B instead of the external electrodes 6A and 6B of the laminated ceramic capacitor 1A of FIG.

外部電極46A、46Bは、図1のスリット部8の代わりにスリット部48を備える。スリット部48は、外部電極46A、46Bの境界側の素体2の面上で開口する。このとき、スリット部48は、外部電極46A、46Bを介して素体2の稜線LYに向かう応力を分断することができる。図1のスリット部8の代わりにスリット部48を備える点以外は、各外部電極46A、46Bは、図1の外部電極6A、6Bと同様に構成することができる。このとき、各外部電極46A、46Bは、素体2上に形成された下地層47と、下地層47上に積層されためっき層49を備える。めっき層49は、例えば、下地層47上に形成されたCuめっき層49Aと、Cuめっき層49A上に形成されたNiめっき層49Bと、Niめっき層49B上に形成されたSnめっき層49Cの3層構造とすることができる。 The external electrodes 46A and 46B have slit portions 48 instead of the slit portions 8 in FIG. The slit portion 48 opens on the surface of the element body 2 on the boundary side between the external electrodes 46A and 46B. At this time, the slit portion 48 can divide the stress directed toward the edge line LY of the element body 2 via the external electrodes 46A and 46B. Each of the external electrodes 46A and 46B can be configured in the same manner as the external electrodes 6A and 6B in FIG. 1 except that a slit portion 48 is provided instead of the slit portion 8 in FIG. At this time, each of the external electrodes 46A and 46B includes a foundation layer 47 formed on the base body 2 and a plated layer 49 laminated on the foundation layer 47 . The plating layer 49 includes, for example, a Cu plating layer 49A formed on the base layer 47, a Ni plating layer 49B formed on the Cu plating layer 49A, and an Sn plating layer 49C formed on the Ni plating layer 49B. It can have a three-layer structure.

スリット部48は、各外部電極46A、46Bの端部から素体2の稜線LYの方向に沿って延びる。このとき、スリット部48は、素体2の稜線LYから離れた位置で開口する。スリット部48は、図1のスリット部8と配置位置および個数が異なる点以外は、図1のスリット部8と同様に構成することができる。例えば、スリット部48は、幅方向DWを法線とする面(素体2の一対の側面)側だけでなく、積層方向DSを法線とする面(素体2の下面および上面)側にも設けることができる。スリット部48は、素体2の稜線LYに対して斜めの円弧状であってもよいし、楔状であってもよい。スリット部48は、稜線LYに平行な直線状に形成されてもよいし、スリット部48の先端は、鋭角状であってもよい。外部電極46A、46Bのスリット部48の幅、深さおよび稜線LYからの距離は、図1の外部電極6A、6Bのスリット部8の幅、深さおよび稜線LYからの距離と同様に設定することができる。 The slit portion 48 extends along the direction of the edge line LY of the element body 2 from the end portions of the external electrodes 46A and 46B. At this time, the slit portion 48 is opened at a position away from the edge line LY of the element body 2 . The slit portion 48 can be configured in the same manner as the slit portion 8 in FIG. 1 except that the arrangement position and the number of slit portions are different from those of the slit portion 8 in FIG. For example, the slit portions 48 are formed not only on the sides (the pair of side surfaces of the element body 2) normal to the width direction DW but also to the sides (the lower surface and the upper surface of the element body 2) normal to the stacking direction DS. can also be provided. The slit portion 48 may have an oblique arc shape with respect to the ridgeline LY of the base body 2, or may have a wedge shape. The slit portion 48 may be formed in a straight line parallel to the ridgeline LY, or the tip of the slit portion 48 may be sharp-angled. The width and depth of the slit portion 48 of the external electrodes 46A and 46B and the distance from the edge line LY are set in the same manner as the width and depth of the slit portion 8 of the external electrodes 6A and 6B and the distance from the edge line LY in FIG. be able to.

ここで、素体2の対向する一対の側面、下面および上面にスリット部48を設けることにより、各外部電極46A、46Bから稜線LYに積層方向DSに伝わる応力だけでなく、各外部電極46A、46Bから稜線LYに幅方向DWに伝わる応力も低減することができ、素体2にクラックが入るのを抑制することができる。 Here, by providing the slit portions 48 on the pair of side surfaces, the lower surface, and the upper surface facing each other of the element body 2, not only the stress transmitted from the external electrodes 46A, 46B to the ridge line LY in the stacking direction DS, but also the external electrodes 46A, 46B The stress transmitted in the width direction DW from 46B to the ridge line LY can also be reduced, and cracks in the element body 2 can be suppressed.

(第6実施形態)
図9は、第6実施形態に係るセラミック電子部品の構成例を示す斜視図である。なお、図9では、セラミック電子部品としてチップインダクタを例にとった。
図8において、チップインダクタ21は、素体22および外部電極26A、26Bを備える。素体22は、コイルパターン23、内部電極層23A、23Bおよび磁性体材料24を備える。磁性体材料24は、内部電極層23A、23Bを絶縁する誘電体としても用いられる。素体22の形状は、略直方体形状とすることができる。
(Sixth embodiment)
FIG. 9 is a perspective view showing a configuration example of a ceramic electronic component according to the sixth embodiment. In FIG. 9, a chip inductor is taken as an example of the ceramic electronic component.
In FIG. 8, chip inductor 21 includes element body 22 and external electrodes 26A and 26B. The element body 22 includes a coil pattern 23 , internal electrode layers 23 A and 23 B, and a magnetic material 24 . The magnetic material 24 is also used as a dielectric for insulating the internal electrode layers 23A and 23B. The shape of the element body 22 can be made into a substantially rectangular parallelepiped shape.

コイルパターン23および内部電極層23A、23Bは、磁性体材料24にて覆われている。ただし、内部電極層23Aの端部は、素体22の一方の端面側で磁性体材料24から露出され、外部電極26Aに接続される。内部電極層23Bの端部は、素体22の他方の端面側で磁性体材料24から露出され、外部電極26Bに接続される。 The coil pattern 23 and the internal electrode layers 23A, 23B are covered with a magnetic material 24. As shown in FIG. However, the end portion of the internal electrode layer 23A is exposed from the magnetic material 24 on one end face side of the element body 22 and connected to the external electrode 26A. An end portion of the internal electrode layer 23B is exposed from the magnetic material 24 on the other end face side of the element body 22 and connected to the external electrode 26B.

コイルパターン23および内部電極層23A、23Bの材料は、例えば、Cu、Fe、Zn、Al、Sn、Ni、Ti、Ag、Au、Pt、Pd、TaおよびWなどの金属から選択することができ、これらの金属を含む合金であってもよい。磁性体材料24は、例えば、フェライトである。 Materials for the coil pattern 23 and the internal electrode layers 23A and 23B can be selected from metals such as Cu, Fe, Zn, Al, Sn, Ni, Ti, Ag, Au, Pt, Pd, Ta and W. , an alloy containing these metals. The magnetic material 24 is, for example, ferrite.

外部電極26A、26Bは、互いに分離された状態で素体22の互いに対向する端面に位置する。各外部電極26A、26Bは、素体22の各端面から側面および上下面にかけて連続している。外部電極26A、26Bは、スリット部28を備える。スリット部28は、外部電極26A、26Bの境界側の素体22の面上で開口する。このとき、スリット部28は、外部電極26A、26Bを介して素体22の稜線に向かう応力を分断することができる。 The external electrodes 26A and 26B are separated from each other and located on the end surfaces of the element body 22 facing each other. Each of the external electrodes 26A and 26B is continuous from each end surface of the element body 22 to the side surfaces and upper and lower surfaces. The external electrodes 26A and 26B are provided with slit portions 28 . The slit portion 28 opens on the surface of the element body 22 on the boundary side of the external electrodes 26A and 26B. At this time, the slit portion 28 can divide the stress toward the ridgeline of the element body 22 via the external electrodes 26A and 26B.

スリット部28は、各外部電極26A、26Bの端部から素体2の稜線の方向に沿って延びる。このとき、スリット部28は、素体22の稜線から離れた位置で開口する。図9の例では、幅方向DWを法線とする面(素体22の一対の側面)側にスリット部28を設けた場合を示したが、積層方向DSを法線とする面(素体22の下面および上面)側にもスリット部28を設けるようにしてもよい。スリット部28は、素体22の稜線に対して斜めの円弧状であってもよいし、楔状であってもよい。スリット部28は、稜線に平行な直線状に形成されてもよいし、スリット部28の先端は、鋭角状であってもよい。外部電極26A、26Bのスリット部28の幅、深さおよび稜線LYからの距離は、図1の外部電極6A、6Bのスリット部8の幅、深さおよび稜線LYからの距離と同様に設定することができる。 The slit portion 28 extends along the direction of the ridgeline of the element body 2 from the end portions of the external electrodes 26A and 26B. At this time, the slit portion 28 is opened at a position away from the ridgeline of the element body 22 . In the example of FIG. 9, a case is shown in which the slit portions 28 are provided on the sides (a pair of side surfaces of the element body 22) normal to the width direction DW. A slit portion 28 may also be provided on the lower and upper surfaces of 22 . The slit portion 28 may have an oblique arc shape with respect to the ridge line of the base body 22, or may have a wedge shape. The slit portion 28 may be formed in a straight line parallel to the ridgeline, or the tip of the slit portion 28 may be sharp-angled. The width and depth of the slit portion 28 of the external electrodes 26A and 26B and the distance from the edge line LY are set in the same manner as the width and depth of the slit portion 8 of the external electrodes 6A and 6B and the distance from the edge line LY in FIG. be able to.

なお、上述した実施形態では、セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサおよびチップインダクタを例にとったが、チップ抵抗またはセンサチップであってもよい。また、上述した実施形態では、2端子の外部電極を持つセラミック電子部品を例にとったが、3端子以上の外部電極を持つセラミック電子部品であってもよい。 In the above-described embodiments, a laminated ceramic capacitor and a chip inductor are used as examples of ceramic electronic components, but chip resistors or sensor chips may be used. Further, in the above-described embodiments, the ceramic electronic component having two external electrodes was taken as an example, but the ceramic electronic component may have three or more external electrodes.

1A 積層セラミックコンデンサ
2 素体
2A 積層体
3A、3B 内部電極層
4 誘電体層
5A、5B カバー層
6A、6B 外部電極
7 下地層
8 スリット部
9、9A~9C めっき層
1A laminated ceramic capacitor 2 element body 2A laminated body 3A, 3B internal electrode layer 4 dielectric layer 5A, 5B cover layer 6A, 6B external electrode 7 base layer 8 slit portion 9, 9A to 9C plating layer

Claims (20)

誘電体と、内部電極とを有する素体と、
前記素体上の長さ方向に対向する端面で前記内部電極と接続し、前記素体の前記端面と幅方向に対向する側面と高さ方向に対向する上面および下面にそれぞれ連続して形成され、前記側面の素体中央側に開口し端面方向に伸びるスリット部を備える一対の外部電極を有することを特徴とするセラミック電子部品。
a body having a dielectric and internal electrodes;
It is connected to the internal electrode at the end surface of the element body facing in the length direction, and is formed continuously on the side surface facing the end surface of the element body in the width direction and the upper and lower surfaces facing in the height direction, respectively. 1. A ceramic electronic component, comprising a pair of external electrodes having slit portions which are open at the center of said side surface and extend in the direction of the end face.
前記スリット部は、前記素体の稜線から離れた位置にあることを特徴とする請求項1に記載のセラミック電子部品。 2. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein said slit portion is located away from a ridge line of said element body. 前記スリット部の位置において、前記素体は前記外部電極から露出されていることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミック電子部品。 3. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein the element is exposed from the external electrode at the position of the slit. 前記外部電極の側面の高さ方向の寸法をTとすると、前記スリット部の幅は、(T/30)μm以上(T/10)μm以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 4. The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the width of the slit portion is (T/30) μm or more and (T/10) μm or less, where T is the dimension in the height direction of the side surface of the external electrode. A ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3. 前記外部電極の長さをLとすると、前記スリット部の深さは、(L/5)μm以上(L/1.5)μm以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 5. The slit portion has a depth of (L/5) μm or more and (L/1.5) μm or less, where L is the length of the external electrode. 2. The ceramic electronic component according to item 1. 前記外部電極の側面の高さ方向の寸法をTとすると、前記スリット部は、前記素体の稜線から(T/30)μm以上(T/3)μm以下離れていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 The slit portion is separated from the ridgeline of the element body by (T/30) μm or more and (T/3) μm or less, where T is the dimension in the height direction of the side surface of the external electrode. 6. The ceramic electronic component according to any one of Items 1 to 5. 前記セラミック電子部品を端面方向から透視したとき、前記スリット部と、高さ方向の最も外側にある前記内部電極が、高さ方向に重なる位置にあることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 7. The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 6, wherein when the ceramic electronic component is seen through from the end face direction, the slit portion and the internal electrode located outermost in the height direction are positioned to overlap each other in the height direction. 1. A ceramic electronic component according to claim 1. 前記スリット部は、前記素体の稜線に対して斜めの円弧状に形成されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 8. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein said slit portion is formed in an oblique circular arc shape with respect to a ridge line of said element body. 前記スリット部は、前記素体の1つの側面上に複数設けられていることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 9. The ceramic electronic component according to claim 1, wherein a plurality of said slit portions are provided on one side surface of said base body. 前記スリット部は、前記素体の1つの面上に等間隔で並列に設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 10. The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 9, wherein said slit portions are provided in parallel at regular intervals on one surface of said element body. 前記スリット部は、対向する前記側面にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 11. The ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 10, wherein the slit portions are provided on the opposing side surfaces, respectively. 前記外部電極は、
金属を含む下地層と、
前記下地層上に形成されためっき層とを備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか1に記載のセラミック電子部品。
The external electrodes are
an underlying layer containing a metal;
12. The ceramic electronic component according to claim 1, further comprising a plated layer formed on said underlayer.
前記下地層は、前記金属に混在された共材を備えることを特徴とする請求項12に記載のセラミック電子部品。 13. The ceramic electronic component according to claim 12, wherein said underlayer comprises a common material mixed with said metal. 前記共材は、前記素体に含まれる前記誘電体を主成分とすることを特徴とする請求項13に記載のセラミック電子部品。 14. The ceramic electronic component according to claim 13, wherein the common material is mainly composed of the dielectric contained in the base body. 前記下地層は、Niを主成分とすることを特徴とする請求項12から14のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 15. The ceramic electronic component according to any one of claims 12 to 14, wherein the base layer contains Ni as a main component. 前記下地層は、Cuを主成分とすることを特徴とする請求項12から14のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 The ceramic electronic component according to any one of claims 12 to 14, wherein the base layer contains Cu as a main component. 前記スリット部の位置において、前記めっき層は前記下地層を覆っていることを特徴とする請求項12から16のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。 17. The ceramic electronic component according to any one of claims 12 to 16, wherein the plating layer covers the base layer at the position of the slit. 前記内部電極は、
第1内部電極層と、
前記誘電体を含む誘電体層を介して前記第1内部電極層上に積層された第2内部電極層とを備え、
前記外部電極は、
前記第1内部電極層に接続する第1外部電極と、
前記第1外部電極と分離して設けられ、前記第2内部電極層に接続する第2外部電極とを備えることを特徴とする請求項1から17のいずれか1項に記載のセラミック電子部品。
The internal electrodes are
a first internal electrode layer;
a second internal electrode layer laminated on the first internal electrode layer via a dielectric layer containing the dielectric;
The external electrodes are
a first external electrode connected to the first internal electrode layer;
18. The ceramic electronic component according to claim 1, further comprising a second external electrode provided separately from the first external electrode and connected to the second internal electrode layer.
請求項1から18のいずれか1項に記載のセラミック電子部品が実装された回路基板であって、
前記セラミック電子部品は、前記導電体に付着されたはんだ層を介して接続されることを特徴とする回路基板。
A circuit board on which the ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 18 is mounted,
A circuit board, wherein the ceramic electronic component is connected via a solder layer attached to the conductor.
誘電体と内部電極が設けられ、前記内部電極が端面に引き出された素体を形成する工程と、
外部電極の下地層の下地材料の付着を阻害する阻害剤を、前記端面と幅方向に対向する側面の素体中央側に開口し端面方向にスリット状に伸びるように塗布する工程と、
前記素体の端面および前記端面に対して垂直な4つの面の一部に前記下地材料を塗布する工程と、
前記下地材料を焼成し、前記素体の側面の素体中央側に開口し端面方向に伸びるスリット部を有する下地層を形成する工程と、
前記下地層上にめっき層を形成する工程とを備えることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
a step of forming a body provided with a dielectric and an internal electrode, the internal electrode being drawn out to an end face;
a step of applying an inhibitor that inhibits the adhesion of the base material of the base layer of the external electrode so as to open in the center of the element body on the side surface opposite to the end face in the width direction and extend in a slit shape in the direction of the end face;
a step of applying the base material to the end face of the base body and part of four faces perpendicular to the end face;
a step of baking the base material to form a base layer having a slit portion that opens toward the center of the base on the side surface of the base and extends in the direction of the end face;
and forming a plated layer on the underlying layer.
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