JP2022129311A - 画像プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、放電加工機等の加工装置に取付可能な画像プローブに関する。
放電加工機等の加工装置によってワークを加工した場合、加工後のワークの形状の観察・寸法の測定等のために、加工装置に観察装置を取り付ける場合がある。また、観察・測定の結果、加工が終了していなかった場合、ワークを再度加工するために、加工装置から観察装置を取り外す場合がある。加工と観察・測定を繰り返し行う場合、この着脱作業を繰り返し行う場合がある。
上記着脱作業を人の手で行う場合、作業が必要になるたびに着脱の手間が生じる。また、着脱作業の際、観察装置を取り落として破損してしまう恐れがある。ここで、この様な観察装置を自動で着脱する場合には、この様な問題を解消可能である。
しかしながら、従来の観察装置においては、観察装置から多数の電源線等が引き出されている場合があった。この様な場合、自動着脱の際にこの電源線等が加工装置内部の構成に引っ掛かったり絡まったりすることにより、電源線等が断線したり、加工装置又は観察装置が破損してしまったりする恐れがある。
本発明は、この様な課題に鑑みなされたものであり、加工装置への自動着脱を実行可能な画像プローブ等の観察装置を提供することを目的とする。
本発明の一の実施形態に係る画像プローブは、ワークに照明光を照射する照明装置と、ワークを撮像する撮像装置と、撮像装置にワークの像を結像させる合焦レンズと、合焦レンズに光を導く対物レンズと、照明装置及び撮像装置の少なくとも一方に電力を供給する電力供給手段と、照明装置、撮像装置、合焦レンズ及び電力供給手段を収容するカバーと、カバーに接続され、加工装置への自動着脱が可能な取付機構と、を備えるケーブルレスの画像プローブである。
この様な画像プローブはケーブルレスであるため、上述の様な問題を生じない。
上記電力供給手段は、照明装置及び撮像装置の少なくとも一方に適した少なくとも1通りの電圧を生成し、照明装置及び撮像装置の少なくとも一方に供給しても良い。
上記電力供給手段は、少なくとも1通りの電圧を生成する変圧器を備えていても良い。
上記電力供給手段は、電力供給用の第1電極を備えていても良い。また、第1電極は、画像プローブが加工装置に取り付けられた状態で、加工装置に設けられた電力供給用の第2電極に接続されても良い。
上記電力供給手段は、無線給電の受信装置を備えていても良い。
上記電力供給手段は、バッテリーを備えていても良い。
この様な構成によれば、加工装置への自動着脱を実行可能な画像プローブを提供することが可能である。
次に、本発明のいくつかの実施形態に係る画像プローブについて説明する。
尚、以下の説明において、同一の部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
また、以下の説明では、画像プローブの対物レンズの光軸方向、及び、画像プローブの加工装置に対する取付方向がZ方向と一致する例について説明する。しかしながら、この様な構成はあくまでも説明のための例示であり、具体的な構成等は適宜調整可能である。
また、以下の説明では、画像プローブを取り付ける加工装置として、放電加工機を例示する。しかしながら、画像プローブを取り付ける加工装置は、放電加工機でなくても良い。
[第1実施形態]
図1及び図2は、放電加工機10の構成を示す模式的な正面図である。図1は、ワーク14の加工中の様子を示している。図2は、ワーク14の観察・測定中の様子を示している。
図1及び図2は、放電加工機10の構成を示す模式的な正面図である。図1は、ワーク14の加工中の様子を示している。図2は、ワーク14の観察・測定中の様子を示している。
図1に示す様に、放電加工機10は、基台11と、基台11上に設けられた加工槽12と、を備える。加工槽12中には、加工液13と、ワーク14と、が設けられている。また、放電加工機10は、加工電極15を取り付け可能に構成された取付機構16と、取付機構16及び加工槽12のZ方向における位置関係を調整可能なZ軸駆動機構17と、取付機構16及び加工槽12のX方向における位置関係を調整可能なX軸駆動機構18と、取付機構16及び加工槽12のY方向における位置関係を調整可能なY軸駆動機構19と、を備える。
図1に示す様に、ワーク14の加工に際しては、取付機構16に加工電極15が取り付けられている。また、ワーク14全体、及び、加工電極15の少なくとも一部が加工液13に浸っている。
図2に示す様に、ワーク14の観察・測定に際しては、取付機構16に画像プローブ100が取り付けられている。また、ワーク14の少なくとも上面、及び、画像プローブ100は加工液13に浸っていない。
図3は、画像プローブ100の構成を示す模式的な図である。画像プローブ100は、落射照明装置110と、暗視野照明装置120と、光学系130と、撮像装置140と、電源装置150と、これらの少なくとも一部を収容するカバー160と、を備える。
落射照明装置110は、例えば、LED等の照明装置である。落射照明装置110は、例えば、カバー160に収容されていても良い。
暗視野照明装置120は、例えば、LED等の照明装置である。暗視野照明装置120は、例えば、環状に構成されたリング照明であっても良い。暗視野照明装置120は、例えば、カバー160に対して着脱可能に構成されていても良い。
光学系130は、例えば、ワーク14と対向する対物レンズ131と、対物レンズ131を通して入射した光に基づいてワーク14の像を撮像装置140の撮像面に結像させる合焦レンズ132と、を備える。また、光学系130は、落射照明装置110から照射された光を反射するミラー133と、ミラー133で反射された光を反射し、対物レンズ131を介してワーク14に導くと共に、ワーク14で反射され対物レンズ131を通して入射した光を透過させるハーフミラー134と、を備える。対物レンズ131は、例えば、カバー160に対して着脱可能に構成されていても良い。合焦レンズ132、ミラー133及びハーフミラー134は、例えば、カバー160に収容されていても良い。
撮像装置140は、例えば、CMOSイメージセンサ、CCDイメージセンサ等の撮像装置である。撮像装置140は、例えば、カバー160に収容されていても良い。撮像装置140は、例えば、データ信号入出力端子171を介して、放電加工機10との間でデータ信号の入出力を行う。データ信号は、例えば、撮像装置140を制御するための制御信号、及び、撮像装置140によって取得された画像データの信号を含む。
電源装置150は、例えば、電源端子172,173を介して放電加工機10から電力を供給され、この電圧を降圧して、落射照明装置110の駆動に適した電圧、暗視野照明装置120の駆動に適した電圧、及び、撮像装置140の駆動に適した電圧を生成する。また、これらの電圧を、それぞれ、落射照明装置110、暗視野照明装置120、及び、撮像装置140に供給する。電源装置150は、例えば、変圧器を含む。
図4は、画像プローブ100の構成を示す模式的な側面図である。図5は、画像プローブ100の構成を示す模式的な正面図である。図6は、画像プローブ100の構成を示す模式的な上面図である。図7及び図8は、画像プローブ100及び取付機構16の構成を示す模式的な側面図である。
カバー160は、例えば図4に示す様に、本体部161と、本体部161の上端に設けられたクランプ軸162と、を備える。
本体部161は、落射照明装置110、合焦レンズ132、ミラー133、ハーフミラー134、撮像装置140、及び、電源装置150を収容する。
クランプ軸162は、放電加工機10への自動着脱が可能な取付機構を構成する。クランプ軸162は、Z方向に延伸する略円柱状の形状を有する。クランプ軸162は、半径が比較的小さい凹部163と、この凹部163よりも上方に設けられ、凹部163よりも半径が大きい凸部164と、を備える。
尚、図7に例示する取付機構16は、クランプ軸162を収容可能な基部21と、クランプ軸162の凹部163に当接する複数の球22と、球22の径方向における移動を拘束する複数の拘束部材23と、拘束部材23に弾性力を付与するコイルバネ24と、を備える。基部21は、クランプ軸162を収容可能な孔部31を備える。孔部31は、Z方向に延伸する。また、基部21は、球22を径方向に移動可能に収容する孔部32を備える。孔部32は、孔部31と連通し、径方向に延伸する。また、基部21は、拘束部材23をZ方向に移動可能に収容する収容部33を備える。収容部33は、孔部32と連通する。また、基部21は、収容部33と連通する孔部34を備える。
画像プローブ100が取付機構16に取り付けられた状態では、拘束部材23のZ方向における位置がコイルバネ24によって固定されている。この状態では、拘束部材23によって球22の径方向における位置が拘束され、且つ、球22がクランプ軸162の凹部163に当接する。
画像プローブ100を取付機構16から取り外す場合には、孔部34から空気を注入する。これにより、拘束部材23が下方に押圧され、球22が径方向において移動可能な状態となる。この状態で画像プローブ100を下方に引き抜くことにより、画像プローブ100が取付機構16から取り外される。
画像プローブ100を取付機構16に取り付ける場合にも、孔部34から空気を注入する。これにより、拘束部材23が下方に押圧され、球22が径方向において移動可能な状態となる。この状態で画像プローブ100を下方から上方に移動させてクランプ軸162を孔部31に収容し、この状態で孔部34への空気の注入を中止することにより、画像プローブ100が取付機構16に取り付けられる。
図6の例では、クランプ軸162を中心とする環状の領域に、データ信号入出力端子171、電源端子172,173が配置される。データ信号入出力端子171、電源端子172,173は、例えば図8に例示する様に、画像プローブ100が取付機構16に取り付けられた状態において、取付機構16に設けられた電極41,42に接続される。尚、電極42は、例えば、加工電極15(図1)に加工用の電力を供給する電極であっても良い。
ここで、上述の通り、放電加工機10によってワーク14を加工した場合、加工後のワーク14の形状等を観察・測定するために、放電加工機10の取付機構16から加工電極15を取外し、観察装置を取り付ける場合がある。また、観察・測定の結果、加工が終了していなかった場合には、取付機構16から観察装置を取外し、加工電極15を取り付ける場合がある。加工と観察・測定を繰り返し行う場合、この着脱作業を繰り返し行う場合がある。
ここで、上記着脱作業を人の手で行う場合、作業が必要になるたびに着脱の手間が生じる。また、着脱作業の際、観察装置を取り落として破損してしまう恐れがある。ここで、この様な観察装置を自動で着脱する場合には、この様な問題を解消可能である。
しかしながら、従来の観察装置においては、観察装置から多数の電源線等が引き出されている場合があった。この様な場合、自動着脱の際にこの電源線等が加工装置内部の構成に引っ掛かったり絡まったりすることにより、電源線等が断線したり、加工装置又は観察装置が破損してしまったりする恐れがある。特に、放電加工機10を使用する場合には、観察装置が加工液13中に取り落とされてしまう恐れがある。
ここで、第1実施形態に係る画像プローブ100はケーブルレスであるため、上述の様な問題を生じない。従って、加工装置への自動着脱を実行可能な画像プローブを提供することが可能である。
[第2実施形態]
次に、図9を参照して、第2実施形態に係る画像プローブ200について説明する。図9は、画像プローブ200の構成を示す模式的な図である。
次に、図9を参照して、第2実施形態に係る画像プローブ200について説明する。図9は、画像プローブ200の構成を示す模式的な図である。
画像プローブ200は、基本的には第1実施形態に係る画像プローブ100と同様に構成されている。ただし、画像プローブ200は、データ信号入出力端子171、電源端子172,173を備えていない。また、画像プローブ200は、データ信号送受信装置201、無線給電の受信装置202、バッテリー203及びスイッチ回路204を備える。これらの構成は、カバー160に収容されている。
データ信号送受信装置201は、撮像装置140に接続されている。撮像装置140は、例えば、データ信号送受信装置201を介して、図示しない外部装置との間でデータ信号の入出力を行う。データ信号の入出力は、無線通信によって行われる。
無線給電の受信装置202は、スイッチ回路204を介してバッテリー203に接続される。無線給電の受信装置202は、例えば、図示しない外部装置から無線給電によって電力を供給され、この電力によってバッテリー203の充電を行う。
バッテリー203は、スイッチ回路204を介して電源装置150及び無線給電の受信装置202に接続されている。電源装置150は、例えば、バッテリー203から電力を供給され、バッテリー203の電圧を調整して、落射照明装置110の駆動に適した電圧、暗視野照明装置120の駆動に適した電圧、及び、撮像装置140の駆動に適した電圧を生成する。
[その他の実施形態]
以上、本発明の第1実施形態及び第2実施形態に係る画像プローブ100,200について説明した。しかしながら、以上の構成はあくまでも例示であり、具体的な構成は適宜調整可能である。
以上、本発明の第1実施形態及び第2実施形態に係る画像プローブ100,200について説明した。しかしながら、以上の構成はあくまでも例示であり、具体的な構成は適宜調整可能である。
例えば、第1実施形態に係る画像プローブ100は、放電加工機10の取付機構16を介して、データ信号の送受信及び電力の供給を実行する様に構成されている。また、例えば、第2実施形態に係る画像プローブ200は、無線通信及び無線給電によって、データ信号の送受信及び電力の供給を実行する様に構成されている。しかしながら、この様な構成はあくまでも例示に過ぎず、具体的な構成は適宜供給可能である。
例えば、第1実施形態に係る画像プローブ100においては、電力の供給のみを放電加工機10の取付機構16を介して実行し、データ信号の送受信を無線通信によって実行しても良い。この様な場合、画像プローブ100は、データ信号入出力端子171のかわりに、データ信号送受信装置201を備えていても良い。
また、第2実施形態に係る画像プローブ200においては、電力の供給のみを無線給電によって実行し、データ信号の送受信を放電加工機10の取付機構16を介して実行しても良い。この様な場合、画像プローブ200は、データ信号送受信装置201のかわりに、データ信号入出力端子171を備えていても良い。
また、例えば、第2実施形態に係る画像プローブ200は、バッテリー203を充電するための構成として、無線給電の受信装置202を備えていた。しかしながら、画像プローブ200は、無線給電の受信装置202のかわりに、バッテリー203を充電するための電源端子を備えていても良い。
100…画像プローブ、110…落射照明装置、120…暗視野照明装置、130…光学系、140…撮像装置、150…電源装置、160…カバー。
Claims (6)
- ワークに照明光を照射する照明装置と、
前記ワークを撮像する撮像装置と、
前記撮像装置に前記ワークの像を結像させる合焦レンズと、
前記合焦レンズに光を導く対物レンズと、
前記照明装置及び前記撮像装置の少なくとも一方に電力を供給する電力供給手段と、
前記照明装置、前記撮像装置、前記合焦レンズ及び前記電力供給手段を収容するカバーと、
前記カバーに接続され、加工装置への自動着脱が可能な取付機構と
を備えるケーブルレスの画像プローブ。 - 前記電力供給手段は、前記照明装置及び前記撮像装置の少なくとも一方に適した少なくとも1通りの電圧を生成し、前記照明装置及び前記撮像装置の少なくとも一方に供給する
請求項1記載の画像プローブ。 - 前記電力供給手段は、前記少なくとも1通りの電圧を生成する変圧器を備える
請求項2記載の画像プローブ。 - 前記電力供給手段は、電力供給用の第1電極を備え、
前記第1電極は、前記画像プローブが前記加工装置に取り付けられた状態で、前記加工装置に設けられた電力供給用の第2電極に接続される
請求項1~3のいずれか1項記載の画像プローブ。 - 前記電力供給手段は、無線給電の受信装置を備える
請求項1~3のいずれか1項記載の画像プローブ。 - 前記電力供給手段は、バッテリーを備える
請求項1~5のいずれか1項記載の画像プローブ。
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JP2021027998A Pending JP2022129311A (ja) | 2021-02-24 | 2021-02-24 | 画像プローブ |
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