JP2022120762A - Inductance-capacitance two-passage oil liquid detector using high-permeability material - Google Patents

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Abstract

To provide an inductance-capacitance two-passage oil liquid detector using a high-permeability material.SOLUTION: There is provided an inductance-capacitance two-passage oil liquid detector using a high-permeability material in which a first dovetail groove is opened in a first high-permeability alloy and a second dovetail groove is opened in a second high-permeability alloy. The accuracy of detection in a capacitance detection mode is increased by increasing the intensity of a magnetic field by using one pair of high-permeability alloys for a detection unit, designing the openings in flow passages of the high-permeability alloys as a dovetail groove structure to collect magnetic fields, and forming a high-intensity collected magnetic field not to increase the accuracy of detection but to use the high-permeability alloys as capacitance pole plates for detecting a capacitance.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、油液システム故障検出の技術分野に関し、具体的には、特に高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to the technical field of fluid system fault detection, and more particularly to an inductance-capacitance two-pass fluid detection device, especially with high magnetic permeability materials.

機械システム油液中の固体粒子物は、成分、形状、寸法、数量等を含む豊富な摩擦学情報を含有しており、これらの情報は設備の稼働状况を反映でき、設備の磨損部位、磨損種類、磨損程度及び腐食程度の判断に非常に重要な作用を有する。磨損粒子の摩擦学情報を分析し、且つ異常磨損が発生した機構と汚染された油液を適時に交換することで、より深刻な損失を回避可能である。 The solid particles in the mechanical system fluid contain a wealth of tribological information, including composition, shape, size, quantity, etc. These information can reflect the operating conditions of the equipment, It plays a very important role in determining the type, degree of wear and degree of corrosion. By analyzing the tribological information of worn particles and timely replacing the mechanism where abnormal wear occurs and the contaminated oil, more serious losses can be avoided.

従来の油液検出技術は、オフライン検出とオンライン検出の2種に分類可能である。オフライン検出とは、油試料を実験室に提出して検出することであり、検出工程が多く、提出検出周期が長く、時効性が悪い。また、オンライン検出は主に超音波検出法、光学検出法、インダクタンス検出法及びキャパシタンス検出法に分けられている。超音波検出法は金属粒子と気泡を区別できるが、強磁性と非強磁性粒子を区別できなく、外部の温度、ノイズ等の環境要素に大きく影響されることがあり、光学検出法は検出精度が高いが、検出結果が油液の清澄度や浸透性に影響されやすく、インダクタンス検出法は強磁性粒子と非強磁性粒子を区別できるが、検出精度が低く、従来のキャパシタンス検出法は極板間の誘電率によって、被検出油液中の水滴と気泡を区別できるが、金属粒子を区別して検出することができない。 Conventional oil detection techniques can be classified into two types: off-line detection and on-line detection. Off-line detection is to submit the oil sample to the laboratory for detection, which involves many detection processes, a long submission detection cycle, and poor aging. In addition, online detection is mainly divided into ultrasonic detection method, optical detection method, inductance detection method and capacitance detection method. The ultrasonic detection method can distinguish between metal particles and air bubbles, but it cannot distinguish between ferromagnetic and non-ferromagnetic particles, and can be greatly affected by environmental factors such as external temperature and noise. However, the detection result is easily affected by the clarity and permeability of the oil liquid, the inductance detection method can distinguish between ferromagnetic particles and non-ferromagnetic particles, but the detection accuracy is low, and the conventional capacitance detection method Water droplets and air bubbles in the oil to be detected can be distinguished by the dielectric constant between them, but metal particles cannot be distinguished and detected.

本発明は、従来の油液検出センサーの検出精度が限られている上記の技術的問題に鑑みて、高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置を提供する。本発明の装置は、検知ユニットに1対の高透磁率合金を用いて磁場強度を増加し、磁場を集合させるように高透磁率合金の流路での開口をアリ溝構造として設計して、高強度集合磁場を形成して、検出精度を向上するだけでなく、高透磁率合金をキャパシタンス検出のキャパシタンス極板とすることによって、キャパシタンス検出モードの検出精度を向上する。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an inductance-capacitance two-pass oil detection device using high magnetic permeability material in view of the above technical problems of the limited detection accuracy of conventional oil detection sensors. The device of the present invention uses a pair of high-permeability alloys in the detection unit to increase the magnetic field strength, and the openings in the high-permeability alloy channels are designed as dovetail structures to gather the magnetic fields, It not only forms a high-intensity collective magnetic field to improve the detection accuracy, but also uses the high magnetic permeability alloy as the capacitance pole plate of the capacitance detection to improve the detection accuracy of the capacitance detection mode.

本発明によって採用される技術手段は以下のとおりである。
本発明の一態様である高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置は、励起・収集ユニット及び絶縁導線によって前記励起・収集ユニットに接続された検出ユニットを含む高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置であって、
前記検出ユニットは、キャパシタンス検出流路、キャパシタンス検出流路の両側に対向するように配置された左電極及び右電極を備えるキャパシタンス検出ユニットと、インダクタンス検出流路、第1平面コイル、第2平面コイル、第1高透磁率合金及び第2高透磁率合金を備えるインダクタンス検出ユニットと、を含み、
第1平面コイルは第1貼合面と第1非貼合面を含み、第2平面コイルは第2貼合面と第2非貼合面を含み、第1貼合面が緊密に第2貼合面に貼り付けられ、第1非貼合面が緊密に第1高透磁率合金に貼り付けられ、第2非貼合面が緊密に第2高透磁率合金に貼り付けられ、第1高透磁率合金に第1アリ溝が開設され、第2高透磁率合金に第2アリ溝が開設され、インダクタンス検出流路が第1平面コイル、第2平面コイル、第1アリ溝及び第2アリ溝を貫通しており、
前記キャパシタンス検出ユニットの左電極と右電極が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニットの正、負極に接続され、前記インダクタンス検出ユニットの第1平面コイルと第2平面コイルの両端のリード線が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニットの正、負極に接続されて、検出励起とデータ収集の回路を形成する。
The technical means adopted by the present invention are as follows.
An inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device using a high magnetic permeability material, which is one aspect of the present invention, comprises an excitation/collection unit and a detection unit connected to the excitation/collection unit by an insulated wire. - A capacitance two-passage fluid detection device,
The detection unit includes a capacitance detection unit including a capacitance detection channel, a left electrode and a right electrode arranged to face each other on both sides of the capacitance detection channel, an inductance detection channel, a first planar coil, and a second planar coil. , an inductance detection unit comprising a first high-permeability alloy and a second high-permeability alloy,
The first planar coil includes a first bonding surface and a first non-bonding surface, the second planar coil includes a second bonding surface and a second non-bonding surface, the first bonding surface being closely spaced from the second bonding surface. affixed to the bonding surface, the first non-laminating surface is tightly adhered to the first high-permeability alloy, the second non-laminating surface is tightly adhered to the second high-permeability alloy, and the first A first dovetail groove is formed in the high-permeability alloy, a second dovetail groove is formed in the second high-permeability alloy, and the inductance detection flow path includes the first planar coil, the second planar coil, the first dovetail groove, and the second dovetail groove. It penetrates the dovetail groove,
The left and right electrodes of the capacitance detection unit are respectively connected to the positive and negative electrodes of the excitation and collection unit by insulated wires, and the lead wires at both ends of the first planar coil and the second planar coil of the inductance detection unit are insulated wires. are respectively connected to the positive and negative poles of the excitation and acquisition unit to form a detection excitation and data acquisition circuit.

さらに、前記第1アリ溝と第2アリ溝の最小スリット箇所は全てインダクタンス検出流路に接する。 Furthermore, the minimum slit portions of the first dovetail groove and the second dovetail groove are all in contact with the inductance detection channel.

さらに、前記キャパシタンス検出流路の一端が前記インダクタンス検出流路の一端に接続され、接続ポートが通路入口であり、前記キャパシタンス検出流路の他端が前記インダクタンス検出流路の他端に接続され、接続ポートが通路出口である。 one end of the capacitance detection channel is connected to one end of the inductance detection channel, the connection port is a passage inlet, the other end of the capacitance detection channel is connected to the other end of the inductance detection channel, A connection port is a passage outlet.

さらに、前記キャパシタンス検出ユニットは更に前記左電極と右電極を固定するための電極固定ブラケットを含み、前記インダクタンス検出ユニットは更に第1平面コイル、第2平面コイル、第1高透磁率合金及び第2高透磁率合金を固定するためのコイル固定ブラケットを含む。 Further, the capacitance detection unit further includes an electrode fixing bracket for fixing the left electrode and the right electrode, and the inductance detection unit further includes a first planar coil, a second planar coil, a first high permeability alloy and a second planar coil. Includes a coil fixing bracket for fixing the high permeability alloy.

さらに、前記高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置は、内部に前記検出ユニットを固定したPDMSベースを更に含む。 Further, the inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device with high magnetic permeability material further includes a PDMS base in which the detection unit is fixed.

さらに、前記キャパシタンス検出流路とインダクタンス検出流路の内径がいずれも300マイクロメートルである。 Furthermore, the inner diameters of the capacitance detection channel and the inductance detection channel are both 300 micrometers.

さらに、前記第1平面コイル、第2平面コイルはいずれもエナメル線を巻き付けてなり、単一の平面コイルは3層巻き付け、コイル直径が70マイクロメートルで、コイル内径が300マイクロメートルで、巻数が120巻である。 Further, the first planar coil and the second planar coil are both wound with enameled wire, the single planar coil is wound in three layers, the coil diameter is 70 micrometers, the coil inner diameter is 300 micrometers, and the number of turns is 120 volumes.

さらに、前記左電極と右電極の材料はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ粒子を含む。 Further, the materials of the left electrode and the right electrode include permalloy, silicon steel plate and magnetic nanoparticles.

さらに、前記第1高透磁率合金と第2高透磁率合金はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ材料を含む。 Further, the first high-permeability alloy and the second high-permeability alloy include permalloy, silicon steel plate, and magnetic nanomaterials.

さらに、前記励起・収集ユニットはインピーダンス分析器であり、2V、2MHzの高周波交流電流で前記キャパシタンス検出ユニットとインダクタンス検出ユニットを励起する。 Furthermore, the excitation and collection unit is an impedance analyzer, which excites the capacitance detection unit and the inductance detection unit with a high frequency alternating current of 2V, 2MHz.

従来技術に比べると、本発明は下記のメリットを有する。
本発明に係る高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置は、マイクロ流体通路の両側に対向して配置されているコイルの外にそれぞれパーマロイシートを設けて、検出領域磁場を集合させることで、2つの平面コイル間で検出される磁場強度を増大し、インダクタンス検出モードの検出精度を増加し、より小さい金属粒子汚染物を検出でき、また、高導電性材料をキャパシタンス極板とすることによって、キャパシタンス検出能力を大幅に増加し、水滴、気泡の信号ノイズ比を増加して、油液中の水滴、気泡の検出精度を向上する。
Compared with the prior art, the present invention has the following advantages.
In the inductance-capacitance two-passage liquid detection device using high magnetic permeability material according to the present invention, permalloy sheets are provided outside the coils facing each other on both sides of the microfluidic passage to gather the magnetic field in the detection area. This increases the magnetic field strength detected between the two planar coils, increases the detection accuracy of the inductance detection mode, can detect smaller metal particle contaminants, and uses highly conductive materials as capacitance plates. As a result, the capacitance detection capability is greatly increased, the signal-to-noise ratio of water droplets and air bubbles is increased, and the detection accuracy of water droplets and air bubbles in the oil is improved.

上記理由から、本発明は油液システムの故障検出等の分野に広く普及可能である。 For the above reasons, the present invention can be widely used in fields such as failure detection of hydraulic systems.

本発明の実施例又は従来技術における技術的手段をより明確に説明するために、以下、実施例又は従来技術の記述に使用する必要がある図面を簡単に紹介し、下記の図面が本発明の一部の実施例であり、当業者であれば、創造的労動を行わずにこれらの図面に基づいて他の図面を得るのができることはいうまでもない。 In order to describe the embodiments of the present invention or the technical means in the prior art more clearly, the following briefly introduces the drawings that need to be used in the description of the embodiments or the prior art. These are just some examples, and it should be understood that those skilled in the art can derive other drawings based on these drawings without creative effort.

本発明の検出装置の構成図である。It is a block diagram of the detection apparatus of this invention. 本発明のキャパシタンス検出ユニットの構成図である。1 is a configuration diagram of a capacitance detection unit of the present invention; FIG. 本発明のインダクタンス検出ユニットの構成図である。1 is a configuration diagram of an inductance detection unit of the present invention; FIG.

矛盾しない限り、本発明における実施例及び実施例における特徴を互いに組み合わせてもよいことに留意されたい。以下、図面を参照して実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。 It should be noted that embodiments of the present invention and features in embodiments may be combined with each other unless inconsistent. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments with reference to the drawings.

本発明の実施例の目的、技術手段及びメリットをより明らかにするために、以下、本発明の実施例における図面を参照しながら、本発明の実施例における技術手段を明らか且つ完全に説明し、説明される実施例が全ての実施例ではなく、本発明の一部の実施例に過ぎないことはいうまでもない。以下の少なくとも1つの例示的実施例に対する説明は実際に説明するためのものに過ぎず、決して本発明及びその応用や使用に何の制限も加えない。当業者が本発明における実施例に基づいて創造的労動を行うことなく得た他の実施例は、全て本発明が保護する範囲に含まれるものとする。 In order to make the objects, technical means and advantages of the embodiments of the present invention clearer, the following clearly and completely describes the technical means of the embodiments of the present invention with reference to the drawings in the embodiments of the present invention, It goes without saying that the described embodiments are only some embodiments of the present invention rather than all embodiments. The following description of at least one exemplary embodiment is for the purpose of illustration only and in no way constitutes any limitation of the invention and its application or use. Other embodiments obtained by persons skilled in the art without creative efforts based on the embodiments in the present invention shall all fall within the scope of protection of the present invention.

本明細書で使用される技術用語は具体的な実施形態を記述するためのものに過ぎず、本発明による例示的実施形態を限定する意図がないことに注意されたい。例えば、文脈に別に明記しない限り、本明細書で使用される単数形態に複数形態をも含む意図があり、なお、本明細書で技術用語の「含有する」及び/又は「含む」を使用する時に、特徴、工程、操作、デバイス、アセンブリ及び/又はそれらの組合せが存在するのを示すことも理解されたい。 Note that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit example embodiments according to the present invention. For example, unless the context clearly dictates otherwise, the singular forms used herein are intended to include the plural forms and the terms "including" and/or "including" are used herein. It should also be understood that at times features, steps, operations, devices, assemblies and/or combinations thereof are indicated.

別に具体的に説明しない限り、これらの実施例に記載の部材と工程の相対的配置、数式及び数値は本発明の範囲を限定するものではない。また、説明の便宜上、図面に示す各部分のサイズは実際の比例関係に基づいて描かれたものではないことを理解すべきである。当業者に既知の技術、方法及びデバイスについての詳細な検討を省略する場合があるが、適切な場合に、前記技術、方法及びデバイスを授権明細書の一部と見なすべきである。本明細書に示して検討する全ての例において、全ての具体的値は限定するものではなく、例示的なものと解釈すべきである。従って、例示的実施例の他の例は異なる値を有してもよい。類似する符号と文字は下記の図面において類似項目を示すため、ある項目が1つの図面で定義されると、その以降の図面でそれについて更に検討する必要がないことに注意されたい。 Unless specifically stated otherwise, the relative arrangements of elements and steps, formulas and values described in these examples are not intended to limit the scope of the invention. Also, for convenience of explanation, it should be understood that the sizes of the parts shown in the drawings are not based on actual proportionality. A detailed discussion of techniques, methods and devices known to those skilled in the art may be omitted, but where appropriate, such techniques, methods and devices should be considered part of the authorized specification. In all examples shown and discussed herein, all specific values should be interpreted as illustrative rather than limiting. Accordingly, other instances of the illustrative embodiment may have different values. Note that similar symbols and letters indicate similar items in the following drawings, so that once an item is defined in one drawing, it need not be further discussed in subsequent drawings.

本発明の記述では、「前、後、上、下、左、右」、「横方向、縱方向、垂直、水平」及び「頂、底」等の方位詞で示す方位又は位置関係は一般に図面に基づいて示す方位又は位置関係であり、その目的はただ本発明を容易に記述し記述を簡単化することにあり、反対に説明しない限り、これらの方位詞は示される装置又は素子が必ず特定の方位を有し又は特定の方位で構成され操作されることを明示、暗示しないため、本発明の保護範囲を限定するものと理解してはならなく、方位詞の「内、外」は各部材自身の輪郭に対する内外を指すことを理解されたい。 In the description of the present invention, directions or positional relationships indicated by azimuth terms such as "front, rear, top, bottom, left, right", "horizontal, longitudinal, vertical, horizontal" and "top, bottom" generally refer to the drawings. , whose sole purpose is to facilitate description and simplify the description of the invention, and unless stated to the contrary, these azimuths do not necessarily identify the device or element shown. It should not be construed as limiting the scope of protection of the present invention, as it does not expressly or imply that it has the orientation of or is configured and operated in a particular orientation, and the azimuths "inside, out" refer to each It should be understood to refer to inside and outside of the contour of the member itself.

説明の便宜上、本明細書では、例えば図に示すデバイス又は特徴と他のデバイス又は特徴との空間位置関係を記述するために、例えば、「…の上」、「…の上方」、「…の上面」、「上の」等の空間相対技術用語を用いてよい。空間相対技術用語は、図に記載の方位以外、デバイスの使用又は操作での異なる方位をも含むのを意図することを理解すべきである。例えば、図面におけるデバイスを反対に配置した場合に、「他のデバイス又は構造の上方」又は「他のデバイス又は構造の上」と記述したデバイスはその後で「他のデバイス又は構造の下方」又は「他のデバイス又は構造の下」と位置決めされる。従って、例示的技術用語の「…の上方」は「…の上方」及び「…の下方」といった2種の方位を含むことが可能である。このデバイスを他の異なる方式で位置決めすることもでき(90度回転させ又は他の方位に位置させる)、そしてここで使用する空間相対記載を対応的に解釈する。 For convenience of explanation, the terms “above”, “above”, “of” are used herein, for example, to describe the spatial relationship between the devices or features shown in the figures and other devices or features. Spatial relative technical terms such as "top", "above" may be used. It should be understood that spatially relative technical terms are intended to include different orientations of use or operation of the device other than the orientation shown in the figures. For example, if the devices in the figures were reversed, a device described as "above another device or structure" or "above another device or structure" would then be referred to as "below another device or structure" or " "under other devices or structures". Thus, the exemplary terminology "above" can include two orientations, "above" and "below". The device can also be positioned in other different ways (rotated 90 degrees or positioned in other orientations) and the spatially relative descriptions used here interpreted accordingly.

なお、「第1」、「第2」等の用語を用いて部品を限定する目的は、ただ対応する部品を区別しやすくすることにあり、特に断らない限り、上記用語は特別な意味がないため、本発明の保護範囲を限定するものと理解してはならないことを説明すべきである。 It should be noted that the purpose of using terms such as "first" and "second" to define parts is to make it easier to distinguish corresponding parts, and unless otherwise specified, the above terms have no special meaning. Therefore, it should be explained that it should not be understood as limiting the scope of protection of the present invention.

図1に示すように、本発明に係るインダクタンス・キャパシタンス油液汚染物同期検出装置は、励起・収集ユニット1及び絶縁導線によって励起・収集ユニット1に接続された検出ユニットを含み、検出ユニットはキャパシタンス検出ユニットとインダクタンス検出ユニットを含む。 As shown in FIG. 1, the inductance-capacitance oil contaminant synchronous detection device according to the present invention includes an excitation-collection unit 1 and a detection unit connected to the excitation-collection unit 1 by an insulated wire, the detection unit being a capacitance Including detection unit and inductance detection unit.

図2に示すように、キャパシタンス検出ユニットは、キャパシタンス検出流路2と、キャパシタンス検出流路2の両側に対向するように配置された左電極3及び右電極4とを含み、具体的に実施する時に、本発明の好ましい実施形態として、左電極3と右電極4の材料はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ粒子を含む。 As shown in FIG. 2, the capacitance detection unit includes a capacitance detection channel 2, and a left electrode 3 and a right electrode 4 arranged to face each other on both sides of the capacitance detection channel 2, and specifically implements Sometimes, as a preferred embodiment of the present invention, the materials of left electrode 3 and right electrode 4 include permalloy, silicon steel plate and magnetic nanoparticles.

図3に示すように、インダクタンス検出ユニットはインダクタンス検出流路5、第1平面コイル6、第2平面コイル7、第1高透磁率合金8及び第2高透磁率合金9を含み、第1平面コイル6は第1貼合面と第1非貼合面を含み、第2平面コイル7は第2貼合面と第2非貼合面を含み、第1貼合面が緊密に第2貼合面に貼り付けられ、第1非貼合面が緊密に第1高透磁率合金8に貼り付けられ、第2非貼合面が緊密に第2高透磁率合金9に貼り付けられ、第1高透磁率合金8に第1アリ溝が開設され、第2高透磁率合金9に第2アリ溝が開設され、インダクタンス検出流路5が第1平面コイル6、第2平面コイル7、第1アリ溝及び第2アリ溝を貫通し、第1アリ溝と第2アリ溝の最小スリット箇所は全てインダクタンス検出流路5に接する。具体的に実施する時、本発明の好ましい実施形態として、第1高透磁率合金8と第2高透磁率合金9はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ材料を含む。高透磁率材料を緊密にコイルに貼り付けて配置することで、2つの平面コイル間の磁場を増強可能であり、アリ溝構造によって磁場を集中させることが可能であり、最小スリット箇所で磁束密度が最も大きく、この領域を検出領域とすれば、インダクタンス信号ノイズ比を増加して、インダクタンス型油液検出装置の精度を向上することができる。 As shown in FIG. 3, the inductance detection unit includes an inductance detection channel 5, a first planar coil 6, a second planar coil 7, a first high permeability alloy 8 and a second high permeability alloy 9, the first plane The coil 6 includes a first bonding surface and a first non-bonding surface, and the second planar coil 7 includes a second bonding surface and a second non-bonding surface, the first bonding surface being tightly bound to the second bonding surface. The first non-bonding surface is tightly bonded to the first high permeability alloy 8, the second non-bonding surface is tightly bonded to the second high permeability alloy 9, and the second A first dovetail groove is formed in the first high-permeability alloy 8, a second dovetail groove is formed in the second high-permeability alloy 9, and the inductance detection flow path 5 is formed by the first planar coil 6, the second planar coil 7, and the second planar coil 7. It passes through the first dovetail groove and the second dovetail groove, and all of the minimum slit portions of the first and second dovetail grooves are in contact with the inductance detection channel 5 . Specifically, in the preferred embodiment of the present invention, the first high-permeability alloy 8 and the second high-permeability alloy 9 include permalloy, silicon steel plate, and magnetic nanomaterials. The magnetic field between the two planar coils can be enhanced by placing a high-permeability material closely attached to the coil, and the dovetail structure can concentrate the magnetic field, and the magnetic flux density is reduced at the point of the smallest slit. is the largest, and if this region is used as the detection region, the inductance signal-to-noise ratio can be increased, and the accuracy of the inductance type oil detection device can be improved.

具体的に実施する時に、本発明の好ましい実施形態として、第1平面コイル6、第2平面コイル7はいずれもエナメル線を巻き付けてなり、単一の平面コイルは3層巻き付け、コイル直径が70マイクロメートルで、コイル内径が300マイクロメートルで、巻数が120巻である。2つの平面コイルの間の300マイクロメートルの間隔は1つのマイクロ流体通路の距離となる。 In the specific implementation, as a preferred embodiment of the present invention, both the first planar coil 6 and the second planar coil 7 are wound with enameled wire, the single planar coil is wound with three layers, and the coil diameter is 70. In micrometers, the coil inner diameter is 300 micrometers and the number of turns is 120 turns. A spacing of 300 micrometers between two planar coils is the distance of one microfluidic passage.

図1を参照し続け、キャパシタンス検出流路2の一端が前記インダクタンス検出流路5の一端に接続され、接続ポートが通路入口10であり、キャパシタンス検出流路2の他端がインダクタンス検出流路5の他端に接続され、接続ポートが通路出口11である。 Continuing to refer to FIG. 1 , one end of the capacitance detection channel 2 is connected to one end of the inductance detection channel 5 , the connection port is the passage inlet 10 , and the other end of the capacitance detection channel 2 is the inductance detection channel 5 . , and the connection port is the passage outlet 11 .

図1を参照し続け、具体的に実施する時に、本発明の好ましい実施形態として、キャパシタンス検出ユニットは更に左電極3と右電極4とを固定するための電極固定ブラケット12を含み、インダクタンス検出ユニットは更に第1平面コイル6、第2平面コイル7、第1高透磁率合金8及び第2高透磁率合金9を固定するためのコイル固定ブラケット13を含む。 Continuing to refer to FIG. 1, in the specific implementation, as a preferred embodiment of the present invention, the capacitance detection unit further includes an electrode fixing bracket 12 for fixing the left electrode 3 and the right electrode 4, and an inductance detection unit. further includes a coil fixing bracket 13 for fixing the first planar coil 6 , the second planar coil 7 , the first high permeability alloy 8 and the second high permeability alloy 9 .

図1を参照し続け、具体的に実施する時に、本発明の好ましい実施形態として、高透磁率材料による二通路油液検出装置は更に内部に検出ユニットを固定したPDMSベース14を含む。 Continuing to refer to FIG. 1, in a specific implementation, as a preferred embodiment of the present invention, the two-passage oil-liquid detection device with high magnetic permeability material further includes a PDMS base 14 with a detection unit fixed therein.

図1を参照し続け、キャパシタンス検出ユニットの左電極3と右電極4が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニット1の正、負極に接続され、前記インダクタンス検出ユニットの第1平面コイル6と第2平面コイル7の両端のリード線が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニット1の正、負極に接続されて、検出励起とデータ収集の回路を形成する。 Continuing to refer to FIG. 1, the left electrode 3 and the right electrode 4 of the capacitance detection unit are respectively connected to the positive and negative poles of the excitation and collection unit 1 by insulated wires, and the first planar coil 6 and the second planar coil 6 of the inductance detection unit. The lead wires at both ends of the planar coil 7 are respectively connected to the positive and negative poles of the excitation and acquisition unit 1 by insulated wires to form a circuit for detection excitation and data acquisition.

具体的に実施する時に、本発明の好ましい実施形態として、励起・収集ユニット1はインピーダンス分析器であり、2V、2MHzの高周波交流電流で前記キャパシタンス検出ユニットとインダクタンス検出ユニットを励起する。電流が直列接続回路を流れる時に、2つの平面コイルはエッジ効果によってインダクタンス検出通路内で磁場を形成することになり、この磁場領域を利用すれば油液汚染物を検出できる。検出原理は以下のとおりである。 When specifically implemented, as a preferred embodiment of the present invention, the excitation/collection unit 1 is an impedance analyzer, which excites the capacitance detection unit and the inductance detection unit with a high-frequency alternating current of 2V, 2MHz. When a current flows through the series circuit, the two planar coils will form a magnetic field in the inductance detection path due to the edge effect, and this magnetic field region can be used to detect oil contaminants. The detection principle is as follows.

油液が通路入口10から検出装置に入る時に、油液中の水滴、気泡粒子がキャパシタンス検出通路2を経由してキャパシタンス検出ユニットを通過する時に、2つの極板間の誘電率が純粋な油液に比べて変わり、気泡の誘電率が油圧油より小さく、水の誘電率が油圧油より大きいため、気泡と水滴によって極板間で異なる方向のキャパシタンスの変化が発生し、それによって油圧油内の気泡と水滴とを区別して検出することが可能になる。 When the oil enters the detection device through the passage inlet 10, water droplets, bubble particles in the oil pass through the capacitance detection unit through the capacitance detection passage 2, the dielectric constant between the two plates is pure oil. Compared to liquid, the dielectric constant of air bubbles is smaller than that of hydraulic oil, and the dielectric constant of water is higher than that of hydraulic oil. bubbles and water droplets can be distinguished and detected.

油液が通路入口10から検出装置に入る時に、油液中の強磁性粒子と非強磁性粒子がインダクタンス検出通路5を経由してインダクタンス検出ユニットを通過する時に、2種の粒子の受ける磁化作用と渦電流効果が異なるため、強磁性粒子と非強磁性粒子の方向のインダクタンスが変わり、それによって油圧油内の強磁性粒子と非強磁性粒子とを区別して検出することが可能になる。 When the oil enters the detection device through the passage inlet 10, the ferromagnetic particles and the non-ferromagnetic particles in the oil pass through the inductance detection passage 5 and pass through the inductance detection unit, the magnetization effect of the two particles. Due to the different eddy current effects, the directional inductance of ferromagnetic and non-ferromagnetic particles changes, which makes it possible to distinguish between ferromagnetic and non-ferromagnetic particles in hydraulic oil.

最後に以下のことを説明すべきである。以上の各実施例は本発明の技術的手段を説明するためのものに過ぎず、それを限定するものではなく、上述した各実施例を参照して本発明を詳細に説明したが、上述した各実施例に記載の技術的手段を修正するか、その技術的特徴の一部又は全部に同等な取り替えを実施することも可能であり、これらの修正や取り替えによって、対応する技術的手段の本質が本発明の各実施例の技術的手段の範囲から逸脱しないことは当業者に自明である。 Finally, the following should be explained. The above embodiments are merely for explaining the technical means of the present invention, and are not intended to limit it. It is also possible to modify the technical means described in each embodiment, or to implement equivalent replacement for part or all of its technical features, and these modifications and replacements will change the essence of the corresponding technical means does not depart from the scope of technical means of each embodiment of the present invention.

(付記)
(付記1)
励起・収集ユニット(1)及び絶縁導線によって前記励起・収集ユニット(1)に接続された検出ユニットを含む高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置であって、
前記検出ユニットは、
キャパシタンス検出流路(2)、キャパシタンス検出流路(2)の両側に対向するように配置された左電極(3)及び右電極(4)を備えるキャパシタンス検出ユニットと、
インダクタンス検出流路(5)、第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1高透磁率合金(8)及び第2高透磁率合金(9)を備えるインダクタンス検出ユニットと、を含み、
第1平面コイル(6)は第1貼合面と第1非貼合面を含み、第2平面コイル(7)は第2貼合面と第2非貼合面を含み、第1貼合面が緊密に第2貼合面に貼り付けられ、第1非貼合面が緊密に第1高透磁率合金(8)に貼り付けられ、第2非貼合面が緊密に第2高透磁率合金(9)に貼り付けられ、第1高透磁率合金(8)に第1アリ溝が開設され、第2高透磁率合金(9)に第2アリ溝が開設され、インダクタンス検出流路(5)が第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1アリ溝及び第2アリ溝を貫通しており、
前記キャパシタンス検出ユニットの左電極(3)と右電極(4)が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニットの正、負極に接続され、前記インダクタンス検出ユニットの第1平面コイル(6)と第2平面コイル(7)の両端のリード線が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニット(1)の正、負極に接続されて、検出励起とデータ収集の回路を形成する、ことを特徴とする高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix)
(Appendix 1)
An inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device with high magnetic permeability material comprising an excitation-collection unit (1) and a detection unit connected to said excitation-collection unit (1) by an insulated conductor,
The detection unit is
a capacitance detection unit comprising a capacitance detection channel (2), a left electrode (3) and a right electrode (4) arranged to face each other on both sides of the capacitance detection channel (2);
an inductance detection unit comprising an inductance detection channel (5), a first planar coil (6), a second planar coil (7), a first high permeability alloy (8) and a second high permeability alloy (9); including
The first planar coil (6) includes a first bonding surface and a first non-bonding surface, the second planar coil (7) includes a second bonding surface and a second non-bonding surface, and includes a first bonding surface. The first non-laminated surface is closely adhered to the first high permeability alloy (8) and the second non-laminated surface is tightly adhered to the second high permeability alloy (8). Affixed to a magnetic permeability alloy (9), a first high permeability alloy (8) is provided with a first dovetail groove, a second high permeability alloy (9) is provided with a second dovetail groove, and an inductance detection channel. (5) penetrates the first planar coil (6), the second planar coil (7), the first dovetail groove and the second dovetail groove,
The left electrode (3) and right electrode (4) of the capacitance detection unit are respectively connected to the positive and negative electrodes of the excitation and collection unit by insulated wires, and the first planar coil (6) and the second planar coil of the inductance detection unit. High magnetic permeability, characterized in that the lead wires at both ends of the coil (7) are respectively connected to the positive and negative poles of the excitation and collection unit (1) by insulated wires, forming a detection excitation and data collection circuit. Material based inductance/capacitance two-pass fluid detection device.

(付記2)
前記第1アリ溝と第2アリ溝の最小スリット箇所は全てインダクタンス検出流路(5)に接する、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 2)
The inductance/capacitance two-passage oil-liquid detection device using a high magnetic permeability material according to appendix 1, characterized in that the minimum slit portions of the first dovetail groove and the second dovetail groove are all in contact with the inductance detection flow path (5). .

(付記3)
前記キャパシタンス検出流路(2)の一端が前記インダクタンス検出流路(5)の一端に接続され、接続ポートが通路入口(10)であり、前記キャパシタンス検出流路(2)の他端が前記インダクタンス検出流路(5)の他端に接続され、接続ポートが通路出口(11)である、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 3)
One end of the capacitance detection channel (2) is connected to one end of the inductance detection channel (5), the connection port is the passage inlet (10), and the other end of the capacitance detection channel (2) is the inductance The inductance-capacitance two-passage liquid detection device by high magnetic permeability material according to appendix 1, characterized in that it is connected to the other end of the detection passage (5) and the connection port is the passage outlet (11).

(付記4)
前記キャパシタンス検出ユニットは更に前記左電極(3)と右電極(4)を固定するための電極固定ブラケット(12)を含み、前記インダクタンス検出ユニットは更に第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1高透磁率合金(8)及び第2高透磁率合金(9)を固定するためのコイル固定ブラケット(13)を含む、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 4)
Said capacitance detection unit further comprises an electrode fixing bracket (12) for fixing said left electrode (3) and right electrode (4), said inductance detection unit further comprises a first planar coil (6), a second planar coil (7), a coil fixing bracket (13) for fixing the first high permeability alloy (8) and the second high permeability alloy (9). Material based inductance/capacitance two-pass fluid detection device.

(付記5)
更に内部に前記検出ユニットを固定したPDMSベース(14)を含む、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 5)
The inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device by high magnetic permeability material according to claim 1, further comprising a PDMS base (14) in which said detection unit is fixed.

(付記6)
前記キャパシタンス検出流路(2)とインダクタンス検出流路(5)の内径がいずれも300マイクロメートルである、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 6)
Inductance/capacitance two-path oil liquid detection using a high magnetic permeability material according to appendix 1, characterized in that the inner diameters of the capacitance detection channel (2) and the inductance detection channel (5) are both 300 micrometers. Device.

(付記7)
前記第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)はいずれもエナメル線を巻き付けてなり、単一の平面コイルは3層巻き付け、コイル直径が70マイクロメートルで、コイル内径が300マイクロメートルで、巻数が120巻である、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 7)
The first planar coil (6) and the second planar coil (7) are both wound with enameled wire, each single planar coil is wound in three layers, the coil diameter is 70 micrometers, and the coil inner diameter is 300 micrometers. , and the number of turns is 120.

(付記8)
前記左電極(3)と右電極(4)の材料はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ粒子を含む、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 8)
The inductance-capacitance two-pass oil detection device with high magnetic permeability material according to appendix 1, characterized in that the materials of the left electrode (3) and the right electrode (4) include permalloy, silicon steel plate, and magnetic nanoparticles. .

(付記9)
前記第1高透磁率合金(8)と第2高透磁率合金(9)はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ材料を含む、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 9)
Inductance capacitance by high magnetic permeability material according to Supplementary Note 1, characterized in that the first high magnetic permeability alloy (8) and the second high magnetic permeability alloy (9) include permalloy, silicon steel plate, magnetic nanomaterial. Two-pass oil liquid detection device.

(付記10)
前記励起・収集ユニット(1)はインピーダンス分析器であり、2V、2MHzの高周波交流電流で前記キャパシタンス検出ユニットとインダクタンス検出ユニットを励起する、ことを特徴とする付記1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
(Appendix 10)
By high magnetic permeability material according to Supplementary note 1, characterized in that the excitation and collection unit (1) is an impedance analyzer, and the high frequency alternating current of 2V, 2MHz excites the capacitance detection unit and the inductance detection unit. Inductance/capacitance two-pass oil detection device.

1 励起・収集ユニット
2 キャパシタンス検出流路
3 左電極
4 右電極
5 インダクタンス検出流路
6 第1平面コイル
7 第2平面コイル
8 第1高透磁率合金
9 第2高透磁率合金
10 通路入口
11 通路出口
12 電極固定ブラケット
13 コイル固定ブラケット
14 PDMSベース
REFERENCE SIGNS LIST 1 excitation/collection unit 2 capacitance detection channel 3 left electrode 4 right electrode 5 inductance detection channel 6 first planar coil 7 second planar coil 8 first high permeability alloy 9 second high permeability alloy 10 passage inlet 11 passage outlet 12 electrode fixation bracket 13 coil fixation bracket 14 PDMS base

Claims (10)

励起・収集ユニット(1)及び絶縁導線によって前記励起・収集ユニット(1)に接続された検出ユニットを含む高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置であって、
前記検出ユニットは、
キャパシタンス検出流路(2)、キャパシタンス検出流路(2)の両側に対向するように配置された左電極(3)及び右電極(4)を備えるキャパシタンス検出ユニットと、
インダクタンス検出流路(5)、第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1高透磁率合金(8)及び第2高透磁率合金(9)を備えるインダクタンス検出ユニットと、を含み、
第1平面コイル(6)は第1貼合面と第1非貼合面を含み、第2平面コイル(7)は第2貼合面と第2非貼合面を含み、第1貼合面が緊密に第2貼合面に貼り付けられ、第1非貼合面が緊密に第1高透磁率合金(8)に貼り付けられ、第2非貼合面が緊密に第2高透磁率合金(9)に貼り付けられ、第1高透磁率合金(8)に第1アリ溝が開設され、第2高透磁率合金(9)に第2アリ溝が開設され、インダクタンス検出流路(5)が第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1アリ溝及び第2アリ溝を貫通しており、
前記キャパシタンス検出ユニットの左電極(3)と右電極(4)が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニットの正、負極に接続され、前記インダクタンス検出ユニットの第1平面コイル(6)と第2平面コイル(7)の両端のリード線が絶縁導線によってそれぞれ前記励起・収集ユニット(1)の正、負極に接続されて、検出励起とデータ収集の回路を形成する、ことを特徴とする高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。
An inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device with high magnetic permeability material comprising an excitation-collection unit (1) and a detection unit connected to said excitation-collection unit (1) by an insulated conductor,
The detection unit is
a capacitance detection unit comprising a capacitance detection channel (2), a left electrode (3) and a right electrode (4) arranged to face each other on both sides of the capacitance detection channel (2);
an inductance detection unit comprising an inductance detection channel (5), a first planar coil (6), a second planar coil (7), a first high permeability alloy (8) and a second high permeability alloy (9); including
The first planar coil (6) includes a first bonding surface and a first non-bonding surface, the second planar coil (7) includes a second bonding surface and a second non-bonding surface, and includes a first bonding surface. The first non-laminated surface is closely adhered to the first high permeability alloy (8) and the second non-laminated surface is tightly adhered to the second high permeability alloy (8). Affixed to a magnetic permeability alloy (9), a first high permeability alloy (8) is provided with a first dovetail groove, a second high permeability alloy (9) is provided with a second dovetail groove, and an inductance detection channel. (5) penetrates the first planar coil (6), the second planar coil (7), the first dovetail groove and the second dovetail groove,
The left electrode (3) and right electrode (4) of the capacitance detection unit are respectively connected to the positive and negative electrodes of the excitation and collection unit by insulated wires, and the first planar coil (6) and the second planar coil of the inductance detection unit. High magnetic permeability, characterized in that the lead wires at both ends of the coil (7) are respectively connected to the positive and negative poles of the excitation and collection unit (1) by insulated wires, forming a detection excitation and data collection circuit. Material based inductance/capacitance two-pass fluid detection device.
前記第1アリ溝と第2アリ溝の最小スリット箇所は全てインダクタンス検出流路(5)に接する、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 2. The inductance/capacitance two-path oil-liquid detection by high magnetic permeability material according to claim 1, characterized in that the minimum slit portions of the first dovetail groove and the second dovetail groove are all in contact with the inductance detection channel (5). Device. 前記キャパシタンス検出流路(2)の一端が前記インダクタンス検出流路(5)の一端に接続され、接続ポートが通路入口(10)であり、前記キャパシタンス検出流路(2)の他端が前記インダクタンス検出流路(5)の他端に接続され、接続ポートが通路出口(11)である、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 One end of the capacitance detection channel (2) is connected to one end of the inductance detection channel (5), the connection port is the passage inlet (10), and the other end of the capacitance detection channel (2) is the inductance The inductance-capacitance two-passage liquid detection device with high magnetic permeability material according to claim 1, characterized in that it is connected to the other end of the detection passage (5), and the connection port is the passage outlet (11). 前記キャパシタンス検出ユニットは更に前記左電極(3)と右電極(4)を固定するための電極固定ブラケット(12)を含み、前記インダクタンス検出ユニットは更に第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)、第1高透磁率合金(8)及び第2高透磁率合金(9)を固定するためのコイル固定ブラケット(13)を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 Said capacitance detection unit further comprises an electrode fixing bracket (12) for fixing said left electrode (3) and right electrode (4), said inductance detection unit further comprises a first planar coil (6), a second planar coil (7), a coil fixing bracket (13) for fixing the first high permeability alloy (8) and the second high permeability alloy (9). Inductance/capacitance two-pass fluid detection device using magnetic material. 更に内部に前記検出ユニットを固定したPDMSベース(14)を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 The inductance-capacitance two-pass oil liquid detection device by high magnetic permeability material according to claim 1, further comprising a PDMS base (14) in which said detection unit is fixed. 前記キャパシタンス検出流路(2)とインダクタンス検出流路(5)の内径がいずれも300マイクロメートルである、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 The inductance-capacitance two-passage fluid with high magnetic permeability material according to claim 1, characterized in that the inner diameters of the capacitance detection passage (2) and the inductance detection passage (5) are both 300 micrometers. detection device. 前記第1平面コイル(6)、第2平面コイル(7)はいずれもエナメル線を巻き付けてなり、単一の平面コイルは3層巻き付け、コイル直径が70マイクロメートルで、コイル内径が300マイクロメートルで、巻数が120巻である、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 The first planar coil (6) and the second planar coil (7) are both wound with enameled wire, each single planar coil is wound in three layers, the coil diameter is 70 micrometers, and the coil inner diameter is 300 micrometers. and the number of turns is 120. 前記左電極(3)と右電極(4)の材料はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ粒子を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 The inductance-capacitance two-pass liquid detection by high magnetic permeability material as claimed in claim 1, characterized in that the materials of the left electrode (3) and the right electrode (4) include permalloy, silicon steel plate and magnetic nanoparticles. Device. 前記第1高透磁率合金(8)と第2高透磁率合金(9)はパーマロイ、ケイ素鋼板、磁性ナノ材料を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 The inductance and inductance by high magnetic permeability material according to claim 1, characterized in that the first high magnetic permeability alloy (8) and the second high magnetic permeability alloy (9) include permalloy, silicon steel plate, magnetic nanomaterials. Capacitance two-pass oil liquid detection device. 前記励起・収集ユニット(1)はインピーダンス分析器であり、2V、2MHzの高周波交流電流で前記キャパシタンス検出ユニットとインダクタンス検出ユニットを励起する、ことを特徴とする請求項1に記載の高透磁率材料によるインダクタンス・キャパシタンス二通路油液検出装置。 High magnetic permeability material according to claim 1, characterized in that said excitation and collection unit (1) is an impedance analyzer, and excites said capacitance detection unit and inductance detection unit with a high frequency alternating current of 2V, 2MHz. Inductance-capacitance two-pass fluid detection device.
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