JP2022120305A - Capacitor microphone - Google Patents

Capacitor microphone Download PDF

Info

Publication number
JP2022120305A
JP2022120305A JP2021017117A JP2021017117A JP2022120305A JP 2022120305 A JP2022120305 A JP 2022120305A JP 2021017117 A JP2021017117 A JP 2021017117A JP 2021017117 A JP2021017117 A JP 2021017117A JP 2022120305 A JP2022120305 A JP 2022120305A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating member
air chamber
housing
back air
reflector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021017117A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
和宏 市川
Kazuhiro Ichikawa
誠 長沢
Makoto Nagasawa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ono Sokki Co Ltd
Original Assignee
Ono Sokki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ono Sokki Co Ltd filed Critical Ono Sokki Co Ltd
Priority to JP2021017117A priority Critical patent/JP2022120305A/en
Publication of JP2022120305A publication Critical patent/JP2022120305A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Obtaining Desirable Characteristics In Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

To provide a back electret-type capacitor microphone that can still suppress static pressure characteristics from deteriorating even when reducing stiffness of a vibration film.SOLUTION: A capacitor microphone 10 comprises: a cylindrical enclosure 11; a vibration film 12 that blocks an opening part 15 at a cylindrical end of the enclosure 11; a back electrode 13 which has an electrode main body 21 having an electret film 24 arranged to oppose to the vibration film 12 in the enclosure 11 and a rod part 22 extending from the electrode main body 21 toward an opposite side of the vibration film 12; and a first insulation member 14, fixed to the enclosure 11, which lies between an inner peripheral surface of the enclosure 11 and an outer peripheral surface of the rod part 22 and supports the back electrode 13. When a space between the vibration film 12 and the first insulation member 14 is set as a back air chamber 35 and a frequency range of sound waves that can be measured is set as a frequency through design, a length H of the back air chamber which is an interval between the vibration film 12 and the first insulation member 14 is larger than a half-wave length of a sound wave corresponding to an upper-limit frequency that is an upper limit of the frequency through design.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンに関する。 The present invention relates to a back electret condenser microphone.

防音対策や騒音計測などにおいて、音の大きさ(音圧)を正確に計測するために使用される検出器として計測用マイクロホンが知られている。こうした計測用マイクロホンとしては、例えば特許文献1のように、バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンがある。 2. Description of the Related Art Measurement microphones are known as detectors that are used to accurately measure the volume of sound (sound pressure) in soundproofing measures, noise measurement, and the like. As such a measurement microphone, for example, there is a back electret condenser microphone as disclosed in Patent Document 1.

バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンは、筒状の筐体と、筐体の筒端開口部を塞ぐ振動膜と、筐体内に配置される背極と、を有する。背極は、振動膜に対向配置されるエレクトレット膜を有する電極本体と電極本体の中央部分から振動膜の反対側に向かって延びるロッド部とを有する。背極は、電極本体に対する振動膜の反対側において筐体に固定されて筐体の内周面とロッド部の外周面との間に介在する絶縁部材に支持される。コンデンサマイクロホンは、外部からの音圧によって振動膜が振動すると、振動膜とエレクトレット膜との間隔が変化し、それに応じて静電容量が変化する。そして、その静電容量の変化を検出することで音圧が計測される。 A back electret condenser microphone has a tubular housing, a vibrating membrane that closes a tubular end opening of the housing, and a back electrode arranged in the housing. The back electrode has an electrode body having an electret film arranged to face the vibrating membrane, and a rod portion extending from the central portion of the electrode body toward the opposite side of the vibrating membrane. The back electrode is fixed to the housing on the side opposite to the vibrating membrane with respect to the electrode main body, and is supported by an insulating member interposed between the inner peripheral surface of the housing and the outer peripheral surface of the rod portion. In a condenser microphone, when the vibrating membrane vibrates due to external sound pressure, the distance between the vibrating membrane and the electret membrane changes, and the capacitance changes accordingly. Then, the sound pressure is measured by detecting the change in the capacitance.

特開2015-192167号公報JP 2015-192167 A

上述したバックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンの高感度化は、エレクトレット電位を上げるとともに振動膜の張力を小さくして振動膜のスティフネス(=振動膜の張力/振動膜の径)を小さくすることにより実現可能である。しかしながら、振動膜のスティフネスを小さくすると、振動膜と絶縁部材との間の空間(背気室)のスティフネス(=背気室の体積/背気室における空気の体積弾性率)の影響を無視できなくなる。具体的には気圧変動が生じると、背気室のスティフネスが変化するため、それに伴いコンデンサマイクロホンの感度が変化してしまう。つまり、コンデンサマイクロホンの静圧特性が悪化する。そのため、バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンにおいては、振動膜のスティフネスを小さくしても静圧特性の悪化を抑えられる技術が望まれている。 The sensitivity of the back electret condenser microphone described above can be increased by increasing the electret potential and reducing the tension of the diaphragm, thereby reducing the stiffness of the diaphragm (= tension of diaphragm/diameter of diaphragm). is. However, if the stiffness of the vibrating membrane is reduced, the effect of the stiffness of the space (back air chamber) between the vibrating membrane and the insulating member (= volume of the back air chamber/bulk modulus of air in the back air chamber) cannot be ignored. Gone. Specifically, when the atmospheric pressure fluctuates, the stiffness of the back air chamber changes, and accordingly the sensitivity of the condenser microphone changes. That is, the static pressure characteristics of the condenser microphone deteriorate. Therefore, in the back electret condenser microphone, a technique is desired that can suppress the deterioration of the static pressure characteristics even if the stiffness of the vibrating membrane is reduced.

上記課題を解決するバックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンは、筒状の筐体と、前記筐体の筒端開口部を塞ぐ振動膜と、前記筐体内において前記振動膜に対向配置されるエレクトレット膜を有する電極本体と前記電極本体から前記振動膜の反対側に向かって延びるロッド部とを有する背極と、前記筐体に固定され、前記筐体の内周面と前記ロッド部の外周面との間に介在して前記背極を支持する絶縁部材と、を備える。前記振動膜と前記絶縁部材との間の空間を背気室、測定可能な音波の周波数範囲を設計周波数とするとき、前記振動膜と前記絶縁部材との間隔である背気室長さが前記設計周波数の上限値である上限周波数に対応する音波の半波長よりも大きい。 A back electret condenser microphone that solves the above problems has a cylindrical housing, a vibrating membrane that closes a cylindrical end opening of the housing, and an electret membrane that is arranged inside the housing so as to face the vibrating membrane. a back electrode having an electrode main body and a rod portion extending from the electrode main body toward the opposite side of the vibrating membrane; fixed to the housing and between an inner peripheral surface of the housing and an outer peripheral surface of the rod portion; and an insulating member that is interposed in and supports the back electrode. When the space between the vibrating membrane and the insulating member is the back air chamber, and the frequency range of the measurable sound wave is the design frequency, the length of the back air chamber, which is the distance between the vibrating membrane and the insulating member, is the design frequency. It is larger than the half wavelength of the sound wave corresponding to the upper frequency limit, which is the upper frequency limit.

上記構成によれば、背気室長さが上限周波数に対応する音波の半波長よりも大きいため、背気室長さが上限周波数に対応する音波の半波長以下である場合よりも背気室の容積を大きくすることができる。これにより、背気室のスティフネスが小さくなることから、振動膜のスティフネスを小さくしても静圧特性の悪化を抑えることができる。 According to the above configuration, since the length of the back air chamber is longer than half the wavelength of the sound wave corresponding to the upper limit frequency, the volume of the back air chamber is larger than that in the case where the length of the back air chamber is less than or equal to half the wavelength of the sound wave corresponding to the upper limit frequency. can be increased. As a result, since the stiffness of the back air chamber is reduced, deterioration of static pressure characteristics can be suppressed even if the stiffness of the vibrating membrane is reduced.

上記構成のコンデンサマイクロホンにおいて、前記絶縁部材が第1絶縁部材であり、前記電極本体と前記第1絶縁部材との間に通気性のある第2絶縁部材を有することが好ましい。 In the condenser microphone configured as described above, it is preferable that the insulating member is a first insulating member, and that a second insulating member having air permeability is provided between the electrode main body and the first insulating member.

振動膜に対して外部から音圧が作用すると、該音圧に起因した音波が背気室を伝播する。また、背気室長さを上限周波数に対応する音波の半波長よりも大きくすると、背気室を伝播する音波であって第1絶縁部材で反射した反射波の影響を受けて振動膜が共鳴しやすくなる(共鳴現象)。この点、上記構成によれば、電極本体と第1絶縁部材との間に、第2絶縁部材が配設されている。これにより、背気室を伝播する音波が第1絶縁部材に到達しにくくなるとともに第1絶縁部材で反射した反射波が振動膜に到達しにくくなることから、該反射波が振動膜の振動に与える影響を小さくすることができる。その結果、静圧特性の悪化を抑えつつ、反射波に起因した計測精度の悪化を抑えることができる。 When sound pressure acts on the vibrating membrane from the outside, sound waves caused by the sound pressure propagate through the back air chamber. Further, when the length of the back air chamber is made larger than half the wavelength of the sound wave corresponding to the upper limit frequency, the vibrating membrane resonates under the influence of the reflected wave of the sound wave propagating in the back air chamber and reflected by the first insulating member. (resonance phenomenon). In this respect, according to the above configuration, the second insulating member is arranged between the electrode main body and the first insulating member. This makes it difficult for the sound wave propagating in the back air chamber to reach the first insulating member and makes it difficult for the reflected wave reflected by the first insulating member to reach the vibrating membrane. You can reduce the impact. As a result, deterioration of measurement accuracy due to reflected waves can be suppressed while suppressing deterioration of static pressure characteristics.

上記構成のコンデンサマイクロホンにおいて、前記第2絶縁部材は、吸音性を有することが好ましい。
上記構成のように、第2絶縁部材が吸音性を有することにより、第1絶縁部材に到達する音波のみならず、第1絶縁部材で反射した反射波も減衰させることができる。その結果、反射波が振動膜の振動に与える影響を小さくすることができるので、振動膜の共鳴現象を抑制する効果がある。
In the condenser microphone configured as described above, it is preferable that the second insulating member has a sound absorbing property.
Since the second insulating member has a sound absorbing property as in the above configuration, not only sound waves reaching the first insulating member but also reflected waves reflected by the first insulating member can be attenuated. As a result, it is possible to reduce the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane, so that there is an effect of suppressing the resonance phenomenon of the vibrating membrane.

上記構成のコンデンサマイクロホンにおいて、前記第2絶縁部材は、前記背気室を連通する2つ以上の空間に区画する反射板を含むことが好ましい。
上記構成によれば、背気室を伝播する音波の一部を第1絶縁部材に到達する前に反射板で反射させることができる。これにより、背気室を伝播する音波のうち、第1絶縁部材で反射する音波の割合を減少させることができる。その結果、反射波が振動膜の振動に与える影響を小さくすることができる。さらには、第2絶縁部材が吸音材と反射板とを含むことによって、反射波が振動膜の振動に与える影響をより効果的に抑えることができる。
In the condenser microphone configured as described above, it is preferable that the second insulating member includes a reflector that partitions the back air chamber into two or more spaces communicating with each other.
According to the above configuration, part of the sound wave propagating in the back air chamber can be reflected by the reflecting plate before reaching the first insulating member. As a result, the proportion of sound waves reflected by the first insulating member in the sound waves propagating in the back air chamber can be reduced. As a result, the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane can be reduced. Furthermore, since the second insulating member includes the sound absorbing material and the reflecting plate, it is possible to more effectively suppress the influence of the reflected waves on the vibration of the vibrating membrane.

上記構成のコンデンサマイクロホンにおいて、前記反射板は、前記ロッド部に支持されて前記筐体の内周面に接するように設けられているとともに、当該反射板を貫通する連通孔を有し、前記連通孔の孔径が前記上限周波数に対応する波長の1/10未満であることが好ましい。 In the condenser microphone configured as described above, the reflector is provided so as to be supported by the rod portion and in contact with the inner peripheral surface of the housing, and has a communication hole penetrating through the reflector. Preferably, the diameter of the holes is less than 1/10 of the wavelength corresponding to the upper limit frequency.

上記構成によれば、反射板の第1絶縁部材側へと伝播する音波の伝播経路を連通孔に限定することができる。そして、該連通孔の孔径が上限周波数に対応する波長の1/10未満であることにより、反射波が振動膜の振動に与える影響をさらに効果的に抑えることができる。 According to the above configuration, the propagation path of sound waves propagating toward the first insulating member side of the reflector can be limited to the communication hole. Further, since the diameter of the communication hole is less than 1/10 of the wavelength corresponding to the upper limit frequency, it is possible to further effectively suppress the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane.

上記構成のコンデンサマイクロホンにおいて、前記ロッド部は、直線状に連結される複数の部分ロッドにより構成され、前記反射板は、前記ロッド部が内挿される貫通孔を有するとともに互いに連結される2つの部分ロッドによる挟持により前記ロッド部に支持されていることが好ましい。 In the condenser microphone configured as described above, the rod portion is composed of a plurality of partial rods that are linearly connected, and the reflecting plate has a through hole into which the rod portion is inserted, and the reflecting plate is composed of two portions that are connected to each other. It is preferable that it is supported by the rod portion by being clamped by the rod.

上記構成によれば、連結される2つの部分ロッド、および、反射板の位置を合わせた状態で2つの部分ロッドを連結することにより、背極のロッド部に対して反射板を組み付けることができる。そのため、第1絶縁部材を介して背極を筐体に支持させることにより、背気室の所定位置に対して容易に反射板を配設することができる。 According to the above configuration, the reflecting plate can be assembled to the rod portion of the back pole by connecting the two partial rods to be connected and the two partial rods while aligning the positions of the reflecting plates. . Therefore, by supporting the back electrode on the housing through the first insulating member, the reflector can be easily arranged at a predetermined position in the back air chamber.

コンデンサマイクロホンの第1実施形態の概略構成を示す断面図。1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a first embodiment of a condenser microphone; FIG. コンデンサマイクロホンの第2実施形態の概略構成を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a second embodiment of a condenser microphone; コンデンサマイクロホンの第3実施形態の概略構成を示す断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a condenser microphone according to a third embodiment; 第3実施形態において、反射板を有する背極の組立方法を説明するための分解斜視図。FIG. 11 is an exploded perspective view for explaining a method of assembling a back electrode having a reflector in the third embodiment; 変形例において、反射板の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of a reflector in a modification.

(第1実施形態)
図1を参照して、コンデンサマイクロホンの第1実施形態について説明する。
図1に示すように、コンデンサマイクロホン(以下、単にマイクロホンという。)10は、筐体11、振動膜12、背極13、第1絶縁部材14を備える。
(First embodiment)
A first embodiment of a condenser microphone will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1, a condenser microphone (hereinafter simply referred to as a microphone) 10 includes a housing 11, a vibrating membrane 12, a back electrode 13, and a first insulating member .

筐体11は、略円筒状をなしている。筐体11は、例えば金属製である。筐体11には、各種の部材を取り付けるための取付部が設けられている。
振動膜12は、筐体11の第1端部において筒端開口部15を塞いでいる。振動膜12は、例えば金属製の薄い膜である。振動膜12は、外部から接触が防止されるように、筐体11の第1端部を覆うグリッド16によって保護されている。グリッド16には、外部からの音圧が振動膜12に正しく作用するように複数のグリッド貫通孔17が設けられている。
The housing 11 has a substantially cylindrical shape. The housing 11 is made of metal, for example. The housing 11 is provided with mounting portions for mounting various members.
The vibration film 12 closes the cylinder end opening 15 at the first end of the housing 11 . The vibrating membrane 12 is, for example, a thin metal membrane. The vibrating membrane 12 is protected by a grid 16 covering the first end of the housing 11 so as to prevent external contact. The grid 16 is provided with a plurality of grid through-holes 17 so that sound pressure from the outside acts correctly on the vibrating membrane 12 .

背極13は、筐体11の内部に配設されている。背極13は、導電性を有する。背極13は、電極本体21とロッド部22とを有する。
電極本体21は、略円盤状をなしている。電極本体21は、その中心軸が筐体11の中心軸と一致するように、また、その外周面が筐体11の内周面から離れた位置に配置されている。
The back electrode 13 is arranged inside the housing 11 . The back electrode 13 has conductivity. The back electrode 13 has an electrode main body 21 and a rod portion 22 .
The electrode body 21 has a substantially disk shape. The electrode body 21 is arranged such that its central axis coincides with the central axis of the housing 11 and its outer peripheral surface is separated from the inner peripheral surface of the housing 11 .

電極本体21は、複数の本体貫通孔23を有する。複数の本体貫通孔23は、外部からの音圧に対して振動膜12が正確に振動するように、電極本体21と振動膜12との間の空気抵抗を小さくする。 The electrode body 21 has a plurality of body through holes 23 . The plurality of main body through-holes 23 reduce the air resistance between the electrode main body 21 and the vibrating membrane 12 so that the vibrating membrane 12 can accurately vibrate against sound pressure from the outside.

電極本体21は、振動膜12に対向配置されるエレクトレット膜24を有する。エレクトレット膜24においては、外部からの音圧によって振動膜12が振動すると、その振動膜12との間隔に応じて静電容量が変化する。 The electrode body 21 has an electret film 24 arranged to face the vibrating film 12 . In the electret film 24 , when the vibrating film 12 vibrates due to external sound pressure, the capacitance changes according to the distance from the vibrating film 12 .

ロッド部22は、電極本体21の中央部から振動膜12の反対側に向かって延びている。ロッド部22は、その中心軸が筐体11の中心軸と一致するように配設されている。ロッド部22は、端子取付部25と拡径部26とを有している。端子取付部25は、電極本体21とは反対側の端部に設けられている。端子取付部25には、エレクトレット膜24における静電容量を図示されない信号線に出力する出力端子27が取り付けられる。出力端子27は、例えば、端子取付部25に対するねじ接合により取り付けられる。拡径部26は、端子取付部25寄りの位置に設けられている。ロッド部22は、出力端子27と拡径部26とによって挟持される第1絶縁部材14と、後述するロックナット32と、を介して筐体11に支持される。 The rod portion 22 extends from the central portion of the electrode body 21 toward the opposite side of the diaphragm 12 . The rod portion 22 is arranged such that its central axis coincides with the central axis of the housing 11 . The rod portion 22 has a terminal attachment portion 25 and an enlarged diameter portion 26 . The terminal mounting portion 25 is provided at the end opposite to the electrode main body 21 . An output terminal 27 that outputs the capacitance of the electret film 24 to a signal line (not shown) is attached to the terminal attachment portion 25 . The output terminal 27 is attached to the terminal attachment portion 25 by screwing, for example. The enlarged diameter portion 26 is provided at a position closer to the terminal attachment portion 25 . The rod portion 22 is supported by the housing 11 via the first insulating member 14 sandwiched between the output terminal 27 and the enlarged diameter portion 26 and a lock nut 32 to be described later.

第1絶縁部材14は、筐体11の内部に配設されている。第1絶縁部材14は、円環状の形状を有する。第1絶縁部材14は、電極本体21よりも大きな外径を有する。第1絶縁部材14は、その中央部に端子取付部25が貫通するロッド貫通孔28を有する。第1絶縁部材14は、ロッド貫通孔28に端子取付部25を貫通させた状態で、端子取付部25に出力端子27が取り付けられることにより、背極13に組み付けられる。 The first insulating member 14 is arranged inside the housing 11 . The first insulating member 14 has an annular shape. The first insulating member 14 has an outer diameter larger than that of the electrode body 21 . The first insulating member 14 has a rod through-hole 28 through which the terminal attachment portion 25 penetrates in the central portion thereof. The first insulating member 14 is attached to the back electrode 13 by attaching the output terminal 27 to the terminal attachment portion 25 with the terminal attachment portion 25 penetrating the rod through hole 28 .

第1絶縁部材14は、背極13に組み付けられた状態で筐体11に取り付けられる。換言すれば、背極13は、第1絶縁部材14および出力端子27がロッド部22に組み付けられた組付状態で筐体11に取り付けられる。 The first insulating member 14 is attached to the housing 11 while being attached to the back electrode 13 . In other words, the back electrode 13 is attached to the housing 11 in an assembled state in which the first insulating member 14 and the output terminal 27 are assembled to the rod portion 22 .

筐体11には、第1絶縁部材14が嵌合する嵌合部31が形成されている。第1絶縁部材14は、筐体11に対し、振動膜12の反対側から背極13を電極本体21側から差し入れることにより嵌合部31に嵌合する。そして、第1絶縁部材14は、筐体11の内側に配設されるロックナット32により筐体11に組み付けられる。これにより、背極13は、ロッド部22の外周面と筐体11の内周面との間に第1絶縁部材14が介在した状態で筐体11に支持される。 A fitting portion 31 to which the first insulating member 14 is fitted is formed in the housing 11 . The first insulating member 14 is fitted into the fitting portion 31 by inserting the back electrode 13 from the electrode main body 21 side into the housing 11 from the opposite side of the vibrating membrane 12 . The first insulating member 14 is assembled to the housing 11 with a lock nut 32 arranged inside the housing 11 . Thereby, the back electrode 13 is supported by the housing 11 with the first insulating member 14 interposed between the outer peripheral surface of the rod portion 22 and the inner peripheral surface of the housing 11 .

こうした構成のマイクロホン10においては、外部から音圧が作用することにより、その音圧に応じて振動膜12が振動する。振動膜12が振動すると、振動膜12とエレクトレット膜24との間隔に応じて、振動膜12とエレクトレット膜24との間の静電容量が変化する。そして、その静電容量の変化を検出することで音圧が計測される。ここで、マイクロホン10によって測定可能な音波の周波数範囲を設計周波数という。設計周波数のうち、測定可能な周波数の下限値を下限周波数f1、測定可能な周波数の上限値を上限周波数f2という。 In the microphone 10 having such a configuration, the vibrating membrane 12 vibrates according to the sound pressure acting from the outside. When the vibrating membrane 12 vibrates, the capacitance between the vibrating membrane 12 and the electret membrane 24 changes according to the distance between the vibrating membrane 12 and the electret membrane 24 . Then, the sound pressure is measured by detecting the change in the capacitance. Here, the frequency range of sound waves measurable by the microphone 10 is called the design frequency. Of the design frequencies, the lower limit of the measurable frequency is called the lower limit frequency f1, and the upper limit of the measurable frequency is called the upper limit frequency f2.

筐体11に背極13が組み付けられた状態において、振動膜12と第1絶縁部材14との間の空間を背気室35といい、振動膜12と第1絶縁部材14との間隔を背気室長さHという。背気室長さHは、上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2よりも長い長さに設定されている。半波長λ2は、標準大気中における音速cを上限周波数f2で除算することにより求められる波長の半分の値である。 In the state where the back electrode 13 is assembled to the housing 11, the space between the vibrating membrane 12 and the first insulating member 14 is called a back air chamber 35, and the gap between the vibrating membrane 12 and the first insulating member 14 is called a back air chamber. It is called air chamber length H. The back air chamber length H is set to a length longer than the half wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2. The half-wavelength λ2 is a half-wavelength value obtained by dividing the speed of sound c in the standard atmosphere by the upper limit frequency f2.

(作用)
上述したマイクロホン10によれば、背気室長さHが上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2よりも大きいため、背気室長さHが半波長λ2以下である場合よりも背気室35の容積を大きくすることができる。これにより、背気室のスティフネス(=背気室の体積/背気室における空気の体積弾性率)が小さくなる。その結果、振動膜12のスティフネス(=振動膜の張力/振動膜の径)を小さくしても静圧の影響度を小さくでき、静圧特性の悪化を抑えることができる。
(Action)
According to the microphone 10 described above, since the back air chamber length H is longer than the half wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2, the back air chamber 35 is larger than the case where the back air chamber length H is equal to or less than the half wavelength λ2. Volume can be increased. As a result, the stiffness of the back air chamber (=the volume of the back air chamber/the bulk modulus of air in the back air chamber) is reduced. As a result, even if the stiffness of the vibrating membrane 12 (=tension of the vibrating membrane/diameter of the vibrating membrane) is reduced, the degree of influence of static pressure can be reduced, and deterioration of static pressure characteristics can be suppressed.

本発明者らは、背気室長さHが半波長λ2以下のマイクロホンを比較対象として感度に関する実験を行った。その実験結果によれば、背気室長さHが比較対象のマイクロホンの背気室長さの3倍程度であることにより、その比較対象と同等以上の感度を得つつ、静圧特性の悪化を抑えることができた。 The inventors conducted an experiment on sensitivity using a microphone whose back air chamber length H is equal to or less than half wavelength λ2 as a comparison object. According to the experimental results, the back air chamber length H is about three times the length of the back air chamber of the comparison target microphone. I was able to

第1実施形態の効果について説明する。
(1-1)背気室長さHを上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2よりも大きくすることにより、マイクロホン10の高感度化を図りつつ、静圧特性の悪化を抑えることができる。
Effects of the first embodiment will be described.
(1-1) By making the length H of the back air chamber larger than the half-wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2, it is possible to improve the sensitivity of the microphone 10 and suppress deterioration of static pressure characteristics.

(1-2)背気室長さHが比較対象となるマイクロホンの背気室長さの3倍程度にすることにより、その比較対象と同等以上の感度を得つつ、静圧特性の悪化を抑えることができる。 (1-2) By setting the back air chamber length H to about three times the length of the back air chamber of the microphone to be compared, the deterioration of the static pressure characteristics can be suppressed while obtaining the sensitivity equal to or higher than that of the comparison target. can be done.

(第2実施形態)
図2を参照してマイクロホンの第2実施形態について説明する。第2実施形態のマイクロホンは、第1実施形態のマイクロホンと主要な構成は同じである。そのため、第2実施形態においては、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、第1実施形態と同様の部分については同様の符号を付すことで詳細な説明は省略する。
(Second embodiment)
A second embodiment of the microphone will be described with reference to FIG. The microphone of the second embodiment has the same main configuration as the microphone of the first embodiment. Therefore, in the second embodiment, portions different from the first embodiment will be described in detail, and portions similar to those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

第1実施形態のマイクロホン10においては、背気室長さHを上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2よりも大きくすることで、静圧特性の悪化を抑えた。しかしながら、背気室長さHが半波長λ2よりも大きくなると、第1絶縁部材14で反射した反射波が振動膜12の振動に影響を与え、設計周波数内で共鳴現象が生じることが懸念される。第2実施形態のマイクロホン10は、静圧特性の悪化を抑えることに加えて、第1絶縁部材14で反射した反射波が振動膜12の振動に与える影響を抑える。 In the microphone 10 of the first embodiment, deterioration of the static pressure characteristics is suppressed by making the back air chamber length H larger than the half wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2. However, if the back air chamber length H is greater than the half wavelength λ2, there is concern that the reflected wave reflected by the first insulating member 14 will affect the vibration of the vibrating membrane 12, causing a resonance phenomenon within the design frequency. . The microphone 10 of the second embodiment suppresses deterioration of the static pressure characteristics and suppresses the influence of the reflected wave reflected by the first insulating member 14 on the vibration of the vibrating membrane 12 .

図2に示すように、マイクロホン10は、背気室35に、第2絶縁部材を有する。第2絶縁部材は、吸音性に加えて通気性を有する吸音材41である。吸音材41は、電極本体21と第1絶縁部材14との間においてロッド部22の周囲に配設されている。吸音材41は、第1絶縁部材14寄りに位置することが好ましい。吸音材41は、ロッド部22や第1絶縁部材14に対して、例えば接着などにより固定することが可能である。こうした吸音材41の一例は、グラスウールである。吸音材41の他の例は、絶縁性および通気性を有するものであればよく、例えばポリウレタン製、ポリエステル製の吸音材等が挙げられる。 As shown in FIG. 2, microphone 10 has a second insulating member in back air chamber 35 . The second insulating member is a sound absorbing material 41 that has air permeability in addition to sound absorbing properties. The sound absorbing material 41 is arranged around the rod portion 22 between the electrode main body 21 and the first insulating member 14 . The sound absorbing material 41 is preferably positioned closer to the first insulating member 14 . The sound absorbing material 41 can be fixed to the rod portion 22 and the first insulating member 14 by, for example, adhesion. An example of such a sound absorbing material 41 is glass wool. Other examples of the sound absorbing material 41 may be any material that has insulation and air permeability, such as polyurethane sound absorbing material and polyester sound absorbing material.

(作用)
吸音材41は、振動膜12の振動に起因して背気室35内を伝播する音波、具体的には振動膜12から第1絶縁部材14に向かって伝播する音波のほか、第1絶縁部材14で反射した反射波を減衰させることができる。
(Action)
The sound absorbing material 41 absorbs sound waves propagating in the back air chamber 35 due to vibration of the vibrating membrane 12, specifically, sound waves propagating from the vibrating membrane 12 toward the first insulating member 14, as well as the first insulating member. The reflected wave reflected at 14 can be attenuated.

第2実施形態のマイクロホン10によれば、上記(1-1)に記載した効果に加えて、下記の効果を得ることができる。
(2-1)背気室35に吸音材41を配設することにより、振動膜12に到達する反射波の振幅が小さくなることから、該反射波が振動膜12の振動に与える影響を抑えることができる。その結果、反射波に起因した計測精度の低下を抑えることができる。
According to the microphone 10 of the second embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects described in (1-1) above.
(2-1) By disposing the sound absorbing material 41 in the back air chamber 35, the amplitude of the reflected wave reaching the vibrating membrane 12 is reduced, so that the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane 12 is suppressed. be able to. As a result, it is possible to suppress deterioration in measurement accuracy due to reflected waves.

(2-2)背気室35に配設される吸音材41が絶縁性を有することにより、吸音材41がロッド部22および筐体11に接触していたとしても、振動膜12とエレクトレット膜24との間隔に応じた静電容量の変化を正確に検出できる。 (2-2) Since the sound absorbing material 41 disposed in the back air chamber 35 has insulating properties, even if the sound absorbing material 41 is in contact with the rod portion 22 and the housing 11, the vibration film 12 and the electret film 24 can be accurately detected.

(2-3)第2絶縁部材がグラスウールなどの吸音材41であることにより、反射波が振動膜12の振動に与える影響を簡易な構成のもとで抑えることができる。また、こうした吸音材41は、背極13を筐体11に組み付ける際に、ロッド部22や第1絶縁部材14に対して接着などにより固定したり、ロッド部22に巻き付けたりすればよい。このため、第2絶縁部材を容易に配設することもできる。 (2-3) Since the second insulating member is the sound absorbing material 41 such as glass wool, the influence of the reflected waves on the vibration of the vibrating membrane 12 can be suppressed with a simple configuration. Further, the sound absorbing material 41 may be fixed to the rod portion 22 and the first insulating member 14 by adhesion or the like, or wound around the rod portion 22 when the back electrode 13 is assembled to the housing 11 . Therefore, the second insulating member can be easily arranged.

(第3実施形態)
図3および図4を参照してマイクロホンの第3実施形態について説明する。第3実施形態のマイクロホンは、第1実施形態のマイクロホンと主要な構成は同じである。そのため、第3実施形態においては、第1実施形態と異なる部分について詳細に説明し、第1実施形態と同様の部分については同様の符号を付すことで詳細な説明は省略する。
(Third Embodiment)
A third embodiment of the microphone will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. The microphone of the third embodiment has the same main configuration as the microphone of the first embodiment. Therefore, in the third embodiment, portions different from the first embodiment will be described in detail, and portions similar to those in the first embodiment will be denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

第3実施形態のマイクロホン10においては、第2実施形態のマイクロホン10と同様に、静圧特性の悪化を抑えることに加えて、第1絶縁部材14で反射した反射波が振動膜12の振動に与える影響を抑える。 In the microphone 10 of the third embodiment, as in the microphone 10 of the second embodiment, in addition to suppressing the deterioration of the static pressure characteristics, the reflected wave reflected by the first insulating member 14 is caused by the vibration of the vibrating membrane 12. reduce its impact.

図3に示すように、マイクロホン10は、第2絶縁部材として、反射板50を有する。反射板50は、背気室35を連通する2つの空間であってロッド部22の延在方向に並ぶ第1背気室51と第2背気室52とに区画する。反射板50は、円環状の形状を有する。反射板50は、その中央部がロッド部22に支持されているとともに、その外周縁部が筐体11の内周面に密接するように配設されている。反射板50の一例は、例えばサファイヤで形成される。反射板50は、絶縁性を有しているものであればよく、他の例としては、例えばセラミックス、ポリテトラフルオロエチレン、ガラスで形成される。また、反射板50は、反射板50での反射波の発生やその振幅を抑えるうえで、吸音性を有することが好ましい。これは、吸音性のある材料、例えばグラスウール等を反射板50表面に接着することで実現できる。 As shown in FIG. 3, the microphone 10 has a reflector 50 as a second insulating member. The reflector 50 divides the back air chamber 35 into two spaces, a first back air chamber 51 and a second back air chamber 52 , which are arranged in the extending direction of the rod portion 22 . The reflector 50 has an annular shape. The reflecting plate 50 is supported by the rod portion 22 at its central portion, and arranged so that its outer peripheral edge portion is in close contact with the inner peripheral surface of the housing 11 . An example of the reflector 50 is made of sapphire, for example. The reflecting plate 50 may be made of any insulating material, and other examples thereof include ceramics, polytetrafluoroethylene, and glass. In addition, the reflector 50 preferably has a sound absorbing property in order to suppress generation and amplitude of reflected waves on the reflector 50 . This can be realized by adhering a sound absorbing material such as glass wool to the surface of the reflector 50 .

反射板50には、第1背気室51と第2背気室52とを連通する連通路として、反射板50を貫通する連通孔53を有する。連通孔53の孔径は、上限周波数f2に対応する波長の1/10未満であることが好ましい。 The reflecting plate 50 has a communication hole 53 penetrating through the reflecting plate 50 as a communication passage for communicating the first back air chamber 51 and the second back air chamber 52 . The hole diameter of the communication hole 53 is preferably less than 1/10 of the wavelength corresponding to the upper limit frequency f2.

ロッド部22は、互いに連結される部分ロッドである第1部分ロッド56と第2部分ロッド57とで構成されている。第1部分ロッド56および第2部分ロッド57は、直線状に連結されることによりロッド部22として機能する。反射板50は、第1部分ロッド56と第2部分ロッド57とに挟持されることでロッド部22に支持される。 The rod portion 22 is composed of a first partial rod 56 and a second partial rod 57 that are partial rods that are connected to each other. The first partial rod 56 and the second partial rod 57 function as the rod portion 22 by being linearly connected. The reflecting plate 50 is supported by the rod portion 22 by being sandwiched between the first partial rod 56 and the second partial rod 57 .

第1部分ロッド56は、電極本体21の中央部から振動膜12の反対側に向かって延びている。第1部分ロッド56は、電極本体21とは反対側の端部に、第2部分ロッド57が連結される第1連結部58を有する。第1連結部58は、本実施形態では雄ねじである。第1部分ロッド56は、電極本体21と第1連結部58との間に、反射板50の頂面50aに係合する拡径部59を有する。反射板50の中央部には、第1連結部58が内挿される貫通孔であるロッド挿通孔60が形成されている。第1部分ロッド56は、拡径部59に反射板50の頂面50aを係合させた状態において、第1連結部58が反射板50の底面50bから突出するように構成されている。振動膜12と反射板50との間隔である第1背気室長さH1は、上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2以下であることが好ましい。 The first partial rod 56 extends from the central portion of the electrode body 21 toward the opposite side of the diaphragm 12 . The first partial rod 56 has a first connecting portion 58 to which the second partial rod 57 is connected at the end opposite to the electrode main body 21 . The first connecting portion 58 is a male thread in this embodiment. The first partial rod 56 has an enlarged diameter portion 59 between the electrode body 21 and the first connecting portion 58 that engages the top surface 50 a of the reflector 50 . A rod insertion hole 60, which is a through hole into which the first connecting portion 58 is inserted, is formed in the central portion of the reflecting plate 50. As shown in FIG. The first partial rod 56 is configured such that the first connecting portion 58 protrudes from the bottom surface 50b of the reflector 50 in a state where the enlarged diameter portion 59 is engaged with the top surface 50a of the reflector 50 . The first back air chamber length H1, which is the distance between the vibrating membrane 12 and the reflector 50, is preferably less than or equal to the half wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2.

第2部分ロッド57は、第1部分ロッド56とは反対側に、上述した端子取付部25および拡径部26を有する。第2部分ロッド57は、第1部分ロッド56側の端部に、第1部分ロッド56の第1連結部58と連結される第2連結部62を有する。第2連結部62は、本実施形態では雌ねじである。第2部分ロッド57は、第2連結部62において反射板50のロッド挿通孔60よりも大きな外径を有する。すなわち、第1連結部58に第2連結部62を連結すると、第2連結部62における端面が反射板50の底面50bに当接するように構成されている。 The second partial rod 57 has the above-described terminal mounting portion 25 and enlarged diameter portion 26 on the side opposite to the first partial rod 56 . The second partial rod 57 has a second connecting portion 62 that is connected to the first connecting portion 58 of the first partial rod 56 at the end on the first partial rod 56 side. The second connecting portion 62 is a female thread in this embodiment. The second partial rod 57 has an outer diameter larger than that of the rod insertion hole 60 of the reflector 50 at the second connecting portion 62 . That is, when the second connecting portion 62 is connected to the first connecting portion 58 , the end surface of the second connecting portion 62 contacts the bottom surface 50 b of the reflector 50 .

図4を参照して、反射板50を有する背極13の組み立て方法について説明する。
図4に示すように、背極13は、第1部分ロッド56の第1連結部58を反射板50のロッド挿通孔60に挿通させた状態で第1連結部58に第2連結部62が連結される。これにより、背極13は、反射板50がロッド部22に取り付けられた状態として組み立てられる。そして、第1絶縁部材14および出力端子27がロッド部22に組み付けられた組付状態で筐体11に取り付けられる。
A method of assembling the back electrode 13 having the reflector 50 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 4, in the back pole 13, the first connecting portion 58 of the first partial rod 56 is inserted into the rod insertion hole 60 of the reflecting plate 50, and the second connecting portion 62 is attached to the first connecting portion 58. concatenated. Thereby, the back plate 13 is assembled with the reflecting plate 50 attached to the rod portion 22 . Then, the first insulating member 14 and the output terminal 27 are attached to the housing 11 in an assembled state in which the rod portion 22 is assembled.

(作用)
上述したマイクロホン10によれば、反射板50によって背気室35が連通する第1背気室51と第2背気室52とに区画されている。これにより、背気室35を伝播する音波が第1絶縁部材14に到達する前に反射板50で反射させることができる。これにより、背気室35を伝播する音波のうち、第1絶縁部材14で反射する音波の割合を減少させることができる。また、背気室35における気柱固有振動周波数を設計周波数の上限周波数f2以上に高めることができる。
(Action)
According to the microphone 10 described above, the back air chamber 35 is divided by the reflector 50 into the first back air chamber 51 and the second back air chamber 52 . As a result, the sound wave propagating through the back air chamber 35 can be reflected by the reflecting plate 50 before reaching the first insulating member 14 . As a result, the proportion of sound waves reflected by the first insulating member 14 in the sound waves propagating through the back air chamber 35 can be reduced. In addition, the natural vibration frequency of the air column in the back air chamber 35 can be increased to the upper limit frequency f2 or higher of the design frequency.

第3実施形態のマイクロホン10によれば、上記(1-1)に記載した効果に加えて、下記の効果を得ることができる。
(3-1)背気室35は、反射板50によって、連通する第1背気室51と第2背気室52とに区画されている。こうした構成によれば、第1絶縁部材14で反射する音波の割合を減少させつつ、背気室35における気柱固有振動周波数を設計周波数の上限周波数f2以上に高めることができる。これにより、反射波が振動膜12の振動に与える影響を抑えられ、その結果、反射波に起因した計測精度の悪化を抑えられる。
According to the microphone 10 of the third embodiment, the following effects can be obtained in addition to the effects described in (1-1) above.
(3-1) The back air chamber 35 is divided by the reflector 50 into a first back air chamber 51 and a second back air chamber 52 that communicate with each other. According to such a configuration, it is possible to increase the natural vibration frequency of the air column in the back air chamber 35 to the upper limit frequency f2 or higher of the design frequency while reducing the proportion of sound waves reflected by the first insulating member 14 . As a result, the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating film 12 can be suppressed, and as a result, deterioration of the measurement accuracy caused by the reflected wave can be suppressed.

(3-2)第1背気室長さH1が上限周波数f2に対応する音波の半波長λ2以下であることにより、反射板50における反射波が振動膜12の振動に与える影響を抑えることができる。 (3-2) Since the length H1 of the first back air chamber is equal to or less than the half wavelength λ2 of the sound wave corresponding to the upper limit frequency f2, it is possible to suppress the influence of the wave reflected by the reflecting plate 50 on the vibration of the vibrating membrane 12. .

(3-3)一般的に、音波のような波が発生する回路において、その回路が分布定数回路ではなく集中定数回路として近似されるためには、その回路の回路寸法がその波の波長の数%~数十%であることが必要とされる。 (3-3) In general, in a circuit that generates a wave such as a sound wave, in order for the circuit to be approximated as a lumped constant circuit instead of a distributed constant circuit, the circuit dimensions of the circuit must be equal to the wavelength of the wave. It is required to be several percent to several tens of percent.

上記構成では、第1背気室51と第2背気室52とを連通する連通孔53の孔径が、上限周波数f2に対応する波長、すなわち測定可能な音波の波長のうちで最も小さい波長の1/10未満に設定されている。 In the above configuration, the hole diameter of the communication hole 53 that communicates the first back air chamber 51 and the second back air chamber 52 is the wavelength corresponding to the upper limit frequency f2, that is, the smallest wavelength of the measurable sound wave wavelengths. It is set to less than 1/10.

こうした構成によれば、連通孔53の部分を集中定数回路として近似することができる。これにより、マイクロホン10の設計時、連通孔53を集中定数回路として扱うことができることから、共鳴現象の発生が抑えられるような各種寸法値を容易に導き出すことができる。その結果、反射波が振動膜12の振動に与える影響をさらに効果的に抑えることができる。 With such a configuration, the communication hole 53 portion can be approximated as a lumped constant circuit. As a result, when designing the microphone 10, the communicating hole 53 can be treated as a lumped constant circuit, so that various dimensional values that suppress the occurrence of the resonance phenomenon can be easily derived. As a result, the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane 12 can be suppressed more effectively.

(3-4)反射板50は、第1部分ロッド56と第2部分ロッド57とに挟持されることによりロッド部22に支持されている。こうした構成によれば、背極13を筐体11に取り付けることにより、振動膜12に対する反射板50の位置決めを行うことができる。その結果、背気室35の所定位置に反射板50を容易に配設できる。 (3-4) The reflecting plate 50 is supported by the rod portion 22 by being sandwiched between the first partial rod 56 and the second partial rod 57 . According to such a configuration, by attaching the back electrode 13 to the housing 11 , the reflector 50 can be positioned with respect to the vibrating membrane 12 . As a result, the reflector 50 can be easily arranged at a predetermined position in the back air chamber 35 .

上述した実施形態は、以下のように変更して実施できる。上述した実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施できる。
・第3実施形態のマイクロホン10においては、複数の反射板50がロッド部22に支持されていてもよい。この場合、反射板50を電極本体21側から第n反射板(nは1以上の整数)とすると、ロッド部22は、n+1本の部分ロッドから構成される。また、n+1本の部分ロッドを電極本体21側から第kロッド部(kは1以上の整数)とすると、第kロッド部と第k+1ロッド部とが連結され、これら第kロッド部と第k+1ロッド部とによって第n反射板(このときのnはkと同じ)が挟持される。
The embodiment described above can be implemented with the following modifications. The embodiments described above and the following modified examples can be combined with each other within a technically consistent range.
- In the microphone 10 of the third embodiment, a plurality of reflectors 50 may be supported by the rod portion 22 . In this case, if the reflecting plate 50 is the n-th reflecting plate (n is an integer equal to or greater than 1) from the electrode main body 21 side, the rod portion 22 is composed of n+1 partial rods. Further, if the n+1 partial rods are the k-th rod portion (k is an integer equal to or greater than 1) from the electrode main body 21 side, the k-th rod portion and the k+1-th rod portion are connected, and the k-th rod portion and the k+1-th rod portion are connected. The n-th reflector (at this time, n is the same as k) is sandwiched by the rod portion.

・第3実施形態のマイクロホン10において、反射板50に形成される連通孔53の数は、2以上であってもよい。
・第3実施形態のマイクロホン10において、反射板50は、該反射板50が区画する2つの空間を連通させる連通路を有していればよい。そのため、連通路は、反射板50を貫通する連通孔53に限らず、例えば、図5に示すように、反射板50の外周縁部を厚さ方向に延びる連通凹部65であってもよい。この場合、断面方向における連通凹部65の最大長さが上限周波数f2に対応する波長の1/10未満であることが好ましい。最大長さは、例えば、連通凹部65が断面半円状である場合は、その直径である。
- In the microphone 10 of the third embodiment, the number of the communication holes 53 formed in the reflector 50 may be two or more.
- In the microphone 10 of 3rd Embodiment, the reflector 50 should just have a communication path which connects the two spaces which this reflector 50 divides. Therefore, the communication path is not limited to the communication hole 53 passing through the reflector 50, and may be, for example, a communication recess 65 extending in the thickness direction of the outer peripheral edge of the reflector 50 as shown in FIG. In this case, the maximum length of the communicating recess 65 in the cross-sectional direction is preferably less than 1/10 of the wavelength corresponding to the upper limit frequency f2. The maximum length is, for example, the diameter when the communicating recess 65 has a semicircular cross section.

・第3実施形態のマイクロホン10において、部分ロッドの連結方法はねじ接合に限られない。例えば、圧入やリベットなどを用いた他の機械的接合法が用いられてもよいし、例えばろう付けなどの冶金的接合法が用いられてもよい。 - In the microphone 10 of the third embodiment, the connection method of the partial rods is not limited to screw joint. For example, other mechanical joining methods such as press fitting or riveting may be used, or metallurgical joining methods such as brazing may be used.

・第3実施形態のマイクロホン10において、反射板50は、例えば、ロッド挿通孔60にロッド部22を挿通させることにより、ロッド部22に形成された係合凹部にスナップ係合することにより、ロッド部22に支持されてもよい。 - In the microphone 10 of the third embodiment, the reflecting plate 50 is snap-engaged with an engagement recess formed in the rod portion 22 by inserting the rod portion 22 into the rod insertion hole 60, for example. It may be supported by the portion 22 .

・第3実施形態のマイクロホン10において、第1背気室51および第2背気室52の少なくとも一方に吸音材41が配設されていてもよい。こうした構成によれば、反射波が振動膜12の振動に与える影響をさらに効果的に抑えることができる。 - In the microphone 10 of the third embodiment, the sound absorbing material 41 may be arranged in at least one of the first back air chamber 51 and the second back air chamber 52 . With such a configuration, it is possible to further effectively suppress the influence of the reflected wave on the vibration of the vibrating membrane 12 .

・第2実施形態のマイクロホン10において、吸音材41は、電極本体21と第1絶縁部材14との間の空間に配設されていればよい。そのため、例えば、その空間全体を埋めるように吸音材41が配設される構成であってもよいし、その空間の所々に吸音材41が配設される構成であってもよい。 - In the microphone 10 of the second embodiment, the sound absorbing material 41 may be arranged in the space between the electrode main body 21 and the first insulating member 14 . Therefore, for example, the sound absorbing material 41 may be arranged so as to fill the entire space, or the sound absorbing material 41 may be arranged in places in the space.

10…コンデンサマイクロホン、11…筐体、12…振動膜、13…背極、14…第1絶縁部材、15…筒端開口部、16…グリッド、17…グリッド貫通孔、21…電極本体、22…ロッド部、23…本体貫通孔、24…エレクトレット膜、25…端子取付部、26…拡径部、27…出力端子、28…ロッド貫通孔、31…嵌合部、32…ロックナット、35…背気室、41…吸音材、50…反射板、50a…頂面、50b…底面、51…第1背気室、52…第2背気室、53…連通孔、56…第1部分ロッド、57…第2部分ロッド、58…第1連結部、59…拡径部、60…ロッド挿通孔、62…第2連結部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Capacitor microphone 11... Housing 12... Vibration membrane 13... Back electrode 14... First insulating member 15... Tube end opening 16... Grid 17... Grid through hole 21... Electrode body 22 Rod portion 23 Body through hole 24 Electret film 25 Terminal attachment portion 26 Expanded diameter portion 27 Output terminal 28 Rod through hole 31 Fitting portion 32 Lock nut 35 Back air chamber 41 Sound absorbing material 50 Reflector 50a Top surface 50b Bottom surface 51 First back air chamber 52 Second back air chamber 53 Communication hole 56 First portion Rod 57...Second partial rod 58...First connecting portion 59...Expanded diameter portion 60...Rod insertion hole 62...Second connecting portion.

Claims (6)

バックエレクトレット型のコンデンサマイクロホンであって、
筒状の筐体と、
前記筐体の筒端開口部を塞ぐ振動膜と、
前記筐体内において前記振動膜に対向配置されるエレクトレット膜を有する電極本体と前記電極本体から前記振動膜の反対側に向かって延びるロッド部とを有する背極と、
前記筐体に固定され、前記筐体の内周面と前記ロッド部の外周面との間に介在して前記背極を支持する絶縁部材と、を備え、
前記振動膜と前記絶縁部材との間の空間を背気室、測定可能な音波の周波数範囲を設計周波数とするとき、
前記振動膜と前記絶縁部材との間隔である背気室長さが前記設計周波数の上限値である上限周波数に対応する音波の半波長よりも大きい
コンデンサマイクロホン。
A back electret condenser microphone,
a tubular casing;
a vibrating film that closes a cylinder end opening of the housing;
a back electrode having an electrode body having an electret film arranged opposite to the vibration film in the housing and a rod portion extending from the electrode body toward the opposite side of the vibration film;
an insulating member fixed to the housing and interposed between the inner peripheral surface of the housing and the outer peripheral surface of the rod portion to support the back electrode;
When the space between the vibrating membrane and the insulating member is a back air chamber, and the frequency range of measurable sound waves is the design frequency,
A capacitor microphone in which a back air chamber length, which is a distance between the vibrating membrane and the insulating member, is longer than a half wavelength of a sound wave corresponding to an upper limit frequency of the design frequency.
前記絶縁部材が第1絶縁部材であり、
前記電極本体と前記第1絶縁部材との間に第2絶縁部材を有する
請求項1に記載のコンデンサマイクロホン。
The insulating member is a first insulating member,
2. The condenser microphone according to claim 1, further comprising a second insulating member between said electrode body and said first insulating member.
前記第2絶縁部材は、吸音性を有する
請求項2に記載のコンデンサマイクロホン。
The condenser microphone according to claim 2, wherein the second insulating member has sound absorbing properties.
前記第2絶縁部材は、前記背気室を連通する2つ以上の空間に区画する反射板を含む
請求項2または3に記載のコンデンサマイクロホン。
4. The condenser microphone according to claim 2, wherein the second insulating member includes a reflector that partitions the back air chamber into two or more spaces communicating with each other.
前記反射板は、
前記ロッド部に支持されて前記筐体の内周面に接するように設けられているとともに、当該反射板を貫通する連通孔を有し、
前記連通孔の孔径が前記上限周波数に対応する波長の1/10未満である
請求項4に記載のコンデンサマイクロホン。
The reflector is
It is supported by the rod portion and is provided so as to contact the inner peripheral surface of the housing, and has a communication hole that penetrates the reflector,
5. The condenser microphone according to claim 4, wherein the diameter of said communication hole is less than 1/10 of the wavelength corresponding to said upper limit frequency.
前記ロッド部は、
直線状に連結される複数の部分ロッドにより構成され、
前記反射板は、
前記ロッド部が内挿される貫通孔を有するとともに互いに連結される2つの部分ロッドによる挟持により前記ロッド部に支持されている
請求項4または5に記載のコンデンサマイクロホン。
The rod part
Composed of a plurality of partial rods connected in a straight line,
The reflector is
6. The condenser microphone according to claim 4, wherein the rod part has a through-hole inserted therein and is supported by the rod part by being sandwiched by two partial rods connected to each other.
JP2021017117A 2021-02-05 2021-02-05 Capacitor microphone Pending JP2022120305A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021017117A JP2022120305A (en) 2021-02-05 2021-02-05 Capacitor microphone

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021017117A JP2022120305A (en) 2021-02-05 2021-02-05 Capacitor microphone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2022120305A true JP2022120305A (en) 2022-08-18

Family

ID=82848910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021017117A Pending JP2022120305A (en) 2021-02-05 2021-02-05 Capacitor microphone

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2022120305A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5590616B2 (en) Unidirectional condenser microphone unit
JP6719772B2 (en) Microphone
WO2010013603A1 (en) Microphone unit and cellular phone provided with same
CN109073431B (en) Ultrasonic transducer applied to ultrasonic flow measuring device or ultrasonic material level measuring device
US9025805B2 (en) Condenser microphone
CN115175069A (en) Moving-coil loudspeaker
JP2007104556A (en) Microphone device
US11895452B2 (en) Bone conduction microphone
JP4468280B2 (en) Microphone device
CN116419137B (en) Optical microphone and microphone system based on hollow micro-cantilever
KR100854310B1 (en) Condenser microphone with filter in sound hole of case
US9154871B2 (en) Condenser microphone
US5802198A (en) Hermetically sealed condenser microphone
JP2022120305A (en) Capacitor microphone
JP6210597B2 (en) Condenser microphone
CN113170265B (en) MEMS microphone assembly and method of manufacturing MEMS microphone assembly
CN218679383U (en) Vibration sensor
JP2009246635A (en) Capacitor microphone unit and capacitor microphone
JP2010161738A (en) Non-directional condenser microphone unit and non-directional condenser microphone
US9820026B2 (en) Microphone
CN214756915U (en) Capacitor microphone
JP2019161456A (en) Acoustic sensor element and acoustic sensor package
JP4934552B2 (en) Condenser microphone unit
JP2009027662A (en) Condenser microphone unit
KR100537435B1 (en) Directional condenser microphone