JP2022061274A - 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022061274A JP2022061274A JP2020169175A JP2020169175A JP2022061274A JP 2022061274 A JP2022061274 A JP 2022061274A JP 2020169175 A JP2020169175 A JP 2020169175A JP 2020169175 A JP2020169175 A JP 2020169175A JP 2022061274 A JP2022061274 A JP 2022061274A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- edge ring
- substrate
- heat transfer
- substrate processing
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 224
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 128
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 84
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 66
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 56
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 98
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004341 Octafluorocyclobutane Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N octafluorocyclobutane Chemical compound FC1(F)C(F)(F)C(F)(F)C1(F)F BCCOBQSFUDVTJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019407 octafluorocyclobutane Nutrition 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
- H01J37/32724—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32623—Mechanical discharge control means
- H01J37/32642—Focus rings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68735—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge profile or support profile
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】処理を行う基板の外周におけるエッチングレートを制御する技術を提供する。【解決手段】処理基板が支持される基板支持部と、前記基板支持部に支持された前記処理基板の周囲に配置されるエッジリングが支持されるエッジリング支持部と、を備え、前記エッジリング支持部は、前記エッジリング支持部の円周方向に並んで配置される複数の発熱体と、前記複数の発熱体のそれぞれに設けられ、外部から供給される電力を対応する前記発熱体に供給する複数のヒータ電力供給部と、を備える、基板支持体。【選択図】図1
Description
本開示は、基板支持体、基板処理装置および基板処理方法に関する。
例えば、特許文献1には、シリコンウエハ等の板状試料を囲むように設けられたフォーカスリングの温度を調整するプラズマエッチング装置が開示されている。また、特許文献1には、処理中のフォーカスリングの温度を一定に保持することができること、板状試料の外周部の温度を安定化することができることが開示されている。さらに、特許文献1には、板状試料の面内におけるエッチング特性を均一化することができること、フォーカスリング上に堆積物が堆積するのを防止することができることが開示されている。
本開示は、処理を行う基板の外周におけるエッチングレートを制御する技術を提供する。
本開示の一の態様によれば、処理基板が支持される基板支持部と、前記基板支持部に支持された前記処理基板の周囲に配置されるエッジリングが支持されるエッジリング支持部と、を備え、前記エッジリング支持部は、前記エッジリング支持部の円周方向に並んで配置される複数の発熱体と、前記複数の発熱体のそれぞれに設けられ、外部から供給される電力を対応する前記発熱体に供給する複数のヒータ電力供給部と、を備える、基板支持体が提供される。
本開示は、処理を行う基板の外周におけるエッチングレートを制御する技術を提供する。
以下、本開示を実施するための形態について図面を参照して説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の構成については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。なお、理解を容易にするため、図面における各部の縮尺は、実際とは異なる場合がある。平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右などの方向には、実施形態の効果を損なわない程度のずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直が含まれてもよい。
<基板処理装置1の全体構成>
まず、図1を参照しながら基板処理装置1の全体構成の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す断面図である。なお、本実施形態では、基板処理装置1がRIE(Reactive Ion Etching)型の基板処理装置である例について説明する。ただし、基板処理装置1は、プラズマエッチング装置やプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置等であってもよい。
まず、図1を参照しながら基板処理装置1の全体構成の一例について説明する。図1は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す断面図である。なお、本実施形態では、基板処理装置1がRIE(Reactive Ion Etching)型の基板処理装置である例について説明する。ただし、基板処理装置1は、プラズマエッチング装置やプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置等であってもよい。
図1において、基板処理装置1は、金属製、例えば、アルミニウム製またはステンレス鋼製の接地された円筒型の処理容器2を有し、該処理容器2内に、基板Wを載置する円板状の基板支持体10が配設されている。基板支持体10は、基台100と、静電チャック200と、を備える。基台100は、下部電極として機能する。基台100は、例えばアルミニウムからなる。基台100は、絶縁性の筒状保持部材12を介して処理容器2の底から垂直上方に延びる筒状支持部13に支持されている。
処理容器2の側壁と筒状支持部13の間には排気路14が形成され、排気路14の入口または途中に環状のバッフル板15が配設されると共に、底部に排気口16が設けられ、該排気口16に排気管17を介して排気装置18が接続されている。ここで、排気装置18は、ドライポンプおよび真空ポンプを有し、処理容器2内の処理空間を所定の真空度まで減圧する。また、排気管17は可変式バタフライバルブである自動圧力制御弁(automatic pressure control valve)(以下、「APC」という。)を有し、該APCは自動的に処理容器2内の圧力制御を行う。さらに、処理容器2の側壁には、基板Wの搬入出口19を開閉するゲートバルブ20が取り付けられている。
基台100には、整合部を介して、高周波(Radio Frequency:RF)電源が接続される。図1に示す例では、基台100には、整合部22aを介して第1高周波電源21aが接続されている。また、基台100には、整合部22bを介して第2高周波電源21bが接続されている。第1高周波電源21aは、所定周波数(例えば40MHz)のプラズマ発生用の高周波電力を基台100に供給する。第2高周波電源21bは、第1高周波電源21aよりも低い所定周波数(例えば、400kHz)のイオン引き込み用の高周波電力を基台100に供給する。
処理容器2の天井部には、上部電極としても機能するシャワーヘッド24が配設されている。これにより、基台100とシャワーヘッド24の間に、第1高周波電源21aおよび第2高周波電源21bからの2つの周波数の高周波電力が供給される。
基台100の上面には静電吸着力により基板Wを吸着する静電チャック200が設けられている。静電チャック200は、基板Wが載置される円板状の基板吸着部200aと、基板吸着部200aを囲むように形成された環状のエッジリング吸着部200bとを有する。基板吸着部200aは、エッジリング吸着部200bに対して図中上方に突出している。基板吸着部200aの上面は、基板Wを載置する基板載置面200a1である。エッジリング吸着部200bの上面はエッジリング300を載置するエッジリング載置面200b1である。エッジリング載置面200b1は、基板載置面200a1の周囲にてエッジリング300を載置するようになっている。エッジリング300は、フォーカスリングともいう。なお、後述するように、本実施形態の基板処理装置1では、エッジリング300は、複数のエッジリング片301~306から構成される。
また、基板吸着部200aは、導電膜からなる基板吸着用電極210を一対の誘電膜の間に挟み込むことによって構成される。基板吸着用電極210には、第1直流電源ユニット27が電気的に接続されている。エッジリング吸着部200bは、導電膜からなるエッジリング吸着用電極220を一対の誘電膜の間に挟み込むことによって構成される。エッジリング吸着用電極220には、第2直流電源ユニット28が電気的に接続されている。なお、後述するように、本実施形態の基板処理装置1では、エッジリング吸着部200bに複数のエッジリング吸着用電極を備える。複数のエッジリング吸着用電極のそれぞれには、第2直流電源ユニット28が接続される。なお、本開示において、特に区別する必要がない場合は、それぞれのエッジリング吸着部200bの電極を総称してエッジリング吸着用電極220と呼ぶ。
エッジリング吸着部200bは、エッジリング300を加熱する加熱部240を備える。加熱部240は、ヒータ電源ユニット48から電力が供給されることにより発熱する。加熱部240が発熱することにより、エッジリング300が加熱される。後述するように、本実施形態の基板処理装置1では、エッジリング吸着部200bに複数の発熱線を備える。
なお、基板吸着部200aは基板支持部、エッジリング吸着部200bはエッジリング支持部の一例である。
また、本実施形態の基板処理装置1は、エッジリング吸着部200bの温度を測定するために、光学式温度計50を備える。光ファイバが、光学式温度計50から静電チャック200の下面まで延在する。静電チャックの下面から光を用いて、静電チャック200のエッジリング吸着部200bの温度を測定する。なお、光学式温度計50は、温度センサの一例である。
なお、基板支持体10と、エッジリング300との組み合わせを、基板支持体アセンブリ5という場合がある。
第1直流電源ユニット27および第2直流電源ユニット28は、供給する直流電圧のレベルおよび極性の変更が可能とされている。第1直流電源ユニット27は、後述する制御部43からの制御により、基板吸着用電極210に直流電圧を印加する。第2直流電源ユニット28は、制御部43からの制御により、エッジリング吸着用電極220に直流電圧を印加する。静電チャック200は、第1直流電源ユニット27から基板吸着用電極210に印加された電圧によりクーロン力等の静電気力を発生させ、静電気力により静電チャック200に基板Wを吸着保持する。また、静電チャック200は、第2直流電源ユニット28からエッジリング吸着用電極220に印加された電圧によりクーロン力等の静電気力を発生させ、静電気力により静電チャック200にエッジリング300を吸着保持する。第2直流電源ユニット28は、複数のエッジリング吸着用電極のそれぞれに、個別の電圧を印加することができる。
なお、本実施形態の静電チャック200は、基板吸着部200aとエッジリング吸着部200bとが一体となっているが、基板吸着部200aとエッジリング吸着部200bとをそれぞれ別の静電チャックとしてもよい。すなわち、基板吸着用電極210とエッジリング吸着用電極220とがそれぞれ独立した誘電膜に挟まれるように構成してもよい。また、本実施形態のエッジリング吸着用電極220は、単極の電極の例を示したが、双極の電極としてもよい。なお、双極の場合、プラズマが生成されていないときでも、エッジリング300を吸着することができる。
基台100の内部には、例えば、円周方向に延在する流路110が設けられている。流路110には、チラーユニット32から配管33、34を介して所定温度の冷媒、例えば、冷却水が循環供給され、当該冷媒の温度によって静電チャック200上の基板Wの処理温度やエッジリング300の温度を制御する。なお、冷媒は、流路110に循環供給される温度調整用の媒体(温調媒体)の一例である。温調媒体は、基台100および基板Wを冷却するだけでなく、加熱する場合もあり得る。
また、静電チャック200には、ガス供給ライン36を介して第1伝熱ガス供給部35が接続されている。第1伝熱ガス供給部35は、ガス供給ライン36を用いて、静電チャック200の基板吸着部200aと基板Wとで挟まれる空間に伝熱ガスを供給する。静電チャック200には、ガス供給ライン46を介して第2伝熱ガス供給部45が接続されている。第2伝熱ガス供給部45は、ガス供給ライン46を用いて、静電チャック200のエッジリング吸着部200bとエッジリング300とで挟まれる空間に伝熱ガスを供給する。伝熱ガスとしては、熱伝導性を有するガス、例えば、ヘリウムガス等が好適に用いられる。なお、複数のエッジリングのそれぞれに対応して、第2伝熱ガス供給部45から伝熱ガスが供給される。
伝熱ガスを静電チャック200と基板Wとの間及び静電チャック200とエッジリング300との間に供給することにより、プラズマから基板Wまたはエッジリング300に入熱した熱を効率よく基台100に伝熱することができる。
天井部のシャワーヘッド24は、多数のガス通気孔37aを有する下面の電極板37と、該電極板37を着脱可能に支持する電極支持体38とを有する。電極支持体38の内部にはバッファ室39が設けられ、バッファ室39と連通するガス導入口38aには、ガス供給配管41を介して処理ガス供給部40が接続されている。
基板処理装置1の各構成要素は、制御部43に接続されている。例えば、排気装置18、第1高周波電源21a、第2高周波電源21b、整合部22a、整合部22b、第1直流電源ユニット27、第2直流電源ユニット28、ヒータ電源ユニット48、チラーユニット32、第1伝熱ガス供給部35、第2伝熱ガス供給部45および処理ガス供給部40は、制御部43に接続される。また、光学式温度計50も、制御部43に接続される。制御部43は、基板処理装置1の各構成要素を制御する。
制御部43は、図示しない中央処理装置(CPU)およびメモリなどの記憶装置を備え、記憶装置に記憶されたプログラムおよび処理レシピを読み出して実行することで、基板処理装置1において所望の処理を実行する。また、制御部43は、エッジリング300を静電吸着するための静電吸着処理を行う。さらに、制御部43は、加熱部240を制御して、エッジリング300の温度制御処理を行う。
基板処理装置1では、まずゲートバルブ20を開状態にして加工対象の基板Wを処理容器2内に搬入し、静電チャック200の上に載置する。そして、基板処理装置1では、処理ガス供給部40より処理ガスを所定の流量および流量比で処理容器2内に導入する。処理ガスとしては、例えば、オクタフルオロシクロブタンガス、酸素ガスおよびアルゴンガスから成る混合ガスである。そして、基板処理装置1では、排気装置18等により処理容器2内の圧力を所定値にする。
さらに、基板処理装置1では、第1高周波電源21aおよび第2高周波電源21bからそれぞれ周波数の異なる高周波電力を基台100に供給する。また、基板処理装置1では、第1直流電源ユニット27より直流電圧を静電チャック200の基板吸着用電極210に印加して、基板Wを静電チャック200に吸着する。また、基板処理装置1では、第2直流電源ユニット28より直流電圧を静電チャック200のエッジリング吸着用電極220に印加して、エッジリング300を静電チャック200に吸着する。シャワーヘッド24より吐出された処理ガスはプラズマ化され、プラズマ中のラジカルやイオンによって基板Wにエッチング処理が施される。
<エッジリング300の吸着>
エッジリング300の吸着について説明する。図2は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング300周辺の拡大断面図である。本実施形態の基板処理装置1は、一例では、周方向に分割された複数のエッジリング片301~306を備える。また、基板処理装置1は、各エッジリング片301~306に対応してそれぞれエッジリング吸着用電極221~226を備える(図3、図5参照)。ここでは、各エッジリング片301~306と、当該エッジリング片301~306に対応するエッジリング吸着用電極221~226のうち、エッジリング片301、エッジリング吸着用電極221を用いて説明する。
エッジリング300の吸着について説明する。図2は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング300周辺の拡大断面図である。本実施形態の基板処理装置1は、一例では、周方向に分割された複数のエッジリング片301~306を備える。また、基板処理装置1は、各エッジリング片301~306に対応してそれぞれエッジリング吸着用電極221~226を備える(図3、図5参照)。ここでは、各エッジリング片301~306と、当該エッジリング片301~306に対応するエッジリング吸着用電極221~226のうち、エッジリング片301、エッジリング吸着用電極221を用いて説明する。
エッジリング片301は、エッジリング吸着用電極221により、静電チャック200に吸着される。エッジリング吸着用電極221は、第2直流電源ユニット28から電圧が供給される給電部221aを有する。また、エッジリング吸着用電極221は、ガス供給ライン46が貫通する貫通孔221bを有する。
静電チャック200は、エッジリング載置面200b1に、ガス供給ライン46から伝熱ガスが供給される伝熱ガス供給孔231aを有する。
伝熱ガスは、第2伝熱ガス供給部45からガス供給ライン46を介して伝熱ガス供給孔231aに供給される。第2伝熱ガス供給部45は、伝熱ガス供給源45aと、圧力制御弁45b1を備える。なお、後述するように、第2伝熱ガス供給部45は、複数のエッジリング片301~306に対応して、それぞれ圧力制御弁45b1~45b6を備える。図2では、一つのエッジリング片301について説明する。
伝熱ガス供給孔231aに供給された伝熱ガスは、エッジリング載置面200b1に設けられた伝熱ガス溝231(図4参照)を介して、エッジリング片301の裏面301cと、エッジリング載置面200b1との間に供給される。
また、エッジリング吸着用電極221の下側に、加熱部240を備える。加熱部240は、後述する発熱線と、供給部を備える(図6参照)。なお、図2では、発熱線の詳細を省略して示している。
<基板処理装置1のエッジリング300>
図3は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板支持体アセンブリ5の上面図である。基板支持体アセンブリ5は、静電チャック200のエッジリング載置面200b1に載置され吸着されるエッジリング300を備える。一例では、エッジリング300は複数のエッジリング片を備える。具体的には、基板支持体アセンブリ5は、6個のエッジリング片301~306を備える。
図3は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板支持体アセンブリ5の上面図である。基板支持体アセンブリ5は、静電チャック200のエッジリング載置面200b1に載置され吸着されるエッジリング300を備える。一例では、エッジリング300は複数のエッジリング片を備える。具体的には、基板支持体アセンブリ5は、6個のエッジリング片301~306を備える。
エッジリング片301~306は、一例では、基板載置面200a1、すなわち、基板Wの周囲に等間隔で配置される。この場合、エッジリング片301~306は、それぞれ同じ形状であってよい。なお、エッジリング片の個数については、エッジリング載置面200b1を全て覆うことができれば、2個以上であればよい。伝熱ガスのリーク量の抑制や作業性の観点から、3~9個が好ましく、4~8個がより好ましい。また、エッジリング片301~306は、それぞれ異なる形状であってもよく、エッジリング載置面200b1の周囲に不等間隔で配置されてもよい。
<静電チャック200のエッジリング載置面200b1>
次に、静電チャック200(エッジリング吸着部200b)のエッジリング載置面200b1について説明する。図4は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の上面図である。
次に、静電チャック200(エッジリング吸着部200b)のエッジリング載置面200b1について説明する。図4は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の上面図である。
静電チャック200は、静電チャック200のエッジリング載置面200b1に、エッジリング片301~306のそれぞれに対応して、伝熱ガス溝231~236を備える。具体的には、静電チャック200は、エッジリング片301が吸着される領域(エッジリング片301の裏面に対向する部分)に伝熱ガス溝231を備える。同様に、エッジリング吸着部200bは、エッジリング片302、303、304、305、306のそれぞれの裏面に対向する部分に、それぞれ伝熱ガス溝232、233、234、235、236を備える。
伝熱ガス溝231~236のそれぞれは、エッジリング載置面200b1に垂直な方向にくぼむように形成されている。伝熱ガス溝231~236のそれぞれは、それぞれ伝熱ガス供給孔231a~236aを有する。伝熱ガス供給孔231aから供給される伝熱ガスは、エッジリング片301と伝熱ガス溝231との間に充填される。エッジリング片302~306と、伝熱ガス溝232~236についても同様である。
伝熱ガス溝231~236は、それぞれ伝熱ガス供給孔231a~236aを備え、それぞれ分離して設けられていることから、伝熱ガス溝231~236のそれぞれに、独立して伝熱ガスを供給することができる。なお、伝熱ガス溝の形状については、それぞれ伝熱ガス供給孔と連通していれば、アーチ型に限らず、伝熱ガス溝を径方向や円周方向に分割してもよい。
本実施形態の基板処理装置1は、伝熱ガス溝231~236のそれぞれに供給する伝熱ガスの圧力を独立に制御することができる。伝熱ガス溝231~236のそれぞれに供給する伝熱ガスの圧力を独立に制御することにより、伝熱ガスのリーク量を制御することができる。伝熱ガスの圧力を制御して、リーク量も制御(低減)することにより、エッジリング片301~306の温度を安定させることができる。
<静電チャック200のエッジリング吸着用電極220>
次に、静電チャック200のエッジリング吸着用電極220について説明する。図5は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の断面図である。具体的には、図2に示す静電チャック200のエッジリング吸着用電極220の部分で、エッジリング載置面200b1に平行な面I-Iで切断した断面図である。
次に、静電チャック200のエッジリング吸着用電極220について説明する。図5は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の断面図である。具体的には、図2に示す静電チャック200のエッジリング吸着用電極220の部分で、エッジリング載置面200b1に平行な面I-Iで切断した断面図である。
静電チャック200は、エッジリング片301~306のそれぞれに対応して、エッジリング吸着用電極221~226を備える。具体的には、静電チャック200は、エッジリング片301が吸着される領域(エッジリング片301の裏面に対向する部分)の内部にエッジリング吸着用電極221を備える。同様に、静電チャック200は、エッジリング片302、303、304、305、306のそれぞれの裏面に対向する部分の内部に、それぞれエッジリング吸着用電極222、223、224、225、226を備える。
エッジリング吸着用電極221~226のそれぞれは、第2直流電源ユニット28から給電される給電部221a~226aを有する。また、エッジリング吸着用電極221~226のそれぞれは、ガス供給ライン46が貫通する貫通孔221b~226bを有する。貫通孔221b~226bには、セラミック製のスリーブが内嵌されており、エッジリング吸着用電極221~226から絶縁されている。エッジリング吸着用電極221~226は、それぞれ給電部221a~226aを有し、それぞれ分離して設けられていることから、エッジリング吸着用電極221~226のそれぞれに、独立して電圧を供給(印加)することができる。
エッジリング吸着用電極221~226に印加する印加電圧を制御することで伝熱ガスのリーク量を制御することができる。印加電圧を制御して、リーク量も制御(低減)することにより、エッジリング片301~306の温度を安定させることができる。なお、エッジリング吸着用電極221~226のそれぞれは、吸着電極の一例である。
<静電チャック200の加熱部240>
次に、静電チャック200の加熱部240について説明する。図6は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の断面図である。具体的には、図2に示す静電チャック200の加熱部240の部分で、エッジリング載置面200b1に平行な面II-IIで切断した断面図である。
次に、静電チャック200の加熱部240について説明する。図6は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の断面図である。具体的には、図2に示す静電チャック200の加熱部240の部分で、エッジリング載置面200b1に平行な面II-IIで切断した断面図である。
静電チャック200のエッジリング吸着部200bは、エッジリング吸着部200bを円周方向に分割した複数の分割領域241A~246Aのそれぞれに、一端から他端に電流を流すことにより発熱する発熱線241~246を備える。発熱線は、発熱体の一例である。エッジリング吸着部200bは、エッジリング吸着部200bにおけるエッジリング300を載置する領域を円周方向に分割した複数の分割領域のそれぞれに設けられる発熱線を複数備える。
具体的には、エッジリング吸着部200bは、分割領域241Aに発熱線241を備える。同様に、エッジリング吸着部200bは、分割領域242A~246Aのそれぞれに対応して、それぞれ発熱線242~246を備える。
また、発熱線241~246は、エッジリング吸着部200bの円周方向に並んで配置されている。
また、発熱線241~246のそれぞれは、エッジリング片301~306のそれぞれに対応して設けられる。具体的には、静電チャック200は、エッジリング片301が吸着される領域(エッジリング片301の裏面に対向する部分)の内部に発熱線241を備える。同様に、静電チャック200は、エッジリング片302~306のそれぞれの裏面に対向する部分の内部に、それぞれ発熱線242~246を備える。
発熱線241~246のそれぞれは、それぞれの一端から他端に電流を流すことにより発熱する。発熱線241~246のそれぞれが発熱することにより、エッジリング片301~306を加熱する。発熱線241~246のそれぞれは、ヒータ電源48ユニットから給電されるヒータ電力供給部241a~246aを有する。ヒータ電力供給部241a~246aのそれぞれは、発熱線241~246のそれぞれの一端に電力を入力し、他端から出力する。
また、図6には、ガス供給ライン46が貫通する貫通孔241b~246bが示されている。発熱線241~246は、それぞれヒータ電力供給部241a~246aを有し、それぞれ分離して設けられていることから、発熱線241~246のそれぞれに、独立してヒータ用の電力を供給(印加)することができる。発熱線241~246は、エッジリング吸着部200bを円周方向に分割した複数の分割領域のそれぞれに設けられる。
発熱線241~246に印加する印加電圧を制御することでエッジリング300の温度を制御することができる。エッジリング300の温度を制御することによって、基板を処理する際のエッジレートを制御することができる。
なお、本実施形態の発熱線241~246のそれぞれは、エッジリング片301~306のそれぞれの対応した位置に設けられているが、発熱線はエッジリング片の対応した位置から円周方向にずれた状態で設けられてもよい。
また、本実施形態の発熱線241~246のそれぞれの形状は、図6に示したミアンダ形状に限らない。例えば、発熱線の折り返し幅や折り返し周期は適宜変更してもよい。また、例えば、発熱線の形状は、直線を組み合わせた折れ線状の形状でもよい。さらに、発熱線を、エッジリング載置面200b1に対して垂直な方向に積層された複数の層により形成してもよい。複数の層に形成する場合には、例えば、上層と下層で発熱線の形状を変えてもよい。また、複数の層に形成する場合には、例えば、一つの層の発熱線を円周方向に並んで配置せずに同心円状に形成した発熱線として、他の層の円周方向に並んで配置した発熱線と組み合わせてもよい。
<静電チャック200への伝熱ガスの供給>
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200への伝熱ガスの供給について説明する。図7は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200への伝熱ガスの供給を説明する図である。
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200への伝熱ガスの供給について説明する。図7は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200への伝熱ガスの供給を説明する図である。
エッジリング片301~306に対応して設けられた伝熱ガス溝231~236の伝熱ガス供給孔231a~236aは、第2伝熱ガス供給部45に接続される。第2伝熱ガス供給部45は、各伝熱ガス溝231~236に対応して圧力制御弁45b1~45b6を備える。各圧力制御弁45b1~45b6は、制御部43によりそれぞれ圧力を設定可能になっている。各圧力制御弁45b1~45b6は、供給する伝熱ガスの圧力が、設定された圧力設定値になるように制御を行う。静電チャック200への伝熱ガスの制御を行うことによって、基板支持体アセンブリ5の制御を行う。
制御部43は、各圧力制御弁45b1~45b6の圧力設定値を同じ値にしてもよい。また、基板処理装置1の基板処理結果に基づいて、各圧力制御弁45b1~45b6の圧力設定値を変えてもよい。例えば、処理レートが速い領域に近いエッジリング片に対応する圧力制御弁の圧力設定値を処理レートが遅くなるように変更(例えば、高く)してもよい。さらに、制御部43は、各エッジリング片301~306の温度に基づいて、各圧力制御弁45b1~45b6の圧力の設定値を変えてもよい。例えば、温度の高いエッジリング片に対応する圧力制御弁の圧力設定値を変更(例えば、高く)してもよい。
<静電チャック200への吸着電力の供給>
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200への吸着電力の供給について説明する。図8は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200への吸着電力の供給を説明する図である。
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200への吸着電力の供給について説明する。図8は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200への吸着電力の供給を説明する図である。
エッジリング片301~306に対応して設けられたエッジリング吸着用電極221~226は、第2直流電源ユニット28に接続される。第2直流電源ユニット28は、各エッジリング吸着用電極221~226に直流電力を供給する吸着用直流電源28aと、各エッジリング吸着用電極221~226に対応して電圧変換部28b1~28b6とを備える。各電圧変換部28b1~28b6は、制御部43によりそれぞれ出力する電圧を設定可能になっている。各電圧変換部28b1~28b6は、出力する電圧が、設定された電圧設定値になるように制御を行う。静電チャック200への電力の制御を行うことによって、基板支持体アセンブリ5の制御を行う。
<静電チャック200へのヒータ電力の供給>
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200へのヒータ電力の供給について説明する。図9は、本実施形態に係る基板処理装置1の加熱部240へのヒータ電力の供給および温度測定を説明する図である。
次に、基板支持体アセンブリ5の制御方法の一例について説明する。ここでは、静電チャック200へのヒータ電力の供給について説明する。図9は、本実施形態に係る基板処理装置1の加熱部240へのヒータ電力の供給および温度測定を説明する図である。
エッジリング片301~306に対応して設けられた発熱線241~246は、ヒータ電力供給部241a~246aを介してヒータ電源ユニット48に接続される。ヒータ電源ユニット48は、ヒータ電源48aと、各発熱線241~246に対応して電流調整部48b1~48b6とを備える。各電流調整部48b1~48b6は、制御部43によりそれぞれ出力する電力(電流)を設定可能になっている。各電流調整部48b1~48b6は、出力する電力(電流)が、設定された電力(電流)設定値になるように制御を行う。静電チャック200へのヒータ電力の制御を行うことによって、基板支持体アセンブリ5の制御を行う。なお、ヒータ電源48aからは、交流の電力を供給してもより、直流の電力を供給してもよい。
また、光学式温度計50は、静電チャック200の分割領域241A~246Aのそれぞれの温度を測定する。例えば、光学式温度計50は、分割領域241A内の測定点241Pの温度を測定する。同様に、光学式温度計50は、分割領域242A~246Aのそれぞれの領域内の測定点242P~測定点242Pの温度を測定する。
なお、静電チャック200の分割領域241A~246Aのそれぞれの温度を測定する温度センサは、光学式温度計50に限らない。光学式温度計以外の温度センサとして、測温抵抗体、熱電対又はサーミスター等を用いてもよい。さらに、発熱線241~246のそれぞれの抵抗値を測定することにより、分割領域241A~246Aのそれぞれの温度を測定してもよい。すわなち、発熱線241~246のそれぞれを温度センサとして用いてもよい。
<エッチングレートの分布>
図10は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッチングレートの分布の例を説明する図である。例えば、図10において、基板W(ウエハ)の領域RAは、エッチングレートを上げたい領域を示す。また、図10において、基板W(ウエハ)の領域RBは、エッチングレートを下げたい部分を示す。
図10は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッチングレートの分布の例を説明する図である。例えば、図10において、基板W(ウエハ)の領域RAは、エッチングレートを上げたい領域を示す。また、図10において、基板W(ウエハ)の領域RBは、エッチングレートを下げたい部分を示す。
最初に、基板W(ウエハ)の領域RAについて説明する。基板W(ウエハ)の領域RAのエッチングレートを上げたい場合は、領域RAに近接するエッジリング片306の温度を低くする。エッジリング片306の温度を低くするために、エッジリング片306の下の発熱線246への電力の供給を抑える。発熱線246への電力の供給を抑えると、発熱線246の発熱量が少なくなる。発熱線246の発熱量が少なくなると、エッジリング片306の温度が下がる。
エッジリング片306の温度が下がることにより、エッジリング片306近傍の基板W(ウエハ)の領域RAにおけるエッチングレートを上げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッチングリング片の温度を下げるとエッチングレートが下がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を上げることによって、エッチングレートを上げることができる。
次に、基板W(ウエハ)の領域RBについて説明する。基板W(ウエハ)の領域RBのエッチングレートを下げたい場合は、領域RBに近接するエッジリング片303の温度を高くする。エッジリング片303の温度を高くするために、エッジリング片303の下の発熱線243への電力の供給を増やす。発熱線243への電力の供給を増やすと、発熱線243の発熱量が大きくなる。発熱線243の発熱量が多くなると、エッジリング片303の温度は上がる。
エッジリング片303の温度が上がることにより、エッジリング片303近傍の基板W(ウエハ)の領域RBにおけるエッチングレートを下げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッジリング片の温度を上げるとエッチングレートが上がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を下げることによって、エッチングレートを下げることができる。
このように、エッジリング300は、周方向に分割された複数のエッジリング片301~306により構成する。また、それぞれのエッジリング片301~306の下の発熱線241~246へのヒータ電力の供給を独立して制御する。エッジリングを複数のエッジリング片で構成し、発熱線の電力を独立して制御することにより、エッジリングの温度制御性を向上させることができる。すなわち、分割した複数のエッジリング片301~306に対応した領域ごとに温度制御することができる。エッジリング片ごとに温度制御を行うことによって、基板Wのエッジリング片それぞれの近傍におけるエッチングレートを制御することができる。
<基板処理方法>
基板処理装置1を用いた基板処理方法について説明する。図11は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板処理方法について説明する図である。具体的には、制御部43が行う制御のフローチャートである。各処理ステップ(工程)について説明する。
基板処理装置1を用いた基板処理方法について説明する。図11は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板処理方法について説明する図である。具体的には、制御部43が行う制御のフローチャートである。各処理ステップ(工程)について説明する。
(ステップS10)
最初に、制御部43は、複数のエッジリング片301、302、303、304、305および306をエッジリング吸着部200bに吸着するように制御する。
最初に、制御部43は、複数のエッジリング片301、302、303、304、305および306をエッジリング吸着部200bに吸着するように制御する。
(ステップS20)
次に、制御部43は、基板W(処理基板)を静電チャック200に載置するように制御する。
次に、制御部43は、基板W(処理基板)を静電チャック200に載置するように制御する。
(ステップS30)
次に、制御部43は、伝熱ガス溝に伝熱ガスを供給する制御を行う。
次に、制御部43は、伝熱ガス溝に伝熱ガスを供給する制御を行う。
(ステップS40)
次に、制御部43は、基板W(ウエハ)の処理(基板処理)を開始する。基板処理としては、例えば、基板W(ウエハ)のエッチングを行う。なお、制御部43は、ステップS40において、基板処理を開始する前に、発熱線241~246が設定された温度になるように温度制御を行う。当該温度制御は基板処理を開始する前であればよく、例えば、ステップS30より後でステップS40より前に行ってもよいし、ステップS30より前に行ってもよい。
次に、制御部43は、基板W(ウエハ)の処理(基板処理)を開始する。基板処理としては、例えば、基板W(ウエハ)のエッチングを行う。なお、制御部43は、ステップS40において、基板処理を開始する前に、発熱線241~246が設定された温度になるように温度制御を行う。当該温度制御は基板処理を開始する前であればよく、例えば、ステップS30より後でステップS40より前に行ってもよいし、ステップS30より前に行ってもよい。
(ステップS50)
次に、制御部43は、領域ごと、すなわち、エッジリング片ごとに、加熱部240の温度を制御する。具体的には、制御部43は、ヒータ電源ユニット48を制御して、発熱線241~246のそれぞれへの電力の供給を制御する。制御部43は、光学式温度計50によって取得した各領域の温度に基づいて制御を行う。発熱線241~246のそれぞれへの電力の供給を制御することによって、発熱線241~246の発熱量が制御される。発熱線241~246の発熱量に応じて、エッジリング片301~306のそれぞれの温度が制御される。
次に、制御部43は、領域ごと、すなわち、エッジリング片ごとに、加熱部240の温度を制御する。具体的には、制御部43は、ヒータ電源ユニット48を制御して、発熱線241~246のそれぞれへの電力の供給を制御する。制御部43は、光学式温度計50によって取得した各領域の温度に基づいて制御を行う。発熱線241~246のそれぞれへの電力の供給を制御することによって、発熱線241~246の発熱量が制御される。発熱線241~246の発熱量に応じて、エッジリング片301~306のそれぞれの温度が制御される。
制御部43は、温度を制御する際には、光学式温度計50により測定された分割領域241A~246Aにおける温度を用いて制御を行う。すなわち、光学式温度計50より測定した温度が、所望の温度になるように、発熱線241~246のそれぞれへの電力の供給を制御する。
(ステップS60)
次に、制御部43は、基板処理が終了したかどうかを判定する。基板処理が終了した場合(ステップS60のYes)には処理を終了する。処理が終了していない場合(ステップS60のNo)には、ステップS140に戻って処理を繰り返す。ステップS40とステップS60との間において、基板を処理する工程が並行して行われる。
次に、制御部43は、基板処理が終了したかどうかを判定する。基板処理が終了した場合(ステップS60のYes)には処理を終了する。処理が終了していない場合(ステップS60のNo)には、ステップS140に戻って処理を繰り返す。ステップS40とステップS60との間において、基板を処理する工程が並行して行われる。
以上の処理を行うことにより、エッジリング片ごとの温度を制御することができる。エッジリング片ごとに温度制御を行うことによって、基板Wのエッジリング片それぞれの近傍におけるエッチングレートを制御することができる。
<エッジリングの温度の設定について>
エッジリングの温度の設定について、例えば、基板処理装置1で行った基板処理の枚数やロット数によって定めてもよい。例えば、図12は、本実施形態に係る基板処理装置1での処理枚数とエッチングレートの変動率について説明する図である。
エッジリングの温度の設定について、例えば、基板処理装置1で行った基板処理の枚数やロット数によって定めてもよい。例えば、図12は、本実施形態に係る基板処理装置1での処理枚数とエッチングレートの変動率について説明する図である。
図12のグラフの横軸は、処理を行うウエハにおける半径方向の位置を示す。また、図12のグラフの縦軸は、エッチングレートの変動率を表す。エッチングレートの変動率とは、目標とするエッチングレートを100%として、目標のエッチングレートに対する変動率を表す。
ラインN1は基板処理をウエハ1枚行ったとき(1枚目のウエハ)のエッチングレートの変動率を示す。ラインN10は基板処理をウエハ10枚行ったとき(10枚目のウエハ)のエッチングレートの変動率を示す。ラインN25は基板処理をウエハ25枚行ったとき(25枚目のウエハ)のエッチングレートの変動率を示す。
基板処理を行ったウエハの枚数が増えると、ウエハの特に端部のエッチングレートが低くなる。基板処理を行ったウエハの枚数が増えるとウエハのエッチングレートが低くなるのは、エッジリングの温度が基板処理を行うと上昇していくことによるものである。なお、図12は、エッジリングを吸着せず冷却ガスを入れないときの変動を試験した結果を示す。
上述のように、エッチングレートと基板処理を行ったウエハの枚数(処理枚数)との相関関係が既知であれば、エッチングレートと、基板処理を行ったウエハの枚数(処理枚数)との相関関係を示すデータに基づいて、エッジリングの温度の設定を変更してもよい。また、基板処理を行ったウエハの枚数(処理枚数)は、基板の処理を行った時間、すなわち、基板の処理時間と考えることができることから、エッチングレートと、基板の処理時間とは基板の処理時間との相関関係を示すデータに基づいて設定を行ってもよい。
≪変形例≫
<基板処理方法の変形例1>
基板処理方法の変形例について説明する。図13は、本実施形態に係る基板処理装置の基板処理方法の変形例について説明する図である。図13に示す基板処理方法では、加熱部240を用いたエッジリングの温度制御の際に、静電チャック200の伝熱ガスの圧力の制御を同時に行う。
<基板処理方法の変形例1>
基板処理方法の変形例について説明する。図13は、本実施形態に係る基板処理装置の基板処理方法の変形例について説明する図である。図13に示す基板処理方法では、加熱部240を用いたエッジリングの温度制御の際に、静電チャック200の伝熱ガスの圧力の制御を同時に行う。
基板W(ウエハ)のエッジリング片近傍の領域のエッチングレートを上げたい場合は、当該エッジリング片の伝熱ガスの圧力を高くする。エッチングレートを上げたい領域の近傍のエッジリング片の伝熱ガスの圧力を高くすると、エッジリング片から静電チャック200への伝熱が促進され、エッジリング片の冷却が促進される。エッジリング片の冷却が促進されることにより、当該エッジリング片の温度は下がる。
エッジリング片の温度が下がることにより、当該エッジリング片近傍の基板W(ウエハ)の近傍領域におけるエッチングレートを上げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッジリング片の温度を下げるとエッチングレートが下がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を上げることによって、エッチングレートを上げることができる。
また、基板W(ウエハ)のエッジリング片近傍領域のエッチングレートを下げたい場合は、当該エッジリング片の伝熱ガスの圧力を低くする。エッチングレートを下げたい領域の近傍のエッジリング片の伝熱ガスの圧力を低くすると、エッジリング片から静電チャック200への伝熱が抑制され、エッジリング片の冷却が抑制される。エッジリング片の冷却が抑制されることにより、当該エッジリング片の温度は上がる。
エッジリング片の温度が上がることにより、当該エッジリング片近傍の基板W(ウエハ)の近傍領域におけるエッチングレートを下げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッジリングの温度を上げるとエッチングレートが上がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を下げることによって、エッチングレートを下げることができる。
変形例1では、ステップS50の後に、領域ごとに伝熱ガスの圧力を制御する工程を追加すること(ステップS52)により、エッジリング片ごとの温度を制御することができる。
<基板処理方法の変形例2>
基板処理方法の変形例について説明する。図14は、本実施形態に係る基板処理装置の基板処理方法の変形例について説明する図である。図14に示す基板処理方法では、加熱部240を用いたエッジリングの温度制御の際に、静電チャック200の吸着力の制御を同時に行う。
基板処理方法の変形例について説明する。図14は、本実施形態に係る基板処理装置の基板処理方法の変形例について説明する図である。図14に示す基板処理方法では、加熱部240を用いたエッジリングの温度制御の際に、静電チャック200の吸着力の制御を同時に行う。
基板W(ウエハ)のエッジリング片近傍の領域のエッチングレートを上げたい場合は、当該エッジリング片に対する吸着力を上げる。具体的には、エッジリングを吸着する電極への電圧を上げる。エッチングレートを上げたい領域の近傍のエッジリング片に対する吸着力を上げると、エッジリング片から静電チャック200への伝熱が促進され、エッジリング片の冷却が促進される。エッジリング片の冷却が促進されることにより、当該エッジリング片の温度は下がる。
エッジリング片の温度を下げることにより、当該エッジリング片近傍の基板W(ウエハ)のエッチングレートを上げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッジリングの温度を下げるとエッチングレートが下がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を上げることによって、エッチングレートを上げることができる。
また、基板W(ウエハ)のエッジリング片近傍領域のエッチングレートを下げたい場合は、当該エッジリング片に対する吸着力を下げる。具体的には、エッジリングを吸着する電極への電圧を下げる。エッチングレートを下げたい領域の近傍のエッジリング片に対する吸着力を下げると、エッジリング片から静電チャック200への伝熱が抑制され、エッジリング片の冷却が抑制される。エッジリング片の冷却が抑制されることにより、当該エッジリング片の温度は上がる。
エッジリング片の温度を上げることにより、エッジリング片近傍の基板W(ウエハ)の領域RBにおけるエッチングレートを下げることができる。なお、上記の説明は一例であり、基板Wの膜種(膜の材質)によっては、エッジリング片の温度を上げるとエッチングレートが上がる場合がある。この場合には、エッジリング片の温度を下げることによって、エッチングレートを下げることができる。
変形例2では、ステップS50の後に、領域ごとに伝熱ガスの圧力を制御する工程を追加すること(ステップS54)により、エッジリング片ごとの温度を制御することができる。
なお、領域ごとに加熱部の温度を制御する工程(ステップS50)とともに、領域ごとの伝熱ガスの圧力を制御する工程(ステップS52)および電極に印加する電圧を制御する工程(ステップS54)を行ってもよい。
<エッジリングの変形例>
本実施形態の基板処理装置1では、エッジリング300は、複数のエッジリングを備えていたが、例えば、エッジリング300を一体のエッジリングとしてもよい。図15は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板支持体アセンブリ5の変形例である基板支持体アセンブリ5Aの上面図である。基板支持体アセンブリ5Aは、一体のエッジリング310を備える。
本実施形態の基板処理装置1では、エッジリング300は、複数のエッジリングを備えていたが、例えば、エッジリング300を一体のエッジリングとしてもよい。図15は、本実施形態に係る基板処理装置1の基板支持体アセンブリ5の変形例である基板支持体アセンブリ5Aの上面図である。基板支持体アセンブリ5Aは、一体のエッジリング310を備える。
エッジリング310においても、加熱部240により制御することによって、エッジリングの円周方向の領域に温度分布が生じる。エッジリング310の温度が円周方向に分布を有することによって、エッジリング310の近傍における基板Wのエッチングレートを制御することができる。
<加熱部の変形例>
本実施形態の基板処理装置1では、加熱部240は、6本の発熱線により構成されていたが、発熱線の本数は6本に限らない。例えば、発熱線は、3本以上9本以下の発熱線を備えていてもよい。なお、発熱線の数が多い方が、温度の制御を周方向に細かく行うことができる。図16は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の変形例である静電チャック1200の断面図である。具体的には、図6と同様に、エッジリング載置面に平行な面で切断した断面図(図2のII-II断面図)である。静電チャック1200は、8本の発熱線を備える。
本実施形態の基板処理装置1では、加熱部240は、6本の発熱線により構成されていたが、発熱線の本数は6本に限らない。例えば、発熱線は、3本以上9本以下の発熱線を備えていてもよい。なお、発熱線の数が多い方が、温度の制御を周方向に細かく行うことができる。図16は、本実施形態に係る基板処理装置1の静電チャック200の変形例である静電チャック1200の断面図である。具体的には、図6と同様に、エッジリング載置面に平行な面で切断した断面図(図2のII-II断面図)である。静電チャック1200は、8本の発熱線を備える。
静電チャック1200は、発熱線1241~1248を備える。発熱線1241~1246のそれぞれは、ヒータ電源ユニット48から給電される供給部1241a~1248aを有する。また、図16には、ガス供給ライン46が貫通する貫通孔1241b~1248bが示されている。発熱線1241~1248は、それぞれ供給部1241a~1248aを有し、それぞれ分離して設けられていることから、発熱線1241~1246のそれぞれに、独立してヒータ用の電力を供給(印加)することができる。
<エッジリング片301~306の端部構造>
図17から図19を用いて、エッジリング300の分割部の構造、すなわち、エッジリング片301~306の端部構造について説明する。エッジリング片301~306の端部構造は、隣接するエッジリング片の間において、プラズマにエッジリング載置面200b1が露出しない構造であることが好ましい。隣接するエッジリング片の間とは、例えば、図3を用いて説明すると、エッジリング片301の端部301bとエッジリング片302の端部302aとの合わせ目やエッジリング片301の端部301aとエッジリング片306の端部306bとの合わせ目である。
図17から図19を用いて、エッジリング300の分割部の構造、すなわち、エッジリング片301~306の端部構造について説明する。エッジリング片301~306の端部構造は、隣接するエッジリング片の間において、プラズマにエッジリング載置面200b1が露出しない構造であることが好ましい。隣接するエッジリング片の間とは、例えば、図3を用いて説明すると、エッジリング片301の端部301bとエッジリング片302の端部302aとの合わせ目やエッジリング片301の端部301aとエッジリング片306の端部306bとの合わせ目である。
具体的には、エッジリング片301~306のそれぞれは、周方向の両端部に、隣接するエッジリング片301~306の端部と、鉛直方向に重なる相補的な構造を有することが好ましい。以下に、エッジリング片301と、このエッジリング片301に隣接するエッジリング片302およびエッジリング片306の端部構造について説明する。なお、以下の説明では、特定のエッジリング片について説明するが、他のエッジリング片についても同様である。
[第1例]
図17は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Aと、このエッジリング片301Aと隣接するエッジリング片302Aおよび306Aの端部の断面図である。
図17は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Aと、このエッジリング片301Aと隣接するエッジリング片302Aおよび306Aの端部の断面図である。
図17において、エッジリング片301A、302Aおよび306Aの左側端部を一端部、右側端部を他端部とする。エッジリング片301Aは、一端部に第1傾斜面301Aaを有する。エッジリング片302Aは、一端部に第1傾斜面302Aaを有する。また、エッジリング片301Aは、他端部に第2傾斜面301Abを有する。エッジリング片306Aは、他端部に第2傾斜面306Abを有する。
エッジリング300をエッジリング吸着部200bに吸着させた状態において、エッジリング片301Aの第1傾斜面301Aaは、隣接するエッジリング片306Aの第2傾斜面306Abと当接する。同様に、エッジリング片301Aの第2傾斜面301Abは、隣接するエッジリング片302Aの第1傾斜面302Aaと当接する。
すなわち、エッジリング片301Aの第1傾斜面301Aaは、隣接するエッジリング片306Aの第2傾斜面306Abと鉛直方向に重なり合う相補的な傾斜面である。また、エッジリング片301Aの第2傾斜面301Abは、隣接するエッジリング片302Aの第1傾斜面302Aaと鉛直方向に重なり合う相補的な傾斜面である。
したがって、第1例によれば、エッジリング片301Aと、このエッジリング片301Aと隣接するエッジリング片302Aおよび306Aとの合わせ目において、エッジリング載置面200b1がプラズマに露出することを低減できる。
[第2例]
図18は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Bと、このエッジリング片301Bと隣接するエッジリング片302Bおよび306Bの端部の断面図である。
図18は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Bと、このエッジリング片301Bと隣接するエッジリング片302Bおよび306Bの端部の断面図である。
図18において、エッジリング片301B、302Bおよび306Bの左側端部を一端部、右側端部を他端部とする。エッジリング片301Bは、一端部に第1段差部301Baを有する。エッジリング片302Bは、一端部に第1段差部302Baを有する。また、エッジリング片301Bは、他端部に第2段差部301Bbを有する。エッジリング片306Bは、他端部に第2段差部306Bbをそれぞれ有する。
エッジリング300をエッジリング吸着部200bに吸着させた状態で、エッジリング片301Bの第1段差部301Baは、隣接するエッジリング片306Bの第2段差部306Bbと嵌合する。同様に、エッジリング片301Bの第2段差部301Bbは、隣接するエッジリング片302Bの第1段差部302Baと嵌合する。すなわち、エッジリング片301Bの第1段差部301Baは、隣接するエッジリング片306Bの第2段差部306Bbと鉛直方向に重なり合う相補的な段差部である。また、エッジリング片301Bの第2段差部301Bbは、隣接するエッジリング片302Bの第1段差部302Baと鉛直方向に重なり合う相補的な段差部である。
したがって、第2例によれば、エッジリング片301Bと、このエッジリング片302Bと隣接するエッジリング片302Bおよび306Bとの合わせ目において、エッジリング載置面200b1がプラズマに露出することを低減できる。
[第3例]
図19は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Cと、このエッジリング片301Cと隣接するエッジリング片302Cおよび306Cの端部の断面図である。
図19は、本実施形態に係る基板処理装置1のエッジリング片301Cと、このエッジリング片301Cと隣接するエッジリング片302Cおよび306Cの端部の断面図である。
図19において、エッジリング片301C、302Cおよび306Cの左側端部を一端部、右側端部を他端部とする。エッジリング片301Cは、一端部に凸部301Caを有する。エッジリング片302Cは、一端部に凸部301Caをそれぞれ有する。また、エッジリング片301Cは、他端部に凹部301Cbを有する。エッジリング片306Cは、他端部に凹部306Cbを有する。
エッジリング300をエッジリング吸着部200bに吸着させた状態で、エッジリング片301Cの凸部301Caは、隣接するエッジリング片306Cの凹部306Cbと嵌合する。同様に、エッジリング片301Cの凹部301Cbは、隣接するエッジリング片302Cの凸部302Caと嵌合する。すなわち、エッジリング片301Cの凸部302Caは、隣接するエッジリング片306Cの凹部306Cbと鉛直方向に重なり合う相補的な凸部である。また、エッジリング片301Cの凹部301Cbは、隣接するエッジリング片302Cの凸部302Caと鉛直方向に重なり合う相補的な凹部である。
したがって、第3例によれば、エッジリング片301Cと、このエッジリング片301Cと隣接するエッジリング片302Cおよび306Cとの合わせ目において、エッジリング載置面200b1がプラズマに露出することを低減できる。
上記エッジリングの端部の例については、基板支持体アセンブリ5で同じ例を使ってもよいし、組み合わせてもよい。
<作用・効果>
本実施形態の基板支持体は、複数の発熱線を備える。したがって、各発熱線への伝熱ガスの供給量を独立して制御することができ、エッジリングを周方向に温度制御が可能となる。エッジリングを周方向に温度制御することによって、エッジリング近傍の基板のエッジレートを制御することができる。
本実施形態の基板支持体は、複数の発熱線を備える。したがって、各発熱線への伝熱ガスの供給量を独立して制御することができ、エッジリングを周方向に温度制御が可能となる。エッジリングを周方向に温度制御することによって、エッジリング近傍の基板のエッジレートを制御することができる。
さらに、本実施形態の基板支持体アセンブリ5は、複数のエッジリング片301~306が載置される領域ごとに、伝熱ガス溝231~236を備える。したがって、各伝熱ガス溝231~236への伝熱ガスの供給量を独立して制御することができ、エッジリング片301~306ごとの温度制御が可能となる。
さらにまた、本実施形態の基板支持体アセンブリ5は、複数のエッジリング片301~306が載置される領域ごとに、エッジリング吸着用電極221~226を備える。したがって、エッジリング片301~306それぞれへの吸着力を独立して制御することができ、エッジリング片301~306ごとの温度分布を制御が可能となる。
今回開示された本実施形態に係る基板処理装置は、すべての点において例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形および改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
本開示の基板処理装置は、Capacitively Coupled Plasma(CCP)、Inductively Coupled Plasma(ICP)、マイクロ波によるプラズマ生成する装置、例えば、Radial Line Slot Antenna(RLSA)により生成されたプラズマ、Electron Cyclotron Resonance Plasma(ECR)、そしてHelicon Wave Plasma(HWP)などのどのタイプでも適用可能である。
1 基板処理装置
2 処理容器
10 基板支持体
43 制御部
200 静電チャック
200a 基板吸着部
200b エッジリング吸着部
241~246 発熱線
241a~246a 供給部
241A~246A 分割領域
231~236 伝熱ガス溝
300 エッジリング
301~306、301A~301C、302A~302C、306A~306C エッジリング片
W 基板
2 処理容器
10 基板支持体
43 制御部
200 静電チャック
200a 基板吸着部
200b エッジリング吸着部
241~246 発熱線
241a~246a 供給部
241A~246A 分割領域
231~236 伝熱ガス溝
300 エッジリング
301~306、301A~301C、302A~302C、306A~306C エッジリング片
W 基板
Claims (10)
- 処理基板が支持される基板支持部と、
前記基板支持部に支持された前記処理基板の周囲に配置されるエッジリングが支持されるエッジリング支持部と、を備え、
前記エッジリング支持部は、前記エッジリング支持部の円周方向に並んで配置される複数の発熱体と、前記複数の発熱体のそれぞれに設けられ、外部から供給される電力を対応する前記発熱体に供給する複数のヒータ電力供給部と、を備える、
基板支持体。 - 前記複数の発熱体のそれぞれに対応する位置の前記エッジリング支持部の温度を測定する温度センサを備える、
請求項1に記載の基板支持体。 - 前記エッジリング支持部は、前記複数の発熱体のそれぞれに対応する位置に設けられる、前記エッジリングを吸着するための吸着電極を複数備える、
請求項1または請求項2に記載の基板支持体。 - 前記エッジリング支持部は、前記複数の発熱体のそれぞれに対応する位置に設けられる、伝熱ガスを供給するための伝熱ガス溝と、前記伝熱ガスを前記伝熱ガス溝に供給する伝熱ガス供給孔と、をそれぞれ複数備える、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板支持体。 - 前記エッジリング支持部は、3本以上9本以下の前記発熱体を備える、
請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板支持体。 - チャンバと、
前記チャンバ内に配置される、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の基板支持体と、
前記エッジリング支持部に支持されるエッジリングと、
制御部と、を含む、
基板処理装置。 - 前記エッジリングは、周方向に分割された複数のエッジリング片から構成され、
前記複数のエッジリング片のそれぞれは、前記複数の発熱体のいずれかに対応する位置に配置される、
請求項6に記載の基板処理装置。 - チャンバと、
前記チャンバ内に配置される基板支持体と、
エッジリングと、
制御部と、を含み、
前記基板支持体は、
処理基板が支持される基板支持部と、
前記基板支持部に支持された前記処理基板の周囲に配置されるエッジリングが支持されるエッジリング支持部と、を備え、
前記エッジリング支持部は、前記エッジリング支持部の円周方向に並んで配置される複数の発熱体と、前記複数の発熱体のそれぞれに設けられ、外部から供給される電流を対応する前記発熱体に供給する複数の供給部と、を備える基板処理装置を用いた基板処理方法であって、
a)前記基板支持部の上に前記処理基板を載置する工程と、
b)前記発熱体ごとに、独立して電力を供給する工程と、
c)前記処理基板を処理する工程と、
を備える、基板処理方法。 - 前記エッジリング支持部は、前記複数の発熱線のそれぞれに対応する位置の前記エッジリング支持部の温度を測定するための温度センサを備え、
工程b)は、前記温度センサによって取得した温度に基づいて、前記発熱体に電力を供給する、
請求項8に記載の基板処理方法。 - 前記エッジリングは、周方向に分割された複数のエッジリング片から構成され、
前記複数のエッジリング片のそれぞれは、前記複数の発熱体のいずれかに対応する位置に配置される、
請求項8または請求項9に記載の基板処理方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020169175A JP2022061274A (ja) | 2020-10-06 | 2020-10-06 | 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 |
US17/494,846 US11929240B2 (en) | 2020-10-06 | 2021-10-06 | Substrate support, substrate processing apparatus, and substrate processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020169175A JP2022061274A (ja) | 2020-10-06 | 2020-10-06 | 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022061274A true JP2022061274A (ja) | 2022-04-18 |
Family
ID=80932418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020169175A Pending JP2022061274A (ja) | 2020-10-06 | 2020-10-06 | 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11929240B2 (ja) |
JP (1) | JP2022061274A (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5496630B2 (ja) | 2009-12-10 | 2014-05-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電チャック装置 |
US11424096B2 (en) * | 2019-11-05 | 2022-08-23 | Applied Materials, Inc. | Temperature controlled secondary electrode for ion control at substrate edge |
-
2020
- 2020-10-06 JP JP2020169175A patent/JP2022061274A/ja active Pending
-
2021
- 2021-10-06 US US17/494,846 patent/US11929240B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11929240B2 (en) | 2024-03-12 |
US20220108879A1 (en) | 2022-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI814837B (zh) | 電漿處理裝置及電漿處理裝置的射頻電源之控制方法 | |
JP6014661B2 (ja) | プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 | |
JP5973731B2 (ja) | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 | |
US7815740B2 (en) | Substrate mounting table, substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US9460893B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
KR101892960B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 | |
TWI495752B (zh) | 具有可作為溫度控制用之流體區的工作支承 | |
US20210074522A1 (en) | Plasma processing apparatus, electrostatic attraction method, and electrostatic attraction program | |
JP6556046B2 (ja) | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 | |
CN109509694B (zh) | 等离子体处理装置和等离子体处理方法 | |
US11569073B2 (en) | Assembly provided with coolant flow channel, method of controlling assembly provided with coolant flow channel, and substrate processing apparatus | |
JP7213927B2 (ja) | 基板処理システム | |
JP6219227B2 (ja) | ヒータ給電機構及びステージの温度制御方法 | |
TWI808206B (zh) | 電漿蝕刻方法及電漿蝕刻裝置 | |
JP6240532B2 (ja) | 静電チャックの温度制御方法 | |
TWI791874B (zh) | 電漿蝕刻方法及電漿處理裝置 | |
JP7090149B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマエッチング方法 | |
JP2022061274A (ja) | 基板支持体、基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2022023211A (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
CN113594015A (zh) | 蚀刻装置及蚀刻方法 | |
US20210335645A1 (en) | Substrate support assembly, substrate processing apparatus, and substrate processing method | |
JP2021176186A (ja) | 載置台アセンブリ、基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2021180283A (ja) | 載置台アセンブリ、基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240321 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240507 |