JP2021505921A - 変換が統合された光ファイバベースの有機カンチレバー - Google Patents
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Abstract
Description
a.センサデバイスの光ファイバにレーザビームを注入するステップと、
b.フォトダイオードを使用して、スルーファイバ製造のカンチレバーから反射された光の光強度を測定するステップと、
を含む。
a.センサデバイスの光ファイバにレーザビームを注入するステップと、
b.スルーファイバ製造のカンチレバーの自由端から出現する(透過するという趣旨で)光を集めるステップと、
c.出現した光を分析して(収集されるという意味で)、前記少なくとも1つのパラメータの値を判定するステップと、
を含む。
体の粘性減衰のため、困難な作業である。
a.材料、化学物質、デバイス
特に明記されていない限り、すべての化学物質と溶媒は分析グレードのものであり、Sigma−AldrichまたはVWR internationalから購入した。ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキシド(Irgacure 819)は、Ciba Specialty Chemicals(サンフォン、フランス)から惜しみなく提供された。SU−8 3050およびSU−8 3005はMicroChemから入手した。Menzel製の顕微鏡用カバーガラス(15mm×15mm)を基板として使用した。光ファイバ、シングルモード光ファイバ(SMF 28)、および光学要素は、THORLABSまたはカスタムメイドによって用意された。ピエゾリニアアクチュエータは、PI piezo technology(モデル:PL022.30)から購入した。
この章で提示されたすべての研究は、スルーファイバ製造のカンチレバービーム11を使用して行われた。
共振カンチレバーの統合された光学的な読み出しのために、He−Neレーザ2がファイバ10とカンチレバービーム11を介して結合された(図2を参照)。出現する光はレンズ6で収集され、4象限アバランシェフォトダイオード7に焦点が当てられた。ネットワークアナライザ(9)が光検出器とPZTアクチュエータ5に接続された。
ペルチェ素子とデジタル温度計をカンチレバービームに近づけ、徐々に温度を変化させることにより、温度の研究が行われた。
a.セットアップの展開と実装
このセクションでは、スルーファイバのパターン化または製造されたマイクロカンチレバー用の新規である統合された読み出し方式を提案する。
のセットアップは、カンチレバービームの曲がりをリアルタイムで記録できるため、静的モードで動作するカンチレバーの読み取りに関する興味深い概念を示している。しかし、静的なカンチレバーの動きを分析するには、システムは、より制御された実験用のセットアップが必要になる。比較可能な結果を得るには、センサ表面の偏向、したがって出力信号がこの距離に依存するため、光検出器とカンチレバービームの間の距離を正確に制御する必要がある(三角法の関係)。さらに、使用される4象限フォトダイオードの応答は線形ではないため、同等の結果を得るために、フォトダイオード上のレーザスポットの位置を較正する必要がある。
得られたデータが既知の値と比較できるため、スルーファイバ製造のカンチレバービームの動的挙動に対する温度の影響は、特性評価の研究にとって優れたパラメータである。したがって、周波数スペクトルは、ペルチェ素子とデジタル温度計をカンチレバービームの近くに配置し、温度を徐々に上げながら、統合された設定で記録された。カンチレバーの周波数スペクトルを継続的に記録した。図6は得られたスペクトルを示す。
次の実験では、2つのカンチレバービームの架橋後のプロセスをオンラインで監視した。
動的モードで動作するカンチレバーセンサは、以前に指摘したように、非常に質量に対する感受性が高いデバイスである。カンチレバーの機械的特性を変更せずに、規定された質量をカンチレバーに追加しなければならないため、マイクロスケールでのカンチレバービームの質量感受性の実験的な検証は困難である。
Iは、形状に依存する面積の2次モーメントであり、理想円柱に対して次のように表すことができる。
・長さ:234μm
・直径:10μm
・ヤング率:2.2GPa
・共振周波数:35983Hz
・カンチレバーの質量(Mb):20.26ng(2.026x10−11kg)
・ポリスチレン1の質量(PS1):4.18ng(4.18x10−12kg)
・ポリスチレン2の質量(PS2):23.8ng(2.38x10−11kg)
カンチレバー先端に取り付けられたポリスチレンの点状質量部の理論的および実験的に得られた共振周波数
無負荷カンチレバービームの共振周波数(式2で計算)の測定値に対する差は、0.55%であった。得られた共振周波数から計算された質量と顕微鏡画像から評価された質量の間の約50%の誤差は、2つの影響に起因する可能性がある。まず、端部点状質量部は、1047kg/m3の均一密度の対称的な回転体を想定して評価された。顕微鏡画像から質量部の体積を検証したことにより、誤差が発生した可能性がある。次に、式2は端部点状質量部に対してのみ有効であることに留意されたい。顕微鏡画像からわかるように、ポリスチレンの質量部はカンチレバービームの約50μm(サンプルM1)および約80μm(サンプルM2)をカバーしており、カンチレバー全長の21%および34%に相当する。したがって、式2の質量の項には、値が1(端部点状質量部)から0.24(分散している質量部はカンチレバーの全長をカバー)である、補正係数κ(κM+0.24Mb)が必要である。この値κは非線形の値であり、提示された研究でそれぞれ0.5295および0.45556であることが見出された。どちらの値も理論(0.24<κ<1)と一致している。点状質量部とカンチレバービーム上のそれらの位置の分析は、より高度な分析モデルを使用して、いくつかのグループ9〜11によって既に調査されている。2015年、HeinrichとDufourは、ベルヌーイ・オイラーのビーム理論から導かれた理論研究を発表した。この研究では、カンチレバービームの吸着質量と位置だ
けでなく、付着した粒子の回転の慣性とビームの中立軸に対する偏心との影響も考慮した。12 しかし、この提示された事例は、議論したように、追加された質量部が点状質量部ではなく、カンチレバーの長さの最大30%をカバーする分散した質量部であるため、より複雑になる。さらに、質量部の形状はこの距離にわたって均一ではなく、構造の全体的な剛性も同様に、追加された質量の影響を受ける可能性がある。図11では、集中した端部点状質量部(黒いグラフ;係数κ=1)およびカンチレバーの全長にわたって分散する質量部(赤いグラフ;係数κ=0.24)の効果が視覚化されている。微視的に評価された質量部の測定された周波数の値は、これらの極値(緑色のひし形)の範囲内である。
水滴をカンチレバービームの下のスライドガラスに置いた。次に、カンチレバー全体を液体に浸すまで、カンチレバービームを水滴に注意深く接触させた(図12)。
スルーファイバ製造のカンチレバーの動的応答を、様々な有機溶媒について評価した。ポリアクリレートが、それらの組成および物理的特性に応じて、ある程度膨潤できることはよく知られている効果である。次のセクションでは、アセトニトリルとエタノールに浸したカンチレバービームの動的応答をオンラインで60分以上追跡した(図12)。スルーファイバ製造のカンチレバービームの共振周波数は、空気中では58kHzで検出され、この初期値の半分以上低下した。テストした溶媒であるアセトニトリルとエタノールの
両方で、測定の最初の約10分で共振周波数が大幅に低下し、その後約20分で安定した。エタノールで得られた共振周波数は、アセトニトリルよりも大幅に低い値を示した(図13を参照)。
実験の部分では、スルーファイバ製造のカンチレバーの動的応答が、より粘性で密度の高い溶媒であるエチレングリコールの濃度を増加させながら水中で評価された。サンプル溶液の質量密度を計算し、動的粘度を粘度計で測定した。結果を図14に示す。
エチレングリコール濃度の増加に伴う、水中でのスルーファイバパターン化または製造のカンチレバーの動的応答の実験的および理論的結果。
Claims (8)
- レーザビーム(2)と結合される光ファイバ(10)、前記光ファイバ(10)の一端(101)上への、1つの自由端(111)を有するスルーファイバ製造のカンチレバー(11)、および光コレクタ(7)を含むセンサデバイス(1)であって、前記スルーファイバ製造のカンチレバー(11)は、少なくとも1つの感光性モノマーの光重合によって得られるポリマーでできたパターン化カンチレバーであることを特徴とするセンサデバイス(1)。
- 前記光コレクタ(7)がフォトダイオードである、請求項1に記載のセンサデバイス(1)。
- 前記スルーファイバカンチレバー(11)の少なくとも一部が、金属またはポリマーから選択されたコーティングで処理されている、請求項1に記載のセンサデバイス(1)。
- 前記スルーファイバカンチレバー(11)が、部分的または全体的に機能化されている、請求項1に記載のセンサデバイス(1)。
- 請求項1から4のいずれか一項のセンサデバイス(1)を用いた少なくとも1つのパラメータの測定するための方法であって、
a.前記センサデバイス(1)の前記光ファイバ(10)にレーザビームを注入するステップと、
b.フォトダイオードを使用して、前記スルーファイバ製造のカンチレバー(11)から反射された光の光強度を測定するステップと、
を含む、方法。 - 前記光ファイバから出現する前記光を収集するための手段が遠隔手段である、請求項5に記載の方法。
- 請求項1から5のセンサデバイス(1)を用いて少なくとも1つのパラメータを測定するための方法であって、
a.センサデバイス(1)の前記光ファイバ(10)にレーザビームを注入するステップと、
b.前記スルーファイバ製造のカンチレバー(11)の前記自由端(111)から出現する光を集めるステップと、
c.前記出現した光を分析して、前記少なくとも1つのパラメータの値を判定するステップと、
を含む、方法。 - 前記少なくとも1つのパラメータが、温度、質量、液体の粘度、検体の濃度および重合プロセスの程度である、請求項6から8のいずれか一項に記載の方法。
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