JP2021186971A - Parting apparatus and attachment structure of cartridge - Google Patents

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Osamu Okuda
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Abstract

To provide a parting apparatus capable of firmly and surely fixing a cartridge for a blade, and easily detaching the cartridge for the blade; and to provide an attachment structure for attaching the cartridge for the blade to the apparatus.SOLUTION: A parting apparatus comprises: an attachment face 201 in parallel with the surface of a substrate; a lever member 120 that comprises an opposite face 122a facing the attachment face 201, and which is rotatably supported so that the opposite face 122a moves close to and apart from the attachment face 201; a plunger disposed on the lever member 120 so that a projection 131 is projected from the opposite face 201, and having the projection 131 which presses a reference face 60a of a cartridge 20 to the attachment face 201 by elastic energization from the projection 131; and a fixing mechanism fixing the lever member 120 at a predetermined position by rotating it in a direction in which the energization from the projection 131 to the cartridge 20 increases.SELECTED DRAWING: Figure 13

Description

本発明は、基板を分断する分断装置、および、装置にカートリッジを取り付けるための取付構造に関する。 The present invention relates to a dividing device for dividing a substrate and a mounting structure for mounting a cartridge on the device.

従来、ガラス基板や半導体ウェーハ等の脆性材料からなる基板の分断は、基板の表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程や、スクライブラインに沿って基板に所定の力を付加して基板を分断するブレイク工程等によって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が基板の表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。スクライブ工程の後、基板を表裏逆に反転させて、ブレイク工程が行われる。ブレイク工程では、下端に向かって先細り形状に形成された刃先を有し、刃先近傍以外の部分は均一な厚みを有する板状のブレードを用いて脆性基板が分断される。ブレードは、カートリッジに保持された状態で、ブレイク工程を行う装置に取り付けられる。 Conventionally, the division of a substrate made of a brittle material such as a glass substrate or a semiconductor wafer is performed by a scribe process of forming a scribe line on the surface of the substrate or a break in which a predetermined force is applied to the substrate along the scribe line to divide the substrate. It is done by a process or the like. In the scribe process, the cutting edge of the scribing wheel is pressed against the surface of the substrate and moved along a predetermined line. After the scribe process, the substrate is turned upside down and the break process is performed. In the break step, the brittle substrate is divided by using a plate-shaped blade having a cutting edge formed in a tapered shape toward the lower end and having a uniform thickness in the portion other than the vicinity of the cutting edge. The blade is held in the cartridge and attached to the device performing the break process.

以下の特許文献１には、ブレードが保持されたカートリッジを、ブレードの刃先が基板に対して平行に維持された状態で取り付けられるように構成された分断装置が開示されている。 The following Patent Document 1 discloses a dividing device configured to mount a cartridge in which a blade is held so that the cutting edge of the blade is maintained parallel to the substrate.

特許文献１の分断装置では、左右一対の支持部と、これら支持部の上方に配置された基準面との間にカートリッジが嵌め込まれることにより、カートリッジが分断装置に取り付けられる。その後、クランプハンドルによってカートリッジの前面がブレードの方に向かって押圧されることにより、カートリッジが分断装置に固定される。 In the dividing device of Patent Document 1, the cartridge is attached to the dividing device by fitting the cartridge between the pair of left and right support portions and the reference surface arranged above the support portions. The clamp handle then presses the front surface of the cartridge towards the blade to secure the cartridge to the divider.

特開２００６−０８７８８３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-087883

特許文献１の分断装置では、クランプハンドルを開放することにより、分断装置に対してカートリッジを着脱できる。しかし、分断装置にカートリッジが固定された状態では、カートリッジの上面と装置側の基準面との間に僅かな隙間があるため、分断時の衝撃により、カートリッジが上下方向に移動して、基板に対する刃先の平行度が低下することが起こり得る。これを解消する方法として、左右一対の支持部にプランジャを配置し、その押圧力（弾性力）によって、カートリッジを基準面に密着させる構成を用い得る。しかし、この場合、プランジャの押圧力が強いと、カートリッジの着脱が困難になり、逆に、プランジャの押圧力が弱いと、カートリッジの固定が不安定となる。 In the dividing device of Patent Document 1, the cartridge can be attached to and detached from the dividing device by opening the clamp handle. However, when the cartridge is fixed to the dividing device, there is a slight gap between the upper surface of the cartridge and the reference surface on the device side, so the impact during division causes the cartridge to move in the vertical direction with respect to the substrate. It is possible that the parallelism of the cutting edge will decrease. As a method for solving this problem, a configuration in which a plunger is arranged on a pair of left and right support portions and the cartridge is brought into close contact with the reference surface by the pressing force (elastic force) thereof can be used. However, in this case, if the pressing force of the plunger is strong, it becomes difficult to attach / detach the cartridge, and conversely, if the pressing force of the plunger is weak, the fixing of the cartridge becomes unstable.

かかる課題に鑑み、本発明は、ブレード用カートリッジを強固かつ確実に固定でき、且つ、ブレード用カートリッジの着脱を容易に行うことが可能な分断装置、および、カートリッジを装置に取り付けるための取付構造を提供することを目的とする。 In view of these problems, the present invention provides a dividing device capable of firmly and reliably fixing the blade cartridge and easily attaching and detaching the blade cartridge, and a mounting structure for mounting the cartridge to the device. The purpose is to provide.

本発明の第１の態様は、ブレード用カートリッジに保持されたブレードの刃先を基板に当接させることによって基板を分断する分断装置に関する。本態様に係る分断装置は、前記基板の表面に平行な取付面と、前記取付面に対向する対向面を備え、前記対向面が前記取付面に対して接近および離間するように回動支持されたレバー部材と、前記対向面から突出部が突出するように前記レバー部材に配置され、前記突出部からの弾性付勢により前記ブレード用カートリッジの基準面を前記取付面に押しつけるプランジャと、前記ブレード用カートリッジに対する前記突出部からの付勢を高める方向に前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定する固定機構と、を備える。 A first aspect of the present invention relates to a dividing device that divides a substrate by bringing the cutting edge of a blade held in a blade cartridge into contact with the substrate. The dividing device according to this embodiment includes a mounting surface parallel to the surface of the substrate and a facing surface facing the mounting surface, and is rotationally supported so that the facing surface approaches and separates from the mounting surface. The lever member, the plunger which is arranged on the lever member so that the protruding portion protrudes from the facing surface, and the reference surface of the blade cartridge is pressed against the mounting surface by the elastic urging from the protruding portion, and the blade. The lever member is provided with a fixing mechanism for fixing the lever member at a predetermined position by rotating the lever member in a direction of increasing the bias from the protrusion with respect to the cartridge.

本態様に係る構成によれば、固定機構が開放されているときは、プランジャの突出部を対向面に対して進退させつつ、取付面と対向面との間の空間にブレード用カートリッジを円滑に着脱できる。また、取付面と対向面との間の空間にブレード用カートリッジをセットした後、固定機構を閉じると、ブレード用カートリッジに対する突出部からの付勢が高められて、ブレード用カートリッジの基準面が取付面に強固に押し付けられる。これにより、ブレード用カートリッジを装置に強固かつ確実に固定することができる。 According to the configuration according to this aspect, when the fixing mechanism is open, the blade cartridge is smoothly placed in the space between the mounting surface and the facing surface while advancing and retreating the protruding portion of the plunger with respect to the facing surface. Detachable. Further, when the blade cartridge is set in the space between the mounting surface and the facing surface and then the fixing mechanism is closed, the urging of the blade cartridge from the protruding portion is increased and the reference surface of the blade cartridge is mounted. It is firmly pressed against the surface. This makes it possible to firmly and securely fix the blade cartridge to the device.

本態様に係る分断装置において、前記レバー部材は、前記回動軸に平行な方向に見たときの形状がＣ字状であり、前記対向面は、前記レバー部材の一方の端部に配置され、前記固定機構は、前記レバー部材の他方の端部を回動させて所定の位置に固定するよう構成され得る。 In the dividing device according to this embodiment, the lever member has a C-shape when viewed in a direction parallel to the rotation axis, and the facing surface is arranged at one end of the lever member. The fixing mechanism may be configured to rotate the other end of the lever member to fix it in place.

この構成によれば、レバー部材の外形をコンパクトに収めることができ、装置の大型化を抑制できる。 According to this configuration, the outer shape of the lever member can be compactly accommodated, and the size of the device can be suppressed.

本態様に係る分断装置において、前記固定機構は、前記対向面が前記取付面に接近する方向における前記レバー部材の回動を所定の回動位置で規制する規制部材を備えるよう構成され得る。 In the dividing device according to this aspect, the fixing mechanism may be configured to include a regulating member that regulates the rotation of the lever member in a direction in which the facing surface approaches the mounting surface at a predetermined rotation position.

この構成によれば、固定機構を閉じた状態において、レバー部材の回動が、所定の回動位置で規制されるため、固定機構からレバー部材を介してブレード用カートリッジに過剰な圧力が付与されることを防ぐことができる。よって、過剰な圧力によるブレード用カートリッジの変形を防ぐことができ、ブレード用カートリッジを適正に装置に固定することができる。 According to this configuration, the rotation of the lever member is restricted at a predetermined rotation position when the fixing mechanism is closed, so that excessive pressure is applied from the fixing mechanism to the blade cartridge via the lever member. Can be prevented. Therefore, it is possible to prevent the blade cartridge from being deformed due to excessive pressure, and the blade cartridge can be properly fixed to the apparatus.

本態様に係る分断装置には、前記対向面が前記取付面から離れる方向における前記レバー部材の回動範囲を調整する調整部材を備えるよう構成され得る。 The dividing device according to this aspect may be configured to include an adjusting member that adjusts the rotation range of the lever member in a direction in which the facing surface is away from the mounting surface.

この構成によれば、調整部材によってレバー部材の回動範囲が調整されるため、固定機構が開放された状態において、取付面と対向面との間の空間を適切に設定することができる。よって、ブレード用カートリッジをこの空間に着脱する際に、プランジャの突出部からブレード用カートリッジに適切な押圧力を付与でき、ブレード用カードリッジの着脱を円滑に行うことができる。 According to this configuration, since the rotation range of the lever member is adjusted by the adjusting member, the space between the mounting surface and the facing surface can be appropriately set in the state where the fixing mechanism is open. Therefore, when the blade cartridge is attached / detached to / from this space, an appropriate pressing force can be applied to the blade cartridge from the protrusion of the plunger, and the blade cartridge can be smoothly attached / detached.

本態様に係る分断装置において、前記プランジャは、前記突出部として球の一部を突出させるよう構成され得る。 In the dividing device according to this aspect, the plunger may be configured to project a part of a sphere as the protrusion.

この構成によれば、取付面と対向面との間の空間にブレード用カートリッジを装着する際に、対向面から突出する球を対向面の下方に滑らかに埋没させながら、当該空間にブレード用カートリッジを円滑に嵌め込むことができる。また、球とブレード用カートリッジとは略点接触するため、取付面と対向面との間の空間からブレード用カートリッジを円滑に抜き取ることができる。 According to this configuration, when the blade cartridge is mounted in the space between the mounting surface and the facing surface, the blade cartridge is smoothly buried under the facing surface while the sphere protruding from the facing surface is smoothly buried in the space. Can be fitted smoothly. Further, since the sphere and the blade cartridge are in substantially point contact with each other, the blade cartridge can be smoothly removed from the space between the mounting surface and the facing surface.

本態様に係る分断装置において、前記固定機構は、前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定するためのトグルクランプを含むよう構成され得る。 In the dividing device according to this aspect, the fixing mechanism may be configured to include a toggle clamp for rotating the lever member to fix it in a predetermined position.

この構成によれば、ブレード用カートリッジの基準面を取付面に適切な圧力で押しつけて強固に固定できる。これにより、装置の稼働中、ブレード用カートリッジの基準面が取付面に対して動くことを確実に防ぐことができる。このため、ブレード用カートリッジに保持されたブレードの刃先の平行度がぶれることなく、基板を良好に分断できる。 According to this configuration, the reference surface of the blade cartridge can be firmly fixed by pressing it against the mounting surface with an appropriate pressure. This makes it possible to reliably prevent the reference surface of the blade cartridge from moving with respect to the mounting surface during operation of the apparatus. Therefore, the substrate can be satisfactorily divided without the parallelism of the blade edge held by the blade cartridge being deviated.

本発明の第２の態様は、ブレード用カートリッジを装置に取り付けるための取付構造に関する。本態様に係るブレード用カートリッジの取付構造は、前記ブレード用カートリッジの基準面を受ける取付面と、前記取付面に対向する対向面を備え、前記対向面が前記取付面に対して接近および離間するように回動支持されたレバー部材と、
前記対向面から突出部が突出するように前記レバー部材に配置され、前記突出部からの弾性付勢により前記ブレード用カートリッジの基準面を前記取付面に押しつけるプランジャと、前記ブレード用カートリッジに対する前記突出部からの付勢を高める方向に前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定する固定機構と、を備える。 A second aspect of the present invention relates to a mounting structure for mounting a blade cartridge to an apparatus. The mounting structure of the blade cartridge according to this aspect includes a mounting surface that receives the reference surface of the blade cartridge and a facing surface that faces the mounting surface, and the facing surface approaches and separates from the mounting surface. With a lever member that is rotatably supported in this way,
A plunger that is arranged on the lever member so that a protrusion protrudes from the facing surface and presses the reference surface of the blade cartridge against the mounting surface by elastic urging from the protrusion, and the protrusion with respect to the blade cartridge. The lever member is provided with a fixing mechanism for fixing the lever member at a predetermined position by rotating the lever member in a direction of increasing the bias from the portion.

本態様に係る構成によれば、第１の態様と同様、カートリッジを強固かつ安定的に装置に取り付けることができ、且つ、装置に対してカートリッジを円滑に着脱できる。 According to the configuration according to this aspect, as in the first aspect, the cartridge can be firmly and stably attached to the apparatus, and the cartridge can be smoothly attached to and detached from the apparatus.

上記のように、本発明によればブレード用カートリッジを強固かつ確実に固定でき、且つ、ブレード用カートリッジの着脱を容易に行うことが可能な分断装置、および、カートリッジを装置に取り付けるための取付構造を提供できる。 As described above, according to the present invention, a dividing device capable of firmly and reliably fixing the blade cartridge and easily attaching and detaching the blade cartridge, and a mounting structure for mounting the cartridge to the device. Can be provided.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects or significance of the present invention will be further clarified by the description of the embodiments shown below. However, the embodiments shown below are merely examples for implementing the present invention, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

図１は、実施形態に係る分断装置で分断する基板の模式図である。FIG. 1 is a schematic view of a substrate to be divided by the dividing device according to the embodiment. 図２は、実施形態に係る分断装置の取付部周辺の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of the periphery of the mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図３は、実施形態に係る分断装置に装着されるブレード用カートリッジの構成を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a configuration of a blade cartridge mounted on the dividing device according to the embodiment. 図４は、実施形態に係る分断装置の取付部の構成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a configuration of a mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図５は、実施形態に係る分断装置の取付部の一部分解斜視図である。FIG. 5 is a partially exploded perspective view of a mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図６は、実施形態に係る分断装置の取付部における要部の分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view of a main part of the mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る分断装置の取付部の構成を示す斜視図である。7 (a) and 7 (b) are perspective views showing the configuration of the mounting portion of the dividing device according to the embodiment, respectively. 図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る分断装置の取付部の構成を示す斜視図である。8 (a) and 8 (b) are perspective views showing the configuration of the mounting portion of the dividing device according to the embodiment, respectively. 図９（ａ）は、実施形態に係る分断装置におけるブロック部材の取付構造の構成を示す分解斜視図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）の取付構造が組み立てられた構造体をブロック部材のＹ軸方向の中間位置においてＸ−Ｚ平面に平行な平面で切断したときの断面図である。FIG. 9A is an exploded perspective view showing the configuration of the mounting structure of the block member in the dividing device according to the embodiment. 9 (b) is a cross-sectional view when the structure in which the mounting structure of FIG. 9 (a) is assembled is cut in a plane parallel to the XX plane at an intermediate position in the Y-axis direction of the block member. 図１０は、実施形態に係る分断装置の取付部の構成を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a configuration of a mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図１１は、実施形態に係る分断装置の取付部におけるブロック部材の上面に対する調整ボルトの当接状態を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic view showing a contact state of the adjusting bolt with respect to the upper surface of the block member in the mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図１２は、実施形態に係る分断装置の取付部にブレード用カートリッジを装着した状態を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a state in which a blade cartridge is attached to the attachment portion of the dividing device according to the embodiment. 図１３（ａ）は、実施形態に係る分断装置の取付部にカートリッジがセットされた直後の、レバー部材の状態を示す模式図である。図１３（ｂ）は、実施形態に係る分断装置の取付部に対してカートリッジが固定されたときの、レバー部材の状態を示す模式図である。FIG. 13A is a schematic view showing a state of the lever member immediately after the cartridge is set in the mounting portion of the dividing device according to the embodiment. FIG. 13B is a schematic view showing a state of the lever member when the cartridge is fixed to the mounting portion of the dividing device according to the embodiment. 図１４（ａ）は、実施形態に係る分断装置にブレード用カートリッジをセットする前のプランジャの状態を示す模式図である。図１４（ｂ）は、実施形態に係る分断装置にブレード用カートリッジをセットした直後のプランジャの状態を示す模式図である。図１４（ｃ）は、実施形態に係る分断装置にブレード用カートリッジをセットが完了したときのプランジャの状態を示す模式図である。FIG. 14A is a schematic view showing a state of the plunger before setting the blade cartridge in the dividing device according to the embodiment. FIG. 14B is a schematic view showing a state of the plunger immediately after setting the blade cartridge in the dividing device according to the embodiment. FIG. 14 (c) is a schematic view showing a state of the plunger when the setting of the blade cartridge in the dividing device according to the embodiment is completed.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、鉛直方向に平行である。上方および下方は、それぞれＺ軸正方向およびＺ軸負方向に対応する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, the X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other are added to each figure. The Z axis is parallel to the vertical direction. The upper and lower parts correspond to the Z-axis positive direction and the Z-axis negative direction, respectively.

[全体構成]
本実施形態のブレード用カートリッジは、基板Ｆを分断装置で分断する際に用いられるブレードを保持するカートリッジである。以降、本実施形態では、「ブレード用カートリッジ」は、単に、「カートリッジ」と称して説明される。 [overall structure]
The blade cartridge of the present embodiment is a cartridge that holds a blade used when the substrate F is divided by the dividing device. Hereinafter, in the present embodiment, the “blade cartridge” is simply referred to as a “cartridge”.

図１は、本実施形態に係るブレードによって分断される基板Ｆの模式図である。 FIG. 1 is a schematic view of a substrate F divided by a blade according to the present embodiment.

本実施形態において、基板Ｆは、たとえば、電子機器等に広く利用される半導体デバイスの材料であるセラミック基板である。 In the present embodiment, the substrate F is, for example, a ceramic substrate which is a material for a semiconductor device widely used in electronic devices and the like.

また、基板Ｆは、半導体ウェーハであってもよい。この場合、ウェーハの材質として、たとえば、単結晶シリコン（Ｓｉ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、窒化ガリウム（ＧａＮ）、およびヒ化ガリウム（ＧａＳａ）等が挙げられる。半導体ウェーハの上記のような材質、厚み、およびサイズは、製造目的の半導体デバイスの種類、機能等によって適切に選択され、設計される。 Further, the substrate F may be a semiconductor wafer. In this case, examples of the wafer material include single crystal silicon (Si), silicon carbide (SiC), gallium nitride (GaN), gallium arsenide (GaSa), and the like. The material, thickness, and size of the semiconductor wafer as described above are appropriately selected and designed according to the type, function, and the like of the semiconductor device for manufacturing purposes.

あるいは、基板Ｆは、上記半導体デバイスの材料に限られない。基板Ｆは、ガラス基板、低温焼成セラミックスや高温焼成セラミックスなどのセラミックス基板、シリコン基板、化合物半導体基板、サファイア基板、石英基板等であってもよい。また、基板Ｆは、表面または内部に脆性材料に該当しない薄膜あるいは半導体材料を付着させたり、含ませたりしたものであってもよい。 Alternatively, the substrate F is not limited to the material of the semiconductor device. The substrate F may be a glass substrate, a ceramic substrate such as low-temperature fired ceramics or high-temperature fired ceramics, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, a quartz substrate, or the like. Further, the substrate F may have a thin film or a semiconductor material that does not correspond to a brittle material adhered to or contained on the surface or the inside.

さらに、基板Ｆは、２つの基板が貼り合わされてなる貼り合わせ基板であってもよい。このような基板Ｆとして、たとえば、一方の基板にはカラーフィルタ（ＣＦ）が形成され、もう一方の基板には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成されているものが挙げられる。 Further, the substrate F may be a bonded substrate in which two substrates are bonded together. Examples of such a substrate F include a substrate in which a color filter (CF) is formed on one substrate and a thin film transistor (TFT) is formed on the other substrate.

図１に示すように、基板Ｆは、ダイシングテープ２に貼付され、フレーム３に保持された状態で分断される。この場合、基板ＦのスクライブラインＬが形成されていない裏面側に、ダイシングテープ２が貼付される。基板Ｆの表面には、スクライブラインＬが形成されている。なお、図１では、格子状に形成されたスクライブラインＬが図示されているが、スクライブラインＬの形成方法は、これに限られない。 As shown in FIG. 1, the substrate F is attached to the dicing tape 2 and divided while being held by the frame 3. In this case, the dicing tape 2 is attached to the back surface side of the substrate F on which the scribe line L is not formed. A scribe line L is formed on the surface of the substrate F. Although the scribe lines L formed in a grid pattern are shown in FIG. 1, the method for forming the scribe lines L is not limited to this.

図２は、分断装置１におけるブレード１０の取り付け位置付近の拡大図である。なお、図１では基板Ｆが省略されている。 FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of the mounting position of the blade 10 in the dividing device 1. Note that the substrate F is omitted in FIG.

図２に示すように、分断装置１は、取付部４と、載置部５と、受け部６と、移動部７と、を備える。取付部４は、ブレード１０を保持したカートリッジ２０が取り付けられる。カートリッジ２０は、取付部４にブレード１０の刃先がＸ軸方向に沿うように取り付けられる。 As shown in FIG. 2, the dividing device 1 includes a mounting portion 4, a mounting portion 5, a receiving portion 6, and a moving portion 7. A cartridge 20 holding the blade 10 is attached to the attachment portion 4. The cartridge 20 is attached to the attachment portion 4 so that the cutting edge of the blade 10 is along the X-axis direction.

取付部４は、カートリッジ２０に保持されたブレード１０の刃先が受け部４に支持される基板Ｆと向き合うように受け部６の上方に配置される。取付部４は、カートリッジ２０及びブレード１０と一体となって上下動可能であり、この動作によって基板を分断可能である。なお、取付部４は、本発明の要部であり、取付部４の構成に関しては、追って図４〜図１４（ｃ）を参照して説明する。 The mounting portion 4 is arranged above the receiving portion 6 so that the cutting edge of the blade 10 held by the cartridge 20 faces the substrate F supported by the receiving portion 4. The mounting portion 4 can move up and down integrally with the cartridge 20 and the blade 10, and the substrate can be divided by this operation. The mounting portion 4 is a main part of the present invention, and the configuration of the mounting portion 4 will be described later with reference to FIGS. 4 to 14 (c).

載置部５は、フレーム３を載置する台である。載置部５は、円環状に形成されており、Ｘ−Ｙ平面において回転可能なように構成されている。載置部５は、Ｙ軸方向に移動可能な移動部７に支持されている。よって、載置部５は、Ｙ軸方向に移動可能である。載置部５にフレーム３が載置されることにより、基板Ｆが載置部５にセットされる。基板Ｆが載置部５に載置されるとき、基板ＦのスクライブラインＬが形成されている表面側が下方に位置付けられるように、フレーム３が載置部５に載置される。 The mounting unit 5 is a table on which the frame 3 is mounted. The mounting portion 5 is formed in an annular shape and is configured to be rotatable in an XY plane. The mounting portion 5 is supported by a moving portion 7 that can move in the Y-axis direction. Therefore, the mounting portion 5 can move in the Y-axis direction. By mounting the frame 3 on the mounting portion 5, the substrate F is set on the mounting portion 5. When the substrate F is mounted on the mounting portion 5, the frame 3 is mounted on the mounting portion 5 so that the surface side of the substrate F on which the scribe line L is formed is positioned downward.

受け部６には、Ｙ軸方向の中央付近にＸ軸方向に延びる溝部が設けられている。この溝部の真上にブレード１０の刃先が位置付けられる。また、載置部５にフレーム３が載置された後、受け部６の溝部が基板ＦのスクライブラインＬに沿うように、載置部５の回転位置とＹ軸方向の位置が調整される。 The receiving portion 6 is provided with a groove portion extending in the X-axis direction near the center in the Y-axis direction. The cutting edge of the blade 10 is positioned directly above this groove. Further, after the frame 3 is mounted on the mounting portion 5, the rotational position and the position in the Y-axis direction of the mounting portion 5 are adjusted so that the groove portion of the receiving portion 6 is along the scribe line L of the substrate F. ..

受け部６は、Ｙ軸方向に離隔して設けられたＸ軸方向に延びる２本の受け部で構成することもできる。この場合、２本の受け部の間に形成される空間が上記の溝部として機能する。また、受け部６は、基板Ｆを受ける面が弾性体で構成されたテーブルとすることもできる。この場合の受け部は、基板Ｆがブレード１０に押圧されたときに弾性体が基板Ｆの変形に応じて弾性変形することによって、溝部が設けられた受け部６と同様に作用する。 The receiving portion 6 may be composed of two receiving portions that are provided apart from each other in the Y-axis direction and extend in the X-axis direction. In this case, the space formed between the two receiving portions functions as the groove portion. Further, the receiving portion 6 may be a table whose surface receiving the substrate F is made of an elastic body. In this case, the receiving portion acts in the same manner as the receiving portion 6 provided with the groove portion by elastically deforming the elastic body according to the deformation of the substrate F when the substrate F is pressed against the blade 10.

移動部７は、載置部５を支持する移動体であり、レール８に沿ってＹ軸方向に移動する。移動部７を移動させることにより、上記のように、載置部５のＹ軸方向の位置を調整でき、これにより、載置部５に装着された基板ＦのスクライブラインＬを、受け部６の溝部とブレード１０の刃先との間に位置付けることができる。 The moving portion 7 is a moving body that supports the mounting portion 5, and moves along the rail 8 in the Y-axis direction. By moving the moving portion 7, the position of the mounting portion 5 in the Y-axis direction can be adjusted as described above, whereby the scribe line L of the substrate F mounted on the mounting portion 5 can be received by the receiving portion 6. It can be positioned between the groove portion of the blade 10 and the cutting edge of the blade 10.

次に、上記の構成を備える分断装置１を用いて、図１に示されている基板Ｆを分断する動作について説明する。この場合、分断装置１は、Ｙ軸方向に並んでいるスクライブラインＬを、最もＹ軸正側に位置するスクライブラインＬから最もＹ軸負側に位置するスクライブラインＬまで順に、スクライブラインＬに沿って分断する。 Next, an operation of dividing the substrate F shown in FIG. 1 will be described using the dividing device 1 having the above configuration. In this case, the dividing device 1 arranges the scribe lines L arranged in the Y-axis direction into the scribe line L in order from the scribe line L located on the positive side of the Y-axis to the scribe line L located on the negative side of the Y-axis. Divide along.

基板Ｆが図示しない搬送部によって載置部５に載置されると、分断装置１は、移動部７をレール８に沿ってＹ軸負方向に移動させるとともに、載置部５を回転させて、ブレード１０の刃先の下方に、図１において最もＹ軸正側に位置するスクライブラインＬを位置付ける。このとき、受け部６に設けられている溝部は、上記のように、ブレード１０の刃先に対抗するように位置付けられている。 When the substrate F is mounted on the mounting section 5 by a transport section (not shown), the dividing device 1 moves the moving section 7 along the rail 8 in the negative Y-axis direction and rotates the mounting section 5. , The scribe line L located on the positive side of the Y-axis in FIG. 1 is positioned below the cutting edge of the blade 10. At this time, the groove portion provided in the receiving portion 6 is positioned so as to oppose the cutting edge of the blade 10 as described above.

そして、分断装置１は、ブレード１０を降下させて、基板Ｆに対して所定の荷重を付与する。これにより、ブレード１０の真下に位置付けられているスクライブラインＬに沿って基板Ｆが分断される。なお、基板Ｆに対して付与される所定の荷重は、基板Ｆの厚み、サイズ、種類によって異なる。 Then, the dividing device 1 lowers the blade 10 to apply a predetermined load to the substrate F. As a result, the substrate F is divided along the scribe line L located directly below the blade 10. The predetermined load applied to the substrate F differs depending on the thickness, size, and type of the substrate F.

スクライブラインＬに沿って基板Ｆが分断されると、分断装置１は、ブレード１０を一旦上昇させる。その後、分断装置１は、スクライブラインＬのピッチ分だけ、移動部７をＹ軸正側に移動させる。これにより、次のスクライブラインＬがブレード１０の真下に位置付けられる。そして、分断装置１は、上記と同様にして、スクライブラインＬに沿って基板Ｆを分断する。 When the substrate F is divided along the scribe line L, the dividing device 1 raises the blade 10 once. After that, the dividing device 1 moves the moving portion 7 to the positive side of the Y axis by the pitch of the scribe line L. As a result, the next scribe line L is positioned directly below the blade 10. Then, the dividing device 1 divides the substrate F along the scribe line L in the same manner as described above.

こうして、基板ＦにＹ軸方向に並んで形成されている全てのスクライブラインＬに沿って基板Ｆの分断が完了すると、分断装置１は、載置部５を９０°回転させて、回転前にＸ軸方向に並んでいたスクライブラインＬをＸ軸方向に平行に設定する。そして、分断装置１は、これらのスクライブラインＬに対する分断を、上記と同様にして行う。こうして、全てのスクライブラインＬに対する基板Ｆの分断が終了した後、基板Ｆは、図示しない搬送部によって、次のステージへと搬送される。 In this way, when the division of the substrate F is completed along all the scribe lines L formed side by side in the Y-axis direction on the substrate F, the dividing device 1 rotates the mounting portion 5 by 90 ° and before the rotation. The scribe lines L arranged in the X-axis direction are set parallel to the X-axis direction. Then, the dividing device 1 divides these scribe lines L in the same manner as described above. In this way, after the division of the substrate F with respect to all the scribe lines L is completed, the substrate F is transported to the next stage by a transport unit (not shown).

なお、上記構成では、載置部５が回転およびＹ軸方向の移動を行うことにより、各スクライブラインＬがブレード１０の直下に位置付けられたが、ブレード１０の方が回転および直線移動して、各スクライブラインＬの直上位置に位置付けられる構成であってもよい。分断装置１は、ブレード１０と載置部５とが相対的に移動する構成であればよい。 In the above configuration, each scribe line L is positioned directly under the blade 10 by rotating the mounting portion 5 and moving in the Y-axis direction, but the blade 10 rotates and moves linearly. It may be configured to be positioned directly above each scribe line L. The dividing device 1 may be configured such that the blade 10 and the mounting portion 5 move relatively to each other.

［ブレード用カートリッジ］
上記のように、本実施形態では、ブレード１０がカートリッジ２０に装着された状態で、分断装置１の取付部４に取り付けられる。カートリッジ２０を用いることで、ブレード１０を容易に分断装置１に着脱できる。ブレード１０は、刃先が基板Ｆの表面に平行となるように、分断装置１に装着される必要がある。 [Cartridge for blade]
As described above, in the present embodiment, the blade 10 is attached to the attachment portion 4 of the dividing device 1 in a state of being attached to the cartridge 20. By using the cartridge 20, the blade 10 can be easily attached to and detached from the dividing device 1. The blade 10 needs to be mounted on the dividing device 1 so that the cutting edge is parallel to the surface of the substrate F.

なお、ブレード１０は、カートリッジ２０に取り付けられる際に、予め、刃先がカートリッジ２０の基準面に対して平行となるように調整される。これにより、カートリッジ２０の基準面を分断装置１の取付面に密着させてカートリッジ２０が分断装置１に装着されることで、ブレード１０の刃先が基板Ｆの表面に平行となる。 The blade 10 is adjusted in advance so that the cutting edge is parallel to the reference surface of the cartridge 20 when it is attached to the cartridge 20. As a result, the reference surface of the cartridge 20 is brought into close contact with the mounting surface of the dividing device 1, and the cartridge 20 is mounted on the dividing device 1, so that the cutting edge of the blade 10 becomes parallel to the surface of the substrate F.

図３は、ブレード１０が装着された状態のカートリッジ２０の構成を示す斜視図である。なお、図３を参照して説明するカートリッジ２０は、分断装置１に適用されるブレード用カートリッジの一例であり、カートリッジ２０の構成は、図３に示すカートリッジ２０に限られない。 FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the cartridge 20 with the blade 10 attached. The cartridge 20 described with reference to FIG. 3 is an example of a blade cartridge applied to the dividing device 1, and the configuration of the cartridge 20 is not limited to the cartridge 20 shown in FIG.

図３に示すように、カートリッジ２０は、ベースプレート３０と、保持プレート４０と、固定ネジ５０と、基準プレート６０と、を備えている。また、ユーザが、ブレード１０を保持したカートリッジ２０を把持しやすいよう、カートリッジ２０に取っ手２１が設けられている。 As shown in FIG. 3, the cartridge 20 includes a base plate 30, a holding plate 40, a fixing screw 50, and a reference plate 60. Further, the cartridge 20 is provided with a handle 21 so that the user can easily grip the cartridge 20 holding the blade 10.

ベースプレート３０はＳ４５Ｃ等の金属材料からなっており、保持プレート４０はＳ４５Ｃ等の金属材料から形成されている。また、基準プレート６０は、Ｓ４５Ｃ等の金属材料か形成されている。これらの部材が、他の材料から形成されてもよい。 The base plate 30 is made of a metal material such as S45C, and the holding plate 40 is made of a metal material such as S45C. Further, the reference plate 60 is made of a metal material such as S45C. These members may be formed from other materials.

ブレード１０は、平板形状に形成されており、Ｚ軸負方向に向かって先細り形状に形成された刃先１１が、長手方向に沿って設けられている。ブレード１０は、刃先１１近傍以外の部分が均一な厚みとなるように形成されている。 The blade 10 is formed in a flat plate shape, and a cutting edge 11 formed in a tapered shape toward the negative direction of the Z axis is provided along the longitudinal direction. The blade 10 is formed so that a portion other than the vicinity of the cutting edge 11 has a uniform thickness.

ベースプレート３０および保持プレート４０はともに、板状の部材であり、Ｘ軸方向の長さがブレード１０の刃先１１のＸ軸方向の長さと同程度に形成されている。 Both the base plate 30 and the holding plate 40 are plate-shaped members, and the length in the X-axis direction is formed to be the same as the length in the X-axis direction of the cutting edge 11 of the blade 10.

基準プレート６０は、板状の部材である。図３の構成では、基準プレート６０のＸ軸方向の長さがベースプレート３０および保持プレート４０のＸ軸方向の長さより長く形成されているが、基準プレート６０のＸ軸方向の長さがベースプレート３０および保持プレート４０のＸ軸方向の長さと同程度であってもよい。 The reference plate 60 is a plate-shaped member. In the configuration of FIG. 3, the length of the reference plate 60 in the X-axis direction is formed longer than the length of the base plate 30 and the holding plate 40 in the X-axis direction, but the length of the reference plate 60 in the X-axis direction is the base plate 30. And may be about the same as the length of the holding plate 40 in the X-axis direction.

また、基準プレート６０は、Ｚ軸方向に貫通する４つのネジ孔６１が形成されている。４つのネジ孔６１は、基準プレート６０のＹ軸負側の端縁に沿ってＸ軸方向に等間隔に並んでいる。さらに、基準プレート６０のＸ軸正側および負側の側面に、取っ手２１を装着するための留め孔６２が形成されている。 Further, the reference plate 60 is formed with four screw holes 61 penetrating in the Z-axis direction. The four screw holes 61 are arranged at equal intervals in the X-axis direction along the end edge on the negative side of the Y-axis of the reference plate 60. Further, fastening holes 62 for mounting the handle 21 are formed on the positive and negative side surfaces of the reference plate 60 on the X-axis side.

上記のブレード１０、ベースプレート３０、保持プレート４０、および基準プレート６０は、以下のようにして組み立てられる。 The blade 10, the base plate 30, the holding plate 40, and the reference plate 60 are assembled as follows.

まず、ブレード１０は、Ｙ軸正側の側面の略全範囲に保持プレート４０が当接し、また、Ｙ軸負側の側面のほぼ全範囲にベースプレート３０が当接した状態で保持される。より具体的には、ベースプレート３０および保持プレート４０にブレード１０を挟持させた状態で、４つの固定ネジ５０により保持プレート４０とベースプレート３０とがネジ留めされる。 First, the blade 10 is held in a state where the holding plate 40 is in contact with substantially the entire range of the side surface on the positive side of the Y axis, and the base plate 30 is in contact with almost the entire range of the side surface on the negative side of the Y axis. More specifically, with the blade 10 sandwiched between the base plate 30 and the holding plate 40, the holding plate 40 and the base plate 30 are screwed together by four fixing screws 50.

次に、基準プレート６０がブレード１０、ベースプレート３０、および保持プレート４０の上方に配置される。そして、基準プレート６０の４つのネジ孔６１と、ベースプレート３０上面に形成されている図示しない４つのネジ孔のそれぞれに、図示されないネジがネジ留めされて、基準プレート６０とベースプレート３０とがネジ留めされる。これにより、ベースプレート３０と基準プレート６０が一体化される。 Next, the reference plate 60 is placed above the blade 10, the base plate 30, and the holding plate 40. Then, a screw (not shown) is screwed into each of the four screw holes 61 of the reference plate 60 and the four screw holes (not shown) formed on the upper surface of the base plate 30, and the reference plate 60 and the base plate 30 are screwed together. Will be done. As a result, the base plate 30 and the reference plate 60 are integrated.

また、２つの取っ手２１の図示されない軸部が基準プレート６０の両側面に形成されている留め孔６２にそれぞれ圧入される。これにより、取っ手２１が基準プレート６０に装着される。こうして、カートリッジ２０が組み立てられる。 Further, the shaft portions of the two handles 21 (not shown) are press-fitted into the fastening holes 62 formed on both side surfaces of the reference plate 60, respectively. As a result, the handle 21 is attached to the reference plate 60. In this way, the cartridge 20 is assembled.

なお、上記のネジ孔６１が形成される基準プレート６０の上面は、後述する分断装置１の取付部４にカートリッジ２０をセットする際、取付面２０１に当接する面である（図１０参照）。すなわち、基準プレート６０の上面は、カートリッジ２０の基準面６０ａである。 The upper surface of the reference plate 60 on which the screw hole 61 is formed is a surface that comes into contact with the mounting surface 201 when the cartridge 20 is set in the mounting portion 4 of the dividing device 1 described later (see FIG. 10). That is, the upper surface of the reference plate 60 is the reference surface 60a of the cartridge 20.

また、上記のようなカートリッジ２０を組み立てる際は、図示されない取り付け治具を用いて、ブレード１０の刃先１１が基準面６０ａと平行となるよう調整される。具体的には、４つの固定ネジ５０が緩く締められた状態で、カートリッジ２０が治具にセットされる。そして、治具により刃先１１と基準面６０ａとが平行となるように調整された後、４つの固定ネジ５０が強く締め付けられる。その後、カートリッジ２０が治具から取り外されて、カートリッジ２０の組み立てが完了する。 Further, when assembling the cartridge 20 as described above, the cutting edge 11 of the blade 10 is adjusted to be parallel to the reference surface 60a by using a mounting jig (not shown). Specifically, the cartridge 20 is set in the jig with the four fixing screws 50 loosely tightened. Then, after the cutting edge 11 and the reference surface 60a are adjusted to be parallel to each other by the jig, the four fixing screws 50 are strongly tightened. After that, the cartridge 20 is removed from the jig, and the assembly of the cartridge 20 is completed.

［分断装置の取付構造］
上記のように組み立てられたカートリッジ２０は、分断装置１の取付部４に装着される。分断装置１の取付部４の構成について、図４〜図１４（ｃ）を参照して説明する。 [Mounting structure of dividing device]
The cartridge 20 assembled as described above is mounted on the mounting portion 4 of the dividing device 1. The configuration of the mounting portion 4 of the dividing device 1 will be described with reference to FIGS. 4 to 14 (c).

図４は、分断装置１の取付部４の構成を示す斜視図である。なお、図４は、カートリッジ２０がセットされる前の取付部４の状態を示す図である。図５は、図４に示した取付部４の一部分解斜視図である。 FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the mounting portion 4 of the dividing device 1. Note that FIG. 4 is a diagram showing a state of the mounting portion 4 before the cartridge 20 is set. FIG. 5 is a partially disassembled perspective view of the mounting portion 4 shown in FIG.

図５に示すように、取付部４は、一対の支持機構１００と、ブロック部材２００と、支持板３００と、を備えている。一対の支持機構１００は、ブロック部材２００を挟んでＸ軸負側および正側に配置される。なお、図５では、図４においてＸ軸負側に配置されている支持機構１００のみが図示されている。 As shown in FIG. 5, the mounting portion 4 includes a pair of support mechanisms 100, a block member 200, and a support plate 300. The pair of support mechanisms 100 are arranged on the negative side and the positive side of the X-axis with the block member 200 interposed therebetween. Note that, in FIG. 5, only the support mechanism 100 arranged on the negative side of the X-axis in FIG. 4 is shown.

図５に示すように、ブロック部材２００のＸ軸正側の側面に、２つのネジ孔２００ａが形成されている。同様に、ブロック部材２００のＸ軸負側の側面にも、２つのネジ孔２００ａが形成されている。Ｘ軸負側の支持機構１００は、ブロック部材２００のＸ軸負側の側面に形成された２つのネジ孔２００ａに支持部材１８０がネジ（図示せず）で固定されることにより、ブロック部材２００のＸ軸負側に装着される。Ｘ軸正側の支持機構１００も、同様の方法で、ブロック部材２００のＸ軸正側の側面に装着される。 As shown in FIG. 5, two screw holes 200a are formed on the side surface of the block member 200 on the positive side of the X-axis. Similarly, two screw holes 200a are formed on the side surface of the block member 200 on the negative side of the X-axis. In the support mechanism 100 on the negative side of the X-axis, the support member 180 is fixed to the two screw holes 200a formed on the side surface of the negative side of the X-axis of the block member 200 with screws (not shown), so that the block member 200 It is mounted on the negative side of the X-axis. The support mechanism 100 on the positive side of the X-axis is also mounted on the side surface of the block member 200 on the positive side of the X-axis in the same manner.

また、ブロック部材２００の中央に、Ｙ軸方向に貫通する孔２００ｂが形成されている。ブロック部材２００の前面（Ｙ軸正側の側面）には、孔２００ｂに対してＸ軸方向に対称な位置に２つの押さえ部材２１０がそれぞれ設置されている。押さえ部材２１０は、トグルクランプである。押さえ部材２１０は、当接部２１１と、レバー２１２と、を備える。 Further, a hole 200b penetrating in the Y-axis direction is formed in the center of the block member 200. On the front surface of the block member 200 (the side surface on the positive side of the Y axis), two pressing members 210 are installed at positions symmetrical with respect to the hole 200b in the X-axis direction. The pressing member 210 is a toggle clamp. The pressing member 210 includes a contact portion 211 and a lever 212.

支持板３００は、ブロック部材２００を支持する板部材である。支持板３００は、Ｘ軸方向に対称な形状である。支持板３００は、Ｚ軸負側から順に、下板部３１０、中間板３２０および一対の上板部３３０を一体的に有する。Ｘ軸正側の上板部３３０の上部および下部は、それぞれ、Ｘ軸正方向に突出し、Ｘ軸負側の上板部３３０の上部および下部は、それぞれ、Ｘ軸負方向に突出している。一対の上板部３３０には、支持板３００を分断装置１に固定するための４つの孔３３０ａが形成されている。 The support plate 300 is a plate member that supports the block member 200. The support plate 300 has a shape symmetrical in the X-axis direction. The support plate 300 integrally has a lower plate portion 310, an intermediate plate 320, and a pair of upper plate portions 330 in order from the negative side of the Z axis. The upper part and the lower part of the upper plate portion 330 on the positive side of the X-axis project in the positive direction of the X-axis, respectively, and the upper part and the lower part of the upper plate portion 330 on the negative side of the X-axis project in the negative direction of the X-axis, respectively. The pair of upper plate portions 330 are formed with four holes 330a for fixing the support plate 300 to the dividing device 1.

中間板３２０には、Ｘ軸方向の中央に、孔３２１が形成されている。この孔３２１に、ブロック部材２００の孔２００ｂが合わされる。この状態で、Ｙ軸正側から軸部材２２０が孔２００ｂに挿入されて、孔３２１にネジ留めされる。 A hole 321 is formed in the intermediate plate 320 at the center in the X-axis direction. The hole 200b of the block member 200 is fitted into the hole 321. In this state, the shaft member 220 is inserted into the hole 200b from the positive side of the Y-axis and screwed into the hole 321.

軸部材２２０は、一般的にダウエルピンと称されている滑らかな円柱部材である。軸部材２２０のＹ軸負側の先端部分が支持板３００に圧入固定されることにより、ブロック部材２００が支持板３００に回転可能な状態で支持される。これにより、図４の取付部４の組み立てが完成する。 The shaft member 220 is a smooth cylindrical member generally called a dowel pin. The tip portion of the shaft member 220 on the negative side of the Y-axis is press-fitted and fixed to the support plate 300, so that the block member 200 is rotatably supported by the support plate 300. This completes the assembly of the mounting portion 4 of FIG.

なお、ブロック部材２００を支持板３００に取り付けるときの作業性の向上、およびメンテナンスの際にブロック部材２００を支持板３００から取り外しが可能なように、軸部材２２０とブロック部材２００の孔２００ｂとの間に、若干の隙間（約０．０１５〜０．０３ｍｍ程度）が設けられている。 The shaft member 220 and the hole 200b of the block member 200 are provided so that the workability when the block member 200 is attached to the support plate 300 is improved and the block member 200 can be removed from the support plate 300 during maintenance. A slight gap (about 0.015 to 0.03 mm) is provided between them.

次に、支持機構１００の構成について、図６〜図１４（ｃ）を参照して説明する。 Next, the configuration of the support mechanism 100 will be described with reference to FIGS. 6 to 14 (c).

図６は、支持機構１００の分解斜視図である。なお、図６には、図４においてＸ軸負側に配置されている支持機構１００が示されている。また、説明の便宜上、図６では、ブロック部材２００のＸ軸負側の端部が併せて図示されている。 FIG. 6 is an exploded perspective view of the support mechanism 100. Note that FIG. 6 shows the support mechanism 100 arranged on the negative side of the X-axis in FIG. Further, for convenience of explanation, in FIG. 6, the end portion on the negative side of the X-axis of the block member 200 is also shown.

支持機構１００は、押圧部材１１０と、レバー部材１２０と、プランジャ１３０と、受け部材１４０と、規制部材１５０と、調整部材１６０と、壁部材１７０と、支持部材１８０と、を備えている。 The support mechanism 100 includes a pressing member 110, a lever member 120, a plunger 130, a receiving member 140, a regulating member 150, an adjusting member 160, a wall member 170, and a supporting member 180.

押圧部材１１０は、カートリッジ２０を所定の位置に固定するための固定機構を構成する。本実施形態では、押圧部材１１０として、トグルクランプが用いられる。押圧部材１１０は、レバー１１１と、係止部１１２と、連結部１１３と、を備えている。 The pressing member 110 constitutes a fixing mechanism for fixing the cartridge 20 in a predetermined position. In this embodiment, a toggle clamp is used as the pressing member 110. The pressing member 110 includes a lever 111, a locking portion 112, and a connecting portion 113.

レバー１１１の一方の端部は、回動軸１１４を介して連結部１１３と連結される。また、レバー１１１には、Ｕ字状の係止部１１２が設けられている。レバー１１１が操作されると、係止部１１２は、回動軸１１４について回動する。連結部１１３は、長方形状の側面の四隅にＸ軸方向に貫通するネジ孔１１３ａが形成されている。 One end of the lever 111 is connected to the connecting portion 113 via the rotating shaft 114. Further, the lever 111 is provided with a U-shaped locking portion 112. When the lever 111 is operated, the locking portion 112 rotates about the rotation shaft 114. The connecting portion 113 is formed with screw holes 113a penetrating in the X-axis direction at the four corners of the rectangular side surface.

レバー部材１２０は、Ｚ軸負方向に垂下した角柱状の垂下部１２１と、垂下部１２１の下端から平面視においてＬ字状に延びるアーム部１２２と、垂下部１２１の上端からＹ軸正方向に延びる板状部１２３とを一体的に有する。すなわち、レバー部材１２０は、Ｙ軸負側から見た場合、逆Ｌ字状の形状を有し、また、Ｘ軸負側から見た場合、Ｃ字状の形状を有する。 The lever member 120 has a prismatic hanging portion 121 hanging in the negative direction of the Z axis, an arm portion 122 extending in an L shape in a plan view from the lower end of the hanging portion 121, and a positive direction of the Y axis from the upper end of the hanging portion 121. It integrally has an extending plate-shaped portion 123. That is, the lever member 120 has an inverted L-shaped shape when viewed from the negative side of the Y-axis, and has a C-shaped shape when viewed from the negative side of the X-axis.

アーム部１２２の上面には、カートリッジ２０のＸ軸負側の端部が載置される。また、図４に示すように、アーム部１２２の上面は、ブロック部材２００の取付面２０１に対向する。すなわち、アーム部１２２の上面は、ブロック部材２００の取付面２０１に対向する対向面１２２ａを構成する。 An end portion on the negative side of the X-axis of the cartridge 20 is placed on the upper surface of the arm portion 122. Further, as shown in FIG. 4, the upper surface of the arm portion 122 faces the mounting surface 201 of the block member 200. That is, the upper surface of the arm portion 122 constitutes the facing surface 122a facing the mounting surface 201 of the block member 200.

レバー部材１２０には、垂下部１２１のＺ軸正側の端部付近に、Ｘ軸方向に貫通する孔１２１ａが形成されている。また、Ｙ軸方向に延びるアーム部１２２のＹ軸正側の端部には、対向面１２２ａからＺ軸負方向に延びる有底円柱状の孔１２２ｂが形成されている。この孔１２２ｂに、プランジャ１３０が設置されている。 The lever member 120 is formed with a hole 121a penetrating in the X-axis direction near the end of the hanging portion 121 on the positive side of the Z-axis. Further, at the end of the arm portion 122 extending in the Y-axis direction on the positive side of the Y-axis, a bottomed columnar hole 122b extending in the negative direction of the Z-axis is formed from the facing surface 122a. A plunger 130 is installed in the hole 122b.

また、レバー部材１２０の板状部１２３には、Ｚ軸方向に貫通するネジ孔１２３ａ、１２３ｂが形成される。ネジ孔１２３ａ、１２３ｂは、Ｙ軸方向に並んで配置される。ネジ孔１２３ａの径は、ネジ孔１２３ｂの径よりも小さい。ネジ孔１２３ａは、板状部１２３のＹ軸正方向に延びる鍔部に設けられている。ネジ孔１２３ａ、１２３ｂには、規制部材１５０および調整部材１６０がそれぞれ配置される。 Further, screw holes 123a and 123b penetrating in the Z-axis direction are formed in the plate-shaped portion 123 of the lever member 120. The screw holes 123a and 123b are arranged side by side in the Y-axis direction. The diameter of the screw hole 123a is smaller than the diameter of the screw hole 123b. The screw hole 123a is provided in the flange portion of the plate-shaped portion 123 extending in the positive direction of the Y axis. A regulation member 150 and an adjustment member 160 are arranged in the screw holes 123a and 123b, respectively.

また、板状部１２３のＸ軸負側の側面に、受け部材１４０が取り付けられる。受け部材１４０は、押圧部材１１０の係止部１１２を引っ掛けるためのフックである。受け部材１４０は、Ｘ軸負方向に延びる一対の板部を有し、これら板部の下端にＺ軸正方向に凹んだ溝部１４０ａがそれぞれ形成されている。これら溝部１４０ａに、押圧部材１１０の係止部１１２が引っ掛けられる。 Further, the receiving member 140 is attached to the side surface of the plate-shaped portion 123 on the negative side of the X axis. The receiving member 140 is a hook for hooking the locking portion 112 of the pressing member 110. The receiving member 140 has a pair of plate portions extending in the negative direction of the X-axis, and groove portions 140a recessed in the positive direction of the Z-axis are formed at the lower ends of these plate portions. The locking portion 112 of the pressing member 110 is hooked on these groove portions 140a.

レバー部材１２０の垂下部１２１に形成された孔１２１ａには、回動軸１２４が嵌められる。回動軸１２４は、頭部１２４ａと、互いに径の異なる軸部１２４ｂ、１２４ｃとを有する。軸部１２４ｂの径は、軸部１２４ｃよりも大きいが、頭部１２４ａよりも小さい。また、孔１２１ａの径は、頭部１２４ａの径よりも小さいが、軸部１２４ｂの径よりも大きい。軸部１２４ｃには、ネジ溝が形成されている。軸部１２４ｂは、ネジ溝は形成されず、円柱形状となっている。 The rotation shaft 124 is fitted into the hole 121a formed in the hanging portion 121 of the lever member 120. The rotating shaft 124 has a head portion 124a and shaft portions 124b and 124c having different diameters from each other. The diameter of the shaft portion 124b is larger than that of the shaft portion 124c, but smaller than that of the head portion 124a. Further, the diameter of the hole 121a is smaller than the diameter of the head portion 124a, but larger than the diameter of the shaft portion 124b. A screw groove is formed in the shaft portion 124c. The shaft portion 124b is not formed with a thread groove and has a cylindrical shape.

プランジャ１３０は、球である突出部１３１と、付勢部材１３２とを有する（図１４（ａ）〜（ｃ）参照）。プランジャ１３０は、突出部１３１の一部が対向面１２２ａから突出するように、対向面１２２ａに形成されている孔１２２ｂに装着される。 The plunger 130 has a protruding portion 131 which is a sphere and an urging member 132 (see FIGS. 14 (a) to 14 (c)). The plunger 130 is mounted in the hole 122b formed in the facing surface 122a so that a part of the protruding portion 131 protrudes from the facing surface 122a.

規制部材１５０は、押圧部材１１０とともに、カートリッジ２０を所定の位置に固定するための固定機構を構成する。規制部材１５０は、軸部１５１と、ナット１５２とを有する。規制部材１５０は、ネジであり、軸部１５１は、ネジ軸である。 The regulating member 150, together with the pressing member 110, constitutes a fixing mechanism for fixing the cartridge 20 in a predetermined position. The regulating member 150 has a shaft portion 151 and a nut 152. The regulating member 150 is a screw, and the shaft portion 151 is a screw shaft.

調整部材１６０は、当接部１６１と、２つの軸部１６２、１６３とを有する。軸部１６２の径は、レバー部材１２０のネジ孔１２３ｂの径よりも小さい。また、軸部１６２の径は、当接部１６１の径より小さく、軸部１６３の径よりも大きい。 The adjusting member 160 has a contact portion 161 and two shaft portions 162 and 163. The diameter of the shaft portion 162 is smaller than the diameter of the screw hole 123b of the lever member 120. Further, the diameter of the shaft portion 162 is smaller than the diameter of the contact portion 161 and larger than the diameter of the shaft portion 163.

壁部材１７０は、Ｙ軸負側から見て逆Ｌ字状に形成された板状部材である。壁部材１７０のＺ軸方向に延びる壁板状の部分の四隅にＸ軸方向に貫通するネジ孔１７０ａが形成される。また、壁部材１７０のＸ軸方向に延びる鍔状の部分に、Ｚ軸方向に貫通する２つのネジ孔１７０ｂがＹ軸方向に並んで形成される。さらに、壁部材１７０の下面には、調整部材１６０の軸部１６３が圧入される孔１７０ｃ（図１３（ａ）、（ｂ）参照）が形成されている。 The wall member 170 is a plate-shaped member formed in an inverted L shape when viewed from the negative side of the Y-axis. Screw holes 170a penetrating in the X-axis direction are formed at the four corners of the wall plate-shaped portion extending in the Z-axis direction of the wall member 170. Further, two screw holes 170b penetrating in the Z-axis direction are formed side by side in the Y-axis direction in the collar-shaped portion extending in the X-axis direction of the wall member 170. Further, a hole 170c (see FIGS. 13A and 13B) into which the shaft portion 163 of the adjusting member 160 is press-fitted is formed on the lower surface of the wall member 170.

支持部材１８０は、ブロック部材２００に取り付けられる板状部材である。支持部材１８０には、Ｘ軸方向に貫通する２つのネジ孔１８０ａと、上面からＺ軸負方向に形成される２つのネジ孔１８０ｂと、Ｘ軸方向に貫通するネジ孔１８０ｃが形成されている。 The support member 180 is a plate-shaped member attached to the block member 200. The support member 180 is formed with two screw holes 180a penetrating in the X-axis direction, two screw holes 180b formed in the negative direction of the Z-axis from the upper surface, and screw holes 180c penetrating in the X-axis direction. ..

次に、ブロック部材２００に対する支持機構１００の連結方法について説明する。 Next, a method of connecting the support mechanism 100 to the block member 200 will be described.

まず、図６の構成において、支持部材１８０の２つのネジ孔１８０ａと、ブロック部材２００のＸ軸負側の側面に形成された２つのネジ孔２００ａ（図５参照）とが合わされて、これらネジ孔にネジ（図示せず）がネジ留めされる。これにより、支持部材１８０が、ブロック部材２００のＸ軸負側の側面に装着される。 First, in the configuration of FIG. 6, the two screw holes 180a of the support member 180 and the two screw holes 200a (see FIG. 5) formed on the side surface of the block member 200 on the negative side of the X axis are combined, and these screws are used. Screws (not shown) are screwed into the holes. As a result, the support member 180 is mounted on the side surface of the block member 200 on the negative side of the X-axis.

次に、壁部材１７０の２つのネジ孔１７０ｂおよび支持部材１８０のネジ孔１８０ｂのそれぞれに、図示しないネジが通されてネジ留めされる。これにより壁部材１７０と支持部材１８０とが連結される。 Next, a screw (not shown) is passed through each of the two screw holes 170b of the wall member 170 and the screw holes 180b of the support member 180 and screwed. As a result, the wall member 170 and the support member 180 are connected.

次に、レバー部材１２０の孔１２１ａに、回動軸１２４の軸部１２４ｂ、１２４ｃがＸ軸負側から通されて、軸部１２４ｃが、支持部材１８０のネジ孔１８０ｃにネジ留めされる。このとき、レバー部材１２０の垂下部１２１は、回動軸１２４の頭部１２４ａと支持部材１８０のＸ軸負側の側面とによって挟まれる。また、垂下部１２１の孔１２１ａに回動軸１２４の軸部１２４ｂが略隙間なく嵌る。これにより、レバー部材１２０が回動軸１２４について回動可能に、支持部材１８０に支持される。 Next, the shaft portions 124b and 124c of the rotating shaft 124 are passed through the holes 121a of the lever member 120 from the negative side of the X-axis, and the shaft portions 124c are screwed into the screw holes 180c of the support member 180. At this time, the hanging portion 121 of the lever member 120 is sandwiched between the head portion 124a of the rotating shaft 124 and the side surface on the negative side of the X-axis of the support member 180. Further, the shaft portion 124b of the rotating shaft 124 fits into the hole 121a of the hanging portion 121 without any gap. As a result, the lever member 120 is rotatably supported by the support member 180 with respect to the rotation shaft 124.

次に、軸部１５１の上端が板状部１２３の上面から突出するように、ネジ孔１２３ａに軸部１５１がＺ軸負側からネジ留めされる。このとき、規制部材１５０のナット１５２がレバー部材１２０の下面に押し付けられるように、ナット１５２に軸部１５１に噛み合わされる。また、板状部１２３の上面に対する軸部１５１の突出量は、軸部１５１の先端が壁部材１７０の下面に当接した状態において、レバー部材１２０の上面と壁部材１７０との間の隙間が所定の距離になるように調整される。これにより、レバー部材１２０に規制部材１５０が配置される。 Next, the shaft portion 151 is screwed into the screw hole 123a from the negative side of the Z axis so that the upper end of the shaft portion 151 projects from the upper surface of the plate-shaped portion 123. At this time, the nut 152 of the regulating member 150 is engaged with the shaft portion 151 by the nut 152 so as to be pressed against the lower surface of the lever member 120. Further, the amount of protrusion of the shaft portion 151 with respect to the upper surface of the plate-shaped portion 123 is such that a gap between the upper surface of the lever member 120 and the wall member 170 is provided in a state where the tip of the shaft portion 151 is in contact with the lower surface of the wall member 170. It is adjusted to a predetermined distance. As a result, the regulation member 150 is arranged on the lever member 120.

続いて、調整部材１６０の軸部１６２、１６３が板状部１２３のネジ孔１２３ｂにＺ軸負側から通されて、軸部１６３が壁部材１７０の下面の孔１７０ｃに圧入される。このとき、調整部材１６０の当接部１６１が、板状部１２３の下面に対向する。これにより、レバー部材１２０は、規制部材１５０の軸部１５１の先端が壁部材１７０の下面の下面に当接する回動位置と、板状部１２３の下面が調整部材１６０の当接部１６１に当接する回動位置との間の回動範囲において回動可能となる。 Subsequently, the shaft portions 162 and 163 of the adjusting member 160 are passed through the screw hole 123b of the plate-shaped portion 123 from the negative side of the Z axis, and the shaft portion 163 is press-fitted into the hole 170c on the lower surface of the wall member 170. At this time, the contact portion 161 of the adjusting member 160 faces the lower surface of the plate-shaped portion 123. As a result, the lever member 120 has a rotation position where the tip of the shaft portion 151 of the regulating member 150 abuts on the lower surface of the lower surface of the wall member 170, and the lower surface of the plate-shaped portion 123 hits the abutting portion 161 of the adjusting member 160. It can rotate within the rotation range between the contact rotation position and the rotation position.

最後に、壁部材１７０の４つのネジ孔１７０ａおよび押圧部材１１０の連結部１１３の４つのネジ孔１１３ａのそれぞれに、図示しないネジが通されてネジ留めされる。これにより、壁部材１７０と押圧部材１１０とが連結される。 Finally, a screw (not shown) is passed through each of the four screw holes 170a of the wall member 170 and the four screw holes 113a of the connecting portion 113 of the pressing member 110 and screwed. As a result, the wall member 170 and the pressing member 110 are connected.

このようにして、押圧部材１１０、レバー部材１２０、プランジャ１３０、規制部材１５０、調整部材１６０、壁部材１７０、および支持部材１８０が連結されると、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、支持機構１００が組み立てられる。なお、Ｘ軸正側に配置される支持機構１００も上記と同様に構成されて、組み立てられる。 When the pressing member 110, the lever member 120, the plunger 130, the regulating member 150, the adjusting member 160, the wall member 170, and the supporting member 180 are connected in this way, as shown in FIGS. 7A and 7B. The support mechanism 100 is assembled. The support mechanism 100 arranged on the positive side of the X-axis is also configured and assembled in the same manner as described above.

図７（ａ）、（ｂ）に示す状態から、押圧部材１１０の係止部１１２が受け部材１４０の溝部１４０ａに掛けられて、レバー１１１が上方に回動されると、係止部１１２によって受け部材１４０が持ち上げられる。これにより、回動軸１２４を中心としてレバー部材１２０が回動し、レバー部材１２０の板状部１２３とアーム部１２２の端部が持ち上げられる。引き続き、レバー１１１が上方に回動されると、規制部材１５０の軸部１５１の先端が壁部材１７０の下面の当接し、レバー部材１２０の回動が規制される。その後、さらにレバー１１１が上方に回動されることにより、押圧部材１１０が回動終了位置に保持される。これにより、支持機構１００が、図８（ａ）、（ｂ）に示す固定状態に維持される。 From the state shown in FIGS. 7A and 7B, when the locking portion 112 of the pressing member 110 is hung on the groove portion 140a of the receiving member 140 and the lever 111 is rotated upward, the locking portion 112 causes the locking portion 112. The receiving member 140 is lifted. As a result, the lever member 120 rotates around the rotation shaft 124, and the end portions of the plate-shaped portion 123 and the arm portion 122 of the lever member 120 are lifted. Subsequently, when the lever 111 is rotated upward, the tip of the shaft portion 151 of the regulating member 150 comes into contact with the lower surface of the wall member 170, and the rotation of the lever member 120 is restricted. After that, the lever 111 is further rotated upward, so that the pressing member 110 is held at the rotation end position. As a result, the support mechanism 100 is maintained in the fixed state shown in FIGS. 8A and 8B.

次に、図９（ａ）、（ｂ）を参照して、支持板３００に対するブロック部材２００の取付構造について説明する。 Next, the mounting structure of the block member 200 to the support plate 300 will be described with reference to FIGS. 9 (a) and 9 (b).

図９（ａ）は、ブロック部材２００の取付構造の構成を示す分解斜視図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）の取付構造が組み立てられた構造体をブロック部材２００のＹ軸方向の中間位置においてＸ−Ｚ平面に平行な平面で切断したときの断面図である。ただし、図９（ｂ）には、孔２００ｂの周辺のみが図示されている。 FIG. 9A is an exploded perspective view showing the configuration of the mounting structure of the block member 200. 9 (b) is a cross-sectional view when the structure in which the mounting structure of FIG. 9 (a) is assembled is cut in a plane parallel to the XX plane at an intermediate position in the Y-axis direction of the block member 200. .. However, FIG. 9B shows only the periphery of the hole 200b.

図９（ａ）に示すように、ブロック部材２００の取付面２０１には、Ｘ軸方向の中央に凹部２０２が形成されている。この凹部２０２には、孔２００ｂに連通するネジ孔２０２ａが形成されている。 As shown in FIG. 9A, a recess 202 is formed in the center of the mounting surface 201 of the block member 200 in the X-axis direction. A screw hole 202a communicating with the hole 200b is formed in the recess 202.

軸部材２２０は、一般的にダウエルピンと称されている滑らかな円柱部材である。孔２００ｂに軸部材２２０が嵌められる。支持板３００の中間板３２０に形成されている孔３２１に、軸部材２２０のＹ軸負側の先端部分が圧入固定されることにより、ブロック部材２００は指示板３００で回転可能な状態で支持される（図５参照）。これにより、ブロック部材２００は、支持板３００に取り付けられる。 The shaft member 220 is a smooth cylindrical member generally called a dowel pin. The shaft member 220 is fitted in the hole 200b. The block member 200 is supported by the indicator plate 300 in a rotatable state by press-fitting and fixing the tip portion on the negative side of the Y-axis of the shaft member 220 into the hole 321 formed in the intermediate plate 320 of the support plate 300. (See Fig. 5). As a result, the block member 200 is attached to the support plate 300.

ネジ孔２０２ａには、押さえ部材２３０が嵌められる。押さえ部材２３０は、軟質の金属からなる当接部材２３１と、押さえボルト２３２とを含む。当接部材２３１は、先端がやや丸められた円柱状の形状を有し、たとえば、銅により形成される。当接部材２３１が、アルミニウムやニッケル等の他の軟質の金属により形成されてもよい。 The holding member 230 is fitted in the screw hole 202a. The pressing member 230 includes a contact member 231 made of soft metal and a pressing bolt 232. The abutting member 231 has a columnar shape with a slightly rounded tip, and is formed of, for example, copper. The abutting member 231 may be formed of another soft metal such as aluminum or nickel.

図９（ｂ）に示すように、孔２００ｂに軸部材２２０が嵌められる。ネジ孔２０２ａには、当接部材２３１が嵌められ、さらに、押さえボルト２３２がネジ留めされる。押さえボルト２３２が締められると、当接部材２３１が軸部材２２０に押し付けられる。これにより、軸部材２２０が孔２００ｂの内側面に押し付けられる。この状態から、さらに押さえボルト２３２が締め付けられる。これにより、軟質の金属からなる当接部材２３１の先端が潰れて軸部材２２０の外周に沿う形状に変形する。これによって、軸部材２２０とブロック部材２００との隙間が無くなる。 As shown in FIG. 9B, the shaft member 220 is fitted into the hole 200b. The contact member 231 is fitted into the screw hole 202a, and the holding bolt 232 is screwed into the screw hole 202a. When the holding bolt 232 is tightened, the contact member 231 is pressed against the shaft member 220. As a result, the shaft member 220 is pressed against the inner surface of the hole 200b. From this state, the holding bolt 232 is further tightened. As a result, the tip of the contact member 231 made of soft metal is crushed and deformed into a shape along the outer circumference of the shaft member 220. This eliminates the gap between the shaft member 220 and the block member 200.

この状態において、軸部材２２０を中心にブロック部材２００を回動させて、ブロック部材２００の取付面２０１に対する平行出しが行われる。平行出しには、所定の測定器が用いられる。このとき、当接部材２３１は、軟質の金属であるため、当接部材２３１の先端が軸部材２２０の側面に圧接された状態が維持されたまま、当接部材２３１の接触面を軸部材２２０が滑って、ブロック部材２００が回動される。こうして、取付面２０１の平行度が調整されることにより、取付面２０１に取り付けられるカートリッジ２０の基準面６０ａも平行に調整される。これにより、ブレード１０の刃先１１が基板Ｆに対して平行に調整される。 In this state, the block member 200 is rotated around the shaft member 220 to parallelize the block member 200 with respect to the mounting surface 201. A predetermined measuring instrument is used for parallelizing. At this time, since the contact member 231 is made of a soft metal, the contact surface of the contact member 231 is pressed against the side surface of the shaft member 220 while the tip of the contact member 231 is pressed against the side surface of the shaft member 220. Slides and the block member 200 is rotated. By adjusting the parallelism of the mounting surface 201 in this way, the reference surface 60a of the cartridge 20 mounted on the mounting surface 201 is also adjusted in parallel. As a result, the cutting edge 11 of the blade 10 is adjusted to be parallel to the substrate F.

また、押さえボルト２３２によって軸部材２２０が孔２００ｂの内側面に押しつけられることにより、軸部材２２０と孔２００ｂとの間の隙間によりブロック部材２００がたつくことが抑制される。これにより、装置の駆動中において、刃先１１が基板Ｆから反力を受けても、ブロック部材２００はぶれない。よって、刃先１１の平行度を適正に維持できる。 Further, by pressing the shaft member 220 against the inner side surface of the hole 200b by the pressing bolt 232, the block member 200 is suppressed from rattling due to the gap between the shaft member 220 and the hole 200b. As a result, the block member 200 does not shake even if the cutting edge 11 receives a reaction force from the substrate F while the device is being driven. Therefore, the parallelism of the cutting edge 11 can be properly maintained.

こうして、ブロック部材２００に対する平行出しが行われた後、ブロック部材２００の上面が、４つの調整ボルト２４０で押さえられる（図１１参照）。これら４つの調整ボルト２４０を配置するために、図４の構成において、さらに、４つの調整ボルト２４０を支持する枠部材が、支持板３００の前面に装着される（図１０参照）。 In this way, after the parallel alignment with respect to the block member 200 is performed, the upper surface of the block member 200 is pressed by the four adjusting bolts 240 (see FIG. 11). In order to arrange these four adjusting bolts 240, in the configuration of FIG. 4, a frame member that supports the four adjusting bolts 240 is further mounted on the front surface of the support plate 300 (see FIG. 10).

図１０は、支持板３００の前面に枠部材２５０と４つの調整ボルト２４０とが設置された状態を示す斜視図である。図１０には、さらに、カートリッジ２０が取付部４に装着された状態が示されている。 FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the frame member 250 and the four adjusting bolts 240 are installed on the front surface of the support plate 300. FIG. 10 further shows a state in which the cartridge 20 is mounted on the mounting portion 4.

図１０に示すように、支持板３００前面のブロック部材２００の直上位置に、枠部材２５０が、図示しないネジにより装着される。枠部材２５０は、Ｘ−Ｙ平面に平行な板状部を有し、この板状部に、Ｚ軸方向に貫通する４つのネジ孔が、Ｘ軸方向に並んで形成されている。これらネジ孔に４つの調整ボルト２４０が、ナットを介して、それぞれ、ネジ留めされる。４つの調整ボルト２４０の下端は、ブロック部材２００の上面に対向する。４つの調整ボルト２４０は、Ｘ軸に対称な位置において、枠部材２５０に配置される。 As shown in FIG. 10, the frame member 250 is mounted at a position directly above the block member 200 on the front surface of the support plate 300 by a screw (not shown). The frame member 250 has a plate-shaped portion parallel to the XY plane, and four screw holes penetrating in the Z-axis direction are formed in the plate-shaped portion side by side in the X-axis direction. Four adjusting bolts 240 are screwed into these screw holes via nuts. The lower ends of the four adjusting bolts 240 face the upper surface of the block member 200. The four adjusting bolts 240 are arranged on the frame member 250 at positions symmetrical to the X axis.

ブロック部材２００に対して上述の平行出しが行われる際に、４つの調整ボルト２４０の先端がブロック部材２００の上面にそれぞれ当接するように、枠部材２５０の下面に対する４つの調整ボルト２４０の突出量が調整される。 The amount of protrusion of the four adjusting bolts 240 with respect to the lower surface of the frame member 250 so that the tips of the four adjusting bolts 240 abut on the upper surface of the block member 200 when the parallel alignment is performed with respect to the block member 200. Is adjusted.

図１１は、ブロック部材２００の上面に対する調整ボルト２４０の当接状態を示す模式図である。なお、図１１では、ブロック部材２００および調整ボルト２４０をＹ軸正側から見た状態が模式的に示されている。 FIG. 11 is a schematic view showing a contact state of the adjusting bolt 240 with respect to the upper surface of the block member 200. Note that FIG. 11 schematically shows a state in which the block member 200 and the adjusting bolt 240 are viewed from the positive side of the Y-axis.

図１１に示すように、ブロック部材２００は、上面が４つの調整ボルト２４０で押さえられる。このうち、主として、外側の２つの調整ボルト２４０によって、軸部材２２０を中心とするブロック部材２００の回転位置が規定される。これにより、取付面２０１の平行度が維持される。 As shown in FIG. 11, the upper surface of the block member 200 is pressed by four adjusting bolts 240. Of these, mainly the two outer adjusting bolts 240 define the rotational position of the block member 200 centered on the shaft member 220. As a result, the parallelism of the mounting surface 201 is maintained.

また、内側の２つの調整ボルト２４０は、取付面２０１の平行度が調整された後、より強固にブロック部材２００の上面を押さえるために用いられる。これらの調整ボルト２４０は、孔２００ｂを挟んでＸ軸方向に対称な位置に配置される。これにより、ブロック部材２００をバランスよく支持できる。 Further, the two inner adjusting bolts 240 are used to more firmly press the upper surface of the block member 200 after the parallelism of the mounting surface 201 is adjusted. These adjusting bolts 240 are arranged at positions symmetrical with respect to the X-axis direction with the hole 200b interposed therebetween. Thereby, the block member 200 can be supported in a well-balanced manner.

［分断装置へのカートリッジの取り付け］
次に、取付部４に対してカートリッジ２０を取り付ける手順について説明する。 [Attaching the cartridge to the dividing device]
Next, a procedure for mounting the cartridge 20 to the mounting portion 4 will be described.

図１０に示すように、ユーザは、ブロック部材２００とレバー部材１２０との間の隙間にカートリッジ２０を嵌め込む。次に、ユーザは、ブロック部材２００の前面に設置されている２つの押さえ部材２１０のレバー２１２をＹ軸負方向に回動させる。これにより、各押さえ部材２１０の当接部２１１がカートリッジ２０の前面をＹ軸負方向に押圧し、カートリッジ２０の背面が、支持板３００の前面に押し付けられる。こうして、カートリッジ２０は、Ｙ軸方向に位置決めされる。 As shown in FIG. 10, the user fits the cartridge 20 in the gap between the block member 200 and the lever member 120. Next, the user rotates the levers 212 of the two pressing members 210 installed on the front surface of the block member 200 in the negative direction of the Y axis. As a result, the contact portion 211 of each holding member 210 presses the front surface of the cartridge 20 in the negative Y-axis direction, and the back surface of the cartridge 20 is pressed against the front surface of the support plate 300. In this way, the cartridge 20 is positioned in the Y-axis direction.

そして、ユーザは、左右の押圧部材１１０の係止部１１２を受け部材１４０に引っ掛けた状態で、レバー１１１を上方に回動させて、レバー１１１を閉じる。これにより、図１２に示すように、カートリッジ２０が分断装置１に固定される。 Then, the user rotates the lever 111 upward while receiving the locking portions 112 of the left and right pressing members 110 and hooking them on the member 140 to close the lever 111. As a result, as shown in FIG. 12, the cartridge 20 is fixed to the dividing device 1.

図１３（ａ）は、取付部４にカートリッジ２０がセットされた直後の、レバー部材１２０の状態を示す模式図である。図１３（ｂ）は、取付部４に対してカートリッジ２０が固定されたときの、レバー部材１２０の状態を示す模式図である。図１３（ａ）、（ｂ）には、レバー部材１２０付近を、Ｘ軸負方向から見た状態が模式的に示されている。 FIG. 13A is a schematic view showing a state of the lever member 120 immediately after the cartridge 20 is set in the mounting portion 4. FIG. 13B is a schematic view showing a state of the lever member 120 when the cartridge 20 is fixed to the mounting portion 4. 13 (a) and 13 (b) schematically show a state in which the vicinity of the lever member 120 is viewed from the negative direction of the X-axis.

図１３（ａ）の状態では、押圧部材１１０が開放状態にあるため、レバー部材１２０は、回動軸１２４を中心としてＹ軸正側の方に傾いた状態である。このとき、板状部１２３の下面が調整部材１６０の当接部１６１に当接することにより、レバー部材１２０の時計方向の回動が規制されている。これにより、ブロック部材２００の取付面２０１と、レバー部材１２０の対向面１２２ａとの間の隙間が、当該隙間にカートリッジ２０（基準プレート６０）を滑らかに着脱できる広さに設定される。 In the state of FIG. 13A, since the pressing member 110 is in the open state, the lever member 120 is in a state of being tilted toward the positive side of the Y-axis with the rotation shaft 124 as the center. At this time, the lower surface of the plate-shaped portion 123 abuts on the abutting portion 161 of the adjusting member 160, so that the clockwise rotation of the lever member 120 is restricted. As a result, the gap between the mounting surface 201 of the block member 200 and the facing surface 122a of the lever member 120 is set to such a width that the cartridge 20 (reference plate 60) can be smoothly attached to and detached from the gap.

こうして、カートリッジ２０が取付面２０１と対向面１２２ａとの間に嵌め込まれた後、押圧部材１１０のレバー１１１が上方に操作されて、レバー部材１２０が、回動軸１２４を中心に反時計方向に回動される。これにより、対向面１２２ａが取付面２０１に接近する。この接近に伴い、プランジャ１３０の突出部１３１がカートリッジ２０を下方から押圧して、カートリッジ２０の基準面６０ａが取付面２０１に押し付けられる。 In this way, after the cartridge 20 is fitted between the mounting surface 201 and the facing surface 122a, the lever 111 of the pressing member 110 is operated upward, and the lever member 120 moves counterclockwise around the rotation shaft 124. It is rotated. As a result, the facing surface 122a approaches the mounting surface 201. Along with this approach, the protrusion 131 of the plunger 130 presses the cartridge 20 from below, and the reference surface 60a of the cartridge 20 is pressed against the mounting surface 201.

その後、さらに、押圧部材１１０のレバー１１１が上方に操作されて、レバー部材１２０の回動が進むと、図１３（ｂ）に示すように、規制部材１５０の軸部１５１の上端が壁部材１７０の下面に当接する。これにより、レバー部材１２０のさらなる回動が規制される。その後、押圧部材１１０のレバー１１１が、回動終了位置に閉じられて、カートリッジ２０の固定が完了する。 After that, when the lever 111 of the pressing member 110 is further operated upward and the rotation of the lever member 120 progresses, as shown in FIG. 13B, the upper end of the shaft portion 151 of the regulating member 150 is the wall member 170. Contact the lower surface of the. This restricts further rotation of the lever member 120. After that, the lever 111 of the pressing member 110 is closed at the rotation end position, and the fixing of the cartridge 20 is completed.

このように、押圧部材１１０が閉じられる途中で、規制部材１５０が、所定の回動位置においてレバー部材１２０の回動を規制するため、強固な押圧力が押圧部材１１０からレバー部材１２０に付与されても、カートリッジ２０に過剰な押圧力が付与されることがない。これにより、カートリッジ２０に変形や破損が生じることを抑制できる。 In this way, while the pressing member 110 is being closed, the regulating member 150 restricts the rotation of the lever member 120 at a predetermined rotation position, so that a strong pressing force is applied from the pressing member 110 to the lever member 120. However, excessive pressing force is not applied to the cartridge 20. As a result, it is possible to prevent the cartridge 20 from being deformed or damaged.

ここで、規制部材１５０によって回動が規制されるレバー部材１２０の所定の回動位置は、カートリッジ２０の基準面６０ａを取付面２０１に適正に密着させて、カートリッジ２０を所定の位置に安定的に固定でき、且つ、カートリッジ２０に変形や破損が生じない程度の押圧力がカートリッジ２０に付与される回動位置に設定される。 Here, at a predetermined rotation position of the lever member 120 whose rotation is restricted by the regulation member 150, the reference surface 60a of the cartridge 20 is properly brought into close contact with the mounting surface 201, and the cartridge 20 is stably placed at a predetermined position. A pressing force that can be fixed to the cartridge 20 and that does not cause deformation or damage to the cartridge 20 is set at the rotation position applied to the cartridge 20.

たとえば、この回動位置は、レバー１１１が閉じられた状態において、３０Ｎ程度の押圧力がプランジャ１３０の突出部１３１からカートリッジ２０に付与されるように設定される。 For example, this rotation position is set so that a pressing force of about 30 N is applied to the cartridge 20 from the protrusion 131 of the plunger 130 in a state where the lever 111 is closed.

次に、取付部４に対してカートリッジ２０を固定する際のプランジャ１３０の動作について説明する。 Next, the operation of the plunger 130 when fixing the cartridge 20 to the mounting portion 4 will be described.

図１４（ａ）は、カートリッジ２０が取付部４にセットされる前のプランジャ１３０の状態を示す図である。図１４（ｂ）は、カートリッジ２０が取付部４にセットされた直後のプランジャ１３０の状態を示す模式図である。図１４（ｃ）は、カートリッジ２０が分断装置１に固定されたしたときの、プランジャ１３０の状態を示す模式図である。 FIG. 14A is a diagram showing a state of the plunger 130 before the cartridge 20 is set in the mounting portion 4. FIG. 14B is a schematic view showing a state of the plunger 130 immediately after the cartridge 20 is set in the mounting portion 4. FIG. 14 (c) is a schematic view showing a state of the plunger 130 when the cartridge 20 is fixed to the dividing device 1.

図１４（ａ）〜（ｃ）に示すように、プランジャ１３０は、球である突出部１３１と、突出部１３１を上方に付勢する付勢部材１３２とを有する。図１４（ａ）に示すように、カートリッジ２０が取付部４にセットされる前の状態において、突出部１３１は、略半分が対向面１２２ａから突出している。 As shown in FIGS. 14 (a) to 14 (c), the plunger 130 has a protruding portion 131 which is a sphere, and a urging member 132 that urges the protruding portion 131 upward. As shown in FIG. 14A, in the state before the cartridge 20 is set in the mounting portion 4, about half of the protruding portion 131 protrudes from the facing surface 122a.

プランジャ１３０が図１４（ａ）の状態であるとき、基準面６０ａと対向面１２２ａとの間にカートリッジ２０が嵌め込まれると、図１４（ｂ）に示すように、カートリッジ２０（基準プレート６０）の下面に押されて、突出部１３１は、孔１２２ｂ内に沈む。このとき、突出部１３１は、付勢部材１３２からの付勢により、カートリッジ２０の基準面６０ａを取付面２０１に押圧する。 When the plunger 130 is in the state of FIG. 14A and the cartridge 20 is fitted between the reference surface 60a and the facing surface 122a, as shown in FIG. 14B, the cartridge 20 (reference plate 60) Pushed by the lower surface, the protrusion 131 sinks into the hole 122b. At this time, the protruding portion 131 presses the reference surface 60a of the cartridge 20 against the mounting surface 201 by the urging from the urging member 132.

図１４（ｂ）の状態から、押圧部材１１０のレバー１１１が上方に操作されると、レバー部材１２０は、上記のように、規制部材１５０の軸部１５１の上端が壁部材１７０の下面に当接するまで回動する。このとき、図１３（ｂ）に示すように、対向面１２２ａが取付面２０１に接近するため、図１４（ｃ）に示すように、突出部１３１はさらに孔１２２ｂ内に沈む。このとき、付勢部材１３２によって突出部１３１は上方向にさらに付勢されるため、カートリッジ２０には、プランジャ１３０からさらに大きな押圧力が付与される。これにより、カートリッジ２０の基準面６０ａが取付面２０１に強固に密着して、カートリッジ２０が取付部４に固定される。 When the lever 111 of the pressing member 110 is operated upward from the state of FIG. 14B, the upper end of the shaft portion 151 of the regulating member 150 hits the lower surface of the wall member 170 as described above. Rotate until it touches. At this time, as shown in FIG. 13B, the facing surface 122a approaches the mounting surface 201, so that the protruding portion 131 further sinks into the hole 122b as shown in FIG. 14C. At this time, since the protrusion 131 is further urged upward by the urging member 132, a larger pressing force is applied to the cartridge 20 from the plunger 130. As a result, the reference surface 60a of the cartridge 20 is firmly adhered to the mounting surface 201, and the cartridge 20 is fixed to the mounting portion 4.

なお、図１４（ａ）の状態の突出部１３１の突出量が１００％である場合、たとえば、図１４（ｂ）における突出部１３１の突出量は６０％程度であり、図１４（ｃ）における突出部１３１の突出量は１０％程度である。 When the protruding amount of the protruding portion 131 in the state of FIG. 14A is 100%, for example, the protruding amount of the protruding portion 131 in FIG. 14B is about 60%, and it is shown in FIG. 14C. The amount of protrusion of the protrusion 131 is about 10%.

また、たとえば、プランジャ１３０が図１４（ｂ）の状態であるとき、プランジャ１３０からカートリッジ２０に付与される押圧力が２０Ｎ程度であるすると、プランジャ１３０が図１４（ｃ）の状態であるとき、プランジャ１３０からカートリッジ２０に付与される押圧力は３０Ｎ程度にまで増加する。 Further, for example, when the plunger 130 is in the state of FIG. 14 (b) and the pressing force applied from the plunger 130 to the cartridge 20 is about 20 N, when the plunger 130 is in the state of FIG. 14 (c), The pressing force applied to the cartridge 20 from the plunger 130 increases to about 30 N.

このように、押圧部材１１０が閉じられると、プランジャ１３０により、カートリッジ２０の基準面６０ａが取付面２０１に強固に固定される。一方、押圧部材１１０が開放されると、図１４（ｃ）の状態から図１４（ｂ）の状態に移行して、プランジャ１３０からカートリッジ２０に付与される押圧力が弱まる。これにより、ユーザは、取付部４に対してカートリッジ２０を円滑に着脱できる。また、この状態では、対向面１２２ａと取付面２０１との空間が広がるため、ユーザは、この空間にカートリッジ２０を容易に着脱することができる。 When the pressing member 110 is closed in this way, the reference surface 60a of the cartridge 20 is firmly fixed to the mounting surface 201 by the plunger 130. On the other hand, when the pressing member 110 is released, the state of FIG. 14C shifts to the state of FIG. 14B, and the pressing force applied to the cartridge 20 from the plunger 130 weakens. As a result, the user can smoothly attach / detach the cartridge 20 to / from the mounting portion 4. Further, in this state, since the space between the facing surface 122a and the mounting surface 201 is widened, the user can easily attach / detach the cartridge 20 to / from this space.

＜実施形態の効果＞
本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。 <Effect of embodiment>
According to this embodiment, the following effects are achieved.

図１３（ａ）〜図１４（ｃ）に示すように、押圧部材１１０のレバー１１１が開放されているときは、プランジャ１３０の突出部１３１をレバー部材１２０の対向面１２２ａに対して進退させつつ、取付面２０１と対向面１２２ａとの間の空間にカートリッジ２０を円滑に着脱できる。また、取付面２０１と対向面１２２ａとの間の空間にカートリッジ２０をセットした後、レバー１１１をさらに上方に回動させると、カートリッジ２０に対する突出部１３１からの付勢が高められて、カートリッジ２０の基準面６０ａが取付面２０１に強固に押し付けられる。これにより、カートリッジ２０を分断装置１に強固かつ確実に固定することができる。 As shown in FIGS. 13A to 14C, when the lever 111 of the pressing member 110 is open, the protruding portion 131 of the plunger 130 is advanced and retracted with respect to the facing surface 122a of the lever member 120. The cartridge 20 can be smoothly attached to and detached from the space between the mounting surface 201 and the facing surface 122a. Further, when the cartridge 20 is set in the space between the mounting surface 201 and the facing surface 122a and then the lever 111 is further rotated upward, the urging of the cartridge 20 from the protruding portion 131 is increased, and the cartridge 20 is increased. The reference surface 60a of the above is firmly pressed against the mounting surface 201. As a result, the cartridge 20 can be firmly and securely fixed to the dividing device 1.

図６に示すように、レバー部材１２０は、回動軸１２４に平行な方向に見たときに外形がＣ字状である。また、レバー部材１２０を構成するアーム部１２２の上面が、取付面２０１に対して接近および離間する対向面１２２ａである。このように構成されると、レバー部材１２０の外形をコンパクトに収めることができ、分断装置１の大型化を抑制できる。 As shown in FIG. 6, the lever member 120 has a C-shaped outer shape when viewed in a direction parallel to the rotation shaft 124. Further, the upper surface of the arm portion 122 constituting the lever member 120 is a facing surface 122a that approaches and separates from the mounting surface 201. With this configuration, the outer shape of the lever member 120 can be compactly accommodated, and the size of the dividing device 1 can be suppressed from increasing.

図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、押圧部材１１０のレバー１１１を閉じた状態において、レバー部材１２０の回動が、所定の回動位置で規制されるため、押圧部材１１０のレバー１１１からレバー部材１２０を介してカートリッジ２０に過剰な圧力が付与されることを防ぐことができる。よって、過剰な圧力によるカートリッジ２０の変形を防ぐことができ、カートリッジ２０を適正に分断装置１に固定することができる。 As shown in FIGS. 13A and 13B, when the lever 111 of the pressing member 110 is closed, the rotation of the lever member 120 is restricted at a predetermined rotation position, so that the lever of the pressing member 110 is restricted. It is possible to prevent excessive pressure from being applied to the cartridge 20 from the 111 via the lever member 120. Therefore, it is possible to prevent the cartridge 20 from being deformed due to excessive pressure, and the cartridge 20 can be properly fixed to the dividing device 1.

図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、調整部材１６０によってレバー部材１２０の回動範囲が調整されるため、押圧部材１１０のレバー１１１が開放された状態において、取付面２０１と対向面１２２ａとの間の空間を適切に設定することができる。よって、カートリッジ２０をこの空間に着脱する際に、プランジャ１３０の突出部１３１からカートリッジ２０に適切な押圧力を付与でき、カートリッジ２０の着脱を円滑に行うことができる。 As shown in FIGS. 13 (a) and 13 (b), since the rotation range of the lever member 120 is adjusted by the adjusting member 160, the mounting surface 201 and the facing surface face each other in a state where the lever 111 of the pressing member 110 is opened. The space between 122a and 122a can be set appropriately. Therefore, when the cartridge 20 is attached / detached to / from this space, an appropriate pressing force can be applied to the cartridge 20 from the protruding portion 131 of the plunger 130, and the cartridge 20 can be smoothly attached / detached.

図１４（ａ）〜（ｃ）に示すように、取付面２０１と対向面１２２ａとの間の空間にカートリッジ２０を装着する際に、対向面１２２ａから突出する球すなわち突出部１３１を対向面１２２ａの下方に滑らかに埋没させながら、当該空間にカートリッジ２０を円滑に嵌め込むことができる。また、突出部１３１とカートリッジ２０とは略点接触するため、取付面２０１と対向面１２２ａとの間の空間からカートリッジ２０を円滑に抜き取ることができる。 As shown in FIGS. 14A to 14C, when the cartridge 20 is mounted in the space between the mounting surface 201 and the facing surface 122a, the ball protruding from the facing surface 122a, that is, the protruding portion 131 is formed on the facing surface 122a. The cartridge 20 can be smoothly fitted into the space while being smoothly buried under the space. Further, since the protrusion 131 and the cartridge 20 are in substantially point contact with each other, the cartridge 20 can be smoothly removed from the space between the mounting surface 201 and the facing surface 122a.

図６に示すように、押圧部材１１０はトグルクランプである。これにより、カートリッジ２０の基準面６０ａを取付面２０１に適切な圧力で押しつけて強固に固定できる。これにより、分断装置１の稼働中、カートリッジ２０の基準面６０ａが取付面２０１に対して動くことを確実に防ぐことができる。このため、カートリッジ２０に保持されたブレード１０の刃先１１の平行度がぶれることなく、基板Ｆを良好に分断できる。 As shown in FIG. 6, the pressing member 110 is a toggle clamp. As a result, the reference surface 60a of the cartridge 20 can be pressed against the mounting surface 201 with an appropriate pressure to be firmly fixed. This makes it possible to reliably prevent the reference surface 60a of the cartridge 20 from moving with respect to the mounting surface 201 while the dividing device 1 is in operation. Therefore, the substrate F can be satisfactorily divided without the parallelism of the blade edge 11 of the blade 10 held by the cartridge 20 being deviated.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の実施形態も種々の変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made to the embodiments of the present invention.

たとえば、上記実施形態では、取付面２０１が対向面１２２ａの上方に位置付けられたが、取付面２０１が対向面１２２ａの下方に位置付けられてもよい。この場合、固定機構は、対向面１２２ａが下方向に回動するようにレバー部材１２０を回動させて、カートリッジ２０の基準面６０ａを取付面２０１に密着させる構成であればよい。 For example, in the above embodiment, the mounting surface 201 is positioned above the facing surface 122a, but the mounting surface 201 may be positioned below the facing surface 122a. In this case, the fixing mechanism may have a configuration in which the lever member 120 is rotated so that the facing surface 122a rotates downward so that the reference surface 60a of the cartridge 20 is brought into close contact with the mounting surface 201.

また、上記実施形態では、プランジャ１３０は、球（突出部）１３１と付勢部材１３２とから構成されるボールプランジャであったが、たとえば、ピンプランジャやスプリングプランジャがプランジャ１３０として用いられてもよい。 Further, in the above embodiment, the plunger 130 is a ball plunger composed of a ball (protruding portion) 131 and an urging member 132, but for example, a pin plunger or a spring plunger may be used as the plunger 130. ..

また、上記実施形態では、規制部材１５０はレバー部材１２０に設けられたが、規制部材１５０は、レバー部材１２０に設けられなくてもよく、たとえば、壁部材１７０側に配置されてもよい。また、規制部材１５０は、別部材でなくてもよく、たとえば、レバー部材１２０の板状部１２３の上面に突起として一体形成されてもよい。 Further, in the above embodiment, the regulating member 150 is provided on the lever member 120, but the regulating member 150 may not be provided on the lever member 120, and may be arranged on the wall member 170 side, for example. Further, the regulating member 150 does not have to be a separate member, and may be integrally formed as a protrusion on the upper surface of the plate-shaped portion 123 of the lever member 120, for example.

ただし、上記実施形態のように、規制部材１５０がネジにより形成されると、レバー部材１２０の上面に対する規制部材１５０の突出量を調整できるため、押圧部材１１０のレバー１１１が閉じられたときにプランジャ１３０からカートリッジ２０に付与される押圧力を細かく調整できる。 However, as in the above embodiment, when the regulating member 150 is formed by screws, the amount of protrusion of the regulating member 150 with respect to the upper surface of the lever member 120 can be adjusted, so that the plunger 111 when the lever 111 of the pressing member 110 is closed can be adjusted. The pressing force applied to the cartridge 20 from 130 can be finely adjusted.

また、上記実施形態では、調整部材１６０は、レバー部材１２０に配置されたが、たとえば、レバー部材１２０のＹ軸正側の側面に対向する位置に、レバー部材１２０の回動を規制する部材として配置されてもよい。 Further, in the above embodiment, the adjusting member 160 is arranged on the lever member 120, but as a member for restricting the rotation of the lever member 120 at a position facing the side surface on the positive side of the Y axis of the lever member 120, for example. It may be arranged.

また、押圧部材１１０は、トグルクランプに限られるものではなく、カートリッジ２０の基準面６０ａを取付面２０１に強固に当接させて安定的に固定できる他の部材が用いられてもよい。たとえば、ステッピングモータとギア機構を組み合わせて押圧部材１１０が構成されてもよい。 Further, the pressing member 110 is not limited to the toggle clamp, and another member capable of firmly contacting the reference surface 60a of the cartridge 20 with the mounting surface 201 and stably fixing the member may be used. For example, the pressing member 110 may be configured by combining a stepping motor and a gear mechanism.

また、上記実施形態では、ブロック部材２００の孔２００ｂに嵌められる軸部材２２０を、当接部材２３１が潰れる程度まで押さえボルト２３２で押圧した後、ブロック部材２００（取付面２０１）の平行出しと調整ボルト２４０の締め付け調節が行われたが、当接部材２３１が軸部材２２０に緩く押し付ける程度に押さえボルト２３２が締められた状態で、ブロック部材２００の平行出しと調整ボルト２４０の締め付け調節が行われ、その後、当接部材２３１が潰れる程度まで押さえボルト２３２が締め付けられてもよい。しかし、発明者の検証によれば、上記実施形態の手順で調整が行われた方が、取付面２０１の平行度をより正確に設定できた。よって、取付面２０１の平行度をより正確に設定する観点からは、実施形態の手順の方が好ましい。 Further, in the above embodiment, the shaft member 220 fitted in the hole 200b of the block member 200 is pressed by the pressing bolt 232 to the extent that the contact member 231 is crushed, and then the block member 200 (mounting surface 201) is parallelized and adjusted. The tightening adjustment of the bolt 240 was performed, but the parallel alignment of the block member 200 and the tightening adjustment of the adjusting bolt 240 were performed with the holding bolt 232 tightened to the extent that the contact member 231 was loosely pressed against the shaft member 220. After that, the holding bolt 232 may be tightened to the extent that the contact member 231 is crushed. However, according to the inventor's verification, the parallelism of the mounting surface 201 could be set more accurately when the adjustment was performed according to the procedure of the above embodiment. Therefore, from the viewpoint of setting the parallelism of the mounting surface 201 more accurately, the procedure of the embodiment is preferable.

また、上記実施形態では、装置にカートリッジ２０をセットする前に、取付面２０１の平行出しが行われたが、カートリッジ２０を装置にセットした後に、取付面２０１の平行出しと調整ボルト２４０の締め付け調節が行われてもよい。 Further, in the above embodiment, the mounting surface 201 is parallelized before the cartridge 20 is set in the device, but after the cartridge 20 is set in the device, the mounting surface 201 is parallelized and the adjusting bolt 240 is tightened. Adjustments may be made.

また、上記実施形態では、ブレード１０を保持するカートリッジ２０が分断装置１に取り付けられたが、本発明に係るカートリッジの取付構造は、分断装置１以外の装置にも適用可能である。たとえば、カッターを保持するカートリッジをスクライブ装置に取り付けるための取付構造に、本発明の取付構造が用いられてもよい。 Further, in the above embodiment, the cartridge 20 holding the blade 10 is attached to the dividing device 1, but the cartridge attaching structure according to the present invention can be applied to devices other than the dividing device 1. For example, the mounting structure of the present invention may be used as the mounting structure for mounting the cartridge holding the cutter to the scribe device.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 In addition, various modifications of the embodiment of the present invention can be made as appropriate within the scope of the technical idea described in the claims.

１…分断装置
１０…ブレード
１１…刃先
２０…カートリッジ（ブレード用カートリッジ）
６０ａ…基準面
１１０…押圧部材（固定機構）
１２０…レバー部材
１２２ａ…対向面
１２４…回動軸
１３０…プランジャ
１３１…突出部
１５０…規制部材（固定機構）
１６０…調整部材
２００…ブロック部材
２０１…取付面
Ｆ…基板 1 ... Dividing device 10 ... Blade 11 ... Cutting edge 20 ... Cartridge (cartridge for blade)
60a ... Reference surface 110 ... Pressing member (fixing mechanism)
120 ... Lever member 122a ... Facing surface 124 ... Rotating shaft 130 ... Plunger 131 ... Protruding part 150 ... Regulatory member (fixing mechanism)
160 ... Adjustment member 200 ... Block member 201 ... Mounting surface F ... Board

Claims (7)

ブレード用カートリッジに保持されたブレードの刃先を基板に当接させることによって基板を分断する分断装置であって、
前記基板の表面に平行な取付面と、
前記取付面に対向する対向面を備え、前記対向面が前記取付面に対して接近および離間するように回動支持されたレバー部材と、
前記対向面から突出部が突出するように前記レバー部材に配置され、前記突出部からの弾性付勢により前記ブレード用カートリッジの基準面を前記取付面に押しつけるプランジャと、
前記ブレード用カートリッジに対する前記突出部からの付勢を高める方向に前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定する固定機構と、
を備えることを特徴とする分断装置。 A dividing device that divides a substrate by bringing the blade edge held by the blade cartridge into contact with the substrate.
A mounting surface parallel to the surface of the substrate and
A lever member having a facing surface facing the mounting surface and rotatably supported so that the facing surface approaches and separates from the mounting surface.
A plunger that is arranged on the lever member so that the protruding portion protrudes from the facing surface and presses the reference surface of the blade cartridge against the mounting surface by elastic urging from the protruding portion.
A fixing mechanism that rotates the lever member in a direction to increase the bias of the blade cartridge from the protrusion and fixes the lever member in a predetermined position.
A dividing device characterized by being provided with. 請求項１に記載の分断装置において、
前記レバー部材は、回動軸に平行な方向に見たときの形状がＣ字状であり、
前記対向面は、前記レバー部材の一方の端部に配置され、
前記固定機構は、前記レバー部材の他方の端部を回動させて所定の位置に固定する、
ことを特徴とする分断装置。 In the dividing device according to claim 1,
The lever member has a C-shape when viewed in a direction parallel to the rotation axis.
The facing surface is arranged at one end of the lever member.
The fixing mechanism rotates the other end of the lever member to fix it in a predetermined position.
A dividing device characterized by that. 請求項１または２に記載の分断装置において、
前記固定機構は、前記対向面が前記取付面に接近する方向における前記レバー部材の回動を所定の回動位置で規制する規制部材を備える、
ことを特徴とする分断装置。 In the dividing device according to claim 1 or 2.
The fixing mechanism includes a regulating member that regulates the rotation of the lever member in a direction in which the facing surface approaches the mounting surface at a predetermined rotation position.
A dividing device characterized by that. 請求項１ないし３の何れか一項に記載の分断装置において、
前記対向面が前記取付面から離れる方向における前記レバー部材の回動範囲を調整する調整部材を備える、
ことを特徴とする分断装置。 In the dividing device according to any one of claims 1 to 3,
An adjusting member for adjusting the rotation range of the lever member in a direction in which the facing surface is separated from the mounting surface is provided.
A dividing device characterized by that. 請求項１ないし４の何れか一項に記載の分断装置において、
前記プランジャは、前記突出部として球の一部を突出させる、
ことを特徴とする分断装置。 In the dividing device according to any one of claims 1 to 4,
The plunger projects a part of the sphere as the protrusion.
A dividing device characterized by that. 請求項１ないし５の何れか一項に記載の分断装置において、
前記固定機構は、前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定するためのトグルクランプを含む、
ことを特徴とする分断装置。 In the dividing device according to any one of claims 1 to 5,
The fixing mechanism includes a toggle clamp for rotating the lever member and fixing it in a predetermined position.
A dividing device characterized by that. ブレード用カートリッジを装置に取り付けるための取付構造であって、
前記ブレード用カートリッジの基準面を受ける取付面と、
前記取付面に対向する対向面を備え、前記対向面が前記取付面に対して接近および離間するように回動支持されたレバー部材と、
前記対向面から突出部が突出するように前記レバー部材に配置され、前記突出部からの弾性付勢により前記ブレード用カートリッジの基準面を前記取付面に押しつけるプランジャと、
前記ブレード用カートリッジに対する前記突出部からの付勢を高める方向に前記レバー部材を回動させて所定の位置に固定する固定機構と、
を備えることを特徴とするブレード用カートリッジの取付構造。 It is a mounting structure for mounting the blade cartridge to the device.
A mounting surface that receives the reference surface of the blade cartridge, and
A lever member having a facing surface facing the mounting surface and rotatably supported so that the facing surface approaches and separates from the mounting surface.
A plunger that is arranged on the lever member so that the protruding portion protrudes from the facing surface and presses the reference surface of the blade cartridge against the mounting surface by elastic urging from the protruding portion.
A fixing mechanism that rotates the lever member in a direction to increase the bias of the blade cartridge from the protrusion and fixes the lever member in a predetermined position.
The mounting structure of the blade cartridge, which is characterized by being provided with.
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