JP2021140081A - Stage device, image blur correction device, imaging apparatus, and lens barrel - Google Patents

Stage device, image blur correction device, imaging apparatus, and lens barrel Download PDF

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Abstract

To smooth the movement of a movable unit with a simple configuration.SOLUTION: A magnet part 24 is fixed to a fixation part 20a. A cylinder roller 32 is arranged on a contact surface 33a of a movable part 20b and can roll on the contact surface 33a in a first direction (X-axis or Y-axis direction) substantially parallel to a predetermined plane. The contact surface 33a is provided on the opposite side of the magnet part 24 in a second direction (Z-axis direction) perpendicular to the predetermined plane.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、固定ユニットに対して所定平面内で相対的に可動ユニットが移動可能に支持されるステージ装置、像ぶれ補正装置、撮像装置およびレンズ鏡筒に関する。 The present invention relates to a stage device, an image blur correction device, an image pickup device, and a lens barrel in which a movable unit is movably supported relative to a fixed unit in a predetermined plane.

従来、電磁気的な駆動力により、固定ユニット（固定部）に対して可動ユニット（可動部）を平面内で移動させるステージ装置が広く知られている。このステージ装置における駆動力発生部の構成としては、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）方式がある。ＶＣＭ方式は、固定ユニットと可動ユニットの一方に磁石を備えると共に他方にコイルを備え、磁石が形成する磁気回路中でコイルに通電することで発生するローレンツ力を駆動力として取り出す方式である。 Conventionally, a stage device for moving a movable unit (movable part) in a plane with respect to a fixed unit (fixed part) by an electromagnetic driving force is widely known. As a configuration of the driving force generating unit in this stage device, there is a voice coil motor (VCM) system. The VCM method is a method in which one of the fixed unit and the movable unit is provided with a magnet and the other is provided with a coil, and the Lorentz force generated by energizing the coil in the magnetic circuit formed by the magnet is taken out as a driving force.

このようなステージ装置の一利用例として、撮像装置における像ぶれ補正装置がある。この装置では、ステージ装置の固定ユニットを撮像光学系の光軸に対して変位しないように固定すると共に、可動ユニットに像ぶれ補正用レンズまたは撮像素子を固定し、可動ユニットを光軸に直交する平面内で移動させることで手ぶれ補正が実現される。 As an example of using such a stage device, there is an image blur correction device in an image pickup device. In this device, the fixed unit of the stage device is fixed so as not to be displaced with respect to the optical axis of the imaging optical system, and the image stabilization lens or image sensor is fixed to the movable unit so that the movable unit is orthogonal to the optical axis. Camera shake correction is realized by moving it in a plane.

上記のステージ装置において、可動ユニットを安定的に移動させるために、移動平面に直交するスラスト方向において一方向に予圧する構成を設けるのが一般的である。この予圧する構成として例えば引張コイルバネが用いられる。しかし、引張コイルバネによる構成では、移動平面内のラジアル方向にも復元力が生じるため、可動ユニットの移動に対する反力が発生し、駆動の妨げとなって可動ユニットの移動が円滑でなくなる場合がある。 In the above-mentioned stage device, in order to move the movable unit stably, it is common to provide a configuration that preloads in one direction in the thrust direction orthogonal to the moving plane. For example, a tension coil spring is used as the preloading configuration. However, in the configuration using the tension coil spring, a restoring force is also generated in the radial direction in the moving plane, so that a reaction force with respect to the movement of the movable unit is generated, which hinders the driving and may make the moving unit not move smoothly. ..

この課題に対して、特許文献１は、引張コイルバネの両端部をそれぞれラジアル方向にスライド可能な構成とすることで、ラジアル方向に大きな復元力が生じることを防いでいる。また、特許文献２では、予圧する構成として、引張コイルバネの代わりに磁気により吸引される部材を使用することで、ラジアル方向の力を低減している。 In response to this problem, Patent Document 1 prevents a large restoring force from being generated in the radial direction by forming both ends of the tension coil spring so as to be slidable in the radial direction. Further, in Patent Document 2, the force in the radial direction is reduced by using a member that is attracted by magnetism instead of the tension coil spring as a configuration for preloading.

特開２０１４−８９２４３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-89243 特開２０１５−１６６８４９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-166849

しかしながら、特許文献１の構成は、引張コイルバネの両端部をスライド可能とするために、構造が複雑になるという問題がある。また、特許文献２の構成は、ステージ装置におけるラジアル方向の寸法の制約からヨークの長さを十分に確保できないような場合は、ラジアル方向の力の低減効果が十分でなく、可動ユニットの移動が円滑にならない場合があるという問題がある。 However, the configuration of Patent Document 1 has a problem that the structure becomes complicated because both ends of the tension coil spring can be slidable. Further, in the configuration of Patent Document 2, when the length of the yoke cannot be sufficiently secured due to the limitation of the dimensions in the radial direction in the stage device, the effect of reducing the force in the radial direction is not sufficient and the movable unit can move. There is a problem that it may not be smooth.

本発明は、簡単な構成で、可動ユニットの移動を円滑にすることを目的とする。 An object of the present invention is to facilitate the movement of a movable unit with a simple configuration.

上記目的を達成するために本発明は、固定ユニットと、所定平面内で前記固定ユニットに対して相対的に移動可能に支持された可動ユニットと、前記固定ユニットと前記可動ユニットのうち一方である第１のユニットに固定された磁石部と、磁性部材で構成され、前記固定ユニットと前記可動ユニットのうち他方である第２のユニットの当接面に配置され、前記当接面上を、前記所定平面に略平行な第１の方向に転動可能な転動部材と、を有し、前記当接面は、前記所定平面に垂直な第２の方向において、前記第２のユニットにおける前記磁石部とは反対側に設けられ、前記転動部材は、前記磁石部からの吸引力によって、前記第２の方向において前記第１のユニットと前記第２のユニットとを互いに近づける方向に付勢することを特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention is one of a fixed unit, a movable unit supported so as to be movable relative to the fixed unit in a predetermined plane, and the fixed unit and the movable unit. It is composed of a magnet portion fixed to the first unit and a magnetic member, and is arranged on the contact surface of the second unit, which is the other of the fixed unit and the movable unit. It has a rolling member capable of rolling in a first direction substantially parallel to a predetermined plane, and the contact surface is a magnet in the second unit in a second direction perpendicular to the predetermined plane. The rolling member is provided on the side opposite to the portion, and the rolling member is urged by an attractive force from the magnet portion in a direction in which the first unit and the second unit are brought closer to each other in the second direction. It is characterized by that.

本発明によれば、簡単な構成で、可動ユニットの移動を円滑にすることができる。 According to the present invention, the movable unit can be smoothly moved with a simple configuration.

撮像装置の模式図である。It is a schematic diagram of an image pickup apparatus. 手ぶれ補正機構の正面図、分解斜視図である。It is a front view and an exploded perspective view of a camera shake correction mechanism. 予圧部の模式的な正面図、背面図である。It is a schematic front view and the rear view of a preload part. 図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line of FIG. 3A. Ａ−Ａ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line. Ａ−Ａ線に沿う断面図、比較例の予圧部の断面図である。It is a cross-sectional view along the line AA, and is a cross-sectional view of a preloading portion of a comparative example. 手ぶれ補正機構を−Ｚ側から見た模式図である。It is a schematic diagram which looked at the camera shake correction mechanism from the −Z side. 手振れ補正機構の模式図、図８（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。It is a schematic view of the image stabilization mechanism, and is the cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 8A. 正立姿勢での手振れ補正機構の断面図である。It is sectional drawing of the camera shake correction mechanism in an upright posture. 変形例の予圧部の断面図である。It is sectional drawing of the preload part of the modification.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るステージ装置が適用される撮像装置の模式図である。撮像装置は、手ぶれ補正装置を備えるカメラシステム（以降、単にカメラと呼ぶ）１０として構成される。このステージ装置は、上記手ぶれ補正装置に適用される。カメラ１０は、カメラボディ（以降、単にボディと呼ぶ）１０ａと、交換可能なレンズ鏡筒であるレンズ１０ｂとを有する。 (First Embodiment)
FIG. 1 is a schematic view of an imaging device to which the stage device according to the first embodiment of the present invention is applied. The image pickup device is configured as a camera system (hereinafter, simply referred to as a camera) 10 including a camera shake correction device. This stage device is applied to the above-mentioned image stabilization device. The camera 10 has a camera body (hereinafter, simply referred to as a body) 10a and a lens 10b which is an interchangeable lens barrel.

ボディ１０ａは、カメラ１０のフレーム部材として、ボディ側マウント部材１３ａ、レンズ側マウント部材１３ｂ、マウントベース部材１３ｃを有する。ボディ１０ａは、撮像素子１１、手ぶれ補正機構２０、カメラ制御部１４、ぶれ補正制御部１５ａ、振動検出部１６ａ、画像処理部１７、加速度検出部１９ａを有する。 The body 10a has a body-side mount member 13a, a lens-side mount member 13b, and a mount base member 13c as a frame member of the camera 10. The body 10a includes an image sensor 11, a camera shake correction mechanism 20, a camera control unit 14, a blur correction control unit 15a, a vibration detection unit 16a, an image processing unit 17, and an acceleration detection unit 19a.

レンズ１０ｂは、レンズ群１２、ぶれ補正制御部１５ｂ、振動検出部１６ｂ、レンズ制御部１８、加速度検出部１９ｂ、手ぶれ補正機構４０を有する。光軸１２ａは、撮像光学系であるレンズ群１２の撮像光軸である。レンズ群１２は手ぶれ補正用レンズ１２ｂを含む。 The lens 10b includes a lens group 12, a blur correction control unit 15b, a vibration detection unit 16b, a lens control unit 18, an acceleration detection unit 19b, and a camera shake correction mechanism 40. The optical axis 12a is an imaging optical axis of the lens group 12 which is an imaging optical system. The lens group 12 includes a camera shake correction lens 12b.

手ぶれ補正機構２０は、ボディ１０ａ側で手ぶれを補正する。手ぶれ補正機構４０は、ンズ１０ｂ側で手ぶれを補正する。手ぶれ補正機構２０、４０の詳細な構成は後述する。手ぶれ補正機構２０、４０は、それぞれ撮像素子１１、手振れ補正用レンズ１２ｂを保持し、これらを光軸１２ａに略垂直な駆動平面内（所定平面内）で移動させる機能を有する。ここで、カメラ１０の光軸１２ａの方向を、直交ＸＹＺ座標系におけるＺ軸方向（被写体側が正）と定義する。カメラ１０の正立姿勢における水平方向（左右方向）を、Ｘ軸方向（被写体側から見て右方が正）と定義する。カメラ１０の正立姿勢における鉛直方向をＹ軸方向（下から上へ向かう方向が正）と定義する。従って、図１は、カメラ１０を右方から見ている。 The camera shake correction mechanism 20 corrects camera shake on the body 10a side. The camera shake correction mechanism 40 corrects camera shake on the side of the lens 10b. The detailed configuration of the image stabilization mechanisms 20 and 40 will be described later. The image stabilization mechanisms 20 and 40 have a function of holding the image sensor 11 and the image stabilization lens 12b, respectively, and moving them in a drive plane (in a predetermined plane) substantially perpendicular to the optical axis 12a. Here, the direction of the optical axis 12a of the camera 10 is defined as the Z-axis direction (the subject side is positive) in the orthogonal XYZ coordinate system. The horizontal direction (horizontal direction) in the upright posture of the camera 10 is defined as the X-axis direction (the right side when viewed from the subject side is positive). The vertical direction in the upright posture of the camera 10 is defined as the Y-axis direction (the direction from the bottom to the top is positive). Therefore, FIG. 1 is looking at the camera 10 from the right side.

ボディ１０ａにおいて、ボディ側マウント部材１３ａはマウント面１３ａ１を有している。撮像素子１１は、撮像面１１ａがマウント面１３ａ１に対向し且つ略平行な姿勢で、撮像面１１ａがマウント面１３ａ１と所定の距離をもって配置されるように、手ぶれ補正機構２０に対して固定される。 In the body 10a, the body-side mount member 13a has a mount surface 13a1. The image sensor 11 is fixed to the image stabilization mechanism 20 so that the image pickup surface 11a faces the mount surface 13a1 and is substantially parallel to the mount surface 13a1 and the image pickup surface 11a is arranged at a predetermined distance from the mount surface 13a1. ..

レンズ１０ｂにおいて、レンズ側マウント部材１３ｂはマウント面１３ｂ１を有している。レンズ側マウント部材１３ｂは、マウント面１３ｂ１が光軸１２ａに対して略直交する姿勢でレンズ筐体に対して固定される。カメラ１０において、マウント部材１３ａ、１３ｂが、互いのマウント面が対向する状態でバヨネット等の仕組みにより相互に接続固定される。これにより、光軸１２ａに対して撮像素子１１の撮像面１１ａが略直交した姿勢で配置されるため、被写体光を結像させて撮影を行うことが可能となる。 In the lens 10b, the lens-side mount member 13b has a mount surface 13b1. The lens-side mount member 13b is fixed to the lens housing in a posture in which the mount surface 13b1 is substantially orthogonal to the optical axis 12a. In the camera 10, the mount members 13a and 13b are connected and fixed to each other by a mechanism such as a bayonet in a state where the mount surfaces face each other. As a result, the image pickup surface 11a of the image pickup device 11 is arranged in a posture substantially orthogonal to the optical axis 12a, so that the subject light can be imaged and photographed.

撮像素子１１はＣＭＯＳセンサやＣＣＤセンサで構成され、撮像面１１ａ上に不図示の光電変換素子である画素が行列状に配列されている。撮像面１１ａ上に被写体光が結像し、各画素で光電変換が行われることで、画像信号が生成される。レンズ群１２は被写体光を集光し、撮像素子１１の撮像面１１ａ上に結像させる役割を果たす。また、レンズ群１２に含まれる手ぶれ補正用レンズ１２ｂは、光軸１２ａに対して略直交な平面内で並進することで、手ぶれ補正用に光軸１２ａを屈折させる機能を有する。 The image sensor 11 is composed of a CMOS sensor and a CCD sensor, and pixels, which are photoelectric conversion elements (not shown), are arranged in a matrix on the image pickup surface 11a. An image signal is generated by forming a subject light on the imaging surface 11a and performing photoelectric conversion on each pixel. The lens group 12 plays a role of condensing the subject light and forming an image on the image pickup surface 11a of the image pickup device 11. Further, the camera shake correction lens 12b included in the lens group 12 has a function of refracting the optical axis 12a for camera shake correction by translating in a plane substantially orthogonal to the optical axis 12a.

ボディ側の手ぶれ補正機構２０は３自由度のＸＹθステージである。手ぶれ補正機構２０により、撮像素子１１は、手ぶれ補正機構２０とボディ側マウント部材１３ａ等のフレーム部材とを介して、光軸１２ａに対して略直交する平面内で並進・回転移動制御される。これにより、カメラ１０は手ぶれ補正を行うことができる。 The image stabilization mechanism 20 on the body side is an XYθ stage with three degrees of freedom. The image stabilization mechanism 20 controls the translation / rotational movement of the image sensor 11 in a plane substantially orthogonal to the optical axis 12a via the image stabilization mechanism 20 and a frame member such as a body-side mount member 13a. As a result, the camera 10 can perform image stabilization.

カメラ１０における撮影中に手ぶれによりカメラ１０の姿勢が被写体に対して変動すると、被写体光の撮像面１１ａ上における結像位置が変動することで、画像にはボヤケ等の手ぶれ影響が発生する。しかし、カメラ１０は、この手ぶれの向きや大きさを振動検出部１６ａ等により検出し、それらから結像位置の変動を推定し、それに対応するように撮像素子１１を並進・回転移動させる手ぶれ制御を行う。これにより、画像のボヤケ等を防ぎ、手ぶれ影響を抑制する、いわゆる手ぶれ補正を行うことができる。 If the posture of the camera 10 fluctuates with respect to the subject during shooting with the camera 10, the imaging position of the subject light on the imaging surface 11a fluctuates, which causes camera shake such as blurring on the image. However, the camera 10 detects the direction and magnitude of the camera shake by the vibration detection unit 16a and the like, estimates the fluctuation of the imaging position from them, and translates and rotates the image sensor 11 so as to correspond to the camera shake control. I do. As a result, it is possible to perform so-called image stabilization, which prevents blurring of the image and suppresses the influence of camera shake.

一方、レンズ側の手ぶれ補正機構４０は２自由度のＸＹステージである。手ぶれ補正機構４０により、手ぶれ補正用レンズ１２ｂは、手ぶれ補正機構４０等を介して、光軸１２ａに対して略直交する平面内で並進移動制御される。手ぶれによる結像位置の変動に対応するように、手ぶれ補正用レンズ１２ｂを移動させて光軸１２ｂを屈折させる制御を行うことで、手ぶれ補正を行うことができる。 On the other hand, the image stabilization mechanism 40 on the lens side is an XY stage with two degrees of freedom. The camera shake correction mechanism 40 controls the translational movement of the camera shake correction lens 12b in a plane substantially orthogonal to the optical axis 12a via the camera shake correction mechanism 40 and the like. Image stabilization can be performed by controlling the camera shake correction lens 12b to move the camera shake correction lens 12b to refract the optical axis 12b so as to correspond to the fluctuation of the imaging position due to the camera shake.

撮像素子１１の並進及び回動による手ぶれ補正は、ボディ側ぶれ補正制御部１５ａにより制御される。手ぶれ補正用レンズ１２ｂの並進による手ぶれ補正は、レンズ側ぶれ補正制御部１５ｂにより制御される。これらの制御内容は公知であるため、本発明では説明を省略する。さらに、ボディ側ぶれ補正制御部１５ａ、レンズ側ぶれ補正制御部１５ｂはそれぞれ、カメラ制御部１４、レンズ制御部１８により統括的に制御される。そして、振動検出部１６ａ、１６ｂや加速度検出部１９ａ、１９ｂ、画像処理部１７といった様々な部の出力を参照しながら、様々な状況に応じて最適な手振れ補正制御が行われる。 The image stabilization by translation and rotation of the image sensor 11 is controlled by the body-side image stabilization control unit 15a. The image stabilization by translation of the image stabilization lens 12b is controlled by the lens side image stabilization control unit 15b. Since these control contents are known, description thereof will be omitted in the present invention. Further, the body-side blur correction control unit 15a and the lens-side blur correction control unit 15b are collectively controlled by the camera control unit 14 and the lens control unit 18, respectively. Then, the optimum image stabilization control is performed according to various situations while referring to the outputs of various units such as the vibration detection units 16a and 16b, the acceleration detection units 19a and 19b, and the image processing unit 17.

撮像素子１１の並進及び回動による手ぶれ補正と、手ぶれ補正用レンズ１２ｂの並進による手ぶれ補正にはそれぞれ特徴があり、どちらか一方のみを適用してもよいし、両者を組み合わせて使用してもよい。カメラ１０では、他にも様々な要素がカメラ制御部１４およびレンズ制御部１８により統括的に制御され、画像の撮影や保存、表示、通信等が行われる。 The image stabilization by translation and rotation of the image sensor 11 and the image stabilization by translation of the camera shake correction lens 12b have their own characteristics, and either one may be applied or both may be used in combination. good. In the camera 10, various other elements are collectively controlled by the camera control unit 14 and the lens control unit 18, and images are captured, stored, displayed, communicated, and the like.

なお、本発明は、ボディ１０ａとレンズ１０ｂとが一体構成の撮像装置に適用されてもよい。本発明のステージ装置は、ボディ１０ａまたはレンズ１０ｂのいずれかのみ、または双方に適用されてもよい。以下では、代表して、ステージ装置（ＸＹθステージ）に相当するボディ側の手ぶれ補正機構２０の構成について詳細に説明する。しかし、ＸＹステージに相当するレンズ側の手ぶれ補正機構４０については、構成の説明は前者に包含されるため、それに関する詳細な図示及び説明を省略する。 The present invention may be applied to an image pickup apparatus in which a body 10a and a lens 10b are integrally formed. The stage device of the present invention may be applied to only or both of the body 10a and the lens 10b. Hereinafter, as a representative, the configuration of the image stabilization mechanism 20 on the body side corresponding to the stage device (XYθ stage) will be described in detail. However, since the description of the configuration of the camera shake correction mechanism 40 on the lens side corresponding to the XY stage is included in the former, detailed illustration and description thereof will be omitted.

図２（ａ）は、ボディ側の手ぶれ補正機構２０をＺ軸正方向（＋Ｚ側）から見た正面図である。図２（ｂ）は手ぶれ補正機構２０の分解斜視図である。 FIG. 2A is a front view of the image stabilization mechanism 20 on the body side as viewed from the Z-axis positive direction (+ Z side). FIG. 2B is an exploded perspective view of the image stabilization mechanism 20.

手ぶれ補正機構２０は、固定部２０ａ（固定ユニット：第１のユニット）と可動部２０ｂ（可動ユニット：第２のユニット）とを有する。可動部２０ｂは、光軸１２ｂに垂直な駆動平面内で固定部２０ａに対して相対的に移動可能に固定部２０ａに支持される。手ぶれ補正機構２０は、予圧部２０ｃ（２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３）を有する。予圧部２０ｃは、Ｚ軸方向において固定部２０ａと可動部２０ｂとを互いに近づける方向に付勢（予圧）する機能を有する。また、予圧部２０ｃは、駆動平面内で可動部２０ｂを駆動する機能を有する。さらに、予圧部２０ｃは、駆動平面における可動部２０ｂの変位位置を検出する機能を有する。 The image stabilization mechanism 20 has a fixed portion 20a (fixed unit: first unit) and a movable portion 20b (movable unit: second unit). The movable portion 20b is supported by the fixed portion 20a so as to be relatively movable with respect to the fixed portion 20a in a drive plane perpendicular to the optical axis 12b. The image stabilization mechanism 20 has a preloading unit 20c (20c1, 20c2, 20c3). The preloading portion 20c has a function of biasing (preloading) the fixed portion 20a and the movable portion 20b in the direction of bringing the fixed portion 20a and the movable portion 20b closer to each other in the Z-axis direction. Further, the preload portion 20c has a function of driving the movable portion 20b in the drive plane. Further, the preload unit 20c has a function of detecting the displacement position of the movable unit 20b on the drive plane.

固定部２０ａは、固定枠２１、ボトムヨーク２２、トップヨーク３１（ヨーク部）、磁石部２４（２４＿１、２４＿２、２４＿３）、スラスト吸引用の磁石２４＿４を有する。磁石部２４＿１、２４＿２、２４＿３はそれぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３に含まれる。磁石部２４＿１は、磁石２４＿１１、２４＿１２の組（対）から成る。磁石部２４＿２は、磁石２４＿２１、２４＿２２の組から成る。磁石部２４＿３は、磁石２４＿３１、２４＿３２の組から成る。トップヨーク３１は、複数の板金部材３１ａ、３１ｂ１、３１ｂ２、３１ｂ３、および、非磁性部材で成る樹脂部材３１ｃ１、３１ｃ２、３１ｃ３から構成される。板金部材３１ａには、板金部材３１ｂ１、３１ｂ２、３１ｂ３にそれぞれ対応して、穴３１ｄ（３１ｄ１、３１ｄ２、３１ｄ３）が形成されている。 The fixing portion 20a includes a fixing frame 21, a bottom yoke 22, a top yoke 31 (yoke portion), a magnet portion 24 (24_1, 24_2, 24_3), and a magnet 24_4 for attracting thrust. The magnet portions 24_1, 24_2, and 24_3 are included in the preload portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The magnet portion 24_1 is composed of a pair of magnets 24_1 and 24_1. The magnet portion 24_2 is composed of a set of magnets 24_21 and 24_22. The magnet portion 24_3 is composed of a set of magnets 24_31 and 24_32. The top yoke 31 is composed of a plurality of sheet metal members 31a, 31b1, 31b2, 31b3, and resin members 31c1, 31c2, 31c3 made of non-magnetic members. Holes 31d (31d1, 31d2, 31d3) are formed in the sheet metal member 31a corresponding to the sheet metal members 31b1, 31b2, and 31b3, respectively.

可動部２０ｂは、フレキシブル基板（ＦＰＣ）３３、可動枠２３、コイル２５（２５＿１、２５＿２、２５＿３）、ホール素子２９（２９＿１、２９＿２、２９＿３）、円筒コロ３２（３２＿１、３２＿２、３２＿３）、磁性部材３２−４を有する。コイル２５＿１、２５＿２、２５＿３はそれぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３に含まれる。ホール素子２９＿１、２９＿２、２９＿３はそれぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３に含まれる。円筒コロ３２＿１、３２＿２、３２＿３はそれぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３に含まれる。ホール素子２９は磁気検出素子である。円筒コロ３２は、磁気により吸引される部材である。転動部材としての円筒コロ３２は、円筒形状または円柱形状（中実）であるが、円筒コロ３２に代えて球体形状のコロを採用してもよい。当接面３３ａ（３３ａ＿１、３３ａ＿２、３３ａ＿３）はそれぞれ、ＦＰＣ３３における、円筒コロ３２と当接する面である。 The movable portion 20b includes a flexible substrate (FPC) 33, a movable frame 23, a coil 25 (25_1, 25_2, 25_3), a Hall element 29 (29_1, 29_2, 29_3), a cylindrical roller 32 (32_1, 32_2, 32_3), and a magnetic member. It has 32-4. The coils 25_1, 25_2, and 25_3 are included in the preload portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The Hall elements 29_1, 29_2, and 29_3 are included in the preload portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The cylindrical rollers 32_1, 32_2, and 32_3 are included in the preload portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The Hall element 29 is a magnetic detection element. The cylindrical roller 32 is a member that is attracted by magnetism. The cylindrical roller 32 as the rolling member has a cylindrical shape or a cylindrical shape (solid), but a spherical roller may be adopted instead of the cylindrical roller 32. The contact surfaces 33a (33a_1, 33a_2, 33a_3) are surfaces in the FPC 33 that come into contact with the cylindrical roller 32, respectively.

また、固定部２０ａと可動部２０ｂとの間に介在する部材として、ボール３０が設けられている。固定部２０ａの固定枠２１上で、可動部２０ｂの可動枠２３が３個のボール３０により支持されることで、可動部２０ｂは固定部２０ａに対して駆動平面内で並進および回動可能となっている。 Further, a ball 30 is provided as a member interposed between the fixed portion 20a and the movable portion 20b. On the fixed frame 21 of the fixed portion 20a, the movable frame 23 of the movable portion 20b is supported by the three balls 30, so that the movable portion 20b can be translated and rotated in the drive plane with respect to the fixed portion 20a. It has become.

予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３の各々における、磁石の磁化方向２０ｄ（２０ｄ１、２０ｄ２、２０ｄ３）は、Ｚ軸方向（スラスト方向：第２の方向）と略平行である。駆動方向２０ｅ（２０ｅ１、２０ｅ２、２０ｅ３）は、それぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３の駆動力の発生方向（ラジアル方向：第１の方向）である。駆動方向２０ｅ１、２０ｅ２、２０ｅ３は、それぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３による位置検出方向と平行である。長さ方向２０ｆ１、２０ｆ２、２０ｆ３は、それぞれ、予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３の長さ方向である。磁化方向２０ｄは予圧方向と略平行で、且つ、駆動方向２０ｅと略直交する。 The magnetization directions 20d (20d1, 20d2, 20d3) of the magnets in each of the preloading portions 20c1, 20c2, and 20c3 are substantially parallel to the Z-axis direction (thrust direction: second direction). The driving directions 20e (20e1, 20e2, 20e3) are the generation directions (radial direction: first direction) of the driving force of the preloading portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The drive directions 20e1, 20e2, and 20e3 are parallel to the position detection directions by the preloading portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The length directions 20f1, 20f2, and 20f3 are the length directions of the preloading portions 20c1, 20c2, and 20c3, respectively. The magnetization direction 20d is substantially parallel to the preload direction and substantially orthogonal to the drive direction 20e.

２つの組み合わせである予圧部２０ｃ１と予圧部２０ｃ２とは、駆動方向２０ｅ１と駆動方向２０ｅ２とが互いに略直交するように配置される。他の２つの組み合わせである予圧部２０ｃ２と予圧部２０ｃ３とは、駆動方向２０ｅ２と駆動方向２０ｅ３とが互いに略平行となるように配置される。駆動方向２０ｅ１の駆動力によりＸ軸方向の並進駆動が実現される。また、駆動方向２０ｅ２の駆動力と駆動方向２０ｅ３の駆動力の同相成分により、Ｙ軸方向の並進駆動が実現される。駆動方向２０ｅ２の駆動力と駆動方向２０ｅ３の駆動力の逆相成分によりθ方向の回動駆動が実現される。θ方向の回動は、Ｚ軸に平行な軸回りの回動を意味する。 The preload unit 20c1 and the preload unit 20c2, which are a combination of the two, are arranged so that the drive direction 20e1 and the drive direction 20e2 are substantially orthogonal to each other. The other two combinations, the preload unit 20c2 and the preload unit 20c3, are arranged so that the drive direction 20e2 and the drive direction 20e3 are substantially parallel to each other. Translational drive in the X-axis direction is realized by the driving force in the driving direction 20e1. Further, translational driving in the Y-axis direction is realized by the in-phase component of the driving force in the driving direction 20e2 and the driving force in the driving direction 20e3. Rotational drive in the θ direction is realized by the opposite phase component of the driving force in the driving direction 20e2 and the driving force in the driving direction 20e3. Rotation in the θ direction means rotation around an axis parallel to the Z axis.

また、可動部２０ｂの位置について、駆動方向２０ｅ１に関する位置検出結果からＸ軸方向の並進変位が検出される。駆動方向２０ｅ２、２０ｅ３の位置検出結果の和信号によりＹ軸方向の並進変位が検出され、これらの差信号によりθ方向の回動変位が検出される。従って、手ぶれ補正機構２０は、固定部２０ａに対して相対的に、可動部２０ｂを並進駆動すると共に、回動駆動することができる。 Further, regarding the position of the movable portion 20b, the translational displacement in the X-axis direction is detected from the position detection result regarding the drive direction 20e1. The translational displacement in the Y-axis direction is detected by the sum signal of the position detection results of the drive directions 20e2 and 20e3, and the rotational displacement in the θ direction is detected by these difference signals. Therefore, the image stabilization mechanism 20 can translate and drive the movable portion 20b relative to the fixed portion 20a.

予圧部２０ｃ１〜２０ｃ３は、互いに同様の構成を有する。以降、互いに共通する詳細な構成については、代表として予圧部２０ｃ１を説明し、予圧部２０ｃ２、２０ｃ３についての説明を省略する。なお、手ぶれ補正機構２０を小型化できる構成として、駆動力を発生すると同時に予圧と位置検出を行うことができる構成を例示している。しかし、本発明はこれに限定されず、駆動力発生部、予圧部、位置検出部はそれぞれ独立に構成されても構わない。 The preload portions 20c1 to 20c3 have similar configurations to each other. Hereinafter, with respect to the detailed configurations common to each other, the preloading unit 20c1 will be described as a representative, and the description of the preloading units 20c2 and 20c3 will be omitted. As a configuration in which the image stabilization mechanism 20 can be miniaturized, a configuration in which preload and position detection can be performed at the same time as generating a driving force is illustrated. However, the present invention is not limited to this, and the driving force generating unit, the preloading unit, and the position detecting unit may be configured independently.

以降の説明では、予圧部２０ｃ１〜２０ｃ３を区別しないときは、予圧部２０ｃと総称することもある。同様にして、磁化方向２０ｄ１〜２０ｄ３を磁化方向２０ｄと総称し、駆動方向２０ｅ１〜２０ｅ３を駆動方向２０ｅと総称し、長さ方向２０ｆ１〜２０ｆ３を長さ方向２０ｆと総称することもある。この他の構成要素についても総称を用いる場合がある。 In the following description, when the preload units 20c1 to 20c3 are not distinguished, they may be collectively referred to as preload units 20c. Similarly, the magnetization directions 20d1 to 20d3 may be collectively referred to as the magnetization direction 20d, the drive directions 20e1 to 20e3 may be collectively referred to as the drive direction 20e, and the length directions 20f1 to 20f3 may be collectively referred to as the length direction 20f. A generic term may be used for other components as well.

手ぶれ補正機構２０は、駆動平面がボディ側マウント部材１３ａのマウント面１３ａ１に略平行にされた状態で、マウントベース部材１３ｃに対して固定される。さらに、撮像素子１１は、撮像面１１ａと駆動平面とが略平行にされた状態で可動枠２３に対して固定される。これらにより、撮像素子１１の撮像面１１ａを光軸１２ａに対して略直交させた状態で可動部２０ｂを並進及び回動させることができる。 The image stabilization mechanism 20 is fixed to the mount base member 13c in a state where the drive plane is substantially parallel to the mount surface 13a1 of the body side mount member 13a. Further, the image pickup device 11 is fixed to the movable frame 23 in a state where the image pickup surface 11a and the drive plane are substantially parallel to each other. As a result, the movable portion 20b can be translated and rotated in a state where the image pickup surface 11a of the image pickup device 11 is substantially orthogonal to the optical axis 12a.

手ぶれ補正機構２０の駆動力発生の方式は、例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）方式である。手ぶれ補正機構２０は、磁石部２４、ボトムヨーク２２およびトップヨーク３１の組み合わせにより形成される磁気回路中でコイル２５に通電することで、電磁気的な相互作用により発生するローレンツ力を駆動力として取り出す。コイル２５の中央空隙部に設けられたホール素子２９が、磁石部２４に対して相対的に変位する際に磁界強度の変化を出力することで位置検出を行うことができる。これにより、手ぶれ補正機構２０においては、コイル２５、ホール素子２９、磁石部２４、トップヨーク３１およびボトムヨーク２２の組み合わせにより、駆動力の発生機能と、予圧の機能と、位置検出の機能とが実現される。 The method of generating the driving force of the camera shake correction mechanism 20 is, for example, a voice coil motor (VCM) method. The image stabilization mechanism 20 extracts the Lorentz force generated by the electromagnetic interaction as a driving force by energizing the coil 25 in the magnetic circuit formed by the combination of the magnet portion 24, the bottom yoke 22 and the top yoke 31. .. The position can be detected by outputting a change in the magnetic field strength when the Hall element 29 provided in the central gap portion of the coil 25 is displaced relative to the magnet portion 24. As a result, in the image stabilization mechanism 20, the combination of the coil 25, the Hall element 29, the magnet portion 24, the top yoke 31 and the bottom yoke 22 provides a driving force generation function, a preload function, and a position detection function. It will be realized.

なお、手ぶれ補正機構２０は、ＶＣＭ方式の中でも特に、固定部２０ａの側に磁石部２４を備えると共に、可動部２０ｂの側にコイル２５を備えたムービングコイル方式を採用している。一般に磁石よりもコイルの方が軽い。従って、ムービングコイル方式は、逆の組み合わせであるムービングマグネット方式と比べて、より高効率、高応答という利点がある。しかし、本発明はムービングマグネット方式にも同様に適用することが可能である（図１０で後述）。 Among the VCM systems, the image stabilization mechanism 20 employs a moving coil system in which a magnet portion 24 is provided on the side of the fixed portion 20a and a coil 25 is provided on the side of the movable portion 20b. In general, coils are lighter than magnets. Therefore, the moving coil method has the advantages of higher efficiency and higher response than the moving magnet method, which is the reverse combination. However, the present invention can be similarly applied to the moving magnet method (described later in FIG. 10).

続いて、手ぶれ補正機構２０を構成する各部材を詳細に説明する。固定枠２１は固定部２０ａの主骨格を構成する部材である。固定枠２１は磁石部２４、ボトムヨーク２２、トップヨーク３１といった部材を保持する。固定枠２１はボール３０を介して可動部２０ｂを支持しつつ、マウントベース部材１３ｃに対して固定される。固定枠２１は高強度かつ、磁石部２４の磁束を周囲に漏らさないようにするために強磁性でないことが望ましく、例えばオーステナイト系ステンレス鋼板等により構成される。 Subsequently, each member constituting the image stabilization mechanism 20 will be described in detail. The fixed frame 21 is a member that constitutes the main skeleton of the fixed portion 20a. The fixed frame 21 holds members such as a magnet portion 24, a bottom yoke 22, and a top yoke 31. The fixed frame 21 is fixed to the mount base member 13c while supporting the movable portion 20b via the ball 30. It is desirable that the fixed frame 21 has high strength and is not ferromagnetic in order to prevent the magnetic flux of the magnet portion 24 from leaking to the surroundings. For example, the fixed frame 21 is made of an austenitic stainless steel plate or the like.

可動枠２３は可動部２０ｂの主骨格を構成する部材である。可動枠２３は撮像素子１１、コイル２５、ＦＰＣ３３といった部材を保持する。可動枠２３はボール３０を介して、固定部２０ａからコイル２５を介して駆動力を受けて並進、回動する。可動枠２３は軽量、高強度かつ、固定部２０ａ側の磁石部２４に必要以上に吸引されないようにするために、非磁性であることが望ましく、例えばマグネシウム合金やエンジニアリングプラスチック等により構成される。 The movable frame 23 is a member that constitutes the main skeleton of the movable portion 20b. The movable frame 23 holds members such as an image sensor 11, a coil 25, and an FPC 33. The movable frame 23 translates and rotates by receiving a driving force from the fixed portion 20a via the coil 25 via the ball 30. The movable frame 23 is lightweight, has high strength, and is preferably non-magnetic in order to prevent it from being attracted to the magnet portion 24 on the fixing portion 20a side more than necessary, and is made of, for example, magnesium alloy or engineering plastic.

ボール３０は、固定枠２１上で可動枠２３を支持する部材である。ボール３０は少なくとも３個設けられる。３つのボール３０は、可動枠２３を駆動平面（ＸＹ平面）上に３点支持しつつ自身が転動することで、抵抗をほとんど生じさせることなく駆動平面内で可動枠２３を並進、回動させる役割を果たす。ボール３０は転がり抵抗の低減のために、高硬度であり、かつ、固定部２０ａ側の磁石２４に吸引されないようにするために、非磁性であることが望ましく、例えばセラミック等により構成される。また、固定枠２１及び可動枠２３におけるボール３０と接触する部分は、傷や打痕の発生を抑制するために、高硬度及び高強度化することが望ましく、例えば加工硬化や熱処理、又は別途保護部材を貼るといった対策を取ることが望ましい。 The ball 30 is a member that supports the movable frame 23 on the fixed frame 21. At least three balls 30 are provided. The three balls 30 rotate while supporting the movable frame 23 at three points on the drive plane (XY plane), thereby translating and rotating the movable frame 23 in the drive plane with almost no resistance. Play a role to make. It is desirable that the ball 30 has a high hardness in order to reduce rolling resistance and is non-magnetic in order to prevent it from being attracted by the magnet 24 on the fixing portion 20a side, and is made of, for example, ceramic. Further, it is desirable that the portions of the fixed frame 21 and the movable frame 23 that come into contact with the balls 30 have high hardness and high strength in order to suppress the occurrence of scratches and dents. It is desirable to take measures such as pasting members.

磁石部２４は、予圧部２０ｃの一部である。磁石部２４における磁石２４＿１１〜２４＿３２の各々は、略直方体形状の永久磁石である。磁石部２４は、Ｚ軸方向に関して磁化方向が互いに反対である２つの磁化部の組を少なくとも１組有し、２つの磁化部は、駆動力の発生方向に並列配置される。具体的には、磁石部２４＿１における磁石２４＿１１、２４＿１２の磁化方向２０ｄ１はそれぞれ、＋Ｚ方向、−Ｚ方向である。磁石２４＿１１、２４＿１２は、長さ方向２０ｆ１（Ｘ軸方向）に並列配置される。磁石部２４＿２における磁石２４＿２１、２４＿２２の磁化方向２０ｄ２はそれぞれ、＋Ｚ方向、−Ｚ方向である。磁石２４＿２１、２４＿２２は、長さ方向２０ｆ２（Ｙ軸方向）に並列配置される。磁石部２４＿３における磁石２４＿３１、２４＿３２の磁化方向２０ｄ３はそれぞれ、＋Ｚ方向、−Ｚ方向である。磁石２４＿３１、２４＿３２は、長さ方向２０ｆ３（Ｙ軸方向）に並列配置される。 The magnet portion 24 is a part of the preload portion 20c. Each of the magnets 24_1 to 24_32 in the magnet portion 24 is a permanent magnet having a substantially rectangular parallelepiped shape. The magnet portion 24 has at least one set of two magnetized portions whose magnetization directions are opposite to each other with respect to the Z-axis direction, and the two magnetized portions are arranged in parallel in the direction in which the driving force is generated. Specifically, the magnetization directions 20d1 of the magnets 24_1 and 24_1 in the magnet portion 24_1 are the + Z direction and the −Z direction, respectively. The magnets 24_11 and 24_12 are arranged in parallel in the length direction 20f1 (X-axis direction). The magnetization directions 20d2 of the magnets 24_21 and 24_22 in the magnet portion 24_2 are the + Z direction and the −Z direction, respectively. The magnets 24_21 and 24_22 are arranged in parallel in the length direction 20f2 (Y-axis direction). The magnetization directions 20d3 of the magnets 24_31 and 24_32 in the magnet portion 24_3 are the + Z direction and the −Z direction, respectively. The magnets 24_31 and 24_32 are arranged in parallel in the length direction 20f3 (Y-axis direction).

ボトムヨーク２２およびトップヨーク３１は、予圧部２０ｃの一部である。ボトムヨーク２２およびトップヨーク３１は、磁石部２４の組が発生する磁束が周囲に発散するのを防ぎ、磁気回路を形成する役割を果たす。これらは強磁性であることが望ましく、例えば鉄鋼板や電磁鋼板により構成される。 The bottom yoke 22 and the top yoke 31 are a part of the preload portion 20c. The bottom yoke 22 and the top yoke 31 play a role of preventing the magnetic flux generated by the set of magnet portions 24 from diverging to the surroundings and forming a magnetic circuit. These are preferably ferromagnetic, and are composed of, for example, iron steel sheets and electromagnetic steel sheets.

コイル２５は、予圧部２０ｃの一部である。コイル２５は、例えばポリウレタン銅線等の被覆導線を略矩形形状に巻き固めた部材である。コイル２５は、巻き芯の方向を駆動平面に直交する方向（Ｚ軸方向）へ揃えて、この方向で磁石部２４の組と対向するように配置される。コイル２５は、可動枠２３やＦＰＣ３３等に対して、例えば接着等により固定される。ホール素子２９は、予圧部２０ｃの一部である。ホール素子２９は、駆動平面に直交する方向（Ｚ軸方向）で磁石部２４と対向するように配置され、磁界強度の変化を出力することで可動部２０ｂの位置を検出する。 The coil 25 is a part of the preload portion 20c. The coil 25 is a member obtained by winding and compacting a coated conductive wire such as a polyurethane copper wire into a substantially rectangular shape. The coil 25 is arranged so that the direction of the winding core is aligned with the direction orthogonal to the drive plane (Z-axis direction) and faces the set of the magnet portions 24 in this direction. The coil 25 is fixed to the movable frame 23, the FPC 33, or the like by, for example, adhesion. The Hall element 29 is a part of the preload unit 20c. The Hall element 29 is arranged so as to face the magnet portion 24 in a direction orthogonal to the drive plane (Z-axis direction), and detects the position of the movable portion 20b by outputting a change in the magnetic field strength.

当接面３３ａは、駆動平面に垂直な方向（磁化方向２０ｄ：Ｚ軸方向）において、可動部２０ｂ（特にＦＰＣ３３）における磁石部２４とは反対側に設けられた面である。円筒コロ３２は磁性部材から成り、例えば鋼線や鋼棒により構成される。円筒コロ３２＿１、３２＿２、３２＿３はそれぞれ、当接面３３ａ＿１、３３ａ＿２、３３ａ＿３上に当接配置される。各円筒コロ３２は、さらに、対応する当接面３３ａ上（当接面上）で、対応する駆動方向２０ｅに転動可能である。円筒コロ３２は磁性部材であるので、対応する磁石部２４により磁気吸引される。これにより、円筒コロ３２は、可動部２０ｂに予圧方向（磁化方向２０ｄ）の予圧力を及ぼし、可動部２０ｂを安定的に駆動する役割を果たす。ＦＰＣ３３は、コイル２５やホール素子２９等の部材に通電し、信号を取り出す役割を果たす。 The contact surface 33a is a surface provided on the movable portion 20b (particularly the FPC 33) on the side opposite to the magnet portion 24 in the direction perpendicular to the drive plane (magnetization direction 20d: Z-axis direction). The cylindrical roller 32 is made of a magnetic member, for example, a steel wire or a steel rod. The cylindrical rollers 32_1, 32_2, and 32_3 are abutted and arranged on the abutting surfaces 33a_1, 33a_2, and 33a_3, respectively. Each cylindrical roller 32 can further roll on the corresponding contact surface 33a (on the contact surface) in the corresponding drive direction 20e. Since the cylindrical roller 32 is a magnetic member, it is magnetically attracted by the corresponding magnet portion 24. As a result, the cylindrical roller 32 exerts a preload in the preload direction (magnetization direction 20d) on the movable portion 20b, and plays a role of stably driving the movable portion 20b. The FPC 33 plays a role of energizing members such as the coil 25 and the Hall element 29 and extracting a signal.

図３（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、予圧部２０ｃ１をＺ軸正方向（＋Ｚ側）、Ｚ軸負方向（−Ｚ側）から見た、模式的な正面図、背面図である。図４（ａ）〜（ｄ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図（Ｙ軸負方向から見た図）である。図４（ａ）〜（ｄ）では、適宜、構成部品の図示が省略されている。 3A and 3B are schematic front and rear views of the preloading portion 20c1 as viewed from the Z-axis positive direction (+ Z side) and the Z-axis negative direction (−Z side), respectively. 4 (a) to 4 (d) are cross-sectional views (viewed from the negative direction of the Y-axis) along the line AA of FIG. 3 (a). In FIGS. 4A to 4D, the illustration of the component parts is omitted as appropriate.

磁石部２４＿１の磁化した部分の境界部を、磁化境界２４＿１ａと記す。コイル２５＿１は、略矩形状の有効部２５＿１ａ、２５＿１ｂ、および、中心空隙部２５＿１ｃを有する（図３（ａ））。コイル２５＿１には、方向２５＿１ｄの電流が流れる。磁力線３０２は、予圧部２０ｃ１における磁気回路の代表的な磁力線である（図４（ｂ））。コイル２５＿１の有効部２５＿１ａ、２５＿１ｂを電流が流れることで、ローレンツ力３０３ａ、３０３ｂが発生する（図４（ｂ））。 The boundary portion of the magnetized portion of the magnet portion 24_1 is referred to as a magnetization boundary 24_1a. The coil 25_1 has substantially rectangular effective portions 25_1a and 25_1b, and a central gap portion 25_1c (FIG. 3A). A current in the direction 25_1d flows through the coil 25_1. The magnetic field line 302 is a typical magnetic field line of the magnetic circuit in the preload unit 20c1 (FIG. 4 (b)). Lorentz forces 303a and 303b are generated by the current flowing through the effective portions 25_1a and 25_1b of the coil 25_1 (FIG. 4B).

図４（ｃ）、（ｄ）に示すように、円筒コロ３２＿１は、磁石部２４＿１から磁気吸引力３０４を受ける。磁気吸引力３０４のうち、磁化方向２０ｄ１（スラスト方向：Ｙ軸方向）の成分が分力３０４ａで、駆動方向２０ｅ１（ラジアル方向：Ｘ軸方向）の成分が、分力３０４ｂである。変位３０５は、駆動方向２０ｅ１における固定部２０ａに対する可動部２０ｂの移動量である。 As shown in FIGS. 4C and 4D, the cylindrical roller 32_1 receives a magnetic attraction force 304 from the magnet portion 24_1. Of the magnetic attraction force 304, the component in the magnetization direction 20d1 (thrust direction: Y-axis direction) is the component force 304a, and the component in the drive direction 20e1 (radial direction: X-axis direction) is the component force 304b. The displacement 305 is the amount of movement of the movable portion 20b with respect to the fixed portion 20a in the drive direction 20e1.

磁石２４＿１１、磁石２４＿１２は、ボトムヨーク２２における配置面２２ａ（図４（ａ））上に配置されている。磁石２４＿１１、２４＿１２の磁化方向２０ｄ１は、Ｓ極からＮ極に向かう方向であり、図４（ａ）〜（ｄ）では白抜き矢印により示されている。 The magnets 24_11 and the magnets 24_12 are arranged on the arrangement surface 22a (FIG. 4A) of the bottom yoke 22. The magnetization directions 20d1 of the magnets 24_1 and 24_12 are directions from the S pole to the N pole, and are indicated by white arrows in FIGS. 4A to 4D.

予圧部２０ｃ１では、単一の磁化方向を有する磁石２４＿１１、２４＿１２が、その磁化方向を互いに反対向きとして、磁化方向に直交する方向に並列配置されている。これにより、磁力線３０２に示すような磁気回路が形成される（図４（ｂ））。すなわち、磁石２４＿１１のＮ極から出た磁束はトップヨーク３１を通って磁石２４＿１２のＳ極に入る。磁石２４＿１２のＮ極から出た磁束はボトムヨーク２２を通って磁石２４＿１１のＳ極に入る。この磁気回路中で、コイル２５＿１は、その有効部２５＿１ａ、２５＿１ｂがそれぞれ磁石２４＿１１、２４＿１２と対向するように磁石部２４＿１と対向して配置されている。従って、方向２５＿１ｄに示す向きで電流が流れると、ローレンツ力３０３ａ、３０３ｂが発生する（図４（ｂ））。これを駆動力として利用することができる。 In the preload unit 20c1, magnets 24_11 and 24_12 having a single magnetization direction are arranged in parallel in a direction orthogonal to the magnetization direction, with the magnetization directions facing each other. As a result, a magnetic circuit as shown in the magnetic field line 302 is formed (FIG. 4 (b)). That is, the magnetic flux emitted from the north pole of the magnet 24_11 passes through the top yoke 31 and enters the south pole of the magnet 24_12. The magnetic flux emitted from the north pole of the magnet 24_12 passes through the bottom yoke 22 and enters the south pole of the magnet 24_11. In this magnetic circuit, the coil 25_1 is arranged to face the magnet portion 24_1 so that its effective portions 25_1a and 25_1b face the magnets 24_1 and 24_1, respectively. Therefore, when a current flows in the direction shown in the direction 25_1d, Lorentz forces 303a and 303b are generated (FIG. 4B). This can be used as a driving force.

コイル２５＿１の中心空隙部２５＿１ｃの周囲において形成される磁界の磁化方向２０ｄ１の磁束密度は、Ｘ軸方向に対して略直線的な変化を示す。従って、磁束密度の変化をホール素子２９＿１により検出することで、位置検出を行うことができる。このような位置検出方法の詳細は公知であり、本発明の要部ではないため、詳細な説明を省略する。 The magnetic flux density of the magnetic field formed around the central void portion 25_1c of the coil 25_1 in the magnetization direction 20d1 shows a substantially linear change with respect to the X-axis direction. Therefore, the position can be detected by detecting the change in the magnetic flux density with the Hall element 29_1. Since the details of such a position detection method are known and are not the main part of the present invention, detailed description thereof will be omitted.

円筒コロ３２＿１が受ける磁気吸引力は、円筒コロ３２＿１が位置する箇所の磁界により決まるが、簡略的には、磁化境界２４＿１ａに向かう復元力として説明することができる。すなわち、磁化境界２４＿１ａでは磁石２４＿１１のＮ極と磁石２４＿１２のＳ極とが隣接しており、磁石２４＿１１のＮ極から出た磁束が高密度で磁石２４＿１２のＳ極に入る。そのため、磁石部２４＿１の周囲は、磁束密度が最も高い場所となっている。よって、磁性体である円筒コロ３２＿１は、概ね、この場所に向かう復元力を受ける。 The magnetic attraction force received by the cylindrical roller 32_1 is determined by the magnetic field at the position where the cylindrical roller 32_1 is located, but can be simply explained as a restoring force toward the magnetization boundary 24_1a. That is, at the magnetization boundary 24_1a, the north pole of the magnet 24_1 and the south pole of the magnet 24_112 are adjacent to each other, and the magnetic flux emitted from the north pole of the magnet 24_111 enters the south pole of the magnet 24_1 at a high density. Therefore, the periphery of the magnet portion 24_1 is a place having the highest magnetic flux density. Therefore, the cylindrical roller 32_1, which is a magnetic material, generally receives a restoring force toward this place.

駆動方向２０ｅ１（ここではＸ軸方向）において、コイル２５＿１に電流が流れていない初期状態における固定部２０ａに対する可動部２０ｂの相対位置を、「基準位置」と称する。また、円筒コロ３２＿１が、駆動方向２０ｅ１（ここではＸ軸方向）において磁化境界２４＿１ａの直上にある位置を、「安定位置」と称する。なお、安定位置では、円筒コロ３２＿１の軸線が磁化境界２４＿１ａと略平行となる。また、通常、円筒コロ３２＿１は、その軸線を磁化境界２４＿１ａと略平行にしつつ転動する。 The relative position of the movable portion 20b with respect to the fixed portion 20a in the initial state in which no current flows through the coil 25_1 in the drive direction 20e1 (here, the X-axis direction) is referred to as a “reference position”. Further, the position where the cylindrical roller 32_1 is directly above the magnetization boundary 24_1a in the driving direction 20e1 (here, the X-axis direction) is referred to as a “stable position”. At the stable position, the axis of the cylindrical roller 32_1 is substantially parallel to the magnetization boundary 24_1a. Further, normally, the cylindrical roller 32_1 rolls while keeping its axis substantially parallel to the magnetization boundary 24_1a.

図４（ｃ）に示すように、可動部２０ｂが基準位置にあり、且つ円筒コロ３２＿１が安定位置にある状態においては、磁気吸引力３０４は磁化方向２０ｄ１の分力３０４ａだけとなり、Ｘ軸方向の分力３０４ｂは０（ゼロ）となる。一方、図４（ｄ）に示すように、駆動方向２０ｅ１（＋Ｘ方向）において、可動部２０ｂが基準位置から変位３０５だけ変位し、且つ、円筒コロ３２＿１も可動部２０ｂにつられて安定位置から＋Ｘ方向に変位した瞬間を考える。この瞬間には、磁気吸引力３０４は、磁化方向２０ｄ１の分力３０４ａに加えて、Ｘ軸方向の分力３０４ｂを生じる。この分力３０４ｂは、変位した方向とは反対向きである。 As shown in FIG. 4C, when the movable portion 20b is in the reference position and the cylindrical roller 32_1 is in the stable position, the magnetic attraction force 304 is only the component force 304a in the magnetization direction 20d1 and is in the X-axis direction. The component force 304b of is 0 (zero). On the other hand, as shown in FIG. 4D, in the drive direction 20e1 (+ X direction), the movable portion 20b is displaced by a displacement of 305 from the reference position, and the cylindrical roller 32_1 is also hung by the movable portion 20b and is + X from the stable position. Consider the moment of displacement in the direction. At this moment, the magnetic attraction force 304 generates a component force 304b in the X-axis direction in addition to the component force 304a in the magnetization direction 20d1. This component force 304b is in the direction opposite to the direction of displacement.

ここで、従来のように、被吸引部材として、円筒コロでなく鉄板等が可動部２０ｂに対して固定された構成の場合、鉄板が駆動方向２０ｅ１の分力３０４ｂを受けると、その力がそのまま可動部２０ｂに伝わってしまう。この力は、ぶれ補正のために可動部２０ｂを駆動する際の抵抗として作用するため、駆動効率が低下する。これに対して、本実施の形態では、円筒コロ３２＿１が可動部２０ｂの当接面３３ａ＿１上で駆動方向２０ｅ１（Ｘ軸方向）に転動可能であるので、駆動方向２０ｅ１の力（分力３０４ｂ）は可動部２０ｂに殆ど伝わらない。そのため、駆動効率の低下が抑制される。この効果について、図５を用いて詳細に説明する。 Here, in the case where the iron plate or the like is fixed to the movable portion 20b as the suction member instead of the cylindrical roller as in the conventional case, when the iron plate receives the component force 304b in the drive direction 20e1, the force remains as it is. It is transmitted to the movable part 20b. Since this force acts as a resistance when driving the movable portion 20b for blur correction, the driving efficiency is lowered. On the other hand, in the present embodiment, since the cylindrical roller 32_1 can roll in the drive direction 20e1 (X-axis direction) on the contact surface 33a_1 of the movable portion 20b, the force (component force 304b) in the drive direction 20e1 can be rolled. ) Is hardly transmitted to the movable portion 20b. Therefore, the decrease in drive efficiency is suppressed. This effect will be described in detail with reference to FIG.

図５（ａ）、（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図（Ｙ軸負方向から見た図）である。図５（ａ）、（ｂ）では、トップヨーク３１の図示が省略されている。 5 (a) and 5 (b) are cross-sectional views (viewed from the negative direction of the Y-axis) along the line AA of FIG. 3 (a). In FIGS. 5A and 5B, the top yoke 31 is not shown.

図５（ａ）は、図４（ｄ）と同様に、駆動方向２０ｅ１（＋Ｘ方向）において、可動部２０ｂが基準位置から変位３０５だけ変位し、且つ、円筒コロ３２＿１が安定位置から＋Ｘ方向に変位した瞬間を示す。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す状態の直後の状態を示す。 In FIG. 5A, similarly to FIG. 4D, in the driving direction 20e1 (+ X direction), the movable portion 20b is displaced by the displacement 305 from the reference position, and the cylindrical roller 32_1 is displaced from the stable position in the + X direction. Indicates the moment of displacement. FIG. 5B shows a state immediately after the state shown in FIG. 5A.

図５（ａ）に示すように、可動部２０ｂが変位３０５だけ変位したとき、円筒コロ３２＿１は可動部２０ｂから摩擦力３０６ａ（滑り摩擦）を受けて同じ方向に変位しようとする。円筒コロ３２＿１が変位をすると、磁化境界２４＿１ａの方向への磁気吸引力３０４により、駆動方向２０ｅ１（−Ｘ方向）への復元力として分力３０４ｂを受ける。ここで、転がり摩擦は滑り摩擦より小さい。従って、円筒コロ３２＿１には回転モーメント３０７ａが作用し、安定位置へ向けて、円筒コロ３２＿１は変位３０５の方向とは逆の復帰方向３０７ｂ（−Ｘ方向）に転動する。そして、図５（ｂ）に示すように、円筒コロ３２＿１がＸ軸方向における磁化境界２４＿１ａの直上まで戻ると、Ｘ軸方向における磁気吸引力３０４の分力３０４ｂはゼロとなるため、円筒コロ３２＿１はその場所（安定位置）で安定する。 As shown in FIG. 5A, when the movable portion 20b is displaced by the displacement 305, the cylindrical roller 32_1 receives a frictional force 306a (sliding friction) from the movable portion 20b and tries to be displaced in the same direction. When the cylindrical roller 32_1 is displaced, the magnetic attraction force 304 in the direction of the magnetization boundary 24_1a receives a component force 304b as a restoring force in the drive direction 20e1 (−X direction). Here, rolling friction is smaller than sliding friction. Therefore, a rotational moment 307a acts on the cylindrical roller 32_1, and the cylindrical roller 32_1 rolls in the return direction 307b (−X direction) opposite to the direction of the displacement 305 toward the stable position. Then, as shown in FIG. 5B, when the cylindrical roller 32_1 returns to just above the magnetization boundary 24_1a in the X-axis direction, the component force 304b of the magnetic attraction force 304 in the X-axis direction becomes zero, so that the cylindrical roller 32_1 Stable at that location (stable position).

図５（ａ）に示す状態において、円筒コロ３２＿１が安定位置に向けて転動移動する際、転がり摩擦による力を可動部２０ｂに及ぼす。しかし、通常、転がり抵抗は摩擦抵抗に比べて小さいため、可動部２０ｂに及ぼす力は駆動力に対してごく僅かである。よって、ほとんど駆動力の抵抗とはならず、駆動効率の低下は小さい。手ぶれ補正機構２０は、一層確実に動作するための構成を備える。この構成を、図６を用いて説明する。 In the state shown in FIG. 5A, when the cylindrical roller 32_1 rolls and moves toward a stable position, a force due to rolling friction is applied to the movable portion 20b. However, since the rolling resistance is usually smaller than the frictional resistance, the force exerted on the movable portion 20b is very small with respect to the driving force. Therefore, it hardly becomes a resistance of the driving force, and the decrease in the driving efficiency is small. The image stabilization mechanism 20 includes a configuration for more reliable operation. This configuration will be described with reference to FIG.

図６（ａ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図（Ｙ軸負方向から見た図）である。図６（ｂ）は、比較例の予圧部２０ｃ１の断面図である。この比較例では、トップヨーク３１において樹脂部材３１ｃ１を廃止した点が本実施の形態とは異なる。 FIG. 6A is a cross-sectional view (viewed from the negative direction of the Y-axis) along the line AA of FIG. 3A. FIG. 6B is a cross-sectional view of the preloading portion 20c1 of the comparative example. In this comparative example, the top yoke 31 is different from the present embodiment in that the resin member 31c1 is abolished.

図６（ａ）に示すように、板金部材３１ｂ１と、板金部材３１ａに形成された穴３１ｄ１と、ＦＰＣ３３における当接面３３ａ＿１とによって、収容部５０１ａが形成される。すなわち、収容部５０１ａは、トップヨーク３１と可動部２０ｂとの協働により形成される。円筒コロ３２＿１は収容部５０１ａ内に収容される。従って、駆動方向２０ｅ１（Ｘ軸方向）への円筒コロ３２＿１の移動範囲は、収容部５０１ａによって規制される。 As shown in FIG. 6A, the accommodating portion 501a is formed by the sheet metal member 31b1, the hole 31d1 formed in the sheet metal member 31a, and the contact surface 33a_1 of the FPC 33. That is, the accommodating portion 501a is formed by the cooperation of the top yoke 31 and the movable portion 20b. The cylindrical roller 32_1 is housed in the housing section 501a. Therefore, the range of movement of the cylindrical roller 32_1 in the drive direction 20e1 (X-axis direction) is regulated by the accommodating portion 501a.

樹脂部材３１ｃ１は環状であるので、駆動方向２０ｅ１に関しては、収容部５０１ａの両端に存在している。従って、駆動方向２０ｅ１における円筒コロ３２＿１の移動可能範囲５０１ｂは、実質的に、樹脂部材３１ｃ１の内側に規制される。図６（ｂ）では特に、円筒コロ３２＿１が、転動可能な範囲における＋Ｘ方向の端位置にある状態を示している。なお、移動可能範囲５０１ｂは円筒コロ３２＿１の重心位置で定義してもよい。 Since the resin member 31c1 is annular, it exists at both ends of the accommodating portion 501a with respect to the driving direction 20e1. Therefore, the movable range 501b of the cylindrical roller 32_1 in the driving direction 20e1 is substantially restricted to the inside of the resin member 31c1. In particular, FIG. 6B shows a state in which the cylindrical roller 32_1 is at the end position in the + X direction in the rollable range. The movable range 501b may be defined by the position of the center of gravity of the cylindrical roller 32_1.

図６（ｂ）に示すように、円筒コロ３２＿１の周囲では磁束５０２が生じている。円筒コロ３２＿１はトップヨーク３１から磁気吸引力５０２ａを受ける。上述したように、円筒コロ３２＿１は、磁気吸引力３０４を受けることで、当接面３３ａ＿１上で、磁化境界２４＿１ａの直上に留まろうとする。しかし、例えばカメラ１０が落下したり他の物に衝突したりして大きな衝撃を受けた場合には、可動部２０ｂに大きな慣性力が発生する。この慣性力が、円筒コロ３２＿１から受ける予圧力を超えると、可動部２０ｂが固定部２０ａ上から離れる。ここで何らの工夫がない場合、円筒コロ３２＿１も磁化境界２４＿１ａの直上から大きく離れることで、復元力の上限を超えてしまうおそれがある。ところが、本実施の形態では、円筒コロ３２＿１は収容部５０１ａ内に収容され、駆動方向２０ｅ１における動きは移動可能範囲５０１ｂに留まるので、可動部２０ｂから脱落することがない。 As shown in FIG. 6B, a magnetic flux 502 is generated around the cylindrical roller 32_1. The cylindrical roller 32_1 receives a magnetic attraction force 502a from the top yoke 31. As described above, the cylindrical roller 32_1 tries to stay on the contact surface 33a_1 and directly above the magnetization boundary 24_1a by receiving the magnetic attraction force 304. However, for example, when the camera 10 is dropped or collides with another object and receives a large impact, a large inertial force is generated in the movable portion 20b. When this inertial force exceeds the preload received from the cylindrical roller 32_1, the movable portion 20b separates from the fixed portion 20a. If no measures are taken here, the cylindrical roller 32_1 may also exceed the upper limit of the restoring force by being far away from directly above the magnetization boundary 24_1a. However, in the present embodiment, the cylindrical roller 32_1 is accommodated in the accommodating portion 501a, and the movement in the driving direction 20e1 remains within the movable range 501b, so that the cylindrical roller 32_1 does not fall off from the movable portion 20b.

また、比較例（図６（ｂ））のように、非磁性部材である樹脂部材３１ｃ１を備えない構成の場合、磁性部材である円筒コロ３２＿１が磁性部材である板金部材３１ｂ１の端部と直接に接することがあり得る。この場合、接した部分で磁束密度が集中することで、円筒コロ３２＿１が板金部材３１ｂ１から磁気吸引力を強く受けて吸着され、容易には戻らなくなる可能性がある。これに対し、本実施の形態（図６（ａ））では、樹脂部材３１ｃ１を介在させることで、円筒コロ３２＿１の安定位置への復帰の妨げとなることを回避している。 Further, as in the comparative example (FIG. 6B), in the case of the configuration not including the resin member 31c1 which is a non-magnetic member, the cylindrical roller 32_1 which is a magnetic member is directly connected to the end portion of the sheet metal member 31b1 which is a magnetic member. May come into contact with. In this case, since the magnetic flux density is concentrated at the contacted portion, the cylindrical roller 32_1 may be strongly attracted by the magnetic attraction force from the sheet metal member 31b1 and may not be easily returned. On the other hand, in the present embodiment (FIG. 6A), the resin member 31c1 is interposed to prevent the cylindrical roller 32_1 from being hindered from returning to the stable position.

なお、予圧部２０ｃ２、２０ｃ３に関しては、円筒コロ３２＿２、円筒コロ３２＿３の移動方向がＹ軸方向となるが、作用・効果は予圧部２０ｃ１と同様である。 Regarding the preloading portions 20c2 and 20c3, the moving directions of the cylindrical rollers 32_2 and the cylindrical rollers 32_3 are in the Y-axis direction, but the actions and effects are the same as those of the preloading portions 20c1.

本実施の形態によれば、磁石部２４は、固定部２０ａと可動部２０ｂのうち一方である固定部２０ａ（第１のユニット）に固定される。円筒コロ３２は、固定部２０ａと可動部２０ｂのうち他方である可動部２０ｂ（第２のユニット）の当接面３３ａに配置され、当接面３３ａ上を、駆動平面（所定平面）に略平行な第１の方向（Ｘ軸またはＹ軸方向）に転動可能である。当接面３３ａは、駆動平面に垂直な第２の方向（Ｚ軸方向）において、磁石部２４とは反対側に設けられる。円筒コロ３２は、磁石部２４からの吸引力によって、Ｚ軸方向において固定部２０ａと可動部２０ｂとを互いに近づける方向に付勢する。これにより、可動部２０ｂが基準位置から変位した状態でも、円筒コロ３２が安定位置に転動により戻ろうとするので、可動部２０ｂに対して与える滑り摩擦力が小さい。従って、ぶれ補正のために可動部２０ｂを駆動する際の抵抗が抑制されるので、駆動効率があまり低下しないで済む。しかも構成が簡単である。よって、簡単な構成で、可動部２０ｂ（可動ユニット）の移動を円滑にすることができる。 According to the present embodiment, the magnet portion 24 is fixed to the fixed portion 20a (first unit) which is one of the fixed portion 20a and the movable portion 20b. The cylindrical roller 32 is arranged on the contact surface 33a of the movable portion 20b (second unit), which is the other of the fixed portion 20a and the movable portion 20b, and the contact surface 33a is substantially a drive plane (predetermined plane). It can roll in a parallel first direction (X-axis or Y-axis direction). The contact surface 33a is provided on the side opposite to the magnet portion 24 in the second direction (Z-axis direction) perpendicular to the drive plane. The cylindrical roller 32 is urged by the attractive force from the magnet portion 24 in the direction in which the fixed portion 20a and the movable portion 20b are brought closer to each other in the Z-axis direction. As a result, even when the movable portion 20b is displaced from the reference position, the cylindrical roller 32 tries to return to the stable position by rolling, so that the sliding frictional force applied to the movable portion 20b is small. Therefore, the resistance when driving the movable portion 20b for blur correction is suppressed, so that the driving efficiency does not decrease so much. Moreover, the configuration is simple. Therefore, the movable portion 20b (movable unit) can be smoothly moved with a simple configuration.

なお、可動部２０ｂの移動を円滑にする効果を得ることに限れば、磁石部２４は、磁化方向が互いに反対である２つの磁化部の組であることは必須でない。 It is not essential that the magnet portion 24 is a set of two magnetized portions whose magnetization directions are opposite to each other, as long as the effect of smoothing the movement of the movable portion 20b is obtained.

また、磁気回路中でコイル２５に電流が流れることにより、磁石部２４はコイル２５に対して駆動平面方向への相対的な駆動力を作用させると共に、円筒コロ３２に対してＺ軸方向における吸引力を作用させる。従って、可動部２０ｂを駆動するための磁石部２４を円筒コロ３２の吸引用にも利用しているので、部品点数の増加が抑制され、構成も簡素化されている。また、円筒コロ３２は転動するので、磁化境界２４＿１ａを通過する際にも移動が滑らかである。 Further, when a current flows through the coil 25 in the magnetic circuit, the magnet portion 24 exerts a relative driving force on the coil 25 in the driving plane direction and attracts the cylindrical roller 32 in the Z-axis direction. Apply force. Therefore, since the magnet portion 24 for driving the movable portion 20b is also used for attracting the cylindrical roller 32, the increase in the number of parts is suppressed and the configuration is simplified. Further, since the cylindrical roller 32 rolls, the movement is smooth even when passing through the magnetization boundary 24_1a.

また、トップヨーク３１と可動部２０ｂとの協働により、円筒コロ３２を収容すると共に第１の方向（転動方向）への円筒コロ３２の移動範囲を規制する収容部５０１ａが形成される。これにより、特別な構成部品を設けることなく、円筒コロ３２を安定位置に復帰させることが容易となる。 Further, by the cooperation of the top yoke 31 and the movable portion 20b, the accommodating portion 501a for accommodating the cylindrical roller 32 and restricting the moving range of the cylindrical roller 32 in the first direction (rolling direction) is formed. This makes it easy to return the cylindrical roller 32 to a stable position without providing any special component parts.

また、第１の方向（転動方向）において収容部５０１ａの両端に樹脂部材３１ｃ１が設けられたので、トップヨーク３１への円筒コロ３２の吸着を防止して、円筒コロ３２を安定位置に復帰させやすくすることができる。 Further, since the resin members 31c1 are provided at both ends of the accommodating portion 501a in the first direction (rolling direction), the cylindrical roller 32 is prevented from being adsorbed on the top yoke 31 and the cylindrical roller 32 is returned to the stable position. It can be made easier.

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態に対して、主に、磁石部２４の構成、および、可動部２０ｂにおける円筒コロ３２が当接する当接面の構成が異なる。 (Second Embodiment)
The second embodiment of the present invention mainly differs from the first embodiment in the configuration of the magnet portion 24 and the configuration of the contact surface of the movable portion 20b with which the cylindrical roller 32 abuts.

図７は、本実施の形態における手ぶれ補正機構１２０を−Ｚ側から見た模式図である。図７において、第１の実施の形態における手ぶれ補正機構２０と同じ構成要素には同じ符号が付されると共に、詳細な構成要素の図示は省略されている。 FIG. 7 is a schematic view of the image stabilization mechanism 120 according to the present embodiment as viewed from the −Z side. In FIG. 7, the same components as those of the image stabilization mechanism 20 in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and detailed illustration of the components is omitted.

手ぶれ補正機構１２０は、予圧部１２０ｃ１、１２０ｃ２、１２０ｃ３、駆動力発生部１２０ｃ４、１２０ｃ５、１２０ｃ６、位置検出部１２０ｃ７、１２０ｃ８、１２０ｃ９を有する。これら予圧部、駆動力発生部および位置検出部が、第１の実施の形態における予圧部２０ｃ１、２０ｃ２、２０ｃ３に対応する。 The image stabilization mechanism 120 includes preloading units 120c1, 120c2, 120c3, driving force generating units 120c4, 120c5, 120c6, and position detecting units 120c7, 120c8, 120c9. These preloading units, driving force generating units, and position detecting units correspond to the preloading units 20c1, 20c2, and 20c3 in the first embodiment.

予圧部１２０ｃ１、１２０ｃ２、１２０ｃ３は、それぞれ、予圧方向１２０ｄ１、１２０ｄ２、１２０ｄ３（スラスト方向）において、固定部２０ａと可動部２０ｂとを近づけるように付勢する。駆動力発生部１２０ｃ４、１２０ｃ５、１２０ｃ６は、それぞれ、可動部２０ｂを駆動方向１２０ｅ４、１２０ｅ５、１２０ｅ６に駆動する。位置検出部１２０ｃ７、１２０ｃ８、１２０ｃ９は、それぞれ、位置検出方向１２０ｆ７、１２０ｆ８、１２０ｆ９における可動部２０ｂの位置を検出する。 The preload portions 120c1, 120c2, and 120c3 urge the fixed portion 20a and the movable portion 20b to come close to each other in the preload directions 120d1, 120d2, and 120d3 (thrust direction), respectively. The driving force generating units 120c4, 120c5, and 120c6 drive the movable units 20b in the driving directions 120e4, 120e5, and 120e6, respectively. The position detection units 120c7, 120c8, and 120c9 detect the positions of the movable units 20b in the position detection directions 120f7, 120f8, and 120f9, respectively.

手ぶれ補正機構１２０は、手ぶれ補正機構２０と異なり、予圧部、駆動力発生部、位置検出部をそれぞれ独立して備える。駆動力発生部１２０ｃ４、１２０ｃ５は、駆動方向１２０ｅ４、１２０ｅ５が互いに略直交するように配置される。位置検出部１２０ｃ７、１２０ｃ８は、位置検出方向１２０ｆ７、１２０ｆ８が互いに略直交するように配置される。駆動力発生部１２０ｃ５、１２０ｃ６は、駆動方向１２０ｅ５、１２０ｅ６が互いに略平行となるように配置される。位置検出部１２０ｃ８、１２０ｃ９は、位置検出方向１２０ｆ８、１２０ｆ９が互いに略平行となるように配置される。 Unlike the image stabilization mechanism 20, the image stabilization mechanism 120 includes a preload unit, a driving force generating unit, and a position detecting unit independently. The driving force generating units 120c4 and 120c5 are arranged so that the driving directions 120e4 and 120e5 are substantially orthogonal to each other. The position detection units 120c7 and 120c8 are arranged so that the position detection directions 120f7 and 120f8 are substantially orthogonal to each other. The driving force generating units 120c5 and 120c6 are arranged so that the driving directions 120e5 and 120e6 are substantially parallel to each other. The position detection units 120c8 and 120c9 are arranged so that the position detection directions 120f8 and 120f9 are substantially parallel to each other.

手ぶれ補正機構１２０は、駆動方向１２０ｅ４の駆動力によりＸ軸方向の並進駆動を実現し、駆動方向１２０ｅ５、１２０ｅ６の駆動力の同相成分によりＹ軸方向の並進駆動を実現し、逆相成分によりθ方向の回動駆動を実現する。また、手ぶれ補正機構１２０は、位置検出方向１２０ｆ７の位置検出結果からＸ軸方向の並進変位を検出する。また、手ぶれ補正機構１２０は、位置検出方向１２０ｆ８、１２０ｆ９の位置検出結果の和信号によりＹ軸方向の並進変位を検出すると共に、差信号によりθ方向の回転変位を検出する。従って、手ぶれ補正機構１２０は、第１の実施の形態における手ぶれ補正機構２０と同様に、駆動平面内で可動枠２３を並進、回動させることができる。なお、第１の実施の形態と同様に、駆動力発生部、予圧部、位置検出部が一体に構成されてもよい。 The image stabilization mechanism 120 realizes translational drive in the X-axis direction by the driving force in the driving direction 120e4, realizes translational driving in the Y-axis direction by the in-phase components of the driving forces in the driving directions 120e5 and 120e6, and θ by the anti-phase component. Achieves rotational drive in the direction. Further, the image stabilization mechanism 120 detects the translational displacement in the X-axis direction from the position detection result in the position detection direction 120f7. Further, the image stabilization mechanism 120 detects the translational displacement in the Y-axis direction by the sum signal of the position detection results in the position detection directions 120f8 and 120f9, and detects the rotational displacement in the θ direction by the difference signal. Therefore, the image stabilization mechanism 120 can translate and rotate the movable frame 23 in the drive plane, similarly to the image stabilization mechanism 20 in the first embodiment. As in the first embodiment, the driving force generating unit, the preloading unit, and the position detecting unit may be integrally configured.

図８（ａ）は、手振れ補正機構１２０の予圧部１２０ｃ２をＺ軸正方向から見た模式図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図８（ａ）、（ｂ）では、適宜、構成部品の図示を省略している。図８（ｂ）では、可動部２０ｂにおける円筒コロ３２＿２が当接する当接面３３ａ＿２は可動枠２３の面であるとしている。ただし、第１の実施の形態と同様に、当接面３３ａ＿２はＦＰＣ３３における、円筒コロ３２と当接する面であってもよい。代表して予圧部１２０ｃ２について説明するが、予圧部１２０ｃ１、予圧部１２０ｃ３においても、矛盾のない項目は同様に適用される。 FIG. 8A is a schematic view of the preloading portion 120c2 of the image stabilization mechanism 120 as viewed from the Z-axis positive direction. FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 8A. In FIGS. 8A and 8B, the components are not shown as appropriate. In FIG. 8B, it is assumed that the contact surface 33a_2 to which the cylindrical roller 32_2 in the movable portion 20b abuts is the surface of the movable frame 23. However, as in the first embodiment, the contact surface 33a_2 may be a surface of the FPC 33 that comes into contact with the cylindrical roller 32. Although the preloading unit 120c2 will be described as a representative, consistent items are similarly applied to the preloading unit 120c1 and the preloading unit 120c3.

磁石２４＿２（磁石２４＿２１、磁石２４＿２２）は、ボトムヨーク２２における配置面２２ａ上に配置されている。予圧方向１２０ｄ２（Ｚ軸方向：第２の方向）における配置面２２ａからの磁石２４＿２１と磁石２４＿２２との高さは異なっており、磁石２４＿２１の方が高い。すなわち、磁石部２４＿２は、駆動方向１２０ｅ５（Ｙ軸方向：第２の方向）において、一定ではないプロファイルを有する。当接面３３ａ＿２の、Ｚ軸方向における配置面２２ａからの当接面３３ａ＿２の高さは一定でなく、当接面３３ａ＿２は駆動方向１２０ｅ５において一定ではないプロファイルを有する。具体的には、当接面３３ａ＿２は、予圧方向（Ｚ軸方向）に関し、駆動平面に対して傾斜した傾斜面３３ａ＿２ｓを有する。 The magnet 24_2 (magnet 24_21, magnet 24_22) is arranged on the arrangement surface 22a of the bottom yoke 22. The heights of the magnet 24_21 and the magnet 24_22 from the arrangement surface 22a in the preload direction 120d2 (Z-axis direction: second direction) are different, and the magnet 24_21 is higher. That is, the magnet portion 24_2 has a profile that is not constant in the drive direction 120e5 (Y-axis direction: second direction). The height of the contact surface 33a_2 from the arrangement surface 22a in the Z-axis direction is not constant, and the contact surface 33a_2 has a profile that is not constant in the drive direction 120e5. Specifically, the contact surface 33a_2 has an inclined surface 33a_2s inclined with respect to the drive plane in the preload direction (Z-axis direction).

磁石２４＿２１の方が磁石２４＿２２よりも＋Ｚ方向に若干高いため、円筒コロ３２＿２から見た、見かけ上の磁化境界２４＿２ａは、物理的な境界よりも磁石２４＿２１の側に若干寄った位置となる。見かけ上の磁化境界２４＿２ａ上の位置が円筒コロ３２＿２の安定位置となる。これらの構成により得られる効果を、図９を用いて説明する。 Since the magnet 24_21 is slightly higher in the + Z direction than the magnet 24_22, the apparent magnetization boundary 24_2a seen from the cylindrical roller 32_2 is located slightly closer to the magnet 24_21 than the physical boundary. The position on the apparent magnetization boundary 24_2a is the stable position of the cylindrical roller 32_2. The effects obtained by these configurations will be described with reference to FIG.

図９は、図８（ｂ）と同様の図を、紙面の上下方向とカメラ１０の正立方向とが一致するように示した図である。すなわち、図９では、紙面の上方向が＋Ｙ方向、紙面の手前方向が＋Ｘ方向、紙面の左方向が＋Ｚ方向となっている。この姿勢は、円筒コロ３２＿２の転動方向（第１の方向）が鉛直方向となる姿勢である。 FIG. 9 is a diagram showing the same diagram as in FIG. 8B so that the vertical direction of the paper surface and the upright direction of the camera 10 coincide with each other. That is, in FIG. 9, the upward direction of the paper surface is the + Y direction, the front direction of the paper surface is the + X direction, and the left direction of the paper surface is the + Z direction. This posture is a posture in which the rolling direction (first direction) of the cylindrical roller 32_2 is the vertical direction.

図９において、可動部２０ｂには重力８０１が作用する。駆動力８０５は、可動部２０ｂの自重を支えるために、駆動力発生部１２０ｃ５が発生させている＋Ｙ方向の力である。円筒コロ３２＿２には磁気吸引力８０２が作用する。磁気吸引力８０２に起因して、可動部２０ｂからは円筒コロ３２＿２に対して、傾斜面３３ａ＿２ｓの法線方向の反力８０４が作用する。円筒コロ３２＿２が傾斜面３３ａ＿２ｓに位置している場合、磁気吸引力８０２は、Ｚ軸方向に関する分力８０２ａとＹ軸方向に関する分力８０２ｂとで把握できる。同様に、反力８０４は、Ｚ軸方向に関する分力８０４ａとＹ軸方向に関する分力８０４ｂとで把握できる。 In FIG. 9, gravity 801 acts on the movable portion 20b. The driving force 805 is a force generated by the driving force generating unit 120c5 in the + Y direction in order to support the own weight of the movable portion 20b. A magnetic attraction force 802 acts on the cylindrical roller 32_2. Due to the magnetic attraction force 802, a reaction force 804 in the normal direction of the inclined surface 33a_2s acts on the cylindrical roller 32_2 from the movable portion 20b. When the cylindrical roller 32_2 is located on the inclined surface 33a_2s, the magnetic attraction force 802 can be grasped by the component force 802a in the Z-axis direction and the component force 802b in the Y-axis direction. Similarly, the reaction force 804 can be grasped by the component force 804a in the Z-axis direction and the component force 804b in the Y-axis direction.

カメラ１０を正立状態で使用する場合、可動部２０ｂは自重により基準位置から下方に下降しようとするので、それを補正するための駆動力８０５を常に発生させる必要がある。しかし、これは電力消費量の増加を招く。特に、仮に傾斜面３３ａ＿２ｓがなく、当接面３３ａ＿２がＹ軸方向に変更であったとすると、可動部２０ｂは自重を保持するための駆動力８０５は大きくなる。 When the camera 10 is used in an upright state, the movable portion 20b tends to descend downward from the reference position due to its own weight, so it is necessary to constantly generate a driving force 805 to compensate for this. However, this leads to an increase in power consumption. In particular, if there is no inclined surface 33a_2s and the contact surface 33a_2 is changed in the Y-axis direction, the driving force 805 for the movable portion 20b to hold its own weight becomes large.

これに対し、本実施の形態では、＋Ｙ方向ほど磁石部２４＿２から遠い側に位置する傾斜面３３ａ＿２ｓを有することで、スラスト方向の予圧力の一部を、積極的にラジアル方向の復元力として取り出し、自重の少なくとも一部を支える構成としている。＋Ｙ方向の分力８０２ａは、＋Ｙ方向の分力８０３ａとして可動部２０ｂに作用する。分力８０３ａは、可動部２０ｂの自重の少なくとも一部を支える補助力となる。これにより、可動部２０ｂを基準位置に維持するための駆動力８０５を小さくすることができる。 On the other hand, in the present embodiment, by having the inclined surface 33a_2s located on the side farther from the magnet portion 24_2 in the + Y direction, a part of the prepressure in the thrust direction is positively taken out as a restoring force in the radial direction. , It is configured to support at least a part of its own weight. The component force 802a in the + Y direction acts on the movable portion 20b as the component force 803a in the + Y direction. The component force 803a is an auxiliary force that supports at least a part of the weight of the movable portion 20b. As a result, the driving force 805 for maintaining the movable portion 20b at the reference position can be reduced.

言い換えると、当接面３３ａ＿２の中でも特に傾斜面３３ａ＿２ｓ上に位置する円筒コロ３２＿２は、傾斜面３３ａ＿２ｓの法線方向の反力８０４を受ける。反力８０４は重力方向（−Ｙ方向）の分力８０４ｂが含まれるため、円筒コロ３２＿２は、−Ｙ方向に力を受ける。一方、この状態において、円筒コロ３２＿２は磁化境界２４＿２ａに向かう方向の磁気吸引力８０２を受ける。磁気吸引力８０２には、復元力である＋Ｙ方向の分力８０２ｂが含まれる。 In other words, among the contact surfaces 33a_2, the cylindrical roller 32_2 located on the inclined surface 33a_2s receives a reaction force 804 in the normal direction of the inclined surface 33a_2s. Since the reaction force 804 includes a component force 804b in the gravity direction (−Y direction), the cylindrical roller 32_2 receives a force in the −Y direction. On the other hand, in this state, the cylindrical roller 32_2 receives a magnetic attraction force 802 in the direction toward the magnetization boundary 24_2a. The magnetic attraction force 802 includes a component force 802b in the + Y direction, which is a restoring force.

円筒コロ３２＿２にかかる分力８０４ｂ、８０２ｂが釣り合う位置で円筒コロ３２＿２は静止する。この状態において、円筒コロ３２＿２は可動部２０ｂに対して、Ｙ軸方向において、可動部２０ｂから受ける分力８０４ｂの反作用である分力８０３ａを与える。よって、可動部２０ｂにかかる重力８０１の一部を分力８０３ａが支えることで、小さい駆動力８０５で可動部２０ｂを支えることが可能となり、電力消費量の増加が抑えられる。 The cylindrical roller 32_2 stands still at a position where the component forces 804b and 802b applied to the cylindrical roller 32_2 are balanced. In this state, the cylindrical roller 32_2 gives the movable portion 20b a component force 803a which is a reaction of the component force 804b received from the movable portion 20b in the Y-axis direction. Therefore, since the component force 803a supports a part of the gravity 801 applied to the movable portion 20b, the movable portion 20b can be supported by a small driving force 805, and an increase in power consumption can be suppressed.

ところで、円筒コロ３２＿２が傾斜面３３ａ＿２ｓの範囲を移動する場合において、円筒コロ３２＿２は、傾斜面３３ａ＿２ｓにおける＋Ｙ方向に変位するほど、＋Ｚ方向に変位する。しかし、磁石２４＿２２よりも磁石２４＿２１の方が高いことから、円筒コロ３２＿２が＋Ｙ方向に変位しても、磁石２４＿２の＋Ｚ側の端位置からの距離は大きく変化しない。また、円筒コロ３２＿２が傾斜面３３ａ＿２ｓの範囲を超えて変位する場合にも、同様に、磁石２４＿２の＋Ｚ側の端位置からの距離は大きく変化しない。磁石２４＿２からの円筒コロ３２＿２の距離がほぼ一定に保たれることから、変位位置による予圧力の変動が抑制され、安定的な駆動に寄与する。 By the way, when the cylindrical roller 32_2 moves in the range of the inclined surface 33a_2s, the cylindrical roller 32_2 is displaced in the + Z direction as it is displaced in the + Y direction on the inclined surface 33a_2s. However, since the magnet 24_21 is higher than the magnet 24_22, even if the cylindrical roller 32_2 is displaced in the + Y direction, the distance of the magnet 24_2 from the + Z side end position does not change significantly. Further, even when the cylindrical roller 32_2 is displaced beyond the range of the inclined surface 33a_2s, the distance of the magnet 24_2 from the + Z side end position does not change significantly. Since the distance of the cylindrical roller 32_2 from the magnet 24_2 is kept substantially constant, fluctuations in the prepressure due to the displacement position are suppressed, which contributes to stable driving.

本実施の形態によれば、簡単な構成で、可動部２０ｂ（可動ユニット）の移動を円滑にすることに関し、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。 According to the present embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained with respect to smoothing the movement of the movable portion 20b (movable unit) with a simple configuration.

また、円筒コロ３２の転動方向（第１の方向）が鉛直方向となる姿勢において、可動部２０ｂの自重の少なくとも一部を分力８０３ａが支える補助力となるように、傾斜面３３ａ＿２ｓの傾斜方向が設定されている。これにより、駆動力８０５が小さて済み、電力消費量の増加を抑制することができる。 Further, in a posture in which the rolling direction (first direction) of the cylindrical roller 32 is the vertical direction, the inclined surface 33a_2s is inclined so that the component force 803a supports at least a part of the weight of the movable portion 20b. The direction is set. As a result, the driving force 805 can be reduced, and an increase in power consumption can be suppressed.

また、配置面２２ａからの傾斜面３３ａ＿２ｓの高さは、磁石２４＿２のうち高い方（磁石２４＿２１）の方が高いので、転動方向における位置による予圧力の変動を抑制することができる。 Further, since the height of the inclined surface 33a_2s from the arrangement surface 22a is higher in the magnet 24_2, whichever is higher (magnet 24_21), it is possible to suppress fluctuations in the preload depending on the position in the rolling direction.

なお、第１、第２の実施の形態では、磁石部２４は固定部２０ａに固定され、円筒コロ３２は、可動部２０ｂの当接面３３ａに転動可能に配置された。しかし、固定部２０ａと可動部２０ｂとの関係を逆にしてもよい。すなわち、固定部２０ａと可動部２０ｂうち一方を第１のユニットとし、他方を第２のユニットとしたとき、磁石部２４を第１のユニットに固定し、円筒コロ３２を第２のユニットの当接面に配置してもよい。このような例を図１０に示す。 In the first and second embodiments, the magnet portion 24 is fixed to the fixed portion 20a, and the cylindrical roller 32 is rotatably arranged on the contact surface 33a of the movable portion 20b. However, the relationship between the fixed portion 20a and the movable portion 20b may be reversed. That is, when one of the fixed portion 20a and the movable portion 20b is the first unit and the other is the second unit, the magnet portion 24 is fixed to the first unit and the cylindrical roller 32 is the contact of the second unit. It may be placed on the contact surface. An example of this is shown in FIG.

図１０は、変形例の予圧部２０ｃ１の断面図である。図１０は図３に対応する。可動部２２０ｂは、駆動平面内で、固定部２２０ａに対して相対的に移動可能に固定部２２０ａに支持される。磁石部２４は可動部２２０ｂに固定され、円筒コロ３２＿１は、固定部２２０ａにおける当接面２２０ａｘ上に転動可能に配置される。このような構成でも、簡単な構成で、可動ユニットの移動を円滑にする効果を得ることができる。 FIG. 10 is a cross-sectional view of the preload portion 20c1 of the modified example. FIG. 10 corresponds to FIG. The movable portion 220b is supported by the fixed portion 220a so as to be relatively movable with respect to the fixed portion 220a in the drive plane. The magnet portion 24 is fixed to the movable portion 220b, and the cylindrical roller 32_1 is rotatably arranged on the contact surface 220ax of the fixed portion 220a. Even with such a configuration, it is possible to obtain the effect of smoothing the movement of the movable unit with a simple configuration.

なお、手ぶれ補正機構２０について説明した構成を、手ぶれ補正機構４０に採用することで、像ぶれ補正装置を有するレンズ鏡筒にも本発明を適用可能である。この場合の光学素子は、例えば、手ぶれ補正用レンズ１２ｂであってもよい。なお、手ぶれ補正機構２０と手ぶれ補正機構４０の双方または一方に本発明を適用してもよい。 By adopting the configuration described for the image stabilization mechanism 20 in the image stabilization mechanism 40, the present invention can be applied to a lens barrel having an image stabilization device. The optical element in this case may be, for example, a camera shake correction lens 12b. The present invention may be applied to both or one of the image stabilization mechanism 20 and the image stabilization mechanism 40.

なお、本発明のステージ装置が適用される装置は、像ぶれ補正装置や撮像装置に限定されない。例えば、半導体素子製造用の露光装置、液晶表示素子製造用またはディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシンなどの電子機器に本発明を適用できる。 The device to which the stage device of the present invention is applied is not limited to the image blur correction device and the image pickup device. For example, the present invention can be applied to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor element, an exposure apparatus for manufacturing a liquid crystal display element or a display, and an electronic device such as a thin film magnetic head or a micromachine.

以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。上述の実施形態の一部を適宜組み合わせてもよい。 Although the present invention has been described in detail based on the preferred embodiments thereof, the present invention is not limited to these specific embodiments, and various embodiments within the scope of the gist of the present invention are also included in the present invention. included. Some of the above-described embodiments may be combined as appropriate.

２０ａ、２２０ａ 固定部
２０ｂ、２２０ｂ 可動部
２４ 磁石部
３２ 円筒コロ
３３ａ、２２０ａｘ 当接面 20a, 220a Fixed part 20b, 220b Movable part 24 Magnet part 32 Cylindrical roller 33a, 220ax Contact surface

Claims (11)

固定ユニットと、
所定平面内で前記固定ユニットに対して相対的に移動可能に支持された可動ユニットと、
前記固定ユニットと前記可動ユニットのうち一方である第１のユニットに固定された磁石部と、
磁性部材で構成され、前記固定ユニットと前記可動ユニットのうち他方である第２のユニットの当接面に配置され、前記当接面上を、前記所定平面に略平行な第１の方向に転動可能な転動部材と、を有し、
前記当接面は、前記所定平面に垂直な第２の方向において、前記第２のユニットにおける前記磁石部とは反対側に設けられ、
前記転動部材は、前記磁石部からの吸引力によって、前記第２の方向において前記第１のユニットと前記第２のユニットとを互いに近づける方向に付勢することを特徴とするステージ装置。 Fixed unit and
A movable unit supported so as to be movable relative to the fixed unit in a predetermined plane,
A magnet portion fixed to the first unit, which is one of the fixed unit and the movable unit,
It is composed of a magnetic member, is arranged on the contact surface of the second unit, which is the other of the fixed unit and the movable unit, and rolls on the contact surface in a first direction substantially parallel to the predetermined plane. With a movable rolling member,
The contact surface is provided on the side of the second unit opposite to the magnet portion in a second direction perpendicular to the predetermined plane.
The stage device is characterized in that the rolling member is urged by an attractive force from the magnet portion in a direction in which the first unit and the second unit are brought closer to each other in the second direction. 前記磁石部は、前記第２の方向に関して磁化方向が互いに反対である２つの磁化部の組を少なくとも１組有し、前記２つの磁化部は、前記第１の方向に並列配置され、
前記第２のユニットには、コイルが設けられ、
前記コイルに電流が流れることにより、前記磁石部は、前記コイルに対して前記第１の方向への相対的な駆動力を作用させると共に、前記転動部材に対して前記第２の方向における吸引力を作用させることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。 The magnet portion has at least one set of two magnetized portions whose magnetization directions are opposite to each other with respect to the second direction, and the two magnetized portions are arranged in parallel in the first direction.
The second unit is provided with a coil.
When a current flows through the coil, the magnet portion exerts a relative driving force on the coil in the first direction and attracts the rolling member in the second direction. The stage device according to claim 1, wherein a force is applied. 前記第１のユニットは、前記コイルを挟んで前記磁石部とは反対側に、前記第２のユニットと対向するヨーク部を有し、
前記ヨーク部と前記第２のユニットとの協働により、前記転動部材を収容すると共に前記第１の方向への前記転動部材の移動範囲を規制する収容部が形成されることを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。 The first unit has a yoke portion facing the second unit on the side opposite to the magnet portion with the coil interposed therebetween.
By the cooperation of the yoke portion and the second unit, an accommodating portion that accommodates the rolling member and regulates the range of movement of the rolling member in the first direction is formed. The stage apparatus according to claim 2. 前記第１の方向における前記収容部の両端に、非磁性部材が設けられたことを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。 The stage device according to claim 3, wherein non-magnetic members are provided at both ends of the accommodating portion in the first direction. 前記当接面は、前記第１の方向に関し、前記所定平面に対して傾斜した傾斜面を有し、
配置面からの前記２つの磁化部の高さは互いに異なっており、
前記配置面からの前記傾斜面の高さは、前記２つの磁化部のうち高い方の側が高いことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。 The contact surface has an inclined surface that is inclined with respect to the predetermined plane in the first direction.
The heights of the two magnetized portions from the arrangement surface are different from each other.
The stage device according to any one of claims 2 to 4, wherein the height of the inclined surface from the arrangement surface is higher on the higher side of the two magnetized portions. 前記当接面は、前記第１の方向に関し、前記所定平面に対して傾斜した傾斜面を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のステージ装置。 The stage device according to any one of claims 1 to 4, wherein the contact surface has an inclined surface that is inclined with respect to the predetermined plane in the first direction. 前記第１の方向が鉛直方向となる姿勢において、前記転動部材に作用する前記磁石部からの吸引力のうち前記第１の方向の分力が、前記可動ユニットの自重の少なくとも一部を支える補助力となるように、前記傾斜面の傾斜方向が設定されていることを特徴とする請求項５または６に記載のステージ装置。 In the posture in which the first direction is the vertical direction, the component force in the first direction of the attractive force from the magnet portion acting on the rolling member supports at least a part of the weight of the movable unit. The stage device according to claim 5 or 6, wherein the inclination direction of the inclined surface is set so as to serve as an auxiliary force. 前記転動部材は、球体形状または円筒形状であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のステージ装置。 The stage device according to any one of claims 1 to 7, wherein the rolling member has a spherical shape or a cylindrical shape. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載のステージ装置を有する像ぶれ補正装置であって、
前記可動ユニットは光学素子を保持し、
前記所定平面は撮像光学系の光軸に直交することを特徴とする像ぶれ補正装置。 An image blur correction device having the stage device according to any one of claims 1 to 8.
The movable unit holds an optical element and
An image blur correction device characterized in that the predetermined plane is orthogonal to the optical axis of the imaging optical system. 請求項９に記載の像ぶれ補正装置を有する撮像装置であって、
前記光学素子は、撮像素子であることを特徴とする撮像装置。 An imaging device having the image blur correction device according to claim 9.
The optical element is an image pickup device, characterized in that it is an image pickup device. 請求項９に記載の像ぶれ補正装置を有するレンズ鏡筒であって、
前記光学素子は、像ぶれ補正用レンズであることを特徴とするレンズ鏡筒。 A lens barrel having the image blur correction device according to claim 9.
The optical element is a lens barrel, which is a lens for image blur correction.
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