JP2021092466A

JP2021092466A - Physical quantity measurement device

Info

Publication number: JP2021092466A
Application number: JP2019223751A
Authority: JP
Inventors: 英樹小山; Hideki Koyama; 良介柳澤; Ryosuke Yanagisawa; 康久田中; Yasuhisa Tanaka; 和樹五明; Kazuki Gomyo
Original assignee: Nagano Keiki Co Ltd
Current assignee: Nagano Keiki Co Ltd
Priority date: 2019-12-11
Filing date: 2019-12-11
Publication date: 2021-06-17
Anticipated expiration: 2039-12-11
Also published as: JP7169260B2

Abstract

To provide a physical quantity measurement device capable of accurately measuring gauge pressure of fluid to be measured for a long period.SOLUTION: A physical quantity measuring device 1 comprises: a housing 2 whose inside is sealed; a first absolute pressure unit 3 that is housed in the housing 2, detects the absolute pressure of fluid to be measured, and outputs a first absolute pressure signal based on the detected absolute pressure; a second absolute pressure unit 4 that is housed in the housing 2, detects the absolute pressure outside the housing 2, and outputs a second absolute pressure signal based on the detected absolute pressure; and a circuit board 5 that is housed in the housing 2, and inputs the first absolute pressure signal and the second absolute pressure signal to calculate the gauge pressure of the fluid to be measured.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、物理量測定装置に関する。 The present invention relates to a physical quantity measuring device.

一般に、貯留タンクや配管等の液圧を測定し、液面の高さ等を計測する液位計が知られている。この種の技術として、ゲージ圧（相対圧）センサを使用し、液圧と外圧との差分を算出して、液圧のみを求める技術がある（例えば、特許文献１）。 Generally, a liquid level meter that measures the liquid pressure of a storage tank, a pipe, or the like and measures the height of the liquid level or the like is known. As this kind of technique, there is a technique of using a gauge pressure (relative pressure) sensor to calculate the difference between the hydraulic pressure and the external pressure to obtain only the hydraulic pressure (for example, Patent Document 1).

しかしながら、特許文献１では、センサ内に外気を導入する必要があるので、センサ内外の温度差が大きいと、センサ内やセンサ内に外気を導入するエアチューブ内等で結露が発生し、測定誤差や測定不能といった不具合が生じてしまう可能性がある。
そこで、この種の液位計において、センサ内に結露が生じることを防ぐ技術が知られている（例えば、特許文献２）。 However, in Patent Document 1, since it is necessary to introduce outside air into the sensor, if the temperature difference between the inside and outside of the sensor is large, dew condensation occurs inside the sensor or inside the air tube that introduces outside air into the sensor, resulting in measurement error. And there is a possibility that problems such as inability to measure may occur.
Therefore, in this type of liquid level gauge, a technique for preventing dew condensation from occurring in the sensor is known (for example, Patent Document 2).

特許文献２では、ダイアフラムや基板等を収納する筐体を密閉し、かつ、筐体内の圧力を、筐体の外側の圧力（大気圧）と等しく維持するように変形可能な弁体を設けることにより、ゲージ圧を測定可能に構成している。 In Patent Document 2, a housing that houses a diaphragm, a substrate, and the like is sealed, and a deformable valve body is provided so that the pressure inside the housing is maintained equal to the pressure outside the housing (atmospheric pressure). Therefore, the gauge pressure can be measured.

特開平１０−１１１１６３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-11163 特許５８９９５７６号公報Japanese Patent No. 5899576

しかしながら、特許文献２では、弁体を変形させることで筐体の内外における圧力差を調整しているので、例えば、経年劣化によって弁体が損傷したり、変形しにくくなってしまったりした場合に、筐体の内外における圧力差を調整しきれなくなってしまう可能性がある。そのため、ゲージ圧が正確に測定できなくなってしまう可能性があるといった問題があった。 However, in Patent Document 2, since the pressure difference between the inside and outside of the housing is adjusted by deforming the valve body, for example, when the valve body is damaged or becomes difficult to be deformed due to aged deterioration. , There is a possibility that the pressure difference between the inside and outside of the housing cannot be adjusted. Therefore, there is a problem that the gauge pressure may not be measured accurately.

本発明の目的は、長期間にわたって被測定流体のゲージ圧を正確に測定できる物理量測定装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a physical quantity measuring device capable of accurately measuring the gauge pressure of a fluid to be measured over a long period of time.

本発明の物理量測定装置は、内部が密閉される筐体と、前記筐体に収納され被測定流体の絶対圧を検出し、検出した絶対圧に基づく第１絶対圧信号を出力する第１絶対圧ユニットと、前記筐体に収納され前記筐体の外部の絶対圧を検出し、検出した絶対圧に基づく第２絶対圧信号を出力する第２絶対圧ユニットと、前記筐体に収納され前記第１絶対圧信号および前記第２絶対圧信号を入力して、前記被測定流体のゲージ圧を算出する算出部と、を備えることを特徴とする。 The physical quantity measuring device of the present invention detects the absolute pressure of the housing to be sealed and the fluid to be measured, and outputs the first absolute pressure signal based on the detected absolute pressure. The pressure unit, a second absolute pressure unit housed in the housing, detecting an absolute pressure outside the housing, and outputting a second absolute pressure signal based on the detected absolute pressure, and a second absolute pressure unit housed in the housing and described above. It is characterized by including a calculation unit for inputting a first absolute pressure signal and the second absolute pressure signal to calculate a gauge pressure of the fluid to be measured.

本発明では、被測定流体の絶対圧を検出する第１絶対圧ユニットと、筐体の外部の絶対圧、つまり、大気圧を検出する第２絶対圧ユニットと、これらの検出結果に基づく信号を入力して被測定流体のゲージ圧を算出する算出部とを備える。これにより、筐体の内部に外気を導入することなく、かつ、弁体のような駆動部を設けることによって筐体内外の圧力差を調整することなく被測定流体のゲージ圧を得ることができる。そのため、筐体の内部で発生した結露により不具合が生じることを防ぐことができ、かつ、弁体のような駆動部が劣化することがないので、長期間にわたって被測定流体のゲージ圧を正確に測定できる。 In the present invention, a first absolute pressure unit that detects the absolute pressure of the fluid to be measured, a second absolute pressure unit that detects the absolute pressure outside the housing, that is, the atmospheric pressure, and a signal based on these detection results are used. It is provided with a calculation unit that inputs and calculates the gauge pressure of the fluid to be measured. As a result, the gauge pressure of the fluid to be measured can be obtained without introducing outside air into the housing and without adjusting the pressure difference between the inside and outside of the housing by providing a drive unit such as a valve body. .. Therefore, it is possible to prevent problems due to dew condensation generated inside the housing, and the drive unit such as the valve body does not deteriorate, so that the gauge pressure of the fluid to be measured can be accurately measured for a long period of time. Can be measured.

本発明の物理量測定装置において、前記第２絶対圧ユニットは、前記筐体の外部に連通する第１室と、前記筐体の内部に連通する第２室とが設けられたセンサケースと、前記センサケース内に設けられ、前記第１室と前記第２室とを仕切るダイアフラム部と、前記第２室に設けられ、前記ダイアフラム部を支持する筒状の支持部と、を備えることが好ましい。
この構成では、ダイアフラム部には、筐体の外部の圧力、つまり、大気圧が作用する。そのため、当該ダイアフラム部の変形量を検出することにより、大気圧を検出することができる。 In the physical quantity measuring device of the present invention, the second absolute pressure unit includes a sensor case provided with a first chamber communicating with the outside of the housing and a second chamber communicating with the inside of the housing, and the above. It is preferable to provide a diaphragm portion provided in the sensor case and partitioning the first chamber and the second chamber, and a tubular support portion provided in the second chamber to support the diaphragm portion.
In this configuration, the pressure outside the housing, that is, atmospheric pressure, acts on the diaphragm portion. Therefore, the atmospheric pressure can be detected by detecting the amount of deformation of the diaphragm portion.

本発明の物理量測定装置において、前記センサケースは、筒状部と、前記筒状部から外周方向に延設されたフランジ部と、前記筒状部から前記筐体の外部に向かって突出する突出部とを有し、前記突出部には、前記第１室と前記筐体の外部とを連通する連通孔が設けられることが好ましい。
この構成では、筒状部から筐体の外部に向かって突出する突出部に連通孔が設けられているので、当該連通孔を介して、ダイアフラム部に大気圧を作用させることができる。 In the physical quantity measuring device of the present invention, the sensor case has a tubular portion, a flange portion extending from the tubular portion in the outer peripheral direction, and a protrusion protruding from the tubular portion toward the outside of the housing. It is preferable that the protruding portion is provided with a communication hole for communicating the first chamber and the outside of the housing.
In this configuration, since the communication hole is provided in the protruding portion protruding from the tubular portion toward the outside of the housing, atmospheric pressure can be applied to the diaphragm portion through the communication hole.

本発明の物理量測定装置において、前記センサケースは、筒状部と、前記筒状部の一方の開口端部に設けられる底板部と、前記底板部に設けられ前記筐体の外部に向かって突出する突出部とを有し、前記突出部には、前記第１室と前記筐体の外部とを連通する連通孔が設けられることが好ましい。
この構成では、センサケースから筐体の外部に向かって突出する突出部に連通孔が設けられているので、当該連通孔を介して、ダイアフラム部に大気圧を作用させることができる。 In the physical quantity measuring device of the present invention, the sensor case has a tubular portion, a bottom plate portion provided at one open end of the tubular portion, and a bottom plate portion provided on the bottom plate portion and protrudes toward the outside of the housing. It is preferable that the protruding portion is provided with a communication hole for communicating the first chamber and the outside of the housing.
In this configuration, since the communication hole is provided in the protruding portion protruding from the sensor case toward the outside of the housing, atmospheric pressure can be applied to the diaphragm portion through the communication hole.

本発明の物理量測定装置において、前記支持部の内部に収納される検出基板を有し、前記ダイアフラム部、前記支持部、および、前記検出基板により密閉された空間が形成され、前記空間には、封入液が封入されていることが好ましい。
この構成では、上記空間に封入液が封入されているので、上記空間内で結露が生じるおそれがない。そのため、上記空間を規定するダイアフラム部、支持部、および、検出基板において、結露によって不具合が生じてしまうことを防ぐことができる。 In the physical quantity measuring device of the present invention, there is a detection substrate housed inside the support portion, and a space sealed by the diaphragm portion, the support portion, and the detection substrate is formed, and the space is provided with a space. It is preferable that the filling liquid is sealed.
In this configuration, since the filling liquid is sealed in the space, there is no possibility of dew condensation occurring in the space. Therefore, it is possible to prevent problems from occurring due to dew condensation in the diaphragm portion, the support portion, and the detection substrate that define the space.

本発明の第１実施形態に係る物理量測定装置の概略を示す斜視図。The perspective view which shows the outline of the physical quantity measuring apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 前記実施形態の物理量測定装置の概略を示す断面図。The cross-sectional view which shows the outline of the physical quantity measuring apparatus of the said embodiment. 前記実施形態の第２絶対圧ユニットの概略を示す断面斜視図。The cross-sectional perspective view which shows the outline of the 2nd absolute pressure unit of the said embodiment. 第２実施形態の物理量測定装置の概略を示す斜視図。The perspective view which shows the outline of the physical quantity measuring apparatus of 2nd Embodiment. 第２実施形態の物理量測定装置の概略を示す断面図。The cross-sectional view which shows the outline of the physical quantity measuring apparatus of 2nd Embodiment. 第２実施形態の第２絶対圧ユニットの概略を示す断面斜視図。The cross-sectional perspective view which shows the outline of the 2nd absolute pressure unit of 2nd Embodiment.

［第１実施形態］
本発明の第１実施形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態の物理量測定装置１は、貯留タンクや配管等の液圧を測定し、液面の高さ等を計測する液位計として構成される。
図１は、本実施形態の物理量測定装置１の概略を示す斜視図であり、図２は、物理量測定装置１の概略を示す断面図である。
図１、２に示すように、物理量測定装置１は、筐体２と、第１絶対圧ユニット３と、第２絶対圧ユニット４と、回路基板５とを備える。 [First Embodiment]
The first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The physical quantity measuring device 1 of the present embodiment is configured as a liquid level meter that measures the liquid pressure of a storage tank, a pipe, or the like and measures the height of the liquid level or the like.
FIG. 1 is a perspective view showing an outline of the physical quantity measuring device 1 of the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing an outline of the physical quantity measuring device 1.
As shown in FIGS. 1 and 2, the physical quantity measuring device 1 includes a housing 2, a first absolute pressure unit 3, a second absolute pressure unit 4, and a circuit board 5.

［筐体２］
筐体２は、例えば、ステンレス等の金属製であり、内部が密閉されている。また、筐体２は、第１筐体２１と、第２筐体２２とを備え、内部に第１絶対圧ユニット３と、第２絶対圧ユニット４と、回路基板５とを収納している。
なお、筐体２は、上記構成に限られるものではなく、例えば、樹脂製であってもよい。 [Case 2]
The housing 2 is made of metal such as stainless steel, and the inside is hermetically sealed. Further, the housing 2 includes a first housing 21 and a second housing 22, and houses a first absolute pressure unit 3, a second absolute pressure unit 4, and a circuit board 5 inside. ..
The housing 2 is not limited to the above configuration, and may be made of resin, for example.

［第１筐体２１］
第１筐体２１は、円筒状の部材であり、大径円筒部２１１と、小径円筒部２１２と、連結部２１３と、フランジ部２１４とを備える。
大径円筒部２１１は、円筒状の部材であり、内部に第１絶対圧ユニット３を収納する。
小径円筒部２１２は、大径円筒部２１１よりも直径が小さい円筒状の部材であり、連結部２１３によって大径円筒部２１１に連結されている。また、小径円筒部２１２は、後述する第２筐体２２の挿通孔２２１１に挿入されている。これにより、小径円筒部２１２は、第１筐体２１の内部と第２筐体２２の内部とを連通している。
連結部２１３は、円筒状の部材であり、直径が大径円筒部２１１から小径円筒部２１２に向けて漸次縮径している。また、本実施形態では、連結部２１３は、大径円筒部２１１および小径円筒部２１２に、溶接されて接合されている。これにより、連結部２１３は、大径円筒部２１１と小径円筒部２１２とを連結している。 [First housing 21]
The first housing 21 is a cylindrical member, and includes a large-diameter cylindrical portion 211, a small-diameter cylindrical portion 212, a connecting portion 213, and a flange portion 214.
The large-diameter cylindrical portion 211 is a cylindrical member, and houses the first absolute pressure unit 3 inside.
The small-diameter cylindrical portion 212 is a cylindrical member having a diameter smaller than that of the large-diameter cylindrical portion 211, and is connected to the large-diameter cylindrical portion 211 by a connecting portion 213. Further, the small-diameter cylindrical portion 212 is inserted into the insertion hole 2211 of the second housing 22 described later. As a result, the small-diameter cylindrical portion 212 communicates the inside of the first housing 21 with the inside of the second housing 22.
The connecting portion 213 is a cylindrical member, and the diameter is gradually reduced from the large-diameter cylindrical portion 211 to the small-diameter cylindrical portion 212. Further, in the present embodiment, the connecting portion 213 is welded and joined to the large-diameter cylindrical portion 211 and the small-diameter cylindrical portion 212. As a result, the connecting portion 213 connects the large-diameter cylindrical portion 211 and the small-diameter cylindrical portion 212.

フランジ部２１４は、大径円筒部２１１の端部から外周側に延設されている。本実施形態では、当該フランジ部２１４と、被測定流体が流通する配管に設けられたフランジ部とがクランプ等により接続されることにより、物理量測定装置１が上記配管に接続される。
また、大径円筒部２１１の端部には、収納凹部２１５が形成されている。そして、収納凹部２１５には第１絶対圧ユニット３が嵌合されている。 The flange portion 214 extends from the end portion of the large-diameter cylindrical portion 211 to the outer peripheral side. In the present embodiment, the physical quantity measuring device 1 is connected to the pipe by connecting the flange portion 214 and the flange portion provided in the pipe through which the fluid to be measured flows by a clamp or the like.
Further, a storage recess 215 is formed at the end of the large-diameter cylindrical portion 211. The first absolute pressure unit 3 is fitted in the storage recess 215.

［第２筐体２２］
第２筐体２２は、筒状本体部２２１と、蓋部２２２と、底部２２３とを備え、第２絶対圧ユニット４および回路基板５を収納している。
筒状本体部２２１は、第１筐体２１に対して軸方向が直交するように配置されている。そして、筒状本体部２２１には、挿通孔２２１１が設けられている。前述したように、当該挿通孔２２１１には、第１筐体２１の小径円筒部２１２が挿通されている。
また、本実施形態では、挿通孔２２１１に挿通された小径円筒部２１２と筒状本体部２２１とは、溶接により接合されている。
さらに、筒状本体部２２１には、円筒状のケーブル取出部２２４が接続されている。外部から延びるケーブル（図示略）は、ケーブル取出部２２４を挿通することで、第２筐体２２の内部に挿入させることができる。これにより、外部の装置と各種信号をやり取りしたり、外部電源から物理量測定装置１に電源を供給したりすることができる。また、ケーブル取出部２２４には、内部に封止部材（図示略）が挿入されている。これにより、当該ケーブル取出部２２４を介して、第２筐体２２の内部に空気等が流入することを防ぐことができる。 [Second housing 22]
The second housing 22 includes a tubular main body portion 221, a lid portion 222, and a bottom portion 223, and houses the second absolute pressure unit 4 and the circuit board 5.
The tubular main body 221 is arranged so that the axial direction is orthogonal to the first housing 21. The tubular main body 221 is provided with an insertion hole 2211. As described above, the small-diameter cylindrical portion 212 of the first housing 21 is inserted into the insertion hole 2211.
Further, in the present embodiment, the small-diameter cylindrical portion 212 inserted through the insertion hole 2211 and the tubular main body portion 221 are joined by welding.
Further, a cylindrical cable take-out portion 224 is connected to the tubular main body portion 221. The cable extending from the outside (not shown) can be inserted into the second housing 22 by inserting the cable take-out portion 224. As a result, various signals can be exchanged with an external device, and power can be supplied to the physical quantity measuring device 1 from an external power source. Further, a sealing member (not shown) is inserted inside the cable take-out portion 224. As a result, it is possible to prevent air or the like from flowing into the inside of the second housing 22 via the cable take-out portion 224.

蓋部２２２は、筒状本体部２２１の一方の開口を覆うように配置されている。本実施形態では、蓋部２２２は、筒状本体部２２１に対して着脱可能に取り付けられている。なお、蓋部２２２の内側に、表示部等が設けられていてもよい。この場合、回路基板５で算出したゲージ圧等を当該表示部に表示させるようにしてもよい。
底部２２３は、筒状本体部２２１の他方の開口を覆うように配置されている。本実施形態では、底部２２３は、筒状本体部２２１に溶接されて接合されている。また、底部２２３には、後述する第２絶対圧ユニット４の突出部４１３が挿入される貫通孔２２５が中央部に形成されている。 The lid portion 222 is arranged so as to cover one opening of the tubular main body portion 221. In the present embodiment, the lid portion 222 is detachably attached to the tubular main body portion 221. A display unit or the like may be provided inside the lid portion 222. In this case, the gauge pressure or the like calculated on the circuit board 5 may be displayed on the display unit.
The bottom portion 223 is arranged so as to cover the other opening of the tubular main body portion 221. In the present embodiment, the bottom portion 223 is welded and joined to the tubular main body portion 221. Further, a through hole 225 into which the protruding portion 413 of the second absolute pressure unit 4, which will be described later, is inserted is formed in the bottom portion 223 at the central portion.

［第１絶対圧ユニット３］
第１絶対圧ユニット３は、被測定流体の絶対圧を検出し、検出した絶対圧に基づく第１絶対圧信号を出力可能に構成されている。
第１絶対圧ユニット３は、前述したように大径円筒部２１１の収納凹部２１５に嵌合されて第１筐体２１に収納されており、第１ダイアフラム部３１と、第１検出基板３２と、第１出力基板３３と、ケース部材３４と、第１信号伝達部材３５と、を備える。 [1st absolute pressure unit 3]
The first absolute pressure unit 3 is configured to detect the absolute pressure of the fluid to be measured and output a first absolute pressure signal based on the detected absolute pressure.
As described above, the first absolute pressure unit 3 is fitted in the storage recess 215 of the large-diameter cylindrical portion 211 and housed in the first housing 21, and includes the first diaphragm portion 31 and the first detection substrate 32. , A first output board 33, a case member 34, and a first signal transmission member 35.

第１ダイアフラム部３１は、第１筐体２１の収納凹部２１５から外部に面するように配置され、接触した被測定物の圧力変化に伴い変形可能に構成されている。本実施形態では、第１ダイアフラム部３１は、例えば、ステンレス等の金属から形成されている。なお、第１ダイアフラム部３１は、上記構成に限られるものではなく、例えば、半導体材料やセラミック等から形成されていてもよい。 The first diaphragm portion 31 is arranged so as to face the outside from the storage recess 215 of the first housing 21, and is configured to be deformable according to a pressure change of the object to be measured in contact with the first diaphragm portion 31. In the present embodiment, the first diaphragm portion 31 is formed of, for example, a metal such as stainless steel. The first diaphragm portion 31 is not limited to the above configuration, and may be formed of, for example, a semiconductor material, ceramic, or the like.

第１検出基板３２は、第１ダイアフラム部３１との間に第１空間３６を有しており、第１空間３６の周囲で第１ダイアフラム部３１を支持している。すなわち、第１検出基板３２は、外周縁で第１ダイアフラム部３１を支持している。なお、本実施形態では、第１空間３６は、第１ダイアフラム部３１および第１検出基板３２により密閉された空間とされている。そして、第１空間３６は、内部の圧力が大気圧よりも低くなるように構成されている。すなわち、第１空間３６は、希薄空気室となっている。これにより、第１空間３６内における結露を防止できる。なお、第１空間３６は、上記構成に限られるものではなく、例えば、内部が真空になっていてもよい。
第１出力基板３３は、被測定物の圧力変化を、第１ダイアフラム部３１および第１検出基板３２の各々に形成された電極（図示せず）間の静電容量の変化として検出し、第１絶対圧信号として出力する。すなわち、本実施形態では、第１絶対圧ユニット３は静電容量式の圧力センサとして構成されている。 The first detection substrate 32 has a first space 36 between the first detection substrate 32 and the first diaphragm portion 31, and supports the first diaphragm portion 31 around the first space 36. That is, the first detection substrate 32 supports the first diaphragm portion 31 on the outer peripheral edge. In the present embodiment, the first space 36 is a space sealed by the first diaphragm portion 31 and the first detection substrate 32. The first space 36 is configured so that the internal pressure is lower than the atmospheric pressure. That is, the first space 36 is a lean air chamber. Thereby, dew condensation can be prevented in the first space 36. The first space 36 is not limited to the above configuration, and the inside may be, for example, a vacuum.
The first output substrate 33 detects the change in pressure of the object to be measured as the change in capacitance between the electrodes (not shown) formed in each of the first diaphragm portion 31 and the first detection substrate 32, and the first 1 Output as an absolute pressure signal. That is, in the present embodiment, the first absolute pressure unit 3 is configured as a capacitance type pressure sensor.

ケース部材３４は、第１ダイアフラム部３１、第１検出基板３２、および、第１出力基板３３を支持する部材であり、ケース筒状部３４１と、ケースフランジ部３４２と、締結具３４３とを備える。
ケース筒状部３４１は、円筒状の部材であり、一方の端部に第１ダイアフラム３１部および第１検出基板３２が取り付けられており、他方の端部にケースフランジ部３４２が設けられている。
ケースフランジ部３４２は円板状に形成されており、締結具３４３により大径円筒部２１１に取り付けられている。これにより、第１絶対圧ユニット３は、第１筐体２１に固定されている。 The case member 34 is a member that supports the first diaphragm portion 31, the first detection board 32, and the first output board 33, and includes a case tubular portion 341, a case flange portion 342, and a fastener 343. ..
The case tubular portion 341 is a cylindrical member, and the first diaphragm 31 portion and the first detection board 32 are attached to one end portion, and the case flange portion 342 is provided to the other end portion. ..
The case flange portion 342 is formed in a disk shape, and is attached to the large-diameter cylindrical portion 211 by a fastener 343. As a result, the first absolute pressure unit 3 is fixed to the first housing 21.

第１信号伝達部材３５は、第１出力基板３３と回路基板５とを電気的に接続させるための配線部材である。第１出力基板３３は、当該第１信号伝達部材３５を介して、第１絶対圧信号を回路基板５に出力可能に構成されている。 The first signal transmission member 35 is a wiring member for electrically connecting the first output board 33 and the circuit board 5. The first output board 33 is configured to be able to output a first absolute pressure signal to the circuit board 5 via the first signal transmission member 35.

［第２絶対圧ユニット４］
図３は、第２絶対圧ユニット４の概略を示す断面斜視図である。
図２、３に示すように、第２絶対圧ユニット４は、筐体２の外部の絶対圧、つまり、大気圧を検出し、検出した絶対圧に基づく第２絶対圧信号を出力可能に構成されている。
第２絶対圧ユニット４は、前述したように第２筐体２２に収納されており、センサケース４１と、ハウジング４２と、第２ダイアフラム部４３と、支持部４４と、第２検出基板４５と、第２出力基板４６と、Ｏリング４７と、第２信号伝達部材４８とを備える。 [Second absolute pressure unit 4]
FIG. 3 is a cross-sectional perspective view showing an outline of the second absolute pressure unit 4.
As shown in FIGS. 2 and 3, the second absolute pressure unit 4 is configured to detect the absolute pressure outside the housing 2, that is, the atmospheric pressure, and to output the second absolute pressure signal based on the detected absolute pressure. Has been done.
The second absolute pressure unit 4 is housed in the second housing 22 as described above, and includes the sensor case 41, the housing 42, the second diaphragm portion 43, the support portion 44, and the second detection board 45. A second output board 46, an O-ring 47, and a second signal transmission member 48 are provided.

センサケース４１は、有底円筒状の金属製の部材であり、内部にハウジング４２と、第２ダイアフラム部４３と、支持部４４と、第２検出基板４５と、第２出力基板４６とを収納している。そして、センサケース４１は、筒状部４１１と、フランジ部４１２と、突出部４１３とを備える。 The sensor case 41 is a bottomed cylindrical metal member, and houses a housing 42, a second diaphragm portion 43, a support portion 44, a second detection board 45, and a second output board 46 inside. doing. The sensor case 41 includes a tubular portion 411, a flange portion 412, and a protruding portion 413.

筒状部４１１は、金属製で円筒状に形成されている。また、筒状部４１１には、当該筒状部４１１から外周方向に向けて延設されたフランジ部４１２が設けられている。
フランジ部４１２は、金属製で円環状に形成されており、第２筐体２２の底部２２３の内周側の面に溶接されて接合されている。これにより、センサケース４１は、第２筐体２２に固定されている。
突出部４１３は、筒状部４１１の一方の開口端側から突出するように設けられている。そして、突出部４１３は、前述したように、第２筐体２２の底部２２３に形成された貫通孔２２５に挿入されている。これにより、突出部４１３は、筐体２の外部に突出している。また、突出部４１３には、連通孔４１４が設けられている。また、本実施形態では、突出部４１３は有底円筒状に形成され、当該突出部４１３の周面に連通孔４１４が複数設けられている。これにより、後述する第１室４１５と筐体２の外部とが、当該連通孔４１４を介して連通される。 The tubular portion 411 is made of metal and is formed in a cylindrical shape. Further, the tubular portion 411 is provided with a flange portion 412 extending from the tubular portion 411 toward the outer peripheral direction.
The flange portion 412 is made of metal and is formed in an annular shape, and is welded and joined to the inner peripheral side surface of the bottom portion 223 of the second housing 22. As a result, the sensor case 41 is fixed to the second housing 22.
The projecting portion 413 is provided so as to project from one open end side of the tubular portion 411. Then, as described above, the protruding portion 413 is inserted into the through hole 225 formed in the bottom portion 223 of the second housing 22. As a result, the protruding portion 413 protrudes to the outside of the housing 2. Further, the protruding portion 413 is provided with a communication hole 414. Further, in the present embodiment, the protruding portion 413 is formed in a bottomed cylindrical shape, and a plurality of communication holes 414 are provided on the peripheral surface of the protruding portion 413. As a result, the first chamber 415, which will be described later, and the outside of the housing 2 are communicated with each other through the communication hole 414.

ハウジング４２は、筒状で金属製の部材であり、一方の開口端部に第２ダイアフラム部４３が設けられている。また、ハウジング４２は、内部に支持部４４と、第２検出基板４５とを収納している。そして、センサケース４１は、第２ダイアフラム部４３により、第１室４１５と第２室４１６とに仕切られている。
第１室４１５は、前述したように、突出部４１３に設けられた連通孔４１４を介して、筐体２の外部と連通している。これにより、第２ダイアフラム部４３の第１室４１５側の面には、大気圧が作用する。また、第２室４１６は第２筐体２２の内部に連通している。 The housing 42 is a tubular and metal member, and a second diaphragm portion 43 is provided at one of the open ends. Further, the housing 42 houses the support portion 44 and the second detection board 45 inside. The sensor case 41 is divided into a first chamber 415 and a second chamber 416 by a second diaphragm portion 43.
As described above, the first chamber 415 communicates with the outside of the housing 2 through the communication hole 414 provided in the protrusion 413. As a result, atmospheric pressure acts on the surface of the second diaphragm portion 43 on the first chamber 415 side. Further, the second chamber 416 communicates with the inside of the second housing 22.

第２ダイアフラム部４３は、前述したように、センサケース４１の内部の空間を仕切るように配置されており、突出部４１３の連通孔４１４を介して作用する大気圧の変化に伴い変形可能に構成されている。そして、第２ダイアフラム部４３には、当該第２ダイアフラム部４３の変形量を検出するための電極（図示略）が形成されている。
また、本実施形態では、第２ダイアフラム部４３は、例えば、ステンレス等の金属から形成されている。なお、第２ダイアフラム部４３は、上記構成に限られるものではなく、例えば、半導体材料やセラミック等から形成されていてもよい。 As described above, the second diaphragm portion 43 is arranged so as to partition the space inside the sensor case 41, and is configured to be deformable according to a change in atmospheric pressure acting through the communication hole 414 of the protruding portion 413. Has been done. An electrode (not shown) for detecting the amount of deformation of the second diaphragm portion 43 is formed in the second diaphragm portion 43.
Further, in the present embodiment, the second diaphragm portion 43 is formed of, for example, a metal such as stainless steel. The second diaphragm portion 43 is not limited to the above configuration, and may be formed of, for example, a semiconductor material, ceramic, or the like.

支持部４４は、第２ダイアフラム部４３および第２出力基板４６を支持する部材であり、第２室４１６に配置されている。支持部４４は、金属製で筒状に形成されており、内部に第２検出基板４５を収納している。
本実施形態では、第２ダイアフラム部４３、支持部４４、および、第２検出基板４５により、密閉された第２空間４９が形成されている。そして、当該第２空間４９には封入液Ｓが封入されている。 The support portion 44 is a member that supports the second diaphragm portion 43 and the second output board 46, and is arranged in the second chamber 416. The support portion 44 is made of metal and is formed in a tubular shape, and houses the second detection substrate 45 inside.
In the present embodiment, the second diaphragm portion 43, the support portion 44, and the second detection substrate 45 form a sealed second space 49. Then, the filling liquid S is sealed in the second space 49.

第２検出基板４５は、前述したように支持部４４の内部に収納されており、図示略の歪みゲージが形成されており、当該歪みゲージには、第２ダイアフラム部４３に作用する大気圧が、封入液Ｓを介して伝達される。
そして、第２出力基板４６は、上記歪みゲージの変形量により第２ダイアフラム部４３に作用する大気圧を検出し、検出した大気圧に基づく第２絶対圧信号を、回路基板５に出力可能に構成されている。すなわち、本実施形態では、第２絶対圧ユニット４は歪みゲージ式の圧力センサとして構成されている。 As described above, the second detection substrate 45 is housed inside the support portion 44, and a strain gauge (not shown) is formed. The strain gauge contains the atmospheric pressure acting on the second diaphragm portion 43. , Is transmitted via the encapsulant S.
Then, the second output board 46 detects the atmospheric pressure acting on the second diaphragm portion 43 by the amount of deformation of the strain gauge, and can output the second absolute pressure signal based on the detected atmospheric pressure to the circuit board 5. It is configured. That is, in the present embodiment, the second absolute pressure unit 4 is configured as a strain gauge type pressure sensor.

Ｏリング４７は、ハウジング４２の外周側に配置されており、センサケース４１とハウジング４２との間の隙間を封止する部材である。
第２信号伝達部材４８は、第２出力基板４６と回路基板５とを電気的に接続させるための部材である。第２出力基板４６は、当該第２信号伝達部材４８を介して、第２絶対圧信号を回路基板５に出力可能に構成されている。 The O-ring 47 is arranged on the outer peripheral side of the housing 42, and is a member that seals the gap between the sensor case 41 and the housing 42.
The second signal transmission member 48 is a member for electrically connecting the second output board 46 and the circuit board 5. The second output board 46 is configured to be able to output a second absolute pressure signal to the circuit board 5 via the second signal transmission member 48.

［回路基板５］
回路基板５は、前述したように、第２筐体２２に収納されており、図示略の電子部品が搭載されている。そして、回路基板５は、第１信号伝達部材３５を介して入力された第１絶対圧信号と、第２信号伝達部材４８を介して入力された第２絶対圧信号とから、被測定流体のゲージ圧を算出可能に構成されている。具体的には、回路基板５は、第１絶対圧信号に応じた被測定流体の絶対圧から、第２絶対圧信号に応じた筐体２の外部の大気圧を差し引くことにより、被測定流体のゲージ圧を算出するように構成されている。すなわち、回路基板５は、本発明の算出部の一例である。 [Circuit board 5]
As described above, the circuit board 5 is housed in the second housing 22, and is equipped with electronic components (not shown). Then, the circuit board 5 is made of the fluid to be measured from the first absolute pressure signal input via the first signal transmission member 35 and the second absolute pressure signal input via the second signal transmission member 48. It is configured so that the gauge pressure can be calculated. Specifically, the circuit board 5 is the fluid to be measured by subtracting the atmospheric pressure outside the housing 2 corresponding to the second absolute pressure signal from the absolute pressure of the fluid to be measured corresponding to the first absolute pressure signal. It is configured to calculate the gauge pressure of. That is, the circuit board 5 is an example of the calculation unit of the present invention.

また、回路基板５は、第２筐体２２のケーブル取出部２２４に挿通されたケーブル（図示略）を介して、被測定流体のゲージ圧に基づく信号を、外部の装置に出力可能に構成されている。 Further, the circuit board 5 is configured to be able to output a signal based on the gauge pressure of the fluid to be measured to an external device via a cable (not shown) inserted through the cable extraction portion 224 of the second housing 22. ing.

以上のような本実施形態では、次の効果を奏することができる。
（１）本実施形態では、被測定流体の絶対圧を検出する第１絶対圧ユニット３と、筐体２の外部の絶対圧、つまり、大気圧を検出する第２絶対圧ユニット４と、これらの検出結果に基づく信号を入力して被測定流体のゲージ圧を算出する回路基板５とを備える。これにより、筐体２の内部に外気を導入することなく、かつ、弁体のような駆動部を設けることによって筐体２の内外の圧力差を調整することなく被測定流体のゲージ圧を得ることができる。そのため、筐体２の内部で発生した結露による不具合が生じることを防ぐことができ、かつ、弁体のような駆動部が劣化することがないので、長期間にわたって被測定流体のゲージ圧を正確に測定できる。 In the present embodiment as described above, the following effects can be obtained.
(1) In the present embodiment, the first absolute pressure unit 3 that detects the absolute pressure of the fluid to be measured, the second absolute pressure unit 4 that detects the absolute pressure outside the housing 2, that is, the atmospheric pressure, and these. It is provided with a circuit board 5 for calculating the gauge pressure of the fluid to be measured by inputting a signal based on the detection result of. As a result, the gauge pressure of the fluid to be measured can be obtained without introducing outside air into the housing 2 and without adjusting the pressure difference between the inside and outside of the housing 2 by providing a drive unit such as a valve body. be able to. Therefore, it is possible to prevent problems caused by dew condensation generated inside the housing 2, and the drive unit such as the valve body does not deteriorate, so that the gauge pressure of the fluid to be measured can be accurately measured for a long period of time. Can be measured.

（２）本実施形態では、第２ダイアフラム部４３には、筐体２の外部の圧力、つまり、大気圧が作用する。そのため、当該第２ダイアフラム部４３の変形量を検出することにより、大気圧を検出することができる。 (2) In the present embodiment, the pressure outside the housing 2, that is, the atmospheric pressure acts on the second diaphragm portion 43. Therefore, the atmospheric pressure can be detected by detecting the amount of deformation of the second diaphragm portion 43.

（３）本実施形態では、筒状部４１１から筐体２の外部に向かって突出する突出部４１３に連通孔４１４が設けられているので、当該連通孔４１４を介して、第２ダイアフラム部４３に大気圧を作用させることができる。 (3) In the present embodiment, since the communication hole 414 is provided in the protruding portion 413 protruding from the tubular portion 411 toward the outside of the housing 2, the second diaphragm portion 43 is provided through the communication hole 414. Atmospheric pressure can be applied to.

（４）本実施形態では、第２空間４９に封入液Ｓが封入されているので、第２空間４９の内部で結露が生じるおそれがない。そのため、第２空間４９を規定する第２ダイアフラム部４３、支持部４４、および、第２検出基板４５において、結露によって不具合が生じてしまうことを防ぐことができる。 (4) In the present embodiment, since the sealing liquid S is sealed in the second space 49, there is no possibility that dew condensation will occur inside the second space 49. Therefore, it is possible to prevent the second diaphragm portion 43, the support portion 44, and the second detection substrate 45 that define the second space 49 from causing a problem due to dew condensation.

（５）本実施形態では、第１絶対圧ユニット３は静電容量式の圧力センサとして構成されているので、第１ダイアフラム部３１に作用する圧力を第１検出基板３２に伝達するための封入液を第１空間３６に封入させる必要がない。そのため、第１絶対圧ユニット３から封入液が漏出することを防止できる。 (5) In the present embodiment, since the first absolute pressure unit 3 is configured as a capacitance type pressure sensor, it is enclosed to transmit the pressure acting on the first diaphragm portion 31 to the first detection substrate 32. It is not necessary to enclose the liquid in the first space 36. Therefore, it is possible to prevent the filling liquid from leaking from the first absolute pressure unit 3.

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について図面に基づいて説明する。
第２実施形態では、第２絶対圧ユニット４Ａのセンサケース４１Ａが、筒状部４１１Ａ、底板部４１７Ａ、および、突出部４１３Ａを備えて構成される点で第１実施形態と異なる。なお、第２実施形態において、第１実施形態と同一または同様の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The second embodiment differs from the first embodiment in that the sensor case 41A of the second absolute pressure unit 4A is configured to include a tubular portion 411A, a bottom plate portion 417A, and a protruding portion 413A. In the second embodiment, the same or similar configurations as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図４は、本実施形態の物理量測定装置１Ａの概略を示す斜視図であり、図５は、物理量測定装置１Ａの概略を示す断面図である。
図４、５に示すように、物理量測定装置１Ａは、筐体２Ａと、第１絶対圧ユニット３と、第２絶対圧ユニット４Ａと、回路基板５とを備える。 FIG. 4 is a perspective view showing an outline of the physical quantity measuring device 1A of the present embodiment, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing an outline of the physical quantity measuring device 1A.
As shown in FIGS. 4 and 5, the physical quantity measuring device 1A includes a housing 2A, a first absolute pressure unit 3, a second absolute pressure unit 4A, and a circuit board 5.

筐体２Ａは、例えば、ステンレス等の金属製であり、内部が密閉されている。また、筐体２Ａは、第１筐体２１と、第２筐体２２Ａとを備え、内部に第１絶対圧ユニット３と、第２絶対圧ユニット４Ａと、回路基板５とを収納している。 The housing 2A is made of metal such as stainless steel, and the inside is hermetically sealed. Further, the housing 2A includes a first housing 21 and a second housing 22A, and houses the first absolute pressure unit 3, the second absolute pressure unit 4A, and the circuit board 5 inside. ..

［第２筐体２２Ａ］
第２筐体２２Ａは、前述した第１実施形態と同様に、筒状本体部２２１Ａと、蓋部２２２Ａと、底部２２３Ａとを備え、第２絶対圧ユニット４Ａおよび回路基板５を収納している。
筒状本体部２２１Ａは、第１筐体２１に対して軸方向が直交するように配置されている。そして、筒状本体部２２１Ａには、挿通孔２２１１Ａが設けられている。前述した第１実施形態と同様に、当該挿通孔２２１１Ａには、第１筐体２１の小径円筒部２１２が挿通されている。
また、筒状本体部２２１Ａには、円筒状のケーブル取出部２２４Ａが接続されている。さらに、前述した第１実施形態と同様に、ケーブル取出部２２４Ａには、内部に封止部材（図示略）が挿入されている。これにより、当該ケーブル取出部２２４Ａを介して、第２筐体２２Ａの内部に空気等が流入することを防ぐことができる。 [Second housing 22A]
The second housing 22A includes a tubular main body portion 221A, a lid portion 222A, and a bottom portion 223A, and houses the second absolute pressure unit 4A and the circuit board 5, as in the first embodiment described above. ..
The tubular main body 221A is arranged so that the axial direction is orthogonal to the first housing 21. The tubular main body 221A is provided with an insertion hole 2211A. Similar to the first embodiment described above, the small-diameter cylindrical portion 212 of the first housing 21 is inserted into the insertion hole 2211A.
Further, a cylindrical cable take-out portion 224A is connected to the tubular main body portion 221A. Further, as in the first embodiment described above, a sealing member (not shown) is inserted inside the cable take-out portion 224A. As a result, it is possible to prevent air or the like from flowing into the inside of the second housing 22A via the cable take-out portion 224A.

蓋部２２２Ａは、筒状本体部２２１Ａの一方の開口を覆うように配置されている。本実施形態では、蓋部２２２Ａは、筒状本体部２２１Ａに対して着脱可能に取り付けられている。
底部２２３Ａは、筒状本体部２２１Ａの他方の開口を覆うように配置されている。本実施形態では、底部２２３Ａは、筒状本体部２２１Ａに溶接されて接合されている。また、底部２２３Ａには、後述する第２絶対圧ユニット４Ａの突出部４１３Ａが挿入される貫通孔２２５Ａが中央部に形成されている。 The lid portion 222A is arranged so as to cover one opening of the tubular main body portion 221A. In the present embodiment, the lid portion 222A is detachably attached to the tubular main body portion 221A.
The bottom portion 223A is arranged so as to cover the other opening of the tubular main body portion 221A. In the present embodiment, the bottom portion 223A is welded and joined to the tubular main body portion 221A. Further, in the bottom portion 223A, a through hole 225A into which the protruding portion 413A of the second absolute pressure unit 4A, which will be described later, is inserted is formed in the central portion.

［第２絶対圧ユニット４Ａ］
図６は、第２絶対圧ユニット４Ａの概略を示す断面斜視図である。
図５、６に示すように、第２絶対圧ユニット４Ａは、前述した第１実施形態と同様に、大気圧を検出し、検出した大気圧に基づく第２絶対圧信号を出力可能に構成されている。
第２絶対圧ユニット４Ａは、センサケース４１Ａと、ハウジング４２Ａと、第２ダイアフラム部４３Ａと、支持部４４Ａと、第２検出基板４５Ａと、第２出力基板４６Ａと、Ｏリング４７Ａと、第２信号伝達部材４８Ａとを備える。 [Second absolute pressure unit 4A]
FIG. 6 is a cross-sectional perspective view showing an outline of the second absolute pressure unit 4A.
As shown in FIGS. 5 and 6, the second absolute pressure unit 4A is configured to detect atmospheric pressure and output a second absolute pressure signal based on the detected atmospheric pressure, as in the first embodiment described above. ing.
The second absolute pressure unit 4A includes a sensor case 41A, a housing 42A, a second diaphragm portion 43A, a support portion 44A, a second detection board 45A, a second output board 46A, an O-ring 47A, and a second. It includes a signal transmission member 48A.

センサケース４１Ａは、有底円筒状の金属製の部材であり、内部にハウジング４２Ａと、第２ダイアフラム部４３Ａと、支持部４４Ａと、第２検出基板４５Ａと、第２出力基板４６Ａとを収納している。そして、本実施形態では、センサケース４１Ａは、筒状部４１１Ａと、底板部４１７Ａと、突出部４１３Ａとを備える。 The sensor case 41A is a bottomed cylindrical metal member, and houses a housing 42A, a second diaphragm portion 43A, a support portion 44A, a second detection board 45A, and a second output board 46A inside. doing. In the present embodiment, the sensor case 41A includes a tubular portion 411A, a bottom plate portion 417A, and a protruding portion 413A.

筒状部４１１Ａは、金属製で円筒状に形成されている。また、筒状部４１１Ａの一方の開口端部には、底板部４１７Ａが設けられている。
底板部４１７Ａは、金属製で円板状に形成されており、第２筐体２２Ａの底部２２３Ａの内周側の面に溶接されて接合されている。これにより、センサケース４１Ａは、第２筐体２２Ａに固定されている。
突出部４１３Ａは、底板部４１７Ａの中央部から突出するように設けられている。そして、突出部４１３Ａは、第２筐体２２Ａの底部２２３Ａに形成された貫通孔２２５Ａに挿入されている。これにより、突出部４１３Ａは、筐体２Ａの外部に突出している。また、突出部４１３Ａには、連通孔４１４Ａが設けられている。これにより、後述する第１室４１５Ａと筐体２Ａの外部とが、当該連通孔４１４Ａを介して連通される。 The tubular portion 411A is made of metal and is formed in a cylindrical shape. Further, a bottom plate portion 417A is provided at one open end portion of the tubular portion 411A.
The bottom plate portion 417A is made of metal and is formed in a disk shape, and is welded and joined to the inner peripheral side surface of the bottom portion 223A of the second housing 22A. As a result, the sensor case 41A is fixed to the second housing 22A.
The protruding portion 413A is provided so as to protrude from the central portion of the bottom plate portion 417A. Then, the protruding portion 413A is inserted into the through hole 225A formed in the bottom portion 223A of the second housing 22A. As a result, the protruding portion 413A protrudes to the outside of the housing 2A. Further, the protruding portion 413A is provided with a communication hole 414A. As a result, the first chamber 415A, which will be described later, and the outside of the housing 2A are communicated with each other through the communication hole 414A.

ハウジング４２Ａは、筒状で金属製の部材であり、内部に第２ダイアフラム部４３Ａと、支持部４４Ａと、第２検出基板４５Ａとを収納している。そして、センサケース４１Ａは、第２ダイアフラム部４３Ａにより、第１室４１５Ａと第２室４１６Ａとに仕切られている。
第１室４１５Ａは、前述したように、突出部４１３Ａに設けられた連通孔４１４Ａを介して、筐体２Ａの外部と連通している。これにより、第２ダイアフラム部４３Ａの第１室４１５Ａ側の面には、大気圧が作用する。また、第２室４１６Ａは第２筐体２２Ａの内部に連通している。 The housing 42A is a tubular and metal member, and houses a second diaphragm portion 43A, a support portion 44A, and a second detection substrate 45A inside. The sensor case 41A is divided into a first chamber 415A and a second chamber 416A by a second diaphragm portion 43A.
As described above, the first chamber 415A communicates with the outside of the housing 2A via the communication hole 414A provided in the protrusion 413A. As a result, atmospheric pressure acts on the surface of the second diaphragm portion 43A on the first chamber 415A side. Further, the second chamber 416A communicates with the inside of the second housing 22A.

第２ダイアフラム部４３Ａは、前述した第１実施形態の第２ダイアフラム部４３と同様に構成される。本実施形態では、第２ダイアフラム部４３Ａは、センサケース４１Ａの内部の空間を仕切るように配置されており、突出部４１３Ａの連通孔４１４Ａを介して作用する大気圧の変化に伴い変形可能に構成されている。 The second diaphragm portion 43A is configured in the same manner as the second diaphragm portion 43 of the first embodiment described above. In the present embodiment, the second diaphragm portion 43A is arranged so as to partition the space inside the sensor case 41A, and is configured to be deformable according to a change in atmospheric pressure acting through the communication hole 414A of the protruding portion 413A. Has been done.

支持部４４Ａは、前述した第１実施形態の支持部４４と同様に構成され、第２ダイアフラム部４３Ａおよび第２出力基板４６Ａを支持する部材である。
本実施形態では、第２ダイアフラム部４３Ａ、支持部４４Ａ、および、第２検出基板４５Ａにより、密閉された第２空間４９Ａが形成されている。そして、当該第２空間４９Ａには封入液Ｓが封入されている。 The support portion 44A is configured in the same manner as the support portion 44 of the first embodiment described above, and is a member that supports the second diaphragm portion 43A and the second output substrate 46A.
In the present embodiment, the second diaphragm portion 43A, the support portion 44A, and the second detection substrate 45A form a sealed second space 49A. Then, the filling liquid S is sealed in the second space 49A.

以上のような本実施形態では、前述した第１実施形態の（１）〜（５）と同様の効果を奏することができる。 In the present embodiment as described above, the same effects as those in (1) to (5) of the first embodiment described above can be obtained.

［変形例］
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記各実施形態では、筐体２は、第１筐体２１と第２筐体２２，２２Ａとを備えて構成されていたが、これに限定されない。例えば、筐体は、１つの筒状部材から構成されていてもよい。 [Modification example]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the range in which the object of the present invention can be achieved are included in the present invention.
In each of the above-described embodiments, the housing 2 includes the first housing 21 and the second housings 22, 22A, but is not limited thereto. For example, the housing may be composed of one tubular member.

前記各実施形態では、第１筐体２１は、大径円筒部２１１、小径円筒部２１２、および、連結部２１３を備えて構成されていたが、これに限定されない。例えば、第１筐体は、単純な円筒形状であってもよく、さらに、四角筒や六角筒等の多角筒形状であってもよい。 In each of the above embodiments, the first housing 21 includes, but is not limited to, a large-diameter cylindrical portion 211, a small-diameter cylindrical portion 212, and a connecting portion 213. For example, the first housing may have a simple cylindrical shape, or may have a polygonal cylinder shape such as a square cylinder or a hexagonal cylinder.

前記各実施形態では、第２筐体２２，２２Ａにケーブル取出部２２４，２２４Ａが設けられていたが、これに限定されるものではなく、ケーブル取出部２２４，２２４Ａが設けられていない場合も本発明に含まれる。この場合、筐体内に電池等を収納し、当該電池にて物理量測定装置に電源を供給するようにしてもよい。また、筐体内に無線通信ユニットを収納し、当該無線通信ユニットにて外部の装置と各種信号をやり取りするようにしてもよい。 In each of the above-described embodiments, the cable extraction portions 224 and 224A are provided in the second housings 22 and 22A, but the present invention is not limited to this, and there is a case where the cable extraction portions 224 and 224A are not provided. Included in the invention. In this case, a battery or the like may be housed in the housing, and the battery may be used to supply power to the physical quantity measuring device. Further, the wireless communication unit may be housed in the housing, and the wireless communication unit may exchange various signals with an external device.

前記各実施形態では、物理量測定装置１，１Ａは、第１筐体２１のフランジ部２１４により、被測定流体が流通する配管と接続されていたが、これに限定されない。例えば、第１筐体の大径円筒部の端部側の外周面に雄ねじ部が設けられ、当該雄ねじ部により上記配管と接続されるように構成されていてもよい。 In each of the above-described embodiments, the physical quantity measuring devices 1 and 1A are connected to the pipe through which the fluid to be measured flows by the flange portion 214 of the first housing 21, but the present invention is not limited to this. For example, a male screw portion may be provided on the outer peripheral surface of the large-diameter cylindrical portion of the first housing on the end side, and may be configured to be connected to the pipe by the male screw portion.

前記各実施形態では、第１絶対圧ユニット３は、静電容量式の圧力センサとして構成されていたが、これに限定されない。例えば、第１絶対圧ユニットは、歪みゲージ式の圧力センサとして構成されていてもよく、被測定流体の絶対圧を検出可能に構成されていればよい。
また、前記各実施形態では、第１ダイアフラム部３１および第１検出基板３２により密閉された第１空間３６は、内部の圧力が大気圧よりも低くなるように構成されていたが、これに限定されない。例えば、上記の第１空間は、大気圧となるように構成されていてもよく、あるいは、上記の第１空間に封入液が封入されていてもよい。 In each of the above embodiments, the first absolute pressure unit 3 is configured as a capacitance type pressure sensor, but is not limited thereto. For example, the first absolute pressure unit may be configured as a strain gauge type pressure sensor, and may be configured to be able to detect the absolute pressure of the fluid to be measured.
Further, in each of the above-described embodiments, the first space 36 sealed by the first diaphragm portion 31 and the first detection substrate 32 is configured so that the internal pressure is lower than the atmospheric pressure, but the present invention is limited to this. Not done. For example, the first space may be configured to have an atmospheric pressure, or the first space may be filled with an encapsulating liquid.

前記各実施形態では、第２絶対圧ユニット４，４Ａは、歪みゲージ式の圧力センサとして構成されていたが、これに限定されない。例えば、第２絶対圧ユニットは、静電容量式の圧力センサとして構成されていてもよい。また、この場合、第２空間に封入液が封入されていなくてもよい。 In each of the above embodiments, the second absolute pressure units 4 and 4A are configured as a strain gauge type pressure sensor, but the present invention is not limited thereto. For example, the second absolute pressure unit may be configured as a capacitance type pressure sensor. Further, in this case, the filling liquid may not be sealed in the second space.

前記実施形態では、回路基板５は、被測定流体のゲージ圧に基づく信号を、外部の装置に出力可能に構成されていたが、これに限定されない。例えば、液晶ディスプレイ等によって構成された表示部に、被測定流体のゲージ圧を表示させる表示信号を出力可能に構成されていてもよい。 In the above embodiment, the circuit board 5 is configured to be able to output a signal based on the gauge pressure of the fluid to be measured to an external device, but the present invention is not limited to this. For example, a display unit composed of a liquid crystal display or the like may be configured to be able to output a display signal for displaying the gauge pressure of the fluid to be measured.

前記各実施形態では、物理量測定装置１，１Ａは、液位計として構成されていたが、これに限定されない。例えば、物理量測定装置は、ゲージ圧測定装置として構成されていてもよい。 In each of the above embodiments, the physical quantity measuring devices 1 and 1A are configured as a liquid level gauge, but the present invention is not limited thereto. For example, the physical quantity measuring device may be configured as a gauge pressure measuring device.

１，１Ａ…物理量測定装置、２，２Ａ…筐体、３…第１絶対圧ユニット、４，４Ａ…第２絶対圧ユニット、５…回路基板（算出部）、２１…第１筐体、２２，２２Ａ…第２筐体、３１…第１ダイアフラム部、３２…第１検出基板、３３…第１出力基板、３４…ケース部材、３５…第１信号伝達部材、３６…第１空間、４１，４１Ａ…センサケース、４２，４２Ａ…ハウジング、４３，４３Ａ…第２ダイアフラム部、４４，４４Ａ…支持部、４５，４５Ａ…第２検出基板、４６，４６Ａ…第２出力基板、４７，４７Ａ…Ｏリング、４８，４８Ａ…第２信号伝達部材、４９，４９Ａ…第２空間、２１１…大径円筒部、２１２…小径円筒部、２１３…連結部、２１４…フランジ部、２１５…収納凹部、２２１，２２１Ａ…筒状本体部、２２２，２２２Ａ…蓋部、２２３，２２３Ａ…底部、２２４，２２４Ａ…ケーブル取出部、２２５，２２５Ａ…貫通孔、３４１…ケース筒状部、３４２…ケースフランジ部、３４３…締結具、４１１，４１１Ａ…筒状部、４１２…フランジ部、４１３，４１３Ａ…突出部、４１４，４１４Ａ…連通孔、４１５，４１５Ａ…第１室、４１６，４１６Ａ…第２室、４１７Ａ…底板部、２２１１，２２１１Ａ…挿通孔、Ｓ…封入液。 1,1A ... Physical quantity measuring device, 2,2A ... Housing, 3 ... First absolute pressure unit, 4,4A ... Second absolute pressure unit, 5 ... Circuit board (calculation unit), 21 ... First housing, 22 , 22A ... 2nd housing, 31 ... 1st diaphragm part, 32 ... 1st detection board, 33 ... 1st output board, 34 ... case member, 35 ... 1st signal transmission member, 36 ... 1st space, 41, 41A ... Sensor case, 42,42A ... Housing, 43,43A ... Second diaphragm section, 44,44A ... Support section, 45,45A ... Second detection board, 46,46A ... Second output board, 47,47A ... O Ring, 48, 48A ... 2nd signal transmission member, 49, 49A ... 2nd space, 211 ... Large diameter cylindrical part, 212 ... Small diameter cylindrical part, 213 ... Connecting part, 214 ... Flange part, 215 ... Storage recess, 221 221A ... Cylindrical body, 222,222A ... Lid, 223, 223A ... Bottom, 224,224A ... Cable outlet, 225,225A ... Through hole, 341 ... Case tubular, 342 ... Case flange, 343 ... Fasteners, 411,411A ... Cylindrical part, 412 ... Flange part, 413,413A ... Protruding part, 414,414A ... Communication holes, 415,415A ... First chamber, 416,416A ... Second chamber, 417A ... Bottom plate part , 2211 and 211A ... Insertion hole, S ... Encapsulating liquid.

Claims

With a housing that is sealed inside
A first absolute pressure unit that is housed in the housing, detects the absolute pressure of the fluid to be measured, and outputs a first absolute pressure signal based on the detected absolute pressure.
A second absolute pressure unit that is housed in the housing, detects an absolute pressure outside the housing, and outputs a second absolute pressure signal based on the detected absolute pressure.
A physical quantity measuring device that is housed in the housing and includes a calculation unit that inputs the first absolute pressure signal and the second absolute pressure signal to calculate the gauge pressure of the fluid to be measured.

In the physical quantity measuring device according to claim 1,
The second absolute pressure unit is
A sensor case provided with a first chamber communicating with the outside of the housing and a second chamber communicating with the inside of the housing.
A diaphragm portion provided in the sensor case and partitioning the first chamber and the second chamber, and
A physical quantity measuring device provided in the second chamber and provided with a tubular support portion for supporting the diaphragm portion.

In the physical quantity measuring device according to claim 2.
The sensor case has a tubular portion, a flange portion extending from the tubular portion in the outer peripheral direction, and a protruding portion protruding from the tubular portion toward the outside of the housing.
A physical quantity measuring device characterized in that the protruding portion is provided with a communication hole that communicates the first chamber with the outside of the housing.

In the physical quantity measuring device according to claim 2.
The sensor case has a tubular portion, a bottom plate portion provided at one open end of the tubular portion, and a protruding portion provided on the bottom plate portion and projecting toward the outside of the housing.
A physical quantity measuring device characterized in that the protruding portion is provided with a communication hole that communicates the first chamber with the outside of the housing.

In the physical quantity measuring device according to any one of claims 2 to 4.
It has a detection board that is housed inside the support.
A space sealed by the diaphragm portion, the support portion, and the detection substrate is formed.
A physical quantity measuring device characterized in that an encapsulating liquid is enclosed in the space.